ATE473520T1 - Detektor für elektromagnetische strahlung, diesen verwendende pixelstruktur mit hoher empfindlichkeit und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

Detektor für elektromagnetische strahlung, diesen verwendende pixelstruktur mit hoher empfindlichkeit und verfahren zu seiner herstellung

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ATE473520T1
ATE473520T1 AT98870025T AT98870025T ATE473520T1 AT E473520 T1 ATE473520 T1 AT E473520T1 AT 98870025 T AT98870025 T AT 98870025T AT 98870025 T AT98870025 T AT 98870025T AT E473520 T1 ATE473520 T1 AT E473520T1
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high sensitivity
radiation detector
pixel structure
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AT98870025T
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English (en)
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Bart Dierickx
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Cypress Semiconductor Corp Bel
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F39/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
    • H10F39/10Integrated devices
    • H10F39/12Image sensors
    • H10F39/18Complementary metal-oxide-semiconductor [CMOS] image sensors; Photodiode array image sensors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10PGENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P74/00Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices

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