WO2024085127A1

WO2024085127A1 - 弾性波装置

Info

Publication number: WO2024085127A1
Application number: PCT/JP2023/037479
Authority: WO
Inventors: 克也大門; 翔永友
Original assignee: 株式会社村田製作所
Priority date: 2022-10-17
Filing date: 2023-10-17
Publication date: 2024-04-25

Abstract

フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ耐電力性を高くすることができる、弾性波装置を提供する。　本発明に係る弾性波装置１０は、第１の弾性波共振子１０Ａと、第２の弾性波共振子１０Ｂとを備える。第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂはそれぞれ、ニオブ酸リチウムからなる圧電層１４を含む圧電膜と、圧電層１４上に設けられており、第１のバスバー（第１，第４のバスバー２２，３２）と、第１のバスバーに一端がそれぞれ接続されている複数の第１の電極指（複数の第１，第４の電極指２５，３５）とを有し、入力電位に接続される第１の櫛形電極（第１，第４の櫛形電極）と、圧電層１４上に設けられており、第２のバスバー（第２，第５のバスバー２３，３３）と、第２のバスバーに一端がそれぞれ接続されており、複数の第１の電極指（複数の第１，第４の電極指２５，３５）と間挿し合っている複数の第２の電極指（複数の第２，第５の電極指２６，３６）とを有し、出力電位に接続される第２の櫛形電極（第２，第５の櫛形電極）と、平面視したときに、第１の電極指及び第２の電極指が並ぶ方向において、第１の電極指及び第２の電極指と並ぶように、それぞれ圧電層１４上に設けられている複数の第３の電極指（複数の第３，第６の電極指２７，３７）と、隣り合う第３の電極指同士を接続している接続電極（第３，第６のバスバー２４，３４）とを有し、基準電位に接続される、第３の電極とを有する。第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂのそれぞれにおいて、平面視したときに、第１の電極指、第２の電極指及び第３の電極指が並んでいる順序は、第１の電極指から開始した場合において、第１の電極指、第３の電極指、第２の電極指及び第３の電極指を１周期とする順序である。第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂがそれぞれ、１つの弾性波共振子が直列分割された分割共振子である。

Description

弾性波装置

　本発明は、複数の弾性波共振子を有する弾性波装置に関する。

　従来、弾性波装置は、携帯電話機のフィルタなどに広く用いられている。近年においては、下記の特許文献１に記載のような、厚み滑りモードのバルク波を用いた弾性波装置が提案されている。この弾性波装置においては、支持体上に圧電層が設けられている。圧電層上に、対となる電極が設けられている。対となる電極は圧電層上において互いに対向しており、かつ互いに異なる電位に接続される。上記電極間に交流電圧を印加することにより、厚み滑りモードのバルク波を励振させている。

米国特許第１０４９１１９２号明細書

　弾性波装置とは、例えば弾性波共振子などの弾性波共振子である。弾性波共振子は、例えばラダー型フィルタに用いられる。ラダー型フィルタにおいて良好な特性を得るためには、複数の弾性波共振子間において、静電容量比を大きくする必要がある。この場合、ラダー型フィルタにおける一部の弾性波共振子の静電容量を大きくする必要がある。

　弾性波共振子の静電容量を大きくするためには、例えば、弾性波共振子を大型にすることを要する。よって、当該弾性波共振子をラダー型フィルタに用いる場合には、ラダー型フィルタが大型になりがちである。特に、静電容量の小さい厚み滑りモードのバルク波を利用する弾性波共振子を有するラダー型フィルタは大型化してしまう。

　本発明者らは、弾性波共振子の構成を以下の構成とすることにより、弾性波共振子がフィルタ装置に用いられた場合に、大型化せずして好適なフィルタ波形を得られることを見出した。当該構成とは、入力電位に接続される電極、及び出力電位に接続される電極の間に、基準電位などの、入力電位及び出力電位と異なる電位に接続される電極を配置する構成である。

　加えて、本発明者らは、単に上記構成を採用しても、耐電力性を十分に高められないおそれがあることも見出した。

　本発明の目的は、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ耐電力性を高くすることができる、弾性波装置を提供することにある。

　本発明に係る弾性波装置のある広い局面では、第１の弾性波共振子と、第２の弾性波共振子とが備えられており、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子がそれぞれ、ニオブ酸リチウムからなる圧電層を含む圧電膜と、前記圧電層上に設けられており、第１のバスバーと、前記第１のバスバーに一端がそれぞれ接続されている複数の第１の電極指とを有し、入力電位に接続される第１の櫛形電極と、前記圧電層上に設けられており、第２のバスバーと、前記第２のバスバーに一端がそれぞれ接続されており、前記複数の第１の電極指と間挿し合っている複数の第２の電極指とを有し、出力電位に接続される第２の櫛形電極と、平面視したときに、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が並ぶ方向において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指と並ぶように、それぞれ前記圧電層上に設けられている複数の第３の電極指と、隣り合う前記第３の電極指同士を接続している接続電極とを有し、基準電位に接続される、第３の電極とを有し、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれにおいて、平面視したときに、前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が並んでいる順序が、前記第１の電極指から開始した場合において、前記第１の電極指、前記第３の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指を１周期とする順序であり、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子がそれぞれ、１つの弾性波共振子が直列分割された分割共振子である。

　本発明に係る弾性波装置の他の広い局面では、第１の弾性波共振子と、第２の弾性波共振子とが備えられており、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子がそれぞれ、ニオブ酸リチウムからなる圧電層を含む圧電膜と、前記圧電層上に設けられており、第１のバスバーと、前記第１のバスバーに一端がそれぞれ接続されている複数の第１の電極指とを有し、入力電位に接続される第１の櫛形電極と、前記圧電層上に設けられており、第２のバスバーと、前記第２のバスバーに一端がそれぞれ接続されており、前記複数の第１の電極指と間挿し合っている複数の第２の電極指とを有し、出力電位に接続される第２の櫛形電極と、平面視したときに、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が並ぶ方向において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指と並ぶように、それぞれ前記圧電層上に設けられている複数の第３の電極指と、隣り合う前記第３の電極指同士を接続している接続電極とを有し、基準電位に接続される、第３の電極とを有し、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれにおいて、平面視したときに、前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が並んでいる順序が、前記第１の電極指から開始した場合において、前記第１の電極指、前記第３の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指を１周期とする順序であり、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子がそれぞれ、１つの弾性波共振子が並列分割された分割共振子である。

　本発明によれば、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ耐電力性を高くすることができる、弾性波装置を提供することができる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図２は、本発明の第１の実施形態における第１の弾性波共振子の模式的正面断面図である。図３は、本発明の第１の実施形態における第１の弾性波共振子の模式的平面図である。図４は、本発明の第１の実施形態における第１～第３の電極指付近を示す模式的正面断面図である。図５は、本発明の第１の実施形態における第２の弾性波共振子の模式的平面図である。図６は、本発明の第１の実施形態における通過特性を示す図である。図７は、ｄ／ｐを限りなく０に近づけた場合のＬｉＮｂＯ_３のオイラー角（０°，θ，ψ）に対する比帯域のマップを示す図である。図８は、本発明の第１の実施形態の変形例における第１の弾性波共振子の模式的平面図である。図９は、本発明の第１の実施形態及び第２の実施形態における通過特性を示す図である。図１０は、本発明の第１の実施形態及び第３の実施形態における通過特性を示す図である。図１１は、本発明の第１の実施形態及び第４の実施形態における通過特性を示す図である。図１２は、本発明の第１の実施形態及び第５の実施形態における通過特性を示す図である。図１３は、本発明の第９の実施形態における第１の弾性波共振子の模式的正面断面図である。図１４は、本発明の第９の実施形態における第２の弾性波共振子の模式的正面断面図である。図１５は、本発明の第１の実施形態及び第９の実施形態における通過特性を示す図である。図１６は、本発明の第１０の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図１７は、本発明の第１０の実施形態における第２の弾性波共振子の模式的平面図である。図１８は、本発明の第１０の実施形態の変形例に係る弾性波装置の模式的平面図である。図１９は、本発明の第１の実施形態及び第１０の実施形態における通過特性を示す図である。図２０は、本発明の第１０の実施形態及びその変形例における通過特性を示す図である。図２１は、本発明の第１１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図２２は、図２１中のＩＩ－ＩＩ線に沿う模式的断面図である。図２３は、本発明の第１２の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図２４は、本発明の第１３の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図２５は、本発明の第１３の実施形態における第１の弾性波共振子の第１～第３の電極指付近を示す模式的正面断面図である。図２６（ａ）は、厚み滑りモードのバルク波を利用する弾性波装置の外観を示す略図的斜視図であり、図２６（ｂ）は、圧電層上の電極構造を示す平面図である。図２７は、図２６（ａ）中のＡ－Ａ線に沿う部分の断面図である。図２８（ａ）は、弾性波装置の圧電膜を伝搬するラム波を説明するための模式的正面断面図であり、図２８（ｂ）は、弾性波装置における、圧電膜を伝搬する厚み滑りモードのバルク波を説明するための模式的正面断面図である。図２９は、厚み滑りモードのバルク波の振幅方向を示す図である。図３０は、厚み滑りモードのバルク波を利用する弾性波装置の共振特性を示す図である。図３１は、隣り合う電極の中心間距離をｐ、圧電層の厚みをｄとした場合のｄ／ｐと共振子としての比帯域との関係を示す図である。図３２は、厚み滑りモードのバルク波を利用する弾性波装置の平面図である。図３３は、スプリアスが現れている参考例の弾性波装置の共振特性を示す図である。図３４は、比帯域と、スプリアスの大きさとしての１８０度で規格化されたスプリアスのインピーダンスの位相回転量との関係を示す図である。図３５は、ｄ／２ｐと、メタライゼーション比ＭＲとの関係を示す図である。図３６は、ｄ／ｐを限りなく０に近づけた場合のＬｉＮｂＯ_３のオイラー角（０°，θ，ψ）に対する比帯域のマップを示す図である。図３７は、音響多層膜を有する弾性波装置の正面断面図である。図３８は、ラム波を利用する弾性波装置を説明するための部分切り欠き斜視図である。

　以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

　なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。

　図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。

　弾性波装置１０は、フィルタ装置の一部として用いられる。弾性波装置１０は複数の弾性波共振子を有する。もっとも、本発明に係る弾性波装置はフィルタ装置であってもよい。以下において、弾性波装置１０の構成を説明する。

　弾性波装置１０は、１つの第１の弾性波共振子１０Ａと、１つの第２の弾性波共振子１０Ｂとを有する。第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂはそれぞれ、音響結合型フィルタである。第１の弾性波共振子１０Ａは機能電極１１を有する。第２の弾性波共振子１０Ｂは機能電極３１を有する。

　第１の弾性波共振子１０Ａと、第２の弾性波共振子１０Ｂとは、電気的に接続されている。具体的には、弾性波装置１０においては、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂは互いに直列に接続されている。

　本実施形態の特徴は、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂがそれぞれ、１つの弾性波共振子が直列分割された分割共振子であることにある。本明細書において、２つの弾性波共振子が分割共振子であるとは、互いに直列または並列に接続された、一方の弾性波共振子及び他方の弾性波共振子の共振周波数の差が、双方の弾性波共振子の共振周波数のいずれに対しても、１％以下である場合をいう。弾性波装置１０が上記の構成を有することによって、弾性波装置１０がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ耐電力性を高くすることができる。この詳細を、本実施形態の詳細と共に、以下において説明する。

　図１に示すように、弾性波装置１０は圧電性基板１２を有する。圧電性基板１２は圧電性を有する基板である。圧電性基板１２は圧電膜としての圧電層１４を有する。圧電層１４は圧電体からなる層である。一方で、本明細書において圧電膜とは、圧電性を有する膜であって、必ずしも圧電体からなる膜を指すものではない。もっとも、本実施形態では、圧電膜は単層の圧電層１４であり、圧電体からなる膜である。なお、本発明においては、圧電膜は、圧電層１４を含む積層膜であってもよい。

　本実施形態では、圧電性基板１２は、圧電層１４を含む積層体である。第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂは、圧電性基板１２を共有している。そして、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂは、圧電膜としての圧電層１４を共有している。

　図２は、第１の実施形態における第１の弾性波共振子の模式的正面断面図である。図３は、第１の実施形態における第１の弾性波共振子の模式的平面図である。なお、図２は、図３中のＩ－Ｉ線に沿う模式的断面図である。図３においては、各電極を、ハッチングを付して示す。図３以外の模式的平面図においても同様に、電極にハッチングを付すことがある。図３においては、第１の弾性波共振子１０Ａに接続された配線などや、第２の弾性波共振子１０Ｂを省略している。

　図２に示す第１の弾性波共振子１０Ａは、上記のように、圧電性基板１２と、機能電極１１とを有する。圧電性基板１２は、支持部材１３と、圧電膜としての圧電層１４とを有する。本実施形態では、支持部材１３は、支持基板１６と、絶縁層１５とを含む。支持基板１６上に絶縁層１５が設けられている。絶縁層１５上に圧電層１４が設けられている。もっとも、支持部材１３は支持基板１６のみにより構成されていてもよい。

　圧電層１４は第１の主面１４ａ及び第２の主面１４ｂを有する。第１の主面１４ａ及び第２の主面１４ｂは互いに対向している。圧電層１４及び支持部材１３は、圧電層１４の第１の主面１４ａ及び第２の主面１４ｂが対向している方向から見たときに、重なっている。第１の主面１４ａ及び第２の主面１４ｂのうち、第２の主面１４ｂが支持部材１３側に位置している。圧電層１４の第１の主面１４ａに、機能電極１１が設けられている。

　支持基板１６の材料としては、例えば、シリコンなどの半導体や、酸化アルミニウムなどのセラミックスなどを用いることができる。絶縁層１５の材料としては、酸化ケイ素または酸化タンタルなどの、適宜の誘電体を用いることができる。圧電層１４は、例えば、ＬｉＮｂＯ_３層などのニオブ酸リチウム層からなる。本明細書において、ある部材がある材料からなるとは、弾性波装置の電気的特性が大幅に劣化しない程度の微量な不純物が含まれる場合を含む。

　絶縁層１５には複数の凹部が設けられている。絶縁層１５上に、複数の凹部を塞ぐように、圧電膜としての圧電層１４が設けられている。これにより、複数の中空部が構成されている。これらの中空部が、図１に示した空洞部１０ａ及び空洞部１０ｂである。本実施形態では、支持部材１３の一部及び圧電膜の一部が、空洞部１０ａ及び空洞部１０ｂを挟み互いに対向するように、支持部材１３と圧電膜とが配置されている。もっとも、支持部材１３における凹部は、絶縁層１５及び支持基板１６にわたり設けられていてもよい。あるいは、支持基板１６のみに設けられた凹部が、絶縁層１５により塞がれていてもよい。凹部は、例えば、圧電層１４に設けられていても構わない。なお、空洞部１０ａ及び空洞部１０ｂは、支持部材１３に設けられた貫通孔であってもよい。

　空洞部１０ａ及び空洞部１０ｂは、本発明における音響反射部である。音響反射部としての空洞部１０ａにより、第１の弾性波共振子１０Ａの弾性波のエネルギーを圧電層１４側に効果的に閉じ込めることができる。空洞部１０ａは、平面視において、支持部材１３における、機能電極１１の少なくとも一部と重なる位置に設けられている。一方で、音響反射部としての空洞部１０ｂにより、第２の弾性波共振子１０Ｂの弾性波のエネルギーを圧電層１４側に効果的に閉じ込めることができる。空洞部１０ｂは、平面視において、支持部材１３における、機能電極３１の少なくとも一部と重なる位置に設けられている。

　本明細書において平面視とは、図２における上方に相当する方向から、支持部材１３及び圧電膜の積層方向に沿って見ることをいう。なお、図２においては、例えば、支持基板１６側及び圧電層１４側のうち、圧電層１４側が上方である。さらに、本明細書において平面視は、主面対向方向から見ることと同義であるとする。主面対向方向とは、圧電層１４の第１の主面１４ａ及び第２の主面１４ｂが対向し合う方向である。より具体的には、主面対向方向は、例えば、第１の主面１４ａの法線方向である。

　図３に示すように、機能電極１１は、１対の櫛形電極と、第３の電極１９とを有する。１対の櫛形電極は、具体的には、第１の櫛形電極１７及び第２の櫛形電極１８である。第１の櫛形電極１７は入力電位に接続される。第２の櫛形電極１８は出力電位に接続される。第３の電極１９は、本実施形態においては、基準電位に接続される。本実施形態では、第３の電極１９は基準電位電極である。なお、第３の電極１９は、必ずしも基準電位に接続されなくともよい。第３の電極１９は、第１の櫛形電極１７及び第２の櫛形電極１８とは異なる電位に接続されればよい。もっとも、第３の電極１９が基準電位に接続されることが好ましい。

　第１の櫛形電極１７及び第２の櫛形電極１８は、圧電層１４の第１の主面１４ａに設けられている。第１の櫛形電極１７は、第１のバスバー２２と、複数の第１の電極指２５とを有する。複数の第１の電極指２５の一端はそれぞれ、第１のバスバー２２に接続されている。第２の櫛形電極１８は、第２のバスバー２３と、複数の第２の電極指２６とを有する。複数の第２の電極指２６の一端はそれぞれ、第２のバスバー２３に接続されている。

　第１のバスバー２２及び第２のバスバー２３は互いに対向している。複数の第１の電極指２５と複数の第２の電極指２６とは互いに間挿し合っている。第１の電極指２５及び第２の電極指２６が延びる方向と直交する方向において、第１の電極指２５及び第２の電極指２６は交互に並んでいる。

　第３の電極１９は、接続電極としての第３のバスバー２４と、複数の第３の電極指２７とを有する。複数の第３の電極指２７は、圧電層１４の第１の主面１４ａに設けられている。複数の第３の電極指２７同士は、第３のバスバー２４により電気的に接続されている。

　平面視したときに、第１の電極指２５及び第２の電極指２６が並ぶ方向において、第１の電極指２５及び第２の電極指２６と並ぶように、複数の第３の電極指２７がそれぞれ設けられている。よって、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７は、一方向において並んでいる。複数の第３の電極指２７は、複数の第１の電極指２５及び複数の第２の電極指２６と平行に延びている。

　以下においては、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７が延びる方向を電極指延伸方向とし、電極指延伸方向と直交する方向を電極指直交方向とする。第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７が並んでいる方向を電極指配列方向としたときに、電極指配列方向は、電極指直交方向と平行である。本明細書では、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７をまとめて、単に電極指と記載することがある。第１のバスバー２２及び第２のバスバー２３をまとめて、単にバスバーと記載することがある。

　図４は、第１の実施形態における第１～第３の電極指付近を示す模式的正面断面図である。

　平面視したときに、複数の電極指が並んでいる順序は、第１の電極指２５から開始した場合において、第１の電極指２５、第３の電極指２７、第２の電極指２６及び第３の電極指２７を１周期とする順序である。よって、複数の電極指が並んでいる順序は、第１の電極指２５、第３の電極指２７、第２の電極指２６、第３の電極指２７、第１の電極指２５、第３の電極指２７、第２の電極指２６…というように続く。入力電位をＩＮ、出力電位をＯＵＴ、基準電位をＧＮＤにより表わし、複数の電極指の順序を接続される電位の順序として表わすと、ＩＮ、ＧＮＤ、ＯＵＴ、ＧＮＤ、ＩＮ、ＧＮＤ、ＯＵＴ…というように続く。

　本実施形態では、複数の電極指が設けられている領域において、電極指直交方向における両端部に位置している電極指は、いずれも第３の電極指２７である。なお、該領域において、電極指直交方向における端部に位置している電極指は、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７のうちいずれの種類の電極指であってもよい。

　図３に示すように、第３の電極１９の接続電極としての第３のバスバー２４は、複数の第３の電極指２７同士を電気的に接続している。具体的には、第３のバスバー２４は、第１のバスバー２２と、複数の第２の電極指２６の先端との間の領域に位置している。この領域には、複数の第１の電極指２５も位置している。もっとも、絶縁膜２９Ａによって、第３のバスバー２４及び複数の第１の電極指２５は、互いに電気的に絶縁されている。

　より具体的には、第３のバスバー２４は、複数の第１の接続電極２４Ａと、１つの第２の接続電極２４Ｂとを含む。各第１の接続電極２４Ａは、隣り合う２本の第３の電極指２７の先端同士を接続している。第１の接続電極２４Ａ及び２本の第３の電極指２７により、Ｕ字状の電極が構成されている。複数の第１の接続電極２４Ａ同士を、第２の接続電極２４Ｂが接続している。この第２の接続電極２４Ｂ及び複数の第１の電極指２５の間に、絶縁膜２９Ａが設けられている。

　より詳細には、圧電層１４の第１の主面１４ａに、複数の第１の電極指２５の一部を覆うように、絶縁膜２９Ａが設けられている。絶縁膜２９Ａは、第１のバスバー２２と、複数の第２の電極指２６の先端との間の領域に設けられている。絶縁膜２９Ａは帯状の形状を有する。

　絶縁膜２９Ａは、第３の電極１９の第１の接続電極２４Ａ上には至っていない。そして、絶縁膜２９Ａ上及び複数の第１の接続電極２４Ａ上にわたり、第２の接続電極２４Ｂが設けられている。具体的には、第２の接続電極２４Ｂは、バー部２４ａと、複数の突出部２４ｂとを有する。バー部２４ａから、各突出部２４ｂが、各第１の接続電極２４Ａに向かって延びている。各突出部２４ｂは、各第１の接続電極２４Ａに接続されている。これにより、複数の第３の電極指２７同士が、第１の接続電極２４Ａ及び第２の接続電極２４Ｂによって、電気的に接続されている。

　本実施形態では、第３のバスバー２４は、第１のバスバー２２と、複数の第２の電極指２６の先端との間の領域に位置している。そのため、複数の第２の電極指２６の先端はそれぞれ、電極指延伸方向において、ギャップｇ１を隔てて、第３のバスバー２４と対向している。一方で、複数の第１の電極指２５の先端はそれぞれ、電極指延伸方向において、ギャップｇ２を隔てて、第２のバスバー２３と対向している。

　なお、第３のバスバー２４は、第２のバスバー２３と、複数の第１の電極指２５の先端との間の領域に位置していてもよい。この場合、複数の第１の電極指２５の先端はそれぞれ、ギャップを隔てて、第３のバスバー２４と対向している。一方で、複数の第２の電極指２６の先端はそれぞれ、ギャップを隔てて、第１のバスバー２２と対向している。

　これらのように、第１の弾性波共振子１０Ａにおいては、第３の電極１９が基準電位電極である場合、以下のように構成されていればよい。複数の第１の電極指２５の先端はそれぞれ、該電極指と異なる電位であり、かつ入力電位、出力電位及び基準電位のうちいずれかである電位に接続される電極と、電極指延伸方向において、ギャップを隔てて対向していればよい。同様に、複数の第２の電極指２６の先端はそれぞれ、該電極指と異なる電位であり、かつ入力電位、出力電位及び基準電位のうちいずれかである電位に接続される電極と、電極指延伸方向において、ギャップを隔てて対向していればよい。

　これらのギャップの、電極指延伸方向に沿う寸法をギャップ長とする。本実施形態では、ギャップｇ１のギャップ長、及びギャップｇ２のギャップ長は同じである。もっとも、ギャップｇ１のギャップ長、及びギャップｇ２のギャップ長は互いに異なっていてもよい。

　第１の弾性波共振子１０Ａは、厚み滑りモードのバルク波を利用可能に構成された弾性波共振子である。図３に示すように、第１の弾性波共振子１０Ａは、複数の励振領域Ｃを有する。複数の励振領域Ｃにおいて、厚み滑りモードのバルク波や、他のモードの弾性波が励振される。なお、図３においては、複数の励振領域Ｃのうち２つの励振領域Ｃのみを示している。

　全ての励振領域Ｃのうち一部の複数の励振領域Ｃは、電極指直交方向から見たときに、隣り合う第１の電極指２５及び第３の電極指２７が重なり合う領域であり、かつ隣り合う第１の電極指２５及び第３の電極指２７の中心間の領域である。残りの複数の励振領域Ｃは、電極指直交方向から見たときに、隣り合う第２の電極指２６及び第３の電極指２７が重なり合う領域であり、かつ隣り合う第２の電極指２６及び第３の電極指２７の中心間の領域である。これらの励振領域Ｃが、電極指直交方向において並んでいる。

　機能電極１１において、第３の電極１９を除いた構成は、ＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ　Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極の構成と同様である。電極指直交方向から見たときに、隣り合う第１の電極指２５及び第２の電極指２６が重なり合っている領域が交叉領域Ｅである。もっとも、交叉領域Ｅは、電極指直交方向から見たときに、隣り合う第１の電極指２５及び第３の電極指２７、または隣り合う第２の電極指２６及び第３の電極指２７が重なり合っている領域であるともいえる。交叉領域Ｅは複数の励振領域Ｃを含む。なお、第１の弾性波共振子１０Ａの交叉領域Ｅ及び励振領域Ｃは、機能電極１１の構成に基づいて定義される、圧電層１４の領域である。

　図５は、第１の実施形態における第２の弾性波共振子の模式的平面図である。なお、図５では、第２の弾性波共振子１０Ｂに接続された配線などや、第１の弾性波共振子１０Ａを省略している。

　第２の弾性波共振子１０Ｂは、厚み滑りモードのバルク波を利用可能に構成されている。第２の弾性波共振子１０Ｂは音響結合型フィルタである。第２の弾性波共振子１０Ｂは、圧電性基板１２を第１の弾性波共振子１０Ａと共有している。第２の弾性波共振子１０Ｂは上記機能電極３１を有する。より具体的には、機能電極３１は、圧電性基板１２における圧電層１４の第１の主面１４ａに設けられている。第２の弾性波共振子１０Ｂの機能電極３１の構成は、第１の弾性波共振子１０Ａの機能電極１１の構成と、基本的には同様である。

　より具体的には、第２の弾性波共振子１０Ｂは、第１の弾性波共振子１０Ａとは個別に、第１の櫛形電極と、第２の櫛形電極と、第３の電極とを含む。なお、以下においては、第２の弾性波共振子１０Ｂの第１の櫛形電極は、第４の櫛形電極とする。第２の弾性波共振子１０Ｂの第２の櫛形電極は、第５の櫛形電極とする。第２の弾性波共振子１０Ｂの第３の電極は、第６の電極とする。

　第４の櫛形電極は入力電位に接続される。第５の櫛形電極は出力電位に接続される。なお、本実施形態では、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂは互いに直列に接続されている。第４の櫛形電極は、具体的には、第１の弾性波共振子１０Ａの出力電位に接続される。

　第２の弾性波共振子１０Ｂの第６の電極は、本実施形態においては、基準電位に接続される。本実施形態では、第６の電極は基準電位電極である。なお、第６の電極は、必ずしも基準電位に接続されなくともよい。第６の電極は、第４の櫛形電極及び第５の櫛形電極とは異なる電位に接続されればよい。もっとも、第６の電極が基準電位に接続されることが好ましい。

　第４の櫛形電極及び第５の櫛形電極は、圧電層１４の第１の主面１４ａに設けられている。第４の櫛形電極は、第１のバスバーとしての第４のバスバー３２と、複数の第１の電極指としての複数の第４の電極指３５とを有する。複数の第４の電極指３５の一端はそれぞれ、第４のバスバー３２に接続されている。

　なお、本実施形態では、第２の弾性波共振子１０Ｂにおける第４のバスバー３２は、第１の弾性波共振子１０Ａと共有されている。具体的には、第４のバスバー３２は、図１に示す、第１の弾性波共振子１０Ａにおける第２のバスバー２３である。もっとも、第１の弾性波共振子１０Ａの第２のバスバー２３、及び第２の弾性波共振子１０Ｂの第４のバスバー３２は、個別に設けられていてもよい。

　図５に戻り、第５の櫛形電極は、第２のバスバーとしての第５のバスバー３３と、複数の第２の電極指としての複数の第５の電極指３６とを有する。複数の第５の電極指３６の一端はそれぞれ、第５のバスバー３３に接続されている。

　第４のバスバー３２及び第５のバスバー３３は互いに対向している。複数の第４の電極指３５と複数の第５の電極指３６とは互いに間挿し合っている。第４の電極指３５及び第５の電極指３６が延びる方向と直交する方向において、第４の電極指３５及び第５の電極指３６は交互に並んでいる。

　第６の電極は、接続電極としての第６のバスバー３４と、複数の第３の電極指としての複数の第６の電極指３７とを有する。複数の第６の電極指３７は、圧電層１４の第１の主面１４ａに設けられている。複数の第６の電極指３７同士は、第６のバスバー３４により電気的に接続されている。第６のバスバー３４は、第１の弾性波共振子１０Ａの第３のバスバー２４と同様に構成されている。よって、第６のバスバーは、第１の接続電極及び第２の接続電極を有する。

　平面視したときに、第４の電極指３５及び第５の電極指３６が並ぶ方向において、第４の電極指３５及び第５の電極指３６と並ぶように、複数の第６の電極指３７がそれぞれ設けられている。よって、第４の電極指３５、第５の電極指３６及び第６の電極指３７は、一方向において並んでいる。複数の第６の電極指３７は、複数の第４の電極指３５及び複数の第５の電極指３６と平行に延びている。

　第２の弾性波共振子１０Ｂにおいては、第４の電極指３５、第５の電極指３６及び第６の電極指３７が延びる方向が電極指延伸方向であり、電極指延伸方向と直交する方向が電極指直交方向である。以下においては、第４の電極指３５、第５の電極指３６及び第６の電極指３７をまとめて、単に複数の電極指と記載することがある。

　平面視したときに、第２の弾性波共振子１０Ｂにおける複数の電極指が並んでいる順序は、第４の電極指３５から開始した場合において、第４の電極指３５、第６の電極指３７、第５の電極指３６及び第６の電極指３７を１周期とする順序である。すなわち、第２の弾性波共振子１０Ｂでは、第１の弾性波共振子１０Ａと同様に、複数の電極指が並んでいる順序は、第１の電極指から開始した場合において、第１の電極指、第３の電極指、第２の電極指及び第３の電極指を１周期とする順序である。

　第６のバスバー３４は、第４のバスバー３２と、複数の第５の電極指３６の先端との間の領域に位置している。なお、第６のバスバー３４と、複数の第４の電極指３５とは、絶縁膜２９Ｂによって、電気的に絶縁されている。

　複数の第５の電極指３６の先端はそれぞれ、電極指延伸方向において、ギャップｇ４を隔てて、第６のバスバー３４と対向している。一方で、複数の第４の電極指３５の先端はそれぞれ、電極指延伸方向において、ギャップｇ５を隔てて、第５のバスバー３３と対向している。

　なお、第２の弾性波共振子１０Ｂにおいては、第６の電極が基準電位電極である場合、第１の弾性波共振子１０Ａと同様に、以下のように構成されていればよい。複数の第４の電極指３５の先端はそれぞれ、該電極指と異なる電位であり、かつ入力電位、出力電位及び基準電位のうちいずれかである電位に接続される電極と、電極指延伸方向において、ギャップを隔てて対向していればよい。同様に、複数の第５の電極指３６の先端はそれぞれ、該電極指と異なる電位であり、かつ入力電位、出力電位及び基準電位のうちいずれかである電位に接続される電極と、電極指延伸方向において、ギャップを隔てて対向していればよい。

　これらのギャップの、電極指延伸方向に沿う寸法が、第２の弾性波共振子１０Ｂのギャップ長である。本実施形態では、ギャップｇ４のギャップ長、及びギャップｇ５のギャップ長は同じである。もっとも、ギャップｇ４のギャップ長、及びギャップｇ５のギャップ長は互いに異なっていてもよい。

　第２の弾性波共振子１０Ｂは、第１の弾性波共振子１０Ａと同様に、複数の励振領域及び交叉領域を有する。具体的には、全ての励振領域のうち一部の複数の励振領域は、電極指直交方向から見たときに、隣り合う第４の電極指３５及び第６の電極指３７が重なり合う領域であり、かつ隣り合う第４の電極指３５及び第６の電極指３７の中心間の領域である。残りの複数の励振領域は、電極指直交方向から見たときに、隣り合う第５の電極指３６及び第６の電極指３７が重なり合う領域であり、かつ隣り合う第５の電極指３６及び第６の電極指３７の中心間の領域である。これらの励振領域が、電極指直交方向において並んでいる。

　電極指直交方向から見たときに、隣り合う第４の電極指３５及び第５の電極指３６が重なり合っている領域が交叉領域である。もっとも、交叉領域は、電極指直交方向から見たときに、隣り合う第４の電極指３５及び第６の電極指３７、または隣り合う第５の電極指３６及び第６の電極指３７が重なり合っている領域であるともいえる。第２の弾性波共振子１０Ｂの交叉領域及び励振領域は、機能電極３１の構成に基づいて定義される、圧電層１４の領域である。

　本実施形態においては、弾性波装置１０がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ耐電力性を高くすることができる。この詳細を以下において説明する。

　なお、以下においては、複数の分割共振子の元となる１つの弾性波共振子を、元の弾性波共振子と記載することがある。第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂは、元の弾性波共振子が直列分割されることによって構成されている。

　弾性波装置１０においては、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂが構成されているのであって、元の弾性波共振子は構成されていない。もっとも、便宜上、元の弾性波共振子が、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂと同様の、音響結合型フィルタであるとする。そして、元の弾性波共振子が、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂと同様に、第１の櫛形電極、第２の櫛形電極及び第３の電極を含むとする。以下において、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂの元の弾性波共振子の設計パラメータの一例を示す。

　圧電層：材料…ＬｉＮｂＯ_３、オイラー角（φ，ψ，θ）…（０°，０°、９０°）、厚み…４００ｎｍ
　第１～第３の電極指：層構成…圧電層側からＴｉ層／ＡｌＣｕ層／Ｔｉ層、厚み…圧電層側から１０ｎｍ／３９０ｎｍ／４ｎｍ
　第１～第３の電極指の順序を接続される電位により表わした順序：ＩＮ、ＧＮＤ、ＯＵＴ、ＧＮＤの順序が繰り返される。
　隣り合う電極指同士の中心間距離：１．４μｍ
　デューティ比：０．３

　第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂが、上記の設計パラメータの弾性波共振子が直列分割された分割共振子である場合における、弾性波装置１０の通過特性を図６により示す。

　図６は、第１の実施形態における通過特性を示す図である。なお、図６では、Ｓ１２パラメータを示している。

　まず、図６に示すように、本実施形態の弾性波装置１０において、フィルタ特性を得られていることがわかる。弾性波装置１０における第１の弾性波共振子１０Ａは、音響結合型フィルタである。より詳細には、図３に示すように、第１の弾性波共振子１０Ａは、隣り合う第１の電極指２５及び第３の電極指２７の中心間に位置する励振領域Ｃと、隣り合う第２の電極指２６及び第３の電極指２７の中心間に位置する励振領域Ｃとを有する。これらの励振領域Ｃにおいて、厚み滑りモードのバルク波を含む複数のモードの弾性波が励振される。これらのモードを結合させることにより、フィルタ波形を好適に得ることができる。

　第２の弾性波共振子１０Ｂにおいても、第１の弾性波共振子１０Ａと同様に、フィルタ波形を得ることができる。よって、弾性波装置１０をフィルタ装置に用いる場合に、フィルタ装置を構成する弾性波共振子が少ない個数でも、フィルタ波形を好適に得ることができる。従って、フィルタ装置の小型化を進めることができる。

　加えて、本実施形態においては、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂはそれぞれ、１つの弾性波共振子が直列分割された分割共振子である。１つの弾性波共振子が複数の分割共振子に直列分割されることにより、弾性波共振子の合計の面積は大きくなる。それによって、弾性波共振子における単位面積当たりに加えられる電力が小さくなる。これにより、大きな電力が加えられた場合においても、弾性波共振子を破損し難くすることができる。このように、耐電力性を高くすることができる。さらに、ＩＭＤ（Ｉｎｔｅｒｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ　Ｄｉｓｔｏｒｔｉｏｎ）を抑制することもできる。

　以下において、本実施形態の構成をより詳細に説明する。

　図１に示すように、圧電層１４の第１の主面１４ａには、第１の信号電位配線２８Ａと、第２の信号電位配線２８Ｂと、基準電位配線２８Ｃとが設けられている。第１の信号電位配線２８Ａは入力電位に接続される。第２の信号電位配線２８Ｂは出力電位に接続される。基準電位配線２８Ｃは基準電位に接続される。

　第１の信号電位配線２８Ａには、第１の弾性波共振子１０Ａの第１のバスバー２２が接続されている。第２の信号電位配線２８Ｂには、第２の弾性波共振子１０Ｂの第５のバスバー３３が接続されている。

　基準電位配線２８Ｃには、第１の弾性波共振子１０Ａの接続電極としての第３のバスバー２４と、第２の弾性波共振子１０Ｂの接続電極としての第６のバスバー３４とが接続されている。第３のバスバー２４及び第６のバスバー３４は、基準電位配線２８Ｃを介して基準電位に接続される。本実施形態では、第３のバスバー２４及び第６のバスバー３４は同じ基準電位配線２８Ｃに接続されている。なお、第３のバスバー２４及び第６のバスバー３４は、個別に設けられた別々の基準電位配線２８Ｃに接続されていてもよい。

　第１の弾性波共振子１０Ａにおける複数の第１の電極指２５、複数の第２の電極指２６及び複数の第３の電極指２７は、平面視において、音響反射部としての空洞部１０ａと重なっている。第２の弾性波共振子１０Ｂにおける複数の第４の電極指３５、複数の第５の電極指３６及び複数の第６の電極指３７は、平面視において、音響反射部としての空洞部１０ｂと重なっている。

　本実施形態のように、平面視において、第１の弾性波共振子１０Ａの複数の励振領域Ｃが、音響反射部としての空洞部１０ａと重なっていることが好ましい。それによって、第１の弾性波共振子１０Ａにおける弾性波のエネルギーを、圧電層１４側に、より確実に効果的に閉じ込めることができる。平面視において、第２の弾性波共振子１０Ｂの複数の励振領域が、音響反射部としての空洞部１０ｂと重なっていることが好ましい。それによって、第２の弾性波共振子１０Ｂにおける弾性波のエネルギーを、圧電層１４側に、より確実に効果的に閉じ込めることができる。

　なお、音響反射部は、後述する、音響多層膜などの音響反射膜であってもよい。例えば、支持部材の表面上に、音響反射膜が設けられていてもよい。

　図３に示す、第１の弾性波共振子１０Ａの第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７は、積層金属膜からなる。具体的には、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７において、圧電層１４側から、Ｔｉ層、ＡｌＣｕ層及びＴｉ層がこの順序で積層されている。なお、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７の材料は上記に限定されない。あるいは、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７は単層の金属膜からなっていてもよい。

　第２の弾性波共振子１０Ｂの第４の電極指３５、第５の電極指３６及び第６の電極指３７には、第１の弾性波共振子１０Ａの各電極指と同様の材料を用いることができる。

　以下においては、第１の弾性波共振子１０Ａにおける、隣り合う第１の電極指２５及び第３の電極指２７の中心間距離、並びに隣り合う第２の電極指２６及び第３の電極指２７の中心間距離をｐ１とする。第２の弾性波共振子１０Ｂにおける、隣り合う第１の電極指及び第３の電極指の中心間距離、並びに隣り合う第２の電極指及び第３の電極指の中心間距離をｐ２とする。すなわち、隣り合う第４の電極指３５及び第６の電極指３７の中心間距離、並びに隣り合う第５の電極指３６及び第６の電極指３７の中心間距離がｐ２である。

　本実施形態では、第１の弾性波共振子１０Ａにおいて、隣り合う第１の電極指２５及び第３の電極指２７の中心間距離ｐ１と、隣り合う第２の電極指２６及び第３の電極指２７の中心間距離ｐ１とは同じである。もっとも、隣り合う第１の電極指２５及び第３の電極指２７の中心間距離ｐ１と、隣り合う第２の電極指２６及び第３の電極指２７の中心間距離ｐ１とは、一定ではなくともよい。この場合には、隣り合う第１の電極指２５及び第３の電極指２７の中心間距離ｐ１、並びに隣り合う第２の電極指２６及び第３の電極指２７の中心間距離ｐ１のうち、最も長い距離をｐとする。なお、本実施形態のように、隣り合う電極指同士の中心間距離ｐ１が一定である場合には、第１の弾性波共振子１０Ａにおけるいずれの隣り合う電極指同士の中心間距離ｐ１も、距離ｐである。

　同様に、本実施形態では、第２の弾性波共振子１０Ｂにおいて、隣り合う第４の電極指３５及び第６の電極指３７の中心間距離ｐ２と、隣り合う第５の電極指３６及び第６の電極指３７の中心間距離ｐ２とは同じである。もっとも、隣り合う第４の電極指３５及び第６の電極指３７の中心間距離ｐ２と、隣り合う第５の電極指３６及び第６の電極指３７の中心間距離ｐ２とは、一定ではなくともよい。この場合には、隣り合う第４の電極指３５及び第６の電極指３７の中心間距離ｐ２、並びに隣り合う第５の電極指３６及び第６の電極指３７の中心間距離ｐ２のうち、最も長い距離をｐとする。なお、本実施形態のように、隣り合う電極指同士の中心間距離ｐ２が一定である場合には、第２の弾性波共振子１０Ｂにおけるいずれの隣り合う電極指同士の中心間距離ｐ２も、距離ｐである。

　第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂのそれぞれにおいて、圧電膜の厚みをｄとしたときに、ｄ／ｐが０．５以下であることが好ましく、ｄ／ｐが０．２４以下であることがより好ましい。これにより、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂのそれぞれにおいて、厚み滑りモードのバルク波が好適に励振される。なお、本実施形態では、厚みｄは圧電層１４の厚みである。

　もっとも、本発明の第１の弾性波共振子は、必ずしも厚み滑りモードのバルク波を利用可能に構成されていなくともよい。例えば、本発明の第１の弾性波共振子は、板波を励振可能に構成されていてもよい。この場合においては、励振領域は、図３に示す交叉領域Ｅである。同様に、第２の弾性波共振子は、板波を励振可能に構成されていてもよい。

　本実施形態においては、圧電層１４はニオブ酸リチウムからなる。第１の弾性波共振子１０Ａの比帯域は、圧電層１４に用いられているニオブ酸リチウムのオイラー角（φ，θ，ψ）に依存する。第２の弾性波共振子１０Ｂにおいても同様である。なお、比帯域とは、共振周波数をｆｒ、反共振周波数をｆａとしたときに、（｜ｆａ－ｆｒ｜／ｆｒ）×１００［％］により表される。

　ｄ／ｐを限りなく０に近づけた場合における、第１の弾性波共振子１０Ａの比帯域と、圧電層１４のオイラー角（φ，θ，ψ）との関係を導出した。なお、オイラー角におけるφは０°とした。

　図７は、ｄ／ｐを限りなく０に近づけた場合のＬｉＮｂＯ_３のオイラー角（０°，θ，ψ）に対する比帯域のマップを示す図である。

　図７のハッチングを付して示した領域Ｒが、少なくとも２％以上の比帯域が得られる領域である。領域Ｒの範囲を近似すると、下記の式（１）、式（２）及び式（３）で表される範囲となる。なお、オイラー角（φ，θ，ψ）におけるφが０°±１０°以内の範囲である場合には、θ及びψと、比帯域との関係は、図７に示す関係と同様である。

　（０°±１０°の範囲内，０°～２５°，任意のψ）　　…式（１）
　（０°±１０°の範囲内，２５°～１００°，０°～７５°［（１－（θ－５０）^２／２５００）］^１／２　または　１８０°－７５°［（１－（θ－５０）^２／２５００）］^１／２～１８０°）　　…式（２）
　（０°±１０°の範囲内，１８０°－４０°［（１－（ψ－９０）^２／８１００）］^１／２～１８０°，任意のψ）　　…式（３）

　上記式（１）、式（２）または式（３）のオイラー角の範囲であることが好ましい。それによって、比帯域を十分に広くすることができる。これにより、第１の弾性波共振子１０Ａを含む弾性波装置１０を、フィルタ装置に好適に用いることができる。

　同様に、第２の弾性波共振子１０Ｂにおいても、圧電層１４を構成しているニオブ酸リチウムのオイラー角（φ，θ，ψ）が、上記式（１）、式（２）または式（３）の範囲にあることが好ましい。それによって、第２の弾性波共振子１０Ｂを含む弾性波装置１０を、フィルタ装置に好適に用いることができる。

　ところで、図３に示すように、第１の実施形態の第１の弾性波共振子１０Ａにおいては、第３の電極１９は、接続電極としての第３のバスバー２４と、複数の第３の電極指２７とを有する。該第３の電極１９は櫛形電極である。もっとも、第３の電極１９は櫛形電極ではなくともよい。例えば、図８に示す第１の実施形態の変形例においては、第１の弾性波共振子８０Ａの第３の電極１９Ａは、ミアンダ状の形状を有する。本変形例では、圧電層１４上に絶縁膜２９Ａは設けられていない。そして、接続電極２４Ｃは、第１の実施形態における複数の第１の接続電極２４Ａに相当する部分のみを含む。本変形例の接続電極２４Ｃは、第３のバスバーではない。

　より具体的には、第３の電極１９Ａは、第１のバスバー２２側に位置している複数の接続電極２４Ｃと、第２のバスバー２３側に位置している複数の接続電極２４Ｃとを有する。隣接する２本の第３の電極指２７の、第１のバスバー２２側の先端部同士、または第２のバスバー２３側の先端部同士が、接続電極２４Ｃにより接続されている。例えば、複数の第３の電極指２７のうち、電極指直交方向における両端以外の第３の電極指２７は、第１のバスバー２２側の先端部及び第２のバスバー２３側の先端部の双方に、１つずつの接続電極２４Ｃが接続されている。該第３の電極指２７は、各接続電極２４Ｃにより、両隣の第３の電極指２７と接続されている。この構造が繰り返されることにより、第３の電極１９Ａの形状が、ミアンダ状の形状とされている。

　本変形例においては、複数の第２の電極指２６の先端はそれぞれ、電極指延伸方向において、ギャップｇ１を隔てて、複数の接続電極２４Ｃと対向している。すなわち、複数の第２の電極指２６の先端はそれぞれ、該電極指と異なる電位であり、かつ入力電位、出力電位及び基準電位のうちいずれかである電位に接続される電極と、電極指延伸方向において、ギャップｇ１を隔てて対向している。具体的には、第２の電極指２６は出力電位に接続され、接続電極２４Ｃは基準電位に接続される。第２の電極指２６の先端と接続電極２４Ｃとの間のギャップｇ１の電極指延伸方向に沿う寸法は、ギャップ長である。

　同様に、複数の第１の電極指２５の先端はそれぞれ、電極指延伸方向において、ギャップｇ２を隔てて、複数の接続電極２４Ｃと対向している。すなわち、複数の第１の電極指２５の先端はそれぞれ、該電極指と異なる電位であり、かつ入力電位、出力電位及び基準電位のうちいずれかである電位に接続される電極と、電極指延伸方向において、ギャップｇ２を隔てて対向している。具体的には、第１の電極指２５は入力電位に接続され、接続電極２４Ｃは基準電位に接続される。第１の電極指２５の先端と接続電極２４Ｃとの間のギャップｇ２の電極指延伸方向に沿う寸法は、ギャップ長である。

　本変形例では、ギャップｇ１のギャップ長、及びギャップｇ２のギャップ長は同じである。もっとも、ギャップｇ１のギャップ長、及びギャップｇ２のギャップ長は互いに異なっていてもよい。

　図示しないが、本変形例の弾性波装置においては、第２の弾性波共振子も、第１の弾性波共振子８０Ａと同様に構成されている。すなわち、第２の弾性波共振子における第３の電極としての第６の電極の形状は、ミアンダ状の形状とされている。該第２の弾性波共振子及び第１の弾性波共振子８０Ａはそれぞれ、１つの弾性波共振子が直列分割された分割共振子である。これにより、第１の実施形態と同様に、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ耐電力性を高くすることができる。

　図１に戻り、第１の実施形態では、空洞部１０ａ及び空洞部１０ｂは、個別に設けられている。なお、空洞部１０ａ及び空洞部１０ｂは一体として設けられていてもよい。第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂは、同じ空洞部を共有していてもよい。第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂが同じ空洞部を共有している構成は、第１の実施形態以外の本発明の形態に採用することもできる。

　以下において、第２～第８の実施形態の構成を説明する。第２～第８の実施形態の基本的な構成は、第１の実施形態と同様である。そのため、第２～第８の実施形態の説明には、第１の実施形態の説明に用いた図面及び符号を援用することとする。

　なお、第２～第８の実施形態においては、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂがそれぞれ、１つの弾性波共振子が直列分割された分割共振子であり、かつ音響結合型フィルタである。それによって、第１の実施形態と同様に、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ耐電力性を高くすることができる。

　第１の実施形態では、第１の弾性波共振子１０Ａの第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７の合計の本数と、第２の弾性波共振子１０Ｂの第４の電極指３５、第５の電極指３６及び第６の電極指３７の合計の本数とは同じである。一方で、第２の実施形態においては、第１の弾性波共振子１０Ａの第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７の合計の本数と、第２の弾性波共振子１０Ｂの第４の電極指３５、第５の電極指３６及び第６の電極指３７の合計の本数とが互いに異なる。上記の点以外においては、第２の実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様に構成されている。

　第１の実施形態及び第２の実施形態において、フィルタ特性を比較した。第２の実施形態における、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂの元の弾性波共振子の設計パラメータは、以下の通りである。

　第２の実施形態における、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂの電極指の本数は、以下の通りである。

　第１～第３の電極指の合計の本数：２２本
　第４～第６の電極指の合計の本数：６６本

　一方で、第１の実施形態における、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂの元の弾性波共振子の設計パラメータは、第２の実施形態における設計パラメータと同様とした。第１の実施形態における、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂの電極指の本数は、以下の通りである。

　第１～第３の電極指の合計の本数：４４本
　第４～第６の電極指の合計の本数：４４本

　図９は、第１の実施形態及び第２の実施形態における通過特性を示す図である。なお、図９では、Ｓ１２通過特性を示している。後述する図１０～図１２、図１５、図１９及び図２０においても同様である。

　図９に示すように、第２の実施形態の弾性波装置においては、第１の実施形態と同様に、フィルタ特性を得ることができている。加えて、図９中の矢印Ｆにより示す周波数付近において、第２の実施形態における不要波に起因するリップルが、第１の実施形態と比較して小さくなっている。このように、第２の実施形態においては、周波数特性におけるリップルを抑制することができる。これは以下の理由による。

　第２の実施形態では、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂにおいて、電極指の本数が互いに異なる。これにより、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂにおいて、不要波が生じる周波数が互いに異なる。それによって、弾性波装置全体として、不要波に起因するリップルが小さくなる。

　以下において、第３の実施形態の構成を説明する。上記の第１の実施形態では、第１の弾性波共振子１０Ａにおける隣り合う電極指同士の中心間距離ｐ１と、第２の弾性波共振子１０Ｂにおける隣り合う電極指同士の中心間距離ｐ２とは同じである。一方で、第３の実施形態においては、第１の弾性波共振子１０Ａにおける隣り合う電極指同士の中心間距離ｐ１と、第２の弾性波共振子１０Ｂにおける隣り合う電極指同士の中心間距離ｐ２とが互いに異なる。上記の点以外においては、第３の実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様に構成されている。

　なお、本明細書において、中心間距離ｐ１及び中心間距離ｐ２が互いに異なるとは、中心間距離ｐ１及び中心間距離ｐ２の差の絶対値が、中心間距離ｐ１及び中心間距離ｐ２のいずれに対しても１％以上であることをいう。１つの第１の弾性波共振子における中心間距離ｐ１同士が互いに異なるとは、中心間距離ｐ１同士の差の絶対値が、いずれの中心間距離ｐ１に対しても１％以上であることをいう。１つの第２の弾性波共振子における中心間距離ｐ２同士においても同様である。第３の実施形態においては、中心間距離ｐ１は一定であり、中心間距離ｐ２は一定である。

　第１の実施形態及び第３の実施形態において、フィルタ特性を比較した。第３の実施形態における、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂの元の弾性波共振子の設計パラメータは、以下の通りである。

　圧電層：材料…ＬｉＮｂＯ_３、オイラー角（φ，ψ，θ）…（０°，０°、９０°）、厚み…４００ｎｍ
　第１～第３の電極指：層構成…圧電層側からＴｉ層／ＡｌＣｕ層／Ｔｉ層、厚み…圧電層側から１０ｎｍ／３９０ｎｍ／４ｎｍ
　第１～第３の電極指の順序を接続される電位により表わした順序：ＩＮ、ＧＮＤ、ＯＵＴ、ＧＮＤの順序が繰り返される。
　デューティ比：０．３

　第３の実施形態における、中心間距離ｐ１及び中心間距離ｐ２は、以下の通りである。

　第１の弾性波共振子の隣り合う電極指同士の中心間距離ｐ１：１．３４μｍ
　第２の弾性波共振子の隣り合う電極指同士の中心間距離ｐ２：１．３６μｍ

　一方で、第１の実施形態における、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂの元の弾性波共振子の設計パラメータは、第３の実施形態における設計パラメータと同様とした。第１の実施形態における、中心間距離ｐ１及び中心間距離ｐ２は、以下の通りである。

　第１の弾性波共振子の隣り合う電極指同士の中心間距離ｐ１：１．３４μｍ
　第２の弾性波共振子の隣り合う電極指同士の中心間距離ｐ２：１．３４μｍ

　図１０は、第１の実施形態及び第３の実施形態における通過特性を示す図である。

　図１０に示すように、第３の実施形態の弾性波装置においては、第１の実施形態と同様に、フィルタ特性を得ることができている。加えて、図１０中の矢印Ｆにより示す周波数付近において、第３の実施形態における不要波に起因するリップルが、第１の実施形態と比較して小さくなっている。このように、第３の実施形態においては、周波数特性におけるリップルを抑制することができる。

　第３の実施形態ではｐ１≠ｐ２である。これにより、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂにおいて、不要波が生じる周波数が互いに異なる。それによって、第３の実施形態において、弾性波装置の周波数特性におけるリップルを抑制することができる。

　なお、第１の弾性波共振子１０Ａにおいて、中心間距離ｐ１は一定ではなくともよい。この場合には、第１の弾性波共振子１０Ａにおける上記距離ｐと、第２の弾性波共振子１０Ｂにおける中心間距離ｐ２とが互いに異なっていればよい。上記のように、第１の弾性波共振子１０Ａにおける距離ｐは、隣り合う第１の電極指２５及び第３の電極指２７の中心間距離ｐ１、並びに隣り合う第２の電極指２６及び第３の電極指２７の中心間距離ｐ１のうち、最も長い距離である。中心間距離ｐ１が一定である場合には、いずれの中心間距離ｐ１も距離ｐである。

　あるいは、第２の弾性波共振子１０Ｂにおいて、中心間距離ｐ２は一定ではなくともよい。この場合には、第２の弾性波共振子１０Ｂにおける上記距離ｐと、第１の弾性波共振子１０Ａにおける中心間距離ｐ１とが互いに異なっていればよい。他方、中心間距離ｐ１及び中心間距離ｐ２の双方が一定でない場合には、第１の弾性波共振子１０Ａにおける距離ｐと、第２の弾性波共振子１０Ｂにおける距離ｐとが互いに異なっていればよい。

　以下において、第４の実施形態の構成を説明する。上記の第１の実施形態では、第１の弾性波共振子１０Ａにおけるデューティ比と、第２の弾性波共振子１０Ｂにおけるデューティ比とは同じである。一方で、第４の実施形態においては、第１の弾性波共振子１０Ａにおけるデューティ比と、第２の弾性波共振子１０Ｂにおけるデューティ比とが互いに異なる。本明細書において、デューティ比同士が互いに異なるとは、デューティ比同士の差の絶対値が、０．１以上であることをいう。上記の点以外においては、第４の実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様に構成されている。

　第１の実施形態及び第４の実施形態において、フィルタ特性を比較した。第４の実施形態における、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂの元の弾性波共振子の設計パラメータは、以下の通りである。

　圧電層：材料…ＬｉＮｂＯ_３、オイラー角（φ，ψ，θ）…（０°，０°、９０°）、厚み…４００ｎｍ
　第１～第３の電極指：層構成…圧電層側からＴｉ層／ＡｌＣｕ層／Ｔｉ層、厚み…圧電層側から１０ｎｍ／３９０ｎｍ／４ｎｍ
　第１～第３の電極指の順序を接続される電位により表わした順序：ＩＮ、ＧＮＤ、ＯＵＴ、ＧＮＤの順序が繰り返される。
　隣り合う電極指同士の中心間距離：１．４μｍ

　第４の実施形態の、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂにおけるデューティ比は、以下の通りである。

　第１の弾性波共振子におけるデューティ比：０．３
　第２の弾性波共振子におけるデューティ比：０．３１

　一方で、第１の実施形態における、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂの元の弾性波共振子の設計パラメータは、第４の実施形態における設計パラメータと同様とした。第１の実施形態の、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂにおけるデューティ比は、以下の通りである。

　第１の弾性波共振子におけるデューティ比：０．３
　第２の弾性波共振子におけるデューティ比：０．３

　図１１は、第１の実施形態及び第４の実施形態における通過特性を示す図である。

　図１１に示すように、第４の実施形態の弾性波装置においては、第１の実施形態と同様に、フィルタ特性を得ることができている。加えて、図１１中の矢印Ｆにより示す周波数付近において、第４の実施形態における不要波に起因するリップルが、第１の実施形態と比較して小さくなっている。このように、第４の実施形態においては、周波数特性におけるリップルを抑制することができる。

　第４の実施形態では、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂにおけるデューティ比が互いに異なる。これにより、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂにおいて、不要波が生じる周波数が互いに異なる。それによって、第４の実施形態において、弾性波装置の周波数特性におけるリップルを抑制することができる。

　以下において、第５の実施形態の構成を説明する。上記の第１の実施形態では、第１の弾性波共振子１０Ａの第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７の厚みと、第２の弾性波共振子１０Ｂの第４の電極指３５、第５の電極指３６及び第６の電極指３７の厚みとは同じである。すなわち、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７の厚みをｔｅ１、第２の弾性波共振子１０Ｂの第４の電極指３５、第５の電極指３６及び第６の電極指３７の厚みをｔｅ２としたときに、ｔｅ１＝ｔｅ２である。一方で、第５の実施形態では、ｔｅ１≠ｔｅ２である。上記の点以外においては、第５の実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様に構成されている。

　なお、本明細書において、電極指の厚み同士が互いに異なるとは、電極指の厚み同士の差の絶対値が、いずれの電極指の厚みに対しても１％以上であることをいう。第５の実施形態では、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７の厚みは同じである。第４の電極指３５、第５の電極指３６及び第６の電極指３７の厚みは同じである。

　第１の実施形態及び第５の実施形態において、フィルタ特性を比較した。第５の実施形態における、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂの元の弾性波共振子の設計パラメータは、以下の通りである。

　圧電層：材料…ＬｉＮｂＯ_３、オイラー角（φ，ψ，θ）…（０°，０°、９０°）、厚み…４００ｎｍ
　第１～第３の電極指の順序を接続される電位により表わした順序：ＩＮ、ＧＮＤ、ＯＵＴ、ＧＮＤの順序が繰り返される。

　第５の実施形態の、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂにおける電極指に係る設計パラメータは、以下の通りである。

　第１～第３の電極指：層構成…圧電層側からＴｉ層／ＡｌＣｕ層／Ｔｉ層、厚み…圧電層側から１０ｎｍ／３９０ｎｍ／４ｎｍ、ｔｅ１…４０４ｎｍ
　第４～第６の電極指：層構成…圧電層側からＴｉ層／ＡｌＣｕ層／Ｔｉ層、厚み…圧電層側から１０ｎｍ／４００ｎｍ／４ｎｍ、ｔｅ２…４１４ｎｍ

　一方で、第１の実施形態における、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂの元の弾性波共振子の設計パラメータは、第５の実施形態における設計パラメータと同様とした。第１の実施形態の、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂにおける電極指に係る設計パラメータ、以下の通りである。

　第１～第３の電極指：層構成…圧電層側からＴｉ層／ＡｌＣｕ層／Ｔｉ層、厚み…圧電層側から１０ｎｍ／３９０ｎｍ／４ｎｍ、ｔｅ１…４０４ｎｍ
　第４～第６の電極指：層構成…圧電層側からＴｉ層／ＡｌＣｕ層／Ｔｉ層、厚み…圧電層側から１０ｎｍ／３９０ｎｍ／４ｎｍ、ｔｅ２…４０４ｎｍ

　図１２は、第１の実施形態及び第５の実施形態における通過特性を示す図である。

　図１２に示すように、第５の実施形態の弾性波装置においては、第１の実施形態と同様に、フィルタ特性を得ることができている。加えて、図１２中の矢印Ｆにより示す周波数付近において、第５の実施形態における不要波に起因するリップルが、第１の実施形態と比較して小さくなっている。このように、第５の実施形態においては、周波数特性におけるリップルを抑制することができる。

　第５の実施形態では、ｔｅ１≠ｔｅ２である。これにより、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂにおいて、不要波が生じる周波数が互いに異なる。それによって、第５の実施形態において、弾性波装置の周波数特性におけるリップルを抑制することができる。

　以下において、第６の実施形態の構成を説明する。上記の第１の実施形態では、第１の弾性波共振子１０Ａにおけるギャップｇ１及びギャップｇ２のギャップ長をＧ１、第２の弾性波共振子１０Ｂにおけるギャップｇ４及びギャップｇ５のギャップ長をＧ２としたときに、Ｇ１＝Ｇ２である。一方で、第６の実施形態では、Ｇ１≠Ｇ２である。本明細書において、ギャップ長同士が互いに異なるとは、ギャップ長同士の差の絶対値を電極指ピッチにより割った値が０．０２以上であることをいう。ここでいう電極指ピッチとは、第１の弾性波共振子１０Ａにおいては中心間距離ｐ１であり、第２の弾性波共振子１０Ｂにおいては中心間距離ｐ２である。ｐ１≠ｐ２である場合には、上記電極指ピッチとして、中心間距離ｐ１及び中心間距離ｐ２の平均値を用いればよい。上記の点以外においては、第６の実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様に構成されている。

　なお、第６の実施形態では、ギャップｇ１のギャップ長Ｇ１及びギャップｇ２のギャップ長Ｇ１は同じである。ギャップｇ４のギャップ長Ｇ２及びギャップｇ５のギャップ長Ｇ２は同じである。

　第６の実施形態では、Ｇ１≠Ｇ２であることにより、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂにおいて、不要波が生じる周波数が互いに異なる。それによって、弾性波装置の周波数特性における不要波に起因するリップルを抑制することができる。

　以下において、第７の実施形態の構成を説明する。上記の第１の実施形態では、第１の弾性波共振子１０Ａにおける各電極指の幅をｗ１、第２の弾性波共振子１０Ｂにおける各電極指の幅をｗ２としたときに、ｗ１＝ｗ２である。なお、第１の弾性波共振子１０Ａにおける各電極指は、具体的には、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７である。第２の弾性波共振子１０Ｂにおける各電極指は、具体的には、第１の電極指としての第４の電極指３５、第２の電極指としての第５の電極指３６及び、第３の電極指としての第６の電極指３７である。一方で、第７の実施形態では、ｗ１≠ｗ２である。上記の点以外においては、第７の実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様に構成されている。

　なお、電極指の幅とは、電極指の電極指直交方向に沿う寸法である。本明細書において、電極指の幅同士が互いに異なるとは、電極指の幅同士の差の絶対値が、いずれの電極指の幅に対しても１％以上であることをいう。

　第７の実施形態では、ｗ１≠ｗ２であることにより、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂにおいて、不要波が生じる周波数が互いに異なる。それによって、弾性波装置の周波数特性における不要波に起因するリップルを抑制することができる。

　以下において、第８の実施形態の構成を説明する。上記の第１の実施形態では、第１の弾性波共振子１０Ａにおける交叉領域Ｅの電極指延伸方向に沿う寸法を交叉幅Ａｐ１、第２の弾性波共振子１０Ｂにおける交叉領域の電極指延伸方向に沿う寸法を交叉幅Ａｐ２としたときに、Ａｐ１＝Ａｐ２である。一方で、第８の実施形態では、Ａｐ１≠Ａｐ２である。本明細書において、交叉幅同士が互いに異なるとは、交叉幅同士の差の絶対値が、いずれの交叉幅に対しても１％以上であることをいう。上記の点以外においては、第８の実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様に構成されている。

　第８の実施形態では、Ａｐ１≠Ａｐ２であることにより、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂにおいて、不要波が生じる周波数が互いに異なる。それによって、弾性波装置の周波数特性における不要波に起因するリップルを抑制することができる。

　第２～第８の実施形態においては、第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子において、複数のパラメータのうち１つが互いに異なる例を示した。なお、第２～第８の実施形態のそれぞれの構成は、本発明の他の形態に採用することもできる。すなわち、本発明においては、第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子において、以下のパラメータのうち少なくとも１つのパラメータが互いに異なっていてもよい。上記パラメータは、具体的には、複数の電極指の合計の本数、隣り合う電極指同士の中心間距離、デューティ比、電極指の厚み、ギャップ長、電極指の幅及び交叉幅である。

　図１３は、第９の実施形態における第１の弾性波共振子の模式的正面断面図である。図１４は、第９の実施形態における第２の弾性波共振子の模式的正面断面図である。

　図１３に示すように、本実施形態は、第１の弾性波共振子４０Ａが誘電体膜４８Ａを有する点において、第１の実施形態と異なる。図１４に示すように、本実施形態は、第２の弾性波共振子４０Ｂが誘電体膜４８Ｂを有する点においても、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様に構成されている。

　図１３に示すように、第１の弾性波共振子４０Ａにおける第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７を覆うように、誘電体膜４８Ａが設けられている。図１４に示すように、第２の弾性波共振子４０Ｂにおける、第４の電極指３５、第５の電極指３６及び第６の電極指３７を覆うように、誘電体膜４８Ｂが設けられている。

　図１３に示すように、第１の弾性波共振子４０Ａにおける各電極指は、第１の面１１ａ、第２の面１１ｂ及び側面１１ｃを有する。第１の面１１ａ及び第２の面１１ｂは、電極指の厚み方向において互いに対向している。第１の面１１ａ及び第２の面１１ｂのうち、第２の面１１ｂが圧電層１４側の面である。第１の面１１ａ及び第２の面１１ｂに側面１１ｃが接続されている。図１３に示す例では、側面１１ｃは、第２の面１１ｂの法線方向と平行に延びている。なお、側面１１ｃは、第２の面１１ｂの法線方向に対して傾斜して延びていてもよい。誘電体膜４８Ａは、各電極指の第１の面１１ａ及び側面１１ｃを覆っている。

　同様に、図１４に示すように、第２の弾性波共振子４０Ｂにおける第４の電極指３５、第５の電極指３６及び第６の電極指３７は、第１の面３１ａ、第２の面３１ｂ及び側面３１ｃを有する。誘電体膜４８Ｂは、各電極指の第１の面３１ａ及び側面３１ｃを覆っている。なお、第９の実施形態以外の各実施形態における各電極指も、第１の面、第２の面及び側面を有することを指摘しておく。

　第１の弾性波共振子４０Ａにおける誘電体膜４８Ａの厚みをｔｄ１、第２の弾性波共振子４０Ｂにおける誘電体膜４８Ｂの厚みをｔｄ２としたときに、本実施形態では、ｔｄ１≠ｔｄ２である。なお、本明細書においては、誘電体膜の厚みとは、電極指の第１の面と、誘電体膜の表面との間の距離をいう。そして、本明細書において、誘電体膜の厚み同士が互いに異なるとは、誘電体膜の厚み同士の差の絶対値が、いずれの誘電体膜の厚みに対しても１％以上であることをいう。

　本実施形態では、第１の弾性波共振子４０Ａ及び第２の弾性波共振子４０Ｂがそれぞれ、１つの弾性波共振子が直列分割された分割共振子であり、かつ音響結合型フィルタである。それによって、第１の実施形態と同様に、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ耐電力性を高くすることができる。

　加えて、本実施形態においては、ｔｄ１≠ｔｄ２であることによって、周波数特性における、不要波に起因するリップルを抑制することができる。この効果を以下において示す。

　第１の実施形態及び第９の実施形態において、フィルタ特性を比較した。第９の実施形態における、第１の弾性波共振子４０Ａ及び第２の弾性波共振子４０Ｂの元の弾性波共振子の設計パラメータは、以下の通りである。

　圧電層：材料…ＬｉＮｂＯ_３、オイラー角（φ，ψ，θ）…（０°，０°、９０°）、厚み…４００ｎｍ
　第１～第３の電極指：層構成…圧電層側からＴｉ層／ＡｌＣｕ層／Ｔｉ層、厚み…圧電層側から１０ｎｍ／３９０ｎｍ／４ｎｍ
　第１～第３の電極指の順序を接続される電位により表わした順序：ＩＮ、ＧＮＤ、ＯＵＴ、ＧＮＤの順序が繰り返される。

　第９の実施形態の、第１の弾性波共振子４０Ａ及び第２の弾性波共振子４０Ｂにおける誘電体膜の厚みは、以下の通りである。

　第１の弾性波共振子における誘電体膜の厚みｔｄ１：１８０ｎｍ
　第２の弾性波共振子における誘電体膜の厚みｔｄ２：１７８ｎｍ

　一方で、第１の実施形態における、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂの元の弾性波共振子の設計パラメータは、第９の実施形態における設計パラメータと同様とした。もっとも、第１の実施形態においては、ｔｄ１＝ｔｄ２＝０である。すなわち、第１の実施形態においては、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂは誘電体膜を有しない。

　図１５は、第１の実施形態及び第９の実施形態における通過特性を示す図である。

　図１５に示すように、第９の実施形態の弾性波装置においては、第１の実施形態と同様に、フィルタ特性を得ることができている。加えて、図１５中の矢印Ｆにより示す周波数付近において、第９の実施形態における不要波に起因するリップルが、第１の実施形態と比較して小さくなっている。このように、第９の実施形態においては、周波数特性におけるリップルを抑制することができる。

　第９の実施形態では、ｔｄ１≠ｔｄ２である。これにより、第１の弾性波共振子４０Ａ及び第２の弾性波共振子４０Ｂにおいて、不要波が生じる周波数が互いに異なる。それによって、第９の実施形態において、弾性波装置の周波数特性におけるリップルを抑制することができる。

　第９の実施形態におけるｔｄ１≠ｔｄ２である構成は、第９の実施形態以外の本発明の構成に採用することもできる。あるいは、本発明においては、第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子の双方が誘電体膜を有する場合において、ｔｄ１＝ｔｄ２であってもよい。もっとも、ｔｄ１≠ｔｄ２であることが好ましい。それによって、上記のように、弾性波装置の周波数特性におけるリップルを抑制することができる。

　図１６は、第１０の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図１７は、第１０の実施形態における第２の弾性波共振子の模式的平面図である。図１７においては、第２の弾性波共振子５０Ｂに接続された配線などや、第１の弾性波共振子１０Ａを省略している。

　図１６及び図１７に示すように、本実施形態は、第２の弾性波共振子５０Ｂが１対の反射器５３Ｃ及び反射器５３Ｄを有する点において第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様に構成されている。

　反射器５３Ｃ及び反射器５３Ｄは、圧電層１４の第１の主面１４ａに設けられている。反射器５３Ｃ及び反射器５３Ｄは、第４の電極指３５、第５の電極指３６及び第６の電極指３７が設けられている領域を、電極指直交方向において挟み互いに対向している。一方で、第１の弾性波共振子１０Ａは反射器を有しない。

　図１７に示すように、反射器５３Ｃは、１対の反射器バスバーと、複数の反射器電極指５３ｃとを有する。１対の反射器バスバーは、具体的には、第１の反射器バスバー５３ａ及び第２の反射器バスバー５３ｂである。第１の反射器バスバー５３ａ及び第２の反射器バスバー５３ｂは互いに対向している。複数の反射器電極指５３ｃの一端はそれぞれ、第１の反射器バスバー５３ａに接続されている。複数の反射器電極指５３ｃの他端はそれぞれ、第２の反射器バスバー５３ｂに接続されている。反射器５３Ｄも、反射器５３Ｃと同様に構成されている。

　本実施形態では、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子５０Ｂがそれぞれ、１つの弾性波共振子が直列分割された分割共振子であり、かつ音響結合型フィルタである。それによって、第１の実施形態と同様に、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ耐電力性を高くすることができる。

　なお、第１の弾性波共振子１０Ａが１対の反射器を有し、かつ第２の弾性波共振子５０Ｂが反射器を有していなくともよい。この場合においても、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ耐電力性を高くすることができる。

　他方、図１８に示す第１０の実施形態の変形例においては、第１の弾性波共振子５０Ａは、１対の反射器５３Ａ及び反射器５３Ｂを有する。反射器５３Ａ及び反射器５３Ｂは、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７が設けられている領域を、電極指直交方向において挟み互いに対向している。第２の弾性波共振子５０Ｂは、第１０の実施形態と同様に、１対の反射器５３Ｃ及び反射器５３Ｄを有する。なお、第１の弾性波共振子５０Ａにおける反射器５３Ａ及び反射器５３Ｂは、第２の弾性波共振子５０Ｂにおける反射器５３Ｃと同様に構成されている。本変形例においても、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合に、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ耐電力性を高くすることができる。

　第１の実施形態、第１０の実施形態及び第１０の実施形態の変形例において、フィルタ特性を比較した。第１０の実施形態における、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子５０Ｂの元の弾性波共振子の設計パラメータは、以下の通りである。

　一方で、第１の実施形態及び第１０の実施形態の変形例の設計パラメータは、第１０の実施形態の設計パラメータと同様とした。もっとも、第１の実施形態においては、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂが反射器を有しない。他方、第１０の実施形態の変形例においては、第１の弾性波共振子５０Ａ及び第２の弾性波共振子５０Ｂがそれぞれ、１対の反射器を有する。

　図１９は、第１の実施形態及び第１０の実施形態における通過特性を示す図である。図２０は、第１０の実施形態及びその変形例における通過特性を示す図である。

　図１９に示すように、第１０の実施形態の弾性波装置においては、第１の実施形態と同様に、フィルタ特性を得ることができている。加えて、第１０の実施形態にでは、通過帯域の中央付近において、ロスを小さくすることができている。他方、第１の実施形態では、反射器が設けられていないため、弾性波装置１０を小型にすることができる。

　図２０に示すように、第１０の実施形態の変形例の弾性波装置においては、第１０の実施形態と同様に、フィルタ特性を得ることができている。変形例では、通過帯域の中央付近において、ロスを効果的に小さくすることができている。他方、第１０の実施形態では、通過帯域における低域側において、不要波に起因するリップルが、変形例と比較して小さくなっている。

　なお、第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子のうち少なくとも一方が１対の反射器を有する構成は、第１０の実施形態及びその変形例以外の本発明の形態に採用することもできる。もっとも、第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子のうち一方が１対の反射器を有することが好ましい。それによって、第１０の実施形態と同様に、通過帯域の低域側におけるリップルを抑制することができ、かつ通過帯域の中央付近のロスを小さくすることができる。

　本発明においては、第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子は、板波を利用可能に構成されていてもよい。この場合、図１８に示す第１０の実施形態の変形例と同様に、第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子がそれぞれ、１対の反射器を有していればよい。

　図２１は、第１１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。

　本実施形態は、１つの弾性波共振子が並列分割されている点において、第１の実施形態と異なる。本実施形態においては、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂがそれぞれ、１つの弾性波共振子が並列分割された分割共振子である。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置６０は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様に構成されている。

　第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂは、第１の実施形態と同様に、音響結合型フィルタである。これにより、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂのそれぞれにおいて、フィルタ波形を得ることができる。よって、弾性波装置６０をフィルタ装置に用いる場合に、フィルタ装置を構成する弾性波共振子が少ない個数でも、フィルタ波形を好適に得ることができる。従って、フィルタ装置の小型化を進めることができる。

　加えて、１つの弾性波共振子である場合と比較して、並列分割された第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂとされていることによって、放熱経路を増加させることができる。これにより、弾性波装置の動作時において、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂの温度が高くなりすぎることを抑制でき、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂが破損し難い。従って、耐電力性を高めることができる。

　以下において、本実施形態の構成をより詳細に説明する。

　圧電層１４の第１の主面１４ａには、第１の信号電位配線２８Ａと、第２の信号電位配線２８Ｂと、基準電位配線２８Ｃとが設けられている。第１の信号電位配線２８Ａは入力電位に接続される。第２の信号電位配線２８Ｂは出力電位に接続される。基準電位配線２８Ｃは基準電位に接続される。

　第１の弾性波共振子１０Ａの第１のバスバー２２と、第２の弾性波共振子１０Ｂの第４のバスバー３２とは、第１の信号電位配線２８Ａに共通接続されている。第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂは、第１の信号電位配線２８Ａを介して、同じ入力電位に接続される。

　第１の弾性波共振子１０Ａの第２のバスバー２３と、第２の弾性波共振子１０Ｂの第５のバスバー３３とは、第２の信号電位配線２８Ｂに共通接続されている。第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂは、第２の信号電位配線２８Ｂを介して、同じ出力電位に接続される。このように、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂは、互いに並列に接続されている。

　本実施形態では、第１の弾性波共振子１０Ａの第３のバスバー２４と、第２の弾性波共振子１０Ｂの第６のバスバー３４とが一体として構成されている。第３のバスバー２４及び第６のバスバー３４は、基準電位配線２８Ｃを介して基準電位に接続される。これにより、配線を単純化することができ、フィルタ装置の小型化を効果的に進めることができる。なお、第３のバスバー２４及び第６のバスバー３４は、必ずしも一体として構成されていなくともよい。

　第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂは、電極指直交方向において並んでいる。もっとも、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂの配置は上記に限定されない。第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂが、互いに並列に接続されていればよい。

　図２２は、図２１中のＩＩ－ＩＩ線に沿う模式的断面図である。

　圧電性基板１２には、空洞部１０ａ及び空洞部１０ｂが個別に設けられている。第１の弾性波共振子１０Ａにおける第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７が、平面視において、空洞部１０ａと重なっている。第２の弾性波共振子１０Ｂにおける、第１の電極指としての第４の電極指３５、第２の電極指としての第５の電極指３６、及び第３の電極指としての第６の電極指３７が、平面視において、空洞部１０ｂと重なっている。

　なお、空洞部１０ａ及び空洞部１０ｂは一体として設けられていてもよい。第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂは、同じ空洞部を共有していてもよい。

　本実施形態では、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂがそれぞれ、１つの弾性波共振子が並列分割された分割共振子である。この場合にも、第２～第８の実施形態と同様に、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂにおいて、以下のパラメータのうち少なくとも１つのパラメータが互いに異なっていてもよい。上記パラメータは、具体的には、複数の電極指の合計の本数、隣り合う電極指同士の中心間距離、デューティ比、電極指の厚み、ギャップ長、電極指の幅及び交叉幅である。それによって、弾性波装置６０の周波数特性において、不要波に起因するリップルを抑制することができる。

　第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂが、第９の実施形態と同様に、誘電体膜を有していてもよい。このとき、第１の弾性波共振子１０Ａにおける誘電体膜の厚みｔｄ１、及び第２の弾性波共振子１０Ｂにおける誘電体膜の厚みｔｄ２の関係が、ｔｄ１≠ｔｄ２であることが好ましい。それによって、弾性波装置６０の周波数特性において、不要波に起因するリップルを抑制することができる。

　あるいは、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂのうち少なくとも一方が、第１０の実施形態またはその変形例と同様に、１対の反射器を有していてもよい。第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂのうち一方が、１対の反射器を有することが好ましい。それによって、通過帯域の低域側におけるリップルを抑制することができ、かつ通過帯域の中央付近のロスを小さくすることができる。

　第１の弾性波共振子１０Ａの第３の電極１９、及び第２の弾性波共振子１０Ｂの第６の電極は、第１の実施形態の変形例と同様に、ミアンダ状の形状を有していてもよい。この場合において、第１の弾性波共振子１０Ａ及び第２の弾性波共振子１０Ｂがそれぞれ、１つの弾性波共振子が並列分割された分割共振子であってもよい。

　図２３は、第１２の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。

　本実施形態は、第１の弾性波共振子７０Ａ及び第２の弾性波共振子７０Ｂが、反射器を有する点において第１１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１１の実施形態の弾性波装置６０と同様に構成されている。なお、図２３に示すように、第１の弾性波共振子７０Ａ及び第２の弾性波共振子７０Ｂは、電極指直交方向において並んでいる。

　第１の弾性波共振子に７０Ａは第１の反射器７３Ａを有する。第２の弾性波共振子７０Ｂは第２の反射器７３Ｄを有する。第１の弾性波共振子７０Ａ及び第２の弾性波共振子７０Ｂは第３の反射器７３Ｅを共有している。第１の反射器７３Ａ、第２の反射器７３Ｄ及び第３の反射器７３Ｅは、圧電層１４の第１の主面１４ａに設けられている。

　第３の反射器７３Ｅは、第１の弾性波共振子７０Ａにおける複数の電極指が設けられている領域と、第２の弾性波共振子７０Ｂにおける複数の電極指が設けられている領域との間に設けられている。第１の弾性波共振子７０Ａにおける複数の電極指が設けられている領域は、具体的には、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７が設けられている領域である。第２の弾性波共振子７０Ｂにおける複数の電極指が設けられている領域は、具体的には、第１の電極指としての第４の電極指３５、第２の電極指としての第５の電極指３６、及び第３の電極指としての第６の電極指３７が設けられている領域である。

　第１の反射器７３Ａ及び第３の反射器７３Ｅは、第１の弾性波共振子７０Ａにおける複数の電極指が設けられている領域を、電極指直交方向において挟み互いに対向している。第２の反射器７３Ｄ及び第３の反射器７３Ｅは、第２の弾性波共振子７０Ｂにおける複数の電極指が設けられている領域を、電極指直交方向において挟み互いに対向している。

　第１の反射器７３Ａは、第１０の実施形態における反射器５３Ａと同様に構成されている。具体的には、第１の反射器７３Ａは、第１の反射器バスバー、第２の反射器バスバー及び複数の反射器電極指を有する。第２の反射器７３Ｄ及び第３の反射器７３Ｅも同様である。

　本実施形態においては、第１の反射器７３Ａ、第２の反射器７３Ｄ及び第３の反射器７３Ｅが設けられていることによって、通過帯域内のロスを小さくすることができる。加えて、第３の反射器７３Ｅが第１の弾性波共振子７０Ａ及び第２の弾性波共振子７０Ｂにおいて共有されていることにより、弾性波装置を小型にすることができる。

　さらに、第１の弾性波共振子７０Ａ及び第２の弾性波共振子７０Ｂはそれぞれ、１つの弾性波共振子が並列分割された分割共振子であり、かつ音響結合型フィルタである。それによって、第１１の実施形態と同様に、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ耐電力性を高くすることができる。

　図２３に示すように、空洞部１０ａ及び空洞部１０ｂは個別に設けられている。もっとも、空洞部１０ａ及び空洞部１０ｂは一体として設けられていてもよい。第１の弾性波共振子７０Ａ及び第２の弾性波共振子７０Ｂは、同じ空洞部を共有していてもよい。この場合には、第３の反射器７３Ｅにおける全ての反射器電極指の配置を、より確実に、平面視において空洞部と重なった配置とすることができる。よって、第１の弾性波共振子７０Ａ及び第２の弾性波共振子７０Ｂの共振特性をより確実に高くすることができる。

　図２４は、第１３の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図２５は、第１３の実施形態における第１の弾性波共振子の第１～第３の電極指付近を示す模式的正面断面図である。

　図２４及び図２５に示すように、本実施形態は、第１の弾性波共振子８０Ａにおける第３の電極１９が、圧電層１４の第２の主面１４ｂに設けられている点において、第１の実施形態と異なる。図２４に示すように、本実施形態は、第２の弾性波共振子８０Ｂにおける第６の電極３９が、圧電層１４の第２の主面１４ｂに設けられている点においても、第１の実施形態と異なる。さらに、本実施形態は、基準電位配線２８Ｃが、圧電層１４の第２の主面１４ｂに設けられている点においても、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様の構成を有する。

　平面視したときの、第１の弾性波共振子８０Ａにおける第３の電極１９の配置は、第１の実施形態の第１の弾性波共振子１０Ａにおける第３の電極１９の配置と同様である。具体的には、第１の弾性波共振子８０Ａでは、平面視したときに、第１の電極指２５及び第２の電極指２６が並ぶ方向において、第１の電極指２５及び第２の電極指２６と並ぶように、複数の第３の電極指２７がそれぞれ圧電層１４の第２の主面１４ｂに設けられている。平面視したときに、複数の電極指が並んでいる順序は、第１の電極指２５から開始した場合において、第１の電極指２５、第３の電極指２７、第２の電極指２６及び第３の電極指２７を１周期とする順序である。

　平面視したときの、第２の弾性波共振子８０Ｂにおける第６の電極３９の配置は、第１の実施形態の第２の弾性波共振子１０Ｂにおける第６の電極３９の配置と同様である。具体的には、第２の弾性波共振子８０Ｂでは、平面視したときに、第４の電極指３５及び第５の電極指３６が並ぶ方向において、第４の電極指３５及び第５の電極指３６と並ぶように、複数の第６の電極指３７がそれぞれ圧電層１４の第２の主面１４ｂに設けられている。平面視したときに、複数の電極指が並んでいる順序は、第４の電極指３５から開始した場合において、第４の電極指３５、第６の電極指３７、第５の電極指３６及び第６の電極指３７を１周期とする順序である。

　基準電位配線２８Ｃは、圧電層１４の第２の主面１４ｂに設けられている。該基準電位配線２８Ｃに、第１の弾性波共振子８０Ａの第３の電極１９における第３のバスバー２４が接続されている。該基準電位配線２８Ｃに、第２の弾性波共振子８０Ｂの第６の電極３９における第６のバスバー３４が接続されている。

　第１の弾性波共振子８０Ａ及び第２の弾性波共振子８０Ｂはそれぞれ、１つの弾性波共振子が直列分割された分割共振子であり、かつ音響結合型フィルタである。それによって、第１の実施形態と同様に、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ耐電力性を高くすることができる。

　なお、第１の弾性波共振子８０Ａ及び第２の弾性波共振子８０Ｂはそれぞれ、１つの弾性波共振子が並列分割された分割共振子であってもよい。この場合においても、第１１の実施形態などと同様に、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ耐電力性を高くすることができる。

　以下において、機能電極がＩＤＴ電極である例を用いて、厚み滑りモードの詳細を説明する。後述するＩＤＴ電極における「電極」は、電極指に相当する。以下の例における弾性波装置は、１つの弾性波共振子である。以下の例における支持部材は、本発明における支持基板に相当する。以下においては、基準電位をグラウンド電位と記載することもある。

　図２６（ａ）は、厚み滑りモードのバルク波を利用する弾性波装置の外観を示す略図的斜視図であり、図２６（ｂ）は、圧電層上の電極構造を示す平面図であり、図２７は、図２６（ａ）中のＡ－Ａ線に沿う部分の断面図である。

　弾性波装置１は、ＬｉＮｂＯ_３からなる圧電層２を有する。圧電層２は、ＬｉＴａＯ_３からなるものであってもよい。ＬｉＮｂＯ_３やＬｉＴａＯ_３のカット角は、Ｚカットであるが、回転ＹカットやＸカットであってもよい。圧電層２の厚みは、特に限定されないが、厚み滑りモードを効果的に励振するには、４０ｎｍ以上、１０００ｎｍ以下であることが好ましく、５０ｎｍ以上、１０００ｎｍ以下であることがより好ましい。圧電層２は、対向し合う第１，第２の主面２ａ，２ｂを有する。第１の主面２ａ上に、電極３及び電極４が設けられている。ここで電極３が「第１電極」の一例であり、電極４が「第２電極」の一例である。図２６（ａ）及び図２６（ｂ）では、複数の電極３が、第１のバスバー５に接続されている。複数の電極４は、第２のバスバー６に接続されている。複数の電極３及び複数の電極４は、互いに間挿し合っている。電極３及び電極４は、矩形形状を有し、長さ方向を有する。この長さ方向と直交する方向において、電極３と、隣りの電極４とが対向している。電極３，４の長さ方向、及び、電極３，４の長さ方向と直交する方向はいずれも、圧電層２の厚み方向に交叉する方向である。このため、電極３と、隣りの電極４とは、圧電層２の厚み方向に交叉する方向において対向しているともいえる。また、電極３，４の長さ方向が図２６（ａ）及び図２６（ｂ）に示す電極３，４の長さ方向に直交する方向と入れ替わってもよい。すなわち、図２６（ａ）及び図２６（ｂ）において、第１のバスバー５及び第２のバスバー６が延びている方向に電極３，４を延ばしてもよい。その場合、第１のバスバー５及び第２のバスバー６は、図２６（ａ）及び図２６（ｂ）において電極３，４が延びている方向に延びることとなる。そして、一方電位に接続される電極３と、他方電位に接続される電極４とが隣り合う１対の構造が、上記電極３，４の長さ方向と直交する方向に、複数対設けられている。ここで電極３と電極４とが隣り合うとは、電極３と電極４とが直接接触するように配置されている場合ではなく、電極３と電極４とが間隔を介して配置されている場合を指す。また、電極３と電極４とが隣り合う場合、電極３と電極４との間には、他の電極３，４を含む、ホット電極やグラウンド電極に接続される電極は配置されない。この対数は、整数対である必要はなく、１．５対や２．５対などであってもよい。電極３，４間の中心間距離すなわちピッチは、１μｍ以上、１０μｍ以下の範囲が好ましい。また、電極３，４の幅、すなわち電極３，４の対向方向の寸法は、５０ｎｍ以上、１０００ｎｍ以下の範囲であることが好ましく、１５０ｎｍ以上、１０００ｎｍ以下の範囲であることがより好ましい。なお、電極３，４間の中心間距離とは、電極３の長さ方向と直交する方向における電極３の寸法（幅寸法）の中心と、電極４の長さ方向と直交する方向における電極４の寸法（幅寸法）の中心とを結んだ距離となる。

　また、弾性波装置１では、Ｚカットの圧電層を用いているため、電極３，４の長さ方向と直交する方向は、圧電層２の分極方向に直交する方向となる。圧電層２として他のカット角の圧電体を用いた場合には、この限りでない。ここにおいて、「直交」とは、厳密に直交する場合のみに限定されず、略直交（電極３，４の長さ方向と直交する方向と分極方向とのなす角度が例えば９０°±１０°の範囲内）でもよい。

　圧電層２の第２の主面２ｂ側には、絶縁層７を介して支持部材８が積層されている。絶縁層７及び支持部材８は、枠状の形状を有し、図２７に示すように、貫通孔７ａ，８ａを有する。それによって、空洞部９が形成されている。空洞部９は、圧電層２の励振領域Ｃの振動を妨げないために設けられている。従って、上記支持部材８は、少なくとも１対の電極３，４が設けられている部分と重ならない位置において、第２の主面２ｂに絶縁層７を介して積層されている。なお、絶縁層７は設けられずともよい。従って、支持部材８は、圧電層２の第２の主面２ｂに直接または間接に積層され得る。

　絶縁層７は、酸化ケイ素からなる。もっとも、酸化ケイ素の他、酸窒化ケイ素、アルミナなどの適宜の絶縁性材料を用いることができる。支持部材８は、Ｓｉからなる。Ｓｉの圧電層２側の面における面方位は（１００）や（１１０）であってもよく、（１１１）であってもよい。支持部材８を構成するＳｉは、抵抗率４ｋΩｃｍ以上の高抵抗であることが望ましい。もっとも、支持部材８についても適宜の絶縁性材料や半導体材料を用いて構成することができる。

　支持部材８の材料としては、例えば、酸化アルミニウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶などの圧電体、アルミナ、マグネシア、サファイア、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライトなどの各種セラミック、ダイヤモンド、ガラスなどの誘電体、窒化ガリウムなどの半導体などを用いることができる。

　上記複数の電極３，４及び第１，第２のバスバー５，６は、Ａｌ、ＡｌＣｕ合金などの適宜の金属もしくは合金からなる。弾性波装置１では、電極３，４及び第１，第２のバスバー５，６は、Ｔｉ膜上にＡｌ膜を積層した構造を有する。なお、Ｔｉ膜以外の密着層を用いてもよい。

　駆動に際しては、複数の電極３と、複数の電極４との間に交流電圧を印加する。より具体的には、第１のバスバー５と第２のバスバー６との間に交流電圧を印加する。それによって、圧電層２において励振される厚み滑りモードのバルク波を利用した、共振特性を得ることが可能とされている。また、弾性波装置１では、圧電層２の厚みをｄ、複数対の電極３，４のうちいずれかの隣り合う電極３，４の中心間距離をｐとした場合、ｄ／ｐは０．５以下とされている。そのため、上記厚み滑りモードのバルク波が効果的に励振され、良好な共振特性を得ることができる。より好ましくは、ｄ／ｐは０．２４以下であり、その場合には、より一層良好な共振特性を得ることができる。

　弾性波装置１では、上記構成を備えるため、小型化を図ろうとして、電極３，４の対数を小さくしたとしても、Ｑ値の低下が生じ難い。これは、両側の反射器における電極指の本数を少なくしても、伝搬ロスが少ないためである。また、上記電極指の本数を少なくできるのは、厚み滑りモードのバルク波を利用していることによる。弾性波装置で利用したラム波と、上記厚み滑りモードのバルク波の相違を、図２８（ａ）及び図２８（ｂ）を参照して説明する。

　図２８（ａ）は、日本公開特許公報　特開２０１２－２５７０１９号公報に記載のような弾性波装置の圧電膜を伝搬するラム波を説明するための模式的正面断面図である。ここでは、圧電膜２０１中を矢印で示すように波が伝搬する。ここで、圧電膜２０１では、第１の主面２０１ａと、第２の主面２０１ｂとが対向しており、第１の主面２０１ａと第２の主面２０１ｂとを結ぶ厚み方向がＺ方向である。Ｘ方向は、ＩＤＴ電極の電極指が並んでいる方向である。図２８（ａ）に示すように、ラム波では、波が図示のように、Ｘ方向に伝搬していく。板波であるため、圧電膜２０１が全体として振動するものの、波はＸ方向に伝搬するため、両側に反射器を配置して、共振特性を得ている。そのため、波の伝搬ロスが生じ、小型化を図った場合、すなわち電極指の対数を少なくした場合、Ｑ値が低下する。

　これに対して、図２８（ｂ）に示すように、弾性波装置１では、振動変位は厚み滑り方向であるから、波は、圧電層２の第１の主面２ａと第２の主面２ｂとを結ぶ方向、すなわちＺ方向にほぼ伝搬し、共振する。すなわち、波のＸ方向成分がＺ方向成分に比べて著しく小さい。そして、このＺ方向の波の伝搬により共振特性が得られるため、反射器の電極指の本数を少なくしても、伝搬損失は生じ難い。さらに、小型化を進めようとして、電極３，４からなる電極対の対数を減らしたとしても、Ｑ値の低下が生じ難い。

　なお、厚み滑りモードのバルク波の振幅方向は、図２９に示すように、圧電層２の励振領域Ｃに含まれる第１領域４５１と、励振領域Ｃに含まれる第２領域４５２とで逆になる。図２９では、電極３と電極４との間に、電極４が電極３よりも高電位となる電圧が印加された場合のバルク波を模式的に示してある。第１領域４５１は、励振領域Ｃのうち、圧電層２の厚み方向に直交し圧電層２を２分する仮想平面ＶＰ１と、第１の主面２ａとの間の領域である。第２領域４５２は、励振領域Ｃのうち、仮想平面ＶＰ１と、第２の主面２ｂとの間の領域である。

　上記のように、弾性波装置１では、電極３と電極４とからなる少なくとも１対の電極が配置されているが、Ｘ方向に波を伝搬させるものではないため、この電極３，４からなる電極対の対数は複数対ある必要はない。すなわち、少なくとも１対の電極が設けられてさえおればよい。

　例えば、上記電極３がホット電位に接続される電極であり、電極４がグラウンド電位に接続される電極である。もっとも、電極３がグラウンド電位に、電極４がホット電位に接続されてもよい。弾性波装置１では、少なくとも１対の電極は、上記のように、ホット電位に接続される電極またはグラウンド電位に接続される電極であり、浮き電極は設けられていない。

　図３０は、図２７に示す弾性波装置の共振特性を示す図である。なお、この共振特性を得た弾性波装置１の設計パラメータは以下の通りである。

　圧電層２：オイラー角（０°，０°，９０°）のＬｉＮｂＯ_３、厚み＝４００ｎｍ。
　電極３と電極４の長さ方向と直交する方向に見たときに、電極３と電極４とが重なっている領域、すなわち励振領域Ｃの長さ＝４０μｍ、電極３，４からなる電極の対数＝２１対、電極間中心距離＝３μｍ、電極３，４の幅＝５００ｎｍ、ｄ／ｐ＝０．１３３。
　絶縁層７：１μｍの厚みの酸化ケイ素膜。
　支持部材８：Ｓｉ。

　なお、励振領域Ｃの長さとは、励振領域Ｃの電極３，４の長さ方向に沿う寸法である。

　弾性波装置１では、電極３，４からなる電極対の電極間距離は、複数対において全て等しくした。すなわち、電極３と電極４とを等ピッチで配置した。

　図３０から明らかなように、反射器を有しないにも関わらず、比帯域が１２．５％である良好な共振特性が得られている。

　ところで、上記圧電層２の厚みをｄ、電極３と電極４との電極の中心間距離をｐとした場合、前述したように、弾性波装置１では、ｄ／ｐは０．５以下、より好ましくは０．２４以下である。これを、図３１を参照して説明する。

　図３０に示した共振特性を得た弾性波装置と同様に、但しｄ／ｐを変化させ、複数の弾性波装置を得た。図３１は、このｄ／ｐと、弾性波装置の共振子としての比帯域との関係を示す図である。

　図３１から明らかなように、ｄ／ｐ＞０．５では、ｄ／ｐを調整しても、比帯域は５％未満である。これに対して、ｄ／ｐ≦０．５の場合には、その範囲内でｄ／ｐを変化させれば、比帯域を５％以上とすることができ、すなわち高い結合係数を有する共振子を構成することができる。また、ｄ／ｐが０．２４以下の場合には、比帯域を７％以上と高めることができる。加えて、ｄ／ｐをこの範囲内で調整すれば、より一層比帯域の広い共振子を得ることができ、より一層高い結合係数を有する共振子を実現することができる。従って、ｄ／ｐを０．５以下とすることにより、上記厚み滑りモードのバルク波を利用した、高い結合係数を有する共振子を構成し得ることがわかる。

　図３２は、厚み滑りモードのバルク波を利用する弾性波装置の平面図である。弾性波装置９０では、圧電層２の第１の主面２ａ上において、電極３と電極４とを有する１対の電極が設けられている。なお、図３２中のＫが交叉幅となる。前述したように、本発明の弾性波装置では、電極の対数は１対であってもよい。この場合においても、上記ｄ／ｐが０．５以下であれば、厚み滑りモードのバルク波を効果的に励振することができる。

　弾性波装置１では、好ましくは、複数の電極３，４において、いずれかの隣り合う電極３，４が対向している方向に見たときに重なっている領域である励振領域Ｃに対する、上記隣り合う電極３，４のメタライゼーション比ＭＲが、ＭＲ≦１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０７５を満たすことが望ましい。その場合には、スプリアスを効果的に小さくすることができる。これを、図３３及び図３４を参照して説明する。図３３は、上記弾性波装置１の共振特性の一例を示す参考図である。矢印Ｂで示すスプリアスが、共振周波数と反共振周波数との間に現れている。なお、ｄ／ｐ＝０．０８として、かつＬｉＮｂＯ_３のオイラー角（０°，０°，９０°）とした。また、上記メタライゼーション比ＭＲ＝０．３５とした。

　メタライゼーション比ＭＲを、図２６（ｂ）を参照して説明する。図２６（ｂ）の電極構造において、１対の電極３，４に着目した場合、この１対の電極３，４のみが設けられるとする。この場合、一点鎖線で囲まれた部分が励振領域Ｃとなる。この励振領域Ｃとは、電極３と電極４とを、電極３，４の長さ方向と直交する方向すなわち対向方向に見たときに電極３における電極４と重なり合っている領域、電極４における電極３と重なり合っている領域、及び、電極３と電極４との間の領域における電極３と電極４とが重なり合っている領域である。そして、この励振領域Ｃの面積に対する、励振領域Ｃ内の電極３，４の面積が、メタライゼーション比ＭＲとなる。すなわち、メタライゼーション比ＭＲは、メタライゼーション部分の面積の励振領域Ｃの面積に対する比である。

　なお、複数対の電極が設けられている場合、励振領域の面積の合計に対する全励振領域に含まれているメタライゼーション部分の割合をＭＲとすればよい。

　図３４は弾性波装置１の構成に従って、多数の弾性波共振子を構成した場合の比帯域と、スプリアスの大きさとしての１８０度で規格化されたスプリアスのインピーダンスの位相回転量との関係を示す図である。なお、比帯域については、圧電層の膜厚や電極の寸法を種々変更し、調整した。また、図３４は、ＺカットのＬｉＮｂＯ_３からなる圧電層を用いた場合の結果であるが、他のカット角の圧電層を用いた場合においても、同様の傾向となる。

　図３４中の楕円Ｊで囲まれている領域では、スプリアスが１．０と大きくなっている。図３４から明らかなように、比帯域が０．１７を超えると、すなわち１７％を超えると、スプリアスレベルが１以上の大きなスプリアスが、比帯域を構成するパラメータを変化させたとしても、通過帯域内に現れる。すなわち、図３３に示す共振特性のように、矢印Ｂで示す大きなスプリアスが帯域内に現れる。よって、比帯域は１７％以下であることが好ましい。この場合には、圧電層２の膜厚や電極３，４の寸法などを調整することにより、スプリアスを小さくすることができる。

　図３５は、ｄ／２ｐと、メタライゼーション比ＭＲと、比帯域との関係を示す図である。上記弾性波装置において、ｄ／２ｐと、ＭＲが異なる様々な弾性波装置を構成し、比帯域を測定した。図３５の破線Ｄの右側のハッチングを付して示した部分が、比帯域が１７％以下の領域である。このハッチングを付した領域と、付していない領域との境界は、ＭＲ＝３．５（ｄ／２ｐ）＋０．０７５で表される。すなわち、ＭＲ＝１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０７５である。従って、好ましくは、ＭＲ≦１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０７５である。その場合には、比帯域を１７％以下としやすい。より好ましくは、図３５中の一点鎖線Ｄ１で示すＭＲ＝３．５（ｄ／２ｐ）＋０．０５の右側の領域である。すなわち、ＭＲ≦１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０５であれば、比帯域を確実に１７％以下にすることができる。

　図３６は、ｄ／ｐを限りなく０に近づけた場合のＬｉＮｂＯ_３のオイラー角（０°，θ，ψ）に対する比帯域のマップを示す図である。図３６において示す、ハッチングを付して示した複数の領域Ｒがそれぞれ、２％以上の比帯域が得られる領域である。なお、オイラー角（φ，θ，ψ）におけるφが０°±５°の範囲内である場合には、θ及びψと比帯域との関係は、図３６に示す関係と同様である。圧電層がタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ_３）からなる場合においても、オイラー角（０°±５°の範囲内，θ，ψ）におけるθ及びψと、ＢＷとの関係は、図３６に示す関係と同様である。

　従って、圧電層を構成しているニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウムのオイラー角（φ，θ，ψ）におけるφが０°±５°の範囲内であり、θ及びφが、図３６に示す複数の領域Ｒのいずれかの範囲内であれば、比帯域を十分に広くすることができ、好ましい。

　図３７は、音響多層膜を有する弾性波装置の正面断面図である。

　弾性波装置９１では、圧電層２の第２の主面２ｂに音響多層膜９２が積層されている。音響多層膜９２は、音響インピーダンスが相対的に低い低音響インピーダンス層９２ａ，９２ｃ，９２ｅと、音響インピーダンスが相対的に高い高音響インピーダンス層９２ｂ，９２ｄとの積層構造を有する。音響多層膜９２を用いた場合、弾性波装置１における空洞部９を用いずとも、厚み滑りモードのバルク波を圧電層２内に閉じ込めることができる。弾性波装置９１においても、上記ｄ／ｐを０．５以下とすることにより、厚み滑りモードのバルク波に基づく共振特性を得ることができる。なお、音響多層膜９２においては、その低音響インピーダンス層９２ａ，９２ｃ，９２ｅ及び高音響インピーダンス層９２ｂ，９２ｄの積層数は特に限定されない。低音響インピーダンス層９２ａ，９２ｃ，９２ｅよりも、少なくとも１層の高音響インピーダンス層９２ｂ，９２ｄが圧電層２から遠い側に配置されておりさえすればよい。

　上記低音響インピーダンス層９２ａ，９２ｃ，９２ｅ及び高音響インピーダンス層９２ｂ，９２ｄは、上記音響インピーダンスの関係を満たす限り、適宜の材料で構成することができる。例えば、低音響インピーダンス層９２ａ，９２ｃ，９２ｅの材料としては、酸化ケイ素または酸窒化ケイ素などを挙げることができる。また、高音響インピーダンス層９２ｂ，９２ｄの材料としては、アルミナ、窒化ケイ素または金属などを挙げることができる。

　図３８は、ラム波を利用する弾性波装置を説明するための部分切り欠き斜視図である。

　弾性波装置１０１は、支持基板１０２を有する。支持基板１０２には、上面に開いた凹部が設けられている。支持基板１０２上に圧電層１０３が積層されている。それによって、空洞部９が構成されている。この空洞部９の上方において圧電層１０３上に、ＩＤＴ電極１０４が設けられている。ＩＤＴ電極１０４の弾性波伝搬方向両側に、反射器１０５，１０６が設けられている。図３８において、空洞部９の外周縁を破線で示す。ここでは、ＩＤＴ電極１０４は、第１，第２のバスバー１０４ａ，１０４ｂと、複数本の第１の電極指１０４ｃ及び複数本の第２の電極指１０４ｄとを有する。複数本の第１の電極指１０４ｃは、第１のバスバー１０４ａに接続されている。複数本の第２の電極指１０４ｄは、第２のバスバー１０４ｂに接続されている。複数本の第１の電極指１０４ｃと、複数本の第２の電極指１０４ｄとは間挿し合っている。

　弾性波装置１０１では、上記空洞部９上のＩＤＴ電極１０４に、交流電界を印加することにより、板波としてのラム波が励振される。そして、反射器１０５，１０６が両側に設けられているため、上記ラム波による共振特性を得ることができる。

　このように、本発明における弾性波共振子は、板波を利用するものであってもよい。

　第１～第１３の実施形態及び各変形例の弾性波装置においては、例えば、支持部材及び圧電膜としての圧電層の間に、音響反射膜としての、図３７に示す音響多層膜９２が設けられていてもよい。具体的には、支持部材の少なくとも一部及び圧電膜の少なくとも一部が、音響多層膜９２を挟み互いに対向するように、支持部材と圧電膜とが配置されていてもよい。この場合、音響多層膜９２において、低音響インピーダンス層と高音響インピーダンス層とが交互に積層されていればよい。音響多層膜９２が、弾性波装置における音響反射部であってもよい。この場合、例えば、複数の音響多層膜９２が個別に設けられていてもよい。そして、第１の弾性波共振子における複数の電極指、及び第２の弾性波共振子における複数の電極指が、互いに異なる音響多層膜９２と、平面視において重なっていてもよい。あるいは、同じ音響多層膜９２と、第１の弾性波共振子における複数の電極指、及び第２の弾性波共振子における複数の電極指とが、平面視において重なっていてもよい。なお、第１３の実施形態において音響多層膜９２が設けられている場合、第１の弾性波共振子における複数の第３の電極指、及び第２の弾性波共振子における複数の第３の電極指が、音響多層膜９２に埋め込まれていてもよい。

　厚み滑りモードのバルク波を利用する第１～第１３の実施形態及び各変形例における第１の弾性波共振子においては、上記のように、ｄ／ｐが０．５以下であることが好ましく、０．２４以下であることがより好ましい。それによって、より一層良好な共振特性を得ることができる。厚み滑りモードのバルク波を利用する第１～第１３の実施形態及び各変形例における第２の弾性波共振子においても同様である。

　さらに、厚み滑りモードのバルク波を利用する第１～第１３の実施形態及び各変形例における第１の弾性波共振子の励振領域においては、上記のように、ＭＲ≦１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０７５を満たすことが好ましい。より具体的には、励振領域に対する、第１の電極指及び第３の電極指、並びに第２の電極指及び第３の電極指のメタライゼーション比をＭＲとしたときに、ＭＲ≦１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０７５を満たすことが好ましい。この場合には、スプリアスをより確実に抑制することができる。厚み滑りモードのバルク波を利用する第１～第１３の実施形態及び各変形例における第２の弾性波共振子の励振領域においても同様である。

１…弾性波装置
２…圧電層
２ａ，２ｂ…第１，第２の主面
３，４…電極
５，６…第１，第２のバスバー
７…絶縁層
７ａ…貫通孔
８…支持部材
８ａ…貫通孔
９…空洞部
１０…弾性波装置
１０Ａ，１０Ｂ…第１，第２の弾性波共振子
１０Ｃ…第１の弾性波共振子
１０ａ，１０ｂ…空洞部
１１…機能電極
１１ａ，１１ｂ…第１，第２の面
１１ｃ…側面
１２…圧電性基板
１３…支持部材
１４…圧電層
１４ａ，１４ｂ…第１，第２の主面
１５…絶縁層
１６…支持基板
１７，１８…第１，第２の櫛形電極
１９，１９Ａ…第３の電極
２２～２４…第１～第３のバスバー
２４Ａ，２４Ｂ…第１，第２の接続電極
２４Ｃ…接続電極
２４ａ…バー部
２４ｂ…突出部
２５～２７…第１～第３の電極指
２８Ａ，２８Ｂ…第１，第２の信号電位配線
２８Ｃ…基準電位配線
２９Ａ，２９Ｂ…絶縁膜
３１…機能電極
３１ａ，３１ｂ…第１，第２の面
３１ｃ…側面
３２～３４…第４～第６のバスバー
３５～３７…第４～第６の電極指
３９…第６の電極
４０Ａ，４０Ｂ…第１，第２の弾性波共振子
４８Ａ，４８Ｂ…誘電体膜
５０Ａ，５０Ｂ…第１，第２の弾性波共振子
５３Ａ～５３Ｄ…反射器
５３ａ，５３ｂ…第１，第２の反射器バスバー
５３ｃ…複数の反射器電極指
６０…弾性波装置
７０Ａ，７０Ｂ…第１，第２の弾性波共振子
７３Ａ，７３Ｄ，７３Ｅ…第１，第２，第３の反射器
８０Ａ，８０Ｂ…第１，第２の弾性波共振子
９０，９１…弾性波装置
９２…音響多層膜
９２ａ，９２ｃ，９２ｅ…低音響インピーダンス層
９２ｂ，９２ｄ…高音響インピーダンス層
１０１…弾性波装置
１０２…支持基板
１０３…圧電層
１０４…ＩＤＴ電極
１０４ａ，１０４ｂ…第１，第２のバスバー
１０４ｃ，１０４ｄ…第１，第２の電極指
１０５，１０６…反射器
２０１…圧電膜
２０１ａ，２０１ｂ…第１，第２の主面
４５１，４５２…第１，第２領域
Ｃ…励振領域
Ｅ…交叉領域
ｇ１，ｇ２，ｇ４，ｇ５…ギャップ
Ｒ…領域
ＶＰ１…仮想平面

Claims

　第１の弾性波共振子と、
　第２の弾性波共振子と、
を備え、
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子がそれぞれ、ニオブ酸リチウムからなる圧電層を含む圧電膜と、前記圧電層上に設けられており、第１のバスバーと、前記第１のバスバーに一端がそれぞれ接続されている複数の第１の電極指と、を有し、入力電位に接続される第１の櫛形電極と、前記圧電層上に設けられており、第２のバスバーと、前記第２のバスバーに一端がそれぞれ接続されており、前記複数の第１の電極指と間挿し合っている複数の第２の電極指と、を有し、出力電位に接続される第２の櫛形電極と、平面視したときに、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が並ぶ方向において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指と並ぶように、それぞれ前記圧電層上に設けられている複数の第３の電極指と、隣り合う前記第３の電極指同士を接続している接続電極と、を有し、基準電位に接続される、第３の電極と、を有し、
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれにおいて、平面視したときに、前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が並んでいる順序が、前記第１の電極指から開始した場合において、前記第１の電極指、前記第３の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指を１周期とする順序であり、
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子がそれぞれ、１つの弾性波共振子が直列分割された分割共振子である、弾性波装置。
　第１の弾性波共振子と、
　第２の弾性波共振子と、
を備え、
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子がそれぞれ、ニオブ酸リチウムからなる圧電層を含む圧電膜と、前記圧電層上に設けられており、第１のバスバーと、前記第１のバスバーに一端がそれぞれ接続されている複数の第１の電極指と、を有し、入力電位に接続される第１の櫛形電極と、前記圧電層上に設けられており、第２のバスバーと、前記第２のバスバーに一端がそれぞれ接続されており、前記複数の第１の電極指と間挿し合っている複数の第２の電極指と、を有し、出力電位に接続される第２の櫛形電極と、平面視したときに、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が並ぶ方向において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指と並ぶように、それぞれ前記圧電層上に設けられている複数の第３の電極指と、隣り合う前記第３の電極指同士を接続している接続電極と、を有し、基準電位に接続される、第３の電極と、を有し、
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれにおいて、平面視したときに、前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が並んでいる順序が、前記第１の電極指から開始した場合において、前記第１の電極指、前記第３の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指を１周期とする順序であり、
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子がそれぞれ、１つの弾性波共振子が並列分割された分割共振子である、弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれにおいて、前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が延びる方向と直交する方向を電極指直交方向としたときに、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、前記電極指直交方向において並んでおり、
　前記第１の弾性波共振子が、前記圧電層上に設けられている第１の反射器を有し、前記第２の弾性波共振子が、前記圧電層上に設けられている第２の反射器を有し、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が第３の反射器を共有しており、
　前記第３の反射器が、前記第１の弾性波共振子の前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が設けられている領域と、前記第２の弾性波共振子の前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が設けられている領域との間に設けられており、
　前記第１の反射器及び前記第３の反射器が、前記第１の弾性波共振子の前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が設けられている領域を挟み互いに対向しており、前記第２の反射器及び前記第３の反射器が、前記第２の弾性波共振子の前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が設けられている領域を挟み互いに対向している、請求項２に記載の弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれにおいて、前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が延びる方向と直交する方向を電極指直交方向としたときに、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のうち一方が、前記圧電層上に、前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が設けられている領域を、前記電極指直交方向において挟むように設けられている１対の反射器を有し、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のうち他方が前記反射器を有しない、請求項１または２に記載の弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子の前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指の合計の本数と、前記第２の弾性波共振子の前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指の合計の本数とが互いに異なる、請求項１～４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子における隣り合う前記第１の電極指及び前記第３の電極指の中心間距離、並びに隣り合う前記第３の電極指及び前記第２の電極指の中心間距離をｐ１とし、前記第２の弾性波共振子における隣り合う前記第１の電極指及び前記第３の電極指の中心間距離、並びに隣り合う前記第２の電極指及び前記第３の電極指の中心間距離をｐ２としたときに、ｐ１≠ｐ２である、請求項１～５のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子における前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指の幅をｗ１とし、前記第２の弾性波共振子における前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指の幅をｗ２としたときに、ｗ１≠ｗ２である、請求項１～６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子がそれぞれ、前記圧電層上に前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指を覆うように設けられている誘電体膜を有し、
　前記第１の弾性波共振子の前記誘電体膜の厚みをｔｄ１、前記第２の弾性波共振子の前記誘電体膜の厚みをｔｄ２としたときに、ｔｄ１≠ｔｄ２である、請求項１～７のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子の前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指の厚みをｔｅ１、前記第２の弾性波共振子の前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指の厚みをｔｅ２としたときに、ｔｅ１≠ｔｅ２である、請求項１～８のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれにおいて、前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の先端がそれぞれ、該電極指と異なる電位であり、かつ入力電位、出力電位及び基準電位のうちいずれかの電位に接続される電極と、ギャップを隔てて対向しており、
　前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が延びる方向を電極指延伸方向とし、前記ギャップの前記電極指延伸方向に沿う寸法をギャップ長とし、前記第１の弾性波共振子における前記ギャップ長をＧ１、前記第２の弾性波共振子における前記ギャップ長をＧ２としたときに、Ｇ１≠Ｇ２である、請求項１～９のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれにおいて、前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が延びる方向を電極指延伸方向とし、前記電極指延伸方向と直交する方向から見たときに、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が重なり合っている領域が交叉領域であり、
　前記第１の弾性波共振子における前記交叉領域の、前記電極指延伸方向に沿う寸法を交叉幅Ａｐ１、前記第２の弾性波共振子における前記交叉領域の、前記電極指延伸方向に沿う寸法を交叉幅Ａｐ２としたときに、Ａｐ１≠Ａｐ２である、請求項１～１０のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれが、板波を利用可能に構成されている、請求項１～１１のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれが、厚み滑りモードのバルク波を利用可能に構成されている、請求項１～１１のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれが、前記圧電膜に積層されている支持部材をさらに有し、
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれにおいて、前記支持部材及び前記圧電膜の積層方向に沿って見た平面視において、前記支持部材における、前記複数の第１の電極指、前記複数の第２の電極指及び前記複数の第３の電極指と重なる位置に音響反射部が形成されており、
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれにおいて、隣り合う前記第１の電極指及び前記第３の電極指の中心間距離、並びに、隣り合う前記第２の電極指及び前記第３の電極指の中心間距離のうち、最も長い距離をｐとした場合において、前記圧電膜の厚みをｄとした場合、ｄ／ｐが０．５以下である、請求項１～１１のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれにおいて、ｄ／ｐが０．２４以下である、請求項１４に記載の弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれにおいて、前記音響反射部が空洞部であり、前記支持部材の一部及び前記圧電膜の一部が、前記空洞部を挟み互いに対向するように、前記支持部材と前記圧電膜とが配置されている、請求項１４または１５に記載の弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれにおいて、前記音響反射部が、相対的に音響インピーダンスが高い高音響インピーダンス層と、相対的に音響インピーダンスが低い低音響インピーダンス層と、を含む、音響反射膜であり、前記支持部材の少なくとも一部及び前記圧電膜の少なくとも一部が、前記音響反射膜を挟み互いに対向するように、前記支持部材と前記圧電膜とが配置されている、請求項１４または１５に記載の弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれにおいて、前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が延びる方向と直交する方向を電極指直交方向としたときに、隣り合う前記第１の電極指及び前記第３の電極指が、前記電極指直交方向において重なり合っている領域、並びに、隣り合う前記第２の電極指及び前記第３の電極指が、前記電極指直交方向において重なり合っている領域が励振領域であり、
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれにおいて、前記励振領域に対する、前記第１の電極指及び前記第３の電極指、並びに前記第２の電極指及び前記第３の電極指のメタライゼーション比をＭＲとしたときに、ＭＲ≦１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０７５を満たす、請求項１４～１７のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子のそれぞれにおいて、前記圧電層を構成しているニオブ酸リチウムのオイラー角（φ，θ，ψ）が、以下の式（１）、式（２）または式（３）の範囲にある、請求項１～１８のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　（０°±１０°の範囲内，０°～２５°，任意のψ）　　…式（１）
　（０°±１０°の範囲内，２５°～１００°，０°～７５°［（１－（θ－５０）^２／２５００）］^１／２　または　１８０°－７５°［（１－（θ－５０）^２／２５００）］^１／２～１８０°）　　…式（２）
　（０°±１０°の範囲内，１８０°－４０°［（１－（ψ－９０）^２／８１００）］^１／２～１８０°，任意のψ）　　…式（３）