AT308827B - Vorrichtung zum Herstellen eines einseitig geschlossenen, rohrförmigen Körpers aus Halbleitermaterial - Google Patents

Vorrichtung zum Herstellen eines einseitig geschlossenen, rohrförmigen Körpers aus Halbleitermaterial

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AT308827B AT1014769A AT1014769A AT308827B AT 308827 B AT308827 B AT 308827B AT 1014769 A AT1014769 A AT 1014769A AT 1014769 A AT1014769 A AT 1014769A AT 308827 B AT308827 B AT 308827B
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
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