ATE480507T1 - Vorrichtung um ein plasma-cvd-verfahren durchzuführen und verfahren zur herstellung einer optischen faser - Google Patents

Vorrichtung um ein plasma-cvd-verfahren durchzuführen und verfahren zur herstellung einer optischen faser

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ATE480507T1
ATE480507T1 AT07011198T AT07011198T ATE480507T1 AT E480507 T1 ATE480507 T1 AT E480507T1 AT 07011198 T AT07011198 T AT 07011198T AT 07011198 T AT07011198 T AT 07011198T AT E480507 T1 ATE480507 T1 AT E480507T1
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plasma cvd
cvd process
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AT07011198T
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Rob Hubertus Matheus Deckers
Johannes Antoon Hartsuiker
Marco Korsten
Stralen Mattheus Jacobus Nicolaas Van
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Draka Comteq Bv
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Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL1032015C2 (nl) 2006-06-16 2008-01-08 Draka Comteq Bv Inrichting voor het uitvoeren van een plasma chemische dampdepositie (PCVD) en werkwijze ter vervaardiging van een optische vezel.
NL1033763C2 (nl) * 2007-04-26 2008-10-28 Draka Comteq Bv Inrichting en werkwijze voor het vervaardigen van een optische voorvorm.
NL1033773C2 (nl) * 2007-04-27 2008-10-28 Draka Comteq Bv Werkwijze voor de vervaardiging van een voorvorm alsmede daarmee te verkrijgen optische vezel.
NL1037163C2 (nl) 2009-07-30 2011-02-02 Draka Comteq Bv Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een primaire voorvorm voor optische vezels.
NL1037164C2 (nl) 2009-07-30 2011-02-02 Draka Comteq Bv Werkwijze voor het vervaardigen van een primaire voorvorm voor optische vezels.
CN107359103A (zh) * 2009-10-28 2017-11-17 应用材料公司 用于等离子体增强化学气相沉积的腔室
NL2004544C2 (nl) 2010-04-13 2011-10-17 Draka Comteq Bv Inwendig dampdepositieproces.
NL2004546C2 (nl) 2010-04-13 2011-10-17 Draka Comteq Bv Inwendig dampdepositieproces.
NL2004874C2 (nl) 2010-06-11 2011-12-19 Draka Comteq Bv Werkwijze voor het vervaardigen van een primaire voorvorm.
NL2007447C2 (nl) 2011-09-20 2013-03-21 Draka Comteq Bv Werkwijze voor de vervaardiging van een primaire voorvorm voor optische vezels, primaire voorvorm, uiteindelijke voorvorm, optische vezel.
NL2007448C2 (nl) 2011-09-20 2013-03-21 Draka Comteq Bv Werkwijze voor de vervaardiging van een primaire voorvorm voor optische vezels, primaire voorvorm, uiteindelijke voorvorm, optische vezels.
NL2007809C2 (en) * 2011-11-17 2013-05-21 Draka Comteq Bv An apparatus for performing a plasma chemical vapour deposition process.
NL2007917C2 (en) 2011-12-01 2013-06-06 Draka Comteq Bv A device for applying electromagnetic microwave radiation in a plasma inside a hollow glass substrate tube, and method for manufacturing an optical preform.
NL2007968C2 (en) 2011-12-14 2013-06-17 Draka Comteq Bv An apparatus for performing a plasma chemical vapour deposition process.
US9002162B2 (en) 2013-03-15 2015-04-07 Ofs Fitel, Llc Large core multimode optical fibers
CN103269561B (zh) * 2013-05-15 2016-01-06 浙江大学 波导直馈式微波等离子体炬装置
CN105244251B (zh) * 2015-11-03 2017-11-17 长飞光纤光缆股份有限公司 一种大功率等离子体微波谐振腔
NL2017575B1 (en) 2016-10-04 2018-04-13 Draka Comteq Bv A method and an apparatus for performing a plasma chemical vapour deposition process and a method
CN106099301B (zh) * 2016-07-19 2019-08-09 电子科技大学 一种同轴谐振腔及其应用
DK3495329T3 (da) 2016-08-02 2021-02-08 Sumitomo Electric Industries Fremgangsmåde til fremstilling af optisk fibermatrix og fremgangsmåde til fremstilling af optisk fiber
CN110453202B (zh) * 2019-06-28 2023-08-25 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 一种天线位置可调的波导模式转换器及mpcvd装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3204846A1 (de) * 1982-02-11 1983-08-18 Schott Glaswerke, 6500 Mainz Plasmaverfahren zur innenbeschichtung von glasrohren
US5223308A (en) * 1991-10-18 1993-06-29 Energy Conversion Devices, Inc. Low temperature plasma enhanced CVD process within tubular members
US5230740A (en) * 1991-12-17 1993-07-27 Crystallume Apparatus for controlling plasma size and position in plasma-activated chemical vapor deposition processes comprising rotating dielectric
US5361016A (en) * 1992-03-26 1994-11-01 General Atomics High density plasma formation using whistler mode excitation in a reduced cross-sectional area formation tube
US6161498A (en) * 1995-09-14 2000-12-19 Tokyo Electron Limited Plasma processing device and a method of plasma process
JP4326146B2 (ja) * 1997-12-31 2009-09-02 プラズマ オプティカル ファイバー ベスローテン フェンノートシャップ Pcvd装置及び光ファイバ、プレフォームロッド及びジャケットチューブを製造する方法並びにこれにより製造される光ファイバ
US6715441B2 (en) * 1997-12-31 2004-04-06 Plasma Optical Fibre B.V. PCVD apparatus and a method of manufacturing an optical fiber, a preform rod and a jacket tube as well as the optical fiber manufactured therewith
US20030104139A1 (en) * 2001-11-30 2003-06-05 House Keith L. Apparatus for depositing a plasma chemical vapor deposition coating on the inside of an optical fiber preform
US20030115909A1 (en) * 2001-12-21 2003-06-26 House Keith L. Plasma chemical vapor deposition methods and apparatus
NL1025155C2 (nl) * 2003-12-30 2005-07-04 Draka Fibre Technology Bv Inrichting voor het uitvoeren van PCVD, alsmede werkwijze voor het vervaardigen van een voorvorm.
NL1032015C2 (nl) 2006-06-16 2008-01-08 Draka Comteq Bv Inrichting voor het uitvoeren van een plasma chemische dampdepositie (PCVD) en werkwijze ter vervaardiging van een optische vezel.

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