WO2023282118A1

WO2023282118A1 - 検出装置および検出方法

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Publication number: WO2023282118A1
Application number: PCT/JP2022/025667
Authority: WO
Inventors: 一魁鶴田
Original assignee: ローム株式会社
Priority date: 2021-07-09
Filing date: 2022-06-28
Publication date: 2023-01-12
Also published as: DE112022003468T5; CN117597578A; US20240133729A1; JPWO2023282118A1

Abstract

検出装置は、電磁波を発生させる送信部と、電磁波を反射する区画底部と、電磁波を受信する受信部と、を備えている。送信部は、送信部および受信部と検出対象領域とを仕切る仕切部材を介して電磁波を検出対象領域に向けて照射する。区画底部は、送信部から照射される電磁波の光路上に設けられており、検出対象領域の少なくとも一部を通過した電磁波を反射する。受信部は、区画底部によって反射されかつ仕切部材を介して検出対象領域から入力される電磁波を受信する。

Description

検出装置および検出方法

　本開示は、検出装置および検出方法に関する。

　特許文献１に示すように、電磁波を用いて検出対象物の状態を検出する検出装置が知られている。特許文献１に記載の検出装置は、電磁波としてのテラヘルツ電磁波を検出対象物に照射し、当該検出対象物によって反射されたテラヘルツ電磁波を検出することにより、検出対象物の状態を検出している。

特許第５１４４１７５号公報

　上記のように検出対象物から反射される電磁波を検出する検出装置においては、検出対象物から反射される電磁波の強度が小さくなる場合がある。この場合、ノイズの影響が大きくなりやすく、検出精度の低下が懸念される。

　本開示の一態様である検出装置は、電磁波を発生させ、当該電磁波を検出対象領域に向けて照射する送信部と、前記送信部から照射される電磁波の光路上に設けられ、前記検出対象領域の少なくとも一部を通過した電磁波を反射する反射部と、前記反射部によって反射された電磁波を受信する受信部と、を備え、前記送信部は、前記送信部および前記受信部と前記検出対象領域とを仕切る仕切部材を介して前記検出対象領域に向けて電磁波を照射し、前記受信部は、前記反射部によって反射されかつ前記仕切部材を介して前記検出対象領域から入力される電磁波を受信する。

　本開示の一態様である検出方法は、電磁波を発生させる送信部と、電磁波を受信する受信部と、を備えた検出装置を用いて検出対象領域内の検出対象物を検出するものであって、前記送信部が、前記送信部および前記受信部と前記検出対象領域とを仕切る仕切部材を介して、前記検出対象領域に向けて電磁波を照射することと、前記送信部から照射される電磁波の光路上に設けられた反射部が、前記検出対象領域の少なくとも一部を通過した電磁波を反射することと、前記受信部が、前記反射部によって反射されかつ前記仕切部材を介して前記検出対象領域から入力される電磁波を受信することと、を含む。

　上記検出装置および検出方法によれば、検出精度の低下を抑制することができる。

図１は、第１実施形態の検出装置の概要を模式的に示す斜視図である。図２は、検出装置の検出態様を模式的に示す断面図である。図３は、検出対象物が存在する場合の検出装置の検出態様を模式的に示す断面図である。図４は、第２実施形態の検出装置を模式的に示す断面図である。図５は、第３実施形態の検出装置を模式的に示す断面図である。図６は、第４実施形態の検出装置を模式的に示す断面図である。図７は、変更例の検出装置を模式的に示す断面図である。図８は、第５実施形態の検出装置の正面図である。図９は、第５実施形態の検出装置を模式的に示す端面図である。図１０は、第６実施形態の検出装置の概要を模式的に示す斜視図である。図１１は、第６実施形態の検出装置を模式的に示す断面図である。図１２は、変更例の検出装置を模式的に示す断面図である。図１３は、第７実施形態の検出装置を模式的に示す断面図である。図１４は、変更例の検出装置を模式的に示す断面図である。図１５は、変更例の検出装置を模式的に示す断面図である。

　以下、検出装置および検出方法の実施形態について図面を参照しつつ説明する。以下に示す実施形態は、技術的思想を具体化するための構成や方法を例示するものであり、各構成部品の材質、形状、構造、配置、寸法等を下記のものに限定するものではない。なお、説明を簡単かつ明確にするために、図面に示される構成要素は必ずしも一定の縮尺で描かれていない。また、理解を容易にするために、断面図では、ハッチング線が省略されている場合がある。添付の図面は、本開示の実施形態を例示するに過ぎず、本開示を制限するものとみなされるべきではない。

　［第１実施形態］
　図１～図３を参照して、本実施形態の検出装置１０および検出方法について説明する。図１は、検出装置１０の概要を模式的に示す斜視図である。図１では、一部破断して示している。図２は、検出装置１０の検出態様を模式的に示す断面図である。図３は、検出対象物Ｘが存在する場合の検出装置１０の検出態様を模式的に示す断面図である。

　本実施形態の検出装置１０は、電磁波を発生させる送信部２０と、電磁波を受信する受信部３０と、を備えている。
　送信部２０は、たとえば電磁波を照射する照射面２１を有し、当該照射面２１から電磁波を照射するものである。電磁波の周波数はたとえば１０ＧＨｚ～１００ＴＨｚであるとよい。一例としては、電磁波は、０．１ＴＨｚ～１０ＴＨｚのテラヘルツ波であってもよい。なお、電磁波とは、光および電波のいずれか一方あるいは両方の概念を含むものとする。

　送信部２０は、たとえば電磁波（たとえばテラヘルツ波）と電気エネルギーとの変換を行う能動素子と、照射面２１に形成されかつ電磁波を放射するアンテナと、を含む。送信部２０は、能動素子によって電気エネルギーが電磁波に変換され、その変換された電磁波がアンテナによって放射されることによって、照射面２１から電磁波を照射するものである。

　能動素子は、典型的には共鳴トンネルダイオード（ＲＴＤ：Resonant Tunneling Diode）である。ただし、これに限られず、能動素子は、たとえば、タンネット（ＴＵＮＮＥＴＴ：Tunnel injection Transit Time）ダイオード、インパット（ＩＭＰＡＴＴ：Impact Ionization Avalanche Transit Time）ダイオード、ＧａＡｓ系電界効果トランジスタ（ＦＥＴ：Field Effect Transistor）、ＧａＮ系ＦＥＴ、高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴ：High Electron Mobility Transistor）、あるいは、ヘテロ接合バイポーラトランジスタ（ＨＢＴ：Hetero junction Bipolar Transistor）であってもよい。

　アンテナは、典型的にはダイポールアンテナである。ただし、これに限られず、アンテナは、たとえば、ボータイアンテナ、スロットアンテナ、パッチアンテナ、リングアンテナ等の他のアンテナであってもよい。

　ちなみに、電磁波は、照射面２１から離れる方向に照射される。この場合、電磁波（たとえばテラヘルツ波）は、所定の照射角を有した状態で照射される。すなわち、電磁波は、広がりながら進行する。なお、図２および図３においては、図示の都合上、電磁波を直線で示す。

　受信部３０は、電磁波（たとえばテラヘルツ波）を受信する受信面３１を有しており、当該受信面３１に照射された電磁波を受信する。受信部３０は、送信部２０と同様に、たとえば電磁波と電気エネルギーとの変換を行う能動素子と、受信面３１に形成されたアンテナと、を含む。受信部３０は、アンテナによって受信された電磁波が能動素子によって電気エネルギーに変換されることによって、電磁波を受信（換言すれば検知）するものである。

　なお、送信部２０は、電磁波を発生させ照射することができれば、その具体的な構成は任意である。同様に、受信部３０は、送信部２０から発生する電磁波を受信することができれば、その具体的な構成は任意である。

　本実施形態では、送信部２０と受信部３０とはユニット化されている。詳細には、送信部２０および受信部３０は１つのパッケージに収容されている。送信部２０および受信部３０は、送信部２０の照射面２１と受信部３０の受信面３１とが同一方向を向くようにユニット化されている。なお、説明の便宜上、以降の説明において、送信部２０および受信部３０のユニットをセンサユニット４０という。

　検出装置１０は、送信部２０が仕切部材５０を介して検出対象領域Ａ１に向けて電磁波を照射し、受信部３０がその反射された電磁波を受信することにより、検出対象領域Ａ１内の検出対象物Ｘを検出する。なお、検出対象物Ｘの検出とは、たとえば検出対象領域Ａ１内の検出対象物Ｘの有無、または、検出対象物Ｘの状態の検出を含む。

　検出対象物Ｘは任意である。たとえば、検出対象物Ｘは液体または気体、すなわち流体であってもよい。一例としては、検出対象物Ｘは、水分を含む気体であってもよい。
　本実施形態では、検出対象領域Ａ１は、仕切部材５０と区画部材６０とによって区画されている。

　本実施形態の仕切部材５０は、送信部２０および受信部３０と、検出対象領域Ａ１との間に設けられており、送信部２０および受信部３０と、検出対象領域Ａ１とを仕切っている。本実施形態の仕切部材５０は、たとえば所定の厚さを有する壁部であり、第１仕切壁面５１および第２仕切壁面５２を有している。両仕切壁面５１，５２は、仕切部材５０の厚さ方向と直交する平面である。両仕切壁面５１，５２は、送信部２０から照射される電磁波と交差するように配置されている。なお、説明の便宜上、本実施形態において、仕切部材５０の厚さ方向をｙ方向とする。

　本実施形態では、仕切部材５０は、電磁波を透過する材料によって構成されている。たとえば、仕切部材５０は、樹脂、ガラス、または木材によって構成されているとよい。また、仕切部材５０は、非透明な材料によって構成されていてもよい。一例としては、仕切部材５０は、非透明な樹脂によって構成されている。この場合、仕切部材５０は、可視光を遮蔽する遮蔽部材ともいえる。

　本実施形態の区画部材６０は、仕切部材５０とは別体である。本実施形態の区画部材６０は、仕切部材５０とは異なり、電磁波を反射する材料によって構成されている。詳細には、区画部材６０は、金属によって構成されており、たとえばＡｌまたはＣｕを含む。

　本実施形態では、区画部材６０は、仕切部材５０に取り付けられ、仕切部材５０と協働して検出対象領域Ａ１を区画している。
　詳細には、区画部材６０は、仕切部材５０に向けて開口した有底箱形状であり、区画底部６１と、区画底部６１から起立した区画側部６２と、区画側部６２の先端部に設けられたフランジ部６３と、を有している。区画部材６０は、フランジ部６３が仕切部材５０の第２仕切壁面５２に固定されることによって仕切部材５０に取り付けられている。

　区画部材６０の開口は仕切部材５０によって塞がれ、区画部材６０および仕切部材５０、詳細には区画部材６０の内面および第２仕切壁面５２によって囲まれた検出対象領域Ａ１が形成される。この場合、仕切部材５０と区画底部６１とは、検出対象領域Ａ１を介してｙ方向に対向配置されている。なお、フランジ部６３と仕切部材５０との固定態様は任意であり、たとえばネジなどの締結部による固定等が考えられる。

　図１および図２に示すように、本実施形態では、区画部材６０は、仕切部材５０の厚さ方向と直交するｚ方向に幅を有し、ｘ方向に延びた長尺形状となっている。これにより、検出対象領域Ａ１は、ｙ方向に幅を有し、ｘ方向に延びている。検出対象物Ｘは、たとえば検出対象領域Ａ１内をｘ方向に流れる。つまり、本実施形態の検出装置１０は、検出対象領域Ａ１に流れる流体を検出する。

　図２に示すように、検出装置１０は、反射部７０と、制御回路８０と、を備えている。反射部７０および制御回路８０について、センサユニット４０の配置関係と合わせて以下に詳細に説明する。

　センサユニット４０は、検出対象領域Ａ１外に設けられている。詳細には、センサユニット４０は、仕切部材５０を介して、検出対象領域Ａ１と対向する位置に配置されている。換言すれば、センサユニット４０は、仕切部材５０に対して検出対象領域Ａ１とは反対側に配置されているとも言える。

　たとえば、送信部２０は、照射面２１が第１仕切壁面５１と対向するように配置されている。送信部２０は、第１仕切壁面５１に向けてｙ方向に電磁波を照射する。受信部３０は、受信面３１が第１仕切壁面５１と対向するように配置されている。受信部３０は、第１仕切壁面５１からｙ方向に伝搬される電磁波を受信する。

　本実施形態では、照射面２１と第１仕切壁面５１とは離間しており、受信面３１と第１仕切壁面５１とは離間している。ただし、これに限られず、照射面２１と第１仕切壁面５１とが接触していてもよい。この場合、照射面２１のアンテナと干渉しないように照射面２１に保護層を設けてもよい。同様に、受信面３１と第１仕切壁面５１とが接触してよい。すなわち、対向とは、両者が接触している状態を含む。

　センサユニット４０（詳細には送信部２０および受信部３０）と、検出対象領域Ａ１との間に、仕切部材５０が介在していることによって、送信部２０および受信部３０と、検出対象領域Ａ１とが仕切られている。換言すれば、仕切部材５０は、センサユニット４０と検出対象領域Ａ１との間に介在する介在部材とも言える。

　センサユニット４０は、仕切部材５０に対して取り付けられてもよい。たとえば、センサユニット４０は、所定の治具によって仕切部材５０を介して検出対象領域Ａ１と対向する位置にて仕切部材５０に固定されていてもよい。

　反射部７０は、送信部２０から照射される電磁波の光路上に設けられており、検出対象領域Ａ１の少なくとも一部を透過した電磁波を反射する。なお、電磁波が検出対象領域Ａ１の少なくとも一部を通過するとは、たとえば電磁波が検出対象領域Ａ１におけるｙ方向の全体を通過する構成と、電磁波が検出対象領域Ａ１におけるｙ方向の一部を通過する構成と、を含む。

　本実施形態の反射部７０は、区画部材６０、詳細には区画底部６１によって構成されている。詳細には、既に説明したとおり、区画底部６１を含む区画部材６０は電磁波を反射する材料によって構成されている。区画底部６１は、送信部２０から照射される電磁波の光路上、詳細には仕切部材５０および検出対象領域Ａ１を介して送信部２０と対向する位置に設けられている。すなわち、送信部２０、仕切部材５０および区画底部６１は、ｙ方向に並んで配置されており、仕切部材５０と区画底部６１との間には検出対象領域Ａ１が存在している。送信部２０から照射された電磁波は、仕切部材５０および検出対象領域Ａ１を通って区画底部６１に照射される。

　受信部３０は、反射部７０によって反射されかつ仕切部材５０を介して検出対象領域Ａ１から入力される電磁波を受信する。詳細には、受信部３０は、仕切部材５０および検出対象領域Ａ１を介して反射部７０（本実施形態では区画底部６１）と対向する位置に設けられている。区画底部６１によって反射された電磁波の一部または全部は、検出対象領域Ａ１および仕切部材５０を通過して受信部３０に到達し、当該受信部３０によって受信される。すなわち、受信部３０は、反射部７０としての区画部材６０（換言すれば区画底部６１）によって反射されかつ検出対象領域Ａ１および仕切部材５０を通過した電磁波を受信するものである。

　制御回路８０は、送信部２０および受信部３０と電気的に接続されている。制御回路８０は、たとえば送信部２０から電磁波が照射されるように送信部２０を制御する。また、制御回路８０は、受信部３０によって受信された電磁波に基づいて、検出対象領域Ａ１内における検出対象物Ｘの有無、または検出対象物Ｘの状態を判定する。

　制御回路８０による具体的な判定態様については任意である。たとえば、検出対象物Ｘが電磁波を吸収または散乱させる特性を有する場合、制御回路８０は、送信部２０から照射される電磁波の強度と、受信部３０が受信した電磁波の強度とに基づいて、検出対象物Ｘの有無を判定してもよい。なお、以降の説明において、送信部２０から照射される電磁波の強度を「送信強度」といい、受信部３０が受信した電磁波の強度を「受信強度」という。

　一例としては、制御回路８０は、送信強度に対する受信強度の比率が予め定められた閾値比率以上である場合には、検出対象領域Ａ１内に検出対象物Ｘが存在しないと判定してもよい。一方、制御回路８０は、上記比率が閾値比率未満である場合には、検出対象領域Ａ１内に検出対象物Ｘが存在すると判定してもよい。または、制御回路８０は、送信強度と受信強度との差に基づいて、検出対象物Ｘの有無を判定してもよい。

　また、検出対象物Ｘが水分を含む場合、制御回路８０は、受信強度に基づいて検出対象物Ｘに含まれる水分量を判定してもよい。詳細には、電磁波は水分によって減衰する。このため、検出対象物Ｘ内に含まれる水分量が多くなるほど、受信強度が小さくなり易い。したがって、制御回路８０は、受信強度が小さくなるほど、検出対象物Ｘに含まれる水分量が多いと判定してもよい。

　次に図２および図３を用いて、検出装置１０を用いた検出方法について説明する。
　検出方法は、送信部２０が仕切部材５０を介して検出対象領域Ａ１に向けて電磁波を照射する工程を含む。詳細には、制御回路８０は、送信部２０から電磁波が照射されるように送信部２０を制御する。送信部２０から照射された電磁波は、仕切部材５０を介して検出対象領域Ａ１内に入力される。

　ここで、図３に示すように、仮に検出対象領域Ａ１内に検出対象物Ｘが存在する場合、電磁波と検出対象物Ｘとの間で相互作用が生じる。このため、電磁波は、検出対象物Ｘによって吸収または散乱される。これにより、進行する電磁波は減衰する。

　一方、仮に検出対象領域Ａ１内に検出対象物Ｘが存在しない場合、電磁波と検出対象物Ｘとの間での相互作用が生じない。このため、電磁波は、検出対象物Ｘによる吸収または散乱が行われることなく進行する。したがって、電磁波は減衰しにくい。

　検出方法は、仕切部材５０と検出対象領域Ａ１の少なくとも一部とを通過した電磁波を反射部７０が反射する工程を含む。反射部７０によって反射された電磁波は、再度検出対象領域Ａ１および仕切部材５０を通過して受信部３０に向かう。

　検出方法は、受信部３０が反射部７０によって反射されかつ仕切部材５０を介して検出対象領域Ａ１から入力される電磁波を受信する工程を含む。これにより、検出対象領域Ａ１内の検出対象物Ｘの有無または検出対象物Ｘの状態に応じて、異なる強度の電磁波が受信されるため、検出対象物Ｘの有無または検出対象物Ｘの状態を検出できる。

　（効果）
　以上詳述した本実施形態によれば以下の効果を奏する。
　（１－１）検出装置１０は、電磁波を発生させる送信部２０と、電磁波を反射する反射部７０と、電磁波を受信する受信部３０と、を備えている。送信部２０は、送信部２０および受信部３０と検出対象領域Ａ１とを仕切る仕切部材５０を介して電磁波を検出対象領域Ａ１に向けて照射する。反射部７０は、送信部２０から照射される電磁波の光路上に設けられており、検出対象領域Ａ１の少なくとも一部を通過した電磁波を反射する。受信部３０は、反射部７０によって反射されかつ仕切部材５０を介して検出対象領域Ａ１から入力される電磁波を受信する。

　この構成によれば、検出対象領域Ａ１内の検出対象物Ｘの有無または検出対象物Ｘの状態に応じて、受信部３０にて受信される電磁波の強度が変化する。これにより、検出対象領域Ａ１内の検出対象物Ｘの有無または状態を検出することができる。

　また、送信部２０は仕切部材５０を介して検出対象領域Ａ１に電磁波を照射し、受信部３０は、仕切部材５０を介して検出対象領域Ａ１から入力される電磁波を受信する。このため、仕切部材５０を介した検出対象領域Ａ１外から非破壊で検出対象物Ｘを検出することができる。これにより、検出対象領域Ａ１内に送信部２０および受信部３０を設置する構成と比較して、検出対象物Ｘの検出を容易に行うことができる。

　さらに、本実施形態では、反射部７０が設けられており、当該反射部７０によって反射された電磁波を受信（換言すれば検出）する構成を採用している。これにより、検出精度の向上を図ることができる。

　すなわち、仮に検出対象物Ｘによって反射される電磁波を受信する構成では、受信する電磁波の強度が小さくなりやすい。このため、ノイズの影響を受けやすい。特に、検出対象物Ｘが存在しない場合には、受信する電磁波の強度が「０」となる。この場合、検出対象物Ｘの有無による強度変化が小さく、検出精度が低くなりやすい。また、検出対象物Ｘによって反射される電磁波を受信する構成では、仕切部材５０の屈折率と検出対象物Ｘの屈折率とによっては反射する電磁波の強度が小さくなり、検出精度が低下し得る。

　この点、本実施形態では、受信部３０は反射部７０によって反射される電磁波を受信する構成であるため、検出対象物Ｘが存在しない場合の受信強度が大きくなりやすい。そして、検出対象物Ｘとの相互作用によって電磁波が減衰した場合の受信強度と、相互作用が行われなかった場合の受信強度との差が大きくなりやすい。これにより、ノイズの影響を受けにくく、検出精度の向上を図ることができる。

　（１－２）反射部７０を設けることにより、送信部２０から受信部３０までの光路を長くすることができる。これにより、検出対象物Ｘと電磁波との相互作用が生じやすくなるため、検出精度の向上を図ることができる。

　たとえば、本実施形態において、仮に反射部７０を設けない場合、送信部２０と対向する位置に受信部３０を設けることが考えられる。この場合、反射部７０が設けられている場合と同等の光路長を確保するためには、受信部３０を仕切部材５０から離す必要がある。この点、本実施形態では、電磁波が送信部２０から受信部３０に伝達されるまでに、電磁波が反射部７０によって検出対象領域Ａ１を往復するため、ｙ方向への大型化を抑制しつつ、光路長を確保することができる。

　（１－３）仕切部材５０は、電磁波を透過する材料によって構成されている。これにより、仕切部材５０に特別な加工を施すことなく、電磁波が仕切部材５０を通って検出対象領域Ａ１内に入り込むことができる。

　（１－４）検出装置１０は、仕切部材５０に取り付けられ、仕切部材５０と協働して検出対象領域Ａ１を区画する区画部材６０を備えている。区画部材６０は、反射部７０を構成するものとして、電磁波を反射する材料によって構成されている。受信部３０は、区画部材６０によって反射されかつ仕切部材５０を介して検出対象領域Ａ１から入力される電磁波を受信する。

　この構成によれば、検出対象領域Ａ１を区画する区画部材６０が反射部７０として機能するため、反射部７０を別途設ける必要がない。これにより、比較的容易に（１－１）の効果を実現できる。

　（１－５）区画部材６０は、仕切部材５０および検出対象領域Ａ１を介して送信部２０と対向する位置に設けられた区画底部６１を備えている。受信部３０は、仕切部材５０および検出対象領域Ａ１を介して反射部７０と対向する位置に設けられている。受信部３０は、反射部７０によって反射されかつ検出対象領域Ａ１および仕切部材５０を通過した電磁波を受信する。

　この構成によれば、区画底部６１が反射部７０として機能する。この場合、電磁波は、検出対象領域Ａ１を通過して反射部７０によって反射され、さらに検出対象領域Ａ１を通過して受信部３０によって受信される。これにより、電磁波が検出対象領域Ａ１内を通過する経路を長くすることができるため、電磁波と検出対象物Ｘとの相互作用の影響を大きくすることができる。したがって、検出精度の向上を図ることができる。

　（１－６）電磁波は、テラヘルツ波である。テラヘルツ波は、紙、木材、樹脂、ガラスなどに対して透過性を有している。このため、仕切部材５０の選択の自由度が高くなるため、検出装置１０の汎用性の向上を図ることができる。

　（１－７）検出対象物Ｘは気体または液体である。検出対象物Ｘが気体または液体である場合、検出対象物Ｘの拡散および流出などが懸念される。この点、本実施形態では、仕切部材５０によって、送信部２０および受信部３０と、検出対象領域Ａ１とが仕切られているため、たとえば送信部２０および受信部３０が検出対象物Ｘに晒されるといったことを抑制できる。そして、検出対象領域Ａ１内に流れる気体または液体を、検出対象領域Ａ１外から検出することができる。これにより、気体または液体を好適に検出することができる。

　（１－８）検出方法は、送信部２０および受信部３０を有する検出装置１０を用いて、検出対象領域Ａ１内の検出対象物Ｘを検出する方法である。検出方法は、送信部２０が仕切部材５０を介して検出対象領域Ａ１に向けて電磁波を照射する工程と、送信部２０から照射される電磁波の光路上に設けられた反射部７０が、検出対象領域Ａ１の少なくとも一部を通過した電磁波を反射する工程と、を含む。そして、検出方法は、受信部３０が反射部７０によって反射され仕切部材５０を介して検出対象領域Ａ１から入力される電磁波を受信する工程を含む。これにより、（１－１）の効果を奏する。

　［第２実施形態］
　図４を参照して、第２実施形態の検出装置１０について説明する。本実施形態の検出装置１０は、第１実施形態の検出装置１０と比較して、区画部材６０の一部の構成が異なる。以下の説明において、第１実施形態と共通する構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。

　図４に示すように、電磁波は所定の照射角で広がりながら照射される。これに対応させて、本実施形態の区画底部１００は、受信部３０に向けて集光するように湾曲した湾曲部１０１を含む。湾曲部１０１は、送信部２０に対して当該送信部２０からの電磁波の照射方向に離れた位置に設けられており、送信部２０からの電磁波の照射方向に凹むように湾曲している。

　たとえば、湾曲部１０１は、焦点が受信部３０を向くように、好ましくは焦点が受信部３０の発振点に一致するように湾曲しているとよい。本実施形態では、区画底部１００、詳細には湾曲部１０１が「反射部」に対応する。

　なお、本実施形態では、区画底部１００の一部、詳細には区画底部１００において送信部２０とｙ方向に対向する部分が湾曲部１０１となっている。ただし、これに限られず、区画底部１００の全体が湾曲部１０１になっていてもよい。

　（作用効果）
　以上詳述した本実施形態によれば以下の作用効果を奏する。
　（２－１）反射部としての区画底部１００は、送信部２０に対して当該送信部２０からの電磁波の照射方向に離れた位置に設けられ、送信部２０からの電磁波の照射方向に凹むように湾曲している湾曲部１０１を含む。これにより、送信部２０から照射された電磁波を、集光させながら受信部３０に反射することができる。したがって、受信強度を高めることができるため、検出精度の一層の向上を図ることができる。

　［第３実施形態］
　図５を参照して、第３実施形態の検出装置１０について説明する。本実施形態の検出装置１０は、第１実施形態の検出装置１０と比較して、区画部材６０の一部の構成とセンサユニット４０の配置構成とが異なる。以下の説明において、第１実施形態と共通する構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。

　図５に示すように、送信部２０と受信部３０とは、互いに離間して配置されていてもよい。たとえば、送信部２０と受信部３０とは、ｚ方向に離間して配置されている。本実施形態の区画底部１１０は、送信部２０および受信部３０の位置に対応させてｚ方向に延びており、送信部２０および受信部３０は、区画底部１１０のｚ方向の両端部とｙ方向に対向する位置に配置されている。

　ちなみに、送信部２０および受信部３０は、離間された状態で相対位置が変化しないようにユニット化されていてもよい。また、これに限られず、送信部２０と受信部３０とはユニット化されていなくてもよい。この場合、送信部２０と受信部３０とは、それぞれ別々に仕切部材５０に取り付けられていてもよい。

　また、本実施形態の反射部１１１は、複数のミラー部１１２，１１３によって構成されている。本実施形態において、複数のミラー部１１２，１１３は、区画底部１１０に設けられている。両ミラー部１１２，１１３は、たとえば区画底部１１０のｚ方向の両端部に設けられている。

　送信部２０から照射された電磁波は、複数のミラー部１１２，１１３を介して受信部３０に到達するように構成されている。詳細には、第１ミラー部１１２は、送信部２０に対して当該送信部２０からの電磁波の照射方向に離れた位置に設けられている。第１ミラー部１１２は、送信部２０から照射された電磁波を第２ミラー部１１３に向けて反射する。

　本実施形態の第１ミラー部１１２は、送信部２０からの電磁波の照射方向に凹むように湾曲している。詳細には、第１ミラー部１１２は、反射波が集光した状態で第２ミラー部１１３に向かうように湾曲している。なお、集光した状態とは、電磁波が広がらないような状態であればよく、一定幅を有した状態を含む。

　第２ミラー部１１３は、第１ミラー部１１２から、当該第１ミラー部１１２によって反射された反射波の照射方向に設けられている。詳細には、第２ミラー部１１３は、第１ミラー部１１２に対してｚ方向に離間して配置されている。検出対象領域Ａ１は、第１ミラー部１１２と第２ミラー部１１３との間に介在している。

　第２ミラー部１１３と受信部３０とはｙ方向に対向配置されている。第２ミラー部１１３は、第１ミラー部１１２によって反射された電磁波を受信部３０に向けてさらに反射する。受信部３０は、第２ミラー部１１３によって反射された電磁波を受信する。

　本実施形態の第２ミラー部１１３は、受信部３０から離れる方向に凹むように湾曲している。たとえば、第２ミラー部１１３は、焦点が受信部３０に向くように、好ましくは焦点が受信部３０の発振点と一致するように湾曲しているとよい。第２ミラー部１１３によって反射された電磁波は、集光されながら受信部３０に向かう。

　すなわち、本実施形態の検出方法は、送信部２０が仕切部材５０を介して検出対象領域Ａ１に向けて電磁波を照射する工程と、第１ミラー部１１２を用いて送信部２０から照射された電磁波を第２ミラー部１１３に向けて反射する工程と、を含む。第１ミラー部１１２と第２ミラー部１１３との間には検出対象領域Ａ１が介在している。さらに、検出方法は、第２ミラー部１１３によって反射されかつ仕切部材５０を介して検出対象領域Ａ１から入力される電磁波を受信部３０にて受信する工程を含む。

　（作用）
　次に本実施形態の作用について説明する。
　図５に示すように、送信部２０から照射された電磁波は、第１ミラー部１１２および第２ミラー部１１３を介して受信部３０に到達する。これにより、少なくとも両ミラー部１１２，１１３間の距離に対応する分だけ、検出対象領域Ａ１を通過する光路長が長くなっている。したがって、電磁波と検出対象物Ｘとの相互作用が生じ易い。

　（効果）
　以上詳述した本実施形態によれば以下の効果を奏する。
　（３－１）反射部１１１は、複数のミラー部として第１ミラー部１１２および第２ミラー部１１３を備えている。第１ミラー部１１２は、送信部２０に対して当該送信部２０からの電磁波の照射方向に離れた位置に設けられ、送信部２０から照射された電磁波を反射する。第２ミラー部１１３は、第１ミラー部１１２によって反射された電磁波をさらに反射する。検出対象領域Ａ１は、両ミラー部１１２，１１３の間に介在している。送信部２０から照射された電磁波は、複数のミラー部１１２，１１３を介して受信部３０に到達するように構成されている。

　この構成によれば、送信部２０から照射された電磁波が、複数のミラー部１１２，１１３による反射を経て受信部３０に到達することにより、送信部２０から受信部３０までの電磁波の光路長を長くすることができる。これにより、電磁波と検出対象物Ｘとの相互作用を発生させやすくすることができ、検出精度の向上を図ることができる。

　（３－２）第１ミラー部１１２は、当該第１ミラー部１１２に向かってくる電磁波、すなわち送信部２０から照射される電磁波の照射方向に凹むように湾曲している。第２ミラー部１１３は、受信部３０から離れる方向に凹むように湾曲している。

　かかる構成によれば、送信部２０から照射される電磁波を集光して第２ミラー部１１３に向けて反射することができる。また、第２ミラー部１１３によって、集光した電磁波が受信部３０に向けて照射される。これにより、受信強度の向上を図ることができる。

　なお、本実施形態では、送信部２０および受信部３０はｚ方向に離間して配置されていたが、これに限られない。たとえば送信部２０および受信部３０は、ｘ方向に離間して配置されていてもよいし、ｘ方向およびｚ方向の双方に離間して配置されていてもよい。

　すなわち、検出対象物Ｘがｘ方向に流れる流体である場合、送信部２０および受信部３０は、検出対象物Ｘの流下方向に離間して配置されていてもよいし、当該流下方向と直交する方向（ｚ方向）に離間して配置されてもよい。

　また、両ミラー部１１２，１１３は繋がっていてもよい。例えば、検出装置１０は、両ミラー部１１２，１１３と、両ミラー部１１２，１１３を繋ぐ部分とを含む１つのミラー部材を有する構成でもよい。

　［第４実施形態］
　図６を参照して、第４実施形態の検出装置１０について説明する。本実施形態の検出装置１０は、第３実施形態の検出装置１０と比較して、電磁波を反射する構成が異なる。以下の説明において、第３実施形態と共通する構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。

　図６に示すように、反射部１２５は、区画底部１２２ｂとは別に設けられていてもよい。
　たとえば、本実施形態の仕切部材１２０は、電磁波を透過する材料によって構成されている。本実施形態の仕切部材１２０は、本体部１２１と、本体部１２１と一体形成された区画部１２２と、を含む。

　本体部１２１は、たとえばｙ方向を厚さ方向とする壁部である。本体部１２１は、ｙ方向に対して交差（詳細には直交）する第１仕切壁面１２１ａおよび第２仕切壁面１２１ｂを有する。

　区画部１２２は、本体部１２１と協働して検出対象領域Ａ１を区画するものである。区画部１２２は、第２仕切壁面１２１ｂからｙ方向に起立した区画側部１２２ａと、本体部１２１からｙ方向に離間した位置に設けられかつ区画側部１２２ａと繋がっている区画底部１２２ｂと、を有している。これにより、第２仕切壁面１２１ｂと区画部１２２の内面とによって検出対象領域Ａ１が形成されている。

　本実施形態では、本体部１２１と区画部１２２とが一体形成されているため、区画部１２２と本体部１２１との間に隙間が生じない。これにより、当該隙間から検出対象物Ｘが漏れることを抑制できる。なお、区画部１２２の具体的な形状は任意である。

　このような構成において、本実施形態の反射部１２５は、検出対象領域Ａ１内に設けられている。たとえば、反射部１２５は、区画底部１２２ｂとは別に設けられ、検出対象領域Ａ１内に配置された第１ミラー部１２６および第２ミラー部１２７を備えている。

　第１ミラー部１２６および第２ミラー部１２７は、たとえば電磁波を反射する材料によって構成されている。本実施形態では、両ミラー部１２６，１２７は、金属板によって構成されている。

　本実施形態では、両ミラー部１２６，１２７は、平板状に形成されている。ただし、これに限られず、両ミラー部１２６，１２７は、たとえば第３実施形態の両ミラー部１１２，１１３のように湾曲した形状でもよい。

　本実施形態において、送信部２０および受信部３０は、第３実施形態と同様に、ｚ方向に離間して配置されている。この構成において、第１ミラー部１２６は、仕切部材１２０の本体部１２１を介して送信部２０とｙ方向に対向する位置に設けられている。第２ミラー部１２７は、仕切部材１２０の本体部１２１を介して受信部３０とｙ方向に対向する位置に設けられている。両ミラー部１２６，１２７は、ｚ方向に離間して対向配置されており、両者の間には検出対象領域Ａ１が介在している。

　第１ミラー部１２６は、送信部２０から照射された電磁波を第２ミラー部１２７に向けて反射する。詳細には、第１ミラー部１２６は、送信部２０からの電磁波の照射方向（詳細にはｙ方向）と、両ミラー部１２６，１２７の対向方向（詳細にはｚ方向）との双方に対して傾斜した状態で配置されている。

　第２ミラー部１２７は、第１ミラー部１２６によって反射された電磁波を受信部３０に向けて反射する。詳細には、第２ミラー部１２７は、両ミラー部１２６，１２７の対向方向（詳細にはｚ方向）と、受信部３０と第２ミラー部１２７との対向方向（詳細にはｙ方向）との双方に対して傾斜した状態で配置されている。

　（作用効果）
　以上詳述した本実施形態によれば以下の作用効果を奏する。
　（４－１）反射部１２５は、区画底部１２２ｂとは別に設けられている。これにより、電磁波を所望の方向に反射させるために区画底部１２２ｂを変形させる必要がない。したがって、区画底部１２２ｂの変形による不都合、たとえば検出対象領域Ａ１の断面積が小さくなる、または、検出対象領域Ａ１内における検出対象物Ｘの流れに支障が生じるといったことを抑制できる。

　（４－２）本実施形態の仕切部材１２０は、電磁波を透過する材料によって構成されている。これにより、電磁波が仕切部材１２０を通過できる。また、仕切部材１２０は、本体部１２１と区画部１２２とを有しており、両者は一体形成されている。これにより、本体部１２１と区画部１２２との間の隙間から検出対象物Ｘが漏れることを抑制できる。

　ここで、本体部１２１と区画部１２２とが一体形成されている関係上、本体部１２１と区画部１２２とを別々の材料で構成することは困難である。この点、本実施形態によれば、仕切部材１２０とは別に反射部１２５が設けられているため、区画部１２２が電磁波を透過する材料で構成されている場合であっても、電磁波を反射させて光路長を長くすることができる。

　なお、本体部１２１と区画部１２２とは別体であってもよい。この場合、本体部１２１に区画部１２２を取り付けるとよい。
　また、図７に示すように、両ミラー部１２６，１２７が近接して配置されていてもよい。たとえば、両ミラー部１２６，１２７は、両ミラー部１２６，１２７の端部同士が接触した状態で配置されてもよい。

　また、送信部２０および受信部３０がｘ方向に離間して配置されてもよい。この場合、それに対応させて、両ミラー部１２６，１２７がｘ方向に離間して配置されていてもよい。

　両ミラー部１２６，１２７は、検出対象領域Ａ１におけるｙ方向の中央部付近に配置されてもよいし、中央部と区画底部１２２ｂとの間に配置されてもよいし、中央部と本体部１２１との間に配置されてもよい。この場合、電磁波は、検出対象領域Ａ１におけるｙ方向の一部を通過して反射される。

　［第５実施形態］
　図８および図９を参照して、第５実施形態の検出装置１０について説明する。本実施形態の検出装置１０は、第１実施形態の検出装置１０と比較して、仕切部材１３０の構成が異なっている。以下の説明において、第１実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。

　図８および図９に示すように、本実施形態の仕切部材１３０は、電磁波を反射する材料によって構成された本体部１３１と、電磁波を透過する材料によって構成された窓部１３５と、を備えている。

　本体部１３１は、たとえば送信部２０の電磁波の照射方向（詳細にはｙ方向）を厚さ方向とする壁部である。本体部１３１は、ｙ方向に交差した第１仕切壁面１３２および第２仕切壁面１３３を有している。本体部１３１は、たとえば金属によって構成されており、一例としてはＡｌまたはＣｕを含んでもよい。

　本体部１３１は、開口部１３４を有しており、窓部１３５は当該開口部１３４を塞いでいる。窓部１３５（換言すれば開口部１３４）は、本体部１３１における送信部２０および受信部３０と検出対象領域Ａ１との間に設けられている。

　窓部１３５は、ｙ方向から視て、送信部２０および受信部３０を含むセンサユニット４０よりも大きく形成されている。窓部１３５は、透明性を有していてもよい。ただし、これに限られず、窓部１３５は、非透明性であってもよい。

　本実施形態の検出装置１０は、本体部１３１および窓部１３５と協働して検出対象領域Ａ１を区画する区画部としての区画部材１４０を備えている。
　区画部材１４０は、電磁波を反射する材料（たとえば金属）によって構成されている。区画部材１４０は、第１実施形態と同様に、区画底部１４１、区画側部１４２およびフランジ部１４３を有している。区画部材１４０は、区画底部１４１と窓部１３５とがｙ方向に対向配置される状態でフランジ部１４３が本体部１３１の第２仕切壁面１３３に固定されることによって仕切部材１３０に取り付けられている。これにより、検出対象領域Ａ１が形成される。送信部２０および受信部３０と、窓部１３５と、検出対象領域Ａ１と、区画底部１４１とがｙ方向に配列されている。

　なお、本実施形態では、仕切部材１３０と区画部材１４０とは別体であったが、これに限られない。たとえば、仕切部材１３０と区画部材１４０とが一体形成されていてもよい。つまり、仕切部材１３０が、本体部１３１と、窓部１３５と、区画部と、を備えている構成でもよい。

　このような構成において、送信部２０は、仕切部材１３０の窓部１３５を介して検出対象領域Ａ１に向けて電磁波を照射する。これにより、送信部２０から照射された電磁波は、検出対象領域Ａ１内を通って区画部材１４０（詳細には区画底部１４１）によって反射される。すなわち、本実施形態では、区画部材１４０、詳細には区画底部１４１が反射部１４４を構成している。

　区画底部１４１によって反射された電磁波は、検出対象領域Ａ１および窓部１３５を通って、受信部３０に到達する。すなわち、受信部３０は、反射部１４４によって反射されかつ窓部１３５を介して検出対象領域Ａ１から入力される電磁波を受信する。

　（作用効果）
　以上詳述した本実施形態によれば以下の作用効果を奏する。
　（５－１）仕切部材１３０は、電磁波を反射する材料によって構成された本体部１３１と、本体部１３１における送信部２０および受信部３０と検出対象領域Ａ１との間の部分に設けられた窓部１３５と、を含む。窓部１３５は、電磁波を透過する材料によって構成されている。送信部２０は、窓部１３５を介して検出対象領域Ａ１に向けて電磁波を照射する。受信部３０は、反射部１４４としての区画底部１４１によって反射されかつ窓部１３５を介して検出対象領域Ａ１から入力される電磁波を受信する。

　この構成によれば、本体部１３１が金属などの電磁波を反射する材料で構成されている場合であっても、電磁波を用いて検出対象領域Ａ１内の検出対象物Ｘを検出することができる。

　（５－２）検出装置１０は、本体部１３１および窓部１３５と協働して検出対象領域Ａ１を区画する区画部としての区画部材１４０を備えている。区画部材１４０は、電磁波を反射する材料によって構成されている。受信部３０は、区画部材１４０によって反射された電磁波を受信する。

　この構成によれば、検出対象領域Ａ１を構成する区画部材１４０が反射部として機能する。これにより、区画部材１４０とは別に反射部を設ける必要がないため、構成の簡素化を図ることができる。

　なお、これに限られず、たとえば区画部材１４０が電磁波を透過する材料によって構成されてもよい。この場合、区画底部１４１の内面または外面に、反射部としての金属膜を形成するとよい。

　［第６実施形態］
　図１０および図１１を参照して、第６実施形態の検出装置１０について説明する。本実施形態の検出装置１０は、第１実施形態の検出装置１０と比較して、仕切部材１５０の形状が異なっている。以下の説明において、第１実施形態と共通する構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。

　図１０および図１１に示すように、本実施形態の仕切部材１５０は筒状に形成されており、仕切部材１５０の内部空間を検出対象物Ｘが通過する。すなわち、本実施形態の検出対象領域Ａ１は、仕切部材１５０の内部空間である。本実施形態の仕切部材１５０は、第１実施形態と同様に、電磁波を透過する材料によって構成されている。

　仕切部材１５０はたとえばｚ方向を軸線方向とする円筒状である。検出対象領域Ａ１は、ｚ方向に延びており、検出対象物Ｘはｚ方向に流れる。ただし、これに限られず、仕切部材１５０の具体的な形状は任意である。

　仕切部材１５０は、検出対象領域Ａ１を介して互いに対向する第１対向部１５１および第２対向部１５２を有している。本実施形態では、第１対向部１５１および第２対向部１５２はそれぞれｚ方向から見て円弧状に形成されている。両対向部１５１，１５２は、その先端部同士が繋がって円筒を構成している。つまり、円筒状の仕切部材１５０をｘｚ平面で分割した場合の一方が第１対向部１５１であり、他方が第２対向部１５２である。

　両対向部１５１，１５２は、先端部以外の部位においてｙ方向に離間して対向している。両対向部１５１，１５２の対向距離は、ｘ方向に応じて異なっている。なお、ｙ方向は両対向部１５１，１５２の対向方向ともいえる。

　第１対向部１５１は、検出対象領域Ａ１を区画する第１内面１５１ａと、第１内面１５１ａとは反対側の第１外面１５１ｂと、を含む。同様に、第２対向部１５２は、検出対象領域Ａ１を区画する第２内面１５２ａと、第２内面１５２ａとは反対側の第２外面１５２ｂと、を含む。仕切部材１５０の内周面は、両内面１５１ａ，１５２ａによって構成されており、検出対象領域Ａ１は両内面１５１ａ，１５２ａによって囲まれた領域である。仕切部材１５０の外周面は、両外面１５１ｂ，１５２ｂによって構成されている。

　センサユニット４０（換言すれば送信部２０および受信部３０）は、検出対象領域Ａ１外の位置に設けられており、詳細には第１外面１５１ｂと対向する位置に配置されている。

　これに対応させて、反射部１５５は、第２対向部１５２における送信部２０と対向する位置に配置されている。
　本実施形態の反射部１５５は、仕切部材１５０とは別に設けられている。詳細には、反射部１５５は金属膜によって構成されている。反射部１５５は、たとえば第２内面１５２ａに形成されている。この場合、反射部１５５は、検出対象領域Ａ１内に配置されているといえる。

　反射部１５５は、たとえばｘ方向に幅を有した状態でｚ方向に延びている。詳細には、反射部１５５は、ｙ方向から視て、送信部２０および受信部３０の双方と重なるようにｘ方向およびｚ方向に延びているといえる。

　本実施形態の反射部１５５は、第２対向部１５２の湾曲に沿って湾曲している。詳細には、第２内面１５２ａがセンサユニット４０に対して離れる方向に凹むように湾曲しているのに対応させて、反射部１５５は、センサユニット４０に対して離れる方向に凹むように湾曲している。なお、反射部１５５の厚さは、仕切部材１５０の厚さよりも薄い。

　（作用）
　本実施形態の作用について説明する。
　図１１に示すように、送信部２０から照射された電磁波は、第１対向部１５１を通って検出対象領域Ａ１内に入り込み、反射部１５５によって反射される。反射部１５５によって反射された電磁波は、検出対象領域Ａ１および第１対向部１５１を通って受信部３０に受信される。この場合、検出対象領域Ａ１内の検出対象物Ｘの有無または検出対象物Ｘの状態に応じて、受信強度が変化する。

　（効果）
　本実施形態によれば以下の効果を奏する。
　（６－１）仕切部材１５０は、検出対象領域Ａ１を介して互いに対向する第１対向部１５１および第２対向部１５２を備えている。対向部１５１，１５２は、検出対象領域Ａ１を区画する内面１５１ａ，１５２ａと、内面１５１ａ，１５２ａとは反対側の外面１５１ｂ，１５２ｂと、を含む。送信部２０および受信部３０は、第１外面１５１ｂと対向する位置に配置されている。反射部１５５は、第２対向部１５２における送信部２０と対向する位置に配置されている。これにより、（１－１）の効果を奏する。

　（６－２）反射部１５５は、第２内面１５２ａに設けられた金属膜である。これにより、電磁波を反射することができる。特に、本構成によれば、電磁波が第２対向部１５２を通過する必要がないため、電磁波が第２対向部１５２を通過することによって生じ得る電磁波の減衰を抑制できる。これにより、受信強度の低下を抑制できる。

　（６－３）仕切部材１５０は、両対向部１５１，１５２の先端部同士が繋がった筒状であり、検出対象領域Ａ１は仕切部材１５０の内部空間である。この構成によれば、筒状の仕切部材１５０の中を通過する検出対象物Ｘを検出できる。

　なお、図１２に示すように、反射部１５５は、第２外面１５２ｂに形成されていてもよい。この場合、反射部１５５は、検出対象領域Ａ１外に設けられているといえる。かかる構成によっても、（１－１）の効果を奏する。また、本構成によれば、比較的容易に反射部１５５を後から取り付けることができる。

　また、仕切部材１５０は、多角形の筒状（たとえば四角筒状）であってもよい。この場合、第１対向部１５１は、多角形の筒状に形成された仕切部材１５０の１つの壁部であり、第２対向部１５２は、当該第１対向部１５１と検出対象領域Ａ１を介して対向している壁部であるとよい。

　［第７実施形態］
　図１３を参照して、第７実施形態の検出装置１０について説明する。本実施形態の検出装置１０は、第６実施形態の検出装置１０と比較して、仕切部材１６０の構成が異なる。以下の説明において、第６実施形態と共通する構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。

　本実施形態では、図１３に示すように、仕切部材１６０は、本体部１６１と、窓部１６５と、を含む。
　本実施形態の本体部１６１は、電磁波を反射する材料によって構成されている。本体部１６１は、第６実施形態と同様に、筒状に形成されており、検出対象領域Ａ１を介して互いに対向する両対向部１６２，１６３を備えている。

　第１対向部１６２は、検出対象領域Ａ１を区画する第１内面１６２ａと、第１内面１６２ａとは反対側の第１外面１６２ｂと、を含む。同様に、第２対向部１６３は、検出対象領域Ａ１を区画する第２内面１６３ａと、第２内面１６３ａとは反対側の第２外面１６３ｂと、を含む。仕切部材１６０の内周面は、両内面１６２ａ，１６３ａによって構成されており、検出対象領域Ａ１は両内面１６２ａ，１６３ａによって囲まれた領域である。仕切部材１６０の外周面は、両外面１６２ｂ，１６３ｂによって構成されている。

　本実施形態の本体部１６１には開口部１６４が形成されており、窓部１６５は、当該開口部１６４を塞いでいる。窓部１６５は、電磁波を透過する材料によって構成されている。窓部１６５（換言すれば開口部１６４）は、ｙ方向から視て送信部２０および受信部３０の双方と重なるように大きく形成されている。

　なお、たとえば、窓部１６５の厚さは、本体部１６１の厚さよりも薄い。ただし、これに限られず、窓部１６５の厚さは、本体部１６１の厚さと同じでもよいし、本体部１６１の厚さよりも厚くてもよい。

　窓部１６５は、本体部１６１における送信部２０および受信部３０と検出対象領域Ａ１との間の部分に設けられている。詳細には、第６実施形態と同様に、送信部２０および受信部３０は、第１対向部１６２の第１外面１６２ｂと対向する位置に配置されている。これに対応させて、窓部１６５は、第１対向部１６２におけるセンサユニット４０と検出対象領域Ａ１との間の部分、換言すれば第１対向部１６２におけるセンサユニット４０と対向する部分に配置されている。このため、センサユニット４０、窓部１６５、検出対象領域Ａ１、および第２対向部１６３がｙ方向に配列されている。

　ここで、窓部１６５と第２対向部１６３との位置関係に着目すれば、第２対向部１６３は、窓部１６５と対向する位置に設けられているともいえるし、第２対向部１６３は、検出対象領域Ａ１を介して窓部１６５と対向する部分を有しているとも言える。

　送信部２０は、窓部１６５を介して検出対象領域Ａ１に向けて電磁波を照射する。これにより、電磁波が検出対象領域Ａ１内に入り込み、第２対向部１６３、詳細には第２対向部１６３における窓部１６５と対向する部分に到達し、当該第２対向部１６３によって反射される。すなわち、本実施形態では、第２対向部１６３が反射部１６６として機能する。換言すれば、本実施形態の仕切部材１６０は、反射部１６６としての第２対向部１６３を備えているともいえる。

　第２対向部１６３によって反射された電磁波は、検出対象領域Ａ１および窓部１６５を通って受信部３０に到達する。すなわち、受信部３０は、第２対向部１６３によって反射されかつ窓部１６５を介して検出対象領域Ａ１から入力される電磁波を受信する。

　ちなみに、第２対向部１６３は、受信部３０から離れる方向に凹むように湾曲している。これにより、第２対向部１６３によって反射された電磁波は、集光されながら受信部３０に向けて進行する。

　（作用効果）
　以上詳述した本実施形態によれば以下の作用効果を奏する。
　（７－１）仕切部材１６０は、電磁波を反射する材料によって構成されている本体部１６１を備えている。本体部１６１は、検出対象領域Ａ１を介して互いに対向する第１対向部１６２および第２対向部１６３を有する。窓部１６５は、第１対向部１６２における送信部２０および受信部３０と対向する位置に設けられている。反射部１６６は、第２対向部１６３における窓部１６５と対向する位置に設けられている。

　この構成によれば、窓部１６５を介して電磁波の照射および受信を行うことにより、本体部１６１が電磁波を反射する材料によって構成されている場合であっても検出対象領域Ａ１内の検出対象物Ｘを検出できる。

　［変更例］
　上記各実施形態は本開示に関する検出装置および検出方法が取り得る形態の例示であり、その形態を制限することを意図していない。本開示に関する検出装置および検出方法は、上記各実施形態に例示された形態とは異なる形態を取り得る。その一例は、上記各実施形態の構成の一部を置換、変更、もしくは省略した形態、または上記各実施形態に新たな構成を付加した形態である。また、以下の各変更例および各実施形態は、技術的に矛盾しない限り、互いに組み合わせることができる。以下の各変更例において、上記各実施形態に共通する部分については、上記各実施形態と同一符号を付してその説明を省略する。

　・図１４に示すように、仕切部材として、検出対象物Ｘを収容可能な収容部材２００を採用してもよい。収容部材２００は、たとえば、底部２０１と、底部２０１から高さ方向（本変更例ではｚ方向）に起立した側部２０２と、を有している。底部２０１は、たとえばｚ方向に直交する板状である。なお、底部２０１の具体的な形状は任意であり、たとえばｚ方向から視て多角形状でもよいし、円形状でもよいし、オーバル形状でもよい。

　側部２０２は、底部２０１の周縁部からｚ方向に延びており、ｚ方向から視て環状となっている。底部２０１および側部２０２によって形成される内部空間に検出対象物Ｘが収容される。本変更例において、検出対象領域Ａ１は、収容部材２００の内部空間である。

　このような構成において、送信部２０および受信部３０を含むセンサユニット４０は、側部２０２において高さ方向に所定の間隔で並べて複数設けられている。各センサユニット４０の送信部２０は、側部２０２に向けてｙ方向に電磁波を照射する。

　なお、図１４では、センサユニット４０は４つ設けられているが、センサユニット４０の数は任意であり、２つでもよいし、５つ以上でもよい。また、隣り合うセンサユニット４０の間隔は一定であってもよいし、異なっていてもよい。

　このような構成において、検出装置１０は、側部２０２と検出対象領域Ａ１の少なくとも一部とを介して、複数のセンサユニット４０と対向する反射壁部２０３を備えていてもよい。反射壁部２０３は、電磁波を反射する材料（たとえば金属）によって構成されている。各センサユニット４０の送信部２０および受信部３０は、反射壁部２０３とｙ方向に対向している。反射壁部２０３が「反射部」に対応する。

　ちなみに、図１４に示す反射壁部２０３は、検出対象領域Ａ１内に設けられており、底部２０１から起立している。反射壁部２０３は、たとえば底部２０１の中心よりも、側部２０２におけるセンサユニット４０が設けられている部分寄りに配置されている。

　この構成によれば、各センサユニット４０の送信部２０から照射された電磁波は、ｙ方向に進み、側部２０２と検出対象領域Ａ１の一部とを介して反射壁部２０３に到達し、当該反射壁部２０３によって反射される。その反射された電磁波は、再度検出対象領域Ａ１の一部と側部２０２とを通って受信部３０によって受信される。これにより、検出対象物Ｘの高さを測定できる。

　すなわち、説明の便宜上、各センサユニット４０を、底部２０１から上方に向けて順に第１センサユニット４０ａ、第２センサユニット４０ｂ、第３センサユニット４０ｃおよび第４センサユニット４０ｄという。仮に検出対象物Ｘが液体であって、第３センサユニット４０ｃと第４センサユニット４０ｄとの間に検出対象物Ｘの液面があるとする。この場合、第１センサユニット４０ａ～第３センサユニット４０ｃでは、検出対象物Ｘが検出される。一方、第４センサユニット４０ｄでは、検出対象物Ｘが検出されない。これにより、検出対象物Ｘは、第３センサユニット４０ｃと第４センサユニット４０ｄとの間の高さまで充填されていると推定できる。したがって、検出対象物Ｘの高さを検出できる。

　・なお、図１５に示すように、反射壁部２０３に代えて、側部２０２の内面のうち検出対象領域Ａ１を介して各センサユニット４０ａ～４０ｄと対向する位置に、反射部２１０を設けてもよい。

　・送信部２０は、照射面２１から照射される電磁波を反射するミラーを有していてもよい。この場合、ミラーによって反射された電磁波が仕切部材５０，１２０，１３０，１５０，１６０を介して検出対象領域Ａ１内に照射されてもよい。

　・第１実施形態において、仕切部材５０におけるセンサユニット４０と対向する部分が、他の部分よりも薄く形成されていてもよい。また、それとは逆に、仕切部材５０におけるセンサユニット４０と対向する部分が、他の部分よりも厚く形成されていてもよい。

　・第３実施形態等において、ミラー部の数は３つ以上でもよい。要するに、送信部２０から照射された電磁波が、複数のミラー部を介して受信部３０に到達されるように構成されていればよい。

　・第５実施形態において、窓部１３５は、送信部２０に対応する第１窓と、受信部３０に対応する第２窓と、を別々に備えている構成でもよい。第１窓は、送信部２０から照射される電磁波を阻害しないように、たとえば送信部２０と対向する位置に設けられているとよい。同様に、第２窓は、受信部３０にて受信される電磁波を阻害しないように、たとえば受信部３０と対向する位置に設けられているとよい。要するに、窓部は、送信部２０および受信部３０の双方と対向するように１つの大きなものであってもよいし、送信部２０および受信部３０それぞれに対応させて２つ以上の窓を有する構成でもよい。

　・送信部２０および受信部３０はユニット化されている必要はない。送信部２０および受信部３０がそれぞれ仕切部材または区画部材に固定されている構成でもよい。
　・たとえば照射面２１はｙ方向に対して傾斜していてもよい。この場合、反射部は、照射面２１と対向する位置に設けられるように照射面２１と直交する方向に配置されてもよい。同様に、受信面３１はｙ方向に対して傾斜していてもよい。この場合、反射部は、受信面３１と対向する位置に設けられるように受信面３１と直交する方向に配置されてもよい。

　・送信部２０と反射部との対向方向と、受信部３０と反射部との対向方向とは平行であってもよいし、交差してもよい。たとえば、送信部２０と反射部との対向方向と、受信部３０と反射部との対向方向とのなす角度は９０度未満でもよいし、９０度以上でもよい。反射部によって反射された電磁波は、検出対象領域Ａ１を通過することなく、受信部３０に到達しても良い。

　・検出対象物Ｘは、固体でもよい。検出対象物Ｘは、無機物でもよいし、有機物でもよい。また、検出対象物Ｘは、人でもよい。つまり、検出装置１０は、検出対象領域Ａ１内の人を検知する人感センサでもよい。

　・検出装置１０は、送信部２０が仕切部材を介して検出対象領域Ａ１に向けて電磁波を照射し、受信部３０がその反射された電磁波を受信することができればよく、仕切部材を備えていてもよいし、仕切部材を備えていなくてもよい。

　・検出装置１０は反射部を備えていなくてもよい。要するに、検出装置１０は、反射部によって反射され検出対象領域Ａ１の少なくとも一部および仕切部材を通過した電磁波を受信部３０によって受信することができればよく、反射部を備えていてもよいし、備えていなくてもよい。

　本開示で使用される「ある方向から視て、ＡがＢと重なる」とは、文脈によって明らかにそうでないことが示されない限り、Ａの全てがＢに重なっている構成と、Ａの一部がＢに重なっている構成とを含む。

　本開示で使用されるｚ方向は必ずしも鉛直方向である必要はなく、鉛直方向に完全に一致している必要もない。したがって、本開示による種々の構造は、本明細書で説明されるｚ方向の「上」および「下」が鉛直方向の「上」および「下」であることに限定されない。たとえば、ｘ方向が鉛直方向であってもよく、またはｙ方向が鉛直方向であってもよい。

　本明細書における記述「ＡおよびＢの少なくとも一つ」は、「Ａのみ、または、Ｂのみ、または、ＡとＢの両方」を意味するものとして理解されたい。
　［付記］
　上記各実施形態および上記各変更例から把握できる技術的思想を以下に記載する。なお、各付記に記載された構成要素に対応する実施形態の構成要素の符号を括弧書きで示す。符号は、理解の補助のために例として示すものであり、各付記に記載された構成要素は、符号で示される構成要素に限定されるべきではない。

　（付記Ａ１）
　電磁波を発生させ、当該電磁波を検出対象領域（Ａ１）に向けて照射する送信部（２０）と、
　前記送信部から照射される電磁波の光路上に設けられ、前記検出対象領域の少なくとも一部を通過した電磁波を反射する反射部（６１（７０），１０１，１１１，１２５，１４１（１４４），１５５，１６３（１６６），２０３，２１０）と、
　前記反射部によって反射された電磁波を受信する受信部（３０）と、
　を備え、
　前記送信部は、前記送信部および前記受信部と前記検出対象領域とを仕切る仕切部材（５０，１２０，１３０，１５０，１６０，２００）を介して前記検出対象領域に向けて電磁波を照射し、
　前記受信部は、前記反射部によって反射されかつ前記仕切部材を介して前記検出対象領域から入力される電磁波を受信する
　検出装置（１０）。

　（付記Ａ２）
　前記仕切部材は、電磁波を透過する材料で構成されている（５０，１２０，１５０，２００）
　付記Ａ１に記載の検出装置。

　（付記Ａ３）
　前記仕切部材に取り付けられ、前記仕切部材と協働して前記検出対象領域を区画する区画部材（６０）を備え、
　前記区画部材は、電磁波を反射する材料で構成されており、
　前記受信部は、前記反射部としての前記区画部材によって反射されかつ前記仕切部材を介して前記検出対象領域から入力される電磁波を受信する
　付記Ａ２に記載の検出装置。

　（付記Ａ４）
　前記仕切部材は、前記検出対象領域を介して互いに対向する第１対向部（１５１）および第２対向部（１５２）を有し、
　前記第１対向部は、前記検出対象領域を区画する第１内面（１５１ａ）と、前記第１内面とは反対側の第１外面（１５１ｂ）と、を含み、
　前記第２対向部は、前記検出対象領域を区画する第２内面（１５２ａ）と、前記第２内面とは反対側の第２外面（１５２ｂ）と、を含み、
　前記送信部および前記受信部は、前記第１外面と対向する位置に配置されており、
　前記反射部（１５５）は、前記第２対向部における前記送信部と対向する位置に配置されている
　付記Ａ２に記載の検出装置。

　（付記Ａ５）
　前記反射部（１５５）は、前記第２内面に設けられている
　付記Ａ４に記載の検出装置。

　（付記Ａ６）
　前記反射部（１５５）は、前記第２外面に設けられている
　付記Ａ４に記載の検出装置。

　（付記Ａ７）
　前記仕切部材は円筒状であり、
　前記第１対向部および前記第２対向部は円弧状に湾曲しており、
　前記反射部は、前記第２対向部に沿って湾曲している
　付記Ａ５または付記Ａ６に記載の検出装置。

　（付記Ａ８）
　前記仕切部材は、底部（２０１）と、前記底部から高さ方向に起立した側部（２０２）と、を有し、検出対象物を収容可能な収容部材（２００）であり、
　前記検出対象領域は、前記収容部材の内部空間であり、
　前記送信部および前記受信部を含むセンサユニット（４０）は、前記側部において前記高さ方向に所定の間隔で並べて複数設けられており、
　前記反射部（２０３）は、前記底部から起立し、かつ、前記側部と前記検出対象領域の少なくとも一部とを介して前記複数のセンサユニットと対向している
　付記Ａ２に記載の検出装置。

　（付記Ａ９）
　前記仕切部材は、
　電磁波を反射する材料によって構成された本体部（１３１，１６１）と、
　前記本体部における前記送信部および前記受信部と前記検出対象領域との間の部分に設けられ、電磁波を透過する材料によって構成された窓部（１３５，１６５）と、
　を含み、
　前記送信部は、前記窓部を介して前記検出対象領域に向けて電磁波を照射し、
　前記受信部は、前記反射部によって反射されかつ前記窓部を介して前記検出対象領域から入力される電磁波を受信する
　付記Ａ１に記載の検出装置。

　（付記Ａ１０）
　前記本体部（１３１）および前記窓部（１３４）と協働して前記検出対象領域を区画する区画部（１４０）を備え、
　前記区画部は、電磁波を反射する材料によって形成され、前記反射部（１４４）を構成しており、
　前記受信部は、前記区画部によって反射された電磁波を受信する
　付記Ａ９に記載の検出装置。

　（付記Ａ１１）
　前記本体部（１６１）は、
　前記検出対象領域を介して互いに対向する第１対向部（１６２）および第２対向部（１６３）を有し、
　前記第１対向部は、前記検出対象領域を区画する第１内面（１６２ａ）と、前記第１内面とは反対側の第１外面（１６２ｂ）と、を含み、
　前記第２対向部は、前記検出対象領域を区画する第２内面（１６３ａ）と、前記第２内面とは反対側の第２外面（１６３ｂ）と、を含み、
　前記送信部および前記受信部は、前記第１外面と対向する位置に配置されており、
　前記窓部（１６５）は、前記第１対向部における前記送信部および前記受信部と対向する位置に設けられ、
　前記反射部は、前記第２対向部における前記窓部と対向する位置に設けられている
　付記Ａ９に記載の検出装置。

　（付記Ａ１２）
　前記反射部（６１（７０），１０１，１１１，１２５，１４１（１４４），１５５，１６３（１６６），２０３，２１０）は、前記仕切部材および前記検出対象領域を介して前記送信部と対向する位置に設けられており、
　前記受信部は、前記仕切部材および前記検出対象領域を介して前記反射部と対向する位置に設けられ、前記反射部によって反射されかつ前記検出対象領域および前記仕切部材を通過した電磁波を受信する
　付記Ａ１に記載の検出装置。

　（付記Ａ１３）
　前記反射部（１０１）は、前記送信部に対して当該送信部からの電磁波の照射方向に離れた位置に設けられ、当該照射方向に凹むように湾曲している湾曲部を含む
　付記Ａ１２に記載の検出装置。

　（付記Ａ１４）
　前記反射部（１１１，１２５）は、
　前記送信部に対して当該送信部からの電磁波の照射方向に離れた位置に設けられ、前記送信部から照射された電磁波を反射する第１ミラー部（１１２，１２６）と、
　前記第１ミラー部によって反射された電磁波をさらに反射する第２ミラー部（１１３，１２７）と、
　を含む複数のミラー部によって構成されており、
　前記検出対象領域は、前記第１ミラー部と前記第２ミラー部との間に介在しており、
　前記送信部から照射された電磁波は、前記複数のミラー部を介して前記受信部に到達するように構成されている
　付記Ａ１に記載の検出装置。

　（付記Ａ１５）
　前記受信部は、前記第２ミラー部によって反射された電磁波を受信するものであり、
　前記第１ミラー部（１１２）は、前記送信部からの電磁波の照射方向に凹むように湾曲しており、
　前記第２ミラー部（１１３）は、前記受信部から離れる方向に凹むように湾曲している
　付記Ａ１４に記載の検出装置。

　（付記Ａ１６）
　前記反射部（１５５）は、前記検出対象領域外に設けられている
　付記Ａ１に記載の検出装置。

　（付記Ａ１７）
　前記反射部（１１１，１２５，１５５）は、前記検出対象領域内に設けられている
　付記Ａ１に記載の検出装置。

　（付記Ａ１８）
　前記送信部が照射する電磁波はテラヘルツ波である
　付記Ａ１～Ａ１７のうちいずれか１つに記載の検出装置。

　（付記Ａ１９）
　前記検出装置は、前記検出対象領域内における検出対象物の有無または当該検出対象物の状態を検出するものであり、
　前記検出対象物は気体または液体である
　付記Ａ１～Ａ１８のうちいずれか１つに記載の検出装置。

　（付記Ａ２０）
　前記送信部から照射される電磁波の強度と、前記受信部によって受信された電磁波の強度とに基づいて、前記検出対象物の有無または前記検出対象物の状態を判定する制御回路を備えている
　付記Ａ１～Ａ１９のうちいずれか１つに記載の検出装置。

　（付記Ｂ１）
　電磁波を発生させる送信部（２０）と、電磁波を受信する受信部（３０）と、を備えた検出装置（１０）を用いて検出対象領域（Ａ１）内の検出対象物（Ｘ）を検出する検出方法であって、
　前記送信部が、前記送信部および前記受信部と前記検出対象領域とを仕切る仕切部材（５０，１２０，１３０，１５０，１６０，２００）を介して、前記検出対象領域に向けて電磁波を照射することと、
　前記送信部から照射される電磁波の光路上に設けられた反射部（６１（７０），１０１，１１１，１２５，１４１（１４４），１５５，１６３（１６６），２０３，２１０）が、前記検出対象領域の少なくとも一部を通過した電磁波を反射することと、
　前記受信部が、前記反射部によって反射されかつ前記仕切部材を介して前記検出対象領域から入力される電磁波を受信することと、
　を含む、検出方法。

　（付記Ｂ２）
　前記仕切部材（５０，１２０，１５０，２００）は、電磁波を透過する材料で構成されている
　付記Ｂ１に記載の検出方法。

　（付記Ｂ３）
　前記検出装置は、前記仕切部材に取り付けられ、前記仕切部材と協働して前記検出対象領域を区画する区画部材（６０）を備え、
　前記区画部材は、電磁波を反射する材料で構成されており、
　前記受信部は、前記反射部としての前記区画部材によって反射されかつ前記仕切部材を介して前記検出対象領域から入力される電磁波を受信する
　付記Ｂ２に記載の検出方法。

　（付記Ｂ４）
　前記仕切部材は、前記検出対象領域を介して互いに対向する第１対向部（１５１）および第２対向部（１５２）を有し、
　前記第１対向部は、前記検出対象領域を区画する第１内面（１５１ａ）と、前記第１内面とは反対側の第１外面（１５１ｂ）と、を含み、
　前記第２対向部は、前記検出対象領域を区画する第２内面（１５２ａ）と、前記第２内面とは反対側の第２外面（１５２ｂ）と、を含み、
　前記送信部および前記受信部は、前記第１外面と対向する位置に配置されており、
　前記反射部（１５５）は、前記第２対向部における前記送信部と対向する位置に配置されている
　付記Ｂ２に記載の検出方法。

　（付記Ｂ５）
　前記反射部（１５５）は、前記第２内面に設けられている
　付記Ｂ４に記載の検出方法。

　（付記Ｂ６）
　前記反射部（１５５）は、前記第２外面に設けられている
　付記Ｂ４に記載の検出方法。

　（付記Ｂ７）
　前記仕切部材は円筒状であり、
　前記第１対向部および前記第２対向部は円弧状に湾曲しており、
　前記反射部は、前記第２対向部に沿って湾曲している
　付記Ｂ５またはＢ６に記載の検出方法。

　（付記Ｂ８）
　前記仕切部材は、底部（２０１）と、前記底部から高さ方向に起立した側部（２０２）と、を有し、前記検出対象物を収容可能な収容部材（２００）であり、
　前記検出対象領域は、前記収容部材の内部空間であり、
　前記送信部および前記受信部を含むセンサユニット（４０）は、前記側部において前記高さ方向に所定の間隔で並べて複数設けられており、
　前記反射部（２０３）は、前記底部から起立し、かつ、前記側部と前記検出対象領域の少なくとも一部とを介して前記複数のセンサユニットと対向している
　付記Ｂ２に記載の検出方法。

　（付記Ｂ９）
　前記仕切部材は、
　電磁波を反射する材料によって構成された本体部（１３１，１６１）と、
　前記本体部における前記送信部および前記受信部と前記検出対象領域との間の部分に設けられ、電磁波を透過する材料によって構成された窓部（１３５，１６５）と、
　を含み、
　前記送信部は、前記窓部を介して前記検出対象領域に向けて電磁波を照射し、
　前記受信部は、前記反射部によって反射されかつ前記窓部を介して前記検出対象領域から入力される電磁波を受信する
　付記Ｂ１に記載の検出方法。

　（付記Ｂ１０）
　前記本体部（１３１）および前記窓部（１３４）と協働して前記検出対象領域を区画する区画部（１４０）を備え、
　前記区画部は、電磁波を反射する材料によって形成され、前記反射部（１４４）を構成しており、
　前記受信部は、前記区画部によって反射された電磁波を受信する
　付記Ｂ９に記載の検出方法。

　（付記Ｂ１１）
　前記本体部（１６１）は、
　前記検出対象領域を介して互いに対向する第１対向部（１６２）および第２対向部（１６３）を有し、
　前記第１対向部は、前記検出対象領域を区画する第１内面（１６２ａ）と、前記第１内面とは反対側の第１外面（１６２ｂ）と、を含み、
　前記第２対向部は、前記検出対象領域を区画する第２内面（１６３ａ）と、前記第２内面とは反対側の第２外面（１６３ｂ）と、を含み、
　前記送信部および前記受信部は、前記第１外面と対向する位置に配置されており、
　前記窓部（１６５）は、前記第１対向部における前記送信部および前記受信部と対向する位置に設けられ、
　前記反射部は、前記第２対向部における前記窓部と対向する位置に設けられている
　付記Ｂ９に記載の検出方法。

　（付記Ｂ１２）
　前記反射部（６１（７０），１０１，１１１，１２５，１４１（１４４），１５５，１６３（１６６），２０３，２１０）は、前記仕切部材および前記検出対象領域を介して前記送信部と対向する位置に設けられており、
　前記受信部は、前記仕切部材および前記検出対象領域を介して前記反射部と対向する位置に設けられ、前記反射部によって反射されかつ前記検出対象領域および前記仕切部材を通過した電磁波を受信する
　付記Ｂ１に記載の検出方法。

　（付記Ｂ１３）
　前記反射部（１０１）は、前記送信部に対して当該送信部からの電磁波の照射方向に離れた位置に設けられ、当該照射方向に凹むように湾曲している湾曲部を含む
　付記Ｂ１２に記載の検出方法。

　（付記Ｂ１４）
　前記反射部（１１１，１２５）は、
　前記送信部に対して当該送信部からの電磁波の照射方向に離れた位置に設けられ、前記送信部から照射された電磁波を反射する第１ミラー部（１１２，１２６）と、
　前記第１ミラー部によって反射された電磁波をさらに反射する第２ミラー部（１１３，１２７）と、
　を含む複数のミラー部によって構成されており、
　前記検出対象領域は、前記第１ミラー部と前記第２ミラー部との間に介在しており、
　前記送信部から照射された電磁波は、前記複数のミラー部を介して前記受信部に到達する
　付記Ｂ１に記載の検出方法。

　（付記Ｂ１５）
　前記受信部は、前記第２ミラー部によって反射された電磁波を受信するものであり、
　前記第１ミラー部（１１２）は、前記送信部からの電磁波の照射方向に凹むように湾曲しており、
　前記第２ミラー部（１１３）は、前記受信部から離れる方向に凹むように湾曲している
　付記Ｂ１４に記載の検出方法。

　（付記Ｂ１６）
　前記反射部（１５５）は、前記検出対象領域外に設けられている
　付記Ｂ１に記載の検出方法。

　（付記Ｂ１７）
　前記反射部（１１１，１２５，１５５）は、前記検出対象領域内に設けられている
　付記Ｂ１に記載の検出方法。

　（付記Ｂ１８）
　前記送信部が照射する電磁波はテラヘルツ波である
　付記Ｂ１～Ｂ１７のうちいずれか１つに記載の検出方法。

　（付記Ｂ１９）
　前記検出対象物は気体または液体である
　付記Ｂ１～Ｂ１８のうちいずれか１つに記載の検出方法。

　（付記Ｂ２０）
　前記送信部から照射される電磁波の強度と、前記受信部によって受信された電磁波の強度とに基づいて、前記検出対象物の有無または前記検出対象物の状態を判定することを含む
　付記Ｂ１～Ｂ１９のうちいずれか１つに記載の検出方法。

　１０…検出装置
　２０…送信部
　３０…受信部
　４０（４０ａ～４０ｄ）…センサユニット
　５０，１２０，１３０，１５０，１６０…仕切部材
　６０，１４０…区画部材
　６１，１００，１１０，１２２ｂ，１４１…区画底部
　７０，１１１，１２５，１４４，１５５，１６６，２１０…反射部
　１０１…湾曲部
　１１２，１２６…第１ミラー部
　１１３，１２７…第２ミラー部
　１２１，１３１，１６１…本体部
　１２２…区画部
　１３５，１６５…窓部
　１５１，１６２…第１対向部
　１５１ａ，１６２ａ…第１内面
　１５１ｂ，１６２ｂ…第１外面
　１５２，１６３…第２対向部
　１５２ａ，１６３ａ…第２内面
　１５２ｂ，１６３ｂ…第２外面
　２００…収容部材
　２０１…底部
　２０２…側部
　２０３…反射壁部（反射部）
　Ａ１…検出対象領域
　Ｘ…検出対象物

Claims

　電磁波を発生させ、当該電磁波を検出対象領域に向けて照射する送信部と、
　前記送信部から照射される電磁波の光路上に設けられ、前記検出対象領域の少なくとも一部を通過した電磁波を反射する反射部と、
　前記反射部によって反射された電磁波を受信する受信部と、
　を備え、
　前記送信部は、前記送信部および前記受信部と前記検出対象領域とを仕切る仕切部材を介して前記検出対象領域に向けて電磁波を照射し、
　前記受信部は、前記反射部によって反射されかつ前記仕切部材を介して前記検出対象領域から入力される電磁波を受信する
　検出装置。
　前記仕切部材は、電磁波を透過する材料で構成されている
　請求項１に記載の検出装置。
　前記仕切部材に取り付けられ、前記仕切部材と協働して前記検出対象領域を区画する区画部材を備え、
　前記区画部材は、電磁波を反射する材料で構成されており、
　前記受信部は、前記反射部としての前記区画部材によって反射されかつ前記仕切部材を介して前記検出対象領域から入力される電磁波を受信する
　請求項２に記載の検出装置。
　前記仕切部材は、前記検出対象領域を介して互いに対向する第１対向部および第２対向部を有し、
　前記第１対向部は、前記検出対象領域を区画する第１内面と、前記第１内面とは反対側の第１外面と、を含み、
　前記第２対向部は、前記検出対象領域を区画する第２内面と、前記第２内面とは反対側の第２外面と、を含み、
　前記送信部および前記受信部は、前記第１外面と対向する位置に配置されており、
　前記反射部は、前記第２対向部における前記送信部と対向する位置に配置されている
　請求項２に記載の検出装置。
　前記反射部は、前記第２内面に設けられている
　請求項４に記載の検出装置。
　前記反射部は、前記第２外面に設けられている
　請求項４に記載の検出装置。
　前記仕切部材は円筒状であり、
　前記第１対向部および前記第２対向部は円弧状に湾曲しており、
　前記反射部は、前記第２対向部に沿って湾曲している
　請求項５または請求項６に記載の検出装置。
　前記仕切部材は、底部と、前記底部から高さ方向に起立した側部と、を有し、検出対象物を収容可能な収容部材であり、
　前記検出対象領域は、前記収容部材の内部空間であり、
　前記送信部および前記受信部を含むセンサユニットは、前記側部において前記高さ方向に所定の間隔で並べて複数設けられており、
　前記反射部は、前記底部から起立し、かつ、前記側部と前記検出対象領域の少なくとも一部とを介して前記複数のセンサユニットと対向している
　請求項２に記載の検出装置。
　前記仕切部材は、
　電磁波を反射する材料によって構成された本体部と、
　前記本体部における前記送信部および前記受信部と前記検出対象領域との間の部分に設けられ、電磁波を透過する材料によって構成された窓部と、
　を含み、
　前記送信部は、前記窓部を介して前記検出対象領域に向けて電磁波を照射し、
　前記受信部は、前記反射部によって反射されかつ前記窓部を介して前記検出対象領域から入力される電磁波を受信する
　請求項１に記載の検出装置。
　前記本体部および前記窓部と協働して前記検出対象領域を区画する区画部を備え、
　前記区画部は、電磁波を反射する材料によって形成され、前記反射部を構成しており、
　前記受信部は、前記区画部によって反射された電磁波を受信する
　請求項９に記載の検出装置。
　前記本体部は、
　前記検出対象領域を介して互いに対向する第１対向部および第２対向部を有し、
　前記第１対向部は、前記検出対象領域を区画する第１内面と、前記第１内面とは反対側の第１外面と、を含み、
　前記第２対向部は、前記検出対象領域を区画する第２内面と、前記第２内面とは反対側の第２外面と、を含み、
　前記送信部および前記受信部は、前記第１外面と対向する位置に配置されており、
　前記窓部は、前記第１対向部における前記送信部および前記受信部と対向する位置に設けられ、
　前記反射部は、前記第２対向部における前記窓部と対向する位置に設けられている
　請求項９に記載の検出装置。
　前記反射部は、前記仕切部材および前記検出対象領域を介して前記送信部と対向する位置に設けられており、
　前記受信部は、前記仕切部材および前記検出対象領域を介して前記反射部と対向する位置に設けられ、前記反射部によって反射されかつ前記検出対象領域および前記仕切部材を通過した電磁波を受信する
　請求項１に記載の検出装置。
　前記反射部は、前記送信部に対して当該送信部からの電磁波の照射方向に離れた位置に設けられ、当該照射方向に凹むように湾曲している湾曲部を含む
　請求項１２に記載の検出装置。
　前記反射部は、
　前記送信部に対して当該送信部からの電磁波の照射方向に離れた位置に設けられ、前記送信部から照射された電磁波を反射する第１ミラー部と、
　前記第１ミラー部によって反射された電磁波をさらに反射する第２ミラー部と、
　を含む複数のミラー部によって構成されており、
　前記検出対象領域は、前記第１ミラー部と前記第２ミラー部との間に介在しており、
　前記送信部から照射された電磁波は、前記複数のミラー部を介して前記受信部に到達するように構成されている
　請求項１に記載の検出装置。
　前記受信部は、前記第２ミラー部によって反射された電磁波を受信するものであり、
　前記第１ミラー部は、前記送信部からの電磁波の照射方向に凹むように湾曲しており、
　前記第２ミラー部は、前記受信部から離れる方向に凹むように湾曲している
　請求項１４に記載の検出装置。
　前記反射部は、前記検出対象領域外に設けられている
　請求項１に記載の検出装置。
　前記反射部は、前記検出対象領域内に設けられている
　請求項１に記載の検出装置。
　前記送信部が照射する電磁波はテラヘルツ波である
　請求項１～１７のうちいずれか一項に記載の検出装置。
　前記検出装置は、前記検出対象領域内における検出対象物の有無または当該検出対象物の状態を検出するものであり、
　前記検出対象物は気体または液体である
　請求項１～１８のうちいずれか一項に記載の検出装置。
　電磁波を発生させる送信部と、電磁波を受信する受信部と、を備えた検出装置を用いて検出対象領域内の検出対象物を検出する検出方法であって、
　前記送信部が、前記送信部および前記受信部と前記検出対象領域とを仕切る仕切部材を介して、前記検出対象領域に向けて電磁波を照射することと、
　前記送信部から照射される電磁波の光路上に設けられた反射部が、前記検出対象領域の少なくとも一部を通過した電磁波を反射することと、
　前記受信部が、前記反射部によって反射されかつ前記仕切部材を介して前記検出対象領域から入力される電磁波を受信することと、
　を含む、検出方法。