WO2024034641A1 - 光導波路構造 - Google Patents

光導波路構造 Download PDF

Info

Publication number
WO2024034641A1
WO2024034641A1 PCT/JP2023/029112 JP2023029112W WO2024034641A1 WO 2024034641 A1 WO2024034641 A1 WO 2024034641A1 JP 2023029112 W JP2023029112 W JP 2023029112W WO 2024034641 A1 WO2024034641 A1 WO 2024034641A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
layer
optical waveguide
waveguide structure
adhesive
structure according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2023/029112
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
礼高 松原
敦次 梶
陽三 石川
敦 伊澤
和哉 長島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
Priority to CN202380055850.9A priority Critical patent/CN119790337A/zh
Publication of WO2024034641A1 publication Critical patent/WO2024034641A1/ja
Priority to US19/046,779 priority patent/US20250180807A1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
    • G02B6/305—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device and having an integrated mode-size expanding section, e.g. tapered waveguide
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
    • G02B6/132—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by deposition of thin films
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B2006/12035—Materials
    • G02B2006/12038—Glass (SiO2 based materials)

Definitions

  • the present invention relates to an optical waveguide structure.
  • one of the objects of the present invention is to develop a new and improved structure that can further improve the mechanical properties of a subassembly that integrates an optical waveguide structure and other members.
  • the purpose of the present invention is to obtain an optical waveguide structure having the following characteristics.
  • the optical waveguide structure of the present invention includes, for example, a first member having a first surface facing in a first direction, and a core extending in a second direction intersecting the first direction at a position away from the first surface.
  • a cladding layer that surrounds the core layer on the first surface and protrudes in the first direction with respect to its peripheral portion at least at a portion opposite to the first member with respect to the core layer.
  • the device includes a second member provided on the opposite side of the first member, and an adhesive that joins the cladding layer and the second member at a position offset from the inclined portion.
  • the waveguide layer may have, as the adhesive, a first adhesive that joins the protrusion and the second member.
  • the waveguide layer may have, as the adhesive, a second adhesive that joins the peripheral portion and the second member.
  • the waveguide layer includes, as the adhesive, a first adhesive that bonds the protrusion and the second member, and a second adhesive that bonds the peripheral portion and the second member. and an agent.
  • the waveguide layer may have, as the adhesive, a plurality of adhesives that join the cladding layer and the second member.
  • the inclined portion may be located between the plurality of adhesives.
  • a plurality of inclined parts may be located between the plurality of adhesives as the inclined parts.
  • the cladding layer includes, as the inclined part, a first inclined part located at an end of the protruding part in a third direction intersecting the first direction and the second direction, and the protruding part. a second sloped part located at an end in the opposite direction to the third direction, and the first sloped part and the second sloped part may be located between the plurality of adhesives. .
  • the waveguide layer includes a dummy layer that is spaced apart from the core layer in a direction intersecting the first direction and the second direction, and the protrusion is formed in the dummy layer.
  • the first member may include a portion located on the opposite side of the first member.
  • the waveguide layer includes, as the dummy layer, a first dummy layer shifted in a third direction intersecting the first direction and the second direction with respect to the core layer, and the core layer. and a second dummy layer shifted in a direction opposite to the third direction.
  • the dummy layer may have a leakage portion that leaks light.
  • the dummy layer has, as the leakage portion, a concave shape or a convex shape when viewed in a direction opposite to the first direction, on an edge of the dummy layer on the opposite side from the core layer. may be provided.
  • the thickness of the cladding layer stacked on the core layer in the first direction may be 15 [ ⁇ m] or less.
  • the cladding layer may include tetraethoxysilane.
  • the width of the core layer in a third direction intersecting the first direction and the second direction may be 1 [mm] or more.
  • an optical waveguide structure has an improved novel configuration that makes it possible to further improve the mechanical properties of a subassembly in which the optical waveguide structure and other members are integrated, for example. can be obtained.
  • FIG. 1 is an exemplary and schematic side view of the optical waveguide structure of the first embodiment.
  • FIG. 2 is an exemplary and schematic front view of a part of the optical waveguide structure of the first embodiment.
  • FIG. 3 is an exemplary and schematic plan view of the optical waveguide structure of the first embodiment.
  • FIG. 4 is an exemplary and schematic front view of a part of the optical waveguide structure of the second embodiment.
  • FIG. 5 is an exemplary and schematic front view of a part of the optical waveguide structure of the third embodiment.
  • FIG. 6 is an exemplary and schematic front view of a part of the optical waveguide structure of the fourth embodiment.
  • FIG. 7 is an exemplary and schematic front view of a part of the optical waveguide structure of the fifth embodiment.
  • FIG. 8 is a sectional view taken along line VIII-VIII in FIG.
  • FIG. 9 is an exemplary and schematic plan view of the waveguide layer of the optical waveguide structure of the fifth embodiment.
  • FIG. 10 is an exemplary and schematic front view of a part of the optical waveguide structure of the sixth embodiment.
  • FIG. 11 is an exemplary and schematic front view of a part of the optical waveguide structure of the seventh embodiment.
  • FIG. 12 is an exemplary and schematic front view of a part of the optical waveguide structure of the eighth embodiment.
  • FIG. 13 is an exemplary and schematic front view of a part of the optical waveguide structure of the ninth embodiment.
  • Exemplary embodiments of the present invention are disclosed below.
  • the configuration of the embodiment shown below, and the actions and results (effects) brought about by the configuration are examples.
  • the present invention can be realized by configurations other than those disclosed in the following embodiments. Further, according to the present invention, it is possible to obtain at least one of various effects (including derivative effects) obtained by the configuration.
  • the X direction is represented by an arrow X
  • the Y direction is represented by an arrow Y
  • the Z direction is represented by an arrow Z.
  • the X direction, Y direction, and Z direction intersect each other and are orthogonal to each other.
  • the X direction is also referred to as the longitudinal direction or extension direction
  • the Y direction is also referred to as the lateral direction or width direction
  • the Z direction is also referred to as the stacking direction or height direction.
  • each figure is a schematic diagram for the purpose of explanation, and the scale and ratio of each figure and the actual thing do not necessarily match.
  • FIG. 1 is a side view of the optical waveguide structure 100A (100) of the first embodiment.
  • the optical waveguide structure 100 includes a base 10, a waveguide layer 20A (20), a member 30A (30), and an adhesive 40.
  • the base 10, waveguide layer 20, adhesive 40, and member 30 are laminated in the Z direction.
  • the member 30 is provided on the side opposite to the base 10 with respect to the end 20e of the waveguide layer 20 in the X direction, that is, the end 20e in the longitudinal direction.
  • the adhesive 40 joins the end 20e of the waveguide layer 20 and the member 30.
  • the base 10 is an example of a first member. Adhesive 40 may also be referred to as a bonding agent.
  • the base 10 may also be referred to as a substrate.
  • the base 10 and the waveguide layer 20 constitute a PLC (planar lightwave circuit).
  • the end surface 100e of the optical waveguide structure 100 and the end surface 200e of another optical structure 200 are joined with an adhesive or the like while facing each other, so that the optical waveguide structure 100 and the optical Structure 200 is integrated.
  • the end surface 100e is configured as an end surface of the base 10, the waveguide layer 20, the adhesive 40, and the member 30.
  • An end surface 20e1 of the waveguide layer 20 located within the end surface 100e of the optical waveguide structure 100 is an input end or an output end of light.
  • the optical structure 200 is, for example, an optical fiber support structure, an optical sensor, etc., but is not limited thereto.
  • the waveguide layer 20 of the optical waveguide structure 100 and the waveguide (not shown) of the optical structure 200 are optically connected.
  • the optical waveguide structure 100 did not have the member 30 and the adhesive 40 but only the base 10 and the waveguide layer 20, the structure would be different from the structure with the member 30 and the adhesive 40. , the thickness in the Z direction becomes thinner. Therefore, there is a possibility that the subassembly of the optical waveguide structure 100 and the optical structure 200 becomes easy to bend and break at the joint portion of the end surfaces 100e and 200e. Furthermore, since the end surface 100e is narrow, there is also a possibility that the tensile strength will be insufficient.
  • the optical waveguide structure 100 of the present embodiment has the member 30 facing the optical structure 200 and the adhesive 40 on the side opposite to the base 10 with respect to the end 20e of the waveguide layer 20.
  • the subassembly in which the optical waveguide structure 100 and the optical structure 200 are integrated has lower bending rigidity, bending strength, shear strength, and tensile strength. Easy to improve mechanical properties.
  • Member 30 is an example of a second member.
  • the member 30 functions as a reinforcing member, and may also be referred to as an upper plate, a yato, or the like.
  • FIG. 2 is a front view of the optical waveguide structure 100A of the first embodiment and a part of the end face 100e of (100).
  • the base 10 is, for example, a silicon substrate. As shown in FIGS. 1 and 2, the base 10 intersects and is perpendicular to the Z direction, and extends in the X and Y directions.
  • Base 10 has a surface 10a.
  • the surface 10a is an end face in the Z direction.
  • the surface 10a faces the Z direction, intersects and is perpendicular to the Z direction, and extends in the X and Y directions.
  • the Z direction is an example of the first direction.
  • Surface 10a is an example of a first surface.
  • the waveguide layer 20 includes a first cladding layer 21, a core layer 22, and a second cladding layer 23.
  • the first cladding layer 21, the core layer 22, and the second cladding layer 23 are laminated in this order on the surface 10a by a CVD method (CVD: chemical vapor deposition).
  • the first cladding layer 21 covers the surface 10a of the base 10 with a substantially constant thickness t1 in the Z direction.
  • the first cladding layer 21 intersects and is perpendicular to the Z direction, and extends in the X direction and the Y direction.
  • the core layer 22 is laminated on a portion of the upper surface 21a of the first cladding layer 21 with a substantially constant thickness t2 in the Z direction.
  • the first cladding layer 21 is interposed between the core layer 22 and the surface 10a of the base 10. That is, the core layer 22 is located away from the surface 10a in the Z direction.
  • the core layer 22 extends in the X direction with a predetermined width w1.
  • the X direction is an example of the second direction.
  • the second cladding layer 23 is laminated on the first cladding layer 21 and the core layer 22 with a substantially constant thickness t3 in the Z direction.
  • the core layer 22 is laminated on the upper surface 21a of the first cladding layer 21. Therefore, before the second cladding layer 23 is laminated, the core layer 22 protrudes from the upper surface 21a in the Z direction by a thickness t2. Therefore, the second cladding layer 23 laminated on the first cladding layer 21 and the core layer 22 having such a shape and arrangement includes a portion 23a formed on the upper surface 21a apart from the core layer 22, and a portion 23a formed on the upper surface 21a of the core layer 22.
  • a protrusion 23p is formed in a portion that includes a portion 23b formed on the core layer 22 and is on the opposite side of the base 10 with respect to the core layer 22.
  • the protruding portion 23p is a part (end portion in the Z direction) of the portion 23b.
  • the top surface 23p1 of the protrusion 23p that is, the top surface 23p1 located at the end of the portion 23b in the Z direction, faces the Z direction, intersects and is perpendicular to the Z direction, and extends in the X and Y directions. There is.
  • the surface 23a1 located at the end of the portion 23a in the Z direction also faces the Z direction, intersects and is perpendicular to the Z direction, and extends in the X direction and the Y direction.
  • the top surface 23p1 protrudes from the surface 23a1 in the Z direction at approximately the same height as the thickness t2 of the core layer 22.
  • the surface 23a1 is an example of a peripheral portion of the protrusion 23p, and may also be referred to as a base surface or a flat surface.
  • the first cladding layer 21 and the second cladding layer 23 constitute a cladding layer that surrounds the core layer 22 on the surface 10a of the base 10 and extends in the X direction.
  • the cladding layers are made of, for example, a silica-based glass material.
  • the core layer 22 is made of, for example, a silica-based glass material having a higher refractive index than the refractive index of the first cladding layer 21 and the second cladding layer 23.
  • the core layer 22 may be made of, for example, quartz glass containing germania (GeO2) or zirconia (ZrO2) as a dopant that increases the refractive index.
  • the member 30 is made of, for example, a quartz glass material, a borosilicate glass material, or the like.
  • the adhesive 40 is made of, for example, epoxy resin, acrylic resin, vinyl resin, or the like.
  • an inclined portion 23i is formed at the boundary between the protruding portion 23p and the surface 23a1.
  • the inclined part 23i includes an inclined part 23i1 located at the end of the protruding part 23p in the Y direction, and an inclined part 23i2 located at the opposite end of the protruding part 23p in the Y direction.
  • the slope portion 23i1 is an example of a first slope portion
  • the slope portion 23i2 is an example of a second slope portion.
  • the Y direction is an example of the third direction.
  • FIG. 3 is a plan view of the optical waveguide structure 100A (100) of the first embodiment.
  • the protrusion 23p is formed on the opposite side of the base 10 with respect to the core layer 22. Therefore, the planar shape of the protrusion 23p as shown in FIG. 3 approximately corresponds to the planar shape of the core layer 22.
  • the protrusion 23p extends in the X direction, and the width of the protrusion 23p in the Y direction changes. That is, the core layer 22 extends in the X direction, and the width of the core layer 22 in the Y direction changes.
  • the protrusion 23p has a section where the width in the Y direction increases as it goes in the X direction, and the width in the Y direction at the end of the protrusion 23p in the X direction is in the opposite direction to the X direction of the protrusion 23p. It is wider than the width in the Y direction at the end. That is, the core layer 22 has a section where the width in the Y direction increases as it goes in the X direction, and the width in the Y direction at the end of the core layer 22 in the X direction is equal to the width in the opposite direction to the X direction. It is wider than the width in the Y direction at the end.
  • the planar shape of the protrusion 23p that is, the planar shape of the core layer 22, is not limited to that shown in FIG. 3, and for example, the width may be constant, branched, or curved.
  • the thicknesses t1 and t3 (see FIG. 2) of the first cladding layer 21 and the second cladding layer 23 are, for example, 10 [ ⁇ m]
  • the thickness t2 (see FIG. 2) of the core layer 22 is, for example, It can be set to 3 [ ⁇ m].
  • the width w1 (see FIG. 2) of the core layer 22 can be set to, for example, 1 [mm] or more.
  • the inventors found that when the thickness t3 of the second cladding layer 23 is thin as in the above-described configuration, the slope of the slope portion 23i with respect to the surface 23a1 and the top surface 23p1 is lower than when the second cladding layer 23 is thick. It was found that the curve becomes steeper. This is because when the second cladding layer 23 is laminated by the CVD method, if the thickness t3 of the second cladding layer 23 is relatively thick, the inclination occurs corresponding to the inclination of the edge of the core layer 22 in the width direction.
  • the inventors found that when a fluid adhesive 40 before solidification is applied onto such a steep slope 23i, the corner C between the slope 23i and the surface 23a1 (see FIG. (see), the adhesive 40 may not enter the corner C, and a gap may be created between the corner C and the adhesive 40, which may reduce the bonding strength between the waveguide layer 20 and the member 30 due to the adhesive 40, or reduce the bonding strength. It was found that there is a possibility that individual differences may occur.
  • the bonding strength between the waveguide layer 20 and the member 30 decreases, the bonding strength between the optical waveguide structure 100 and the optical structure 200 also decreases, and the mechanical properties of the subassembly of the optical waveguide structure 100 and the optical structure 200 also decrease. It will be damaged.
  • the adhesive 40 is not applied to the inclined part 23i, but is applied to the inclined part 23i, particularly the corner C between the inclined part 23i and the surface 23a1, that is, the root part of the protruding part 23p.
  • the waveguide layer 20 (second cladding layer 23) and the member 30 are bonded.
  • the adhesive 40 is provided on the top surface 23p1 of the protrusion 23p, and joins the top surface 23p1 and the bottom surface 30a of the member 30.
  • the configuration in which the member 30A is located on the protrusion 23p as in this embodiment is more effective when the width w1 of one core layer 22 is wide, such as 1 mm or more.
  • the fact that the second cladding layer 23 was laminated by the CVD method that produces the above-mentioned steep slope portion 23i can be identified by the fact that the second cladding layer 23 contains tetraethoxysilane.
  • the steep slope portion 23i in which the adhesive 40 is difficult to enter the corner C is formed when the thickness t3 of the second cladding layer 23 is, for example, 15 [ ⁇ m] or less. It was found that this phenomenon is more likely to occur when the thickness is thin. That is, the configuration of this embodiment is more effective when the thickness t3 of the second cladding layer 23 is 15 [ ⁇ m] or less.
  • FIG. 4 is a front view of the optical waveguide structure 100B (100) of the second embodiment. As will become clear when FIG. 4 is compared with FIG. 2, the shape of the member 30B (30) is different from the member 30A (30) of the first embodiment.
  • the width in the Y direction of the member 30B at a position away from the bonded portion with the adhesive 40 in the Z direction is wider than the width in the Y direction of the bonded portion.
  • the area of the end surface 100e joined to the end surface 200e of another optical structure 200 can be made larger, and the joining strength with the optical structure 200 can be increased accordingly.
  • FIG. 5 is a front view of an optical waveguide structure 100C (100) of the third embodiment.
  • the member 30C (30) and the waveguide layer 20 are bonded to each other by adhesives 40 provided at a plurality of locations (two locations in this example).
  • the adhesive 40 includes an adhesive 40a that joins the protrusion 23p and the member 30C, and an adhesive 40b that joins the surface 23a1 and the member 30C at a position shifted from the slope 23i and away from the corner C. I'm here.
  • the inclined portion 23i is located between the plurality of adhesives 40a and 40b.
  • the adhesive 40a is an example of a first adhesive
  • the adhesive 40b is an example of a second adhesive.
  • the adhesive 40 is provided at two locations, the bonding strength between the member 30C and the waveguide layer 20 can be further increased. Furthermore, since the adhesive 40 is provided at two locations separated in the Y direction, the member 30C has a wider width in the Y direction, so the area of the end surface 100e to be joined to the end surface 200e of the optical structure 200 is increased. Therefore, the bonding strength with the optical structure 200 can be increased accordingly.
  • FIG. 6 is a front view of an optical waveguide structure 100D (100) of the fourth embodiment.
  • the member 30D (30) and the waveguide layer 20 are bonded to each other by adhesives 40 provided at a plurality of locations (three locations in this example).
  • the adhesive 40 includes an adhesive 40a that joins the protrusion 23p and the member 30D, and two adhesives 40b that join the surface 23a1 and the member 30C at a position shifted from the slope 23i and away from the corner C. Contains.
  • two inclined parts 23i1 and 23i2 are located between two adhesives 40b.
  • the adhesive 40 is provided at three locations, the bonding strength between the member 30C and the waveguide layer 20 can be further increased. Furthermore, since the adhesive 40 is provided at three locations separated in the Y direction, the member 30C has a wider width in the Y direction, so the area of the end surface 100e to be joined to the end surface 200e of the optical structure 200 is increased. Therefore, the bonding strength with the optical structure 200 can be increased accordingly.
  • FIG. 7 is a front view of an optical waveguide structure 100E (100) of the fifth embodiment.
  • the waveguide layer 20E (20) of this embodiment is provided with dummy layers 24A and 24B (24) that are lined up with the core layer 22 in the Y direction.
  • the dummy layer 24 is laminated in the same process as the core layer 22.
  • the dummy layer 24 is made of the same components as the core layer 22 and has the same thickness t2 (see FIG. 2) as the core layer 22.
  • a second cladding layer 23 is interposed between the dummy layer 24 and the core layer 22. Therefore, light hardly leaks from the core layer 22 to the dummy layer 24.
  • the dummy layer 24A shifted in the Y direction with respect to the core layer 22 is an example of a first dummy layer
  • the dummy layer 24B shifted in the opposite direction of the Y direction with respect to the core layer 22 is a second dummy layer. This is an example.
  • the protrusion 23p is formed to cover the core layer 22 and the two dummy layers 24. That is, the protrusion 23p includes a portion located on the opposite side of the base 10 with respect to the dummy layer 24.
  • the width of the protrusion 23p in the Y direction can be made wider.
  • the width of the adhesive 40 in the Y direction can be increased, and the bonding strength between the protrusion 23p and the member 30E can be increased accordingly.
  • the member 30E since the width of the protrusion 23p and the adhesive 40 is increased, the member 30E has a wider width in the Y direction, so the area of the end surface 100e joined to the end surface 200e of the optical structure 200 is increased. Therefore, the bonding strength with the optical structure 200 can be increased accordingly.
  • a groove 23g is formed on the top surface 23p1 at a position aligned with the interval between the core layer 22 and the dummy layer 24 in the Z direction.
  • the depth of the groove 23g is set to be shallower than the height of the protrusion 23p, that is, the thickness t2 of the core layer 22, and is set to such an extent that the adhesive 40 can enter therein. Therefore, the adhesive 40 does not enter into the groove 23g, and a gap is created between the adhesive 40 and the protrusion 23p, and the bonding strength between the waveguide layer 20 and the member 30E by the adhesive 40 is reduced. This situation can be avoided.
  • FIG. 8 is a sectional view taken along line VIII-VIII in FIG. 7. As shown in FIG. 8 when the cross section is viewed in the opposite direction to the Z direction, a concave shape 24b and a convex shape 24a are provided on the edge of the dummy layer 24 on the opposite side to the core layer 22.
  • the concave shape 24b and the convex shape 24a are formed by alternately providing edges extending in the X direction and edges extending in the Y direction in a plan view of FIG. If light were to leak from the core layer 22 to the dummy layer 24, it would be undesirable for the leaked light to be transmitted within the dummy layer 24 in the X direction toward the optical structure 200.
  • the concave shape 24b and the convex shape 24a are provided at the position of the dummy layer 24 in the waveguide layer 20 so that the effective refractive index changes discontinuously along the X direction.
  • the light transmitted through the dummy layer 24 leaks out of the dummy layer 24 from the concave shape 24b and the convex shape 24a.
  • the width w2 of the convex shape 24a in the Y direction is 500 [ ⁇ m]
  • the width w3 of the concave shape 24b in the Y direction is 250 [ ⁇ m].
  • the length L1 of the convex shape 24a in the X direction is 300 [ ⁇ m] or more and 2000 [ ⁇ m] or less, and the length L2 of the concave shape 24b in the X direction is 200 [ ⁇ m] or more and 1000 [ ⁇ m] or less. . Further, the distance d1 between the core layer 22 and the dummy layer 24 is 10 [ ⁇ m]. However, the values of width w2, width w3, length L1, length L2, and distance d1 are only examples, and are not limited to the above values.
  • the concave shape 24b and the convex shape 24a are examples of leakage portions.
  • the optical waveguide structure 100E of this embodiment has a plane-symmetric structure with respect to the virtual plane VP.
  • the virtual plane VP is along the X direction and the Z direction and is orthogonal to the Y direction. Therefore, the dummy layer 24B also has a structure that is plane symmetrical to the dummy layer 24A. Therefore, the same effect as the dummy layer 24A can be obtained by the dummy layer 24B as well.
  • FIG. 9 is a plan view of the waveguide layer 20E of the optical waveguide structure 100E, in other words, a plan view showing a state before the member 30E is placed on the waveguide layer 20E in the manufacturing process of the optical waveguide structure 100E.
  • a protrusion 23p corresponding to the core layer 22 and the dummy layer 24 is formed at the end of the waveguide layer 20 in the Z direction. That is, the protrusion 23p has a shape corresponding to the concave shape 24b and the convex shape 24a in a plan view seen in the opposite direction to the Z direction.
  • the inclined part 23i1 located at the end of the protrusion 23p in the Y direction and the inclined part 23i2 located at the opposite end of the Y direction are respectively a section 23ia extending in the X direction and a section extending in the Y direction. 23ib.
  • these sections 23ia and 23ib can be used for positioning the member 30E. That is, the sections 23ia and 23ib of the inclined portion 23i are examples of alignment markers.
  • FIG. 10 is a front view of an optical waveguide structure 100F (100) of the sixth embodiment.
  • the member 30F (30) and the waveguide layer 20 are bonded to each other by the adhesive 40 provided at a plurality of locations (two locations in this example).
  • the adhesive 40 includes two adhesives 40b that join the surface 23a1 and the member 30F at a position offset from the inclined portion 23i and away from the corner C.
  • two inclined parts 23i1 and 23i2 are located between two adhesives 40b.
  • the adhesive 40 is provided at two locations, the bonding strength between the member 30F and the waveguide layer 20 can be further increased. Furthermore, since the adhesive 40 is provided at two locations separated in the Y direction, the member 30F has a wider width in the Y direction, so the area of the end surface 100e to be joined to the end surface 200e of the optical structure 200 is increased. Therefore, the bonding strength with the optical structure 200 can be increased accordingly. Note that, as is clear from the example of FIG. 10, it is not essential that the member 30F (30) and the protruding portion 23p be joined by the adhesive 40.
  • FIG. 11 is a front view of an optical waveguide structure 100G (100) of the seventh embodiment.
  • the member 30G (30) and the waveguide layer 20G (20) are bonded to each other by the adhesive 40 provided at a plurality of locations (two locations in this example).
  • the adhesive 40 includes two adhesives 40b that join the surface 23a1 and the member 30G at a position offset from the inclined portion 23i and away from the corner C.
  • two protrusions 23p that is, four inclined portions 23i, are located between the two adhesives 40b.
  • the adhesive 40 is provided at two locations, the bonding strength between the member 30G and the waveguide layer 20 can be further increased. Furthermore, since the adhesive 40 is provided at two locations separated in the Y direction, the member 30G has a wider width in the Y direction, so the area of the end surface 100e to be joined to the end surface 200e of the optical structure 200 is increased. Therefore, the bonding strength with the optical structure 200 can be increased accordingly. Moreover, in this embodiment, one member 30G functions as a reinforcing member corresponding to the plurality of protrusions 23p (core layer 22).
  • the number of parts can be further reduced, and the labor and cost of manufacturing can be reduced. It also has the advantage of being able to.
  • FIG. 12 is a front view of an optical waveguide structure 100H (100) of the eighth embodiment.
  • the member 30H (30) and the waveguide layer 20 are bonded to each other by the adhesive 40 provided at a plurality of locations (two locations in this example).
  • the adhesive 40 includes an adhesive 40a that joins the protrusion 23p and the member 30H, and two adhesives 40b that join the surface 23a1 and the member 30H at a position shifted from the slope 23i and away from the corner C. Contains.
  • three inclined portions 23i are located between the two adhesives 40a and 40b.
  • the adhesive 40 is provided at two locations, the bonding strength between the member 30H and the waveguide layer 20 can be further increased. Furthermore, since the adhesive 40 is provided at two locations separated in the Y direction, the member 30H has a wider width in the Y direction, so the area of the end surface 100e to be joined to the end surface 200e of the optical structure 200 is increased. Therefore, the bonding strength with the optical structure 200 can be increased accordingly. Further, in this embodiment as well, since one member 30H is shared by a plurality of protrusions 23p (core layer 22), the number of parts can be further reduced, and the labor and cost of manufacturing can be reduced. Can be done.
  • FIG. 13 is a front view of an optical waveguide structure 100I (100) of the ninth embodiment.
  • the member 30I (30) and the waveguide layer 20 are bonded to each other by the adhesive 40 provided at a plurality of locations (in this example, two or more locations).
  • the adhesive 40 includes a plurality of adhesives 40a that join the protrusion 23p and the member 30I.
  • two inclined portions 23i are located between two adhesives 40a adjacent to each other in the Y direction.
  • the member 30I is provided to cover two or more protrusions 23p.
  • the adhesive 40 is provided at two or more locations, the bonding strength between the member 30I and the waveguide layer 20 can be further increased. Furthermore, since the adhesive 40 is provided at two or more locations separated in the Y direction, the member 30I has a wider width in the Y direction, so the area of the end surface 100e to be joined to the end surface 200e of the optical structure 200 is reduced. It can be made larger, and the bonding strength with the optical structure 200 can be increased accordingly. Further, in this embodiment as well, since one member 30I is shared by a plurality of protrusions 23p (core layer 22), the number of parts can be further reduced, and the labor and cost of manufacturing can be reduced. Can be done.
  • the optical waveguide structure is a PLC, but it is not limited to this, and the optical waveguide structure may be, for example, a SiPh waveguide, an InP waveguide, or a SiN waveguide.
  • the present invention can be utilized for optical waveguide structures.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

本発明の光導波路構造は、例えば、第一方向を向いた第一面を有した第一部材と、第一面から離れた位置で第一方向と交差した第二方向に延びたコア層と、第一面上でコア層を取り囲むクラッド層であって少なくともコア層に対して第一部材の反対側となる部位でその周辺部分に対して第一方向に突出した突出部を有したクラッド層と、突出部と周辺部分との境界に設けられた傾斜部と、を有した導波路層と、導波路層の長手方向の端部に対して第一部材とは反対側に設けられた第二部材と、傾斜部からずれた位置で、クラッド層と第二部材とを接合した接着剤と、を備える。

Description

光導波路構造
　本発明は、光導波路構造に関する。
　従来の光導波路構造として、他の部材との接続部分において、光導波路構造に部材を追加することにより、当該光導波路構造と他の部材とを一体化したサブアセンブリの剛性や強度のような機械的特性の向上を図る技術が、知られている（例えば、特許文献１）。
特開２０１３－２１４１１５号公報
　この種の光導波路構造について発明者らが鋭意研究を行ったところ、光導波路構造と他の部材とを一体化したサブアセンブリの機械的特性をより向上することが可能となる構造を見出すに至った。
　そこで、本発明の課題の一つは、例えば、光導波路構造と他の部材とを一体化したサブアセンブリの機械的特性をより向上することが可能となるような、改善された新規な構成を有した光導波路構造を得ること、である。
　本発明の光導波路構造は、例えば、第一方向を向いた第一面を有した第一部材と、前記第一面から離れた位置で前記第一方向と交差した第二方向に延びたコア層と、前記第一面上で前記コア層を取り囲むクラッド層であって少なくとも前記コア層に対して前記第一部材の反対側となる部位でその周辺部分に対して前記第一方向に突出した突出部を有したクラッド層と、前記突出部と前記周辺部分との境界に設けられた傾斜部と、を有した導波路層と、前記導波路層の長手方向の端部に対して前記第一部材とは反対側に設けられた第二部材と、前記傾斜部からずれた位置で、前記クラッド層と前記第二部材とを接合した接着剤と、を備える。
　前記光導波路構造では、前記導波路層は、前記接着剤として、前記突出部と前記第二部材とを接合した第一接着剤を有してもよい。
　前記光導波路構造では、前記導波路層は、前記接着剤として、前記周辺部分と前記第二部材とを接合した第二接着剤を有してもよい。
　前記光導波路構造では、前記導波路層は、前記接着剤として、前記突出部と前記第二部材とを接合した第一接着剤と、前記周辺部分と前記第二部材とを接合した第二接着剤と、を有してもよい。
　前記光導波路構造では、前記導波路層は、前記接着剤として、前記クラッド層と前記第二部材とを接合する複数の接着剤を有してもよい。
　前記光導波路構造では、前記複数の接着剤の間に、前記傾斜部が位置してもよい。
　前記光導波路構造では、前記複数の接着剤の間に、前記傾斜部として複数の傾斜部が位置してもよい。
　前記光導波路構造では、前記クラッド層は、前記傾斜部として、前記突出部における前記第一方向および前記第二方向と交差した第三方向の端部に位置した第一傾斜部と、前記突出部における前記第三方向の反対方向の端部に位置した第二傾斜部と、を有し、前記複数の接着剤の間に、前記第一傾斜部および前記第二傾斜部が位置してもよい。
　前記光導波路構造では、前記導波路層は、前記第一方向および前記第二方向と交差した方向に間隔をあけて前記コア層と並んだダミー層を有し、前記突出部は、前記ダミー層に対して前記第一部材とは反対側に位置した部位を含んでもよい。
　前記光導波路構造では、前記導波路層は、前記ダミー層として、前記コア層に対して前記第一方向および前記第二方向と交差した第三方向にずれた第一ダミー層と、前記コア層に対して前記第三方向の反対方向にずれた第二ダミー層と、を有してもよい。
　前記光導波路構造では、前記ダミー層は、光を漏洩する漏洩部を有してもよい。
　前記光導波路構造では、前記ダミー層は、前記漏洩部として、前記ダミー層の前記コア層とは反対側の縁に、前記第一方向の反対方向に見た場合における凹部形状または凸部形状が設けられてもよい。
　前記光導波路構造では、前記コア層上に積層される前記クラッド層の前記第一方向における厚さは、１５［μｍ］以下であってもよい。
　前記光導波路構造では、前記クラッド層は、テトラエトキシシランを含んでもよい。
　前記光導波路構造では、前記コア層の、前記第一方向および前記第二方向と交差した第三方向における幅は、１［ｍｍ］以上であってもよい。
　本発明によれば、例えば、光導波路構造と他の部材とを一体化したサブアセンブリの機械的特性をより向上することが可能となるような、改善された新規な構成を有した光導波路構造を得ることができる。
図１は、第１実施形態の光導波路構造の例示的かつ模式的な側面図である。 図２は、第１実施形態の光導波路構造の一部の例示的かつ模式的な正面図である。 図３は、第１実施形態の光導波路構造の例示的かつ模式的な平面図である。 図４は、第２実施形態の光導波路構造の一部の例示的かつ模式的な正面図である。 図５は、第３実施形態の光導波路構造の一部の例示的かつ模式的な正面図である。 図６は、第４実施形態の光導波路構造の一部の例示的かつ模式的な正面図である。 図７は、第５実施形態の光導波路構造の一部の例示的かつ模式的な正面図である。 図８は、図７のVIII－VIII断面図である。 図９は、第５実施形態の光導波路構造の導波路層の例示的かつ模式的な平面図である。 図１０は、第６実施形態の光導波路構造の一部の例示的かつ模式的な正面図である。 図１１は、第７実施形態の光導波路構造の一部の例示的かつ模式的な正面図である。 図１２は、第８実施形態の光導波路構造の一部の例示的かつ模式的な正面図である。 図１３は、第９実施形態の光導波路構造の一部の例示的かつ模式的な正面図である。
　以下、本発明の例示的な実施形態が開示される。以下に示される実施形態の構成、ならびに当該構成によってもたらされる作用および結果（効果）は、一例である。本発明は、以下の実施形態に開示される構成以外によっても実現可能である。また、本発明によれば、構成によって得られる種々の効果（派生的な効果も含む）のうち少なくとも一つを得ることが可能である。
　以下に示される複数の実施形態は、同様の構成を備えている。よって、各実施形態の構成によれば、当該同様の構成に基づく同様の作用および効果が得られる。また、以下では、それら同様の構成には同様の符号が付与されるとともに、重複する説明が省略される場合がある。
　本明細書において、序数は、部位や、方向や、部位、部材等を区別するために便宜上付与されており、優先順位や順番を示すものではないし、個数を特定するものでもない。
　各図において、Ｘ方向を矢印Ｘで表し、Ｙ方向を矢印Ｙで表し、Ｚ方向を矢印Ｚで表す。Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向は、互いに交差するとともに互いに直交している。なお、以下では、Ｘ方向を長手方向若しくは延び方向、Ｙ方向を短手方向若しくは幅方向、Ｚ方向を積層方向若しくは高さ方向とも称する。
　また、各図は説明を目的とした模式図であって、各図と実物とでスケールや比率は、必ずしも一致しない。
［第１実施形態］
　図１は、第１実施形態の光導波路構造１００Ａ（１００）の側面図である。図１に示されるように、光導波路構造１００は、ベース１０と、導波路層２０Ａ（２０）と、部材３０Ａ（３０）と、接着剤４０と、を備えている。ベース１０、導波路層２０、接着剤４０、および部材３０は、Ｚ方向に積層されている。部材３０は、導波路層２０のＸ方向の端部２０ｅ、すなわち長手方向の端部２０ｅに対して、ベース１０とは反対側に設けられている。接着剤４０は、導波路層２０の端部２０ｅと部材３０とを接合している。ベース１０は、第一部材の一例である。接着剤４０は、接合剤とも称されうる。ベース１０は、基板とも称されうる。また、ベース１０および導波路層２０は、ＰＬＣ（planar　lightwave　circuit）を構成している。
　図１に示されるように、光導波路構造１００の端面１００ｅと別の光学構造２００の端面２００ｅとが、互いに面した状態で、接着剤等によって接合されることにより、当該光導波路構造１００と光学構造２００とが一体化される。端面１００ｅは、ベース１０、導波路層２０、接着剤４０、および部材３０の端面として構成されている。光導波路構造１００の端面１００ｅ内に位置する導波路層２０の端面２０ｅ１は、光の入力端あるいは出力端である。また、光学構造２００は、例えば、光ファイバ支持構造や、光センサ等であるが、これらには限定されない。光導波路構造１００と光学構造２００とのサブアセンブリにおいて、光導波路構造１００の導波路層２０と、光学構造２００の導波路（不図示）とは、光学的に接続されている。
　ここで、仮に、光導波路構造１００が、部材３０および接着剤４０を有せず、ベース１０および導波路層２０のみを有していた場合、部材３０および接着剤４０を有した構成に比べて、Ｚ方向の厚さが薄くなる。このため、光導波路構造１００と光学構造２００とのサブアセンブリは、端面１００ｅ，２００ｅの接合部分において、曲がりやすくなるとともに折れやすくなる虞がある。また、端面１００ｅが狭い分、引張強度も不足する虞もある。この点、本実施形態の光導波路構造１００は、導波路層２０の端部２０ｅに対してベース１０とは反対側に、光学構造２００と面した部材３０および接着剤４０を有している。このため、部材３０および接着剤４０を有しない構成に比べて、光導波路構造１００と光学構造２００とが一体化されたサブアセンブリの、曲げ剛性、曲げ強度、剪断強度、引張強度のような、機械的特性を、高めやすい。部材３０は、第二部材の一例である。部材３０は、補強部材として機能しており、上板や、ヤトイ等とも称されうる。
　図２は、第１実施形態の光導波路構造１００Ａと（１００）の端面１００ｅの一部の正面図である。ベース１０は、例えば、シリコン基板である。図１，２に示されるように、ベース１０は、Ｚ方向と交差するとともに直交し、Ｘ方向およびＹ方向に延びている。ベース１０は、表面１０ａを有している。表面１０ａは、Ｚ方向の端面である。表面１０ａは、Ｚ方向を向き、Ｚ方向と交差するとともに直交し、Ｘ方向およびＹ方向に延びている。Ｚ方向は、第一方向の一例である。表面１０ａは、第一面の一例である。
　図２に示されるように、導波路層２０は、第一クラッド層２１と、コア層２２と、第二クラッド層２３と、を有している。第一クラッド層２１、コア層２２、および第二クラッド層２３は、ＣＶＤ法（ＣＶＤ：chemical　vapor　deposition）によって、表面１０ａ上に、この順に積層される。
　第一クラッド層２１は、Ｚ方向における略一定の厚さｔ１で、ベース１０の表面１０ａを覆っている。第一クラッド層２１は、Ｚ方向と交差するとともに直交し、Ｘ方向およびＹ方向に延びている。
　コア層２２は、第一クラッド層２１の上面２１ａの一部の上に、Ｚ方向における略一定の厚さｔ２で積層されている。言い換えると、コア層２２とベース１０の表面１０ａとの間には第一クラッド層２１が介在している。すなわち、コア層２２は、当該表面１０ａからＺ方向に離れて位置している。また、導波路層２０の端部２０ｅにおいて、コア層２２は、所定の幅ｗ１でＸ方向に延びている。Ｘ方向は、第二方向の一例である。
　第二クラッド層２３は、第一クラッド層２１およびコア層２２上に、Ｚ方向における略一定の厚さｔ３で積層されている。上述したように、また図２から明らかとなるように、コア層２２は、第一クラッド層２１の上面２１ａ上に積層されている。このため、第二クラッド層２３が積層される前の状態において、当該コア層２２は、当該上面２１ａからＺ方向に厚さｔ２で突出している。したがって、このような形状および配置の第一クラッド層２１およびコア層２２上に積層された第二クラッド層２３には、コア層２２から外れて上面２１ａ上に形成された部位２３ａと、コア層２２上に形成された部位２３ｂとが含まれるとともに、コア層２２に対してベース１０とは反対側となる部分に、突出部２３ｐが形成されることになる。当該突出部２３ｐは、部位２３ｂの一部（Ｚ方向の端部）である。ここで、突出部２３ｐの頂面２３ｐ１、すなわち部位２３ｂのＺ方向の端部に位置する頂面２３ｐ１は、Ｚ方向を向き、Ｚ方向と交差するとともに直交し、Ｘ方向およびＹ方向に延びている。また、部位２３ａのＺ方向の端部に位置する表面２３ａ１も、Ｚ方向を向き、Ｚ方向と交差するとともに直交し、Ｘ方向およびＹ方向に延びている。そして、頂面２３ｐ１は、表面２３ａ１に対して、コア層２２の厚さｔ２と略同じ高さで、Ｚ方向に突出している。表面２３ａ１は、突出部２３ｐに対する周辺部分の一例であり、ベース面や、平坦面とも称されうる。
　このような構成において、第一クラッド層２１および第二クラッド層２３は、ベース１０の表面１０ａ上でコア層２２を取り囲んでＸ方向に延びるクラッド層を構成している。
　クラッド層、すなわち第一クラッド層２１および第二クラッド層２３は、例えば、石英系ガラス材料で作られる。コア層２２は、例えば、第一クラッド層２１および第二クラッド層２３の屈折率よりも高い屈折率を有した石英系ガラス材料で作られる。コア層２２は、例えば、屈折率を高めるドーパントとしてゲルマニア（ＧｅＯ２）やジルコニア（ＺｒＯ２）を含む石英ガラスで作られてもよい。部材３０は、例えば、石英系ガラス材料や、ホウケイ酸ガラス材料等で作られる。また、接着剤４０は、例えば、エポキシ系樹脂や、アクリル系樹脂、ビニル系樹脂等で作られる。
　このような構成において、突出部２３ｐと表面２３ａ１との境界には、傾斜部２３ｉが形成される。傾斜部２３ｉは、突出部２３ｐのＹ方向の端部に位置した傾斜部２３ｉ１と、突出部２３ｐのＹ方向の反対方向の端部に位置した傾斜部２３ｉ２と、を含んでいる。傾斜部２３ｉ１は、第一傾斜部の一例であり、傾斜部２３ｉ２は、第二傾斜部の一例である。Ｙ方向は、第三方向の一例である。
　図３は、第１実施形態の光導波路構造１００Ａ（１００）の平面図である。上述したように、突出部２３ｐは、コア層２２に対してベース１０とは反対側に形成される。したがって、図３に示されるような突出部２３ｐの平面形状は、ほぼコア層２２の平面形状を示していることになる。図３の例では、突出部２３ｐは、Ｘ方向に延びており、当該突出部２３ｐのＹ方向における幅が、変化している。すなわち、コア層２２は、Ｘ方向に延びており、当該コア層２２のＹ方向の幅は、変化している。また、突出部２３ｐは、Ｘ方向に向かうにつれてＹ方向の幅が広がる区間を有しており、突出部２３ｐのＸ方向の端部におけるＹ方向の幅は、突出部２３ｐのＸ方向の反対方向の端部におけるＹ方向の幅より広くなっている。すなわち、コア層２２は、Ｘ方向に向かうにつれてＹ方向の幅が広がる区間を有しており、コア層２２のＸ方向の端部におけるＹ方向の幅は、コア層２２のＸ方向の反対方向の端部におけるＹ方向の幅より広くなっている。なお、突出部２３ｐの平面形状、すなわちコア層２２の平面形状は、図３には限定されず、例えば、幅は一定であってもよいし、分岐されたり、曲がったりしてもよい。
　上述した構成において、コア層２２と、第一クラッド層２１および第二クラッド層２３との比屈折率差を、例えば５［％］のように、比較的高く設定した場合、コア層２２における光の閉じ込め効果が高くなるため、第一クラッド層２１および第二クラッド層２３をより薄くすることができる。この場合、第一クラッド層２１および第二クラッド層２３の厚さｔ１，ｔ３（図２参照）は、例えば１０［μｍ］とし、コア層２２の厚さｔ２（図２参照）は、例えば、３［μｍ］とすることができる。また、コア層２２の幅ｗ１（図２参照）は、例えば、１［ｍｍ］以上に設定することができる。
　発明者らは、実験的な研究により、上述した構成のように第二クラッド層２３の厚さｔ３が薄い場合には、厚い場合に比べて、表面２３ａ１および頂面２３ｐ１に対する傾斜部２３ｉの傾斜がより急峻になることを見出した。これは、ＣＶＤ法による第二クラッド層２３の積層時に、当該第二クラッド層２３の厚さｔ３が比較的厚い場合には、コア層２２の幅方向の端縁の傾斜に対応して生じる傾斜部２３ｉの傾斜を鈍らせる効果が得られるのに対し、当該厚さｔ３が薄い場合には、当該傾斜を鈍らせる効果が得られ難く、傾斜部２３ｉがより急峻になるからであると推定される。また、発明者らは、このような急峻な傾斜部２３ｉ上に流動性を有した固化する前の接着剤４０を塗布した場合、傾斜部２３ｉと表面２３ａ１との間の隅部Ｃ（図２参照）に接着剤４０が入り込まず、当該隅部Ｃと接着剤４０との間に隙間が生じ、接着剤４０による導波路層２０と部材３０との接合強度が低下する虞や、接合強度の個体差が生じる虞があることを、見出した。導波路層２０と部材３０との接合強度が低下した場合、光導波路構造１００と光学構造２００との接合強度も低下し、ひいては光導波路構造１００と光学構造２００とのサブアセンブリの機械的特性も損なわれてしまう。
　そこで、本実施形態では、接着剤４０は、傾斜部２３ｉには塗布せず、傾斜部２３ｉ、特に傾斜部２３ｉと表面２３ａ１との間の隅部Ｃ、すなわち突出部２３ｐの根元部からずれた位置、言い換えると隅部Ｃから離れた位置で、導波路層２０（第二クラッド層２３）と部材３０とを接合している。
　図２の例では、接着剤４０は、突出部２３ｐの頂面２３ｐ１上に設けられ、当該頂面２３ｐ１と部材３０の底面３０ａとを接合している。
　このような構成によれば、接着剤４０が隅部Ｃに入り込まないことにより所要の接合強度が得られなくなるのを、抑制することができるとともに、接着剤４０による接合強度の個体差が生じるのを抑制することができる。
　本実施形態のように、突出部２３ｐ上に部材３０Ａが位置する構成は、一つのコア層２２の幅ｗ１が１［ｍｍ］以上のように広い場合に、より効果的である。
　なお、上述した急峻な傾斜部２３ｉが生じるＣＶＤ法によって第二クラッド層２３が積層されたことは、当該第二クラッド層２３がテトラエトキシシランを含むことによって、特定することができる。
　また、発明者らの研究により、接着剤４０が隅部Ｃに入り難い急峻な傾斜部２３ｉは、例えば、第二クラッド層２３の厚さｔ３が、例えば、１５［μｍ］以下の場合のように薄い場合に生じ易いことが判明した。すなわち、本実施形態の構成は、第二クラッド層２３の厚さｔ３が１５［μｍ］以下の場合に、より効果的である。
［第２実施形態］
　図４は、第２実施形態の光導波路構造１００Ｂ（１００）の正面図である。図４を図２と比較すれば明らかとなるように、部材３０Ｂ（３０）の形状が、第１実施形態の部材３０Ａ（３０）と相違している。
　本実施形態では、部材３０Ｂの、接着剤４０との接着部分からＺ方向に離れた位置のＹ方向の幅は、当該接着部分のＹ方向の幅より広くなっている。本実施形態によれば、別の光学構造２００の端面２００ｅと接合される端面１００ｅの面積をより大きくすることができ、その分、当該光学構造２００との接合強度を高めることができる。
［第３実施形態］
　図５は、第３実施形態の光導波路構造１００Ｃ（１００）の正面図である。本実施形態では、部材３０Ｃ（３０）と導波路層２０とは、複数箇所（この例では２箇所）に設けられた接着剤４０によって接合されている。接着剤４０は、突出部２３ｐと部材３０Ｃとを接合する接着剤４０ａと、傾斜部２３ｉからずれるとともに隅部Ｃから離れた位置で表面２３ａ１と部材３０Ｃとを接合する接着剤４０ｂと、を含んでいる。この場合、複数の接着剤４０ａ，４０ｂの間に、傾斜部２３ｉが位置している。接着剤４０ａは、第一接着剤の一例であり、接着剤４０ｂは、第二接着剤の一例である。
　本実施形態によれば、接着剤４０が２箇所に設けられる分、部材３０Ｃと導波路層２０との接合強度をより高めることができる。また、接着剤４０がＹ方向に離れた２箇所に設けられる分、部材３０ＣがＹ方向により広い幅を有することになるため、光学構造２００の端面２００ｅと接合される端面１００ｅの面積をより大きくすることができ、その分、当該光学構造２００との接合強度を高めることができる。
［第４実施形態］
　図６は、第４実施形態の光導波路構造１００Ｄ（１００）の正面図である。本実施形態でも、部材３０Ｄ（３０）と導波路層２０とは、複数箇所（この例では３箇所）に設けられた接着剤４０によって接合されている。接着剤４０は、突出部２３ｐと部材３０Ｄとを接合する接着剤４０ａと、傾斜部２３ｉからずれるとともに隅部Ｃから離れた位置で表面２３ａ１と部材３０Ｃとを接合する二つの接着剤４０ｂと、を含んでいる。また、本実施形態では、二つの接着剤４０ｂの間に、二つの傾斜部２３ｉ１，２３ｉ２が位置している。
　本実施形態によれば、接着剤４０が３箇所に設けられる分、部材３０Ｃと導波路層２０との接合強度をより高めることができる。また、接着剤４０がＹ方向に離れた３箇所に設けられる分、部材３０ＣがＹ方向により広い幅を有することになるため、光学構造２００の端面２００ｅと接合される端面１００ｅの面積をより大きくすることができ、その分、当該光学構造２００との接合強度を高めることができる。
［第５実施形態］
　図７は、第５実施形態の光導波路構造１００Ｅ（１００）の正面図である。本実施形態の導波路層２０Ｅ（２０）には、Ｙ方向においてコア層２２と並んだダミー層２４Ａ，２４Ｂ（２４）が設けられている。
　ダミー層２４は、コア層２２と同じ工程で積層される。ダミー層２４は、コア層２２と同じ成分で作られるとともに、コア層２２と同じ厚さｔ２（図２参照）を有している。また、ダミー層２４とコア層２２との間には、第二クラッド層２３が介在する。このため、コア層２２からダミー層２４には、光は漏洩し難い。なお、コア層２２に対してＹ方向にずれたダミー層２４Ａは、第一ダミー層の一例であり、コア層２２に対してＹ方向の反対方向にずれたダミー層２４Ｂは、第二ダミー層の一例である。
　図７から明らかとなるように、この場合、突出部２３ｐは、コア層２２と二つのダミー層２４とを覆うように形成される。すなわち、突出部２３ｐは、ダミー層２４に対してベース１０とは反対側に位置した部位を含んでいる。
　このような構成により、突出部２３ｐのＹ方向における幅をより広くすることができる。この場合、接着剤４０のＹ方向における幅を広くすることができ、その分、突出部２３ｐと部材３０Ｅとの接合強度を高めることができる。また、突出部２３ｐおよび接着剤４０の幅が広くなる分、部材３０Ｅが、Ｙ方向により広い幅を有することになるため、光学構造２００の端面２００ｅと接合される端面１００ｅの面積をより大きくすることができ、その分、当該光学構造２００との接合強度を高めることができる。
　なお、頂面２３ｐ１には、コア層２２とダミー層２４との間の間隔とＺ方向に並ぶ位置に、溝２３ｇが形成される。当該溝２３ｇの深さは、突出部２３ｐの高さ、すなわちコア層２２の厚さｔ２より浅く、接着剤４０が入り込める程度に設定される。このため、溝２３ｇ内に接着剤４０が入らず、当該接着剤４０と突出部２３ｐとの間に隙間ができ、ひいては接着剤４０による導波路層２０と部材３０Ｅとの接合強度が低下するような事態が生じるのを、回避することができる。
　図８は、図７のVIII－VIII断面図である。当該断面をＺ方向の反対方向に見た図８に示されるように、ダミー層２４の、コア層２２とは反対側の縁には、凹部形状２４ｂおよび凸部形状２４ａが設けられている。凹部形状２４ｂおよび凸部形状２４ａは、図８の平面視において、Ｘ方向に延びる縁と、Ｙ方向に延びる縁と、が交互に設けられることによって、形成されている。仮に、コア層２２からダミー層２４に光が漏洩した場合に、当該漏洩した光が、ダミー層２４内を、光学構造２００に向けてＸ方向に伝送されるのは、好ましくない。そこで、本実施形態では、導波路層２０内のダミー層２４の位置において、Ｘ方向に沿って実効屈折率が不連続に変化するよう、凹部形状２４ｂおよび凸部形状２４ａが設けられている。このような構成により、ダミー層２４を伝送される光は、凹部形状２４ｂおよび凸部形状２４ａから、当該ダミー層２４の外へ漏洩する。一例として、凸部形状２４ａのＹ方向における幅ｗ２は、５００［μｍ］であり、凹部形状２４ｂのＹ方向における幅ｗ３は、２５０［μｍ］である。凸部形状２４ａのＸ方向における長さＬ１は、３００［μｍ］以上２０００［μｍ］以下であり、凹部形状２４ｂのＸ方向における長さＬ２は、２００［μｍ］以上１０００［μｍ］以下である。また、コア層２２とダミー層２４との間の距離ｄ１は、１０［μｍ］である。ただし、これら幅ｗ２、幅ｗ３、長さＬ１、長さＬ２、および距離ｄ１の値は、一例に過ぎず、上記の値には限定されない。凹部形状２４ｂおよび凸部形状２４ａは、漏洩部の一例である。
　なお、本実施形態の光導波路構造１００Ｅは、仮想平面ＶＰに対して面対称の構造を有している。仮想平面ＶＰは、Ｘ方向およびＺ方向に沿い、Ｙ方向と直交している。したがって、ダミー層２４Ｂも、ダミー層２４Ａと面対称の構造を有している。よって、当該ダミー層２４Ｂによっても、ダミー層２４Ａと同様の効果が得られる。
　図９は、光導波路構造１００Ｅの導波路層２０Ｅの平面図、言い換えると、光導波路構造１００Ｅの製造工程において、部材３０Ｅが導波路層２０Ｅ上に載せられる前の状態を示す平面図である。本実施形態では、導波路層２０のＺ方向の端部には、コア層２２およびダミー層２４に対応した突出部２３ｐが形成される。すなわち、突出部２３ｐは、Ｚ方向の反対方向に見た平面視において、凹部形状２４ｂおよび凸部形状２４ａに対応した形状を有する。すなわち、突出部２３ｐのＹ方向の端部に位置する傾斜部２３ｉ１、およびＹ方向の反対方向の端部に位置する傾斜部２３ｉ２は、それぞれ、Ｘ方向に延びる区間２３ｉａと、Ｙ方向に延びる区間２３ｉｂとを有することになる。この場合、図９に示されるように、部材３０Ｅを導波路層２０上に載せる際に、これら区間２３ｉａ，２３ｉｂを、当該部材３０Ｅの位置決めに利用することができる。すなわち、傾斜部２３ｉの区間２３ｉａ，２３ｉｂは、アライメントマーカの一例である。
［第６実施形態］
　図１０は、第６実施形態の光導波路構造１００Ｆ（１００）の正面図である。本実施形態でも、部材３０Ｆ（３０）と導波路層２０とは、複数箇所（この例では２箇所）に設けられた接着剤４０によって接合されている。接着剤４０は、傾斜部２３ｉからずれるとともに隅部Ｃから離れた位置で表面２３ａ１と部材３０Ｆとを接合する二つの接着剤４０ｂを含んでいる。また、本実施形態では、二つの接着剤４０ｂの間に、二つの傾斜部２３ｉ１，２３ｉ２が位置している。
　本実施形態によれば、接着剤４０が２箇所に設けられる分、部材３０Ｆと導波路層２０との接合強度をより高めることができる。また、接着剤４０がＹ方向に離れた２箇所に設けられる分、部材３０ＦがＹ方向により広い幅を有することになるため、光学構造２００の端面２００ｅと接合される端面１００ｅの面積をより大きくすることができ、その分、当該光学構造２００との接合強度を高めることができる。なお、図１０の例から明らかとなるように、部材３０Ｆ（３０）と突出部２３ｐとが接着剤４０によって接合されていることは、必須ではない。
［第７実施形態］
　図１１は、第７実施形態の光導波路構造１００Ｇ（１００）の正面図である。本実施形態でも、部材３０Ｇ（３０）と導波路層２０Ｇ（２０）とは、複数箇所（この例では２箇所）に設けられた接着剤４０によって接合されている。接着剤４０は、傾斜部２３ｉからずれるとともに隅部Ｃから離れた位置で表面２３ａ１と部材３０Ｇとを接合する二つの接着剤４０ｂを含んでいる。また、本実施形態では、二つの接着剤４０ｂの間に、二つの突出部２３ｐ、すなわち四つの傾斜部２３ｉが、位置している。
　本実施形態によれば、接着剤４０が２箇所に設けられる分、部材３０Ｇと導波路層２０との接合強度をより高めることができる。また、接着剤４０がＹ方向に離れた２箇所に設けられる分、部材３０ＧがＹ方向により広い幅を有することになるため、光学構造２００の端面２００ｅと接合される端面１００ｅの面積をより大きくすることができ、その分、当該光学構造２００との接合強度を高めることができる。また、本実施形態では、一つの部材３０Ｇが、複数の突出部２３ｐ（コア層２２）に対応した補強部材として機能している。この場合、複数の突出部２３ｐ（コア層２２）に対してそれぞれ別個に部材３０が設けられた構成に比べて、部品点数をより少なくすることができ、ひいては製造の手間やコストを抑制することができるという利点も得られる。
［第８実施形態］
　図１２は、第８実施形態の光導波路構造１００Ｈ（１００）の正面図である。本実施形態でも、部材３０Ｈ（３０）と導波路層２０とは、複数箇所（この例では２箇所）に設けられた接着剤４０によって接合されている。接着剤４０は、突出部２３ｐと部材３０Ｈとを接合する接着剤４０ａと、傾斜部２３ｉからずれるとともに隅部Ｃから離れた位置で表面２３ａ１と部材３０Ｈとを接合する二つの接着剤４０ｂと、を含んでいる。また、本実施形態では、二つの接着剤４０ａ，４０ｂの間に、三つの傾斜部２３ｉが位置している。
　本実施形態によれば、接着剤４０が２箇所に設けられる分、部材３０Ｈと導波路層２０との接合強度をより高めることができる。また、接着剤４０がＹ方向に離れた２箇所に設けられる分、部材３０ＨがＹ方向により広い幅を有することになるため、光学構造２００の端面２００ｅと接合される端面１００ｅの面積をより大きくすることができ、その分、当該光学構造２００との接合強度を高めることができる。また、本実施形態でも、一つの部材３０Ｈが、複数の突出部２３ｐ（コア層２２）で共用されているため、部品点数をより少なくすることができ、ひいては製造の手間やコストを抑制することができる。
［第９実施形態］
　図１３は、第９実施形態の光導波路構造１００Ｉ（１００）の正面図である。本実施形態でも、部材３０Ｉ（３０）と導波路層２０とは、複数箇所（この例では２箇所以上）に設けられた接着剤４０によって接合されている。接着剤４０は、突出部２３ｐと部材３０Ｉとを接合する複数の接着剤４０ａを含んでいる。また、本実施形態では、Ｙ方向に隣り合った二つの接着剤４０ａの間に、二つの傾斜部２３ｉが位置している。部材３０Ｉは、２個以上の突出部２３ｐを覆うように設けられている。
　本実施形態によれば、接着剤４０が２箇所以上に設けられる分、部材３０Ｉと導波路層２０との接合強度をより高めることができる。また、接着剤４０がＹ方向に離れた２箇所以上に設けられる分、部材３０ＩがＹ方向により一層広い幅を有することになるため、光学構造２００の端面２００ｅと接合される端面１００ｅの面積をより大きくすることができ、その分、当該光学構造２００との接合強度を高めることができる。また、本実施形態でも、一つの部材３０Ｉが、複数の突出部２３ｐ（コア層２２）で共用されているため、部品点数をより少なくすることができ、ひいては製造の手間やコストを抑制することができる。
　上述した複数の実施形態のように、複数の接着剤４０の位置は、種々の組み合わせを採用しうる。
　以上、本発明の実施形態および変形例が例示されたが、上記実施形態および変形例は一例であって、発明の範囲を限定することは意図していない。上記実施形態および変形例は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、各構成や、形状、等のスペック（構造や、種類、方向、型式、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。
　例えば、上記実施形態では、光導波路構造は、ＰＬＣであったが、これには限定されず、光導波路構造は、例えば、ＳｉＰｈ導波路や、ＩｎＰ導波路、ＳｉＮ導波路であってもよい。
　本発明は、光導波路構造に利用することができる。
１０…ベース
１０ａ…表面
２０，２０Ａ，２０Ｅ，２０Ｇ…導波路層
２０ｅ…端部
２０ｅ１…端面
２１…第一クラッド層
２１ａ…上面
２２…コア層
２３…第二クラッド層
２３ａ…部位
２３ｂ…部位
２３ａ１…表面（周辺部分）
２３ｇ…溝
２３ｉ…傾斜部
２３ｉ１…傾斜部（第一傾斜部）
２３ｉ２…傾斜部（第二傾斜部）
２３ｉａ…区間
２３ｉｂ…区間
２３ｐ…突出部
２３ｐ１…頂面
２４…ダミー層
２４Ａ…ダミー層（第一ダミー層）
２４Ｂ…ダミー層（第二ダミー層）
２４ａ…凸部形状（漏洩部）
２４ｂ…凹部形状（漏洩部）
３０，３０Ａ～３０Ｉ…部材
３０ａ…底面
４０…接着剤
４０ａ…接着剤（第一接着剤）
４０ｂ…接着剤（第二接着剤）
１００，１００Ａ～１００Ｉ…光導波路構造
１００ｅ…端面
２００…光学構造
２００ｅ…端面
Ｃ…隅部
ｄ１…距離
Ｌ１…長さ
Ｌ２…長さ
ｔ１…厚さ
ｔ２…厚さ
ｔ３…厚さ
ｗ１…幅
ｗ２…幅
ｗ３…幅
ＶＰ…仮想平面
Ｘ…方向（第二方向）
Ｙ…方向（第三方向）
Ｚ…方向（第一方向）

Claims (15)

  1. 　第一方向を向いた第一面を有した第一部材と、
    　前記第一面から離れた位置で前記第一方向と交差した第二方向に延びたコア層と、前記第一面上で前記コア層を取り囲むクラッド層であって少なくとも前記コア層に対して前記第一部材の反対側となる部位でその周辺部分に対して前記第一方向に突出した突出部を有したクラッド層と、前記突出部と前記周辺部分との境界に設けられた傾斜部と、を有した導波路層と、
    　前記導波路層の長手方向の端部に対して前記第一部材とは反対側に設けられた第二部材と、
    　前記傾斜部からずれた位置で、前記クラッド層と前記第二部材とを接合した接着剤と、
    　を備えた、光導波路構造。
  2. 　前記導波路層は、前記接着剤として、前記突出部と前記第二部材とを接合した第一接着剤を有した、請求項１に記載の光導波路構造。
  3. 　前記導波路層は、前記接着剤として、前記周辺部分と前記第二部材とを接合した第二接着剤を有した、請求項１に記載の光導波路構造。
  4. 　前記導波路層は、前記接着剤として、前記突出部と前記第二部材とを接合した第一接着剤と、前記周辺部分と前記第二部材とを接合した第二接着剤と、を有した、請求項１に記載の光導波路構造。
  5. 　前記導波路層は、前記接着剤として、前記クラッド層と前記第二部材とを接合する複数の接着剤を有した、請求項１に記載の光導波路構造。
  6. 　前記複数の接着剤の間に、前記傾斜部が位置した、請求項５に記載の光導波路構造。
  7. 　前記複数の接着剤の間に、前記傾斜部として複数の傾斜部が位置した、請求項５に記載の光導波路構造。
  8. 　前記クラッド層は、前記傾斜部として、前記突出部における前記第一方向および前記第二方向と交差した第三方向の端部に位置した第一傾斜部と、前記突出部における前記第三方向の反対方向の端部に位置した第二傾斜部と、を有し、
    　前記複数の接着剤の間に、前記第一傾斜部および前記第二傾斜部が位置した、請求項７に記載の光導波路構造。
  9. 　前記導波路層は、前記第一方向および前記第二方向と交差した方向に間隔をあけて前記コア層と並んだダミー層を有し、
    　前記突出部は、前記ダミー層に対して前記第一部材とは反対側に位置した部位を含む、請求項２に記載の光導波路構造。
  10. 　前記導波路層は、前記ダミー層として、前記コア層に対して前記第一方向および前記第二方向と交差した第三方向にずれた第一ダミー層と、前記コア層に対して前記第三方向の反対方向にずれた第二ダミー層と、を有した、請求項９に記載の光導波路構造。
  11. 　前記ダミー層は、光を漏洩する漏洩部を有した、請求項１０に記載の光導波路構造。
  12. 　前記ダミー層は、前記漏洩部として、前記ダミー層の前記コア層とは反対側の縁に、前記第一方向の反対方向に見た場合における凹部形状または凸部形状が設けられた、請求項１１に記載の光導波路構造。
  13. 　前記コア層上に積層される前記クラッド層の前記第一方向における厚さは、１５［μｍ］以下である、請求項１～１２のうちいずれか一つに記載の光導波路構造。
  14. 　前記クラッド層は、テトラエトキシシランを含む、請求項１～１２のうちいずれか一つに記載の光導波路構造。
  15. 　前記コア層の、前記第一方向および前記第二方向と交差した第三方向における幅は、１［ｍｍ］以上である、請求項１～１２のうちいずれか一つに記載の光導波路構造。
PCT/JP2023/029112 2022-08-10 2023-08-09 光導波路構造 Ceased WO2024034641A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202380055850.9A CN119790337A (zh) 2022-08-10 2023-08-09 光波导结构
US19/046,779 US20250180807A1 (en) 2022-08-10 2025-02-06 Optical waveguide structure

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022-128408 2022-08-10
JP2022128408A JP2024025173A (ja) 2022-08-10 2022-08-10 光導波路構造

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US19/046,779 Continuation US20250180807A1 (en) 2022-08-10 2025-02-06 Optical waveguide structure

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2024034641A1 true WO2024034641A1 (ja) 2024-02-15

Family

ID=89851663

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2023/029112 Ceased WO2024034641A1 (ja) 2022-08-10 2023-08-09 光導波路構造

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20250180807A1 (ja)
JP (1) JP2024025173A (ja)
CN (1) CN119790337A (ja)
WO (1) WO2024034641A1 (ja)

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0843675A (ja) * 1994-08-02 1996-02-16 Shin Etsu Chem Co Ltd 光導波路
JP2001242332A (ja) * 2000-03-01 2001-09-07 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光導波路及びこれを用いた光導波路モジュール
JP2003240990A (ja) * 2002-02-14 2003-08-27 Fujitsu Ltd 平面光導波路装置
US20040126051A1 (en) * 2001-01-25 2004-07-01 Michel Bruel Low-birefringent integrated optics structures
JP2009139474A (ja) * 2007-12-04 2009-06-25 Ntt Electornics Corp 光導波回路チップ
JP2010122350A (ja) * 2008-11-18 2010-06-03 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光導波路の作製方法
JP2014238491A (ja) * 2013-06-07 2014-12-18 日東電工株式会社 光電気混載モジュール
US20170184792A1 (en) * 2014-01-31 2017-06-29 Centre National De La Recherche Scientifique Method for Producing a Ridge Optical Waveguide Having Low Coupling Losses Between the Ridge Optical Waveguide and an Optical Fibre, and a Ridge Optical Waveguide Made Using This Method
JP2019039948A (ja) * 2017-08-22 2019-03-14 日東電工株式会社 光導波路、光電気混載基板および光電気混載モジュール

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0843675A (ja) * 1994-08-02 1996-02-16 Shin Etsu Chem Co Ltd 光導波路
JP2001242332A (ja) * 2000-03-01 2001-09-07 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光導波路及びこれを用いた光導波路モジュール
US20040126051A1 (en) * 2001-01-25 2004-07-01 Michel Bruel Low-birefringent integrated optics structures
JP2003240990A (ja) * 2002-02-14 2003-08-27 Fujitsu Ltd 平面光導波路装置
JP2009139474A (ja) * 2007-12-04 2009-06-25 Ntt Electornics Corp 光導波回路チップ
JP2010122350A (ja) * 2008-11-18 2010-06-03 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光導波路の作製方法
JP2014238491A (ja) * 2013-06-07 2014-12-18 日東電工株式会社 光電気混載モジュール
US20170184792A1 (en) * 2014-01-31 2017-06-29 Centre National De La Recherche Scientifique Method for Producing a Ridge Optical Waveguide Having Low Coupling Losses Between the Ridge Optical Waveguide and an Optical Fibre, and a Ridge Optical Waveguide Made Using This Method
JP2019039948A (ja) * 2017-08-22 2019-03-14 日東電工株式会社 光導波路、光電気混載基板および光電気混載モジュール

Also Published As

Publication number Publication date
JP2024025173A (ja) 2024-02-26
CN119790337A (zh) 2025-04-08
US20250180807A1 (en) 2025-06-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011102819A (ja) ハイブリッド集積光モジュール
US11934011B2 (en) Optical connecting structure
CN103620893A (zh) 光模块
JP2014048628A (ja) 光接続部品
CN115774299A (zh) 硅光芯片与平面波导阵列的封装方法及其封装结构
JP2024025173A (ja) 光導波路構造
JP4471778B2 (ja) 光導波路部材
US20240402444A1 (en) Optical module
US10215924B2 (en) Optical interconnect with high alignment tolerance
JP2025179381A (ja) 光導波路部品
CN107430246B (zh) 光传输模块
JP2020160261A (ja) 導波路基板、光コネクタ、及び導波路基板の製造方法
US12222567B2 (en) Optical circuit module
JP5498175B2 (ja) 光結合装置
CN116068702A (zh) 一种光纤阵列组件及制作方法
US20250155644A1 (en) Optical connection structure, optical module, and method for manufacturing optical module
WO2022041021A1 (zh) 一种光纤阵列单元与光通信设备
JP7244788B2 (ja) 光ファイバ接続構造
WO2025182816A1 (ja) 光部品
JP2015125286A (ja) 光導波路デバイス、光導波路装置、光導波路デバイスを作製する方法
US20250116817A1 (en) Multi-waveguide optical edge coupler having sub-wavelength structures
WO2025244025A1 (ja) 光モジュール
WO2026047903A1 (ja) 光接続構造
WO2018186037A1 (ja) 光ファイバ部材及び光ファイバ保持具
JP2018180046A (ja) 光ファイバ部材

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 23852603

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 202380055850.9

Country of ref document: CN

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 202380055850.9

Country of ref document: CN

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 23852603

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1