AT222699B - Vorrichtung zum Anbringen von Flächenelektroden an Halbleiterkörpern - Google Patents

Description

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    Schachtbracht.   Das Gestell 2 zur Aufnahme der   Kontaktierungsvorrichtungen   3 wird von der mit Heizwendeln bestückten Länge des Ofenschachtes nach oben und unten jeweils um mehr als das Doppelte der Schacht- weite überragt ; auf diese Weise wird die erhöhte   Wärme abfuhr   an den Enden des Heizschachtes durch gegenseitige Bestrahlung der Heizwendeln mindestens teilweise kompensiert und somit eine Vergleich-   i mässigung   der   Temperatur Verteilung   über die Länge des Heizschachtes gewährleistet. Die vorbeschrie- bene Heizvorrichtung ruht auf einem Keramikrohr 21a, in welchem sich eine Füllung 24 aus passend geformtem Schaumstein befindet.

   Darüber ist eine zirka 3 cm dicke Schicht 25 Aluminiumoxydpulver auf- geschüttet. Um das Keramikrohr 21 ist in geringem Abstand ein weiteres Rohr 27 aus gleichem od. ähnl. 



   Material konzentrisch angeordnet, welches zusammen mit einer metallenen Aussenwand 28, einem Bo-   denblech28a   und einemDeckelblech28b denMantel des Ofens 20 bildet. Sein Hohlraum kann mit einem
Wärmedämmstoff 29, z. B. Kieselgur, gefüllt sein. 



   Aus Fig. 2 ist die Anordnung der   Längsnuten   an der Innenwand des Keramikrohres 21 zu ersehen. Für die Anzahl der Nuten. wird vorteilhaft eine   gerade Zahl gewählt ;   dann liegen nämlich die beiden äusseren
Enden der Hintereinanderschaltung sämtlicher Heizwendeln an demselben Ende der Heizvorrichtung und können somit z. B. oberhalb des Ofens 20 unmittelbar an den beiden   einander benachbarten Stromanschlüs-   sen 23 festgeklemmt werden. 



   Das Gestell 2 kann vorteilhaft eine langgestreckte Form mit vertikaler Längsachse und horizontaler
Bodenplatte haben und so ausgestaltet sein, dass eine grössere Anzahl von Legierungsformen 3 übereinan- dergestapelt werden kann. Wegen der pendelnden Aufhängung nimmt das Gestell selbsttätig eine senk- rechte Lage ein. Damit liegen   die. Legierungsflächen   waagrecht und können infolgedessen zu einer ein- seitigen Verlagerung oder einem Abfliessen von Legierungsflüssigkeit der einzulegierenden Flächenelek- troden keine Veranlassung geben.

   Die lichte Weite des Quarzrohres 4 soll wesentlich grösser sein als der   grössteDurchmesser desGestclles 2, damit   letzteres genügend Bewegungsfreiheit hat, und damit der ganze
Innenraum des Rohres 4 gleichmässig schnell evakuiert werden kann, ohne dass ein Teil der Luft beimAb- strömen durch   einen Engpass behindert   wird. Solche Engpässe werden mit Sicherheit vermieden, wenn die lichte Weite des Quarzrohres mindestens 10 mm mehr beträgt als der grösste Durchmesser des Gestells 2. 



   In Verbindung mit der neuen Legierungsvorrichtung werden vorteilhaft solche Legierungsformen ver- wendet, bei denen der   Anpressdruck   auf die zu legierenden Metallschichten nur durch das Gewicht eines 
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 rungsformen verwenden, bei denen ein Druck auf das   Legierungsmetall   mittels   Schraub- oder Klemmvor -   richtungen ausgeübt wird. 



   PATENTANSPRÜCHE : 
1. Vorrichtung zum Anbringen von Flächenelektroden an Halbleiterkörpern durch Einlegieren von Metallschichten mitHilfe von Legierungsformen, in denen die Halbleiterkörper mit waagrechter Lage der Legierungsflächen und Metallschichten angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Legierungformen in einem käfigartigen Gestell, das in einem als Vertikalofen ausgeführten Legierungsofen mit im Schacht offen angeordneten, aus gewendeltem Widerstandsdraht bestehenaen Strahlungsheizkörpern pendelnd aufgehängt ist, aufeinandergestapelt sind.

Claims (1)

1. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Gestell von einem unten geschlos- senenQuarzrohr umgeben ist, dessen oberes Ende an einem als Aufhängelager für das Gestell und zugleich als Pumpkopf für den Anschluss einer Vakuumpumpe ausgebildeten Hohlkörper angebracht ist.

   3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Quarzrohr am Pumpkopf mittels einer Quetschdichtung befestigt ist.

   4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Teil des Pumpkopfes, welcher das Quarzrohr umschliesst, flüssigkeitsgekühlt ist.

   5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die mit Heizwendeln bestückte Länge desOfenschachtes über das Gestell an beiden Enden mindestens um den doppelten Betrag der Schachtwelte hinausragt.

   6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Heizwendeln in Achsrichtungdes Quarzrohres angeordnet sind.

   7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Heizwendeln in Längsnuten auf der Innenseite eines Keramikrohres angeordnet sind. <Desc/Clms Page number 3>

   8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Heizwendeln zur Sicherung ihrer regelmässigen Windungsabstände abschnittsweise durch Tragstife in den Längsnuten ab gestützt sind.