DE1805970B2 - Vorrichtung zum herstellen eines rohrfoermigen koerpers aus halbleitermaterial - Google Patents

Vorrichtung zum herstellen eines rohrfoermigen koerpers aus halbleitermaterial

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    • C23C16/01Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes on temporary substrates, e.g. substrates subsequently removed by etching
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