WO2022102708A1 - 電磁波遮蔽体 - Google Patents

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Abstract

貼合温度の低下と、樹脂層の泡抜け性の向上と、貼合作業の作業性の向上と、貼合後の外観変化の抑制とを実現する、技術を提供すること。 電磁波遮蔽体は、電磁波を遮蔽する積層体である。前記電磁波遮蔽体は、第1誘電体層と、第2誘電体層と、前記第1誘電体層と前記第2誘電体層を接着する樹脂層と、前記樹脂層に配置される金属メッシュ織物と、を有する。前記樹脂層は、熱可塑性のエチレン酢酸ビニル(EVA)樹脂、又はブロック共重合体の不飽和結合の一部が水素化されたブロック共重合体水素化物を含む熱可塑性樹脂を含む。熱可塑性の前記EVA樹脂は、有機過酸化物及びシランカップリング剤を含まない。前記樹脂層の100℃での引張弾性率が、5.0×105Pa未満である。

Description

電磁波遮蔽体
 本開示は、電磁波遮蔽体に関する。
 特許文献1に記載の電磁波シールド材は、透明基材と、接着剤層と、金属メッシュシートと、を有する。接着剤層は、硬化型樹脂を含有する。金属メッシュシートは、フォトレジスト法とエッチング法を用いるか、パンチング加工法を用い、金属箔に多数の穴を形成したものである。
 特許文献2に記載のガラス樹脂積層体は、少なくとも2枚のガラス板と、2枚のガラス板の間に配置され、2枚のガラス板の主面同士を接合するシリコーン樹脂層と、シリコーン樹脂層に配置される金属層と、を有する。金属層は、メッシュ形状を有する。
特開2004-72010号公報 特開2020-128314号公報
 特許文献1では、まず、透明基材と、接着フィルムと、金属メッシュシートと、接着フィルムと、透明基材と、をこの順番で重ね、積層体を作製する。次に、積層体を真空袋に入れ、真空袋の内部を減圧した状態で、真空袋を85℃で加熱する。次に、積層体を真空袋から取り出し、130℃で加熱し、接着シートを硬化させる。130℃程度の高温で貼り合わせるので、製造コストが高くなる問題がある。
 特許文献2では、シリコーン樹脂を2枚のガラス板の間に挟む。シリコーン樹脂は、室温でも流動性が高く、泡抜け性が良い。但し、シリコーン樹脂は、2枚のガラス板で挟んだ際に、2枚のガラス板の間から流出する恐れがあり、作業性が悪い問題がある。また、シリコーン樹脂は、吸水性が高く、貼合後に外観変化が生じやすい問題がある。外観変化は、熱サイクルによっても生じうる。
 外観変化の問題は、ポリビニルブチラール(PVB)樹脂などでも生じうる。また、PVB樹脂は、100℃程度の低温で流動性が低く、貼合時に泡抜け性が悪いという問題も生じうる。
 本開示の一態様は、貼合温度の低下と、樹脂層の泡抜け性の向上と、貼合作業の作業性の向上と、貼合後の外観変化の抑制とを実現する、技術を提供する。
 本開示の一態様に係る電磁波遮蔽体は、電磁波を遮蔽する積層体である。前記電磁波遮蔽体は、第1誘電体層と、第2誘電体層と、前記第1誘電体層と前記第2誘電体層を接着する樹脂層と、前記樹脂層に配置される金属メッシュ織物と、を有する。前記金属メッシュ織物は、互いに交差する金属線による開口を有する。前記樹脂層は、熱可塑性のエチレン酢酸ビニル(EVA)樹脂、又はブロック共重合体の不飽和結合の一部が水素化されたブロック共重合体水素化物を含む熱可塑性樹脂を含む。熱可塑性の前記EVA樹脂は、有機過酸化物及びシランカップリング剤を含まない。前記樹脂層の100℃での引張弾性率が、5.0×10Pa未満である。
 本開示の一態様に係る電磁波遮蔽体は、電磁波を遮蔽する積層体である。前記電磁波遮蔽体は、第1誘電体層と、第2誘電体層と、前記第1誘電体層と前記第2誘電体層を接着する樹脂層と、前記樹脂層に配置される金属メッシュ織物と、を有する。前記金属メッシュ織物は、互いに交差する金属線による開口を有する。前記樹脂層は、ASTM D570(プラスチックの標準吸水試験法)に準拠して測定された吸水率が0.1%未満であり、25℃での引張弾性率が、10kPa以上であり、100℃での引張弾性率が、5.0×10Pa未満である。
 本開示の一態様によれば、電磁波遮蔽体の樹脂層に段差を有する金属メッシュ織物を配置しても、樹脂層として100℃での引張弾性率が5.0×10Pa未満であるEVA樹脂又はブロック共重合体水素化物を含む樹脂を使用することにより、貼合温度の低下と、樹脂層の泡抜け性の向上と、貼合作業の作業性の向上と、貼合後の外観変化の抑制とを実現できる。
 本開示の一態様によれば、電磁波遮蔽体の樹脂層に段差を有する金属メッシュ織物を配置しても、吸水率が0.1%未満であり、25℃での引張弾性率が10kPa以上であり、100℃での引張弾性率が5.0×10Pa未満である樹脂層を使用することにより、貼合温度の低下と、樹脂層の泡抜け性の向上と、貼合作業の作業性の向上と、貼合後の外観変化の抑制とを実現できる。
図1は、一実施形態に係る電磁波遮蔽体を示す断面図である。 図2は、金属メッシュ織物の一例を示す平面図である。 図3は、第1変形例に係る電磁波遮蔽体を示す断面図である。 図4は、導電層のスリットのパターンの一例を示す平面図である。 図5は、第2変形例に係る電磁波遮蔽体を示す断面図である。
 以下、本開示を実施するための形態について図面を参照して説明する。各図面において同一の又は対応する構成には同一の符号を付し、説明を省略することがある。明細書中、数値範囲を示す「~」は、その前後に記載された数値を下限値及び上限値として含むことを意味する。
 先ず、図1を参照して、本実施形態に係る電磁波遮蔽体1について説明する。電磁波遮蔽体1は、電磁波を遮蔽する積層体である。電磁波遮蔽体1は、電磁波を反射する。なお、後述するように、電磁波遮蔽体1は、電磁波を反射するだけではなく、電磁波を吸収してもよい。電磁波の周波数が100MHz~1GHzである場合に、電磁波の遮蔽率が40dB以上であることが好ましい。上記の周波数帯において、電磁波の遮蔽率は、より好ましくは50dB以上、さらに好ましくは60dB以上である。また、上記の周波数帯において、電磁波の遮蔽率は、好ましくは100dB以下である。ここで、電磁波の遮蔽率は、KEC法(一般社団法人KEC関西電子工業振興センターにより開発された電磁波シールド効果の測定方法)により測定される。
 電磁波遮蔽体1は、可視光透過率が30%以上の積層体であることが好ましい。可視光透過率が30%以上であれば、使用者が電磁波遮蔽体1を介して景色等を視認できる。電磁波遮蔽体1の用途は、例えば建築物又は車両等の窓ガラスである。可視光透過率は、より好ましくは40%以上であり、さらに好ましくは50%以上であり、特に好ましくは60%以上である。また、可視光透過率は、好ましくは90%以下である。可視光透過率は、日本工業規格JIS R 3106:1998に準拠して測定し、標準D65光源を用いた場合の算出式により算出する。
 電磁波遮蔽体1は、第1誘電体層2と、第2誘電体層3と、第1誘電体層2と第2誘電体層3を接着する樹脂層4と、を有する。また、電磁波遮蔽体1は、樹脂層4に配置される金属メッシュ織物5を、更に有する。樹脂層4は、例えば、第1接着層41と第2接着層42とを含む。金属メッシュ織物5は、第1接着層41と第2接着層42の間に配置される。金属メッシュ織物5が、電磁波を反射する。
 電磁波遮蔽体1の製造方法について簡単に説明する。先ず、第1誘電体層2と、第1接着層41と、金属メッシュ織物5と、第2接着層42と、第2誘電体層3とをこの順番で重ね、積層体を作製する。次に、積層体を真空袋に入れ、真空袋の内部を減圧した状態で、真空袋を大気焼成する。その焼成温度は、85℃程度である。次に、積層体を真空袋から取り出し、オートクレーブで加圧しながら加熱する。その加熱温度は、100℃程度である。その結果、第1接着層41と第2接着層42とが金属メッシュ織物5の開口52(図2参照)に入り込み、一体化し、電磁波遮蔽体1が得られる。
 なお、本実施形態の樹脂層4は金属メッシュ織物5を挟んで第1接着層41と第2接着層42とが一体化したものであるが、本開示の技術はこれに限定されない。第1接着層41と第2接着層42のいずれか1つのみが用いられてもよい。以下、電磁波遮蔽体1を構成する各層について説明する。
 第1誘電体層2は、第2誘電体層3を基準として、室内側に配置されてもよいし、室外側に配置されてもよい。第1誘電体層2の材質は、ガラス、セラミックス、又は樹脂である。軽量化の観点からは、第1誘電体層2の材質は樹脂が好ましい。樹脂の具体例として、ポリエチレンテレフタレート(PET)樹脂、ポリカーボネート(PC)樹脂、又はアクリル樹脂が挙げられる。一方、耐傷性の観点からは、第1誘電体層2の材質はガラス又はセラミックスが好ましい。
 第1誘電体層2がガラス板である場合、ガラス板は例えばフロート法又はフュージョン法等で製造される。ガラス板は、例えば、ソーダライムガラス、無アルカリホウケイ酸ガラス、ホウケイ酸ガラス、高シリカガラス、又はその他の酸化ケイ素を主な成分とする酸化物系ガラスで構成される。
 第1誘電体層2がガラス板又はセラミックス板である場合、その厚みは例えば0.1mm~10mmであり、好ましくは1.0mm~10mmであり、より好ましくは1.0mm~5.0mmであり、更に好ましくは1.8mm~4.0mmであり、特に好ましくは1.8mm~3.0mmである。一方、第1誘電体層2が樹脂板である場合、その厚みは例えば0.1mm~10mmであり、好ましくは2.0mm~5.0mmであり、より好ましくは2.0mm~4.0mmである。
 第1誘電体層2がガラス板である場合、その50℃~350℃における平均線膨張係数は例えば120×10-7/℃以下であり、好ましくは100×10-7/℃以下であり、より好ましくは90×10-7/℃以下である。温度変化による反り又は破損を抑制できる。平均線膨張係数は、日本工業規格JIS R 3102:1995に準拠して測定し、示差熱膨張計により測定する。ガラス板の平均線膨張係数は、例えば30×10-7/℃以上であってもよく、50×10-7/℃以上であってもよく、70×10-7/℃以上であってもよい。
 第2誘電体層3は、第1誘電体層2と同様に構成されるので、説明を省略する。但し、第1誘電体層2と第2誘電体層3の材質の組み合わせは、特に限定されない。第1誘電体層2と第2誘電体層3は、同一の材質でも、異なる材質でもよい。第1誘電体層2と第2誘電体層3の材質は、上記の通り、ガラス、セラミックス、又は樹脂である。
 金属メッシュ織物5は、織機を用いて製造されることが好ましい。金属メッシュ織物5は、図2に示すように、金属線51を縦横に織った物である。金属メッシュ織物5は、互いに交差する複数本の金属線51を含む。網の部分に金属線51が配置され、網目の部分に開口52が形成される。開口52の形状は、例えば長方形である。長方形は、正方形を含む。なお、開口52の形状は、長方形には限定されず、三角形、ひし形、台形、又は五角形以上の多角形であってもよい。開口52には、貼合時に樹脂層4の樹脂が入り込む。
 金属メッシュ織物5の開口率は、例えば50%~90%である。開口率が50%以上であれば、電磁波遮蔽体1の遮蔽性能を維持しつつ、可視光透過率が高く、透視性が良く、貼合時に樹脂層4の泡抜け性も良い。開口率は、好ましくは60%以上、より好ましくは70%以上、さらに好ましくは75%以上である。一方、開口率が90%以下であれば、電磁波遮蔽体1の電磁波遮蔽率が高い。開口率は、好ましくは80%以下である。開口率は、平面視で計測する。
 金属メッシュ織物5を構成する金属線51の材質は、例えば、金属元素単体でも、合金でもよい。金属線51の材質は、例えば、鉄、銅、黄銅、ステンレス(SUS鋼)、アルミニウム、ニッケル、タングステン、又はニクロムである。金属線51は、複数本の金属繊維をより合わせたものであってもよい。
 金属線51の線径(直径)は、例えば、10μm~200μmである。金属線51の線径が10μm以上であれば、断線等の破損が少なく、ハンドリング性が良い。金属線51の線径は、好ましくは20μm以上である。一方、金属線51の線径が200μm以下であれば、目視で金属線51が目立たず、透視性が良い。金属線51の線径は、好ましくは100μm以下、より好ましくは60μm以下である。
 金属線51のピッチP1、P2は、それぞれ、例えば、50μm~1000μmである。ピッチP1、P2がそれぞれ50μm以上であれば、電磁波遮蔽体1の可視光透過率が高く、透視性が良く、貼合時に樹脂層4の泡抜け性も良い。ピッチP1、P2はそれぞれ好ましくは100μm以上、より好ましくは150μm以上である。一方、ピッチP1、P2がそれぞれ1000μm以下であれば、電磁波遮蔽体1の電磁波遮蔽率が高い。ピッチP1、P2はそれぞれ好ましくは500μm以下、より好ましくは250μm以下である。
 金属メッシュ織物5は、発熱体であってもよく、発熱させるために電極に接続されてもよい。電極が金属メッシュ織物5に電流を流すことにより、ジュール熱が発生する。発生した熱が、電磁波遮蔽体1の表面の結露を除去する。
 ところで、本実施形態の金属メッシュ織物5は、織機を用いて製造されると、特許文献1の金属メッシュシートとは異なり、フォトリソグラフィ法とエッチング法、又はパンチング加工法を用いずに製造でき、低いコストで製造できるため好ましい。従って、金属メッシュ織物5は、金属メッシュシートに比べて、電磁波遮蔽体1の製造コストを低減できる。
 但し、本実施形態の金属メッシュ織物5は、特許文献1の金属メッシュシートと異なり、複数本の金属線51の交差する交差点に、段差などを有する。段差の高さは金属線51の線径の2倍~3倍程度になるため、例えば100μm~3000μm、好ましくは200μm~1500μm、さらに好ましくは300μm~750μmである。この段差は、貼合時に樹脂層4の泡抜け性を悪化させてしまう。そこで、貼合時に樹脂層4の泡抜け性を向上すべく、樹脂層4の樹脂として特許文献2のシリコーン樹脂を用いることが考えられる。
 しかし、シリコーン樹脂は、室温でも流動性が高く、第1誘電体層2と第2誘電体層3とで挟んだ際に、流出する恐れがあり、作業性が悪い。また、シリコーン樹脂は、吸水性が高く、貼合後に外観変化が生じやすい。外観変化は、熱サイクルによっても生じうる。
 本明細書において、「外観変化」とは、気泡、変色(例えば白濁)、及び剥離を含む。外観変化は、樹脂層4と金属メッシュ織物5の界面、樹脂層4と第1誘電体層2の界面、又は樹脂層4と第2誘電体層3の界面にて生じる場合がある。
 高い吸水性による外観変化の問題は、ポリビニルブチラール(PVB)樹脂などでも生じうる。また、PVB樹脂は、100℃での流動性が低く、貼合時に泡抜け性が悪いという問題も生じうる。
 そこで、本実施形態の樹脂層4は、熱可塑性のエチレン酢酸ビニル(EVA)樹脂、又はブロック共重合体の不飽和結合の一部が水素化されたブロック共重合体水素化物を含む熱可塑性の樹脂を含み、樹脂層4の100℃での引張弾性率E´が、5.0×10Pa未満である。
 引張弾性率E´が5.0×10Pa未満であれば、貼合温度が100℃程度の低温であっても、樹脂層4の樹脂が柔らかいので、泡抜け性が良い。よって、貼合温度の低下と、樹脂層4の泡抜け性の向上と、を実現できる。
 なお、引張弾性率E´は、好ましくは4.0×10Pa以下であり、より好ましくは2.0×10Pa以下である。また、引張弾性率E´は、好ましくは1.0×10Pa以上である。
 そして、樹脂層4は、熱可塑性のEVA樹脂、又はブロック共重合体水素化物を含む熱可塑性の樹脂を含めば、室温ではほとんど流動しない。それゆえ、樹脂層4を、第1誘電体層2と第2誘電体層3とで挟んだ際に、流出する恐れがなく、作業性がよい。よって、貼合作業の作業性の向上を実現できる。
 更に、EVA樹脂、及びブロック共重合体水素化物を含む樹脂は、シリコーン樹脂、PVB樹脂に比べて、吸水性が低く、貼合後の外観変化が小さい。よって、貼合後の外観変化の抑制を実現できる。なお、EVA樹脂、及びブロック共重合体水素化物を含む樹脂は、PVB樹脂に比べて、100℃での引張弾性率が低く、泡抜け性もよい。
 樹脂層4は、好ましくはブロック共重合体水素化物を含む樹脂を含む。ブロック共重合体水素化物を含む樹脂は、EVA樹脂に比べて、吸水性が低く、貼合後の外観変化がより小さい。また、ブロック共重合体水素化物を含む樹脂は、EVA樹脂に比べて、金属線51との密着性が良い。よって、貼合後の外観変化をより抑制できる。
 ブロック共重合体水素化物を含む樹脂は、例えば、ブロック共重合体の不飽和結合の一部が水素化されたブロック共重合体水素化物を含む熱可塑性樹脂であり、シクロオレフィンオリマー(COP)などが挙げられる。ブロック共重合体に含まれる全ての不飽和結合の90%以上が水素化されてもよい。
 ブロック共重合体は、第1成分と、第2成分と、を含む。第1成分は、芳香族ビニル化合物由来の繰り返し単位を主成分とする重合体ブロックである。第2成分は、鎖状共役ジエン化合物由来の繰り返し単位を主成分とする重合体ブロックである。第1成分の重量WAと第2成分の重量WBの比(WA:WB)は、30:70~60:40である。
 ブロック共重合体水素化物を含む樹脂の100℃での引張弾性率は、ブロック共重合体の第1成分と第2成分の混合比などで決まる。第2成分の割合が小さいほど、ブロック共重合体水素化物を含む樹脂の軟化点が低温化し、ブロック共重合体水素化物を含む樹脂の100℃での引張弾性率が小さくなる。WA:WBは、好ましくは35:65~55:45であり、より好ましくは40:60~50:50である。
 ブロック共重合体水素化物を含む樹脂は、ブロック共重合体水素化物に加えて、添加物を含んでもよい。添加物は、ブロック共重合体水素化物と相溶性の良い共役系重合体である。添加物によって、100℃での引張弾性率を制御できる。
 相溶性の良い共役系重合体としては、ブロック共重合体水素化物の前駆体であるブロック共重合体水素化物;ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン・プロピレン共重合体、プロピレン・エチレン・1-ブテン共重合体等のオレフィン系重合体;ポリイソブチレン、イソブチレン・イソプレン共重合体水素化物等のイソブチレン系重合体;1,3-ペンタジエン系石油樹脂、シクロペンタジエン系石油樹脂、スチレン・インデン系石油樹脂等の石油樹脂及びその水素化物;等が挙げられる。
 樹脂層4は、熱可塑性のEVA樹脂を含んでもよい。熱可塑性のEVA樹脂は、有機過酸化物及びシランカップリング剤を含まず、熱架橋性を有さない。つまり、熱可塑性のEVA樹脂の有機過酸化物及びシランカップリング剤の含有量は、0質量%である。EVA樹脂に有機過酸化物やシランカップリング剤を混合すると熱架橋性が付与され、硬化型樹脂となってしまう。また、EVA樹脂に有機過酸化物やシランカップリング剤が含まれると、オートクレーブ中で加熱加圧処理することによりEVA樹脂が架橋硬化するため、EVA樹脂の引張弾性率が架橋硬化の進行とともに上昇してしまい、金属メッシュ織物とEVA樹脂との間に気泡が残存しやすく、透明性および信頼性に懸念を及ぼす可能性が高くなり好ましくない。一方、ブロック共重合体水素化物を含む樹脂に有機過酸化物やシランカップリング剤を混合しても、硬化型樹脂にはならない。
 EVA樹脂は、例えば、酢酸ビニル含有率15重量%~50重量%を含み、JIS K6924-1で測定したメルトマスフローレイトが0.1g/10分~100g/10分である、EVA樹脂100重量部に対し、屈折率が1.480~1.600、Fedors法で計算される溶解性パラメータが8.5~10.1である低分子化合物0.5重量部~10重量部を含む。EVA樹脂の酢酸ビニル含有率は15重量%~50重量%の範囲にあり、被着体に対する低温接着性や透明性がより優れたものとなることから、20重量%~35重量%の範囲にあることがより好ましい。ここで、酢酸ビニル含有率が15重量%以上であれば、得られる接着剤樹脂組成物やその成形体は低温接着性に優れる。一方、酢酸ビニル含有率が50重量%以下であれば、常温での粘着性が弱く、軟化温度も高くなるため、得られる樹脂組成物や成形体は耐ブロッキング性に優れる。EVA樹脂の酢酸ビニル含有率は、例えば、JIS K6924-1で測定される酢酸ビニル含有率より求めることができる。EVA樹脂のメルトマスフローレイト(MFR)は、JIS K6924-1に準拠して温度190℃、荷重21.18Nで測定したメルトマスフローレイトが0.01g/10分~100g/10分の範囲であり、押出し成形性により優れたものとするため、0.5g/10分~40g/10分の範囲にあることがより好ましい。メルトマスフローレイトが0.01g/10分以上であれば、成形時の押出し負荷や樹脂圧力が低くなり加工性に優れるものとなり、100g/10分以下であれば、溶融時のドローダウン性が小さくなりコンパウンド時のハンドリングや賦形性に優れる。
 低分子化合物は、主に透明性を向上させる目的で配合される。低分子化合物は、特定の屈折率及び溶解性パラメータを有する分子量が数千以下の化合物であり、具体的には、フタル酸エステル、トリメリット酸エステル、リン酸エステル、安息香酸エステル、セバシン酸エステルなどの化合物であり、フタル酸ジブチル、トリメリット酸トリス-2-エチルヘキシル、リン酸トリクレシル、リン酸トリフェニル、ジフェニルメタン、安息香酸ベンジルなどが挙げられる。EVA樹脂に特定の屈折率と溶解性パラメータを有する低分子化合物を混合すると、EVA樹脂の結晶化度が下がり透明性が向上する。
 EVA樹脂は、さらに水素添加炭化水素樹脂を含んでいてもよい。水素添加炭化水素樹脂は、透明性やタック性を向上させる目的で配合される。具体的には、脂肪族系炭化水素樹脂、脂環族系炭化水素樹脂、芳香族系炭化水素樹脂が挙げられる。脂肪族系炭化水素樹脂としては、1-ブテン、ブタジエン、イソブチレン、1,3-ペンタジエン等のC4~C5のモノまたはジオレフィンを主体とする重合体、脂環族系炭化水素樹脂としては、スペントC4~C5留分中のジエン成分を環化二量体化後重合させた樹脂、シクロペンタジエン等の環状モノマーを重合させた樹脂、芳香族系炭化水素樹脂としては、ビニルトルエン、インデン、α-メチルトルエン等のC2ビニル芳香族系炭化水素樹脂を成分とした樹脂等が挙げられる。これらの炭化水素系樹脂の中では、エチレン-酢酸ビニル共重合体との相溶性や色相の点から、軟化温度が低い部分水素化した石油炭化水素樹脂がより好ましい。EVA樹脂に対する水素添加炭化水素樹脂の配合量は5重量部~30重量部の範囲であり、成形体の透明性、タック性に加えて、常温における成形体のハンドリングにより優れた樹脂組成物が得られることから、10重量部~20重量部の範囲にあることがより好ましい。
 あるいは、本実施形態の樹脂層4は、ASTM D570(プラスチックの標準吸水試験法)に準拠して測定された吸水率が0.1%未満であり、樹脂層4の25℃での引張弾性率が10kPa以上であり、樹脂層4の100℃での引張弾性率E´が、5.0×10Pa未満である。
 引張弾性率E´が5.0×10Pa未満であれば、貼合温度が100℃程度の低温であっても、樹脂層4の樹脂が柔らかいので、泡抜け性が良い。よって、貼合温度の低下と、樹脂層4の泡抜け性の向上と、を実現できる。
 なお、引張弾性率E´は、好ましくは4.0×10Pa以下であり、より好ましくは2.0×10Pa以下である。また、引張弾性率E´は、好ましくは1.0×10Pa以上である。
 樹脂層4は、25℃での引張弾性率が10kPa以上であれば、室温ではほとんど流動しない。それゆえ、樹脂層4を、第1誘電体層2と第2誘電体層3とで挟んだ際に、流出する恐れがなく、作業性がよい。よって、貼合作業の作業性の向上を実現できる。なお、25℃での引張弾性率は、好ましくは30kPa以上であり、より好ましくは50kPa以下である。
 樹脂層4は、ASTM D570(プラスチックの標準吸水試験法)に準拠して測定された吸水率が0.1%未満でれば、吸水性が低く、貼合後の外観変化を抑制できる。なお、吸水率は、好ましくは0.05%以下であり、より好ましくは0.03%以下である。
 樹脂層4としては、例えば、熱可塑性ポリウレタン(TPU)を含む樹脂が挙げられる。熱可塑性ポリウレタンは、例えば、ポリイソシアネート、高分子ポリオールおよび鎖伸長剤の共重合による得られる。熱可塑性ポリウレタン(TPU)の引張弾性率は、ポリイソシアネートの結合官能基と高分子ポリオールの結合官能基との間の分子量である、架橋間分子量によって変化する。具体的には、架橋間分子量が増加すると弾性率が低く、架橋間分子量が低下すると弾性率が高くなりやすい。
 ポリイソシアネートとしては、例えば、脂肪族、脂環族または芳香族のジイソシアネートであれば吸水率を低くすることができ、芳香族のジイソシアネートが好ましい。より具体的には、ヘキサメチレンジイソシアネート、2,2,4-トリメチルヘキサメチレンジイソシアネートのような脂肪族ジイソシアネート;1,4-シクロヘキサンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、4,4’-ジシクロヘキシルメタンジイソシアネートのような脂環族ジイソシアネート;p-フェニレンジイソシアネート、2,4-トルエンジイソシアネート、2,6-トルエンジイソシアネート、3,3’-ジメチルジフェニル-4,4’-ジイソシアネート、4,4’-ジフェニルメタンジイソシアネートのような芳香族ジイソシアネート等を例示することができる。これらの中でも、4,4’-ジフェニルメタンジイソシアネートが好ましい。
 高分子ポリオールは、好ましくは分子量が500~8000、より好ましくは600~4000程度のポリエーテルポリオール又はポリエステルポリオールである。
 ポリエーテルポリオールとしては、例えば、ポリオキシエチレングリコール、ポリオキシプロピレングリコール、ポリオキシエチレンオキシプロピレングリコール、ポリオキシテトラメチレングリコール、ポリオキシヘキサメチレングリコール等が挙げられる。これらの中でも、ポリオキシテトラメチレングリコールが好ましい。
 ポリエステルポリオールとしては、好ましくは脂肪族ジカルボン酸と脂肪族ジオールとから誘導される脂肪族ポリエステルポリオールである。これにより、吸水率を低くすることができる。より具体的には両末端がジオール成分であるポリエチレンアジぺート、ポリテトラメチレンアジペート、ポリヘキサメチレンアジペート、ポリテトラメチレンセバケート、ポリ(ジエチレングリコールアジペート)、ポリ(ヘキサメチレングリコール-1,6-カーボネート)、ポリカプロラクトン等を例示できる。
 鎖伸長剤としては、例えば、分子量が好ましくは400以下、より好ましくは300以下のジオール類等が挙げられる。具体的にはエチレングリコール、1,2-プロパンジオール、1,3-プロパンジオール、1,4-ブタンジオール、1,6-ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ビスフェノールA、p-キシリレングリコール等を例示できる。
 次に、図3及び図4を参照して、第1変形例に係る電磁波遮蔽体1について説明する。本変形例の電磁波遮蔽体1は、上記実施形態の電磁波遮蔽体1と同様に、第1誘電体層2と、第2誘電体層3と、第1誘電体層2と第2誘電体層3を接着する樹脂層4と、を有する。また、電磁波遮蔽体1は、樹脂層4に配置される金属メッシュ織物5を、更に有する。樹脂層4は、例えば、第1接着層41と第2接着層42とを含む。金属メッシュ織物5は、第1接着層41と第2接着層42の間に配置される。
 本変形例の電磁波遮蔽体1は、上記実施形態の電磁波遮蔽体1とは異なり、第2誘電体層3を基準として第1誘電体層2とは反対側に配置される第3誘電体層6と、第2誘電体層3と第3誘電体層6の間に配置される導電層7と、を有する。
 図4に示すように、導電層7は、互いに間隙を隔てて配置され、互いに絶縁された複数の導体71-1~71-4を含む。導電層7は、例えば、ITO(インジウムスズ酸化物)膜等の透明導電膜であることが好ましい。導電層7は、いわゆるFSS(Frequency Selective Shield)であってもよい。
 導電層7は、図3の矢印A方向に伝播する電磁波の一部を反射し、他の一部を吸収し、残部を透過させる。導電層7を透過した電磁波は、金属メッシュ織物5で反射する。導電層7で反射された電磁波と、金属メッシュ織物5で反射された電磁波とが、互いに干渉し、打ち消し合う。その結果、電磁波が吸収される。
 電磁波が、導電層7に到達すると、電磁波の電界方向の反対方向に、導体71-1~71-4内の自由電子が移動し、導体71-1~71-4に電流が流れる。また、その際に、導体71-1~71-4間の間隙では、発生する電界によってエネルギーが周期的に蓄積され、放出される。その結果、導電層7を透過する電磁波に伝搬遅延が生じる。つまり、導電層7に電磁波が入射してから再輻射されるまでに遅延時間が生じる。それゆえ、導電層7と金属メッシュ織物5との間隔をλ/4よりも縮めて、電磁波遮蔽体1を薄化できる。
 図4に示すように、導電層7は、複数の導体71-1~71-4を隔てる間隙として、互いに直交する第1スリット72と第2スリット73をそれぞれ複数含む。複数の第1スリット72と複数の第2スリット73は四方格子を形成し、導体71-1~71-4は平面視長方形に形成される。長方形は、正方形を含む。
 隣り合う第1スリット72の間隔は、第1間隔L1と、第1間隔L1よりも小さい第2間隔L2とに交互に設定される。同様に、隣り合う第2スリット73の間隔も、第1間隔L1と第2間隔L2とに交互に設定される。その結果、平面視で4種類の導体71-1、71-2、71-3、71-4が形成される。
 導体71-1は、4辺のそれぞれの長さがL1の正方形である。導体71-2は、4辺のそれぞれの長さがL2の正方形である。残り2つの導体71-3、71-4は、互いに対向する2辺のそれぞれの長さがL1であって、残りの2辺のそれぞれの長さがL2である。
 4種類の導体71-1~71-4の外周長の平均は、2×(L1+L2)の式で表される。外周長の平均は、例えば60mm~180mmであり、好ましくは80mm~150mmである。
 なお、L1とL2とは、本変形例では異なるが、同一であってもよい。この場合も、外周長の平均は、2×(L1+L2)の式で表される。
 第1スリット72と第2スリット73のそれぞれの線幅Gは、例えば30μm~150μmであることが好ましい。Gが30μm以上であれば、加工が容易である。また、Gが150μm以下であれば、導体71-1~71-4間に生じる電界が大きく、上記遅延時間が長い。第1スリット72の線幅と、第2スリット73の線幅とは、本実施形態では同じであるが、異なってもよい。
 図3に示すように、導電層7は、例えば、第2誘電体層3における第3誘電体層6との対向面に形成されることが好ましい。例えば、上記の対向面に蒸着法又はスパッタリング法等で透明導電膜を形成し、形成した透明導電膜をレーザー加工等でパターンニングする。なお、導電層7は、導電性インクを用いて、印刷で形成されてもよい。導電層7は、第3接着層8を介して第3誘電体層6と接着される。
 なお、本変形例では、導電層7が第2誘電体層3における第3誘電体層6との対向面に形成され、第3接着層8が導電層7と第3誘電体層6との間に配置されるが、本開示の技術はこれに限定されない。例えば、導電層7が第3誘電体層6における第2誘電体層3との対向面に形成され、第3接着層8が導電層7と第2誘電体層3との間に配置されてもよい。また、導電層7は不図示の絶縁性基材に形成され、第3接着層8が導電層7と第2誘電体層3の間に配置され、且つ導電層7と第3誘電体層6の間に配置されてもよい。
 第3誘電体層6は、導電層7を保護する。第3誘電体層6は、第1誘電体層2及び第2誘電体層3と同様に、ガラス、セラミックス、又は樹脂で構成される。軽量化の観点からは、第3誘電体層6の材質は樹脂が好ましい。樹脂の具体例として、PET樹脂、PC樹脂、又はアクリル樹脂が挙げられる。一方、耐傷性の観点からは、第3誘電体層6の材質はガラス又はセラミックスが好ましい。
 第3誘電体層6がガラス板又はセラミックス板である場合、その厚みは例えば1.8mm~4.0mmであり、好ましくは1.8mm~3.0mmである。一方、第3誘電体層6が樹脂板である場合、その厚みは例えば2.0mm~5.0mmであり、好ましくは2.0mm~4.0mmである。
 第3誘電体層6がガラス板である場合、そのガラス板のtanδ(誘電正接ともいう。)は、好ましくは0.025以下であり、より好ましくは0.020以下であり、更に好ましくは0.010以下である。ガラス板のtanδは、好ましくは0.0001以上である。また、ガラス板の比誘電率は、好ましくは8以下であり、より好ましくは6以下である。ガラス板の比誘電率は、好ましくは3.5以上である。
 第3誘電体層6が樹脂板である場合、樹脂板のtanδは、好ましくは0.2以下であり、より好ましくは0.1以下である。樹脂板のtanδは、好ましくは0.0005以上である。また、樹脂板の比誘電率は、好ましくは5以下であり、より好ましくは4以下である。樹脂板の比誘電率は、好ましくは2以上である。
 ここで、tanδとは、複素誘電率を用いてε2/ε1で表される値であり、ε1は比誘電率、ε2は誘電損失である。このtanδの値が小さいほど、その周波数帯における電波の吸収が小さい。tanδ及び比誘電率は、IEC(International Electrotechnical Commission)61189-2-721(2015)に規定されている方法に従い、測定周波数を1GHzとした際に測定される値である。
 次に、図5を参照して、第2変形例に係る電磁波遮蔽体1について説明する。本変形例の電磁波遮蔽体1も、上記実施形態の電磁波遮蔽体1と同様に、第1誘電体層2と、第2誘電体層3と、第1誘電体層2と第2誘電体層3を接着する樹脂層4と、を有する。また、電磁波遮蔽体1は、樹脂層4に配置される金属メッシュ織物5を、更に有する。樹脂層4は、例えば、第1接着層41と第2接着層42とを含む。金属メッシュ織物5は、第1接着層41と第2接着層42の間に配置される。
 本変形例の電磁波遮蔽体1は、上記実施形態の電磁波遮蔽体1とは異なり、第2誘電体層3を基準として第1誘電体層2とは反対側に配置される第3誘電体層6と、第2誘電体層と第3誘電体層6の間に配置される空気層9と、を有する。空気層9は、スペーサ10で囲まれている。空気層9によって、断熱性を確保できる。
 第3誘電体層6は、第1誘電体層2及び第2誘電体層3と同様に、ガラス、セラミックス、又は樹脂で構成される。軽量化の観点からは、第3誘電体層6の材質は樹脂が好ましい。樹脂の具体例として、PET樹脂、PC樹脂、又はアクリル樹脂が挙げられる。一方、耐傷性の観点からは、第3誘電体層6の材質はガラス又はセラミックスが好ましい。
 第3誘電体層6がガラス板又はセラミックス板である場合、その厚みは例えば1.8mm~4.0mmであり、好ましくは1.8mm~3.0mmである。一方、第3誘電体層6が樹脂板である場合、その厚みは例えば2.0mm~5.0mmであり、好ましくは2.0mm~4.0mmである。
 第3誘電体層6と第2誘電体層3の互いに対向する面には、不図示のLow-E膜(低放射膜)などが形成されてもよい。Low-E膜には、酸化スズ層又は酸化インジウム層を含むものと、銀(Ag)層を含むものとが存在する。
 酸化スズ層又は酸化インジウム層を含むLow-E膜は、熱による劣化が少ないという利点があるものの、元来の放射率が高いので(垂直放射率εnは0.15程度以上)、断熱性や遮熱性の向上はあまり期待できず、また火災時の遮熱性についても期待することができない。すなわち、防火性能の大幅な向上は見込めない。
 一方、銀層を含むLow-E膜は、放射率が低く(垂直放射率εnは0.1程度以下)、優れた断熱性、遮熱性を有するので、火災時にもその放射率が維持されていれば有効にガラス板の破損を防止することができる。
 従って、耐熱Low-E膜として使用するLow-E膜には、銀層を含むLow-E膜を使用することが好ましい。銀は加熱で酸化しやすく、性能が劣化しやすいので、熱に耐え得る構造、つまり、熱で銀が劣化しにくい構造が好ましい。例えば、下記の(A)及び(B)の構造が挙げられる。
 (A)Low-E膜は、酸化物誘電体層、バリア層、銀層、バリア層、及び酸化物誘電体層をこの順番で含み、この順番でガラス板の上に直接形成される。各バリア層が金属で形成され、且つ各バリア層の厚みが2nm以上である。銀層と酸化物誘電体層との間にバリア層を介在させることにより、銀の酸化を抑制でき、熱線反射性能の劣化を抑制できる。また、各バリア層が金属で形成され、且つ各バリア層の厚みが2nm以上であれば、耐熱性が良好である。バリア層を構成する金属は、例えば、亜鉛合金(Zn合金)又はチタン(Ti)等である。
 なお、通常のLow-E膜で金属のバリア層を設ける場合、Zn合金のバリア層では0.7nm程度の厚み、Tiのバリア層では1.5nm程度の厚みである。
 (A)のバリア層の厚みは厚いほど、耐熱性が良好であるが、透過性が低下する。(A)のバリア層の厚みは、耐熱性と透過性を考慮して決められる。
 (B)Low-E膜は、非酸化物誘電体層、バリア層、銀層、バリア層、及び非酸化物誘電体層をこの順番で含み、この順番でガラス板の上に直接形成される。非酸化物誘電体層で銀層を挟む構成とすることにより、高温環境下で銀の酸化を抑制でき、高い熱線反射性能を確保しつつ、高い耐熱性を確保できる。
 (B)のバリア層は、(A)のバリア層と同様に、Zn合金又はTi等で形成される。これにより、耐熱性を更に向上できる。(B)のバリア層は、非酸化物誘電体層と同じ材料で形成されてもよい。
 Low-E膜は、銀層を複数含んでもよい。銀層を複数層形成すれば、より放射率を下げることができ、εnを0.1よりも著しく小さくできる。例えば、Low-E膜は、酸化物誘電体層、バリア層、銀層、バリア層、酸化物誘電体層、バリア層、銀層、バリア層、及び酸化物誘電体層をこの順番で含み、この順番でガラス板の上に直接形成される。
 以下、実験データについて説明する。例1~例2、例4及び例6~例7が比較例であり、例3及び例5が実施例である。
 [例1]
 例1では、第1誘電体層と、第1接着層と、金属メッシュ織物と、第2接着層と、第2誘電体層とをこの順番で重ね、積層体を作製した。第1誘電体層及び第2誘電体層としては、それぞれ、縦600mm、横600mm、厚み2.7mmのソーダライムガラス板を用意した。金属メッシュ織物としては、線径50μmのステンレス線からなる繊維シート(アサダメッシュ社製、型番:0500A00-00)を用意した。第1接着層及び第2接着層としては、それぞれ、TPU樹脂シート(ハンツマン社製、品番PE399)を用意した。
 次に、積層体を真空袋に入れ、真空袋の内部を減圧した状態で、真空袋を大気焼成した。その焼成温度は、85℃であった。次に、積層体を真空袋から取り出し、オートクレーブで加圧しながら加熱した。その加熱温度は、100℃であった。その結果、第1接着層と第2接着層とが金属メッシュ織物の開口に入り込み、一体化し、電磁波遮蔽体が得られた。
 [例2]
 例2では、第1接着層及び第2接着層として、それぞれ、PVB樹脂シート(積水化学社製、品番RZRX)を用意した以外、例1と同じ条件で電磁波遮蔽体を作製した。
 [例3]
 例3では、第1接着層及び第2接着層として、それぞれ、有機過酸化物及びシランカップリング剤を含まない熱可塑性EVA樹脂シート(東ソー・ニッケミ社製、品番G7055)を用意した以外、例1と同じ条件で電磁波遮蔽体を作製した。
 [例4]
 例4では、第1接着層及び第2接着層として、それぞれ、有機過酸化物を0.04質量%含み、シランカップリング剤を含まない熱硬化性EVA樹脂シート(ブリヂストン社製、品番EVASAFE)を用意した以外、例1と同じ条件で電磁波遮蔽体を作製した。
 [例5]
 例5では、第1接着層及び第2接着層として、それぞれ、ブロック共重合体水素化物を含む熱可塑性樹脂シート(日本ゼオン社製、品番LS-XT)を用意した以外、例1と同じ条件で電磁波遮蔽体を作製した。
 [例6]
 例6では、第1接着層及び第2接着層として、それぞれ、ブロック共重合体水素化物を含む熱可塑性樹脂シート(日本ゼオン社製、品番LS)を用意した以外、例1と同じ条件で電磁波遮蔽体を作製した。
 [例7]
 例7では、例1と同じ2枚のガラス板と金属メッシュ織物を用意し、特許文献2に記載の方法で電磁波遮蔽体を作製した。具体的には、1枚のガラス板の上に金属メッシュ織物を配置し、金属メッシュ織物の上にシリコーン樹脂(モメンティブ社製、品番SN3001)を塗布し、更にその上に別のガラス板を重ね、シリコーン樹脂を加熱硬化させた。
 [評価]
 <樹脂の100℃での引張弾性率E´>
 樹脂の100℃での引張弾性率E´は、引張貯蔵弾性率であり、JIS K7244-4:1999に準じて引張試験を行い、得られた応力-歪み曲線から求めた。引張試験の試験片のサイズは、幅が5mmであり、長さが20mmであった。引張試験機としては、アイティー計測制御社製、型番:DVA-200を用いた。引張速度は500mm/分であり、測定周波数は1Hzであり、昇温速度及び高温速度は2℃/分であった。
 <樹脂の吸水率>
 樹脂の吸水率は、ASTM D570(プラスチックの標準吸水試験法)に準拠し、測定した。
 <貼合時の気泡>
 貼合時の気泡の有無は、電磁波遮蔽体の作製直後に、金属メッシュ織物を構成する複数本の金属線の交差点を観察し、調べた。
 <耐熱耐湿試験>
 電磁波遮蔽体の耐熱耐湿試験は、恒温恒湿槽を用いて実施した。恒温恒湿槽の処理条件は、温度が60℃であり、湿度が95%であり、時間が1000時間であった。電磁波遮蔽体は、恒温恒湿槽で処理した後、大気中で1日放置し、その後の外観変化の有無を観察した。
 <熱サイクル試験>
 電磁波遮蔽体の熱サイクル試験も、恒温恒湿槽を用いて実施した。恒温恒湿槽の温度は、-20℃で1時間保持し、-20℃から50℃まで2時間で上げ、50℃で1時間保持し、50℃から-20℃まで2時間で下げることを、48回繰り返した。電磁波遮蔽体は、恒温恒湿槽で処理した後、大気中で1日放置し、その後の外観変化の有無を観察した。
 <まとめ>
 表1に評価結果をまとめる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 表1において、「×」は3mの距離から目視で視認可能な外観変化が生じ、本願課題を解決できない結果であったことを意味し、「△」は3mの距離から目視で視認できない程度の外観変化に収まり、「×」に比べて優れた結果であったことを意味し、「〇」は外観変化が生じず、本願課題を解決できる最も優れた結果であったことを意味する。また、表1において、「端部」は外観変化の有無を観察する場所が樹脂層の外縁であることを意味し、「界面」は外観変化の有無を観察する場所が金属線と樹脂との界面及び樹脂とガラス板との界面であることを意味する。なお、表1においてCOP1及びCOP2は、ブロック共重合体水素化物を含む熱可塑性樹脂を意味する。
 例3及び例5は、樹脂層の樹脂が熱可塑性のEVA樹脂、又はブロック共重合体水素化物を含む熱可塑性樹脂であった。そして、樹脂層の100℃での引張弾性率E´が、5.0×10Pa未満であった。それゆえ、貼合温度の低下と、樹脂層の泡抜け性の向上と、貼合作業の作業性の向上と、貼合後の外観変化の抑制とを実現できた。
 一方、例1~例2及び例6では、樹脂層の100℃での引張弾性率E´が5.0×10Pa以上であったので、樹脂層の泡抜け性が悪く、貼合時に気泡が生じた。また、例1~例2では、樹脂層の樹脂は吸水率が0.1%以上のTPU樹脂又はPVB樹脂であったので、貼合後に外観変化が生じた。
 また、例4では、樹脂層の樹脂が熱硬化性のEVA樹脂であったので、貼合後に外観変化が生じた。
 また、例7では、樹脂層の樹脂がシリコーン樹脂であったので、貼合後に外観変化が生じた。更に、例7では、樹脂層の樹脂がシリコーン樹脂であったので、樹脂層をシートの形態で貼り合わせることができず、作業性が悪かった。
 以上、本開示に係る電磁波遮蔽体について説明したが、本開示は上記実施形態などに限定されない。特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更、修正、置換、付加、削除、及び組み合わせが可能である。それらについても当然に本開示の技術的範囲に属する。
 なお、2020年11月13日に出願された日本特許出願2020-189668号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
1  電磁波遮蔽体
2  第1誘電体層
3  第2誘電体層
4  樹脂層
5  金属メッシュ織物

Claims (13)

  1.  電磁波を遮蔽する、電磁波遮蔽体であって、
     第1誘電体層と、第2誘電体層と、前記第1誘電体層と前記第2誘電体層を接着する樹脂層と、前記樹脂層に配置される金属メッシュ織物と、を有し、
     前記金属メッシュ織物は、互いに交差する金属線による開口を有し
     前記樹脂層は、熱可塑性のエチレン酢酸ビニル(EVA)樹脂、又はブロック共重合体の不飽和結合の一部が水素化されたブロック共重合体水素化物を含む熱可塑性樹脂を含み、
     熱可塑性の前記EVA樹脂は、有機過酸化物及びシランカップリング剤を含まず、
     前記樹脂層の100℃での引張弾性率が、5.0×10Pa未満である、電磁波遮蔽体。
  2.  前記樹脂層は、前記ブロック共重合体水素化物を含む熱可塑性樹脂を含む、請求項1に記載の電磁波遮蔽体。
  3.  前記ブロック共重合体は、芳香族ビニル化合物由来の繰り返し単位を主成分とする重合体ブロックと、鎖状共役ジエン化合物由来の繰り返し単位を主成分とする重合体ブロックと、を含む、請求項2に記載の電磁波遮蔽体。
  4.  前記樹脂層は、熱可塑性の前記EVA樹脂を含む、請求項1に記載の電磁波遮蔽体。
  5.  電磁波を遮蔽する、電磁波遮蔽体であって、
     第1誘電体層と、第2誘電体層と、前記第1誘電体層と前記第2誘電体層を接着する樹脂層と、前記樹脂層に配置される金属メッシュ織物と、を有し、
     前記金属メッシュ織物は、互いに交差する金属線による開口を有し、
     前記樹脂層は、ASTM D570(プラスチックの標準吸水試験法)に準拠して測定された吸水率が0.1%未満であり、
     前記樹脂層は、25℃での引張弾性率が、10kPa以上であり、
     前記樹脂層の100℃での引張弾性率が、5.0×10Pa未満である、電磁波遮蔽体。
  6.  前記金属メッシュ織物は、前記金属線の線径が10μm~200μmであり、開口率が50%~90%である、請求項1~5のいずれか1項に記載の電磁波遮蔽体。
  7.  前記金属メッシュ織物は、前記金属線のピッチが50μm~1000μmである、請求項6に記載の電磁波遮蔽体。
  8.  可視光透過率が30%以上である、請求項1~7のいずれか1項に記載の電磁波遮蔽体。
  9.  電磁波の周波数が100MHz~1GHzである場合に、前記電磁波の遮蔽率が40dB以上である、請求項1~8のいずれか1項に記載の電磁波遮蔽体。
  10.  前記第1誘電体層及び前記第2誘電体層の少なくとも1つが、ガラスである、請求項1~9のいずれか1項に記載の電磁波遮蔽体。
  11.  前記第1誘電体層及び前記第2誘電体層の少なくとも1つが、ポリカーボネート(PC)樹脂又はアクリル樹脂である、請求項1~10のいずれか1項に記載の電磁波遮蔽体。
  12.  前記第2誘電体層を基準として前記第1誘電体層とは反対側に配置される第3誘電体層と、前記第2誘電体層と前記第3誘電体層の間に配置される導電層と、を有し、
     前記導電層は、複数の導体と、前記複数の導体を互いに隔てて配置する間隙とからなり、前記複数の導体は互いに絶縁されている、請求項1~11のいずれか1項に記載の電磁波遮蔽体。
  13.  前記第2誘電体層を基準として前記第1誘電体層とは反対側に配置される第3誘電体層と、前記第2誘電体層と前記第3誘電体層の間に配置される空気層と、を有する、請求項1~11のいずれか1項に記載の電磁波遮蔽体。
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