WO2023096242A1 - 프로브 카드 - Google Patents

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WO2023096242A1
WO2023096242A1 PCT/KR2022/017892 KR2022017892W WO2023096242A1 WO 2023096242 A1 WO2023096242 A1 WO 2023096242A1 KR 2022017892 W KR2022017892 W KR 2022017892W WO 2023096242 A1 WO2023096242 A1 WO 2023096242A1
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guide
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probe pin
disposed
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PCT/KR2022/017892
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안승배
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주식회사 티에스이
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    • G01R31/2806—Apparatus therefor, e.g. test stations, drivers, analysers, conveyors
    • G01R31/2808—Holding, conveying or contacting devices, e.g. test adapters, edge connectors, extender boards

Definitions

  • Various embodiments of the present disclosure relate to a probe card.
  • a probe card is an interface that electrically connects a tester and an object under test in electrical die sorting (EDS) for inspecting electrical characteristics of an object under test.
  • the probe card includes probe pins that directly contact pads (eg, connection terminals for external signals) of the object to be inspected to transmit and receive electrical signals.
  • a probe card arranges probe pins in a slit guide including a slit. Probe pins are disposed horizontally in the slit, one end of the probe pin contacts a pad of an object to be inspected, and the other end of the probe pin contacts a tester to be electrically connected.
  • the probe card of the conventional slit arrangement method has a disadvantage in that the pressing distance of the probe pin (for example, the distance that the probe pin can move in a direction perpendicular to one surface of the object to be inspected) is limited. Since a part of the probe pins of the conventional probe card are disposed in the slit, the pressing distance may be formed only by a distance minus the distance at which the probe pins are disposed from the depth of the slit. In addition, in the conventional probe card, a separation distance must be maintained so that the lower end of the slit guide and the probe pin do not come into contact, and since the upper end of the slit guide must not come into contact with the object to be inspected, it is difficult to form a long pressing distance of the probe pin.
  • a probe card according to various embodiments of the present disclosure may provide a probe card with an improved pressing distance.
  • a probe card includes a probe pin electrically connected to an object under test and a printed circuit board; a guide unit disposed outside the circumference of the probe pin and including a guide opening into which one end and the other end of the probe pin are inserted, and a space in which at least a part of the probe pin is disposed; and a side guide part disposed in the space part of the guide part at one side and the other side of the probe pin, and including a side guide opening into which at least a part of the probe pin is inserted, wherein the probe pin includes one end of the probe pin and the other end of the probe pin.
  • Two probe tips formed symmetrically at the other end and contacting the subject and the printed circuit board, respectively; a support portion extending from each of the two probe tips and having a length in a longitudinal direction longer than a width of the guide opening; and two outer extension parts extending from the one support part to the other support part and formed symmetrically with respect to an imaginary straight line connecting the two probe tips, each of the outer extension parts having at least a portion thereof. includes a bending region spaced apart from the center point of the imaginary straight line in a direction perpendicular to the imaginary straight line, and when an external force is applied to the probe tip, the probe tip moves along the imaginary straight line this could be possible
  • a probe card arranges two probe tips in a straight line with the moving direction of the probe tips, and includes an extension part including a bending area in at least a portion so that the probe tips can be moved elastically.
  • the pressing distance of the probe pin can be formed long.
  • FIGS. 1A and 1B are diagrams illustrating a probe card according to the prior art.
  • FIGS. 2A and 2B are diagrams illustrating a probe block disposed for inspecting a display panel.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating a probe card according to various embodiments of the present disclosure.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a guide unit according to various embodiments of the present disclosure.
  • FIG. 5 is a view showing a side guide part according to various embodiments of the present disclosure.
  • FIG. 6 is a view showing the inside of a probe card according to various embodiments of the present disclosure.
  • FIG. 1A is a perspective view showing a probe card 10 according to the prior art.
  • FIG. 1B is a view showing the first contact portion 110 of the probe card 10 according to the prior art shown in FIG. 1A.
  • a probe card 10 may include a probe pin 100 and a guide part 200 .
  • the first direction may mean a negative z-axis direction
  • the second direction may mean a positive z-axis direction
  • the third direction may mean a negative x-axis direction
  • the fourth direction may mean a positive x-axis direction.
  • a probe pin 100 may include a first contact portion 110 and a second contact portion 120 .
  • the probe pin 100 is in contact with a test object (eg, a contact pad (not shown) of a display panel (not shown)) at the first contact part 110, and a printed circuit board (not shown) at the second contact part 120. may come into contact with).
  • a test object eg, a contact pad (not shown) of a display panel (not shown)
  • a printed circuit board not shown
  • a probe pin 100 may be disposed on a guide part 200 .
  • the guide part 200 may include a guide groove 210 in which the probe pin 100 may be disposed.
  • the guide part 200 may include a plurality of guide grooves 210 .
  • the probe pin 100 may be disposed in the guide groove 210 of the guide part 200 .
  • the guide groove 210 of the guide unit 200 may have a depth as much as the first length (L1).
  • the probe pin 100 according to the prior art may have a width equal to the second length L2.
  • the first contact portion 110 of the probe pin 100 is extended by a length excluding the second length L2 from the first length L1. Movement in a first direction (eg, a negative z-axis direction) may be possible.
  • the probe pin 100 moves to the lower end of the groove of the guide groove 210.
  • Contact with 230 may cause damage to the probe pin 100 .
  • the separation distance L3 between the probe pin 100 and the lower groove portion 230 is set to a predetermined distance or more in order to prevent contact between the probe pin 100 and the lower portion 230 of the groove. can keep
  • the guide upper end 220 may directly contact an object to be inspected (not shown).
  • a test object directly contacts the guide upper end 220, damage may occur to the test object (not shown), so the first contact portion 110 is directed in a first direction (eg, negative z-axis direction). may not move beyond a predetermined distance.
  • the first contact tip 111 of the probe pin 100 may be worn by repeatedly contacting an object to be inspected (not shown). When the first contact tip 111 is worn, the distance that the first contact portion 110 of the probe pin 100 can move in the first direction (eg, the negative z-axis direction) may be further reduced.
  • the probe pin 100 is disposed in the guide groove 210 so that the movable distance of the first contact part 110 in the first direction (eg, in the negative z-axis direction) is limited.
  • the depth of the guide groove 210 eg, the first length L1
  • the width of the probe pin 100 eg, the second length L2
  • the distance between the lower part of the groove 230 and the probe pin 100 (eg, the third length L3) must be greater than or equal to a predetermined distance, and the upper part of the guide 220 and the subject (not shown) Since the first contact portion 110 can move only by a distance that cannot be directly contacted, it is difficult to form a long movable distance of the first contact portion 110 .
  • FIG. 2A is a diagram illustrating the probe block 40 disposed to inspect the first display panel D1.
  • 2B is a diagram illustrating the probe block 40 disposed to inspect the second display panel D2.
  • a probe unit 50 may mean a probe device to which a plurality of probe blocks 40 are connected.
  • the probe block 40 may be used for electrical die sorting (EDS) of an object under test (not shown). Inspection objects (not shown) to be tested for electrical characteristics may be display panels D1 and D2.
  • EDS electrical die sorting
  • the probe block 40 may include a plurality of probe cards 30 (see FIG. 3 ).
  • the probe block 40 may include a plurality of probe pins 300 (see FIG. 3 ) including a plurality of probe cards 30 (see FIG. 3 ).
  • Each of the plurality of probe pins 300 (see FIG. 3) included in the probe block 40 contacts the first display panel D1 or the second display panel D2 at one end of the probe pin 300 (see FIG. 3). It may be electrically connected by being in contact with a pad (not shown).
  • Each of the plurality of probe pins 300 (see FIG. 3) may contact and electrically connect to a printed circuit board (not shown) at the other end of the probe pin 300 (see FIG. 3).
  • the first display panel D1 shown in FIG. 2A may be a display panel used in a large-sized television.
  • the first display panel D1 may include a contact pad (not shown) at an edge of the first display panel D1 (eg, one side of four sides of the first display panel D1).
  • a plurality of probe blocks 40 and a probe unit 50 connected to the plurality of probe blocks 40 may be disposed on each side of the first display panel D1 .
  • a plurality of probe blocks 40 and a plurality of probe blocks 40 are connected to one side of each of the four sides of the rectangle, respectively. ) can be placed.
  • the second display panel D2 shown in FIG. 2B may be a display panel used in a mobile phone or a laptop computer.
  • the second display panel D2 may include a plurality of unit cell panels D21.
  • Each of the plurality of unit cell panels D21 may include a contact pad (not shown).
  • the probe block 40 may contact and electrically connect to a contact pad (not shown) of the unit cell panel D21.
  • the position of the second display panel D2 may be moved, and as the second display panel D2 is moved, contact between each unit cell panel D21 and the probe block 40 may be made.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating a probe card 30 according to various embodiments of the present disclosure.
  • a probe card 30 may include a probe pin 300 , a guide unit 400 and/or a side guide unit 500 .
  • the probe pin 300 may include a probe tip 310 , a support part 320 , an outer extension part 330 and/or an inner extension part 340 .
  • a first direction may mean a negative z-axis direction
  • a second direction may mean a positive z-axis direction
  • the third direction may mean a negative x-axis direction
  • the fourth direction may mean a positive x-axis direction.
  • the probe tip 310 may include a first probe tip 311 and a second probe tip 312 .
  • the first probe tip 311 may be formed at one end of the probe pin 300 and the second probe tip 312 may be formed at the other end of the probe pin 300 .
  • the first probe tip 311 and the second probe tip 312 may be formed in a mutually symmetrical shape.
  • One end of the first probe tip 311 may contact and electrically connect to a target object (not shown).
  • the object to be inspected (not shown) may be a display panel (not shown), and the first probe tip 311 may contact a contact pad (not shown) of the display panel (not shown).
  • the second probe tip 312 may be electrically connected by contacting a printed circuit board (not shown) at one end.
  • the support part 320 may be formed at the other end of the probe tip 310 .
  • the support part 320 may include a first support part 321 and a second support part 322 .
  • the first support part 321 may be formed at the other end of the first probe tip 311 .
  • the second support part 322 may be formed at the other end of the second probe tip 312 .
  • the first support part 321 and the second support part 322 may be formed in a rod shape having a length in a longitudinal direction (eg, a negative x-axis direction).
  • the length of the first support part 321 and the second support part 322 in the longitudinal direction is longer than the width (eg, length in the negative x-axis direction) of the guide opening 410 (see FIG. 4), so that the entire probe pin 300 is formed. Movement through the guide opening 410 (see FIG. 4) may be prevented.
  • an imaginary straight line A-A connecting the first probe tip 311 and the second probe tip 312 may be defined.
  • a point located in the middle of the straight line distance between the first support part 321 and the second support part 322 may be defined as the center point M of the imaginary straight line A-A.
  • the probe pin 300 may be bent and extended.
  • the probe pin 300 may form a bending area 331 and an inner bending area 341 formed by bending the probe pin 300 .
  • the bending area 331 and the inner bending area 341 may be spaced apart from the center point M of the imaginary straight line A-A in a direction perpendicular to the imaginary straight line.
  • the two bending areas 331 may be formed at symmetric positions based on the imaginary straight line A-A.
  • the two inner bending areas 341 may be spaced apart from each other in a direction toward an imaginary straight line A-A in the two bending areas 331 .
  • the outer extension 330 may be formed in a symmetrical shape based on an imaginary straight line A-A.
  • the outer extension part 330 may be connected to one side and the other side of the support part 320 .
  • one outer extension part 330 may extend from one side of the first support part 321 and be connected to one side of the second support part 322 .
  • the other outer extension part 330 may extend from the other side of the first support part 321 and be connected to the other side of the second support part 322 .
  • the outer extension 330 may include a bending region 331 at least in part.
  • the bending area 331 may be formed by bending at least a portion of the outer extension 330 in a curved shape.
  • one outer extension part 330 extends from one side of the first support part 321 to the bending area 331, and after being bent in the bending area 331, one side of the second support part 322. can be connected to
  • the other outer extension portion 330 extends from the other side of the first support portion 321 to the bending area 331, and may be bent in the bending area 331 and connected to the other side of the second support portion 322.
  • one outer extension part 330 extends from one side of the first support part 321 in a first direction (eg, a negative z-axis direction) and a third direction (eg, a negative x-axis direction).
  • first direction eg, a negative z-axis direction
  • second support portion 322 extends in the first direction (eg, the negative z-axis direction) and the fourth direction (eg, the positive x-axis direction) in the bending region 331. ) can be connected to one side of.
  • the other outer extension portion 330 extends from the other side of the first support portion 321 in a first direction (eg, a negative z-axis direction) and a fourth direction (eg, a positive x-axis direction) to a bending area ( 331), it extends from the bending area 331 in the first direction (eg, the negative z-axis direction) and in the third direction (eg, the negative x-axis direction) to be connected to the other side of the second support part 322.
  • a first direction eg, a negative z-axis direction
  • a fourth direction eg, a positive x-axis direction
  • each of the outer extensions 330 may be formed while being bent in a direction toward an imaginary straight line A-A.
  • the outer extension part 330 is not connected in a straight line from the support part 320 to the bending area 331, but inside (eg, the inner extension part 340 relative to the outer extension part 330). It may be bent and extended in a direction toward the direction in which is located). Since the outer extension part 330 is bent, the first probe tip 311 may be easily moved in the first and second directions.
  • the central area 323 of the support part 320 may mean an area located at the center of the support part 320 with respect to the length direction (eg, negative x-axis direction) of the support part 320 .
  • the inner extension part 340 may be connected to the central region 323 of the support part 320 .
  • two inner extensions 340 may be formed symmetrically with respect to an imaginary straight line A-A.
  • Each of the two inner extensions 340 may be connected at the central region 323 of the support 320 .
  • Each of the two inner extensions 340 may be spaced apart from the outer extension 330 in a direction toward an imaginary straight line A-A.
  • the inner extension 340 may include an inner bending region 341 at least in part.
  • the inner bending region 341 may be formed by bending at least a portion of the inner extension 340 in a curved shape. Referring to FIG. 3 , the two inner extension parts 340 extend from the central area 323 of the first support part 321 to the inner bending area 341, and after being bent in the inner bending area 341, the second inner extension part 340 is formed. It may be connected to the central area 323 of the support part 322 .
  • one inner extension part 340 is provided in a first direction (eg, a negative z-axis direction) and a third direction (eg, a negative x-axis direction) in the central region 323 of the first support part 321 .
  • axial direction and is bent in the inner bending region 341, and then extends in the first direction (eg, negative z-axis direction) and fourth direction (eg, positive x-axis direction) in the inner bending region 341 and may be connected to the central region 323 of the second support part 322 .
  • the other inner extension part 340 extends from the central region 323 of the first support part 321 in a first direction (eg, a negative z-axis direction) and a fourth direction (eg, a positive x-axis direction).
  • a first direction eg, a negative z-axis direction
  • a fourth direction eg, a positive x-axis direction
  • the second support portion extends in the first direction (eg, the negative z-axis direction) and the third direction (eg, the negative x-axis direction) in the inner bending region 341 ( 322) may be connected to the central region 323.
  • Each of the inner extensions 340 may be formed while being bent in a direction toward an imaginary straight line A-A.
  • the inner extension part 340 is not connected in a straight line from the support part 320 to the inner bending area 341, but the inner part (eg, the outer extension part 330 based on the inner extension part 340). direction opposite to the direction in which it is located) and can be bent and extended.
  • the probe card 30 may include a vertical structure.
  • the first probe tip 311 and the second probe tip 312 of the probe pin 300 are arranged in a straight line with the moving direction of the first probe tip 311, and the bending area 331 and the inner bending It may refer to a structure in which the area 341 is disposed perpendicular to the moving direction of the first probe tip 311 .
  • the first probe tip 311 and the second probe tip 312 are disposed on an imaginary straight line A-A, and the first probe tip 311 is an imaginary straight line A-A. ) in a first direction (eg, a negative z-axis direction).
  • the bending area 331 and the inner bending area 341 are disposed at a position perpendicular to an imaginary straight line A-A connecting the first probe tip 311 and the second probe tip 312 .
  • the probe tip 310 when an external force is applied to the probe tip 310, the probe tip 310 may move in a first direction or a second direction.
  • the first probe tip 311 moves in a first direction (eg, a negative z-axis direction) or a second direction along an imaginary straight line A-A. (e.g., the positive z-axis direction) may be moved.
  • the bending area 331 of the outer extension part 330 or the inner bending area 341 of the inner extension part 340 elastically bends the third direction or in the fourth direction, and accordingly, the first probe tip 311 may move in the first direction.
  • the first probe tip 311 of the probe pin 300 has a first contact portion 110 (see FIG. 1A) of the prior art probe pin 100 (see FIG. 1A). direction and may move longer in the second direction.
  • the probe pin (100, see FIG. 1a) according to the prior art is disposed in the guide groove (210, see FIG. 1a) of the guide unit (200, see FIG. 1a) to limit the movement distance, but according to various embodiments of the present disclosure
  • the probe pin 300 may move longer in the first and second directions including a vertical structure.
  • the guide unit 400 includes a guide opening 410 (see FIG. 4), a guide block 420, a space unit 430 (see FIG. 6) and/or a seating unit 440 (see FIG. 6). ) may be included.
  • the guide part 400 provides a space into which the probe tip 310 can be inserted, and guides the position of the probe tip 310 at least in part.
  • the guide part 400 is disposed at a position where the first probe tip 311 and the second probe tip 312 are formed, so that the first probe tip 311 and the second probe tip 312 move. can serve as a guide.
  • the support part 320 of the probe pin 300 may be disposed on one surface of the guide block 420 .
  • the first support 321 may be disposed on one surface of the guide block 420 into which the first probe tip 311 is inserted, and the second probe tip 312 is inserted into the guide block 420.
  • a second support part 322 may be disposed on one surface.
  • side guides eg, in the negative x-axis direction of the probe pin 300
  • the other side eg, in the positive x-axis direction of the probe pin 300
  • the side guide part 500 is disposed at a position where the bending area 331 of the probe pin 300 is formed, and may provide a space into which the bending area 331 can be inserted at least in part.
  • the side guide portion 500 has a length in a first direction (eg, a negative z-axis direction), and may include a side guide opening 510 (see FIG. 5 ) into which a bending area 331 may be inserted. .
  • the bending area 331 of the outer extension 330 may be inserted into the side guide opening 510 (see FIG. 5 ) included in the side guide portion 500 so that the position of the probe pin 300 may be fixed.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a guide unit 400 according to various embodiments of the present disclosure.
  • FIG. 4 is a view showing a cross-section of the guide portion 400 when a portion of the guide portion 400 shown in FIG. 3 is cut parallel to a third direction (eg, the negative x-axis direction of FIG. 3 ).
  • the guide portion 400 may include a guide opening 410, a guide block 420, a space portion 430 (see FIG. 6), and/or a seating portion 440 (see FIG. 6). .
  • the guide block 420 may include a first guide block 421 and a second guide block 422 .
  • a second guide block 422 may be disposed at one end of the first guide block 421 .
  • the first guide block 421 may include a guide opening 410 .
  • a guide opening 410 may be formed at one end of the first guide block 421 .
  • the guide opening 410 may be formed in a form in which three sides are surrounded by a first guide block 421 and the other side is surrounded by one end of a second guide block 422 .
  • the length direction of the guide opening 410 is defined as a direction in which the length of the guide opening 410 is relatively long, and the width direction of the guide opening 410 is defined as a direction in which the length of the guide opening 410 is relatively long. It can be defined as a small formed direction.
  • the probe tip 310 may be inserted into the guide opening 410 .
  • the length of the guide opening 410 in the longitudinal direction may be longer than the length of the probe tip 310 in the longitudinal direction so that the probe tip 310 can be inserted into the guide opening 410 .
  • the length of the guide opening 410 in the width direction may be longer than that of the probe tip 310 in the width direction.
  • One end of the first guide block 421 may be formed to surround the guide opening 410 from three sides.
  • the first guide block 421 has a shape in which a part of the first guide block 421 at one end of the first guide block 421 is depressed in the opposite direction to the position where the second guide block 422 is disposed. It may be formed to surround the guide opening 410 on three sides.
  • the first guide block 421 may be disposed such that one end of the first guide block 421 contacts the second guide block 422 .
  • the second guide block 422 may be disposed such that one end of the second guide block 422 contacts a portion of the first guide block 421 . At least a portion of the second guide block 422 may be positioned to surround the guide opening 410 on one side. Referring to FIG. 4 , the second guide block 422 may come into contact with at least a portion of the first guide block 421 at one end and surround one surface of the guide opening 410 .
  • FIG. 5 is a view showing a side guide part 500 according to various embodiments of the present disclosure.
  • FIG. 5 is a view showing a cross-section of the side guide part 500 when a part of the side guide part 500 shown in FIG. 3 is cut parallel to a first direction (eg, the negative z-axis direction of FIG. 3). .
  • the side guide portion 500 may include a side guide opening 510 into which at least a portion of the probe pin 300 (see FIG. 3 ) is inserted.
  • the bending region 331 of the probe pin 300 may be inserted into the side guide opening 510 .
  • the side guide opening 510 may be formed in a rectangular shape, but is not limited thereto.
  • the side guide opening 510 may include various shapes.
  • the side guide portion 500 may include a plurality of side guide openings 510 .
  • the plurality of side guide openings 510 may be disposed on the side guide part 500 at predetermined intervals.
  • the side guide part 500 may serve to prevent distortion of the probe pin 300 (see FIG. 3 ) when an external force is applied to the probe pin 300 (see FIG. 3 ).
  • at least a portion (eg, a bending area 331) of the probe pin 300 (see FIG. 3) is disposed in the side guide opening 510 of the side guide portion 500, and the probe pin 300 (see FIG. 3) Reference) can maintain a flat state without being twisted even when an external force is applied to the probe pin (300, see FIG. 3).
  • the side guide part 500 may serve to fix a position so that the plurality of probe pins 300 (see FIG. 3) do not come into contact with each other. At least a portion (eg, a bending area 331) of the plurality of probe pins 300 (see FIG. 3) is disposed in each of the plurality of side guide openings 510 to position the plurality of probe pins 300 (see FIG. 3). can be fixed.
  • the side guide part 500 may serve to support the probe pin 300 (see FIG. 3 ) when an external force is applied to the probe pin 300 (see FIG. 3 ). For example, when an external force is applied to the probe pin 300 (see FIG. 3), one side of the bending region 331 of the probe pin 300 (see FIG. 3) and at least a portion of the side guide opening 510 contact A probe pin 300 (see FIG. 3) may be supported.
  • FIG. 6 is a view showing the inside of the probe card 30 according to various embodiments of the present disclosure.
  • a probe card 30 may include a probe pin 300 and a guide part 400 .
  • the probe pin 300 may include a probe tip 310 , a support part 320 , an outer extension part 330 and/or an inner extension part 340 .
  • a first direction may mean a negative z-axis direction
  • a second direction may mean a positive z-axis direction
  • the third direction may mean a negative x-axis direction
  • the fourth direction may mean a positive x-axis direction
  • the fifth direction may mean a negative y-axis direction
  • the sixth direction may mean a positive y-axis direction.
  • the probe tip 310 may include a first probe tip 311 and a second probe tip 312 .
  • One end of the first probe tip 311 may contact an object to be inspected (eg, a display panel), and one end of the second probe tip 312 may contact a printed circuit board.
  • a first support part 321 may be positioned at the other end of the first probe tip 311 .
  • the outer extension part 330 may be connected to one side and the other side of the first support part 321 .
  • the inner extension part 340 may be connected to the central area 323 of the first support part 321 .
  • the outer extension part 330 may extend from one side and the other side of the first support part 321 to one side and the other side of the second support part 322 .
  • the outer extension part 330 may include a bending area 331 at least in part.
  • a point located in the middle of the straight line distance between the first support part 321 and the second support part 322 may be defined as the center point M of the imaginary straight line A-A.
  • the bending area 331 may be spaced apart from the center point M of the imaginary straight line A-A in a direction perpendicular to the imaginary straight line A-A.
  • the two bending areas 331 may be formed at symmetric positions based on the imaginary straight line A-A.
  • one bending region 331 is spaced apart from the first probe tip 311 in a first direction (eg, a negative z-axis direction) and a third direction (eg, a negative x-axis direction). can be formed in place.
  • the other bending region 331 is formed at a position spaced apart from the first probe tip 311 in a first direction (eg, a negative z-axis direction) and a fourth direction (eg, a positive x-axis direction). It can be.
  • the two outer extension parts 330 may be formed symmetrically based on an imaginary straight line A-A connecting the first probe tip 311 and the second probe tip 312 .
  • the outer extension 330 may be bent and extended in a direction toward an imaginary straight line A-A.
  • the outer extension part 330 is not connected in a straight line from the support part 320 to the bending area 331, but inside (eg, the inner extension part 340 is located relative to the outer extension part 330). direction) can be bent and extended.
  • the inner extension part 340 may extend from the central area 323 of the first support part 321 and be connected to the central area 323 of the second support part 322 .
  • the inner extension part 340 may be connected to the inner bending area 341 at least in part.
  • the inner bending area 341 may be spaced apart from the center point M of the imaginary straight line A-A in a direction perpendicular to the imaginary straight line A-A.
  • the two inner bending regions 341 may be formed at symmetric positions based on the imaginary straight line A-A.
  • one inner bending region 341 is spaced apart from the first probe tip 311 in a first direction (eg, a negative z-axis direction) and a third direction (eg, a negative x-axis direction). can be formed at the location.
  • the other inner bending region 341 is spaced apart from the first probe tip 311 in a first direction (eg, a negative z-axis direction) and a fourth direction (eg, a positive x-axis direction). can be formed
  • the two inner bending areas 341 may be spaced apart from each other in a direction toward the imaginary straight line A-A in the two bending areas 331 .
  • the two inner bending regions 341 are spaced apart from the two bending regions 331 in a third direction (eg, a negative x-axis direction) and a fourth direction (eg, a positive x-axis direction). can be located
  • Two inner extension parts 340 may be formed in a symmetrical shape based on an imaginary straight line A-A connecting the first probe tip 311 and the second probe tip 312 .
  • the inner extension 340 may be bent and extended in a direction toward an imaginary straight line A-A.
  • the inner extension part 340 is not connected in a straight line from the support part 320 to the inner bending area 341, but the inner part (eg, the outer extension part 330 based on the inner extension part 340). direction opposite to the direction in which it is located) and can be bent and extended.
  • the guide part 400 may include a guide opening 410 , a guide block 420 , a space part 430 , and/or a seating part 440 .
  • the guide part 400 may be disposed outside the circumference of the probe pin 300 .
  • the guide part 400 may include guide openings 410 into which probe tips 310 formed at one end and the other end of the probe pin 300 are inserted.
  • the guide opening 410 may provide a space into which the probe tip 310 may be inserted.
  • the guide opening 410 may have an opening shape having a length in a first direction (eg, a negative z-axis direction), and the probe tip 310 may be disposed inside the guide opening 410 .
  • the probe tip 310 may be inserted into the guide opening 410 and at least a portion of the probe tip 310 may protrude in a direction away from the guide opening 410 .
  • at least a portion of the first probe tip 311 and the second probe tip 312 may protrude in a direction away from the guide opening 410 .
  • the guide block 420 may include a first guide block 421 and a second guide block 422 .
  • the first guide block 421 may be disposed in one direction (eg, a negative x-axis direction) of the probe pin 300
  • the second guide block 422 may be disposed in the other direction (eg, a negative x-axis direction) of the probe pin 300. positive x-axis direction).
  • the first guide block 421 may be disposed on one side of the first probe tip 311 and one side of the second probe tip 312
  • the second guide block 422 may be disposed on the other side of the first probe tip 311 and the other side of the second probe tip 312 .
  • the first guide block 421 may contact the second guide block 422 at one end of the first guide block 421 (eg, one end located in the positive x-axis direction of the first guide block 421). .
  • At least a part of the first guide block 421 may include a guide opening 410 .
  • the guide opening 410 is formed at one end of the first guide block 421 and may be formed in a form in which one surface is surrounded by the second guide block 422 .
  • the guide part 400 may include a space part 430 in which at least a portion of the probe pin 300 may be disposed.
  • a space 430 in which the probe pin 300 can be disposed may be formed in at least a portion of the first guide block 421 and the second guide block 422 .
  • the first guide block 421 and the second guide block 422 form a space 430 at one side of each, and may extend in a first direction (eg, a negative z-axis direction).
  • the space part 430 may form an empty space in which the probe pin 300 can be disposed, and the outer extension part 330 and the inner extension part of the probe pin 300 are formed in the empty space formed in the space part 430 .
  • 340 may be placed.
  • the guide part 400 may include a seating part 440 on which the support part 320 of the probe pin 300 is disposed.
  • the seating portion 440 may be formed in a stepped shape at one end of the first guide block 421 and the second guide block 422 .
  • a portion of the seating portion 440 is directed toward the first guide block 421 in the fourth direction (eg, the positive x-axis). direction), then bent and extended in a first direction (eg, a negative z-axis direction), and then bent and extended in a fourth direction (eg, a positive x-axis direction).
  • the rest of the seating portion 440 is moved by the second guide block 422 in the third direction (eg, the negative x-axis direction). It may be formed by being extended, then bent and extended in a first direction (eg, a negative z-axis direction), and then bent and extended in a third direction (eg, a negative x-axis direction).
  • the support part 320 may be formed in a rod shape having a length in a longitudinal direction (eg, a positive x-axis direction) of the support part 320 .
  • the support part 320 is disposed on the seating part 440, one surface of the support part 320 may be connected to the probe tip 310, and the other surface may be connected to the outer extension part 330 and the inner extension part 340.
  • the length of the support portion 320 in the longitudinal direction is smaller than the width of the seating portion 440 (eg, the length of the seating portion 440 in the positive x-axis direction), so that the support portion 320 is It may be disposed on the seating part 440 .
  • the length of the support part 320 in the longitudinal direction is longer than the width of the guide opening 410 (eg, the length of the guide opening 410 in the positive x-axis direction). It is possible to prevent the support part 320 from being inserted into the guide opening 410 . Insertion of the support part 320 into the guide opening 410 is prevented, and thus the whole probe pin 300 can be prevented from being inserted into the guide opening 410 and being moved.
  • the probe card 30 may include a plurality of probe pins 300 .
  • the plurality of probe pins 300 may be arranged at predetermined intervals along the fifth direction (eg, the negative y-axis direction) and the sixth direction (eg, the positive y-axis direction).
  • the side guide part 500 (see FIG. 5 ) is one side (eg, the negative x-axis direction of the probe pin 300) and the other side (eg, the probe pin 300) of the probe pin 300. It may be disposed in the space part 430 of the guide part 400 in the positive x-axis direction).
  • the side guide part 500 may include a plurality of side guide openings 510 (see FIG. 5 ). Each of the bending regions 331 of the plurality of probe pins 300 may be disposed in the side guide opening 510 (see FIG. 5 ) of the side guide part 500 (see FIG. 5 ).

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Abstract

본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드는 프로브 핀; 및 상기 프로브 핀의 둘레 외곽에 배치되며, 상기 프로브 핀의 일단과 타단이 삽입되는 가이드 개구 및 상기 프로브 핀의 적어도 일부가 배치되는 공간부를 포함하는 가이드부;를 포함하며, 상기 프로브 핀은 상기 프로브 핀의 일단 및 타단에 대칭되게 형성되며, 피검사체 및 인쇄 회로 기판과 각각 접촉하는 2개의 프로브 팁; 상기 2개의 프로브 팁 각각으로부터 연장 형성되며, 길이 방향 길이가 상기 가이드 개구의 폭보다 길게 형성되는 지지부; 상기 하나의 지지부에서 상기 나머지 하나의 지지부로 연장되며, 상기 2개의 프로브 팁을 연결하는 가상의 직선을 기준으로 대칭되게 형성되는 2개의 외측 연장부;를 포함할 수 있다.

Description

프로브 카드
본 개시의 다양한 실시예들은 프로브 카드에 관한 것이다.
프로브 카드(probe card)는 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 전기적 특성 검사(EDS: electrical die sorting)에서 테스터(tester)와 피검사체를 전기적으로 연결시키는 인터페이스이다. 프로브 카드는 피검사체의 패드(예를 들어, 외부 신호의 접속 단자)와 직접 접촉하여 전기적 신호를 주고 받는 프로브 핀을 포함한다.
종래 기술에 따른 프로브 카드는 슬릿(slit)을 포함하는 슬릿 가이드에 프로브 핀을 배치한다. 프로브 핀은 슬릿에 수평으로 배치되며, 프로브 핀의 일단에서 피검사체의 패드와 접촉하고, 프로브 핀의 타단에서 테스터와 접촉하여 전기적으로 연결된다.
종래의 슬릿 배치 방식의 프로브 카드는 프로브 핀의 눌림 거리(예를 들어, 프로브 핀이 피검사체의 일면과 수직한 방향으로 이동할 수 있는 거리)가 제한되는 단점이 있다. 종래의 프로브 카드는 프로브 핀의 일부가 슬릿에 배치되므로, 슬릿의 깊이에서 프로브 핀이 배치된 거리를 제외한 거리만큼만 눌림 거리가 형성될 수 있다. 또한, 종래의 프로브 카드는 슬릿 가이드의 하단부와 프로브 핀이 접촉하지 않도록 이격 거리를 유지하여야 하며, 슬릿 가이드의 상단부가 피검사체와 접촉하지 않아야 하므로 프로브 핀의 눌림 거리가 길게 형성되기 어렵다.
본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드는 눌림 거리가 향상된 프로브 카드를 제공할 수 있다.
본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드는 피검사체 및 인쇄 회로 기판과 전기적으로 연결되는 프로브 핀; 상기 프로브 핀의 둘레 외곽에 배치되며, 상기 프로브 핀의 일단과 타단이 삽입되는 가이드 개구 및 상기 프로브 핀의 적어도 일부가 배치되는 공간부를 포함하는 가이드부; 및 상기 프로브 핀의 일측과 타측에서 상기 가이드부의 상기 공간부에 배치되며, 상기 프로브 핀의 적어도 일부가 삽입되는 측면 가이드 개구를 포함하는 측면 가이드부를 포함하며, 상기 프로브 핀은 상기 프로브 핀의 일단 및 타단에 대칭되게 형성되며, 피검사체 및 인쇄 회로 기판과 각각 접촉하는 2개의 프로브 팁; 상기 2개의 프로브 팁 각각으로부터 연장 형성되며, 길이 방향 길이가 상기 가이드 개구의 폭보다 길게 형성되는 지지부; 상기 하나의 지지부에서 상기 나머지 하나의 지지부로 연장되며, 상기 2개의 프로브 팁을 연결하는 가상의 직선을 기준으로 대칭되게 형성되는 2개의 외측 연장부;를 포함하며, 상기 외측 연장부 각각은 적어도 일부에 상기 가상의 직선의 중앙점에서 가상의 직선에 수직하는 방향으로 이격을 두고 위치하는 굽힘 영역을 포함하며, 상기 프로브 팁에 외력이 가해지는 경우, 상기 프로브 팁은 상기 가상의 직선을 따라 위치 이동이 가능할 수 있다.
본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드는 2개의 프로브 팁을 프로브 팁의 이동 방향과 일직선 상에 배치하고, 적어도 일부에 굽힘 영역을 포함하는 연장부를 포함하여 프로브 팁이 탄성적으로 이동 가능하도록 하여 프로브 핀의 눌림 거리를 길게 형성할 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 종래 기술에 따른 프로브 카드를 나타내는 도면이다.
도 2a 및 도 2b는 디스플레이 패널 검사를 위해 배치되는 프로브 블록을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드를 나타내는 설명도이다.
도 4는 본 개시의 다양한 실시예에 따른 가이드부를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 개시의 다양한 실시예에 따른 측면 가이드부를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드의 내부를 나타내는 도면이다.
도 1a는 종래 기술에 따른 프로브 카드(10)를 나타내는 사시도이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 프로브 카드(10)의 제 1 접촉부(110)를 나타내는 도면이다.
도 1a를 참조하면, 종래 기술에 따른 프로브 카드(10)는 프로브 핀(100) 및 가이드부(200)를 포함할 수 있다.
종래 기술에 따른 프로브 카드(10)를 설명하는 데 있어서, 제 1 방향은 음의 z축 방향을 의미하고, 제 2 방향은 양의 z축 방향을 의미할 수 있다. 제 3 방향은 음의 x축 방향을 의미하고, 제 4 방향은 양의 x축 방향을 의미할 수 있다.
도 1a를 참조하면, 종래 기술에 따른 프로브 핀(100)은 제 1 접촉부(110) 및 제 2 접촉부(120)를 포함할 수 있다. 프로브 핀(100)은 제 1 접촉부(110)에서 피검사체(예를 들어, 디스플레이 패널(미도시)의 접촉 패드(미도시))와 접촉되며, 제 2 접촉부(120)에서 인쇄 회로 기판(미도시)과 접촉될 수 있다.
도 1a를 참조하면, 종래 기술에 따른 프로브 핀(100)은 가이드부(200)에 배치될 수 있다. 가이드부(200)는 프로브 핀(100)이 배치될 수 있는 가이드 홈(210)을 포함할 수 있다. 가이드부(200)는 가이드 홈(210)을 복수 개 포함할 수 있다. 프로브 핀(100)은 가이드부(200)의 가이드 홈(210)에 배치될 수 있다.
도 1a를 참조하면, 종래 기술에 따른 가이드부(200)의 가이드 홈(210)은 제 1 길이(L1)만큼의 깊이를 지닐 수 있다. 종래 기술에 따른 프로브 핀(100)은 제 2 길이(L2)만큼의 폭을 지닐 수 있다. 종래 기술에 따른 프로브 핀(100)이 가이드 홈(210)에 배치되는 경우, 프로브 핀(100)의 제 1 접촉부(110)는 제 1 길이(L1)에서 제 2 길이(L2)를 제외한 길이만큼 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 이동이 가능할 수 있다.
도 1b를 참조하면, 프로브 핀(100)의 제 1 접촉부(110)가 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 이동되는 경우, 프로브 핀(100)이 가이드 홈(210)의 홈 하단부(230)와 접촉되어 프로브 핀(100)에 손상이 발생될 수 있다. 종래 기술에 따른 프로브 카드(10)는 프로브 핀(100)과 홈 하단부(230)의 접촉을 방지하기 위해 프로브 핀(100)과 홈 하단부(230)의 이격 거리(L3)를 미리 정해진 거리 이상으로 유지할 수 있다.
프로브 핀(100)의 제 1 접촉부(110)가 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 이동되는 경우, 가이드 상단부(220)가 피검사체(미도시)와 직접 접촉할 수 있다. 피검사체(미도시)가 가이드 상단부(220)와 직접 접촉하는 경우, 피검사체(미도시)에 손상이 일어날 수 있으므로, 제 1 접촉부(110)는 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 미리 정해진 거리 이상으로 이동되지 않을 수 있다.
프로브 핀(100)의 제 1 접촉 팁(111)은 피검사체(미도시)와 반복적으로 접촉하여 마모가 될 수 있다. 제 1 접촉 팁(111)이 마모되는 경우 프로브 핀(100)의 제 1 접촉부(110)가 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 이동할 수 있는 거리는 더욱 작아질 수 있다.
종래 기술에 따른 프로브 카드(10)는 프로브 핀(100)이 가이드 홈(210)에 배치되어 제 1 접촉부(110)의 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 이동 가능 거리가 제한된다. 예를 들어, 가이드 홈(210)의 깊이(예: 제 1 길이(L1))에서 프로브 핀(100)의 폭(예: 제 2 길이(L2))을 제외한 길이만큼만 제 1 접촉부(110)의 이동이 가능하고, 홈 하단부(230)와 프로브 핀(100)의 이격 거리(예: 제 3 길이(L3))가 미리 정해진 거리 이상이 되어야 하며, 가이드 상단부(220)와 피검사체(미도시)가 직접 접촉되지 않을 수 있는 거리만큼만 제 1 접촉부(110)가 이동할 수 있으므로, 제 1 접촉부(110)의 이동 가능 거리가 길게 형성되기 어렵다.
도 2a는 제 1 디스플레이 패널(D1) 검사를 위해 배치되는 프로브 블록(40)을 나타내는 도면이다.
도 2b는 제 2 디스플레이 패널(D2) 검사를 위해 배치되는 프로브 블록(40)을 나타내는 도면이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 프로브 유닛(50)은 복수 개의 프로브 블록(40)이 연결되는 프로브 장치를 의미할 수 있다.
본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 블록(40)은 피검사체(미도시)의 전기적 특성 검사(EDS: electrical die sorting)를 위해 사용될 수 있다. 전기적 특성 검사의 대상이 되는 피검사체(미도시)는 디스플레이 패널(D1, D2)일 수 있다.
프로브 블록(40)은 복수 개의 프로브 카드(30, 도 3 참조)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 프로브 블록(40)은 복수 개의 프로브 카드(30, 도 3 참조)를 포함하여 복수 개의 프로브 핀(300, 도 3 참조)을 포함할 수 있다. 프로브 블록(40)에 포함된 복수 개의 프로브 핀(300, 도 3 참조) 각각은 프로브 핀(300, 도 3 참조)의 일단에서 제 1 디스플레이 패널(D1) 또는 제 2 디스플레이 패널(D2)의 접촉 패드(미도시)와 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다. 복수 개의 프로브 핀(300, 도 3 참조) 각각은 프로브 핀(300, 도 3 참조)의 타단에서 인쇄 회로 기판(미도시)과 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다.
도 2a에 도시된 제 1 디스플레이 패널(D1)은 대형 텔레비전에 사용되는 디스플레이 패널일 수 있다. 제 1 디스플레이 패널(D1)은 제 1 디스플레이 패널(D1)의 가장 자리(예: 제 1 디스플레이 패널(D1)의 네 변의 일측)에 접촉 패드(미도시)를 포함할 수 있다.
도 2a를 참조하면, 제 1 디스플레이 패널(D1)의 각 측면에 각각 복수 개의 프로브 블록(40) 및 복수 개의 프로브 블록(40)과 연결되는 프로브 유닛(50)이 배치될 수 있다. 예를 들어, 제 1 디스플레이 패널(D1)이 직사각형 형태로 형성되는 경우, 직사각형의 네 변 각각의 일측에 각각 복수 개의 프로브 블록(40) 및 복수 개의 프로브 블록(40)과 연결되는 프로브 유닛(50)이 배치될 수 있다.
도 2b에 도시된 제 2 디스플레이 패널(D2)는 핸드폰 또는 노트북에 사용되는 디스플레이 패널일 수 있다. 제 2 디스플레이 패널(D2)은 복수 개의 단위 격자 패널(D21)을 포함할 수 있다. 복수 개의 단위 격자 패널(D21) 각각은 접촉 패드(미도시)를 포함할 수 있다. 프로브 블록(40)은 단위 격자 패널(D21)의 접촉 패드(미도시)와 접촉하여 전기적으로 연결될 수 있다.
제 2 디스플레이 패널(D2)은 위치가 이동될 수 있으며, 제 2 디스플레이 패널(D2)이 이동되며 각각의 단위 격자 패널(D21)과 프로브 블록(40)의 접촉이 이루어질 수 있다.
도 3은 본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드(30)를 나타내는 설명도이다.
도 3을 참조하면, 본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드(30)는 프로브 핀(300), 가이드부(400) 및/또는 측면 가이드부(500)를 포함할 수 있다.
도 3을 참조하면, 프로브 핀(300)은 프로브 팁(310), 지지부(320), 외측 연장부(330) 및/또는 내측 연장부(340)을 포함할 수 있다.
본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드(30)를 설명하는 데 있어 제 1 방향은 음의 z축 방향을 의미하고, 제 2 방향은 양의 z축 방향을 의미할 수 있다. 제 3 방향은 음의 x축 방향을 의미하고, 제 4 방향은 양의 x축 방향을 의미할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 프로브 팁(310)은 제 1 프로브 팁(311) 및 제 2 프로브 팁(312)을 포함할 수 있다. 제 1 프로브 팁(311)은 프로브 핀(300)의 일단부에 형성될 수 있고, 제 2 프로브 팁(312)은 프로브 핀(300)의 타단부에 형성될 수 있다. 제 1 프로브 팁(311)과 제 2 프로브 팁(312)은 상호 대칭되는 형태로 형성될 수 있다.
제 1 프로브 팁(311)은 일단에서 피검사체(미도시)와 접촉하여 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 피검사체(미도시)는 디스플레이 패널(미도시)일 수 있으며, 제 1 프로브 팁(311)은 디스플레이 패널(미도시)의 접촉 패드(미도시)와 접촉할 수 있다. 제 2 프로브 팁(312)은 일단에서 인쇄 회로 기판(미도시)과 접촉하여 전기적으로 연결될 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 프로브 팁(310)의 타단에 지지부(320)가 형성될 수 있다. 지지부(320)는 제 1 지지부(321) 및 제 2 지지부(322)를 포함할 수 있다. 제 1 지지부(321)는 제 1 프로브 팁(311)의 타단에 형성될 수 있다. 제 2 지지부(322)는 제 2 프로브 팁(312)의 타단에 형성될 수 있다.
제 1 지지부(321) 및 제 2 지지부(322)는 길이 방향(예: 음의 x축 방향)으로 길이를 가지는 막대 형상으로 형성될 수 있다. 제 1 지지부(321) 및 제 2 지지부(322)의 길이 방향 길이는 가이드 개구(410, 도 4 참조)의 폭(예: 음의 x축 방향 길이)보다 길게 형성되어 프로브 핀(300) 전체가 가이드 개구(410, 도 4 참조)를 통과하여 이동되는 것을 방지할 수 있다.
본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드(30)를 설명하는 데 있어, 제 1 프로브 팁(311)과 제 2 프로브 팁(312)을 연결하는 가상의 직선(A-A)을 정의할 수 있다. 가상의 직선(A-A) 상의 점 중에서 제 1 지지부(321)와 제 2 지지부(322) 사이 직선 거리의 중간에 위치한 점을 가상의 직선(A-A)의 중앙점(M)으로 정의할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 프로브 핀(300)은 적어도 일부에서 굽혀지며 연장될 수 있다. 도 2를 참조하면, 프로브 핀(300)은 프로브 핀(300)이 굽혀지며 형성되는 굽힘 영역(331) 및 내측 굽힘 영역(341)을 형성할 수 있다. 굽힘 영역(331) 및 내측 굽힘 영역(341)은 가상의 직선(A-A)의 중앙점(M)에서 가상의 직선에 수직하는 방향으로 이격을 두고 위치할 수 있다. 2개의 굽힘 영역(331)은 가상의 직선(A-A)을 기준으로 대칭되는 위치에 형성될 수 있다.
도 3을 참조하면, 2개의 내측 굽힘 영역(341)은 2개의 굽힘 영역(331)에서 각각 가상의 직선(A-A)을 향하는 방향으로 이격되어 위치할 수 있다.
도 3을 참조하면, 외측 연장부(330)는 가상의 직선(A-A)을 기준으로 대칭되는 형태로 형성될 수 있다. 외측 연장부(330)는 지지부(320)의 일측과 타측에서 연결될 수 있다. 예를 들어, 하나의 외측 연장부(330)는 제 1 지지부(321)의 일측에서 연장되어 제 2 지지부(322)의 일측으로 연결될 수 있다. 나머지 하나의 외측 연장부(330)는 제 1 지지부(321)의 타측에서 연장되어 제 2 지지부(322)의 타측으로 연결될 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 외측 연장부(330)는 적어도 일부에서 굽힘 영역(331)을 포함할 수 있다. 굽힘 영역(331)은 외측 연장부(330)의 적어도 일부가 곡선 형상으로 구부러지며 형성될 수 있다. 도 3을 참조하면, 하나의 외측 연장부(330)는 제 1 지지부(321)의 일측에서 굽힘 영역(331)으로 연장되며, 굽힘 영역(331)에서 굽혀진 후 제 2 지지부(322)의 일측으로 연결될 수 있다. 나머지 하나의 외측 연장부(330)는 제 1 지지부(321)의 타측에서 굽힘 영역(331)으로 연장되며, 굽힘 영역(331)에서 굽혀진 후 제 2 지지부(322)의 타측으로 연결될 수 있다.
도 3을 참조하면, 하나의 외측 연장부(330)는 제 1 지지부(321)의 일측에서 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 3 방향(예: 음의 x축 방향)으로 연장되어 굽힘 영역(331)에서 구부러진 후, 굽힘 영역(331)에서 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 연장되어 제 2 지지부(322)의 일측으로 연결될 수 있다. 나머지 하나의 외측 연장부(330)는 제 1 지지부(321)의 타측에서 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 연장되어 굽힘 영역(331)에서 구부러진 후, 굽힘 영역(331)에서 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 3 방향(예: 음의 x축 방향)으로 연장되어 제 2 지지부(322)의 타측으로 연결될 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 외측 연장부(330) 각각은 가상의 직선(A-A)을 향하는 방향으로 구부러지며 형성될 수 있다. 예를 들어, 외측 연장부(330)는 지지부(320)에서 굽힘 영역(331)으로 직선으로 연결되는 것이 아니라, 내측(예를 들어, 외측 연장부(330)를 기준으로 내측 연장부(340)가 위치하는 방향)을 향하는 방향으로 구부러지며 연장될 수 있다. 외측 연장부(330)가 구부러지게 형성되어 제 1 프로브 팁(311)이 제 1 방향 및 제 2 방향으로 이동되기 용이할 수 있다.
다양한 실시예에서, 지지부(320)의 중앙 영역(323)은 지지부(320)의 길이 방향(예: 음의 x축 방향)을 기준으로 지지부(320)의 중앙에 위치한 영역을 의미할 수 있다. 지지부(320)의 중앙 영역(323)에 내측 연장부(340)가 연결될 수 있다.
도 3을 참조하면, 내측 연장부(340)는 가상의 직선(A-A)을 기준으로 대칭되게 2개가 형성될 수 있다. 2개의 내측 연장부(340) 각각은 지지부(320)의 중앙 영역(323)에서 연결될 수 있다. 2개의 내측 연장부(340) 각각은 외측 연장부(330)에서 가상의 직선(A-A)을 향하는 방향으로 이격을 두고 위치할 수 있다.
내측 연장부(340)는 적어도 일부에서 내측 굽힘 영역(341)을 포함할 수 있다. 내측 굽힘 영역(341)은 내측 연장부(340)의 적어도 일부가 곡선 형상으로 구부러지며 형성될 수 있다. 도 3을 참조하면, 2개의 내측 연장부(340)는 제 1 지지부(321)의 중앙 영역(323)에서 내측 굽힘 영역(341)으로 연장되고, 내측 굽힘 영역(341)에서 굽혀진 후 제 2 지지부(322)의 중앙 영역(323)으로 연결될 수 있다.
도 3을 참조하면, 하나의 내측 연장부(340)는 제 1 지지부(321)의 중앙 영역(323)에서 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 3 방향(예: 음의 x축 방향)으로 연장되어 내측 굽힘 영역(341)에서 구부러진 후, 내측 굽힘 영역(341)에서 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 연장되어 제 2 지지부(322)의 중앙 영역(323)으로 연결될 수 있다. 나머지 하나의 내측 연장부(340)는 제 1 지지부(321)의 중앙 영역(323)에서 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 연장되어 내측 굽힘 영역(341)에서 구부러진 후, 내측 굽힘 영역(341)에서 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 3 방향(예: 음의 x축 방향)으로 연장되어 제 2 지지부(322)의 중앙 영역(323)으로 연결될 수 있다.
내측 연장부(340) 각각은 가상의 직선(A-A)을 향하는 방향으로 구부러지며 형성될 수 있다. 예를 들어, 내측 연장부(340)는 지지부(320)에서 내측 굽힘 영역(341)으로 직선으로 연결되는 것이 아니라, 내측(예: 내측 연장부(340)를 기준으로 외측 연장부(330)가 위치한 방향의 반대 방향)을 향하는 방향으로 구부러지며 연장될 수 있다.
도 3을 참조하면, 본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드(30)는 수직 구조를 포함할 수 있다. 수직 구조는 프로브 핀(300)의 제 1 프로브 팁(311) 및 제 2 프로브 팁(312)이 제 1 프로브 팁(311)의 이동 방향과 일직선 상에 배치되며, 굽힘 영역(331) 및 내측 굽힘 영역(341)이 제 1 프로브 팁(311)의 이동 방향과 수직하게 배치되는 구조를 의미할 수 있다. 예를 들어, 도 3을 참조하면, 제 1 프로브 팁(311) 및 제 2 프로브 팁(312)은 가상의 직선(A-A) 상에 배치되며, 제 1 프로브 팁(311)는 가상의 직선(A-A)을 따라 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 이동될 수 있다. 굽힘 영역(331) 및 내측 굽힘 영역(341)은 제 1 프로브 팁(311)과 제 2 프로브 팁(312)을 연결하는 가상의 직선(A-A)과 수직한 위치에 배치된다.
다양한 실시예에 따르면, 프로브 팁(310)에 외력이 가해지는 경우, 프로브 팁(310)은 제 1 방향 또는 제 2 방향으로 이동될 수 있다. 예를 들어, 제 1 프로브 팁(311)에 외력이 가해지는 경우, 제 1 프로브 팁(311)은 가상의 직선(A-A)을 따라 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 또는 제 2 방향(예: 양의 z축 방향)으로 위치가 이동될 수 있다. 제 1 프로브 팁(311)에 제 1 방향으로 외력이 가해지는 경우, 외측 연장부(330)의 굽힘 영역(331) 또는 내측 연장부(340)의 내측 굽힘 영역(341)이 탄성적으로 제 3 방향 또는 제 4 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라 제 1 프로브 팁(311)이 제 1 방향으로 이동될 수 있다.
본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 핀(300)의 제 1 프로브 팁(311)은 종래 기술에 따른 프로브 핀(100, 도 1a 참조)의 제 1 접촉부(110, 도 1a 참조)에 비하여 제 1 방향 및 제 2 방향으로 더욱 길게 이동될 수 있다. 종래 기술에 따른 프로브 핀(100, 도 1a 참조)은 가이드부(200, 도 1a 참조)의 가이드 홈(210, 도 1a 참조)에 배치되어 이동 거리가 제한되나, 본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 핀(300)은 수직 구조를 포함하여 제 1 방향 및 제 2 방향으로 더욱 길게 이동될 수 있다.
본 개시의 다양한 실시예에 따른 가이드부(400)는 가이드 개구(410, 도 4 참조), 가이드 블록(420), 공간부(430, 도 6 참조) 및/또는 안착부(440, 도 6 참조)를 포함할 수 있다.
본 개시의 다양한 실시예에 따른 가이드부(400)는 적어도 일부에 프로브 팁(310)이 삽입될 수 있는 공간을 제공하며, 프로브 팁(310)의 위치를 가이드 할 수 있다. 예를 들어, 가이드부(400)는 제 1 프로브 팁(311) 및 제 2 프로브 팁(312)이 형성되는 위치에 각각 배치되어 제 1 프로브 팁(311) 및 제 2 프로브 팁(312)의 움직임을 가이드하는 역할을 할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 가이드 블록(420)의 일면에 프로브 핀(300)의 지지부(320)가 배치될 수 있다. 예를 들어, 제 1 프로브 팁(311)이 삽입되는 가이드 블록(420)의 일면에 제 1 지지부(321)가 배치될 수 있으며, 제 2 프로브 팁(312)이 삽입되는 가이드 블록(420)의 일면에 제 2 지지부(322)가 배치될 수 있다.
도 3을 참조하면, 프로브 핀(300)의 일측(예: 프로브 핀(300)의 음의 x축 방향)과 타측(예: 프로브 핀(300)의 양의 x축 방향)에 측면 가이드부(500)가 배치될 수 있다. 측면 가이드부(500)는 프로브 핀(300)의 굽힘 영역(331)이 형성되는 위치에 배치되며, 적어도 일부에 굽힘 영역(331)이 삽입될 수 있는 공간을 제공할 수 있다. 측면 가이드부(500)는 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 길이를 지니며, 굽힘 영역(331)이 삽입될 수 있는 측면 가이드 개구(510, 도 5 참조)를 포함할 수 있다. 외측 연장부(330)의 굽힘 영역(331)이 측면 가이드부(500)에 포함된 측면 가이드 개구(510, 도 5 참조)에 삽입되어 프로브 핀(300)의 위치가 고정될 수 있다.
도 4는 본 개시의 다양한 실시예에 따른 가이드부(400)을 나타내는 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 가이드부(400)의 일부를 제 3 방향(예: 도 3의 음의 x축 방향)과 평행하게 잘랐을 경우, 가이드부(400)의 단면을 나타내는 도면이다.
도 4를 참조하면, 가이드부(400)는 가이드 개구(410), 가이드 블록(420), 공간부(430, 도 6 참조) 및/또는 안착부(440, 도 6 참조)를 포함할 수 있다.
가이드 불록(420)은 제 1 가이드 블록(421) 및 제 2 가이드 블록(422)을 포함할 수 있다. 제 1 가이드 블록(421)의 일단 위치에 제 2 가이드블록(422)가 배치될 수 있다.
제 1 가이드 블록(421)은 가이드 개구(410)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제 1 가이드 블록(421)의 일단에 가이드 개구(410)가 형성될 수 있다. 도 4를 참조하면, 가이드 개구(410)는 제 1 가이드 블록(421)에 의해 삼면이 둘러싸이고, 나머지 한 면은 제 2 가이드블록(422)의 일단에 의해 둘러싸이는 형태로 형성될 수 있다.
다양한 실시예에서, 가이드 개구(410)의 길이 방향을 가이드 개구(410)의 길이가 상대적으로 길게 형성된 방향으로 정의하고, 가이드 개구(410)의 폭 방향을 가이드 개구(410)의 길이가 상대적으로 작게 형성된 방향으로 정의할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 프로브 팁(310)은 가이드 개구(410)에 삽입될 수 있다. 프로브 팁(310)이 가이드 개구(410)에 삽입될 수 있도록 가이드 개구(410)의 길이 방향 길이는 프로브 팁(310)의 길이 방향 길이보다 길게 형성될 수 있다. 가이드 개구(410)의 폭 방향 길이는 프로브 팁(310)의 폭 방향 길이보다 길게 형성될 수 있다.
제 1 가이드 블록(421)의 일단은 가이드 개구(410)를 삼면에서 둘러싸는 형태로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제 1 가이드 블록(421)은 제 1 가이드 블록(421)의 일단에서 제 1 가이드 블록(421)의 일부가 제 2 가이드 블록(422)이 배치된 위치와 반대 방향으로 패인 형상으로 형성되어 가이드 개구(410)를 삼면에서 둘러쌀 수 있다. 제 1 가이드 블록(421)은 제 1 가이드 블록(421)의 일단이 제 2 가이드 블록(422)과 접촉하도록 배치될 수 있다.
제 2 가이드블록(422)은 제 2 가이드블록(422)의 일단이 제 1 가이드 블록(421)의 일부와 접촉하도록 배치될 수 있다. 제 2 가이드블록(422)의 적어도 일부는 가이드 개구(410)를 일면에서 둘러싸는 형태로 위치할 수 있다. 도 4를 참조하면, 제 2 가이드블록(422)은 일단에서 제 1 가이드 블록(421)의 적어도 일부와 접촉하며, 가이드 개구(410)의 일면을 둘러쌀 수 있다.
도 5는 본 개시의 다양한 실시예에 따른 측면 가이드부(500)을 나타내는 도면이다.
도 5는 도 3에 도시된 측면 가이드부(500)의 일부를 제 1 방향(예: 도 3의 음의 z축 방향)과 평행하게 잘랐을 경우, 측면 가이드부(500)의 단면을 나타내는 도면이다.
도 5를 참조하면, 측면 가이드부(500)는 프로브 핀(300, 도 3 참조)의 적어도 일부가 삽입되는 측면 가이드 개구(510)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 프로브 핀(300, 도 3 참조)의 굽힘 영역(331)이 측면 가이드 개구(510)에 삽입될 수 있다.
도 5를 참조하면, 측면 가이드 개구(510)는 직사각형 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 측면 가이드 개구(510)는 다양한 모양을 포함할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 측면 가이드부(500)는 측면 가이드 개구(510)를 복수 개 포함할 수 있다. 복수 개의 측면 가이드 개구(510)는 미리 정해진 간격을 지니며 측면 가이드부(500)에 배치될 수 있다.
측면 가이드부(500)는 프로브 핀(300, 도 3 참조)에 외력이 가해지는 경우, 프로브 핀(300, 도 3 참조)에 비틀림이 발생되는 것을 방지하는 역할을 할 수 있다. 예를 들어, 측면 가이드부(500)의 측면 가이드 개구(510)에 프로브 핀(300, 도 3 참조)의 적어도 일부(예: 굽힘 영역(331))가 배치되어, 프로브 핀(300, 도 3 참조)은 프로브 핀(300, 도 3 참조)에 외력이 가해지더라도 비틀리지 않고 평평한 상태를 유지할 수 있다.
측면 가이드부(500)는 복수 개의 프로브 핀(300, 도 3 참조)이 상호 접촉하지 않도록 위치를 고정하는 역할을 할 수 있다. 복수 개의 측면 가이드 개구(510) 각각에 복수 개의 프로브 핀(300, 도 3 참조)의 적어도 일부(예: 굽힘 영역(331))가 각각 배치되어 복수 개의 프로브 핀(300, 도 3 참조)의 위치가 고정될 수 있다.
측면 가이드부(500)는 프로브 핀(300, 도 3 참조)에 외력이 가해지는 경우, 프로브 핀(300, 도 3 참조)을 지지하는 역할을 할 수 있다. 예를 들어, 프로브 핀(300, 도 3 참조)에 외력이 가해지는 경우, 프로브 핀(300, 도 3 참조)의 굽힘 영역(331)의 일측과 측면 가이드 개구(510)의 적어도 일부가 접촉하여 프로브 핀(300, 도 3 참조)이 지지될 수 있다.
도 6은 본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드(30)의 내부를 나타내는 도면이다.
도 6을 참조하면, 본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드(30)는 프로브 핀(300) 및 가이드부(400)를 포함할 수 있다.
도 6을 참조하면, 프로브 핀(300)은 프로브 팁(310), 지지부(320), 외측 연장부(330) 및/또는 내측 연장부(340)을 포함할 수 있다.
본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드(30)를 설명하는 데 있어 제 1 방향은 음의 z축 방향을 의미하고, 제 2 방향은 양의 z축 방향을 의미할 수 있다. 제 3 방향은 음의 x축 방향을 의미하고, 제 4 방향은 양의 x축 방향을 의미할 수 있다. 제 5 방향은 음의 y축 방향을 의미하고, 제 6 방향은 양의 y축 방향을 의미할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 프로브 팁(310)은 제 1 프로브 팁(311) 및 제 2 프로브 팁(312)을 포함할 수 있다. 제 1 프로브 팁(311)은 일단에서 피검사체(예: 디스플레이 패널)과 접촉할 수 있으며, 제 2 프로브 팁(312)은 일단에서 인쇄 회로 기판과 접촉할 수 있다.
제 1 프로브 팁(311)의 타단에 제 1 지지부(321)가 위치할 수 있다. 제 1 지지부(321)의 일측 및 타측에 외측 연장부(330)가 연결될 수 있다. 제 1 지지부(321)의 중앙 영역(323)에 내측 연장부(340)가 연결될 수 있다. 외측 연장부(330)는 제 1 지지부(321)의 일측 및 타측에서 제 2 지지부(322)의 일측 및 타측으로 연장될 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 외측 연장부(330)는 적어도 일부에 굽힘 영역(331)을 포함할 수 있다. 가상의 직선(A-A) 상의 점 중에서 제 1 지지부(321)와 제 2 지지부(322) 사이 직선 거리의 중간에 위치한 점을 가상의 직선(A-A)의 중앙점(M)으로 정의할 수 있다. 굽힘 영역(331)은 가상의 직선(A-A)의 중앙점(M)에서 가상의 직선(A-A)에 수직하는 방향으로 이격을 두고 위치할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 2개의 굽힘 영역(331)은 가상의 직선(A-A)을 기준으로 대칭되는 위치에 형성될 수 있다. 예를 들어, 하나의 굽힙 영역(331)은 제 1 프로브 팁(311)을 기준으로 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 3 방향(예: 음의 x축 방향)으로 이격된 위치에 형성될 수 있다. 나머지 하나의 굽힙 영역(331)은 제 1 프로브 팁(311)을 기준으로 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 이격된 위치에 형성될 수 있다.
2개의 외측 연장부(330)는 제 1 프로브 팁(311)과 제 2 프로브 팁(312)을 연결하는 가상의 직선(A-A)을 기준으로 대칭되게 형성될 수 있다.
외측 연장부(330)는 가상의 직선(A-A)을 향하는 방향으로 구부러지며 연장될 수 있다. 예를 들어, 외측 연장부(330)는 지지부(320)에서 굽힘 영역(331)으로 직선으로 연결되는 것이 아니라, 내측(예: 외측 연장부(330)를 기준으로 내측 연장부(340)가 위치하는 방향)을 향하는 방향으로 구부러지며 연장될 수 있다.
내측 연장부(340)는 제 1 지지부(321)의 중앙 영역(323)에서 연장되어 제 2 지지부(322)의 중앙 영역(323)으로 연결될 수 있다.
내측 연장부(340)는 적어도 일부에서 내측 굽힘 영역(341)과 연결될 수 있다. 내측 굽힘 영역(341)은 가상의 직선(A-A)의 중앙점(M)에서 가상의 직선(A-A)에 수직하는 방향으로 이격을 두고 위치할 수 있다.
2개의 내측 굽힘 영역(341)은 가상의 직선(A-A)을 기준으로 대칭되는 위치에 형성될 수 있다. 예를 들어, 하나의 내측 굽힙 영역(341)은 제 1 프로브 팁(311)을 기준으로 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 3 방향(예: 음의 x축 방향)으로 이격된 위치에 형성될 수 있다. 나머지 하나의 내측 굽힙 영역(341)은 제 1 프로브 팁(311)을 기준으로 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 이격된 위치에 형성될 수 있다
2개의 내측 굽힘 영역(341)은 2개의 굽힘 영역(331)에서 각각 가상의 직선(A-A)을 향하는 방향으로 이격되어 위치할 수 있다. 예를 들어, 2개의 내측 굽힘 영역(341)은 2개의 굽힘 영역(331)에서 각각 제 3 방향(예: 음의 x축 방향) 및 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 이격되어 위치할 수 있다.
내측 연장부(340)는 제 1 프로브 팁(311)과 제 2 프로브 팁(312)을 연결하는 가상의 직선(A-A)을 기준으로 대칭되는 형태로 2개가 형성될 수 있다.
내측 연장부(340)는 가상의 직선(A-A)을 향하는 방향으로 구부러지며 연장될 수 있다. 예를 들어, 내측 연장부(340)는 지지부(320)에서 내측 굽힘 영역(341)으로 직선으로 연결되는 것이 아니라, 내측(예: 내측 연장부(340)를 기준으로 외측 연장부(330)가 위치한 방향의 반대 방향)을 향하는 방향으로 구부러지며 연장될 수 있다.
본 개시의 다양한 실시예에 따른 가이드부(400)는 가이드 개구(410), 가이드 블록(420), 공간부(430) 및/또는 안착부(440)를 포함할 수 있다.
도 6을 참조하면, 가이드부(400)는 프로브 핀(300)의 둘레 외곽에 배치될 수 있다. 가이드부(400)는 프로브 핀(300)의 일단과 타단에 형성되는 프로브 팁(310)이 삽입되는 가이드 개구(410)를 포함할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 가이드 개구(410)는 프로브 팁(310)이 삽입될 수 있는 공간을 제공할 수 있다. 가이드 개구(410)는 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 길이를 지니는 개구의 형상을 지닐 수 있으며, 가이드 개구(410) 내부에 프로브 팁(310)이 배치될 수 있다. 프로브 팁(310)은 가이드 개구(410)에 삽입되어 프로브 팁(310)의 적어도 일부는 가이드 개구(410)에서 멀어지는 방향으로 적어도 일부가 돌출될 수 있다. 예를 들어, 도 6을 참조하면, 제 1 프로브 팁(311) 및 제 2 프로브 팁(312)은 가이드 개구(410)에서 멀어지는 방향으로 적어도 일부가 돌출될 수 있다.
가이드 블록(420)은 제 1 가이드 블록(421) 및 제 2 가이드 블록(422)을 포함할 수 있다. 제 1 가이드 블록(421)은 프로브 핀(300)의 일측 방향(예: 음의 x축 방향)에 배치될 수 있으며, 제 2 가이드 블록(422)은 프로브 핀(300)의 타측 방향(예: 양의 x축 방향)에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제 1 가이드 블록(421)은 제 1 프로브 팁(311)의 일측 및 제 2 프로브 팁(312)의 일측 방향에 배치될 수 있다. 제 2 가이드 블록(422)은 제 1 프로브 팁(311)의 타측 및 제 2 프로브 팁(312)의 타측 방향에 배치될 수 있다.
제 1 가이드 블록(421)은 제 1 가이드 블록(421)의 일단(예: 제 1 가이드 블록(421)에서 양의 x축 방향에 위치한 일단)에서 제 2 가이드 블록(422)과 접촉할 수 있다.
제 1 가이드 블록(421)은 적어도 일부에 가이드 개구(410)를 포함할 수 있다. 가이드 개구(410)는 제 1 가이드 블록(421)의 일단에 형성되며, 제 2 가이드 블록(422)에 의하여 일면이 둘러싸이는 형태로 형성될 수 있다.
도 6을 참조하면, 가이드부(400)는 프로브 핀(300)의 적어도 일부가 배치될 수 있는 공간부(430)를 포함할 수 있다. 제 1 가이드 블록(421) 및 제 2 가이드 블록(422)의 적어도 일부에 프로브 핀(300)이 배치될 수 있는 공간부(430)가 형성될 수 있다. 제 1 가이드 블록(421) 및 제 2 가이드 블록(422)은 각각의 일측에 공간부(430)를 형성하며, 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 연장될 수 있다. 공간부(430)는 프로브 핀(300)이 배치될 수 있는 빈 공간을 형성할 수 있으며, 공간부(430)에 형성된 빈 공간에 프로브 핀(300)의 외측 연장부(330) 및 내측 연장부(340)가 배치될 수 있다.
가이드부(400)는 프로브 핀(300)의 지지부(320)가 배치되는 안착부(440)를 포함할 수 있다. 안착부(440)는 제 1 가이드 블록(421) 및 제 2 가이드 블록(422)의 일단에서 계단 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제 2 프로브 팁(312)의 위치에 배치되는 안착부(440)의 경우, 안착부(440)의 일부는 제 1 가이드 블록(421)이 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 연장되다가 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 굽혀지며 연장되고, 다시 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 굽혀지며 연장되어 형성될 수 있다. 제 2 프로브 팁(312)의 위치에 배치되는 안착부(440)의 경우, 안착부(440)의 나머지 일부는 제 2 가이드 블록(422)이 제 3 방향(예: 음의 x축 방향)으로 연장되다가 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 굽혀지며 연장되고, 다시 제 3 방향(예: 음의 x축 방향)으로 굽혀지며 연장되어 형성될 수 있다.
지지부(320)는 지지부(320)의 길이 방향(예: 양의 x축 방향)으로 길이를 지니는 막대 모양으로 형성될 수 있다. 지지부(320)는 안착부(440)에 배치되며, 지지부(320)의 일면은 프로브 팁(310)과 연결되고, 타면은 외측 연장부(330) 및 내측 연장부(340)와 연결될 수 있다.
지지부(320)의 길이 방향(예: 양의 x축 방향) 길이는 안착부(440)의 폭(예: 안착부(440)의 양의 x축 방향 길이)보다 작게 형성되어 지지부(320)가 안착부(440)에 배치될 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 지지부(320)의 길이 방향(예: 양의 x축 방향) 길이는 가이드 개구(410)의 폭(예: 가이드 개구(410)의 양의 x축 방향 길이)보다 길게 형성되어 지지부(320)가 가이드 개구(410)로 삽입되는 것을 방지할 수 있다. 지지부(320)가 가이드 개구(410)로 삽입되는 것이 방지되어 프로브 핀(300) 전체가 가이드 개구(410)에 삽입되어 이동되는 것이 방지될 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 프로브 카드(30)는 복수 개의 프로브 핀(300)을 포함할 수 있다. 복수 개의 프로브 핀(300)은 제 5 방향(예: 음의 y축 방향) 및 제 6 방향(예: 양의 y축 방향)을 따라서 미리 정해진 간격을 지니며 배치될 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 측면 가이드부(500, 도 5 참조)는 프로브 핀(300)의 일측(예: 프로브 핀(300)의 음의 x축 방향)과 타측(예: 프로브 핀(300)의 양의 x축 방향)에서 가이드부(400)의 공간부(430)에 배치될 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 측면 가이드부(500, 도 5 참조)는 복수 개의 측면 가이드 개구(510, 도 5 참조)를 포함할 수 있다. 복수 개 프로브 핀(300) 각각의 굽힘 영역(331)이 측면 가이드부(500, 도 5 참조)의 측면 가이드 개구(510, 도 5 참조)에 배치될 수 있다.
이상으로 본 개시에 관하여 실시예를 들어 설명하였지만 반드시 이에 한정하는 것은 아니며, 본 개시의 기술적 사상의 범주 내에서는 얼마든지 수정 및 변형 실시가 가능하다.

Claims (9)

  1. 프로브 카드에 있어서,
    피검사체 및 인쇄 회로 기판과 전기적으로 연결되는 프로브 핀;
    상기 프로브 핀의 둘레 외곽에 배치되며, 상기 프로브 핀의 일단과 타단이 삽입되는 가이드 개구 및 상기 프로브 핀의 적어도 일부가 배치되는 공간부를 포함하는 가이드부; 및
    상기 프로브 핀의 일측과 타측에서 상기 가이드부의 상기 공간부에 배치되며, 상기 프로브 핀의 적어도 일부가 삽입되는 측면 가이드 개구를 포함하는 측면 가이드부를 포함하며,
    상기 프로브 핀은
    상기 프로브 핀의 일단 및 타단에 대칭되게 형성되며, 피검사체 및 인쇄 회로 기판과 각각 접촉하는 2개의 프로브 팁;
    상기 2개의 프로브 팁 각각으로부터 연장 형성되며, 길이 방향 길이가 상기 가이드 개구의 폭보다 길게 형성되는 지지부;
    상기 하나의 지지부에서 상기 나머지 하나의 지지부로 연장되며, 상기 2개의 프로브 팁을 연결하는 가상의 직선을 기준으로 대칭되게 형성되는 2개의 외측 연장부;를 포함하며,
    상기 외측 연장부 각각은
    적어도 일부에 상기 가상의 직선의 중앙점에서 가상의 직선에 수직하는 방향으로 이격을 두고 위치하는 굽힘 영역을 포함하며,
    상기 프로브 팁에 외력이 가해지는 경우, 상기 프로브 팁은 상기 가상의 직선을 따라 위치 이동이 가능한 프로브 카드.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 외측 연장부 각각은
    상기 가상의 직선을 향하는 방향으로 구부러지며 형성되는 프로브 카드
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 굽힘 영역은
    상기 외측 연장부의 적어도 일부가 곡선 형상으로 구부러지며 형성되는 프로브 카드.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 하나의 지지부의 중앙 영역에서 나머지 지지부의 중앙 영역으로 연장되고, 상기 2개의 외측 연장부에서 상기 가상의 직선을 향하는 방향으로 이격을 두고 위치하며, 상기 가상의 직선을 기준으로 대칭되게 형성되는 2개의 내측 연장부;를 더 포함하며,
    상기 내측 연장부 각각은
    적어도 일부에 상기 가상의 직선의 중앙점에서 가상의 직선에 수직하는 방향으로 이격을 두고 위치하는 내측 굽힘 영역을 포함하는 프로브 카드.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 내측 연장부 각각은
    상기 가상의 직선을 향하는 방향으로 구부러지며 형성되는 프로브 카드.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 내측 굽힘 영역은
    상기 내측 연장부의 적어도 일부가 곡선 형상으로 구부러지며 형성되는 프로브 카드.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 가이드부는
    상기 지지부가 배치되는 안착부를 포함하는 프로브 카드.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 가이드부는
    상기 가이드 개구를 포함하는 제 1 가이드 블록 및 제 1 가이드 블록의 일단에 배치되는 제 2 가이드 블록을 포함하는 프로브 카드.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 외측 연장부의 상기 굽힘 영역은
    적어도 일부가 상기 측면 가이드 개구에 삽입되는 프로브 카드.
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