ATE410364T1 - Verfahren und vorrichtung zum evakuieren einer kammer - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum evakuieren einer kammer

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ATE410364T1
ATE410364T1 AT05009182T AT05009182T ATE410364T1 AT E410364 T1 ATE410364 T1 AT E410364T1 AT 05009182 T AT05009182 T AT 05009182T AT 05009182 T AT05009182 T AT 05009182T AT E410364 T1 ATE410364 T1 AT E410364T1
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AT
Austria
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chamber
evacuating
gas
concentration
measured
Prior art date
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AT05009182T
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English (en)
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Felix Rudolf Bilz
Sascha Bilz
Original Assignee
Bis Vakuumtechnik Gmbh
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
    • B65B31/00—Packaging articles or materials under special atmospheric or gaseous conditions; Adding propellants to aerosol containers
    • B65B31/02—Filling, closing, or filling and closing, containers or wrappers in chambers maintained under vacuum or superatmospheric pressure or containing a special atmosphere, e.g. of inert gas

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