AT294775B - Mehrschiffchenzonenschmelzanlage - Google Patents

Mehrschiffchenzonenschmelzanlage

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AT294775B
AT294775B AT789068A AT789068A AT294775B AT 294775 B AT294775 B AT 294775B AT 789068 A AT789068 A AT 789068A AT 789068 A AT789068 A AT 789068A AT 294775 B AT294775 B AT 294775B
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
zone melting
boat
melting plant
arrangement
boats
Prior art date
Application number
AT789068A
Other languages
English (en)
Inventor
Dietmar Taenzer
Original Assignee
Halbleiterwerk Frankfurt Oder
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/005Simultaneous pulling of more than one crystal

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  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Description


   <Desc/Clms Page number 1> 
 



  Mehrschiffchenzonenschmelzanlage 
Die Erfindung betrifft eine Mehrschiffchenzonenschmelzanlage zur Herstellung von Reinststoffen.
Der bekannte Stand der Technik wird durch eine Zonenschmelzanlage zur Reinigung von beispielsweise Germanium oder Antimon charakterisiert, welche dadurch gekennzeichnet ist, dass das zu schmelzende Material mittels induktiver Erwärmung erschmolzen wird, wobei jeweils zur Erzeugung einer Schmelzzone eine Induktorspule erforderlich ist und die Schmelzzone bis zur Erreichung des gewünschten Reinheitsgrades mehrfach in einer Richtung über den ganzen Barren gezogen wird, was entweder durch Bewegung der Induktorspule über den Barren, der sich gewöhnlich in einem Schiffchen befindet, oder durch Bewegen des Schiffchens durch die Induktorspule möglich ist. 



   Dem bekannten Stand der Technik haftet der Mangel an, dass die auf induktivem Wege zugeführte Energie zum grössten Teil nutzlos in Form von Wärmestrahlung an die Umgebung abgegeben wird, wobei wegen dieser Art der Erwärmung die Anbringung von Strahlungsblechen oder Reflektoren ausscheidet und dem Zonenschmelzverfahren daher energetisch gesehen eine geringe Wirtschaftlichkeit anhaftet. 



   Zweck der Erfindung ist es, die aufgezeigten Mängel zu vermeiden, durch die Anwendung der erfindungsgemässen Lehre die auftretenden Strahlungsverluste auf ein Mindestmass zu beschränken, was eine bedeutende Kapazitätserhöhung der Zonenschmelzanlage bei gleicher Senderleistung und demzufolge eine wesentliche Verbesserung der Wirtschaftlichkeit des Zonenschmelzverfahrens zur Folge hat. 



   Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, unter Anwendung an sich bekannter technischer Elemente sowie durch eine Veränderung der Schiffchenanordnung den energetischen Wirkungsgrad der Zonenschmelzanlage zu verbessern. 



   Erfindungsgemäss wird die Aufgabe durch eine aus einer, im Interesse einer zweckdienlichen Temperaturverteilung, in Abhängigkeit von der Anzahl und Anordnung der verwendeten Schiffchen, beispielsweise als leicht dreieckig oder elliptisch gedrückte kurze Kreisspule geformten Induktorspule, welche durch isolierende Stoffe in ihrer Form gehalten werden kann, einem zur Senderleistung und zur Schiffchenanordnung passenden Rezipienten,   z.

   B.   einem Quarzrohr, welches beispielsweise durch aufgedrückt Verschlussplatten mit Dichtungselementen beidseitig verschlossen wird, sowie einer in diesem befindlichen Anordnung von Schiffchen, die unter Einhaltung des nötigen Einbauspieles beispielsweise aus mehreren, mittels Quarzstiften zusammengefügten   Zonenschmelz-Einbarrenschiffchen   gefertigten und aufeinandergestellten Schiffchenpaaren aufgebaut sein kann, bestehenden Mehrschiffchenzonenschmelzanlage gelöst, wobei die Konstruktion der Anlage eine Relativbewegung zwischen Induktorspule und Schiffchenanordnung zulässt. Darüber hinaus erlaubt die   erfindungsgemässe   Anordnung, an Stelle der Schiffchen auch andere in ihren Abmessungen festliegende Teile aus geeigneten Stoffen bei hohen Temperaturen wirtschaftlich zu glühen. 



   Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. 



   Wie aus der Zeichnung ersichtlich, besteht die erfindungsgemässe Mehrschiffchenzonenschmelzanlage aus einer durch isolierende Stoffe in ihrer Form gehaltenen   Induktorspule --1--,   einem zur 

 <Desc/Clms Page number 2> 

 Senderleistung und zur Schiffchenanordnung passenden   Rezipienten--2--sowie   einer in diesem befindlichen Anordnung von   Zonenschmelz-Einbarrenschiffchen-3,   4,5,   6--,   die unter Einhaltung des nötigen Einbauspieles beispielsweise aus mehreren, mittels Quarzstiften-7, 8-- 
 EMI2.1 
 



   PATENTANSPRÜCHE : 
1. Mehrschiffchenzonenschmelzanlage zur Herstellung von Reinststoffen, bei der die Zonenschmelzschiffchen in einem Rezipienten angeordnet sind und eine Einrichtung der Zuführung von 
 EMI2.2 


Claims (1)

  1. zusammengefügt sind und die so gebildeten Schiffchenpaare aufeinander gestellt sind.
    Druckschriften, die das Patentamt zur Abgrenzung des Anmeldungsgegenstandes vom Stand der Technik in Betracht gezogen hat : EMI2.3 <tb> <tb> DT-AS <SEP> 1260439 <SEP> FR-PS <SEP> 1462235 <SEP> <tb>
AT789068A 1968-08-12 1968-08-12 Mehrschiffchenzonenschmelzanlage AT294775B (de)

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