WO2023199863A1 - 弾性波装置、高周波モジュール及び通信装置 - Google Patents

弾性波装置、高周波モジュール及び通信装置 Download PDF

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    • H04B1/38Transceivers, i.e. devices in which transmitter and receiver form a structural unit and in which at least one part is used for functions of transmitting and receiving

Definitions

  • the present invention generally relates to an elastic wave device, a high frequency module, and a communication device, and more specifically, an elastic wave device including a first transmission filter and a second transmission filter, a high frequency module including the elastic wave device, and a high frequency module.
  • the present invention relates to a communication device comprising:
  • Patent Document 1 discloses a high frequency module including a mounting board, a first transmission filter, a second transmission filter, and a power amplifier.
  • the mounting board has a first main surface and a second main surface.
  • the first transmission filter and the second transmission filter are stacked in the order of the first transmission filter and the second transmission filter from the first main surface side of the mounting board in the thickness direction of the mounting board. and is provided on the first main surface of the mounting board.
  • a high frequency module when two transmitting filters (a first transmitting filter and a second transmitting filter) used for simultaneous communication such as carrier aggregation are arranged so as to overlap in the thickness direction of the mounting board, the It is necessary to prevent deterioration of filter characteristics due to temperature rise of the first transmission filter and the second transmission filter.
  • An object of the present invention is to provide an elastic wave device, a high frequency module, and a communication device capable of suppressing deterioration of filter characteristics of a first transmitting filter and a second transmitting filter due to temperature rise of the first transmitting filter and the second transmitting filter.
  • Our goal is to provide the following.
  • An elastic wave device includes a first transmission filter and a second transmission filter.
  • the first transmission filter and the second transmission filter are stacked, and the first functional surface of the first transmission filter and the second functional surface of the second transmission filter are separated by a predetermined distance. They are placed facing each other.
  • the first transmission filter has a first input terminal and a first elastic wave resonator closest to the first input terminal.
  • the second transmission filter has a second input terminal and a second elastic wave resonator closest to the second input terminal.
  • the first elastic wave resonator has a first functional electrode formed on the first functional surface.
  • the second acoustic wave resonator has a second functional electrode formed on the second functional surface. In a plan view from the thickness direction of the second transmission filter, the formation area of the first functional electrode and the formation area of the second functional electrode do not overlap with each other.
  • a high frequency module includes a mounting board and the above acoustic wave device.
  • the mounting board has a main surface.
  • the elastic wave device is arranged on the main surface of the mounting board.
  • a high frequency module includes a mounting board, a first transmission filter, and a second transmission filter.
  • the first transmission filter is arranged on the mounting board.
  • the second transmission filter is arranged on the first transmission filter via a conductive connection member connected to the mounting board.
  • the first transmission filter has a first input terminal connected to a first power amplifier, and a first elastic wave resonator closest to the first input terminal.
  • the second transmission filter has a second input terminal connected to a second power amplifier, and a second elastic wave resonator closest to the second input terminal.
  • the first elastic wave resonator has a first functional electrode formed on a first functional surface.
  • the second acoustic wave resonator has a second functional electrode formed on a second functional surface.
  • the second transmission filter is arranged opposite to the first transmission filter in the thickness direction of the second transmission filter. In a plan view of the second transmission filter from the thickness direction, the formation area of the first functional electrode and the formation area of the second functional electrode do not overlap with each other.
  • a communication device includes the above-mentioned high frequency module and a signal processing circuit.
  • the signal processing circuit is connected to the high frequency module.
  • the elastic wave device, high frequency module, and communication device suppress deterioration of filter characteristics of the first transmit filter and the second transmit filter due to temperature rise of the first transmit filter and the second transmit filter. becomes possible.
  • FIG. 1 is a circuit configuration diagram of a communication device including a high frequency module according to a first embodiment.
  • FIG. 2A is a circuit diagram of the first transmission filter in the high frequency module same as above.
  • FIG. 2B is a circuit diagram of the second transmission filter in the high frequency module same as above.
  • FIG. 3 is a plan view of the high frequency module same as above.
  • FIG. 4 is another plan view of the high frequency module same as above.
  • FIG. 5 shows the same high-frequency module as above, and is a sectional view taken along the line X1-X1 in FIG.
  • FIG. 6 is a plan view of the first transmission filter in the elastic wave device according to the first embodiment.
  • FIG. 7 is a perspective view of the lower surface of the second transmitting filter seen from the upper surface side of the second transmitting filter in the same elastic wave device as above.
  • FIG. 8 shows the same elastic wave device as above, and is a sectional view corresponding to the section taken along the line X2-X2 in FIGS. 6 and 7.
  • FIG. 9 is a plan view of the first transmission filter in the elastic wave device according to Modification 1 of Embodiment 1.
  • FIG. 10 is a perspective view of the lower surface of the second transmitting filter seen from the upper surface side of the second transmitting filter in the same elastic wave device as above.
  • FIG. 11 is a plan view of the first transmission filter in the elastic wave device according to the second modification of the first embodiment.
  • FIG. 12 is a perspective view of the lower surface of the second transmitting filter seen from the upper surface side of the second transmitting filter in the same elastic wave device as above.
  • FIG. 13 is a plan view of the first transmission filter in the elastic wave device according to the third modification of the first embodiment.
  • FIG. 14 is a perspective view of the lower surface of the second transmitting filter seen from the upper surface side of the second transmitting filter in the same elastic wave device as above.
  • FIG. 15A is a circuit diagram of the first transmission filter in the elastic wave device according to Modification 4 of Embodiment 1.
  • FIG. 15B is a circuit diagram of the second transmission filter in the same elastic wave device as above.
  • FIG. 16 is a plan view of the first transmission filter in the same elastic wave device as above.
  • FIG. 17 is a perspective view of the lower surface of the second transmitting filter seen from the upper surface side of the second transmitting filter in the same elastic wave device as above.
  • FIG. 18A is a circuit diagram of the first transmission filter in the elastic wave device according to Modification 5 of Embodiment 1.
  • FIG. 18B is a circuit diagram of the second transmission filter in the elastic wave device same as above.
  • FIG. 19 is a plan view of the first transmission filter in the same elastic wave device.
  • FIG. 20 is a perspective view of the lower surface of the second transmitting filter seen from the upper surface side of the second transmitting filter in the same elastic wave device as above.
  • FIG. 21 is a sectional view of the high frequency module according to the second embodiment.
  • FIG. 22 is a sectional view of the high frequency module according to the third embodiment.
  • FIG. 23 is a sectional view of a high frequency module according to Embodiment 4.
  • FIG. 24 is a perspective view of the lower surface of the first transmitting filter seen from the upper surface side of the first transmitting filter in the same high-frequency module as above.
  • FIG. 25 is a perspective view of the lower surface of the second transmitting filter seen from the upper surface side of the second transmitting filter in the same high frequency module as above.
  • the elastic wave device ST1 according to the first embodiment includes a first transmission filter 10 and a second transmission filter 20.
  • the first transmission filter 10 and the second transmission filter 20 are stacked.
  • the high frequency module 100 according to the first embodiment includes a mounting board 9 and an acoustic wave device ST1. Therefore, the high frequency module 100 includes a mounting board 9, a first transmission filter 10, and a second transmission filter 20.
  • the mounting board 9 has a main surface 91.
  • the first transmission filter 10 is arranged on the main surface 91 of the mounting board 9.
  • the first transmission filter 10 has a first input terminal 15 .
  • a first input terminal 15 of the first transmission filter 10 is connected to a first power amplifier 101 (see FIG. 3).
  • the second transmission filter 20 is located on the opposite side of the first transmission filter 10 from the mounting board 9 side.
  • the second transmission filter 20 has a second input terminal 25.
  • the second input terminal 25 of the second transmission filter 20 is connected to the second power amplifier 102 (see FIG. 3).
  • the first transmission filter 10 includes a first elastic wave resonator 14A closest to the first input terminal 15, and includes a first elastic wave filter having a pass band including the frequency band of the first communication band.
  • the second transmission filter 20 includes a second elastic wave resonator 24A closest to the second input terminal 25, and includes a second elastic wave filter having a passband including the frequency band of the second communication band.
  • the first communication band and the second communication band are communication bands that can be used for simultaneous communication.
  • the first acoustic wave resonator 14A and the second acoustic wave resonator 24A do not overlap with each other.
  • the second communication band is a different communication band from the first communication band.
  • the high frequency module 100 is used, for example, in a communication device 300 (see FIG. 1).
  • the communication device 300 is, for example, a mobile phone (for example, a smartphone), but is not limited thereto, and may be, for example, a wearable terminal (for example, a smart watch).
  • the high frequency module 100 is a module that is compatible with, for example, the 4G (fourth generation mobile communication) standard, the 5G (fifth generation mobile communication) standard, and the like.
  • the 4G standard is, for example, the 3GPP (registered trademark, Third Generation Partnership Project) and LTE (registered trademark, Long Term Evolution) standard.
  • the 5G standard is, for example, 5G NR (New Radio).
  • the high frequency module 100 is, for example, a module that can support carrier aggregation and dual connectivity.
  • the high frequency module 100 can also support 2 uplink carrier aggregation that uses two frequency bands simultaneously in the uplink.
  • the communication device 300 includes a high frequency module 100 and a signal processing circuit 301.
  • Communication device 300 further includes an antenna 310.
  • the communication device 300 further includes a circuit board (not shown) on which the high frequency module 100 is mounted.
  • the circuit board is, for example, a printed wiring board.
  • the circuit board has a ground electrode to which a ground potential is applied.
  • the high frequency module 100 is configured to be able to amplify a received signal input from the antenna 310 and output it to the signal processing circuit 301, for example. Further, the high frequency module 100 is configured to be able to amplify a transmission signal input from the signal processing circuit 301 and output the amplified signal to the antenna 310, for example.
  • the signal processing circuit 301 is not a component of the high frequency module 100 but a component of the communication device 300 including the high frequency module 100.
  • the high frequency module 100 is controlled by, for example, a signal processing circuit 301 included in the communication device 300.
  • the high frequency module 100 includes a plurality (for example, three) of transmission filters (a first transmission filter 10, a second transmission filter 20, and a third transmission filter 30).
  • the high frequency module 100 also includes a plurality (for example, two) of power amplifiers (a first power amplifier 101, a second power amplifier 102) and a plurality of (for example, two) reception filters (a first reception filter 40, a first 2 reception filter 50), a plurality (for example, two) of low noise amplifiers (a first low noise amplifier 107, a second low noise amplifier 108), a first switch 6, a second switch 7, a third switch 8, A plurality of external connection terminals T0 are provided.
  • the plurality of external connection terminals T0 include an antenna terminal T3, a plurality of signal input terminals (first signal input terminal T1, second signal input terminal T2), and a plurality of signal output terminals (first signal output terminal T4, second signal input terminal T2).
  • the high frequency module 100 also includes a plurality (for example, two) of output matching circuits (a first output matching circuit 103, a second output matching circuit 104) and a plurality of (for example, two) input matching circuits (a first input matching circuit 103 and a second output matching circuit 104).
  • the first transmission filter 10, the second transmission filter 20, and the third transmission filter 30 are transmission filters whose passbands are different frequency bands.
  • the first transmission filter 10 has a passband that includes the transmission band of the first communication band.
  • the second transmission filter 20 has a passband that includes a transmission band of a second communication band different from the first communication band.
  • the third transmission filter 30 has a pass band including a transmission band of a third communication band different from the first communication band and the second communication band.
  • the first communication band is, for example, Band 41 of the 3GPP LTE standard or n41 of the 5G NR standard.
  • the second communication band is, for example, Band 3 of the 3GPP LTE standard or Band n3 of the 5G NR standard.
  • the third communication band is, for example, Band 1 of the 3GPP LTE standard or n1 of the 5G NR standard.
  • the first communication band is a communication band used for communication compatible with TDD (Time Division Duplex) as a communication method, but is not limited to this, and can be used for communication compatible with FDD (Frequency Division Duplex) as a communication method. It may also be a communication band.
  • the second communication band is a communication band used for communication compatible with FDD as a communication method, but is not limited to this, and may be a communication band used for communication compatible with TDD as a communication method.
  • the third communication band is a communication band used for communication compatible with FDD as a communication method, but is not limited to this, and may be a communication band used for communication compatible with TDD as a communication method.
  • the first transmission filter 10 has a first input terminal 15 and a first output terminal 16 (see FIG. 2A).
  • the second transmission filter 20 has a second input terminal 25 and a second output terminal 26 (see FIG. 2B).
  • the third transmission filter 30 has a third input terminal 35 and a third output terminal 36 (see FIG. 3).
  • the first reception filter 40 and the second reception filter 50 are reception filters whose passbands are different frequency bands.
  • the first reception filter 40 has a passband that includes the reception band of the second communication band.
  • the second reception filter 50 has a passband that includes the reception band of the third communication band.
  • the second communication band is, for example, Band 3 of the 3GPP LTE standard or Band n3 of the 5G NR standard.
  • the third communication band is, for example, Band 1 of the 3GPP LTE standard or n1 of the 5G NR standard.
  • the first power amplifier 101 has an input terminal and an output terminal.
  • the first power amplifier 101 amplifies the power of a transmission signal input to the input terminal of the first power amplifier 101 and outputs the amplified signal from the output terminal of the first power amplifier 101.
  • the input terminal of the first power amplifier 101 is connected to the first signal input terminal T1.
  • the first signal input terminal T1 is a terminal for inputting a high frequency signal (transmission signal) from an external circuit (for example, the signal processing circuit 301) to the high frequency module 100.
  • An input terminal of the first power amplifier 101 is connected to the signal processing circuit 301 via, for example, a first signal input terminal T1.
  • the output terminal of the first power amplifier 101 is connected to the first input terminal 15 of the first transmission filter 10 via the first output matching circuit 103.
  • the second power amplifier 102 has an input terminal and an output terminal.
  • the second power amplifier 102 amplifies the transmission signal input to the input terminal of the second power amplifier 102 and outputs the amplified signal from the output terminal of the second power amplifier 102.
  • the input terminal of the second power amplifier 102 is connected to the second signal input terminal T2.
  • the second signal input terminal T2 is a terminal for inputting a high frequency signal (transmission signal) from an external circuit (for example, the signal processing circuit 301) to the high frequency module 100.
  • An input terminal of the second power amplifier 102 is connected to the signal processing circuit 301 via, for example, a second signal input terminal T2.
  • the output terminal of the second power amplifier 102 is connected to the common terminal 70 of the second switch 7 via the second output matching circuit 104, and is connected to the second transmitting filter 20 and the third transmitting filter via the second switch 7. It is possible to connect to 30.
  • the second power amplifier 102 is a power amplifier that can amplify the high frequency signal in the pass band of the second transmit filter 20 and the high frequency signal in the pass band of the third transmit filter 30.
  • the first power amplifier 101 and the second power amplifier 102 correspond to different power classes.
  • "Power class” is a classification (User Equipment Power Class) of the output power of the terminal (communication device 300) defined by the maximum output power, etc., and the smaller the number after "power class", the higher the Indicates that it corresponds to the output power.
  • the maximum output power of power class 1 (29 dBm) is greater than the maximum output power of power class 2 (26 dBm)
  • the maximum output power of power class 2 (26 dBm) is greater than the maximum output power of power class 3 (23 dBm).
  • the maximum output power is measured, for example, by a method specified by 3GPP or the like.
  • the first power amplifier 101 corresponds to a first power class (for example, power class 3)
  • the second power amplifier 102 corresponds to a second power class (for example, power class 2) having a larger maximum output power than the first power class. There is.
  • the high frequency module 100 may further include a controller.
  • the controller controls the first power amplifier 101 and the second power amplifier 102 according to a control signal from the signal processing circuit 301, for example.
  • the first output matching circuit 103 is connected between the output terminal of the first power amplifier 101 and the first input terminal 15 of the first transmission filter 10 (see FIG. 2A).
  • the first output matching circuit 103 is a circuit for impedance matching between the first power amplifier 101 and the first transmission filter 10, and includes, for example, a plurality of inductors and a plurality of capacitors.
  • the second output matching circuit 104 is connected between the output terminal of the second power amplifier 102 and the common terminal 70 of the second switch 7.
  • the second output matching circuit 104 is a circuit for impedance matching between the second power amplifier 102 and the second transmission filter 20 and the third transmission filter 30, and includes, for example, a plurality of inductors and a plurality of capacitors.
  • the first low noise amplifier 107 has an input terminal and an output terminal.
  • the first low-noise amplifier 107 amplifies the received signal input to the input terminal of the first low-noise amplifier 107 and outputs the amplified signal from the output terminal of the first low-noise amplifier 107 .
  • the input terminal of the first low noise amplifier 107 is connected to the first reception filter 40 via the first input matching circuit 109.
  • the output terminal of the first low noise amplifier 107 is connected to the first common terminal 80A of the third switch 8.
  • the output terminal of the first low noise amplifier 107 is connected to the signal processing circuit 301 via, for example, the first signal output terminal T4 or the second signal output terminal T5.
  • the first signal output terminal T4 and the second signal output terminal T5 are terminals for outputting the high frequency signal (received signal) from the first low noise amplifier 107 to an external circuit (for example, the signal processing circuit 301).
  • the second low noise amplifier 108 has an input terminal and an output terminal.
  • the second low-noise amplifier 108 amplifies the received signal input to the input terminal of the second low-noise amplifier 108 and outputs the amplified signal from the output terminal of the second low-noise amplifier 108 .
  • the input terminal of the second low noise amplifier 108 is connected to the second reception filter 50 via the second input matching circuit 110.
  • the output terminal of the second low noise amplifier 108 is connected to the second common terminal 80B of the third switch 8.
  • the output terminal of the second low noise amplifier 108 is connected to the signal processing circuit 301 via, for example, the third signal output terminal T6 or the fourth signal output terminal T7.
  • the third signal output terminal T6 and the fourth signal output terminal T7 are terminals for outputting the high frequency signal (received signal) from the second low noise amplifier 108 to an external circuit (for example, the signal processing circuit 301).
  • the first input matching circuit 109 is a circuit for impedance matching between the first low noise amplifier 107 and the first reception filter 40.
  • the first input matching circuit 109 includes, for example, an inductor L9 (see FIG. 3).
  • the second input matching circuit 110 is a circuit for impedance matching between the second low noise amplifier 108 and the second reception filter 50.
  • the second input matching circuit 110 includes, for example, an inductor L10 (see FIG. 3).
  • the first switch 6 has a common terminal 60 and a plurality of (for example, two) selection terminals 61 and 62.
  • the common terminal 60 is connected to the antenna terminal T3.
  • the high frequency module 100 is not limited to the case where the common terminal 60 and the antenna terminal T3 are connected without using other circuit elements, but may be connected through a low-pass filter and a coupler, for example.
  • the selection terminal 61 is connected to the first output terminal 16 (see FIG. 2A) of the first transmission filter 10 via the first matching circuit 105.
  • the selection terminal 62 is connected to the second output terminal 26 (see FIG. 2) of the second transmission filter 20, the third output terminal 36 (see FIG.
  • the first switch 6 is, for example, a switch that can connect at least one of the plurality of selection terminals 61 and 62 to the common terminal 60.
  • the first switch 6 is, for example, a switch capable of one-to-one and one-to-many connections.
  • the first switch 6 is, for example, a switch IC (Integrated Circuit).
  • the first switch 6 is controlled by the signal processing circuit 301, for example.
  • the first switch 6 switches the connection state between the common terminal 60 and the plurality of selection terminals 61 and 62 according to a control signal from the RF signal processing circuit 302 of the signal processing circuit 301.
  • the second switch 7 has a common terminal 70 and a plurality of (for example, two) selection terminals 71 and 72.
  • the common terminal 70 is connected to the output terminal of the second power amplifier 102 via the second output matching circuit 104.
  • the selection terminal 71 is connected to the second input terminal 25 (see FIG. 2B) of the second transmission filter 20.
  • the selection terminal 72 is connected to the third input terminal 35 (see FIG. 3) of the third transmission filter 30.
  • the second switch 7 is, for example, a switch that can connect at least one of the plurality of selection terminals 71 and 72 to the common terminal 70.
  • the second switch 7 is, for example, a switch capable of one-to-one and one-to-many connections.
  • the second switch 7 is, for example, a switch IC.
  • the second switch 7 is controlled by the signal processing circuit 301, for example.
  • the second switch 7 switches the connection state between the common terminal 70 and the plurality of selection terminals 71 and 72 according to a control signal from the RF signal processing circuit 302 of the signal processing circuit 301.
  • the third switch 8 includes a first common terminal 80A, a second common terminal 80B, a plurality of (for example, two) first selection terminals 81 and 82 connectable to the first common terminal 80A, and a second common terminal. It has a plurality of (for example, two) second selection terminals 83 and 84 that can be connected to 80B.
  • the first common terminal 80A is connected to the output terminal of the first low noise amplifier 107.
  • the second common terminal 80B is connected to the output terminal of the second low noise amplifier 108.
  • the first selection terminal 81 is connected to the first signal output terminal T4.
  • the first selection terminal 82 is connected to the second signal output terminal T5.
  • the second selection terminal 83 is connected to the third signal output terminal T6.
  • the second selection terminal 84 is connected to the fourth signal output terminal T7.
  • the third switch 8 connects, for example, the first common terminal 80A and one of the two first selection terminals 81 and 82, and the connection between the second common terminal 80B and one of the two second selection terminals 83 and 84. This is a switch that allows you to connect and connect at the same time. Further, the third switch 8, for example, connects only the first common terminal 80A and one of the plurality (four) selection terminals (first selection terminals 81, 82, second selection terminals 83, 84). This is a switch that can also be used.
  • the third switch 8 may connect only the second common terminal 80B to one of the plurality (four) selection terminals (first selection terminals 81, 82, second selection terminals 83, 84). This is a possible switch.
  • the third switch 8 is, for example, a switch IC.
  • the third switch 8 is controlled by the signal processing circuit 301, for example.
  • the third switch 8 connects the first common terminal 80A, the second common terminal 80B, and the four selection terminals (the first selection terminal 81, the first The connection state with the selection terminal 82, the second selection terminal 83, and the second selection terminal 84 is switched.
  • the first transmission filter 10 has a first Contains an elastic wave filter.
  • the first elastic wave filter included in the first transmission filter 10 is, for example, a ladder type filter.
  • the seven elastic wave resonators 14 include four series arm resonators S11 to S14 and three parallel arm resonators P11 to P13.
  • the four series arm resonators S11, S12, S13, and S14 are provided on a first signal path Ru1 (hereinafter also referred to as series arm path Ru1) between the first input terminal 15 and the first output terminal 16. There is.
  • the four series arm resonators S11, S12, S13, and S14 are connected in series on the series arm path Ru1.
  • the series arm resonator S11, the series arm resonator S12, the series arm resonator S13, and the series arm resonator S14 perform series arm resonance from the first input terminal 15 side.
  • the child S11, the series arm resonator S12, the series arm resonator S13, and the series arm resonator S14 are arranged in this order.
  • the parallel arm resonator P11 is provided on the path Ru11 between the ground and the path between the series arm resonator S11 and the series arm resonator S12 in the series arm path Ru1.
  • the parallel arm resonator P12 is provided in a path Ru12 between the ground and the path between the series arm resonator S12 and the series arm resonator S13 in the series arm path Ru1.
  • the parallel arm resonator P13 is provided on the path Ru13 between the ground and the path between the series arm resonator S13 and the series arm resonator S14 in the series arm path Ru1.
  • the plurality of elastic wave resonators 14 include a first elastic wave resonator 14A.
  • the first elastic wave resonator 14A is the elastic wave resonator 14 closest to the first input terminal 15 among the plurality of elastic wave resonators 14.
  • the elastic wave resonator 14 closest to the first input terminal 15 is the elastic wave resonator 14 that is connected to the first input terminal 15 without going through another elastic wave resonator 14.
  • the elastic wave resonator 14 closest to the first input terminal 15 is the elastic wave resonator 14 electrically closest to the first input terminal 15 regardless of the physical distance.
  • the series arm resonator S11 closest to the first input terminal 15 and a parallel arm resonator P11 closest to the first input terminal 15 exist.
  • At least one of the parallel arm resonators P11 closest to the first input terminal 15 is the first elastic wave resonator 14A.
  • the plurality of elastic wave resonators 14 include a third elastic wave resonator 14B closest to the first output terminal 16 of the first transmission filter 10.
  • the second transmission filter 20 includes a second elastic wave filter having a plurality of (nine in the illustrated example) elastic wave resonators 24.
  • the second elastic wave filter included in the second transmission filter 20 is, for example, a ladder type filter.
  • the nine elastic wave resonators 24 include five series arm resonators S21 to S25 and four parallel arm resonators P21 to P24.
  • the five series arm resonators S21, S22, S23, S24, and S25 are provided on a second signal path Ru2 (hereinafter also referred to as series arm path Ru2) between the second input terminal 25 and the second output terminal 26.
  • the five series arm resonators S21, S22, S23, S24, and S25 are connected in series on the series arm path Ru2.
  • the series arm resonator S21, the series arm resonator S22, the series arm resonator S23, the series arm resonator S24, and the series arm resonator S25 are connected to the second input terminal 25.
  • the series arm resonator S21, the series arm resonator S22, the series arm resonator S23, the series arm resonator S24, and the series arm resonator S25 are arranged in this order from the side.
  • the parallel arm resonator P21 is provided on the path Ru21 between the ground and the path between the series arm resonator S21 and the series arm resonator S22 in the series arm path Ru2.
  • the parallel arm resonator P22 is provided in a path Ru22 between the ground and the path between the series arm resonator S22 and the series arm resonator S23 in the series arm path Ru2.
  • the parallel arm resonator P23 is provided in a route Ru23 between the ground and the route between the series arm resonator S23 and the series arm resonator S24 in the series arm route Ru2.
  • the parallel arm resonator P24 is provided on a path Ru24 between the ground and the path between the series arm resonator S24 and the series arm resonator S25.
  • the plurality of elastic wave resonators 24 include a second elastic wave resonator 24A.
  • the second elastic wave resonator 24A is the elastic wave resonator 24 closest to the second input terminal 25 among the plurality of elastic wave resonators 24.
  • “The elastic wave resonator 24 closest to the second input terminal 25” is the elastic wave resonator 24 that is connected to the second input terminal 25 without going through another elastic wave resonator 24.
  • At least one of the parallel arm resonators P21 closest to the 2-input terminal 25 is the second elastic wave resonator 24A. Further, the plurality of elastic wave resonators 24 include a fourth elastic wave resonator 24B closest to the second output terminal 26 of the second transmission filter 20.
  • the communication device 300 includes a high frequency module 100 and a signal processing circuit 301.
  • the signal processing circuit 301 is connected to the high frequency module 100.
  • Communication device 300 further includes an antenna 310.
  • the communication device 300 further includes a circuit board on which the high frequency module 100 is mounted.
  • the circuit board is, for example, a printed wiring board.
  • the circuit board has a ground electrode to which a ground potential is applied.
  • the signal processing circuit 301 includes, for example, an RF signal processing circuit 302 and a baseband signal processing circuit 303.
  • the RF signal processing circuit 302 is, for example, an RFIC (Radio Frequency Integrated Circuit), and performs signal processing on high frequency signals.
  • the RF signal processing circuit 302 performs signal processing such as up-conversion on the high frequency signal (transmission signal) output from the baseband signal processing circuit 303, and outputs the high frequency signal subjected to the signal processing. Further, the RF signal processing circuit 302 performs signal processing such as down-conversion on the high frequency signal (received signal) output from the high frequency module 100, and transfers the high frequency signal subjected to the signal processing to the baseband signal processing circuit. Output to 303.
  • RFIC Radio Frequency Integrated Circuit
  • the baseband signal processing circuit 303 is, for example, a BBIC (Baseband Integrated Circuit).
  • the baseband signal processing circuit 303 generates an I-phase signal and a Q-phase signal from the baseband signal.
  • the baseband signal is, for example, an audio signal, an image signal, etc. input from the outside.
  • the baseband signal processing circuit 303 performs IQ modulation processing by combining the I-phase signal and the Q-phase signal, and outputs a transmission signal.
  • the transmission signal is generated as a modulation signal (IQ signal) obtained by amplitude modulating a carrier signal of a predetermined frequency with a period longer than the period of the carrier signal.
  • IQ signal modulation signal
  • the received signal processed by the baseband signal processing circuit 303 is used, for example, as an image signal for displaying an image, or as an audio signal for a call by the user of the communication device 300.
  • the high frequency module 100 transmits high frequency signals (received signals, transmitted signals) between the antenna 310 and the RF signal processing circuit 302 of the signal processing circuit 301.
  • the high frequency module 100 includes a mounting board 9, a first transmission filter 10 (see FIGS. 5 and 8), a second transmission filter 20, and a third transmission filter 30. Furthermore, the high frequency module 100 includes a first power amplifier 101 and a second power amplifier 102. Furthermore, the high frequency module 100 includes an electronic component 140.
  • the electronic component 140 includes a first reception filter 40 (see FIG. 1) and a second reception filter 50 (see FIG. 1).
  • the electronic component 140 includes a common input terminal 143 to which the input terminal of the first reception filter 40 and the input terminal of the second reception filter 50 are commonly connected, the output terminal 141 of the first reception filter 40, and the second reception filter 50. and an output terminal 142 (see FIG. 3).
  • the high frequency module 100 also includes a first output matching circuit 103 (see FIG. 1), a second output matching circuit 104 (see FIG. 1), a first switch 6 (see FIG. 4), and a second switch 7 (see FIG. 4 and 5) and a third switch 8 (see FIG. 4). Furthermore, the high frequency module 100 includes a plurality of external connection terminals T0 (see FIGS. 1 and 5). Further, as shown in FIG. 5, the high frequency module 100 includes a resin layer 150 (hereinafter also referred to as a first resin layer 150), a metal electrode layer 160, and a second resin layer 170. Note that in FIGS. 3 and 4, illustration of the first resin layer 150 and the metal electrode layer 160 is omitted.
  • the mounting board 9 has a main surface 91.
  • the outer edge of the mounting board 9 has a rectangular shape.
  • the mounting board 9 has a main surface 91 (hereinafter also referred to as a first main surface 91) and a second main surface 92 that face each other in the thickness direction D0 of the mounting board 9.
  • “opposing” means facing geometrically rather than physically.
  • the mounting board 9 has an outer circumferential surface 93.
  • the outer peripheral surface 93 of the mounting board 9 includes, for example, four side surfaces connecting the outer edge of the first main surface 91 and the outer edge of the second main surface 92 of the mounting board 9, and includes the first main surface 91 and the second main surface 92. Does not include surface 92.
  • the mounting board 9 is, for example, a multilayer board including a plurality of dielectric layers and a plurality of conductive layers. The plurality of dielectric layers and the plurality of conductive layers are stacked in the thickness direction D0 of the mounting board 9. The plurality of conductive layers are formed in a predetermined pattern for each layer. Each of the plurality of conductive layers includes one or more conductor portions in one plane perpendicular to the thickness direction D0 of the mounting board 9.
  • each conductive layer is, for example, copper.
  • the plurality of conductive layers include a ground layer.
  • the plurality of external ground terminals T8 and the ground layer are electrically connected via via conductors included in the mounting board 9.
  • the mounting board 9 is, for example, an LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) board.
  • the mounting board is not limited to a printed wiring board, and may be, for example, a printed wiring board, an HTCC (High Temperature Co-fired Ceramics) board, or a resin multilayer board.
  • the mounting board 9 is not limited to an LTCC board, and may be, for example, a wiring structure.
  • the wiring structure is, for example, a multilayer structure.
  • the multilayer structure includes at least one insulating layer and at least one conductive layer.
  • the insulating layer is formed in a predetermined pattern. When there are a plurality of insulating layers, the plurality of insulating layers are formed in a predetermined pattern determined for each layer.
  • the conductive layer is formed in a predetermined pattern different from the predetermined pattern of the insulating layer. When there are a plurality of conductive layers, the plurality of conductive layers are formed in a predetermined pattern determined for each layer.
  • the conductive layer may include one or more redistributions.
  • the first surface of two surfaces facing each other in the thickness direction of the multilayer structure is the first main surface 91 of the mounting board 9, and the second surface is the second main surface 92 of the mounting board 9. It is.
  • the wiring structure may be, for example, an interposer.
  • the interposer may be an interposer using a silicon substrate, or may be a multilayer substrate.
  • the first main surface 91 and the second main surface 92 of the mounting board 9 are separated in the thickness direction D0 of the mounting board 9, and intersect with the thickness direction D0 of the mounting board 9.
  • the first main surface 91 of the mounting board 9 is, for example, orthogonal to the thickness direction D0 of the mounting board 9, but may include, for example, a side surface of the conductor portion as a surface that is not orthogonal to the thickness direction D0.
  • the second main surface 92 of the mounting board 9 is, for example, orthogonal to the thickness direction D0 of the mounting board 9, but includes, for example, the side surface of the conductor portion as a surface that is not orthogonal to the thickness direction D0. You can stay there.
  • first main surface 91 and the second main surface 92 of the mounting board 9 may have minute irregularities, recesses, or projections formed therein.
  • first main surface 91 and the second main surface 92 of the mounting board 9 may have minute irregularities, recesses, or projections formed therein.
  • the inner surface of the recess is included in the first main surface 91.
  • a plurality of first electronic components are mounted on the first main surface 91 of the mounting board 9.
  • the first electronic component is mounted on the first main surface 91 of the mounting board 9
  • the first electronic component is arranged on the first main surface 91 of the mounting board 9 (mechanically connected
  • the first electronic component is electrically connected to (an appropriate conductor portion thereof) the mounting board 9.
  • the outer edge of each of the plurality of first electronic components has, for example, a rectangular shape.
  • the plurality of first electronic components include a first transmission filter 10, a third transmission filter 30, a first power amplifier 101, a second power amplifier 102, and an electronic component 140.
  • the second transmission filter 20 is arranged on the first transmission filter 10.
  • the elastic wave device ST1 having the first transmission filter 10 and the second transmission filter 20 is mounted on the first main surface 91 of the mounting board 9.
  • the plurality of first electronic components include a plurality of circuit elements (a plurality of inductors and a plurality of capacitors) of a first output matching circuit 103 (see FIG. 1) and a plurality of circuit elements (a plurality of inductors and a plurality of capacitors) of a second output matching circuit 104 (see FIG. 1). circuit elements (a plurality of inductors and a plurality of capacitors).
  • the plurality of first electronic components include an inductor L9 of the first input matching circuit 109 (see FIG. 1), an inductor L10 of the second input matching circuit 110 (see FIG.
  • FIGS. 3 and 4 an area A103 in which a plurality of circuit elements of the first output matching circuit 103 are arranged on the first main surface 91 of the mounting board 9 is shown by a chain line. Some of the circuit elements of the first output matching circuit 103 may be built into the mounting board 9. Further, in FIGS. 3 and 4, an area A104 in which a plurality of circuit elements of the second output matching circuit 104 are arranged on the first main surface 91 of the mounting board 9 is shown by a chain line. Some of the circuit elements of the second output matching circuit 104 may be built into the mounting board 9. Further, in FIG. 5, illustration of the conductor portion of the mounting board 9 is omitted.
  • the first transmission filter 10 includes a first elastic wave filter.
  • the second transmission filter 20 includes a second elastic wave filter.
  • the third transmission filter 30 includes a third elastic wave filter.
  • Each of the first acoustic wave filter, the second acoustic wave filter, and the third acoustic wave filter is, for example, a surface acoustic wave filter that uses surface acoustic waves.
  • Each of the first power amplifier 101 and the second power amplifier 102 is a power amplification IC chip.
  • the power amplification IC chip is, for example, a GaAs-based IC chip when the amplification transistor is an HBT (Heterojunction Bipolar Transistor).
  • the power amplification IC chip is, for example, a Si-based IC chip when the amplification transistor is a bipolar transistor or an FET (Field Effect Transistor).
  • the first reception filter 40 includes a fourth elastic wave filter.
  • the second reception filter 50 includes a fifth elastic wave filter.
  • Each of the fourth acoustic wave filter and the fifth acoustic wave filter is, for example, a surface acoustic wave filter that uses surface acoustic waves.
  • a plurality of second electronic components are mounted on the second main surface 92 of the mounting board 9.
  • the plurality of second electronic components include a first switch 6 , a second switch 7 , and a third switch 8 .
  • the second electronic component is mounted on the second main surface 92 of the mounting board 9 means that the second electronic component is arranged on the second main surface 92 of the mounting board 9 (mechanically connected The second electronic component is electrically connected to (an appropriate conductor portion thereof) the mounting board 9.
  • the outer edge of each of the plurality of second electronic components has, for example, a rectangular shape.
  • Each of the first switch 6, second switch 7, and third switch 8 is, for example, a Si-based IC chip including a switch IC (Integrated Circuit).
  • a plurality of external connection terminals T0 are arranged on the second main surface 92 of the mounting board 9.
  • the external connection terminal T0 is arranged on the second main surface 92 of the mounting board 9” means that the external connection terminal T0 is mechanically connected to the second main surface 92 of the mounting board 9, and This includes that the connection terminal T0 is electrically connected to (an appropriate conductor portion of) the mounting board 9.
  • the plurality of external connection terminals T0 include an antenna terminal T3, a first signal input terminal T1, a second signal input terminal T2, a first signal output terminal T4, a second signal output terminal T5, and a third signal output terminal.
  • T6, a fourth signal output terminal T7, and a plurality of external ground terminals T8 are electrically connected to the ground layer of the mounting board 9.
  • the ground layer is a circuit ground of the high frequency module 100
  • the plurality of first electronic components of the high frequency module 100 include electronic components that are electrically connected to the ground layer.
  • the plurality of second electronic components of the high frequency module 100 include electronic components electrically connected to the ground layer.
  • the material of the plurality of external connection terminals T0 is, for example, metal (for example, copper, copper alloy, etc.). Although the plurality of external connection terminals T0 are not components of the mounting board 9, they may be components of the mounting board 9. Each of the plurality of external connection terminals T0 is a columnar electrode (for example, a columnar electrode). The plurality of external connection terminals T0 are bonded to the conductor portion of the mounting board 9 using, for example, solder, but the present invention is not limited to this, and they may be bonded using, for example, a conductive adhesive (e.g., conductive paste). or may be directly joined. In plan view from the thickness direction D0 of the mounting board 9, each of the plurality of external connection terminals T0 has a circular shape.
  • the first resin layer 150 is arranged on the first main surface 91 of the mounting board 9, as shown in FIG.
  • the first resin layer 150 includes resin (eg, epoxy resin).
  • the first resin layer 150 may contain filler in addition to resin.
  • the first resin layer 150 has electrical insulation properties.
  • the first resin layer 150 covers at least a portion of each of the plurality of first electronic components arranged on the first main surface 91 of the mounting board 9.
  • the first resin layer 150 covers at least a portion of the outer peripheral surface 13 of the first transmission filter 10 and at least a portion of the outer peripheral surface 23 of the second transmission filter 20.
  • the outer peripheral surface 13 of the first transmission filter 10 includes, for example, four side surfaces connecting the first main surface 11 on the second transmission filter 20 side and the second main surface 12 on the opposite side to the second transmission filter 20 side. , and does not include the first main surface 11 and the second main surface 12.
  • the outer peripheral surface 23 of the second transmission filter 20 includes, for example, four side surfaces connecting the third main surface 21 on the first transmission filter 10 side and the fourth main surface 22 on the opposite side to the first transmission filter 10 side. , and does not include the third main surface 21 and the fourth main surface 22.
  • the second resin layer 170 is arranged on the second main surface 92 of the mounting board 9.
  • the second resin layer 170 covers the outer peripheral surface of each of a plurality of (for example, three) second electronic components mounted on the second main surface 92 of the mounting board 9 and the outer peripheral surface of each of the plurality of external connection terminals T0. , covering.
  • the outer peripheral surface of each of the plurality of second electronic components includes four side surfaces of the second electronic component.
  • the second resin layer 170 does not cover the main surface of each of the three second electronic components on the side opposite to the mounting board 9 side.
  • the three second electronic components include the first switch 6, the second switch 7, and the third switch 8, as described above.
  • the second resin layer 170 includes resin (eg, epoxy resin).
  • the second resin layer 170 may contain filler in addition to resin.
  • the material of the second resin layer 170 may be the same as the material of the first resin layer 150, or may be a different material.
  • the metal electrode layer 160 covers at least a portion of the resin layer 150.
  • the metal electrode layer 160 is in contact with the fourth main surface 22 which is the main surface of the second transmission filter 20 on the side opposite to the first transmission filter 10 side.
  • the metal electrode layer 160 has conductivity.
  • the metal electrode layer 160 is a shield layer provided for the purpose of electromagnetic shielding inside and outside the high frequency module 100.
  • the metal electrode layer 160 is in contact with at least a portion of the outer peripheral surface of the ground layer of the mounting board 9 . Thereby, the potential of the metal electrode layer 160 can be made the same as the potential of the ground layer.
  • the metal electrode layer 160 has a multilayer structure in which a plurality of metal layers are laminated, but is not limited thereto, and may be a single metal layer.
  • the metal layer includes one or more metals.
  • the metal electrode layer 160 When the metal electrode layer 160 has a multilayer structure in which a plurality of metal layers are laminated, for example, the metal electrode layer 160 includes a first metal layer (e.g., a first stainless steel layer) and a second metal layer (e.g., Cu) on the first metal layer. a third metal layer (eg, a second stainless steel layer) on the second metal layer.
  • the material of each of the first stainless steel layer and the second stainless steel layer is an alloy containing Fe, Ni, and Cr.
  • the metal electrode layer 160 is, for example, a Cu layer.
  • the metal electrode layer 160 includes a main surface 151 of the first resin layer 150 on the side opposite to the mounting board 9 side, an outer peripheral surface 153 of the first resin layer 150, an outer peripheral surface 93 of the mounting board 9, and a second resin layer.
  • the outer peripheral surface 173 of 170 is covered.
  • a main surface 171 of the second resin layer 170 on the side opposite to the mounting board 9 side is not covered with the metal electrode layer 160 and is exposed.
  • an elastic wave device (stack structure) ST1 having a first transmission filter 10 and a second transmission filter 20 will be described with reference to FIGS. 6 to 8.
  • the first transmission filter 10 has a first input terminal 15, a first output terminal 16, and a plurality of (for example, three) ground terminals 17.
  • the first elastic wave filter 10A of the first transmission filter 10 is provided on the first substrate 120 and the first elastic wave resonator 14. a plurality of functional electrodes 18 constituting a section.
  • the first acoustic wave filter 10A is an acoustic wave filter that uses surface acoustic waves
  • each of the plurality of functional electrodes 18 is an IDT (Interdigital Transducer) electrode. Therefore, each of the plurality of elastic wave resonators 14 is a SAW (Surface Acoustic Wave) resonator.
  • SAW Surface Acoustic Wave
  • a series arm resonator S11, a series arm resonator S12, a series arm resonator S13, and a series arm resonator S14 are connected in series in a first direction D1 orthogonal to the thickness direction D0 of the mounting board 9.
  • the arm resonator S11, the series arm resonator S12, the series arm resonator S13, and the series arm resonator S14 are arranged in this order.
  • the parallel arm resonator P11, the parallel arm resonator P12, and the parallel arm resonator P13 are They are lined up in the order of P13.
  • the first transmission filter 10 includes a plurality of reflectors 19 arranged on the first substrate 120.
  • the plurality of reflectors 19 include two reflectors 19 arranged adjacent to the IDT electrodes for each of the plurality of IDT electrodes in the second direction D2 perpendicular to the first direction D1.
  • the two reflectors 19 reflect elastic waves whose elastic wave propagation direction is the direction in which the plurality of electrode fingers of adjacent IDT electrodes are lined up.
  • the first transmission filter 10 includes a plurality of wiring portions W10 arranged on the first substrate 120. In FIG.
  • each functional electrode (IDT electrode) 18, each reflector 19, and each wiring part W10 are hatched with dots, but these hatchings do not represent a cross section; They are only added to make it easier to understand the relationship between the first substrate 120 and the electrodes 18, each reflector 19, and each wiring portion W10.
  • the functional electrode 18 that constitutes a part of the first elastic wave resonator 14A (series arm resonator S11) is the first functional electrode 18A.
  • the first substrate 120 includes a piezoelectric layer 123 (hereinafter also referred to as the first piezoelectric layer 123) and a high sonic velocity member 121 (hereinafter also referred to as the first high sonic velocity member 121). ,including.
  • the high sound velocity member 121 is a high sound velocity support substrate located on the opposite side of the functional electrode 18 with the piezoelectric layer 123 in between. In the high sonic velocity member 121, the sound velocity of the bulk wave propagating through the high sonic velocity member 121 is faster than the sound velocity of the elastic wave propagating through the piezoelectric layer 123.
  • the bulk wave propagating through the high sonic speed member 121 is the bulk wave having the lowest sonic speed among the plurality of bulk waves propagating through the high sonic speed member 121.
  • the first substrate 120 further includes a low sonic velocity film 122 (hereinafter also referred to as the first low sonic velocity film 122) interposed between the high sonic velocity member 121 and the piezoelectric layer 123.
  • the low sound speed film 122 is a film in which the sound speed of the bulk wave propagating through the low sound speed film 122 is lower than the sound speed of the bulk wave propagating through the piezoelectric layer 123 .
  • the second elastic wave filter 20A of the second transmission filter 20 is provided on the second substrate 220 and the second elastic wave resonator 24. a plurality of functional electrodes 28 constituting a section.
  • the second acoustic wave filter 20A is an acoustic wave filter that uses surface acoustic waves
  • each of the plurality of functional electrodes 28 is an IDT electrode. Therefore, each of the plurality of elastic wave resonators 24 is a SAW resonator.
  • the resonators S25 are arranged in the order of series arm resonator S21, series arm resonator S22, series arm resonator S23, series arm resonator S24, and series arm resonator S25.
  • the second transmission filter 20 in the first direction D1, the parallel arm resonator P21, the parallel arm resonator P22, the parallel arm resonator P23, and the parallel arm resonator P24 are P22, parallel arm resonator P23, and parallel arm resonator P24 are arranged in this order.
  • the second transmission filter 20 includes a plurality of reflectors 29 arranged on the second substrate 220.
  • the plurality of reflectors 29 include two reflectors 29 arranged adjacent to the IDT electrodes for each of the plurality of IDT electrodes in the second direction D2 perpendicular to the first direction D1.
  • the two reflectors 29 reflect elastic waves whose elastic wave propagation direction is the direction in which the plurality of electrode fingers of adjacent IDT electrodes are lined up.
  • the second transmission filter 20 includes a plurality of wiring portions W20 arranged on the second substrate 220.
  • each functional electrode (IDT electrode) 28, each reflector 29, and each wiring part W20 are hatched with dots, but these hatchings do not represent a cross section; They are only added to make it easier to understand the relationship between the electrodes 28, each reflector 29, each wiring portion W20, and the second substrate 220.
  • the functional electrode 28 that constitutes a part of the second acoustic wave resonator 24A (series arm resonator S21) is the second functional electrode 28A.
  • the second substrate 220 includes a piezoelectric layer 223 (hereinafter also referred to as a second piezoelectric layer 223) and a high sonic velocity member 221 (hereinafter also referred to as a second high sonic velocity member 221). ,including.
  • the high sound velocity member 221 is a high sound velocity support substrate located on the opposite side of the functional electrode 28 with the piezoelectric layer 223 in between. In the high-sonic speed member 221, the sound speed of the bulk wave propagating through the high-sonic speed member 221 is faster than the sound speed of the elastic wave propagating through the piezoelectric layer 223.
  • the bulk wave propagating through the high sonic speed member 221 is the bulk wave having the lowest sonic speed among the plurality of bulk waves propagating through the high sonic speed member 221 .
  • the second substrate 220 further includes a low sonic velocity film 222 (hereinafter also referred to as a second low sonic velocity film 222) interposed between the high sonic velocity member 221 and the piezoelectric layer 223.
  • the low sound speed film 222 is a film in which the sound speed of the bulk wave propagating through the low sound speed film 222 is lower than the sound speed of the bulk wave propagating through the piezoelectric layer 223 .
  • each of the first piezoelectric layer 123 and the second piezoelectric layer 223 includes, for example, lithium tantalate or lithium niobate.
  • each of the first high sonic velocity member 121 and the second high sonic velocity member 221 includes silicon, for example.
  • the materials of each of the first high-sonic member 121 and the second high-sonic member 221 are, for example, silicon, aluminum nitride, aluminum oxide, silicon carbide, silicon nitride, sapphire, lithium tantalate, lithium niobate, crystal, alumina, zirconia. , cordierite, mullite, steatite, forsterite, magnesia, and diamond.
  • each of the first low-sonic film 122 and the second low-sonic film 222 includes, for example, silicon oxide.
  • the materials of each of the first low-sonic film 122 and the second low-sonic film 222 are not limited to silicon oxide.
  • the material of each of the first low sonic film 122 and the second low sonic film 222 is, for example, glass, silicon oxynitride, tantalum oxide, a compound of silicon oxide with fluorine, carbon, or boron, or each of the above materials. It may be a material that is the main component.
  • the elastic wave device ST1 includes a spacer section 130 interposed between the first transmission filter 10 and the second transmission filter 20.
  • the spacer portion 130 has a frame shape.
  • the elastic wave device ST1 has a hollow space 131 surrounded by a first transmission filter 10, a second transmission filter 20, and a spacer section 130.
  • the material of the spacer portion 130 includes, for example, at least one of metal and solder. Note that the material of the spacer portion 130 may be resin.
  • the first functional electrode 18A is located closer to the second transmission filter 20 than the first substrate 120.
  • the second functional electrode 28A is located closer to the first transmission filter 10 than the second substrate 220.
  • the first substrate 120 has a first main surface 1201 and a second main surface 1202.
  • the plurality of functional electrodes 18 are arranged on the first main surface 1201 of the first substrate 120 .
  • the first main surface 1201 of the first substrate 120 constitutes the first functional surface 111.
  • the first functional surface 111 is a surface of the first transmission filter 10 on which the first functional electrode 18A is formed.
  • the first input terminal 15 , the first output terminal 16 , and a plurality of (for example, three) ground terminals 17 are arranged on the second main surface 1202 of the first substrate 120 .
  • Each of the first input terminal 15, the first output terminal 16, and the plurality of ground terminals 17 is, for example, a conductive bump.
  • the material of the conductive bumps includes, for example, solder.
  • the first transmission filter 10 further includes a resist layer 128 disposed on the second main surface 1202 of the first substrate 120. Resist layer 128 has a plurality of openings that expose each of the plurality of conductive bumps.
  • the resist layer 128 has electrical insulation properties.
  • the material of the resist layer 128 includes, for example, polyimide.
  • the first transmission filter 10 also includes a connection terminal 125 connected to the second input terminal 25 of the second transmission filter 20 and a connection terminal 126 connected to the second output terminal 26 of the second transmission filter 20.
  • a plurality of (for example, two) ground terminals 27 of the second transmission filter 20 are connected to a plurality of (for example, three) ground terminals 17 of the first transmission filter 10 .
  • the three ground terminals 17 may be referred to as a ground terminal 17A, a ground terminal 17B, and a ground terminal 17C, respectively.
  • the two ground terminals 27 may be referred to as a ground terminal 27A and a ground terminal 27B, respectively.
  • the first transmission filter 10 has a plurality of via conductors V0 passing through the first substrate 120 in the thickness direction.
  • Each of the plurality of via conductors V0 includes, for example, a seed layer V01 and a plated portion V02.
  • an electrical insulating film 124 is interposed between the plurality of via conductors V0 and the high sonic velocity member 121.
  • the material of the electrical insulating film 124 includes, for example, silicon oxide.
  • the plurality of via conductors V0 are connected to a first input via conductor V15 connected to the first input terminal 15, a first output via conductor connected to the first output terminal 16 (see FIG.
  • the plurality of wiring portions W10 are arranged on the first main surface 1201 of the first substrate 120.
  • the plurality of wiring portions W10 include a first wiring portion W11, a second wiring portion W12, a third wiring portion W13, a fourth wiring portion W14, a fifth wiring portion W15, and a third wiring portion W15. It includes a sixth wiring section W16 and a seventh wiring section W17.
  • the first wiring section W11 is connected between the series arm resonator S11 and the first input terminal 15 to the series arm resonator S11 and the first input via conductor V15.
  • the second wiring section W12 is connected to the series arm resonator S14 and the first output via conductor between the series arm resonator S14 and the first output terminal 16.
  • the third wiring section W13 is connected to the parallel arm resonator P11 and the ground via conductor between the parallel arm resonator P11 and the ground terminal 17A.
  • the fourth wiring portion W14 is connected to the parallel arm resonator P12 and the ground via conductor between the parallel arm resonator P12 and the ground terminal 17B.
  • the fifth wiring section W15 is connected to the parallel arm resonator P13 and the ground via conductor between the parallel arm resonator P13 and the ground terminal 17C.
  • the sixth wiring portion W16 is connected to the connection terminal 125 via the second input via conductor V125.
  • the seventh wiring portion W17 is connected to the connection terminal 126 via the second output via conductor.
  • the first wiring section W11 and the second wiring section W12 constitute a part of the signal path Ru1 (see FIG. 2A).
  • the third wiring portion W13 constitutes a part of the route Ru11 (see FIG. 2A).
  • the fourth wiring portion W14 constitutes a part of the route Ru12 (see FIG. 2A).
  • the fifth wiring portion W15 constitutes a part of the route Ru13 (see FIG. 2A).
  • the second substrate 220 has a third main surface 2201 and a fourth main surface 2202.
  • the plurality of functional electrodes 28 are arranged on the third main surface 2201 of the second substrate 220.
  • the third main surface 2201 of the second substrate 220 constitutes the second functional surface 211.
  • the second functional surface 211 is a surface of the second transmission filter 20 on which the second functional electrode 28A is formed.
  • the second input terminal 25 , the second output terminal 26 , and a plurality of (for example, two) ground terminals 27 are arranged on the third main surface 2201 of the second substrate 220 .
  • the plurality of wiring portions W20 are arranged on the third main surface 2201 of the second substrate 220.
  • the plurality of wiring parts W20 include a first wiring part W21, a second wiring part W22, a third wiring part W23, and a fourth wiring part W24.
  • the first wiring section W21 is connected to the series arm resonator S21 and the second input terminal 25.
  • the second wiring portion W22 is connected to the series arm resonator S25 and the second output terminal 26.
  • the third wiring section W23 is connected to the parallel arm resonator P21, the parallel arm resonator P22, the parallel arm resonator P23, and the ground terminal 27A.
  • the fourth wiring portion W24 is connected to the parallel arm resonator P24 and the ground terminal 27B.
  • the first wiring section W21 and the second wiring section W22 constitute a part of the signal path Ru2 (see FIG. 2B).
  • the third wiring portion W23 constitutes a part of each of the routes Ru21 to Ru23 (see FIG. 2B).
  • the fourth wiring portion W24 constitutes a part of the route Ru24 (see FIG. 2B).
  • the elastic wave device ST1 has a plurality of connecting conductor portions interposed between the first transmitting filter 10 and the second transmitting filter 20 in the thickness direction D3 of the second transmitting filter 20.
  • the thickness direction D3 of the second transmission filter 20 is the thickness direction of the second substrate 220.
  • the plurality of connection conductor parts include a first connection conductor part R1, a second connection conductor part, a third connection conductor part, and a fourth connection conductor part.
  • the first connection conductor portion R1 connects the second input terminal 25 of the second transmission filter 20 and the sixth wiring portion W16 of the first transmission filter 10.
  • the second connection conductor portion connects the second output terminal 26 (see FIG. 7) of the second transmission filter 20 and the seventh wiring portion W17 (see FIG. 6) of the first transmission filter 10.
  • the third connection conductor section connects the ground terminal 27A of the second transmission filter 20 (see FIG. 7) and the third wiring section W13 of the first transmission filter 10 (see FIG. 6).
  • the fourth connection conductor section connects the ground terminal 27B of the second transmission filter 20 (see FIG. 7) and the fifth wiring section W15 (see FIG. 6).
  • the thickness direction D3 of the second transmission filter 20 and the thickness direction D0 of the mounting board 9 are parallel.
  • the thickness direction D3 of the second transmission filter 20 and the thickness direction D0 of the mounting board 9 are parallel, but the thickness direction D3 of the second transmission filter 20 and the mounting board 9 are not limited to being strictly parallel. It is sufficient that the angle between the thickness direction D0 and the thickness direction D0 is 10 degrees or less.
  • the formation region 112 of the first functional electrode 18A and the formation region 212 of the second functional electrode 28A do not overlap with each other in a plan view from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20.
  • “The formation region 112 of the first functional electrode 18A and the formation region 212 of the second functional electrode 28A do not overlap each other in the plan view from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20” means that the second transmission filter 20 In a plan view from the thickness direction D3, the formation region 112 of the first functional electrode 18A of the first elastic wave resonator 14A (series arm resonator S11) and the formation region 112 of the second elastic wave resonator 24A (series arm resonator S21) This means that the formation region 212 of the second functional electrode 28A does not completely overlap, that is, they do not overlap even partially.
  • the formation region 112 of the first functional electrode 18A of the first acoustic wave resonator 14A and the formation region 212 of the second functional electrode 28A of the second acoustic wave resonator 24A are different from each other. They don't overlap completely.
  • the formation region 112 of the first functional electrode 18A includes a region where the first functional electrode 18A is formed on the first functional surface 111, and includes two reflectors 19 adjacent to the first functional electrode 18A on the first functional surface 111. It does not include the regions where these are formed, and does not include the region where the wiring portion W10 connected to the first functional electrode 18A is formed.
  • the formation region 212 of the second functional electrode 28A includes a region where the second functional electrode 28A is formed on the second functional surface 211, and includes two reflectors 29 adjacent to the second functional electrode 28A on the second functional surface 211. It does not include the regions where these are formed, and does not include the region where the wiring portion W20 connected to the second functional electrode 28A is formed.
  • the first functional electrode 18A is an IDT electrode, and as shown in FIG. , and a plurality of second electrode fingers 182.
  • the first bus bar 183 and the second bus bar 184 face each other in the first direction D1.
  • the first bus bar 183 and the second bus bar 184 have an elongated shape whose longitudinal direction is the second direction D2.
  • the plurality of first electrode fingers 181 are connected to the first bus bar 183 and extend from the first bus bar 183 toward the second bus bar 184 in the first direction D1.
  • the plurality of second electrode fingers 182 are connected to the second bus bar 184 and extend from the second bus bar 184 toward the first bus bar 183 in the first direction D1.
  • a plurality of first electrode fingers 181 and a plurality of second electrode fingers 182 are arranged, for example, one by one, alternately and spaced apart from each other in the second direction D2. .
  • the second functional electrode 28A is an IDT electrode, and as shown in FIG. , and a plurality of second electrode fingers 282.
  • the first bus bar 283 and the second bus bar 284 face each other in the first direction D1.
  • the first bus bar 283 and the second bus bar 284 have an elongated shape whose longitudinal direction is the second direction D2.
  • the plurality of first electrode fingers 281 are connected to the first bus bar 283 and extend from the first bus bar 283 toward the second bus bar 284 in the first direction D1.
  • the plurality of second electrode fingers 282 are connected to the second bus bar 284 and extend from the second bus bar 284 toward the first bus bar 283 in the first direction D1.
  • a plurality of first electrode fingers 281 and a plurality of second electrode fingers 282 are arranged, for example, alternately one by one and spaced apart from each other in the second direction D2. .
  • the first elastic wave resonator 14A (series arm resonator S11) of the first transmission filter 10 is different from the second transmission filter It does not overlap with any of the elastic wave resonators 24 other than the 20 second elastic wave resonators 24A (series arm resonator S21).
  • the second elastic wave resonator 24A (series arm resonator S21) of the second transmission filter 20 is different from the first transmission filter It overlaps with one elastic wave resonator 14 (series arm resonator S12) other than the ten first elastic wave resonators 14A.
  • the second elastic wave resonator 24A (series arm resonator S21) is not limited to one elastic wave resonator 14 other than the first elastic wave resonator 14A (series arm resonator S11), but is capable of resonating two or more elastic wave resonators. It may overlap with child 14.
  • the third elastic wave resonator 14B and the fourth elastic wave resonator 24B overlap each other in a plan view from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20.
  • a part of the third elastic wave resonator 14B overlaps with a part of the fourth elastic wave resonator 24B, but the present invention is not limited to this, and a part of the third elastic wave resonator 14B overlaps with the fourth elastic wave resonator 14B. It may overlap with all of the elastic wave resonators 24B, all of the third elastic wave resonators 14B may overlap with a part of the fourth elastic wave resonators 24B, or all of the third elastic wave resonators 14B may overlap with each other. may overlap the entire fourth acoustic wave resonator 24B.
  • the communication device 300 includes the high frequency module 100 and the signal processing circuit 301.
  • the plurality of electronic components constituting the signal processing circuit 301 may be mounted, for example, on the above-mentioned circuit board, or on a circuit board (first circuit board) different from the circuit board (first circuit board) on which the high frequency module 100 is mounted. (second circuit board).
  • the elastic wave device ST1 includes a first transmission filter 10 and a second transmission filter 20.
  • the first transmission filter 10 and the second transmission filter 20 are stacked, and the first functional surface 111 of the first transmission filter 10 and the second functional surface 211 of the second transmission filter 20 are arranged in a predetermined manner. They are arranged facing each other with a distance H1 between them.
  • the first transmission filter 10 has a first input terminal 15 and a first elastic wave resonator 14A closest to the first input terminal 15.
  • the second transmission filter 20 has a second input terminal 25 and a second elastic wave resonator 24A closest to the second input terminal 25.
  • the first elastic wave resonator 14A has a first functional electrode 18A formed on the first functional surface 111.
  • the second elastic wave resonator 24A has a second functional electrode 28A formed on the second functional surface 211.
  • the formation region 112 of the first functional electrode 18A and the formation region 212 of the second functional electrode 28A do not overlap with each other.
  • the elastic wave device ST1 it is possible to suppress the deterioration of the filter characteristics of the first transmit filter and the second transmit filter due to the temperature rise of the first transmit filter and the second transmit filter.
  • the first elastic wave resonator closest to the input terminal generates heat more easily than the other elastic wave resonators.
  • Two transmission filters (a first transmission filter and a second transmission filter) are provided, and the two transmission filters are stacked, and the functional electrode formation area near the input terminal is formed in the first transmission filter, and the input terminal is formed in the input terminal in the second transmission filter.
  • the first transmission filter and the second transmission filter are mutually affected by heat, and the first transmission filter and the second transmission filter are mutually affected by heat.
  • each transmission filter there is a high possibility that the filter characteristics will deteriorate due to the temperature rise of the elastic wave resonator near the input terminal.
  • the elastic wave device ST1 according to the first embodiment in a plan view from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20, the formation region 112 of the first functional electrode 18A of the first elastic wave resonator 14A and Since the formation regions 212 of the second functional electrodes 28A of the second elastic wave resonator 24A do not overlap with each other, it is possible to suppress the temperature rise of each of the first elastic wave resonator 14A and the second elastic wave resonator 24A. .
  • the elastic wave device ST1 according to the first embodiment can suppress a decrease in the power resistance of each of the first transmission filter 10 and the second transmission filter 20, and also suppress deterioration of filter characteristics due to temperature rise. It becomes possible to do so.
  • the elastic wave device ST1 when viewed from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20, the second elastic wave resonator 24A of the second transmission filter 20 is different from that of the first transmission filter 10. It overlaps with at least one elastic wave resonator 14 other than the first elastic wave resonator 14A among the plurality of elastic wave resonators 14. Thereby, the elastic wave device ST1 according to the first embodiment can suppress an increase in the size of the second transmission filter 20.
  • the third elastic wave resonator 14B and the fourth elastic wave resonator 24B overlap each other in a plan view from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20.
  • the elastic wave device ST1 according to the first embodiment can suppress an increase in the size of the first transmission filter 10 and the second transmission filter 20.
  • the high frequency module 100 includes a mounting board 9 and an acoustic wave device ST1.
  • the mounting board 9 has a main surface 91.
  • the acoustic wave device ST1 is arranged on the main surface 91 of the mounting board 9. According to the high frequency module 100 according to the first embodiment, it is possible to suppress the deterioration of the filter characteristics of the first transmit filter 10 and the second transmit filter 20 due to the temperature rise of the first transmit filter 10 and the second transmit filter 20. becomes.
  • the high frequency module 100 according to the first embodiment further includes a resin layer 150 and a metal electrode layer 160.
  • the metal electrode layer 160 is in contact with the main surface (fourth main surface 22) of the second transmission filter 20 on the opposite side to the first transmission filter 10 side.
  • the high frequency module 100 according to the first embodiment can improve heat dissipation. Therefore, according to the high frequency module 100, it is possible to further suppress the deterioration of the filter characteristics of the first transmit filter 10 and the second transmit filter 20 due to the temperature rise of the first transmit filter 10 and the second transmit filter 20. Become.
  • the communication device 300 includes a high frequency module 100 and a signal processing circuit 301.
  • the signal processing circuit 301 is connected to the high frequency module 100.
  • the communication device 300 it is possible to suppress the deterioration of the filter characteristics of the first transmit filter 10 and the second transmit filter 20 due to the temperature rise of the first transmit filter 10 and the second transmit filter 20. becomes.
  • the communication device 300 since the communication device 300 according to the first embodiment includes the high frequency module 100 and the signal processing circuit 301, the first transmission filter 10 and the second transmission filter 20 are It becomes possible to suppress deterioration of the filter characteristics of each of the two transmission filters 20.
  • the first transmission filter shown in FIG. 9 is used instead of the first transmission filter 10 and the second transmission filter 20 in the elastic wave device ST1 in FIG.
  • the filter 10 and the second transmission filter 20 shown in FIG. 10 are stacked.
  • the first transmission filter 10 shown in FIG. 9 has the first input terminal 15 and the connection terminal 125 in opposite positions to the first transmission filter 10 shown in FIG. , and the layouts of the plurality of series arm resonators S11 to S14 and the plurality of parallel arm resonators P11 to P13 are different.
  • the second transmission filter 20 shown in FIG. 10 differs from the second transmission filter 20 shown in FIG.
  • each functional electrode (IDT electrode) 18, each reflector 19, and each wiring portion W10 are hatched with dots, but like FIG. 6, these hatchings do not represent a cross section.
  • each functional electrode (IDT electrode) 28, each reflector 29, and each wiring part W20 are hatched with dots, but these hatchings do not represent a cross section, as in FIG. do not have.
  • the same components as those in the elastic wave device ST1 according to the first embodiment are given the same reference numerals.
  • the formation region 112 of the first functional electrode 18A and the formation region of the second functional electrode 28A are 212 do not overlap each other.
  • the series arm resonator S11, the series arm resonator S12, the parallel arm resonator P11, and the series arm resonator S12 of the first transmission filter 10 are The parallel arm resonator P12 does not overlap with any of the series arm resonator S21, the series arm resonator S22, the parallel arm resonator P21, and the parallel arm resonator P22 of the second transmission filter 20.
  • the series arm resonator S11 of the first transmission filter 10 is the elastic wave resonator 14 closest to the first input terminal 15 among the plurality of series arm resonators S11 to S14.
  • the series arm resonator S12 of the first transmission filter 10 is the elastic wave resonator 14 that is second closest to the first input terminal 15 among the plurality of series arm resonators S11 to S14.
  • the parallel arm resonator P11 of the first transmission filter 10 is the elastic wave resonator 14 closest to the first input terminal 15 among the plurality of parallel arm resonators P11 to P13.
  • the parallel arm resonator P12 of the first transmission filter 10 is the elastic wave resonator 14 that is second closest to the first input terminal 15 among the plurality of parallel arm resonators P11 to P13.
  • each functional electrode (IDT electrode) 18, each reflector 19, and each wiring portion W10 are hatched with dots, but these hatchings do not represent a cross section, as in FIG. 6. Furthermore, in the second modification, the same components as those of the elastic wave device ST1 according to the first embodiment are given the same reference numerals.
  • the series arm resonator S21 of the second transmission filter 20 is the elastic wave resonator 24 closest to the second input terminal 25 among the plurality of series arm resonators S21 to S25.
  • the series arm resonator S22 of the second transmission filter 20 is the elastic wave resonator 24 that is second closest to the second input terminal 25 among the plurality of series arm resonators S21 to S25.
  • the parallel arm resonator P21 of the second transmission filter 20 is the elastic wave resonator 24 closest to the second input terminal 25 among the plurality of parallel arm resonators P21 to P24.
  • the parallel arm resonator P22 of the second transmission filter 20 is the elastic wave resonator 24 that is second closest to the second input terminal 25 among the plurality of parallel arm resonators P21 to P24.
  • each functional electrode (IDT electrode) 28, each reflector 29, and each wiring portion W20 are hatched with dots, but these hatchings do not represent a cross section, as in FIG. 7.
  • the series arm resonator S11 closest to the first input terminal 15 is likely to generate heat, and the series arm resonator S12 is next to the series arm resonator S11. Almost generates heat.
  • the parallel arm resonator P11 closest to the first input terminal 15 is likely to generate heat, and the parallel arm resonator P11 is the next parallel arm resonator after the parallel arm resonator P11. P12 tends to generate heat.
  • the series arm resonator S21 closest to the second input terminal 25 is likely to generate heat, and the series arm resonator S22 is next to the series arm resonator S21. Almost generates heat.
  • the parallel arm resonator P21 closest to the second input terminal 25 is likely to generate heat, and the parallel arm resonator P21 is the next parallel arm resonator after the parallel arm resonator P21. P22 tends to generate heat.
  • the formation region 112 of the first functional electrode 18A and the formation region of the second functional electrode 28A are 212 do not overlap each other.
  • the parallel arm resonator P11 and the parallel arm resonator P12 do not overlap with any of the series arm resonator S21, the series arm resonator S22, the parallel arm resonator P21, and the parallel arm resonator P22 of the second transmission filter 20.
  • the plurality of elastic wave resonators 14 of the first transmission filter 10 include a third elastic wave resonator 14B closest to the first output terminal 16 of the first transmission filter 10.
  • the second elastic wave resonator 24A and the third elastic wave resonator 14B overlap when viewed in plan from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20. Thereby, in modification 2, it becomes possible to suppress an increase in the size of the first transmission filter 10 and the second transmission filter 20.
  • Modified Example 3 compared to the elastic wave device ST1 according to Embodiment 1, the area in which the third elastic wave resonator 14B overlaps with the fourth elastic wave resonator 24B in plan view from the thickness direction D3 of the transmission filter 20 is is wide, and the area where the fourth elastic wave resonator 24B overlaps with the third elastic wave resonator 14B is wide.
  • the intersection area of the IDT electrode (functional electrode 18) of the third acoustic wave resonator 14B and the intersection area of the IDT electrode (functional electrode 28) of the fourth acoustic wave resonator 24B are In contrast, in Modification 3, the intersecting region of the IDT electrodes of the third acoustic wave resonator 14B and the intersecting region of the IDT electrodes of the fourth acoustic wave resonator 24B overlap.
  • the intersection area of the IDT electrode (functional electrode 18) is defined by the plurality of first electrode fingers 181 and the plurality of second electrode fingers 182 of the IDT electrode.
  • the intersection region of the IDT electrodes is a region between the envelopes of the tips of the plurality of first electrode fingers 181 and the envelopes of the tips of the plurality of second electrode fingers 182.
  • the intersection area of the IDT electrode (functional electrode 28) is defined by the plurality of first electrode fingers 281 and the plurality of second electrode fingers 282 of the IDT electrode.
  • the intersection region of the IDT electrodes (functional electrodes 28) is a region between the envelopes of the tips of the plurality of first electrode fingers 281 and the envelopes of the tips of the plurality of second electrode fingers 282.
  • each functional electrode (IDT electrode) 18, each reflector 19, and each wiring portion W10 are hatched with dots, but these hatchings do not represent a cross section, as in FIG. 6.
  • each functional electrode (IDT electrode) 28, each reflector 29, and each wiring part W20 are hatched with dots, but these hatchings do not represent a cross section, as in FIG. do not have.
  • the same components as those of the elastic wave device ST1 according to the first embodiment are given the same reference numerals.
  • the formation region 112 of the first functional electrode 18A and the formation region of the second functional electrode 28A are 212 do not overlap each other.
  • the plurality of elastic wave resonators 14 of the first transmission filter 10 are two longitudinally coupled resonators. It differs from the elastic wave device ST1 according to the first embodiment in that it includes DMS1, DMS2, one series arm resonator S11, and one parallel arm resonator P11.
  • the longitudinally coupled resonator DMS1 among the plurality of elastic wave resonators 14 constitutes the first elastic wave resonator 14A.
  • the series arm resonator S11 among the plurality of elastic wave resonators 14 constitutes a third elastic wave resonator 14B.
  • the second transmission filter 20 includes a plurality of (for example, nine) elastic wave resonators 24, similar to the elastic wave device ST1 according to the first embodiment.
  • the first transmission filter 10 includes a first elastic wave filter having a plurality of (four in the illustrated example) elastic wave resonators 14.
  • the four elastic wave resonators 14 include two longitudinally coupled resonators DMS1 and DMS2, one series arm resonator S11, and one parallel arm resonator P11.
  • the two longitudinally coupled resonators DMS1 and DMS2 and one series arm resonator S11 are on a signal path Ru1 (hereinafter also referred to as series arm path Ru1) between the first input terminal 15 and the first output terminal 16. It is provided.
  • the two longitudinally coupled resonators DMS1 and DMS2 and one series arm resonator S11 are connected in series on the series arm path Ru1.
  • the longitudinally coupled resonator DMS1, the longitudinally coupled resonator DMS2, and one series arm resonator S11 are connected to the longitudinally coupled resonator from the first input terminal 15 side.
  • DMS1, longitudinally coupled resonator DMS2, and one series arm resonator S11 are arranged in this order.
  • the parallel arm resonator P11 is provided on the path Ru11 between the ground and the path between the longitudinally coupled resonator DMS2 and the series arm resonator S11 in the series arm path Ru1.
  • the first transmission filter 10 shown in FIG. 16 and the second transmission filter 20 shown in FIG. 17 are used instead of the first transmission filter 10 and the second transmission filter 20 in the elastic wave device ST1 in FIG. Stacked.
  • the longitudinally coupled resonator DMS1 in the first transmission filter 10 includes three functional electrodes 18 arranged between two reflectors 19 separated in the second direction D2.
  • Each of the three functional electrodes 18 in the longitudinally coupled resonator DMS1 is an IDT electrode.
  • the longitudinally coupled resonator DMS2 includes three functional electrodes 18 arranged between two reflectors 19 separated in the second direction D2.
  • Each of the three functional electrodes 18 in the longitudinally coupled resonator DMS2 is an IDT electrode.
  • each functional electrode (IDT electrode) 18, each reflector 19, and each wiring portion W10 are hatched with dots, but like FIG. 6, these hatchings do not represent a cross section.
  • the same components as those of the elastic wave device ST1 according to the first embodiment are given the same reference numerals.
  • the second transmission filter 20 has a second input terminal 25 and a second output terminal 26 separated from each other in the direction of one diagonal line of the second substrate 220.
  • the filter 20 is different from the filter 20 in the layout of a plurality of series arm resonators S21 to S25, a plurality of parallel arm resonators P21 to P24, a plurality of ground terminals 27, and the like.
  • each functional electrode (IDT electrode) 28, each reflector 29, and each wiring portion W20 are hatched with dots, but like FIG. 7, these hatchings do not represent a cross section.
  • the series arm resonator S21 (second elastic wave resonator 24A), the parallel arm resonator P21, and the parallel arm resonator P21 of the second transmission filter 20 are
  • the series arm resonator S22 does not overlap the longitudinally coupled resonator DMS1 (first elastic wave resonator 14A) of the first transmission filter 10.
  • DMS1 first elastic wave resonator 14A
  • the plurality of elastic wave resonators 14 included in the first transmission filter 10 include two longitudinally coupled resonators DMS1 and DMS2, This differs from the elastic wave device ST1 according to the first embodiment in that it includes one series arm resonator S11 and one parallel arm resonator P11.
  • two longitudinally coupled resonators DMS1 and DMS2 among the plurality of elastic wave resonators 14 constitute a first elastic wave resonator 14A.
  • the series arm resonator S11 among the plurality of elastic wave resonators 14 constitutes a third elastic wave resonator 14B.
  • the second transmission filter 20 includes a plurality of elastic wave resonators 24, similar to the elastic wave device ST1 according to the first embodiment.
  • the first transmission filter 10 includes a first elastic wave filter having a plurality of (four in the illustrated example) elastic wave resonators 14.
  • the four elastic wave resonators 14 include two longitudinally coupled resonators DMS1 and DMS2, one series arm resonator S11, and one parallel arm resonator P11.
  • a parallel circuit of two longitudinally coupled resonators DMS1 and DMS2 is connected to the first input terminal 15 and the series arm resonator S11.
  • a parallel circuit of two longitudinally coupled resonators DMS1 and DMS2 and one series arm resonator S11 connect two longitudinally coupled resonators from the first input terminal 15 side.
  • a parallel circuit of resonators DMS1 and DMS2 and one series arm resonator S11 are arranged in this order.
  • the parallel arm resonator P11 is provided on the path Ru11 between the parallel circuit of the two longitudinally coupled resonators DMS1 and DMS2 and the series arm resonator S11 in the series arm path Ru1, and the ground. .
  • the first transmission filter 10 shown in FIG. 19 and the second transmission filter 20 shown in FIG. 20 are used instead of the first transmission filter 10 and the second transmission filter 20 in the elastic wave device ST1 in FIG. Stacked.
  • the longitudinally coupled resonator DMS1 in the first transmission filter 10 includes three functional electrodes 18 arranged between two reflectors 19 separated in the second direction D2.
  • Each of the three functional electrodes 18 in the longitudinally coupled resonator DMS1 is an IDT electrode.
  • the longitudinally coupled resonator DMS2 includes three functional electrodes 18 arranged between two reflectors 19 separated in the second direction D2.
  • Each of the three functional electrodes 18 in the longitudinally coupled resonator DMS2 is an IDT electrode.
  • each functional electrode (IDT electrode) 18, each reflector 19, and each wiring portion W10 are hatched with dots, but like FIG. 6, these hatchings do not represent a cross section.
  • the same components as those of the elastic wave device ST1 according to the first embodiment are given the same reference numerals.
  • the second transmission filter 20 has a second input terminal 25 and a second output terminal 26 separated from each other in the direction of one diagonal line of the second substrate 220.
  • the filter 20 is different from the filter 20 in the layout of a plurality of series arm resonators S21 to S25, a plurality of parallel arm resonators P21 to P24, a plurality of ground terminals 27, and the like.
  • each functional electrode (IDT electrode) 28, each reflector 29, and each wiring portion W20 are hatched with dots, but like FIG. 7, these hatchings do not represent a cross section.
  • the first elastic wave resonator 14A of the first transmission filter 10 and the second elastic wave resonator 24A of the second transmission filter 20 do not overlap. That is, in the fifth modification of the acoustic wave device ST1 according to the first embodiment, the formation region 112 of the first functional electrode 18A and the second functional electrode 28A are Formation areas 212 do not overlap each other. As a result, according to the fifth modification of the elastic wave device ST1 according to the first embodiment, the filter characteristics of the first transmitting filter 10 and the second transmitting filter 20 due to the temperature rise of the first transmitting filter 10 and the second transmitting filter 20, respectively. It becomes possible to suppress the deterioration of.
  • the series arm resonator S21 (second elastic wave resonator 24A), the parallel arm resonator P21, and the parallel arm resonator P21 of the second transmission filter 20 are
  • the series arm resonator S22 does not overlap the longitudinally coupled resonator DMS1 (first elastic wave resonator 14A) and the longitudinally coupled resonator DMS2 (first elastic wave resonator 14A) of the first transmission filter 10.
  • the first substrate 120 (see FIG. 8) in the first transmission filter 10 includes, for example, a first support substrate and a first support substrate instead of the high-sonic member 121. and a first high-sonic membrane interposed between the low-sonic membrane 122 and the low-sonic membrane 122 .
  • the first high-sonic film is a film in which the sound speed of the bulk wave propagating through the first high-sonic film is higher than the sound speed of the elastic wave propagating through the piezoelectric layer 123.
  • the second substrate 220 (see FIG. 8) in the second transmission filter 20 is interposed between, for example, the second support substrate and the second support substrate and the low sound speed film 222 instead of the high sound speed member 221.
  • a configuration including a second high-sonic membrane may also be used.
  • the second high-sonic film is a film in which the sound speed of the bulk wave propagating through the second high-sonic film is higher than the sound speed of the elastic wave propagating through the piezoelectric layer 223.
  • each of the first high-sonic film and the second high-sonic film is, for example, silicon nitride, but is not limited to silicon nitride, and includes diamond-like carbon, aluminum nitride, silicon carbide, silicon oxynitride, silicon, sapphire, It may be at least one material selected from the group consisting of lithium tantalate, lithium niobate, quartz, zirconia, cordierite, mullite, steatite, forsterite, magnesia, and diamond.
  • the first substrate 120 may include, for example, an adhesive layer interposed between the low sound velocity film 122 and the piezoelectric layer 123.
  • the adhesive layer is made of resin (epoxy resin, polyimide resin), for example.
  • the first substrate 120 may include a dielectric film between the low-sonic film 122 and the piezoelectric layer 123, on the piezoelectric layer 123, or under the low-sonic film 122.
  • the second substrate 220 may include, for example, an adhesion layer interposed between the low sound velocity film 222 and the piezoelectric layer 223.
  • the adhesive layer is made of resin (epoxy resin, polyimide resin), for example.
  • the second substrate 220 may include a dielectric film between the low sound speed film 222 and the piezoelectric layer 223, on the piezoelectric layer 223, or under the low sound speed film 222.
  • the first transmission filter 10 may further include a first protective film provided on the piezoelectric layer 123 and covering the plurality of functional electrodes 18 and the plurality of reflectors 19.
  • the material of the first protective film is, for example, silicon oxide.
  • the second transmission filter 20 may further include a second protective film provided on the piezoelectric layer 223 and covering the plurality of functional electrodes 28 and the plurality of reflectors 29.
  • the material of the second protective film is, for example, silicon oxide.
  • the first substrate 120 may include a piezoelectric substrate instead of the laminated substrate including the high sound velocity member 121, the low sound velocity film 122, and the piezoelectric layer 123.
  • the piezoelectric substrate is, for example, a lithium tantalate substrate or a lithium niobate substrate.
  • the second substrate 220 may include a piezoelectric substrate instead of the laminated substrate including the high sonic velocity member 221, the low sonic velocity film 222, and the piezoelectric layer 223.
  • the piezoelectric substrate is, for example, a lithium tantalate substrate or a lithium niobate substrate.
  • the high frequency module 100a according to the second embodiment is different from the high frequency module 100 according to the first embodiment in that the elastic wave device ST1 further includes a shield electrode 135.
  • the shield electrode 135 is arranged in a hollow space 131 surrounded by the first transmission filter 10, the second transmission filter 20, and the spacer section 130.
  • the shield electrode 135 is arranged between the first transmit filter 10 and the second transmit filter 20 in the thickness direction D3 of the second transmit filter 20, and overlaps with the second functional electrode 28A.
  • the mounting board 9 further includes a ground electrode 95 to which the shield electrode 135 is connected.
  • the shield electrode 135 includes a first shield part 1351 that is apart from the second transmit filter 20 in the thickness direction D3 of the second transmit filter 20, and a second shield part 1351 that connects the second transmit filter 20 and the first shield part 1351. It has a shield part 1352. The first shield part 1351 and the second shield part 1352 are integral. The material of the shield electrode 135 includes metal.
  • the acoustic wave device ST1 has a cavity 138 formed between the shield electrode 135, the third main surface 2201 of the second substrate 220, and the second functional electrode 28A.
  • the cavity 138 between the shield electrode 135, the third main surface 2201 of the second substrate 220, and the second functional electrode 28A can be formed using, for example, a sacrificial layer etching technique.
  • the first elastic wave resonator 14A and the second elastic wave resonator 24A do not overlap each other when viewed from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20. . That is, in the elastic wave device ST1 according to the second embodiment, the formation region 112 of the first functional electrode 18A (see FIG. 6) and the second functional electrode 28A are The formation regions 212 (see FIG. 7) do not overlap with each other. Thereby, according to the elastic wave device ST1 according to the second embodiment, deterioration of the filter characteristics of the first transmitting filter 10 and the second transmitting filter 20 due to the temperature rise of the first transmitting filter 10 and the second transmitting filter 20 is suppressed. It becomes possible to do so.
  • the acoustic wave device ST1 includes a shield electrode 135, and the shield electrode 135 is connected to the ground electrode 95 of the mounting board 9.
  • the high frequency module 100a according to the second embodiment can improve the isolation between the first transmission filter 10 and the second transmission filter 20.
  • the ground electrode 95 overlaps with the first elastic wave resonator 14A when viewed in plan from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20. Thereby, in the high frequency module 100a according to the second embodiment, the heat generated in the first acoustic wave resonator 14A is easily radiated via the ground electrode 95, and the heat radiation performance can be further improved.
  • the elastic wave device ST1 further includes a ground conductor section 137.
  • the ground conductor portion 137 is located between the first transmit filter 10 and the second transmit filter 20 in the thickness direction D3 of the second transmit filter 20.
  • the ground conductor section 137 connects the first transmission filter 10 and the second transmission filter 20.
  • the first transmission filter 10 further includes a via conductor V0 (ground via conductor V7) connected to the ground terminal 27 of the second transmission filter 20 via a ground conductor section 137.
  • the ground via conductor V7 penetrates the first substrate 120 in the thickness direction.
  • the ground via conductor V7 is connected to the ground electrode 95 of the mounting board 9.
  • the elastic wave device ST1 according to the third embodiment has the following points: the plurality of elastic wave resonators 14 are BAW (Bulk Acoustic Wave) resonators, and the plurality of elastic wave resonators 24 are BAW resonators. This is different from the elastic wave device ST1 according to the first embodiment.
  • BAW Bulk Acoustic Wave
  • the first substrate 120 in the first transmission filter 10 is, for example, a silicon substrate or a spinel substrate.
  • the BAW resonator constituting the elastic wave resonator 14 includes a lower electrode 178 provided on the first main surface 1201 side of the first substrate 120, a piezoelectric film 179 on the lower electrode 178, and a piezoelectric film 179 on the piezoelectric film 179. an upper electrode 180.
  • each upper electrode 180 of each elastic wave resonator 14 constitutes a functional electrode 18.
  • the upper electrode 180 of the first elastic wave resonator 14A constitutes the first functional electrode 18A.
  • the material of the piezoelectric film 179 is, for example, AlN, ScAlN, LiTaO 3 , LiNbO 3 or PZT (lead zirconate titanate).
  • the BAW resonator constituting the elastic wave resonator 14 has a cavity 177 on the side of the lower electrode 178 opposite to the piezoelectric film 179 side. Therefore, the first functional electrode 18A is formed on the first functional surface 111 of the first transmission filter 10 via the cavity 177, the lower electrode 178, and the piezoelectric film 179.
  • the formation region of the first functional electrode 18A is a region that overlaps the cavity 177 on the first functional surface 111.
  • the BAW resonator constituting the elastic wave resonator 14 is an FBAR (Film Bulk Acoustic Resonator), but is not limited to this, and may be an SMR (Solidly Mounted Resonator).
  • the second substrate 220 in the second transmission filter 20 is, for example, a silicon substrate or a spinel substrate.
  • the BAW resonator constituting the elastic wave resonator 24 includes a lower electrode 278 provided on the third main surface 2201 side of the second substrate 220, a piezoelectric film 279 on the lower electrode 278, and a piezoelectric film 279 on the piezoelectric film 279. an upper electrode 280.
  • each upper electrode 280 of each elastic wave resonator 24 constitutes a functional electrode 28.
  • the upper electrode 280 of the second elastic wave resonator 24A constitutes the second functional electrode 28A.
  • the material of the piezoelectric film 279 is, for example, AlN, ScAlN, LiTaO 3 , LiNbO 3 or PZT (lead zirconate titanate).
  • the BAW resonator constituting the elastic wave resonator 24 has a cavity 277 on the side of the lower electrode 278 opposite to the piezoelectric film 279 side. Therefore, the second functional electrode 28A is formed on the second functional surface 211 of the second transmission filter 20 via the cavity 277, the lower electrode 278, and the piezoelectric film 279.
  • the formation region of the second functional electrode 28A is a region that overlaps the cavity 277 on the second functional surface 211.
  • the BAW resonator constituting the elastic wave resonator 24 is an FBAR, but is not limited to this, and may be an SMR.
  • the first elastic wave resonator 14A and the second elastic wave resonator 24A do not overlap each other when viewed from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20. .
  • the formation region of the first functional electrode 18A and the formation region of the second functional electrode 28A overlap with each other in a plan view from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20. No.
  • deterioration of the filter characteristics of the first transmitting filter 10 and the second transmitting filter 20 due to the temperature rise of the first transmitting filter 10 and the second transmitting filter 20 is suppressed. It becomes possible to do so.
  • a high frequency module 100c according to the fourth embodiment will be described with reference to FIGS. 23 to 25.
  • the same components as those of the high frequency module 100 according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
  • the second transmitting filter 20 and the first transmitting filter 10 overlap each other in the thickness direction D3 of the second transmitting filter 20.
  • the second transmission filter 20 is not stacked on the first transmission filter 10.
  • the first communication band is, for example, Band 1 of the 3GPP LTE standard or n1 of the 5G NR standard.
  • the second communication band is, for example, Band 41 of the 3GPP LTE standard or n41 of the 5G NR standard.
  • the external size (chip size) of the second transmitting filter 20 is equal to the external size (chip size) of the first transmitting filter 10 in a plan view from the thickness direction D3 of the second transmitting filter 20. ) is greater than.
  • the first transmission filter 10 in FIG. 23 corresponds to the Y1-Y1 cross-sectional view of the first transmission filter 10 in FIG. 24, and the second transmission filter 20 in FIG. This corresponds to the Y1 line cross-sectional view.
  • the layout of the plurality of elastic wave resonators 14 in the first transmission filter 10 is the same as the layout of the plurality of elastic wave resonators in the first transmission filter 10 of the high frequency module 100 according to the first embodiment.
  • the layout is different from No. 14.
  • the layout of the plurality of elastic wave resonators 24 in the second transmission filter 20 is different from the layout of the plurality of elastic wave resonators 24 in the second transmission filter 20 of the high frequency module 100 according to the first embodiment.
  • the layout is different from that of 24.
  • each functional electrode (IDT electrode) 18, each reflector 19, and each wiring portion W10 are hatched with dots, but like FIG.
  • each functional electrode (IDT electrode) 28 each reflector 29, and each wiring part W20 are hatched with dots, but these hatchings do not represent a cross section, as in FIG. do not have.
  • the first transmission filter 10 has a first main surface 1201 of the first substrate 120 located on the mounting board 9 side, and a second main surface 1202 of the first substrate 120 located on the second transmission filter 20 side. It is mounted on the first main surface 91 of the mounting board 9 as shown in FIG. Further, the second transmission filter 20 is configured such that the third main surface 2201 of the second substrate 220 is located on the first transmission filter 10 side, and the fourth main surface 2202 is located on the opposite side from the first transmission filter 10 side. It is mounted on the first main surface 91 of the mounting board 9 .
  • the first transmission filter 10 in the high frequency module 100c has a plurality of via conductors V0 (see FIG. 8) that penetrate in the thickness direction of the first substrate 120 in the first transmission filter 10 of the high frequency module 100 according to the first embodiment. Not yet.
  • a first input terminal 15, a first output terminal 16, and a plurality of ground terminals 17 are arranged on the first main surface 1201 of the first substrate 120.
  • the high frequency module 100c also includes a plurality of conductive connection members 139 connected one-to-one to the second input terminal 25, second output terminal 26, and plurality of ground terminals 27 of the second transmission filter 20. It is connected to the mounting board 9 by a conductive connecting member 139 .
  • Each of the plurality of conductive connection members 139 has conductivity.
  • the material of the plurality of conductive connection members 139 is, for example, metal (for example, copper, copper alloy, etc.).
  • Each of the plurality of conductive connection members 139 is a columnar electrode (for example, a cylindrical electrode).
  • the length of each of the plurality of conductive connection members 139 in the thickness direction D0 of the mounting board 9 is longer than the thickness of the first transmission filter 10, and there is a hollow space between the second transmission filter 20 and the first transmission filter 10. It is determined that a space 131 is formed.
  • the plurality of conductive connection members 139 are arranged on the first main surface 91 of the mounting board 9 by bonding columnar electrodes to the first main surface 91 of the mounting board 9, the present invention is not limited thereto.
  • the plurality of conductive connection members 139 may be formed by plating growth, may be arranged by bonding copper core balls to the first main surface 91 of the mounting board 9, or may be formed by soldering. You can.
  • the high frequency module 100c includes a mounting board 9, a first transmission filter 10, and a second transmission filter 20.
  • the first transmission filter 10 is arranged on the mounting board 9.
  • the second transmission filter 20 is arranged on the first transmission filter 10 via a conductive connection member 139 connected to the mounting board 9.
  • the first transmission filter 10 has a first input terminal 15 connected to the first power amplifier 101 (see FIGS. 1 and 3), and a first elastic wave resonator 14A closest to the first input terminal 15.
  • the second transmission filter 20 has a second input terminal 25 connected to the second power amplifier 102 (see FIGS. 1 and 3) and a second elastic wave resonator 24A closest to the second input terminal 25.
  • the first elastic wave resonator 14A has a first functional electrode 18A formed on the first functional surface 111.
  • the second elastic wave resonator 24A has a second functional electrode 28A formed on the second functional surface 211.
  • the second transmission filter 20 is arranged to face the first transmission filter 10 in the thickness direction D3 of the second transmission filter 20. In a plan view of the second transmission filter 20 from the thickness direction D3, the formation region 112 of the first functional electrode 18A and the formation region 212 of the second functional electrode 28A do not overlap with each other.
  • the high frequency module 100c it is possible to suppress the deterioration of the filter characteristics of the first transmit filter 10 and the second transmit filter 20 due to the temperature rise of the first transmit filter 10 and the second transmit filter 20. becomes.
  • Two transmission filters (a first transmission filter and a second transmission filter) are provided, and the two transmission filters are stacked, and the functional electrode formation area near the input terminal is formed in the first transmission filter, and the input terminal is formed in the input terminal in the second transmission filter.
  • the first transmission filter and the second transmission filter are mutually affected by heat, and the first transmission filter and the second transmission filter are mutually affected by heat.
  • the high frequency module 100c includes a first transmitting filter 10 disposed on the mounting board 9 and a first transmitting filter 10 connected to the mounting board 9 via the conductive connecting member 139.
  • a second transmission filter 20 disposed opposite to the first transmission filter 10, and when viewed in plan from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20, the first functional electrode 18A of the first acoustic wave resonator 14A is The formation region 112 and the formation region 212 of the second functional electrode 28A of the second acoustic wave resonator 24A do not overlap with each other.
  • the high frequency module 100c according to the fourth embodiment can suppress the temperature rise of each of the first elastic wave resonator 14A and the second elastic wave resonator 24A.
  • the high frequency module 100c according to the fourth embodiment can suppress a decrease in the power resistance of each of the first transmitting filter 10 and the second transmitting filter 20, and also suppress deterioration of filter characteristics due to temperature rise. becomes possible.
  • the series arm resonator S11, the series arm resonator S12, and the parallel arm resonator of the first transmission filter 10 are P11 and the parallel arm resonator P12 do not overlap with any of the series arm resonator S21, the series arm resonator S22, the parallel arm resonator P21, and the parallel arm resonator P22 of the second transmission filter 20.
  • the high frequency module 100c according to the fourth embodiment can further suppress deterioration of filter characteristics due to temperature rise of the first transmission filter 10 and the second transmission filter 20 during simultaneous communication.
  • the functional electrodes 18 of the plurality of elastic wave resonators 14 of the first transmission filter 10 are located on the mounting board 9 side.
  • the first functional surface 111 and the second functional surface 211 do not face each other, and the formation region 112 of the first functional electrode 18A and the formation region 212 of the second functional electrode 28A do not face each other. do not face each other.
  • the first elastic wave resonator 14A and the second elastic wave resonator 24A are made less susceptible to each other's heat.
  • the high frequency module 100c can further suppress the deterioration of the filter characteristics of the first transmission filter 10 and the second transmission filter 20 due to the temperature rise of the first acoustic wave resonator 14A and the second acoustic wave resonator 24A. It becomes possible.
  • Embodiments 1 to 4 described above are only one of various embodiments of the present invention.
  • the above-described embodiments 1 to 4 can be modified in various ways depending on the design, etc., as long as the object of the present invention can be achieved, and different components of different embodiments may be combined as appropriate.
  • At least one elastic wave resonator 14 among the plurality of elastic wave resonators 14 has a plurality of (for example, two or three) divided resonances. It may be composed of children.
  • the plurality of split resonators are resonators in which one elastic wave resonator 14 is split, and there is no intervening other elastic wave resonator 14 between the split resonators, and there is no intervening other elastic wave resonance between the split resonators. It is connected in series with the path including the child 14 without going through a connection node.
  • At least one elastic wave resonator 24 among the plurality of elastic wave resonators 24 has a plurality of (for example, two or three) divided resonances. It may be composed of children.
  • the plurality of split resonators are resonators in which one elastic wave resonator 24 is split, and there is no intervening other elastic wave resonator 24 between the split resonators, and the other elastic wave resonances are not interposed between the split resonators. It is connected in series with the path including the child 24 without going through a connection node.
  • the high frequency modules 100, 100a, 100b, 100c only need to include at least the first transmitting filter 10 and the second transmitting filter 20 as filters, the third transmitting filter 30, the first receiving filter 40, and the second transmitting filter.
  • the configuration may not include the reception filter 50.
  • the shield electrode 135 is connected to the second functional electrode 28A of the second acoustic wave resonator 24A and the second functional electrode 28A of the first elastic wave resonator 14A when viewed from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20. It is not limited to being arranged so as to overlap only the second functional electrode 28A among the one functional electrode 18A.
  • the shield electrode 135 is connected to the second functional electrode 28A of the second acoustic wave resonator 24A and the first functional electrode 18A of the first elastic wave resonator 14A in a plan view from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20.
  • the shield electrode 135 is connected to the second functional electrode 28A of the second acoustic wave resonator 24A and the first functional electrode 18A of the first elastic wave resonator 14A in a plan view from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20. may be arranged so as to overlap both.
  • the shield electrode 135 is connected to the second functional electrode 28A of the second acoustic wave resonator 24A and the first functional electrode 18A of the first elastic wave resonator 14A in a plan view from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20.
  • the shield electrode 135 is connected to the second functional electrode 28A of the second acoustic wave resonator 24A and the first functional electrode 18A of the first elastic wave resonator 14A in a plan view from the thickness direction D3 of the second transmission filter 20. and the functional electrode 28 of one or more elastic wave resonators 24 other than the second elastic wave resonator 24A.
  • the first communication band is Band 1 of the 3GPP LTE standard, Band 3 of the 3GPP LTE standard, Band 66 of the 3GPP LTE standard, Band 39 of the 3GPP LTE standard, or Band 40 of the 3GPP LTE standard
  • the second communication band is Band 40 of the 3GPP LTE standard.
  • Band 41 may be used.
  • the first communication band may be Band 1 of the 3GPP LTE standard, Band 66 of the 3GPP LTE standard, Band 39 of the 3GPP LTE standard, or Band 40 of the 3GPP LTE standard
  • the second communication band may be Band 3 of the 3GPP LTE standard.
  • the high frequency module 100 may have a configuration in which the plurality of external connection terminals T0 are ball bumps and the second resin layer 170 is not provided.
  • the high frequency module 100 is arranged between the first switch 6 , the second switch 7 , and the third switch 8 mounted on the second main surface 92 of the mounting board 9 and the second main surface 92 of the mounting board 9 . It may be provided with an underfill portion provided in the gap between.
  • the material of the ball bump constituting each of the plurality of external connection terminals T0 is, for example, gold, copper, solder, or the like.
  • the plurality of external connection terminals T0 may include a mixture of external connection terminals T0 formed of ball bumps and external connection terminals T0 formed of columnar electrodes.
  • the communication device 300 may include one of the high frequency modules 100a, 100b, and 100c instead of the high frequency module 100.
  • the elastic wave device (ST1) includes a first transmission filter (10) and a second transmission filter (20).
  • a first transmission filter (10) and a second transmission filter (20) are stacked, and the first functional surface (111) of the first transmission filter (10) and the second transmission filter (20) and the second functional surface (211) are arranged to face each other at a predetermined distance (H1).
  • the first transmission filter (10) has a first input terminal (15) and a first elastic wave resonator (14A) closest to the first input terminal (15).
  • the second transmission filter (20) has a second input terminal (25) and a second elastic wave resonator (24A) closest to the second input terminal (25).
  • the first elastic wave resonator (14A) has a first functional electrode (18A) formed on a first functional surface (111).
  • the second acoustic wave resonator (24A) has a second functional electrode (28A) formed on the second functional surface (211).
  • the formation area of the first functional electrode (18A) and the formation area of the second functional electrode (28A) do not overlap with each other.
  • the temperature of the first transmitting filter (10) and the second transmitting filter (20) increases due to the temperature increase of the first transmitting filter (10) and the second transmitting filter (20). It becomes possible to suppress deterioration of each filter characteristic.
  • the first transmission filter (10) includes a first elastic wave filter (10A).
  • the first elastic wave filter (10A) includes a first elastic wave resonator (14A) and has a passband that includes the frequency band of the first communication band.
  • the second transmission filter (20) includes a second elastic wave filter (20A).
  • the second elastic wave filter (20A) includes a second elastic wave resonator (24A) and has a passband that includes the frequency band of the second communication band.
  • the first communication band and the second communication band are communication bands that can be used for simultaneous communication.
  • the elastic wave device (ST1) according to the second aspect can suppress the temperature rise of each of the first transmission filter (10) and the second transmission filter (20) when used for simultaneous communication, and can suppress the temperature rise of each of the first transmission filter (10) and the second transmission filter (20). 10) and the second transmission filter (20) can be suppressed from deteriorating in their filter characteristics.
  • the first communication band is Band 1 of 3GPP LTE standard, Band 3 of 3GPP LTE standard, Band 66 of 3GPP LTE standard, Band 39 of 3GPP LTE standard, or 3GPP LTE standard.
  • the second communication band is Band 40 of the LTE standard, and the second communication band is Band 41 of the 3GPP LTE standard.
  • the first communication band is Band 1 of the 3GPP LTE standard, Band 66 of the 3GPP LTE standard, Band 39 of the 3GPP LTE standard, or Band 40 of the 3GPP LTE standard.
  • the second communication band is Band 3 of the 3GPP LTE standard.
  • the first transmission filter (10) includes a plurality of elastic wave resonators including the first elastic wave resonator (14A). It is a ladder type filter having a wave resonator (14), and the second transmission filter (20) is a ladder type filter having a plurality of elastic wave resonators (24) including a second elastic wave resonator (24A). .
  • the first transmission filter (10) is The elastic wave resonator (14A) is connected to at least one elastic wave resonator (24) other than the second elastic wave resonator (24A) among the plurality of elastic wave resonators (24) of the second transmission filter (20). Overlap.
  • the elastic wave device (ST1) According to the elastic wave device (ST1) according to the sixth aspect, it is possible to suppress an increase in the size of the second transmission filter (20).
  • the second transmission filter (20) includes an output terminal (second output terminal 26).
  • the plurality of elastic wave resonators (24) of the second transmission filter (20) include a fourth elastic wave resonator (24B) closest to the output terminal (second output terminal 26) of the second transmission filter (20). .
  • the first elastic wave resonator (14A) and the fourth elastic wave resonator (24B) overlap.
  • the elastic wave device (ST1) according to the seventh aspect it is possible to suppress an increase in the size of the second transmission filter (20).
  • the second transmission filter (20) in a plan view from the thickness direction (D3) of the second transmission filter (20), is The elastic wave resonator (24A) is connected to at least one elastic wave resonator (14) other than the first elastic wave resonator (14A) among the plurality of elastic wave resonators (14) of the first transmission filter (10). Overlap.
  • the elastic wave device (ST1) According to the elastic wave device (ST1) according to the eighth aspect, it is possible to suppress an increase in the size of the second transmission filter (20).
  • the first transmission filter (10) includes an output terminal (first output terminal 16).
  • the plurality of elastic wave resonators (14) of the first transmission filter (10) include a third elastic wave resonator (14B) closest to the output terminal (first output terminal 16) of the first transmission filter (10).
  • the second elastic wave resonator (24A) and the third elastic wave resonator (14B) overlap.
  • the elastic wave device (ST1) According to the elastic wave device (ST1) according to the ninth aspect, it is possible to suppress the size increase of the first transmission filter (10) and the second transmission filter (20).
  • the first transmission filter (10) includes a first output terminal (16).
  • the second transmission filter (20) includes a second output terminal (26).
  • the first transmission filter (10) includes a third elastic wave resonator (14B) closest to the first output terminal (16) of the first transmission filter (10).
  • the second transmission filter (20) includes a fourth elastic wave resonator (24B) closest to the second output terminal (26) of the second transmission filter (20).
  • the third elastic wave resonator (14B) and the fourth elastic wave resonator (24B) overlap each other.
  • the elastic wave device (ST1) According to the elastic wave device (ST1) according to the tenth aspect, it is possible to suppress the size increase of the first transmission filter (10) and the second transmission filter (20).
  • each of the first elastic wave resonator (14A) and the second elastic wave resonator (24A) is It is a SAW resonator.
  • each of the first elastic wave resonator (14A) and the second elastic wave resonator (24A) is It is a BAW resonator.
  • the high frequency module (100; 100a; 100b) according to the thirteenth aspect includes a mounting board (9) and the acoustic wave device (ST1) according to any one of the first to twelfth aspects.
  • the mounting board (9) has a main surface (91).
  • the acoustic wave device (ST1) is arranged on the main surface (91) of the mounting board (9).
  • the temperature rise in the first transmitting filter (10) and the second transmitting filter (20) causes the first transmitting filter (10) and the second transmitting filter (20) It becomes possible to suppress deterioration of each filter characteristic.
  • the high frequency module (100; 100a; 100b) according to the fourteenth aspect further includes a resin layer (150) and a metal electrode layer (160) in the thirteenth aspect.
  • the resin layer (150) is arranged on the main surface (91) of the mounting board (9).
  • the resin layer (150) covers at least a portion of the outer circumferential surface (13) of the first transmit filter (10) and at least a portion of the outer circumferential surface (23) of the second transmit filter (20).
  • the metal electrode layer (160) covers at least a portion of the resin layer (150).
  • the metal electrode layer (160) is in contact with the main surface (fourth main surface 22) of the second transmission filter (20) on the opposite side to the first transmission filter (10) side.
  • the high frequency module (100; 100a; 100b) according to the fourteenth aspect, it is possible to improve heat dissipation.
  • the acoustic wave device (ST1) further includes a spacer section (130) and a shield electrode (135).
  • the spacer section (130) is interposed between the first transmission filter (10) and the second transmission filter (20) in the thickness direction (D3) of the second transmission filter (20).
  • the shield electrode (135) is arranged in a hollow space (131) surrounded by the first transmission filter (10), the second transmission filter (20), and the spacer section (130).
  • the first transmit filter (10) includes a first substrate (120) having a first functional surface (111).
  • the second transmit filter (20) includes a second substrate (220) having a second functional surface (211).
  • the shield electrode (135) is arranged between the first transmit filter (10) and the second transmit filter (20) in the thickness direction (D3) of the second transmit filter (20), and is arranged between the second transmit filter (10) and the second transmit filter (20). It overlaps with (28A).
  • the acoustic wave device (ST1) has a cavity (138) between the shield electrode (135) and the second functional electrode (28A).
  • the mounting board (9) further includes a ground electrode (95) to which the shield electrode (135) is connected.
  • the high frequency module (100a) according to the fifteenth aspect, it is possible to improve the isolation between the first transmission filter (10) and the second transmission filter (20).
  • the ground electrode (95) when viewed from the thickness direction (D3) of the second transmission filter (20), the ground electrode (95) It overlaps with the resonator (14A).
  • the heat generated in the first acoustic wave resonator (14A) is easily dissipated via the shield electrode (135) and the ground electrode (95), and the heat dissipation is improved. It becomes possible to further improve the
  • the elastic wave device (ST1) further includes a ground conductor section (137).
  • the ground conductor portion (137) is located between the first transmit filter (10) and the second transmit filter (20) in the thickness direction (D3) of the second transmit filter (20).
  • the ground conductor section (137) connects the first transmission filter (10) and the second transmission filter (20).
  • the second transmission filter (20) further includes a ground terminal (27).
  • the first transmission filter (10) further includes a ground via conductor (V7).
  • the ground via conductor (V7) penetrates through the first substrate (120) in the thickness direction, and is connected to the ground terminal (27) of the second transmission filter (20) via the ground conductor portion (137). There is.
  • the ground via conductor (V7) is connected to the ground electrode (95).
  • heat generated in the first elastic wave resonator (14A) of the first transmission filter (10) is difficult to be transmitted to the second transmission filter (20).
  • the high frequency module (100c) includes a mounting board (9), a first transmission filter (10), and a second transmission filter (20).
  • the first transmission filter (10) is arranged on the mounting board (9).
  • the second transmission filter (20) is arranged on the first transmission filter (10) via a conductive connection member (139) connected to the mounting board (9).
  • the first transmission filter (10) includes a first input terminal (15) connected to the first power amplifier (101), a first elastic wave resonator (14A) closest to the first input terminal (15), has.
  • the second transmission filter (20) includes a second input terminal (25) connected to the second power amplifier (102), a second elastic wave resonator (24A) closest to the second input terminal (25), has.
  • the first elastic wave resonator (14A) has a first functional electrode (18A) formed on a first functional surface (111).
  • the second acoustic wave resonator (24A) has a second functional electrode (28A) formed on the second functional surface (211).
  • the second transmission filter (20) is arranged opposite to the first transmission filter (10) in the thickness direction (D3) of the second transmission filter (20). In a plan view from the thickness direction (D3) of the second transmission filter (20), the formation region (112) of the first functional electrode (18A) and the formation region (212) of the second functional electrode (28A) overlap each other. No.
  • the first transmitting filter (10) and the second transmitting filter (20) are affected by the temperature increase of the first transmitting filter (10) and the second transmitting filter (20), respectively. It becomes possible to suppress the deterioration of filter characteristics.
  • the formation region (112) of the first functional electrode (18A) and the formation region (212) of the second functional electrode (28A) do not face each other. .
  • the high frequency module (100c) since the formation region (112) of the first functional electrode (18A) and the formation region (212) of the second functional electrode (28A) do not face each other, The first elastic wave resonator (14A) and the second elastic wave resonator (24A) become less susceptible to each other's heat, and the first elastic wave resonator (14A) and the second elastic wave resonator (24A) It becomes possible to further suppress deterioration of the filter characteristics of the first transmission filter (10) and the second transmission filter (20) due to temperature rise.
  • a communication device (300) includes a high frequency module (100; 100a; 100b; 100c) according to any one of the thirteenth to nineteenth aspects and a signal processing circuit (301).
  • the signal processing circuit (301) is connected to the high frequency module (100; 100a; 100b; 100c).
  • the first transmission filter (10) and the second transmission filter (20) are affected by the temperature increase of the first transmission filter (10) and the second transmission filter (20), respectively. It becomes possible to suppress the deterioration of filter characteristics.
  • First switch 60 Common terminal 61, 62 Selection terminal 7 Second switch 70 Common terminal 71, 72 Selection terminal 8 Third switch 80A First common terminal 80B Second common terminal 81, 82 First selection terminal 83, 84 Second Selection terminal 9 Mounting board 91 First main surface 92 Second main surface 93 Outer peripheral surface 95 Ground electrode 10 First transmission filter 10A First acoustic wave filter 11 First main surface 12 Second main surface 111 First functional surface 112 Formation area 120 First substrate 1201 First main surface 1202 Second main surface 121 High sound velocity member 122 Low sound speed membrane 123 Piezoelectric layer 125 Connection terminal 126 Connection terminal 13 Outer surface 14 Acoustic wave resonator 14A First elastic wave resonator 14B Third Elastic wave resonator 15 First input terminal 16 First output terminal 17 Ground terminal 18 Functional electrode 18A First functional electrode 181 First electrode finger 182 Second electrode finger 183 First bus bar 184 Second bus bar 19 Reflector 20 Second transmission Filter 20A Second elastic wave filter 21 Third main surface 22 Fourth main surface 211 Second functional surface 212 Formation area 220 Second substrate 2201 Third

Landscapes

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Abstract

第1送信フィルタ及び第2送信フィルタの温度上昇による第1送信フィルタ及び第2送信フィルタそれぞれのフィルタ特性の劣化を抑制する。弾性波装置(ST1)では、第1送信フィルタ(10)の第1機能面(111)と第2送信フィルタ(20)の第2機能面(211)とが所定距離(H1)隔てて対向配置されている。第1送信フィルタ(10)は、第1入力端子(15)に最も近い第1弾性波共振子(14A)を有する。第2送信フィルタ(20)は、第2入力端子(25)に最も近い第2弾性波共振子(24A)を有する。第1弾性波共振子(14A)は、第1機能面(111)に形成されている第1機能電極(18A)を有する。第2弾性波共振子(24A)は、第2機能面(211)に形成されている第2機能電極(28A)を有する。平面視で、第1機能電極(18A)の形成領域及び第2機能電極(28A)の形成領域は互いに重ならない。

Description

弾性波装置、高周波モジュール及び通信装置
 本発明は、一般に、弾性波装置、高周波モジュール及び通信装置に関し、より詳細には、第1送信フィルタと第2送信フィルタとを備える弾性波装置、弾性波装置を備える高周波モジュール、及び、高周波モジュールを備える通信装置に関する。
 特許文献1には、実装基板と、第1送信用フィルタと、第2送信用フィルタと、パワーアンプと、を備える高周波モジュールが開示されている。
 実装基板は、第1主面及び第2主面を有する。第1の送信用フィルタ及び第2の送信用フィルタは、実装基板の厚さ方向において実装基板の第1主面側から第1の送信用フィルタ、第2の送信用フィルタの順に積層された状態で実装基板の第1主面に設けられている。
国際公開第2020/261777号
 高周波モジュールは、例えば、キャリアアグリゲーションのような同時通信に利用される2つの送信フィルタ(第1送信フィルタ及び第2送信フィルタ)が実装基板の厚さ方向において重なるように配置されている場合、第1送信フィルタ及び第2送信フィルタの温度上昇によるフィルタ特性の劣化を防ぐ必要がある。
 本発明の目的は、第1送信フィルタ及び第2送信フィルタの温度上昇による第1送信フィルタ及び第2送信フィルタそれぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能な弾性波装置、高周波モジュール及び通信装置を提供することにある。
 本発明の一態様に係る弾性波装置は、第1送信フィルタ及び第2送信フィルタを備える。前記弾性波装置では、前記第1送信フィルタと前記第2送信フィルタとがスタックされており、前記第1送信フィルタの第1機能面と前記第2送信フィルタの第2機能面とが所定距離隔てて対向配置されている。前記第1送信フィルタは、第1入力端子と、前記第1入力端子に最も近い第1弾性波共振子と、を有する。前記第2送信フィルタは、第2入力端子と、前記第2入力端子に最も近い第2弾性波共振子と、を有する。前記第1弾性波共振子は、前記第1機能面に形成されている第1機能電極を有する。前記第2弾性波共振子は、前記第2機能面に形成されている第2機能電極を有する。前記第2送信フィルタの厚さ方向からの平面視で、前記第1機能電極の形成領域及び前記第2機能電極の形成領域は互いに重ならない。
 本発明の一態様に係る高周波モジュールは、実装基板と、上記の弾性波装置と、を備える。前記実装基板は、主面を有する。前記弾性波装置は、前記実装基板の前記主面に配置されている。
 本発明の一態様に係る高周波モジュールは、実装基板と、第1送信フィルタと、第2送信フィルタと、を備える。前記第1送信フィルタは、前記実装基板に配置されている。前記第2送信フィルタは、前記実装基板と接続された導電性接続部材を介して前記第1送信フィルタ上に配置されている。前記第1送信フィルタは、第1パワーアンプに接続される第1入力端子と、前記第1入力端子に最も近い第1弾性波共振子と、を有する。前記第2送信フィルタは、第2パワーアンプに接続される第2入力端子と、前記第2入力端子に最も近い第2弾性波共振子と、を有する。前記第1弾性波共振子は、第1機能面に形成されている第1機能電極を有する。前記第2弾性波共振子は、第2機能面に形成されている第2機能電極を有する。前記第2送信フィルタは、前記第2送信フィルタの厚さ方向において前記第1送信フィルタに対向配置されている。前記第2送信フィルタの前記厚さ方向からの平面視で、前記第1機能電極の形成領域及び前記第2機能電極の形成領域は互いに重ならない。
 本発明の一態様に係る通信装置は、上記高周波モジュールと、信号処理回路と、を備える。前記信号処理回路は、前記高周波モジュールに接続されている。
 本発明の上記態様に係る弾性波装置、高周波モジュール及び通信装置は、第1送信フィルタ及び第2送信フィルタの温度上昇による第1送信フィルタ及び第2送信フィルタそれぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
図1は、実施形態1に係る高周波モジュールを備える通信装置の回路構成図である。 図2Aは、同上の高周波モジュールにおける第1送信フィルタの回路図である。図2Bは、同上の高周波モジュールにおける第2送信フィルタの回路図である。 図3は、同上の高周波モジュールの平面図である。 図4は、同上の高周波モジュールの他の平面図である。 図5は、同上の高周波モジュールを示し、図3のX1-X1線断面図である。 図6は、実施形態1に係る弾性波装置における第1送信フィルタの平面図である。 図7は、同上の弾性波装置における第2送信フィルタの上面側から第2送信フィルタの下面を透視した透視図である。 図8は、同上の弾性波装置を示し、図6及び図7のX2-X2線断面に対応する断面図である。 図9は、実施形態1の変形例1に係る弾性波装置における第1送信フィルタの平面図である。 図10は、同上の弾性波装置における第2送信フィルタの上面側から第2送信フィルタの下面を透視した透視図である。 図11は、実施形態1の変形例2に係る弾性波装置における第1送信フィルタの平面図である。 図12は、同上の弾性波装置における第2送信フィルタの上面側から第2送信フィルタの下面を透視した透視図である。 図13は、実施形態1の変形例3に係る弾性波装置における第1送信フィルタの平面図である。 図14は、同上の弾性波装置における第2送信フィルタの上面側から第2送信フィルタの下面を透視した透視図である。 図15Aは、実施形態1の変形例4に係る弾性波装置における第1送信フィルタの回路図である。図15Bは、同上の弾性波装置における第2送信フィルタの回路図である。 図16は、同上の弾性波装置における第1送信フィルタの平面図である。 図17は、同上の弾性波装置における第2送信フィルタの上面側から第2送信フィルタの下面を透視した透視図である。 図18Aは、実施形態1の変形例5に係る弾性波装置における第1送信フィルタの回路図である。図18Bは、同上の弾性波装置における第2送信フィルタの回路図である。 図19は、同上の弾性波装置における第1送信フィルタの平面図である。 図20は、同上の弾性波装置における第2送信フィルタの上面側から第2送信フィルタの下面を透視した透視図である。 図21は、実施形態2に係る高周波モジュールの断面図である。 図22は、実施形態3に係る高周波モジュールの断面図である。 図23は、実施形態4に係る高周波モジュールの断面図である。 図24は、同上の高周波モジュールにおける第1送信フィルタの上面側から第1送信フィルタの下面を透視した透視図である。 図25は、同上の高周波モジュールにおける第2送信フィルタの上面側から第2送信フィルタの下面を透視した透視図である。
 以下の実施形態1~4等において参照する各図は、いずれも模式的な図であり、図中の各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。
 (実施形態1)
 以下、実施形態1に係る弾性波装置ST1(図5及び8参照)、高周波モジュール100及び通信装置300について、図1~8に基づいて説明する。
 (1)概要
 実施形態1に係る弾性波装置ST1は、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20を備える。弾性波装置ST1では、図8に示すように、第1送信フィルタ10と第2送信フィルタ20とがスタックされている。実施形態1に係る高周波モジュール100は、図8に示すように、実装基板9と、弾性波装置ST1と、を備える。したがって、高周波モジュール100は、実装基板9と、第1送信フィルタ10と、第2送信フィルタ20と、を備える。実装基板9は、主面91を有する。第1送信フィルタ10は、実装基板9の主面91に配置されている。第1送信フィルタ10は、第1入力端子15を有する。第1送信フィルタ10の第1入力端子15は、第1パワーアンプ101(図3参照)に接続される。第2送信フィルタ20は、第1送信フィルタ10における実装基板9側とは反対側に位置している。第2送信フィルタ20は、第2入力端子25を有する。第2送信フィルタ20の第2入力端子25は、第2パワーアンプ102(図3参照)に接続される。第1送信フィルタ10は、第1入力端子15に最も近い第1弾性波共振子14Aを有し、第1通信バンドの周波数帯を含む通過帯域を有する第1弾性波フィルタを含む。第2送信フィルタ20は、第2入力端子25に最も近い第2弾性波共振子24Aを有し、第2通信バンドの周波数帯を含む通過帯域を有する第2弾性波フィルタを含む。第1通信バンドと第2通信バンドとは同時通信で利用可能な通信バンドである。実装基板9の厚さ方向D0からの平面視で、第1弾性波共振子14A及び第2弾性波共振子24Aは互いに重ならない。実施形態1に係る高周波モジュール100では、第2通信バンドは、第1通信バンドとは異なる通信バンドである。
 高周波モジュール100は、例えば、通信装置300(図1参照)に用いられる。通信装置300は、例えば、携帯電話(例えば、スマートフォン)であるが、これに限らず、例えば、ウェアラブル端末(例えば、スマートウォッチ)であってもよい。高周波モジュール100は、例えば、4G(第4世代移動通信)規格、5G(第5世代移動通信)規格等に対応可能なモジュールである。4G規格は、例えば、3GPP(登録商標、Third Generation Partnership Project) LTE(登録商標、Long Term Evolution)規格である。5G規格は、例えば、5G NR(New Radio)である。高周波モジュール100は、例えば、キャリアアグリゲーション及びデュアルコネクティビティに対応可能なモジュールである。高周波モジュール100は、アップリンクで2つの周波数帯域を同時に用いる2アップリンクキャリアアグリゲーションにも対応可能である。
 通信装置300は、図1に示すように、高周波モジュール100と、信号処理回路301と、を備える。通信装置300は、アンテナ310を更に備える。通信装置300は、高周波モジュール100が実装された回路基板(図示せず)を更に備える。回路基板は、例えば、プリント配線板である。回路基板は、グランド電位が与えられるグランド電極を有する。
 (2)詳細
 以下、高周波モジュール100及び通信装置300の回路構成について説明した後で、弾性波装置ST1及び高周波モジュール100それぞれの構造について、より詳細に説明する。
 (2.1)高周波モジュールの回路構成
 実施形態1に係る高周波モジュール100の回路構成について、図1を参照して説明する。
 高周波モジュール100は、例えば、アンテナ310から入力された受信信号を増幅して信号処理回路301に出力できるように構成されている。また、高周波モジュール100は、例えば、信号処理回路301から入力された送信信号を増幅してアンテナ310に出力できるように構成されている。信号処理回路301は、高周波モジュール100の構成要素ではなく、高周波モジュール100を備える通信装置300の構成要素である。高周波モジュール100は、例えば、通信装置300の備える信号処理回路301によって制御される。
 高周波モジュール100は、複数(例えば、3つ)の送信フィルタ(第1送信フィルタ10、第2送信フィルタ20、第3送信フィルタ30)と、を備える。また、高周波モジュール100は、複数(例えば、2つ)のパワーアンプ(第1パワーアンプ101、第2パワーアンプ102)と、複数(例えば、2つ)の受信フィルタ(第1受信フィルタ40、第2受信フィルタ50)と、複数(例えば、2つ)のローノイズアンプ(第1ローノイズアンプ107、第2ローノイズアンプ108)と、第1スイッチ6と、第2スイッチ7と、第3スイッチ8と、複数の外部接続端子T0と、を備える。複数の外部接続端子T0は、アンテナ端子T3と、複数の信号入力端子(第1信号入力端子T1、第2信号入力端子T2)と、複数の信号出力端子(第1信号出力端子T4、第2信号出力端子T5、第3信号出力端子T6及び第4信号出力端子T7)と、複数の外部グランド端子T8(図5参照)と、を含む。また、高周波モジュール100は、複数(例えば、2つ)の出力整合回路(第1出力整合回路103、第2出力整合回路104)と、複数(例えば、2つ)の入力整合回路(第1入力整合回路109、第2入力整合回路110)と、複数(例えば、2つ)の整合回路(第1整合回路105、第2整合回路106)と、を備える。
 以下、高周波モジュール100の回路構成について、より詳細に説明する。
 第1送信フィルタ10、第2送信フィルタ20及び第3送信フィルタ30は、互いに異なる周波数帯域を通過帯域とする送信フィルタである。第1送信フィルタ10は、第1通信バンドの送信帯域を含む通過帯域を有する。第2送信フィルタ20は、第1通信バンドとは異なる第2通信バンドの送信帯域を含む通過帯域を有する。第3送信フィルタ30は、第1通信バンド及び第2通信バンドとは異なる第3通信バンドの送信帯域を含む通過帯域を有する。第1通信バンドは、例えば、3GPP LTE規格のBand41又は5G NR規格のn41である。第2通信バンドは、例えば、3GPP LTE規格のBand3又は5G NR規格のn3である。第3通信バンドは、例えば、3GPP LTE規格のBand1又は5G NR規格のn1である。第1通信バンドは、通信方式としてTDD(Time Division Duplex)に対応した通信に利用される通信バンドであるが、これに限らず、通信方式としてFDD(Frequency Division Duplex)に対応した通信に利用される通信バンドであってもよい。第2通信バンドは、通信方式としてFDDに対応した通信に利用される通信バンドであるが、これに限らず、通信方式としてTDDに対応した通信に利用される通信バンドであってもよい。第3通信バンドは、通信方式としてFDDに対応した通信に利用される通信バンドであるが、これに限らず、通信方式としてTDDに対応した通信に利用される通信バンドであってもよい。第1送信フィルタ10は、第1入力端子15及び第1出力端子16を有する(図2A参照)。第2送信フィルタ20は、第2入力端子25及び第2出力端子26を有する(図2B参照)。第3送信フィルタ30は、第3入力端子35及び第3出力端子36を有する(図3参照)。
 第1受信フィルタ40及び第2受信フィルタ50は、互いに異なる周波数帯域を通過帯域とする受信フィルタである。第1受信フィルタ40は、第2通信バンドの受信帯域を含む通過帯域を有する。第2受信フィルタ50は、第3通信バンドの受信帯域を含む通過帯域を有する。第2通信バンドは、例えば、3GPP LTE規格のBand3又は5G NR規格のn3である。第3通信バンドは、例えば、3GPP LTE規格のBand1又は5G NR規格のn1である。
 第1パワーアンプ101は、入力端子及び出力端子を有する。第1パワーアンプ101は、第1パワーアンプ101の入力端子に入力された送信信号を電力増幅して第1パワーアンプ101の出力端子から出力する。第1パワーアンプ101の入力端子は、第1信号入力端子T1に接続されている。第1信号入力端子T1は、外部回路(例えば、信号処理回路301)からの高周波信号(送信信号)を高周波モジュール100に入力するための端子である。第1パワーアンプ101の入力端子は、例えば、第1信号入力端子T1を介して信号処理回路301に接続される。第1パワーアンプ101の出力端子は、第1出力整合回路103を介して第1送信フィルタ10の第1入力端子15に接続されている。
 第2パワーアンプ102は、入力端子及び出力端子を有する。第2パワーアンプ102は、第2パワーアンプ102の入力端子に入力された送信信号を増幅して第2パワーアンプ102の出力端子から出力する。第2パワーアンプ102の入力端子は、第2信号入力端子T2に接続されている。第2信号入力端子T2は、外部回路(例えば、信号処理回路301)からの高周波信号(送信信号)を高周波モジュール100に入力するための端子である。第2パワーアンプ102の入力端子は、例えば、第2信号入力端子T2を介して信号処理回路301に接続される。第2パワーアンプ102の出力端子は、第2出力整合回路104を介して第2スイッチ7の共通端子70に接続されており、第2スイッチ7を介して第2送信フィルタ20及び第3送信フィルタ30に接続可能となっている。第2パワーアンプ102は、第2送信フィルタ20の通過帯域の高周波信号と、第3送信フィルタ30の通過帯域の高周波信号とを増幅可能なパワーアンプである。
 第1パワーアンプ101及び第2パワーアンプ102は、互いに異なるパワークラスに対応している。「パワークラス」とは、最大出力パワー等で定義される端末(通信装置300)の出力パワーの分類(User Equipment Power Class)であり、「パワークラス」の次に記載されている数字が小さいほど、高い出力パワーに対応することを示す。例えば、パワークラス 1の最大出力パワー(29dBm)は、パワークラス 2の最大出力パワー(26dBm)よりも大きく、パワークラス2の最大出力パワー(26dBm)は、パワークラス 3の最大出力パワー(23dBm)よりも大きい。最大出力パワーの測定は、例えば、3GPP等によって規定された方法で行われる。第1パワーアンプ101は、第1パワークラス(例えば、パワークラス 3)に対応し、第2パワーアンプ102は、第1パワークラスよりも最大出力パワーの大きな第2パワークラス(例えば、パワークラス 2)に対応している。
 高周波モジュール100は、コントローラを更に備えていてもよい。コントローラは、例えば、信号処理回路301からの制御信号に従って第1パワーアンプ101及び第2パワーアンプ102を制御する。
 第1出力整合回路103は、第1パワーアンプ101の出力端子と第1送信フィルタ10の第1入力端子15(図2A参照)との間に接続されている。第1出力整合回路103は、第1パワーアンプ101と第1送信フィルタ10とのインピーダンス整合をとるための回路であり、例えば、複数のインダクタ及び複数のキャパシタを含む。第2出力整合回路104は、第2パワーアンプ102の出力端子と第2スイッチ7の共通端子70との間に接続されている。第2出力整合回路104は、第2パワーアンプ102と第2送信フィルタ20及び第3送信フィルタ30とのインピーダンス整合をとるための回路であり、例えば、複数のインダクタ及び複数のキャパシタを含む。
 第1ローノイズアンプ107は、入力端子及び出力端子を有する。第1ローノイズアンプ107は、第1ローノイズアンプ107の入力端子に入力された受信信号を増幅して第1ローノイズアンプ107の出力端子から出力する。第1ローノイズアンプ107の入力端子は、第1入力整合回路109を介して第1受信フィルタ40に接続されている。第1ローノイズアンプ107の出力端子は、第3スイッチ8の第1共通端子80Aに接続されている。第1ローノイズアンプ107の出力端子は、例えば、第1信号出力端子T4又は第2信号出力端子T5を介して信号処理回路301に接続される。第1信号出力端子T4及び第2信号出力端子T5は、第1ローノイズアンプ107からの高周波信号(受信信号)を外部回路(例えば、信号処理回路301)へ出力するための端子である。
 第2ローノイズアンプ108は、入力端子及び出力端子を有する。第2ローノイズアンプ108は、第2ローノイズアンプ108の入力端子に入力された受信信号を増幅して第2ローノイズアンプ108の出力端子から出力する。第2ローノイズアンプ108の入力端子は、第2入力整合回路110を介して第2受信フィルタ50に接続されている。第2ローノイズアンプ108の出力端子は、第3スイッチ8の第2共通端子80Bに接続されている。第2ローノイズアンプ108の出力端子は、例えば、第3信号出力端子T6又は第4信号出力端子T7を介して信号処理回路301に接続される。第3信号出力端子T6及び第4信号出力端子T7は、第2ローノイズアンプ108からの高周波信号(受信信号)を外部回路(例えば、信号処理回路301)へ出力するための端子である。
 第1入力整合回路109は、第1ローノイズアンプ107と第1受信フィルタ40とのインピーダンス整合をとるための回路である。第1入力整合回路109は、例えば、インダクタL9(図3参照)を含む。第2入力整合回路110は、第2ローノイズアンプ108と第2受信フィルタ50とのインピーダンス整合をとるための回路である。第2入力整合回路110は、例えば、インダクタL10(図3参照)を含む。
 第1スイッチ6は、共通端子60と、複数(例えば、2つ)の選択端子61、62と、を有する。第1スイッチ6では、共通端子60が、アンテナ端子T3に接続されている。高周波モジュール100は、共通端子60とアンテナ端子T3とが他の回路素子を介さずに接続される場合に限らず、例えば、ローパスフィルタ及びカプラを介して接続されてもよい。選択端子61は、第1整合回路105を介して第1送信フィルタ10の第1出力端子16(図2A参照)に接続されている。選択端子62は、第2整合回路106を介して、第2送信フィルタ20の第2出力端子26(図2参照)と第3送信フィルタ30の第3出力端子36(図3参照)と第1受信フィルタ40と第2受信フィルタ50との接続点に接続されている。第1スイッチ6は、例えば、共通端子60に複数の選択端子61、62のうち少なくとも1つ以上を接続可能なスイッチである。ここで、第1スイッチ6は、例えば、一対一及び一対多の接続が可能なスイッチである。第1スイッチ6は、例えば、スイッチIC(Integrated Circuit)である。
 第1スイッチ6は、例えば、信号処理回路301によって制御される。第1スイッチ6は、信号処理回路301のRF信号処理回路302からの制御信号に従って、共通端子60と複数の選択端子61、62との接続状態を切り替える。
 第2スイッチ7は、共通端子70と、複数(例えば、2つ)の選択端子71、72と、を有する。第2スイッチ7では、共通端子70が、第2出力整合回路104を介して、第2パワーアンプ102の出力端子に接続されている。選択端子71は、第2送信フィルタ20の第2入力端子25(図2B参照)に接続されている。選択端子72は、第3送信フィルタ30の第3入力端子35(図3参照)に接続されている。第2スイッチ7は、例えば、共通端子70に複数の選択端子71、72のうち少なくとも1つ以上を接続可能なスイッチである。ここで、第2スイッチ7は、例えば、一対一及び一対多の接続が可能なスイッチである。第2スイッチ7は、例えば、スイッチICである。
 第2スイッチ7は、例えば、信号処理回路301によって制御される。第2スイッチ7は、信号処理回路301のRF信号処理回路302からの制御信号に従って、共通端子70と複数の選択端子71、72との接続状態を切り替える。
 第3スイッチ8は、第1共通端子80Aと、第2共通端子80Bと、第1共通端子80Aに接続可能な複数(例えば、2つ)の第1選択端子81、82と、第2共通端子80Bに接続可能な複数(例えば、2つ)の第2選択端子83、84と、を有する。第3スイッチ8では、第1共通端子80Aが第1ローノイズアンプ107の出力端子に接続されている。また、第3スイッチ8では、第2共通端子80Bが第2ローノイズアンプ108の出力端子に接続されている。また、第3スイッチ8では、第1選択端子81が第1信号出力端子T4に接続されている。また、第3スイッチ8では、第1選択端子82が第2信号出力端子T5に接続されている。また、第3スイッチ8では、第2選択端子83が第3信号出力端子T6に接続されている。また、第3スイッチ8では、第2選択端子84が第4信号出力端子T7に接続されている。第3スイッチ8は、例えば、第1共通端子80Aと2つの第1選択端子81,82のうち一方との接続と、第2共通端子80Bと2つの第2選択端子83、84のうち一方との接続と、を同時に行うことが可能なスイッチである。また、第3スイッチ8は、例えば、第1共通端子80Aと複数(4つ)の選択端子(第1選択端子81、82、第2選択端子83、84)のうち1つとの接続のみを行うことも可能なスイッチである。また、第3スイッチ8は、第2共通端子80Bと複数(4つ)の選択端子(第1選択端子81、82、第2選択端子83、84)のうち1つとの接続のみを行うことも可能なスイッチである。第3スイッチ8は、例えば、スイッチICである。
 第3スイッチ8は、例えば、信号処理回路301によって制御される。この場合、第3スイッチ8は、信号処理回路301のRF信号処理回路302からの制御信号に従って、第1共通端子80A及び第2共通端子80Bと4つの選択端子(第1選択端子81、第1選択端子82、第2選択端子83及び第2選択端子84)との接続状態を切り替える。
 (2.2)第1送信フィルタ及び第2送信フィルタの回路構成
 第1送信フィルタ10は、図2Aに示すように、複数(図示例では、7つ)の弾性波共振子14を有する第1弾性波フィルタを含む。第1送信フィルタ10に含まれる第1弾性波フィルタは、例えば、ラダー型フィルタである。7つの弾性波共振子14は、4つの直列腕共振子S11~S14と、3つの並列腕共振子P11~P13と、を含む。4つの直列腕共振子S11、S12、S13、S14は、第1入力端子15と第1出力端子16との間の第1信号経路Ru1(以下、直列腕経路Ru1ともいう)上に設けられている。4つの直列腕共振子S11、S12、S13、S14は、直列腕経路Ru1上において、直列に接続されている。第1弾性波フィルタでは、直列腕経路Ru1上において、直列腕共振子S11、直列腕共振子S12、直列腕共振子S13及び直列腕共振子S14が、第1入力端子15側から、直列腕共振子S11、直列腕共振子S12、直列腕共振子S13及び直列腕共振子S14の順に並んでいる。並列腕共振子P11は、直列腕経路Ru1における直列腕共振子S11及び直列腕共振子S12間の経路と、グランドと、の間の経路Ru11上に設けられている。並列腕共振子P12は、直列腕経路Ru1における直列腕共振子S12及び直列腕共振子S13間の経路と、グランドと、の間の経路Ru12に設けられている。並列腕共振子P13は、直列腕経路Ru1における直列腕共振子S13及び直列腕共振子S14間の経路と、グランドと、の間の経路Ru13上に設けられている。
 複数の弾性波共振子14は、第1弾性波共振子14Aを含む。第1弾性波共振子14Aは、複数の弾性波共振子14において、第1入力端子15に最も近い弾性波共振子14である。「第1入力端子15に最も近い弾性波共振子14」とは、他の弾性波共振子14を介さずに第1入力端子15に接続される弾性波共振子14である。言い換えれば、「第1入力端子15に最も近い弾性波共振子14」とは、物理的な距離に関わらず電気的に第1入力端子15に最も近い弾性波共振子14である。第1入力端子15に最も近い直列腕共振子S11と第1入力端子15に最も近い並列腕共振子P11とが存在する場合には、第1入力端子15に最も近い直列腕共振子S11と第1入力端子15に最も近い並列腕共振子P11との少なくとも一方が第1弾性波共振子14Aである。また、複数の弾性波共振子14は、第1送信フィルタ10の第1出力端子16に最も近い第3弾性波共振子14Bを含む。
 第2送信フィルタ20は、図2Bに示すように、複数(図示例では、9つ)の弾性波共振子24を有する第2弾性波フィルタを含む。第2送信フィルタ20に含まれる第2弾性波フィルタは、例えば、ラダー型フィルタである。9つの弾性波共振子24は、5つの直列腕共振子S21~S25と、4つの並列腕共振子P21~P24と、を含む。5つの直列腕共振子S21、S22、S23、S24、S25は、第2入力端子25と第2出力端子26との間の第2信号経路Ru2(以下、直列腕経路Ru2ともいう)上に設けられている。5つの直列腕共振子S21、S22、S23、S24、S25は、直列腕経路Ru2上において、直列に接続されている。第2弾性波フィルタでは、直列腕経路Ru2上において、直列腕共振子S21、直列腕共振子S22、直列腕共振子S23、直列腕共振子S24及び直列腕共振子S25が、第2入力端子25側から、直列腕共振子S21、直列腕共振子S22、直列腕共振子S23、直列腕共振子S24及び直列腕共振子S25の順に並んでいる。並列腕共振子P21は、直列腕経路Ru2における直列腕共振子S21及び直列腕共振子S22間の経路と、グランドと、の間の経路Ru21上に設けられている。並列腕共振子P22は、直列腕経路Ru2における直列腕共振子S22及び直列腕共振子S23間の経路と、グランドと、の間の経路Ru22に設けられている。並列腕共振子P23は、直列腕経路Ru2における直列腕共振子S23及び直列腕共振子S24間の経路と、グランドと、の間の経路Ru23に設けられている。並列腕共振子P24は、直列腕共振子S24及び直列腕共振子S25間の経路と、グランドと、の間の経路Ru24上に設けられている。
 複数の弾性波共振子24は、第2弾性波共振子24Aを含む。第2弾性波共振子24Aは、複数の弾性波共振子24において、第2入力端子25に最も近い弾性波共振子24である。「第2入力端子25に最も近い弾性波共振子24」とは、他の弾性波共振子24を介さずに第2入力端子25に接続される弾性波共振子24である。第2入力端子25に最も近い直列腕共振子S21と第2入力端子25に最も近い並列腕共振子P21とが存在する場合には、第2入力端子25に最も近い直列腕共振子S21と第2入力端子25に最も近い並列腕共振子P21との少なくとも一方が第2弾性波共振子24Aである。また、複数の弾性波共振子24は、第2送信フィルタ20の第2出力端子26に最も近い第4弾性波共振子24Bを含む。
 (2.3)通信装置の回路構成
 図1に示すように、通信装置300は、高周波モジュール100と、信号処理回路301と、を備える。信号処理回路301は、高周波モジュール100に接続されている。通信装置300は、アンテナ310を更に備える。通信装置300は、高周波モジュール100が実装された回路基板を更に備える。回路基板は、例えば、プリント配線板である。回路基板は、グランド電位が与えられるグランド電極を有する。
 信号処理回路301は、例えば、RF信号処理回路302と、ベースバンド信号処理回路303と、を含む。RF信号処理回路302は、例えばRFIC(Radio Frequency Integrated Circuit)であり、高周波信号に対する信号処理を行う。RF信号処理回路302は、例えば、ベースバンド信号処理回路303から出力された高周波信号(送信信号)に対してアップコンバート等の信号処理を行い、信号処理が行われた高周波信号を出力する。また、RF信号処理回路302は、例えば、高周波モジュール100から出力された高周波信号(受信信号)に対してダウンコンバート等の信号処理を行い、信号処理が行われた高周波信号をベースバンド信号処理回路303へ出力する。ベースバンド信号処理回路303は、例えばBBIC(Baseband Integrated Circuit)である。ベースバンド信号処理回路303は、ベースバンド信号からI相信号及びQ相信号を生成する。ベースバンド信号は、例えば、外部から入力される音声信号、画像信号等である。ベースバンド信号処理回路303は、I相信号とQ相信号とを合成することでIQ変調処理を行って、送信信号を出力する。この際、送信信号は、所定周波数の搬送波信号を、当該搬送波信号の周期よりも長い周期で振幅変調した変調信号(IQ信号)として生成される。ベースバンド信号処理回路303で処理された受信信号は、例えば、画像信号として画像表示のために、又は、音声信号として通信装置300のユーザの通話のために使用される。高周波モジュール100は、アンテナ310と信号処理回路301のRF信号処理回路302との間で高周波信号(受信信号、送信信号)を伝達する。
 (2.4)高周波モジュールの構造
 以下、高周波モジュール100の構造について、図3~8を参照しながら説明する。
 高周波モジュール100は、図3及び4に示すように、実装基板9と、第1送信フィルタ10(図5及び8参照)と、第2送信フィルタ20と、第3送信フィルタ30と、を備える。また、高周波モジュール100は、第1パワーアンプ101と、第2パワーアンプ102と、を備える。また、高周波モジュール100は、電子部品140を備える。電子部品140は、第1受信フィルタ40(図1参照)と第2受信フィルタ50(図1参照)とを有する。電子部品140は、第1受信フィルタ40の入力端子と第2受信フィルタ50の入力端子とが共通接続された共通入力端子143と、第1受信フィルタ40の出力端子141と、第2受信フィルタ50の出力端子142と、を有する(図3参照)。また、高周波モジュール100は、第1出力整合回路103(図1参照)と、第2出力整合回路104(図1参照)と、第1スイッチ6(図4参照)と、第2スイッチ7(図4及び5参照)と、第3スイッチ8(図4参照)と、を備える。また、高周波モジュール100は、複数の外部接続端子T0(図1及び5参照)を備える。また、高周波モジュール100は、図5に示すように、樹脂層150(以下、第1樹脂層150ともいう)と、金属電極層160と、第2樹脂層170と、を備える。なお、図3及び4では、第1樹脂層150及び金属電極層160の図示を省略してある。
 実装基板9は、主面91を有する。実装基板9の厚さ方向D0(図5及び8参照)からの平面視で、実装基板9の外縁は四角形状である。実装基板9は、図5及び8に示すように、実装基板9の厚さ方向D0において互いに対向する主面91(以下、第1主面91ともいう)及び第2主面92を有する。ここにおいて、「対向する」とは物理的ではなく幾何学的に対向することを意味する。また、実装基板9は、外周面93を有する。実装基板9の外周面93は、例えば、実装基板9の第1主面91の外縁と第2主面92の外縁とをつないでいる4つの側面を含み、第1主面91及び第2主面92を含まない。実装基板9は、例えば、複数の誘電体層及び複数の導電層を含む多層基板である。複数の誘電体層及び複数の導電層は、実装基板9の厚さ方向D0において積層されている。複数の導電層は、層ごとに定められた所定パターンに形成されている。複数の導電層の各々は、実装基板9の厚さ方向D0に直交する一平面内において1つ又は複数の導体部を含む。各導電層の材料は、例えば、銅である。複数の導電層は、グランド層を含む。高周波モジュール100では、複数の外部グランド端子T8とグランド層とが、実装基板9の有するビア導体等を介して電気的に接続されている。実装基板9は、例えば、LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramics)基板である。実装基板は、プリント配線板に限らず、例えば、プリント配線板、HTCC(High Temperature Co-fired Ceramics)基板、樹脂多層基板であってもよい。
 また、実装基板9は、LTCC基板に限らず、例えば、配線構造体であってもよい。配線構造体は、例えば、多層構造体である。多層構造体は、少なくとも1つの絶縁層と、少なくとも1つの導電層とを含む。絶縁層は、所定パターンに形成されている。絶縁層が複数の場合は、複数の絶縁層は、層ごとに定められた所定パターンに形成されている。導電層は、絶縁層の所定パターンとは異なる所定パターンに形成されている。導電層が複数の場合は、複数の導電層は、層ごとに定められた所定パターンに形成されている。導電層は、1つ又は複数の再配線部を含んでもよい。配線構造体では、多層構造体の厚さ方向において互いに対向する2つの面のうち第1面が実装基板9の第1主面91であり、第2面が実装基板9の第2主面92である。配線構造体は、例えば、インタポーザであってもよい。インタポーザは、シリコン基板を用いたインタポーザであってもよいし、多層で構成された基板であってもよい。
 実装基板9の第1主面91及び第2主面92は、実装基板9の厚さ方向D0において離れており、実装基板9の厚さ方向D0に交差する。実装基板9における第1主面91は、例えば、実装基板9の厚さ方向D0に直交しているが、例えば、厚さ方向D0に直交しない面として導体部の側面等を含んでいてもよい。また、実装基板9における第2主面92は、例えば、実装基板9の厚さ方向D0に直交しているが、例えば、厚さ方向D0に直交しない面として、導体部の側面等を含んでいてもよい。また、実装基板9の第1主面91及び第2主面92は、微細な凹凸又は凹部又は凸部が形成されていてもよい。例えば、実装基板9の第1主面91に凹部が形成されている場合、凹部の内面は、第1主面91に含まれる。
 高周波モジュール100では、複数の第1電子部品が、実装基板9の第1主面91に実装されている。「第1電子部品が、実装基板9の第1主面91に実装されている」とは、第1電子部品が実装基板9の第1主面91に配置されていること(機械的に接続されていること)と、第1電子部品が実装基板9(の適宜の導体部)と電気的に接続されていることと、を含む。実装基板9の厚さ方向D0からの平面視で、複数の第1電子部品の各々の外縁は、例えば、四角形状である。複数の第1電子部品は、第1送信フィルタ10と、第3送信フィルタ30と、第1パワーアンプ101と、第2パワーアンプ102と、電子部品140と、を含む。第2送信フィルタ20は、第1送信フィルタ10上に配置されている。つまり、第1送信フィルタ10と第2送信フィルタ20とを有する弾性波装置ST1が、実装基板9の第1主面91に実装されている。また、複数の第1電子部品は、第1出力整合回路103(図1参照)の複数の回路素子(複数のインダクタ及び複数のキャパシタ)と、第2出力整合回路104(図1参照)の複数の回路素子(複数のインダクタ及び複数のキャパシタ)と、を含む。また、複数の第1電子部品は、第1入力整合回路109(図1参照)のインダクタL9と、第2入力整合回路110(図1参照)のインダクタL10と、第1整合回路105(図1参照)のインダクタL5と、第2整合回路106(図1参照)のインダクタL6と、を含む。なお、図3及び4では、実装基板9の第1主面91において第1出力整合回路103の複数の回路素子が配置されるエリアA103を一点鎖線で図示してある。第1出力整合回路103の複数の回路素子のうち一部の回路素子は、実装基板9に内蔵されていてもよい。また、図3及び4では、実装基板9の第1主面91において第2出力整合回路104の複数の回路素子が配置されるエリアA104を一点鎖線で図示してある。第2出力整合回路104の複数の回路素子のうち一部の回路素子は、実装基板9に内蔵されていてもよい。また、図5では、実装基板9の導体部の図示を省略してある。
 第1送信フィルタ10は、第1弾性波フィルタを含む。第2送信フィルタ20は、第2弾性波フィルタを含む。第3送信フィルタ30は、第3弾性波フィルタを含む。第1弾性波フィルタ、第2弾性波フィルタ及び第3弾性波フィルタの各々は、例えば、弾性表面波を利用する表面弾性波フィルタである。第1パワーアンプ101及び第2パワーアンプ102の各々は、電力増幅用ICチップである。電力増幅用ICチップは、増幅用トランジスタがHBT(Heterojunction Bipolar Transistor)の場合、例えばGaAs系ICチップである。また、電力増幅用ICチップは、例えば、増幅用トランジスタがバイポーラトランジスタ又はFET(Field Effect Transistor)の場合、例えば、Si系ICチップである。第1受信フィルタ40は、第4弾性波フィルタを含む。第2受信フィルタ50は、第5弾性波フィルタを含む。第4弾性波フィルタ及び第5弾性波フィルタの各々は、例えば、弾性表面波を利用する表面弾性波フィルタである。
 高周波モジュール100では、複数の第2電子部品が、実装基板9の第2主面92に実装されている。複数の第2電子部品は、第1スイッチ6と、第2スイッチ7と、第3スイッチ8と、を含む。「第2電子部品が、実装基板9の第2主面92に実装されている」とは、第2電子部品が実装基板9の第2主面92に配置されていること(機械的に接続されていること)と、第2電子部品が実装基板9(の適宜の導体部)と電気的に接続されていることと、を含む。実装基板9の厚さ方向D0からの平面視で、複数の第2電子部品の各々の外縁は、例えば、四角形状である。
 第1スイッチ6、第2スイッチ7及び第3スイッチ8の各々は、例えば、スイッチIC(Integrated Circuit)を含むSi系ICチップである。
 複数の外部接続端子T0(図1及び5参照)は、実装基板9の第2主面92に配置されている。「外部接続端子T0が実装基板9の第2主面92に配置されている」とは、外部接続端子T0が実装基板9の第2主面92に機械的に接続されていることと、外部接続端子T0が実装基板9(の適宜の導体部)と電気的に接続されていることと、を含む。
 複数の外部接続端子T0は、アンテナ端子T3と、第1信号入力端子T1と、第2信号入力端子T2と、第1信号出力端子T4と、第2信号出力端子T5と、第3信号出力端子T6と、第4信号出力端子T7と、複数の外部グランド端子T8(図5参照)と、を含んでいる。複数の外部グランド端子T8は、実装基板9のグランド層と電気的に接続されている。グランド層は高周波モジュール100の回路グランドであり、高周波モジュール100の複数の第1電子部品は、グランド層と電気的に接続されている電子部品を含む。また、高周波モジュール100の複数の第2電子部品は、グランド層と電気的に接続されている電子部品を含む。
 複数の外部接続端子T0の材料は、例えば、金属(例えば、銅、銅合金等)である。複数の外部接続端子T0は、実装基板9の構成要素ではないが、実装基板9の構成要素であってもよい。複数の外部接続端子T0の各々は、柱状電極(例えば、円柱状の電極)である。複数の外部接続端子T0は、実装基板9の導体部に対して、例えば、はんだにより接合されているが、これに限らず、例えば、導電性接着剤(例えば、導電性ペースト)を用いて接合されていてもよいし、直接接合されていてもよい。実装基板9の厚さ方向D0からの平面視で、複数の外部接続端子T0の各々は、円形状である。
 第1樹脂層150は、図5に示すように、実装基板9の第1主面91に配置されている。第1樹脂層150は、樹脂(例えば、エポキシ樹脂)を含む。第1樹脂層150は、樹脂の他にフィラーを含んでいてもよい。第1樹脂層150は、電気絶縁性を有する。
 第1樹脂層150は、実装基板9の第1主面91に配置されている複数の第1電子部品の各々の少なくとも一部を覆っている。第1樹脂層150は、第1送信フィルタ10の外周面13の少なくとも一部及び第2送信フィルタ20の外周面23の少なくとも一部を覆っている。第1送信フィルタ10の外周面13は、例えば、第2送信フィルタ20側の第1主面11と、第2送信フィルタ20側とは反対側の第2主面12とつないでいる4つの側面を含み、第1主面11及び第2主面12を含まない。第2送信フィルタ20の外周面23は、例えば、第1送信フィルタ10側の第3主面21と、第1送信フィルタ10側とは反対側の第4主面22とつないでいる4つの側面を含み、第3主面21及び第4主面22を含まない。
 第2樹脂層170は、実装基板9の第2主面92に配置されている。第2樹脂層170は、実装基板9の第2主面92に実装されている複数(例えば、3つ)の第2電子部品それぞれの外周面と、複数の外部接続端子T0それぞれの外周面と、を覆っている。複数の第2電子部品の各々の外周面は、第2電子部品の4つの側面を含む。第2樹脂層170は、3つの第2電子部品それぞれにおける実装基板9側とは反対側の主面を覆っていない。3つの第2電子部品は、上述のように、第1スイッチ6と、第2スイッチ7と、第3スイッチ8と、を含む。第2樹脂層170は、樹脂(例えば、エポキシ樹脂)を含む。第2樹脂層170は、樹脂の他にフィラーを含んでいてもよい。第2樹脂層170の材料は、第1樹脂層150の材料と同じ材料であってもよいし、異なる材料であってもよい。
 金属電極層160は、樹脂層150の少なくとも一部を覆っている。金属電極層160は、第2送信フィルタ20における第1送信フィルタ10側とは反対側の主面である第4主面22に接している。
 金属電極層160は、導電性を有する。高周波モジュール100では、金属電極層160は、高周波モジュール100の内外の電磁シールドを目的として設けられているシールド層である。金属電極層160は、実装基板9の有するグランド層の外周面の少なくとも一部と接触している。これにより、金属電極層160の電位をグランド層の電位と同じにすることができる。金属電極層160は、複数の金属層を積層した多層構造を有しているが、これに限らず、1つの金属層であってもよい。金属層は、1又は複数種の金属を含む。金属電極層160は、複数の金属層を積層した多層構造を有する場合、例えば、第1金属層(例えば、第1ステンレス鋼層)と、第1金属層上の第2金属層(例えば、Cu層)と、第2金属層上の第3金属層(例えば、第2ステンレス鋼層)と、を含む。第1ステンレス鋼層及び第2ステンレス鋼層の各々の材料は、FeとNiとCrとを含む合金である。また、金属電極層160は、1つの金属層の場合、例えば、Cu層である。
 金属電極層160は、第1樹脂層150における実装基板9側とは反対側の主面151と、第1樹脂層150の外周面153と、実装基板9の外周面93と、第2樹脂層170の外周面173と、を覆っている。第2樹脂層170における実装基板9側とは反対側の主面171は、金属電極層160に覆われておらず、露出している。
 以下、第1送信フィルタ10と第2送信フィルタ20とを有する弾性波装置(スタック構造体)ST1について図6~8を参照しながら説明する。
 第1送信フィルタ10は、図6に示すように、第1入力端子15、第1出力端子16及び複数(例えば、3つ)のグランド端子17を有する。第1送信フィルタ10の第1弾性波フィルタ10Aは、図6及び8に示すように、第1基板120と、第1基板120上に設けられており、複数の弾性波共振子14それぞれの一部を構成する複数の機能電極18と、を含む。高周波モジュール100では、第1弾性波フィルタ10Aが表面弾性波を利用する弾性波フィルタであり、複数の機能電極18の各々は、IDT(Interdigital Transducer)電極である。したがって、複数の弾性波共振子14の各々は、SAW(Surface Acoustic Wave)共振子である。第1送信フィルタ10では、実装基板9の厚さ方向D0に直交する第1方向D1において、直列腕共振子S11、直列腕共振子S12、直列腕共振子S13及び直列腕共振子S14が、直列腕共振子S11、直列腕共振子S12、直列腕共振子S13及び直列腕共振子S14の順に並んでいる。また、第1送信フィルタ10では、第1方向D1において、並列腕共振子P11、並列腕共振子P12及び並列腕共振子P13が、並列腕共振子P11、並列腕共振子P12及び並列腕共振子P13の順に並んでいる。また、第1送信フィルタ10は、第1基板120上に配置された複数の反射器19を含む。複数の反射器19は、第1方向D1に直交する第2方向D2において、複数のIDT電極ごとにIDT電極に隣り合うように配置されている2つの反射器19を含む。2つの反射器19は、隣り合うIDT電極の有する複数の電極指の並んでいる方向を弾性波伝搬方向とする弾性波を反射する。また、第1送信フィルタ10は、第1基板120上に配置された複数の配線部W10を含む。図6では、各機能電極(IDT電極)18、各反射器19及び各配線部W10にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、断面を表すものではなく、各機能電極(IDT電極)18、各反射器19及び各配線部W10と第1基板120との関係を分かりやすくするために付してあるにすぎない。第1送信フィルタ10では、複数の機能電極18のうち、第1弾性波共振子14A(直列腕共振子S11)の一部を構成する機能電極18が第1機能電極18Aである。
 第1基板120は、図8に示すように、圧電体層123(以下では、第1圧電体層123とも称する)と、高音速部材121(以下では、第1高音速部材121とも称する)と、を含む。高音速部材121は、圧電体層123を挟んで機能電極18とは反対側に位置している高音速支持基板である。高音速部材121では、圧電体層123を伝搬する弾性波の音速よりも、高音速部材121を伝搬するバルク波の音速が高速である。ここにおいて、高音速部材121を伝搬するバルク波は、高音速部材121を伝搬する複数のバルク波のうち最も低音速なバルク波である。また、第1基板120は、高音速部材121と圧電体層123との間に介在している低音速膜122(以下では、第1低音速膜122ともいう)を更に含む。低音速膜122は、圧電体層123を伝搬するバルク波の音速よりも、低音速膜122を伝搬するバルク波の音速が低速となる膜である。
 第2送信フィルタ20の第2弾性波フィルタ20Aは、図7及び8に示すように、第2基板220と、第2基板220上に設けられており、複数の弾性波共振子24それぞれの一部を構成する複数の機能電極28と、を含む。高周波モジュール100では、第2弾性波フィルタ20Aが表面弾性波を利用する弾性波フィルタであり、複数の機能電極28の各々は、IDT電極である。したがって、複数の弾性波共振子24の各々は、SAW共振子である。第2送信フィルタ20では、実装基板9の厚さ方向D0に直交する第1方向D1において、直列腕共振子S21、直列腕共振子S22、直列腕共振子S23、直列腕共振子S24及び直列腕共振子S25が、直列腕共振子S21、直列腕共振子S22、直列腕共振子S23、直列腕共振子S24及び直列腕共振子S25の順に並んでいる。また、第2送信フィルタ20では、第1方向D1において、並列腕共振子P21、並列腕共振子P22、並列腕共振子P23及び並列腕共振子P24が、並列腕共振子P21、並列腕共振子P22、並列腕共振子P23及び並列腕共振子P24の順に並んでいる。また、第2送信フィルタ20は、第2基板220上に配置された複数の反射器29を含む。複数の反射器29は、第1方向D1に直交する第2方向D2において、複数のIDT電極ごとにIDT電極に隣り合うように配置されている2つの反射器29を含む。2つの反射器29は、隣り合うIDT電極の有する複数の電極指の並んでいる方向を弾性波伝搬方向とする弾性波を反射する。また、第2送信フィルタ20は、第2基板220上に配置された複数の配線部W20を含む。図7では、各機能電極(IDT電極)28、各反射器29及び各配線部W20にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、断面を表すものではなく、各機能電極(IDT電極)28、各反射器29及び各配線部W20と第2基板220との関係を分かりやすくするために付してあるにすぎない。第2送信フィルタ20では、複数の機能電極28のうち、第2弾性波共振子24A(直列腕共振子S21)の一部を構成する機能電極28が第2機能電極28Aである。
 第2基板220は、図8に示すように、圧電体層223(以下では、第2圧電体層223とも称する)と、高音速部材221(以下では、第2高音速部材221とも称する)と、を含む。高音速部材221は、圧電体層223を挟んで機能電極28とは反対側に位置している高音速支持基板である。高音速部材221では、圧電体層223を伝搬する弾性波の音速よりも、高音速部材221を伝搬するバルク波の音速が高速である。ここにおいて、高音速部材221を伝搬するバルク波は、高音速部材221を伝搬する複数のバルク波のうち最も低音速なバルク波である。また、第2基板220は、高音速部材221と圧電体層223との間に介在している低音速膜222(以下では、第2低音速膜222ともいう)を更に含む。低音速膜222は、圧電体層223を伝搬するバルク波の音速よりも、低音速膜222を伝搬するバルク波の音速が低速となる膜である。
 第1圧電体層123及び第2圧電体層223の各々の材料は、例えば、リチウムタンタレート又はリチウムニオベイトを含む。
 第1高音速部材121及び第2高音速部材221の各々の材料は、例えば、シリコンを含む。第1高音速部材121及び第2高音速部材221の各々の材料は、例えば、シリコン、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、サファイア、リチウムタンタレート、リチウムニオベイト、水晶、アルミナ、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト、マグネシア、及びダイヤモンドからなる群から選択される少なくとも1種の材料を含んでいればよい。
 第1低音速膜122及び第2低音速膜222の各々の材料は、例えば、酸化ケイ素を含む。第1低音速膜122及び第2低音速膜222の各々の材料は、酸化ケイ素に限定されない。第1低音速膜122及び第2低音速膜222の各々の材料は、例えば、ガラス、酸窒化ケイ素、酸化タンタル、酸化ケイ素にフッ素、炭素、若しくはホウ素を加えた化合物、又は、上記各材料を主成分とする材料であってもよい。
 弾性波装置ST1は、図8に示すように、第1送信フィルタ10と第2送信フィルタ20との間に介在しているスペーサ部130を有する。スペーサ部130は、枠状である。弾性波装置ST1は、第1送信フィルタ10と第2送信フィルタ20とスペーサ部130とで囲まれた中空空間131を有する。スペーサ部130の材料は、例えば、金属及びはんだの少なくとも一方を含む。なお、スペーサ部130の材料は、樹脂であってもよい。
 第1送信フィルタ10では、図8に示すように、第1機能電極18Aのほうが第1基板120よりも第2送信フィルタ20側に位置している。第2送信フィルタ20では、第2機能電極28Aのほうが第2基板220よりも第1送信フィルタ10側に位置している。
 第1送信フィルタ10では、第1基板120は、第1主面1201及び第2主面1202を有する。第1送信フィルタ10では、複数の機能電極18は、第1基板120の第1主面1201に配置されている。第1送信フィルタ10では、第1基板120の第1主面1201が、第1機能面111を構成している。第1機能面111は、第1送信フィルタ10において、第1機能電極18Aが形成されている面である。第1送信フィルタ10では、第1入力端子15、第1出力端子16及び複数(例えば、3つ)のグランド端子17は、第1基板120の第2主面1202に配置されている。第1入力端子15、第1出力端子16及び複数のグランド端子17の各々は、例えば、導電性バンプである。導電性バンプの材料は、例えば、はんだを含む。第1送信フィルタ10は、第1基板120の第2主面1202上に配置されたレジスト層128を更に有する。レジスト層128は、複数の導電性バンプそれぞれを露出させる複数の開口を有する。レジスト層128は、電気絶縁性を有する。レジスト層128の材料は、例えば、ポリイミドを含む。また、第1送信フィルタ10は、第2送信フィルタ20の第2入力端子25に接続される接続端子125と、第2送信フィルタ20の第2出力端子26に接続される接続端子126と、を有する。また、第1送信フィルタ10の複数(例えば、3つ)のグランド端子17には、第2送信フィルタ20の複数(例えば、2つ)のグランド端子27が接続される。以下では、説明の便宜上、3つのグランド端子17を区別するために、3つのグランド端子17を、それぞれ、グランド端子17A、グランド端子17B及びグランド端子17Cと称することもある。また、2つのグランド端子27を区別するために、2つのグランド端子27を、それぞれ、グランド端子27A、グランド端子27Bと称することもある。
 第1送信フィルタ10は、第1基板120の厚さ方向に貫通している複数のビア導体V0を有する。複数のビア導体V0の各々は、例えば、シード層V01と、めっき部V02と、を含む。第1基板120の高音速部材121がシリコン基板の場合には、複数のビア導体V0と高音速部材121との間には、電気絶縁膜124が介在しているのが好ましい。電気絶縁膜124の材料は、例えば、酸化ケイ素を含む。複数のビア導体V0は、第1入力端子15に接続されている第1入力ビア導体V15と、第1出力端子16(図6参照)に接続されている第1出力ビア導体と、複数のグランド端子17(図6参照)に接続されている複数のグランドビア導体と、接続端子125に接続されている第2入力ビア導体V125と、接続端子126(図6参照)に接続されている第2出力ビア導体と、を含む。
 また、第1送信フィルタ10では、複数の配線部W10は、第1基板120の第1主面1201上に配置されている。複数の配線部W10は、図6に示すように、第1配線部W11と、第2配線部W12と、第3配線部W13と、第4配線部W14と、第5配線部W15と、第6配線部W16と、第7配線部W17と、を含む。第1配線部W11は、直列腕共振子S11と第1入力端子15との間で直列腕共振子S11及び第1入力ビア導体V15に接続されている。第2配線部W12は、直列腕共振子S14と第1出力端子16との間で直列腕共振子S14及び第1出力ビア導体に接続されている。第3配線部W13は、並列腕共振子P11とグランド端子17Aとの間で並列腕共振子P11及びグランドビア導体に接続されている。第4配線部W14は、並列腕共振子P12とグランド端子17Bとの間で並列腕共振子P12及びグランドビア導体に接続されている。第5配線部W15は、並列腕共振子P13とグランド端子17Cとの間で並列腕共振子P13及びグランドビア導体に接続されている。第6配線部W16は、第2入力ビア導体V125を介して接続端子125に接続されている。第7配線部W17は、第2出力ビア導体を介して接続端子126に接続されている。第1配線部W11及び第2配線部W12は、信号経路Ru1(図2A参照)の一部を構成している。第3配線部W13は、経路Ru11(図2A参照)の一部を構成している。第4配線部W14は、経路Ru12(図2A参照)の一部を構成している。第5配線部W15は、経路Ru13(図2A参照)の一部を構成している。
 図8に示すように、第2送信フィルタ20では、第2基板220は、第3主面2201及び第4主面2202を有する。第2送信フィルタ20では、複数の機能電極28は、第2基板220の第3主面2201に配置されている。第2送信フィルタ20では、第2基板220の第3主面2201が、第2機能面211を構成している。第2機能面211は、第2送信フィルタ20において、第2機能電極28Aが形成されている面である。第2送信フィルタ20では、第2入力端子25、第2出力端子26及び複数(例えば、2つ)のグランド端子27は、第2基板220の第3主面2201に配置されている。
 また、第2送信フィルタ20では、複数の配線部W20は、第2基板220の第3主面2201上に配置されている。複数の配線部W20は、図7に示すように、第1配線部W21と、第2配線部W22と、第3配線部W23と、第4配線部W24と、を含む。第1配線部W21は、直列腕共振子S21と第2入力端子25とに接続されている。第2配線部W22は、直列腕共振子S25と第2出力端子26とに接続されている。第3配線部W23は、並列腕共振子P21、並列腕共振子P22及び並列腕共振子P23とグランド端子27Aとに接続されている。第4配線部W24は、並列腕共振子P24とグランド端子27Bとに接続されている。第1配線部W21及び第2配線部W22は、信号経路Ru2(図2B参照)の一部を構成している。第3配線部W23は、経路Ru21~Ru23(図2B参照)それぞれの一部を構成している。第4配線部W24は、経路Ru24(図2B参照)の一部を構成している。
 また、弾性波装置ST1は、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3において第1送信フィルタ10と第2送信フィルタ20との間に介在している複数の接続導体部を有する。第2送信フィルタ20の厚さ方向D3は、第2基板220の厚さ方向である。複数の接続導体部は、第1接続導体部R1と、第2接続導体部と、第3接続導体部と、第4接続導体部と、を含む。第1接続導体部R1は、第2送信フィルタ20の第2入力端子25と第1送信フィルタ10の第6配線部W16とを接続している。第2接続導体部は、第2送信フィルタ20の第2出力端子26(図7参照)と第1送信フィルタ10の第7配線部W17(図6参照)とを接続している。第3接続導体部(グランド導体部)は、第2送信フィルタ20のグランド端子27A(図7参照)と第1送信フィルタ10の第3配線部W13(図6参照)とを接続している。第4接続導体部(グランド導体部)は、第2送信フィルタ20のグランド端子27B(図7参照)と第5配線部W15(図6参照)とを接続している。弾性波装置ST1を備える高周波モジュール100では、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3と実装基板9の厚さ方向D0とが平行である。第2送信フィルタ20の厚さ方向D3と実装基板9の厚さ方向D0とは、平行であるが、厳密に平行である場合に限らず、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3と実装基板9の厚さ方向D0とのなす角度が10°以下であればよい。
 弾性波装置ST1では、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1機能電極18Aの形成領域112及び第2機能電極28Aの形成領域212は互いに重ならない。「第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1機能電極18Aの形成領域112及び第2機能電極28Aの形成領域212は互いに重ならない」とは、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1弾性波共振子14A(直列腕共振子S11)の第1機能電極18Aの形成領域112と第2弾性波共振子24A(直列腕共振子S21)の第2機能電極28Aの形成領域212とが完全に重ならない、つまり一部同士も重ならないことを意味する。したがって、実施形態1に係る弾性波装置ST1では、第1弾性波共振子14Aの第1機能電極18Aの形成領域112と第2弾性波共振子24Aの第2機能電極28Aの形成領域212とが完全に重ならない。第1機能電極18Aの形成領域112は、第1機能面111において第1機能電極18Aが形成されている領域を含み、第1機能面111において第1機能電極18Aに隣接する2つの反射器19それぞれが形成されている領域を含まず、第1機能電極18Aに接続されている配線部W10の形成領域を含まない。第2機能電極28Aの形成領域212は、第2機能面211において第2機能電極28Aが形成されている領域を含み、第2機能面211において第2機能電極28Aに隣接する2つの反射器29それぞれが形成されている領域を含まず、第2機能電極28Aに接続されている配線部W20の形成領域を含まない。実施形態1に係る弾性波装置ST1では、第1機能電極18Aは、IDT電極であり、図6に示すように、第1バスバー183と、第2バスバー184と、複数の第1電極指181と、複数の第2電極指182と、を有する。第1機能電極18Aを構成するIDT電極では、第1バスバー183と第2バスバー184とは、第1方向D1において対向し合っている。第1バスバー183及び第2バスバー184は、第2方向D2を長手方向とする長尺状である。複数の第1電極指181は、第1バスバー183に接続されており、第1方向D1において第1バスバー183から第2バスバー184側に延びている。複数の第2電極指182は、第2バスバー184に接続されており、第1方向D1において第2バスバー184から第1バスバー183側に延びている。第1機能電極18Aを構成するIDT電極では、複数の第1電極指181と複数の第2電極指182とが、第2方向D2において、例えば、1本ずつ交互に互いに離隔して並んでいる。実施形態1に係る弾性波装置ST1では、第2機能電極28Aは、IDT電極であり、図7に示すように、第1バスバー283と、第2バスバー284と、複数の第1電極指281と、複数の第2電極指282と、を有する。第2機能電極28Aを構成するIDT電極では、第1バスバー283と第2バスバー284とは、第1方向D1において対向し合っている。第1バスバー283及び第2バスバー284は、第2方向D2を長手方向とする長尺状である。複数の第1電極指281は、第1バスバー283に接続されており、第1方向D1において第1バスバー283から第2バスバー284側に延びている。複数の第2電極指282は、第2バスバー284に接続されており、第1方向D1において第2バスバー284から第1バスバー283側に延びている。第2機能電極28Aを構成するIDT電極では、複数の第1電極指281と複数の第2電極指282とが、第2方向D2において、例えば、1本ずつ交互に互いに離隔して並んでいる。
 また、弾性波装置ST1では、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1送信フィルタ10の第1弾性波共振子14A(直列腕共振子S11)は、第2送信フィルタ20の第2弾性波共振子24A(直列腕共振子S21)以外のいずれの弾性波共振子24とも重ならない。
 また、弾性波装置ST1では、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第2送信フィルタ20の第2弾性波共振子24A(直列腕共振子S21)は、第1送信フィルタ10の第1弾性波共振子14A以外の1つの弾性波共振子14(直列腕共振子S12)と重なる。第2弾性波共振子24A(直列腕共振子S21)は、第1弾性波共振子14A(直列腕共振子S11)以外の1つの弾性波共振子14に限らず、2つ以上の弾性波共振子14と重なってもよい。
 弾性波装置ST1では、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第3弾性波共振子14B及び第4弾性波共振子24Bは互いに重なる。弾性波装置ST1では、第3弾性波共振子14Bの一部と第4弾性波共振子24Bの一部とが重なるが、これに限らず、第3弾性波共振子14Bの一部が第4弾性波共振子24Bの全部に重なってもよいし、第3弾性波共振子14Bの全部が第4弾性波共振子24Bの一部に重なってもよいし、第3弾性波共振子14Bの全部が第4弾性波共振子24Bの全部に重なってもよい。
 (2.5)通信装置の構造
 通信装置300は、上述のように、高周波モジュール100と、信号処理回路301と、を備える。信号処理回路301を構成する複数の電子部品は、例えば、上述の回路基板に実装されていてもよいし、高周波モジュール100が実装された回路基板(第1回路基板)とは別の回路基板(第2回路基板)に実装されていてもよい。
 (3)効果
 (3.1)弾性波装置
 実施形態1に係る弾性波装置ST1は、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20を備える。弾性波装置ST1では、第1送信フィルタ10と第2送信フィルタ20とがスタックされており、第1送信フィルタ10の第1機能面111と第2送信フィルタ20の第2機能面211とが所定距離H1隔てて対向配置されている。第1送信フィルタ10は、第1入力端子15と、第1入力端子15に最も近い第1弾性波共振子14Aと、を有する。第2送信フィルタ20は、第2入力端子25と、第2入力端子25に最も近い第2弾性波共振子24Aと、を有する。第1弾性波共振子14Aは、第1機能面111に形成されている第1機能電極18Aを有する。第2弾性波共振子24Aは、第2機能面211に形成されている第2機能電極28Aを有する。第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1機能電極18Aの形成領域112及び第2機能電極28Aの形成領域212は互いに重ならない。
 実施形態1に係る弾性波装置ST1によれば、第1送信フィルタ及び第2送信フィルタの温度上昇による第1送信フィルタ及び第2送信フィルタそれぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。送信フィルタでは、入力端子に最も近い第1弾性波共振子が他の弾性波共振子よりも発熱しやすい。2つの送信フィルタ(第1送信フィルタ及び第2送信フィルタ)を備え、2つの送信フィルタがスタックされており、第1送信フィルタにおいて入力端子に近い機能電極の形成領域と、第2送信フィルタにおいて入力端子に近い機能電極の形成領域とが重なるように配置されている比較例に係る弾性波装置では、第1送信フィルタ及び第2送信フィルタにおいて互いに熱の影響を受け、第1送信フィルタ及び第2送信フィルタそれぞれにおいて入力端子に近い弾性波共振子の温度上昇によりフィルタ特性が劣化する可能性が高くなる。これに対して、実施形態1に係る弾性波装置ST1は、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1弾性波共振子14Aの第1機能電極18Aの形成領域112及び第2弾性波共振子24Aの第2機能電極28Aの形成領域212が互いに重ならないので、第1弾性波共振子14A及び第2弾性波共振子24Aそれぞれの温度上昇を抑制することが可能となる。これにより、実施形態1に係る弾性波装置ST1は、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれの耐電力の低下を抑制することが可能となるとともに、温度上昇によるフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
 また、実施形態1に係る弾性波装置ST1では、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第2送信フィルタ20の第2弾性波共振子24Aは、第1送信フィルタ10の複数の弾性波共振子14のうち第1弾性波共振子14A以外の少なくとも1つの弾性波共振子14と重なる。これにより、実施形態1に係る弾性波装置ST1は、第2送信フィルタ20のサイズアップを抑制することが可能となる。
 また、実施形態1に係る弾性波装置ST1では、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第3弾性波共振子14B及び第4弾性波共振子24Bは互いに重なる。これにより、実施形態1に係る弾性波装置ST1は、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20のサイズアップを抑制することが可能となる。
 (3.2)高周波モジュール
 実施形態1に係る高周波モジュール100は、実装基板9と、弾性波装置ST1と、を備える。実装基板9は、主面91を有する。弾性波装置ST1は、実装基板9の主面91に配置されている。実施形態1に係る高周波モジュール100によれば、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の温度上昇による第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
 また、実施形態1に係る高周波モジュール100は、樹脂層150と、金属電極層160と、を更に備える。実施形態1に係る高周波モジュール100では、金属電極層160は、第2送信フィルタ20における第1送信フィルタ10側とは反対側の主面(第4主面22)に接している。これにより、実施形態1に係る高周波モジュール100は、放熱性を向上させることが可能となる。よって、高周波モジュール100によれば、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の温度上昇による第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれのフィルタ特性の劣化を、より抑制することが可能となる。
 (3.3)通信装置
 実施形態1に係る通信装置300は、高周波モジュール100と、信号処理回路301と、を備える。信号処理回路301は、高周波モジュール100に接続されている。
 実施形態1に係る通信装置300によれば、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の温度上昇による第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
 実施形態1に係る通信装置300は、高周波モジュール100と、信号処理回路301と、を備えるので、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20を利用する同時通信時の第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれのフィルタ特性の低下を抑制することが可能となる。
 (4)変形例
 (4.1)変形例1
 実施形態1に係る弾性波装置ST1(図8参照)の変形例1では、図8における弾性波装置ST1における第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の代わりに、図9に示す第1送信フィルタ10と、図10に示す第2送信フィルタ20とがスタックされている。図9に示す第1送信フィルタ10は、図6に示す第1送信フィルタ10とは、第1入力端子15と接続端子125との位置が逆であり、第1出力端子16と接続端子126との位置が異なり、複数の直列腕共振子S11~S14及び複数の並列腕共振子P11~P13のレイアウトが異なる。図10に示す第2送信フィルタ20は、図7に示す第2送信フィルタ20とは、第2入力端子25及び第2出力端子26の位置が異なり、複数の直列腕共振子S21~S25及び複数の並列腕共振子P21~P24のレイアウトが異なる。図9では、各機能電極(IDT電極)18、各反射器19及び各配線部W10にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、図6と同様、断面を表すものではない。また、図10では、各機能電極(IDT電極)28、各反射器29及び各配線部W20にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、図7と同様、断面を表すものではない。また、実施形態1に係る弾性波装置ST1の変形例1では、実施形態1に係る弾性波装置ST1と同様の構成要素には同一の符号を付してある。
 実施形態1に係る弾性波装置ST1の変形例1においても、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1機能電極18Aの形成領域112及び第2機能電極28Aの形成領域212は互いに重ならない。これにより、実施形態1に係る弾性波装置ST1の変形例1によれば、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の温度上昇による第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
 (4.2)変形例2
 実施形態1に係る弾性波装置ST1(図8参照)の変形例2では、図8における弾性波装置ST1における第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の代わりに、図11に示す第1送信フィルタ10と、図12に示す第2送信フィルタ20とがスタックされている。
 変形例2では、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3(図8参照)からの平面視で、第1送信フィルタ10の直列腕共振子S11、直列腕共振子S12、並列腕共振子P11及び並列腕共振子P12が、第2送信フィルタ20の直列腕共振子S21、直列腕共振子S22、並列腕共振子P21及び並列腕共振子P22のいずれとも重ならない。第1送信フィルタ10の直列腕共振子S11は、複数の直列腕共振子S11~S14のうち第1入力端子15に最も近い弾性波共振子14である。第1送信フィルタ10の直列腕共振子S12は、複数の直列腕共振子S11~S14のうち第1入力端子15に2番目に近い弾性波共振子14である。また、第1送信フィルタ10の並列腕共振子P11は、複数の並列腕共振子P11~P13のうち第1入力端子15に最も近い弾性波共振子14である。また、第1送信フィルタ10の並列腕共振子P12は、複数の並列腕共振子P11~P13のうち第1入力端子15に2番目に近い弾性波共振子14である。図11では、各機能電極(IDT電極)18、各反射器19及び各配線部W10にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、図6と同様、断面を表すものではない。また、変形例2では、実施形態1に係る弾性波装置ST1と同様の構成要素には同一の符号を付してある。
 第2送信フィルタ20の直列腕共振子S21は、複数の直列腕共振子S21~S25のうち第2入力端子25に最も近い弾性波共振子24である。第2送信フィルタ20の直列腕共振子S22は、複数の直列腕共振子S21~S25のうち第2入力端子25に2番目に近い弾性波共振子24である。また、第2送信フィルタ20の並列腕共振子P21は、複数の並列腕共振子P21~P24のうち第2入力端子25に最も近い弾性波共振子24である。また、第2送信フィルタ20の並列腕共振子P22は、複数の並列腕共振子P21~P24のうち第2入力端子25に2番目に近い弾性波共振子24である。図12では、各機能電極(IDT電極)28、各反射器29及び各配線部W20にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、図7と同様、断面を表すものではない。
 第1送信フィルタ10では、複数の直列腕共振子S11~S14のうち第1入力端子15に最も近い直列腕共振子S11が発熱しやすく、直列腕共振子S11の次に直列腕共振子S12が発熱しやすい。また、第1送信フィルタ10では、複数の並列腕共振子P11~P13のうち第1入力端子15に最も近い並列腕共振子P11が発熱しやすく、並列腕共振子P11の次に並列腕共振子P12が発熱しやすい。第2送信フィルタ20では、複数の直列腕共振子S21~S25のうち第2入力端子25に最も近い直列腕共振子S21が発熱しやすく、直列腕共振子S21の次に直列腕共振子S22が発熱しやすい。また、第2送信フィルタ20では、複数の並列腕共振子P21~P24のうち第2入力端子25に最も近い並列腕共振子P21が発熱しやすく、並列腕共振子P21の次に並列腕共振子P22が発熱しやすい。
 実施形態1に係る弾性波装置ST1の変形例2においても、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1機能電極18Aの形成領域112及び第2機能電極28Aの形成領域212は互いに重ならない。これにより、実施形態1に係る弾性波装置ST1の変形例2によれば、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の温度上昇による第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
 また、変形例2では、上述のように、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3(図8参照)からの平面視で、第1送信フィルタ10の直列腕共振子S11、直列腕共振子S12、並列腕共振子P11及び並列腕共振子P12が、第2送信フィルタ20の直列腕共振子S21、直列腕共振子S22、並列腕共振子P21及び並列腕共振子P22のいずれとも重ならない。これにより、変形例2では、同時通信時の第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の放熱性を更に向上させることが可能となる。
 また、変形例2では、第1送信フィルタ10の複数の弾性波共振子14は、第1送信フィルタ10の第1出力端子16に最も近い第3弾性波共振子14Bを含む。変形例2では、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第2弾性波共振子24Aと第3弾性波共振子14Bとが重なる。これにより、変形例2では、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20のサイズアップを抑制することが可能となる。
 (4.3)変形例3
 実施形態1に係る弾性波装置ST1(図8参照)の変形例3では、図8における弾性波装置ST1における第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の代わりに、図13に示す第1送信フィルタ10と、図14に示す第2送信フィルタ20とがスタックされている。変形例3では、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3(図8参照)からの平面視で、第3弾性波共振子14B及び第4弾性波共振子24Bは互いに重なる。変形例3では、実施形態1に係る弾性波装置ST1と比べて、送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第3弾性波共振子14Bにおいて第4弾性波共振子24Bと重なるエリアが広く、第4弾性波共振子24Bにおいて第3弾性波共振子14Bと重なるエリアが広い。実施形態1に係る弾性波装置ST1では、第3弾性波共振子14BのIDT電極(機能電極18)の交差領域と第4弾性波共振子24BのIDT電極(機能電極28)の交差領域とが重なっていないのに対して、変形例3では、第3弾性波共振子14BのIDT電極の交差領域と第4弾性波共振子24BのIDT電極の交差領域とが重なっている。IDT電極(機能電極18)の交差領域とは、IDT電極の有する複数の第1電極指181と複数の第2電極指182とで規定される。IDT電極(機能電極18)の交差領域は、複数の第1電極指181の先端の包絡線と複数の第2電極指182の先端の包絡線との間の領域である。IDT電極(機能電極28)の交差領域とは、IDT電極の有する複数の第1電極指281と複数の第2電極指282とで規定される。IDT電極(機能電極28)の交差領域は、複数の第1電極指281の先端の包絡線と複数の第2電極指282の先端の包絡線との間の領域である。図13では、各機能電極(IDT電極)18、各反射器19及び各配線部W10にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、図6と同様、断面を表すものではない。また、図14では、各機能電極(IDT電極)28、各反射器29及び各配線部W20にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、図7と同様、断面を表すものではない。また、変形例3では、実施形態1に係る弾性波装置ST1と同様の構成要素には同一の符号を付してある。
 実施形態1に係る弾性波装置ST1の変形例3においても、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1機能電極18Aの形成領域112及び第2機能電極28Aの形成領域212は互いに重ならない。これにより、実施形態1に係る弾性波装置ST1の変形例3によれば、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の温度上昇による第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
 (4.4)変形例4
 実施形態1に係る弾性波装置ST1(図8参照)の変形例4では、図15Aに示すように、第1送信フィルタ10の有する複数の弾性波共振子14が、2つの縦結合型共振子DMS1、DMS2と、1つの直列腕共振子S11と、1つの並列腕共振子P11と、を含む点で、実施形態1に係る弾性波装置ST1と相違する。変形例4では、複数の弾性波共振子14のうち縦結合型共振子DMS1が、第1弾性波共振子14Aを構成している。また、変形例4では、複数の弾性波共振子14のうち直列腕共振子S11が、第3弾性波共振子14Bを構成している。図15Bに示すように、第2送信フィルタ20は、実施形態1に係る弾性波装置ST1と同様、複数(例えば、9つ)の弾性波共振子24を有する。
 第1送信フィルタ10は、複数(図示例では、4つ)の弾性波共振子14を有する第1弾性波フィルタを含む。4つの弾性波共振子14は、2つの縦結合型共振子DMS1、DMS2と、1つの直列腕共振子S11と、1つの並列腕共振子P11と、を含む。2つの縦結合型共振子DMS1、DMS2及び1つの直列腕共振子S11は、第1入力端子15と第1出力端子16との間の信号経路Ru1(以下、直列腕経路Ru1ともいう)上に設けられている。2つの縦結合型共振子DMS1、DMS2及び1つの直列腕共振子S11は、直列腕経路Ru1上において、直列に接続されている。第1弾性波フィルタでは、直列腕経路Ru1上において、縦結合型共振子DMS1、縦結合型共振子DMS2及び1つの直列腕共振子S11が、第1入力端子15側から、縦結合型共振子DMS1、縦結合型共振子DMS2及び1つの直列腕共振子S11の順に並んでいる。並列腕共振子P11は、直列腕経路Ru1における縦結合型共振子DMS2及び直列腕共振子S11間の経路と、グランドと、の間の経路Ru11上に設けられている。
 変形例4では、図8における弾性波装置ST1における第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の代わりに、図16に示す第1送信フィルタ10と、図17に示す第2送信フィルタ20とがスタックされている。
 第1送信フィルタ10における縦結合型共振子DMS1は、第2方向D2において離れている2つの反射器19の間に配置されている3つの機能電極18を含む。縦結合型共振子DMS1における3つの機能電極18の各々は、IDT電極である。また、縦結合型共振子DMS2は、第2方向D2において離れている2つの反射器19の間に配置されている3つの機能電極18を含む。縦結合型共振子DMS2における3つの機能電極18の各々は、IDT電極である。図16では、各機能電極(IDT電極)18、各反射器19及び各配線部W10にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、図6と同様、断面を表すものではない。また、変形例4では、実施形態1に係る弾性波装置ST1と同様の構成要素には同一の符号を付してある。
 第2送信フィルタ20は、図17に示すように、第2基板220の1つの対角線の方向において第2入力端子25と第2出力端子26とが離れており、図7に示した第2送信フィルタ20とは複数の直列腕共振子S21~S25、複数の並列腕共振子P21~P24及び複数のグランド端子27等のレイアウトが相違する。図17では、各機能電極(IDT電極)28、各反射器29及び各配線部W20にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、図7と同様、断面を表すものではない。
 変形例4では、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3(図8参照)からの平面視で、第1送信フィルタ10の第1弾性波共振子14Aと第2送信フィルタ20の第2弾性波共振子24Aとが重ならない。つまり、実施形態1に係る弾性波装置ST1の変形例4においても、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1機能電極18Aの形成領域112及び第2機能電極28Aの形成領域212は互いに重ならない。これにより、実施形態1に係る弾性波装置ST1の変形例4によれば、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の温度上昇による第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
 また、変形例4では、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第2送信フィルタ20の直列腕共振子S21(第2弾性波共振子24A)、並列腕共振子P21及び直列腕共振子S22が、第1送信フィルタ10の縦結合型共振子DMS1(第1弾性波共振子14A)に重ならない。これにより、変形例4では、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の温度上昇による第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれのフィルタ特性の劣化を、より抑制することが可能となる。
 (4.5)変形例5
 実施形態1に係る弾性波装置ST1の変形例5では、図18Aに示すように、第1送信フィルタ10の有する複数の弾性波共振子14が、2つの縦結合型共振子DMS1、DMS2と、1つの直列腕共振子S11と、1つの並列腕共振子P11と、を含む点で、実施形態1に係る弾性波装置ST1と相違する。変形例5では、複数の弾性波共振子14のうち2つの縦結合型共振子DMS1、DMS2が、第1弾性波共振子14Aを構成している。また、変形例5では、複数の弾性波共振子14のうち直列腕共振子S11が、第3弾性波共振子14Bを構成している。図18Bに示すように、第2送信フィルタ20は、実施形態1に係る弾性波装置ST1と同様、複数の弾性波共振子24を有する。
 第1送信フィルタ10は、複数(図示例では、4つ)の弾性波共振子14を有する第1弾性波フィルタを含む。4つの弾性波共振子14は、2つの縦結合型共振子DMS1、DMS2と、1つの直列腕共振子S11と、1つの並列腕共振子P11と、を含む。2つの縦結合型共振子DMS1、DMS2の並列回路が、第1入力端子15と直列腕共振子S11とに接続されている。第1弾性波フィルタでは、直列腕経路Ru1上において、2つの縦結合型共振子DMS1、DMS2の並列回路及び1つの直列腕共振子S11が、第1入力端子15側から、2つの縦結合型共振子DMS1、DMS2の並列回路及び1つの直列腕共振子S11の順に並んでいる。並列腕共振子P11は、直列腕経路Ru1における2つの縦結合型共振子DMS1、DMS2の並列回路及び直列腕共振子S11間の経路と、グランドと、の間の経路Ru11上に設けられている。
 変形例5では、図8における弾性波装置ST1における第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の代わりに、図19に示す第1送信フィルタ10と、図20に示す第2送信フィルタ20とがスタックされている。
 第1送信フィルタ10における縦結合型共振子DMS1は、第2方向D2において離れている2つの反射器19の間に配置されている3つの機能電極18を含む。縦結合型共振子DMS1における3つの機能電極18の各々は、IDT電極である。また、縦結合型共振子DMS2は、第2方向D2において離れている2つの反射器19の間に配置されている3つの機能電極18を含む。縦結合型共振子DMS2における3つの機能電極18の各々は、IDT電極である。図19では、各機能電極(IDT電極)18、各反射器19及び各配線部W10にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、図6と同様、断面を表すものではない。また、変形例5では、実施形態1に係る弾性波装置ST1と同様の構成要素には同一の符号を付してある。
 第2送信フィルタ20は、図20に示すように、第2基板220の1つの対角線の方向において第2入力端子25と第2出力端子26とが離れており、図7に示した第2送信フィルタ20とは複数の直列腕共振子S21~S25、複数の並列腕共振子P21~P24及び複数のグランド端子27等のレイアウトが相違する。図20では、各機能電極(IDT電極)28、各反射器29及び各配線部W20にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、図7と同様、断面を表すものではない。
 変形例5では、第2送信フィルタ20の厚さ方向(D3)からの平面視で、第1送信フィルタ10の第1弾性波共振子14Aと第2送信フィルタ20の第2弾性波共振子24Aとが重ならない。つまり、実施形態1に係る弾性波装置ST1の変形例5においても、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1機能電極18Aの形成領域112及び第2機能電極28Aの形成領域212は互いに重ならない。これにより、実施形態1に係る弾性波装置ST1の変形例5によれば、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の温度上昇による第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
 また、変形例5では、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第2送信フィルタ20の直列腕共振子S21(第2弾性波共振子24A)、並列腕共振子P21及び直列腕共振子S22が、第1送信フィルタ10の縦結合型共振子DMS1(第1弾性波共振子14A)及び縦結合型共振子DMS2(第1弾性波共振子14A)に重ならない。これにより、変形例5では、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の温度上昇による第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれのフィルタ特性の劣化を、より抑制することが可能となる。
 (4.6)実施形態1のその他の変形例
 第1送信フィルタ10における第1基板120(図8参照)は、例えば、高音速部材121の代わりに、第1支持基板と、第1支持基板と低音速膜122との間に介在する第1高音速膜と、を有する構成であってもよい。第1高音速膜は、圧電体層123を伝搬する弾性波の音速よりも、第1高音速膜を伝搬するバルク波の音速が高速となる膜である。また、第2送信フィルタ20における第2基板220(図8参照)は、例えば、高音速部材221の代わりに、第2支持基板と、第2支持基板と低音速膜222との間に介在する第2高音速膜と、を有する構成であってもよい。第2高音速膜は、圧電体層223を伝搬する弾性波の音速よりも、第2高音速膜を伝搬するバルク波の音速が高速となる膜である。第1高音速膜及び第2高音速膜の各々の材料は、例えば、窒化ケイ素であるが、窒化ケイ素に限定されず、ダイヤモンドライクカーボン、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、酸窒化ケイ素、シリコン、サファイア、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト、マグネシア及びダイヤモンドからなる群から選択される少なくとも1種の材料であってもよい。
 また、第1基板120は、例えば、低音速膜122と圧電体層123との間に介在する密着層を含んでいてもよい。密着層は、例えば、樹脂(エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂)からなる。また、第1基板120は、低音速膜122と圧電体層123との間、圧電体層123上、又は低音速膜122下のいずれかに誘電体膜を備えていてもよい。また、第2基板220は、例えば、低音速膜222と圧電体層223との間に介在する密着層を含んでいてもよい。密着層は、例えば、樹脂(エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂)からなる。また、第2基板220は、低音速膜222と圧電体層223との間、圧電体層223上、又は低音速膜222下のいずれかに誘電体膜を備えていてもよい。また、第1送信フィルタ10は、圧電体層123上に設けられて複数の機能電極18及び複数の反射器19を覆っている第1保護膜を更に備えていてもよい。第1保護膜の材料は、例えば、酸化ケイ素である。また、第2送信フィルタ20は、圧電体層223上に設けられて複数の機能電極28及び複数の反射器29を覆っている第2保護膜を更に備えていてもよい。第2保護膜の材料は、例えば、酸化ケイ素である。
 また、第1送信フィルタ10では、第1基板120は、高音速部材121と低音速膜122と圧電体層123とを含む積層型基板の代わりに、圧電基板を含んでもよい。圧電基板は、例えば、リチウムタンタレート基板又はリチウムニオベイト基板である。また、第2送信フィルタ20では、第2基板220は、高音速部材221と低音速膜222と圧電体層223とを含む積層型基板の代わりに、圧電基板を含んでもよい。圧電基板は、例えば、リチウムタンタレート基板又はリチウムニオベイト基板である。
 (実施形態2)
 実施形態2に係る弾性波装置ST1及び高周波モジュール100aについて、図21を参照して説明する。実施形態2に係る弾性波装置ST1及び高周波モジュール100aに関し、実施形態1に係る弾性波装置ST1及び高周波モジュール100それぞれと同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
 (1)構成
 実施形態2に係る高周波モジュール100aは、弾性波装置ST1がシールド電極135を更に備える点で、実施形態1に係る高周波モジュール100と相違する。高周波モジュール100aにおける弾性波装置ST1では、シールド電極135は、第1送信フィルタ10と第2送信フィルタ20とスペーサ部130とで囲まれた中空空間131に配置されている。シールド電極135は、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3において第1送信フィルタ10と第2送信フィルタ20との間に配置されており、第2機能電極28Aに重なる。実装基板9は、シールド電極135が接続されているグランド電極95を更に有する。
 シールド電極135は、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3において第2送信フィルタ20から離れている第1シールド部1351と、第2送信フィルタ20と第1シールド部1351とをつないでいる第2シールド部1352と、を有する。第1シールド部1351と第2シールド部1352とは一体である。シールド電極135の材料は、金属を含む。高周波モジュール100aでは、弾性波装置ST1が、シールド電極135と第2基板220の第3主面2201及び第2機能電極28Aとの間に形成された空洞138を有する。シールド電極135と第2基板220の第3主面2201及び第2機能電極28Aとの間の空洞138は、例えば、犠牲層エッチング技術を利用して形成することができる。
 (2)効果
 実施形態2に係る弾性波装置ST1では、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1弾性波共振子14A及び第2弾性波共振子24Aは互いに重ならない。つまり、実施形態2に係る弾性波装置ST1においても、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1機能電極18Aの形成領域112(図6参照)及び第2機能電極28Aの形成領域212(図7参照)は互いに重ならない。これにより、実施形態2に係る弾性波装置ST1によれば、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の温度上昇による第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
 また、実施形態2に係る高周波モジュール100aでは、弾性波装置ST1がシールド電極135を備え、シールド電極135が実装基板9のグランド電極95に接続されている。これにより、実施形態2に係る高周波モジュール100aは、第1送信フィルタ10と第2送信フィルタ20とのアイソレーションを向上させることが可能となる。
 実施形態2に係る高周波モジュール100aでは、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、グランド電極95は、第1弾性波共振子14Aと重なる。これにより、実施形態2に係る高周波モジュール100aは、第1弾性波共振子14Aで発生する熱がグランド電極95を介して放熱されやすくなり、放熱性を更に向上させることが可能となる。
 また、実施形態2に係る高周波モジュール100aでは、弾性波装置ST1がグランド導体部137を更に備える。グランド導体部137は、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3において第1送信フィルタ10と第2送信フィルタ20との間に位置する。グランド導体部137は、第1送信フィルタ10と第2送信フィルタ20とを接続している。第1送信フィルタ10は、グランド導体部137を介して第2送信フィルタ20のグランド端子27に接続されているビア導体V0(グランドビア導体V7)を更に含む。グランドビア導体V7は、第1基板120の厚さ方向に貫通している。グランドビア導体V7は、実装基板9のグランド電極95に接続されている。これにより、実施形態2に係る高周波モジュール100aは、第1送信フィルタ10の第1弾性波共振子14Aで発生する熱が第2送信フィルタ20へ伝わりにくくなる。
 (実施形態3)
 実施形態3に係る弾性波装置ST1及び高周波モジュール100bについて、図22を参照して説明する。実施形態3に係る弾性波装置ST1及び高周波モジュール100bに関し、実施形態2に係る弾性波装置ST1及び高周波モジュール100aそれぞれと同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
 (1)構成
 実施形態3に係る弾性波装置ST1は、複数の弾性波共振子14がBAW(Bulk Acoustic Wave)共振子であり、複数の弾性波共振子24がBAW共振子である点で、実施形態1に係る弾性波装置ST1と相違する。
 第1送信フィルタ10における第1基板120は、例えば、シリコン基板又はスピネル基板である。弾性波共振子14を構成するBAW共振子は、第1基板120の第1主面1201側に設けられている下部電極178と、下部電極178上の圧電体膜179と、圧電体膜179上の上部電極180と、を含む。第1送信フィルタ10では、各弾性波共振子14の各々の上部電極180が機能電極18を構成している。また、第1送信フィルタ10では、第1弾性波共振子14Aの上部電極180が第1機能電極18Aを構成している。圧電体膜179の材料は、例えば、AlN、ScAlN、LiTaO、LiNbO又はPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)ある。弾性波共振子14を構成するBAW共振子は、下部電極178における圧電体膜179側とは反対側に空洞177を有する。したがって、第1機能電極18Aは、第1送信フィルタ10における第1機能面111上に空洞177、下部電極178及び圧電体膜179を介して形成されている。第1機能電極18Aの形成領域は、第1機能面111において空洞177に重なる領域である。弾性波共振子14を構成するBAW共振子は、FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)であるが、これに限らず、SMR(Solidly Mounted Resonator)であってもよい。
 第2送信フィルタ20における第2基板220は、例えば、シリコン基板又はスピネル基板である。弾性波共振子24を構成するBAW共振子は、第2基板220の第3主面2201側に設けられている下部電極278と、下部電極278上の圧電体膜279と、圧電体膜279上の上部電極280と、を含む。第2送信フィルタ20では、各弾性波共振子24の各々の上部電極280が機能電極28を構成している。また、第2送信フィルタ20では、第2弾性波共振子24Aの上部電極280が第2機能電極28Aを構成している。圧電体膜279の材料は、例えば、AlN、ScAlN、LiTaO、LiNbO又はPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)ある。弾性波共振子24を構成するBAW共振子は、下部電極278における圧電体膜279側とは反対側に空洞277を有する。したがって、第2機能電極28Aは、第2送信フィルタ20における第2機能面211上に空洞277、下部電極278及び圧電体膜279を介して形成されている。第2機能電極28Aの形成領域は、第2機能面211において空洞277に重なる領域である。弾性波共振子24を構成するBAW共振子は、FBARであるが、これに限らず、SMRであってもよい。
 (2)効果
 実施形態3に係る弾性波装置ST1では、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1弾性波共振子14A及び第2弾性波共振子24Aは互いに重ならない。つまり、実施形態3に係る弾性波装置ST1においても、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1機能電極18Aの形成領域及び第2機能電極28Aの形成領域は互いに重ならない。これにより、実施形態3に係る弾性波装置ST1によれば、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の温度上昇による第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
 (実施形態4)
 実施形態4に係る高周波モジュール100cについて、図23~25を参照して説明する。実施形態4に係る高周波モジュール100cに関し、実施形態1に係る高周波モジュール100と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
 (1)構成
 実施形態4に係る高周波モジュール100cでは、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3において第2送信フィルタ20と第1送信フィルタ10とが互いに重なる点で実施形態1に係る高周波モジュール100と類似しているが、第2送信フィルタ20が第1送信フィルタ10にスタックされていない点で、実施形態1に係る高周波モジュール100と相違する。また、実施形態4に係る高周波モジュール100cでは、第1通信バンドは、例えば、3GPP LTE規格のBand1又は5G NR規格のn1である。第2通信バンドは、例えば、3GPP LTE規格のBand41又は5G NR規格のn41である。
 実施形態4に係る高周波モジュール100cでは、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第2送信フィルタ20の外形サイズ(チップサイズ)が第1送信フィルタ10の外形サイズ(チップサイズ)よりも大きい。図23における第1送信フィルタ10は、図24における第1送信フィルタ10のY1-Y1線断面図に対応し、図23における第2送信フィルタ20は、図25における第2送信フィルタ20のY1-Y1線断面図に対応している。なお、実施形態4に係る高周波モジュール100cでは、第1送信フィルタ10における複数の弾性波共振子14のレイアウトが、実施形態1に係る高周波モジュール100の第1送信フィルタ10における複数の弾性波共振子14のレイアウトと相違する。また、実施形態4に係る高周波モジュール100cでは、第2送信フィルタ20における複数の弾性波共振子24のレイアウトが、実施形態1に係る高周波モジュール100の第2送信フィルタ20における複数の弾性波共振子24のレイアウトと相違する。図24では、各機能電極(IDT電極)18、各反射器19及び各配線部W10にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、図6と同様、断面を表すものではない。また、図25では、各機能電極(IDT電極)28、各反射器29及び各配線部W20にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、図7と同様、断面を表すものではない。
 高周波モジュール100cでは、第1送信フィルタ10は、第1基板120の第1主面1201が実装基板9側に位置し、第1基板120の第2主面1202が第2送信フィルタ20側に位置するように、実装基板9の第1主面91に実装されている。また、第2送信フィルタ20は、第2基板220の第3主面2201が第1送信フィルタ10側に位置し、第4主面2202が第1送信フィルタ10側とは反対側に位置するように、実装基板9の第1主面91に実装されている。
 高周波モジュール100cにおける第1送信フィルタ10は、実施形態1に係る高周波モジュール100の第1送信フィルタ10における第1基板120の厚さ方向に貫通する複数のビア導体V0(図8参照)を有していない。高周波モジュール100cにおける第1送信フィルタ10では、第1基板120の第1主面1201上に第1入力端子15、第1出力端子16及び複数のグランド端子17が配置されている。また、高周波モジュール100cは、第2送信フィルタ20の第2入力端子25、第2出力端子26及び複数のグランド端子27に一対一に接続されている複数の導電性接続部材139を有し、複数の導電性接続部材139により実装基板9と接続されている。複数の導電性接続部材139の各々は、導電性を有する。複数の導電性接続部材139の材料は、例えば、金属(例えば、銅、銅合金等)である。複数の導電性接続部材139の各々は、柱状電極(例えば、円柱状の電極)である。実装基板9の厚さ方向D0における複数の導電性接続部材139の各々の長さは、第1送信フィルタ10の厚さよりも長く、第2送信フィルタ20と第1送信フィルタ10との間に中空空間131が形成されるように決められている。複数の導電性接続部材139は、柱状電極を実装基板9の第1主面91に接合することで実装基板9の第1主面91に配置してあるが、これに限らない。複数の導電性接続部材139は、めっき成長により形成されていてもよいし、銅コアボールを実装基板9の第1主面91に接合することで配置されてもよいし、はんだにより形成されていてもよい。
 (2)効果
 実施形態4に係る高周波モジュール100cは、実装基板9と、第1送信フィルタ10と、第2送信フィルタ20と、を備える。第1送信フィルタ10は、実装基板9に配置されている。第2送信フィルタ20は、実装基板9と接続された導電性接続部材139を介して第1送信フィルタ10上に配置されている。第1送信フィルタ10は、第1パワーアンプ101(図1及び3参照)に接続される第1入力端子15と、第1入力端子15に最も近い第1弾性波共振子14Aと、を有する。第2送信フィルタ20は、第2パワーアンプ102(図1及び3参照)に接続される第2入力端子25と、第2入力端子25に最も近い第2弾性波共振子24Aと、を有する。第1弾性波共振子14Aは、第1機能面111に形成されている第1機能電極18Aを有する。第2弾性波共振子24Aは、第2機能面211に形成されている第2機能電極28Aを有する。第2送信フィルタ20は、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3において第1送信フィルタ10に対向配置されている。第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1機能電極18Aの形成領域112及び第2機能電極28Aの形成領域212は互いに重ならない。
 実施形態4に係る高周波モジュール100cによれば、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の温度上昇による第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。2つの送信フィルタ(第1送信フィルタ及び第2送信フィルタ)を備え、2つの送信フィルタがスタックされており、第1送信フィルタにおいて入力端子に近い機能電極の形成領域と、第2送信フィルタにおいて入力端子に近い機能電極の形成領域とが重なるように配置されている比較例に係る弾性波装置では、第1送信フィルタ及び第2送信フィルタにおいて互いに熱の影響を受け、第1送信フィルタ及び第2送信フィルタそれぞれにおいて入力端子に近い弾性波共振子の温度上昇によりフィルタ特性が劣化する可能性が高くなる。これに対して、実施形態4に係る高周波モジュール100cは、実装基板9に配置された第1送信フィルタ10と、導電性接続部材139を介して実装基板9に接続され第1送信フィルタ10上において第1送信フィルタ10に対向配置された第2送信フィルタ20と、を備え、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1弾性波共振子14Aの第1機能電極18Aの形成領域112及び第2弾性波共振子24Aの第2機能電極28Aの形成領域212が互いに重ならない。これにより、実施形態4に係る高周波モジュール100cは、第1弾性波共振子14A及び第2弾性波共振子24Aそれぞれの温度上昇を抑制することが可能となる。これにより、実施形態4に係る高周波モジュール100cは、第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれの耐電力の低下を抑制することが可能となるとともに、温度上昇によるフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
 また、実施形態4に係る高周波モジュール100cでは、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で、第1送信フィルタ10の直列腕共振子S11、直列腕共振子S12、並列腕共振子P11及び並列腕共振子P12が、第2送信フィルタ20の直列腕共振子S21、直列腕共振子S22、並列腕共振子P21及び並列腕共振子P22のいずれとも重ならない。これにより、実施形態4に係る高周波モジュール100cは、同時通信時の第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20の温度上昇によるフィルタ特性の劣化を、より抑制することが可能となる。
 また、実施形態4に係る高周波モジュール100cでは、第1送信フィルタ10の複数の弾性波共振子14の機能電極18が実装基板9側に位置している。これにより、実施形態4に係る高周波モジュール100cでは、第1機能面111と第2機能面211とが対向せず、第1機能電極18Aの形成領域112と第2機能電極28Aの形成領域212とは対向しない。これにより、高周波モジュール100cは、第1弾性波共振子14A及び第2弾性波共振子24Aが互いの熱の影響を更に受けにくくなる。よって、高周波モジュール100cは、第1弾性波共振子14A及び第2弾性波共振子24Aの温度上昇による第1送信フィルタ10及び第2送信フィルタ20それぞれのフィルタ特性の劣化を、より抑制することが可能となる。
 (その他の変形例)
 上記の実施形態1~4等は、本発明の様々な実施形態の一つに過ぎない。上記の実施形態1~4等は、本発明の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能であり、互いに異なる実施形態の互いに異なる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
 例えば、高周波モジュール100、100a、100cにおける弾性波装置ST1では、複数の弾性波共振子14のうち少なくとも1つの弾性波共振子14が、例えば、複数(例えば、2つ又は3つ)の分割共振子により構成されていてもよい。複数の分割共振子は、1つの弾性波共振子14が分割された共振子であり、分割された共振子の間に他の弾性波共振子14を介することなく、かつ、他の弾性波共振子14を含む経路との接続ノードを介することなく、直列に接続されている。
 また、高周波モジュール100、100a、100cにおける弾性波装置ST1では、複数の弾性波共振子24のうち少なくとも1つの弾性波共振子24が、例えば、複数(例えば、2つ又は3つ)の分割共振子により構成されていてもよい。複数の分割共振子は、1つの弾性波共振子24が分割された共振子であり、分割された共振子の間に他の弾性波共振子24を介することなく、かつ、他の弾性波共振子24を含む経路との接続ノードを介することなく、直列に接続されている。
 また、高周波モジュール100、100a、100b、100cは、フィルタとして、少なくとも第1送信フィルタ10と第2送信フィルタ20とを備えていればよく、第3送信フィルタ30、第1受信フィルタ40及び第2受信フィルタ50を備えていない構成であってもよい。
 高周波モジュール100a、100bでは、シールド電極135は、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で第2弾性波共振子24Aの第2機能電極28Aと第1弾性波共振子14Aの第1機能電極18Aとのうち第2機能電極28Aのみに重なるように配置されることに限定されない。例えば、シールド電極135は、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で第2弾性波共振子24Aの第2機能電極28Aと第1弾性波共振子14Aの第1機能電極18Aとのうち第1弾性波共振子14Aの第1機能電極18Aのみに重なるように配置されていてもよい。また、シールド電極135は、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で第2弾性波共振子24Aの第2機能電極28Aと第1弾性波共振子14Aの第1機能電極18Aとの両方に重なるように配置されていてもよい。また、シールド電極135は、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で第2弾性波共振子24Aの第2機能電極28Aと第1弾性波共振子14Aの第1機能電極18Aとの少なくとも一方と、第1弾性波共振子14A以外の1以上の弾性波共振子14の機能電極18と、に重なるように配置されていてもよい。また、シールド電極135は、第2送信フィルタ20の厚さ方向D3からの平面視で第2弾性波共振子24Aの第2機能電極28Aと第1弾性波共振子14Aの第1機能電極18Aとの少なくとも一方と、第2弾性波共振子24A以外の1以上の弾性波共振子24の機能電極28と、に重なるように配置されていてもよい。
 第1通信バンドと第2通信バンドとの組み合わせは、上述の例に限らない。例えば、第1通信バンドが、3GPP LTE規格のBand1、3GPP LTE規格のBand3、3GPP LTE規格のBand66、3GPP LTE規格のBand39又は3GPP LTE規格のBand40であり、第2通信バンドが、3GPP LTE規格のBand41であってもよい。また、第1通信バンドが、3GPP LTE規格のBand1、3GPP LTE規格のBand66、3GPP LTE規格のBand39又は3GPP LTE規格のBand40であり、第2通信バンドが、3GPP LTE規格のBand3であってもよい。
 また、高周波モジュール100は、複数の外部接続端子T0がボールバンプであり、かつ、第2樹脂層170を備えていない構成であってもよい。この場合、高周波モジュール100は、実装基板9の第2主面92に実装されている第1スイッチ6、第2スイッチ7及び第3スイッチ8それぞれと実装基板9の第2主面92との間の隙間に設けられたアンダーフィル部を備えていてもよい。複数の外部接続端子T0の各々を構成するボールバンプの材料は、例えば、金、銅、はんだ等である。複数の外部接続端子T0は、ボールバンプにより構成された外部接続端子T0と、柱状電極により構成された外部接続端子T0と、が混在してもよい。
 また、実施形態1に係る通信装置300は、高周波モジュール100の代わりに、高周波モジュール100a、100b、100cのいずれかを備えていてもよい。
 (態様)
 本明細書には、以下の態様が開示されている。
 第1の態様に係る弾性波装置(ST1)は、第1送信フィルタ(10)及び第2送信フィルタ(20)を備える。弾性波装置(ST1)では、第1送信フィルタ(10)と第2送信フィルタ(20)とがスタックされており、第1送信フィルタ(10)の第1機能面(111)と第2送信フィルタ(20)の第2機能面(211)とが所定距離(H1)隔てて対向配置されている。第1送信フィルタ(10)は、第1入力端子(15)と、第1入力端子(15)に最も近い第1弾性波共振子(14A)と、を有する。第2送信フィルタ(20)は、第2入力端子(25)と、第2入力端子(25)に最も近い第2弾性波共振子(24A)と、を有する。第1弾性波共振子(14A)は、第1機能面(111)に形成されている第1機能電極(18A)を有する。第2弾性波共振子(24A)は、第2機能面(211)に形成されている第2機能電極(28A)を有する。第2送信フィルタ(20)の厚さ方向(D3)からの平面視で、第1機能電極(18A)の形成領域及び第2機能電極(28A)の形成領域は互いに重ならない。
 第1の態様に係る弾性波装置(ST1)によれば、第1送信フィルタ(10)及び第2送信フィルタ(20)の温度上昇による第1送信フィルタ(10)及び第2送信フィルタ(20)それぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
 第2の態様に係る弾性波装置(ST1)では、第1の態様において、第1送信フィルタ(10)は、第1弾性波フィルタ(10A)を含む。第1弾性波フィルタ(10A)は、第1弾性波共振子(14A)を有し第1通信バンドの周波数帯を含む通過帯域を有する。第2送信フィルタ(20)は、第2弾性波フィルタ(20A)を含む。第2弾性波フィルタ(20A)は、第2弾性波共振子(24A)を有し第2通信バンドの周波数帯を含む通過帯域を有する。第1通信バンドと第2通信バンドとは同時通信で利用可能な通信バンドである。
 第2の態様に係る弾性波装置(ST1)では、同時通信に利用されたときに第1送信フィルタ(10)及び第2送信フィルタ(20)それぞれの温度上昇を抑制でき、第1送信フィルタ(10)及び第2送信フィルタ(20)それぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
 第3の態様に係る弾性波装置(ST1)では、第2の態様において第1通信バンドは、3GPP LTE規格のBand1、3GPP LTE規格のBand3、3GPP LTE規格のBand66、3GPP LTE規格のBand39又は3GPP LTE規格のBand40であり、第2通信バンドは、3GPP LTE規格のBand41である。
 第4の態様に係る弾性波装置(ST1)では、第2の態様において、第1通信バンドは、3GPP LTE規格のBand1、3GPP LTE規格のBand66、3GPP LTE規格のBand39又は3GPP LTE規格のBand40であり、第2通信バンドは、3GPP LTE規格のBand3である。
 第5の態様に係る弾性波装置(ST1)では、第1~4の態様のいずれか一つにおいて、第1送信フィルタ(10)は、第1弾性波共振子(14A)を含む複数の弾性波共振子(14)を有するラダー型フィルタであり、第2送信フィルタ(20)は、第2弾性波共振子(24A)を含む複数の弾性波共振子(24)を有するラダー型フィルタである。
 第6の態様に係る弾性波装置(ST1)では、第5の態様において、第2送信フィルタ(20)の厚さ方向(D3)からの平面視で、第1送信フィルタ(10)の第1弾性波共振子(14A)は、第2送信フィルタ(20)の複数の弾性波共振子(24)のうち第2弾性波共振子(24A)以外の少なくとも1つの弾性波共振子(24)と重なる。
 第6の態様に係る弾性波装置(ST1)によれば、第2送信フィルタ(20)のサイズアップを抑制することが可能となる。
 第7の態様に係る弾性波装置(ST1)では、第6の態様において、第2送信フィルタ(20)は、出力端子(第2出力端子26)を含む。第2送信フィルタ(20)の複数の弾性波共振子(24)は、第2送信フィルタ(20)の出力端子(第2出力端子26)に最も近い第4弾性波共振子(24B)を含む。第2送信フィルタ(20)の厚さ方向(D3)からの平面視で、第1弾性波共振子(14A)と第4弾性波共振子(24B)とが重なる。
 第7の態様に係る弾性波装置(ST1)によれば、第2送信フィルタ(20)のサイズアップを抑制することが可能となる。
 第8の態様に係る弾性波装置(ST1)では、第5の態様において、第2送信フィルタ(20)の厚さ方向(D3)からの平面視で、第2送信フィルタ(20)の第2弾性波共振子(24A)は、第1送信フィルタ(10)の複数の弾性波共振子(14)のうち第1弾性波共振子(14A)以外の少なくとも1つの弾性波共振子(14)と重なる。
 第8の態様に係る弾性波装置(ST1)によれば、第2送信フィルタ(20)のサイズアップを抑制することが可能となる。
 第9の態様に係る弾性波装置(ST1)では、第8の態様において、第1送信フィルタ(10)は、出力端子(第1出力端子16)を含む。第1送信フィルタ(10)の複数の弾性波共振子(14)は、第1送信フィルタ(10)の出力端子(第1出力端子16)に最も近い第3弾性波共振子(14B)を含む。第2送信フィルタ(20)の厚さ方向(D3)からの平面視で、第2弾性波共振子(24A)と第3弾性波共振子(14B)とが重なる。
 第9の態様に係る弾性波装置(ST1)によれば、第1送信フィルタ(10)及び第2送信フィルタ(20)のサイズアップを抑制することが可能となる。
 第10の態様に係る弾性波装置(ST1)では、第1又は2の態様において、第1送信フィルタ(10)は、第1出力端子(16)を含む。第2送信フィルタ(20)は、第2出力端子(26)を含む。第1送信フィルタ(10)は、第1送信フィルタ(10)の第1出力端子(16)に最も近い第3弾性波共振子(14B)を含む。第2送信フィルタ(20)は、第2送信フィルタ(20)の第2出力端子(26)に最も近い第4弾性波共振子(24B)を含む。第2送信フィルタ(20)の厚さ方向(D3)からの平面視で、第3弾性波共振子(14B)及び第4弾性波共振子(24B)は互いに重なる。
 第10の態様に係る弾性波装置(ST1)によれば、第1送信フィルタ(10)及び第2送信フィルタ(20)のサイズアップを抑制することが可能となる。
 第11の態様に係る弾性波装置(ST1)では、第1~10の態様のいずれか一つにおいて、第1弾性波共振子(14A)及び第2弾性波共振子(24A)の各々は、SAW共振子である。
 第12の態様に係る弾性波装置(ST1)では、第1~10の態様のいずれか一つにおいて、第1弾性波共振子(14A)及び第2弾性波共振子(24A)の各々は、BAW共振子である。
 第13の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b)は、実装基板(9)と、第1~12の態様のいずれか一つの弾性波装置(ST1)と、を備える。実装基板(9)は、主面(91)を有する。弾性波装置(ST1)は、実装基板(9)の主面(91)に配置されている。
 第13の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b)によれば、第1送信フィルタ(10)及び第2送信フィルタ(20)の温度上昇による第1送信フィルタ(10)及び第2送信フィルタ(20)それぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
 第14の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b)は、第13の態様において、樹脂層(150)と、金属電極層(160)と、を更に備える。樹脂層(150)は、実装基板(9)の主面(91)上に配置されている。樹脂層(150)は、第1送信フィルタ(10)の外周面(13)の少なくとも一部及び第2送信フィルタ(20)の外周面(23)の少なくとも一部を覆っている。金属電極層(160)は、樹脂層(150)の少なくとも一部を覆っている。金属電極層(160)は、第2送信フィルタ(20)における第1送信フィルタ(10)側とは反対側の主面(第4主面22)に接している。
 第14の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b)によれば、放熱性を向上させることが可能となる。
 第15の態様に係る高周波モジュール(100a)では、第13又は14の態様において、弾性波装置(ST1)は、スペーサ部(130)と、シールド電極(135)と、を更に備える。スペーサ部(130)は、第2送信フィルタ(20)の厚さ方向(D3)において第1送信フィルタ(10)と第2送信フィルタ(20)との間に介在する。シールド電極(135)は、第1送信フィルタ(10)と第2送信フィルタ(20)とスペーサ部(130)とで囲まれた中空空間(131)に配置されている。第1送信フィルタ(10)は、第1機能面(111)を有する第1基板(120)を含む。第2送信フィルタ(20)は、第2機能面(211)を有する第2基板(220)を含む。シールド電極(135)は、第2送信フィルタ(20)の厚さ方向(D3)において第1送信フィルタ(10)と第2送信フィルタ(20)との間に配置されており、第2機能電極(28A)に重なる。弾性波装置(ST1)は、シールド電極(135)と第2機能電極(28A)との間に空洞(138)を有する。実装基板(9)は、シールド電極(135)が接続されているグランド電極(95)を更に有する。
 第15の態様に係る高周波モジュール(100a)によれば、第1送信フィルタ(10)と第2送信フィルタ(20)とのアイソレーションを向上させることが可能となる。
 第16の態様に係る高周波モジュール(100a)では、第15の態様において、第2送信フィルタ(20)の厚さ方向(D3)からの平面視で、グランド電極(95)は、第1弾性波共振子(14A)と重なる。
 第16の態様に係る高周波モジュール(100a)によれば、第1弾性波共振子(14A)で発生する熱がシールド電極(135)及びグランド電極(95)を介して放熱されやすくなり、放熱性を更に向上させることが可能となる。
 第17の態様に係る高周波モジュール(100a)では、第15又は16の態様において、弾性波装置(ST1)は、グランド導体部(137)を更に備える。グランド導体部(137)は、第2送信フィルタ(20)の厚さ方向(D3)において第1送信フィルタ(10)と第2送信フィルタ(20)との間に位置する。グランド導体部(137)は、第1送信フィルタ(10)と第2送信フィルタ(20)とを接続している。第2送信フィルタ(20)は、グランド端子(27)を更に有する。第1送信フィルタ(10)は、グランドビア導体(V7)を更に有する。グランドビア導体(V7)は、第1基板(120)の厚さ方向に貫通しており、グランド導体部(137)を介して第2送信フィルタ(20)のグランド端子(27)に接続されている。グランドビア導体(V7)は、グランド電極(95)に接続されている。
 第17の態様に係る高周波モジュール(100a)によれば、第1送信フィルタ(10)の第1弾性波共振子(14A)で発生する熱が第2送信フィルタ(20)へ伝わりにくくなる。
 第18の態様に係る高周波モジュール(100c)は、実装基板(9)と、第1送信フィルタ(10)と、第2送信フィルタ(20)と、を備える。第1送信フィルタ(10)は、実装基板(9)に配置されている。第2送信フィルタ(20)は、実装基板(9)と接続された導電性接続部材(139)を介して第1送信フィルタ(10)上に配置されている。第1送信フィルタ(10)は、第1パワーアンプ(101)に接続される第1入力端子(15)と、第1入力端子(15)に最も近い第1弾性波共振子(14A)と、を有する。第2送信フィルタ(20)は、第2パワーアンプ(102)に接続される第2入力端子(25)と、第2入力端子(25)に最も近い第2弾性波共振子(24A)と、を有する。第1弾性波共振子(14A)は、第1機能面(111)に形成されている第1機能電極(18A)を有する。第2弾性波共振子(24A)は、第2機能面(211)に形成されている第2機能電極(28A)を有する。第2送信フィルタ(20)は、第2送信フィルタ(20)の厚さ方向(D3)において第1送信フィルタ(10)に対向配置されている。第2送信フィルタ(20)の厚さ方向(D3)からの平面視で、第1機能電極(18A)の形成領域(112)及び第2機能電極(28A)の形成領域(212)は互いに重ならない。
 第18の態様に係る高周波モジュール(100c)によれば、第1送信フィルタ(10)及び第2送信フィルタ(20)の温度上昇による第1送信フィルタ(10)及び第2送信フィルタ(20)それぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
 第19の態様に係る高周波モジュール(100c)では、第18の態様において、第1機能電極(18A)の形成領域(112)と第2機能電極(28A)の形成領域(212)とは対向しない。
 第19の態様に係る高周波モジュール(100c)によれば、第1機能電極(18A)の形成領域(112)と第2機能電極(28A)の形成領域(212)とが対向しないことによって、第1弾性波共振子(14A)及び第2弾性波共振子(24A)が互いの熱の影響を更に受けにくくなり、第1弾性波共振子(14A)及び第2弾性波共振子(24A)の温度上昇による第1送信フィルタ(10)及び第2送信フィルタ(20)それぞれのフィルタ特性の劣化を、より抑制することが可能となる。
 第20の態様に係る通信装置(300)は、第13~19の態様のいずれか一つの高周波モジュール(100;100a;100b;100c)と、信号処理回路(301)と、を備える。信号処理回路(301)は、高周波モジュール(100;100a;100b;100c)に接続されている。
 第20の態様に係る通信装置(300)によれば、第1送信フィルタ(10)及び第2送信フィルタ(20)の温度上昇による第1送信フィルタ(10)及び第2送信フィルタ(20)それぞれのフィルタ特性の劣化を抑制することが可能となる。
 6 第1スイッチ
 60 共通端子
 61、62 選択端子
 7 第2スイッチ
 70 共通端子
 71、72 選択端子
 8 第3スイッチ
 80A 第1共通端子
 80B 第2共通端子
 81、82 第1選択端子
 83、84 第2選択端子
 9 実装基板
 91 第1主面
 92 第2主面
 93 外周面
 95 グランド電極
 10 第1送信フィルタ
 10A 第1弾性波フィルタ
 11 第1主面
 12 第2主面
 111 第1機能面
 112 形成領域
 120 第1基板
 1201 第1主面
 1202 第2主面
 121 高音速部材
 122 低音速膜
 123 圧電体層
 125 接続端子
 126 接続端子
 13 外周面
 14 弾性波共振子
 14A 第1弾性波共振子
 14B 第3弾性波共振子
 15 第1入力端子
 16 第1出力端子
 17 グランド端子
 18 機能電極
 18A 第1機能電極
 181 第1電極指
 182 第2電極指
 183 第1バスバー
 184 第2バスバー
 19 反射器
 20 第2送信フィルタ
 20A 第2弾性波フィルタ
 21 第3主面
 22 第4主面
 211 第2機能面
 212 形成領域
 220 第2基板
 2201 第3主面
 2202 第4主面
 221 高音速部材
 222 低音速膜
 223 圧電体層
 23 外周面
 24 弾性波共振子
 24A 第2弾性波共振子
 24B 第4弾性波共振子
 25 第2入力端子
 26 第2出力端子
 27 グランド端子
 28 機能電極
 28A 第2機能電極
 281 第1電極指
 282 第2電極指
 283 第1バスバー
 284 第2バスバー
 29 反射器
 30 第3送信フィルタ
 35 第3入力端子
 36 第3出力端子
 40 第1受信フィルタ
 50 第2受信フィルタ
 100、100a、100b、100c 高周波モジュール
 101 第1パワーアンプ
 102 第2パワーアンプ
 103 第1出力整合回路
 104 第2出力整合回路
 105 第1整合回路
 106 第2整合回路
 107 第1ローノイズアンプ
 108 第2ローノイズアンプ
 109 第1入力整合回路
 110 第2入力整合回路
 124 電気絶縁膜
 128 レジスト層
 130 スペーサ部
 131 中空空間
 135 シールド電極
 137 グランド導体部
 138 空洞
 139 導電性接続部材
 140 電子部品
 141 出力端子
 142 出力端子
 143 共通入力端子
 150 樹脂層(第1樹脂層)
 160 金属電極層
 170 第2樹脂層
 177 空洞
 178 下部電極
 179 圧電体膜
 180 上部電極
 300 通信装置
 301 信号処理回路
 302 RF信号処理回路
 303 ベースバンド信号処理回路
 310 アンテナ
 A103 エリア
 A104 エリア
 D0 厚さ方向
 D1 第1方向
 D2 第2方向
 D3 厚さ方向
 DMS1 縦結合型共振子
 DMS2 縦結合型共振子
 H1 所定距離
 L5 インダクタ
 L6 インダクタ
 L9 インダクタ
 L10 インダクタ
 Ru1 信号経路(直列腕経路)
 Ru11 経路
 Ru12 経路
 Ru13 経路
 Ru2 信号経路(直列腕経路)
 Ru21 経路
 Ru22 経路
 Ru23 経路
 Ru24 経路
 S11~S14 直列腕共振子
 S21~S25 直列腕共振子
 P11~P13 並列腕共振子
 P21~P24 並列腕共振子
 R1 第1接続導体部
 ST1 弾性波装置
 T0 外部接続端子
 T1 第1信号入力端子
 T2 第2信号入力端子
 T3 アンテナ端子
 T4 第1信号出力端子
 T5 第2信号出力端子
 T6 第3信号出力端子
 T7 第4信号出力端子
 T8 外部グランド端子
 V0 ビア導体
 V7 グランドビア導体
 W10 配線部
 W11 第1配線部
 W12 第2配線部
 W13 第3配線部
 W14 第4配線部
 W15 第5配線部
 W16 第6配線部
 W17 第7配線部
 W20 配線部
 W21 第1配線部
 W22 第2配線部
 W23 第3配線部
 W24 第4配線部

Claims (20)

  1.  第1送信フィルタ及び第2送信フィルタを備え、前記第1送信フィルタと前記第2送信フィルタとがスタックされており、前記第1送信フィルタの第1機能面と前記第2送信フィルタの第2機能面とが所定距離隔てて対向配置されている弾性波装置であって、
     前記第1送信フィルタは、
      第1入力端子と、
      前記第1入力端子に最も近い第1弾性波共振子と、を有し、
     前記第2送信フィルタは、
      第2入力端子と、
      前記第2入力端子に最も近い第2弾性波共振子と、を有し、
     前記第1弾性波共振子は、前記第1機能面に形成されている第1機能電極を有し、
     前記第2弾性波共振子は、前記第2機能面に形成されている第2機能電極を有し、
    前記第2送信フィルタの厚さ方向からの平面視で、前記第1機能電極の形成領域及び前記第2機能電極の形成領域は互いに重ならない、
     弾性波装置。
  2.  前記第1送信フィルタは、前記第1弾性波共振子を有し第1通信バンドの周波数帯を含む通過帯域を有する第1弾性波フィルタを含み、
     前記第2送信フィルタは、前記第2弾性波共振子を有し第2通信バンドの周波数帯を含む通過帯域を有する第2弾性波フィルタを含み、
     前記第1通信バンドと前記第2通信バンドとは同時通信で利用可能な通信バンドである、
     請求項1に記載の弾性波装置。
  3.  前記第1通信バンドは、3GPP LTE規格のBand1、3GPP LTE規格のBand3、3GPP LTE規格のBand66、3GPP LTE規格のBand39又は3GPP LTE規格のBand40であり、
     前記第2通信バンドは、3GPP LTE規格のBand41である、
     請求項2に記載の弾性波装置。
  4.  前記第1通信バンドは、3GPP LTE規格のBand1、3GPP LTE規格のBand66、3GPP LTE規格のBand39又は3GPP LTE規格のBand40であり、
     前記第2通信バンドは、3GPP LTE規格のBand3である、
     請求項2に記載の弾性波装置。
  5.  前記第1送信フィルタは、前記第1弾性波共振子を含む複数の弾性波共振子を有するラダー型フィルタであり、
     前記第2送信フィルタは、前記第2弾性波共振子を含む複数の弾性波共振子を有するラダー型フィルタである、
     請求項1~4のいずれか一項に記載の弾性波装置。
  6.  前記第2送信フィルタの前記厚さ方向からの平面視で、前記第1送信フィルタの前記第1弾性波共振子は、前記第2送信フィルタの前記複数の弾性波共振子のうち前記第2弾性波共振子以外の少なくとも1つの弾性波共振子と重なる、
     請求項5に記載の弾性波装置。
  7.  前記第2送信フィルタは、出力端子を含み、
     前記第2送信フィルタの前記複数の弾性波共振子は、前記第2送信フィルタの前記出力端子に最も近い第4弾性波共振子を含み、
     前記第2送信フィルタの前記厚さ方向からの平面視で、前記第1弾性波共振子と前記第4弾性波共振子とが重なる、
     請求項6に記載の弾性波装置。
  8.  前記第2送信フィルタの前記厚さ方向からの平面視で、前記第2送信フィルタの前記第2弾性波共振子は、前記第1送信フィルタの前記複数の弾性波共振子のうち前記第1弾性波共振子以外の少なくとも1つの弾性波共振子と重なる、
     請求項5に記載の弾性波装置。
  9.  前記第1送信フィルタは、出力端子を含み、
     前記第1送信フィルタの前記複数の弾性波共振子は、前記第1送信フィルタの前記出力端子に最も近い第3弾性波共振子を含み、
     前記第2送信フィルタの前記厚さ方向からの平面視で、前記第2弾性波共振子と前記第3弾性波共振子とが重なる、
     請求項8に記載の弾性波装置。
  10.  前記第1送信フィルタは、第1出力端子を含み、
     前記第2送信フィルタは、第2出力端子を含み、
     前記第1送信フィルタは、前記第1送信フィルタの前記第1出力端子に最も近い第3弾性波共振子を含み、
     前記第2送信フィルタは、前記第2送信フィルタの前記第2出力端子に最も近い第4弾性波共振子を含み、
     前記第2送信フィルタの前記厚さ方向からの平面視で、前記第3弾性波共振子及び前記第4弾性波共振子は互いに重なる、
     請求項1又は2に記載の弾性波装置。
  11.  前記第1弾性波共振子及び前記第2弾性波共振子の各々は、SAW共振子である、
     請求項1~10のいずれか一項に記載の弾性波装置。
  12.  前記第1弾性波共振子及び前記第2弾性波共振子の各々は、BAW共振子である、
     請求項1~10のいずれか一項に記載の弾性波装置。
  13.  主面を有する実装基板と、
     前記実装基板の前記主面に配置されている、請求項1~12のいずれか一項に記載の弾性波装置と、を備える、
     高周波モジュール。
  14.  前記実装基板の前記主面上に配置されており、前記第1送信フィルタの外周面の少なくとも一部及び前記第2送信フィルタの外周面の少なくとも一部を覆っている樹脂層と、
     前記樹脂層の少なくとも一部を覆っている金属電極層と、を更に備え、
     前記金属電極層は、前記第2送信フィルタにおける前記第1送信フィルタ側とは反対側の主面に接している、
     請求項13に記載の高周波モジュール。
  15.  前記弾性波装置は、
      前記第2送信フィルタの前記厚さ方向において前記第1送信フィルタと前記第2送信フィルタとの間に介在するスペーサ部と、
      前記第1送信フィルタと前記第2送信フィルタと前記スペーサ部とで囲まれた中空空間に配置されているシールド電極と、を更に備え、
     前記第1送信フィルタは、
      前記第1機能面を有する第1基板を含み
    を含み、
     前記第2送信フィルタは、
      前記第2機能面を有する第2基板を含み、
     前記シールド電極は、前記第2送信フィルタの前記厚さ方向において前記第2弾性波共振子の前記第2機能電極に重なり、
     前記弾性波装置は、前記シールド電極と前記第2機能電極との間に空洞を有し、
     前記実装基板は、前記シールド電極が接続されているグランド電極を更に有する、
     請求項13又は14のいずれか一項に記載の高周波モジュール。
  16.  前記第2送信フィルタの前記厚さ方向からの平面視で、前記グランド電極は、前記第1弾性波共振子と重なる、
     請求項15に記載の高周波モジュール。
  17.  前記弾性波装置は、
      前記第2送信フィルタの前記厚さ方向において前記第1送信フィルタと前記第2送信フィルタとの間に位置し、前記第1送信フィルタと前記第2送信フィルタとを接続しているグランド導体部を更に備え、
     前記第2送信フィルタは、グランド端子を更に有し、
     前記第1送信フィルタは、前記第1基板の厚さ方向に貫通しており、前記グランド導体部を介して前記グランド端子に接続されているビア導体を更に含み、
     前記ビア導体は、前記グランド電極に接続されている、
     請求項15又は16に記載の高周波モジュール。
  18.  実装基板と、
     前記実装基板に配置されている第1送信フィルタと、
     前記実装基板と接続された導電性接続部材を介して前記第1送信フィルタ上に配置されている第2送信フィルタと、を備え、
     前記第1送信フィルタは、
      第1パワーアンプに接続される第1入力端子と、
      前記第1入力端子に最も近い第1弾性波共振子と、を有し、
     前記第2送信フィルタは、
      第2パワーアンプに接続される第2入力端子と、
      前記第2入力端子に最も近い第2弾性波共振子と、を有し、
     前記第1弾性波共振子は、第1機能面に形成されている第1機能電極を有し、
     前記第2弾性波共振子は、第2機能面に形成されている第2機能電極を有し、
     前記第2送信フィルタは、前記第2送信フィルタの厚さ方向において前記第1送信フィルタに対向配置されており、
     前記第2送信フィルタの前記厚さ方向からの平面視で、前記第1機能電極の形成領域及び前記第2機能電極の形成領域は互いに重ならない、
     高周波モジュール。
  19.  前記第1機能電極の形成領域と前記第2機能電極の形成領域とは対向しない、
     請求項18に記載の高周波モジュール。
  20.  請求項13~19のいずれか一項に記載の高周波モジュールと、
     前記高周波モジュールに接続されている信号処理回路と、を備える、
     通信装置。
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