WO2022270875A1 - 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버 - Google Patents

전장 유지보수 도어를 갖는 프로버 Download PDF

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WO2022270875A1
WO2022270875A1 PCT/KR2022/008804 KR2022008804W WO2022270875A1 WO 2022270875 A1 WO2022270875 A1 WO 2022270875A1 KR 2022008804 W KR2022008804 W KR 2022008804W WO 2022270875 A1 WO2022270875 A1 WO 2022270875A1
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prober
maintenance door
stage chamber
electrical
electric
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PCT/KR2022/008804
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노창훈
박기택
박남우
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주식회사 쎄믹스
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Definitions

  • the present invention relates to a prober, which is equipment for inspecting wafers, and more particularly, to a prober having an electrical maintenance door capable of supplying and controlling power for each independent cell.
  • a wafer prober which is a semiconductor inspection equipment, measures the electrical characteristics of semiconductor devices made on a wafer immediately before entering a post-process for a wafer that has completed all semiconductor pre-processes. It is a device that inspects and checks for defects.
  • a prober is used as a wafer inspection device to inspect electrical characteristics of each semiconductor element.
  • the prober includes a disk-shaped probe card facing the wafer, and the probe card includes contact probes, which are a plurality of columnar contact terminals disposed to face each electrode pad or each solder bump of a semiconductor device of the wafer.
  • each contact probe on the probe card contacts the electrode pad or solder bump of the semiconductor element, and a test signal flows from each contact probe to the electric circuit of the semiconductor element connected to each electrode pad or each solder bump, thereby ensuring the conduction of the electric circuit. check status, etc.
  • a group prober equipped with individual cells to have a plurality of prober stages is being developed.
  • electric fields are provided on both sides or one side, and power and communication are all provided in the integrated electric field. configured to control.
  • one integrated electric field maintenance equipment is electrically powered on the side of a group prober, when performing maintenance on one individual cell, there is a problem in that the entire group prober must be turned off and then maintenance performed.
  • the prior art has a problem in that the more the number of cells of the group prober is, the more damage is caused to the inspection progress time during maintenance.
  • the present invention it is possible to independently maintain, repair, and operate individual probers constituting a cell in group prober equipment, and has an electric maintenance door that can proceed without stopping the operation of the group prober during individual prober maintenance We want to provide a prober.
  • a prober having an electrical maintenance door includes a prober stage chamber in which a probe card and a wafer are supplied to perform an inspection; an electrical maintenance door installed on one side of the prober stage chamber to open and close the inside of the prober stage chamber; In the electric maintenance door, a space capable of accommodating electrical components is formed inside the door body so as to control the electrical operation inside the prober stage chamber, and a power line and a communication line are introduced from the outside,
  • the prober stage chamber may be controllable by connecting a power line and a communication line to electrical components inside the prober stage chamber.
  • a prober having an electrical maintenance door includes a frame made of a plurality of cells to form a group prober; a prober stage chamber mounted on each cell of the frame and supplied with a probe card and a wafer to conduct an inspection; and an electrical maintenance door installed on one side of the prober stage chamber to open and close the inside of the prober stage chamber, wherein the electrical maintenance door is placed inside the door body to electrically operate the inside of the prober stage chamber.
  • a space capable of accommodating electrical components to be controlled is formed, power lines and communication lines are introduced from the outside, and the power lines and communication lines are connected to electrical components inside the prober stage chamber so that the prober installed in each cell can be individually controlled.
  • the electrical maintenance door may open and close the prober stage chamber while being rotated by a hinge.
  • a switch capable of individually turning on/off power of a prober stage of each cell may be provided at the electrical maintenance door.
  • an integrated electrical unit installed on one side of the frame and connected to the electrical maintenance door of each cell by a master cable having power and communication lines may be further included.
  • the electrical maintenance door in the closed state, is closely attached to the first sealing member installed in the entrance to seal the prober stage chamber, and an inner case formed with an internal space to accommodate electrical components therein; A cover assembled to the inner case from an opposite side of the prober stage chamber to open and close the inner space of the inner case may be included.
  • the electrical maintenance door may be assembled to be opened and closed to the prober stage chamber by a hinge, and a cutout through which a master cable having a power line and a communication line passes may be formed in the inner case.
  • the cutout portion may be integrally formed across the front and side surfaces of the inner case so that the master cable does not interfere when the electric maintenance door is opened and closed.
  • the incision may be sealed by a second sealing member installed on the prober stage chamber side in a closed state of the electrical maintenance door, and a through hole through which a master cable passes may be formed in the second sealing member.
  • a detection switch capable of physically detecting whether the door is open may be installed between the prober stage chamber and the electrical maintenance door.
  • a locking part may be installed in the electrical maintenance door and the prober stage chamber to maintain a locked state.
  • the prober having the electrical maintenance door according to the present invention can be individually maintained, repaired, and operated for each cell in the group prober.
  • the design of the connection cable with the integrated electric part can be made very simple.
  • FIG. 1 is a perspective view of a group prober having an electrical maintenance door according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a block diagram showing master cable connections between an integrated electric unit, which is a part of a prober having an electric maintenance door, and an electric maintenance door of each cell according to an embodiment of the present invention.
  • FIG 3 is a perspective view of a prober having an electrical maintenance door according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a perspective view of a state in which a cover of a prober having an electrical maintenance door according to an embodiment of the present invention is separated.
  • FIG. 5 is a perspective view of a prober door having an electrical maintenance door according to an embodiment of the present invention in an open state.
  • FIG. 6 is a front configuration view of an incision in a state in which the door of a prober having an electrical maintenance door is closed according to an embodiment of the present invention.
  • Words and terms used in this specification and claims are not construed as limited in their ordinary or dictionary meanings, but in accordance with the principle that the inventors can define terms and concepts in order to best describe their inventions. It should be interpreted as a meaning and concept that corresponds to the technical idea.
  • a component being in the "front”, “rear”, “above” or “below” of another component means that it is in direct contact with another component, unless there are special circumstances, and is “in front”, “rear”, “above” or “below”. It includes not only those disposed at the lower part, but also cases in which another component is disposed in the middle.
  • the fact that certain components are “connected” to other components includes cases where they are not only directly connected to each other but also indirectly connected to each other unless there are special circumstances.
  • a prober 10 having an electrical maintenance door includes a frame 11, a prober stage chamber 110, and an electrical maintenance door 120.
  • the frame 11 may include a plurality of cells to form a group prober 10 .
  • the prober stage chamber 110 is mounted on each cell of the frame 11, and a probe card and a wafer are supplied to perform inspection.
  • the prober stage chamber 110 must be isolated from the external environment when the wafer is inspected inside, and the inspection must be performed in a suitable environment. Therefore, the prober stage chamber 110 must be isolated and sealed in all directions during inspection.
  • the prober stage chamber 110 may be provided with different wafers and probe cards for each cell, and may be operated individually. Therefore, in most cases, inspections do not start at the same time and finish at the same time. In other words, in most cases, the working time and situation may proceed differently. Therefore, it is very important that maintenance, repair, and operation are performed for each prober stage chamber 110 of each cell.
  • the electrical maintenance door 120 is installed on one side of the prober stage chamber 110 to open and close the inside of the prober stage chamber 120 .
  • a space is formed inside the door body to accommodate electrical components to control the electrical operation inside the prober stage chamber 110, and a power line and a communication line are provided from the outside.
  • the prober stage 100 installed in each cell may be individually controllable as the power line and the communication line are connected to electrical components inside the prober stage chamber 110.
  • the electrical maintenance door 120 may open and close the prober stage chamber 110 while being rotated by the hinge 123 .
  • a sliding method may be considered in addition to a method in which the electrical maintenance door 120 rotates using the hinge 123, but due to the characteristics of the group prober 10 of FIG. 1, adjacent prober stages 100 interfere with each other Since this can be, a casement type using a hinge 123 would be preferable.
  • an on/off switch capable of individually turning on/off the power of the prober stage 100 of each cell may be provided at the electrical maintenance door 120 .
  • the target prober stage 100 can be turned on and off using the on/off switch to perform maintenance, repair, and operation, and prober stages other than the target prober stage 100 can perform their own inspections without interference. can Therefore, individual maintenance, repair, and operation of the prober stage 100 of each cell are possible.
  • the prober 10 having an electrical maintenance door is installed on one side of the frame 11, and the electrical maintenance door 120 of each cell ) may further include an integrated electrical unit 12 connected by a master cable 13 having a power line 12a and a communication line 12b.
  • the integrated electric unit 12 is only connected to the electric maintenance door 120 of each cell through the master cable 13, and is not directly electrically connected to the prober stage 100. That is, the integrated electric unit 12 is connected to the electrical maintenance door 120 of each cell through the master cable 13, and the electrical maintenance door 120 of each cell is connected to the corresponding electrical maintenance door 120 through the master cable 13 again. connected to the prober stage 100. Therefore, a plurality of wires connecting the integrated electric unit 12 and the prober stage 100 of each cell are unnecessary, so that a very simple and convenient cable connection design can be made.
  • the electrical maintenance door 120 is in close contact with the first sealing member 114 installed at the entrance to seal the prober stage chamber 110, and has an internal space to accommodate electrical components therein. It may include a formed inner case 121 and a cover 122 assembled to the inner case 121 from the opposite side of the prober stage chamber 110 so as to open and close the inner space of the inner case 121. .
  • the inner case 121 has a border 124 and has an open front surface to form an internal space.
  • the cover 122 can be easily assembled and separated by a piece on the open part of the front side. Therefore, during maintenance, repair, and operation, the cover 122 may be separated as necessary to maintain, repair, and operate electrical components inside the door 120 .
  • the electrical maintenance door 120 is assembled to be opened and closed to the prober stage chamber 110 with a hinge 123, and the inner case 121 has a master cable 13 equipped with a power line and a communication line A cutout 121a through which this passes may be formed.
  • the cutout 121a may be integrally formed over the front and side surfaces of the inner case 121 so that the master cable 13 does not interfere when the electrical maintenance door 120 is opened and closed.
  • the cutout 121a is sealed by the second sealing member 113 installed on the side of the prober stage chamber 110 when the electrical maintenance door 120 is closed, and the second sealing member ( 113 may have a through hole through which the master cable 13 passes.
  • a detection switch 111 capable of physically detecting whether or not it is opened may be installed between the prober stage chamber 110 and the electrical maintenance door 120 .
  • the detection switch 111 installed on the side of the prober stage chamber 110 is physically locked by being bitten by the edge 124 of the inner case 121. will detect
  • a locking part may be installed in the electrical maintenance door 120 and the prober stage chamber 110 to maintain a locked state.
  • the locking portion may be locked using a variety of locking mechanisms.
  • these mechanisms may also apply bolts and nuts.
  • a lever-type locking mechanism for closing a large freezer or other warehouse may be applied.
  • Various locking mechanisms can be applied, but since the prober stage chamber 110 is maintained in a sealed state, it is preferable to apply a locking mechanism that can be sealed together with the first sealing member 114, not simply for closing purposes. Do.
  • the group prober 10 includes a frame 11 dividing each cell, a prober stage 100 installed in the frame 11, and an integrated electric unit 12.
  • a prober stage chamber 110 may be assembled and installed in each cell.
  • An integrated electrical unit 12 is installed on one side of the frame 11, and the integrated electrical unit 12 is connected to the electrical maintenance door 120 installed in each cell by a master cable 13. Therefore, the integrated electric unit 12 takes care of the overall situation by controlling or communicating with electric components of the electric maintenance door 120 of each cell, rather than directly controlling the prober stage 100 of each cell.
  • an integrated electric unit 12 which is a part of a prober having an electric maintenance door according to an embodiment of the present invention, an electric maintenance door 120 of each cell, and a prober stage 100
  • a block diagram showing the connection of the master cable 13 of ) is shown.
  • the power line 12a and the communication line 12b of the integrated electric unit 12 may be connected to each electric maintenance door 120 by a single master cable 13 .
  • the power line and the communication line of each electric maintenance door 120 may also be connected to the corresponding prober stage chamber 110 through the master cable 13 . Therefore, since the integrated electrical unit 12 is connected to the electrical maintenance door 120 of each cell with 12 master cables 13 here, cables for connecting to each existing prober stage are omitted, resulting in a complicated cable connection design. It becomes unnecessary.
  • FIG. 3 a perspective view of a prober having an electrical maintenance door according to an embodiment of the present invention is shown.
  • the prober stage chamber 110 in which the inspection is performed is made in a substantially box shape and has an electric maintenance door 120 installed on one side thereof.
  • FIG. 4 it is a perspective view of a prober having an electrical maintenance door according to an embodiment of the present invention in a state in which the cover 122 is separated.
  • the cover 122 of the electrical maintenance door 120 is separated, and electrical components in the internal space are shown.
  • the master cable 13 of the integrated electric unit 12 may pass through one side of the inner case 121 or the cover 122 and be connected to the inside of the door 120 .
  • the chamber 110 is sealed and only the cover 122 is separated. In this state, the prober stage 100 can be maintained, repaired, and operated.
  • the master cable 13 led inside the door 120 is not only connected to electrical components in the internal space, but also connected to the inside of the prober stage chamber 110 through the cutout 121a to control power and communication.
  • FIGS. 5 and 6 a state in which the door 120 of the prober having the electric maintenance door 120 according to an embodiment of the present invention is opened is shown.
  • the locking member 125 of the door 120 is released and the door 120 is rotated around the hinge 123 to open the inside of the chamber 110 .
  • the detection switch 111 pressed on the inner case 121 is released to detect that the door 120 is opened, and this can be transmitted to the integrated electronic unit 12 .
  • the master cable 13 connecting the door 120 and the prober stage 100 may be connected through the cutout 121a.
  • the master cable 13 is not shown, a part of the master cable 13 will be fixed to the second sealing member 113 by the sealing 13a for sealing.
  • the master cable 13 is completely fixed inside the prober stage 100 at the second sealing member 113 and does not move at all, and there is a slight flow gap from the second sealing member 113 to the inside of the door 120.
  • the cutout 121a is formed by integrally cutting a portion of the side surface and a portion of the front surface of the inner case 121 to minimize interference during hinge rotation of the door 120 .
  • the cutout 121a on the side is sealed by being in close contact with the sealing member 112 installed on the side of the hinge 123, and the cutout on the front side is the second sealing member 113 as shown in FIG. Sealing will be done by When the door 120 is closed and sealed using the locking member 125, the inside of the prober stage chamber 110 is completely sealed. Of course, the inspection work proceeds in that state.
  • the on/off switch of only the prober stage 100 of that cell can be turned off to perform repair, maintenance, and the like.
  • the prober stage 100 of the other cell will continue to perform its work.
  • the present invention is applicable to an apparatus for inspecting a wafer.

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Abstract

독립적인 각 셀 별로 전력 공급 및 제어가 가능한 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버는 그룹 프로버를 형성할 수 있도록 복수개의 셀로 이루어진 프레임; 상기 프레임의 각 셀마다 장착되고, 프로브 카드와 웨이퍼가 공급되어 검사가 이루어지는 프로버 스테이지 챔버; 및 상기 프로버 스테이지 챔버의 일측에 설치되어 상기 프로버 스테이지 챔버 내부를 개폐하는 전장 유지보수 도어;를 포함하고, 상기 전장 유지보수 도어는, 도어 몸체 내부에 상기 프로버 스테이지 챔버 내부의 전기적인 작동을 제어할 수 있도록 전장품을 수용할 수 있는 공간이 형성되고, 외부로부터 전력선과 통신선이 인입되고, 전력선과 통신선이 상기 프로버 스테이지 챔버 내부의 전장품에 연결됨으로써 각 셀에 설치된 프로버가 개별적으로 제어 가능할 수 있다.

Description

전장 유지보수 도어를 갖는 프로버
본 발명은 웨이퍼를 검사하는 장비인 프로버에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 독립적인 각 셀 별로 전력 공급 및 제어가 가능한 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 검사 장비인 웨이퍼 프로버(Wafer prober)는 반도체 전공정(前工程)이 모두 완료된 웨이퍼를 대상으로 후공정(後工程)으로 들어가기 직전에, 웨이퍼 상에 만들어진 반도체 소자들의 전기적 특성을 검사하여 불량 유무를 확인하는 장비이다.
다수의 반도체 소자가 형성된 반도체 웨이퍼에 있어서, 각 반도체 소자의 전기적 특성 검사를 하기 위해, 웨이퍼 검사 장치로서 프로버가 이용되고 있다. 프로버는 웨이퍼와 대향하는 원판형 프로브 카드를 구비하고, 프로브 카드는 웨이퍼의 반도체 소자의 각 전극 패드나 각 솔더 범프와 대향하도록 배치되는 복수의 기둥형 접촉단자인 콘택트 프로브를 구비한다.
프로버에서는 프로브 카드의 각 콘택트 프로브가 반도체 소자의 전극 패드나 솔더 범프와 접촉하고 각 콘택트 프로브에서 각 전극 패드나 각 솔더 범프에 접속된 반도체 소자의 전기 회로로 검사 신호를 흐르게 함으로써 전기 회로의 도통 상태 등을 검사한다.
종래 기술에 의하면, 복수개의 프로버 스테이지를 갖도록 개별 셀이 구비된 그룹 프로버가 개발되고 있는 실정인데, 통상 양측면 또는 일측면에 전장을 구비하도록 하고, 그 통합 전장부에서 전원과 통신 등을 모두 제어하도록 구성되어 있다. 이러한 종래기술은 통합된 하나의 전장 유지보수 장비가 그룹 프로버의 측부에서 전장되는 경우, 개별 셀 하나의 유지 보수 시, 그룹 프로버 전체를 오프한 다음 유지보수를 진행해야 하는 문제점 있었다.
따라서, 종래기술은 그룹 프로버의 셀 개수가 많으면 많을수록 유지보수 시 검사 진행 시간의 손해를 더욱 발생시키게 되는 문제점이 있었다.
또한, 통합 전장 유지보수 장비를 로더의 측부나 상부 공간을 활용하여 구성하는 경우가 있는데, 이러한 공간활용은 자동화 등에 매우 불리한 문제점이 있었다.
본 발명에 따르면 그룹 프로버 장비에서 셀을 이루는 개별 프로버에 대한 독립적인 유지, 보수, 운영이 가능하고 개별 프로버 유지보수 시 그룹 프로버의 가동을 멈추지 않고 진행할 수 있는 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버를 제공하고자 한다.
본 발명의 일측면에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버는, 프로브 카드와 웨이퍼가 공급되어 검사가 이루어지는 프로버 스테이지 챔버; 상기 프로버 스테이지 챔버의 일측에 설치되어 상기 프로버 스테이지 챔버 내부를 개폐하는 전장 유지보수 도어; 를 포함하고, 상기 전장 유지보수 도어는, 도어 몸체 내부에 상기 프로버 스테이지 챔버 내부의 전기적인 작동을 제어할 수 있도록 전장품을 수용할 수 있는 공간이 형성되고, 외부로부터 전력선과 통신선이 인입되고, 전력선과 통신선이 상기 프로버 스테이지 챔버 내부의 전장품에 연결됨으로써 상기 프로버 스테이지 챔버가 제어 가능할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버는, 그룹 프로버를 형성할 수 있도록 복수개의 셀로 이루어진 프레임; 상기 프레임의 각 셀마다 장착되고, 프로브 카드와 웨이퍼가 공급되어 검사가 이루어지는 프로버 스테이지 챔버; 상기 프로버 스테이지 챔버의 일측에 설치되어 상기 프로버 스테이지 챔버 내부를 개폐하는 전장 유지보수 도어;를 포함하고, 상기 전장 유지보수 도어는, 도어 몸체 내부에 상기 프로버 스테이지 챔버 내부의 전기적인 작동을 제어할 수 있도록 전장품을 수용할 수 있는 공간이 형성되고, 외부로부터 전력선과 통신선이 인입되고, 전력선과 통신선이 상기 프로버 스테이지 챔버 내부의 전장품에 연결됨으로써 각 셀에 설치된 프로버가 개별적으로 제어 가능할 수 있다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어는 힌지에 의해 회전되면서 상기 프로버 스테이지 챔버를 개폐할 수 있다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어에는 각 셀의 프로버 스테이지의 전력을 개별적으로 온오프할 수 있는 스위치가 구비될 수 있다.
이때, 상기 프레임의 일측에 설치되고, 각 셀의 전장 유지보수 도어에 전력과 통신선을 구비한 마스터 케이블로 연결된 통합 전장부를 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어는, 닫힌 상태에서는 상기 프로버 스테이지 챔버를 밀폐하도록 출입구에 설치된 제1 실링 부재에 밀착되고, 내부에 전장품을 수용할 수 있도록 내부 공간이 형성된 내측 케이스; 상기 내측 케이스의 내부 공간을 개폐할 수 있도록 상기 프로버 스테이지 챔버 반대쪽에서 상기 내측 케이스에 조립되는 커버;를 포함할 수 있다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어는 힌지로 상기 프로버 스테이지 챔버에 개폐할 수 있도록 조립되고, 상기 내측 케이스에는 전력선과 통신선이 구비된 마스터 케이블이 통과하는 절개부가 형성될 수 있다.
이때, 상기 절개부는 상기 전장 유지보수 도어의 개폐 시 상기 마스터 케이블이 간섭되지 않도록 상기 내측 케이스 정면과 측면에 걸쳐 일체로 형성될 수 있다.
이때, 상기 절개부는 상기 전장 유지보수 도어가 닫힌 상태에서는 상기 프로버 스테이지 챔버 측에 설치된 제2 실링 부재에 의해 밀폐되고, 상기 제2 실링 부재에는 마스터 케이블이 통과하는 통과홀이 형성될 수 있다.
이때, 상기 프로버 스테이지 챔버와 상기 전장 유지보수 도어 사이에는 개방 여부를 물리적으로 감지할 수 있는 감지 스위치가 설치될 수 있다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어와 상기 프로버 스테이지 챔버에는 잠금 상태를 유지할 수 있도록 잠금부가 설치될 수 있다.
상기의 구성에 따라, 본 발명에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버는, 그룹 프로버에서 각 셀 별로 개별적인 유지, 보수, 운영이 가능해진다.
본 발명에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버는, 각 셀의 도어에 전장부가 설치되어 있기 때문에 통합 전장부와의 연결 케이블 설계가 매우 간결하게 이루어질 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 그룹 프로버의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버의 일부 구성요소인 통합 전장부와 각 셀의 전장 유지보수 도어의 마스터 케이블 연결을 보여주는 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버의 커버가 분리된 상태의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버의 도어가 개방된 상태의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버의 도어가 닫힌 상태의 절개부의 정면 구성도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 단어와 용어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정 해석되지 않고, 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 발명자가 용어와 개념을 정의할 수 있는 원칙에 따라 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
그러므로 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 해당하고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로 해당 구성은 본 발명의 출원시점에서 이를 대체할 다양한 균등물과 변형예가 있을 수 있다.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 설명하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 다른 구성 요소와 바로 접하여 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 배치되는 것뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 구성 요소가 배치되는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소와 "연결"되어 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 서로 직접 연결되는 것뿐만 아니라 간접적으로 서로 연결되는 경우도 포함한다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버(10)를 설명한다.
본 발명에 따른 전장 유지 보수 도어를 갖는 프로버(10)는 프레임(11), 프로버 스테이지 챔버(110), 그리고, 전장 유지보수 도어(120)를 포함한다.
이때, 본 실시예에서는 그룹 프로버에 적용된 예를 제시하고 있으나, 단독의 싱글 프로버에도 적용됨은 물론이다.
상기 프레임(11)은, 도 1을 참고하면, 그룹 프로버(10)를 형성할 수 있도록 복수개의 셀로 이루어질 수 있다.
상기 프로버 스테이지 챔버(110)는, 도 1 내지 도 6을 참고하면, 상기 프레임(11)의 각 셀마다 장착되고, 프로브 카드와 웨이퍼가 공급되어 검사가 이루어지질 수 있다.
이때, 상기 프로버 스테이지 챔버(110)는 내부에서 웨이퍼의 검사가 이루어질 때 외부 환경과 격리하고 적합한 환경에서 검사가 이루어져야 한다. 따라서 상기 프로버 스테이지 챔버(110)는 검사 시, 모든 방향에서 격리 및 밀페된 상태를 유지해야 한다.
이때, 상기 프로버 스테이지 챔버(110)는 각 셀마다 서로 다른 웨이퍼와 프로브 카드가 제공될 수 있고, 개별적으로 작동이 이루어질 수도 있다. 따라서 대부분의 경우 검사 시 동시에 시작하여 동시에 완료되는 것은 아니다. 즉 대부분의 경우 서로 작업 시간과 상황이 다르게 진행될 수 있다. 따라서 각 셀의 프로버 스테이지 챔버(110) 별로 유지, 보수, 운영이 이루어지는 것이 매우 중요하다.
상기 전장 유지보수 도어(120)는, 도 1 내지 도 6을 참고하면, 상기 프로버 스테이지 챔버(110)의 일측에 설치되어 상기 프로버 스테이지 챔버(120) 내부를 개폐할 수 있다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어(120)는, 도어 몸체 내부에 상기 프로버 스테이지 챔버(110) 내부의 전기적인 작동을 제어할 수 있도록 전장품을 수용할 수 있는 공간이 형성되고, 외부로부터 전력선과 통신선이 인입되고, 전력선과 통신선이 상기 프로버 스테이지 챔버(110) 내부의 전장품에 연결됨으로써 각 셀에 설치된 프로버 스테이지(100)가 개별적으로 제어 가능할 수 있다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어(120)는 힌지(123)에 의해 회전되면서 상기 프로버 스테이지 챔버(110)를 개폐할 수 있다. 여기서 힌지(123)를 이용하여 전장 유지보수 도어(120)가 회전하는 방식 외에도 슬라이딩 방식을 고려할 수 있으나 도 1의 그룹 프로버(10)의 특성 상, 인접하는 프로버 스테이지(100)에 서로 간섭이 될 수 있기 때문에 힌지(123)를 이용한 여닫이식이 바람직할 것이다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어(120)에는 각 셀의 프로버 스테이지(100)의 전력을 개별적으로 온오프할 수 있는 온오프 스위치가 구비될 수 있다.
이때, 상기 온오프 스위치를 이용하여 대상 프로버 스테이지(100)를 온오프하여 유지, 보수, 운영을 할 수 있고, 대상 프로버 스테이지(100) 외의 프로버 스테이지들은 각자 진행하는 검사를 간섭없이 진행할 수 있다. 따라서 각 셀의 프로버 스테이지(100)의 개별적인 유지, 보수, 운영이 가능해진다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버(10)는, 도 1 및 도 2를 참고하면, 상기 프레임(11)의 일측에 설치되고, 각 셀의 전장 유지보수 도어(120)에 전력선(12a)과 통신선(12b)을 구비한 마스터 케이블(13)로 연결된 통합 전장부(12)를 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 통합 전장부(12)는 마스터 케이블(13)을 통하여 각 셀의 전장 유지보수 도어(120)에 연결될 뿐이고, 프로버 스테이지(100)에 직접 전기적으로 직접 연결되지는 않는다. 즉 상기 통합 전장부(12)는 마스터 케이블(13)을 통하여 각 셀의 전장 유지보수 도어(120)에 연결되고, 각 셀의 전장 유지보수 도어(120)는 다시 마스터 케이블(13)을 통하여 해당하는 프로버 스테이지(100)와 연결된다. 따라서 통합 전장부(12)와 각 셀의 프로버 스테이지(100)가 연결되는 복수개의 전선들이 불필요해짐으로써 매우 간결하고 간편하게 케이블 연결 설계를 할 수 있다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어(120)는 닫힌 상태에서는 상기 프로버 스테이지 챔버(110)를 밀폐하도록 출입구에 설치된 제1 실링 부재(114)에 밀착되고, 내부에 전장품을 수용할 수 있도록 내부 공간이 형성된 내측 케이스(121)와, 상기 내측 케이스(121)의 내부 공간을 개폐할 수 있도록 상기 프로버 스테이지 챔버(110) 반대쪽에서 상기 내측 케이스(121)에 조립되는 커버(122)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 내측 케이스(121)는 테두리(124)를 갖고, 내부 공간이 형성될 수 있도록 전면이 개방된 형태를 가진다. 물론 전면의 개방된 부분에는 상기 커버(122)가 피스에 의해 손쉽게 조립 및 분리될 수 있다. 따라서 유지, 보수, 운영 시, 필요에 따라 상기 커버(122)를 분리하고 도어(120) 내부의 전장품을 유지, 보수, 운영할 수 있을 것이다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어(120)는 힌지(123)로 상기 프로버 스테이지 챔버(110)에 개폐할 수 있도록 조립되고, 상기 내측 케이스(121)에는 전력선과 통신선이 구비된 마스터 케이블(13)이 통과하는 절개부(121a)가 형성될 수 있다.
이때, 상기 절개부(121a)는 상기 전장 유지보수 도어(120)의 개폐 시 상기 마스터 케이블(13)이 간섭되지 않도록 상기 내측 케이스(121) 정면과 측면에 걸쳐 일체로 형성될 수 있다.
이때, 상기 절개부(121a)는 상기 전장 유지보수 도어(120)가 닫힌 상태에서는 상기 프로버 스테이지 챔버(110) 측에 설치된 제2 실링 부재(113)에 의해 밀폐되고, 상기 제2 실링 부재(113)에는 마스터 케이블(13)이 통과하는 통과홀이 형성될 수 있다.
이때, 상기 프로버 스테이지 챔버(110)와 상기 전장 유지보수 도어(120) 사이에는 개방 여부를 물리적으로 감지할 수 있는 감지 스위치(111)가 설치될 수 있다. 도 5를 참고하면, 전장 유지보수 도어(120)가 잠길 때, 프로버 스테이지 챔버(110) 측에 설치된 감지 스위치(111)가 내측 케이스(121)의 테두리(124)에 의해 물려 물리적으로 잠금 상태를 감지하게 된다.
이때, 상기 전장 유지보수 도어(120)와 상기 프로버 스테이지 챔버(110)에는 잠금 상태를 유지할 수 있도록 잠금부가 설치될 수 있다. 잠금부는 다양한 잠금 기구를 사용하여 잠글 수 있을 것이다. 여기서는 프로버 스테이지 챔버(110) 측에서 돌출된 피스가 내측 케이스(121) 테두리(124)에 형성된 관통 홀(142a)을 관통하면 잠금 부재(125)로 조여 잠글 수 있도록 되어 있다. 물론 이러한 기구는 볼트, 너트를 적용할 수도 있을 것이다. 다른 예로 대형 냉동고나 기타 창고를 밀폐하기 위한 지렛대 방식의 잠금 기구를 응용할 수도 있을 것이다. 다양한 잠금 기구를 적용할 수 있으나 다만 프로버 스테이지 챔버(110)를 밀폐한 상태로 유지하게 하기 때문에 단순히 닫는 용도가 아닌 제1 실링 부재(114)와 함께 밀폐할 수 있는 잠금 기구를 적용하는 것이 바람직하다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 그룹 프로버(10)의 사시도가 도시되어 있다. 그룹 프로버(10)는 각 셀을 나누는 형태의 프레임(11), 프레임(11)에 설치되는 프로버 스테이지(100), 그리고 통합 전장부(12)를 포함한다. 여기서는 3개 층으로 각 층마다 4개씩 셀이 형성되어 있는 형태이다. 각 셀에는 프로버 스테이지 챔버(110)가 조립 설치될 수 있다. 프레임(11) 일측에는 통합 전장부(12)가 설치되어 있으며, 통합 전장부(12)는 각 셀에 설치된 전장 유지보수 도어(120)에 마스터 케이블(13)에 의해 연결되어 있다. 따라서 통합 전장부(12)는 각 셀의 프로버 스테이지(100)를 직접 제어하는 것이 아니라 각 셀의 전장 유지보수 도어(120)의 전장품을 제어하거나 통신함으로써 전체적인 상황을 케어하게 된다.
도 2를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버의 일부 구성요소인 통합 전장부(12)와 각 셀의 전장 유지보수 도어(120)와 프로버 스테이지(100)의 마스터 케이블(13) 연결을 보여주는 블록도가 도시되어 있다. 상기 통합 전장부(12)의 전력선(12a)과 통신선(12b)은 하나의 마스터 케이블(13)에 의해 각 전장 유지보수 도어(120)에 연결될 수 있다. 물론 각 전장 유지보수 도어(120)의 전력선과 통신선 또한 해당 프로버 스테이지 챔버(110) 내부로 마스터 케이블(13)로 연결될 수 있다. 따라서 통합 전장부(12)는 여기서는 12개의 마스터 케이블(13)로 각 셀의 전장 유지보수 도어(120)에 연결되기 때문에 기존의 각 프로버 스테이지와 연결시키기 위한 케이블이 생략되어 복잡한 케이블 연결 설계가 불필요해진다.
도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버의 사시도가 도시되어 있다. 검사가 이루어지는 프로버 스테이지 챔버(110)는 대략 박스 형태로 이루어지고 일면에 전장 유지보수 도어(120)가 설치되어 있다.
도 4를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버의 커버(122)가 분리된 상태의 사시도이다. 상기 전장 유지보수 도어(120)의 커버(122)가 분리되어 있고, 내부 공간의 전장품들이 도시되어 있다. 통합 전장부(12)의 마스터 케이블(13)은 내측 케이스(121)의 일측 또는 커버(122)를 관통하여 도어(120) 내부와 연결될 수 있다. 도시된 도어(120)의 상태에서도 챔버(110)는 밀폐되어 있고 커버(122)만이 분리된 상태이다 .이러한 상태에서 해당 프로버 스테이지(100)의 유지, 보수, 운영이 이루어질 수 있다. 도어(120) 내측으로 인입된 마스터 케이블(13)은 내부 공간의 전장품에 연결될 뿐만 아니라, 절개부(121a)를 통하여 다시 프로버 스테이지 챔버(110) 내측까지 연결되어 전력 및 통신을 제어하게 된다.
도 5와 도 6을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전장 유지보수 도어(120)를 갖는 프로버의 도어(120)가 개방된 상태가 도시되어 있다. 도어(120)가 잠금 부재(125)가 해제되고 도어(120)가 힌지(123)를 중심으로 회전되어 챔버(110) 내부가 개방된다. 이때 내측 케이스(121)에 눌려 있던 감지 스위치(111)는 해제되어 도어(120)가 개방되었음을 감지하고 이는 통합 전장부(12)에 송신될 수 있다. 이러한 상태에서 챔버(110) 내부의 수리나 기타 유지, 보수, 운영이 가능할 것이다. 도어(120)와 프로버 스테이지(100)를 연결하는 마스터 케이블(13)은 절개부(121a)를 통과하여 연결될 수 있다. 여기서 마스터 케이블(13)은 도시되어 있지 않지만 마스터 케이블(13)은 실링을 위하여 제2 실링 부재(113)에 일부가 실링(13a) 고정되어 있을 것이다. 마스터 케이블(13)은 제2 실링 부재(113)에서 프로버 스테이지(100) 내부에서는 완전히 고정되어 전혀 움직이지 않은 상태이고, 제2 실링 부재(113)에서 도어(120) 내측까지는 약간의 유동 간격을 가질 수 있다. 절개부(121a)는 내측 케이스(121) 측면 일부와 전면 일부가 일체로 절개되어 형성되어 도어(120)의 힌지 회전 시 간섭을 최소화하도록 되어 있다. 도어(120) 밀폐 시, 측면의 절개부(121a)는 힌지(123) 쪽에 설치된 실링 부재(112)에 밀착되어 실링되고, 전면의 절개부는 도 6에 도시된 바와 같이 제2 실링 부재(113)에 의해 실링이 이루어질 것이다. 도어(120)를 닫고 잠금 부재(125)를 이용하여 밀폐시키면 프로버 스테이지 챔버(110) 내부는 완전히 밀폐된다. 물론 그 상태에서 검사 작업이 진행된다.
이때, 어느 한 셀의 프로버 스테이지(100)를 유지, 보수, 운영하고자 할 때에는 그 셀의 프로버 스테이지(100)만 온오프 스위치를 오프하여 수리, 보수 등을 진행할 수 있다. 물론 그 외 셀의 프로버 스테이지(100)는 계속 하던 작업을 수행할 것이다.
본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시예에 의해 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
본 발명은 웨이퍼를 검사하기 위한 장치에 적용 가능하다.

Claims (11)

  1. 프로브 카드와 웨이퍼가 공급되어 검사가 이루어지는 프로버 스테이지 챔버;
    상기 프로버 스테이지 챔버의 일측에 설치되어 상기 프로버 스테이지 챔버 내부를 개폐하는 전장 유지보수 도어;
    를 포함하고,
    상기 전장 유지보수 도어는, 도어 몸체 내부에 상기 프로버 스테이지 챔버 내부의 전기적인 작동을 제어할 수 있도록 전장품을 수용할 수 있는 공간이 형성되고, 외부로부터 전력선과 통신선이 인입되고, 전력선과 통신선이 상기 프로버 스테이지 챔버 내부의 전장품에 연결됨으로써 상기 프로버 스테이지 챔버가 제어 가능한, 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버.
  2. 그룹 프로버를 형성할 수 있도록 복수개의 셀로 이루어진 프레임;
    상기 프레임의 각 셀마다 장착되고, 프로브 카드와 웨이퍼가 공급되어 검사가 이루어지는 프로버 스테이지 챔버;
    상기 프로버 스테이지 챔버의 일측에 설치되어 상기 프로버 스테이지 챔버 내부를 개폐하는 전장 유지보수 도어;
    를 포함하고,
    상기 전장 유지보수 도어는, 도어 몸체 내부에 상기 프로버 스테이지 챔버 내부의 전기적인 작동을 제어할 수 있도록 전장품을 수용할 수 있는 공간이 형성되고, 외부로부터 전력선과 통신선이 인입되고, 전력선과 통신선이 상기 프로버 스테이지 챔버 내부의 전장품에 연결됨으로써 각 셀에 설치된 프로버가 개별적으로 제어 가능한, 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버.
  3. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 전장 유지보수 도어는 힌지에 의해 회전되면서 상기 프로버 스테이지 챔버를 개폐하는, 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버.
  4. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 전장 유지보수 도어에는 프로버 스테이지의 전력을 개별적으로 온오프할 수 있는 스위치가 구비된, 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버.
  5. 제2 항에 있어서,
    상기 프레임의 일측에 설치되고, 각 셀의 전장 유지보수 도어에 전력과 통신선을 구비한 마스터 케이블로 연결된 통합 전장부를 더 포함하는, 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버.
  6. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 전장 유지보수 도어는,
    닫힌 상태에서는 상기 프로버 스테이지 챔버를 밀폐하도록 출입구에 설치된 제1 실링 부재에 밀착되고, 내부에 전장품을 수용할 수 있도록 내부 공간이 형성된 내측 케이스;
    상기 내측 케이스의 내부 공간을 개폐할 수 있도록 상기 프로버 스테이지 챔버 반대쪽에서 상기 내측 케이스에 조립되는 커버;를 포함하는, 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 전장 유지보수 도어는 힌지로 상기 프로버 스테이지 챔버에 개폐할 수 있도록 조립되고, 상기 내측 케이스에는 전력선과 통신선이 구비된 마스터 케이블이 통과하는 절개부가 형성된, 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 절개부는 상기 전장 유지보수 도어의 개폐 시 상기 마스터 케이블이 간섭되지 않도록 상기 내측 케이스 정면과 측면에 걸쳐 일체로 형성된, 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 절개부는 상기 전장 유지보수 도어가 닫힌 상태에서는 상기 프로버 스테이지 챔버 측에 설치된 제2 실링 부재에 의해 밀폐되고, 상기 제2 실링 부재에는 마스터 케이블이 통과하는 통과홀이 형성된, 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버.
  10. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 프로버 스테이지 챔버와 상기 전장 유지보수 도어 사이에는 개방 여부를 물리적으로 감지할 수 있는 감지 스위치가 설치된, 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버.
  11. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 전장 유지보수 도어와 상기 프로버 스테이지 챔버에는 잠금 상태를 유지할 수 있도록 잠금부가 설치된, 전장 유지보수 도어를 갖는 프로버.
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