WO2024004512A1 - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents

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WO2024004512A1
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heating
optical fiber
glass
fiber preform
pipe
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PCT/JP2023/020492
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French (fr)
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貴博 菅沼
健美 長谷川
透 茂戸藤
歩美 井上
和男 金子
Original Assignee
住友電気工業株式会社
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments

Definitions

  • the present disclosure relates to a method for manufacturing an optical fiber preform.
  • This application claims priority based on Japanese Application No. 2022-102859 filed on June 27, 2022, and incorporates all the contents described in the said Japanese application.
  • a rod-in collapse method is known as a method for manufacturing an optical fiber preform (for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).
  • a core rod is inserted into a clad pipe provided with a hole, and the clad pipe and core rod are integrated by heating.
  • a method for manufacturing an optical fiber preform according to one aspect of the present disclosure includes melting and connecting glass pipes to both ends of a clad pipe provided with a hole so as to surround the hole, and connecting the clad pipe and the glass pipe.
  • the method includes heating the connection part at a heating temperature below the melting temperature of the connection part, and slowly cooling the connection part from the heating temperature after heating.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of an optical fiber preform manufactured in an embodiment.
  • FIG. 2 is a flowchart showing a method for manufacturing an optical fiber preform according to the embodiment.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining the connection process.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining the heating step and slow cooling step.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining the etching process.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining the insertion process.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view for explaining a heating step and a slow cooling step according to a modification.
  • An object of the present disclosure is to provide a method for manufacturing an optical fiber preform that can suppress disconnection and cracking of the connection between a clad pipe and a glass pipe.
  • a method for manufacturing an optical fiber preform according to one aspect of the present disclosure includes melting and connecting glass pipes to both ends of a clad pipe provided with a hole so as to surround the hole, and connecting the clad pipe and the glass pipe.
  • the method includes heating the connection part with the pipe at a heating temperature lower than the melting temperature of the connection part, and gradually cooling the connection part from the heating temperature after heating.
  • the glass strain introduced into the joint by the fusion connection of the clad pipe and the glass pipe is released by heating, and the microcracks remaining in the joint are repaired by heating.
  • the connecting portion can be cooled to room temperature while suppressing the occurrence of new glass distortion. Therefore, disconnection and cracking of the connection portion can be suppressed.
  • the heating time may be 5 minutes or more. In this case, it is easy to release glass distortion and repair microcracks.
  • the heating temperature may be 900°C or higher. In this case, it is easy to release glass distortion and repair microcracks.
  • the maximum cooling rate until the temperature of the connection part reaches 400°C may be 100°C/min or less. In this case, it is easy to release glass distortion and repair microcracks.
  • the surface temperature of the clad pipe at a position 10 mm away from the connection part in the axial direction and the temperature at a position 10 mm away from the connection part in the axial direction may be 0°C or more and 200°C or less. In this case, the occurrence of glass distortion at the connection portion is suppressed.
  • heating and slow cooling may be performed using a heating furnace.
  • the connection portion since it is easier to heat a wider range than with flame, the connection portion can be heated uniformly. Therefore, glass distortion at the connection portion is easily released.
  • heating and slow cooling may be performed using a flame. In this case, it is easier to visually check the connections than in a heating furnace.
  • the method for manufacturing the optical fiber preform includes, after slow cooling, flowing gas into the hole to subject the inner surface of the hole to a vapor phase treatment; Alternatively, the method may further include inserting a core rod into the hole, and heating and slow cooling may be performed again after the gas phase treatment or insertion. In this case, glass distortion caused by rapid cooling during the vapor phase treatment process can be released.
  • the optical fiber preform may be a multi-core optical fiber preform.
  • the diameter of the glass pipe tends to be larger than that of a single-core optical fiber preform.
  • Large-diameter glass pipes have larger changes in heat capacity and coefficient of thermal expansion depending on their shape than small-diameter glass pipes. Therefore, glass distortion is likely to be introduced into the connection portion, and microcracks are also likely to remain. Therefore, the effect of heating and slow cooling is large.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of the optical fiber preform manufactured in the embodiment. In this figure, a cross section perpendicular to the central axis of the optical fiber preform 1 is shown.
  • the optical fiber preform 1 is a multi-core optical fiber preform including a plurality of core parts 2 and a common clad part 3. In this embodiment, the number of core parts 2 is four.
  • the plurality of core parts 2 extend along the central axis of the optical fiber preform 1.
  • the plurality of core parts 2 are arranged at positions that are rotationally symmetrical with respect to the central axis in a cross section perpendicular to the central axis.
  • the cross-sectional shapes of the plurality of core parts 2 are the same circular shape.
  • the diameter of the core portion 2 may be, for example, 4 mm or more and 50 mm or less, 5 mm or more and 30 mm or less, or 6 mm or more and 12 mm or less. When made into an optical fiber, the core diameter will be 6 ⁇ m or more and 15 ⁇ m or less.
  • the cladding part 3 surrounds the plurality of core parts 2.
  • the diameter of the cladding portion 3 may be, for example, 40 mm or more and 180 mm or less, or 40 mm or more and 120 mm or less.
  • the diameter of the cladding is 124 ⁇ m or more and 126 ⁇ m or less.
  • the refractive index of the core portion 2 is higher than the refractive index of the cladding portion 3.
  • the core portion 2 and the cladding portion 3 are made of a silica-based glass material.
  • the core portion 2 and the cladding portion 3 each have silica glass as a main component and contain a dopant for adjusting the refractive index.
  • FIG. 2 is a flowchart showing a method for manufacturing an optical fiber preform according to the embodiment.
  • the method for manufacturing the optical fiber preform 1 includes a connecting step S1, a heating step S2, an annealing step S3, an etching step S4, a first baking step S5, an insertion step S6, and a second baking step S5. It includes a step S7, an integration step S8, and a removal step S9.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining the connection process.
  • the connection step S1 is a step in which the first glass pipe 21 is melt-connected to the first end 11 of the clad pipe 10, and the second glass pipe 22 is melt-connected to the second end 12 of the clad pipe 10.
  • a connecting portion 31 (see FIG. 4) between the first end 11 and the first glass pipe 21 is formed, and a connecting portion 32 (see FIG. 4) between the second end 12 and the second glass pipe 22 is formed.
  • the connection step S1 is performed using the flame of the burner 30.
  • the clad pipe 10 is a glass pipe that becomes the clad part 3 and has a shape corresponding to the clad part 3.
  • the cross section perpendicular to the axial direction has a circular outer shape, and the outer diameter thereof may be, for example, 40 mm or more and 180 mm or less, or 40 mm or more and 120 mm or less.
  • the clad pipe 10 is provided with one or more holes 13 (core holes).
  • the hole 13 is a through hole extending in the axial direction.
  • the clad pipe 10 is manufactured by, for example, drilling a hole 13 in a cylindrical glass member using a drill.
  • the hole 13 has a circular cross section. In this embodiment, the number of holes 13 is four.
  • the first glass pipe 21 and the second glass pipe 22 are working pipes for supporting the clad pipe, and are provided for introducing process gas into the hole 13 of the clad pipe 10 in a subsequent process.
  • the first glass pipe 21 is connected to a process gas supply system
  • the second glass pipe 22 is connected to a process gas exhaust system.
  • the first glass pipe 21 and the second glass pipe 22 have, for example, the same shape.
  • the first glass pipe 21 and the second glass pipe 22 are made of, for example, the same glass material.
  • the first glass pipe 21 and the second glass pipe 22 have a circular tube shape. Although the outer diameters of the first glass pipe 21 and the second glass pipe 22 are approximately the same as the outer diameter of the clad pipe 10 in this embodiment, they may be smaller than the outer diameter of the clad pipe 10.
  • the first glass pipe 21 surrounds the plurality of holes 13 at the first end 11 and is fused and connected to the first end 11 so as to be coaxial with the clad pipe 10 . That is, the plurality of holes 13 are entirely arranged inside the first glass pipe 21 when viewed from the axial direction.
  • the second glass pipe 22 surrounds the plurality of holes 13 at the second end 12 and is fused and connected to the second end 12 so as to be coaxial with the clad pipe 10 . That is, the plurality of holes 13 are entirely arranged inside the second glass pipe 22 when viewed from the axial direction.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining the heating step and slow cooling step.
  • the heating step S2 is a step in which the connecting portion 31 is heated at a heating temperature lower than the melting temperature of the connecting portion 31, and the connecting portion 32 is heated at a heating temperature lower than the melting temperature of the connecting portion 32.
  • the glass strain generated in the connecting portions 31 and 32 in the connecting step S1 is released by heating, and the microcracks remaining in the connecting portions 31 and 32 are repaired by heating.
  • the heating step S2 is performed by using the flame of the burner 30 and directly heating the connecting parts 31 and 32 with the flame of the burner 30.
  • the melting temperature is the lowest temperature at which the viscosity of the glass is less than 10 6.6 Pa ⁇ s.
  • the melting temperature of the connecting portion 31 is the lower of the melting temperature of the clad pipe 10 and the melting temperature of the first glass pipe 21. temperature.
  • the melting temperature of the connecting portion 32 is the lower of the melting temperature of the clad pipe 10 and the melting temperature of the second glass pipe 22. temperature.
  • the viscosity of glass can be measured, for example, by the penetration method or the parallel plate method.
  • the heating temperature in the heating step S2 is to the melting temperature of the connecting portions 31 and 32, the easier it is to alleviate glass distortion and microcracks. Therefore, the heating temperature is appropriately set according to the melting temperature of the connecting portions 31 and 32.
  • the heating temperature is, for example, 900° C. or higher.
  • the temperature of the connecting portions 31 and 32 is measured as the temperature of the very surface of the connecting portions 31 and 32 using, for example, a pyrometer.
  • the heating time can be, for example, 5 minutes or more.
  • the connecting portions 31 and 32 have a large diameter, it takes time to alleviate glass distortion and microcracks.
  • the heating time may be 15 minutes or more.
  • the longer the heating time the lower the manufacturing efficiency of the optical fiber preform 1, so the heating time can be set to, for example, 60 minutes or less.
  • the slow cooling step S3 is performed after the heating step S2 and continuously with the heating step S2, and is a step of slow cooling the connecting portions 31 and 32 from the heating temperature in the heating step S2.
  • the connecting parts 31 and 32 are rapidly cooled by natural cooling, glass distortion is likely to occur in the connecting parts 31 and 32.
  • the slow cooling step S3 the occurrence of glass distortion in the connecting portions 31 and 32 is suppressed.
  • the cooling rate until the temperature of the connecting parts 31 and 32 reaches 400°C is 100°C/min or less.
  • This cooling rate can be, for example, 15° C./min or more.
  • the slow cooling step S3 is performed using the flame of the burner 30 while directly heating the connecting parts 31 and 32 with the flame of the burner 30.
  • the difference in surface temperature at positions ⁇ 10 mm in the axial direction from the connecting portions 31 and 32 is 0° C. or more and 200° C. or less. That is, the difference between the surface temperature of the clad pipe 10 at a position 10 mm away from the connection part 31 in the axial direction and the surface temperature of the first glass pipe 21 at a position 10 mm away from the connection part 31 in the axial direction is 0° C. or more. The temperature is below 200°C.
  • the difference between the surface temperature of the clad pipe 10 at a position 10 mm away from the connection part 32 in the axial direction and the surface temperature of the second glass pipe 22 at a position 10 mm away from the connection part 32 in the axial direction is 0° C. or more.
  • the temperature is below 200°C.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining the etching process.
  • the etching step S4 is a step in which a gas (process gas) is flowed into the hole 13 of the clad pipe 10, and the inner surface of the hole 13 is etched (vapor phase treatment).
  • the etching process is performed, for example, while rotating the clad pipe 10 around the axial direction and heating the outer peripheral surface of the clad pipe 10 with an external heat source 33 such as a burner.
  • an external heat source 33 such as a burner.
  • the gas introduced into the hole 13 is, for example, an etching gas such as SF 6 .
  • Gas is supplied to the hole 13 of the clad pipe 10 via the first glass pipe 21 . After the gas flows through the hole 13, it is discharged to the outside via the second glass pipe 22.
  • the etching process is performed while the first glass pipe 21 and the second glass pipe 22 are rotatably held by a gripping part (not shown) of a crow lathe. Since the gripping portion grips the first glass pipe 21 and the second glass pipe 22 instead of the clad pipe 10 heated by an external heat source, thermal influence on the gripping portion can be suppressed.
  • the first dry firing step S5 is a step in which a gas (process gas) is flowed into the hole 13 of the clad pipe 10 and the inner surface of the hole 13 is subjected to a dry firing treatment (vapor phase treatment). Similar to the etching process, the first dry firing process is performed, for example, while rotating the clad pipe 10 around the axial direction and heating the outer peripheral surface of the clad pipe 10 with an external heat source. By the first dry firing process, foreign matter on the inner surface of the hole 13 is removed and the inner surface of the hole 13 is smoothed.
  • a gas process gas
  • vapor phase treatment vapor phase treatment
  • the gas introduced into the holes 13 is, for example, a cleaning gas such as chlorine or oxygen (i.e., baking gas).
  • Gas is supplied to the hole 13 of the clad pipe 10 via the first glass pipe 21 . After the gas flows through the hole 13, it is discharged to the outside via the second glass pipe 22. Similar to the etching process, the first dry firing process is performed while the first glass pipe 21 and the second glass pipe 22 are rotatably held by a grip part (not shown) of a glass lathe.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining the insertion process.
  • the insertion step S6 is a step of inserting the core rods 40 into the holes 13 of the clad pipe 10 one by one.
  • the core rod 40 is a glass rod that becomes the core part 2.
  • the outer diameter of the core rod 40 is slightly smaller than the diameter of the hole 13.
  • the core rod 40 is inserted into the hole 13 from the second end 12 side of the clad pipe 10 through the second glass pipe 22 .
  • the second dry firing step S7 is a step in which gas (process gas) is flowed into the hole 13 of the clad pipe 10 and the outer surface of the core rod 40 is subjected to a dry firing process (vapor phase treatment). Similar to the etching process, the second dry firing process is performed, for example, while rotating the clad pipe 10 around the axial direction and heating the outer peripheral surface of the clad pipe 10 with an external heat source. By the second dry firing process, foreign matter on the outer surface of the core rod 40 and the inner surface of the hole 13 is removed, and the outer surface of the core rod 40 and the inner surface of the hole 13 are smoothed.
  • gas process gas
  • vapor phase treatment vapor phase treatment
  • the gas introduced into the holes 13 is, for example, a cleaning gas (ie, baking gas) such as chlorine or oxygen.
  • a cleaning gas ie, baking gas
  • Gas is supplied to the hole 13 of the clad pipe 10 via the first glass pipe 21 .
  • the gas flows through the hole 13, it is discharged to the outside via the second glass pipe 22.
  • the second dry firing process is performed while the first glass pipe 21 and the second glass pipe 22 are rotatably held by a grip part (not shown) of a glass lathe.
  • the integration step S8 is a step of integrating the clad pipe 10 and the core rod 40 by heating.
  • the optical fiber preform 1 is produced by the heating integration process. Similar to the etching process, the heating integration process is performed, for example, while rotating the clad pipe 10 around the axial direction and heating the outer peripheral surface of the clad pipe 10 with an external heat source. The heating and unifying process is performed in a state where the first glass pipe 21 and the second glass pipe 22 are rotatably held by a grip part (not shown) of a glass lathe.
  • the removal step S9 is a step of removing the first glass pipe 21 and the second glass pipe 22 from the optical fiber preform 1. Through the above steps, the optical fiber preform 1 is manufactured.
  • the glass strain introduced into the connection parts 31 and 32 in the connection process S1 is released in the heating process S2, and the microorganisms remaining in the connection parts 31 and 32 are released in the heating process S2.
  • the cracks are repaired by the heating step S2.
  • the heating time is 5 minutes or more, and the heating temperature is 900° C. or more. Therefore, it is easy to release glass distortion and repair microcracks.
  • the time required for the temperature of the connecting portions 31 and 32 to reach 400° C. is 5 minutes or more, and the cooling rate until the temperature of the connecting portions reaches 400° C. is 100° C./min or less. Therefore, it is easy to release glass distortion and repair microcracks.
  • the difference in surface temperature at positions ⁇ 10 mm in the axial direction from the connecting portions 31 and 32 is 0° C. or more and 200° C. or less. Therefore, the occurrence of glass distortion in the connecting portions 31 and 32 is suppressed.
  • the optical fiber preform 1 is a multi-core optical fiber preform. Since the first glass pipe 21 and the second glass pipe 22 need to surround all of the plurality of holes 13 provided in the clad pipe 10, they tend to have a larger diameter than a single-core optical fiber preform. Since it takes time to connect the large-diameter glass pipe and the clad pipe 10, glass distortion is likely to be introduced into the connecting portions 31 and 32, and microcracks are also likely to remain. Therefore, the effect of alleviating glass distortion and microcracks caused by heating and slow cooling is large.
  • the heating step S2 and the slow cooling step S3 are performed only once, but the heating step S2 and the slow cooling step S3 may be performed again after the slow cooling step S3.
  • the connecting portions 31 and 32 may be heated and rapidly cooled after the slow cooling step S3.
  • the heating step S2 and slow cooling step S3 may be performed again.
  • quenching means cooling at a cooling rate exceeding 100° C./min at maximum after the heating of the connecting portions 31 and 32 is stopped.
  • Such repetition of the heating step S2 and the slow cooling step S3 may be performed, for example, every time the connecting portions 31 and 32 are rapidly cooled after the slow cooling step S3.
  • the heating step S2 and the slow cooling step S3 may be performed again after the etching step S4, the first baking step S5, the insertion step S6, or the second baking step S7. More specifically, after the etching step S4 and before the first baking step S5, after the first baking step S5 and before the insertion step S6, and after the inserting step S6 and the second The heating step S2 and the slow cooling step S3 may be performed again before the dry baking step S7 or after the second dry baking step S7 and before the integrating step S8. Thereby, glass distortion caused by rapid cooling can be released.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view for explaining a heating step and a slow cooling step according to a modification.
  • the heating step S2 and the slow cooling step S3 may be performed using the furnace heat of the heating furnace 34.
  • the heating furnace 34 is, for example, an electric furnace, and has the ability to heat using a heat source other than flame.
  • the heating furnace 34 is arranged at a position where the connecting parts 31 and 32 can be heated. When using the heating furnace 34, it is easier to heat a wider range than the flame of the burner 30, so the connecting parts 31 and 32 can be heated uniformly. Therefore, glass distortion in the connecting portions 31 and 32 is easily released.
  • the optical fiber preform 1 is a multi-core optical fiber preform, but it may be a single-core optical fiber preform.
  • Optical fiber base material 2 ... Core part 3... Clad part 10
  • Clad pipe 11 ... First end 12
  • Second end 13 ... Hole 21
  • First glass pipe 22 ... Second glass pipe 30
  • Burner 31 ... Connection part 32
  • Connection part 33 ...External heat source 34
  • Heating furnace 40 ...Core rod

Abstract

光ファイバ母材の製造方法は、孔が設けられたクラッドパイプの両端に、孔の周囲を囲むようにガラスパイプを溶融接続することと、クラッドパイプとガラスパイプとの接続部を接続部の溶融温度未満の加熱温度で加熱することと、加熱することの後に加熱温度から接続部を徐冷することと、を含む。

Description

光ファイバ母材の製造方法
　本開示は、光ファイバ母材の製造方法に関する。本出願は、２０２２年６月２７日出願の日本出願第２０２２－１０２８５９号に基づく優先権を主張し、前記日本出願に記載された全ての記載内容を援用するものである。
　光ファイバ母材の製造方法として、ロッドインコラプス法が知られている（例えば、特許文献１及び特許文献２）。ロッドインコラプス法では、孔が設けられたクラッドパイプにコアロッドが挿入され、クラッドパイプとコアロッドとが加熱により一体化される。
特開昭６１－２０１６３３号公報 特開２０１１－１６８４６４号公報
　本開示の一態様に係る光ファイバ母材の製造方法は、孔が設けられたクラッドパイプの両端に、孔の周囲を囲むようにガラスパイプを溶融接続することと、クラッドパイプとガラスパイプとの接続部を接続部の溶融温度未満の加熱温度で加熱することと、加熱することの後に加熱温度から接続部を徐冷することと、を含む。
図１は、実施形態で製造される光ファイバ母材の断面図である。 図２は、実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法を示すフローチャートである。 図３は、接続工程について説明するための断面図である。 図４は、加熱工程及び徐冷工程について説明するための断面図である。 図５は、エッチング工程について説明するための断面図である。 図６は、挿入工程について説明するための断面図である。 図７は、変形例に係る加熱工程及び徐冷工程について説明するための断面図である。
［本開示が解決しようとする課題］
　ロッドインコラプス法では、クラッドパイプの両端にガラスパイプを溶融接続し、ガラスパイプを介してクラッドパイプに対するプロセスガスの供給及び排気を行う手法が採用されている。従来の手法では、クラッドパイプとガラスパイプとの接続部が外れたり、割れたりする場合があった。
　本開示は、クラッドパイプとガラスパイプとの接続部の外れ及び割れを抑制可能な光ファイバ母材の製造方法を提供することを目的とする。
［本開示の効果］
　本開示によれば、クラッドパイプとガラスパイプとの接続部の外れ及び割れを抑制可能な光ファイバ母材の製造方法を提供することができる。
［本開示の実施形態の説明］
　最初に本開示の実施態様を列記して説明する。（１）本開示の一態様に係る光ファイバ母材の製造方法は、孔が設けられたクラッドパイプの両端に、孔の周囲を囲むようにガラスパイプを溶融接続することと、クラッドパイプとガラスパイプとの接続部を接続部の溶融温度未満の加熱温度で加熱することと、加熱することの後に加熱温度から接続部を徐冷することと、を含む。
　上記光ファイバ母材の製造方法では、クラッドパイプとガラスパイプとの溶融接続により接続部に導入されたガラス歪が加熱により解放されると共に、接続部に残留するマイクロクラックが加熱により修復される。接続部を急冷せずに徐冷することにより、新たなガラス歪の発生を抑止しながら、接続部を室温まで冷却することができる。よって、接続部の外れ及び割れを抑制できる。
　（２）上記（１）において、加熱することによる加熱時間は、５分間以上であってもよい。この場合、ガラス歪の解放及びマイクロクラックの修復が行われ易い。
　（３）上記（１）または（２）において、加熱温度は、９００℃以上であってもよい。この場合、ガラス歪の解放及びマイクロクラックの修復が行われ易い。
　（４）上記（１）から（３）のいずれかにおいて、徐冷することでは、接続部の温度が４００℃に達するまでの最大の冷却速度が１００℃／分以下であってもよい。この場合、ガラス歪の解放及びマイクロクラックの修復が行われ易い。
　（５）上記（１）から（４）のいずれかにおいて、徐冷することでは、接続部から軸方向に１０ｍｍ離れた位置におけるクラッドパイプの表面温度と、接続部から軸方向に１０ｍｍ離れた位置におけるガラスパイプの表面温度との差は、０℃以上２００℃以下であってもよい。この場合、接続部におけるガラス歪の発生が抑制される。
　（６）上記（１）から（５）のいずれかにおいて、加熱すること及び徐冷することは、加熱炉を用いて行われてもよい。この場合、火炎に比べて広い範囲を加熱し易いので、接続部を均一に加熱することができる。よって、接続部のガラス歪が解放され易い。
　（７）上記（１）から（５）のいずれかにおいて、加熱すること及び徐冷することは、火炎を用いて行われてもよい。この場合、加熱炉に比べて接続部を目視で確認し易い。
　（８）上記（１）から（７）のいずれかにおいて、徐冷することの後で接続部の急冷が生じた場合は、加熱すること及び徐冷することを再度行ってもよい。この場合、急冷により生じたガラス歪を解放することができる。
　（９）上記（１）から（７）のいずれかにおいて、上記光ファイバ母材の製造方法は、徐冷することの後で、孔に気体を流し、孔の内面を気相処理すること、または、孔にコアロッドを挿入することを更に含み、気相処理すること、または、挿入することの後で、加熱すること及び徐冷することを再度行ってもよい。この場合、気相処理の過程で急冷により生じたガラス歪を解放することができる。
　（１０）上記（１）から（９）のいずれかにおいて、光ファイバ母材は、マルチコア光ファイバ母材であってもよい。この場合、ガラスパイプは、クラッドパイプに設けられた複数の孔を全て囲む必要があるので、シングルコア光ファイバ母材の場合と比べて、大径となり易い。大径のガラスパイプは、形状による熱容量や熱膨張係数の変化が小径のガラスパイプと比べて大きい。このため、接続部にガラス歪が導入され易く、マイクロクラックも残留し易い。よって、加熱及び徐冷による効果が大きい。
［本開示の実施形態の詳細］
　本開示の光ファイバ母材の製造方法の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
　図１は、実施形態で製造される光ファイバ母材の断面図である。この図では、光ファイバ母材１の中心軸に垂直な断面が示されている。光ファイバ母材１は、複数のコア部２と、共通のクラッド部３と、を備えるマルチコア光ファイバ母材である。本実施形態では、コア部２の数は４である。
　複数のコア部２は、光ファイバ母材１の中心軸に沿って延在している。複数のコア部２は、中心軸に直交する断面において、中心軸に対して回転対称をなす位置に配置されている。複数のコア部２の断面形状は、互いに同じ円形状である。コア部２の直径は、例えば、４ｍｍ以上５０ｍｍ以下であってもよく、５ｍｍ以上３０ｍｍ以下であってもよく、６ｍｍ以上１２ｍｍ以下であってもよい。光ファイバにしたときに、コアの直径は、６μｍ以上１５μｍ以下となる。クラッド部３は、複数のコア部２を取り囲んでいる。クラッド部３の直径は、例えば、４０ｍｍ以上１８０ｍｍ以下であってもよく、４０ｍｍ以上１２０ｍｍ以下であってもよい。光ファイバにしたときに、クラッドの直径は、１２４μｍ以上１２６μｍ以下となる。
　コア部２の屈折率は、クラッド部３の屈折率よりも高い。コア部２及びクラッド部３は、シリカ系ガラス材料からなる。コア部２及びクラッド部３それぞれは、シリカガラスを主成分とし、屈折率調整用のドーパントを含んでいる。
　図２は、実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法を示すフローチャートである。図２に示されるように、光ファイバ母材１の製造方法は、接続工程Ｓ１、加熱工程Ｓ２、徐冷工程Ｓ３、エッチング工程Ｓ４、第一空焼き工程Ｓ５、挿入工程Ｓ６、第二空焼き工程Ｓ７、一体化工程Ｓ８、及び取り外し工程Ｓ９を含む。
　図３は、接続工程について説明するための断面図である。この図では、クラッドパイプ１０の軸方向（以下、単に「軸方向」ともいう）に沿う断面が示されている。接続工程Ｓ１は、クラッドパイプ１０の第一端１１に第一ガラスパイプ２１を溶融接続すると共に、クラッドパイプ１０の第二端１２に第二ガラスパイプ２２を溶融接続する工程である。接続工程Ｓ１により、第一端１１と第一ガラスパイプ２１との接続部３１（図４参照）が形成されると共に、第二端１２と第二ガラスパイプ２２との接続部３２（図４参照）が形成される。接続工程Ｓ１は、バーナ３０の火炎を用いて行われる。
　クラッドパイプ１０は、クラッド部３となるガラスパイプであり、クラッド部３に対応する形状を有している。軸方向に直交する断面は、円形状の外形を有し、その外径は、例えば、４０ｍｍ以上１８０ｍｍ以下であってもよく、４０ｍｍ以上１２０ｍｍ以下であってもよい。クラッドパイプ１０には、１または複数の孔１３（コア孔）が設けられている。孔１３は、軸方向に延在している貫通孔である。クラッドパイプ１０は、例えば、ドリルにより、円柱状のガラス部材に孔１３を開けることにより作製される。孔１３は、断面円形状を有する。本実施形態では、孔１３の数は４である。
　第一ガラスパイプ２１及び第二ガラスパイプ２２は、クラッドパイプを支持するための作業用パイプであり、後工程においてクラッドパイプ１０の孔１３にプロセスガスを導入するために設けられる。例えば、第一ガラスパイプ２１は、プロセスガスの供給系に接続され、第二ガラスパイプ２２は、プロセスガスの排気系に接続される。
　第一ガラスパイプ２１及び第二ガラスパイプ２２は、例えば、互いに同じ形状を有している。第一ガラスパイプ２１及び第二ガラスパイプ２２は、例えば、同じガラス材料により構成されている。第一ガラスパイプ２１及び第二ガラスパイプ２２は、円管形状を有している。第一ガラスパイプ２１及び第二ガラスパイプ２２の外径は、本実施形態では、クラッドパイプ１０の外径と略同じであるが、クラッドパイプ１０の外径よりも小さくてもよい。
　第一ガラスパイプ２１は、第一端１１において複数の孔１３の周囲を囲むと共に、クラッドパイプ１０と同軸となるように第一端１１に溶融接続される。すなわち、軸方向から見て、複数の孔１３の全体が第一ガラスパイプ２１の内側に配置される。第二ガラスパイプ２２は、第二端１２において複数の孔１３の周囲を囲むと共に、クラッドパイプ１０と同軸となるように第二端１２に溶融接続される。すなわち、軸方向から見て、複数の孔１３の全体が第二ガラスパイプ２２の内側に配置されている。
　クラッドパイプ１０の熱容量と第一ガラスパイプ２１の熱容量との間に差がある場合や、クラッドパイプ１０の熱膨張係数と第一ガラスパイプ２１の熱膨張係数との間に差がある場合は、加熱冷却過程で接続部３１にガラス歪が生じるおそれがある。クラッドパイプ１０の熱容量と第二ガラスパイプ２２の熱容量との間に差がある場合や、クラッドパイプ１０の熱膨張係数と第二ガラスパイプ２２の熱膨張係数との間に差がある場合は、加熱冷却過程で接続部３２にガラス歪が生じるおそれがある。接続部３１，３２には、クラッドパイプ１０、第一ガラスパイプ２１及び第二ガラスパイプ２２の前加工時に加工面に導入されたマイクロクラックが残留するおそれもある。調査の結果、このようなガラス歪及びマイクロクラックは、接続部３１，３２の加熱冷却が行われる後工程において、接続部３１，３２の外れ及び割れの原因となることが判明した。
　図４は、加熱工程及び徐冷工程について説明するための断面図である。この図では、クラッドパイプ１０の軸方向に沿う断面が示されている。加熱工程Ｓ２は、接続部３１を接続部３１の溶融温度未満の加熱温度で加熱すると共に、接続部３２を接続部３２の溶融温度未満の加熱温度で加熱する工程である。接続工程Ｓ１において接続部３１，３２に生じたガラス歪が加熱により解放されると共に、接続部３１，３２に残留するマイクロクラックが加熱により修復される。加熱工程Ｓ２は、バーナ３０の火炎を用い、バーナ３０の火炎で接続部３１，３２を直接加熱することにより行われる。
　ここで、溶融温度は、ガラスの粘性（粘度）が１０６．６Ｐａ・ｓ未満となる最も低い温度である。クラッドパイプ１０の溶融温度及び第一ガラスパイプ２１の溶融温度が互いに異なる場合、接続部３１の溶融温度は、クラッドパイプ１０の溶融温度及び第一ガラスパイプ２１の溶融温度のうち、いずれか低い方の温度である。クラッドパイプ１０の溶融温度及び第二ガラスパイプ２２の溶融温度が互いに異なる場合、接続部３２の溶融温度は、クラッドパイプ１０の溶融温度及び第二ガラスパイプ２２の溶融温度のうち、いずれか低い方の温度である。ガラスの粘度は、例えば、貫入法や平行板法で測定できる。
　加熱工程Ｓ２による加熱温度が接続部３１，３２の溶融温度に近いほど、ガラス歪及びマイクロクラックが緩和され易い。したがって、加熱温度は、接続部３１，３２の溶融温度に応じて適宜設定される。加熱温度は、例えば、９００℃以上である。接続部３１，３２の温度は、例えば、パイロメーターにより接続部３１，３２のごく表面の温度として測定される。
　加熱工程Ｓ２による加熱時間が長いほど、ガラス歪及びマイクロクラックが緩和され易い。加熱時間は、例えば、５分間以上とすることができる。接続部３１，３２が大径の場合、ガラス歪及びマイクロクラックの緩和に時間がかかる。例えば、接続部３１，３２の外径が８０ｍｍ以上の場合、加熱時間は１５分間以上であってもよい。加熱時間が長いほど、光ファイバ母材１の製造効率が低下するので、加熱時間は、例えば、６０分間以下とすることができる。
　徐冷工程Ｓ３は、加熱工程Ｓ２の後に、加熱工程Ｓ２と連続して行われ、加熱工程Ｓ２における加熱温度から接続部３１，３２を徐冷する工程である。接続部３１，３２を自然冷却により急冷すると、接続部３１，３２にガラス歪が生じ易い。徐冷工程Ｓ３によれば、接続部３１，３２にガラス歪が生じることが抑制される。徐冷工程Ｓ３では、接続部３１，３２の温度が４００℃に達するまでの時間が５分間以上である。この時間が長いほど、ガラス歪及びマイクロクラックが緩和され易いが、光ファイバ母材１の製造効率が低下する。この時間は、例えば、６０分間以下とすることができる。
　徐冷工程Ｓ３では、接続部３１，３２の温度が４００℃に達するまでの冷却速度が１００℃／分以下である。この冷却速度が低いほど、ガラス歪及びマイクロクラックが緩和され易いが、光ファイバ母材１の製造効率が低下する。この冷却速度は、例えば、１５℃／分以上とすることができる。徐冷工程Ｓ３は、バーナ３０の火炎を用い、バーナ３０の火炎で接続部３１，３２を直接加熱しながら行われる。
　徐冷工程Ｓ３では、接続部３１，３２から軸方向に±１０ｍｍの位置における表面温度の差は、０℃以上２００℃以下である。すなわち、接続部３１から軸方向に１０ｍｍ離れた位置におけるクラッドパイプ１０の表面温度と、接続部３１から軸方向に１０ｍｍ離れた位置における第一ガラスパイプ２１の表面温度との差は、０℃以上２００℃以下である。また、接続部３２から軸方向に１０ｍｍ離れた位置におけるクラッドパイプ１０の表面温度と、接続部３２から軸方向に１０ｍｍ離れた位置における第二ガラスパイプ２２の表面温度との差は、０℃以上２００℃以下である。
　図５は、エッチング工程について説明するための断面図である。この図では、クラッドパイプ１０の軸方向に沿う断面が示されている。エッチング工程Ｓ４は、クラッドパイプ１０の孔１３に気体（プロセスガス）を流し、孔１３の内面をエッチング処理（気相処理）する工程である。エッチング処理は、例えば、クラッドパイプ１０を軸方向周りに回転させると共に、クラッドパイプ１０の外周面をバーナ等の外部熱源３３により加熱しながら行われる。エッチング処理により、孔１３の内面の不純物が除去され、孔１３の内面が平滑化される。
　孔１３に導入される気体は、例えば、ＳＦ６等のエッチングガスである。気体は、第一ガラスパイプ２１を介してクラッドパイプ１０の孔１３に供給される。気体は、孔１３を流れた後、第二ガラスパイプ２２を介して外部に排出される。エッチング処理は、第一ガラスパイプ２１及び第二ガラスパイプ２２がカラス旋盤の把持部（不図示）により回転可能に把持された状態で行われる。把持部は、外部熱源により加熱されるクラッドパイプ１０ではなく、第一ガラスパイプ２１及び第二ガラスパイプ２２を把持するので、把持部への熱的影響を抑制することができる。
　第一空焼き工程Ｓ５は、クラッドパイプ１０の孔１３に気体（プロセスガス）を流し、孔１３の内面を空焼き処理（気相処理）する工程である。エッチング処理と同様に、第一空焼き処理は、例えば、クラッドパイプ１０を軸方向周りに回転させると共に、クラッドパイプ１０の外周面を外部熱源により加熱しながら行われる。第一空焼き処理により、孔１３の内面の異物が除去され、孔１３の内面が平滑化される。
　孔１３に導入される気体は、例えば、塩素や酸素等の清浄化処理用ガス（すなわち、空焼きガス）である。気体は、第一ガラスパイプ２１を介してクラッドパイプ１０の孔１３に供給される。気体は、孔１３を流れた後、第二ガラスパイプ２２を介して外部に排出される。エッチング処理と同様に、第一空焼き処理は、第一ガラスパイプ２１及び第二ガラスパイプ２２がガラス旋盤の把持部（不図示）により回転可能に把持された状態で行われる。
　図６は、挿入工程について説明するための断面図である。この図では、クラッドパイプ１０の軸方向に沿う断面が示されている。挿入工程Ｓ６は、コアロッド４０をクラッドパイプ１０の孔１３に一本ずつ挿入する工程である。コアロッド４０は、コア部２となるガラスロッドである。コアロッド４０の外径は、孔１３の孔径よりもわずかに小さい。コアロッド４０は、第二ガラスパイプ２２を通ってクラッドパイプ１０の第二端１２側から孔１３に挿入される。
　第二空焼き工程Ｓ７は、クラッドパイプ１０の孔１３に気体（プロセスガス）を流し、コアロッド４０の外面を空焼き処理（気相処理）する工程である。エッチング処理と同様に、第二空焼き処理は、例えば、クラッドパイプ１０を軸方向周りに回転させると共に、クラッドパイプ１０の外周面を外部熱源により加熱しながら行われる。第二空焼き処理により、コアロッド４０の外面及び孔１３の内面の異物が除去され、コアロッド４０の外面及び孔１３の内面が平滑化される。
　第一空焼き処理と同様に、孔１３に導入される気体は、例えば、塩素や酸素等の清浄化処理用ガス（すなわち、空焼きガス）である。気体は、第一ガラスパイプ２１を介してクラッドパイプ１０の孔１３に供給される。気体は、孔１３を流れた後、第二ガラスパイプ２２を介して外部に排出される。エッチング処理と同様に、第二空焼き処理は、第一ガラスパイプ２１及び第二ガラスパイプ２２がガラス旋盤の把持部（不図示）により回転可能に把持された状態で行われる。
　一体化工程Ｓ８は、クラッドパイプ１０とコアロッド４０とを加熱により一体化する工程である。加熱一体化処理により、光ファイバ母材１が作製される。エッチング処理と同様に、加熱一体化処理は、例えば、クラッドパイプ１０を軸方向周りに回転させると共に、クラッドパイプ１０の外周面を外部熱源により加熱しながら行われる。加熱一体化処理は、第一ガラスパイプ２１及び第二ガラスパイプ２２がガラス旋盤の把持部（不図示）により回転可能に把持された状態で行われる。
　取り外し工程Ｓ９は、光ファイバ母材１から第一ガラスパイプ２１及び第二ガラスパイプ２２を取り外す工程である。以上により、光ファイバ母材１が製造される。
　以上説明したように、光ファイバ母材１の製造方法では、接続工程Ｓ１により接続部３１，３２に導入されたガラス歪が加熱工程Ｓ２により解放されると共に、接続部３１，３２に残留するマイクロクラックが加熱工程Ｓ２により修復される。接続部３１，３２を急冷せず、十分に時間をかけて徐冷することにより、新たなガラス歪の発生を抑止しながら、接続部３１，３２を室温まで冷却することができる。よって、接続部３１，３２の外れ及び割れを抑制できる。
　加熱工程Ｓ２では、加熱時間が５分間以上であり、加熱温度が９００℃以上である。このため、ガラス歪の解放及びマイクロクラックの修復が行われ易い。徐冷工程Ｓ３では、接続部３１，３２の温度が４００℃に達するまでの時間が５分間以上であり、接続部の温度が４００℃に達するまでの冷却速度が１００℃／分以下である。このため、ガラス歪の解放及びマイクロクラックの修復が行われ易い。徐冷工程Ｓ３では、接続部３１，３２から軸方向に±１０ｍｍの位置における表面温度の差は、０℃以上２００℃以下である。このため、接続部３１，３２におけるガラス歪の発生が抑制される。
　加熱工程Ｓ２及び徐冷工程Ｓ３は、バーナ３０の火炎を用いて行われるので、加熱炉３４（図７参照）を用いる場合に比べて、接続部３１，３２を目視で確認し易い。
　光ファイバ母材１は、マルチコア光ファイバ母材である。第一ガラスパイプ２１及び第二ガラスパイプ２２は、クラッドパイプ１０に設けられた複数の孔１３を全て囲む必要があるので、シングルコア光ファイバ母材の場合と比べて、大径となり易い。大径のガラスパイプとクラッドパイプ１０との接続には時間がかかるので、接続部３１，３２にガラス歪が導入され易く、マイクロクラックも残留し易い。よって、加熱及び徐冷によるガラス歪及びマイクロクラックの緩和効果が大きい。
　以上、実施形態について説明してきたが、本開示は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
　上記実施形態では、加熱工程Ｓ２及び徐冷工程Ｓ３が一度しか行われないが、徐冷工程Ｓ３後に加熱工程Ｓ２及び徐冷工程Ｓ３が再度行われてもよい。光ファイバ母材１の製造方法では、徐冷工程Ｓ３後に接続部３１，３２の加熱急冷が行われる場合がある。この場合、接続部３１，３２にガラス歪が生じるおそれがある。よって、接続部３１，３２の急冷が生じた場合は、加熱工程Ｓ２及び徐冷工程Ｓ３が再度行われてもよい。ここで、急冷とは、接続部３１，３２の加熱を停止してから最大１００℃／分を超える冷却速度で冷却されることを意味する。このような加熱工程Ｓ２及び徐冷工程Ｓ３の繰り返しは、例えば、徐冷工程Ｓ３後に接続部３１，３２の急冷が行われるたびに行われてもよい。
　具体的には、エッチング工程Ｓ４、第一空焼き工程Ｓ５、挿入工程Ｓ６、または、第二空焼き工程Ｓ７の後に加熱工程Ｓ２及び徐冷工程Ｓ３が再度行われてもよい。より具体的には、エッチング工程Ｓ４の後であって第一空焼き工程Ｓ５の前、第一空焼き工程Ｓ５の後であって挿入工程Ｓ６の前、挿入工程Ｓ６の後であって第二空焼き工程Ｓ７の前、または、第二空焼き工程Ｓ７の後であって一体化工程Ｓ８の前に、加熱工程Ｓ２及び徐冷工程Ｓ３が再度行われてもよい。これにより、急冷によって生じたガラス歪を解放することができる。
　図７は、変形例に係る加熱工程及び徐冷工程について説明するための断面図である。図７に示されるように、加熱工程Ｓ２及び徐冷工程Ｓ３は、加熱炉３４の炉熱を用いて行われてもよい。加熱炉３４は、例えば電気炉であり、火炎以外の熱源により加熱する能力を持つ。加熱炉３４は、接続部３１，３２を加熱可能な位置に配置される。加熱炉３４を用いる場合、バーナ３０の火炎に比べて広い範囲を加熱し易いので、接続部３１，３２を均一に加熱することができる。よって、接続部３１，３２のガラス歪が解放され易い。
　上記実施形態では、光ファイバ母材１はマルチコア光ファイバ母材であるが、シングルコア光ファイバ母材であってもよい。
　上記実施形態及び変形例は、適宜組み合わせられてもよい。
１…光ファイバ母材
２…コア部
３…クラッド部
１０…クラッドパイプ
１１…第一端
１２…第二端
１３…孔
２１…第一ガラスパイプ
２２…第二ガラスパイプ
３０…バーナ
３１…接続部
３２…接続部
３３…外部熱源
３４…加熱炉
４０…コアロッド

Claims (10)

  1. 　孔が設けられたクラッドパイプの両端に、前記孔の周囲を囲むようにガラスパイプを溶融接続することと、
    　前記クラッドパイプと前記ガラスパイプとの接続部を前記接続部の溶融温度未満の加熱温度で加熱することと、
    　前記加熱することの後に前記加熱温度から前記接続部を徐冷することと、
    　を含む、
    　光ファイバ母材の製造方法。
  2. 　前記加熱することによる加熱時間は、５分間以上である、
    　請求項１に記載の光ファイバ母材の製造方法。
  3. 　前記加熱温度は、９００℃以上である、
    　請求項１または請求項２に記載の光ファイバ母材の製造方法。
  4. 　前記徐冷することでは、前記接続部の温度が４００℃に達するまでの最大の冷却速度が１００℃／分以下である、
    　請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
  5. 　前記徐冷することでは、前記接続部から軸方向に１０ｍｍ離れた位置における前記クラッドパイプの表面温度と、前記接続部から軸方向に１０ｍｍ離れた位置における前記ガラスパイプの表面温度との差は、０℃以上２００℃以下である、
    　請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
  6. 　前記加熱すること及び前記徐冷することは、加熱炉を用いて行われる、
    　請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
  7. 　前記加熱すること及び前記徐冷することは、火炎を用いて行われる、
    　請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
  8. 　前記徐冷することの後で前記接続部の急冷が生じた場合は、前記加熱すること及び前記徐冷することを再度行う、
    　請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
  9. 　前記徐冷することの後で、前記孔に気体を流し、前記孔の内面を気相処理すること、または、前記孔にコアロッドを挿入することを更に含み、
    　前記気相処理すること、または、前記挿入することの後で、前記加熱すること及び前記徐冷することを再度行う、
    　請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
  10. 　前記光ファイバ母材は、マルチコア光ファイバ母材である、
    　請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013001629A (ja) * 2011-06-21 2013-01-07 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバ製造方法
JP2017206432A (ja) * 2016-05-03 2017-11-24 ヘレーウス テネーヴォ エルエルシーＨｅｒａｅｕｓ Ｔｅｎｅｖｏ Ｌｌｃ 光学ガラスコンポーネントを製造するための延伸方法及びプリフォーム
JP2019031427A (ja) * 2017-08-09 2019-02-28 株式会社フジクラ 光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013001629A (ja) * 2011-06-21 2013-01-07 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバ製造方法
JP2017206432A (ja) * 2016-05-03 2017-11-24 ヘレーウス テネーヴォ エルエルシーＨｅｒａｅｕｓ Ｔｅｎｅｖｏ Ｌｌｃ 光学ガラスコンポーネントを製造するための延伸方法及びプリフォーム
JP2019031427A (ja) * 2017-08-09 2019-02-28 株式会社フジクラ 光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法

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