WO2023067968A1 - 逆止弁装置 - Google Patents

逆止弁装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2023067968A1
WO2023067968A1 PCT/JP2022/034875 JP2022034875W WO2023067968A1 WO 2023067968 A1 WO2023067968 A1 WO 2023067968A1 JP 2022034875 W JP2022034875 W JP 2022034875W WO 2023067968 A1 WO2023067968 A1 WO 2023067968A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
valve
sub
main valve
valve member
chamber
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/034875
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
明 有里
Original Assignee
株式会社コスメック
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社コスメック filed Critical 株式会社コスメック
Priority to KR1020247010031A priority Critical patent/KR20240048550A/ko
Priority to CN202280069805.4A priority patent/CN118103626A/zh
Publication of WO2023067968A1 publication Critical patent/WO2023067968A1/ja

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K15/00—Check valves
    • F16K15/18—Check valves with actuating mechanism; Combined check valves and actuated valves

Definitions

  • the present invention relates to a check valve device, and more particularly to technology of a check valve device that is forcibly opened by a pilot valve.
  • Patent Document 1 Japanese Utility Model Laid-Open No. 52-116722.
  • the prior art is configured as follows.
  • a receiving hole is vertically formed in the block.
  • a tubular main valve member is inserted into the accommodation hole so as to be vertically movable.
  • a main valve seat is circumferentially formed on the inner peripheral wall of the accommodation hole.
  • a main valve surface contactable with the main valve seat is circumferentially formed at the lower end of the main valve member.
  • the cylindrical hole of the main valve member has a large-diameter hole and a small-diameter hole which are penetrated in order from the upper side.
  • a sub-valve member is inserted into the large-diameter hole so as to be vertically movable.
  • a sub-valve seat is formed on the periphery of the small-diameter hole on the side of the large-diameter hole.
  • a sub-valve surface is circumferentially formed at the lower end of the sub-valve member so as to be able to contact the sub-valve seat.
  • a valve-closing spring is mounted between the sub-valve member and the block, and the valve-closing spring biases the sub-valve member toward the sub-valve seat. urged toward.
  • a piston is movably inserted into the lower portion of the housing hole, and a pilot portion projects upward from the piston. The small diameter portion at the upper end of the pilot portion is inserted into the small diameter hole of the main valve member so that the pilot portion can come into contact with the sub valve member.
  • An advance spring mounted in the working chamber below the piston moves the piston upward. Further, when pressure fluid is supplied to the working chamber above the piston, the piston is retracted downward.
  • a supply/discharge path as one end of the flow path is formed in the right wall of the block and communicates with the accommodation hole. Inside the accommodation hole, the flow path is branched into a first branched path and a second branched path.
  • the first branch path is defined by the valve face of the main valve member and the valve opening gap of the valve seat.
  • the second branch passage comprises a small-diameter hole in the main valve member, a valve opening gap between the valve surface and the valve seat of the sub-valve member, a large-diameter hole in the main valve member, and a through hole formed in the peripheral wall of the main valve member.
  • the above prior art has the following problems.
  • the above flow path is divided into a first branched path and a second branched path within the block.
  • the prior art valve device has two sets of one valve in one branch path, so that the valve cannot be closed and the pressurized fluid leaks out. more likely to cause problems.
  • the present invention for example, as shown in FIGS. 1 to 4 and 5, has a check valve device configured as follows.
  • a main valve 3 and a sub-valve 4 are provided in series in the middle of a flow path 2 formed in the block 1 .
  • a primary side chamber 5 , an intermediate chamber 7 and a secondary side chamber 6 that constitute part of the flow path 2 are formed in order from one end side to the other end side of the flow path 2 .
  • a pilot valve 60 opens the main valve 3 and the sub valve 4 .
  • the main valve 3 connects and disconnects the secondary side chamber 6 and the intermediate chamber 7 .
  • the main valve 3 is constructed as follows.
  • a tubular main valve member 41 is inserted into the receiving hole 10 formed in the block 1 so as to be axially movable.
  • a main valve surface 45 is formed on the outer peripheral wall of the main valve member 41 so as to come into contact with a main valve seat 46 formed on the inner peripheral wall of the accommodation hole 10 in the circumferential direction.
  • a closing spring 47 biases the main valve member 41 toward the main valve seat 46 .
  • the sub valve 4 connects and disconnects the primary side chamber 5 and the intermediate chamber 7 .
  • the sub-valve 4 is configured as follows.
  • a sub-valve member 50 which is inserted into the cylindrical hole 48 of the main valve member 41 so as to be movable in the axial direction, faces the main valve member 41 with a predetermined gap in the axial direction so as to be able to contact therewith.
  • a sub-valve surface 55 is formed on the outer peripheral wall of the sub-valve member 50 so that it can come into contact with a sub-valve seat 56 formed on the inner peripheral wall of the accommodation hole 10 in the circumferential direction.
  • the pilot valve 60 has a pilot valve member 63 .
  • the pilot valve member 63 is movably inserted into the block 1 toward the sub-valve member 50 and abuts against the sub-valve member 50 with a predetermined gap. Further, the pilot valve member 63 is biased in a direction away from the sub-valve member 50 by a retraction spring 66 mounted in the accommodation hole 10, and is supplied to an operation chamber 76 provided in the block 1. is moved toward the sub-valve member 50 by the pressure fluid applied.
  • ADVANTAGE OF THE INVENTION has the following effect.
  • one flow path is provided with a main valve and a sub valve in series. Therefore, since the pressure fluid in the secondary side chamber is shut off by the main valve and the sub-valve, even if one of the main valve and the sub-valve cannot be closed for some reason, the other valve is closed. As a result, the pressure fluid can be prevented from leaking out from the secondary side chamber.
  • FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, and is a schematic cross-sectional view of a check valve device.
  • FIG. 2 is an explanatory view of the operation of the check valve device, similar to FIG.
  • FIG. 3 is an explanatory view of the operation of the check valve device, similar to FIG.
  • FIG. 4 is an explanatory view of the operation of the check valve device, similar to FIG.
  • FIG. 5 is a check valve device showing a modification of the above embodiment, and is a view similar to FIG.
  • the check valve device of the present invention includes one flow path 2 for supplying and discharging compressed air (pressure fluid) in a rectangular block 1 made of metal.
  • a main valve 3 and an auxiliary valve 4 for opening and closing the flow path 2 are arranged in the middle of the flow path 2 so as to be in series.
  • a primary side chamber 5 , an intermediate chamber 7 and a secondary side chamber 6 are formed in order from one end side to the other end side of the flow path 2 so as to constitute a part of the flow path 2 .
  • the primary side chamber 5 is connected to a compressed air source that supplies compressed air (pressure fluid).
  • the secondary side chamber 6 is connected to the working chamber of the actuator.
  • the main valve 3 connects and disconnects the secondary side chamber 6 and the intermediate chamber 7 .
  • the auxiliary valve 4 connects and disconnects the primary side chamber 5 and the intermediate chamber 7 .
  • the main valve 3 and the main valve 3 may be detached. Even if the compressed air leaks from one of the sub valves 4, the other valve is closed, so the structure is such that the compressed air can be prevented from flowing out from the secondary side chamber.
  • the check valve device described above is constructed as follows.
  • a receiving hole 10 is formed in a rectangular metal block 1 (made of iron in this embodiment) so as to penetrate in the left-right direction.
  • An annular stepped portion 11 is formed on the inner peripheral wall near the center of the accommodation hole 10 , and a cylindrical primary side filter 12 is inserted from the left so as to be in close contact with the stepped portion 11 .
  • the primary side filter 12 includes a wire mesh 15 sandwiched between the inner cylinder 13 and the outer cylinder 14, the right end of the inner cylinder 13 and the right end of the outer cylinder 14, the left end of the inner cylinder 13 and the left end of the outer cylinder 14, respectively. and a U-shaped fixture 16 to be gripped.
  • a cylindrical member 21 that is in close contact with the left end of the primary side filter 12 via a sealing member 20 is hermetically inserted into the accommodation hole 10 .
  • the cylindrical member 21 has four first holes 22 to 4th holes 25 formed in order from the left side, and the diameter dimensions of the first holes 22 to 4th holes 25 are sequentially smaller from the first hole 22.
  • It's becoming A secondary filter 30 is inserted into the first hole 22 so as to adhere to the annular stepped portion 29 between the first hole 22 and the second hole 23 .
  • An annular gap 31 is formed between the outer peripheral surface of the secondary filter 30 and the inner peripheral surface of the first hole 22 .
  • the secondary side filter 30 is configured in the same manner as the primary side filter 12 .
  • a left lid member 32 engaged with the left end of the cylindrical member 21 is hermetically inserted into the housing hole 10 , and the left lid member 32 is prevented from slipping out of the housing hole 10 by a retaining ring 33 .
  • the left lid member 32 has a base portion 34 hermetically inserted into the receiving hole 10 and a tubular portion 35 projecting rightward from the base portion 34 .
  • the right wall of the base portion 34 is in tight contact with the left end of the secondary side filter 30 via a ring-shaped sealing member 36 . Therefore, the inner space and the outer space of the secondary filter 30 are partitioned by the secondary filter 30 , the cylinder member 21 and the left lid member 34 . Further, the tubular portion 35 is inserted into the tubular hole 37 of the secondary filter 30 with a predetermined annular gap 38 therebetween.
  • a tubular main valve member 41 of the main valve 3 is slidably inserted into the tubular hole 39 of the tubular portion 35 .
  • a flange portion 42 protrudes radially outward from the right end portion of the main valve member 41, and the outer peripheral wall of the flange portion 42 is tapered toward the right side.
  • a housing groove is formed in the tapered portion in the circumferential direction, and a sealing member such as an O-ring is mounted in the housing groove.
  • a main valve surface 45 is formed on the outer peripheral surface of the sealing member. The main valve surface 45 is engageable with a main valve seat 46 circumferentially formed on the inner peripheral wall of the third hole 24 of the tubular member 35 .
  • a valve closing spring 47 is mounted between the main valve member 41 and the bottom wall of the tubular hole 39 of the tubular portion 35 , and the valve closing spring 47 pushes the main valve member 41 against the left lid member 32 to the main valve seat. 46 is biased to the right.
  • the sub-valve member 50 of the sub-valve 4 is hermetically inserted into the cylindrical hole 48 of the main valve member 41 through the sealing member 51 so as to be movable in the axial direction.
  • a flange portion 52 protrudes radially outward from the right end portion of the sub-valve member 50, and the outer peripheral wall of the flange portion 52 is tapered toward the right side.
  • a housing groove is formed in the tapered portion in the circumferential direction, and a sealing member such as an O-ring is mounted in the housing groove.
  • a sub-valve surface 55 is formed on the outer peripheral surface of the sealing member. The sub-valve surface 55 is engageable with a sub-valve seat 56 circumferentially formed on the inner peripheral wall of the fourth hole 25 of the tubular member 21 .
  • the area of the cross section S of the sealing portion between the main valve surface 45 and the main valve seat 46 of the main valve 3 is the area of the cross section T of the sealing portion between the sub valve surface 55 of the sub valve 4 and the main valve seat 56. is set to be wider than Therefore, the force with which the compressed air in the secondary side chamber 6 presses the sealing portion of the main valve 3 in the closed state causes the compressed air in the secondary side chamber 6 to press the sealing portion of the sub valve 4 in the closed state. greater than power. Further, the main valve member 41 is always pushed rightward by the valve closing spring 47 .
  • the main valve 3 is not opened. Subsequently, the pressure in the primary side chamber 5 is increased, and when the pressure in the primary side chamber 5 exceeds the combined force of the pressing force of the compressed air in the secondary side chamber 6 and the biasing force of the valve closing spring 47, the main valve 3 is opened. be told. Then, the pressurized fluid in the primary side chamber 5 and the intermediate chamber 7 flows into the secondary side chamber 6 through the valve opening gap of the main valve 3, and the pressure on the side of the primary side chamber 5 drops sharply, causing the main valve 3 to chatter. Sometimes. In such a case, the main valve 3 may be affected by chattering, but the sub-valve 4 is positioned away from the sub-valve seat 56 and is prevented from being worn or damaged by chattering.
  • a pilot valve 60 for switching the sub valve 4 and the main valve 3 from the closed state to the open state is provided in the block.
  • the pilot valve 60 is configured as follows.
  • a cylinder hole 61 is formed by part of the accommodation hole 10 described above, and the portion on the right side of the stepped portion 11 of the accommodation hole 10 is the cylinder hole 61 .
  • a pilot valve member 63 is hermetically inserted into the cylinder hole 61 so as to be movable in the axial direction.
  • the pilot valve member 63 has a body portion 64 hermetically inserted into the cylinder hole 61 and an engagement portion 65 having a diameter smaller than that of the body portion 64 and protruding leftward.
  • the engaging portion 65 can be inserted into the fourth hole 25 of the tubular member 21 and can come into contact with the sub-valve member 50 .
  • a retraction spring 66 is mounted within the cylinder hole 61 and between the right wall of the cylindrical member 21 and the left wall of the body portion 64 of the pilot valve member 63 .
  • the retraction spring 66 urges the pilot valve member 63 to the right with respect to the tubular member 21 .
  • the large-diameter hole 70 forming part of the accommodation hole 10 is formed so as to continue to the right side of the cylinder hole 61 .
  • a cylindrical filter 72 is inserted into the large-diameter hole 70 so as to be in close contact with the stepped portion 71 between the large-diameter hole 70 and the cylinder hole 61 .
  • the filter 72 has the same structure as the primary side filter 12 and the secondary side filter 30 .
  • a right cover member 73 is hermetically inserted into the large diameter hole 70 so as to be in close contact with the right end of the filter 72 via a sealing member, and a left small diameter portion 74 of the right cover member 73 is inserted into the cylindrical hole of the filter 72. is inserted in the The right lid member 73 is retained from the large diameter hole 70 by a retaining ring 75 .
  • the body portion 64 of the pilot valve member 63 is received by the right lid member 73 .
  • a working chamber 76 is formed between the right surface of the pilot valve member 63 and the right cover member 73 .
  • a supply/discharge passage 78 for working compressed air communicating with an annular gap 77 formed between the outer peripheral surface of the filter 72 and the inner peripheral surface of the large-diameter hole 70 is provided in the block 1. Formed in the lower right part. Compressed air from a compressed air source is supplied and exhausted through supply and discharge passages 78 .
  • the space between the cylinder member 21 and the pilot valve member 63 within the accommodation hole 10 constitutes the primary side chamber 5 .
  • a main valve chamber (intermediate chamber) 7 is formed in a tubular hole of the tubular member 21 so as to communicate with the primary side chamber 5 .
  • a primary side supply/discharge path 80 is formed near the center of the lower portion of the block 1 .
  • the primary side supply/discharge path 80 communicates with an annular gap 81 formed between the inner peripheral surface of the accommodation hole 10 and the outer peripheral surface of the primary side filter 12, and is connected to a compressed air source.
  • the compressed air from the compressed air source is supplied to and discharged from the primary side chamber 5 through the primary side supply/discharge passage 80 , the annular space 81 , and the primary side filter 12 .
  • a secondary supply/discharge path 82 is formed in the upper left part of the block 1 .
  • the secondary supply/discharge path 82 communicates with an annular gap 83 formed between the inner peripheral surface of the accommodation hole 10 and the outer peripheral surface of the tubular member 21 .
  • the annular gap 83 is communicated with the inside of the cylindrical hole by a through hole 84 formed in the cylindrical wall of the cylindrical member 21 .
  • the secondary side supply/discharge path 82 communicates with the secondary side chamber 6 through the annular space 83 , the through hole 84 , the first hole 22 of the cylindrical member 21 , and the secondary side filter 30 .
  • the secondary supply/discharge path 82 communicates with the working chamber of the actuator.
  • the flow path 2 includes a primary side supply/discharge path 80, an annular space 81, a primary side chamber 5, an intermediate chamber 7, a secondary side chamber 6, a through hole 84, an annular space 83, a secondary side supply/discharge path 82, and the like. Consists of
  • the above check valve device operates as follows.
  • the initial state (valve closed state) of FIG. 1 the compressed air in the primary side supply/discharge passage 80 is discharged to the outside.
  • Compressed air in the supply/discharge path 78 for operation is also discharged to the outside. Therefore, the pressure of the compressed air in the primary side chamber 5 communicating with the primary side supply/discharge path 80 is about the atmospheric pressure. Therefore, the pressing force due to the pressure of the compressed air in the secondary side chamber 6 and the biasing force of the valve closing spring 47 move the main valve member 41 rightward, and the main valve surface 45 of the main valve member 41 is engaged with the main valve seat 46 . Together, the main valve 3 is closed.
  • the pressing force due to the pressure of the compressed air in the secondary side chamber 6 moves the sub-valve member 50 rightward, the sub-valve surface 55 of the sub-valve member 50 is engaged with the sub-valve seat 56, and the sub-valve 4 is closed. valve is closed.
  • the compressed air from the compressed air source passes through the primary side supply/discharge path 80 and the primary side filter 12 to the primary side chamber 5. supplied.
  • the working chamber 76 is not supplied with compressed air from the compressed air source.
  • the pressing force due to the pressure of the compressed air in the primary side chamber 5 and the biasing force of the retraction spring 66 push the pilot valve member 63 rightward, and the pilot valve member 63 is received by the right lid member 73 from the right side.
  • the compressed air in the primary side chamber 5 pushes the sub-valve member 50 leftward.
  • the main valve surface 45 is separated from the main valve seat 46 and the main valve 3 is opened. Therefore, the compressed air from the compressed air source is supplied to the working chamber of the actuator through the primary side chamber 5, the intermediate chamber 7, the secondary side chamber 6 and the secondary side supply/discharge passage 82.
  • the compressed air in the working chamber of the actuator When the compressed air in the working chamber of the actuator is discharged to the outside, the compressed air in the primary side chamber 5 is discharged to the outside, and the compressed air from the compressed air source passes through the supply/discharge path 78 for operation and the filter 72 to operate. chamber 76 is supplied. Then, the pressing force due to the pressure of the compressed air in the working chamber 76 moves the pilot valve member 63 leftward against the urging force of the retraction spring 66 . Next, the engaging portion 65 of the pilot valve member 63 is inserted into the cylindrical hole of the cylindrical member 21 to push the sub-valve member 50 leftward and open the sub-valve 4 . Subsequently, the flange portion 52 of the sub-valve member 50 pushes the main valve member 41 leftward to open the main valve 3 . As a result, the compressed air in the working chamber of the actuator is discharged outside through the check valve device.
  • one flow path 2 is provided with a main valve 3 and an auxiliary valve 4 in series. Therefore, since the compressed air in the secondary side chamber 6 is shut off by the main valve 3 and the sub valve 4, even if one of the main valve and the sub valve cannot be closed for some reason, the other valve is closed. As a result, leakage of pressure fluid from the secondary side chamber 6 can be prevented.
  • FIG. 5 shows a modification of the embodiment of the present invention.
  • the same reference numerals are given to the same (or similar) members as those of the above-described embodiment.
  • a first supply/discharge path 78 for operation communicating with the large-diameter hole 70 of the accommodation hole 10 is formed in the lower right portion of the block 1. As shown in FIG. The first supply/discharge path 78 communicates with a compressed air source.
  • the second supply/discharge path 87 communicates with the release chamber, which is the actuation chamber of the actuator.
  • the secondary side supply/discharge path 82 communicates with a lock chamber, which is an operation chamber of the actuator.
  • the compressed air in the lock chamber of the actuator When the compressed air in the lock chamber of the actuator is discharged to the outside, the compressed air in the primary side chamber 5 is discharged. Compressed air from a compressed air source is supplied to the release chamber of the actuator through the first supply/discharge path 78, the filter 72, and the second supply/discharge path 87 for actuation, and is supplied to the actuation chamber 76 thereof.
  • the compressed air moves the pilot valve member 63 to the left.
  • the engaging portion 65 of the pilot valve member 63 is inserted into the tubular hole 39 of the tubular member 21 to push the sub-valve member 50 leftward to open the sub-valve 4 .
  • the flange portion 52 of the sub-valve member 50 pushes the tip portion of the main valve member 41 leftward to open the main valve 3 .
  • the secondary side supply/discharge passage 82 is communicated with the primary side supply/discharge passage 80 through the main valve chamber 7 and the sub valve chamber 5 .
  • the compressed air in the lock chamber of the actuator is discharged outside through the flow path 2 of the check valve device.
  • the pressurized fluid may be another gas or a liquid such as pressurized oil or water instead of the exemplified compressed air.
  • the pressurized fluid may be another gas or a liquid such as pressurized oil or water instead of the exemplified compressed air.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Check Valves (AREA)
  • Multiple-Way Valves (AREA)

Abstract

弁で遮断した流路から圧力流体が漏れ出しにくい構造の逆止弁装置を提供する。　ブロック１内に流路２が形成され、その流路２の途中部に主弁３と副弁４とが直列状に設けられる。前記流路２の一部を構成する一次側室５と中間室７と二次側室６とが、当該流路２の一端側から他端側に順に形成される。前記主弁３と前記副弁４とをパイロット弁６０が開弁操作する。

Description

逆止弁装置
　この発明は、逆止弁装置に関し、より詳しくは、パイロット弁によって強制開弁される逆止弁装置の技術に関する。
　この種の逆止弁装置には、従来では、特許文献１（日本国・実開昭５２－１１６７２２号公報）に記載されたものがある。その従来技術は、次のように構成されている。
　ブロック内に収容孔が上下方向に形成される。収容孔に筒状の主弁部材が上下方向に移動可能に挿入される。収容孔の内周壁に主弁座が周方向に形成される。その主弁座に当接可能な主弁面が主弁部材の下端部に周方向に形成される。その主弁部材の筒孔は、上側から順に貫通される大径孔と小径孔とを有している。その大径孔に副弁部材が上下方向に移動可能に挿入される。小径孔の大径孔側の周縁部に副弁座が形成される。その副弁座に当接可能となるように副弁面が副弁部材の下端部に周方向に形成される。副弁部材とブロックとの間に閉弁バネが装着され、その閉弁バネが副弁部材を副弁座に向けて付勢すると共に、その副弁部材に押される主弁部材が主弁座に向けて付勢される。また、収容孔の下部にピストンが移動可能に挿入され、そのピストンからパイロット部が上方に突設される。そのパイロット部の上端小径部が主弁部材の小径孔に挿入されて、そのパイロット部が副弁部材に当接可能となっている。ピストンの下側の作動室に装着される進出バネがピストンを上方に移動させる。また、ピストンの上側の作動室に圧力流体が供給されると、ピストンが下方に後退されるようになっている。この逆止弁装置では、流路の一端部としての給排路がブロックの右壁に形成され、収容孔に連通されている。その収容孔内で流路が第１分岐路と第２分岐路に分岐される。その第１分岐路は、主弁部材の弁面および弁座の開弁隙間によって構成されている。第２分岐路は、主弁部材の小径孔と、副弁部材の弁面および弁座の開弁隙間と、主弁部材の大径孔と、主弁部材の周壁に形成された貫通孔とから構成される。その第１分岐路と第２分岐路とは、ブロックの左壁に形成される給排路で合流される。
実開昭５２－１１６７２２号公報
　上記の従来技術は次の問題がある。
　上記の流路はブロック内で第１分岐路と第２分岐路とに分かれて備えられる。第１分岐路を開閉する主弁および第２分岐路を開閉する副弁のうちのいずれか一方の弁が、何らかの原因、例えば、ごみなどの異物が挟まることにより閉弁できないときには、圧縮空気（圧力流体）が漏れ出ることになる。ブロック内に弁が１つの流路に１つだけ備える場合に比べて、従来技術の弁装置では、１つの分岐路に１つの弁を２組備えるので、閉弁できないで圧力流体を漏れ出させる不具合を生じる可能性が高くなっている。
　本発明の目的は、弁で遮断した流路から圧力流体が漏れ出しにくい構造の逆止弁装置を提供することにある。
　上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図１から図４、図５に示すように、逆止弁装置を次のように構成した。
　ブロック１内に形成される流路２の途中部に主弁３と副弁４とが直列状に設けられる。前記流路２の一部を構成する一次側室５と中間室７と二次側室６とが、当該流路２の一端側から他端側に順に形成される。前記主弁３と前記副弁４とをパイロット弁６０が開弁操作する。前記主弁３は、前記二次側室６と前記中間室７とを接続および遮断する。その主弁３は、次のように構成される。前記ブロック１内に形成される収容孔１０に筒状の主弁部材４１が軸方向に移動可能に挿入される。前記収容孔１０の内周壁に周方向に形成される主弁座４６に当接可能となる主弁面４５が前記主弁部材４１の外周壁に形成される。前記主弁部材４１を閉弁バネ４７が前記主弁座４６に向けて付勢する。前記副弁４は、前記一次側室５と前記中間室７とを接続および遮断する。その副弁４は、次のように構成される。前記主弁部材４１の筒孔４８に前記軸方向に移動可能に挿入される副弁部材５０が、前記主弁部材４１に前記軸方向に所定隙間をあけて当接可能に対面される。前記収容孔１０の内周壁に周方向に形成される副弁座５６に当接可能となる副弁面５５が、前記副弁部材５０の外周壁に形成される。前記パイロット弁６０は、パイロット弁部材６３を有している。そのパイロット弁部材６３は、前記ブロック１内に前記副弁部材５０に向けて移動可能に挿入されると共に、前記副弁部材５０に所定隙間をあけて当接可能に対面される。また、そのパイロット弁部材６３は、前記収容孔１０内に装着される後退バネ６６によって前記副弁部材５０から離間する方向に付勢されると共に、前記ブロック１内に設けられる作動室７６に供給される圧力流体によって前記副弁部材５０に向けて移動される。
　本発明は、次の作用効果を奏する。
　上記逆止弁装置では、１つの流路に主弁と副弁とを直列状に備えている。このため、二次側室の圧力流体が主弁および副弁に遮断されるので、主弁および副弁のうちの一方の弁が、何らかの原因によって、閉弁できないときでも、他方の弁が閉弁されて、二次側室から圧力流体が漏れ出るのを防止できる。
図１は、本発明の一実施形態を示し、逆止弁装置の断面視の模式図である。 図２は、上記逆止弁装置の動作説明図であり、図１に類似する図である。 図３は、上記逆止弁装置の動作説明図であり、図１に類似する図である。 図４は、上記逆止弁装置の動作説明図であり、図１に類似する図である。 図５は、上記実施形態の変形例を示す逆止弁装置であり、図４に類似する図である。
　以下、本発明の一実施形態を図１から図４によって説明する。
　本発明の逆止弁装置は、矩形の金属製のブロック１内に、圧縮空気（圧力流体）を給排するための流路２を１つ備えている。その流路２を開閉する主弁３と副弁４とが直列状となるように当該流路２の途中部に配置される。その流路２の一部を構成するように、一次側室５と中間室７と二次側室６が当該流路２の一端側から他端側に順に形成される。その一次側室５が、圧縮空気（圧力流体）を供給する圧縮空気源に接続される。また、二次側室６が、アクチュエータの作動室に接続される。上記の主弁３が二次側室６と中間室７とを接続および遮断する。また、副弁４が一次側室５と中間室７とを接続および遮断する。これにより、圧縮空気源から一次側室５に供給される圧縮空気のすべては、副弁４の開弁隙間を通って中間室７へ流入され、その中間室７の圧縮空気が主弁３の開弁隙間と二次側室６とを通ってアクチュエータの作動室に供給される。
　上記の逆止弁装置では、圧縮空気源から圧縮空気が一次側室５に供給された後にその供給が停止された状態で、何らかの原因、たとえば、ごみなどの異物が挟まることによって、主弁３と副弁４のうちのいずれか一方の弁から圧縮空気が漏れ出ても、他方の弁が閉弁されているので、二次側室から圧縮空気が流出するのを防止できる構造となっている。
　上記の逆止弁装置は、図１から図４に示すように、次のように構成される。
　矩形の金属製のブロック１（本実施形態においては鉄製）に収容孔１０が、左右方向に貫通するように形成される。その収容孔１０の中央付近の内周壁に環状の段差部１１が形成され、その段差部１１に密着するように筒状の一次側フィルタ１２が左方から挿入される。その一次側フィルタ１２は、内筒１３と外筒１４に挟まれた金網１５と内筒１３の右端部と外筒１４の右端部、内筒１３の左端部と外筒１４の左端部がそれぞれ把持されるＵ字固定具１６とを有している。
　上記一次側フィルタ１２の左端部に封止部材２０を介して密着する筒部材２１が収容孔１０に保密状に挿入される。その筒部材２１は、左側から順に形成される４つの第１孔２２から第４孔２５を有しており、その第１孔２２から第４孔２５の径寸法が第１孔２２から順に小さくなっている。その第１孔２２と第２孔２３との間の環状の段差部２９に密着する二次側フィルタ３０が第１孔２２に挿入される。その二次側フィルタ３０の外周面と第１孔２２の内周面との間に環状隙間３１が形成されている。なお、二次側フィルタ３０は、一次側フィルタ１２と同じように構成される。
　上記の筒部材２１の左端部に係合する左蓋部材３２は収容孔１０に保密状に挿入され、その左蓋部材３２が止め輪３３によって収容孔１０から抜け止めされている。その左蓋部材３２は、収容孔１０に保密状に挿入される基部分３４と、その基部分３４から右側に突設される筒部分３５とを有している。基部分３４の右壁がリング状の封止部材３６を介して保密状に二次側フィルタ３０の左端部に密着している。このため、二次側フィルタ３０の内側空間と外側空間とは当該二次側フィルタ３０と筒部材２１と左蓋部材３４とによって区画される。また、筒部分３５が二次側フィルタ３０の筒孔３７に所定の環状隙間３８をあけて挿入される。
　上記の筒部分３５の筒孔３９内に主弁３の筒状の主弁部材４１が摺動可能に挿入される。その主弁部材４１の右端部からフランジ部分４２が径方向の外方に突設され、そのフランジ部分４２の外周壁にテーパ部が右側に向かうにつれて先細りとなるように形成される。そのテーパ部に収容溝が周方向に形成され、その収容溝にＯリングなどの封止部材が装着される。その封止部材の外周面に主弁面４５が形成される。その主弁面４５が、筒部材３５の第３孔２４の内周壁に周方向に形成される主弁座４６に係合可能となっている。上記の主弁部材４１と筒部分３５の筒孔３９の底壁との間に閉弁バネ４７が装着され、その閉弁バネ４７が左蓋部材３２に対して主弁部材４１を主弁座４６に向けて右方に付勢する。
　上記主弁部材４１の筒孔４８に副弁４の副弁部材５０が封止部材５１を介して保密状で軸方向に移動可能に挿入される。その副弁部材５０の右端部からフランジ部分５２が径方向の外方に突設され、そのフランジ部分５２の外周壁にテーパ部が右側に向かうにつれて先細りとなるように形成される。そのテーパ部に収容溝が周方向に形成され、その収容溝にＯリングなどの封止部材が装着される。その封止部材の外周面に副弁面５５が形成される。その副弁面５５が、筒部材２１の第４孔２５の内周壁に周方向に形成される副弁座５６に係合可能となっている。
　上記の主弁３の主弁面４５と主弁座４６とによる封止部分の断面Ｓの面積は、副弁４の副弁面５５と主弁座５６とによる封止部分の断面Ｔの面積よりも広くなるように設定されている。このため、二次側室６の圧縮空気が閉弁状態の主弁３の封止部分を押圧する力は、二次側室６の圧縮空気が閉弁状態の副弁４の封止部分を押圧する力よりも大きくなる。また、主弁部材４１は、閉弁バネ４７によって右方に常時押されている。これにより、主弁３および副弁４が共に閉弁状態にあるとき、一次側室５の圧縮空気が副弁部材５０を押す力が二次側室６の圧縮空気が副弁部材５０を押す力を上回ると、副弁４は開弁される。その副弁４の開弁隙間を通って圧縮空気が中間室７に流入される。このとき、主弁３はまだ閉弁されている。また、中間室７の容積は、一次側室５や二次側室６に比べて狭く作られているので、一次側室５の圧力が急激に変化することは防止されている。これにより、急激な圧力変化による副弁４の開閉動作の繰り返し（チャタリングの発生）を防止でき、その結果、チャタリングによる副弁４の構成部材等の摩耗や破損を防止できる。
　上記のように、一次側室５の圧力が、副弁４が開弁される圧力値に達したときでも、主弁３は、開弁されない。引き続いて、一次側室５の圧力が上昇されていき、一次側室５の圧力が二次側室６の圧縮空気による押圧力と閉弁バネ４７の付勢力との合力を上回ると、主弁３が開弁される。すると、一次側室５及び中間室７の圧力流体は主弁３の開弁隙間を通って二次側室６に流入され、一次側室５側の圧力が急激に低下して、主弁３がチャタリングする場合がある。そのような場合、主弁３はチャタリングの影響を受けることがあるが、副弁４は副弁座５６から離間された位置にあり、チャタリングによる摩耗や破損することが防止される。
　上記副弁４と主弁３とが開弁されると、一次側室５と二次側室６との圧力差がなくなるので、副弁部材５０が一次側室５側から押される力と二次側室６側から押される力とは相殺される。また、主弁部材４１も同様に、当該主弁部材４１が一次側室５側から押される力と二次側室６側から押される力とが相殺され、閉弁バネ４７の付勢力だけが主弁部材４１に作用する。このため、主弁３の開弁隙間を通る圧縮空気は、閉弁バネ４７の付勢力に応じた圧力損失が生じるが、副弁４の開弁隙間を通る圧縮空気には、圧力損失を生じさせない、または、少なくすることができる。従って、主弁３および副弁４がそれぞれ閉弁バネによって付勢される場合に比べて、主弁３および副弁４の開弁隙間を通る圧縮空気の圧力損失を少なく抑えることができる。
　上記逆止弁装置では、副弁４と主弁３とを閉弁状態から開弁状態に切り換え操作するパイロット弁６０がブロック内に備えられる。そのパイロット弁６０は、次のように構成される。
　上記の収容孔１０の一部によってシリンダ孔６１が構成され、当該収容孔１０の段差部１１より右側部分がシリンダ孔６１になっている。そのシリンダ孔６１にパイロット弁部材６３が保密状で軸方向に移動可能に挿入される。そのパイロット弁部材６３は、シリンダ孔６１に保密状に挿入される本体部分６４と、その本体部分６４よりも小径で左方に突設される係合部分６５とを有する。その係合部分６５が上記筒部材２１の第４孔２５に挿入可能となっていると共に、副弁部材５０に当接可能となっている。そのシリンダ孔６１内であって筒部材２１の右壁とパイロット弁部材６３の本体部分６４の左壁との間に後退バネ６６が装着されている。その後退バネ６６は筒部材２１に対してパイロット弁部材６３を右方向に付勢している。
　上記の収容孔１０の一部を構成する大径孔７０は、シリンダ孔６１の右側に連続するように形成される。その大径孔７０とシリンダ孔６１との段差部７１に密着するように筒状のフィルタ７２が大径孔７０に挿入される。そのフィルタ７２は、一次側フィルタ１２や二次側フィルタ３０と同様の構造となっている。そのフィルタ７２の右端部に封止部材を介して密着するように右蓋部材７３が大径孔７０に保密状に挿入され、その右蓋部材７３の左側小径部分７４がフィルタ７２の筒孔内に挿入されている。その右蓋部材７３は止め輪７５によって大径孔７０から抜け止めされている。
　上記パイロット弁部材６３の本体部分６４は、右蓋部材７３によって受け止められるようになっている。そのパイロット弁部材６３の右面と右蓋部材７３との間に作動室７６が形成される。その作動室７６内であって、フィルタ７２の外周面と大径孔７０の内周面との間に形成される環状隙間７７に連通される作動用圧縮空気の給排路７８がブロック１の右下部に形成される。圧縮空気源からの圧縮空気が給排路７８を通って供給および排出される。
　本実施形態の逆止弁装置では、上記収容孔１０内であって、筒部材２１とパイロット弁部材６３との間の空間によって一次側室５が構成される。その一次側室５に連通するように主弁室（中間室）７が筒部材２１の筒孔内に形成される。また、ブロック１の下部中央付近に一次側給排路８０が形成される。その一次側給排路８０は、収容孔１０の内周面と一次側フィルタ１２の外周面との間に形成される環状隙間８１に連通され、圧縮空気源に接続されている。これにより、圧縮空気源からの圧縮空気が一次側給排路８０と環状空間８１と一次側フィルタ１２内を通って一次側室５に給排される。
　上記ブロック１の左上部に二次側給排路８２が形成される。その二次側給排路８２は、収容孔１０の内周面と筒部材２１の外周面との間に形成される環状隙間８３に連通される。また、その環状隙間８３は、筒部材２１の筒壁に形成される貫通孔８４によって筒孔内に連通されている。これにより、二次側給排路８２は、環状空間８３と貫通孔８４と筒部材２１の第１孔２２と二次側フィルタ３０を通って二次側室６に連通されている。その二次側給排路８２がアクチュエータの作動室に連通されている。
　本実施形態において、流路２は、一次側給排路８０と環状空間８１と一次側室５と中間室７と二次側室６と貫通孔８４と環状空間８３と二次側給排路８２等によって構成される。
　上記の逆止弁装置は、図１から図４に示すように、次のように作動する。
　図１の初期状態（閉弁状態）では、一次側給排路８０の圧縮空気が外部に排出されている。また、作動用の給排路７８の圧縮空気も外部に排出されている。このため、一次側給排路８０に連通する一次側室５の圧縮空気の圧力は大気圧程度になっている。よって、二次側室６の圧縮空気の圧力による押圧力および閉弁バネ４７の付勢力が主弁部材４１を右方に移動させ、主弁部材４１の主弁面４５が主弁座４６に係合されて、主弁３が閉弁されている。また、二次側室６の圧縮空気の圧力による押圧力が副弁部材５０を右方に移動させ、副弁部材５０の副弁面５５が副弁座５６に係合されて、副弁４が閉弁されている。
　圧縮空気源からの圧縮空気が逆止弁装置を介してアクチュエータに供給されるときには、まず、圧縮空気源からの圧縮空気が一次側給排路８０と一次側フィルタ１２を通って一次側室５に供給される。このとき、作動室７６には、圧縮空気源からの圧縮空気は供給されていない。すると、一次側室５内の圧縮空気の圧力による押圧力と後退バネ６６の付勢力がパイロット弁部材６３を右方へ押して、そのパイロット弁部材６３が右蓋部材７３に右側から受け止められている。また、一次側室５内の圧縮空気が副弁部材５０を左方に押す。その一次側室５の圧縮空気の圧力による押圧力が、二次側室６の圧縮空気の圧力による押圧力を上回るときに、一次側室５の圧縮空気が、副弁部材５０を左方へ移動させていく。このため、副弁面５５が副弁座５６から離間されて副弁４は開弁される。よって、一次側室５の圧縮空気は、開弁隙間を通って中間室７に流入される。その中間室７の圧縮空気の圧力による押圧力が、二次側室６の圧縮空気の圧力による押圧力および閉弁バネ４７の付勢力の合力を上回ると、中間室７の圧縮空気が副弁部材５０と主弁部材４１とを左方へ移動させる。このため、主弁面４５が主弁座４６から離間されて、主弁３は開弁される。よって、圧縮空気源の圧縮空気が、一次側室５と中間室７と二次側室６と二次側給排路８２とを通ってアクチュエータの作動室に供給される。
　上記の圧縮空気源からの圧縮空気の供給が停止されたときには、二次側室６の圧縮空気の圧力による押圧力および閉弁バネ４７の付勢力が主弁部材４１を右方に移動させて、主弁３は閉弁される。また、二次側室６の圧縮空気の圧力による押圧力が副弁部材５０を右方に移動させて、副弁４は閉弁される。
　上記アクチュエータの作動室の圧縮空気を外部に排出するときには、一次側室５の圧縮空気を外部に排出すると共に、圧縮空気源からの圧縮空気が作動用の給排路７８とフィルタ７２を通って作動室７６に供給される。すると、作動室７６の圧縮空気の圧力による押圧力が後退バネ６６の付勢力に抗してパイロット弁部材６３を左方へ移動させていく。次いで、パイロット弁部材６３の係合部６５が筒部材２１の筒孔に挿入されて、副弁部材５０を左方へ押して副弁４を開弁させる。引き続いて、副弁部材５０のフランジ部５２が主弁部材４１を左方に押して主弁３を開弁させる。これにより、アクチュエータの作動室の圧縮空気は、逆止弁装置内を通って外部に排出される。
　上記の実施形態は次の長所を奏する。
　上記逆止弁装置では、１つの流路２に主弁３と副弁４とを直列状に備えている。このため、二次側室６の圧縮空気が主弁３および副弁４に遮断されるので、主弁および副弁のうちの一方の弁が何らかの原因によって閉弁できないときでも他方の弁が閉弁されて、二次側室６から圧力流体が漏れ出るのを防止できる。
　図５は、本発明の実施形態の変形例を示している。この実施形態の変形例においては、上記の実施形態の構成部材と同じ部材（または類似する部材）には原則として同一の参照数字を付けて説明する。
　上記実施形態の変形例が上記の実施形態と異なる点は次の通りである。
　図５に示すように、収容孔１０の大径孔７０に連通される作動用の第１給排路７８はブロック１の右下部に形成される。その第１給排路７８は圧縮空気源に連通される。また、収容孔１０の大径孔７０に連通される作動用の第２給排路８７はブロック１の右上に形成される。その第２給排路８７はアクチュエータの作動室であるリリース室に連通される。また、二次側の給排路８２はアクチュエータの作動室であるロック室に連通される。
　上記アクチュエータのロック室の圧縮空気を外部に排出するときには、一次側室５の圧縮空気を排出する。また、圧縮空気源からの圧縮空気は作動用の第１給排路７８とフィルタ７２と第２給排路８７とを通ってアクチュエータのリリース室に供給されると共に、その作動室７６に供給された圧縮空気がパイロット弁部材６３を左方へ移動させていく。次いで、パイロット弁部材６３の係合部分６５が筒部材２１の筒孔３９に挿入されて、副弁部材５０を左方へ押して副弁４を開弁させる。引き続いて、副弁部材５０のフランジ部５２が主弁部材４１の先端部を左方に押して主弁３を開弁させる。これにより、二次側給排路８２は、主弁室７と副弁室５とを通って一次側給排路８０に連通される。その結果、アクチュエータのロック室の圧縮空気は、逆止弁装置の流路２を通って外部に排出される。
　上記の各実施形態は次のように変更可能である。
　圧力流体は、例示した圧縮空気に代えて、他の気体または圧油や水等の液体であってもよい。
　その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。
１     ブロック
２     流路
３     主弁
４     副弁
５     一次側室
６     二次側室
７     中間室
１０   収容孔
４１   主弁部材
４５   主弁面
４６   主弁座
４７   閉弁バネ
４８   筒孔
５０   副弁部材
５５   副弁面
５６   副弁座
６０   パイロット弁
６３   パイロット弁部材
６６   後退バネ
７６   作動室
 

 

Claims (1)

  1. 　ブロック（１）内に形成される流路（２）の途中部に直列状に設けられる主弁（３）と副弁（４）と、前記流路（２）の一部を構成するように、当該流路（２）の一端側から他端側に順に形成される一次側室（５）と中間室（７）と二次側室（６）と、前記主弁（３）と前記副弁（４）とを開弁操作するパイロット弁（６０）と、を備える逆止弁装置において、
    　前記二次側室（６）と前記中間室（７）とを接続および遮断する前記主弁（３）は、前記ブロック（１）内に形成される収容孔（１０）に軸方向に移動可能に挿入される筒状の主弁部材（４１）と、
    　前記収容孔（１０）の内周壁に周方向に形成される主弁座（４６）に当接可能となるように前記主弁部材（４１）の外周壁に形成される主弁面（４５）と、
    　前記主弁部材（４１）を前記主弁座（４６）に向けて付勢する閉弁バネ（４７）と、を有し、
    　前記一次側室（５）と前記中間室（７）とを接続および遮断する前記副弁（４）は、　前記主弁部材（４１）の筒孔（４８）に前記軸方向に移動可能に挿入されると共に、前記主弁部材（４１）に前記軸方向に所定隙間をあけて当接可能に対面される副弁部材（５０）と、
    　前記収容孔（１０）の内周壁に周方向に形成される副弁座（５６）に当接可能となるように前記副弁部材（５０）の外周壁に形成される副弁面（５５）と、を有し、
    　前記パイロット弁（６０）は、　前記ブロック（１）内に前記副弁部材（５０）に向けて移動可能に挿入されると共に、前記副弁部材（５０）に所定隙間をあけて当接可能に対面されるパイロット弁部材（６３）であって、前記収容孔（１０）内に装着される後退バネ（６６）によって前記副弁部材（５０）から離間する方向に付勢されると共に、前記ブロック（１）内に設けられる作動室（７６）に供給される圧力流体によって前記副弁部材（５０）に向けて移動されるパイロット弁部材（６３）を有する、
    ことを特徴とする逆止弁装置。

     
PCT/JP2022/034875 2021-10-19 2022-09-20 逆止弁装置 WO2023067968A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020247010031A KR20240048550A (ko) 2021-10-19 2022-09-20 역지 밸브 장치
CN202280069805.4A CN118103626A (zh) 2021-10-19 2022-09-20 止回阀装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021171264A JP2023061328A (ja) 2021-10-19 2021-10-19 逆止弁装置
JP2021-171264 2021-10-19

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2023067968A1 true WO2023067968A1 (ja) 2023-04-27

Family

ID=86059015

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2022/034875 WO2023067968A1 (ja) 2021-10-19 2022-09-20 逆止弁装置

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP2023061328A (ja)
KR (1) KR20240048550A (ja)
CN (1) CN118103626A (ja)
TW (1) TWI828361B (ja)
WO (1) WO2023067968A1 (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52116722U (ja) 1976-03-03 1977-09-05
JPH05133512A (ja) * 1992-01-23 1993-05-28 Sanki Kogyo Kk 溶接用安全器
JP2014503055A (ja) * 2010-12-16 2014-02-06 ヴアブコ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング 圧縮空気供給装置、空気圧システム及び空気圧装置の操作方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5826418B2 (ja) 1976-03-26 1983-06-02 大洋製鋼株式会社 亜鉛メツキ設備におけるトツプドロスよりの亜鉛地金回収方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52116722U (ja) 1976-03-03 1977-09-05
JPH05133512A (ja) * 1992-01-23 1993-05-28 Sanki Kogyo Kk 溶接用安全器
JP2014503055A (ja) * 2010-12-16 2014-02-06 ヴアブコ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング 圧縮空気供給装置、空気圧システム及び空気圧装置の操作方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2023061328A (ja) 2023-05-01
CN118103626A (zh) 2024-05-28
TWI828361B (zh) 2024-01-01
TW202331128A (zh) 2023-08-01
KR20240048550A (ko) 2024-04-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4423615B2 (ja) 遮断弁
CA2891589C (en) Combination diaphragm piston actuator
KR102342755B1 (ko) 밸브 장치
US9395020B2 (en) Two spool energy saver valve
JP2008039083A (ja) 閉鎖力増強機構付きダイヤフラム型電磁弁
JP6148239B2 (ja) 着座荷重付勢をもつボリュームブースター
US6016835A (en) Hydraulic quick disconnect coupling
US6390126B1 (en) Coupling device to prevent fluid leakage
WO2023067968A1 (ja) 逆止弁装置
US4465097A (en) Coupling
JP2020067104A (ja) 管継手
KR102403862B1 (ko) 매니폴드
CN113074256B (zh) 电磁阀
KR20200054180A (ko) 시퀀스 밸브 부착 실린더 장치
KR101038278B1 (ko) 선박의 엔진 제어용 솔레노이드밸브
KR20200008167A (ko) 액추에이터, 밸브 및 반도체 제조 장치
JP7458019B2 (ja) 開閉弁装置
CN109027398B (zh) 超低温高压双阀芯联动阀门
JP2000130619A (ja) 減圧装置
CN214008231U (zh) 带联锁结构的先导式电磁阀
US11680650B2 (en) Four-position switching valve
KR20200014812A (ko) 액추에이터, 밸브, 유체 공급 시스템 및 반도체 제조 장치
WO2023022008A1 (ja) カップリング装置
FI81661C (fi) Kulventil.
JP4545301B2 (ja) 急速継手

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 22883278

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20247010031

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2022883278

Country of ref document: EP

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2022883278

Country of ref document: EP

Effective date: 20240521