WO2022211185A1 - 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈 - Google Patents

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WO2022211185A1
WO2022211185A1 PCT/KR2021/007453 KR2021007453W WO2022211185A1 WO 2022211185 A1 WO2022211185 A1 WO 2022211185A1 KR 2021007453 W KR2021007453 W KR 2021007453W WO 2022211185 A1 WO2022211185 A1 WO 2022211185A1
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WO
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detachable
pipe
input
stage
unit
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PCT/KR2021/007453
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Inventor
이호민
정순택
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주식회사 저스템
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Definitions

  • the present invention relates to a stage device and a load port module having the same, and more particularly, to a stage device detachable from a stage of a load port module on which a FOUP is seated, and a load port module having the same.
  • wafers and semiconductor devices formed thereon are high-precision articles, and care must be taken not to damage them from external contaminants and impacts during storage and transportation.
  • the wafer is transferred to several process chambers or semiconductor processing spaces.
  • various means are provided to minimize the adhesion of foreign substances or contaminants to the wafer while transferring the wafer from one processing space to another processing space. It is available.
  • LPM load port module
  • EFEM Equipment Front End Module
  • the initial load port module did not have such a purge function, but a newly developed load port module has a function of purging using nitrogen gas (N 2 ) to solve these problems.
  • the method of replacing the stage of the mod port module and recycling and remodeling the main parts of the existing mod port module requires that the stage and the cover be separated by simply installing the stage fixedly. Since only a portion of the parts can be reused and the existing stage and cover must be discarded, there is a problem in that resources are wasted severely.
  • the present invention has been devised to solve the problems of the prior art as described above, and by providing a detachable stage with a detachable part, an input nozzle part, a discharge nozzle part, a sensing part, and a pipe guide part, it is simple without removing or replacing the existing stage.
  • a stage device that can easily remodel the stage of the load port module by minimizing the pre-assembly time and assembly errors as the shape of the detachable part is very simple by detaching the detachable plate, and at the same time reducing the work time and remodeling cost of the remodeling work. and to provide a load port module having the same.
  • the present invention is a stage device capable of improving the flow stability of gas by maintaining flexibility and fluidity when installing a pipe using a flexible Teflon tube as a joint pipe and a branch pipe of the pipe part, and a load port having the same It serves another purpose to provide modules.
  • the present invention is a stage device capable of improving the adhesion and communication performance between the pipe and the FOUP while preventing shaking, fluctuation or sagging when the FOUP is seated on the detachable part by installing a plurality of seating pieces on the upper surface of the detachable part. And it is another object to provide a load port module having the same.
  • the present invention provides a stage device capable of variously installing a pipe arrangement position and improving flexibility and communication properties of the pipe part by providing a fixing groove for fixing and supporting the pipe part in the lower part of the detachable part, and a load port having the same It serves another purpose to provide modules.
  • the present invention consists of a nozzle assembly (Nozzle Assembly) so that the nozzle part can be individually separated and replaced when attaching and detaching the detachable part as a nozzle part. And it is another object to provide a load port module having the same.
  • the present invention provides separate stage leveling and OHT teaching (OVERHEAD HOIST TRANSPORT) for the detachable part after detachment and remodeling of the detachable part by installing each position sensor at three points as the sensing part to detect the seating of the FOUP.
  • teaching another object is to provide a stage device and a load port module having the same, which can reduce the waiting time and work time of the detachment work because there is no need for the procedure.
  • the present invention consists of a bracket box and a guide hole as a piping bracket part, so a stage device capable of applying a recyclable remodeling method by a piping bracket part without changing or discarding the conventional LPM lower cover part, and a rod having the same Another purpose is to provide a port module.
  • the present invention provides a stage device capable of accommodating a pipe part in the internal space of a pipe guide part and a pipe bracket part and covering it from the outside to provide a beautiful appearance while protecting the pipe part from external impact, and a load port module having the same. It serves another purpose to provide.
  • the present invention provides a stage device capable of manufacturing an insert-type load port module (Insert Type LPM) with a built-in duct part or box part without external exposure of the pipe part by embedding the pipe part inside the pipe guide part, and having the same It is another purpose to provide a load port module.
  • an insert-type load port module Insert Type LPM
  • the present invention is composed of a nozzle equipped with non-leak rubber as a nozzle part, so that a stage device capable of closely communicating with the outlet of the FOOP when the FOOP is seated, and a load port module having the same Another purpose is to provide
  • the present invention for achieving the above object is a stage device detachable from a stage of a load port module, comprising: a detachable part 10 installed to be detachably attached to the stage of the load port module; an input nozzle part 20 installed on one side of the detachable part 10 and arranged to communicate with the inlet of the FOUP; a discharge nozzle unit (30) installed on the other side of the detachable unit (10) and arranged to communicate with the outlet of the FOUP; a sensing unit 40 installed in the central portion of the detachable unit 10 to detect whether the FOUP is seated; and a pipe guide part 50 bent at both ends of the detachable part 10 to guide the pipe communicating with the input nozzle part 20 and the discharge nozzle part 30 downward. characterized.
  • the present invention is connected to each of the input nozzles of the input nozzle unit 20, the input pipe portion 60 guided by the pipe guide unit 50; and a discharge pipe part 70 connected to the discharge nozzle part 30 and guided by the pipe guide part 50;
  • the input pipe part 60 of the present invention may include an input lamination pipe installed in the lower part of the detachable part 10; The first input branch pipe branched in one direction from the input lamination pipe and installed to be guided by the pipe guide 50 and connected to the one-way input nozzle of the input nozzle unit 20; and a second input branch pipe branched from the input paper pipe to the other side, installed to be guided by the pipe guide 50, and connected to the other input nozzle of the input nozzle unit 20; .
  • the present invention is characterized in that it further includes a seating part (80) installed on the upper surface of the detachable part (10) to prevent fluctuation or sagging when the FOUP is seated.
  • the seating part 80 of the present invention includes: a first seating piece installed on one side of the detachable part 10 to provide seating of the FOUP on the upper part of the detachable part 10 ; a second seating piece installed at the other end of the detachable part 10 to provide seating of the FOUP on the upper part of the detachable part 10; and a third seating piece installed at the other end of the detachable part 10 to provide seating of the Foo on the upper part of the detachable part 10 .
  • the detachable part 10 of the present invention includes a detachable plate detachable from the stage of the load port module; a side plate formed to be bent around the outer periphery of the detachable plate and cover the periphery of the side of the detachable plate; a through hole formed through the central portion of the detachable plate to expose a portion of the stage of the load port module; and a guide groove formed to be cut off in one portion of the detachable plate to guide the detachable position of the detachable plate.
  • the input nozzle unit 20 of the present invention includes: an input nozzle in close contact with the inlet of the FOUP; an input communication member connected to a lower portion of the input nozzle to communicate a passage; and an input connection socket installed on one lower side of the input communication member to connect the pipe.
  • the input communication member of the present invention is installed at both ends of one side of the detachable part 10, the communication body communicating with the inlet of the FOUP; a communication pipe installed at a lower portion of the communication body to form a passage in the lower portion of the communication body; and a communication hole formed in communication with one of the lower sides of the communication pipe, and through which the input connection socket is installed.
  • the present invention is a load port module having the above-described stage device, the body portion 110; a stage unit 120 protruding to one side of the body unit 110 so that the FOUP is seated; a gas module unit 130 installed under the stage unit 120 to provide a purge gas to the FOUP; a cover unit 140 installed under the stage unit 120 to cover the gas module unit 130; and a pipe bracket part 150 installed on the lower part of the stage part 120 and installed at both inner ends of the cover part 140 to cover the pipe disposed on the side of the gas module part 130 . characterized in that
  • the pipe bracket part 150 of the present invention includes a bracket box installed between the body part 110 and the cover part 140; and a guide hole formed through an upper portion of the bracket box in a straight shape along the longitudinal direction.
  • the present invention is a detachable stage by providing a detachable part, an input nozzle part, a discharge nozzle part, a sensing part, and a pipe guide part, so that the detachable plate is simply detached without removing or replacing the existing stage to remove the detachable part.
  • Its shape is very simple, so it minimizes pre-assembly time and assembly errors, thereby facilitating the remodeling of the stage of the load port module, and at the same time providing the effect of reducing the remodeling work time and remodeling cost.
  • the arrangement position of the pipe can be installed in various ways, and it provides the effect of improving the flexibility and communication property of the pipe part.
  • the nozzle part is composed of a nozzle assembly so that the nozzle part can be individually separated and replaced when detaching the detachable part, thereby shortening the detachment work time and providing the effect of improving workability.
  • each position sensor at three points as a detection unit to detect the seating of the FOUP
  • separate stage leveling and OHT teaching (OVERHEAD HOIST TRANSPORT Teaching) for the detachable part after detachment and remodeling of the detachable part It provides the effect of reducing the waiting time and working time of the detachment work because there is no need for a procedure.
  • the piping bracket part it is made of a bracket box and a guide hole, thereby providing the effect of applying a recyclable remodeling method by the piping bracket part without changing or discarding the conventional LPM lower cover part.
  • the pipe part is accommodated in the internal space of the pipe guide part and the pipe bracket part and covered from the outside to give a beautiful appearance and provide the effect of protecting the pipe part from external impact.
  • the nozzle part is composed of a nozzle equipped with Non Leak Rubber, it provides the effect of closely communicating with the outlet of the FOOP when the FOOP is seated.
  • FIG. 1 is a block diagram showing a load port module having a stage device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded view showing a load port module having a stage device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a block diagram showing a stage device according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 4 is a top perspective view showing a stage device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a bottom perspective view showing a stage device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a block diagram showing an input pipe unit and an exhaust pipe unit of the stage device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a block diagram showing an input nozzle unit of the stage device according to an embodiment of the present invention.
  • detachable part 20 input nozzle part
  • body part 120 stage part
  • FIG. 1 is a block diagram showing a load port module having a stage device according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is an exploded view showing a load port module having a stage device according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 3 is a block diagram showing a stage device according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 4 is a top perspective view showing a stage device according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 5 is a stage device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a configuration diagram showing an input pipe part and a discharge pipe part of the stage device according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 7 is a view showing the input nozzle part of the stage device according to an embodiment of the present invention. It is a configuration diagram.
  • the stage device includes a detachable unit 10 , an input nozzle unit 20 , a discharge nozzle unit 30 , a sensing unit 40 , and a pipe guide unit 50 . ), the input pipe part 60, the discharge pipe part 70 and the seating part 80, the stage of the Load Port Module (LPM) on which the Front Opening Unified Pod (FOUP) is seated. It is a stage device detachable from the upper part of the unit 120 .
  • LPM Load Port Module
  • the detachable part 10 is a detachable means installed so as to be detachably attached to the upper portion of the stage part 120 of the load port module, and includes a detachable plate 11 , a side plate 12 , a through hole 13 , and a guide groove 14 . and a pipe fixing groove 15 .
  • the detachable plate 11 is a plate detachable from the stage unit 120 of the load port module, and the lower space of the heavy plate made of a lightweight material such as aluminum or an alloy material thereof is cut by a milling machine or a tapping machine to cut the lower space. is formed.
  • the detachable plate 11 forms the lower space by cutting, it is easy to cover the stage unit 120 by the lower space when attaching and detaching the upper part of the stage unit 120 to the upper part of the stage unit 120, and the flat cover plate has a strong structure.
  • the side plate 12 is a plate that is bent on the outer periphery of the detachable plate 11 to cover the side perimeter of the detachable plate 11 , and covers the entire stage 120 to protect the entirety and improve the aesthetics.
  • a bulkhead is formed on the four sides.
  • the through-hole 13 is a hole member that is formed through the central portion of the detachable plate 11 to expose a part of the stage unit 120 of the load port module, and connects to various utilities installed in the stage unit 120 . It forms a passage for connecting or contacting the detachable plate.
  • the guide groove 14 is a groove member that is cut out on one side of the detachable plate 11 and guides the detachment position of the detachable plate 11 to be adjusted. will guide
  • a plurality of pipe fixing grooves 15 are provided on the outer portion of the lower surface of the detachable plate 11 , and a fixing groove recessed in one side is formed to fix and support the pipe disposed under the detachable plate 11 .
  • the flexible tubular pipe of the input pipe part 60 and the discharge pipe part 70 is fixed by fitting the fixing groove to facilitate the arrangement of the input pipe part 60 and the discharge pipe part 70 and to be fixed at the same time. do.
  • the shape of the detachable plate by the detachable part 10 is very simple, thereby minimizing the pre-assembly time and assembling error, and facilitating the remodeling of the load port module using the stage device.
  • the input nozzle unit 20 is installed on one side of the detachable part 10 and is an input means arranged to communicate with the inlet of the FOUP, and as shown in FIG. 7 , the input nozzle 21, the input communication member 22 and It consists of an input connection socket (23).
  • the input nozzle unit 20 further includes an auxiliary input nozzle 20 - 1 installed on the other side of the detachable part 10 and arranged to communicate with the inlet of the FOUP.
  • the input nozzle 21 is a nozzle member that closely communicates with the inlet of the FOOP, and is composed of a nozzle equipped with non-leak rubber so that it communicates in close contact with the inlet of the FOOP when the FOOP is seated. desirable.
  • the input communication member 22 is a communication member that is installed at both ends of one side of the detachable part 10 and is connected to the lower portion of the input nozzle 21 to communicate the passage of the purge gas, and consists of a communication body, a communication pipe and a communication hole.
  • the communication body is a communication member that is installed at both ends of the detachable part 10 and communicates with the inlet of the FOUP, and a nozzle installation hole for installing the input nozzle 21 is formed at one end of the communication body, and the other end is detachable.
  • a plurality of fixing holes for fixing to both ends of the part 10 are provided.
  • the communication pipe is a communication member installed in the lower part of the communication body to form a passage of the purge gas in the lower part of the communication body, and is coupled to the lower part of the communication body by welding, and the internal space of the input communication member 22 before welding. It is possible to improve the precision of the passage by precision processing by a tapping machine or a milling machine.
  • the communication hole is a communication member that is formed in communication with the lower one side of the communication pipe and the input connection socket 23 is installed, and a connection member such as a nipple is installed on one lower side of the communication hole.
  • the input connection socket 23 is a connecting member that is installed on one side of the lower side of the input communication member 22 to connect the pipe, and a connector such as a nipple is installed to facilitate connection with the flexible tubular pipe of the input pipe part 60. have.
  • the discharge nozzle unit 30 is installed on the other side of the detachable unit 10 and is a discharging means arranged to communicate with the outlet of the FOUP, and is made of non-leak rubber so as to communicate closely with the outlet of the FOOP when the FOOP is seated. It is preferable to consist of a nozzle equipped with
  • the input nozzle unit 20 and the discharge nozzle unit 30 are composed of a nozzle assembly so that the whole of the nozzle part can be individually separated and replaced when the detachable part 10 is attached and detached, thereby reducing the time of attaching and detaching. It is possible to shorten and at the same time improve workability.
  • the sensing unit 40 is installed in the central portion of the detachable unit 10 and is a sensing means for detecting whether the FOUP is seated, and includes a first sensing piece 41, a second sensing piece 42, and a third sensing piece ( 43), it is possible to detect the seating position of the FOUP at three points to improve the detection performance and at the same time facilitate the replacement of the position sensor.
  • the first sensing piece 41 is installed on one side of the detachable part 10 and is a sensing means for detecting the seating of the Foo on the upper part of the detachable part 10.
  • a method of replacing a Placement Sensor Dog It consists of a position sensor that does not have a risk of being separated from the stage by using
  • the second sensing piece 42 is installed at the other end of the detachable part 10 and is a sensing means for detecting the seating of the Foo on the upper part of the detachable part 10. It consists of a position sensor that does not have a risk of being separated from the stage by using the method.
  • the third sensing piece 43 is installed at the other end of the detachable part 10 and is a sensing means for detecting the seating of the Foo on the upper part of the detachable part 10, which replaces the dog of the position sensor. It consists of a position sensor that does not have a risk of being separated from the stage by using the method.
  • the pipe guide part 50 is a pipe guide means bent at both ends of the side of the detachable part 10 to guide the pipe in communication with the input nozzle part 20 and the discharge nozzle part 30 downwardly. It consists of a tuck-shaped frame formed in a "C" shape.
  • Such a pipe guide part 50 accommodates the input pipe part 60 and the discharge pipe part 70 in the internal space to cover the exterior from the outside, and at the same time to protect the pipe part from external impact. do.
  • an insert-type load port module (Insert Type LPM) having a built-in duct portion or a box portion without external exposure of the piping portion by the piping guide part 50 .
  • the input pipe unit 60 is branchedly connected to the input nozzle of the input nozzle unit 20 , and is a piping means guided by the pipe guide part 50 , and includes an input lamination pipe 61 , a first input branch pipe 62 . ) and a second input branch pipe 63 .
  • the input lamination pipe 61 is installed at the lower part of the desorption part 10 and is an input pipe for injecting a purge gas such as nitrogen gas into the inside of the FOUP through the input nozzle part 20 from the gas module part 130. , it is possible to improve the flow stability of gas by maintaining flexibility and fluidity when installing a pipe by using a flexible Teflon tube.
  • the first input branch pipe 62 is a branch pipe that is branched on one side of the input paper pipe 61 and is installed to be guided by the pipe guide 50 , and is connected to one input nozzle of the input nozzle unit 20 . .
  • the second input branch pipe 63 is a branch pipe that is branched to the other side of the input paper pipe 61 and is installed to be guided by the pipe guide 50 , and is connected to the other input nozzle of the input nozzle unit 20 . .
  • the discharge pipe part 70 is connected to the discharge nozzle of the discharge nozzle part 30 and is a piping means guided by the pipe guide part 50, from the inner space of the FOUP through the discharge nozzle part 30.
  • the used purge gas is discharged to the gas module unit 130 .
  • the discharge pipe 70 uses a flexible Teflon tube to maintain flexibility and fluidity when installing a pipe, thereby improving gas flow stability.
  • a plurality of seating parts 80 are installed on the upper surface of the detachable part 10 to prevent fluctuations or sagging when the poop is seated. It is made of three seating pads of the seating piece 83, and it is possible to stably support the seating of the FOOP at three points, thereby improving stability when the FOOP is seated.
  • the first seating piece 81 is a seating member that is installed on one side of the detachable part 10 to provide seating of the FOUP on the upper portion of the removable part 10. It consists of a seating piece formed of an elastic material or a cushioning material that supports the point.
  • the second seating piece 82 is a seating member installed at the other end of the detachable part 10 to provide seating of the FOUP on the upper portion of the removable part 10. It consists of a seating piece formed of an elastic material or a cushioning material that supports another point.
  • the third seating piece 83 is a seating member installed at the other end of the detachable part 10 to provide seating of the FOUP on the upper portion of the removable part 10. It consists of a seating piece formed of an elastic material or a cushioning material that supports another point.
  • the load port module having the stage device of the present embodiment includes a body part 110 , a stage part 120 , a gas module part 130 , a cover part 140 , and a piping bracket. It is a load port module including a unit 150 and having a stage device detachable from the stage of a load port module (LPM) on which a Front Opening Unified Pod (FOUP) is seated.
  • LPM load port module
  • FOUP Front Opening Unified Pod
  • the load port module is a device that allows wafers to be transferred to the transfer chamber of the semiconductor processing equipment while opening or closing the door of the FOUP (Front Opening Universal Pod), which is a wafer container that holds wafers for semiconductor manufacturing.
  • FOUP Front Opening Universal Pod
  • Such a load port module injects nitrogen gas into the inside of the FOOP when the FOOP is mounted on the stage unit 120, and discharges the contaminants inside the FOOP to the outside of the FOOP so that the wafers stored in the FOOP and transferred are converted into contaminants. It is designed to prevent damage.
  • the main body 110 is a box-shaped body means installed in a stand type on the floor and installed in one side of the transfer room of the semiconductor processing apparatus, and provides the wafers to the transfer chamber of the semiconductor processing apparatus by seating the FOUP containing the wafer. do.
  • the stage unit 120 is a stage means protruding to one side of the body unit 110 so that the FOUP is seated. It is installed in front or below the wafer station, which is a gas supply device of the FOOP that prevents contamination of wafers by injecting purge gas into the FOOP when the wafer is transferred.
  • a gas hole and a position sensor are installed in the seating portion of the seating plate of the stage unit 120 so that the gas supply device is disposed corresponding to the positions of the gas inlet and gas outlet formed at the lower part of the FOUP.
  • the gas module unit 130 is installed under the stage unit 120 to provide a purge gas to the FOUP seated on the stage unit 120 , and provides input and discharge of various purge gases such as nitrogen gas.
  • various hydraulic/pneumatic modules and pumping modules are installed to do this.
  • the cover unit 140 is installed under the stage unit 120 to cover the gas module unit 130 , and is composed of a cover frame having a short cross-section formed in a “U” shape. It is installed on one lower side of the main body 110 so as to cover the lower space.
  • the piping bracket part 150 is installed on the lower part of the stage part 120 and installed at both inner ends of the cover part 140 to cover the piping disposed on the side surface of the gas module part 130, the bracket box. 151 and the guide hole 152, it is possible to apply a recyclable remodeling method by the pipe bracket 150 without changing or discarding the conventional cover portion 140 under the LPM.
  • the bracket box 151 is a box-shaped cover member installed between the body part 110 and the cover part 140, and is composed of a bracket-shaped cover frame having a short cross-section formed in a "U" shape, and the stage part 120 It is installed on both sides of the main body 110 to cover the lower space of both sides of the.
  • the guide hole 152 is a hole member penetrating through the upper portion of the bracket box 151 in a straight shape along the longitudinal direction, and is a slot formed in the longitudinal direction to guide the forward and backward sliding movement of the pipe guide part 50 here. consist of.
  • the detachable plate can be simply detached without removing or replacing the existing stage. Its shape is very simple, so it minimizes pre-assembly time and assembly errors, thereby facilitating the remodeling of the stage of the load port module, and at the same time providing the effect of reducing the remodeling work time and remodeling cost.
  • the arrangement position of the pipe can be installed in various ways, and it provides the effect of improving the flexibility and communication property of the pipe part.
  • the nozzle part is composed of a nozzle assembly so that the nozzle part can be individually separated and replaced when detaching the detachable part, thereby shortening the detachment work time and providing the effect of improving workability.
  • each position sensor at three points as a detection unit to detect the seating of the FOUP
  • separate stage leveling and OHT teaching (OVERHEAD HOIST TRANSPORT Teaching) for the detachable part after detachment and remodeling of the detachable part It provides the effect of reducing the waiting time and working time of the detachment work because there is no need for a procedure.
  • the piping bracket part it is made of a bracket box and a guide hole, thereby providing the effect of applying a recyclable remodeling method by the piping bracket part without changing or discarding the conventional LPM lower cover part.
  • the pipe part is accommodated in the internal space of the pipe guide part and the pipe bracket part and covered from the outside to give a beautiful appearance and provide the effect of protecting the pipe part from external impact.
  • the nozzle part is composed of a nozzle equipped with Non Leak Rubber, it provides the effect of closely communicating with the outlet of the FOOP when the FOOP is seated.
  • the present invention provides a stage device detachable from a stage of a load port module on which a FOUP is seated, and a load port module having the same.

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Abstract

본 발명은 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈에 관한 것으로서, 스테이지에 탈착되도록 설치되는 탈착부와, 풉의 투입구와 연통되도록 배치된 투입 노즐부와, 풉의 배출구와 연통되도록 배치된 배출 노즐와, 풉의 안착여부를 감지하는 감지부와, 배관을 하방으로 가이드하는 배관 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명은 기존의 스테이지를 제거하거나 교체하지 않고서 간단하게 탈착 플레이트를 탈착하여 탈착부위의 형상이 매우 간단하여 사전 조립 시간 및 조립 오류를 최소화하여 로드포트모듈의 스테이지의 개조작업을 용이하는 동시에 개조작업의 작업시간 및 개조비용을 절감할 수 있는 효과를 제공한다.

Description

스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈
본 발명은 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 풉이 안착되는 로드포트모듈의 스테이지에 탈착되는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에 있어서 웨이퍼 및 이에 형성되는 반도체 소자는 고정밀도의 물품으로, 보관 및 운반 시 외부의 오염 물질과 충격으로부터 손상되지 않도록 주의해야 한다. 특히, 웨이퍼의 보관 및 운반의 과정에서 그 표면이 먼지, 수분, 각종 유기물 등과 같은 불순물에 의해 오염되지 않도록 관리가 필요하다.
종래에는 반도체의 제조 수율 및 품질의 향상을 위하여, 클린룸(clean room) 내에서의 웨이퍼의 처리가 이루어지곤 하였다. 그러나 소자의 고집적화, 미세화, 웨이퍼의 대형화가 진행됨에 따라, 비교적 큰 공간인 클린룸을 관리하는 것이 비용적으로도 기술적으로도 곤란해져 왔다.
이에 최근에는 클린룸 내 전체의 청정도를 향상시키는 대신, 웨이퍼 주위의 국소적인 공간에 대하여 집중적으로 청정도를 향상시키는 국소환경(mini-environment)의 청정 방식이 적용된다.
한편, 반도체 제조 공정은 식각, 증착, 에칭과 같은 다양한 단위 공정들이 순차적으로 반복된다. 각 공정 처리 과정에서 웨이퍼 상에 이물질 또는 오염 물질이 잔존하게 되어 불량이 발생하거나 반도체 공정 수율이 낮아지는 문제가 있었다.
따라서 반도체 공정에 있어서, 웨이퍼는 여러 프로세스 챔버 또는 반도체처리 공간으로 이송되는데 이때, 웨이퍼를 하나의 처리 공간에서 다른 처리 공간으로 이송시키는 동안 웨이퍼에 이물질이나 오염 물질이 부착되는 것을 최소화하기 위한 다양한 수단이 구비되어 있다.
특히 반도체 소자의 제조시에는, 기판인 웨이퍼 상에 여러 가지 물질을 박막형태로 증착하고 이를 패터닝 하여 구현되는데, 이를 위하여 증착공정, 식각공정, 세정공정, 건조공정 등 여러 단계의 서로 다른 공정을 수행하기 위하여 웨이퍼를 이송하는 장치가 널리 쓰이고 있다. 그 중 로드포트모듈(LPM; LOAD PORT MOUDULE)은 웨이퍼 캐리어에 담긴 웨이퍼를 반도체 이송장비(EFEM; Equipment Front End Module)에 공급하기 위하여 널리 사용되고 있다.
한편, 웨이퍼 캐리어 내부에 이물질이 존재하는 경우, 웨이퍼에 불량을 유발할 수 있으므로, 가스를 이용하여 퍼지(Purge)하여 이물질을 제거하게 된다. 초기의 로드포트모듈에는 이러한 퍼지 기능이 없었으나, 새로이 개발되는 로드포트모듈에는 질소 가스(N2)를 이용하여 퍼지하는 기능이 추가되어 이러한 문제들을 해결하고 있다.
그러나, 기존의 로드포트모듈을 모두 이러한 퍼지기능이 구비된 로드포트모듈로 교체하는 것을 비용적인 문제가 발생 되게 된다. 더욱이, 현재 다양한 종류의 웨이퍼 캐리어가 존재하는데, 웨이퍼 캐리어의 종류가 바뀌면. 그에 따른 로드포트모듈을 별도로 구비하여야 되는 문제점이 발생되게 된다.
특히, 모드포트모듈의 스테이지를 교체하고 기존의 모드포트모듈의 주요 부품을를 재활용하여 개조하는 방식은 단순하게 스테이지를 고정식으로 추가 설치하여 기존의 스테이지(Stage) 및 커버(Cover)를 분리해야 하며 주요 부품의 일부만 재사용 가능하고 기존의 스테이지(Stage) 및 커버를 폐기해야 하므로 자원의 낭비가 심하게 되는 문제가 있었다.
또한, 기존의 부품의 이식에 걸리는 시간이 과다하게 투여되어 작업시간이 연장되고, 스테이지(Stage)의 교체시 레벨(Level)이 변경되어 티칭(Teaching)에 많은 시간이 소요되는 문제도 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로서, 탈착식 스테이지로 탈착부와 투입 노즐부와 배출 노즐부와 감지부와 배관 가이드부를 구비함으로써, 기존의 스테이지를 제거하거나 교체하지 않고서 간단하게 탈착 플레이트를 탈착하여 탈착부위의 형상이 매우 간단하여 사전 조립 시간 및 조립 오류를 최소화하여 로드포트모듈의 스테이지의 개조작업을 용이하는 동시에 개조작업의 작업시간 및 개조비용을 절감할 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 배관부의 합지관과 분기관으로 유동성 있는 테프론 튜브(Teflon Tube)를 사용하여 배관 설치시 유연성 및 유동성을 유지하여 가스의 유동 안정성을 향상시킬 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 탈착부의 상면에 복수개의 안착편을 설치함으로써, 탈착부에 풉의 안착시 흔들림 요동이나 처짐을 방지하는 동시에 배관부와 풉 사이의 밀착성능 및 연통성능을 향상시킬 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 탈착부의 하부에 배관부를 고정지지하는 고정홈을 설치함으로써, 배관의 배치위치를 다양하게 설치할 수 있고, 배관부의 유연성 및 연통성을 향상시킬 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 노즐부로서 탈착부의 탈부착시 노즐부위의 일체를 개별적으로 분리 및 교체가 가능하도록 노즐어셈블리(Nozzle Assembly)로 이루어져, 탈부착 작업시간을 단축시키는 동시에 작업성을 향상시킬 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 감지부로서 3개 지점에 각 위치센서를 설치하여 풉의 안착을 감지함으로써, 탈착부의 탈부착 및 개조 후에 탈착부에 대한 별도의 스테이지 레벨링(Stage Leveling) 및 OHT 티칭(OVERHEAD HOIST TRANSPORT Teaching)의 절차가 필요없어 탈착작업의 대기시간 및 작업시간을 절감할 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 배관 브래킷부로서 브래킷 박스와 가이드홀로 이루어짐으로써, 종래의 LPM 하부의 커버부를 변경하거나 폐기하지 않고서 배관 브래킷부에 의해 재활용 가능한 개조 방식을 적용할 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 배관부를 배관 가이드부와 배관 브래킷부의 내부공간에 수납하여 외부로부터 커버링하여 외관을 수려하게 하는 동시에 배관부위를 외부의 충격으로부터 보호할 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 배관 가이드부의 내부에 배관부를 내장하여 배관부의 외부 노출이 없는 턱트(Duct)부위나 박스부위를 내장한 삽입형 로드포트모듈(Insert Type LPM)을 제작할 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 노즐부로서 논리크 고무(Non Leak Rubber)를 장착한 노즐(Nozzle)로 이루어짐으로써, 풉의 안착시 풉의 배출구와 밀착하여 연통시킬 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 로드포트모듈의 스테이지에 탈착되는 스테이지 장치로서, 로드포트모듈의 스테이지에 탈착되도록 설치되는 탈착부(10); 상기 탈착부(10)의 일방에 설치되어, 풉의 투입구와 연통되도록 배치된 투입 노즐부(20); 상기 탈착부(10)의 타방에 설치되어, 풉의 배출구와 연통되도록 배치된 배출 노즐부(30); 상기 탈착부(10)의 중앙부위에 설치되어, 풉의 안착여부를 감지하는 감지부(40); 및 상기 탈착부(10)의 측방 양단에 절곡 설치되어, 상기 투입 노즐부(20)와 상기 배출 노즐부(30)에 연통되는 배관을 하방으로 가이드하는 배관 가이드부(50);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 투입 노즐부(20)의 투입 노즐에 각각 분기 연결되며, 상기 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되는 투입 배관부(60); 및 상기 배출 노즐부(30)에 연결되며, 상기 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되는 배출 배관부(70);를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 투입 배관부(60)는, 상기 탈착부(10)의 하부에 설치되는 투입 합지관; 상기 투입 합지관에서 일방으로 분기되되 상기 배관 가이드(50)에 의해 가이드되도록 설치되어, 상기 투입 노즐부(20)의 일방 투입 노즐에 연결되는 상기 제1 투입 분기관; 및 상기 투입 합지관에서 타방으로 분기되되 상기 배관 가이드(50)에 의해 가이드되도록 설치되어, 상기 투입 노즐부(20)의 타방 투입 노즐에 연결되는 제2 투입 분기관;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 탈착부(10)의 상면에 복수개 설치되어, 풉의 안착시 요동이나 처짐을 방지하는 안착부(80);를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 안착부(80)는, 상기 탈착부(10)의 일방에 설치되어, 상기 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 제1 안착편; 상기 탈착부(10)의 타방 일단에 설치되어, 상기 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 제2 안착편; 및 상기 탈착부(10)의 타방 타단에 설치되어, 상기 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 제3 안착편;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 탈착부(10)는, 로드포트모듈의 스테이지에 탈착되는 탈착 플레이트; 상기 탈착 플레이트의 외곽둘레에 절곡 형성되어, 상기 탈착 플레이트의 측면 둘레를 커버링하는 측면 플레이트; 상기 탈착 플레이트의 중앙부위에 관통 형성되어, 로드포트모듈의 스테이지의 일부를 노출시키는 관통홀; 및 상기 탈착 플레이트의 일방부위에 절취 형성되어, 상기 탈착 플레이트의 탈착위치를 조절하도록 가이드하는 가이드홈;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 투입 노즐부(20)는, 풉의 투입구에 밀착되어 연통되는 투입 노즐; 상기 투입 노즐의 하부에 연결되어, 통로를 연통시키는 투입 연통부재; 및 상기 투입 연통부재의 하부 일방에 설치되어, 배관을 연결시키는 투입 연결소켓;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 투입 연통부재는, 상기 탈착부(10)의 일방 양단에 설치되어, 풉의 투입구에 연통되는 연통체; 상기 연통체의 하부에 설치되어, 상기 연통체의 하부에 통로를 형성하는 연통관; 및 상기 연통관의 하부 일방에 연통 형성되어, 상기 투입 연결소켓이 설치되는 연통홀;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 기재된 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈로서, 본체부(110); 상기 본체부(110)의 일방에 풉이 안착되도록 돌출 형성된 스테이지부(120); 상기 스테이지부(120)의 하부에 설치되어, 풉에 퍼지가스를 제공하는 가스모듈부(130); 상기 스테이지부(120)의 하부에 설치되어, 상기 가스모듈부(130)를 커버링하는 커버부(140); 및 상기 스테이지부(120)의 하부에 설치되되 상기 커버부(140)의 내측 양단에 설치되어, 상기 가스모듈부(130)의 측면에 배치되는 배관을 커버링하는 배관 브래킷부(150);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 배관 브래킷부(150)는, 상기 본체부(110)와 상기 커버부(140) 사이에 설치된 브래킷 박스; 및 상기 브래킷 박스의 상부에 길이방향을 따라 일자 형상으로 관통 형성된 가이드홀;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 탈착식 스테이지로 탈착부와 투입 노즐부와 배출 노즐부와 감지부와 배관 가이드부를 구비함으로써, 기존의 스테이지를 제거하거나 교체하지 않고서 간단하게 탈착 플레이트를 탈착하여 탈착부위의 형상이 매우 간단하여 사전 조립 시간 및 조립 오류를 최소화하여 로드포트모듈의 스테이지의 개조작업을 용이하는 동시에 개조작업의 작업시간 및 개조비용을 절감할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 배관부의 합지관과 분기관으로 유동성 있는 테프론 튜브(Teflon Tube)를 사용하여 배관 설치시 유연성 및 유동성을 유지하여 가스의 유동 안정성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 탈착부의 상면에 복수개의 안착편을 설치함으로써, 탈착부에 풉의 안착시 흔들림 요동이나 처짐을 방지하는 동시에 배관부와 풉 사이의 밀착성능 및 연통성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 탈착부의 하부에 배관부를 고정지지하는 고정홈을 설치함으로써, 배관의 배치위치를 다양하게 설치할 수 있고, 배관부의 유연성 및 연통성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 노즐부로서 탈착부의 탈부착시 노즐부위의 일체를 개별적으로 분리 및 교체가 가능하도록 노즐어셈블리(Nozzle Assembly)로 이루어져, 탈부착 작업시간을 단축시키는 동시에 작업성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 감지부로서 3개 지점에 각 위치센서를 설치하여 풉의 안착을 감지함으로써, 탈착부의 탈부착 및 개조 후에 탈착부에 대한 별도의 스테이지 레벨링(Stage Leveling) 및 OHT 티칭(OVERHEAD HOIST TRANSPORT Teaching)의 절차가 필요없어 탈착작업의 대기시간 및 작업시간을 절감할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 배관 브래킷부로서 브래킷 박스와 가이드홀로 이루어짐으로써, 종래의 LPM 하부의 커버부를 변경하거나 폐기하지 않고서 배관 브래킷부에 의해 재활용 가능한 개조 방식을 적용할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 배관부를 배관 가이드부와 배관 브래킷부의 내부공간에 수납하여 외부로부터 커버링하여 외관을 수려하게 하는 동시에 배관부위를 외부의 충격으로부터 보호할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 배관 가이드부의 내부에 배관부를 내장하여 배관부의 외부 노출이 없는 턱트(Duct)부위나 박스부위를 내장한 삽입형 로드포트모듈(Insert Type LPM)을 제작할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 노즐부로서 논리크 고무(Non Leak Rubber)를 장착한 노즐(Nozzle)로 이루어짐으로써, 풉의 안착시 풉의 배출구와 밀착하여 연통시킬 수 있는 효과를 제공한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈을 나타내는 구성도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈을 나타내는 분해도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 나타내는 구성도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 나타내는 상면 사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 나타내는 하면 사시도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치의 투입 배관부와 배출 배관부를 나타내는 구성도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치의 투입 노즐부를 나타내는 구성도.
<도면의 주요부분에 대한 설명>
10: 탈착부 20: 투입 노즐부
30: 배출 노즐부 40: 감지부
50: 배관 가이드부 60: 투입 배관부
70: 배출 배관부 80: 안착부
110: 본체부 120: 스테이지부
130: 가스모듈부 140: 커버부
150: 배관 브래킷부
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 더욱 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈을 나타내는 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈을 나타내는 분해도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 나타내는 구성도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 나타내는 상면 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 나타내는 하면 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치의 투입 배관부와 배출 배관부를 나타내는 구성도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치의 투입 노즐부를 나타내는 구성도이다.
도 1 내지 도 6에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에 의한 스테이지 장치는, 탈착부(10), 투입 노즐부(20), 배출 노즐부(30), 감지부(40), 배관 가이드부(50), 투입 배관부(60), 배출 배관부(70) 및 안착부(80)를 포함하여 이루어져, 풉(FOUP; Front Opening Unified Pod)이 안착되는 로드포트모듈(LPM; Load Port Module)의 스테이지부(120)의 상부에 탈착되는 스테이지 장치이다.
탈착부(10)는, 로드포트모듈의 스테이지부(120)의 상부에 탈착되도록 설치되는 탈착수단으로서, 탈착 플레이트(11), 측면 플레이트(12), 관통홀(13), 가이드홈(14) 및 배관고정홈(15)으로 이루어져 있다.
탈착 플레이트(11)는, 로드포트모듈의 스테이지부(120)에 탈착되는 플레이트로서, 알루미늄 등과 같은 경량소재나 이들의 합금소재로 이루어진 후판의 하부공간을 밀링머신이나 태핑머신에 의해 절취하여 하부공간이 형성되어 있다.
이러한 탈착 플레이트(11)는, 하부공간을 절삭에 의해 형성하므로, 스테이지부(120)의 상부에 탈부착시 하부공간에 의해 스테이지부(120)의 커버링이 용이하며 강고한 구조의 평판형의 커버 플레이트로 이루어져 있다.
측면 플레이트(12)는, 탈착 플레이트(11)의 외곽둘레에 절곡 형성되어 탈착 플레이트(11)의 측면 둘레를 커버링하는 플레이트로서, 스테이지부(120)의 전체를 보호하도록 커버링하고 미관의 개선을 위한 사방 측면에 격벽을 형성하게 된다.
관통홀(13)은, 탈착 플레이트(11)의 중앙부위에 관통 형성되어 로드포트모듈의 스테이지부(120)의 일부를 노출시키는 홀부재로서, 스테이지부(120)에 설치된 각종 유틸리티와의 연결을 탈착 플레이트에 연결시키거나 접촉시킬 수 있는 통로를 형성하게 된다.
가이드홈(14)은, 탈착 플레이트(11)의 일방부위에 절취 형성되어 탈착 플레이트(11)의 탈착위치를 조절하도록 가이드하는 홈부재로서, 탈착 플레이트(11)의 탈착시 탈착위치를 미세조절하도록 가이드하게 된다.
배관고정홈(15)은, 탈착 플레이트(11)의 하부면의 외곽부위에 복수개가 설치되되 일방에 함몰 형성된 고정홈이 형성되어 탈착 플레이트(11)의 하부에 배치되는 배관을 고정지지하는 고정부재로서, 투입 배관부(60)와 배출 배관부(70)의 유연한 튜브형 배관이 고정홈이 끼워맞춤 고정되어 투입 배관부(60)와 배출 배관부(70)의 배치를 용이하게 하는 동시에 고정지지하게 된다.
따라서, 이러한 탈착부(10)에 의해 탈착 플레이트의 형상이 매우 간단하여 사전 조립 시간 및 조립 오류를 최소화하여, 스테이지 장치를 이용하여 로드포트모듈의 개조작업을 용이하게 한다.
투입 노즐부(20)는, 탈착부(10)의 일방에 설치되어, 풉의 투입구와 연통되도록 배치된 투입수단으로서, 도 7에 나타낸 바와 같이 투입 노즐(21), 투입 연통부재(22) 및 투입 연결소켓(23)으로 이루어져 있다.
또한, 이러한 투입 노즐부(20)로는 탈착부(10)의 타방에 설치되어, 풉의 투입구와 연통되도록 배치된 보조 투입 노즐(20-1)을 더 구비하여 이루어지는 것도 가능함은 물론이다.
투입 노즐(21)은, 풉의 투입구에 밀착되어 연통되는 노즐부재로서, 풉의 안착시 풉의 투입구와 밀착하여 연통되도록 논리크 고무(Non Leak Rubber)를 장착한 노즐(Nozzle)로 이루어져 있는 것이 바람직하다.
투입 연통부재(22)는, 탈착부(10)의 일방 양단에 설치되되 투입 노즐(21)의 하부에 연결되어 퍼지가스의 통로를 연통시키는 연통부재로서, 연통체, 연통관 및 연통홀로 이루어져 있다.
연통체는, 탈착부(10)의 일방 양단에 설치되어 풉의 투입구에 연통되는 연통부재로서, 이러한 연통체의 일단에는 투입 노즐(21)을 설치하기 위한 노즐 설치홀이 형성되어 있고 타단에는 탈착부(10)의 일방 양단에 고정하기 위한 고정홀이 복수개 설치되어 있다.
연통관은, 연통체의 하부에 설치되어 연통체의 하부에 퍼지가스의 통로를 형성하는 연통부재로서, 연통체의 하부에 용접에 의해 결합되어 있고, 용접 결합 전에 투입 연통부재(22)의 내부공간을 태핑머신이나 밀링머신에 의해 정밀가공하여 통로의 정밀도를 향상시킬 수 있게 된다.
연통홀은, 연통관의 하부 일방에 연통 형성되어 투입 연결소켓(23)이 설치되는 연통부재로서, 연통홀의 하부 일방에는 니플 등과 같은 연결부재가 설치되어 있다.
투입 연결소켓(23)은, 투입 연통부재(22)의 하부 일방에 설치되어 배관을 연결시키는 연결부재로서, 투입 배관부(60)의 유연한 튜브형 배관과 연결이 용이하도록 니플 등과 같은 연결구가 설치되어 있다.
배출 노즐부(30)는, 탈착부(10)의 타방에 설치되어 풉의 배출구와 연통되도록 배치된 배출수단으로서, 풉의 안착시 풉의 배출구와 밀착하여 연통되도록 논리크 고무(Non Leak Rubber)를 장착한 노즐(Nozzle)로 이루어져 있는 것이 바람직하다.
이러한 투입 노즐부(20)와 배출 노즐부(30)는, 탈착부(10)의 탈부착시 노즐부위의 일체를 개별적으로 분리 및 교체가 가능하도록 노즐어셈블리(Nozzle Assembly)로 이루어져, 탈부착 작업시간을 단축시키는 동시에 작업성을 향상시킬 수 있게 된다.
감지부(40)는, 탈착부(10)의 중앙부위에 설치되어 풉의 안착여부를 감지하는 감지수단으로서, 제1 감지편(41), 제2 감지편(42) 및 제3 감지편(43)의 3개 위치센서로 이루어져 3개 지점에서 풉의 안착위치를 감지하여 감지성능을 향상시키는 동시에 위치센서의 교체를 용이하게 할 수 있다.
제1 감지편(41)은, 탈착부(10)의 일방에 설치되어 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 감지하는 감지수단으로서, 위치센서의 도그(Placement Sensor Dog)를 교체하는 방식을 이용하여 스테이지(Stage)에서 이탈 우려가 없는 위치센서로 이루어져 있다.
제2 감지편(42)은, 탈착부(10)의 타방 일단에 설치되어 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 감지하는 감지수단으로서, 위치센서의 도그(Placement Sensor Dog)를 교체하는 방식을 이용하여 스테이지(Stage)에서 이탈 우려가 없는 위치센서로 이루어져 있다.
제3 감지편(43)은, 탈착부(10)의 타방 타단에 설치되어 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 감지하는 감지수단으로서, 위치센서의 도그(Placement Sensor Dog)를 교체하는 방식을 이용하여 스테이지(Stage)에서 이탈 우려가 없는 위치센서로 이루어져 있다.
따라서, 이러한 감지부(40)의 3개 지점의 각 위치센서에 의해, 탈착부(10)의 탈부착 및 개조 후에 탈착부(10)에 대한 별도의 스테이지 레벨링(Stage Leveling) 및 OHT 티칭(OVERHEAD HOIST TRANSPORT Teaching)의 절차가 필요없게 된다.
배관 가이드부(50)는, 탈착부(10)의 측방 양단에 절곡 설치되어 투입 노즐부(20)와 배출 노즐부(30)에 연통되는 배관을 하방으로 가이드하는 배관 가이드수단으로서, 대략 단면이 "ㄷ"자 형상으로 형성된 턱트 형상의 프레임으로 이루어져 있다.
이러한 배관 가이드부(50)는, 내부공간에 투입 배관부(60)와 배출 배관부(70)를 내부공간에 수납하여 외부로부터 커버링하여 외관을 수려하게 하는 동시에 배관부위를 외부의 충격으로부터 보호하게 된다.
따라서 이러한 배관 가이드부(50)에 의해 배관부위의 외부 노출이 없는 턱트(Duct)부위나 박스부위를 내장한 삽입형 로드포트모듈(Insert Type LPM)을 제작할 수 있게 된다.
투입 배관부(60)는, 투입 노즐부(20)의 투입 노즐에 각각 분기 연결되며 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되는 배관수단으로서, 투입 합지관(61), 제1 투입 분기관(62) 및 제2 투입 분기관(63)으로 이루어져 있다.
투입 합지관(61)은, 탈착부(10)의 하부에 설치되어 가스모듈부(130)로부터 투입 노즐부(20)를 개재해서 풉의 내부에 질소가스 등과 같은 퍼지가스를 투입하는 투입관으로서, 유동성 있는 테프론 튜브(Teflon Tube)를 사용하여 배관 설치시 유연성 및 유동성을 유지하여 가스의 유동 안정성을 향상시킬 수 있게 된다.
제1 투입 분기관(62)은, 투입 합지관(61)의 일방에 분기되되 배관 가이드(50)에 의해 가이드되도록 설치되는 분기관으로서, 투입 노즐부(20)의 일방 투입 노즐에 연결되어 있다.
제2 투입 분기관(63)은, 투입 합지관(61)의 타방에 분기되되 배관 가이드(50)에 의해 가이드되도록 설치되는 분기관으로서, 투입 노즐부(20)의 타방 투입 노즐에 연결되어 있다.
배출 배관부(70)는, 배출 노즐부(30)의 배출 노즐에 연결되며 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되는 배관수단으로서, 풉의 내부공간으로부터 배출 노즐부(30)를 개재해서 풉에서 사용된 퍼지가스를 가스모듈부(130)로 배출시키게 된다.
이러한 배출 배관부(70)는, 유동성 있는 테프론 튜브(Teflon Tube)를 사용하여 배관 설치시 유연성 및 유동성을 유지하여 가스의 유동 안정성을 향상시킬 수 있게 된다.
안착부(80)는, 탈착부(10)의 상면에 복수개 설치되어 풉의 안착시 요동이나 처짐을 방지하는 안착수단으로서, 제1 안착편(81), 제2 안착편(82) 및 제3 안착편(83)의 3개의 안착패드로 이루어져, 3개 지점에서 풉의 안착을 안정적으로 지지하여 풉의 안착시 안정성을 향상시킬 수 있게 된다.
제1 안착편(81)은, 탈착부(10)의 일방에 설치되어 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 안착부재로서, 풉의 안착시 요동이나 처짐을 방지하도록 풉의 일 지점을 지지하는 탄성재나 완충재로 형성된 안착편으로 이루어져 있다.
제2 안착편(82)은, 탈착부(10)의 타방 일단에 설치되어 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 안착부재로서, 풉의 안착시 요동이나 처짐을 방지하도록 풉의 다른 일 지점을 지지하는 탄성재나 완충재로 형성된 안착편으로 이루어져 있다.
제3 안착편(83)은, 탈착부(10)의 타방 타단에 설치되어 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 안착부재로서, 풉의 안착시 요동이나 처짐을 방지하도록 풉의 또 다른 일 지점을 지지하는 탄성재나 완충재로 형성된 안착편으로 이루어져 있다.
또한, 이하 도면을 참고해서 본 실시예의 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈을 구체적으로 설명한다.
도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈은, 본체부(110), 스테이지부(120), 가스모듈부(130), 커버부(140) 및 배관 브래킷부(150)를 포함하여 이루어져, 풉(FOUP; Front Opening Unified Pod)이 안착되는 로드포트모듈(LPM; Load Port Module)의 스테이지에 탈착되는 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈이다.
로드포트모듈은, 반도체 제조용 웨이퍼를 담아두는 웨이퍼 용기인 풉(FOUP; Front Opening Universal Pod))의 도어를 열거나 닫으면서 반도체 공정장치의 반송실로 웨이퍼가 반송될 수 있도록 해주는 장치이다.
이러한 로드포트모듈은, 스테이지부(120)에 풉이 장착되면 풉의 내부로 질소가스를 주입하고, 풉의 내부의 오염물질을 풉의 외부로 배출하여 풉에 저장되어 이송되는 웨이퍼가 오염물질로 인하여 훼손되는 것을 방지하는 구성이다.
본체부(110)는, 바닥에 스탠드 형으로 설치되되 반도체 공정장치의 반송실의 일방에 설치되는 박스 형상의 본체수단으로서, 웨이퍼를 수납한 풉을 안착시켜 반도체 공정장치의 반송실로 웨이퍼를 제공하게 된다.
스테이지부(120)는, 본체부(110)의 일방에 풉이 안착되도록 돌출 형성된 스테이지수단으로서, 반도체 웨이퍼 등과 같은 기판을 수납하여 이송하는 풉이 안착되는 안착부위가 형성된 안착플레이드로 이루어지며, 반도체 웨이퍼가 수납된 풉의 이송시 풉에 퍼지가스를 투입하여 웨이퍼의 오염을 방지하는 풉의 가스공급장치인 웨이퍼 스테이션의 전방이나 하부에 설치되어 있다.
또한, 이러한 스테이지부(120)의 안착플레이트의 안착부위에는 풉의 하부에 형성된 가스 투입구 및 가스 배출구의 위치에 대응하여 가스공급장치가 배치되도록 가스홀과 위치센서 등이 설치되어 있다.
가스모듈부(130)는, 스테이지부(120)의 하부에 설치되어 스테이지부(120)에 안착되는 풉에 퍼지가스를 제공하는 모듈수단으로서, 질소가스 등과 같은 각종 퍼지가스의 투입 및 배출을 제공하도록 각종 유공압 모듈과 펌핑 모듈 등이 설치되어 있다.
커버부(140)는, 스테이지부(120)의 하부에 설치되어 가스모듈부(130)를 커버링하는 커버수단으로서, 단략 단면이 "ㄷ"자 형상으로 형성된 커버프레임으로 이루어져 스테이지부(120)의 하부 공간을 커버링하도록 본체부(110)의 하부 일방에 설치되어 있다.
배관 브래킷부(150)는, 스테이지부(120)의 하부에 설치되되 커버부(140)의 내측 양단에 설치되어 가스모듈부(130)의 측면에 배치되는 배관을 커버링하는 브래킷수단으로서, 브래킷 박스(151)와 가이드홀(152)로 이루어져 종래의 LPM 하부의 커버부(140)를 변경하거나 폐기하지 않고서 배관 브래킷부(150)에 의해 재활용 가능한 개조 방식을 적용할 수 있게 된다.
브래킷 박스(151)는, 본체부(110)와 커버부(140) 사이에 설치된 박스 형상의 커버부재로서, 단략 단면이 "ㄷ"자 형상으로 형성된 브래킷 형상의 커버프레임으로 이루어져 스테이지부(120)의 양쪽 측면의 하부 공간을 커버링하도록 본체부(110)의 양쪽 측부에 설치되어 있다.
가이드홀(152)은, 브래킷 박스(151)의 상부에 길이방향을 따라 일자 형상으로 관통 형성된 홀부재로서, 여기에 배관 가이드부(50)의 전후진 슬라이딩 이동을 가이드하도록 길이방향으로 형성된 슬롯으로 이루어져 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 탈착식 스테이지로 탈착부와 투입 노즐부와 배출 노즐부와 감지부와 배관 가이드부를 구비함으로써, 기존의 스테이지를 제거하거나 교체하지 않고서 간단하게 탈착 플레이트를 탈착하여 탈착부위의 형상이 매우 간단하여 사전 조립 시간 및 조립 오류를 최소화하여 로드포트모듈의 스테이지의 개조작업을 용이하는 동시에 개조작업의 작업시간 및 개조비용을 절감할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 배관부의 합지관과 분기관으로 유동성 있는 테프론 튜브(Teflon Tube)를 사용하여 배관 설치시 유연성 및 유동성을 유지하여 가스의 유동 안정성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 탈착부의 상면에 복수개의 안착편을 설치함으로써, 탈착부에 풉의 안착시 흔들림 요동이나 처짐을 방지하는 동시에 배관부와 풉 사이의 밀착성능 및 연통성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 탈착부의 하부에 배관부를 고정지지하는 고정홈을 설치함으로써, 배관의 배치위치를 다양하게 설치할 수 있고, 배관부의 유연성 및 연통성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 노즐부로서 탈착부의 탈부착시 노즐부위의 일체를 개별적으로 분리 및 교체가 가능하도록 노즐어셈블리(Nozzle Assembly)로 이루어져, 탈부착 작업시간을 단축시키는 동시에 작업성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 감지부로서 3개 지점에 각 위치센서를 설치하여 풉의 안착을 감지함으로써, 탈착부의 탈부착 및 개조 후에 탈착부에 대한 별도의 스테이지 레벨링(Stage Leveling) 및 OHT 티칭(OVERHEAD HOIST TRANSPORT Teaching)의 절차가 필요없어 탈착작업의 대기시간 및 작업시간을 절감할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 배관 브래킷부로서 브래킷 박스와 가이드홀로 이루어짐으로써, 종래의 LPM 하부의 커버부를 변경하거나 폐기하지 않고서 배관 브래킷부에 의해 재활용 가능한 개조 방식을 적용할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 배관부를 배관 가이드부와 배관 브래킷부의 내부공간에 수납하여 외부로부터 커버링하여 외관을 수려하게 하는 동시에 배관부위를 외부의 충격으로부터 보호할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 배관 가이드부의 내부에 배관부를 내장하여 배관부의 외부 노출이 없는 턱트(Duct)부위나 박스부위를 내장한 삽입형 로드포트모듈(Insert Type LPM)을 제작할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 노즐부로서 논리크 고무(Non Leak Rubber)를 장착한 노즐(Nozzle)로 이루어짐으로써, 풉의 안착시 풉의 배출구와 밀착하여 연통시킬 수 있는 효과를 제공한다.
이상 설명한 본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러 가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서 상기 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안 된다.
본 발명은 풉이 안착되는 로드포트모듈의 스테이지에 탈착되는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공한다.

Claims (10)

  1. 로드포트모듈의 스테이지에 탈착되는 스테이지 장치로서,
    로드포트모듈의 스테이지에 탈착되도록 설치되는 탈착부(10);
    상기 탈착부(10)의 일방에 설치되어, 풉의 투입구와 연통되도록 배치된 투입 노즐부(20);
    상기 탈착부(10)의 타방에 설치되어, 풉의 배출구와 연통되도록 배치된 배출 노즐부(30);
    상기 탈착부(10)의 중앙부위에 설치되어, 풉의 안착여부를 감지하는 감지부(40); 및
    상기 탈착부(10)의 측방 양단에 절곡 설치되어, 상기 투입 노즐부(20)와 상기 배출 노즐부(30)에 연통되는 배관을 하방으로 가이드하는 배관 가이드부(50);를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 투입 노즐부(20)의 투입 노즐에 각각 분기 연결되며, 상기 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되는 투입 배관부(60); 및
    상기 배출 노즐부(30)에 연결되며, 상기 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되는 배출 배관부(70);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 투입 배관부(60)는,
    상기 탈착부(10)의 하부에 설치되는 투입 합지관;
    상기 투입 합지관에서 일방으로 분기되되 상기 배관 가이드(50)에 의해 가이드되도록 설치되어, 상기 투입 노즐부(20)의 일방 투입 노즐에 연결되는 상기 제1 투입 분기관; 및
    상기 투입 합지관에서 타방으로 분기되되 상기 배관 가이드(50)에 의해 가이드되도록 설치되어, 상기 투입 노즐부(20)의 타방 투입 노즐에 연결되는 제2 투입 분기관;을 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 탈착부(10)의 상면에 복수개 설치되어, 풉의 안착시 요동이나 처짐을 방지하는 안착부(80);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 안착부(80)는,
    상기 탈착부(10)의 일방에 설치되어, 상기 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 제1 안착편;
    상기 탈착부(10)의 타방 일단에 설치되어, 상기 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 제2 안착편; 및
    상기 탈착부(10)의 타방 타단에 설치되어, 상기 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 제3 안착편;을 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 탈착부(10)는,
    로드포트모듈의 스테이지에 탈착되는 탈착 플레이트;
    상기 탈착 플레이트의 외곽둘레에 절곡 형성되어, 상기 탈착 플레이트의 측면 둘레를 커버링하는 측면 플레이트;
    상기 탈착 플레이트의 중앙부위에 관통 형성되어, 로드포트모듈의 스테이지의 일부를 노출시키는 관통홀; 및
    상기 탈착 플레이트의 일방부위에 절취 형성되어, 상기 탈착 플레이트의 탈착위치를 조절하도록 가이드하는 가이드홈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 투입 노즐부(20)는,
    풉의 투입구에 밀착되어 연통되는 투입 노즐;
    상기 투입 노즐의 하부에 연결되어, 통로를 연통시키는 투입 연통부재; 및
    상기 투입 연통부재의 하부 일방에 설치되어, 배관을 연결시키는 투입 연결소켓;을 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 투입 연통부재는,
    상기 탈착부(10)의 일방 양단에 설치되어, 풉의 투입구에 연통되는 연통체;
    상기 연통체의 하부에 설치되어, 상기 연통체의 하부에 통로를 형성하는 연통관; 및
    상기 연통관의 하부 일방에 연통 형성되어, 상기 투입 연결소켓이 설치되는 연통홀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
  9. 제 1 항에 기재된 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈로서,
    본체부(110);
    상기 본체부(110)의 일방에 풉이 안착되도록 돌출 형성된 스테이지부(120);
    상기 스테이지부(120)의 하부에 설치되어, 풉에 퍼지가스를 제공하는 가스모듈부(130);
    상기 스테이지부(120)의 하부에 설치되어, 상기 가스모듈부(130)를 커버링하는 커버부(140); 및
    상기 스테이지부(120)의 하부에 설치되되 상기 커버부(140)의 내측 양단에 설치되어, 상기 가스모듈부(130)의 측면에 배치되는 배관을 커버링하는 배관 브래킷부(150);를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트모듈.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 배관 브래킷부(150)는,
    상기 본체부(110)와 상기 커버부(140) 사이에 설치된 브래킷 박스; 및
    상기 브래킷 박스의 상부에 길이방향을 따라 일자 형상으로 관통 형성된 가이드홀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트모듈.
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