WO2023276337A1

WO2023276337A1 - オゾン発生体、オゾン発生ユニット及びオゾン発生器

Info

Publication number: WO2023276337A1
Application number: PCT/JP2022/013827
Authority: WO
Inventors: 洋一服部; 剛上山; 寛幸西山; 英樹蓮沼; 潤哉今泉; 昌幸瀬川; 貴之大谷; 崇広横山
Original assignee: 日本特殊陶業株式会社
Priority date: 2021-07-02
Filing date: 2022-03-24
Publication date: 2023-01-05

Abstract

オゾン発生体（３）は、第１電極（１０）と、第１電極（１０）を覆う第１誘電体（１１）と、第２電極（３０）と、第２電極（３０）を覆う第２誘電体（３１）と、を有する。第２誘電体（３１）は、第１誘電体（１１）との間に放電空間（ＤＳ）を形成する。オゾン発生体（３）は、更に、第１誘電体（１１）及び第２誘電体（３１）を支持する支持部（５０）を有する。支持部（５０）は、第１誘電体（１１）及び第２誘電体（３１）のいずれよりもヤング率が低い。

Description

オゾン発生体、オゾン発生ユニット及びオゾン発生器

　本発明は、オゾン発生体、オゾン発生ユニット及びオゾン発生器に関する。

　特許文献１には、プラズマ発生電極が開示されている。このプラズマ発生電極は、互いに対向する電極を有する。電極は、誘電体であるセラミック体と、このセラミック体の内部に配設された導電膜と、を有する。互いに対向する電極は、それぞれ保持部材によって支持される。

ＷＯ２００５／００５７９８

　特許文献１の技術では、誘電体が振動した場合に保持部材によって保持される部分に応力がかかり、誘電体が破損するおそれがある。

　本発明は、誘電体を破損しにくくすることが可能な技術を提供する。

［１］本発明のオゾン発生体は、第１電極と、第１電極を覆う第１誘電体と、第２電極と、第２電極を覆う第２誘電体と、を有する。上記オゾン発生体は、更に、第１誘電体及び第２誘電体を支持する支持部を有する。上記第１誘電体と上記第２誘電体との間には、放電空間が形成される。上記支持部は、上記第１誘電体及び上記第２誘電体のいずれよりもヤング率が低い。

　この構成によれば、第１誘電体又は第２誘電体が振動しても、支持部が支持する部分に応力がかかりにくい。このため、第１誘電体及び第２誘電体が破損しにくい。

［２］上記支持部は、上記第１誘電体及び上記第２誘電体を、上記第１誘電体及び上記第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側で片持ち支持する構成であってもよい。

　この構成によれば、第１誘電体及び第２誘電体が同じ側で片持ち支持されるため、直交方向の他端側において、第１誘電体と第２誘電体との間を開口させることができる。このため、第１誘電体と第２誘電体との間に形成される放電空間に気体が入り込みやすくなり、その結果、オゾンの発生効率を向上させることができる。

［３］上記支持部は、上記第１誘電体と上記第２誘電体との間に配置されるスペーサを有する構成であってもよい。

　この構成によれば、第１誘電体と第２誘電体との間隔を、スペーサによって容易に設定することができる。

［４］上記オゾン発生体は、上記第１電極に電気的に接続される第１端子と、上記第２電極に電気的に接続される第２端子と、を有してもよい。上記第１端子は、上記第１電極に電気的に接続される第１接続部と、上記第１接続部に連なり、上記第１誘電体の端部よりも上記一端側に突出した第１突出部と、を有してもよい。上記第２端子は、上記第２電極に電気的に接続される第２接続部と、上記第２接続部に連なり、上記第１突出部と同じ方向に突出した第２突出部と、を有してもよい。上記スペーサは、絶縁性を有する部材であり、上記第１誘電体と上記第２誘電体との間に配置されるスペーサ部と、上記スペーサ部から延びて上記第１突出部と上記第２突出部との間に配置される延設部と、を有してもよい。

　この構成によれば、第１端子と第２端子とをより確実に絶縁させることができる。

［５］上記オゾン発生体は、上記第１電極に電気的に接続される第１端子と、上記第２電極に電気的に接続される第２端子と、を有してもよい。上記第１端子は、上記第１電極に電気的に接続される第１接続部と、上記第１接続部に連なり、上記第１誘電体の端部よりも上記一端側に突出した第１突出部と、上記第１突出部の先端から屈曲して延びる第３接続部と、を有してもよい。上記第２端子は、上記第２電極に電気的に接続される第２接続部と、上記第２接続部に連なり、上記第１突出部と同じ方向に突出した第２突出部と、上記第２突出部の先端から屈曲して延びる第４接続部と、を有してもよい。

　この構成によれば、第１端子の第３接続部は第１突出部の先端から屈曲して延びるため、第１突出部の突出方向への第１端子の広がりを抑えることができる。また、第２端子の第４接続部は第２突出部の先端から屈曲して延びるため、第２突出部の突出方向への第２端子の広がりを抑えることができる。

［６］上記支持部は、上記スペーサを挟んだ上記第１誘電体及び上記第２誘電体を保持するホルダを有してもよい。

　この構成によれば、支持部のスペーサとホルダとによって、第１誘電体と第２誘電体との間隔を一定に保持することができる。

［７］上記オゾン発生体は、上記第１電極に電気的に接続される第１端子と、上記第２電極に電気的に接続される第２端子と、を有してもよい。上記第１端子は、上記第１誘電体の上記スペーサ側とは反対側に配置され、上記第２端子は、上記第２誘電体の上記スペーサ側とは反対側に配置されてもよい。上記ホルダは、上記第１端子及び上記第２端子を露出させるように切り欠いた切欠部を有してもよい。

　この構成によれば、切欠部を通して、第１端子及び第２端子を樹脂で埋めやすくなる。

［８］上記ホルダは、上記放電空間を露出させるように切り欠いた第２切欠部を有してもよい。

　この構成によれば、ホルダによって第１誘電体及び第２誘電体の外周を囲みつつも、第２切欠部を通して、放電空間への気体の流入を許容することができる。このため、ホルダを設けることによる放電空間への気体の流入量の低下を抑制することができる。

［９］上記第１誘電体と上記第２誘電体との間隔である誘電体間ギャップが、０．１５ｍｍ以上であってもよい。

　この構成によれば、放電空間へ気体が流入しやすくなり、放電空間から気体が排出されやすくなる。

［１０］本発明のオゾン発生ユニットは、［１］から［９］のいずれかのオゾン発生体と、熱硬化性樹脂と、を有する。上記オゾン発生体の上記支持部は、上記第１誘電体及び上記第２誘電体を、上記第１誘電体及び上記第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側で片持ち支持し、上記オゾン発生体は、上記第１電極に電気的に接続される第１端子と、上記第２電極に電気的に接続される第２端子と、を有する。上記第１端子は、上記第１電極に電気的に接続される第１接続部と、上記第１接続部に連なり、上記第１誘電体の端部よりも上記一端側に突出した第１突出部と、を有する。上記第２端子は、上記第２電極に電気的に接続される第２接続部と、上記第２接続部に連なり、上記第１突出部と同じ方向に突出した第２突出部と、を有する。上記熱硬化性樹脂は、上記第１突出部と上記第２突出部との間に設けられる。

　この構成によれば、第１突出部及び第２突出部がそれぞれ第１誘電体及び第２誘電体の一端側に突出した構成であるため、第１突出部と第２突出部との距離が近くなってしまう。しかしながら、第１突出部と第２突出部との間に熱硬化性樹脂が設けられ、第１突出部と第２突出部とが絶縁される構成であるため、熱硬化性樹脂によって第１突出部と第２突出部との間の絶縁性を確保できる。

［１１］本発明の第１のオゾン発生器は、気体の流路と、ファンと、［１］から［９］のいずれかのオゾン発生体と、を有する。上記ファンは、上記流路の吸気口側から排気口側に向けて気体を送り込む。上記オゾン発生体は、上記吸気口から吸い込まれた空気を原料として、上記流路にオゾンを発生させる。

　この構成によれば、［１］から［９］のいずれかのオゾン発生体をオゾン発生器に適用することができる。

［１２］上記［１１］のオゾン発生器において、上記オゾン発生体の上記支持部は、上記第１誘電体及び上記第２誘電体を、上記第１誘電体及び上記第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側で片持ち支持し、且つ上記流路の壁面よりも外側で保持されてもよい。上記オゾン発生体の上記第１誘電体及び上記第２誘電体は、上記壁面よりも内側に突出して配置されてもよい。

　この構成によれば、両持ち支持する構成又は互い違いに片持ち支持する構成と比較して、オゾン発生体を固定する構造や配線を集約することができるため、構造を簡素化できる。

［１３］上記オゾン発生器は、上記流路が内側に設けられた流路構成部を有していてもよい。上記オゾン発生器は、上記流路に中心軸を中心とした旋回流を生じさせ、上記流路の吸気口側から排気口側に向けて気体を送り込む軸流ファンと、を有していてもよい。上記オゾン発生体は、上記第１誘電体の一端と上記第２誘電体の一端とが上記流路構成部に支持されるとともに、上記第１誘電体の他端と上記第２誘電体の他端とが上記流路構成部の内壁面と離間し、上記第１誘電体と上記第２誘電体との間に放電空間が設けられていてもよい。上記第１誘電体の上記一端及び上記他端と異なる端部と、上記第１誘電体の端部に対向する上記第２誘電体の端部と、を含んで気体導入口が構成されていてもよい。上記気体導入口から気体が入り込む方向が、上記中心軸に対して上記軸流ファンの回転方向に傾いていてもよい。

　この構成によれば、気体導入口から気体が入り込む方向が、中心軸に対して軸流ファンの回転方向に傾いているため、気体導入口から放電空間に気体が導入され易くなる。そのため、オゾン発生器によるオゾン発生効率が向上する。

［１４］上記支持部は、上記第１誘電体及び上記第２誘電体を、上記第１誘電体及び上記第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側で片持ち支持していてもよい。上記第１誘電体は、上記第２誘電体と対向し、且つ上記第２誘電体との間に上記放電空間を形成する第１面を有していてもよい。上記第２誘電体は、上記第１面と対向する第２面を有していてもよい。上記オゾン発生器は、上記直交方向の他端側において上記第１面が上記第２面から離れる方向を正とした場合の上記第２面に対する上記第１面の傾斜角度θが、下記式（Ｉ）を満たす構成であってもよい。
　　　－１．８［％］≦ｔａｎθ×１００≦３．０［％］・・・式（Ｉ）

　この構成によれば、第１誘電体及び第２誘電体が同じ側で片持ち支持されるため、直交方向の他端側において、第１誘電体と第２誘電体との間を開口させることができる。このため、第１誘電体と第２誘電体との間に形成される放電空間に気体が入り込みやすくなり、その結果、オゾンの発生効率を向上させることができる。しかも、傾斜角度θが式（Ｉ）を満たす範囲に設定されるため、オゾン発生体における上記直交方向の他端側の開きが小さくなることによって放電空間に気体が流入しにくくなること、及び放電空間で生じたオゾンが排出されにくくなることを抑制することができ、且つオゾン発生体における上記直交方向の他端側の開きが大きくなることによって放電に起因する電磁ノイズの発生を抑制することができる。

［１５］本発明の第２のオゾン発生器は、気体の流路と、ファンと、上記オゾン発生体と、拡散板と、を有する。上記ファンは、上記流路の吸気口側から排気口側に向けて気体を送り込む。上記オゾン発生体は、上記流路に設けられ、上記流路にオゾンを発生させる。上記拡散板は、上記流路のうち上記オゾン発生体よりも下流側に配置される。

　この構成によれば、オゾン発生体が発生させたオゾンが、より下流側に配置される拡散板によって拡散されるため、流路の排気口付近におけるオゾン濃度を分散させることができる。

　本発明によれば、誘電体を破損しにくくすることができる。

図１は、第１実施形態のオゾン発生器の斜視図である。図２は、オゾン発生器の断面の斜視図である。図３は、図２とは異なる切断面におけるオゾン発生器の断面図である。図４は、オゾン発生体の斜視図である。図５は、オゾン発生体を短手方向から見た図である。図６は、オゾン発生体を並び方向から見た図である。図７は、オゾン発生体の分解斜視図である。図８は、オゾン発生体のホルダを取り付ける前の状態を示す斜視図である。図９は、図６のＡ－Ａ線断面図である。図１０は、樹脂部材を省略した状態において、オゾン発生体が保持部に保持された状態を示す斜視図である。図１１は、図１０に示すオゾン発生体において、オゾン発生体が長手方向に沿う切断面で切断された状態の断面図である。図１２は、樹脂部材を省略していない状態における図１１相当図である。図１３は、オゾン発生器の電気的構成を示すブロック図である。図１４は、第２実施形態のオゾン発生体を短手方向から見た図である。図１５は、第１電極及び第２電極の先端部分の拡大図である。図１６は、オゾン発生量に関する実験結果を示す説明図である。図１７は、ノイズに関する実験結果を示す説明図である。図１８は、オゾン発生量及びノイズに関する実験結果を示す説明図である。図１９は、第３実施形態のオゾン発生体の第２面に対する第１面の傾斜角度を説明する説明図である。図２０は、第３実施形態の実験結果を示す説明図である。図２１は、第４実施形態におけるフィンガーガードを取り外した状態のオゾン発生器の平面図である。図２２は、図２と同じ切断面の側方から見た断面図である。図２３は、図２２におけるオゾン発生体及び拡散板周辺の部分拡大図である。図２４は、第５実施形態における図２相当の断面図である。図２５は、第５実施形態における図３相当の断面図である。図２６は、図２４と同じ切断面の側方から見た断面図である。図２７は、第６実施形態のオゾン発生器における図２６相当の断面の一部を示す図である。図２８は、第７実施形態のオゾン発生器における図２６相当の断面図である。図２９は、旋回流角度の測定方法を説明する説明図である。

　１．第１実施形態
　　１－１．オゾン発生器の構成
　図１に示すオゾン発生器１００は、外部の空気（酸素を含む空気）を吸い込み、誘電体バリア放電により空気中の酸素からオゾンを発生させ、外部に排出させる装置である。オゾン発生器１００は、図２及び図３に示すように、気体の流路１と、ファン２と、オゾン発生体３と、を有する。

　流路１は、吸気口５と、排気口６と、を有する。吸気口５は、オゾン発生器１００の外部の気体（例えば空気）を流路１内に取り込む。排気口６は、流路１内の気体を、オゾン発生器１００の外部に排出する。流路１は、吸気口５から吸い込んだ気体を排気口６から排出させる。

　流路１は、所定のＺ方向（本実施形態では上下方向）に沿って延びている。吸気口５は、Ｚ方向の一端側（本実施形態では下端側）に配置され、Ｚ方向の一端側（本実施形態では下方）に開口している。吸気口５の吸気方向は、Ｚ方向の他端側（本実施形態では上方）である。排気口６は、Ｚ方向の他端側（本実施形態では上端側）に配置され、Ｚ方向の他端側（本実施形態では上方）に開口している。排気口６の排気方向は、Ｚ方向の他端側（本実施形態では上方）である。

　吸気口５は、Ｚ方向を軸方向とした環状（具体的には円環状）に沿って配置されている。排気口６は、吸気口５が配置される環状部分よりも内側に配置されている。排気口６は、円形状に配置されている。

　流路１は、第１流路７と、第１流路７よりも下流側の第２流路８と、を有する。第１流路７は、吸気口５から排気口６側に延びている。第１流路７は、環状の吸気口５から吸い込まれた気体を吸気口５の内周よりも内側に誘導する。第２流路８は、第１流路７の下流側の端部から排気口６側に向けてＺ方向の他端側（本実施形態では上方）に延びている。第２流路８の下流側の端部は、排気口６につながっている。第２流路８は、環状の吸気口５の内周よりも外形が小さく、第１流路７によって内側に誘導された気体を排気口６側（本実施形態では上方）に誘導し、排気口６から排出させる。

　ファン２は、流路１に気流（具体的には旋回流）を生成する装置であり、本実施形態では軸流ファンである。ファン２は、流路１の吸気口５側から排気口６側に向けて気体を送り込む送風動作を行う。ファン２は、モータ（図示略）を有している。ファン２は、電力が供給されることでモータが駆動し、送風動作を行う。ファン２は、流路１（具体的には第２流路８）に設けられる。ファン２は、ファン２の中心軸をＺ方向に向けた状態で配置される。ファン２は、Ｚ方向を軸方向として回転する。

　オゾン発生体３は、交流電圧が印加されることによって後述する放電空間ＤＳで誘電体バリア放電を生じさせ、吸気口５から吸い込まれた空気中の酸素を原料として流路１にオゾンを発生させるものである。オゾン発生体３は、図４から図７に示すように、第１電極１０と、第２電極３０と、第１誘電体１１と、第２誘電体３１と、第１端子１２と、第２端子３２と、支持部５０と、を有する。

　第１電極１０及び第２電極３０は、金属製であり、本実施形態ではタングステン（Ｗ）を材料として形成される。なお、第１電極１０及び第２電極３０は、タングステンに限らず、例えばモリブデン（Ｍｏ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）などを材料として形成されてもよい。第１電極１０及び第２電極３０は、薄い金属層として構成され、所定方向に長い形態をなしている。第１電極１０及び第２電極３０（金属層）の厚さは、密着強度を確保する観点から１０μｍ以上であることが望ましく、厚過ぎることによる剥がれを抑制する観点から５０μｍ以下とすることが望ましい。第１電極１０及び第２電極３０の幅と長さは、必要なオゾン発生量に応じて任意に設定される。第１電極１０及び第２電極３０の幅ＷＥ（図６参照）は、１ｍｍとする。第１電極１０及び第２電極３０の長さは、放電を生じさせる部分の長さＬＥ（第１電極１０と第２電極３０との間に支持部５０が存在しない部分の長さＬＥ）（図５参照）を基準に設定される。長さＬＥは、１０ｍｍとする。

　第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、本実施形態ではアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）を材料として形成される。なお、第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、アルミナに限らず、ガラス（ＳｉＯ_２）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、酸化イットリウム（Ｙ_２Ｏ_３）等の別のセラミックやそれらの混合物を材料として形成されてもよい。第１誘電体１１は、第１電極１０を覆い、第２誘電体３１は、第２電極３０を覆う。第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、それぞれ板状をなしている。

　第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の厚さ方向に並んで配置される。つまり、第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の厚さ方向に対向する。第１誘電体１１と第２誘電体３１との間には、放電空間ＤＳが形成される。互いに対向する面は、それぞれ平坦な面であり、矩形状をなす。互いに対向する面のうち一方の面は、他方の面に沿って延びる。互いに対向する面のうち一方の面は、他方の面に対して平行であってもよいし、平行でなくてもよい。第１電極１０及び第２電極３０の厚さ方向は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の厚さ方向と同じである。第１誘電体１１及び第２誘電体３１の並び方向を、以下では「並び方向」という。

　第１電極１０は、並び方向において、第１誘電体１１内の第２電極３０側に寄った位置に配置される。第２電極３０は、並び方向において、第２誘電体３１内の第１電極１０側に寄った位置に配置される。第１電極１０及び第２電極３０は、薄く形成された誘電体層の上面に印刷等により配置される。その上に、更に厚めの誘電体層を形成することで第１電極１０を覆う第１誘電体１１及び第２電極３０を覆う第２誘電体３１が製造される。

　第１誘電体１１のうち第１電極１０よりも放電空間ＤＳ側の厚さ（第１電極１０の放電空間ＤＳ側の面と第１誘電体１１の放電空間ＤＳ側の面との距離）をＤ１とする（図５参照）。第２誘電体３１のうち第２電極３０よりも放電空間ＤＳ側の厚さ（第２電極３０の放電空間ＤＳ側の面と第２誘電体３１の放電空間ＤＳ側の面との距離）をＤ２とする（図５参照）。この場合、Ｄ１＋Ｄ２の最小値は、下記式（１）によって求められる。
　　　（Ｄ１＋Ｄ２の最小値）＝（オゾン発生体３に印加する電圧［ｋＶ］）／（第１誘電体１１及び第２誘電体３１の材料の耐電圧（ｋＶ／ｍｍ）
・・・式（１）
　アルミナの耐電圧は１５ｋＶ／ｍｍであり、高圧の交流電圧のピーク値を４．５ｋＶとすると、Ｄ１＋Ｄ２の最小値は、０．３ｍｍとなる。
　他方、Ｄ１，Ｄ２が厚過ぎると、第１誘電体１１及び第２誘電体３１での損失が大きくなり、電力効率が低下する。このため、Ｄ１＋Ｄ２の最大値は、Ｄ１＋Ｄ２の最小値の２倍程度となる。具体的には、Ｄ１＋Ｄ２は、０．３ｍｍ以上且つ０．６ｍｍ以下であることが好ましい。つまり、Ｄ１，Ｄ２は、それぞれ０．１５ｍｍ以上且つ０．３ｍｍ以下であることが好ましい。本実施形態では、製造の容易さを考慮して、Ｄ１，Ｄ２をそれぞれ０．１５ｍｍとしている。

　第１電極１０及び第２電極３０の延び方向（長手方向）は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の長手方向（以下、単に「長手方向」という）と同じである。長手方向は、「第１誘電体及び第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向」の一例に相当する。長手方向の一端側（一方側）は、直交方向の一端側（一方側）の一例に相当する。長手方向の他端側（他方側）は、直交方向の他端側（他方側）の一例に相当する。なお、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の短手方向は、以下では、単に「短手方向」という。

　第１誘電体１１は、第１誘電体本体１３と、第１張出部１４と、第１凹部１５と、を有する。第１誘電体本体１３は、板状をなし、直方体形状をなす。第１誘電体本体１３は、第１電極１０を覆う。第１張出部１４は、長手方向の一端側において、第１誘電体１１の外側（第２誘電体３１側とは反対側）に張り出した形態をなしている。第１張出部１４は、第１誘電体１１における短手方向全領域にわたって形成されている。第１張出部１４は、第１誘電体１１の長手方向の一端まで形成されている。第１凹部１５は、第１誘電体１１の外側（第２誘電体３１側とは反対側）の面において、長手方向の一端側に形成されている。第１凹部１５は、第１張出部１４を凹ませた形態をなしている。第１凹部１５は、第１誘電体１１の長手方向の一端に開口している。

　第２誘電体３１は、第２誘電体本体３３と、第２張出部３４と、第２凹部３５と、を有する。第２誘電体本体３３は、板状をなし、直方体形状をなす。第２誘電体本体３３は、第２電極３０を覆う。第２誘電体本体３３は、第１誘電体本体１３と対向し、第１誘電体本体１３との間に放電空間ＤＳを形成する。第２張出部３４は、長手方向の一端側において、第２誘電体３１の外側（第１誘電体１１側とは反対側）に張り出した形態をなしている。第２張出部３４は、第２誘電体３１における短手方向全領域にわたって形成されている。第２張出部３４は、第２誘電体３１の長手方向の一端まで形成されている。第２凹部３５は、第２誘電体３１の外側（第１誘電体１１側とは反対側）の面において、長手方向の一端側に形成されている。第２凹部３５は、第２張出部３４を凹ませた形態をなしている。第２凹部３５は、第２誘電体３１の長手方向の一端に開口している。

　第１誘電体１１（具体的には第１誘電体本体１３）と第２誘電体３１（具体的には第２誘電体本体３３）との距離である誘電体間ギャップＧＣ（図５参照）は、空気の耐電圧が３．０ｋＶ／ｍｍ程度であることを考慮すると、オゾン発生体３に印加する交流電圧のピーク値を４．５ｋＶとする場合、放電させるためには１．５ｍｍ未満とする必要がある。しかし、放電時間を長くし安定した放電を維持するためには、その３分の１以下、つまり０．５ｍｍ以下にすることが好ましい。他方、誘電体間ギャップＧＣが小さくなりすぎると、供給される空気が不足し、オゾン発生量が低下する。このため、誘電体間ギャップＧＣは、０．２ｍｍ以上であることが好ましい。例えば、誘電体間ギャップＧＣは、０．３７ｍｍであることが好ましい。なお、誘電体間ギャップＧＣは、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の互いの対向面が平行でない場合、第１電極１０及び第２電極３０の先端（長手方向の他端）の位置を基準とする。

　第１誘電体１１及び第２誘電体３１の固有振動数Ｆｎ［Ｈｚ］は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１が片持ち支持される構造において、それぞれ２００Ｈｚ以上である。固有振動数Ｆｎ［Ｈｚ］は、実験結果から導き出すようにしてもよいし、演算式によって求めるようにしてもよい。固有振動数Ｆｎ［Ｈｚ］は、演算式によって求める場合、例えば、以下の式（Ａ）によって求めることができる。

　Ｋｎは、定数であり、第１誘電体１１及び第２誘電体３１が片持ち支持される構造である場合には１．８７５である。Ｅ［Ｐａ］は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１のヤング率である。Ｅ［Ｐａ］は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１がアルミナである場合、２８０ＧＰａ程度である。Ｉ［ｍ^４］は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の断面２次モーメントである。ρ［ｋｇ／ｍ^３］は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の密度である。Ａ［ｍ^２］は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の断面積である。Ｌ［ｍ］は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１における支持部５０によって支持される固定端から自由端までの長さである（図５参照）。

　Ｌは、第１電極１０及び第２電極３０の長さＬＥよりも長いことが必要である。他方、Ｌが長すぎると固有振動数Ｆｎ［Ｈｚ］が小さくなる。このため、本実施形態では、Ｌは２１．５ｍｍとしている。この場合、固有振動数Ｆｎ［Ｈｚ］は、３５００Ｈｚとなり、２００Ｈｚを大きく超える。仮に第１誘電体１１及び第２誘電体３１の厚さを１．１５ｍｍとした場合、Ｌが９０ｍｍ以下であれば、固有振動数Ｆｎ［Ｈｚ］が２００Ｈｚ以上となる。また、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の厚さをより厚くすれば、Ｌがより長くても、固有振動数Ｆｎ［Ｈｚ］を２００Ｈｚとすることができる。

　第１電極１０及び第２電極３０は、互いに同一の大きさで且つ同一形状をなしており、面対称となる位置関係で配置される。第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、互いに同一の大きさで且つ同一形状をなしており、面対称となる位置関係で配置される。

　第１端子１２及び第２端子３２は、それぞれ金属製であり、板状をなす。第１端子１２は、第１誘電体１１のスペーサ５１側とは反対側に配置されている。第２端子３２は、第２誘電体３１のスペーサ５１側とは反対側に配置されている。第１端子１２は、第１凹部１５に配置され、第２端子３２は、第２凹部３５に配置される。第１端子１２は、第１電極１０に電気的に接続され、第２端子３２は、第２電極３０に電気的に接続される。第１端子１２及び第２端子３２は、それぞれ短手方向から見てＬ字型をなす。

　第１端子１２は、第１接続部２１と、第１突出部２２と、第３接続部２３と、を有する。第１接続部２１は、図５及び図６に示すように、第１誘電体１１に設けられた第１導電部２４を介して第１電極１０に電気的に接続される。第１導電部２４は、本実施形態では、第１誘電体１１に形成されるビアである。第１導電部２４は、第１電極１０から第１誘電体１１の外側（第２誘電体３１側とは反対側）の面まで延びている。第１誘電体１１の外側（第２誘電体３１側とは反対側）の面には、第１導電部２４が露出しており、第１導電部２４の露出部分にランドが形成される。このランドに対して、第１接続部２１がロウ付けされる。これにより、第１端子１２が第１電極１０に電気的に接続される。第１突出部２２は、第１接続部２１の一端に連なり、第１誘電体１１の端部よりも一端側に突出している。つまり、第１突出部２２は、並び方向から見た場合に、第１誘電体１１の一端から第１誘電体１１と離れる方向に突出している。第３接続部２３は、第１突出部２２の先端（一端側の端部）から屈曲して並び方向に延びている。

　第２端子３２は、第２接続部４１と、第２突出部４２と、第４接続部４３と、を有する。第２接続部４１は、第２誘電体３１に設けられる第２導電部４４を介して第２電極３０に電気的に接続される。第２導電部４４は、本実施形態では、第２誘電体３１に形成されるビアである。第２接続部４１は、上述した第１接続部２１と第１電極１０との接続と同様に、第２電極３０に接続される。第２突出部４２は、第２接続部４１の一端に連なり、第２誘電体３１の端部よりも一端側に突出している。つまり、第２突出部４２は、並び方向から見た場合に、第２誘電体３１の一端から第２誘電体３１と離れる方向に突出している。第４接続部４３は、第２突出部４２の先端（一端側の端部）から屈曲して並び方向に延びている。第３接続部２３及び第４接続部４３は、互いに反対方向に延びている。

　支持部５０は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を支持する。支持部５０は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を長手方向の一端側で片持ち支持する。つまり、支持部５０は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を同じ側で片持ち支持する。支持部５０は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１のいずれよりもヤング率が低い。支持部５０は、樹脂（例えば、ポリカーボネート（ＰＣ）、ＡＢＳ、ＰＶＣ、ＰＰなど）を材料として形成される。これらの材料のヤング率は、１ＧＰａから２．５ＧＰａ程度であり、アルミナのヤング率２８０ＧＰａと比較して非常に小さい。このため、アルミナで形成される第１誘電体１１及び第２誘電体３１の振動を、支持部５０によって吸収しやすい。

　支持部５０は、スペーサ５１と、ホルダ５２と、を有する。ホルダ５２は、例えば樹脂（例えば、ＰＥ、ＰＰ、ＰＳ、ＡＢＳ、ＰＶＣ、ＰＥＴ、ＰＯＭ、ＰＣ、ＰＢＴ、ＰＰＳ、ＰＥＩ、ＰＴＦＥ、ＰＡＩ等）、セラミック等を材料として形成される。

　スペーサ５１は、長手方向の一端側において第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に配置され、長手方向の他端側において第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に放電空間ＤＳを形成させる。スペーサ５１は、後述する樹脂部材８９とは異なる部材である。すなわち、スペーサ５１は、単一部品（複数の独立した部品の組み合わせではない部品）であり、樹脂部材８９とは別体として構成されている。スペーサ５１は、樹脂部材８９の形成後に樹脂部材８９と一体的となるが、支持部５０を第１誘電体１１及び第２誘電体３１に組み付けた時点（スペーサ５１を第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に配置した時点）では、単一の部品として構成されている。スペーサ５１は、板状をなしている。スペーサ５１は、厚さ方向を、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の並び方向に向けて配置される。スペーサ５１は、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に配置されるスペーサ部５３と、スペーサ部５３から長手方向の一端側に延びて第１突出部２２と第２突出部４２との間に配置される延設部５４と、を有する。このように、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間隔をスペーサ５１によって容易に設定しつつ、第１導体部３Ｘと第２導体部３Ｙとの間の絶縁性を確保できる。

　スペーサ部５３は、板状をなす。スペーサ部５３は、短手方向において、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の範囲内に収まる。スペーサ部５３の長手方向の一端は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の長手方向の一端よりも他端側に配置され、スペーサ部５３の長手方向の他端は、第１張出部１４及び第２張出部３４の他端よりも一端側に配置される。

　延設部５４は、板状をなす。延設部５４は、スペーサ部５３よりも厚さが小さい。なお、延設部５４は、スペーサ部５３よりも厚さが小さくなくてもよく、例えばスペーサ部５３と同じ厚さであってもよい。延設部５４は、短手方向において、第１端子１２及び第２端子３２の両側の端部よりも外側まで延びている。延設部５４は、長手方向において、第１端子１２及び第２端子３２の一端側の端部よりも一端側に延びている。つまり、延設部５４は、長手方向において、第１端子１２及び第２端子３２よりも第１誘電体１１及び第２誘電体３１から離れる方向に延びている。

　オゾン発生体３は、スペーサ５１に、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を接着させる両面テープ５５を有する。第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、それぞれ両面テープ５５によってスペーサ５１のスペーサ部５３に接着される。なお、両面テープ５５の代わりに、スペーサ５１に接着剤を塗布してもよい。

　スペーサ５１は、例えば樹脂（例えば、ＰＥ、ＰＰ、ＰＳ、ＡＢＳ、ＰＶＣ、ＰＥＴ、ＰＯＭ、ＰＣ、ＰＢＴ、ＰＰＳ、ＰＥＩ、ＰＴＦＥ、ＰＡＩ）、セラミック等を材料として形成される。本実施形態の一実施例として、スペーサ５１は、ＰＥＴを材料として形成される。

　ホルダ５２は、スペーサ５１を挟んだ第１誘電体１１及び第２誘電体３１を保持する部材である。ホルダ５２は、環状（具体的には角筒状）をなしており、スペーサ５１を挟んだ第１誘電体１１及び第２誘電体３１の外周を囲むように配置される。なお、ホルダ５２は、円環状であってもよいし、円環状以外であってもよい。ホルダ５２は、ホルダ本体５６と、係止部５７と、第１切欠部５８と、第２切欠部５９と、を有する。

　ホルダ本体５６は、環状（具体的には角筒状）をなしている。なお、ホルダ本体５６は、円環状であってもよいし、円環状以外であってもよい。ホルダ本体５６は、並び方向の両側に配置される一対の第１壁部５６Ａと、短手方向の両側に配置される一対の第２壁部５６Ｂと、を有する。

　係止部５７は、ホルダ本体５６における長手方向の他端側の内面から内側に突出する形態をなしている。係止部５７は、一対の第１壁部５６Ａの内面からそれぞれ突出している。係止部５７は、第１壁部５６Ａにおける短手方向全領域にわたって形成されている。

　第１切欠部５８は、第１端子１２及び第２端子３２を露出させるように切り欠いた形態をなしている。第１切欠部５８は、一対の第１壁部５６Ａにおける長手方向の一端側の端部を切り欠いた形態をなしている。

　第２切欠部５９は、放電空間ＤＳを露出させるように切り欠いた形態をなしている。第２切欠部５９は、一対の第２壁部５６Ｂにおける長手方向の他端側の端部を切り欠いた形態をなしている。第２切欠部５９の長手方向の一端は、第１切欠部５８の長手方向の他端よりも他端側に配置されている。第２切欠部５９の幅（並び方向の間隔）は、誘電体間ギャップＧＣよりも大きいことが好ましい。

　ホルダ５２は、図８に示すように、スペーサ５１を挟んだ第１誘電体１１及び第２誘電体３１に対し、長手方向の他端側から挿し通される。ホルダ５２は、係止部５７が第１誘電体１１の第１張出部１４及び第２誘電体３１の第２張出部３４の長手方向の端部に接触することで、位置決めされる。なお、図９に示すように、並び方向において、スペーサ５１を挟んだ状態の第１誘電体本体１３及び第２誘電体本体３３の外面同士の間隔をＬ１とし、スペーサ５１を挟んだ状態の第１張出部１４及び第２張出部３４の外面同士の間隔をＬ２とし、ホルダ５２の一対の第２壁部５６Ｂの内面同士の最小の間隔をＬ３とし、ホルダ５２の一対の係止部５７の内面同士の間隔をＬ４とした場合、以下の式（２）及び式（３）が成り立つ。
　　　Ｌ１≦Ｌ４　　　　・・・式（２）
　　　Ｌ４＜Ｌ２≦Ｌ３　・・・式（３）

　オゾン発生器１００は、図２及び図３に示すように、流路構成部６０と、周壁部６１と、底部６２と、天井部６３と、フィンガーガード６４と、吸気部６５と、拡散板６６と、を有する。

　流路構成部６０は、流路１を構成する部位である。流路構成部６０の内側に、流路１が設けられている。流路構成部６０は、周方向に複数（本実施形態では２）の分割体に分割される構造となっている。具体的には、流路構成部６０は、周方向に分割された第１分割体６０Ａ及び第２分割体６０Ｂを有し、第１分割体６０Ａ及び第２分割体６０Ｂを連結させることで構成される。

　周壁部６１は、環状（具体的には筒状、より具体的には円筒状）をなしており、流路構成部６０及び流路１の外周を囲む形態をなしている。オゾン発生器１００の外周の直径（周壁部６１の外径）は、例えば２２５ｍｍであり、オゾン発生器１００の高さは、例えば２０４ｍｍである。

　底部６２は、載置面に載置される部位である。底部６２は、上側に配置される流路構成部６０を支持する。底部６２は、環状に配置される吸気口５の内側に収まる形態をなしている。また、底部６２は、周壁部６１の内周よりも小さい外形をなしている。

　天井部６３は、オゾン発生器１００におけるＺ方向の他端側に配置され、Ｚ方向を軸方向とした環状をなしている。天井部６３の内側には、排気口６が形成されている。天井部６３は、外周が周壁部６１の他端側の端部（本実施形態では上端部）に連結されており、周壁部６１と一体に形成されている。周壁部６１及び天井部６３は、フィンガーガード６４を間に挟んで流路構成部６０の上側に配置され、流路構成部６０に支持される。周壁部６１は、載置面から浮いた状態で支持される。

　フィンガーガード６４は、複数の貫通孔が形成された平面状（本実施形態では円板状）の部位である。貫通孔は、スリット状に形成されている。フィンガーガード６４は、流路１内の排気を許容しつつ、外部からの異物（例えば指など）の侵入を抑制する機能を有する。フィンガーガード６４は、流路構成部６０及び天井部６３とは別部材として構成されている。フィンガーガード６４は、オゾン発生体３よりも下流側に配置され、拡散板６６よりも下流側に配置される。

　吸気部６５は、吸気口５を形成する部位であり、環状をなしている。吸気部６５は、周壁部６１の下端側の内周側と、底部６２の上端側の外周側との間に配置され、流路構成部６０に対して係止される。吸気部６５は、複数の吸気口５が形成されている。複数の吸気口５は、環状の吸気部６５に沿って環状に並んで配置されている。吸気口５は、径方向に長い形状をなしている。

　拡散板６６は、オゾン発生体３が発生させたオゾンを流路１内に拡散させるものである。拡散板６６は、流路１のうちオゾン発生体３よりも下流側に配置される。拡散板６６は、流路１の壁面１Ａから内側に突出した形態をなしている。拡散板６６は、壁面１Ａの周方向の一部から突出している。拡散板６６は、壁面１Ａから離れるにつれて幅が小さくなっている。拡散板６６は、扇形状をなしている。拡散板６６は、Ｚ方向の他端側から見た場合に、オゾン発生体３と重なる位置に配置される。拡散板６６は、流路構成部６０（具体的には第１分割体６０Ａ）と一体に形成されている。

　オゾン発生器１００は、図３、図１０、図１２に示すように、保持部７０と、第１相手側端子７１と、第２相手側端子７２と、ねじ７３と、交流電源７４と、樹脂部材８９と、を有する。オゾン発生体３は、保持部７０、第１相手側端子７１、第２相手側端子７２、ねじ７３、交流電源７４、及び樹脂部材８９とともにオゾン発生ユニット３Ｕを構成する。第１相手側端子７１は、本開示の「第１配線」に相当する。第２相手側端子７２は、本開示の「第２配線」に相当する。第１相手側端子７１は、第１端子１２に電気的に接続されている。第２相手側端子７２は、第２端子３２に電気的に接続されている。第１相手側端子７１と第１端子１２とによって第１導体部３Ｘが構成される。第１導体部３Ｘは、第１電極１０に電気的に接続され、第１誘電体１１において第１誘電体１１と第２誘電体３１の並び方向に対して直交する直交方向の一端側（すなわち長手方向一端側）から延びている。第２相手側端子７２と第２端子３２とによって第２導体部３Ｙが構成される。第２導体部３Ｙは、第２電極３０に電気的に接続され、第２誘電体３１において長手方向一端側（第１導体部３Ｘと同じ側）から延びている。

　図１２に示すように、第１導体部３Ｘ（より具体的には、第１接続部２１及び第１突出部２２）と、第２導体部３Ｙ（より具体的には、第２接続部４１及び第２突出部４２）は、上記並び方向で対向している。互いに対向する第１導体部３Ｘ（より具体的には、第１接続部２１及び第１突出部２２）と第２導体部３Ｙ（より具体的には、第２接続部４１及び第２突出部４２）との間に後述する樹脂部材８９（熱硬化性樹脂）が設けられている。

　保持部７０は、オゾン発生体３を保持する部位である。保持部７０は、第１収容部７５と、端子固定部７６と、第２収容部７７と、を有する。第１収容部７５は、底面７５Ｂと、底面７５Ｂから突出してホルダ５２の外周を囲む囲み部７５Ｃと、を有する。第１収容部７５には、ホルダ５２における長手方向の一端側が収容される。ホルダ５２の少なくとも一部は、第１収容部７５の開口端から突出する。このように、スペーサ５１とホルダ５２とによって第１誘電体１１と第２誘電体３１との間隔を一定に保持しつつ、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を保持部７０で保持することができる。

　第１収容部７５は、オゾン発生体３の第１端子１２及び第２端子３２が嵌まる切欠溝７５Ａを有する。端子固定部７６は、第１端子１２及び第２端子３２のそれぞれに対応して設けられている。端子固定部７６は、雌ねじ部を有する。第１端子１２の第３接続部２３は、一方の端子固定部７６に対し、ねじ７３によって第１相手側端子７１と共締めされる。第２端子３２の第４接続部４３は、他方の端子固定部７６に対し、ねじ７３によって第２相手側端子７２と共締めされる。第１相手側端子７１及び第２相手側端子７２は、それぞれ交流電源７４に電気的に接続される。

　第２収容部７７は、第１収容部７５に収容されたオゾン発生体３における長手方向の一端側を収容し、少なくとも第１端子１２及び第２端子３２の全体を収容する。第２収容部７７の内部は、少なくとも第１端子１２及び第２端子３２の全体が埋まる位置まで熱硬化性樹脂で樹脂モールドされている。すなわち、第２収容部７７内には、熱硬化性樹脂によって構成される樹脂部材８９が設けられている。樹脂部材８９は、第１収容部７５内にも埋め込まれている。第１導体部３Ｘ及び第２導体部３Ｙは、熱硬化性樹脂（樹脂部材８９）に埋設されている。第１導体部３Ｘと第２導体部３Ｙとの間に熱硬化性樹脂が設けられ、第１導体部３Ｘと第２導体部３Ｙとが絶縁されている。熱硬化性樹脂（樹脂部材８９）によって第１導体部３Ｘと第２導体部３Ｙとの間の絶縁性が確保でき、第１導体部３Ｘと第２導体部３Ｙとの間の電流リークの発生を抑制できる。また、第１導体部３Ｘ及び第２導体部３Ｙを長手方向一端側に寄せる（片持ち構造にする）ことができ、オゾン発生体３のコンパクト化を図ることができる。更に、上述したようにスペーサ部５３（延設部５４）が第１端子１２（第１突出部２２）及び第２端子３２（第２突出部４２）との間に配置されるため、第１端子１２と第２端子３２とをより確実に絶縁させることができる。第１切欠部５８の内側に設けられる熱硬化性樹脂（樹脂部材８９）によって、第１端子１２及び第２端子３２が覆われている。図１２に示すように、第１誘電体１１の一部（長手方向一端）及び第２誘電体３１の一部（長手方向一端）は樹脂部材８９に埋設されているが、樹脂部材８９の上端（第２収容部７７の開口側に露出する表面）は第２切欠部５９の下端（長手方向の一端）よりも下方（第２収容部７７の底部側）に位置している。ホルダ５２の少なくとも一部（具体的には、少なくとも第２切欠部５９の長手方向の一端よりも他端側）は、モールドされた樹脂から突出した状態となる。

　樹脂部材８９を構成する熱硬化性樹脂は、例えばＰＦ、ＥＰ（エポキシ樹脂）、ＰＵＲ、ＤＡＰ、ＳＩである。本実施形態の一実施例として、樹脂部材８９を構成する熱硬化性樹脂は、ＥＰを材料として形成される。

　樹脂部材８９は、図１２に示すように、第１部位９１と、第２部位９２と、一対の第３部位９３と、を有している。第１部位９１は、第１収容部７５内の下端側に充填されている。第１部位９１は、図１２に示す断面視で、Ｕ字状であり、延設部５４の下端側部分を覆っている。第２部位９２は、第１誘電体１１の下端、第２誘電体３１の下端、第１端子１２、及び第２端子３２の間に充填されている。第２部位９２は、延設部５４の上端側部分を並び方向で挟んでいる。第１部位９１及び第２部位９２は、一体的に連なって第１収容部７５内に充填されている。第１部位９１及び第２部位９２は、例えば加熱して軟化した状態で第１収容部７５の切欠溝７５Ａ（図１１参照）を介して第１収容部７５内に充填された後、硬化させて成形される。

　一対の第３部位９３は、図１２に示すように、第１端子１２（具体的には第１突出部２２）及び第２端子３２（具体的には第２突出部４２）を挟んでいる。第１誘電体１１側の第３部位９３は、ホルダ５２の第１切欠部５８内、及び第１誘電体１１の第１凹部１５内に充填されている。第１誘電体１１側の第３部位９３は、第１端子１２の第３接続部２３を上方側から覆っている。第１誘電体１１側の第３部位９３は、第１端子１２の曲がり部分（第１突出部２２と第３接続部２３との間の部分）の内側まで充填されている。第２誘電体３１側の第３部位９３は、ホルダ５２の第１切欠部５８、及び第２誘電体３１の第２凹部３５に充填されている。第２誘電体３１側の第３部位９３は、第２端子３２の第４接続部４３を上方側から覆っている。第２誘電体３１側の第３部位９３は、第２端子３２の曲がり部分（第２突出部４２と第４接続部４３との間の部分）の内側まで充填されている。

　図１２に示すように、第１相手側端子７１及び第２相手側端子７２は、樹脂部材８９によって包囲されている。そのため、樹脂部材８９によって第１相手側端子７１及び第２相手側端子７２を固定して遊びを抑制できる。樹脂部材８９は、それぞれのねじ７３の頭部を上方側から覆っている。

　保持部７０は、流路構成部６０の外側面に対して固定される。保持部７０は、図３に示すように、流路１の壁面１Ａの外側に配置され。壁面１Ａの外側でオゾン発生体３の支持部５０を保持する。これにより、第１誘電体１１の長手方向の一端、及び第２誘電体３１の長手方向の一端は、流路構成部６０に支持される。流路１の壁面１Ａには、オゾン発生体３を内側に突出させる開口部１Ｂが形成されている。オゾン発生体３の第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、開口部１Ｂから壁面１Ａの内側に突出した状態で配置される。第１電極１０の少なくとも一部及び第２電極３０の少なくとも一部は、壁面１Ａよりも内側に配置される。また、ホルダ５２も、開口部１Ｂから壁面１Ａの内側に突出した状態で配置される。これにより、第１誘電体１１の長手方向の他端、及び第２誘電体３１の長手方向の他端は、流路構成部６０の内壁面（壁面１Ａ）と離間している。

　交流電源７４は、トランスを有し、交流電力を供給しうる。交流電源７４は、オゾン発生器１００の外部の商用電源から供給される電力に基づいて所望の交流電力を生成し、オゾン発生体３等に供給する。

　オゾン発生器１００は、図１５に示すように、制御部８０と、操作部８１と、オゾン検出部８２と、表示部８３と、音出力部８４と、を有する。制御部８０は、オゾン発生器１００の動作を制御する。制御部８０は、マイクロコンピュータを主体として構成され、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、駆動回路等を有する。

　操作部８１は、例えば押圧によってオンオフ状態が切り替わるスイッチであり、例えばタクトスイッチである。操作部８１の操作結果を示す信号は、制御部８０に入力される。オゾン検出部８２は、オゾン発生器１００の外部の空気のオゾン濃度を検出する。オゾン検出部８２の検出値を示す信号は、制御部８０に入力される。

　制御部８０は、交流電源７４を介して、オゾン発生体３の動作を制御しうる。制御部８０は、オゾン発生体３に印加する交流電圧を制御することで、オゾン発生体３が発生させるオゾンの量を調整しうる。制御部８０は、操作部８１の操作結果に基づいてオゾンの発生量を調整しうる。制御部８０は、オゾン検出部８２で検出されたオゾン濃度に基づいて、オゾン濃度が目標値に近づくようにオゾン発生体３の動作をフィードバック制御しうる。

　制御部８０は、ファン２の動作を制御しうる。制御部８０は、ファン２にＰＷＭ信号を与えることで、ファン２をＰＷＭ制御する。これにより、制御部８０は、風量を調整しうる。

　制御部８０は、表示部８３の動作を制御しうる。表示部８３は、例えばＬＥＤランプである。表示部８３は、ＬＥＤの点灯状態によって、電源のオンオフ状態や、ファン２の動作状態、外部のオゾン濃度などを示す。

　制御部８０は、音出力部８４の動作を制御しうる。音出力部８４は、音を出力するものであり、例えばブザーである。音出力部８４は、例えばオゾン発生器１００に異常が生じた場合に警報音を出力する。

　　１－２．第１実施形態の効果
　第１実施形態では、支持部５０が、第１誘電体１１及び第２誘電体３１のいずれよりもヤング率が低い。このため、第１誘電体１１又は第２誘電体３１が振動しても、支持部５０が支持する部分に応力がかかりにくい。ゆえに、第１誘電体１１及び第２誘電体３１が破損しにくい。

　更に、第１誘電体１１及び第２誘電体３１が同じ側で片持ち支持されるため、長手方向の他端側において、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間を開口させることができる。このため、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に形成される放電空間ＤＳに気体が入り込みやすくなり、その結果、オゾンの発生効率を向上させることができる。

　更に、支持部５０は、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に配置されるスペーサ５１を有する。このため、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間隔を、スペーサ５１によって容易に設定することができる。

　更に、支持部５０は、スペーサ部５３から延びて第１突出部２２と第２突出部４２との間に配置される延設部５４と、を有する。このため、第１端子１２と第２端子３２とをより確実に絶縁させることができる。

　更に、第１端子１２の第３接続部２３は第１突出部２２の先端から屈曲して延びるため、第１突出部２２の突出方向への第１端子１２の広がりを抑えることができる。また、第２端子３２の第４接続部４３は第２突出部４２の先端から屈曲して延びるため、第２突出部４２の突出方向への第２端子３２の広がりを抑えることができる。

　更に、支持部５０は、スペーサ５１を挟んだ第１誘電体１１及び第２誘電体３１を保持するホルダ５２を有する。このため、支持部５０のスペーサ５１とホルダ５２とによって、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間隔を一定に保持することができる。

　更に、ホルダ５２は、スペーサ５１を挟んだ第１誘電体１１及び第２誘電体３１の外周を囲む環状をなしている。このため、ホルダ５２の孔に、スペーサ５１を挟んだ第１誘電体１１及び第２誘電体３１を挿し通すことで、容易に組み付けることができる。

　更に、ホルダ５２は、第１端子１２及び第２端子３２を露出させるように切り欠いた第１切欠部５８を有する。このため、第１切欠部５８を通して、第１端子１２及び第２端子３２を樹脂で埋めやすくなる。

　更に、ホルダ５２は、放電空間ＤＳを露出させるように切り欠いた第２切欠部５９を有する。このため、ホルダ５２によって第１誘電体１１及び第２誘電体３１の外周を囲みつつも、第２切欠部５９を通して、放電空間ＤＳへの気体の流入を許容することができる。ゆえに、ホルダ５２を設けることによる放電空間ＤＳへの気体の流入量の低下を抑制することができる。

　更に、第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、セラミックであり、支持部５０は、樹脂製である。このため、第１誘電体１１及び第２誘電体３１をセラミックで形成しつつも、振動が加わった際に支持部５０による支持部分に応力がかかった場合に、第１誘電体１１及び第２誘電体３１が破損することを抑制することができる。

　更に、第１電極１０及び第２電極３０の固有振動数Ｆｎが、２００Ｈｚ以上である。このため、輸送時など外部から振動が加わる状況において、共振に起因する振動を小さく抑えることができ、その結果、振動時に第１誘電体１１及び第２誘電体３１に及ぶ応力が小さくなるため、破損しにくくなる。

　更に、支持部５０は、スペーサ５１に、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を接着させる両面テープ５５を有する。このため、第１誘電体１１及び第２誘電体３１のスペーサ５１に対する接着が容易である。

　更に、オゾン発生体３の支持部５０は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を、長手方向の一端側で片持ち支持し、且つ流路１の壁面１Ａよりも外側で保持される。そして、オゾン発生体３の第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、壁面１Ａよりも内側に突出して配置される。このため、オゾン発生器１００は、両持ち支持する構成又は互い違いに片持ち支持する構成と比較して、オゾン発生体３を固定する構造や配線を集約することができるため、構造を簡素化できる。

　また、第１実施形態では、第１導体部３Ｘと第２導体部３Ｙとの間に熱硬化性樹脂（樹脂部材８９）が設けられ、第１導体部３Ｘと第２導体部３Ｙとが絶縁されている。このため、第１導体部３Ｘ及び第２導体部３Ｙがそれぞれ第１誘電体１１及び第２誘電体３１の一端側から延びる構成であるため、第１導体部３Ｘと第２導体部３Ｙとの距離が近くなってしまう。しかしながら、第１導体部３Ｘと第２導体部３Ｙとの間に熱硬化性樹脂（樹脂部材８９）が設けられ、第１導体部３Ｘと第２導体部３Ｙとが絶縁される構成であるため、熱硬化性樹脂（樹脂部材８９）によって第１導体部３Ｘと第２導体部３Ｙとの間の絶縁性を確保できる。

　更に、オゾン発生体３は、熱硬化性樹脂（樹脂部材８９）とは異なる部材であり、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に配されるスペーサ５１を備えている。このため、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間隔をスペーサ５１によって容易に設定しつつ、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間の絶縁性を確保できる。

　更に、スペーサ５１は、スペーサ部５３から延びて第１突出部２２と第２突出部４２との間に配置される延設部５４を有している。このため、延設部５４によって第１突出部２２と第２突出部４２の絶縁を確保できるため、第１端子１２と第２端子３２とをより確実に絶縁させることができる。

　更に、スペーサ５１を挟んだ第１誘電体１１及び第２誘電体３１を保持するホルダ５２と、ホルダ５２の少なくとも一部を収容して保持する保持部７０と、を備えている。このため、スペーサ５１とホルダ５２とによって第１誘電体１１と第２誘電体３１との間隔を一定に保持しつつ、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を保持部７０で保持することができる。

　更に、第１切欠部５８及の内側に設けられる熱硬化性樹脂（樹脂部材８９）によって第１端子１２及び第２端子３２が覆われている。このため、スペーサ５１とホルダ５２とによって第１誘電体１１と第２誘電体３１との間隔を一定に保持しつつ、第１端子１２及び第２端子３２の絶縁性を確保することができる。

　更に、ホルダ５２は、放電空間ＤＳを露出させるように切り欠いた第２切欠部５９を有している。このため、ホルダ５２によって第１誘電体１１及び第２誘電体３１の外周を囲みつつも、第２切欠部５９を通して、放電空間ＤＳへの気体の流入を許容することができる。このため、ホルダ５２を設けることによる放電空間ＤＳへの気体の流入量の低下を抑制することができる。

　更に、第１端子１２に電気的に接続される第１相手側端子７１、及び第２端子３２に電気的に接続される第２相手側端子７２が、熱硬化性樹脂（樹脂部材８９）によって包囲されている。このため、熱硬化性樹脂（樹脂部材８９）によって第１相手側端子７１及び第２相手側端子７２を固定することができ、第１相手側端子７１及び第２相手側端子７２の遊びを抑制できる。

　２．第２実施形態
　第２実施形態では、オゾン発生体における電極の消耗を抑制する観点から好ましい形態を説明する。第２実施形態では、第１実施形態の構成を前提として、より詳細な構成を説明する。

　　２－１．オゾン発生器の構成
　図１４に示すように、第１誘電体１１は、第２誘電体３１と対向する第１面１１Ｘを有する。第２誘電体３１は、第１面１１Ｘと対向する第２面３１Ｘを有する。第１面１１Ｘと第２面３１Ｘとの間には、放電空間ＤＳが形成される。

　図２及び図３に示すファン２は、オゾン発生体３よりも上流側に配置され、所定の回転方向に回転することで、流路１にその回転方向の旋回流を生成する。本実施形態では、所定の回転方向は、排気口６側（Ｚ方向の他端側）から見て時計回りの方向である。オゾン発生体３は、流路１の壁面１Ａ側に配置されている。第１誘電体１１の第１面１１Ｘ及び第２誘電体３１の第２面３１Ｘは、下流側に向かうにつれて上記所定の回転方向に傾斜している。このため、ファン２から送られる気体が、第１面１１Ｘ及び第２面３１Ｘの間に形成される放電空間ＤＳに入り込みやすくなっている。第１面１１Ｘ及び第２面３１Ｘ（第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に形成され、ファン２から送られる気体を導入する気体導入口の開口方向）のＺ方向（オゾン発生体３が配置される円筒状の流路１の中心軸）に対するファン２の回転方向への傾き角度は、０°より大きく８０°以下であることが好ましく、０°より大きく５０°以下であることがより好ましい。

　　２－２．誘電体間ギャップＧＣ及び電極間距離ＧＥについて
　誘電体間ギャップＧＣは、図１４に示すように、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間隔（具体的には、第１面１１Ｘと第２面３１Ｘとの間隔）である。誘電体間ギャップＧＣは、第１電極１０及び第２電極３０の長手方向の他端（先端）の位置を基準に測定される。電極間距離ＧＥは、図１４に示すように、第１電極１０と第２電極３０との間隔（具体的には、第１電極１０と第２電極３０とにおける長手方向の他端（先端）同士の間隔）である。

　図１４に示すＤ１及びＤ２を一定とすると、誘電体間ギャップＧＣが大きくなるにつれて、電極間距離ＧＥも大きくなるため、放電のために必要な電圧も大きくなる。放電のために必要な電圧が大きくなると、放電に起因する電磁ノイズが大きくなること、昇圧するためのトランスが大型化すること、などが懸念される。これらの問題を解消するために、誘電体間ギャップＧＣを小さくすることが考えられるが、誘電体間ギャップＧＣを小さくすると、放電空間ＤＳで生じたオゾンが放電空間ＤＳから放出されにくくなることが懸念される。なお、ファン２から放電空間ＤＳに送る風量を増やすことで、オゾンを放電空間ＤＳから放出させやすくすることが考えられるが、この場合、ファン２が発生させる騒音が大きくなること、ファン２の消費電力が大きくなること、など別の問題が生じうる。そこで、発明者は、適切な誘電体間ギャップＧＣ及び電極間距離ＧＥを探るべく、実験を行った。

　実験条件は、以下のとおりである。オゾン発生体３に対する印加電圧は、２０ｋＨｚの周波数で、ＶＰＰ（Ｖｏｌｔａｇｅ　ｐｅａｋ　ｔｏ　ｐｅａｋ）が４．５ｋＶの矩形波で、デューティ（「オゾン発生体３に印加する交流電圧の周期に対するオン時間の比率」）が２０％である。第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、それぞれ長手方向の長さが３１ｍｍで、短手方向の長さが１０ｍｍで、厚さが１．３ｍｍである。図１４に示すＤ１、Ｄ２は、それぞれ０．１５ｍｍである。第１誘電体１１及び第２誘電体３１の材料はアルミナである。

　図１４に示す第１電極１０及び第２電極３０における放電を生じさせる部分の長さＬＥは１０ｍｍである。図６に示す第１電極１０及び第２電極３０の幅ＷＥは、０．６ｍｍである。第１電極１０及び第２電極３０の材料は、タングステン（Ｗ）である。第１電極１０及び第２電極３０は、図１５に示すパターンで形成される。第１電極１０及び第２電極３０は、図１５に示すように、第１直線部２９１と、第２直線部２９２と、直交部２９３と、交差部２９４と、を有する。第１直線部２９１及び第２直線部２９２は、長手方向に沿って延び、短手方向に並んで配置されている。直交部２９３は、第１直線部２９１及び第２直線部２９２に対して直交する方向に沿って延び、第１直線部２９１及び第２直線部２９２を結ぶ。直交部２９３は、第１直線部２９１及び第２直線部２９２の長手方向に等間隔で複数設けられている。交差部２９４は、第１直線部２９１と直交部２９３との交点Ｐ１と、第２直線部２９２と直交部２９３との交点Ｐ２を、長さ方向の一端側から他端側に向けて交互に繋いでいる。第１電極１０及び第２電極３０のパターンを描く線幅は、０．１ｍｍである。

　ファン２に対する印加電圧は、２４Ｖで、２０ｋＨｚの矩形波で、デューティ（「ファン２に印加するＰＷＭ信号のオン時間の比率」）が３０％である。ファン２の風速は、２．３ｍ／ｓである。

　オゾン発生体３は、直径１００ｍｍの図示しない実験用流路内に配置される。実験用流路の出口側には、図示しない実験用フィンガーガードが配置され、実験用フィンガーガードの中央から１５０ｍｍ離れた位置を、オゾン濃度を測定する対象の位置とした。オゾン濃度は、測定装置（オゾン測定器、荏原実業株式会社製、型番ＥＧ－３０００Ｆ）により測定した。

　ノイズは、ＣＩＳＰＲ１４－１規格に基づく試験によって測定した。

　本実験では、誘電体間ギャップＧＣを０．１０ｍｍ、０．１５ｍｍ、０．２０ｍｍ、０．２５ｍｍ、０．３７ｍｍ、０．５０ｍｍ、０．６０ｍｍ、０．８０ｍｍ、１．００ｍｍとしたときのオゾン濃度を測定した。また、電極間距離ＧＥを０．４０ｍｍ、０．４５ｍｍ、０．５０ｍｍ、０．５５ｍｍ、０．６７ｍｍ、０．８０ｍｍ、０．９０ｍｍ、１．１０ｍｍ、１．３０ｍｍとしたときのノイズを測定した。

　オゾン濃度の測定結果は、図１６に示すとおりである。ノイズの測定結果は、図１７に示すとおりである。オゾン濃度及びノイズの総合評価は、図１８に示すとおりである。
　評価は以下のようにした。
＜オゾン濃度（ｐｐｂ）＞
「×」…３０未満、５０以上（オゾン濃度が高いことによる悪影響を考慮して５０以上を「×」としている）
「○」…３０以上３５未満
「◎」…３５以上４０未満
「☆」…４０以上５０未満
＜ノイズ（ｄＢ）＞
「×」…３０以上
「○」…２９以上３０未満
「◎」…２８以上２９未満
「☆」…２８未満
＜総合評価＞
「×」…オゾン濃度及びノイズの少なくともいずれか一方の評価が「×」
「○」…オゾン濃度及びノイズの評価に「×」がなく、且つ少なくともいずれか一方の評価が「○」
「◎」…オゾン濃度及びノイズの評価に「×」「○」がなく、且つ少なくともいずれか一方の評価が「◎」
「☆」…オゾン濃度及びノイズの両方の評価が「☆」

　図１６に示す評価結果から明らかなように、誘電体間ギャップＧＣは、０．１５ｍｍ以上であることが好ましく、０．２０ｍｍ以上であることがより好ましく、０．２５ｍｍ以上であることがより好ましい。このように構成することで、放電空間ＤＳへ気体が流入しやすくなり、放電空間ＤＳから気体が排出されやすくなる。このため、放電空間ＤＳにてオゾンを効率的に発生させ、発生させたオゾンを放電空間ＤＳから排出させることができる。

　また、図１７に示す評価結果から明らかなように、電極間距離ＧＥは、１．１ｍｍ以下であることが好ましく、０．９０ｍｍ以下であることがより好ましく、０．８０ｍｍ以下であることがより好ましい。このように構成することで、放電に起因する電磁ノイズの発生を抑制しつつ放電空間ＤＳに誘電体バリア放電を生じさせ、酸素からオゾンを発生させることができる。

　また、図１８に示す評価結果から明らかなように、誘電体間ギャップＧＣが０．１５ｍｍ以上で且つ電極間距離ＧＥが１．１ｍｍ以下であることが好ましく、誘電体間ギャップＧＣが０．２０ｍｍ以上で且つ電極間距離ＧＥが０．９０ｍｍ以下であることがより好ましく、誘電体間ギャップＧＣが０．２５ｍｍ以上で且つ電極間距離ＧＥが０．８０ｍｍ以下であることがより好ましい。このように構成することで、放電に起因する電磁ノイズの発生を抑制しつつ、且つ効率的にオゾンを発生させ、発生させたオゾンを放電空間ＤＳから排出させることができる。

　　２－３．第２実施形態の効果
　第２実施形態のオゾン発生体３は、第１電極１０と、第１電極１０を覆う第１誘電体１１と、第２電極３０と、第２電極３０を覆う第２誘電体３１と、を有している。そして、オゾン発生体３は、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に形成される放電空間ＤＳに誘電体バリア放電を生じさせる。このため、放電空間ＤＳ内の酸素からオゾンを発生させることができる。しかも、第１電極１０は第１誘電体１１に覆われており、第２電極３０は第２誘電体３１に覆われているため、第１電極１０及び第２電極３０の酸化による消耗を抑制することができる。

　更に、オゾン発生体３は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の長手方向の一端側で片持ち支持する支持部５０を有する。これにより、第１誘電体１１及び第２誘電体３１が同じ側で片持ち支持されるため、長手方向の他端側において、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間を開口させることができる。このため、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に形成される放電空間ＤＳに気体が入り込みやすくなり、その結果、オゾンの発生効率を向上させることができる。

　更に、第１実施形態のオゾン発生器１００は、気体の流路１と、流路１の吸気口５側から排気口６側に向けて気体を送り込むファン２と、オゾン発生体３と、を有する。ファン２は、オゾン発生体３よりも上流側に配置され、所定の回転方向に回転することで流路１に回転方向の旋回流を生成する。そして、オゾン発生体３は、流路１の壁面１Ａ側に配置されている。そして、第１面１１Ｘ及び第２面３１Ｘは、下流側に向かうにつれて回転方向に傾斜するように配置されている。これにより、ファン２から送られる気体が第１面１１Ｘ及び第２面３１Ｘの間に形成される放電空間ＤＳに入り込みやすくなるため、オゾン発生体３によるオゾンの発生効率を向上させることができる。また、第１面１１Ｘ及び第２面３１Ｘが下流側に向けて傾斜しているため、排気口６側から流路１内を覗いた人の目に、誘電体バリア放電によって生じた紫外線が入ることを抑制することができる。

　３．第３実施形態
　第３実施形態では、電極間に空気が入り込みやすくする観点から好ましい形態を説明する。第３実施形態では、第１実施形態の構成を前提として、より詳細な構成を説明する。

　図１９に示すように、第１誘電体１１は、第２誘電体３１と対向する第１面１１Ｘを有する。第２誘電体３１は、第１面１１Ｘと対向する第２面３１Ｘを有する。第１面１１Ｘと第２面３１Ｘとの間には、放電空間ＤＳが形成される。

　傾斜角度θは、短手方向から見た場合に第１面１１Ｘが第２面３１Ｘに対して傾斜する角度であり、長手方向の他端側において第１面１１Ｘが第２面３１Ｘから離れる方向を正とし、第１面１１Ｘが第２面３１Ｘに近づく方向を負とする。つまり、第１面１１Ｘ及び第２面３１Ｘが平行である場合に傾斜角度θが０°となり、第１面１１Ｘ及び第２面３１Ｘが長手方向の一端側から他端側に向けて広がる場合に傾斜角度θが正となり、第１面１１Ｘ及び第２面３１Ｘが長手方向の一端側から他端側に向けて狭くなる場合に傾斜角度θが負となる。

　傾斜角度θが小さくなると、放電のために必要な電圧を抑制することができるため、放電に起因する電磁ノイズの発生を抑制することができる。しかし、第１面１１Ｘと第２面３１Ｘとの間に気体が流入しにくくなり、且つ放電空間ＤＳで生じたオゾンが放電空間ＤＳから排出されにくくなることが懸念される。逆に、傾斜角度θが大きくなると、第１面１１Ｘと第２面３１Ｘとの間に気体が流入しやすくなる一方、図５に示すＤ１及びＤ２を一定とすると、放電のために必要な電圧も大きくなる。放電のために必要な電圧が大きくなると、放電に起因する電磁ノイズが大きくなること、昇圧するためのトランスが大型化すること、などが懸念される。そこで、発明者は、放電空間ＤＳで生じたオゾンを排出する観点、及び放電に起因する電磁ノイズを抑制する観点から適切な傾斜角度θを探るべく実験を行った。

　実験条件は、以下のとおりである。オゾン発生体３に対する印加電圧は、２０ｋＨｚの周波数で、ＶＰＰ（Ｖｏｌｔａｇｅ　ｐｅａｋ　ｔｏ　ｐｅａｋ）が４．５ｋＶの矩形波で、デューティ（「オゾン発生体３に印加する交流電圧の周期に対するオン時間の比率」）が２０％である。第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、それぞれ長手方向の長さが３１ｍｍで、短手方向の長さが１０ｍｍで、厚さが１．３ｍｍである。図５に示すＤ１、Ｄ２は、それぞれ０．１５ｍｍである。第１誘電体１１及び第２誘電体３１の材料はアルミナである。

　第１電極１０及び第２電極３０における放電を生じさせる部分の長さＬＥ（図５参照）は、傾斜角度θが０°である場合に２０ｍｍである。第１電極１０及び第２電極３０の幅ＷＥ（図６参照）は、０．６ｍｍである。第１電極１０及び第２電極３０の材料は、タングステン（Ｗ）である。第１電極１０及び第２電極３０は、第２実施形態で説明した図１５に示すパターンで形成される。

　本実験では、ｔａｎθ×１００を－１．８［％］、－１．０［％］、－０．５［％］、０．０［％］、０．５［％］、１．０［％］、３．０［％］、３．６［％］としたときのオゾン濃度及びノイズを測定した。

　傾斜角度θは、図１９に示すように、第１誘電体１１及び第２誘電体３１との間に調整部材９６を配置させることで調整される。調整部材９６は、長手方向の他端側の厚さが０．３７ｍｍで一定とされ、一端側の厚さが変更される。具体的には、調整部材９６の第１誘電体１１側の面の高さが調整されることで、調整部材９６の一端側の厚さが調整される。第１誘電体１１は、調整部材９６に形成された段差によって傾斜して配置され、傾斜した状態が保持される。これにより、第１面１１Ｘが第２面３１Ｘに対して傾斜した状態となる。

　ｔａｎθは、演算式（ＨＡ２－ＨＡ１）／ＬＡによって求められる。ＨＡ１は、調整部材９６の長手方向の他端を通り且つ第２面３１Ｘに対して直交する線と第１面１１Ｘとの交点ＰＡから第２面３１Ｘまでの最短距離である。ＨＡ２は、第１面１１Ｘの長手方向の他端から第２面３１Ｘまでの最短距離である。ＬＡは、第２面３１Ｘの長手方向における交点ＰＡから第１面１１Ｘの他端までの距離である。

　オゾン濃度及びノイズの測定結果は、図２０に示すとおりである。
　評価は以下のようにした。
＜オゾン濃度（ｐｐｂ）＞
「×」…３０未満、５０以上（オゾン濃度が高いことによる悪影響を考慮して５０以上を「×」としている）
「○」…３０以上３５以下
「◎」…３５より大きく４０未満
「☆」…４０以上５０未満
＜ノイズ（ｄＢ）＞
「×」…３０以上
「○」…２９以上３０未満
「◎」…２８以上２９未満
「☆」…２８未満
＜総合評価＞
「×」…オゾン濃度及びノイズの少なくともいずれか一方の評価が「×」
「○」…オゾン濃度及びノイズの評価に「×」がなく、且つ少なくともいずれか一方の評価が「○」
「◎」…オゾン濃度及びノイズの評価に「×」「○」がなく、且つ少なくともいずれか一方の評価が「◎」
「☆」…オゾン濃度及びノイズの両方の評価が「☆」

　図２０に示す評価結果から明らかなように、ｔａｎθ×１００は、放電に起因する電磁ノイズの発生を抑制しつつ誘電体バリア放電を生じさせるとともに、放電空間ＤＳに気体が流入しにくくなること、及び放電空間ＤＳで生じたオゾンが排出されにくくなることを抑制するという観点から、－１．８［％］以上且つ３．０［％］以下であることが好ましい。

　特に、放電空間ＤＳに気体が流入しにくくなること、及び放電空間ＤＳで生じたオゾンが排出されにくくなることをより確実に抑制するという観点から、ｔａｎθ×１００は、－１．０［％］以上であることがより好ましく、－０．５［％］以上であることがより好ましい。

　また、放電に起因する電磁ノイズの発生をより確実に抑制するという観点から、ｔａｎθ×１００は、１．０［％］以下であることがより好ましく、０．５［％］以下であることがより好ましい。

　また、放電に起因する電磁ノイズの発生を抑制することを重視しつつ、放電空間ＤＳに気体が流入しにくくなること、及び放電空間ＤＳで生じたオゾンが排出されにくくなることを抑制する観点から、ｔａｎθ×１００は、－１．８［％］以上且つ０．０［％］未満であることが好ましく、－１．０［％］以上且つ０．０［％］未満であることがより好ましく、－０．５［％］以上且つ０．０［％］未満であることがより好ましい。

　また、放電空間ＤＳへの気体の流入のしやすさ及び放電空間ＤＳで生じたオゾンの排出のしやすさを重視しつつ、放電に起因する電磁ノイズの発生を抑制する観点から、ｔａｎθ×１００は、０．０［％］よりも大きく且つ３．０［％］以下であることが好ましく、０．０［％］よりも大きく且つ１．０［％］以下であることがより好ましく、０．０［％］よりも大きく且つ０．５［％］以下であることがより好ましい。

　４．第４実施形態
　第４実施形態では、流路の排気口付近におけるオゾン濃度を分散させる観点から好ましい形態を説明する。第４実施形態では、第１実施形態の構成を前提として、より詳細な構成を説明する。

　　４－１．拡散板に関する詳細
　拡散板６６の材質は、オゾン耐性があることが好ましく、例えばＡＢＳ樹脂である。拡散板６６は、図２１に示すように、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に形成される開口９０を、排気口６側から見た場合に覆う位置に配置される。

　上述した第２流路８は、「直線流路」の一例に相当し、図２２に示すように、排気口６から上流側に直線状に延びている。第２流路８は、Ｚ方向に沿って筒状に延びている。オゾン発生体３は、第２流路８に設けられている。

　図２３に示すように、第１誘電体１１は、第２誘電体３１と対向し、且つ第２誘電体３１との間に放電空間ＤＳを形成する第１面１１Ｘを有する。第２誘電体３１は、第１面１１Ｘと対向し、且つ第１面１１Ｘとの間に放電空間ＤＳを形成する第２面３１Ｘを有する。第１面１１Ｘ及び第２面３１Ｘは、第２流路８の延び方向に対して傾斜して配置されている。第１面１１Ｘ及び第２面３１Ｘは、互いに同一の大きさ且つ同一形状をなしており、具体的には矩形状をなしている。第１面１１Ｘと第２面３１Ｘとの間に、開口９０が形成される。

　開口９０は、第１開口９０Ａと、第２開口９０Ｂと、第３開口９０Ｃと、を有する。第１開口９０Ａは、第１面１１Ｘの上流側の端部と第２面３１Ｘの上流側の端部との間に形成される。第２開口９０Ｂは、第１面１１Ｘの下流側の端部と第２面３１Ｘの下流側の端部との間に形成される。第３開口９０Ｃは、第１面１１Ｘの長手方向の他端側の端部と第２面３１Ｘの長手方向の他端側の端部との間に形成される。

　第１開口９０Ａ及び第３開口９０Ｃは、図２１に示すように、それぞれ排気口６側からＺ方向に見た場合に、拡散板６６に覆われなくとも見えない角度で配置されている。第２開口９０Ｂは、排気口６側に開いている。つまり、開口９０のうち第２開口９０Ｂのみが排気口６側に開いている。そして、図２１に示すように、拡散板６６は、第２開口９０Ｂを、排気口６側からＺ方向に見た場合に覆う位置に配置される。つまり、拡散板６６は、第１面１１Ｘ及び第２面３１Ｘとの間に形成され、且つ排気口６側に開いた第２開口９０Ｂを、排気口６側からＺ方向に見た場合に覆う位置に配置される。

　また、拡散板６６は、図２１に示すように、流路１の壁面１Ａにおける周方向の一部から中心に向けて内側に突出し、壁面１Ａから離れるにつれて周方向の幅が小さくなっている。Ｚ方向から見た拡散板６６の先端側がなす角度は、例えば１５°以上４５°以下であり、図２１に示す例では３０°である。

　また、ファン２は、図２１に示す回転方向Ｗに回転することで、流路１に回転方向Ｗの旋回流を生成する。第１面１１Ｘ及び第２面３１Ｘは、図２２及び図２３に示すように、排気口６側（下流側）に向かうにつれて回転方向Ｗに傾斜している。拡散板６６は、図１４に示すように、第２流路８の延び方向（Ｚ方向）に対して直交するＸ方向から見た場合に、第１面１１Ｘを仮想的に延長した第１仮想線ＶＬ１上に配置され、且つ第２面３１Ｘを仮想的に延長した第２仮想線ＶＬ２上に配置される。Ｘ方向は、本実施形態では、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の長手方向と同じ方向であり、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の突出方向と同じ方向である。

　拡散板６６は、図２３に示すように、Ｘ方向から見た場合に、第２流路８の延び方向及びＸ方向に対して直交するＹ方向において、拡散板６６の中心Ｃ１が、オゾン発生体３の中心Ｃ２よりも回転方向Ｗにずれて配置されている。更に、拡散板６６は、Ｘ方向から見た場合に、Ｙ方向において、拡散板６６における回転方向Ｗの後端６６Ａがオゾン発生体３の中心Ｃ２と揃う位置に配置されている。

　また、第２流路８は、図２２に示すように、拡散板６６よりも下流側において、下流側に向けて流路１の断面積が大きくなるように傾斜したテーパ面８Ｂを有する。具体的には、第２流路８は、円筒面８Ａと、円筒面８Ａの下流側の端部に連なるテーパ面８Ｂと、を有する。円筒面８Ａは、第２流路８の延び方向に向けて直径が一定である。テーパ面８Ｂは、排気口６側に向けて直径が徐々に大きくなっている。

　また、拡散板６６は、図３に示すように、流路１の壁面１Ａにおける周方向の一部から内側に突出し、壁面１Ａから離れるにつれて徐々に厚さが小さくなっている。つまり、拡散板６６は、壁面１Ａから中心に向けて突出しており、先端側に向けて徐々に厚さが小さくなっている。拡散板６６の厚さは、例えば壁面１Ａ側においては２ｍｍ以上３ｍｍ以下の範囲内で定められ、先端側（中心側）においては１ｍｍ程度とされる。

　　４－２．第４実施形態の効果
　拡散板６６は、流路１のうちオゾン発生体３よりも下流側に配置されている。これにより、オゾン発生体３が発生させたオゾンが、より下流側に配置される拡散板６６によって拡散されるため、流路１の排気口６付近におけるオゾン濃度を分散させることができる。

　更に、拡散板６６は、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に形成される開口９０を、排気口６側から見た場合に覆う位置に配置されている。これにより、開口９０が拡散板６６によって覆われるため、放電空間ＤＳに生じる誘電体バリア放電の紫外線が、排気口６側から覗いた人の目に入ることを抑制することができる。

　更に、互いに対向する第１面１１Ｘ及び第２面３１Ｘは、第２流路８の延び方向に対して傾斜して配置されている。これにより、互いに対向する第１面１１Ｘ及び第２面３１Ｘが第２流路８の延び方向に対して傾斜して配置されるため、放電空間ＤＳに生じる誘電体バリア放電の紫外線が、排気口６側から覗いた人の目に入ることを抑制することができる。

　更に、ファン２は、流路１に旋回流を生成する。そして、拡散板６６は、流路１の壁面１Ａにおける周方向の一部から内側に突出し、壁面１Ａから離れるにつれて周方向の幅が小さくなっている。旋回流における気体の速度は、旋回流の回転軸から遠いほど速く、回転軸に近いほど遅い。この構成によれば、気体の移動速度が速い回転軸から遠い位置では、広い範囲で拡散させ、気体の移動速度が遅い回転軸に近い位置では、狭い範囲で拡散させることができるので、拡散板６６による圧力損失を抑制しつつ、バランスよく気体中のオゾンを拡散させることができる。

　更に、ファン２は、回転方向Ｗに回転することで、流路１に回転方向Ｗの旋回流を生成する。オゾン発生体３は、流路１の壁面１Ａ側に配置されている。第１面１１Ｘ及び第２面３１Ｘは、排気口６側に向かうにつれて、回転方向Ｗに傾斜している。拡散板６６は、Ｘ方向から見た場合に、第１面１１Ｘを仮想的に延長した第１仮想線ＶＬ１上に配置され、且つ第２面３１Ｘを仮想的に延長した第２仮想線ＶＬ２に配置されている。これにより、ファン２から送られる気体を円滑に放電空間ＤＳへ流れ込ませ、放電空間ＤＳでオゾンを発生させ、放電空間ＤＳから排出されたオゾンを含む気体を拡散板６６によってより確実に拡散させることができる。

　更に、拡散板６６は、流路１の壁面１Ａにおける周方向の一部から突出し、且つＸ方向から見た場合に、Ｙ方向において、拡散板６６の中心Ｃ１がオゾン発生体３の中心Ｃ２よりも回転方向Ｗにずれて配置されている。このため、オゾン発生体３が発生させたオゾンを拡散板６６の両側にバランスよく拡散させることができる。

　更に、拡散板６６は、Ｘ方向から見た場合に、Ｙ方向において、拡散板６６における回転方向Ｗの後端６６Ａがオゾン発生体３の中心Ｃ２と揃う位置に配置されている。このため、拡散板６６による圧力損失を抑制しつつ、オゾン発生体３が発生させたオゾンを拡散板６６の両側にバランスよく拡散させることができる。

　更に、オゾン発生器１００は、拡散板６６よりも下流側に設けられ、複数の孔が形成されたフィンガーガード６４を有している。このため、気体の排気を許容しつつ、外部からの異物がフィンガーガード６４よりも上流側に入り込むことを抑制することができる。

　更に、流路１は、拡散板６６よりも下流側において、下流側に向けて流路１の断面積が大きくなるように傾斜したテーパ面８Ｂを有している。このため、拡散板６６で拡散されたオゾンを、テーパ面８Ｂにて更に拡散させることができる。

　更に、拡散板６６は、流路１の壁面１Ａにおける周方向の一部から内側に突出し、壁面１Ａから離れるにつれて厚さが小さくなっている。このため、オゾン発生体３が発生させたオゾンの拡散と、拡散板６６による圧力損失の抑制をバランスよく実現することができる。

　更に、オゾン発生体３は、流路１の中心よりも壁面１Ａ側に偏って配置されている。これにより、オゾン発生体３を、壁面１Ａ側に偏った位置に配置することができるので、設計の自由度が高い。しかも、オゾン発生体３が壁面１Ａ側に偏った位置に配置されても、上記構成によりオゾンの濃度分布を分散しやすい。

　５．第５実施形態
　第５実施形態では、オゾン発生効率を向上させる観点から好ましい形態を説明する。第５実施形態は、拡散板を有しない点で第１実施形態と異なっている。それ以外の構成は、第１実施形態と同じであり、詳しい説明を省略する。

　　５－１．オゾン発生器の構成
　図２４及び図２５には、第５実施形態のオゾン発生器５００が開示されている。ファン２は、流路１に気流（具体的には旋回流）を生成する装置であり、本実施形態では軸流ファンである。ファン２は、流路１に中心軸Ｌ（図２６参照）を中心とした旋回流を生じさせる。ファン２は、流路の吸気口５側から排気口６側に向けて気体を送り込む送風動作を行う。ファン２は、ロータ２Ａと、ロータ２Ａから径方向に突出する複数の羽根部２Ｂと、モータ（図示略）と、を有している。ファン２は、電力が供給されることでモータが駆動し、送風動作を行う。ファン２は、流路１（具体的には第２流路８）に設けられる。ファン２は、ファン２の中心軸Ｌ（図２６参照）をＺ方向に向けた状態で配置される。ファン２は、Ｚ方向を軸方向として回転する。具体的には、ファン２は、軸方向の他端側（図２６では上端側）から見て時計回りに回転する。

　図２６に示すように、第１誘電体１１は、流路構成部６０において、第２誘電体３１に対してファン２側に配されている。オゾン発生体３には、気体導入口３Ａが設けられている。気体導入口３Ａは、放電空間ＤＳ内に気体（酸素を含む空気）を入り込ませる開口部である。なお、気体導入口３Ａは、放電空間ＤＳの一部を構成する。気体導入口３Ａは、第１誘電体１１の端部１１Ａ（一端及び他端と異なる端部）と、第１誘電体１１の端部１１Ａに対向する第２誘電体３１の端部３１Ａと、を含んで構成されている。第１誘電体１１の端部１１Ａ、及び第２誘電体３１の端部３１Ａとは、長手方向の両端とは異なる端部であり、長手方向および並び方向と直交する方向の一端である。気体導入口３Ａは、第１電極１０及び第２電極３０の延び方向（長手方向）に沿って延びている。気体導入口３Ａは、主に第１誘電体１１及び第２誘電体３１においてスペーサ５１（より具体的には、スペーサ部５３）よりも他端側の部分に設けられる。

　図２６に示すように、気体導入口３Ａから気体が入り込む方向（以下、開口方向ともいう）が、中心軸Ｌに対してファン２の回転方向に傾いている。「開口方向」とは、第１電極１０及び第２電極３０の延び方向（長手方向）と、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の並び方向と、に直交する方向である。また、開口方向は、第１誘電体１１の端部１１Ａと第２誘電体３１の端部３１Ａとによって挟まれる領域に直交する方向である。開口方向は、第１誘電体１１と第２誘電体３１との隙間（放電空間ＤＳ）に沿っている。例えば、図２６に示すように、第１電極１０及び第２電極３０の延び方向（長手方向）から見た断面（ファン２の中心軸Ｌとオゾン発生体３とが重なって見える断面）において、右側上方を向く方向（図２６の矢印Ａ１の方向）である。「ファン２の回転方向」とは、軸方向の他端側（図２６では上端側）から見て時計回り方向である。例えば、「ファン２の回転方向」は、図２６に示す断面において、右側の羽根部（羽根部２ＢＸとする）が紙面手前側に回転し、左側の羽根部（羽根部２ＢＹとする）が紙面奥側に回転する方向である。

　ファン２によって生じさせる旋回流は、Ｚ方向の他端側（上方側）から見て時計回りに回る流れである。例えば、図２６に示す断面において、矢印Ａ３で示すように、流路１には右側上方に向かう気流が生じる。そのため、気体導入口３Ａの開口方向が、中心軸Ｌに対してファン２の回転方向に傾く構成とすることで、旋回流が向かう方向と、気体導入口３Ａの開口方向とが重なり易くなる。したがって、気体導入口３Ａから放電空間ＤＳに気体が導入され易くなり、オゾン発生体３によるオゾン発生効率を向上させることができる。

　例えば、気体導入口３Ａの開口方向の中心軸Ｌに対してファン２の回転方向への傾き角度（単に傾き角度ともいう）は、０°より大きく８０°以下が好ましい。気体導入口３Ａの開口方向の傾き角度は、例えば５０°以下であることが好ましい。

　図２５に示すように、第１誘電体１１の長手方向の他端（以下、他端１１Ｂという）を含む全体、及び第２誘電体３１の長手方向の他端（以下、他端３１Ｂという）を含む全体は、Ｚ方向（上下方向）から見て、ロータ２Ａよりも径方向外側に位置している。「第１誘電体１１及び第２誘電体３１がロータ２Ａよりも径方向外側に位置する」とは、第１誘電体１１の長手方向他端を含む第１誘電体１１の全体、及び第２誘電体３１の長手方向他端を含む第２誘電体３１の全体が、Ｚ方向（上下方向）から見てロータ２Ａを超えていない（跨っていない）ことを意味する。すなわち、第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、ファン２のロータ２ＡにＺ方向（上下方向）で重なっていない。第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、Ｚ方向（上下方向）でファン２の羽根部２Ｂと重なる位置にある。そのため、気体導入口３Ａ全体を中心軸Ｌに対してファン２の回転方向に傾かせることができ、気体導入口３Ａに旋回流を入り込ませ易くなる。また、旋回流は、中心軸Ｌから遠いほど速い流れになるため、壁面１Ａ側に位置した気体導入口３Ａへ旋回流が入り込みやすくなる。さらに、放電空間ＤＳが壁面１Ａ側に位置していることから、気体導入口３Ａから流入した旋回流によって効率的にオゾン生成が行われる。

　図２６に示すように、オゾン発生体３には、気体放出口３Ｂが設けられている。気体放出口３Ｂは、気体導入口３Ａから導入された気体を放出する。気体放出口３Ｂは、放電空間ＤＳの一部を構成する。気体放出口３Ｂは、気体導入口３Ａとは反対側に設けられている。気体放出口３Ｂは、気体導入口３Ａと同様の構成である。気体放出口３Ｂは、第１誘電体１１の端部１１Ｃ（端部１１Ａとは反対側の端部）と、第１誘電体１１の端部１１Ａに対向する第２誘電体３１の端部３１Ｃと、を含んで構成されている。図２６に示すように、気体放出口３Ｂから気体が抜け出る方向（放出方向ともいう）に、流路構成部６０が位置している。本実施形態では、「放出方向」とは、気体導入口３Ａの開口方向と同じ方向である。放出方向は、第１誘電体１１の端部１１Ｃと第２誘電体３１の端部３１Ｃとによって挟まれる領域に直交する方向である。例えば、図２６に示す断面において、右側上方を向く方向（図２６の矢印Ａ４の方向）である。図２６に示すように、気体放出口３Ｂの放出方向（気体放出口３Ｂから延びる直線上）に流路構成部６０が位置していることで、排気口６側から気体放出口３Ｂを視認しにくくなる。そのため、気体放出口３Ｂを介して放電空間ＤＳを視認しにくくなり、放電時に生じる紫外線を直視することを抑制できる。

　オゾン発生器５００は、第１実施形態で説明した図１３に示すように、制御部８０と、操作部８１と、オゾン検出部８２と、表示部８３と、音出力部８４と、を有する。制御部８０は、オゾン発生器５００の動作を制御する。制御部８０は、マイクロコンピュータを主体として構成され、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、駆動回路等を有する。

　操作部８１は、例えば押圧によってオンオフ状態が切り替わるスイッチであり、例えばタクトスイッチである。操作部８１の操作結果を示す信号は、制御部８０に入力される。オゾン検出部８２は、オゾン発生器５００の外部の空気のオゾン濃度を検出する。オゾン検出部８２の検出値を示す信号は、制御部８０に入力される。

　制御部８０は、音出力部８４の動作を制御しうる。音出力部８４は、音を出力するものであり、例えばブザーである。音出力部８４は、例えばオゾン発生器５００に異常が生じた場合に警報音を出力する。

　　５－２．第５実施形態の効果
　第５実施形態では、気体導入口３Ａから気体が入り込む方向（開口方向）が、中心軸Ｌに対してファン２の回転方向に傾いているため、気体導入口３Ａから放電空間ＤＳに気体が導入され易くなる。そのため、オゾン発生器５００によるオゾン発生効率が向上する。

　更に、第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、ロータ２Ａよりも径方向外側に位置している。このため、気体導入口３Ａ全体を中心軸Ｌに対してファン２の回転方向に傾かせることができ、気体導入口３Ａに旋回流を入り込ませ易くなる。

　更に、気体放出口３Ｂから気体が抜け出る方向（放出方向）に、流路構成部６０が位置している。このため、流路１の排気口６側から気体放出口３Ｂを介して放電空間ＤＳを視認しにくくなり、紫外線の直視を抑制できる。

　更に、第１電極１０の第１縁部１０Ａと第２誘電体３１の第２縁部３１Ｄとを通り気体放出口３Ｂ側に延びる直線Ｘが、流路構成部６０と交わっている。このため、流路１の排気口６側から気体放出口３Ｂを介して第１電極１０付近を視認し難くなり、第１電極１０付近で生じる紫外線の直視を抑制できる。

　６．第６実施形態
　図２７は、第６実施形態のオゾン発生器の一部を例示する図面である。第６実施形態は、流路１に対するオゾン発生体３の組み付け角度が異なる点が主に第５実施形態と異なっている。それ以外の構成は、第５実施形態と同じであり、詳しい説明を省略する。

　図２７に示すように、第１電極１０の気体放出口３Ｂ側の縁部を第１縁部１０Ａとし、第２誘電体３１の気体放出口３Ｂ側の縁部を第２縁部３１Ｄとする。第１縁部１０Ａと第２縁部３１Ｄとを通り気体放出口３Ｂ側に延びる直線Ｘは、流路構成部６０と交わっている。なお、図２５では、直線Ｘが、第１縁部１０Ａの所定位置を通るように例示したが、第１縁部１０Ａのその他の位置（長手方向で別の位置）を通っていても流路構成部６０と交わっていることが好ましい。同様に、直線Ｘが、第２縁部３１Ｄのその他の位置（長手方向で別の位置）を通っていても流路構成部６０と交わっていることが好ましい。以上のような構成によって、流路１の排気口６側から気体放出口３Ｂを介して、第１電極１０側の第１電極１０を視認し難くなる。そのため、電極間で生じる紫外線の直視を抑制できる。

　７．第７実施形態
　図２８は、第７実施形態のオゾン発生器の一部を例示する図面である。第７実施形態は、オゾン発生器が拡散板を有する点が主に第５実施形態と異なっている。それ以外の構成は、第５実施形態と同じであり、詳しい説明を省略する。

　第７実施形態のオゾン発生器７００は、図２８に示すように、拡散板７６６を有している。拡散板７６６は、本開示の「遮蔽部」の一例に相当する。拡散板７６６は、オゾン発生体３が発生させたオゾンを流路１内に拡散させるものである。拡散板７６６の材質は、オゾン耐性があることが好ましく、例えばＡＢＳ樹脂である。拡散板７６６は、流路１のうちオゾン発生体３よりも下流側に配置される。拡散板７６６は、流路１の壁面１Ａから内側に突出した形態をなしている。拡散板７６６は、壁面１Ａの周方向の一部から突出している。拡散板７６６は、壁面１Ａから離れるにつれて幅が小さくなっている。拡散板７６６は、扇形状をなしている。拡散板７６６は、流路構成部６０（具体的には第１分割体６０Ａ（図２５参照））と一体に形成されている。拡散板７６６は、中心軸Ｌの軸方向（例えばＺ方向の他端側）から見た場合に、オゾン発生体３（具体的にはオゾン発生体３の気体放出口３Ｂ側の一部）と重なる位置に配置される。より具体的には、拡散板７６６は、中心軸Ｌの軸方向から見た場合に、気体放出口３Ｂに重なっている。これにより、流路１の排気口６側から気体放出口３Ｂを介してオゾン発生体３を視認し難くできる。

　拡散板７６６は、図２８に示すように、流路１の壁面１Ａにおける周方向の一部から中心に向けて内側に突出し、壁面１Ａから離れるにつれて周方向の幅が小さくなっている。Ｚ方向から見た拡散板７６６の先端側がなす角度は、例えば１５°以上４５°以下であり、図２８に示す例では３０°である。拡散板７６６は、壁面１Ａから中心に向けて突出しており、先端側に向けて徐々に厚さが小さくなっている。拡散板７６６の厚さは、例えば壁面１Ａ側においては２ｍｍ以上３ｍｍ以下の範囲内で定められ、先端側（中心側）においては１ｍｍ程度とされる。

　気体導入口３Ａの開口方向は、以下のようにして決定してもよい。ファン２の回転により生じる旋回流の中心軸Ｌに対する傾き角度を、旋回流角度とする。旋回流角度は、例えば図２９に示す方法で測定することができる。図２９は、流路１（具体的には第２流路８）に見立てた円筒を概略的に示す模式図である。ファン２の送風動作で旋回流を生じさせつつ、円筒の下端側から発煙筒を焚き、図２９に示すように、壁面（壁面１Ａに相当する面）に残った煙の痕跡Ｓ等から旋回流の向きを特定する。煙の痕跡Ｓに対して、例えば一方側の縁に沿った直線Ｘ２を特定する。上下方向に延びる直線Ｘ３に対する直線Ｘ２の角度θＸを測定し、旋回流角度とする。角度θＸは、例えば円筒を平面上に展開した状態で測定する。旋回流角度θＸは、例えば２０°であることが好ましい。

　旋回流角度に対して－３０°以上３０°以下の範囲内の角度を加算した角度を加算角度とする。加算角度は、－１０°以上１０°以下の範囲内の角度がより好ましい。気体導入口３Ａから気体が入り込む方向（開口方向）を、中心軸Ｌに対してファン２の回転方向に加算角度で傾いている構成とする。このように、気体導入口３Ａの開口方向が旋回流角度に近い角度で傾く構成とすることで、気体導入口３Ａに旋回流が入り込み易くなる。したがって、拡散板７６６によってオゾン発生体３の視認を難しくしつつ、気体導入口３Ａから放電空間ＤＳに気体を導入し易くしてオゾン発生効率の向上を図ることができる。

＜他の実施形態＞
　本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。また、上述した実施形態や後述する実施形態の様々な特徴は、矛盾しない組み合わせであればどのように組み合わされてもよい。

　上記第１～第７実施形態では、Ｚ方向が上下方向であったが、上下方向に限らない。例えば、Ｚ方向は、上下方向に対して傾斜する方向であってもよい。

　上記第１～第４実施形態では、支持部が第１誘電体及び第２誘電体を片持ち支持する構成であったが、両持ち支持する構成であってもよい。

　上記第１～第４実施形態では、支持部が第１誘電体及び第２誘電体を同じ側で片持ち支持する構成であったが、同じ側で片持ち支持する構成でなくてもよく、例えば互い違いに反対側の端部で片持ち支持する構成であってもよい。

　上記第５～第７実施形態では、気体導入口３Ａの開口方向と、気体放出口３Ｂの方出方向とが同じ方向であったが、異なる方向であってもよい。

　上記第５～第７実施形態では、気体導入口３Ａが１つの開口領域で構成されていたが、分割された複数の開口領域で構成されていてもよい。

　なお、今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、今回開示された実施の形態に限定されるものではなく、請求の範囲によって示された範囲内又は請求の範囲と均等の範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

（付記）
　本発明は以下の態様を含み得るものである。

（付記１）
［１］本発明のオゾン発生体は、第１電極と、第１電極を覆う第１誘電体と、第２電極と、第２電極を覆う第２誘電体と、を有する。オゾン発生体は、更に、第１誘電体及び第２誘電体を支持する支持部を有する。第１誘電体と第２誘電体との間には、放電空間が形成される。支持部は、第１誘電体及び第２誘電体のいずれよりもヤング率が低い。

［２］上記支持部は、第１誘電体及び第２誘電体を、第１誘電体及び第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側で片持ち支持する構成であってもよい。

［３］上記支持部は、第１誘電体と第２誘電体との間に配置されるスペーサを有する構成であってもよい。

［４］上記オゾン発生体は、第１電極に電気的に接続される第１端子と、第２電極に電気的に接続される第２端子と、を有してもよい。第１端子は、第１電極に電気的に接続される第１接続部と、第１接続部に連なり、第１誘電体の端部よりも一端側に突出した第１突出部と、を有してもよい。第２端子は、第２電極に電気的に接続される第２接続部と、第２接続部に連なり、第１突出部と同じ方向に突出した第２突出部と、を有してもよい。スペーサは、絶縁性を有する部材であり、第１誘電体と第２誘電体との間に配置されるスペーサ部と、スペーサ部から延びて第１突出部と第２突出部との間に配置される延設部と、を有してもよい。

［５］上記オゾン発生体は、第１電極に電気的に接続される第１端子と、第２電極に電気的に接続される第２端子と、を有してもよい。第１端子は、第１電極に電気的に接続される第１接続部と、第１接続部に連なり、第１誘電体の端部よりも一端側に突出した第１突出部と、第１突出部の先端から屈曲して延びる第３接続部と、を有してもよい。第２端子は、第２電極に電気的に接続される第２接続部と、第２接続部に連なり、第１突出部と同じ方向に突出した第２突出部と、第２突出部の先端から屈曲して延びる第４接続部と、を有してもよい。

［６］上記支持部は、スペーサを挟んだ第１誘電体及び第２誘電体を保持するホルダを有してもよい。

［７］上記ホルダは、スペーサを挟んだ第１誘電体及び第２誘電体の外周を囲む環状をなしてもよい。

　この構成によれば、ホルダの孔に、スペーサを挟んだ第１誘電体及び第２誘電体を挿し通すことで、容易に組み付けることができる。

［８］上記オゾン発生体は、第１電極に電気的に接続される第１端子と、第２電極に電気的に接続される第２端子と、を有してもよい。第１端子は、第１誘電体のスペーサ側とは反対側に配置され、第２端子は、第２誘電体のスペーサ側とは反対側に配置されてもよい。ホルダは、第１端子及び第２端子を露出させるように切り欠いた切欠部を有してもよい。

［９］上記ホルダは、放電空間を露出させるように切り欠いた第２切欠部を有してもよい。

［１０］第１誘電体及び第２誘電体は、セラミックでもよい。支持部は、樹脂製でもよい。

　この構成によれば、第１誘電体及び第２誘電体をセラミックで形成しつつも、振動が加わった際に支持部による支持部分に応力がかかった場合に、第１誘電体及び第２誘電体が破損することを抑制することができる。

［１１］上記第１誘電体及び第２誘電体の固有振動数が、２００Ｈｚ以上でもよい。

　この構成によれば、輸送時など外部から振動が加わる状況において、共振に起因する振動を小さく抑えることができ、その結果、振動時に第１誘電体及び第２誘電体に及ぶ応力が小さくなるため、破損しにくくなる。

［１２］上記支持部は、スペーサに、第１誘電体及び第２誘電体を接着させる両面テープを有してもよい。

　この構成によれば、第１誘電体及び第２誘電体のスペーサに対する接着が容易である。

［１３］本発明のオゾン発生器は、気体の流路と、ファンと、［１］から［１２］のいずれかのオゾン発生体と、を有する。ファンは、流路の吸気口側から排気口側に向けて気体を送り込む。オゾン発生体は、吸気口から吸い込まれた空気を原料として、流路にオゾンを発生させる。

　この構成によれば、［１］から［１２］のいずれかのオゾン発生体をオゾン発生器に適用することができる。

［１４］オゾン発生体の支持部は、第１誘電体及び第２誘電体を、第１誘電体及び第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側で片持ち支持し、且つ流路の壁面よりも外側で保持されてもよい。オゾン発生体の第１誘電体及び第２誘電体は、壁面よりも内側に突出して配置されてもよい。

（付記２）
［１］本発明のオゾン発生ユニットは、第１電極と、第１電極を覆う第１誘電体と、第２電極と、第２電極を覆い、第１誘電体との間に放電空間が設けられる第２誘電体と、第１電極に電気的に接続され、第１誘電体において第１誘電体と第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側から延びる第１導体部と、第２電極に電気的に接続され、第２誘電体において直交方向の一端側から延びる第２導体部と、を備えている。第１導体部と第２導体部との間に熱硬化性樹脂が設けられ、第１導体部と第２導体部とが絶縁されている。

　この構成によれば、第１導体部及び第２導体部がそれぞれ第１誘電体及び第２誘電体の一端側から延びる構成であるため、第１導体部と第２導体部との距離が近くなってしまう。しかしながら、第１導体部と第２導体部との間に熱硬化性樹脂が設けられ、第１導体部と第２導体部とが絶縁される構成であるため、熱硬化性樹脂によって第１導体部と第２導体部との間の絶縁性を確保できる。

［２］上記第１導体部と第２導体部との間に設けられる熱硬化性樹脂とは異なる部材であり、第１誘電体と第２誘電体との間に配される絶縁部材を備えていてもよい。

　この構成によれば、第１誘電体と第２誘電体との間隔を絶縁部材によって容易に設定しつつ、第１誘電体と第２誘電体との間の絶縁性を確保できる。

［３］上記第１導体部は、第１電極に電気的に接続される第１端子を有し、第２導体部は、第２電極に電気的に接続される第２端子を有し、第１端子は、第１電極に電気的に接続される第１接続部と、第１接続部に連なり、第１誘電体の端部よりも一端側に突出した第１突出部と、を有し、第２端子は、第２電極に電気的に接続される第２接続部と、第２接続部に連なり、第１突出部と同じ方向に突出した第２突出部と、を有していてもよい。絶縁部材は、第１誘電体と第２誘電体との間に配置されるスペーサ部と、スペーサ部から延びて第１突出部と第２突出部との間に配置される延設部と、を有していてもよい。

　この構成によれば、延設部によって第１突出部と第２突出部の絶縁を確保できるため、第１端子と第２端子とをより確実に絶縁させることができる。

［４］上記絶縁部材を挟んだ第１誘電体及び第２誘電体を保持するホルダと、ホルダの少なくとも一部を収容して保持する保持部と、を備えていてもよい。

　この構成によれば、絶縁部材とホルダとによって第１誘電体と第２誘電体との間隔を一定に保持しつつ、第１誘電体及び第２誘電体を保持部で保持することができる。

［５］上記第１導体部は、第１電極に電気的に接続される第１接続部を有する第１端子を有していてもよい。第２導体部は、第２電極に電気的に接続される第２接続部を有する第２端子を有していてもよい。第１端子は、第１誘電体の絶縁部材側とは反対側に配置され、第２端子は、第２誘電体の絶縁部材側とは反対側に配置されていてもよい。ホルダは、第１端子及び第２端子を露出させるように切り欠いた切欠部を有していてもよい。切欠部の内側に設けられる熱硬化性樹脂によって第１端子及び第２端子が覆われていてもよい。

　この構成によれば、絶縁部材とホルダとによって第１誘電体と第２誘電体との間隔を一定に保持しつつ、第１端子及び第２端子の絶縁性を確保することができる。

［６］上記ホルダは、放電空間を露出させるように切り欠いた第２切欠部を有していてもよい。

［７］上記第１導体部は、第１電極に電気的に接続される第１端子と、第１端子に電気的に接続される第１配線とを有し、第２導体部は、第２電極に電気的に接続される第２端子と、第２端子に電気的に接続される第２配線とを有していてもよい。第１導体部は、第１端子に電気的に接続される第１配線を有し、第２導体部は、第２端子に電気的に接続される第２配線を有していてもよい。第１配線及び第２配線が熱硬化性樹脂によって包囲されていてもよい。

　この構成によれば、熱硬化性樹脂によって第１配線及び第２配線を固定することができ、第１配線及び第２配線の遊びを抑制できる。

［８］本発明のオゾン発生器は、上記［１］から［７］のいずれかに記載のオゾン発生ユニットと、気体の流路と、流路の吸気口側から排気口側に向けて気体を送り込むファンと、を有し、オゾン発生ユニットは、吸気口から吸い込まれた空気を原料として、流路にオゾンを発生させる。

　この構成によれば、上記［１］から［７］のいずれかのオゾン発生ユニットをオゾン発生器に適用することができる。

（付記３）
［１］本発明のオゾン発生体は、第１電極と、第１電極を覆う第１誘電体と、第２電極と、第２電極を覆う第２誘電体と、を有する。本発明のオゾン発生体は、第１誘電体と第２誘電体との間に形成される放電空間に誘電体バリア放電を生じさせる。

　この構成によれば、放電空間に誘電体バリア放電を生じさせることで、酸素からオゾンを発生させることができる。しかも、第１電極は第１誘電体に覆われており、第２電極は第２誘電体に覆われているため、第１電極及び第２電極の酸化による消耗を抑制することができる。

［２］本発明のオゾン発生体は、第１誘電体及び第２誘電体を、第１誘電体及び第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側で片持ち支持する支持部を有してもよい。

［３］第１誘電体と第２誘電体との間隔である誘電体間ギャップが、０．１５ｍｍ以上であってもよい。

［４］第１誘電体と第２誘電体との間隔である誘電体間ギャップが、０．２０ｍｍ以上であってもよい。

　この構成によれば、より一層、放電空間へ気体が流入しやすくなり、放電空間から気体が排出されやすくなる。

［５］第１誘電体と第２誘電体との間隔である誘電体間ギャップが、０．２５ｍｍ以上であってもよい。

［６］第１電極と第２電極との間隔である電極間距離が、１．１ｍｍ以下であってもよい。

　この構成によれば、放電に起因する電磁ノイズの発生を抑制しつつ放電空間に誘電体バリア放電を生じさせ、酸素からオゾンを発生させることができる。

［７］第１電極と第２電極との間隔である電極間距離が、０．９０ｍｍ以下であってもよい。

　この構成によれば、より一層、放電に起因する電磁ノイズの発生を抑制しつつ、放電空間に誘電体バリア放電を生じさせ、酸素からオゾンを発生させることができる。

［８］第１電極と第２電極との間隔である電極間距離が、０．８０ｍｍ以下であってもよい。

［９］本発明のオゾン発生器は、気体の流路と、流路の吸気口側から排気口側に向けて気体を送り込むファンと、［１］から［８］のいずれかのオゾン発生体と、を有する。オゾン発生体は、吸気口から吸い込まれた空気を原料として、流路にオゾンを発生させる。

　この構成によれば、上記オゾン発生体をオゾン発生器に適用することができる。

［１０］ファンは、オゾン発生体よりも上流側に配置され、所定の回転方向に回転することで流路に回転方向の旋回流を生成してもよい。オゾン発生体における第１誘電体は、第２誘電体と対向し、且つ第２誘電体との間に放電空間を形成する第１面を有してもよい。オゾン発生体における第２誘電体は、第１面と対向する第２面を有してもよい。オゾン発生体は、流路の壁面側に配置されてもよい。第１面及び第２面は、下流側に向かうにつれて回転方向に傾斜するように配置されてもよい。

　この構成によれば、ファンから送られる気体が第１面及び第２面の間に形成される放電空間に入り込みやすくなるため、オゾン発生体によるオゾンの発生効率を向上させることができる。また、第１面及び第２面が下流側に向けて傾斜しているため、排気口側から流路内を覗いた人の目に、誘電体バリア放電によって生じた紫外線が入ることを抑制することができる。

（付記４）
［１］本発明のオゾン発生体は、第１電極と、第１電極を覆う第１誘電体と、第２電極と、第２電極を覆う第２誘電体と、を有する。第１誘電体と第２誘電体との間には放電空間が形成される。本発明のオゾン発生体は、更に、第１誘電体及び第２誘電体を、第１誘電体及び第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側で片持ち支持する支持部を有する。第１誘電体は、第２誘電体と対向し、且つ第２誘電体との間に上記放電空間を形成する第１面を有する。第２誘電体は、第１面と対向する第２面を有する。直交方向の他端側において第１面が第２面から離れる方向を正とした場合の第２面に対する第１面の傾斜角度θが、下記式（Ｉ）を満たす。
　　　－１．８［％］≦ｔａｎθ×１００≦３．０［％］・・・式（Ｉ）

［２］傾斜角度θが、下記式（ＩＩ）を満たす構成であってもよい。
　　　－１．０［％］≦ｔａｎθ×１００・・・式（ＩＩ）

　この構成によれば、オゾン発生体における上記直交方向の他端側の開きが小さくなることによって放電空間に気体が流入しにくくなること、及び放電空間で生じたオゾンが排出されにくくなることをより確実に抑制することができる。

［３］傾斜角度θが、下記式（ＩＩＩ）を満たす構成であってもよい。
　　　－０．５［％］≦ｔａｎθ×１００・・・式（ＩＩＩ）

［４］傾斜角度θが、下記式（ＩＶ）を満たす構成であってもよい。
　　　ｔａｎθ×１００≦１．０［％］・・・式（ＩＶ）

　この構成によれば、オゾン発生体における上記直交方向の他端側の開きが大きくなることによって放電に起因する電磁ノイズの発生をより確実に抑制することができる。

［５］傾斜角度θが、下記式（Ｖ）を満たす構成であってもよい。
　　　ｔａｎθ×１００≦０．５［％］・・・式（Ｖ）

　この構成によれば、オゾン発生体における上記直交方向の他端側の開きが大きくなることにより、放電に起因する電磁ノイズの発生をより確実に抑制することができる。

［６］本発明のオゾン発生器は、気体の流路と、流路の吸気口側から排気口側に向けて気体を送り込むファンと、［１］から［５］のいずれかのオゾン発生体と、を有する。オゾン発生体は、吸気口から吸い込まれた空気を原料として、流路にオゾンを発生させる。

［７］ファンは、オゾン発生体よりも上流側に配置され、所定の回転方向に回転することで流路に回転方向の旋回流を生成してもよい。オゾン発生体における第１誘電体は、第２誘電体と対向し、且つ第２誘電体との間に放電空間を形成する第１面を有してもよい。オゾン発生体における第２誘電体は、第１面と対向する第２面を有してもよい。オゾン発生体は、流路の壁面側に配置されてもよい。第１面及び第２面は、下流側に向かうにつれて回転方向に傾斜するように配置されてもよい。

（付記５）
［１］本発明のオゾン発生器は、気体の流路と、ファンと、オゾン発生体と、拡散板と、を有する。ファンは、流路の吸気口側から排気口側に向けて気体を送り込む。オゾン発生体は、流路に設けられ、流路にオゾンを発生させる。拡散板は、流路のうちオゾン発生体よりも下流側に配置される。

［２］オゾン発生体は、第１電極と、第１電極を覆う第１誘電体と、第２電極と、第２電極を覆う第２誘電体と、を有してもよい。第１誘電体と第２誘電体との間には、放電空間が形成されてもよい。拡散板は、第１誘電体と第２誘電体との間に形成される開口を、排気口側から見た場合に覆う位置に配置されてもよい。

　この構成によれば、開口が拡散板によって覆われるため、放電空間に生じる誘電体バリア放電の紫外線が、排気口側から覗いた人の目に入ることを抑制することができる。

［３］流路は、排気口から上流側に直線状に延びる直線流路を有してもよい。オゾン発生体は、直線流路に設けられてもよい。オゾン発生体は、第１電極と、第１電極を覆う第１誘電体と、第２電極と、第２電極を覆う第２誘電体と、を有してもよい。第１誘電体は、第２誘電体と対向し、且つ第２誘電体との間に放電空間を形成する第１面を有してもよい。第２誘電体は、第１面と対向する第２面を有してもよい。第１面及び第２面は、直線流路の延び方向に対して傾斜して配置されてもよい。

　この構成によれば、互いに対向する第１面及び第２面が直線流路の延び方向に対して傾斜して配置されるため、放電空間に生じる誘電体バリア放電の紫外線が、排気口側から覗いた人の目に入ることを抑制することができる。

［４］オゾン発生器は、流路に旋回流を生成するファンを有してもよい。拡散板は、流路の壁面における周方向の一部から内側に突出し、壁面から離れるにつれて周方向の幅が小さくなっていてもよい。

　旋回流における気体の速度は、旋回流の回転軸から遠いほど速く、回転軸に近いほど遅い。上記構成によれば、気体の移動速度が速い回転軸から離れた位置では、広い範囲で拡散させ、気体の移動速度が遅い回転軸に近い位置では、狭い範囲で拡散させることができるので、拡散板による圧力損失を抑制しつつ、バランスよく気体中のオゾンを拡散させることができる。

［５］オゾン発生器は、所定の回転方向に回転することで、流路に上記回転方向の旋回流を生成するファンを有してもよい。オゾン発生体は、流路の壁面側に配置されてもよい。第１面及び第２面は、排気口側に向かうにつれて、回転方向に傾斜してもよい。拡散板は、直線流路の延び方向に対して直交するＸ方向から見た場合に、第１面を仮想的に延長した第１仮想線上に配置され、且つ第２面を仮想的に延長した第２仮想線上に配置されてもよい。

　この構成によれば、ファンから送られる気体を円滑に放電空間へ流れ込ませ、放電空間でオゾンを発生させ、放電空間から排出されたオゾンを含む気体を拡散板によってより確実に拡散させることができる。

［６］拡散板は、流路の壁面における周方向の一部から突出し、且つＸ方向から見た場合に、直線流路の延び方向及びＸ方向に対して直交するＹ方向において、拡散板の中心がオゾン発生体の中心よりも回転方向にずれて配置されてもよい。

　この構成によれば、オゾン発生体が発生させたオゾンを拡散板の両側にバランスよく拡散させることができる。

［７］拡散板は、Ｘ方向から見た場合に、Ｙ方向において、拡散板における回転方向の後端がオゾン発生体の中心と揃う位置に配置されてもよい。

　この構成によれば、拡散板による圧力損失を抑制しつつ、オゾン発生体が発生させたオゾンを拡散板の両側にバランスよく拡散させることができる。

［８］オゾン発生器は、拡散板よりも下流側に設けられ、複数の孔が形成されたフィンガーガードを有してもよい。

　この構成によれば、気体の排気を許容しつつ、外部からの異物がフィンガーガードよりも上流側に入り込むことを抑制することができる。

［９］流路は、拡散板よりも下流側において、下流側に向けて流路の断面積が大きくなるように傾斜したテーパ面を有してもよい。

　この構成によれば、拡散板で拡散されたオゾンを、テーパ面にて更に拡散させることができる。

［１０］拡散板は、流路の壁面における周方向の一部から内側に突出し、壁面から離れるにつれて厚さが小さくなってもよい。

　この構成によれば、オゾン発生体が発生させたオゾンの拡散と、拡散板による圧力損失の抑制をバランスよく実現することができる。

［１１］オゾン発生体は、流路の中心よりも壁面側に偏って配置されてもよい。

　この構成によれば、オゾン発生体を、壁面側に偏った位置に配置することができるので、設計の自由度が高い。しかも、オゾン発生体が壁面側に偏った位置に配置されても、上記構成によりオゾンの濃度分布を分散しやすい。

（付記６）
［１］本発明のオゾン発生器は、気体の流路が内側に設けられた流路構成部と、流路に中心軸を中心とした旋回流を生じさせ、流路の吸気口側から排気口側に向けて気体を送り込む軸流ファンと、第１電極と、第１電極を覆う第１誘電体と、第２電極と、第２電極を覆う第２誘電体と、を有し、第１誘電体の一端と第２誘電体の一端とが流路構成部に支持されるとともに、第１誘電体の他端と第２誘電体の他端とが流路構成部の内壁面と離間し、第１誘電体と第２誘電体との間に放電空間が設けられるオゾン発生体と、を備えている。第１誘電体の一端及び他端と異なる端部と、第１誘電体の端部に対向する第２誘電体の端部と、を含んで気体導入口が構成されている。気体導入口から気体が入り込む方向が、中心軸に対して軸流ファンの回転方向に傾いている。

［２］上記軸流ファンは、ロータと、ロータから径方向に突出する羽根部と、を有していてもよい。第１誘電体及び第２誘電体は、ロータよりも径方向外側に位置していてもよい。

　この構成によれば、気体導入口全体を中心軸に対して軸流ファンの回転方向に傾かせることができ、気体導入口に旋回流を入り込ませ易くなる。

［３］上記オゾン発生体は、気体導入口とは反対側に設けられ、気体導入口から導入された気体を放出する気体放出口を有していてもよい。気体放出口から気体が抜け出る方向に流路構成部が位置していてもよい。

　この構成によれば、流路の排気口側から気体放出口を介して放電空間を視認しにくくなり、紫外線の直視を抑制できる。

［４］上記第１誘電体は、第２誘電体に対して軸流ファン側に配されていてもよい。第１電極の気体放出口側の縁部を第１縁部とし、第２誘電体の気体放出口側の縁部を第２縁部としたとき、第１縁部と第２縁部とを通り気体放出口側に延びる直線が流路構成部と交わっていてもよい。

　この構成によれば、流路の排気口側から気体放出口を介して第１電極付近を視認し難くなり、第１電極付近で生じる紫外線の直視を抑制できる。

［５］上記オゾン発生体よりも排気口側に設けられる遮蔽部を備えていてもよい。遮蔽部の少なくとも一部は、中心軸の軸方向から見て、オゾン発生体に重なっていてもよい。

　この構成によれば、流路の排気口側から気体放出口を介してオゾン発生体を視認し難くできる。

［６］上記軸流ファンの回転により生じる旋回流の中心軸に対する傾き角度を旋回流角度とし、旋回流角度に対して－３０°以上３０°以下の範囲内の角度を加算した角度を加算角度とし、気体導入口から気体が入り込む方向が、中心軸に対して軸流ファンの回転方向に加算角度で傾いていてもよい。

　この構成によれば、遮蔽部によってオゾン発生体の視認を難しくしつつ、気体導入口から放電空間に気体を導入し易くしてオゾン発生効率の向上を図ることができる。

［７］上記オゾン発生体は、気体導入口とは反対側に設けられ、気体導入口から導入された気体を放出する気体放出口を有していてもよい。遮蔽部は、中心軸の軸方向から見て、気体放出口に重なっていてもよい。

　この構成によれば、流路の排気口側から気体放出口を視認し難くなり、紫外線の直視を抑制できる。

１…流路
１Ａ…壁面
２…ファン（軸流ファン）
２Ａ…ロータ
２Ｂ…羽根部
３…オゾン発生体
３Ｂ…第１導体部
３Ｃ…第２導体部
３Ｕ…オゾン発生ユニット
３Ｘ…気体導入口
３Ｙ…気体放出口
５…吸気口
６…排気口
８…第２流路（直線流路）
８Ｂ…テーパ面
１０…第１電極
１０Ａ…第１縁部
１１…第１誘電体
１１Ａ…端部
１１Ｂ…他端
１１Ｃ…端部
１１Ｘ…第１面
１２…第１端子
２１…第１接続部
２２…第１突出部
２３…第３接続部
３０…第２電極
３１…第２誘電体
３１Ａ…端部
３１Ｂ…他端
３１Ｃ…端部
３１Ｄ…第２縁部
３１Ｘ…第２面
３２…第２端子
４１…第２接続部
４２…第２突出部
４３…第４接続部
５０…支持部
５１…スペーサ
５２…ホルダ
５３…スペーサ部
５４…延設部
５５…両面テープ
５８…第１切欠部（切欠部）
５９…第２切欠部
６０…流路構成部
６４…フィンガーガード
６６…拡散板
６６Ａ…拡散板の後端
７０…保持部
７１…第１相手側端子（第１配線）
７２…第２相手側端子（第２配線）
８９…樹脂部材
９０…開口
９０Ａ…第１開口
９０Ｂ…第２開口
９０Ｃ…第３開口
１００…オゾン発生器
５００…オゾン発生器
７００…オゾン発生器
７６６…拡散板
Ｃ１…拡散板の中心
Ｃ２…オゾン発生体の中心
ＤＳ…放電空間
ＧＣ…誘電体間ギャップ
ＧＥ…電極間距離
Ｌ…中心軸
ＶＬ１…第１仮想線
ＶＬ２…第２仮想線
Ｗ…回転方向
θ…傾斜角度

Claims

　第１電極と、
　前記第１電極を覆う第１誘電体と、
　第２電極と、
　前記第２電極を覆う第２誘電体と、
　前記第１誘電体及び前記第２誘電体を支持する支持部と、を有し、
　前記第１誘電体と前記第２誘電体との間に放電空間が形成され、
　前記支持部は、前記第１誘電体及び前記第２誘電体のいずれよりもヤング率が低いオゾン発生体。
　前記支持部は、前記第１誘電体及び前記第２誘電体を、前記第１誘電体及び前記第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側で片持ち支持する請求項１に記載のオゾン発生体。
　前記支持部は、前記第１誘電体と前記第２誘電体との間に配置されるスペーサを有する請求項２に記載のオゾン発生体。
　前記第１電極に電気的に接続される第１端子と、
　前記第２電極に電気的に接続される第２端子と、を有し、
　前記第１端子は、前記第１電極に電気的に接続される第１接続部と、前記第１接続部に連なり、前記第１誘電体の端部よりも前記一端側に突出した第１突出部と、を有し、
　前記第２端子は、前記第２電極に電気的に接続される第２接続部と、前記第２接続部に連なり、前記第１突出部と同じ方向に突出した第２突出部と、を有し、
　前記スペーサは、絶縁性を有する部材であり、前記第１誘電体と前記第２誘電体との間に配置されるスペーサ部と、前記スペーサ部から延びて前記第１突出部と前記第２突出部との間に配置される延設部と、を有する請求項３に記載のオゾン発生体。
　前記第１電極に電気的に接続される第１端子と、
　前記第２電極に電気的に接続される第２端子と、を有し、
　前記第１端子は、前記第１電極に電気的に接続される第１接続部と、前記第１接続部に連なり、前記第１誘電体の端部よりも前記一端側に突出した第１突出部と、前記第１突出部の先端から屈曲して延びる第３接続部と、を有し、
　前記第２端子は、前記第２電極に電気的に接続される第２接続部と、前記第２接続部に連なり、前記第１突出部と同じ方向に突出した第２突出部と、前記第２突出部の先端から屈曲して延びる第４接続部と、を有する請求項３又は請求項４に記載のオゾン発生体。
　前記支持部は、前記スペーサを挟んだ前記第１誘電体及び前記第２誘電体を保持するホルダを有する請求項３から請求項５のいずれか一項に記載のオゾン発生体。
　前記第１電極に電気的に接続される第１端子と、
　前記第２電極に電気的に接続される第２端子と、を有し、
　前記第１端子は、前記第１誘電体の前記スペーサ側とは反対側に配置され、
　前記第２端子は、前記第２誘電体の前記スペーサ側とは反対側に配置され、
　前記ホルダは、前記第１端子及び前記第２端子を露出させるように切り欠いた切欠部を有する請求項６に記載のオゾン発生体。
　前記ホルダは、前記放電空間を露出させるように切り欠いた第２切欠部を有する請求項７に記載のオゾン発生体。
　前記第１誘電体と前記第２誘電体との間隔である誘電体間ギャップが、０．１５ｍｍ以上である請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のオゾン発生体。
　請求項１から請求項９のいずれか一項に記載のオゾン発生体と、
　熱硬化性樹脂と、を有し、
　前記オゾン発生体の前記支持部は、前記第１誘電体及び前記第２誘電体を、前記第１誘電体及び前記第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側で片持ち支持し、
　前記オゾン発生体は、
　前記第１電極に電気的に接続される第１端子と、
　前記第２電極に電気的に接続される第２端子と、
　前記第１端子は、前記第１電極に電気的に接続される第１接続部と、前記第１接続部に連なり、前記第１誘電体の端部よりも前記一端側に突出した第１突出部と、を有し、
　前記第２端子は、前記第２電極に電気的に接続される第２接続部と、前記第２接続部に連なり、前記第１突出部と同じ方向に突出した第２突出部と、を有し、
　前記熱硬化性樹脂は、前記第１突出部と前記第２突出部との間に設けられるオゾン発生ユニット。
　気体の流路と、
　前記流路の吸気口側から排気口側に向けて気体を送り込むファンと、
　請求項１から請求項９のいずれか一項に記載のオゾン発生体と、を有し、
　前記オゾン発生体は、前記吸気口から吸い込まれた空気を原料として、前記流路にオゾンを発生させるオゾン発生器。
　前記オゾン発生体の前記支持部は、前記第１誘電体及び前記第２誘電体を、前記第１誘電体及び前記第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側で片持ち支持し、且つ前記流路の壁面よりも外側で保持され、
　前記オゾン発生体の前記第１誘電体及び前記第２誘電体は、前記壁面よりも内側に突出して配置される請求項１１に記載のオゾン発生器。
　前記流路が内側に設けられた流路構成部と、
　前記流路に中心軸を中心とした旋回流を生じさせ、前記流路の吸気口側から排気口側に向けて気体を送り込む軸流ファンと、を有し、
　前記オゾン発生体は、前記第１誘電体の一端と前記第２誘電体の一端とが前記流路構成部に支持されるとともに、前記第１誘電体の他端と前記第２誘電体の他端とが前記流路構成部の内壁面と離間し、前記第１誘電体と前記第２誘電体との間に放電空間が設けられ、
　前記第１誘電体の前記一端及び前記他端と異なる端部と、前記第１誘電体の端部に対向する前記第２誘電体の端部と、を含んで気体導入口が構成され、
　前記気体導入口から気体が入り込む方向が、前記中心軸に対して前記軸流ファンの回転方向に傾いている請求項１１又は請求項１２に記載のオゾン発生器。
　前記支持部は、前記第１誘電体及び前記第２誘電体を、前記第１誘電体及び前記第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側で片持ち支持し、
　前記第１誘電体は、前記第２誘電体と対向し、且つ前記第２誘電体との間に前記放電空間を形成する第１面を有し、
　前記第２誘電体は、前記第１面と対向する第２面を有し、
　前記直交方向の他端側において前記第１面が前記第２面から離れる方向を正とした場合の前記第２面に対する前記第１面の傾斜角度θが、下記式（Ｉ）を満たす請求項１１から請求項１３のいずれか一項に記載のオゾン発生器。
　　　－１．８［％］≦ｔａｎθ×１００≦３．０［％］・・・式（Ｉ）
　気体の流路と、
　前記流路の吸気口側から排気口側に向けて気体を送り込むファンと、
　前記流路に設けられ、前記流路にオゾンを発生させる請求項１から請求項９のいずれか一項に記載のオゾン発生体と、
　前記流路のうち前記オゾン発生体よりも下流側に配置される拡散板と、を有するオゾン発生器。