WO2022180943A1 - テープ貼付システム - Google Patents

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WO2022180943A1
WO2022180943A1 PCT/JP2021/041647 JP2021041647W WO2022180943A1 WO 2022180943 A1 WO2022180943 A1 WO 2022180943A1 JP 2021041647 W JP2021041647 W JP 2021041647W WO 2022180943 A1 WO2022180943 A1 WO 2022180943A1
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tape
dicing
magazine
stocker
dicing tape
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PCT/JP2021/041647
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French (fr)
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清貴 木▲崎▼
雅喜 金澤
仁 青木
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株式会社東京精密
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Publication date
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Priority to US18/277,970 priority patent/US20240124258A1/en
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Definitions

  • the present invention relates to a dicing tape sticking system.
  • Patent Literature 1 describes that an expanding tape E is attached to a wafer W adsorbed and fixed to a table 211 by pressure of an attaching roller.
  • symbol is a thing of patent document 1.
  • a tape splicing apparatus is a tape joining system, comprising: a plurality of tape splicing systems each accommodating a dicing tape wound in a roll shape with a part of the dicing tape pulled out; It comprises a stocker for storing a tape magazine and a regulating part for regulating a draw-out area from which a part of the dicing tape is drawn out to a predetermined trajectory, the tape magazine is replaceable, and the dicing tape is attached to the dicing frame and the workpiece. and a delivery device for delivering the tape magazine between the stocker and the sticking device.
  • the regulation section By restricting the drawing area of the dicing tape to a predetermined trajectory, switching and replacement of the dicing tape can be automatically performed.
  • the present invention can automatically switch and replace the dicing tape.
  • FIG. 1 is a perspective view showing the configuration of a tape applying system according to one embodiment of the present invention
  • FIG. FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of a tape sticking system
  • FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of a tape magazine;
  • FIG. 2 is a block diagram showing the main configuration of the tape sticking system;
  • FIG. 4 is a schematic diagram showing a procedure for automatically setting a dicing tape;
  • FIG. 4 is a schematic diagram showing a procedure for attaching a dicing tape to a workpiece and a dicing frame;
  • drawings may exaggerate by enlarging and exaggerating characteristic parts in order to make the features easier to understand, and the dimensional ratios, etc. of the constituent elements may not necessarily be the same as the actual ones.
  • the tape application system 1 applies a dicing tape DT to a work W and a dicing frame DF.
  • the work W is, for example, a semiconductor substrate such as a silicon wafer, but is not limited to this.
  • the dicing tape DT is an ultraviolet curing tape or the like.
  • the tape applying system 1 includes a conveying device 2 and a applying device 3.
  • the transport device 2 includes an inner peripheral table 21 that holds the workpiece W, and an outer peripheral table 22 that holds the dicing frame DF.
  • An adsorbent (not shown) made of a porous material having countless pores is embedded in the surface of the inner peripheral table 21 .
  • the pore roughness of the adsorbent is, for example, #400 or #800.
  • the inner peripheral table 21 is switchably connected to a vacuum source and a compressed air source (not shown).
  • a vacuum source When the vacuum source is activated, a negative pressure is supplied between the work W placed on the inner peripheral table 21 and the upper surface (attraction surface) of the attracting body, and the work W is attracted and held on the attracting surface.
  • compressed air release air
  • compressed air release air
  • the inner peripheral side table 21 and the outer peripheral side table 22 are placed on the slider 23 and configured to be slidable in the transport direction D1.
  • the sticking device 3 includes a base 31 on which the tape magazine 4 can be replaced, and movable guide rollers 32a and 32b erected from the sides of the base 31 to regulate the trajectory of the dicing tape DT. , fixed guide rollers 33a and 33b erected from the side surface of the base 31 for regulating the trajectory of the dicing tape DT; a pressing roller 34 which moves up and down to adhere the tape body B to the workpiece W; a regulating knife plate 35;
  • the tape magazine 4 accommodates the dicing tape DT in a state in which a portion of the dicing tape DT wound in a roll shape is pulled out, and a first transport robot 6 and a second transport robot 6, which will be described later. It is a device modularized so that it can be transported by the transport robot 7 of .
  • the dicing tapes DT accommodated in each tape magazine 4 may be of the same type or different types.
  • the range where a part of the dicing tape DT is pulled out is referred to as a "pull-out area R".
  • the tape magazine 4 includes a delivery shaft 41 that supports the roll-shaped dicing tape DT so that it can be delivered, a take-up shaft 42 that takes up the separator S of the dicing tape DT and applies a delivery force to the dicing tape DT, and the dicing tape DT. and fixed guide rollers 43a to 43b that regulate the trajectory of the dicing tape DT so as to exert tension on the dicing tape DT and pull out a part of the dicing tape DT.
  • the delivery shaft 41 is provided with a rotation speed sensor for calculating the remaining amount of the dicing tape DT from the number of revolutions of the delivery shaft 41, a metal detection sensor for detecting the delivery shaft 41 when the dicing tape DT is running low, or the like. , it is possible to detect that the remaining amount of the dicing tape DT is low.
  • the feeding shaft 41 and the winding shaft 42 are erected from the side surface of the base 44, and the fixed guide rollers 43a and 43b are supported by the base 44 and the support plate 45 at both ends.
  • a sucked portion 46 that can be sucked by a first transfer robot 6 and a second transfer robot 7, which will be described later, is provided.
  • the base 44 and the base portion 31 are configured to be detachable by a locking mechanism or the like (not shown).
  • a notch 47 is provided in a part of the base 44, specifically, between the delivery shaft 41 and the winding shaft 42 and the fixed guide roller 43a when viewed from the side.
  • the notch 47 is sized to accommodate the movable guide rollers 32a and 32b, the fixed guide rollers 33a and 33b, and the knife plate 35. As shown in FIG.
  • the tape applying system 1 includes a stocker 5 that stores a plurality of tape magazines 4, and a first transfer robot as a transfer device that transfers the tape magazines 4 between the applying device 3 and the stocker 5. 6 and .
  • the first transport robot 6 has a suction portion 61 capable of holding the suction portion 46 of the tape magazine 4 by suction.
  • reference numeral 4A when distinguishing between the tape magazine 4 attached to the sticking device 3 and the tape magazine 4 stored in the stocker 5, the former is denoted by reference numeral 4A and the latter is denoted by reference numeral 4B. distinguish.
  • the stocker 5 mounts a plurality of tape magazines 4B on a pallet 51 shown in FIG. 3 shows a configuration for holding the tape magazine 4B conveyed to a predetermined take-out position 52 and conveying it to the pasting device 3. As shown in FIG.
  • the tape application system 1 also includes a second transport robot 7 as a replacement device.
  • the second transport robot 7 includes a suction portion 71 capable of suction-holding the tape magazine 4B in the stocker 5 or the suction portion 46 of the external tape magazine 4 .
  • the external tape magazine is denoted by reference numeral 4C.
  • the stocker 5 loads a plurality of tape magazines 4B on a pallet 51 configured to be movable inside the stocker 5, and the second transport robot 7 transports the tape magazines 4B to a predetermined replacement position 53 of the stocker 5.
  • a configuration is shown in which the external tape magazine 4C is transported to the replacement position 53 after the tape magazine 4B is held and ejected.
  • the external tape magazine 4C may be stored in an external rack or the like, or may be transported by a transport device or the like as necessary.
  • the stocker 5 stores a tape magazine 4B containing dicing tapes DT that are used frequently, and the external rack or the like stores a tape magazine 4C containing dicing tapes DT that are used less frequently. , the frequency of tape replacement can be reduced.
  • the external tape magazine 4C may be shared by a plurality of tape applying systems 1.
  • the operation of the tape application system 1 is controlled via a controller 8 as a control device.
  • the controller 8 controls each component constituting the tape applying system 1 .
  • the controller 8 is, for example, a computer, and is composed of a CPU, a memory, and the like.
  • the functions of the controller 8 may be realized by controlling using software, or may be realized by operating using hardware.
  • the controller 8 includes an input device 81 and a storage device 82.
  • the input device 81 is a device for calling a desired dicing tape DT by inputting processing conditions for the workpiece W, and is, for example, a touch panel.
  • the storage device 82 stores processing conditions for a plurality of workpieces W and type information of the dicing tape DT corresponding to each processing condition in association with each other.
  • the storage device 82 also stores, for each tape magazine 4, type information of the dicing tapes DT accommodated in the tape magazine 4, position information of the tape magazine 4B in the stocker 5 (a number that can identify each pallet 51, etc.), and external position information of an external tape magazine 4C stored in a rack or the like.
  • the position information of the tape magazine 4 is updated each time the tape magazine 4 is replaced or replaced.
  • the dicing frame DF is transferred onto the outer peripheral side table 22 by a transfer hand or the like (not shown).
  • the work W is transferred onto the inner peripheral side table 21 by a transfer hand or the like (not shown). After that, when a negative pressure is supplied between the workpiece W and the adsorption surface from the compressed air source, the workpiece W is adsorbed to the inner peripheral side table 21 .
  • the upper surface of the workpiece W and the upper surface of the dicing frame DF are set substantially flush.
  • the tape magazine 4A is attached to the pasting device 3 before, after, or in parallel with the transport of the work.
  • the controller 8 stores the type information of the dicing tape DT suitable for the processing conditions for the work W in the storage device 82. call from
  • the controller 8 determines whether or not the dicing tape DT needs to be switched. The controller 8 also determines whether or not the dicing tape DT needs to be replaced based on the remaining amount of the dicing tape DT in the tape magazine 4A.
  • the controller 8 retrieves from the storage device 82 the position information in the stocker 5 for the tape magazine 4B containing the dicing tape DT. , to move the pallet 51 storing the called tape magazine 4B to the take-out position 52.
  • the first transport robot 6 bends and stretches its arm to the vicinity of the tape magazine 4B transported to the take-out position 52, and the suction part 61 sucks and holds the suctioned part 46.
  • the first transport robot 6 bends and stretches the tape magazine 4B to the vicinity of the base 31, and the base 44 is attached to the base 31.
  • the movable guide rollers 32a and 32b, the fixed guide rollers 33a and 33b, and the knife plate 35 are arranged in the notch 47 as shown in FIG. 6(a).
  • the movable guide roller 32a and the fixed guide roller 33a are arranged opposite to each other with the dicing tape DT interposed therebetween, and the movable guide roller 32b and the fixed guide roller 33b are arranged opposite to each other with the dicing tape DT interposed therebetween.
  • the movable guide roller 32a moves closer to the fixed guide roller 33a to let out the dicing tape DT upward, so that the movable guide roller 32a and the fixed guide roller 33a
  • the trajectory of the dicing tape DT in the drawing area R is regulated by sandwiching the dicing tape DT.
  • the movable guide roller 32b moves closer to the fixed guide roller 33b to let out the dicing tape DT downward, so that the movable guide roller 32b and the fixed guide roller 33b
  • the pulling trajectory of the dicing tape DT in the pull-out region R is regulated by sandwiching the dicing tape DT.
  • the knife plate 35 moves closer to the pressing roller 34 to let out the dicing tape DT downward, and the trajectory of the dicing tape DT in the pull-out region R is moved by the pressing roller. 34 is regulated.
  • the movable guide rollers 32a and 32b, the fixed guide rollers 33a and 33b and the knife plate 35 are removed from the dicing tape.
  • the dicing tape DT is moved away from the DT, and the trajectory of the dicing tape DT is regulated by the delivery shaft 41, the take-up shaft 42, and the fixed guide roller 43a.
  • the first transport robot 6 bends and extends its arm to the vicinity of the tape magazine 4A attached to the pasting device 3, and the suction section 61 holds the suction section 46 by suction.
  • Base 44 is then removed from base 31 .
  • the first transport robot 6 bends and stretches the tape magazine 4A to the vicinity of the pick-up position 52 of the stocker 5, places the tape magazine 4A on the pallet 51, and delivers the tape magazine 4A to the stocker 5.
  • the stocker 5 and the first transfer robot 6 may cooperate to supply the tape magazine 4B containing the dicing tape DT selected according to the type of the work W to the bonding device 3. Any configuration is acceptable.
  • a plurality of tape magazines 4B are arranged at predetermined positions in the stocker 5, and the first transport robot 6 bends and extends its arm to the vicinity of a desired tape magazine 4B in the stocker 5 to The magazine 4 ⁇ /b>B may be held and conveyed to the sticking device 3 .
  • the controller 8 calls the position information in the stocker 5 for the tape magazine 4B containing the dicing tape DT of the type suitable for the processing conditions of the work W from the storage device 82, and reads the position information of the tape magazine 4B.
  • the position information of 4B is sent to the first transport robot 6, the first transport robot 6 bends and extends its arm to the vicinity of the tape magazine 4B in the stocker 5, and the adsorption part 61 adsorbs and holds the part 46 to be adsorbed. do.
  • the first transport robot 6 bends and stretches the tape magazine 4 to the vicinity of the base 31 to attach the base 44 to the base 31 .
  • the external tape magazine 4C is carried into the stocker 5, and the external tape magazine 4C is pasted. Attach to device 3 .
  • the controller 8 retrieves the position information of the external tape magazine 4C containing the dicing tape DT of the type suitable for the processing conditions of the workpiece W from the storage device 82 and sends it to the second transport robot 7.
  • the second transfer robot 7 sucks and holds the external tape magazine 4 C and delivers it to the pallet 51 located at the exchange position 53 of the stocker 5 .
  • the controller 8 controls the operation of the stocker 5 so that the pallet 51 storing the loaded tape magazine 4C is moved to the removal position 52 . Then, the first transport robot 6 bends and stretches its arm to the vicinity of the tape magazine 4C transported to the take-out position 52, and the suction portion 61 holds the sucked portion 46 by suction.
  • the first transport robot 6 bends and stretches the tape magazine 4C to the vicinity of the base 31, and the base 44 is attached to the base 31.
  • stocker 5 and the second transport robot 7 may have any configuration as long as the tape magazine 4B inside the stocker 5 and the external tape magazine 4C are exchanged cooperatively.
  • the stocker 5 arranges a plurality of tape magazines 4C at predetermined positions, and the second transport robot 7 moves inside the stocker 5 to the position of the tape magazine 4B and holds the tape magazine 4B.
  • the external tape magazine 4 ⁇ /b>C may be carried into the stocker 5 after being discharged from the stocker 5 .
  • the controller 8 detects the external tape containing the dicing tape DT of the type suitable for the processing conditions of the work W.
  • the positional information of the magazine 4C is called from the storage device 82 and sent to the second transport robot 7, and the second transport robot 7 holds the external tape magazine 4C by suction and carries it into the stocker 5 at a predetermined position. do.
  • the controller 8 sends the position information of the tape magazine 4B loaded from the outside to the stocker 5 to the first transport robot 6, and the first transport robot 6 stores the tape magazine 4B loaded from the outside.
  • the arm is bent and stretched to the vicinity, and the suction portion 61 sucks and holds the suctioned portion 46 .
  • the first transport robot 6 bends and stretches the tape magazine 4B carried in from the outside to the vicinity of the base 31, and the base 44 is attached to the base 31.
  • the winding shaft 42 rotates to let out the dicing tape DT, and the pressing roller 34 presses the tape body B against the dicing frame DF to adhere the tape body B with a predetermined pressing force.
  • the tape applying system 1 is a stocker that stores a plurality of tape magazines 4 each storing a dicing tape DT in a state in which a part of the dicing tape DT wound in a roll is pulled out.
  • a sticking device 3 that sticks the dicing tape DT to the dicing frame DF and the workpiece W
  • a first transfer robot 6 that delivers the tape magazine 4 between the stocker 5 and the sticking device 3. did.
  • the dicing tape DT is accommodated in the tape magazine 4 with a part thereof being drawn out, and the tape magazine 4 is delivered to the joining device 3 by the first transfer robot 6 and sent to the joining device 3.
  • the replaced movable guide rollers 32a, 32b, fixed guide rollers 33a, 33b, and knife plate 35 restrict the draw-out region R of the dicing tape DT to a predetermined trajectory, thereby automatically switching and exchanging the dicing tape DT. can do.
  • the tape applying system 1 stores the type information of the dicing tape DT corresponding to the processing conditions of the work W, and the type information of the dicing tape DT stored in each tape magazine 4 and the
  • the storage device 82 for storing the position information of the tape magazine 4 and the tape magazine 4 containing the type of dicing tape DT corresponding to the input processing condition of the work W are transferred from the stocker 5 to the pasting device 3. and a controller 8 for controlling the pallet 51 of 5.
  • the tape magazine 4B containing the appropriate dicing tape DT can be delivered to the attaching device 3 according to the processing conditions of the workpiece W that have been input.
  • the tape application system 1 is configured to further include a second transport robot 7 that replaces the tape magazine 4B stored in the stocker 5 with the external tape magazine 4C.
  • the capacity of the tape magazine 4 stored in the stocker 5 can be substantially expanded, so various types of dicing tapes DT can be handled. Furthermore, since the external tape magazine 4C can be shared by a plurality of tape applying systems 1, the dicing tape DT can be used effectively.
  • the movable guide rollers 32a and 32b, the fixed guide rollers 33a and 33b, and the knife plate 35 have been exemplified as the restricting portions that restrict the trajectory of the draw-out region R of the dicing tape DT. and types are not limited to these.
  • Reference Signs List 1 tape applying system 2: conveying device 21: inner peripheral table 22: outer peripheral table 23: slider 3: applying device 31: bases 32a, 32b: movable guide rollers (regulators) 33a, 33b: fixed guide rollers (restriction section) 34: Pressing roller 35: Knife plate (regulating portion) 4, 4A, 4B, 4C: Tape magazine 41 : Feeding shaft 42 : Winding shafts 43a, 43b : Fixed guide roller 44 : Base 45 : Support plate 46 : Adsorbed portion 47 : Notch 5 : Stocker 51 : Pallet 6 61: Adsorption unit 7: Second transfer robot (replacement device) 71: adsorption unit 8: controller (control device) 81 : Input device 82 : Storage device B : Tape main body D1 : Conveyance direction DF : Dicing frame DT : Dicing tape R : Drawing area S : Separator W : Work

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Abstract

【課題】ダイシングテープの切替や交換を自動で実施可能なテープ貼付システムを提供する。 【解決手段】テープ貼付システム１は、ロール状に巻回されたダイシングテープＤＴをそれぞれ収納する複数のテープマガジン４を格納するストッカー５と、ダイシングテープＤＴの引出領域Ｒを所定の軌道に規制する可動ガイドローラ３２ａ、３２ｂ、固定ガイドローラ３３ａ、３３ｂ及びナイフプレート３５を備え、テープマガジン４が換装可能で、ダイシングテープＤＴをダイシングフレームＤＦ及びワークＷに貼付する貼付装置３と、ストッカー５と貼付装置３との間で、テープマガジン４を受け渡す第１の搬送ロボット６と、を備えている。

Description

テープ貼付システム
　本発明は、ダイシングテープのテープ貼付システムに関するものである。
　半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体基板（以下、「ワーク」という）をチップに割断する工程があり、その工程では、ワークに貼着されたダイシングテープが個々のチップの位置を拘束することにより、チップの割断を効率よく行うことができる。
　特許文献１には、テーブル２１１に吸着固定されたウェーハＷにエキスパンドテープＥを貼着用ローラの加圧力により貼り付けることが記載されている。なお、符号は、特許文献１のものである。
特開２０１３－４５８４号公報
　しかしながら、特許文献１記載の装置では、ウェーハＷの品種に応じてテープを切り替える時又はテープの消耗に伴ってテープを交換する時に、各種ローラに巻回して所定軌道を通るようにセットされた使用済みのエキスパンドテープＥを取り除いた上で、新品のエキスパンドテープＥを所定軌道を通るように手作業で再びセットしなければならなかった。
　そこで、ダイシングテープの切替や交換を自動で行うために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
　上記目的を達成するために、本発明に係るテープ接合装置は、テープ貼付システムであって、ロール状に巻回されたダイシングテープの一部を引き出した状態で前記ダイシングテープをそれぞれ収納する複数のテープマガジンを格納するストッカーと、前記ダイシングテープの一部が引き出された引出領域を所定の軌道に規制する規制部を備え、前記テープマガジンが換装可能で、前記ダイシングテープをダイシングフレーム及びワークに貼付する貼付装置と、前記ストッカーと前記貼付装置との間で、前記テープマガジンを受け渡す受渡装置と、を備えている。
　この構成によれば、ダイシングテープがその一部を引き出された状態でテープマガジンに収容され、テープマガジンが、受渡装置によって貼付装置に受け渡されて貼付装置に換装されると、規制部が、ダイシングテープの引出領域を所定の軌道に規制することにより、ダイシングテープの切替や交換を自動で実施することができる。
　本発明は、ダイシングテープの切替や交換を自動で行うことができる。
本発明の一実施形態に係るテープ貼付システムの構成を示す斜視図。 テープ貼付システムの構成を示す模式図。 貼付装置の構成を示す斜視図。 テープマガジンの構成を示す斜視図。 テープ貼付システムの主要な構成を示すブロック図。 ダイシングテープを自動でセットする手順を示す模式図。 ダイシングテープをワーク、ダイシングフレームに貼付する手順を示す模式図。
　本発明の一実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。
　また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。
　また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。
　図１、２に示すように、テープ貼付システム１は、ダイシングテープＤＴをワークＷ及びダイシングフレームＤＦに貼着するものである。ワークＷは、例えば、シリコンウェハ等の半導体基板であるが、これに限定されるものではない。ダイシングテープＤＴは、紫外線硬化テープ等である。
　テープ貼付システム１は、搬送装置２と、貼付装置３と、を備えている。
　搬送装置２は、ワークＷを保持する内周側テーブル２１と、ダイシングフレームＤＦを載置する外周側テーブル２２と、を備えている。
　内周側テーブル２１の表面には、無数の気孔を有する多孔質材料からなる図示しない吸着体が埋設されている。吸着体の気孔の粗さは、例えば、＃４００又は＃８００等である。
　内周側テーブル２１は、図示しない真空源及び圧縮空気源に切換自在に接続されている。真空源が起動すると、内周側テーブル２１に載置されたワークＷと吸着体の上面（吸着面）との間に負圧が供給されて、ワークＷが吸着面に吸着保持される。また、圧縮空気源が起動すると、ワークＷと吸着面との間に圧縮空気（リリースエアー）が供給されて、ワークＷと吸着面との吸着が解除される。
　内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２は、スライダ２３に載置されており、搬送方向Ｄ１に向かってスライド可能に構成されている。
　図３に示すように、貼付装置３は、テープマガジン４を換装自在に設置される基部３１と、基部３１の側面から立設されてダイシングテープＤＴの軌道を規制する可動ガイドローラ３２ａ、３２ｂと、基部３１の側面から立設されてダイシングテープＤＴの軌道を規制する固定ガイドローラ３３ａ、３３ｂと、上下に昇降してテープ本体ＢをワークＷに貼付する押圧ローラ３４と、セパレータＳの軌道を規制するナイフプレート３５と、を備えている。
　図４に示すように、テープマガジン４は、ロール状に巻回されたダイシングテープＤＴの一部が引き出された状態でダイシングテープＤＴを収容するとともに、後述する第１の搬送ロボット６や第２の搬送ロボット７で搬送可能にモジュール化された装置である。各テープマガジン４が収容するダイシングテープＤＴは、同じ種類であっても異なる種類であっても構わない。なお、以下では、ダイシングテープＤＴの一部が引き出された範囲を「引出領域Ｒ」という。
　テープマガジン４は、ロール状のダイシングテープＤＴを繰り出し可能に支持する繰出軸４１と、ダイシングテープＤＴのセパレータＳを巻き取ってダイシングテープＤＴに繰出力を付与する巻取軸４２と、ダイシングテープＤＴに張力を作用させるとともにダイシングテープＤＴの一部を引き出すようにダイシングテープＤＴの軌道を規制する固定ガイドローラ４３ａ～４３ｂと、を備えている。
　繰出軸４１には、繰出軸４１の回転数からダイシングテープＤＴの残量を算出する回転数センサ、又はダイシングテープＤＴが少なくなったときに繰出軸４１を検知する金属検知センサ等が設けられて、ダイシングテープＤＴの残量が少なったことを検知可能である。
　繰出軸４１及び巻取軸４２は、ベース４４の側面から立設されており、固定ガイドローラ４３ａ、４３ｂは、ベース４４及び支持プレート４５に両端を支持されている。また、ベース４４の上端には、後述する第１の搬送ロボット６、第２の搬送ロボット７に吸着され得る被吸着部４６が設けられている。ベース４４と基部３１とは、図示しないロック機構等により着脱自在に構成されている。
　また、ベース４４の一部、具体的には、側面から視て繰出軸４１及び巻取軸４２と固定ガイドローラ４３ａとの間には、切り欠き部４７が設けられている。切り欠き部４７は、可動ガイドローラ３２ａ、３２ｂ、固定ガイドローラ３３ａ、３３ｂ及びナイフプレート３５が収容可能な大きさに設定されている。
　図２に示すように、テープ貼付システム１は、複数のテープマガジン４を格納するストッカー５と、貼付装置３とストッカー５との間でテープマガジン４を受け渡す受渡装置としての第１の搬送ロボット６と、を備えている。第１の搬送ロボット６は、テープマガジン４の被吸着部４６を吸着保持可能な吸着部６１を備えている。なお、以下では、貼付装置３に取り付けられたテープマガジン４とストッカー５内に格納されたテープマガジン４を区別する場合には、前者に符号４Ａを付し、後者に符号４Ｂを付してそれぞれ区別する。
　図１、２では、ストッカー５が、複数のテープマガジン４Ｂを図５に示すパレット５１にそれぞれ搭載し、パレット５１がストッカー５内を移動自在に構成され、第１の搬送ロボット６が、ストッカー５の所定の取出位置５２まで搬送されたテープマガジン４Ｂを保持して貼付装置３に搬送する構成を図示している。
　また、テープ貼付システム１は、入替装置としての第２の搬送ロボット７を備えている。第２の搬送ロボット７は、ストッカー５内のテープマガジン４Ｂや外部のテープマガジン４の被吸着部４６を吸着保持可能な吸着部７１を備えている。なお、以下では、外部のテープマガジン４をストッカー５内に格納されたテープマガジン４Ｂと区別する場合には、外部のテープマガジンに符号４Cを付して区別する。
　図２では、ストッカー５が、ストッカー５内を移動自在に構成されたパレット５１に複数のテープマガジン４Ｂを搭載し、第２の搬送ロボット７が、ストッカー５の所定の入替位置５３まで搬送されたテープマガジン４Ｂを保持して排出した後に、外部のテープマガジン４Cを入替位置５３に搬送する構成を図示している。
　外部のテープマガジン４Cは、外部のラック等に格納されたものであったり、搬送装置等で必要に応じて搬送される等の如何なるものであっても構わない。また、ストッカー５には、使用頻度が高いダイシングテープＤＴを収容したテープマガジン４Ｂが格納され、外部のラック等には、使用頻度が低いダイシングテープＤＴを収容したテープマガジン４Ｃが保管されることにより、テープ入替の頻度を抑えることができる。また、外部のテープマガジン４Cは、複数のテープ貼付システム１で共用されても構わない。
　テープ貼付システム１の動作は、制御装置としてのコントローラ８を介して制御される。コントローラ８は、テープ貼付システム１を構成する構成要素をそれぞれ制御するものである。コントローラ８は、例えばコンピュータであり、ＣＰＵ、メモリ等により構成される。なお、コントローラ８の機能は、ソフトウェアを用いて制御することにより実現されても良く、ハードウェアを用いて動作するものにより実現されても良い。
　コントローラ８は、入力装置８１と、記憶装置８２と、を備えている。
　入力装置８１は、ワークＷの加工条件を入力する等して所望のダイシングテープＤＴを呼び出すための装置であり、例えばタッチパネル等である。
　記憶装置８２は、複数のワークＷの加工条件と各加工条件に対応したダイシングテープＤＴの種類情報とが関連付けて記憶されている。また、記憶装置８２は、テープマガジン４毎に、テープマガジン４が収容するダイシングテープＤＴの種類情報並びにストッカー５内におけるテープマガジン４Ｂの位置情報（個々のパレット５１を識別可能な番号等）及び外部のラック等に格納された外部のテープマガジン４Cの位置情報を記憶している。なお、テープマガジン４の位置情報は、テープマガジン４の入替や交換が生じる度に更新される。
　次に、テープ貼付システム１の動作について図面に基づいて説明する。
＜ワーク搬送＞
　まず、ダイシングフレームＤＦが、図示しない搬送ハンド等により外周側テーブル２２上に移載される。
　次に、ワークＷが、図示しない搬送ハンド等により内周側テーブル２１上に移載される。その後、圧縮空気源からワークＷと吸着面との間に負圧が供給されると、ワークＷが内周側テーブル２１に吸着される。ワークＷの上面とダイシングフレームＤＦの上面とは、略面一に設定される。
＜テープマガジン装着＞
　ワーク搬送と前後又は並行して、テープマガジン４Ａが貼付装置３に装着される。
　具体的には、まず、オペレータ等により入力装置８１を介して入力されたワークＷの加工条件に基づいて、コントローラ８が、ワークＷの加工条件に適したダイシングテープＤＴの種類情報を記憶装置８２から呼び出す。
　次に、コントローラ８が、呼び出したワークＷの加工条件に適したダイシングテープＤＴの種類情報と基部３１に装着されているテープマガジン４ＡのダイシングテープＤＴの種類情報とが一致する否かに基づいて、ダイシングテープＤＴの切替の要否を判定する。また、コントローラ８は、テープマガジン４ＡのダイシングテープＤＴの残量に基づいて、ダイシングテープＤＴの交換の要否を判定する。
　次に、コントローラ８がダイシングテープＤＴの切替又は交換が必要と判定した場合には、コントローラ８は、このダイシングテープＤＴが収容されたテープマガジン４Ｂについてストッカー５内の位置情報を記憶装置８２から呼び出し、呼び出されたテープマガジン４Ｂを格納したパレット５１を取出位置５２まで移動させるように動作制御する。
　第１の搬送ロボット６が、取出位置５２まで搬送されたテープマガジン４Ｂの近傍までアームを屈伸させて、吸着部６１が、被吸着部４６を吸着保持する。
　その後、第１の搬送ロボット６が、テープマガジン４Ｂを基部３１の近傍まで屈伸させて、ベース４４が基部３１に取り付けられる。このとき、図６（ａ）に示すように、可動ガイドローラ３２ａ、３２ｂ、固定ガイドローラ３３ａ、３３ｂ及びナイフプレート３５が、切り欠き部４７内に配置されている。また、可動ガイドローラ３２ａ及び固定ガイドローラ３３ａは、ダイシングテープＤＴを挟んで互いに反対側に配置され、可動ガイドローラ３２ｂ及び固定ガイドローラ３３ｂは、ダイシングテープＤＴを挟んで互いに反対側に配置されている。
　次に、図６（ｂ）に示すように、可動ガイドローラ３２ａが固定ガイドローラ３３ａに接近するように移動してダイシングテープＤＴを上方に繰り出して、可動ガイドローラ３２ａ及び固定ガイドローラ３３ａが、ダイシングテープＤＴを挟んで引出領域Ｒ内のダイシングテープＤＴの軌道を規制する。
　同様に、図６（ｃ）に示すように、可動ガイドローラ３２ｂが固定ガイドローラ３３ｂに接近するように移動してダイシングテープＤＴを下方に繰り出して、可動ガイドローラ３２ｂ及び固定ガイドローラ３３ｂが、ダイシングテープＤＴを挟んで引出領域Ｒ内のダイシングテープＤＴの引軌道を規制する。
　そして、図６（ｄ）に示すように、ナイフプレート３５が、押圧ローラ３４に接近するように移動してダイシングテープＤＴを下方に繰り出して、引出領域Ｒ内のダイシングテープＤＴの軌道を押圧ローラ３４の近傍に達するように規制する。
　その後、吸着部６１と被吸着部４６との吸着を解除して、第１の搬送ロボット６が、テープマガジン４Ｂを貼付装置３に受け渡す。
　なお、テープマガジン４Ｂの装着に先行して、基部３１に装着されているテープマガジン４Ａを取り外す場合には、まず、可動ガイドローラ３２ａ、３２ｂ、固定ガイドローラ３３ａ、３３ｂ及びナイフプレート３５をダイシングテープＤＴから離間させて、ダイシングテープＤＴの軌道が繰出軸４１、巻取軸４２、固定ガイドローラ４３ａに規制されている状態に移行させる。
　次に、第１の搬送ロボット６が、貼付装置３に装着されたテープマガジン４Ａの近傍までアームを屈伸させて、吸着部６１が、被吸着部４６を吸着保持する。その後、ベース４４が基部３１から取り外される。
　その後、第１の搬送ロボット６が、テープマガジン４Ａをストッカー５の取出位置５２近傍まで屈伸させて、テープマガジン４Ａをパレット５１に載置して、テープマガジン４Ａをストッカー５に受け渡す。
　なお、ストッカー５及び第１の搬送ロボット６は、ワークＷの種類等に応じて選択されるダイシングテープＤＴを収容したテープマガジン４Ｂを協働して貼付装置３に供給するものであれば、如何なる構成であっても構わない。
　例えば、ストッカー５内に、複数のテープマガジン４Ｂが予め定められた位置にそれぞれ配置され、第１の搬送ロボット６が、ストッカー５内の所望のテープマガジン４Ｂの近傍までアームを屈伸して、テープマガジン４Ｂを保持して貼付装置３に搬送するものであっても良い。
　このような構成においては、まず、コントローラ８が、ワークＷの加工条件に適した種類のダイシングテープＤＴが収容されたテープマガジン４Ｂについてストッカー５内の位置情報を記憶装置８２から呼び出し、このテープマガジン４Ｂの位置情報を第１の搬送ロボット６に送り、第１の搬送ロボット６が、ストッカー５内のテープマガジン４Ｂの近傍までアームを屈伸させて、吸着部６１が、被吸着部４６を吸着保持する。
　その後、第１の搬送ロボット６が、テープマガジン４を基部３１の近傍まで屈伸させて、ベース４４が基部３１に取り付けられる。
　なお、ストッカー５内にワークＷの加工条件等に適した種類のダイシングテープＤＴが存在しない場合には、外部のテープマガジン４Cをストッカー５内に搬入させた上で、外部のテープマガジン４Cを貼付装置３に装着する。
　具体的には、コントローラ８は、ワークＷの加工条件等に適した種類のダイシングテープＤＴが収容された外部のテープマガジン４Cの位置情報を記憶装置８２から呼び出して第２の搬送ロボット７に送り、第２の搬送ロボット７が、この外部のテープマガジン４Cを吸着保持して、ストッカー５の入替位置５３に位置するパレット５１に受け渡す。
　その後、コントローラ８が、ストッカー５に対して、搬入されたテープマガジン４Cを格納するパレット５１を取出位置５２まで移動させるように動作制御する。そして、第１の搬送ロボット６が、取出位置５２まで搬送されたテープマガジン４Cの近傍までアームを屈伸させて、吸着部６１が、被吸着部４６を吸着保持する。
　その後、第１の搬送ロボット６が、テープマガジン４Cを基部３１の近傍まで屈伸させて、ベース４４が基部３１に取り付けられる。
　なお、ストッカー５及び第２の搬送ロボット７は、ストッカー５内のテープマガジン４Ｂと外部のテープマガジン４Cとを協働して入れ替えるものであれば、如何なる構成であっても構わない。
　例えば、ストッカー５が、複数のテープマガジン４Cを予め定められた位置にそれぞれ配置され、第２の搬送ロボット７が、ストッカー５内をテープマガジン４Ｂの位置まで移動してテープマガジン４Ｂを保持してストッカー５から排出した後に、外部のテープマガジン４Cをストッカー５内に搬入するものであっても構わない。
　このような構成においては、外部のテープマガジン４Cをストッカー５内に搬入する場合には、まず、コントローラ８が、ワークＷの加工条件等に適した種類のダイシングテープＤＴが収容された外部のテープマガジン４Cの位置情報を記憶装置８２から呼び出して第２の搬送ロボット７に送り、第２の搬送ロボット７が、この外部のテープマガジン４Cを吸着保持して、ストッカー５内の所定の位置に搬入する。
　その後、コントローラ８が、ストッカー５に対して、外部から搬入されたテープマガジン４Ｂの位置情報を第１の搬送ロボット６に送り、第１の搬送ロボット６が、外部から搬入されたテープマガジン４Ｂの近傍までアームを屈伸させて、吸着部６１が、被吸着部４６を吸着保持する。
　その後、第１の搬送ロボット６が、外部から搬入されたテープマガジン４Ｂを基部３１の近傍まで屈伸させて、ベース４４が基部３１に取り付けられる。
＜テープ貼付＞
　次に、スライダ２３が駆動して、図７（ａ）に示すように、押圧ローラ３４の下方にテープ本体Ｂの一方端（貼り付け開始位置）が配置されるように、内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２を移動させる。
　次に、巻取軸４２が回転してダイシングテープＤＴを繰り出すとともに、押圧ローラ３４がテープ本体ＢをダイシングフレームＤＦに押し当てて所定の押圧力でテープ本体Ｂを貼着する。
　その後、内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２が搬送方向Ｄ１に沿って移動すると、図７（ｂ）に示すように、テープ本体ＢがダイシングフレームＤＦ及びワークＷに徐々に貼り進められる。
　そして、図７（ｃ）に示すように、テープ本体Ｂが、ダイシングフレームＤＦの他方端（貼り付け終了位置）まで達すると、ワークＷとダイシングフレームＤＦとが、テープ本体Ｂを介して一体に貼着される。
　このようにして、本実施形態に係るテープ貼付システム１は、ロール状に巻回されたダイシングテープＤＴの一部を引き出した状態でダイシングテープＤＴをそれぞれ収納する複数のテープマガジン４を格納するストッカー５と、ダイシングテープＤＴの一部が引き出された引出領域Ｒを所定の軌道に規制する可動ガイドローラ３２ａ、３２ｂ、固定ガイドローラ３３ａ、３３ｂ及びナイフプレート３５を備え、テープマガジン４が換装可能で、ダイシングテープＤＴをダイシングフレームＤＦ及びワークＷに貼付する貼付装置３と、ストッカー５と貼付装置３との間で、テープマガジン４を受け渡す第１の搬送ロボット６と、を備えている構成とした。
　この構成によれば、ダイシングテープＤＴがその一部を引き出された状態でテープマガジン４に収容され、テープマガジン４が、第１の搬送ロボット６によって貼付装置３に受け渡されて貼付装置３に換装され、可動ガイドローラ３２ａ、３２ｂ、固定ガイドローラ３３ａ、３３ｂ及びナイフプレート３５が、ダイシングテープＤＴの引出領域Ｒを所定の軌道に規制することにより、ダイシングテープＤＴの切替や交換を自動で実施することができる。
　また、本実施形態に係るテープ貼付システム１は、ワークＷの加工条件に対応するダイシングテープＤＴの種類情報を記憶するとともに、テープマガジン４毎に、収容するダイシングテープＤＴの種類情報及びストッカー５内のテープマガジン４の位置情報を記憶する記憶装置８２と、入力されたワークＷの加工条件に応じた種類のダイシングテープＤＴを収容するテープマガジン４をストッカー５から貼付装置３に受け渡すようにストッカー５のパレット５１を制御するコントローラ８と、をさらに備えている構成とした。
　この構成によれば、入力されたワークＷの加工条件に応じて適切なダイシングテープＤＴを収容するテープマガジン４Ｂを貼付装置３に受け渡すことができる。
　また、本実施形態に係るテープ貼付システム１は、ストッカー５に格納されたテープマガジン４Ｂと外部のテープマガジン４Cとを入れ替える第２の搬送ロボット７をさらに備えている構成とした。
　この構成によれば、ストッカー５が格納するテープマガジン４の容量を実質的に拡張できるため、多様な種類のダイシングテープＤＴに対応できる。さらに、複数のテープ貼付システム１で外部のテープマガジン４Cを共用可能なため、ダイシングテープＤＴを有効に使用することができる。
　また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り、上記以外にも種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。
　上述した実施形態では、ダイシングテープＤＴの引出領域Ｒの軌道に規制する規制部として可動ガイドローラ３２ａ、３２ｂ、固定ガイドローラ３３ａ、３３ｂ及びナイフプレート３５を例示して説明したが、規制部の数や種類はこれらに限定されるものではない。
１　　：テープ貼付システム
２　　：搬送装置
２１　：内周側テーブル
２２　：外周側テーブル
２３　：スライダ
３　　：貼付装置
３１　：基部
３２ａ、３２ｂ：可動ガイドローラ（規制部）
３３ａ、３３ｂ：固定ガイドローラ（規制部）
３４　：押圧ローラ
３５　：ナイフプレート（規制部）
４、４Ａ、４Ｂ、４C：テープマガジン
４１　：繰出軸
４２　：巻取軸
４３ａ、４３ｂ：固定ガイドローラ
４４　：ベース
４５　：支持プレート
４６　：被吸着部
４７　：切り欠き部
５　　：ストッカー
５１　：パレット
６　　：第１の搬送ロボット（受渡装置）
６１　：吸着部
７　　：第２の搬送ロボット（入替装置）
７１　：吸着部
８　　：コントローラ（制御装置）
８１　：入力装置
８２　：記憶装置
Ｂ　　：テープ本体
Ｄ１　：搬送方向
ＤＦ　：ダイシングフレーム
ＤＴ　：ダイシングテープ
Ｒ　　：引出領域
Ｓ　　：セパレータ
Ｗ　　：ワーク
 

Claims (3)

  1. 　テープ貼付システムであって、
    　ロール状に巻回されたダイシングテープの一部を引き出した状態で前記ダイシングテープをそれぞれ収納する複数のテープマガジンを格納するストッカーと、
    　前記ダイシングテープの一部が引き出された引出領域を所定の軌道に規制する規制部を備え、前記テープマガジンが換装可能で、前記ダイシングテープをダイシングフレーム及びワークに貼付する貼付装置と、
    　前記ストッカーと前記貼付装置との間で、前記テープマガジンを受け渡す受渡装置と、
    を備えていることを特徴とするテープ貼付システム。
  2. 　前記ワークの加工条件に対応する前記ダイシングテープの種類情報を記憶するとともに、前記テープマガジン毎に、収容する前記ダイシングテープの種類情報及び前記ストッカー内の前記テープマガジンの位置情報を記憶する記憶装置と、
    　入力された前記ワークの加工条件に応じた種類の前記ダイシングテープを収容するテープマガジンを前記ストッカーから前記貼付装置に受け渡すように前記ストッカー又は前記受渡装置を制御する制御装置と、
    をさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載のテープ貼付システム。
  3. 　前記ストッカーに格納されたテープマガジンと外部のテープマガジンとを入れ替える入替装置をさらに備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載のテープ貼付システム。
     
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