CN116918056A - 胶带粘贴系统 - Google Patents

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金泽雅喜
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Abstract

[问题]提供一种胶带粘贴系统，能够自动地实施切割胶带的切换与交换。[解决方案]胶带粘贴系统(1)包括：储存器(5)，该储存器(5)用于储存多个胶带盒(4)，这些胶带盒(4)各自收纳呈辊状卷绕的切割胶带(DT)；粘贴装置(3)，该粘贴装置(3)具有将切割胶带(DT)的引出区域(R)限制到预定轨道的可动导向辊(32a)、(32b)，固定导向辊(33a)、(33b)以及刀板(35)，上述胶带盒(4)能够换装，上述粘贴装置(3)将切割胶带(DT)粘贴在切割支架(DF)以及工件(W)上；以及第一运送机器人(6)，该第一运送机器人(6)在储存器(5)和粘贴装置(3)之间传递胶带盒(4)。

Description

胶带粘贴系统
技术领域
本发明涉及切割胶带的胶带粘贴系统。
背景技术
在半导体制造领域中，存在将硅晶圆等的半导体衬底(以下，称为“工件”)割断成晶片(chip)的工序，在该工序中，粘贴于工件上的切割胶带约束各个晶片的位置，由此能够高效地进行晶片的割断。
在专利文献1中记载了如下内容：通过粘贴用辊的加压力将扩展胶带E粘贴于吸附固定在工作台211上的晶圆W上。此外，附图标号是专利文献1的附图标号。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：JP特开2013—4584号公报
发明内容
发明要解决的课题
然而，在专利文献1记载的装置中，当根据晶圆W的类型切换胶带时或由于胶带的消耗而更换胶带时，必须将缠绕在各种辊子上并以通过预定轨道的方式设置的已使用的扩展胶带E移除，并再次手动设置新的扩展胶带E，使其通过预定轨道。
因此，为了能够自动地实施切割胶带的切换与交换，出现了一个需要解决的技术课题，本发明的目的就是解决这个课题。
用于解决课题的技术方案
为了实现上述目的，本发明涉及的胶带接合装置为胶带粘贴系统，该胶带粘贴系统包括：储存器，该储存器用于储存多个胶带盒，这些胶带盒各自收纳呈辊状卷绕的切割胶带，上述切割胶带处于一部分被引出的状态；粘贴装置，该粘贴装置具有限制部，该限制部将上述切割胶带的一部分被引出的引出区域限制到预定轨道，上述胶带盒能够换装，上述粘贴装置将上述切割胶带粘贴在切割支架以及工件上；以及传递装置，该传递装置在上述储存器和上述粘贴装置之间传递上述胶带盒。
按照该构成，当切割胶带以一部分被引出的状态被收纳在胶带盒中，胶带盒通过传递装置被传递到粘贴装置并被换装到粘贴装置时，限制部将切割胶带的引出区域限制到预定轨道，由此，能够自动地实施切割胶带的切换与交换。
发明的效果
本发明能够自动地实施切割胶带的切换与交换。
附图说明
图1为表示本发明一个实施方式相关的胶带粘贴系统的构成的立体图；
图2为表示胶带粘贴系统的构成的示意图；
图3为表示粘贴装置的构成的立体图；
图4为表示胶带盒的构成的立体图；
图5为表示胶带粘贴系统的主要构成的方框图；
图6为表示自动设置切割胶带的顺序的示意图。
图7为表示将切割胶带粘贴到工件和切割支架的顺序的示意图。
具体实施方式
基于附图对本发明的一个实施方式进行说明。此外，以下，在提及构成要素的数量、数值、量、范围等的情况下，除了特别明示的情况以及原理上明显限定于特定的数量的情况之外，并不限定于该特定的数量，可以是特定的数量以上也可以是特定的数量以下。
另外，在提及构成要素等的形状、位置关系时，除了特别明示的情况以及原理上明显认为并非如此的情况等之外，包含实质上与该形状等近似或类似的情况等。
此外，附图有时为了容易理解特征而存在放大特征的部分等进行夸大的情况，构成要素的尺寸比率等不一定与实际相同。
如图1、图2所示那样，胶带粘贴系统1将切割胶带DT粘贴于工件W和切割支架DF上。工件W例如是硅晶圆等的半导体衬底，但并不限定于此。切割胶带DT是紫外线固化胶带等。
胶带粘贴系统1具有运送装置2和粘贴装置3。
运送装置2具有保持工件W的内周侧工作台21和载置切割支架DF的外周侧工作台22。
在内周侧工作台21的表面埋设有图中未示出的吸附体，该吸附体由具有无数气孔的多孔质材料构成。吸附体的气孔的粗糙度例如为#400或#800等。
内周侧工作台21与在图中未示出的真空源以及压缩空气源切换自如地连接。当真空源起动时，向载置于内周侧工作台21上的工件W与吸附体的上表面(吸附面)之间供给负压，将工件W吸附保持于吸附面上。另外，若压缩空气源起动，则向工件W与吸附面之间供给压缩空气(释放空气)，解除工件W与吸附面的吸附。
内周侧工作台21以及外周侧工作台22载置于滑块23上，按照可朝向运送方向D1滑动的方式构成。
如图3所示的那样，粘贴装置3具有：基部31，在该基部31中，将胶带盒4以可换装的方式设置；可动导向辊32a、32b，该可动导向辊32a、32b从基部31的侧面立设，限制切割胶带DT的轨道；固定导向辊33a、33b，该固定导向辊33a、33b从基部31的侧面立设，限制切割胶带DT的轨道；按压辊34，该按压辊34上下升降而将胶带主体B粘贴于工件W上；以及刀板35，该刀板35限制分离片S的轨道。
如图4所示的那样，胶带盒4是一个模块化的装置，可于呈辊状卷绕的切割胶带DT的一部分被引出的状态收纳切割胶带DT，同时，可以由下面描述的第一运送机器人6和第二运送机器人7运送。各胶带盒4所收纳的切割胶带DT可以是相同或不同的类型。以下，将切割胶带DT的一部分被引出的范围称为“引出区域R”。
胶带盒4包括：抽出轴41，该抽出轴41以可抽出的方式支持辊状的切割胶带DT；卷取轴42，该卷取轴42卷取切割胶带DT的分离器S，对切割胶带DT赋予抽出力；以及固定导向辊43a～43b，该固定导向辊43a、43b限制切割胶带DT的轨道，以使张力作用于切割带DT并引出切割胶带DT的一部分。
抽出轴41上设有转速传感器，该传感器根据抽出轴41的转速计算出切割胶带DT的剩余量，或者设有金属检测传感器等，该金属检测传感器在切割胶带DT量变少时对抽出轴41进行检测，从而可以检测出切割胶带DT的剩余量变少。
抽出轴41和卷取轴42从底座44的侧面立设，固定导向辊43a、43b在两端由底座44和支撑板45支撑。又，底座44的上端设有被吸附部46，该被吸附部46可被下面描述的第一运送机器人6和第二运送机器人7吸附。底座44和基部31可以通过图中未示出的锁定机构等自由拆卸地构成。
又，底座44的一部分，具体来说，从侧面观察，在抽出轴41以及卷取轴42与固定导向辊43a之间设置切口部47。切口部47设置为其大小可收纳可动导向辊32a、32b、固定导向辊33a、33b、刀板35。
如图2所示，胶带粘贴系统1包括：储存器5，用于储存多个胶带盒4；以及第一运送机器人6，作为在粘贴装置3和储存器5之间传递胶带盒4的传递装置。第一运送机器人6具有吸附部61，可吸附保持胶带盒4的被吸附部46。又，在下文中，当区分粘贴装置3上所安装的胶带盒4与储存器5内所存储的胶带盒4的场合，对前者赋予符号4A，后者赋予符号4B，以分别进行区别。
在图1和图2中示出了如下构成，储存器5将多个胶带盒4B分别搭载在图5所示的托盘51上，托盘51以在储存器5内可移动的方式构成，第一运送机器人6保持运送到储存器5的预定取出位置52的胶带盒4B，并将它们运送到粘贴装置3。
又，胶带粘贴系统1还具有第二运送机器人7作为更换装置。第二运送机器人7配备有可以吸附保持储存器5中的胶带盒4B和外部的胶带盒4的被吸附部46的吸附部71。又，在下文中，当区分外部的胶带盒4和存储在储存器5中的胶带盒4B时，对外部胶带盒赋予符号4C来区分。
在图2中示出了如下构成，储存器5在于储存器5内自由移动地构成的托盘51上搭载多个胶带盒4B，第二运送机器人7保持并排放运送到储存器5的预定更换位置53的胶带盒4B，之后将外部的胶带盒4C运送到更换位置53。
外部胶带盒4C可以存储在外部的机架等处，或者根据需要由运送装置等运送等的任何构成均可。又，通过将收纳了经常使用的切割胶带DT的胶带盒4B存储在储存器5中，将收纳了不经常使用的切割胶带DT的胶带盒4C保管在外部的机架等处，可以减少胶带更换的频率。外部胶带盒4C可以由多个胶带粘贴系统1共用。
胶带粘贴系统1的操作是通过作为控制装置的控制器8来控制的。控制器8分别控制构成胶带粘贴系统1的构成要素。控制器8例如是计算机，包括CPU、存储器等。又，控制器8的功能可以通过使用软件控制来实现，也可以使用硬件操作来实现。
控制器8包括输入装置81和存储装置82。
输入装置81是通过输入工件W的加工条件等来调用所需的切割胶带DT的装置，例如为触摸面板等。
存储装置82关联多个工件W的加工条件和与各加工条件相对应的切割胶带DT的类型信息，并将其存储起来。又，存储装置82为每个胶带盒4存储：关于该胶带盒4收纳的切割胶带DT的类型信息和关于胶带盒4B在储存器5中的位置信息(例如可以识别单个托盘51的编号)以及关于存储在外部的机架等中的外部胶带盒4C的位置信息。又，胶带盒4的位置信息在每次更换或交换胶带盒4时被更新。
接着，将根据附图来描述胶带粘贴系统1的操作。
<工件运送>
首先，切割支架DF通过在图中未示出的运送手等移载至外周侧工作台22上。
然后，利用在图中未示出的运送手等将工件W移载至内周侧工作台21上。之后，当从压缩空气源向工件W与吸附面之间供给负压时，工件W吸附于内周侧工作台21上。工件W的上表面与切割支架DF的上表面设定为大致共面。
<胶带盒安装>。
在工件运送前后或并行地将胶带盒4A安装在粘贴装置3上。
具体地说，首先，根据操作员等通过输入装置81输入的工件W的加工条件，控制器8从存储装置82中调用适合工件W的加工条件的切割胶带DT的类型信息。
接下来，控制器8根据调用的适合于工件W的加工条件的切割胶带DT的类型信息是否与安装在基部31上的胶带盒4A中的切割胶带DT的类型信息相匹配，确定是否需要切换切割胶带DT。又，控制器8还根据胶带盒4A中的切割胶带DT的剩余量来确定是否需要交换切割胶带DT。
接下来，如果控制器8确定切割胶带DT需要被切换或交换，则控制器8从存储装置82中调用储存器5中关于收纳该切割胶带DT的胶带盒4B的位置信息，并将存储被调用的胶带盒4B的托盘51移动到取出位置52来进行操作控制。
第一运送机器人6将手臂弯曲到运送到取出位置52的胶带盒4B的附近，吸附部61吸附保持被吸附部46。
然后，第一运送机器人6将胶带盒4B弯曲到基部31附近，底座44被安装到基部31。此时，如图6的(a)所示，可动导向辊32a、32b、固定导向辊33a、33b和刀板35被配置在切口部47内。又，可动导向辊32a和固定导向辊33a配置成夹持着切割胶带DT而在彼此相反侧，可动导向辊32b和固定导向辊33b配置成夹持着切割胶带DT而在彼此相反侧。
接下来，如图6的(b)所示，以可动导向辊32a向固定导向辊33a接近的方式移动，将切割胶带DT向上方抽出，可动导向辊32a和固定导向辊33a夹持着切割胶带DT，限制引出区域R内的切割胶带DT的轨道。
同样，如图6的(c)所示，以可动导向辊32b向固定导向辊33b接近的方式移动，将切割胶带DT向下方抽出，可动导向辊32b和固定导向辊33b夹持着切割胶带DT，限制引出区域R内的切割胶带DT的轨道。
然后，如图6的(d)所示，以刀板35向按压辊34接近的方式移动，将切割胶带DT向下方抽出，引出区域R内的切割胶带DT的轨道以达到按压辊34的附近的方式进行限制。
之后，吸附部61和被吸附部46之间的吸附被解除，第一运送机器人6将胶带盒4B传递给粘贴装置3。
又，当在安装胶带盒4B之前拆除安装在基部31上的胶带盒4A时，首先，使可动导向辊32a、32b、固定导向辊33a、33b和刀板35与切割胶带DT分离，使切割胶带DT的轨道转移到被抽出轴41、卷取轴42和固定导向辊43a所限制的状态。
接下来，第一运送机器人6将其手臂弯曲到粘贴装置3所安装的胶带盒4A附近，吸附部61吸附保持被吸附部46。然后，从基部31拆下底座44。
然后，第一运送机器人6将胶带盒4A弯曲到储存器5的取出位置52附近，将胶带盒4A载置在托盘51上，并将胶带盒4A传递给储存器5。
又，只要是可协同胶带盒4B供应给粘贴装置3的结构，储存器5和第一运送机器人6可以是任何构成，该胶带盒4B收纳对应工件W的种类等而选择的切割胶带DT。
例如，多个胶带盒4B可以分别配置在储存器5内的预定位置，第一运送机器人6可以将其手臂弯曲到储存器5中所需的胶带盒4B附近，保持胶带盒4B并将其运送到粘贴装置3。
在这样的构成中，首先，控制器8从存储装置82调用储存器5中关于胶带盒4B的位置信息，该胶带盒4B收纳有适合工件W的加工条件的种类的切割胶带DT。将该胶带盒4B的位置信息发送至第一运送机器人6，而第一运送机器人6将其手臂弯曲到储存器5内的胶带盒4B附近，吸附部61吸附保持被吸附部46。
然后，第一运送机器人6将胶带盒4弯曲到基部31附近，底座44被安装到基部31上。
又，如果在储存器5中没有适合工件W的加工条件等的种类的切割胶带DT的场合，则将外部胶带盒4C搬入到储存器5内，然后将外部的胶带盒4C安装到粘贴装置3。
具体地说，控制器8从存储装置82中调用外部的胶带盒4C的位置信息，并将其发送给第二运送机器人7，该胶带盒4C收纳有适合工件W的加工条件等的种类的切割胶带DT。第二运送机器人7吸附保持该外部的胶带盒4C，将其传递给位于储存器5的更换位置53的托盘51。
然后，控制器8控制储存器5的操作，将容纳被搬入的胶带盒4C的托盘51移动到取出位置52。而且，第一运送机器人6将其手臂弯曲到运送到取出位置52的胶带盒4C的附近，吸附部61吸附保持被吸附部46。
然后，第一运送机器人6将胶带盒4C弯曲到基部31附近，底座44被安装到基部31上。
又，储存器5和第二运送机器人7可以是任何配置，只要能协同替换储存器5中的胶带盒4B和外部胶带盒4C。
例如，储存器5可以为下述结构，即，将多个胶带盒4C分别配置在预定的位置，第二运送机器人7在储存器5内部移动到胶带盒4B的位置，保持胶带盒4B并将其从储存器5中排出，之后将外部的胶带盒4C搬入储存器5内。
在这样的配置中，当外部的胶带盒4C被搬入到储存器5时，首先，控制器8从存储装置82中调用外部的胶带盒4C的位置信息，并将其发送给第二运送机器人7，其中，外部的胶带盒4C收纳适合工件W的加工条件等的种类的切割胶带DT。第二运送机器人7吸附保持该外部的胶带盒4C，并把它搬入到储存器5中的预定位置。
然后，控制器8将从外部搬入到储存器5中的胶带盒4B的位置信息发送到第一运送机器人6，第一运送机器人6将其手臂弯曲到从外部搬入的胶带盒4B附近，吸附部61吸附保持被吸附部46。
然后，第一运送机器人6将从外部搬入的胶带盒4B弯曲到基部31附近，底座44被安装到基部31上。
<胶带粘贴>
接着，驱动滑动件23，如图7的(a)所示的那样，以胶带本体B的一端(粘贴开始位置)配置于按压辊34的下方的方式使内周侧工作台21以及外周侧工作台22移动。
接着，卷绕辊42旋转而抽出切割胶带DT，并且按压辊34将胶带本体B按压于切割支架DF上并以预定的按压力粘贴胶带本体B。
之后，当内周侧工作台21以及外周侧工作台22沿着运送方向D1移动时，如图7的(b)所示的那样，胶带本体B逐渐向切割支架DF以及工件W粘贴。
然后，如图7的(c)所示的那样，当胶带本体B到达切割支架DF的另一端(粘贴结束位置)时，工件W和切割支架DF隔着胶带本体B粘贴为一体。
如此，本实施方式涉及的胶带粘贴系统1构成为，胶带粘贴系统1包括：储存器5，该储存器5用于储存多个胶带盒4，这些胶带盒4各自收纳呈辊状卷绕的切割胶带DT，该切割胶带DT处于一部分被引出的状态；粘贴装置3，该粘贴装置3具有将切割胶带DT的一部分被引出的引出区域R限制到预定轨道的可动导向辊32a、32b，固定导向辊33a、33b以及刀板35，胶带盒4能够换装，粘贴装置3将切割胶带DT粘贴在切割支架DF以及工件W上；以及第一运送机器人6，该第一运送机器人6在储存器5和粘贴装置3之间传递胶带盒4。
按照该构成，以切割胶带DT一部分被引出的状态收纳于胶带盒4，胶带盒4由第一运送机器人6传递给粘贴装置3，并换装在粘贴装置3上，可动导向辊32a、32b、固定导向辊33a、33b以及刀板35将切割胶带DT的引出区域R限制到预定轨道，因此，能够自动地实施切割胶带DT的切换与交换。
又，本实施方式涉及的胶带粘贴系统1具有：存储装置82，该存储装置82存储与工件W的加工条件相对应的切割胶带DT的类型信息，同时为每个胶带盒4存储：所收纳的切割胶带DT的类型信息和胶带盒4在储存器5中的位置信息；以及控制器8，该控制器8控制储存器5的托盘51，以将收纳了与被输入的工件W的加工条件相对应的类型的切割胶带DT的胶带盒4从储存器5传递到粘贴装置3。
按照该构成，能够与被输入的工件W的加工条件相对应，将收纳合适的切割胶带DT的胶带盒4B传递到粘贴装置3。
又，本实施方式相关的胶带粘贴系统1进一步构成为包括第二运送机器人7，该第二运送机器人7将储存器5所储存的胶带盒4B与外部的胶带盒4C进行更换。
按照该构成，可以实质上扩张储存器5所储存的胶带盒4的容量，因此可以对应很多种类的切割胶带DT。此外，能够在以多个胶带粘贴系统1中共用外部的胶带盒4C，因此可以有效地使用切割胶带DT。
另外，只要不脱离本发明的精神，本发明除了上述以外还能够进行各种改变，并且，本发明当然涉及该改变后的方案。
在上述实施方式中，作为限制切割胶带DT的引出区域R的轨道的限制部，以例示可动导向辊32a、32b、固定导向辊33a、33b和刀板35的方式进行了说明，但是，限制部的数量和类型不限于此。
符号说明
1：胶带粘贴系统
2：运送装置
21：内周侧工作台
22：外周侧工作台
23：滑块
3：粘贴装置
31：基部
32a、32b：可动导向辊(限制部)
33a、33b：固定导向辊(限制部)
34：按压辊
35：刀板(限制部)
4、4A、4B、4C：胶带盒
41：抽出轴
42：卷取轴
43a、43b：固定导向辊
44：底座
45：支持板
46：被吸附部
47：切口部
5：储存器
51：托盘
6：第一运送机器人(传递装置)
61：吸附部
7：第二运送机器人(替换装置)
71：吸附部
8：控制器(控制装置)
81：输入装置
82：存储装置
B：胶带主体
D1：运送方向
DF：切割框架
DT：切割胶带
R：引出区域
S：分离器
W：工件。

Claims (3)

1.一种胶带粘贴系统，其特征在于，该胶带粘贴系统包括：
储存器，该储存器用于储存多个胶带盒，这些胶带盒各自收纳呈辊状卷绕的切割胶带，上述切割胶带处于一部分被引出的状态；
粘贴装置，该粘贴装置具有限制部，该限制部将上述切割胶带的一部分被引出的引出区域限制到预定轨道，上述胶带盒能够换装，上述粘贴装置将上述切割胶带粘贴在切割支架以及工件上；以及
传递装置，该传递装置在上述储存器和上述粘贴装置之间传递上述胶带盒。
2.根据权利要求1记载的胶带粘贴系统，其特征在于，该胶带粘贴系统进一步包括：
存储装置，该存储装置存储与上述工件的加工条件相对应的上述切割胶带的类型信息，同时为上述每个胶带盒存储：所收纳的上述切割胶带的类型信息和上述胶带盒在上述储存器中的位置信息；以及
控制装置，该控制装置控制上述储存器或上述传递装置，以将收纳了与被输入的上述工件的加工条件相对应的类型的上述切割胶带的胶带盒从上述储存器传递到上述粘贴装置。
3.根据权利要求1或2记载的胶带粘贴系统，其特征在于，该胶带粘贴系统进一步包括：
更换装置，该更换装置将上述储存器所储存的胶带盒与外部的胶带盒进行更换。
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