WO2025258561A1

WO2025258561A1 - ロードビーム、ロードビームブランク板およびロードビームの製造方法

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Publication number: WO2025258561A1
Application number: PCT/JP2025/020841
Authority: WO
Inventors: 正雄大貫; 智紀佐相
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
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Priority date: 2024-06-10
Filing date: 2025-06-09
Publication date: 2025-12-18
Anticipated expiration: 2026-12-10

Abstract

本開示によるロードビームは、第１方向に延びるビーム本体と、ビーム本体からロードビームの先端まで第１方向に延びるタブと、を含んでいる。タブは、タブ本体と、タブ本体に隣接した薄肉部と、薄肉部に隣接し、タブの端面を画定するタブ端縁部と、を含んでいる。タブ端縁部は、薄肉部の最小厚さよりも厚い厚肉部を含んでいる。

Description

ロードビーム、ロードビームブランク板およびロードビームの製造方法

　本開示は、ロードビーム、ロードビームブランク板およびロードビームの製造方法に関する。

　一般に、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、データが記憶される磁気ディスクに対してデータの書き込みおよび読み取りを行う磁気ヘッドが実装されたサスペンションを備えている。サスペンションは、主として配線基板とロードビームとにより構成されており、配線基板の先端部に磁気ヘッドが実装されている。ロードビームは、薄板ばねとして機能しており、磁気ヘッドが磁気ディスクに対して所望のフライングハイトを保つように、配線基板を支持している。

特開２０２３－０５３５９０号公報米国特許第７４４６９７０号明細書特開２０００－１３７９６７号公報特開２０１２－１３３８４８号公報特開２０１２－１６４３８９号公報

　本開示は、改良されたロードビーム、ロードビームブランク板およびロードビームの製造方法を提供することを目的とする。

［１］本開示は、
　ロードビームであって、
　第１方向に延びるビーム本体と、
　前記ビーム本体から前記ロードビームの先端まで前記第１方向に延びるタブと、
　を備え、
　前記タブは、タブ本体と、前記タブ本体に隣接した薄肉部と、前記薄肉部に隣接し、前記タブの端面を画定するタブ端縁部と、を含み、
　前記タブ端縁部は、前記薄肉部の最小厚さよりも厚い厚肉部を含む、
　ロードビームであってもよい。

［２］本開示は、
　前記厚肉部の最大厚さは、前記タブ本体の厚さよりも薄い、
　［１］に記載のロードビームであってもよい。

［３］本開示は、
　前記厚肉部は、前記タブ端縁部に沿って延びている、
　［１］または［２］に記載のロードビームであってもよい。

［４］本開示は、
　平面視で前記第１方向に直交する第２方向において前記タブ本体の両側に前記タブ端縁部が位置し、
　各々の前記タブ端縁部と前記タブ本体との間に前記薄肉部が位置し、
　各々の前記タブ端縁部は、前記厚肉部を含む、
　［１］～［３］のいずれかに記載のロードビームであってもよい。

［５］本開示は、
　前記タブは、タブ第１面と、前記タブ第１面とは反対側に位置するタブ第２面と、を含み、
　前記タブは、前記第１方向に直交する断面で見たときに、前記タブ第１面を内側にした湾曲形状を有し、
　前記薄肉部は、前記タブ第１面から凹む凹面を含んでいる、
　［１］～［４］のいずれかに記載のロードビームであってもよい。

［６］本開示は、
　前記凹面は、前記第１方向に直交する断面で見たときに、湾曲状に形成されている、
　［５］に記載のロードビームであってもよい。

［７］本開示は、
　前記タブは、前記ビーム本体に隣接する根元領域と、前記根元領域に対して前記ビーム本体とは反対側に位置する本体領域と、を含み、
　前記厚肉部は、前記本体領域に位置している、
　［１］～［６］のいずれかに記載のロードビームであってもよい。

［８］本開示は、
　前記厚肉部は、前記根元領域および前記本体領域に位置している、
　［７］に記載のロードビームであってもよい。

［９］本開示は、
　前記タブは、前記ビーム本体に隣接する根元領域と、前記根元領域に対して前記ビーム本体とは反対側に位置する本体領域と、を含み、
　前記厚肉部は、前記根元領域に位置している、
　［１］～［６］のいずれかに記載のロードビームであってもよい。

［１０］本開示は、
　前記タブは、前記ビーム本体に隣接する根元領域と、前記ロードビームの前記先端を含む先端領域と、前記根元領域と前記先端領域との間に位置する本体領域と、を含み、
　前記厚肉部は、前記先端領域に位置している、
　［１］～［９］のいずれかに記載のロードビームであってもよい。

［１１］本開示は、
　前記薄肉部および前記厚肉部は、前記根元領域、前記先端領域および前記本体領域に位置している、
　［１０］に記載のロードビームであってもよい。

［１２］本開示は、
　ロードビームブランク板であって、
　第１方向に延びる、平坦状に形成されたブランク板本体と、
　前記ブランク板本体から前記ロードビームブランク板の先端まで前記第１方向に延びるブランク板タブであって、平坦状に形成されたブランク板タブと、
　を備え、
　前記ブランク板タブは、ブランク板タブ本体と、前記ブランク板タブ本体に隣接した薄肉部と、前記薄肉部に隣接し、前記ブランク板タブの端面を画定するタブ端縁部と、を含み、
　前記タブ端縁部は、前記薄肉部の最小厚さよりも厚い厚肉部を含む、
　ロードビームブランク板であってもよい。

［１３］本開示は、
　ロードビームであって、
　ビーム平坦部と、
　前記ビーム平坦部から延びるタブと、
　を備え、
　前記タブは、タブ第１面と、前記タブ第１面の反対側に位置するタブ第２面と、を有し、
　前記タブは、前記ロードビームの長手方向に直交する短手方向の断面において、前記タブ第１面を内側に湾曲する形状を有し、
　前記タブの厚さは、前記ロードビームの前記短手方向の両端部よりも前記短手方向の中央部が薄い、
　ロードビームであってもよい。

［１４］本開示は、
　前記タブ第２面は、２つの外側湾曲面と、前記２つの外側湾曲面の間に位置する中央面と、を有し、
　前記中央面は、前記外側湾曲面と非連続に形成されている、
　［１３］に記載のロードビームであってもよい。

［１５］本開示は、
　前記中央面は平坦状に形成された中央平坦面である、
　［１４］に記載のロードビームであってもよい。

［１６］本開示は、
　前記中央面は、湾曲状に形成された中央湾曲面である、
　［１４］に記載のロードビームであってもよい。

［１７］本開示は、
　前記短手方向の断面において、前記外側湾曲面および前記中央湾曲面はそれぞれ円弧状に形成され、
　前記中央湾曲面の曲率半径は、前記外側湾曲面の曲率半径よりも大きい、
　［１６］に記載のロードビームであってもよい。

［１８］本開示は、
　前記短手方向の中央部における前記タブの厚さは、前記短手方向の端部における前記タブの厚さの３０％以上８５％以下である、
　［１３］～［１７］のいずれかに記載のロードビームであってもよい。

［１９］本開示は、
　［１３］～［１８］のいずれかに記載のロードビームの製造方法であって、
　板状の部材を準備する工程と、
　前記板状の部材の、前記タブに対応する部分のうち前記中央部に薄肉部を形成する工程と、
　前記薄肉部を形成する工程の後に、前記タブ第１面が内側に向くように前記タブに対応する部分を湾曲させる工程と、
　を備えた、ロードビームの製造方法であってもよい。

［２０］本開示は、
　前記薄肉部は、エッチングにより形成される、
　［１９］に記載のロードビームの製造方法であってもよい。

［２１］本開示は、
　［１３］～［１８］のいずれかに記載のロードビームの製造方法であって、
　板状の部材を準備する工程と、
　前記タブ第１面が内側に向くように前記タブに対応する部分を湾曲させる工程と、
　前記タブに対応する部分を湾曲させる工程の後に、前記タブ第２面の前記中央部を含む領域を薄肉化する工程と、
　を備えた、ロードビームの製造方法であってもよい。

［２２］本開示は、
　［１３］～［１８］のいずれかに記載のロードビームの製造方法であって、
　板状の部材を準備する工程と、
　前記タブ第１面が内側に向くように前記タブに対応する部分を湾曲させると同時に、前記タブ第２面の前記中央部を含む領域を薄肉化する工程と、
　を備えた、ロードビームの製造方法であってもよい。

［２３］本開示は、
　ロードビームブランク板であって、
　平坦状に形成されたブランク板本体と、
　前記ブランク板本体から延びるブランク板タブであって、平坦状に形成されたブランク板タブと、
　を備え、
　前記ブランク板タブは、タブ第１面と、前記タブ第１面の反対側に位置するタブ第２面と、を有し、
　前記ブランク板タブは、前記ロードビームブランク板の長手方向に直交する短手方向における中央部に位置する薄肉部であって、前記タブ第２面から凹むように形成された薄肉部を含む、
　ロードビームブランク板であってもよい。

［２４］本開示は、
　ロードビームであって、
　前記ロードビームの先端に位置し、第１方向に延びるタブと、
　前記タブに向かって先細状に前記第１方向に延びるビーム平坦部と、
　平面視で前記第１方向に直交する第２方向における前記ビーム平坦部の両側に位置する一対のエッジ部であって、前記ビーム平坦部に対して折り曲げられた一対のエッジ部と、
　を備え、
　前記エッジ部は、平面視で前記第１方向に対して傾斜した方向に延びるエッジ傾斜部と、前記エッジ傾斜部よりも前記タブに近い位置に位置するエッジ湾曲部であって、前記エッジ傾斜部から連続して形成されるとともに平面視で外側に向かって凸となるように湾曲状に形成されたエッジ湾曲部と、を含んでいる、
　ロードビームであってもよい。

［２５］本開示は、
　前記ビーム平坦部から前記エッジ部にわたって形成された第１面と、
　前記ビーム平坦部から前記エッジ部にわたって形成された第２面であって、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、
　を備え、
　前記エッジ部は、前記第１面を内側にした折り曲げ形状を有し、
　前記エッジ湾曲部における前記第２面は、湾曲状に形成されている、
　［２４］に記載のロードビームであってもよい。

［２６］本開示は、
　平面視において、前記エッジ湾曲部は円弧状に形成され、
　前記エッジ湾曲部の平面視における半径は、０．８ｍｍ以上１．８ｍｍ以下である、
　［２４］または［２５］に記載のロードビームであってもよい。

［２７］本開示は、
　前記ビーム平坦部から前記エッジ部にわたって形成された第１面と、
　前記ビーム平坦部から前記エッジ部にわたって形成された第２面であって、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、
　を備え、
　前記エッジ部は、前記第１面を内側にした折り曲げ形状を有し、
　前記エッジ湾曲部の端面の表面粗さは、前記第２面の表面粗さよりも粗い、
　［２４］～［２６］のいずれかに記載のロードビームであってもよい。

［２８］本開示は、
　前記エッジ湾曲部の前記端面の十点平均粗さと、前記第２面の十点平均粗さとの差は、０．１００μｍ以上０．３５０μｍ以下である、
　［２７］に記載のロードビームであってもよい。

［２９］本開示は、
　前記エッジ傾斜部の端面の表面粗さは、前記第２面の表面粗さよりも粗い、
　［２７］または［２８］に記載のロードビームであってもよい。

［３０］本開示は、
　ロードビームブランク板であって、
　前記ロードビームブランク板の先端に位置し、第１方向に延びるブランク板タブと、
　前記ブランク板タブに向かって先細状に第１方向に延びるブランク板本体と、
　を備え、
　前記ブランク板本体は、平面視で前記第１方向に対して傾斜した方向に延びる一対のブランク板傾斜端面と、前記ブランク板傾斜端面よりも前記ブランク板タブに近い位置に位置するブランク板湾曲端面であって、対応する前記ブランク板傾斜端面から連続して形成されるとともに平面視で外側に向かって凸となるように湾曲状に形成された一対のブランク板湾曲端面と、を含んでいる、
　ロードビームブランク板であってもよい。

　本開示によれば、改良されたロードビーム、ロードビームブランク板、ロードビームの製造方法を提供できる

図１は、本開示の第１の実施の形態によるハードディスクドライブを示す斜視図である。図２は、図１に示すサスペンションがランプに退避した状態を示す模式断面図である。図３は、本開示の第１の実施の形態によるロードビームを示す平面図である。図４は、図３に示すＡ－Ａ線に沿う断面図である。図５は、図３に示すタブの裏面拡大平面図である。図６Ａは、図５に示すＢ－Ｂ線に沿う断面図である。図６Ｂは、図５に示すＣ－Ｃ線に沿う断面図である。図７は、図６Ａおよび図６Ｂに示す薄肉部の拡大断面図である。図８は、図４に示すロードビームを作製するためのロードビームブランク板を示す断面図である。図９Ａは、図８に示すロードビームブランク板における、図６Ａに示すタブの成形加工前の状態を示す断面図である。図９Ｂは、図９Ａに示す薄肉部の拡大断面図である。図１０は、図２に示すランプの収容空間に退避した２つのロードビームのタブを示す断面図である。図１１は、図５に示すタブ端縁部の変形例を示す平面図であって、図５のＰ部を拡大して示す平面図である。図１２は、図１１に示すＤ－Ｄ線に沿う断面図である。図１３は、図７に示す薄肉部の変形例を示す断面図である。図１４は、図７に示す薄肉部の他の変形例を示す断面図である。図１５は、図７に示す薄肉部の他の変形例を示す断面図である。図１６は、図７に示す薄肉部の他の変形例を示す断面図である。図１７は、本開示の第２の実施の形態によるサスペンションを備えたハードディスクドライブを示す斜視図である。図１８は、図１７に示すサスペンションがランプに退避した状態を示す模式断面図である。図１９は、本開示の第２の実施の形態によるロードビームを備えた、図１に示すサスペンションを示す平面図である。図２０は、図１９に示すＥ－Ｅ線に沿う断面図である。図２１は、図１９に示すＦ－Ｆ線に沿う断面図である。図２２は、本開示の第２の実施の形態によるロードビームのタブを示す平面図である。図２３は、本開示の第２の実施の形態によるロードビームを作製するためのロードビームブランク板を示す断面図である。図２４Ａは、本開示の第２の実施の形態によるロードビームの製造方法を示す断面図である。図２４Ｂは、本開示の第２の実施の形態によるロードビームの製造方法を示す断面図である。図２４Ｃは、本開示の第２の実施の形態によるロードビームの製造方法を示す断面図である。図２４Ｄは、本開示の第２の実施の形態によるロードビームの製造方法を示す断面図である。図２４Ｅは、本開示の第２の実施の形態によるロードビームの製造方法を示す断面図である。図２５は、変形例によるロードビームのタブを示す断面図である。図２６Ａは、変形例によるロードビームの製造方法を示す断面図である。図２６Ｂは、変形例によるロードビームの製造方法を示す断面図である。図２６Ｃは、変形例によるロードビームの製造方法を示す断面図である。図２７は、本開示の第３の実施の形態によるハードディスクドライブを示す斜視図である。図２８は、図２７に示すサスペンションがランプに退避した状態を示す模式断面図である。図２９は、本開示の第３の実施の形態によるロードビームを示す平面図である。図３０は、図２９に示すＧ－Ｇ線に沿う断面図である。図３１は、図２９に示すエッジ湾曲部を拡大して示す平面図である。図３２は、図３１に示すＨ－Ｈ線に沿う断面図である。図３３は、図３２のＱ１部を示す模式断面図である。図３４は、図２９に示すロードビームを作製するためのロードビームブランク板を示す部分拡大平面図である。図３５は、図３４に示すロードビームブランク板を示す断面図である。図３６は、図２７に示すハードディスクドライブの内部を示す模式断面図である。図３７は、図２９に示すロードビームの先端から流入する気流を示す模式図である。

　以下、図面を参照して本開示の実施の形態について説明する。明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

　本明細書において用いる、幾何学的条件と、物理的特性と、幾何学的条件又は物理的特性の程度を特定する用語と、幾何学的条件又は物理的特性を示す数値等については、厳密な意味に縛られることなく解釈してもよい。これらの幾何学的条件、物理的特性、用語、及び数値などについては、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈してもよい。幾何学的条件を特定する用語の例としては、「長さ」、「角度」、「形状」、「平行」、「直交」及び「同一」等が挙げられる。さらに、図面を明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載している。しかしながら、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待できる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。図面においては、部材同士の接合面などを示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに縛られることはなく、所望の接合性能を期待できる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。

（第１の実施の形態）
　図１～図１６を用いて、本開示の実施の形態によるロードビーム１０およびロードビームブランク板６０について説明する。まず、図１を用いて、本実施の形態によるロードビーム１０を含むサスペンション５が用いられるハードディスクドライブ１について説明する。

　ロードビームには、所望の目的で薄肉部が形成される場合がある。しかしながら、薄肉部が、ロードビームの輪郭を画定する縁部を含んでいる場合、当該縁部が変形したり、破損したりするなどの機械的強度の問題が考えられる。

　本実施の形態は、機械的強度を向上できるロードビームおよびロードビームブランク板を提供することを目的とする。

　図１に示すように、ハードディスクドライブ１は、ケース２と、磁気ディスク３と、スピンドルモータ４と、サスペンション５と、ボイスコイルモータ６と、ランプ７と、を含んでいる。磁気ディスク３は、データを記憶するように構成されている。磁気ディスク３は、ケース２に回転可能に取り付けられており、スピンドルモータ４によって回転するように構成されている。サスペンション５は、図示しない配線基板（またはフレキシャ）と、ロードビーム１０と、を含んでいる。配線基板の先端部に磁気ヘッド（図示せず）が実装されている。磁気ヘッドは、磁気ディスク３に対してデータの書き込みおよび読み取りを行うように構成されている。ロードビーム１０は、データの書き込みおよび読み取り時に、磁気ヘッドが磁気ディスク３に対して所望のフライングハイトを保つように、磁気ヘッドおよび配線基板を支持している。サスペンション５は、ボイスコイルモータ６によって回動し、磁気ヘッドが、磁気ディスク３の所望の位置に移動可能になっている。

　図１に示すハードディスクドライブ１は、記録密度の向上を図るために、複数の磁気ディスク３と、複数のサスペンション５と、を含んでいる。各々の磁気ディスク３の上面および下面に対して、サスペンション５の磁気ヘッドがデータの書き込みおよび読み取りを行うように構成されている。

　ランプ７は、ケース２内における磁気ディスク３の近傍に位置している。磁気ディスク３の回転停止時には、複数のサスペンション５は一体となって、磁気ディスク３から退避する。退避位置において、ロードビーム１０の先端に位置するタブ２５（後述）がランプ７に収容される。ランプ７は、タブ２５を支持するように構成されている。より具体的には、図２に示すように、ランプ７は、複数のランプ支持部７ｂを含んでおり、隣り合う２つのランプ支持部７ｂの間に、タブ２５を収容する収容空間７ａが画定されている。収容空間７ａに収容されたタブ２５は、ランプ支持部７ｂに支持される。

　１つの収容空間７ａには、２つのタブ２５が収容される。各々のタブ２５は、対向するランプ支持部７ｂに支持される。この際、２つのタブ２５は、互いに近づく方向に押圧される。この状態で、ハードディスクドライブ１が外部から衝撃を受けると、タブ２５同士が接触する可能性がある。この場合、タブ２５の側縁が変形したり、破損したりする問題が考えられる。ハードディスクドライブ１が外部から衝撃を受けると、タブ２５の根元に力がかかる。この場合、タブ２５の根元が変形したり、破損したりする問題も考えられる。本実施の形態によるロードビーム１０は、このようなことに対処するように構成されている。

　次に、本実施の形態によるロードビーム１０について説明する。

　図３に示すように、ロードビーム１０は、上述した磁気ヘッド（図示せず）および配線基板（図示せず）を支持するように構成されている。磁気ヘッドは、配線基板の先端部に実装される。ロードビーム１０は、第１方向Ｄ１に延びている。平面視で、第１方向Ｄ１に直交する方向を第２方向Ｄ２とする。第１方向Ｄ１は、平面視において、ロードビーム１０の根元から先端１０ａに向かう方向であって、ロードビーム１０の中心軸線ＣＬに沿う方向に相当する。ロードビーム１０の根元は、図３におけるロードビーム１０の下部に相当し、ロードビーム１０の先端１０ａは、図３におけるロードビーム１０の上部に相当する。平面視とは、ロードビーム１０を、後述する第１面２０ａまたは第２面２０ｂの法線方向で見た場合を意味する。

　ロードビーム１０は、第１方向Ｄ１に延びるビーム本体２０と、ビーム本体２０からロードビーム１０の先端１０ａまで第１方向Ｄ１に延びるタブ２５と、を含んでいる。

　図３に示すように、ビーム本体２０は、平面視で第１方向Ｄ１に延びている。ビーム本体２０は、ロードビーム１０の根元から先端１０ａに向かって、概略的に先細状に延びている。本実施の形態によるビーム本体２０は、配線基板を支持する部分であって、タブ２５を除いた部分である。

　図３および図４に示すように、ビーム本体２０は、ビーム平坦部２１と、一対のエッジ部２２と、を含んでいてもよい。図３に示すように、ビーム平坦部２１に、少なくとも１つの本体開口２３が形成されていてもよい。図３に示す例では、平面形状が異なる２つの本体開口２３が形成されている。ビーム平坦部２１は、厳密に平坦状に形成されていることに限られることはなく、エッジ部２２のような意図的に折り曲げた部分を含んでいない部分である。

　図３および図４に示すように、エッジ部２２は、平面視で第２方向Ｄ２におけるビーム平坦部２１の両側に位置している。エッジ部２２は、ロードビーム１０の側縁１０ｂに沿ってビーム平坦部２１から折り曲げられた部分である。エッジ部２２は、平面視で側縁１０ｂに沿って延びている。ロードビーム１０の側縁１０ｂは、平面視で第１方向Ｄ１に傾斜する方向に延びている。エッジ部２２は、後述する第１面２０ａを内側にした折り曲げ形状を有している。

　図４に示すように、エッジ部２２は、ビーム平坦部２１に対して傾斜した傾斜部２２ａと、ビーム平坦部２１と傾斜部２２ａとの間に位置する折り曲げ部２２ｂと、を含んでいる。傾斜部２２ａは、平面視でロードビーム１０の側縁１０ｂに沿って延びている。折り曲げ部２２ｂは、ビーム平坦部２１と傾斜部２２ａとを接続しており、断面視で湾曲状に形成されている。

　図４に示すように、ビーム本体２０は、ビーム平坦部２１からエッジ部２２にわたって形成された第１面２０ａと、ビーム平坦部２１からエッジ部２２にわたって形成された第２面２０ｂであって、第１面２０ａとは反対側に位置する第２面２０ｂと、を含んでいる。第１面２０ａは、図４に示す上面に相当し、第２面２０ｂは、図４に示す下面に相当する。

　図４に示すように、ビーム平坦部２１の厚さｔ１は、例えば、２５．０μｍ以上３５．０μｍ以下であってもよい。厚さｔ１を２５．０μｍ以上にすることにより、ロードビーム１０の機械的強度を確保でき、ロードビーム１０が塑性変形する可能性を低減できる。厚さｔ１を３５．０μｍ以下にすることにより、ロードビーム１０の厚さを低減できる。このため、サスペンション５の厚さを低減でき、ハードディスクドライブ１の厚さ低減に貢献できる。厚さｔ１を３５．０μｍ以下にすることにより、ランプ７の収容空間７ａに収容された後述する離間距離Ｘ１（図１０参照）を増大でき、２つのタブ２５が互いに接触する可能性を低減できる。例えば、厚さｔ１は、２５．０μｍ以上３０．０μｍ以下であってもよく、２７．０μｍ以上３０．０μｍ以下であってもよく、２９．０μｍ以上３０．０μｍ以下であってもよい。厚さｔ１は、第２面２０ｂに垂直な方向のビーム平坦部２１の寸法である。

　次に、タブ２５について説明する。

　図３および図５に示すように、タブ２５は、ビーム本体２０から、ロードビーム１０の先端１０ａまで第１方向Ｄ１に細長状に延びている。タブ２５の先端が、ロードビーム１０の先端１０ａを構成している。

　タブ２５は、タブ第１面２５ａと、タブ第２面２５ｂと、を含んでいてもよい。タブ第１面２５ａは、ビーム本体２０の第１面２０ａに接続されており、第１面２０ａから連続して形成されていてもよい。タブ第２面２５ｂは、タブ第１面２５ａとは反対側に位置している。タブ第２面２５ｂは、ビーム本体２０の第２面２０ｂに接続されており、第２面２０ｂから連続して形成されていてもよい。

　タブ２５は、ビーム本体２０と一体に形成されている。しかしながら、成形工程の後、タブ２５は、第１方向Ｄ１に直交する断面において、タブ第１面２５ａを内側にした湾曲形状を有している。タブ２５は、中心軸線ＣＬを含むとともにビーム平坦部２１に垂直な断面においても、タブ第１面２５ａを内側にした湾曲形状を有している。タブ２５は、全体的に湾曲状に形成された断面形状を有している。タブ２５は、円弧状に形成された断面形状を有していてもよい。タブ第２面２５ｂが外側となるようにタブ２５は湾曲している。後述する図１０に示すように、上述したランプ７のランプ支持部７ｂにタブ第２面２５ｂが当接する。

　図６Ａに示すように、タブ２５の幅ｗ１は、第１方向Ｄ１に直交する断面で見たときに、タブ２５のタブ第２面２５ｂに沿った寸法として規定されてもよい。例えば、幅ｗ１は、２００μｍ以上３５０μｍ以下であってもよい。

　図５に示すように、タブ２５は、根元領域２５Ｒ１と、本体領域２５Ｒ２と、先端領域２５Ｒ３と、を含んでいてもよい。根元領域２５Ｒ１は、ビーム本体２０に隣接する領域であって、タブ２５のうちビーム本体２０に近い領域である。本体領域２５Ｒ２は、根元領域２５Ｒ１に対してビーム本体２０とは反対側に位置する領域であって、根元領域２５Ｒ１よりもビーム本体２０から離れた領域である。本体領域２５Ｒ２は、根元領域２５Ｒ１と先端領域２５Ｒ３との間に位置している。先端領域２５Ｒ３は、ロードビーム１０の先端１０ａを含む領域である。本体領域２５Ｒ２に対してビーム本体２０とは反対側に位置する領域であって、本体領域２５Ｒ２よりもビーム本体２０から離れた領域である。先端領域２５Ｒ３は、平面視で、半円状に形成された領域であってもよい。先端領域２５Ｒ３の先端は、ロードビーム１０の先端１０ａに対応している。根元領域２５Ｒ１と本体領域２５Ｒ２は、第１方向Ｄ１における所望の位置を境界として区画されてもよい。例えば、本体領域２５Ｒ２および先端領域２５Ｒ３は、ロードビーム１０のタブ２５が上述したランプ７の収容空間７ａに収容された場合に、ランプ支持部７ｂに接触する領域であってもよい。根元領域２５Ｒ１は、ランプ支持部７ｂに接触しない領域であってもよい。

　図５～図６Ｂに示すように、タブ２５は、タブ本体２６と、タブ本体２６に隣接した薄肉部２８と、薄肉部２８に隣接し、タブ２５の端面２５ｃを画定するタブ端縁部２７と、を含んでいる。タブ本体２６の厚さｔ２は、ビーム平坦部２１の厚さｔ１と等しい。タブ本体２６の厚さｔ２は、タブ第２面２５ｂに垂直な方向のタブ本体２６の寸法である。

　図５～図６Ｂに示すように、タブ端縁部２７は、タブ２５の端面２５ｃを画定している。端面２５ｃとは、平面視で、タブ２５の輪郭を画定する端面である。タブ端縁部２７は、平面視でタブ本体２６の外側であって、薄肉部２８の外側に位置している。タブ端縁部２７は、薄肉部２８に隣接している。上述したように、第１方向Ｄ１に直交する断面で見たときに、タブ２５が円弧状に形成された断面形状を有している場合、端面２５ｃは、タブ２５の円弧の半径方向に沿うように形成されていてもよい。この場合、後述するロードビームブランク板６０においては、端面２５ｃは、成形加工される前の平坦状のタブ第２面２５ｂに対して垂直に形成されていてもよい。

　図５および図６Ａに示すように、根元領域２５Ｒ１および本体領域２５Ｒ２においては、タブ端縁部２７は、第２方向Ｄ２におけるタブ本体２６の両側に位置している。この場合、タブ端縁部２７は、第１方向Ｄ１に沿って直線状に形成されていてもよい。

　図５および図６Ｂに示すように、先端領域２５Ｒ３においては、タブ端縁部２７は、平面視でタブ本体２６の外側に位置している。この場合、タブ端縁部２７は、平面視で、半円弧状に形成されていてもよい。中心軸線ＣＬを含むとともにビーム平坦部２１に垂直な断面で見たときには、タブ端縁部２７は、ロードビーム１０の先端１０ａに位置している。

　次に、薄肉部２８について説明する。

　図６Ａおよび図６Ｂに示すように、薄肉部２８は、タブ本体２６に隣接している。薄肉部２８は、タブ本体２６よりも薄く形成されている。

　薄肉部２８は、タブ第２面２５ｂが連続するように形成されている。薄肉部２８は、タブ２５のタブ第１面２５ａから凹む凹面２９を含んでいる。本実施の形態による凹面２９は、第１方向Ｄ１に直交する断面で見たときに、湾曲状に形成されていてもよい。この場合、薄肉部２８の厚さは、一定でなくてもよい。平面視における任意の位置での薄肉部２８の厚さは、タブ本体２６の厚さｔ２よりも薄くてもよい。

　図７には、薄肉部２８の最小厚さがｔ３で示されている。この最小厚さｔ３は、タブ本体２６の厚さｔ２よりも薄い。例えば、最小厚さｔ３は、７．０μｍ以上１５．０μｍ以下であってもよい。最小厚さｔ３を７．０μｍ以上にすることにより、薄肉部２８の機械的強度を確保でき、薄肉部２８が塑性変形する可能性を低減できる。最小厚さｔ３を１５．０μｍ以下にすることにより、ランプ７の収容空間７ａに収容された２つのタブ２５のうちの一方のタブ２５の凹面２９および端面２５ｃが、他方のタブ２５の凹面２９および端面２５ｃに接触する可能性を低減できる。最小厚さｔ３を１５．０μｍ以下にすることにより、厚肉部３０の最大厚さｔ４を低減できる。このため、ランプ７の収容空間７ａに収容された２つのタブ２５の離間距離Ｘ２（図１０参照）を増大でき、２つのタブ２５が互いに接触する可能性を低減できる。最小厚さｔ３は、タブ第２面２５ｂに垂直な方向の薄肉部２８の寸法である。より具体的には、薄肉部２８の寸法が最小となる位置における、タブ第２面２５ｂに垂直な方向の寸法である。

　タブ本体２６の厚さｔ２に対する薄肉部２８の最小厚さｔ３の比率である第１厚さ比率が規定されていてもよい。例えば、第１厚さ比率は、０．２以上０．５以下であってもよい。第１厚さ比率を０．２以上にすることにより、薄肉部２８の機械的強度を確保でき、薄肉部２８が塑性変形する可能性を低減できる。第１厚さ比率を０．５以下にすることにより、ランプ７の収容空間７ａに収容された２つのタブ２５のうちの一方のタブ２５の凹面２９および端面２５ｃが、他方のタブ２５の凹面２９および端面２５ｃに接触する可能性を低減できる。最小厚さｔ３を１５．０μｍ以下にすることにより、厚肉部３０の最大厚さｔ４を低減できる。このため、ランプ７の収容空間７ａに収容された２つのタブ２５の離間距離Ｘ２（図１０参照）を増大でき、２つのタブ２５が互いに接触する可能性を低減できる。

　図５に示すように、薄肉部２８は、根元領域２５Ｒ１、本体領域２５Ｒ２および先端領域２５Ｒ３のうちの少なくとも１つの領域に位置していてもよい。薄肉部２８は、根元領域２５Ｒ１、本体領域２５Ｒ２および先端領域２５Ｒ３のそれぞれに位置していてもよい。薄肉部２８は、根元領域２５Ｒ１から先端領域２５Ｒ３にわたって連続状に形成されていてもよい。薄肉部２８は、タブ本体２６とタブ端縁部２７との間に位置している。

　図５および図６Ａに示すように、根元領域２５Ｒ１および本体領域２５Ｒ２においては、薄肉部２８は、第２方向Ｄ２におけるタブ本体２６の両側に位置している。この場合、薄肉部２８は、タブ端縁部２７に沿って直線状に形成されていてもよい。

　図５および図６Ｂに示すように、先端領域２５Ｒ３においては、薄肉部２８は、平面視でタブ本体２６の外側に位置している。この場合、薄肉部２８は、タブ端縁部２７に沿って半円弧状に形成されていてもよい。中心軸線ＣＬを含むとともにビーム平坦部２１に垂直な断面で見たときには、薄肉部２８は、タブ本体２６よりもロードビーム１０の先端１０ａに近い位置に位置している。

　図６Ａ～図７に示すように、タブ端縁部２７は、厚肉部３０を含んでいてもよい。厚肉部３０は、薄肉部２８に隣接している。

　厚肉部３０は、薄肉部２８の最小厚さｔ３よりも厚い部分である。図７には、厚肉部３０の最大厚さがｔ４で示されている。厚肉部３０の最大厚さｔ４は、タブ本体２６の厚さｔ２よりも薄くてもよい。厚肉部３０の厚さは、一定でなくてもよい。任意の位置における厚肉部３０の最大厚さｔ４は、薄肉部２８の最小厚さｔ３よりも厚くてもよく、タブ本体２６の厚さｔ２よりも薄くてもよい。本実施の形態においては、タブ端縁部２７が、最大厚さｔ４を有する厚肉部３０を含んでいる。

　図７に示すように、本実施の形態においては、厚肉部３０の厚さが、薄肉部２８から徐々に厚くなっている。より具体的には、厚肉部３０は、タブ第２面２５ｂとは反対側に位置する厚肉面３１を含み、第１方向Ｄ１に直交する断面で見たときに、厚肉面３１が湾曲状に形成されている。厚肉面３１は、薄肉部２８の凹面２９から連続して湾曲状に形成されており、タブ２５の湾曲形状の内側に向かって尖る尖端形状を有している。端面２５ｃにおいて、厚肉部３０の厚さが最大厚さｔ４となっている。

　図７および図９Ｂに示すように、厚肉部３０の最大厚さｔ４は、薄肉部２８の最小厚さｔ３よりも厚くてもよい。最大厚さｔ４は、タブ本体２６の厚さｔ２よりも薄くてもよい。例えば、最大厚さｔ４は、１０μｍ以上２０μｍ以下であってもよい。最大厚さｔ４を１０μｍ以上にすることにより、タブ端縁部２７の機械的強度を向上でき、タブ端縁部２７が塑性変形する可能性を低減できる。最大厚さｔ４を２０μｍ以下にすることにより、ランプ７の収容空間７ａに収容された２つのタブ２５の後述する離間距離Ｘ２（図１０参照）を増大でき、２つのタブ２５が互いに接触する可能性を低減できる。最大厚さｔ４は、タブ第２面２５ｂに垂直な方向の厚肉部３０の最大寸法であり、より具体的には、厚肉部３０の寸法が最大となる位置における、タブ第２面２５ｂに垂直な方向の寸法である。

　タブ本体２６の厚さｔ２に対する厚肉部３０の最大厚さｔ４の比率である第２厚さ比率が規定されていてもよい。例えば、第２厚さ比率は、０．３以上０．７以下であってもよい。第２厚さ比率を０．３以上にすることにより、タブ端縁部２７の機械的強度を向上でき、タブ端縁部２７が塑性変形する可能性を低減できる。第２厚さ比率を０．７以下にすることにより、ランプ７の収容空間７ａに収容された２つのタブ２５の後述する離間距離Ｘ２（図１０参照）を増大でき、２つのタブ２５が互いに接触する可能性を低減できる。

　図５～図６Ｂに示すように、厚肉部３０は、根元領域２５Ｒ１、本体領域２５Ｒ２および先端領域２５Ｒ３のうちの少なくとも１つの領域に位置していてもよい。厚肉部３０は、根元領域２５Ｒ１、本体領域２５Ｒ２および先端領域２５Ｒ３のそれぞれに位置していてもよい。厚肉部３０は、根元領域２５Ｒ１から先端領域２５Ｒ３にわたって連続状に形成されていてもよい。厚肉部３０は、薄肉部２８と隣接するとともに、薄肉部２８と同じ領域に位置していてもよい。

　図５に示すように、根元領域２５Ｒ１および本体領域２５Ｒ２においては、厚肉部３０は、タブ端縁部２７に沿って直線状に形成されていてもよい。

　図５に示すように、先端領域２５Ｒ３においては、厚肉部３０は、薄肉部２８に隣接しながら、タブ端縁部２７に沿って半円弧状に形成されていてもよい。図６Ｂに示すように、中心軸線ＣＬを含むとともにビーム平坦部２１に垂直な断面で見たときには、厚肉部３０は、ロードビーム１０の先端１０ａに位置している。

　次に、上述したロードビーム１０を作製するためのロードビームブランク板６０について図８、図９Ａおよび図９Ｂを用いて説明する。

　図８には、ロードビーム１０を作製するためのロードビームブランク板６０の断面図が示されている。図８の断面図は、図４に示す断面図に対応している。ロードビームブランク板６０は、上述したエッジ部２２を折り曲げる前の形態であり、全体的に平坦状に形成されている。

　ロードビームブランク板６０は、平面視で、ロードビームブランク板６０の先端に向かって先細状に第１方向Ｄ１に延びるブランク板本体６１と、ブランク板タブ６２（図９Ａ参照）と、を含んでいる。ロードビームブランク板６０の先端は、ロードビーム１０の先端１０ａに対応している。ブランク板本体６１は、平坦状に形成されており、上述したビーム本体２０に対応している。ブランク板本体６１を折り曲げ線で折り曲げることにより、ビーム平坦部２１と、エッジ部２２とが区分けされる。ブランク板本体６１には、上述した本体開口２３が形成されている。

　ロードビームブランク板６０においては、図８に示すように、第１面２０ａおよび第２面２０ｂはそれぞれ平坦状に形成されている。第１面２０ａおよび第２面２０ｂは、互いに平行になっていてもよい。上述した側縁１０ｂは、図８においては、ロードビームブランク板６０の側縁を構成している。ブランク板本体６１の厚さは、ビーム平坦部２１の厚さｔ１と等しい。

　ブランク板タブ６２は、図９Ａに示すように、上述したタブ２５を成形加工する前の形態である。ブランク板タブ６２は、ブランク板本体６１からロードビームブランク板６０の先端まで第１方向Ｄ１に細長状に延びている。ブランク板タブ６２は、平坦状に形成されており、ブランク板本体６１と連続している。

　ブランク板タブ６２は、ブランク板タブ本体６３と、薄肉部２８と、タブ端縁部２７と、を含んでいる。ブランク板タブ本体６３は、上述したタブ本体２６に対応している。ブランク板タブ本体６３の厚さは、タブ本体２６の厚さｔ２と等しい。

　薄肉部２８は、ブランク板タブ本体６３に隣接している。薄肉部２８は、ブランク板タブ本体６３よりも薄く形成されている。タブ端縁部２７は、薄肉部２８に隣接し、ブランク板タブ６２の端面を画定している。ブランク板タブ６２の端面は、上述したタブ２５の端面２５ｃに対応している。

　図９Ａに示すように、タブ第１面２５ａおよびタブ第２面２５ｂが平坦状に形成されており、凹面２９が、タブ第１面２５ａを切り欠くように形成されている。図９Ａに示すように、薄肉部２８はタブ第２面２５ｂが連続するように形成されている。タブ第１面２５ａをエッチングすることにより、凹面２９が形成されて、その結果として薄肉部２８およびタブ端縁部２７を形成できる。図９Ａに示す状態からタブ２５を成形加工することにより、図６Ａに示すタブ２５を得ることができる。

　ブランク板本体６１は、ブランク板本体６１を囲むフレーム（図示せず）に支持されていてもよい。ブランク板本体６１がフレームに支持された状態で折り曲げられることにより、本実施の形態によるロードビーム１０が得られてもよい。この場合、ロードビーム１０は、フレームに支持されていてもよい。フレームには、複数のブランク板本体６１が支持されていてもよい。この場合、多面付のロードビーム１０を作製できる。多面付のロードビーム１０とは、１つのフレームに複数のロードビーム１０が支持されている形態を意味する。

　ロードビーム１０およびロードビームブランク板６０は、板状の部材により構成されていてもよい。ロードビーム１０は、例えば、金属材料で形成されていてもよく、ステンレス鋼により形成されていてもよい。

　次に、このような構成からなる本実施の形態によるロードビーム１０の製造方法について説明する。

　まず、平坦な板状の部材を準備する。例えば、板状の部材は、上述した厚さｔ１を有する圧延材であってもよい。

　続いて、フォトリソグラフィー技術によって、板状の部材のタブ第１面２５ａに、パターン状のレジスト層（図示せず）が形成される。第２面２０ｂには、全面にレジスト層が形成される。

　次に、板状の部材のタブ第１面２５ａがエッチングされて、図９Ａおよび図９Ｂに示すような薄肉部２８が形成される。より具体的には、タブ第１面２５ａをエッチングすることにより、凹面２９が形成されて、その結果として薄肉部２８を形成できる。薄肉部２８と共に厚肉部３０を含むタブ端縁部２７も形成される。タブ第１面２５ａ上のレジスト層には、薄肉部２８および厚肉部３０に対応する位置に開口が形成される。このうち厚肉部３０に対応する部分では、エッチングの浸食を抑制するために、レジスト層に、比較的小さな複数の開口が形成されていてもよい。エッチングによって、板状の部材の外形も加工される。このようにして、所望の輪郭を有するロードビームブランク板６０が得られる。

　その後、ロードビームブランク板６０のブランク板本体６１を折り曲げることにより、図４に示すエッジ部２２が形成される。ブランク板タブを、プレス加工などの成形加工を行うことにより、図６Ａおよび図６Ｂに示すように湾曲状に形成された断面形状を有するタブ２５が形成される。このようにして、本実施の形態によるロードビーム１０が得られる。

　このようにして得られたロードビーム１０の薄肉部２８によって、タブ２５のタブ第１面２５ａに、凹面２９が形成される。このことにより、図１０に示すように、ランプ７の収容空間７ａに収容された２つのロードビーム１０のタブ２５が、互いに干渉する可能性を低減できる。すなわち、図６Ａおよび図６Ｂに示すように、薄肉部２８が形成されることにより、タブ第１面２５ａとタブ２５の端面２５ｃとの交点である角部２５ｄを取り除くことができる。例えば、タブ端縁部２７の厚肉部３０の最大厚さｔ４が、タブ本体２６の厚さｔ２よりも小さいため、角部２５ｄを取り除くことができる。このため、図１０に示すように、２つのタブ２５の離間距離Ｘ１、Ｘ２を増大でき、ランプ７の１つの収容空間７ａに収容された２つのタブ２５が、互いに接触する可能性を低減できる。離間距離Ｘ１は、図１０に示す断面で見たときに、各々のタブ２５のタブ第１面２５ａと凹面２９との交点同士の距離である。離間距離Ｘ２は、図１０に示す断面で見たときに、各々のタブ２５の厚肉部３０同士の距離である。本実施の形態においては、図７に示すように、離間距離Ｘ２は、各々のタブ２５の厚肉面３１とタブ２５の端面２５ｃとの交点同士の距離である。後述する図１４および図１５に示す例でも同様である。後述する図１３に示す例では、離間距離Ｘ２は、各々のタブ２５の厚肉面３１同士の距離である。

　このように本実施の形態によれば、ロードビーム１０のタブ本体２６に隣接した薄肉部２８に、タブ２５の端面２５ｃを画定するタブ端縁部２７が隣接している。タブ端縁部２７は、薄肉部２８の最小厚さｔ３よりも厚い厚肉部３０を含んでいる。このことにより、タブ端縁部２７の機械的強度を向上でき、その結果として、タブ２５の機械的強度を向上できる。更に言えば、ロードビーム１０の取り扱い中に、タブ端縁部２７が変形したり、破損したりする可能性を低減できる。この場合、ハードディスクドライブ１内で、タブ端縁部２７の欠損による異物が発生する可能性を低減できる。

　本実施の形態によれば、厚肉部３０の最大厚さｔ４は、タブ本体２６の厚さｔ２よりも薄い。このことにより、タブ第１面２５ａとタブ２５の端面２５ｃとの交点である角部２５ｄを取り除くことができる。このため、ランプ７の１つの収容空間７ａに収容された２つのタブ２５の離間距離Ｘ１、Ｘ２を増大でき、２つのタブ２５が、互いに接触する可能性を低減できる。

　本実施の形態によれば、厚肉部３０は、タブ端縁部２７に沿って延びている。このことにより、タブ端縁部２７の機械的強度をより一層向上でき、タブ２５の機械的強度をより一層向上できる。

　本実施の形態によれば、平面視で第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２においてタブ本体２６の両側にタブ端縁部２７が位置している。各々のタブ端縁部２７とタブ本体２６との間に薄肉部２８が位置し、各々のタブ端縁部２７が、厚肉部３０を含んでいる。このことにより、各々のタブ端縁部２７の機械的強度をより一層向上でき、タブ２５の機械的強度をより一層向上できる。

　本実施の形態によれば、タブ２５は、第１方向Ｄ１に直交する断面で見たときに、タブ第１面２５ａを内側にした湾曲形状を有している。薄肉部２８は、タブ第１面２５ａから凹む凹面２９を含んでいる。このことにより、タブ第１面２５ａとタブ２５の端面２５ｃとの交点である角部２５ｄと、当該角部２５ｄの周囲の部分を取り除くことができる。このため、ランプ７の１つの収容空間７ａに収容された２つのタブ２５の離間距離Ｘ１、Ｘ２を増大でき、２つのタブ２５が、互いに接触する可能性をより一層低減できる。

　本実施の形態によれば、凹面２９が、第１方向Ｄ１に直交する断面で見たときに、湾曲状に形成されている。このことにより、薄肉部２８の断面を、滑らかな形状で形成でき、応力を緩和できる。このため、タブ２５の機械的強度をより一層向上できる。

　本実施の形態によれば、厚肉部３０は、本体領域２５Ｒ２に位置している。このことにより、本体領域２５Ｒ２の機械的強度を向上できる。このため、サスペンション５がランプ７の収容空間７ａに収容されて、ハードディスクドライブ１が外部から衝撃を受けた場合であっても、タブ２５の本体領域２５Ｒ２が変形したり、破損したりする可能性を低減できる。

　本実施の形態によれば、厚肉部３０は、本体領域２５Ｒ２だけでなく、根元領域２５Ｒ１にも位置している。このことにより、根元領域２５Ｒ１の機械的強度を向上できる。このため、サスペンション５がランプ７の収容空間７ａに収容されて、ハードディスクドライブ１が外部から衝撃を受けた場合であっても、タブ２５の根元領域２５Ｒ１が変形したり、破損したりする可能性を低減できる。すなわち、本体領域２５Ｒ２および根元領域２５Ｒ１の両方で機械的強度を向上できる。

　本実施の形態によれば、厚肉部３０は、先端領域２５Ｒ３に位置している。このことにより、先端領域２５Ｒ３の機械的強度を向上できる。このため、サスペンション５がランプ７の収容空間７ａに収容されて、ハードディスクドライブ１が外部から衝撃を受けた場合であっても、タブ２５の本体領域２５Ｒ２が変形したり、破損したりする可能性を低減できる。

　本実施の形態によれば、厚肉部３０は、根元領域２５Ｒ１、本体領域２５Ｒ２および先端領域２５Ｒ３に位置している。このことにより、根元領域２５Ｒ１、本体領域２５Ｒ２および先端領域２５Ｒ３それぞれの機械的強度を向上できる。このため、サスペンション５がランプ７の収容空間７ａに収容されて、ハードディスクドライブ１が外部から衝撃を受けた場合であっても、タブ２５の各領域２５Ｒ１～２５Ｒ３が変形したり、破損したりする可能性を低減できる。すなわち、タブ２５の全体で機械的強度を向上できる。

（変形例１）
　上述した本実施の形態においては、厚肉部３０が、タブ端縁部２７に沿って延びている例について説明した。しかしながら、本実施の形態は、このことに限られることはない。例えば、図１１に示すように、タブ端縁部２７は、タブ端縁部２７に沿って間隔を空けて配置された複数の厚肉部３０を含んでいてもよい。この場合においても、タブ端縁部２７の機械的強度を向上できる。各々の厚肉部３０の最大厚さｔ４は、互いに等しくてもよく、または互いに異なっていてもよい。図１１においては、タブ端縁部２７が、複数の厚肉部３０を含んでいる例を示しているが、厚肉部３０の個数は１つでもよく、任意の複数でもよい。厚肉部３０の平面形状は任意である。図１２に示すように、タブ端縁部２７のうち厚肉部３０が形成されていない位置においては、タブ端縁部２７の厚さは、厚肉部３０の最大厚さｔ４よりも小さい厚さであれば任意であり、薄肉部２８の最小厚さｔ３と等しくてもよい。図１１に示す例は、タブ２５の根元領域２５Ｒ１または本体領域２５Ｒ２に位置するタブ端縁部２７を示しているが、先端領域２５Ｒ３に位置するタブ端縁部２７も同様に、複数の厚肉部３０を含んでいてもよい。

（変形例２）
　上述した本実施の形態においては、根元領域２５Ｒ１および本体領域２５Ｒ２において、タブ端縁部２７が、タブ本体２６の第２方向Ｄ２における両側に位置し、各々のタブ端縁部２７が厚肉部３０を含んでいる例について説明した。しかしながら、本実施の形態は、このことに限られることはない。例えば、２つのタブ端縁部２７のうちの一方が厚肉部を含んでいれば、他方は厚肉部を含んでいなくてもよい。先端領域２５Ｒ３においても、中心軸線ＣＬの両側に位置する２つのタブ端縁部２７のうちの一方が厚肉部３０を含んでいれば、他方は厚肉部３０を含んでいなくてもよい。

（変形例３）
　上述した本実施の形態においては、厚肉部３０が根元領域２５Ｒ１、本体領域２５Ｒ２および先端領域２５Ｒ３に位置している例について説明した。しかしながら、本実施の形態は、このことに限られることはない。例えば、厚肉部３０は、根元領域２５Ｒ１、本体領域２５Ｒ２および先端領域２５Ｒ３のうちの少なくとも１つに位置していてもよい。例えば、厚肉部３０は、根元領域２５Ｒ１、本体領域２５Ｒ２および先端領域２５Ｒ３のうちの１つの領域に位置していてもよく、または、根元領域２５Ｒ１、本体領域２５Ｒ２および先端領域２５Ｒ３のうちの２つの領域に位置していてもよい。いずれの場合においても、ハードディスクドライブ１が外部から受けた衝撃によってタブ２５の本体領域２５Ｒ２が変形したり、破損したりする可能性を低減できる。

（変形例４）
　上述した本実施の形態においては、厚肉部３０の厚肉面３１が、内側に向かって尖る尖端形状を有している例について説明した。しかしながら、本実施の形態は、このことに限られることはない。例えば、図１３に示すように、厚肉部３０の厚肉面３１は、タブ２５の湾曲形状の内側に向かって突出するように円弧状に形成されていてもよい。厚肉面３１は、半円状に形成されていてもよい。この場合、ハードディスクドライブ１が外部から衝撃を受けることによりタブ２５同士が接触した場合であっても、タブ端縁部２７が変形したり、破損したりする可能性をより一層低減できる。このため、ハードディスクドライブ１内で、タブ端縁部２７の欠損による異物が発生する可能性をより一層低減できる。

　図１３に示す例では、薄肉部２８の凹面２９が、タブ第２面２５ｂと同心に形成されている部分を含み、この同心状の部分で、薄肉部２８の厚さが最小厚さｔ３になっている。この同心状の部分は、タブ２５の成形加工前では、タブ第２面２５ｂと平行になっていてもよい。しかしながら、図７に示すように、薄肉部２８の凹面２９が、同心状の部分を含まずに、湾曲状に形成されていてもよい。

　図１３に示す例の代わりに、図１４に示すように、厚肉部３０の厚肉面３１が、タブ第２面２５ｂと同心に形成されている部分を含んでいてもよい。この同心状の部分は、タブ２５の成形加工前では、タブ第２面２５ｂと平行になっていてもよい。この場合、タブ２５の成形加工時に、タブ２５の端面２５ｃの認識精度を向上でき、タブ２５の成形加工の精度を向上できる。

　図１４に示す例では、薄肉部２８の凹面２９が、タブ第２面２５ｂと同心に形成されている部分を含み、この同心状の部分で、薄肉部２８の厚さが最小厚さｔ３になっている。この同心状の部分は、タブ２５の成形加工前では、タブ第２面２５ｂと平行になっていてもよい。しかしながら、図７に示すように、薄肉部２８の凹面２９が、同心状の部分を含まずに、湾曲状に形成されていてもよい。

　図１５に示すように、薄肉部２８およびタブ端縁部２７の幅ｗ２が、図７に示す形態よりも大きくてもよい。幅ｗ２は、タブ第１面２５ａと凹面２９との交点と、端面２５ｃと厚肉面３１との交点との間の距離である。幅ｗ２は、タブ第１面２５ａと凹面２９との交点と、端面２５ｃとタブ第１面２５ａとの交点との間の距離であって、タブ第１面２５ａの延長面に沿った距離である。端面２５ｃとタブ第１面２５ａとの交点は、図６Ａに示す角部２５ｄと同じ位置に存在する。幅ｗ２は、例えば、２５μｍ以上４０μｍ以下であってもよい。幅ｗ２を２５μｍ以上にすることにより、離間距離Ｘ１を増大できる。幅ｗ２を４０μｍ以下にすることにより、タブ２５の機械的強度を確保できる。

　上述したタブ２５の幅ｗ１に対する薄肉部２８およびタブ端縁部２７の幅ｗ２の比率である幅比率が規定されていてもよい。例えば、幅比率は、０．０８以上０．２０以下であってもよい。幅比率を０．０８以上にすることにより、離間距離Ｘ１を増大できる。幅比率を０．２０以下にすることにより、タブ２５の機械的強度を確保できる。

（変形例５）
　上述した本実施の形態においては、第１方向Ｄ１に直交する断面で見たときに、タブ２５の輪郭を画定する端面２５ｃが、タブ２５の円弧の半径方向に沿うように形成されている例について説明した。しかしながら、本実施の形態は、このことに限られることはない。端面２５ｃの形状は任意である。例えば、図１６に示すように、第１方向Ｄ１に直交する断面で見たときに、端面２５ｃは、タブ２５の円弧の半径方向に対して傾斜していてもよい。端面２５ｃは、タブ第２面２５ｂに向かうにつれて、タブ２５の湾曲形状の内側に近づくように傾斜していてもよい。この場合、ロードビームブランク板６０においては、端面２５ｃは、成形加工される前の平坦状のタブ第２面２５ｂに対して傾斜していてもよい。先端領域２５Ｒ３における端面２５ｃが傾斜している場合、ロードビーム１０の先端１０ａに流入する気流の乱れを低減できる。このため、ロードビーム１０の先端領域２５Ｒ３が気流から受ける圧力を低減できる。また、端面２５ｃが傾斜している場合、タブ端縁部２７が外力を受ける場合に、タブ端縁部２７の内部応力を緩和でき、応力集中の可能性を低減できる。このため、ロードビーム１０の機械的強度を向上できる。

　あるいは、図示しないが、端面２５ｃは、第１方向Ｄ１に直交する断面で見たときに、２つの湾曲面を含んでいてもよい。一方の湾曲面は、タブ第２面２５ｂをエッチングすることにより形成されて、タブ第２面２５ｂに接続されていてもよい。他方の湾曲面は、タブ第１面２５ａをエッチングすることにより形成されて、厚肉面３１に接続されていてもよい。この場合においても、ロードビーム１０の先端１０ａに流入する気流の乱れを低減でき、ロードビーム１０の先端領域２５Ｒ３が気流から受ける圧力を低減できる。タブ端縁部２７が外力を受ける場合に、タブ端縁部２７の内部応力を緩和でき、応力集中の可能性を低減できる。このため、ロードビーム１０の機械的強度を向上できる。

（第２の実施の形態）
　次に、図１７～図２６Ｃを用いて、本開示の第２の実施の形態によるロードビーム、ロードビームブランク板およびロードビームの製造方法について説明する。

　図１７～図２６Ｃに示す第２の実施の形態においては、タブの厚さがロードビームの短手方向の両端部よりも短手方向の中央部が薄い点が主に異なる。他の構成は、図１～図１６に示す第１の実施の形態と略同一である。図１７～図２６Ｃにおいて、図１～図１６に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

　磁気ディスクの回転停止時には、複数のサスペンションは一体となって、磁気ディスクから退避する。退避位置において、ロードビームの先端に位置するタブがランプに収容される。

　本実施の形態は、ランプに収容する際にロードビームの先端に位置するタブ同士が接触することを回避することが可能な、ロードビーム、ロードビームブランク板およびロードビームの製造方法を提供する。

　以下、本実施の形態について説明する。

　本開示の一実施の形態によるサスペンション、ロードビーム、ロードビームブランク板およびロードビームの製造方法について、図１７～図２６Ｃを用いて説明する。まず、図１７を用いて、本実施の形態によるロードビーム１２０を備えたサスペンション５が用いられるハードディスクドライブ１について説明する。

　図１７に示すように、ハードディスクドライブ１は、ケース２と、磁気ディスク３と、スピンドルモータ４と、サスペンション５と、ボイスコイルモータ６と、ランプ７と、を備える。磁気ディスク３は、データを記憶するように構成されている。磁気ディスク３は、ケース２に回転可能に取り付けられている。磁気ディスク３は、スピンドルモータ４によって回転するように構成されている。サスペンション５は、フレキシャ１１と、ロードビーム１２０と、を含む（図１９参照）。フレキシャ１１の先端部には磁気ヘッド１２（図１９参照）が実装されている。磁気ヘッド１２は、磁気ディスク３に対してデータの書き込み及び読み取りを行うように構成されている。ロードビーム１２０は、データの書き込み及び読み取り時に、磁気ヘッド１２が磁気ディスク３に対して所望のフライングハイトを維持するように、磁気ヘッド１２及びフレキシャ１１を支持する。サスペンション５は、ボイスコイルモータ６によって回動し、磁気ヘッド１２が、磁気ディスク３の所望の位置に移動可能となっている。

　図１７に示すハードディスクドライブ１は、記録密度の向上を図るために、複数の磁気ディスク３と、複数のサスペンション５と、を備える。各々の磁気ディスク３の上面及び下に対して、サスペンション５が設けられ、サスペンション５に実装される磁気ヘッド１２が磁気ディスク３のデータの書き込み及び読み取りを行う。

　ランプ７は、ケース２内における磁気ディスク３の近傍に位置する。磁気ディスク３の回転停止時には、複数のサスペンション５は一体となって、磁気ディスク３から退避する。退避位置において、ロードビーム１２０の先端に位置するタブ１２２（後述）がランプ７に収容される。ランプ７は、タブ１２２を支持するように構成されている。

　具体的には、図１８に示すように、ランプ７は、複数のランプ支持部７ｂを含む。隣り合う２つのランプ支持部７ｂの間に、タブ１２２を収容する収容空間７ａが画定されている。収容空間７ａに収容されたタブ１２２は、ランプ支持部７ｂに支持される。

　１つの収容空間７ａには、２つのタブ１２２が収容される。各々のタブ１２２は、対向するランプ支持部７ｂに支持される。ランプ支持部７ｂは、傾斜部分７ｃと、退避部分７ｄとを有する。傾斜部分７ｃは、タブ１２２の入口側に位置する。傾斜部分７ｃは、収容空間７ａ側に傾斜面７ｅを有する。傾斜面７ｅは水平方向に対して傾斜する。収容空間７ａにおいて、互いに対向する２つのランプ支持部７ｂの傾斜面７ｅは、傾斜部分７ｃから遠ざかるにつれて収容空間７ａが広くなるように傾斜する。タブ１２２を収容するとき、２つのタブ１２２は、互いに徐々に距離を接近させながらそれぞれ傾斜面７ｅに沿って移動する。この間、タブ１２２は傾斜面７ｅに対して接触する。退避部分７ｄは、２つのタブ１２２が収容される部分である。２つのランプ支持部７ｂの退避部分７ｄ同士の間に収容空間７ａが形成される。２つのランプ支持部７ｂの退避部分７ｄの表面７ｆは、収容空間７ａを挟んで互いに平行に位置する。表面７ｆは水平方向に対して平行であってもよい。

　２つのタブ１２２が収容されるとき、２つのタブ１２２は、互いに近づく方向に押圧される。この状態で、２つのタブ１２２が傾斜面７ｅに沿って移動すると、タブ１２２同士が接触するおそれがある。この場合、タブ１２２の側縁が変形したり、破損したりする問題が考えられる。本実施の形態によるロードビーム１２０は、これに対処するように構成されている。

　次に、本実施の形態によるサスペンション５について説明する。

　図１９に示すように、サスペンション５は、フレキシャ１１と、ロードビーム１２０と、第１圧電素子ＰＺ１と、第２圧電素子ＰＺ２と、を備える。

　フレキシャ１１は、フレキシブル性を有する配線基板である。フレキシャ１１は、ロードビーム１２０に接合され、かつロードビーム１２０に支持される。フレキシャ１１は複数の配線を含んでいる。フレキシャ１１の先端部に、磁気ヘッド１２が実装されている。一部の配線は、磁気ヘッド１２と、図示しない外部接続基板に接続される端子とを電気的に接続している。他の一部の配線は、後述する各々の圧電素子と外部接続基板に接続される端子とを電気的に接続している。フレキシャ１１は、配線付きフレキシャ又はサスペンション用フレキシャとも称される。

　ロードビーム１２０は、先端１２０ｐに向かって先細状に長手方向Ｄ１１に延びる。図２０に示すように、ロードビーム１２０は、第１面１２０ａと、第１面１２０ａとは反対側に位置する第２面１２０ｂと、を含む。第１面１２０ａは、図２０における上面に相当し、第２面１２０ｂは、図２０における下面に相当する。ロードビーム１２０については、後述する。

　第１圧電素子ＰＺ１は、アクチュエータ素子の一例である。第１圧電素子ＰＺ１は、ロードビーム１２０の後述するヒンジ部１２６に対して、ロードビーム１２０の先端１２０ｐとは反対側に位置する。

　第１圧電素子ＰＺ１は、ロードビーム１２０の第１面１２０ａに接合される。第１圧電素子ＰＺ１は、電圧が印加された際に伸縮して、ロードビーム１２０及びフレキシャ１１を介して磁気ヘッドを移動させる。第１圧電素子ＰＺ１は、電圧が印加された際の伸縮力が、第２圧電素子ＰＺ２よりも大きくなるように設定される。

　ロードビーム１２０には、２つの第１圧電素子ＰＺ１が接合される。２つの第１圧電素子ＰＺ１は、サスペンション５の先端部を短手方向Ｄ１２に移動させる機能を有する。２つの第１圧電素子ＰＺ１は、平面視で中心軸線ＣＬに対して対称に位置していてもよい。２つの第１圧電素子ＰＺ１の極性は、互いに異なっている。各第１圧電素子ＰＺ１は、電圧が印加されることにより伸縮し、磁気ヘッドを微小に移動させるようになっている。各第１圧電素子ＰＺ１は、互いに対向する一対の電極と、一対の電極間に介在された圧電材料部とを有する。各第１圧電素子ＰＺ１の圧電材料部は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電セラミックスからなる。一対の第１圧電素子ＰＺ１の圧電材料部は、互いに１８０°異なる分極方向となるように形成されている。一対の第１圧電素子ＰＺ１に対して所定の電圧が印加されると、一方の第１圧電素子ＰＺ１が収縮するとともに、他方の第１圧電素子ＰＺ１が伸長するようになっている。

　第２圧電素子ＰＺ２は、先端アクチュエータ素子の一例である。第２圧電素子ＰＺ２は先端圧電素子と称してもよい。第２圧電素子ＰＺ２は、第１圧電素子ＰＺ１よりもロードビーム１２０の先端１２０ｐに近い位置にある。第２圧電素子ＰＺ２は、後述するロードビーム１２０の治具孔１２７よりもロードビーム１２０の先端１２０ｐに近い位置にある。

　第２圧電素子ＰＺ２は、フレキシャ１１に接合される。この場合、第２圧電素子ＰＺ２は、ロードビーム１２０の第２面１２０ｂに対向する。第２圧電素子ＰＺ２は、電圧が印加された際に伸縮して、フレキシャ１１を介して磁気ヘッド１２を移動させる。第２圧電素子ＰＺ２は、電圧が印加された際の伸縮力が、第１圧電素子ＰＺ１よりも小さくなるように設定される。

　フレキシャ１１には、２つの第２圧電素子ＰＺ２が接合される。２つの第２圧電素子ＰＺ２は、平面視で中心軸線ＣＬに対して対称に位置していてもよい。２つの第２圧電素子ＰＺ２の極性は、互いに異なっている。

　次に、本実施の形態によるロードビーム１２０について説明する。

　図１９に示すように、ロードビーム１２０は、上述したフレキシャ１１を支持するように構成されている。ロードビーム１２０は、長手方向Ｄ１１と、短手方向Ｄ１２とを有する。ロードビーム１２０は、先端１２０ｐに向かって先細状となるように長手方向Ｄ１１に延びる。長手方向Ｄ１１は、第１方向と称してもよい。短手方向Ｄ１２は、平面視で長手方向Ｄ１１に直交する。短手方向Ｄ１２は、第２方向と称してもよい。平面視とは、ロードビーム１２０を、後述するビーム平坦部１２４において第１面１２０ａの法線方向で見ることを意味する。

　図１９に示すように、ロードビーム１２０は、長手方向Ｄ１１に沿う中心軸線ＣＬを有する。ロードビーム１２０は、ロードビーム１２０の先端側に位置するタブ１２２と、第１圧電素子開口１２９と、を含む。

　図１９に示すように、ロードビーム１２０は、ベース部１２３と、ビーム平坦部１２４と、一対のエッジ部１２５と、ヒンジ部１２６と、を含んでいる。

　ベース部１２３は、ロードビーム１２０の根元に位置する。ベース部１２３の第１面１２０ａに図示しないベースプレートが接合される。ベース部１２３に、第１圧電素子開口１２９が形成されている。

　ビーム平坦部１２４は、ベース部１２３よりもロードビーム１２０の先端１２０ｐに近い位置に位置する。ビーム平坦部１２４は、長手方向Ｄ１１に延びる。ビーム平坦部１２４は、ロードビーム１２０の先端１２０ｐに向かって、概略的に先細状に延びる。ビーム平坦部１２４は、平坦状に形成される。ビーム平坦部１２４は、厳密に平坦状に形成されていることに限られることはなく、エッジ部１２５のような意図的に折り曲げた部分を含んでいない部分である。

　ビーム平坦部１２４に、治具孔１２７が形成される。治具孔１２７は、後述するヒンジ部１２６よりもロードビーム１２０の先端１２０ｐに近い位置にある。ビーム平坦部１２４には、レーザーダイオード素子（図示せず）が収容されるレーザーダイオード素子開口１２８が形成される。レーザーダイオード素子開口１２８は、治具孔１２７よりもロードビーム１２０の先端１２０ｐに近い位置にある。レーザーダイオード素子は、磁気ヘッド１２に取り付けられ、レーザーダイオード素子開口１２８を貫通するように設置される。

　図１９に示すように、エッジ部１２５は、平面視で短手方向Ｄ１２におけるビーム平坦部１２４の両側に位置する。エッジ部１２５は、ビーム平坦部１２４に対して折り曲げられた部分である。エッジ部１２５は、第１面１２０ａを内側にした折り曲げ形状を有している。

　図１９に示すように、ヒンジ部１２６は、ベース部１２３とビーム平坦部１２４との間に位置する。ヒンジ部１２６は、ベース部１２３とビーム平坦部１２４とを接続する。ヒンジ部１２６は、第２面１２０ｂを内側にして、磁気ヘッド１２が磁気ディスク３に近づくように折り曲げられている。ヒンジ部１２６は、曲げ剛性を小さくするように形成されている。より具体的には、ヒンジ部１２６は、一対のヒンジビーム１２６ａを含んでおり、ベース部１２３とビーム平坦部１２４とは、一対のヒンジビーム１２６ａによって接続される。一対のヒンジビーム１２６ａは、短手方向Ｄ１２に互いに離間しており、一対のヒンジビーム１２６ａの間に、開口が形成されている。これにより、磁気ディスク３の回転により生じた気流の影響をビーム平坦部１２４が受けると、ヒンジ部１２６が弾性変形して、磁気ヘッドが磁気ディスク３に対して所望のフライングハイトを維持できる。ヒンジ部１２６の折り曲げ線（図示せず）は、短手方向Ｄ１２に沿っている。ヒンジ部１２６は、短手方向Ｄ１２に沿って平坦状に形成されている。

　図１９に示すように、タブ１２２は、ビーム平坦部１２４から、ロードビーム１２０の先端１２０ｐまで長手方向Ｄ１１に細長状に延びる。タブ１２２の先端は、ロードビーム１２０の先端１２０ｐを構成する。タブ１２２は、上述したランプ７にサスペンション５が退避した場合に、ランプ７に支持される。タブ１２２は、長手方向Ｄ１１に直交する断面において、第１面１２０ａを内側にした湾曲形状を有していてもよい。

　第１圧電素子開口１２９は、ロードビーム１２０に第１圧電素子ＰＺ１を搭載するための第１圧電素子ＰＺ１用の開口である。第１圧電素子開口１２９は、ベース部１２３に形成されており、ベース部１２３を貫通する。第１圧電素子開口１２９は、ヒンジ部１２６に対してロードビーム１２０の先端１２０ｐとは反対側に位置する。第１圧電素子開口１２９は、平面視で、長手方向Ｄ１１及び短手方向Ｄ１２に沿うように矩形状に形成される。第１圧電素子ＰＺ１は、第１圧電素子開口１２９に重なるようにロードビーム１２０の第１面１２０ａに接合される。第１圧電素子ＰＺ１とフレキシャ１１の配線とが、第１圧電素子開口１２９に位置する接続部（図示せず）を介して電気的に接続される。

　図１９に示すように、ベース部１２３には、２つの第１圧電素子開口１２９が形成されている。２つの第１圧電素子開口１２９は、平面視で中心軸線ＣＬに対して対称に位置していてもよい。

　図２０に示すように、ビーム平坦部１２４の最大厚さｔ１１は、例えば、２５．０μｍ以上３５．０μｍ以下であってもよい。最大厚さｔ１１を２５．０μｍ以上にすることにより、ロードビーム１２０の機械的強度を確保でき、ロードビーム１２０が塑性変形する可能性を低減できる。最大厚さｔ１１を３５．０μｍ以下にすることにより、ロードビーム１２０の厚さを低減できる。このため、サスペンション５の厚さを低減でき、ハードディスクドライブ１の厚さ低減に貢献できる。最大厚さｔ１１を３５．０μｍ以下にすることにより、ランプ７の収容空間７ａに収容されたタブ１２２の後述する離間距離Ｘ１１（図１８参照）を増加でき、２つのタブ１２２が互いに接触する可能性を低減できる。例えば、最大厚さｔ１１は、２５．０μｍ以上３０．０μｍ以下であってもよく、２７．０μｍ以上３０．０μｍ以下であってもよく、２９．０μｍ以上３０．０μｍ以下であってもよい。最大厚さｔ１１は、第１面１２０ａの法線方向Ｄ１３におけるビーム平坦部１２４の寸法であり、ビーム平坦部１２４における第１面１２０ａと第２面１２０ｂとの間の距離である。

　次に、タブ１２２について説明する。

　図２０及び図２２に示すように、タブ１２２は、ビーム平坦部１２４から、ロードビーム１２０の先端１２０ｐまで長手方向Ｄ１１に細長状に延びている。タブ１２２の先端が、ロードビーム１２０の先端１２０ｐを構成している。

　タブ１２２は、タブ第１面１２２ａと、タブ第２面１２２ｂと、を含んでいてもよい。タブ第１面１２２ａは、ロードビーム１２０の第１面１２０ａに接続されている。タブ第１面１２２ａは、第１面１２０ａから連続して形成されている。タブ第２面１２２ｂは、タブ第１面１２２ａの反対側に位置している。タブ第２面１２２ｂは、ロードビーム１２０の第２面１２０ｂに接続されている。タブ第１面１２２ａは、第２面１２０ｂから連続して形成されている。

　タブ１２２は、ビーム平坦部１２４と一体に形成されている。タブ１２２は、長手方向Ｄ１１に直交する断面において湾曲形状を有する。タブ１２２は、タブ第１面１２２ａを内側に湾曲している。タブ１２２は、中心軸線ＣＬを含むとともにビーム平坦部１２４に垂直な断面においても、タブ第１面１２２ａを内側にした湾曲形状を有している。タブ１２２は、全体的に湾曲状に形成された断面形状を有している。タブ１２２は、タブ第２面１２２ｂが外側となるよう湾曲している。図１８に示すように、上述したランプ７のランプ支持部７ｂにタブ第２面１２２ｂの一部が当接する。

　図２１に示すように、タブ１２２の幅ｗ１１は、長手方向Ｄ１１に直交する断面で見たときに、タブ１２２の短手方向Ｄ１２に沿った寸法として規定される。例えば、幅ｗ１１は、２００μｍ以上３５０μｍ以下であってもよい。

　図２１に示すように、長手方向Ｄ１１に直交する断面において、タブ１２２は短手方向Ｄ１２の端部１２２ｄと、短手方向Ｄ１２の中央部１２２ｃとを有する。中央部１２２ｃは、両端部１２２ｄの間で短手方向Ｄ１２の中央に位置する。中央部１２２ｃは、タブ第２面１２２ｂであって、上記タブ１２２の幅ｗ１１の１／２となる位置に存在する。端部１２２ｄは、タブ第１面１２２ａ又はタブ第２面１２２ｂにおける短手方向Ｄ１２に最も外側の位置であって、後述するタブ１２２の厚さｔ１２を規定できる位置をいう。図２１において、端部１２２ｄは、タブ第１面１２２ａに存在する。端部１２２ｄは、タブ第２面１２２ｂに存在してもよく、タブ第１面１２２ａ及びタブ第２面１２２ｂの両方に存在してもよい。

　図２１に示すように、長手方向Ｄ１１に直交する断面において、タブ１２２の厚さｔ１２は、タブ１２２の中心線ＣＴに沿って均一でない。具体的には、タブ１２２の厚さｔ１２は、短手方向Ｄ１２の両端部１２２ｄよりも短手方向Ｄ１２の中央部１２２ｃが薄い。タブ１２２の厚さｔ１２とは、長手方向Ｄ１１に直交する断面において、タブ１２２の中心線ＣＴに垂直な方向における、タブ第１面１２２ａとタブ第２面１２２ｂとの間の距離をいう。またタブ１２２の中心線ＣＴと、長手方向Ｄ１１に直交する断面において、タブ１２２に内接する円ＲＴの中心点の軌跡をいう。

　短手方向Ｄ１２の端部１２２ｄにおけるタブ１２２の厚さｔ１２は、例えば、２５．０μｍ以上３５．０μｍ以下であってもよい。短手方向Ｄ１２の中央部１２２ｃにおけるタブ１２２の厚さｔ１２は、短手方向Ｄ１２の端部１２２ｄにおけるタブ１２２の厚さｔ１２の３０％以上８５％以下であってもよく、３０％以上５０％以下であってもよい。短手方向Ｄ１２の中央部１２２ｃにおけるタブ１２２の厚さｔ１２は、１０μｍ以上２５μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上１５μｍ以下であってもよい。図２１に示す例においては、中央部１２２ｃは中央平坦面１２２ｆに位置し、中央平坦面１２２ｆは、中央部１２２ｃを跨がるように形成されている。

　本実施の形態において、タブ第２面１２２ｂは、２つの外側湾曲面１２２ｅと、中央平坦面１２２ｆとを有する。中央平坦面１２２ｆは、２つの外側湾曲面１２２ｅの間に位置する。中央平坦面１２２ｆは、平坦状に形成されている。中央平坦面１２２ｆは、中央面の一例である。中央平坦面１２２ｆは、外側湾曲面１２２ｅと非連続に形成されていてもよい。外側湾曲面１２２ｅは、それぞれタブ第１面１２２ａ側を内側にして湾曲する。長手方向Ｄ１１に直交する断面において、外側湾曲面１２２ｅは円弧状であってもよい。長手方向Ｄ１１に直交する断面において、外側湾曲面１２２ｅの曲率半径Ｒｃは、１００μｍ以上２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以上１５０μｍ以下であってもよい。長手方向Ｄ１１に直交する断面において、中央平坦面１２２ｆは、直線状に延びる。中央部１２２ｃは、中央平坦面１２２ｆに位置する。短手方向Ｄ１２における中央平坦面１２２ｆの幅ｗ１２は、タブ１２２の幅ｗ１１の２０％以上７０％以下であってもよく、４０％以上７０％以下であってもよい。短手方向Ｄ１２における中央平坦面１２２ｆの幅ｗ１２は、６０μｍ以上２００μｍ以下であってもよく、１２０μｍ以上２００μｍ以下であってもよい。

　タブ１２２の厚さｔ１２は、外側湾曲面１２２ｅに対応する領域で均一であってもよい。タブ１２２の厚さｔ１２は、中央平坦面１２２ｆに対応する領域で不均一であってもよい。中央平坦面１２２ｆに対応する領域において、タブ１２２の厚さｔ１２は、外側湾曲面１２２ｅ側から中央部１２２ｃ側に向けて徐々に薄くなってもよい。

　タブ１２２の最大高さｔ１３は、例えば、５０μｍ以上１００μｍ以下であってもよい。タブ１２２の最大高さｔ１３を５０μｍ以上にすることにより、タブ１２２の機械的強度を確保でき、タブ１２２が塑性変形する可能性を低減できる。最大高さｔ１３を１００μｍ以下とすることにより、タブ１２２の厚さを低減できる。これにより、ランプ７の収容空間７ａに収容されたタブ１２２の離間距離Ｘ１１（図１８参照）を増加でき、２つのタブ１２２同士が互いに接触する可能性を低減できる。最大高さｔ１３は、第１面１２０ａの法線方向Ｄ１３におけるタブ１２２の寸法であり、法線方向Ｄ１３におけるタブ第１面１２２ａとタブ第２面１２２ｂとの間の最大距離である。

　図２２に示すように、タブ１２２は、根元領域１２２Ｒ１と、本体領域１２２Ｒ２と、先端領域１２２Ｒ３と、を含んでいてもよい。根元領域１２２Ｒ１は、ビーム平坦部１２４に隣接する領域である。本体領域１２２Ｒ２は、根元領域１２２Ｒ１に対してビーム平坦部１２４とは反対側に位置する領域である。本体領域１２２Ｒ２は、根元領域１２２Ｒ１と先端領域１２２Ｒ３との間に位置する。先端領域１２２Ｒ３は、ロードビーム１２０の先端１２０ｐを含む領域である。先端領域１２２Ｒ３は、本体領域１２２Ｒ２に対してビーム平坦部１２４とは反対側に位置する領域である。先端領域１２２Ｒ３は、平面視で、半円状に形成されていてもよい。先端領域１２２Ｒ３の先端は、ロードビーム１２０の先端１２０ｐに対応している。根元領域１２２Ｒ１と本体領域１２２Ｒ２は、長手方向Ｄ１１における所望の位置を境界として区画されてもよい。例えば、本体領域１２２Ｒ２及び先端領域１２２Ｒ３は、ロードビーム１２０のタブ１２２が上述したランプ７の収容空間７ａに収容された場合に、平面視でランプ支持部７ｂに重なる領域であってもよい。根元領域１２２Ｒ１は、平面視でランプ支持部７ｂに重ならない領域であってもよい。

　上述した中央平坦面１２２ｆは、根元領域１２２Ｒ１、本体領域１２２Ｒ２および先端領域１２２Ｒ３に形成されていてもよい。中央平坦面１２２ｆは、長手方向Ｄ１１に延びて、根元領域１２２Ｒ１から先端領域１２２Ｒ３にわたって連続状に形成されていてもよい。

　次に、上述したロードビーム１２０を作製するためのロードビームブランク板１６０について図２３および図２４Ｄを用いて説明する。

　図２３は、ロードビーム１２０を作製するためのロードビームブランク板１６０の断面図である。図２３の断面図は、図２０に示す断面図に対応する。ロードビームブランク板１６０は、上述したエッジ部１２５を折り曲げる前の形態であり、板状の部材１６０Ａ（後述）をフォトリソグラフィー技術（ウェットエッチング）により加工したもので全体的に平坦状に形成される。

　ロードビームブランク板１６０は、平面視で、ロードビームブランク板１６０の先端に向かって先細状に長手方向Ｄ１１に延びるブランク板本体１６１と、ブランク板タブ１６２（図２４Ｄ参照）と、を含んでいる。ロードビームブランク板１６０の先端は、ロードビーム１２０の先端１２０ｐに対応する。ブランク板本体１６１は、平坦状に形成されており、上述したベース部１２３、ビーム平坦部１２４、エッジ部１２５およびヒンジ部１２６に対応している。ブランク板本体１６１を折り曲げ線（図示せず）で折り曲げることにより、ビーム平坦部１２４と、エッジ部１２５とが区分けされる。ブランク板本体１６１には、上述した治具孔１２７、レーザーダイオード素子開口１２８及び第１圧電素子開口１２９が形成される。

　ロードビームブランク板１６０は、ロードビームブランク板１６０を囲むフレーム（図示せず）に支持されていてもよい。ロードビームブランク板１６０がフレームに支持された状態で折り曲げられることにより、本実施の形態によるロードビーム１２０が得られてもよい。この場合、ロードビーム１２０は、フレームに支持されていてもよい。フレームには、複数のロードビームブランク板１６０が支持されていてもよい。この場合、多面付のロードビーム１２０を作製できる。多面付のロードビーム１２０とは、１つのフレームに複数のロードビーム１２０が支持されている形態を意味する。

　ロードビームブランク板１６０においては、図２３に示すように、第１面１２０ａ及び第２面１２０ｂはそれぞれ平坦状に形成される。第１面１２０ａ及び第２面１２０ｂは、互いに平行になっていてもよい。上述したヒンジ部１２６も折り曲げ前の形態であり、短手方向Ｄ１２だけでなく長手方向Ｄ１１に沿っても平坦状に形成される。

　ロードビームブランク板１６０の厚さは、ビーム平坦部１２４の最大厚さｔ１１と等しい。

　図２４Ｄに示すように、ブランク板タブ１６２のタブ第１面１２２ａおよびタブ第２面１２２ｂは、平坦状に形成されている。ブランク板タブ１６２は、薄肉部１６３（図２４Ｄ参照）を含んでいる。薄肉部１６３は、短手方向Ｄ１２の両端部の間の中央部に位置しており、タブ１２２の中央平坦面１２２ｆに対応する部分に形成される。薄肉部１６３は、タブ第２面１２２ｂから凹むように形成されている。

　ロードビーム１２０及びロードビームブランク板１６０は、板状の部材により構成されていてもよい。ロードビーム１２０は、例えば、金属材料で形成されていてもよく、ステンレス材料により形成されていてもよい。ステンレス材料は例えば、鉄、クロム及びニッケルを主成分とする金属材料である。ステンレス材料としては例えば、オーステナイト系ステンレス材料、フェライト系ステンレス材料、マルテンサイト系ステンレス材料等を挙げることができる。またステンレス材料としては、例えばＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３０１、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ４３０等を挙げることができる。

　（ロードビームの製造方法）
　次に、このような構成からなる本実施の形態によるロードビーム１２０の製造方法について図２４Ａ～図２４Ｅを用いて説明する。図２４Ａ～図２４Ｅは、ロードビーム１２０のタブ１２２の断面図であり、図２０に対応する図である。

　まず図２４Ａに示すように、平坦な板状の部材１６０Ａを準備する。例えば、板状の部材１６０Ａは、上述した厚さｔ１１を有する圧延材であってもよい。

　続いて、図２４Ｂに示すように、フォトリソグラフィー技術によって、板状の部材１６０Ａのタブ第２面１２２ｂに、パターン状のレジスト層１６１Ｂを形成する。タブ第１面１２２ａには、全面にレジスト層１６１Ａが形成される。

　次に、ウェットエッチングによりロードビームブランク板１６０の外形が形成されるとともに、治具孔１２７、レーザーダイオード素子開口１２８及び第１圧電素子開口１２９が形成される。このとき、図２４Ｃに示すように、板状の部材１６０Ａのタブ第２面１２２ｂがハーフエッチングされて、薄肉部１６３が形成される。薄肉部１６３は、タブ１２２の中央平坦面１２２ｆに対応する部分に形成される。ハーフエッチングとは、被エッチング材料をその厚さ方向に途中までエッチングすることをいう。薄肉部１６３の深さは、ハーフエッチング前の板状の部材１６０Ａの厚さｔ１１の例えば１０％以上６０％以下であってもよく、２０％以上５０％以下であってもよい。その後、レジスト層１６１Ａ、１６１Ｂを剥離除去する。

　次に、レジスト層１６１Ａおよびレジスト層１６１Ｂが除去される。このことにより、図２４Ｄに示すブランク板タブ１６２を含むロードビームブランク板１６０が得られる。

　次に、ロードビームブランク板１６０のブランク板本体１６１を折り曲げることにより、図１９に示すエッジ部１２５が形成される。また、図２４Ｅに示すように、ブランク板タブ１６２を成形加工してタブ１２２が形成される。成形加工としては、例えば金型を用いたプレス加工であってもよい。この場合、薄肉部１６３の反対側の面、すなわちタブ第１面１２２ａが内側に向くようにタブ１２２に対応する部分を湾曲させる。これにより、薄肉部１６３の内面が、タブ第２面１２２ｂの中央平坦面１２２ｆを形成する。中央平坦面１２２ｆは、金型の形状によって形成されてもよい。短手方向Ｄ１２における中央平坦面１２２ｆの両側に、凹部１６４が形成される。これらの凹部１６４は、図２４Ｄに示す薄肉部１６３の両端部が成形加工後に残ることによって形成される。

　これにより、湾曲状に形成された断面形状を有するタブ１２２が形成される。タブ１２２の厚さｔ１２は、短手方向Ｄ１２の両端部１２２ｄよりも短手方向Ｄ１２の中央部１２２ｃの方が薄くなる。このようにして、本実施の形態によるロードビーム１２０が得られる。

　次いで、ロードビーム１２０に、フレキシャ１１（図１９参照）が接合されて、サスペンション５が作製される。フレキシャ１１には、予め、第２圧電素子ＰＺ２が接合されている。フレキシャ１１がロードビーム１２０に接合された後、ロードビーム１２０の第１圧電素子開口１２９に、第１圧電素子ＰＺ１が重ねられて、第１圧電素子ＰＺ１がロードビーム１２０の第１面１２０ａに接合される。

　その後、フレキシャ１１の先端部に磁気ヘッド１２が実装され、磁気ヘッド１２にレーザーダイオード素子が取り付けられる。サスペンション５が図１７に示すケース２に取り付けられると、ハードディスクドライブ１が得られる。

　このようにして作製されたハードディスクドライブ１においては、磁気ディスク３が高速で回転する。また、ポジショニング用のボイスコイルモータ６によって、サスペンション５が磁気ディスク３の径方向に移動する。これにより磁気ヘッド１２が磁気ディスク３の所望位置に移動する。磁気ディスク３の回転停止時には、サスペンション５は、磁気ディスク３から退避する。退避位置において、ロードビーム１２０の先端に位置するタブ１２２がランプ７に収容される。

　本実施の形態において、タブ１２２の厚さｔ１２は、短手方向Ｄ１２の両端部１２２ｄよりも短手方向Ｄ１２の中央部１２２ｃの方が薄い。これにより、図１８に示すように、ランプ７の収容空間７ａに収容された２つのロードビーム１２０のタブ１２２が、互いに干渉する可能性を低減できる。すなわち、図１８に示すように、タブ１２２の中央部１２２ｃの厚さｔ１２が薄いことにより、２つのタブ１２２の離間距離Ｘ１１を増加できる。離間距離Ｘ１１は、図１８に示す断面で見たときに、２つのタブ１２２の最短距離である。このため、ランプ７の各収容空間７ａに収容された２つのタブ１２２が、互いに接触する可能性を低減できる。この結果、ハードディスクドライブ１内で、タブ１２２の欠損により異物が発生する可能性を低減できる。

　また本実施の形態によれば、図１８に示すように、ランプ７の収容空間７ａに収容される間、２つのタブ１２２が、傾斜部分７ｃに沿って徐々にタブ１２２同士の間隔を縮めながら退避部分７ｄに移動する必要がない。このため傾斜部分７ｃの勾配を緩くでき、タブ１２２と傾斜面７ｅとの摩擦を減らすことができる。また、タブ１２２の中央部１２２ｃが傾斜面７ｅと広い面積で接するため、２つのタブ１２２が傾斜部分７ｃに沿って退避部分７ｄに向けて移動する間、タブ１２２が上下に振動することが抑えられ、２つのタブ１２２が、互いに接触する可能性をより低減できる。

　また、本実施の形態によれば、タブ第２面１２２ｂは、２つの外側湾曲面１２２ｅと、中央平坦面１２２ｆとを有する。これにより、タブ１２２の中央平坦面１２２ｆが傾斜面７ｅに対してより広い面積で接する。このため、２つのタブ１２２が傾斜部分７ｃに沿って退避部分７ｄに向けて移動する間、タブ１２２が上下に振動することが抑えられ、２つのタブ１２２が、互いに接触する可能性を低減できる。

　（変形例６）
　上述した本実施の形態においては、タブ第２面１２２ｂは、２つの外側湾曲面１２２ｅと、中央平坦面１２２ｆとを有する例について説明した。しかしながら、本実施の形態は、このことに限られることはない。例えば、図２５に示すように、タブ第２面１２２ｂは、２つの外側湾曲面１２２ｅと、中央湾曲面１２２ｇとを有してもよい。中央湾曲面１２２ｇは、２つの外側湾曲面１２２ｅの間に位置する。外側湾曲面１２２ｅ及び中央湾曲面１２２ｇは、それぞれタブ第１面１２２ａを内側にして湾曲する。中央湾曲面１２２ｇは、湾曲状に形成されている。中央湾曲面１２２ｇは、中央面の一例である。中央湾曲面１２２ｇは、金型の形状によって形成されてもよい。長手方向Ｄ１１に直交する断面において、外側湾曲面１２２ｅ及び中央湾曲面１２２ｇはそれぞれ円弧状であってもよい。長手方向Ｄ１１に直交する断面において、中央湾曲面１２２ｇの曲率半径Ｒｄは、１００μｍ以上２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以上１５０μｍ以下であってもよい。中央湾曲面１２２ｇの曲率半径Ｒｄは、外側湾曲面１２２ｅの曲率半径Ｒｃよりも大きい（Ｒｄ＞Ｒｃ）。中央部１２２ｃは、中央湾曲面１２２ｇに位置する。図２５に示す例においては、中央部１２２ｃは中央湾曲面１２２ｇに位置し、中央湾曲面１２２ｇは、中央部１２２ｃを跨がるように形成されている。外側湾曲面１２２ｅから中央湾曲面１２２ｇにわたって、曲率半径Ｒｄは非連続に変化していてもよい。この場合、中央湾曲面１２２ｇは、外側湾曲面１２２ｅと非連続に形成されていてもよい。

　（変形例７）
　上述した本実施の形態においては、板状の部材１６０Ａに薄肉部１６３を形成した後、板状の部材１６０Ａのタブ１２２に対応する部分を湾曲させる例について説明した。しかしながら、本実施の形態は、このことに限られることはない。例えば、図２６Ａ～図２６Ｃに示すように、まず板状の部材１６０Ａのタブ１２２に対応する部分を湾曲させ、その後、タブ第２面１２２ｂの中央部１２２ｃに対応する部分を平坦化し、中央平坦面１２２ｆを形成してもよい。

　この場合、まず図２６Ａに示すように、平坦な板状の部材１６０Ａを準備する。

　次に、図２６Ｂに示すように、板状の部材１６０Ａのタブ１２２に対応する部分を成形加工する。成形加工としては、例えば金型を用いたプレス加工であってもよい。この場合、タブ第１面１２２ａが内側に向くようにタブ１２２に対応する部分を湾曲させる。これにより、全体的に湾曲状に形成された断面形状を有するタブ１２２が形成される。

　次いで、図２６Ｃに示すように、板状の部材１６０Ａのタブ第２面１２２ｂを成形加工する。成形加工としては、例えば、図２６Ｂに示す成形加工で用いた金型とは異なる金型を用いたプレス加工であってもよい。これにより、タブ第２面１２２ｂの中央部１２２ｃを含む領域を薄肉化する。具体的には、タブ第２面１２２ｂの中央部１２２ｃを含む領域を平坦化し、タブ第２面１２２ｂに中央平坦面１２２ｆを形成してもよい。中央平坦面１２２ｆは、金型の形状によって形成されてもよい。このとき、タブ１２２の厚さｔ１２は、短手方向Ｄ１２の両端部１２２ｄよりも短手方向Ｄ１２の中央部１２２ｃの方が薄くなる。このようにして、本実施の形態によるロードビーム１２０が得られる。

　（変形例８）
　上述した本実施の形態においては、タブ１２２を湾曲状に成形加工する工程の後に、薄肉部１６３を形成する工程を行う例について説明した。しかしながら、本実施の形態は、このことに限られることはない。例えば、タブ１２２を湾曲状に成形加工すると同時に、薄肉部１６３を形成する工程を行ってもよい。言い換えると、タブ１２２を湾曲状に成形加工する工程と、薄肉部１６３を形成する工程は同時に行われてもよい。この場合、金型は、タブ１２２を湾曲状に成形加工できるとともに薄肉部１６３を形成できるように構成されていてもよい。

（第３の実施の形態）
　次に、図２７～図３７を用いて、本開示の第３の実施の形態によるロードビームおよびロードビームブランク板について説明する。

　図２７～図３７に示す第３の実施の形態においては、エッジ部が、エッジ傾斜部よりもタブに近い位置に位置するエッジ湾曲部を含んでいる点が主に異なる。他の構成は、図１～図１６に示す第１の実施の形態と略同一である。図２７～図３７において、図１～図１６に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

　近年のハードディスクドライブでは、記録容量を増大させるために、プラッタとも称される磁気ディスクの枚数を増大させている。

　しかしながら、磁気ディスクの枚数が増大すると、磁気ディスク同士が近づく。この場合、磁気ディスク回転時にケース内部で生じる内部気流が乱れて、サスペンションの先端から根元に向かう方向の気流が流入する可能性が考えられる。このため、磁気ヘッドの浮上姿勢が変化し得る。この場合、磁気ディスクに対する磁気ヘッドの位置決め精度が低下し得る。

　本開示は、磁気ヘッドの浮上姿勢の変化を低減できるロードビームおよびロードビームブランク板を提供することを目的とする。

　以下、本実施の形態について説明する。

　まず、本開示の第３の実施の形態によるロードビームおよびロードビームブランク板について、図２７～図３７を用いて説明する。まず、図２７を用いて、本実施の形態によるロードビーム２２０を含むサスペンション５が用いられるハードディスクドライブ１について説明する。

　図２７に示すように、ハードディスクドライブ１は、ケース２と、磁気ディスク３と、スピンドルモータ４と、サスペンション５と、ボイスコイルモータ６と、ランプ７と、を含んでいる。磁気ディスク３は、データを記憶するように構成されている。磁気ディスク３は、ケース２に回転可能に取り付けられており、スピンドルモータ４によって回転するように構成されている。サスペンション５は、フレキシャと、ロードビーム２２０と、を含んでいる。フレキシャの先端部に磁気ヘッド（図示せず）が実装されている。磁気ヘッドは、磁気ディスク３に対してデータの書き込みおよび読み取りを行うように構成されている。ロードビーム２２０は、データの書き込みおよび読み取り時に、磁気ヘッドが磁気ディスク３に対して所望のフライングハイトを保つように、磁気ヘッドおよびフレキシャの先端部を支持している。サスペンション５は、ボイスコイルモータ６によって回動し、磁気ヘッドが、磁気ディスク３の所望の位置に移動可能になっている。

　図２７に示すハードディスクドライブ１は、記録密度の向上を図るために、複数の磁気ディスク３と、複数のサスペンション５と、を含んでいる。各々の磁気ディスク３の上面および下面に対して、サスペンション５の磁気ヘッドがデータの書き込みおよび読み取りを行うように構成されている。

　ランプ７は、ケース２内における磁気ディスク３の近傍に位置している。磁気ディスク３の回転停止時には、複数のサスペンション５は一体となって、磁気ディスク３から退避する。退避位置において、ロードビーム２２０の先端２２０ｐに位置するタブ２２２（図２９、後述）がランプ７に収容される。ランプ７は、タブ２２２を支持するように構成されている。より具体的には、図２８に示すように、ランプ７は、複数のランプ支持部７ｂを含んでおり、隣り合う２つのランプ支持部７ｂの間に、タブ２２２を収容する収容空間７ａが画定されている。収容空間７ａに収容されたタブ２２２は、ランプ支持部７ｂに接触して支持される。

　１つの収容空間７ａには、２つのタブ２２２が収容される。各々のタブ２２２は、対向するランプ支持部７ｂに支持される。この際、２つのタブ２２２は、互いに近づく方向に押圧される。

　次に、本実施の形態によるロードビーム２２０について説明する。

　図２９に示すように、ロードビーム２２０は、上述した磁気ヘッドおよびフレキシャを支持するように構成されている。磁気ヘッドは、フレキシャの先端部に実装される。ロードビーム２２０は、第１方向Ｄ２１に沿う中心軸線ＣＬを有している。第１方向Ｄ２１は、平面視において、ロードビーム２２０の根元から先端２２０ｐに向かう方向である。ロードビーム２２０の根元は、図２９におけるロードビーム２２０の下部に相当し、ロードビーム２２０の先端２２０ｐは、図２９におけるロードビーム２２０の上部に相当する。平面視で、第１方向Ｄ２１に直交する方向を第２方向Ｄ２２とする。平面視とは、ロードビーム２２０を、後述するビーム平坦部２２４の第１面２２１ａの法線方向で見た場合を意味する。

　図２９に示すように、ロードビーム２２０は、ロードビーム２２０の先端２２０ｐに向かって先細状に第１方向Ｄ２１に延びるビーム本体２２１と、ロードビーム２２０の先端２２０ｐに位置するタブ２２２と、を含んでいる。タブ２２２は、ビーム本体２２１から先端２２０ｐまで第１方向Ｄ２１に延びている。

　図３０に示すように、ビーム本体２２１は、第１面２２１ａと、第１面２２１ａとは反対側に位置する第２面２２１ｂと、を含んでいる。第１面２２１ａは、図３０における上面に相当し、第２面２２１ｂは、図３０における下面に相当する。第１面２２１ａおよび第２面２２１ｂはそれぞれ、後述するビーム平坦部２２４からエッジ部２２５にわたって形成されている。

　図２９に示すように、ビーム本体２２１は、ベース部２２３と、ビーム平坦部２２４と、一対のエッジ部２２５と、ヒンジ部２２６と、を含んでいてもよい。ベース部２２３、ビーム平坦部２２４、エッジ部２２５およびヒンジ部２２６は、第１面２２１ａから第２面２２１ｂまで形成されている。

　ベース部２２３は、ロードビーム２２０の根元に位置している。ベース部２２３の第１面２２１ａに、図示しないベースプレートが接合される。ベース部２２３は、一対の側縁２２３ａを含んでいてもよい。側縁２２３ａは、第１方向Ｄ２１に沿って延びていてもよい。ベース部２２３に、図示しない圧電素子を実装するための圧電素子開口２２９が形成されていてもよい。しかしながら、ベース部２２３には、圧電素子開口２２９が形成されていなくてもよい。

　ビーム平坦部２２４は、ベース部２２３よりもロードビーム２２０の先端２２０ｐに近い位置に位置していてもよい。ビーム平坦部２２４は、第１方向Ｄ２１に延びていてもよい。ビーム平坦部２２４は、タブ２２２に向かって、先細状に延びていてもよい。ビーム平坦部２２４は、平坦状に形成されていてもよい。ビーム平坦部２２４は、厳密に平坦状に形成されていることに限られることはなく、エッジ部２２５のような意図的に折り曲げた部分を含んでいない部分である。

　本実施の形態によるビーム平坦部２２４は、一対の湾曲肩部２２４ａを含んでいてもよい。湾曲肩部２２４ａは、後述するエッジ湾曲部２３１に隣接していてもよい。湾曲肩部２２４ａの外縁は、エッジ湾曲部２３１と同様に湾曲していてもよい。ビーム平坦部２２４が、湾曲肩部２２４ａを含むことにより、エッジ湾曲部２３１が形成されている。

　ビーム平坦部２２４に、治具孔２２７が形成されていてもよい。治具孔２２７は、後述するヒンジ部２２６よりもロードビーム２２０の先端２２０ｐに近い位置に位置していてもよい。治具孔２２７は、後述するレーザーダイオード素子開口２２８に対してロードビーム２２０の先端２２０ｐとは反対側に位置していてもよい。治具孔２２７は、ビーム本体２２１の第１面２２１ａから第２面２２１ｂまで延びていてもよく、ビーム本体２２１を貫通していてもよい。

　ビーム平坦部２２４には、後述するレーザーダイオード素子（図示せず）が収容されるレーザーダイオード素子開口２２８が形成されていてもよい。レーザーダイオード素子開口２２８は、治具孔２２７よりもロードビーム２２０の先端２２０ｐに近い位置に位置していてもよい。レーザーダイオード素子開口２２８は、ビーム本体２２１の第１面２２１ａから第２面２２１ｂまで延びていてもよく、ビーム本体２２１を貫通していてもよい。レーザーダイオード素子は、磁気ヘッドに、レーザーダイオード素子開口２２８を貫通するように取り付けられる。

　図２９および図３０に示すように、エッジ部２２５は、平面視で第２方向Ｄ２２におけるビーム平坦部２２４の両側に位置していてもよい。エッジ部２２５は、ビーム平坦部２２４に対して折り曲げられた部分であってもよい。エッジ部２２５は、第１面２２１ａを内側にした折り曲げ形状を有していてもよい。

　図２９に示すように、ヒンジ部２２６は、ベース部２２３とビーム平坦部２２４との間に位置していてもよい。ヒンジ部２２６は、ベース部２２３とビーム平坦部２２４とを接続していていてもよい。ヒンジ部２２６は、第２面２２１ｂを内側にして、磁気ヘッドが磁気ディスク３に近づくように折り曲げられていてもよい。ヒンジ部２２６は、曲げ剛性を小さくするように形成されていてもよい。より具体的には、ヒンジ部２２６は、一対のヒンジビーム２２６ａを含んでいてもよく、ベース部２２３とビーム平坦部２２４とは、一対のヒンジビーム２２６ａで接続されていてもよい。一対のヒンジビーム２２６ａは、第２方向Ｄ２２において互いに離間しており、一対のヒンジビーム２２６ａの間に、開口が形成されていてもよい。この場合、磁気ディスク３の回転により生じた気流の影響をビーム平坦部２２４が受けると、ヒンジ部２２６が弾性変形して、磁気ヘッドが磁気ディスク３に対して所望のフライングハイトを維持できる。ヒンジ部２２６の折曲線（図示せず）は、第２方向Ｄ２２に沿っていてもよく、ヒンジ部２２６は、第２方向Ｄ２２に沿って平坦状に形成されていてもよい。

　図２９に示すように、タブ２２２は、ビーム本体２２１のビーム平坦部２２４から、ロードビーム２２０の先端２２０ｐまで第１方向Ｄ２１に細長状に延びていてもよい。タブ２２２の先端は、ロードビーム２２０の先端２２０ｐを構成していてもよい。タブ２２２は、上述したランプ７にサスペンション５が退避した場合に、ランプ７のランプ支持部７ｂに支持される。タブ２２２は、第１方向Ｄ２１に直交する断面において、第１面２２１ａを内側にした湾曲形状を有していてもよい。

　図３０に示すように、ビーム平坦部２２４の厚さｔ２１は、例えば、２５．０μｍ以上３５．０μｍ以下であってもよい。厚さｔ２１を２５．０μｍ以上にすることにより、ロードビーム２２０の機械的強度を確保でき、ロードビーム２２０が塑性変形する可能性を低減できる。厚さｔ２１を３５．０μｍ以下にすることにより、ロードビーム２２０の厚さを低減できる。このため、サスペンション５の厚さを低減でき、ハードディスクドライブ１の厚さ低減に貢献できる。例えば、厚さｔ２１は、２５．０μｍ以上３０．０μｍ以下であってもよく、２７．０μｍ以上３０．０μｍ以下であってもよく、２９．０μｍ以上３０．０μｍ以下であってもよい。厚さｔ２１は、第１面２２１ａの法線方向におけるビーム平坦部２２４の寸法であり、ビーム平坦部２２４における第１面２２１ａと第２面２２１ｂとの間の距離である。

　図２９および図３１に示すように、本実施の形態によるロードビーム２２０のエッジ部２２５は、エッジ傾斜部２３０と、エッジ湾曲部２３１と、を含んでいてもよい。

　エッジ傾斜部２３０は、平面視で第１方向Ｄ２１に対して傾斜した方向に延びている。エッジ傾斜部２３０は、直線状に延びていてもよい。図２９に示す例では、エッジ傾斜部２３０は、ビーム平坦部２２４のヒンジ部２２６に近い端部から、エッジ湾曲部２３１まで延びていてもよい。

　図３０および図３１に示すように、エッジ傾斜部２３０はエッジ傾斜端面２３２を含んでいる。エッジ傾斜端面２３２は、第１面２２１ａと第２面２２１ｂとに接続されている。エッジ傾斜端面２３２は、第１方向Ｄ２１に対して傾斜した方向に延びていてもよい。エッジ傾斜端面２３２は、直線状に延びていてもよい。エッジ傾斜端面２３２は、後述するブランク板本体２６１のブランク板傾斜端面２６３に対応している。

　図２９および図３１に示すように、エッジ湾曲部２３１は、エッジ傾斜部２３０よりもタブ２２２に近い位置に位置している。エッジ湾曲部２３１は、ビーム本体２２１の先端部に位置している。エッジ湾曲部２３１は、タブ２２２に接続されていてもよい。エッジ湾曲部２３１は、エッジ傾斜部２３０から連続して形成されるとともに、平面視でビーム本体２２１の外側に向かって凸となるように湾曲状に形成されている。

　図３１および図３２に示すように、エッジ湾曲部２３１は、エッジ湾曲端面２３３を含んでいる。エッジ湾曲端面２３３は、第１面２２１ａと第２面２２１ｂとに接続されている。エッジ湾曲端面２３３は、平面視で湾曲状に形成されていてもよい。エッジ湾曲端面２３３は、エッジ傾斜端面２３２から連続状に形成されていてもよい。エッジ湾曲端面２３３は、平面視でビーム本体２２１の外側に向かって凸となるように湾曲状に形成されていてもよい。図３１において右側に示すエッジ湾曲端面２３３は、エッジ湾曲部２３１において、ビーム本体２２１の右上に向かって凸となるように湾曲状に形成されている。図３１において左側に示すエッジ湾曲端面２３３は、エッジ湾曲部２３１において、ビーム本体２２１の左上に向かって凸となるように湾曲状に形成されている。

　図３２に示すように、断面視（後述）で、エッジ湾曲端面２３３は、直線状に形成されていてもよい。エッジ湾曲端面２３３は、第１面２２１ａおよび第２面２２１ｂに直交していてもよい。エッジ湾曲端面２３３と第１面２２１ａとが交わる角部は丸みを帯びていてもよい。エッジ湾曲端面２３３と第２面２２１ｂとが交わる角部は丸みを帯びていてもよい。このことにより、エッジ湾曲端面２３３が他の部材と引っ掛かる可能性を低減でき、他の部材を損傷させる可能性を低減できる。しかしながら、図示しないが、断面視で、エッジ湾曲端面２３３は、第１面２２１ａおよび第２面２２１ｂに傾斜してもよい。あるいは、エッジ湾曲端面２３３は、２つの湾曲面を含んでいてもよい。一方の湾曲面は、第１面２２１ａをエッチングすることにより形成されて、第１面２２１ａに接続されていてもよい。この湾曲面と第１面２２１ａとが交わる角部は、丸みを帯びていてもよい。他方の湾曲面は、第２面２２１ｂをエッチングすることにより形成されて、第２面２２１ｂに接続されていてもよい。この湾曲面と第２面２２１ｂとが交わる角部は、丸みを帯びていてもよい。エッジ湾曲端面２３３が２つの湾曲面を含んでいる場合、ロードビーム２２０の先端２２０ｐに流入する気流の乱れを低減でき、ロードビーム２２０の先端領域が気流から受ける圧力を低減できる。上述したエッジ傾斜端面２３２の断面視における形状も、エッジ湾曲端面２３３と同様である。

　エッジ湾曲部２３１は、上述した第２面２２１ｂを構成するエッジ湾曲面２３４を含んでいてもよい。エッジ湾曲面２３４は、湾曲状に形成されていてもよい。エッジ湾曲面２３４は、エッジ傾斜部２３０における第２面２２１ｂから連続する面を形成していてもよい。本実施の形態によるエッジ湾曲面２３４は、平面視で、図３１に示すような湾曲形状を有していてもよい。エッジ湾曲面２３４は、断面視では、湾曲形状を有しておらず、図３２に示すような直線形状を有していてもよい。しかしながら、エッジ湾曲面２３４は、断面視においても、湾曲形状を有していてもよい。断面視とは、中心軸線ＣＬに直交する断面で見た場合を意味する。図３２に示す断面は、エッジ湾曲部２３１を通る断面である。

　エッジ湾曲部２３１は、平面視において円弧状に形成されていてもよい。この場合、エッジ湾曲端面２３３およびエッジ湾曲面２３４は、平面視で円弧状に形成されていてもよい。エッジ湾曲部２３１の平面視における半径Ｒは、０．８ｍｍ以上１．８ｍｍ以下であってもよい。半径Ｒは、平面視におけるエッジ湾曲部２３１の外縁の半径である。半径Ｒを０．８ｍｍ以上にすることにより、先端２２０ｐから流入する気流（図２７に示す符号Ｆ参照）から受ける圧力を効果的に低減できる。半径Ｒを１．８ｍｍ以下にすることにより、ビーム本体２２１の平面面積を低減し、ビーム本体２２１の第２面２２１ｂが気流から受ける圧力が増大する可能性を低減できる。エッジ湾曲部２３１の外縁は、エッジ湾曲端面２３３と、第２面２２１ｂを構成するエッジ湾曲面２３４とが交わる縁である。

　エッジ湾曲部２３１は、平面視において楕円弧状に形成されていてもよい。この場合、エッジ湾曲端面２３３およびエッジ湾曲面２３４は、平面視で楕円弧状に形成されていてもよい。エッジ湾曲部２３１の平面視における最大半径は、０．８ｍｍ以上１．８ｍｍ以下であってもよい。最大半径は、平面視におけるエッジ湾曲部２３１の外縁の半径である。最大半径を０．８ｍｍ以上にすることにより、先端２２０ｐから流入する気流（図２７に示す符号Ｆ参照）から受ける圧力を効果的に低減できる。最大半径を１．８ｍｍ以下にすることにより、ビーム本体２２１の平面面積を低減し、ビーム本体２２１の第２面２２１ｂが気流から受ける圧力が増大する可能性を低減できる。エッジ湾曲部２３１の外縁は、平面視で、所望の楕円形状の一部の形状を有していてもよい。エッジ湾曲部２３１の外縁がなす楕円の長半径は、０．８ｍｍ以上１．８ｍｍ以下であってもよい。エッジ湾曲部２３１の外縁がなす楕円の扁平率は、０．０よりも大きく、かつ１．０よりも小さい範囲の数値であってもよい。このような長半径と扁平率とで定められる楕円形状の一部によって、エッジ湾曲部２３１の外縁の平面形状が形成されていてもよい。扁平率は、短半径を長半径で割った値である。扁平率は、例えば、０．２５以上０．７０以下であってもよい。

　本実施の形態によるエッジ部２２５は、折曲線２２５Ｌ（図３４参照）に沿ってビーム平坦部２２４から折り曲げられることにより形成される。折曲線２２５Ｌは、平面視で第１方向Ｄ２１に対して傾斜した方向に延びる折曲線傾斜部２２５Ｌａと、平面視で湾曲状に形成された折曲線湾曲部２２５Ｌｂと、を含んでいてもよい。折曲線湾曲部２２５Ｌｂは、エッジ湾曲部２３１を形成できるように湾曲状に形成されていてもよい。

　エッジ湾曲端面２３３の表面粗さは、ビーム本体２２１の第２面２２１ｂの表面粗さよりも粗くてもよい。表面粗さは、十点平均粗さＲｚＪＩＳであってもよい。

　エッジ湾曲端面２３３の十点平均粗さＲｚＪＩＳと、第２面２２１ｂの十点平均粗さＲｚＪＩＳとの差は、０．１００μｍ以上でもよく、または０．１５０μｍ以上でもよい。エッジ湾曲端面２３３の十点平均粗さＲｚＪＩＳと第２面２２１ｂの十点平均粗さＲｚＪＩＳとの差は、０．３５０μｍ以下でもよく、または０．３００μｍ以下であってもよい。エッジ湾曲端面２３３の十点平均粗さＲｚＪＩＳと第２面２２１ｂの十点平均粗さＲｚＪＩＳとの差は、０．１００μｍ以上０．３５０μｍ以下でもよく、０．１００μｍ以上０．３００μｍ以下でもよく、０．１５０μｍ以上０．３５０μｍ以下でもよく、０．１５０μｍ以上０．３００μｍ以下でもよい。

　エッジ湾曲端面２３３の十点平均粗さＲｚＪＩＳと第２面２２１ｂの十点平均粗さＲｚＪＩＳとの差を０．１００μｍ以上にすることにより、エッジ湾曲端面２３３の下流側において気流の剥離を低減できる。エッジ湾曲端面２３３の十点平均粗さＲｚＪＩＳと第２面２２１ｂの十点平均粗さＲｚＪＩＳとの差を０．３５０μｍ以下にすることにより、エッジ湾曲端面２３３からの異物の発生の可能性を低減できる。十点平均粗さＲｚＪＩＳは、ＪＩＳ　Ｂ　０６０１：２０１３に従う。より具体的には、十点平均粗さＲｚＪＩＳは、基準長さＬＳの粗さ曲線において、最高の山頂から高い順に５番目までの山高さの平均と最深の谷底から深い順に５番目までの谷深さの平均との差である。

　エッジ傾斜端面２３２の表面粗さは、第２面２２１ｂの表面粗さよりも粗くてもよい。エッジ湾曲端面２３３と同様に、エッジ傾斜端面２３２の十点平均粗さＲｚＪＩＳと、第２面２２１ｂの十点平均粗さＲｚＪＩＳとの差は、０．１００μｍ以上でもよく、または０．１５０μｍ以上でもよい。エッジ傾斜端面２３２の十点平均粗さＲｚＪＩＳと第２面２２１ｂの十点平均粗さＲｚＪＩＳとの差は、０．３５０μｍ以下でもよく、または０．３００μｍ以下であってもよい。エッジ傾斜端面２３２の十点平均粗さＲｚＪＩＳと第２面２２１ｂの十点平均粗さＲｚＪＩＳとの差は、０．１００μｍ以上０．３５０μｍ以下でもよく、０．１００μｍ以上０．３００μｍ以下でもよく、０．１５０μｍ以上０．３５０μｍ以下でもよく、０．１５０μｍ以上０．３００μｍ以下でもよい。

　十点平均粗さＲｚＪＩＳを測定する方法について説明する。以下では、代表的にエッジ湾曲端面２３３について十点平均粗さＲｚＪＩＳを測定する方法説明するが、エッジ傾斜端面２３２について十点平均粗さＲｚＪＩＳを測定する方法も同様である。

　まず、図３１に示すように、エッジ湾曲部２３１の外縁に垂直であるとともにエッジ湾曲端面２３３に垂直な断面直線Ｌ１を規定し、この断面直線Ｌ１を含む断面を作製する。断面直線Ｌ１がエッジ湾曲部２３１の外縁に垂直であれば、断面直線Ｌ１が沿う方向は任意である。表面粗さは、断面直線Ｌ１の位置に依存しないと考えられるためである。断面直線Ｌ１とエッジ湾曲端面２３３の内縁は交点Ｐ１で交わり、断面直線Ｌ１とエッジ湾曲端面２３３の外縁は交点Ｐ２で交わっている。エッジ湾曲端面２３３の外縁は、エッジ湾曲部２３１の外縁に相当する。平面視で、交点Ｐ１は、交点Ｐ２よりも内側に位置している。

　断面直線Ｌ１に沿う断面が、図３２に示されている。図３２に示す断面で見たときに、エッジ湾曲端面２３３のうち交点Ｐ１の近傍に位置する領域Ｑ１における十点平均粗さＲｚＪＩＳと、交点Ｐ２の近傍に位置する領域Ｑ２における十点平均粗さＲｚＪＩＳを算出する。代表例として領域Ｑ１の拡大図を図３３に示す。

　図３３に示すように、領域Ｑ１は、所定の基準長さＬＳにわたる領域である。上述した基準長さＬＳは４μｍである。図３２に示すように、領域Ｑ１は、交点Ｐ１から５μｍ離れた領域とする。交点Ｐ１から５μｍ離れた点から基準長さＬＳが４μｍの粗さ曲線を設定し、上述した表面粗さが測定される。

　図３３に示す例では、粗さ曲線のうち最高の山頂から高い順に５番目までの山高さを有する山頂がＰＨで示され、粗さ曲線のうち最深の谷底から深い順に５番目までの谷深さを有する谷底がＰＬで示されている。５つの山頂ＰＨの山高さの平均値と、５つの谷底ＰＬの谷深さの平均値との差が、十点平均粗さＲｚＪＩＳである。

　より具体的には、対象の断面を走査型電子顕微鏡で観察する。走査型電子顕微鏡の観察条件は、以下の通りである。
・観察倍率：２００００倍（撮影時の観察倍率基準は、Polaroid545とする）
・加速電圧：１５ｋV
・ワーキングディスタンス：１５ｍｍ
・試料傾斜角度：７０度

　走査型電子顕微鏡の観察下で、対象の断面に対して、エッジ湾曲端面２３３の十点平均粗さＲｚＪＩＳを上述のように算出する。

　図３２に示す領域Ｑ１における十点平均粗さＲｚＪＩＳと、領域Ｑ２における十点平均粗さＲｚＪＩＳとを算出する。これら２つの十点平均粗さＲｚＪＩＳの平均値を、エッジ湾曲端面２３３の十点平均粗さＲｚＪＩＳとする。

　第２面２２１ｂの十点平均粗さＲｚＪＩＳは、第２面２２１ｂの任意の位置で、任意の方向に基準長さＬＳを設定することにより算出できる。

　表面粗さは、十点平均粗さＲｚＪＩＳであることに限られることはない。表面粗さは、算術平均粗さＲａであってもよい。

　エッジ湾曲端面２３３の算術平均粗さＲａと第２面２２１ｂの算術平均粗さＲａとの差は、０．０３０μｍ以上０．１００μｍ以下であってもよい。エッジ湾曲端面２３３の算術平均粗さＲａと第２面２２１ｂの算術平均粗さＲａとの差を０．０３０μｍ以上にすることにより、エッジ湾曲端面２３３が気流の圧力を効果的に受けることができる。エッジ湾曲端面２３３の算術平均粗さＲａと第２面２２１ｂの算術平均粗さＲａとの差を０．１００μｍ以下にすることにより、エッジ湾曲端面２３３からの異物の発生の可能性を低減できる。算術平均粗さＲａは、図３２に示す領域Ｑ１および領域Ｑ２のそれぞれにおいて、ＪＩＳ　Ｂ　０６０１：２０１３の規定に従って算出される。領域Ｑ１における算術平均粗さＲａと、領域Ｑ２における算術平均粗さＲａの平均値を、エッジ湾曲端面２３３の算術平均粗さＲａとする。

　エッジ傾斜端面２３２の算術平均粗さＲａと第２面２２１ｂの算術平均粗さＲａとの差は、０．０３０μｍ以上０．１００μｍ以下であってもよい。エッジ傾斜端面２３２の算術平均粗さＲａと第２面２２１ｂの算術平均粗さＲａとの差を０．０３０μｍ以上にすることにより、エッジ傾斜端面２３２が気流の圧力を効果的に受けることができる。エッジ傾斜端面２３２の算術平均粗さＲａと第２面２２１ｂの算術平均粗さＲａとの差を０．１００μｍ以下にすることにより、エッジ傾斜端面２３２からの異物の発生の可能性を低減できる。エッジ傾斜端面２３２の算術平均粗さＲａは、エッジ湾曲端面２３３の算術平均粗さＲａと同様に算出される。

　第２面２２１ｂの算術平均粗さＲａは、第２面２２１ｂの任意の位置で、任意の方向に基準長さＬＳを設定することにより算出できる。

　図３２に示す観察対象の断面を作製する方法について説明する。以下では、エッジ湾曲端面２３３の表面粗さを測定するための断面を作製する方法について説明するが、エッジ傾斜端面２３２および第２面２２１ｂの表面粗さを測定するための観察対象の断面も同様に作製できる。

　まず、トリミング用カミソリを用いて、ビーム本体２２１のエッジ部２２５のうちエッジ湾曲端面２３３を含む部分を試験片として切り出す。試験片の大きさは、取扱性を考慮して任意に設定する。

　続いて、試験片を樹脂で封止する。樹脂としては、エポキシ樹脂を用いる。樹脂は、試験片の全体を覆う。試験片に盛られた樹脂の厚さはそれぞれ、１ｍｍである。

　次に、トリミング用カミソリを用いて、断面直線Ｌ１に沿うとともにエッジ湾曲端面２３３に垂直な方向に沿って、試験片を樹脂とともに切断する。このことにより、断面直線Ｌ１に沿う断面を樹脂から露出できる。この際に得られる断面は、後述する手順における削り代を考慮しておく。

　次に、ミクロトームを用いて、樹脂から露出された断面をトリミングする。このトリミングにおいては、試験片の断面の機械的歪みを低減させるために、試験片を封止する樹脂とともに、試験片の断面に対して垂直な方向に１ｍｍ、ミクロトームで削る。

　次に、イオンミリング装置を用いて、試験片の断面に対して垂直な方向にブロードアルゴンイオンビームを照射する。より具体的には、試験片に、断面を露出させるように遮蔽板を載置し、加速されたアルゴンイオンを試験片の断面に照射して断面を加工する。イオンビームの照射は、５ｋＶで８時間続け、試験片の断面に垂直な方向に１００μｍ～２００μｍ削る。このようにして、観察対象の断面が得られる。

　次に、上述したロードビーム２２０を作製するためのロードビームブランク板２６０について図３４および図３５を用いて説明する。

　図３４には、ロードビームブランク板２６０の一部の拡大平面図が示されている。図３５には、ロードビームブランク板２６０の断面図が示されている。図３５の断面図は、図３０に示す断面図に対応している。ロードビームブランク板２６０は、上述したエッジ部２２５を折り曲げる前のロードビーム２２０に相当しており、全体的に平坦状に形成されている。

　図３４に示すように、ロードビームブランク板２６０は、平面視で、ロードビームブランク板２６０の先端に向かって先細状に第１方向Ｄ２１に延びるブランク板本体２６１と、ブランク板タブ２６２と、を含んでいてもよい。ロードビームブランク板２６０の先端は、ロードビーム２２０の先端２２０ｐに対応していてもよい。ブランク板本体２６１は、上述したビーム本体２２１に対応していてもよい。ブランク板本体２６１を折曲線２２５Ｌで折り曲げることにより、ビーム平坦部２２４と、エッジ部２２５とが区分けされてもよい。ブランク板本体２６１には、上述した治具孔２２７およびレーザーダイオード素子開口２２８が形成されていてもよい。

　図３５に示すように、ブランク板本体２６１は、第１面２２１ａと、第２面２２１ｂと、を含んでいる。ロードビームブランク板２６０においては、図３５に示すように、第１面２２１ａおよび第２面２２１ｂはそれぞれ平坦状に形成されていてもよい。第１面２２１ａおよび第２面２２１ｂは、互いに平行になっていてもよい。上述したヒンジ部２２６も折り曲げ前の形態であり、第２方向Ｄ２２だけでなく第１方向Ｄ２１に沿っても平坦状に形成されていてもよい。

　ブランク板本体２６１は、一対のブランク板傾斜端面２６３と、一対のブランク板湾曲端面２６４と、を含んでいてもよい。

　ブランク板傾斜端面２６３は、第１面２２１ａと第２面２２１ｂとに接続されている。ブランク板傾斜端面２６３は、平面視で第１方向Ｄ２１に対して傾斜した方向に延びていてもよい。ブランク板傾斜端面２６３は、直線状に延びていてもよい。ブランク板傾斜端面２６３は、上述したエッジ傾斜部２３０のエッジ傾斜端面２３２に対応している。

　ブランク板湾曲端面２６４は、第１面２２１ａと第２面２２１ｂとに接続されている。ブランク板湾曲端面２６４は、ブランク板傾斜端面２６３よりもブランク板タブ２６２に近い位置に位置している。ブランク板湾曲端面２６４は、対応するブランク板傾斜端面２６３から連続して形成されるとともに平面視でブランク板本体２６１の外側に向かって凸となるように湾曲状に形成されている。ブランク板湾曲端面２６４は、エッジ湾曲端面２３３に対応している。

　ブランク板湾曲端面２６４の表面粗さは、上述したエッジ湾曲端面２３３と同様に、ブランク板本体２６１の第２面２２１ｂの表面粗さよりも粗くてもよい。ブランク板湾曲端面２６４の十点平均粗さＲｚＪＩＳと、第２面２２１ｂの十点平均粗さＲｚＪＩＳとの差は、０．１００μｍ以上でもよく、または０．１５０μｍ以上でもよい。ブランク板湾曲端面２６４の十点平均粗さＲｚＪＩＳと第２面２２１ｂの十点平均粗さＲｚＪＩＳとの差は、０．３５０μｍ以下でもよく、または０．３００μｍ以下であってもよい。ブランク板湾曲端面２６４の十点平均粗さＲｚＪＩＳと第２面２２１ｂの十点平均粗さＲｚＪＩＳとの差は、０．１００μｍ以上０．３５０μｍ以下でもよく、０．１００μｍ以上０．３００μｍ以下でもよく、０．１５０μｍ以上０．３５０μｍ以下でもよく、０．１５０μｍ以上０．３００μｍ以下でもよい。

　ブランク板湾曲端面２６４の表面粗さは、ブランク板湾曲端面２６４に垂直であるとともに第２面２２１ｂに垂直な断面直線Ｌ１を規定すれば、エッジ湾曲端面２３３の表面粗さと同様に測定できる。

　ブランク板傾斜端面２６３の表面粗さも、ブランク板本体２６１の第２面２２１ｂの表面粗さよりも粗くてもよい。ブランク板湾曲端面２６４と同様に、ブランク板傾斜端面２６３の十点平均粗さＲｚＪＩＳと、第２面２２１ｂの十点平均粗さＲｚＪＩＳとの差は、０．１００μｍ以上でもよく、または０．１５０μｍ以上でもよい。ブランク板傾斜端面２６３の十点平均粗さＲｚＪＩＳと第２面２２１ｂの十点平均粗さＲｚＪＩＳとの差は、０．３５０μｍ以下でもよく、または０．３００μｍ以下であってもよい。ブランク板傾斜端面２６３の十点平均粗さＲｚＪＩＳと第２面２２１ｂの十点平均粗さＲｚＪＩＳとの差は、０．１００μｍ以上０．３５０μｍ以下でもよく、０．１００μｍ以上０．３００μｍ以下でもよく、０．１５０μｍ以上０．３５０μｍ以下でもよく、０．１５０μｍ以上０．３００μｍ以下でもよい。

　ブランク板タブ２６２は、上述したタブ２２２を成形加工する前の形態である。ブランク板タブ２６２は、ロードビームブランク板２６０の先端に位置している。ブランク板タブ２６２は、ブランク板本体２６１からロードビームブランク板２６０の先端まで第１方向Ｄ２１に細長状に延びていてもよい。ブランク板タブ２６２は、平坦状に形成されていてもよく、ブランク板本体２６１と連続していてもよい。

　ブランク板本体２６１の厚さは、ビーム平坦部２２４の厚さｔ２１と等しくてもよい。

　ブランク板本体２６１は、ブランク板本体２６１を囲むフレーム（図示せず）に支持されていてもよい。ブランク板本体２６１がフレームに支持された状態で折り曲げられることにより、本実施の形態によるロードビーム２２０が得られてもよい。この場合、ロードビーム２２０は、フレームに支持されていてもよい。フレームには、複数のブランク板本体２６１が支持されていてもよい。この場合、多面付のロードビーム２２０を作製できる。多面付のロードビーム２２０とは、１つのフレームに複数のロードビーム２２０が支持されている形態を意味する。

　次に、このような構成からなる本実施の形態によるロードビーム２２０の製造方法について説明する。

　まず、平坦状に形成された板状の部材を準備する。例えば、板状の部材は、上述した厚さｔ２１を有する圧延材であってもよい。

　続いて、フォトリソグラフィー技術によってパターン状のレジスト層（図示せず）が形成され、板状の部材をエッチングすることにより、図３４および図３５に示すようなロードビームブランク板２６０が形成される。より具体的には、ロードビームブランク板２６０の外形が形成され、上述したブランク板傾斜端面２６３およびブランク板湾曲端面２６４が形成される。ブランク板本体２６１に、治具孔２２７、レーザーダイオード素子開口２２８および圧電素子開口２２９が形成される。その後、ブランク板傾斜端面２６３およびブランク板湾曲端面２６４を粗面化してもよい。例えば、レジスト層を残した状態で板状の部材を硫酸濃度１２％の電解液に浸漬して電流を流し、エッチング処理してもよい。この場合、例えば、電解液の温度を３０度に調整し、電流密度を、５０Ａ／ｍ^２～１５０Ａ／ｍ^２に調整してもよい。このことにより、ブランク板傾斜端面２６３およびブランク板湾曲端面２６４の表面粗さを、ビーム本体２２１の第２面２２１ｂの表面粗さよりも粗くできる。ブランク板傾斜端面２６３およびブランク板湾曲端面２６４を粗面化する際には、治具孔２２７などの壁面（図示せず）に、レジスト層を形成して、粗面化されないようにしてもよい。ブランク板傾斜端面２６３およびブランク板湾曲端面２６４の粗面化は、ロードビームブランク板２６０の外形をエッチングで形成する際に行ってもよい。

　次に、ロードビームブランク板２６０のブランク板本体２６１が折り曲げられる。このことにより、図２９および図３０に示すようなエッジ部２２５が形成される。より具体的には、図３４に示す折曲線２２５Ｌに沿ってブランク板本体２６１が折り曲げられる。折曲線傾斜部２２５Ｌａに沿ってエッジ傾斜部２３０が形成され、ブランク板傾斜端面２６３がエッジ傾斜端面２３２になる。折曲線湾曲部２２５Ｌｂに沿ってエッジ湾曲部２３１が形成され、ブランク板湾曲端面２６４がエッジ湾曲端面２３３になる。また、ブランク板本体２６１のうちヒンジ部２２６に対応する部分が折り曲げられて、ヒンジ部２２６が形成される。ブランク板タブ２６２も、湾曲形状を有するように成形加工されてタブ２２２が形成される。

　このようにして、本実施の形態によるロードビーム２２０が得られる。

　ロードビーム２２０に、フレキシャ（図示せず）が接合されて、サスペンション５が作製される。その後、フレキシャの先端部に、磁気ヘッドが実装され、磁気ヘッドに、レーザーダイオード素子が搭載される。レーザーダイオード素子は、レーザーダイオード素子開口２２８を貫通するように磁気ヘッドに取り付けられる。

　その後、サスペンション５が、図２７に示すケース２に取り付けられて、ハードディスクドライブ１が得られる。

　近年のハードディスクドライブでは、記憶容量を増大させるために、図３６に示すように、ケース２に収容される磁気ディスク３の枚数が増大している。この場合、磁気ディスク３同士の距離が短くなる。このため、磁気ディスク３の回転時に生じる内部気流が乱れ、サスペンション５の先端から気流（図２７に示す符号Ｆ参照）が流入する可能性が考えられる。また、複数の磁気ディスク３のうち最上位に位置する磁気ディスク３とケース２の上部２ａとの距離Ｘ２１も短くなる。距離Ｘ２１で示される空間では、ケース２の影響を受けて気流が乱れやすいため、サスペンション５の先端から気流（図２７に示す符号Ｆ参照）が流入する可能性が高まる。最下位に位置する磁気ディスク３とケース２の下部２ｂとの距離Ｘ２２も短くなり、同様の気流がサスペンション５の先端から流入する可能性が高まる。

　図３７に示すように、ロードビーム２２０の先端から流入した気流は、タブ２２２の周囲を通って、ビーム本体２２１の先端部に達する。ビーム本体２２１の先端部には、エッジ部２２５のエッジ湾曲部２３１が形成されている。このことにより、図３７の実線矢印で示すように、気流はエッジ湾曲部２３１の湾曲形状に沿うように流れる。このため、ロードビーム２２０が気流から受ける圧力を、気流が流れるにつれて緩やかに変化でき、ロードビーム２２０が気流から受ける圧力を低減できる。

　ビーム本体２２１の先端部に達した気流の一部は、図３７の破線矢印で示すように、エッジ湾曲端面２３３の近傍を通過する。上述したように、エッジ湾曲端面２３３の表面粗さが、第２面２２１ｂの表面粗さよりも粗くなっていることにより、エッジ湾曲端面２３３の下流側において気流の剥離を低減できる。このため、サスペンション５が気流から受ける圧力の変動を低減でき、サスペンション５の浮上姿勢を安定化できる。本実施の形態においては、エッジ傾斜端面２３２の表面粗さも、第２面２２１ｂの表面粗さよりも粗くなっている。このため、エッジ傾斜端面２３２の近傍を通過する気流から受ける圧力の変動も低減できる。

　本実施の形態によるロードビーム２２０は、図３６に示すように、最上位の磁気ディスク３とケース２との間に位置するサスペンション５で用いることが効果的であり、最下位の磁気ディスク３とケース２との間に位置するサスペンション５で用いることが効果的である。しかしながら、磁気ディスク３同士の間に位置するサスペンション５にも、本実施の形態によるロードビーム２２０が用いられてもよい。

　サスペンション５にレーザーダイオード素子が搭載される場合、サスペンション５の先端部の重量が増大するため、気流の影響を受けて磁気ヘッドの浮上姿勢が変動しやすくなる。しかしながら、本実施の形態によるロードビーム２２０は、上述したように、気流から受ける圧力を低減できるため、磁気ヘッドの浮上姿勢を効果的に維持できる。

　このように本実施の形態によれば、ビーム平坦部２２４から折り曲げられたエッジ部２２５が、平面視で第１方向Ｄ２１に対して傾斜した方向に延びるエッジ傾斜部２３０と、エッジ傾斜部２３０よりもタブ２２２に近い位置に位置するエッジ湾曲部２３１と、を含んでいる。エッジ湾曲部２３１が、エッジ傾斜部２３０から連続して形成されるとともに平面視で外側に向かって凸となるように湾曲状に形成されている。このことにより、ロードビーム２２０の先端２２０ｐから流入した気流を、エッジ湾曲部２３１の湾曲形状に沿うように流すことができる。このため、ロードビーム２２０の先端２２０ｐから気流が流入した場合であっても、エッジ部２２５が気流から受ける圧力を低減できる。この結果、磁気ヘッドの浮上姿勢の変化を低減できる。この場合、磁気ディスク３に対する磁気ヘッドの位置決め精度が低下する可能性を低減できる。

　本実施の形態によれば、エッジ湾曲部２３１は、第２面２２１ｂを構成するエッジ湾曲面２３４であって、湾曲状に形成されたエッジ湾曲面２３４を含んでいる。このことにより、ロードビーム２２０の先端２２０ｐから流入した気流のうちエッジ湾曲部２３１の第２面２２１ｂに達した気流を、エッジ湾曲面２３４に沿うように流すことができる。このため、先端から流入する気流から、ロードビーム２２０が受ける圧力をより一層低減できる。この結果、磁気ヘッドの浮上姿勢の変化をより一層低減できる。

　本実施の形態によれば、エッジ湾曲端面２３３の表面粗さは、第２面２２１ｂの表面粗さよりも粗い。このことにより、エッジ湾曲端面２３３の下流側において気流の剥離を低減できる。このため、サスペンション５が気流から受ける圧力の変動を低減できる。このため、磁気ヘッドの浮上姿勢を安定化できる。

　本実施の形態によれば、エッジ傾斜端面２３２の表面粗さは、第２面２２１ｂの表面粗さよりも粗い。このことにより、エッジ傾斜端面２３２の下流側において気流の剥離を低減できる。このため、サスペンション５が気流から受ける圧力の変動を低減できる。このため、磁気ヘッドの浮上姿勢を安定化できる。

　本実施の形態によれば、ロードビームブランク板２６０のブランク板本体２６１が、ブランク板傾斜端面２６３と、ブランク板傾斜端面２６３よりもブランク板タブ２６２に近い位置に位置するブランク板湾曲端面２６４と、を含んでいる。ブランク板傾斜端面２６３は、平面視で第１方向Ｄ２１に対して傾斜した方向に延びている。ブランク板湾曲端面２６４は、ブランク板傾斜端面２６３から連続して形成されるとともに平面視で外側に向かって凸となるように湾曲状に形成されている。このことにより、ブランク板本体２６１を折曲線２２５Ｌでビーム平坦部２２４に対して折り曲げることにより、エッジ傾斜部２３０よりもタブ２２２に近い位置に位置するエッジ湾曲部２３１を形成できる。エッジ湾曲部２３１は、エッジ傾斜部２３０から連続して形成されるとともに平面視で湾曲状に形成できる。このため、ロードビーム２２０の先端２２０ｐから気流が流入した場合であっても、エッジ部２２５が気流から受ける圧力を低減できるロードビーム２２０を提供できる。

　本開示は上記各実施の形態および各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。上記各実施の形態および各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。各実施の形態および各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

Claims

　ロードビームであって、
　第１方向に延びるビーム本体と、
　前記ビーム本体から前記ロードビームの先端まで前記第１方向に延びるタブと、
　を備え、
　前記タブは、タブ本体と、前記タブ本体に隣接した薄肉部と、前記薄肉部に隣接し、前記タブの端面を画定するタブ端縁部と、を含み、
　前記タブ端縁部は、前記薄肉部の最小厚さよりも厚い厚肉部を含む、
　ロードビーム。
　前記厚肉部の最大厚さは、前記タブ本体の厚さよりも薄い、
　請求項１に記載のロードビーム。
　前記厚肉部は、前記タブ端縁部に沿って延びている、
　請求項１または２に記載のロードビーム。
　平面視で前記第１方向に直交する第２方向において前記タブ本体の両側に前記タブ端縁部が位置し、
　各々の前記タブ端縁部と前記タブ本体との間に前記薄肉部が位置し、
　各々の前記タブ端縁部は、前記厚肉部を含む、
　請求項１または２に記載のロードビーム。
　前記タブは、タブ第１面と、前記タブ第１面とは反対側に位置するタブ第２面と、を含み、
　前記タブは、前記第１方向に直交する断面で見たときに、前記タブ第１面を内側にした湾曲形状を有し、
　前記薄肉部は、前記タブ第１面から凹む凹面を含んでいる、
　請求項１に記載のロードビーム。
　前記凹面は、前記第１方向に直交する断面で見たときに、湾曲状に形成されている、
　請求項５に記載のロードビーム。
　前記タブは、前記ビーム本体に隣接する根元領域と、前記根元領域に対して前記ビーム本体とは反対側に位置する本体領域と、を含み、
　前記厚肉部は、前記本体領域に位置している、
　請求項１に記載のロードビーム。
　前記厚肉部は、前記根元領域および前記本体領域に位置している、
　請求項７に記載のロードビーム。
　前記タブは、前記ビーム本体に隣接する根元領域と、前記根元領域に対して前記ビーム本体とは反対側に位置する本体領域と、を含み、
　前記厚肉部は、前記根元領域に位置している、
　請求項１に記載のロードビーム。
　前記タブは、前記ビーム本体に隣接する根元領域と、前記ロードビームの前記先端を含む先端領域と、前記根元領域と前記先端領域との間に位置する本体領域と、を含み、
　前記厚肉部は、前記先端領域に位置している、
　請求項１に記載のロードビーム。
　前記厚肉部は、前記根元領域、前記先端領域および前記本体領域に位置している、
　請求項１０に記載のロードビーム。
　ロードビームブランク板であって、
　第１方向に延びる、平坦状に形成されたブランク板本体と、
　前記ブランク板本体から前記ロードビームブランク板の先端まで前記第１方向に延びるブランク板タブであって、平坦状に形成されたブランク板タブと、
　を備え、
　前記ブランク板タブは、ブランク板タブ本体と、前記ブランク板タブ本体に隣接した薄肉部と、前記薄肉部に隣接し、前記ブランク板タブの端面を画定するタブ端縁部と、を含み、
　前記タブ端縁部は、前記薄肉部の最小厚さよりも厚い厚肉部を含む、
　ロードビームブランク板。
　ロードビームであって、
　ビーム平坦部と、
　前記ビーム平坦部から延びるタブと、
　を備え、
　前記タブは、タブ第１面と、前記タブ第１面の反対側に位置するタブ第２面と、を有し、
　前記タブは、前記ロードビームの長手方向に直交する短手方向の断面において、前記タブ第１面を内側に湾曲する形状を有し、
　前記タブの厚さは、前記ロードビームの前記短手方向の両端部よりも前記短手方向の中央部が薄い、
　ロードビーム。
　前記タブ第２面は、２つの外側湾曲面と、前記２つの外側湾曲面の間に位置する中央面と、を有し、
　前記中央面は、前記外側湾曲面と非連続に形成されている、
　請求項１３に記載のロードビーム。
　前記中央面は平坦状に形成された中央平坦面である、
　請求項１４に記載のロードビーム。
　前記中央面は、湾曲状に形成された中央湾曲面である、
　請求項１４に記載のロードビーム。
　前記短手方向の断面において、前記外側湾曲面および前記中央湾曲面はそれぞれ円弧状に形成され、
　前記中央湾曲面の曲率半径は、前記外側湾曲面の曲率半径よりも大きい、
　請求項１６に記載のロードビーム。
　前記短手方向の中央部における前記タブの厚さは、前記短手方向の端部における前記タブの厚さの３０％以上８５％以下である、
　請求項１３に記載のロードビーム。
　請求項１３～１８のいずれか一項に記載のロードビームの製造方法であって、
　板状の部材を準備する工程と、
　前記板状の部材の、前記タブに対応する部分のうち前記中央部に薄肉部を形成する工程と、
　前記薄肉部を形成する工程の後に、前記タブ第１面が内側に向くように前記タブに対応する部分を湾曲させる工程と、
　を備えた、ロードビームの製造方法。
　前記薄肉部は、エッチングにより形成される、請求項１９に記載のロードビームの製造方法。
　請求項１３～１８のいずれか一項に記載のロードビームの製造方法であって、
　板状の部材を準備する工程と、
　前記タブ第１面が内側に向くように前記タブに対応する部分を湾曲させる工程と、
　前記タブに対応する部分を湾曲させる工程の後に、前記タブ第２面の前記中央部を含む領域を薄肉化する工程と、
　を備えた、ロードビームの製造方法。
　請求項１３～１８のいずれか一項に記載のロードビームの製造方法であって、
　板状の部材を準備する工程と、
　前記タブ第１面が内側に向くように前記タブに対応する部分を湾曲させると同時に、前記タブ第２面の前記中央部を含む領域を薄肉化する工程と、
　を備えた、ロードビームの製造方法。
　ロードビームブランク板であって、
　平坦状に形成されたブランク板本体と、
　前記ブランク板本体から延びるブランク板タブであって、平坦状に形成されたブランク板タブと、
　を備え、
　前記ブランク板タブは、タブ第１面と、前記タブ第１面の反対側に位置するタブ第２面と、を有し、
　前記ブランク板タブは、前記ロードビームブランク板の長手方向に直交する短手方向における中央部に位置する薄肉部であって、前記タブ第２面から凹むように形成された薄肉部を含む、
　ロードビームブランク板。
　ロードビームであって、
　前記ロードビームの先端に位置し、第１方向に延びるタブと、
　前記タブに向かって先細状に前記第１方向に延びるビーム平坦部と、
　平面視で前記第１方向に直交する第２方向における前記ビーム平坦部の両側に位置する一対のエッジ部であって、前記ビーム平坦部に対して折り曲げられた一対のエッジ部と、
　を備え、
　前記エッジ部は、平面視で前記第１方向に対して傾斜した方向に延びるエッジ傾斜部と、前記エッジ傾斜部よりも前記タブに近い位置に位置するエッジ湾曲部であって、前記エッジ傾斜部から連続して形成されるとともに平面視で外側に向かって凸となるように湾曲状に形成されたエッジ湾曲部と、を含んでいる、
　ロードビーム。
　前記ビーム平坦部から前記エッジ部にわたって形成された第１面と、
　前記ビーム平坦部から前記エッジ部にわたって形成された第２面であって、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、
　を備え、
　前記エッジ部は、前記第１面を内側にした折り曲げ形状を有し、
　前記エッジ湾曲部における前記第２面は、湾曲状に形成されている、
　請求項２４に記載のロードビーム。
　平面視において、前記エッジ湾曲部は円弧状に形成され、
　前記エッジ湾曲部の平面視における半径は、０．８ｍｍ以上１．８ｍｍ以下である、
　請求項２４または２５に記載のロードビーム。
　前記ビーム平坦部から前記エッジ部にわたって形成された第１面と、
　前記ビーム平坦部から前記エッジ部にわたって形成された第２面であって、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、
　を備え、
　前記エッジ部は、前記第１面を内側にした折り曲げ形状を有し、
　前記エッジ湾曲部の端面の表面粗さは、前記第２面の表面粗さよりも粗い、
　請求項２４または２５に記載のロードビーム。
　前記エッジ湾曲部の前記端面の十点平均粗さと、前記第２面の十点平均粗さとの差は、０．１００μｍ以上０．３５０μｍ以下である、
　請求項２７に記載のロードビーム。
　前記エッジ傾斜部の端面の表面粗さは、前記第２面の表面粗さよりも粗い、
　請求項２７に記載のロードビーム。
　ロードビームブランク板であって、
　前記ロードビームブランク板の先端に位置し、第１方向に延びるブランク板タブと、
　前記ブランク板タブに向かって先細状に第１方向に延びるブランク板本体と、
　を備え、
　前記ブランク板本体は、平面視で前記第１方向に対して傾斜した方向に延びる一対のブランク板傾斜端面と、前記ブランク板傾斜端面よりも前記ブランク板タブに近い位置に位置するブランク板湾曲端面であって、対応する前記ブランク板傾斜端面から連続して形成されるとともに平面視で外側に向かって凸となるように湾曲状に形成された一対のブランク板湾曲端面と、を含んでいる、
　ロードビームブランク板。