WO2023210032A1 - 塗布装置及び塗布方法 - Google Patents

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WO2023210032A1
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coating liquid
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雅樹 横山
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中外炉工業株式会社
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    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/26Processes for applying liquids or other fluent materials performed by applying the liquid or other fluent material from an outlet device in contact with, or almost in contact with, the surface

Definitions

  • the present invention enables the coating liquid supplied in the coating liquid storage portion of the coating nozzle to be discharged onto the object to be coated through the slit-shaped discharge port at the tip of the coating nozzle, and also allows the coating liquid to be connected between the coating nozzle and the object to be coated.
  • the present invention relates to a coating apparatus that applies a coating liquid to the surface of an object to be coated by moving the apparatus relatively in a coating direction in which the coating liquid is applied to the object to be coated, and a coating method using such an application apparatus.
  • the coating liquid is applied to the surface of the object to be coated in various patterns while changing the coating width and application position of the object to be coated. The feature is that it can be done easily.
  • Patent Documents 1 and 2 a coating nozzle equipped with a slit-shaped discharge port is used to transfer the coating liquid stored in the coating liquid storage section of the coating nozzle to the tip of the coating nozzle. At the same time, the coating nozzle and the object to be coated are moved relative to each other in the coating direction in which the coating liquid is applied to the object to be coated. A coating device is used to apply a coating liquid to the surface.
  • a cylindrical coating liquid supply body having a guide recess in a predetermined pattern shape that guides the coating liquid in the coating liquid storage portion to the slit-shaped discharge port is provided on the outer circumferential surface.
  • the coating liquid supply body is rotatably provided so as to be positioned above the slit-shaped discharge opening, and the coating liquid supply body is rotated above the slit-shaped discharge opening so that the coating liquid in the coating liquid storage recess passes through the guide recess. It is shown that the liquid is introduced into a slit-shaped discharge port and applied to the surface of the object to be coated.
  • Patent Document 3 a coating liquid supply body provided with an elliptical guide recess is rotated over a slit-shaped discharge port to apply the coating liquid in a circular shape onto the surface of an object to be coated.
  • a coating liquid supply body with a modified guide recess provided in the coating liquid supply body is rotated over a slit-shaped discharge port, and the coating liquid is applied to the surface of the object to be coated in different shapes. It shows what was done to make it happen.
  • Patent Document 3 in order to apply the coating liquid to the surface of the object to be coated in different shapes, a number of guide recesses provided in the coating liquid supply body are prepared with different shapes. In each case, it is necessary to use a coating liquid supply body whose guide recess has the desired shape, which increases the cost and makes it extremely troublesome to replace the coating liquid supply body in the coating liquid storage section. Therefore, it has not been possible to apply the coating liquid to the surface of the object in various patterns while changing the coating width and application position for applying the coating liquid to the object.
  • a cylindrical nozzle body is provided with a long discharge slit along the axial direction, and a cylindrical adjustment inner cylinder provided with a trapezoidal notch hole is rotatably fitted into the nozzle body.
  • the width of the coating liquid applied to the surface of the object to be coated can be adjusted by adjusting the position of the notch hole provided in the adjustment inner cylinder to match the discharge slit in the nozzle body. It is shown.
  • Patent Document 5 a nozzle portion provided with a discharge port at the lower end is moved in a direction intersecting the moving direction of the object to be coated to apply a coating liquid to the surface of the object to be coated.
  • Patent Document 6 a slit nozzle is provided so as to be movable in the longitudinal direction, and this slit nozzle is set at a position on one side, and a part of the surface of the object to be coated is sprayed from the slit nozzle on one side. After applying the coating liquid, move this slit nozzle in the longitudinal direction and set it to the opposite position, and apply the coating liquid from this slit nozzle to the opposite part of the surface of the object to be coated. A device in which the coating liquid is applied to the entire surface of the coating body is shown.
  • the present invention enables the coating liquid stored in the coating liquid storage portion of the coating nozzle to be discharged onto the object to be coated from the slit-shaped discharge port at the tip of the coating nozzle, and also connects the coating nozzle and the object to be coated.
  • An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems in a coating device that applies a coating liquid to the surface of an object to be coated by moving the coating liquid relative to the coating direction of the object to be coated. It is something.
  • the coating liquid is applied to the object to be coated by changing the coating width and coating position to apply the coating liquid to the object to be coated in various patterns.
  • the object of the present invention is to make it possible to easily apply the coating to the surface of.
  • the coating device supplies the coating liquid supplied into the coating liquid storage section of the coating nozzle to the object to be coated through the slit-shaped discharge port at the tip of the coating nozzle.
  • a coating device that applies a coating liquid to the surface of an object to be coated by discharging and moving the coating nozzle and the object to be coated relatively in a coating direction in which the coating liquid is applied to the object to be coated
  • Coating width adjusting means for adjusting the width of applying the coating liquid in the coating liquid storage section to the object to be coated through the slit-like discharge port is provided, and the coating nozzle and the object to be coated are connected to each other.
  • the present invention is characterized by being provided with cross-direction moving means for relatively moving in a direction intersecting the direction.
  • the coating liquid is discharged onto the object to be coated through the slit-shaped discharge port at the tip of the coating nozzle, and the coating liquid is applied to the object by connecting the coating nozzle and the object to be coated.
  • the coating width adjusting means allows the coating liquid in the coating liquid storage section to be applied to the object through the slit-shaped discharge port.
  • the coating nozzle and the object to be coated are moved relative to each other in a direction crossing the coating direction by the cross-direction moving means, so that the width of the object to be coated is adjusted.
  • the width of the coating liquid to be applied to the surface and the position in the width direction of the object to be coated with the coating liquid can be easily changed, and the coating liquid can be applied in various patterns.
  • a guide recess having a predetermined pattern shape that guides the coating liquid in the coating liquid storage portion to the slit-shaped discharge port is provided on the outer peripheral surface.
  • a cylindrical coating liquid supply body provided in the cylindrical coating liquid supply body is rotatably provided so as to be positioned above the slit-shaped discharge opening, and the coating liquid supply body is rotated above the slit-shaped discharge opening, The coating liquid in the coating liquid storage recess is guided to the slit-shaped discharge port through the guide recess, or a slit width adjustment member is provided to adjust the slit width in the slit-shaped discharge port, and the slit width adjustment member is provided.
  • the width of the slit guided to the surface of the object to be coated through the slit-shaped discharge port can be adjusted by the member.
  • the coating liquid is applied to the surface of the object to be coated using the coating device described above.
  • the coating liquid is discharged onto the object to be coated through the slit-shaped discharge port at the tip of the coating nozzle, and the coating nozzle and the object to be coated are connected to each other for applying the coating liquid to the object to be coated.
  • the coating width adjustment means is applied to the object to be coated through the slit-shaped discharge port. The coating width is adjusted, and the coating nozzle and the object to be coated are relatively moved in a direction crossing the coating direction by the above-mentioned cross-direction moving means.
  • the coating liquid can be applied in various patterns onto the surface of the object to be coated while changing the coating width and coating position for applying the coating liquid to the object to be coated. Now it's easy to do.
  • the coating liquid is applied from the coating nozzle to the surface of the object placed on the fixed table, with (A) being a partial schematic plan view and (B) ) is a schematic front view.
  • a guide recess having a substantially triangular planar shape is provided on the outer peripheral surface of the coating liquid supply body rotatably provided in the coating liquid storage portion of the coating nozzle to which the coating liquid is supplied.
  • (A) is a schematic front view of a coating liquid supply body provided with a guide recess
  • (B) is a developed view of the outer peripheral surface of the coating liquid supply body provided with a guide recess.
  • the coating liquid supply body is rotatably provided in the coating liquid storage part of the coating nozzle so as to be positioned above the slit-shaped discharge port
  • (A) is a schematic cross-sectional view of the coating nozzle in the longitudinal direction
  • (B) is a schematic cross-sectional view of the coating nozzle in a direction intersecting the longitudinal direction.
  • (A) and (B) rotate the coating liquid supply body provided in the coating liquid storage section above the slit-shaped discharge port to communicate with the slit-shaped discharge port.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional explanatory diagram showing a state in which the width of the guide recessed portion is changed to change the width of the coating liquid applied to the surface of the object to be coated.
  • the coating nozzle is moved in the coating direction in which the coating liquid is applied to the object to be coated, and is also moved in a direction intersecting the coating direction, and further, the coating nozzle is moved in the direction that intersects with the coating direction to apply the coating liquid to the surface of the object to be coated.
  • FIG. 2 is a schematic plan view showing a state in which the coating liquid is applied to the surface of an object to be coated in various planar shapes by adjusting the width of the coating liquid.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view in the longitudinal direction of the coating nozzle showing a state in which the width of the coating liquid applied to the surface of the object to be coated is adjusted by the width adjustment member.
  • a workpiece W to be coated is placed on a fixed table 10, and on both sides of the workpiece W in the width direction, Running rails 11 are laid along the longitudinal direction of the object W to be coated, which is the coating direction in which the coating liquid P is applied to each object W, and on the rails 11 on both sides, there are installed rails 11 between the pair of supports 21.
  • a traveling trolley 20 which has a gate-like shape with a beam 22 spanning across is set, a coating nozzle 30 is attached to the traveling trolley 20, and the traveling trolley 20 is moved along the traveling rail 11 to be coated. It is made to run along the longitudinal direction of the body W.
  • the coating nozzle 30 is movably held on the guide rail 23 provided under the beam 22 of the traveling carriage 20, and the coating nozzle 30 is moved in the cross direction.
  • the means 40 moves it in the width direction of the object W to be coated, which intersects with the coating direction.
  • the beam 22 can be raised and lowered in the vertical direction by a lifting mechanism (not shown) provided on the pillar 21.
  • the traveling cart 20 is provided with a motor 41 and a long male screw 42, and the motor 41 rotates the male screw 42. Then, the coating nozzle 30 is moved in the width direction of the object W to be coated, which intersects with the coating direction, via the screw block 43 provided on the coating nozzle 30.
  • the opening/closing valve 35 provided in the coating liquid supply pipe 34 of the coating liquid supply device (not shown) is opened to supply the coating liquid p into the coating liquid storage section 32,
  • the coating liquid p supplied into the coating liquid storage section 32 is applied to the object W to be coated through a slit-shaped discharge port 33 at the tip of the coating nozzle 30.
  • the coating liquid p supplied into the coating liquid storage portion 32 of the coating nozzle 30 is discharged onto the object W to be coated through the slit-shaped discharge port 33,
  • a coating width adjusting means 50 for adjusting the width of coating on the surface of the object W to be coated as shown in FIGS.
  • the provided cylindrical coating liquid supply body 51 is used to feed the coating liquid supply body 51 into the slit-shaped discharge in the coating liquid storage section 32. It is rotatably provided so as to be located above the outlet 33, and a rotation shaft 51b of the coating liquid supply body 51 is rotated by a rotation device 52.
  • the guide recess 51a having a substantially triangular planar shape is provided on the outer peripheral surface of the cylindrical coating liquid supply body 51, but the shape of the guide recess 51a is not particularly limited. It can be formed into various shapes such as an ellipse or a trapezoid.
  • the coating nozzle 30 is lowered together with the beam 22 by the lifting device (not shown), and when the distance between the slit-shaped discharge port 33 and the surface of the object W to be coated reaches a predetermined distance, the coating nozzle 30 is lowered together with the beam 22. 30 is stopped, the opening/closing valve 35 provided in the coating liquid supply pipe 34 is opened, and the coating liquid p is supplied into the coating liquid storage section 32.
  • the coating liquid supply body 51 is rotated on the slit-shaped discharge port 33 by the rotation device 52, and the guide provided on the outer peripheral surface of the coating liquid supply body 51 is rotated.
  • the coating liquid p supplied into the coating liquid storage portion 32 passes through the slit-shaped discharge port 33 that communicates with the guide concave portion 51a to the object to be coated.
  • the guide recess 51a communicates with the slit-shaped discharge port 33.
  • the coating liquid p having a width corresponding to the width of the guide recess 51a communicating with the slit-shaped discharge port 33 is applied from the guide recess 51a to the surface of the object W to be coated through the slit-shaped discharge port 33. will be done.
  • the on-off valve 35 provided in the coating liquid supply pipe 34 is closed, and the lifting device (not shown) is operated.
  • the coating nozzle 30 is raised together with the beam 22 and returned to its original position.
  • the traveling carriage 20 is caused to travel along the longitudinal direction of the object W to be coated along the traveling rail 11 of the object W, and moves the coating nozzle 30 in the coating direction in which the coating liquid P is applied to the object W.
  • the long male screw 42 is rotated by the motor 41 installed in the motor 41 to move the coating nozzle 30 in a direction intersecting the coating direction.
  • the position at which the coating liquid p is applied to the surface of the W is shifted in a direction intersecting the coating direction, and the coating liquid supply body 51 is rotated within the coating liquid storage section 32, so that the coating liquid supply body
  • the guide recess 51a provided on the outer circumferential surface of the guide recess 51 adjusts the width in communication with the slit-shaped discharge port 33, thereby changing the width over which the coating liquid p is applied to the surface of the object W to be coated.
  • the coating liquid p is applied with the same width.
  • the coating liquid supply body 51 when applying the coating liquid p to the surface of the object W to be coated in a desired pattern, the coating liquid supply body 51 is rotated and the coating liquid p is supplied through the slit-shaped discharge port 33. While changing the width of the coating liquid p to a desired coating width, the coating nozzle 30 is moved in the coating direction, and a control device (not shown) is used to align the center of the coating width with the center of the slit-shaped discharge port 33. By moving the coating nozzle 30 in a direction intersecting the coating direction, it becomes possible to apply various patterns that have not been possible before.
  • the width of the coating liquid p applied to the left and right sides of the locus L of the center of the guide recess 51a will be different.
  • the coating width adjusting means 50 for adjusting the width of coating onto the object W through the slit-shaped discharge port 33 has a substantially triangular planar shape as described above.
  • a cylindrical coating liquid supply body 51 with a guide recess 51a provided on its outer circumferential surface is rotatably positioned above the slit-shaped discharge port 33 within the coating liquid storage section 32 supplied with the coating liquid p.
  • the coating width adjusting means 50 is not limited to this.
  • the coating liquid supply body 51 is not provided in the coating liquid storage section 32, and as shown in FIGS.
  • a pair of slit width adjustment members 53 for adjusting the opening/closing state of the slit-shaped discharge port 33 in the longitudinal direction is provided below, and the pair of slit width adjustment members 53 are moved by a slide device (not shown) to the slit-shaped discharge port. 33 in the longitudinal direction to adjust the distance between the pair of slit width adjustment members 53, and the coating liquid p in the coating liquid storage section 32 is transferred from the slit-shaped discharge port 33 to the pair of slit width adjusting members 53. It is also possible to apply it to the object W to be coated through the slit width adjusting members 53.
  • the traveling carriage 20 when relatively moving the coating nozzle 30 and the object W to be coated in the coating direction in which the coating liquid p is applied to the object W, the traveling carriage 20 is The nozzle 30 was set and the traveling cart 20 was made to travel along the traveling rail 11 in the coating direction of the longitudinal direction of the object W to be coated.
  • the method of relatively moving in the coating direction is not limited to this method.
  • the coating nozzle 30 is provided so as not to move in the coating direction, while a moving stage (not shown) that moves in the coating direction is provided on the fixed table 10. It is also possible to set the object W to be coated on a moving stage and to move the object W to be coated in the coating direction by this moving stage.
  • the coating nozzle 30 in order to relatively move the coating nozzle 30 and the object W to be coated in the direction crossing the coating direction, the coating nozzle 30 is moved to the traveling trolley as described above.
  • the coating nozzle 30 is movably held by a guide rail 23 provided in the coating material 20, and is moved in the width direction of the object W to be coated, which intersects with the coating direction, by the above-mentioned cross-direction moving means 40.
  • the method of relatively moving the coating nozzle 30 and the object W to be coated in the direction intersecting the coating direction is not limited to this method.
  • the coating nozzle 30 is attached to the traveling carriage 20 so that the coating nozzle 30 does not move in the width direction of the object W to be coated, while the above fixed table is used as the cross direction moving means 40. 10 is provided with a moving stage (not shown) that moves in the width direction of the object W to be coated, which intersects with the coating direction, and the object W to be coated is set on this moving stage, and the moving stage moves It is also possible to move the body W in the width direction of the body W to be coated, which intersects with the coating direction.

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Abstract

塗布用ノズル30における塗液収容部32内に供給された塗液pを、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口33を通して被塗布体Wに吐出させると共に、塗布用ノズルと被塗布体とを、被塗布体に塗液を塗布する塗布方向に相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置において、スリット状吐出口を通して塗液収容部内における塗液を被塗布体に塗布する幅を調整する塗布幅調整手段50を設けると共に、塗布用ノズルと被塗布体とを、前記の塗布方向と交差する方向に相対的に移動させる交差方向移動手段40を設けた。

Description

塗布装置及び塗布方法
 本発明は、塗布用ノズルにおける塗液収容部内に供給された塗液を、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を通して被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを、被塗布体に塗液を塗布する塗布方向に相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置及びこのような塗布装置を用いた塗布方法に関するものである。特に、前記のような塗布装置において、被塗布体に対して塗液を塗布する塗布幅や塗布位置を変化させながら、塗液を様々なパターンになるようにして被塗布体の表面に塗布させることが簡単に行えるようにした点に特徴を有するものである。
 従来から、半導体デバイスや液晶パネル等では、ガラスやフィルムに薬液や塗料などを塗布する工程が存在している。そして、薬液や塗料などを塗布する塗布パターンとしては、従来は、一般に四角形状や円形状に塗布するようにしていたが、近年においては、商品が多様化し、様々な形状に塗布することが必要になっている。
 ここで、従来においては、特許文献1、2に示されるように、スリット状吐出口を備えた塗布ノズルを用い、塗布用ノズルにおける塗液収容部内に収容させた塗液を塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口から被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを、被塗布体に塗液を塗布する塗布方向に相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置が使用されている。
 しかし、特許文献1、2に示されるものにおいては、塗布用ノズルと被塗布体とを被塗布体に塗液を塗布する塗布方向に相対的に移動させながら、スリット状吐出口全体から塗液を被塗布体の表面に塗布させるようにしていたため、被塗布体の表面に塗液を四角形状に塗布させることはできるが、被塗布体に対して塗液を塗布する塗布幅や塗布位置を変化させながら、塗液を様々なパターンになるようにして被塗布体の表面に塗布させることはできなかった。
 また、特許文献3においては、塗液収容部内における塗液をスリット状吐出口に導く所定のパターン形状になった案内凹部が外周面に設けられた円柱状の塗液供給体を、前記のスリット状吐出口の上に位置するようにして回転可能に設け、前記の塗液供給体をスリット状吐出口の上で回転させて、塗液収容凹部内における塗液を前記の案内凹部を通して前記のスリット状吐出口に導いて、被塗布体の表面に塗布させるようにしたものが示されている。
 そして、この特許文献3においては、楕円形状の案内凹部が設けられた塗液供給体をスリット状吐出口の上で回転させて、被塗布体の表面に塗液を円形状に塗布させるようにしたものや、塗液供給体に設ける案内凹部の形状を変更した塗液供給体をスリット状吐出口の上で回転させて、被塗布体の表面に塗液を異なった形状になるように塗布させるようにしたものが示されている。
 しかし、この特許文献3においては、被塗布体の表面に塗液を異なった形状になるように塗布させるためには、塗液供給体に設ける案内凹部の形状を変更したものを多く準備して、その都度、案内凹部が目的とする形状になった塗液供給体を用いることが必要になり、コストが高くつくと共に、塗液収容部内における塗液供給体を交換させる作業が非常に面倒になり、被塗布体に対して塗液を塗布する塗布幅や塗布位置を変化させながら、塗液を様々なパターンになるようにして被塗布体の表面に塗布させることはできなかった。
 また、特許文献4においては、円筒状のノズル体に軸方向に沿った長い吐出スリットを設けると共に、このノズル体内に台形状の切欠孔が設けられた円筒状の調整内筒を回転可能に嵌挿させ、ノズル体における吐出スリットに対して、この調整内筒に設けられた切欠孔を合わせる位置を調整して、被塗布体の表面に塗布する塗液の幅を調整するようにしたものが示されている。
 しかし、この特許文献4に示されるものにおいても、前記の特許文献1~3のものと同様に、被塗布体に対して塗液を塗布する塗布幅や塗布位置を変化させながら様々なパターンになった塗液の塗布させることはできなかった。
 また、特許文献5においては、下端に吐出口が設けられたノズル部を、被塗布体の移動方向と交差する方向に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布するようにしたものが示されており、さらに特許文献6においては、スリットノズルを長手方向に移動可能に設け、このスリットノズルを片側の位置にセットして、このスリットノズルから被塗布体の表面の片側の部分に塗液を塗布させた後、このスリットノズルを長手方向に移動させて反対側の位置にセットして、このスリットノズルから被塗布体の表面の反対側の部分に塗液を塗布させて、被塗布体の表面全体に塗液を塗布するようにしたものが示されている。
 しかし、前記の特許文献5,6に示されるものにおいても、前記の特許文献1~4のものと同様に、被塗布体に対して塗液を塗布する塗布幅や塗布位置を変化させながら、塗液を様々なパターンになるようにして被塗布体の表面に塗布させることはできなかった。
特許第6326315号公報 特許第4260199号公報 特許第6847560号公報 特開平10-192762号公報 特開2003-224066号公報 特開2004-63620号公報
 本発明は、塗布用ノズルにおける塗液収容部内に収容させた塗液を塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口から被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを、被塗布体に塗液を塗布する塗布方向に相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布するようにした塗布装置における前記のような問題を解決することを課題とするものである。
 すなわち、本発明においては、前記のような塗布装置において、被塗布体に対して塗液を塗布する塗布幅や塗布位置を変化させながら、塗液を様々なパターンになるようにして被塗布体の表面に塗布させることが簡単に行えるようにすることを課題とするものである。
 本発明に係る塗布装置は、前記のような課題を解決するため、塗布用ノズルにおける塗液収容部内に供給された塗液を、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を通して被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを、被塗布体に塗液を塗布する塗布方向に相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置において、前記のスリット状吐出口を通して前記の塗液収容部内における塗液を被塗布体に塗布する幅を調整する塗布幅調整手段を設けると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを、前記の塗布方向と交差する方向に相対的に移動させる交差方向移動手段を設けたことを特徴とするものである。
 そして、本発明に係る塗布装置においては、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を通して被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを、被塗布体に塗液を塗布する塗布方向に相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布させるにあたり、前記の塗布幅調整手段によって、スリット状吐出口を通して塗液収容部内における塗液を被塗布体に塗布する幅を調整すると共に、前記の交差方向移動手段によって、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを、前記の塗布方向と交差する方向に相対的に移動させるようにしたため、被塗布体の表面に塗布させる塗液の幅や、塗液を塗布させる被塗布体における幅方向の位置を簡単に変更でき、様々なパターンに塗液を塗布することが行えるようになる。
 ここで、本発明に係る塗布装置においては、前記の塗布幅調整手段として、前記の塗液収容部内における塗液を前記のスリット状吐出口に導く所定のパターン形状になった案内凹部が外周面に設けられた円柱状の塗液供給体を、前記のスリット状吐出口の上に位置するようにして回転可能に設け、前記の塗液供給体をスリット状吐出口の上で回転させて、塗液収容凹部内における塗液を前記の案内凹部を通して前記のスリット状吐出口に導くようにし、或いは、前記のスリット状吐出口におけるスリット幅を調整するスリット幅調整部材を設け、このスリット幅調整部材により、スリット状吐出口を通して被塗布体の表面に導かれるスリット幅を調整することができる。
 また、本発明に係る塗布方法においては、前記の塗布装置を用いて、被塗布体の表面に塗液を塗布するようにした。
 本発明における塗布装置においては、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を通して被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを、被塗布体に塗液を塗布する塗布方向に相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布させるにあたり、前記のように塗布幅調整手段によって、スリット状吐出口を通して塗液収容部内における塗液を被塗布体に塗布する幅を調整させると共に、前記の交差方向移動手段によって、塗布用ノズルと被塗布体とを塗布方向と交差する方向に相対的に移動させるようにした。
 この結果、本発明における塗布装置においては、被塗布体に対して塗液を塗布する塗布幅や塗布位置を変化させながら、被塗布体の表面に、様々なパターンになった塗液の塗布が簡単に行えるようになった。
本発明の実施形態に係る塗布装置において、固定テーブルの上に載置された被塗布体の表面に塗布用ノズルから塗液を塗布させる状態を示し、(A)は部分概略平面図、(B)は概略正面図である。 前記の実施形態に係る塗布装置において、塗液が供給される塗布用ノズルにおける塗液収容部内に回転可能に設ける塗液供給体の外周面に平面形状が略三角形状になった案内凹部を設けた状態を示し、(A)は案内凹部を設けた塗液供給体の概略正面図、(B)は案内凹部を設けた塗液供給体の外周面の展開図である。 前記の実施形態に係る塗布装置において、前記の塗布用ノズルにおける塗液収容部内に、前記の塗液供給体をスリット状吐出口の上に位置するようにして回転可能に設けた状態を示し、(A)は塗布用ノズルの長手方向の概略断面説明図、(B)は塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。 前記の実施形態に係る塗布装置において、(A),(B)は塗液収容部内に設けた前記の塗液供給体をスリット状吐出口の上で回転させて、スリット状吐出口と連通される案内凹部の幅を変更させて、被塗布体の表面に塗布される塗液の幅を変更させる状態を示した概略断面説明図である。 前記の実施形態に係る塗布装置において、塗布用ノズルを被塗布体に塗液を塗布する塗布方向に移動させると共に、前記の塗布方向と交差する方向に移動させ、さらに被塗布体の表面に塗布させる塗液の幅を調整して、被塗布体の表面に様々な平面形状になるように塗液を塗布する状態を示した概略平面図である。 前記の実施形態に係る塗布装置において、塗布幅調整手段として、スリット状吐出口の開閉状態を調整する一対のスリット幅調整部材を設けた変更例を示し、(A),(B)はこのスリット幅調整部材により被塗布体の表面に塗布させる塗液の幅を調整する状態を示した塗布用ノズルの長手方向の概略断面説明図である。
 以下、本発明の実施形態に係る塗布装置及び塗布方法を、添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、本発明における塗布装置及び塗布方法は、下記の実施形態に示したものに限定されず、発明の要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施できるものである。
 この実施形態における塗布装置においては、図1(A),(B)に示すように、固定テーブル10の上に被塗布体Wを載置させ、この被塗布体Wの幅方向の両側に、それぞれ被塗布体Wに塗液pを塗布する塗布方向である被塗布体Wの長手方向に沿った走行用レール11を敷設し、この両側の走行用レール11の上に、一対の支柱21間に梁22がかけ渡されて門型状になった走行台車20をセットすると共に、この走行台車20に塗布用ノズル30を取り付け、この走行台車20を前記の走行用レール11に沿って被塗布体Wの長手方向に沿って走行させるようにしている。
 また、この実施形態の塗布装置においては、前記の塗布用ノズル30を、走行台車20における梁22の下に設けた案内レール23に移動可能に保持させ、この塗布用ノズル30を、交差方向移動手段40により前記の塗布方向と交差する被塗布体Wの幅方向に移動させるようにしている。また、前記の梁22は、前記の支柱21に設けた昇降機構(図示せず)によって、上下方向に昇降できるようになっている。
 ここで、この実施形態の塗布装置においては、前記の交差方向移動手段40として、前記の走行台車20にモーター41と長尺のおねじ42とを設け、モーター41により前記のおねじ42を回転させて、前記の塗布用ノズル30に設けたねじブロック43を介して、塗布用ノズル30を塗布方向と交差する被塗布体Wの幅方向に移動させるようにしている。
 そして、前記の塗布用ノズル30においては、塗液供給装置(図示せず)における塗液供給管34に設けた開閉バルブ35を開けて、塗液pを塗液収容部32内に供給し、この塗液収容部32内に供給された塗液pを、塗布用ノズル30の先端部におけるスリット状吐出口33を通して被塗布体Wに塗布させるようにしている。
 また、この実施形態の塗布装置においては、前記の塗布用ノズル30における塗液収容部32内に供給された塗液pを、前記のスリット状吐出口33を通して被塗布体Wに吐出させて、被塗布体Wの表面に塗布させる幅を調整する塗布幅調整手段50として、図2(A),(B)に示すように、平面形状が略三角形状になった案内凹部51aが外周面に設けられた円柱状の塗液供給体51を用い、図3(A),(B)に示すように、この塗液供給体51を、前記の塗液収容部32内において前記のスリット状吐出口33の上に位置するようにして回転可能に設け、この塗液供給体51における回転軸51bを、回転装置52によって回転させるようにしている。なお、この実施形態においては、円柱状の塗液供給体51の外周面に平面形状が略三角形状になった案内凹部51aを設けたが、案内凹部51aの形状は特に限定されず、例えば、楕円形状や台形状等の様々な形状にすることができる。
 ここで、前記の昇降装置(図示せず)により梁22と共に塗布用ノズル30を下降させ、スリット状吐出口33と被塗布体Wの表面との間隔が所定の距離になったところで塗布用ノズル30の下降を停止させ、前記の塗液供給管34に設けた開閉バルブ35を開けて、塗液pを塗液収容部32内に供給する。
 そして、この状態で、前記の回転装置52により、前記の塗液供給体51を前記のスリット状吐出口33の上で回転させて、塗液供給体51の外周面に設けられた前記の案内凹部51aを前記のスリット状吐出口33の位置に導くと、前記の塗液収容部32内に供給された塗液pが、この案内凹部51aと連通されたスリット状吐出口33を通して被塗布体Wの表面に供給されるようになり、図4(A),(B)に示すように、塗液供給体51を回転させることによって、スリット状吐出口33と連通される前記の案内凹部51aの幅を調整し、スリット状吐出口33と連通される案内凹部51aの幅に対応した幅の塗液pが、前記の案内凹部51aからスリット状吐出口33を通して被塗布体Wの表面に塗布されるようになる。
 なお、被塗布体Wの表面に対する塗液pの塗布が終了した場合には、前記の前記の塗液供給管34に設けた開閉バルブ35を閉じて、前記の昇降装置(図示せず)により梁22と共に塗布用ノズル30を上昇させて、元の位置に戻すようにする。
 そして、この実施形態の塗布装置において、図5に示すように、被塗布体Wの表面に様々な平面形状になるように塗液pを塗布するにあたっては、前記のように走行台車20を前記の走行用レール11に沿って被塗布体Wの長手方向に沿って走行させて、前記の塗布用ノズル30を被塗布体Wに塗液pを塗布する塗布方向に移動させると共に、走行台車20に設けられた前記のモーター41により長尺のおねじ42を回転させて、前記の塗布用ノズル30を前記の塗布方向と交差する方向に移動させるようにして、塗布用ノズル30から被塗布体Wの表面に塗液pを塗布させる位置を塗布方向と交差する方向にずらせるようにし、さらに前記の塗液収容部32内において前記の塗液供給体51を回転させて、塗液供給体51の外周面に設けられた案内凹部51aが前記のスリット状吐出口33と連通される幅を調整し、被塗布体Wの表面に塗液pを塗布させる幅を変更させるようにしている。
 ここで、図5においては、前記の塗液供給体51の外周面に設けた案内凹部51aが左右対称の三角形状になっているため、案内凹部51aの幅方向の中心の軌跡Lの左右に、塗液pが同じ幅になって塗布されるようになる。
 そして、この実施形態のものにおいて、被塗布体Wの表面に塗液pを所望のパターンに塗布するにあたっては、前記の塗液供給体51を回転させて、スリット状吐出口33を通して供給される塗液pの幅を所望の塗布幅に変更させながら、塗布用ノズル30を塗布方向に移動させ、塗布幅の中心とスリット状吐出口33の中心を合わせるように制御装置(図示せず)により、塗布用ノズル30を塗布方向と交差する方向に移動させることにより、今までできなかった様々なパターンの塗布が行えるようになる。
 なお、塗液供給体51の外周面に設けた案内凹部51aが左右対称でない場合には、案内凹部51aの中心の軌跡Lの左右に塗布される塗液pの幅は異なるようになる。
 また、この実施形態における塗布装置においては、前記のスリット状吐出口33を通して被塗布体Wに塗布させる幅を調整する塗布幅調整手段50として、前記のように平面形状が略三角形状になった案内凹部51aが外周面に設けられた円柱状の塗液供給体51を、塗液pが供給された塗液収容部32内においてスリット状吐出口33の上に位置するようにして回転可能に設けたが、塗布幅調整手段50はこのようなものに限定されない。
 例えば、前記の塗液収容部32内に塗液供給体51を設けないようにし、図6(A),(B)に示すように、塗布幅調整手段50として、前記のスリット状吐出口33の下に、スリット状吐出口33の長手方向の開閉状態を調整する一対のスリット幅調整部材53を設け、この一対のスリット幅調整部材53を、スライド装置(図示せず)によりスリット状吐出口33の長手方向に近接・離間するように移動させて、一対のスリット幅調整部材53間の間隔を調整し、塗液収容部32内における塗液pを前記のスリット状吐出口33からこの一対のスリット幅調整部材53間を通して被塗布体Wに塗布させるようにすることもできる。
 また、この実施形態における塗布装置においては、塗布用ノズル30と被塗布体Wとを、被塗布体Wに塗液pを塗布する塗布方向に相対的に移動させるにあたって、走行台車20に塗布用ノズル30をセットし、この走行台車20を前記の走行用レール11に沿って被塗布体Wの長手方向の塗布方向に走行させるようにしたが、塗布用ノズル30と被塗布体Wとを、前記の塗布方向に相対的に移動させる方法はこのようなものに限定されない。
 例えば、図示していないが、塗布用ノズル30を前記の塗布方向に移動させないようにして設ける一方、前記の固定テーブル10の上に塗布方向に移動する移動ステージ(図示せず)を設け、この移動ステージの上に被塗布体Wをセットして、この移動ステージにより被塗布体Wを塗布方向に移動させるようにすることもできる。
 また、この実施形態における塗布装置においては、塗布用ノズル30と被塗布体Wとを、前記の塗布方向と交差する方向に相対的に移動させるにあたって、前記のように塗布用ノズル30を走行台車20に設けられた案内レール23に移動可能に保持させ、この塗布用ノズル30を、前記の交差方向移動手段40により塗布方向と交差する被塗布体Wの幅方向に移動させるようにしたが、塗布用ノズル30と被塗布体Wとを、塗布方向と交差する方向に相対的に移動させる方法はこのようなものに限定されない。
 例えば、図示していないが、塗布用ノズル30が被塗布体Wの幅方向に移動しないようにして、塗布用ノズル30を走行台車20に取り付ける一方、交差方向移動手段40として、前記の固定テーブル10の上に、塗布方向と交差する被塗布体Wの幅方向に移動する移動ステージ(図示せず)を設け、被塗布体Wをこの移動ステージの上にセットし、この移動ステージにより被塗布体Wを塗布方向と交差する被塗布体Wの幅方向に移動させるようにすることもできる。
10  :固定テーブル
11  :走行用レール
20  :走行台車
21  :支柱
22  :梁
23  :案内レール
30  :塗布用ノズル
32  :塗液収容部
33  :スリット状吐出口
34  :塗液供給管
35  :開閉バルブ
40  :交差方向移動手段
41  :モーター
42  :おねじ
43  :ねじブロック
50  :塗布幅調整手段
51  :塗液供給体
51a :案内凹部
51b :回転軸
52  :回転装置
53  :スリット幅調整部材
L   :軌跡
W   :被塗布体
p   :塗液  

Claims (4)

  1.  塗布用ノズルにおける塗液収容部内に供給された塗液を、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を通して被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを、被塗布体に塗液を塗布する塗布方向に相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置において、前記のスリット状吐出口を通して前記の塗液収容部内における塗液を被塗布体に塗布する幅を調整する塗布幅調整手段を設けると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを、前記の塗布方向と交差する方向に相対的に移動させる交差方向移動手段を設けたことを特徴とする塗布装置。
  2.  請求項1に記載の塗布装置において、前記の塗布幅調整手段として、前記の塗液収容部内における塗液を前記のスリット状吐出口に導く所定のパターン形状になった案内凹部が外周面に設けられた円柱状の塗液供給体を、前記のスリット状吐出口の上に位置するようにして回転可能に設け、前記の塗液供給体をスリット状吐出口の上で回転させて、塗液収容凹部内における塗液を前記の案内凹部を通して前記のスリット状吐出口に導くことを特徴とする塗布装置。
  3.  請求項1に記載の塗布装置において、前記の塗布幅調整手段として、前記のスリット状吐出口におけるスリット幅を調整するスリット幅調整部材を設けたことを特徴とする塗布装置。
  4.  請求項1~請求項3の何れか1項に記載の塗布装置を用いて、被塗布体の表面に塗液を塗布することを特徴とする塗布方法。  
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