WO2022210951A1 - 電池用電極製造装置、チャンバー内清浄構造、電池用電極製造方法、及び、チャンバー内清浄方法 - Google Patents

電池用電極製造装置、チャンバー内清浄構造、電池用電極製造方法、及び、チャンバー内清浄方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2022210951A1
WO2022210951A1 PCT/JP2022/016227 JP2022016227W WO2022210951A1 WO 2022210951 A1 WO2022210951 A1 WO 2022210951A1 JP 2022016227 W JP2022016227 W JP 2022016227W WO 2022210951 A1 WO2022210951 A1 WO 2022210951A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
chamber
active material
electrode
air
current collector
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/016227
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
英明 堀江
健一郎 榎
勇輔 中嶋
Original Assignee
Ａｐｂ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ａｐｂ株式会社 filed Critical Ａｐｂ株式会社
Publication of WO2022210951A1 publication Critical patent/WO2022210951A1/ja

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M4/00—Electrodes
    • H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
    • H01M4/04—Processes of manufacture in general
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/10—Energy storage using batteries

Definitions

  • the present invention relates to a battery electrode manufacturing apparatus, a chamber interior cleaning structure, a battery electrode manufacturing method, and a chamber interior cleaning method.
  • Patent Document 1 discloses a cleaning device that cleans the inside of the chamber. This cleaning device cleans the inside of the chamber by injecting a dry gas such as nitrogen gas from a nozzle. Also, for example, U.S. Pat. This vacuum line cleaning system creates a cyclonic flow within the chamber that forces liquid/debris present in the waste stream to the exhaust port and directs a clean vacuum flow to the vacuum outlet.
  • a dry gas such as nitrogen gas
  • lithium-ion batteries which have been attracting attention in recent years, are generally constructed by stacking a plurality of electrodes each having an active material layer formed on the surface of a current collector with a separator interposed therebetween.
  • a concept of manufacturing such an electrode for a lithium ion battery for example, by supplying and fixing an active material on a current collector in the chamber as described above.
  • fine particles of the active material and the like scatter inside the electrode during the manufacture of the electrode, and this may contaminate the internal space of the chamber used for the manufacture of the electrode.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a battery electrode manufacturing apparatus, a chamber interior cleaning structure, and a battery electrode manufacturing method capable of manufacturing an electrode in an environment in which cleanliness is appropriately ensured. and to provide a method for cleaning the inside of a chamber.
  • the battery electrode manufacturing apparatus comprises: a chamber whose interior is evacuated below atmospheric pressure; an electrode forming portion that supplies an electrode to form an electrode; an intake opening that allows air to be introduced from the outside of the chamber into the interior; and an exhaust device for exhausting the air inside the chamber.
  • the battery electrode manufacturing apparatus, the chamber cleaning structure, the battery electrode manufacturing method, and the chamber cleaning method according to the present invention have the effect of being able to manufacture electrodes in an environment in which cleanliness is appropriately ensured. Play.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a schematic configuration of a cell according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic block diagram showing the schematic configuration of the manufacturing apparatus according to the embodiment.
  • FIG. 3 is a schematic partial perspective view showing the schematic configuration of the manufacturing apparatus according to the embodiment.
  • FIG. 4 is a schematic partial perspective view showing the schematic configuration of the manufacturing apparatus according to the embodiment.
  • FIG. 5 is a schematic partial cross-sectional view showing the schematic configuration of the manufacturing apparatus according to the embodiment.
  • FIG. 6 is a flow chart showing the manufacturing method according to the embodiment.
  • a manufacturing apparatus 100 according to the present embodiment shown in FIG. 2 is a battery electrode manufacturing apparatus for manufacturing the electrode 30 applied to the unit cell 10 shown in FIG.
  • the basic configuration of the unit cell 10 and the electrode 30 will be described below with reference to FIG. 1, and then the manufacturing apparatus 100 will be described in detail with reference to FIG.
  • a single battery (also referred to as a battery cell or single cell) 10 of the present embodiment shown in FIG. 1 is a secondary battery.
  • the lithium ion battery (single battery, single cell, single battery unit) in this specification refers to a secondary battery that uses lithium ions as charge carriers and is charged and discharged by the movement of lithium ions between the positive and negative electrodes. .
  • the lithium ion battery (secondary battery) includes a battery using a liquid material for the electrolyte and a battery using a solid material for the electrolyte (so-called all-solid battery).
  • the lithium ion battery in the present embodiment includes a battery having a metal foil (metal current collector foil) as a current collector, and is composed of a resin to which a conductive material is added instead of the metal foil, a so-called resin current collector. Including a battery with a body.
  • the resin current collector is used as a resin current collector for a bipolar electrode, which will be described later, a positive electrode is formed on one surface of the resin current collector and a negative electrode is formed on the other surface to form a bipolar electrode. may be configured.
  • the lithium ion battery in the present embodiment includes those in which the positive electrode or negative electrode active material or the like is applied to the positive electrode current collector or the negative electrode current collector using a binder to configure the electrode, and in the case of a bipolar battery, is a bipolar electrode having a positive electrode layer formed by applying a positive electrode active material or the like using a binder to one surface of a current collector, and a negative electrode layer formed by applying a negative electrode active material or the like using a binder to the opposite surface of the current collector. including those that consist of
  • the cell 10 includes a positive electrode 30a, a negative electrode 30b, a separator 40, and a frame 50.
  • the positive electrode 30a includes a positive electrode collector layer 31a and a positive electrode active material layer 32a.
  • the negative electrode 30b includes a negative electrode collector layer 31b and a negative electrode active material layer 32b.
  • a positive electrode current collector layer 31a, a positive electrode active material layer 32a, a separator 40, a negative electrode active material layer 32b, and a negative electrode current collector layer 31b are laminated in this order. That is, in the cell 10, the positive electrode current collector layer 31a and the negative electrode active material layer 32b are arranged as the outermost layers.
  • the outer peripheries of the positive electrode active material layer 32a, the negative electrode active material layer 32b, and the separator 40 are sealed by the frame 50 at the edges of the positive electrode current collector layer 31a and the negative electrode current collector layer 31b, An electrolyte is enclosed.
  • the cell 10 has the separator 40 interposed between the positive electrode active material layer 32a and the negative electrode active material layer 32b, and the separator 40 functions as a partition wall between the positive electrode 30a and the negative electrode 30b.
  • the unit cells 10 can be used, for example, in the form of an assembled battery in which a plurality of cells are combined into a module, or a battery pack in which a plurality of such assembled cells are combined to adjust the voltage and capacity.
  • the method of stacking the assembled battery is arbitrary.
  • a unit cell having a positive electrode resin current collector on the first surface and a negative electrode resin current collector on the second surface is arranged such that the first surface (positive electrode side) and the first surface (positive electrode side) of a pair of adjacent unit cells are stacked.
  • a laminated battery may be formed by laminating a plurality of layers in series so that the two surfaces (negative electrode side) are adjacent to each other.
  • a single cell in which a positive electrode layer is provided on one side of a single resin current collector and a negative electrode layer is provided on the other side of the resin current collector may be laminated with an electrolyte layer interposed between them to form a laminated battery. good.
  • positive electrode current collector As the positive electrode current collector that constitutes the positive electrode current collector layer 31a, a known current collector used for a lithium-ion single battery can be used. A resin current collector (such as the resin current collector described in JP-A-2012-150905 and WO 2015/005116) can be used.
  • the positive electrode collector constituting the positive electrode collector layer 31a is preferably a resin collector from the viewpoint of battery characteristics and the like.
  • Metal current collectors include, for example, copper, aluminum, titanium, nickel, tantalum, niobium, hafnium, zirconium, zinc, tungsten, bismuth, antimony, alloys containing one or more of these metals, and the group consisting of stainless alloys. and one or more metal materials selected from These metal materials may be used in the form of thin plates, metal foils, or the like.
  • a metal current collector formed by forming the above metal material on the surface of a base material other than the above metal material by sputtering, electrodeposition, coating, or the like may be used.
  • the resin current collector preferably contains a conductive filler and a matrix resin.
  • the matrix resin include polyethylene (PE), polypropylene (PP), polymethylpentene (PMP) and the like, but are not particularly limited.
  • the conductive filler is not particularly limited as long as it is selected from materials having conductivity.
  • the conductive filler may be a conductive fiber having a fibrous shape.
  • the resin current collector may contain other components (dispersant, cross-linking accelerator, cross-linking agent, colorant, ultraviolet absorber, plasticizer, etc.) in addition to the matrix resin and the conductive filler. Also, a plurality of resin current collectors may be laminated and used, or a resin current collector and a metal foil may be laminated and used.
  • the thickness of the positive electrode current collector layer 31a is not particularly limited, it is preferably 5 to 150 ⁇ m.
  • the total thickness after lamination is preferably 5 to 150 ⁇ m.
  • the positive electrode current collector layer 31a can be obtained, for example, by molding a conductive resin composition obtained by melt-kneading a matrix resin, a conductive filler, and a dispersing agent for a filler used if necessary into a film by a known method. can be done.
  • the positive electrode active material layer 32a is preferably a non-bound mixture containing a positive electrode active material.
  • the non-bound body means that the position of the positive electrode active material is not fixed in the positive electrode active material layer, and the positive electrode active materials and the positive electrode active materials and the positive electrode active material and the current collector are irreversibly means not fixed.
  • the positive electrode active material layer 32a is a non-bound body, the positive electrode active materials are not irreversibly fixed to each other. Even when stress is applied to the material layer 32a, the positive electrode active material moves, which is preferable because the destruction of the positive electrode active material layer 32a can be prevented.
  • the positive electrode active material layer 32a which is a non-binder, can be obtained by a method such as changing the positive electrode active material layer 32a into a positive electrode active material layer 32a containing a positive electrode active material and an electrolytic solution but not containing a binder. can.
  • the binder means an agent that cannot reversibly fix the positive electrode active materials together and the positive electrode active material and the current collector, and includes starch, polyvinylidene fluoride, polyvinyl alcohol, carboxyl
  • Known solvent-drying type binders for lithium ion batteries such as methylcellulose, polyvinylpyrrolidone, tetrafluoroethylene, styrene-butadiene rubber, polyethylene and polypropylene can be used. These binders are used by dissolving or dispersing them in a solvent, and by volatilizing and distilling off the solvent, the surface solidifies without exhibiting stickiness. cannot be reversibly fixed.
  • Examples of the positive electrode active material include, but are not limited to, a composite oxide of lithium and a transition metal, a composite oxide containing two transition metal elements, and a composite oxide containing three or more metal elements. .
  • the positive electrode active material may be a coated positive electrode active material in which at least part of the surface is coated with a coating material containing a polymer compound. When the positive electrode active material is covered with the coating material, the volume change of the positive electrode is moderated, and the expansion of the positive electrode can be suppressed.
  • those described as active material coating resins in JP-A-2017-054703 and WO 2015/005117 can be preferably used.
  • the covering material may contain a conductive agent.
  • the conductive agent the same conductive filler as contained in the positive electrode current collector layer 31a can be preferably used.
  • the positive electrode active material layer 32a may contain an adhesive resin.
  • an adhesive resin for example, a non-aqueous secondary battery active material coating resin described in JP-A-2017-054703 is mixed with a small amount of an organic solvent to adjust its glass transition temperature to room temperature or lower. Also, those described as adhesives in JP-A-10-255805 can be preferably used.
  • adhesive resin is a resin that does not solidify even if the solvent component is volatilized and dried, and has adhesiveness (the property of adhering by applying a slight pressure without using water, solvent, heat, etc.) means
  • a solution-drying type electrode binder used as a binder is one that dries and solidifies by volatilizing a solvent component, thereby firmly adhering and fixing active materials to each other. Therefore, the binder (solution-drying type electrode binder) and the adhesive resin described above are different materials.
  • the positive electrode active material layer 32a may contain an electrolytic solution containing an electrolyte and a non-aqueous solvent.
  • electrolyte those used in known electrolytic solutions can be used.
  • non-aqueous solvent those used in known electrolytic solutions (eg, phosphate esters, nitrile compounds, mixtures thereof, etc.) can be used.
  • a mixture of ethylene carbonate (EC) and dimethyl carbonate (DMC) or a mixture of ethylene carbonate (EC) and propylene carbonate (PC) can be used.
  • the positive electrode active material layer 32a may contain a conductive aid.
  • a conductive aid a conductive material similar to the conductive filler contained in the positive electrode current collector layer 31a can be preferably used.
  • the thickness of the positive electrode active material layer 32a is not particularly limited, it is preferably 150 to 600 ⁇ m, more preferably 200 to 450 ⁇ m, from the viewpoint of battery performance.
  • the negative electrode current collector that constitutes the negative electrode current collector layer 31b a material having the same structure as the positive electrode current collector can be appropriately selected and used, and can be obtained by the same method.
  • the negative electrode current collector layer 31b is preferably a resin current collector from the viewpoint of battery characteristics and the like.
  • the thickness of the negative electrode current collector layer 31b is not particularly limited, it is preferably 5 to 150 ⁇ m.
  • the negative electrode active material layer 32b is preferably a non-bonded mixture containing a negative electrode active material.
  • the reason why the negative electrode active material layer is preferably a non-binder, and the reason why the positive electrode active material layer 32a is preferably a non-binder is the method for obtaining the non-binder negative electrode active material layer 32b. , and the method for obtaining the positive electrode active material layer 32a which is a non-binder.
  • the negative electrode active material for example, a carbon-based material, a silicon-based material, a mixture thereof, or the like can be used, but is not particularly limited.
  • the negative electrode active material may be a coated negative electrode active material in which at least part of the surface is coated with a coating material containing a polymer compound. When the periphery of the negative electrode active material is covered with the coating material, the volume change of the negative electrode is moderated, and the expansion of the negative electrode can be suppressed.
  • the same coating material as that constituting the coated positive electrode active material can be suitably used.
  • the negative electrode active material layer 32b contains an electrolytic solution containing an electrolyte and a non-aqueous solvent.
  • an electrolytic solution similar to the electrolytic solution contained in the positive electrode active material layer 32a can be preferably used.
  • the negative electrode active material layer 32b may contain a conductive aid.
  • a conductive aid a conductive material similar to the conductive filler contained in the positive electrode active material layer 32a can be preferably used.
  • the negative electrode active material layer 32b may contain an adhesive resin.
  • the adhesive resin the same adhesive resin as an optional component of the positive electrode active material layer 32a can be preferably used.
  • the thickness of the negative electrode active material layer 32b is not particularly limited, it is preferably 150 to 600 ⁇ m, more preferably 200 to 450 ⁇ m, from the viewpoint of battery performance.
  • the electrolyte held in the separator 40 includes, for example, an electrolytic solution or a gel polymer electrolyte. By using these electrolytes, the separator 40 ensures high lithium ion conductivity. Examples of the form of the separator 40 include, but are not limited to, a porous film made of polyethylene or polypropylene. As the separator, a sulfide-based or oxide-based inorganic solid electrolyte, or a polymer-based organic solid electrolyte can be used. By applying a solid electrolyte, an all-solid battery can be constructed.
  • the material for the frame 50 is not particularly limited as long as it is a material that is durable against the electrolytic solution.
  • a polymer material is preferable, and a thermosetting polymer material is more preferable.
  • a material for forming the frame 50 any material having insulating properties, sealing properties (liquid-tightness), heat resistance under the battery operating temperature, etc. may be used, and a resin material is preferably employed.
  • examples of the frame 50 include epoxy-based resins, polyolefin-based resins, polyurethane-based resins, and polyvinylidene fluoride resins. Epoxy-based resins are preferred because of their high durability and ease of handling. preferable.
  • FIG. The manufacturing apparatus 100 manufactures the electrodes 30 described above.
  • This manufacturing apparatus 100 may be implemented by being incorporated into a battery manufacturing apparatus that manufactures the unit cells 10, for example.
  • the current collector 31A described below constitutes the current collector layer 31 (positive electrode current collector layer 31a, negative electrode current collector layer 31b) described above.
  • the active material 32A constitutes the electrode active material layer 32 (positive electrode active material layer 32a, negative electrode active material layer 32b) described above.
  • the electrode 30 when forming the electrode 30 by applying the powdery active material 32A to one surface of the current collector 31A, which is a base film, in atmospheric pressure, air remains inside the active material 32A. sometimes. If press molding is performed on the active material 32A in this state, the compressed air expands after the end of pressing, causing problems such as the active material 32A popping off and the surface of the active material 32A becoming uneven. phenomenon may occur.
  • the electrode 30 is formed by supplying the powdery active material 32A onto the strip-shaped current collector 31A in the inner IN of the chamber 110 whose pressure is reduced below the atmospheric pressure. It is configured for manufacturing.
  • the manufacturing apparatus 100 of the present embodiment suppresses air remaining inside the active material 32A, and improves the uniformity of the electrode active material layer 32 formed on the current collector layer 31.
  • a specific configuration of each part of the manufacturing apparatus 100 for realizing this will be described below.
  • the positive electrode 30a and the negative electrode 30b are composed of the current collector layer 31 (positive electrode current collector layer 31a, negative electrode current collector layer 31b), the electrode active material layer 32 (positive electrode active material layer 32a, Although there are differences in the material constituting the negative electrode active material layer 32b), there is no difference in that the electrode active material layer 32 is electrically coupled to one surface of the current collector layer 31, respectively. Therefore, even in the following description, when it is not necessary to distinguish between the manufacture of the "positive electrode 30a" and the manufacture of the "negative electrode 30b", the manufacture of the "electrode 30" will simply be described.
  • the manufacturing apparatus 100 includes a chamber 110, an active material supply device 120, and a roll press 130, as shown in FIG.
  • a part of the active material supplying device 120 and the roll press 130 constitute an electrode forming part 100A.
  • the electrode forming part 100A is a part of the manufacturing apparatus 100 that forms the electrode 30 by supplying the powdery active material 32A onto the current collector 31A.
  • the electrode active material layer 32 is formed by compressing the active material 32A to form the electrode 30 .
  • the electrode forming section 100A is provided under the reduced pressure environment inside IN of the chamber 110 .
  • the direction in which the current collector 31A is conveyed may be referred to as "conveyance direction D1".
  • the conveying direction D1 is typically substantially horizontal and corresponds to the longitudinal direction of the strip-shaped current collector 31A.
  • the active material supply device 120 and the roll press 130 are arranged in this order from the upstream side to the downstream side in the transport direction D1 in the chamber 110. As shown in FIG.
  • Chamber 110 is a container whose interior IN is reduced below atmospheric pressure.
  • the chamber 110 of this embodiment handles the powdery active material 32A inside IN.
  • the chamber 110 is partitioned into a cavity by a partition wall 111 and functions as a room in which the internal space IN can be kept in a state of being reduced in pressure below atmospheric pressure.
  • the pressure inside IN of the chamber 110 is reduced below atmospheric pressure by a decompression pump or the like.
  • the pressure inside IN of the chamber 110 may be any value as long as it is reduced below the atmospheric pressure. , may be adjusted to a high vacuum environment of 1 ⁇ 10 ⁇ 6 to 1 ⁇ 10 ⁇ 7 Pa, or an ultrahigh vacuum higher than that, or 10 ⁇ 8 to 10 ⁇ It may be an extremely high vacuum of 9 Pa level.
  • the standard atmospheric pressure is approximately 1013 hPa (approximately 10 5 Pa).
  • the chamber 110 accommodates the electrode forming portion 100A in the space of the internal IN.
  • a loading opening 112 is formed in a partition wall 111 of the chamber 110 .
  • the carry-in opening 112 is a substantially rectangular slit through which the strip-shaped current collector 31A can be carried (inserted) from the outside OU of the chamber 110 to the inside IN.
  • the carry-in opening 112 passes through the partition wall 111 along the transport direction D1 on the upstream side in the transport direction D1 and communicates the outside OU and the inside IN of the chamber 110 .
  • the carry-in opening 112 is formed in a size and shape that allows the current collector 31A to be carried from the outside OU to the inside IN while maintaining the reduced pressure environment inside the inside IN of the chamber 110 .
  • the belt-shaped collector 31A is continuously supplied and carried into the inner IN through the carry-in opening 112 while being pulled out from a collector roll 31R provided under the normal pressure of the outer OU of the chamber 110, for example. .
  • the current collector 31A carried into the inner IN of the chamber 110 is transported along the transport direction D1 by a conveyor, transport rollers, or the like, and is cut at appropriate timings during the manufacturing process of the electrode 30, thereby forming individual collectors. It becomes the electric body 31A.
  • the current collector 31 ⁇ /b>A carried into the inner IN of the chamber 110 is provided with the frame 50 in the inner IN of the chamber 110 .
  • the frame 50 may be provided on the current collector 31A at the front stage of the active material supply device 120 by a frame installation device or the like in the inner IN, or the active material supply device 120 and the roll press 130 may be installed. It may be provided on the current collector 31A between , or may be provided on the current collector 31A after the roll press .
  • FIGS. 2 and 3 illustrate the case where the frame 50 is provided on the current collector 31A at the front stage of the active material supply device 120.
  • the active material supply device 120 is a device that supplies the powdery active material 32A onto the strip-shaped current collector 31A. At least a portion of the active material supply device 120 is provided inside IN of the chamber 110, and together with the roll press 130, constitutes the electrode forming portion 100A. In the active material supply device 120, at least a supply port 120a (see FIG. 5) and a shutter unit 120b (see FIG. 5) are arranged inside IN of the chamber 110 to constitute an electrode forming section 100A. The active material supply device 120 supplies the powdery active material 32A from the supply port 120a onto the current collector 31A inside IN of the chamber 110 by operating the shutter unit 120b.
  • the roll press 130 is a device that fixes the active material 32A supplied onto the current collector 31A by the active material supply device 120 to the current collector 31A.
  • the roll press 130 is provided inside IN of the chamber 110, and constitutes the electrode forming section 100A together with a part of the active material supply device 120 (supply port 120a, shutter unit 120b, etc.) as described above.
  • the active material 32A is supplied in the above-described process, and the active material 32A placed on the conveyed current collector 31A is sandwiched together with the current collector 31A by a pair of rollers. press molding. Thereby, the roll press 130 fixes the active material 32A to the strip-shaped current collector 31A.
  • the manufacturing apparatus 100 configured as described above transports the current collector 31A loaded into the interior IN of the chamber 110 through the loading opening 112 to the electrode forming portion 100A side, and A powdery active material 32A is supplied from the supply port 120a of the active material supply device 120 to the body 31A. At this time, the manufacturing apparatus 100 adjusts opening/closing of the supply port 120a by the shutter unit 120b so that a desired amount of the active material 32A is supplied to the transported current collector 31A. Then, the manufacturing apparatus 100 conveys the current collector 31A to which the active material 32A is supplied to the roll press 130, press-moldes the active material 32A on the current collector 31A by the roll press 130, and presses the active material 32A. It is fixed on the strip-shaped current collector 31A.
  • the manufacturing apparatus 100 can form the electrodes 30 by appropriately cutting the strip-shaped current collector 31 ⁇ /b>A according to the intervals of the frame 50 .
  • the manufacturing apparatus 100 appropriately stacks the electrodes 30 (that is, the positive electrode 30a and the negative electrode 30b) formed by the above-described steps to produce the unit cell 10 or the assembled battery. You may perform the process of manufacturing, etc. continuously.
  • the manufacturing apparatus 100 of the present embodiment forms the electrodes 30 under the reduced pressure environment inside IN of the chamber 110 .
  • the manufacturing apparatus 100 of the present embodiment can prevent air from remaining inside the powdery active material 32A after supplying the powdery active material 32A to the current collector 31A. Then, the active material 32A can be fixed to the current collector 31A.
  • the manufacturing apparatus 100 suppresses phenomena such as the active material 32A popping off and the surface of the active material 32A becoming uneven due to residual air after the end of pressing by the roll press 130. can do.
  • the electrode 30 used in a lithium-ion battery tends to exhibit more stable battery performance by uniformly forming the electrode active material layer 32 containing the active material 32A supplied on the current collector 31A. Therefore, as described above, the manufacturing apparatus 100 of the present embodiment suppresses inclusion of air in the electrode active material layer 32 and manufactures the electrode 30 in which the uniformity of the electrode active material layer 32 is improved. Therefore, it is possible to manufacture the cell 10 that can exhibit more stable performance.
  • the manufacturing apparatus 100 further includes a chamber interior cleaning structure 140, as shown in FIGS.
  • a chamber interior cleaning structure 140 By cleaning the fine particles of the active material 32A that scatter in the space, the cleanliness of the space used for the manufacture of the electrode 30 is ensured.
  • the chamber interior cleaning structure 140 of this embodiment includes a suction opening 141 , a regulation member 142 , and an exhaust device 143 .
  • the intake opening 141 is provided in the chamber 110 and is an opening through which air (outside air) can be introduced from the outside OU of the chamber 110 to the inside IN.
  • the suction opening 141 penetrates the partition wall 111 of the chamber 110 and communicates the outside OU and the inside IN of the chamber 110 .
  • the suction opening 141 is formed in a size and shape that allows air to be introduced into the inner IN of the chamber 110 while maintaining the reduced pressure environment of the inner IN of the chamber 110 .
  • the intake opening 141 of this embodiment is also used by the loading opening 112 described above.
  • the intake opening 141 sucks air into the interior IN of the chamber 110 using the negative pressure of the interior IN of the chamber 110 that is reduced below the atmospheric pressure.
  • the regulating member 142 is provided inside IN of the chamber 110, is a member that changes the flow of air introduced from the intake opening 141, and is also called an air shield.
  • the regulating member 142 regulates the flow of air from the suction opening 141 side to the electrode forming portion 100A side. That is, the regulating member 142 regulates the flow of the air introduced from the suction opening 141 directly toward the electrode forming portion 100A along the transport direction D1. Thereby, the regulating member 142 regulates the flow of air to the position where the powdery active material 32A is supplied onto the current collector 31A in the electrode forming portion 100A.
  • the regulating member 142 of the present embodiment is positioned between the suction opening 141 shared by the loading opening 112 and the electrode forming portion 100A in the interior IN of the chamber 110 and between the suction opening 141 and the electrode forming portion 100A. provided at a position facing the Here, the regulating member 142 is plate-shaped and formed in a curved surface (dome shape) so as to protrude toward the suction opening 141 side. Regulating member 142 is positioned between intake opening 141 and active material supply device 120 in transport direction D1 and is supported on the inner surface of chamber 110 .
  • the regulating member 142 has a through portion 142a through which the current collector 31A can pass.
  • the penetrating portion 142a penetrates the restricting member 142 along the transport direction D1, and communicates the suction opening portion 141 side of the restricting member 142 with the electrode forming portion 100A side.
  • the penetrating portion 142a is formed to have a size and a shape that allows the current collector 31A to pass therethrough.
  • the through portion 142a is a substantially rectangular slit, similar to the suction opening 141 that is also used by the loading opening 112 .
  • the regulating member 142 regulates the flow of air from the suction opening 141 side to the electrode forming portion 100A side, and allows air flow from the carry-in opening 112, which is also used as the suction opening 141, to the inside IN of the chamber 110.
  • the current collector 31A that has been carried in is allowed to be transported to the electrode forming section 100A through the penetrating portion 142a.
  • the regulation member 142 forms an air flow path 142b between itself and the inner surface of the chamber 110 while being supported at a position facing the intake opening 141 .
  • the regulating member 142 regulates the flow of air from the side of the suction opening 141 to the side of the electrode forming portion 100A, and then regulates the flow of air introduced from the suction opening 141 into the interior IN of the chamber 110. It changes to flow along the inner surface of the chamber 110 via the air flow path 142b.
  • the exhaust device 143 is a device that exhausts the air inside IN of the chamber 110 .
  • the exhaust device 143 exhausts air introduced into the interior IN of the chamber 110 from the intake opening 141, for example.
  • the exhaust device 143 typically exhausts the air inside IN of the chamber 110 and also the fine particles of the active material 32A scattered in the air to the outside OU of the chamber 110 .
  • the exhaust device 143 has a suction port 143a, an exhaust pipe 143b, a filter device 143c, and a suction source 143d.
  • the suction port 143a is an opening provided in the interior IN of the chamber 110 for sucking the air in the interior IN of the chamber 110 .
  • the suction port portion 143a has a widened suction port shape so as to easily suck the fine particles of the active material 32A in the air together with the air.
  • the suction port portion 143a of the present embodiment is positioned downstream of the roll press 130 with respect to the conveying direction D1 of the current collector 31A from the active material supply device 120 to the roll press 130 .
  • the suction port portion 143a surrounds three sides of the current collector 31A that is transported along the transport direction D1 after the active material 32A is fixed by the roll press 130 on the downstream side of the roll press 130. 3 are provided in the Here, a total of three suction port portions 143a are provided, one facing the active material 32A fixed on the current collector 31A and one on each side in the transport direction D1.
  • the exhaust pipe 143b is a pipe that constitutes an exhaust flow path for exhausting the air sucked from the suction port portion 143a in the interior IN of the chamber 110 and the microparticles of the active material 32A to the exterior OU of the chamber 110. .
  • the exhaust pipe 143b is provided across the interior IN and the exterior OU of the chamber 110 .
  • One end of the exhaust pipe 143b is connected to the suction port 143a at the interior IN of the chamber 110, and the other end is led out from the chamber 110 to reach the exterior OU.
  • the exhaust pipe 143b is connected to each of the plurality of suction port portions 143a, and merges in the middle.
  • the filter device 143c is a device that removes fine particles of the active material 32A from the air when the air sucked from the suction port 143a in the interior IN of the chamber 110 is exhausted to the outside OU.
  • the filter device 143c is provided on the exhaust pipe 143b in the outer OU of the chamber 110 .
  • the suction source 143d is a device that serves as a source for sucking air from the suction port 143a.
  • the suction source 143d is provided in the external OU of the chamber 110 on the exhaust pipe 143b and downstream in the exhaust direction from the filter device 143c.
  • the suction source 143d is configured by, for example, a suction pump.
  • the suction source 143 d is provided separately from, for example, a decompression pump that decompresses the interior IN of the chamber 110 .
  • the suction source 143d typically suctions with a negative pressure greater than the negative pressure required to reduce the pressure inside IN of the chamber 110 below atmospheric pressure.
  • the exhaust device 143 configured as described above sucks the air inside IN of the chamber 110 through the suction port 143a by driving the suction source 143d. At this time, the exhaust device 143 also sucks fine particles of the active material 32A scattered in the air when the electrode 30 is manufactured from the suction port 143a together with the air. Then, the exhaust device 143 discharges the air sucked from the suction port portion 143a and the microparticles of the active material 32A to the outside OU of the chamber 110 through the exhaust pipe 143b, and the microparticles of the active material 32A are removed by the filter device 143c. After removal, it is exhausted to an external OU.
  • the manufacturing apparatus 100 further includes a suction stage 150 as shown in FIGS.
  • the suction stage 150 is a device that is provided inside IN of the chamber 110 and assists the transport of the current collector 31A.
  • the suction stage 150 holds the collector 31A transported toward the electrode forming section 100A and sucks the collector 31A to maintain its posture.
  • the suction stage 150 places the current collector 31A on the upper surface 151b of a surface plate (horizontal table) 151 in which a large number of suction holes 151a are formed.
  • the surface plate 151 has a hollow interior and a planar upper surface 151b along which the current collector 31A is placed.
  • a large number of suction holes 151 a are formed in the upper surface 151 b of the platen 151 and communicate with the inside of the platen 151 .
  • the surface plate 151 is connected to a suction source 143d via a suction pipe 152, and the suction source 143d is driven to create a negative pressure inside.
  • the surface plate 151 maintains its posture by sucking the current collector 31A placed on the upper surface 151b toward the upper surface 151b through the large number of suction holes 151a by applying a negative pressure to the inside.
  • the manufacturing apparatus 100 can hold the posture of the current collector 31A conveyed toward the electrode forming section 100A by using the suction stage 150 to suck it. Then, the manufacturing apparatus 100 applies the powdery active material 32A onto the current collector 31A from the active material supply device 120 in the electrode forming section 100A while the posture of the current collector 31A is properly held by the suction stage 150. can supply. Therefore, as shown in FIG. 5, the manufacturing apparatus 100 can accurately place the active material 32A having a desired thickness T predetermined by design on the current collector 31A. It is possible to form the electrode 30 with the performance of .
  • the exhaust device 143 and the suction stage 150 also use the suction source 143d. That is, here, the suction pipe 152 merges with the exhaust pipe 143b and is connected to the suction source 143d via the exhaust pipe 143b. The suction pipe 152 merges with the exhaust pipe 143b on the upstream side of the filter device 143c in the exhaust direction.
  • the upper surface 151b of the surface plate 151 described above is formed as an inclined surface 151R having a predetermined curved surface at the end on the upstream side in the transport direction D1.
  • the inclined surface 151R of the suction stage 150 functions as a pick-up surface for the current collector 31A transported from the upstream side in the transport direction D1, thereby smoothly moving the current collector 31A onto the upper surface 151b. It can be in a placed state.
  • the manufacturing method of the electrode 30 (battery electrode manufacturing method) will be described with reference to the flowchart of FIG.
  • the manufacturing method of the electrode 30 described below is described as being performed by the manufacturing apparatus 100 .
  • the method for manufacturing the electrode 30 includes a method for cleaning the interior of the chamber.
  • An air exhaust step (step S4) is included.
  • each process will be described in order, but in reality, these processes are continuously performed in parallel with each other.
  • the manufacturing apparatus 100 introduces air from the outside OU of the chamber 110 to the inside IN through the intake opening 141 as an air introduction step (step S1).
  • the manufacturing apparatus 100 utilizes the negative pressure of the inner IN of the chamber 110, which is reduced below the atmospheric pressure, to the inner IN of the chamber 110 via the suction opening 141 that is also used by the loading opening 112. Inhale air.
  • the manufacturing apparatus 100 regulates the flow of air from the intake opening 141 side to the electrode forming section 100A side at the inside IN of the chamber 110 as an air regulation step (step S2).
  • the manufacturing apparatus 100 regulates the flow of air from the side of the suction opening 141 to the side of the electrode forming section 100A by the regulation member 142, and then regulates the flow of the air to the chamber 110 through the air flow path 142b. flow along the inner surface of the
  • the manufacturing apparatus 100 forms the electrode 30 in the electrode forming section 100A inside IN of the chamber 110 as an electrode forming step (step S3).
  • the manufacturing apparatus 100 supplies a desired amount of the active material 32A to the current collector 31A by the shutter unit 120b, and fixes the active material 32A on the current collector 31A by the roll press 130 to form the electrode 30. do.
  • the manufacturing apparatus 100 performs the above processing on the current collector 31A carried into the interior IN of the chamber 110 through the carry-in opening 112, and sequentially forms the electrodes 30.
  • the manufacturing apparatus 100 exhausts the air inside IN of the chamber 110 by the exhaust device 143 as an air exhaust process (step S4).
  • the exhaust device 143 exhausts the air introduced into the interior IN of the chamber 110 from the intake opening 141 .
  • the manufacturing apparatus 100 also sucks the microparticles of the active material 32A scattered in the air in the electrode forming step (step S3) and the like from the inside IN of the chamber 110 to the outside OU together with the air, and removes the microparticles of the active material 32A. The air after removal is exhausted to the external OU.
  • the manufacturing apparatus 100 , the chamber interior cleaning structure 140 , the manufacturing method, and the chamber interior cleaning method described above use the air sucked into the interior IN of the chamber 110 through the intake opening 141 to clean the interior IN of the chamber 110 . can be cleaned.
  • the manufacturing apparatus 100 can suck air into the inner IN through the suction opening 141 using the negative pressure of the inner IN of the chamber 110 that is reduced below the atmospheric pressure. At this time, the manufacturing apparatus 100 can restrict the flow of air from the intake opening 141 directly toward the electrode forming section 100A by the restricting member 142 . As a result, the manufacturing apparatus 100 can suppress the scattering of the active material 32A due to the air sucked into the internal IN coming into contact with the electrode forming portion 100A.
  • the manufacturing apparatus 100 removes fine particles of the active material 32A scattered in the air when forming the electrode 30 by supplying the powdery active material 32A onto the current collector 31A in the electrode forming section 100A. , can be evacuated from the interior IN of the chamber 110 with air by an exhaust device 143 to the exterior OU.
  • the manufacturing apparatus 100 can Cleanliness of can be appropriately ensured.
  • the manufacturing apparatus 100, the chamber interior cleaning structure 140, the manufacturing method, and the chamber interior cleaning method can manufacture the electrode 30 in an environment in which the degree of cleanliness is appropriately ensured. 30 can be manufactured with high accuracy.
  • the introduction opening 112 for carrying the current collector 31A into the interior IN of the chamber 110 is connected to the suction opening.
  • 141 can also be used. With this configuration, the manufacturing apparatus 100 does not need to provide the suction opening 141 separately, so that manufacturing costs can be reduced, for example.
  • the manufacturing apparatus 100 has a regulating member 142 provided at a position facing the intake opening 141, and has a through portion 142a through which the current collector 31A can pass.
  • the manufacturing apparatus 100 allows the restricting member 142 to regulate the flow of air from the suction opening 141 side to the electrode forming section 100A side, and allows the air flow from the loading opening 112, which is also used as the suction opening 141, to the chamber. It is possible to allow the current collector 31A carried into the inner IN of 110 to be transported to the electrode forming section 100A side through the penetrating portion 142a. As a result, the manufacturing apparatus 100, the chamber interior cleaning structure 140, the manufacturing method, and the chamber interior cleaning method effectively take in air from the carry-in opening 112, which also serves as the intake opening 141, and clean the inside IN. It is possible to eliminate the contradiction that may occur by using both.
  • the manufacturing apparatus 100 the chamber interior cleaning structure 140, the manufacturing method, and the chamber interior cleaning method described above, the flow of air introduced from the suction opening 141 into the interior IN of the chamber 110 is controlled by the regulating member 142. The flow is changed to along the inner surface of the chamber 110 .
  • the manufacturing apparatus 100 can clean the inner surface of the chamber 110, to which the microparticles of the active material 32A are likely to adhere, by the flow of air along the inner surface of the chamber 110. It is possible to make it easy to distribute the flow of As a result, the manufacturing apparatus 100, the chamber interior cleaning structure 140, the manufacturing method, and the chamber interior cleaning method can more effectively clean the entire space of the interior IN of the chamber 110 by the air introduced into the interior IN. can.
  • the manufacturing apparatus 100, the chamber interior cleaning structure 140, the manufacturing method, and the chamber interior cleaning method described above are arranged such that the exhaust device 143 sucks the exhaust device 143 downstream of the roll press 130 in the conveying direction D1 of the current collector 31A.
  • a mouth portion 143a is located.
  • the manufacturing apparatus 100 allows the microparticles of the active material 32A and the active material that is not fixed on the current collector 31A in the post-process of the electrode forming portion 100A where the microparticles of the active material 32A are most likely to scatter. 32A can also be aspirated and removed.
  • the manufacturing apparatus 100, the chamber interior cleaning structure 140, the manufacturing method, and the chamber interior cleaning method can manufacture the electrode 30 in an environment in which the degree of cleanliness is more appropriately ensured.
  • the electrode 30 can be manufactured with higher accuracy.
  • the manufacturing apparatus 100, the chamber interior cleaning structure 140, the manufacturing method, and the chamber interior cleaning method described above include the suction stage 150, and the exhaust device 143 and the suction stage 150 operate the suction source 143d. Also used. With this configuration, the manufacturing apparatus 100, the chamber interior cleaning structure 140, the manufacturing method, and the chamber interior cleaning method accurately place the active material 32A on the current collector 31A and form the electrode 30 with desired performance with accuracy. In addition, part of the configuration for properly ensuring the cleanliness of the interior IN of the chamber 110 can be configured to also serve as the suction stage 150 .
  • the electrode forming section 100A forms the electrode 30 by supplying the powdery active material 32A directly to one surface of the current collector 31A as a base film.
  • the electrode forming unit 100A supplies the active material 32A to a transfer film, which is a base film different from the current collector 31A, and fixes the active material 32A to the transfer film.
  • the electrode 30 may be formed by transferring and fixing 32A onto one surface of the current collector 31A.
  • the electrode forming portion 100A may include a transfer portion for transferring the active material 32A from the transfer film to the current collector 31A.
  • the base film may be the separator 40 . That is, the current collector 31A, the separator 40, or the transfer film can be used as the base film.
  • the base film is, for example, a transfer film
  • the active material layer (electrode composition layer) formed on the film as described above is transferred onto the current collector, for example, for a lithium ion battery electrodes can be obtained.
  • the frame 50 is provided on the current collector 31A inside IN of the chamber 110, but is not limited to this, and may be provided outside OU.
  • the frame 50 may be provided on the current collector 31A in front of the carry-in opening 112 by a frame installation device or the like in the external OU.
  • the strip-shaped current collector 31A is carried into the inner IN through the carry-in opening 112 with the frame 50 attached in front of the carry-in opening 112 .
  • the carrying-in opening 112 which also serves as the suction opening 141, carries the current collector 31A and the frame 50 together from the external OU to the internal IN while maintaining the reduced-pressure environment of the internal IN of the chamber 110. It should be formed in a possible size and shape.
  • the penetrating portion 142a may be formed to have a size and a shape that allow passage of the frame 50 together with the current collector 31A.
  • the frame 50 may be provided on the current collector 31 ⁇ /b>A in an OU outside the chamber 110 after the roll press 130 by using a frame installation device or the like, for example.
  • the battery electrode manufacturing apparatus, the chamber interior cleaning structure, the battery electrode manufacturing method, or the chamber interior cleaning method according to the present embodiment may not include the frame installation device or the frame installation step.
  • the frame 50 may be arranged on the current collector 31A to which the electrode composition layer has been transferred, or on the current collector 31A before the electrode composition layer has been transferred.
  • the strip-shaped current collector 31A is, for example, pulled out from the current collector roll 31R provided under normal pressure in the outside OU of the chamber 110 and carried into the inside IN through the carry-in opening 112.
  • the current collector roll 31 ⁇ /b>R is provided under reduced pressure inside IN of the chamber 110
  • the current collector roll 31 ⁇ /b>R may be pulled out.
  • the entirety of the active material supply device 120 may be provided inside IN of the chamber 110 .
  • the intake opening 141 is also used by the loading opening 112 , but the intake opening 141 is not limited to this, and may be provided separately from the loading opening 112 .
  • the regulating member 142 has the through portion 142a and has been described as changing the flow of air introduced into the interior IN of the chamber 110 from the intake opening 141 into a flow along the inner surface of the chamber 110. is not limited to this.
  • the suction port 143a is positioned downstream of the roll press 130 with respect to the transport direction D1.
  • the suction source 143d of the exhaust device 143 is provided separately from the decompression pump that decompresses the interior IN of the chamber 110, but the present invention is not limited to this, and both may be used in common.
  • the evacuation device 143 may be, for example, a decompression pump that decompresses the inside IN of the chamber 110 (that is, may also be used as a decompression pump), and an evacuation device having a suction source separate from the decompression pump.
  • the manufacturing apparatus 100 has been described as including the suction stage 150 and the exhaust device 143 and the suction stage 150 also serve as the suction source 143d, the present invention is not limited to this.
  • the exhaust device 143 and the suction stage 150 do not have to share the suction source 143d.
  • the suction source of the evacuation device 143 is also used as a decompression pump for decompressing the inside IN of the chamber 110 as described above
  • the suction source of the evacuation device and the suction source of the suction stage 150 It may be provided separately from 143d.
  • the manufacturing apparatus 100 does not have to include the suction stage 150 in the first place.
  • the battery electrode manufacturing apparatus, the chamber interior cleaning structure, the battery electrode manufacturing method, and the chamber interior cleaning method according to the present embodiment are configured by appropriately combining the constituent elements of the embodiments and modifications described above. good too.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)

Abstract

電池用電極製造装置（１００）は、内部（ＩＮ）が大気圧よりも減圧されたチャンバー（１１０）と、チャンバー（１１０）の内部（ＩＮ）に設けられ、基材フィルム（３１Ａ）上に粉体状の活物質（３２Ａ）を供給して電極（３０）を形成する電極形成部（１００Ａ）と、チャンバー（１１０）の外部（ＯＵ）から内部（ＩＮ）に空気を導入可能である吸入開口部（１４１）と、チャンバー（１１０）の内部（ＩＮ）に設けられ、吸入開口部（１４１）側から電極形成部（１００Ａ）側への空気の流れを規制する規制部材（１４２）と、チャンバー（１１０）の内部（ＩＮ）の空気を排気する排気装置（１４３）とを備える。

Description

電池用電極製造装置、チャンバー内清浄構造、電池用電極製造方法、及び、チャンバー内清浄方法
　本発明は、電池用電極製造装置、チャンバー内清浄構造、電池用電極製造方法、及び、チャンバー内清浄方法に関する。
　内部で様々な処理を行うチャンバーに関する技術として、例えば、特許文献１には、チャンバー内を清掃する清掃装置が開示されている。この清掃装置は、窒素ガス等の乾燥ガスをノズルから噴射することによってチャンバー内を清掃する。また、例えば、特許文献２には、廃物真空流を受けるチャンバーを備えた真空ライン清掃システムが開示されている。この真空ライン清掃システムは、チャンバー内にサイクロン流を生じさせ、廃物流に存在する液体／ごみを排出口へ押しやり、清浄な真空流を真空出口へと導く。
特開２００２－１８４７０８号公報 特表２０１０－５０５６１１号公報
　ところで、近年注目されているリチウムイオン電池は、一般に、集電体の表面に活物質層が形成された複数の電極を、セパレータを介して積層させることで構成される。このようなリチウムイオン電池用の電極を、例えば、上記のようなチャンバー内において、集電体の上に活物質を供給し定着させることで製造するという考え方がある。この場合に、電極の製造に伴って内部で活物質の微小粒子等が飛散することで、当該電極の製造に供するチャンバーの内部空間が汚染されてしまうおそれがある。これに対して、例えば、チャンバーの内部空間で製造される電極の性能を確保すべく内部の清浄度を適正な状態で維持しようとした場合、上述の特許文献１に開示された乾燥ガスを要する技術や上述の特許文献２に開示されたサイクロン流を要する技術が必ずしも適した構成であるとは言えず、更なる改善の余地がある。
　本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、清浄度を適正に確保した環境下で電極を製造することができる電池用電極製造装置、チャンバー内清浄構造、電池用電極製造方法、及び、チャンバー内清浄方法を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するために、本発明に係る電池用電極製造装置は、内部が大気圧よりも減圧されたチャンバーと、前記チャンバーの内部に設けられ、基材フィルム上に粉体状の活物質を供給して電極を形成する電極形成部と、前記チャンバーの外部から内部に空気を導入可能である吸入開口部と、前記チャンバーの内部に設けられ、前記吸入開口部側から前記電極形成部側への空気の流れを規制する規制部材と、前記チャンバーの内部の空気を排気する排気装置とを備える。
　本発明に係る電池用電極製造装置、チャンバー内清浄構造、電池用電極製造方法、及び、チャンバー内清浄方法は、清浄度を適正に確保した環境下で電極を製造することができる、という効果を奏する。
図１は、実施形態に係る単電池の概略構成を表す模式的な断面図である。 図２は、実施形態に係る製造装置の概略構成を表す模式的なブロック図である。 図３は、実施形態に係る製造装置の概略構成を表す模式的な部分斜視図である。 図４は、実施形態に係る製造装置の概略構成を表す模式的な部分斜視図である。 図５は、実施形態に係る製造装置の概略構成を表す模式的な部分断面図である。 図６は、実施形態に係る製造方法を表すフローチャートである。
　以下に、本発明に係る実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。
［実施形態］
　図２に示す本実施形態に係る製造装置１００は、図１に示す単電池１０に適用される電極３０を製造するための電池用電極製造装置である。以下では、まず、図１を参照して単電池１０、電極３０の基本的な構成について説明した後、図２等を参照して製造装置１００について詳細に説明する。
＜単電池＞
　図１に示す本実施形態の単電池（電池セル、単セルともいう。）１０は、二次電池である。なお、以下の説明では、「正極３０ａ」と「負極３０ｂ」とを特に区別して説明する必要がない場合には、単に「電極３０」という場合がある。なお、本明細書におけるリチウムイオン電池（単電池、単セル、単電池ユニット）は、電荷担体としてリチウムイオンを利用し、正負極間のリチウムイオンの移動により充放電が行われる二次電池をいう。当該リチウムイオン電池（二次電池）は、電解質に液体材料を使用した電池を含み、電解質に固体材料を使用した電池（いわゆる全固体電池）を含む。また本実施形態におけるリチウムイオン電池は、集電体として金属箔（金属集電箔）を有する電池を含み、金属箔に代わって導電性材料が添加された樹脂から構成される、いわゆる樹脂集電体を有する電池を含む。当該樹脂集電体を、後述するバイポーラ電極用樹脂集電体として用いる場合には、当該樹脂集電体の一方の面に正極を形成し、もう一方の面に負極を形成して双極型電極を構成したものであってもよい。なお、本実施形態におけるリチウムイオン電池は、バインダを用いて正極または負極活物質等を正極用または負極用集電体にそれぞれ塗布して電極を構成したものを含み、双極型の電池の場合には、集電体の一方の面にバインダを用いて正極活物質等を塗布して正極層を、反対側の面にバインダを用いて負極活物質等を塗布して負極層を有する双極型電極を構成したものを含む。
　単電池１０は、正極３０ａと、負極３０ｂと、セパレータ４０と、枠体５０とを備える。正極３０ａは、正極集電体層３１ａ、及び、正極活物質層３２ａを含んで構成される。一方、負極３０ｂは、負極集電体層３１ｂと、負極活物質層３２ｂを含んで構成される。単電池１０は、正極集電体層３１ａ、正極活物質層３２ａ、セパレータ４０、負極活物質層３２ｂ、及び、負極集電体層３１ｂがこの順で積層される。つまり、単電池１０は、正極集電体層３１ａ及び負極活物質層３２ｂが最外層に配置される。そして、単電池１０は、正極集電体層３１ａ及び負極集電体層３１ｂの縁部において、枠体５０により正極活物質層３２ａ、負極活物質層３２ｂ及びセパレータ４０の外周が封止され、電解液が封入される。この状態で、単電池１０は、正極活物質層３２ａと負極活物質層３２ｂとの間にセパレータ４０が介在し、当該セパレータ４０が正極３０ａと負極３０ｂとの間の隔壁として機能する。単電池１０は、例えば、複数を組み合わせてモジュール化した組電池、あるいは、このような組電池を複数組み合わせて電圧及び容量を調整した電池パックの形態で使用することが可能である。組電池の積層方法は、任意である。積層方法の一例として、第１面に正極樹脂集電体を有し、第２面に負極樹脂集電体を有する単セルを、隣り合う一対の単セルの第１面（正極側）と第２面（負極側）とが隣接するように直列に複数積層した積層電池としても良い。別の一例として、一枚の樹脂集電体の片面に正極層を設け、樹脂集電体の他方の面に負極層を設けた単セルを、電解質層を介して複数積層した積層電池としても良い。
　なお、以下の説明では、「正極集電体層３１ａ」と「負極集電体層３１ｂ」とを特に区別して説明する必要がない場合には、単に「集電体層３１」という場合がある。同様に、「正極活物質層３２ａ」と「負極活物質層３２ｂ」とを特に区別して説明する必要がない場合には、単に「電極活物質層３２」という場合がある。
＜正極集電体の具体例＞
　正極集電体層３１ａを構成する正極集電体としては、公知のリチウムイオン単電池に用いられる集電体を用いることができ、例えば、公知の金属集電体及び導電材料と樹脂とから構成されてなる樹脂集電体（特開２０１２－１５０９０５号公報及び国際公開第２０１５／００５１１６号等に記載の樹脂集電体等）を用いることができる。正極集電体層３１ａを構成する正極集電体は、電池特性等の観点から、樹脂集電体であることが好ましい。
　金属集電体としては、例えば、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、タンタル、ニオブ、ハフニウム、ジルコニウム、亜鉛、タングステン、ビスマス、アンチモン及びこれらの金属を１種以上含む合金、並びに、ステンレス合金からなる群から選択される１種以上の金属材料が挙げられる。これらの金属材料は、薄板や金属箔等の形態で用いてもよい。また、上記金属材料以外で構成される基材表面にスパッタリング、電着、塗布等の方法により上記金属材料を形成したものを金属集電体として用いてもよい。
　樹脂集電体としては、導電性フィラーとマトリックス樹脂とを含むことが好ましい。マトリックス樹脂としては、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリメチルペンテン（ＰＭＰ）等が挙げられるが、特に限定されない。導電性フィラーは、導電性を有する材料から選択されれば特に限定されない。例えば、導電性フィラーは、その形状が繊維状である導電性繊維であってもよい。
　樹脂集電体は、マトリックス樹脂及び導電性フィラーのほかに、その他の成分（分散剤、架橋促進剤、架橋剤、着色剤、紫外線吸収剤、可塑剤等）を含んでいてもよい。また、複数の樹脂集電体を積層して用いてもよく、樹脂集電体と金属箔とを積層して用いても良い。
　正極集電体層３１ａの厚さは、特に限定されないが、５～１５０μｍであることが好ましい。複数の樹脂集電体を積層して正極集電体層３１ａとして用いる場合には、積層後の全体の厚さが５～１５０μｍであることが好ましい。正極集電体層３１ａは、例えば、マトリックス樹脂、導電性フィラー及び必要により用いるフィラー用分散剤を溶融混練して得られる導電性樹脂組成物を公知の方法でフィルム状に成形することにより得ることができる。
＜正極活物質の具体例＞
　正極活物質層３２ａは、正極活物質を含む混合物の非結着体であることが好ましい。ここで、非結着体とは、正極活物質層中において正極活物質の位置が固定されておらず、正極活物質同士及び正極活物質同士及び正極活物質と集電体とが不可逆的に固定されていないことを意味する。正極活物質層３２ａが非結着体である場合、正極活物質同士は不可逆的に固定されていないため、正極活物質同士の界面を機械的に破壊することなく分離することができ、正極活物質層３２ａに応力がかかった場合でも正極活物質が移動することで正極活物質層３２ａの破壊を防止することができ好ましい。非結着体である正極活物質層３２ａは、正極活物質層３２ａを、正極活物質と電解液とを含みかつ結着剤を含まない正極活物質層３２ａにする等の方法で得ることができる。なお、本明細書において、結着剤とは、正極活物質同士及び正極活物質と集電体とを可逆的に固定することができない薬剤を意味し、デンプン、ポリフッ化ビニリデン、ポリビニルアルコール、カルボキシメチルセルロース、ポリビニルピロリドン、テトラフルオロエチレン、スチレン－ブタジエンゴム、ポリエチレン及びポリプロピレン等の公知の溶剤乾燥型のリチウムイオン電池用結着剤等が挙げられる。これらの結着剤は、溶剤に溶解又は分散して用いられ、溶剤を揮発、留去することで表面が粘着性を示すことなく固体化するので正極活物質同士及び正極活物質と集電体とを可逆的に固定することができない。
　正極活物質としては、例えば、リチウムと遷移金属との複合酸化物、遷移金属元素が２種である複合酸化物及び金属元素が３種類以上である複合酸化物等が挙げられるが、特に限定されない。
　正極活物質は、その表面の少なくとも一部が高分子化合物を含む被覆材により被覆された被覆正極活物質であってもよい。正極活物質の周囲が被覆材で被覆されていると、正極の体積変化が緩和され、正極の膨張を抑制することができる。
　被覆材を構成する高分子化合物としては、特開２０１７－０５４７０３号公報及び国際公開第２０１５／００５１１７号等に活物質被覆用樹脂として記載されたものを好適に用いることができる。
　被覆材には、導電剤が含まれていてもよい。導電剤としては、正極集電体層３１ａに含まれる導電性フィラーと同様のものを好適に用いることができる。
　正極活物質層３２ａには、粘着性樹脂が含まれていてもよい。粘着性樹脂としては、例えば、特開２０１７－０５４７０３号公報に記載された非水系二次電池活物質被覆用樹脂に少量の有機溶剤を混合してそのガラス転移温度を室温以下に調整したもの、及び、特開平１０－２５５８０５号公報に粘着剤として記載されたもの等を好適に用いることができる。なお、粘着性樹脂は、溶媒成分を揮発させて乾燥させても固体化せずに粘着性（水、溶剤、熱などを使用せずに僅かな圧力を加えることで接着する性質）を有する樹脂を意味する。一方、結着剤として用いられる溶液乾燥型の電極用バインダーは、溶媒成分を揮発させることで乾燥、固体化して活物質同士を強固に接着固定するものを意味する。したがって、上述した結着剤（溶液乾燥型の電極バインダー）と粘着性樹脂とは、異なる材料である。
　正極活物質層３２ａには、電解質と非水溶媒を含む電解液が含まれていてもよい。電解質としては、公知の電解液に用いられているもの等が使用できる。非水溶媒としては、公知の電解液に用いられているもの（例えば、リン酸エステル、ニトリル化合物等及びこれらの混合物等）が使用できる。例えば、エチレンカーボネート（ＥＣ）とジメチルカーボネート（ＤＭＣ）の混合液、又は、エチレンカーボネート（ＥＣ）とプロピレンカーボネート（ＰＣ）の混合液を用いることができる。
　正極活物質層３２ａには、導電助剤が含まれていてもよい。導電助剤としては、正極集電体層３１ａに含まれる導電性フィラーと同様の導電性材料を好適に用いることができる。
　正極活物質層３２ａの厚さは、特に限定されるものではないが、電池性能の観点から、１５０～６００μｍであることが好ましく、２００～４５０μｍであることがより好ましい。
＜負極集電体の具体例＞
　負極集電体層３１ｂを構成する負極集電体としては、正極集電体で記載した構成と同様のものを適宜選択して用いることができ、同様の方法により得ることができる。負極集電体層３１ｂは、電池特性等の観点から、樹脂集電体であることが好ましい。負極集電体層３１ｂの厚さは、特に限定されないが、５～１５０μｍであることが好ましい。
＜負極活物質の具体例＞
　負極活物質層３２ｂは、負極活物質を含む混合物の非結着体であることが好ましい。負極活物質層が非結着体であることが好ましい理由、及び非結着体である負極活物質層３２ｂを得る方法等は、正極活物質層３２ａが非結着体であることが好ましい理由、及び非結着体である正極活物質層３２ａを得る方法と同様である。
　負極活物質としては、例えば、炭素系材料、珪素系材料及びこれらの混合物などを用いることができるが、特に限定されない。
　負極活物質は、その表面の少なくとも一部が高分子化合物を含む被覆材により被覆された被覆負極活物質であってもよい。負極活物質の周囲が被覆材で被覆されていると、負極の体積変化が緩和され、負極の膨張を抑制することができる。
　被覆材としては、被覆正極活物質を構成する被覆材と同様のものを好適に用いることができる。
　負極活物質層３２ｂは、電解質と非水溶媒を含む電解液を含有する。電解液の組成は、正極活物質層３２ａに含まれる電解液と同様の電解液を好適に用いることができる。
　負極活物質層３２ｂには、導電助剤が含まれていてもよい。導電助剤としては、正極活物質層３２ａに含まれる導電性フィラーと同様の導電性材料を好適に用いることができる。
　負極活物質層３２ｂには、粘着性樹脂が含まれていてもよい。粘着性樹脂としては、正極活物質層３２ａの任意成分である粘着性樹脂と同様のものを好適に用いることができる。
　負極活物質層３２ｂの厚さは、特に限定されるものではないが、電池性能の観点から、１５０～６００μｍであることが好ましく、２００～４５０μｍであることがより好ましい。
＜セパレータの具体例＞
　セパレータ４０に保持される電解質としては、例えば、電解液又はゲルポリマー電解質などが挙げられる。セパレータ４０は、これらの電解質を用いることで、高いリチウムイオン伝導性が確保される。セパレータ４０の形態としては、例えば、ポリエチレン又はポリプロピレン製の多孔性フィルム等が挙げられるが、特に限定されない。セパレータとして、硫化物系、酸化物系の無機系固体電解質、または高分子系の有機系固体電解質などを適用することもできる。固体電解質の適用により、全固体電池を構成することができる。
＜枠体の具体例＞
　枠体５０としては、電解液に対して耐久性のある材料であれば特に限定されないが、例えば、高分子材料が好ましく、熱硬化性高分子材料がより好ましい。枠体５０を構成する材料としては、絶縁性、シール性（液密性）、電池動作温度下での耐熱性等を有するものであればよく、樹脂材料が好適に採用される。より具体的には、枠体５０としては、例えば、エポキシ系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリウレタン系樹脂及びポリフッ化ビニリデン樹脂等が挙げられ、耐久性が高く取り扱いが容易であることからエポキシ系樹脂が好ましい。
＜製造装置の基本構成＞
　次に、図２～図５を参照して製造装置１００の概略構成について説明する。製造装置１００は、上述した電極３０を製造するものである。この製造装置１００は、例えば、単電池１０を製造する電池製造装置に組み込まれて実現されてもよい。なお、以下で説明する集電体３１Ａは、上述した集電体層３１（正極集電体層３１ａ、負極集電体層３１ｂ）を構成するものである。一方、活物質３２Ａは、上述した電極活物質層３２（正極活物質層３２ａ、負極活物質層３２ｂ）を構成するものである。
　ここで一般に、大気圧中において、基材フィルムである集電体３１Ａの一方の面に粉体状の活物質３２Ａを塗布して電極３０を形成する場合、活物質３２Ａの内部に空気が残留する場合がある。そして、この状態のまま活物質３２Ａに対してプレス成型を行うと、プレス終了後に圧縮された空気が膨張し、活物質３２Ａが弾け飛んだり、活物質３２Ａの表面が凹凸になったりする等の現象が発生するおそれがある。
　これに対して、本実施形態の製造装置１００は、大気圧よりも減圧されたチャンバー１１０の内部ＩＮにおいて、帯状の集電体３１Ａ上に粉体状の活物質３２Ａを供給して電極３０を製造する構成となっている。
　この構成により、本実施形態の製造装置１００は、活物質３２Ａの内部への空気の残留を抑制し、集電体層３１上に形成される電極活物質層３２の均一性向上を実現している。以下、これを実現するための製造装置１００の各部の具体的な構成について説明する。
　なお、以上で説明したように、正極３０ａと負極３０ｂとは、集電体層３１（正極集電体層３１ａ、負極集電体層３１ｂ）、電極活物質層３２（正極活物質層３２ａ、負極活物質層３２ｂ）を構成する物質について異なる点があるものの、それぞれ集電体層３１の一方の面に電極活物質層３２が電気的に結合された構成である点では差異はない。このため、以下の説明でも、「正極３０ａ」の製造と「負極３０ｂ」の製造とを特に区別して説明する必要がない場合には、単に「電極３０」の製造として説明する。
　具体的には、製造装置１００は、図２に示すように、チャンバー１１０と、活物質供給装置１２０と、ロールプレス１３０とを備える。活物質供給装置１２０の一部とロールプレス１３０とは、電極形成部１００Ａを構成する。電極形成部１００Ａは、製造装置１００において、集電体３１Ａ上に粉体状の活物質３２Ａを供給して電極３０を形成する部位であり、活物質３２Ａを集電体３１Ａ上に塗布し、当該活物質３２Ａを圧縮して電極活物質層３２を成形し電極３０を形成する。上述したように、本実施形態では、電極形成部１００Ａは、チャンバー１１０の内部ＩＮの減圧環境下に設けられる。
　なお、以下の説明では、製造装置１００において、集電体３１Ａを搬送する方向を「搬送方向Ｄ１」という場合がある。搬送方向Ｄ１は、典型的には、略水平方向に沿っており、帯状の集電体３１Ａの長手方向に沿った方向に相当する。製造装置１００は、チャンバー１１０の内において、搬送方向Ｄ１の上流側から下流側に向かって、活物質供給装置１２０、ロールプレス１３０の順で配置されている。
　チャンバー１１０は、内部ＩＮが大気圧よりも減圧される容器である。本実施形態のチャンバー１１０は、内部ＩＮで粉体状の活物質３２Ａを扱う。チャンバー１１０は、隔壁１１１によって空洞状に区画され、内部ＩＮの空間が大気圧よりも減圧された状態に保持できる部屋として機能する。チャンバー１１０の内部ＩＮは、減圧ポンプ等によって大気圧よりも減圧される。チャンバー１１０の内部ＩＮの圧力は、大気圧よりも減圧されていれば任意の値でよいが、例えば、大気圧から１×１０－１～１×１０－２Ｐａまでの低真空環境となるように調整されていてもよいし、１×１０－６～１×１０－７Ｐａの高真空環境となるように調整されていてもよいし、それ以上の超高真空や１０－8～１０－９Ｐａレベルの極高真空であってもよい。ここで、標準大気圧は、約１０１３ｈＰａ（約１０５Ｐａ）である。チャンバー１１０は、この内部ＩＮの空間に電極形成部１００Ａを収容する。
　チャンバー１１０は、隔壁１１１に搬入開口部１１２が形成されている。搬入開口部１１２は、チャンバー１１０の外部ＯＵから内部ＩＮに帯状の集電体３１Ａを搬入（挿入）可能な略矩形状のスリットである。搬入開口部１１２は、搬送方向Ｄ１の上流側において搬送方向Ｄ１に沿って隔壁１１１を貫通し、チャンバー１１０の外部ＯＵと内部ＩＮとを連通する。ここでは、搬入開口部１１２は、チャンバー１１０の内部ＩＮの減圧環境を維持した状態で、集電体３１Ａを外部ＯＵから内部ＩＮに搬入可能な大きさ、形状に形成される。帯状の集電体３１Ａは、例えば、チャンバー１１０の外部ＯＵの常圧下に設けられた集電体ロール３１Ｒから引き出されながら、搬入開口部１１２を介して内部ＩＮに連続的に供給、搬入される。チャンバー１１０の内部ＩＮに搬入された集電体３１Ａは、コンベアや搬送ローラ等によって搬送方向Ｄ１に沿って搬送され、電極３０の製造の過程において、適宜のタイミングで切断されることで個別の集電体３１Ａとなる。また、チャンバー１１０の内部ＩＮに搬入された集電体３１Ａは、当該チャンバー１１０の内部ＩＮにおいて枠体５０が設けられる。この場合、枠体５０は、例えば、内部ＩＮにおいて、枠体設置装置等によって、活物質供給装置１２０の前段で集電体３１Ａに設けられてもよいし、活物質供給装置１２０とロールプレス１３０との間で集電体３１Ａに設けられてもよいし、ロールプレス１３０の後段で集電体３１Ａに設けられてもよい。図２、図３は、一例として、活物質供給装置１２０の前段で枠体５０が集電体３１Ａに設けられる場合を例示している。
　活物質供給装置１２０は、帯状の集電体３１Ａ上に粉体状の活物質３２Ａを供給する装置である。活物質供給装置１２０は、少なくとも一部がチャンバー１１０の内部ＩＮに設けられ、ロールプレス１３０と共に電極形成部１００Ａを構成する。活物質供給装置１２０は、少なくとも供給口１２０ａ（図５参照）、及び、シャッタユニット１２０ｂ（図５参照）がチャンバー１１０の内部ＩＮに配置され、電極形成部１００Ａを構成する。活物質供給装置１２０は、シャッタユニット１２０ｂが動作することで、チャンバー１１０の内部ＩＮにおいて、供給口１２０ａから集電体３１Ａ上に紛体状の活物質３２Ａを供給する。
　ロールプレス１３０は、活物質供給装置１２０によって集電体３１Ａ上に供給した活物質３２Ａを当該集電体３１Ａに定着させる装置である。ロールプレス１３０は、チャンバー１１０の内部ＩＮに設けられ、上述したように、活物質供給装置１２０の一部（供給口１２０ａ、シャッタユニット１２０ｂ等）と共に電極形成部１００Ａを構成する。ロールプレス１３０は、例えば、上述の工程で活物質３２Ａが供給され、搬送されてきた集電体３１Ａの上に載置されている当該活物質３２Ａを、一対のローラによって集電体３１Ａと共に挟み込んでプレス成形する。これにより、ロールプレス１３０は、活物質３２Ａを帯状の集電体３１Ａに定着させる。
　上記のように構成される製造装置１００は、搬入開口部１１２を介してチャンバー１１０の内部ＩＮに搬入された集電体３１Ａを電極形成部１００Ａ側に搬送し、当該搬送される帯状の集電体３１Ａに対して、活物質供給装置１２０の供給口１２０ａから粉体状の活物質３２Ａを供給する。このとき、製造装置１００は、搬送されてくる集電体３１Ａに所望量の活物質３２Ａが供給されるように、シャッタユニット１２０ｂによる供給口１２０ａの開閉が調節される。そして、製造装置１００は、活物質３２Ａが供給された集電体３１Ａを、ロールプレス１３０に搬送し、当該ロールプレス１３０によって集電体３１Ａ上の活物質３２Ａをプレス成形し、活物質３２Ａを帯状の集電体３１Ａに定着させる。その後、製造装置１００は、帯状の集電体３１Ａを枠体５０の間隔に合わせ適宜切断することで、電極３０を形成することができる。なお、製造装置１００は、電極３０の形成後の後工程として、さらに、上述の工程により形成された電極３０（すなわち、正極３０ａ、及び、負極３０ｂ）を適宜積層させて単電池１０や組電池を製造する工程等を続けて実行してもよい。
　上述したように、本実施形態の製造装置１００は、チャンバー１１０の内部ＩＮの減圧環境下において電極３０を形成するものである。この構成により、本実施形態の製造装置１００は、集電体３１Ａに粉体状の活物質３２Ａを供給した後、当該活物質３２Ａの内部に空気が残留することを抑制することができ、その上で、活物質３２Ａを集電体３１Ａに定着させることができる。この結果、製造装置１００は、ロールプレス１３０によるプレス終了後に、残留空気に起因して活物質３２Ａが弾け飛んだり、活物質３２Ａの表面が凹凸になったりする等の現象が発生することを抑制することができる。
　リチウムイオン電池に用いる電極３０は、集電体３１Ａ上に供給された活物質３２Ａを含む電極活物質層３２が均質に形成されることで、より安定した電池性能を発揮する傾向にある。このため、本実施形態の製造装置１００は、上述したように、電極活物質層３２に空気が含まれることを抑制し、電極活物質層３２の均一性を向上させた電極３０を製造することができるので、より安定した性能を発揮することができる単電池１０を製造することができる。
　以上、本実施形態に係る製造装置１００の全体構成の概略について説明した。
＜チャンバー内清浄構造＞
　このような構成のもと、本実施形態に係る製造装置１００は、図２、図３に示すように、さらに、チャンバー内清浄構造１４０を備えることで、活物質３２Ａを扱うチャンバー１１０の内部ＩＮにおいて飛散する当該活物質３２Ａの微小粒子を清浄し、電極３０の製造に供する空間の清浄度の確保を実現している。
　具体的には、本実施形態のチャンバー内清浄構造１４０は、吸入開口部１４１と、規制部材１４２と、排気装置１４３とを備える。
　吸入開口部１４１は、チャンバー１１０に設けられ、チャンバー１１０の外部ＯＵから内部ＩＮに空気（外気）を導入可能な開口部である。吸入開口部１４１は、チャンバー１１０の隔壁１１１を貫通し、チャンバー１１０の外部ＯＵと内部ＩＮとを連通する。吸入開口部１４１は、チャンバー１１０の内部ＩＮの減圧環境を維持した状態で、内部ＩＮに空気を導入可能な大きさ、形状に形成される。本実施形態の吸入開口部１４１は、上述した搬入開口部１１２によって兼用される。吸入開口部１４１は、大気圧よりも減圧されたチャンバー１１０の内部ＩＮの負圧を利用して、当該チャンバー１１０の内部ＩＮに空気を吸入する。
　規制部材１４２は、チャンバー１１０の内部ＩＮに設けられ、吸入開口部１４１から導入した空気の流れを変える部材であり、エアシールドなどとも呼ばれる。ここでは、規制部材１４２は、吸入開口部１４１側から電極形成部１００Ａ側への空気の流れを規制する。つまり、規制部材１４２は、吸入開口部１４１から導入した空気が搬送方向Ｄ１に沿って直接的に電極形成部１００Ａ側へ向かう流れを規制する。これにより、規制部材１４２は、電極形成部１００Ａにおいて集電体３１Ａ上に粉体状の活物質３２Ａを供給する位置への空気の流れを規制する。
　より具体的には、本実施形態の規制部材１４２は、チャンバー１１０の内部ＩＮにおいて、搬入開口部１１２によって兼用される吸入開口部１４１と電極形成部１００Ａとの間で、かつ、吸入開口部１４１と対向する位置に設けられる。ここでは、規制部材１４２は、板状で、かつ、吸入開口部１４１側に突出するように湾曲した曲面状（ドーム状）に形成される。そして、規制部材１４２は、搬送方向Ｄ１に対して、吸入開口部１４１と活物質供給装置１２０との間に位置して、チャンバー１１０の内面に支持される。
　そして、規制部材１４２は、集電体３１Ａが通過可能な貫通部１４２ａを有する。貫通部１４２ａは、規制部材１４２を搬送方向Ｄ１に沿って貫通し、規制部材１４２の吸入開口部１４１側と電極形成部１００Ａ側とを連通する。貫通部１４２ａは、集電体３１Ａが通過可能な大きさ、形状に形成される。ここでは、貫通部１４２ａは、搬入開口部１１２によって兼用される吸入開口部１４１と同様に、略矩形状のスリットである。この構成により、規制部材１４２は、吸入開口部１４１側から電極形成部１００Ａ側への空気の流れを規制しつつ、吸入開口部１４１として兼用されている搬入開口部１１２からチャンバー１１０の内部ＩＮに搬入された集電体３１Ａを、貫通部１４２ａを介して電極形成部１００Ａ側に搬送することを許容する。
　また、規制部材１４２は、吸入開口部１４１と対向する位置に支持された状態で、チャンバー１１０の内面との間に空気流路１４２ｂを形成する。この構成により、規制部材１４２は、吸入開口部１４１側から電極形成部１００Ａ側への空気の流れを規制した上で、当該吸入開口部１４１からチャンバー１１０の内部ＩＮに導入した空気の流れを、当該空気流路１４２ｂを介してチャンバー１１０の内面に沿う流れにかえる。
　排気装置１４３は、チャンバー１１０の内部ＩＮの空気を排気する装置である。ここでは、排気装置１４３は、例えば、吸入開口部１４１からチャンバー１１０の内部ＩＮに導入した空気を排気する。排気装置１４３は、典型的には、チャンバー１１０の内部ＩＮの空気と共に当該空気中に飛散した活物質３２Ａの微小粒子もチャンバー１１０の外部ＯＵに排気する。
　具体的には、排気装置１４３は、吸引口部１４３ａ、排気配管１４３ｂ、フィルタ装置１４３ｃ、及び、吸引源１４３ｄを有する。
　吸引口部１４３ａは、チャンバー１１０の内部ＩＮに設けられ、当該チャンバー１１０の内部ＩＮの空気を吸引するための開口部である。吸引口部１４３ａは、空気と共に当該空気中の活物質３２Ａの微小粒子を吸い込み易いように、広がった吸い込み口形状となっている。そして、本実施形態の吸引口部１４３ａは、活物質供給装置１２０からロールプレス１３０への集電体３１Ａの搬送方向Ｄ１に対して当該ロールプレス１３０の下流側に位置する。ここでは、吸引口部１４３ａは、ロールプレス１３０の下流側において、当該ロールプレス１３０によって活物質３２Ａが定着された後、搬送方向Ｄ１に沿って搬送される集電体３１Ａの３方を囲うように３つ設けられる。ここでは、吸引口部１４３ａは、集電体３１Ａに定着された活物質３２Ａに対向して１つ、搬送方向Ｄ１の側方にそれぞれ１つずつ、合計３つが設けられる。
　排気配管１４３ｂは、チャンバー１１０の内部ＩＮで吸引口部１４３ａから吸引された空気、及び、活物質３２Ａの微小粒子を、チャンバー１１０の外部ＯＵに排気するための排気流路を構成する配管である。排気配管１４３ｂは、チャンバー１１０の内部ＩＮと外部ＯＵとに渡って設けられる。排気配管１４３ｂは、一端側がチャンバー１１０の内部ＩＮにおいて吸引口部１４３ａに接続されており、他端側がチャンバー１１０から導出され外部ＯＵに至る。排気配管１４３ｂは、複数の吸引口部１４３ａに対してそれぞれ接続されており、途中で合流している。
　フィルタ装置１４３ｃは、チャンバー１１０の内部ＩＮで吸引口部１４３ａから吸引された空気を外部ＯＵに排気する際に、空気から活物質３２Ａの微小粒子を除去する装置である。フィルタ装置１４３ｃは、チャンバー１１０の外部ＯＵにおいて、排気配管１４３ｂ上に設けられる。
　吸引源１４３ｄは、吸引口部１４３ａから空気を吸引するための源となる装置である。吸引源１４３ｄは、チャンバー１１０の外部ＯＵにおいて、排気配管１４３ｂ上で、かつ、フィルタ装置１４３ｃより排気方向下流側に設けられる。吸引源１４３ｄは、例えば、吸引ポンプ等によって構成される。ここでは、吸引源１４３ｄは、例えば、チャンバー１１０の内部ＩＮを減圧する減圧ポンプとは別体で設けられる。吸引源１４３ｄは、典型的には、チャンバー１１０の内部ＩＮを大気圧よりも減圧するために要する負圧よりも大きな負圧で吸引する。
　上記のように構成される排気装置１４３は、吸引源１４３ｄが駆動することで、吸引口部１４３ａからチャンバー１１０の内部ＩＮの空気を吸引する。このとき、排気装置１４３は、電極３０の製造の際に当該空気中に飛散した活物質３２Ａの微小粒子も空気と共に吸引口部１４３ａから吸引する。そして、排気装置１４３は、吸引口部１４３ａから吸引した空気、及び、活物質３２Ａの微小粒子を排気配管１４３ｂ介してチャンバー１１０の外部ＯＵに導出し、フィルタ装置１４３ｃで活物質３２Ａの微小粒子を除去した後、外部ＯＵに排気する。
＜吸引ステージ＞
　ここで、本実施形態に係る製造装置１００は、図２、図３、図４、図５に示すように、さらに、吸引ステージ１５０を備える。吸引ステージ１５０は、チャンバー１１０の内部ＩＮに設けられ、集電体３１Ａの搬送を補助する装置である。吸引ステージ１５０は、電極形成部１００Ａに向けて搬送される集電体３１Ａを載置し当該集電体３１Ａを吸引して姿勢を保持する。
　具体的には、吸引ステージ１５０は、多数の吸引孔１５１ａが形成された定盤（水平台）１５１の上面１５１ｂに集電体３１Ａを載置する。定盤１５１は、内部が空洞状に形成されると共に、上面１５１ｂが集電体３１Ａを沿わすための平面状に形成されている。多数の吸引孔１５１ａは、この定盤１５１の上面１５１ｂに形成されており、定盤１５１の内部と連通している。定盤１５１は、吸引配管１５２を介して吸引源１４３ｄと接続されており、吸引源１４３ｄが駆動することで内部が負圧とされる。定盤１５１は、内部が負圧とされることで、多数の吸引孔１５１ａを介して、上面１５１ｂに載置した集電体３１Ａを当該上面１５１ｂ側に吸引して姿勢を保持する。
　この構成により、製造装置１００は、電極形成部１００Ａに向けて搬送している集電体３１Ａを、吸引ステージ１５０によって吸引して姿勢を保持することができる。そして、製造装置１００は、吸引ステージ１５０によって集電体３１Ａの姿勢を適正に保持した状態で、電極形成部１００Ａにおいて活物質供給装置１２０から集電体３１Ａ上に粉体状の活物質３２Ａを供給することができる。このため、製造装置１００は、図５に示すように、設計的に予め決められた所望厚さＴの活物質３２Ａを精度よく集電体３１Ａ上に載置することができ、この結果、所望の性能の電極３０を精度よく形成することができる。
　そして、本実施形態では、排気装置１４３と吸引ステージ１５０とは、吸引源１４３ｄが兼用される。つまりここでは、吸引配管１５２は、排気配管１４３ｂと合流し、当該排気配管１４３ｂを介して吸引源１４３ｄと接続される。吸引配管１５２は、フィルタ装置１４３ｃの排気方向上流側で排気配管１４３ｂと合流している。
　なお、上述した定盤１５１の上面１５１ｂは、図４に示すように、搬送方向Ｄ１の上流側の端部が所定の曲面を有する傾斜面１５１Ｒとして形成されている。この構成により、吸引ステージ１５０は、当該傾斜面１５１Ｒが、搬送方向Ｄ１の上流側から搬送されてくる集電体３１Ａの拾い面として機能することで、当該集電体３１Ａを滑らかに上面１５１ｂに載置した状態とすることができる。
＜電極の製造方法＞
　次に、図６のフローチャートを参照して電極３０の製造方法（電池用電極製造方法）について説明する。以下で説明する電極３０の製造方法は、製造装置１００によって行われるものとして説明する。この電極３０の製造方法は、チャンバー内清浄方法を含むものであり、より具体的には、空気導入工程（ステップＳ１）、空気規制工程（ステップＳ２）、電極形成工程（ステップＳ３）、及び、空気排気工程（ステップＳ４）を含む。なお、ここでは、説明を分かり易くするため、各工程を順を追って説明するが、実際にはこれらの各工程が相互に並行して継続して行われている。
　製造装置１００は、空気導入工程として、チャンバー１１０の外部ＯＵから内部ＩＮに吸入開口部１４１を介して空気を導入する（ステップＳ１）。ここでは、製造装置１００は、大気圧よりも減圧されたチャンバー１１０の内部ＩＮの負圧を利用して、搬入開口部１１２によって兼用される吸入開口部１４１を介して当該チャンバー１１０の内部ＩＮに空気を吸入する。
　そして、製造装置１００は、空気規制工程として、チャンバー１１０の内部ＩＮで、吸入開口部１４１側から電極形成部１００Ａ側への空気の流れを規制する（ステップＳ２）。ここでは、製造装置１００は、規制部材１４２によって吸入開口部１４１側から電極形成部１００Ａ側への空気の流れを規制した上で、当該空気の流れを、当該空気流路１４２ｂを介してチャンバー１１０の内面に沿う流れにかえる。
　この間、製造装置１００は、電極形成工程として、チャンバー１１０の内部ＩＮで、電極形成部１００Ａにおいて電極３０を形成する（ステップＳ３）。ここでは、製造装置１００は、シャッタユニット１２０ｂによって、集電体３１Ａに所望量の活物質３２Ａを供給し、ロールプレス１３０によって当該活物質３２Ａを集電体３１Ａ上に定着させて電極３０を形成する。製造装置１００は、搬入開口部１１２からチャンバー１１０の内部ＩＮに搬入された集電体３１Ａに対して上記処理を行っていき、順次、電極３０を形成していく。
　そして、製造装置１００は、空気排気工程として、チャンバー１１０の内部ＩＮの空気を排気装置１４３によって排気する（ステップＳ４）。典型的には、排気装置１４３は、吸入開口部１４１からチャンバー１１０の内部ＩＮに導入した空気を排気する。このとき、製造装置１００は、電極形成工程（ステップＳ３）等で空気中に飛散した活物質３２Ａの微小粒子も空気と共にチャンバー１１０の内部ＩＮから外部ＯＵに吸引し、活物質３２Ａの微小粒子を除去した後の空気を外部ＯＵに排気する。
＜実施形態の作用効果＞
　以上で説明した製造装置１００、チャンバー内清浄構造１４０、製造方法、及び、チャンバー内清浄方法は、吸入開口部１４１を介してチャンバー１１０の内部ＩＮに吸入した空気を利用してチャンバー１１０の内部ＩＮを清浄することができる。
　すなわち、製造装置１００は、大気圧よりも減圧されたチャンバー１１０の内部ＩＮの負圧を利用して吸入開口部１４１を介して内部ＩＮに空気を吸入することができる。このとき、製造装置１００は、吸入開口部１４１から直接的に電極形成部１００Ａ側へ向かう空気の流れを規制部材１４２によって規制することができる。これにより、製造装置１００は、内部ＩＮに吸入した空気が電極形成部１００Ａにあたることで活物質３２Ａを飛散させること自体を抑制することができる。
　その上で、製造装置１００は、電極形成部１００Ａで集電体３１Ａ上に粉体状の活物質３２Ａを供給して電極３０を形成する際に空気中に飛散した活物質３２Ａの微小粒子を、排気装置１４３によって空気と共にチャンバー１１０の内部ＩＮから排気し外部ＯＵに除去することができる。
　このように、製造装置１００は、チャンバー１１０の内部ＩＮで電極３０を形成する際に活物質３２Ａの微小粒子が空気中に飛散し内部ＩＮの空間を汚染しても、当該チャンバー１１０の内部ＩＮの清浄度を適正に確保することができる。この結果、製造装置１００、チャンバー内清浄構造１４０、製造方法、及び、チャンバー内清浄方法は、清浄度を適正に確保した環境下で電極３０を製造することができ、例えば、所望の性能の電極３０を精度よく製造することができる。
　また、以上で説明した製造装置１００、チャンバー内清浄構造１４０、製造方法、及び、チャンバー内清浄方法は、チャンバー１１０の内部ＩＮに集電体３１Ａを搬入するための搬入開口部１１２によって吸入開口部１４１を兼用することができる。この構成により、製造装置１００は、吸入開口部１４１を別個で設ける必要がないので、例えば、製造コストを抑制することができる。そして、製造装置１００は、規制部材１４２が吸入開口部１４１と対向する位置に設けられた上で、当該規制部材１４２に集電体３１Ａが通過可能な貫通部１４２ａを有する。この構成により、製造装置１００は、規制部材１４２において、吸入開口部１４１側から電極形成部１００Ａ側への空気の流れを規制しつつ、吸入開口部１４１として兼用されている搬入開口部１１２からチャンバー１１０の内部ＩＮに搬入された集電体３１Ａを、貫通部１４２ａを介して電極形成部１００Ａ側に搬送することを許容することができる。この結果、製造装置１００、チャンバー内清浄構造１４０、製造方法、及び、チャンバー内清浄方法は、吸入開口部１４１として兼用する搬入開口部１１２から効果的に空気を取り込み内部ＩＮを清浄しつつ、これらを兼用することによって生じ得る背反を解消することができる。
　さらに、以上で説明した製造装置１００、チャンバー内清浄構造１４０、製造方法、及び、チャンバー内清浄方法は、吸入開口部１４１からチャンバー１１０の内部ＩＮに導入した空気の流れを、規制部材１４２によって、当該チャンバー１１０の内面に沿う流れにかえる。この構成により、製造装置１００は、チャンバー１１０の内面に沿う空気の流れによって、活物質３２Ａの微小粒子が付着し易い当該チャンバー１１０の内面を清掃することができると共に、内部ＩＮの空間全域に空気の流れを行き渡らせ易くすることができる。この結果、製造装置１００、チャンバー内清浄構造１４０、製造方法、及び、チャンバー内清浄方法は、チャンバー１１０の内部ＩＮに導入した空気によって、当該内部ＩＮの空間全域をより効果的に清浄することができる。
　また、以上で説明した製造装置１００、チャンバー内清浄構造１４０、製造方法、及び、チャンバー内清浄方法は、集電体３１Ａの搬送方向Ｄ１に対してロールプレス１３０の下流側に排気装置１４３の吸引口部１４３ａが位置する。この配置により、製造装置１００は、チャンバー１１０の内部ＩＮにおいて、活物質３２Ａの微小粒子が最も飛散し易い電極形成部１００Ａの後工程で、微小粒子と共に集電体３１Ａに定着していない活物質３２Ａも吸引し除去することができる。この結果、製造装置１００、チャンバー内清浄構造１４０、製造方法、及び、チャンバー内清浄方法は、清浄度をより適正に確保した環境下で電極３０を製造することができ、例えば、所望の性能の電極３０をより精度よく製造することができる。
　ここでは、以上で説明した製造装置１００、チャンバー内清浄構造１４０、製造方法、及び、チャンバー内清浄方法は、吸引ステージ１５０を備えた上で、排気装置１４３と吸引ステージ１５０とによって吸引源１４３ｄが兼用される。この構成により、製造装置１００、チャンバー内清浄構造１４０、製造方法、及び、チャンバー内清浄方法は、活物質３２Ａを精度よく集電体３１Ａ上に載置し所望の性能の電極３０を精度よく形成した上で、チャンバー１１０の内部ＩＮの清浄度を適正に確保するための構成の一部を吸引ステージ１５０と兼用して構成することができる。
＜変形例＞
　なお、上述した本発明の実施形態に係る電池用電極製造装置、チャンバー内清浄構造、電池用電極製造方法、及び、チャンバー内清浄方法は、上述した実施形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された範囲で種々の変更が可能である。
　以上の説明では、電極形成部１００Ａは、基材フィルムとしての集電体３１Ａの一方の面に直接、粉体状の活物質３２Ａを供給して電極３０を形成するものとして説明したがこれに限らない。例えば、電極形成部１００Ａは、集電体３１Ａとは異なる基材フィルムである転写用フィルムに、一旦、活物質３２Ａを供給して定着させた後に、当該転写用フィルムに粉成型された活物質３２Ａを、集電体３１Ａの一方の面に転写し定着させることで電極３０を形成してもよい。この場合、電極形成部１００Ａは、転写用フィルムから集電体３１Ａに活物質３２Ａを転写するための転写部を含んで構成されてもよい。また、基材フィルムは、セパレータ４０であってもよい。つまり、基材フィルムは、集電体３１Ａ、セパレータ４０、又は、転写用フィルムを用いることができる。基材フィルムが例えば転写用フィルムである場合は、上述のように当該フィルム上に形成された活物質層（電極組成物層）を集電体上に、例えば転写することで、リチウムイオン電池用電極を得ることができる。
　以上の説明では、枠体５０は、チャンバー１１０の内部ＩＮで集電体３１Ａに設けられるものとして説明したがこれに限らず、外部ＯＵで設けられる構成であってもよい。枠体５０は、例えば、外部ＯＵにおいて、枠体設置装置等によって、搬入開口部１１２の前段で集電体３１Ａに設けられてもよい。この場合、帯状の集電体３１Ａは、搬入開口部１１２の手前で枠体５０が取り付けられた状態で搬入開口部１１２から内部ＩＮに搬入される。またこの場合、吸入開口部１４１として兼用される搬入開口部１１２は、チャンバー１１０の内部ＩＮの減圧環境を維持した状態で、集電体３１Ａと共に枠体５０も一緒に外部ＯＵから内部ＩＮに搬入可能な大きさ、形状に形成されればよい。同様に、貫通部１４２ａは、集電体３１Ａと共に枠体５０も一緒に通過可能な大きさ、形状に形成されればよい。また、枠体５０は、例えば、枠体設置装置等によって、ロールプレス１３０の後段であってチャンバー１１０の外部ＯＵで集電体３１Ａに設けられてもよい。また、本実施形態に係る電池用電極製造装置、チャンバー内清浄構造、電池用電極製造方法、又は、チャンバー内清浄方法は、枠体設置装置又は枠体設置工程を含まなくてもよい。例えば、集電体３１Ａに代えて転写用フィルムが用いられる場合には、転写用フィルム上に電極組成物層（電極活物質層３２）が形成された後（つまり、電極形成工程を終了した後）、当該電極組成物層が転写された集電体３１Ａ上に、又は、当該電極組成物層が転写される前の集電体３１Ａ上に、枠体５０が配置されてもよい。
　また、以上の説明では、帯状の集電体３１Ａは、例えば、チャンバー１１０の外部ＯＵの常圧下に設けられた集電体ロール３１Ｒから引き出されながら搬入開口部１１２を介して内部ＩＮに搬入されるものとして説明したがこれに限らず、チャンバー１１０の内部ＩＮの減圧下に設けられた集電体ロール３１Ｒから引き出されるものであってもよい。また、活物質供給装置１２０も、その全体がチャンバー１１０の内部ＩＮに設けられていてもよい。
　また、以上の説明では、吸入開口部１４１は、搬入開口部１１２によって兼用されるものとして説明したがこれに限らず、搬入開口部１１２とは別個に設けられてもよい。
　また、以上の説明では、規制部材１４２は、貫通部１４２ａを有すると共に当該吸入開口部１４１からチャンバー１１０の内部ＩＮに導入した空気の流れを当該チャンバー１１０の内面に沿う流れにかえるものとして説明したがこれに限らない。
　また、以上の説明では、吸引口部１４３ａは、搬送方向Ｄ１に対してロールプレス１３０の下流側に位置するものとして説明したがこれに限らず、他の位置に設けられていてもよい。
　また、以上の説明では、排気装置１４３の吸引源１４３ｄは、チャンバー１１０の内部ＩＮを減圧する減圧ポンプとは別体で設けられるものとして説明したがこれに限らず、両者が兼用されてもよい。すなわち、排気装置１４３は、例えば、チャンバー１１０の内部ＩＮを減圧する減圧ポンプであってもよい（すなわち減圧ポンプと兼用されてもよい）し、減圧ポンプとは別体の吸引源を有する排気装置であってもよい。また、製造装置１００は、吸引ステージ１５０を備えた上で、排気装置１４３と吸引ステージ１５０とによって吸引源１４３ｄが兼用されるものとして説明したがこれに限らない。製造装置１００は、吸引ステージ１５０を備えていたとしても、排気装置１４３と吸引ステージ１５０とによって吸引源１４３ｄが兼用されなくてもよい。例えば、製造装置１００は、上記のように排気装置１４３の吸引源がチャンバー１１０の内部ＩＮを減圧する減圧ポンプと兼用される場合には、当該排気装置の吸引源と、吸引ステージ１５０の吸引源１４３ｄとは別体に設けられてもよい。また、製造装置１００は、そもそも吸引ステージ１５０を備えなくてもよい。
　本実施形態に係る電池用電極製造装置、チャンバー内清浄構造、電池用電極製造方法、及び、チャンバー内清浄方法は、以上で説明した実施形態、変形例の構成要素を適宜組み合わせることで構成してもよい。

Claims (8)

  1. 　内部が大気圧よりも減圧されたチャンバーと、
    　前記チャンバーの内部に設けられ、基材フィルム上に粉体状の活物質を供給して電極を形成する電極形成部と、
    　前記チャンバーの外部から内部に空気を導入可能である吸入開口部と、
    　前記チャンバーの内部に設けられ、前記吸入開口部側から前記電極形成部側への空気の流れを規制する規制部材と、
    　前記チャンバーの内部の空気を排気する排気装置とを備える、
    　電池用電極製造装置。
  2. 　前記吸入開口部は、前記チャンバーの外部から内部に前記基材フィルムを搬入可能な搬入開口部によって兼用され、
    　前記規制部材は、前記チャンバーの内部において、前記搬入開口部によって兼用される前記吸入開口部と前記電極形成部との間で、かつ、前記吸入開口部と対向する位置に設けられ、前記基材フィルムが通過可能な貫通部を有する、
    　請求項１に記載の電池用電極製造装置。
  3. 　前記規制部材は、前記吸入開口部から前記チャンバーの内部に導入した空気の流れを当該チャンバーの内面に沿う流れにかえる、
    　請求項１又は請求項２に記載の電池用電極製造装置。
  4. 　前記電極形成部は、前記基材フィルム上に前記活物質を供給する活物質供給装置、及び、前記活物質供給装置によって前記基材フィルム上に供給した前記活物質を当該基材フィルムに定着させるロールプレスによって構成され、
    　前記排気装置は、前記チャンバーの内部に設けられ、前記活物質供給装置から前記ロールプレスへの前記基材フィルムの搬送方向に対して当該ロールプレスの下流側に位置する吸引口部を有する、
    　請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の電池用電極製造装置。
  5. 　前記チャンバーの内部に設けられ、前記電極形成部に向けて搬送される前記基材フィルムを載置し当該基材フィルムを吸引して姿勢を保持する吸引ステージを備え、
    　前記排気装置と前記吸引ステージとは、吸引源が兼用される、
    　請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の電池用電極製造装置。
  6. 　内部が大気圧よりも減圧され、基材フィルム上に粉体状の活物質を供給して電極を形成する電極形成部を内部に収容するチャンバーに設けられ、当該チャンバーの外部から内部に空気を導入可能である吸入開口部と、
    　前記チャンバーの内部に設けられ、前記吸入開口部側から前記電極形成部側への空気の流れを規制する規制部材と、
    　前記チャンバーの内部の空気を排気する排気装置とを備える、
    　チャンバー内清浄構造。
  7. 　内部が大気圧よりも減圧され、基材フィルム上に粉体状の活物質を供給して電極を形成する電極形成部を内部に収容するチャンバーの外部から内部に吸入開口部を介して空気を導入する空気導入工程と、
    　前記チャンバーの内部で、前記吸入開口部側から前記電極形成部側への空気の流れを規制する空気規制工程と、
    　前記チャンバーの内部で、前記電極形成部において前記電極を形成する電極形成工程と、
    　前記チャンバーの内部の空気を排気する空気排気工程とを含む、
    　電池用電極製造方法。
  8. 　内部が大気圧よりも減圧され、基材フィルム上に粉体状の活物質を供給して電極を形成する電極形成部を内部に収容するチャンバーの外部から内部に吸入開口部を介して空気を導入する空気導入工程と、
    　前記チャンバーの内部で、前記吸入開口部側から前記電極形成部側への空気の流れを規制する空気規制工程と、
    　前記チャンバーの内部の空気を排気する空気排気工程とを含む、
    　チャンバー内清浄方法。
PCT/JP2022/016227 2021-03-31 2022-03-30 電池用電極製造装置、チャンバー内清浄構造、電池用電極製造方法、及び、チャンバー内清浄方法 WO2022210951A1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021-059679 2021-03-31
JP2021059679A JP2022156137A (ja) 2021-03-31 2021-03-31 電池用電極製造装置、チャンバー内清浄構造、電池用電極製造方法、及び、チャンバー内清浄方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2022210951A1 true WO2022210951A1 (ja) 2022-10-06

Family

ID=83459571

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2022/016227 WO2022210951A1 (ja) 2021-03-31 2022-03-30 電池用電極製造装置、チャンバー内清浄構造、電池用電極製造方法、及び、チャンバー内清浄方法

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2022156137A (ja)
WO (1) WO2022210951A1 (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09286551A (ja) * 1996-04-22 1997-11-04 Shin Kobe Electric Mach Co Ltd 極板の吸着搬送・集積方法及び装置
JP2002184708A (ja) * 2000-09-14 2002-06-28 Nec Kyushu Ltd 清掃装置および清掃方法と清浄度診断方法および診断装置ならびにこれら装置を用いた半導体製造装置
JP2015146247A (ja) * 2014-02-03 2015-08-13 日本ゼオン株式会社 リチウムイオン電池用電極の製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09286551A (ja) * 1996-04-22 1997-11-04 Shin Kobe Electric Mach Co Ltd 極板の吸着搬送・集積方法及び装置
JP2002184708A (ja) * 2000-09-14 2002-06-28 Nec Kyushu Ltd 清掃装置および清掃方法と清浄度診断方法および診断装置ならびにこれら装置を用いた半導体製造装置
JP2015146247A (ja) * 2014-02-03 2015-08-13 日本ゼオン株式会社 リチウムイオン電池用電極の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022156137A (ja) 2022-10-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101564537B1 (ko) 전기 디바이스의 세퍼레이터 절단 장치 및 그 절단 방법
TW201434652A (zh) 電器、電器之分隔件接合裝置及其之接合方法
WO2022210951A1 (ja) 電池用電極製造装置、チャンバー内清浄構造、電池用電極製造方法、及び、チャンバー内清浄方法
WO2022270568A1 (ja) 電池用電極製造装置、及び、クリーンルーム構造
WO2022211073A1 (ja) 活物質処理装置、電池用電極製造装置、活物質処理方法、及び、電池用電極製造方法
JP2022156105A (ja) 活物質処理装置、電池用電極製造装置、活物質処理方法、及び、電池用電極製造方法
WO2023167339A1 (ja) 電池用電極製造装置及び電池用電極製造方法
WO2022210952A1 (ja) 電池用電極製造装置および電池用電極製造装置内作業機構の位置検出方法
WO2022210966A1 (ja) 電池用電極製造装置
WO2023190940A1 (ja) 電池用電極製造装置及び電池用電極製造方法
JP2023003091A (ja) 電池用電極製造方法および電池用電極製造装置
JP2017142939A (ja) 電極積層装置及び電極積層方法
WO2022211102A1 (ja) 活物質供給装置、電池用電極の製造装置
WO2023157931A1 (ja) 電池用電極製造装置及び電池用電極製造方法
WO2023100840A1 (ja) 電池用電極製造装置及び電池用電極製造方法
JP2023053789A (ja) 電池用電極製造装置及び電池用電極製造方法
WO2023171772A1 (ja) 電池用電極製造装置及び電池用電極製造方法
JP2023053788A (ja) 電池用電極製造装置及び電池用電極製造方法
JP2023096326A (ja) 電池用電極製造装置及び電池用電極製造方法
JP2023051223A (ja) 電池用電極製造装置及び電池用電極製造方法
JP2023003069A (ja) 電池用電極製造装置及び電池用電極製造方法
JP2020053112A (ja) 電極製造装置
JP2023119212A (ja) 電池用電極製造装置及び電池用電極製造方法
JP2023150229A (ja) 電池用電極製造装置及び電池用電極製造方法
JP2023003092A (ja) 電池用電極製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 22781161

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 22781161

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1