JP7437355B2 - オゾン発生体及びオゾン発生器 - Google Patents
オゾン発生体及びオゾン発生器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7437355B2 JP7437355B2 JP2021110567A JP2021110567A JP7437355B2 JP 7437355 B2 JP7437355 B2 JP 7437355B2 JP 2021110567 A JP2021110567 A JP 2021110567A JP 2021110567 A JP2021110567 A JP 2021110567A JP 7437355 B2 JP7437355 B2 JP 7437355B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric
- ozone generator
- electrode
- flow path
- ozone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 138
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 31
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 31
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 29
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 10
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 9
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
-1.8[%]≦tanθ×100≦3.0[%]・・・式(I)
-1.0[%]≦tanθ×100・・・式(II)
-0.5[%]≦tanθ×100・・・式(III)
tanθ×100≦1.0[%]・・・式(IV)
tanθ×100≦0.5[%]・・・式(V)
1-1.オゾン発生器100の構成
図1に示すオゾン発生器100は、外部の空気を吸い込み、誘電体バリア放電により空気中の酸素からオゾンを発生させ、外部に排出させる装置である。オゾン発生器100は、図2及び図3に示すように、気体の流路1と、ファン2と、オゾン発生体3と、を有する。
(D1+D2の最小値)=(オゾン発生体3に印加する電圧[kV])/(第1誘電体11及び第2誘電体31の材料の耐電圧(kV/mm)・・・式(1)
アルミナの耐電圧は15kV/mmであり、高圧の交流電圧のピーク値を4.5kVとすると、D1+D2の最小値は、0.3mmとなる。
他方、D1,D2が厚過ぎると、第1誘電体11及び第2誘電体31での損失が大きくなり、電力効率が低下する。このため、D1+D2の最大値は、D1+D2の最小値の2倍程度となる。具体的には、D1+D2は、0.3mm以上且つ0.6mm以下であることが好ましい。つまり、D1,D2は、それぞれ0.15mm以上且つ0.3mm以下であることが好ましい。本実施形態では、製造の容易さを考慮して、D1,D2をそれぞれ0.15mmとしている。
Knは、定数であり、第1誘電体11及び第2誘電体31が片持ち支持される構造である場合には1.875である。E[Pa]は、第1誘電体11及び第2誘電体31のヤング率である。E[Pa]は、第1誘電体11及び第2誘電体31がアルミナである場合、280GPa程度である。I[m4]は、第1誘電体11及び第2誘電体31の断面2次モーメントである。ρ[kg/m3]は、第1誘電体11及び第2誘電体31の密度である。A[m2]は、第1誘電体11及び第2誘電体31の断面積である。L[m]は、第1誘電体11及び第2誘電体31における支持部50によって支持される固定端から自由端までの長さである(図5参照)。
L1≦L4 ・・・式(2)
L4<L2≦L3 ・・・式(3)
傾斜角度θは、図12に示すように、短手方向から見た場合に第1面11Aが第2面31Aに対して傾斜する角度であり、長手方向の他端側において第1面11Aが第2面31Aから離れる方向を正とし、第1面11Aが第2面31Aに近づく方向を負とする。つまり、第1面11A及び第2面31Aが平行である場合に傾斜角度θが0度となり、第1面11A及び第2面31Aが長手方向の一端側から他端側に向けて広がる場合に傾斜角度θが正となり、第1面11A及び第2面31Aが長手方向の一端側から他端側に向けて狭くなる場合に傾斜角度θが負となる。
評価は以下のようにした。
<オゾン濃度(ppb)>
「×」…30未満、50以上(オゾン濃度が高いことによる悪影響を考慮して50以上を「×」としている)
「○」…30以上35以下
「◎」…35より大きく40未満
「☆」…40以上50未満
<ノイズ(dB)>
「×」…30以上
「○」…29以上30未満
「◎」…28以上29未満
「☆」…28未満
<総合評価>
「×」…オゾン濃度及びノイズの少なくともいずれか一方の評価が「×」
「○」…オゾン濃度及びノイズの評価に「×」がなく、且つ少なくともいずれか一方の評価が「○」
「◎」…オゾン濃度及びノイズの評価に「×」「○」がなく、且つ少なくともいずれか一方の評価が「◎」
「☆」…オゾン濃度及びノイズの両方の評価が「☆」
第1実施形態では、支持部50が、第1誘電体11及び第2誘電体31のいずれよりもヤング率が低い。このため、第1誘電体11又は第2誘電体31が振動しても、支持部50が支持する部分に応力がかかりにくい。ゆえに、第1誘電体11及び第2誘電体31が破損しにくい。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。また、上述した実施形態や後述する実施形態の様々な特徴は、矛盾しない組み合わせであればどのように組み合わされてもよい。
1A…壁面
2…ファン
3…オゾン発生体
5…吸気口
6…排気口
10…第1電極
11…第1誘電体
11A…第1面
30…第2電極
31…第2誘電体
31A…第2面
50…支持部
100…オゾン発生器
DS…放電空間
θ…傾斜角度
Claims (7)
- 第1電極と、
前記第1電極を覆う第1誘電体と、
第2電極と、
前記第2電極を覆う第2誘電体と、を有し、
前記第1誘電体と前記第2誘電体との間には放電空間が形成され、
前記第1誘電体及び前記第2誘電体を、前記第1誘電体及び前記第2誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側で片持ち支持する支持部を有し、
前記第1誘電体は、前記第2誘電体と対向し、且つ前記第2誘電体との間に前記放電空間を形成する第1面を有し、
前記第2誘電体は、前記第1面と対向する第2面を有し、
前記第2面が前記第1面に対して傾斜しており、
前記直交方向の他端側において前記第1面が前記第2面から離れる方向を正とした場合の前記第2面に対する前記第1面の傾斜角度θが、下記式(I)を満たすオゾン発生体。
-1.8[%]≦tanθ×100≦3.0[%]・・・式(I) - 前記傾斜角度θが、下記式(II)を満たす請求項1に記載のオゾン発生体。
-1.0[%]≦tanθ×100・・・式(II) - 前記傾斜角度θが、下記式(III)を満たす請求項2に記載のオゾン発生体。
-0.5[%]≦tanθ×100・・・式(III) - 前記傾斜角度θが、下記式(IV)を満たす請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のオゾン発生体。
tanθ×100≦1.0[%]・・・式(IV) - 前記傾斜角度θが、下記式(V)を満たす請求項4に記載のオゾン発生体。
tanθ×100≦0.5[%]・・・式(V) - 気体の流路と、
前記流路の吸気口側から排気口側に向けて気体を送り込むファンと、
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のオゾン発生体と、を有し、
前記オゾン発生体は、前記吸気口から吸い込まれた空気を原料として、前記流路にオゾンを発生させるオゾン発生器。 - 前記ファンは、前記オゾン発生体よりも上流側に配置され、所定の回転方向に回転することで前記流路に前記回転方向の旋回流を生成し、
前記オゾン発生体における前記第1誘電体は、前記第2誘電体と対向し、且つ前記第2誘電体との間に前記放電空間を形成する第1面を有し、
前記オゾン発生体における前記第2誘電体は、前記第1面と対向する第2面を有し、
前記オゾン発生体は、前記流路の壁面側に配置され、
前記第1面及び前記第2面は、下流側に向かうにつれて前記回転方向に傾斜するように配置される請求項6に記載のオゾン発生器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021110567A JP7437355B2 (ja) | 2021-07-02 | 2021-07-02 | オゾン発生体及びオゾン発生器 |
PCT/JP2022/013827 WO2023276337A1 (ja) | 2021-07-02 | 2022-03-24 | オゾン発生体、オゾン発生ユニット及びオゾン発生器 |
EP22832500.7A EP4365130A1 (en) | 2021-07-02 | 2022-03-24 | Ozone generating body, ozone generating unit, and ozone generator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021110567A JP7437355B2 (ja) | 2021-07-02 | 2021-07-02 | オゾン発生体及びオゾン発生器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023007608A JP2023007608A (ja) | 2023-01-19 |
JP7437355B2 true JP7437355B2 (ja) | 2024-02-22 |
Family
ID=85111976
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021110567A Active JP7437355B2 (ja) | 2021-07-02 | 2021-07-02 | オゾン発生体及びオゾン発生器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7437355B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001353209A (ja) | 2000-06-15 | 2001-12-25 | Toshiba Corp | 脱臭装置 |
JP2005328915A (ja) | 2004-05-18 | 2005-12-02 | Toshiba Corp | ガス浄化装置およびガス浄化方法 |
JP2020093962A (ja) | 2018-12-14 | 2020-06-18 | 株式会社豊田中央研究所 | オゾン発生装置 |
-
2021
- 2021-07-02 JP JP2021110567A patent/JP7437355B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001353209A (ja) | 2000-06-15 | 2001-12-25 | Toshiba Corp | 脱臭装置 |
JP2005328915A (ja) | 2004-05-18 | 2005-12-02 | Toshiba Corp | ガス浄化装置およびガス浄化方法 |
JP2020093962A (ja) | 2018-12-14 | 2020-06-18 | 株式会社豊田中央研究所 | オゾン発生装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2023007608A (ja) | 2023-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010040173A (ja) | イオン発生装置および電気機器 | |
JP7437355B2 (ja) | オゾン発生体及びオゾン発生器 | |
JP7360422B2 (ja) | オゾン発生体及びオゾン発生器 | |
JP7499218B2 (ja) | オゾン発生体及びオゾン発生器 | |
JP7360423B2 (ja) | オゾン発生器 | |
JP7398409B2 (ja) | オゾン発生器 | |
WO2023276337A1 (ja) | オゾン発生体、オゾン発生ユニット及びオゾン発生器 | |
JP7402842B2 (ja) | オゾン発生体及びオゾン発生器 | |
KR20220103165A (ko) | 유전체 배리어식 플라즈마 발생 장치, 및, 유전체 배리어식 플라즈마 발생 장치의 플라즈마 방전 개시 방법 | |
JP7014286B2 (ja) | 熱励起型の音波発生装置及び音波発生システム | |
JP7463320B2 (ja) | オゾン発生器 | |
US20240317582A1 (en) | Ozone generating body, ozone generating unit, and ozone generator | |
WO2023037583A1 (ja) | 誘電体バリア放電式プラズマ発生装置 | |
JP5898891B2 (ja) | 発光装置 | |
JP7334309B1 (ja) | オゾン発生体、及びオゾン発生器 | |
EP4365131A1 (en) | Ozone generator | |
WO2019159400A1 (ja) | 熱励起型の音波発生装置及び音波発生システム | |
US20240286897A1 (en) | Ozone generator | |
JP2020038752A (ja) | バリア放電ランプ、紫外線照射ユニットおよび紫外線照射装置 | |
JP7383087B1 (ja) | オゾン発生器 | |
JP2016225196A (ja) | イオン発生送風装置 | |
JP2023015969A (ja) | オゾン発生器 | |
JPH11347505A (ja) | 除電除塵器 | |
JP2023062318A (ja) | 誘電体バリア放電式プラズマ発生装置 | |
JPH11348235A (ja) | 除電除塵器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220609 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230620 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230810 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20231017 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231219 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20231226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240201 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240209 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7437355 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |