WO2021241086A1 - 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、パターン形成方法、レジスト膜、電子デバイスの製造方法、化合物、化合物の製造方法 - Google Patents

感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、パターン形成方法、レジスト膜、電子デバイスの製造方法、化合物、化合物の製造方法 Download PDF

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愛菜 牛山
雅史 小島
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    • C07C2603/56—Ring systems containing bridged rings
    • C07C2603/86—Ring systems containing bridged rings containing four rings
    • C07C2603/88—Ethanoanthracenes; Hydrogenated ethanoanthracenes

Definitions

  • the present invention relates to a sensitive light-sensitive or radiation-sensitive resin composition, a pattern forming method, a resist film, a method for producing an electronic device, a compound, and a method for producing a compound.
  • Patent Document 1 discloses a predetermined compound as an acid generator used in a photosensitive composition, and examples thereof include the following compounds.
  • the present inventors specifically examined the properties of the above compounds disclosed in Patent Document 1, and found that a sensitive light-sensitive or radiation-sensitive resin composition containing the compound described in Patent Document 1 was obtained. It was found that there is room for improvement in the LWR (line width compound) performance of the pattern to be used.
  • An actinic light-sensitive or radiation-sensitive resin composition comprising a resin having a repeating unit having a group that decomposes by the action of an acid and has an increasing polarity.
  • the actinic light-sensitive or radiation-sensitive resin composition further contains, apart from the resin, a compound having at least one cation represented by the general formula (1) described later, or A sensitive light-sensitive or radiation-sensitive resin composition, wherein the resin further has a repeating unit having a cation represented by the general formula (1) described later, in addition to the repeating unit.
  • the actinic light-sensitive or radiation-sensitive resin composition contains a compound having at least one cation represented by the general formula (1).
  • the compound having at least one cation represented by the general formula (1) is selected from the group consisting of the compound represented by the general formula (2) described later and the compound represented by the general formula (3) described later.
  • the actinic or radiation sensitive resin composition according to (1) which comprises at least one of the above.
  • (9) A compound having at least one cation represented by the general formula (1) described later.
  • (10) The compound according to (9), which is a compound represented by the general formula (2) described later or a compound represented by the general formula (3) described later.
  • (11) The compound according to (9) or (10), wherein X d1 is a sulfur atom.
  • (12) In any of (9) to (11), in the general formula (1), the group whose polarity is increased by decomposition due to the action of an acid is the group represented by the general formula (a-1) described later.
  • (13) The compound according to any one of (9) to (12), wherein n is an integer of 2 to 3 or p is an integer of 2 to 5 in the general formula (1).
  • a method for producing a compound which comprises producing a compound having at least one cation represented by.
  • a sensitive light-sensitive or radiation-sensitive resin composition capable of obtaining a pattern having excellent LWR performance. Further, according to the present invention, it is possible to provide a resist film, a pattern forming method, an electronic device manufacturing method, a compound, and a compound manufacturing method for the above-mentioned sensitive light-sensitive or radiation-sensitive resin composition.
  • the numerical range represented by using "-" in the present specification means a range including the numerical values before and after "-" as the lower limit value and the upper limit value.
  • the notation not describing substitution or non-substitution includes a group having a substituent as well as a group having no substituent.
  • the "alkyl group” includes not only an alkyl group having no substituent (unsubstituted alkyl group) but also an alkyl group having a substituent (substituted alkyl group).
  • the substituent is preferably a monovalent substituent unless otherwise specified.
  • the term "organic group” refers to a group containing at least one carbon atom.
  • halogen atom examples include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
  • the bonding direction of the divalent group described in the present specification is not limited unless otherwise specified.
  • Y when Y is -COO-, Y may be -CO-O-, or -O-CO-. You may. Further, the compound may be "X-CO-O-Z" or "X-O-CO-Z".
  • (meth) acrylic as used herein is a general term including acrylic and methacrylic, and means “at least one of acrylic and methacrylic".
  • (meth) acrylic acid means “at least one of acrylic acid and methacrylic acid”.
  • the term “active light” or “radiation” refers to, for example, the emission line spectrum of a mercury lamp, far ultraviolet rays typified by an excimer laser, extreme ultraviolet rays (EUV light: Extreme Ultraviolet), X-rays, and electron beams (EB:). It means Electron Beam) and the like.
  • the term “light” means active light or radiation.
  • exposure refers not only to exposure to the emission line spectrum of a mercury lamp, exposure to far-ultraviolet rays such as an excimer laser (ArF excimer laser, etc.), X-rays, EUV light, etc., but also to electron beams. , And drawing with particle beams such as ion beams.
  • the weight average molecular weight (Mw), the number average molecular weight (Mn), and the degree of dispersion (hereinafter, also referred to as “molecular weight distribution”) (Mw / Mn) of the resin are GPC (Gel Permeation Chromatography) apparatus (Tosoh).
  • HLC-8120GPC manufactured by HLC-8120GPC
  • solvent tetrahydrofuran
  • flow rate sample injection amount
  • column TSK gel Multipore HXL-M manufactured by Toso Co., Ltd.
  • column temperature 40 ° C.
  • flow velocity 1.0 mL / min
  • detector Defined as a polystyrene-equivalent value by a differential index detector (Refractive Index Detector).
  • 1 ⁇ is 1 ⁇ 10 -10 m.
  • the acid dissociation constant (pKa) in the present specification represents pKa in an aqueous solution, and specifically, a value based on a database of Hammett's substituent constants and known literature values using the following software package 1. Is a value obtained by calculation. All pKa values described herein indicate values calculated using this software package.
  • pKa can also be obtained by the molecular orbital calculation method.
  • a method of calculating H + dissociation free energy in a solvent based on a thermodynamic cycle In the present specification, water is usually used as the solvent, and DMSO (dimethyl sulfoxide) is used when pKa cannot be obtained with water.
  • the calculation method of H + dissociation free energy can be calculated by, for example, DFT (density functional theory), but various other methods have been reported in the literature and the like, and the calculation method is not limited thereto.
  • DFT density functional theory
  • There are a plurality of software that can perform DFT and examples thereof include Gaussian 16.
  • pKa in the present specification refers to a value obtained by calculation based on a database of Hammett's substituent constants and publicly known literature values using software package 1, and pKa is calculated by this method. If this is not possible, the value obtained by Gaussian 16 based on DFT (Density Functional Theory) shall be adopted.
  • the actinic light-sensitive or radiation-sensitive resin composition of the present invention (hereinafter, also referred to as “resist composition”) will be described.
  • the resist composition of the present invention may be a positive type resist composition or a negative type resist composition. Further, it may be a resist composition for alkaline development or a resist composition for organic solvent development.
  • the composition of the present invention is typically a chemically amplified resist composition.
  • the resist composition of the present invention is a resin having a repeating unit (hereinafter, also referred to as "repeating unit having an acid-degradable group") having a group which is decomposed by the action of an acid and whose polarity is increased (hereinafter, “acid decomposition”).
  • a resist composition containing also referred to as “sexual resin”
  • the resist composition is a cation represented by the general formula (1) described later (hereinafter, also referred to as "specific cation”) in addition to the acid-decomposable resin.
  • the resist composition of the present invention contains an acid-degradable resin and a specific compound, or contains an acid-degradable resin having a specific repeating unit.
  • the mechanism by which the problem of the present invention is solved by such a configuration is not clear, but it is presumed as follows.
  • the specific compound usually acts as a photoacid generator. Since the specific compound contains a sulfur atom at a predetermined position, the polarity of the cation is reduced as compared with the compound described in Patent Document 1, aggregation of the specific compounds is suppressed, and compatibility with the acid-degradable resin is achieved. Is also excellent, so that the LWR performance of the formed pattern is good.
  • the acid-degradable group of the specific compound is decomposed to generate the polar group together with the polar group generated from the acid-degradable resin, thereby improving the solubility of the exposed part in the alkaline developer and dissolving it in the organic solvent developer.
  • a decrease in the liquid is observed, and the LWR performance tends to be improved in both the positive type and the negative type.
  • obtaining a pattern superior in LWR performance is also referred to as an excellent effect of the present invention.
  • the resist composition of the present invention contains a specific compound or an acid-degradable resin having a specific repeating unit described later.
  • the specific compound will be described in detail.
  • the specific compound acts as a photoacid generator or an acid diffusion inhibitor.
  • the photoacid generator is a compound that generates an acid by irradiation (exposure) with active light or radiation (preferably EUV light or ArF).
  • the acid diffusion control agent is a compound that acts as a quencher for trapping the acid generated from the photoacid generator and controls the acid diffusion phenomenon in the resist membrane.
  • the pKa of the acid generated from the specific compound is often smaller than the pKa of the acid generated from the acid diffusion control agent described later in the resist composition, although it is not particularly limited. ..
  • the acid-degradable resin described later can often be decomposed by the action of an acid.
  • the pKa of the acid generated from the specific compound is not particularly limited, but may be larger than the pKa of the acid generated from the photoacid generator separately contained in the resist composition. many.
  • the acid-decomposable resin described later cannot be decomposed by the action of an acid in many cases. That is, the specific compound can act as a photoacid generator or an acid diffusion control agent depending on the relative relationship with the components contained in other resist compositions.
  • volume of the acid generated from a specific compound to suppress the diffusion of the non-exposed portion of the acid generated by exposure, from the viewpoint of improving the resolution, 240 ⁇ 3 or more are preferred, 305 ⁇ 3 or higher More preferably, 350 ⁇ 3 or more is further preferable, and 400 ⁇ 3 or more is particularly preferable.
  • the volume of the acid generated from the specific compound is preferably 1500 ⁇ 3 or less, 1000 ⁇ 3, more preferably less, 700 ⁇ 3 or less is more preferable.
  • the above volume value is obtained by using "WinMOPAC" manufactured by Fujitsu Limited.
  • the chemical structure of the acid according to each example is input, and then the molecular force field calculation using the MM (Molecular Mechanics) 3 method with this structure as the initial structure is performed for each acid.
  • the most stable conformation can be determined, and then the molecular orbital calculation using the PM (Parameterized Model number 3 method) can be performed on these most stable conformations to calculate the "accessible volume" of each acid.
  • the specific compound is preferably a compound that generates an acid (preferably an organic acid) upon exposure.
  • the acid include sulfonic acid (aliphatic sulfonic acid, aromatic sulfonic acid, camphor sulfonic acid, etc.), carboxylic acid (aliphatic carboxylic acid, aromatic carboxylic acid, aralkylcarboxylic acid, etc.), carbonylsulfonyl.
  • imide acid bis (alkylsulfonyl) imide acid, and tris (alkylsulfonyl) methidoic acid.
  • the structure of the acid generated from the specific compound is not particularly limited, but the interaction between the acid generated from the specific compound and the acid-degradable resin described later is in that the diffusion of the acid is suppressed and the resolution is improved. Is preferable.
  • the acid generated by the photoacid generator is an organic acid
  • the organic acid is, for example, a sulfonic acid group, a carboxylic acid group, a carbonylsulfonylimide acid group, a bissulfonylimide acid group, and a trissulfonylmethide.
  • the organic acid group such as an acid group, it is preferable to have a polar group.
  • Examples of the polar group include an ether group, an ester group, an amide group, an acyl group, a sulfo group, a sulfonyloxy group, a sulfonamide group, a thioether group, a thioester group, a urea group, a carbonate group, a carbamate group, a hydroxyl group, and a mercapto group.
  • the number of polar groups contained in the generated acid is not particularly limited, but one or more is preferable, and two or more are more preferable. However, the number of polar groups is preferably less than 6, and more preferably less than 4, from the viewpoint of suppressing excessive development.
  • the specific compound is a compound having at least one cation represented by the general formula (1).
  • the number of cations represented by the general formula (1) possessed by the specific compound is not particularly limited, and may be one or more, and may be two or more. When the specific compound has two or more cations represented by the general formula (1), the number thereof is preferably 2 to 3.
  • X d1 represents a sulfur atom or an iodine atom.
  • sulfur atom is preferable for X d1 in that the effect of the present invention is excellent.
  • n represents an integer of 1 to 3
  • m represents an integer of 0 to 2
  • m + n represents 3.
  • X d1 represents an iodine atom
  • n represents 1 or 2
  • m represents 0 or 1
  • m + n is 2.
  • p represents an integer from 1 to 5.
  • p is preferably an integer of 1 to 4, more preferably an integer of 1 to 3, and even more preferably 1 in terms of the excellent effect of the present invention.
  • the plurality of ps may be the same or different. Further, in that the effect of the present invention is more excellent, n is preferably 2 to 3, or p is preferably 2 to 5, n is 2 to 3, or p is more preferably 2 to 3.
  • R d1 is a linear, branched or cyclic alkyl group which may have a substituent, a linear, branched or cyclic alkenyl group which may have a substituent, and the like. Alternatively, it represents an aryl group which may have a substituent. Among them, R d1 is preferably a linear, branched or cyclic alkyl group which may have a substituent, or an aryl group which may have a substituent, and has a substituent. Aryl groups may be more preferred.
  • the aryl group which may have a substituent represented by R d1 may be a monocyclic ring or a polycyclic ring. Among them, the aryl group is preferably a single ring.
  • the alkyl group or alkenyl group is preferably cyclic.
  • R d1 may have a substituent or may be unsubstituted.
  • the substituent of R d1 is preferably an alkyl group which may have a hetero atom, and more preferably an alkyl group having at least one selected from the group consisting of an oxygen atom and a halogen atom.
  • the carbon number of the group represented by R d1 is preferably 30 or less, more preferably 25 or less, still more preferably 20 or less.
  • the lower limit of the number of carbon atoms is not particularly limited, but 3 or more is preferable.
  • m represents 2
  • the two R d1s may be coupled to each other to form a ring.
  • the number of ring members of the ring formed by the above is preferably 5 or 6.
  • one of the methylene groups constituting the ring may be substituted with a heteroatom such as an oxygen atom or a group having a heteroatom such as a carbonyl group.
  • L d1 independently represents a single bond or a divalent linking group.
  • L d1 is preferably a single bond because the effect of the present invention is more excellent.
  • the divalent linking group represented by L d1 include -O-, -CO-, -COO-, -S-, -NH-, CS-, -SO-, -SO 2- , and a substituent.
  • examples thereof include a hydrocarbon group (for example, an alkylene group, a cycloalkylene group, an alkenylene group, an arylene group, etc.), and a linking group in which a plurality of these are linked.
  • the divalent linking group preferably has a hydrocarbon group which may have a substituent, and more preferably has a methylene group, an ethylene group, or a propylene group.
  • Ar d1 represents an aromatic hydrocarbon ring group which may have a substituent.
  • the aromatic hydrocarbon ring group may be monocyclic or polycyclic. Of these, a single ring is preferable.
  • Examples of the aromatic hydrocarbon ring group represented by Ar d1 include a benzene ring group, a naphthalene ring group, and an anthracene ring group. Among them, the aromatic hydrocarbon ring group is preferably a benzene ring group or a naphthalene ring group, and more preferably a benzene ring group.
  • the aromatic hydrocarbon ring group represented by Ar d1 may have a substituent or may be unsubstituted.
  • the aromatic hydrocarbon ring group is preferably unsubstituted.
  • the substituent of the aromatic hydrocarbon ring group include a halogen atom, a linear or branched alkyl group which may have a halogen atom, and an alkoxy which may have a halogen atom.
  • the group is mentioned.
  • an unsubstituted linear or branched alkyl group is preferable.
  • X d2 represents a group represented by the general formula (1-1) or a leaving group that is eliminated by the action of an acid.
  • * represents the bonding position.
  • L d2 represents a single bond or a divalent linking group.
  • L d2 is preferably a divalent linking group because the effect of the present invention is more excellent.
  • Examples of the divalent linking group represented by L d2 include the divalent linking group exemplified by L d1 described above.
  • R d2 represents a group whose polarity is increased by decomposition due to the action of an acid (hereinafter, also referred to as “acid-degradable group”).
  • An acid-degradable group is a group that is decomposed by the action of an acid to form a polar group.
  • the acid-degradable group preferably has a structure in which the polar group is protected by a leaving group that is eliminated by the action of an acid. That is, the specific compound has a group which is decomposed by the action of an acid to form a polar group.
  • the action of the acid increases the polarity, increases the solubility in an alkaline developer, and decreases the solubility in an organic solvent.
  • an alkali-soluble group is preferable, and for example, a carboxyl group, a hydroxyl group, a phenolic hydroxyl group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group, a sulfonamide group, a sulfonylimide group, a (alkylsulfonyl) (alkylcarbonyl) methylene group, (Alkylsulfonyl) (alkylcarbonyl) imide group, bis (alkylcarbonyl) methylene group, bis (alkylcarbonyl) imide group, bis (alkylsulfonyl) methylene group, bis (alkylsulfonyl) imide group, tris (alkylcarbonyl) methylene group , And acidic groups such as tris (alkylsulfonyl) methylene group.
  • the polar group at least one selected from the group consisting of a carboxyl group, a hydroxyl group, a phenolic hydroxyl group, and a sulfonic acid group is preferable, and a carboxyl group, a hydroxyl group, or a phenolic hydroxyl group is more preferable.
  • Examples of the leaving group that are eliminated by the action of an acid include groups represented by the general formulas (S1) to (S3).
  • General formula (S1) -C (Rx S1 ) (Rx S2 ) (Rx S3 )
  • General formula (S2): -C ( O) OC (Rx S1 ) (Rx S2 ) (Rx S3 )
  • Rx S1 to Rx S3 may independently have a substituent, or may have a linear or branched alkyl group or a substituent.
  • Rx S1 to Rx S3 are preferably linear or branched alkyl groups which may independently have a substituent, and Rx S1 to Rx S3 have independent substituents. Linear alkyl groups that may have are more preferred. Two of Rx S1 to Rx S3 may be combined to form a monocyclic or polycyclic ring.
  • Alkyl groups of Rx S1 to Rx S3 include tert-butyl group, tert-peptyl group, methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group and the like, and have 1 to 10 carbon atoms. Alkyl group is preferred.
  • Examples of the cycloalkyl group of Rx 1 to Rx 3 include a monocyclic cycloalkyl group such as a cyclopentyl group and a cyclohexyl group, or a polycycle such as a norbornyl group, a tetracyclodecanyl group, a tetracyclododecanyl group, and an adamantyl group. Cycloalkyl group is preferred. Of Rx S1 to Rx S3 , a cycloalkyl group is preferable as the ring formed by bonding two of them.
  • Examples of the cycloalkyl group formed by combining two of Rx S1 to Rx S3 include a monocyclic cycloalkyl group such as a cyclopentyl group or a cyclohexyl group, or a norbornyl group, a tetracyclodecanyl group or a tetracyclododecanyl group.
  • a polycyclic cycloalkyl group such as an adamantyl group is preferable, and a monocyclic cycloalkyl group having 5 to 6 carbon atoms is more preferable.
  • the cycloalkyl group formed by bonding two of Rx S1 to Rx S3 is, for example, one of the methylene groups constituting the ring is a heteroatom such as an oxygen atom other than the fluorine atom, or a fluorine atom such as a carbonyl group. It may be substituted with a group having a heteroatom of.
  • RS1 to RS3 independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group.
  • RS2 to RS3 may be combined with each other to form a ring.
  • the monovalent organic group include a linear or branched alkyl group which may have a substituent and a cycloalkyl group which may have a substituent.
  • the R S1 also a hydrogen atom.
  • the alkyl group and the cycloalkyl group may contain a heteroatom such as an oxygen atom and / or a group having a heteroatom such as a carbonyl group.
  • one or more methylene groups may be substituted with a heteroatom such as an oxygen atom and / or a group having a heteroatom such as a carbonyl group.
  • RS3 may be bonded to another substituent of the main chain of the repeating unit to form a ring.
  • the group represented by the general formulas (a-1) to (a-5) is preferable, and the group represented by the general formula (a-1) or (a-2) is more preferable.
  • the group represented by the general formula (a-1) is more preferable.
  • R a1 represents a leaving group capable of leaving by the action of an acid. * Represents the bond position.
  • Examples of the leaving group that are eliminated by the action of an acid include the above-mentioned groups represented by the general formulas (S1) to (S3).
  • Ra1 preferably represents a linear or branched alkyl group which may have a substituent, or a cycloalkyl group which may have a substituent.
  • the linear or branched-chain alkyl group which may have a substituent represented by R a1 may have a substituent in that the effect of the present invention is more excellent.
  • Alkyl groups are preferred.
  • the above-mentioned alkyl group may be a linear or branched-chain alkyl group having a substituent, or may be an unsubstituted linear or branched-chain alkyl group.
  • a heteroatom such as an oxygen atom or an alkyl group containing a heteroatom such as an oxygen atom is preferable.
  • the alkyl group preferably has 1 to 20 carbon atoms, more preferably 2 to 10 carbon atoms, and even more preferably 2 to 8 carbon atoms.
  • Examples of the alkyl group represented by R a1 include a tert-butyl group, a tert-heptyl group, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group and a sec-butyl group.
  • n-pentyl group isopentyl group, neopentyl group, tert-pentyl group, n-hexyl group, 1-methylpentyl group, 4-methyl-2-pentyl group, 2-ethylbutyl group, n-heptyl group, 1-methylhexyl
  • examples include groups, n-octyl groups, 1-methylheptyl groups, and 2-ethylhexyl groups. Among them, in terms of the effect of the present invention is more excellent, the alkyl group represented by R a1 is, tert- butyl group, or a tert- heptyl group.
  • the cycloalkyl group which may have a substituent represented by Ra1 may be a monocyclic ring or a polycyclic ring.
  • the cycloalkyl group may be a cycloalkyl group having a substituent or an unsubstituted cycloalkyl group. Of these, a cycloalkyl group having a substituent is preferable.
  • Examples of the substituent having the above-mentioned cycloalkyl group include an alkyl group which may have a substituent and an aryl group which may have a substituent.
  • an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an aryl group which may have a substituent is preferable, and a methyl group or an ethyl group is more preferable.
  • the cycloalkyl group preferably has 4 to 25 carbon atoms, more preferably 4 to 20 carbon atoms, and even more preferably 4 to 15 carbon atoms.
  • Examples of the cycloalkyl group represented by R a1 include a cyclopentyl group such as a methylcyclopentyl group or an ethylcyclopentyl group, and a cyclohexyl group such as a methylcyclohexyl group or an ethylcyclohexyl group; a cycloheptyl group, a cyclooctyl group, a cyclodecanyl group, and the like.
  • Examples thereof include a norbornyl group, a tricyclodecanyl group, a tetracyclododecanyl group, and an adamantan group such as a methyladamantyl group or an ethyladamantan group.
  • the cycloalkyl group represented by R a1 are cyclopentyl group, a cyclohexyl group, at least one selected from the group consisting of cycloheptyl and adamantane group, is preferred,
  • a methylcyclopentyl group, an ethylcyclopentyl group, a methylcyclohexyl group, an ethylcyclohexyl group, a methyladamantyl group, or an ethyladamantan group is more preferable.
  • R a2 represents a linear or branched alkyl group which may have a substituent, or a cycloalkyl group which may have a substituent.
  • the linear or branched alkyl group which may have a substituent represented by R a2 may be used as the linear or branched alkyl group which may have a substituent represented by Ra 1 described above. It is synonymous with a chain alkyl group.
  • the cycloalkyl group which may have a substituent represented by Ra 2 include the cycloalkyl group which may have a substituent represented by Ra 1 described above.
  • R a3 represents a hydrogen atom, a linear or branched alkyl group which may have a substituent, or a cycloalkyl group which may have a substituent.
  • the linear or branched alkyl group which may have a substituent represented by R a3 may be used. It is synonymous with a chain alkyl group.
  • the cycloalkyl group which may have a substituent represented by Ra 3 is synonymous with the cycloalkyl group which may have a substituent represented by Ra 1 described above.
  • R a2 and R a3 may be coupled to each other to form a ring.
  • the ring formed by bonding R a2 and R a3 to each other may be a monocyclic ring or a polycyclic ring. Of these, a single ring is preferable.
  • Examples of the monocycle formed by bonding R a2 and R a3 to each other include cycloalkanes having 3 to 6 carbon atoms. More specifically, for example, a cyclopropane ring, a cyclobutane ring, a cyclopentane ring, and a cyclohexane ring can be mentioned.
  • a part of the carbon atom in the ring may be substituted with a hetero atom such as an oxygen atom.
  • R a4 represents a leaving group that is eliminated by the action of an acid.
  • Examples of the leaving group include the groups represented by the general formulas (S1) to (S3) described above.
  • R a5 and R a6 each independently represent a linear or branched-chain alkyl group. R a5 and R a6 may be combined with each other to form a monocycle (eg, an aliphatic hydrocarbon ring) or a polycycle.
  • R a7 and R a8 each independently represent a linear or branched alkyl group which may have a substituent.
  • the type of leaving group is not particularly limited by the action of the acid represented by X d2, and known leaving groups can be mentioned.
  • the SH group thiol group
  • Examples of the leaving group include the groups represented by the general formulas (S1) to (S3) described above.
  • the specific compound preferably contains an organic anion.
  • the organic anion may be a monovalent or divalent or higher organic anion. Among them, the organic anion is preferably 1 to trivalent.
  • the organic anion is preferably an anion having a significantly low ability to cause a nucleophilic reaction, and specific examples thereof include a non-nucleophilic anion.
  • non-nucleophilic anion examples include a sulfonic acid anion (aliphatic sulfonic acid anion, aromatic sulfonic acid anion, and camphor sulfonic acid anion, etc.) and a carboxylic acid anion (aliphatic carboxylic acid anion, aromatic carboxylic acid anion, etc.).
  • aralkyl carboxylic acid anions, etc. sulfonylimide anions, bis (alkylsulfonyl) imide anions, and tris (alkylsulfonyl) methide anions.
  • the aliphatic moiety in the aliphatic sulfonic acid anion and the aliphatic carboxylic acid anion may be a linear or branched alkyl group or a cycloalkyl group.
  • a linear or branched alkyl group having 1 to 30 carbon atoms or a cycloalkyl group having 3 to 30 carbon atoms is preferable.
  • the alkyl group may be, for example, a fluoroalkyl group (may be a perfluoroalkyl group).
  • the aryl group in the aromatic sulfonic acid anion and the aromatic carboxylic acid anion is preferably an aryl group having 6 to 14 carbon atoms, and examples thereof include a phenyl group, a tolyl group, and a naphthyl group.
  • the above-mentioned alkyl group, the above-mentioned cycloalkyl group, and the above-mentioned aryl group may have a substituent.
  • the substituent is not particularly limited, but specifically, a halogen atom such as a nitro group, a fluorine atom and a chlorine atom, a carboxyl group, a hydroxyl group, an amino group, a cyano group and an alkoxy group (preferably having 1 to 15 carbon atoms).
  • Alkyl group preferably 1 to 10 carbon atoms
  • cycloalkyl group preferably 3 to 15 carbon atoms
  • aryl group preferably 6 to 14 carbon atoms
  • alkoxycarbonyl group preferably 2 to 7 carbon atoms.
  • Acrylic group preferably 2 to 12 carbon atoms
  • alkoxycarbonyloxy group preferably 2 to 7 carbon atoms
  • alkylthio group preferably 1 to 15 carbon atoms
  • alkylsulfonyl group preferably 1 to 15 carbon atoms
  • An alkyliminosulfonyl group preferably 1 to 15 carbon atoms
  • an aryloxysulfonyl group preferably 6 to 20 carbon atoms
  • an aralkyl group having 7 to 14 carbon atoms is preferable, and examples thereof include a benzyl group, a phenethyl group, a naphthylmethyl group, a naphthylethyl group, and a naphthylbutyl group.
  • Examples of the sulfonylimide anion include saccharin anion.
  • alkyl group in the bis (alkylsulfonyl) imide anion and the tris (alkylsulfonyl) methide anion an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms is preferable.
  • substituent of these alkyl groups include a halogen atom, an alkyl group substituted with a halogen atom, an alkoxy group, an alkylthio group, an alkyloxysulfonyl group, an aryloxysulfonyl group, and a cycloalkylaryloxysulfonyl group.
  • a fluorine atom or an alkyl group substituted with a fluorine atom is preferable.
  • the alkyl groups in the bis (alkylsulfonyl) imide anion may be bonded to each other to form a ring structure. This increases the acid strength.
  • non-nucleophilic anions e.g., fluorinated phosphorus (e.g., PF 6 -), fluorinated boron (e.g., BF 4 -), and fluorinated antimony (e.g., SbF 6 -) and the like.
  • fluorinated phosphorus e.g., PF 6 -
  • fluorinated boron e.g., BF 4 -
  • fluorinated antimony e.g., SbF 6 -
  • non-nucleophilic anion examples include an aliphatic sulfonic acid anion in which at least the ⁇ -position of the sulfonic acid is substituted with a fluorine atom, an aromatic sulfonic acid anion substituted with a fluorine atom or a group having a fluorine atom, and an alkyl group being a fluorine atom.
  • a bis (alkylsulfonyl) imide anion substituted with, or a tris (alkylsulfonyl) methide anion in which the alkyl group is substituted with a fluorine atom is preferable.
  • perfluoroaliphatic sulfonic acid anion preferably 4 to 8 carbon atoms
  • benzenesulfonic acid anion having a fluorine atom is more preferable
  • nonafluorobutane sulfonic acid anion, perfluorooctane sulfonic acid anion, and pentafluoro A benzenesulphonic acid anion or a 3,5-bis (trifluoromethyl) benzenesulphonic acid anion is more preferred.
  • an anion represented by the following formula (AN1) is also preferable.
  • o represents an integer of 1 to 3.
  • p represents an integer from 0 to 10.
  • q represents an integer from 0 to 10.
  • Xf represents a fluorine atom or an alkyl group substituted with at least one fluorine atom.
  • the number of carbon atoms of this alkyl group is preferably 1 to 10, and more preferably 1 to 4.
  • a perfluoroalkyl group is preferable.
  • Xf is preferably a fluorine atom or a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and more preferably a fluorine atom or CF 3 . In particular, it is more preferable that both Xf are fluorine atoms.
  • R 4 and R 5 each independently represent a hydrogen atom, a fluorine atom, an alkyl group, or an alkyl group substituted with at least one fluorine atom. If R 4 and R 5 there are a plurality, R 4 and R 5 may each be the same or different.
  • the alkyl group represented by R 4 and R 5 may have a substituent, and preferably has 1 to 4 carbon atoms.
  • R 4 and R 5 are preferably hydrogen atoms. Specific examples and preferred embodiments of the alkyl group substituted with at least one fluorine atom are the same as the specific examples and preferred embodiments of Xf in the general formula (AN1).
  • L represents a divalent linking group.
  • the divalent linking group includes, for example, -O-CO-O-, -COO-, -OCO-, -CONH-, -NHCO-, -CO-, -O-, -S-, -SO-, -SO 2- , an alkylene group (preferably 1 to 6 carbon atoms), a cycloalkylene group (preferably 3 to 15 carbon atoms), an alkenylene group (preferably 2 to 6 carbon atoms), and a combination thereof.
  • Examples include divalent linking groups.
  • W represents an organic group containing a cyclic structure.
  • a cyclic organic group is preferable.
  • the cyclic organic group include an alicyclic group, an aryl group, and a heterocyclic group.
  • the alicyclic group may be monocyclic or polycyclic.
  • the monocyclic alicyclic group include a monocyclic cycloalkyl group such as a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, and a cyclooctyl group.
  • polycyclic alicyclic group examples include a polycyclic cycloalkyl group such as a norbornyl group, a tricyclodecanyl group, a tetracyclodecanyl group, a tetracyclododecanyl group, and an adamantyl group.
  • a polycyclic cycloalkyl group such as a norbornyl group, a tricyclodecanyl group, a tetracyclodecanyl group, a tetracyclododecanyl group, and an adamantyl group.
  • the aryl group may be monocyclic or polycyclic. Examples of the aryl group include a phenyl group, a naphthyl group, a phenanthryl group, and an anthryl group.
  • the heterocyclic group may be monocyclic or polycyclic. Polycyclics can suppress the diffusion of acid more. Further, the heterocyclic group may or may not have aromaticity. Examples of the heterocyclic ring having aromaticity include a furan ring, a thiophene ring, a benzofuran ring, a benzothiophene ring, a dibenzofuran ring, a dibenzothiophene ring, and a pyridine ring.
  • heterocyclic ring having no aromaticity examples include a tetrahydropyran ring, a lactone ring, a sultone ring, and a decahydroisoquinoline ring.
  • a heterocycle in the heterocyclic group a furan ring, a thiophene ring, a pyridine ring, or a decahydroisoquinoline ring is particularly preferable.
  • the cyclic organic group may have a substituent.
  • substituents include an alkyl group (which may be linear or branched, preferably 1 to 12 carbon atoms) and a cycloalkyl group (single ring, polycyclic, and spiro ring). Any of them may be used, preferably 3 to 20 carbon atoms), an aryl group (preferably 6 to 14 carbon atoms), a hydroxyl group, an alkoxy group, an ester group, an amide group, a urethane group, a ureido group, a thioether group and a sulfonamide. Examples include a group and a sulfonic acid ester group.
  • the carbon constituting the cyclic organic group may be a carbonyl carbon.
  • L, q, and W are the same as in the general formula (AN1).
  • an anion represented by the following formula (AN2) is also preferable.
  • X B1 and X B2 independently represent a monovalent organic group having no hydrogen atom or fluorine atom. It is preferable that X B1 and X B2 are hydrogen atoms. X B3 and X B4 independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group, respectively. It is preferable that at least one of X B3 and X B4 is a fluorine atom or a monovalent organic group having a fluorine atom, and both X B3 and X B4 are monovalent organic groups having a fluorine atom or a fluorine atom. Is more preferable. It is more preferred that both X B3 and X B4 are alkyl groups substituted with fluorine atoms. L, q and W are the same as the general formula (AN1).
  • an anion represented by the following formula (AN3) is preferable.
  • Xa independently represents a fluorine atom or an alkyl group substituted with at least one fluorine atom.
  • Xb independently represents an organic group having no hydrogen atom or fluorine atom.
  • an anion represented by the following formula (AN4) is also preferable.
  • R 1 and R 2 each independently represent a substituent or a hydrogen atom that is not an electron-withdrawing group.
  • substituent which is not the electron-attracting group include a hydrocarbon group, a hydroxyl group, an oxyhydrosulfide group, an oxycarbonyl hydrocarbon group, an amino group, a hydrocarbon-substituted amino group, a hydrocarbon-substituted amide group and the like. ..
  • the substituents that are not electron-withdrawing groups are independently -R', -OH, -OR' , -OCOR', -NH 2 , -NR' 2 , -NHR', or -NHCOR. 'Id preferred.
  • R' is a monovalent hydrocarbon group.
  • Examples of the monovalent hydrocarbon group represented by R'in include an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group and a butyl group; an alkenyl group such as an ethenyl group, a propenyl group and a butenyl group; and an ethynyl group.
  • Monovalent linear or branched hydrocarbon group such as alkynyl group such as propynyl group and butynyl group; cycloalkyl group such as cyclopropyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, norbornyl group and adamantyl group; Monovalent alicyclic hydrocarbon groups such as cycloalkenyl groups such as cyclopropenyl group, cyclobutenyl group, cyclopentenyl group, norbornenyl group; phenyl group, trill group, xylyl group, mesityl group, naphthyl group, methylnaphthyl group, anthryl group , Aryl groups such as methyl anthryl group; monovalent aromatic hydrocarbon groups such as aralkyl groups such as benzyl group, phenethyl group, phenylpropyl group, naphthylmethyl group and anthrylmethyl
  • L is a divalent linking group consisting of a combination of one or more linking groups S and an alkylene group which may have one or more substituents, or one or more linking groups.
  • Linking group S is, * A -O-CO-O- * B, * A -CO- * B, * A -CO-O- * B, * A -O-CO- * B, * A -O- * B, * a -S- * B and,
  • * a -SO 2 - is a radical selected from the group consisting of * B.
  • L is one form of "a divalent linking group consisting of a combination of one or more linking groups S and an alkylene group which may have one or more substituents", that is, “one or more”.
  • the linking group S is * A- O-CO-O- * B , *.
  • a -CO- * B, * A -O -CO- * B, * A -O- * B, * A -S- * B and,, * A -SO 2 - is selected from the group consisting of * B It is preferably a group.
  • the alkylene group in "a divalent linking group consisting of a combination of one or more linking groups S and an alkylene group which may have one or more substituents" is an unsubstituted alkylene group.
  • the linking group S is, * A -O-CO-O- * B, * A -CO- * B, * A -O-CO- * B, * A -O- * B, * A - S- * B, and, * a -SO 2 - is preferably a group selected from the group consisting of * B.
  • * A represents a represents a bonding position of R 3 side in formula (AN4)
  • * B is -SO 3 in the general formula (AN4) - represents a side bonding position.
  • a divalent linking group consisting of a combination of one or more linking groups S and an alkylene group which may have one or more substituents
  • only one linking group S may be present. There may be more than one. Similarly, only one alkylene group which may have a substituent may be present, or two or more may be present.
  • the plurality of linking groups S may be the same or different from each other.
  • the plurality of alkylene groups may be the same or different from each other.
  • the linking groups S may be continuously bonded to each other.
  • * A -CO- * B, * A -O-CO- * B, and, * A -O- * group selected from the group consisting of B are bonded continuously "* A -O- It is preferable that "CO-O- * B" is not formed. Also, * A -CO- * B and * A -O- * group selected from the group consisting of B are bonded continuously "* A -O-CO- * B" and "* A -CO- It is preferable that neither O- * B "is formed.
  • linking groups S when there are a plurality of linking groups S, the linking groups S when there are a plurality of linking groups S may be the same or different.
  • * A -CO- * B, * A -O-CO- * B, and, * A -O- * group selected from the group consisting of B are bonded continuously "* A - It is preferable that "O-CO-O- * B" is not formed.
  • * A -CO- * B and * A -O- * group selected from the group consisting of B are bonded continuously "* A -O-CO- * B" and "* A -CO- It is preferable that neither O- * B "is formed.
  • the atom at the ⁇ -position with respect to —SO 3 ⁇ is not a carbon atom having a fluorine atom as a substituent.
  • the ⁇ -position atom is a carbon atom
  • the carbon atom does not have to be directly substituted with a fluorine atom
  • the carbon atom is a substituent having a fluorine atom (for example, fluoro, such as a trifluoromethyl group). It may have an alkyl group).
  • the atom at the ⁇ -position is, in other words, an atom in L that is directly bonded to —C (R 1 ) (R 2) — in the general formula (AN4).
  • L preferably has only one linking group S. That is, L is a divalent linking group consisting of a combination of one linking group S and an alkylene group which may have one or more substituents, or a divalent linking group consisting of one linking group S. It is preferable to represent a group.
  • L is preferably a group represented by the following formula (AN4-2). * A - (CR 2a 2) X -Q- (CR 2b 2) Y - * b (AN4-2)
  • * a represents a bonding position to R 3 in the general formula (AN4).
  • * B represents the bonding position with ⁇ C (R 1 ) (R 2 ) ⁇ in the general formula (AN4).
  • X and Y each independently represent an integer of 0 to 10, and an integer of 0 to 3 is preferable.
  • R 2a and R 2b each independently represent a hydrogen atom or a substituent.
  • R 2a and R 2b may each be the same or different, However, when Y is 1 or more, R 2b in CR 2b 2 that directly bonds with ⁇ C (R 1 ) (R 2 ) ⁇ in the general formula (AN4) is other than a fluorine atom.
  • Q is, * A -O-CO-O- * B, * A -CO- * B, * A -CO-O- * B, * A -O-CO- * B, * A -O- * B , * a -S- * B, or, * a -SO 2 - represents a * B.
  • R 3 represents an organic group.
  • the organic group is not limited as long as it has one or more carbon atoms, and a linear group (for example, a linear alkyl group) may be a branched chain group (for example, a t-butyl group). It may be a branched alkyl group) or may have a cyclic structure.
  • the organic group may or may not have a substituent.
  • the organic group may or may not have a hetero atom (oxygen atom, sulfur atom, and / or nitrogen atom, etc.).
  • R 3 is preferably an organic group having a cyclic structure.
  • the cyclic structure may be monocyclic or polycyclic, and may have a substituent.
  • the ring in the organic group containing the cyclic structure is preferably directly bonded to L in the general formula (AN4).
  • the organic group having the cyclic structure may or may not have, for example, a hetero atom (oxygen atom, sulfur atom, and / or nitrogen atom, etc.). Heteroatoms may be substituted with one or more carbon atoms forming a cyclic structure.
  • the organic group having the cyclic structure is preferably a hydrocarbon group having a cyclic structure, a lactone ring group, or a sultone ring group.
  • the organic group having a cyclic structure is preferably a hydrocarbon group having a cyclic structure.
  • the hydrocarbon group having the cyclic structure is preferably a monocyclic or polycyclic cycloalkyl group. These groups may have substituents.
  • the cycloalkyl group may be a monocyclic ring (cyclohexyl group or the like) or a polycyclic ring (adamantyl group or the like), and the number of carbon atoms is preferably 5 to 12.
  • the lactone group and sultone group are represented by, for example, the structures represented by the general formulas (LC1-1) to (LC1-21) described later, and the general formulas (SL1-1) to (SL1-3). In any of the above structures, a group consisting of a ring member atom constituting a lactone structure or a sultone structure minus one hydrogen atom is preferable.
  • the non-nucleophilic anion may be a benzenesulfonic acid anion, and is preferably a benzenesulfonic acid anion substituted with a branched alkyl group or a cycloalkyl group.
  • an aromatic sulfonic acid anion represented by the following formula (AN5) is also preferable.
  • Ar represents an aryl group (phenyl group or the like), and may further have a substituent other than the sulfonic acid anion and the ⁇ (DB) group. Further, examples of the substituent which may be possessed include a fluorine atom and a hydroxyl group.
  • N represents an integer of 0 or more.
  • n an integer of 1 to 4 is preferable, an integer of 2 to 3 is more preferable, and an integer of 3 is further preferable.
  • D represents a single bond or a divalent linking group.
  • the divalent linking group include an ether group, a thioether group, a carbonyl group, a sulfoxide group, a sulfone group, a sulfonic acid ester group, an ester group, and a group composed of a combination of two or more thereof.
  • B represents a hydrocarbon group
  • B preferably has an aliphatic hydrocarbon structure, and more preferably an aryl group (tricyclohexylphenyl group or the like) which may have an isopropyl group, a cyclohexyl group, or a substituent.
  • aryl group tricyclohexylphenyl group or the like
  • a disulfonamide anion is also preferable.
  • Disulfonamide anion for example, N - anions represented by (SO 2 -R q) 2.
  • R q represents an alkyl group which may have a substituent, a fluoroalkyl group is preferable, and a perfluoroalkyl group is more preferable.
  • the two R qs may combine with each other to form a ring.
  • the group formed by bonding two R qs to each other is preferably an alkylene group which may have a substituent, more preferably a fluoroalkylene group, and even more preferably a perfluoroalkylene group.
  • the alkylene group preferably has 2 to 4 carbon atoms.
  • examples of the anion include anions represented by the following formulas (d1-1) to (d1-3).
  • the specific compound having an anion represented by the following formulas (d1-1) to (d1-3) as the anion can also have a function as an acid diffusion control agent described later.
  • R 51 represents a hydrocarbon group (for example, an aryl group such as a phenyl group) which may have a substituent (for example, a hydroxyl group).
  • Z 2c represents a hydrocarbon group having 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent (however, the carbon atom adjacent to S is not substituted with a fluorine atom).
  • the hydrocarbon group in Z 2c may be linear or branched, and may have a cyclic structure.
  • the carbon atom in the hydrocarbon group (preferably a carbon atom which is a ring member atom when the hydrocarbon group has a cyclic structure) may be a carbonyl carbon (—CO ⁇ ).
  • Examples of the hydrocarbon group include a group having a norbornyl group which may have a substituent.
  • the carbon atom forming the norbornyl group may be a carbonyl carbon.
  • Z 2c -SO 3 - is preferably different from that from the anion represented by the above formula (AN1) ⁇ (AN5).
  • Z 2c is preferably a group other than an aryl group.
  • the atoms at the ⁇ -position and the ⁇ -position with respect to —SO 3 ⁇ are preferably atoms other than the carbon atom having a fluorine atom as a substituent.
  • R 52 represents an organic group (preferably a hydrocarbon group having a fluorine atom)
  • Y 3 is a linear, branched, or cyclic alkylene group, arylene group, or , Represents a carbonyl group and Rf represents a hydrocarbon group.
  • anions include the following.
  • the specific compound has one or more cations represented by the general formula (1).
  • the number of organic anions contained in the specific compound is not particularly limited, but when the number of cations represented by the general formula (1) possessed by the specific compound is one, the number of organic anions is preferably one.
  • the compound represented by the general formula (2) corresponds to a salt compound having one cation represented by the general formula (1) and one organic anion.
  • Z 1 + represents a cation represented by the above general formula (1).
  • the definition of the cation represented by the general formula (1) is as described above.
  • Y 1 ⁇ represents a monovalent organic anion.
  • the monovalent organic anion is intended to be a monovalent organic anion among the above-mentioned organic anions.
  • Y 1 - represents a monovalent organic anion.
  • the monovalent organic anion is intended to be a monovalent organic anion among the above-mentioned organic anions.
  • Each of RS1 to RS3 independently represents a group represented by the general formula (T-1). Among them, RS1 to RS3 preferably represent the same group. In the general formula (T-1), * represents the bonding position.
  • X d2 represents a group represented by the above-mentioned general formula (1-1) or a leaving group that is eliminated by the action of an acid.
  • the definition of each group represented by X d2 is as described above.
  • Each of R b1 to R b3 independently represents a substituent other than the group represented by the general formula (T-1).
  • the substituent include a linear or branched alkyl group which may have a substituent, a cycloalkyl group which may have a substituent, and a substituent.
  • a good aryl group is mentioned.
  • the number of carbon atoms of the alkyl group and the cycloalkyl group is not particularly limited, but the number of carbon atoms is preferably 1 to 10, more preferably 1 to 5, and even more preferably 1 to 3.
  • a linear or branched alkyl group which may have a substituent is preferable, and a linear or branched alkyl group which may have a heteroatom is more preferable. ..
  • R b1 and R b2 , R b2 and R b3 , R b1 and R b3 may be bonded to each other to form a single bond, or a divalent linking group (for example, —O—) may be formed. It may be formed.
  • a1 represents an integer of 1 to 5
  • a2 represents an integer of 0 to 5
  • a3 represents an integer of 0 to 5.
  • b1 represents an integer of 0 to 4
  • b2 represents an integer of 0 to 5
  • b3 represents an integer of 0 to 5.
  • the sum of a1 and b1 represents an integer of 1 to 5
  • the sum of a2 and b2 represents an integer of 0 to 5
  • the sum of a3 and b3 represents an integer of 0 to 5.
  • a1 to a3 preferably each independently represent an integer of 1 to 3, and more preferably each independently represent an integer of 1 to 2.
  • the total of a1, a2, and a3 is preferably an integer of 1 to 5, and more preferably an integer of 1 to 3.
  • b1 to b3 preferably each independently represent an integer of 0 to 3, and more preferably each independently represent an integer of 0 to 2.
  • the total of b1, b2, and b3 is preferably an integer of 0 to 5, and more preferably an integer of 0 to 3.
  • a compound having two or more cation sites and the same number of anion sites as the above cation sites, and at least one of the above cation sites is a specific cation (hereinafter, also simply referred to as “Compound W”).
  • a cation site is a structural site containing a positively charged atom or group of atoms.
  • at least one of the two or more cation sites is a specific cation. Among them, it is preferable that all of the two or more cation sites contained in the compound W are specific cations in that the effect of the present invention is more excellent.
  • At least one of the two or more cation sites may be a specific cation, and may contain an organic cation other than the specific cation.
  • the organic cation other than the specific cation include a sulfonium cation other than the specific cation and an iodonium ion.
  • the anionic moiety is a structural moiety containing a negatively charged atom or atomic group, and for example, an anionic functional group that may be present in the compound W may be used as the anionic moiety.
  • the compound W preferably has an organic anion having the same number of anionic functional groups as the cation moiety of the compound W. As described above, compound W has two or more (preferably two to three) cation sites and the same number of anion sites as the above cation sites. That is, compound W has two or more (preferably 2-3) anionic moieties (preferably anionic functional groups).
  • the plurality of anionic functional groups may be linked by a single bond or a linking group.
  • anionic functional group for example, -SO 3 - group having as part, -COO - -, and -SO 3 and -COO - groups having as part, -N - - group having as part, and, carbanions (-C - ⁇ ) include groups having as part.
  • the anionic functional group the groups represented by the general formulas (B-1) to (B-13) described later are preferable.
  • * represents the bonding position. It is also preferable that * in the general formula (B-12) is a bond position to a group that is neither -CO- nor -SO 2-.
  • RX1 represents an organic group.
  • RX1 a linear, branched, or cyclic alkyl group, or an aryl group which may have a substituent is preferable.
  • the alkyl group preferably has 1 to 15 carbon atoms, more preferably 1 to 10 carbon atoms.
  • the alkyl group may have a substituent.
  • a fluorine atom or a cyano group is preferable.
  • the carbon atom may be substituted with a carbonyl group.
  • aryl group a phenyl group or a naphthyl group is preferable, and a phenyl group is more preferable.
  • the aryl group may have a substituent.
  • a fluorine atom, a perfluoroalkyl group (preferably 1 to 10 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms), or a cyano group is preferable.
  • RX1 in the general formula (B-3) does not contain a fluorine atom.
  • RX2 represents a hydrogen atom or a substituent other than a fluorine atom and a perfluoroalkyl group.
  • substituent other than the fluorine atom and the perfluoroalkyl group represented by RX2 an alkyl group other than the perfluoroalkyl group (which may be linear, branched or cyclic) is preferable.
  • the alkyl group preferably has 1 to 15 carbon atoms, more preferably 1 to 10 carbon atoms.
  • the alkyl group preferably does not have a fluorine atom. That is, when the above alkyl group has a substituent, a substituent other than the fluorine atom is preferable.
  • RXF1 represents a hydrogen atom, a fluorine atom, or a perfluoroalkyl group. However, at least one of the plurality of RXF1s represents a fluorine atom or a perfluoroalkyl group.
  • the number of carbon atoms of the perfluoroalkyl group represented by RXF1 is preferably 1 to 15, more preferably 1 to 10, and even more preferably 1 to 6.
  • RXF2 represents a fluorine atom or a perfluoroalkyl group.
  • the number of carbon atoms of the perfluoroalkyl group represented by RXF2 is preferably 1 to 15, more preferably 1 to 10, and even more preferably 1 to 6.
  • n represents an integer of 0 to 4.
  • a 11 ⁇ is a group represented by the general formula (B-8) or (B-10). If, A 12 - Table the anionic functional group represented by the general formula (B-1) ⁇ (B -7), (B-9), or (B-11) ⁇ (B -13)
  • a 11 ⁇ is a group represented by the general formula (B-7)
  • the anionic functional group represented by A 12 ⁇ is represented by the general formula (B-6).
  • a 11 ⁇ is a group represented by the general formula (B-9)
  • the anionic functional group represented by A 12 ⁇ is represented by the general formula (B-6).
  • a 11 ⁇ is a group represented by the general formula (B-1)
  • the anionic functional group represented by A 12 ⁇ is represented by the general formula (B-3).
  • the groups to be given are mentioned.
  • the compound W is an anion site, anionic sites A B - (anionic functional groups A B -) preferably has a.
  • Anionic part A B - (anionic functional groups A B -) is a group represented by any one of formulas (BX-1) ⁇ (BX -4).
  • R B represents an organic group.
  • Examples of the organic group for R B has the general formula (B-1) ⁇ (B -5), and examples of the organic group R X1 can be mentioned as well in (B-12).
  • the compounds W is as anionic sites, the anionic sites A B - in addition to further anionic sites A A - (anionic functional group A B) - preferably has a - (anionic functional group A A) .
  • Anionic part A A - (anionic functional group A A -) is a group represented by any one of formulas (AX-1) ⁇ (AX -2).
  • RA represents an organic group.
  • RA is preferably an alkyl group.
  • the alkyl group may be linear or branched.
  • the alkyl group preferably has 1 to 10 carbon atoms, more preferably 1 to 5 carbon atoms.
  • the substituent that the alkyl group may have is preferably a fluorine atom.
  • the alkyl group having a fluorine atom as a substituent may or may not be a perfluoroalkyl group.
  • the compound represented by the general formula (3) is preferable.
  • Z 2 + represents a cation
  • Z 2 + in at least one represented by the general formula (1).
  • the definition of the cation represented by the general formula (1) is as described above.
  • the cation other than the cation represented by the general formula (1) is not particularly limited, and examples thereof include known sulfonium cations and iodonium cations. May be a plurality of Z + at least one Z + is a specific cation of the, in that the effect of the present invention is more excellent, it is preferable that 2 or more Z + is a specific cation, all Z + is a specific cation Is more preferable.
  • Y 2 - represents an anionic functional group.
  • the definition of anionic functional groups is as described above. More existing Y 2 - may each be the same or different.
  • Y 2 there are a plurality - may be, for example, a group represented by the "general formula (B-8) or (B-10), formula (B-1) ⁇ (B -7), (B-9) , Or a group represented by (B-11) to (B-13), and may have at least a group represented by the general formula (B-7) and a group represented by the general formula (B-6). It may have at least a group represented by "a group represented by”, and a group represented by any of the general formulas (BX-1) to (BX-4) and the general formulas (AX-1) to (AX-). It may have at least a group represented by any of 2).
  • Q represents an integer of 2 or more.
  • q is preferably an integer of 2 to 5 and more preferably an integer of 2 to 3 in that the effect of the present invention is more excellent.
  • L represents a linking group of q valence.
  • L represents a divalent linking group.
  • the divalent linking group include -COO-, -CONH-, -CO-, -O-, an alkylene group (preferably 1 to 6 carbon atoms, which may be linear or branched), and cyclo. Examples thereof include an alkylene group (preferably 3 to 15 carbon atoms), an alkenylene group (preferably 2 to 6 carbon atoms), and a divalent linking group in which a plurality of these are combined.
  • One or more of the methylene groups constituting the cycloalkane ring of the cycloalkylene group may be replaced with a carbonyl carbon and / or a hetero atom (oxygen atom or the like).
  • These divalent linking groups may further, -S -, - SO -, - SO 2 -, and, -NR N - has the (R N represents a hydrogen atom or a substituent) group is selected from the group consisting of Is also preferable.
  • Examples of the trivalent or higher valent linking group include, for example, each group that can be a single bond and / or the above divalent linking group, and -CR q ⁇ , -N ⁇ ,> C ⁇ , a trivalent or higher valent hydrocarbon ring group. , And / or a group in combination with a trivalent or higher valent heterocyclic group.
  • R q represents a hydrogen atom or a substituent.
  • the compounds (IA) to (III-A) described later are also preferable.
  • Compound (IA) A compound having one of the following structural sites X and one of the following structural sites Y, and the following first acidic site derived from the following structural site X by irradiation with active light or radiation.
  • Structural site X consists of an anionic site A 1 ⁇ and a cation site M 1 + , and is HA 1 by irradiation with active light or radiation.
  • anionic part a 2 - consists of a cationic sites M 2 + and, and by irradiation with actinic rays or radiation, it is formed by the structural site X is different structural site to form a second acidic moiety represented by HA 2 structure, however, the cation sites M 1 + and cations sites M 2 + of at least one specific cation and the first acid sites that ..
  • the compound (IA) satisfies the following condition I.
  • Condition I In the compound (IA), the compound PI in which the cation site M 1 + in the structure site X and the cation site M 2 + in the structure site Y are replaced with H + is the structural site.
  • the acid dissociation constant a1 derived from the acidic site represented by HA 1 which is obtained by replacing the cation site M 1 + in X with H + , and the cation site M 2 + in the structural site Y are replaced with H +. It has an acid dissociation constant a2 derived from an acidic moiety represented by HA 2 , and the acid dissociation constant a2 is larger than the acid dissociation constant a1.
  • the acid dissociation constant a1 and the acid dissociation constant a2 are obtained by the above-mentioned method. More specifically, the acid dissociation constant a1 and the acid dissociation constant a2 of the compound PI are the compound PI (the compound PI is a compound having HA 1 and HA 2) when the acid dissociation constant of the compound PI is obtained. . corresponding to ") is" a 1 - and pKa when a compound "having a HA 2 is the acid dissociation constant a1, the" a 1 - a compound having an HA 2 "is” a 1 - and a 2 - pKa when a compound "having a is an acid dissociation constant a2. Further, the compound PI corresponds to an acid generated by irradiating compound (IA) with active light rays or radiation.
  • IA irradiating compound
  • the difference between the acid dissociation constant a1 and the acid dissociation constant a2 is preferably 2.0 or more, more preferably 3.0 or more, in that the effect of the present invention is more excellent.
  • the upper limit of the difference between the acid dissociation constant a1 and the acid dissociation constant a2 is not particularly limited, but is preferably 15.0 or less.
  • the acid dissociation constant a2 is, for example, 6.5 or less, and the stability of the cation moiety of the compound (IA) in the resist composition is high.
  • the acid dissociation constant a2 is preferably ⁇ 5.0 or higher, more preferably ⁇ 3.5 or higher, and even more preferably ⁇ 2.0 or higher.
  • the acid dissociation constant a1 is preferably 2.0 or less, more preferably 0.5 or less, still more preferably -0.1 or less, in that the effect of the present invention is more excellent.
  • the lower limit of the acid dissociation constant a1 is preferably -15.0 or higher.
  • the compound (IA) is not particularly limited, and examples thereof include a compound represented by the following general formula (Ia).
  • Ia general formula (Ia).
  • M 11 + and M 12 + each independently represents a cation (specific cation or an organic cation other than the specific cation).
  • M 11 + and M 12 + of at least one (preferably both) is a specific cation.
  • a 11 - and A 12 - independently represents an anionic functional group.
  • a 12 ⁇ represents a structure different from the anionic functional group represented by A 11 ⁇ .
  • L 1 represents a divalent linking group.
  • M 11 + and M 12 + each independently represents a cation (specific cation or an organic cation other than the specific cation).
  • M 11 + and M 12 + of at least one (preferably both) is a specific cation.
  • the specific cation is as described above.
  • the organic cations other than the specific cations are as described above.
  • a 11 - and A 12 - independently represents an anionic functional group.
  • a 12 ⁇ represents a structure different from the anionic functional group represented by A 11 ⁇ .
  • the anionic functional groups are as described above.
  • the anionic functional groups of A 11 ⁇ and A 12 ⁇ are preferably groups represented by the above-mentioned general formulas (B-1) to (B-13) independently.
  • the combination of the anionic functional groups represented by A 11 ⁇ and A 12 ⁇ is not particularly limited, but for example, A 11 ⁇ is a group represented by the general formula (B-8) or (B-10).
  • a 12 - Table the anionic functional group represented by the general formula (B-1) ⁇ (B -7), (B-9), or (B-11) ⁇ (B -13)
  • a 11 ⁇ is a group represented by the general formula (B-7)
  • the anionic functional group represented by A 12 ⁇ is represented by the general formula (B-6).
  • the groups to be given are mentioned.
  • a 5- to 10-membered ring having one N atom, an O atom, an S atom, or a Se atom in the ring structure is preferable, a 5- to 7-membered ring is more preferable, and a 5- to 6-membered ring is even more preferable).
  • An aromatic heterocyclic group (preferably a 5- to 10-membered ring having at least one N atom, an O atom, an S atom, or a Se atom in the ring structure, more preferably a 5- to 7-membered ring, and a 5- to 6-membered ring. Further preferred), examples thereof include a divalent aromatic hydrocarbon ring group (preferably a 6 to 10-membered ring, more preferably a 6-membered ring), and a divalent linking group in which a plurality of these are combined.
  • the RL1 include a hydrogen atom or a monovalent organic group.
  • the monovalent organic group is not particularly limited, but for example, an alkyl group (preferably 1 to 6 carbon atoms) is preferable.
  • These divalent linking groups may further, -S -, - SO-, and -SO 2 - groups may include selected from the group consisting of.
  • the above-mentioned alkylene group, the above-mentioned cycloalkylene group, the above-mentioned alkenylene group, the above-mentioned divalent aliphatic heterocyclic group, the above-mentioned divalent aromatic heterocyclic group, and the above-mentioned divalent aromatic hydrocarbon ring group are substituted with a substituent. It may have been done.
  • the substituent include a halogen atom (preferably a fluorine atom).
  • the compound represented by the general formula (Ib) is preferable as the compound (IA).
  • M 1 + and M 2 + each independently represents a cation (specific cation or an organic cation other than the specific cation). At least one (preferably both) of the M 1 + and M 2 + represents a particular cation.
  • the specific cation is as described above. The same applies to organic cations other than specific cations.
  • L represents a divalent organic group.
  • the divalent organic group include -COO-, -CONH-, -CO-, -O-, an alkylene group (preferably 1 to 6 carbon atoms, which may be linear or branched), and a cycloalkylene group.
  • the number of carbon atoms is 3 to 15
  • an alkenylene group preferably, the number of carbon atoms is 2 to 6
  • a divalent linking group obtained by combining a plurality of these groups can be mentioned.
  • One or more of the methylene groups constituting the cycloalkane ring of the cycloalkylene group may be replaced with a carbonyl carbon and / or a hetero atom (oxygen atom or the like).
  • These divalent linking groups may further, -S -, - SO-, and -SO 2 - is also preferred to have a group selected from the group consisting of.
  • L is preferably a group represented by the following general formula (L). * A-LA-LB-LC-LD-LE- * B (L)
  • * A represents the bonding position with A ⁇ in the general formula (Ib).
  • * B represents the connection position with B ⁇ in the general formula (Ib).
  • LA represents ⁇ (C (R LA1 ) (R LA2 )) XA ⁇ .
  • the XA represents an integer of 1 or more, preferably an integer of 1 to 10, and more preferably an integer of 1 to 3.
  • R LA1 and R LA2 each independently represent a hydrogen atom or a substituent.
  • a fluorine atom or a fluoroalkyl group is preferable, a fluorine atom or a perfluoroalkyl group is more preferable, and a fluorine atom or a perfluoromethyl group is further preferable.
  • the R LA1 having XA may be the same or different from each other.
  • the R LA2 having XA may be the same or different from each other.
  • -(C (R LA1 ) (R LA2 ))- is preferably -CH 2- , -CHF-, -CH (CF 3 )-, or -CF 2- .
  • -(C (R LA1 ) (R LA2 ))- which directly binds to A- in the general formula (Ib) is -CH 2- , -CHF-, -CH (CF 3 )-, or-.
  • CF 2 - is preferable.
  • Formula (Ib) in A - and a direct bond to - (C (R LA1) ( R LA2)) - other than the - (C (R LA1) ( R LA2)) - are each independently, -CH 2 -, -CHF-, or -CF 2 --is preferable.
  • LB represents a single bond, an ester group (-COO-), or a sulfonyl group (-SO 2- ).
  • LC represents a single bond, an alkylene group, a cycloalkylene group, or a group composed of a combination thereof (such as "-alkylene group-cycloalkylene group-").
  • the alkylene group may be linear or branched.
  • the number of carbon atoms of the alkylene group is preferably 1 to 5, more preferably 1 to 2, and even more preferably 1.
  • the cycloalkylene group preferably has 3 to 15 carbon atoms, more preferably 5 to 10 carbon atoms.
  • the cycloalkylene group may be monocyclic or polycyclic. Examples of the cycloalkylene group include a norbornanediyl group and an adamantandiyl group.
  • the substituent that the cycloalkylene group may have, an alkyl group (which may be linear or branched, preferably 1 to 5 carbon atoms) is preferable.
  • One or more of the methylene groups constituting the cycloalkane ring of the cycloalkylene group may be replaced with a carbonyl carbon and / or a hetero atom (oxygen atom or the like).
  • the alkylene group portion is preferably present on the LB side.
  • the LC is preferably a single bond or a cycloalkylene group.
  • LD represents a single bond, an ether group (-O-), a carbonyl group (-CO-), or an ester group (-COO-).
  • LE is a single bond or - (C (R LE1) ( R LE2))
  • XE - represents a.
  • XE- represents an integer of 1 or more, preferably 1 to 10, and more preferably 1 to 3.
  • R LE1 and R LE2 independently represent a hydrogen atom or a substituent. When the number of XEs is 2 or more, the R LE1s having XEs may be the same or different from each other. When the number of XEs is 2 or more, the R LE2s having XEs may be the same or different from each other.
  • -(C (R LE1 ) (R LE2 ))- is preferably -CH 2- or -CF 2-.
  • L the general formula (L) when LB, LC, and LD are single bonds, it is preferable that LE is also a single bond.
  • a - and B - each independently represent an anionic functional group.
  • the anionic functional groups are as described above.
  • a ⁇ is preferably a group represented by any of the general formulas (AX-1) to (AX-2).
  • B - is the general formula (BX-1) preferably represents a group represented by any one of the ⁇ (BX-4).
  • a - and B - are preferably different structures, respectively.
  • a - is a group represented by the general formula (AX-1), and, B - is the general formula (BX-1) ⁇ by (BX-4) a group represented by any one of there, or, a - is a group represented by the general formula (AX-2), and, B - is the general formula (BX-1), general formula (BX-3), and general formula ( It is preferably a group represented by any one of BX-4).
  • the pKa of the group represented by HA is It is lower than the pKa of the group represented by BH. More specifically, HA-L-BH when obtained an acid dissociation constant for the compound represented by the "HA-L-BH” is - a pKa at which the "A -L-BH""HA and in the pKa of a group represented by "further” a - a pKa of the group represented by "BH a pKa at which the '" - -L-BH "is” a - -L-B.
  • PKa of the group represented by HA and “pKa of the group represented by BH” are obtained by using “Software Package 1" or "Gaussian 16", respectively.
  • the pKa of the group represented by HA corresponds to the acid dissociation constant a1 described above, and the preferred range is also the same.
  • the pKa of the group represented by BH corresponds to the acid dissociation constant a2 described above, and the preferred range is also the same.
  • the difference between the pKa of the group represented by HB and the pKa of the group represented by HA (“pKa of the group represented by HB”-“pKa of the group represented by HA”) is the acid dissociation constant described above. It corresponds to the difference between a1 and the acid dissociation constant a2, and the preferred range is also the same.
  • Compound (II-A) A compound having two or more of the structural sites X and the structural site Y, and the first acidic site derived from the structural site X by irradiation with active light or radiation.
  • compound capable of generating an acid comprising the above-described second acid sites from two or more and the structural moiety Y, provided that at least one of the cationic sites M 1 + and cations sites M 2 + is a specific cation.
  • the compound (II-A) satisfies the following condition II.
  • Condition II In the compound (II-A), the compound PII obtained by replacing the cation site M 1 + in the structural site X and the cation site M 2 + in the structural site Y with H + is the structural site X.
  • the acid dissociation constant a1 derived from the acidic site represented by HA 1 which is obtained by replacing the above-mentioned cation site M 1 + in the above-mentioned cation site M 1 + with H + , and the above-mentioned cation site M 2 + in the above-mentioned structural site Y are replaced with H +.
  • the acid dissociation constant a2 derived from an acidic moiety represented by HA 2 , and the acid dissociation constant a2 is larger than the acid dissociation constant a1.
  • the acid dissociation constant a1 and the acid dissociation constant a2 are obtained by the above-mentioned method.
  • the acid dissociation constant a1 and the acid dissociation constant a2 of the compound PII will be described more specifically.
  • the compound (II-A) is, for example, a compound that generates an acid having two first acidic sites derived from the structural site X and one second acidic site derived from the structural site Y. in some cases, it compounds PII is a "compound having two HA 1 and one HA 2".
  • compound PII When obtaining the acid dissociation constant of the compound PII, compound PII is - a pKa of acid dissociation constant a1 when the "one of A 1 and one HA 1 and one HA 2 with a compound of""2 one of a 1 - and one compound having a HA 2 "is” two a 1 - and one a 2 - pKa when a compound "having a is an acid dissociation constant a2. That is, when compound PII has a plurality of acid dissociation constants derived from the acidic site represented by HA 1 , which replaces the cation site M 1 + in the structural site X with H +, the smallest value is acid. It is regarded as the dissociation constant a1.
  • the compound PII corresponds to an acid generated by irradiating the compound (II-A) with an active ray or radiation.
  • the compound (II-A) may have a plurality of the structural sites Y.
  • the difference between the acid dissociation constant a1 and the acid dissociation constant a2 is preferably 2.0 or more, more preferably 3.0 or more, in that the effect of the present invention is more excellent.
  • the upper limit of the difference between the acid dissociation constant a1 and the acid dissociation constant a2 is not particularly limited, but is, for example, 15.0 or less.
  • the acid dissociation constant a2 is preferably 6.5 or less, and 2.0 or less is more preferable in that the stability of the cation moiety of the compound (II-A) in the resist composition is more excellent. It is preferably 1.0 or less, and more preferably 1.0 or less.
  • the lower limit of the acid dissociation constant a2 is preferably ⁇ 2.0 or higher.
  • the acid dissociation constant a1 is preferably 2.0 or less, more preferably 0.5 or less, still more preferably -0.1 or less, in that the effect of the present invention is more excellent.
  • the lower limit of the acid dissociation constant a1 is preferably -15.0 or higher.
  • the compound (II-A) is not particularly limited, and examples thereof include a compound represented by the following general formula (IIa).
  • M 21 + A 21 -" and “A 22 - + M 22" each correspond to structural moiety X and the structural moiety Y.
  • the compound (IIa) generates an acid represented by the following general formula (IIa-1) by irradiation with active light or radiation. That is, "M 21 + A 21 -” forms a first acidic moiety represented by HA 21, "A 22 - M 22 +” is a structure different from that of the first acid sites HA 22 It forms a second acidic moiety represented by.
  • + M 21 + and M 22 each independently represents a cation (specific cation or an organic cation other than the specific cation). At least one (preferably both) of the M 21 + and M 22 + represents a particular cation.
  • a 21 - and A 22 - independently represents an anionic functional group. However, A 22 ⁇ represents a structure different from the anionic functional group represented by A 21 ⁇ .
  • L 2 represents a (n1 + n2) valent organic group. n1 represents an integer of 2 or more, and n2 represents an integer of 1 or more.
  • the following general formula (IIa) corresponds to the compound represented by M 21 + and M 22 + a cation represented by made by replacing the H + compound Piia (the general formula (IIa-1). ),
  • the acid dissociation constant a2 derived from the acidic moiety represented by A 22 H is larger than the acid dissociation constant a1 derived from the acidic moiety represented by HA 21.
  • the preferable values of the acid dissociation constant a1 and the acid dissociation constant a2 are as described above.
  • M 21 +, M 22 +, A 21 -, and A 22 - is in each above-mentioned general formula (Ia) M 11 +, M 12 +, A 11 -, and A 12 - in the above formula, preferred embodiments are also the same.
  • n1 pieces of M 21 + each other, n1 pieces of A 21 + each other, represent each mutually identical groups.
  • T 1 represents a trivalent hydrocarbon ring group or a trivalent heterocyclic group
  • T 2 is a carbon atom or a tetravalent hydrocarbon ring group. Represents a tetravalent heterocyclic group.
  • the hydrocarbon ring group may be an aromatic hydrocarbon ring group or an aliphatic hydrocarbon ring group.
  • the number of carbon atoms contained in the hydrocarbon ring group is preferably 6 to 18, more preferably 6 to 14.
  • the heterocyclic group may be an aromatic heterocyclic group or an aliphatic heterocyclic group.
  • the heterocycle is preferably a 5- to 10-membered ring having at least one N atom, an O atom, an S atom, or a Se atom in the ring structure, more preferably a 5- to 7-membered ring, and a 5- to 6-membered ring. Rings are more preferred.
  • L 21 and L 22 independently represent a single bond or a divalent linking group, respectively.
  • the divalent linking group represented by L 21 and L 22 has the same meaning as the divalent linking group represented by L 1 in the general formula (Ia), and the preferred embodiment is also the same.
  • n1 represents an integer of 2 or more.
  • the upper limit is not particularly limited, but is, for example, an integer of 6 or less, preferably an integer of 4 or less, and more preferably an integer of 3 or less.
  • n2 represents an integer of 1 or more.
  • the upper limit is not particularly limited, but is, for example, an integer of 3 or less, and an integer of 2 or less is preferable.
  • Compound (III-A) A compound having two or more of the structural site X and the following structural site Z, the first acidic site derived from the structural site X by irradiation with active light or radiation.
  • the nonionic site capable of neutralizing the acid in the structural site Z is not particularly limited, and is preferably a site containing a functional group having a group or an electron that can electrostatically interact with a proton, for example. ..
  • a functional group having a group or an electron that can electrostatically interact with a proton a functional group having a macrocyclic structure such as a cyclic polyether, or a nitrogen atom having an unshared electron pair that does not contribute to ⁇ conjugation is used. Examples thereof include functional groups having.
  • the nitrogen atom having an unshared electron pair that does not contribute to ⁇ conjugation is, for example, a nitrogen atom having a partial structure shown in the following formula.
  • Substructures of functional groups having groups or electrons that can electrostatically interact with protons include, for example, crown ether structure, aza-crown ether structure, 1-3 amine structure, pyridine structure, imidazole structure, and pyrazine structure. Etc., and among them, the 1st to 3rd grade amine structure is preferable.
  • the cation site M 1 + in the structural site X is replaced with H +.
  • the acid dissociation constant a1 derived from the acidic moiety represented by HA 1 is preferably 2.0 or less, more preferably 0.5 or less, still more preferably -0.1 or less, in that the effect of the present invention is more excellent. ..
  • the lower limit of the acid dissociation constant a1 is preferably -15.0 or higher.
  • compound PIII has a plurality of acid dissociation constants derived from the acidic site represented by HA 1 in which the cation site M 1 + in the structural site X is replaced with H +, the smallest value is used as the acid. It is regarded as the dissociation constant a1. That is, when compound (III-A) is, for example, a compound that generates an acid having two first acidic sites derived from structural site X and structural site Z, compound PIII has "two". It corresponds to "a compound having HA 1". If asked for the acid dissociation constant of the compound PIII, compound PIII is - pKa when the "one of A 1 and a compound having one HA 1" is an acid dissociation constant a1.
  • compound PIII has a plurality of acid dissociation constants derived from the acidic site represented by HA 1 , which replaces the cation site M 1 + in the structural site X with H +, the smallest value is acid. It is regarded as the dissociation constant a1.
  • the compound PIII in which the cation site M 1 + in the structural site X is replaced with H + is, for example, the compound (III-A) described later in the compound (IIIa).
  • HA 31- L 3- N (R 2X ) -L 4- A 31 H is applicable.
  • the compound (III-A) is not particularly limited, and examples thereof include a compound represented by the following general formula (IIIa).
  • M 31 + A 31 - corresponds to the structural moiety X.
  • Compound (IIIa) produces an acid represented by HA 31- L 3- N (R 2X ) -L 4- A 31 H by irradiation with active light or radiation. That is, "M 31 + A 31 -” forms a first acidic moiety represented by HA 31.
  • M 31 + represents a particular cation.
  • a 31 - represents an anionic functional group.
  • L 3 and L 4 each independently represent a divalent linking group.
  • R 2X represents a monovalent organic group.
  • M 31 + and A 31 ⁇ are synonymous with M 11 + and A 11 ⁇ in the general formula (Ia) described above, respectively, and the preferred embodiments are also the same.
  • L 3 and L 4 have the same meaning as L 1 in the general formula (Ia) described above, and the preferred embodiments are also the same.
  • two M 31 + and two A 31 ⁇ each represent the same group as each other.
  • the monovalent organic group represented by R 2X is not particularly limited, and for example, -CH 2- is -CO-, -NH-, -O-, -S-,-. SO-, and -SO 2 - may be substituted with one or more combinations selected from the group consisting of an alkyl group (preferably may be 1-10 either linear or branched carbon atoms. ), Cycloalkyl group (preferably 3 to 15 carbon atoms), alkenyl group (preferably 2 to 6 carbon atoms) and the like. Further, the above-mentioned alkylene group, the above-mentioned cycloalkylene group, and the above-mentioned alkenylene group may be substituted with a substituent.
  • the molecular weight of the compounds represented by the above compounds (IA) to (III-A) is preferably 300 to 3000, more preferably 500 to 2000, and even more preferably 700 to 1500.
  • the content of the specific compound is preferably 1.0 to 70.0% by mass, more preferably 5.0 to 70.0% by mass, based on the total solid content of the composition. .0 to 60.0% by mass is more preferable, and 10.0 to 60.0% by mass is particularly preferable.
  • the solid content is intended to be a component in the composition excluding the solvent, and any component other than the solvent is regarded as a solid content even if it is a liquid component.
  • the specific compound may be used alone or in combination of two or more.
  • the composition of the present invention contains a resin having a repeating unit having a group which is decomposed by the action of an acid and whose polarity is increased (hereinafter, also referred to as “acid-degradable resin” or “resin (A)”). That is, in the pattern forming method of the present invention, typically, when an alkaline developer is used as the developer, a positive pattern is preferably formed, and when an organic developer is used as the developer, a positive pattern is preferably formed. , Negative patterns are preferably formed.
  • the resin (A) contains a repeating unit having a group (hereinafter, also referred to as “acid-degradable group”) which is decomposed by the action of an acid and whose polarity is increased.
  • the resin (A) further includes a repeating unit (specific repeating unit) having a cation (specific cation) represented by the above-mentioned general formula (1), in addition to the repeating unit having an acid-decomposable group. May have.
  • the definition of a specific cation possessed by a specific repeating unit is as described above.
  • the structure of the specific repeating unit is not particularly limited, but the repeating unit represented by the general formula (U) is preferable because the effect of the present invention is more excellent.
  • RU1 represents a hydrogen atom or a substituent.
  • the type of the substituent is not particularly limited, and examples thereof include an alkyl group and a halogen atom.
  • L U1 represents a single bond or a divalent linking group.
  • Divalent linking groups include, for example, -O-, -OC-, -CO-, -COO-, -OCO-, -S-, -N-, CS-, -SO-, -SO 2- , Examples thereof include a hydrocarbon group which may have a substituent (for example, an alkylene group, a cycloalkylene group, an alkenylene group, an arylene group, etc.), a linking group in which a plurality of these is linked, and the like.
  • Y 2 - represents an anionic functional group. The definition of anionic functional groups is as described above.
  • Z 2 + represents a particular cation.
  • Z 2 + definition is Z 2 + synonymous in general formula (3).
  • the content of the specific repeating unit is not particularly limited, but the effect of the present invention is more excellent, and the amount is 10 to 90 mol with respect to all the repeating units of the resin (A).
  • % Is preferred 20-80 mol% is more preferred, and 30-70 mol% is even more preferred.
  • An acid-degradable group is a group that is decomposed by the action of an acid to form a polar group.
  • the acid-degradable group preferably has a structure in which the polar group is protected by a leaving group that is eliminated by the action of an acid. That is, the resin (A) has a repeating unit having a group that decomposes by the action of an acid to produce a polar group.
  • the polarity of the resin having this repeating unit increases due to the action of the acid, the solubility in an alkaline developer increases, and the solubility in an organic solvent decreases.
  • an alkali-soluble group is preferable, and for example, a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, a fluorinated alcohol group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group, a sulfonamide group, a sulfonylimide group, (alkylsulfonyl) (alkylcarbonyl) methylene.
  • alkylsulfonyl alkylcarbonyl imide group
  • bis (alkylcarbonyl) methylene group bis (alkylcarbonyl) imide group
  • bis (alkylsulfonyl) methylene group bis (alkylsulfonyl) imide group
  • tris alkylcarbonyl
  • Examples thereof include an acidic group such as a methylene group and a tris (alkylsulfonyl) methylene group, and an alcoholic hydroxyl group.
  • a carboxyl group a phenolic hydroxyl group, a fluorinated alcohol group (preferably a hexafluoroisopropanol group), or a sulfonic acid group is preferable.
  • Examples of the leaving group that are eliminated by the action of an acid include groups represented by the general formulas (Y1) to (Y4).
  • General formula (Y1) -C (Rx 1 ) (Rx 2 ) (Rx 3 )
  • General formula (Y2): -C ( O) OC (Rx 1 ) (Rx 2 ) (Rx 3 )
  • Rx 1 to Rx 3 are independently an alkyl group (linear or branched chain), a cycloalkyl group (monocyclic or polycyclic), and an alkenyl group (straight chain). (Or branched chain) or aryl group (monocyclic or polycyclic).
  • Rx 1 to Rx 3 are alkyl groups (linear or branched)
  • Rx 1 to Rx 3 preferably independently represent a linear or branched alkyl group
  • Rx 1 to Rx 3 each independently represent a linear alkyl group. Is more preferable.
  • Rx 1 to Rx 3 may be combined to form a monocyclic or polycyclic ring.
  • alkyl group of Rx 1 to Rx 3 include an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms such as a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, and a t-butyl group. preferable.
  • Examples of the cycloalkyl group of Rx 1 to Rx 3 include a cyclopentyl group, a monocyclic cycloalkyl group such as a cyclohexyl group, and a norbornyl group, a tetracyclodecanyl group, a tetracyclododecanyl group, and an adamantyl group. Polycyclic cycloalkyl groups are preferred.
  • an aryl group of Rx 1 to Rx 3 an aryl group having 6 to 10 carbon atoms is preferable, and examples thereof include a phenyl group, a naphthyl group, an anthryl group and the like.
  • alkenyl group of Rx 1 to Rx 3 a vinyl group is preferable.
  • a cycloalkyl group is preferable as the ring formed by bonding two of Rx 1 to Rx 3.
  • the cycloalkyl group formed by bonding two of Rx 1 to Rx 3 is a cyclopentyl group, a monocyclic cycloalkyl group such as a cyclohexyl group, or a norbornyl group, a tetracyclodecanyl group, or a tetracyclododeca.
  • a polycyclic cycloalkyl group such as an nyl group or an adamantyl group is preferable, and a monocyclic cycloalkyl group having 5 to 6 carbon atoms is more preferable.
  • the cycloalkyl group formed by bonding two of Rx 1 to Rx 3 is, for example, a group in which one of the methylene groups constituting the ring has a hetero atom such as an oxygen atom or a hetero atom such as a carbonyl group, or a group having a hetero atom such as a carbonyl group. It may be replaced with a vinylidene group.
  • one or more of the ethylene groups constituting the cycloalkane ring may be replaced with a vinylene group.
  • the group represented by the general formula (Y1) or (Y2) is, for example, an embodiment in which Rx 1 is a methyl group or an ethyl group, and Rx 2 and Rx 3 are bonded to form the above-mentioned cycloalkyl group. Is preferable.
  • R 36 to R 38 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group.
  • R 37 and R 38 may be coupled to each other to form a ring.
  • the monovalent organic group include an alkyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, an aralkyl group, an alkenyl group and the like. It is also preferable that R 36 is a hydrogen atom.
  • the alkyl group, the cycloalkyl group, the aryl group, and the aralkyl group may contain a heteroatom such as an oxygen atom and / or a group having a heteroatom such as a carbonyl group.
  • the alkyl group, the cycloalkyl group, the aryl group, and the aralkyl group include, for example, a group in which one or more methylene groups have a heteroatom such as an oxygen atom and / or a heteroatom such as a carbonyl group. It may be replaced with.
  • R 38 may be bonded to each other to form a ring with another substituent contained in the main chain of the repeating unit.
  • the group formed by bonding R 38 and another substituent of the main chain of the repeating unit to each other is preferably an alkylene group such as a methylene group.
  • L 1 and L 2 independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, or a group in which these are combined (for example, a group in which an alkyl group and an aryl group are combined).
  • .. M represents a single bond or a divalent linking group.
  • Q is an alkyl group that may contain a hetero atom, a cycloalkyl group that may contain a hetero atom, an aryl group that may contain a hetero atom, an amino group, an ammonium group, a mercapto group, a cyano group, and an aldehyde.
  • the alkyl group and the cycloalkyl group for example, one of the methylene groups may be replaced with a heteroatom such as an oxygen atom or a group having a heteroatom such as a carbonyl group.
  • one of L 1 and L 2 is a hydrogen atom, and the other is an alkyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, or a group in which an alkylene group and an aryl group are combined.
  • L 2 is a secondary or tertiary alkyl group, and more preferably a tertiary alkyl group.
  • the secondary alkyl group include an isopropyl group, a cyclohexyl group or a norbornyl group
  • examples of the tertiary alkyl group include a tert-butyl group and an adamantan group.
  • the Tg (glass transition temperature) and the activation energy are high, so that in addition to ensuring the film strength, fog can be suppressed.
  • Ar represents an aromatic ring group.
  • Rn represents an alkyl group, a cycloalkyl group, or an aryl group.
  • Rn and Ar may be combined with each other to form a non-aromatic ring.
  • Ar is more preferably an aryl group.
  • the non-aromatic ring in the non-aromatic ring in the non-aromatic ring, from the viewpoint of excellent acid decomposition property of the repeating unit, it is also preferable that the ring member atom adjacent to the ring member atom directly bonded to the polar group (or its residue) does not have a halogen atom such as a fluorine atom as a substituent.
  • Other leaving groups that are eliminated by the action of an acid include a 2-cyclopentenyl group having a substituent (alkyl group, etc.) such as a 3-methyl-2-cyclopentenyl group, and 1,1,4.
  • a cyclohexyl group having a substituent (alkyl group, etc.) such as 4-tetramethylcyclohexyl group may be used.
  • the repeating unit represented by the general formula (A) is also preferable.
  • L 1 represents a divalent linking group which may have a fluorine atom or an iodine atom
  • R 1 represents a fluorine atom, an iodine atom, an alkyl group which may have a fluorine atom or an iodine atom, and a fluorine atom.
  • it represents an aryl group or a hydrogen atom which may have an iodine atom
  • R 2 represents a desorbing group which is desorbed by the action of an acid and may have a fluorine atom or an iodine atom.
  • at least one of L 1 , R 1 , and R 2 has a fluorine atom or an iodine atom.
  • L 1 represents a divalent linking group which may have a fluorine atom or an iodine atom.
  • the fluorine atom or a linking group may divalent have a iodine atom, -CO -, - O -, - S -, - SO -, - SO 2 -, have a fluorine atom or an iodine atom Examples thereof include a hydrocarbon group which may be used (for example, an alkylene group, a cycloalkylene group, an alkenylene group, an arylene group, etc.), a linking group in which a plurality of these groups are linked, and the like.
  • the L 1, -CO-, or, - arylene - fluorine atom or an alkylene group having iodine atom - are preferred.
  • the arylene group a phenylene group is preferable.
  • the alkylene group may be linear or branched.
  • the number of carbon atoms of the alkylene group is not particularly limited, but 1 to 10 is preferable, and 1 to 3 is more preferable.
  • the total number of fluorine atoms and iodine atoms contained in the alkylene group having a fluorine atom or an iodine atom is not particularly limited, but is preferably 2 or more, more preferably 2 to 10, and even more preferably 3 to 6.
  • R 1 represents a fluorine atom, an iodine atom, an alkyl group which may have a fluorine atom or an iodine atom, an aryl group which may have a fluorine atom or an iodine atom, or a hydrogen atom.
  • the alkyl group may be linear or branched chain.
  • the number of carbon atoms of the alkyl group is not particularly limited, but 1 to 10 is preferable, and 1 to 3 is more preferable.
  • the total number of fluorine atoms and iodine atoms contained in the alkyl group having a fluorine atom or an iodine atom is not particularly limited, but is preferably 1 or more, more preferably 1 to 5, and even more preferably 1 to 3.
  • the alkyl group may contain a hetero atom such as an oxygen atom other than the halogen atom.
  • R 2 is desorbed by the action of an acid represents a leaving group which may have a fluorine atom or an iodine atom.
  • examples of the leaving group include groups represented by the general formulas (Z1) to (Z4).
  • General formula (Z1) -C (Rx 11 ) (Rx 12 ) (Rx 13 )
  • General formula (Z3) -C (R 136 ) (R 137 ) (OR 138 )
  • Rx 11 to Rx 13 are alkyl groups (linear or branched), fluorine atoms or iodine which may independently have a fluorine atom or an iodine atom, respectively.
  • a cycloalkyl group (monocyclic or polycyclic) that may have an atom, an alkenyl group (linear or branched) that may have a fluorine atom or an iodine atom, or a fluorine atom or an iodine atom.
  • Rx 11 to Rx 13 are alkyl groups (linear or branched), it is preferable that at least two of Rx 11 to Rx 13 are methyl groups.
  • Rx 11 to Rx 13 are the same as Rx 1 to Rx 3 in (Y1) and (Y2) described above, except that they may have a fluorine atom or an iodine atom, and are an alkyl group or a cycloalkyl group.
  • Alkyl group, and aryl group are the same as the definition and preferred range.
  • R 136 to R 138 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group which may have a fluorine atom or an iodine atom.
  • R 137 and R 138 may be coupled to each other to form a ring.
  • the monovalent organic group which may have a fluorine atom or an iodine atom includes an alkyl group which may have a fluorine atom or an iodine atom, and a cycloalkyl group which may have a fluorine atom or an iodine atom.
  • a group in which an alkyl group may be combined with a cycloalkyl group which may have a fluorine atom or an iodine atom) can be mentioned.
  • the alkyl group, the cycloalkyl group, the aryl group, and the aralkyl group may contain a hetero atom such as an oxygen atom in addition to the fluorine atom and the iodine atom.
  • one of the methylene groups is replaced with a heteroatom such as an oxygen atom or a group having a heteroatom such as a carbonyl group.
  • R 138 may be bonded to another substituent of the main chain of the repeating unit to form a ring.
  • the group formed by bonding R 138 and another substituent of the main chain of the repeating unit to each other is preferably an alkylene group such as a methylene group.
  • L 11 and L 12 may independently have a hydrogen atom; a hetero atom selected from the group consisting of a fluorine atom, an iodine atom and an oxygen atom; a fluorine atom, an iodine atom and an alkyl group.
  • M 1 represents a single bond or a divalent linking group.
  • Q 1 has an alkyl group which may have a heteroatom selected from the group consisting of a fluorine atom, an iodine atom and an oxygen atom; a heteroatom selected from the group consisting of a fluorine atom, an iodine atom and an oxygen atom.
  • the cycloalkyl group may be; an aryl group selected from the group consisting of a fluorine atom, an iodine atom and an oxygen atom; an amino group; an ammonium group; a mercapto group; a cyano group; an aldehyde group; or a group combining these (for example).
  • alkyl group which may have a heteroatom selected from the group consisting of a fluorine atom, an iodine atom and an oxygen atom, and a heteroatom selected from the group consisting of a fluorine atom, an iodine atom and an oxygen atom. It represents a group that is a combination of a cycloalkyl group that may be used.
  • Ar 1 represents an aromatic ring group which may have a fluorine atom or an iodine atom.
  • Rn 1 may have an alkyl group which may have a fluorine atom or an iodine atom, a cycloalkyl group which may have a fluorine atom or an iodine atom, or an aryl which may have a fluorine atom or an iodine atom.
  • Rn 1 and Ar 1 may be combined with each other to form a non-aromatic ring.
  • a repeating unit having an acid-decomposable group a repeating unit represented by the general formula (AI) is also preferable.
  • Xa 1 represents a hydrogen atom or an alkyl group which may have a substituent.
  • T represents a single bond or a divalent linking group.
  • Rx 1 to Rx 3 are independently an alkyl group (linear or branched chain), a cycloalkyl group (monocyclic or polycyclic), an alkenyl group (linear or branched chain), or an aryl (linear or branched chain). Represents a monocyclic or polycyclic) group. However, when all of Rx 1 to Rx 3 are alkyl groups (linear or branched), it is preferable that at least two of Rx 1 to Rx 3 are methyl groups. Two of Rx 1 to Rx 3 may be bonded to form a monocyclic or polycyclic (monocyclic or polycyclic cycloalkyl group, etc.).
  • R 11 represents a halogen atom (fluorine atom or the like), a hydroxyl group or a monovalent organic group, and may have, for example, an alkyl group having 5 or less carbon atoms and a halogen atom which may have a halogen atom.
  • examples thereof include an acyl group having 5 or less carbon atoms and an alkoxy group having 5 or less carbon atoms which may have a halogen atom, and an alkyl group having 3 or less carbon atoms is preferable, and a methyl group is more preferable.
  • the lower limit of the number of carbon atoms of the alkyl group is preferably 1 or more.
  • Xa 1 a hydrogen atom, a methyl group, a trifluoromethyl group, or a hydroxymethyl group is preferable.
  • Examples of the divalent linking group of T include an alkylene group, an aromatic ring group, an -COO-Rt- group, an -O-Rt- group and the like.
  • Rt represents an alkylene group or a cycloalkylene group.
  • T is preferably a single bond or a -COO-Rt- group.
  • Rt is preferably an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms, and is preferably a -CH 2- group,- (CH 2 ) 2- group, or- (CH 2 ) 3-. Groups are more preferred.
  • Examples of the alkyl group of Rx 1 to Rx 3 include an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms such as a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, and a t-butyl group. preferable.
  • Examples of the cycloalkyl group of Rx 1 to Rx 3 include a monocyclic cycloalkyl group such as a cyclopentyl group and a cyclohexyl group, or a norbornyl group, a tetracyclodecanyl group, a tetracyclododecanyl group, an adamantyl group and the like.
  • the polycyclic cycloalkyl group of is preferred.
  • an aryl group of Rx 1 to Rx 3 an aryl group having 6 to 10 carbon atoms is preferable, and examples thereof include a phenyl group, a naphthyl group, an anthryl group and the like.
  • alkenyl group of Rx 1 to Rx 3 a vinyl group is preferable.
  • a cyclopentyl group and a monocyclic cycloalkyl group such as a cyclohexyl group are preferable, and in addition, a norbornyl group and a tetracyclodecanyl group are preferable.
  • Tetracyclododecanyl group, and polycyclic cycloalkyl group such as adamantyl group are preferable.
  • a monocyclic cycloalkyl group having 5 to 6 carbon atoms is preferable.
  • the cycloalkyl group formed by bonding two of Rx 1 to Rx 3 is, for example, a group in which one of the methylene groups constituting the ring has a hetero atom such as an oxygen atom or a hetero atom such as a carbonyl group, or a group having a hetero atom such as a carbonyl group. It may be replaced with a vinylidene group. Further, in these cycloalkyl groups, one or more of the ethylene groups constituting the cycloalkane ring may be replaced with a vinylene group.
  • Rx 1 is a methyl group or an ethyl group
  • Rx 2 and Rx 3 are bonded to form the above-mentioned cycloalkyl group.
  • the substituents include, for example, an alkyl group (1 to 4 carbon atoms), a halogen atom, a hydroxyl group, an alkoxy group (1 to 4 carbon atoms), a carboxyl group, and an alkoxycarbonyl group. (2 to 6 carbon atoms) and the like.
  • the number of carbon atoms in the substituent is preferably 8 or less.
  • the lower limit is preferably 1 or more.
  • the repeating unit represented by the general formula (AI) is preferably an acid-degradable (meth) acrylic acid tertiary alkyl ester-based repeating unit (Xa 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, and T represents a single bond. It is a repeating unit that represents.
  • the content of the repeating unit having an acid-decomposable group is preferably 15 to 80 mol%, more preferably 20 to 70 mol%, still more preferably 20 to 65 mol%, based on all the repeating units in the resin (A). ..
  • Xa 1 represents any group of H, F, CH 3 , CF 3 and CH 2 OH
  • Rxa and Rxb are independently linear or branched chains having 1 to 5 carbon atoms, respectively. Represents an alkyl group in the form.
  • the resin (A) may have a repeating unit having an acid-degradable group containing an unsaturated bond.
  • the repeating unit having an acid-decomposable group containing an unsaturated bond the repeating unit represented by the general formula (B) is preferable.
  • Xb represents an alkyl group which may have a hydrogen atom, a halogen atom, or a substituent.
  • L represents a single bond or a divalent linking group which may have a substituent.
  • Ry 1 to Ry 3 independently represent a linear or branched alkyl group, a monocyclic or polycyclic cycloalkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, a monocyclic or polycyclic aryl group, respectively. However, at least one of Ry 1 to Ry 3 represents an alkenyl group, an alkynyl group, a monocyclic or polycyclic cycloalkenyl group, or a monocyclic or polycyclic aryl group. Two of Ry 1 to Ry 3 may be bonded to form a monocyclic or polycyclic (monocyclic or polycyclic cycloalkyl group, cycloalkenyl group, etc.).
  • Xb Represented by Xb, as the alkyl group which may have a substituent group, include groups represented by methyl group or -CH 2 -R 11.
  • R 11 represents a halogen atom (fluorine atom or the like), a hydroxyl group or a monovalent organic group, and may be substituted with, for example, an alkyl group having 5 or less carbon atoms and a halogen atom. Examples thereof include an acyl group having 5 or less carbon atoms and an alkoxy group having 5 or less carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, and an alkyl group having 3 or less carbon atoms is preferable, and a methyl group is more preferable.
  • the lower limit of the number of carbon atoms is preferably 1 or more.
  • Xb a hydrogen atom, a fluorine atom, a methyl group, a trifluoromethyl group, or a hydroxymethyl group is preferable.
  • the divalent linking group which may have an L substituent includes -Rt- group, -CO- group, -COO-Rt- group, -COO-Rt-CO- group and -Rt-CO- group. , And the -O-Rt- group.
  • Rt represents an alkylene group, a cycloalkylene group, or an aromatic ring group, and an aromatic ring group is preferable.
  • L -Rt- group, -CO- group, -COO-Rt-CO- group, or -Rt-CO- group is preferable.
  • Rt may have a substituent such as a halogen atom, a hydroxyl group, or an alkoxy group. Aromatic groups are preferred.
  • an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms such as a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group and a t-butyl group is preferable. ..
  • Examples of the cycloalkyl group of Ry 1 to Ry 3 include a monocyclic cycloalkyl group such as a cyclopentyl group and a cyclohexyl group, or a polycyclic group such as a norbornyl group, a tetracyclodecanyl group, a tetracyclododecanyl group, and an adamantyl group. Cycloalkyl group is preferred.
  • an aryl group of Ry 1 to Ry 3 an aryl group having 6 to 10 carbon atoms is preferable, and examples thereof include a phenyl group, a naphthyl group, an anthryl group and the like.
  • alkenyl group of Ry 1 to Ry 3 a vinyl group is preferable.
  • alkynyl group of Ry 1 to Ry 3 an ethynyl group is preferable.
  • cycloalkenyl group of Ry 1 to Ry 3 a structure containing a double bond in a part of a monocyclic cycloalkyl group such as a cyclopentyl group and a cyclohexyl group is preferable.
  • a monocyclic cycloalkyl group such as a cyclopentyl group and a cyclohexyl group is preferable, and in addition, a norbornyl group, a tetracyclodecanyl group, and the like.
  • Polycyclic cycloalkyl groups such as a tetracyclododecanyl group and an adamantyl group are preferred.
  • a monocyclic cycloalkyl group having 5 to 6 carbon atoms is preferable.
  • the cycloalkyl group or cycloalkenyl group formed by bonding two of Ry 1 to Ry 3 is, for example, one of the methylene groups constituting the ring is a heteroatom such as an oxygen atom, a carbonyl group, or -SO 2-. It may be replaced with a group having a heteroatom such as a group, —SO 3-group, a vinylidene group, or a combination thereof. Further, in these cycloalkyl groups or cycloalkene groups, one or more of the ethylene groups constituting the cycloalkane ring or the cycloalkene ring may be replaced with a vinylene group.
  • Ry 1 is a methyl group, an ethyl group, a vinyl group, an allyl group, or an aryl group
  • Ry 2 and Rx 3 are bonded to each other to form the above-mentioned cycloalkyl.
  • An embodiment in which a group or a cycloalkenyl group is formed is preferable.
  • the substituents include, for example, an alkyl group (1 to 4 carbon atoms), a halogen atom, a hydroxyl group, an alkoxy group (1 to 4 carbon atoms), a carboxyl group, and an alkoxycarbonyl group (1 to 4 carbon atoms). Examples thereof include carbon numbers 2 to 6).
  • the number of carbon atoms in the substituent is preferably 8 or less.
  • the lower limit of the number of carbon atoms is preferably 1 or more.
  • the repeating unit represented by the general formula (B) is preferably an acid-degradable (meth) acrylic acid tertiary ester-based repeating unit (Xb represents a hydrogen atom or a methyl group, and L is a ⁇ CO— group.
  • Xb represents a hydrogen atom or a methyl group
  • L is a ⁇ CO— group.
  • the content of the repeating unit having an acid-degradable group containing an unsaturated bond is preferably 15 mol% or more, more preferably 20 mol% or more, and more preferably 30 mol% or more, based on all the repeating units in the resin (A). Is more preferable.
  • the upper limit thereof is preferably 80 mol% or less, more preferably 70 mol% or less, still more preferably 60 mol% or less.
  • Xb and L 1 represent any of the above-mentioned substituents and linking groups
  • Ar represents an aromatic group
  • R represents a hydrogen atom, an alkyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, an aralkyl group, and the like.
  • Group or fluorinated alkyl group) or substituent such as carboxyl group, R' is a linear or branched alkyl group, monocyclic or polycyclic cycloalkyl group, alkenyl group, alkynyl group, or Represents a monocyclic or polycyclic aryl group, where Q is a heteroatom such as an oxygen atom, a carbonyl group, a group having a heteroatomic group such as -SO 2- group, -SO 3- group, a vinylidene group, or a combination thereof.
  • Q is a heteroatom such as an oxygen atom, a carbonyl group, a group having a heteroatomic group such as -SO 2- group, -SO 3- group, a vinylidene group, or a combination thereof.
  • n and m represent an integer of 0 or more.
  • the resin (A) may contain a repeating unit other than the repeating unit described above.
  • the resin (A) contains at least one repeating unit selected from the group consisting of the following groups A and / or at least one repeating unit selected from the group consisting of the following groups B. May be good.
  • Group A A group consisting of the following repeating units (20) to (29).
  • Repeating unit (29) The repeating unit B group represented by the formula (E), which will be described later: A group consisting of the following repeating units (30) to (32). (30) A repeating unit having at least one group selected from a lactone group, a sulton group, a carbonate group, a hydroxyl group, a cyano group, and an alkali-soluble group, which will be described later. Repetitive unit (32) that has neither hydroxyl group nor cyano group and is represented by the general formula (III), which will be described later.
  • the resin (A) may have at least one repeating unit selected from the group consisting of the above group A. preferable.
  • the resin (A) preferably contains at least one of a fluorine atom and an iodine atom.
  • the resin (A) may have one repeating unit containing both a fluorine atom and an iodine atom, and the resin (A) may have one repeating unit.
  • the resin (A) may contain two kinds of a repeating unit having a fluorine atom and a repeating unit containing an iodine atom. Further, when the composition is used as a sensitive light-sensitive or radiation-sensitive resin composition for EUV, it is also preferable that the resin (A) has a repeating unit having an aromatic group. When the composition of the present invention is used as a sensitive light-sensitive or radiation-sensitive resin composition for ArF, the resin (A) may have at least one repeating unit selected from the group consisting of the above group B. preferable. When the composition of the present invention is used as a sensitive light-sensitive or radiation-sensitive resin composition for ArF, it is preferable that the resin (A) does not contain either a fluorine atom or a silicon atom. Further, when the composition is used as a sensitive light-sensitive or radiation-sensitive resin composition for ArF, it is preferable that the resin (A) does not have an aromatic group.
  • the resin (A) may have a repeating unit having an acid group.
  • an acid group having a pKa of 13 or less is preferable.
  • the acid dissociation constant of the acid group is preferably 13 or less, more preferably 3 to 13, and even more preferably 5 to 10.
  • the acid group for example, a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, a fluorinated alcohol group (preferably a hexafluoroisopropanol group), a sulfonic acid group, a sulfonamide group, or an isopropanol group is preferable.
  • the content of the acid group in the resin (A) is not particularly limited, but is often 0.2 to 6.0 mmol / g. Of these, 0.8 to 6.0 mmol / g is preferable, 1.2 to 5.0 mmol / g is more preferable, and 1.6 to 4.0 mmol / g is even more preferable.
  • the content of the acid group is within the above range, the development proceeds well, the formed pattern shape is excellent, and the resolution is also excellent.
  • one or more (preferably 1 to 2) fluorine atoms may be substituted with a group other than the fluorine atom (alkoxycarbonyl group or the like).
  • -C (CF 3 ) (OH) -CF 2- thus formed is also preferable as an acid group.
  • one or more of the fluorine atoms may be substituted with a group other than the fluorine atom to form a ring containing —C (CF 3 ) (OH) —CF 2-.
  • the repeating unit having an acid group is a repeating unit having a structure in which a polar group is protected by a leaving group desorbed by the action of the above-mentioned acid, and a repeating unit having a lactone group, a sulton group or a carbonate group described later. It is preferably a repeating unit different from the unit.
  • the repeating unit having an acid group may have a fluorine atom or an iodine atom.
  • the repeating unit represented by the formula (B) is preferable.
  • R 3 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group which may have a fluorine atom or an iodine atom.
  • the fluorine atom or an organic group may monovalent optionally having iodine atom, a group represented by -L 4 -R 8 are preferred.
  • L 4 represents a single bond or an ester group.
  • R 8 is an alkyl group which may have a fluorine atom or an iodine atom, a cycloalkyl group which may have a fluorine atom or an iodine atom, an aryl group which may have a fluorine atom or an iodine atom, and the like. Or, it represents a group that combines these.
  • R 4 and R 5 each independently represent a hydrogen atom, a fluorine atom, an iodine atom, or an alkyl group which may have a fluorine atom or an iodine atom.
  • L 2 represents a single bond or an ester group.
  • L 3 represents a (n + m + 1) -valent aromatic hydrocarbon ring group or a (n + m + 1) -valent alicyclic hydrocarbon ring group.
  • the aromatic hydrocarbon ring group include a benzene ring group and a naphthalene ring group.
  • the alicyclic hydrocarbon ring group may be a monocyclic ring or a polycyclic ring, and examples thereof include a cycloalkyl ring group.
  • R 6 represents a hydroxyl group or a fluorinated alcohol group (preferably a hexafluoroisopropanol group).
  • L 3 is preferably a (n + m + 1) -valent aromatic hydrocarbon ring group.
  • R 7 represents a halogen atom. Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
  • m represents an integer of 1 or more. For m, an integer of 1 to 3 is preferable, and an integer of 1 to 2 is preferable.
  • n represents an integer of 0 or 1 or more. n is preferably an integer of 1 to 4.
  • (n + m + 1) is preferably an integer of 2 to 5.
  • repeating unit having an acid group examples include the following repeating units.
  • repeating unit having an acid group a repeating unit represented by the following general formula (I) is also preferable.
  • R 41 , R 42 and R 43 independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, a cycloalkyl group, a halogen atom, a cyano group or an alkoxycarbonyl group.
  • R 42 may be bonded to Ar 4 to form a ring, in which case R 42 represents a single bond or an alkylene group.
  • X 4 represents a single bond, -COO-, or -CONR 64-
  • R 64 represents a hydrogen atom or an alkyl group.
  • L 4 represents a single bond or an alkylene group.
  • Ar 4 represents a (n + 1) -valent aromatic ring group, and represents a (n + 2) -valent aromatic ring group when combined with R 42 to form a ring.
  • n represents an integer of 1 to 5.
  • the alkyl groups of R 41 , R 42 , and R 43 in the general formula (I) include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec-butyl group, hexyl group, and 2-ethylhexyl.
  • Alkyl groups having 20 or less carbon atoms such as groups, octyl groups, and dodecyl groups are preferable, alkyl groups having 8 or less carbon atoms are more preferable, and alkyl groups having 3 or less carbon atoms are further preferable.
  • the lower limit of the number of carbon atoms is preferably 1 or more.
  • the cycloalkyl groups of R 41 , R 42 , and R 43 in the general formula (I) may be monocyclic or polycyclic. Of these, a monocyclic cycloalkyl group having 3 to 8 carbon atoms such as a cyclopropyl group, a cyclopentyl group, and a cyclohexyl group is preferable.
  • Examples of the halogen atom of R 41 , R 42 , and R 43 in the general formula (I) include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom, and a fluorine atom is preferable.
  • the alkyl group contained in the alkoxycarbonyl group of R 41 , R 42 , and R 43 in the general formula (I) is preferably the same as the alkyl group in R 41 , R 42 , and R 43.
  • Preferred substituents in each of the above groups include, for example, an alkyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, an amino group, an amide group, a ureido group, a urethane group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a halogen atom, an alkoxy group, a thioether group and an acyl group. , Achilloxy group, alkoxycarbonyl group, cyano group, and nitro group.
  • the substituent preferably has 8 or less carbon atoms. The lower limit of the number of carbon atoms is preferably 1 or more.
  • Ar 4 represents an (n + 1) -valent aromatic ring group.
  • the divalent aromatic ring group is, for example, an arylene group having 6 to 18 carbon atoms such as a phenylene group, a trilene group, a naphthylene group, and an anthrasenylene group, or a thiophene ring, a furan ring, or a pyrrole.
  • a divalent aromatic ring group containing a heterocycle such as a ring, a benzothiophene ring, a benzofuran ring, a benzopyrol ring, a triazine ring, an imidazole ring, a benzimidazole ring, a triazole ring, a thiaziazole ring, and a thiazole ring is preferable.
  • the aromatic ring group may have a substituent.
  • (n + 1) -valent aromatic ring group when n is an integer of 2 or more, (n-1) arbitrary hydrogen atoms are removed from the above-mentioned specific example of the divalent aromatic ring group. There is a group that is made up of.
  • the (n + 1) -valent aromatic ring group may further have a substituent.
  • Examples of the substituents that the above-mentioned alkyl group, cycloalkyl group, alkoxycarbonyl group, alkylene group, and (n + 1) -valent aromatic ring group can have include, for example, R 41 , R 42 , and R 41 in the general formula (I). , R 43 , an alkoxy group such as an alkyl group, a methoxy group, an ethoxy group, a hydroxyethoxy group, a propoxy group, a hydroxypropoxy group, and a butoxy group; an aryl group such as a phenyl group; and the like.
  • R 64 represents a hydrogen atom or an alkyl group
  • the alkyl group for R 64 in, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, n- butyl group, sec
  • Examples of the alkyl group have 20 or less carbon atoms such as a butyl group, a hexyl group, a 2-ethylhexyl group, an octyl group, and a dodecyl group, and an alkyl group having 8 or less carbon atoms is preferable.
  • the lower limit of the number of carbon atoms is preferably 1 or more.
  • the X 4, a single bond, -COO-, or, preferably -CONH- is a single bond, or, -COO- is more preferable.
  • the alkylene group for L 4, a methylene group, an ethylene group, a propylene group, butylene group, hexylene group, and is preferably an alkylene group having 1 to 8 carbon atoms such as octylene group.
  • Ar 4 an aromatic ring group having 6 to 18 carbon atoms is preferable, and a benzene ring group, a naphthalene ring group, or a biphenylene ring group is more preferable.
  • the repeating unit represented by the general formula (I) preferably has a hydroxystyrene structure. That is, Ar 4 is preferably a benzene ring group.
  • the repeating unit represented by the general formula (I) the repeating unit represented by the following general formula (1) is preferable.
  • A represents a hydrogen atom, an alkyl group, a cycloalkyl group, a halogen atom, or a cyano group.
  • R represents a halogen atom, an alkyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, an alkenyl group, an aralkyl group, an alkoxy group, an alkylcarbonyloxy group, an alkylsulfonyloxy group, an alkyloxycarbonyl group or an aryloxycarbonyl group, and R is plural. If there are pieces, they may be the same or different. When having a plurality of Rs, they may form a ring jointly with each other.
  • a hydrogen atom is preferable as R.
  • a represents an integer of 1 to 3.
  • b represents an integer from 0 to (5-a).
  • a 1 or 2.
  • R represents a hydrogen atom or a methyl group
  • a represents 2 or 3.
  • the content of the repeating unit having an acid group is preferably 10 to 70 mol%, more preferably 10 to 60 mol%, still more preferably 10 to 50 mol%, based on all the repeating units in the resin (A).
  • the resin (A) may have a repeating unit having a fluorine atom or an iodine atom in addition to the above-mentioned ⁇ repeating unit having an acid-degradable group> and ⁇ repeating unit having an acid group>.
  • the ⁇ repeating unit having a fluorine atom or an iodine atom> referred to here is a ⁇ repeating unit having a lactone group, a sultone group, or a carbonate group>, a ⁇ repeating unit having a photoacid generating group>, etc., which will be described later. It is preferable that the unit is different from other types of repeating units belonging to the group A.
  • a repeating unit represented by the formula (C) is preferable.
  • L 5 represents a single bond or an ester group.
  • R 9 represents a hydrogen atom or an alkyl group which may have a fluorine atom or an iodine atom.
  • R 10 may have an alkyl group which may have a hydrogen atom, a fluorine atom or an iodine atom, a cycloalkyl group which may have a fluorine atom or an iodine atom, a fluorine atom or an iodine atom.
  • the repeating unit having a fluorine atom or an iodine atom is illustrated below.
  • the content of the repeating unit having a fluorine atom or an iodine atom is preferably 0 to 60 mol%, more preferably 5 to 60 mol%, and 10 to 60 mol% with respect to all the repeating units in the resin (A). More preferred.
  • the repeating unit having a fluorine atom or an iodine atom does not include ⁇ repeating unit having an acid-degradable group> and ⁇ repeating unit having an acid group>, the above-mentioned fluorine atom or iodine.
  • the content of the repeating unit having an atom is also intended to be the content of the repeating unit having a fluorine atom or an iodine atom excluding ⁇ repeating unit having an acid-degradable group> and ⁇ repeating unit having an acid group>.
  • the total content of the repeating units containing at least one of a fluorine atom and an iodine atom is preferably 1 to 100 mol% with respect to all the repeating units of the resin (A), 5 to 5 to. 80 mol% is more preferable, and 10 to 60 mol% is even more preferable.
  • the repeating unit containing at least one of a fluorine atom and an iodine atom includes, for example, a repeating unit having a fluorine atom or an iodine atom and having an acid-degradable group, a fluorine atom or an iodine atom, and a repeating unit. Repeating units having an acid group and repeating units having a fluorine atom or an iodine atom can be mentioned.
  • the resin (A) is a repeating unit having at least one selected from the group consisting of a lactone group, a sultone group, and a carbonate group (hereinafter collectively referred to as a repeating unit having a lactone group, a sultone group, or a carbonate group). It may also have a "unit"). It is also preferable that the repeating unit having a lactone group, a sultone group, or a carbonate group does not have an acid group such as a hexafluoropropanol group.
  • the lactone group or sultone group may have a lactone structure or a sultone structure.
  • the lactone structure or sultone structure is preferably a 5- to 7-membered ring lactone structure or a 5- to 7-membered ring sultone structure.
  • a 5- to 7-membered ring lactone structure in which another ring structure is condensed in a form forming a bicyclo structure or a spiro structure or a 5- to 7-membered ring in the form of forming a bicyclo structure or a spiro structure.
  • a sultone structure in which another ring structure is fused is more preferable.
  • the resin (A) has a lactone structure represented by any of the following general formulas (LC1-1) to (LC1-21), or any of the following general formulas (SL1-1) to (SL1-3). It is preferable to have a repeating unit having a lactone group or a sultone group obtained by extracting one or more hydrogen atoms from the ring member atom of the represented sultone structure. Further, a lactone group or a sultone group may be directly bonded to the main chain. For example, a ring member atom of a lactone group or a sultone group may form the main chain of the resin (A).
  • the lactone structure or sultone structure portion may have a substituent (Rb 2 ).
  • Preferred substituents (Rb 2 ) include an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 7 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 1 to 8 carbon atoms, and a carboxyl group. , Halogen atom, hydroxyl group, cyano group, acid-degradable group and the like.
  • n2 represents an integer of 0 to 4. When n2 is 2 or more, Rb 2 existing in plural numbers may be different or may be bonded to form a ring Rb 2 between the plurality of.
  • It has a group having a lactone structure represented by any of the general formulas (LC1-1) to (LC1-21) or a sultone structure represented by any of the general formulas (SL1-1) to (SL1-3).
  • Examples of the repeating unit include a repeating unit represented by the following general formula (AI).
  • Rb 0 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. Preferred substituents that the alkyl group of Rb 0 may have include a hydroxyl group and a halogen atom. Examples of the halogen atom of Rb 0 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom. Rb 0 is preferably a hydrogen atom or a methyl group.
  • Ab is a divalent linking group having a single bond, an alkylene group, a monocyclic or polycyclic alicyclic hydrocarbon structure, an ether group, an ester group, a carbonyl group, a carboxyl group, or a divalent group obtained by combining these.
  • Ab 1 is a linear or branched alkylene group or a monocyclic or polycyclic cycloalkylene group, and a methylene group, an ethylene group, a cyclohexylene group, an adamantylene group, or a norbornene group is preferable.
  • V is a group formed by extracting one hydrogen atom from a ring member atom having a lactone structure represented by any of the general formulas (LC1-1) to (LC1-21), or the general formula (SL1-1) to. It represents a group formed by extracting one hydrogen atom from a ring-membered atom having a sultone structure represented by any one of (SL1-3).
  • any optical isomer may be used. Further, one kind of optical isomer may be used alone, or a plurality of optical isomers may be mixed and used. When one kind of optical isomer is mainly used, its optical purity (ee) is preferably 90 or more, more preferably 95 or more. The upper limit is preferably 100 or less.
  • a cyclic carbonate ester group is preferable.
  • a repeating unit having a cyclic carbonic acid ester group a repeating unit represented by the following general formula (A-1) is preferable.
  • RA 1 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or a monovalent organic group (preferably a methyl group).
  • n represents an integer of 0 or more.
  • RA 2 represents a substituent. when n is 2 or more, R A 2 existing in plural, may each be the same or different.
  • A represents a single bond or a divalent linking group.
  • the divalent linking group includes an alkylene group, a divalent linking group having a monocyclic or polycyclic alicyclic hydrocarbon structure, an ether group, an ester group, a carbonyl group, a carboxyl group, or a combination thereof.
  • the valence group is preferred.
  • Z represents an atomic group forming a monocyclic or polycyclic with a group represented by —O—CO—O— in the formula.
  • the repeating unit having a lactone group, a sultone group, or a carbonate group is illustrated below.
  • the content of the repeating unit having a lactone group, a sultone group, or a carbonate group is preferably 1 to 70 mol%, more preferably 5 to 65 mol%, and 5 to 5 to all the repeating units in the resin (A). 60 mol% is more preferred.
  • the resin (A) may have a repeating unit having a group that generates an acid by irradiation with active light or radiation (hereinafter, also referred to as “photoacid generating group”).
  • the repeating unit having this photoacid-generating group corresponds to a compound that generates an acid by irradiation with active light or radiation described later (hereinafter, also referred to as “photoacid generator”).
  • photoacid generator examples of such a repeating unit include a repeating unit represented by the following general formula (4).
  • R 41 represents a hydrogen atom or a methyl group.
  • L 41 represents a single bond or a divalent linking group.
  • L 42 represents a divalent linking group.
  • R 40 represents a structural site that is decomposed by irradiation with active light or radiation to generate an acid in the side chain.
  • Examples of the repeating unit represented by the general formula (4) include the repeating units described in paragraphs [0094] to [0105] of JP-A-2014-041327 and International Publication No. 2018/193954. The repeating units described in paragraph [0094] are mentioned.
  • the content of the repeating unit having a photoacid generating group is preferably 1 to 40 mol%, more preferably 5 to 35 mol%, and further preferably 5 to 30 mol% with respect to all the repeating units in the resin (A). preferable.
  • the resin (A) may have a repeating unit represented by the following general formula (V-1) or the following general formula (V-2).
  • the repeating unit represented by the following general formula (V-1) and the following general formula (V-2) is preferably a repeating unit different from the above-mentioned repeating unit.
  • R 6 and R 7 each independently have a hydrogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group, an alkoxy group, an acyloxy group, a cyano group, a nitro group, an amino group, a halogen atom, and an ester group (-OCOR or -COOR:
  • R is the number of carbon atoms. 1 to 6 alkyl groups or fluorinated alkyl groups), or carboxyl groups.
  • As the alkyl group a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 10 carbon atoms is preferable.
  • n 3 represents an integer of 0 to 6.
  • n 4 represents an integer from 0 to 4.
  • X 4 is a methylene group, an oxygen atom, or a sulfur atom.
  • the repeating unit represented by the general formula (V-1) or (V-2) is illustrated below.
  • the resin (A) preferably has a high glass transition temperature (Tg) from the viewpoint of suppressing excessive diffusion of generated acid or pattern disintegration during development.
  • Tg is preferably greater than 90 ° C, more preferably greater than 100 ° C, even more preferably greater than 110 ° C, and particularly preferably greater than 125 ° C.
  • the Tg is preferably 400 ° C. or lower, more preferably 350 ° C. or lower, because excessively high Tg causes a decrease in the dissolution rate in the developing solution.
  • the glass transition temperature (Tg) of the polymer such as the resin (A) is calculated by the following method.
  • the Tg of a homopolymer composed of only each repeating unit contained in the polymer is calculated by the Bicerano method.
  • the calculated Tg is referred to as "repeating unit Tg".
  • the mass ratio (%) of each repeating unit to all the repeating units in the polymer is calculated.
  • Tg at each mass ratio is calculated using the Fox formula (described in Materials Letters 62 (2008) 3152 and the like), and the sum of them is used as the Tg (° C.) of the polymer.
  • the Bicerano method is described in Precision of policyr policies, Marcel Dekker Inc, New York (1993) and the like. Further, the calculation of Tg by the Bicerano method can be performed using the polymer physical property estimation software MDL Polymer (MDL Information Systems, Inc.).
  • the motility of the main chain of the resin (A) In order to increase the Tg of the resin (A) (preferably, Tg exceeds 90 ° C.), it is preferable to reduce the motility of the main chain of the resin (A).
  • Examples of the method for reducing the motility of the main chain of the resin (A) include the following methods (a) to (e).
  • (A) Introduction of bulky substituents into the main chain (b) Introduction of multiple substituents into the main chain (c) Introduction of substituents that induce interactions between the resins (A) in the vicinity of the main chain ( d) Main chain formation in the cyclic structure (e) Connection of the cyclic structure to the main chain
  • the resin (A) preferably has a repeating unit in which the Tg of the homopolymer is 130 ° C. or higher.
  • the type of repeating unit in which the Tg of the homopolymer is 130 ° C. or higher is not particularly limited, and any repeating unit may be used as long as the Tg of the homopolymer calculated by the Bicerano method is 130 ° C. or higher.
  • the homopolymer corresponds to the repeating unit having a Tg of 130 ° C. or higher.
  • the formula (A) and RA represent a group having a polycyclic structure.
  • R x represents a hydrogen atom, a methyl group, or an ethyl group.
  • the group having a polycyclic structure is a group having a plurality of ring structures, and the plurality of ring structures may or may not be condensed.
  • Specific examples of the repeating unit represented by the formula (A) include those described in paragraphs [0107] to [0119] of International Publication No. 2018/193954.
  • R b1 to R b4 independently represent a hydrogen atom or an organic group, and at least two or more of R b1 to R b4 represent an organic group.
  • the types of other organic groups are not particularly limited.
  • at least two or more organic groups have three or more constituent atoms excluding hydrogen atoms. It is a substituent.
  • Specific examples of the repeating unit represented by the formula (B) include those described in paragraphs [0113] to [0115] of International Publication No. 2018/193954.
  • R c1 to R c4 each independently represent a hydrogen atom or an organic group, and at least one of R c1 to R c4 is hydrogen-bonded hydrogen within 3 atoms from the main chain carbon. It is a group having an atom. Above all, in order to induce the interaction between the main chains of the resin (A), it is preferable to have hydrogen-bonding hydrogen atoms within 2 atoms (closer to the main chain). Specific examples of the repeating unit represented by the formula (C) include those described in paragraphs [0119] to [0121] of International Publication No. 2018/193954.
  • cylic represents a group forming a backbone in a cyclic structure.
  • the number of constituent atoms of the ring is not particularly limited.
  • Specific examples of the repeating unit represented by the formula (D) include those described in paragraphs [0126] to [0127] of International Publication No. 2018/193954.
  • Re represents a hydrogen atom or an organic group.
  • the organic group include an alkyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, an aralkyl group, an alkenyl group and the like, which may have a substituent.
  • Cylic is a cyclic group containing a carbon atom in the main chain. The number of atoms contained in the cyclic group is not particularly limited. Specific examples of the repeating unit represented by the formula (E) include those described in paragraphs [0131] to [0133] of International Publication No. 2018/193954.
  • the content of the repeating unit represented by the formula (E) is preferably 5 mol% or more, more preferably 10 mol% or more, based on all the repeating units in the resin (A).
  • the upper limit thereof is preferably 60 mol% or less, more preferably 55 mol% or less.
  • the resin (A) may have a repeating unit having at least one group selected from a lactone group, a sultone group, a carbonate group, a hydroxyl group, a cyano group, and an alkali-soluble group.
  • Examples of the repeating unit having a lactone group, a sultone group, or a carbonate group contained in the resin (A) include the repeating unit described in the above-mentioned ⁇ Repeating unit having a lactone group, a sultone group, or a carbonate group>.
  • the preferred content is also as described above in ⁇ Repeating unit having a lactone group, sultone group, or carbonate group>.
  • the resin (A) may have a repeating unit having a hydroxyl group or a cyano group. This improves substrate adhesion and developer affinity.
  • the repeating unit having a hydroxyl group or a cyano group is preferably a repeating unit having an alicyclic hydrocarbon structure substituted with a hydroxyl group or a cyano group. It is preferable that the repeating unit having a hydroxyl group or a cyano group does not have an acid-degradable group. Examples of the repeating unit having a hydroxyl group or a cyano group include those described in paragraphs [0153] to [0158] of International Publication No. 2020/004306.
  • the resin (A) may have a repeating unit having an alkali-soluble group.
  • the alkali-soluble group include a carboxyl group, a sulfonamide group, a sulfonylimide group, a bisulsulfonylimide group, and an aliphatic alcohol in which the ⁇ -position is substituted with an electron-withdrawing group (for example, a hexafluoroisopropanol group). Groups are preferred.
  • the resin (A) contains a repeating unit having an alkali-soluble group, the resolution in contact hole applications is increased.
  • the repeating unit having an alkali-soluble group includes a repeating unit in which an alkali-soluble group is directly bonded to the main chain of the resin, such as a repeating unit made of acrylic acid and methacrylic acid, or a repeating unit of the resin via a linking group. Repeat units to which an alkali-soluble group is attached can be mentioned.
  • the linking group may have a monocyclic or polycyclic cyclic hydrocarbon structure.
  • a repeating unit using acrylic acid or methacrylic acid is preferable.
  • the content of the repeating unit having an alkali-soluble group is preferably 0 mol% or more, more preferably 3 mol% or more, still more preferably 5 mol% or more, based on all the repeating units in the resin (A).
  • the upper limit is preferably 20 mol% or less, more preferably 15 mol% or less, still more preferably 10 mol% or less.
  • Rx represents H, CH 3 , CH 2 OH, or CF 3 .
  • It has at least two selected from a lactone group, a hydroxyl group, a cyano group, and an alkali-soluble group as a repeating unit having at least one group selected from a lactone group, a hydroxyl group, a cyano group, and an alkali-soluble group.
  • the repeating unit is preferable, the repeating unit having a cyano group and a lactone group is more preferable, and the repeating unit having a structure in which the cyano group is substituted with the lactone structure represented by the general formula (LC1-4) is further preferable.
  • the resin (A) may have an alicyclic hydrocarbon structure and may have a repeating unit that does not exhibit acid decomposition. This makes it possible to reduce the elution of small molecule components from the resist membrane to the immersion liquid during immersion exposure.
  • a repeating unit include 1-adamantyl (meth) acrylate, diamanthyl (meth) acrylate, tricyclodecanyl (meth) acrylate, and a repeating unit derived from cyclohexyl (meth) acrylate.
  • the resin (A) may have a repeating unit represented by the general formula (III), which has neither a hydroxyl group nor a cyano group.
  • R 5 is having at least one cyclic structure represents a hydrocarbon group having neither a hydroxyl group nor a cyano group.
  • Ra represents a hydrogen atom, an alkyl group or -CH 2 -O-Ra 2 group.
  • Ra 2 represents a hydrogen atom, an alkyl group or an acyl group.
  • the cyclic structure of R 5 includes a monocyclic hydrocarbon group and a polycyclic hydrocarbon group.
  • the monocyclic hydrocarbon group include a cycloalkyl group having 3 to 12 carbon atoms (more preferably 3 to 7 carbon atoms) and a cycloalkenyl group having 3 to 12 carbon atoms.
  • Detailed definitions of each group in the general formula (III) and specific examples of the repeating unit include those described in paragraphs [0169] to [0173] of International Publication No. 2020/004306.
  • the resin (A) may have a repeating unit other than the repeating unit described above.
  • the resin (A) is a repeating unit selected from the group consisting of a repeating unit having an oxatian ring group, a repeating unit having an oxazolone ring group, a repeating unit having a dioxane ring group, and a repeating unit having a hydantoin ring group. You may have. Such repeating units are illustrated below.
  • the resin (A) contains various repeating structural units for the purpose of adjusting dry etching resistance, standard developer suitability, substrate adhesion, resist profile, resolution, heat resistance, sensitivity, and the like. You may have.
  • all of the repeating units are composed of (meth) acrylate-based repeating units.
  • the repeating units are methacrylate-based repeating units
  • all of the repeating units are acrylate-based repeating units
  • all of the repeating units are methacrylate-based repeating units or acrylate-based repeating units.
  • the acrylate-based repeating unit is preferably 50 mol% or less of the total repeating unit.
  • the resin (A) can be synthesized according to a conventional method (for example, radical polymerization).
  • the weight average molecular weight of the resin (A) is preferably 1000 to 200,000, more preferably 3,000 to 20,000, and even more preferably 5,000 to 15,000.
  • the weight average molecular weight of the resin (A) is preferably 1000 to 200,000, more preferably 3,000 to 20,000, and even more preferably 5,000 to 15,000.
  • the dispersity (molecular weight distribution) of the resin (A) is usually 1 to 5, preferably 1 to 3, more preferably 1.20 to 3.00, and even more preferably 1.20 to 2.00.
  • the content of the resin (A) is preferably 50 to 99.9% by mass, more preferably 60 to 99.0% by mass, based on the total solid content of the composition.
  • the solid content is intended to be a component in the composition excluding the solvent, and any component other than the solvent is regarded as a solid content even if it is a liquid component.
  • the resin (A) may be used alone or in combination of two or more.
  • the resist composition may contain other photoacid generators that do not correspond to the specific compound (compounds that do not correspond to the specific compound and generate acid by irradiation with active light or radiation).
  • Other photoacid generators are compounds that generate acids upon exposure (preferably exposure to EUV light and / or ArF).
  • the other photoacid generator may be in the form of a small molecule compound or may be incorporated in a part of the polymer. Further, the form of the small molecule compound and the form incorporated in a part of the polymer may be used in combination.
  • the other photoacid generator is in the form of a small molecule compound, the molecular weight is preferably 3000 or less, more preferably 2000 or less, still more preferably 1000 or less.
  • the lower limit is preferably 50 or more.
  • the photoacid generator is preferably in the form of a small molecule compound.
  • Other photoacid generators are not particularly limited, and among them, compounds that generate organic acids are preferable. Examples of the organic acid include the organic acids described as the organic acids that can generate a specific compound.
  • photoacid generators for example, "M + Y -" in a compound represented by (onium salts).
  • Y - "M + Y" - represents a monovalent organic anion.
  • Y in - "M + Y” - include monovalent organic anions of the organic anion contained in the specific compounds described above.
  • M + Y -" in a compound represented by, M + represents a monovalent organic cation.
  • the monovalent organic cation is preferably a cation represented by the general formula (ZaI) (cation (ZaI)) or a cation represented by the general formula (ZaII) (cation (ZaII)) independently.
  • the cation represented by the general formula (ZaI) is different from the cation (part other than Y ⁇ ) in the specific compound (compound represented by the general formulas (1) to (3)).
  • R 201 , R 202 , and R 203 each independently represent an organic group.
  • the number of carbon atoms of the organic group as R 201 , R 202 , and R 203 is usually 1 to 30, preferably 1 to 20.
  • two of R 201 to R 203 may be bonded to form a ring structure, and the ring may contain an oxygen atom, a sulfur atom, an ester group, an amide group, or a carbonyl group.
  • the two of the group formed by bonding of the R 201 ⁇ R 203 for example, an alkylene group (e.g., butylene, pentylene), and -CH 2 -CH 2 -O-CH 2 -CH 2 - is Can be mentioned.
  • an alkylene group e.g., butylene, pentylene
  • -CH 2 -CH 2 -O-CH 2 -CH 2 - is Can be mentioned.
  • Examples of the cation in the general formula (ZaI) include a cation (ZaI-1) described later.
  • the cation (ZaI-1) is an aryl sulfonium cation in which at least one of R 201 to R 203 of the above general formula (ZaI) is an aryl group.
  • the aryl sulfonium cation all of R 201 to R 203 may be an aryl group, or a part of R 201 to R 203 may be an aryl group and the rest may be an alkyl group or a cycloalkyl group.
  • one of R 201 to R 203 may be an aryl group, and the remaining two of R 201 to R 203 may be bonded to form a ring structure, and an oxygen atom and a sulfur atom may be formed in the ring.
  • It may contain an ester group, an amide group, or a carbonyl group.
  • a group formed by bonding two of R 201 to R 203 for example, one or more methylene groups are substituted with an oxygen atom, a sulfur atom, an ester group, an amide group, and / or a carbonyl group.
  • an alkylene group e.g., butylene group, pentylene group, or -CH 2 -CH 2 -O-CH 2 -CH 2 -) and the like.
  • aryl sulfonium cation examples include triaryl sulfonium cations, diarylalkyl sulfonium cations, aryl dialkyl sulfonium cations, diaryl cycloalkyl sulfonium cations, and aryl dicycloalkyl sulfonium cations.
  • the aryl group contained in the aryl sulfonium cation is preferably a phenyl group or a naphthyl group, and more preferably a phenyl group.
  • the aryl group may be an aryl group having a heterocyclic structure having an oxygen atom, a nitrogen atom, a sulfur atom and the like. Examples of the heterocyclic structure include pyrrole residues, furan residues, thiophene residues, indole residues, benzofuran residues, benzothiophene residues and the like.
  • the aryl sulfonium cation has two or more aryl groups, the two or more aryl groups may be the same or different.
  • the alkyl group or cycloalkyl group possessed by the aryl sulfonium cation as required is a linear alkyl group having 1 to 15 carbon atoms, a branched alkyl group having 3 to 15 carbon atoms, or a branched alkyl group having 3 carbon atoms.
  • a cycloalkyl group of up to 15 is preferable, and for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an n-butyl group, a sec-butyl group, a t-butyl group, a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, or a cyclohexyl group is more preferable.
  • the substituents that the aryl group, the alkyl group, and the cycloalkyl group of R 201 to R 203 may have are independently an alkyl group (for example, 1 to 15 carbon atoms) and a cycloalkyl group (for example, 3 carbon atoms).
  • aryl group for example, 6 to 14 carbon atoms
  • alkoxy group for example, 1 to 15 carbon atoms
  • cycloalkylalkoxy group for example, 3 to 15 carbon atoms
  • halogen atom for example, fluorine, iodine
  • hydroxyl group A carboxyl group, an ester group, a sulfinyl group, a sulfonyl group, an alkylthio group, or a phenylthio group is preferable.
  • the substituent may further have a substituent if possible, for example, even if the above alkyl group has a halogen atom as a substituent and is an alkyl halide group such as a trifluoromethyl group. good. It is also preferable that the above-mentioned substituents form an acid-degradable group by any combination.
  • the acid-degradable group is a group that is decomposed by the action of an acid to form a polar group, and the acid-degradable group may have a structure in which the polar group is protected by a leaving group that is eliminated by the action of an acid. preferable.
  • Examples of the polar group, the leaving group, and the acid-degradable group include those exemplified by the above-mentioned specific compounds.
  • photoacid generators examples include the following compounds.
  • the content thereof is not particularly limited, but the effect of the present invention is more excellent, and the content is 0.5% by mass or more with respect to the total solid content of the composition. Is preferable, 1% by mass or more is more preferable, and 2% by mass or more is further preferable.
  • the content is preferably 40% by mass or less, more preferably 35% by mass or less, and further preferably 30% by mass or less.
  • the photoacid generator may be used alone or in combination of two or more.
  • the resist composition may contain a solvent.
  • Solvents are from (M1) propylene glycol monoalkyl ether carboxylate and (M2) propylene glycol monoalkyl ether, lactic acid ester, acetate, alkoxypropionic acid ester, chain ketone, cyclic ketone, lactone, and alkylene carbonate. It is preferable to include at least one selected from the group consisting of.
  • the solvent may further contain components other than the components (M1) and (M2).
  • the present inventors have found that when such a solvent and the above-mentioned resin are used in combination, the coatability of the composition is improved and a pattern having a small number of development defects can be formed. Although the reason is not always clear, these solvents have a good balance of solubility, boiling point and viscosity of the above-mentioned resins, and thus can suppress uneven film thickness of the composition film and generation of precipitates in spin coating. The present inventors believe that this is due to the above. Details of the component (M1) and the component (M2) are described in paragraphs [0218] to [0226] of International Publication No. 2020/004306.
  • the solvent may further contain components other than the components (M1) and (M2).
  • the content of the components other than the components (M1) and (M2) is preferably 5 to 30% by mass with respect to the total amount of the solvent.
  • the content of the solvent in the resist composition is preferably set so that the solid content concentration is 0.5 to 30% by mass, and more preferably 1 to 20% by mass. By doing so, the coatability of the resist composition can be further improved.
  • the solid content means all components other than the solvent.
  • the resist composition may further contain an acid diffusion control agent.
  • the acid diffusion control agent acts as a quencher for trapping the acid generated from the photoacid generator, and plays a role of controlling the acid diffusion phenomenon in the resist film.
  • Examples of the acid diffusion control agent include basic compounds.
  • the basic compound is preferably a compound having a structure represented by the following general formulas (A) to (E).
  • R200 , R201 and R202 may be the same or different, and may be the same or different, and may be a hydrogen atom, an alkyl group (preferably 1 to 20 carbon atoms), or a cycloalkyl group (preferably 1 to 20 carbon atoms). Represents an aryl group (preferably 6 to 20 carbon atoms), wherein R 201 and R 202 may be bonded to each other to form a ring.
  • the alkyl group having a substituent is preferably an aminoalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a hydroxyalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, or a cyanoalkyl group having 1 to 20 carbon atoms.
  • R 203 , R 204 , R 205 and R 206 may be the same or different and represent an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms.
  • the alkyl groups in these general formulas (A) and (E) are preferably unsubstituted.
  • the resist composition has a proton-accepting functional group as an acid diffusion control agent, and is decomposed by irradiation with active light or radiation to reduce or eliminate the proton-accepting property, or to change from the proton-accepting property to acidity. It may contain a compound (hereinafter, also referred to as “compound (PA)”) that generates a changed compound.
  • compound (PA) also referred to as “compound (PA)”
  • the proton acceptor functional group is a group capable of electrostatically interacting with a proton or a functional group having an electron, for example, a functional group having a macrocyclic structure such as a cyclic polyether, or ⁇ . It means a functional group having a nitrogen atom with an unshared electron pair that does not contribute to conjugation.
  • the nitrogen atom having an unshared electron pair that does not contribute to ⁇ conjugation is, for example, a nitrogen atom having a partial structure shown in the following general formula.
  • Examples of the acid diffusion control agent include the compounds described in paragraphs [0238] to [0271] of International Publication No. 2020/004306.
  • the content of the acid diffusion control agent is preferably 0.001 to 15% by mass, preferably 0.01 to 10% by mass, based on the total solid content of the resist composition. More preferred.
  • the acid diffusion control agent may be used alone or in combination of two or more.
  • the resist composition is represented by any of the specific compounds having an anion represented by the formulas (d1-1) to (d1-3) and / or any of the formulas (d1-1) to (d1-3).
  • d1 series photoacid generators When other photoacid generators having an anions (hereinafter, collectively referred to as "d1 series photoacid generators") are contained, the d1 series photoacid generators also play a role as an acid diffusion control agent. Can also be given.
  • the resist composition contains a d1 based photoacid generator, it is also preferable that the resist composition does not substantially contain an acid diffusion control agent.
  • the fact that the acid diffusion control agent is not substantially contained means that the content of the acid diffusion control agent is 5% by mass or less with respect to the total content of the d1 based photoacid generator.
  • the total content thereof is preferably 1 to 30% by mass, more preferably 3 to 20% by mass.
  • the photoacid generator / acid diffusion control agent (molar ratio) is more preferably 2.0 to 200, and even more preferably 2.0 to 150.
  • the acid diffusion control agent for example, the compounds described in paragraphs [0140] to [0144] of JP2013-11833A (amine compounds, amide group-containing compounds, urea compounds, nitrogen-containing heterocyclic compounds, etc.) are also used. Can be mentioned.
  • the resist composition may contain a hydrophobic resin different from the resin (A) in addition to the resin (A).
  • Hydrophobic resins are preferably designed to be unevenly distributed on the surface of the resist film, but unlike surfactants, they do not necessarily have to have hydrophilic groups in the molecule and are a uniform mixture of polar and non-polar substances. It does not have to contribute to.
  • the effects of adding the hydrophobic resin include controlling the static and dynamic contact angles of the resist film surface with respect to water, and suppressing outgas.
  • Hydrophobic resin from the viewpoint of uneven distribution in the film surface layer, "fluorine atom", “silicon atom”, and to have any one or more "CH 3 partial structure contained in the side chain portion of the resin” Is preferable, and it is more preferable to have two or more kinds.
  • the hydrophobic resin preferably has a hydrocarbon group having 5 or more carbon atoms. These groups may be present in the main chain of the resin or may be substituted with side chains. Examples of the hydrophobic resin include the compounds described in paragraphs [0275] to [0279] of International Publication No. 2020/004306.
  • the content of the hydrophobic resin is preferably 0.01 to 20% by mass, more preferably 0.1 to 15% by mass, based on the total solid content of the resist composition. ..
  • the resist composition may contain a surfactant.
  • a surfactant is contained, it is possible to form a pattern having better adhesion and less development defects.
  • the surfactant is preferably a fluorine-based and / or a silicon-based surfactant. Examples of the surfactant include the compounds described in paragraphs [0281] to [0282] of International Publication No. 2020/004306.
  • surfactant one type may be used alone, or two or more types may be used.
  • the content of the surfactant is preferably 0.0001 to 2% by mass, more preferably 0.0005 to 1% by mass, based on the total solid content of the composition. It is more preferably 0.05 to 0.5.
  • the resist composition comprises a dissolution inhibitory compound, a dye, a plasticizer, a photosensitizer, a light absorber, and / or a compound that promotes solubility in a developing solution (for example, a phenol compound having a molecular weight of 1000 or less, or a carboxylic acid group). It may further contain an alicyclic or aliphatic compound).
  • the resist composition may further contain a dissolution inhibitory compound.
  • a dissolution inhibitory compound is a compound having a molecular weight of 3000 or less, which is decomposed by the action of an acid and its solubility in an organic developer is reduced.
  • the resist composition of the present invention is suitably used as a photosensitive composition for EUV light.
  • EUV light has a wavelength of 13.5 nm, which is shorter than that of ArF (wavelength 193 nm) light and the like, so that the number of incident photons when exposed with the same sensitivity is small. Therefore, the influence of "photon shot noise" in which the number of photons varies stochastically is large, which leads to deterioration of LER and bridge defects.
  • photon shot noise there is a method of increasing the exposure amount and increasing the number of incident photons, but this is a trade-off with the demand for higher sensitivity.
  • the absorption efficiency of EUV light and electron beam of the resist film formed from the resist composition becomes high, which is effective in reducing photon shot noise.
  • the A value represents the absorption efficiency of EUV light and electron beam in the mass ratio of the resist film.
  • the A value is preferably 0.120 or more.
  • the upper limit is not particularly limited, but if the A value is too large, the EUV light and electron beam transmittance of the resist film decreases, the optical image profile in the resist film deteriorates, and as a result, it becomes difficult to obtain a good pattern shape. Therefore, 0.240 or less is preferable, and 0.220 or less is more preferable.
  • [H] represents the molar ratio of the hydrogen atom derived from the total solid content to the total atom of the total solid content in the sensitive light-sensitive or radiation-sensitive resin composition
  • [C] represents the molar ratio of carbon atoms derived from the total solid content to all the atoms of the total solid content in the sensitive light-sensitive or radiation-sensitive resin composition
  • [N] represents the molar ratio of the carbon atom derived from the total solid content.
  • [F] is the molar ratio of the fluorine atoms derived from the total solid content to the total atoms of the total solid content in the sensitive light-sensitive or radiation-sensitive resin composition
  • [S] represents the molar ratio of the sulfur atom derived from the total solid content to all the atoms of the total solid content in the sensitive ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition
  • [I] represents the sensitive light beam. It represents the molar ratio of the iodine atom derived from the total solid content to the total atom of the total solid content in the sex or radiation sensitive resin composition.
  • the resist composition contains a resin (acid-degradable resin) whose polarity is increased by the action of an acid, a photoacid generator, an acid diffusion control agent, and a solvent, the resin, the photoacid generator, and the acid.
  • the diffusion control agent corresponds to the solid content. That is, the total atom of the total solid content corresponds to the total of all the atoms derived from the resin, all the atoms derived from the photoacid generator, and all the atoms derived from the acid diffusion control agent.
  • [H] represents the molar ratio of hydrogen atoms derived from all solids to all atoms of all solids, and to explain based on the above example, [H] is all atoms derived from the resin and light. Hydrogen atom derived from the resin, hydrogen atom derived from the photoacid generator, and hydrogen derived from the acid diffusion control agent with respect to the total of all atoms derived from the acid generator and all atoms derived from the acid diffusion control agent. It represents the total molar ratio of atoms.
  • the A value can be calculated by calculating the structure of the constituent components of the total solid content in the resist composition and, if the content is known, the ratio of the number of atoms contained in the resist composition. Further, even when the constituent atoms are unknown, the constituent atomic number ratio can be calculated for the resist membrane obtained by evaporating the solvent component of the resist composition by an analytical method such as elemental analysis. ..
  • Step 1 Forming a resist film on a substrate using a resist composition
  • Step 2 Step of exposing a resist film
  • Step 3 Develop an exposed resist film using a developing solution to form a pattern. Steps The procedure of each of the above steps will be described in detail below.
  • Step 1 is a step of forming a resist film on the substrate using the resist composition.
  • the definition of the resist composition is as described above.
  • a method of forming a resist film on a substrate using a resist composition for example, a method of applying a resist composition on a substrate can be mentioned. It is preferable to filter the resist composition as necessary before coating.
  • the pore size of the filter is preferably 0.1 ⁇ m or less, more preferably 0.05 ⁇ m or less, still more preferably 0.03 ⁇ m or less.
  • the filter is preferably made of polytetrafluoroethylene, polyethylene, or nylon.
  • the resist composition can be applied onto a substrate (eg, silicon, silicon dioxide coating) such as that used in the manufacture of integrated circuit devices by an appropriate coating method such as a spinner or coater.
  • the coating method is preferably spin coating using a spinner.
  • the rotation speed at the time of spin application using a spinner is preferably 1000 to 3000 rpm.
  • the substrate may be dried to form a resist film. If necessary, various undercoat films (inorganic film, organic film, and antireflection film) may be formed under the resist film.
  • drying method examples include a method of heating and drying.
  • the heating can be carried out by a means provided in a normal exposure machine and / or a developing machine, and may be carried out by using a hot plate or the like.
  • the heating temperature is preferably 80 to 150 ° C, more preferably 80 to 140 ° C, still more preferably 80 to 130 ° C.
  • the heating time is preferably 30 to 1000 seconds, more preferably 60 to 800 seconds, still more preferably 60 to 600 seconds.
  • the film thickness of the resist film is not particularly limited, but 10 to 65 nm is preferable, and 15 to 50 nm is more preferable, because a fine pattern with higher accuracy can be formed.
  • a top coat may be formed on the upper layer of the resist film by using the top coat composition. It is preferable that the topcoat composition is not mixed with the resist film and can be uniformly applied to the upper layer of the resist film.
  • the top coat is not particularly limited, and a conventionally known top coat can be formed by a conventionally known method. For example, a top coat is prepared based on the description in paragraphs [0072] to [0082] of JP-A-2014-059543. Can be formed. For example, it is preferable to form a top coat containing a basic compound as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2013-61648 on the resist film. Specific examples of the basic compound that can be contained in the top coat include basic compounds that may be contained in the resist composition.
  • the top coat also preferably contains a compound containing at least one group or bond selected from the group consisting of ether bonds, thioether bonds, hydroxyl groups, thiol groups, carbonyl bonds, and ester bonds.
  • Step 2 is a step of exposing the resist film.
  • the exposure method include a method of irradiating the formed resist film with EUV light through a predetermined mask.
  • the heating temperature is preferably 80 to 150 ° C, more preferably 80 to 140 ° C, still more preferably 80 to 130 ° C.
  • the heating time is preferably 10 to 1000 seconds, more preferably 10 to 180 seconds, still more preferably 30 to 120 seconds.
  • the heating can be carried out by means provided in a normal exposure machine and / or a developing machine, and may be performed by using a hot plate or the like. This process is also called post-exposure baking.
  • Step 3 is a step of developing the exposed resist film using a developing solution to form a pattern.
  • the developer may be an alkaline developer or a developer containing an organic solvent (hereinafter, also referred to as "organic developer").
  • Examples of the developing method include a method of immersing the substrate in a tank filled with a developing solution for a certain period of time (dip method), and a method of raising the developing solution on the surface of the substrate by surface tension and allowing it to stand still for a certain period of time (paddle method). ), A method of spraying the developer on the surface of the substrate (spray method), and a method of continuously ejecting the developer while scanning the developer discharge nozzle at a constant speed on the substrate rotating at a constant speed (dynamic discharge method). ). Further, after the step of performing the development, a step of stopping the development may be carried out while substituting with another solvent.
  • the development time is not particularly limited as long as the resin in the unexposed portion is sufficiently dissolved, and is preferably 10 to 300 seconds, more preferably 20 to 120 seconds.
  • the temperature of the developer is preferably 0 to 50 ° C, more preferably 15 to 35 ° C.
  • an alkaline aqueous solution containing an alkali is not particularly limited, and for example, a quaternary ammonium salt typified by tetramethylammonium hydroxide, an inorganic alkali, a primary amine, a secondary amine, a tertiary amine, an alcohol amine, a cyclic amine, or the like can be used.
  • Examples include alkaline aqueous solutions containing.
  • the alkaline developer is preferably an aqueous solution of a quaternary ammonium salt typified by tetramethylammonium hydroxide (TMAH).
  • TMAH tetramethylammonium hydroxide
  • An appropriate amount of alcohols, surfactants and the like may be added to the alkaline developer.
  • the alkaline concentration of the alkaline developer is usually 0.1 to 20% by mass.
  • the pH of the alkaline developer is usually 10.0 to 15.0.
  • the organic developer is a developer containing at least one organic solvent selected from the group consisting of a ketone solvent, an ester solvent, an alcohol solvent, an amide solvent, an ether solvent, and a hydrocarbon solvent. Is preferable.
  • the pattern forming method preferably includes a step of washing with a rinsing solution after the step 3.
  • Examples of the rinsing solution used in the rinsing step after the step of developing with an alkaline developer include pure water. An appropriate amount of a surfactant may be added to the pure water. An appropriate amount of a surfactant may be added to the rinse solution.
  • the rinse solution used in the rinse step after the development step using the organic developer is not particularly limited as long as it does not dissolve the pattern, and a solution containing a general organic solvent can be used.
  • a rinsing solution a rinsing solution containing at least one organic solvent selected from the group consisting of a hydrocarbon solvent, a ketone solvent, an ester solvent, an alcohol solvent, an amide solvent, and an ether solvent is used. Is preferable.
  • the hydrocarbon solvent, the ketone solvent, the ester solvent, the alcohol solvent, the amide solvent, and the ether solvent include the same as those described for the developing solution containing the organic solvent.
  • the method of the rinsing process is not particularly limited, and for example, a method of continuously discharging the rinsing liquid onto a substrate rotating at a constant speed (rotary coating method), or immersing the substrate in a tank filled with the rinsing liquid for a certain period of time. Examples thereof include a method (dip method) and a method of spraying a rinse liquid on the substrate surface (spray method).
  • the pattern forming method of the present invention may include a heating step (Post Bake) after the rinsing step. By this step, the developer and the rinse liquid remaining between the patterns and inside the patterns are removed by baking. In addition, this step has the effect of smoothing the resist pattern and improving the surface roughness of the pattern.
  • the heating step after the rinsing step is usually performed at 40 to 250 ° C. (preferably 90 to 200 ° C.) for 10 seconds to 3 minutes (preferably 30 seconds to 120 seconds).
  • the substrate may be etched using the formed pattern as a mask. That is, the pattern formed in step 3 may be used as a mask to process the substrate (or the underlayer film and the substrate) to form the pattern on the substrate.
  • the processing method of the substrate (or the underlayer film and the substrate) is not particularly limited, but the substrate (or the underlayer film and the substrate) is dry-etched by using the pattern formed in step 3 as a mask.
  • the method of forming the pattern is preferable.
  • the dry etching may be one-step etching or multi-step etching. When the etching is an etching consisting of a plurality of stages, the etching of each stage may be the same process or different processes.
  • etching any known method can be used for etching, and various conditions and the like are appropriately determined according to the type and application of the substrate.
  • the Bulletin of the International Society of Optical Engineering (Proc. Of SPIE) Vol. Etching can be performed according to 6924, 692420 (2008), Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-267112, and the like. It is also possible to follow the method described in "Chapter 4 Etching" of "Semiconductor Process Textbook 4th Edition 2007 Published Publisher: SEMI Japan". Of these, oxygen plasma etching is preferable for dry etching.
  • the resist composition and various materials used in the pattern forming method of the present invention are impurities such as metals. It is preferable not to contain.
  • the content of impurities contained in these materials is preferably 1 mass ppm or less, more preferably 10 mass ppt or less, further preferably 100 mass ppt or less, particularly preferably 10 mass ppt or less, and most preferably 1 mass ppt or less.
  • examples of the metal impurities include Na, K, Ca, Fe, Cu, Mg, Al, Li, Cr, Ni, Sn, Ag, As, Au, Ba, Cd, Co, Pb, Ti, V, and the like. W, Zn and the like can be mentioned.
  • filtration using a filter As a method for removing impurities such as metals from various materials, for example, filtration using a filter can be mentioned. Details of filtration using a filter are described in paragraph [0321] of WO 2020/004306.
  • a method of reducing impurities such as metals contained in various materials for example, a method of selecting a raw material having a low metal content as a raw material constituting various materials, and filtering the raw materials constituting various materials are performed. Examples thereof include a method of performing distillation under conditions in which contamination is suppressed as much as possible by lining the inside of the apparatus with Teflon (registered trademark).
  • impurities may be removed by an adsorbent, or filter filtration and an adsorbent may be used in combination.
  • a known adsorbent can be used, and for example, an inorganic adsorbent such as silica gel and zeolite, and an organic adsorbent such as activated carbon can be used.
  • an inorganic adsorbent such as silica gel and zeolite
  • an organic adsorbent such as activated carbon
  • Organic treatment liquids such as rinsing liquids contain conductive compounds in order to prevent failures of chemical liquid piping and various parts (filters, O-rings, tubes, etc.) due to static electricity charging and subsequent electrostatic discharge. It may be added.
  • the conductive compound is not particularly limited, and examples thereof include methanol.
  • the amount to be added is not particularly limited, but is preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, in terms of maintaining preferable development characteristics or rinsing characteristics.
  • various piping coated with SUS stainless steel
  • polyethylene, polypropylene, or fluororesin polytetrafluoroethylene, perfluoroalkoxy resin, etc.
  • fluororesin polytetrafluoroethylene, perfluoroalkoxy resin, etc.
  • filter and the O-ring polyethylene, polypropylene, or a fluororesin (polytetrafluoroethylene, perfluoroalkoxy resin, etc.) that has been subjected to antistatic treatment can be used.
  • a method for improving the surface roughness of the pattern may be applied to the pattern formed by the method of the present invention.
  • Examples of the method for improving the surface roughness of the pattern include a method of treating the pattern with a plasma of a hydrogen-containing gas disclosed in International Publication No. 2014/002808.
  • SPIE Vol. 8328 8328N-1 "EUV Resist Curing Technology for LWR Reduction and Etch Sensitivity Enhancement" can be mentioned.
  • the aspect ratio obtained by dividing the pattern height by the line width is preferably 2.5 or less, more preferably 2.1 or less, still more preferably 1.7 or less. ..
  • the pattern to be formed is a trench pattern or a contact hole pattern
  • the aspect ratio obtained by dividing the pattern height by the trench width or the hole diameter is preferably 4.0 or less, preferably 3.5. The following is more preferable, and 3.0 or less is further preferable.
  • the pattern forming method of the present invention can also be used for guide pattern forming in DSA (Directed Self-Assembly) (see, for example, ACS Nano Vol. 4 No. 8 Page 4815-4823).
  • DSA Directed Self-Assembly
  • the pattern formed by the above method can be used as, for example, the core material (core) of the spacer process disclosed in JP-A-3-270227 and JP-A-2013-164509.
  • the method for producing the specific compound is not particularly limited, but in the presence of the basic compound, the compound having at least one cation represented by the general formula (4) is reacted with the compound represented by the general formula (5). Therefore, a production method having a step of producing a specific compound is preferable. In the following, first, the materials used in the above manufacturing method will be described in detail, and then the procedure of the manufacturing method will be described in detail.
  • R d1 represents a halogen atom.
  • the halogen atom represented by R d3 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom. Among them, a fluorine atom is preferable for R d3 in that the effect of the present invention is more excellent.
  • a compound represented by the general formula (4-1) or a compound represented by the general formula (4-2) is preferable.
  • Z p + represents a cation represented by the general formula (4).
  • Y 1 ⁇ represents a monovalent organic anion.
  • the monovalent organic anion is intended to be a monovalent organic anion among the above-mentioned organic anions.
  • Z p + represents a cation
  • at least one of Z p + represents a cation represented by the general formula (4).
  • the cation other than the cation represented by the general formula (4) is not particularly limited, and examples thereof include known sulfonium cations and iodonium cations.
  • Y 2 - represents an anionic functional group.
  • anionic functional groups is as described above.
  • L represents a linking group of q valence.
  • q represents an integer of 2 or more.
  • the definitions of L and q are the same as the definitions of L and q in the general formula (3).
  • the compound represented by the general formula (4) is preferably the compound represented by the general formula (U-1).
  • Y 1 - represents a monovalent organic anion.
  • the monovalent organic anion is intended to be a monovalent organic anion among the above-mentioned organic anions.
  • RU1 to RU3 independently represent halogen atoms.
  • RU11 to RU13 each independently represent an organic group.
  • R U11 to R U13 are synonymous with R b1 to R b3 in the general formula (S-1).
  • A1 to a3 and b1 to b3 in the general formula (U-1) are synonymous with a1 to a3 and b1 to b3 in the general formula (S-1), respectively.
  • X d2 represents a group represented by the general formula (1-1) or a leaving group that is eliminated by the action of an acid. Equation (1-1) * -L d2- R d2
  • L d2 represents a single bond or a divalent linking group.
  • R d2 represents a group that is decomposed by the action of an acid and whose polarity is increased. * Represents the bond position.
  • a basic compound is used in the method for producing a specific compound.
  • the basic compound may be an organic compound or an inorganic compound.
  • the basic compound include organometallic compounds such as primary to quaternary amine compounds, metal salts, and alcoholic metal compounds.
  • a basic compound as an acid diffusion control agent can also be used as the basic compound.
  • the basic compound is preferably a carbonate or a hydroxide of an alkali metal or an alkaline earth metal.
  • organic compound examples include methylamine, dimethylamine, trimethylamine, ethylamine, diethylamine, triethylamine, ethylenediamine, monoethanolamine, N- ( ⁇ -aminoethyl) ethanolamine, hexamethylenediamine, diethylenetriamine, and triethylenetetramine.
  • Examples thereof include pyridine compounds and derivatives thereof; azole compounds such as imidazole and triazole, and derivatives thereof; ammonium compounds such as tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, and tetrabutylammonium hydroxide, and derivatives thereof; guanidine. ..
  • Examples of the inorganic compound include carbonates of alkali metals such as sodium carbonate and potassium carbonate; carbonates of alkaline earth metals such as calcium carbonate and magnesium carbonate; and alkali metals such as sodium hydroxide and potassium hydroxide.
  • Examples include hydrides of earth metals.
  • the basic compound one kind may be used alone, or two or more kinds may be used.
  • a solvent may be used in the method for producing a specific compound.
  • the solvent is not particularly limited as long as it is a solvent that dissolves the material to be used.
  • the solvent contained in the resist composition described above can also be used.
  • the solvent may be an organic solvent or an aqueous solvent.
  • the solvent examples include an alcohol solvent such as methanol and ethanol; an alkane solvent such as hexane, cyclohexane, and heptane; an ester solvent, a cyclohexanone, and a ketone solvent such as methyl-2-n-amylketone; propylene.
  • examples thereof include ether solvents such as glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, and diethylene glycol dimethyl ether; ester solvents such as ethyl acetate, butyl acetate, and acetic acid; and lactone solvents such as ⁇ -butyrolactone.
  • an alcohol solvent such as methanol and ethanol is preferable, and methanol or ethanol is more preferable.
  • one type may be used alone, or two or more types may be used.
  • the procedure of the production method is not particularly limited as long as the compound represented by the general formula (4) can be reacted with the compound represented by the general formula (5) in the presence of the basic compound.
  • a compound represented by the general formula (4) and a compound represented by the general formula (5) may be added to a reaction system in which a basic compound is present to cause a reaction.
  • the ratio of the amount of the compound represented by the general formula (5) to the amount of the compound represented by the general formula (4) (the amount of the compound represented by the general formula (5) / the general formula (4)).
  • the amount of the compound represented by (1) is not particularly limited, and 3.0 to 1.0 is preferable, and 2.0 to 1.0 is more preferable, because the yield of the specific compound is excellent.
  • the ratio of the amount of the basic compound used to the amount of the compound represented by the general formula (5) (the amount of the basic compound used / the amount of the compound represented by the general formula (5)) is not particularly limited. In terms of excellent yield of the specific compound, 5.0 to 1.0 is preferable, and 3.0 to 1.0 is more preferable.
  • the reaction temperature is not particularly limited, but is preferably ⁇ 50 ° C. to 100 ° C., more preferably ⁇ 30 ° C. to 50 ° C., and even more preferably ⁇ 10 ° C. to 10 ° C.
  • the reaction time is not particularly limited, but is preferably 1 minute to 24 hours, more preferably 10 minutes to 1 hour.
  • the present invention also relates to a method for manufacturing an electronic device including the above-mentioned pattern forming method, and an electronic device manufactured by this manufacturing method.
  • the electronic device of the present invention is suitably mounted on an electric / electronic device (home appliance, OA (Office Automation), media-related device, optical device, communication device, etc.).
  • Compound B-1B was synthesized with reference to the following papers. Imazeki, Shigeaki; Sumino, Motoshige; Fukasawa, Kazuhito; Ishihara, Masami; Akiyama, Takahiko [Synthesis, 2004, # 10, p. 1648 --1654
  • Compound B-12A was synthesized with reference to the following papers. Imazeki, Shigeaki; Sumino, Motoshige; Fukasawa, Kazuhito; Ishihara, Masami; Akiyama, Takahiko [Synthesis, 2004, # 10, p. 1648 --1654.
  • the comparative compound Z-1 is shown below.
  • Cyclohexanone (113 g) was heated to 80 ° C. under a nitrogen stream. While stirring this solution, the monomer represented by the following formula M-1 (25.5 g), the monomer represented by the following formula M-2 (31.6 g), cyclohexanone (210 g), and 2,2'-.
  • a mixed solution of dimethyl azobisisobutyrate [V-601, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.] (6.21 g) was added dropwise over 6 hours to obtain a reaction solution. After completion of the dropping, the reaction solution was further stirred at 80 ° C. for 2 hours. The obtained reaction solution was allowed to cool, reprecipitated with a large amount of methanol / water (mass ratio 9: 1), filtered, and the obtained solid was vacuum dried to obtain 52 g of resin A-1. ..
  • Resins A-2 to A-30 were synthesized with reference to the above resin A-1 synthesis method.
  • Table 1 shows the composition ratio (molar ratio; corresponding in order from the left), weight average molecular weight (Mw), and dispersity (Mw / Mn) of each repeating unit shown later.
  • the weight average molecular weight (Mw) and the dispersity (Mw / Mn) of the resins A-1 to A-30 were measured by GPC (carrier: tetrahydrofuran (THF)) (in terms of polystyrene).
  • the composition ratio (mol% ratio) of the resin was measured by 13 C-NMR (nuclear magnetic resonance).
  • the resins A-1 to A-30 are shown below. * Represents the bond position.
  • the acid diffusion control agents D-1 to D-11 other than the above are shown below.
  • Hydrophobic resins (E-1 to E-11) and topcoat resins (PT-1 to PT-3) were synthesized according to Table 2. Further, the molar ratio, weight average molecular weight (Mw), and dispersity (Mw / Mn) of the repeating units in the hydrophobic resins (E-1 to E-11) and the topcoat resins (PT-1 to PT-3). Is shown in Table 2.
  • the weight average molecular weight (Mw) and dispersity (Mw / Mn) of the hydrophobic resins E-1 to E-11 or the topcoat resins PT-1 to PT-3 are GPC (carrier: tetrahydrofuran (THF)). ) (Polystyrene equivalent).
  • the composition ratio (mol% ratio) of the resin was measured by 13 C-NMR (nuclear magnetic resonance).
  • the monomers ME-1 to ME-20 used for the synthesis of the hydrophobic resins E-1 to E-11 shown in Table 2 and the topcoat resins PT-1 to PT-3 shown in Table 2 are shown below. ..
  • composition of each resist composition is shown below.
  • ⁇ Surfactant> When the resist composition contained a surfactant, the following surfactant was used.
  • H-2 Megafuck R08 (manufactured by DIC Corporation, fluorine and silicon-based surfactant)
  • top coat composition The various components contained in the top coat composition shown in Table 5 are shown below. ⁇ Resin> As the resin shown in Table 5, the resins PT-1 to PT-3 shown in Table 2 were used.
  • top coat composition Each component shown in Table 5 was mixed so that the solid content concentration was 3% by mass, and then the obtained mixed solution was first subjected to a polyethylene filter having a pore size of 50 nm, and then a nylon filter having a pore size of 10 nm. Finally, a top coat composition was prepared by filtering in the order of a polyethylene filter having a pore size of 5 nm.
  • the solid content here means all components other than the solvent. The resulting topcoat composition was used in the examples.
  • FT-1 4-Methyl-2-pentanol (MIBC)
  • MIBC 4-Methyl-2-pentanol
  • FT-2 n-decane
  • FT-3 diisoamyl ether
  • the film thickness of the top coat film was 100 nm in each case.
  • an ArF excimer laser immersion scanner manufactured by ASML; XT1700i, NA1.20, Dipole, outer sigma 0.950, inner sigma 0.850, Y-polarized light
  • the line width is 45 nm 1: Exposure was made through a 1-line and space pattern 6% halftone mask. Ultrapure water was used as the immersion liquid. The exposed resist film was baked at 90 ° C. for 60 seconds, developed with n-butyl acetate for 30 seconds, and then rinsed with 4-methyl-2-pentanol for 30 seconds. Then, this was spin-dried to obtain a negative pattern.
  • ⁇ LWR evaluation> A length-measuring scanning electron microscope (SEM Co., Ltd.) is used for a 45 nm (1: 1) line-and-space pattern resolved at the optimum exposure amount when resolving a line pattern with an average line width of 45 nm.
  • the LWR (nm) is preferably 2.8 nm or less, more preferably 2.5 nm or less, further preferably 2.3 nm or less, and particularly preferably 2.0 nm or less.
  • the evaluation results are shown in Table 6 below.
  • the resist composition of the present invention can form a pattern having excellent LWR performance when a pattern is obtained by ArF exposure and organic solvent development.
  • the acid-degradable group is a group represented by the general formula (a-1) from the comparison between Examples 1-3, 1-4, 1-7, 1-8 and other examples.
  • a-1 the acid-degradable group
  • the atom represented by X d1 is a sulfur atom
  • the line width is 45 nm 1: Exposure was made through a 1-line and space pattern 6% halftone mask. Ultrapure water was used as the immersion liquid. The resist film after exposure was baked at 90 ° C. for 60 seconds, developed with an aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (2.38% by mass) for 30 seconds, and then rinsed with pure water for 30 seconds. Then, this was spin-dried to obtain a positive pattern. The obtained positive pattern was evaluated in the same manner as the ⁇ defect evaluation> and ⁇ LWR evaluation> performed in the above-mentioned [Pattern formation (1): ArF immersion exposure, organic solvent development]. The evaluation results are shown in Table 7 below.
  • the resist composition of the present invention can form a pattern having excellent LWR performance when a pattern is obtained by ArF exposure and development with an alkaline aqueous solution. Further, the same tendency as the result of [Pattern formation (1): ArF immersion exposure, organic solvent development] was confirmed.
  • the underlayer film forming composition AL412 (manufactured by Brewer Science) was applied onto a silicon wafer and baked at 205 ° C. for 60 seconds to form a base film having a film thickness of 20 nm.
  • the resin composition shown in Table 8 (see Table 4 for the composition of the resin composition) was applied thereto and baked at 100 ° C. for 60 seconds to form a resist film having a film thickness of 30 nm.
  • an EUV exposure device Micro Exposure Tool, NA0.3, Quadrupole, outer sigma 0.68, inner sigma 0.36, manufactured by Exitech
  • pattern irradiation was performed on the silicon wafer having the obtained resist film. rice field.
  • the resist film after exposure was baked at 90 ° C. for 60 seconds, then developed with n-butyl acetate for 30 seconds, and spin-dried to obtain a negative pattern.
  • ⁇ LWR evaluation> A length-measuring scanning electron microscope (SEM Co., Ltd.) is used for a 20 nm (1: 1) line-and-space pattern resolved at the optimum exposure amount when resolving a line pattern with an average line width of 20 nm.
  • the LWR (nm) is preferably 4.2 nm or less, more preferably 3.8 nm or less, further preferably 3.5 nm or less, particularly preferably 3.2 nm or less, and most preferably 3.0 nm or less. The following are particularly preferred.
  • Table 8 The evaluation results are shown in Table 8 below.
  • the resist composition of the present invention can form a pattern having excellent LWR performance when a pattern is obtained by EUV exposure and organic solvent development. From the comparison between Examples 3-7 and 3-14 with other Examples, it was confirmed that the effect is more excellent when X d1 is a sulfur atom in the general formula (1). From the comparison with Examples 3-3, 3-7, 3-8, and 3-12, in the general formula (1), the group whose polarity is increased by decomposition by the action of an acid is the general formula (a-1). ) was confirmed to be more effective. From the results in Table 8 above, it was confirmed that a more excellent effect can be obtained when the number of acid-degradable groups and the number of leaving groups eliminated by the action of an acid are 2 or more.
  • the underlayer film forming composition AL412 (manufactured by Brewer Science) was applied onto a silicon wafer and baked at 205 ° C. for 60 seconds to form a base film having a film thickness of 20 nm.
  • the resin composition shown in Table 9 (see Table 4 for the composition of the resin composition) was applied thereto and baked at 100 ° C. for 60 seconds to form a resist film having a film thickness of 30 nm.
  • the resist composition of the present invention can form a pattern having excellent LWR performance when a pattern is obtained by EUV exposure and development with an alkaline aqueous solution. Further, the same tendency as the result of [Pattern formation (3): EUV exposure, organic solvent development] was confirmed.

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Abstract

本発明は、ＬＷＲ性能に優れるパターンを得られる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、化合物、及び化合物の製造方法を提供する。本発明の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、酸の作用により分解して極性が増大する基を有する繰り返し単位を有する樹脂を含む、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であって、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物が、樹脂とは別に、一般式（１）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物を更に含むか、又は、樹脂が、繰り返し単位とは別に、一般式（１）で表されるカチオンを有する繰り返し単位を更に有する。

Description

感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、パターン形成方法、レジスト膜、電子デバイスの製造方法、化合物、化合物の製造方法
　本発明は、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、パターン形成方法、レジスト膜、電子デバイスの製造方法、化合物、及び化合物の製造方法に関する。
　ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｃｉｒｃｕｉｔ、集積回路）及びＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ　Ｓｃａｌｅ　Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　ｃｉｒｃｕｉｔ、大規模集積回路）等の半導体デバイスの製造プロセスにおいては、感光性組成物を用いたリソグラフィーによる微細加工が行われている。
　リソグラフィーの方法として、感光性組成物によりレジスト膜を形成した後、得られた膜を露光して、その後、現像する方法が挙げられる。
　特許文献１では、感光性組成物に使用される酸発生剤として所定の化合物が開示されており、例えば、以下の化合物が例示されている。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000008
特開２００９－０１９０２８号公報
　本発明者らは、特許文献１に開示されている上記化合物などの特性について具体的に検討したところ、特許文献１に記載の化合物を含む感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、得られるパターンのＬＷＲ（ｌｉｎｅ　ｗｉｄｔｈ　ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ）性能に改善の余地があることが分かった。
　そこで、本発明は、ＬＷＲ性能に優れるパターンを得られる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を提供することを課題とする。
　また、本発明は、上記感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物に関する、レジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、化合物、及び化合物の製造方法を提供することも課題とする。
　本発明者らは、以下の構成により上記課題を解決できることを見出した。
（１）　酸の作用により分解して極性が増大する基を有する繰り返し単位を有する樹脂を含む、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であって、
　感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物が、樹脂とは別に、後述する一般式（１）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物を更に含むか、又は、
　樹脂が、繰り返し単位とは別に、後述する一般式（１）で表されるカチオンを有する繰り返し単位を更に有する、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
（２）　感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物が、一般式（１）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物を含み、
　一般式（１）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物が、後述する一般式（２）で表される化合物、及び、後述する一般式（３）で表される化合物からなる群から選択される少なくとも１つを含む、（１）に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
（３）　Ｘｄ１が硫黄原子である、（１）又は（２）に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
（４）　一般式（１）中、酸の作用により分解して極性が増大する基が、後述する一般式（ａ－１）で表される基である、（１）～（３）のいずれかに記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
（５）　一般式（１）中、ｎが２～３の整数、又はｐが２～５の整数を表す、（１）～（４）のいずれかに記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
（６）　（１）～（５）のいずれかに記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いて形成された、レジスト膜。
（７）　（１）～（５）のいずれかに記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いて、基板上にレジスト膜を形成する工程と、
　レジスト膜を露光する工程と、
　現像液を用いて、露光されたレジスト膜を現像し、パターンを形成する工程と、を有するパターン形成方法。
（８）　（７）に記載のパターン形成方法を含む、電子デバイスの製造方法。
（９）　後述する一般式（１）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物。
（１０）　後述する一般式（２）で表される化合物、又は、後述する一般式（３）で表される化合物である、（９）に記載の化合物。
（１１）　Ｘｄ１が硫黄原子である、（９）又は（１０）に記載の化合物。
（１２）　一般式（１）中、酸の作用により分解して極性が増大する基が、後述する一般式（ａ－１）で表される基である、（９）～（１１）のいずれかに記載の化合物。
（１３）　一般式（１）中、ｎが２～３の整数、又はｐが２～５の整数である、（９）～（１２）のいずれかに記載の化合物。
（１４）　（９）～（１３）のいずれかに記載の一般式（１）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物の製造方法であって、
　塩基性化合物の存在下、後述する一般式（４）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物と、後述する一般式（５）で表される化合物とを反応させて、一般式（１）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物を製造する、化合物の製造方法。
　本発明によれば、ＬＷＲ性能に優れるパターンを得られる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を提供できる。
　また、本発明によれば、上記感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物に関する、レジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、化合物、及び化合物の製造方法を提供できる。
　以下に、本発明を実施するための形態の一例を説明する。
　本明細書における「～」を用いて表される数値範囲は、「～」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
　本明細書における基（原子団）の表記において、置換又は無置換を記していない表記は、置換基を有していない基と共に置換基を有する基をも含む。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも含む。
　置換基は、特に断らない限り、１価の置換基が好ましい。
　本明細書中における「有機基」とは、少なくとも１個の炭素原子を含む基をいう。
　本明細書におけるハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、及びヨウ素原子が挙げられる。
　本明細書における表記される２価の基の結合方向は、特に断らない限り制限されない。例えば、「Ｘ－Ｙ－Ｚ」なる一般式で表される化合物中の、Ｙが－ＣＯＯ－である場合、Ｙは、－ＣＯ－Ｏ－であってもよく、－Ｏ－ＣＯ－であってもよい。また、上記化合物は「Ｘ－ＣＯ－Ｏ－Ｚ」であってもよく「Ｘ－Ｏ－ＣＯ－Ｚ」であってもよい。
　本明細書における「（メタ）アクリル」とは、アクリル及びメタクリルを含む総称であり、「アクリル及びメタクリルの少なくとも１種」を意味する。同様に「（メタ）アクリル酸」とは、「アクリル酸及びメタクリル酸の少なくとも１種」を意味する。
　本明細書における「活性光線」又は「放射線」とは、例えば、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光：　Ｅｘｔｒｅｍｅ　Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）、Ｘ線、及び電子線（ＥＢ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｂｅａｍ）等を意味する。本明細書における「光」とは、活性光線又は放射線を意味する。
　本明細書における「露光」とは、特に断らない限り、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザー（ＡｒＦエキシマレーザー等）に代表される遠紫外線、Ｘ線、及びＥＵＶ光等による露光のみならず、電子線、及びイオンビーム等の粒子線による描画も含む。
　本明細書における樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）、数平均分子量（Ｍｎ）、及び分散度（以下、「分子量分布」ともいう。）（Ｍｗ／Ｍｎ）は、ＧＰＣ（Ｇｅｌ　Ｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ　Ｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈｙ）装置（東ソー製ＨＬＣ－８１２０ＧＰＣ）によるＧＰＣ測定（溶剤：テトラヒドロフラン、流量（サンプル注入量）：１０μＬ、カラム：東ソー社製ＴＳＫ　ｇｅｌ　Ｍｕｌｔｉｐｏｒｅ　ＨＸＬ－Ｍ、カラム温度：４０℃、流速：１．０ｍＬ／分、検出器：示差屈折率検出器（Ｒｅｆｒａｃｔｉｖｅ　Ｉｎｄｅｘ　Ｄｅｔｅｃｔｏｒ））によるポリスチレン換算値として定義される。
　１Åは１×１０－１０ｍである。
　本明細書中における酸解離定数（ｐＫａ）とは、水溶液中でのｐＫａを表し、具体的には、下記ソフトウェアパッケージ１を用いて、ハメットの置換基定数及び公知文献値のデータベースに基づいた値を、計算により求められる値である。本明細書中に記載したｐＫａの値は、全て、このソフトウェアパッケージを用いて計算により求めた値を示す。
　ソフトウェアパッケージ１：　Ａｄｖａｎｃｅｄ　Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ　Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ　（ＡＣＤ／Ｌａｂｓ）　Ｓｏｆｔｗａｒｅ　Ｖ８．１４　ｆｏｒ　Ｓｏｌａｒｉｓ　（１９９４－２００７　ＡＣＤ／Ｌａｂｓ）。
　一方で、ｐＫａは、分子軌道計算法によっても求められる。具体的には、熱力学サイクルに基づいて、溶剤中におけるＨ＋解離自由エネルギーを計算して算出する手法が挙げられる。（なお、本明細書において、上記溶剤としては、通常は水を使用し、水ではｐＫａを求められない場合には、ＤＭＳＯ（ジメチルスルホキシド）を使用する。）
　Ｈ＋解離自由エネルギーの計算方法については、例えば、ＤＦＴ（密度汎関数法）により計算できるが、他にも様々な手法が文献等で報告されており、これに制限されるものではない。なお、ＤＦＴを実施できるソフトウェアは複数存在するが、例えば、Ｇａｕｓｓｉａｎ１６が挙げられる。
　本明細書におけるｐＫａとは、上述した通り、ソフトウェアパッケージ１を用いて、ハメットの置換基定数及び公知文献値のデータベースに基づいた値を計算により求められる値を指すが、この手法によりｐＫａが算出できない場合には、ＤＦＴ（密度汎関数法）に基づいてＧａｕｓｓｉａｎ１６により得られる値を採用するものとする。
［感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物］
　本発明の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物（以下、「レジスト組成物」ともいう。）について説明する。
　本発明のレジスト組成物は、ポジ型のレジスト組成物であってもよく、ネガ型のレジスト組成物であってもよい。また、アルカリ現像用のレジスト組成物であってもよく、有機溶剤現像用のレジスト組成物であってもよい。
　本発明の組成物は、典型的には、化学増幅型のレジスト組成物である。
　本発明のレジスト組成物は、酸の作用により分解して極性が増大する基を有する繰り返し単位（以下、「酸分解性基を有する繰り返し単位」ともいう。）を有する樹脂（以下、「酸分解性樹脂」ともいう。）を含む、レジスト組成物であって、レジスト組成物が、酸分解性樹脂とは別に、後述する一般式（１）で表されるカチオン（以下、「特定カチオン」ともいう。）を少なくとも１つ有する化合物（以下、「特定化合物」ともいう。）を更に含むか、又は、酸分解性樹脂が、酸分解性基を有する繰り返し単位とは別に、後述する一般式（１）で表されるカチオンを有する繰り返し単位（以下、「特定繰り返し単位」ともいう。）を更に有する、レジスト組成物である。
　言い換えると、本発明のレジスト組成物は、酸分解性樹脂及び特定化合物を含むか、又は、特定繰り返し単位を有する酸分解性樹脂を含む。
　このような構成で本発明の課題が解決されるメカニズムは明らかではないが、以下のように、推測される。なお、以下では特定化合物を使用する態様を例にして説明する。
　特定化合物は、通常、光酸発生剤として作用する。特定化合物は、所定の位置に硫黄原子を含むため、カチオンの極性が特許文献１に記載される化合物よりも低減され、特定化合物同士の凝集などが抑制され、酸分解性樹脂との相溶性にも優れているため、形成されたパターンのＬＷＲ性能が良好となる。特に、酸分解性樹脂から生じる極性基と共に、特定化合物が有する酸分解性基が分解して極性基を生じることにより、露光部のアルカリ現像液に対する溶解性の向上、及び有機溶剤現像液に対する溶解液の低下がみられ、ポジ型及びネガ型のいずれにおいてもＬＷＲ性能が向上する傾向がある。
　以下、本明細書において、ＬＷＲ性能により優れるパターンを得られることを、本発明の効果が優れるともいう。
〔レジスト組成物〕
　以下、レジスト組成物が含み得る成分について詳述する。
＜一般式（１）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物＞
　本発明のレジスト組成物は、特定化合物を含むか、後述する特定繰り返し単位を有する酸分解性樹脂を含む。以下では、まず、特定化合物について詳述する。
　特定化合物は、光酸発生剤又は酸拡散抑制剤として作用する。光酸発生剤は、活性光線又は放射線（好ましくはＥＵＶ光又はＡｒＦ）の照射（露光）により酸を発生する化合物である。酸拡散制御剤は、光酸発生剤から生じた酸をトラップするクエンチャーとして作用し、レジスト膜中における酸の拡散現象を制御する化合物である。
　特定化合物が光酸発生剤として作用する場合、特に制限されないが、特定化合物から発生する酸のｐＫａが、レジスト組成物中の後述する酸拡散制御剤から発生する酸のｐＫａよりも小さい場合が多い。特定化合物が光酸発生剤として作用する場合、後述する酸分解性樹脂を、酸の作用により分解できる場合が多い。
　特定化合物が酸拡散制御剤として作用する場合、特に制限されないが、特定化合物から発生する酸のｐＫａが、レジスト組成物中に別途含まれる光酸発生剤から発生する酸のｐＫａよりも大きい場合が多い。特定化合物が酸拡散制御剤として作用する場合、後述する酸分解性樹脂を、酸の作用により分解できない場合が多い。
　つまり、特定化合物は他のレジスト組成物に含まれる成分との相対関係によって光酸発生剤又は酸拡散制御剤として作用できる。
　特定化合物より発生する酸の体積は特に制限されないが、露光で発生した酸の非露光部への拡散を抑制し、解像性を良好にする点から、２４０Å３以上が好ましく、３０５Å３以上がより好ましく、３５０Å３以上が更に好ましく、４００Å３以上が特に好ましい。なお、感度又は塗布溶剤への溶解性の点から、特定化合物より発生する酸の体積は、１５００Å３以下が好ましく、１０００Å３以下がより好ましく、７００Å３以下が更に好ましい。
　上記体積の値は、富士通株式会社製の「ＷｉｎＭＯＰＡＣ」を用いて求める。上記体積の値の計算は、まず、各例に係る酸の化学構造を入力し、次に、この構造を初期構造としてＭＭ（Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ　Ｍｅｃｈａｎｉｃｓ）３法を用いた分子力場計算により、各酸の最安定立体配座を決定し、その後、これら最安定立体配座についてＰＭ（Ｐａｒａｍｅｔｅｒｉｚｅｄ　Ｍｏｄｅｌ　ｎｕｍｂｅｒ）３法を用いた分子軌道計算を行って、各酸の「ａｃｃｅｓｓｉｂｌｅ　ｖｏｌｕｍｅ」を計算できる。
　特定化合物は、露光により、酸（好ましくは、有機酸）を発生する化合物であることが好ましい。
　上記酸として、例えば、スルホン酸（脂肪族スルホン酸、芳香族スルホン酸、及び、カンファースルホン酸等）、カルボン酸（脂肪族カルボン酸、芳香族カルボン酸、及び、アラルキルカルボン酸等）、カルボニルスルホニルイミド酸、ビス（アルキルスルホニル）イミド酸、及び、トリス（アルキルスルホニル）メチド酸等が挙げられる。
　特定化合物より発生する酸の構造は特に制限されないが、酸の拡散を抑制し、解像性を良好にする点で、特定化合物より発生する酸と後述する酸分解性樹脂との間の相互作用が強いことが好ましい。この点から、光酸発生剤より発生する酸が有機酸である場合、有機酸は、例えば、スルホン酸基、カルボン酸基、カルボニルスルホニルイミド酸基、ビススルホニルイミド酸基、及びトリススルホニルメチド酸基等の有機酸基以外に、更に極性基を有するのが好ましい。
　極性基としては、例えば、エーテル基、エステル基、アミド基、アシル基、スルホ基、スルホニルオキシ基、スルホンアミド基、チオエーテル基、チオエステル基、ウレア基、カーボネート基、カーバメート基、水酸基、及びメルカプト基が挙げられる。
　発生する酸が有する極性基の数は特に制限されないが、１個以上が好ましく、２個以上がより好ましい。ただし、過剰な現像を抑制する点から、極性基の数は、６個未満が好ましく、４個未満がより好ましい。
　特定化合物は、一般式（１）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物である。
　特定化合物が有する一般式（１）で表されるカチオンの数は特に制限されず、１つ以上であればよく、２つ以上であってもよい。
　特定化合物が一般式（１）で表されるカチオンを２つ以上有する場合、その数は２～３つが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000009
　一般式（１）中、Ｘｄ１は、硫黄原子又はヨウ素原子を表す。
　なかでも、本発明の効果が優れる点で、Ｘｄ１は、硫黄原子が好ましい。
　Ｘｄ１が硫黄原子を表す場合、ｎは１～３の整数を表し、ｍは０～２の整数を表し、ｍ＋ｎは３である。Ｘｄ１がヨウ素原子を表す場合、ｎは１又は２を表し、ｍは０又は１を表し、ｍ＋ｎは２である。
　ｐは１～５の整数を表す。
　なかでも、本発明の効果が優れる点で、ｐは１～４の整数が好ましく、１～３の整数がより好ましく、１が更に好ましい。
　なお、ｎが２以上の場合、複数のｐは同一であっても異なっていてもよい。
　また、本発明の効果がより優れる点で、ｎは２～３、又はｐは２～５が好ましく、ｎは２～３、又はｐは２～３がより好ましい。
　Ｒｄ１は、置換基を有していてもよい直鎖状、分岐鎖状、若しくは環状のアルキル基、置換基を有していてもよい直鎖状、分岐鎖状、若しくは環状のアルケニル基、又は置換基を有していてもよいアリール基を表す。
　なかでも、Ｒｄ１は、置換基を有していてもよい直鎖状、分岐鎖状、若しくは環状のアルキル基、又は置換基を有していてもよいアリール基が好ましく、置換基を有していてもよいアリール基がより好ましい。
　Ｒｄ１で表される置換基を有していてもよいアリール基は、単環又は多環であってもよい。なかでも、上記アリール基は、単環が好ましい。また、上記アルキル基、又はアルケニル基は、環状が好ましい。
　Ｒｄ１は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。
　Ｒｄ１が有する置換基は、ヘテロ原子を有していてもよいアルキル基が好ましく、酸素原子及びハロゲン原子からなる群から選択される少なくとも１種を有するアルキル基がより好ましい。
　Ｒｄ１で表される基の炭素数は、３０以下が好ましく、２５以下がより好ましく、２０以下が更に好ましい。上記炭素数の下限は特に制限されないが、３以上が好ましい。
　ｍが２を表す場合、２つのＲｄ１は互いに結合して、環を形成していてもよい。上記によって形成される環の環員数は、５又は６が好ましい。Ｒｄ１が互いに結合して形成する環は、環を構成するメチレン基の１つが、酸素原子等のヘテロ原子、又はカルボニル基等のヘテロ原子を有する基で置換されていてもよい。
　Ｌｄ１は、それぞれ独立に、単結合又は２価の連結基を表す。
　なかでも、本発明の効果がより優れる点で、Ｌｄ１は単結合が好ましい。
　Ｌｄ１で表される２価の連結基としては、例えば、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－Ｓ－、－ＮＨ－、ＣＳ－、－ＳＯ－、―ＳＯ２－、置換基を有していてもよい炭化水素基（例えば、アルキレン基、シクロアルキレン基、アルケニレン基、及びアリーレン基等）、及びこれらの複数が連結した連結基等が挙げられる。
　なかでも、上記２価の連結基は、置換基を有していてもよい炭化水素基を有することが好ましく、メチレン基、エチレン基、又はプロピレン基を有することがより好ましい。
　Ａｒｄ１は、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素環基を表す。
　芳香族炭化水素環基は、単環又は多環であってもよい。なかでも、単環が好ましい。
　Ａｒｄ１で表される芳香族炭化水素環基としては、例えば、ベンゼン環基、ナフタレン環基、及びアントラセン環基が挙げられる。なかでも、上記芳香族炭化水素環基は、ベンゼン環基、又はナフタレン環基が好ましく、ベンゼン環基がより好ましい。
　Ａｒｄ１で表される芳香族炭化水素環基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。なかでも、上記芳香族炭化水素環基は、無置換が好ましい。
　上記芳香族炭化水素環基が有する置換基としては、例えば、ハロゲン原子、ハロゲン原子を有していてもよい直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基、及びハロゲン原子を有していてもよいアルコキシ基が挙げられる。なかでも、上記置換基としては、無置換の直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基が好ましい。
　Ｘｄ２は、一般式（１－１）で表される基、又は、酸の作用により脱離する脱離基を表す。一般式（１－１）中、＊は結合位置を表す。
　一般式（１－１）　　＊－Ｌｄ２－Ｒｄ２
　一般式（１－１）中、Ｌｄ２は、単結合又は２価の連結基を表す。なかでも、本発明の効果がより優れる点で、Ｌｄ２は２価の連結基が好ましい。
　Ｌｄ２で表される２価の連結基としては、上述したＬｄ１で例示した２価の連結基が挙げられる。
　Ｒｄ２は、酸の作用により分解して極性が増大する基（以下、「酸分解性基」ともいう。）を表す。
　酸分解性基とは、酸の作用により分解して極性基を生じる基をいう。酸分解性基は、酸の作用により脱離する脱離基によって、極性基が保護された構造を有することが好ましい。つまり、特定化合物は、酸の作用により分解し、極性基を生じる基を有する。酸の作用により極性が増大してアルカリ現像液に対する溶解度が増大し、有機溶剤に対する溶解度が減少する。
　極性基としては、アルカリ可溶性基が好ましく、例えば、カルボキシル基、ヒドロキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、リン酸基、スルホンアミド基、スルホニルイミド基、（アルキルスルホニル）（アルキルカルボニル）メチレン基、（アルキルスルホニル）（アルキルカルボニル）イミド基、ビス（アルキルカルボニル）メチレン基、ビス（アルキルカルボニル）イミド基、ビス（アルキルスルホニル）メチレン基、ビス（アルキルスルホニル）イミド基、トリス（アルキルカルボニル）メチレン基、及びトリス（アルキルスルホニル）メチレン基等の酸性基が挙げられる。
　なかでも、極性基としては、カルボキシル基、ヒドロキシル基、フェノール性水酸基、及びスルホン酸基からなる群から選択される少なくとも１種が好ましく、カルボキシル基、ヒドロキシル基、又はフェノール性水酸基がより好ましい。
　酸の作用により脱離する脱離基としては、例えば、一般式（Ｓ１）～（Ｓ３）で表される基が挙げられる。
　一般式（Ｓ１）：－Ｃ（ＲｘＳ１）（ＲｘＳ２）（ＲｘＳ３）
　一般式（Ｓ２）：－Ｃ（＝Ｏ）ＯＣ（ＲｘＳ１）（ＲｘＳ２）（ＲｘＳ３）
　一般式（Ｓ３）：－Ｃ（ＲＳ１）（ＲＳ２）（ＯＲＳ３）
　一般式（Ｓ１）及び（Ｓ２）中、ＲｘＳ１～ＲｘＳ３は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基、置換基を有していてもよいシクロアルキル基（単環若しくは多環）、又は、置換基を有していてもよいアリール基（単環若しくは多環）を表す。
　なかでも、ＲｘＳ１～ＲｘＳ３は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基が好ましく、ＲｘＳ１～ＲｘＳ３は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい直鎖状のアルキル基がより好ましい。
　ＲｘＳ１～ＲｘＳ３のうち、２つが結合して、単環又は多環を形成してもよい。
　ＲｘＳ１～ＲｘＳ３のアルキル基としては、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ペプチル基、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、及びイソブチル基等の炭素数１～１０のアルキル基が好ましい。
　Ｒｘ１～Ｒｘ３のシクロアルキル基としては、シクロペンチル基、及びシクロヘキシル基等の単環のシクロアルキル基、又はノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、及びアダマンチル基等の多環のシクロアルキル基が好ましい。
　ＲｘＳ１～ＲｘＳ３のうち、２つが結合して形成される環としては、シクロアルキル基が好ましい。ＲｘＳ１～ＲｘＳ３の２つが結合して形成されるシクロアルキル基としては、シクロペンチル基若しくはシクロヘキシル基等の単環のシクロアルキル基、又はノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、若しくはアダマンチル基等の多環のシクロアルキル基が好ましく、炭素数５～６の単環のシクロアルキル基がより好ましい。
　ＲｘＳ１～ＲｘＳ３の２つが結合して形成されるシクロアルキル基は、例えば、環を構成するメチレン基の１つが、フッ素原子以外の酸素原子等のヘテロ原子、又はカルボニル基等のフッ素原子以外のヘテロ原子を有する基で置換されていてもよい。
　一般式（Ｓ３）中、ＲＳ１～ＲＳ３は、それぞれ独立に、水素原子又は１価の有機基を表す。ＲＳ２～ＲＳ３は、互いに結合して環を形成してもよい。１価の有機基としては、置換基を有していてもよい直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基、及び置換基を有していてもよいシクロアルキル基が挙げられる。ＲＳ１としては、水素原子も好ましい。
　なお、上記アルキル基、及び上記シクロアルキル基には、酸素原子等のヘテロ原子及び／又はカルボニル基等のヘテロ原子を有する基が含まれていてもよい。例えば、上記アルキル基、及び上記シクロアルキル基は、例えば、メチレン基の１つ以上が、酸素原子等のヘテロ原子及び／又はカルボニル基等のヘテロ原子を有する基で置換されていてもよい。
　また、ＲＳ３は、繰り返し単位の主鎖が有する別の置換基と互いに結合して、環を形成してもよい。
　酸分解性基としては、一般式（ａ－１）～（ａ－５）で表される基が好ましく、一般式（ａ－１）又は（ａ－２）で表される基がより好ましく、一般式（ａ－１）で表される基が更に好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000010
　一般式（ａ－１）中、Ｒａ１は、酸の作用により脱離する脱離基を表す。＊は結合位置を表す。
　酸の作用により脱離する脱離基としては、上述した、一般式（Ｓ１）～（Ｓ３）で表される基が挙げられる。
　なかでも、Ｒａ１は、置換基を有していてもよい直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基、又は、置換基を有していてもよいシクロアルキル基を表すことが好ましい。
　Ｒａ１で表される置換基を有していてもよい直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基は、本発明の効果がより優れる点で、置換基を有していてもよい分岐鎖状のアルキル基が好ましい。
　上記アルキル基は、置換基を有する直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基であってもよく、無置換の直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基であってもよい。上記アルキル基が有する置換基としては、酸素原子等のヘテロ原子、又は酸素原子等のヘテロ原子を含むアルキル基が好ましい。なかでも、本発明の効果がより優れる点で、上記アルキル基としては、無置換の直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基が好ましい。
　上記アルキル基の炭素数は、１～２０が好ましく、２～１０がより好ましく、２～８が更に好ましい。
　Ｒａ１で表されるアルキル基としては、例えば、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ヘプチル基、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、１－メチルペンチル基、４－メチル－２－ペンチル基、２－エチルブチル基、ｎ－ヘプチル基、１－メチルヘキシル基、ｎ－オクチル基、１－メチルヘプチル基、及び２－エチルヘキシル基が挙げられる。
　なかでも、本発明の効果がより優れる点で、Ｒａ１で表されるアルキル基は、ｔｅｒｔ－ブチル基、又はｔｅｒｔ－ヘプチル基が好ましい。
　Ｒａ１で表される置換基を有していてもよいシクロアルキル基は、単環又は多環であってもよい。
　上記シクロアルキル基は、置換基を有するシクロアルキル基であってもよく、無置換のシクロアルキル基であってもよい。なかでも、置換基を有するシクロアルキル基が好ましい。
　上記シクロアルキル基が有する置換基としては、例えば、置換基を有していてもよいアルキル基、及び置換基を有していてもよいアリール基が挙げられる。
　なかでも、炭素数１～６のアルキル基、又は置換基を有していてもよいアリール基が好ましく、メチル基、又はエチル基がより好ましい。
　上記シクロアルキル基の炭素数は、４～２５が好ましく、４～２０がより好ましく、４～１５が更に好ましい。
　Ｒａ１で表されるシクロアルキル基としては、例えば、メチルシクロペンチル基若しくはエチルシクロペンチル基等のシクロペンチル基、及びメチルシクロヘキシル基若しくはエチルシクロヘキシル基等のシクロヘキシル基；シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデカニル基、ノルボルニル基、トリシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、及びメチルアダマンチル基若しくはエチルアダマンタン基等のアダマンタン基が挙げられる。
　なかでも、本発明の効果がより優れる点で、Ｒａ１で表されるシクロアルキル基は、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びアダマンタン基からなる群から選択される少なくとも１種が好ましく、メチルシクロペンチル基、エチルシクロペンチル基、メチルシクロヘキシル基、エチルシクロヘキシル基、メチルアダマンチル基、又はエチルアダマンタン基がより好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000011
　一般式（ａ－２）中、＊は結合位置を表す。Ｒａ２は、置換基を有していてもよい直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基、又は置換基を有していてもよいシクロアルキル基を表す。
　Ｒａ２で表される置換基を有していてもよい直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基としては、上述したＲａ１で表される置換基を有していてもよい直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基と同義である。
　Ｒａ２で表される置換基を有していてもよいシクロアルキル基としては、例えば、上述したＲａ１で表される置換基を有していてもよいシクロアルキル基が挙げられる。
　Ｒａ３は、水素原子、置換基を有していてもよい直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基、又は置換基を有していてもよいシクロアルキル基を表す。
　Ｒａ３で表される置換基を有していてもよい直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基としては、上述したＲａ１で表される置換基を有していてもよい直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基と同義である。
　Ｒａ３で表される置換基を有していてもよいシクロアルキル基としては、上述したＲａ１で表される置換基を有していてもよいシクロアルキル基と同義である。
　Ｒａ２及びＲａ３は、互いに結合して環を形成していてもよい。
　Ｒａ２及びＲａ３が互いに結合して形成される環は、単環又は多環であってもよい。なかでも、単環が好ましい。
　Ｒａ２及びＲａ３が互いに結合して形成される単環としては、例えば、炭素数３～６のシクロアルカンが挙げられる。より具体的には、例えば、シクロプロパン環、シクロブタン環、シクロペンタン環、及びシクロへキサン環が挙げられる。上記環中の炭素原子の一部は、酸素原子等のヘテロ原子によって置換されていてもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000012
　一般式（ａ－３）中、＊は結合位置を表す。
　Ｒａ４は、酸の作用により脱離する脱離基を表す。
　脱離基としては、例えば、上述した、一般式（Ｓ１）～（Ｓ３）で表される基が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000013
　一般式（ａ－４）中、＊は結合位置を表す。
　Ｒａ５及びＲａ６は、それぞれ独立に、直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基を表す。
　Ｒａ５及びＲａ６は、互いに結合して、単環（例えば、脂肪族炭化水素環）又は多環を形成してもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000014
　一般式（ａ－５）中、＊は結合位置を表す。
　Ｒａ７及びＲａ８は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基を表す。
　Ｘｄ２で表される酸の作用により脱離基の種類は特に制限されず、公知の脱離基が挙げられる。なお、一般式（１）中の－Ｓ－Ｘｄ２で表される基から、Ｘｄ２で表される酸の作用により脱離基が脱離した際には、ＳＨ基（チオ―ル基）が形成される。
　脱離基としては、例えば、上述した、一般式（Ｓ１）～（Ｓ３）で表される基が挙げられる。
（有機アニオン）
　特定化合物は、有機アニオンを含むことが好ましい。
　有機アニオンとしては、１又は２価以上の有機アニオンであってもよい。なかでも、有機アニオンは、１～３価が好ましい。
　有機アニオンとは、求核反応を起こす能力が著しく低いアニオンが好ましく、具体的には非求核性アニオンが挙げられる。
　非求核性アニオンとしては、例えば、スルホン酸アニオン（脂肪族スルホン酸アニオン、芳香族スルホン酸アニオン、及びカンファースルホン酸アニオン等）、カルボン酸アニオン（脂肪族カルボン酸アニオン、芳香族カルボン酸アニオン、及びアラルキルカルボン酸アニオン等）、スルホニルイミドアニオン、ビス（アルキルスルホニル）イミドアニオン、及びトリス（アルキルスルホニル）メチドアニオンが挙げられる。
　脂肪族スルホン酸アニオン、及び脂肪族カルボン酸アニオンにおける脂肪族部位は、直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基であってもよく、シクロアルキル基であってもよい。炭素数１～３０の直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基、又は炭素数３～３０のシクロアルキル基が好ましい。
　上記アルキル基は、例えば、フルオロアルキル基（パーフルオロアルキル基でもよい）でもよい。
　芳香族スルホン酸アニオン及び芳香族カルボン酸アニオンにおけるアリール基としては、炭素数６～１４のアリール基が好ましく、例えば、フェニル基、トリル基、及びナフチル基が挙げられる。
　上記アルキル基、上記シクロアルキル基、及び上記アリール基は、置換基を有していてもよい。置換基としては特に制限されないが、具体的には、ニトロ基、フッ素原子、及び塩素原子等のハロゲン原子、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、シアノ基、アルコキシ基（好ましくは炭素数１～１５）、アルキル基（好ましくは炭素数１～１０）、シクロアルキル基（好ましくは炭素数３～１５）、アリール基（好ましくは炭素数６～１４）、アルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２～７）、アシル基（好ましくは炭素数２～１２）、アルコキシカルボニルオキシ基（好ましくは炭素数２～７）、アルキルチオ基（好ましくは炭素数１～１５）、アルキルスルホニル基（好ましくは炭素数１～１５）、アルキルイミノスルホニル基（好ましくは炭素数１～１５）、及びアリールオキシスルホニル基（好ましくは炭素数６～２０）等が挙げられる。
　アラルキルカルボン酸アニオンにおけるアラルキル基としては、炭素数７～１４のアラルキル基が好ましく、例えば、ベンジル基、フェネチル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチル基、及び、ナフチルブチル基が挙げられる。
　スルホニルイミドアニオンとしては、例えば、サッカリンアニオンが挙げられる。
　ビス（アルキルスルホニル）イミドアニオン、及びトリス（アルキルスルホニル）メチドアニオンにおけるアルキル基としては、炭素数１～５のアルキル基が好ましい。これらのアルキル基の置換基としては、ハロゲン原子、ハロゲン原子で置換されたアルキル基、アルコキシ基、アルキルチオ基、アルキルオキシスルホニル基、アリールオキシスルホニル基、及びシクロアルキルアリールオキシスルホニル基が挙げられる。
　なかでも、フッ素原子又はフッ素原子で置換されたアルキル基が好ましい。
　また、ビス（アルキルスルホニル）イミドアニオンにおけるアルキル基は、互いに結合して環構造を形成してもよい。これにより、酸強度が増加する。
　その他の非求核性アニオンとしては、例えば、フッ素化燐（例えば、ＰＦ６ －）、フッ素化ホウ素（例えば、ＢＦ４ －）、及びフッ素化アンチモン（例えば、ＳｂＦ６ －）が挙げられる。
　非求核性アニオンとしては、スルホン酸の少なくともα位がフッ素原子で置換された脂肪族スルホン酸アニオン、フッ素原子若しくはフッ素原子を有する基で置換された芳香族スルホン酸アニオン、アルキル基がフッ素原子で置換されたビス（アルキルスルホニル）イミドアニオン、又は、アルキル基がフッ素原子で置換されたトリス（アルキルスルホニル）メチドアニオンが好ましい。なかでも、パーフルオロ脂肪族スルホン酸アニオン（好ましくは炭素数４～８）、又は、フッ素原子を有するベンゼンスルホン酸アニオンがより好ましく、ノナフルオロブタンスルホン酸アニオン、パーフルオロオクタンスルホン酸アニオン、ペンタフルオロベンゼンスルホン酸アニオン、又は３，５－ビス（トリフルオロメチル）ベンゼンスルホン酸アニオンが更に好ましい。
　非求核性アニオンとしては、下記式（ＡＮ１）で表されるアニオンも好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000015
　一般式（ＡＮ１）中、
　ｏは、１～３の整数を表す。ｐは、０～１０の整数を表す。ｑは、０～１０の整数を表す。
　Ｘｆは、フッ素原子、又は、少なくとも１つのフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。このアルキル基の炭素数は、１～１０が好ましく、１～４がより好ましい。また、少なくとも１つのフッ素原子で置換されたアルキル基としては、パーフルオロアルキル基が好ましい。
　Ｘｆは、フッ素原子又は炭素数１～４のパーフルオロアルキル基であることが好ましく、フッ素原子又はＣＦ３であることがより好ましい。特に、双方のＸｆがフッ素原子であることが更に好ましい。
　Ｒ４及びＲ５は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、アルキル基、又は、少なくとも一つのフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。Ｒ４及びＲ５が複数存在する場合、Ｒ４及びＲ５は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
　Ｒ４及びＲ５で表されるアルキル基は、置換基を有していてもよく、炭素数１～４が好ましい。Ｒ４及びＲ５は、好ましくは水素原子である。
　少なくとも一つのフッ素原子で置換されたアルキル基の具体例及び好適な態様は一般式（ＡＮ１）中のＸｆの具体例及び好適な態様と同じである。
　Ｌは、２価の連結基を表す。Ｌが複数存在する場合、Ｌは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
　２価の連結基としては、例えば、－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＣＯＮＨ－、－ＮＨＣＯ－、－ＣＯ－、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ－、－ＳＯ２－、アルキレン基（好ましくは炭素数１～６）、シクロアルキレン基（好ましくは炭素数３～１５）、アルケニレン基（好ましくは炭素数２～６）、及び、これらの複数を組み合わせた２価の連結基等が挙げられる。なかでも、－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＣＯＮＨ－、－ＮＨＣＯ－、－ＣＯ－、－Ｏ－、－ＳＯ２－、－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－アルキレン基－、－アルキレン基－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－、－ＣＯＯ－アルキレン基－、－ＯＣＯ－アルキレン基－、－ＣＯＮＨ－アルキレン基－、又は、－ＮＨＣＯ－アルキレン基－が好ましく、－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－アルキレン基－、－アルキレン基－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＣＯＮＨ－、－ＳＯ２－、－ＣＯＯ－アルキレン基－、又は、－ＯＣＯ－アルキレン基－がより好ましい。
　Ｗは、環状構造を含む有機基を表す。なかでも、環状の有機基であることが好ましい。
　環状の有機基としては、例えば、脂環基、アリール基、及び、複素環基が挙げられる。
　脂環基は、単環であってもよく、多環であってもよい。単環の脂環基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、及び、シクロオクチル基等の単環のシクロアルキル基が挙げられる。多環の脂環基としては、例えば、ノルボルニル基、トリシクロデカニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、及び、アダマンチル基等の多環のシクロアルキル基が挙げられる。なかでも、ノルボルニル基、トリシクロデカニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、及び、アダマンチル基等の炭素数７以上の嵩高い構造を有する脂環基が好ましい。
　アリール基は、単環であってもよく、多環であってもよい。このアリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、フェナントリル基、及び、アントリル基が挙げられる。
　複素環基は、単環であってもよく、多環であってもよい。多環の方がより酸の拡散を抑制可能である。また、複素環基は、芳香族性を有していてもよいし、芳香族性を有していなくてもよい。芳香族性を有している複素環としては、例えば、フラン環、チオフェン環、ベンゾフラン環、ベンゾチオフェン環、ジベンゾフラン環、ジベンゾチオフェン環、及び、ピリジン環が挙げられる。芳香族性を有していない複素環としては、例えば、テトラヒドロピラン環、ラクトン環、スルトン環、及び、デカヒドロイソキノリン環が挙げられる。複素環基における複素環としては、フラン環、チオフェン環、ピリジン環、又は、デカヒドロイソキノリン環が特に好ましい。
　上記環状の有機基は、置換基を有していてもよい。この置換基としては、例えば、アルキル基（直鎖状及び分岐鎖状のいずれであってもよく、炭素数１～１２が好ましい）、シクロアルキル基（単環、多環、及び、スピロ環のいずれであってもよく、炭素数３～２０が好ましい）、アリール基（炭素数６～１４が好ましい）、水酸基、アルコキシ基、エステル基、アミド基、ウレタン基、ウレイド基、チオエーテル基、スルホンアミド基、及び、スルホン酸エステル基が挙げられる。なお、環状の有機基を構成する炭素（環形成に寄与する炭素）はカルボニル炭素であってもよい。
　一般式（ＡＮ１）で表されるアニオンとしては、ＳＯ３ －－ＣＦ２－ＣＨ２－ＯＣＯ－（Ｌ）ｑ’－Ｗ、ＳＯ３ －－ＣＦ２－ＣＨＦ－ＣＨ２－ＯＣＯ－（Ｌ）ｑ’－Ｗ、ＳＯ３ －－ＣＦ２－ＣＯＯ－（Ｌ）ｑ’－Ｗ、ＳＯ３ －－ＣＦ２－ＣＦ２－ＣＨ２－ＣＨ２－（Ｌ）ｑ－Ｗ、又は、ＳＯ３ －－ＣＦ２－ＣＨ（ＣＦ３）－ＯＣＯ－（Ｌ）ｑ’－Ｗが好ましい。ここで、Ｌ、ｑ及びＷは、一般式（ＡＮ１）と同様である。ｑ’は、０～１０の整数を表す。
　非求核性アニオンとしては、下記の式（ＡＮ２）で表されるアニオンも好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000016
　一般式（ＡＮ２）中、
　ＸＢ１及びＸＢ２は、それぞれ独立に、水素原子、又は、フッ素原子を有さない１価の有機基を表す。ＸＢ１及びＸＢ２は、水素原子であることが好ましい。
　ＸＢ３及びＸＢ４は、それぞれ独立に、水素原子、又は、１価の有機基を表す。ＸＢ３及びＸＢ４の少なくとも一方がフッ素原子又はフッ素原子を有する１価の有機基であることが好ましく、ＸＢ３及びＸＢ４の両方がフッ素原子又はフッ素原子を有する１価の有機基であることがより好ましい。ＸＢ３及びＸＢ４の両方が、フッ素原子で置換されたアルキル基であることが更に好ましい。
　Ｌ、ｑ及びＷは、一般式（ＡＮ１）と同様である。
　非求核性アニオンとしては、下記式（ＡＮ３）で表されるアニオンが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000017
　一般式（ＡＮ３）において、Ｘａは、それぞれ独立に、フッ素原子、又は、少なくとも一つのフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。Ｘｂは、それぞれ独立に、水素原子、又は、フッ素原子を有さない有機基を表す。ｏ、ｐ、ｑ、Ｒ４、Ｒ５、Ｌ、及び、Ｗの定義及び好ましい態様は、一般式（ＡＮ１）と同様である。
　非求核性アニオンとしては、下記式（ＡＮ４）で表されるアニオンも好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000018
　一般式（ＡＮ４）中、Ｒ１及びＲ２は、それぞれ独立に、電子求引性基ではない置換基又は水素原子を表す。
　上記電子求引性基ではない置換基としては、炭化水素基、水酸基、オキシ炭化水素基、オキシカルボニル炭化水素基、アミノ基、炭化水素置換アミノ基、及び、炭化水素置換アミド基等が挙げられる。
　また、電子求引性基ではない置換基としては、それぞれ独立に、－Ｒ’、－ＯＨ、－ＯＲ’、－ＯＣＯＲ’、－ＮＨ２、－ＮＲ’２、－ＮＨＲ’、又は、－ＮＨＣＯＲ’が好ましい。Ｒ’は、１価の炭化水素基である。
　上記Ｒ’で表される１価の炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等のアルキル基；エテニル基、プロペニル基、ブテニル基等のアルケニル基；エチニル基、プロピニル基、ブチニル基等のアルキニル基などの１価の直鎖状又は分岐鎖状の炭化水素基；シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基、アダマンチル基等のシクロアルキル基；シクロプロペニル基、シクロブテニル基、シクロペンテニル基、ノルボルネニル基等のシクロアルケニル基などの１価の脂環炭化水素基；フェニル基、トリル基、キシリル基、メシチル基、ナフチル基、メチルナフチル基、アントリル基、メチルアントリル基等のアリール基；ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメチル基、アントリルメチル基等のアラルキル基等の１価の芳香族炭化水素基が挙げられる。
　なかでも、Ｒ１及びＲ２は、それぞれ独立に、炭化水素基（好ましくはシクロアルキル基）又は水素原子が好ましい。
　一般式（ＡＮ４）中、Ｌは、１つ以上の連結基Ｓと１つ以上の置換基を有していてもよいアルキレン基との組み合わせからなる２価の連結基、又は、１つ以上の連結基Ｓからなる２価の連結基を表す。
　連結基Ｓは、＊Ａ－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－＊Ｂ、＊Ａ－ＣＯ－＊Ｂ、＊Ａ－ＣＯ－Ｏ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｏ－ＣＯ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｏ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｓ－＊Ｂ、及び、＊Ａ－ＳＯ２－＊Ｂからなる群から選択される基である。
　ただし、Ｌが、「１つ以上の連結基Ｓと１つ以上の置換基を有していてもよいアルキレン基との組み合わせからなる２価の連結基」の一形態である、「１つ以上の連結基Ｓと１つ以上の置換基を有さないアルキレン基との組み合わせからなる２価の連結基」である場合、連結基Ｓは、＊Ａ－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－＊Ｂ、＊Ａ－ＣＯ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｏ－ＣＯ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｏ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｓ－＊Ｂ、及び、＊Ａ－ＳＯ２－＊Ｂからなる群から選択される基であるのが好ましい。言い換えると、「１つ以上の連結基Ｓと１つ以上の置換基を有していてもよいアルキレン基との組み合わせからなる２価の連結基」における、アルキレン基が、いずれも無置換アルキレン基である場合、連結基Ｓは、＊Ａ－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－＊Ｂ、＊Ａ－ＣＯ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｏ－ＣＯ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｏ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｓ－＊Ｂ、及び、＊Ａ－ＳＯ２－＊Ｂからなる群から選択される基であるのが好ましい。
　＊Ａは、一般式（ＡＮ４）におけるＲ３側の結合位置を表し、＊Ｂは、一般式（ＡＮ４）における－ＳＯ３ －側の結合位置を表す。
　１つ以上の連結基Ｓと１つ以上の置換基を有していてもよいアルキレン基との組み合わせからなる２価の連結基において、連結基Ｓは１つだけ存在していてもよく、２つ以上存在していてもよい。同様に、置換基を有していてもよいアルキレン基は１つだけ存在していてもよく、２つ以上存在していてもよい。上記連結基Ｓが複数存在する場合、複数存在する連結基Ｓは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。上記アルキレン基が複数存在する場合、複数存在するアルキレン基は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
　なお、連結基Ｓ同士が連続して結合してもよい。ただし、＊Ａ－ＣＯ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｏ－ＣＯ－＊Ｂ、及び、＊Ａ－Ｏ－＊Ｂからなる群から選択される基が連続して結合して「＊Ａ－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－＊Ｂ」が形成されないことが好ましい。また、＊Ａ－ＣＯ－＊Ｂ及び＊Ａ－Ｏ－＊Ｂからなる群から選択される基が連続して結合して「＊Ａ－Ｏ－ＣＯ－＊Ｂ」及び「＊Ａ－ＣＯ－Ｏ－＊Ｂ」のいずれも形成されないことが好ましい。
　１つ以上の連結基Ｓからなる２価の連結基においても、連結基Ｓは１つだけ存在していてもよく、２つ以上存在していてもよい。連結基Ｓが複数存在する場合、複数存在する場合の連結基Ｓは、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
　この場合も、＊Ａ－ＣＯ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｏ－ＣＯ－＊Ｂ、及び、＊Ａ－Ｏ－＊Ｂからなる群から選択される基が連続して結合して「＊Ａ－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－＊Ｂ」が形成されないことが好ましい。また、＊Ａ－ＣＯ－＊Ｂ及び＊Ａ－Ｏ－＊Ｂからなる群から選択される基が連続して結合して「＊Ａ－Ｏ－ＣＯ－＊Ｂ」及び「＊Ａ－ＣＯ－Ｏ－＊Ｂ」のいずれも形成されないことが好ましい。
　ただし、いずれの場合においてもＬ中において、－ＳＯ３ －に対してβ位の原子は、置換基としてフッ素原子を有する炭素原子ではない。
　なお、上記β位の原子が炭素原子である場合、上記炭素原子にはフッ素原子が直接置換していなければよく、上記炭素原子はフッ素原子を有する置換基（例えば、トリフルオロメチル基等のフルオロアルキル基）を有していてもよい。
　また、上記β位の原子とは、言い換えると、一般式（ＡＮ４）における－Ｃ（Ｒ１）（Ｒ２）－と直接結合するＬ中の原子である。
　なかでも、Ｌは、連結基Ｓを１つだけ有するのが好ましい。
　つまり、Ｌは、１つの連結基Ｓと１つ以上の置換基を有していてもよいアルキレン基との組み合わせからなる２価の連結基、又は、１つの連結基Ｓからなる２価の連結基を表すのが好ましい。
　Ｌは、例えば、下記式（ＡＮ４－２）で表される基であるのが好ましい。
　＊ａ－（ＣＲ２ａ ２）Ｘ－Ｑ－（ＣＲ２ｂ ２）Ｙ－＊ｂ　　　（ＡＮ４－２）
　一般式（ＡＮ４－２）中、＊ａは、一般式（ＡＮ４）におけるＲ３との結合位置を表す。
　＊ｂは、一般式（ＡＮ４）における－Ｃ（Ｒ１）（Ｒ２）－との結合位置を表す。
　Ｘ及びＹは、それぞれ独立に、０～１０の整数を表し、０～３の整数が好ましい。
　Ｒ２ａ及びＲ２ｂは、それぞれ独立に、水素原子又は置換基を表す。
　Ｒ２ａ及びＲ２ｂがそれぞれ複数存在する場合、複数存在するＲ２ａ及びＲ２ｂは、それぞれ同一でも異なっていてもよい、
　ただし、Ｙが１以上の場合、一般式（ＡＮ４）における－Ｃ（Ｒ１）（Ｒ２）－と直接結合するＣＲ２ｂ ２におけるＲ２ｂは、フッ素原子以外である。
　Ｑは、＊Ａ－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－＊Ｂ、＊Ａ－ＣＯ－＊Ｂ、＊Ａ－ＣＯ－Ｏ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｏ－ＣＯ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｏ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｓ－＊Ｂ、又は、＊Ａ－ＳＯ２－＊Ｂを表す。
　ただし、一般式（ＡＮ４－２）中のＸ＋Ｙが１以上かつ、一般式（ＡＮ４－２）中のＲ２ａ及びＲ２ｂのいずれもが全て水素原子である場合、Ｑは、＊Ａ－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－＊Ｂ、＊Ａ－ＣＯ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｏ－ＣＯ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｏ－＊Ｂ、＊Ａ－Ｓ－＊Ｂ、又は、＊Ａ－ＳＯ２－＊Ｂを表す。
　＊Ａは、一般式（ＡＮ４）におけるＲ３側の結合位置を表し、＊Ｂは、一般式（ＡＮ４）における－ＳＯ３ －側の結合位置を表す。
　一般式（ＡＮ４）中、Ｒ３は、有機基を表す。
　上記有機基は、炭素原子を１以上有していれば制限はなく、直鎖状の基（例えば、直鎖状のアルキル基）でも、分岐鎖状の基（例えば、ｔ－ブチル基等の分岐鎖状のアルキル基）でもよく、環状構造を有していてもよい。上記有機基は、置換基を有していても有していなくてもよい。上記有機基は、ヘテロ原子（酸素原子、硫黄原子、及び／又は、窒素原子等）を有していても有してなくてもよい。
　なかでも、Ｒ３は、環状構造を有する有機基であるのが好ましい。上記環状構造は、単環でも多環でもよく、置換基を有していてもよい。環状構造を含む有機基における環は、一般式（ＡＮ４）中のＬと直接結合しているのが好ましい。
　上記環状構造を有する有機基は、例えば、ヘテロ原子（酸素原子、硫黄原子、及び／又は、窒素原子等）を有していても有してなくてもよい。ヘテロ原子は、環状構造を形成する炭素原子の１つ以上と置換していてもよい。
　上記環状構造を有する有機基は、環状構造の炭化水素基、ラクトン環基、又は、スルトン環基が好ましい。なかでも、上記環状構造を有する有機基は、環状構造の炭化水素基が好ましい。
　上記環状構造の炭化水素基は、単環又は多環のシクロアルキル基が好ましい。これらの基は、置換基を有していてもよい。
　上記シクロアルキル基は、単環（シクロヘキシル基等）でも多環（アダマンチル基等）でもよく、炭素数は５～１２が好ましい。
　上記ラクトン基及びスルトン基としては、例えば、後述の一般式（ＬＣ１－１）～（ＬＣ１－２１）で表される構造、及び、一般式（ＳＬ１－１）～（ＳＬ１－３）で表される構造のいずれかにおいて、ラクトン構造又はスルトン構造を構成する環員原子から、水素原子を１つ除いてなる基が好ましい。
　非求核性アニオンとしては、ベンゼンスルホン酸アニオンであってもよく、分岐鎖状のアルキル基又はシクロアルキル基によって置換されたベンゼンスルホン酸アニオンであることが好ましい。
　非求核性アニオンとしては、下記式（ＡＮ５）で表される芳香族スルホン酸アニオンも好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000019
　一般式（ＡＮ５）中、
　Ａｒは、アリール基（フェニル基等）を表し、スルホン酸アニオン及び－（Ｄ－Ｂ）基以外の置換基を更に有していてもよい。更に有してもよい置換基としては、フッ素原子及び水酸基等が挙げられる。
　ｎは、０以上の整数を表す。ｎとしては、１～４の整数が好ましく、２～３の整数がより好ましく、３が更に好ましい。
　Ｄは、単結合又は２価の連結基を表す。２価の連結基としては、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、スルホキシド基、スルホン基、スルホン酸エステル基、エステル基、及び、これらの２種以上の組み合わせからなる基等が挙げられる。
　Ｂは、炭化水素基を表す。
　Ｂは、脂肪族炭化水素構造が好ましく、イソプロピル基、シクロヘキシル基、又は置換基を有してもよいアリール基（トリシクロヘキシルフェニル基等）がより好ましい。
　非求核性アニオンとしては、ジスルホンアミドアニオンも好ましい。
　ジスルホンアミドアニオンは、例えば、Ｎ－（ＳＯ２－Ｒｑ）２で表されるアニオンが挙げられる。
　Ｒｑは置換基を有していてもよいアルキル基を表し、フルオロアルキル基が好ましく、パーフルオロアルキル基がより好ましい。２個のＲｑは互いに結合して環を形成してもよい。２個のＲｑが互いに結合して形成される基は、置換基を有していてもよいアルキレン基が好ましく、フルオロアルキレン基がより好ましく、パーフルオロアルキレン基が更に好ましい。上記アルキレン基の炭素数は２～４が好ましい。
　また、上記アニオンとしては、下記式（ｄ１－１）～（ｄ１－３）で表されるアニオンも挙げられる。
　上記アニオンとして下記式（ｄ１－１）～（ｄ１－３）で表されるアニオンを有する特定化合物は、後述する酸拡散制御剤としての機能を持つこともできる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000020
　一般式（ｄ１－１）中、Ｒ５１は置換基（例えば、水酸基）を有していてもよい炭化水素基（例えば、フェニル基等のアリール基）を表す。
　一般式（ｄ１－２）中、Ｚ２ｃは置換基を有していてもよい炭素数１～３０の炭化水素基（ただし、Ｓに隣接する炭素原子にはフッ素原子が置換されない）を表す。
　Ｚ２ｃにおける上記炭化水素基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、環状構造を有していてもよい。また、上記炭化水素基における炭素原子（好ましくは、上記炭化水素基が環状構造を有する場合における、環員原子である炭素原子）は、カルボニル炭素（－ＣＯ－）であってもよい。上記炭化水素基としては、例えば、置換基を有していてもよいノルボルニル基を有する基が挙げられる。上記ノルボルニル基を形成する炭素原子は、カルボニル炭素であってもよい。
　また、一般式（ｄ１－２）中の「Ｚ２ｃ－ＳＯ３ －」は、上述の式（ＡＮ１）～（ＡＮ５）で表されるアニオンとは異なるのが好ましい。例えば、Ｚ２ｃは、アリール基以外が好ましい。また、例えば、Ｚ２ｃにおける、－ＳＯ３ －に対してα位及びβ位の原子は、置換基としてフッ素原子を有する炭素原子以外の原子が好ましい。例えば、Ｚ２ｃは、－ＳＯ３ －に対してα位の原子及び／又はβ位の原子は環状基中の環員原子であるのが好ましい。
　一般式（ｄ１－３）中、Ｒ５２は有機基（好ましくはフッ素原子を有する炭化水素基）を表し、Ｙ３は直鎖状、分岐鎖状、若しくは、環状のアルキレン基、アリーレン基、又は、カルボニル基を表し、Ｒｆは炭化水素基を表す。
　アニオンとしては、以下が例示される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000021
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000022
　上述したように、特定化合物は、一般式（１）で表されるカチオンを１つ以上有する。
　特定化合物が有する有機アニオンの数は特に制限されないが、特定化合物が有する一般式（１）で表されるカチオンの数が１つの場合、有機アニオンの数は１つが好ましい。
（一般式（２）で表される化合物）
　特定化合物としては、本発明の効果がより優れる点で、一般式（２）で表される化合物が好ましい。一般式（２）で表される化合物は、一般式（１）で表されるカチオンを１つと、有機アニオンを１つとを有する塩化合物に該当する。
　一般式（２）　　Ｚ１ ＋Ｙ１ －
　一般式（２）中、Ｚ１ ＋は、上記一般式（１）で表されるカチオンを表す。一般式（１）で表されるカチオンの定義は、上述した通りである。
　Ｙ１ －は、１価の有機アニオンを表す。１価の有機アニオンとしては、上述した有機アニオンのうち１価のものを意図する。
（一般式（Ｓ－１）で表される化合物）
　特定化合物（一般式（２）で表される化合物）としては、一般式（Ｓ－１）で表される化合物が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000023
　一般式（Ｓ－１）中、Ｙ１ －は、１価の有機アニオンを表す。１価の有機アニオンとしては、上述した有機アニオンのうち１価のものを意図する。
　ＲＳ１～ＲＳ３は、それぞれ独立に、一般式（Ｔ－１）で表される基を表す。なかでも、ＲＳ１～ＲＳ３は、同じ基を表すことが好ましい。
　一般式（Ｔ－１）中、＊は結合位置を表す。
　一般式（Ｔ－１）　　＊－Ｓ－Ｘｄ２
　一般式（Ｔ－１）中、Ｘｄ２は、上述した一般式（１－１）で表される基、又は、酸の作用により脱離する脱離基を表す。
　Ｘｄ２で表される各基の定義は、上述した通りである。
　Ｒｂ１～Ｒｂ３は、それぞれ独立に、一般式（Ｔ－１）で表される基以外の置換基を表す。上記置換基としては、例えば、置換基を有していてもよい直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基、置換基を有していてもよいシクロアルキル基、及び置換基を有していてもよいアリール基が挙げられる。
　上記アルキル基及び上記シクロアルキル基の炭素数は特に制限されないが、炭素数１～１０が好ましく、１～５がより好ましく、１～３が更に好ましい。
　上記置換基としては、置換基を有していてもよい直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基が好ましく、ヘテロ原子を有していてもよい直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基がより好ましい。
　なお、Ｒｂ１およびＲｂ２、Ｒｂ２およびＲｂ３、Ｒｂ１およびＲｂ３は、それぞれ互いに結合して、単結合を形成してもよいし、２価の連結基（例えば、－Ｏ－）を形成してもよい。
　ａ１は１～５の整数を表し、ａ２は０～５の整数を表し、ａ３は０～５の整数を表す。
　ｂ１は０～４の整数を表し、ｂ２は０～５の整数を表し、ｂ３は０～５の整数を表す。
　ａ１とｂ１との合計は１～５の整数を表し、ａ２とｂ２との合計は０～５の整数を表し、ａ３とｂ３との合計は０～５の整数を表す。
　なかでも、ａ１～ａ３は、それぞれ独立に、１～３の整数を表すことが好ましく、それぞれ独立に、１～２の整数を表すことがより好ましい。
　また、ａ１とａ２とａ３との合計は、１～５の整数が好ましく、１～３の整数がより好ましい。
　ｂ１～ｂ３は、それぞれ独立に、０～３の整数を表すことが好ましく、それぞれ独立に、０～２の整数を表すことがより好ましい。
　また、ｂ１とｂ２とｂ３との合計は、０～５の整数が好ましく、０～３の整数がより好ましい。
　特定化合物としては、２つ以上のカチオン部位、及び、上記カチオン部位と同数のアニオン部位を有し、上記カチオン部位の少なくとも１つが特定カチオンである化合物（以下、単に「化合物Ｗ」ともいう。）が挙げられる。
　カチオン部位とは、正電荷を帯びた原子又は原子団を含む構造部位である。上述したように、化合物Ｗにおいては、２つ以上のカチオン部位の少なくとも１つは特定カチオンである。なかでも、本発明の効果がより優れる点で、化合物Ｗに含まれる２つ以上のカチオン部位の全てが、特定カチオンであることが好ましい。
　なお、化合物Ｗにおいては、２つ以上のカチオン部位の少なくとも１つは特定カチオンであればよく、特定カチオン以外の有機カチオンが含まれていてもよい。特定カチオン以外の有機カチオンとしては、例えば、特定カチオン以外のスルホニウムカチオン、及び、ヨードニウムイオンが挙げられる。
　アニオン部位とは、負電荷を帯びた原子又は原子団を含む構造部位であり、例えば、化合物Ｗ中に存在し得るアニオン性官能基をアニオン部位としてもよい。
　化合物Ｗは、化合物Ｗが有するカチオン部位と同数のアニオン性官能基を有する有機アニオンを有するのが好ましい。
　上述の通り、化合物Ｗは、２つ以上（好ましくは２～３つ）のカチオン部位、及び、上記カチオン部位と同数のアニオン部位を有する。
　つまり、化合物Ｗは、２つ以上（好ましくは２～３つ）のアニオン部位（好ましくはアニオン性官能基）を有する。複数のアニオン性官能基は、単結合又は連結基で連結されていてもよい。
　上記アニオン性官能基としては、例えば、－ＳＯ３ －及び－ＳＯ３ －を一部分として有する基、－ＣＯＯ－及び－ＣＯＯ－を一部分として有する基、－Ｎ－－を一部分として有する基、並びに、カルボアニオン（－Ｃ－＜）を一部分として有する基が挙げられる。
　アニオン性官能基の具体例としては、後述する一般式（Ｂ－１）～（Ｂ－１３）で表される基が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000024
　一般式（Ｂ－１）～（Ｂ－１３）中、＊は結合位置を表す。
　なお、一般式（Ｂ－１２）における＊は、－ＣＯ－及び－ＳＯ２－のいずれでもない基に対する結合位置であるのも好ましい。
　一般式（Ｂ－１）～（Ｂ－５）、及び（Ｂ－１２）中、ＲＸ１は、有機基を表す。
　ＲＸ１としては、直鎖状、分岐鎖状、若しくは環状のアルキル基、又は置換基を有していてもよいアリール基が好ましい。
　上記アルキル基の炭素数は１～１５が好ましく、１～１０がより好ましい。
　上記アルキル基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、フッ素原子、又はシアノ基が好ましい。上記アルキル基が置換基としてフッ素原子を有する場合、パーフルオロアルキル基であってもよい。
　また、上記アルキル基は、炭素原子がカルボニル基で置換されていてもよい。
　上記アリール基としては、フェニル基又はナフチル基が好ましく、フェニル基がより好ましい。
　上記アリール基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、フッ素原子、パーフルオロアルキル基（炭素数１～１０が好ましく、炭素数１～６がより好ましい。）、又はシアノ基が好ましい。
　なお、一般式（Ｂ－５）においてＲＸ１中の、Ｎ－と直接結合する原子は、－ＣＯ－における炭素原子、及び－ＳＯ２－における硫黄原子のいずれでもないのも好ましい。
　なお、一般式（Ｂ－３）におけるＲＸ１は、フッ素原子を含まないことが好ましい。
　一般式（Ｂ－７）及び（Ｂ－１１）中、ＲＸ２は、水素原子、又は、フッ素原子及びパーフルオロアルキル基以外の置換基を表す。
　ＲＸ２で表されるフッ素原子及びパーフルオロアルキル基以外の置換基としては、パーフルオロアルキル基以外のアルキル基（直鎖状、分岐鎖状、又は環状のいずれでもよい）が好ましい。
　上記アルキル基の炭素数は１～１５が好ましく、１～１０がより好ましい。
　上記アルキル基はフッ素原子を有さないのが好ましい。すなわち、上記アルキル基が置換基を有する場合、フッ素原子以外の置換基が好ましい。
　一般式（Ｂ－８）中、ＲＸＦ１は、水素原子、フッ素原子、又はパーフルオロアルキル基を表す。ただし、複数のＲＸＦ１のうち、少なくとも１つはフッ素原子又はパーフルオロアルキル基を表す。
　ＲＸＦ１で表されるパーフルオロアルキル基の炭素数は１～１５が好ましく、１～１０がより好ましく、１～６が更に好ましい。
　一般式（Ｂ－１０）中、ＲＸＦ２は、フッ素原子、又はパーフルオロアルキル基を表す。
　ＲＸＦ２で表されるパーフルオロアルキル基の炭素数は１～１５が好ましく、１～１０がより好ましく、１～６が更に好ましい。
　一般式（Ｂ－９）中、ｎは、０～４の整数を表す。
　Ａ１１ －及びＡ１２ －で表されるアニオン性官能基の組み合わせとしては特に制限されないが、例えば、Ａ１１ －が一般式（Ｂ－８）又は（Ｂ－１０）で表される基である場合、Ａ１２ －で表されるアニオン性官能基としては、一般式（Ｂ－１）～（Ｂ－７）、（Ｂ－９）、又は（Ｂ－１１）～（Ｂ－１３）で表される基が挙げられ、Ａ１１ －が一般式（Ｂ－７）で表される基である場合、Ａ１２ －で表されるアニオン性官能基としては、一般式（Ｂ－６）で表される基が挙げられ、Ａ１１ －が一般式（Ｂ－９）で表される基である場合、Ａ１２ －で表されるアニオン性官能基としては、一般式（Ｂ－６）で表される基が挙げられ、Ａ１１ －が一般式（Ｂ－１）で表される基である場合、Ａ１２ －で表されるアニオン性官能基としては、一般式（Ｂ－３）で表される基が挙げられる。
　なかでも、化合物Ｗがアニオン部位として、アニオン部位ＡＢ －（アニオン性官能基ＡＢ －）を有するのが好ましい。
　アニオン部位ＡＢ －（アニオン性官能基ＡＢ －）は、一般式（ＢＸ－１）～（ＢＸ－４）のいずれかで表される基である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000025
　一般式（ＢＸ－１）～（ＢＸ－４）中、＊は、結合位置を表す。
　一般式（ＢＸ－１）～（ＢＸ－４）中、ＲＢは、有機基を表す。
　ＲＢにおける有機基の例としては、一般式（Ｂ－１）～（Ｂ－５）、及び（Ｂ－１２）におけるＲＸ１の有機基の例が同様に挙げられる。
　また、化合物Ｗは、アニオン部位として、上記アニオン部位ＡＢ －（アニオン性官能基ＡＢ －）に加えて、更に、アニオン部位ＡＡ －（アニオン性官能基ＡＡ －）を有するのが好ましい。
　アニオン部位ＡＡ －（アニオン性官能基ＡＡ －）は、一般式（ＡＸ－１）～（ＡＸ－２）のいずれかで表される基である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000026
　一般式（ＡＸ－１）～（ＡＸ－２）中、＊は、結合位置を表す。
　一般式（ＡＸ－２）中、ＲＡは、有機基を表す。
　ＲＡは、アルキル基が好ましい。
　上記アルキル基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよい。
　上記アルキル基の炭素数は１～１０が好ましく、１～５がより好ましい。
　上記アルキル基が有してもよい置換基は、フッ素原子が好ましい。
　置換基としてフッ素原子を有する上記アルキル基は、パーフルオロアルキル基となっていてもよいし、ならなくてもよい。
　化合物Ｗは、アニオン部位として、上記アニオン部位ＡＢ －（アニオン性官能基ＡＢ －）、及び、上記アニオン部位ＡＡ －（アニオン性官能基ＡＡ －）に加えて、更なるアニオン部位（好ましくは更なるアニオン性官能基）を有していてもよいし、有していなくてもよい。
　化合物Ｗとしては、一般式（３）で表される化合物が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000027
　一般式（３）中、Ｚ２ ＋はカチオンを表し、Ｚ２ ＋の少なくとも１つが一般式（１）で表されるカチオンを表す。
　一般式（１）で表されるカチオンの定義は、上述した通りである。一般式（１）で表されるカチオン以外のカチオンは特に制限されず、公知のスルホニウムカチオン及びヨードニウムカチオンが挙げられる。
　複数のＺ＋のうち少なくとも１つのＺ＋が特定カチオンであればよく、本発明の効果がより優れる点で、２以上のＺ＋が特定カチオンであることが好ましく、全てのＺ＋が特定カチオンであることがより好ましい。
　Ｙ２ －は、アニオン性官能基を表す。アニオン性官能基の定義は、上述した通りである。複数存在するＹ２ －は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
　複数存在するＹ２ －は、例えば、「一般式（Ｂ－８）又は（Ｂ－１０）で表される基と、一般式（Ｂ－１）～（Ｂ－７）、（Ｂ－９）、又は（Ｂ－１１）～（Ｂ－１３）で表される基」を少なくとも有していてもよく、「一般式（Ｂ－７）で表される基と、一般式（Ｂ－６）で表される基」を少なくとも有していてもよく、「一般式（ＢＸ－１）～（ＢＸ－４）のいずれかで表される基と、一般式（ＡＸ－１）～（ＡＸ－２）のいずれかで表される基」を少なくとも有していてもよい。
　ｑは、２以上の整数を表す。なかでも、本発明の効果がより優れる点で、ｑは２～５の整数が好ましく、２～３の整数がより好ましい。
　Ｌは、ｑ価の連結基を表す。
　例えば、ｑが２の場合、Ｌは２価の連結基を表す。
　上記２価の連結基としては、例えば、－ＣＯＯ－、－ＣＯＮＨ－、－ＣＯ－、－Ｏ－、アルキレン基（好ましくは炭素数１～６。直鎖状でも分岐鎖状でもよい）、シクロアルキレン基（好ましくは炭素数３～１５）、アルケニレン基（好ましくは炭素数２～６）、及びこれらの複数を組み合わせた２価の連結基等が挙げられる。
　上記シクロアルキレン基のシクロアルカン環を構成するメチレン基の１個以上が、カルボニル炭素及び／又はヘテロ原子（酸素原子等）で置き換わっていてもよい。
　これらの２価の連結基は、更に、－Ｓ－、－ＳＯ－、－ＳＯ２－、及び、－ＮＲＮ－（ＲＮは水素原子又は置換基）からなる群から選択される基を有するのも好ましい。
　３価以上の連結基としては、例えば、単結合及び／又は上記２価の連結基がとり得る各基と、－ＣＲｑ＜、－Ｎ＜、＞Ｃ＜、３価以上の炭化水素環基、及び／又は、３価以上の複素環基とが組み合わせられた基が挙げられる。Ｒｑは水素原子又は置換基を表す。
　特定化合物としては、後述する化合物（Ｉ－Ａ）～（ＩＩＩ－Ａ）も好ましい。
（化合物（Ｉ－Ａ））
　以下において、化合物（Ｉ－Ａ）について説明する。
　化合物（Ｉ－Ａ）：下記構造部位Ｘと下記構造部位Ｙとを各々１つずつ有する化合物であって、活性光線又は放射線の照射によって、下記構造部位Ｘに由来する下記第１の酸性部位と下記構造部位Ｙに由来する下記第２の酸性部位とを含む酸を発生する化合物
　　構造部位Ｘ：アニオン部位Ａ１ －とカチオン部位Ｍ１ ＋とからなり、かつ活性光線又は放射線の照射によってＨＡ１で表される第１の酸性部位を形成する構造部位
　　構造部位Ｙ：アニオン部位Ａ２ －とカチオン部位Ｍ２ ＋とからなり、かつ活性光線又は放射線の照射によって、上記構造部位Ｘにて形成される上記第１の酸性部位とは異なる構造のＨＡ２で表される第２の酸性部位を形成する構造部位
　ただし、カチオン部位Ｍ１ ＋及びカチオン部位Ｍ２ ＋の少なくとも１つは特定カチオンである。
　また、化合物（Ｉ－Ａ）は、下記条件Ｉを満たす。
　条件Ｉ：上記化合物（Ｉ－Ａ）において上記構造部位Ｘ中の上記カチオン部位Ｍ１ ＋及び上記構造部位Ｙ中の上記カチオン部位Ｍ２ ＋をＨ＋に置き換えてなる化合物ＰＩが、上記構造部位Ｘ中の上記カチオン部位Ｍ１ ＋をＨ＋に置き換えてなるＨＡ１で表される酸性部位に由来する酸解離定数ａ１と、上記構造部位Ｙ中の上記カチオン部位Ｍ２ ＋をＨ＋に置き換えてなるＨＡ２で表される酸性部位に由来する酸解離定数ａ２を有し、かつ上記酸解離定数ａ１よりも上記の酸解離定数ａ２の方が大きい。
　なお、酸解離定数ａ１及び酸解離定数ａ２は、上述した方法により求められる。化合物ＰＩの酸解離定数ａ１及び酸解離定数ａ２とは、より具体的に説明すると、化合物ＰＩの酸解離定数を求めた場合において、化合物ＰＩ（化合物ＰＩは、「ＨＡ１とＨＡ２を有する化合物」に該当する。）が「Ａ１ －とＨＡ２を有する化合物」となる際のｐＫａが酸解離定数ａ１であり、上記「Ａ１ －とＨＡ２を有する化合物」が「Ａ１ －とＡ２ －を有する化合物」となる際のｐＫａが酸解離定数ａ２である。
　また、上記化合物ＰＩとは、化合物（Ｉ－Ａ）に活性光線又は放射線を照射することにより発生する酸に該当する。
　本発明の効果がより優れる点で、上記化合物ＰＩにおいて、酸解離定数ａ１と上記酸解離定数ａ２との差は、２．０以上が好ましく、３．０以上がより好ましい。なお、酸解離定数ａ１と上記酸解離定数ａ２との差の上限値は特に制限されないが、１５．０以下が好ましい。
　また、本発明の効果がより優れる点で、上記化合物ＰＩにおいて、酸解離定数ａ２は、例えば６．５以下であり、レジスト組成物内での化合物（Ｉ－Ａ）のカチオン部位の安定性がより優れる点で、上記化合物ＰＩにおいて、２．０以下が好ましく、１．０以下がより好ましい。なお、酸解離定数ａ２の下限値としては、－５．０以上が好ましく、－３．５以上がより好ましく、－２．０以上が更に好ましい。
　また、本発明の効果がより優れる点で、上記化合物ＰＩにおいて、酸解離定数ａ１は、２．０以下が好ましく、０．５以下がより好ましく、－０．１以下が更に好ましい。なお、酸解離定数ａ１の下限値としては、－１５．０以上が好ましい。
　化合物（Ｉ－Ａ）としては特に制限されないが、例えば、下記一般式（Ｉａ）で表される化合物が挙げられる。
　Ｍ１１ ＋　Ａ１１ －－Ｌ１－Ａ１２ －　Ｍ１２ ＋　　　　（Ｉａ）
　一般式（Ｉａ）中、「Ｍ１１ ＋Ａ１１ －」及び「Ａ１２ －Ｍ１２ ＋」は、各々、構造部位Ｘ及び構造部位Ｙに該当する。化合物（Ｉａ）は、活性光線又は放射線の照射によって、ＨＡ１１－Ｌ１－Ａ２１Ｈで表される酸を発生する。つまり、「Ｍ１１ ＋Ａ１１ －」は、ＨＡ１１で表される第１の酸性部位を形成し、「Ａ１２ －Ｍ１２ ＋」は、上記第１の酸性部位とは異なる構造のＨＡ１２で表される第２の酸性部位を形成する。
　一般式（Ｉａ）中、Ｍ１１ ＋及びＭ１２ ＋は、それぞれ独立に、カチオン（特定カチオン、又は、特定カチオン以外の有機カチオン）を表す。
　Ｍ１１ ＋及びＭ１２ ＋の少なくとも一方（好ましくは両方）が、特定カチオンである。
　Ａ１１ －及びＡ１２ －は、それぞれ独立に、アニオン性官能基を表す。ただし、Ａ１２ －は、Ａ１１ －で表されるアニオン性官能基とは異なる構造を表す。
　Ｌ１は、２価の連結基を表す。
　ただし、上記一般式（Ｉａ）において、Ｍ１１ ＋及びＭ１２ ＋で表される特定カチオンをＨ＋に置き換えてなる化合物ＰＩａ（ＨＡ１１－Ｌ１－Ａ１２Ｈ）において、Ａ１２Ｈで表される酸性部位に由来する酸解離定数ａ２は、ＨＡ１１で表される酸性部位に由来する酸解離定数ａ１よりも大きい。なお、酸解離定数ａ１と酸解離定数ａ２の好適値については、上述した通りである。
　一般式（Ｉａ）中、Ｍ１１ ＋及びＭ１２ ＋は、それぞれ独立に、カチオン（特定カチオン、又は、特定カチオン以外の有機カチオン）を表す。
　Ｍ１１ ＋及びＭ１２ ＋の少なくとも一方（好ましくは両方）が、特定カチオンである。
　特定カチオンについては上述の通りである。
　特定カチオン以外の有機カチオンについては上述の通りである。
　一般式（Ｉａ）中、Ａ１１ －及びＡ１２ －は、それぞれ独立に、アニオン性官能基を表す。ただし、Ａ１２ －は、Ａ１１ －で表されるアニオン性官能基とは異なる構造を表す。
　アニオン性官能基については上述の通りである。
　Ａ１１ －及びＡ１２ －のアニオン性官能基は、それぞれ独立に、上述した一般式（Ｂ－１）～（Ｂ－１３）で表される基が好ましい。
　Ａ１１ －及びＡ１２ －で表されるアニオン性官能基の組み合わせとしては特に制限されないが、例えば、Ａ１１ －が一般式（Ｂ－８）又は（Ｂ－１０）で表される基である場合、Ａ１２ －で表されるアニオン性官能基としては、一般式（Ｂ－１）～（Ｂ－７）、（Ｂ－９）、又は（Ｂ－１１）～（Ｂ－１３）で表される基が挙げられ、Ａ１１ －が一般式（Ｂ－７）で表される基である場合、Ａ１２ －で表されるアニオン性官能基としては、一般式（Ｂ－６）で表される基が挙げられる。
　一般式（Ｉａ）中、Ｌ１で表される２価の連結基としては特に制限されず、－ＣＯ－、－ＮＲＬ１－、－ＣＯ－、－Ｏ－、アルキレン基（好ましくは炭素数１～６。直鎖状でも分岐鎖状でもよい）、シクロアルキレン基（好ましくは炭素数３～１５）、アルケニレン基（好ましくは炭素数２～６）、２価の脂肪族複素環基（少なくとも１つのＮ原子、Ｏ原子、Ｓ原子、又はＳｅ原子を環構造内に有する５～１０員環が好ましく、５～７員環がより好ましく、５～６員環が更に好ましい。）、２価の芳香族複素環基（少なくとも１つのＮ原子、Ｏ原子、Ｓ原子、又はＳｅ原子を環構造内に有する５～１０員環が好ましく、５～７員環がより好ましく、５～６員環が更に好ましい。）、２価の芳香族炭化水素環基（６～１０員環が好ましく、６員環が更に好ましい。）、及びこれらの複数を組み合わせた２価の連結基等が挙げられる。上記ＲＬ１は、水素原子又は１価の有機基が挙げられる。１価の有機基としては特に制限されないが、例えば、アルキル基（好ましくは炭素数１～６）が好ましい。
　これらの２価の連結基は、更に、－Ｓ－、－ＳＯ－、及び－ＳＯ２－からなる群から選択される基を含んでいてもよい。
　また、上記アルキレン基、上記シクロアルキレン基、上記アルケニレン基、上記２価の脂肪族複素環基、２価の芳香族複素環基、及び２価の芳香族炭化水素環基は、置換基で置換されていてもよい。置換基としては、例えば、ハロゲン原子（好ましくはフッ素原子）が挙げられる。
　なかでも、化合物（Ｉ－Ａ）としては一般式（Ｉｂ）で表される化合物が好ましい。
　Ｍ１ ＋　Ａ－－Ｌ－Ｂ－　Ｍ２ ＋　　　　（Ｉｂ）
　一般式（Ｉｂ）中、Ｍ１ ＋及びＭ２ ＋は、それぞれ独立に、カチオン（特定カチオン、又は、特定カチオン以外の有機カチオン）を表す。
　Ｍ１ ＋及びＭ２ ＋のうち少なくとも一方（好ましくは両方）は特定カチオンを表す。
　特定カチオンについては上述の通りである。
　特定カチオン以外の有機カチオンについても上述の通りである。
　一般式（Ｉｂ）中、Ｌは、２価の有機基を表す。
　上記２価の有機基としては、－ＣＯＯ－、－ＣＯＮＨ－、－ＣＯ－、－Ｏ－、アルキレン基（好ましくは炭素数１～６。直鎖状でも分岐鎖状でもよい）、シクロアルキレン基（好ましくは炭素数３～１５）、アルケニレン基（好ましくは炭素数２～６）、及びこれらの複数を組み合わせた２価の連結基等が挙げられる。
　上記シクロアルキレン基のシクロアルカン環を構成するメチレン基の１個以上が、カルボニル炭素及び／又はヘテロ原子（酸素原子等）で置き換わっていてもよい。
　これらの２価の連結基は、更に、－Ｓ－、－ＳＯ－、及び－ＳＯ２－からなる群から選択される基を有するのも好ましい。
　なかでも、Ｌは、下記一般式（Ｌ）で表される基であるのが好ましい。
＊Ａ－ＬＡ－ＬＢ－ＬＣ－ＬＤ－ＬＥ－＊Ｂ　　　　（Ｌ）
　一般式（Ｌ）中、＊Ａは、一般式（Ｉｂ）におけるＡ－との結合位置を表す。
　一般式（Ｌ）中、＊Ｂは、一般式（Ｉｂ）におけるＢ－との結合位置を表す。
　一般式（Ｌ）中、ＬＡは、－（Ｃ（ＲＬＡ１）（ＲＬＡ２））ＸＡ－を表す。
　上記ＸＡは、１以上の整数を表し、１～１０の整数が好ましく、１～３の整数がより好ましい。
　ＲＬＡ１及びＲＬＡ２は、それぞれ独立に、水素原子又は置換基を表す。
　ＲＬＡ１及びＲＬＡ２の置換基としては、それぞれ独立に、フッ素原子又はフルオロアルキル基が好ましく、フッ素原子又はパーフルオロアルキル基がより好ましく、フッ素原子又はパーフルオロメチル基が更に好ましい。
　ＸＡが２以上の場合、ＸＡ個存在するＲＬＡ１は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
　ＸＡが２以上の場合、ＸＡ個存在するＲＬＡ２は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
　－（Ｃ（ＲＬＡ１）（ＲＬＡ２））－は、－ＣＨ２－、－ＣＨＦ－、－ＣＨ（ＣＦ３）－、又は－ＣＦ２－が好ましい。
　なかでも、一般式（Ｉｂ）中のＡ－と直接結合する－（Ｃ（ＲＬＡ１）（ＲＬＡ２））－は、－ＣＨ２－、－ＣＨＦ－、－ＣＨ（ＣＦ３）－、又は－ＣＦ２－が好ましい。
　一般式（Ｉｂ）中のＡ－と直接結合する－（Ｃ（ＲＬＡ１）（ＲＬＡ２））－以外の－（Ｃ（ＲＬＡ１）（ＲＬＡ２））－は、それぞれ独立に、－ＣＨ２－、－ＣＨＦ－、又は－ＣＦ２－が好ましい。
　一般式（Ｌ）中、ＬＢは、単結合、エステル基（－ＣＯＯ－）、又はスルホニル基（－ＳＯ２－）を表す。
　一般式（Ｌ）中、ＬＣは、単結合、アルキレン基、シクロアルキレン基、又はこれらを組み合わせてなる基（「－アルキレン基－シクロアルキレン基－」等）を表す。
　上記アルキレン基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよい。
　上記アルキレン基の炭素数は、１～５が好ましく、１～２がより好ましく、１が更に好ましい。
　上記シクロアルキレン基の炭素数は、３～１５が好ましく、５～１０がより好ましい。
　上記シクロアルキレン基は単環でも多環でもよい。
　上記シクロアルキレン基としては、例えば、ノルボルナンジイル基、及びアダマンタンジイル基が挙げられる。
　上記シクロアルキレン基が有してもよい置換基としては、アルキル基（直鎖状でも分岐鎖状でもよい。好ましくは炭素数１～５）が好ましい。
　上記シクロアルキレン基のシクロアルカン環を構成するメチレン基の１個以上が、カルボニル炭素及び／又はヘテロ原子（酸素原子等）で置き換わっていてもよい。
　ＬＣが、「－アルキレン基－シクロアルキレン基－」の場合、アルキレン基部分は、ＬＢ側に存在するのが好ましい。
　ＬＢが単結合の場合、ＬＣは、単結合又はシクロアルキレン基が好ましい。
　一般式（Ｌ）中、ＬＤは、単結合、エーテル基（－Ｏ－）、カルボニル基（－ＣＯ－）、又はエステル基（－ＣＯＯ－）を表す。
　一般式（Ｌ）中、ＬＥは、単結合又は－（Ｃ（ＲＬＥ１）（ＲＬＥ２））ＸＥ－を表す。
　上記－（Ｃ（ＲＬＥ１）（ＲＬＥ２））ＸＥ－におけるＸＥは、１以上の整数を表し、１～１０が好ましく、１～３がより好ましい。
　ＲＬＥ１及びＲＬＥ２は、それぞれ独立に、水素原子又は置換基を表す。
　ＸＥが２以上の場合、ＸＥ個存在するＲＬＥ１は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
　ＸＥが２以上の場合、ＸＥ個存在するＲＬＥ２は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
　なかでも、－（Ｃ（ＲＬＥ１）（ＲＬＥ２））－は、－ＣＨ２－又は－ＣＦ２－が好ましい。
　一般式（Ｌ）中、ＬＢ、ＬＣ、及びＬＤが単結合の場合、ＬＥも単結合であるのが好ましい。
　一般式（Ｉｂ）中、Ａ－及びＢ－は、それぞれ独立に、アニオン性官能基を表す。
　アニオン性官能基については上述の通りである。
　なかでも、Ａ－は、一般式（ＡＸ－１）～（ＡＸ－２）のいずれかで表される基であるのが好ましい。
　Ｂ－は、一般式（ＢＸ－１）～（ＢＸ－４）のいずれかで表される基を表すのが好ましい。
　Ａ－及びＢ－は、それぞれ異なる構造であるのが好ましい。
　なかでも、Ａ－が、一般式（ＡＸ－１）で表される基であり、かつ、Ｂ－が、一般式（ＢＸ－１）～（ＢＸ－４）のいずれかで表される基であるか、又は、Ａ－が、一般式（ＡＸ－２）で表される基であり、かつ、Ｂ－が、一般式（ＢＸ－１）、一般式（ＢＸ－３）、及び一般式（ＢＸ－４）のいずれかで表される基であるのが好ましい。
　ただし、一般式（Ｉｂ）で表される化合物のＭ１ ＋及びＭ２ ＋がそれぞれ水素原子で置換されたＨＡ－Ｌ－ＢＨで表される化合物において、ＨＡで表される基のｐＫａは、ＢＨで表される基のｐＫａよりも低い。
　より具体的には、ＨＡ－Ｌ－ＢＨで表される化合物について酸解離定数を求めた場合において、「ＨＡ－Ｌ－ＢＨ」が「Ａ－－Ｌ－ＢＨ」となる際のｐＫａを「ＨＡで表される基のｐＫａ」とし、更に、「Ａ－－Ｌ－ＢＨ」が「Ａ－－Ｌ－Ｂ－」となる際のｐＫａを「ＢＨで表される基のｐＫａ」とする。
　「ＨＡで表される基のｐＫａ」及び「ＢＨで表される基のｐＫａ」は、それぞれ、「ソフトウェアパッケージ１」又は「Ｇａｕｓｓｉａｎ１６」を用いて求める。
　例えば、ＨＡで表される基のｐＫａは、上述の酸解離定数ａ１に相当し、好ましい範囲も同様である。
　ＢＨで表される基のｐＫａは、上述の酸解離定数ａ２に相当し、好ましい範囲も同様である。
　ＨＢで表される基のｐＫａとＨＡで表される基のｐＫａとの差（「ＨＢで表される基のｐＫａ」－「ＨＡで表される基のｐＫａ」）は、上述の酸解離定数ａ１と上記酸解離定数ａ２との差に相当し、好ましい範囲も同様である。
　次に、化合物（ＩＩ－Ａ）について説明する。
　化合物（ＩＩ－Ａ）：上記構造部位Ｘを２つ以上と上記構造部位Ｙとを有する化合物であって、活性光線又は放射線の照射によって、上記構造部位Ｘに由来する上記第１の酸性部位を２つ以上と上記構造部位Ｙに由来する上記第２の酸性部位とを含む酸を発生する化合物
　ただし、カチオン部位Ｍ１ ＋及びカチオン部位Ｍ２ ＋の少なくとも１つは特定カチオンである。
　また、化合物（ＩＩ－Ａ）は、下記条件ＩＩを満たす。
　条件ＩＩ：上記化合物（ＩＩ－Ａ）において上記構造部位Ｘ中の上記カチオン部位Ｍ１ ＋及び上記構造部位Ｙ中のカチオン部位Ｍ２ ＋をＨ＋に置き換えてなる化合物ＰＩＩが、上記構造部位Ｘ中の上記カチオン部位Ｍ１ ＋をＨ＋に置き換えてなるＨＡ１で表される酸性部位に由来する酸解離定数ａ１と、上記構造部位Ｙ中の上記カチオン部位Ｍ２ ＋をＨ＋に置き換えてなるＨＡ２で表される酸性部位に由来する酸解離定数ａ２を有し、かつ上記酸解離定数ａ１よりも上記酸解離定数ａ２の方が大きい。
　酸解離定数ａ１及び酸解離定数ａ２は、上述した方法により求められる。
　ここで、化合物ＰＩＩの酸解離定数ａ１及び酸解離定数ａ２について、より具体的に説明する。化合物（ＩＩ－Ａ）が、例えば、上記構造部位Ｘに由来する上記第１の酸性部位を２つと、上記構造部位Ｙに由来する上記第２の酸性部位を１つ有する酸を発生する化合物である場合、化合物ＰＩＩは「２つのＨＡ１と１つのＨＡ２を有する化合物」に該当する。この化合物ＰＩＩの酸解離定数を求める場合、化合物ＰＩＩが「１つのＡ１ －と１つのＨＡ１と１つのＨＡ２とを有する化合物」となる際のｐＫａが酸解離定数ａ１であり、「２つのＡ１ －と１つのＨＡ２とを有する化合物」が「２つのＡ１ －と１つのＡ２ －を有する化合物」となる際のｐＫａが酸解離定数ａ２である。つまり、化合物ＰＩＩが、上記構造部位Ｘ中の上記カチオン部位Ｍ１ ＋をＨ＋に置き換えてなるＨＡ１で表される酸性部位に由来する酸解離定数を複数有する場合、その最も小さい値を酸解離定数ａ１とみなす。
　また、上記化合物ＰＩＩとは、化合物（ＩＩ－Ａ）に活性光線又は放射線を照射することにより発生する酸に該当する。
　なお、化合物（ＩＩ－Ａ）は、上記構造部位Ｙを複数有していてもよい。
　本発明の効果がより優れる点で、上記化合物ＰＩＩにおいて、酸解離定数ａ１と上記酸解離定数ａ２との差は、２．０以上が好ましく、３．０以上がより好ましい。なお、酸解離定数ａ１と上記酸解離定数ａ２との差の上限値は特に制限されないが、例えば、１５．０以下である。
　また、上記化合物ＰＩＩにおいて、酸解離定数ａ２は、６．５以下が好ましく、レジスト組成物内での化合物（ＩＩ－Ａ）のカチオン部位の安定性がより優れる点で、２．０以下がより好ましく、１．０以下が更に好ましい。なお、酸解離定数ａ２の下限値としては、－２．０以上が好ましい。
　また、本発明の効果がより優れる点で、上記化合物ＰＩＩにおいて、酸解離定数ａ１は、２．０以下が好ましく、０．５以下がより好ましく、－０．１以下が更に好ましい。なお、酸解離定数ａ１の下限値としては、－１５．０以上が好ましい。
　化合物（ＩＩ－Ａ）としては特に制限されず、例えば、下記一般式（ＩＩａ）で表される化合物が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000028
　一般式（ＩＩａ）中、「Ｍ２１ ＋Ａ２１ －」及び「Ａ２２ －Ｍ２２ ＋」は、各々、構造部位Ｘ及び構造部位Ｙに該当する。化合物（ＩＩａ）は、活性光線又は放射線の照射によって、下記一般式（ＩＩａ－１）で表される酸を発生する。つまり、「Ｍ２１ ＋Ａ２１ －」は、ＨＡ２１で表される第１の酸性部位を形成し、「Ａ２２ －Ｍ２２ ＋」は、上記第１の酸性部位とは異なる構造のＨＡ２２で表される第２の酸性部位を形成する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000029
　一般式（ＩＩａ）中、Ｍ２１ ＋及びＭ２２ ＋は、それぞれ独立に、カチオン（特定カチオン、又は、特定カチオン以外の有機カチオン）を表す。
　Ｍ２１ ＋及びＭ２２ ＋の少なくとも一方（好ましくは両方）は特定カチオンを表す。
　Ａ２１ －及びＡ２２ －は、それぞれ独立に、アニオン性官能基を表す。ただし、Ａ２２ －は、Ａ２１ －で表されるアニオン性官能基とは異なる構造を表す。
　Ｌ２は、（ｎ１＋ｎ２）価の有機基を表す。
　ｎ１は、２以上の整数を表す
　ｎ２は、１以上の整数を表す。
　ただし、上記下記一般式（ＩＩａ）において、Ｍ２１ ＋及びＭ２２ ＋で表されるカチオンをＨ＋に置き換えてなる化合物ＰＩＩａ（上記一般式（ＩＩａ－１）で表される化合物に該当する。）において、Ａ２２Ｈで表される酸性部位に由来する酸解離定数ａ２は、ＨＡ２１で表される酸性部位に由来する酸解離定数ａ１よりも大きい。なお、酸解離定数ａ１と酸解離定数ａ２の好適値については、上述した通りである。
　上記一般式（ＩＩａ）中、Ｍ２１ ＋、Ｍ２２ ＋、Ａ２１ －、及びＡ２２ －は、各々上述した一般式（Ｉａ）中のＭ１１ ＋、Ｍ１２ ＋、Ａ１１ －、及びＡ１２ －と同義であり、好適態様も同じである。
　上記一般式（ＩＩａ）中、ｎ１個のＭ２１ ＋同士、ｎ１個のＡ２１ ＋同士は、各々互いに同一の基を表す。
　上記一般式（ＩＩａ）中、Ｌ２で表される（ｎ１＋ｎ２）価の有機基としては特に制限されず、例えば、下記一般式（Ａ１）及び（Ａ２）で表される基等が挙げられる。なお、下記一般式（Ａ１）及び（Ａ２）中、＊のうち少なくとも２個はＡ２１ －との結合位置を表し、＊のうち少なくとも１個はＡ２２ －との結合位置を表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000030
　上記一般式（Ａ１）及び（Ａ２）中、Ｔ１は、３価の炭化水素環基、又は３価の複素環基を表し、Ｔ２は、炭素原子、４価の炭化水素環基、又は４価の複素環基を表す。
　上記炭化水素環基は、芳香族炭化水素環基であっても、脂肪族炭化水素環基であってもよい。上記炭化水素環基に含まれる炭素数は、６～１８が好ましく、６～１４がより好ましい。
　上記複素環基は、芳香族複素環基であっても、脂肪族複素環基であってもよい。上記複素環は、少なくとも１つのＮ原子、Ｏ原子、Ｓ原子、又はＳｅ原子を環構造内に有する５～１０員環であることが好ましく、５～７員環がより好ましく、５～６員環が更に好ましい。
　また、上記一般式（Ａ１）及び（Ａ２）中、Ｌ２１及びＬ２２は、それぞれ独立に、単結合又は２価の連結基を表す。
　Ｌ２１及びＬ２２で表される２価の連結基としては、上記一般式（Ｉａ）中のＬ１で表される２価の連結基と同義であり、好適態様も同じである。
　ｎ１は、２以上の整数を表す。上限は特に制限されないが、例えば、６以下の整数であり、４以下の整数が好ましく、３以下の整数がより好ましい。
　ｎ２は、１以上の整数を表す。上限は特に制限されないが、例えば、３以下の整数であり、２以下の整数が好ましい。
（化合物（ＩＩＩ－Ａ））
　次に、化合物（ＩＩＩ－Ａ）について説明する。
　化合物（ＩＩＩ－Ａ）：上記構造部位Ｘを２つ以上と、下記構造部位Ｚとを有する化合物であって、活性光線又は放射線の照射によって、上記構造部位Ｘに由来する上記第１の酸性部位を２つ以上と上記構造部位Ｚとを含む酸を発生する化合物
　構造部位Ｚ：酸を中和可能な非イオン性の有機部位
　ただし、カチオン部位Ｍ１ ＋の少なくとも１つは特定カチオンである。
　構造部位Ｚ中の酸を中和可能な非イオン性の部位としては特に制限されず、例えば、プロトンと静電的に相互作用し得る基又は電子を有する官能基を含む部位であることが好ましい。
　プロトンと静電的に相互作用し得る基又は電子を有する官能基としては、環状ポリエーテル等のマクロサイクリック構造を有する官能基、又はπ共役に寄与しない非共有電子対を持った窒素原子を有する官能基等が挙げられる。π共役に寄与しない非共有電子対を有する窒素原子とは、例えば、下記式に示す部分構造を有する窒素原子である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000031
　プロトンと静電的に相互作用し得る基又は電子を有する官能基の部分構造としては、例えば、クラウンエーテル構造、アザクラウンエーテル構造、１～３級アミン構造、ピリジン構造、イミダゾール構造、及びピラジン構造等が挙げられ、なかでも、１～３級アミン構造が好ましい。
　上記化合物（ＩＩＩ－Ａ）において上記構造部位Ｘ中の上記カチオン部位Ｍ１ ＋をＨ＋に置き換えてなる化合物ＰＩＩＩにおいて、上記構造部位Ｘ中の上記カチオン部位Ｍ１ ＋をＨ＋に置き換えてなるＨＡ１で表される酸性部位に由来する酸解離定数ａ１は、本発明の効果がより優れる点で、２．０以下が好ましく、０．５以下がより好ましく、－０．１以下が更に好ましい。なお、酸解離定数ａ１の下限値としては、－１５．０以上が好ましい。
　なお、化合物ＰＩＩＩが、上記構造部位Ｘ中の上記カチオン部位Ｍ１ ＋をＨ＋に置き換えてなるＨＡ１で表される酸性部位に由来する酸解離定数を複数有する場合、その最も小さい値を酸解離定数ａ１とみなす。
　つまり、化合物（ＩＩＩ－Ａ）が、例えば、上記構造部位Ｘに由来する上記第１の酸性部位を２つと上記構造部位Ｚとを有する酸を発生する化合物である場合、化合物ＰＩＩＩは「２つのＨＡ１を有する化合物」に該当する。この化合物ＰＩＩＩの酸解離定数を求めた場合、化合物ＰＩＩＩが「１つのＡ１ －と１つのＨＡ１とを有する化合物」となる際のｐＫａが酸解離定数ａ１である。つまり、化合物ＰＩＩＩが、上記構造部位Ｘ中の上記カチオン部位Ｍ１ ＋をＨ＋に置き換えてなるＨＡ１で表される酸性部位に由来する酸解離定数を複数有する場合、その最も小さい値を酸解離定数ａ１とみなす。
　なお、上記化合物（ＩＩＩ－Ａ）において上記構造部位Ｘ中の上記カチオン部位Ｍ１ ＋をＨ＋に置き換えてなる化合物ＰＩＩＩとは、例えば、化合物（ＩＩＩ－Ａ）が後述する化合物（ＩＩＩａ）で表される化合物である場合、ＨＡ３１－Ｌ３－Ｎ（Ｒ２Ｘ）－Ｌ４－Ａ３１Ｈが該当する。
　化合物（ＩＩＩ－Ａ）としては特に制限されないが、例えば、下記一般式（ＩＩＩａ）で表される化合物が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000032
　一般式（ＩＩＩａ）中、「Ｍ３１ ＋Ａ３１ －」は、構造部位Ｘに該当する。化合物（ＩＩＩａ）は、活性光線又は放射線の照射によって、ＨＡ３１－Ｌ３－Ｎ（Ｒ２Ｘ）－Ｌ４－Ａ３１Ｈで表される酸を発生する。つまり、「Ｍ３１ ＋Ａ３１ －」は、ＨＡ３１で表される第１の酸性部位を形成する。
　一般式（ＩＩＩａ）中、Ｍ３１ ＋は、特定カチオンを表す。
　Ａ３１ －は、アニオン性官能基を表す。
　Ｌ３及びＬ４は、それぞれ独立に、２価の連結基を表す。
　Ｒ２Ｘは、１価の有機基を表す。
　上記一般式（ＩＩＩａ）中、Ｍ３１ ＋、及びＡ３１ －は、各々上述した一般式（Ｉａ）中のＭ１１ ＋、及びＡ１１ －と同義であり、好適態様も同じである。
　上記一般式（ＩＩＩａ）中、Ｌ３及びＬ４は、各々上述した一般式（Ｉａ）中のＬ１と同義であり、好適態様も同じである。
　上記一般式（ＩＩＩａ）中、２個のＭ３１ ＋同士、及び２個のＡ３１ －同士は、各々互いに同一の基を表す。
　一般式（ＩＩＩａ）中、Ｒ２Ｘで表される１価の有機基としては特に制限されず、例えば、－ＣＨ２－が、－ＣＯ－、－ＮＨ－、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ－、及び－ＳＯ２－よりなる群より選ばれる１種又は２種以上の組み合わせで置換されていてもよい、アルキル基（好ましくは炭素数１～１０。直鎖状でも分岐鎖状でもよい）、シクロアルキル基（好ましくは炭素数３～１５）、又はアルケニル基（好ましくは炭素数２～６）等が挙げられる。
　また、上記アルキレン基、上記シクロアルキレン基、及び上記アルケニレン基は、置換基で置換されていてもよい。
　上記化合物（Ｉ－Ａ）～（ＩＩＩ－Ａ）で表される化合物の分子量は３００～３０００が好ましく、５００～２０００がより好ましく、７００～１５００が更に好ましい。
　特定化合物の具体例を以下に示すが、本発明は、これに限定されるものではない。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000033
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000034
　本発明の組成物において、特定化合物の含有量は、組成物の全固形分に対して、１．０～７０．０質量％が好ましく、５．０～７０．０質量％がより好ましく、１０．０～６０．０質量％が更に好ましく、１０．０～６０．０質量％が特に好ましい。
　なお、固形分とは、組成物中の溶剤を除いた成分を意図し、溶剤以外の成分であれば液状成分であっても固形分とみなす。
　また、特定化合物は、１種で使用してもよいし、複数併用してもよい。
＜酸の作用により分解して極性が増大する基を有する繰り返し単位を有する樹脂（樹脂（Ａ））＞
　本発明の組成物は、酸の作用により分解して極性が増大する基を有する繰り返し単位を有する樹脂（以下、「酸分解性樹脂」又は「樹脂（Ａ）」ともいう。）を含む。
　つまり、本発明のパターン形成方法において、典型的には、現像液としてアルカリ現像液を採用した場合には、ポジ型パターンが好適に形成され、現像液として有機系現像液を採用した場合には、ネガ型パターンが好適に形成される。
　樹脂（Ａ）は、酸の作用により分解し極性が増大する基（以下、「酸分解性基」ともいう。）を有する繰り返し単位を含む。
　上述したように、樹脂（Ａ）は、酸分解性基を有する繰り返し単位とは別に、上述した一般式（１）で表されるカチオン（特定カチオン）を有する繰り返し単位（特定繰り返し単位）を更に有する場合がある。
　特定繰り返し単位が有する特定カチオンの定義は、上述した通りである。
　特定繰り返し単位の構造は特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、一般式（Ｕ）で表される繰り返し単位が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000035
　一般式（Ｕ）中、ＲＵ１は水素原子又は置換基を表す。置換基の種類は特に制限されないが、アルキル基及びハロゲン原子が挙げられる。
　ＬＵ１は、単結合又は２価の連結基を表す。２価の連結基としては、例えば、－Ｏ－、－ＯＣ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－、－Ｎ－、ＣＳ－、－ＳＯ－、―ＳＯ２－、置換基を有していてもよい炭化水素基（例えば、アルキレン基、シクロアルキレン基、アルケニレン基、及びアリーレン基等）、及びこれらの複数が連結した連結基等が挙げられる。
　Ｙ２ －は、アニオン性官能基を表す。アニオン性官能基の定義は、上述した通りである。
　Ｚ２ ＋は特定カチオンを表す。Ｚ２ ＋の定義は、上述した一般式（３）中のＺ２ ＋と同義である。
　樹脂（Ａ）が特定繰り返し単位を有する場合、特定繰り返し単位の含有量は特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、樹脂（Ａ）の全繰り返し単位に対して、１０～９０モル％が好ましく、２０～８０モル％がより好ましく、３０～７０モル％が更に好ましい。
（酸分解性基を有する繰り返し単位）
　酸分解性基とは、酸の作用により分解して極性基を生じる基をいう。酸分解性基は、酸の作用により脱離する脱離基で極性基が保護された構造を有することが好ましい。つまり、樹脂（Ａ）は、酸の作用により分解し、極性基を生じる基を有する繰り返し単位を有する。この繰り返し単位を有する樹脂は、酸の作用により極性が増大してアルカリ現像液に対する溶解度が増大し、有機溶剤に対する溶解度が減少する。
　極性基としては、アルカリ可溶性基が好ましく、例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基、フッ素化アルコール基、スルホン酸基、リン酸基、スルホンアミド基、スルホニルイミド基、（アルキルスルホニル）（アルキルカルボニル）メチレン基、（アルキルスルホニル）（アルキルカルボニル）イミド基、ビス（アルキルカルボニル）メチレン基、ビス（アルキルカルボニル）イミド基、ビス（アルキルスルホニル）メチレン基、ビス（アルキルスルホニル）イミド基、トリス（アルキルカルボニル）メチレン基、及び、トリス（アルキルスルホニル）メチレン基等の酸性基、並びに、アルコール性水酸基等が挙げられる。
　なかでも、極性基としては、カルボキシル基、フェノール性水酸基、フッ素化アルコール基（好ましくはヘキサフルオロイソプロパノール基）、又は、スルホン酸基が好ましい。
　酸の作用により脱離する脱離基としては、例えば、一般式（Ｙ１）～（Ｙ４）で表される基が挙げられる。
　一般式（Ｙ１）：－Ｃ（Ｒｘ１）（Ｒｘ２）（Ｒｘ３）
　一般式（Ｙ２）：－Ｃ（＝Ｏ）ＯＣ（Ｒｘ１）（Ｒｘ２）（Ｒｘ３）
　一般式（Ｙ３）：－Ｃ（Ｒ３６）（Ｒ３７）（ＯＲ３８）
　一般式（Ｙ４）：－Ｃ（Ｒｎ）（Ｈ）（Ａｒ）
　一般式（Ｙ１）及び（Ｙ２）中、Ｒｘ１～Ｒｘ３は、それぞれ独立に、アルキル基（直鎖状若しくは分岐鎖状）又はシクロアルキル基（単環若しくは多環）、アルケニル基（直鎖状若しくは分岐鎖状）、又は、アリール基（単環若しくは多環）を表す。なお、Ｒｘ１～Ｒｘ３の全てがアルキル基（直鎖状若しくは分岐鎖状）である場合、Ｒｘ１～Ｒｘ３のうち少なくとも２つはメチル基であることが好ましい。
　なかでも、Ｒｘ１～Ｒｘ３は、それぞれ独立に、直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基を表すことが好ましく、Ｒｘ１～Ｒｘ３は、それぞれ独立に、直鎖状のアルキル基を表すことがより好ましい。
　Ｒｘ１～Ｒｘ３の２つが結合して、単環又は多環を形成してもよい。
　Ｒｘ１～Ｒｘ３のアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、及び、ｔ－ブチル基等の炭素数１～５のアルキル基が好ましい。
　Ｒｘ１～Ｒｘ３のシクロアルキル基としては、シクロペンチル基、及び、シクロヘキシル基等の単環のシクロアルキル基、並びにノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、及び、アダマンチル基等の多環のシクロアルキル基が好ましい。
　Ｒｘ１～Ｒｘ３のアリール基としては、炭素数６～１０のアリール基が好ましく、例えば、フェニル基、ナフチル基、及び、アントリル基等が挙げられる。
　Ｒｘ１～Ｒｘ３のアルケニル基としては、ビニル基が好ましい。
　Ｒｘ１～Ｒｘ３の２つが結合して形成される環としては、シクロアルキル基が好ましい。Ｒｘ１～Ｒｘ３の２つが結合して形成されるシクロアルキル基としては、シクロペンチル基、若しくは、シクロヘキシル基等の単環のシクロアルキル基、又は、ノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、若しくは、アダマンチル基等の多環のシクロアルキル基が好ましく、炭素数５～６の単環のシクロアルキル基がより好ましい。
　Ｒｘ１～Ｒｘ３の２つが結合して形成されるシクロアルキル基は、例えば、環を構成するメチレン基の１つが、酸素原子等のヘテロ原子、カルボニル基等のヘテロ原子を有する基、又は、ビニリデン基で置き換わっていてもよい。また、これらのシクロアルキル基は、シクロアルカン環を構成するエチレン基の１つ以上が、ビニレン基で置き換わっていてもよい。
　一般式（Ｙ１）又は（Ｙ２）で表される基は、例えば、Ｒｘ１がメチル基又はエチル基であり、Ｒｘ２とＲｘ３とが結合して上述のシクロアルキル基を形成している態様が好ましい。
　一般式（Ｙ３）中、Ｒ３６～Ｒ３８は、それぞれ独立に、水素原子又は１価の有機基を表す。Ｒ３７とＲ３８とは、互いに結合して環を形成してもよい。１価の有機基としては、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、及び、アルケニル基等が挙げられる。Ｒ３６は水素原子であることも好ましい。
　なお、上記アルキル基、上記シクロアルキル基、上記アリール基、及び、上記アラルキル基には、酸素原子等のヘテロ原子及び／又はカルボニル基等のヘテロ原子を有する基が含まれていてもよい。例えば、上記アルキル基、上記シクロアルキル基、上記アリール基、及び、上記アラルキル基は、例えば、メチレン基の１つ以上が、酸素原子等のヘテロ原子及び／又はカルボニル基等のヘテロ原子を有する基で置き換わっていてもよい。
　また、Ｒ３８は、繰り返し単位の主鎖が有する別の置換基と互いに結合して、環を形成してもよい。Ｒ３８と繰り返し単位の主鎖が有する別の置換基とが互いに結合して形成する基は、メチレン基等のアルキレン基が好ましい。
　一般式（Ｙ３）としては、下記式（Ｙ３－１）で表される基が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000036
　ここで、Ｌ１及びＬ２は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、又は、これらを組み合わせた基（例えば、アルキル基とアリール基とを組み合わせた基）を表す。
　Ｍは、単結合又は２価の連結基を表す。
　Ｑは、ヘテロ原子を含んでいてもよいアルキル基、ヘテロ原子を含んでいてもよいシクロアルキル基、ヘテロ原子を含んでいてもよいアリール基、アミノ基、アンモニウム基、メルカプト基、シアノ基、アルデヒド基、又は、これらを組み合わせた基（例えば、アルキル基とシクロアルキル基とを組み合わせた基）を表す。
　アルキル基及びシクロアルキル基は、例えば、メチレン基の１つが、酸素原子等のヘテロ原子、又は、カルボニル基等のヘテロ原子を有する基で置き換わっていてもよい。
　なお、Ｌ１及びＬ２のうち一方は水素原子であり、他方はアルキル基、シクロアルキル基、アリール基、又は、アルキレン基とアリール基とを組み合わせた基であることが好ましい。
　Ｑ、Ｍ、及び、Ｌ１の少なくとも２つが結合して環（好ましくは、５員環若しくは６員環）を形成してもよい。
　パターンの微細化の点では、Ｌ２が２級又は３級アルキル基であることが好ましく、３級アルキル基であることがより好ましい。２級アルキル基としては、イソプロピル基、シクロヘキシル基又はノルボルニル基が挙げられ、３級アルキル基としては、ｔｅｒｔ－ブチル基又はアダマンタン基が挙げられる。これらの態様では、Ｔｇ（ガラス転移温度）及び活性化エネルギーが高くなるため、膜強度の担保に加え、かぶりの抑制ができる。
　一般式（Ｙ４）中、Ａｒは、芳香環基を表す。Ｒｎは、アルキル基、シクロアルキル基、又は、アリール基を表す。ＲｎとＡｒとは互いに結合して非芳香族環を形成してもよい。Ａｒはより好ましくはアリール基である。
　繰り返し単位の酸分解性が優れる点から、極性基を保護する脱離基において、極性基（又はその残基）に非芳香族環が直接結合している場合、上記非芳香族環中の、上記極性基（又はその残基）と直接結合している環員原子に隣接する環員原子は、置換基としてフッ素原子等のハロゲン原子を有さないのも好ましい。
　酸の作用により脱離する脱離基は、他にも、３－メチル－２－シクロペンテニル基のような置換基（アルキル基等）を有する２－シクロペンテニル基、及び、１，１，４，４－テトラメチルシクロヘキシル基のような置換基（アルキル基等）を有するシクロヘキシル基でもよい。
　酸分解性基を有する繰り返し単位としては、一般式（Ａ）で表される繰り返し単位も好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000037
　Ｌ１は、フッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよい２価の連結基を表し、Ｒ１はフッ素原子、ヨウ素原子、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいアルキル基、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいアリール基、又は水素原子を表し、Ｒ２は酸の作用によって脱離し、フッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよい脱離基を表す。ただし、Ｌ１、Ｒ１、及び、Ｒ２のうち少なくとも１つは、フッ素原子又はヨウ素原子を有する。
　Ｌ１は、フッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよい２価の連結基を表す。フッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよい２価の連結基としては、－ＣＯ－、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ－、－ＳＯ２－、フッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよい炭化水素基（例えば、アルキレン基、シクロアルキレン基、アルケニレン基、アリーレン基等）、及び、これらの複数が連結した連結基等が挙げられる。なかでも、Ｌ１としては、－ＣＯ－、又は、－アリーレン基－フッ素原子若しくはヨウ素原子を有するアルキレン基－が好ましい。
　アリーレン基としては、フェニレン基が好ましい。
　アルキレン基は、直鎖状であっても、分岐鎖状であってもよい。アルキレン基の炭素数は特に制限されないが、１～１０が好ましく、１～３がより好ましい。
　フッ素原子又はヨウ素原子を有するアルキレン基に含まれるフッ素原子及びヨウ素原子の合計数は特に制限されないが、２以上が好ましく、２～１０がより好ましく、３～６が更に好ましい。
　Ｒ１は、フッ素原子、ヨウ素原子、フッ素原子若しくはヨウ素原子が有していてもよいアルキル基、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいアリール基、又は水素原子を表す。
　アルキル基は、直鎖状であっても、分岐鎖状であってもよい。アルキル基の炭素数は特に制限されないが、１～１０が好ましく、１～３がより好ましい。
　フッ素原子又はヨウ素原子を有するアルキル基に含まれるフッ素原子及びヨウ素原子の合計数は特に制限されないが、１以上が好ましく、１～５がより好ましく、１～３が更に好ましい。
　上記アルキル基は、ハロゲン原子以外の酸素原子等のヘテロ原子を含んでいてもよい。
　Ｒ２は、酸の作用によって脱離し、フッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよい脱離基を表す。
　なかでも、脱離基としては、一般式（Ｚ１）～（Ｚ４）で表される基が挙げられる。
　一般式（Ｚ１）：－Ｃ（Ｒｘ１１）（Ｒｘ１２）（Ｒｘ１３）
　一般式（Ｚ２）：－Ｃ（＝Ｏ）ＯＣ（Ｒｘ１１）（Ｒｘ１２）（Ｒｘ１３）
　一般式（Ｚ３）：－Ｃ（Ｒ１３６）（Ｒ１３７）（ＯＲ１３８）
　一般式（Ｚ４）：－Ｃ（Ｒｎ１）（Ｈ）（Ａｒ１）
　一般式（Ｚ１）及び（Ｚ２）中、Ｒｘ１１～Ｒｘ１３は、それぞれ独立に、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいアルキル基（直鎖状若しくは分岐鎖状）、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいシクロアルキル基（単環若しくは多環）、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいアルケニル基（直鎖状若しくは分岐鎖状）、又は、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいアリール基（単環若しくは多環）を表す。なお、Ｒｘ１１～Ｒｘ１３の全てがアルキル基（直鎖状若しくは分岐鎖状）である場合、Ｒｘ１１～Ｒｘ１３のうち少なくとも２つはメチル基であることが好ましい。
　Ｒｘ１１～Ｒｘ１３は、フッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよい点以外は、上述した（Ｙ１）、（Ｙ２）中のＲｘ１～Ｒｘ３と同じであり、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、及び、アリール基の定義及び好適範囲と同じである。
　一般式（Ｚ３）中、Ｒ１３６～Ｒ１３８は、それぞれ独立に、水素原子、又は、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよい１価の有機基を表す。Ｒ１３７とＲ１３８とは、互いに結合して環を形成してもよい。フッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよい１価の有機基としては、フッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよいアルキル基、フッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよいシクロアルキル基、フッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよいアリール基、フッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよいアラルキル基、及び、これらを組み合わせた基（例えば、フッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよいアルキル基とフッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよいシクロアルキル基とを組み合わせた基）が挙げられる。
　なお、上記アルキル基、上記シクロアルキル基、上記アリール基、及び、上記アラルキル基には、フッ素原子及びヨウ素原子以外に、酸素原子等のヘテロ原子が含まれていてもよい。つまり、上記アルキル基、上記シクロアルキル基、上記アリール基、及び、上記アラルキル基は、例えば、メチレン基の１つが、酸素原子等のヘテロ原子、又は、カルボニル基等のヘテロ原子を有する基で置き換わっていてもよい。
　また、Ｒ１３８は、繰り返し単位の主鎖が有する別の置換基と互いに結合して、環を形成してもよい。この場合、Ｒ１３８と繰り返し単位の主鎖が有する別の置換基とが互いに結合して形成する基は、メチレン基等のアルキレン基が好ましい。
　一般式（Ｚ３）としては、下記式（Ｚ３－１）で表される基が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000038
　ここで、Ｌ１１及びＬ１２は、それぞれ独立に、水素原子；フッ素原子、ヨウ素原子及び酸素原子からなる群から選択されるヘテロ原子を有していてもよいアルキル基；フッ素原子、ヨウ素原子及び酸素原子からなる群から選択されるヘテロ原子を有していてもよいシクロアルキル基；フッ素原子、ヨウ素原子及び酸素原子からなる群から選択されるヘテロ原子を有していてもよいアリール基；又はこれらを組み合わせた基（例えば、フッ素原子、ヨウ素原子及び酸素原子からなる群から選択されるヘテロ原子を有していてもよいアルキル基と、フッ素原子、ヨウ素原子及び酸素原子からなる群から選択されるヘテロ原子を有していてもよいシクロアルキル基と、を組み合わせた基）を表す。
　Ｍ１は、単結合又は２価の連結基を表す。
　Ｑ１は、フッ素原子、ヨウ素原子及び酸素原子からなる群から選択されるヘテロ原子を有していてもよいアルキル基；フッ素原子、ヨウ素原子及び酸素原子からなる群から選択されるヘテロ原子を有していてもよいシクロアルキル基；フッ素原子、ヨウ素原子及び酸素原子からなる群から選択されるアリール基；アミノ基；アンモニウム基；メルカプト基；シアノ基；アルデヒド基；又はこれらを組み合わせた基（例えば、フッ素原子、ヨウ素原子及び酸素原子からなる群から選択されるヘテロ原子を有していてもよいアルキル基と、フッ素原子、ヨウ素原子及び酸素原子からなる群から選択されるヘテロ原子を有していてもよいシクロアルキル基と、を組み合わせた基）を表す。
　一般式（Ｙ４）中、Ａｒ１は、フッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよい芳香環基を表す。Ｒｎ１は、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいアルキル基、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいシクロアルキル基、又は、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいアリール基を表す。Ｒｎ１とＡｒ１とは互いに結合して非芳香族環を形成してもよい。
　酸分解性基を有する繰り返し単位としては、一般式（ＡＩ）で表される繰り返し単位も好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000039
　一般式（ＡＩ）において、
　Ｘａ１は、水素原子、又は、置換基を有していてもよいアルキル基を表す。
　Ｔは、単結合、又は、２価の連結基を表す。
　Ｒｘ１～Ｒｘ３は、それぞれ独立に、アルキル基（直鎖状若しくは分岐鎖状）、シクロアルキル基（単環若しくは多環）、アルケニル基（直鎖状若しくは分岐鎖状）、又は、アリール（単環若しくは多環）基を表す。ただし、Ｒｘ１～Ｒｘ３の全てがアルキル基（直鎖状若しくは分岐鎖状）である場合、Ｒｘ１～Ｒｘ３のうち少なくとも２つはメチル基であることが好ましい。
　Ｒｘ１～Ｒｘ３の２つが結合して、単環又は多環（単環又は多環のシクロアルキル基等）を形成してもよい。
　Ｘａ１により表される、置換基を有していてもよいアルキル基としては、例えば、メチル基又は－ＣＨ２－Ｒ１１で表される基が挙げられる。Ｒ１１は、ハロゲン原子（フッ素原子等）、水酸基又は１価の有機基を表し、例えば、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数５以下のアルキル基、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数５以下のアシル基、及び、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数５以下のアルコキシ基が挙げられ、炭素数３以下のアルキル基が好ましく、メチル基がより好ましい。上記アルキル基の炭素数の下限は、１以上が好ましい。Ｘａ１としては、水素原子、メチル基、トリフルオロメチル基、又は、ヒドロキシメチル基が好ましい。
　Ｔの２価の連結基としては、アルキレン基、芳香環基、－ＣＯＯ－Ｒｔ－基、及び、－Ｏ－Ｒｔ－基等が挙げられる。式中、Ｒｔは、アルキレン基、又は、シクロアルキレン基を表す。
　Ｔは、単結合又は－ＣＯＯ－Ｒｔ－基が好ましい。Ｔが－ＣＯＯ－Ｒｔ－基を表す場合、Ｒｔは、炭素数１～５のアルキレン基が好ましく、－ＣＨ２－基、－（ＣＨ２）２－基、又は、－（ＣＨ２）３－基がより好ましい。
　Ｒｘ１～Ｒｘ３のアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、及び、ｔ－ブチル基等の炭素数１～４のアルキル基が好ましい。
　Ｒｘ１～Ｒｘ３のシクロアルキル基としては、シクロペンチル基、及び、シクロヘキシル基等の単環のシクロアルキル基、又は、ノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、及び、アダマンチル基等の多環のシクロアルキル基が好ましい。
　Ｒｘ１～Ｒｘ３のアリール基としては、炭素数６～１０のアリール基が好ましく、例えば、フェニル基、ナフチル基、及び、アントリル基等が挙げられる。
　Ｒｘ１～Ｒｘ３のアルケニル基としては、ビニル基が好ましい。
　Ｒｘ１～Ｒｘ３の２つが結合して形成されるシクロアルキル基としては、シクロペンチル基、及び、シクロヘキシル基等の単環のシクロアルキル基が好ましく、その他にも、ノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、及び、アダマンチル基等の多環のシクロアルキル基が好ましい。なかでも、炭素数５～６の単環のシクロアルキル基が好ましい。
　Ｒｘ１～Ｒｘ３の２つが結合して形成されるシクロアルキル基は、例えば、環を構成するメチレン基の１つが、酸素原子等のヘテロ原子、カルボニル基等のヘテロ原子を有する基、又は、ビニリデン基で置き換わっていてもよい。また、これらのシクロアルキル基は、シクロアルカン環を構成するエチレン基の１つ以上が、ビニレン基で置き換わっていてもよい。
　一般式（ＡＩ）で表される繰り返し単位は、例えば、Ｒｘ１がメチル基又はエチル基であり、Ｒｘ２とＲｘ３とが結合して上述のシクロアルキル基を形成している態様が好ましい。
　上記各基が置換基を有する場合、置換基としては、例えば、アルキル基（炭素数１～４）、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基（炭素数１～４）、カルボキシル基、及び、アルコキシカルボニル基（炭素数２～６）等が挙げられる。置換基中の炭素数は、８以下が好ましい。下限は、１以上が好ましい。
　一般式（ＡＩ）で表される繰り返し単位としては、好ましくは、酸分解性（メタ）アクリル酸３級アルキルエステル系繰り返し単位（Ｘａ１が水素原子又はメチル基を表し、かつ、Ｔが単結合を表す繰り返し単位）である。
　酸分解性基を有する繰り返し単位の含有量は、樹脂（Ａ）中の全繰り返し単位に対し、１５～８０モル％が好ましく、２０～７０モル％がより好ましく、２０～６５モル％が更に好ましい。
　酸分解性基を有する繰り返し単位の具体例を以下に示すが、本発明は、これに限定されるものではない。なお、式中、Ｘａ１はＨ、Ｆ、ＣＨ３、ＣＦ３、及び、ＣＨ２ＯＨのいずれかの基を表し、Ｒｘａ及びＲｘｂはそれぞれ独立に炭素数１～５の直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基を表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000040
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000041
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000042
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000043
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000044
　樹脂（Ａ）は、不飽和結合を含む酸分解性基を有する繰り返し単位を有していてもよい。
　不飽和結合を含む酸分解性基を有する繰り返し単位としては、一般式（Ｂ）で表される繰り返し単位が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000045
　一般式（Ｂ）において、
　Ｘｂは、水素原子、ハロゲン原子、又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。
　Ｌは、単結合、又は置換基を有してもよい２価の連結基を表す。
　Ｒｙ１～Ｒｙ３は、それぞれ独立に、直鎖状、分岐鎖状のアルキル基、単環状、多環状のシクロアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、単環若しくは多環のアリール基を表す。ただし、Ｒｙ１～Ｒｙ３のうち少なくとも１つはアルケニル基、アルキニル基、単環若しくは多環のシクロアルケニル基、又は、単環若しくは多環のアリール基を表す。
　Ｒｙ１～Ｒｙ３の２つが結合して、単環又は多環（単環又は多環のシクロアルキル基、シクロアルケニル基等）を形成してもよい。
　Ｘｂにより表される、置換基を有していてもよいアルキル基としては、例えば、メチル基又は－ＣＨ２－Ｒ１１で表される基が挙げられる。Ｒ１１は、ハロゲン原子（フッ素原子等）、水酸基又は１価の有機基を表し、例えば、ハロゲン原子が置換していてもよい炭素数５以下のアルキル基、ハロゲン原子が置換していてもよい炭素数５以下のアシル基、及びハロゲン原子が置換していてもよい炭素数５以下のアルコキシ基が挙げられ、炭素数３以下のアルキル基が好ましく、メチル基がより好ましい。炭素数の下限は、１以上が好ましい。Ｘｂとしては、水素原子、フッ素原子、メチル基、トリフルオロメチル基、又はヒドロキシメチル基が好ましい。
　Ｌの置換基を有してもよい２価の連結基としては、－Ｒｔ－基、－ＣＯ－基、－ＣＯＯ－Ｒｔ－基、－ＣＯＯ－Ｒｔ－ＣＯ－基、－Ｒｔ－ＣＯ－基、及び－Ｏ－Ｒｔ－基が挙げられる。式中、Ｒｔは、アルキレン基、シクロアルキレン基、又は芳香環基を表し、芳香環基が好ましい。
　Ｌとしては、－Ｒｔ－基、－ＣＯ－基、－ＣＯＯ－Ｒｔ－ＣＯ－基、又は、－Ｒｔ－ＣＯ－基が好ましい。Ｒｔは、例えば、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基等の置換基を有していてもよい。芳香族基が好ましい。
　Ｒｙ１～Ｒｙ３のアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、及びｔ－ブチル基等の炭素数１～４のアルキル基が好ましい。
　Ｒｙ１～Ｒｙ３のシクロアルキル基としては、シクロペンチル基、及びシクロヘキシル基等の単環のシクロアルキル基、又はノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、及びアダマンチル基等の多環のシクロアルキル基が好ましい。
　Ｒｙ１～Ｒｙ３のアリール基としては、炭素数６～１０のアリール基が好ましく、例えば、フェニル基、ナフチル基、及びアントリル基等が挙げられる。
　Ｒｙ１～Ｒｙ３のアルケニル基としては、ビニル基が好ましい。
　Ｒｙ１～Ｒｙ３のアルキニル基としては、エチニル基が好ましい。
　Ｒｙ１～Ｒｙ３のシクロアルケニル基としては、シクロペンチル基、及びシクロヘキシル基等の単環のシクロアルキル基の一部に二重結合を含む構造が好ましい。
　Ｒｙ１～Ｒｙ３の２つが結合して形成されるシクロアルキル基としては、シクロペンチル基、及びシクロヘキシル基等の単環のシクロアルキル基が好ましく、その他にも、ノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、及びアダマンチル基等の多環のシクロアルキル基が好ましい。なかでも、炭素数５～６の単環のシクロアルキル基が好ましい。
　Ｒｙ１～Ｒｙ３の２つが結合して形成されるシクロアルキル基、又はシクロアルケニル基は、例えば、環を構成するメチレン基の１つが、酸素原子等のヘテロ原子、カルボニル基、－ＳＯ２－基、－ＳＯ３－基等のヘテロ原子を有する基、又はビニリデン基、又はそれらの組み合わせで置き換わっていてもよい。また、これらのシクロアルキル基、又はシクロアルケニル基は、シクロアルカン環、又はシクロアルケン環を構成するエチレン基の１つ以上が、ビニレン基で置き換わっていてもよい。
　一般式（Ｂ）で表される繰り返し単位は、例えば、Ｒｙ１がメチル基、エチル基、ビニル基、アリル基、又はアリール基であり、Ｒｙ２とＲｘ３とが結合して上述のシクロアルキル基、又はシクロアルケニル基を形成している態様が好ましい。
　上記各基が置換基を有する場合、置換基としては、例えば、アルキル基（炭素数１～４）、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基（炭素数１～４）、カルボキシル基、及びアルコキシカルボニル基（炭素数２～６）等が挙げられる。置換基中の炭素数は、８以下が好ましい。炭素数の下限は、１以上が好ましい。
　一般式（Ｂ）で表される繰り返し単位としては、好ましくは、酸分解性（メタ）アクリル酸３級エステル系繰り返し単位（Ｘｂが水素原子又はメチル基を表し、且つ、Ｌが－ＣＯ－基を表す繰り返し単位）、酸分解性ヒドロキシスチレン３級アルキルエーテル系繰り返し単位（Ｘｂが水素原子又はメチル基を表し、且つ、Ｌがフェニル基を表す繰り返し単位）、酸分解性スチレンカルボン酸３級エステル系繰り返し単位（Ｘｂが水素原子又はメチル基を表し、且つ、Ｌが－Ｒｔ－ＣＯ－基（Ｒｔは芳香族基）を表す繰り返し単位）である。
　不飽和結合を含む酸分解性基を有する繰り返し単位の含有量は、樹脂（Ａ）中の全繰り返し単位に対して、１５モル％以上が好ましく、２０モル％以上がより好ましく、３０モル％以上が更に好ましい。また、その上限値としては、８０モル％以下が好ましく、７０モル％以下がより好ましく、６０モル％以下が更に好ましい。
　不飽和結合を含む酸分解性基を有する繰り返し単位の具体例を以下に示すが、本発明は、これに限定されるものではない。なお、式中、Ｘｂ及びＬ１は上記記載の置換基及び連結基のいずれかを表し、Ａｒは芳香族基を表し、Ｒは水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アルケニル基、水酸基、アルコキシ基、アシロキシ基、シアノ基、ニトロ基、アミノ基、ハロゲン原子、エステル基（－ＯＣＯＲ’’’又は－ＣＯＯＲ’’’：Ｒ’’’は炭素数１～２０のアルキル基又はフッ素化アルキル基）、又は、カルボキシル基等の置換基を表し、Ｒ’は直鎖状、分岐鎖状のアルキル基、単環状、多環状のシクロアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、又は単環若しくは多環のアリール基を表し、Ｑは酸素原子等のヘテロ原子、カルボニル基、－ＳＯ２－基、－ＳＯ３－基等のヘテロ原子を有する基、ビニリデン基、又はそれらの組み合わせを表し、ｎ及びｍは０以上の整数を表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000046
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000047
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000048
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000049
　樹脂（Ａ）は、上述した繰り返し単位以外の繰り返し単位を含んでいてもよい。
　例えば、樹脂（Ａ）は、以下のＡ群からなる群から選択される少なくとも１種の繰り返し単位、及び／又は以下のＢ群からなる群から選択される少なくとも１種の繰り返し単位を含んでいてもよい。
Ａ群：以下の（２０）～（２９）の繰り返し単位からなる群。
（２０）後述する、酸基を有する繰り返し単位
（２１）後述する、フッ素原子又はヨウ素原子を有する繰り返し単位
（２２）後述する、ラクトン基、スルトン基、又は、カーボネート基を有する繰り返し単位
（２３）後述する、光酸発生基を有する繰り返し単位
（２４）後述する、一般式（Ｖ－１）又は下記一般式（Ｖ－２）で表される繰り返し単位
（２５）後述する、式（Ａ）で表される繰り返し単位
（２６）後述する、式（Ｂ）で表される繰り返し単位
（２７）後述する、式（Ｃ）で表される繰り返し単位
（２８）後述する、式（Ｄ）で表される繰り返し単位
（２９）後述する、式（Ｅ）で表される繰り返し単位
Ｂ群：以下の（３０）～（３２）の繰り返し単位からなる群。
（３０）後述する、ラクトン基、スルトン基、カーボネート基、水酸基、シアノ基、及び、アルカリ可溶性基から選択される少なくとも１種類の基を有する繰り返し単位
（３１）後述する、脂環炭化水素構造を有し、酸分解性を示さない繰り返し単位
（３２）後述する、水酸基及びシアノ基のいずれも有さない、一般式（ＩＩＩ）で表される繰り返し単位
　本発明の組成物がＥＵＶ用の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物として用いられる場合、樹脂（Ａ）は上記Ａ群からなる群から選択される少なくとも１種の繰り返し単位を有することが好ましい。
　また、組成物がＥＵＶ用の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物として用いられる場合、樹脂（Ａ）は、フッ素原子及びヨウ素原子の少なくとも一方を含むことが好ましい。樹脂（Ａ）がフッ素原子及びヨウ素原子の両方を含む場合、樹脂（Ａ）は、フッ素原子及びヨウ素原子の両方を含む１つの繰り返し単位を有していてもよいし、樹脂（Ａ）は、フッ素原子を有する繰り返し単位とヨウ素原子を含む繰り返し単位との２種を含んでいてもよい。
　また、組成物がＥＵＶ用の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物として用いられる場合、樹脂（Ａ）が、芳香族基を有する繰り返し単位を有するのも好ましい。
　本発明の組成物がＡｒＦ用の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物として用いられる場合、樹脂（Ａ）は上記Ｂ群からなる群から選択される少なくとも１種の繰り返し単位を有することが好ましい。
　なお、本発明の組成物がＡｒＦ用の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物として用いられる場合、樹脂（Ａ）は、フッ素原子及び珪素原子のいずれも含まないことが好ましい。
　また、組成物がＡｒＦ用の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物として用いられる場合、樹脂（Ａ）は、芳香族基を有さないことが好ましい。
（酸基を有する繰り返し単位）
　樹脂（Ａ）は、酸基を有する繰り返し単位を有していてもよい。
　酸基としては、ｐＫａが１３以下の酸基が好ましい。上記酸基の酸解離定数は、上記のように、１３以下が好ましく、３～１３がより好ましく、５～１０が更に好ましい。
　酸基としては、例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基、フッ素化アルコール基（好ましくはヘキサフルオロイソプロパノール基）、スルホン酸基、スルホンアミド基、又は、イソプロパノール基が好ましい。
　樹脂（Ａ）が、ｐＫａが１３以下の酸基を有する場合、樹脂（Ａ）中における酸基の含有量は特に制限されないが、０．２～６．０ｍｍｏｌ／ｇの場合が多い。なかでも、０．８～６．０ｍｍｏｌ／ｇが好ましく、１．２～５．０ｍｍｏｌ／ｇがより好ましく、１．６～４．０ｍｍｏｌ／ｇが更に好ましい。酸基の含有量が上記範囲内であれば、現像が良好に進行し、形成されるパターン形状に優れ、解像性にも優れる。
　また、上記ヘキサフルオロイソプロパノール基は、フッ素原子の１つ以上（好ましくは１～２つ）が、フッ素原子以外の基（アルコキシカルボニル基等）で置換されてもよい。このように形成された－Ｃ（ＣＦ３）（ＯＨ）－ＣＦ２－も、酸基として好ましい。また、フッ素原子の１つ以上がフッ素原子以外の基に置換されて、－Ｃ（ＣＦ３）（ＯＨ）－ＣＦ２－を含む環を形成してもよい。
　酸基を有する繰り返し単位は、上述の酸の作用により脱離する脱離基で極性基が保護された構造を有する繰り返し単位、及び、後述するラクトン基、スルトン基、又は、カーボネート基を有する繰り返し単位とは異なる繰り返し単位であるのが好ましい。
　酸基を有する繰り返し単位は、フッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよい。
　酸基を有する繰り返し単位としては、式（Ｂ）で表される繰り返し単位が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000050
　Ｒ３は、水素原子、又は、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよい１価の有機基を表す。
　フッ素原子又はヨウ素原子を有していてもよい１価の有機基としては、－Ｌ４－Ｒ８で表される基が好ましい。Ｌ４は、単結合、又は、エステル基を表す。Ｒ８は、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいアルキル基、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいシクロアルキル基、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいアリール基、又は、これらを組み合わせた基を表す。
　Ｒ４及びＲ５は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、ヨウ素原子、又は、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいアルキル基を表す。
　Ｌ２は、単結合、又は、エステル基を表す。
　Ｌ３は、（ｎ＋ｍ＋１）価の芳香族炭化水素環基、又は、（ｎ＋ｍ＋１）価の脂環炭化水素環基を表す。芳香族炭化水素環基としては、ベンゼン環基、及び、ナフタレン環基が挙げられる。脂環炭化水素環基としては、単環であっても、多環であってもよく、例えば、シクロアルキル環基が挙げられる。
　Ｒ６は、水酸基、又は、フッ素化アルコール基（好ましくは、ヘキサフルオロイソプロパノール基）を表す。なお、Ｒ６が水酸基の場合、Ｌ３は（ｎ＋ｍ＋１）価の芳香族炭化水素環基であることが好ましい。
　Ｒ７は、ハロゲン原子を表す。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、又は、ヨウ素原子が挙げられる。
　ｍは、１以上の整数を表す。ｍは、１～３の整数が好ましく、１～２の整数が好ましい。
　ｎは、０又は１以上の整数を表す。ｎは、１～４の整数が好ましい。
　なお、（ｎ＋ｍ＋１）は、２～５の整数が好ましい。
　酸基を有する繰り返し単位としては、以下の繰り返し単位が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000051
　酸基を有する繰り返し単位としては、下記一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位も好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000052
　一般式（Ｉ）中、
　Ｒ４１、Ｒ４２及びＲ４３は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、ハロゲン原子、シアノ基又はアルコキシカルボニル基を表す。ただし、Ｒ４２はＡｒ４と結合して環を形成していてもよく、その場合のＲ４２は単結合又はアルキレン基を表す。
　Ｘ４は、単結合、－ＣＯＯ－、又は、－ＣＯＮＲ６４－を表し、Ｒ６４は、水素原子又はアルキル基を表す。
　Ｌ４は、単結合又はアルキレン基を表す。
　Ａｒ４は、（ｎ＋１）価の芳香環基を表し、Ｒ４２と結合して環を形成する場合には（ｎ＋２）価の芳香環基を表す。
　ｎは、１～５の整数を表す。
　一般式（Ｉ）におけるＲ４１、Ｒ４２、及び、Ｒ４３のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ヘキシル基、２－エチルヘキシル基、オクチル基、及び、ドデシル基等の炭素数２０以下のアルキル基が好ましく、炭素数８以下のアルキル基がより好ましく、炭素数３以下のアルキル基が更に好ましい。炭素数の下限は、１以上が好ましい。
　一般式（Ｉ）におけるＲ４１、Ｒ４２、及び、Ｒ４３のシクロアルキル基としては、単環でも、多環でもよい。なかでも、シクロプロピル基、シクロペンチル基、及び、シクロヘキシル基等の炭素数３～８個で単環のシクロアルキル基が好ましい。
　一般式（Ｉ）におけるＲ４１、Ｒ４２、及び、Ｒ４３のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、及び、ヨウ素原子が挙げられ、フッ素原子が好ましい。
　一般式（Ｉ）におけるＲ４１、Ｒ４２、及び、Ｒ４３のアルコキシカルボニル基に含まれるアルキル基としては、上記Ｒ４１、Ｒ４２、Ｒ４３におけるアルキル基と同様のものが好ましい。
　上記各基における好ましい置換基としては、例えば、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アミノ基、アミド基、ウレイド基、ウレタン基、水酸基、カルボキシル基、ハロゲン原子、アルコキシ基、チオエーテル基、アシル基、アシロキシ基、アルコキシカルボニル基、シアノ基、及び、ニトロ基が挙げられる。置換基の炭素数は８以下が好ましい。炭素数の下限は、１以上が好ましい。
　Ａｒ４は、（ｎ＋１）価の芳香環基を表す。ｎが１である場合における２価の芳香環基は、例えば、フェニレン基、トリレン基、ナフチレン基、及び、アントラセニレン基等の炭素数６～１８のアリーレン基、又は、チオフェン環、フラン環、ピロール環、ベンゾチオフェン環、ベンゾフラン環、ベンゾピロール環、トリアジン環、イミダゾール環、ベンゾイミダゾール環、トリアゾール環、チアジアゾール環、及び、チアゾール環等のヘテロ環を含む２価の芳香環基が好ましい。なお、上記芳香環基は、置換基を有していてもよい。
　ｎが２以上の整数である場合における（ｎ＋１）価の芳香環基の具体例としては、２価の芳香環基の上記した具体例から、（ｎ－１）個の任意の水素原子を除してなる基が挙げられる。
　（ｎ＋１）価の芳香環基は、更に置換基を有していてもよい。
　上述したアルキル基、シクロアルキル基、アルコキシカルボニル基、アルキレン基、及び、（ｎ＋１）価の芳香環基が有し得る置換基としては、例えば、一般式（Ｉ）におけるＲ４１、Ｒ４２、及び、Ｒ４３で挙げたアルキル基、メトキシ基、エトキシ基、ヒドロキシエトキシ基、プロポキシ基、ヒドロキシプロポキシ基、及び、ブトキシ基等のアルコキシ基；フェニル基等のアリール基；等が挙げられる。
　Ｘ４により表される－ＣＯＮＲ６４－（Ｒ６４は、水素原子又はアルキル基を表す）におけるＲ６４のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ヘキシル基、２－エチルヘキシル基、オクチル基、及び、ドデシル基等の炭素数２０以下のアルキル基が挙げられ、炭素数８以下のアルキル基が好ましい。炭素数の下限は、１以上が好ましい。
　Ｘ４としては、単結合、－ＣＯＯ－、又は、－ＣＯＮＨ－が好ましく、単結合、又は、－ＣＯＯ－がより好ましい。
　Ｌ４におけるアルキレン基としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ヘキシレン基、及び、オクチレン基等の炭素数１～８のアルキレン基が好ましい。
　Ａｒ４としては、炭素数６～１８の芳香環基が好ましく、ベンゼン環基、ナフタレン環基、又は、ビフェニレン環基がより好ましい。
　一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位は、ヒドロキシスチレン構造を備えていることが好ましい。即ち、Ａｒ４は、ベンゼン環基であることが好ましい。
　一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位としては、下記一般式（１）で表される繰り返し単位が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000053
　一般式（１）中、
　Ａは水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、ハロゲン原子、又は、シアノ基を表す。
　Ｒは、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アルケニル基、アラルキル基、アルコキシ基、アルキルカルボニルオキシ基、アルキルスルホニルオキシ基、アルキルオキシカルボニル基又はアリールオキシカルボニル基を表し、Ｒが複数個ある場合には同じであっても異なっていてもよい。複数のＲを有する場合には、互いに共同して環を形成していてもよい。Ｒとしては水素原子が好ましい。
　ａは１～３の整数を表す。
　ｂは０～（５－ａ）の整数を表す。
　以下、酸基を有する繰り返し単位を例示する。式中、ａは１又は２を表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000054
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000055
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000056
　なお、上記繰り返し単位のなかでも、以下に具体的に記載する繰り返し単位が好ましい。式中、Ｒは水素原子又はメチル基を表し、ａは２又は３を表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000057
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000058
　酸基を有する繰り返し単位の含有量は、樹脂（Ａ）中の全繰り返し単位に対し、１０～７０モル％が好ましく、１０～６０モル％がより好ましく、１０～５０モル％が更に好ましい。
（フッ素原子又はヨウ素原子を有する繰り返し単位）
　樹脂（Ａ）は、上述した＜酸分解性基を有する繰り返し単位＞及び＜酸基を有する繰り返し単位＞とは別に、フッ素原子又はヨウ素原子を有する繰り返し単位を有していてもよい。また、ここでいう＜フッ素原子又はヨウ素原子を有する繰り返し単位＞は、後述の＜ラクトン基、スルトン基、又は、カーボネート基を有する繰り返し単位＞、及び、＜光酸発生基を有する繰り返し単位＞等の、Ａ群に属する他の種類の繰り返し単位とは異なるのが好ましい。
　フッ素原子又はヨウ素原子を有する繰り返し単位としては、式（Ｃ）で表される繰り返し単位が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000059
　Ｌ５は、単結合、又は、エステル基を表す。
　Ｒ９は、水素原子、又は、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいアルキル基を表す。
　Ｒ１０は、水素原子、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいアルキル基、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいシクロアルキル基、フッ素原子若しくはヨウ素原子を有していてもよいアリール基、又は、これらを組み合わせた基を表す。
　フッ素原子又はヨウ素原子を有する繰り返し単位を以下に例示する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000060
　フッ素原子又はヨウ素原子を有する繰り返し単位の含有量は、樹脂（Ａ）中の全繰り返し単位に対して、０～６０モル％が好ましく、５～６０モル％がより好ましく、１０～６０モル％が更に好ましい。
　なお、上述したように、フッ素原子又はヨウ素原子を有する繰り返し単位には、＜酸分解性基を有する繰り返し単位＞及び＜酸基を有する繰り返し単位＞は含まれないことから、上記フッ素原子又はヨウ素原子を有する繰り返し単位の含有量も、＜酸分解性基を有する繰り返し単位＞及び＜酸基を有する繰り返し単位＞を除いたフッ素原子又はヨウ素原子を有する繰り返し単位の含有量を意図する。
　樹脂（Ａ）の繰り返し単位のうち、フッ素原子及びヨウ素原子の少なくとも一方を含む繰り返し単位の合計含有量は、樹脂（Ａ）の全繰り返し単位に対して、１～１００モル％が好ましく、５～８０モル％がより好ましく、１０～６０モル％が更に好ましい。
　なお、フッ素原子及びヨウ素原子の少なくとも一方を含む繰り返し単位としては、例えば、フッ素原子又はヨウ素原子を有し、かつ、酸分解性基を有する繰り返し単位、フッ素原子又はヨウ素原子を有し、かつ、酸基を有する繰り返し単位、及び、フッ素原子又はヨウ素原子を有する繰り返し単位が挙げられる。
（ラクトン基、スルトン基、又は、カーボネート基を有する繰り返し単位）
　樹脂（Ａ）は、ラクトン基、スルトン基、及び、カーボネート基からなる群から選択される少なくとも１種を有する繰り返し単位（以下、総称して「ラクトン基、スルトン基、又は、カーボネート基を有する繰り返し単位」ともいう。）を有していてもよい。
　ラクトン基、スルトン基、又は、カーボネート基を有する繰り返し単位は、ヘキサフルオロプロパノール基等の酸基を有さないのも好ましい。
　ラクトン基又はスルトン基としては、ラクトン構造又はスルトン構造を有していればよい。ラクトン構造又はスルトン構造は、５～７員環ラクトン構造又は５～７員環スルトン構造が好ましい。なかでも、ビシクロ構造若しくはスピロ構造を形成する形で５～７員環ラクトン構造に他の環構造が縮環しているもの、又は、ビシクロ構造若しくはスピロ構造を形成する形で５～７員環スルトン構造に他の環構造が縮環しているもの、がより好ましい。
　樹脂（Ａ）は、下記一般式（ＬＣ１－１）～（ＬＣ１－２１）のいずれかで表されるラクトン構造、又は、下記一般式（ＳＬ１－１）～（ＳＬ１－３）のいずれかで表されるスルトン構造の環員原子から、水素原子を１つ以上引き抜いてなるラクトン基又はスルトン基を有する繰り返し単位を有することが好ましい。
　また、ラクトン基又はスルトン基が主鎖に直接結合していてもよい。例えば、ラクトン基又はスルトン基の環員原子が、樹脂（Ａ）の主鎖を構成してもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000061
　上記ラクトン構造又はスルトン構造部分は、置換基（Ｒｂ２）を有していてもよい。好ましい置換基（Ｒｂ２）としては、炭素数１～８のアルキル基、炭素数４～７のシクロアルキル基、炭素数１～８のアルコキシ基、炭素数１～８のアルコキシカルボニル基、カルボキシル基、ハロゲン原子、水酸基、シアノ基、及び、酸分解性基等が挙げられる。ｎ２は、０～４の整数を表す。ｎ２が２以上の時、複数存在するＲｂ２は、異なっていてもよく、また、複数存在するＲｂ２同士が結合して環を形成してもよい。
　一般式（ＬＣ１－１）～（ＬＣ１－２１）のいずれかで表されるラクトン構造又は一般式（ＳＬ１－１）～（ＳＬ１－３）のいずれかで表されるスルトン構造を有する基を有する繰り返し単位としては、例えば、下記一般式（ＡＩ）で表される繰り返し単位等が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000062
　一般式（ＡＩ）中、Ｒｂ０は、水素原子、ハロゲン原子、又は、炭素数１～４のアルキル基を表す。
　Ｒｂ０のアルキル基が有していてもよい好ましい置換基としては、水酸基、及び、ハロゲン原子が挙げられる。
　Ｒｂ０のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、及び、ヨウ素原子が挙げられる。Ｒｂ０は、水素原子又はメチル基が好ましい。
　Ａｂは、単結合、アルキレン基、単環又は多環の脂環炭化水素構造を有する２価の連結基、エーテル基、エステル基、カルボニル基、カルボキシル基、又は、これらを組み合わせた２価の基を表す。なかでも、単結合、又は、－Ａｂ１－ＣＯ２－で表される連結基が好ましい。Ａｂ１は、直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキレン基、又は、単環若しくは多環のシクロアルキレン基であり、メチレン基、エチレン基、シクロヘキシレン基、アダマンチレン基、又は、ノルボルニレン基が好ましい。
　Ｖは、一般式（ＬＣ１－１）～（ＬＣ１－２１）のいずれかで表されるラクトン構造の環員原子から水素原子を１つ引き抜いてなる基、又は、一般式（ＳＬ１－１）～（ＳＬ１－３）のいずれかで表されるスルトン構造の環員原子から水素原子を１つ引き抜いてなる基を表す。
　ラクトン基又はスルトン基を有する繰り返し単位に、光学異性体が存在する場合、いずれの光学異性体を用いてもよい。また、１種の光学異性体を単独で用いても、複数の光学異性体を混合して用いてもよい。１種の光学異性体を主に用いる場合、その光学純度（ｅｅ）は９０以上が好ましく、９５以上がより好ましい。上限は、１００以下が好ましい。
　カーボネート基としては、環状炭酸エステル基が好ましい。
　環状炭酸エステル基を有する繰り返し単位としては、下記一般式（Ａ－１）で表される繰り返し単位が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000063
　一般式（Ａ－１）中、ＲＡ １は、水素原子、ハロゲン原子、又は、１価の有機基（好ましくはメチル基）を表す。
　ｎは０以上の整数を表す。
　ＲＡ ２は、置換基を表す。ｎが２以上の場合、複数存在するＲＡ ２は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
　Ａは、単結合又は２価の連結基を表す。上記２価の連結基としては、アルキレン基、単環又は多環の脂環炭化水素構造を有する２価の連結基、エーテル基、エステル基、カルボニル基、カルボキシル基、又は、これらを組み合わせた２価の基が好ましい。
　Ｚは、式中の－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－で表される基と共に単環又は多環を形成する原子団を表す。
　ラクトン基、スルトン基、又は、カーボネート基を有する繰り返し単位を以下に例示する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000064
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000065
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000066
　ラクトン基、スルトン基、又は、カーボネート基を有する繰り返し単位の含有量は、樹脂（Ａ）中の全繰り返し単位に対し、１～７０モル％が好ましく、５～６５モル％がより好ましく、５～６０モル％が更に好ましい。
（光酸発生基を有する繰り返し単位）
　樹脂（Ａ）は、上記以外の繰り返し単位として、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する基（以下、「光酸発生基」ともいう。）を有する繰り返し単位を有していてもよい。
　この場合、この光酸発生基を有する繰り返し単位が、後述する活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物（以下、「光酸発生剤」ともいう。）にあたると考えることができる。
　このような繰り返し単位としては、例えば、下記一般式（４）で表される繰り返し単位が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000067
　Ｒ４１は、水素原子又はメチル基を表す。Ｌ４１は、単結合、又は、２価の連結基を表す。Ｌ４２は、２価の連結基を表す。Ｒ４０は、活性光線又は放射線の照射により分解して側鎖に酸を発生させる構造部位を表す。
　一般式（４）で表される繰り返し単位としては、例えば、特開２０１４－０４１３２７号公報の段落［００９４］～［０１０５］に記載された繰り返し単位、及び、国際公開第２０１８／１９３９５４号公報の段落［００９４］に記載された繰り返し単位が挙げられる。
　光酸発生基を有する繰り返し単位の含有量は、樹脂（Ａ）中の全繰り返し単位に対して、１～４０モル％が好ましく、５～３５モル％がより好ましく、５～３０モル％が更に好ましい。
（一般式（Ｖ－１）又は（Ｖ－２）で表される繰り返し単位）
　樹脂（Ａ）は、下記一般式（Ｖ－１）、又は、下記一般式（Ｖ－２）で表される繰り返し単位を有していてもよい。
　下記一般式（Ｖ－１）、及び、下記一般式（Ｖ－２）で表される繰り返し単位は上述の繰り返し単位とは異なる繰り返し単位であるのが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000068
　式中、
　Ｒ６及びＲ７は、それぞれ独立に、水素原子、水酸基、アルキル基、アルコキシ基、アシロキシ基、シアノ基、ニトロ基、アミノ基、ハロゲン原子、エステル基（－ＯＣＯＲ又は－ＣＯＯＲ：Ｒは炭素数１～６のアルキル基又はフッ素化アルキル基）、又は、カルボキシル基を表す。アルキル基としては、炭素数１～１０の、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が好ましい。
　ｎ３は、０～６の整数を表す。
　ｎ４は、０～４の整数を表す。
　Ｘ４は、メチレン基、酸素原子、又は、硫黄原子である。
　一般式（Ｖ－１）又は（Ｖ－２）で表される繰り返し単位を以下に例示する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000069
（主鎖の運動性を低下させるための繰り返し単位）
　樹脂（Ａ）は、発生酸の過剰な拡散又は現像時のパターン崩壊を抑制できる観点から、ガラス転移温度（Ｔｇ）が高い方が好ましい。Ｔｇは、９０℃より大きいことが好ましく、１００℃より大きいことがより好ましく、１１０℃より大きいことが更に好ましく、１２５℃より大きいことが特に好ましい。なお、過度な高Ｔｇ化は現像液への溶解速度低下を招くため、Ｔｇは４００℃以下が好ましく、３５０℃以下がより好ましい。
　なお、本明細書において、樹脂（Ａ）等のポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）は、以下の方法で算出する。まず、ポリマー中に含まれる各繰り返し単位のみからなるホモポリマーのＴｇを、Ｂｉｃｅｒａｎｏ法によりそれぞれ算出する。以後、算出されたＴｇを、「繰り返し単位のＴｇ」という。次に、ポリマー中の全繰り返し単位に対する、各繰り返し単位の質量割合（％）を算出する。次に、Ｆｏｘの式（Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ　６２（２００８）３１５２等に記載）を用いて各質量割合におけるＴｇを算出して、それらを総和して、ポリマーのＴｇ（℃）とする。
　Ｂｉｃｅｒａｎｏ法はＰｒｅｄｉｃｔｉｏｎ　ｏｆ　ｐｏｌｙｍｅｒ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ，　Ｍａｒｃｅｌ　Ｄｅｋｋｅｒ　Ｉｎｃ，　Ｎｅｗ　Ｙｏｒｋ（１９９３）等に記載されている。またＢｉｃｅｒａｎｏ法によるＴｇの算出は、ポリマーの物性概算ソフトウェアＭＤＬ　Ｐｏｌｙｍｅｒ（ＭＤＬ　Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ　Ｓｙｓｔｅｍｓ，　Ｉｎｃ．）を用いて行うことができる。
　樹脂（Ａ）のＴｇを大きくする（好ましくは、Ｔｇを９０℃超とする）には、樹脂（Ａ）の主鎖の運動性を低下させることが好ましい。樹脂（Ａ）の主鎖の運動性を低下させる方法は、以下の（ａ）～（ｅ）の方法が挙げられる。
（ａ）主鎖への嵩高い置換基の導入
（ｂ）主鎖への複数の置換基の導入
（ｃ）主鎖近傍への樹脂（Ａ）間の相互作用を誘発する置換基の導入
（ｄ）環状構造での主鎖形成
（ｅ）主鎖への環状構造の連結
　なお、樹脂（Ａ）は、ホモポリマーのＴｇが１３０℃以上を示す繰り返し単位を有することが好ましい。
　なお、ホモポリマーのＴｇが１３０℃以上を示す繰り返し単位の種類は特に制限されず、Ｂｉｃｅｒａｎｏ法により算出されるホモポリマーのＴｇが１３０℃以上である繰り返し単位であればよい。なお、後述する式（Ａ）～式（Ｅ）で表される繰り返し単位中の官能基の種類によっては、ホモポリマーのＴｇが１３０℃以上を示す繰り返し単位に該当する。
（式（Ａ）で表される繰り返し単位）
　上記（ａ）の具体的な達成手段の一例としては、樹脂（Ａ）に式（Ａ）で表される繰り返し単位を導入する方法が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000070
　式（Ａ）、ＲＡは、多環構造を有する基を表す。Ｒｘは、水素原子、メチル基、又は、エチル基を表す。多環構造を有する基とは、複数の環構造を有する基であり、複数の環構造は縮合していても、縮合していなくてもよい。
　式（Ａ）で表される繰り返し単位の具体例としては、国際公開第２０１８/１９３９５４号公報の段落［０１０７］～［０１１９］に記載のものが挙げられる。
（式（Ｂ）で表される繰り返し単位）
　上記（ｂ）の具体的な達成手段の一例としては、樹脂（Ａ）に式（Ｂ）で表される繰り返し単位を導入する方法が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000071
　式（Ｂ）中、Ｒｂ１～Ｒｂ４は、それぞれ独立に、水素原子又は有機基を表し、Ｒｂ１～Ｒｂ４のうち少なくとも２つ以上が有機基を表す。
　また、有機基の少なくとも１つが、繰り返し単位中の主鎖に直接環構造が連結している基である場合、他の有機基の種類は特に制限されない。
　また、有機基のいずれも繰り返し単位中の主鎖に直接環構造が連結している基ではない場合、有機基の少なくとも２つ以上は、水素原子を除く構成原子の数が３つ以上である置換基である。
　式（Ｂ）で表される繰り返し単位の具体例としては、国際公開第２０１８／１９３９５４号公報の段落［０１１３］～［０１１５］に記載のものが挙げられる。
（式（Ｃ）で表される繰り返し単位）
　上記（ｃ）の具体的な達成手段の一例としては、樹脂（Ａ）に式（Ｃ）で表される繰り返し単位を導入する方法が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000072
　式（Ｃ）中、Ｒｃ１～Ｒｃ４は、それぞれ独立に、水素原子又は有機基を表し、Ｒｃ１～Ｒｃ４のうち少なくとも１つが、主鎖炭素から原子数３以内に水素結合性の水素原子を有する基である。なかでも、樹脂（Ａ）の主鎖間の相互作用を誘発する上で、原子数２以内（より主鎖近傍側）に水素結合性の水素原子を有することが好ましい。
　式（Ｃ）で表される繰り返し単位の具体例としては、国際公開第２０１８／１９３９５４号公報の段落［０１１９］～［０１２１］に記載のものが挙げられる。
（式（Ｄ）で表される繰り返し単位）
　上記（ｄ）の具体的な達成手段の一例としては、樹脂（Ａ）に式（Ｄ）で表される繰り返し単位を導入する方法が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000073
　式（Ｄ）中、「ｃｙｌｉｃ」は、環状構造で主鎖を形成している基を表す。環の構成原子数は特に制限されない。
　式（Ｄ）で表される繰り返し単位の具体例としては、国際公開第２０１８/１９３９５４号公報の段落［０１２６］～［０１２７］に記載のものが挙げられる。
（式（Ｅ）で表される繰り返し単位）
　上記（ｅ）の具体的な達成手段の一例としては、樹脂（Ａ）に式（Ｅ）で表される繰り返し単位を導入する方法が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000074
　式（Ｅ）中、Ｒｅは、水素原子又は有機基を表す。有機基としては、置換機を有してもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、及び、アルケニル基等が挙げられる。
　「ｃｙｌｉｃ」は、主鎖の炭素原子を含む環状基である。環状基に含まれる原子数は特に制限されない。
　式（Ｅ）で表される繰り返し単位の具体例としては、国際公開第２０１８／１９３９５４号公報の段落［０１３１］～［０１３３］に記載のものが挙げられる。
　式（Ｅ）で表される繰り返し単位の含有量は、樹脂（Ａ）中の全繰り返し単位に対して、５モル％以上が好ましく、１０モル％以上がより好ましい。また、その上限値としては、６０モル％以下が好ましく、５５モル％以下がより好ましい。
（ラクトン基、スルトン基、カーボネート基、水酸基、シアノ基、及び、アルカリ可溶性基から選択される少なくとも１種類の基を有する繰り返し単位）
　樹脂（Ａ）は、ラクトン基、スルトン基、カーボネート基、水酸基、シアノ基、及び、アルカリ可溶性基から選択される少なくとも１種類の基を有する繰り返し単位を有していてもよい。
　樹脂（Ａ）が有するラクトン基、スルトン基、又は、カーボネート基を有する繰り返し単位としては、上述した＜ラクトン基、スルトン基、又は、カーボネート基を有する繰り返し単位＞で説明した繰り返し単位が挙げられる。好ましい含有量も上述した＜ラクトン基、スルトン基、又は、カーボネート基を有する繰り返し単位＞で説明した通りである。
　樹脂（Ａ）は、水酸基又はシアノ基を有する繰り返し単位を有していてもよい。これにより基板密着性、現像液親和性が向上する。
　水酸基又はシアノ基を有する繰り返し単位は、水酸基又はシアノ基で置換された脂環炭化水素構造を有する繰り返し単位であることが好ましい。
　水酸基又はシアノ基を有する繰り返し単位は、酸分解性基を有さないことが好ましい。水酸基又はシアノ基を有する繰り返し単位としては、国際公開第２０２０／００４３０６号公報の段落［０１５３］～［０１５８］に記載のものが挙げられる。
　樹脂（Ａ）は、アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位を有していてもよい。
　アルカリ可溶性基としては、カルボキシル基、スルホンアミド基、スルホニルイミド基、ビスルスルホニルイミド基、α位が電子求引性基で置換された脂肪族アルコール（例えば、ヘキサフルオロイソプロパノール基）が挙げられ、カルボキシル基が好ましい。樹脂（Ａ）がアルカリ可溶性基を有する繰り返し単位を含むことにより、コンタクトホール用途での解像性が増す。
　アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位としては、アクリル酸及びメタクリル酸による繰り返し単位のような樹脂の主鎖に直接アルカリ可溶性基が結合している繰り返し単位、又は、連結基を介して樹脂の主鎖にアルカリ可溶性基が結合している繰り返し単位が挙げられる。なお、連結基は、単環又は多環の環状炭化水素構造を有していてもよい。
　アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位としては、アクリル酸又はメタクリル酸による繰り返し単位が好ましい。
　アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位の含有量は、樹脂（Ａ）中の全繰り返し単位に対して、０モル％以上が好ましく、３モル％以上がより好ましく、５モル％以上が更に好ましい。その上限値としては、２０モル％以下が好ましく、１５モル％以下がより好ましく、１０モル％以下が更に好ましい。
　アルカリ可溶性基を有する繰り返し単位の具体例を以下に示すが、本発明は、これに限定されるものではない。具体例中、ＲｘはＨ、ＣＨ３、ＣＨ２ＯＨ、又は、ＣＦ３を表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000075
　ラクトン基、水酸基、シアノ基、及び、アルカリ可溶性基から選択される少なくとも１種類の基を有する繰り返し単位として、ラクトン基、水酸基、シアノ基、及び、アルカリ可溶性基から選択される少なくとも２つを有する繰り返し単位が好ましく、シアノ基とラクトン基を有する繰り返し単位がより好ましく、一般式（ＬＣ１－４）で表されるラクトン構造にシアノ基が置換した構造を有する繰り返し単位が更に好ましい。
（脂環炭化水素構造を有し、酸分解性を示さない繰り返し単位）
　樹脂（Ａ）は、脂環炭化水素構造を有し、酸分解性を示さない繰り返し単位を有してもよい。これにより液浸露光時にレジスト膜から液浸液への低分子成分の溶出が低減できる。このような繰り返し単位として、例えば、１－アダマンチル（メタ）アクリレート、ジアマンチル（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、又は、シクロヘキシル（メタ）アクリレート由来の繰り返し単位等が挙げられる。
（水酸基及びシアノ基のいずれも有さない、一般式（ＩＩＩ）で表される繰り返し単位）
　樹脂（Ａ）は、水酸基及びシアノ基のいずれも有さない、一般式（ＩＩＩ）で表される繰り返し単位を有していてもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000076
　一般式（ＩＩＩ）中、Ｒ５は少なくとも一つの環状構造を有し、水酸基及びシアノ基のいずれも有さない炭化水素基を表す。
　Ｒａは水素原子、アルキル基又は－ＣＨ２－Ｏ－Ｒａ２基を表す。式中、Ｒａ２は、水素原子、アルキル基又はアシル基を表す。
　Ｒ５が有する環状構造には、単環炭化水素基及び多環炭化水素基が含まれる。単環炭化水素基としては、例えば、炭素数３～１２（より好ましくは炭素数３～７）のシクロアルキル基、又は、炭素数３～１２のシクロアルケニル基が挙げられる。
　一般式（ＩＩＩ）中の各基の詳細な定義、及び、繰り返し単位の具体例としては、国際公開第２０２０／００４３０６号公報の段落［０１６９］～［０１７３］に記載のものが挙げられる。
（その他の繰り返し単位）
　更に、樹脂（Ａ）は、上述した繰り返し単位以外の繰り返し単位を有してもよい。
　例えば樹脂（Ａ）は、オキサチアン環基を有する繰り返し単位、オキサゾロン環基を有する繰り返し単位、ジオキサン環基を有する繰り返し単位、及び、ヒダントイン環基を有する繰り返し単位からなる群から選択される繰り返し単位を有していてもよい。
　このような繰り返し単位を以下に例示する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000077
　樹脂（Ａ）は、上記の繰り返し構造単位以外に、ドライエッチング耐性、標準現像液適性、基板密着性、レジストプロファイル、解像力、耐熱性、及び、感度等を調節する目的で様々な繰り返し構造単位を有していてもよい。
　樹脂（Ａ）としては、（特に、組成物がＡｒＦ用の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物として用いられる場合）繰り返し単位の全てが（メタ）アクリレート系繰り返し単位で構成されるのも好ましい。この場合、繰り返し単位の全てがメタクリレート系繰り返し単位であるもの、繰り返し単位の全てがアクリレート系繰り返し単位であるもの、及び、繰り返し単位の全てがメタクリレート系繰り返し単位とアクリレート系繰り返し単位とによるもののいずれのものでも用いることができ、アクリレート系繰り返し単位が全繰り返し単位の５０モル％以下であることが好ましい。
　樹脂（Ａ）は、常法に従って（例えばラジカル重合）合成できる。
　ＧＰＣ法によりポリスチレン換算値として、樹脂（Ａ）の重量平均分子量は、１０００～２０００００が好ましく、３，０００～２００００がより好ましく、５，０００～１５０００が更に好ましい。樹脂（Ａ）の重量平均分子量を、１０００～２０００００とすることにより、耐熱性及びドライエッチング耐性の劣化をより一層抑制できる。また、現像性の劣化、及び、粘度が高くなって製膜性が劣化することもより一層抑制できる。
　樹脂（Ａ）の分散度（分子量分布）は、通常１～５であり、１～３が好ましく、１．２０～３．００がより好ましく、１．２０～２．００が更に好ましい。分散度が小さいものほど、解像度、及び、レジスト形状がより優れ、更に、レジストパターンの側壁がよりスムーズであり、ラフネス性にもより優れる。
　本発明の組成物において、樹脂（Ａ）の含有量は、組成物の全固形分に対して、５０～９９．９質量％が好ましく、６０～９９．０質量％がより好ましい。
　なお、固形分とは、組成物中の溶剤を除いた成分を意図し、溶剤以外の成分であれば液状成分であっても固形分とみなす。
　また、樹脂（Ａ）は、１種で使用してもよいし、複数併用してもよい。
＜その他の光酸発生剤＞
　レジスト組成物は、特定化合物には該当しないその他の光酸発生剤（特定化合物に該当しない、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物）を含んでいてもよい。その他の光酸発生剤は、露光（好ましくはＥＵＶ光及び／又はＡｒＦの露光）により酸を発生する化合物である。
　その他の光酸発生剤は、低分子化合物の形態であってもよく、重合体の一部に組み込まれた形態であってもよい。また、低分子化合物の形態と重合体の一部に組み込まれた形態を併用してもよい。
　その他の光酸発生剤が、低分子化合物の形態である場合、分子量は３０００以下が好ましく、２０００以下がより好ましく、１０００以下が更に好ましい。下限は、５０以上が好ましい。
　その他の光酸発生剤が、重合体の一部に組み込まれた形態である場合、樹脂（Ａ）の一部に組み込まれてもよく、樹脂（Ａ）とは異なる樹脂に組み込まれてもよい。
　本発明において、光酸発生剤が、低分子化合物の形態であるのが好ましい。
　その他の光酸発生剤は特に限定されず、なかでも、有機酸を発生する化合物が好ましく、
上記有機酸としては、特定化合物が発生し得る有機酸として説明した有機酸が同様に挙げられる。
　その他の光酸発生剤としては、例えば、「Ｍ＋　Ｙ－」で表される化合物（オニウム塩）が挙げられる。
　「Ｍ＋　Ｙ－」で表される化合物において、Ｙ－は、１価の有機アニオンを表す。
　「Ｍ＋　Ｙ－」におけるＹ－としては、上述した特定化合物に含まれる有機アニオンのうちの１価の有機アニオンが挙げられる。
　「Ｍ＋　Ｙ－」で表される化合物において、Ｍ＋は、１価の有機カチオンを表す。
　上記１価の有機カチオンは、それぞれ独立に、一般式（ＺａＩ）で表されるカチオン（カチオン（ＺａＩ））又は一般式（ＺａＩＩ）で表されるカチオン（カチオン（ＺａＩＩ））が好ましい。
　ただし、一般式（ＺａＩ）で表されるカチオンは、特定化合物（一般式（１）～（３）で表される化合物）におけるカチオン（Ｙ－以外の部分）とは異なる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000078
　上記一般式（ＺａＩ）において、
　Ｒ２０１、Ｒ２０２、及びＲ２０３は、それぞれ独立に、有機基を表す。
　Ｒ２０１、Ｒ２０２、及びＲ２０３としての有機基の炭素数は、通常１～３０であり、１～２０が好ましい。また、Ｒ２０１～Ｒ２０３のうち２つが結合して環構造を形成してもよく、環内に酸素原子、硫黄原子、エステル基、アミド基、又はカルボニル基を含んでいてもよい。Ｒ２０１～Ｒ２０３の内の２つが結合して形成する基としては、例えば、アルキレン基（例えば、ブチレン基、ペンチレン基）、及び－ＣＨ２－ＣＨ２－Ｏ－ＣＨ２－ＣＨ２－が挙げられる。
　一般式（ＺａＩ）におけるカチオンとしては、例えば、後述するカチオン（ＺａＩ－１）が挙げられる。
　カチオン（ＺａＩ－１）は、上記一般式（ＺａＩ）のＲ２０１～Ｒ２０３の少なくとも１つがアリール基である、アリールスルホニウムカチオンである。
　アリールスルホニウムカチオンは、Ｒ２０１～Ｒ２０３の全てがアリール基でもよいし、Ｒ２０１～Ｒ２０３の一部がアリール基であり、残りがアルキル基又はシクロアルキル基であってもよい。
　また、Ｒ２０１～Ｒ２０３のうちの１つがアリール基であり、Ｒ２０１～Ｒ２０３のうちの残りの２つが結合して環構造を形成してもよく、環内に酸素原子、硫黄原子、エステル基、アミド基、又はカルボニル基を含んでいてもよい。Ｒ２０１～Ｒ２０３のうちの２つが結合して形成する基としては、例えば、１つ以上のメチレン基が酸素原子、硫黄原子、エステル基、アミド基、及び／又はカルボニル基で置換されていてもよいアルキレン基（例えば、ブチレン基、ペンチレン基、又は－ＣＨ２－ＣＨ２－Ｏ－ＣＨ２－ＣＨ２－）が挙げられる。
　アリールスルホニウムカチオンとしては、例えば、トリアリールスルホニウムカチオン、ジアリールアルキルスルホニウムカチオン、アリールジアルキルスルホニウムカチオン、ジアリールシクロアルキルスルホニウムカチオン、及びアリールジシクロアルキルスルホニウムカチオンが挙げられる。
　アリールスルホニウムカチオンに含まれるアリール基は、フェニル基又はナフチル基が好ましく、フェニル基がより好ましい。アリール基は、酸素原子、窒素原子、又は硫黄原子等を有するヘテロ環構造を有するアリール基であってもよい。ヘテロ環構造としては、例えば、ピロール残基、フラン残基、チオフェン残基、インドール残基、ベンゾフラン残基、及びベンゾチオフェン残基等が挙げられる。アリールスルホニウムカチオンが２つ以上のアリール基を有する場合に、２つ以上あるアリール基は同一であっても異なっていてもよい。
　アリールスルホニウムカチオンが必要に応じて有しているアルキル基又はシクロアルキル基は、炭素数１～１５の直鎖状アルキル基、炭素数３～１５の分岐鎖状のアルキル基、又は、炭素数３～１５のシクロアルキル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔ－ブチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、又はシクロヘキシル基がより好ましい。
　Ｒ２０１～Ｒ２０３のアリール基、アルキル基、及びシクロアルキル基が有していてもよい置換基は、それぞれ独立に、アルキル基（例えば炭素数１～１５）、シクロアルキル基（例えば炭素数３～１５）、アリール基（例えば炭素数６～１４）、アルコキシ基（例えば炭素数１～１５）、シクロアルキルアルコキシ基（例えば炭素数３～１５）、ハロゲン原子（例えばフッ素、ヨウ素）、水酸基、カルボキシル基、エステル基、スルフィニル基、スルホニル基、アルキルチオ基、又はフェニルチオ基が好ましい。
　上記置換基は可能な場合は更に置換基を有していてもよく、例えば、上記アルキル基が置換基としてハロゲン原子を有して、トリフルオロメチル基等のハロゲン化アルキル基となっていてもよい。
　上記置換基は任意の組み合わせにより、酸分解性基を形成することも好ましい。酸分解性基とは、酸の作用により分解して極性基を生じる基であり、酸分解性基は、酸の作用により脱離する脱離基で極性基が保護された構造を有することが好ましい。極性基、脱離基、及び、酸分解性基の例示としては、上述した特定化合物で例示したものが挙げられる。
　他の光酸発生剤としては、例えば、以下の化合物が挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000079
　レジスト組成物中がその他の光酸発生剤を含む場合、その含有量は特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、組成物の全固形分に対して、０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましく、２質量％以上が更に好ましい。また、上記含有量は、４０質量％以下が好ましく、３５質量％以下がより好ましく、３０質量％以下が更に好ましい。
　光酸発生剤は、１種単独で使用してもよく、２種以上を使用してもよい。
＜溶剤＞
　レジスト組成物は、溶剤を含んでいてもよい。
　溶剤は、（Ｍ１）プロピレングリコールモノアルキルエーテルカルボキシレート、並びに、（Ｍ２）プロピレングリコールモノアルキルエーテル、乳酸エステル、酢酸エステル、アルコキシプロピオン酸エステル、鎖状ケトン、環状ケトン、ラクトン、及び、アルキレンカーボネートからなる群から選択される少なくとも１つの少なくとも一方を含んでいるのが好ましい。なお、この溶剤は、成分（Ｍ１）及び（Ｍ２）以外の成分を更に含んでいてもよい。
　本発明者らは、このような溶剤と上述した樹脂とを組み合わせて用いると、組成物の塗布性が向上すると共に、現像欠陥数の少ないパターンが形成可能となることを見出している。その理由は必ずしも明らかではないが、これら溶剤は、上述した樹脂の溶解性、沸点及び粘度のバランスが良いため、組成物膜の膜厚のムラ及びスピンコート中の析出物の発生等を抑制できることに起因していると本発明者らは考えている。
　成分（Ｍ１）及び成分（Ｍ２）の詳細は、国際公開第２０２０／００４３０６号公報の段落［０２１８］～［０２２６］に記載される。
　溶剤は、成分（Ｍ１）及び（Ｍ２）以外の成分を更に含んでいてもよい。この場合、成分（Ｍ１）及び（Ｍ２）以外の成分の含有量は、溶剤の全量に対して、５～３０質量％が好ましい。
　レジスト組成物中の溶剤の含有量は、固形分濃度が０．５～３０質量％となるように定めるのが好ましく、１～２０質量％となるように定めるのがより好ましい。こうすると、レジスト組成物の塗布性を更に向上させられる。
　なお、固形分とは、溶剤以外の全ての成分を意味する。
＜酸拡散制御剤＞
　レジスト組成物は、酸拡散制御剤を更に含んでいてもよい。酸拡散制御剤は、光酸発生剤から生じた酸をトラップするクエンチャーとして作用し、レジスト膜中における酸の拡散現象を制御する役割を果たす。
　酸拡散制御剤は、例えば、塩基性化合物が挙げられる。
　塩基性化合物は、下記一般式（Ａ）～（Ｅ）で示される構造を有する化合物が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000080
　一般式（Ａ）及び一般式（Ｅ）中、Ｒ２００、Ｒ２０１及びＲ２０２は、同一でも異なってもよく、水素原子、アルキル基（好ましくは炭素数１～２０）、シクロアルキル基（好ましくは炭素数３～２０）、又はアリール基（好ましくは炭素数６～２０）を表し、ここで、Ｒ２０１とＲ２０２は、互いに結合して環を形成してもよい。
　上記アルキル基について、置換基を有するアルキル基は、炭素数１～２０のアミノアルキル基、炭素数１～２０のヒドロキシアルキル基、又は炭素数１～２０のシアノアルキル基が好ましい。
　Ｒ２０３、Ｒ２０４、Ｒ２０５及びＲ２０６は、同一でも異なってもよく、炭素数１～２０のアルキル基を表す。
　これら一般式（Ａ）及び（Ｅ）中のアルキル基は、無置換が好ましい。
　レジスト組成物は、酸拡散制御剤として、プロトンアクセプター性官能基を有し、かつ、活性光線又は放射線の照射により分解してプロトンアクセプター性が低下若しくは消失、又はプロトンアクセプター性から酸性に変化した化合物を発生する化合物（以下、「化合物（ＰＡ）」ともいう。）を含んでいてもよい。
　プロトンアクセプター性官能基とは、プロトンと静電的に相互作用し得る基、又は電子を有する官能基であって、例えば、環状ポリエーテル等のマクロサイクリック構造を有する官能基、又は、π共役に寄与しない非共有電子対を持った窒素原子を有する官能基を意味する。π共役に寄与しない非共有電子対を有する窒素原子とは、例えば、下記一般式に示す部分構造を有する窒素原子である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000081
　酸拡散制御剤としては、国際公開第２０２０／００４３０６号公報の段落［０２３８］～［０２７１］に記載される化合物が挙げられる。
　レジスト組成物が酸拡散制御剤を含む場合、酸拡散制御剤の含有量は、レジスト組成物の全固形分に対して、０．００１～１５質量％が好ましく、０．０１～１０質量％がより好ましい。
　酸拡散制御剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
　また、レジスト組成物が式（ｄ１－１）～（ｄ１－３）のいずれかで表されるアニオンを有する特定化合物及び／又は式（ｄ１－１）～（ｄ１－３）のいずれかで表されるアニオンを有するその他の光酸発生剤（以下、これらを総称して「ｄ１系光酸発生剤」ともいう。）を含む場合、ｄ１系光酸発生剤にも酸拡散制御剤としての役割を持たせることもできる。レジスト組成物がｄ１系光酸発生剤を含む場合、レジスト組成物が酸拡散制御剤を実質的に含まないのも好ましい。ここで酸拡散制御剤を実質的に含まないとは、酸拡散制御剤の含有量が、ｄ１系光酸発生剤の合計含有量に対して５質量％以下であることを意図する。
　また、レジスト組成物がｄ１系光酸発生剤と酸拡散制御剤との両方を含む場合、その合計含有量は、１～３０質量％が好ましく、３～２０質量％がより好ましい。
　光酸発生剤と酸拡散制御剤とのレジスト組成物中の使用割合は、光酸発生剤／酸拡散制御剤（モル比）＝２．０～３００が好ましい。感度及び解像度の点からモル比は２．０以上が好ましい。上限は特に制限されないが、露光後加熱処理までの経時でのレジストパターンの太りによる解像度の低下抑制の点からモル比は３００以下が好ましい。光酸発生剤／酸拡散制御剤（モル比）は、２．０～２００がより好ましく、２．０～１５０が更に好ましい。
　酸拡散制御剤としては、例えば、特開２０１３－１１８３３号公報の段落［０１４０］～［０１４４］に記載の化合物（アミン化合物、アミド基含有化合物、ウレア化合物、及び含窒素複素環化合物等）も挙げられる。
＜疎水性樹脂＞
　レジスト組成物は、上記樹脂（Ａ）とは別に、樹脂（Ａ）とは異なる疎水性樹脂を含んでいてもよい。
　疎水性樹脂はレジスト膜の表面に偏在するように設計されるのが好ましいが、界面活性剤とは異なり、必ずしも分子内に親水基を有する必要はなく、極性物質及び非極性物質の均一な混合に寄与しなくてもよい。
　疎水性樹脂の添加による効果として、水に対するレジスト膜表面の静的及び動的な接触角の制御、並びに、アウトガスの抑制等が挙げられる。
　疎水性樹脂は、膜表層への偏在化の点から、“フッ素原子”、“珪素原子”、及び“樹脂の側鎖部分に含まれたＣＨ３部分構造”のいずれか１種以上を有することが好ましく、２種以上を有することがより好ましい。また、上記疎水性樹脂は、炭素数５以上の炭化水素基を有することが好ましい。これらの基は樹脂の主鎖中に有していても、側鎖に置換していてもよい。
　疎水性樹脂としては、国際公開第２０２０／００４３０６号公報の段落［０２７５］～［０２７９］に記載される化合物が挙げられる。
　レジスト組成物が疎水性樹脂を含む場合、疎水性樹脂の含有量は、レジスト組成物の全固形分に対して、０．０１～２０質量％が好ましく、０．１～１５質量％がより好ましい。
＜界面活性剤＞
　レジスト組成物は、界面活性剤を含んでいてもよい。
　界面活性剤を含む場合、密着性により優れ、現像欠陥のより少ないパターンを形成できる。
　界面活性剤は、フッ素系及び／又はシリコン系界面活性剤が好ましい。
　界面活性剤としては、国際公開第２０２０／００４３０６号公報の段落［０２８１］～［０２８２］に記載される化合物が挙げられる。
　界面活性剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を使用してもよい。
　レジスト組成物が界面活性剤を含む場合、界面活性剤の含有量は、組成物の全固形分に対して、０．０００１～２質量％が好ましく、０．０００５～１質量％がより好ましく、０．０５～０．５が更に好ましい。
＜その他の添加剤＞
　レジスト組成物は、溶解阻止化合物、染料、可塑剤、光増感剤、光吸収剤、及び／又は現像液に対する溶解性を促進させる化合物（例えば、分子量１０００以下のフェノール化合物、又はカルボン酸基を有する脂環族若しくは脂肪族化合物）を更に含んでいてもよい。
　レジスト組成物は、溶解阻止化合物を更に含んでいてもよい。ここで「溶解阻止化合物」とは、酸の作用により分解して有機系現像液中での溶解度が減少する、分子量３０００以下の化合物である。
　本発明のレジスト組成物は、ＥＵＶ光用感光性組成物として好適に用いられる。
　ＥＵＶ光は波長１３．５ｎｍであり、ＡｒＦ（波長１９３ｎｍ）光等に比べて、より短波長であるため、同じ感度で露光された際の入射フォトン数が少ない。そのため、確率的にフォトンの数がばらつく“フォトンショットノイズ”の影響が大きく、ＬＥＲの悪化およびブリッジ欠陥を招く。フォトンショットノイズを減らすには、露光量を大きくして入射フォトン数を増やす方法があるが、高感度化の要求とトレードオフとなる。
　下記式（１）で求められるＡ値が高い場合は、レジスト組成物より形成されるレジスト膜のＥＵＶ光及び電子線の吸収効率が高くなるなり、フォトンショットノイズの低減に有効である。Ａ値は、レジスト膜の質量割合のＥＵＶ光及び電子線の吸収効率を表す。
式（１）：Ａ＝（［Ｈ］×０．０４＋［Ｃ］×１．０＋［Ｎ］×２．１＋［Ｏ］×３．６＋［Ｆ］×５．６＋［Ｓ］×１．５＋［Ｉ］×３９．５）／（［Ｈ］×１＋［Ｃ］×１２＋［Ｎ］×１４＋［Ｏ］×１６＋［Ｆ］×１９＋［Ｓ］×３２＋［Ｉ］×１２７）
　Ａ値は０．１２０以上が好ましい。上限は特に制限されないが、Ａ値が大きすぎる場合、レジスト膜のＥＵＶ光及び電子線透過率が低下し、レジスト膜中の光学像プロファイルが劣化し、結果として良好なパターン形状が得られにくくなるため、０．２４０以下が好ましく、０．２２０以下がより好ましい。
　なお、式（１）中、［Ｈ］は、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物中の全固形分の全原子に対する、全固形分由来の水素原子のモル比率を表し、［Ｃ］は、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物中の全固形分の全原子に対する、全固形分由来の炭素原子のモル比率を表し、［Ｎ］は、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物中の全固形分の全原子に対する、全固形分由来の窒素原子のモル比率を表し、［Ｏ］は、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物中の全固形分の全原子に対する、全固形分由来の酸素原子のモル比率を表し、［Ｆ］は、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物中の全固形分の全原子に対する、全固形分由来のフッ素原子のモル比率を表し、［Ｓ］は、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物中の全固形分の全原子に対する、全固形分由来の硫黄原子のモル比率を表し、［Ｉ］は、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物中の全固形分の全原子に対する、全固形分由来のヨウ素原子のモル比率を表す。
　例えば、レジスト組成物が酸の作用により極性が増大する樹脂（酸分解性樹脂）、光酸発生剤、酸拡散制御剤、及び溶剤を含む場合、上記樹脂、上記光酸発生剤、及び上記酸拡散制御剤が固形分に該当する。つまり、全固形分の全原子とは、上記樹脂由来の全原子、上記光酸発生剤由来の全原子、及び、上記酸拡散制御剤由来の全原子の合計に該当する。例えば、［Ｈ］は、全固形分の全原子に対する、全固形分由来の水素原子のモル比率を表し、上記例に基づいて説明すると、［Ｈ］は、上記樹脂由来の全原子、上記光酸発生剤由来の全原子、及び、上記酸拡散制御剤由来の全原子の合計に対する、上記樹脂由来の水素原子、上記光酸発生剤由来の水素原子、及び、上記酸拡散制御剤由来の水素原子の合計のモル比率を表すことになる。
　Ａ値の算出は、レジスト組成物中の全固形分の構成成分の構造、及び、含有量が既知の場合には、含有される原子数比を計算し、算出できる。また、構成成分が未知の場合であっても、レジスト組成物の溶剤成分を蒸発させて得られたレジスト膜に対して、元素分析等の解析的な手法によって構成原子数比を算出可能である。
〔レジスト膜、パターン形成方法〕
　上記レジスト組成物を用いたパターン形成方法の手順は特に制限されないが、以下の工程を有するのが好ましい。
工程１：レジスト組成物を用いて、基板上にレジスト膜を形成する工程
工程２：レジスト膜を露光する工程
工程３：現像液を用いて、露光されたレジスト膜を現像し、パターンを形成する工程
　以下、上記それぞれの工程の手順について詳述する。
＜工程１：レジスト膜形成工程＞
　工程１は、レジスト組成物を用いて、基板上にレジスト膜を形成する工程である。
　レジスト組成物の定義は、上述の通りである。
　レジスト組成物を用いて基板上にレジスト膜を形成する方法としては、例えば、レジスト組成物を基板上に塗布する方法が挙げられる。
　なお、塗布前にレジスト組成物を必要に応じてフィルター濾過することが好ましい。フィルターのポアサイズは、０．１μｍ以下が好ましく、０．０５μｍ以下がより好ましく、０．０３μｍ以下が更に好ましい。また、フィルターは、ポリテトラフルオロエチレン製、ポリエチレン製、又はナイロン製が好ましい。
　レジスト組成物は、集積回路素子の製造に使用されるような基板（例：シリコン、二酸化シリコン被覆）上に、スピナー又はコーター等の適当な塗布方法により塗布できる。塗布方法は、スピナーを用いたスピン塗布が好ましい。スピナーを用いたスピン塗布をする際の回転数は、１０００～３０００ｒｐｍが好ましい。
　レジスト組成物の塗布後、基板を乾燥し、レジスト膜を形成してもよい。なお、必要により、レジスト膜の下層に、各種下地膜（無機膜、有機膜、及び反射防止膜）を形成してもよい。
　乾燥方法としては、例えば、加熱して乾燥する方法が挙げられる。加熱は通常の露光機、及び／又は、現像機に備わっている手段で実施でき、ホットプレート等を用いて実施してもよい。加熱温度は８０～１５０℃が好ましく、８０～１４０℃がより好ましく、８０～１３０℃が更に好ましい。加熱時間は３０～１０００秒が好ましく、６０～８００秒がより好ましく、６０～６００秒が更に好ましい。
　レジスト膜の膜厚は特に制限されないが、より高精度な微細パターンを形成できる点から、１０～６５ｎｍが好ましく、１５～５０ｎｍがより好ましい。
　なお、レジスト膜の上層にトップコート組成物を用いてトップコートを形成してもよい。
　トップコート組成物は、レジスト膜と混合せず、更にレジスト膜上層に均一に塗布できるのが好ましい。
　トップコートは、特に限定されず、従来公知のトップコートを、従来公知の方法によって形成でき、例えば、特開２０１４－０５９５４３号公報の段落［００７２］～［００８２］の記載に基づいてトップコートを形成できる。
　例えば、特開２０１３－６１６４８号公報に記載されたような塩基性化合物を含むトップコートを、レジスト膜上に形成するのが好ましい。トップコートが含み得る塩基性化合物の具体的な例は、レジスト組成物が含んでいてもよい塩基性化合物が挙げられる。
　また、トップコートは、エーテル結合、チオエーテル結合、水酸基、チオール基、カルボニル結合、及び、エステル結合からなる群から選択される基又は結合を少なくとも一つ含む化合物を含むのも好ましい。
＜工程２：露光工程＞
　工程２は、レジスト膜を露光する工程である。
　露光の方法としては、例えば、形成したレジスト膜に所定のマスクを通してＥＵＶ光を照射する方法が挙げられる。
　露光後、現像を行う前にベーク（加熱）を行うのが好ましい。ベークにより露光部の反応が促進され、感度及びパターン形状がより良好となる。
　加熱温度は８０～１５０℃が好ましく、８０～１４０℃がより好ましく、８０～１３０℃が更に好ましい。
　加熱時間は１０～１０００秒が好ましく、１０～１８０秒がより好ましく、３０～１２０秒が更に好ましい。
　加熱は通常の露光機及び／又は現像機に備わっている手段で実施でき、ホットプレート等を用いて行ってもよい。
　この工程は露光後ベークともいう。
＜工程３：現像工程＞
　工程３は、現像液を用いて、露光されたレジスト膜を現像し、パターンを形成する工程である。
　現像液は、アルカリ現像液であっても、有機溶剤を含有する現像液（以下、「有機系現像液」ともいう。）であってもよい。
　現像方法としては、例えば、現像液が満たされた槽中に基板を一定時間浸漬する方法（ディップ法）、基板表面に現像液を表面張力によって盛り上げて一定時間静止して現像する方法（パドル法）、基板表面に現像液を噴霧する方法（スプレー法）、及び、一定速度で回転している基板上に一定速度で現像液吐出ノズルをスキャンしながら現像液を吐出しつづける方法（ダイナミックディスペンス法）が挙げられる。
　また、現像を行う工程の後に、他の溶剤に置換しながら、現像を停止する工程を実施してもよい。
　現像時間は未露光部の樹脂が十分に溶解する時間であれば特に制限はなく、１０～３００秒が好ましく、２０～１２０秒がより好ましい。
　現像液の温度は０～５０℃が好ましく、１５～３５℃がより好ましい。
　アルカリ現像液は、アルカリを含むアルカリ水溶液を用いるのが好ましい。アルカリ水溶液の種類は特に制限されないが、例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドに代表される４級アンモニウム塩、無機アルカリ、１級アミン、２級アミン、３級アミン、アルコールアミン、又は、環状アミン等を含むアルカリ水溶液が挙げられる。なかでも、アルカリ現像液は、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）に代表される４級アンモニウム塩の水溶液であるのが好ましい。アルカリ現像液には、アルコール類、界面活性剤等を適当量添加してもよい。アルカリ現像液のアルカリ濃度は、通常、０．１～２０質量％である。また、アルカリ現像液のｐＨは、通常、１０．０～１５．０である。
　有機系現像液は、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤、及び、炭化水素系溶剤からなる群から選択される少なくとも１種の有機溶剤を含有する現像液であるのが好ましい。
＜他の工程＞
　上記パターン形成方法は、工程３の後に、リンス液を用いて洗浄する工程を含むのが好ましい。
　アルカリ現像液を用いて現像する工程の後のリンス工程に用いるリンス液としては、例えば、純水が挙げられる。なお、純水には、界面活性剤を適当量添加してもよい。
　リンス液には、界面活性剤を適当量添加してもよい。
　有機系現像液を用いた現像工程の後のリンス工程に用いるリンス液は、パターンを溶解しないものであれば特に制限はなく、一般的な有機溶剤を含む溶液を使用できる。リンス液は、炭化水素系溶剤、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、及び、エーテル系溶剤からなる群から選択される少なくとも１種の有機溶剤を含有するリンス液を用いるのが好ましい。
　炭化水素系溶剤、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、及びエーテル系溶剤の例としては、有機溶剤を含む現像液において説明したものと同様のものが挙げられる。
　リンス工程の方法は特に限定されず、例えば、一定速度で回転している基板上にリンス液を吐出しつづける方法（回転塗布法）、リンス液が満たされた槽中に基板を一定時間浸漬する方法（ディップ法）、及び基板表面にリンス液を噴霧する方法（スプレー法）等が挙げられる。
　また、本発明のパターン形成方法は、リンス工程の後に加熱工程（Ｐｏｓｔ　Ｂａｋｅ）を含んでいてもよい。本工程により、ベークによりパターン間及びパターン内部に残留した現像液及びリンス液が除去される。また、本工程により、レジストパターンがなまされ、パターンの表面荒れが改善される効果もある。リンス工程の後の加熱工程は、通常４０～２５０℃（好ましくは９０～２００℃）で、通常１０秒間～３分間（好ましくは３０秒間～１２０秒間）行う。
　また、形成されたパターンをマスクとして、基板のエッチング処理を実施してもよい。つまり、工程３にて形成されたパターンをマスクとして、基板（又は、下層膜及び基板）を加工して、基板にパターンを形成してもよい。
　基板（又は、下層膜及び基板）の加工方法は特に限定されないが、工程３で形成されたパターンをマスクとして、基板（又は、下層膜及び基板）に対してドライエッチングを行うことにより、基板にパターンを形成する方法が好ましい。
　ドライエッチングは、１段のエッチングであっても、複数段からなるエッチングであってもよい。エッチングが複数段からなるエッチングである場合、各段のエッチングは同一の処理であっても異なる処理であってもよい。
　エッチングは、公知の方法をいずれも使用でき、各種条件等は、基板の種類又は用途等に応じて、適宜、決定される。例えば、国際光工学会紀要（Ｐｒｏｃ．ｏｆ　ＳＰＩＥ）Ｖｏｌ．６９２４，６９２４２０（２００８）、特開２００９－２６７１１２号公報等に準じて、エッチングを実施できる。また、「半導体プロセス教本　第４版　２００７年刊行　発行人：ＳＥＭＩジャパン」の「第４章　エッチング」に記載の方法に準ずることもできる。
　なかでも、ドライエッチングは、酸素プラズマエッチングが好ましい。
　レジスト組成物、及び本発明のパターン形成方法において使用される各種材料（例えば、溶剤、現像液、リンス液、反射防止膜形成用組成物、トップコート形成用組成物等）は、金属等の不純物を含まないのが好ましい。これら材料に含まれる不純物の含有量は、１質量ｐｐｍ以下が好ましく、１０質量ｐｐｂ以下がより好ましく、１００質量ｐｐｔ以下が更に好ましく、１０質量ｐｐｔ以下が特に好ましく、１質量ｐｐｔ以下が最も好ましい。ここで、金属不純物としては、例えば、Ｎａ、Ｋ、Ｃａ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｌｉ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｓｎ、Ａｇ、Ａｓ、Ａｕ、Ｂａ、Ｃｄ、Ｃｏ、Ｐｂ、Ｔｉ、Ｖ、Ｗ、及びＺｎ等が挙げられる。
　各種材料から金属等の不純物を除去する方法としては、例えば、フィルターを用いた濾過が挙げられる。フィルターを用いた濾過の詳細は、国際公開第２０２０／００４３０６号公報の段落［０３２１］に記載される。
　また、各種材料に含まれる金属等の不純物を低減する方法としては、例えば、各種材料を構成する原料として金属含有量が少ない原料を選択する方法、各種材料を構成する原料に対してフィルター濾過を行う方法、及び、装置内をテフロン（登録商標）でライニングする等してコンタミネーションを可能な限り抑制した条件下で蒸留を行う方法等が挙げられる。
　フィルター濾過の他、吸着材による不純物の除去を行ってもよく、フィルター濾過と吸着材とを組み合わせて使用してもよい。吸着材としては、公知の吸着材を使用でき、例えば、シリカゲル及びゼオライト等の無機系吸着材、並びに、活性炭等の有機系吸着材を使用できる。上記各種材料に含まれる金属等の不純物を低減するためには、製造工程における金属不純物の混入を防止する必要がある。製造装置から金属不純物が十分に除去されたかどうかは、製造装置の洗浄に使用された洗浄液中に含まれる金属成分の含有量を測定して確認できる。使用後の洗浄液に含まれる金属成分の含有量は、１００質量ｐｐｔ（ｐａｒｔｓ　ｐｅｒ　ｔｒｉｌｌｉｏｎ）以下が好ましく、１０質量ｐｐｔ以下がより好ましく、１質量ｐｐｔ以下が更に好ましい。
　リンス液等の有機系処理液には、静電気の帯電、引き続き生じる静電気放電に伴う、薬液配管及び各種パーツ（フィルター、Ｏ－リング、及びチューブ等）の故障を防止するため、導電性の化合物を添加してもよい。導電性の化合物は特に制限されないが、例えば、メタノールが挙げられる。添加量は特に制限されないが、好ましい現像特性又はリンス特性を維持する点で、１０質量％以下が好ましく、５質量％以下がより好ましい。
　薬液配管としては、例えば、ＳＵＳ（ステンレス鋼）、又は、帯電防止処理の施されたポリエチレン、ポリプロピレン、若しくは、フッ素樹脂（ポリテトラフルオロエチレン、又は、パーフロオロアルコキシ樹脂等）で被膜された各種配管を使用できる。フィルター及びＯ－リングに関しても同様に、帯電防止処理の施されたポリエチレン、ポリプロピレン、又は、フッ素樹脂（ポリテトラフルオロエチレン、又は、パーフロオロアルコキシ樹脂等）を使用できる。
　本発明の方法により形成されるパターンに対して、パターンの表面荒れを改善する方法を適用してもよい。パターンの表面荒れを改善する方法としては、例えば、国際公開第２０１４／００２８０８号に開示された水素を含有するガスのプラズマによってパターンを処理する方法が挙げられる。その他にも、特開２００４－２３５４６８号公報、米国特許出願公開第２０１０／００２０２９７号明細書、特開２００８－８３３８４号公報、及び、Ｐｒｏｃ．　ｏｆ　ＳＰＩＥ　Ｖｏｌ．８３２８　８３２８０Ｎ－１”ＥＵＶ　Ｒｅｓｉｓｔ　Ｃｕｒｉｎｇ　Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ　ｆｏｒ　ＬＷＲ　Ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ　ａｎｄ　Ｅｔｃｈ　Ｓｅｌｅｃｔｉｖｉｔｙ　Ｅｎｈａｎｃｅｍｅｎｔ”に記載されている公知の方法が挙げられる。
　形成されるパターンがライン状である場合、パターン高さをライン幅で割った値で求められるアスペクト比が、２．５以下が好ましく、２．１以下がより好ましく、１．７以下が更に好ましい。
　形成されるパターンがトレンチ（溝）パターン状又はコンタクトホールパターン状である場合、パターン高さをトレンチ幅又はホール径で割った値で求められるアスペクト比が、４．０以下が好ましく、３．５以下がより好ましく、３．０以下が更に好ましい。
　本発明のパターン形成方法は、ＤＳＡ（Ｄｉｒｅｃｔｅｄ　Ｓｅｌｆ－Ａｓｓｅｍｂｌｙ）におけるガイドパターン形成（例えば、ＡＣＳ　Ｎａｎｏ　Ｖｏｌ．４　Ｎｏ．８　Ｐａｇｅ４８１５－４８２３参照）にも使用できる。
　また、上記の方法によって形成されたパターンは、例えば、特開平３－２７０２２７号公報、及び、特開２０１３－１６４５０９号公報に開示されたスペーサープロセスの芯材（コア）として使用できる。
〔特定化合物の製造方法〕
　特定化合物の製造方法は特に制限されないが、塩基性化合物の存在下、一般式（４）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物と、一般式（５）で表される化合物とを反応させて、特定化合物を製造する工程を有する製造方法が好ましい。
　以下では、まず、上記製造方法で使用される材料について詳述し、その後、製造方法の手順について詳述する。
＜一般式（４）で表されるカチオンを有する化合物＞
　特定化合物の製造方法において、一般式（４）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物を用いる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000082
　一般式（４）中、Ｘｄ１、Ｒｄ１、Ｌｄ１、Ａｒｄ１、ｎ、ｍ、及びｐの定義は、それぞれ上述した一般式（１）中のＸｄ１、Ｒｄ１、Ｌｄ１、Ａｒｄ１、ｎ、ｍ、及びｐの定義と同じである。
　Ｒｄ３は、ハロゲン原子を表す。
　Ｒｄ３で表されるハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、及びヨウ素原子が挙げられる。なかでも、本発明の効果がより優れる点で、Ｒｄ３は、フッ素原子が好ましい。
　一般式（４）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物としては、一般式（４－１）で表される化合物、又は、一般式（４－２）で表される化合物が好ましい。
　一般式（４－１）　　Ｚｐ ＋Ｙ１ －
　一般式（４－１）中、Ｚｐ ＋は、一般式（４）で表されるカチオンを表す。
　Ｙ１ －は、１価の有機アニオンを表す。１価の有機アニオンとしては、上述した有機アニオンのうち１価のものを意図する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000083
　一般式（４－２）中、Ｚｐ ＋はカチオンを表し、Ｚｐ ＋の少なくとも１つが一般式（４）で表されるカチオンを表す。一般式（４）で表されるカチオン以外のカチオンは特に制限されず、公知のスルホニウムカチオン及びヨードニウムカチオンが挙げられる。
　Ｙ２ －は、アニオン性官能基を表す。アニオン性官能基の定義は、上述した通りである。
　Ｌは、ｑ価の連結基を表す。ｑは２以上の整数を表す。Ｌ及びｑの定義は、一般式（３）中のＬ及びｑの定義と同じである。
　一般式（４）で表される化合物は、一般式（Ｕ－１）で表される化合物が好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000084
　一般式（Ｕ－１）中、Ｙ１ －は、１価の有機アニオンを表す。１価の有機アニオンとしては、上述した有機アニオンのうち１価のものを意図する。
　ＲＵ１～ＲＵ３は、それぞれ独立に、ハロゲン原子を表す。
　ＲＵ１１～ＲＵ１３は、それぞれ独立に、有機基を表す。
　ＲＵ１１～ＲＵ１３は、一般式（Ｓ－１）中のＲｂ１～Ｒｂ３と同義である。
　一般式（Ｕ－１）中のａ１～ａ３、及びｂ１～ｂ３は、それぞれ一般式（Ｓ－１）中のａ１～ａ３、及びｂ１～ｂ３と同義である。
＜一般式（５）で表される化合物＞
　特定化合物の製造方法において、一般式（５）で表される化合物を用いる。
　一般式（５）　　ＨＳ－Ｘｄ２
　一般式（５）中、Ｘｄ２は、一般式（１－１）で表される基、又は、酸の作用により脱離する脱離基を表す。
　式（１－１）　　＊－Ｌｄ２－Ｒｄ２
　式（１－１）中、Ｌｄ２は、単結合又は２価の連結基を表す。Ｒｄ２は、酸の作用により分解して極性が増大する基を表す。＊は、結合位置を表す。
　一般式（５）中のＸｄ２、並びに、一般式（１－１）中、Ｌｄ２、及びＲｄ２の定義は、上述した通りである。
＜塩基性化合物＞
　特定化合物の製造方法において、塩基性化合物を用いる。
　塩基性化合物としては、有機化合物又は無機化合物であってもよい。
　塩基性化合物としては、例えば、１～４級アミン化合物、金属塩、及び、アルコシキ金属化合物等の有機金属化合物が挙げられる。また、塩基性化合物としては、酸拡散制御剤としての塩基性化合物を用いることもできる。なかでも、塩基性化合物は、アルカリ金属又はアルカリ土類金属の炭酸塩又は水酸化物が好ましい。
　有機化合物としては、例えば、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、エチレンジアミン、モノエタノールアミン、Ｎ－（β－アミノエチル）エタノールアミン、ヘキサメチレンジアミン、ジエチレントリアミン、及びトリエチレンテトラミン等のアミン化合物、並びにその誘導体；無水ピペラジン、ピペラジン六水和物、１－（２－アミノエチル）ピペラジン、及びＮ－メチルピペラジン等のピペラジン化合物、並びにその誘導体；ピリジン、ピリミジン、キノリン、及びアクリジン等のピリジン化合物、並びにその誘導体；イミダゾール、及びトリアゾール等のアゾール化合物、並びにその誘導体；水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、及び水酸化テトラブチルアンモニウム等のアンモニウム化合物、並びにその誘導体；グアニジンが挙げられる。
　無機化合物としては、例えば、炭酸ナトリウム、及び炭酸カリウム等のアルカリ金属の炭酸塩；炭酸カルシウム、及び炭酸マグネシウム等のアルカリ土類金属の炭酸塩；水酸化ナトリウム、及び水酸化カリウム等のアルカリ金属の水酸化物；水酸化カルシウム、及び水酸化マグネシウム等のアルカリ土類金属の水酸化物；水素化リチウム、及び水素化ナトリウム等のアルカリ金属の水素化物；水素化マグネシウム、及び水素化カルシウム等のアルカリ土類金属の水素化物が挙げられる。
　塩基性化合物は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を使用してもよい。
＜溶剤＞
　特定化合物の製造方法において、溶剤を用いてもよい。
　溶剤としては、使用する材料を溶解させる溶剤であれば特に制限されない。溶剤としては、上述したレジスト組成物が含む溶剤も使用できる。
　溶剤としては、有機溶剤又は水系溶剤であってもよい。
　溶剤としては、例えば、メタノール、及びエタノール等のアルコール系溶剤；ヘキサン、シクロヘキサン、及びヘプタン等のアルカン系溶剤；のエステル系溶剤、シクロヘキサノン、及びメチル－２－ｎ－アミルケトン等のケトン系溶剤；プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、及びジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶剤；酢酸エチル、酢酸ブチル、及び酢酸等のエステル系溶剤；γ－ブチロラクトン等のラクトン系溶剤が挙げられる。
　なかでも、溶剤Ａとしては、メタノール、及びエタノール等のアルコール系溶剤が好ましく、メタノール、又はエタノールがより好ましい。
　溶剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を使用してもよい。
＜手順＞
　製造方法の手順は、塩基性化合物の存在下、一般式（４）で表される化合物と一般式（５）で表される化合物とを反応させることができれば、特に制限されない。
　例えば、塩基性化合物の存在している反応系に、一般式（４）で表される化合物と一般式（５）で表される化合物とを添加して、反応させてもよい。
　一般式（４）で表される化合物の使用量に対する、一般式（５）で表される化合物の使用量の比（一般式（５）で表される化合物の使用量／一般式（４）で表される化合物の使用量）は特に制限されず、特定化合物の収率が優れる点で、３．０～１．０が好ましく、２．０～１．０がより好ましい。
　一般式（５）で表される化合物の使用量に対する、塩基性化合物の使用量の比（塩基性化合物の使用量／一般式（５）で表される化合物の使用量）は特に制限されず、特定化合物の収率が優れる点で、５．０～１．０が好ましく、３．０～１．０がより好ましい。
　反応温度は、特に制限されないが、－５０℃～１００℃が好ましく、－３０℃～５０℃がより好ましく、－１０℃～１０℃が更に好ましい。
　反応時間は、特に制限されないが、１分間～２４時間が好ましく、１０分間～１時間がより好ましい。
　また、本発明は、上記したパターン形成方法を含む、電子デバイスの製造方法、及びこの製造方法により製造された電子デバイスにも関する。
　本発明の電子デバイスは、電気電子機器（家電、ＯＡ（Ｏｆｆｉｃｅ　Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ）、メディア関連機器、光学用機器、及び通信機器等）に、好適に搭載されるものである。
　以下に実施例に基づいて本発明を更に詳細に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、及び処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更できる。従って、本発明の範囲は以下に示す実施例に限定されない。
〔レジスト組成物（感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物）の製造〕
　以下に、実施例又は比較例で用いたレジスト組成物が含む成分及び製造の手順を示す。
＜特定化合物＞
（合成例１：化合物Ｂ－１合成）
　化合物Ｂ－１を下記スキームに従い合成した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000085
　三口フラスコにブロモ酢酸ｔｅｒｔ－ブチル（２５ｇ）、及び、アセトン（１２５ｇ）を加えて、三口フラスコ内にチオ酢酸ナトリウム（１７．５ｇ）を加え、得られた溶液を室温で２時間攪拌した。その後、得られた溶液に水（１００ｍｌ）と酢酸エチル（１５０ｇ）を加え、有機相を分離し、得られた有機相を水（１００ｇ）及び飽和塩化ナトリウム水溶液（１００ｇ）で順次洗浄した。その後、有機相を濃縮することで、目的の化合物Ｂ－１Ａを２３ｇ得た。
　１Ｈ－ＮＭＲ、４００ＭＨｚ、δ（ＣＤＣｌ３）　ｐｐｍ：１．４６（９Ｈ、ｓ）、３．６２（３Ｈ、ｓ）
　化合物Ｂ－１Ｂを、以下の論文を参考にして合成した。
　Imazeki, Shigeaki; Sumino, Motoshige; Fukasawa, Kazuhito; Ishihara, Masami; Akiyama, Takahiko　[Synthesis, 2004, # 10, p. 1648 - 1654
　三口フラスコに化合物Ｂ－１Ａ（４．０ｇ）、メタノール（５０ｇ）、及び、炭酸カリウム（１２．３ｇ）を加えて、得られた溶液を０℃で３０分間攪拌した。その後、得られた溶液に４－フルオロフェニルジフェニルスルホニウムブロミド（化合物Ｂ－１Ｂ、７．６ｇ）を添加し、更に、得られた溶液を０℃で３０分間攪拌した。その後、得られた溶液に水（１００ｇ）とジクロロメタン（１５０ｇ）とを加え、有機相を分離し、水（５０ｇ）及び飽和塩化ナトリウム水溶液（５０ｇ）で順次洗浄した。その後、有機相を濃縮することで、目的の化合物Ｂ－１Ｃ（９．２ｇ）得た。化合物Ｂ－１Ｃはこれ以上の精製は行わず速やかに以降の工程に使用した。
　三口フラスコに化合物Ｂ－１Ｃ（９．２ｇ）、ジクロロメタン（５０ｇ）、及び、水（３０ｇ）を加え、得られた溶液を室温で３０分間攪拌した。その後、化合物Ｂ－１Ｄ（８．２ｇ）を添加し、更に、得られた溶液を０℃で３０分間攪拌した。その後、有機相を分離し、０．０１Ｎ塩酸水（５０ｇ）で洗浄した後、水（３０ｇ）で５回有機相を洗浄した。その後、有機相を濃縮して得られた固体を、ジイソプロピルエーテル（５０ｇ）で洗浄し目的の化合物Ｂ－１（１３．３ｇ）を得た。
　１Ｈ－ＮＭＲ、４００ＭＨｚ、δ（ＣＤＣｌ３）　ｐｐｍ：１．４０－２．０５（２４Ｈ、ｍ）、３．７２（２Ｈ、ｓ）、４．８０（２Ｈ、ｔ）、４．４１（２Ｈ、ｂｒｔ）、４．５３（２Ｈ、ｔｄ）、７．１―７．８３（１４Ｈ、ｍ）。
（合成例２：化合物Ｂ－１２合成）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000086
　化合物Ｂ－１２Ａを、以下の論文を参考にして合成した。
　Imazeki, Shigeaki; Sumino, Motoshige; Fukasawa, Kazuhito; Ishihara, Masami; Akiyama, Takahiko　[Synthesis, 2004, # 10, p. 1648 - 1654.
　三口フラスコに化合物Ｂ－１Ａ（１５．３ｇ）及びメタノール（５０ｇ）を加えて、０℃で攪拌を開始した後に、得られた溶液に炭酸カリウム（１５．０ｇ）を加えて３０分間攪拌した。その後、トリス（４－フルオロフェニル）スルホニウムブロミド（１０ｇ、化合物Ｂ－１２Ａ）を添加し、更に、得られた溶液を０℃で３０分間攪拌した。その後、得られた溶液に水（１００ｍｌ）とクロロホルム（１００ｍｌ）を加えて有機相を分離し、水（１００ｇ）で洗浄した。その後、有機相を濃縮することで、目的の化合物Ｂ－１２Ｂを１８．３ｇ得た。
　１Ｈ－ＮＭＲ、４００ＭＨｚ、δ（ＣＤＣｌ３）　ｐｐｍ：１．４６（２７Ｈ、ｓ）、３．６８（６Ｈ、ｓ）、７．５２（６Ｈ，ｄ）、７．７６（６Ｈ，ｄ）。
　三口フラスコに化合物Ｂ－１２Ｂ（７．８ｇ）、化合物Ｂ－１２Ｃ（３．４ｇ）、クロロホルム（５０ｇ）、及び、水（３０ｇ）を加えて、室温で３０分間攪拌した。その後、有機相を分離し、０．０１Ｎ塩酸水（３０ｇ）で洗浄した後、水（３０ｇ）で５回有機相を洗浄した。その後、有機相を濃縮して得られた固体を、シクロペンチルメチルエーテル５０ｇで洗浄し目的の化合物Ｂ－１２（９．８ｇ）を得た。
　１Ｈ－ＮＭＲ、４００ＭＨｚ、δ（ＣＤＣｌ３）　ｐｐｍ：１．４３（２７Ｈ、ｓ）、３．７２（６Ｈ、ｓ）、７．４８（６Ｈ，ｄ）、７．８０（６Ｈ，ｄ）。
（合成例３：化合物Ｂ－１７合成）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000087
　三口フラスコに化合物Ｂ－１２Ａ（７．５ｇ）、化合物Ｂ－１７Ａ（２．５ｇ）、ジクロロメタン（１００ｇ）、及び、水（９０ｇ）を加えて、室温で３０分間攪拌した。その後、有機相を分離し、０．０１Ｎ塩酸水（５０ｇ）で洗浄した後、水（５０ｇ）で５回有機相を洗浄した。その後、有機相を濃縮して得られた粘稠性液体を、ジイソプロピルエーテル（５０ｇ）でデカント洗浄し目的の化合物Ｂ－１７（８．７ｇ）を得た。
　１Ｈ－ＮＭＲ、４００ＭＨｚ、δ（ＣＤＣｌ３）　ｐｐｍ：１．４３（８１Ｈ、ｓ）、３．６９（１８Ｈ、ｓ）、６．９１（２Ｈ，ｄ）、７．４９（１８Ｈ，ｄ）、７．５５（１８Ｈ，ｄ）、７．８６（２Ｈ，ｄ）。
　上記特定化合物Ｂ－１、Ｂ－１２、又はＢ－１７と同様の合成方法で、他の特定化合物を合成した。
　下記スキームに従って、比較用化合物Ｂ－１２Ａ’の合成を試みたが、中間体のＢ－１２Ａ”を単離及び精製ができず、比較用化合物Ｂ－１２Ａ’を合成できなかった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000088
　以下に、実施例で用いた特定化合物Ｂ－１～Ｂ－２６を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000089
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000090
　以下に、比較用化合物Ｚ－１を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000091
＜酸分解性樹脂（樹脂（Ａ））＞
（合成例１：樹脂Ａ－１の合成）
　樹脂Ａ－１を下記スキームに従い合成した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000092
　シクロヘキサノン（１１３ｇ）を窒素気流下にて８０℃に加熱した。この液を攪拌しながら、下記式Ｍ－１で表されるモノマー（２５．５ｇ）、下記式Ｍ－２で表されるモノマー（３１．６ｇ）、シクロヘキサノン（２１０ｇ）、及び２，２’－アゾビスイソ酪酸ジメチル〔Ｖ－６０１、和光純薬工業（株）製〕（６．２１ｇ）の混合溶液を６時間かけて滴下し、反応液を得た。滴下終了後、反応液を８０℃にて更に２時間攪拌した。得られた反応液を放冷後、多量のメタノール／水（質量比９：１）で再沈殿した後、ろ過し、得られた固体を真空乾燥することで、樹脂Ａ－１を５２ｇ得た。
　上記樹脂Ａ－１の合成方法を参考に、樹脂Ａ－２～Ａ－３０を合成した。
　表１に、後掲に示される各繰り返し単位の組成比（モル比；左から順に対応）、重量平均分子量（Ｍｗ）、及び分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）を示す。
　なお、樹脂Ａ－１～Ａ－３０の重量平均分子量（Ｍｗ）、及び分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）はＧＰＣ（キャリア：テトラヒドロフラン（ＴＨＦ））により測定した（ポリスチレン換算量である）。また、樹脂の組成比（モル％比）は、１３Ｃ－ＮＭＲ（nuclear magnetic resonance）により測定した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000093
　以下に、樹脂Ａ－１～Ａ－３０を示す。＊は結合位置を表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000094
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000095
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000096
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000097
  
＜酸拡散制御剤＞
　以下に、酸拡散制御剤Ｃ－１～Ｃ－９を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000098
　以下に、上記以外の酸拡散制御剤Ｄ－１～Ｄ－１１を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000099
＜疎水性樹脂及びトップコート用樹脂＞
　表２に従って疎水性樹脂（Ｅ－１～Ｅ－１１）、及びトップコート用樹脂（ＰＴ－１～ＰＴ－３）は合成した。
　また、疎水性樹脂（Ｅ－１～Ｅ－１１）及びトップコート用樹脂（ＰＴ－１～ＰＴ－３）における繰り返し単位のモル比率、重量平均分子量（Ｍｗ）、及び分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）を表２に示す。
　なお、疎水性樹脂Ｅ－１～Ｅ－１１、又はトップコート用樹脂ＰＴ－１～ＰＴ－３の重量平均分子量（Ｍｗ）、及び分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）はＧＰＣ（キャリア：テトラヒドロフラン（ＴＨＦ））により測定した（ポリスチレン換算量である）。また、樹脂の組成比（モル％比）は、１３Ｃ－ＮＭＲ（nuclear magnetic resonance）により測定した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000100
　表２に示される疎水性樹脂Ｅ－１～Ｅ－１１、及び表２に示されるトップコート用樹脂ＰＴ－１～ＰＴ－３の合成に用いたモノマーＭＥ－１～ＭＥ－２０を以下に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000101
＜レジスト組成物の調製＞
（ＡｒＦ露光試験用のレジスト組成物の調製（Ｒｅ－１～Ｒｅ－１６））
　表３に示した各成分を固形分濃度が４質量％となるように混合した。次いで、得られた混合液を、最初に孔径５０ｎｍのポリエチレン製フィルター、次に孔径１０ｎｍのナイロン製フィルター、最後に孔径５ｎｍのポリエチレン製フィルターの順番で濾過することにより、レジスト組成物を調製した。なお、レジスト組成物において、固形分とは、溶剤以外の全ての成分を意味する。得られたレジスト組成物を、実施例及び比較例で使用した。
　なお、表３において、各成分の含有量（質量％）は、全固形分に対する含有量を意味する。
（ＥＵＶ露光試験用のレジスト組成物の調製（Ｒｅ－１７～Ｒｅ－４１））
　表４に示した各成分を固形分濃度が２質量％となるように混合した。次いで、得られた混合液を、最初に孔径５０ｎｍのポリエチレン製フィルター、次に孔径１０ｎｍのナイロン製フィルター、最後に孔径５ｎｍのポリエチレン製フィルターの順番で濾過することにより、レジスト組成物を調製した。なお、レジスト組成物において、固形分とは、溶剤以外の全ての成分を意味する。得られたレジスト組成物を、実施例及び比較例で使用した。
　以下に、各レジスト組成物の配合を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000102
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000103
＜界面活性剤＞
　レジスト組成物が界面活性剤を含む場合、下記界面活性剤を使用した。
　Ｈ－１：メガファックＦ１７６（ＤＩＣ（株）製、フッ素系界面活性剤）
　Ｈ－２：メガファックＲ０８（ＤＩＣ（株）製、フッ素及びシリコン系界面活性剤）
　Ｈ－３：ＰＦ６５６（ＯＭＮＯＶＡ社製、フッ素系界面活性剤）
＜溶剤＞
　レジスト組成物が含む溶剤を下記に示す。
　Ｆ－１：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）
　Ｆ－２：プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）
　Ｆ－３：プロピレングリコールモノエチルエーテル（ＰＧＥＥ）
　Ｆ－４：シクロヘキサノン
　Ｆ－５：シクロペンタノン
　Ｆ－６：２－ヘプタノン
　Ｆ－７：乳酸エチル
　Ｆ－８：γ－ブチロラクトン
　Ｆ－９：プロピレンカーボネート
〔トップコート組成物の製造〕
　以下に、表５に示すトップコート組成物に含まれる各種成分を示す。
＜樹脂＞
　表５に示される樹脂としては、表２に示した樹脂ＰＴ－１～ＰＴ－３を用いた。
＜トップコート組成物の調製＞
　表５に示した各成分を固形分濃度が３質量％となるように混合して、次いで、得られた混合液を、最初に孔径５０ｎｍのポリエチレン製フィルター、次に孔径１０ｎｍのナイロン製フィルター、最後に孔径５ｎｍのポリエチレン製フィルターの順番で濾過することにより、トップコート組成物を調製した。なお、ここでいう固形分とは、溶剤以外の全ての成分を意味する。得られたトップコート組成物を、実施例で使用した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000104
＜添加剤＞
　表５に示される添加剤の構造を以下に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000105
＜界面活性剤＞
　表５に示される界面活性剤としては、上記界面活性剤Ｈ－３を用いた。
＜溶剤＞
　表５に示される溶剤を以下に示す。
　ＦＴ－１：４－メチル－２－ペンタノール（ＭＩＢＣ）
　ＦＴ－２：ｎ－デカン
　ＦＴ－３：ジイソアミルエーテル
〔パターン形成（１）：ＡｒＦ液浸露光、有機溶剤現像〕
　シリコンウエハ上に有機反射防止膜形成用組成物ＡＲＣ２９ＳＲ（Ｂｒｅｗｅｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅ社製）を塗布し、２０５℃で６０秒間ベークして、膜厚９８ｎｍの反射防止膜を形成した。その上に、表３に示すレジスト組成物（レジスト組成物の組成については表３及び４を参照。）を塗布し、１００℃で６０秒間ベークして、膜厚９０ｎｍのレジスト膜（感活性光線性又は感放射線性膜）を形成した。なお、実施例１－５、実施例１－６、及び実施例１－１２については、レジスト膜の上層にトップコート膜を形成した。トップコート膜の膜厚は、いずれにおいても１００ｎｍとした。
　レジスト膜に対して、ＡｒＦエキシマレーザー液浸スキャナー（ＡＳＭＬ社製；ＸＴ１７００ｉ、ＮＡ１．２０、Ｄｉｐｏｌｅ、アウターシグマ０．９５０、インナーシグマ０．８５０、Ｙ 偏光）を用いて、線幅４５ｎｍの１：１ラインアンドスペースパターンの６％ハーフトーンマスクを介して露光した。液浸液は、超純水を使用した。
　露光後のレジスト膜を９０℃で６０秒間ベークした後、酢酸ｎ－ブチルで３０秒間現像し、次いで４－メチル－２－ペンタノールで３０秒間リンスした。その後、これをスピン乾燥してネガ型のパターンを得た。
＜欠陥評価＞
　上記線幅４５ｎｍのパターンを形成後、その後、ＵＶｉｓｉｏｎ５（ＡＭＡＴ社製）で、シリコンウエハ上における欠陥分布を検出し、ＳＥＭＶｉｓｉｏｎＧ４（ＡＭＡＴ社製）を用いて、欠陥の形状を観察した。シリコンウエハ１枚当たりの欠陥数を数えて、以下の評価基準に従って、評価した。欠陥数が少ないほど良好な結果を示す。評価結果を下記表６に示す。
「Ａ」：欠陥数が１００個以下
「Ｂ」：欠陥数が１００個超３００個以下
「Ｃ」：欠陥数が３００個超５００個以下
「Ｄ」：欠陥数が５００個超
＜ＬＷＲ評価＞
　ライン幅が平均４５ｎｍのラインパターンを解像する時の最適露光量にて解像した４５ｎｍ（１：１）のラインアンドスペースのパターンに対して、測長走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ（（株）日立製作所Ｓ－９３８０ＩＩ））を使用してパターン上部から観察する際、線幅を任意のポイントで観測し、その測定ばらつきを３σで評価した。値が小さいほど良好な性能であることを示す。なお、ＬＷＲ（ｎｍ）は、２．８ｎｍ以下が好ましく、２．５ｎｍ以下がより好ましく、２．３ｎｍ以下が更に好ましく、２．０ｎｍ以下が特に好ましい。評価結果を下記表６に示す。
　表６中、「Ｘｄ２」欄において、「Ａ」はＸｄ２が一般式（１－１）で表される基であることを表し、「Ｂ」はＸｄ２が酸の作用により脱離する脱離基であることを表す。
　表６中、「酸分解性基種類」は、「Ｘｄ２」欄が「Ａ」である態様において、酸分解性基が一般式（ａ－１）～一般式（ａ－５）で表される基のいずかに該当するかを表す。なお、「（ａ－１）／（ａ－１）」の表記は、特定化合物が２種使用されている場合に、その特定化合物に含まれる酸分解性基がいずれの基に該当するかを示す。
　表６中、「数」欄は、特定化合物に含まれる酸分解性基又は酸の作用により脱離する脱離基の数を表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000106
　表６に示される通り、ＡｒＦ露光をして、有機溶剤現像でパターンを得る場合において、本発明のレジスト組成物は、ＬＷＲ性能に優れるパターンを形成できることが確認された。
　なかでも、実施例１－３、１－４、１－７、１－８と他の実施例との比較より、酸分解性基が一般式（ａ－１）で表される基である場合、より優れた効果が得られることが確認された。
　また、実施例１－７と他の実施例との比較より、Ｘｄ１が表す原子が硫黄原子の場合、より優れた効果が得られることが確認された。
　また、実施例１－６、１－１０、及び、１－１４との比較より、酸分解性基の数及び酸の作用により脱離する脱離基の数が２以上の場合、より優れた効果が得られることが確認された。
〔パターン形成（２）：ＡｒＦ液浸露光、アルカリ水溶液現像〕
　シリコンウエハ上に有機反射防止膜形成用組成物ＡＲＣ２９ＳＲ（Ｂｒｅｗｅｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅ社製）を塗布し、２０５℃で６０秒間ベークして、膜厚９８ｎｍの反射防止膜を形成した。その上に、表６に示す樹脂組成物（樹脂組成物の組成については表３を参照。）を塗布し、１００℃で６０秒間ベークして、膜厚９０ｎｍのレジスト膜を形成した。なお、実施例２－５及び実施例２－６については、レジスト膜の上層にトップコート膜を形成した。トップコート膜の膜厚は、いずれにおいても１００ｎｍとした。
　レジスト膜に対して、ＡｒＦエキシマレーザー液浸スキャナー（ＡＳＭＬ社製；ＸＴ１７００ｉ、ＮＡ１．２０、Ｄｉｐｏｌｅ、アウターシグマ０．９５０、インナーシグマ０．８９０、Ｙ偏向）を用いて、線幅４５ｎｍの１：１ラインアンドスペースパターンの６％ハーフトーンマスクを介して露光した。液浸液は、超純水を使用した。
　露光後のレジスト膜を９０℃で６０秒間ベークした後、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液（２．３８質量％）で３０秒間現像し、次いで純水で３０秒間リンスした。その後、これをスピン乾燥してポジ型のパターンを得た。
　得られたポジ型のパターンに対して、上述した〔パターン形成（１）：ＡｒＦ液浸露光、有機溶剤現像〕で実施した＜欠陥評価＞及び＜ＬＷＲ評価＞と同様の評価をした。評価結果を下記表７に示す。
　表７中、「Ｘｄ２」欄において、「Ａ」はＸｄ２が一般式（１－１）で表される基であることを表し、「Ｂ」はＸｄ２が酸の作用により脱離する脱離基であることを表す。
　表７中、「酸分解性基種類」は、「Ｘｄ２」欄が「Ａ」である態様において、酸分解性基が一般式（ａ－１）～一般式（ａ－５）で表される基のいずかに該当するかを表す。なお、「（ａ－１）／（ａ－１）」の表記は、特定化合物が２種使用されている場合に、その特定化合物に含まれる酸分解性基がいずれの基に該当するかを示す。
　表７中、「数」欄は、特定化合物に含まれる酸分解性基又は酸の作用により脱離する脱離基の数を表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000107
　表７に示される通り、ＡｒＦ露光をして、アルカリ水溶液現像でパターンを得る場合において、本発明のレジスト組成物は、ＬＷＲ性能に優れるパターンを形成できることが確認された。
　また、〔パターン形成（１）：ＡｒＦ液浸露光、有機溶剤現像〕の結果と同様の傾向が確認された。
〔パターン形成（３）：ＥＵＶ露光、有機溶剤現像〕
　シリコンウエハ上に下層膜形成用組成物ＡＬ４１２（Ｂｒｅｗｅｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅ社製）を塗布し、２０５℃で６０秒間ベークして、膜厚２０ｎｍの下地膜を形成した。その上に、表８に示す樹脂組成物（樹脂組成物の組成については表４を参照。）を塗布し、１００℃で６０秒間ベークして、膜厚３０ｎｍのレジスト膜を形成した。
　ＥＵＶ露光装置（Ｅｘｉｔｅｃｈ社製、Ｍｉｃｒｏ　Ｅｘｐｏｓｕｒｅ　Ｔｏｏｌ、ＮＡ０．３、Ｑｕａｄｒｕｐｏｌ、アウターシグマ０．６８、インナーシグマ０．３６）を用いて、得られたレジスト膜を有するシリコンウエハに対してパターン照射を行った。なお、レクチルとしては、ラインサイズ＝２０ｎｍであり、かつライン：スペース＝１：１であるマスクを用いた。
　露光後のレジスト膜を９０℃で６０秒間ベークした後、酢酸ｎ－ブチルで３０秒間現像し、これをスピン乾燥してネガ型のパターンを得た。
＜欠陥評価＞
　上記線幅２０ｎｍのパターンを形成後、その後、ＵＶｉｓｉｏｎ５（ＡＭＡＴ社製）で、シリコンウエハ上における欠陥分布を検出し、ＳＥＭＶｉｓｉｏｎＧ４（ＡＭＡＴ社製）を用いて、欠陥の形状を観察した。シリコンウエハ１枚当たりの欠陥数を数えて、以下の評価基準に従って、評価した。欠陥数が少ないほど良好な結果を示す。評価結果を下記表８示す。
「Ａ」：欠陥数が１００個以下
「Ｂ」：欠陥数が１００個超３００個以下
「Ｃ」：欠陥数が３００個超５００個以下
「Ｄ」：欠陥数が５００個超
＜ＬＷＲ評価＞
　ライン幅が平均２０ｎｍのラインパターンを解像する時の最適露光量にて解像した２０ｎｍ（１：１）のラインアンドスペースのパターンに対して、測長走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ（（株）日立製作所Ｓ－９３８０ＩＩ））を使用してパターン上部から観察する際、線幅を任意のポイントで観測し、その測定ばらつきを３σで評価した。値が小さいほど良好な性能であることを示す。なお、ＬＷＲ（ｎｍ）は、４．２ｎｍ以下が好ましく、３．８ｎｍ以下がより好ましく、３．５ｎｍ以下が更に好ましく、３．２ｎｍ以下が特に好ましく、３．０ｎｍ以下が最も好ましく、２．９ｎｍ以下が特に最も好ましい。評価結果を下記表８に示す。
　表８中、「Ｘｄ２」欄において、「Ａ」はＸｄ２が一般式（１－１）で表される基であることを表し、「Ｂ」はＸｄ２が酸の作用により脱離する脱離基であることを表す。
　表８中、「酸分解性基種類」は、「Ｘｄ２」欄が「Ａ」である態様において、酸分解性基が一般式（ａ－１）～一般式（ａ－５）で表される基のいずかに該当するかを表す。なお、「（ａ－１）／（ａ－１）」の表記は、特定化合物が２種使用されている場合に、その特定化合物に含まれる酸分解性基がいずれの基に該当するかを示す。
　表８中、「数」欄は、特定化合物に含まれる酸分解性基又は酸の作用により脱離する脱離基の数を表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000108
　表８に示される通り、ＥＵＶ露光をして、有機溶剤現像でパターンを得る場合において、本発明のレジスト組成物は、ＬＷＲ性能に優れるパターンを形成できることが確認された。
　実施例３－７、３－１４と他の実施例との比較から、一般式（１）中、Ｘｄ１が硫黄原子である場合、より効果が優れることが確認された。
　実施例３－３、３－７、３－８、及び３－１２との比較から、一般式（１）中、酸の作用により分解して極性が増大する基が、一般式（ａ－１）で表される基である場合、より効果が優れることが確認された。
　上記表８の結果より、酸分解性基の数及び酸の作用により脱離する脱離基の数が２以上の場合、より優れた効果が得られることが確認された。
〔パターン形成（４）：ＥＵＶ露光、アルカリ水溶液現像〕
　シリコンウエハ上に下層膜形成用組成物ＡＬ４１２（Ｂｒｅｗｅｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅ社製）を塗布し、２０５℃で６０秒間ベークして、膜厚２０ｎｍの下地膜を形成した。その上に、表９（樹脂組成物の組成については表４を参照。）に示す樹脂組成物を塗布し、１００℃で６０秒間ベークして、膜厚３０ｎｍのレジスト膜を形成した。
　ＥＵＶ露光装置（Ｅｘｉｔｅｃｈ社製、Ｍｉｃｒｏ　Ｅｘｐｏｓｕｒｅ　Ｔｏｏｌ、ＮＡ０．３、Ｑｕａｄｒｕｐｏｌ、アウターシグマ０．６８、インナーシグマ０．３６）を用いて、得られたレジスト膜を有するシリコンウエハに対してパターン照射を行った。なお、レクチルとしては、ラインサイズ＝２０ｎｍであり、かつライン：スペース＝１：１であるマスクを用いた。
　露光後のレジスト膜を９０℃で６０秒間ベークした後、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液（２．３８質量％）で３０秒間現像し、次いで純水で３０秒間リンスした。その後、これをスピン乾燥してポジ型のパターンを得た。
　得られたポジ型のパターンに対して、上述した〔パターン形成（３）：ＥＵＶ露光、有機溶剤現像〕で実施した＜欠陥評価＞及び＜ＬＷＲ評価＞と同様の評価をした。評価結果を下記表９に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000109
　表９に示される通り、ＥＵＶ露光をして、アルカリ水溶液現像でパターンを得る場合において、本発明のレジスト組成物は、ＬＷＲ性能に優れるパターンを形成できることが確認された。
　また、〔パターン形成（３）：ＥＵＶ露光、有機溶剤現像〕の結果と同様の傾向が確認された。

Claims (14)

  1. 　酸の作用により分解して極性が増大する基を有する繰り返し単位を有する樹脂を含む、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であって、
    　前記感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物が、前記樹脂とは別に、一般式（１）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物を更に含むか、又は、
    　前記樹脂が、前記繰り返し単位とは別に、一般式（１）で表されるカチオンを有する繰り返し単位を更に有する、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
    　一般式（１）中、Ｘｄ１は、硫黄原子又はヨウ素原子を表す。Ｒｄ１は、置換基を有していてもよい直鎖状、分岐鎖状、若しくは環状のアルキル基、置換基を有していてもよい直鎖状、分岐鎖状、若しくは環状のアルケニル基、又は、置換基を有していてもよいアリール基を表す。また、ｍが２を表す場合、２つのＲｄ１は互いに結合して、環を形成していてもよい。Ｌｄ１は、単結合又は２価の連結基を表す。Ａｒｄ１は、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素環基を表す。Ｘｄ２は、一般式（１－１）で表される基、又は、酸の作用により脱離する脱離基を表す。
    　一般式（１－１）　　＊－Ｌｄ２－Ｒｄ２
    　一般式（１－１）中、Ｌｄ２は、単結合又は２価の連結基を表す。Ｒｄ２は、酸の作用により分解して極性が増大する基を表す。＊は、結合位置を表す。
    　Ｘｄ１が硫黄原子を表す場合、ｎは１～３の整数を表し、ｍは０～２の整数を表し、ｍ＋ｎは３である。Ｘｄ１がヨウ素原子を表す場合、ｎは１又は２を表し、ｍは０又は１を表し、ｍ＋ｎは２である。ｐは１～５の整数を表す。
  2. 　前記感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物が、前記一般式（１）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物を含み、
    　前記一般式（１）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物が、一般式（２）で表される化合物、及び、一般式（３）で表される化合物からなる群から選択される少なくとも１つを含む、請求項１に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
    　一般式（２）　　Ｚ１ ＋Ｙ１ －
    　一般式（２）中、Ｚ１ ＋は、前記一般式（１）で表されるカチオンを表す。Ｙ１ －は、１価の有機アニオンを表す。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
    　一般式（３）中、Ｚ２ ＋はカチオンを表し、Ｚ２ ＋の少なくとも１つが前記一般式（１）で表されるカチオンを表す。Ｙ２ －は、アニオン性官能基を表す。Ｌは、ｑ価の連結基を表す。ｑは２以上の整数を表す。
  3. 　Ｘｄ１が硫黄原子である、請求項１又は２に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
  4. 　前記一般式（１）中、酸の作用により分解して極性が増大する基が、一般式（ａ－１）で表される基である、請求項１～３のいずれか１項に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
    　一般式（ａ－１）中、Ｒａ１は、酸の作用により脱離する脱離基を表す。＊は結合位置を表す。
  5. 　前記一般式（１）中、ｎが２～３の整数、又はｐが２～５の整数を表す、請求項１～４のいずれか１項に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
  6. 　請求項１～５のいずれか１項に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いて形成された、レジスト膜。
  7. 　請求項１～５のいずれか１項に記載の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いて、基板上にレジスト膜を形成する工程と、
    　前記レジスト膜を露光する工程と、
    　現像液を用いて、前記露光されたレジスト膜を現像し、パターンを形成する工程と、を有するパターン形成方法。
  8. 　請求項７に記載のパターン形成方法を含む、電子デバイスの製造方法。
  9. 　一般式（１）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
    　一般式（１）中、Ｘｄ１は、硫黄原子又はヨウ素原子を表す。Ｒｄ１は、置換基を有していてもよい直鎖状、分岐鎖状、若しくは環状のアルキル基、置換基を有していてもよい直鎖状、分岐鎖状、若しくは環状のアルケニル基、又は、置換基を有していてもよいアリール基を表す。また、ｍが２を表す場合、２つのＲｄ１は互いに結合して、環を形成していてもよい。Ｌｄ１は、単結合又は２価の連結基を表す。Ａｒｄ１は、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素環基を表す。Ｘｄ２は、一般式（１－１）で表される基、又は、酸の作用により脱離する脱離基を表す。
    　一般式（１－１）　　＊－Ｌｄ２－Ｒｄ２
    　一般式（１－１）中、Ｌｄ２は、単結合又は２価の連結基を表す。Ｒｄ２は、酸の作用により分解して極性が増大する基を表す。＊は、結合位置を表す。
    　Ｘｄ１が硫黄原子を表す場合、ｎは１～３の整数を表し、ｍは０～２の整数を表し、ｍ＋ｎは３である。Ｘｄ１がヨウ素原子を表す場合、ｎは１又は２を表し、ｍは０又は１を表し、ｍ＋ｎは２である。ｐは１～５の整数を表す。
  10. 　一般式（２）で表される化合物、又は、一般式（３）で表される化合物である、請求項９に記載の化合物。
    　一般式（２）　　Ｚ１ ＋Ｙ１ －
    　一般式（２）中、Ｚ１ ＋は、前記一般式（１）で表されるカチオンを表す。Ｙ１ －は、１価の有機アニオンを表す。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
    　一般式（３）中、Ｚ２ ＋はカチオンを表し、Ｚ２ ＋の少なくとも１つが前記一般式（１）で表されるカチオンを表す。Ｙ２ －は、アニオン性官能基を表す。Ｌは、ｑ価の連結基を表す。ｑは２以上の整数を表す。
  11. 　Ｘｄ１が硫黄原子である、請求項９又は１０に記載の化合物。
  12. 　前記一般式（１）中、酸の作用により分解して極性が増大する基が、一般式（ａ－１）で表される基である、請求項９～１１のいずれか１項に記載の化合物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
    　一般式（ａ－１）中、Ｒａ１は、酸の作用により脱離する脱離基を表す。＊は結合位置を表す。
  13. 　前記一般式（１）中、ｎが２～３の整数、又はｐが２～５の整数である、請求項９～１２のいずれか１項に記載の化合物。
  14. 　請求項９～１３のいずれか１項に記載の一般式（１）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物の製造方法であって、
    　塩基性化合物の存在下、一般式（４）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物と、一般式（５）で表される化合物とを反応させて、前記一般式（１）で表されるカチオンを少なくとも１つ有する化合物を製造する、化合物の製造方法。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
    　一般式（４）中、Ｘｄ１は、硫黄原子又はヨウ素原子を表す。Ｒｄ１は、置換基を有していてもよい直鎖状、分岐鎖状、若しくは環状のアルキル基、置換基を有していてもよい直鎖状、分岐鎖状、若しくは環状のアルケニル基、又は、置換基を有していてもよいアリール基を表す。また、ｍが２を表す場合、２つのＲｄ１は互いに結合して、環を形成していてもよい。Ｌｄ１は、単結合又は２価の連結基を表す。Ａｒｄ１は、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素環基を表す。Ｘｄ１が硫黄原子を表す場合、ｎは１～３の整数を表し、ｍは０～２の整数を表し、ｍ＋ｎは３である。Ｘｄ１がヨウ素原子を表す場合、ｎは１又は２を表し、ｍは０又は１を表し、ｍ＋ｎは２である。ｐは１～５の整数を表す。Ｒｄ３は、ハロゲン原子を表す。
    　一般式（５）　　ＨＳ－Ｘｄ２
    　Ｘｄ２は、一般式（１－１）で表される基、又は、酸の作用により脱離する脱離基を表す。
    　式（１－１）　　＊－Ｌｄ２－Ｒｄ２
    　式（１－１）中、Ｌｄ２は、単結合又は２価の連結基を表す。Ｒｄ２は、酸の作用により分解して極性が増大する基を表す。＊は、結合位置を表す。
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