ATE142795T1 - Verfahren zur herstellung eines beugungsgitters - Google Patents

Verfahren zur herstellung eines beugungsgitters

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ATE142795T1
ATE142795T1 AT91121093T AT91121093T ATE142795T1 AT E142795 T1 ATE142795 T1 AT E142795T1 AT 91121093 T AT91121093 T AT 91121093T AT 91121093 T AT91121093 T AT 91121093T AT E142795 T1 ATE142795 T1 AT E142795T1
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pitch
diffraction grating
producing
diffraction
griding
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AT91121093T
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Noriaki Ohguri
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Canon Kk
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/001—Phase modulating patterns, e.g. refractive index patterns
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/18—Diffraction gratings
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