KR102333404B1 - 테이프롤 교환방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기존 테이프롤에서 롤코어에 권취된 웨이퍼 라미네이트용 테이프가 소진된 경우, 새로운 롤코어에 테이프가 권취된 신규 테이프롤로 교환하기 위한 테이프롤 교환방법에 관한 것이고, 장착유닛에 신규 테이프롤을 결합시키는 신규롤장착단계; 신규 테이프롤을 정위치시키는 신규롤정위치단계; 신규 테이프롤로 이동시키는 엔드커팅전진단계; 신규 테이프롤을 회전시키는 신규롤회전단계; 신규 테이프롤의 테이프의 단부를 감지하는 엔드감지단계; 상기 신규 테이프롤의 엔드를 절단하는 엔드커팅단계; 상기 신규 테이프롤의 테이프의 단부를 흡착 지지하는 제1흡착단계; 상기 상부부착유닛에 구비된 상부포러스모듈로 이동시키는 제1흡착이동단계; 상기 신규 테이프롤의 테이프의 단부를 흡착 지지하는 제1상부안착단계; 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부와 신규 테이프롤의 테이프의 단부를 절단하는 테이프절단단계; 잔여물제거단계; 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부와 신규 테이프롤의 테이프의 단부에서 일측면을 연결시키는 상부테이핑단계; 테이프가 상호 연결된 부분을 상기 하부부착유닛에 구비된 하부포러스모듈로 이동시키는 테이프이동단계; 상기 상부테이핑단계를 거쳐 테이프가 상호 연결된 부분을 흡착 지지하는 하부안착단계; 및 상기 상부테이핑단계를 거쳐 테이프가 상호 연결된 부분에서 타측면을 연결시키는 하부테이핑단계;를 포함한다.

Description

테이프롤 교환방법{TAPE ROLL EXCHANGE METHOD}

본 발명은 테이프롤 교환방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기존 테이프롤에서 롤코어에 권취된 웨이퍼 라미네이트용 테이프가 소진된 경우, 새로운 롤코어에 테이프가 권취된 신규 테이프롤로 교환하기 위한 테이프롤 교환방법에 관한 것이다.

일반적으로, 전자 제품의 소형화 추세에 따라 반도체 패키지의 두께를 감소시키려는 노력이 계속되고 있다. 반도체 제품 패키지의 두께를 감소시키는 방법의 하나로서 반도체 칩의 이면(back side)을 연마하는 공정이 채택되고 있다.

웨이퍼 이면의 연마 공정은, 웨이퍼 전면에 오염 방지용 테이프를 접착하는 공정, 오염 방지용 테이프가 접착된 웨이퍼의 이면을 연마하는 공정 및 연마가 완료된 웨이퍼로부터 오염 방지용 테이프를 제거하는 공정으로 이루어진다. 특히 오염 방지용 테이프를 접착하는 설비를 라미네이터라 한다.ㅈ

라미네이터에서 사용되는 오염 방지용 테이프는 폴리머계의 재료로 제작되어 공정 중에 표면에 많은 정전기(static electricity)를 유발할 수 있다. 오염 방지용 테이프 접착공정을 수행하기 위하여 라미네이터 설비 내로 유입된 웨이퍼 상에 이물질이 존재하는 경우, 이물질은 오염 방지용 테이프로부터 유도된 정전기에 의해 하전되어 웨이퍼 상에 더 강하게 흡착되어 제거하기 어려워진다. 또한, 오염된 웨이퍼는 라미네이터 설비를 오염시킬 뿐만 아니라, 다른 웨이퍼를 2차적으로 오염시킬 수 있다.

대한민국 공개특허공보 제2007-0016363호 (발명의 명칭 : 라미네이터용 웨이퍼 얼라인먼트 시스템, 2007. 02. 08. 공개)

본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기존 테이프롤에서 롤코어에 권취된 웨이퍼 라미네이트용 테이프가 소진된 경우, 새로운 롤코어에 테이프가 권취된 신규 테이프롤로 자동 교환하기 위한 테이프롤 교환방법을 제공함에 있다.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 바람직한 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 테이프롤 교환장치는 테이프가 소진된 기존 테이프롤을 신규 테이프롤로 교환하기 위한 테이프롤 교환방법은 상기 기존 테이프롤을 상기 신규 테이프롤로 교환하기 위한 테이프롤 교환방법이고, 상기 장착유닛에 상기 신규 테이프롤을 결합시키는 신규롤장착단계; 상기 장착유닛의 승강 이동에 따라 상기 신규 테이프롤을 정위치시키는 신규롤정위치단계; 상기 신규 테이프롤의 엔드를 절단하기 위해 상기 교환유닛에 구비된 엔드커팅부를 정위치된 상기 신규 테이프롤로 이동시키는 엔드커팅전진단계; 상기 엔드커팅전진단계를 거친 다음, 상기 장착유닛에서 상기 신규 테이프롤을 회전시키는 신규롤회전단계; 상기 신규 테이프롤의 회전에 따라 상기 엔드커팅부가 상기 신규 테이프롤의 테이프의 단부를 감지하는 엔드감지단계; 상기 엔드감지단계를 거친 다음, 상기 교환유닛을 상기 제2방향으로 이동시켜 상기 신규 테이프롤의 엔드를 절단하는 엔드커팅단계; 상기 엔드커팅단계를 거친 다음, 상기 교환유닛에 구비된 제1흡착부로 상기 신규 테이프롤의 테이프의 단부를 흡착 지지하는 제1흡착단계; 상기 제1흡착단계를 거친 다음, 상기 교환유닛에 구비된 제1흡착부를 상기 상부부착유닛에 구비된 상부포러스모듈로 이동시키는 제1흡착이동단계; 상기 제1흡착이동단계를 거친 다음, 상기 상부부착유닛에 구비된 상부포러스모듈로 상기 신규 테이프롤의 테이프의 단부를 흡착 지지하는 제1상부안착단계; 상기 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부와 상기 신규 테이프롤의 테이프의 단부가 일치되도록 상기 제2방향을 따라 상기 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부와 상기 신규 테이프롤의 테이프의 단부를 절단하는 테이프절단단계; 상기 테이프절단단계를 거친 다음, 상기 테이프에서 분리된 잔여물을 제거하는 잔여물제거단계; 상기 잔여물제거단계를 거친 다음, 일치된 상기 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부와 상기 신규 테이프롤의 테이프의 단부에서 일측면을 연결시키는 상부테이핑단계; 상기 상부테이핑단계를 거친 다음, 제1방향을 따라 상기 테이프를 이동시켜 상기 상부테이핑단계를 거쳐 테이프가 상호 연결된 부분을 상기 하부부착유닛에 구비된 하부포러스모듈로 이동시키는 테이프이동단계; 상기 테이프이동단계를 거친 다음, 상기 하부부착유닛에 구비된 하부포러스모듈로 상기 상부테이핑단계를 거쳐 테이프가 상호 연결된 부분을 흡착 지지하는 하부안착단계; 및 상기 하부안착단계를 거친 다음, 상기 상부테이핑단계를 거쳐 테이프가 상호 연결된 부분에서 타측면을 연결시키는 하부테이핑단계;를 포함한다.

본 발명에 따른 테이프롤 교환방법은 상기 교환유닛에 구비된 제2흡착부를 상기 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부로 이동시키는 추가이동단계; 상기 추가이동단계를 거친 다음, 상기 교환유닛에 구비된 제2흡착부로 상기 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부를 흡착 지지하는 제2흡착단계; 상기 제2흡착단계를 거친 다음, 상기 교환유닛에 구비된 제2흡착부를 상기 상부부착유닛에 구비된 상부포러스모듈로 이동시키는 제2흡착이동단계; 및 상기 제2흡착이동단계를 거친 다음, 상기 상부부착유닛에 구비된 상부포러스모듈로 상기 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부를 흡착 지지하는 제2상부안착단계;를 더 포함한다.

본 발명에 따른 테이프롤 교환방법은 상기 신규롤장착단계에 앞서, 상기 기존 테이프롤에서 테이프를 분리한 다음, 상기 장착유닛에서 테이프가 분리된 상기 기존 테이프롤을 분리 배출시키는 소진롤제거단계; 상기 신규 테이프롤을 상기 장착유닛에 전달하기 위해 상기 신규 테이프롤이 공급유닛에 안착 지지되는 신규롤안착단계; 상기 공급유닛에 안착 지지된 상기 신규 테이프롤을 상기 장착유닛에 전달하는 신규롤공급단계; 상기 하부테이핑단계를 거친 다음, 상기 테이프를 상기 제1방향으로 이동시키는 테이프공급단계; 및 상기 장착유닛에 결합된 상기 신규 테이프롤의 테이프가 소진되었는지 여부를 감지하는 소진감시단계; 중 적어도 어느 하나를 더 포함한다.

본 발명에 따른 테이프롤 교환방법에 따르면, 기존 테이프롤에서 롤코어에 권취된 웨이퍼 라미네이트용 테이프가 소진된 경우, 새로운 롤코어에 테이프가 권취된 신규 테이프롤로 자동 교환할 수 있다.

또한, 본 발명은 신규 테이프롤로의 자동 교환을 통해 현재 운영 중인 테이프롤 교환장치에서 소모품의 테이프롤의 교체로 인한 설비의 정지 시간을 최소화하고, 설비 가동율을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 테이프롤의 교환에 대한 자동화 모듈이 적용되므로, 설비가 정지하지 않더라도 테이프롤을 안정되게 교환할 수 있다.

또한, 본 발명은 테이프를 연속 공급할 수 있다.

또한, 본 발명은 장착유닛의 세부 구성을 통해 기존 테이프롤의 배출을 원활하게 하는 한편, 신규 테이프롤을 정위치에 회전 가능하게 결합시킬 수 있고, 신규 테이프롤과 구동척부와 아이들척부의 동심도를 일치시킬 수 있으며, 신규 테이프롤을 정위치시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 교환유닛의 세부 구성을 통해 분리커팅모듈과 엔드커팅모듈과 결합커팅모듈의 수평 이동을 원활하게 하는 한편, 분리커팅모듈과 엔드커팅모듈과 결합커팅모듈의 개별적인 수직 이동을 원활하게 할 수 있다.

또한, 본 발명은 상부테이핑유닛의 세부 구성을 통해 제1부착코어에 권취된 제1부착부재를 테이프의 상부로 안전하게 이동시키는 한편, 제1부착부재를 테이프의 상부에 간편하게 부착시키고, 제1부착부재를 테이프의 폭에 대응하여 기설정된 크기로 절단할 수 있다.

또한, 본 발명은 상부부착유닛의 세부 구성을 통해 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부와 신규 테이프롤의 테이프의 단부를 일치시켜 흡착 지지할 수 있고, 제1부착부재를 테이프의 단부가 일치된 부분과 매칭시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 하부부착유닛의 세부 구성을 통해 테이프에서 제1부착부재에 의해 연결된 부분을 흡착 지지할 수 있고, 제2부착코어에 권취된 제2부착부재를 테이프의 단부가 일치된 부분과 매칭시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 하부테이핑유닛의 세부 구성을 통해 제2부착부재를 테이프의 하부로 안전하게 이동시키는 한편, 제2부착부재를 테이프의 합에 간편하게 부착시키고, 제2부착부재를 테이프의 폭에 대응하여 기설정된 크기로 절단할 수 있다.

또한, 본 발명은 장력조절유닛의 세부 구성을 통해 테이프의 장력을 조절할 수 있고, 테이프를 간헐적으로 균일하게 공급할 수 있으며, 테이프의 표면에서 이물질을 제거할 수 있다.

또한, 본 발명은 공급유닛의 세부 구성을 통해 신규 테이프롤의 보관을 간편하게 하는 한편, 보관된 신규 테이프롤을 자동으로 장착유닛에 전달할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에 적용된 교환장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에 적용된 교환장치에서 주요 유닛들의 배치 상태를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에 적용된 교환장치에서 장착유닛의 세부 구성을 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에 적용된 교환장치에서 교환유닛과 상부테이핑유닛의 세부 구성을 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에 적용된 교환장치에서 교환유닛에 구비된 모듈들의 세부 구성을 도시한 제1사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에 적용된 교환장치에서 교환유닛에 구비된 모듈들의 세부 구성을 도시한 제2사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에 적용된 교환장치에서 교환유닛에 구비된 커팅부들의 세부 구성을 도시한 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에 적용된 교환장치에서 베이스유닛과 상부부착유닛과 하부부착유닛과 하부테이핑유닛의 세부 구성을 도시한 제1사시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에 적용된 교환장치에서 베이스유닛과 상부부착유닛과 하부부착유닛과 하부테이핑유닛의 세부 구성을 도시한 제2사시도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에 적용된 교환장치에서 공급유닛의 세부 구성을 도시한 제1사시도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환장치에서 공급유닛의 세부 구성을 도시한 제2사시도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법을 도시한 블럭도이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에서 신규롤장착단계에서 장착유닛에 장착되는 신규 테이프롤을 도시한 사시도이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에서 엔드커팅전진단계와 신규롤회전단계에 따른 엔드커팅부의 배치 상태를 도시한 도면이다.
도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에서 엔드감지단계에 따른 엔드커팅부의 배치 상태를 도시한 도면이다.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에서 제1흡착이동단계와 제1상부안착단계에 따른 제1흡착부와 신규 테이프롤의 테이프 단부가 상부포러스모듈에 배치된 상태를 도시한 이미지이다.
도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에서 제2흡착이동단계와 제2상부안착단계에 따른 제2흡착부와 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부가 상부포러스모듈에 배치된 상태를 도시한 이미지이다.
도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에서 테이프절단단계에 따른 결합커팅부가 상부포러스모듈에 배치된 상태를 도시한 이미지이다.
도 20은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에서 상부테이핑단계에 따른 제1부착부재가 상부집게부에 의해 상부포러스모듈의 상측에 배치된 상태를 도시한 이미지이다.
도 21은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에서 상부테이핑단계에 따른 상부부착모듈이 제1부착부재를 테이프에 부착하는 상태를 도시한 이미지이다.
도 22는 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에서 상부테이핑단계에 따른 상부커팅모듈이 제1부착부재를 절단하는 상태를 도시한 이미지이다.
도 23은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에서 테이프이동단계에 따른 테이프가 장력조절유닛을 통과하는 상태를 도시한 이미지이다.
도 24는 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에서 하부테이핑단계에 따른 제2부착부재가 하부집게부에 의해 하부포러스모듈의 일측에 배치된 상태를 도시한 이미지이다.
도 25는 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에서 소진롤제거단계에 따른 분리커팅부가 기존 테이프롤에 권취된 테이프를 분리하기 위해 정위치된 상태를 도시한 이미지이다.
도 26은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에서 소진롤제거단계에 따른 장착유닛이 기존 테이프롤을 배출하는 상태를 도시한 이미지이다.
도 27은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에서 소진롤제거단계에 따른 장착유닛에서 기존 테이프롤이 장착베이스의 하부로 배출된 상태를 도시한 이미지이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 테이프롤 교환방법의 일 실시예를 설명한다. 이때, 본 발명은 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명확하게 하기 위해 생략될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에 적용된 장치는 기존 테이프롤(R)에서 롤코어에 권취된 웨이퍼 라미네이트용 테이프가 소진된 경우, 새로운 롤코어에 테이프가 권취된 신규 테이프롤(R)로 교환할 수 있다.

이하에서는 본 발명의 일 실시 예에 따른 테이프롤 교환방법에 적용된 장치를 첨부 도면 도 1 내지 도 12를 참조하여 설명한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환장치는 장착유닛(10)과, 교환유닛(20)과, 상부테이핑유닛(30)과, 베이스유닛(40)과, 상부부착유닛(50)과, 하부부착유닛(60)과, 하부테이핑유닛(70)과, 장력조절유닛(80)을 포함할 수 있고, 공급유닛(90)을 더 포함할 수 있다.

여기서, 본체(B)는 장착유닛(10)과, 교환유닛(20)과, 상부테이핑유닛(30)과, 베이스유닛(40)과, 상부부착유닛(50)과, 하부부착유닛(60)과, 하부테이핑유닛(70)과, 장력조절유닛(80)과, 공급유닛(90)이 내장된다. 본체(B)의 일측면에는 웨이퍼 라미네이트 장치와 도킹되는 도킹부가 구비된다. 도킹부는 장력조절유닛(80) 쪽에 구비되는 것이 바람직하다. 본체(B)의 측면에는 내장된 유닛의 동작 감시, 내장된 유닛의 유지보수를 위해 본체(B)의 내부가 보이는 투시창이 구비된 도어가 구비된다. 본체(B)의 하부에는 도킹을 위해 이동수단 및 본체의 고정을 유지하기 위한 고정지지부가 구비될 수 있다.

장착유닛(10)은 기존 테이프롤(R) 또는 신규 테이프롤(R)이 탈부착 가능하게 결합된다.

장착유닛(10)은 코어배출부(111)가 개구된 장착베이스(11)와, 코어배출부(111)의 일측에서 장착베이스(11)에 구비되는 고정브라켓(12)과, 고정브라켓(12)에서 이격 배치되는 장착브라켓(13)과, 고정브라켓(12)과 장착브라켓(13) 사이에서 기존 테이프롤(R)과 신규 테이프롤(R) 중 어느 하나를 회전 가능하게 파지되는 롤러회전모듈(14)과, 장착베이스(11)에서 장착브라켓(13)을 슬라이드 이동시키는 장착모듈(15)과, 장착베이스(11)를 승강 이동시키는 장착승강모듈(16)을 포함할 수 있다.

장착베이스(11)의 하부에는 코어배출부(111)와 연통되어 롤러회전모듈(14)에서 분리되는 기존 테이프롤(R)이 배출되는 경로를 형성하는 코어배출안내부(112)가 구비될 수 있다.

롤러회전모듈(14)은 고정브라켓(12)에 구비되어 회전력을 발생시키는 롤회전구동부(141)와, 고정브라켓(12)에 회전 가능하게 결합되어 회전력에 의해 회전되는 구동척부(142)와, 구동척부(142)와 동축으로 이루어지고 장착브라켓(13)에 회전 가능하게 결합되는 아이들척부(143)를 포함할 수 있다. 여기서, 구동척부(142)와 아이들척부(143)에는 경사지지부가 구비되므로, 구동척부(142)와 아이들척부(143)가 롤코어의 양단부를 지지할 때, 구동척부(142)와 아이들척부(143)와 롤코어 사이의 동심도를 일치시킬 수 있다.

장착모듈(15)은 장착베이스(11)를 기준으로 장착브라켓(13)이 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 장착왕복부(151)와, 장착브라켓(13)이 슬라이드 이동되도록 장착왕복부(151)를 동작시키는 장착구동부(152)를 포함할 수 있다. 여기서, 장착왕복부(151)는 리니어 방식 또는 볼스크류 방식으로 동작될 수 있다.

장착승강모듈(16)은 장착베이스(11)가 승강 이동 가능하게 결합되는 장착승강왕복부(161)와, 장착베이스(11)가 승강 이동되도록 장착승강왕복부(161)를 동작시키는 장착승강구동부(162)를 포함할 수 있다. 여기서, 장착승강왕복부(161)는 리니어 방식 또는 볼스크류 방식으로 동작될 수 있다.

교환유닛(20)은 테이프가 이동되는 제1방향("a",3축방향중 X축방향)과 제1방향에 수직인 제2방향("b",3축방향중 Y축방향으로 테이프의 폭 방향) 중 적어도 어느 하나를 따라 왕복 이동 가능하다. 교환유닛(20)은 왕복 이동에 대응하여 기존 테이프롤(R)에서 테이프를 분리시킬 수 있다. 교환유닛(20)은 왕복 이동에 대응하여 신규 테이프롤(R)에서 엔드를 절단할 수 있다. 교환유닛(20)은 왕복 이동에 대응하여 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부와 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부가 일치되도록 테이프를 절단할 수 있다. 교환유닛(20)은 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프 또는 신규 테이프롤(R)의 테이프를 흡착 이동시킬 수 있다.

교환유닛(20)은 찬넬브라켓(22)과, 제1교환왕복모듈(21)과, 흡착모듈(23)과, 모듈브라켓(25)과, 제2교환왕복모듈(24)과, 분리커팅모듈(26)과, 엔드커팅모듈(27)과, 결합커팅모듈(28)을 포함할 수 있다.

찬넬브라켓(22)은 베이스유닛(40)의 상측으로 이격 배치된다.

제1교환왕복모듈(21)은 제1방향("a")을 따라 찬넬브라켓(22)을 왕복 이동시킨다. 제1교환왕복모듈(21)은 리니어 방식 또는 볼스크류 방식을 채택하여 찬넬브라켓(22)을 왕복 이동시킬 수 있다.

흡착모듈(23)은 찬넬브라켓(22)에 구비되어 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프 또는 신규 테이프롤(R)의 테이프를 흡착한다.

흡착모듈(23)은 장착유닛(10) 쪽에서 찬넬브라켓(22)에 구비되는 제1흡착헤더(231)와, 제1흡착헤더(231)에 배치되는 다수의 제1흡착부(232)와, 제1흡착헤더(231)와 이격되어 장력조절유닛(80) 쪽에서 찬넬브라켓(22)에 구비되는 제2흡착헤더(233)와, 제2흡착헤더(233)에 배치되는 다수의 제2흡착부(234)와, 테이프를 흡착하기 위한 흡착력을 발생시키는 흡착구동부(235)와, 제1흡착헤더(231)와 제2흡착헤더(233) 중 적어도 어느 하나에 흡착력을 제공하는 흡착선택부(236)를 포함할 수 있다.

제1흡착헤더(231)와 제2흡착헤더(233)는 제2방향("b")을 따라 길게 형성되고, 제1흡착부(232)는 다수 개가 제1흡착헤더(231)를 따라 이격 배치되며, 제2흡착부(234)는 다수 개가 제2흡착헤더(233)를 따라 이격 배치된다. 제1흡착부(232)와 제2흡착부(234)는 각각 흡착헤더에 제공되는 흡착력으로 테이프를 흡착 지지할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에서 흡착모듈(23)은 흡착구동부(235)와 흡착선택부(236)로 구성되는 것으로 도시하였지만, 여기에 한정하는 것은 아니고, 흡착모듈(23)의 흡착구동부(235)와 흡착선택부(236)는 제1흡착헤더(231)에 흡착력을 제공하는 제1흡착구동부와, 제2흡착헤더(233)에 흡착력을 제공하는 제2흡착구동부로 치환될 수 있다.

흡착모듈(23)은 찬넬브라켓(22)을 기준으로 제1흡착헤더(231)를 왕복 이동시키는 제1승강구동부(237)과, 찬넬브라켓(22)을 기준으로 제2흡착헤더(233)를 왕복 이동시키는 제2승강구동부(238)을 더 포함할 수 있다.

모듈브라켓(25)은 제1흡착헤더(231)와 제2흡착헤더(233) 사이에 구비된다. 모듈브라켓(25)에는 분리커팅모듈(26)과 엔드커팅모듈(27)과 결합커팅모듈(28)이 결합되는 제1보조브라켓(251)과, 상부테이핑유닛(30)의 상부부착모듈(32)과 상부커팅모듈(33)이 결합되는 제2보조브라켓(252)과, 상부테이핑유닛(30)의 상부파지모듈(31)이 결합되는 제3보조브라켓(253)이 포함될 수 있다.

제2교환왕복모듈(24)은 제2방향("b")을 따라 찬넬브라켓(22)을 기준으로 모듈브라켓(25)을 왕복 이동킨다. 제2교환왕복모듈(24)은 리니어 방식 또는 볼스크류 방식을 채택하여 찬넬브라켓(22)을 왕복 이동시킬 수 있다.

분리커팅모듈(26)은 모듈브라켓(25)에 결합된다. 분리커팅모듈(26)은 기존 테이프롤(R)에서 연장되는 테이프를 제2방향("b")을 따라 절단한다.

분리커팅모듈(26)은 기존 테이프롤(R)에서 연장되는 테이프를 절단하는 분리커팅부(261)와, 모듈브라켓(25)을 기준으로 분리커팅부(261)를 왕복 이동시키는 분리구동부(262)를 포함할 수 있다. 분리커팅부(261)는 분리구동부(262)에 수직으로 결합되고 테이프의 절단 위치에 대응하여 분리커팅홈부(264)가 함몰 형성된 분리커터부(263)와, 절단하고자 하는 테이프와 수직을 이루면서 절단하고자 하는 테이프에 경사지게 지지되는 분리날부(265)를 포함하므로, 테이프의 절단력을 향상시킬 수 있다.

엔드커팅모듈(27)은 분리커팅모듈(26)에서 이격되어 모듈브라켓(25)에 결합된다. 엔드커팅모듈(27)은 신규 테이프롤(R)에 구비된 엔드를 감지하여 절단한다.

엔드커팅모듈(27)은 신규 테이프롤(R)의 엔드를 절단하는 엔트커팅부(271)와, 모듈브라켓(25)을 기준으로 엔트커팅부(271)를 왕복 이동시키는 엔드구동부(272)를 포함할 수 있다. 엔드커팅부(271)는 엔드구동부(272)에 결합되고 신규 테이프롤(R)의 엔드에 대응하여 엔드커팅홈부(274)가 구비되는 엔드커터부(273)와, 엔드커팅홈부(274)에 구비되는 엔드날부(275)와, 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부가 지지되도록 엔드커터부(273)에서 연장되는 테이프지지돌부(276)와, 테이프지지돌부(276)가 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부가 지지될 때, 테이프를 감지하는 테이프감지센서(277)를 포함할 수 있다. 이때, 엔드커터부(273)와 테이프지지돌부(276) 중 적어도 테이프지지돌부(276)는 신규 테이프롤(R)을 향해 하향 경사를 이루므로, 테이프지지돌부(276)가 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부로 안정되게 삽입되고, 테이프감지센서(277)가 테이프의 단부를 감지하면, 엔드날부(275)가 신규 테이프롤(R)의 엔드를 간편하게 절단하여 신규 테이프롤(R)의 테이프가 풀림 가능하도록 한다.

결합커팅모듈(28)은 분리커팅모듈(26)과 엔드커팅모듈(27)에서 이격되어 모듈브라켓(25)에 결합된다. 결합커팅모듈(28)은 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부와 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부가 일치되도록 제2방향("b")을 따라 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부와 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부를 절단한다.

결합커팅모듈(28)은 제2방향("b")을 따라 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부와 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부를 절단하는 결합커팅부(281)와, 모듈브라켓(25)을 기준으로 결합커팅부(281)를 왕복 이동시키는 결합구동부(282)를 포함할 수 있다. 결합커팅부(281)는 찬넬 형상으로 결합구동부(282)에 결합되는 결합커터부(283)와, 결합커터부(283)에 회전 가능하게 결합되는 원판 형상의 회전날부(284)를 포함하므로, 제2방향("b")을 따라 결합커팅모듈(28)이 이동할 때, 회전날부(284)가 회전 가능함에 따라 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부와 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부를 깔끔하게 절단할 수 있다.

상부테이핑유닛(30)은 교환유닛(20)에 구비된다. 상부테이핑유닛(30)은 제1방향("a")과 제2방향("b") 중 적어도 어느 하나를 따라 왕복 이동 가능하다. 상부테이핑유닛(30)은 왕복 이동에 대응하여 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프와 신규 테이프롤(R)의 테이프를 연결하는 제1부착부재를 파지 이동시킬 수 있다. 상부테이핑유닛(30)은 왕복 이동에 대응하여 제1부착부재를 테이프에 부착시킬 수 있다. 상부테이핑유닛(30)은 왕복 이동에 대응하여 제1부착부재를 절단할 수 있다.

상부테이핑유닛(30)은 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프와 신규 테이프롤(R)의 테이프를 연결하는 제1부착부재를 파지하는 상부파지모듈(31)과, 제1부착부재를 테이프에 부착시키는 상부부착모듈(32)과, 제1부착부재를 절단하는 상부커팅모듈(33)을 포함할 수 있다.

상부파지모듈(31)은 제1부착부재를 파지하기 위한 상부집게부(311)와, 상부집게부(311)를 회동시키는 상부집게구동부(312)를 포함할 수 있다.

상부부착모듈(32)은 상부집게부(311)에서 이격 배치되는 상부찬넬부(321)와, 상부찬넬부(321)에 회전 가능하게 결합되는 상부롤러부(322)와, 모듈브라켓(25)을 기준으로 상부찬넬부(321)를 왕복 이동시키는 상부부착구동부(323)를 포함할 수 있다. 상부부착모듈(32)은 상부찬넬부(321)에 결합되어 상부커팅모듈(33)의 상부커터부(331)를 왕복 이동 가능하게 지지하는 상부커팅지지부(324)를 더 포함하므로, 상부커터부(331)의 왕복 이동을 명확하게 하고, 상부커터부(331)의 유동을 방지하여 제1부착부재의 절단력을 향상시킬 수 있다.

상부커팅모듈(33)은 상부집게부(311)와 상부찬넬부(321)에서 이격되고 제1부착부재를 향해 상부날부(332)가 구비되는 상부커터부(331)와, 모듈브라켓(25)을 기준으로 상부커터부(331)를 왕복 이동시키는 상부커팅구동부(333)를 포함할 수 있다.

베이스유닛(40)은 교환유닛(20)에서 이격 배치된다. 베이스유닛(40)에는 상부부착유닛(50)과, 장력조절유닛(80)이 이격 배치된다.

상부부착유닛(50)은 베이스유닛(40)에 구비된다. 상부부착유닛(50)은 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프와 신규 테이프롤(R)의 테이프를 흡착 지지할 수 있다. 상부부착유닛(50)은 제1부착부재가 권취된 제1부착코어를 회전 가능하게 지지할 수 있다.

상부부착유닛(50)은 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부와 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부가 흡착 지지되는 상부포러스모듈(51)과, 제1부착코어가 회전 가능하게 결합되는 상부테이핑모듈(53)을 포함할 수 있다.

상부포러스모듈(51)에는 상부포러스흡착구동부(미도시)가 연결되어 상부포러스모듈(51)에 흡착력을 제공할 수 있다. 상부포러스모듈(51)에는 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부가 흡착 지지되는 제1상부포러스부(511)와, 제1상부포러스부(511)에서 이격되어 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부가 흡착 지지되는 제2상부포러스부(512)와, 제1상부포러스부(511)와 제2상부포러스부(512) 사이에 구비되어 결합커팅모듈(28)의 회전날부(284)가 이동하는 경로를 형성하는 상부커팅슬릿부(513)가 포함될 수 있다.

상부테이핑모듈(53)은 제1부착코어가 회전 가능하게 결합되는 상부부착브라켓(531)과, 제1부착부재의 비부착면이 지지되도록 상부부착브라켓(531)에 탈부착 가능하게 결합되는 상부부재지지부(532)와, 제1부착부재의 부착면이 지지되도록 상부부착브라켓(531)에 회전 가능하게 결합되는 상부부재지지롤러(533)를 포함할 수 있다. 상부테이핑모듈(53)은 상부부재지지롤러(533)에서 상부포러스모듈(51) 쪽으로 이격되어 상부부재지지부(532)의 하측에 구비되는 상부부재파지부(534)와, 상부부재파지부(534)가 제1부착부재의 부착면에 탈부착 가능하도록 상부부재파지부(534)를 왕복 이동시키는 상부부재파지구동부(535)를 더 포함할 수 있다. 그러면, 제1부착부재가 제1부착코어에서 풀릴 때, 제1부착부재의 장력을 조절하고, 제1부착부재의 처짐에 따라 제1부착부재가 임의로 테이프에 부착되는 것을 방지할 수 있다.

상부부착유닛(50)은 상부포러스모듈(51)에 흡착 지지된 테이프의 폭 방향 가장자리를 지지하는 테이프지지모듈(52)과, 상부포러스모듈(51)을 기준으로 테이프를 승강 이동시키는 지지롤러모듈(54)과, 결합커팅모듈(28)에 의해 테이프에서 분리된 잔여물이 배출되는 부재배출부(55) 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다.

테이프지지모듈(52)은 테이프의 폭 방향에 대응하여 상부포러스모듈(51)의 양측에 회전 가능하게 결합되는 찬넬 형상의 테이프지지브라켓(521)과, 테이프지지브라켓(521)을 정역 회전시키는 지지회전구동부(522)를 포함할 수 있다. 그러면, 테이프가 이동될 때에는 테이프지지브라켓(521)이 상부포러스모듈(51)에서 이격되고, 테이프가 상부포러스모듈(51)에 흡착되면, 테이프지지브라켓(521)이 테이프를 가압 지지할 수 있다.

지지롤러모듈(54)은 제1방향("a")에 대응하여 상부포러스모듈(51)의 전방과 후방 중 적어도 어느 하나에 구비된다. 지지롤러모듈(54)은 아이들 회전이 가능한 지지롤러부(541)와, 지지롤러부(541)를 승강 이동시키는 롤러승강구동부(542)를 포함할 수 있으므로, 테이프의 이동에 대응하여 테이프를 상부포러스모듈(51)로부터 이격시키므로, 상부포러스모듈(51)에 의해 테이프에 스크래치가 발생되는 것을 방지할 수 있다.

부재배출부(55)는 베이스유닛(40)에 관통 형성되고, 상부포러스모듈(51)과 지지롤러모듈(54) 사이에 배치되거나, 지지롤러모듈(54)과 장착유닛(10) 사이 또는 지지롤러모듈(54)과 장력조절유닛(80) 사이에 배치될 수 있다.

부재배출부(55)의 하측으로 베이스유닛(40)의 하측에는 부재배출부(55)에서 배출되는 잔여물이 수용되는 부재배출함(551)이 구비될 수 있다. 부재배출함(551)은 배출함왕복구동부(552)를 통해 제2방향("b")으로 슬라이드 이동 가능하므로, 잔여물을 본체(B)의 외부로 배출시킬 수 있다.

하부부착유닛(60)은 상부부착유닛(50)에서 이격 배치된다. 하부부착유닛(60)은 장력조절유닛(80)에 구비될 수 있다. 하부부착유닛(60)은 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프와 신규 테이프롤(R)의 테이프를 흡착 지지할수 있다. 하부부착유닛(60)은 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프와 신규 테이프롤(R)의 테이프를 연결하는 제2부착부재가 권취된 제2부착코어를 회전 가능하게 지지할 수 있다.

하부부착유닛(60)은 상부부착유닛(50)에 의해 테이프가 연결된 부분이 흡착 지지되는 하부포러스모듈(61)과, 제2부착코어가 회전 가능하게 결합되는 하부테이핑모듈(63)을 포함할 수 있다.

하부포러스모듈(61)에는 하부포러스흡착구동부(미도시)가 연결되어 하부포러스모듈(61)에 흡착력을 제공할 수 있다. 일예로, 하부포러스모듈(61)에는 상부부착유닛(50)에 의해 테이프가 연결된 부분이 흡착 지지되는 하부포러스부(미도시)가 구비될 수 있다. 다른 예로, 하부포러스모듈(61)에는 상부포러스모듈(51)과 같이 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부가 흡착 지지되는 제1하부포러스부와, 제1하부포러스부에서 이격되어 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부가 흡착 지지되는 제2하부포러스부가 포함될 수 있다.

하부테이핑모듈(63)은 상부테이핑모듈(53)과 동일한 구성을 나타낼 수 있다. 좀더 자세하게, 하부테이핑모듈(63)은 제2부착코어가 회전 가능하게 결합되는 하부부착브라켓과, 제2부착부재의 비부착면이 지지되도록 하부부착브라켓에 탈부착 가능하게 결합되는 하부부재지지부와, 제2부착부재의 부착면이 지지되도록 하부부착브라켓에 회전 가능하게 결합되는 하부부재지지롤러를 포함할 수 있다. 하부테이핑모듈(63)은 하부부재지지롤러에서 하부포러스모듈(61) 쪽으로 이격되어 하부부재지지부의 하측에 구비되는 하부부재파지부와, 하부부재파지부가 제2부착부재의 부착면에 탈부착 가능하도록 하부부재파지부를 승강 이동시키는 하부부재파지구동부를 더 포함할 수 있다. 그러면, 제2부착부재가 제2부착코어에서 풀릴 때, 제2부착부재의 장력을 조절하고, 제2부착부재의 처짐에 따라 제2부착부재가 임의로 테이프에 부착되는 것을 방지할 수 있다.

하부부착유닛(60)은 테이프의 이동에 대응하여 하부포러스모듈(61)을 왕복 이동시키는 하부모듈구동부(62)를 더 포함할 수 있다. 하부모듈구동부(62)는 테이프의 이동에 대응하여 테이프를 하부포러스모듈(61)로부터 이격시키므로, 하부포러스모듈(61)에 의해 테이프에 스크래치가 발생되는 것을 방지할 수 있다.

하부테이핑유닛(70)은 하부부착유닛(60)에 대응하여 장력조절유닛(80)에 구비될 수 있다. 하부테이핑유닛(70)은 제2방향("b")을 따라 왕복 이동 가능하다. 하부테이핑유닛(70)은 왕복 이동에 대응하여 제2부착부재를 파지 이동시킬 수 있다. 하부테이핑유닛(70)은 왕복 이동에 대응하여 제2부착부재를 테이프에 부착시킬 수 있다. 하부테이핑유닛(70)은 왕복 이동에 대응하여 제2부착부재를 절단할 수 있다.

하부테이핑유닛(70)은 제2부착부재를 파지하는 하부파지모듈(71)과, 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프와 신규 테이프롤(R)의 테이프가 연결된 부분에서 제1부착부재와 대향되는 면(테이프의 하부면)에 제2부착부재를 부착시키는 하부부착모듈(72)과, 제2부착부재를 절단하는 하부커팅모듈(73)을 포함할 수 있다.

하부테이핑유닛(70)은 제2방향("b")으로의 왕복 이동을 위해 하부파지모듈(71)과 하부부착모듈(72)과 하부커팅모듈(73)이 결합되는 하부브라켓(75)과, 제2방향("b")을 따라 하부브라켓(75)을 왕복 이동시키는 하부왕복모듈(74)을 더 포함할 수 있다. 하부왕복모듈(74)은 리니어 방식 또는 볼스크류 방식을 채택하여 하부브라켓(75)을 왕복 이동시킬 수 있다.

하부파지모듈(71)은 상부파지모듈(31)과 동일한 구성을 나타낼 수 있다. 하부파지모듈(71)은 제2부착부재를 파지하기 위한 하부집게부와, 하부집게부를 회동시키는 하부집게구동부를 포함할 수 있다. 하부집게구동부는 하부브라켓에 결합될 수 있다.

하부부착모듈(72)은 하부집게부에서 이격 배치되는 하부찬넬부와, 하부찬넬부에 회전 가능하게 결합되는 하부롤러부와, 하부브라켓(75)을 기준으로 하부찬넬부를 왕복 이동시키는 하부부착구동부를 포함할 수 있다. 하부부착모듈(72)은 하부찬넬부에 결합되어 하부커팅모듈(73)의 하부커터부를 왕복 이동 가능하게 지지하는 하부커팅지지부를 더 포함하므로, 하부커터부의 왕복 이동을 명확하게 하고, 하부커터부의 유동을 방지하여 제2부착부재의 절단력을 향상시킬 수 있다.

하부커팅모듈(73)은 하부집게부와 하부찬넬부에서 이격되고 제2부착부재를 향해 하부날부가 구비되는 하부커터부와, 하부브라켓(75)을 기준으로 하부커터부를 왕복 이동시키는 하부커팅구동부를 포함할 수 있다.

장력조절유닛(80)은 상부부착유닛(50)에서 이격되어 베이스유닛(40)에 구비된다. 장력조절유닛(80)은 테이프의 장력을 조절한다.

장력조절유닛(80)은 테이프의 폭에 대응하여 제2방향("b")을 따라 이격되어 베이스유닛(40)에 결합되는 한 쌍의 장력조절브라켓(81)과, 지지롤러모듈(54)에 인접하여 테이프를 지지하는 제1전환롤러(82)와, 제1전환롤러(82)의 상측에 배치되는 제2전환롤러(83)와, 제1방향("a")을 따라 제2전환롤러(83)에서 이격 배치되어 테이프를 파지하는 전달롤러(84)와, 테이프의 이동을 위해 전달롤러(84)를 회전시키는 전달롤러구동부(841)와, 제1방향("a")을 따라 전달롤러(84)에서 이격 배치되는 한 쌍의 제3전환롤러(85)와, 제3전환롤러(85)의 하측에 배치되는 제4전환롤러(86)를 포함할 수 있다.

장력조절유닛(80)은 전달롤러(84)와 제3전환롤러(85) 사이에서 승강 이동 가능한 장력조절롤러와 테이프의 장력 조절을 위해 장력조절브라켓(81)을 기준으로 장력조절롤러의 높이를 조절하는 장력조절부(87)를 더 포함할 수 있다. 장력조절부(87)는 장력조절브라켓(81)을 기준으로 장력조절롤러를 탄성 가압할 수 있다.

장력조절유닛(80)은 한 쌍의 제3전환롤러(85) 사이에서 테이프를 클램핑하는 클램핑모듈(88)을 더 포함할 수 있다. 클램핑모듈(88)은 테이프의 간헐적 이동을 구현하고, 테이프가 임의로 이동되는 것을 방지할 수 있다.

장력조절유닛(80)은 제4전환롤러(86)에서 이격되어 제4전환롤러(86)를 통과한 테이프의 표면에서 이물질을 제거하는 클리닝모듈(89)을 더 포함할 수 있다. 클리닝모듈(89)은 테이프의 표면에 클리닝기체를 분사하여 테이프의 표면에서 이물질을 제거할 수 있다.

여기서, 제1전환롤러(82)와 제2전환롤러(83)와 제3전환롤러(85)와 제4전환롤러(86)와 전달롤러(84)와 장력조절롤러는 장력조절브라켓(81)에 회전 가능하게 결합되도록 한다. 또한, 제1전환롤러(82)와 제2전환롤러(83) 사이에 하부부착유닛(60)과 하부테이핑유닛(70)이 구비될 수 있다.

공급유닛(90)은 신규 테이프롤(R)을 장착유닛(10)에 전달한다. 공급유닛(90)은 안착된 신규 테이프롤(R)을 장착유닛(10)에 전달하는 전달구동모듈을 포함하고, 신규 테이프롤(R)을 전달구동모듈에 전달하는 공급구동모듈을 더 포함할 수 있다.

전달구동모듈은 신규 테이프롤(R)이 안착되는 전달포크(94)와, 전달포크(94)가 결합되는 전달브라켓(95)과, 장착유닛(10)을 향해 전달브라켓(95)을 왕복 이동시키는 롤전달구동부(96)를 포함할 수 있다.

공급구동모듈은 신규 테이프롤이 안착되는 적어도 하나의 공급포크(91)와, 공급포크(91)가 결합되는 공급브라켓(92)과, 공급브라켓(92)을 승강 이동시키는 롤공급구동부(93)를 포함할 수 있다.

이때, 공급유닛(90)에는 공급포크(91)의 승강 이동에 대응하여 공급포크(91)가 통과하도록 전달포크(94)에 함몰 형성되는 전달포크홈(941)과, 공급포크(91)의 승강 이동에 대응하여 전달포크(94)가 통과하도록 공급포크(91)에 함몰 형성되는 공급포크홈(911) 중 적어도 어느 하나가 더 포함된다. 이에 따라, 공급포크(91)의 하강에 따라 공급포크(91)가 전달포크홈(941)을 통과하거나, 전달포크(94)가 공급포크홈(911)을 통과하면, 공급포크(91)에 안착된 신규 테이프롤(R)이 전달포크(94)에 안착된다.

지금부터는 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법에 대하여 설명한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환장치를 이용하여 기존 테이프롤(R)에서 롤코어에 권취된 웨이퍼 라미네이트용 테이프가 소진된 경우, 새로운 롤코어에 테이프가 권취된 신규 테이프롤(R)로 교환할 수 있다.

도 13 내지 도 27을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법은 신규롤장착단계(S3)와, 신규롤정위치단계(S4)와, 엔드커팅전진단계(S5)와, 신규롤회전단계(S6)와, 엔드감지단계(S7)와, 엔드커팅단계(S8)와, 제1흡착단계(S9)와, 제1흡착이동단계(S10)와, 제1상부안착단계(S11)와, 테이프절단단계(S16)와, 잔여물제거단계(S17)와, 상부테이핑단계(S18)와, 테이프이동단계(S19)와, 하부안착단계(S20)와, 하부테이핑단계(S21)를 포함할 수 있다.

신규롤장착단계(S3)는 장착유닛(10)에 도 14에 도시된 바와 같은 신규 테이프롤(R)을 결합시킨다. 좀더 자세하게, 신규롤장착단계(S3)에서는 구동척부(142)와 아이들척부(143) 사이에 신규 테이프롤(R)이 배치되면, 장착모듈(15)의 동작으로 구동척부(142)와 아이들척부(143)가 신규 테이프롤(R)의 롤코어에 결합되므로, 구동척부(142)와 아이들척부(143)와 신규 테이프롤(R)의 롤코어가 동심도를 일치시킨 상태로 결합된다.

신규롤정위치단계(S4)는 장착유닛(10)의 승강 이동에 따라 신규 테이프롤(R)을 정위치시킨다. 좀더 자세하게, 신규롤정위치단계(S4)에서는 장착유닛(10)의 장착승강모듈(16)의 동작으로 신규 테이프롤(R)은 기설정된 위치로 이동하여 정위치될 수 있다.

엔드커팅전진단계(S5)는 신규 테이프롤(R)의 엔드를 절단하기 위해 교환유닛(20)에 구비된 엔드커팅부(271)를 정위치된 신규 테이프롤(R)로 이동시킨다. 좀더 자세하게, 엔드커팅전진단계(S5)에서는 흡착모듈(23)이 찬넬브라켓(22)에 근접한 상태에서 엔드커팅모듈(27)의 엔드커팅부(271)가 찬넬브라켓(22)에서 이격되도록 이동하고, 제1교환왕복모듈(21)과 제2교환왕복모듈(24)의 동작에 따라 엔드커팅부(271)가 정위치된 신규 테이프롤(R)로 이동할 수 있다.

신규롤회전단계(S6)는 엔드커팅전진단계(S5)를 거친 다음, 장착유닛(10)에서 신규 테이프롤(R)을 회전시킨다. 좀더 자세하게, 신규롤회전단계(S6)에서는 정위치된 신규 테이프롤(R)에 엔드커팅부(271)가 위치한 상태에서 롤러회전모듈(14)을 동작시켜 신규 테이프롤(R)을 회전시킬 수 있다.

엔드감지단계(S7)는 신규 테이프롤(R)의 회전에 따라 엔드커팅부(271)가 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부를 감지한다. 좀더 자세하게, 엔드감지단계(S7)에서는 신규 테이프롤(R)의 회전에 따라 테이프지지돌부(276)가 신규 테이프롤(R)의 단부를 지지하고, 테이프감지센서(277)에 의해 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부를 감지할 수 있다.

엔드커팅단계(S8)는 엔드감지단계(S7)를 거친 다음, 교환유닛(20)을 제2방향("b")으로 이동시켜 신규 테이프롤(R)의 엔드를 절단한다. 좀더 자세하게, 엔드커팅단계(S8)에서는 테이프감지센서(277)에 의해 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부가 감지되면, 신규 테이프롤(R)의 회전이 정지되고, 제2교환왕복모듈(24)의 동작에 따라 교환유닛(20)이 제2방향("b")으로 이동하므로, 엔드커팅부(271)의 엔드날부(275)가 신규 테이프롤(R)의 엔드를 절단할 수 있다.

제1흡착단계(S9)는 엔드커팅단계(S8)를 거친 다음, 교환유닛(20)에 구비된 제1흡착부(232)로 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부를 흡착 지지한다. 좀더 자세하게, 제1흡착단계(S9)에서는 엔드커팅부(271)가 원위치로 복귀하고, 제1흡착부(232)가 제1교환왕복모듈(21)과 제2교환왕복모듈(24)의 동작에 따라 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부로 이동하며, 제1승강구동부(237)의 동작에 따라 제1흡착부(232)가 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부에 지지되고, 흡착구동부(235)의 동작에 따라 제1흡착부(232)가 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부를 흡착 지지할 수 있다.

제1흡착이동단계(S10)는 제1흡착단계(S9)를 거친 다음, 교환유닛(20)에 구비된 제1흡착부(232)를 상부부착유닛(50)에 구비된 상부포러스모듈(51)로 이동시킨다. 좀더 자세하게, 제1흡착이동단계(S10)에서는 제1흡착부(232)를 원위치로 이동시킨 다음, 제1교환왕복모듈(21)과 제2교환왕복모듈(24)의 동작에 따라 제1흡착부(232)를 상부포러스모듈(51)의 제2상부포러스부(512)의 상측으로 이동시킬 수 있다.

제1상부안착단계(S11)는 제1흡착이동단계(S10)를 거친 다음, 상부부착유닛(50)에 구비된 상부포러스모듈(51)로 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부를 흡착 지지한다. 좀더 자세하게, 제1상부안착단계(S11)에서는 제1흡착부(232)를 제2상부포러스부(512)로 이동시킨 다음, 제1흡착부(232)의 흡착력을 해제하고, 제2상부포러스부(512)에 흡착력을 제공함에 따라 상부포러스모듈(51)의 제2상부포러스부(512)가 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부를 흡착 지지할 수 있다. 그리고 제1흡착부(232)는 원위치로 이동할 수 있다.

테이프절단단계(S16)는 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부와 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부가 일치되도록 제2방향("b")을 따라 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부와 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부를 절단한다. 좀더 자세하게, 제1상부포러스부(511)에는 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부가 흡착 지지되고, 제2상부포러스부(512)에는 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부가 흡착 지지된다. 테이프절단단계(S16)에서는 제1교환왕복모듈(21)과 제2교환왕복모듈(24)의 동작에 따라 회전날부(284)를 상부커팅슬릿부(513)의 상측으로 이동시킨 다음, 결합구동부(282)의 동작에 따라 회전날부(284)를 이동시켜 상부커팅슬릿부(513)에 결합시키고, 제2교환왕복모듈(24)의 동작에 따라 회전날부(284)를 제2방향("b")으로 이동시키므로, 회전날부(284)가 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부와 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부를 절단할 수 있다. 절단이 완료되면, 회전날부(284)는 원위치로 복귀한다. 이때, 테이프지지모듈(52)을 통해 테이프를 지지할 수 있다.

잔여물제거단계(S17)는 테이프절단단계(S16)를 거친 다음, 테이프에서 분리된 잔여물을 제거한다. 좀더 자세하게, 잔여물제거단계(S17)에서는 제1흡착부(232) 또는 제2흡착부(234)를 상부부착유닛(50)과 마주보도록 이동시킨 다음, 제1흡착부(232) 또는 제2흡착부(234)를 상부부착유닛(50)으로 이동시키고, 흡착력을 제공하여 잔여물을 흡착 지지하므로, 잔여물을 부재배출부(55) 또는 별도의 배출구에 배출할 수 있다.

상부테이핑단계(S18)는 잔여물제거단계(S17)를 거친 다음, 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부와 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부에서 일측면을 연결시킨다. 좀더 자세하게, 상부테이핑단계(S18)에서는 제1교환왕복모듈(21)과 제2교환왕복모듈(24)의 동작에 따라 상부집게부(311)가 제1부착부재의 단부로 이동한 다음, 상부집게구동부(312)의 동작에 따라 상부집게부(311)가 제1부착부재의 단부를 파지하고, 제2방향("b")으로 이동하여 제1부착부재가 테이프를 가로지르도록 한다. 그리고 상부부착구동부(323)의 동작에 따라 상부롤러부(322)가 상부포러스모듈(51)로 이동한 다음, 제2방향("b")을 따라 상부롤러부(322)가 이동하므로, 상부롤러부(322)는 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부와 신규 테이프롤(R)의 테이프의 단부에서 일측면에 제1부착부재를 부착할 수 있다. 다음으로, 상부커팅구동부(333)의 동작에 따라 상부날부(332)가 제1부착부재를 향해 이동하므로, 상부날부(332)는 제1부착부재를 절단할 수 있다. 그리고 상부롤러부(322)와 상부날부(332)는 원위치로 이동한다. 또한, 지지롤러모듈(54)은 하강된 상태에서 테이프의 이동에 간섭되지 않는다.

테이프이동단계(S19)는 상부테이핑단계(S18)를 거친 다음, 제1방향("a")을 따라 테이프를 이동시켜 상부테이핑단계(S18)를 거쳐 테이프가 상호 연결된 부분을 하부부착유닛(60)에 구비된 하부포러스모듈(61)로 이동시킨다. 좀더 자세하게, 테이프이동단계(S19)에서는 상부포러스모듈(51)의 흡착력을 해제하고, 롤러승강구동부(542)의 동작에 따라 지지롤러부(541)를 상승시켜 테이프가 상부포러스모듈(51)에서 이격되도록 하고, 롤러회전모듈(14)과 전달롤러구동부(841) 중 적어도 전달롤러구동부(841)를 동작시키면, 테이프가 이동되고, 상부테이핑단계(S18)를 거쳐 테이프가 상호 연결된 부분이 하부부착유닛(60)의 하부포러스모듈(61)로 이동된다. 이때, 하부포러스모듈(61)은 테이프에서 이격된 상태를 나타낸다.

하부안착단계(S20)는 테이프이동단계(S19)를 거친 다음, 하부부착유닛(60)에 구비된 하부포러스모듈(61)로 상부테이핑단계(S18)를 거쳐 테이프가 상호 연결된 부분을 흡착 지지한다. 좀더 자세하게, 하부안착단계(S20)에서는 하부모듈구동부(62)의 동작에 따라 하부포러스모듈(61)이 테이프에 지지되고, 하부포러스모듈(61)에 흡착력이 제공되어 하부포러스모듈(61)에 상부테이핑단계(S18)를 거쳐 테이프가 상호 연결된 부분을 흡착 지지할 수 있다.

하부테이핑단계(S21)는 하부안착단계(S20)를 거친 다음, 상부테이핑단계(S18)를 거쳐 테이프가 상호 연결된 부분에서 타측면을 연결시킨다. 좀더 자세하게, 하부테이핑단계(S21)에서는 하부왕복모듈(74)의 동작에 따라 하부집게부가 제2부착부재의 단부로 이동한 다음, 하부집게구동부의 동작에 따라 하부집게부가 제2부착부재의 단부를 파지하고, 제2방향("b")으로 이동하여 제2부착부재가 테이프를 가로지르도록 한다. 그리고 하부부착구동부의 동작에 따라 하부롤러부가 하부포러스모듈(61)로 이동한 다음, 제2방향("b")을 따라 하부롤러부가 이동하므로, 하부롤러부는 상부테이핑단계(S18)를 거쳐 테이프가 상호 연결된 부분에서 타측면에 제2부착부재를 부착할 수 있다. 다음으로, 하부커팅구동부의 동작에 따라 하부날부가 제2부착부재를 향해 이동하므로, 하부날부는 제2부착부재를 절단할 수 있다. 그리고, 하부롤러부와 하부날부는 원위치로 이동한다. 또한, 하부포러스모듈(61)에서는 흡착력이 해제되고, 하부모듈구동부(62)의 동작에 따라 하부포러스모듈(61)은 테이프에서 이격되어 테이프의 이동에 간섭되지 않는다.

본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법은 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부가 상부포러스모듈(51)의 제1상부포러스부(511)에 흡착 지지되도록 추가이동단계(S12)와, 제2흡착단계(S13)와, 제2흡착이동단계(S14)와, 제2상부안착단계(S15)를 더 포함할 수 있다.

추가이동단계(S12)는 교환유닛(20)에 구비된 제2흡착부(234)를 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부로 이동시킨다. 좀더 자세하게, 추가 이동단계에서는 제1흡착부(232)가 원위치로 이동된 상태에서 제1교환왕복모듈(21)과 제2교환왕복모듈(24)의 동작에 따라 제2흡착부(234)를 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부로 이동시킬 수 있다.

제2흡착단계(S13)는 추가이동단계(S12)를 거친 다음, 교환유닛(20)에 구비된 제2흡착부(234)로 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부를 흡착 지지한다. 좀더 자세하게. 제2흡착단계(S13)에서는 제2흡착부(234)가 제1교환왕복모듈(21)과 제2교환왕복모듈(24)의 동작에 따라 기존 테이프롤(R)의 테이프의 단부로 이동하며, 제2승강구동부(238)의 동작에 따라 제2흡착부(234)가 기존 테이프롤(R)의 테이프의 단부에 지지되고, 흡착구동부(235)의 동작에 따라 제2흡착부(234)가 기존 테이프롤(R)의 테이프의 단부를 흡착 지지할 수 있다.

제2흡착이동단계(S14)는 제2흡착단계(S13)를 거친 다음, 교환유닛(20)에 구비된 제2흡착부(234)를 상부부착유닛(50)에 구비된 상부포러스모듈(51)로 이동시킨다. 좀더 자세하게, 제2흡착이동단계(S14)에서는 제2흡착부(234)를 원위치로 이동시킨 다음, 제1교환왕복모듈(21)과 제2교환왕복모듈(24)의 동작에 따라 제2흡착부(234)를 상부포러스모듈(51)의 제1상부포러스부(512)의 상측으로 이동시킬 수 있다.

제2상부안착단계(S15)는 제2흡착이동단계(S14)를 거친 다음, 상부부착유닛(50)에 구비된 상부포러스모듈(51)로 기존 테이프롤(R)에서 분리된 테이프의 단부를 흡착 지지한다. 좀더 자세하게, 제2상부안착단계(S15)에서는 제2흡착부(234)를 제1상부포러스부(511)로 이동시킨 다음, 제2흡착부(234)의 흡착력을 해제하고, 제1상부포러스부(511)에 흡착력을 제공함에 따라 상부포러스모듈(51)의 제1상부포러스부(511)가 기존 테이프롤(R)의 테이프의 단부를 흡착 지지할 수 있다. 그리고 제2흡착부(234)는 원위치로 이동할 수 있다. 이때, 테이프지지모듈(52)을 통해 테이프를 지지할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 테이프롤 교환방법은 소진롤제거단계(S1-1)와, 신규롤안착단계(S1)와, 신규롤공급단계(S2)와, 테이프공급단계(S22)와, 소진감시단계(S23) 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다.

소진롤제거단계(S1-1)는 신규롤장착단계(S3)에 앞서, 기존 테이프롤(R)에서 테이프를 분리한 다음, 장착유닛(10)에서 테이프가 분리된 기존 테이프롤(R)을 분리 배출시킨다. 좀더 자세하게, 소진롤제거단계(S1-1)에서는 기존 테이프롤(R)의 테이프가 소진됨에 따라 제1교환왕복모듈(21)과 제2교환왕복모듈(24)과 분리구동부(262)의 동작으로 분리커팅부(261)가 테이프의 절단 위치로 이동하고, 분리커팅부(261)가 제2방향("b")을 따라 이동하면서 기존 테이프롤(R)에서 테이프를 절단한다. 이때, 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부는 제1흡착부(232) 또는 제2흡착부(234)를 통해 상부포러스모듈(51)의 제1상부포러부(511)에 전달될 수 있다. 다음으로, 장착모듈(15)의 동작에 따라 장착브라켓(13)이 고정브라켓(12)으로부터 이격되면, 기존 테이프롤(R)은 구동척부(142)와 아이들척부(143)에서 분리되어 코어배출부(111)에 삽입되고, 코어배출안내부(112)를 거쳐 배출되도록 한다.

신규롤안착단계(S1)는 신규 테이프롤(R)을 장착유닛(10)에 전달하기 위해 신규 테이프롤(R)이 공급유닛(90)에 안착 지지된다. 좀더 자세하게, 신규롤안착단계(S1)에서는 공급포크(91)를 전달포크(94)와 같거나 상측에 배치한 다음, 공급포크(91)에 신규 테이프롤(R)을 안착 지지할 수 있다.

신규롤공급단계(S2)는 공급유닛(90)에 안착 지지된 신규 테이프롤(R)을 장착유닛(10)에 전달한다. 좀더 자세하게, 신규롤공급단계(S2)에서는 롤공급구동부(93)의 동작에 따라 공급포크(91)를 하강시키면, 공급포크(91)가 전달포크홈(941)을 통과하거나, 전달포크(94)가 공급포크홈(911)을 통과하고, 공급포크(91)에 안착된 신규 테이프롤(R)이 전달포크(94)에 안착된다.

테이프공급단계(S22)는 하부테이핑단계(S21)를 거친 다음, 테이프를 제1방향("a")으로 이동시킨다. 좀더 자세하게, 테이프공급단계(S22)에서는 롤러회전모듈(14)과 전달롤러구동부(841) 중 적어도 전달롤러구동부(841)를 동작시켜 테이프를 제1방향("a")으로 이동시킬 수 있다.

소진감시단계(S23)는 장착유닛(10)에 결합된 신규 테이프롤(R)의 테이프가 소진되었는지 여부를 감지한다. 좀더 자세하게, 소진감시단계(S23)에서는 장착유닛(10)에 구비된 소진감시센서(미도시)가 롤코어에 권취된 테이프의 두께를 감지하거나, 롤코어에서 풀리는 테이프의 길이 감지함에 따라 테이프롤(R)에서 테이프의 소진 여부를 감지할 수 있다. 테이프롤(R)에서 테이프가 소진되는 경우, 상술한 방법을 통해 테이프가 소진된 기존 테이프롤(R)을 제거하고, 신규 테이프롤(R)로 교환할 수 있다.

상술한 테이프롤 교환장치와 이것을 이용한 테이프롤 교환방법에 따르면, 기존 테이프롤(R)에서 롤코어에 권취된 웨이퍼 라미네이트용 테이프가 소진된 경우, 새로운 롤코어에 테이프가 권취된 신규 테이프롤(R)로 자동 교환할 수 있다.

또한, 신규 테이프롤(R)로의 자동 교환을 통해 현재 운영 중인 테이프롤(R) 교환장치에서 소모품의 테이프롤(R)의 교체로 인한 설비의 정지 시간을 최소화하고, 설비 가동율을 향상시킬 수 있다. 또한, 테이프롤(R)의 교환에 대한 자동화 모듈이 적용되므로, 설비가 정지하지 않더라도 테이프롤(R)을 안정되게 교환할 수 있다. 또한, 테이프를 연속 공급할 수 있다. 또한, 엔드가 신규 테이프롤(R)의 중앙 부분에 위치하므로, 본 발명에 따른 자동화 구현을 용이하게 한다.

또한, 본 발명에 따르면, 발명의 효과에 기재된 효과를 나타낼 수 있다.

상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.

10: 장착유닛 11: 장착베이스 12: 고정브라켓
13: 장착브라켓 14: 롤회전모듈 15: 장착모듈
16: 장착승강모듈 20: 교환유닛 21: 제1교환왕복모듈
22: 찬넬브라켓 23: 흡착모듈 24: 제2교환왕복모듈
25: 모듈브라켓 26: 분리커팅모듈 27: 엔드커팅모듈
28: 결합커팅모듈 30: 상부테이핑유닛 31: 상부파지모듈
32: 상부부착모듈 33: 상부커팅모듈 40: 베이스유닛
50: 상부부착유닛 51: 상부포러스모듈 52: 테이프지지모듈
53: 상부테이핑모듈 54: 지지롤러모듈 55: 부재배출부
60: 하부부착유닛 61: 하부포러스모듈 62: 하부모듈구동부
63: 하부테이핑모듈 70: 하부테이핑유닛 71: 하부파지모듈
72: 하부부착모듈 73: 하부커팅모듈 74: 하부왕복모듈
75: 하부브라켓 80: 장력조절유닛 81: 장력조절브라켓
82: 제1전환롤러 83: 제2전환롤러 84: 전달롤러
841: 전달롤러구동부 85: 제3전환롤러 86: 제4전환롤러
87: 장력조절부 88: 클램핑모듈 89: 클리닝모듈
90: 공급유닛 91: 공급포크 911: 공급포크홈
92: 공급브라켓 93: 롤공급구동부 94: 전달포크
941: 전달포크홈 95: 전달브라켓 96: 롤전달구동부

Claims (3)

1. 기존 테이프롤을 신규 테이프롤로 교환하기 위한 테이프롤 교환방법이고,
   장착유닛에 상기 신규 테이프롤을 결합시키는 신규롤장착단계;
   상기 장착유닛의 승강 이동에 따라 상기 신규 테이프롤을 정위치시키는 신규롤정위치단계;
   상기 신규 테이프롤의 엔드를 절단하기 위해 교환유닛에 구비된 엔드커팅부를 정위치된 상기 신규 테이프롤로 이동시키는 엔드커팅전진단계;
   상기 엔드커팅전진단계를 거친 다음, 상기 장착유닛에서 상기 신규 테이프롤을 회전시키는 신규롤회전단계;
   상기 신규 테이프롤의 회전에 따라 상기 엔드커팅부가 상기 신규 테이프롤의 테이프의 단부를 감지하는 엔드감지단계;
   상기 엔드감지단계를 거친 다음, 상기 교환유닛을 제2방향("b")으로 이동시켜 상기 신규 테이프롤의 엔드를 절단하는 엔드커팅단계;
   상기 엔드커팅단계를 거친 다음, 상기 교환유닛에 구비된 제1흡착부로 상기 신규 테이프롤의 테이프의 단부를 흡착 지지하는 제1흡착단계;
   상기 제1흡착단계를 거친 다음, 상기 교환유닛에 구비된 제1흡착부를 상부부착유닛에 구비된 상부포러스모듈로 이동시키는 제1흡착이동단계;
   상기 제1흡착이동단계를 거친 다음, 상기 상부부착유닛에 구비된 상부포러스모듈로 상기 신규 테이프롤의 테이프의 단부를 흡착 지지하는 제1상부안착단계;
   상기 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부와 상기 신규 테이프롤의 테이프의 단부가 일치되도록 상기 제2방향("b")을 따라 상기 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부와 상기 신규 테이프롤의 테이프의 단부를 절단하는 테이프절단단계;
   상기 테이프절단단계를 거친 다음, 상기 테이프에서 분리된 잔여물을 제거하는 잔여물제거단계;
   상기 잔여물제거단계를 거친 다음, 일치된 상기 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부와 상기 신규 테이프롤의 테이프의 단부에서 일측면을 연결시키는 상부테이핑단계;
   상기 상부테이핑단계를 거친 다음, 제1방향("a")을 따라 상기 테이프를 이동시켜 상기 상부테이핑단계를 거쳐 테이프가 상호 연결된 부분을 하부부착유닛에 구비된 하부포러스모듈로 이동시키는 테이프이동단계;
   상기 테이프이동단계를 거친 다음, 상기 하부부착유닛에 구비된 하부포러스모듈로 상기 상부테이핑단계를 거쳐 테이프가 상호 연결된 부분을 흡착 지지하는 하부안착단계; 및
   상기 하부안착단계를 거친 다음, 상기 상부테이핑단계를 거쳐 테이프가 상호 연결된 부분에서 타측면을 연결시키는 하부테이핑단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프롤 교환방법
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 교환유닛에 구비된 제2흡착부를 상기 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부로 이동시키는 추가이동단계;
   상기 추가이동단계를 거친 다음, 상기 교환유닛에 구비된 제2흡착부로 상기 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부를 흡착 지지하는 제2흡착단계;
   상기 제2흡착단계를 거친 다음, 상기 교환유닛에 구비된 제2흡착부를 상부부착유닛에 구비된 상부포러스모듈로 이동시키는 제2흡착이동단계; 및
   상기 제2흡착이동단계를 거친 다음, 상기 상부부착유닛에 구비된 상부포러스모듈로 상기 기존 테이프롤에서 분리된 테이프의 단부를 흡착 지지하는 제2상부안착단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프롤 교환방법.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 신규롤장착단계에 앞서, 상기 기존 테이프롤에서 테이프를 분리한 다음, 상기 장착유닛에서 테이프가 분리된 상기 기존 테이프롤을 분리 배출시키는 소진롤제거단계;
   상기 신규 테이프롤을 상기 장착유닛에 전달하기 위해 상기 신규 테이프롤이 공급유닛에 안착 지지되는 신규롤안착단계;
   상기 공급유닛에 안착 지지된 상기 신규 테이프롤을 상기 장착유닛에 전달하는 신규롤공급단계;
   상기 하부테이핑단계를 거친 다음, 상기 테이프를 제1방향("a")으로 이동시키는 테이프공급단계; 및
   상기 장착유닛에 결합된 상기 신규 테이프롤의 테이프가 소진되었는지 여부를 감지하는 소진감시단계;
   중 적어도 어느 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프롤 교환방법.
   

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