WO2021176512A1 - 内視鏡、光学積層体及び光学積層体の製造方法 - Google Patents

内視鏡、光学積層体及び光学積層体の製造方法 Download PDF

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WO2021176512A1
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protrusion
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純平 米山
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オリンパス株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to an endoscope, an optical laminate, a method for manufacturing an optical laminate, and the like.
  • the optical member here is, for example, a lens
  • the optical laminate is a lens unit in which a plurality of lenses are laminated.
  • the first optical element provided with the first alignment structure and the second optical element provided with the second alignment structure are used to align the first optical element and the second optical element. The method of doing this is disclosed.
  • the lens and the alignment structure are integrally formed. Therefore, the lens may be distorted due to stress applied to the lens during alignment.
  • an endoscope when a plurality of optical members are laminated, an endoscope, an optical laminate, and an optical laminate capable of having high alignment accuracy and suppressing distortion of the optical members.
  • a manufacturing method and the like can be provided.
  • One aspect of the present disclosure includes an optical laminate in which subject light, which is light from a subject, is incident, and an image pickup element that captures an image based on the subject light that has passed through the optical laminate.
  • the laminated body has an optical window formed on a flat plate-shaped substrate, and has a first optical member having a concave portion or a convex portion around the optical window and a flat surface of the first optical member facing the substrate.
  • the present invention relates to an endoscope including a second optical member having a concave portion or a resin protrusion that fits the convex portion on the flat surface.
  • an optical window is formed on a flat plate-shaped substrate, and a first optical member having a recess or a convex portion around the optical window faces the substrate of the first optical member. It relates to an optical laminate comprising a second optical member having a flat surface and having a recess or a resin protrusion that fits the convex portion on the flat surface.
  • an optical window is formed on a flat plate-shaped substrate, and a first optical member having a concave portion or a convex portion around the optical window faces the substrate of the first optical member.
  • a second optical member having a flat surface and having a concave portion or a protrusion that fits with the convex portion on the flat surface is included, and the Young's modulus of the protrusion is higher than the Young's modulus of the first optical member. Also related to low optical laminates.
  • Another aspect of the present disclosure is a step of forming an optical window on a flat glass plate and forming a concave portion or a convex portion around the optical window of the glass plate to form a glass lens, and one or more.
  • Configuration example of the optical laminate The perspective view explaining the optical laminated body before dicing. The figure explaining the manufacturing flow of an optical laminate.
  • 5 (A) and 5 (B) are views showing the configuration of a glass lens.
  • 6 (A) to 6 (C) are diagrams illustrating a lens wafer laminating process.
  • 7 (A) and 7 (B) are views for explaining the configuration of the protrusion.
  • FIG. 8 (A) is a diagram for explaining the alignment and bonding process
  • FIG. 8 (B) is a diagram for explaining the individualization process.
  • 9 (A) and 9 (B) are views for explaining a configuration in which an adhesive is provided separately from the protrusions.
  • FIG. 10 (A) is a plan view of the first optical member
  • FIG. 10 (B) is a plan view of the second optical member
  • FIG. 10 (C) is a cross-sectional view of the optical laminate
  • 11 (A) is a plan view of the first optical member
  • FIG. 11 (B) is a plan view of the second optical member
  • FIG. 11 (C) is a cross-sectional view of the optical laminate
  • 12 (A) is a plan view of the first optical member
  • FIG. 12 (B) is a plan view of the second optical member
  • FIG. 12 (C) is a cross-sectional view of the optical laminate
  • 13 (A) is a plan view of the first optical member
  • FIG. 13 (B) is a plan view of the second optical member.
  • FIG. 16A is a configuration example of an endoscope system including an endoscope
  • FIG. 16B is a configuration example of an imaging module including an optical laminate and an image pickup element.
  • each lens When stacking multiple lenses, it is important to align each lens. Specifically, it is necessary to set the relative positional relationship between the two lenses so that the optical axis of the first lens coincides with the optical axis of the second lens. The same applies when there are three or more lenses.
  • Patent Document 1 and the like disclose a method of providing a structure for alignment in each lens in alignment between lenses. For example, when one lens is fixed, the lens alignment is performed by searching for a position where the alignment structures fit together while moving the other lens. Therefore, when assembling the lens unit, a force may be applied to the alignment structure.
  • the alignment structure and the lens are integrally formed as in Patent Document 1, the optical performance may be deteriorated due to the distortion of the lens itself. For example, the distortion of the lens causes the actual height of the lens surface to vary with respect to the ideal curved surface of the lens.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing the configuration of the optical laminate 1 of the present embodiment. More specifically, FIG. 1 is a cross-sectional view of the optical laminate 1 in a plane including the optical axis AX.
  • an optical window 12 is formed on a flat plate-shaped substrate 11, and a first optical member 10 having a recess 13 around the optical window 12 and a first optical member 10 1 Includes a second optical member 20 having a flat surface 21 of the optical member 10 facing the substrate 11 and having a resin protrusion 22 fitted to the recess 13 on the flat surface 21.
  • the first optical member 10 may have a convex portion 14 around the optical window 12. In this case, the protrusion 22 of the second optical member 20 fits with the protrusion 14.
  • the optical window 12 of the first optical member 10 represents an incident port of light from the outside onto the optical laminate 1.
  • the optical window 12 in this embodiment may include a lens.
  • the first optical member 10 has an optical window 12 and a recess 13 formed on a flat plate-shaped substrate 11. That is, the first optical member 10 is configured by integrating the alignment structure and the lens.
  • the periphery of the optical window 12 is a direction away from the optical window 12 with reference to the center of the optical window 12, and represents a position surrounding the optical window 12. More specifically, the recess 13 is a concentric groove centered on the optical axis, as will be described later.
  • the second optical member 20 has a flat surface 21, and a protrusion 22 having a structure for positioning is formed on the flat surface 21. That is, the structure for aligning the second optical member 20 is not integrally formed with the curved surface of the lens.
  • the second optical member 20 may include a lens and a substrate.
  • the flat surface 21 of the second optical member 20 is the surface of the substrate on the first optical member 10 side, and the lens is provided on the surface of the substrate opposite to the flat surface 21.
  • the substrate here is, for example, a glass substrate 23-1, and the lens is a resin lens (resin lens 24-1).
  • the flat surface 21 of the second optical member 20 is the other surface of the glass substrate 23-1.
  • the flat surface 21 here is not limited to a perfect flat surface, and includes a substantially flat surface having minute irregularities.
  • the minute unevenness is specifically an unevenness whose height or depth with respect to the reference plane is equal to or less than a given threshold value. Further, details of other structures of the second optical member 20 such as the glass substrates 23-2 and 23-3 and the resin lens 24-2 will be described later.
  • the transmission of force to the lens included in the second optical member 20 is suppressed. Therefore, it is possible to suppress the distortion of the lens due to the alignment.
  • the transmission of the force to the lens included in the second optical member 20 is further suppressed. For example, even when a deformable resin lens 24-1 or the like is used as the lens included in the second optical member 20, the optical performance is unlikely to deteriorate due to the alignment.
  • resin is used as a structure for alignment on the second optical member 20 side.
  • Resin has the property of being more easily deformed than glass or the like. Therefore, when a force is generated when the recess 13 and the protrusion 22 are fitted together, the protrusion 22 is deformed, so that the distortion of the first optical member 10 is suppressed.
  • a lens unit including a plurality of lenses for example, a lens unit in which a plurality of glass lenses are laminated is known.
  • a lens unit is configured by accommodating a plurality of glass lenses in a lens barrel.
  • Each glass lens included in the lens unit is manufactured by polishing, press molding using a mold, or the like, as will be described later with reference to FIG.
  • a method of manufacturing a lens unit which is a wafer level laminate by using a semiconductor process is also known. For example, it is possible to collectively generate a large number of lenses on a wafer by pattern transfer in which a resin is sandwiched between molds and the resin is cured by using light or heat. Alternatively, a large number of lenses may be generated using the step-and-repeat method.
  • a wafer in which a large number of lenses are formed on the same surface of the wafer is referred to as a lens wafer. Specific examples of the lens wafer will be described later with reference to FIGS. 6 (A) and 6 (B). Further, as will be described later with reference to FIG. 6C, there is also known a method of manufacturing a laminated lens (wafer level lens) by laminating lens wafers.
  • each lens unit For lens units using glass lenses, it is necessary to manufacture each lens unit individually.
  • glass lenses are not collectively formed at the wafer level like resin lenses, but are individually manufactured by polishing or the like. Therefore, the lens unit in this case is manufactured by arranging a plurality of glass lenses individually manufactured at a predetermined position on the lens barrel. Therefore, it is difficult to increase the productivity of a lens unit using a glass lens as compared with the case of producing a lens wafer.
  • the size of the lens unit affects the configuration of the insertion portion 100 of the endoscope system 3.
  • the lens unit is large, for example, the hard portion of the tip portion 110 becomes long, which may impair the flexibility of operation. More specifically, when changing the photographing range, it is conceivable that the bending operation of the tip portion 110 alone cannot be used, and the insertion / removal operation of the insertion portion 100 is required.
  • FIG. 2 is a perspective view illustrating the manufacturing process of the optical laminate 1 according to the present embodiment.
  • the lens unit of the present embodiment is generated by adhering a plurality of glass lenses 30 to a laminated lens wafer 40 in which a plurality of lens wafers are laminated in a aligned state.
  • the object of adhesion of the glass lens 30 is not limited to the laminated lens wafer 40, and may be a single-layer lens wafer.
  • the first optical member 10 of the present embodiment is, for example, the glass lens 30 shown in FIG.
  • the second optical member 20 of this embodiment is, for example, a part of the laminated lens wafer 40 shown in FIG.
  • a coordinate system consisting of an x-axis, a y-axis, and a z-axis is set.
  • the coordinate system is, for example, a coordinate system set with reference to the laminated lens wafer 40 (second optical member 20), and the z-axis is an axis parallel to the optical axis AX of the laminated lens wafer 40.
  • the x-axis and the y-axis are directions orthogonal to the z-axis
  • the xy plane is a plane parallel to the wafer surface included in the laminated lens wafer 40.
  • the cross-sectional view in the following description is, for example, a plane parallel to the xz plane, and is the optical axis of the laminated lens wafer 40 or the optical axis of the second optical member 20 separated from the laminated lens wafer 40. It is a figure which shows the cross-sectional shape in the plane including.
  • the cross-sectional view before dicing is a plane parallel to the xz plane and shows a cross-sectional shape in a plane including the optical axes of a plurality of lenses.
  • FIG. 8B which will be described later, shows the cross-sectional shape in AA of FIG.
  • the xy plane is a plane parallel to or substantially parallel to the flat surface of the substrate 11 of the first optical member 10 and the flat surface 21 of the second optical member 20.
  • the first optical member 10 is laminated with respect to the second optical member 20 in the direction along the z-axis.
  • the direction in which the first optical member 10 and the second optical member 20 are laminated is also referred to as a stacking direction.
  • the first optical member 10 and the second optical member 20 can be aligned with high accuracy in the xy direction.
  • the substrate 11 in this embodiment has a flat plate shape. Therefore, of the surface of the substrate 11 on the second optical member 20 side, at least a part of the region other than the optical window 12 and the recess 13 is a flat surface. More specifically, among the surfaces of the substrate 11 on the second optical member 20 side, all regions other than the optical window 12 and the recess 13 are flat surfaces. That is, in the method of the present embodiment, since the flat surface of the substrate 11 and the flat surface 21 of the second optical member 20 are in contact with each other, improvement in accuracy in the z direction can be expected. In particular, in a configuration in which no adhesive is provided between the two planes, it is possible to improve the accuracy in the z direction.
  • the optical axis of the glass lens 30 can be aligned with the optical axis of the laminated lens wafer 40 in the method of the present embodiment.
  • the match here is not limited to an exact match, and includes a substantially match whose error is smaller than a given threshold value.
  • the optical axis of the glass lens 30 or the first optical member 10 and the optical axis of the laminated lens wafer 40 or the second optical member 20 are used.
  • the optical axis AX of the optical laminate 1 as a whole is not distinguished from each other.
  • FIG. 2 an example in which nine glass lenses 30 are bonded onto the laminated lens wafer 40 is shown, but the number of optical laminated bodies 1 that can be produced from one wafer can be variously modified.
  • the first optical member 10 of the present embodiment is not limited to the glass lens 30 itself shown in FIG.
  • a part of the glass lens 30 may be cut when cutting the wafer.
  • a region outside the effective range as a lens does not affect the optical performance even if it is removed during dicing.
  • a part of the adhesive region may be removed at the time of dicing.
  • the first optical member 10 corresponds to the remaining portion of the glass lens 30 shown in FIG. 2 from which the peripheral portion has been removed.
  • the portion corresponding to the laminated lens wafer 40 is the second optical member 20.
  • the productivity is improved as compared with the case where a lens unit is manufactured by laminating a plurality of glass lenses. ..
  • the first optical member 10 including a lens having a relatively large refractive index can be added to the second optical member 20, compared with the laminated lens wafer 40 in which only the lens wafer including the resin lens is laminated. It is easy to improve the optical performance. For example, the size of the lens unit can be reduced as compared with the case where the same optical performance is realized by increasing the number of layers of the lens wafer.
  • the alignment mark is, for example, the alignment mark 26 (26-1 to 26-3) described later with reference to FIGS. 6 (A) to 6 (C). Since the lens wafers are formed and laminated with reference to the alignment mark 26, it is possible to accurately align the lens wafers having a plurality of layers. However, since the glass lens 30 is manufactured by molding or polishing with a metal mold, it is difficult to add an alignment mark. Further, when aligning the glass lens 30 with reference to the alignment mark 26 of the laminated lens wafer 40, there is no choice but to align the outer shape of the glass lens. As a result, it is difficult to align the optical axis of the glass lens 30 with the optical axis of the laminated lens wafer 40 with high accuracy, which causes a decrease in optical performance.
  • the second optical member 20 of the present embodiment has a protrusion 22 aligned by the alignment mark 26.
  • the protrusion 22 provided with the alignment mark 26 as a reference is the laminated lens wafer 40 (second optical member 20). It is a structure in which the position with the optical axis is set with high accuracy.
  • the recess 13 provided in the glass lens 30 has a structure formed with reference to the optical axis of the glass lens 30, as will be described later with reference to FIG.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a flow when assembling the optical laminated body 1 according to the present embodiment.
  • the glass lens 30 and the laminated lens wafer 40 are manufactured. Either the glass lens 30 and the laminated lens wafer 40 may be manufactured first, or may be manufactured in parallel.
  • the production of the glass lens 30 shown in step S11 includes the production of the recess 13.
  • the production of the laminated lens wafer 40 shown in step S12 includes the production of the protrusion 22.
  • step S13 alignment is performed using the recess 13 and the protrusion 22.
  • step S14 the glass lens 30 and the laminated lens wafer 40 are adhered to each other using an adhesive.
  • step S15 the plurality of optical laminates 1 are separated into individual pieces by dicing the bonded glass lens 30 and the laminated lens wafer 40.
  • the manufacturing process of the glass lens 30 in step S11 will be described.
  • the glass lens 30 may be manufactured by polishing or may be press-molded using a metal mold.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a process of manufacturing the glass lens 30 by polishing.
  • the glass plate 31 is installed on the rotary table 51.
  • the glass lens 30 is manufactured by scraping the glass plate 31 with the grindstone 52 while rotating the glass plate 31 with the rotary table 51.
  • the same steps as those for manufacturing a normal glass lens may be performed, such as polishing with an abrasive and centering to align the optical axis with the center of the lens.
  • the curved surface of the glass lens 30 is formed while rotating the glass plate 31.
  • the recess 13 is formed without removing the glass plate 31 from the rotary table 51.
  • the center of rotation when forming the optical window 12 on the glass lens 30 and the center of rotation when forming the recess 13 are common.
  • the recess 13 can be formed at a position relative to the optical axis (optical center) of the glass lens.
  • the formation order is not limited to this as long as the rotation center of the glass plate 31 is common in the formation of each portion. That is, these formations may be simultaneous.
  • the recesses 13 formed in this way form a concentric pattern with respect to the optical axis.
  • the metal mold is manufactured by polishing while rotating. Therefore, even when the glass lens 30 is manufactured by press molding, the point that the alignment structure has a concentric pattern with respect to the optical axis is the same as the example of FIG.
  • FIG. 5A is a plan view showing the configuration of the glass lens 30 in the present embodiment.
  • the plan view here represents a view in which the glass lens 30 is observed from the surface in contact with the laminated lens wafer 40 in the state shown in FIG.
  • hatching is omitted for the optical window 12 and the recess 13 which are portions other than the flat surface in order to make the unevenness of the glass lens 30 easy to understand.
  • FIG. 5B is a cross-sectional view of the first optical member 10 on the BB plane.
  • Each axis of xyz shown in FIGS. 5A and 5B represents a direction in which the glass lens 30 is adhered to the laminated lens wafer 40.
  • the shape of the glass lens 30 in a plan view is arbitrary.
  • the plan view here means observing the target object from a viewpoint set at a position along the z-axis.
  • the glass lens 30 is flat, for example, on one surface of a glass plate 31 in which an optical window 12 which is a concave portion having a circular shape in a plan view is formed. It is a concave lens.
  • the glass lens 30 may be a lens having another configuration such as a biconcave lens or a convex lens.
  • the glass lens 30 includes a recess 13 which is a concentric groove. As described above, the center of rotation of the glass plate 31 when forming the optical window 12 and the center of rotation of the glass plate 31 when forming the recess 13 are common. Since the center of the optical window 12 and the center of the concentric circles corresponding to the recess 13 correspond to each other, the recess 13 has a structure provided with reference to the optical axis of the glass lens 30.
  • step S12 Fabrication of Laminated Lens
  • 6 (A) to 6 (C) are views for explaining the laminating process of the lens wafers 81 and 82 included in the laminated lens wafer 40.
  • 7 (A) and 7 (B) are views for explaining the process of manufacturing the protrusion 22.
  • FIGS. 6 (C), 7 (A) and 7 (B) correspond to the respective axes shown in FIGS. 1 and 2.
  • 6 (A) and 6 (B) are cross-sectional views corresponding to the portions shown in FIGS. 6 (C) and 7 (A) of the lens wafer before stacking.
  • FIG. 6A is a diagram illustrating a lens wafer 81 arranged at a position closest to the subject among the laminated lens wafers 40.
  • An alignment mark 26-1 as a reference for alignment in the laminated lens wafer 40 and an aperture pattern 25 as an aperture are formed on the glass substrate 23-1.
  • the alignment mark 26-1 and the aperture pattern 25 are formed by using the patterning method of the semiconductor manufacturing process.
  • a lens array composed of a plurality of resin lenses 24-1 is created at a position with reference to the alignment mark 26-1.
  • the lens array is created, for example, by sequentially performing dropping of a photocurable resin, pushing of a mold, and irradiation of light.
  • FIG. 6B is a diagram illustrating a process of manufacturing a lens wafer 82 that is relatively far from the subject among the laminated lens wafers 40.
  • the lens wafer 82 includes a glass substrate 23-2, an alignment mark 26-2, and a lens array composed of a plurality of resin lenses 24-2 formed on the glass substrate 23-2.
  • the lens array is formed at a position with reference to the alignment mark 26-2.
  • the lens wafer 82 is the same as the lens wafer 81 except that the aperture pattern 25 is unnecessary.
  • the laminated lens wafer 40 is created by laminating the lens wafers 81 and 82.
  • the glass substrate 23-3 and the lens wafer 82 are attached, and the lens wafer 82 and the lens wafer 81 are attached.
  • the sticking is done using an adhesive.
  • the alignment marks 26-3 are patterned on the glass substrate 23-3.
  • alignment is performed using the alignment marks patterned on each glass substrate.
  • FIG. 6C is an example of the laminated lens wafer 40, and various modifications can be made to the structure of the laminated lens wafer 40. For example, the number of layers of the laminated lenses may be changed. Further, although the hybrid lens including the resin lenses 24-1 and 24-2 and the glass substrates 23-1 to 23-3 has been illustrated above, the laminated lens wafer 40 is not limited to this. Further, the lens included in the second optical member 20 may have one layer.
  • the protrusion 22 which is a structure for alignment is formed.
  • the protrusion 22 is formed on a flat surface 21 of the glass substrate 23-1, which is a surface opposite to the surface on which the resin lens 24-1 is formed.
  • the alignment is performed with reference to the alignment mark 26 (26-1 to 26-3), and the optical axis of the laminated lens wafer 40 with respect to the alignment mark 26 is It is aligned with high accuracy. Further, the positional relationship between the recess 13 provided in the glass lens 30 and the optical axis of the glass lens 30 is also known.
  • the alignment mark 26 as a reference, it is possible to provide the protrusion 22 at a position corresponding to the recess 13 of the glass lens 30.
  • the protrusion 22 is formed in a region concentric with respect to the optical axis of the laminated lens wafer 40.
  • the protrusion 22 is, for example, a photosensitive adhesive.
  • the photosensitive adhesive is a resin that dissolves by photosensitivity and can be adhered by heating.
  • the protrusion 22 may be a resin that is cured by irradiation with ultraviolet rays.
  • photolithography widely used in the semiconductor manufacturing process can be applied.
  • step S11 the glass lens 30 in which the recess 13 which is a concentric groove centered on the optical axis is formed is manufactured.
  • r1 and r2 are known in design when the recess 13 is a groove dug in the region between a circle of radius r1 and a circle of radius r2 (> r1).
  • step 12 a laminated lens wafer 40 having a protrusion 22 formed at a position corresponding to the recess 13 is manufactured.
  • the position corresponding to the recess 13 represents a part or all of a region between a circle having a radius r1 and a circle having a radius r2 about the optical axis of the laminated lens wafer 40 in a plan view.
  • the protrusions 22 that are continuous in an annular shape are provided in the region.
  • the arrangement of the glass lens 30 with respect to the laminated lens wafer 40 may be performed using a flip chip bonder or a robot hand. Further, it is not hindered that the glass lens 30 is manually arranged.
  • the optical axis of the glass lens 30 and the optical axis of the laminated lens wafer 40 are high by fitting the protrusion 22 of the laminated lens wafer 40 into the recess 13 of the glass lens 30. Aligned with accuracy. For example, when paying attention to the protrusion 22 at a given position, the contact between the D1 side surface of the protrusion 22 and the D1 side surface of the recess 13, and the D2 side surface of the protrusion 22 and the D2 of the recess 13 At least one of the contact with the side surface is achieved.
  • D1 is a direction from the optical axis toward the protrusion 22 and a direction extending from the optical axis
  • D2 is the opposite direction.
  • D1 is the eccentricity direction about the optical axis
  • D2 is the opposite direction. That is, the recess 13 and the protrusion 22 regulate that the relative positions of the glass lens 30 and the laminated lens wafer 40 are displaced in the direction of D1 or D2.
  • the protrusions 22 are provided concentrically, the deviation of the relative positions in various directions intersecting the optical axis is regulated, so that the glass lens 30 and the laminated lens wafer 40 can be aligned with high accuracy in the xy direction. be.
  • the glass lens 30 and the laminated lens wafer 40 are adhered by executing a curing step such as heating or photosensitivity after alignment.
  • individualization is performed as shown in FIG. 8 (B).
  • a dicing blade 55 is used for individualization.
  • the individualization is not limited to the one using the dicing blade 55, and other methods such as laser dicing may be used.
  • a plurality of optical laminates 1 are acquired.
  • the protrusion 22 in the present embodiment may be a photosensitive adhesive.
  • the protrusion 22 is arranged in the recess 13 of the first optical member 10.
  • the protrusion 22 which is a structure for alignment can be used as an adhesive.
  • the first optical member 10 and the second optical member 20 are fixed in a state where the planes of the substrate 11 and the flat surface 21 are pressed against each other, so that the alignment in the stacking direction is performed. It is also possible to increase the accuracy.
  • the adhesive is provided between the surface of the substrate 11 on the first optical member 10 side and the flat surface 21 on the second optical member 20 side. No need. Therefore, since the error caused by the thickness of the adhesive is suppressed, the accuracy of alignment in the stacking direction can be further improved.
  • the adhesive area in a plan view is the area where the protrusions 22 are formed when viewed from the stacking direction, and corresponds to the area of concentric circles in the example shown in FIG. 7B.
  • the second optical member 20 may be a lens unit in which a plurality of lenses are laminated.
  • the number of laminated lenses may be three or more.
  • the first optical member 10 is a lens unit in which a plurality of lenses are laminated.
  • the optical laminated body 1 may be produced by laminating two or more layers of the glass lens 30 on the laminated lens wafer 40.
  • the glass lens 30 is more advantageous than the resin lens 24 in terms of optical performance such as the refractive index, but there is a risk that productivity may decrease due to stacking a large number of glass lenses 30.
  • the optical performance is improved by using the laminated lens wafer 40 as the second optical member 20, it is possible to achieve both the productivity and the optical performance of the optical laminated body 1.
  • the first optical member 10 may be a glass lens. In this way, since a lens having relatively high optical performance can be added to the second optical member 20, it is possible to improve the optical performance and reduce the size of the optical laminate 1. Further, since the first optical member 10 is a member that is less likely to be deformed than the protrusion 22, distortion of the lens due to alignment can be suppressed.
  • the recess 13 may be formed concentrically with respect to the optical axis of the optical window 12. Specifically, the recesses 13 are formed concentrically with respect to the optical axis in a plan view of the first optical member 10 observed from a viewpoint set in the ⁇ z direction with respect to the first optical member 10. .. As described above with reference to FIG. 3, the first optical member 10 is polished in a rotated state. Alternatively, when the first optical member 10 is molded using a metal mold, the metal mold is polished in a rotated state. If the glass plate 31 or the metal mold is removed from the rotary table 51 during polishing, the center of rotation in the subsequent polishing shifts, making it difficult to form a pattern with reference to the optical axis. In other words, by forming the recess 13 concentrically with respect to the optical axis of the optical window 12, it is possible to provide a structure for alignment in which the positional relationship with the optical axis is defined with high accuracy.
  • the protrusion 22 may be formed concentrically in the region corresponding to the concave portion 13 formed concentrically.
  • the protrusions 22 that are continuous in a circular shape in this way, the positional deviation in any direction on the planes that intersect in the stacking direction is regulated.
  • the alignment of the first optical member 10 and the second optical member 20 using the recess 13 and the protrusion 22 can be performed with high accuracy.
  • the second optical member 20 may include a glass substrate.
  • the glass substrate here is, in a narrow sense, a glass substrate 23-1.
  • the flat surface 21 of the second optical member 20 is a surface of the glass substrate 23-1 on the first optical member 10 side. In this way, the flat surface 21 of the second optical member 20 can be made into a glass surface.
  • the alignment accuracy in the stacking direction can be improved. ..
  • the flat surface 21 of the second optical member 20 is a surface made of a member other than glass, such as a flat surface of a silicon substrate.
  • an optical window 12 is formed on a flat plate-shaped substrate 11, and a first optical member 10 having a recess 13 around the optical window 12 and a first optical member 10
  • a second optical member having a flat surface 21 facing the substrate 11 and having a protrusion 22 fitted to the recess 13 on the flat surface 21 is included, and the Young's modulus of the protrusion 22 is the Young's modulus of the first optical member 10. It may be an optical laminate 1 having a Young's modulus lower than that of Young's modulus 1.
  • the Young's modulus here is a coefficient representing the relationship between the stress applied to an object in a given direction and the amount of strain in that direction, and the smaller the Young's modulus, the easier it is to be distorted with respect to stress. That is, the protrusion 22 in the present embodiment is a member that is more easily distorted than the first optical member 10.
  • the recess 13 which is a structure for aligning the first optical member 10 is provided integrally with the substrate 11 on which the optical window 12 is formed. Therefore, in order to suppress the deterioration of the optical performance of the first optical member 10, it is necessary to consider the members of the first optical member 10 and the protrusion 22. In that respect, when the Young's modulus of the protrusion 22 is lower than the Young's modulus of the first optical member 10, the protrusion 22 is relatively easily deformed, so that distortion of the first optical member 10 can be suppressed.
  • the method of this embodiment can be applied to the manufacturing method of the optical laminate 1 shown in FIG.
  • the method for manufacturing the optical laminate 1 includes a step of generating a glass lens 30, a step of forming a lens unit, a step of forming a protrusion 22, a step of attaching a plurality of glass lenses 30 to the lens unit, and a plurality of steps. It includes a step of separating the optical laminate 1 into individual pieces.
  • an optical window 12 is formed on a flat glass plate 31, and a concave portion 13 or a convex portion described later is described around the optical window 12 of the glass plate 31. It is done by forming 14.
  • the lens unit here includes one or more lens wafers and has a flat surface 21. As shown in FIG. 6C, when a plurality of lens wafers are laminated, the lens unit is a laminated lens wafer 40 (wafer level lens before individualization).
  • the protrusion 22 is made of resin and is provided on the flat surface 21 of the lens unit as shown in FIGS. 7 (A) and 7 (B). As shown in FIG.
  • the step of attaching the plurality of glass lenses 30 to the lens unit is performed by fitting the concave portion 13 of the glass lens 30 or the convex portion 14 described later with the protruding portion 22 of the lens unit. It is said.
  • the step of individualizing the optical laminate 1 is performed, for example, by dicing using a dicing blade 55. According to the method of the present embodiment, it is possible to realize a method of manufacturing the optical laminate 1 in which productivity and optical performance are well-balanced.
  • the optical laminate 1 after being individually separated will be mainly described. Therefore, an example in which the shape of the first optical member 10 in a plan view is rectangular will be described. As described above, the glass lens 30 has a disk shape, and the rectangular first optical member 10 may be formed by dicing. Alternatively, the rectangular glass lens 30 may be manufactured and adhered. Further, when a part of the glass lens 30 is removed by dicing, various modifications can be made with respect to the presence or absence of a concave portion or a convex portion in the removed portion and the width of the concave portion or the like.
  • the protrusion 22 is shown with respect to a portion remaining after dicing, the protrusion 22 may be provided in a range removed by dicing. Further, for simplification of the description, one glass substrate 23 and the resin lens 24 provided on the first optical member 10 side of the second optical member 20 are illustrated, and the other configurations are omitted.
  • FIGS. 9 (A) and 9 (B) are diagrams for explaining the implementation of deformation related to adhesion.
  • the adhesive 90 may be provided on the surface of the protrusion 22, and the protrusion 22 may be arranged in the recess 13 of the first optical member 10. That is, the protrusion 22 in this case has a structure for alignment and does not function as an adhesive by itself. Then, the adhesive 90 is used separately from the protrusion 22.
  • the protrusion 22 may be formed by using photolithography as in the above-mentioned example, or may be formed by applying a resin using a dispenser. In this case as well, since bonding is performed inside the recess 13, it is possible to improve the accuracy of alignment in the stacking direction.
  • the adhesive here is, for example, an adhesive that is cured by ultraviolet rays, but other adhesives may be used.
  • the first optical member 10 and the second optical member 20 are joined by an adhesive 91, and the adhesive 91 is attached to the optical axis of the optical laminate 1 with respect to the optical axis of the optical laminate 1. It may be provided outside the protrusion 22. Specifically, of the surface of the substrate 11 constituting the first optical member 10 on the second optical member 20 side, a flat portion which is a region excluding the optical window 12 and the recess 13 and the flat portion of the second optical member 20. The surface 21 is adhered to.
  • the outside of the protrusion 22 with respect to the optical axis represents a position in the direction of D1 with respect to the protrusion 22. D1 is a direction from the optical axis toward the protrusion 22, and in a narrow sense, a direction orthogonal to the optical axis.
  • the adhesive 91 is provided between the flat surface of the substrate 11 of the first optical member 10 and the flat surface 21 of the second optical member 20. Therefore, it is desirable to adjust the thickness of the adhesive 91 in order to improve the alignment accuracy in the stacking direction.
  • the configuration of FIG. 9B has an advantage that the bonding area in a plan view can be widened because the bonding location is not limited to the inside of the recess 13. Further, since the adhesive 91 is provided outside the protrusion 22, the protrusion 22 can prevent the adhesive 91 from flowing in the optical axis direction. That is, the deterioration of the optical performance due to the adhesive 91 wrapping around within the effective range of the lens is suppressed.
  • FIG. 10A is a plan view of the first optical member 10
  • FIG. 10B is a plan view of the second optical member 20
  • FIG. 10C is a cross-sectional view of the optical laminate 1.
  • the recess 13 having a positioning structure may be provided continuously with the recess (optical window 12) having a lens structure.
  • the protrusion 22 of the second optical member 20 is provided at a position corresponding to the recess 13.
  • the D1 side surface of the protrusion 22 and the D1 side surface of the recess 13 come into contact with each other, and the D2 side of the protrusion 22 comes into contact with each other.
  • the surface does not come into contact with the recess 13.
  • the fitting of the recess 13 and the protrusion 22 restricts the movement of the first optical member 10 in the D2 direction.
  • FIG. 11A is a plan view showing another configuration of the first optical member 10, and FIG. 11B is a plan view of the second optical member 20. Further, FIG. 11C is a cross-sectional view of the optical laminate 1.
  • the first recess 13-1 and the second recess 13-2 are provided on the surface of the substrate 11 of the first optical member 10.
  • the convex portion 14 may be formed between the concave portion 13-1 and the second concave portion 13-2.
  • the protrusion 22 is provided at a position corresponding to at least one of the first recess 13-1 and the second recess 13-2.
  • 11 (B) and 11 (C) show an example in which the protrusion 22 is provided at a position corresponding to the first recess 13-1.
  • the optical window 12 is formed on the flat plate-shaped substrate 11, and a convex portion is formed around the optical window 12.
  • Second optical having a first optical member 10 having a 14 and a flat surface 21 facing the substrate 11 of the first optical member 10, and having a resin protrusion 22 that fits the convex portion 14 on the flat surface 21.
  • the structure for aligning the first optical member 10 may be a concave portion 13 or a convex portion 14.
  • the convex portion 14 is formed on the first optical member 10, the convex portion 14 is formed concentrically with respect to the optical axis of the optical window 12, which is the same as the concave portion 13. In this way, the convex portion 14 can be arranged with high accuracy with respect to the optical axis.
  • the protrusion 22 has a circular shape corresponding to, for example, a convex portion 14 formed concentrically.
  • FIG. 12 (A) is a plan view showing still another configuration of the first optical member 10
  • FIG. 12 (B) is a plan view of the second optical member 20
  • FIG. 12 (C) is an optical laminate 1. It is a cross-sectional view of.
  • the recess 13 formed in the first optical member 10 may be continuous to the outer periphery of the first optical member 10.
  • the protrusion 22 is provided at a position corresponding to the recess 13.
  • the configurations shown in FIGS. 12 (A) to 12 (C) can have a larger adhesive area in a plan view than the configurations shown in FIGS. 7 (B) and the like.
  • FIG. 13 (A) is a plan view showing still another configuration of the first optical member 10
  • FIG. 13 (B) is a plan view of the second optical member 20.
  • the recess 13 and the protrusion 22 may be configured to remain at the four corners of the optical laminate 1.
  • the first optical member 10 and the second optical member 20 are adhered to each other at the four corners of the optical laminate 1.
  • the concave portion 13 or the convex portion 14 which is the structure for aligning the first optical member 10 and the protruding portion 22 which is the structure for aligning the second optical member 20 are each with respect to the optical axis. It suffices if they are arranged in the corresponding positional relationship. Further, in the method of the present embodiment, it is sufficient that the surface of the protrusion 22 on the D1 or D2 side can be fitted with the structure for aligning the first optical member 10, and the concave portion 13 or the convex portion 14 and the protrusion portion. Various modifications can be made to the specific shape of 22.
  • FIGS. 14 (A) and 14 (B) are cross-sectional views showing another configuration of the optical laminate 1.
  • the inside of the recess 13 may be filled with the light-shielding resin 95.
  • the depth d2 of the recess 13 with respect to the flat surface of the substrate 11 of the first optical member 10 is the depth of the optical window 12 with respect to the surface of the substrate 11. Deeper than d1.
  • the depth d1 of the optical window 12 means the distance of the deepest portion in the thickness direction of the substrate 11 with respect to the surface of the substrate 11 on the second optical member 20 side.
  • the depth d1 corresponds to the distance at the position corresponding to the optical axis AX.
  • the optical window 12 may be a convex lens, and the depth d1 in this case corresponds to the distance in the peripheral portion of the effective range of the convex lens. That is, the distance d1 here may be the distance of the deepest part of the optical window 12, and the specific position on the xy plane can be variously modified.
  • the lens barrel serves as a light-shielding member, and the incident of light from the side surface is suppressed.
  • the optical laminate 1 of the present embodiment is subjected to an individualization step such as dicing, it is assumed that the cross-sectional shape is rectangular. Therefore, when compared with a lens unit using a glass lens and a lens barrel having a circular cross-sectional shape, the distance from the side surface to the optical window 12 is longer in the diagonal portion of the optical laminate 1.
  • the light-shielding member is provided on the side surface, light that does not properly pass through the optical window 12 may enter the inside of the optical laminate 1.
  • the light-shielding resin 95 by filling the inside of the recess 13 with the light-shielding resin 95, it is possible to block ambient light at a position closer to the optical window 12 than to the side surface. At that time, the light-shielding performance can be improved by making the depth of the recess 13 deeper.
  • the light-shielding resin 95 may be filled between the protrusion 22 and the recess 13.
  • the protrusion 22 may be a light-shielding resin 95. That is, the light-shielding member may be provided separately from the protrusion 22 which is a structure for alignment, or the protrusion 22 which is a structure for alignment may also serve as a light-shielding member, and there are various specific structures. Can be modified.
  • the protrusion 22 is provided in a concentric region corresponding to the recess 13.
  • the concave portion 13 and the convex portion 14 are formed while rotating the glass plate 31 using the rotary table 51 (see FIG. 4), and it is not easy to form a configuration other than the concentric circles.
  • the protruding portion 22 may be fitted with the concave portion 13 or the convex portion 14, and the specific shape can be variously modified.
  • the protrusion 22 may be arranged in a part of the concentric regions corresponding to the concave portions 13 or the convex portions 14 formed concentrically.
  • FIG. 15 shows an example in which four protrusions 22-1 to 22-4 are provided.
  • the size of each protrusion 22 is not limited to the example shown in FIG. 15, and various modifications can be performed.
  • a plurality of point-shaped protrusions 22 may be provided in a plan view observed from the Z direction. By setting the number of the point-shaped protrusions 22 to three or more, it is possible to regulate the relative movement of the first optical member 10 in the xy direction. Further, the sizes of the plurality of protrusions 22 do not have to be the same, and a plurality of protrusions 22 having different sizes may be provided.
  • the number of protrusions 22 is not limited to a plurality, and may be one.
  • the protrusion 22 can regulate at least one of the movements of the first optical member 10 in the direction from the protrusion 22 toward the optical axis and in the opposite direction.
  • the alignment can be performed in at least one direction, the accuracy of the alignment can be improved as compared with the case where the protrusion 22 is not provided.
  • the endoscope 2 here is specifically an endoscope scope, and includes an insertion portion 100.
  • the insertion unit 100 includes an optical laminate 1 into which the subject light, which is light from the subject, is incident, and an image sensor 5 that captures an image based on the subject light that has passed through the optical laminate 1.
  • the optical laminate 1 has a first optical member 10 having an optical window 12 formed on a flat plate-shaped substrate 11 and having a concave portion 13 or a convex portion 14 around the optical window 12, and a first optical member.
  • the second optical member 20 has a flat surface 21 facing the substrate 11 of the member 10, and the flat surface 21 has a resin protrusion 22 that fits with the concave portion 13 or the convex portion 14.
  • FIG. 16A is a configuration example of the endoscope system 3 including the endoscope 2.
  • the endoscope system 3 includes the endoscope 2 of the present embodiment, the processor 300, and the monitor 400.
  • the endoscope 2 captures an in-vivo image of the subject and outputs an imaging signal by inserting the elongated insertion portion 100 into the body cavity of the subject.
  • the endoscope 2 includes an insertion portion 100, a grip portion 200 arranged on the base end portion side of the insertion portion 100, a universal cord 220 extending from the grip portion 200, and a base end portion side of the universal cord 220.
  • the connector 230 is provided with the connector 230.
  • the insertion portion 100 includes a rigid tip portion 110 on which the imaging module 111 is arranged, a bendable portion 120 extending to the base end side of the tip portion 110, and a curved portion 120 for changing the direction of the tip portion 110. Includes a soft portion 130 extending to the proximal end side of the curved portion 120.
  • the endoscope 2 is a flexible mirror, but a rigid mirror may also be used. That is, the soft part and the like are not essential components.
  • the grip portion 200 is provided with a rotating angle knob 210, which is an operation portion for the operator to operate the curved portion 120.
  • FIG. 16B is a cross-sectional view showing a configuration example of the imaging module 111.
  • the image pickup module 111 arranged at the tip end portion 110 includes an optical laminate 1 and an image pickup element 5.
  • a cable portion 140 is provided in contact with the surface of the image sensor 5 on the side opposite to the optical laminate 1.
  • a peripheral circuit chip (not shown) may be provided on the surface of the image sensor 5 opposite to the optical laminate 1, and the cable portion 140 may be connected to the peripheral circuit chip.
  • the peripheral circuit chip is provided with a peripheral circuit for controlling and driving the image sensor 5.
  • the cable unit 140 includes a signal cable 141 and a flexible printed circuit board (FPC substrate 142).
  • the signal cable 141 is connected to the image pickup device 5 via the FPC substrate 142.
  • the signal cable 141 extends to the connector 230 via the universal cord 220.
  • the endoscope system 3 includes a light source device and a light guide cable that guides the illumination light from the light source device to the tip 110.
  • an illumination lens that irradiates the subject with the illumination light may be included.
  • the optical laminate 1 forms an image of light from a subject as a subject image. The light from the subject is specifically the reflected light in which the illumination light is reflected by the subject.
  • the image pickup device 5 may be a CCD (Charge-Coupled Device) image pickup device, a CMOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor) image pickup device, or an element of another type. Further, the image sensor 5 may be a monochrome sensor or an element provided with a color filter.
  • the color filter may be a widely known bayer filter, a complementary color filter, or another filter. Complementary color filters are filters that include cyan, magenta, and yellow color filters.
  • the universal cord 220 is connected to the processor 300 via the connector 230.
  • the processor 300 controls the entire endoscope system 3, processes the image pickup signal output by the image pickup module 111, and outputs the image signal as an image signal.
  • the monitor 400 displays the image signal output by the processor 300 as an endoscopic image.
  • the above-mentioned optical laminate 1 can be applied to the image pickup module 111 of the endoscope 2. Since it is possible to suppress distortion of the optical member included in the optical laminate 1, it is possible to present an image with high visibility. Further, by using the optical laminate 1, the diameter of the insertion portion 100 can be reduced because a frame such as a lens barrel is not required. Therefore, it is possible to reduce the invasiveness in diagnosis and treatment using the endoscope 2.

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Abstract

内視鏡（２）は、被写体光が入射する光学積層体（１）と、光学積層体（１）を経由した被写体光に基づいて、画像を撮像する撮像素子（５）を含み、光学積層体（１）は、平板状の基板（１１）に光学窓（１２）が形成されてなり、光学窓（１２）の周囲に凹部（１３）又は凸部（１４）を有する第１光学部材（１０）と、第１光学部材（１０）の基板（１１）に対向する平坦面（２１）を有し、平坦面（２１）に凹部（１３）又は凸部（１４）と嵌合する樹脂製の突起部（２２）を有する第２光学部材（２０）と、を含む。

Description

内視鏡、光学積層体及び光学積層体の製造方法
　本発明は、内視鏡、光学積層体及び光学積層体の製造方法等に関する。
　従来、複数の光学部材を積層することによって、光学積層体を構成する手法が知られている。ここでの光学部材とは例えばレンズであり、光学積層体とは複数のレンズが積層されたレンズユニットである。
　複数のレンズを積層する際には、レンズ間の位置合わせが重要である。例えば特許文献１には、第１アライメント構造が設けられた第１光学素子と、第２アライメント構造が設けられた第２光学素子とを用いて、第１光学素子と第２光学素子の位置合わせを行う手法が開示されている。
米国特許第９９１０２３９号明細書
　特許文献１の手法では、レンズとアライメント構造が一体に構成される。そのため、位置合わせの際にレンズに応力がかかることによって、レンズが歪むおそれがある。
　本開示のいくつかの態様によれば、複数の光学部材を積層する際に、位置合わせの精度が高く、且つ、光学部材の歪みを抑制可能な内視鏡、光学積層体及び光学積層体の製造方法等を提供できる。
　本開示の一態様は、被写体からの光である被写体光が入射する光学積層体と、前記光学積層体を経由した前記被写体光に基づいて、画像を撮像する撮像素子と、を含み、前記光学積層体は、平板状の基板に光学窓が形成されてなり、前記光学窓の周囲に凹部又は凸部を有する第１光学部材と、前記第１光学部材の前記基板に対向する平坦面を有し、前記平坦面に前記凹部又は前記凸部と嵌合する樹脂製の突起部を有する第２光学部材と、を含む内視鏡に関係する。
　本開示の他の態様は、平板状の基板に光学窓が形成されてなり、前記光学窓の周囲に凹部又は凸部を有する第１光学部材と、前記第１光学部材の前記基板に対向する平坦面を有し、前記平坦面に前記凹部又は前記凸部と嵌合する樹脂製の突起部を有する第２光学部材と、を含む光学積層体に関係する。
　本開示の他の態様は、平板状の基板に光学窓が形成されてなり、前記光学窓の周囲に凹部又は凸部を有する第１光学部材と、前記第１光学部材の前記基板に対向する平坦面を有し、前記平坦面に前記凹部又は前記凸部と嵌合する突起部を有する第２光学部材と、を含み、前記突起部のヤング率は、前記第１光学部材のヤング率よりも低い光学積層体に関係する。
　本開示の他の態様は、平板状のガラス板に光学窓を形成し、前記ガラス板の前記光学窓の周囲に凹部又は凸部を形成することによって、ガラスレンズを生成する工程と、１又は複数のレンズウエハを含み、平坦面を有するレンズユニットを生成する工程と、前記レンズユニットの前記平坦面に樹脂製の突起部を形成する工程と、前記ガラスレンズの前記凹部又は前記凸部と、前記レンズユニットの前記突起部と嵌合させることによって、前記レンズユニットに複数の前記ガラスレンズを取り付ける工程と、ウエハを切断することによって、複数の光学積層体を個片化する工程と、を含む光学積層体の製造方法に関係する。
光学積層体の構成例。 ダイシング前の光学積層体を説明する斜視図。 光学積層体の製造フローを説明する図。 研磨によるガラスレンズの作製工程を説明する模式図。 図５（Ａ）、図５（Ｂ）はガラスレンズの構成を示す図。 図６（Ａ）～図６（Ｃ）はレンズウエハの積層工程を説明する図。 図７（Ａ）、図７（Ｂ）は突起部の構成を説明する図。 図８（Ａ）は位置合わせ、接着工程を説明する図、図８（Ｂ）は個片化工程を説明する図。 図９（Ａ）、図９（Ｂ）は突起部とは別に接着剤を設ける場合の構成を説明する図。 図１０（Ａ）は第１光学部材の平面図、図１０（Ｂ）は第２光学部材の平面図、図１０（Ｃ）は光学積層体の断面図。 図１１（Ａ）は第１光学部材の平面図、図１１（Ｂ）は第２光学部材の平面図、図１１（Ｃ）は光学積層体の断面図。 図１２（Ａ）は第１光学部材の平面図、図１２（Ｂ）は第２光学部材の平面図、図１２（Ｃ）は光学積層体の断面図。 図１３（Ａ）は第１光学部材の平面図、図１３（Ｂ）は第２光学部材の平面図。 図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）は光学積層体の断面図。 第２光学部材の平面図 図１６（Ａ）は内視鏡を含む内視鏡システムの構成例、図１６（Ｂ）は光学積層体及び撮像素子を含む撮像モジュールの構成例。
　以下、本実施形態について説明する。なお、以下に説明する本実施形態は、請求の範囲に記載された内容を不当に限定するものではない。また、本実施形態で説明される構成の全てが、本開示の必須構成要件であるとは限らない。
１．概要
　まず本実施形態の手法について説明する。特許文献１等に開示されているように、従来、複数の光学部材が積層された光学積層体が広く知られている。以下では、複数のレンズが積層されたレンズユニットについて説明する。複数のレンズを組み合わせることによって、単体のレンズを用いる場合に比べて光学性能を高くすることが可能である。なお、本実施形態における光学部材はレンズを含む部材に限定されず、他の光学部材に拡張可能である。
　複数のレンズを積層する際には、各レンズの位置合わせが重要である。具体的には、第１のレンズの光軸が、第２のレンズの光軸と一致するように、２つのレンズの相対位置関係を設定する必要がある。レンズが３つ以上になる場合も同様である。
　レンズ間の位置合わせにおいて、各レンズに位置合わせ用の構造を設ける手法が特許文献１等に開示されている。例えば、一方のレンズが固定されている場合に、他方のレンズを移動させながら位置合わせ用の構造同士が嵌合する位置を探索することによって、レンズの位置合わせが行われる。そのため、レンズユニットの組み立てにおいて、位置合わせ用の構造に力が加わる場合がある。特許文献１のように、位置合わせ用の構造とレンズとが一体に構成される場合、レンズ自体に歪みが発生することによって光学性能が低下する場合がある。例えば、レンズの歪みによって、レンズの理想曲面に対する実際のレンズ面の高さがばらついてしまう。
　図１は本実施形態の光学積層体１の構成を示す断面図である。より具体的には、図１は、光学積層体１の光軸ＡＸを含む平面における断面図である。図１に示すように、本実施形態の光学積層体１は、平板状の基板１１に光学窓１２が形成されてなり、光学窓１２の周囲に凹部１３を有する第１光学部材１０と、第１光学部材１０の基板１１に対向する平坦面２１を有し、凹部１３と嵌合する樹脂製の突起部２２を平坦面２１に有する第２光学部材２０と、を含む。なお、図１１（Ａ）～図１１（Ｃ）を用いて後述するように、第１光学部材１０は、光学窓１２の周囲に凸部１４を有してもよい。この場合、第２光学部材２０の突起部２２は、凸部１４と嵌合する。
　第１光学部材１０の光学窓１２とは、外部からの光の光学積層体１への入射口を表す。本実施形態における光学窓１２はレンズを含んでもよい。第１光学部材１０は、平板状の基板１１に光学窓１２と、凹部１３が形成される。即ち、第１光学部材１０は、位置合わせ用の構造とレンズとが一体として構成される。光学窓１２の周囲とは、光学窓１２の中心を基準として、光学窓１２から離れる方向であって、光学窓１２を囲む位置を表す。より具体的には、凹部１３は後述するように、光軸を中心とする同心円状の溝である。
　一方、第２光学部材２０は、平坦面２１を有し、当該平坦面２１に位置合わせ用の構造である突起部２２が形成される。即ち、第２光学部材２０の位置合わせ用の構造は、レンズの曲面とは一体に構成されない。例えば図１に示すように、第２光学部材２０は、レンズと基板を含んでもよい。そして、第２光学部材２０の平坦面２１は、基板の第１光学部材１０側の面であり、レンズは、当該基板の面のうち、平坦面２１と反対側の面に設けられる。ここでの基板は、例えばガラス基板２３－１であり、レンズは樹脂製のレンズ（樹脂レンズ２４－１）である。換言すれば、ガラス基板２３－１の一方側の面に樹脂レンズ２４－１が形成される場合において、第２光学部材２０の平坦面２１とは、当該ガラス基板２３－１の他方側の面である。なおここでの平坦面２１とは、完全な平面に限定されず、微小な凹凸を有する略平面を含む。微小な凹凸とは、具体的には基準面に対する高さ又は深さが所与の閾値以下の凹凸である。また、ガラス基板２３－２，２３－３や、樹脂レンズ２４－２等、第２光学部材２０の他の構造の詳細については後述する。
　本実施形態の手法によれば、第２光学部材２０の位置合わせ用の構造である突起部２２に力が加わる場合であっても、第２光学部材２０の光学性能を決定する部分、具体的には第２光学部材２０に含まれるレンズへの力の伝達が抑制される。そのため、位置合わせによるレンズの歪みを抑制可能である。その際、突起部２２に比べて変形しにくいガラス基板２３－１を用いることによって、第２光学部材２０に含まれるレンズへの力の伝達が、より抑制される。例えば、第２光学部材２０に含まれるレンズとして、変形しやすい樹脂レンズ２４－１等を用いる場合であっても、位置合わせによる光学性能の低下がおきにくい。
　また、本実施形態の手法では、第２光学部材２０側の位置合わせ用の構造として、樹脂が用いられる。樹脂はガラス等に比べて変形しやすい特性を有する。そのため、凹部１３と突起部２２とが嵌合する際に力が生じた場合、突起部２２が変形することによって、第１光学部材１０の歪みが抑制される。
　次に光学部材の材料という観点から本実施形態と従来手法の差異について説明する。複数のレンズを含むレンズユニットとしては、例えば、複数のガラスレンズが積層されたレンズユニットが知られている。例えば複数のガラスレンズを、レンズ鏡筒に収容することによって、レンズユニットが構成される。レンズユニットに含まれる各ガラスレンズは、図４を用いて後述するように、研磨、或いは型を用いたプレス成形等により作製される。
　また、半導体プロセスを用いることによって、ウエハレベル積層体であるレンズユニットを作製する手法も知られている。例えば、樹脂を型で挟み込み、光や熱を用いて当該樹脂を硬化させるパターン転写によって、ウエハ上に多数のレンズを一括生成することが可能である。或いは、ステップ＆リピート方式を用いて多数のレンズが生成されてもよい。以下、ウエハの同一面上に多数のレンズが形成されたものをレンズウエハと表記する。レンズウエハの具体例については、図６（Ａ）、図６（Ｂ）を用いて後述する。また、図６（Ｃ）を用いて後述するように、レンズウエハを積層することによって、積層レンズ（ウエハーレベルレンズ）を作製する手法も知られている。
　ガラスレンズを用いたレンズユニットでは、各レンズユニットを個別に製造する必要がある。例えばガラスレンズは、樹脂製のレンズのようにウエハレベルで一括形成されるのではなく、研磨等によって個別に作製される。よって、この場合のレンズユニットは、それぞれが個別に作製された複数のガラスレンズを、レンズ鏡筒の所定の位置に配置することによって作製される。そのため、ガラスレンズを用いたレンズユニットは、レンズウエハを作製する場合に比べて、生産性を高くすることが難しい。
　一方、レンズウエハに含まれるレンズとして広く用いられる樹脂レンズは、ガラスレンズに比べて屈折率を大きくすることが難しい。そのため、樹脂レンズを積層することによって、光学性能が所与の条件を満たすレンズユニットを作製する場合、ガラスレンズを積層したレンズユニットに比べてレンズの積層数を増やす必要がある。結果として、レンズユニットが大型化してしまう。
　特に図１６を用いて後述するように、レンズユニットを内視鏡システム３における光学系に用いる場合、レンズユニットのサイズは、内視鏡システム３の挿入部１００の構成に影響する。レンズユニットが大きい場合、例えば先端部１１０の硬質部分が長くなるため、操作の柔軟性が損なわれるおそれがある。より具体的には、撮影範囲を変更する際に、先端部１１０の屈曲操作だけでは対応できず、挿入部１００の挿抜操作が必要になるといったことが考えられる。
　図２は、本実施形態における光学積層体１の製造工程を説明する斜視図である。例えば本実施形態のレンズユニットは、複数のレンズウエハが積層された積層レンズウエハ４０に対して、複数のガラスレンズ３０を位置合わせした状態で接着することによって生成される。なお、ガラスレンズ３０の接着対象は積層レンズウエハ４０に限定されず、１層のレンズウエハであってもよい。ガラスレンズ３０の接着後、ウエハを切断することによって、複数の光学積層体１が個片化される。本実施形態の第１光学部材１０は、例えば図２に示すガラスレンズ３０である。本実施形態の第２光学部材２０は、例えば図２に示す積層レンズウエハ４０の一部である。
　以下、説明の便宜上、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸からなる座標系を設定する。当該座標系は、例えば積層レンズウエハ４０（第２光学部材２０）を基準として設定される座標系であり、ｚ軸は、積層レンズウエハ４０の光軸ＡＸに平行な軸である。また、ｘ軸及びｙ軸は、ｚ軸と直交する方向であり、ｘｙ平面は積層レンズウエハ４０に含まれるウエハ面に平行な面である。また、以下の説明における断面図とは、例えばｘｚ平面に平行な平面であって、積層レンズウエハ４０の光軸、或いは当該積層レンズウエハ４０から個片化された第２光学部材２０の光軸を含む平面における断面形状を表す図である。特に、ダイシング前の断面図とは、ｘｚ平面に平行な平面であって、複数のレンズの光軸を含む平面における断面形状を表す図である。例えば後述する図８（Ｂ）は、図２のＡ－Ａにおける断面形状を表す。
　また、ｘｙ平面は、第１光学部材１０の基板１１の平坦面、及び、第２光学部材２０の平坦面２１と、平行又は略平行な面である。第１光学部材１０は、第２光学部材２０に対して、ｚ軸に沿った方向に積層される。第１光学部材１０と第２光学部材２０が積層される方向を積層方向とも表記する。
　上述したように、積層レンズウエハ４０の光軸に対して、ガラスレンズ３０の光軸がずれてしまうと、光学性能が低下する。その点、本実施形態の手法によれば、ｘｙ方向において第１光学部材１０と第２光学部材２０を高い精度で位置合わせすることができる。
　また、本実施形態における基板１１は平板状である。そのため、基板１１の第２光学部材２０側の面のうち、光学窓１２及び凹部１３以外の領域の少なくとも一部は、平坦面である。より具体的には、基板１１の第２光学部材２０側の面のうち、光学窓１２及び凹部１３以外の全ての領域が平坦面である。即ち、本実施形態の手法では、基板１１の平坦面と第２光学部材２０の平坦面２１とが平面同士で接触するため、ｚ方向における精度向上も期待できる。特に、２つの平面の間に接着剤を設けない構成では、ｚ方向における精度向上が可能である。
　このように精度の高い位置合わせが可能であるため、本実施形態の手法では、ガラスレンズ３０の光軸を積層レンズウエハ４０の光軸に一致させることが可能である。なお、ここでの一致は完全一致に限定されず、誤差が所与の閾値よりも小さい略一致を含む。以下、ガラスレンズ３０と積層レンズウエハ４０の接着後については、特に断らない限り、ガラスレンズ３０又は第１光学部材１０の光軸と、積層レンズウエハ４０又は第２光学部材２０の光軸と、光学積層体１全体としての光軸ＡＸと、を互いに区別しない。
　また、図２では積層レンズウエハ４０上に９個のガラスレンズ３０を接着する例を示したが、１つのウエハから作成可能な光学積層体１の数は種々の変形実施が可能である。
　なお本実施形態の第１光学部材１０は、図２に示すガラスレンズ３０そのものには限定されない。例えば、ウエハを切断する際にガラスレンズ３０の一部がカットされてもよい。例えばガラスレンズ３０のうち、レンズとしての有効範囲よりも外側の領域はダイシングの際に取り除かれても光学性能に影響しない。また、接着強度が確保できれば、接着領域の一部の領域がダイシングの際に取り除かれてもよい。この場合、第１光学部材１０とは、図２に示すガラスレンズ３０のうち、周縁部が取り除かれた残りの部分に相当する。また、光学積層体１のうち、積層レンズウエハ４０に対応する部分が第２光学部材２０である。
　本実施形態の手法によれば、第２光学部材２０についてはウエハ単位での作製が可能であるため、複数のガラスレンズを積層することによってレンズユニットを製造する場合に比べて生産性が向上する。また、第２光学部材２０に対して、相対的に屈折率の大きいレンズを含む第１光学部材１０を追加可能であるため、樹脂レンズを含むレンズウエハのみを積層する積層レンズウエハ４０に比べて光学性能の向上が容易である。例えば、レンズウエハの層数を増やすことによって同等の光学性能を実現しようとした場合に比べて、レンズユニットの小型化が可能である。
　従来、積層レンズウエハ４０を製造する際には、半導体製造プロセスで用いられる位置合わせ用のマークを利用することが可能である。位置合わせ用のマークとは、例えば図６（Ａ）～図６（Ｃ）を用いて後述するアライメントマーク２６（２６－１～２６－３）である。アライメントマーク２６を基準としてレンズウエハが形成、積層されるため、複数層のレンズウエハを精度よく位置合わせすることが可能である。しかし、ガラスレンズ３０は金属型による成形や研磨によって製造されるため、アライメントマークの付加が難しい。また、積層レンズウエハ４０のアライメントマーク２６を基準としてガラスレンズ３０の位置合わせをする場合、ガラスレンズの外形を合わせるしかない。結果として、ガラスレンズ３０の光軸と積層レンズウエハ４０の光軸を高い精度で位置合わせすることが難しく、光学性能が低下する要因となる。
　これに対して、本実施形態の第２光学部材２０はアライメントマーク２６により位置合わせされた突起部２２を有する。上述したとおり、アライメントマーク２６は、第２光学部材２０の光軸の決定に用いられるため、当該アライメントマーク２６を基準として設けられる突起部２２は、積層レンズウエハ４０（第２光学部材２０）の光軸との位置が高い精度で設定された構造である。また、ガラスレンズ３０に設けられる凹部１３は、図４を用いて後述するように、ガラスレンズ３０の光軸を基準として形成される構造である。当該突起部２２と、第１光学部材１０の凹部１３とを用いることによって、光軸に関する位置合わせ精度が高くなるため、光学積層体１の光学性能を高くすることが可能になる。
２．光学積層体の組み立て
　図３は本実施形態に係る光学積層体１を組み立てる際の流れを説明する図である。光学積層体１の組み立てにおいては、まずステップＳ１１、ステップＳ１２において、ガラスレンズ３０の作製と、積層レンズウエハ４０の作製が行われる。なお、ガラスレンズ３０と積層レンズウエハ４０は、いずれが先に作製されてもよいし、並列に作製されてもよい。また、ステップＳ１１に示すガラスレンズ３０の作製は、凹部１３の作製を含む。ステップＳ１２に示す積層レンズウエハ４０の作製は、突起部２２の作製を含む。
　次に、ステップＳ１３において、凹部１３と突起部２２を用いた位置合わせが行われる。位置合わせ後に、ステップＳ１４において、接着剤を用いてガラスレンズ３０と積層レンズウエハ４０が接着される。ステップＳ１５において、接着されたガラスレンズ３０と積層レンズウエハ４０をダイシングすることによって、複数の光学積層体１が個片化される。以下、各ステップについて詳細に説明する。
２．１　ガラスレンズの作製
　ステップＳ１１のガラスレンズ３０の作製工程について説明する。ガラスレンズ３０は、研磨によって製造されてもよいし、金属型を用いてプレス成形されてもよい。
　図４は、ガラスレンズ３０を研磨によって製造する工程を説明する図である。図４に示すように、ガラス板３１が回転台５１に設置される。当該回転台５１を用いてガラス板３１を回転させながら砥石５２を用いて削ることによって、ガラスレンズ３０が製造される。なお、図４に示す工程の後、研磨剤を用いた研磨や、光軸とレンズの中心を合わせる芯取り等、通常のガラスレンズの製造と同様の工程が行われてもよい。
　図４に示すように、ガラスレンズ３０の製造では、ガラス板３１を回転させながらガラスレンズ３０の曲面が形成される。その後、ガラス板３１を回転台５１から外すことなく、凹部１３の形成が行われる。このようにすれば、ガラスレンズ３０に光学窓１２を形成する際の回転中心と、凹部１３を形成する際の回転中心が共通となる。結果として、ガラスレンズの光軸（光学中心）と基準とした位置に、凹部１３を形成することが可能になる。なお、ここでは光学窓１２の形成後に凹部１３を形成する例を示したが、各部の形成においてガラス板３１の回転中心が共通であればよく、形成順序はこれに限定されない。すなわち、これらの形成は同時であってもよい。このようにして形成される凹部１３は、光軸に対して同心円状のパターンになる。換言すれば、光軸に対する位置精度の高い構造を設けようとした場合、当該構造は光軸に対して同心円状のパターン以外とすることが難しい。
　なお、金属型を用いたプレス成形を行う場合、回転させながら研磨を行うことによって金属型が製造される。そのため、プレス成形によってガラスレンズ３０を作製する場合であっても、位置合わせ用の構造が光軸に対して同心円状のパターンとなる点は図４の例と同様である。
　図５（Ａ）は、本実施形態におけるガラスレンズ３０の構成を示す平面図である。ここでの平面図とは、図２に示す状態において、積層レンズウエハ４０と接する側の面からガラスレンズ３０を観察した図を表す。なお、図５（Ａ）においてはガラスレンズ３０の凹凸をわかりやすくするため、平坦面以外の部分である光学窓１２及び凹部１３についてはハッチングを省略している。この点は図１０（Ａ）以降の図面においても同様である。また、図５（Ｂ）は、第１光学部材１０のＢ－Ｂ面における断面図である。なお、図５（Ａ）、図５（Ｂ）に示すｘｙｚの各軸は、ガラスレンズ３０が積層レンズウエハ４０に接着された状態における方向を表す。また、ここではガラスレンズ３０が円板である例について説明するが、ガラスレンズ３０の平面視における形状は任意である。ここでの平面視とは、対象となる物体をｚ軸に沿った位置に設定される視点から観察することを表す。
　図５（Ａ）、図５（Ｂ）に示すように、ガラスレンズ３０は、例えばガラス板３１の一方側の面に、平面視において円形状となる凹部である光学窓１２が形成された平凹レンズである。なお、ガラスレンズ３０は両凹レンズや凸レンズ等、他の構成のレンズであってもよい。そして、ガラスレンズ３０は、同心円状の溝である凹部１３を含む。上述したように、光学窓１２を形成する際のガラス板３１の回転中心と、凹部１３を形成する際のガラス板３１の回転中心は共通である。光学窓１２の中心と、凹部１３に対応する同心円の中心は対応するため、凹部１３は、ガラスレンズ３０の光軸を基準として設けられた構造となる。
２．２　積層レンズの作製
　ステップＳ１２の積層レンズウエハ４０の作製工程について説明する。図６（Ａ）～図６（Ｃ）は、積層レンズウエハ４０に含まれるレンズウエハ８１、８２の積層工程を説明する図である。図７（Ａ）、図７（Ｂ）は突起部２２を作製する工程を説明する図である。
　なお、図６（Ｃ）、図７（Ａ）、図７（Ｂ）に示すｘ軸、ｙ軸及びｚ軸は、図１及び図２に示した各軸に対応する。また、図６（Ａ）、図６（Ｂ）は積層前のレンズウエハのうち、図６（Ｃ）、図７（Ａ）に示す部分に対応する断面図である。
　図６（Ａ）は、積層レンズウエハ４０のうち、最も被写体に近い位置に配置されるレンズウエハ８１を説明する図である。ガラス基板２３－１に対して、積層レンズウエハ４０内での位置合わせの基準となるアライメントマーク２６－１及び絞りとなるアパーチャーパターン２５が形成される。アライメントマーク２６－１及びアパーチャーパターン２５は、半導体製造プロセスのパターニング手法を用いて形成される。次に、アライメントマーク２６－１を基準とした位置に、複数の樹脂レンズ２４－１からなるレンズアレイが作成される。レンズアレイは、例えば、光硬化樹脂の滴下と、型の押し込みと、光の照射とが順次実行されることによって作成される。
　図６（Ｂ）は、積層レンズウエハ４０のうち、相対的に被写体から遠いレンズウエハ８２を作製する工程を説明する図である。レンズウエハ８２は、ガラス基板２３－２と、アライメントマーク２６－２と、ガラス基板２３－２上に形成された複数の樹脂レンズ２４－２からなるレンズアレイと、を含む。レンズアレイは、アライメントマーク２６－２を基準とした位置に形成される。レンズウエハ８２は、アパーチャーパターン２５が不要である点を除いて、レンズウエハ８１と同様である。
　図６（Ｃ）に示すように、レンズウエハ８１、８２が積層されることによって、積層レンズウエハ４０が作成される。積層工程では、ガラス基板２３－３とレンズウエハ８２の貼り付け、及びレンズウエハ８２とレンズウエハ８１の貼り付けが行われる。貼り付けは、接着剤を用いて行われる。なお、ガラス基板２３－３にはアライメントマーク２６－３がパターニングされている。積層工程では、各ガラス基板にパターニングされたアライメントマークを用いて、位置合わせが行われる。
　これにより、樹脂レンズ２４－１、２４－２が２層に積層された積層レンズウエハ４０が作製される。なお、図６（Ｃ）は積層レンズウエハ４０の一例であり、積層レンズウエハ４０の構造については種々の変形実施が可能である。例えば、積層されるレンズの層数を変更してもよい。また、以上では樹脂レンズ２４－１、２４－２とガラス基板２３－１～２３－３を含むハイブリッドレンズを例示したが、積層レンズウエハ４０はこれに限定されない。また、第２光学部材２０に含まれるレンズは１層であってもよい。
　次に、位置合わせ用の構造である突起部２２が形成される。図７（Ａ）に示すように、突起部２２は、ガラス基板２３－１のうち、樹脂レンズ２４－１が形成された面とは反対側の面である平坦面２１に形成される。上述してきたように、積層レンズウエハ４０の作製においては、アライメントマーク２６（２６－１～２６－３）を基準として位置合わせが行われており、アライメントマーク２６に対する積層レンズウエハ４０の光軸は高精度に位置合わせされている。また、ガラスレンズ３０に設けられる凹部１３と、ガラスレンズ３０の光軸との位置関係も既知である。よって、アライメントマーク２６を基準とすることによって、ガラスレンズ３０の凹部１３に対応する位置に突起部２２を設けることが可能である。例えば、突起部２２は、図７（Ｂ）に示すように、積層レンズウエハ４０の光軸に対して同心円状の領域に形成される。
　突起部２２は、例えば感光性接着剤である。感光性接着剤とは、感光によって溶解し、且つ、加熱によって接着が可能な樹脂である。或いは突起部２２は、紫外線の照射によって硬化する樹脂であってもよい。突起部２２の形成は、半導体製造プロセスにおいて広く用いられるフォトリソグラフィを適用可能である。
２．３　位置合わせ及び個片化
　ステップＳ１３～Ｓ１５に示す位置合わせ、接着、個片化の各工程について説明する。上述したように、ステップＳ１１において、光軸を中心とする同心円状の溝である凹部１３が形成されたガラスレンズ３０が作製されている。ここで、凹部１３が半径ｒ１の円と半径ｒ２（＞ｒ１）の円の間の領域に掘られた溝である場合に、ｒ１及びｒ２は設計において既知である。また、ステップ１２において、凹部１３に対応する位置に突起部２２が形成された積層レンズウエハ４０が作製されている。凹部１３に対応する位置とは、平面視において積層レンズウエハ４０の光軸を中心とした半径ｒ１の円と半径ｒ２の円の間の領域の一部又は全部を表す。図７（Ｂ）の例では、当該領域において環状に連続する突起部２２が設けられている。
　積層レンズウエハ４０に対するガラスレンズ３０の配置は、フリップチップボンダを用いて行われてもよいし、ロボットハンドを用いて行われてもよい。また、ガラスレンズ３０の配置が手動で行われることも妨げられない。
　図８（Ａ）に示すように、ガラスレンズ３０の凹部１３に、積層レンズウエハ４０の突起部２２を嵌合させることによって、ガラスレンズ３０の光軸と積層レンズウエハ４０の光軸とが高い精度で位置合わせされる。例えば、所与の位置の突起部２２に注目した場合、突起部２２のＤ１側の面と凹部１３のＤ１側の面との接触、及び、突起部２２のＤ２側の面と凹部１３のＤ２側の面との接触の少なくとも一方が実現される。Ｄ１は光軸から突起部２２へ向かう方向及びそれを延長した方向であり、Ｄ２はその逆方向である。換言すれば、Ｄ１は光軸を中心とした場合の離心方向であり、Ｄ２はその逆方向である。即ち、凹部１３と突起部２２によって、ガラスレンズ３０と積層レンズウエハ４０の相対位置がＤ１又はＤ２の方向にずれることが規制される。突起部２２を同心円状に設けた場合、光軸に交差する種々の方向での相対位置のずれが規制されるため、ｘｙ方向においてガラスレンズ３０と積層レンズウエハ４０を高い精度で位置合わせ可能である。
　突起部２２が感光性接着剤である場合、位置合わせ後に加熱や感光等の硬化工程を実行することによって、ガラスレンズ３０と積層レンズウエハ４０が接着される。
　次に、図８（Ｂ）に示すように個片化が行われる。個片化には、例えばダイシングブレード５５が用いられる。ただし、個片化はダイシングブレード５５を用いるものに限定されず、レーザーダイシング等の他の手法が用いられてもよい。個片化によって、複数の光学積層体１が取得される。
　以上で説明したように、本実施形態における突起部２２は、感光性接着剤であってもよい。そして突起部２２は、第１光学部材１０の凹部１３内に配置される。
　このようにすれば、位置合わせ用の構造である突起部２２を、接着剤として用いることが可能になる。また、本実施形態の手法では、第１光学部材１０と第２光学部材２０が、基板１１の面と平坦面２１という平面同士を押し当てた状態で固定されるため、積層方向における位置合わせの精度を高くすることも可能である。特に、凹部１３の内部に配置される突起部２２を接着剤として用いる場合、第１光学部材１０側の基板１１の面と、第２光学部材２０側の平坦面２１の間に接着剤を設ける必要がない。そのため、接着剤の厚みに起因する誤差が抑制されるため、積層方向における位置合わせの精度をさらに高くすることが可能である。
　また、凹部１３と突起部２２が曲面において接着されるため、平面同士の接着を行う場合に比べて、平面視における接着面積が小さくても接着強度を確保することが可能である。平面視における接着面積とは、積層方向から見た場合の突起部２２が形成される面積であり、図７（Ｂ）に示す例であれば同心円の面積に対応する。
　また、第２光学部材２０は、複数のレンズが積層されたレンズユニットであってもよい。図１の例であれば、第２光学部材２０は、２つの樹脂レンズ２４－１、２４－２が積層される。ただし、レンズの積層数は、３層以上であってもよい。
　本実施形態の手法において、第１光学部材１０が、複数のレンズが積層されたレンズユニットであることは妨げられない。例えば、積層レンズウエハ４０に対して、ガラスレンズ３０を２層以上積層することによって光学積層体１が作製されてもよい。ただし、ガラスレンズ３０を２層以上積層する場合、個片化されたガラスレンズ３０を高い精度で位置合わせする工程を、層数分だけ実行する必要が生じる。即ち、ガラスレンズ３０は屈折率等の光学性能において樹脂レンズ２４よりも有利であるが、多数のガラスレンズ３０を積層することによって生産性が低下するおそれがある。その点、第２光学部材２０を積層レンズウエハ４０とすることによって光学性能を向上させれば、光学積層体１の生産性と光学性能を両立することが可能になる。
　また、第１光学部材１０は、ガラス製レンズであってもよい。このようにすれば、第２光学部材２０に対して、相対的に光学性能の高いレンズを追加できるため、光学性能の向上や、光学積層体１の小型化等が可能になる。また、第１光学部材１０が突起部２２よりも変形しにくい部材となるため、位置合わせに伴うレンズの歪みを抑制可能である。
　また、凹部１３は、光学窓１２の光軸に対して同心円状に形成されていてもよい。具体的には、第１光学部材１０に対して－ｚ方向に設定された視点から、当該第１光学部材１０を観察した平面視において、凹部１３は光軸に対して同心円状に形成される。図３を用いて上述したように、第１光学部材１０は回転した状態で研磨が行われる。或いは、金属型を用いて第１光学部材１０を成型する場合、当該金属型が回転した状態で研磨される。研磨途中で回転台５１からガラス板３１或いは金属型を外してしまうと、それ以降の研磨における回転中心がずれてしまうため、光軸を基準としたパターンの形成が困難である。換言すれば、凹部１３を光学窓１２の光軸に対して同心円状に形成することによって、光軸との位置関係が高い精度で規定された位置合わせ用の構造を設けることが可能になる。
　また、突起部２２は、図７（Ｂ）に示すように、同心円状に形成された凹部１３に対応した領域に、同心円状に形成されてもよい。このように円形状に連続する突起部２２を設けることによって、積層方向に交差する平面における任意の方向の位置ずれが規制される。結果として、凹部１３と突起部２２を用いた第１光学部材１０と第２光学部材２０の位置合わせを高い精度で行うことが可能になる。
　また、第２光学部材２０はガラス基板を含んでもよい。ここでのガラス基板は、狭義にはガラス基板２３－１である。第２光学部材２０の平坦面２１は、ガラス基板２３－１の第１光学部材１０側の面である。このようにすれば、第２光学部材２０の平坦面２１をガラス面とすることが可能になる。本実施形態の手法は、第１光学部材１０の基板１１の平坦面と第２光学部材２０の平坦面２１によって平面同士が接触した状態で固定されるため、積層方向の位置合わせ精度を高くできる。その際、樹脂等に比べて変形しにくい材料であるガラスを用いて平面を構成することによって、積層方向の位置合わせ精度をより高くすることが可能である。ただし、第２光学部材２０の平坦面２１が、シリコン基板の平面等、ガラス以外の部材により構成される面であることは妨げられない。
　また、本実施形態の光学積層体１は、平板状の基板１１に光学窓１２が形成されてなり、光学窓１２の周囲に凹部１３を有する第１光学部材１０と、第１光学部材１０の基板１１に対向する平坦面２１を有し、平坦面２１に凹部１３と嵌合する突起部２２を有する第２光学部材と、を含み、突起部２２のヤング率は、第１光学部材１０のヤング率よりも低い光学積層体１であってもよい。ここでのヤング率は、物体に対して所与の方向に加えられる応力と、当該方向における歪み量との関係を表す係数であり、ヤング率が小さいほど、応力に対して歪みやすい。即ち、本実施形態における突起部２２は、第１光学部材１０に比べて歪みやすい部材である。
　上述したように、本実施形態の手法では、平坦面２１に突起部２２を設けることによって、第２光学部材２０の光学性能の低下を抑制可能である。一方、第１光学部材１０の位置合わせ用の構造である凹部１３は、光学窓１２が形成される基板１１と一体として設けられる。そのため、第１光学部材１０の光学性能の低下を抑制するには、第１光学部材１０と突起部２２の部材を考慮する必要がある。その点、突起部２２のヤング率が第１光学部材１０のヤング率よりも低い場合、突起部２２が相対的に変形しやすいため、第１光学部材１０の歪みを抑制可能である。
　また、本実施形態の手法は、図３に示す光学積層体１の製造方法に適用できる。光学積層体１の製造方法は、ガラスレンズ３０を生成する工程と、レンズユニットを生成する工程と、突起部２２を形成する工程と、レンズユニットに複数のガラスレンズ３０を取り付ける工程と、複数の光学積層体１を個片化する工程と、を含む。
　ガラスレンズ３０を生成する工程は、図４、図５に示すように、平板状のガラス板３１に光学窓１２を形成し、ガラス板３１の光学窓１２の周囲に凹部１３又は後述する凸部１４を形成することによって行われる。ここでのレンズユニットは、１又は複数のレンズウエハを含み、平坦面２１を有する。図６（Ｃ）に示すように、複数のレンズウエハが積層される場合、レンズユニットとは積層レンズウエハ４０（個片化前のウエハレベルレンズ）である。突起部２２は、樹脂製であり、図７（Ａ）、図７（Ｂ）に示すように、レンズユニットの平坦面２１に設けられる。レンズユニットに複数のガラスレンズ３０を取り付ける工程は、図８（Ａ）に示すように、ガラスレンズ３０の凹部１３又は後述する凸部１４と、レンズユニットの突起部２２と嵌合させることによって行われる。光学積層体１を個片化する工程は、図８（Ｂ）に示すように、例えばダイシングブレード５５を用いたダイシングによって行われる。本実施形態の手法によれば、生産性と光学性能とのバランスがとれた光学積層体１の製造方法を実現可能である。
３．光学積層体の他の構成例
　以下、いくつかの変形例について説明する。なお、以下では、主に個片化が行われた後の光学積層体１について説明する。そのため、第１光学部材１０については平面視における形状が矩形である例について説明する。上述したように、ガラスレンズ３０は円板状であって、ダイシングによって矩形の第１光学部材１０が形成されてもよい。或いは、矩形のガラスレンズ３０が作製及び接着されてもよい。また、ガラスレンズ３０の一部がダイシングによって取り除かれる場合、当該取り除かれる部分における凹部又は凸部の有無や、当該凹部等の幅については種々の変形実施が可能である。
　第２光学部材２０についても同様であり、積層レンズウエハ４０のうち、主に個片化が行われた後の部分について説明する。突起部２２は、ダイシング後にも残る部分について図示するが、ダイシングによって取り除かれる範囲に突起部２２が設けられてもよい。また、説明を簡略化するために、第２光学部材２０のうち、第１光学部材１０側に設けられる１つのガラス基板２３と、樹脂レンズ２４について図示し、他の構成については省略する。
３．１　接着剤
　図９（Ａ）、図９（Ｂ）は、接着に関する変形実施を説明する図である。図９（Ａ）に示すように、突起部２２の表面に接着剤９０が設けられ、突起部２２は、第１光学部材１０の凹部１３内に配置されてもよい。即ち、この場合の突起部２２は位置合わせのための構造であって、それ自体は接着剤として機能しない。そして、当該突起部２２とは別に接着剤９０が用いられる。突起部２２は、上述した例と同様にフォトリソグラフィを用いて形成されてもよいし、ディスペンサーを用いて樹脂を塗布することによって形成されてもよい。この場合も、凹部１３の内部で接着が行われるため、積層方向における位置合わせの精度向上が可能である。ここでの接着剤は、例えば紫外線によって硬化する接着剤であるが、他の接着剤が用いられてもよい。
　また、図９（Ｂ）に示すように、第１光学部材１０と、第２光学部材２０とが接着剤９１により接合され、当該接着剤９１は、光学積層体１の光軸に対して、突起部２２よりも外側に設けられてもよい。具体的には、第１光学部材１０を構成する基板１１の第２光学部材２０側の面のうち、光学窓１２及び凹部１３を除いた領域である平坦部と、第２光学部材２０の平坦面２１とが接着される。光軸に対して突起部２２より外側とは、突起部２２よりもＤ１の方向の位置を表す。Ｄ１は、光軸から突起部２２へと向かう方向であり、狭義には光軸に直交する方向である。
　この場合、第１光学部材１０の基板１１の平坦面と、第２光学部材２０の平坦面２１の間に接着剤９１が設けられる。そのため、積層方向における位置合わせの精度を高くする場合、接着剤９１の厚みを調整することが望ましい。図９（Ｂ）の構成は、接着箇所が凹部１３の内部に限定されないため、平面視における接着面積を広くすることが可能であるという利点がある。また、接着剤９１が突起部２２よりも外側に設けられるため、接着剤９１が光軸方向に流れることを突起部２２によって抑制可能である。即ち、接着剤９１がレンズの有効範囲内に回り込むことによる光学性能の低下が抑制される。
３．２　位置合わせ用の構造
　次に第１光学部材１０及び第２光学部材２０に設けられる位置合わせ用の構造に関する変形例を説明する。
　図１０（Ａ）は第１光学部材１０の平面図であり、図１０（Ｂ）は第２光学部材２０の平面図である。また、図１０（Ｃ）は光学積層体１の断面図である。図１０（Ａ）～図１０（Ｃ）に示すように、位置合わせ用の構造である凹部１３は、レンズ構造である凹部（光学窓１２）と連続して設けられてもよい。第２光学部材２０の突起部２２は、凹部１３に対応する位置に設けられる。
　図１０（Ｃ）に示すように、所与の位置の突起部２２に注目した場合、突起部２２のＤ１側の面と凹部１３のＤ１側の面が接触し、突起部２２のＤ２側の面は凹部１３と接触しない。凹部１３と突起部２２の嵌合により、第１光学部材１０のＤ２方向への移動が規制される。突起部２２を同心円状に設けた場合、光軸に交差する種々の方向での相対位置のずれが規制されるため、第１光学部材１０と第２光学部材２０を高い精度で位置合わせ可能である。
　図１１（Ａ）は第１光学部材１０の他の構成を示す平面図であり、図１１（Ｂ）は、第２光学部材２０の平面図である。また、図１１（Ｃ）は光学積層体１の断面図である。
　図１１（Ａ）、図１１（Ｃ）に示すように、第１光学部材１０の基板１１の面に、第１凹部１３－１と、第２凹部１３－２が設けられることによって、第１凹部１３－１と第２凹部１３－２の間に凸部１４が形成されてもよい。突起部２２は、第１凹部１３－１及び第２凹部１３－２の少なくとも一方に対応する位置に設けられる。図１１（Ｂ）、図１１（Ｃ）では、突起部２２が第１凹部１３－１に対応する位置に設けられる例を示している。所与の位置の突起部２２に注目した場合、突起部２２のＤ１側の面と凸部１４のＤ２側の面が接触する。凸部１４と突起部２２の嵌合により、第１光学部材１０のＤ２方向への移動が規制される。
　図１１（Ａ）～図１１（Ｃ）に示したように、本実施形態の光学積層体１は、平板状の基板１１に光学窓１２が形成されてなり、光学窓１２の周囲に凸部１４を有する第１光学部材１０と、第１光学部材１０の基板１１に対向する平坦面２１を有し、平坦面２１に凸部１４と嵌合する樹脂製の突起部２２を有する第２光学部材２０と、を含む。即ち、第１光学部材１０の位置合わせ用の構造は凹部１３であってもよいし、凸部１４であってもよい。
　また、第１光学部材１０に凸部１４を形成する際にも、凸部１４が、光学窓１２の光軸に対して同心円状に形成される点は凹部１３と同様である。このようにすれば、光軸に対して、凸部１４を高い精度で配置することが可能になる。突起部２２は、例えば同心円状に形成された凸部１４に対応した円形状である。
　図１２（Ａ）は第１光学部材１０のさらに他の構成を示す平面図であり、図１２（Ｂ）は第２光学部材２０の平面図であり、図１２（Ｃ）は光学積層体１の断面図である。
　図１２（Ａ）に示すように、第１光学部材１０に形成される凹部１３は、当該第１光学部材１０の外周まで連続するものであってもよい。図１２（Ｂ）に示すように、突起部２２は、凹部１３に対応する位置に設けられる。図１２（Ａ）～図１２（Ｃ）に示す構成は、図７（Ｂ）等の構成に比べて、平面視における接着面積を大きくすることが可能である。
　図１３（Ａ）は第１光学部材１０のさらに他の構成を示す平面図であり、図１３（Ｂ）は第２光学部材２０の平面図である。図１３（Ａ）、図１３（Ｂ）に示すように、凹部１３及び突起部２２は、光学積層体１の４隅に残る構成であってもよい。第１光学部材１０と第２光学部材２０は、光学積層体１の４隅において接着される。
　以上のように、第１光学部材１０の位置合わせ用の構造である凹部１３又は凸部１４と、第２光学部材２０の位置合わせ用の構造である突起部２２は、それぞれが光軸に対して対応する位置関係に配置されればよい。また、本実施形態の手法は、突起部２２のＤ１又はＤ２側の面が、第１光学部材１０の位置合わせ用の構造と嵌合可能であればよく、凹部１３又は凸部１４、突起部２２の具体的な形状については種々の変形実施が可能である。
３．３　遮光部材
　図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）は光学積層体１の他の構成を示す断面図である。図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）に示すように、凹部１３の内部に、遮光性樹脂９５が充填されてもよい。この際、第１光学部材１０と第２光学部材２０の積層方向において、第１光学部材１０の基板１１の平坦面に対する凹部１３の深さｄ２は、基板１１の面に対する光学窓１２の深さｄ１よりも深い。ここで、光学窓１２の深さｄ１とは、基板１１の厚さ方向における、基板１１の第２光学部材２０側の面を基準として最も深い部分の距離をいう。光学窓１２が、図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）に示す凹レンズである場合、深さｄ１は、光軸ＡＸに対応する位置における距離に対応する。また光学窓１２は凸レンズであってもよく、この場合の深さｄ１は、当該凸レンズの有効範囲の周縁部分における距離に対応する。即ち、ここでの距離ｄ１は、光学窓１２のうち最も深い部分の距離であればよく、ｘｙ平面における具体的な位置は種々の変形実施が可能である。
　このようにすれば、第１光学部材１０の光学窓１２に対する外乱光の入射を抑制できる。なお、外乱光の入射を抑制するために、光学積層体１の側面に遮光部材を設けることが可能である。また、ガラスレンズを積層する従来手法においては、レンズ鏡筒が遮光部材となり、側面からの光の入射が抑制される。しかし、本実施形態の光学積層体１は、ダイシング等の個片化工程が行われるため、断面形状が矩形になることが想定される。そのため、断面形状が円形であるガラスレンズ及びレンズ鏡筒を用いたレンズユニットと比較した場合、光学積層体１の対角線上の部分において、側面から光学窓１２までの距離が長くなる。結果として、側面に遮光部材を設けたとしても、光学窓１２を適切に通過しない光が、光学積層体１の内部に進入するおそれがある。その点、凹部１３の内部に遮光性樹脂９５を充填することによって、側面よりも光学窓１２に近い位置において外乱光を遮光できる。その際、凹部１３の深さをより深くすることによって、遮光性能の向上が可能である。
　なお、遮光性樹脂９５は、図１４（Ａ）に示すように、突起部２２と凹部１３との間に充填されてもよい。或いは図１４（Ａ）に示すように、突起部２２が遮光性樹脂９５であってもよい。即ち、遮光部材は位置合わせ用の構造である突起部２２とは別に設けられてもよいし、位置合わせ用の構造である突起部２２が遮光部材を兼ねてもよく、具体的な構造は種々の変形実施が可能である。
３．４　突起部の形状
　また、以上では、連続する円形状の突起部２２が設けられる例を説明した。例えば、突起部２２は、凹部１３に対応する同心円状の領域に設けられる。上述したように、凹部１３や凸部１４は回転台５１を用いてガラス板３１を回転させながら形成されるものであり（図４参照）、同心円状以外の構成とすることは容易でない。しかし、突起部２２については、凹部１３又は凸部１４と嵌合可能であればよく、具体的な形状は種々の変形実施が可能である。
　図１５に示すように、例えば突起部２２は、同心円状に形成された凹部１３又は凸部１４に対応した同心円状の領域のうちの、一部の領域に配置されてもよい。図１５では、４つの突起部２２－１～２２－４が設けられる例を示している。なお、各突起部２２の大きさは図１５の例に限定されず、種々の変形実施が可能である。例えば、Ｚ方向から観察した平面視において、点状の突起部２２が複数設けられてもよい。点状の突起部２２の数を３つ以上とすることによって、ｘｙ方向での第１光学部材１０の相対的な移動を規制することが可能である。また、複数の突起部２２の大きさは一致する必要はなく、それぞれ異なる大きさの複数の突起部２２が設けられてもよい。
　また、突起部２２は複数に限定されず、１つであってもよい。突起部２２が１つであり、且つサイズが小さい場合、当該突起部２２は、突起部２２から光軸へ向かう方向、及びその逆方向での第１光学部材１０の移動の少なくとも一方を規制可能であるが、これ以外の方向への移動を規制することが難しい。しかし、少なくとも１方向における位置合わせが可能であるため、突起部２２が設けられない場合に比べて、位置合わせの精度向上が可能である。より位置合わせの精度を高くする必要がある場合、突起部２２を２以上にする、或いはサイズを大きくするとよい。
４．内視鏡システム
　また、本実施形態の手法は、内視鏡２に適用できる。ここでの内視鏡２は、具体的には内視鏡スコープであって、挿入部１００を含む。挿入部１００は、被写体からの光である被写体光が入射する光学積層体１と、光学積層体１を経由した被写体光に基づいて、画像を撮像する撮像素子５と、を含む。光学積層体１は、上述してきたとおり、平板状の基板１１に光学窓１２が形成されてなり、光学窓１２の周囲に凹部１３又は凸部１４を有する第１光学部材１０と、第１光学部材１０の基板１１に対向する平坦面２１を有し、平坦面２１に凹部１３又は凸部１４と嵌合する樹脂製の突起部２２を有する第２光学部材２０を含む。
　図１６（Ａ）は、内視鏡２を含む内視鏡システム３の構成例である。図１６に示すように、内視鏡システム３は、本実施形態の内視鏡２と、プロセッサ３００と、モニタ４００と、を具備する。内視鏡２は、細長い挿入部１００を被検体の体腔内に挿入することによって、被検体の体内画像を撮像し撮像信号を出力する。
　内視鏡２は、挿入部１００と、挿入部１００の基端部側に配設された把持部２００と、把持部２００から延設されたユニバーサルコード２２０と、ユニバーサルコード２２０の基端部側に配設されたコネクタ２３０と、を具備する。挿入部１００は、撮像モジュール１１１が配設されている硬性の先端部１１０と、先端部１１０の基端側に延設された湾曲自在で先端部１１０の方向を変えるための湾曲部１２０と、湾曲部１２０の基端側に延設された軟性部１３０とを含む。内視鏡２は軟性鏡であるが、硬性鏡でもよい。すなわち、軟性部等は必須の構成要素ではない。把持部２００には術者が湾曲部１２０を操作するための操作部である回動するアングルノブ２１０が配設されている。
　図１６（Ｂ）は、撮像モジュール１１１の構成例を示す断面図である。図１６（Ｂ）に示すように、先端部１１０に配設される撮像モジュール１１１は、光学積層体１と、撮像素子５を含む。撮像素子５の光学積層体１と反対側の面には、ケーブル部１４０が当接して設けられる。或いは、撮像素子５の光学積層体１と反対側の面には、不図示の周辺回路チップが設けられ、当該周辺回路チップにケーブル部１４０が接続されてもよい。周辺回路チップには、撮像素子５を制御、駆動するための周辺回路が設けられる。
　図１６（Ｂ）に示す例では、ケーブル部１４０は、信号ケーブル１４１と、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ基板１４２）を含む。信号ケーブル１４１は、ＦＰＣ基板１４２を介して撮像素子５と接続される。信号ケーブル１４１は、ユニバーサルコード２２０を経由してコネクタ２３０まで延設されている。なお、図１６（Ａ）、図１６（Ｂ）には不図示であるが、内視鏡システム３は、光源装置と、当該光源装置からの照明光を先端部１１０まで導光するライトガイドケーブルと、当該照明光を被写体に照射する照明レンズを含んでもよい。光学積層体１は、被写体からの光を、被写体像として結像する。被写体からの光とは、具体的には照明光が被写体において反射された反射光である。
　撮像素子５は、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子であってもよいし、ＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide-Semiconductor）撮像素子であってもよいし、他の方式の素子であってもよい。また、撮像素子５はモノクロセンサであってもよいし、カラーフィルタを備えた素子であってもよい。カラーフィルタは、広く知られたベイヤフィルタであってもよいし、補色フィルタであってもよいし、他のフィルタであってもよい。補色フィルタとは、シアン、マゼンダ及びイエローの各色フィルタを含むフィルタである。
　ユニバーサルコード２２０は、コネクタ２３０を介してプロセッサ３００に接続される。プロセッサ３００は内視鏡システム３の全体を制御するとともに、撮像モジュール１１１が出力する撮像信号に信号処理を行い画像信号として出力する。モニタ４００は、プロセッサ３００が出力する画像信号を内視鏡画像として表示する。
　本実施形態の手法によれば、内視鏡２の撮像モジュール１１１に上述した光学積層体１を適用可能である。光学積層体１に含まれる光学部材の歪みを抑制可能であるため、視認性の高い画像を提示することが可能になる。また、光学積層体１を用いることによって、レンズ鏡筒等の枠体が不要となるため挿入部１００の細径化が可能になる。そのため、内視鏡２を用いた診断、処置における侵襲性の低下等が可能になる。
　以上、本実施形態およびその変形例について説明したが、本開示は、各実施形態やその変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階では、発明の要旨を逸脱しない範囲内で構成要素を変形して具体化することができる。また、上記した各実施形態や変形例に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることによって、種々の発明を形成することができる。例えば、各実施形態や変形例に記載した全構成要素からいくつかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施の形態や変形例で説明した構成要素を適宜組み合わせてもよい。このように、発明の主旨を逸脱しない範囲内において種々の変形や応用が可能である。また、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。
１…光学積層体、２…内視鏡、３…内視鏡システム、５…撮像素子、１０…第１光学部材、１１…基板、１２…光学窓、１３…凹部、１３－１…第１凹部、１３－２…第２凹部、１４…凸部、２０…第２光学部材、２１…平坦面、２２，２２－１～２２－４…突起部、２３，２３－１～２３－３…ガラス基板、２４，２４－１，２４－２…樹脂レンズ、２５…アパーチャーパターン、２６，２６－１～２６－３…アライメントマーク、３０…ガラスレンズ、３１…ガラス板、４０…積層レンズ、５１…回転台、５２…砥石、５５…ダイシングブレード、６０…ウエハ型、６１…金属型、６２…シリコン基板、６３…樹脂、７０…ウエハ型、７１…ガラス基板、７２…樹脂、８１，８２…レンズウエハ、９０，９１…接着剤、９５…遮光性樹脂、１００…挿入部、１１０…先端部、１１１…撮像モジュール、１２０…湾曲部、１３０…軟性部、１４０…ケーブル部、１４１…信号ケーブル、１４２…ＦＰＣ基板、２００…把持部、２１０…アングルノブ、２２０…ユニバーサルコード、２３０…コネクタ、３００…プロセッサ、４００…モニタ、ＡＸ…光軸

Claims (18)

  1. 　被写体からの光である被写体光が入射する光学積層体と、
    　前記光学積層体を経由した前記被写体光に基づいて、画像を撮像する撮像素子と、
    　を含み、
    　前記光学積層体は、
    　平板状の基板に光学窓が形成されてなり、前記光学窓の周囲に凹部又は凸部を有する第１光学部材と、
    　前記第１光学部材の前記基板に対向する平坦面を有し、前記平坦面に前記凹部又は前記凸部と嵌合する樹脂製の突起部を有する第２光学部材と、
    　を含むことを特徴とする内視鏡。
  2. 　平板状の基板に光学窓が形成されてなり、前記光学窓の周囲に凹部又は凸部を有する第１光学部材と、
    　前記第１光学部材の前記基板に対向する平坦面を有し、前記平坦面に前記凹部又は前記凸部と嵌合する樹脂製の突起部を有する第２光学部材と、
    　を含むことを特徴とする光学積層体。
  3. 　請求項２において、
    　前記突起部は、感光性接着剤であり、
    　前記突起部は、前記第１光学部材の前記凹部内に配置されることを特徴とする光学積層体。
  4. 　請求項２において、
    　前記突起部の表面に接着剤が設けられ、
    　前記突起部は、前記第１光学部材の前記凹部内に配置されることを特徴とする光学積層体。
  5. 　請求項２において、
    　前記第１光学部材と、前記第２光学部材とが接着剤により接合され、
    　前記接着剤は、前記光学積層体の光軸に対して、前記突起部よりも外側に設けられることを特徴とする光学積層体。
  6. 　請求項２において、
    　前記第１光学部材と前記第２光学部材の積層方向において、前記第１光学部材の前記基板の平坦面に対する前記凹部の深さは、前記光学窓の深さよりも深く、
    　前記凹部の内部に、遮光性樹脂が充填されることを特徴とする光学積層体。
  7. 　請求項６において、
    　前記遮光性樹脂は、前記突起部と前記凹部との間に充填されることを特徴とする光学積層体。
  8. 　請求項６において、
    　前記突起部は、前記遮光性樹脂からなることを特徴とする光学積層体。
  9. 　請求項２において、
    　前記第２光学部材は、複数のレンズが積層されたレンズユニットであることを特徴とする光学積層体。
  10. 　請求項２において、
    　前記第１光学部材は、ガラス製レンズであることを特徴とする光学積層体。
  11. 　請求項１０において、
    　前記凹部又は前記凸部は、前記光学窓の光軸に対して同心円状に形成されていることを特徴とする光学積層体。
  12. 　請求項１１において、
    　前記突起部は、前記凹部又は前記凸部に対応する領域に、同心円状に形成されることを特徴とする光学積層体。
  13. 　請求項１１において、
    　前記突起部は、前記凹部又は前記凸部に対応する同心円状の領域のうちの、一部の領域に配置されることを特徴とする光学積層体。
  14. 　請求項２において、
    　前記第２光学部材はガラス基板を含み、
    　前記第２光学部材の前記平坦面は、前記ガラス基板の前記第１光学部材側の面であることを特徴とする光学積層体。
  15. 　請求項２において、
    　前記第２光学部材は、レンズと基板とを含み、
    　前記第２光学部材の前記平坦面は、前記基板の前記第１光学部材側の面であり、
    　前記レンズは、前記基板の面のうち、前記平坦面と反対側の面に設けられることを特徴とする光学積層体。
  16. 　請求項１５において、
    　前記基板は、ガラス基板であり、
    　前記レンズは、樹脂製のレンズであることを特徴とする光学積層体。
  17. 　平板状の基板に光学窓が形成されてなり、前記光学窓の周囲に凹部又は凸部を有する第１光学部材と、
    　前記第１光学部材の前記基板に対向する平坦面を有し、前記平坦面に前記凹部又は前記凸部と嵌合する突起部を有する第２光学部材と、
    　を含み、
    　前記突起部のヤング率は、前記第１光学部材のヤング率よりも低いことを特徴とする光学積層体。
  18. 　平板状のガラス板に光学窓を形成し、前記ガラス板の前記光学窓の周囲に凹部又は凸部を形成することによって、ガラスレンズを生成する工程と、
    　１又は複数のレンズウエハを含み、平坦面を有するレンズユニットを生成する工程と、
    　前記レンズユニットの前記平坦面に樹脂製の突起部を形成する工程と、
    　前記ガラスレンズの前記凹部又は前記凸部と、前記レンズユニットの前記突起部と嵌合させることによって、前記レンズユニットに複数の前記ガラスレンズを取り付ける工程と、
    　ウエハを切断することによって、複数の光学積層体を個片化する工程と、
    　を含むことを特徴とする光学積層体の製造方法。
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