AT521797A2 - Fixierungssystem, Auflageplatte und Herstellungsverfahren - Google Patents

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AT521797A2 ATA50910/2019A AT509102019A AT521797A2 AT 521797 A2 AT521797 A2 AT 521797A2 AT 509102019 A AT509102019 A AT 509102019A AT 521797 A2 AT521797 A2 AT 521797A2
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Abstract

Offenbart ist ein Befestigungssystem (10) zur Befestigung eines flexiblen Substrats (16), mit einer Handhabungsvorrichtung (12) und einer von der Handhabungsvorrichtung (12) getrennten Halteplatte (14). Die Handhabungsvorrichtung (12) weist eine Lagerfläche (18) mit Vakuumöffnungen (20) auf. Die Halteplatte (14) weist eine Haltefläche (26) zum Halten des Substrats (16) und eine Verbindungsfläche (24) in Kontakt mit der Lagerfläche (18) der Handhabungsvorrichtung (12) auf. Die Halteplatte (14) weist Durchgangsöffnungen (28) auf, die sich von der Haltefläche (26) zur Verbindungsfläche (24) erstrecken, wobei mindestens eine der Durchgangsöffnungen (28) mit einer der Vakuumöffnungen (20) der Handhabungsvorrichtung (12) in Strömungsverbindung steht. Darüber hinaus sind eine Halteplatte (14) für ein Befestigungssystem (10) und ein Verfahren zur Herstellung einer Halteplatte (14) offenbart.

Description

Die Erfindung betrifft ein Befestigungssystem zur Befestigung eines flexiblen Substrats, eine
Halteplatte für ein Befestigungssystem sowie ein Verfahren zur Herstellung einer Halteplatte.
Halbleiterbearbeitungsmaschinen, wie Maskenausrichter oder Endeffektoren, verwenden Vakuumhalter, z.B. Chucks, um ein Vakuum auf Substrate aufzubringen und sie für die Weiterverarbeitung zu halten. Maskenausrichter verwenden beispielsweise Vakuumhalter, um das Substrat (wie etwa einen Wafer) und eine Maske für eine nachfolgende Belichtung des
Substrats zu positionieren.
Die Vakuumhalter sind üblicherweise für starre Substrate ausgelegt, d.h. Substrate, die sich unter dem Einfluss der Schwerkraft nicht wesentlich biegen. Dementsprechend sind die Vakuumhalter üblicherweise kleiner als das zu haltende Substrat und/oder wenden nur in einem
mittleren Bereich des Substrats ein Vakuum an.
Bei der Bearbeitung von flexiblen Substraten wie Folien oder dünnen Wafern kann dies zu einer Verbiegung des Substrats, einer erheblichen Belastung auf das Substratmaterial und/oder
zu Abdrücken von Oberflächenstrukturen des Vakuumhalters auf das Substrat führen.
Ziel der Erfindung ist es daher, ein Befestigungssystem bereitzustellen, das flexible Substrate
ohne die oben genannten Nachteile halten kann.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch ein Befestigungssystem zur Befestigung eines flexiblen Substrats gelöst, mit einer Handhabungsvorrichtung und einer von der Handhabungsvorrichtung getrennten Halteplatte. Die Handhabungsvorrichtung weist eine Lagerfläche mit Vakuumöffnungen auf. Die Halteplatte weist eine Haltefläche zum Halten des Substrats und eine Verbindungsfläche in Kontakt mit der Lagerfläche der Handhabungsvorrichtung auf. Die Halteplatte weist Durchgangsöffnungen auf, die sich von der Haltefläche zur Verbindungsfläche erstrecken, wobei mindestens eine der Durchgangsöffnungen
mit einer der Vakuumöffnungen der Handhabungsvorrichtung in Strömungsverbindung steht.
Zur Befestigung des flexiblen Substrats wird dieses auf der Haltefläche der Halteplatte positioniert, und an den Vakuumöffnungen der Lagerfläche wird ein Vakuum aufgebracht. Das Vakuum wird durch die Durchgangsöffnungen der Halteplatte geleitet und auf das Substrat
aufgebracht, das so sicher an der Haltefläche fixiert ist.
Im Folgenden bezeichnet der Ausdruck "ein Vakuum aufbringen" stets, dass Fluid aus dem entsprechenden Bereich abgeführt wird. Das Aufbringen eines Vakuums an den Vakuumöffnungen bedeutet z.B., dass Fluid, wie etwa Luft oder Flüssigkeit, aus dem durch die Vakuumöffnungen definierten Bereich abgeführt wird. Dies entspricht dem Aufbau eines Drucks im jeweiligen Bereich, der niedriger ist als ein Referenzdruck in der Umgebung des
Befestigungssystems.
Die separate Halteplatte ist starr ausgebildet und hält somit das flexible Substrat, insbesondere über die gesamte Fläche des flexiblen Substrats. So werden eine Biegung des Substrats, eine Belastung auf das Substratmaterial und Abdruckeffekte effektiv reduziert oder
sogar ganz vermieden, während das flexible Substrat für eine weitere Bearbeitung fixiert ist.
Die Halteplatte ist als Halterung an der Handhabungsvorrichtung ausgebildet. Für die Handhabung verschiedener Arten und Größen von Substraten kann die Halteplatte einfach durch eine andere ersetzt werden, die an das spezielle Substrat und/oder die spezielle Substratgröße angepasst ist. Somit ist es möglich, ein und dieselbe Handhabungsvorrichtung für eine Vielzahl
verschiedener Substrate und Substratgrößen zu verwenden.
Vorzugsweise ist die Oberfläche der Halteplatte größer als die Oberfläche des zu fixierenden Substrats, so dass die Halteplatte das flexible Substrat vollständig auf seiner gesamten Oberfläche hält.
Die Halteplatte kann als Scheibe ausgebildet sein oder eine beliebige Form haben. Insbesondere kann die Form der Halteplatte dazu geeignet sein, sich an eine bestimmte Form
eines zu fixierenden Substrats anzupassen.
In einer bestimmten Ausführungsform der Erfindung weist die Halteplatte Vakuumnuten in der Haltefläche auf, die jeweils mit mindestens einer Durchgangsöffnung in Strömungsverbindung stehen. Über die Vakuumnuten wird das Vakuum auf einen größeren Bereich des flexiblen Substrats verteilt, so dass das Vakuum gleichmäßiger auf das flexible Substrat aufgebracht wird. Somit werden auch die Kräfte, die aufgrund des aufgebrachten Vakuums auf das flexible Substrat wirken, gleichmäßiger verteilt. Dadurch werden Belastungen auf das Substratmaterial und
Abdruckeffekte durch eine ungleichmäßige Druckverteilung reduziert oder sogar ganz vermieden.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung erstrecken sich die Vakuumnuten ausgehend von einem Mittelpunkt der Halteplatte radial nach außen, in einer azimutalen Richtung der Halteplatte und/oder entlang einer Kontur, die einer Kontur des Substrats ähnlich ist. Der Begriff "ähnlich" bezeichnet, dass mindestens eine der Vakuumnuten zumindest Teilen der Kontur des flexiblen Substrats ähneln kann. Insbesondere kann eine durch mindestens eine der Vakuumnuten definierte Kontur der Kontur des flexiblen Substrats in mathematischer Hinsicht ähnlich sein,
genauer gesagt gleich oder verkleinert dazu sein.
Vorzugsweise erstreckt sich mindestens eine Vakuumnut entlang einer Kurve, die zumindest stückweise einem Außenumfang des flexiblen Substrats ähnlich ist, so dass das Substrat an
seiner Kante bzw. an seinen Kanten sicher fixiert ist.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung weist die Halteplatte eine Ausrichtstruktur auf,
insbesondere wobei die Ausrichtstruktur eine Gravur, eine Kerbe und/oder einer
Handhabungsvorrichtung.
Die Handhabungsvorrichtung und/oder die Halteplatte können zumindest abschnittsweise durchscheinend sein. Insbesondere kann die Halteplatte in Bereichen, die Fenstern zugeordnet sind, die in der Handhabungsvorrichtung enthalten sind, durchscheinend sein. Dies ermöglicht eine rückseitige Ausrichtung des flexiblen Substrats und damit eine besonders genaue Positionierung des flexiblen Substrats an der Halteplatte und/oder der Halteplatte an der
Handhabungsvorrichtung.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung besteht die Halteplatte zumindest teilweise aus einem photostrukturierbaren Glas. Insbesondere werden die Vakuumnuten und/oder die Durchgangsöffnungen durch Belichten und anschließendes Ätzen des photostrukturierbaren Glases erzeugt. Diese Art von Herstellungsprozess ermöglicht eine besonders hohe Genauigkeit der Nuten und der Durchgangsöffnungen. Darüber hinaus ermöglicht er ein besonders hohes Seitenverhältnis (Tiefe einer Struktur dividiert durch ihre Breite) der erzeugten Vakuumnuten und
Durchgangsöffnungen. Alternativ kann die Halteplatte auch aus einer anderen Art von Glas oder Metall bestehen.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung weist die Halteplatte Vakuumnuten in der Verbindungsfläche auf, die jeweils mit mindestens einer Durchgangsöffnung in Strömungsverbindung stehen, insbesondere wobei eine Breite und/oder eine Länge der in der Verbindungsfläche vorgesehenen Vakuumnuten größer ist als eine Breite und/oder eine Länge der in der Haltefläche vorgesehenen Vakuumnuten. Die in der Verbindungsfläche vorgesehenen Vakuumnuten sind über den Vakuumöffnungen so angeordnet, dass die Durchgangsöffnungen über die Vakuumnuten mit den Vakuumöffnungen in Strömungsverbindung stehen. Durch diese Vakuumnuten mit größerer Breite und/oder Länge, die in der Verbindungsfläche vorgesehen sind, werden Positionierungsfehler und/oder Größentoleranzen der Haltefläche ausgeglichen, da die
Durchgangsöffnungen nicht perfekt über den Vakuumöffnungen positioniert werden müssen.
Die Durchgangsöffnungen und/oder die Vakuumnuten können ein Seitenverhältnis von mehr als 2,5, vorzugsweise von mehr als 5, insbesondere von mehr als 10 haben. Mit anderen Worten sind die Vakuumnuten und/oder die Durchgangsöffnungen sehr eng, wodurch effektiv verhindert wird, dass sich das flexible Substrat lokal in den durch die Vakuumnuten und/oder den
Durchgangsöffnungen definierten Vertiefungen verformt.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung sind mindestens zwei der Durchgangsöffnungen
auf der Verbindungsfläche und/oder auf der Haltefläche strömungstechnisch getrennt. Mit
vordefinierte Kraft aufgebracht werden kann.
Insbesondere sind alle Durchgangsöffnungen auf der Verbindungsfläche und/oder auf der Haltefläche strömungstechnisch getrennt. So kann beispielsweise ein Vakuum mit vordefinierter Stärke auf jede der Durchgangsöffnungen aufgebracht werden, wobei die Stärke des Vakuums zwischen den Durchgangsöffnungen variieren kann, so dass auf verschiedene Bereiche des
flexiblen Substrats eine unterschiedliche vordefinierte Kraft aufgebracht werden kann.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung weist die Halteplatte mindestens zehn Durchgangsöffnungen, insbesondere mindestens 20 Durchgangsöffnungen auf. Die große Anzahl von Durchgangsöffnungen ermöglicht es, dass die Vakuumnuten eine kleine Fläche einzeln
bedecken, so dass eine Biegung oder Abdruckeffekte weiter reduziert werden.
Die Halteplatte kann einen Aufnahmeabschnitt auf der Haltefläche aufweisen. Der Aufnahmeabschnitt ist für die Aufnahme des flexiblen Substrats ausgelegt. Somit kann der Aufnahmeabschnitt der Form des Substrats ähneln. Insbesondere hat der Aufnahmeabschnitt eine kleinere Gesamtfläche als die Halteplatte. Dementsprechend wird das Substrat auf einer
Teilfläche der Halteplatte angeordnet und somit vollständig gehalten.
Die Durchgangsöffnungen sind z.B. im Aufnahmeabschnitt vorgesehen. Somit konzentrieren sich die Durchgangsöffnungen in einer Teilfläche der Halteplatte, die tatsächlich zur Fixierung des
flexiblen Substrats verwendet wird.
Bei der Handhabungsvorrichtung handelt es sich insbesondere um einen Chuck und/oder um einen Endeffektor. Die Halteplatte ist z.B. als Befestigung am Chuck bzw. am Endeffektor
ausgebildet.
Für die Handhabung verschiedener Arten von Substraten und Substratgrößen kann die Halteplatte einfach durch eine andere ersetzt werden, die an das spezielle Substrat und/oder an die spezielle Substratgröße angepasst ist. Somit ist es möglich, ein und denselben Chuck und/oder Endeffektor für eine Vielzahl verschiedener Substrate und Substratgrößen zu
verwenden.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe auch durch eine Halteplatte für ein Befestigungssystem zur Befestigung flexibler Substrate, insbesondere für ein wie vorstehend beschriebenes
Befestigungssystem gelöst. Die Halteplatte weist eine Haltefläche zum Halten des Substrats und
wird auf die vorstehenden Ausführungen verwiesen.
Erfindungsgemäß sind die mindestens zwei Durchgangsöffnungen auf der Verbindungsfläche strömungstechnisch getrennt. Mit anderen Worten gibt es keine Verbindungsstruktur zwischen den mindestens zwei Durchgangsöffnungen auf der Verbindungsfläche. Insbesondere können alle Durchgangsöffnungen auf der Verbindungsfläche strömungstechnisch getrennt sein. Jede der Durchgangsöffnungen kann mit einem entsprechenden Anschluss einer Vakuumerzeugungsvorrichtung verbunden sein. Somit kann auf jede der Durchgangsöffnungen ein Vakuum mit vordefinierter Stärke aufgebracht werden, wobei insbesondere die Stärke des Vakuums zwischen den Durchgangsöffnungen variieren kann, so dass auf verschiedene
Bereiche der Haltefläche eine unterschiedliche vordefinierte Kraft aufgebracht werden kann.
Die Halteplatte kann mindestens zehn Durchgangsöffnungen, insbesondere mindestens 20 Durchgangsöffnungen aufweisen. Die große Anzahl von Durchgangsöffnungen ermöglicht es, dass die Durchgangsöffnungen eine kleine Fläche einzeln bedecken, so dass eine Biegung oder
Abdruckeffekte weiter reduziert werden.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe auch durch ein Verfahren zur Herstellung einer Halteplatte für ein Befestigungssystem zur Befestigung eines flexiblen Substrats, insbesondere wie
vorstehend beschrieben, gelöst, das folgende Schritte umfasst: - Bereitstellen eines Grundkörpers aus einem photostrukturierbaren Glas; - Anordnen einer Photomaske auf dem Grundkörper; - Belichten des Grundkörpers; und
- Ätzen des Grundkörpers unter Erzeugung von Vakuumnuten und/oder
Durchgangsöffnungen.
Diese Art von Herstellungsprozess ermöglicht eine besonders hohe Genauigkeit der Nuten und Durchgangsöffnungen. Darüber hinaus ermöglicht es ein besonders hohes Seitenverhältnis (Tiefe einer Struktur dividiert durch ihre Breite) der erzeugten Vakuumnuten und Durchgangsöffnungen. Es ist beispielsweise möglich, ein Seitenverhältnis der Vakuumnuten und/oder der Durchgangsöffnungen von mehr als 10 durch den vorstehend beschriebenen
Herstellungsprozess zu erreichen.
Die vorgenannten Aspekte und viele der damit verbundenen Vorteile des beanspruchten Gegenstands werden besser wahrgenommen, wenn sie anhand der nachfolgenden ausführlichen Beschreibung, in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen betrachtet, besser verstanden
werden. Darin zeigen: - Figur 1 ein erfindungsgemäßes Befestigungssystem; - Figur 2 das Befestigungssystem von Figur 1 mit einem angebrachten flexiblen Substrat; - Figur 3 eine erfindungsgemäße Halteplatte; - Figur 4 die Halteplatte von Figur 3 mit einem angebrachten flexiblen Substrat; - Figur 5 eine zweite Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Befestigungssystems; - Figur 6 das Befestigungssystem von Figur 5 mit einem angebrachten flexiblen Substrat; - Figur 7 eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Halteplatte; - Figur 8 die Halteplatte von Figur 7 mit einem angebrachten flexiblen Substrat; und
- Figur 9 ein schematisches Flussdiagramm eines Verfahrens zur Herstellung einer
Halteplatte gemäß der Erfindung.
Die Figuren 1 und 2 zeigen ein Befestigungssystem 10 mit einer Handhabungsvorrichtung 12 und einer Halteplatte 14, die von der Handhabungsvorrichtung 12 getrennt ist. Das
Befestigungssystem 10 ist dazu ausgelegt, ein flexibles Substrat 16 zu fixieren (siehe Figur 2).
Das Befestigungssystem 10 kann z.B. Teil einer Halbleiterbearbeitungsmaschine sein, wie ein Maskenausrichter, wobei das Befestigungssystem 10 das flexible Substrat 16 zur weiteren Bearbeitung fixiert, z.B. zur Ausrichtung in Bezug auf eine Photomaske und zur anschließenden
Belichtung.
In dem in den Figuren 1 und 2 gezeigten Beispiel ist die Handhabungsvorrichtung 12 als Maskenausrichter-Chuck ausgebildet. Die Handhabungsvorrichtung 12 kann jedoch auch als eine andere Art von Chuck und/oder als Endeffektor ausgebildet sein. Für alle diese Fälle gelten die
nachstehenden Erläuterungen.
Die Handhabungsvorrichtung 12 weist eine Lagerfläche 18 mit Vakuumöffnungen 20 auf, an
die ein Vakuum aufgebracht werden kann.
Im Folgenden bezeichnet der Ausdruck "ein Vakuum aufbringen" stets, dass Fluid aus dem entsprechenden Bereich abgeführt wird. Das Aufbringen eines Vakuums an die
Vakuumöffnungen 20 bedeutet z.B., dass Fluid, wie etwa Luft oder Flüssigkeit, aus dem durch die
Befestigungssystems 10.
Zum Aufbringen des Vakuums an die Vakuumöffnungen 20 kann die Handhabungsvorrichtung 12 einen Vakuumanschluss 22 aufweisen, über den die Handhabungsvorrichtung 12 mit einer Vakuumerzeugungsvorrichtung verbunden sein kann. Alternativ oder zusätzlich kann die Handhabungsvorrichtung 12 so ausgestaltet sein, dass sie ein Vakuum erzeugt und das Vakuum
an die Vakuumöffnungen 20 aufbringt.
Die Halteplatte 14, die auch in den Figuren 3 und 4 dargestellt ist, ist als Scheibe ausgebildet und weist eine Verbindungsfläche 24 und eine Haltefläche 26 auf. Die Halteplatte 14 kann im
Wesentlichen die Größe des flexiblen Substrats 16 haben oder größer sein.
Die Halteplatte 14 weist Durchgangsöffnungen 28 auf, die sich von der Verbindungsfläche 24 zur Haltefläche 26 erstrecken. Vorzugsweise sind mindestens 20 Durchgangsöffnungen 28
vorgesehen.
Vorzugsweise sind auf der Haltefläche 26 Vakuumnuten 30 vorgesehen, so dass das Vakuum
gleichmäßiger über die dem flexiblen Substrat 16 zugeordnete Fläche verteilt wird.
Jede der Vakuumnuten 30 steht mit mindestens einer Durchgangsöffnung 28 in Strömungsverbindung, kann aber auch mit mehreren Durchgangsöffnungen 28 in
Strömungsverbindung stehen.
Im Gegensatz dazu sind die Durchgangsöffnungen 28 an der Verbindungsfläche 24 strömungstechnisch getrennt, d.h. nicht durch Nuten o.ä. in der Verbindungsfläche 24 verbunden, so dass ein Vakuum mit unterschiedlichen Längen an die verschiedenen Durchgangsöffnungen
28 aufgebracht werden kann.
Darüber hinaus können an der Verbindungsfläche 24 auch Vakuumnuten 31 vorgesehen sein. Vorzugsweise steht jede der Vakuumnuten 31 mit genau einer der Durchgangsöffnungen 28 in Strömungsverbindung, so dass jede der Vakuumnuten 30 mit mindestens einer der Vakuumnuten
31 verbunden ist.
Die in der Verbindungsfläche 24 vorgesehenen Vakuumnuten 31 sind über den Vakuumöffnungen 20 so positioniert, dass die jeweiligen Durchgangsöffnungen 28 über die
Vakuumnuten 31 mit den Vakuumöffnungen 20 in Strömungsverbindung stehen.
Eine Breite und/oder Länge der in der Verbindungsfläche 24 vorgesehenen Vakuumnuten 31 kann größer sein als eine Breite und/oder eine Länge der in der Haltefläche 26 vorgesehenen
Vakuumnuten 30. Die Breite und/oder Länge der Vakuumnuten 31 kann mindestens um 25%
beispielsweise um mindestens 100% größer.
Wie in den Figuren 1 bis 4 zu sehen ist, erstrecken sich einige der Vakuumnuten 30 ausgehend von einem Mittelpunkt 32 der Halteplatte 14 im Wesentlichen radial nach außen, während sich andere Vakuumnuten 30 im Wesentlichen in azimutaler Richtung der Halteplatte 14
erstrecken.
Die Vakuumnuten 30 können symmetrisch über die Haltefläche 26 verteilt sein. In dem in den Figuren 1 bis 4 dargestellten Beispiel weist die Verteilung der Vakuumnuten eine 4-fache Symmetrie auf, d.h. sie ist symmetrisch in Bezug auf eine Drehung von 90° um eine Achse, die die Haltefläche 26 im Mittelpunkt 32 senkrecht schneidet. Die Verteilung der Vakuumnuten 30
kann jedoch auch einen anderen Symmetrietyp oder gar keine Symmetrie aufweisen.
Die in der Verbindungsfläche 24 vorgesehenen Vakuumnuten 31 können sich zumindest
abschnittsweise unter den Vakuumnuten 30 erstrecken.
Einige der Vakuumnuten 31 können im Wesentlichen die gleiche Länge und/oder die gleiche Form wie die jeweilige Vakuumnut 30 haben, mit der sie verbunden sind, mit Ausnahme der
größeren Breite.
Insbesondere können Paare von Vakuumnuten 30, 31, die eine der Vakuumnuten 30 in der Haltefläche und eine der Vakuumnuten 31 in der Verbindungsfläche 24 umfassen, gebildet werden, wobei die Vakuumnuten 30, 31 jedes Paares über eine der Durchgangsöffnungen 28 miteinander verbunden sind. Die beiden Vakuumnuten 30, 31 in jedem Paar erstrecken sich
übereinander und haben die gleiche Länge und mit Ausnahme der Breite die gleiche Form.
Die Verbindungsfläche 24 ist der Lagerfläche 18 der Handhabungsvorrichtung 12 zugeordnet, insbesondere ist die Verbindungsfläche 24 zumindest abschnittsweise mit der Lagerfläche 18 in Kontakt.
Die Haltefläche 26 ist dem flexiblen Substrat 16 zugeordnet und zum Halten des flexiblen
Substrats 16 ausgebildet.
Jede der Durchgangsöffnungen 28 ist einer Vakuumöffnung 20 der Handhabungsvorrichtung 12 zugeordnet. Genauer gesagt sind die Durchgangsöffnungen 28 genau über den
Vakuumöffnungen 20 positioniert und auf diese ausgerichtet.
Ein auf die Vakuumöffnungen 20 aufgebrachtes Vakuum wird dann zur Haltefläche 26 übertragen, wodurch eine Kraft auf das flexible Substrat 16 ausgeübt wird, die zur Haltefläche 26 hin wirkt. Somit wird das flexible Substrat 16 an der Haltefläche 26 fixiert.
Die genaue relative Positionierung zwischen der Handhabungsvorrichtung 12 und der Halteplatte 14 sowie zwischen der Halteplatte 14 und dem flexiblen Substrat ist für die Weiterverarbeitung des flexiblen Substrats 16 trotz der Vakuumnuten 31, die zumindest einen Teil eines möglichen Positionierungsfehlers kompensieren, von großer Bedeutung. Somit kann bzw. können die Handhabungsvorrichtung 12 und/oder die Halteplatte 14 Mittel zur Vereinfachung der relativen Positionierung der Handhabungsvorrichtung 12, der Halteplatte 14
und/oder des flexiblen Substrats 16 aufweisen.
In der in den Figuren 1 und 2 dargestellten Ausführungsform weist die Handhabungsvorrichtung 12 Fenster 34 auf, die eine rückseitige Ausrichtung des flexiblen Substrats 16 durch die durchscheinende Halteplatte 14 ermöglichen. Dadurch kann eine besonders genaue Positionierung des flexiblen Substrats 16 an der Halteplatte 14 und/oder der
Halteplatte 14 an der Handhabungsvorrichtung 12 erreicht werden.
Dementsprechend ist die Halteplatte 14 zumindest in Bereichen, die den Fenstern 34 zugeordnet sind, durchscheinend. Die übrigen Bereiche der Halteplatte 14 können
durchscheinend oder undurchsichtig sein.
Darüber hinaus können die Halteplatte 14 und das flexible Substrat 16 Kerben 36, 38 aufweisen, die einander entsprechen, d.h. eine korrekte relative Ausrichtung zwischen der Halteplatte 14 und dem flexiblen Substrat wird erreicht, wenn die Kerben 36, 38 genau
übereinanderliegen.
Alternativ oder zusätzlich kann die Halteplatte 14 eine Ausrichtmarkierung 40 aufweisen, die
einer Kerbe 38 des flexiblen Substrats 16 entspricht.
Zusammenfassend ist die Halteplatte 14 als Halterung an der Handhabungsvorrichtung 12 ausgebildet, die an das jeweilige zu fixierende Substrat 16 angepasst ist. Für die Handhabung verschiedener Arten und Größen von Substraten 16 kann die Halteplatte 14 einfach durch eine andere ersetzt werden, die an das andere Substrat und/oder die andere Substratgröße angepasst ist. Somit ist es möglich, ein und dieselbe Handhabungsvorrichtung 12 für eine Vielzahl
verschiedener Substrate und Substratgrößen zu verwenden.
In den Figuren 5 bis 8 ist eine zweite Ausführungsform des Befestigungssystems 10 gezeigt, die sich in der Ausgestaltung der Halteplatte 14 und des flexiblen Substrats 16 im Wesentlichen
von der oben beschriebenen Ausführungsform unterscheidet.
Im Folgenden werden nur die Unterschiede gegenüber der vorstehend beschriebenen ersten Ausführungsform erläutert, wobei identische Bezugszeichen die gleichen Komponenten oder
Komponenten gleicher Funktionalität kennzeichnen.
Form des flexiblen Substrats 16.
Die Oberfläche des flexiblen Substrats 16 ist kleiner als die Oberfläche der Lagerfläche 18
und auch kleiner als die Oberfläche der Haltefläche 26.
Um das flexible Substrat 16 effizient zu halten, weist die Halteplatte 14 auf ihrer Haltefläche 26 einen Aufnahmeabschnitt 42 auf, der zur Aufnahme und Fixierung des flexiblen Substrats 16
ausgebildet ist. Der Aufnahmeabschnitt 42 hat die gleiche Größe wie das flexible Substrat 16.
Insbesondere befinden sich die Durchgangsöffnungen 28 sowie die Vakuumnuten 30 alle innerhalb des Aufnahmeabschnitts 42, so dass ein optimales Ansaugen des flexiblen Substrats bereitgestellt wird und keine Energie für das Aufbringen eines Vakuums an Durchgangsöffnungen
28 verschwendet wird, die nicht mit dem flexiblen Substrat 16 in Strömungsverbindung stehen.
Darüber hinaus erstreckt sich eine der Vakuumnuten 30 entlang einer Kontur, die einer Kontur des flexiblen Substrats 16 ähnlich ist. Der Begriff "ähnlich" ist im mathematischen Sinne so zu verstehen, dass sich eine der Vakuumnuten 30 entlang einer Kontur erstreckt, die der Kontur des
flexiblen Substrats 16 entspricht oder hinsichtlich der Größe skaliert ist.
Diese Vakuumnut 30 ist daher zum Halten des flexibles Substrats 16 in seinem Randbereich
ausgebildet.
Um die Positionierung des flexiblen Substrats 16 im Aufnahmeabschnitt 42 zu vereinfachen, ist der Aufnahmeabschnitt 42 durch Gravuren 44 definiert. In dieser Ausführungsform bilden die
Gravuren 44 Teile der Ausrichtstruktur.
In allen oben beschriebenen Varianten kann die Halteplatte 14 aus einem geeigneten Typ Glas oder Metall bestehen. Vorzugsweise wird die Halteplatte zumindest teilweise aus einem
photostrukturierbaren Glas hergestellt.
Ein Verfahren zur Herstellung der Halteplatte 14 aus einem photostrukturierbaren Glas wird im
Folgenden unter Bezugnahme auf Figur 9 beschrieben.
Zunächst wird ein Grundkörper aus einem photostrukturierbaren Glas bereitgestellt (Schritt S1). Der Grundkörper kann bereits die Grundform der zu fertigenden Halteplatte 14 haben, jedoch ohne feine Details wie die Vakuumnuten 30, die Vakuumnuten 31 und/oder die
Durchgangsöffnungen 28.
30, der Vakuumnuten 31 und/oder der Durchgangsöffnungen 28 ist.
Der Grundkörper wird dann belichtet, insbesondere mit UV-Licht belichtet, wobei das Licht
eine chemische Reaktion in den belichteten Bereichen auslöst (Schritt S3). Bei Bedarf kann der Grundkörper nun bei einer geeigneten Temperatur getempert werden.
Abschließend wird der Grundkörper geätzt (Schritt S4), so dass das Material des Grundkörpers genau in den Bereichen entfernt wird, die belichtet wurden, d.h. die nicht von der Maske abgedeckt wurden. Dadurch werden die Vakuumnuten 30, die Vakuumnuten 31 und/oder
die Durchgangsöffnungen 28 erzeugt und die gewünschte Halteplatte 14 erhalten.
Auf diese Weise hergestellte Vakuumnuten 30, 31 zeichnen sich durch ein hohes erreichbares Seitenverhältnis der Vakuumnuten 30, 31 aus (Tiefe einer Struktur dividiert durch ihre Breite).
Insbesondere können Seitenverhältnisse von mehr als 10 erreicht werden.

Claims (1)

1. Befestigungssystem (10) zur Befestigung eines flexiblen Substrats (16), mit einer Handhabungsvorrichtung (12) und einer von der Handhabungsvorrichtung (12) getrennten Halteplatte (14), wobei die Handhabungsvorrichtung (12) eine Lagerfläche (18) mit Vakuumöffnungen (20) aufweist, wobei die Halteplatte (14) eine Haltefläche (26) zum Halten des Substrats (16) und eine Verbindungsfläche (24) in Kontakt mit der Lagerfläche (18) der Handhabungsvorrichtung (12) aufweist, wobei die Halteplatte (14) Durchgangsöffnungen (28) aufweist, die sich von der Haltefläche (26) zur Verbindungsfläche (24) erstrecken, und wobei mindestens eine der Durchgangsöffnungen (28) mit einer der Vakuumöffnungen (20) der
Handhabungsvorrichtung (12) in Strömungsverbindung steht.
2. Befestigungssystem (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteplatte (14) Vakuumnuten (30) in der Haltefläche (26) aufweist, die jeweils mit mindestens einer
Durchgangsöffnung (28) in Strömungsverbindung stehen.
3. Befestigungssystem (10) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Vakuumnuten (30) ausgehend von einem Mittelpunkt (32) der Halteplatte (14) radial nach außen, in einer azimutalen Richtung der Halteplatte (14) und/oder entlang einer Kontur, die einer Kontur
des Substrats (16) ähnlich ist, erstrecken.
4. Befestigungssystem (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteplatte (14) eine Ausrichtstruktur aufweist, wobei die Ausrichtstruktur insbesondere eine Gravur (44), eine Kerbe (36) und/oder eine
Ausrichtmarkierung (40) umfasst.
5. Befestigungssystem (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Handhabungsvorrichtung (12) und/oder die Halteplatte (14) zumindest
abschnittsweise durchscheinend ist bzw. sind.
6. Befestigungssystem (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteplatte (14) zumindest teilweise aus einem photostrukturierbaren Glas besteht.
7. Befestigungssystem (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteplatte (14) Vakuumnuten (31) in der Verbindungsfläche (24) aufweist, die mit mindestens einer Durchgangsöffnung (28) in Strömungsverbindung stehen, insbesondere wobei eine Breite und/oder eine Länge der in der Verbindungsfläche (24) vorgesehenen Vakuumnuten (31) größer ist als eine Breite und/oder eine Länge der in der
Haltefläche (26) vorgesehenen Vakuumnuten (30).
(24) und/oder an der Haltefläche (26) strömungstechnisch getrennt sind.
9. Befestigungssystem (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteplatte (14) mindestens zehn Durchgangsöffnungen, insbesondere
mindestens 20 Durchgangsöffnungen (28) aufweist.
10. Befestigungssystem (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteplatte (14) einen Aufnahmeabschnitt (42) an der Haltefläche (26)
aufweist.
11. Befestigungssystem nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die
Durchgangsöffnungen (28) im Aufnahmeabschnitt (42) vorgesehen sind.
12. Befestigungssystem (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei der Handhabungsvorrichtung (12) um einen Chuck und/oder
um einen Endeffektor handelt.
13. Halteplatte (14) für ein Befestigungssystem (10) zur Befestigung von flexiblen Substraten (16), insbesondere für ein Befestigungssystem (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit einer Haltefläche (26) zum Halten des Substrats (16) und einer Verbindungsfläche (24) zum Verbinden der Halteplatte (14) mit einer Handhabungsvorrichtung (12), wobei die Halteplatte (14) Durchgangsöffnungen (28) aufweist, die sich von der Haltefläche (26) zur Verbindungsfläche (24) erstrecken, wobei mindestens zwei der Durchgangsöffnungen (28) an der Verbindungsfläche (24)
strömungstechnisch getrennt sind.
14. Halteplatte (14) nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteplatte (14) mindestens zehn Durchgangsöffnungen (28), insbesondere mindestens 20 Durchgangsöffnungen (28) aufweist.
15. Verfahren zur Herstellung einer Halteplatte (14) für ein Befestigungssystem (10) zur Befestigung eines flexiblen Substrats (16), insbesondere einer Halteplatte (14) für ein Befestigungssystem (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, das Folgende Schritte
umfasst: - Bereitstellen eines Grundkörpers aus einem photostrukturierbaren Glas; - Anordnen einer Photomaske auf dem Grundkörper;
- Belichten des Grundkörpers; und
Durchgangsöffnungen (28).
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