WO2022091968A1 - 排ガス処理設備排水の処理装置 - Google Patents

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    • Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
    • Y02W10/00—Technologies for wastewater treatment
    • Y02W10/10—Biological treatment of water, waste water, or sewage

Definitions

  • the present invention relates to an apparatus for treating wastewater from an exhaust gas treatment facility (abatement device) for treating a gas containing PFCs or the like by detoxification combustion or the like.
  • PFCs are perfluorinated compounds such as CF 4 , C 2 F 6 , C 4 F 8 , SF 6 , and WF 6 , but in the present specification, in addition to these perfluoro compounds, CH 2 F 2 , Cl 2 , BCl 3 , F 2 , HF, SiH 4 , NH 3 , PH 3 , TEOS (tetraethoxysilane), TRIS (triethoxysilane), TiCl 4 , etc. in each process of deposition, etching, and cleaning. Represents all harmful, flammable, global warming gases used.
  • PFCs such as perfluorinated compounds are used in large quantities.
  • an exhaust gas treatment facility called a detoxification device that detoxifies the gas is installed (Patent Document 1).
  • fluorine (F 2 ) is desorbed by burning (oxidizing) or pyrolyzing the perfluoro compound using combustion, electric heating, plasma, etc., and then the water scrubber incorporated in the device is used.
  • the exhaust gas is washed and F 2 in the gas is absorbed and removed. Silica fine particles are also generated by this combustion or thermal decomposition.
  • the scrubber wastewater of the abatement device (hereinafter, may be referred to as abatement wastewater) contains an organic hydrocarbon compound (TOC component) derived from the organic skeleton of the perfluorinated compound molecule in addition to HF. Therefore, the detoxified wastewater is treated by being guided by an organic matter decomposition means such as a biological treatment device.
  • TOC component organic hydrocarbon compound
  • the quality of water for scrubbers for abatement equipment is at the level of tap water, so the TOC management of treated water for abatement wastewater is loose. Therefore, a circulation method is generally used in which the recovered water treated with the detoxified wastewater is used as the water for the water scrubber of the detoxification device.
  • FIG. 2 is a flow chart showing an example of a conventional detoxification wastewater treatment device.
  • the detoxifying wastewater from the water scrubber of the abatement device is introduced into the pH adjusting tank 2 via the pipe 1, and a pH adjusting agent is added to adjust the pH to neutral pH.
  • the water from the pH adjustment tank 2 is introduced into the biological treatment tank 3 and biologically treated to decompose organic substances.
  • the biological treatment tank an aerobic biological treatment tank is often used.
  • the water from the biological treatment tank 3 is passed through a filtration device 4 such as a UF membrane after sodium hypochlorite is added as a bactericidal agent, and SS (suspended solids) and bacterial cells are separated.
  • a filtration device 4 such as a UF membrane
  • SS suspended solids
  • the filtered water is added with sodium sulfite and reacted with the remaining sodium hypochlorite, and then passed through a heat exchanger 6 to be cooled.
  • Industrial water is passed through the pipe 6a as a low-temperature fluid to the heat exchanger 6. This industrial water is heated by the heat exchanger 6 and then sent to a pure water production apparatus (not shown) via a pipe 6b.
  • the water cooled by the heat exchanger 6 and cooled down is supplied to the MF membrane device 8 as a safety filter via the pipe 7, and after being membrane-filtered, is supplied to the RO (reverse osmosis) device 10 via the pipe 9. Will be done.
  • the permeated water that has passed through the RO membrane is supplied to the water scrubber of the abatement device via the equipment water tank 10a.
  • Water treated by RO treatment of industrial water is introduced into the equipment water tank 10a as make-up water.
  • the concentrated water of the RO device 10 is sent to the water receiving tank (not shown) of the fluorine-containing wastewater treatment system via the pipe 10b.
  • FIGS. 4 and 5 of Patent Document 2 describe a method having a biological treatment step and an RO treatment step as a method for treating fluorine-containing wastewater.
  • the detoxified wastewater may contain 100 to 500 ⁇ g / L of fluorine.
  • the activity of the biological treatment is remarkably inhibited by the influence of the high concentration fluorine, and the TOC of the biological treatment water is deteriorated.
  • the organic matter contained in the detoxified wastewater is mainly organic matter with a low molecular weight such as methanol.
  • Low molecular weight organic substances such as methanol are hardly removed by the RO membrane. Therefore, it is desirable that the low molecular weight organic matter in the detoxified wastewater is decomposed or modified by biological treatment so that it can be removed by the RO membrane.
  • wastewater temperature rises may reach 40 ° C or higher as a cause of the decrease in the activity of biological treatment.
  • An object of the present invention is to provide a wastewater treatment apparatus for exhaust gas treatment equipment capable of sufficiently removing TOC components and fluorine from wastewater from exhaust gas treatment equipment.
  • the exhaust gas treatment equipment wastewater treatment apparatus of the present invention is an exhaust gas treatment equipment wastewater treatment equipment that treats exhaust gas treatment equipment wastewater containing fluorine and organic substances and recovers it as water for exhaust gas treatment equipment, and filters the exhaust gas treatment equipment wastewater. It includes a filtering means, an RO device for RO-treating the filtered water of the filtering means, and a biological treating means for biologically treating the permeated water of the RO device.
  • the biological treatment means is a biological activated carbon tower.
  • a slime inhibitor adding means for adding a slime inhibitor to the water supply of the RO device.
  • thermoelectric device that cools the biologically treated water from the biologically treated means.
  • the filtration means has a UF device.
  • the biological treatment activity of the biological treatment means in the subsequent stage is maintained by removing the fluorine by the RO device in the previous stage, and the wastewater is discharged.
  • the organic matter inside is efficiently decomposed.
  • Sodium hypochlorite was added to the wastewater (damaged wastewater) from the water scrubber of the exhaust gas treatment equipment (harmfulness equipment) that treats the gas containing PFCs by detoxification combustion or thermal decomposition. Later, it is introduced into the pH adjusting tank 12, and a pH adjusting agent is added to adjust the pH to 5 to 8, especially 6 to 7. As the pH adjuster, NaOH or the like is used.
  • the water from the pH adjusting tank 12 is passed through the first heat exchanger 14 through the water tank 13 and cooled.
  • Industrial water is passed through the pipe 14a as a low-temperature fluid to the first heat exchanger 14. After raising the temperature in the first heat exchanger 14, this industrial water is sent to a pure water production apparatus (not shown) via a pipe 14b and used as raw water for pure water production.
  • the water cooled by the first heat exchanger 14 and lowered in temperature is introduced into the relay tank 16 after the SS is removed by the UF device 15 as a filtration means.
  • the UF device 15 installed as a filtration means can also remove colloidal substances.
  • the water in the relay tank 16 is supplied to the MF device 18 as a safety filter after sodium sulfite is added in the pipe 17 to react with the residual NaClO, and then a slime inhibitor is added.
  • the filtered water membrane-filtered by the MF device 18 is supplied to the RO device 20.
  • a scale dispersant may be added to the RO water supply.
  • the concentrated water of the RO device 20 is sent to the water receiving tank (not shown) of the fluorine-containing wastewater treatment system via the pipe 21.
  • the permeated water of the RO device 20 is introduced into the biological treatment means 23 via the water tank 22, and is biologically treated to decompose organic substances.
  • a biologically activated carbon tower is suitable as the biological treatment means 23.
  • the biologically treated water from the biological treatment means 23 is passed through the filtration device 25 after sodium hypochlorite is added in the pipe 24, and SS (suspended solids) and bacterial cells are separated.
  • SS sustained solids
  • bacterial cells are separated.
  • the filtration device 25 a two-layer filtration, an MF device, or the like is used.
  • the water filtered by the filtration device 25 is sent to the second heat exchanger 27 via the equipment water tank 26 and cooled.
  • Cold water from the refrigerator is passed as the low temperature fluid of the second heat exchanger 27.
  • the water cooled by the second heat exchanger 27 is filtered by the MF device 28 and then returned to the exhaust gas treatment facility (harmfulness device) as recovered water for use in the water scrubber.
  • the equipment water tank 26 is replenished with make-up water as much as the concentrated water is discharged to the wastewater treatment equipment by the RO device 20.
  • the required water quality to be replenished to the abatement device is the level of tap water, but if the replenishment water to the equipment tank 26 is tap water, the RO device 20 has an increased risk of being blocked by the CaF 2 scale.
  • make-up water is generated from PFCs-based gas treated by the abatement device and mixed with fluorine concentrated in the abatement device circulation system to become raw water for the recovery facility as abatement wastewater.
  • the scale is concentrated on the film surface of the apparatus 20 and the scale is precipitated as CaF 2 .
  • the make-up water is soft water or RO treated water for industrial water.
  • a high removal rate RO is desirable as the RO membrane used for the RO treatment of this industrial water, but the RO membrane is not limited to this.
  • the filtration means (UF device 15) and the RO device 20 are installed in front of the biological treatment means 23, and SS, colloidal silica, fluorine and the like are removed in advance.
  • SS colloidal silica, fluorine and the like
  • the bacterial cells discharged from the biological treatment means 23 are removed by the filter 25. Even if some of the cells leak from the filter 25, the cells have little ability to promote slime formation in the system. In addition, the leaked cells are surely removed when the detoxified wastewater is treated by the UF device 15 via the detoxification equipment, so that the cells stay in the abatement device circulation system and the inside of the system remains. Therefore, there is little risk of blockage, and it is possible to collect wastewater in a stable manner.
  • the slime generation remains as a low molecular weight organic matter because it is reformed by the biological treatment by the biological treatment means 23. Is suppressed compared to the state of.
  • Ammonia is often contained in the detoxified wastewater, and depending on the concentration, nitrification in biological treatment may be promoted, and there may be a problem that the treatment performance of organic matter deteriorates due to lack of DO.
  • the nitrification product is removed by the RO device 20 as in the case of fluorine, so that such a problem does not occur.
  • the above embodiment is an example of the present invention, and the present invention may have a configuration other than the above.
  • the temperature of the water supply to the biological treatment means 23 may be adjusted by a cooler so as to be 35 ° C. or lower.
  • the optimum installation position of the first heat exchanger 14 differs depending on the water / heat balance between the detoxified wastewater and other wastewater, and the space between the slime inhibitor injection point and the MF device 18 and the water tank 22 and the biological treatment tank 23. It may be installed between.

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Abstract

排ガス処理設備排水の処理水のＴＯＣ成分及びフッ素を十分に除去することができる排ガス処理設備排水の処理装置が提供される。排ガス処理設備の排水は、ｐＨ調整槽１２、熱交換器１４、ＵＦ装置１５、中継槽１６、ＭＦ装置１８、ＲＯ装置２０、生物処理手段２３に通水された後、熱交換器２７を通って降温し、ＭＦ装置２８を経て回収水となり、排ガス処理設備に返送される。ＲＯ給水にスライム抑制剤が添加される。

Description

排ガス処理設備排水の処理装置
　本発明は、ＰＦＣｓ等を含んだガスを除害燃焼等により処理するための排ガス処理設備（除害装置）からの排水を処理する装置に関する。
　なお、ＰＦＣｓ（Ｐｅｒｆｌｕｏｒｏｃｏｍｐｏｕｎｄｓ）とは、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ４Ｆ８、ＳＦ６、ＷＦ６などのペルフルオロ化合物のことであるが、本明細書ではこれらペルフルオロ化合物のほか、ＣＨ２Ｆ２、Ｃｌ２、ＢＣｌ３、Ｆ２、ＨＦ、ＳｉＨ４、ＮＨ３、ＰＨ３、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）、ＴＲＩＳ（トリエトキシシラン）、ＴｉＣｌ４など、デポジション、エッチング、クリーニングの各工程で用いられる、すべての有害、可燃、地球温暖化ガスを表わす。
　半導体、液晶、ＬＥＤ、太陽電池等の製造プロセスでは、ペルフルオロ化合物などの上記ＰＦＣｓが多量に使用されている。ペルフルオロ化合物ガスを用いる工場では、これを無害化する除害装置と称される排ガス処理設備を設置している（特許文献１）。除害装置では、燃焼、電気加熱、プラズマなどを用いて、ペルフルオロ化合物を燃焼（酸化）又は熱分解反応により、フッ素（Ｆ２）を脱離させた後、当該装置に組み込まれた水スクラバーで排ガスを洗浄し、ガス中のＦ２を吸収除去する。なお、この燃焼又は熱分解によって、シリカ微粒子も発生する。
　除害装置のスクラバー排水（以下、除害排水ということがある）は、ＨＦのほかに、ペルフルオロ化合物分子の有機骨格に由来する有機性炭化水素化合物（ＴＯＣ成分）を含有する。そこで、除害排水は、生物処理装置などの有機物分解手段に導かれて処理される。
　除害排水の処理に、生物処理装置などの有機物除去装置を設置するのは、除害装置での省エネルギーを考慮し、低温分解で有害性、可燃性、地球温暖化効果に起因するＣ－Ｆ結合などを切り離すことなどを目的としている。除害装置では、炭化水素骨格の完全燃焼を行っていないため、除害排水に有機性炭化水素化合物（ＴＯＣ）が含まれるためである。近年、除害装置の運転コスト低減の目的で燃焼温度を低く設定することが多い。その結果、除害排水のＴＯＣが分解しきれず高濃度になる傾向にある。
　一般的に除害装置用の水スクラバー用水の水質は水道水レベルであるため、除害排水の処理水のＴＯＣ管理は緩いものとなっている。そのため、除害排水を処理した回収水を除害装置の水スクラバー用水とする循環方式が一般的である。
　図２は従来の除害排水処理装置の一例を示すフロー図である。除害装置の水スクラバーからの除害排水は、配管１を介してｐＨ調整槽２に導入され、ｐＨ調整剤が添加されて中性ｐＨに調整される。
　ｐＨ調整槽２からの水は、生物処理槽３に導入され、生物処理されて有機物が分解処理される。生物処理槽としては好気性生物処理槽が用いられることが多い。
　生物処理槽３からの水は、殺菌剤として次亜塩素酸ナトリウムが添加された後、ＵＦ膜などの濾過装置４に通水され、ＳＳ（懸濁物質）及び菌体が分離される。濾過された水は、中継槽５を経た後、亜硫酸ナトリウムが添加されて残留する次亜塩素酸ナトリウムと反応させ、次いで熱交換器６に通されて冷却される。熱交換器６へは低温流体として工業用水が配管６ａから通水される。この工業用水は、熱交換器６で昇温した後、配管６ｂを介して純水製造装置（図示略）へ送水される。
　熱交換器６で冷却されて降温した水は、配管７を介して保安フィルタとしてのＭＦ膜装置８に供給され、膜濾過された後、配管９を介してＲＯ（逆浸透）装置１０に供給される。ＲＯ膜を透過した透過水は、設備用水槽１０aを経て除害装置の水スクラバーに供給される。設備用水槽１０aには工業用水をＲＯ処理した水が補給水として導入される。ＲＯ装置１０の濃縮水は、配管１０ｂを介してフッ素含有排水処理システムの受水槽（図示略）に送水される。
　特許文献２の図４，５には、フッ素含有排水を処理する方法として、生物処理工程及びＲＯ処理工程を有する方法が記載されている。
特開２０１９－１７４０５０号公報 特開２０１１－２００８４８号公報
　除害排水は、場合によっては１００～５００μｇ／Ｌのフッ素を含有する場合がある。この場合、高濃度フッ素の影響により生物処理の活性が著しく阻害され、生物処理水のＴＯＣが悪化してしまう。
　除害排水に含有される有機物は、メタノールなど分子量が低い有機物を主とする。メタノール等の低分子量有機物は、ＲＯ膜で殆ど除去されない。その為、除害排水中の低分子量有機物は、生物処理で分解または改質して、ＲＯ膜で除去可能としておくことが望ましい。
　一方、ＲＯ膜ではフッ素が効率的に除去される。その為、ＲＯ装置の後段側でスライムが生じやすい。スライムが発生し易い処理水を除害装置のスクラバーに送水した場合、スライムトラブルが生じ易くなる。
　また、生物処理の活性が低下する原因として、排水温度の上昇（４０℃以上に到達する場合もある。）も考えられる。
　本発明は、排ガス処理設備排水のＴＯＣ成分及びフッ素を十分に除去することができる排ガス処理設備排水の処理装置を提供することを目的とする。
　本発明の排ガス処理設備排水の処理装置は、フッ素及び有機物を含む排ガス処理設備排水を処理して排ガス処理設備用水として回収する排ガス処理設備排水の処理装置において、該排ガス処理設備排水を濾過処理する濾過手段と、該濾過手段の濾過処理水をＲＯ処理するＲＯ装置と、該ＲＯ装置の透過水を生物処理する生物処理手段とを備える。
　本発明の一態様では、前記生物処理手段は生物活性炭塔である。
　本発明の一態様では、前記ＲＯ装置の給水にスライム抑制剤を添加するスライム抑制剤添加手段を有する。
　本発明の一態様では、前記生物処理手段からの生物処理水を冷却する熱交換器を有する。
　本発明の一態様では、前記濾過手段はＵＦ装置を有する。
　本発明の排ガス処理設備排水の処理装置では、排ガス処理設備排水のフッ素濃度が高くても、前段のＲＯ装置でフッ素を除去することにより、後段の生物処理手段の生物処理活性が維持され、排水中の有機物が効率的に分解される。
実施の形態に係る排ガス処理設備排水の処理装置の構成図である。 従来の排ガス処理設備排水の処理装置の構成図である。
　以下、図１を参照して実施の形態について説明する。
　ＰＦＣｓ等を含んだガスを除害燃焼又は熱分解等により処理する排ガス処理設備（除害装置）の水スクラバーからの排水（除害排水）は、配管１１で次亜塩素酸ナトリウムが添加された後、ｐＨ調整槽１２に導入され、ｐＨ調整剤が添加されてｐＨ５～８特に６～７に調整される。ｐＨ調整剤としては、ＮａＯＨなどが用いられる。
　ｐＨ調整槽１２からの水は、水槽１３を経て第１熱交換器１４に通されて冷却される。第１熱交換器１４へは低温流体として工業用水が配管１４ａから通水される。この工業用水は、第１熱交換器１４で昇温した後、配管１４ｂを介して純水製造装置（図示略）へ送水され、純水製造用原水として利用される。
　第１熱交換器１４で冷却されて降温した水は、濾過手段としてのＵＦ装置１５でＳＳが除去された後、中継槽１６に導入される。濾過手段として設置したＵＦ装置１５はコロイダル物質も除去できる。
　中継槽１６内の水は、配管１７で亜硫酸ナトリウムが添加され残留ＮａＣｌＯとの反応が行われ、次いで、スライム抑制剤が添加された後、保安フィルタとしてのＭＦ装置１８に供給される。ＭＦ装置１８で膜濾過された濾過水は、ＲＯ装置２０に供給される。なお、ＲＯ給水にスケール分散剤が添加されてもよい。ＲＯ装置２０の濃縮水は、配管２１を介してフッ素含有排水処理システムの受水槽（図示略）に送水される。
　ＲＯ装置２０の透過水は、水槽２２を経て生物処理手段２３に導入され、生物処理されて有機物が分解処理される。生物処理手段２３としては生物活性炭塔が好適である。
　生物処理手段２３からの生物処理水は、配管２４で次亜塩素酸ナトリウムが添加された後、濾過装置２５に通水され、ＳＳ（懸濁物質）や菌体が分離される。濾過装置２５としては、二層濾過、ＭＦ装置などが用いられる。
　濾過装置２５で濾過された水は、設備用水槽２６を介して第２熱交換器２７に送水されて冷却される。第２熱交換器２７の低温流体として、冷凍機からの冷水が通水される。
　第２熱交換器２７で降温した水は、ＭＦ装置２８で濾過処理された後、排ガス処理設備（除害装置）に回収水として返送され、水スクラバーで使用される。なお、設備用水槽２６には、ＲＯ装置２０で濃縮水が排水処理設備に排出される分だけ補給水が補給される。一般的に除害装置に補給される要求水質は水道水レベルとされるが、設備用水槽２６への補給水を水道水とした場合、ＲＯ装置２０はＣａＦ２スケールにより閉塞するリスクが高まる。これは、補給水由来のカルシウムが、除害装置で処理されたＰＦＣｓ系ガスから発生し除害装置循環系内で濃縮されたフッ素と混合され、除害排水として当該回収設備の原水となり、ＲＯ装置２０の膜面で濃縮され、ＣａＦ２としてスケールが析出する為である。これを防止する為、補給水は軟水または工業用水のＲＯ処理水とすることが好ましい。この工業用水のＲＯ処理に供されるＲＯ膜としては高除去率ＲＯが望ましいが、これに限定されるものではない。
　この実施の形態においては、上記のように、生物処理手段２３の前段に濾過手段（ＵＦ装置１５）及びＲＯ装置２０を設置し、あらかじめＳＳやコロイダルシリカ、フッ素等を除去する。これにより、排ガス処理設備排水のフッ素濃度が高くても、前段のＲＯでフッ素を除去することにより生物処理の活性が維持され、排水中の有機物が効率的に分解される。
　なお、前述の通り、除害排水中の有機物は低分子の有機物が多い為、これを処理しないで除害装置へ回収水として返送すると、同じＴＯＣ値であっても除害装置系内がスライム化するリスクが高い。ＲＯ装置での除去率が極めて低い低分子量の有機物は、逆に生物処理され易い有機物であるので、低分子量の有機物がＲＯ透過水に含まれていても、生物処理手段２３で効率よく生物処理される。
　生物処理手段２３から流出した菌体は濾過器２５で除去される。菌体の一部が濾過器２５からリークしたとしても、この菌体は系内のスライム化を促進させる能力はほとんどない。また、リークした菌体は、除害設備を経由して除害排水がＵＦ装置１５で処理される際に確実に除去される為、菌体が除害装置循環系内にとどまり、系内がそれで閉塞するリスクは少なく、安定して排水を回収することが可能である。
　本実施の形態の排ガス処理設備排水の処理装置の回収水中に有機物が一部残存する場合でも、生物処理手段２３での生物処理によって改質されている為、スライム発生は低分子量の有機物のままの状態と比較して抑制される。
　なお、除害排水にはアンモニアも含有される場合が多く、濃度によっては生物処理での硝化が促進し、ＤＯ不足で有機物の処理性能が低下する問題が生じることが考えられるが、この排ガス処理設備排水の処理装置では、フッ素と同様に、硝化生成物がＲＯ装置２０で除去される為、そのような問題は生じない。
　この実施の形態においては、第１熱交換器１４にて純水装置原水系へ排熱回収することで、除害排水冷却に要する冷水ばかりでなく、純水原水加熱に要する蒸気または温水も低減することが可能となる。
　上記実施の形態は本発明の一例であり、本発明は上記以外の構成とされてもよい。例えば、生物の活性化維持の為、生物処理手段２３への給水の温度が３５℃以下になるように冷却器で調整するようにしてもよい。また、第１熱交換器１４は、除害排水とその他の排水との水・熱バランスによって最適設置位置が異なり、スライム抑制剤注入点とＭＦ装置１８の間や水槽２２と生物処理槽２３との間に設置される場合もある。
　本発明を特定の態様を用いて詳細に説明したが、本発明の意図と範囲を離れることなく様々な変更が可能であることは当業者に明らかである。
　本出願は、２０２０年１０月２７日付で出願された日本特許出願２０２０－１７９７６４に基づいており、その全体が引用により援用される。
　２，１２　ｐＨ調整槽
　３　生物処理槽
　６，１４，２７　熱交換器
　８，１８，２８　ＭＦ装置
　１０，２０　ＲＯ装置
　２３　生物処理手段

Claims (5)

  1. 　フッ素及び有機物を含む排ガス処理設備排水を処理して排ガス処理設備用水として回収する排ガス処理設備排水の処理装置において、
    　該排ガス処理設備排水を濾過処理する濾過手段と、
    　該濾過手段の濾過処理水をＲＯ処理するＲＯ装置と、
    　該ＲＯ装置の透過水を生物処理する生物処理手段と
    を備えたことを特徴とする排ガス処理設備排水の処理装置。
  2. 　前記生物処理手段は生物活性炭塔である請求項１の排ガス処理設備排水の処理装置。
  3. 　前記ＲＯ装置の給水にスライム抑制剤を添加するスライム抑制剤添加手段を有する請求項１又は２の排ガス処理設備排水の処理装置。
  4. 　前記生物処理手段からの生物処理水を冷却する熱交換器を有する請求項１～３のいずれかの排ガス処理設備排水の処理装置。
  5. 　前記濾過手段はＵＦ装置を有する請求項１～４のいずれかの排ガス処理設備排水の処理装置。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022167864A (ja) * 2021-04-22 2022-11-04 住友化学株式会社 樹脂含有組成物の製造方法及びレジストパターンの製造方法
JP7690702B1 (ja) * 2023-11-29 2025-06-10 オルガノ株式会社 排ガス処理システム、排ガス処理方法および排ガス処理システムの改造方法

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0369708A (ja) * 1989-08-09 1991-03-26 Ataka Kogyo Kk 消雪装置
JPH0487798U (ja) * 1990-12-17 1992-07-30
JPH0588697U (ja) * 1992-05-07 1993-12-03 三菱重工業株式会社 液槽からの液の排出装置
JPH10323664A (ja) * 1997-05-27 1998-12-08 Hitachi Zosen Corp 排水回収処理装置
JP2000189760A (ja) * 1998-12-28 2000-07-11 Kurita Water Ind Ltd 純水製造装置
JP2003103260A (ja) * 2001-09-28 2003-04-08 Nomura Micro Sci Co Ltd フッ化物含有排水の処理方法
JP2007083152A (ja) * 2005-09-21 2007-04-05 Kurita Water Ind Ltd 高ｔｏｃ含有ｃｍｐ排水からの水回収方法及び水回収装置
JP2010089071A (ja) * 2008-09-11 2010-04-22 Kobelco Eco-Solutions Co Ltd 排水処理方法及び排水処理設備
JP2010099545A (ja) * 2008-10-21 2010-05-06 Kurita Water Ind Ltd 有機排水の処理方法及び処理装置
CN108249707A (zh) * 2018-02-14 2018-07-06 南京大学 一种含氟含硝态氮工业废水的处理系统和处理方法
JP2020157273A (ja) * 2019-03-28 2020-10-01 栗田工業株式会社 水処理装置及び水処理方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020148373A (ja) * 2019-03-12 2020-09-17 栗田工業株式会社 ＰＦＣｓ含有排ガスの処理装置及び方法

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0369708A (ja) * 1989-08-09 1991-03-26 Ataka Kogyo Kk 消雪装置
JPH0487798U (ja) * 1990-12-17 1992-07-30
JPH0588697U (ja) * 1992-05-07 1993-12-03 三菱重工業株式会社 液槽からの液の排出装置
JPH10323664A (ja) * 1997-05-27 1998-12-08 Hitachi Zosen Corp 排水回収処理装置
JP2000189760A (ja) * 1998-12-28 2000-07-11 Kurita Water Ind Ltd 純水製造装置
JP2003103260A (ja) * 2001-09-28 2003-04-08 Nomura Micro Sci Co Ltd フッ化物含有排水の処理方法
JP2007083152A (ja) * 2005-09-21 2007-04-05 Kurita Water Ind Ltd 高ｔｏｃ含有ｃｍｐ排水からの水回収方法及び水回収装置
JP2010089071A (ja) * 2008-09-11 2010-04-22 Kobelco Eco-Solutions Co Ltd 排水処理方法及び排水処理設備
JP2010099545A (ja) * 2008-10-21 2010-05-06 Kurita Water Ind Ltd 有機排水の処理方法及び処理装置
CN108249707A (zh) * 2018-02-14 2018-07-06 南京大学 一种含氟含硝态氮工业废水的处理系统和处理方法
JP2020157273A (ja) * 2019-03-28 2020-10-01 栗田工業株式会社 水処理装置及び水処理方法

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