WO2023067872A1 - 光演算装置及び製造方法 - Google Patents

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WO2023067872A1
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optical
dry gel
layer
arithmetic device
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雄一朗 九内
正浩 柏木
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株式会社フジクラ
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    • B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y30/00—Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
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    • G—PHYSICS
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    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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    • G—PHYSICS
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    • G06N3/06—Physical realisation, i.e. hardware implementation of neural networks, neurons or parts of neurons
    • G06N3/067—Physical realisation, i.e. hardware implementation of neural networks, neurons or parts of neurons using optical means

Definitions

  • the present invention relates to an optical computing device including a plurality of optical diffraction layers, and to a method of manufacturing such an optical computing device.
  • a light diffraction layer using a plurality of microcells, which are arranged in a matrix and whose refractive indices are individually set, is known. It is designed to optically execute a predetermined operation by arranging such optical diffraction layers on the optical path of the signal light and causing the signal light transmitted through each optical diffraction layer to interfere with each other. optically diffractive layers are known. Optical calculations using a light diffraction layer (that is, optical calculations) are faster and consume less power than electrical calculations using a processor.
  • Patent Document 1 discloses an optical neural network having an input layer, an intermediate layer, and an output layer. The optical diffraction layer described above can be used, for example, as an intermediate layer of such an optical neural network.
  • additive manufacturing As typified by 3D printing, has been attracting attention.
  • two-photon 3D printing which is one mode of stereolithography, is attracting attention as a molding method that can freely process a microstructure three-dimensionally.
  • Non-Patent Document 1 and Patent Document 2 a modeling method called the Implosion Fabrication method has been proposed (Non-Patent Document 1 and Patent Document 2).
  • this modeling method stereolithography is performed in a swollen gel state (hydrogel in this case) containing a large amount of water, which is an example of a solvent, and dehydration shrinkage is performed after the stereolithography.
  • the photofabricated gel becomes a dry gel by shrinking the size along one axis to about 1/10 while maintaining a similar shape.
  • the final resolution can be increased to about 10 times the resolution at the time of stereolithography by performing dehydration shrinkage. Therefore, the Implosion Fabrication method can achieve sub-100 nm resolution in flexible three-dimensional structures.
  • the inventors of the present invention used dry gels manufactured using the Implosion Fabrication method as each of a plurality of light diffraction layers included in an optical operation device, and by stacking each light diffraction layer made of a dry gel, , could realize optical computing devices with sub-100 nm resolution. This is because, as described above, the gel used in the Implosion Fabrication method shrinks while maintaining a similar shape due to dehydration shrinkage. However, it was found that when a plurality of gels were subjected to dehydration shrinkage, the shrinkage rate and uniformity of shrinkage of each gel were different.
  • One aspect of the present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to provide an optical operation device in which a plurality of microcells arranged in a matrix are superimposed, and a cell generated due to dehydration shrinkage is provided.
  • An object of the present invention is to provide an optical arithmetic device with less error and high calculation accuracy by suppressing variations in size and position.
  • an optical arithmetic device is an optical arithmetic device including a plurality of optical diffraction layers stacked on each other, each optical diffraction layer having a refractive index of It contains a plurality of microcells that are individually set and arranged in a matrix, and a plurality of light-diffractive layers are encapsulated by a dry gel.
  • a manufacturing method is a manufacturing method of an optical arithmetic device including a plurality of optical diffraction layers stacked on each other.
  • This manufacturing method includes a first step of dispersing a dye in a gel containing a solvent, and exposing the gel in which the dye is dispersed using a two-photon absorption method to expose the plurality of light diffraction layers. a second step of patterning a pattern corresponding to a third step of removing the dye from the patterned gel; and a fourth step of obtaining a dry gel containing multiple light-diffractive layers.
  • an optical arithmetic device in which a plurality of microcells arranged in a matrix are stacked, variations in cell size and position caused by dehydration shrinkage can be suppressed.
  • FIG. 1 is a trihedral view of an optical arithmetic device according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view of a first modification of the optical arithmetic device shown in FIG. 1
  • 2 is a cross-sectional view of a second modification of the optical arithmetic device shown in FIG. 1
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of a third modification of the optical arithmetic device shown in FIG. 1
  • FIG. 6 is a flow chart of a manufacturing method according to a second embodiment of the present invention
  • FIG. 1 is a trihedral view of an optical computing device 10.
  • FIG. The front view of FIG. 1 is a planar view of the upper surface and the lower surface, which are the pair of principal surfaces of the optical arithmetic device 10 .
  • Each of the front view and left side view of FIG. 1 is a plan view of the front and left side of the optical arithmetic device 10, respectively.
  • the optical computing device 10 has a dry gel 11 .
  • the light diffraction layer L1 is provided so as to be close to the lower surface of the dry gel 11, and the light diffraction layer L2 and the light diffraction layer L3 are laminated in this order on the light diffraction layer L1. .
  • Each optical diffraction layer Li includes a plurality of microcells Cijk arranged in a matrix of m rows and l columns.
  • j is an integer satisfying 1 ⁇ j ⁇ m
  • k is an integer satisfying 1 ⁇ k ⁇ l.
  • the microcells Cijk included in the optical diffraction layer Li are arranged in a square matrix.
  • Each microcell Cijk has at least a refractive index set individually and independently of each other.
  • the thickness Tc of each microcell Cijk may be set individually and independently of each other.
  • each microcell Cijk has its refractive index set individually and independently of each other, and its thickness Tc is uniform.
  • the thickness Tc can be determined as appropriate, but is typically about the wavelength ⁇ s of the signal light.
  • a microcell refers to a cell with a cell size of less than 10 ⁇ m, for example.
  • the cell size refers to the square root of the cell area.
  • the cell size is the length Lc of one side of the cell.
  • the lower limit of the cell size is not particularly limited, it is, for example, 1 nm.
  • the number of layers n of the optical diffraction layer Li, the number of rows m and the number of columns l of the plurality of microcells Cijk are not limited to the above examples and can be determined as appropriate.
  • the number of layers n may be 2 or 10, for example.
  • the number of rows m and the number of columns l may be 200 or 4000, for example.
  • the number of layers n, the number of rows m, and the number of columns l can be appropriately determined according to the details of the optical operation to be performed using the optical operation device 10 .
  • the signal light is incident on one main surface (for example, the lower surface) of the dry gel 11 and exits from the other main surface (for example, the upper surface) of the dry gel 11.
  • the area where the microcells Cijk are formed is called an effective area in the optical operation device 10.
  • the interlayer pitch PL and the length Lc, which is the cell size of the microcell Cijk, are determined in relation to the wavelength ⁇ s of the signal light.
  • the interlayer pitch PL is the pitch between the optical diffraction layer Li and the optical diffraction layer Li+1 adjacent to each other.
  • the inter-cell pitch Pc which is the pitch between adjacent microcells (for example, microcell Cijk and microcell Cijk+1) in a single light diffraction layer Li, can be appropriately determined within a range exceeding the length Lc. .
  • the dry gel 11 is made of a material that transmits signal light.
  • the gel constituting the dry gel 11 can be appropriately selected from gels used in the Implosion Fabrication method (for example, see Non-Patent Document 1, Patent Document 2, and Japanese Patent Application No. 2021-025680). .
  • the dry gel 11 is obtained by drying the gel.
  • a gel is a general term for a solid substance in which a network is formed by connecting dispersoids. Points where dispersoids are connected are called bridging points.
  • the gel can absorb solvent into the network and become a swollen gel.
  • the gel shrinks while releasing the solvent, and becomes a dry gel.
  • it is possible to fix the structure to some extent by further performing a treatment such as cross-linking in order to stabilize the dimensions of the dry gel.
  • a single dry gel 11 is provided with a plurality of light-diffractive layers Li each containing a plurality of microcells Cijk.
  • a plurality of light-diffractive layers Li each containing a plurality of microcells Cijk.
  • it is not necessary to stack a plurality of separately provided light diffraction layers it is possible to omit alignment adjustment for the plurality of light diffraction layers.
  • the precision of shrinkage from gel to dry gel it is preferable to configure the gel so as to suppress the shrinkage rate to about 1/10. That is, the volume of the dry gel is preferably about 1/1000 of the volume of the gel.
  • the precision of shrinkage can be rephrased as uniformity of shrinkage in the gel. By increasing the uniformity of shrinkage in the gel, variations in cell size and position that may occur in each light diffraction layer Li can be further suppressed.
  • Gels can be classified into chemical gels and physical gels.
  • chemical gels the bonds between dispersoids consist of covalent bonds.
  • physical gel dispersoids are composed of bonds other than covalent bonds (for example, intermolecular forces).
  • a gel in which the dispersoid is a polymer compound is called a polymer gel.
  • a polymer gel is used as the gel that becomes the dry gel 11 by drying the solvent.
  • Gels can also be classified into hydrophilic gels, hydrophobic gels, and intermediate gels according to the polarity of the solvent they can absorb.
  • Hydrophilic gels absorb highly polar solvents such as water and lower alcohols. Hydrophobic gels absorb less polar solvents such as cyclohexane and normal hexane. Intermediate gels will absorb solvents of intermediate polarity, such as diethyl ether and ethyl acetate.
  • a hydrophilic gel is used as the gel that becomes the dry gel 11 by drying the solvent. Hydrophilic gels are also called hydrogels.
  • the content of the solvent in the dry gel 11 (the water content in the hydrogel) can be appropriately determined within the range of 30% or less.
  • the content of the solvent in the dry gel 11 can be defined by the ratio of the mass of the contained solvent to the total mass of the dry gel 11 . The lower the content, the smaller the size of the dry gel 11, so the cell size in each light diffraction layer Li can be reduced.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the optical arithmetic device 10A. 2, illustration of each light diffraction layer Li included in the dry gel 11 is omitted.
  • the optical arithmetic device 10A includes a dry gel 11, a transparent substrate 12A, and a resin layer 13A.
  • the dry gel 11 of the optical computing device 10A is the same as the dry gel 11 of the optical computing device 10 . Therefore, description of the dry gel 11 is omitted in this modified example.
  • the transparent substrate 12A is a substrate that transmits signal light.
  • a glass substrate made of quartz glass is used as the transparent substrate 12A.
  • the material forming the transparent substrate 12A is not limited to quartz glass, and can be determined as appropriate.
  • a resin having translucency to signal light can be used as a material for forming the transparent substrate 12A.
  • the transparent substrate 12A may be a rigid substrate or a flexible substrate.
  • a frame is attached to the transparent substrate 12A so as to surround the dry gel 11 . Thereby, the transparent substrate 12A can maintain flatness without being deformed.
  • a dry gel 11 is placed on one main surface of the transparent substrate 12A (the upper main surface in FIG. 2).
  • the transparent substrate 12A is provided to support the dry gel 11 and prevent contact between the dry gel 11 and air.
  • the transparent substrate 12A covers the lower main surface of the dry gel 11 .
  • the resin layer 13A is made of a resin that is translucent to signal light.
  • the resin layer 13A is provided to prevent contact between the dry gel 11 and air.
  • the resin layer 13A is an example of a moisture-proof layer.
  • the resin layer 13A preferably has a moisture permeability of 150 g/m 2 /24 hr or less, more preferably 50 g/m 2 /24 hr or less, and 10 g/m 2 /24 hr or less. is most preferred.
  • an evaluation index under test conditions of 40° C. and 90% RH in the cup method test defined in JIS Z 0208 can be used.
  • the resin layer 13A can prevent the dry gel 11 from absorbing moisture in the air, so that the size of the dry gel 11 can be kept constant.
  • the resin layer 13A covers one main surface of the transparent substrate 12A and the upper main surface and side surface of the dry gel 11 .
  • a hard coat layer used for protecting the panel surface of the display panel can be suitably used. That is, a suitable example of the resin forming the resin layer 13A is a photocurable methacrylic resin.
  • the hard coat layer is configured to have a hardness exceeding a predetermined level and has scratch resistance.
  • the predetermined hardness can be determined as appropriate. In order to specify a predetermined hardness, the evaluation index in the pencil hardness test specified in JIS K 5600 etc. may be used, or steel wool etc. with an appropriate weight applied to a surface hardness abrasion tester etc. A measured scratch resistance rating index may be used.
  • the transparent substrate 12A and the resin layer 13A are configured to contain the dry gel 11.
  • 12 A of transparent substrates and 13 A of resin layers function as a moisture-proof layer.
  • each of the transparent substrate 12A and the resin layer 13A is configured to have a refractive index lower than that of the dry gel 11 and higher than that of air.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the optical arithmetic device 10B.
  • the optical arithmetic device 10B includes a dry gel 11, a transparent substrate 12A (not shown in FIG. 3), a resin layer 13A, and a resin layer 14B.
  • the optical computing device 10B is obtained by adding a resin layer 14B to the optical computing device 10A. Therefore, in this modified example, the resin layer 14B will be described, and descriptions of the dry gel 11, the transparent substrate 12A, and the resin layer 13A will be omitted.
  • the resin layer 14B covers the effective area (that is, the area covering the top surface of the dry gel 11) of the resin layer 13A, which is one of the moisture-proof layers.
  • the resin layer 14B is made of a resin that transmits signal light, and has a lower refractive index than the resin layer 13A and a higher refractive index than the air.
  • the resin layer 14B functions as a low refractive index layer.
  • the material forming the resin layer 14B is not particularly limited, and can be appropriately selected from existing materials according to the refractive index.
  • the resin layer 14B may be composed of an acrylate resin to which fluorine is added, or may be composed of a resin in which fine air bubbles are dispersed. When air bubbles are dispersed inside the resin, the size of the air bubbles is preferably less than the wavelength ⁇ s of the signal light.
  • one aspect of the optical arithmetic device 10B may further include a resin layer covering the effective area (that is, the area covering the lower surface of the dry gel 11) of the transparent substrate 12A, which is the other moisture-proof layer.
  • This resin layer may be configured in the same manner as the resin layer 14B.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of the optical arithmetic device 10C.
  • the optical arithmetic device 10C includes a dry gel 11, a pair of transparent substrates 12C1 and 12C2, and a resin layer 13C.
  • the transparent substrate 12C1 has the same configuration as the transparent substrate 12A of the optical arithmetic device 10A. That is, the transparent substrate 12C1 covers the lower surface of the dry gel 11. As shown in FIG.
  • the transparent substrate 12C2 is a glass substrate configured similarly to the transparent substrate 12C1.
  • the transparent substrate 12C2 is placed on the upper surface of the dry gel 11 so as to sandwich the dry gel 11 together with the transparent substrate 12C1. Therefore, the transparent substrate 12C2 covers the upper surface of the dry gel 11. As shown in FIG.
  • the resin layer 13C is made of the same resin as that forming the resin layer 13A of the optical arithmetic device 10A. However, the resin layer 13C is filled between the transparent substrate 12C1 and the transparent substrate 12C2 and covers the side surface of the dry gel 11. As shown in FIG.
  • the transparent substrate 12C1, the transparent substrate 12C2, and the resin layer 13C function as moisture-proof layers.
  • the transparent substrate 12C1 and the transparent substrate 12C2 may be rigid substrates or flexible substrates like the transparent substrate 12A.
  • each of the transparent substrate 12C1, the transparent substrate 12C2, and the resin layer 13C is configured to have a refractive index lower than that of the dry gel 11 and higher than that of air.
  • FIG. 5 is a flow chart of the manufacturing method M1.
  • the manufacturing method M1 will be described by taking the case of manufacturing the optical arithmetic device 10A as an example.
  • the first step S11 to the fourth step S14 included in the manufacturing method M1 can be applied to manufacturing any of the optical arithmetic device 10, the optical arithmetic device 10B, and the optical arithmetic device 10C. can.
  • the manufacturing method M1 will be described with a state in which a gel containing a solvent is placed on the upper surface of the transparent substrate 12A as a starting state.
  • the gel used in this initial state can be appropriately selected from gels available in the Implosion Fabrication method.
  • Gels used in the initial state are described, for example, in Non-Patent Document 1 and Patent Document 2.
  • multi-block copolymers described in the specification of Japanese Patent Application No. 2021-025680 may be employed as the gel used in the initial state.
  • first and second segments each composed of one or more block polymers, are alternately linked.
  • the first segment has hydrophobicity and the second segment has hydrophilicity.
  • this multi-block copolymer is constructed so that the total number of segments is 3 or more.
  • the manufacturing method M1 includes a first step S11, a second step S12, a third step S13, a fourth step S14, and a fifth step S15.
  • the first step S11 is a step of dispersing the pigment in a gel containing a solvent.
  • This dye can be appropriately selected according to the composition of the gel used in the initial state (for example, see Non-Patent Document 1, Patent Document 2, and Japanese Patent Application No. 2021-025680).
  • the second step S12 is a step of patterning a pattern corresponding to each of the multiple light diffraction layers Li by exposing the gel in which the dye is dispersed using a two-photon absorption method. That is, in the second step S12, regions corresponding to the respective microcells Cijk are irradiated with laser beams having intensities set individually and independently of each other.
  • the dispersoid binds to the dye by absorbing two photons of laser light. Therefore, each microcell Cijk is bound with an amount of dye corresponding to the intensity of the laser light.
  • the dye introduced according to the intensity of the laser light can be combined with fine particles having a different refractive index from the dry gel according to the amount of the dye. , and can be set independently of each other. Fine particles having a refractive index higher than that of the dry gel include titanium oxide nanoparticles and nanodiamonds. Fine particles having a refractive index lower than that of the dry gel include fluoride nanoparticles.
  • Patterning using a two-photon absorption method is one aspect of stereolithography, and is hereinafter also referred to as two-photon 3D printing.
  • the position of the focal point of the irradiated laser light (excitation light) can be moved not only in the in-plane direction of the main surface of the dry gel 11, but also in the normal direction of the main surface. be able to. Therefore, in two-photon 3D printing, microstructures can be freely processed in three dimensions.
  • the third step S13 is a step of removing dye from the gel by washing the gel after patterning in the second step S12. By performing the third step S13, the dye bound to the dispersoid remains in the region corresponding to each microcell Cijk in the gel, and the dye not bound to the dispersoid is removed from the gel. be.
  • the fourth step S14 is a step of removing the solvent from the gel from which the dye has been removed in the third step S13.
  • the gel shrinks and becomes a dry gel.
  • the content of the solvent in the dry gel 11 can be appropriately determined within a range of 30% or less. The lower the content, the smaller the size of the dry gel 11, so the cell size in each light diffraction layer Li can be reduced.
  • the fifth step S15 is a step of applying the liquid resin that forms the resin layer 13A to the upper surface of the transparent substrate 12A and the surface of the dry gel 11, and curing the liquid resin.
  • a resin layer 13A is formed on the upper surface of the transparent substrate 12A and the surface of the dry gel 11, and the dry gel 11 is covered by the transparent substrate 12A and the resin layer 13A.
  • 12 A of transparent substrates and 13 A of resin layers are examples of a moisture-proof layer.
  • the resin layer 14B which is an example of a low refractive index layer, is formed on at least the region covering the dry gel 11 of the resin layer 13A. It is necessary to add a process to
  • An optical arithmetic device is an optical arithmetic device comprising a plurality of optical diffraction layers stacked on each other, wherein each optical diffraction layer has an individually set refractive index, and It includes a plurality of microcells arranged in a matrix, and the plurality of light-diffractive layers are encapsulated by a dry gel.
  • an optical operation device can be manufactured without using a plurality of dry gels. Therefore, it is possible to suppress variations in cell size and position that may occur when forming a plurality of optical diffraction layers using a plurality of dry gels.
  • An optical arithmetic device in which variation in cell size and position is suppressed, which is manufactured by applying this technique, can perform arithmetic operations with less error and higher accuracy.
  • each light diffraction layer acts on signal light in order
  • each light diffraction layer is provided in a separate dry gel
  • the position of each light diffraction layer with respect to the signal light is and orientation to a predetermined position and orientation. This is because if the position and direction of the optical diffraction layer with respect to the signal light deviate from the predetermined position and direction, it becomes difficult to exert a desired effect on the signal light.
  • This adjustment is hereinafter referred to as alignment adjustment. According to the above configuration, since a plurality of light diffraction layers are provided in a single dry gel, alignment adjustment can be omitted during manufacturing.
  • this alignment adjustment can only adjust the positional deviation between the optical diffraction layers, that is, the error due to horizontal movement within the plane. Alignment adjustment cannot completely adjust the cell size deviation of each light-diffractive layer due to, for example, a different shrinkage rate of each light-diffractive layer. According to the above configuration provided, it is possible to suppress such a deviation in cell size.
  • a moisture-proof layer having translucency with respect to signal light in addition to the configuration of the optical arithmetic device according to the first aspect described above, a moisture-proof layer having translucency with respect to signal light, A configuration is employed which further comprises a moisture barrier layer containing the dry gel.
  • the size of the dried gel can be kept constant regardless of the external environment.
  • the moisture-proof layer has a refractive index lower than that of the dry gel. , the refractive index of which is higher than that of air.
  • a low refractive index layer covering the effective region of the moisture-proof layer in addition to the configuration of the optical arithmetic device according to the third aspect described above, a low refractive index layer covering the effective region of the moisture-proof layer, A configuration is adopted in which a low refractive index layer having a refractive index lower than that of the moisture-proof layer and higher than that of air is further provided.
  • a manufacturing method is a manufacturing method of an optical arithmetic device provided with a plurality of optical diffraction layers stacked on each other.
  • This manufacturing method includes a first step of dispersing a dye in a gel containing a solvent, and exposing the gel in which the dye is dispersed using a two-photon absorption method to expose the plurality of light diffraction layers. a second step of patterning a pattern corresponding to a third step of removing the dye from the patterned gel; and a fourth step of obtaining a dry gel containing multiple light-diffractive layers.
  • a moisture-proof layer having translucency to signal light is used to perform the drying.
  • a configuration is employed which further includes a fifth step involving the gel.

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Abstract

行列状に設けられた複数のマイクロセルを重ねて配置した光演算装置において、脱水収縮に起因して生じるセルサイズ及び位置のばらつきを抑制すること。光演算装置（１０）は、互いに重ねられた複数層の光回折層（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３）を備えている。光演算装置（１０）において、各光回折層（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３）は、屈折率が個別に設定され、且つ、行列状に設けられた複数のマイクロセル（Ｃｉｊｋ）を含んでいる。複数層の光回折層（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３）は乾燥ゲル（１１）により包含されている。

Description

光演算装置及び製造方法
　本発明は、複数の光回折層を含む光演算装置、及び、そのような光演算装置の製造方法に関する。
　屈折率が個別に設定された複数のマイクロセルであって、行列状に設けられた複数のマイクロセルを用いた光回折層が知られている。信号光の光路上にこのような光回折層を重ねて配置し、各光回折層を透過した信号光を相互に干渉させることによって、予め定められた演算を光学的に実行するように設計された光回折層が知られている。光回折層を用いた光学的な演算（すなわち光演算）は、プロセッサを用いた電気的な演算と比べて高速且つ低消費電力である。特許文献１には、入力層、中間層、及び出力層を有する光ニューラルネットワークが開示されている。上述した光回折層は、例えば、このような光ニューラルネットワークの中間層として利用することが可能である。
　このような技術を演算処理や、イメージング処理などに応用する場合、マイクロセルのセルサイズが信号光の波長λｓの半分から２倍程度になるように光回折層を構成することが好ましい。セルサイズが波長λｓの半分から２倍程度であることにより、信号光の制御性を高めることができる。例えば、信号光としてλｓ＝４００ｎｍである可視光を用いる場合、好ましいセルサイズは、２００ｎｍ以上８００ｎｍ以下と考えられる。したがって、このような光回折層を含む光演算装置を製造する際には、ナノメートルオーダー（サブミクロン）サイズの解像度を実現可能な造形方法を採用することが好ましい。
　近年、３Ｄプリンティングに代表されるような「付加加工（Additive manufacturing）」と呼ばれる造形方法が注目を浴びている。なかでも、光造形の一態様であるマイクロ構造を３次元的に自由に加工できる２光子３Ｄプリンティングの造形方法が着目を浴びている。しかしながら、２光子３Ｄプリンティングの造形方法を用いた場合、１００ｎｍを下回る解像度を達成することは、困難である。
　付加加工を用いて造形された造形物の解像度を高めるための手法として、Implosion Fabrication法という造形方法が提案されている（非特許文献１及び特許文献２）。この造形方法では、溶媒の一例である水を多く含み膨潤した状態のゲル（この場合はハイドロゲル）の状態で光造形を行い、光造形後に脱水収縮を行う。この脱水収縮を行うことにより、光造形を実施されたゲルは、およそ相似形を保ったまま一軸に沿ったサイズがおよそ１／１０に収縮することにより乾燥ゲルとなる。このように、Implosion Fabrication法では、脱水収縮を実施することにより、最終的な解像度を光造形時の解像度の１０倍程度に高めることができる。したがって、Implosion Fabrication法は、自由度の高い３次元構造において、１００ｎｍを下回る解像度を達成することができる。
米国特許第７８４７２２５号明細書 米国特許出願公開第２０１７／００８１４８９号明細書
Daniel Oran et. al.，Science 362, 1281-1285 (2018) 14 December 2018
　本発明の発明者らは、光演算装置に含まれる複数の光回折層の各々としてImplosion Fabrication法を用いて製造された乾燥ゲルを用い、各々が乾燥ゲルからなる各光回折層を重ねることによって、１００ｎｍを下回る解像度を有する光演算装置を実現できると考えた。上述したように、Implosion Fabrication法において用いられるゲルは、脱水収縮を行うことにより、およそ相似形を保ったまま収縮するためである。しかしながら、複数のゲルを脱水収縮させた場合、各ゲルの収縮率、及び、収縮の均一性が異なることが分かった。
　このことは、光演算装置に含まれる複数の光回折層の各々としてImplosion Fabrication法を用いて製造された乾燥ゲルを用い、各光回折層を重ねた場合、各光回折層におけるマイクロセルのセルサイズ及び位置がばらつきやすいことを意味する。セルサイズや位置がばらついた場合、光演算装置の計算誤差が大きくなり、精度の高い計算を行うことが困難になる場合がある。
　本発明の一態様は、上述した課題に鑑みなされたものであり、その目的は、行列状に設けられた複数のマイクロセルを重ねて配置した光演算装置において、脱水収縮に起因して生じるセルサイズ及び位置のばらつきを抑制することにより、誤差が少なく計算精度が高い光演算装置を提供することにある。
　上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る光演算装置は、互いに重ねられた複数層の光回折層を備えた光演算装置であって、各光回折層は、屈折率が個別に設定され、且つ、行列状に設けられた複数のマイクロセルを含んでおり、複数層の光回折層は乾燥ゲルにより包含されている。
　また、上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る製造方法は、互いに重ねられた複数層の光回折層を備えた光演算装置の製造方法である。本製造方法は、溶媒を含有しているゲル中に色素を分散させる第１の工程と、２光子吸収法を用いて、色素が分散されたゲルを露光することにより前記複数層の光回折層に対応するパターンをパターニングする第２の工程と、パターニング後のゲルから色素を除去する第３の工程と、色素が除去されたゲルから前記溶媒を除去することにより収縮された乾燥ゲルであって、複数層の光回折層を包含する乾燥ゲルを得る第４の工程と、を含んでいる。
　本発明の一態様によれば、行列状に設けられた複数のマイクロセルを重ねて配置した光演算装置において、脱水収縮に起因して生じるセルサイズ及び位置がばらつきを抑制することができる。
本発明の第１の実施形態に係る光演算装置の三面図である。 図１に示した光演算装置の第１の変形例の断面図である。 図１に示した光演算装置の第２の変形例の断面図である。 図１に示した光演算装置の第３の変形例の断面図である。 本発明の第２の実施形態に係る製造方法のフローチャートである。
　〔第１の実施形態〕
　本発明の第１の実施形態に係る光演算装置１０について、図１を参照して説明する。図１は、光演算装置１０の三面図である。図１の正面図は、光演算装置１０の一対の主面である上面及び下面のうち上面を平面視したものである。図１の前面図及び左側面図の各々は、それぞれ、光演算装置１０の前面及び左側面を平面視したものである。
　＜光演算装置の構成＞
　図１に示すように、光演算装置１０は、乾燥ゲル１１を備えている。乾燥ゲル１１は、互いに重ねられたｎ層（ｎは２以上の整数、本実施形態においてはｎ＝３とする）の光回折層Ｌｉ（ｉは、１≦ｉ≦ｎの整数）を包含している。本実施形態においては、乾燥ゲル１１の下面に近接するように光回折層Ｌ１が設けられており、光回折層Ｌ１の上に光回折層Ｌ２及び光回折層Ｌ３がこの順番で積層されている。
　各光回折層Ｌｉは、ｍ行ｌ列の行列状に設けられた複数のマイクロセルＣｉｊｋを含んでいる。ここで、ｍ及びｌの各々は、２以上の整数であり、本実施形態においてはｍ＝４，ｌ＝４とする。また、ｊは、１≦ｊ≦ｍの整数であり、ｋは、１≦ｋ≦ｌの整数である。このように、光回折層Ｌｉに含まれる各マイクロセルＣｉｊｋは、正方行列状に設けられている。各マイクロセルＣｉｊｋは、少なくとも屈折率が個別に、且つ、互いに独立に設定されている。また、各マイクロセルＣｉｊｋは、屈折率に加えて厚みＴｃが個別に、且つ、互いに独立に設定されていてもよい。均一の厚みの範囲内において実現できないほど、各マイクロセルＣｉｊｋの屈折率の分布をワイドレンジにしたい場合に、マイクロセルＣｉｊｋの厚みをより厚くすればよい。この構成によれば、信号光が透過した場合に変化する位相変化量を厚みＴｃが薄いマイクロセルＣｉｊｋよりも大きくすることができる。本実施形態において、各マイクロセルＣｉｊｋは、屈折率のみが個別に、且つ、互いに独立に設定されており、厚みＴｃは均一である。厚みＴｃは、適宜定めることができるが、典型的には、信号光の波長λｓ程度である。
　ここで、マイクロセルとは、例えば、セルサイズが１０μｍ未満のセルのことを指す。また、セルサイズとは、セルの面積の平方根のことを指す。例えば、マイクロセルの平面視形状がマイクロセルＣｉｊｋのように正方形である場合、セルサイズとは、セルの一辺の長さＬｃである。セルサイズの下限は、特に限定されないが、例えば１ｎｍである。
　光演算装置１０において、光回折層Ｌｉの層数ｎと、複数のマイクロセルＣｉｊｋの行数ｍ及び列数ｌは、上述した例に限定されず適宜さだめることができる。層数ｎは、例えば、２であってもよいし１０であってもよい。また、行数ｍ及び列数ｌは、例えば、２００であってもよし４０００であってもよい。層数ｎ、行数ｍ、及び列数ｌは、光演算装置１０を用いて実行したい光演算の内容に応じて適宜定めることができる。
　光演算装置１０において、信号光は、乾燥ゲル１１の一方の主面（例えば下面）に入射し、乾燥ゲル１１の他方の主面（例えば上面）から出射する。図１の正面図において、マイクロセルＣｉｊｋが形成されている領域を光演算装置１０における有効領域と呼ぶ。
　層間ピッチＰＬ、及び、マイクロセルＣｉｊｋのセルサイズである長さＬｃは、信号光の波長λｓに関連して定められている。
　層間ピッチＰＬは、信号光の波長λｓの整数倍であることが好ましい。本実施形態では、層間ピッチＰＬとして４０λｓを採用している。例えば、λｓ＝４００ｎｍである信号光を用いる場合、ＰＬ＝１６μｍとなる。層間ピッチＰＬは、互いに隣接する光回折層Ｌｉ及び光回折層Ｌｉ＋１におけるピッチである。
　マイクロセルのセルサイズは、λｓ／２以上２λｓ以下の範囲内で定められていることが好ましい。すなわち、マイクロセルＣｉｊｋにおいて、長さＬｃは、λｓ／２以上２λｓ以下の範囲内で定められていることが好ましい。例えば、λｓ＝４００ｎｍである信号光を用いる場合、長さＬｃは、２００ｎｍ以上８００ｎｍ以下の範囲内で定められていることが好ましい。これにより、信号光の制御性を高めることができる。
　また、単一の光回折層Ｌｉ内において互いに隣接するマイクロセル同士（例えばマイクロセルＣｉｊｋ及びマイクロセルＣｉｊｋ＋１）におけるピッチであるセル間ピッチＰｃは、長さＬｃを上回る範囲内で適宜定めることができる。
　（乾燥ゲル）
　乾燥ゲル１１は、信号光に対して透光性を有する材料により構成されている。乾燥ゲル１１を構成するゲルは、Implosion Fabrication法において用いられるゲルの中から適宜選択することができる（例えば、非特許文献１、特許文献２、及び、特願２０２１－０２５６８０号の明細書参照）。
　乾燥ゲル１１は、ゲルを乾燥することによって得られる。ゲルは、分散質が繋がることによりネットワークを作った固体状のものの総称である。分散質同士が繋がっている点は、架橋点と呼ばれる。ゲルは、ネットワーク中に溶媒を吸収することができ、膨潤したゲルとなることができる。また、ゲルは、含有していた溶媒を乾燥されることによって、溶媒を放出しながら収縮し、乾燥ゲルとなる。また、乾燥ゲルとなる際に、乾燥ゲルの寸法を安定化させるためにさらに架橋などの処理を施して構造をある程度、固定化することもできる。ゲルと乾燥ゲルとを比較した場合の収縮率は、分散質の組成などにより異なるが、後述するImplosion Fabrication法において用いられるゲルの場合、典型的な収縮率は、１／１０～１／１００程度である。光演算装置１０では、単一の乾燥ゲル１１中に、複数の光回折層Ｌｉであって、各々が複数のマイクロセルＣｉｊｋを含んでいる光回折層Ｌｉが設けられている。単一の乾燥ゲル１１の内部に複数の光回折層Ｌｉを形成する場合、各光回折層Ｌｉ間に生じ得る収縮率のばらつきを抑制することができる。したがって、複数の乾燥ゲルを用いて複数層の光回折層を構成する場合に生じ得るセルサイズ及び位置のばらつきを抑制することができる。また、別個に設けられた複数の光回折層を重ねる必要がないので、複数の光回折層におけるアライメント調整を省略することができる。
　また、ゲルから乾燥ゲルに収縮するときの精度を求める場合、前記収縮率を１／１０程度に抑えるようにゲルを構成することが好ましい。すなわち、乾燥ゲルの体積は、ゲルの体積の１／１０００程度が好ましい。収縮の精度は、ゲルにおける収縮の均一性とも言い替えられる。ゲルにおける収縮の均一性を高めることにより、各光回折層Ｌｉに生じ得るセルサイズ及び位置のばらつきを更に抑制することができる。
　ゲルは、化学ゲルと物理ゲルとに分類することができる。化学ゲルは、分散質同士の結合が共有結合からなる。一方、物理ゲルは、分散質同士が共有結合以外の結合（例えば分子間力など）からなる。また、化学ゲルのうち分散質が高分子化合物であるゲルのことを高分子ゲルと呼ぶ。本実施形態では、溶媒を乾燥させることによって乾燥ゲル１１となるゲルとして高分子ゲルを用いる。
　また、ゲルは、吸収することができる溶媒の極性に応じて、親水性ゲル、疎水性ゲル、及び中間的なゲルに分類することができる。親水性ゲルは、極性が高い溶媒（例えば水や低級アルコール類など）を吸収する。疎水性ゲルは、極性が低い溶媒（例えばシクロヘキサンやノルマルヘキサンなど）を吸収する。中間的なゲルは、極性が中間的な溶媒（例えばジエチルエーテルや酢酸エチルなど）を吸収する。本実施形態では、溶媒を乾燥させることによって乾燥ゲル１１となるゲルとして親水性ゲルを用いる。親水性ゲルは、ハイドロゲルとも呼ばれる。
　乾燥ゲル１１における溶媒の含有率（ハイドロゲルにおいては含水率）は、３０％以下の範囲内で適宜定めることができる。なお、乾燥ゲル１１における溶媒の含有率は、乾燥ゲル１１の総質量に対する含有している溶媒の質量の比で定義することができる。含有率が低ければ低い程、乾燥ゲル１１のサイズが小さくなるので、各光回折層Ｌｉにおけるセルサイズを小さくすることができる。
　＜第１の変形例＞
　光演算装置１０の第１の変形例である光演算装置１０Ａについて、図２を参照して説明する。図２は、光演算装置１０Ａの断面図である。なお、図２においては、乾燥ゲル１１に包含されている各光回折層Ｌｉの図示を省略している。
　図２に示すように、光演算装置１０Ａは、乾燥ゲル１１と、透明基板１２Ａと、樹脂層１３Ａと、を備えている。光演算装置１０Ａの乾燥ゲル１１は、光演算装置１０の乾燥ゲル１１と同一である。したがって、本変形例では、乾燥ゲル１１の説明を省略する。
　透明基板１２Ａは、信号光に対して透光性を有する基板である。本実施形態においては、石英ガラス製のガラス基板を透明基板１２Ａとして用いる。ただし、透明基板１２Ａを構成する材料は、石英ガラスに限定されず、適宜定めることができる。例えば、透明基板１２Ａを構成する材料として、信号光に対して透光性を有する樹脂を用いることもできる。また、透明基板１２Ａは、剛直な基板であってもよいし、柔軟な基板であってもよい。なお、透明基板１２Ａが柔軟な基板である場合には、乾燥ゲル１１を取り囲むように枠体が透明基板１２Ａに取り付けられていることが好ましい。これにより、透明基板１２Ａは、変形せずに平面性を保つことができる。
　透明基板１２Ａの一方の主面（図２においては上側の主面）には、乾燥ゲル１１が載置されている。
　透明基板１２Ａは、乾燥ゲル１１を支持するとともに、乾燥ゲル１１と空気との接触を防ぐために設けられている。透明基板１２Ａは、乾燥ゲル１１の下側の主面を覆っている。
　樹脂層１３Ａは、信号光に対して透光性を有する樹脂により構成されている。樹脂層１３Ａは、乾燥ゲル１１と空気との接触を防ぐために設けられている。樹脂層１３Ａは、防湿層の一例である。樹脂層１３Ａは、透湿度が１５０ｇ/ｍ２/２４ｈｒ以下になるように構成されていることが好ましく、５０ｇ/ｍ２/２４ｈｒ以下であることがより好ましく、１０ｇ/ｍ２/２４ｈｒ以下であることが最も好ましい。透湿度を規定するためには、ＪＩＳ　Ｚ　０２０８で規定されるカップ法試験における試験条件４０℃・９０％ＲＨ下での評価指数を用いることができる。この構成によれば、樹脂層１３Ａは、乾燥ゲル１１が空気中の水分を吸収することを抑制することができるので、乾燥ゲル１１のサイズを一定に保つことができる。樹脂層１３Ａは、透明基板１２Ａの一方の主面と、乾燥ゲル１１の上側の主面及び側面とを覆っている。
　樹脂層１３Ａとしては、表示パネルにおいてパネル表面を保護するために用いられるハードコート層を好適に用いることができる。すなわち、樹脂層１３Ａを構成する樹脂の好適な例としては、光硬化性のメタアクリル系樹脂が挙げられる。ハードコート層は、所定の硬度を上回るように構成されており、耐擦傷性を有する。所定の硬度は、適宜定めることができる。所定の硬度を規定するためには、ＪＩＳ　Ｋ　５６００などに規定される鉛筆硬度試験における評価指数を用いてもよいし、表面硬度摩耗試験機などに適切な過重を加えたスチールウール等を用いて測定される耐擦傷性の評価指数を用いてもよい。樹脂層１３Ａとしてハードコート層を用いることにより、乾燥ゲル１１のサイズを一定に保てることに加えて、乾燥ゲル１１が外力により変形したり破損したりするのを防ぐこともできる。
　このように、透明基板１２Ａ及び樹脂層１３Ａは、乾燥ゲル１１を包含するように構成されている。透明基板１２Ａ及び樹脂層１３Ａは、防湿層として機能する。本実施形態において、透明基板１２Ａ及び樹脂層１３Ａの各々は、それぞれの屈折率が、乾燥ゲル１１の屈折率よりも低く、空気の屈折率よりも高くなるように構成されている。
　＜第２の変形例＞
　光演算装置１０の第２の変形例であり、且つ、光演算装置１０Ａの変形例でもある光演算装置１０Ｂについて、図３を参照して説明する。図３は、光演算装置１０Ｂの断面図である。
　光演算装置１０Ｂは、乾燥ゲル１１と、透明基板１２Ａ（図３には不図示）と、樹脂層１３Ａと、樹脂層１４Ｂと、を備えている。光演算装置１０Ｂは、光演算装置１０Ａに対して樹脂層１４Ｂを追加することによって得られる。したがって、本変形例では、樹脂層１４Ｂについて説明し、乾燥ゲル１１、透明基板１２Ａ、及び樹脂層１３Ａの説明を省略する。
　樹脂層１４Ｂは、一方の防湿層である樹脂層１３Ａの有効領域（すなわち、乾燥ゲル１１の上面を覆っている領域）を覆っている。樹脂層１４Ｂは、信号光に対して透光性を有する樹脂であって、屈折率が樹脂層１３Ａの屈折率よりも低く、空気の屈折率よりも高くなるように構成されている。樹脂層１４Ｂは、低屈折率層として機能する。
　樹脂層１４Ｂを構成する材料は、特に限定されず、既存の材料の中から屈折率に応じて適宜選択することができる。樹脂層１４Ｂは、フッ素を添加したアクリレート樹脂により構成されていてもよいし、内部に微細な空気泡を分散させた樹脂により構成されていてもよい。空気泡を樹脂の内部に分散させる場合、空気泡のサイズは、信号光の波長λｓ未満であることが好ましい。
　なお、光演算装置１０Ｂの一態様は、もう一方の防湿層である透明基板１２Ａの有効領域（すなわち、乾燥ゲル１１の下面を覆っている領域）を覆う樹脂層を更に備えていてもよい。この樹脂層は、樹脂層１４Ｂと同様に構成されていればよい。
　＜第３の変形例＞
　光演算装置１０の第３の変形例である光演算装置１０Ｃについて、図４を参照して説明する。図４は、光演算装置１０Ｃの断面図である。
　光演算装置１０Ｃは、乾燥ゲル１１と、一対の透明基板１２Ｃ１，１２Ｃ２と、樹脂層１３Ｃと、を備えている。
　透明基板１２Ｃ１は、光演算装置１０Ａの透明基板１２Ａと同一に構成されている。すなわち、透明基板１２Ｃ１は、乾燥ゲル１１の下面を覆っている。
　透明基板１２Ｃ２は、透明基板１２Ｃ１と同様に構成されたガラス基板である。透明基板１２Ｃ２は、透明基板１２Ｃ１とともに乾燥ゲル１１を挟み込むように、乾燥ゲル１１の上面に載置されている。したがって、透明基板１２Ｃ２は、乾燥ゲル１１の上面を覆っている。
　樹脂層１３Ｃは、光演算装置１０Ａの樹脂層１３Ａを構成する樹脂と同じ樹脂により構成されている。ただし、樹脂層１３Ｃは、透明基板１２Ｃ１と透明基板１２Ｃ２との間に充填されており、乾燥ゲル１１の側面を覆っている。
　透明基板１２Ｃ１、透明基板１２Ｃ２、及び樹脂層１３Ｃは、防湿層として機能する。
　透明基板１２Ｃ１及び透明基板１２Ｃ２は、透明基板１２Ａと同様に、剛直な基板であってもよいし、柔軟な基板であってもよい。
　本実施形態において、透明基板１２Ｃ１、透明基板１２Ｃ２、及び樹脂層１３Ｃの各々は、それぞれの屈折率が、乾燥ゲル１１の屈折率よりも低く、空気の屈折率よりも高くなるように構成されている。
　〔第２の実施形態〕
　本発明の第２の実施形態に係る製造方法Ｍ１について、図５を参照して説明する。図５は、製造方法Ｍ１のフローチャートである。本実施形態では、光演算装置１０Ａを製造する場合を例にして、製造方法Ｍ１について説明する。ただし、製造方法Ｍ１に含まれている第１の工程Ｓ１１～第４の工程Ｓ１４は、光演算装置１０、光演算装置１０Ｂ、及び光演算装置１０Ｃの何れを製造する場合にも適用することができる。
　＜ゲル＞
　本実施形態では、溶媒を含有したゲルが透明基板１２Ａの上面に載置されている状態を始状態として製造方法Ｍ１について説明する。
　この始状態において用いるゲルとしては、Implosion Fabrication法において利用可能なゲルから適宜選択することができる。
　始状態において用いるゲルについては、例えば、非特許文献１及び特許文献２に記載されている。また、特願２０２１－０２５６８０号の明細書に記載されている多元ブロックコポリマーを始状態において用いるゲルとして採用してもよい。この多元ブロックコポリマーにおいては、各々が１又は複数のブロックポリマーにより構成された第１セグメント及び第２セグメントが交互に結合されている。ここで、第１セグメントは、疎水性を有し、第２セグメントは、親水性を有する。そのうえで、この多元ブロックコポリマーは、総セグメント数が３以上になるように構成されている。
　＜製造方法の構成＞
　図５に示すように、製造方法Ｍ１は、第１の工程Ｓ１１、第２の工程Ｓ１２、第３の工程Ｓ１３、第４の工程Ｓ１４、及び第５の工程Ｓ１５を含んでいる。
　第１の工程Ｓ１１は、溶媒を含有しているゲル中に色素を分散させる工程である。この色素は、始状態において用いるゲルの組成にあわせて適宜選択することができる（例えば、非特許文献１、特許文献２、及び、特願２０２１－０２５６８０号の明細書参照）。
　第２の工程Ｓ１２は、２光子吸収法を用いて、色素が分散されたゲルを露光することにより複数層の各光回折層Ｌｉに対応するパターンをパターニングする工程である。すなわち、第２の工程Ｓ１２においては、各マイクロセルＣｉｊｋに対応する領域に対して、個別に、且つ、互いに独立に設定されている強度のレーザ光を照射する。分散質は、レーザ光の２光子を吸収することにより色素と結合する。したがって、各マイクロセルＣｉｊｋには、レーザ光の強度に応じた量の色素が結合することになる。このレーザ光の強度に応じて導入された色素には、さらに乾燥ゲルと屈折率の異なる微粒子を色素の量に応じて結合させることができ、これにより、各マイクロセルＣｉｊｋにおける屈折率を個別に、且つ、互いに独立に設定することができる。乾燥ゲルよりも屈折率が高い微粒子としては、酸化チタンのナノ粒子やナノダイアモンドなどが挙げられる。乾燥ゲルよりも屈折率が低い微粒子としてはフッ化物ナノ粒子などが挙げられる。
　２光子吸収法を用いたパターニングは、光造形の一態様であり、以下においては２光子３Ｄプリンティングとも称する。２光子吸収法では、照射するレーザ光（励起光）の焦点の位置を、乾燥ゲル１１における主面の面内方向に移動させることができるだけでなく、当該主面の法線方向にも移動させることができる。したがって、２光子３Ｄプリンティングでは、マイクロ構造を３次元的に自由に加工できる。
　第３の工程Ｓ１３は、第２の工程Ｓ１２においてパターニングされた後のゲルを洗浄することにより、ゲルから色素を除去する工程である。第３の工程Ｓ１３を実施することにより、分散質に結合された色素は、ゲル中の各マイクロセルＣｉｊｋに対応する領域に残存し、分散質に結合されなかった色素は、ゲル中から除去される。
　第４の工程Ｓ１４は、第３の工程Ｓ１３において色素が除去されたゲルから溶媒を除去する工程である。第４の工程Ｓ１４を実施することにより、ゲルは、収縮し、乾燥ゲルとなる。乾燥ゲル１１における溶媒の含有率は、３０％以下の範囲内で適宜定めることができる。含有率が低ければ低い程、乾燥ゲル１１のサイズが小さくなるので、各光回折層Ｌｉにおけるセルサイズを小さくすることができる。
　第５の工程Ｓ１５は、透明基板１２Ａの上面、及び、乾燥ゲル１１の表面に樹脂層１３Ａのもととなる液体樹脂を塗布し、この液体樹脂を硬化させる工程である。液体樹脂が硬化することにより、透明基板１２Ａの上面、及び、乾燥ゲル１１の表面に樹脂層１３Ａが形成され、乾燥ゲル１１は、透明基板１２Ａと樹脂層１３Ａとにより包含される。透明基板１２Ａ及び樹脂層１３Ａは、防湿層の一例である。
　なお、光演算装置１０Ｂを製造する場合には、第５の工程Ｓ１５のあとに、樹脂層１３Ａの少なくとも乾燥ゲル１１を覆っている領域に、低屈折率層の一例である樹脂層１４Ｂを形成する工程を追加すればよい。
　〔付記事項〕
　本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
　〔まとめ〕
　本発明の第１の態様に係る光演算装置は、互いに重ねられた複数層の光回折層を備えた光演算装置であって、各光回折層は、屈折率が個別に設定され、且つ、行列状に設けられた複数のマイクロセルを含んでおり、前記複数層の光回折層は乾燥ゲルにより包含されている。
　上記の構成によれば、複数層の光回折層が１つの乾燥ゲルに包含されているため、複数の乾燥ゲルを用いることなく光演算装置を製造することができる。したがって、複数の乾燥ゲルを用いて複数層の光回折層を構成する場合に生じ得るセルサイズ及び位置のばらつきを抑制することができる。これを適用して作製したセルサイズ及び位置のばらつきが抑制された光演算装置では、誤差が少なく、より精度の高い演算を行うことが可能である。
　また、複数の光回折層を信号光に順に作用させる光演算装置であって、各光回折層が別個の乾燥ゲル中に設けられた光演算装置においては、各光回折層の信号光に対する位置及び方向を予め定められた位置及び方向に調整することが重要である。なぜなら、光回折層の信号光に対する位置及び方向が予め定められた位置及び方向からずれると、所期の作用を信号光に対して及ぼすことが困難になるからである。以下では、この調整のことをアライメント調整と呼ぶ。上記の構成によれば、単一の乾燥ゲル中に複数の光回折層が設けられているので、製造時にアライメント調整を省略することができる。なお、このアライメント調整で調整出来るのは各光回折層間の位置ずれ、すなわち面内の水平移動による誤差のみである。アライメント調整では、たとえば各光回折層の収縮率が異なることに起因する各光回折層のセルサイズのずれを完全に調整することはできないが、単一の乾燥ゲル中に複数の光回折層が設けられている上記の構成によれば、このようなセルサイズのずれも抑制することができる。
　また、本発明の第２の態様に係る光演算装置においては、上述した第１の態様に係る光演算装置の構成に加えて、信号光に対して透光性を有する防湿層であって、前記乾燥ゲルを包含する防湿層を更に備えている、構成が採用されている。
　上記の構成によれば、乾燥ゲルと空気との接触を遮断することができるため、乾燥ゲルが空気中に含まれる水分を吸収することを抑制することができる。したがって、外部環境にかかわらず乾燥ゲルのサイズを一定に保つことができる。
　また、本発明の第３の態様に係る光演算装置においては、上述した第２の態様に係る光演算装置の構成に加えて、前記防湿層の屈折率は、乾燥ゲルの屈折率よりも低く、空気の屈折率よりも高い、構成が採用されている。
　上記の構成によれば、防湿層を備えていない場合に生じ得る反射であって、乾燥ゲルと空気との界面における反射を抑制することができる。
　また、本発明の第４の態様に係る光演算装置においては、上述した第３の態様に係る光演算装置の構成に加えて、前記防湿層の有効領域を覆う低屈折率層であって、屈折率が前記防湿層の屈折率よりも低く、空気の屈折率よりも高い低屈折率層を更に備えている、構成が採用されている。
　上記の構成によれば、低屈折率層を備えていない場合に生じ得る反射であって、防湿層と空気との界面における反射を抑制することができる。
　本発明の第５の態様に係る製造方法は、互いに重ねられた複数層の光回折層を備えた光演算装置の製造方法である。本製造方法は、溶媒を含有しているゲル中に色素を分散させる第１の工程と、２光子吸収法を用いて、色素が分散されたゲルを露光することにより前記複数層の光回折層に対応するパターンをパターニングする第２の工程と、パターニング後のゲルから色素を除去する第３の工程と、色素が除去されたゲルから前記溶媒を除去することにより収縮された乾燥ゲルであって、複数層の光回折層を包含する乾燥ゲルを得る第４の工程と、を含んでいる。
　上記の構成によれば、第１の態様に係る光演算装置と同様の効果を奏する。
　また、本発明の第６の態様に係る製造方法においては、上述した第５の態様に係る製造方法の構成に加えて、信号光に対して透光性を有する防湿層を用いて、前記乾燥ゲルを包含する第５の工程を更に含む、構成が採用されている。
　上記の構成によれば、第２の態様に係る光演算装置と同様の効果を奏する。
　１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ　光演算装置
　１１　乾燥ゲル
　Ｌｉ　光回折層
　Ｃｉｊｋ　マイクロセル
　１２Ａ，１２Ｃ１，１２Ｃ２　透明基板
　１３Ａ，１４Ｂ，１３Ｃ　樹脂層

Claims (6)

  1. 　互いに重ねられた複数層の光回折層を備えた光演算装置であって、
    　各光回折層は、屈折率が個別に設定され、且つ、行列状に設けられた複数のマイクロセルを含んでおり、
    　前記複数層の光回折層は乾燥ゲルにより包含されている、
    ことを特徴とする光演算装置。
  2. 　信号光に対して透光性を有する防湿層であって、前記乾燥ゲルを包含する防湿層を更に備えている、
    ことを特徴とする請求項１に記載の光演算装置。
  3. 　前記防湿層の屈折率は、乾燥ゲルの屈折率よりも低く、空気の屈折率よりも高い、
    ことを特徴とする請求項２に記載の光演算装置。
  4. 　前記防湿層の有効領域を覆う低屈折率層であって、屈折率が前記防湿層の屈折率よりも低く、空気の屈折率よりも高い低屈折率層を更に備えている、
    ことを特徴とする請求項３に記載の光演算装置。
  5. 　互いに重ねられた複数層の光回折層を備えた光演算装置の製造方法であって、
    　溶媒を含有しているゲル中に色素を分散させる第１の工程と、
    　２光子吸収法を用いて、色素が分散されたゲルを露光することにより前記複数層の光回折層に対応するパターンをパターニングする第２の工程と、
    　パターニング後のゲルから色素を除去する第３の工程と、
    　色素が除去されたゲルから前記溶媒を除去することにより収縮された乾燥ゲルであって、複数層の光回折層を包含する乾燥ゲルを得る第４の工程と、を含む、
    ことを特徴とする製造方法。
  6. 　信号光に対して透光性を有する防湿層を用いて、前記乾燥ゲルを包含する第５の工程を更に含む、
    ことを特徴とする請求項５に記載の製造方法。
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