KR20200054180A - 시퀀스 밸브 부착 실린더 장치 - Google Patents

시퀀스 밸브 부착 실린더 장치 Download PDF

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Abstract

하우징(1) 내에 형성되는 작동실(2)이 압유의 급배로(7)를 통해서 급배 포트(6)에 연통된다. 상기 급배로(7)의 도중부에 형성되는 장착구멍(8)에, 시퀀스 밸브(10)의 밸브케이스(11)가 장착된다. 상기 밸브케이스(11)에 형성되는 통공(20) 내에, 밸브시트(25)가 형성된다. 상기 밸브시트(25)를 향하여 밸브부재(26)가 압력 설정 스프링(31)에 의해서 왼쪽으로 부세된다. 상기 급배 포트(6)측의 상기 급배로(7)에 공급되는 압유의 압력이 설정 압력을 상회할 때에, 그 압유가 상기 밸브부재(26)를 상기 압력 설정 스프링(31)에 대항하여 오른쪽으로 밸브개방 이동시킨다.

Description

시퀀스 밸브 부착 실린더 장치
이 발명은, 시퀀스 밸브를 구비하는 실린더 장치에 관한 것이다.
종래에는, 시퀀스 밸브는, 압력유체의 공급원과 실린더 장치를 연통시키는 유로(주유로(主流路)와 분기로(分岐路)와 전용유로(專用流路))의 도중부(途中部)에 설치된다. 이 종류의 시퀀스 밸브로는, 특허문헌 1(일본국·특개 2017-44327호 공보)에 기재된 것이 있다. 그 종래기술은, 다음과 같이 구성되어 있다.
상기 시퀀스 밸브의 밸브케이스 내에, 오른쪽에서부터 왼쪽으로 직렬(直列) 모양으로 형성되는 1차측실과 밸브시트와 2차측실을 가진다. 1차측실은, 압유(압력유체)의 공급원에 연통되어 있다. 2차측실은, 실린더 장치의 급배(給排) 포트에 연통되어 있다. 그 2차측실에 밸브부재가 좌우방향으로 진퇴 가능하게 삽입되며, 그 밸브부재가 압력 설정 스프링에 의해 밸브시트를 향해서 오른쪽으로 부세(付勢)된다.
그리고 그 시퀀스 밸브의 1차측실에서부터 2차측실로 압유를 흐르게 할 때에는, 압유를 1차측실에 공급하고, 그 압유의 압력이 설정 압력을 상회(上回)하면, 1차측실의 압유가 밸브부재를 왼쪽으로 밸브개방 이동시킨다. 또한, 1차측실의 압유의 압력이 설정 압력을 하회(下回)하면, 압력 설정 스프링에 의해 밸브부재가 오른쪽으로 밸브폐쇄 이동된다.
또한, 2차측실에서부터 1차측실로 압유를 흐르게 할 때에는, 밸브부재 내에 설치되는 체크 밸브가 밸브개방된다.
특허문헌 1 : 일본 특개 2017-44327호 공보
상기 종래기술은 다음의 문제가 있다.
고정대 상에 상기 실린더 장치가 복수 설치되는 것이 있다. 이 경우에, 압유의 공급원에 연통되는 주유로가 복수의 분기로로 분기되며, 각 분기로가 시퀀스 밸브에 연통된다. 또한, 각 시퀀스 밸브가 전용유로를 통해서 실린더 장치에 연통된다. 이 때문에, 주유로와 분기로와 시퀀스 밸브와 전용유로와 실린더 장치 등이 고정대 상의 넓은 범위에 복잡하게 설치되게 된다.
본 발명의 목적은, 압력유체를 급배하는 유로의 구성을 간소하게 할 수 있는 시퀀스 밸브 부착 실린더 장치를 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 예를 들면, 도 1 내지 도 2b, 도 3a 및 도 3b에 나타내는 바와 같이, 시퀀스 밸브 부착 실린더 장치를 다음과 같이 구성했다.
하우징(1) 내에 형성되는 작동실(作動室)(2)과 급배(給排) 포트(6)를 압력유체의 급배로(給排路)(7)가 연통(連通)시킨다. 상기 급배로(7)의 도중부(途中部)에 형성되는 장착구멍(8)에 시퀀스 밸브(10)가 장착된다. 상기 시퀀스 밸브(10)는, 상기 하우징(1)에 장착되는 통 모양의 밸브케이스(11)와, 밸브시트(25, 55)와, 밸브부재(26)와, 체크 밸브(42)를 가진다. 상기 밸브케이스(11)의 통공(筒孔)(20) 내 또는 상기 장착구멍(8) 내에 밸브시트(25, 55)가 형성된다. 상기 밸브케이스(11)의 상기 통공(20) 내에 밸브부재(26)가 봉지(封止)부재(26a)를 통해서 보밀상(保密狀)으로 축방향으로 진퇴 가능하게 삽입된다. 그 밸브부재(26)가 압력 설정 스프링(31)에 의해서 상기 밸브시트(25, 55)를 향하여 부세(付勢)된다. 상기 밸브부재(26) 내에 체크 밸브가 설치된다. 그 체크 밸브(42)가, 상기 급배 포트(6)로부터 상기 작동실(2)로의 압력유체의 흐름을 차단함과 아울러, 그 역류를 허용한다. 상기 밸브시트(25)에 당접(當接)되어 봉지되는 상기 밸브부재(26)의 제1 봉지부분(48)의 단면적 A는, 상기 봉지부재(26a)에 의해서 봉지되는 상기 밸브부재(26)의 제2 봉지부분(49)의 단면적 B보다 작게 설정된다. 상기 급배 포트(6)측의 상기 급배로(7)에 공급되는 압력유체의 압력이 설정 압력을 상회(上回)했을 때에, 상기 제1 봉지부분(48)과 상기 제2 봉지부분(49) 사이에 형성되는 상기 밸브부재(26)의 수압(受壓)부분(50)을 상기 급배 포트(6)측의 상기 급배로(7)의 압력유체가 눌러, 상기 급배 포트(6)측의 상기 급배로(7)의 압력유체가 상기 밸브부재(26)를 상기 압력 설정 스프링(31)에 대항하여 상기 밸브시트(25, 55)로부터 이간(離間)시키는 방향으로 이동시킨다. 상기 급배 포트(6)측의 상기 급배로(7)에 공급되는 압력유체의 압력이 설정 압력을 하회(下回)했을 때에, 상기 압력 설정 스프링(31)이 상기 밸브부재(26)를 상기 밸브시트(25, 55)에 당접시키는 방향으로 이동시킨다.
상기 본 발명은 다음의 작용효과를 나타낸다.
본 발명에서는, 하우징 내에 형성되는 급배로의 도중부에 장착구멍이 형성되고, 그 장착구멍 내에 시퀀스 밸브의 밸브케이스가 장착되어 있다. 종래기술과 같이, 고정대 상에 주유로와 분기로와 시퀀스 밸브와 전용유로와 실린더 장치가 설치되는 경우에 비해, 본 발명에서는, 시퀀스 밸브와 전용유로를 고정대 상에서 생략할 수 있고, 분기로를 실린더 장치에 직접 연통시키므로, 실린더 장치에 압력유체를 급배하는 유로(流路)를 간소하게 할 수 있다.
본 발명은, 아래 (1) 및 (2)의 구성을 가하는 것이 바람직하다.
(1) 예를 들면, 도 1 내지 도 2b, 도 3a 및 도 3b에 나타내는 바와 같이, 상기 밸브케이스(11)의 상기 통공(20)과, 상기 밸브부재(26)에 형성되는 통공(39)이 거의 동심상(同心狀)으로 배치된다. 상기 밸브부재(26)의 상기 통공(39) 내에 상기 체크 밸브(42)의 체크 밸브시트(43)가 설치된다. 상기 밸브부재(26)의 상기 통공(39) 내에 진퇴 가능하게 삽입되는 체크 밸브부재(44)가 밸브폐쇄 스프링(46)에 의해 상기 체크 밸브시트(43)을 향해서 당접 가능하게 부세된다.
이 경우, 시퀀스 밸브를 간소한 구성으로 할 수 있다.
(2) 예를 들면, 도 1 내지 도 2b에 나타내는 바와 같이, 상기 장착구멍(8)의 내주면(內周面)과 상기 밸브케이스(11)의 외주면(外周面) 사이에 형성되는 환상(環狀)의 제1 유체실(流體室)(18)이, 상기 급배 포트(6)측의 상기 급배로(7)에 연통된다. 상기 밸브케이스(11)의 상기 통공(20)의 내주면과 상기 밸브부재(26)의 외주면 사이에 형성되는 환상의 제2 유체실(35)이, 연통로(36)를 통해서 제1 유체실(18)에 연통된다.
이 경우, 압력유체의 공급원으로부터 압력유체가 급배 포트측의 급배로로 공급될 때에, 급배 포트의 압력유체가 제1 유체실을 통해서 제2 유체실로 유입되므로, 제2 유체실의 압력유체가 밸브부재를 통공 내에서 확실하게 동작시킬 수 있다.
[도 1] 도 1은, 본 발명의 제1 실시형태를 나타내며, 시퀀스 밸브 부착 실린더 장치의 단면시(斷面視)의 부분도이다.
[도 2a] 도 2a는, 상기 시퀀스 밸브 부착 실린더 장치의 밸브부재의 동작 설명도로서, 상기 밸브부재가 밸브개방된 상태를 나타내는, 상기 도 1에 유사한 도면이다.
[도 2b] 도 2b는, 상기 시퀀스 밸브 부착 실린더 장치의 체크 밸브부재의 동작 설명도로서, 상기 체크 밸브부재가 밸브개방된 상태를 나타내는, 상기 도 1에 유사한 도면이다.
[도 3a] 도 3a는, 본 발명의 제2 실시형태를 나타내는, 상기 도 1에 유사한 도면이다.
[도 3b] 도 3b는, 본 발명의 제2 실시형태를 나타내는, 상기 도 2a에 유사한 도면이다.
[도 4] 도 4는, 본 발명의 제3 실시형태를 나타내는, 상기 도 1에 유사한 도면이다.
[도 5] 도 5는, 본 발명의 제4 실시형태를 나타내는, 상기 도 1에 유사한 도면이다.
이하, 본 발명의 제1 실시형태를 도 1 내지 도 2b에 의해 설명한다.
고정대로서의 테이블(T)에 삽입구멍(H)이 상하방향으로 형성되고, 그 삽입구멍(H)에 실린더 장치의 하우징(1)이 장착된다. 그 하우징(1) 내에 작동실(2)이 상하방향(축방향)으로 형성되고, 그 작동실(2)에 피스톤(3)이 상하방향으로 이동 가능하게 보밀상으로 삽입된다. 테이블(T)의 상면에 압유(압력유체)의 유로(5)가 개구(開口)된다. 그 유로(5)에 연통되는 급배 포트(6)가 하우징(1)의 플랜지부(1a)의 하부에 형성된다. 그 급배 포트(6)에 연통되는 급배로(7)가 하우징(1)에 형성되고, 그 급배로(7)가 작동실(2)에 연통되어 있다.
상기 급배로(7)의 도중부에서 하우징(1)의 플랜지부(1a)에 장착구멍(8)이 수평방향(하우징의 축심에 대해서 교차하는 방향)으로 형성된다. 그 급배로(7)는, 급배 포트(6)와 장착구멍(8) 사이에 형성되는 1차측 급배로(7a)와, 장착구멍(8)과 작동실(2) 사이에 형성되는 2차측 급배로(7b)를 가지고 있다. 그 1차측 급배로(7a)가 장착구멍(8)의 내주면(8a)에 개구됨과 아울러, 2차측 급배로(7b)가 장착구멍(8)의 좌단면(左端面)(저면)(8b)에 개구된다.
상기 장착구멍(8)에 시퀀스 밸브(10)의 밸브케이스(11)가 장착된다. 그 밸브케이스(11)는, 좌측에서부터 순서대로 형성되는 소경부(小徑部)(12)와 대경부(大徑部)(13)를 가진다. 그 소경부(12)의 우반(右半)부분에 형성되는 수나사부가, 장착구멍(8)의 내주벽(內周壁)에 형성되는 암나사부에 나사결합된다. 대경부(13)의 좌단벽(左端壁)에 형성되는 환상의 홈(14)에 봉지부재(15)가 장착된다. 또한, 밸브케이스(11)의 좌단부(左端部)(11a)가 장착구멍(8)의 좌단면(8b)에 당접되며, 장착구멍(8)의 내주면(8a)과 밸브케이스(11)의 소경부(12)의 외주면 사이에 환상의 제1 유체실(18)이 형성된다. 그 제1 유체실(18)에 급배로(7)의 1차측 급배로(7a)가 연통되어 있다.
상기 밸브케이스(11) 내에 통공(20)이 좌우방향으로 형성된다. 그 통공(20)은, 좌측에서부터 순서대로 형성되는 소경구멍(21)과 중경구멍(22)과 대경구멍(23)을 가진다. 그 소경(小徑)구멍(21)은, 상기 급배로(7)의 2차측 급배로(7b)를 통해 작동실(2)에 연통된다. 또한, 소경구멍(21)의 내주벽의 우단부(右端部)에 밸브시트(25)가 형성된다. 중경(中徑)구멍(22)에 밸브부재(26)가 좌우방향으로 이동 가능하게 봉지부재(26a)를 통해 보밀상으로 삽입된다. 그 밸브부재(26)의 좌단부에 밸브면(面)(27)이 형성되며, 상기 밸브시트(25)에 당접 가능하게 되어 있다. 밸브케이스(11)의 우단부에 나사결합된 조절부재(30)가, 고정구(stopper)(33)에 의해 밸브케이스(11)에 고정된다. 대경(大徑)구멍(23) 내에 장착되는 압력 설정 스프링(31)이, 스프링 받이부재(32)를 통해 밸브부재(26)를 밸브시트(25)를 향해서 왼쪽으로 부세한다.
상기 밸브부재(26)의 외주면과 중경구멍(22)의 내주면 사이에 환상의 제2 유체실(35)이 형성된다. 밸브케이스(11)의 소경부(12)의 주벽(周壁)에 제1 연통로(36)가 둘레방향으로 소정 간격을 두고 3개 형성되고(도 1 중에 제1 연통로(36)를 하나만 나타낸다), 제2 유체실(35)이 제1 연통로(36)를 통해 제1 유체실(18)로 연통된다. 이에 의해, 압력공급원인 압유가 유로(5)로 공급될 때에, 그 압유가 급배 포트(6)와 1차측 급배로(7a)와 제1 유체실(18)과 제1 연통로(36)를 통해서 제2 유체실(35)로 공급된다.
또한, 본 실시형태에서, 제1 연통로(36)는, 밸브부재(26)의 외주벽에 좌우방향으로 형성되는 홈과, 그 홈의 저면에 개구되는 관통구멍에 의해 구성되어 있다.
상기 밸브부재(26)에 통공(39)이 좌우방향으로 형성된다. 그 통공(39)은, 좌측에서부터 순서대로 형성되는 소경구멍(40)과 대경구멍(41)을 가진다. 그 통공(39) 내에 체크 밸브(42)가 설치된다. 그 소경구멍(40)의 주벽의 우단부에 체크 밸브(42)의 체크 밸브시트(43)가 형성된다. 대경구멍(41) 내에 볼(체크 밸브부재)(44)이 좌우방향으로 이동 가능하게 삽입된다. 볼(44)의 좌단부에 형성되는 체크 밸브면(45)이, 상기 체크 밸브시트(43)에 당접 가능하게 되어 있다. 대경구멍(41) 내에 장착되는 밸브폐쇄 스프링(46)이, 볼(44)을 체크 밸브시트(43)를 향해서 왼쪽으로 부세한다. 또한, 밸브부재(26)의 대경구멍(41)이, 밸브부재(26)의 통벽(筒壁)에 관통되는 제2 연통로(47)를 통해서 제2 유체실(35)에 연통된다.
상기 밸브시트(25)에 당접되는 밸브부재(26)의 제1 봉지부분(48)의 단면적 A는, 상기 봉지부재(26a)로 봉지되는 밸브부재(26)의 제2 봉지부분(49)의 단면적 B보다 작게 설정되어 있다. 이 때문에, 상기 제2 유체실(35)에 공급되는 압유가, 제1 봉지부분(48)과 제2 봉지부분(49) 사이에 형성되는 밸브부재(26)의 수압부분(50)을 오른쪽으로 민다. 그러면, 제2 유체실(35)의 압유의 압력이 설정 압력을 상회하면, 그 압유가 밸브부재(26)를 확실하게 오른쪽으로 이동시킨다.
또한, 본 실시형태에서, 상기 설정 압력은, 압력 설정 스프링(31)의 왼쪽으로의 부세력에 의해 설정되는 압력이다. 더 구체적으로 말하면, 설정 압력은, 제2 유체실(35) 내의 압유가 압력 설정 스프링(31)의 왼쪽으로의 부세력에 대항하여 밸브부재를 오른쪽으로 이동시키기 시작할 때의 제2 유체실(35) 내의 압유의 압력인 것이다. 이 설정 압력은, 조절부재(30)에 의해 조절 가능하다. 즉, 밸브케이스(11)에 대하여 조절부재(30)를 잠금(fastening) 회전시키면, 그 설정 압력을 높일 수 있다. 또한, 조절부재(30)를 풀림(loosening) 회전시키면, 그 설정 압력을 낮출 수 있다.
상기 시퀀스 밸브(10)는, 도 1 내지 도 2b에 나타내는 바와 같이, 다음과 같이 작동한다.
도 1의 초기 상태에서는, 급배 포트(6)(및 1차측 급배로(7a))에 유압력을 작용시키고 있지 않다. 이 때문에, 압력 설정 스프링(31)이 스프링 받이부재(32)를 통해 밸브부재(26)를 좌측 한계 위치로 이동시키고 있다. 따라서, 밸브부재(26)의 밸브면(27)이 밸브시트(25)에 당접되어서 밸브폐쇄되어 있다.
상기 도 1의 초기 상태에서, 압유(압력유체)가 급배 포트(6)와 1차측 급배로(7a)와 제1 유체실(18)과 제1 연통로(36)를 통해서 제2 유체실(35)에 공급되면, 제2 유체실(35) 내의 압력이 상승되어 간다. 이어서, 압력 설정 스프링(31)의 부세력에 의해 설정되는 설정 압력보다 제2 유체실(35)의 압력이 상회하면, 제2 유체실(35) 내의 압유가 압력 설정 스프링(31)의 부세력에 대항하여 밸브부재(26)를 오른쪽으로 이동시켜 간다. 이에 의해, 도 2a에 나타내는 바와 같이, 밸브면(27)이 밸브시트(25)로부터 오른쪽으로 이간되어 밸브개방된다. 그 결과, 제2 유체실(35)의 압유가 밸브개방 간극과 2차측 급배로(7b)를 통해서 작동실(2)에 유입된다.
도 2a의 밸브개방 상태에서, 제2 유체실(35)의 압력이 설정 압력을 하회했을 때에, 압력 설정 스프링(31)이 밸브부재(26)를 왼쪽으로 이동시켜 간다. 그러면, 도 1에 나타내는 바와 같이, 밸브면(27)이 밸브시트(25)에 당접되어 밸브폐쇄된다.
도 1의 밸브폐쇄 상태에서, 2차측 급배로(7b)의 압력이 1차측 급배로(7a)의 압력을 상회했을 때에, 2차측 급배로(7b)의 압유가 볼(44)을 오른쪽으로 이동시킨다. 이에 의해, 도 2b에 나타내는 바와 같이, 볼(44)의 체크 밸브면(45)이 체크 밸브시트(43)로부터 이간되어 밸브개방된다. 그 결과, 2차측 급배로(7b)의 압유가 밸브개방 간극과 제2 연통로(47)와 제2 유체로(35)와 제1 연통로(36)와 제1 유체실(18)과 1차측 급배로(7a)와 급배 포트(6)와 유로(5)를 통해서 외부로 배출된다.
상기 제1 실시형태는 다음의 장점을 나타낸다.
제1 실시형태에서는, 하우징(1) 내에 형성되는 급배로(7)의 도중부에 장착구멍(8)이 설치되고, 그 장착구멍(8) 내에 시퀀스 밸브(10)의 밸브케이스(11)가 장착되어 있다. 종래기술과 같이, 압유의 공급원과 실린더 장치를 연통시키는 유로의 도중부에 시퀀스 밸브가 설치되는 경우에 비해, 본 실시형태에서는, 시퀀스 밸브와, 해당 시퀀스 밸브와 실린더 장치 사이에 설치되는 전용유로를 고정대 상에서 생략할 수 있고, 분기로를 실린더 장치에 직접 연통시키므로, 시퀀스 밸브 부착 실린더 장치에 압유를 급배하는 유로를 간소하게 할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 급배로(7)의 도중부에 시퀀스 밸브(10)가 설치되므로, 시퀀스 밸브(10)로부터 작동실(2)까지의 급배로(7)를 짧게 할 수 있다. 이 때문에, 시퀀스 밸브(10)로부터 실린더 장치까지의 유로가 긴 종래기술의 경우에 비해, 본 실시형태에서는, 유로(2차측 급배로(7b))에서의 압력 손실을 경감할 수 있고, 또한, 시퀀스 밸브(10)의 밸브개방 동작 후 곧바로 압유를 작동실(2)로 공급할 수 있다(시퀀스 밸브(10)의 밸브개방 동작에 대한 실린더 장치의 응답성을 높일 수 있다).
도 3a 및 도 3b는, 본 발명의 제2 실시형태를 나타내고 있다. 또한, 도 4 및 도 5는, 각각, 본 발명의 제3 실시형태 및 제4 실시형태를 나타내고 있다. 이들 제2 내지 제4 실시형태에서는, 상기 제1 실시형태의 구성부재와 동일한 부재(또는 유사한 부재)에는 원칙적으로 동일한 참조숫자를 붙여서 설명한다.
제2 실시형태가 상기 제1실시형태와 다른 점은 다음과 같다.
상기 장착구멍(8)에 시퀀스 밸브(10)의 밸브케이스(11)의 소경부(12)가 나사결합된다. 장착구멍(8)의 내주면(8a)에 급배로(7)의 1차측 급배로(7a)가 개구되어 있다.
상기 밸브케이스(11) 내에 축방향으로 형성되는 통공(20)은, 좌측에서부터 순서대로 형성되는 중경구멍(22)과 대경구멍(23)을 가진다. 장착구멍(8)의 저면(8b)에 2차측 급배로(7b)가 개구된다. 그 2차측 급배로(7b)의 개구부의 주연(周緣)에 밸브시트(55)가 형성된다. 중경구멍(22)에 밸브부재(26)가 좌우방향으로 이동 가능하게 봉지부재(26a)를 통해서 보밀상으로 삽입된다. 그 밸브부재(26)의 좌단부에 밸브면(27)이 형성되고, 그 밸브면(27)이 밸브시트(55)에 당접 가능하게 되어 있다.
상기 밸브부재(26) 내에 통공(39)이 축방향으로 형성된다. 그 통공(39)의 대경구멍(41)이 제2 연통로(47)를 통해 장착구멍(8)에 연통된다.
상기 제2 실시형태는 다음의 작용효과를 나타낸다.
제2 실시형태는, 제1 실시형태와 동일한 작용효과를 나타낸다.
또한, 제2 실시형태에서는, 밸브시트(55)가 장착구멍(8)의 저벽(底壁)에 형성되어 있다. 이 때문에, 상기 제1 실시형태와 같이, 밸브시트(25)를 밸브케이스(11) 내에 설치하는 경우에 비해, 밸브케이스(11)의 좌우방향의 치수를 작게 할 수 있다.
도 4의 제3 실시형태가 상기 제1 실시형태와 다른 점은 다음과 같다.
시퀀스 밸브(10)의 밸브케이스(11) 내에 통공(20)이 형성되고, 그 통공(20)의 소경구멍(21) 내에 통 모양의 교축(throttle)부재(57)가 삽입된다. 그 교축부재(57)는, 좌측에서부터 순서대로 형성되는 대경부와 중경부를 가진다. 교축부재(57)의 대경부와 중경부 사이에 형성되는 단차부(段差部)가, 밸브케이스(11)의 선단면에 당접되어 있다. 그 중경부는 밸브케이스(11)의 통공(20)의 소경구멍(21)에 삽입되어 있다. 교축부재(57)의 소경부는, 밸브부재(26)의 통공(39)에 삽입되어 있다. 이 소경부의 외주면과 통공(39)의 내주면 사이에 환상 간극이 형성되며, 그 환상 간극에 의해 교축로(throttle passage)(58)가 형성된다. 그 교축부재(57)에는, 연통구멍(59)이 좌우방향으로 관통된다. 이 때문에, 공급원으로부터 급배 포트(6)에 공급되는 압유가, 제1 유체실(18)과, 제1 연통구멍(36)과, 제2 유체실(35)과, 밸브시트(25) 및 밸브면(27) 사이의 밸브개방 간극과, 교축로(58)와, 연통구멍(59)과, 하우징(1)의 급배로(7)의 2차측 급배로(7b)를 통해서 작동실(2)에 공급된다. 또한, 작동실(2)의 압유가 외부로 배출될 때에는, 작동실(2)의 압유가, 2차측 급배로(7b)와, 연통구멍(59)과, 체크 밸브(42)의 밸브개방 간극과, 제2 연통구멍(47)과, 제2 유체실(35)과, 제1 연통구멍(36)과, 제1 유체실(18)과, 급배 포트(6)를 통해서 외부로 배출된다. 따라서, 급배 포트(6)로부터 작동실(2)로 압유를 공급할 때에는, 그 압유가 교축로(58)를 통과하므로, 유량이 조절된다. 이에 대해, 작동실(2)로부터 급배 포트(6)를 통해서 압유가 외부로 배출될 때에는, 작동실(2)의 압유는, 교축로(58)를 통과하지 않으므로, 신속하게 외부로 배출된다.
상기 제3 실시형태는 다음의 작용효과를 나타낸다.
압유 공급원으로부터 작동실(2)로 압유를 공급할 때에, 소정 압력을 상회한 제2 유체실(35)의 압유가, 교축로(58)를 통과하므로, 그 압유가, 전술(前述)한 제1 실시형태의 실린더 장치에 비해 완만하게 작동실(2)로 유입된다. 이 때문에, 작동실(2)의 압력이 완만하게 증가되므로, 작동실(2)의 압력이 급격하게 상승되는 것이 방지된다. 따라서, 피스톤(3)이 급속하게 시동(始動)되는 것이 방지된다.
도 5의 제4 실시형태가 상기 제1 실시형태와 다른 점은 다음과 같다.
밸브케이스(11)의 우단부에 조절부재(30)가 나사결합되며, 그 조절부재(30)에 밸브부재(26)의 스트로크 조정용의 조절나사(63)가 나사결합됨과 아울러, 그 조절나사(63)가 록너트(locknut)(64)에 의해서 조절부재(30)에 고정된다. 밸브부재(26)가 오른쪽으로 밸브개방 이동했을 때에, 스프링 받이부재(32)가 최초로 조절나사(63)의 축방향 단면(端面)에 닿도록 조절나사(63)의 위치가 조정되어 있으면, 밸브부재(26)가 오른쪽으로 밸브개방 이동했을 때에, 밸브부재(26)가 스프링 받이부재(32)를 통해서 조절나사(63)에 받아들여진다. 그 결과, 밸브시트(25)와 밸브부재(26)의 밸브면(27) 사이의 밸브개방 간극에 흐르는 압유의 최대 유량을, 조절나사(63)에 의해서 조절할 수 있다.
또한, 밸브부재(26)의 선단부분의 외주벽(60)에 V 홈(61)이 왼쪽(선단측)을 향함에 따라 깊이가 깊어지도록 형성된다. 압유 공급원으로부터 작동실(2)로 압유를 공급할 때에, 소정 압력을 상회한 제2 유체실(35)의 압유가, V 홈(61)을 통과하므로, 그 압유가, 전술한 다른 실시형태의 실린더 장치에 비해 완만하게 작동실(2)로 유입된다. 이 때문에, 작동실(2)의 압력이 완만하게 증가되므로, 작동실(2)의 압력이 급격하게 상승되는 것이 방지된다. 따라서, 피스톤(3)이 급속히 시동되는 것이 방지된다. 또한, 다른 실시형태에 나타낸 테이퍼 모양의 교축로(58) 등에 비해, 본 실시형태의 V 홈(61)은, 그 V 홈(61) 내에 흐르는 압유를 용이하게 유량조정할 수 있다.
상기 각 실시형태는 다음과 같이 변경 가능하다.
압력유체는, 예시한 압유 대신에, 다른 액체 또는 압축공기 등의 기체여도 된다.
그 밖에, 당업자가 상정할 수 있는 범위에서 다양한 변경을 행할 수 있는 것은 물론이다.
1 : 하우징 2 : 작동실
6 : 급배 포트 7 : 급배로
8 : 장착구멍 10 : 시퀀스 밸브
11 : 밸브케이스 18 : 제1 유체실
20 : 통공(筒孔) 25 : 밸브시트
26 : 밸브부재 26a : 봉지(封止)부재
31 : 압력 설정 스프링 35 : 제2 유체실
36 : 연통로(제1 연통로) 39 : 통공
42 : 체크 밸브 43 : 체크 밸브시트
44 : 체크 밸브부재(볼) 46 : 밸브폐쇄 스프링
48 : 제1 봉지부분 49 : 제2 봉지부분
50 : 수압(受壓)부분 55 : 밸브시트

Claims (3)

  1. 하우징(1) 내에 형성되는 작동실(2)과 급배(給排) 포트(6)를 연통(連通)시키는 압력유체의 급배로(給排路)(7)와,
    상기 급배로(7)의 도중부(途中部)에 형성되는 장착구멍(8)에 장착되는 시퀀스 밸브(10)를 구비하는 실린더 장치에 있어서,
    상기 시퀀스 밸브(10)는,
    상기 하우징(1)에 장착되는 통 모양의 밸브케이스(11)와,
    상기 밸브케이스(11)의 통공(筒孔)(20) 내 또는 상기 장착구멍(8) 내에 형성되는 밸브시트(25, 55)와,
    상기 밸브케이스(11)의 상기 통공(20) 내에 봉지(封止, sealing)부재(26a)를 통해 보밀상(保密狀)으로 축방향으로 진퇴 가능하게 삽입됨과 함께, 압력 설정 스프링(31)에 의해 상기 밸브시트(25, 55)를 향해서 부세(付勢, biased)되는 밸브부재(26)와,
    상기 밸브부재(26) 내에 설치되는 체크 밸브(42)로서, 상기 급배 포트(6)로부터 상기 작동실(2)로의 압력유체의 흐름을 차단함과 아울러, 그 역류를 허용하는 체크 밸브(42)를 구비하며,
    상기 밸브시트(25)에 당접(當接, contacted)되어 봉지되는 상기 밸브부재(26)의 제1 봉지부분(48)의 단면적(A)은, 상기 봉지부재(26a)에 의해 봉지되는 상기 밸브부재(26)의 제2 봉지부분(49)의 단면적(B)보다 작게 설정되고,
    상기 급배 포트(6)측의 상기 급배로(7)에 공급되는 압력유체의 압력이 설정 압력을 상회(上回)했을 때에, 상기 제1 봉지부분(48)과 상기 제2 봉지부분(49) 사이에 형성되는 상기 밸브부재(26)의 수압(受壓, pressure-receiving)부분(50)이, 상기 급배 포트(6)측의 상기 급배로(7)의 압력유체에 눌려, 상기 급배 포트(6)측의 상기 급배로(7)의 압력유체가 상기 밸브부재(26)를 상기 압력 설정 스프링(31)에 대항하여 상기 밸브시트(25, 55)로부터 이간(離間)시키는 방향으로 이동시키며,
    상기 급배 포트(6)측의 상기 급배로(7)에 공급되는 압력유체의 압력이 설정 압력을 하회(下回)했을 때에, 상기 압력 설정 스프링(31)이 상기 밸브부재(26)를 상기 밸브시트(25, 55)에 당접시키는 방향으로 이동시키는,
    것을 특징으로 하는 시퀀스 밸브 부착 실린더 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 밸브케이스(11)의 상기 통공(20)과, 상기 밸브부재(26)에 형성되는 통공(39)이 거의 동심상(同心狀)으로 배치되며,
    상기 밸브부재(26)의 상기 통공(39)의 내주면(內周面)에 상기 체크 밸브(42)의 체크 밸브시트(43)가 설치되고, 상기 밸브부재(26)의 상기 통공(39) 내에 진퇴 가능하게 삽입되는 체크 밸브부재(44)가 밸브폐쇄 스프링(46)에 의해 상기 체크 밸브시트(43)를 향하여 당접 가능하게 부세되는, 것을 특징으로 하는 시퀀스 밸브 부착 실린더 장치.
  3. 청구항 1 또는 2에 있어서,
    상기 장착구멍(8)의 내주면과 상기 밸브케이스(11)의 외주면(外周面) 사이에 형성되는 환상(環狀)의 제1 유체실(18)이, 상기 급배 포트(6)측의 상기 급배로(7)에 연통되며,
    상기 밸브케이스(11)의 상기 통공(20)의 내주면과 상기 밸브부재(26)의 외주면 사이에 형성되는 환상의 제2 유체실(35)이, 연통로(36)를 통해 제1 유체실(18)에 연통되는,
    것을 특징으로 하는 시퀀스 밸브 부착 실린더 장치.
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