WO2021117851A1 - レーザ装置 - Google Patents

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WO2021117851A1
WO2021117851A1 PCT/JP2020/046220 JP2020046220W WO2021117851A1 WO 2021117851 A1 WO2021117851 A1 WO 2021117851A1 JP 2020046220 W JP2020046220 W JP 2020046220W WO 2021117851 A1 WO2021117851 A1 WO 2021117851A1
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WO
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laser
output
reflecting surface
receiver
target
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Application number
PCT/JP2020/046220
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English (en)
French (fr)
Inventor
加藤　直也
諒 石川
大暉 井本
Original Assignee
パナソニックＩｐマネジメント株式会社
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Publication date
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Priority to EP20897870.0A priority patent/EP4074453B1/en
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    • B23K26/70—Auxiliary operations or equipment

Definitions

  • the technology disclosed here relates to a laser device.
  • Patent Document 1 discloses a laser processing apparatus.
  • This laser processing device includes a holding means for holding the work, a laser light irradiating means for irradiating the work with laser light to perform a predetermined processing process, and a mirror means for reflecting the laser light and introducing the laser light irradiating means.
  • An extraction means that branches and extracts a part of the laser light into the optical path of the laser light, a light receiving means that receives the laser light extracted by the extraction means, and a deviation of the optical axis of the laser light based on a signal from the light receiving means. It is provided with a detection means for detecting the above and a control means for controlling the reflection direction of the laser beam of the mirror means located in front of the extraction means according to the detection result of the detection means.
  • the inclination angle of the reflection surface of the mirror means (the inclination angle of the laser light incident on the reflection surface with respect to the optical path) is adjusted to appropriately change the state of the laser light incident on the object to be irradiated.
  • correspondence information showing the correspondence between the first information related to the state of the laser beam incident on the irradiated object and the second information related to the inclination angle of the reflection surface of the mirror means. Conceivable. Since the correspondence between the first information and the second information may change, it is required to update the correspondence information appropriately.
  • Patent Document 1 does not disclose such correspondence-related information, and there is no disclosure or suggestion regarding the update of correspondence-related information.
  • the technology disclosed here aims to provide a laser device capable of appropriately updating correspondence information.
  • the technique disclosed herein relates to a laser device that irradiates an object to be irradiated with laser light, and the laser device emits a laser light source that emits laser light, a reference light source that emits reference light, and the laser light source.
  • a first reflecting surface that guides the laser light to the object to be irradiated by reflecting the laser light in a direction different from the traveling direction, and a second reflecting the reference light emitted from the reference light source in a direction different from the traveling direction. It has two reflecting surfaces, and can swing so that the inclination angle of the first reflecting surface with respect to the optical path of the laser light incident on the first reflecting surface changes, and the laser light incident on the first reflecting surface.
  • a reference receiver that receives the reference light reflected by the above, and a condenser lens that is arranged in the optical path of the laser light from the first reflecting surface of the folded mirror toward the object to be irradiated and collects the laser light. It is provided with a control unit that performs operation processing.
  • the control unit incidents on the object to be irradiated while sequentially changing the inclination angle of the first reflecting surface of the folding mirror with respect to the optical path of the laser beam incident on the first reflecting surface of the folding mirror.
  • the state of the laser light and the output of the reference receiver are observed, and based on the observation result, the correspondence between the target state of the laser light incident on the object to be irradiated and the target output of the reference receiver is shown. Update related information.
  • the target state of the laser beam incident on the object to be irradiated and the target output of the reference receiver (the optical path of the laser beam incident on the first reflection surface of the folded mirror).
  • Correspondence-related information indicating the correspondence with (information related to the inclination angle of the first reflecting surface) can be appropriately updated.
  • FIG. 1 is a schematic view illustrating the configuration of a laser machining system according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic view illustrating the configuration of the laser apparatus.
  • FIG. 3 is a schematic plan view illustrating the configuration of the reference receiver.
  • FIG. 4 is a schematic view illustrating a change in the optical path accompanying a change in the position of the folded mirror.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating the relationship between the light receiving position of the reference light, the output of the reference light receiver, and the position of the laser spot.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating correspondence relationship information.
  • FIG. 7 is a timing chart for explaining the basic processing.
  • FIG. 8 is a flowchart for explaining the abnormality detection process.
  • FIG. 9 is a diagram for explaining the abnormality determination of the laser spot.
  • FIG. 10 is a flowchart for explaining the calibration process.
  • FIG. 1 illustrates the configuration of the laser machining system 1 according to the embodiment.
  • the laser processing system 1 processes a work (not shown) using a laser beam LB. Specifically, the laser processing system 1 cuts the work by irradiating the work with laser light LB.
  • the laser processing system 1 includes a laser device 10, an optical fiber 20, and an emission head 25.
  • the laser device 10 irradiates the end portion (end face) of the optical fiber 20 with the laser beam LB.
  • the end of the optical fiber 20 is an example of an object to be irradiated.
  • optical fiber 20 One end of the optical fiber 20 is connected to the laser oscillator 11 of the laser apparatus 10, and the other end of the optical fiber 20 is connected to the exit head 25.
  • the optical fiber 20 guides the laser beam LB emitted from the laser apparatus 10 to the emission head 25.
  • the optical fiber 20 has a first core 20a, a second core 20b surrounding the first core 20a, and a film 20c surrounding the second core 20b.
  • the cross-sectional shape of the first core 20a is circular.
  • the cross-sectional shape of the second core 20b is an annular shape.
  • a first clad (not shown) is provided between the second core 20b and the film 20c, and a second clad (not shown) is provided between the first core 20a and the second core 20b.
  • the refractive indexes of the first clad and the second clad are lower than the refractive indexes of the first core 20a and the second core 20b.
  • the second clad may be omitted, and the refractive index of the first core 20a may be higher than the refractive index of the second core 20b.
  • the emission head 25 irradiates the work (not shown) with the laser beam LB guided by the optical fiber 20.
  • the laser device 10 includes a laser oscillator 11, an operation unit 12, a display unit 13, and a control unit 14.
  • the laser oscillator 11 irradiates the end of the optical fiber 20 as an object to be irradiated with the laser beam LB connected to the laser oscillator 11.
  • the laser oscillator 11 includes a housing 15, a plurality of laser modules 16, a coupling unit 17, and a condensing unit 18.
  • the laser oscillator 11 is a DDL (Direct Diode Laser) oscillator.
  • the housing 15 houses a plurality of laser modules 16, a coupling unit 17, and a condensing unit 18.
  • Each of the plurality of laser modules 16 emits a laser beam.
  • the laser module 16 has a laser array composed of a plurality of laser diodes (not shown), each of which emits a laser beam having a different wavelength. Then, the laser module 16 wavelength-synthesizes the laser beams emitted from the plurality of laser diodes, and emits the wavelength-synthesized laser beam as the laser beam.
  • the output of the laser module 16 may be variable.
  • the output control of the laser module 16 may be performed by the control unit 14.
  • the coupling unit 17 includes a laser light source 101, a reference light source 102, a first folded mirror 201, a second folded mirror 202, and a reference receiver 300, and the condensing unit 18 has a condensing unit 18. It has a condenser lens 400, a partial reflection mirror 500, a partial light receiver 600, a shutter 700, a beam damper 800, and a detector 900.
  • the laser light source 101 emits the laser beam LB.
  • the laser light source 101 as a coupler, combines the laser beams emitted from the plurality of laser modules 16 and emits the combined laser beams as the laser beam LB.
  • the laser light source 101 as a coupler is composed of a plurality of optical components such as a mirror, a lens, and a beam splitter.
  • the output of the laser light source 101 may be variable.
  • the output control of the laser light source 101 may be performed by the control unit 14.
  • the laser light source 101 is a coupler, it may be configured as an excitation unit including a plurality of laser modules 16. As a result, the laser light source 101 as an excitation unit combines the laser beams emitted from the plurality of laser modules 16 and emits the combined laser beams as the laser beam LB.
  • the reference light source 102 emits the reference light RL.
  • the reference light source 102 emits the reference light RL so that the reference light RL is diffused at a predetermined diffusion angle.
  • the reference light source 102 emits the reference light RL so that the reference light RL gradually spreads in the traveling direction.
  • the first folding mirror 201 guides the laser beam LB to the second folding mirror 202 by reflecting the laser beam LB emitted from the laser light source 101 in a direction different from the emitted traveling direction.
  • the second folded mirror 202 guides the laser light LB to the end of the optical fiber 20 by reflecting the laser light LB reflected by the first folded mirror 201 in a direction different from the traveling direction.
  • the second folded mirror 202 is composed of a folded mirror 200 having a first reflecting surface 200a and a second reflecting surface 200b.
  • the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 reflects the laser light LB emitted from the laser light source 101 (in this example, the laser light LB reflected by the first folded mirror 201) in a direction different from the traveling direction.
  • the laser beam LB is guided to the end of the optical fiber 20.
  • the second reflecting surface 200b of the folded mirror 200 reflects the reference light RL emitted from the reference light source 102 in a direction different from the traveling direction.
  • the folded mirror 200 when the inclination angle of the first reflecting surface 200a with respect to the optical path of the laser light LB incident on the first reflecting surface 200a changes, the second reflection of the reference light RL incident on the second reflecting surface 200b with respect to the optical path.
  • the inclination angle of the surface 200b is configured to change.
  • the folded mirror 200 is formed in a plate shape, one surface of the folded mirror 200 is the first reflecting surface 200a, and the other surface of the folded mirror 200 is the second reflecting surface 200b.
  • the folded mirror 200 can swing so that the inclination angle of the first reflecting surface 200a with respect to the optical path of the laser beam LB incident on the first reflecting surface 200a changes.
  • the coupling unit 17 has a mirror drive mechanism 250 that drives the folded mirror 200.
  • the mirror drive mechanism 250 swings the folded mirror 200 around a predetermined swing axis so that the inclination angle of the reflecting surface of the folded mirror 200 changes.
  • the swing axis extends in a direction orthogonal to the traveling direction of the laser beam LB incident on the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 (in the example of FIG. 2, the direction orthogonal to the paper surface).
  • the swing control of the folded mirror 200 (specifically, the control of the mirror drive mechanism 250) is performed by the control unit 14.
  • the mirror drive mechanism 250 has a swing motor 251 and an encoder 252.
  • a folding mirror 200 is fixed to the rotating shaft of the oscillating motor 251.
  • the rotation axis of the swing motor 251 constitutes the swing axis of the folded mirror 200.
  • the reference receiver 300 receives the reference light RL reflected by the second reflecting surface 200b of the folded mirror 200. Then, the reference light receiver 300 outputs an electric signal according to the light receiving state (light receiving position and light receiving intensity) of the reference light RL. The output of the reference receiver 300 is transmitted to the control unit 14.
  • the reference receiver 300 has a light receiving surface 301 that receives the reference light RL reflected by the second reflecting surface 200b of the folded mirror 200.
  • the light receiving surface 301 is divided into a plurality of unit regions arranged in a matrix. Then, the reference light receiver 300 outputs an electric signal corresponding to the light receiving intensity of the reference light RL for each unit region of the light receiving surface 301.
  • the higher the light receiving intensity of the reference light RL in the unit region of the light receiving surface 301 the higher the level of the electric signal corresponding to the unit region.
  • the reference receiver 300 has a light receiving surface 301 and a plurality of light receiving elements 302.
  • the plurality of light receiving elements 302 are arranged in a matrix on the light receiving surface 301.
  • the plurality of light receiving elements 302 are provided in each of the plurality of unit regions arranged in a matrix of the light receiving surface 301.
  • 25 light receiving elements 302 arranged in a matrix of 5 rows and 5 columns are provided on the light receiving surface 301 of the reference light receiving receiver 300.
  • the light receiving element 302 outputs an electric signal according to the light receiving intensity of the reference light RL.
  • the light receiving element 302 may be a CCD (Charge Coupled Device) or a photodiode.
  • the outputs of the plurality of light receiving elements 302 are transmitted to the control unit 14.
  • one of the row direction and the column direction of the light receiving element 302 of the reference receiver 300 corresponds to the change in the swing angle of the folded mirror 200. This is the direction along the direction in which the light receiving position of the reference light RL in the reference receiver 300 changes.
  • the condenser lens 400 is arranged in the optical path of the laser beam LB from the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 toward the end of the optical fiber 20 to collect the laser beam LB.
  • the condenser lens 400 collects the laser beam LB so that the diameter of the spot of the laser beam LB at the end of the optical fiber 20 is smaller than the diameter of the first core 20a of the optical fiber 20.
  • the condenser lens 400 is movable in the direction from the folded mirror 200 toward the end of the optical fiber 20 (hereinafter referred to as "first direction").
  • the condensing unit 18 has a lens driving mechanism 450.
  • the lens driving mechanism 450 supports the condenser lens 400 and moves the condenser lens 400 in the first direction.
  • the lens drive mechanism 450 has a support base that is slidable in the first direction and supports the condenser lens 400, a ball screw that extends in the first direction and is screwed with the support base, and a support base by rotating the ball screw. It is composed of a motor that moves the lens in the first direction.
  • the position control of the condenser lens 400 (specifically, the control of the lens drive mechanism 450) is performed by the control unit 14.
  • the partial reflection mirror 500 reflects a part of the laser beam LB from the condenser lens 400 toward the end of the optical fiber 20.
  • the rest of the laser beam LB from the condenser lens 400 toward the end of the optical fiber 20 passes through the partial reflection mirror 500.
  • 0.01% of the laser beam LB from the condenser lens 400 toward the end of the optical fiber 20 is reflected by the partial reflection mirror 500, and 99 of the laser beam LB from the condenser lens 400 toward the end of the optical fiber 20. .99% is transmitted through the partial reflection mirror 500.
  • the partial receiver 600 receives a part of the laser beam LB reflected by the partial reflection mirror 500 (hereinafter, referred to as “partial light LBa”). Then, the partial light receiver 600 outputs an electric signal according to the light receiving state (light receiving position and light receiving intensity) of the partial light LBa. The output of the partial receiver 600 is transmitted to the control unit 14.
  • the partial light receiver 600 has a light receiving surface 601 that receives the partial light LBa.
  • the light receiving surface 601 is divided into a plurality of unit regions arranged in a matrix. Then, the partial light receiver 600 outputs an electric signal corresponding to the light receiving intensity of the partial light LBa for each unit region of the light receiving surface 601.
  • the partial receiver 600 has a light receiving surface 601 and a plurality of light receiving elements (not shown).
  • the plurality of light receiving elements are arranged in a matrix on the light receiving surface 601.
  • the plurality of light receiving elements of the partial light receiver 600 are provided in each of the plurality of unit regions of the light receiving surface 601.
  • the outputs of the plurality of light receiving elements of the partial light receiver 600 are transmitted to the control unit 14.
  • the shutter 700 can be switched between an open state and a closed state.
  • the shutter 700 is a laser beam LB directed from the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 toward the end of the optical fiber 20 (in this example, the condensing lens 400 and partial reflection from the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200).
  • the laser beam LB) toward the end of the optical fiber 20 via the mirror 500 is allowed to enter the end of the optical fiber 20.
  • the shutter 700 prohibits the laser beam LB from entering the end of the optical fiber 20 from the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 toward the end of the optical fiber 20.
  • the shutter 700 can move in the direction intersecting the optical path of the laser beam LB toward the end of the optical fiber 20 (hereinafter referred to as "second direction"), and is in the open position (in the solid line of FIG. 2). It can be arranged at the indicated position) and the closed position (the position indicated by the alternate long and short dash line in FIG. 2).
  • the open position is a position away from the optical path of the laser beam LB toward the end of the optical fiber 20.
  • the closed position is a position existing in the optical path of the laser beam LB toward the end of the optical fiber 20.
  • the condensing unit 18 has a shutter drive mechanism 750.
  • the shutter drive mechanism 750 supports the shutter 700 and moves the shutter 700 in the second direction.
  • the shutter 700 is slidable in the second direction and supports the shutter 700, a ball screw that extends in the second direction and is screwed with the support base, and a support base that is rotated in the second direction by rotating the ball screw. It is composed of a motor that moves to.
  • the opening / closing control of the shutter 700 (specifically, the control of the shutter drive mechanism 750) is performed by the control unit 14.
  • the beam damper 800 receives the laser beam LB reflected by the shutter 700 in the closed state and converts the laser beam LB into heat to consume the laser beam LB.
  • the detector 900 detects the intensity of the laser beam LB.
  • the detector 900 is provided near the end (incident end) of the optical fiber 20 and detects the intensity of the laser beam LB at the end of the optical fiber 20.
  • the detector 900 may be a power meter.
  • the detector 900 may be provided on the exit head 25. The output of the detector 900 is transmitted to the control unit 14.
  • the vertical direction on the paper surface of FIG. 2 is defined as the "X-axis direction”
  • the horizontal direction on the paper surface of FIG. 2 is defined as the "Y-axis direction” orthogonal to the X-axis direction
  • the direction orthogonal to the paper surface of FIG. 2 is defined as the "Y-axis direction”.
  • the traveling direction of the laser beam LB incident on the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 is the X-axis direction.
  • the direction from the folded mirror 200 toward the end of the optical fiber 20 is the Y-axis direction.
  • the condenser lens 400, the partial reflection mirror 500, and the closed shutter 700 are aligned in the Y-axis direction between the folded mirror 200 and the end of the optical fiber 20.
  • the traveling direction of the reference light RL incident on the second reflecting surface 200b of the folded mirror 200 is the Y-axis direction.
  • the direction from the folded mirror 200 to the reference receiver 300 is the X-axis direction.
  • the direction of the swing axis of the folded mirror 200 is the Z-axis direction.
  • the operation unit 12 is given an operation by the operator, and outputs a signal corresponding to the operation given by the operator. With such a configuration, the operator can operate the operation unit 12 to input information.
  • the output of the operation unit 12 is transmitted to the control unit 14.
  • the operation unit 12 may be an operation button pressed by the operator, or may be an operation unit of the touch panel.
  • the display unit 13 displays information.
  • the display unit 13 may be a display unit of a touch panel.
  • the control unit 14 is electrically connected to each part of the laser device 10 and can transmit a signal to each part of the laser device 10.
  • the control unit 14 is electrically connected to each unit of the laser oscillator 11 (for example, the laser light source 101), the operation unit 12, and the display unit 13. Then, the control unit 14 controls each unit of the laser device 10.
  • the control unit 14 controls the swing of the folded mirror 200, controls the position of the condenser lens 400, controls the opening and closing of the shutter 700, and the like.
  • the control unit 14 is electrically connected to each unit of the laser processing system 1 (for example, the emission head 25) to control each unit of the laser processing system 1.
  • the control unit 14 includes a processor and a memory for storing programs and information for operating the processor. The operation of the control unit 14 will be described in detail later.
  • the tilt angle of the first reflecting surface 200a of the folding mirror 200 with respect to the optical path of the laser beam LB incident on the first reflecting surface 200a of the folding mirror 200 is referred to as "the main tilt angle of the first reflecting surface 200a of the folding mirror 200".
  • the tilt angle of the second reflecting surface 200b of the folding mirror 200 with respect to the optical path of the reference light RL incident on the second reflecting surface 200b of the folding mirror 200 is referred to as "the main tilt angle of the second reflecting surface 200b of the folding mirror 200".
  • the spot of the laser beam LB at the end of the optical fiber 20 is referred to as a “laser spot”.
  • the position of the folding mirror 200 changes from the first position (the position shown by the solid line in FIG. 4) to the second position (the position shown by the broken line in FIG. 4)
  • the first reflecting surface of the folding mirror 200 The main inclination angle of the 200a changes, and the reflection direction of the laser beam LB on the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 changes.
  • the traveling direction of the laser beam LB from the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 toward the end of the optical fiber 20 via the condenser lens 400 and the partially reflecting mirror 500 (not shown in FIG. 4) is changed. It changes, and the position of the laser spot (incident position) changes.
  • the profile of the laser beam LB that is guided to the emission head 25 via the optical fiber 20 and emitted from the emission head 25 can be changed.
  • the profile of the laser beam LB can be made a profile suitable for cutting a thin plate (for example, a plate having a thickness of 1 to 3 mm). ..
  • the profile of the laser beam LB has a thickness of a medium-thick plate (for example, 4 to 16 mm). The profile can be made suitable for cutting the plate).
  • the profile of the laser beam LB can be made a profile suitable for cutting a thick plate (for example, a plate having a thickness of 18 to 25 mm).
  • the main inclination angle of the second reflecting surface 200b of the folding mirror 200 changes, and the second reflection of the folding mirror 200 changes.
  • the reflection direction of the reference light RL on the surface 200b changes.
  • the traveling direction of the reference light RL from the second reflecting surface 200b of the folded mirror 200 toward the light receiving surface 601 of the reference receiver 300 changes, and the light receiving position of the reference light RL on the light receiving surface 301 of the reference receiver 300 changes.
  • the upper column (upper) of FIG. 5 illustrates the light receiving position of the reference light RL on the light receiving surface 301 of the reference light receiver 300.
  • the middle column (middle) of FIG. 5 illustrates the output of the reference receiver 300.
  • the rectangle of "A" in the middle column (middle) of FIG. 5 indicates the light receiving element 302 belonging to the row of "A” among the plurality of light receiving elements 302 of the reference receiver 300 (for example, 5 belonging to the row of "A”).
  • the output of the light receiving element 302) on the third row located at the center of the two light receiving elements 302 is shown.
  • the rectangle of "A" in the middle column (middle) of FIG. 5 indicates the light receiving intensity of the reference light RL in the unit region in which the light receiving element 302 belonging to the row of "A” is arranged.
  • the lower column (lower) of FIG. 5 illustrates the laser spot position.
  • the position of the laser spot shifts from one end side to the other end side in the X-axis direction (lower part of FIG. 5).
  • the light receiving position of the reference light RL on the light receiving surface 301 of the reference receiver 300 is from one end side to the other end side in the Y-axis direction (upper column of FIG. 5).
  • the output of the reference receiver 300 is the first state in which the output of the light receiving element 302 of “A” as shown in FIG.
  • the optical fiber 20 passes through the condensing lens 400 and the partially reflecting mirror 500 in order from the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200.
  • the traveling direction of the laser beam LB toward the end changes, and the position of the laser spot changes.
  • the reflection direction of the partial light LB (a part of the laser light LB) in the partial reflection mirror 500 changes due to the change in the traveling direction of the laser light LB incident on the partial reflection mirror 500.
  • the traveling direction of the partial light LBa from the partial reflection mirror 500 toward the light receiving surface 601 of the partial receiver 600 changes, and the light receiving position of the partial light LBa on the light receiving surface 601 of the partial receiver 600 changes.
  • the focal length of the laser beam LB from the condenser lens 400 to the end of the optical fiber 20 via the partial reflection mirror 500 changes, and the shape of the laser spot changes. ..
  • the focal length of the partial light LB from the partial reflection mirror 500 to the partial receiver 600 changes due to the change in the focal length of the laser beam LB incident on the partial reflection mirror 500.
  • the shape of the spot of the partial light LBa on the light receiving surface 601 of the partial light receiver 600 changes.
  • the control unit 14 generates a spot image (image data) showing a spot of the partial light LBa on the light receiving surface 601 of the partial light receiver 600 based on the output of the partial light receiver 600.
  • the spot image includes a spot of partial light LBa formed on the light receiving surface 601 of the partial light receiver 600.
  • the first region 611 of the light receiving surface 601 in the spot image corresponds to the first core 20a of the optical fiber 20, and the second region 612 of the light receiving surface 601 in the spot image corresponds to the second core 20b of the optical fiber 20.
  • the spot state (position and shape) of the partial light LBa in the spot image corresponds to the state of the laser spot. For example, when the spot of the partial light LBa is located in the first region 611 in the spot image, the laser spot is located in the first core 20a.
  • the correspondence information shows the correspondence between the target state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20, the target output of the reference receiver 300, and the target output of the partial receiver 600.
  • target state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20 is simply referred to as “target state”
  • the target output of the reference receiver 300 is referred to as “target reference output”
  • the partial receiver 600 is described.
  • the target output is described as "target partial output”.
  • the first (FIG. 6A) target state corresponds to a state in which the laser spot is located in the first region of the second core 20b.
  • the first region of the second core 20b is a region of the second core 20b located on one end side (upper side in the example of FIG. 6) of the first core 20a in the X-axis direction.
  • the second (FIG. 6B) target state corresponds to a state in which the laser spot straddles the first region of the first core 20a and the second core 20b.
  • the third (FIG. 6 (C)) target state corresponds to the state in which the laser spot is located on the first core 20a.
  • the fourth (FIG. 6D) target state corresponds to a state in which the laser spot straddles the second region of the first core 20a and the second core 20b.
  • the second region of the second core 20b is a region of the second core 20b located on the other end side (lower side in the example of FIG. 6) of the first core 20a in the X-axis direction.
  • the fifth (FIG. 6 (E)) target state corresponds to a state in which the laser spot is located in the second region of the second core 20b.
  • the target reference output of the first (FIG. 6 (A)) corresponding to the target state of the first (FIG. 6 (A)) is that the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20 is the first target. It is set to the output of the reference receiver 300 when it is in the state.
  • Each is set to 300 outputs.
  • the target reference output may be set based on an experiment or a simulation, or may be performed by the same process as the calibration process described later.
  • the target partial output of the first (FIG. 6 (A)) corresponding to the target state of the first (FIG. 6 (A)) the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20 is the first (FIG. 6 (A)). It is set to the output of the partial receiver 600 (in this example, a spot image generated based on the output of the partial receiver 600) in the target state of 6 (A)).
  • the control unit 14 performs basic processing.
  • the basic process is a process performed to irradiate the end portion of the optical fiber 20 with the laser beam LB.
  • the basic process is an example of setting the state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20 to the target state shown in the correspondence information.
  • the control unit 14 performs basic processing before starting the operation of the laser device 10.
  • control unit 14 performs a target setting operation, an adjustment operation, and a shutter control operation.
  • the control unit 14 selects one target state from the correspondence information. For example, when the operation unit 12 is given a target specification operation for designating a target state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20, the control unit 14 responds to the target specification operation and performs a target setting operation. I do. As a result, the target state specified by the operator is selected from the correspondence information.
  • the control unit 14 may be configured to automatically perform the target setting operation based on other information such as information on the processing conditions in the laser processing system 1 (for example, information indicating the thickness of the work).
  • the control unit 14 activates the laser light source 101 and the reference light source 102.
  • the shutter 700 is maintained in the closed state.
  • the control unit 14 mainly sets the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 so that the output of the reference receiver 300 approaches a predetermined target reference output (target output of the reference receiver 300).
  • the inclination angle (the inclination angle of the laser beam LB incident on the first reflecting surface 200a with respect to the optical path) is adjusted.
  • the control unit 14 approaches the predetermined target reference output of the reference receiver 300, and the output of the partial receiver 600 approaches the predetermined target partial output (partial receiver).
  • the main tilt angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 is adjusted, and the position of the condenser lens is adjusted so as to approach the target output of 600).
  • the target reference output in the adjustment operation is the target reference output shown in the correspondence information, and specifically, the target reference output corresponding to the target state selected in the target setting operation.
  • the target partial output in the adjustment operation is the target partial output shown in the correspondence information, and specifically, is the target partial output corresponding to the target state selected in the target setting operation.
  • the output of the reference receiver 300 becomes a predetermined target reference output (target output of the reference receiver 300), and the output of the partial receiver 600 becomes a predetermined target partial output (target partial output).
  • the shutter 700 is opened from the closed state on condition that the target output of the partial receiver 600) and the laser output (that is, the intensity of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20) become the predetermined target output. Put it in a state.
  • the target reference output in the shutter control operation is the target reference output shown in the correspondence information, and specifically, the target state (at the end of the optical fiber 20) selected in the target setting operation. It is a target reference output corresponding to the target state of the incident laser beam LB).
  • the target partial output in the shutter control operation is the target partial output shown in the correspondence information, and specifically, the target partial output corresponding to the target state selected in the target setting operation.
  • the control unit 14 determines that the reference receiver 14 has a duration of a state in which the degree of coincidence between the output of the reference receiver 300 and the target reference output exceeds a predetermined threshold value exceeds a predetermined reference time. Consider that the output of 300 has become the target reference output.
  • the control unit 14 considers that the output of the partial receiver 600 has become the target partial output when the degree of coincidence between the output of the partial receiver 600 and the target partial output exceeds a predetermined threshold value.
  • the output of the reference receiver 300 refers to the target when the duration of the state in which the degree of coincidence between the output of the partial receiver 600 and the target partial output exceeds the threshold value exceeds a predetermined reference time. It may be configured to be considered as output.
  • the above-mentioned state in which the laser output becomes the target output includes not only a state in which the laser output and the target output completely match, but also a state in which the laser output and the target output are considered to match.
  • the control unit 14 considers that the laser output has reached the target output when the intensity of the laser beam LB detected by the detector 900 falls within a predetermined allowable range.
  • the control unit 14 considers that the laser output has reached the target output when the duration of the state in which the intensity of the laser beam LB detected by the detector 900 is within the permissible range exceeds a predetermined reference time. It may be configured as follows.
  • the target reference output and the target partial output are set.
  • the target state is selected from the correspondence information.
  • the control unit 14 adjusts the position (specifically, the swing angle) of the folded mirror 200 so that the output of the reference receiver 300 approaches the target reference output. As a result, the amount of misalignment of the folded mirror 200 gradually decreases.
  • the laser output has reached the target output.
  • the intensity of the laser beam LB detected by the detector 900 falls within an allowable range.
  • the amount of misalignment of the folding mirror 200 falls within the permissible range RR. In other words, the degree of coincidence between the output of the reference receiver 300 and the target reference output exceeds the threshold value.
  • the duration of the state in which the amount of misalignment of the folding mirror 200 is within the permissible range RR exceeds the reference time TT.
  • the duration of the state in which the degree of coincidence between the output of the reference receiver 300 and the target reference output exceeds the threshold value exceeds the reference time.
  • the control unit 14 adjusts the position of the condenser lens 400 so that the output of the partial receiver 600 approaches the target partial output.
  • the state (shape and position of the spot) of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20 gradually approaches the target state.
  • the position control of the condenser lens 400 may be performed before the output of the reference receiver 300 is considered to be the target reference output (before the time t3 in the example of FIG. 7).
  • the output of the partial receiver 600 is considered to have reached the target partial output.
  • the degree of coincidence between the output of the partial receiver 600 (specifically, the spot image) and the target partial output exceeds the threshold value.
  • the condition for changing the shutter 700 from the closed state to the open state is satisfied, and the control unit 14 changes the shutter 700 from the closed state to the open state.
  • the laser beam LB heading toward the end of the optical fiber 20 enters the end of the optical fiber 20 and is guided to the exit head 25 via the optical fiber 20 from the exit head 25 to the work (not shown). It is emitted.
  • time t5 After time t5, the same operation as the operation in the period from time t0 to time t5 is performed.
  • the laser apparatus 10 of the embodiment receives the folded mirror 200 having the first reflecting surface 200a and the second reflecting surface 200b and the reference light RL reflected by the second reflecting surface 200b of the folded mirror 200.
  • a reference receiver 300 is provided.
  • the main inclination angle of the first reflection surface 200a of the folding mirror 200 (the inclination angle of the laser beam LB incident on the first reflection surface 200a with respect to the optical path). ) Can be detected.
  • the output of the encoder 252 does not reflect the deviation of the reference angle (tilt angle in the reference posture) of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200. Therefore, in the detection of the main tilt angle of the first reflecting surface 200a based on the output of the encoder 252, the change in the main tilt angle of the first reflecting surface 200a due to the deviation of the reference angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 is detected. Cannot be detected.
  • the deviation of the reference angle of the first reflecting surface 200a of the folding mirror 200 is caused by the installation deviation of the folding mirror 200, the distortion of the folding mirror 200, and the like.
  • the main inclination angle (first reflecting surface) of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 is based on the light receiving state (light receiving position and light receiving intensity) of the reference light RL in the reference receiver 300.
  • the inclination angle of the laser beam LB incident on the 200a with respect to the optical path) can be detected.
  • the deviation of the reference angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 is reflected in the light receiving state of the reference light RL in the reference receiver 300.
  • the first reflecting surface 200a caused by the deviation of the reference angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200. It is possible to detect a change in the main inclination angle of. Thereby, it is possible to detect the deviation of the reference angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200.
  • the deviation of the reference angle of the first reflecting surface 200a of the folding mirror 200 is not only a change in the tilt angle of the first reflecting surface 200a in the swing direction of the folding mirror 200 (that is, a change in the main tilt angle), but also the folding mirror. It may cause a change in the inclination angle of the first reflecting surface 200a in a direction different from the swing direction of the 200.
  • a plurality of light receiving elements 302 are arranged in a matrix on the light receiving surface 301 of the reference light receiving device 300. That is, the light receiving surface 301 of the reference light receiving device 300 is divided into a plurality of unit areas arranged in a matrix, and the reference light receiving device 300 detects the light receiving intensity of each unit area of the light receiving surface 301. With such a configuration, it is possible to two-dimensionally detect a change in the light receiving state of the reference light RL incident on the light receiving surface 301 of the reference light receiving device 300.
  • the change in the tilt angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 can be detected two-dimensionally, so that the tilt of the first reflecting surface 200a that can be detected based on the output of the reference receiver 300 can be detected.
  • the number of directions of change in the angle can be increased. For example, not only the change in the tilt angle of the first reflecting surface 200a in the swing direction of the folded mirror 200 (that is, the change in the main tilt angle), but also the change in the first reflecting surface 200a in a direction different from the swing direction of the folded mirror 200.
  • a change in the inclination angle (for example, a change caused by a deviation of the reference angle of the first reflecting surface 200a) can also be detected.
  • the detection can be performed based on the output of the reference receiver 300. It is possible to increase the types of anomalies in the inclination angle of the first reflecting surface 200a. For example, an abnormality in the inclination angle of the first reflecting surface 200a in a direction different from the swing direction of the folded mirror 200 based on the output of the reference receiver 300 (an abnormality caused by a deviation of the reference angle of the first reflecting surface 200a). Can be detected.
  • the folded mirror 200 can swing.
  • the main inclination angle of the first reflecting surface 200a of the folding mirror 200 (the inclination angle of the laser beam LB incident on the first reflecting surface 200a with respect to the optical path) can be adjusted.
  • the main inclination angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 can be appropriately adjusted based on the light receiving state of the reference light RL in the reference receiver 300. Thereby, the position (incident position) of the spot of the laser beam LB at the end of the optical fiber 20 can be appropriately adjusted.
  • the condenser lens 400 and the partial reflection mirror 500 are provided, and the partial receiver 600 that receives the partial light LBa (a part of the laser light LB) reflected by the partial reflection mirror 500.
  • the partial receiver 600 that receives the partial light LBa (a part of the laser light LB) reflected by the partial reflection mirror 500.
  • the light receiving state (light receiving position and light receiving intensity) of the partial light LBa in the partial light receiver 600 and the spot state of the laser light LB at the end of the optical fiber 20. Therefore, the state of the spot of the laser beam LB at the end of the optical fiber 20 can be detected based on the light receiving state of the partial light LBa in the partial receiver 600.
  • the main inclination angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 (laser light LB incident on the first reflecting surface 200a) is based on the light receiving state of the reference light RL in the reference receiver 300. Abnormality of the inclination angle with respect to the optical path) can be detected, and an abnormality of the spot of the laser light LB at the end of the optical fiber 20 can be detected based on the light receiving state of the partial light LBa in the partial light receiver 600. ..
  • the end of the optical fiber 20 is formed.
  • the cause of the abnormality of the incident laser beam LB can be determined. This makes it possible to easily identify the location that causes the abnormality of the laser beam LB.
  • a detector 900 for detecting the intensity of the laser beam LB is provided.
  • the intensity of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20 can be detected based on the output of the detector 900.
  • the position of the folding mirror 200 is used.
  • a predetermined waiting time elapses from the start of the control, it is considered that the positioning of the folding mirror 200 is completed.
  • This waiting time is set to the time required to reliably set the position of the folded mirror 200 to the target position. Therefore, it is difficult to shorten the time (setting time) from the start of controlling the position of the folding mirror 200 to the completion of the positioning of the folding mirror 200.
  • the position of the folded mirror 200 can be confirmed in real time based on the output of the reference receiver 300, the positioning of the folded mirror 200 can be completed quickly. As a result, the settling time can be shortened.
  • the control unit 14 performs an abnormality detection process.
  • the abnormality detection process is a process performed to detect an abnormality in the laser beam LB.
  • the control unit 14 performs an abnormality detection process during the operation of the laser device 10.
  • the control unit 14 is configured to perform the abnormality detection process when the execution of the abnormality detection process is instructed (for example, when an operation for instructing the execution of the abnormality detection process is given to the operation unit 12). You may.
  • the abnormality detection process is performed when the cumulative operating time of the laser apparatus 10 reaches a predetermined time (for example, 1000 hours) before shipment from the factory, during installation, during maintenance and inspection, and after installation (or after maintenance and inspection). You may.
  • the control unit 14 performs an abnormality detection process after activating the laser device 10. At this time, it is desirable to start the laser device 10 with the shutter 700 kept in the closed state. Specifically, the control unit 14 activates the laser light source 101 and the reference light source 102, appropriately adjusts the position of the folding mirror 200 and the position of the condenser lens 400, and then starts the abnormality detection process.
  • the control unit 14 may be configured to perform the target setting operation and the adjustment operation of the basic processing before the abnormality detection processing.
  • the control unit 14 determines the main inclination angle of the first reflection surface 200a of the folded mirror 200 (the inclination angle of the laser beam LB incident on the first reflection surface 200a with respect to the optical path) based on the output of the reference receiver 300. ) Is detected.
  • the control unit 14 detects an abnormality in the position (specifically, the swing angle) of the folded mirror 200 based on the output of the reference receiver 300.
  • the abnormality in the position of the folded mirror 200 corresponds to the abnormality in the main inclination angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200. Therefore, by detecting the abnormality in the position of the folding mirror 200, it is possible to detect the abnormality in the main inclination angle of the first reflecting surface 200a of the folding mirror 200.
  • control unit 14 detects an abnormality in the laser spot (the spot of the laser light LB at the end of the optical fiber 20) based on the output of the partial receiver 600.
  • control unit 14 detects an abnormality in the laser output (intensity of the laser light LB incident on the end of the optical fiber 20) based on the output of the detector 900.
  • control unit 14 can output the first information, the second information, and the third information in the abnormality detection process. Then, the control unit 14 preferentially outputs the second information over the third information, and preferentially outputs the first information over the second information.
  • the first information, the second information, and the third information will be described in detail later.
  • the control unit 14 has an abnormality in the position of the folded mirror 200, an abnormality in the laser spot (spot of the laser beam LB at the end of the optical fiber 20), and a laser output.
  • the shutter 700 is changed from the open state to the closed state.
  • step ST11 the control unit 14 determines whether or not there is an abnormality in the position of the folded mirror 200 based on the output of the reference receiver 300. If there is an abnormality in the position of the folded mirror 200 (that is, if there is an abnormality in the main inclination angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200), the process of step ST14 is performed, and if not, step ST12 Is processed.
  • the control unit 14 of the folding mirror when it is determined that the position is normal and the degree of coincidence between the output of the reference receiver 300 and the target reference output does not exceed the threshold value, it is determined that the position of the folding mirror is abnormal.
  • the above target reference output is the target reference output shown in the correspondence information, and specifically, the target reference output corresponding to the target state selected in the target setting operation.
  • step ST12 the control unit 14 determines whether or not the laser spot (the spot of the laser beam LB at the end of the optical fiber 20) is abnormal based on the output of the partial receiver 600. If there is an abnormality in the laser spot, the process of step ST15 is performed, and if not, the process of step ST13 is performed.
  • the control unit 14 sets the laser spot when the degree of coincidence between the output of the partial receiver 600 and the predetermined target partial output (target output of the partial receiver 600) exceeds a predetermined threshold value.
  • the target partial output is the target partial output shown in the correspondence information, and specifically, the target partial output corresponding to the target state selected in the target setting operation.
  • the control unit 14 generates a spot image (an image including a spot of the partial light LBa formed on the light receiving surface 601 of the partial light receiver 600) based on the output of the partial light receiver 600. Then, the control unit 14 determines whether or not the laser spot is abnormal based on the spot image.
  • the target output of the partial receiver 600 is the target reference output corresponding to the third target state of the correspondence information in FIG. 6 (the output of the partial receiver 600 when the laser spot is located on the first core 20a). If so, when the spot state (position and shape) of the partial light LBa in the spot image is the state shown in the upper left column of FIG. 9, the control unit 14 determines that the laser spot is normal (determination result). OK). On the other hand, when the state of the spot of the partial light LBa in the spot image is not the state shown in the upper left column of FIG. 9, the control unit 14 determines that the laser spot is abnormal (determination result NG).
  • step ST13 the control unit 14 determines whether or not the laser output (intensity of the laser light LB incident on the end of the optical fiber 20) is abnormal based on the output of the detector 900. If there is an abnormality in the laser output, the process of step ST16 is performed, and if not, the abnormality detection process is terminated.
  • control unit 14 determines that the laser output is normal when the intensity of the laser beam LB detected by the detector 900 is within a predetermined allowable range, and is detected by the detector 900. When the intensity of the laser beam LB is not within the permissible range, it is determined that the laser output is abnormal.
  • the first information is information for notifying an abnormality in the position of the folded mirror 200. That is, the first information is information for notifying an abnormality of the main inclination angle (inclination angle of the laser beam LB incident on the first reflection surface 200a with respect to the optical path) of the first reflection surface 200a of the folded mirror 200.
  • the first information may be information for prompting the inspection of the folded mirror 200.
  • control unit 14 outputs the first information to the display unit 13, and the display unit 13 displays the first information.
  • the control unit 14 outputs the first information to the display unit 13, and the display unit 13 displays the first information.
  • Step ST15 when there is an abnormality in the laser spot (the spot of the laser beam LB at the end of the optical fiber 20), the control unit 14 outputs the second information in step ST15.
  • the second information is information for notifying the abnormality of the laser spot.
  • the second information may be information for prompting the inspection of parts (condensing lens 400, partial reflection mirror 500, etc.) that may affect the state (position and shape) of the laser spot. ..
  • control unit 14 outputs the second information to the display unit 13, and the display unit 13 displays the second information.
  • the operator can be notified of the abnormality of the laser spot.
  • the third information is information for notifying an abnormality of the laser output.
  • the third information may be information for encouraging the inspection of parts (laser light source 101, etc.) that may affect the laser output.
  • control unit 14 outputs the third information to the display unit 13, and the display unit 13 displays the third information. This makes it possible to notify the operator of an abnormality in the laser output.
  • the main inclination angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 is based on the output of the reference receiver 300. Abnormality of the inclination angle of the laser beam LB with respect to the optical path) can be detected. Further, based on the output of the partial receiver 600, it is possible to detect an abnormality in the laser spot (the spot of the laser beam LB at the end of the optical fiber 20).
  • the cause of the abnormality of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20 is determined. It can be determined. This makes it possible to easily identify the location that causes the abnormality of the laser beam LB.
  • an abnormality of the laser output (intensity of the laser light LB incident on the end of the optical fiber 20) can be detected based on the output of the detector 900. .. Thereby, it is possible to determine whether or not the cause of the abnormality of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20 is the abnormality of the laser output.
  • the control unit 14 returns more than the second information for notifying the abnormality of the laser spot (the spot of the laser light LB at the end of the optical fiber 20) in the abnormality detection process.
  • the first information for notifying the abnormality of the main inclination angle of the first reflection surface 200a of the mirror 200 (the inclination angle of the laser beam LB incident on the first reflection surface 200a with respect to the optical path) is preferentially output.
  • the swing angle (tilt angle) of the folded mirror 200 is adjusted in order to eliminate the abnormality of the main tilt angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200, and the light is focused in order to eliminate the abnormality of the laser spot.
  • the position of the lens 400 is adjusted.
  • the first reflecting surface 200a of the folding mirror 200 can be used.
  • the traveling direction of the laser beam LB toward the condenser lens 400 becomes normal, and as a result, the state of the laser spot can be appropriately controlled by adjusting the position of the condenser lens 400. Therefore, by preferentially outputting the first information over the second information, it is possible to preferentially eliminate the abnormality of the main inclination angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200, so that the end of the optical fiber 20 can be eliminated. It is possible to efficiently eliminate the abnormality of the laser beam LB incident on the portion.
  • the control unit 14 has more information than the third information for notifying the abnormality of the laser output (intensity of the laser light incident on the end of the optical fiber 20) in the abnormality detection process.
  • the first information and the second information are output preferentially. With such a configuration, the main inclination angle of the first reflection surface 200a of the folded mirror 200 (the inclination angle of the laser light LB incident on the first reflection surface 200a with respect to the optical path) and the laser spot (the end portion of the optical fiber 20) are abnormal.
  • the laser output is appropriate when there is no abnormality in both the main inclination angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 and the laser spot. Can be adjusted to.
  • the control unit 14 determines the laser output (intensity of the laser light LB incident on the end of the optical fiber 20) based on the intensity of the laser light (partial light LBa) received by the partial light receiver 600. ) May be configured to detect anomalies. Specifically, the control unit 14 determines that the laser output is normal when the intensity of the partial light LBa received by the partial light receiver 600 is within a predetermined allowable range, and determines that the laser output is normal, and the partial light receiver 600 When the intensity of the partial light LBa received by the laser is not within the permissible range, it may be determined that the laser output is abnormal.
  • the detector 900 can be omitted. Further, the laser output (intensity of the laser light LB incident on the end of the optical fiber 20) can be detected based on the intensity of the partial light LB (a part of the laser light LB) received by the partial light receiver 600. it can. As a result, the abnormality of the laser output can be detected, so that it is possible to determine whether or not the cause of the abnormality of the laser light LB incident on the end of the optical fiber 20 is the abnormality of the laser output.
  • the control unit 14 determines the main inclination angle of the first reflection surface 200a of the folded mirror 200 (the inclination angle of the laser beam LB incident on the first reflection surface 200a with respect to the optical path) based on the output of the encoder 252. ) May be configured to detect anomalies. For example, when the control unit 14 matches the output of the encoder 252 with the predetermined target output of the encoder 252 (the output of the encoder 252 corresponding to the target position of the folding mirror 200) exceeds a predetermined threshold value.
  • the first of the folding mirror 200 It is determined that the main inclination angle of the reflecting surface 200a is abnormal.
  • the control unit 14 determines the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 based on the result of abnormality detection based on the output of the reference receiver 300 and the result of abnormality detection based on the output of the encoder 252. It may be configured to determine the type of anomaly of the tilt angle of. For example, when an abnormality is detected based on the output of the reference receiver 300 and an abnormality is detected based on the output of the encoder 252, the control unit 14 causes the main inclination of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200. It is determined that the angle (the angle of inclination of the laser beam LB incident on the first reflecting surface 200a with respect to the optical path) is abnormal.
  • the control unit 14 refers to the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200. It is determined that there is an angle shift (for example, distortion of the folded mirror 200). Further, the control unit 14 may be configured to output information for notifying the type of abnormality in the inclination angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 in the abnormality detection process.
  • the control unit 14 performs a calibration process.
  • the calibration process is a process performed to update the correspondence information.
  • the control unit 14 determines the laser spot (laser at the end of the optical fiber 20) when the output of the reference receiver 300 becomes the target reference output (target output of the reference receiver 300) indicated in the correspondence information.
  • the calibration process is performed. Specifically, the control unit 14 determines the position (ideal position) of the laser spot observed when the state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20 is the target state indicated in the correspondence information. , When the difference from the position (actual position) of the laser spot observed when the output of the reference receiver 300 is the target reference output corresponding to the above target state in the correspondence information exceeds a predetermined allowable value. In addition, the calibration process is performed.
  • the control unit 14 is configured to perform the calibration process when an abnormality in the position of the folding mirror 200 (that is, an abnormality in the main inclination angle of the first reflecting surface 200a of the folding mirror 200) is detected in the abnormality detection process. May be done. Further, the control unit 14 is configured to perform the calibration process when the execution of the calibration process is instructed (for example, when an operation for instructing the execution of the calibration process is given to the operation unit 12). You may. Further, the calibration process is performed when the cumulative operating time of the laser apparatus 10 reaches a predetermined time (for example, 1000 hours) before shipment from the factory, at the time of installation, at the time of maintenance / inspection, and after installation (or after maintenance / inspection). You may.
  • a predetermined time for example, 1000 hours
  • the control unit 14 sequentially changes the main inclination angle of the first reflection surface 200a of the folded mirror 200 (the inclination angle of the laser beam LB incident on the first reflection surface 200a with respect to the optical path), and the optical fiber 20 Observe the state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber and the output of the reference receiver 300, and based on the observation result, the correspondence information (the target state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20 and the reference receiver). Information indicating the correspondence with the target output of the device 300) is updated.
  • the control unit 14 observes the state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20 based on the output of the partial receiver 600.
  • the output of the partial receiver 600 corresponds to the state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20. Therefore, by observing the output of the partial receiver 600, it is possible to observe the state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20.
  • the control unit 14 generates a spot image based on the output of the partial receiver 600, and based on the state of the partial light LBa in the spot image, the laser light LB incident on the end of the optical fiber 20. Determine (estimate) the state.
  • the laser spot (the spot of the laser light LB at the end of the optical fiber 20) is located in the first core 20a. Determine (estimate) that it is in a state.
  • control unit 14 outputs information for notifying that the correspondence information cannot be updated when the correspondence information cannot be updated in the calibration process.
  • step ST21 the control unit 14 sets the position (specifically, the swing angle) of the folding mirror 200 to a predetermined observation position.
  • This observation position is determined so that the position of the folding mirror 200 changes stepwise within the movable range of the folding mirror 200.
  • the first observation position is set to the lower swing angle of the lower limit of the movable range of the folding mirror 200
  • the second observation position is the second smallest after the lower swing angle of the lower limit of the movable range of the folded mirror 200.
  • the swing angle is set to a swing angle (a swing angle larger than the lower limit swing angle by a predetermined unit angle), and the final observation position is set to the swing angle of the upper limit of the movable range of the folded mirror 200.
  • step ST22 the control unit 14 observes the output of the reference receiver 300 and the output of the partial receiver 600 (that is, the state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20), and the reference receiver The output of 300 and the output of the partial receiver 600 are stored in association with each other (see FIG. 6).
  • step ST23 the control unit 14 determines whether or not to complete the observation of the output of the reference receiver 300 and the output of the partial receiver 600.
  • the process of step ST24 is performed. If this is not the case (NO in step ST23), the process of step ST21 is performed, and the position of the folding mirror 200 is set to the next observation position.
  • step ST23 when the number of observations of the output of the reference receiver 300 and the output of the partial receiver 600 has reached a predetermined number of times, the control unit 14 of the reference receiver 300 Complete the observation of the output and the output of the partial receiver 600. For example, the control unit 14 completes the observation of the output of the reference receiver 300 and the output of the partial receiver 600 when the position of the folding mirror 200 is set to the last observation position.
  • step ST24 the control unit 14 selects a target state (target state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20) from the correspondence information (see FIG. 6). This selection is made so that the target states shown in the correspondence information are selected in order. For example, in the first selection, the first target state (FIG. 6 (A)) is selected from the correspondence information, and in the second selection, the second (FIG. 6) of the correspondence information is selected. The target state of 6 (B)) is selected.
  • a target state target state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20
  • Step ST25> the control unit 14 selects a target partial output (target output of the partial receiver 600) corresponding to the target state selected in step ST24 from the correspondence information.
  • the control unit 14 sets the output of the partial receiver 600 corresponding to the target partial output (that is, to the target state) from the outputs of the partial receiver 600 observed by the processes of steps ST21 to ST23 in step ST25.
  • the corresponding "state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20" is detected.
  • the control unit 14 transfers the reference receiver 300 associated with the output of the detected partial receiver 600 from the outputs of the reference receiver 300 observed by the processes of steps ST21 to ST23 in step ST25. Detect the output of. If the output of the reference receiver 300 is detected (YES in step ST25), the process of step ST26 is performed, and if not (NO in step ST25), the process of step ST28 is performed. ..
  • step ST26 the control unit 14 outputs the target output of the reference receiver 300 corresponding to the above target state (target state selected in step ST24) in the correspondence information to the reference receiver 300 detected in step ST25. Update to output.
  • step ST27 the control unit 14 determines whether or not to complete the update of the correspondence information.
  • the update of the correspondence information is completed (YES in step ST27)
  • the calibration process is terminated. If not (NO in step ST27), the process of step ST24 is performed, and the next target state is selected from the correspondence information.
  • control unit 14 completes the update of the correspondence information when the output of the reference receiver 300 is completed for all the target states shown in the correspondence information (YES in step ST27). To do.
  • the control unit 14 completes the update of the correspondence information when the target state selected from the correspondence information in step ST24 is the final target state (YES in step ST27).
  • step ST28 the control unit 14 outputs information (update non-updateable notification information) for notifying that the correspondence information cannot be updated. Further, the control unit 14 returns the correspondence information to the original state (the state before the calibration process is performed).
  • control unit 14 outputs the non-updateable notification information to the display unit 13, and the display unit 13 displays the non-updateable notification information.
  • the control unit 14 outputs the non-updateable notification information to the display unit 13, and the display unit 13 displays the non-updateable notification information.
  • the target state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20 and the target output of the reference receiver 300 (the second of the folded mirror 200) are performed by performing the calibration process. It is possible to appropriately update the correspondence information indicating the correspondence with the optical path of the laser beam LB incident on the reflection surface 200a) with the inclination angle of the first reflection surface 200a).
  • the output of the reference receiver is output.
  • the main tilt angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 (the tilt of the laser beam LB incident on the first reflecting surface 200a with respect to the optical path so as to approach the target output of the reference receiver 300 corresponding to the target state in the correspondence information. Adjust the corner).
  • the main inclination angle of the first reflecting surface 200a of the folded mirror 200 can be appropriately adjusted.
  • the condenser lens 400 and the partial reflection mirror 500 are provided, and the partial receiver 600 that receives the partial light LBa (a part of the laser light LB) reflected by the partial reflection mirror 500. Is provided. Then, in the calibration process, the state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20 is observed based on the output of the partial receiver 600. With such a configuration, the calibration process can be appropriately performed based on the output of the partial receiver 600.
  • control unit 14 outputs information for notifying that the correspondence relation information cannot be updated when the correspondence relation information cannot be updated in the calibration process. To do. With such a configuration, it is possible to notify that the correspondence information cannot be updated.
  • the control unit 14 determines the laser beam LB at the end of the optical fiber 20 when the output of the reference receiver 300 is the target output of the reference receiver 300 shown in the correspondence information. If the position of the spot is abnormal, the calibration process is performed. With such a configuration, the calibration process can be performed when the correspondence between the target state of the laser beam LB incident on the end of the optical fiber 20 and the target output of the reference receiver 300 is not appropriate in the correspondence information. it can.
  • the spot image is given as an example of the target output of the partial receiver 600 registered in the correspondence information, but the present invention is not limited to this.
  • the correspondence information may be the target condition of the spot of the partial light LBa in the spot image as the target output of the partial receiver 600.
  • the target condition that "the spot of the partial light LBa fits in the first region 611" is registered as the target output of the third partial receiver 600 shown in FIG. 6 (see (C) in FIG. 6). Good.
  • the state of the laser spot (the spot of the laser beam LB at the end of the optical fiber 20) is considered to be the target state corresponding to the target condition.
  • the folded mirror 200 has a plate shape is given as an example, but the present invention is not limited to this.
  • the folded mirror 200 may be formed in a polygonal columnar shape extending along the swing axis.
  • the condenser lens 400 is movable has been taken as an example, but the condenser lens 400 may be fixed so as not to be movable. In other words, the position of the condenser lens 400 may be variable or fixed.
  • the end portion of the optical fiber 20 is mentioned as an example of the irradiated object, but the irradiated object is not limited to this.
  • the technology disclosed here is useful as a laser device.
  • Laser processing system 10
  • Laser device 11
  • Laser oscillator 12
  • Operation unit 13
  • Control unit 20
  • Optical fiber 25
  • Emission head 101
  • Laser light source 102
  • Reference light source 200
  • Folded mirror 201
  • 1st folded mirror 202
  • Reference receiver 301
  • Light receiving Surface 302
  • Light receiving element 400
  • Condensing lens 500
  • Partial reflection mirror 600
  • Partial light receiver 601
  • Shutter 800 Beam damper 900

Landscapes

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Abstract

キャリブレーション処理において、制御部（14）は、折り返しミラー（200）の第１反射面（200a）に入射するレーザ光（LB）の光路に対する折り返しミラー（200）の第１反射面（200a）の傾斜角を順次変更しながら、被照射物に入射するレーザ光（LB）の状態と参照受光器（300）の出力とを観測する。また、制御部（14）は、観測結果に基づいて、被照射物に入射するレーザ光（LB）の目標状態と参照受光器（300）の目標出力との対応関係を示す対応関係情報を更新する。

Description

レーザ装置
　ここに開示する技術は、レーザ装置に関する。
　特許文献１には、レーザ加工装置が開示されている。このレーザ加工装置は、ワークを保持する保持手段と、ワークにレーザ光を照射して所定の加工処理を施すレーザ光照射手段と、レーザ光を反射させてレーザ光照射手段まで導入するミラー手段と、レーザ光の光路中にレーザ光の一部を分岐抽出する抽出手段と、抽出手段によって抽出されたレーザ光を受光する受光手段と、受光手段からの信号に基づいてレーザ光の光軸のずれを検出する検出手段と、検出手段の検出結果に応じて抽出手段よりも前に位置するミラー手段のレーザ光の反射方向を制御する制御手段とを備える。
特開２０１０－２６４４６１号公報
　ところで、特許文献１のような装置において、ミラー手段の反射面の傾斜角（反射面に入射するレーザ光の光路に対する傾斜角）を調節して被照射物に入射するレーザ光の状態を適切に制御するために、被照射物に入射するレーザ光の状態に関連する第１情報とミラー手段の反射面の傾斜角に関連する第２情報との対応関係を示す対応関係情報を準備することが考えられる。なお、第１情報と第２情報との対応関係が変化する場合があるので、対応関係情報を適切に更新することが求められる。しかしながら、特許文献１には、このような対応関係情報について開示がなく、対応関係情報の更新について何ら開示も示唆もない。
　そこで、ここに開示する技術は、対応関係情報を適切に更新することが可能なレーザ装置を提供することを目的とする。
　ここに開示する技術は、被照射物にレーザ光を照射するレーザ装置に関し、このレーザ装置は、レーザ光を出射するレーザ光源と、参照光を出射する参照光源と、前記レーザ光源から出射されるレーザ光を進行方向とは異なる方向に反射することで前記レーザ光を前記被照射物へ導く第１反射面と、前記参照光源から出射される参照光を進行方向とは異なる方向に反射する第２反射面とを有し、前記第１反射面に入射するレーザ光の光路に対する前記第１反射面の傾斜角が変化するように揺動可能であり、前記第１反射面に入射するレーザ光の光路に対する前記第１反射面の傾斜角が変化すると前記第２反射面に入射する参照光の光路に対する前記第２反射面の傾斜角が変化する折り返しミラーと、前記折り返しミラーの第２反射面で反射された参照光を受光する参照受光器と、前記折り返しミラーの第１反射面から前記被照射物へ向かうレーザ光の光路に配置されて前記レーザ光を集光する集光レンズと、キャリブレーション処理を行う制御部とを備える。前記制御部は、前記キャリブレーション処理において、前記折り返しミラーの第１反射面に入射するレーザ光の光路に対する前記折り返しミラーの第１反射面の傾斜角を順次変更しながら、前記被照射物に入射するレーザ光の状態と前記参照受光器の出力とを観測し、観測結果に基づいて、前記被照射物に入射するレーザ光の目標状態と前記参照受光器の目標出力との対応関係を示す対応関係情報を更新する。
　ここに開示する技術によれば、キャリブレーション処理を行うことにより、被照射物に入射するレーザ光の目標状態と参照受光器の目標出力（折り返しミラーの第１反射面に入射するレーザ光の光路に対する第１反射面の傾斜角に関連する情報）との対応関係を示す対応関係情報を適切に更新することができる。
図１は、実施形態によるレーザ加工システムの構成を例示する概略図である。 図２は、レーザ装置の構成を例示する概略図である。 図３は、参照受光器の構成を例示する概略平面図である。 図４は、折り返しミラーの位置の変化に伴う光路の変化を例示する概略図である。 図５は、参照光の受光位置と参照受光器の出力とレーザスポットの位置との関係を例示する図である。 図６は、対応関係情報を例示する図である。 図７は、基本処理について説明するためのタイミングチャートである。 図８は、異常検出処理について説明するためのフローチャートである。 図９は、レーザスポットの異常判定について説明するための図である。 図１０は、キャリブレーション処理について説明するためのフローチャートである。
　以下、図面を参照して実施の形態を詳しく説明する。なお、図中同一または相当部分には同一の符号を付しその説明は繰り返さない。
　（レーザ加工システム）
　図１は、実施形態によるレーザ加工システム１の構成を例示する。レーザ加工システム１は、レーザ光ＬＢを用いてワーク（図示省略）の加工を行う。具体的には、レーザ加工システム１は、レーザ光ＬＢをワークに照射することでワークを切断する。この例では、レーザ加工システム１は、レーザ装置１０と、光ファイバ２０と、出射ヘッド２５とを備える。レーザ装置１０は、光ファイバ２０の端部（端面）にレーザ光ＬＢを照射する。なお、光ファイバ２０の端部は、被照射物の一例である。
　　〔光ファイバ〕
　光ファイバ２０の一端部は、レーザ装置１０のレーザ発振器１１に接続され、光ファイバ２０の他端部は、出射ヘッド２５に接続される。光ファイバ２０は、レーザ装置１０から出射されたレーザ光ＬＢを出射ヘッド２５に導く。
　図２に示すように、この例では、光ファイバ２０は、第１コア２０ａと、第１コア２０ａの周囲を囲う第２コア２０ｂと、第２コア２０ｂの周囲を囲う皮膜２０ｃとを有する。第１コア２０ａの断面形状は、円形状である。第２コア２０ｂの断面形状は、円環状である。第２コア２０ｂと皮膜２０ｃとの間には、図示しない第１クラッドが設けられ、第１コア２０ａと第２コア２０ｂとの間には、図示しない第２クラッドが設けられる。第１クラッドおよび第２クラッドの屈折率は、第１コア２０ａおよび第２コア２０ｂの屈折率よりも低い。なお、第２クラッドを省略し、第１コア２０ａの屈折率を第２コア２０ｂの屈折率よりも高くしてもよい。
　　〔出射ヘッド〕
　出射ヘッド２５は、光ファイバ２０により導かれたレーザ光ＬＢをワーク（図示省略）に照射する。
　　〔レーザ装置〕
　この例では、レーザ装置１０は、レーザ発振器１１と、操作部１２と、表示部１３と、制御部１４とを備える。
　　〔レーザ発振器〕
　レーザ発振器１１は、レーザ発振器１１に接続される、被照射物としての光ファイバ２０の端部にレーザ光ＬＢを照射する。レーザ発振器１１は、筐体１５と、複数のレーザモジュール１６と、結合ユニット１７と、集光ユニット１８とを備える。この例では、レーザ発振器１１は、ＤＤＬ（Direct Diode Laser）発振器である。
　筐体１５は、複数のレーザモジュール１６と、結合ユニット１７と、集光ユニット１８とを収納する。複数のレーザモジュール１６の各々は、レーザ光を出射する。例えば、レーザモジュール１６は、それぞれが異なる波長のレーザビームを出射する図示しない複数のレーザダイオードにより構成されたレーザアレイを有する。そして、レーザモジュール１６は、複数のレーザダイオードから出射されたレーザビームを波長合成し、波長合成されたレーザビームをレーザ光として出射する。なお、レーザモジュール１６の出力は、可変であってもよい。レーザモジュール１６の出力制御は、制御部１４により行われてもよい。
　図２に示すように、結合ユニット１７は、レーザ光源１０１と、参照光源１０２と、第１折り返しミラー２０１と、第２折り返しミラー２０２と、参照受光器３００とを有し、集光ユニット１８は、集光レンズ４００と、部分反射ミラー５００と、部分受光器６００と、シャッタ７００と、ビームダンパ８００と、検出器９００とを有する。
　　　〈レーザ光源〉
　レーザ光源１０１は、レーザ光ＬＢを出射する。レーザ光源１０１は結合器として、複数のレーザモジュール１６から出射されたレーザ光を結合し、結合されたレーザ光をレーザ光ＬＢとして出射する。例えば、結合器としてのレーザ光源１０１は、ミラーやレンズやビームスプリッタなどの複数の光学部品により構成される。なお、レーザ光源１０１の出力は、可変であってもよい。レーザ光源１０１の出力制御は、制御部１４により行われてもよい。
　なお、レーザ光源１０１は、結合器としたが複数のレーザモジュール１６を含めた励起部としての構成としても良い。これにより励起部としてのレーザ光源１０１は、複数のレーザモジュール１６から出射されたレーザ光を結合し、結合されたレーザ光をレーザ光ＬＢとして出射するものである。
　　　〈参照光源〉
　参照光源１０２は、参照光ＲＬを出射する。この例では、図５に示すように、参照光源１０２は、参照光ＲＬが所定の拡散角で拡散するように参照光ＲＬを出射する。言い換えると、参照光源１０２は、参照光ＲＬが進行方向へ向けて次第に広がるように参照光ＲＬを出射する。
　　　〈折り返しミラー〉
　第１折り返しミラー２０１は、レーザ光源１０１から出射されたレーザ光ＬＢを、出射された進行方向とは異なる方向に反射することでレーザ光ＬＢを第２折り返しミラー２０２へ導く。第２折り返しミラー２０２は、第１折り返しミラー２０１で反射されたレーザ光ＬＢを進行方向とは異なる方向に反射することでレーザ光ＬＢを光ファイバ２０の端部へ導く。
　この例では、第２折り返しミラー２０２は、第１反射面２００ａおよび第２反射面２００ｂを有する折り返しミラー２００により構成される。
　折り返しミラー２００の第１反射面２００ａは、レーザ光源１０１から出射されるレーザ光ＬＢ（この例では第１折り返しミラー２０１で反射されたレーザ光ＬＢ）を進行方向とは異なる方向に反射することでレーザ光ＬＢを光ファイバ２０の端部へ導く。折り返しミラー２００の第２反射面２００ｂは、参照光源１０２から出射される参照光ＲＬを進行方向とは異なる方向に反射する。
　また、折り返しミラー２００は、第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する第１反射面２００ａの傾斜角が変化すると、第２反射面２００ｂに入射する参照光ＲＬの光路に対する第２反射面２００ｂの傾斜角が変化するように構成されている。この例では、折り返しミラー２００は、板状に形成され、折り返しミラー２００の一方面が第１反射面２００ａとなり、折り返しミラー２００の他方面が第２反射面２００ｂとなる。
　また、この例では、折り返しミラー２００は、第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する、第１反射面２００ａの傾斜角が変化するように、揺動可能である。具体的には、結合ユニット１７は、折り返しミラー２００を駆動するミラー駆動機構２５０を有する。ミラー駆動機構２５０は、予め定められた揺動軸線を中心として折り返しミラー２００を、折り返しミラー２００の反射面の傾斜角が変化するように、揺動させる。この例では、揺動軸線は、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの進行方向と直交する方向（図２の例では紙面と直交する方向）に延びる。なお、折り返しミラー２００の揺動制御（具体的にはミラー駆動機構２５０の制御）は、制御部１４により行われる。
　また、この例では、ミラー駆動機構２５０は、揺動モータ２５１と、エンコーダ２５２とを有する。揺動モータ２５１の回転軸には、折り返しミラー２００が固定される。揺動モータ２５１の回転軸線は、折り返しミラー２００の揺動軸線を構成する。このような構成により、揺動モータ２５１が駆動すると、揺動モータ２５１の回転角の変化に応じて折り返しミラー２００の揺動角が変化し、その結果、折り返しミラー２００に入射するレーザ光ＬＢの光路に対する第１反射面２００ａの傾斜角が変化する。エンコーダ２５２は、揺動モータ２５１の回転角を検出する。エンコーダ２５２の出力は、制御部１４に送信される。
　　　〈参照受光器〉
　参照受光器３００は、折り返しミラー２００の第２反射面２００ｂで反射された参照光ＲＬを受光する。そして、参照受光器３００は、参照光ＲＬの受光状態（受光位置および受光強度）に応じた電気信号を出力する。参照受光器３００の出力は、制御部１４に送信される。
　この例では、参照受光器３００は、折り返しミラー２００の第２反射面２００ｂで反射された参照光ＲＬを受光する受光面３０１を有する。受光面３０１は、マトリクス状に配置される複数の単位領域に区分される。そして、参照受光器３００は、受光面３０１の単位領域毎の参照光ＲＬの受光強度に応じた電気信号を出力する。この例では、受光面３０１の単位領域における参照光ＲＬの受光強度が高くなるほど、その単位領域に対応する電気信号のレベルが高くなる。
　具体的には、図３に示すように、参照受光器３００は、受光面３０１と、複数の受光素子３０２とを有する。複数の受光素子３０２は、受光面３０１においてマトリクス状に配置される。言い換えると、複数の受光素子３０２は、受光面３０１のマトリクス状に配置される複数の単位領域にそれぞれ設けられる。図３の例では、参照受光器３００の受光面３０１に、５行５列のマトリクス状に配置された２５個の受光素子３０２が設けられている。また、受光素子３０２は、参照光ＲＬの受光強度に応じた電気信号を出力する。この例では、受光素子３０２で受光される参照光ＲＬの強度が高くなるほど、その受光素子３０２から出力される電気信号のレベルが高くなる。例えば、受光素子３０２は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）であってもよいし、フォトダイオードであってもよい。複数の受光素子３０２の出力は、制御部１４に送信される。
　なお、この例では、参照受光器３００の受光素子３０２の行方向および列方向の一方（具体的にはＡ～Ｅのアルファベッドが並ぶ方向）は、折り返しミラー２００の揺動角の変化に応じて参照受光器３００における参照光ＲＬの受光位置が変化する方向に沿う方向である。
　　　〈集光レンズ〉
　集光レンズ４００は、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａから光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢの光路に配置されてレーザ光ＬＢを集光する。この例では、集光レンズ４００は、光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポットの径が光ファイバ２０の第１コア２０ａの径よりも小さくなるように、レーザ光ＬＢを集光する。
　また、この例では、集光レンズ４００は、折り返しミラー２００から光ファイバ２０の端部へ向かう方向（以下「第１方向」と記載）において移動可能である。具体的には、集光ユニット１８は、レンズ駆動機構４５０を有する。レンズ駆動機構４５０は、集光レンズ４００を支持し、集光レンズ４００を第１方向に移動させる。集光レンズ４００の位置を調整することで、レーザ光ＬＢのスポット径のサイズを調整可能である。例えば、レンズ駆動機構４５０は、第１方向にスライド可能であり集光レンズ４００を支持する支持台と、第１方向に延伸し支持台と螺合するボールネジと、ボールネジを回転させることで支持台を第１方向に移動させるモータとにより構成される。なお、集光レンズ４００の位置制御（具体的にはレンズ駆動機構４５０の制御）は、制御部１４により行われる。
　　　〈部分反射ミラー〉
　部分反射ミラー５００は、集光レンズ４００から光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢの一部を反射する。なお、集光レンズ４００から光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢの残部は、部分反射ミラー５００を透過する。例えば、集光レンズ４００から光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢの０．０１％が部分反射ミラー５００で反射され、集光レンズ４００から光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢの９９．９９％が部分反射ミラー５００を透過する。
　　　〈部分受光器〉
　部分受光器６００は、部分反射ミラー５００で反射されたレーザ光ＬＢの一部（以下では「部分光ＬＢａ」と記載）を受光する。そして、部分受光器６００は、部分光ＬＢａの受光状態（受光位置および受光強度）に応じた電気信号を出力する。部分受光器６００の出力は、制御部１４に送信される。
　この例では、部分受光器６００は、部分光ＬＢａを受光する受光面６０１を有する。受光面６０１は、マトリクス状に配置される複数の単位領域に区分される。そして、部分受光器６００は、受光面６０１の単位領域毎の部分光ＬＢａの受光強度に応じた電気信号を出力する。
　具体的には、参照受光器３００と同様に、部分受光器６００は、受光面６０１と、複数の受光素子（図示省略）とを有する。複数の受光素子は、受光面６０１においてマトリクス状に配置される。言い換えると、部分受光器６００の複数の受光素子は、受光面６０１の複数の単位領域にそれぞれ設けられる。部分受光器６００の複数の受光素子の出力は、制御部１４に送信される。
　　　〈シャッタ〉
　シャッタ７００は、開状態と閉状態とに切り換え可能である。開状態では、シャッタ７００は、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａから光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢ（この例では折り返しミラー２００の第１反射面２００ａから集光レンズ４００と部分反射ミラー５００とを経由して光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢ）の光ファイバ２０の端部への入射を許容する。閉状態では、シャッタ７００は、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａから光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢの光ファイバ２０の端部への入射を禁止する。
　この例では、シャッタ７００は、光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢの光路と交差する方向（以下では「第２方向」と記載）に移動可能であり、開位置（図２の実線で示す位置）と閉位置（図２の二点鎖線で示す位置）とに配置可能である。開位置は、光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢの光路から離れた位置である。閉位置は、光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢの光路に存在する位置である。シャッタ７００が開位置に配置されると、光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢが光ファイバ２０の端部に入射する。シャッタ７００が閉位置に配置されると、シャッタ７００が光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢをビームダンパ８００へ向けて反射する。具体的には、集光ユニット１８は、シャッタ駆動機構７５０を有する。シャッタ駆動機構７５０は、シャッタ７００を支持し、シャッタ７００を第２方向に移動させる。例えば、シャッタ７００は、第２方向にスライド可能でありシャッタ７００を支持する支持台と、第２方向に延伸し支持台と螺合するボールネジと、ボールネジを回転させることで支持台を第２方向に移動させるモータとにより構成される。なお、シャッタ７００の開閉制御（具体的にはシャッタ駆動機構７５０の制御）は、制御部１４により行われる。
　　　〈ビームダンパ〉
　ビームダンパ８００は、閉状態のシャッタ７００で反射されたレーザ光ＬＢを受光し、レーザ光ＬＢを熱に変換することでレーザ光ＬＢを消費する。
　　　〈検出器〉
　検出器９００は、レーザ光ＬＢの強度を検出する。この例では、検出器９００は、光ファイバ２０の端部（入射端）の近傍に設けられ、光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢの強度を検出する。例えば、検出器９００は、パワーメータであってもよい。なお、検出器９００は、出射ヘッド２５に設けられてもよい。検出器９００の出力は、制御部１４に送信される。
　　　〈レーザ発振器の構成部品の配置〉
　この例では、図２の紙面における上下方向を「Ｘ軸方向」とし、図２の紙面における左右方向を、Ｘ軸方向と直交する「Ｙ軸方向」とし、図２の紙面と直交する方向をＸ軸方向およびＹ軸方向の両方と直交する「Ｚ軸方向」とすると、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの進行方向は、Ｘ軸方向である。折り返しミラー２００から光ファイバ２０の端部へ向かう方向は、Ｙ軸方向である。集光レンズ４００と部分反射ミラー５００と閉状態のシャッタ７００は、折り返しミラー２００と光ファイバ２０の端部との間においてＹ軸方向に一直線に並ぶ。折り返しミラー２００の第２反射面２００ｂに入射する参照光ＲＬの進行方向は、Ｙ軸方向である。折り返しミラー２００から参照受光器３００へ向かう方向は、Ｘ軸方向である。折り返しミラー２００の揺動軸線の方向は、Ｚ軸方向である。
　　〔操作部と表示部〕
　操作部１２は、操作者による操作が与えられ、操作者により与えられた操作に応じた信号を出力する。このような構成により、操作者は、操作部１２を操作して情報を入力することができる。操作部１２の出力は、制御部１４に送信される。例えば、操作部１２は、操作者により押下される操作ボタンであってもよいし、タッチパネルの操作部であってもよい。表示部１３は、情報を表示する。例えば、表示部１３は、タッチパネルの表示部であってもよい。
　　〔制御部〕
　制御部１４は、レーザ装置１０の各部と電気的に接続され、レーザ装置１０の各部との間において信号を伝送可能である。この例では、制御部１４は、レーザ発振器１１の各部（例えばレーザ光源１０１など）、操作部１２、表示部１３と電気的に接続される。そして、制御部１４は、レーザ装置１０の各部を制御する。例えば、制御部１４は、折り返しミラー２００の揺動制御、集光レンズ４００の位置制御、シャッタ７００の開閉制御などを行う。なお、この例では、制御部１４は、レーザ加工システム１の各部（例えば出射ヘッド２５など）と電気的に接続され、レーザ加工システム１の各部を制御する。例えば、制御部１４は、プロセッサと、プロセッサを動作させるためのプログラムや情報を記憶するメモリとにより構成される。制御部１４の動作については、後で詳しく説明する。
　　〔折り返しミラーの位置の変化に伴う光路の変化〕
　次に、図４を参照して、折り返しミラー２００の位置（具体的には揺動角）の変化に伴う光路の変化について説明する。以下では、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの傾斜角を「折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角」と記載し、折り返しミラー２００の第２反射面２００ｂに入射する参照光ＲＬの光路に対する折り返しミラー２００の第２反射面２００ｂの傾斜角を「折り返しミラー２００の第２反射面２００ｂの主傾斜角」と記載し、光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポットを「レーザスポット」と記載する。
　図４に示すように、折り返しミラー２００の位置が第１位置（図４の実線で示す位置）から第２位置（図４の破線で示す位置）に変化すると、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角が変化し、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａにおけるレーザ光ＬＢの反射方向が変化する。これにより、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａから集光レンズ４００と部分反射ミラー５００（図４では図示省略）とを順に経由して光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢの進行方向が変化し、レーザスポットの位置（入射位置）が変化する。
　このように、レーザスポットの位置を変化させることにより、光ファイバ２０を経由して出射ヘッド２５に導かれて出射ヘッド２５から出射されるレーザ光ＬＢのプロファイルを変化させることができる。具体的には、レーザスポットの位置を第１コア２０ａの位置にすることにより、レーザ光ＬＢのプロファイルを薄板（例えば１～３mmの厚みを有する板）の切断に適したプロファイルにすることができる。また、レーザスポットの位置を第１コア２０ａの端面と第２コア２０ｂの端面の両方に跨がる位置にすることにより、レーザ光ＬＢのプロファイルを中厚板（例えば４～１６mmの厚みを有する板）の切断に適したプロファイルにすることができる。また、レーザスポットの位置を第２コア２０ｂの位置にすることにより、レーザ光ＬＢのプロファイルを厚板（例えば１８～２５mmの厚みを有する板）の切断に適したプロファイルにすることができる。
　また、図４に示すように、折り返しミラー２００の位置が第１位置から第２位置に変化すると、折り返しミラー２００の第２反射面２００ｂの主傾斜角が変化し、折り返しミラー２００の第２反射面２００ｂにおける参照光ＲＬの反射方向が変化する。これにより、折り返しミラー２００の第２反射面２００ｂから参照受光器３００の受光面６０１へ向かう参照光ＲＬの進行方向が変化し、参照受光器３００の受光面３０１における参照光ＲＬの受光位置が変化する。
　　〔参照光の受光位置と参照受光器の出力とレーザスポットの位置との関係〕
　次に、図５を参照して、参照受光器３００の受光面３０１における参照光ＲＬの受光位置と、参照受光器３００の出力と、レーザスポット（光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポット）の位置との関係について説明する。なお、この例では、参照受光器３００の受光素子３０２の行方向および列方向の一方（具体的にはＡ～Ｅのアルファベッドが並ぶ方向）は、折り返しミラー２００の揺動角の変化に応じて参照受光器３００における参照光ＲＬの受光位置が変化する方向に沿う方向である。
　図５の上欄（上）は、参照受光器３００の受光面３０１における参照光ＲＬの受光位置を例示する。図５の中欄（中）は、参照受光器３００の出力を例示する。例えば、図５の中欄（中）における「Ａ」の長方形は、参照受光器３００の複数の受光素子３０２のうち「Ａ」の列に属する受光素子３０２（例えば「Ａ」の列に属する５つの受光素子３０２のうち中央に位置する３行目の受光素子３０２）の出力を示す。言い換えると、図５の中欄（中）における「Ａ」の長方形は、「Ａ」の列に属する受光素子３０２が配置された単位領域における参照光ＲＬの受光強度を示す。図５の下欄（下）は、レーザスポット位置を例示する。
　図５に示すように、折り返しミラー２００が正回転方向（図５の上欄では時計回り方向）に揺動すると、レーザスポットの位置がＸ軸方向の一端側から他端側（図５の下欄（下）では上側から下側）へ向けて移動する一方で、参照受光器３００の受光面３０１における参照光ＲＬの受光位置がＹ軸方向の一端側から他端側（図５の上欄（上）では左側から右側）へ向けて移動する。参照受光器３００の出力は、図５の（Ａ）に示すような「Ａ」の受光素子３０２の出力が最大となる第１状態、図５の（Ｂ）に示すような「Ｂ」の受光素子３０２の出力が最大となる第２状態、図５の（Ｃ）に示すような「Ｃ」の受光素子３０２の出力が最大となる第３状態、図５の（Ｄ）に示すような「Ｄ」の受光素子３０２の出力が最大となる第４状態、図５の（Ｅ）に示すような「Ｅ」の受光素子３０２の出力が最大となる第５状態の順で変化する。
　　〔レーザ光のスポットの状態と部分受光器の出力との関係〕
　次に、光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポットの状態（位置および形状）と部分受光器の出力との関係について説明する。
　上述のとおり、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角が変化すると、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａから集光レンズ４００と部分反射ミラー５００とを順に経由して光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢの進行方向が変化し、レーザスポットの位置が変化する。このとき、部分反射ミラー５００に入射するレーザ光ＬＢの進行方向の変化により、部分反射ミラー５００における部分光ＬＢａ（レーザ光ＬＢの一部）の反射方向が変化する。これにより、部分反射ミラー５００から部分受光器６００の受光面６０１へ向かう部分光ＬＢａの進行方向が変化し、部分受光器６００の受光面６０１における部分光ＬＢａの受光位置が変化する。
　また、集光レンズ４００の位置が変化すると、集光レンズ４００から部分反射ミラー５００を経由して光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢの焦点距離が変化し、レーザスポットの形状が変化する。このとき、部分反射ミラー５００に入射するレーザ光ＬＢの焦点距離の変化により、部分反射ミラー５００から部分受光器６００へ向かう部分光ＬＢａの焦点距離が変化する。これにより、部分受光器６００の受光面６０１における部分光ＬＢａのスポットの形状が変化する。
　この例では、制御部１４は、部分受光器６００の出力に基づいて、部分受光器６００の受光面６０１における部分光ＬＢａのスポットを示すスポット画像（画像データ）を生成する。図６に示すように、スポット画像には、部分受光器６００の受光面６０１に形成される部分光ＬＢａのスポットが含まれる。スポット画像における受光面６０１の第１領域６１１は、光ファイバ２０の第１コア２０ａに対応し、スポット画像における受光面６０１の第２領域６１２は、光ファイバ２０の第２コア２０ｂに対応する。スポット画像における部分光ＬＢａのスポットの状態（位置および形状）は、レーザスポットの状態に対応している。例えば、スポット画像において部分光ＬＢａのスポットが第１領域６１１に位置する場合、レーザスポットが第１コア２０ａに位置する。
　　〔対応関係情報〕
　次に、図６を参照して、対応関係情報について説明する。制御部１４は、対応関係情報を記憶する。この例では、対応関係情報は、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの目標状態と、参照受光器３００の目標出力と、部分受光器６００の目標出力との対応関係を示す。
　以下では、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの目標状態を単に「目標状態」と記載し、参照受光器３００の目標出力を「目標参照出力」と記載し、部分受光器６００の目標出力を「目標部分出力」と記載する。
　図６の左欄に示すように、対応関係情報には、５つの目標状態（（Ａ）から（Ｅ））が登録されている。第１番目（図６（Ａ））の目標状態は、レーザスポットが第２コア２０ｂの第１領域に位置する状態に対応する。第２コア２０ｂの第１領域は、第１コア２０ａのＸ軸方向における一端側（図６の例では上側）に位置する第２コア２０ｂの領域である。第２番目（図６（Ｂ））の目標状態は、レーザスポットが第１コア２０ａと第２コア２０ｂの第１領域とに跨がる状態に対応する。第３番目（図６（Ｃ））の目標状態は、レーザスポットが第１コア２０ａに位置する状態に対応する。第４番目（図６（Ｄ））の目標状態は、レーザスポットが第１コア２０ａと第２コア２０ｂの第２領域とに跨がる状態に対応する。第２コア２０ｂの第２領域は、第１コア２０ａのＸ軸方向における他端側（図６の例では下側）に位置する第２コア２０ｂの領域である。第５番目（図６（Ｅ））の目標状態は、レーザスポットが第２コア２０ｂの第２領域に位置する状態に対応する。
　また、図６の中欄に示すように、対応関係情報には、５つの目標状態にそれぞれ対応する５つの目標参照出力が登録されている。第１番目（図６（Ａ））の目標状態に対応する第１番目（図６（Ａ））の目標参照出力は、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢが第１番目の目標状態であるときの参照受光器３００の出力に設定される。これと同様に、第２（図６（Ｂ））～第５番目（図６（Ｅ））の目標状態に対応する第２（図６（Ｂ））～第５番目（図６（Ｅ））の目標参照出力は、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢが第２（図６（Ｂ））～第５番目（図６（Ｅ））の目標状態であるときの参照受光器３００の出力にそれぞれ設定される。なお、目標参照出力の設定は、実験またはシミュレーションに基づいて行われてもよいし、後述するキャリブレーション処理と同様の処理により行われてもよい。
　また、図６の右欄に示すように、対応関係情報には、５つの目標状態（（Ａ）から（Ｅ））にそれぞれ対応する５つの目標参照出力が登録されている。第１番目（図６（Ａ））の目標状態に対応する第１番目（図６（Ａ））の目標部分出力は、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢが第１番目（図６（Ａ））の目標状態であるときの部分受光器６００の出力（この例では部分受光器６００の出力に基づいて生成されるスポット画像）に設定される。これと同様に、第２（図６（Ｂ））～第５番目（図６（Ｅ））の目標状態に対応する第２（図６（Ｂ））～第５番目（図６（Ｅ））の目標部分出力は、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢが第２（図６（Ｂ））～第５番目（図６（Ｅ））の目標状態であるときの部分受光器６００の出力にそれぞれ設定される。なお、目標部分出力の設定は、実験またはシミュレーションに基づいて行われてもよい。
　　〔基本処理〕
　次に、制御部１４の動作について説明する。制御部１４は、基本処理を行う。基本処理は、光ファイバ２０の端部にレーザ光ＬＢを照射するために行われる処理である。なお、基本処理は、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの状態を対応関係情報に示された目標状態にする場合の一例である。例えば、制御部１４は、レーザ装置１０の運転開始前に基本処理を行う。
　基本処理において、制御部１４は、目標設定動作と、調節動作と、シャッタ制御動作とを行う。
　　　〈目標設定動作〉
　目標設定動作において、制御部１４は、対応関係情報の中から１つの目標状態を選出する。例えば、制御部１４は、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの目標状態を指定するための目標指定操作が操作部１２に与えられると、その目標指定操作に応答して目標設定動作を行う。これにより、対応関係情報の中から操作者により指定された目標状態が選出される。なお、制御部１４は、レーザ加工システム１における加工条件に関する情報（例えばワークの厚みを示す情報）などの他の情報に基づいて目標設定動作を自動的に行うように構成されてもよい。
　　　〈調節動作〉
　調節動作において、制御部１４は、レーザ光源１０１および参照光源１０２を起動させる。なお、調節動作において、シャッタ７００は、閉状態に維持される。そして、調節動作において、制御部１４は、参照受光器３００の出力が予め定められた目標参照出力（参照受光器３００の目標出力）に近づくように、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角（第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する傾斜角）を調節する。この例では、調節動作において、制御部１４は、参照受光器３００の出力が予め定められた目標参照出力に近づき、且つ、部分受光器６００の出力が予め定められた目標部分出力（部分受光器６００の目標出力）に近づくように、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角を調節し、且つ、集光レンズの位置を調節する。
　なお、この例では、調節動作における目標参照出力は、対応関係情報に示された目標参照出力であり、具体的には、目標設定動作において選出された目標状態に対応する目標参照出力である。また、調節動作における目標部分出力は、対応関係情報に示された目標部分出力であり、具体的には、目標設定動作において選出された目標状態に対応する目標部分出力である。
　　　〈シャッタ制御動作〉
　シャッタ制御動作において、制御部１４は、参照受光器３００の出力が予め定められた目標参照出力（参照受光器３００の目標出力）となり、部分受光器６００の出力が予め定められた目標部分出力（部分受光器６００の目標出力）となり、レーザ出力（すなわち光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの強度）が予め定められた目標出力となることを条件として、シャッタ７００を閉状態から開状態にする。
　なお、この例では、シャッタ制御動作における目標参照出力は、対応関係情報に示された目標参照出力であり、具体的には、目標設定動作において選出された目標状態（光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの目標状態）に対応する目標参照出力である。また、シャッタ制御動作における目標部分出力は、対応関係情報に示された目標部分出力であり、具体的には、目標設定動作において選出された目標状態に対応する目標部分出力である。
　また、上記の「参照受光器３００の出力が目標参照出力となる」という状態には、参照受光器３００の出力と目標参照出力とが完全に一致する状態だけでなく、参照受光器３００の出力と目標参照出力とが一致するとみなされる状態も含まれる。この例では、制御部１４は、参照受光器３００の出力と目標参照出力との一致度が予め定められた閾値を上回る状態の継続時間が予め定められた基準時間を上回る場合に、参照受光器３００の出力が目標参照出力になったとみなす。
　また、上記の「部分受光器６００の出力が目標部分出力となる」という状態には、部分受光器６００の出力と目標部分出力とが完全に一致する状態だけでなく、部分受光器６００の出力と目標部分出力とが一致するとみなされる状態も含まれる。この例では、制御部１４は、部分受光器６００の出力と目標部分出力との一致度が予め定められた閾値を上回る場合に、部分受光器６００の出力が目標部分出力になったとみなす。なお、制御部１４は、部分受光器６００の出力と目標部分出力との一致度が閾値を上回る状態の継続時間が予め定められた基準時間を上回る場合に、参照受光器３００の出力が目標参照出力になったとみなすように構成されてもよい。
　また、上記の「レーザ出力が目標出力となる」という状態には、レーザ出力と目標出力とが完全に一致する状態だけでなく、レーザ出力と目標出力とが一致するとみなされる状態も含まれる。この例では、制御部１４は、検出器９００により検出されたレーザ光ＬＢの強度が予め定められた許容範囲内に収まる場合に、レーザ出力が目標出力となったとみなす。なお、制御部１４は、検出器９００により検出されたレーザ光ＬＢの強度が許容範囲内に収まる状態の継続時間が予め定められた基準時間を上回る場合に、レーザ出力が目標出力となったとみなすように構成されてもよい。
　　〔基本処理における動作〕
　次に、図７を参照して、基本処理における制御部１４の動作について説明する。なお、以下では、参照受光器３００の出力と目標参照出力との一致度の変化を説明するために、参照受光器３００の出力から推定される折り返しミラー２００の位置（揺動角）と目標参照出力から推定される折り返しミラー２００の目標位置（目標揺動角）との差である折り返しミラー２００の位置ずれの変化を例に挙げている。参照受光器３００の出力と目標参照出力との一致度が高くなるほど、折り返しミラー２００の位置ずれの量（絶対値）が小さくなる。
　時刻ｔ０になると、目標参照出力と目標部分出力とが設定される。例えば、対応関係情報の中から目標状態が選出される。時刻ｔ０以降、制御部１４は、参照受光器３００の出力が目標参照出力に近づくように、折り返しミラー２００の位置（具体的には揺動角）を調節する。これにより、折り返しミラー２００の位置ずれの量が次第に小さくなる。
　時刻ｔ１になると、レーザ出力が目標出力になったとみなされる。例えば、検出器９００により検出されるレーザ光ＬＢの強度が許容範囲内に収まる。
　時刻ｔ２になると、折り返しミラー２００の位置ずれの量が許容範囲ＲＲ内になる。言い換えると、参照受光器３００の出力と目標参照出力との一致度が閾値を上回る。
　時刻ｔ３になると、折り返しミラー２００の位置ずれの量が許容範囲ＲＲ内に収まる状態の継続時間が基準時間ＴＴを上回る。言い換えると、参照受光器３００の出力と目標参照出力との一致度が閾値を上回る状態の継続時間が基準時間を上回る。これにより、参照受光器３００の出力が目標参照出力になったとみなされる。そして、折り返しミラー２００の位置の位置決めが完了したとみなされる。
　時刻ｔ３から時刻ｔ４までの期間では、制御部１４は、部分受光器６００の出力が目標部分出力に近づくように、集光レンズ４００の位置を調節する。これにより、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの状態（スポットの形状および位置）が目標状態に次第に近づく。なお、集光レンズ４００の位置制御は、参照受光器３００の出力が目標参照出力になったとみなされる前（図７の例では時刻ｔ３よりも前）に行われてもよい。
　時刻ｔ４になると、部分受光器６００の出力が目標部分出力になったとみなされる。例えば、部分受光器６００の出力（具体的にはスポット画像）と目標部分出力との一致度が閾値を上回る。これにより、シャッタ７００を閉状態から開状態にするための条件が成立し、制御部１４は、シャッタ７００を閉状態から開状態にする。その結果、光ファイバ２０の端部へ向かうレーザ光ＬＢは、光ファイバ２０の端部に入射し、光ファイバ２０を経由して出射ヘッド２５に導かれ、出射ヘッド２５からワーク（図示省略）に出射される。
　時刻ｔ５以降では、時刻ｔ０から時刻ｔ５までの期間における動作と同様の動作が行われる。
　　〔実施形態の効果〕
　以上のように、実施形態のレーザ装置１０では、第１反射面２００ａと第２反射面２００ｂとを有する折り返しミラー２００と、折り返しミラー２００の第２反射面２００ｂで反射した参照光ＲＬを受光する参照受光器３００とが設けられる。参照受光器３００における参照光ＲＬの受光状態（受光位置および受光強度）と、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角（第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する傾斜角）との間には、相関がある。したがって、参照受光器３００における参照光ＲＬの受光状態に基づいて、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角の変化を検出することができる。これにより、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角の異常を検出することができる。
　なお、エンコーダ２５２の出力（すなわち揺動モータ２５１の回転角）に基づいて、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角（第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する傾斜角）を検出することが考えられる。しかしながら、エンコーダ２５２の出力には、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの基準角（基準となる姿勢における傾斜角）のずれが反映されない。そのため、エンコーダ２５２の出力に基づく第１反射面２００ａの主傾斜角の検出では、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの基準角のずれに起因する第１反射面２００ａの主傾斜角の変化を検出することができない。なお、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの基準角のずれは、折り返しミラー２００の設置ずれ、折り返しミラー２００の歪みなどにより発生する。
　一方、実施形態のレーザ装置１０では、参照受光器３００における参照光ＲＬの受光状態（受光位置および受光強度）に基づいて、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角（第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する傾斜角）を検出することができる。参照受光器３００における参照光ＲＬの受光状態には、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの基準角のずれが反映される。したがって、参照受光器３００における参照光ＲＬの受光状態に基づく第１反射面２００ａの主傾斜角の検出では、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの基準角のずれに起因する第１反射面２００ａの主傾斜角の変化を検出することができる。これにより、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの基準角のずれを検出することが可能である。
　なお、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの基準角のずれは、折り返しミラー２００の揺動方向における第１反射面２００ａの傾斜角の変化（すなわち主傾斜角の変化）だけでなく、折り返しミラー２００の揺動方向とは異なる方向における第１反射面２００ａの傾斜角の変化を引き起こす可能性がある。
　実施形態のレーザ装置１０では、参照受光器３００の受光面３０１に、複数の受光素子３０２がマトリクス状に配置される。すなわち、参照受光器３００の受光面３０１は、マトリクス状に配置される複数の単位領域に区分され、参照受光器３００は、受光面３０１の単位領域毎の受光強度を検出する。このような構成により、参照受光器３００の受光面３０１に入射する参照光ＲＬの受光状態の変化を二次元的に検出することができる。これにより、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの傾斜角の変化を二次元的に検出することができるので、参照受光器３００の出力に基づいて検出することができる第１反射面２００ａの傾斜角の変化の方向の数を増加させることができる。例えば、折り返しミラー２００の揺動方向における第１反射面２００ａの傾斜角の変化（すなわち主傾斜角の変化）だけでなく、折り返しミラー２００の揺動方向とは異なる方向における第１反射面２００ａの傾斜角の変化（例えば第１反射面２００ａの基準角のずれに起因する変化）も検出することができる。このように、参照受光器３００の出力に基づいて検出することができる第１反射面２００ａの傾斜角の変化の方向の数を増加させることができるので、参照受光器３００の出力に基づいて検出することができる第１反射面２００ａの傾斜角の異常の種類を増加させることができる。例えば、参照受光器３００の出力に基づいて、折り返しミラー２００の揺動方向とは異なる方向における第１反射面２００ａの傾斜角の異常（第１反射面２００ａの基準角のずれに起因する異常）を検出することができる。
　また、実施形態のレーザ装置１０では、折り返しミラー２００が揺動可能である。折り返しミラー２００を揺動させることにより、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角（第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する傾斜角）を調節することができる。また、参照受光器３００における参照光ＲＬの受光状態に基づいて、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角を適切に調節することができる。これにより、光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポットの位置（入射位置）を適切に調節することができる。
　また、実施形態のレーザ装置１０では、集光レンズ４００と部分反射ミラー５００とが設けられ、部分反射ミラー５００で反射された部分光ＬＢａ（レーザ光ＬＢの一部）を受光する部分受光器６００が設けられる。部分受光器６００における部分光ＬＢａの受光状態（受光位置および受光強度）と、光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポットの状態との間には、相関がある。したがって、部分受光器６００における部分光ＬＢａの受光状態に基づいて、光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポットの状態を検出することができる。
　また、実施形態のレーザ装置１０では、参照受光器３００における参照光ＲＬの受光状態に基づいて、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角（第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する傾斜角）の異常を検出することができ、部分受光器６００における部分光ＬＢａの受光状態に基づいて、光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポットの異常を検出することができる。そして、参照受光器３００における参照光ＲＬの受光状態に基づく異常検出の結果と、部分受光器６００における部分光ＬＢａの受光状態に基づく異常検出の結果とに基づいて、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの異常の原因を判別することができる。これにより、レーザ光ＬＢの異常の原因となる箇所の特定を容易にすることができる。
　また、実施形態のレーザ装置１０では、レーザ光ＬＢの強度を検出する検出器９００が設けられる。このような構成により、検出器９００の出力に基づいて、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの強度を検出することができる。これにより、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの強度の異常を検出することができる。
　なお、参照受光器３００の出力を用いずにエンコーダ２５２の出力（揺動モータ２５１の回転角）に基づいて折り返しミラー２００の位置（揺動角）の制御を行う場合、折り返しミラー２００の位置の制御の開始から予め定められた待機時間が経過すると、折り返しミラー２００の位置決めが完了したとみなされる。この待機時間は、折り返しミラー２００の位置を確実に目標位置にするために要する時間に設定される。そのため、折り返しミラー２００の位置の制御の開始から折り返しミラー２００の位置決めが完了したとみなされるまでの時間（整定時間）を短縮することが困難である。
　一方、実施形態のレーザ装置１０では、参照受光器３００の出力に基づいて折り返しミラー２００の位置をリアルタイムで確認することができるので、折り返しミラー２００の位置決めを素早く完了させることができる。これにより、整定時間を短縮することができる。
　　〔異常検出処理〕
　次に、制御部１４の別の動作について説明する。制御部１４は、異常検出処理を行う。異常検出処理は、レーザ光ＬＢの異常を検出するために行われる処理である。例えば、制御部１４は、レーザ装置１０の運転中に異常検出処理を行う。なお、制御部１４は、異常検出処理の実行が指示された場合（例えば異常検出処理の実行を指示するための操作が操作部１２に与えられた場合）に異常検出処理を行うように構成されてもよい。また、異常検出処理は、工場出荷前、設置時、保守点検時、設置後（または保守点検後）のレーザ装置１０の累積稼働時間が所定時間（例えば１０００時間）に到達した場合などに行われてもよい。
　なお、レーザ装置１０が運転中ではない場合、制御部１４は、レーザ装置１０を起動させた後に異常検出処理を行う。このとき、シャッタ７００が閉状態に維持された状態でレーザ装置１０を起動させることが望ましい。具体的には、制御部１４は、レーザ光源１０１および参照光源１０２を起動させ、折り返しミラー２００の位置と集光レンズ４００の位置を適宜調節した後に、異常検出処理を開始する。例えば、制御部１４は、異常検出処理の前に基本処理の目標設定動作と調節動作を行うように構成されてもよい。
　異常検出処理において、制御部１４は、参照受光器３００の出力に基づいて、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角（第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する傾斜角）の異常を検出する。この例では、制御部１４は、参照受光器３００の出力に基づいて、折り返しミラー２００の位置（具体的には揺動角）の異常を検出する。なお、折り返しミラー２００の位置の異常は、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角の異常に対応している。したがって、折り返しミラー２００の位置の異常を検出することにより、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角の異常を検出することができる。
　また、異常検出処理において、制御部１４は、部分受光器６００の出力に基づいて、レーザスポット（光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポット）の異常を検出する。
　また、異常検出処理において、制御部１４は、検出器９００の出力に基づいて、レーザ出力（光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの強度）の異常を検出する。
　この例では、制御部１４は、異常検出処理において、第１情報と、第２情報と、第３情報とを出力可能である。そして、制御部１４は、第３情報よりも第２情報を優先的に出力し、第２情報よりも第１情報を優先的に出力する。なお、第１情報、第２情報、第３情報については、後で詳しく説明する。
　また、制御部１４は、レーザ装置１０の運転中に行われる異常検出処理において、折り返しミラー２００の位置の異常、レーザスポット（光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポット）の異常、レーザ出力（光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの強度）の異常のうち少なくとも１つを検出すると、シャッタ７００を開状態から閉状態にする。なお、制御部１４は、異常検出処理において、折り返しミラー２００の位置の異常、レーザスポットの異常、レーザ出力の異常のうち少なくとも１つを検出すると、レーザ装置１０を停止させるように構成されてもよい。
　　〔異常検出処理における動作〕
　次に、図８を参照して、異常検出処理における制御部１４の動作について説明する。
　　　〈ステップＳＴ１１〉
　制御部１４は、ステップＳＴ１１において、参照受光器３００の出力に基づいて、折り返しミラー２００の位置に異常があるか否かを判定する。折り返しミラー２００の位置に異常がある場合（すなわち折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角に異常がある場合）には、ステップＳＴ１４の処理が行われ、そうでない場合には、ステップＳＴ１２の処理が行われる。
　この例では、制御部１４は、参照受光器３００の出力と予め定められた目標参照出力（参照受光器３００の目標出力）との一致度が予め定められた閾値を上回る場合に、折り返しミラーの位置が正常であると判定し、参照受光器３００の出力と目標参照出力との一致度が閾値を上回らない場合に、折り返しミラーの位置が異常であると判定する。なお、この例では、上記の目標参照出力は、対応関係情報に示された目標参照出力であり、具体的には、目標設定動作において選出された目標状態に対応する目標参照出力である。
　　　〈ステップＳＴ１２〉
　制御部１４は、ステップＳＴ１２において、部分受光器６００の出力に基づいて、レーザスポット（光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポット）が異常であるか否かを判定する。レーザスポットに異常がある場合には、ステップＳＴ１５の処理が行われ、そうでない場合には、ステップＳＴ１３の処理が行われる。
　この例では、制御部１４は、部分受光器６００の出力と予め定められた目標部分出力（部分受光器６００の目標出力）との一致度が予め定められた閾値を上回る場合に、レーザスポットが正常であると判定し、部分受光器６００の出力と目標部分出力との一致度が閾値を上回らない場合に、レーザスポットが異常であると判定する。なお、この例では、上記の目標部分出力は、対応関係情報に示された目標部分出力であり、具体的には、目標設定動作において選出された目標状態に対応する目標部分出力である。
　具体的には、制御部１４は、部分受光器６００の出力に基づいて、スポット画像（部分受光器６００の受光面６０１に形成される部分光ＬＢａのスポットを含む画像）を生成する。そして、制御部１４は、スポット画像に基づいて、レーザスポットが異常であるか否かを判定する。例えば、部分受光器６００の目標出力が図６の対応関係情報の第３番目の目標状態に対応する目標参照出力（レーザスポットが第１コア２０ａに位置するときの部分受光器６００の出力）であるとすると、スポット画像における部分光ＬＢａのスポットの状態（位置および形状）が図９の左上欄に示した状態である場合、制御部１４は、レーザスポットが正常であると判定する（判定結果ＯＫ）。一方、スポット画像における部分光ＬＢａのスポットの状態が図９の左上欄に示した状態ではない場合、制御部１４は、レーザスポットが異常であると判定する（判定結果ＮＧ）。
　　　〈ステップＳＴ１３〉
　制御部１４は、ステップＳＴ１３において、検出器９００の出力に基づいて、レーザ出力（光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの強度）が異常であるか否かを判定する。レーザ出力に異常がある場合には、ステップＳＴ１６の処理が行われ、そうでない場合には、異常検出処理を終了する。
　この例では、制御部１４は、検出器９００により検出されるレーザ光ＬＢの強度が予め定められた許容範囲内である場合に、レーザ出力が正常であると判定し、検出器９００により検出されるレーザ光ＬＢの強度が許容範囲内ではない場合に、レーザ出力が異常であると判定する。
　　　〈ステップＳＴ１４〉
　ステップＳＴ１１において、折り返しミラー２００の位置に異常がある場合、制御部１４は、ステップＳＴ１４において、第１情報を出力する。第１情報は、折り返しミラー２００の位置の異常を通知する情報である。すなわち、第１情報は、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角（第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する傾斜角）の異常を通知するための情報である。例えば、第１情報は、折り返しミラー２００の点検実施を促すための情報であってもよい。
　この例では、制御部１４は、第１情報を表示部１３に出力し、表示部１３は、第１情報を表示する。これにより、折り返しミラー２００の位置の異常（すなわち折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角の異常）を操作者に通知することができる。
　　　〈ステップＳＴ１５〉
　また、ステップＳＴ１２において、レーザスポット（光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポット）に異常がある場合、制御部１４は、ステップＳＴ１５において、第２情報を出力する。第２情報は、レーザスポットの異常を通知するための情報である。例えば、第２情報は、レーザスポットの状態（位置および形状）に影響を及ぼす可能性がある部品（集光レンズ４００や部分反射ミラー５００など）の点検実施を促すための情報であってもよい。
　この例では、制御部１４は、第２情報を表示部１３に出力し、表示部１３は、第２情報を表示する。これにより、レーザスポットの異常を操作者に通知することができる。
　　　〈ステップＳＴ１６〉
　また、ステップＳＴ１３において、レーザ出力（光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの強度）に異常がある場合、制御部１４は、ステップＳＴ１６において、第３情報を出力する。第３情報は、レーザ出力の異常を通知するための情報である。例えば、第３情報は、レーザ出力に影響を及ぼす可能性がある部品（レーザ光源１０１など）の点検実施を促すための情報であってもよい。
　この例では、制御部１４は、第３情報を表示部１３に出力し、表示部１３は、第３情報を表示する。これにより、レーザ出力の異常を操作者に通知することができる。
　　〔実施形態の効果〕
　以上のように、実施形態のレーザ装置１０では、異常検出処理において、参照受光器３００の出力に基づいて、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角（第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する傾斜角）の異常を検出することができる。また、部分受光器６００の出力に基づいて、レーザスポット（光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポット）の異常を検出することができる。そして、参照受光器３００の出力に基づく異常検出の結果と、部分受光器６００の出力に基づく異常検出の結果とに基づいて、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの異常の原因を判別することができる。これにより、レーザ光ＬＢの異常の原因となる箇所の特定を容易にすることができる。
　また、実施形態のレーザ装置１０では、異常検出処理において、検出器９００の出力に基づいて、レーザ出力（光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの強度）の異常を検出することができる。これにより、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの異常の原因がレーザ出力の異常であるのか否かを判別することができる。
　また、実施形態のレーザ装置１０では、制御部１４は、異常検出処理において、レーザスポット（光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポット）の異常を通知するための第２情報よりも、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角（第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する傾斜角）の異常を通知するための第１情報を優先的に出力する。なお、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角の異常を解消するために、折り返しミラー２００の揺動角（傾斜角）が調節され、レーザスポットの異常を解消するために、集光レンズ４００の位置が調節される。また、レーザ光ＬＢの光路において集光レンズ４００の上流側に位置する折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角の異常が解消されることで、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａから集光レンズ４００へ向かうレーザ光ＬＢの進行方向が正常となり、その結果、集光レンズ４００の位置の調節によりレーザスポットの状態を適切に制御することが可能となる。したがって、第２情報よりも第１情報を優先的に出力することにより、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角の異常を優先的に解消させることができるので、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの異常を効率よく解消することができる。
　また、実施形態のレーザ装置１０では、制御部１４は、異常検出処理において、レーザ出力（光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光の強度）の異常を通知するための第３情報よりも、第１情報および第２情報を優先的に出力する。このような構成により、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角（第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する傾斜角）の異常と、レーザスポット（光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポット）の異常とを優先的に解消させることができるので、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角およびレーザスポットの両方に異常がない状態で、レーザ出力を適切に調節することができる。
　　〔異常検出処理の変形例１〕
　なお、制御部１４は、異常検出処理において、部分受光器６００により受光されるレーザ光（部分光ＬＢａ）の強度に基づいて、レーザ出力（光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの強度）の異常を検出するように構成されてもよい。具体的には、制御部１４は、部分受光器６００により受光される部分光ＬＢａの強度が予め定められた許容範囲内である場合に、レーザ出力が正常であると判定し、部分受光器６００により受光される部分光ＬＢａの強度が許容範囲内ではない場合に、レーザ出力が異常であると判定してもよい。
　以上のような構成により、検出器９００を省略することができる。また、部分受光器６００により受光される部分光ＬＢａ（レーザ光ＬＢの一部）の強度に基づいて、レーザ出力（光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの強度）を検出することができる。これにより、レーザ出力の異常を検出することができるので、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの異常の原因がレーザ出力の異常であるのか否かを判別することができる。
　　〔異常検出処理の変形例２〕
　また、制御部１４は、異常検出処理において、エンコーダ２５２の出力に基づいて、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角（第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する傾斜角）の異常を検出するように構成されてもよい。例えば、制御部１４は、エンコーダ２５２の出力と予め定められたエンコーダ２５２の目標出力（折り返しミラー２００の目標位置に対応するエンコーダ２５２の出力）との一致度が予め定められた閾値を上回る場合に、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角が正常であると判定し、エンコーダ２５２の出力とエンコーダ２５２の目標出力との一致度が閾値を上回らない場合に、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角が異常であると判定する。
　　〔異常検出処理の変形例３〕
　また、制御部１４は、異常検出処理において、参照受光器３００の出力に基づく異常検出の結果と、エンコーダ２５２の出力に基づく異常検出の結果とに基づいて、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの傾斜角の異常の種類を判別するように構成されてもよい。例えば、参照受光器３００の出力に基づいて異常が検出され、且つ、エンコーダ２５２の出力に基づいて異常が検出された場合に、制御部１４は、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角（第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する傾斜角）に異常があると判定する。また、参照受光器３００の出力に基づいて異常が検出されず、且つ、エンコーダ２５２の出力に基づいて異常が検出された場合に、制御部１４は、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの基準角のずれ（例えば折り返しミラー２００の歪み）があると判定する。また、制御部１４は、異常検出処理において、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの傾斜角の異常の種類を通知するための情報を出力するように構成されてもよい。
　　〔キャリブレーション処理〕
　次に、制御部１４の別の動作について説明する。制御部１４は、キャリブレーション処理を行う。キャリブレーション処理は、対応関係情報を更新するために行われる処理である。
　この例では、制御部１４は、参照受光器３００の出力が対応関係情報に示された目標参照出力（参照受光器３００の目標出力）となるときのレーザスポット（光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポット）の位置が異常である場合に、キャリブレーション処理を行う。具体的には、制御部１４は、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの状態が対応関係情報に示された目標状態であるときに観測されるレーザスポットの位置（理想位置）と、参照受光器３００の出力が対応関係情報において上記の目標状態に対応する目標参照出力であるときに観測されるレーザスポットの位置（実位置）との差が予め定められた許容値を上回る場合に、キャリブレーション処理を行う。
　なお、制御部１４は、異常検出処理において折り返しミラー２００の位置の異常（すなわち折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角の異常）が検出された場合にキャリブレーション処理を行うように構成されてもよい。また、制御部１４は、キャリブレーション処理の実行が指示された場合（例えばキャリブレーション処理の実行を指示するための操作が操作部１２に与えられた場合）にキャリブレーション処理を行うように構成されてもよい。また、キャリブレーション処理は、工場出荷前、設置時、保守点検時、設置後（または保守点検後）のレーザ装置１０の累積稼働時間が所定時間（例えば１０００時間）に到達した場合などに行われてもよい。
　キャリブレーション処理において、制御部１４は、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角（第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する傾斜角）を順次変更しながら、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの状態と参照受光器３００の出力とを観測し、観測結果に基づいて対応関係情報（光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの目標状態と参照受光器３００の目標出力との対応関係を示す情報）を更新する。
　この例では、制御部１４は、部分受光器６００の出力に基づいて、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの状態を観測する。部分受光器６００の出力は、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの状態に対応している。したがって、部分受光器６００の出力を観測することにより、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの状態を観測することができる。具体的には、制御部１４は、部分受光器６００の出力に基づいてスポット画像を生成し、スポット画像における部分光ＬＢａの状態に基づいて、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの状態を決定（推定）する。例えば、制御部１４は、スポット画像において部分光ＬＢａのスポットが第１領域６１１に位置する場合に、レーザスポット（光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポット）が第１コア２０ａに位置する状態であると決定（推定）する。
　また、制御部１４は、キャリブレーション処理において、対応関係情報を更新することができない場合に、対応関係情報を更新することができないことを通知するための情報を出力する。
　　〔キャリブレーション処理における動作〕
　次に、図１０を参照して、キャリブレーション処理における制御部１４の動作について説明する。
　　　〈ステップＳＴ２１〉
　制御部１４は、ステップＳＴ２１において、折り返しミラー２００の位置（具体的には揺動角）を予め定められた観測位置に設定する。この観測位置は、折り返しミラー２００の可動範囲内において折り返しミラー２００の位置が段階的に変化するように定められる。例えば、第１回目の観測位置は、折り返しミラー２００の可動範囲の下限の揺動角に設定され、第２回目の観測位置は、折り返しミラー２００の可動範囲の下限の揺動角の次に小さい揺動角（下限の揺動角よりも予め定められた単位角だけ大きい揺動角）に設定され、最後の観測位置は、折り返しミラー２００の可動範囲の上限の揺動角に設定される。
　　　〈ステップＳＴ２２〉
　次に、制御部１４は、ステップＳＴ２２において、参照受光器３００の出力と部分受光器６００の出力（すなわち光ファイバ２０の端部に入射されるレーザ光ＬＢの状態）を観測し、参照受光器３００の出力と部分受光器６００の出力とを対応付けて記憶する（図６参照）。
　　　〈ステップＳＴ２３〉
　次に、制御部１４は、ステップＳＴ２３において、参照受光器３００の出力と部分受光器６００の出力の観測を完了するか否かを判定する。参照受光器３００の出力と部分受光器６００の出力の観測を完了場合（ステップＳＴ２３でＹＥＳ）には、ステップＳＴ２４の処理が行われる。そうでない場合（ステップＳＴ２３でＮＯ）には、ステップＳＴ２１の処理が行われ、折り返しミラー２００の位置が次の観測位置に設定される。
　ステップＳＴ２３でＹＥＳについて、この例では、制御部１４は、参照受光器３００の出力および部分受光器６００の出力の観測回数が予め定められた回数に到達している場合に、参照受光器３００の出力と部分受光器６００の出力の観測を完了する。例えば、制御部１４は、折り返しミラー２００の位置が最後の観測位置に設定されている場合に、参照受光器３００の出力と部分受光器６００の出力の観測を完了する。
　　　〈ステップＳＴ２４〉
　制御部１４は、ステップＳＴ２４において、対応関係情報（図６参照）の中から目標状態（光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの目標状態）を選択する。この選択は、対応関係情報に示された目標状態が順に選択されるように行われる。例えば、第１回目の選択では、対応関係情報の中から第１番目（図６（Ａ））の目標状態が選択され、第２回目の選択では、対応関係情報の中から第２番目（図６（Ｂ））の目標状態が選択される。
　　　〈ステップＳＴ２５〉
　次に、制御部１４は、対応関係情報の中からステップＳＴ２４において選択された目標状態に対応する目標部分出力（部分受光器６００の目標出力）を選出する。次に、制御部１４は、ステップＳＴ２５において、ステップＳＴ２１～ＳＴ２３の処理により観測された部分受光器６００の出力の中から上記の目標部分出力に対応する部分受光器６００の出力（すなわち目標状態に対応する「光ファイバ２０の端部に入射されるレーザ光ＬＢの状態」）を検出する。そして、制御部１４は、ステップＳＴ２５において、ステップＳＴ２１～ＳＴ２３の処理により観測された参照受光器３００の出力の中から上記の検出された部分受光器６００の出力に対応付けられた参照受光器３００の出力を検出する。このような参照受光器３００の出力が検出された場合（ステップＳＴ２５でＹＥＳ）には、ステップＳＴ２６の処理が行われ、そうでない場合（ステップＳＴ２５でＮＯ）には、ステップＳＴ２８の処理が行われる。
　　　〈ステップＳＴ２６〉
　制御部１４は、ステップＳＴ２６では、対応関係情報において上記の目標状態（ステップＳＴ２４において選択された目標状態）に対応する参照受光器３００の目標出力を、ステップＳＴ２５において検出された参照受光器３００の出力に更新する。
　　　〈ステップＳＴ２７〉
　次に、制御部１４は、ステップＳＴ２７において、対応関係情報の更新を完了するか否かを判定する。対応関係情報の更新を完了する場合（ステップＳＴ２７でＹＥＳ）には、キャリブレーション処理を終了する。そうでない場合（ステップＳＴ２７でＮＯ）には、ステップＳＴ２４の処理が行われ、対応関係情報の中から次の目標状態が選択される。
　この例では、制御部１４は、対応関係情報に示された目標状態の全部に対して参照受光器３００の出力が完了している場合（ステップＳＴ２７でＹＥＳ）に、対応関係情報の更新を完了する。例えば、制御部１４は、ステップＳＴ２４において対応関係情報の中から選択された目標状態が最後の目標状態である場合（ステップＳＴ２７でＹＥＳ）に、対応関係情報の更新を完了する。
　　　〈ステップＳＴ２８〉
　制御部１４は、ステップＳＴ２８において、対応関係情報を更新することができないことを通知するための情報（更新不可通知情報）を出力する。また、制御部１４は、対応関係情報を元の状態（キャリブレーション処理が行われる前の状態）に戻す。
　例えば、制御部１４は、更新不可通知情報を表示部１３に出力し、表示部１３は、更新不可通知情報を表示する。これにより、対応関係情報を更新することができないことを操作者に通知することができる。
　　〔実施形態の効果〕
　以上のように、実施形態のレーザ装置１０では、キャリブレーション処理を行うことにより、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの目標状態と参照受光器３００の目標出力（折り返しミラー２００の第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する第１反射面２００ａの傾斜角に関連する情報）との対応関係を示す対応関係情報を適切に更新することができる。
　また、実施形態のレーザ装置１０では、基本処理（すなわち光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの状態を対応関係情報に示された目標状態にする場合）において、参照受光器の出力が対応関係情報において目標状態に対応する参照受光器３００の目標出力に近づくように、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角（第１反射面２００ａに入射するレーザ光ＬＢの光路に対する傾斜角）を調節する。この制御では、キャリブレーション処理により適切に更新された対応関係情報を用いることができるので、折り返しミラー２００の第１反射面２００ａの主傾斜角を適切に調節することができる。
　また、実施形態のレーザ装置１０では、集光レンズ４００と部分反射ミラー５００とが設けられ、部分反射ミラー５００で反射された部分光ＬＢａ（レーザ光ＬＢの一部）を受光する部分受光器６００が設けられる。そして、キャリブレーション処理において、部分受光器６００の出力に基づいて、光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの状態を観測する。このような構成により、部分受光器６００の出力に基づいてキャリブレーション処理を適切に行うことができる。
　また、実施形態のレーザ装置１０では、制御部１４は、キャリブレーション処理において、対応関係情報を更新することができない場合に、対応関係情報を更新することができないことを通知するための情報を出力する。このような構成により、対応関係情報を更新することができないことを通知することができる。
　また、実施形態によるレーザ装置１０では、制御部１４は、参照受光器３００の出力が対応関係情報に示された参照受光器３００の目標出力であるときの光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポットの位置が異常である場合に、キャリブレーション処理を行う。このような構成により、対応関係情報において光ファイバ２０の端部に入射するレーザ光ＬＢの目標状態と参照受光器３００の目標出力との対応関係が適切でない場合に、キャリブレーション処理を行うことができる。
　（その他の実施形態）
　以上の説明では、対応関係情報に登録される部分受光器６００の目標出力の例としてスポット画像を挙げたが、これに限定されない。例えば、対応関係情報には、部分受光器６００の目標出力として、スポット画像における部分光ＬＢａのスポットの目標条件であってもよい。例えば、図６に示した第３番目の部分受光器６００の目標出力（図６の（Ｃ）参照）として「部分光ＬＢａのスポットが第１領域６１１に収まる」という目標条件が登録されてもよい。この場合、目標条件が成立すると、レーザスポット（光ファイバ２０の端部におけるレーザ光ＬＢのスポット）の状態が目標条件に対応する目標状態になっているとみなされる。
　また、以上の説明では、折り返しミラー２００が板状である場合を例に挙げたが、これに限定されない。例えば、折り返しミラー２００は、揺動軸線に延びる多角柱状に形成されてもよい。
　また、以上の説明では、集光レンズ４００が移動可能である場合を例に挙げたが、集光レンズ４００は、移動不可に固定されてもよい。言い換えると、集光レンズ４００の位置は、可変であってもよいし、固定であってもよい。
　また、以上の説明では、被照射物の一例として光ファイバ２０の端部を挙げたが、被照射物は、これに限定されない。
　また、以上の実施形態を適宜組み合わせて実施してもよい。以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、ここに開示する技術、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
　以上説明したように、ここに開示する技術は、レーザ装置として有用である。
１　　　　　　レーザ加工システム
１０　　　　　レーザ装置
１１　　　　　レーザ発振器
１２　　　　　操作部
１３　　　　　表示部
１４　　　　　制御部
２０　　　　　光ファイバ
２５　　　　　出射ヘッド
１０１　　　　レーザ光源
１０２　　　　参照光源
２００　　　　折り返しミラー
２０１　　　　第１折り返しミラー
２０２　　　　第２折り返しミラー
３００　　　　参照受光器
３０１　　　　受光面
３０２　　　　受光素子
４００　　　　集光レンズ
５００　　　　部分反射ミラー
６００　　　　部分受光器
６０１　　　　受光面
７００　　　　シャッタ
８００　　　　ビームダンパ
９００　　　　検出器
ＬＢ　　　　　レーザ光
ＲＬ　　　　　参照光

Claims (5)

  1. 　被照射物にレーザ光を照射するレーザ装置であって、
    　レーザ光を出射するレーザ光源と、
    　参照光を出射する参照光源と、
    　前記レーザ光源から出射されるレーザ光を進行方向とは異なる方向に反射することで前記レーザ光を前記被照射物へ導く第１反射面と、前記参照光源から出射される参照光を進行方向とは異なる方向に反射する第２反射面とを有し、前記第１反射面に入射するレーザ光の光路に対する前記第１反射面の傾斜角が変化するように揺動可能であり、前記第１反射面に入射するレーザ光の光路に対する前記第１反射面の傾斜角が変化すると前記第２反射面に入射する参照光の光路に対する前記第２反射面の傾斜角が変化する折り返しミラーと、
    　前記折り返しミラーの第２反射面で反射された参照光を受光する参照受光器と、
    　前記折り返しミラーの第１反射面から前記被照射物へ向かうレーザ光の光路に配置されて前記レーザ光を集光する集光レンズと、
    　キャリブレーション処理を行う制御部とを備え、
    　前記制御部は、前記キャリブレーション処理において、前記折り返しミラーの第１反射面に入射するレーザ光の光路に対する前記折り返しミラーの第１反射面の傾斜角を順次変更しながら、前記被照射物に入射するレーザ光の状態と前記参照受光器の出力とを観測し、観測結果に基づいて、前記被照射物に入射するレーザ光の目標状態と前記参照受光器の目標出力との対応関係を示す対応関係情報を更新することを特徴とするレーザ装置。
  2. 　請求項１において、
    　前記制御部は、前記被照射物に入射するレーザ光の状態を前記対応関係情報に示された目標状態にする場合に、前記参照受光器の出力が前記対応関係情報において前記目標状態に対応する前記参照受光器の目標出力に近づくように、前記折り返しミラーの第１反射面に入射するレーザ光の光路に対する前記折り返しミラーの第１反射面の傾斜角を調節することを特徴とするレーザ装置。
  3. 　請求項１または２において、
    　前記集光レンズから前記被照射物へ向かうレーザ光の一部を反射する部分反射ミラーと、
    　前記部分反射ミラーで反射されたレーザ光の一部を受光する部分受光器とを備え、
    　前記制御部は、前記部分受光器の出力に基づいて、前記被照射物に入射するレーザ光の状態を観測することを特徴とするレーザ装置。
  4. 　請求項１～３のいずれか１つにおいて、
    　前記制御部は、前記キャリブレーション処理において、前記対応関係情報を更新することができない場合に、前記対応関係情報を更新することができないことを通知するための情報を出力することを特徴とするレーザ装置。
  5. 　請求項１～４のいずれか１つにおいて、
    　前記制御部は、前記参照受光器の出力が前記対応関係情報に示された前記参照受光器の目標出力であるときの前記被照射物における前記レーザ光のスポットの位置が異常である場合に、前記キャリブレーション処理を行うことを特徴とするレーザ装置。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116669647A (zh) * 2020-12-28 2023-08-29 波士顿科学医学有限公司 激光对准方法和工具

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09271968A (ja) * 1996-04-08 1997-10-21 Amada Co Ltd レーザ加工機の光学系チェック方法およびその装置
JPH11342483A (ja) * 1998-03-31 1999-12-14 Hitachi Cable Ltd 基板の加工方法及びその加工装置
JP2010264461A (ja) 2009-05-12 2010-11-25 Hitachi High-Technologies Corp レーザ加工方法、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法
JP2017148839A (ja) * 2016-02-24 2017-08-31 浜松ホトニクス株式会社 レーザ光照射装置及びレーザ光照射方法

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW207588B (ja) * 1990-09-19 1993-06-11 Hitachi Seisakusyo Kk
JP2588281Y2 (ja) * 1992-11-25 1999-01-06 株式会社小松製作所 レーザマーキング装置
JP3645013B2 (ja) * 1994-10-14 2005-05-11 三菱電機株式会社 光伝送装置、固体レーザ装置、及びこれらを用いたレーザ加工装置
JPH08264864A (ja) * 1995-03-20 1996-10-11 Sanyo Mach Works Ltd 軸調整装置及び方法
JPH1158052A (ja) * 1997-08-26 1999-03-02 Nippon Steel Corp レーザ加工装置
JP3916734B2 (ja) * 1997-09-17 2007-05-23 シャープ株式会社 レーザ加工装置
JP4251742B2 (ja) * 2000-01-14 2009-04-08 日立ビアメカニクス株式会社 レーザ加工装置
US20040114935A1 (en) * 2002-11-05 2004-06-17 Pentax Corporation Optical communication device
US7846152B2 (en) * 2004-03-24 2010-12-07 Amo Manufacturing Usa, Llc. Calibrating laser beam position and shape using an image capture device
JP2004330251A (ja) * 2003-05-08 2004-11-25 Toshiba Corp レーザ装置、レーザの出力方法、映像表示装置
JP2005088053A (ja) * 2003-09-18 2005-04-07 Disco Abrasive Syst Ltd レーザー加工装置
JP3967330B2 (ja) * 2004-03-05 2007-08-29 住友重機械工業株式会社 レーザ加工装置及びレーザ加工方法
US7804043B2 (en) * 2004-06-15 2010-09-28 Laserfacturing Inc. Method and apparatus for dicing of thin and ultra thin semiconductor wafer using ultrafast pulse laser
KR100609831B1 (ko) * 2004-08-03 2006-08-09 주식회사 이오테크닉스 다중 레이저 가공장치
JP2007207856A (ja) * 2006-01-31 2007-08-16 Miyachi Technos Corp ファイバレーザ加工装置
EP2681608A4 (en) * 2011-03-01 2014-09-17 Ge Healthcare Bio Sciences CONTROL SYSTEMS FOR LASER BEAM RADIATIONS
JP6009837B2 (ja) * 2012-06-29 2016-10-19 オリンパス株式会社 レーザ顕微鏡および受光感度延命方法
TWI555599B (zh) * 2013-02-25 2016-11-01 先進科技新加坡有限公司 在雷射劃刻裝置中執行光束特徵化之方法，及可執行此方法之雷射劃刻裝置
KR20150014555A (ko) * 2013-07-29 2015-02-09 주식회사 엘티에스 폴리곤미러를 이용한 레이저 가공장치
WO2015118829A1 (ja) * 2014-02-05 2015-08-13 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 レーザ加工装置
JP6249225B2 (ja) * 2014-03-13 2017-12-20 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 レーザ加工装置及びレーザ加工方法
JP6689631B2 (ja) * 2016-03-10 2020-04-28 浜松ホトニクス株式会社 レーザ光照射装置及びレーザ光照射方法
CN105846294B (zh) * 2016-05-20 2019-01-01 苏州领创激光科技有限公司 实时监控切割状态的激光器
US10732365B2 (en) * 2016-11-29 2020-08-04 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Core adjustment method
EP3553901B1 (en) * 2016-12-06 2021-05-05 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Laser device
JP6588498B2 (ja) * 2017-06-12 2019-10-09 ファナック株式会社 レーザ加工装置
CN111050978B (zh) * 2017-09-11 2022-05-17 松下知识产权经营株式会社 激光装置
JP7142312B2 (ja) * 2018-03-15 2022-09-27 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 レーザ加工装置及びレーザ発振制御方法
JP7394289B2 (ja) * 2018-03-15 2023-12-08 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 レーザ発振器、それを用いたレーザ加工装置及びレーザ発振方法
JP2020060725A (ja) 2018-10-12 2020-04-16 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 レーザ発振器及びそれを用いたレーザ加工装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09271968A (ja) * 1996-04-08 1997-10-21 Amada Co Ltd レーザ加工機の光学系チェック方法およびその装置
JPH11342483A (ja) * 1998-03-31 1999-12-14 Hitachi Cable Ltd 基板の加工方法及びその加工装置
JP2010264461A (ja) 2009-05-12 2010-11-25 Hitachi High-Technologies Corp レーザ加工方法、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法
JP2017148839A (ja) * 2016-02-24 2017-08-31 浜松ホトニクス株式会社 レーザ光照射装置及びレーザ光照射方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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