JP2009042217A - 実時間工程診断ができる分光分析器 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 60
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 title claims abstract description 59
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 title abstract description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 106
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 183
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 claims description 65
- 239000000376 reactant Substances 0.000 claims description 59
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 40
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 12
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 8
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims description 5
- 238000004451 qualitative analysis Methods 0.000 claims description 5
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 8
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 6
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 4
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/031—Multipass arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/15—Preventing contamination of the components of the optical system or obstruction of the light path
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Abstract
本発明は実時間工程診断ができる分光分析器に関するものであって、より詳細には、反応器に収容される反応副産物または反応物にビームを入射しかつ出射される出射ビームを測定することにより、反応副産物または反応物の定量及び定性分析ができるようにする実時間工程診断ができる分光分析器を提供する。
【解決手段】
本発明はビームが入射される入射窓と、前記入射窓に入射されたビームが入射されて反応副産物または反応物の実時間工程診断ができるように反応副産物または反応物を一時収容する収容部と、前記収容部内から入射されたビームが反応副産物または反応物によって屈折及び散乱されて出射される出射窓と、前記収容部内部に装着されて前記入射窓に入射されたビームが前記収容部内部を少なくとも1回以上往復するように反射して前記出射窓に出射させる反射ミラーを含み、内部が真空状態となる反応器;前記反応器から出射されたビームを検出する検出器;検出されたビームの強度を用いて試料の定性及び定量を分析する分析器;とを含めてなることを特徴とする実時間工程診断ができる分光分析器を提供する。
【選択図】なし
Description
10、110:反応器 11、111:入射窓
12、112:収容部 13、116:出射窓
14:反射ミラー 15、117:圧力調節器
16:エアカーテン 17、119:注入口
20、120:検出器 30、130:分析器
113:固定部 114:クリスタル
115:プラズマ電極 118:掃除用ポート
1110:第1ガス収容部 1111:収容部入射窓
1113:長さ調節部
1120:第2ガス収容部 1122:収容部出射窓
1123:長さ調節部
1130:反応器 1131:入射窓
1132:出射窓
1150:ガス供給部 1151:ガス流入弁
1154:温度調節部
1160:ポンプ 1162:ガス排出弁
1200:発光部 1300:受光部
1400:演算部
1110a:第1ガス収容部 1111a:収容部入射窓
1120a:第2ガス収容部 1222a:収容部出射窓
1130a:反応器 1131a:入射窓
1132a:出射窓
Claims (23)
- ビームが入射される入射窓11と、
前記入射窓11を介して入射されたビームを用いて、反応副産物または反応物の実時間工程診断ができるように反応副産物または反応物を一時収容する収容部12と、
前記入射窓11を介して入射されたビームが前記収容部12内で反応副産物または反応物によって屈折及び散乱されて出射される出射窓13と、
前記収容部12内部に装着され、前記入射窓11に入射されたビームが前記収容部12内部を少なくとも1回以上往復するように反射して前記出射窓13に出射させる反射ミラー14を含み、内部が真空状態となる反応器10;
前記反応器10から出射されたビームを検出する検出器20;
検出されたビームの強度を用いて試料の定性及び定量を分析する分析器30とを含めてなることを特徴とする実時間工程診断ができる分光分析器。 - 前記反射ミラー14は前記入射窓11を介して入射されたビームが前記収容部12内でジグザグ流路を形成しながら往復するように設けられることを特徴とする請求項1に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。
- 前記収容部12には副産反応物または副産物が前記入射されたビームのジグザグ流路に沿って流動されるようにジグザグ流路が形成されることを特徴とする請求項2に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。
- 前記反応器10は前記反応器10内の圧力を調節するための圧力調節器15がさらに備えられることを特徴とする請求項1に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。
- 前記入射窓11及び出射窓13または反射ミラー14に反応副産物または反応物が吸着及び蒸着されることを防止するように窒素気体を注入するエアカーテン16がさらに備えられることを特徴とする請求項1に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。
- 前記反応器10は温度調節ができることを特徴とする請求項1に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。
- 前記反応器10は前記入射窓11、出射窓13及び反射ミラー14に吸着及び蒸着された試料を洗滌するために気体または液体を注入するための注入口17がさらに備えられることを特徴とする請求項1に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。
- ビームが入射される入射窓111と、
前記入射窓111を介して入射されたビームを用いて、反応副産物または反応物の実時間工程診断ができるように反応副産物または反応物を一時収容する収容部112と、
反応副産物または反応物によって屈折及び散乱されたビームが透過されるように、固定部113によって前記収容部112内に設けられるクリスタル114と、
前記クリスタル114の周辺に離隔されて備えられ、遠赤外線領域の連続輻射線を提供するプラズマ電極115と、
前記クリスタル114から出射されたビームを出射する出射窓116を含み、内部が真空状態となる反応器110;
前記反応器110から出射されたビームの屈折及び散乱を検出する検出器120;
検出されたビームの強度を用いて試料の定性及び定量を分析する分析器130とを含めてなることを特徴とする実時間工程診断ができる分光分析器。 - 前記収容部112内部に装着され、前記入射窓111を介して入射されたビームが前記クリスタル114内部を少なくとも1回以上往復して透過するように反射して、前記出射窓116を介して出射させる反射ミラーMを含むことを特徴とする請求項8に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。
- 前記反応器110は前記反応器内の圧力を調節するための圧力調節器117がさらに備えられることを特徴とする請求項8または9に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。
- 前記クリスタル114とプラズマ電極115に反応副産物または反応物が吸着及び蒸着されることを防止するように非活性気体を注入する掃除用ポート118がさらに備えられることを特徴とする請求項8または9に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。
- 前記固定部113は前記クリスタル114の温度を調節するように温度調節ができることを特徴とする請求項8または9に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。
- 前記反応器110は前記クリスタル114とプラズマ電極115に吸着及び蒸着された試料を洗滌するために前記クリスタル114とプラズマ電極115との間に気体または液体を注入するための注入口119がさらに備えられることを特徴とする請求項8または9に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。
- 前記分析器は休止期装備内部から出てくる気体を分析して装備掃除周期または保持管理周期(PM周期)分析に用いられることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1つに記載の実時間工程診断ができる分光分析器。
- ガスが注入される場合、注入されたガスが前記入射窓1131の外側面と接触できるように前記入射窓1131が設けられた部位を内包し、前記反応器1130の外側面に形成される第1ガス収容部1110と、
ガスが注入される場合、注入されたガスが前記出射窓1122の外側面と接触できるように前記出射窓1122が設けられた部位を内包し、前記反応器1130の外側面に形成される第2ガス収容部1120とを含むことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1つに記載の実時間工程診断ができる分光分析器。 - 前記第1ガス収容部1110と前記第2ガス収容部1120は相互練通されることを特徴とする請求項15に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。
- 前記第1ガス収容部1110の外部から発光されたビームが前記入射窓1131を介して入射できるように前記第1ガス収容部1110に備えられる収容部入射窓1111と、
前記出射窓1132を介して出射された光線が前記第2ガス収容部1120の外部へ出射できるように前記第2ガス収容部1120に備えられる収容部出射窓1122とを含むことを特徴とする請求項16に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。 - 前記第1ガス収容部1110及び第2ガス収容部1120はその下側端部を介して相互練通されるように連結され、第1ガス収容部1110及び第2ガス収容部1120との間に凹込部が形成されるように連結され、
前記反応器1130は前記凹込部に脱着できるように設けられることを特徴とする請求項17に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。 - 前記第1ガス収容部1110及び第2ガス収容部1120とに連結されるガス排出弁1162と、
前記ガス排出弁1162を介して前記第1ガス収容部1110及び第2ガス収容部1120とに連結されるポンプ1160とを含むことを特徴とする請求項17に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。 - 前記第1ガス収容部1110及び第2ガス収容部1120内にガスを供給するガス供給部1150と、
前記ガス供給部1150に収容されるガス温度を調節する温度調節部1154が備えられることを特徴とする請求項17に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。 - 前記第1ガス収容部1110または前記第2ガス収容部1120のうちいずれか1つまたは全ての体積が調節できることを特徴とする請求項17に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。
- 前記第1ガス収容部1110または前記第2ガス収容部1120のうち 少なくともいずれか1つは長さ調節ができる長さ調節部が形成されることを特徴とする請求項21に記載の実時間工程診断ができる分光分析器。
- 化学反応が生じる化学反応チャンバー;
前記化学反応チャンバーに備えられ、ビームが入射される入射窓;
前記化学反応チャンバー内の反応副産物または反応物によって屈折及び散乱されたビームが透過するように、固定部によって前記化学反応チャンバー内に設けられるクリスタル;
前記クリスタルの周辺に離隔されて備えられ、遠赤外線領域の連続輻射線を提供するプラズマ電極;
前記クリスタルから出射されたビームを出射するように、前記化学反応チャンバーに備えられる出射窓;
前記化学反応チャンバー内部に装着され、前記入射窓を介して入射されたビームが前記クリスタル内部を少なくとも1回以上往復して透過するように反射して前記出射窓を介して出射させる反射ミラー;
前記化学チャンバーから出射されたビームの屈折及び散乱を検出する検出器;
検出されたビームの強度を用いて試料の定性及び定量を分析する分析器とを含めてなることを特徴とする実時間工程診断ができる分光分析器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070079049A KR100892309B1 (ko) | 2007-08-07 | 2007-08-07 | 실시간 공정진단이 가능한 적외선 분광 분석기 |
KR1020070101765A KR100899435B1 (ko) | 2007-10-10 | 2007-10-10 | 반응공정 진단 구조체 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009042217A true JP2009042217A (ja) | 2009-02-26 |
Family
ID=40362709
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008154783A Pending JP2009042217A (ja) | 2007-08-07 | 2008-06-13 | 実時間工程診断ができる分光分析器 |
Country Status (2)
Country | Link |
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JP (1) | JP2009042217A (ja) |
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Publication number | Publication date |
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US20090046285A1 (en) | 2009-02-19 |
US7830505B2 (en) | 2010-11-09 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091013 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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A602 | Written permission of extension of time |
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