WO2022091573A1 - 光検出装置および光検出システム - Google Patents
光検出装置および光検出システム Download PDFInfo
- Publication number
- WO2022091573A1 WO2022091573A1 PCT/JP2021/032246 JP2021032246W WO2022091573A1 WO 2022091573 A1 WO2022091573 A1 WO 2022091573A1 JP 2021032246 W JP2021032246 W JP 2021032246W WO 2022091573 A1 WO2022091573 A1 WO 2022091573A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- signal
- detection
- pulse
- unit
- edge
- Prior art date
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 550
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 claims abstract description 205
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 claims description 150
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 51
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 46
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 37
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 35
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 27
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 97
- 102100040862 Dual specificity protein kinase CLK1 Human genes 0.000 description 96
- 101100154785 Mus musculus Tulp2 gene Proteins 0.000 description 42
- RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N Diethylenetriamine Chemical compound NCCNCCN RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 24
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 22
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 22
- 101100316752 Arabidopsis thaliana VAL1 gene Proteins 0.000 description 17
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 14
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 description 10
- 102100022052 Cyclin N-terminal domain-containing protein 1 Human genes 0.000 description 8
- 102100040844 Dual specificity protein kinase CLK2 Human genes 0.000 description 8
- 101000900815 Homo sapiens Cyclin N-terminal domain-containing protein 1 Proteins 0.000 description 8
- 101000749294 Homo sapiens Dual specificity protein kinase CLK1 Proteins 0.000 description 8
- 101000749291 Homo sapiens Dual specificity protein kinase CLK2 Proteins 0.000 description 8
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 8
- 102100036285 25-hydroxyvitamin D-1 alpha hydroxylase, mitochondrial Human genes 0.000 description 4
- 101000875403 Homo sapiens 25-hydroxyvitamin D-1 alpha hydroxylase, mitochondrial Proteins 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 3
- 101100136062 Mycobacterium tuberculosis (strain ATCC 25618 / H37Rv) PE10 gene Proteins 0.000 description 2
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 2
- 238000002366 time-of-flight method Methods 0.000 description 2
- 102100036219 Cyclic nucleotide-gated olfactory channel Human genes 0.000 description 1
- 101000875054 Homo sapiens Cyclic nucleotide-gated olfactory channel Proteins 0.000 description 1
- 240000004050 Pentaglottis sempervirens Species 0.000 description 1
- 235000004522 Pentaglottis sempervirens Nutrition 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/88—Lidar systems specially adapted for specific applications
- G01S17/89—Lidar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
- G01S17/894—3D imaging with simultaneous measurement of time-of-flight at a 2D array of receiver pixels, e.g. time-of-flight cameras or flash lidar
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C3/00—Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders
- G01C3/02—Details
- G01C3/06—Use of electric means to obtain final indication
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/88—Lidar systems specially adapted for specific applications
- G01S17/93—Lidar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes
- G01S17/931—Lidar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes of land vehicles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4816—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of receivers alone
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/483—Details of pulse systems
- G01S7/486—Receivers
- G01S7/4861—Circuits for detection, sampling, integration or read-out
- G01S7/4863—Detector arrays, e.g. charge-transfer gates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/483—Details of pulse systems
- G01S7/486—Receivers
- G01S7/4865—Time delay measurement, e.g. time-of-flight measurement, time of arrival measurement or determining the exact position of a peak
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/483—Details of pulse systems
- G01S7/486—Receivers
- G01S7/487—Extracting wanted echo signals, e.g. pulse detection
Definitions
- the present disclosure relates to a photodetector and a photodetection system that detect light from a detection object.
- Patent Document 1 discloses a photodetector that detects an edge of a pulse signal using two flip-flops based on a pulse signal corresponding to the light reception result of the light receiving unit.
- circuit area of an electronic circuit is small, and further reduction of the circuit area is expected.
- the first photodetector includes a plurality of light receiving units, a plurality of edge detection units, and an addition unit.
- Each of the plurality of light receiving units has a light receiving element and is configured to generate a pulse signal including a pulse corresponding to the light receiving result of the light receiving element.
- the plurality of edge detection units are provided corresponding to the plurality of light receiving units, and each is configured to generate a detection signal by detecting the edge of the pulse in the pulse signal generated by the corresponding light receiving unit.
- the addition unit is configured to generate a detection value indicating the number of pulses by performing addition processing based on a plurality of detection signals generated by the plurality of edge detection units.
- Each of the plurality of edge detection units has a first latch circuit, a second latch circuit, a combination circuit, and a third latch circuit.
- the first latch circuit is configured to generate a first signal by latching a pulse signal based on the first clock signal.
- the second latch circuit is configured to generate a second signal by latching the first signal based on the second clock signal which is an inverted signal of the first clock signal.
- the combinational circuit is configured to generate a third signal based on the pulse signal, the first signal, and the second signal.
- the third latch circuit is configured to generate a detection signal by latching a third signal based on the first clock signal.
- the second photodetector includes a plurality of light receiving units, a plurality of edge detection units, a first addition unit, and a second addition unit.
- Each of the plurality of light receiving units has a light receiving element and is configured to generate a pulse signal including a pulse corresponding to the light receiving result of the light receiving element.
- the plurality of edge detection units are provided corresponding to the plurality of light receiving units, and each of them detects the edge of the pulse in the pulse signal generated by the corresponding light receiving unit to detect the first detection signal and the second light receiving unit. It is configured to generate a detection signal.
- the first addition unit is configured to generate a first detection value indicating the number of pulses by performing addition processing based on a plurality of first detection signals generated by the plurality of edge detection units.
- the second addition unit is configured to generate a second detection value indicating the number of pulses by performing addition processing based on a plurality of second detection signals generated by the plurality of edge detection units.
- Each of the plurality of edge detection units has a first latch circuit, a second latch circuit, a first combinational circuit, and a second combinational circuit.
- the first latch circuit is configured to generate a first signal by latching a pulse signal based on the first clock signal.
- the second latch circuit is configured to generate a second signal by latching a pulse signal based on the second clock signal.
- the first combinational circuit is configured to generate a third signal based on the pulse signal and the first signal.
- the second combinational circuit is configured to generate a fourth signal based on the pulse signal and the second signal.
- Each of the plurality of edge detection units is configured to generate a first detection signal based on the third signal and generate a second detection signal based on the fourth signal.
- the first photodetection system includes a light emitting unit and a photodetection unit.
- the light emitting unit is configured to emit light.
- the photodetector is configured to detect the light reflected by the detection target among the light emitted from the light emitting unit.
- the light detection unit includes a plurality of light receiving units, a plurality of edge detection units, and an addition unit. Each of the plurality of light receiving units has a light receiving element and is configured to generate a pulse signal including a pulse corresponding to the light receiving result of the light receiving element.
- the plurality of edge detection units are provided corresponding to the plurality of light receiving units, and each is configured to generate a detection signal by detecting the edge of the pulse in the pulse signal generated by the corresponding light receiving unit.
- the addition unit is configured to generate a detection value indicating the number of pulses by performing addition processing based on a plurality of detection signals generated by the plurality of edge detection units.
- Each of the plurality of edge detection units has a first latch circuit, a second latch circuit, a combination circuit, and a third latch circuit.
- the first latch circuit is configured to generate a first signal by latching a pulse signal based on the first clock signal.
- the second latch circuit is configured to generate a second signal by latching the first signal based on the second clock signal which is an inverted signal of the first clock signal.
- the combinational circuit is configured to generate a third signal based on the pulse signal, the first signal, and the second signal.
- the third latch circuit is configured to generate a detection signal by latching a third signal based on the first clock signal.
- the second photodetection system includes a light emitting unit and a photodetection unit.
- the light emitting unit is configured to emit light.
- the photodetector is configured to detect the light reflected by the detection target among the light emitted from the light emitting unit.
- the light detection unit includes a plurality of light receiving units, a plurality of edge detection units, a first addition unit, and a second addition unit.
- Each of the plurality of light receiving units has a light receiving element and is configured to generate a pulse signal including a pulse corresponding to the light receiving result of the light receiving element.
- the plurality of edge detection units are provided corresponding to the plurality of light receiving units, and each of them detects the edge of the pulse in the pulse signal generated by the corresponding light receiving unit to detect the first detection signal and the second light receiving unit. It is configured to generate a detection signal.
- the first addition unit is configured to generate a first detection value indicating the number of pulses by performing addition processing based on a plurality of first detection signals generated by the plurality of edge detection units.
- the second addition unit is configured to generate a second detection value indicating the number of pulses by performing addition processing based on a plurality of second detection signals generated by the plurality of edge detection units.
- Each of the plurality of edge detection units has a first latch circuit, a second latch circuit, a first combinational circuit, and a second combinational circuit.
- the first latch circuit is configured to generate a first signal by latching a pulse signal based on the first clock signal.
- the second latch circuit is configured to generate a second signal by latching a pulse signal based on the second clock signal.
- the first combinational circuit is configured to generate a third signal based on the pulse signal and the first signal.
- the second combinational circuit is configured to generate a fourth signal based on the pulse signal and the second signal.
- Each of the plurality of edge detection units is configured to generate a first detection signal based on the third signal and generate a second detection signal based on the fourth signal.
- a pulse signal including a pulse corresponding to the light receiving result of the light receiving element is generated in each of the plurality of light receiving units, and a plurality of pulse signals are generated.
- a detection signal is generated by detecting the edge of the pulse in the pulse signal generated by the corresponding light receiving unit in each of the edge detection units.
- the first latch circuit latches the pulse signal based on the first clock signal to generate the first signal, and the second latch circuit generates the first signal.
- the second signal is generated by latching the first signal based on the second clock signal which is the inverted signal of the clock signal, and the pulse signal, the first signal, and the second signal are generated by the combination circuit.
- a third signal is generated based on the above, and a detection signal is generated by latching the third signal based on the first clock signal by the third latch circuit.
- the addition unit performs addition processing based on the plurality of detection signals generated by the plurality of edge detection units, thereby generating a detection value indicating the number of pulses.
- a pulse signal including a pulse corresponding to the light receiving result of the light receiving element is generated in each of the plurality of light receiving units, and a plurality of pulse signals are generated.
- the first detection signal and the second detection signal are generated by detecting the edge of the pulse in the pulse signal generated by the corresponding light receiving unit.
- the first latch circuit latches the pulse signal based on the first clock signal to generate the first signal, and the second latch circuit generates the second signal.
- a second signal is generated by latching the pulse signal based on the clock signal, and a third signal is generated based on the pulse signal and the first signal by the first combination circuit, and the second combination.
- the circuit generates a fourth signal based on the pulse signal and the second signal, a first detection signal based on the third signal, and a second detection signal based on the fourth signal.
- the first addition unit performs addition processing based on the plurality of first detection signals generated by the plurality of edge detection units, whereby a first detection value indicating the number of pulses is generated.
- the second addition unit performs addition processing based on the plurality of second detection signals generated by the plurality of edge detection units, so that a second detection value indicating the number of pulses is generated.
- FIG. 1 shows a configuration example of a photodetection system (photodetection system 1) according to an embodiment.
- the light detection system 1 is a ToF (Time-of-Flight) sensor, and is configured to emit light and detect the reflected light reflected by the detection object OBJ.
- the photodetection system 1 includes a light emitting unit 11, an optical system 12, a photodetection unit 20, and a control unit 14.
- the light emitting unit 11 is configured to emit an optical pulse L0 toward the detection target OBJ based on an instruction from the control unit 14.
- the light emitting unit 11 emits a light pulse L0 by performing a light emitting operation in which light emission and non-light emission are alternately repeated based on an instruction from the control unit 14.
- the light emitting unit 11 has, for example, a light source that emits infrared light. This light source is configured by using, for example, a laser light source, an LED (Light Emitting Diode), or the like.
- the optical system 12 includes a lens that forms an image on the light receiving surface S of the photodetector 20.
- An optical pulse (reflected light pulse L1) emitted from the light emitting unit 11 and reflected by the detection object OBJ is incident on the optical system 12.
- the light detection unit 20 is configured to detect the reflected light pulse L1 based on an instruction from the control unit 14. Then, the photodetection unit 20 outputs the detection result as a data DT.
- the control unit 14 is configured to control the operation of the photodetection system 1 by supplying control signals to the light emitting unit 11 and the photodetection unit 20 and controlling their operations.
- FIG. 2 shows an example of the configuration of the photodetector 20.
- the photodetection unit 20 includes a photodetection array 21, a clock generation unit 22, a read control unit 23, a read unit 24, and a photodetection control unit 25.
- the photodetection array 21 has a plurality of photodetection units U arranged in a matrix.
- the photodetection unit U is configured to generate a detection value VAL indicating the number of times the reflected light pulse L1 is detected in each of the plurality of detection periods Pdet by detecting the reflected light pulse L1.
- FIG. 3 shows an implementation example of the photodetector 20.
- the photodetector 20 is formed on two semiconductor substrates 101 and 102.
- the semiconductor substrate 101 is arranged on the light receiving surface S side of the photodetection unit 20, and the semiconductor substrate 102 is arranged on the side opposite to the light receiving surface S side of the photodetection unit 20.
- the semiconductor substrates 101 and 102 are superposed on each other.
- the wiring of the semiconductor substrate 101 and the wiring of the semiconductor substrate 102 are connected by the wiring 103.
- a metal bond such as Cu—Cu can be used.
- the photodetection unit U is arranged, for example, over these two semiconductor substrates 101 and 102.
- FIG. 4 shows an example of a configuration of the photodetector unit U.
- the photodetection unit U includes a plurality of light receiving units 31 (two light receiving units 31A and 31B in this example), a plurality of edge detection units 40 (two edge detection units 40A and 40B in this example), and an addition unit 33. have.
- two light receiving units 31 and two edge detecting units 40 are provided, but the present invention is not limited to this, and even if three or more light receiving units 31 and three or more edge detecting units 40 are provided. good.
- Each of the plurality of light receiving units 31 is configured to generate a pulse signal PLS by detecting light.
- the light receiving unit 31A generates a pulse signal PLS (pulse signal PLSA) by detecting light, and supplies the generated pulse signal PLSA to the edge detection unit 40A.
- the light receiving unit 31B generates a pulse signal PLS (pulse signal PLSB) by detecting light, and supplies the generated pulse signal PLSB to the edge detection unit 40B.
- the light receiving unit 31A will be described as an example. The same applies to the light receiving unit 31B.
- FIG. 5 shows an example of the configuration of the light receiving unit 31A.
- the light receiving unit 31A includes a photodiode PD, transistors MP1 to MP3, MN4, inverters IV1 to IV3, and a delay circuit DEL.
- the transistors MP1 to MP3 are P-type MOS (Metal Oxide Semiconductor) transistors, and the transistor MN4 is an N-type MOS transistor.
- the photodiode PD is formed on the semiconductor substrate 101, and the transistors MP1 to MP3, MN4, the inverters IV1 to IV3, and the delay circuit DEL are formed on the semiconductor substrate 102.
- the photodiode PD is a photoelectric conversion element that converts light into electric charges.
- a power supply voltage VSS is supplied to the anode of the photodiode PD, and the cathode is connected to the drain of the transistor MP1 and the gate of the transistor MP3.
- an avalanche photodiode Avalanche Photodiode
- SPAD Single Photon Avalanche Diode
- the gate of the transistor MP1 is connected to the output terminal of the delay circuit DEL and the input terminal of the inverter IV3, the power supply voltage VDD1 is supplied to the source, and the drain is connected to the cathode of the photodiode PD and the gate of the transistor MP3.
- the gate of the transistor MP2 is connected to the output terminal of the inverter IV3 and the gate of the transistor MN4, the power supply voltage VDD2 is supplied to the source, and the drain is connected to the source of the transistor MP3.
- the gate of the transistor MP3 is connected to the cathode of the photodiode PD and the drain of the transistor MP1, the source is connected to the drain of the transistor MP2, and the drain is connected to the drain of the transistor MN4 and the input terminal of the inverter IV1.
- the gate of the transistor MN4 is connected to the output terminal of the inverter IV3 and the gate of the transistor MP2, the drain is connected to the drain of the transistor MP3 and the input terminal of the inverter IV1, and the source is grounded.
- the input terminal of the inverter IV1 is connected to the drain of the transistor MP3 and the drain of the transistor MN4, and the output terminal is connected to the input terminal of the inverter IV2 and the input terminal of the delay circuit DEL.
- the input terminal of the inverter IV2 is connected to the output terminal of the inverter IV1 and the input terminal of the delay circuit DEL, and the output terminal is connected to the edge detection unit 40A in the subsequent stage of the light receiving unit 31A.
- the delay circuit DEL is configured to delay the input signal by a predetermined time (delay time Td) and output the delayed signal.
- the input terminal of the delay circuit DEL is connected to the output terminal of the inverter IV1 and the input terminal of the inverter IV2, and the output terminal is connected to the input terminal of the inverter IV3 and the gate of the transistor MP1.
- the delay time Td is set so that the pulse width Tpw of the pulse signal PLSA output from the inverter IV2 is equal to or longer than the time length of the detection period Pdet for detecting the edge in the edge detection unit 40A.
- the input terminal of the inverter IV3 is connected to the output terminal of the delay circuit DEL and the gate of the transistor MP1, and the output terminal is connected to the gate of the transistors MP2 and MN4.
- FIG. 6A and 6B show an operation example of the light receiving unit 31A, in which FIG. 6A shows the waveform of the cathode voltage V1 of the photodiode PD, and FIG. 6B shows the waveform of the voltage V2 in the drain of the transistors MP3 and MN4.
- (C) show the waveform of the voltage V3 at the output terminal of the inverter IV1
- (D) shows the waveform of the voltage V4 at the output terminal of the delay circuit DEL
- E shows the waveform of the pulse signal PLSA.
- the cathode voltage V1 of the photodiode PD begins to decrease from the power supply voltage VDD1 at timing t1 (FIG. 6A). Then, the transistor MP3 changes from the off state to the on state based on the change of the cathode voltage V1, and the voltage V2 changes from the low level to the high level (FIG. 6B). Based on this change in voltage V2, the voltage V3 at the output terminal of the inverter IV1 begins to change from a high level to a low level at timing t2 (FIG. 6 (C)). Based on this change in voltage V3, the voltage of the pulse signal PLSA changes from a low level to a high level (FIG. 6 (E)).
- the voltage V4 at the output terminal of the delay circuit DEL changes from the high level to the low level at the timing t3 in which the delay time Td of the delay circuit DEL has elapsed from the timing t2. (Fig. 6 (D)).
- the transistor MP1 changes from an off state to an on state, and the cathode voltage V1 of the photodiode PD changes toward the power supply voltage VDD1 (FIG. 6A).
- the transistor MP2 changes from the on state to the off state
- the transistor MN4 changes from the off state to the on state. It changes and the voltage V2 changes from a high level to a low level (FIG. 6B).
- the voltage V3 at the output terminal of the inverter IV1 changes from a low level to a high level (FIG. 6C), and based on this change in voltage V3, the voltage of the pulse signal PLSA changes. , Changes from high level to low level (Fig. 6 (E))).
- the voltage V4 at the output terminal of the delay circuit DEL changes from a low level to a high level (FIG. 6 (D)).
- the light receiving unit 31A generates the pulse signal PLSA by detecting the light.
- the pulse width Tpw of the pulse signal PLSA is set to be equal to or longer than the time length of the detection period Pdet for detecting the edge in the edge detection unit 40A.
- the light receiving unit 31A can generate a pulse signal PLSA having such a pulse width Tpw by delaying the input signal by the delay circuit DEL.
- Each of the plurality of edge detection units 40 is configured to generate a detection signal DET by detecting the edge of the pulse signal PLS supplied from the light receiving unit 31.
- the edge detection unit 40A generates a detection signal DET (detection signal DETA) by detecting the edge of the pulse signal PLSA supplied from the light receiving unit 31A, and the generated detection signal DETA is transferred to the addition unit 33.
- the edge detection unit 40B generates a detection signal DET (detection signal DETB) by detecting the edge of the pulse signal PLSB supplied from the light receiving unit 31B, and supplies the generated detection signal DETB to the addition unit 33. It has become.
- the plurality of edge detection units 40 are formed on the semiconductor substrate 102.
- the edge detection unit 40A will be described as an example.
- the edge detection unit 40A has latches 41 and 42, negative logical product (NAND) circuits 43 and 44, and latch 45.
- the latches 41, 42, and 45 are configured to latch the signal of the data terminal D based on the signal of the enable terminal E, and output a signal indicating the latched result from the output terminal Q.
- the latch 41 will be described as an example. The same applies to the latches 42 and 45.
- FIG. 7 shows an example of the configuration of the latch 41.
- the latch 41 has negative AND circuits 96 to 99.
- the first input terminal of the sheffer fatigue circuit 96 is connected to the data terminal D of the latch 41, and the second input terminal is connected to the enable terminal E of the latch 41 and the second input terminal of the sheffer fatigue circuit 97.
- the output terminals are connected to the first input terminal of the sheffer fatigue circuit 97 and the first input terminal of the sheffer fatigue circuit 98.
- the first input terminal of the negative logical product circuit 97 is connected to the output terminal of the negative logical product circuit 96 and the first input terminal of the negative logical product circuit 98, and the second input terminal is the enable terminal E of the latch 41 and the negative terminal.
- the output terminal is connected to the second input terminal of the logical product circuit 96, and the output terminal is connected to the second input terminal of the negative logical product circuit 99.
- the first input terminal of the negative logical product circuit 98 is connected to the output terminal of the negative logical product circuit 96 and the first input terminal of the negative logical product circuit 97, and the second input terminal is the output terminal of the negative logical product circuit 99.
- the output terminal is connected to the first input terminal of the sheffer fatigue circuit 99 and the output terminal Q of the latch 41.
- the first input terminal of the negative logical product circuit 99 is connected to the output terminal of the negative logical product circuit 98 and the output terminal Q of the latch 41, and the second input terminal is connected to the output terminal of the negative logical product circuit 97 and outputs.
- the terminal is connected to the second input terminal of the negative logic circuit 98.
- the pulse signal PLSA is supplied to the data terminal D of the latch 41, the clock signal CLK is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is the data terminal D of the latch 42 and the negative logic. It is connected to the second input terminal of the product circuit 43.
- the data terminal D of the latch 42 is connected to the output terminal Q of the latch 41 and the second input terminal of the negative logical product circuit 43, and the inverted signal of the clock signal CLK (hereinafter also referred to as the clock signal CLKB) is supplied to the enable terminal E.
- the output terminal Q is connected to the first input terminal of the negative logic product circuit 43.
- the first input terminal of the negative logical product circuit 43 is connected to the output terminal Q of the latch 42, the second input terminal is connected to the output terminal Q of the latch 41 and the data terminal D of the latch 42, and the output terminal is negative logic. It is connected to the second input terminal of the product circuit 44.
- a pulse signal PLSA is supplied to the first input terminal of the negative logical product circuit 44, the second input terminal is connected to the output terminal of the negative logical product circuit 43, and the output terminal is connected to the data terminal D of the latch 45.
- the data terminal D of the latch 45 is connected to the output terminal of the negative AND circuit 44, the clock signal CLK is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is connected to the adder 33.
- the latch 45 outputs the detection signal DETA from the output terminal Q.
- the edge detection unit 40A has been described above, but the same applies to the edge detection unit 40B.
- the pulse signal PLSB is supplied to the data terminal D of the latch 41 and the first input terminal of the negative AND circuit 44.
- the output terminal Q of the latch 45 is connected to the adder 33.
- the latch 45 outputs the detection signal DETB from the output terminal Q.
- the edge detection unit 40A detects the rising edge of the pulse signal PLSA to generate a detection signal DETA including an edge pulse PE based on the rising edge.
- the edge detection unit 40B detects the rising edge of the pulse signal PLSB to generate a detection signal DETB including an edge pulse PE based on the rising edge.
- the addition unit 33 performs addition processing based on the detection signal DETA generated by the edge detection unit 40A and the detection signal DETB generated by the edge detection unit 40B, so that the reflected light in each of the plurality of detection periods Pdet It is configured to generate a detection value VAL indicating the number of detections of the pulse L1.
- the addition unit 33 is formed on the semiconductor substrate 102.
- the addition unit 33 has an addition circuit 34 and a latch unit 35.
- the adder circuit 34 is configured to calculate the number of edge pulse PEs in the detection signals DETA and DETB. Specifically, for example, the adder circuit 34 outputs "0" when the edge pulse PE is not generated in either of the detection signals DETA and DETB, and the edge pulse is output to one of the detection signals DETA and DETB. When PE is generated, “1” is output, and when edge pulse PE is generated in both the detection signals DETA and DETB, "2" is output.
- the adder circuit 34 uses, for example, a 2-bit signal to supply such a value of "0" to "2" to the latch portion 35.
- the latch unit 35 is configured to generate a detected value VAL by latching the signal output from the adder circuit 34 based on the inverted signal of the clock signal CLK (clock signal CLKB).
- the latch portion 35 includes two latches. These two latches are adapted to latch a 2-bit signal supplied from the adder circuit 34.
- the clock generation unit 22 (FIG. 2) is configured to generate a clock signal CLK based on an instruction from the photodetection control unit 25 and supply the clock signal CLK to a plurality of photodetection units U in the photodetection array 21. Will be done.
- the read control unit 23 controls an operation of supplying the detection value VAL generated by each of the plurality of photodetection units U in the photodetection array 21 to the read unit 24 based on the instruction from the photodetection control unit 25. It is composed of.
- the read control unit 23 sequentially selects, for example, one row of photodetection units U, and operates a plurality of photodetection units U so that the selected photodetection unit U supplies the detection value VAL to the read unit 24. Is designed to control.
- the reading unit 24 generates a data DT including the detection value VAL supplied from the plurality of photodetection units U in the photodetection array 21 based on the instruction from the photodetection control unit 25, and outputs the generated data DT. It is configured as follows.
- the optical detection control unit 25 supplies control signals to the clock generation unit 22, the read control unit 23, and the read unit 24 based on the instruction from the control unit 14 (FIG. 1), and controls these operations. , It is configured to control the operation of the photodetector 20.
- the light receiving unit 31 corresponds to a specific example of the "light receiving unit” in the present disclosure.
- the edge detection unit 40 corresponds to a specific example of the “edge detection unit” in the present disclosure.
- the addition unit 33 corresponds to a specific example of the "addition unit” in the present disclosure.
- the photodiode PD corresponds to a specific example of the "light receiving element” in the present disclosure.
- the pulse signal PLS corresponds to a specific example of the "pulse signal” in the present disclosure.
- the detection signal DET corresponds to a specific example of the "detection signal” in the present disclosure.
- the detected value VAL corresponds to a specific example of the "detected value” in the present disclosure.
- the latch 41 corresponds to a specific example of the "first latch circuit” in the present disclosure.
- the latch 42 corresponds to a specific example of the "second latch circuit” in the present disclosure.
- Negative AND circuits 43 and 44 correspond to a specific example of the "combination circuit” in the present disclosure.
- the latch 45 corresponds to a specific example of the "third latch circuit” in the present disclosure.
- the light emitting unit 11 emits an optical pulse L0 toward the detection target OBJ based on the instruction from the control unit 14.
- the optical system 12 forms an image on the light receiving surface S of the photodetector 20.
- the photodetection unit 20 detects the reflected light pulse L1 based on the instruction from the control unit 14.
- the control unit 14 supplies control signals to the light emitting unit 11 and the photodetection unit 20, and controls the operation of these to control the operation of the photodetection system 1.
- the photodetection unit U of the photodetection array 21 detects the reflected light pulse L1 to generate a detection value VAL indicating the number of times the reflected light pulse L1 is detected in each of the plurality of detection periods Pdet. ..
- the clock generation unit 22 generates a clock signal CLK based on an instruction from the photodetection control unit 25, and supplies the clock signal CLK to a plurality of photodetection units U.
- the read control unit 23 controls an operation of supplying the detection value VAL generated by each of the plurality of photodetection units U in the photodetection array 21 to the read unit 24 based on the instruction from the photodetection control unit 25.
- the reading unit 24 generates a data DT including the detection value VAL supplied from the plurality of photodetection units U in the photodetection array 21 based on the instruction from the photodetection control unit 25, and outputs the generated data DT. ..
- the photodetection control unit 25 supplies control signals to the clock generation unit 22, the read control unit 23, and the read unit 24 based on the instruction from the control unit 14, and controls these operations to control the light detection unit. 20 controls the operation.
- the light receiving unit 31A generates a pulse signal PLSA by detecting light, and supplies the generated pulse signal PLSA to the edge detection unit 40A.
- the edge detection unit 40A generates a detection signal DETA by detecting the edge of the pulse signal PLSA, and supplies the generated detection signal DETA to the addition unit 33.
- the light receiving unit 31B generates a pulse signal PLSB by detecting light, and supplies the generated pulse signal PLSB to the edge detection unit 40B.
- the edge detection unit 40B generates a detection signal DETB by detecting the edge of the pulse signal PLSB, and supplies the generated detection signal DETB to the addition unit 33.
- the addition unit 33 generates a detection value VAL by performing an addition process based on the detection signal DETA generated by the edge detection unit 40A and the detection signal DETB generated by the edge detection unit 40B. This operation will be described in detail below.
- FIG. 8A and 8B show an operation example of the light detection unit U, in which FIG. 8A shows the waveform of the light emitted from the light emitting unit 11, FIG. 8B shows the waveform of the clock signal CLK, and FIG. 8C shows the waveform of the clock signal CLK.
- Shows the waveform of the pulse signal PLSA (D) shows the waveform of the signal S41 output from the latch 41 of the edge detection unit 40A, and (E) shows the waveform of the signal S42 output from the latch 42 of the edge detection unit 40A.
- (F) shows the waveform of the detection signal DETA, and
- (G) shows the waveform of the signal indicating the detection value VAL.
- One cycle of the clock signal CLK is the detection period Pdet in the edge detection units 40A and 40B.
- the light emitting unit 11 emits the optical pulse L0 toward the detection target OBJ based on the instruction from the control unit 14 (FIG. 8A). A part of this optical pulse L0 is reflected by the detection object OBJ. Then, the reflected light pulse L1 is incident on the photodetector 20 via the optical system 12.
- the light receiving unit 31A generates a pulse signal PLSA by detecting the reflected light pulse L1 (FIG. 8 (C)).
- This pulse signal PLSA includes a pulse P1 starting from timing t12 and a pulse P2 starting from timing t18.
- the latch 41 of the edge detection unit 40A captures the pulse signal PLSA and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLK is high level, and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLK is low level.
- the signal S41 is generated (FIGS. 8 (B), (C), (D)).
- the signal S41 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t12 in the period when the clock signal CLK is high level, and the timing in the period when the clock signal CLK is high level.
- t15 it changes from a high level to a low level depending on the falling edge of the pulse signal PLSA.
- the signal S41 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the clock signal CLK at the timing t19 after the pulse signal PLSA rises, and the clock at the timing t22 after the pulse signal PLSA falls. It changes from high level to low level depending on the rising edge of the signal CLK.
- the latch 42 of the edge detection unit 40A captures the signal S41 and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLK is low level, and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLK is high level.
- the signal S42 is generated (FIGS. 8 (B), (C), (E)).
- the signal S42 changes from a low level to a high level according to the falling edge of the clock signal CLK at the timing t13 after the signal S41 rises, and the clock at the timing t16 after the signal S41 falls. It changes from high level to low level according to the falling edge of the signal CLK.
- the signal S42 changes from a low level to a high level according to the falling edge of the clock signal CLK at the timing t20 after the signal S41 rises, and the clock signal at the timing t23 after the signal S41 falls. It changes from high level to low level according to the falling edge of CLK.
- the latch 45 of the edge detection unit 40A captures the signal output from the negative logic product circuit 44 and outputs the captured signal from the output terminal Q, so that the clock signal CLK is low level.
- the detection signal DETA is generated by maintaining the signal at the output terminal Q (FIG. 8 (F)).
- the detection signal DETA changes from a high level to a low level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t12 during the period when the clock signal CLK is at a high level, and at the timing t14, the rising edge of the clock signal CLK. It changes from low level to high level according to.
- This pulse (edge pulse PE1) in the detection signal DETA is a pulse based on the rising edge of the pulse P1 (FIG. 8C) in the pulse signal PLSA.
- the edge pulse PE1 of the detection signal DETA straddles the end timing t13 of the detection period Pdet.
- the detection signal DETA changes from a high level to a low level according to the rising edge of the clock signal CLK at the timing t19 after the pulse signal PLSA rises, and corresponds to the falling edge of the clock signal CLK at the timing t22. It changes from a low level to a high level.
- This pulse (edge pulse PE2) in the detection signal DETA is a pulse based on the rising edge of the pulse P2 (FIG. 8C) in the pulse signal PLSA. Since the timing t18 at which the pulse P2 of the pulse signal PLSA starts is the timing within the detection period Pdet of the timings t17 to t20, the edge pulse PE2 of the detection signal DETA straddles the end timing t20 of the detection period Pdet.
- the edge pulse PE in the detection signal DETA straddles the end timing of the detection period Pdet. Therefore, the addition unit 33 in the subsequent stage of the edge detection units 40A and 40B can correctly perform the addition processing at this timing based on the edge pulse PE generated by the edge detection units 40A and 40B. Further, the edge pulse PE ends in the detection period Pdet next to the detection period Pdet. Specifically, the edge pulse PE1 starting from the timing t12 ends at the timing t14 within the period of the detection period Pdet (timing t13 to t16) next to the detection period Pdet including the timing t12. Therefore, for example, it is possible to reduce the possibility that one edge pulse PE is double-counted.
- the light receiving unit 31A generates the pulse signal PLSA by detecting the reflected light pulse L1
- the edge detecting unit 40A detects the rising edge of the pulse signal PLSA to detect the rising edge of the pulse signal PLSA.
- the light receiving unit 31B generates the pulse signal PLSB by detecting the reflected light pulse L1
- the edge detection unit 40B detects the rising edge of the pulse signal PLSB, thereby generating the edge pulse PE based on the rising edge. Generates a detection signal DETB containing.
- the addition circuit 34 of the addition unit 33 calculates the number of edge pulse PEs in the detection signals DETA and DETB. Specifically, for example, the adder circuit 34 outputs "0" when the edge pulse PE is not generated in either of the detection signals DETA and DETB, and the edge pulse is output to one of the detection signals DETA and DETB. When PE is generated, “1” is output, and when edge pulse PE is generated in both the detection signals DETA and DETB, "2" is output. Then, when the clock signal CLK is low level, the latch unit 35 captures the signal supplied from the adder circuit 34 and outputs the captured signal from the output terminal Q, and when the clock signal CLK is high level.
- the detected value VAL is generated by maintaining the signal at the output terminal Q (FIG. 8 (G)). As a result, the addition unit 33 generates the detected value VAL based on the falling edge of the clock signal CLK. As described above, the edge pulse PE (FIG. 8 (F)) of the detection signal DETA straddles the end timing of the detection period Pdet. The same applies to the detection signal DETB. The end timing of the detection period Pdet is the timing of the falling edge of the clock signal CLK. Therefore, the addition unit 33 can correctly perform the addition process at the timing of the falling edge of the clock signal CLK.
- each of the plurality of photodetection units U in the photodetection array 21 generates the detection value VAL by detecting the reflected light pulse L1.
- the reading unit 24 generates a data DT including the detection value VAL supplied from the plurality of photodetection units U in the photodetection array 21 based on the instruction from the photodetection control unit 25, and outputs the generated data DT. ..
- the light emitting unit 11 emits a light pulse L0 based on the detection value VAL in each detection period Pdet obtained by a certain light detection unit U included in this data DT. After that, the time until the light detection unit U detects the reflected light pulse L1 can be measured, and the distance to the detection target OBJ can be measured based on the time.
- the first latch circuit that generates the first signal (signal S41) by latching the pulse signal PLS based on the clock signal CLK in each of the plurality of edge detection units 40.
- a second latch circuit that generates a second signal (signal S42) by latching the first signal (signal S41) based on (latch 41) and the clock signal CLKB which is an inverted signal of the clock signal CLK.
- Latch 42 a combination circuit (negative logic product circuits 43, 44) that generates a third signal based on the pulse signal PLS, the first signal (signal S41), and the second signal (signal S42).
- a third latch circuit (latch 45) that generates a detection signal DET by latching the third signal based on the clock signal CLK is provided.
- the circuit area can be reduced as compared with the technique described in Patent Document 1. That is, in Patent Document 1, since the edge detection unit has two flip-flops (that is, four latches), the circuit area may increase.
- the photodetection system 1 according to the present embodiment since only three latches are required, the circuit area can be reduced. Thereby, for example, the size of the photodetector 20 can be reduced. Alternatively, the photodetection array 21 can be provided with more photodetection units U, so that the resolution can be increased.
- the pulse width Tpw of the pulse signal PLS is set to be equal to or longer than the time width of the detection period Pdet.
- the delay circuit DEL is provided so that the pulse width Tpw becomes equal to or longer than the time width of the detection period Pdet.
- the edge detection unit 40 can normally detect the edge of the pulse signal PLS, so that it is possible to reduce the possibility that the detection accuracy of the photodetection system 1 will deteriorate. That is, for example, when the pulse width Tpw of the pulse signal PLS is narrow, the edge detection unit 40 may not be able to normally detect the edge of the pulse signal PLS.
- the detection accuracy in the photodetection system 1 is lowered.
- the pulse width Tpw of the pulse signal PLS is set to be equal to or longer than the time width of the detection period Pdet.
- the edge detection unit 40 can normally detect the edge of the pulse signal PLS, so that the possibility that the detection accuracy is lowered can be reduced.
- the first latch circuit that generates the first signal by latching the pulse signal based on the clock signal and the inverted signal of the clock signal.
- the pulse width of the pulse signal is set to be equal to or longer than the time width of the detection period, it is possible to reduce the possibility that the detection accuracy is lowered.
- the addition unit 33 generates the detection value VAL by calculating the number of edge pulse PEs in each of the plurality of detection periods Pdet, but the present invention is not limited to this, and for example, a plurality. The number of edge pulse PEs in the detection period Pdet of Pdet may be calculated.
- this modification will be described in detail with some examples.
- the photodetection system 1A is provided with a photodetection unit 20A, similarly to the photodetection system 1 (FIG. 1) according to the above embodiment.
- the photodetection unit 20A has a photodetection array 21A, a read control unit 23A, and a read unit 24A, similarly to the photodetection unit 20 (FIG. 2) according to the above embodiment.
- FIG. 9 shows an example of the photodetection unit U in the photodetection array 21A.
- the photodetection unit U has a counting unit 36.
- the counting unit 36 is configured to generate the cumulative value VAL1 by performing the cumulative addition processing based on the detection value VAL generated by the addition unit 33 over a plurality of detection periods Pdet.
- the counting unit 36 has an adding circuit 37 and a flip-flop (F / F) unit 38.
- the addition circuit 37 is configured to add the detected value VAL generated by the addition unit 33 and the value held by the flip-flop unit 38 (cumulative value VAL1).
- the flip-flop unit 38 is configured to sample the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLK, and hold the sampled result as the cumulative value VAL1.
- the flip-flop unit 38 includes a plurality of flip-flops. This flip-flop has, for example, a negative AND circuit 51 to 58 and an inverter 59, as shown in FIG. These flip-flops are master-slave type flip-flops, and the negative AND circuits 51 to 54 form a master latch, and the negative logical product circuits 55 to 58 form a slave latch.
- the flip-flop unit 38 is reset, for example, every time a period A including a plurality of detection periods Pdet elapses.
- the adder circuit 37 and the flip-flop unit 38 correspond to a specific example of the "cumulative adder unit" in the present disclosure.
- the cumulative value VAL1 corresponds to a specific example of the "cumulative value" in the present disclosure.
- the read control unit 23A controls an operation of supplying the cumulative value VAL1 generated in each of the plurality of photodetection units U in the photodetection array 21A to the read unit 24A based on the instruction from the photodetection control unit 25. It is composed of.
- the reading unit 24A generates a data DT including the cumulative value VAL1 supplied from the plurality of photodetection units U in the photodetection array 21A based on the instruction from the photodetection control unit 25, and outputs the generated data DT. It is configured as follows.
- the cumulative value VAL1 of the detected value VAL1 is generated by performing the cumulative addition process based on the detected value VAL.
- the photodetection unit U detects the reflected light pulse L1. It is possible to measure the time until.
- the other photodetection system 1B is provided with a photodetection unit 20B, similarly to the photodetection system 1 (FIG. 1) according to the above embodiment.
- the photodetection unit 20B has a photodetection array 21B, a read control unit 23B, and a read unit 24B, similarly to the photodetection unit 20 (FIG. 2) according to the above embodiment.
- FIG. 11 shows an example of the photodetection unit U in the photodetection array 21B.
- the photodetection unit U has a counting unit 46.
- the counting unit 46 is configured to generate a count value CNT by performing a cumulative addition process based on the detection value VAL generated by the addition unit 33 over a plurality of detection periods Pdet.
- the counting unit 46 includes an adding circuit 37, a flip-flop unit 48, and a counter 49. Similar to the flip-flop unit 38, the flip-flop unit 48 is configured to sample the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLK, and hold the sampled result as the cumulative value VAL1. Will be done.
- the flip-flop unit 48 has a function of activating the carry flag FC every time the cumulative value VAL1 reaches a predetermined upper limit value.
- the counter 49 is configured to increment the count value CNT based on the carry flag FC. That is, in the count unit 46, the flip-flop unit 48 operates as a lower counter, and the counter 49 operates as a higher counter.
- the flip-flop unit 48 and the counter 49 are reset each time the period A including the plurality of detection periods Pdet elapses.
- the count value CNT is assumed to be the count value of the counter 49, but the present invention is not limited to this, and the count value of the counter 49 is included as the high-order bit and the cumulative value VAL1 is used as the low-order bit. It may be included.
- the adder circuit 37 and the flip-flop unit 48 correspond to a specific example of the "cumulative adder unit" in the present disclosure.
- the counter 49 corresponds to a specific example of the "counter” in the present disclosure.
- the read control unit 23B controls an operation of supplying the count value CNTs generated by each of the plurality of photodetection units U in the photodetection array 21B to the read unit 24B based on the instruction from the photodetection control unit 25. It is composed of.
- the reading unit 24B generates a data DT including count value CNTs supplied from a plurality of photodetection units U in the photodetection array 21B based on an instruction from the photodetection control unit 25, and outputs the generated data DT. It is configured as follows.
- the count value CNT which is the cumulative value of the detected value VAL
- the photodetection unit U detects the reflected light pulse L1. It is possible to measure the time until.
- the counting range can be expanded.
- the edge detection unit 40 is provided with the negative AND circuits 43 and 44, but the present invention is not limited to this, and the same logic is used instead. It may have various combinational circuits to operate.
- the photodetection system 2 includes a photodetection unit 60, similarly to the photodetection system 1 (FIG. 1) according to the first embodiment.
- the photodetection unit 60 has a photodetection array 61, a read control unit 63, and a read unit 64, similarly to the photodetection unit 20 (FIG. 2) according to the first embodiment.
- FIG. 12 shows an example of the photodetection unit U in the photodetection array 61.
- the photodetection unit U includes a plurality of light receiving units 31 (two light receiving units 31A and 31B in this example), a plurality of edge detection units 70 (two edge detection units 70A and 70B in this example), and two addition units. It has 33A and 33B.
- two light receiving units 31 and two edge detecting units 70 are provided, but the present invention is not limited to this, and even if three or more light receiving units 31 and three or more edge detecting units 70 are provided. good.
- the edge detection unit 70A generates detection signals DETA1 and DETA2 by detecting the edge of the pulse signal PLSA supplied from the light receiving unit 31A, supplies the detection signal DETA1 to the addition unit 33A, and adds the detection signal DETA2 to the addition unit 33A. It is configured to supply to 33B.
- the edge detection unit 70B generates detection signals DETB1 and DETB2 by detecting the edge of the pulse signal PLSB supplied from the light receiving unit 31B, supplies the detection signal DETB1 to the addition unit 33A, and adds the detection signal DETB2 to the addition unit 33A. It is configured to supply to 33B.
- the edge detection unit 70A has latches 71 and 72, an inverter 73, a NOR circuit 74 and 75, and latches 76 and 77.
- the latches 71, 72, 76, and 77 have the same circuit configuration as the latch 41 (FIG. 7) according to the first embodiment.
- the pulse signal PLSA is supplied to the data terminal D of the latch 71, the clock signal CLK is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is connected to the second input terminal of the NOR OR circuit 74. Will be done.
- the pulse signal PLSA is supplied to the data terminal D of the latch 72, the inverted signal of the clock signal CLK (clock signal CLKB) is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is the second input terminal of the negative logic sum circuit 75.
- a pulse signal PLSA is supplied to the input terminal of the inverter 73, and the output terminal is connected to the first input terminal of the NOR circuit 74 and the first input terminal of the NOR circuit 75.
- the first input terminal of the NOR circuit 74 is connected to the output terminal of the inverter 73 and the first input terminal of the NOR circuit 75, and the second input terminal is connected to the output terminal Q of the latch 71 for output.
- the terminal is connected to the data terminal D of the latch 76.
- the first input terminal of the NOR circuit 75 is connected to the output terminal of the inverter 73 and the first input terminal of the NOR circuit 74, and the second input terminal is connected to the output terminal Q of the latch 72 for output.
- the terminal is connected to the data terminal D of the latch 77.
- the data terminal D of the latch 76 is connected to the output terminal of the NOR circuit 74, the inverted signal of the clock signal CLK (clock signal CLKB) is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is connected to the adder 33A. ..
- the latch 76 outputs the detection signal DETA1 from the output terminal Q.
- the data terminal D of the latch 77 is connected to the output terminal of the NOR circuit 75, the clock signal CLK is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is connected to the adder 33B.
- the latch 77 outputs the detection signal DETA2 from the output terminal Q.
- the edge detection unit 70A has been described above, but the same applies to the edge detection unit 70B.
- the pulse signal PLSB is supplied to the data terminals D of the latches 71 and 72 and the input terminals of the inverter 73.
- the output terminal Q of the latch 76 is connected to the addition unit 33A, and the output terminal Q of the latch 77 is connected to the addition unit 33B.
- the latch 76 outputs the detection signal DETB1 from the output terminal Q, and the latch 77 outputs the detection signal DETB2 from the output terminal Q.
- the edge detection unit 70A detects the rising edge of the pulse signal PLSA to generate detection signals DETA1 and DETA2 including the edge pulse PE based on the rising edge.
- the edge detection unit 70B detects the rising edge of the pulse signal PLSB to generate detection signals DETB1 and DETB2 including the edge pulse PE based on the rising edge.
- the addition unit 33A is configured to generate a detection value VALA by performing addition processing based on the detection signal DETA1 generated by the edge detection unit 70A and the detection signal DETB1 generated by the edge detection unit 70B.
- the addition unit 33A has an addition circuit 34 and a latch unit 35A.
- the latch portion 35A captures the signal supplied from the adder circuit 34 when the clock signal CLK is high level, outputs the captured signal from the output terminal Q, and outputs the captured signal when the clock signal CLK is low level. It is configured to generate the detected value VALA by maintaining the signal at terminal Q.
- the addition unit 33B generates the detection value VALB by performing addition processing based on the detection signal DETA2 generated by the edge detection unit 70A and the detection signal DETB2 generated by the edge detection unit 70B. It is composed of.
- the addition unit 33B has an addition circuit 34 and a latch unit 35B.
- the latch portion 35B captures the signal supplied from the adder circuit 34 when the clock signal CLK is low level, outputs the captured signal from the output terminal Q, and outputs the captured signal when the clock signal CLK is high level. It is configured to generate the detected value VALB by maintaining the signal at the terminal Q.
- the read control unit 63 controls an operation of supplying the detection values VALA and VALB generated in each of the plurality of photodetection units U in the photodetection array 61 to the read unit 64 based on the instruction from the photodetection control unit 25. It is configured to do.
- the reading unit 64 generates a data DT including the detection values VALA and VALB supplied from the plurality of photodetection units U in the photodetection array 61 based on the instruction from the photodetection control unit 25, and generates the generated data DT. It is configured to output.
- the edge detection unit 70 corresponds to a specific example of the "edge detection unit” in the present disclosure.
- the addition unit 33A corresponds to a specific example of the "first addition unit” in the present disclosure.
- the addition unit 33B corresponds to a specific example of the “second addition unit” in the present disclosure.
- the latch 71 corresponds to a specific example of the "first latch circuit” in the present disclosure.
- the latch 72 corresponds to a specific example of the "second latch circuit” in the present disclosure.
- the inverter 73 and the NOR circuit 74 correspond to a specific example of the "first combinational circuit” in the present disclosure.
- the inverter 73 and the NOR circuit 75 correspond to a specific example of the "second combination circuit” in the present disclosure.
- the latch 76 corresponds to a specific example of the "third latch circuit” in the present disclosure.
- the latch 77 corresponds to a specific example of the "fourth latch circuit” in the present disclosure.
- FIG. 13A and 13B show an operation example of the light detection unit U, in which FIG. 13A shows the waveform of the light emitted from the light emitting unit 11, FIG. 13B shows the waveform of the clock signal CLK, and FIG. 13C shows the waveform of the clock signal CLK.
- (D) shows the waveform of the pulse signal PLSA
- (D) shows the waveform of the signal S72 output from the latch 72 of the edge detection unit 70A
- (E) shows the waveform of the signal S71 output from the latch 71 of the edge detection unit 70A.
- (F) shows the waveform of the detection signal DETA2
- (G) shows the waveform of the detection signal DETA1
- (H) shows the waveform of the signal indicating the detection value VALA
- (I) shows the detection value VALB.
- the waveform of the signal shown is shown.
- the half cycle of the clock signal CLK is the detection period Pdet in the edge detection units 70A and 70B. Specifically, the period when the clock signal CLK is low level is the detection period Pdet1, and the period when the clock signal CLK is high level is the detection period Pdet2.
- the light emitting unit 11 emits the optical pulse L0 toward the detection target OBJ based on the instruction from the control unit 14 (FIG. 13 (A)). A part of this optical pulse L0 is reflected by the detection object OBJ. Then, the reflected light pulse L1 is incident on the photodetector 20 via the optical system 12.
- the light receiving unit 31A generates a pulse signal PLSA by detecting the reflected light pulse L1 (FIG. 13 (C)).
- This pulse signal PLSA includes a pulse P3 starting from timing t32 and a pulse P4 starting from timing t37.
- the latch 71 of the edge detection unit 70A captures the pulse signal PLSA and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLK is high level, and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLK is low level.
- the signal S71 is generated (FIGS. 13 (B), (C), (E)).
- the signal S71 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the clock signal CLK at the timing t33 after the pulse signal PLSA rises, and at the timing t34 during the period when the clock signal CLK is at a high level.
- the pulse signal changes from a high level to a low level depending on the falling edge of the PLSA.
- the signal S71 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t37 during the period when the clock signal CLK is at a high level, and at the timing t40 after the pulse signal PLSA falls. , It changes from high level to low level according to the rising edge of the clock signal CLK.
- the latch 76 of the edge detection unit 70A captures the signal output from the negative logic sum circuit 74 and outputs the captured signal from the output terminal Q, so that the clock signal CLK is high level.
- the detection signal DETA1 is generated by maintaining the signal at the output terminal Q (FIG. 13 (G)).
- the detection signal DETA1 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t32 during the period when the clock signal CLK is at a low level, and the falling edge of the clock signal CLK at the timing t35. It changes from high level to low level depending on the edge.
- This pulse (edge pulse PE3) in the detection signal DETA1 is a pulse based on the rising edge of the pulse P3 (FIG. 13C) in the pulse signal PLSA. Since the timing t32 at which the pulse P3 of the pulse signal PLSA starts is the timing within the period of the detection period Pdet1 of the timings t31 to t33, the edge pulse PE3 of the detection signal DETA1 straddles the end timing t33 of the detection period Pdet1.
- the latch 72 of the edge detection unit 70A captures the pulse signal PLSA and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLK is low level, and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLK is high level.
- the signal S72 is generated (FIGS. 13 (B), (C), (D)).
- the signal S72 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t32 during the period when the clock signal CLK is at a low level, and the timing t35 after the pulse signal PLSA falls. In, it changes from a high level to a low level according to the falling edge of the clock signal CLK.
- the signal S72 changes from a low level to a high level according to the falling edge of the clock signal CLK at the timing t38 after the pulse signal PLSA rises, and at the timing t39 during the period when the clock signal CLK is at a low level.
- the pulse signal changes from a high level to a low level depending on the falling edge of the PLSA.
- the latch 77 of the edge detection unit 70A captures the signal output from the negative logic sum circuit 75 and outputs the captured signal from the output terminal Q, so that the clock signal CLK is low level.
- the detection signal DETA2 is generated by maintaining the signal at the output terminal Q (FIG. 13 (F)).
- the detection signal DETA2 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t37 during the period when the clock signal CLK is at a high level, and at the timing t40, the rising edge of the clock signal CLK. It changes from high level to low level according to.
- This pulse (edge pulse PE4) in the detection signal DETA2 is a pulse based on the rising edge of the pulse P4 (FIG. 13C) in the pulse signal PLSA. Since the timing t37 at which the pulse P4 of the pulse signal PLSA starts is the timing within the detection period Pdet2 of the timings t36 to t38, the edge pulse PE4 of the detection signal DETA2 straddles the end timing t38 of the detection period Pdet2.
- the light receiving unit 31A generates the pulse signal PLSA by detecting the reflected light pulse L1.
- the edge detection unit 70A detects the rising edge of the pulse signal PLSA in the detection period Pdet1 to generate the detection signal DETA1 including the edge pulse PE based on the rising edge, and generates the rising edge of the pulse signal PLSA in the detection period Pdet2. By detecting, the detection signal DETA2 including the edge pulse PE based on this rising edge is generated.
- the light receiving unit 31B generates a pulse signal PLSB by detecting the reflected light pulse L1.
- the edge detection unit 70B detects the rising edge of the pulse signal PLSB in the detection period Pdet1 to generate the detection signal DETB1 including the edge pulse PE based on the rising edge, and generates the rising edge of the pulse signal PLSB in the detection period Pdet2. By detecting, the detection signal DETB2 including the edge pulse PE based on this rising edge is generated.
- the addition circuit 34 of the addition unit 33A calculates the number of edge pulse PEs in the detection signals DETA1 and DETB1. Then, the latch portion 35A captures the signal supplied from the adder circuit 34 and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLK is at a high level, and when the clock signal CLK is at a low level. , The detected value VALA is generated by maintaining the signal at the output terminal Q (FIG. 13 (H)). As a result, the addition unit 33A generates the detected value VALA based on the rising edge of the clock signal CLK. As described above, the edge pulse PE (FIG. 13 (G)) of the detection signal DETA1 straddles the end timing of the detection period Pdet1. The same applies to the detection signal DETB1. The end timing of the detection period Pdet1 is the timing of the rising edge of the clock signal CLK. Therefore, the addition unit 33A can correctly perform the addition processing at the timing of the rising edge of the clock signal CLK.
- the addition circuit 34 of the addition unit 33B calculates the number of edge pulse PEs in the detection signals DETA2 and DETB2. Then, when the clock signal CLK is low level, the latch portion 35B captures the signal supplied from the adder circuit 34 and outputs the captured signal from the output terminal Q, and when the clock signal CLK is high level. , The detected value VALB is generated by maintaining the signal at the output terminal Q (FIG. 13 (I)). As a result, the addition unit 33B generates the detected value VALB based on the falling edge of the clock signal CLK. As described above, the edge pulse PE (FIG. 13 (F)) of the detection signal DETA2 straddles the end timing of the detection period Pdet2. The same applies to the detection signal DETB2. The end timing of the detection period Pdet2 is the timing of the falling edge of the clock signal CLK. Therefore, the addition unit 33A can correctly perform the addition process at the timing of the falling edge of the clock signal CLK.
- the addition unit 33A generates the detection value VALA by performing the addition process based on the edge pulse PE in the detection period Pdet 1, and the addition unit 33B performs the addition process based on the edge pulse PE in the detection period Pdet 2. By doing so, the detected value VALB is generated.
- each of the plurality of photodetection units U in the photodetection array 61 generates the detection values VALA and VALB by detecting the reflected light pulse L1.
- the reading unit 64 generates a data DT including the detection values VALA and VALB supplied from the plurality of photodetection units U in the photodetection array 61 based on the instruction from the photodetection control unit 25, and generates the generated data DT. Output.
- the first combination circuit negative logic sum circuit 74
- a second combination circuit (negative logic sum circuit 75) that generates a fourth signal is provided.
- the number of circuits can be reduced even when the edge pulse PE generated by the edge detection unit 70 is supplied to either of the two addition units 33A and 33B according to the detection period Pdet. Therefore, the circuit area can be reduced.
- the pulse width Tpw of the pulse signal PLS is set to be equal to or longer than the time width of the detection period Pdet, so that the edge detection unit 70 performs the pulse signal. Since the edge of the PLS can be detected normally, it is possible to reduce the possibility that the detection accuracy is lowered.
- the first latch circuit that generates the first signal by latching the pulse signal based on the clock signal and the inverted signal of the clock signal.
- a second latch circuit that generates a second signal by latching a pulse signal based on, a first combination circuit that generates a pulse signal and a third signal based on the first signal, and a pulse signal.
- a second combination circuit that generates a fourth signal based on the second signal is provided, so that the generated edge pulse is supplied to one of the two adders according to the detection period t. Even in this case, the circuit area can be reduced.
- the pulse width of the pulse signal is set to be equal to or longer than the time width of the detection period, it is possible to reduce the possibility that the detection accuracy is lowered.
- each of the two addition units 33 generates the detection value VAL by performing the addition processing.
- a plurality of detection periods The number of edge pulse PEs in Pdet1 may be calculated, and the number of edge pulse PEs in a plurality of detection periods Pdet2 may be calculated.
- the photodetection system 2B according to this modification will be described in detail below.
- the photodetection system 2B includes a photodetection unit 60B as in the photodetection system 2 according to the above embodiment.
- the photodetection unit 60B has a photodetection array 61B, a read control unit 63B, and a read unit 64B, similarly to the photodetection unit 60 according to the above embodiment.
- FIG. 14 shows an example of the photodetection unit U in the photodetection array 61B.
- the photodetection unit U has counting units 46A and 46B.
- the count unit 46A is configured to generate a count value CNTA by performing cumulative addition processing based on the detection value VALA generated by the addition unit 33A over a plurality of detection periods Pdet1.
- the counting unit 46A has an adder circuit 37, a flip-flop unit 48A, and a counter 49.
- the flip-flop unit 48A is configured to sample the signal output from the adder circuit 37 based on the rising edge of the clock signal CLK, and hold the sampled result as the cumulative value VAL1. Further, the flip-flop unit 48A has a function of activating the carry flag FC every time the cumulative value VAL1 reaches a predetermined upper limit value.
- the counter 49 is configured to increment the count value CNTA based on the carry flag FC.
- the count value CNTA is assumed to be the count value of the counter 49, but the present invention is not limited to this, and the count value of the counter 49 is included as the high-order bit and the cumulative value VAL1 is used as the low-order bit. It may be included.
- the count unit 46B is configured to generate a count value CNTB by performing cumulative addition processing based on the detection value VALA generated by the addition unit 33B over a plurality of detection periods Pdet2.
- the counting unit 46A has an adder circuit 37, a flip-flop unit 48B, and a counter 49.
- the flip-flop unit 48B is configured to sample the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLK, and hold the sampled result as the cumulative value VAL1. Further, the flip-flop unit 48A has a function of activating the carry flag FC every time the cumulative value VAL1 reaches a predetermined upper limit value.
- the counter 49 is configured to increment the count value CNTB based on the carry flag FC.
- the count value CNTB is assumed to be the count value of the counter 49, but the present invention is not limited to this, and the count value of the counter 49 is included as the upper bit and the cumulative value VAL1 is the lower bit. It may be included.
- the read control unit 63B controls the operation of supplying the count values CNTA and CNTB generated in each of the plurality of photodetection units U in the photodetection array 61B to the read unit 64B based on the instruction from the photodetection control unit 25. It is configured to do.
- the reading unit 64B generates a data DT including count values CNTA and CNTB supplied from a plurality of photodetection units U in the photodetection array 61B based on an instruction from the photodetection control unit 25, and generates the generated data DT. It is configured to output.
- the photodetection unit U operates based on one clock signal CLK, but is not limited to this, and operates based on, for example, two clock signal CLKs. You may do it.
- the photodetection system 2C according to this modification will be described in detail below.
- the photodetection system 2C includes a photodetection unit 60C as in the photodetection system 2 according to the above embodiment.
- the photodetection unit 60C has a photodetection array 61C, a clock generation unit 62C, a read control unit 63C, and a read unit 64C, similarly to the photodetection unit 60 according to the above embodiment.
- FIG. 15 shows an example of the photodetection unit U in the photodetection array 61C.
- the light detection unit U has edge detection units 80A and 80B and addition units 93A and 93B.
- the edge detection unit 80A has latches 81 and 82, an inverter 73, a NOR OR circuit 74 and 75, and latches 86 and 87.
- a pulse signal PLSA is supplied to the data terminal D of the latch 81, an inverting signal of the clock signal CLK2 (clock signal CLK2B) is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is the second input terminal of the negative logic sum circuit 74.
- the pulse signal PLSA is supplied to the data terminal D of the latch 82, the inverting signal of the clock signal CLK1 (clock signal CLK1B) is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is the second input terminal of the negative logic sum circuit 75. Connected to.
- the data terminal D of the latch 86 is connected to the output terminal of the NOR circuit 74, the clock signal CLK2 is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is connected to the adder 93A.
- the latch 86 outputs the detection signal DETA1 from the output terminal Q.
- the data terminal D of the latch 87 is connected to the output terminal of the NOR circuit 75, the clock signal CLK1 is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is connected to the adder 93B.
- the latch 87 outputs the detection signal DETA2 from the output terminal Q.
- the edge detection unit 80A has been described above, but the same applies to the edge detection unit 80B.
- the pulse signal PLSB is supplied to the data terminals D of the latches 81 and 82.
- the output terminal Q of the latch 86 is connected to the addition unit 93A, and the output terminal Q of the latch 87 is connected to the addition unit 93B.
- the latch 86 outputs the detection signal DETB1 from the output terminal Q, and the latch 87 outputs the detection signal DETB2 from the output terminal Q.
- the addition unit 93A has an addition circuit 34 and a latch unit 35.
- the latch unit 35 captures the signal supplied from the adder circuit 34 when the clock signal CLK2 is low level, and outputs the captured signal from the output terminal Q, and outputs the captured signal when the clock signal CLK2 is high level. It is configured to generate the detected value VALA by maintaining the signal at the terminal Q.
- the addition unit 93B has an addition circuit 34 and a latch unit 35.
- the latch unit 35 captures the signal supplied from the adder circuit 34 when the clock signal CLK1 is low level, and outputs the captured signal from the output terminal Q, and outputs the captured signal when the clock signal CLK1 is high level. It is configured to generate the detected value VALB by maintaining the signal at the terminal Q.
- the clock generation unit 62C is configured to generate clock signals CLK1 and CLK2 based on instructions from the photodetection control unit 25, and supply the clock signals CLK1 and CLK2 to a plurality of photodetection units U in the photodetection array 61C. Will be done.
- the read control unit 63C controls an operation of supplying the detection values VALA and VALB generated in each of the plurality of photodetection units U in the photodetection array 61C to the read unit 64C based on the instruction from the photodetection control unit 25. It is configured to do.
- the reading unit 64C generates a data DT including the detection values VALA and VALB supplied from the plurality of photodetection units U in the photodetection array 61C based on the instruction from the photodetection control unit 25, and generates the generated data DT. It is configured to output.
- the photodetection unit U can operate in the same manner as the photodetection unit U according to the second embodiment.
- the degree of freedom of operation can be increased by changing the waveforms of the clock signals CLK1 and CLK2.
- the edge detection unit 70 is provided with the inverter 73 and the OR circuits 74 and 75, but the present invention is not limited to this, and instead of this, the edge detection unit 70 is provided. It may have various combinational circuits that perform similar logical operations.
- the present embodiment is configured to generate a four-phase clock signal and count the edge pulse PE in each of the four detection periods Pdet based on the four-phase clock signal.
- the components substantially the same as those of the photodetection system 2 according to the second embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted as appropriate.
- the photodetection system 3 includes a photodetection unit 160, as in the photodetection system 2 according to the second embodiment.
- the photodetection unit 160 has a photodetection array 161, a clock generation unit 162, a read control unit 163, and a read unit 164, similarly to the photodetection unit 60 according to the second embodiment. ..
- FIG. 16 shows an example of the photodetection unit U in the photodetection array 161.
- the photodetection unit U includes a logical sum (OR) circuit 168, 169, a plurality of light receiving units 31 (two light receiving units 31A, 31B in this example), and a plurality of edge detection units 170 (two edge detection in this example). Units 170A and 170B), two addition units 33BD and 33AC, and two counting units 190BD and 190AC.
- two light receiving units 31 and two edge detecting units 170 are provided, but the present invention is not limited to this, and even if three or more light receiving units 31 and three or more edge detecting units 170 are provided. good.
- Clock signals CLKA, CLKB, CLKC, and CLKD constituting a four-phase clock signal are supplied to the photodetection unit U.
- the OR circuit 168 is configured to generate the clock signal CLKAC by obtaining the OR of the clock signals CLKA and CLKC.
- the OR circuit 169 is configured to generate the clock signal CLKBD by obtaining the OR of the clock signals CLKB and CLKD.
- the edge detection unit 170A generates detection signals DETA1 and DETA2 by detecting the edge of the pulse signal PLSA supplied from the light receiving unit 31A, supplies the detection signal DETA1 to the addition unit 33BD, and adds the detection signal DETA2 to the addition unit 33BD. It is configured to supply 33AC.
- the edge detection unit 170B generates detection signals DETB1 and DETB2 by detecting the edge of the pulse signal PLSB supplied from the light receiving unit 31B, supplies the detection signal DETB1 to the addition unit 33BD, and adds the detection signal DETB2 to the addition unit 33BD. It is configured to supply 33AC.
- the edge detection unit 170A has a latch 171 and 172, an inverter 73, a NOR OR circuit 74 and 75, and a latch 176 and 177.
- the latches 171, 172, 176, and 177 have the same circuit configuration as the latch 41 (FIG. 7) according to the first embodiment.
- the pulse signal PLSA is supplied to the data terminal D of the latch 171
- the inverted signal of the clock signal CLKBD is supplied to the enable terminal E
- the output terminal Q is the second input of the NOR circuit 74.
- a pulse signal PLSA is supplied to the data terminal D of the latch 172
- an inverted signal of the clock signal CLKAC is supplied to the enable terminal E
- the output terminal Q is connected to the second input terminal of the NOR OR circuit 75.
- the data terminal D of the latch 176 is connected to the output terminal of the NOR circuit 74
- the clock signal CLKBD is supplied to the enable terminal E
- the output terminal Q is connected to the adder 33BD.
- the latch 176 outputs the detection signal DETA1 from the output terminal Q.
- the data terminal D of the latch 177 is connected to the output terminal of the NOR circuit 75, the clock signal CLKAC is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is connected to the adder 33AC.
- the latch 177 outputs the detection signal DETA2 from the output terminal Q.
- the edge detection unit 170A has been described above, but the same applies to the edge detection unit 170B.
- the pulse signal PLSB is supplied to the data terminals D of the latches 171 and 172 and the input terminals of the inverter 73.
- the output terminal Q of the latch 176 is connected to the addition unit 33BD, and the output terminal Q of the latch 177 is connected to the addition unit 33AC.
- the latch 176 outputs the detection signal DETB1 from the output terminal Q, and the latch 177 outputs the detection signal DETB2 from the output terminal Q.
- the addition unit 33AC is configured to generate a detection value VALAC by performing addition processing based on the detection signal DETA2 generated by the edge detection unit 170A and the detection signal DETB2 generated by the edge detection unit 170B.
- the addition unit 33AC has an addition circuit 34 and a latch unit 35.
- the latch unit 35 captures the signal supplied from the adder circuit 34 when the clock signal CLKAC is at a low level, and outputs the captured signal from the output terminal Q, and outputs when the clock signal CLKAC is at a high level. It is configured to generate the detected value VALUE by maintaining the signal at the terminal Q.
- the addition unit 33BD generates the detection value VALBD by performing addition processing based on the detection signal DETA1 generated by the edge detection unit 170A and the detection signal DETB1 generated by the edge detection unit 170B. It is composed of.
- the addition unit 33BD has an addition circuit 34 and a latch unit 35.
- the latch unit 35 captures the signal supplied from the adder circuit 34 when the clock signal CLKBD is low level, and outputs the captured signal from the output terminal Q, and outputs the captured signal when the clock signal CLKBD is high level. It is configured to generate the detected value VALBD by maintaining the signal at the terminal Q.
- the count unit 190AC is configured to generate count values CNTA and CNTC by performing cumulative addition processing based on the detected value VALAC generated by the addition unit 33AC.
- FIG. 17A shows an example of the configuration of the counting unit 190AC.
- the counting unit 190AC includes an adder circuit 37, a flip-flop (F / F) unit 192, a switch 193, a logical product (AND) circuit 194, a counter 195, a flip-flop (F / F) unit 196, and a switch. It has 197, a AND circuit 198, and a counter 199.
- the addition circuit 37 has a detection value VALAC generated by the addition unit 33AC and a value held by the flip-flop unit 192 (cumulative value VALA1) or a value held by the flip-flop unit 196 (cumulative value VALC1). It is configured to add.
- the flip-flop unit 192 is configured to sample the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLKC, and hold the sampled result as the cumulative value VALA1. Further, the flip-flop unit 192 has a function of activating the carry flag FCA every time the cumulative value VALA1 reaches a predetermined upper limit value.
- the switch 193 is configured to turn on / off the supply of the cumulative value VALA1 held by the flip-flop unit 192 to the addition circuit 37 based on the clock signal CLKC.
- the carry flag FCA generated by the flip-flop unit 192 is supplied to the first input terminal of the AND circuit 194, the clock signal CLKA is supplied to the second input terminal, and the output terminal is supplied to the input terminal of the counter 195. Be connected.
- the counter 195 is configured to increment the count value CNTA based on the signal output from the AND circuit 194.
- the flip-flop unit 196 is configured to sample the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLKA, and hold the sampled result as the cumulative value VALC1. Further, the flip-flop unit 196 has a function of activating the carry flag FCC every time the cumulative value VALC1 reaches a predetermined upper limit value.
- the switch 197 is configured to turn on / off the supply of the cumulative value VALC1 held by the flip-flop unit 196 to the addition circuit 37 based on the clock signal CLKA.
- the carry flag FCC generated by the flip-flop unit 196 is supplied to the first input terminal of the AND circuit 198, the clock signal CLKC is supplied to the second input terminal, and the output terminal is supplied to the input terminal of the counter 199. Be connected.
- the counter 199 is configured to increment the count value CNTC based on the signal output from the AND circuit 198.
- the count unit 190BD (FIG. 16) is configured to generate count values CNTB and CNT by performing cumulative addition processing based on the detection value VALBD generated by the addition unit 33BD.
- FIG. 17B shows an example of the configuration of the counting unit 190BD.
- the counting unit 190BD includes an adder circuit 37, a flip-flop (F / F) unit 192, a switch 193, a AND circuit 194, a counter 195, a flip-flop (F / F) unit 196, and a switch 197. It has a AND circuit 198 and a counter 199.
- the addition circuit 37 has a detection value VALBD generated by the addition unit 33BD and a value held by the flip-flop unit 192 (cumulative value VALB1) or a value held by the flip-flop unit 196 (cumulative value VALD1). It is configured to add.
- the flip-flop unit 192 is configured to sample the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLKD, and hold the sampled result as the cumulative value VALB1. Further, the flip-flop unit 192 has a function of activating the carry flag FCB every time the cumulative value VALB1 reaches a predetermined upper limit value.
- the switch 193 is configured to turn on / off the supply of the cumulative value VALB1 held by the flip-flop unit 192 to the addition circuit 37 based on the clock signal CLKD.
- the carry flag FCB generated by the flip-flop unit 192 is supplied to the first input terminal of the AND circuit 194, the clock signal CLKB is supplied to the second input terminal, and the output terminal is supplied to the input terminal of the counter 195.
- the counter 195 is configured to increment the count value CNTB based on the signal output from the AND circuit 194.
- the flip-flop unit 196 is configured to sample the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLKB, and hold the sampled result as the cumulative value VALD1. Further, the flip-flop unit 196 has a function of activating the carry flag FCD every time the cumulative value VALD1 reaches a predetermined upper limit value.
- the switch 197 is configured to turn on / off the supply of the cumulative value VALD1 held by the flip-flop unit 196 to the addition circuit 37 based on the clock signal CLKB.
- the carry flag FCD generated by the flip-flop unit 196 is supplied to the first input terminal of the AND circuit 198, the clock signal CLKD is supplied to the second input terminal, and the output terminal is supplied to the input terminal of the counter 199. Be connected.
- the counter 199 is configured to increment the count value CNTD based on the signal output from the AND circuit 198.
- the clock generation unit 162 generates clock signals CLKA, CLKB, CLKC, and CLKD that constitute a four-phase clock signal based on an instruction from the photodetection control unit 25, and the clock signals CLKA to CLKD are used in the photodetection array 161. It is configured to supply to a plurality of photodetection units U.
- the read control unit 163 supplies the count values CNTA, CNTB, CNTC, and CNT generated in each of the plurality of photodetection units U in the photodetection array 161 to the read unit 164 based on the instruction from the photodetection control unit 25. It is configured to control the operation to be performed.
- the reading unit 164 generates and generates a data DT including count values CNTA, CNTB, CNTC, and CNT supplied from a plurality of photodetection units U in the photodetection array 161 based on an instruction from the photodetection control unit 25. It is configured to output the generated data DT.
- FIGS. 18B to 18E show the waveforms of the clock signals CLKA to CLKD.
- (F) shows the waveform of the pulse signal PLSA
- (G) shows the waveform of the signal S172 output from the latch 172 of the edge detection unit 170A
- (H) shows the waveform of the signal S172 from the latch 171 of the edge detection unit 170A.
- the output signal S171 is shown, (I) shows the waveform of the detection signal DETA2, (J) shows the waveform of the detection signal DETA1, and (K) shows the waveform of the signal showing the detection value VALUE.
- L) shows the waveform of the signal showing the cumulative value VALA1
- M shows the waveform of the signal showing the cumulative value VALC1
- N shows the waveform of the signal S194A output from the logical product circuit 194 of the counting unit 190AC.
- O shows the waveform of the signal S198C output from the logical product circuit 198 of the counting unit 190AC
- P shows the waveform of the signal indicating the count value CNTA
- Q shows the signal indicating the count value CNTC.
- R) shows the waveform of the signal showing the detected value VALBD
- S shows the waveform of the signal showing the cumulative value VALB1
- T shows the waveform of the signal showing the cumulative value VALD1.
- (U) show the waveform of the signal S194B output from the logic product circuit 194 of the count unit 190BD
- (V) show the waveform of the signal S198D output from the logic product circuit 198 of the count unit 190BD
- (W) Indicates the waveform of the signal indicating the count value CNTB
- (X) indicates the waveform of the signal indicating the count value CNTD.
- One-fourth of the period of the clock signals CLKA to CLKD is the detection period Pdet in the edge detection units 170A and 170B.
- the period when the clock signal CLKA is high level is the detection period PdetA
- the period when the clock signal CLKB is high level is the detection period PdetB
- the period when the clock signal CLKC is high level is the detection period PdetC.
- the period during which the clock signal CLKD is at a high level is the detection period PdetD.
- the light emitting unit 11 emits the optical pulse L0 toward the detection target OBJ based on the instruction from the control unit 14 (FIG. 18A). A part of this optical pulse L0 is reflected by the detection object OBJ. Then, the reflected light pulse L1 is incident on the photodetector 20 via the optical system 12.
- the light receiving unit 31A generates a pulse signal PLSA by detecting the reflected light pulse L1 (FIG. 18 (F)).
- This pulse signal PLSA includes a pulse P5 starting from timing t52, a pulse P6 starting from timing t56, and a pulse P7 starting from timing t61.
- the latch 172 of the edge detection unit 170A captures the pulse signal PLSA and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLKAC is at a low level, and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLKAC is at a high level.
- the signal S172 is generated (FIGS. 18 (B), (D), (F), (G)).
- the signal S172 changes from a low level to a high level according to the falling edge of the clock signal CLKA at the timing t53 after the pulse signal PLSA rises, and both the clock signal CLKA and the clock signal CLKC are at a low level.
- the timing t54 changes from a high level to a low level according to the falling edge of the pulse signal PLSA.
- the signal S172 changes from a low level to a high level according to the falling edge of the clock signal CLKC at the timing t57 after the pulse signal PLSA rises, and both the clock signal CLKA and the clock signal CLKC are at a low level.
- timing t58 in the period it changes from high level to low level depending on the falling edge of the pulse signal PLSA.
- the signal S172 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t61 in the period when both the clock signal CLKA and the clock signal CLKC are at a low level, and the clock signal CLKA and the clock signal CLKC are changed.
- the pulse signal changes from a high level to a low level according to the falling edge of the PLSA.
- the latch 177 of the edge detection unit 170A captures the signal output from the negative logic sum circuit 75 and outputs the captured signal from the output terminal Q, and the clock signal CLKAC is at a low level.
- the detection signal DETA2 is generated by maintaining the signal at the output terminal Q (FIG. 18 (I)).
- the detection signal DETA2 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t52 during the period when the clock signal CLKA is at a high level, and at the timing t55, the rising edge of the clock signal CLKC. It changes from high level to low level according to.
- the pulse (edge pulse PE5) in the detection signal DETA2 is a pulse based on the rising edge of the pulse P5 (FIG. 18 (F)) in the pulse signal PLSA.
- the edge pulse PE5 of the detection signal DETA2 straddles the end timing t53 of the detection period PdetA.
- the detection signal DETA2 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t56 during the period when the clock signal CLKC is at a high level, and becomes the rising edge of the clock signal CLKA at the timing t59. It changes from high level to low level accordingly.
- This pulse (edge pulse PE6) in the detection signal DETA2 is a pulse based on the rising edge of the pulse P6 (FIG. 18 (F)) in the pulse signal PLSA.
- the edge pulse PE6 of the detection signal DETA2 straddles the end timing t57 of the detection period PdetC.
- the latch 171 of the edge detection unit 170A captures the pulse signal PLSA and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLKBD is low level, and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLKBD is high level.
- the signal S171 is generated (FIGS. 18 (C), (E), (F), (H)).
- the signal S171 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t52 during the period when both the clock signal CLKB and the clock signal CLKD are at a low level, and the pulse signal PLSA falls.
- the level changes from high level to low level according to the falling edge of the clock signal CLKB. Further, the signal S171 changed from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t56 in the period when both the clock signal CLKB and the clock signal CLKD were at a low level, and the pulse signal PLSA fell.
- the level changes from high level to low level according to the falling edge of the clock signal CLKD. Further, the signal S171 changes from a low level to a high level according to the falling edge of the clock signal CLKB at the timing t62 after the pulse signal PLSA rises, and at the timing t64 after the pulse signal PLSA falls.
- the clock signal changes from a high level to a low level according to the falling edge of the CLKD.
- the latch 176 of the edge detection unit 170A captures the signal output from the negative logic sum circuit 74 and outputs the captured signal from the output terminal Q, and the clock signal CLKBD is low level.
- the detection signal DETA1 is generated by maintaining the signal at the output terminal Q (FIG. 18 (J)).
- the detection signal DETA1 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLS at the timing t61 during the period when the clock signal CLKB is at a high level, and at the timing t63, the rising edge of the clock signal CLKD. It changes from high level to low level according to.
- This pulse (edge pulse PE7) in the detection signal DETA1 is a pulse based on the rising edge of the pulse P7 (FIG. 18 (F)) in the pulse signal PLSA. Since the timing t61 at which the pulse P7 of the pulse signal PLSA starts is the timing within the detection period PdetB of the timings t60 to t62, the edge pulse PE7 of the detection signal DETA1 straddles the end timing t62 of the detection period PdetB.
- the light receiving unit 31A generates the pulse signal PLSA by detecting the reflected light pulse L1.
- the edge detection unit 170A detects the rising edge of the pulse signal PLSA in the detection periods PdetA and PdetC to generate the detection signal DETA2 including the edge pulse PE based on the rising edge, and the pulse signal PLSA in the detection periods PdetB and PdetD. By detecting the rising edge of, the detection signal DETA1 including the edge pulse PE based on this rising edge is generated.
- the light receiving unit 31B generates a pulse signal PLSB by detecting the reflected light pulse L1 in the light receiving unit 31A.
- the edge detection unit 170B detects the rising edge of the pulse signal PLSB in the detection periods PdetA and PdetC to generate the detection signal DETB2 including the edge pulse PE based on the rising edge, and the pulse signal PLSB in the detection periods PdetB and PdetD. By detecting the rising edge of, the detection signal DETB1 including the edge pulse PE based on the rising edge is generated.
- the addition circuit 34 of the addition unit 33AC calculates the number of edge pulse PEs in the detection signals DETA2 and DETB2. Then, when the clock signal CLKAC is at a low level, the latch unit 35 captures the signal supplied from the adder circuit 34 and outputs the captured signal from the output terminal Q, and when the clock signal CLKAC is at a high level. , The detected value VALAC is generated by maintaining the signal at the output terminal Q (FIG. 18 (K)). As a result, the addition unit 33AC generates the detected value VALAC based on the falling edge of the clock signal CLKA and the falling edge of the clock signal CLKC.
- the addition circuit 34 of the addition unit 33BD calculates the number of edge pulse PEs in the detection signals DETA1 and DETB1. Then, when the clock signal CLKBD is low level, the latch unit 35 captures the signal supplied from the adder circuit 34 and outputs the captured signal from the output terminal Q, and when the clock signal CLKBD is high level. , The detected value VALBD is generated by maintaining the signal at the output terminal Q (FIG. 18 (R)). As a result, the addition unit 33BD generates the detected value VALBD based on the falling edge of the clock signal CLKB and the falling edge of the clock signal CLKD.
- the switch 193 is turned on in the detection period PdetC based on the clock signal CLKC, and the addition circuit 37 has the detection value VALUE generated by the addition unit 33AC and the flip-flop in the detection period PdetC.
- the cumulative value VALA1 held by the clock unit 192 is added.
- the flip-flop unit 192 generates the cumulative value VALA1 by sampling the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLKC (FIG. 18 (L)). Further, the flip-flop unit 192 activates the carry flag FCA every time the cumulative value VALA1 reaches a predetermined upper limit value.
- the AND circuit 194 outputs this carry flag FCA as the signal S194A in the detection period PdetA based on the clock signal CLKA (FIG. 18 (N)).
- the counter 195 increments the count value CTAN based on this signal S194A (FIG. 18 (P)).
- the switch 197 is turned on in the detection period PdetA based on the clock signal CLKA, and the adder circuit 37 receives the detection value VALUE generated by the adder 33AC in the detection period PdetA.
- the cumulative value VALC1 held by the flip-flop unit 196 is added.
- the flip-flop unit 196 generates a cumulative value VALC1 by sampling the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLKA (FIG. 18 (M)). Further, the flip-flop unit 196 activates the carry flag FCC every time the cumulative value VALC1 reaches a predetermined upper limit value.
- the AND circuit 198 outputs this carry flag FCC as a signal S198C in the detection period PdetC based on the clock signal CLKC (FIG. 18 (O)).
- the counter 199 increments the count value CNTC based on this signal S198C (FIG. 18 (Q)).
- the switch 193 is turned on in the detection period PdetD based on the clock signal CLKD, and the adder circuit 37 receives the detection value VALBD generated by the adder 33BD in the detection period PdetD.
- the cumulative value VALB1 held by the flip-flop unit 192 is added.
- the flip-flop unit 192 generates the cumulative value VALB1 by sampling the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLKD (FIG. 18 (S)). Further, the flip-flop unit 192 activates the carry flag FCB every time the cumulative value VALB1 reaches a predetermined upper limit value.
- the AND circuit 194 outputs this carry flag FCB as a signal S194B in the detection period PdetB based on the clock signal CLKB (FIG. 18 (U)).
- the counter 195 increments the count value CNTB based on this signal S194B (FIG. 18 (W)).
- the switch 197 is turned on in the detection period PdetB based on the clock signal CLKB, and the addition circuit 37 receives the detection value VALBD generated by the addition unit 33BD in the detection period PdetB.
- the cumulative value VALD1 held by the flip-flop unit 196 is added.
- the flip-flop unit 196 generates a cumulative value VALD1 by sampling the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLKB (FIG. 18 (T)). Further, the flip-flop unit 196 activates the carry flag FCD every time the cumulative value VALD1 reaches a predetermined upper limit value.
- the AND circuit 198 outputs this carry flag FCD as a signal S198D in the detection period PdetD based on the clock signal CLKD (FIG. 18 (V)).
- the counter 199 increments the count value CNTD based on this signal S198D (FIG. 18 (X)).
- the count unit 190AC generates the count values CNTA and CNTC by performing the cumulative addition process based on the detected value VALAC generated by the addition unit 33AC, and the count unit 190BD is generated by the addition unit 33BD.
- Count values CNTB and CNTD are generated by performing cumulative addition processing based on the detected detected value VALBD.
- the first latch circuit that generates the first signal (signal S171) by latching the pulse signal PLS based on the clock signal CLKBD in each of the plurality of edge detection units 170.
- (Latch 171) a second latch circuit (latch 172) that generates a second signal (signal S172) by latching the pulse signal PLS based on the clock signal CLKAC, and the pulse signal PLS and the first signal.
- a first combination circuit (negative logic sum circuit 74) that generates a third signal based on (signal S171), and a fourth signal is generated based on the pulse signal PLS and the second signal (signal S172).
- a second combination circuit negative logic sum circuit 75) is provided.
- the edge pulse PE generated by the edge detection unit 170 is supplied to either of the two addition units 33AC and 33BD according to the detection period Pdet, so that the circuit area can be reduced. It can be made smaller.
- the count value CNTA which is the cumulative value of the detected value VALA
- the count value CNTC which is the cumulative value of the detected value VALC
- the count value CNTB which is the cumulative value of the detected value VALB
- the count value CNTD which is the cumulative value of the detected value VALD
- the cumulative value of the detected value VALA in the plurality of detection periods Pdet1 is calculated
- the cumulative value of the detected value VALB in the plurality of detection periods Pdet2 is calculated
- the cumulative value of the detected value VALC in the plurality of detection periods Pdet3 is calculated.
- the cumulative value of the detected value VALD in a plurality of detection periods Pdet4 can be calculated.
- the photodetection system 3 can widen the counting range, so that the detection accuracy of the photodetection system 3 can be improved.
- the first latch circuit that generates the first signal by latching the pulse signal based on the clock signal and the other clock signal are used.
- a second latch circuit that generates a second signal by latching the pulse signal based on it, a first combination circuit that generates a third signal based on the pulse signal and the first signal, and a pulse signal and Since a second combination circuit that generates a fourth signal based on the second signal is provided, even when the generated edge pulse is supplied to one of the two adders depending on the detection period. ,
- the circuit area can be reduced. Other effects are the same as in the case of the second embodiment.
- the photodetection system 4 according to the fourth embodiment will be described.
- This embodiment is configured to count the edge pulse PE at each of the four detection periods Pdet based on the four-phase clock signal by a method different from the method of the third embodiment.
- the components substantially the same as those of the photodetection system 3 according to the third embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted as appropriate.
- the photodetection system 3 includes a photodetection unit 260 as in the photodetection system 2 according to the second embodiment.
- the photodetection unit 260 has a photodetection array 261, a clock generation unit 262, a read control unit 263, and a read unit 264, similarly to the photodetection unit 160 according to the third embodiment. ..
- FIG. 19 shows an example of the photodetection unit U in the photodetection array 261.
- the photodetection unit U includes a plurality of light receiving units 31 (two light receiving units 31A and 31B in this example), a plurality of edge detection units 270 (two edge detection units 270A and 270B in this example), and four addition units. It has 33A, 33B, 33C, 33D and four counting units 290A, 290B, 290C, 290D.
- two light receiving units 31 and two edge detecting units 270 are provided, but the present invention is not limited to this, and even if three or more light receiving units 31 and three or more edge detecting units 270 are provided. good.
- Clock signals CLKA, CLKB, CLKC, and CLKD constituting a four-phase clock signal are supplied to the photodetection unit U.
- the edge detection unit 270A generates detection signals DETA1, DETA2, DETA3, and DETA4 by detecting the edge of the pulse signal PLSA supplied from the light receiving unit 31A, and supplies the detection signals DETA1 to DETA4 to the addition units 33A to 33D, respectively. It is configured to do.
- the edge detection unit 270B generates detection signals DETB1, DETB2, DETB3, and DETB4 by detecting the edge of the pulse signal PLSB supplied from the light receiving unit 31B, and supplies the detection signals DETB1 to DETB4 to the addition units 33A to 33D, respectively. It is configured to do.
- the edge detection unit 270A has a latch 271,272,273,274, an inverter 275, a NOR OR circuit 276,277,278,279, and a latch 281,282,283,284.
- the latches 271 to 274 and 281 to 284 have the same circuit configuration as the latch 41 (FIG. 7) according to the first embodiment.
- the pulse signal PLSA is supplied to the data terminal D of the latch 271, the inverted signal of the clock signal CLKA is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is the second input of the NOR circuit 276. Connected to the terminal.
- a pulse signal PLSA is supplied to the data terminal D of the latch 272, an inverted signal of the clock signal CLKB is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is connected to the second input terminal of the NOR OR circuit 277.
- the pulse signal PLSA is supplied to the data terminal D of the latch 273, the inverted signal of the clock signal CLKC is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is connected to the second input terminal of the NOR OR circuit 278.
- a pulse signal PLSA is supplied to the data terminal of the latch 274, an inverted signal of the clock signal CLKD is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is connected to the second input terminal of the NOR OR circuit 279.
- a pulse signal PLSA is supplied to the input terminal of the inverter 275, and the output terminal is the first input terminal of the NOR circuit 276, the first input terminal of the NOR circuit 277, and the first input terminal of the NOR circuit 278. It is connected to the input terminal and the first input terminal of the NOR circuit 279.
- the first input terminal of the NOR circuit 276 is the output terminal of the inverter 275, the first input terminal of the NOR circuit 277, the first input terminal of the NOR circuit 278, and the first input terminal of the NOR circuit 279. It is connected to the input terminal of 1, the second input terminal is connected to the output terminal Q of the latch 271, and the output terminal is connected to the data terminal D of the latch 281.
- the first input terminal of the NOR circuit 277 is the output terminal of the inverter 275, the first input terminal of the NOR circuit 276, the first input terminal of the NOR circuit 278, and the first input terminal of the NOR circuit 279.
- the first input terminal of the NOR circuit 278 is the output terminal of the inverter 275, the first input terminal of the NOR circuit 276, the first input terminal of the NOR circuit 277, and the first input terminal of the NOR circuit 279. It is connected to the input terminal of 1, the second input terminal is connected to the output terminal Q of the latch 273, and the output terminal is connected to the data terminal D of the latch 283.
- the first input terminal of the NOR circuit 279 is the output terminal of the inverter 275, the first input terminal of the NOR circuit 276, the first input terminal of the NOR circuit 277, and the first input terminal of the NOR circuit 278. It is connected to the input terminal of 1, the second input terminal is connected to the output terminal Q of the latch 274, and the output terminal is connected to the data terminal D of the latch 284.
- the data terminal D of the latch 281 is connected to the output terminal of the NOR circuit 276, the clock signal CLKA is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is connected to the adder 33A.
- the latch 281 outputs the detection signal DETA1 from the output terminal Q.
- the data terminal D of the latch 282 is connected to the output terminal of the NOR circuit 277, the clock signal CLKB is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is connected to the adder 33B.
- the latch 282 outputs the detection signal DETA2 from the output terminal Q.
- the data terminal D of the latch 283 is connected to the output terminal of the NOR circuit 278, the clock signal CLKC is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is connected to the adder 33C.
- the latch 283 outputs the detection signal DETA3 from the output terminal Q.
- the data terminal D of the latch 284 is connected to the output terminal of the NOR circuit 279, the clock signal CLKD is supplied to the enable terminal E, and the output terminal Q is connected to the adder 33D.
- the latch 284 outputs the detection signal DETA4 from the output terminal Q.
- the edge detection unit 270A has been described above, but the same applies to the edge detection unit 270B.
- the pulse signal PLSB is supplied to the data terminals D of the latches 271 to 274 and the input terminals of the inverter 275.
- the output terminal Q of the latch 281 is connected to the addition unit 33A
- the output terminal Q of the latch 282 is connected to the addition unit 33B
- the output terminal Q of the latch 283 is connected to the addition unit 33C
- the output terminal Q of the latch 284 is an addition unit. It is connected to the unit 33D.
- the latch 281 outputs the detection signal DETB1 from the output terminal Q
- the latch 282 outputs the detection signal DETB2 from the output terminal Q
- the latch 283 outputs the detection signal DETB3 from the output terminal Q
- the latch 284 outputs.
- the detection signal DETB4 is output from the terminal Q.
- the addition unit 33A is configured to generate a detection value VALA by performing addition processing based on the detection signal DETA1 generated by the edge detection unit 270A and the detection signal DETB1 generated by the edge detection unit 270B.
- the addition unit 33A has an addition circuit 34 and a latch unit 35.
- the latch unit 35 captures the signal supplied from the adder circuit 34 when the clock signal CLKA is low level, and outputs the captured signal from the output terminal Q, and outputs the captured signal when the clock signal CLKA is high level. It is configured to generate the detected value VALA by maintaining the signal at the terminal Q.
- the addition unit 33B generates the detection value VALB by performing addition processing based on the detection signal DETA2 generated by the edge detection unit 270A and the detection signal DETB2 generated by the edge detection unit 270B. It is composed of.
- the addition unit 33B has an addition circuit 34 and a latch unit 35.
- the latch unit 35 captures the signal supplied from the adder circuit 34 when the clock signal CLKB is low level, and outputs the captured signal from the output terminal Q, and outputs the captured signal when the clock signal CLKB is high level. It is configured to generate the detected value VALB by maintaining the signal at the terminal Q.
- the addition unit 33C generates the detection value VALC by performing addition processing based on the detection signal DETA3 generated by the edge detection unit 270A and the detection signal DETB3 generated by the edge detection unit 270B. It is composed of.
- the addition unit 33C has an addition circuit 34 and a latch unit 35.
- the latch unit 35 captures the signal supplied from the adder circuit 34 when the clock signal CLKC is low level, and outputs the captured signal from the output terminal Q, and outputs the captured signal when the clock signal CLKC is high level. It is configured to generate the detected value VALC by maintaining the signal at the terminal Q.
- the addition unit 33D generates the detection value VALD by performing addition processing based on the detection signal DETA4 generated by the edge detection unit 270A and the detection signal DETB4 generated by the edge detection unit 270B. It is composed of.
- the addition unit 33D has an addition circuit 34 and a latch unit 35.
- the latch unit 35 captures the signal supplied from the adder circuit 34 when the clock signal CLKD is low level, and outputs the captured signal from the output terminal Q, and outputs the captured signal when the clock signal CLKD is high level. It is configured to generate the detected value VALD by maintaining the signal at the terminal Q.
- the count unit 290A is configured to generate a count value CNTA by performing a cumulative addition process based on the detected value VALA generated by the addition unit 33A.
- the counting unit 290A has an adder circuit 37, a flip-flop (F / F) unit 48, and a counter 49.
- the addition circuit 37 is configured to add the detected value VALA generated by the addition unit 33A and the value held by the flip-flop unit 48 (cumulative value VALA1).
- the flip-flop unit 48 is configured to sample the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLKA, and hold the sampled result as the cumulative value VALA1.
- the flip-flop unit 48 has a function of activating the carry flag FCA every time the cumulative value VALA1 reaches a predetermined upper limit value.
- the counter 49 is configured to increment the count value CNTA based on the carry flag FCA generated by the flip-flop unit 48.
- the count unit 290B is configured to generate a count value CNTB by performing a cumulative addition process based on the detection value VALB generated by the addition unit 33B.
- the counting unit 290A has an adder circuit 37, a flip-flop (F / F) unit 48, and a counter 49.
- the addition circuit 37 is configured to add the detected value VALB generated by the addition unit 33B and the value held by the flip-flop unit 48 (cumulative value VALB1).
- the flip-flop unit 48 is configured to sample the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLKB, and hold the sampled result as the cumulative value VALB1.
- the flip-flop unit 48 has a function of activating the carry flag FCB every time the cumulative value VALB1 reaches a predetermined upper limit value.
- the counter 49 is configured to increment the count value CNTB based on the carry flag FCB generated by the flip-flop unit 48.
- the count unit 290C is configured to generate a count value CNTC by performing a cumulative addition process based on the detection value VALC generated by the addition unit 33C.
- the counting unit 290C has an adder circuit 37, a flip-flop (F / F) unit 48, and a counter 49.
- the addition circuit 37 is configured to add the detected value VALC generated by the addition unit 33C and the value held by the flip-flop unit 48 (cumulative value VALC1).
- the flip-flop unit 48 is configured to sample the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLKC, and hold the sampled result as the cumulative value VALC1.
- the flip-flop unit 48 has a function of activating the carry flag FCC every time the cumulative value VALC1 reaches a predetermined upper limit value.
- the counter 49 is configured to increment the count value CNTC based on the carry flag FCC generated by the flip-flop unit 48.
- the count unit 290D is configured to generate a count value CNT by performing a cumulative addition process based on the detection value VALD generated by the addition unit 33D.
- the counting unit 290D has an addition circuit 37, a flip-flop (F / F) unit 48, and a counter 49.
- the addition circuit 37 is configured to add the detected value VALD generated by the addition unit 33D and the value held by the flip-flop unit 48 (cumulative value VALD1).
- the flip-flop unit 48 is configured to sample the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLKD, and hold the sampled result as the cumulative value VALD1.
- the flip-flop unit 48 has a function of activating the carry flag FCD every time the cumulative value VALD1 reaches a predetermined upper limit value.
- the counter 49 is configured to increment the count value CNTD based on the carry flag FCD generated by the flip-flop unit 48.
- the clock generation unit 262 generates clock signals CLKA, CLKB, CLKC, and CLKD that constitute a four-phase clock signal based on an instruction from the photodetection control unit 25, and the clock signals CLKA to CLKD are used in the photodetection array 261. It is configured to supply to a plurality of photodetection units U.
- the read control unit 263 supplies the count values CNTA, CNTB, CNTC, and CNT generated in each of the plurality of photodetection units U in the photodetection array 261 to the read unit 164 based on the instruction from the photodetection control unit 25. It is configured to control the operation to be performed.
- the reading unit 264 generates and generates a data DT including count values CNTA, CNTB, CNTC, and CNT supplied from a plurality of photodetection units U in the photodetection array 261 based on an instruction from the photodetection control unit 25. It is configured to output the generated data DT.
- FIGS. 20B to 20E show the waveforms of the clock signals CLKA to CLKD.
- (F) shows the waveform of the pulse signal PLSA
- (G) shows the waveform of the signal S271 output from the latch 271 of the edge detection unit 270A
- (H) shows the waveform of the signal S271 from the latch 272 of the edge detection unit 270A.
- the waveform of the output signal S272 is shown, (I) shows the waveform of the signal S273 output from the latch 273 of the edge detection unit 270A, and (J) shows the waveform of the signal S274 output from the latch 274 of the edge detection unit 270A.
- the waveform is shown, (K) shows the waveform of the detection signal DETA1, (L) shows the waveform of the detection signal DETA2, (M) shows the waveform of the detection signal DETA3, and (N) shows the waveform of the detection signal DETA4.
- P shows the waveform of the signal showing the cumulative value VALA1
- Q shows the waveform of the signal showing the carry flag FCA
- R shows.
- One-fourth of the period of the clock signals CLKA to CLKD is the detection period Pdet in the edge detection units 270A and 270B.
- the period when the clock signal CLKA is high level is the detection period PdetA
- the period when the clock signal CLKB is high level is the detection period PdetB
- the period when the clock signal CLKC is high level is the detection period PdetC.
- the period during which the clock signal CLKD is at a high level is the detection period PdetD.
- the light emitting unit 11 emits the optical pulse L0 toward the detection target OBJ based on the instruction from the control unit 14 (FIG. 20A). A part of this optical pulse L0 is reflected by the detection object OBJ. Then, the reflected light pulse L1 is incident on the photodetector 20 via the optical system 12.
- the light receiving unit 31A generates a pulse signal PLSA by detecting the reflected light pulse L1 (FIG. 20 (F)).
- This pulse signal PLSA includes a pulse P8 starting at timing t72, a pulse P9 starting at timing t76, and a pulse P10 starting at timing t80.
- the latch 271 of the edge detection unit 270A captures the pulse signal PLSA and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLKA is low level, and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLKA is high level.
- the signal S271 is generated (FIGS. 20 (B), (F), (G)).
- the signal S271 changes from a low level to a high level according to the falling edge of the clock signal CLKA at the timing t73 after the pulse signal PLSA rises, and the timing t74 during the period when the clock signal CLKA is at a low level.
- the pulse signal changes from a high level to a low level depending on the falling edge of the PLSA.
- the signal S271 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t76 during the period when the clock signal CLKA is low, and the timing t78 during the period when the clock signal CLKA is low level.
- the pulse signal changes from a high level to a low level depending on the falling edge of the PLSA.
- the signal S271 changes from a low level to a high level according to the falling edge of the clock signal CLKA at the timing t81 after the pulse signal PLSA rises, and at the timing t83 during the period when the clock signal CLKA is at a low level.
- the pulse signal changes from a high level to a low level depending on the falling edge of the PLSA.
- the latch 281 of the edge detection unit 270A captures the signal output from the negative logic sum circuit 276 and outputs the captured signal from the output terminal Q, and the clock signal CLKA is low level.
- the detection signal DETA1 is generated by maintaining the signal at the output terminal Q (FIG. 20 (K)).
- the detection signal DETA1 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t72 during the period when the clock signal CLKA is at a high level, and at the timing t79, the rising edge of the clock signal CLKA. It changes from high level to low level according to.
- This pulse (edge pulse PE8) in the detection signal DETA1 is a pulse based on the rising edge of the pulse P8 (FIG. 20F) in the pulse signal PLSA.
- the edge pulse PE8 of the detection signal DETA1 straddles the end timing t73 of the detection period PdetA.
- the detection signal DETA1 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t80 during the period when the clock signal CLKA is at a high level, and becomes the rising edge of the clock signal CLKA at the timing t84. It changes from high level to low level accordingly.
- This pulse (edge pulse PE10) in the detection signal DETA1 is a pulse based on the rising edge of the pulse P10 (FIG. 20 (F)) in the pulse signal PLSA.
- the edge pulse PE10 of the detection signal DETA1 straddles the end timing t81 of the detection period PdetA.
- the latch 272 of the edge detection unit 270A captures the pulse signal PLSA and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLKB is low level, and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLKB is high level.
- the signal S272 is generated (FIGS. 20 (C), (F), (H)).
- the signal S272 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t72 during the period when the clock signal CLKB is at a low level, and the timing t75 after the pulse signal PLSA falls.
- the clock signal changes from a high level to a low level according to the falling edge of the clock signal CLKB.
- the signal S272 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t76 during the period when the clock signal CLKB is low level, and the timing t78 during the period when the clock signal CLKB is low level.
- the pulse signal changes from a high level to a low level depending on the falling edge of the PLSA.
- the signal S272 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t80 during the period when the clock signal CLKB is low level, and the timing t83 during the period when the clock signal CLKB is low level.
- the pulse signal changes from a high level to a low level depending on the falling edge of the PLSA.
- the latch 282 of the edge detection unit 270A captures the signal output from the negative logic sum circuit 277 and outputs the captured signal from the output terminal Q, and the clock signal CLKB is low level.
- the detection signal DETA2 is generated by maintaining the signal at the output terminal Q (FIG. 20 (L)).
- the detection signal DETA2 maintains a low level. That is, since the rising edges of the pulses P8, P9, and P10 of the pulse signal PLSA are not within the period of the detection period PdetB, the detection signal DETA2 maintains a low level.
- the latch 273 of the edge detection unit 270A captures the pulse signal PLSA and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLKC is low level, and outputs the captured signal from the output terminal Q when the clock signal CLKC is high level.
- the signal S273 is generated (FIGS. 20 (D), (F), (I)).
- the signal S273 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t72 during the period when the clock signal CLKC is low level, and the timing during the period when the clock signal CLKC is low level.
- t74 it changes from a high level to a low level depending on the falling edge of the pulse signal PLSA.
- the signal S273 changes from a low level to a high level according to the falling edge of the clock signal CLKC at the timing t77 after the pulse signal PLSA rises, and at the timing t78 during the period when the clock signal CLKC is at a low level.
- the pulse signal changes from a high level to a low level depending on the falling edge of the PLSA.
- the signal S273 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t80 during the period when the clock signal CLKC is low level, and the timing in the case where the clock signal CLKC is low level.
- it changes from a high level to a low level depending on the falling edge of the pulse signal PLSA.
- the latch 283 of the edge detection unit 270A captures the signal output from the negative logic sum circuit 278 and outputs the captured signal from the output terminal Q, and the clock signal CLKC is low level.
- the detection signal DETA3 is generated by maintaining the signal at the output terminal Q (FIG. 20 (M)).
- the detection signal DETA3 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t76 during the period when the clock signal CLKC is at a high level, and at the timing t82, the rising edge of the clock signal CLKC. It changes from high level to low level according to.
- This pulse (edge pulse PE9) in the detection signal DETA3 is a pulse based on the rising edge of the pulse P9 (FIG. 20 (F)) in the pulse signal PLSA.
- the edge pulse PE9 of the detection signal DETA3 straddles the end timing t77 of the detection period PdetC.
- the signal S274 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the Paulus signal PLSA at the timing t76 during the period when the clock signal CLKD is at a low level, and at the timing t79 after the pulse signal PLSA falls.
- the clock signal changes from a high level to a low level according to the falling edge of the CLKD.
- the signal S274 changes from a low level to a high level according to the rising edge of the pulse signal PLSA at the timing t80 during the period when the clock signal CLKD is at a low level, and at the timing t84 after the pulse signal PLSA falls.
- the clock signal changes from a high level to a low level according to the falling edge of the CLKD.
- the latch 284 of the edge detection unit 270A captures the signal output from the negative logic sum circuit 279 and outputs the captured signal from the output terminal Q, and the clock signal CLKD is low level.
- the detection signal DETA4 is generated by maintaining the signal at the output terminal Q (FIG. 20 (N)). As a result, the detection signal DETA4 maintains a low level. That is, since the rising edges of the pulses P8, P9, P10 of the pulse signal PLSA are not within the period of the detection period PdetD, the detection signal DETA4 maintains a low level.
- the light receiving unit 31A generates the pulse signal PLSA by detecting the reflected light pulse L1.
- the edge detection unit 270A detects the rising edge of the pulse signal PLSA in the detection period PdetA to generate the detection signal DETA1 including the edge pulse PE based on the rising edge, and sets the rising edge of the pulse signal PLSA in the detection period PdetB.
- a detection signal DETA2 including an edge pulse PE based on this rising edge is generated, and by detecting the rising edge of the pulse signal PLSA in the detection period PdetC, a detection signal including an edge pulse PE based on this rising edge is generated.
- the detection signal DETA4 including the edge pulse PE based on this rising edge is generated.
- the light receiving unit 31B generates a pulse signal PLSB by detecting the reflected light pulse L1 in the light receiving unit 31A.
- the edge detection unit 270B detects the rising edge of the pulse signal PLSB in the detection period PdetA to generate the detection signal DETB1 including the edge pulse PE based on the rising edge, and sets the rising edge of the pulse signal PLSB in the detection period PdetB.
- a detection signal DETB2 including an edge pulse PE based on this rising edge is generated, and by detecting a rising edge of the pulse signal PLSB in the detection period PdetC, a detection signal including an edge pulse PE based on this rising edge is generated.
- the detection signal DETB4 including the edge pulse PE based on this rising edge is generated.
- the addition circuit 34 of the addition unit 33A calculates the number of edge pulse PEs in the detection signals DETA1 and DETB1. Then, when the clock signal CLKA is at a low level, the latch portion 35 captures the signal supplied from the adder circuit 34 and outputs the captured signal from the output terminal Q, and when the clock signal CLKA is at a high level. , The detected value VALA is generated by maintaining the signal at the output terminal Q (FIG. 20 (O)). As a result, the addition unit 33A generates the detected value VALA based on the falling edge of the clock signal CLKA.
- the addition circuit 34 of the addition unit 33B calculates the number of edge pulse PEs in the detection signals DETA2 and DETB2. Then, when the clock signal CLKB is low level, the latch unit 35 captures the signal supplied from the adder circuit 34 and outputs the captured signal from the output terminal Q, and when the clock signal CLKB is high level. , The detected value VALB is generated by maintaining the signal at the output terminal Q (FIG. 20 (S)). As a result, the addition unit 33B generates the detected value VALB based on the falling edge of the clock signal CLKB.
- the addition circuit 34 of the addition unit 33C calculates the number of edge pulse PEs in the detection signals DETA3 and DETB3. Then, when the clock signal CLKC is low level, the latch unit 35 captures the signal supplied from the adder circuit 34 and outputs the captured signal from the output terminal Q, and when the clock signal CLKC is high level. , The detected value VALC is generated by maintaining the signal at the output terminal Q. As a result, the addition unit 33C generates the detected value VALC based on the falling edge of the clock signal CLKC.
- the addition circuit 34 of the addition unit 33D calculates the number of edge pulse PEs in the detection signals DETA4 and DETB4. Then, when the clock signal CLKD is low level, the latch unit 35 captures the signal supplied from the adder circuit 34 and outputs the captured signal from the output terminal Q, and when the clock signal CLKD is high level. , The detected value VALD is generated by maintaining the signal at the output terminal Q. As a result, the addition unit 33D generates the detected value VALD based on the falling edge of the clock signal CLKD.
- the adding circuit 37 adds the detected value VALA generated by the adding unit 33A and the cumulative value VALA1 held by the flip-flop unit 48.
- the flip-flop unit 48 generates the cumulative value VALA1 by sampling the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLKA (FIG. 20 (P)). Further, the flip-flop unit 48 activates the carry flag FCA every time the cumulative value VALA1 reaches a predetermined upper limit value (FIG. 20 (Q)).
- the counter 49 increments the count value CNTA based on the carry flag FCA (FIG. 20 (R)).
- the adding circuit 37 adds the detected value VALB generated by the adding unit 33B and the cumulative value VALB1 held by the flip-flop unit 48. Then, the flip-flop unit 48 generates the cumulative value VALB1 by sampling the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLKB (FIG. 20 (T)). Further, the flip-flop unit 48 activates the carry flag FCB every time the cumulative value VALB1 reaches a predetermined upper limit value (FIG. 20 (U)). The counter 49 increments the count value CNTB based on the carry flag FCB (FIG. 20 (V)).
- the adding circuit 37 adds the detected value VALC generated by the adding unit 33C and the cumulative value VALC1 held by the flip-flop unit 48. Then, the flip-flop unit 48 generates the cumulative value VALC1 by sampling the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLKC. Further, the flip-flop unit 48 activates the carry flag FCC every time the cumulative value VALC1 reaches a predetermined upper limit value. The counter 49 increments the count value CNTC based on this carry flag FCC.
- the addition circuit 37 adds the detected value VALD generated by the addition unit 33D and the cumulative value VALD1 held by the flip-flop unit 48. Then, the flip-flop unit 48 generates the cumulative value VALD1 by sampling the signal output from the adder circuit 37 based on the falling edge of the clock signal CLKD. Further, the flip-flop unit 48 activates the carry flag FCD every time the cumulative value VALD1 reaches a predetermined upper limit value. The counter 49 increments the count value CNTD based on the carry flag FCD.
- each of the plurality of edge detection units 170 has a first latch circuit that generates a first signal (signal S271) by latching the pulse signal PLS based on the clock signal CLKA. (Latch 271), a second latch circuit (latch 272) that generates a second signal (signal S272) by latching the pulse signal PLS based on the clock signal CLKB, and the pulse signal PLS and the first signal.
- a first combination circuit (negative logic sum circuit 276) that generates a third signal based on (signal S271), and a fourth signal is generated based on the pulse signal PLS and the second signal (signal S272).
- a second combination circuit negative logic sum circuit 277) is provided.
- the edge pulse PE generated by the edge detection unit 170 is supplied to either of the two addition units 33A and 33B according to the detection period Pdet, so that the circuit area can be reduced. It can be made smaller.
- a third latch circuit that generates a fifth signal (signal S273) by latching the pulse signal PLS based on the clock signal CLKC in each of the plurality of edge detection units 170. 273), a fourth latch circuit (latch 274) that generates a sixth signal (signal S274) by latching the pulse signal PLS based on the clock signal CLKD, and a pulse signal PLS and a fifth signal (signal).
- a third combination circuit negative logic sum circuit 278) that generates a seventh signal based on S273), and a fourth signal that generates an eighth signal based on the pulse signal PLS and the sixth signal (signal S274). (Negative logic sum circuit 279) is provided.
- the cumulative addition process is performed based on the detected value VALA to generate the count value CNTA which is the cumulative value of the detected value VALA, and the cumulative addition process is performed based on the detected value VALB. Therefore, the count value CNTB, which is the cumulative value of the detected value VALB, is generated. Similarly, by performing the cumulative addition process based on the detected value VALC, the count value CNTC which is the cumulative value of the detected value VALC is generated, and by performing the cumulative addition process based on the detected value VALD, the detected value VALD is performed. The count value CNTD, which is the cumulative value of, is generated.
- the cumulative value of the detected value VALA in the plurality of detection periods Pdet1 is calculated
- the cumulative value of the detected value VALB in the plurality of detection periods Pdet2 is calculated
- the cumulative value of the detected value VALC in the plurality of detection periods Pdet3 is calculated.
- the cumulative value of the detected value VALD in a plurality of detection periods Pdet4 can be calculated.
- the photodetection system 4 can widen the counting range, so that the detection accuracy of the photodetection system 4 can be improved.
- the first latch circuit that generates the first signal by latching the pulse signal based on the clock signal and the other clock signal are used.
- a second latch circuit that generates a second signal by latching the pulse signal based on it, a first combination circuit that generates a third signal based on the pulse signal and the first signal, and a pulse signal and Since a second combination circuit that generates a fourth signal based on the second signal is provided, even when the generated edge pulse is supplied to one of the two adders depending on the detection period. ,
- the circuit area can be reduced. Other effects are the same as in the case of the third embodiment.
- the technique according to the present disclosure can be applied to various products.
- the technology according to the present disclosure is realized as a device mounted on a moving body of any kind such as an automobile, an electric vehicle, a hybrid electric vehicle, a motorcycle, a bicycle, a personal mobility, an airplane, a drone, a ship, and a robot. You may.
- FIG. 21 is a block diagram showing a schematic configuration example of a vehicle control system, which is an example of a mobile control system to which the technique according to the present disclosure can be applied.
- the vehicle control system 12000 includes a plurality of electronic control units connected via the communication network 12001.
- the vehicle control system 12000 includes a drive system control unit 12010, a body system control unit 12020, an outside information detection unit 12030, an in-vehicle information detection unit 12040, and an integrated control unit 12050.
- a microcomputer 12051, an audio image output unit 12052, and an in-vehicle network I / F (interface) 12053 are shown as a functional configuration of the integrated control unit 12050.
- the drive system control unit 12010 controls the operation of the device related to the drive system of the vehicle according to various programs.
- the drive system control unit 12010 has a driving force generator for generating a driving force of a vehicle such as an internal combustion engine or a driving motor, a driving force transmission mechanism for transmitting the driving force to the wheels, and a steering angle of the vehicle. It functions as a control device such as a steering mechanism for adjusting and a braking device for generating braking force of the vehicle.
- the body system control unit 12020 controls the operation of various devices mounted on the vehicle body according to various programs.
- the body system control unit 12020 functions as a keyless entry system, a smart key system, a power window device, or a control device for various lamps such as headlamps, back lamps, brake lamps, turn signals or fog lamps.
- the body system control unit 12020 may be input with radio waves transmitted from a portable device that substitutes for the key or signals of various switches.
- the body system control unit 12020 receives inputs of these radio waves or signals and controls a vehicle door lock device, a power window device, a lamp, and the like.
- the vehicle outside information detection unit 12030 detects information outside the vehicle equipped with the vehicle control system 12000.
- the image pickup unit 12031 is connected to the vehicle outside information detection unit 12030.
- the vehicle outside information detection unit 12030 causes the image pickup unit 12031 to capture an image of the outside of the vehicle and receives the captured image.
- the vehicle outside information detection unit 12030 may perform object detection processing or distance detection processing such as a person, a vehicle, an obstacle, a sign, or a character on the road surface based on the received image.
- the image pickup unit 12031 is an optical sensor that receives light and outputs an electric signal according to the amount of the light received.
- the image pickup unit 12031 can output an electric signal as an image or can output it as distance measurement information. Further, the light received by the image pickup unit 12031 may be visible light or invisible light such as infrared light.
- the in-vehicle information detection unit 12040 detects the in-vehicle information.
- a driver state detection unit 12041 that detects a driver's state is connected to the vehicle interior information detection unit 12040.
- the driver state detection unit 12041 includes, for example, a camera that images the driver, and the in-vehicle information detection unit 12040 determines the degree of fatigue or concentration of the driver based on the detection information input from the driver state detection unit 12041. It may be calculated, or it may be determined whether or not the driver has fallen asleep.
- the microcomputer 12051 calculates the control target value of the driving force generator, the steering mechanism, or the braking device based on the information inside and outside the vehicle acquired by the vehicle exterior information detection unit 12030 or the vehicle interior information detection unit 12040, and the drive system control unit.
- a control command can be output to 12010.
- the microcomputer 12051 realizes ADAS (Advanced Drive Assistance System) functions including vehicle collision avoidance or impact mitigation, follow-up driving based on inter-vehicle distance, vehicle speed maintenance driving, vehicle collision warning, vehicle lane deviation warning, and the like. It is possible to perform cooperative control for the purpose of.
- ADAS Advanced Drive Assistance System
- the microcomputer 12051 controls the driving force generating device, the steering mechanism, the braking device, and the like based on the information around the vehicle acquired by the vehicle exterior information detection unit 12030 or the vehicle interior information detection unit 12040. It is possible to perform coordinated control for the purpose of automatic driving that runs autonomously without depending on the operation.
- the microcomputer 12051 can output a control command to the body system control unit 12020 based on the information outside the vehicle acquired by the vehicle outside information detection unit 12030.
- the microcomputer 12051 controls the headlamps according to the position of the preceding vehicle or the oncoming vehicle detected by the outside information detection unit 12030, and performs cooperative control for the purpose of anti-glare such as switching the high beam to the low beam. It can be carried out.
- the audio image output unit 12052 transmits an output signal of at least one of audio and an image to an output device capable of visually or audibly notifying information to the passenger or the outside of the vehicle.
- an audio speaker 12061, a display unit 12062, and an instrument panel 12063 are exemplified as output devices.
- the display unit 12062 may include, for example, at least one of an onboard display and a head-up display.
- FIG. 22 is a diagram showing an example of the installation position of the image pickup unit 12031.
- the vehicle 12100 has an imaging unit 12101, 12102, 12103, 12104, 12105 as an imaging unit 12031.
- the image pickup units 12101, 12102, 12103, 12104, 12105 are provided, for example, at positions such as the front nose, side mirrors, rear bumpers, back doors, and the upper part of the windshield in the vehicle interior of the vehicle 12100.
- the image pickup unit 12101 provided on the front nose and the image pickup section 12105 provided on the upper part of the windshield in the vehicle interior mainly acquire an image in front of the vehicle 12100.
- the image pickup units 12102 and 12103 provided in the side mirror mainly acquire images of the side of the vehicle 12100.
- the image pickup unit 12104 provided in the rear bumper or the back door mainly acquires an image of the rear of the vehicle 12100.
- the images in front acquired by the image pickup units 12101 and 12105 are mainly used for detecting a preceding vehicle, a pedestrian, an obstacle, a traffic light, a traffic sign, a lane, or the like.
- FIG. 22 shows an example of the shooting range of the imaging units 12101 to 12104.
- the imaging range 12111 indicates the imaging range of the imaging unit 12101 provided on the front nose
- the imaging ranges 12112 and 12113 indicate the imaging range of the imaging units 12102 and 12103 provided on the side mirrors, respectively
- the imaging range 12114 indicates the imaging range.
- the imaging range of the imaging unit 12104 provided on the rear bumper or the back door is shown. For example, by superimposing the image data captured by the image pickup units 12101 to 12104, a bird's-eye view image of the vehicle 12100 can be obtained.
- At least one of the image pickup units 12101 to 12104 may have a function of acquiring distance information.
- at least one of the image pickup units 12101 to 12104 may be a stereo camera including a plurality of image pickup elements, or may be an image pickup element having pixels for phase difference detection.
- the microcomputer 12051 has a distance to each three-dimensional object within the image pickup range 12111 to 12114 based on the distance information obtained from the image pickup unit 12101 to 12104, and a temporal change of this distance (relative speed with respect to the vehicle 12100). By obtaining can. Further, the microcomputer 12051 can set an inter-vehicle distance to be secured in advance in front of the preceding vehicle, and can perform automatic braking control (including follow-up stop control), automatic acceleration control (including follow-up start control), and the like. In this way, it is possible to perform coordinated control for the purpose of automatic driving or the like that autonomously travels without relying on the driver's operation.
- automatic braking control including follow-up stop control
- automatic acceleration control including follow-up start control
- the microcomputer 12051 converts three-dimensional object data related to a three-dimensional object into two-wheeled vehicles, ordinary vehicles, large vehicles, pedestrians, electric poles, and other three-dimensional objects based on the distance information obtained from the image pickup units 12101 to 12104. It can be classified and extracted and used for automatic avoidance of obstacles. For example, the microcomputer 12051 distinguishes obstacles around the vehicle 12100 into obstacles that are visible to the driver of the vehicle 12100 and obstacles that are difficult to see. Then, the microcomputer 12051 determines the collision risk indicating the risk of collision with each obstacle, and when the collision risk is equal to or higher than the set value and there is a possibility of collision, the microcomputer 12051 via the audio speaker 12061 or the display unit 12062. By outputting an alarm to the driver and performing forced deceleration and avoidance steering via the drive system control unit 12010, driving support for collision avoidance can be provided.
- At least one of the image pickup units 12101 to 12104 may be an infrared camera that detects infrared rays.
- the microcomputer 12051 can recognize a pedestrian by determining whether or not a pedestrian is present in the captured image of the imaging unit 12101 to 12104.
- recognition of a pedestrian is, for example, a procedure for extracting feature points in an image captured by an image pickup unit 12101 to 12104 as an infrared camera, and pattern matching processing is performed on a series of feature points indicating the outline of an object to determine whether or not the pedestrian is a pedestrian. It is done by the procedure to determine.
- the audio image output unit 12052 determines the square contour line for emphasizing the recognized pedestrian.
- the display unit 12062 is controlled so as to superimpose and display. Further, the audio image output unit 12052 may control the display unit 12062 so as to display an icon or the like indicating a pedestrian at a desired position.
- the above is an example of a vehicle control system to which the technique according to the present disclosure can be applied.
- the technique according to the present disclosure can be applied to the image pickup unit 12031 among the configurations described above.
- the circuit area can be reduced, so that the device size can be reduced, for example.
- the resolution can be increased, so that the detection accuracy can be improved, for example.
- the vehicle control system 12000 realizes a vehicle collision avoidance or collision mitigation function, a follow-up driving function based on the inter-vehicle distance, a vehicle speed maintenance driving function, a vehicle collision warning function, a vehicle lane deviation warning function, etc. with high accuracy. can.
- the light receiving unit 31A having the circuit configuration shown in FIG. 5 is provided, but the present invention is not limited to this, and instead, the circuit configuration shown in FIG. 23 is provided.
- the light receiving unit 31A may be provided.
- the light receiving unit 31A includes a photodiode PD, transistors MN11 to MN13, MP14, inverters IV1 and IV3, a buffer BUF, and a delay circuit DEL.
- the transistors MN11 to MN13 are N-type MOS transistors
- the transistor MP14 is a P-type MOS transistor.
- the anode of the photodiode PD is connected to the drain of the transistor MN11 and the gate of the transistor MN13, and the power supply voltage VDD1 is supplied to the cathode.
- the gate of the transistor MN11 is connected to the output terminal of the delay circuit DEL and the input terminal of the inverter IV3, the drain is connected to the anode of the photodiode PD and the gate of the transistor MN13, and the power supply voltage VSS is supplied to the source.
- the gate of the transistor MN12 is connected to the output terminal of the inverter IV3 and the gate of the transistor MP14, the drain is connected to the source of the transistor MN13, and the source is grounded.
- the gate of the transistor MN13 is connected to the anode of the photodiode PD and the drain of the transistor MN11, the drain is connected to the drain of the transistor MP14 and the input terminal of the inverter IV1, and the source is connected to the drain of the transistor MN12.
- the gate of the transistor MP14 is connected to the output terminal of the inverter IV3 and the gate of the inverter MN12, the power supply voltage VDD2 is supplied to the source, and the drain is connected to the drain of the transistor MN13 and the input terminal of the inverter IV1.
- the input terminal of the inverter IV1 is connected to the drain of the transistor MN13 and the drain of the transistor MP14, and the output terminal is connected to the input terminal of the buffer BUF and the input terminal of the delay circuit DEL.
- the input terminal of the buffer BUF is connected to the output terminal of the inverter IV1 and the input terminal of the delay circuit DEL, and the output terminal is connected to the edge detection unit 40A in the subsequent stage of the light receiving unit 31A.
- the input terminal of the delay circuit DEL is connected to the output terminal of the inverter IV1 and the input terminal of the buffer BUF, and the output terminal is connected to the input terminal of the inverter IV3 and the gate of the transistor MN11.
- the input terminal of the inverter IV3 is connected to the output terminal of the delay circuit DEL and the gate of the transistor MN11, and the output terminal is connected to the gate of the transistor MN12 and the gate of the transistor MP14.
- Each has a light receiving element, and a plurality of light receiving units that generate a pulse signal including a pulse corresponding to the light receiving result of the light receiving element.
- a plurality of edge detection units provided corresponding to the plurality of light receiving units, each of which generates a detection signal by detecting the edge of the pulse in the pulse signal generated by the corresponding light receiving unit. It is provided with an addition unit that generates a detection value indicating the number of the pulses by performing addition processing based on the plurality of detection signals generated by the plurality of edge detection units.
- Each of the plurality of edge detection units A first latch circuit that generates a first signal by latching the pulse signal based on the first clock signal, and a first latch circuit.
- a second latch circuit that generates a second signal by latching the first signal based on the second clock signal which is an inverted signal of the first clock signal.
- a combinational circuit that generates a third signal based on the pulse signal, the first signal, and the second signal.
- a photodetector comprising a third latch circuit that generates the detection signal by latching the third signal based on the first clock signal.
- the photodetector according to (2) above wherein the time length of the detection period is a time length corresponding to the period of the first clock signal.
- the cumulative addition unit activates the flag each time the cumulative value reaches a predetermined value.
- the plurality of light receiving elements are provided on the first semiconductor substrate, and the plurality of light receiving elements are provided on the first semiconductor substrate.
- the photodetector according to any one of (1) to (5) above, wherein the plurality of edge detection units are provided on a second semiconductor substrate attached to the first semiconductor substrate.
- Each has a light receiving element, and a plurality of light receiving units that generate a pulse signal including a pulse corresponding to the light receiving result of the light receiving element.
- the first detection signal and the second detection signal are generated by detecting the edge of the pulse in the pulse signal generated by the corresponding light receiving unit, which is provided corresponding to each of the plurality of light receiving units.
- a second addition unit that generates a second detection value indicating the number of the pulses by performing addition processing based on the plurality of second detection signals generated by the plurality of edge detection units. Equipped with Each of the plurality of edge detection units A first latch circuit that generates a first signal by latching the pulse signal based on the first clock signal, and a first latch circuit. A second latch circuit that generates a second signal by latching the pulse signal based on the second clock signal. A first combinational circuit that generates a third signal based on the pulse signal and the first signal. It has a second combinational circuit that generates a fourth signal based on the pulse signal and the second signal, and generates the first detection signal based on the third signal, and the fourth.
- Each of the plurality of edge detectors further A third latch circuit that generates the first detection signal by latching the third signal based on the third clock signal which is an inverted signal of the first clock signal.
- a fourth latch circuit that generates the second detection signal by latching the fourth signal based on the fourth clock signal which is an inverted signal of the second clock signal.
- Each of the plurality of edge detection units detects the edge of the pulse in the detection period based on the first clock signal and the second clock signal.
- (12) The first clock signal transitions between the first level and the second level.
- the photodetector according to (11), wherein the time length of the detection period is the time length of the period during which the first clock signal maintains the first level.
- the cumulative addition unit activates the flag each time the cumulative value reaches a predetermined value.
- the first detection value includes a third detection value and a fourth detection value.
- the cumulative addition unit generates a first cumulative value by performing the cumulative addition process based on the third detected value, and also performs the cumulative addition process based on the fourth detected value.
- the photodetector according to (13) above which produces a second cumulative value.
- a first counter and a second counter for counting are provided.
- the cumulative addition unit activates the first flag each time the first cumulative value reaches a predetermined value, and sets a second flag each time the second cumulative value reaches the predetermined value. Activate and The first counter performs the counting process based on the first flag, and performs the counting process.
- the plurality of light receiving elements are provided on the first semiconductor substrate, and the plurality of light receiving elements are provided on the first semiconductor substrate.
- the photodetector according to any one of (7) to (16) above, wherein the plurality of edge detection units are provided on a second semiconductor substrate attached to the first semiconductor substrate.
- the photodetector Each has a light receiving element, and a plurality of light receiving units that generate a pulse signal including a pulse corresponding to the light receiving result of the light receiving element.
- a plurality of edge detection units provided corresponding to the plurality of light receiving units, each of which generates a detection signal by detecting the edge of the pulse in the pulse signal generated by the corresponding light receiving unit. It has an addition unit that generates a detection value indicating the number of the pulses by performing addition processing based on the plurality of detection signals generated by the plurality of edge detection units.
- Each of the plurality of edge detection units A first latch circuit that generates a first signal by latching the pulse signal based on the first clock signal, and a first latch circuit.
- a second latch circuit that generates a second signal by latching the first signal based on the second clock signal which is an inverted signal of the first clock signal.
- a combinational circuit that generates a third signal based on the pulse signal, the first signal, and the second signal.
- An optical detection system comprising a third latch circuit that generates the detection signal by latching the third signal based on the first clock signal. (19) It is provided with a light emitting unit that emits light and a photodetector that detects the light reflected by the detection target among the light emitted from the light emitting unit.
- the photodetector Each has a light receiving element, and a plurality of light receiving units that generate a pulse signal including a pulse corresponding to the light receiving result of the light receiving element.
- the first detection signal and the second detection signal are generated by detecting the edge of the pulse in the pulse signal generated by the corresponding light receiving unit, which is provided corresponding to each of the plurality of light receiving units.
- Multiple edge detectors to generate and
- a first addition unit that generates a first detection value indicating the number of the pulses by performing addition processing based on the plurality of first detection signals generated by the plurality of edge detection units.
- a second addition unit that generates a second detection value indicating the number of the pulses by performing addition processing based on the plurality of second detection signals generated by the plurality of edge detection units.
- Each of the plurality of edge detection units A fourth latch circuit that generates a first signal by latching the pulse signal based on the first clock signal.
- a second latch circuit that generates a second signal by latching the pulse signal based on the second clock signal.
- a first combinational circuit that generates a third signal based on the pulse signal and the first signal. It has a second combination circuit that generates a fourth signal based on the pulse signal and the second signal, and generates the first detection signal based on the third signal, and the fourth.
- An optical detection system that generates the second detection signal based on the signal of.
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
本開示の光検出装置は、受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成する複数の受光部(31A、31B)と、対応する受光部により生成されたパルス信号におけるパルスのエッジを検出することにより検出信号を生成する複数のエッジ検出部(40A、40B)と、複数の検出信号に基づいて、パルスの数を示す検出値を生成する加算部(33)とを備える。エッジ検出部(40A、40B)は、第1のクロック信号に基づいてパルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第1のラッチ回路(41)と、第1のクロック信号の反転信号である第2のクロック信号に基づいて第1の信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路(42)と、パルス信号、第1の信号、および第2の信号に基づいて第3の信号を生成する組み合わせ回路(43、44)と、第1のクロック信号に基づいて第3の信号をラッチすることにより検出信号を生成する第3のラッチ回路(45)とを有する。
Description
本開示は、検出対象物からの光を検出する光検出装置および光検出システムに関する。
検出対象物までの距離を計測する際、しばしば、TOF(Time Of Flight)法が用いられる。このTOF法では、光を射出するとともに、検出対象物により反射された反射光を検出する。そして、TOF法では、光を射出したタイミングおよび反射光を検出したタイミングの間の時間差を計測することにより、検出対象物までの距離を計測する。例えば、特許文献1には、受光部の受光結果に応じたパルス信号に基づいて、2つのフリップフロップを用いてこのパルス信号のエッジを検出する光検出器が開示されている。
一般に、電子回路では、回路面積が小さいことが望まれており、回路面積のさらなる低減が期待されている。
回路面積を小さくすることができる光検出装置および光検出システムを提供することが望ましい。
本開示の一実施の形態における第1の光検出装置は、複数の受光部と、複数のエッジ検出部と、加算部とを備えている。複数の受光部は、それぞれが、受光素子を有し、受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成するように構成される。複数のエッジ検出部は、複数の受光部にそれぞれ対応して設けられ、それぞれが、対応する受光部により生成されたパルス信号におけるパルスのエッジを検出することにより検出信号を生成するように構成される。加算部は、複数のエッジ検出部により生成された複数の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、パルスの数を示す検出値を生成するように構成される。上記複数のエッジ検出部のそれぞれは、第1のラッチ回路と、第2のラッチ回路と、組み合わせ回路と、第3のラッチ回路とを有している。第1のラッチ回路は、第1のクロック信号に基づいてパルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成するように構成される。第2のラッチ回路は、第1のクロック信号の反転信号である第2のクロック信号に基づいて第1の信号をラッチすることにより第2の信号を生成するように構成される。組み合わせ回路は、パルス信号、第1の信号、および第2の信号に基づいて第3の信号を生成するように構成される。第3のラッチ回路は、第1のクロック信号に基づいて第3の信号をラッチすることにより検出信号を生成するように構成される。
本開示の一実施の形態における第2の光検出装置は、複数の受光部と、複数のエッジ検出部と、第1の加算部と、第2の加算部とを備えている。複数の受光部は、それぞれが、受光素子を有し、受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成するように構成される。複数のエッジ検出部は、複数の受光部にそれぞれ対応して設けられ、それぞれが、対応する受光部により生成されたパルス信号におけるパルスのエッジを検出することにより第1の検出信号および第2の検出信号を生成するように構成される。第1の加算部は、複数のエッジ検出部により生成された複数の第1の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、パルスの数を示す第1の検出値を生成するように構成される。第2の加算部は、複数のエッジ検出部により生成された複数の第2の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、パルスの数を示す第2の検出値を生成するように構成される。上記複数のエッジ検出部のそれぞれは、第1のラッチ回路と、第2のラッチ回路と、第1の組み合わせ回路と、第2の組み合わせ回路とを有する。第1のラッチ回路は、第1のクロック信号に基づいてパルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成するように構成される。第2のラッチ回路は、第2のクロック信号に基づいてパルス信号をラッチすることにより第2の信号を生成するように構成される。第1の組み合わせ回路は、パルス信号および第1の信号に基づいて第3の信号を生成するように構成される。第2の組み合わせ回路は、パルス信号および第2の信号に基づいて第4の信号を生成するように構成される。複数のエッジ検出部のそれぞれは、第3の信号に基づいて第1の検出信号を生成し、第4の信号に基づいて第2の検出信号を生成するように構成される。
本開示の一実施の形態における第1の光検出システムは、発光部と、光検出部とを備えている。発光部は、光を射出するように構成される。光検出部は、発光部から射出された光のうちの、検出対象により反射された光を検出するように構成される。光検出部は、複数の受光部と、複数のエッジ検出部と、加算部とを備えている。複数の受光部は、それぞれが、受光素子を有し、受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成するように構成される。複数のエッジ検出部は、複数の受光部にそれぞれ対応して設けられ、それぞれが、対応する受光部により生成されたパルス信号におけるパルスのエッジを検出することにより検出信号を生成するように構成される。加算部は、複数のエッジ検出部により生成された複数の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、パルスの数を示す検出値を生成するように構成される。上記複数のエッジ検出部のそれぞれは、第1のラッチ回路と、第2のラッチ回路と、組み合わせ回路と、第3のラッチ回路とを有している。第1のラッチ回路は、第1のクロック信号に基づいてパルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成するように構成される。第2のラッチ回路は、第1のクロック信号の反転信号である第2のクロック信号に基づいて第1の信号をラッチすることにより第2の信号を生成するように構成される。組み合わせ回路は、パルス信号、第1の信号、および第2の信号に基づいて第3の信号を生成するように構成される。第3のラッチ回路は、第1のクロック信号に基づいて第3の信号をラッチすることにより検出信号を生成するように構成される。
本開示の一実施の形態における第2の光検出システムは、発光部と、光検出部とを備えている。発光部は、光を射出するように構成される。光検出部は、発光部から射出された光のうちの、検出対象により反射された光を検出するように構成される。光検出部は、複数の受光部と、複数のエッジ検出部と、第1の加算部と、第2の加算部とを備えている。複数の受光部は、それぞれが、受光素子を有し、受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成するように構成される。複数のエッジ検出部は、複数の受光部にそれぞれ対応して設けられ、それぞれが、対応する受光部により生成されたパルス信号におけるパルスのエッジを検出することにより第1の検出信号および第2の検出信号を生成するように構成される。第1の加算部は、複数のエッジ検出部により生成された複数の第1の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、パルスの数を示す第1の検出値を生成するように構成される。第2の加算部は、複数のエッジ検出部により生成された複数の第2の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、パルスの数を示す第2の検出値を生成するように構成される。上記複数のエッジ検出部のそれぞれは、第1のラッチ回路と、第2のラッチ回路と、第1の組み合わせ回路と、第2の組み合わせ回路とを有する。第1のラッチ回路は、第1のクロック信号に基づいてパルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成するように構成される。第2のラッチ回路は、第2のクロック信号に基づいてパルス信号をラッチすることにより第2の信号を生成するように構成される。第1の組み合わせ回路は、パルス信号および第1の信号に基づいて第3の信号を生成するように構成される。第2の組み合わせ回路は、パルス信号および第2の信号に基づいて第4の信号を生成するように構成される。複数のエッジ検出部のそれぞれは、第3の信号に基づいて第1の検出信号を生成し、第4の信号に基づいて第2の検出信号を生成するように構成される。
本開示の一実施の形態における第1の光検出装置および第1の光検出システムでは、複数の受光部のそれぞれにおいて、受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号が生成され、複数のエッジ検出部のそれぞれにおいて、対応する受光部により生成されたパルス信号におけるパルスのエッジが検出されることにより検出信号が生成される。複数のエッジ検出部のそれぞれでは、第1のラッチ回路により、第1のクロック信号に基づいてパルス信号がラッチされることにより第1の信号が生成され、第2のラッチ回路により、第1のクロック信号の反転信号である第2のクロック信号に基づいて第1の信号がラッチされることにより第2の信号が生成され、組み合わせ回路により、パルス信号、第1の信号、および第2の信号に基づいて第3の信号が生成され、第3のラッチ回路により、第1のクロック信号に基づいて第3の信号がラッチされることにより検出信号が生成される。そして、加算部により、複数のエッジ検出部により生成された複数の検出信号に基づいて加算処理が行われることにより、パルスの数を示す検出値が生成される。
本開示の一実施の形態における第2の光検出装置および第2の光検出システムでは、複数の受光部のそれぞれにおいて、受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号が生成され、複数のエッジ検出部のそれぞれにおいて、対応する受光部により生成されたパルス信号におけるパルスのエッジが検出されることにより第1の検出信号および第2の検出信号が生成される。複数のエッジ検出部のそれぞれでは、第1のラッチ回路により、第1のクロック信号に基づいてパルス信号がラッチされることにより第1の信号が生成され、第2のラッチ回路により、第2のクロック信号に基づいてパルス信号がラッチされることにより第2の信号が生成され、第1の組み合わせ回路により、パルス信号および第1の信号に基づいて第3の信号が生成され、第2の組み合わせ回路により、パルス信号および第2の信号に基づいて第4の信号が生成され、第3の信号に基づいて第1の検出信号が生成され、第4の信号に基づいて第2の検出信号が生成される。そして、第1の加算部により、複数のエッジ検出部により生成された複数の第1の検出信号に基づいて加算処理が行われることにより、パルスの数を示す第1の検出値が生成され、第2の加算部により、複数のエッジ検出部により生成された複数の第2の検出信号に基づいて加算処理が行われることにより、パルスの数を示す第2の検出値が生成される。
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
1.第1の実施の形態
2.第2の実施の形態
3.第3の実施の形態
4.第4の実施の形態
5.移動体への応用例
1.第1の実施の形態
2.第2の実施の形態
3.第3の実施の形態
4.第4の実施の形態
5.移動体への応用例
<1.第1の実施の形態>
[構成例]
図1は、一実施の形態に係る光検出システム(光検出システム1)の一構成例を表すものである。光検出システム1は、ToF(Time-of-Flight)センサであり、光を射出するとともに、検出対象物OBJにより反射された反射光を検出するように構成される。光検出システム1は、発光部11と、光学系12と、光検出部20と、制御部14とを備えている。
[構成例]
図1は、一実施の形態に係る光検出システム(光検出システム1)の一構成例を表すものである。光検出システム1は、ToF(Time-of-Flight)センサであり、光を射出するとともに、検出対象物OBJにより反射された反射光を検出するように構成される。光検出システム1は、発光部11と、光学系12と、光検出部20と、制御部14とを備えている。
発光部11は、制御部14からの指示に基づいて、検出対象物OBJに向かって光パルスL0を射出するように構成される。発光部11は、制御部14からの指示に基づいて、発光および非発光を交互に繰り返す発光動作を行うことにより光パルスL0を射出するようになっている。発光部11は、例えば赤外光を射出する光源を有する。この光源は、例えば、レーザ光源やLED(Light Emitting Diode)などを用いて構成される。
光学系12は、光検出部20の受光面Sにおいて像を結像させるレンズを含んで構成される。この光学系12には、発光部11から射出され、検出対象物OBJにより反射された光パルス(反射光パルスL1)が入射するようになっている。
光検出部20は、制御部14からの指示に基づいて、反射光パルスL1を検出するように構成される。そして、光検出部20は、検出結果をデータDTとして出力するようになっている。
制御部14は、発光部11および光検出部20に制御信号を供給し、これらの動作を制御することにより、光検出システム1の動作を制御するように構成される。
図2は、光検出部20の一構成例を表すものである。光検出部20は、光検出アレイ21と、クロック生成部22と、読出制御部23と、読出部24と、光検出制御部25とを有している。
光検出アレイ21は、マトリックス状に配置された複数の光検出ユニットUを有している。光検出ユニットUは、反射光パルスL1を検出することにより、複数の検出期間Pdetのそれぞれにおける反射光パルスL1の検出回数を示す検出値VALを生成するように構成される。
図3は、光検出部20の一実装例を表すものである。光検出部20は、この例では、2枚の半導体基板101,102に形成される。半導体基板101は、光検出部20の受光面S側に配置され、半導体基板102は、光検出部20の受光面S側とは反対側に配置される。半導体基板101,102は互いに重ね合わされる。半導体基板101の配線と、半導体基板102の配線とは、配線103により接続される。配線103は、例えばCu-Cuなどの金属結合などを用いることができる。光検出ユニットUは、例えば、これらの2枚の半導体基板101,102にわたって配置される。
図4は、光検出ユニットUの一構成例を表すものである。光検出ユニットUは、複数の受光部31(この例では2つの受光部31A,31B)と、複数のエッジ検出部40(この例では2つのエッジ検出部40A,40B)と、加算部33とを有している。なお、この例では、2つの受光部31および2つのエッジ検出部40を設けたが、これに限定されるものではなく、3以上の受光部31および3以上のエッジ検出部40を設けてもよい。
複数の受光部31のそれぞれは、光を検出することによりパルス信号PLSを生成するように構成される。具体的には、受光部31Aは、光を検出することによりパルス信号PLS(パルス信号PLSA)を生成し、生成したパルス信号PLSAをエッジ検出部40Aに供給する。また、受光部31Bは、光を検出することによりパルス信号PLS(パルス信号PLSB)を生成し、生成したパルス信号PLSBをエッジ検出部40Bに供給するようになっている。以下に、受光部31Aを例に挙げて説明する。なお、受光部31Bについても同様である。
図5は、受光部31Aの一構成例を表すものである。受光部31Aは、フォトダイオードPDと、トランジスタMP1~MP3,MN4と、インバータIV1~IV3と、遅延回路DELとを有している。トランジスタMP1~MP3はP型のMOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタであり、トランジスタMN4はN型のMOSトランジスタである。例えば、フォトダイオードPDは半導体基板101に形成され、トランジスタMP1~MP3,MN4、インバータIV1~IV3、および遅延回路DELは半導体基板102に形成される。
フォトダイオードPDは、光を電荷に変換する光電変換素子である。フォトダイオードPDのアノードには電源電圧VSSが供給され、カソードはトランジスタMP1のドレインおよびトランジスタMP3のゲートに接続される。フォトダイオードPDは、例えばアバランシェフォトダイオード(APD;Avalanche Photodiode)や、シングルフォトンアバランシェダイオード(SPAD;Single Photon Avalanche Diode)などを用いることができる。
トランジスタMP1のゲートは遅延回路DELの出力端子およびインバータIV3の入力端子に接続され、ソースには電源電圧VDD1が供給され、ドレインはフォトダイオードPDのカソードおよびトランジスタMP3のゲートに接続される。トランジスタMP2のゲートはインバータIV3の出力端子およびトランジスタMN4のゲートに接続され、ソースには電源電圧VDD2が供給され、ドレインはトランジスタMP3のソースに接続される。トランジスタMP3のゲートはフォトダイオードPDのカソードおよびトランジスタMP1のドレインに接続され、ソースはトランジスタMP2のドレインに接続され、ドレインはトランジスタMN4のドレインおよびインバータIV1の入力端子に接続される。トランジスタMN4のゲートはインバータIV3の出力端子およびトランジスタMP2のゲートに接続され、ドレインはトランジスタMP3のドレインおよびインバータIV1の入力端子に接続され、ソースは接地される。
インバータIV1の入力端子はトランジスタMP3のドレインおよびトランジスタMN4のドレインに接続され、出力端子はインバータIV2の入力端子および遅延回路DELの入力端子に接続される。インバータIV2の入力端子はインバータIV1の出力端子および遅延回路DELの入力端子に接続され、出力端子はこの受光部31Aの後段のエッジ検出部40Aに接続される。
遅延回路DELは、入力された信号を所定の時間(遅延時間Td)だけ遅延させ、遅延させた信号を出力するように構成される。遅延回路DELの入力端子はインバータIV1の出力端子およびインバータIV2の入力端子に接続され、出力端子はインバータIV3の入力端子およびトランジスタMP1のゲートに接続される。遅延時間Tdは、インバータIV2から出力されるパルス信号PLSAのパルス幅Tpwが、エッジ検出部40Aにおいてエッジを検出する検出期間Pdetの時間長以上になるように設定される。
インバータIV3の入力端子は遅延回路DELの出力端子およびトランジスタMP1のゲートに接続され、出力端子はトランジスタMP2,MN4のゲートに接続される。
図6は、受光部31Aの一動作例を表すものであり、(A)はフォトダイオードPDのカソード電圧V1の波形を示し、(B)はトランジスタMP3,MN4のドレインにおける電圧V2の波形を示し、(C)はインバータIV1の出力端子における電圧V3の波形を示し、(D)は遅延回路DELの出力端子における電圧V4の波形を示し、(E)はパルス信号PLSAの波形を示す。
フォトダイオードPDに光が入射すると、タイミングt1において、フォトダイオードPDのカソード電圧V1が電源電圧VDD1から低下し始める(図6(A))。そして、このカソード電圧V1の変化に基づいてトランジスタMP3がオフ状態からオン状態に変化し、電圧V2が低レベルから高レベルに変化する(図6(B))。この電圧V2の変化に基づいて、インバータIV1の出力端子における電圧V3は、タイミングt2において、高レベルから低レベルに向かって変化し始める(図6(C))。この電圧V3の変化に基づいて、パルス信号PLSAの電圧は、低レベルから高レベルに変化する(図6(E)))。
また、インバータIV1の電圧V3の変化に基づいて、遅延回路DELの出力端子における電圧V4は、タイミングt2から遅延回路DELの遅延時間Tdだけ経過したタイミングt3において、高レベルから低レベルに向かって変化し始める(図6(D))。この電圧V4の変化に基づいて、トランジスタMP1がオフ状態からオン状態に変化し、フォトダイオードPDのカソード電圧V1が電源電圧VDD1に向かって変化する(図6(A))。また、この電圧V4の変化に基づいてインバータIV3の出力端子の電圧が低レベルから高レベルに変化するので、トランジスタMP2がオン状態からオフ状態に変化するとともに、トランジスタMN4がオフ状態からオン状態に変化し、電圧V2が高レベルから低レベルに変化する(図6(B))。この電圧V2の変化に基づいて、インバータIV1の出力端子における電圧V3は、低レベルから高レベルに変化し(図6(C))、この電圧V3の変化に基づいて、パルス信号PLSAの電圧は、高レベルから低レベルに変化する(図6(E)))。そして、その後に、遅延回路DELの出力端子における電圧V4は、低レベルから高レベルに変化する(図6(D))。
このようにして、受光部31Aは、光を検出することによりパルス信号PLSAを生成する。パルス信号PLSAのパルス幅Tpwは、エッジ検出部40Aにおいてエッジを検出する検出期間Pdetの時間長以上になるように設定される。受光部31Aは、遅延回路DELが入力信号を遅延させることにより、このようなパルス幅Tpwを有するパルス信号PLSAを生成することができるようになっている。
複数のエッジ検出部40(図4)のそれぞれは、受光部31から供給されたパルス信号PLSのエッジを検出することにより検出信号DETを生成するように構成される。具体的には、エッジ検出部40Aは、受光部31Aから供給されたパルス信号PLSAのエッジを検出することにより検出信号DET(検出信号DETA)を生成し、生成した検出信号DETAを加算部33に供給する。また、エッジ検出部40Bは、受光部31Bから供給されたパルス信号PLSBのエッジを検出することにより検出信号DET(検出信号DETB)を生成し、生成した検出信号DETBを加算部33に供給するようになっている。例えば、複数のエッジ検出部40は半導体基板102に形成される。以下に、エッジ検出部40Aを例に挙げて説明する。
エッジ検出部40Aは、ラッチ41,42と、否定論理積(NAND)回路43,44と、ラッチ45とを有する。
ラッチ41,42,45は、イネーブル端子Eの信号に基づいて、データ端子Dの信号をラッチし、ラッチした結果を示す信号を出力端子Qから出力するように構成される。以下に、ラッチ41を例に挙げて説明する。なお、ラッチ42,45についても同様である。
図7は、ラッチ41の一構成例を表すものである。ラッチ41は、否定論理積回路96~99を有している。否定論理積回路96の第1の入力端子はラッチ41のデータ端子Dに接続され、第2の入力端子はラッチ41のイネーブル端子Eおよび否定論理積回路97の第2の入力端子に接続され、出力端子は否定論理積回路97の第1の入力端子および否定論理積回路98の第1の入力端子に接続される。否定論理積回路97の第1の入力端子は否定論理積回路96の出力端子および否定論理積回路98の第1の入力端子に接続され、第2の入力端子はラッチ41のイネーブル端子Eおよび否定論理積回路96の第2の入力端子に接続され、出力端子は否定論理積回路99の第2の入力端子に接続される。否定論理積回路98の第1の入力端子は否定論理積回路96の出力端子および否定論理積回路97の第1の入力端子に接続され、第2の入力端子は否定論理積回路99の出力端子に接続され、出力端子は否定論理積回路99の第1の入力端子およびラッチ41の出力端子Qに接続される。否定論理積回路99の第1の入力端子は否定論理積回路98の出力端子およびラッチ41の出力端子Qに接続され、第2の入力端子は否定論理積回路97の出力端子に接続され、出力端子は否定論理積回路98の第2の入力端子に接続される。
エッジ検出部40A(図4)において、ラッチ41のデータ端子Dにはパルス信号PLSAが供給され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKが供給され、出力端子Qはラッチ42のデータ端子Dおよび否定論理積回路43の第2の入力端子に接続される。ラッチ42のデータ端子Dはラッチ41の出力端子Qおよび否定論理積回路43の第2の入力端子に接続され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKの反転信号(以下クロック信号CLKBともいう)が供給され、出力端子Qは否定論理積回路43の第1の入力端子に接続される。否定論理積回路43の第1の入力端子はラッチ42の出力端子Qに接続され、第2の入力端子はラッチ41の出力端子Qおよびラッチ42のデータ端子Dに接続され、出力端子は否定論理積回路44の第2の入力端子に接続される。否定論理積回路44の第1の入力端子にはパルス信号PLSAが供給され、第2の入力端子は否定論理積回路43の出力端子に接続され、出力端子はラッチ45のデータ端子Dに接続される。ラッチ45のデータ端子Dは否定論理積回路44の出力端子に接続され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKが供給され、出力端子Qは加算部33に接続される。ラッチ45は、出力端子Qから検出信号DETAを出力する。
以上、エッジ検出部40Aについて説明したが、エッジ検出部40Bについても同様である。エッジ検出部40Bでは、ラッチ41のデータ端子Dおよび否定論理積回路44の第1の入力端子にはパルス信号PLSBが供給される。ラッチ45の出力端子Qは加算部33に接続される。このラッチ45は、出力端子Qから検出信号DETBを出力する。
この構成により、エッジ検出部40Aは、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETAを生成する。同様に、エッジ検出部40Bは、パルス信号PLSBの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETBを生成するようになっている。
加算部33は、エッジ検出部40Aにより生成された検出信号DETA、およびエッジ検出部40Bにより生成された検出信号DETBに基づいて、加算処理を行うことにより、複数の検出期間Pdetのそれぞれにおける反射光パルスL1の検出回数を示す検出値VALを生成するように構成される。例えば、加算部33は半導体基板102に形成される。加算部33は、加算回路34と、ラッチ部35とを有している。
加算回路34は、検出信号DETA,DETBにおけるエッジパルスPEの数を算出するように構成される。具体的には、加算回路34は、例えば、検出信号DETA,DETBのどちらにもエッジパルスPEが生じていない場合には“0”を出力し、検出信号DETA,DETBのうちの一方にエッジパルスPEが生じている場合には“1”を出力し、検出信号DETA,DETBの両方にエッジパルスPEが生じている場合には“2”を出力するようになっている。加算回路34は、例えば2ビットの信号を用いて、このような“0”~“2”の値をラッチ部35に供給するようになっている。
ラッチ部35は、クロック信号CLKの反転信号(クロック信号CLKB)に基づいて、加算回路34から出力された信号をラッチすることにより検出値VALを生成するように構成される。ラッチ部35は、2つのラッチを含む。この2つのラッチは、加算回路34から供給された2ビットの信号をラッチするようになっている。
クロック生成部22(図2)は、光検出制御部25からの指示に基づいてクロック信号CLKを生成し、このクロック信号CLKを光検出アレイ21における複数の光検出ユニットUに供給するように構成される。
読出制御部23は、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ21における複数の光検出ユニットUのそれぞれにおいて生成された検出値VALを読出部24に供給する動作を制御するように構成される。読出制御部23は、例えば、1行分の光検出ユニットUを順次選択し、選択された光検出ユニットUが検出値VALを読出部24に供給するように、複数の光検出ユニットUの動作を制御するようになっている。
読出部24は、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ21における複数の光検出ユニットUから供給された検出値VALを含むデータDTを生成し、生成したデータDTを出力するように構成される。
光検出制御部25は、制御部14(図1)からの指示に基づいて、クロック生成部22、読出制御部23、および読出部24に制御信号を供給し、これらの動作を制御することにより、光検出部20の動作を制御するように構成される。
ここで、受光部31は、本開示における「受光部」の一具体例に対応する。エッジ検出部40は、本開示における「エッジ検出部」の一具体例に対応する。加算部33は、本開示における「加算部」の一具体例に対応する。フォトダイオードPDは、本開示における「受光素子」の一具体例に対応する。パルス信号PLSは、本開示における「パルス信号」の一具体例に対応する。検出信号DETは、本開示における「検出信号」の一具体例に対応する。検出値VALは、本開示における「検出値」の一具体例に対応する。ラッチ41は、本開示における「第1のラッチ回路」の一具体例に対応する。ラッチ42は、本開示における「第2のラッチ回路」の一具体例に対応する。否定論理積回路43,44は、本開示における「組み合わせ回路」の一具体例に対応する。ラッチ45は、本開示における「第3のラッチ回路」の一具体例に対応する。
[動作および作用]
続いて、本実施の形態の光検出システム1の動作および作用について説明する。
続いて、本実施の形態の光検出システム1の動作および作用について説明する。
(全体動作概要)
まず、図1,2を参照して、光検出システム1の全体動作概要を説明する。発光部11は、制御部14からの指示に基づいて、検出対象物OBJに向かって光パルスL0を射出する。光学系12は、光検出部20の受光面Sにおいて像を結像させる。光検出部20は、制御部14からの指示に基づいて、反射光パルスL1を検出する。制御部14は、発光部11および光検出部20に制御信号を供給し、これらの動作を制御することにより、光検出システム1の動作を制御する。
まず、図1,2を参照して、光検出システム1の全体動作概要を説明する。発光部11は、制御部14からの指示に基づいて、検出対象物OBJに向かって光パルスL0を射出する。光学系12は、光検出部20の受光面Sにおいて像を結像させる。光検出部20は、制御部14からの指示に基づいて、反射光パルスL1を検出する。制御部14は、発光部11および光検出部20に制御信号を供給し、これらの動作を制御することにより、光検出システム1の動作を制御する。
光検出部20において、光検出アレイ21の光検出ユニットUは、反射光パルスL1を検出することにより、複数の検出期間Pdetのそれぞれにおける反射光パルスL1の検出回数を示す検出値VALを生成する。クロック生成部22は、光検出制御部25からの指示に基づいてクロック信号CLKを生成し、このクロック信号CLKを複数の光検出ユニットUに供給する。読出制御部23は、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ21における複数の光検出ユニットUのそれぞれにおいて生成された検出値VALを読出部24に供給する動作を制御する。読出部24は、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ21における複数の光検出ユニットUから供給された検出値VALを含むデータDTを生成し、生成したデータDTを出力する。光検出制御部25は、制御部14からの指示に基づいて、クロック生成部22、読出制御部23、および読出部24に制御信号を供給し、これらの動作を制御することにより、光検出部20の動作を制御する。
(詳細動作)
光検出ユニットU(図4)において、受光部31Aは、光を検出することによりパルス信号PLSAを生成し、生成したパルス信号PLSAをエッジ検出部40Aに供給する。エッジ検出部40Aは、パルス信号PLSAのエッジを検出することにより検出信号DETAを生成し、生成した検出信号DETAを加算部33に供給する。受光部31Bは、光を検出することによりパルス信号PLSBを生成し、生成したパルス信号PLSBをエッジ検出部40Bに供給する。エッジ検出部40Bは、パルス信号PLSBのエッジを検出することにより検出信号DETBを生成し、生成した検出信号DETBを加算部33に供給する。加算部33は、エッジ検出部40Aにより生成された検出信号DETA、およびエッジ検出部40Bにより生成された検出信号DETBに基づいて、加算処理を行うことにより、検出値VALを生成する。以下に、この動作について詳細に説明する。
光検出ユニットU(図4)において、受光部31Aは、光を検出することによりパルス信号PLSAを生成し、生成したパルス信号PLSAをエッジ検出部40Aに供給する。エッジ検出部40Aは、パルス信号PLSAのエッジを検出することにより検出信号DETAを生成し、生成した検出信号DETAを加算部33に供給する。受光部31Bは、光を検出することによりパルス信号PLSBを生成し、生成したパルス信号PLSBをエッジ検出部40Bに供給する。エッジ検出部40Bは、パルス信号PLSBのエッジを検出することにより検出信号DETBを生成し、生成した検出信号DETBを加算部33に供給する。加算部33は、エッジ検出部40Aにより生成された検出信号DETA、およびエッジ検出部40Bにより生成された検出信号DETBに基づいて、加算処理を行うことにより、検出値VALを生成する。以下に、この動作について詳細に説明する。
図8は、光検出ユニットUの一動作例を表すものであり、(A)は発光部11から射出された光の波形を示し、(B)はクロック信号CLKの波形を示し、(C)はパルス信号PLSAの波形を示し、(D)はエッジ検出部40Aのラッチ41から出力された信号S41の波形を示し、(E)はエッジ検出部40Aのラッチ42から出力された信号S42の波形を示し、(F)は検出信号DETAの波形を示し、(G)は検出値VALを示す信号の波形を示す。クロック信号CLKの1周期は、エッジ検出部40A,40Bにおける検出期間Pdetである。
タイミングt11~t13の期間において、発光部11は、制御部14からの指示に基づいて光パルスL0を検出対象物OBJに向かって射出する(図8(A))。この光パルスL0の一部は、検出対象物OBJにより反射される。そして、反射光パルスL1が光学系12を介して光検出部20に入射する。受光部31Aは、この反射光パルスL1を検出することによりパルス信号PLSAを生成する(図8(C))。このパルス信号PLSAは、タイミングt12から始まるパルスP1と、タイミングt18から始まるパルスP2を含んでいる。
エッジ検出部40Aのラッチ41は、クロック信号CLKが高レベルである場合に、パルス信号PLSAを取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKが低レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、信号S41を生成する(図8(B),(C),(D))。これにより、信号S41は、クロック信号CLKが高レベルである期間におけるタイミングt12において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、クロック信号CLKが高レベルである期間におけるタイミングt15において、パルス信号PLSAの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。また、信号S41は、パルス信号PLSAが立ち上がった後のタイミングt19において、クロック信号CLKの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、パルス信号PLSAが立ち下がった後のタイミングt22において、クロック信号CLKの立ち上がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する
エッジ検出部40Aのラッチ42は、クロック信号CLKが低レベルである場合に、信号S41を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、信号S42を生成する(図8(B),(C),(E))。これにより、信号S42は、信号S41が立ち上がった後のタイミングt13において、クロック信号CLKの立ち下がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、信号S41が立ち下がった後のタイミングt16において、クロック信号CLKの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。また、信号S42は、信号S41が立ち上がった後のタイミングt20において、クロック信号CLKの立ち下がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、信号S41が立ち下がった後のタイミングt23において、クロック信号CLKの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。
エッジ検出部40Aのラッチ45は、クロック信号CLKが高レベルである場合に、否定論理積回路44から出力された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKが低レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出信号DETAを生成する(図8(F))。
これにより、検出信号DETAは、クロック信号CLKが高レベルである期間におけるタイミングt12において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化し、タイミングt14において、クロック信号CLKの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化する。検出信号DETAにおけるこのパルス(エッジパルスPE1)は、パルス信号PLSAにおけるパルスP1(図8(C))の立ち上がりエッジに基づくパルスである。パルス信号PLSAのパルスP1が開始するタイミングt12は、タイミングt11~t13の検出期間Pdetの期間内のタイミングであるので、検出信号DETAのエッジパルスPE1は、この検出期間Pdetの終了タイミングt13をまたぐ。
また、検出信号DETAは、パルス信号PLSAが立ち上がった後のタイミングt19において、クロック信号CLKの立ち上がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化し、タイミングt22において、クロック信号CLKの立ち下がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化する。検出信号DETAにおけるこのパルス(エッジパルスPE2)は、パルス信号PLSAにおけるパルスP2(図8(C))の立ち上がりエッジに基づくパルスである。パルス信号PLSAのパルスP2が開始するタイミングt18は、タイミングt17~t20の検出期間Pdetの期間内のタイミングであるので、検出信号DETAのエッジパルスPE2は、この検出期間Pdetの終了タイミングt20をまたぐ。
このように、検出信号DETAにおけるエッジパルスPEは、検出期間Pdetの終了タイミングをまたぐ。よって、エッジ検出部40A,40Bの後段の加算部33は、エッジ検出部40A,40Bにより生成されたエッジパルスPEに基づいて、このタイミングにおいて正しく加算処理を行うことができる。また、エッジパルスPEは、その検出期間Pdetの次の検出期間Pdetにおいて終了する。具体的には、タイミングt12から始まるエッジパルスPE1は、このタイミングt12を含む検出期間Pdetの次の検出期間Pdet(タイミングt13~t16)の期間内のタイミングt14において終了する。よって、例えば、1つのエッジパルスPEがダブルカウントされるおそれを低減することができる。
このようにして、受光部31Aは、反射光パルスL1を検出することによりパルス信号PLSAを生成し、エッジ検出部40Aは、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETAを生成する。
同様に、受光部31Bは、反射光パルスL1を検出することによりパルス信号PLSBを生成し、エッジ検出部40Bは、パルス信号PLSBの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETBを生成する。
そして、加算部33の加算回路34は、検出信号DETA,DETBにおけるエッジパルスPEの数を算出する。具体的には、加算回路34は、例えば、検出信号DETA,DETBのどちらにもエッジパルスPEが生じていない場合には“0”を出力し、検出信号DETA,DETBのうちの一方にエッジパルスPEが生じている場合には“1”を出力し、検出信号DETA,DETBの両方にエッジパルスPEが生じている場合には“2”を出力する。そして、ラッチ部35は、クロック信号CLKが低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALを生成する(図8(G))。これにより、加算部33は、クロック信号CLKの立ち下がりエッジに基づいて、検出値VALを生成する。上述したように、検出信号DETAのエッジパルスPE(図8(F))は、検出期間Pdetの終了タイミングをまたぐ。検出信号DETBについても同様である。検出期間Pdetの終了タイミングは、クロック信号CLKの立ち下がりエッジのタイミングである。よって、加算部33は、クロック信号CLKの立ち下がりエッジのタイミングにおいて、正しく加算処理を行うことができる。
このようにして、光検出アレイ21における複数の光検出ユニットUのそれぞれは、反射光パルスL1を検出することにより検出値VALを生成する。読出部24は、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ21における複数の光検出ユニットUから供給された検出値VALを含むデータDTを生成し、生成したデータDTを出力する。
光検出システム1の後段の回路は、例えば、このデータDTに含まれる、ある光検出ユニットUにより得られた、各検出期間Pdetにおける検出値VALに基づいて、発光部11が光パルスL0を射出してから、その光検出ユニットUが反射光パルスL1を検出するまでの時間を計測することができ、その時間に基づいて検出対象物OBJまでの距離を計測することができる。
このように、光検出システム1では、複数のエッジ検出部40のそれぞれにおいて、クロック信号CLKに基づいてパルス信号PLSをラッチすることにより第1の信号(信号S41)を生成する第1のラッチ回路(ラッチ41)と、クロック信号CLKの反転信号であるクロック信号CLKBに基づいて第1の信号(信号S41)をラッチすることにより第2の信号(信号S42)を生成する第2のラッチ回路(ラッチ42)と、パルス信号PLS、第1の信号(信号S41)、および第2の信号(信号S42)に基づいて第3の信号を生成する組み合わせ回路(否定論理積回路43,44)と、クロック信号CLKに基づいて第3の信号をラッチすることにより検出信号DETを生成する第3のラッチ回路(ラッチ45)とを設けるようにした。これにより、例えば、特許文献1に記載の技術と比べて、回路面積を小さくすることができる。すなわち、特許文献1では、エッジ検出部は2つのフリップフロップ(すなわち4つのラッチ)を有するので、回路面積が大きくなるおそれがある。一方、本実施の形態に係る光検出システム1では、3つのラッチで済むので、回路面積を小さくすることができる。これにより、例えば、光検出部20のサイズを小さくすることができる。あるいは、光検出アレイ21に、より多くの光検出ユニットUを設けることができるので、解像度を高めることができる。
また、光検出システム1では、パルス信号PLSのパルス幅Tpwが検出期間Pdetの時間幅以上になるようにした。具体的には、光検出システム1では、遅延回路DELを設けることにより、パルス幅Tpwが検出期間Pdetの時間幅以上になるようにした。これにより、エッジ検出部40が、パルス信号PLSのエッジを正常に検出することができるため、光検出システム1の検出精度が低下するおそれを低減することができる。すなわち、例えば、パルス信号PLSのパルス幅Tpwが狭い場合には、エッジ検出部40は、パルス信号PLSのエッジを正常に検出できない場合があり得る。その場合には、光検出システム1における検出精度が低下してしまう。一方、光検出システム1では、パルス信号PLSのパルス幅Tpwが検出期間Pdetの時間幅以上になるようにした。これにより、光検出システム1では、エッジ検出部40がパルス信号PLSのエッジを正常に検出することができるため、検出精度が低下するおそれを低減することができる。
[効果]
以上のように本実施の形態では、複数のエッジ検出部のそれぞれにおいて、クロック信号に基づいてパルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第1のラッチ回路と、クロック信号の反転信号に基づいて第1の信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、パルス信号、第1の信号、および第2の信号に基づいて第3の信号を生成する組み合わせ回路と、クロック信号に基づいて第3の信号をラッチすることにより検出信号を生成する第3のラッチ回路とを設けるようにしたので、回路面積を小さくすることができる。
以上のように本実施の形態では、複数のエッジ検出部のそれぞれにおいて、クロック信号に基づいてパルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第1のラッチ回路と、クロック信号の反転信号に基づいて第1の信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、パルス信号、第1の信号、および第2の信号に基づいて第3の信号を生成する組み合わせ回路と、クロック信号に基づいて第3の信号をラッチすることにより検出信号を生成する第3のラッチ回路とを設けるようにしたので、回路面積を小さくすることができる。
本実施の形態では、パルス信号のパルス幅が検出期間の時間幅以上になるようにしたので、検出精度が低下するおそれを低減することができる。
[変形例1-1]
上記実施の形態では、加算部33が、複数の検出期間Pdetのそれぞれにおいて、エッジパルスPEの数を算出することにより検出値VALを生成したが、これに限定されるものではなく、例えば、複数の検出期間PdetにおけるエッジパルスPEの数を算出してもよい。以下に、本変形例について、いくつか例を挙げて詳細に説明する。
上記実施の形態では、加算部33が、複数の検出期間Pdetのそれぞれにおいて、エッジパルスPEの数を算出することにより検出値VALを生成したが、これに限定されるものではなく、例えば、複数の検出期間PdetにおけるエッジパルスPEの数を算出してもよい。以下に、本変形例について、いくつか例を挙げて詳細に説明する。
本変形例に係る光検出システム1Aは、上記実施の形態に係る光検出システム1(図1)と同様に、光検出部20Aを備えている。光検出部20Aは、上記実施の形態に係る光検出部20(図2)と同様に、光検出アレイ21Aと、読出制御部23Aと、読出部24Aとを有している。
図9は、光検出アレイ21Aにおける光検出ユニットUの一例を表すものである。光検出ユニットUは、カウント部36を有している。カウント部36は、複数の検出期間Pdetにわたり、加算部33により生成された検出値VALに基づいて累積加算処理を行うことにより、累積値VAL1を生成するように構成される。カウント部36は、加算回路37と、フリップフロップ(F/F)部38とを有している。加算回路37は、加算部33により生成された検出値VALと、フリップフロップ部38が保持している値(累積値VAL1)とを加算するように構成される。フリップフロップ部38は、クロック信号CLKの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングし、サンプリングした結果を累積値VAL1として保持するように構成される。フリップフロップ部38は、複数のフリップフロップを含む。このフリップフロップは、例えば、図10に示すように、否定論理積回路51~58と、インバータ59とを有している。このフリップフロップは、マスタスレーブ型のフリップフロップであり、否定論理積回路51~54はマスタラッチを構成し、否定論理積回路55~58はスレーブラッチを構成する。フリップフロップ部38は、例えば、複数の検出期間Pdetを含む期間Aが経過する度にリセットされる。ここで、加算回路37およびフリップフロップ部38は、本開示における「累積加算部」の一具体例に対応する。累積値VAL1は、本開示における「累積値」の一具体例に対応する。
読出制御部23Aは、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ21Aにおける複数の光検出ユニットUのそれぞれにおいて生成された累積値VAL1を読出部24Aに供給する動作を制御するように構成される。
読出部24Aは、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ21Aにおける複数の光検出ユニットUから供給された累積値VAL1を含むデータDTを生成し、生成したデータDTを出力するように構成される。
このように、光検出システム1Aでは、検出値VALに基づいて累積加算処理を行うことにより、検出値VALの累積値VAL1を生成するようにした。これにより、光検出システム1Aでは、例えば、複数の検出期間Pdetを含む期間Aを単位として、発光部11が光パルスL0を射出してから、その光検出ユニットUが反射光パルスL1を検出するまでの時間を計測することができる。
本変形例に係る他の光検出システム1Bは、上記実施の形態に係る光検出システム1(図1)と同様に、光検出部20Bを備えている。光検出部20Bは、上記実施の形態に係る光検出部20(図2)と同様に、光検出アレイ21Bと、読出制御部23Bと、読出部24Bとを有している。
図11は、光検出アレイ21Bにおける光検出ユニットUの一例を表すものである。光検出ユニットUは、カウント部46を有している。カウント部46は、複数の検出期間Pdetにわたり、加算部33により生成された検出値VALに基づいて累積加算処理を行うことにより、カウント値CNTを生成するように構成される。カウント部46は、加算回路37と、フリップフロップ部48と、カウンタ49とを有している。フリップフロップ部48は、フリップフロップ部38と同様に、クロック信号CLKの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングし、サンプリングした結果を累積値VAL1として保持するように構成される。また、フリップフロップ部48は、累積値VAL1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCをアクティブにする機能を有している。カウンタ49は、このキャリーフラグFCに基づいて、カウント値CNTをインクリメントするように構成される。すなわち、カウント部46では、フリップフロップ部48が下位のカウンタとして動作し、カウンタ49は上位のカウンタとして動作する。フリップフロップ部48およびカウンタ49は、複数の検出期間Pdetを含む期間Aが経過する度にリセットされる。なお、この例では、カウント値CNTは、カウンタ49のカウント値であるとしたが、これに限定されるものではなく、カウンタ49のカウント値を上位ビットとして含むとともに、累積値VAL1を下位ビットとして含んでもよい。ここで、加算回路37およびフリップフロップ部48は、本開示における「累積加算部」の一具体例に対応する。カウンタ49は、本開示における「カウンタ」の一具体例に対応する。
読出制御部23Bは、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ21Bにおける複数の光検出ユニットUのそれぞれにおいて生成されたカウント値CNTを読出部24Bに供給する動作を制御するように構成される。
読出部24Bは、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ21Bにおける複数の光検出ユニットUから供給されたカウント値CNTを含むデータDTを生成し、生成したデータDTを出力するように構成される。
このように、光検出システム1Bでは、検出値VALに基づいて累積加算処理を行うことにより、検出値VALの累積値であるカウント値CNTを生成するようにした。これにより、光検出システム1Bでは、例えば、複数の検出期間Pdetを含む期間Aを単位として、発光部11が光パルスL0を射出してから、その光検出ユニットUが反射光パルスL1を検出するまでの時間を計測することができる。特に、光検出システム1Bでは、例えば、光検出システム1Aに比べて期間Aをより長く設定することにより、カウントのレンジを広げることができる。
[変形例1-2]
上記実施の形態では、図4に示したように、エッジ検出部40は否定論理積回路43,44を有するようにしたが、これに限定されるものではなく、これに代えて、同様な論理動作を行う様々な組み合わせ回路を有するようにしてもよい。
上記実施の形態では、図4に示したように、エッジ検出部40は否定論理積回路43,44を有するようにしたが、これに限定されるものではなく、これに代えて、同様な論理動作を行う様々な組み合わせ回路を有するようにしてもよい。
[その他の変形例]
これらの変形例のうちの2以上を組み合わせてもよい。
これらの変形例のうちの2以上を組み合わせてもよい。
<2.第2の実施の形態>
次に、第2の実施の形態に係る光検出システム2について説明する。本実施の形態は、2つの加算部を設け、エッジ検出部が生成したエッジパルスPEを、2つの加算部のうちの、エッジパルスPEが生成された検出期間Pdetに応じた加算部に供給するように構成される。なお、上記第1の実施の形態に係る光検出システム1と実質的に同一の構成部分には同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
次に、第2の実施の形態に係る光検出システム2について説明する。本実施の形態は、2つの加算部を設け、エッジ検出部が生成したエッジパルスPEを、2つの加算部のうちの、エッジパルスPEが生成された検出期間Pdetに応じた加算部に供給するように構成される。なお、上記第1の実施の形態に係る光検出システム1と実質的に同一の構成部分には同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
光検出システム2は、上記第1の実施の形態に係る光検出システム1(図1)と同様に、光検出部60を備えている。光検出部60は、上記第1の実施の形態に係る光検出部20(図2)と同様に、光検出アレイ61と、読出制御部63と、読出部64とを有している。
図12は、光検出アレイ61における光検出ユニットUの一例を表すものである。光検出ユニットUは、複数の受光部31(この例では2つの受光部31A,31B)と、複数のエッジ検出部70(この例では2つのエッジ検出部70A,70B)と、2つの加算部33A,33Bとを有している。なお、この例では、2つの受光部31および2つのエッジ検出部70を設けたが、これに限定されるものではなく、3以上の受光部31および3以上のエッジ検出部70を設けてもよい。
エッジ検出部70Aは、受光部31Aから供給されたパルス信号PLSAのエッジを検出することにより検出信号DETA1,DETA2を生成し、検出信号DETA1を加算部33Aに供給するとともに、検出信号DETA2を加算部33Bに供給するように構成される。エッジ検出部70Bは、受光部31Bから供給されたパルス信号PLSBのエッジを検出することにより検出信号DETB1,DETB2を生成し、検出信号DETB1を加算部33Aに供給するとともに、検出信号DETB2を加算部33Bに供給するように構成される。
エッジ検出部70Aは、ラッチ71,72と、インバータ73と、否定論理和(NOR)回路74,75と、ラッチ76,77とを有する。ラッチ71,72,76,77は、上記第1の実施の形態に係るラッチ41(図7)と同様の回路構成を有する。
エッジ検出部70Aにおいて、ラッチ71のデータ端子Dにはパルス信号PLSAが供給され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKが供給され、出力端子Qは否定論理和回路74の第2の入力端子に接続される。ラッチ72のデータ端子Dにはパルス信号PLSAが供給され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKの反転信号(クロック信号CLKB)が供給され、出力端子Qは否定論理和回路75の第2の入力端子に接続される。インバータ73の入力端子にはパルス信号PLSAが供給され、出力端子は否定論理和回路74の第1の入力端子および否定論理和回路75の第1の入力端子に接続される。否定論理和回路74の第1の入力端子はインバータ73の出力端子および否定論理和回路75の第1の入力端子に接続され、第2の入力端子はラッチ71の出力端子Qに接続され、出力端子はラッチ76のデータ端子Dに接続される。否定論理和回路75の第1の入力端子はインバータ73の出力端子および否定論理和回路74の第1の入力端子に接続され、第2の入力端子はラッチ72の出力端子Qに接続され、出力端子はラッチ77のデータ端子Dに接続される。ラッチ76のデータ端子Dは否定論理和回路74の出力端子に接続され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKの反転信号(クロック信号CLKB)が供給され、出力端子Qは加算部33Aに接続される。ラッチ76は、出力端子Qから検出信号DETA1を出力する。ラッチ77のデータ端子Dは否定論理和回路75の出力端子に接続され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKが供給され、出力端子Qは加算部33Bに接続される。ラッチ77は、出力端子Qから検出信号DETA2を出力する。
以上、エッジ検出部70Aについて説明したが、エッジ検出部70Bについても同様である。エッジ検出部70Bでは、ラッチ71,72のデータ端子Dおよびインバータ73の入力端子にはパルス信号PLSBが供給される。ラッチ76の出力端子Qは加算部33Aに接続され、ラッチ77の出力端子Qは加算部33Bに接続される。ラッチ76は、出力端子Qから検出信号DETB1を出力し、ラッチ77は、出力端子Qから検出信号DETB2を出力する。
この構成により、エッジ検出部70Aは、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETA1,DETA2を生成する。同様に、エッジ検出部70Bは、パルス信号PLSBの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETB1,DETB2を生成するようになっている。
加算部33Aは、エッジ検出部70Aにより生成された検出信号DETA1、およびエッジ検出部70Bにより生成された検出信号DETB1に基づいて、加算処理を行うことにより、検出値VALAを生成するように構成される。加算部33Aは、加算回路34と、ラッチ部35Aとを有している。ラッチ部35Aは、クロック信号CLKが高レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKが低レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALAを生成するように構成される。
同様に、加算部33Bは、エッジ検出部70Aにより生成された検出信号DETA2、およびエッジ検出部70Bにより生成された検出信号DETB2に基づいて、加算処理を行うことにより、検出値VALBを生成するように構成される。加算部33Bは、加算回路34と、ラッチ部35Bとを有している。ラッチ部35Bは、クロック信号CLKが低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALBを生成するように構成される。
読出制御部63は、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ61における複数の光検出ユニットUのそれぞれにおいて生成された検出値VALA、VALBを読出部64に供給する動作を制御するように構成される。
読出部64は、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ61における複数の光検出ユニットUから供給された検出値VALA,VALBを含むデータDTを生成し、生成したデータDTを出力するように構成される。
ここで、エッジ検出部70は、本開示における「エッジ検出部」の一具体例に対応する。加算部33Aは、本開示における「第1の加算部」の一具体例に対応する。加算部33Bは、本開示における「第2の加算部」の一具体例に対応する。ラッチ71は、本開示における「第1のラッチ回路」の一具体例に対応する。ラッチ72は、本開示における「第2のラッチ回路」の一具体例に対応する。インバータ73および否定論理和回路74は、本開示における「第1の組み合わせ回路」の一具体例に対応する。インバータ73および否定論理和回路75は、本開示における「第2の組み合わせ回路」の一具体例に対応する。ラッチ76は、本開示における「第3のラッチ回路」の一具体例に対応する。ラッチ77は、本開示における「第4のラッチ回路」の一具体例に対応する。
図13は、光検出ユニットUの一動作例を表すものであり、(A)は発光部11から射出された光の波形を示し、(B)はクロック信号CLKの波形を示し、(C)はパルス信号PLSAの波形を示し、(D)はエッジ検出部70Aのラッチ72から出力された信号S72の波形を示し、(E)はエッジ検出部70Aのラッチ71から出力された信号S71の波形を示し、(F)は検出信号DETA2の波形を示し、(G)は検出信号DETA1の波形を示し、(H)は検出値VALAを示す信号の波形を示し、(I)は検出値VALBを示す信号の波形を示す。クロック信号CLKの半周期は、エッジ検出部70A,70Bにおける検出期間Pdetである。具体的には、クロック信号CLKが低レベルである期間は検出期間Pdet1であり、クロック信号CLKが高レベルである期間は検出期間Pdet2である。
タイミングt31~t33の期間において、発光部11は、制御部14からの指示に基づいて光パルスL0を検出対象物OBJに向かって射出する(図13(A))。この光パルスL0の一部は、検出対象物OBJにより反射される。そして、反射光パルスL1が光学系12を介して光検出部20に入射する。受光部31Aは、この反射光パルスL1を検出することによりパルス信号PLSAを生成する(図13(C))。このパルス信号PLSAは、タイミングt32から始まるパルスP3と、タイミングt37から始まるパルスP4を含んでいる。
エッジ検出部70Aのラッチ71は、クロック信号CLKが高レベルである場合に、パルス信号PLSAを取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKが低レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、信号S71を生成する(図13(B),(C),(E))。これにより、信号S71は、パルス信号PLSAが立ち上がった後のタイミングt33において、クロック信号CLKの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、クロック信号CLKが高レベルである期間におけるタイミングt34において、パルス信号PLSAの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。また、信号S71は、クロック信号CLKが高レベルである期間におけるタイミングt37において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、パルス信号PLSAが立ち下がった後のタイミングt40において、クロック信号CLKの立ち上がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。
エッジ検出部70Aのラッチ76は、クロック信号CLKが低レベルである場合に、否定論理和回路74から出力された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出信号DETA1を生成する(図13(G))。これにより、検出信号DETA1は、クロック信号CLKが低レベルである期間におけるタイミングt32において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、タイミングt35において、クロック信号CLKの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。検出信号DETA1におけるこのパルス(エッジパルスPE3)は、パルス信号PLSAにおけるパルスP3(図13(C))の立ち上がりエッジに基づくパルスである。パルス信号PLSAのパルスP3が開始するタイミングt32は、タイミングt31~t33の検出期間Pdet1の期間内のタイミングであるので、検出信号DETA1のエッジパルスPE3は、この検出期間Pdet1の終了タイミングt33をまたぐ。
エッジ検出部70Aのラッチ72は、クロック信号CLKが低レベルである場合に、パルス信号PLSAを取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、信号S72を生成する(図13(B),(C),(D))。これにより、信号S72は、クロック信号CLKが低レベルである期間におけるタイミングt32において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、パルス信号PLSAが立ち下がった後のタイミングt35において、クロック信号CLKの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。また、信号S72は、パルス信号PLSAが立ち上がった後のタイミングt38において、クロック信号CLKの立ち下がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、クロック信号CLKが低レベルである期間におけるタイミングt39において、パルス信号PLSAの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。
エッジ検出部70Aのラッチ77は、クロック信号CLKが高レベルである場合に、否定論理和回路75から出力された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKが低レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出信号DETA2を生成する(図13(F))。これにより、検出信号DETA2は、クロック信号CLKが高レベルである期間におけるタイミングt37において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、タイミングt40において、クロック信号CLKの立ち上がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。検出信号DETA2におけるこのパルス(エッジパルスPE4)は、パルス信号PLSAにおけるパルスP4(図13(C))の立ち上がりエッジに基づくパルスである。パルス信号PLSAのパルスP4が開始するタイミングt37は、タイミングt36~t38の検出期間Pdet2の期間内のタイミングであるので、検出信号DETA2のエッジパルスPE4は、この検出期間Pdet2の終了タイミングt38をまたぐ。
このようにして、受光部31Aは、反射光パルスL1を検出することによりパルス信号PLSAを生成する。エッジ検出部70Aは、検出期間Pdet1においてパルス信号PLSAの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETA1を生成し、検出期間Pdet2においてパルス信号PLSAの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETA2を生成する。
同様に、受光部31Bは、反射光パルスL1を検出することによりパルス信号PLSBを生成する。エッジ検出部70Bは、検出期間Pdet1においてパルス信号PLSBの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETB1を生成し、検出期間Pdet2においてパルス信号PLSBの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETB2を生成する。
そして、加算部33Aの加算回路34は、検出信号DETA1,DETB1におけるエッジパルスPEの数を算出する。そして、ラッチ部35Aは、クロック信号CLKが高レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKが低レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALAを生成する(図13(H))。これにより、加算部33Aは、クロック信号CLKの立ち上がりエッジに基づいて、検出値VALAを生成する。上述したように、検出信号DETA1のエッジパルスPE(図13(G))は、検出期間Pdet1の終了タイミングをまたぐ。検出信号DETB1についても同様である。検出期間Pdet1の終了タイミングは、クロック信号CLKの立ち上がりエッジのタイミングである。よって、加算部33Aは、クロック信号CLKの立ち上がりエッジのタイミングにおいて、正しく加算処理を行うことができる。
同様に、加算部33Bの加算回路34は、検出信号DETA2,DETB2におけるエッジパルスPEの数を算出する。そして、ラッチ部35Bは、クロック信号CLKが低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALBを生成する(図13(I))。これにより、加算部33Bは、クロック信号CLKの立ち下がりエッジに基づいて、検出値VALBを生成する。上述したように、検出信号DETA2のエッジパルスPE(図13(F))は、検出期間Pdet2の終了タイミングをまたぐ。検出信号DETB2についても同様である。検出期間Pdet2の終了タイミングは、クロック信号CLKの立ち下がりエッジのタイミングである。よって、加算部33Aは、クロック信号CLKの立ち下がりエッジのタイミングにおいて、正しく加算処理を行うことができる。
このように、加算部33Aは、検出期間Pdet1におけるエッジパルスPEに基づいて加算処理を行うことにより検出値VALAを生成し、加算部33Bは、検出期間Pdet2におけるエッジパルスPEに基づいて加算処理を行うことにより検出値VALBを生成する。
このようにして、光検出アレイ61における複数の光検出ユニットUのそれぞれは、反射光パルスL1を検出することにより検出値VALA,VALBを生成する。読出部64は、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ61における複数の光検出ユニットUから供給された検出値VALA,VALBを含むデータDTを生成し、生成したデータDTを出力する。
このように、光検出システム2では、複数のエッジ検出部70のそれぞれにおいて、クロック信号CLKに基づいてパルス信号PLSをラッチすることにより第1の信号(信号S71)を生成する第1のラッチ回路(ラッチ71)と、クロック信号CLKの反転信号であるクロック信号CLKBに基づいてパルス信号PLSをラッチすることにより第2の信号(信号S72)を生成する第2のラッチ回路(ラッチ72)と、パルス信号PLSおよび第1の信号(信号S71)に基づいて第3の信号を生成する第1の組み合わせ回路(否定論理和回路74)と、パルス信号PLSおよび第2の信号(信号S72)に基づいて第4の信号を生成する第2の組み合わせ回路(否定論理和回路75)とを設けるようにした。これにより、光検出システム2では、エッジ検出部70が生成したエッジパルスPEを、検出期間Pdetに応じて2つの加算部33A,33Bのいずれかに供給する場合でも、回路数を減らすことができるので、回路面積を小さくすることができる。
また、光検出システム2では、上記第1の実施の形態の場合と同様に、パルス信号PLSのパルス幅Tpwが検出期間Pdetの時間幅以上になるようにしたので、エッジ検出部70がパルス信号PLSのエッジを正常に検出することができるため、検出精度が低下するおそれを低減することができる。
以上のように本実施の形態では、複数のエッジ検出部のそれぞれにおいて、クロック信号に基づいてパルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第1のラッチ回路と、クロック信号の反転信号に基づいてパルス信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、パルス信号および第1の信号に基づいて第3の信号を生成する第1の組み合わせ回路と、パルス信号および第2の信号に基づいて第4の信号を生成する第2の組み合わせ回路とを設けるようにしたので、生成したエッジパルスを、検出期間tに応じて2つの加算部のいずれかに供給する場合でも、回路面積を小さくすることができる。
本実施の形態では、パルス信号のパルス幅が検出期間の時間幅以上になるようにしたので、検出精度が低下するおそれを低減することができる。
[変形例2-1]
上記実施の形態では、2つの加算部33のそれぞれが、加算処理を行うことにより検出値VALを生成したが、例えば、上記第1の実施の形態の変形例1と同様に、複数の検出期間Pdet1におけるエッジパルスPEの数を算出するとともに、複数の検出期間Pdet2におけるエッジパルスPEの数を算出してもよい。以下に、本変形例に係る光検出システム2Bについて詳細に説明する。
上記実施の形態では、2つの加算部33のそれぞれが、加算処理を行うことにより検出値VALを生成したが、例えば、上記第1の実施の形態の変形例1と同様に、複数の検出期間Pdet1におけるエッジパルスPEの数を算出するとともに、複数の検出期間Pdet2におけるエッジパルスPEの数を算出してもよい。以下に、本変形例に係る光検出システム2Bについて詳細に説明する。
光検出システム2Bは、上記実施の形態に係る光検出システム2と同様に、光検出部60Bを備えている。光検出部60Bは、上記実施の形態に係る光検出部60と同様に、光検出アレイ61Bと、読出制御部63Bと、読出部64Bとを有している。
図14は、光検出アレイ61Bにおける光検出ユニットUの一例を表すものである。光検出ユニットUは、カウント部46A,46Bを有している。
カウント部46Aは、複数の検出期間Pdet1にわたり、加算部33Aにより生成された検出値VALAに基づいて累積加算処理を行うことにより、カウント値CNTAを生成するように構成される。カウント部46Aは、加算回路37と、フリップフロップ部48Aと、カウンタ49とを有している。フリップフロップ部48Aは、クロック信号CLKの立ち上がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングし、サンプリングした結果を累積値VAL1として保持するように構成される。また、フリップフロップ部48Aは、累積値VAL1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCをアクティブにする機能を有している。カウンタ49は、このキャリーフラグFCに基づいて、カウント値CNTAをインクリメントするように構成される。なお、この例では、カウント値CNTAは、カウンタ49のカウント値であるとしたが、これに限定されるものではなく、カウンタ49のカウント値を上位ビットとして含むとともに、累積値VAL1を下位ビットとして含んでもよい。
同様に、カウント部46Bは、複数の検出期間Pdet2にわたり、加算部33Bにより生成された検出値VALAに基づいて累積加算処理を行うことにより、カウント値CNTBを生成するように構成される。カウント部46Aは、加算回路37と、フリップフロップ部48Bと、カウンタ49とを有している。フリップフロップ部48Bは、クロック信号CLKの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングし、サンプリングした結果を累積値VAL1として保持するように構成される。また、フリップフロップ部48Aは、累積値VAL1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCをアクティブにする機能を有している。カウンタ49は、このキャリーフラグFCに基づいて、カウント値CNTBをインクリメントするように構成される。なお、この例では、カウント値CNTBは、カウンタ49のカウント値であるとしたが、これに限定されるものではなく、カウンタ49のカウント値を上位ビットとして含むとともに、累積値VAL1を下位ビットとして含んでもよい。
読出制御部63Bは、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ61Bにおける複数の光検出ユニットUのそれぞれにおいて生成されたカウント値CNTA,CNTBを読出部64Bに供給する動作を制御するように構成される。
読出部64Bは、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ61Bにおける複数の光検出ユニットUから供給されたカウント値CNTA,CNTBを含むデータDTを生成し、生成したデータDTを出力するように構成される。
[変形例2-2]
上記実施の形態では、光検出ユニットUが1つのクロック信号CLKに基づいて動作を行うようにしたが、これに限定されるものではなく、例えば、2つのクロック信号CLKに基づいて動作を行うようにしてもよい。以下に、本変形例に係る光検出システム2Cについて詳細に説明する。
上記実施の形態では、光検出ユニットUが1つのクロック信号CLKに基づいて動作を行うようにしたが、これに限定されるものではなく、例えば、2つのクロック信号CLKに基づいて動作を行うようにしてもよい。以下に、本変形例に係る光検出システム2Cについて詳細に説明する。
光検出システム2Cは、上記実施の形態に係る光検出システム2と同様に、光検出部60Cを備えている。光検出部60Cは、上記実施の形態に係る光検出部60と同様に、光検出アレイ61Cと、クロック生成部62Cと、読出制御部63Cと、読出部64Cとを有している。
図15は、光検出アレイ61Cにおける光検出ユニットUの一例を表すものである。光検出ユニットUは、エッジ検出部80A,80Bと、加算部93A,93Bとを有している。
エッジ検出部80Aは、ラッチ81,82と、インバータ73と、否定論理和回路74,75と、ラッチ86,87とを有する。ラッチ81のデータ端子Dにはパルス信号PLSAが供給され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLK2の反転信号(クロック信号CLK2B)が供給され、出力端子Qは否定論理和回路74の第2の入力端子に接続される。ラッチ82のデータ端子Dにはパルス信号PLSAが供給され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLK1の反転信号(クロック信号CLK1B)が供給され、出力端子Qは否定論理和回路75の第2の入力端子に接続される。ラッチ86のデータ端子Dは否定論理和回路74の出力端子に接続され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLK2が供給され、出力端子Qは加算部93Aに接続される。ラッチ86は、出力端子Qから検出信号DETA1を出力する。ラッチ87のデータ端子Dは否定論理和回路75の出力端子に接続され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLK1が供給され、出力端子Qは加算部93Bに接続される。ラッチ87は、出力端子Qから検出信号DETA2を出力する。
以上、エッジ検出部80Aについて説明したが、エッジ検出部80Bについても同様である。エッジ検出部80Bでは、ラッチ81,82のデータ端子Dにはパルス信号PLSBが供給される。ラッチ86の出力端子Qは加算部93Aに接続され、ラッチ87の出力端子Qは加算部93Bに接続される。ラッチ86は、出力端子Qから検出信号DETB1を出力し、ラッチ87は、出力端子Qから検出信号DETB2を出力する。
加算部93Aは、加算回路34と、ラッチ部35とを有している。ラッチ部35は、クロック信号CLK2が低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLK2が高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALAを生成するように構成される。
同様に、加算部93Bは、加算回路34と、ラッチ部35とを有している。ラッチ部35は、クロック信号CLK1が低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLK1が高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALBを生成するように構成される。
クロック生成部62Cは、光検出制御部25からの指示に基づいてクロック信号CLK1,CLK2を生成し、このクロック信号CLK1,CLK2を光検出アレイ61Cにおける複数の光検出ユニットUに供給するように構成される。
読出制御部63Cは、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ61Cにおける複数の光検出ユニットUのそれぞれにおいて生成された検出値VALA,VALBを読出部64Cに供給する動作を制御するように構成される。
読出部64Cは、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ61Cにおける複数の光検出ユニットUから供給された検出値VALA,VALBを含むデータDTを生成し、生成したデータDTを出力するように構成される。
例えば、クロック信号CLK2を、クロック信号CLK1の反転信号にした場合には、この光検出ユニットUは、上記第2の実施の形態に係る光検出ユニットUと同様に動作することができる。本変形例では、クロック信号CLK1,CLK2の波形を変更することにより、動作の自由度を高めることができる。
[変形例2-3]
上記実施の形態では、図12に示したように、エッジ検出部70はインバータ73および否定論理和回路74,75を有するようにしたが、これに限定されるものではなく、これに代えて、同様な論理動作を行う様々な組み合わせ回路を有するようにしてもよい。
上記実施の形態では、図12に示したように、エッジ検出部70はインバータ73および否定論理和回路74,75を有するようにしたが、これに限定されるものではなく、これに代えて、同様な論理動作を行う様々な組み合わせ回路を有するようにしてもよい。
[その他の変形例]
これらの変形例のうちの2以上を組み合わせてもよい。
これらの変形例のうちの2以上を組み合わせてもよい。
<3.第3の実施の形態>
次に、第3の実施の形態に係る光検出システム3について説明する。本実施の形態は、4相のクロック信号を生成するとともに、この4相のクロック信号に基づく4つの検出期間Pdetのそれぞれにおいて、エッジパルスPEをカウントするように構成される。なお、上記第2の実施の形態に係る光検出システム2と実質的に同一の構成部分には同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
次に、第3の実施の形態に係る光検出システム3について説明する。本実施の形態は、4相のクロック信号を生成するとともに、この4相のクロック信号に基づく4つの検出期間Pdetのそれぞれにおいて、エッジパルスPEをカウントするように構成される。なお、上記第2の実施の形態に係る光検出システム2と実質的に同一の構成部分には同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
光検出システム3は、上記第2の実施の形態に係る光検出システム2と同様に、光検出部160を備えている。光検出部160は、上記第2の実施の形態に係る光検出部60と同様に、光検出アレイ161と、クロック生成部162と、読出制御部163と、読出部164とを有している。
図16は、光検出アレイ161における光検出ユニットUの一例を表すものである。光検出ユニットUは、論理和(OR)回路168,169と、複数の受光部31(この例では2つの受光部31A,31B)と、複数のエッジ検出部170(この例では2つのエッジ検出部170A,170B)と、2つの加算部33BD,33ACと、2つのカウント部190BD,190ACとを有している。なお、この例では、2つの受光部31および2つのエッジ検出部170を設けたが、これに限定されるものではなく、3以上の受光部31および3以上のエッジ検出部170を設けてもよい。光検出ユニットUには、4相のクロック信号を構成するクロック信号CLKA,CLKB,CLKC,CLKDが供給される。
論理和回路168は、クロック信号CLKA,CLKCの論理和を求めることによりクロック信号CLKACを生成するように構成される。論理和回路169は、クロック信号CLKB,CLKDの論理和を求めることによりクロック信号CLKBDを生成するように構成される。
エッジ検出部170Aは、受光部31Aから供給されたパルス信号PLSAのエッジを検出することにより検出信号DETA1,DETA2を生成し、検出信号DETA1を加算部33BDに供給するとともに、検出信号DETA2を加算部33ACに供給するように構成される。エッジ検出部170Bは、受光部31Bから供給されたパルス信号PLSBのエッジを検出することにより検出信号DETB1,DETB2を生成し、検出信号DETB1を加算部33BDに供給するとともに、検出信号DETB2を加算部33ACに供給するように構成される。
エッジ検出部170Aは、ラッチ171,172と、インバータ73と、否定論理和回路74,75と、ラッチ176,177とを有する。ラッチ171,172,176,177は、上記第1の実施の形態に係るラッチ41(図7)と同様の回路構成を有する。
エッジ検出部170Aにおいて、ラッチ171のデータ端子Dにはパルス信号PLSAが供給され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKBDの反転信号が供給され、出力端子Qは否定論理和回路74の第2の入力端子に接続される。ラッチ172のデータ端子Dにはパルス信号PLSAが供給され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKACの反転信号が供給され、出力端子Qは否定論理和回路75の第2の入力端子に接続される。ラッチ176のデータ端子Dは否定論理和回路74の出力端子に接続され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKBDが供給され、出力端子Qは加算部33BDに接続される。ラッチ176は、出力端子Qから検出信号DETA1を出力する。ラッチ177のデータ端子Dは否定論理和回路75の出力端子に接続され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKACが供給され、出力端子Qは加算部33ACに接続される。ラッチ177は、出力端子Qから検出信号DETA2を出力する。
以上、エッジ検出部170Aについて説明したが、エッジ検出部170Bについても同様である。エッジ検出部170Bでは、ラッチ171,172のデータ端子Dおよびインバータ73の入力端子にはパルス信号PLSBが供給される。ラッチ176の出力端子Qは加算部33BDに接続され、ラッチ177の出力端子Qは加算部33ACに接続される。ラッチ176は、出力端子Qから検出信号DETB1を出力し、ラッチ177は、出力端子Qから検出信号DETB2を出力する。
加算部33ACは、エッジ検出部170Aにより生成された検出信号DETA2、およびエッジ検出部170Bにより生成された検出信号DETB2に基づいて、加算処理を行うことにより、検出値VALACを生成するように構成される。加算部33ACは、加算回路34と、ラッチ部35とを有している。ラッチ部35は、クロック信号CLKACが低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKACが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALACを生成するように構成される。
同様に、加算部33BDは、エッジ検出部170Aにより生成された検出信号DETA1、およびエッジ検出部170Bにより生成された検出信号DETB1に基づいて、加算処理を行うことにより、検出値VALBDを生成するように構成される。加算部33BDは、加算回路34と、ラッチ部35とを有している。ラッチ部35は、クロック信号CLKBDが低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKBDが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALBDを生成するように構成される。
カウント部190ACは、加算部33ACにより生成された検出値VALACに基づいて、累積加算処理を行うことにより、カウント値CNTA,CNTCを生成するように構成される。
図17Aは、カウント部190ACの一構成例を表すものである。カウント部190ACは、加算回路37と、フリップフロップ(F/F)部192と、スイッチ193と、論理積(AND)回路194と、カウンタ195と、フリップフロップ(F/F)部196と、スイッチ197と、論理積回路198と、カウンタ199とを有している。加算回路37は、加算部33ACにより生成された検出値VALACと、フリップフロップ部192が保持している値(累積値VALA1)またはフリップフロップ部196が保持している値(累積値VALC1)とを加算するように構成される。フリップフロップ部192は、クロック信号CLKCの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングし、サンプリングした結果を累積値VALA1として保持するように構成される。また、フリップフロップ部192は、累積値VALA1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCAをアクティブにする機能を有している。スイッチ193は、クロック信号CLKCに基づいて、フリップフロップ部192が保持している累積値VALA1の加算回路37への供給をオンオフするように構成される。論理積回路194の第1の入力端子にはフリップフロップ部192により生成されたキャリーフラグFCAが供給され、第2の入力端子にはクロック信号CLKAが供給され、出力端子はカウンタ195の入力端子に接続される。カウンタ195は、論理積回路194から出力された信号に基づいてカウント値CNTAをインクリメントするように構成される。フリップフロップ部196は、クロック信号CLKAの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングし、サンプリングした結果を累積値VALC1として保持するように構成される。また、フリップフロップ部196は、累積値VALC1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCCをアクティブにする機能を有している。スイッチ197は、クロック信号CLKAに基づいて、フリップフロップ部196が保持している累積値VALC1の加算回路37への供給をオンオフするように構成される。論理積回路198の第1の入力端子にはフリップフロップ部196により生成されたキャリーフラグFCCが供給され、第2の入力端子にはクロック信号CLKCが供給され、出力端子はカウンタ199の入力端子に接続される。カウンタ199は、論理積回路198から出力された信号に基づいてカウント値CNTCをインクリメントするように構成される。
カウント部190BD(図16)は、加算部33BDにより生成された検出値VALBDに基づいて累積加算処理を行うことにより、カウント値CNTB,CNTDを生成するように構成される。
図17Bは、カウント部190BDの一構成例を表すものである。カウント部190BDは、加算回路37と、フリップフロップ(F/F)部192と、スイッチ193と、論理積回路194と、カウンタ195と、フリップフロップ(F/F)部196と、スイッチ197と、論理積回路198と、カウンタ199とを有している。加算回路37は、加算部33BDにより生成された検出値VALBDと、フリップフロップ部192が保持している値(累積値VALB1)またはフリップフロップ部196が保持している値(累積値VALD1)とを加算するように構成される。フリップフロップ部192は、クロック信号CLKDの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングし、サンプリングした結果を累積値VALB1として保持するように構成される。また、フリップフロップ部192は、累積値VALB1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCBをアクティブにする機能を有している。スイッチ193は、クロック信号CLKDに基づいて、フリップフロップ部192が保持している累積値VALB1の加算回路37への供給をオンオフするように構成される。論理積回路194の第1の入力端子にはフリップフロップ部192により生成されたキャリーフラグFCBが供給され、第2の入力端子にはクロック信号CLKBが供給され、出力端子はカウンタ195の入力端子に接続される。カウンタ195は、論理積回路194から出力された信号に基づいてカウント値CNTBをインクリメントするように構成される。フリップフロップ部196は、クロック信号CLKBの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングし、サンプリングした結果を累積値VALD1として保持するように構成される。また、フリップフロップ部196は、累積値VALD1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCDをアクティブにする機能を有している。スイッチ197は、クロック信号CLKBに基づいて、フリップフロップ部196が保持している累積値VALD1の加算回路37への供給をオンオフするように構成される。論理積回路198の第1の入力端子にはフリップフロップ部196により生成されたキャリーフラグFCDが供給され、第2の入力端子にはクロック信号CLKDが供給され、出力端子はカウンタ199の入力端子に接続される。カウンタ199は、論理積回路198から出力された信号に基づいてカウント値CNTDをインクリメントするように構成される。
クロック生成部162は、光検出制御部25からの指示に基づいて4相のクロック信号を構成するクロック信号CLKA,CLKB,CLKC,CLKDを生成し、このクロック信号CLKA~CLKDを光検出アレイ161における複数の光検出ユニットUに供給するように構成される。
読出制御部163は、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ161における複数の光検出ユニットUのそれぞれにおいて生成されたカウント値CNTA,CNTB,CNTC,CNTDを読出部164に供給する動作を制御するように構成される。
読出部164は、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ161における複数の光検出ユニットUから供給されたカウント値CNTA,CNTB,CNTC,CNTDを含むデータDTを生成し、生成したデータDTを出力するように構成される。
図18は、光検出ユニットUの一動作例を表すものであり、(A)は発光部11から射出された光の波形を示し、(B)~(E)はクロック信号CLKA~CLKDの波形をそれぞれ示し、(F)はパルス信号PLSAの波形を示し、(G)はエッジ検出部170Aのラッチ172から出力された信号S172の波形を示し、(H)はエッジ検出部170Aのラッチ171から出力された信号S171の波形を示し、(I)は検出信号DETA2の波形を示し、(J)は検出信号DETA1の波形を示し、(K)は検出値VALACを示す信号の波形を示し、(L)は累積値VALA1を示す信号の波形を示し、(M)は累積値VALC1を示す信号の波形を示し、(N)はカウント部190ACの論理積回路194から出力される信号S194Aの波形を示し、(O)はカウント部190ACの論理積回路198から出力される信号S198Cの波形を示し、(P)はカウント値CNTAを示す信号の波形を示し、(Q)はカウント値CNTCを示す信号の波形を示し、(R)はは検出値VALBDを示す信号の波形を示し、(S)は累積値VALB1を示す信号の波形を示し、(T)は累積値VALD1を示す信号の波形を示し、(U)はカウント部190BDの論理積回路194から出力される信号S194Bの波形を示し、(V)はカウント部190BDの論理積回路198から出力される信号S198Dの波形を示し、(W)はカウント値CNTBを示す信号の波形を示し、(X)はカウント値CNTDを示す信号の波形を示す。クロック信号CLKA~CLKDの周期の1/4は、エッジ検出部170A,170Bにおける検出期間Pdetである。具体的には、クロック信号CLKAが高レベルである期間は検出期間PdetAであり、クロック信号CLKBが高レベルである期間は検出期間PdetBであり、クロック信号CLKCが高レベルである期間は検出期間PdetCであり、クロック信号CLKDが高レベルである期間は検出期間PdetDである。
タイミングt51~t53の期間およびタイミングt59~t60の期間において、発光部11は、制御部14からの指示に基づいて光パルスL0を検出対象物OBJに向かって射出する(図18(A))。この光パルスL0の一部は、検出対象物OBJにより反射される。そして、反射光パルスL1が光学系12を介して光検出部20に入射する。受光部31Aは、この反射光パルスL1を検出することによりパルス信号PLSAを生成する(図18(F))。このパルス信号PLSAは、タイミングt52から始まるパルスP5と、タイミングt56から始まるパルスP6と、タイミングt61から始まるパルスP7とを含んでいる。
エッジ検出部170Aのラッチ172は、クロック信号CLKACが低レベルである場合に、パルス信号PLSAを取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKACが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、信号S172を生成する(図18(B),(D),(F),(G))。これにより、信号S172は、パルス信号PLSAが立ち上がった後のタイミングt53において、クロック信号CLKAの立ち下がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、クロック信号CLKAおよびクロック信号CLKCがともに低レベルである期間におけるタイミングt54において、パルス信号PLSAの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。また、信号S172は、パルス信号PLSAが立ち上がった後のタイミングt57において、クロック信号CLKCの立ち下がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、クロック信号CLKAおよびクロック信号CLKCがともに低レベルである期間におけるタイミングt58において、パルス信号PLSAの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。また、信号S172は、クロック信号CLKAおよびクロック信号CLKCがともに低レベルである期間におけるタイミングt61において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、クロック信号CLKAおよびクロック信号CLKCがともに低レベルである期間におけるタイミングt63において、パルス信号PLSAの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。
エッジ検出部170Aのラッチ177は、クロック信号CLKACが高レベルである場合に、否定論理和回路75から出力された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKACが低レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出信号DETA2を生成する(図18(I))。
これにより、検出信号DETA2は、クロック信号CLKAが高レベルである期間におけるタイミングt52において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、タイミングt55において、クロック信号CLKCの立ち上がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。この検出信号DETA2におけるパルス(エッジパルスPE5)は、パルス信号PLSAにおけるパルスP5(図18(F))の立ち上がりエッジに基づくパルスである。パルス信号PLSAのパルスP5が開始するタイミングt52は、タイミングt51~t53の検出期間PdetAの期間内のタイミングであるので、検出信号DETA2のエッジパルスPE5は、この検出期間PdetAの終了タイミングt53をまたぐ。
また、検出信号DETA2は、クロック信号CLKCが高レベルである期間におけるタイミングt56において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、タイミングt59において、クロック信号CLKAの立ち上がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。検出信号DETA2におけるこのパルス(エッジパルスPE6)は、パルス信号PLSAにおけるパルスP6(図18(F))の立ち上がりエッジに基づくパルスである。パルス信号PLSAのパルスP6が開始するタイミングt56は、タイミングt55~t57の検出期間PdetCの期間内のタイミングであるので、検出信号DETA2のエッジパルスPE6は、この検出期間PdetCの終了タイミングt57をまたぐ。
エッジ検出部170Aのラッチ171は、クロック信号CLKBDが低レベルである場合に、パルス信号PLSAを取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKBDが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、信号S171を生成する(図18(C),(E),(F),(H))。これにより、信号S171は、クロック信号CLKBおよびクロック信号CLKDがともに低レベルである期間におけるタイミングt52において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、パルス信号PLSAが立ち下がった後のタイミングt55において、クロック信号CLKBの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。また、信号S171は、クロック信号CLKBおよびクロック信号CLKDがともに低レベルである期間におけるタイミングt56において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、パルス信号PLSAが立ち下がった後のタイミングt59において、クロック信号CLKDの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。また、信号S171は、パルス信号PLSAが立ち上がった後のタイミングt62において、クロック信号CLKBの立ち下がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、パルス信号PLSAが立ち下がった後のタイミングt64において、クロック信号CLKDの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。
エッジ検出部170Aのラッチ176は、クロック信号CLKBDが高レベルである場合に、否定論理和回路74から出力された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKBDが低レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出信号DETA1を生成する(図18(J))。これにより、検出信号DETA1は、クロック信号CLKBが高レベルである期間におけるタイミングt61において、パルス信号PLSの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、タイミングt63において、クロック信号CLKDの立ち上がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。検出信号DETA1におけるこのパルス(エッジパルスPE7)は、パルス信号PLSAにおけるパルスP7(図18(F))の立ち上がりエッジに基づくパルスである。パルス信号PLSAのパルスP7が開始するタイミングt61は、タイミングt60~t62の検出期間PdetBの期間内のタイミングであるので、検出信号DETA1のエッジパルスPE7は、この検出期間PdetBの終了タイミングt62をまたぐ。
このようにして、受光部31Aは、反射光パルスL1を検出することによりパルス信号PLSAを生成する。エッジ検出部170Aは、検出期間PdetA,PdetCにおいてパルス信号PLSAの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETA2を生成し、検出期間PdetB,PdetDにおいてパルス信号PLSAの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETA1を生成する。
同様に、受光部31Bは、受光部31Aは、反射光パルスL1を検出することによりパルス信号PLSBを生成する。エッジ検出部170Bは、検出期間PdetA,PdetCにおいてパルス信号PLSBの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETB2を生成し、検出期間PdetB,PdetDにおいてパルス信号PLSBの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETB1を生成する。
そして、加算部33ACの加算回路34は、検出信号DETA2,DETB2におけるエッジパルスPEの数を算出する。そして、ラッチ部35は、クロック信号CLKACが低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKACが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALACを生成する(図18(K))。これにより、加算部33ACは、クロック信号CLKAの立ち下がりエッジ、およびクロック信号CLKCの立ち下がりエッジに基づいて、検出値VALACを生成する。
同様に、加算部33BDの加算回路34は、検出信号DETA1,DETB1におけるエッジパルスPEの数を算出する。そして、ラッチ部35は、クロック信号CLKBDが低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKBDが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALBDを生成する(図18(R))。これにより、加算部33BDは、クロック信号CLKBの立ち下がりエッジ、およびクロック信号CLKDの立ち下がりエッジに基づいて、検出値VALBDを生成する。
そして、カウント部190ACにおいて、スイッチ193は、クロック信号CLKCに基づいて検出期間PdetCにおいてオン状態になり、加算回路37は、この検出期間PdetCにおいて、加算部33ACにより生成された検出値VALACと、フリップフロップ部192が保持している累積値VALA1とを加算する。そして、フリップフロップ部192は、クロック信号CLKCの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングすることにより累積値VALA1を生成する(図18(L))。また、フリップフロップ部192は、累積値VALA1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCAをアクティブにする。論理積回路194は、クロック信号CLKAに基づいて、検出期間PdetAにおいて、このキャリーフラグFCAを信号S194Aとして出力する(図18(N))。カウンタ195は、この信号S194Aに基づいてカウント値CNTAをインクリメントする(図18(P))。
同様に、カウント部190ACにおいて、スイッチ197は、クロック信号CLKAに基づいて検出期間PdetAにおいてオン状態になり、加算回路37は、この検出期間PdetAにおいて、加算部33ACにより生成された検出値VALACと、フリップフロップ部196が保持している累積値VALC1とを加算する。そして、フリップフロップ部196は、クロック信号CLKAの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングすることにより累積値VALC1を生成する(図18(M))。また、フリップフロップ部196は、累積値VALC1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCCをアクティブにする。論理積回路198は、クロック信号CLKCに基づいて、検出期間PdetCにおいて、このキャリーフラグFCCを信号S198Cとして出力する(図18(O))。カウンタ199は、この信号S198Cに基づいてカウント値CNTCをインクリメントする(図18(Q))。
同様に、カウント部190BDにおいて、スイッチ193は、クロック信号CLKDに基づいて検出期間PdetDにおいてオン状態になり、加算回路37は、この検出期間PdetDにおいて、加算部33BDにより生成された検出値VALBDと、フリップフロップ部192が保持している累積値VALB1とを加算する。そして、フリップフロップ部192は、クロック信号CLKDの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングすることにより累積値VALB1を生成する(図18(S))。また、フリップフロップ部192は、累積値VALB1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCBをアクティブにする。論理積回路194は、クロック信号CLKBに基づいて、検出期間PdetBにおいて、このキャリーフラグFCBを信号S194Bとして出力する(図18(U))。カウンタ195は、この信号S194Bに基づいてカウント値CNTBをインクリメントする(図18(W))。
同様に、カウント部190BDにおいて、スイッチ197は、クロック信号CLKBに基づいて検出期間PdetBにおいてオン状態になり、加算回路37は、この検出期間PdetBにおいて、加算部33BDにより生成された検出値VALBDと、フリップフロップ部196が保持している累積値VALD1とを加算する。そして、フリップフロップ部196は、クロック信号CLKBの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングすることにより累積値VALD1を生成する(図18(T))。また、フリップフロップ部196は、累積値VALD1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCDをアクティブにする。論理積回路198は、クロック信号CLKDに基づいて、検出期間PdetDにおいて、このキャリーフラグFCDを信号S198Dとして出力する(図18(V))。カウンタ199は、この信号S198Dに基づいてカウント値CNTDをインクリメントする(図18(X))。
このように、カウント部190ACは、加算部33ACにより生成された検出値VALACに基づいて、累積加算処理を行うことにより、カウント値CNTA,CNTCを生成し、カウント部190BDは、加算部33BDにより生成された検出値VALBDに基づいて累積加算処理を行うことにより、カウント値CNTB,CNTDを生成する。
このように、光検出システム3では、複数のエッジ検出部170のそれぞれにおいて、クロック信号CLKBDに基づいてパルス信号PLSをラッチすることにより第1の信号(信号S171)を生成する第1のラッチ回路(ラッチ171)と、クロック信号CLKACに基づいてパルス信号PLSをラッチすることにより第2の信号(信号S172)を生成する第2のラッチ回路(ラッチ172)と、パルス信号PLSおよび第1の信号(信号S171)に基づいて第3の信号を生成する第1の組み合わせ回路(否定論理和回路74)と、パルス信号PLSおよび第2の信号(信号S172)に基づいて第4の信号を生成する第2の組み合わせ回路(否定論理和回路75)とを設けるようにした。これにより、エッジ検出部170が生成したエッジパルスPEを、検出期間Pdetに応じて、2つの加算部33AC,33BDのいずれかに供給する場合でも、回路数を減らすことができるので、回路面積を小さくすることができる。
また、光検出システム3では、検出値VALACに基づいて累積加算処理を行うことにより、検出値VALAの累積値であるカウント値CNTA、および検出値VALCの累積値であるカウント値CNTCを生成するようにした。同様に、光検出システム3では、検出値VALBDに基づいて累積加算処理を行うことにより、検出値VALBの累積値であるカウント値CNTB、および検出値VALDの累積値であるカウント値CNTDを生成するようにした。これにより、複数の検出期間Pdet1における検出値VALAの累積値を算出し、複数の検出期間Pdet2における検出値VALBの累積値を算出し、複数の検出期間Pdet3における検出値VALCの累積値を算出し、複数の検出期間Pdet4における検出値VALDの累積値を算出することができる。その結果、光検出システム3では、カウントのレンジを広げることができるので、光検出システム3の検出精度を高めることができる。
以上のように本実施の形態では、複数のエッジ検出部のそれぞれにおいて、クロック信号に基づいてパルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第1のラッチ回路と、他のクロック信号に基づいてパルス信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、パルス信号および第1の信号に基づいて第3の信号を生成する第1の組み合わせ回路と、パルス信号および第2の信号に基づいて第4の信号を生成する第2の組み合わせ回路とを設けるようにしたので、生成したエッジパルスを、検出期間に応じて2つの加算部のいずれかに供給する場合でも、回路面積を小さくすることができる。その他の効果は、上記第2の実施の形態の場合と同様である。
<4.第4の実施の形態>
次に、第4の実施の形態に係る光検出システム4について説明する。本実施の形態は、上記第3の実施の形態の方法とは異なる方法で、4相のクロック信号に基づく4つの検出期間Pdetのそれぞれにおいて、エッジパルスPEをカウントするように構成される。なお、上記第3の実施の形態に係る光検出システム3と実質的に同一の構成部分には同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
次に、第4の実施の形態に係る光検出システム4について説明する。本実施の形態は、上記第3の実施の形態の方法とは異なる方法で、4相のクロック信号に基づく4つの検出期間Pdetのそれぞれにおいて、エッジパルスPEをカウントするように構成される。なお、上記第3の実施の形態に係る光検出システム3と実質的に同一の構成部分には同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
光検出システム3は、上記第2の実施の形態に係る光検出システム2と同様に、光検出部260を備えている。光検出部260は、上記第3の実施の形態に係る光検出部160と同様に、光検出アレイ261と、クロック生成部262と、読出制御部263と、読出部264とを有している。
図19は、光検出アレイ261における光検出ユニットUの一例を表すものである。光検出ユニットUは、複数の受光部31(この例では2つの受光部31A,31B)と、複数のエッジ検出部270(この例では2つのエッジ検出部270A,270B)と、4つの加算部33A,33B,33C,33Dと、4つのカウント部290A,290B,290C,290Dとを有している。なお、この例では、2つの受光部31および2つのエッジ検出部270を設けたが、これに限定されるものではなく、3以上の受光部31および3以上のエッジ検出部270を設けてもよい。光検出ユニットUには、4相のクロック信号を構成するクロック信号CLKA,CLKB,CLKC,CLKDが供給される。
エッジ検出部270Aは、受光部31Aから供給されたパルス信号PLSAのエッジを検出することにより検出信号DETA1,DETA2,DETA3,DETA4を生成し、検出信号DETA1~DETA4を加算部33A~33Dにそれぞれ供給するように構成される。エッジ検出部270Bは、受光部31Bから供給されたパルス信号PLSBのエッジを検出することにより検出信号DETB1,DETB2,DETB3,DETB4を生成し、検出信号DETB1~DETB4を加算部33A~33Dにそれぞれ供給するように構成される。
エッジ検出部270Aは、ラッチ271,272,273,274と、インバータ275と、否定論理和回路276,277,278,279と、ラッチ281,282,283,284とを有する。ラッチ271~274,281~284は、上記第1の実施の形態に係るラッチ41(図7)と同様の回路構成を有する。
エッジ検出部270Aにおいて、ラッチ271のデータ端子Dにはパルス信号PLSAが供給され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKAの反転信号が供給され、出力端子Qは否定論理和回路276の第2の入力端子に接続される。ラッチ272のデータ端子Dにはパルス信号PLSAが供給され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKBの反転信号が供給され、出力端子Qは否定論理和回路277の第2の入力端子に接続される。ラッチ273のデータ端子Dにはパルス信号PLSAが供給され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKCの反転信号が供給され、出力端子Qは否定論理和回路278の第2の入力端子に接続される。ラッチ274のデータ端子にはパルス信号PLSAが供給され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKDの反転信号が供給され、出力端子Qは否定論理和回路279の第2の入力端子に接続される。インバータ275の入力端子にはパルス信号PLSAが供給され、出力端子は否定論理和回路276の第1の入力端子、否定論理和回路277の第1の入力端子、否定論理和回路278の第1の入力端子、および否定論理和回路279の第1の入力端子に接続される。否定論理和回路276の第1の入力端子はインバータ275の出力端子、否定論理和回路277の第1の入力端子、否定論理和回路278の第1の入力端子、および否定論理和回路279の第1の入力端子に接続され、第2の入力端子はラッチ271の出力端子Qに接続され、出力端子はラッチ281のデータ端子Dに接続される。否定論理和回路277の第1の入力端子はインバータ275の出力端子、否定論理和回路276の第1の入力端子、否定論理和回路278の第1の入力端子、および否定論理和回路279の第1の入力端子に接続され、第2の入力端子はラッチ272の出力端子Qに接続され、出力端子はラッチ282のデータ端子Dに接続される。否定論理和回路278の第1の入力端子はインバータ275の出力端子、否定論理和回路276の第1の入力端子、否定論理和回路277の第1の入力端子、および否定論理和回路279の第1の入力端子に接続され、第2の入力端子はラッチ273の出力端子Qに接続され、出力端子はラッチ283のデータ端子Dに接続される。否定論理和回路279の第1の入力端子はインバータ275の出力端子、否定論理和回路276の第1の入力端子、否定論理和回路277の第1の入力端子、および否定論理和回路278の第1の入力端子に接続され、第2の入力端子はラッチ274の出力端子Qに接続され、出力端子はラッチ284のデータ端子Dに接続される。ラッチ281のデータ端子Dは否定論理和回路276の出力端子に接続され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKAが供給され、出力端子Qは加算部33Aに接続される。ラッチ281は、出力端子Qから検出信号DETA1を出力する。ラッチ282のデータ端子Dは否定論理和回路277の出力端子に接続され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKBが供給され、出力端子Qは加算部33Bに接続される。ラッチ282は、出力端子Qから検出信号DETA2を出力する。ラッチ283のデータ端子Dは否定論理和回路278の出力端子に接続され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKCが供給され、出力端子Qは加算部33Cに接続される。ラッチ283は、出力端子Qから検出信号DETA3を出力する。ラッチ284のデータ端子Dは否定論理和回路279の出力端子に接続され、イネーブル端子Eにはクロック信号CLKDが供給され、出力端子Qは加算部33Dに接続される。ラッチ284は、出力端子Qから検出信号DETA4を出力する。
以上、エッジ検出部270Aについて説明したが、エッジ検出部270Bについても同様である。エッジ検出部270Bでは、ラッチ271~274のデータ端子Dおよびインバータ275の入力端子にはパルス信号PLSBが供給される。ラッチ281の出力端子Qは加算部33Aに接続され、ラッチ282の出力端子Qは加算部33Bに接続され、ラッチ283の出力端子Qは加算部33Cに接続され、ラッチ284の出力端子Qは加算部33Dに接続される。ラッチ281は、出力端子Qから検出信号DETB1を出力し、ラッチ282は、出力端子Qから検出信号DETB2を出力し、ラッチ283は、出力端子Qから検出信号DETB3を出力し、ラッチ284は、出力端子Qから検出信号DETB4を出力する。
加算部33Aは、エッジ検出部270Aにより生成された検出信号DETA1、およびエッジ検出部270Bにより生成された検出信号DETB1に基づいて、加算処理を行うことにより、検出値VALAを生成するように構成される。加算部33Aは、加算回路34と、ラッチ部35とを有している。ラッチ部35は、クロック信号CLKAが低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKAが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALAを生成するように構成される。
同様に、加算部33Bは、エッジ検出部270Aにより生成された検出信号DETA2、およびエッジ検出部270Bにより生成された検出信号DETB2に基づいて、加算処理を行うことにより、検出値VALBを生成するように構成される。加算部33Bは、加算回路34と、ラッチ部35とを有している。ラッチ部35は、クロック信号CLKBが低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKBが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALBを生成するように構成される。
同様に、加算部33Cは、エッジ検出部270Aにより生成された検出信号DETA3、およびエッジ検出部270Bにより生成された検出信号DETB3に基づいて、加算処理を行うことにより、検出値VALCを生成するように構成される。加算部33Cは、加算回路34と、ラッチ部35とを有している。ラッチ部35は、クロック信号CLKCが低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKCが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALCを生成するように構成される。
同様に、加算部33Dは、エッジ検出部270Aにより生成された検出信号DETA4、およびエッジ検出部270Bにより生成された検出信号DETB4に基づいて、加算処理を行うことにより、検出値VALDを生成するように構成される。加算部33Dは、加算回路34と、ラッチ部35とを有している。ラッチ部35は、クロック信号CLKDが低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKDが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALDを生成するように構成される。
カウント部290Aは、加算部33Aにより生成された検出値VALAに基づいて、累積加算処理を行うことにより、カウント値CNTAを生成するように構成される。カウント部290Aは、加算回路37と、フリップフロップ(F/F)部48と、カウンタ49とを有している。加算回路37は、加算部33Aにより生成された検出値VALAと、フリップフロップ部48が保持している値(累積値VALA1)とを加算するように構成される。フリップフロップ部48は、クロック信号CLKAの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングし、サンプリングした結果を累積値VALA1として保持するように構成される。また、フリップフロップ部48は、累積値VALA1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCAをアクティブにする機能を有している。カウンタ49は、フリップフロップ部48により生成されたキャリーフラグFCAに基づいてカウント値CNTAをインクリメントするように構成される。
同様に、カウント部290Bは、加算部33Bにより生成された検出値VALBに基づいて、累積加算処理を行うことにより、カウント値CNTBを生成するように構成される。カウント部290Aは、加算回路37と、フリップフロップ(F/F)部48と、カウンタ49とを有している。加算回路37は、加算部33Bにより生成された検出値VALBと、フリップフロップ部48が保持している値(累積値VALB1)とを加算するように構成される。フリップフロップ部48は、クロック信号CLKBの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングし、サンプリングした結果を累積値VALB1として保持するように構成される。また、フリップフロップ部48は、累積値VALB1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCBをアクティブにする機能を有している。カウンタ49は、フリップフロップ部48により生成されたキャリーフラグFCBに基づいてカウント値CNTBをインクリメントするように構成される。
同様に、カウント部290Cは、加算部33Cにより生成された検出値VALCに基づいて、累積加算処理を行うことにより、カウント値CNTCを生成するように構成される。カウント部290Cは、加算回路37と、フリップフロップ(F/F)部48と、カウンタ49とを有している。加算回路37は、加算部33Cにより生成された検出値VALCと、フリップフロップ部48が保持している値(累積値VALC1)とを加算するように構成される。フリップフロップ部48は、クロック信号CLKCの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングし、サンプリングした結果を累積値VALC1として保持するように構成される。また、フリップフロップ部48は、累積値VALC1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCCをアクティブにする機能を有している。カウンタ49は、フリップフロップ部48により生成されたキャリーフラグFCCに基づいてカウント値CNTCをインクリメントするように構成される。
同様に、カウント部290Dは、加算部33Dにより生成された検出値VALDに基づいて、累積加算処理を行うことにより、カウント値CNTDを生成するように構成される。カウント部290Dは、加算回路37と、フリップフロップ(F/F)部48と、カウンタ49とを有している。加算回路37は、加算部33Dにより生成された検出値VALDと、フリップフロップ部48が保持している値(累積値VALD1)とを加算するように構成される。フリップフロップ部48は、クロック信号CLKDの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングし、サンプリングした結果を累積値VALD1として保持するように構成される。また、フリップフロップ部48は、累積値VALD1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCDをアクティブにする機能を有している。カウンタ49は、フリップフロップ部48により生成されたキャリーフラグFCDに基づいてカウント値CNTDをインクリメントするように構成される。
クロック生成部262は、光検出制御部25からの指示に基づいて4相のクロック信号を構成するクロック信号CLKA,CLKB,CLKC,CLKDを生成し、このクロック信号CLKA~CLKDを光検出アレイ261における複数の光検出ユニットUに供給するように構成される。
読出制御部263は、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ261における複数の光検出ユニットUのそれぞれにおいて生成されたカウント値CNTA,CNTB,CNTC,CNTDを読出部164に供給する動作を制御するように構成される。
読出部264は、光検出制御部25からの指示に基づいて、光検出アレイ261における複数の光検出ユニットUから供給されたカウント値CNTA,CNTB,CNTC,CNTDを含むデータDTを生成し、生成したデータDTを出力するように構成される。
図20は、光検出ユニットUの一動作例を表すものであり、(A)は発光部11から射出された光の波形を示し、(B)~(E)はクロック信号CLKA~CLKDの波形をそれぞれ示し、(F)はパルス信号PLSAの波形を示し、(G)はエッジ検出部270Aのラッチ271から出力された信号S271の波形を示し、(H)はエッジ検出部270Aのラッチ272から出力された信号S272の波形を示し、(I)はエッジ検出部270Aのラッチ273から出力された信号S273の波形を示し、(J)はエッジ検出部270Aのラッチ274から出力された信号S274の波形を示し、(K)は検出信号DETA1の波形を示し、(L)は検出信号DETA2の波形を示し、(M)は検出信号DETA3の波形を示し、(N)は検出信号DETA4の波形を示し、(O)は検出値VALAを示す信号の波形を示し、(P)は累積値VALA1を示す信号の波形を示し、(Q)はキャリーフラグFCAを示す信号の波形を示し、(R)はカウント値CNTAを示す信号の波形を示し、(S)は検出値VALBを示す信号の波形を示し、(T)は累積値VALB1を示す信号の波形を示し、(U)はキャリーフラグFCBを示す信号の波形を示し、(V)はカウント値CNTBを示す信号の波形を示す。クロック信号CLKA~CLKDの周期の1/4は、エッジ検出部270A,270Bにおける検出期間Pdetである。具体的には、クロック信号CLKAが高レベルである期間は検出期間PdetAであり、クロック信号CLKBが高レベルである期間は検出期間PdetBであり、クロック信号CLKCが高レベルである期間は検出期間PdetCであり、クロック信号CLKDが高レベルである期間は検出期間PdetDである。
タイミングt71~t73の期間およびタイミングt79~t81の期間において、発光部11は、制御部14からの指示に基づいて光パルスL0を検出対象物OBJに向かって射出する(図20(A))。この光パルスL0の一部は、検出対象物OBJにより反射される。そして、反射光パルスL1が光学系12を介して光検出部20に入射する。受光部31Aは、この反射光パルスL1を検出することによりパルス信号PLSAを生成する(図20(F))。このパルス信号PLSAは、タイミングt72から始まるパルスP8と、タイミングt76から始まるパルスP9と、タイミングt80から始まるパルスP10とを含んでいる。
エッジ検出部270Aのラッチ271は、クロック信号CLKAが低レベルである場合に、パルス信号PLSAを取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKAが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、信号S271を生成する(図20(B),(F),(G))。これにより、信号S271は、パルス信号PLSAが立ち上がった後のタイミングt73において、クロック信号CLKAの立ち下がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、クロック信号CLKAが低レベルである期間におけるタイミングt74において、パルス信号PLSAの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。また、信号S271は、クロック信号CLKAが低レベルである期間におけるタイミングt76において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、クロック信号CLKAが低レベルである期間におけるタイミングt78において、パルス信号PLSAの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。また、信号S271は、パルス信号PLSAが立ち上がった後のタイミングt81において、クロック信号CLKAの立ち下がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、クロック信号CLKAが低レベルである期間におけるタイミングt83において、パルス信号PLSAの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。
エッジ検出部270Aのラッチ281は、クロック信号CLKAが高レベルである場合に、否定論理和回路276から出力された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKAが低レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出信号DETA1を生成する(図20(K))。
これにより、検出信号DETA1は、クロック信号CLKAが高レベルである期間におけるタイミングt72において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、タイミングt79において、クロック信号CLKAの立ち上がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。検出信号DETA1におけるこのパルス(エッジパルスPE8)は、パルス信号PLSAにおけるパルスP8(図20(F))の立ち上がりエッジに基づくパルスである。パルス信号PLSAのパルスP8が開始するタイミングt72は、タイミングt71~t73の検出期間PdetAの期間内のタイミングであるので、検出信号DETA1のエッジパルスPE8は、この検出期間PdetAの終了タイミングt73をまたぐ。
また、検出信号DETA1は、クロック信号CLKAが高レベルである期間におけるタイミングt80において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、タイミングt84において、クロック信号CLKAの立ち上がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。検出信号DETA1におけるこのパルス(エッジパルスPE10)は、パルス信号PLSAにおけるパルスP10(図20(F))の立ち上がりエッジに基づくパルスである。パルス信号PLSAのパルスP10が開始するタイミングt80は、タイミングt79~t81の検出期間PdetAの期間内のタイミングであるので、検出信号DETA1のエッジパルスPE10は、この検出期間PdetAの終了タイミングt81をまたぐ。
エッジ検出部270Aのラッチ272は、クロック信号CLKBが低レベルである場合に、パルス信号PLSAを取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKBが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、信号S272を生成する(図20(C),(F),(H))。これにより、信号S272は、クロック信号CLKBが低レベルである期間におけるタイミングt72において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、パルス信号PLSAの立ち下がった後のタイミングt75において、クロック信号CLKBの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。また、信号S272は、クロック信号CLKBが低レベルである期間におけるタイミングt76において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、クロック信号CLKBが低レベルである期間におけるタイミングt78において、パルス信号PLSAの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。また、信号S272は、クロック信号CLKBが低レベルである期間におけるタイミングt80において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、クロック信号CLKBが低レベルである期間におけるタイミングt83において、パルス信号PLSAの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。
エッジ検出部270Aのラッチ282は、クロック信号CLKBが高レベルである場合に、否定論理和回路277から出力された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKBが低レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出信号DETA2を生成する(図20(L))。これにより、検出信号DETA2は、低レベルを維持する。すなわち、パルス信号PLSAのパルスP8,P9,P10の立ち上がりエッジは、検出期間PdetBの期間内にはないので、検出信号DETA2は、低レベルを維持する。
エッジ検出部270Aのラッチ273は、クロック信号CLKCが低レベルである場合に、パルス信号PLSAを取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKCが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、信号S273を生成する(図20(D),(F),(I))。これにより、信号S273は、クロック信号CLKCが低レベルである期間におけるタイミングt72において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、クロック信号CLKCが低レベルである期間におけるタイミングt74において、パルス信号PLSAの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。また、信号S273は、パルス信号PLSAが立ち上がった後のタイミングt77において、クロック信号CLKCの立ち下がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、クロック信号CLKCが低レベルである期間におけるタイミングt78において、パルス信号PLSAの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。また、信号S273は、クロック信号CLKCが低レベルである期間におけるタイミングt80において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、クロック信号CLKCが低レベルであるきかんにおけるタイミングt83において、パルス信号PLSAの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。
エッジ検出部270Aのラッチ283は、クロック信号CLKCが高レベルである場合に、否定論理和回路278から出力された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKCが低レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出信号DETA3を生成する(図20(M))。
これにより、検出信号DETA3は、クロック信号CLKCが高レベルである期間におけるタイミングt76において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、タイミングt82において、クロック信号CLKCの立ち上がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。検出信号DETA3におけるこのパルス(エッジパルスPE9)は、パルス信号PLSAにおけるパルスP9(図20(F))の立ち上がりエッジに基づくパルスである。パルス信号PLSAのパルスP9が開始するタイミングt76は、タイミングt75~t77の検出期間PdetCの期間内のタイミングであるので、検出信号DETA3のエッジパルスPE9は、この検出期間PdetCの終了タイミングt77をまたぐ。
エッジ検出部270Aのラッチ274は、クロック信号CLKDが低レベルである場合に、パルス信号PLSAを取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKDが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、信号S274を生成する(図20(E),(F),(J))。これにより、信号S274は、クロック信号CLKDが低レベルである期間におけるタイミングt72において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、クロック信号CLKDが低レベルである期間におけるタイミングt74において、パルス信号PLSAの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。また、信号S274は、クロック信号CLKDが低レベルである期間におけるタイミングt76において、パウルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、パルス信号PLSAが立ち下がった後のタイミングt79において、クロック信号CLKDの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。また、信号S274は、クロック信号CLKDが低レベルである期間におけるタイミングt80において、パルス信号PLSAの立ち上がりエッジに応じて低レベルから高レベルに変化し、パルス信号PLSAが立ち下がった後のタイミングt84において、クロック信号CLKDの立ち下がりエッジに応じて高レベルから低レベルに変化する。
エッジ検出部270Aのラッチ284は、クロック信号CLKDが高レベルである場合に、否定論理和回路279から出力された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKDが低レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出信号DETA4を生成する(図20(N))。これにより、検出信号DETA4は、低レベルを維持する。すなわち、パルス信号PLSAのパルスP8,P9,P10の立ち上がりエッジは、検出期間PdetDの期間内にはないので、検出信号DETA4は、低レベルを維持する。
このようにして、受光部31Aは、反射光パルスL1を検出することによりパルス信号PLSAを生成する。エッジ検出部270Aは、検出期間PdetAにおいてパルス信号PLSAの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETA1を生成し、検出期間PdetBにおいてパルス信号PLSAの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETA2を生成し、検出期間PdetCにおいてパルス信号PLSAの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETA3を生成し、検出期間PdetDにおいてパルス信号PLSAの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETA4を生成する。
同様に、受光部31Bは、受光部31Aは、反射光パルスL1を検出することによりパルス信号PLSBを生成する。エッジ検出部270Bは、検出期間PdetAにおいてパルス信号PLSBの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETB1を生成し、検出期間PdetBにおいてパルス信号PLSBの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETB2を生成し、検出期間PdetCにおいてパルス信号PLSBの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETB3を生成し、検出期間PdetDにおいてパルス信号PLSBの立ち上がりエッジを検出することにより、この立ち上がりエッジに基づくエッジパルスPEを含む検出信号DETB4を生成する。
そして、加算部33Aの加算回路34は、検出信号DETA1,DETB1におけるエッジパルスPEの数を算出する。そして、ラッチ部35は、クロック信号CLKAが低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKAが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALAを生成する(図20(O))。これにより、加算部33Aは、クロック信号CLKAの立ち下がりエッジに基づいて、検出値VALAを生成する。
同様に、加算部33Bの加算回路34は、検出信号DETA2,DETB2におけるエッジパルスPEの数を算出する。そして、ラッチ部35は、クロック信号CLKBが低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKBが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALBを生成する(図20(S))。これにより、加算部33Bは、クロック信号CLKBの立ち下がりエッジに基づいて、検出値VALBを生成する。
同様に、加算部33Cの加算回路34は、検出信号DETA3,DETB3におけるエッジパルスPEの数を算出する。そして、ラッチ部35は、クロック信号CLKCが低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKCが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALCを生成する。これにより、加算部33Cは、クロック信号CLKCの立ち下がりエッジに基づいて、検出値VALCを生成する。
同様に、加算部33Dの加算回路34は、検出信号DETA4,DETB4におけるエッジパルスPEの数を算出する。そして、ラッチ部35は、クロック信号CLKDが低レベルである場合に、加算回路34から供給された信号を取り込むとともに取り込んだ信号を出力端子Qから出力し、クロック信号CLKDが高レベルである場合に、出力端子Qにおける信号を維持することにより、検出値VALDを生成する。これにより、加算部33Dは、クロック信号CLKDの立ち下がりエッジに基づいて、検出値VALDを生成する。
そして、カウント部290Aにおいて、加算回路37は、加算部33Aにより生成された検出値VALAと、フリップフロップ部48が保持している累積値VALA1とを加算する。そして、フリップフロップ部48は、クロック信号CLKAの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングすることにより累積値VALA1を生成する(図20(P))。また、フリップフロップ部48は、累積値VALA1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCAをアクティブにする(図20(Q))。カウンタ49は、このキャリーフラグFCAに基づいてカウント値CNTAをインクリメントする(図20(R))。
同様に、カウント部290Bにおいて、加算回路37は、加算部33Bにより生成された検出値VALBと、フリップフロップ部48が保持している累積値VALB1とを加算する。そして、フリップフロップ部48は、クロック信号CLKBの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングすることにより累積値VALB1を生成する(図20(T))。また、フリップフロップ部48は、累積値VALB1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCBをアクティブにする(図20(U))。カウンタ49は、このキャリーフラグFCBに基づいてカウント値CNTBをインクリメントする(図20(V))。
同様に、カウント部290Cにおいて、加算回路37は、加算部33Cにより生成された検出値VALCと、フリップフロップ部48が保持している累積値VALC1とを加算する。そして、フリップフロップ部48は、クロック信号CLKCの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングすることにより累積値VALC1を生成する。また、フリップフロップ部48は、累積値VALC1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCCをアクティブにする。カウンタ49は、このキャリーフラグFCCに基づいてカウント値CNTCをインクリメントする。
同様に、カウント部290Dにおいて、加算回路37は、加算部33Dにより生成された検出値VALDと、フリップフロップ部48が保持している累積値VALD1とを加算する。そして、フリップフロップ部48は、クロック信号CLKDの立ち下がりエッジに基づいて、加算回路37から出力された信号をサンプリングすることにより累積値VALD1を生成する。また、フリップフロップ部48は、累積値VALD1が所定の上限値に到達する度にキャリーフラグFCDをアクティブにする。カウンタ49は、このキャリーフラグFCDに基づいてカウント値CNTDをインクリメントする。
このように、光検出システム4では、複数のエッジ検出部170のそれぞれにおいて、クロック信号CLKAに基づいてパルス信号PLSをラッチすることにより第1の信号(信号S271)を生成する第1のラッチ回路(ラッチ271)と、クロック信号CLKBに基づいてパルス信号PLSをラッチすることにより第2の信号(信号S272)を生成する第2のラッチ回路(ラッチ272)と、パルス信号PLSおよび第1の信号(信号S271)に基づいて第3の信号を生成する第1の組み合わせ回路(否定論理和回路276)と、パルス信号PLSおよび第2の信号(信号S272)に基づいて第4の信号を生成する第2の組み合わせ回路(否定論理和回路277)とを設けるようにした。これにより、エッジ検出部170が生成したエッジパルスPEを、検出期間Pdetに応じて、2つの加算部33A,33Bのいずれかに供給する場合でも、回路数を減らすことができるので、回路面積を小さくすることができる。
さらに、光検出システム4では、複数のエッジ検出部170のそれぞれにおいて、クロック信号CLKCに基づいてパルス信号PLSをラッチすることにより第5の信号(信号S273)を生成する第3のラッチ回路(ラッチ273)と、クロック信号CLKDに基づいてパルス信号PLSをラッチすることにより第6の信号(信号S274)を生成する第4のラッチ回路(ラッチ274)と、パルス信号PLSおよび第5の信号(信号S273)に基づいて第7の信号を生成する第3の組み合わせ回路(否定論理和回路278)と、パルス信号PLSおよび第6の信号(信号S274)に基づいて第8の信号を生成する第4の組み合わせ回路(否定論理和回路279)とを設けるようにした。これにより、エッジ検出部170が生成したエッジパルスPEを、4つの加算部33A~33Dのいずれかに供給する場合でも、回路数を減らすことができるので、回路面積を小さくすることができる。
また、光検出システム4では、検出値VALAに基づいて累積加算処理を行うことにより、検出値VALAの累積値であるカウント値CNTAを生成するとともに、検出値VALBに基づいて累積加算処理を行うことにより、検出値VALBの累積値であるカウント値CNTBを生成するようにした。同様に、検出値VALCに基づいて累積加算処理を行うことにより、検出値VALCの累積値であるカウント値CNTCを生成するとともに、検出値VALDに基づいて累積加算処理を行うことにより、検出値VALDの累積値であるカウント値CNTDを生成するようにした。これにより、複数の検出期間Pdet1における検出値VALAの累積値を算出し、複数の検出期間Pdet2における検出値VALBの累積値を算出し、複数の検出期間Pdet3における検出値VALCの累積値を算出し、複数の検出期間Pdet4における検出値VALDの累積値を算出することができる。その結果、光検出システム4では、カウントのレンジを広げることができるので、光検出システム4の検出精度を高めることができる。
以上のように本実施の形態では、複数のエッジ検出部のそれぞれにおいて、クロック信号に基づいてパルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第1のラッチ回路と、他のクロック信号に基づいてパルス信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、パルス信号および第1の信号に基づいて第3の信号を生成する第1の組み合わせ回路と、パルス信号および第2の信号に基づいて第4の信号を生成する第2の組み合わせ回路とを設けるようにしたので、生成したエッジパルスを、検出期間に応じて2つの加算部のいずれかに供給する場合でも、回路面積を小さくすることができる。その他の効果は、上記第3の実施の形態の場合と同様である。
<5.移動体への応用例>
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
図21は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
車両制御システム12000は、通信ネットワーク12001を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図21に示した例では、車両制御システム12000は、駆動系制御ユニット12010、ボディ系制御ユニット12020、車外情報検出ユニット12030、車内情報検出ユニット12040、及び統合制御ユニット12050を備える。また、統合制御ユニット12050の機能構成として、マイクロコンピュータ12051、音声画像出力部12052、及び車載ネットワークI/F(interface)12053が図示されている。
駆動系制御ユニット12010は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット12010は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。
ボディ系制御ユニット12020は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット12020は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット12020には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット12020は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
車外情報検出ユニット12030は、車両制御システム12000を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット12030には、撮像部12031が接続される。車外情報検出ユニット12030は、撮像部12031に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット12030は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。
撮像部12031は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部12031は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部12031が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。
車内情報検出ユニット12040は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット12040には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部12041が接続される。運転者状態検出部12041は、例えば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット12040は、運転者状態検出部12041から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。
マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット12010に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むADAS(Advanced Driver Assistance System)の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット12020に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。
音声画像出力部12052は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図21の例では、出力装置として、オーディオスピーカ12061、表示部12062及びインストルメントパネル12063が例示されている。表示部12062は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。
図22は、撮像部12031の設置位置の例を示す図である。
図22では、車両12100は、撮像部12031として、撮像部12101,12102,12103,12104,12105を有する。
撮像部12101,12102,12103,12104,12105は、例えば、車両12100のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部12101及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として車両12100の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部12102,12103は、主として車両12100の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部12104は、主として車両12100の後方の画像を取得する。撮像部12101及び12105で取得される前方の画像は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
なお、図22には、撮像部12101ないし12104の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲12111は、フロントノーズに設けられた撮像部12101の撮像範囲を示し、撮像範囲12112,12113は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部12102,12103の撮像範囲を示し、撮像範囲12114は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部12104の撮像範囲を示す。例えば、撮像部12101ないし12104で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両12100を上方から見た俯瞰画像が得られる。
撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。例えば、撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。
例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を基に、撮像範囲12111ないし12114内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化(車両12100に対する相対速度)を求めることにより、特に車両12100の進行路上にある最も近い立体物で、車両12100と略同じ方向に所定の速度(例えば、0km/h以上)で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ12051は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御(追従停止制御も含む)や自動加速制御(追従発進制御も含む)等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、2輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両12100の周辺の障害物を、車両12100のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ12051は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ12061や表示部12062を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット12010を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。
撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、例えば赤外線カメラとしての撮像部12101ないし12104の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ12051が、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部12052は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部12062を制御する。また、音声画像出力部12052は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部12062を制御してもよい。
以上、本開示に係る技術が適用され得る車両制御システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、撮像部12031に適用され得る。車両に搭載される光検出システム1では、回路面積を小さくすることができるので、例えば装置サイズを小さくすることができる。その結果、例えば、車両に搭載しやすくすることができる。また、車両に搭載される光検出システム1では、解像度を高めることができるので、例えば検出精度を高めることができる。その結果、車両制御システム12000では、車両の衝突回避あるいは衝突緩和機能、車間距離に基づく追従走行機能、車速維持走行機能、車両の衝突警告機能、車両のレーン逸脱警告機能等を、高い精度で実現できる。
以上、いくつかの実施の形態および変形例、ならびにそれらの具体的な応用例を挙げて本技術を説明したが、本技術はこれらの実施の形態等には限定されず、種々の変形が可能である。
例えば、上記の各実施の形態では、図5に示した回路構成を有する受光部31Aを設けたが、これに限定されるものではなく、これに代えて、例えば図23に示す回路構成を有する受光部31Aを設けてもよい。この受光部31Aは、フォトダイオードPDと、トランジスタMN11~MN13,MP14と、インバータIV1,IV3と、バッファBUFと、遅延回路DELとを有している。トランジスタMN11~MN13はN型のMOSトランジスタであり、トランジスタMP14はP型のMOSトランジスタである。
フォトダイオードPDのアノードはトランジスタMN11のドレインおよびトランジスタMN13のゲートに接続され、カソードには電源電圧VDD1が供給される。トランジスタMN11のゲートは遅延回路DELの出力端子およびインバータIV3の入力端子に接続され、ドレインはフォトダイオードPDのアノードおよびトランジスタMN13のゲートに接続され、ソースには電源電圧VSSが供給される。トランジスタMN12のゲートはインバータIV3の出力端子およびトランジスタMP14のゲートに接続され、ドレインはトランジスタMN13のソースに接続され、ソースは接地される。トランジスタMN13のゲートはフォトダイオードPDのアノードおよびトランジスタMN11のドレインに接続され、ドレインはトランジスタMP14のドレインおよびインバータIV1の入力端子に接続され、ソースはトランジスタMN12のドレインに接続される。トランジスタMP14のゲートはインバータIV3の出力端子およびトランジスタMN12のゲートに接続され、ソースには電源電圧VDD2が供給され、ドレインはトランジスタMN13のドレインおよびインバータIV1の入力端子に接続される。インバータIV1の入力端子はトランジスタMN13のドレインおよびトランジスタMP14のドレインに接続され、出力端子はバッファBUFの入力端子および遅延回路DELの入力端子に接続される。バッファBUFの入力端子はインバータIV1の出力端子および遅延回路DELの入力端子に接続され、出力端子はこの受光部31Aの後段のエッジ検出部40Aに接続される。遅延回路DELの入力端子はインバータIV1の出力端子およびバッファBUFの入力端子に接続され、出力端子はインバータIV3の入力端子およびトランジスタMN11のゲートに接続される。インバータIV3の入力端子は遅延回路DELの出力端子およびトランジスタMN11のゲートに接続され、出力端子はトランジスタMN12のゲートおよびトランジスタMP14のゲートに接続される。
なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものでは無く、また他の効果があってもよい。
なお、本技術は以下のような構成とすることができる。以下の構成の本技術によれば、回路面積を小さくすることができる。
(1)
それぞれが、受光素子を有し、前記受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成する複数の受光部と、
前記複数の受光部にそれぞれ対応して設けられ、それぞれが、対応する前記受光部により生成された前記パルス信号における前記パルスのエッジを検出することにより検出信号を生成する複数のエッジ検出部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す検出値を生成する加算部と
を備え、
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、
第1のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第1のラッチ回路と、
前記第1のクロック信号の反転信号である第2のクロック信号に基づいて前記第1の信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、
前記パルス信号、前記第1の信号、および前記第2の信号に基づいて第3の信号を生成する組み合わせ回路と、
前記第1のクロック信号に基づいて前記第3の信号をラッチすることにより前記検出信号を生成する第3のラッチ回路と
を有する
光検出装置。
(2)
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、前記第1のクロック信号および前記第2のクロック信号に基づく検出期間において、前記パルスのエッジを検出し、
前記パルスのパルス幅は、前記検出期間の時間幅以上である
前記(1)に記載の光検出装置。
(3)
前記検出期間の時間長は、前記第1のクロック信号の周期に対応する時間長である
前記(2)に記載の光検出装置。
(4)
前記検出値に基づいて累積加算処理を行うことにより累積値を生成する累積加算部をさらに備えた
前記(1)から(3)のいずれかに記載の光検出装置。
(5)
カウント処理を行うカウンタをさらに備え、
前記累積加算部は、前記累積値が所定の値に到達する度にフラグをアクティブにし、
前記カウンタは、前記フラグに基づいて前記カウント処理を行う
前記(4)に記載の光検出装置。
(6)
複数の前記受光素子は、第1の半導体基板に設けられ、
前記複数のエッジ検出部は、前記第1の半導体基板に貼り付けられた第2の半導体基板に設けられた
前記(1)から(5)のいずれかに記載の光検出装置。
(7)
それぞれが、受光素子を有し、前記受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成する複数の受光部と、
前記複数の受光部にそれぞれ対応して設けられ、それぞれが、対応する前記受光部により生成された前記パルス信号における前記パルスのエッジを検出することにより第1の検出信号および第2の検出信号を生成する複数のエッジ検出部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記第1の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す第1の検出値を生成する第1の加算部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記第2の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す第2の検出値を生成する第2の加算部と、
を備え、
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、
第1のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第1のラッチ回路と、
第2のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、
前記パルス信号および前記第1の信号に基づいて第3の信号を生成する第1の組み合わせ回路と、
前記パルス信号および前記第2の信号に基づいて第4の信号を生成する第2の組み合わせ回路と
を有し、前記第3の信号に基づいて前記第1の検出信号を生成し、前記第4の信号に基づいて前記第2の検出信号を生成する
光検出装置。
(8)
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、さらに、
前記第1のクロック信号の反転信号である第3のクロック信号に基づいて前記第3の信号をラッチすることにより前記第1の検出信号を生成する第3のラッチ回路と、
前記第2のクロック信号の反転信号である第4のクロック信号に基づいて前記第4の信号をラッチすることにより前記第2の検出信号を生成する第4のラッチ回路と、
前記(7)に記載の光検出装置。
(9)
前記第2のクロック信号は、前記第1のクロック信号の反転信号である
前記(7)または(8)に記載の光検出装置。
(10)
前記第2のクロック信号の位相は、前記第1のクロック信号の位相と異なる
前記(7)または(8)に記載の光検出装置。
(11)
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、前記第1のクロック信号および前記第2のクロック信号に基づく検出期間において、前記パルスのエッジを検出し、
前記パルスのパルス幅は、前記検出期間の時間幅以上である
前記(7)から(10)のいずれかに記載の光検出装置。
(12)
前記第1のクロック信号は、第1のレベルと第2のレベルとの間で遷移し、
前記検出期間の時間長は、前記第1のクロック信号が前記第1のレベルを維持する期間の時間長である
前記(11)に記載の光検出装置。
(13)
前記第1の検出値に基づいて累積加算処理を行うことにより累積値を生成する累積加算部をさらに備えた
前記(7)から(12)のいずれかに記載の光検出装置。
(14)
カウント処理を行うカウンタをさらに備え、
前記累積加算部は、前記累積値が所定の値に到達する度にフラグをアクティブにし、
前記カウンタは、前記フラグに基づいて前記カウント処理を行う
前記(13)に記載の光検出装置。
(15)
前記第1の検出値は、第3の検出値および第4の検出値を含み、
前記累積加算部は、前記第3の検出値に基づいて前記累積加算処理を行うことにより第1の累積値を生成するとともに、前記第4の検出値に基づいて前記累積加算処理を行うことにより第2の累積値を生成する
前記(13)に記載の光検出装置。
(16)
カウント処理を行う第1のカウンタおよび第2のカウンタをさらに備え、
前記累積加算部は、前記第1の累積値が所定の値に到達する度に第1のフラグをアクティブにし、前記第2の累積値が前記所定の値に到達する度に第2のフラグをアクティブにし、
前記第1のカウンタは、前記第1のフラグに基づいて前記カウント処理を行い、
前記第2のカウンタは、前記第2のフラグに基づいて前記カウント処理を行う
前記(15)に記載の光検出装置。
(17)
複数の前記受光素子は、第1の半導体基板に設けられ、
前記複数のエッジ検出部は、前記第1の半導体基板に貼り付けられた第2の半導体基板に設けられた
前記(7)から(16)のいずれかに記載の光検出装置。
(18)
光を射出する発光部と
前記発光部から射出された光のうちの、検出対象により反射された光を検出する光検出部と
を備え、
前記光検出部は、
それぞれが、受光素子を有し、前記受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成する複数の受光部と、
前記複数の受光部にそれぞれ対応して設けられ、それぞれが、対応する前記受光部により生成された前記パルス信号における前記パルスのエッジを検出することにより検出信号を生成する複数のエッジ検出部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す検出値を生成する加算部と
を有し、
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、
第1のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第1のラッチ回路と、
前記第1のクロック信号の反転信号である第2のクロック信号に基づいて前記第1の信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、
前記パルス信号、前記第1の信号、および前記第2の信号に基づいて第3の信号を生成する組み合わせ回路と、
前記第1のクロック信号に基づいて前記第3の信号をラッチすることにより前記検出信号を生成する第3のラッチ回路と
を有する
光検出システム。
(19)
光を射出する発光部と
前記発光部から射出された光のうちの、検出対象により反射された光を検出する光検出部と
を備え、
前記光検出部は、
それぞれが、受光素子を有し、前記受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成する複数の受光部と、
前記複数の受光部にそれぞれ対応して設けられ、それぞれが、対応する前記受光部により生成された前記パルス信号における前記パルスのエッジを検出することにより第1の検出信号および第2の検出信号を生成する複数のエッジ検出部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記第1の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す第1の検出値を生成する第1の加算部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記第2の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す第2の検出値を生成する第2の加算部と、
を有し、
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、
第1のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第4のラッチ回路と、
第2のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、
前記パルス信号および前記第1の信号に基づいて第3の信号を生成する第1の組み合わせ回路と、
前記パルス信号および前記第2の信号に基づいて第4の信号を生成する第2の組み合わせ回路と
を有し、前記第3の信号に基づいて前記第1の検出信号を生成し、前記第4の信号に基づいて前記第2の検出信号を生成する
光検出システム。
それぞれが、受光素子を有し、前記受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成する複数の受光部と、
前記複数の受光部にそれぞれ対応して設けられ、それぞれが、対応する前記受光部により生成された前記パルス信号における前記パルスのエッジを検出することにより検出信号を生成する複数のエッジ検出部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す検出値を生成する加算部と
を備え、
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、
第1のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第1のラッチ回路と、
前記第1のクロック信号の反転信号である第2のクロック信号に基づいて前記第1の信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、
前記パルス信号、前記第1の信号、および前記第2の信号に基づいて第3の信号を生成する組み合わせ回路と、
前記第1のクロック信号に基づいて前記第3の信号をラッチすることにより前記検出信号を生成する第3のラッチ回路と
を有する
光検出装置。
(2)
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、前記第1のクロック信号および前記第2のクロック信号に基づく検出期間において、前記パルスのエッジを検出し、
前記パルスのパルス幅は、前記検出期間の時間幅以上である
前記(1)に記載の光検出装置。
(3)
前記検出期間の時間長は、前記第1のクロック信号の周期に対応する時間長である
前記(2)に記載の光検出装置。
(4)
前記検出値に基づいて累積加算処理を行うことにより累積値を生成する累積加算部をさらに備えた
前記(1)から(3)のいずれかに記載の光検出装置。
(5)
カウント処理を行うカウンタをさらに備え、
前記累積加算部は、前記累積値が所定の値に到達する度にフラグをアクティブにし、
前記カウンタは、前記フラグに基づいて前記カウント処理を行う
前記(4)に記載の光検出装置。
(6)
複数の前記受光素子は、第1の半導体基板に設けられ、
前記複数のエッジ検出部は、前記第1の半導体基板に貼り付けられた第2の半導体基板に設けられた
前記(1)から(5)のいずれかに記載の光検出装置。
(7)
それぞれが、受光素子を有し、前記受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成する複数の受光部と、
前記複数の受光部にそれぞれ対応して設けられ、それぞれが、対応する前記受光部により生成された前記パルス信号における前記パルスのエッジを検出することにより第1の検出信号および第2の検出信号を生成する複数のエッジ検出部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記第1の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す第1の検出値を生成する第1の加算部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記第2の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す第2の検出値を生成する第2の加算部と、
を備え、
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、
第1のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第1のラッチ回路と、
第2のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、
前記パルス信号および前記第1の信号に基づいて第3の信号を生成する第1の組み合わせ回路と、
前記パルス信号および前記第2の信号に基づいて第4の信号を生成する第2の組み合わせ回路と
を有し、前記第3の信号に基づいて前記第1の検出信号を生成し、前記第4の信号に基づいて前記第2の検出信号を生成する
光検出装置。
(8)
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、さらに、
前記第1のクロック信号の反転信号である第3のクロック信号に基づいて前記第3の信号をラッチすることにより前記第1の検出信号を生成する第3のラッチ回路と、
前記第2のクロック信号の反転信号である第4のクロック信号に基づいて前記第4の信号をラッチすることにより前記第2の検出信号を生成する第4のラッチ回路と、
前記(7)に記載の光検出装置。
(9)
前記第2のクロック信号は、前記第1のクロック信号の反転信号である
前記(7)または(8)に記載の光検出装置。
(10)
前記第2のクロック信号の位相は、前記第1のクロック信号の位相と異なる
前記(7)または(8)に記載の光検出装置。
(11)
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、前記第1のクロック信号および前記第2のクロック信号に基づく検出期間において、前記パルスのエッジを検出し、
前記パルスのパルス幅は、前記検出期間の時間幅以上である
前記(7)から(10)のいずれかに記載の光検出装置。
(12)
前記第1のクロック信号は、第1のレベルと第2のレベルとの間で遷移し、
前記検出期間の時間長は、前記第1のクロック信号が前記第1のレベルを維持する期間の時間長である
前記(11)に記載の光検出装置。
(13)
前記第1の検出値に基づいて累積加算処理を行うことにより累積値を生成する累積加算部をさらに備えた
前記(7)から(12)のいずれかに記載の光検出装置。
(14)
カウント処理を行うカウンタをさらに備え、
前記累積加算部は、前記累積値が所定の値に到達する度にフラグをアクティブにし、
前記カウンタは、前記フラグに基づいて前記カウント処理を行う
前記(13)に記載の光検出装置。
(15)
前記第1の検出値は、第3の検出値および第4の検出値を含み、
前記累積加算部は、前記第3の検出値に基づいて前記累積加算処理を行うことにより第1の累積値を生成するとともに、前記第4の検出値に基づいて前記累積加算処理を行うことにより第2の累積値を生成する
前記(13)に記載の光検出装置。
(16)
カウント処理を行う第1のカウンタおよび第2のカウンタをさらに備え、
前記累積加算部は、前記第1の累積値が所定の値に到達する度に第1のフラグをアクティブにし、前記第2の累積値が前記所定の値に到達する度に第2のフラグをアクティブにし、
前記第1のカウンタは、前記第1のフラグに基づいて前記カウント処理を行い、
前記第2のカウンタは、前記第2のフラグに基づいて前記カウント処理を行う
前記(15)に記載の光検出装置。
(17)
複数の前記受光素子は、第1の半導体基板に設けられ、
前記複数のエッジ検出部は、前記第1の半導体基板に貼り付けられた第2の半導体基板に設けられた
前記(7)から(16)のいずれかに記載の光検出装置。
(18)
光を射出する発光部と
前記発光部から射出された光のうちの、検出対象により反射された光を検出する光検出部と
を備え、
前記光検出部は、
それぞれが、受光素子を有し、前記受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成する複数の受光部と、
前記複数の受光部にそれぞれ対応して設けられ、それぞれが、対応する前記受光部により生成された前記パルス信号における前記パルスのエッジを検出することにより検出信号を生成する複数のエッジ検出部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す検出値を生成する加算部と
を有し、
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、
第1のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第1のラッチ回路と、
前記第1のクロック信号の反転信号である第2のクロック信号に基づいて前記第1の信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、
前記パルス信号、前記第1の信号、および前記第2の信号に基づいて第3の信号を生成する組み合わせ回路と、
前記第1のクロック信号に基づいて前記第3の信号をラッチすることにより前記検出信号を生成する第3のラッチ回路と
を有する
光検出システム。
(19)
光を射出する発光部と
前記発光部から射出された光のうちの、検出対象により反射された光を検出する光検出部と
を備え、
前記光検出部は、
それぞれが、受光素子を有し、前記受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成する複数の受光部と、
前記複数の受光部にそれぞれ対応して設けられ、それぞれが、対応する前記受光部により生成された前記パルス信号における前記パルスのエッジを検出することにより第1の検出信号および第2の検出信号を生成する複数のエッジ検出部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記第1の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す第1の検出値を生成する第1の加算部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記第2の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す第2の検出値を生成する第2の加算部と、
を有し、
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、
第1のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第4のラッチ回路と、
第2のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、
前記パルス信号および前記第1の信号に基づいて第3の信号を生成する第1の組み合わせ回路と、
前記パルス信号および前記第2の信号に基づいて第4の信号を生成する第2の組み合わせ回路と
を有し、前記第3の信号に基づいて前記第1の検出信号を生成し、前記第4の信号に基づいて前記第2の検出信号を生成する
光検出システム。
本出願は、日本国特許庁において2020年10月26日に出願された日本特許出願番号2020-179257号を基礎として優先権を主張するものであり、この出願のすべての内容を参照によって本出願に援用する。
当業者であれば、設計上の要件や他の要因に応じて、種々の修正、コンビネーション、サブコンビネーション、および変更を想到し得るが、それらは添付の請求の範囲やその均等物の範囲に含まれるものであることが理解される。
Claims (19)
- それぞれが、受光素子を有し、前記受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成する複数の受光部と、
前記複数の受光部にそれぞれ対応して設けられ、それぞれが、対応する前記受光部により生成された前記パルス信号における前記パルスのエッジを検出することにより検出信号を生成する複数のエッジ検出部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す検出値を生成する加算部と
を備え、
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、
第1のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第1のラッチ回路と、
前記第1のクロック信号の反転信号である第2のクロック信号に基づいて前記第1の信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、
前記パルス信号、前記第1の信号、および前記第2の信号に基づいて第3の信号を生成する組み合わせ回路と、
前記第1のクロック信号に基づいて前記第3の信号をラッチすることにより前記検出信号を生成する第3のラッチ回路と
を有する
光検出装置。 - 前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、前記第1のクロック信号および前記第2のクロック信号に基づく検出期間において、前記パルスのエッジを検出し、
前記パルスのパルス幅は、前記検出期間の時間幅以上である
請求項1に記載の光検出装置。 - 前記検出期間の時間長は、前記第1のクロック信号の周期に対応する時間長である
請求項2に記載の光検出装置。 - 前記検出値に基づいて累積加算処理を行うことにより累積値を生成する累積加算部をさらに備えた
請求項1に記載の光検出装置。 - カウント処理を行うカウンタをさらに備え、
前記累積加算部は、前記累積値が所定の値に到達する度にフラグをアクティブにし、
前記カウンタは、前記フラグに基づいて前記カウント処理を行う
請求項4に記載の光検出装置。 - 複数の前記受光素子は、第1の半導体基板に設けられ、
前記複数のエッジ検出部は、前記第1の半導体基板に貼り付けられた第2の半導体基板に設けられた
請求項1に記載の光検出装置。 - それぞれが、受光素子を有し、前記受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成する複数の受光部と、
前記複数の受光部にそれぞれ対応して設けられ、それぞれが、対応する前記受光部により生成された前記パルス信号における前記パルスのエッジを検出することにより第1の検出信号および第2の検出信号を生成する複数のエッジ検出部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記第1の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す第1の検出値を生成する第1の加算部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記第2の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す第2の検出値を生成する第2の加算部と、
を備え、
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、
第1のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第1のラッチ回路と、
第2のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、
前記パルス信号および前記第1の信号に基づいて第3の信号を生成する第1の組み合わせ回路と、
前記パルス信号および前記第2の信号に基づいて第4の信号を生成する第2の組み合わせ回路と
を有し、前記第3の信号に基づいて前記第1の検出信号を生成し、前記第4の信号に基づいて前記第2の検出信号を生成する
光検出装置。 - 前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、さらに、
前記第1のクロック信号の反転信号である第3のクロック信号に基づいて前記第3の信号をラッチすることにより前記第1の検出信号を生成する第3のラッチ回路と、
前記第2のクロック信号の反転信号である第4のクロック信号に基づいて前記第4の信号をラッチすることにより前記第2の検出信号を生成する第4のラッチ回路と、
請求項7に記載の光検出装置。 - 前記第2のクロック信号は、前記第1のクロック信号の反転信号である
請求項7に記載の光検出装置。 - 前記第2のクロック信号の位相は、前記第1のクロック信号の位相と異なる
請求項7に記載の光検出装置。 - 前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、前記第1のクロック信号および前記第2のクロック信号に基づく検出期間において、前記パルスのエッジを検出し、
前記パルスのパルス幅は、前記検出期間の時間幅以上である
請求項7に記載の光検出装置。 - 前記第1のクロック信号は、第1のレベルと第2のレベルとの間で遷移し、
前記検出期間の時間長は、前記第1のクロック信号が前記第1のレベルを維持する期間の時間長である
請求項11に記載の光検出装置。 - 前記第1の検出値に基づいて累積加算処理を行うことにより累積値を生成する累積加算部をさらに備えた
請求項7に記載の光検出装置。 - カウント処理を行うカウンタをさらに備え、
前記累積加算部は、前記累積値が所定の値に到達する度にフラグをアクティブにし、
前記カウンタは、前記フラグに基づいて前記カウント処理を行う
請求項13に記載の光検出装置。 - 前記第1の検出値は、第3の検出値および第4の検出値を含み、
前記累積加算部は、前記第3の検出値に基づいて前記累積加算処理を行うことにより第1の累積値を生成するとともに、前記第4の検出値に基づいて前記累積加算処理を行うことにより第2の累積値を生成する
請求項13に記載の光検出装置。 - カウント処理を行う第1のカウンタおよび第2のカウンタをさらに備え、
前記累積加算部は、前記第1の累積値が所定の値に到達する度に第1のフラグをアクティブにし、前記第2の累積値が前記所定の値に到達する度に第2のフラグをアクティブにし、
前記第1のカウンタは、前記第1のフラグに基づいて前記カウント処理を行い、
前記第2のカウンタは、前記第2のフラグに基づいて前記カウント処理を行う
請求項15に記載の光検出装置。 - 複数の前記受光素子は、第1の半導体基板に設けられ、
前記複数のエッジ検出部は、前記第1の半導体基板に貼り付けられた第2の半導体基板に設けられた
請求項7に記載の光検出装置。 - 光を射出する発光部と
前記発光部から射出された光のうちの、検出対象により反射された光を検出する光検出部と
を備え、
前記光検出部は、
それぞれが、受光素子を有し、前記受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成する複数の受光部と、
前記複数の受光部にそれぞれ対応して設けられ、それぞれが、対応する前記受光部により生成された前記パルス信号における前記パルスのエッジを検出することにより検出信号を生成する複数のエッジ検出部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す検出値を生成する加算部と
を有し、
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、
第1のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第1のラッチ回路と、
前記第1のクロック信号の反転信号である第2のクロック信号に基づいて前記第1の信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、
前記パルス信号、前記第1の信号、および前記第2の信号に基づいて第3の信号を生成する組み合わせ回路と、
前記第1のクロック信号に基づいて前記第3の信号をラッチすることにより前記検出信号を生成する第3のラッチ回路と
を有する
光検出システム。 - 光を射出する発光部と
前記発光部から射出された光のうちの、検出対象により反射された光を検出する光検出部と
を備え、
前記光検出部は、
それぞれが、受光素子を有し、前記受光素子の受光結果に応じたパルスを含むパルス信号を生成する複数の受光部と、
前記複数の受光部にそれぞれ対応して設けられ、それぞれが、対応する前記受光部により生成された前記パルス信号における前記パルスのエッジを検出することにより第1の検出信号および第2の検出信号を生成する複数のエッジ検出部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記第1の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す第1の検出値を生成する第1の加算部と、
前記複数のエッジ検出部により生成された複数の前記第2の検出信号に基づいて加算処理を行うことにより、前記パルスの数を示す第2の検出値を生成する第2の加算部と、
を有し、
前記複数のエッジ検出部のそれぞれは、
第1のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第1の信号を生成する第4のラッチ回路と、
第2のクロック信号に基づいて前記パルス信号をラッチすることにより第2の信号を生成する第2のラッチ回路と、
前記パルス信号および前記第1の信号に基づいて第3の信号を生成する第1の組み合わせ回路と、
前記パルス信号および前記第2の信号に基づいて第4の信号を生成する第2の組み合わせ回路と
を有し、前記第3の信号に基づいて前記第1の検出信号を生成し、前記第4の信号に基づいて前記第2の検出信号を生成する
光検出システム。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP21885692.0A EP4235819A4 (en) | 2020-10-26 | 2021-09-02 | LIGHT DETECTION DEVICE AND LIGHT DETECTION SYSTEM |
CN202180071653.7A CN116438427A (zh) | 2020-10-26 | 2021-09-02 | 光检测装置及光检测系统 |
US18/249,387 US20240111033A1 (en) | 2020-10-26 | 2021-09-02 | Photodetection device and photodetection system |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020-179257 | 2020-10-26 | ||
JP2020179257A JP2022070170A (ja) | 2020-10-26 | 2020-10-26 | 光検出装置および光検出システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2022091573A1 true WO2022091573A1 (ja) | 2022-05-05 |
Family
ID=81384008
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2021/032246 WO2022091573A1 (ja) | 2020-10-26 | 2021-09-02 | 光検出装置および光検出システム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20240111033A1 (ja) |
EP (1) | EP4235819A4 (ja) |
JP (1) | JP2022070170A (ja) |
CN (1) | CN116438427A (ja) |
WO (1) | WO2022091573A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024009343A1 (ja) * | 2022-07-04 | 2024-01-11 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光検出装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019009221A (ja) | 2017-06-22 | 2019-01-17 | 株式会社デンソー | 光検出器 |
US20200174105A1 (en) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method and apparatus for a hybrid time-of-flight sensor with high dynamic range |
US20200233068A1 (en) * | 2019-01-18 | 2020-07-23 | The University Court Of The University Of Edinburgh | Digital pixels and operating methods thereof |
JP2020179257A (ja) | 2020-07-31 | 2020-11-05 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
-
2020
- 2020-10-26 JP JP2020179257A patent/JP2022070170A/ja active Pending
-
2021
- 2021-09-02 EP EP21885692.0A patent/EP4235819A4/en active Pending
- 2021-09-02 US US18/249,387 patent/US20240111033A1/en active Pending
- 2021-09-02 WO PCT/JP2021/032246 patent/WO2022091573A1/ja active Application Filing
- 2021-09-02 CN CN202180071653.7A patent/CN116438427A/zh active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019009221A (ja) | 2017-06-22 | 2019-01-17 | 株式会社デンソー | 光検出器 |
US20200174105A1 (en) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method and apparatus for a hybrid time-of-flight sensor with high dynamic range |
US20200233068A1 (en) * | 2019-01-18 | 2020-07-23 | The University Court Of The University Of Edinburgh | Digital pixels and operating methods thereof |
JP2020179257A (ja) | 2020-07-31 | 2020-11-05 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
See also references of EP4235819A4 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP4235819A4 (en) | 2024-04-03 |
JP2022070170A (ja) | 2022-05-12 |
US20240111033A1 (en) | 2024-04-04 |
EP4235819A1 (en) | 2023-08-30 |
CN116438427A (zh) | 2023-07-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6742531B2 (ja) | 時間計測デバイスおよび時間計測装置 | |
WO2020184224A1 (ja) | 距離測定装置及びスキュー補正方法 | |
WO2021054269A1 (en) | Light detecting device, method of detecting light, and distance measuring system | |
WO2021090691A1 (ja) | センシングデバイスおよび測距装置 | |
WO2020031496A1 (ja) | 時間計測デバイスおよび時間計測装置 | |
WO2022091573A1 (ja) | 光検出装置および光検出システム | |
JP7491897B2 (ja) | 計測装置、測距装置、電子機器および計測方法 | |
TWI835894B (zh) | 時間測量裝置 | |
KR102708578B1 (ko) | 촬상 장치 및 촬상 시스템 | |
WO2022118552A1 (ja) | 光検出装置および光検出システム | |
WO2022239418A1 (ja) | 測距センサ及び測距装置 | |
WO2022044686A1 (ja) | Apdセンサ及び測距システム | |
WO2022181081A1 (ja) | 光検出装置および光検出システム | |
WO2023276222A1 (ja) | 光検出装置、光検出システム、および光検出方法 | |
WO2021192460A1 (ja) | センシングデバイス、および、電子装置 | |
WO2022153700A1 (ja) | 光検出装置および光検出システム | |
WO2024034254A1 (ja) | 光検出装置および光検出システム | |
WO2022091624A1 (ja) | 光検出装置および光検出システム | |
WO2024084792A1 (ja) | 光検出装置、測距装置、および、光検出装置の制御方法 | |
WO2023085143A1 (ja) | 光検出素子 | |
WO2022074939A1 (ja) | 受光素子、測距モジュール、測距システム、および、受光素子の制御方法 | |
US20240214706A1 (en) | Photodetector, photodetection system, and photodetection method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 21885692 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 18249387 Country of ref document: US |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
ENP | Entry into the national phase |
Ref document number: 2021885692 Country of ref document: EP Effective date: 20230526 |