WO2021106374A1

WO2021106374A1 - スタッカクレーン

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Publication number: WO2021106374A1
Application number: PCT/JP2020/037613
Authority: WO
Inventors: ▲イン▼ 崔; 石川　和広
Original assignee: 村田機械株式会社
Priority date: 2019-11-25
Filing date: 2020-10-02
Publication date: 2021-06-03
Also published as: CN114728745A; TW202134147A; EP4046942A1; US20230002206A1; JP2022191535A; EP4046942A4; IL293043A; CN114728745B

Abstract

スタッカクレーン（７）は、昇降部（７４）の昇降領域（８０Ｅ）を覆うカバーユニット（８３）がマスト（８０）の側面部（８０Ｃ）に一体的に取り付け可能に設けられている。スタッカクレーン（７）のマスト（８０）は、Ｙ方向における一対の側面部（８０Ｃ，８０Ｃ）の間に配置され、昇降面形成部（８０Ａ）における昇降面（８０Ｂ）とは反対側に向かって延在すると共に側面部（８０Ｃ）よりも剛性が高い補強部（８０Ｄ）と、Ｚ方向及びＹ方向に直交するＸ方向に昇降面形成部（８０Ａ）と間隔をあけて配置され、両端が補強部（８０Ｄ）と側面部（８０Ｃ）とに接触するように設けられるＹ方向に伸縮可能な調整部材（９０）と、を有している。

Description

スタッカクレーン

　本発明の一側面は、スタッカクレーンに関する。

　例えば、特許文献１に記載されているような、物品を移載する昇降部（昇降台）が一方向に延在するマストに沿って昇降するスタッカクレーンが知られている。このようなスタッカクレーンを、例えばクリーンルーム等で用いる場合、昇降部がマストに沿って昇降する際に発生する粉塵等が撒き散らないようにすることが求められている。

特開２００４－９１１５７号公報

　このような課題を解決する手段として、ウェブ部を昇降面とし、一対のフランジ部を側面とするＣ型チャンネル部材からなるマストにおいて、昇降面に沿って昇降する昇降部の昇降領域を覆うカバー部材を、フランジ部に一体的に取り付けることが考えられる。この場合、カバー部材が昇降部に干渉することがないように、またカバー部材と昇降部との隙間が極力狭くなるようにカバー部材を取り付ける必要がある。しかしながら、マスト自体の歪み又は組立時に生じる誤差等によりカバー部材が昇降部に干渉したり、カバー部材と昇降部との隙間が広い取り付け状態となったりすることがあった。このため、昇降部に対するカバー部材の位置を容易に調整することができるマストが求められている。

　そこで、本発明の一側面の目的は、一対の側面部を有するマストを備えるスタッカクレーンにおいて、側面部に一体的に取り付けられるカバー部材の昇降部に対する相対位置を容易に調整できるスタッカクレーンを提供することにある。

　本発明の一側面に係るスタッカクレーンは、昇降部が昇降する第一方向と第一方向に直交する第二方向とに延在する昇降面を有する昇降面形成部と、昇降面形成部の第二方向における両端部から昇降部が配置される側とは反対側に向かって第一方向及び第二方向に直交する第三方向に沿って延在する一対の側面部と、を有するマストを備え、昇降部の昇降領域を覆うカバー部材が側面部に一体的に取り付け可能なスタッカクレーンであって、マストは、第二方向における一対の側面部の間に配置され、昇降面形成部から昇降部が配置される側とは反対側に向かって第三方向に延在すると共に側面部よりも剛性が高い補強部と、第三方向に昇降面形成部と間隔をあけて配置され、両端が補強部と側面部とに接触するように設けられる第二方向に伸縮可能な調整部材と、を有している。

　この構成のスタッカクレーンでは、側面部と側面部よりも剛性の高い補強部との間に設けられる伸縮部材である調整部材を伸ばすことによりマストの側面部が押し出され、調整部材を縮めることによりマストの側面部が引っ張られる。このようなマストでは、側面部の押し出し又は引っ張りにより、昇降面形成部に対する側面部の交差角度が調整される。このため、側面部に一体的に取り付けられるカバー部材の状態（位置及び姿勢）も、上記の交差角度に応じて変動（移動）する。この結果、一対の側面部を有するマストを備えるスタッカクレーンにおいて、側面部に一体的に取り付けられるカバー部材の昇降部に対する相対位置を容易に調整できる。

　本発明の一側面に係るスタッカクレーンでは、マストにおいて昇降面形成部と一対の側面部と補強部とによって構成される部分は、第一方向から見た平面視においてＥ型状に形成されていてもよい。

　本発明の一側面に係るスタッカクレーンでは、マストは、ウェブ部とウェブ部の両端から立設する一対のフランジ部とを有する二つのチャンネル部材のフランジ部同士を接合することにより形成されていてもよい。これにより、昇降面形成部と一対の側面部と補強部からなるマストを容易に形成することができる。

　本発明の一側面に係るスタッカクレーンは、昇降部の昇降領域を覆うように設けられると共に、側面部に一体的に取り付けられるカバー部材を更に備えていてもよい。この構成では、カバー部材が昇降部の昇降領域を覆うので、昇降部が昇降する際に発生する粉塵が撒き散ることを抑制できる。

　本発明の一側面に係るスタッカクレーンでは、第一方向から見た平面視において、昇降面形成部と側面部と補強部とから形成される凹部空間に、ファンフィルターユニットが配置されていてもよい。この構成では、マストを構成する部材の合間にファンフィルターユニットを配置することができるので、マスト全体のサイズをコンパクトにすることができる。

　本発明の一側面によれば、一対の側面部を有するマストを備えるスタッカクレーンにおいて、側面部に一体的に取り付けられるカバー部材の昇降部に対する相対位置を容易に調整することができる。

図１は、実施形態に係るスタッカクレーンを備えたストッカを示す断面図である。図２は、図１のスタッカクレーンのマスト及びカバーユニットを示す断面図である。図３は、図２のマストの調整部材を示す斜視図である。図４（Ａ）、図４（Ｂ）及び図４（Ｃ）は、調整部材の調整によるマストの側面部及びカバーユニットの状態の変化を示す図である。

　以下、図面を参照して、本発明の一側面の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。「上」及び「下」の語は、鉛直方向の上方向及び下方向にそれぞれ対応する。

　一実施形態に係るスタッカクレーン７を備えたストッカ１について説明する。図１に示されるように、ストッカ１は、半導体ウエハ及びガラス基板等の被格納物が格納されたＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）等の格納容器Ｆを保管する保管庫としての機能を有している。ストッカ１は、例えば、クリーンルームに設けられる。ストッカ１は、ストッカ本体３、ラック４、スタッカクレーン７、及び、コントローラ（図示せず）を主に備えている。

　ストッカ本体３は、ストッカ１の内部空間Ａを画成する部分であり、複数のパーティションにより形成されている。ラック４は、格納容器Ｆを保管する部分であり、通常、１～２列（ここでは、２列）設けられている。各ラック４は、Ｘ方向（幅方向）に延在しており、隣り合う２つのラック４，４が対向するように略平行に配置されている。各ラック４は、格納容器Ｆを載置して保管する複数の収納棚５０を有している。収納棚５０は、Ｘ方向及びＺ方向（鉛直方向）に沿って配列されている。

　スタッカクレーン７は、格納容器Ｆを収納棚５０に対して出し入れすると共に、格納容器Ｆを図示しない入庫ポート及び出庫ポートと収納棚５０との間、あるいは収納棚５０間にて移動させる機構である。スタッカクレーン７は、対向するラック４，４に挟まれた領域に配置されている。スタッカクレーン７は、ラック４の延在方向（Ｘ方向）に沿って床面に配置された軌道（図示せず）を走行して、ラック４に沿ってＸ方向に移動することができる。

　図１及び図２に示されるように、スタッカクレーン７は、走行部７１と、マスト８０と、昇降部７４と、旋回部７５と、ハンド７９と、カバーユニット（カバー部材）８３と、ＦＦＵ（ファンフィルターユニット）９６と、を備える。走行部７１は、モータ等の走行駆動部によって軌道に沿ってＸ方向に走行可能に設けられている。昇降部７４は、マスト８０の昇降面８０Ｂに沿って昇降する。マスト８０は、走行部７１に設けられ、Ｚ方向（第一方向）に延在する部材である。昇降部７４は、モータ等の昇降駆動部によって、マスト８０に沿って昇降可能に設けられている。旋回部７５は、当該旋回部７５上に搭載されたハンド７９等を、Ｚ方向に沿う軸回り回転方向に回転させる。

　ハンド７９は、格納容器Ｆを載置する。ハンド７９は、昇降部７４に設けられている。ハンド７９は、移載装置（不図示）によって進退（平面視において昇降部７４の外側に進出及び昇降部７４の内側に退入）して、格納容器Ｆを移載する。なお、走行部７１、昇降部７４、旋回部７５及びハンド７９の構成、機構ないし配置については、特に限定されない。走行部７１、昇降部７４、旋回部７５及びハンド７９としては、公知の種々の機構ないし装置を採用することができる。

　コントローラは、スタッカクレーン７における各部を制御する。コントローラは、例えば、ストッカ本体３の内部に配置される。コントローラは、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）、ＲＡＭ（Random　Access　Memory）及びＲＯＭ（Read　Only　Memory）等を有している。コントローラでは、ＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭ等のハードウェアとプログラム等のソフトウェアとが協働することによって、各種制御を実行する。

　図２に示されるように、マスト８０は、二つのチャンネル部材８１，８２と、スライドレール８７と、背面カバー８８と、二つの調整部材９０，９０と、を備えている。マスト８０は、二つのチャンネル部材８１，８２によって、昇降面形成部８０Ａと、一対の側面部８０Ｃ，８０Ｃと、補強部８０Ｄとが形成されている。

　昇降面形成部８０Ａは、昇降部７４が昇降する、Ｚ方向及びＹ方向（第二方向）に延在する昇降面８０Ｂを有している。言い換えれば、昇降面８０Ｂは、Ｘ方向に直交する。一対の側面部８０Ｃ，８０Ｃは、昇降面形成部８０ＡのＹ方向における両端部から昇降部７４が配置される側とは反対側に向かってＸ方向に延在している。補強部８０Ｄは、Ｙ方向における一対の側面部８０Ｃ，８０Ｃの間に配置され、昇降面形成部８０Ａにおける昇降面８０Ｂとは反対側の面から昇降部７４が配置される側とは反対側に向かってＸ方向に沿って延在する。補強部８０Ｄは、側面部８０Ｃ，８０Ｃのそれぞれよりも剛性が高くなるように形成されている。

　昇降面形成部８０Ａ、一対の側面部８０Ｃ，８０Ｃ及び補強部８０Ｄは、二つのチャンネル部材８１，８２によって形成されている。チャンネル部材８１は、ウェブ部８１Ａとウェブ部８１ＡのＹ方向における両端からＸ方向に延在（立設）する一対のフランジ部８１Ｂ，８１Ｂとを有している。チャンネル部材８２は、ウェブ部８２Ａとウェブ部８２ＡのＹ方向における両端からＸ方向に延在（立設）する一対のフランジ部８２Ｂ，８２Ｂとを有している。チャンネル部材８１とチャンネル部材８１とは、同じ寸法及び同じ形状である。すなわち、ウェブ部８１Ａ及びウェブ部８２Ａの厚みは同じであり、フランジ部８１Ｂ及びフランジ部８２Ｂの厚みは同じである。

　チャンネル部材８１及びチャンネル部材８２は、例えば剛性が高く且つ低コストな金属材料であるステンレス鋼で形成されている。チャンネル部材８１及びチャンネル部材８２は、チャンネル部材８１のウェブ部８１Ａとチャンネル部材８２のウェブ部８２Ａとが面一となるように、フランジ部８１Ｂ，８２Ｂ同士が接合されている。面一に形成されるチャンネル部材８１のウェブ部８１Ａ及びチャンネル部材８２のウェブ部８２Ａは、マスト８０の昇降面８０Ｂを形成する。チャンネル部材８１の一方のフランジ部８１Ｂはマスト８０の一方の側面部８０Ｃを形成し、チャンネル部材８２の一方のフランジ部８２Ｂはマスト８０の他方の側面部８０Ｃを形成する。チャンネル部材８１の他方のフランジ部８１Ｂとチャンネル部材８２の他方のフランジ部８１Ｂとの接合部分はマスト８０の補強部８０Ｄを形成する。

　マスト８０において昇降面形成部８０Ａと一対の側面部８０Ｃ，８０Ｃと補強部８０Ｄとによって構成される部分は、Ｚ方向から見た平面視においてＥ型状に形成されている。

　昇降面形成部８０Ａの昇降面８０Ｂには、Ｚ方向に延在する、昇降部７４用のスライドレール８７が固定されている。

　カバーユニット８３は、昇降部７４の昇降領域８０Ｅを覆う部材である。カバーユニット８３は、二つのアングル部材８４，８５と、カバー８６，８６と、を有している。カバーユニット８３は、図示しない連結部材により一対の側面部８０Ｃ，８０Ｃのそれぞれに一体的に取り付けられる。より詳細には、アングル部材８４はチャンネル部材８１に一体的に取り付けられ、アングル部材８５はチャンネル部材８２に一体的に取り付けられる。

　アングル部材８４及びアングル部材８５は、例えば剛性が高く且つ低コストな金属材料であるステンレス鋼で形成されている。アングル部材８４は、第一面８４Ａと第一面８４Ａに直交する第二面８４Ｂとを有している。第一面８４Ａは、チャンネル部材８１のフランジ部８１Ｂに一体的に取り付けられている。カバー８６は、第二面８４Ｂの先端に取り付けられている。アングル部材８５は、第一面８５Ａと第一面８５Ａに直交する第二面８５Ｂとを有している。第一面８５Ａは、チャンネル部材８２のフランジ部８２Ｂに一体的に取り付けられている。カバー８６は、第二面８５Ｂの先端に取り付けられている。カバー８６は、例えばアルミニウム板等の材料により形成されている。

　Ｙ方向において、アングル部材８４に取り付けられるカバー８６の先端８６Ａとアングル部材８５に取り付けられるカバー８６との先端８６Ａとの間には隙間Ｇが設けられている。旋回部７５及びハンド７９は、昇降領域８０Ｅの昇降部７４から当該隙間Ｇを介して外部空間に突出している。本実施形態では、カバー８６の先端８６Ａが昇降部７４、旋回部７５及びハンド７９に接触しないように設けられている。

　マスト８０の背面には、背面カバー８８が設けられている。背面カバー８８は、チャンネル部材８１における一対のフランジ部８１Ｂ，８１Ｂの先端及びチャンネル部材８２における一対のフランジ部８２Ｂ，８２Ｂの先端に取り付けられている。ウェブ部８１Ａ、一対のフランジ部８１Ｂ，８１Ｂ及び背面カバー８８によって、凹部空間８０Ｆが形成されている。同様に、ウェブ部８２Ａ、一対のフランジ部８２Ｂ，８２Ｂ及び背面カバー８８によって、凹部空間８０Ｆが形成されている。

　調整部材９０は、例えばＹ方向に沿って延在すると共に、Ｙ方向に伸縮可能なターンバックル部材である。調整部材９０は、凹部空間８０Ｆに配置されている。より詳細には、調整部材９０は、Ｘ方向（第三方向）に昇降面形成部８０Ａと間隔をあけて配置されている。調整部材９０は、Ｙ方向に二つ配列されている。一方の調整部材９０は、その両端が補強部８０Ｄを形成するフランジ部８１Ｂと側面部８０Ｃを形成するフランジ部８１Ｂとに接触するように設けられ、他方の調整部材９０は、その両端が補強部８０Ｄを形成するフランジ部８２Ｂと側面部８０Ｃを形成するフランジ部８２Ｂとに接触するように設けられている。調整部材９０は、Ｘ方向におけるチャンネル部材８１（８２）の全長をＤ、背面カバー８８からの距離をＤ１としたとき、Ｄ１≦１／２Ｄとなるように配置されている。なお、背面カバー８８が設けられない場合には、調整部材９０は、一対のフランジ部８１Ｂ，８１Ｂ（８２Ｂ，８２Ｂ）の先端同士が接触するように設けられてもよい。

　調整部材９０は、図３に示されるように、本体部９１Ａ，９１Ｂと、本体部９１Ａの孔部に形成されたネジ溝に螺合する第一ネジボルト９２Ａと、本体部９１Ｂの孔部に形成されたネジ溝に螺合する第二ネジボルト９２Ｂと、第一ネジボルト９２Ａの先端に設けられたアンカー９３と、第二ネジボルト９２Ｂの先端に設けられたアンカー９４と、を有している。アンカー９３（９４）には、フランジ部８１Ｂに固定するためのボルト９３Ｂ（９４Ｂ）が設けられている。

　調整部材９０，９０は、本体部９１Ａ，９１Ｂのそれぞれに螺合されている第一ネジボルト９２Ａ及び第二ネジボルト９２Ｂを回動させることにより、昇降面形成部８０Ａに対する一対の側面部８０Ｃ，８０Ｃの交差角度α（図２参照）を調整することができる。以下、図３及び図４（Ａ）～図４（Ｃ）を用いて、昇降面形成部８０Ａに対する一対の側面部８０Ｃ，８０Ｃの交差角度αを調整する方法について詳細に説明する。

　調整部材９０は、第一ネジボルト９２Ａの先端（アンカー９３）を本体部９１Ａから離れる方向に回動させると共に、第二ネジボルト９２Ｂの先端（アンカー９４）を本体部９１Ｂから離れる方向に回動させることで、一方のフランジ部８１Ｂ及びフランジ部８２Ｂ（側面部８０Ｃに相当）を他方のフランジ部８１Ｂ及びフランジ部８２Ｂ（補強部８０Ｄに相当）から離れる方向に押し出すように作用する。アングル部材８４の第一面８４Ａは、一方のフランジ部８１Ｂと面一となるように位置と姿勢とが変化し、アングル部材８５の第一面８５Ａは、一方のフランジ部８２Ｂと面一となるように位置と姿勢とが変化する。これにより、一対の側面部８０Ｃ，８０Ｃは、図４（Ａ）に示される状態から図４（Ｂ）に示される状態に変化する。すなわち、一対の側面部８０Ｃ，８０Ｃは、マスト８０の背面側が開く（互いに遠ざかる）ように変形する。このようなマスト８０の変形により、カバーユニット８３の位置と姿勢とが変化する。すなわち、第一ネジボルト９２Ａ及び第二ネジボルト９２Ｂを調整すれば、一方のフランジ部８１Ｂ及びフランジ部８２Ｂ、アングル部材８４の第一面８４Ａ及び第二面８４Ｂ、並びにアングル部材８５の第一面８５Ａ及び第二面８５Ｂの位置と姿勢とが変化し、その結果、カバー８６の先端同士の隙間Ｇが、元の状態と比べて狭くなる。

　また、調整部材９０は、第一ネジボルト９２Ａの先端（アンカー９３）を本体部９１Ａに近づく方向に回動させると共に、第二ネジボルト９２Ｂの先端（アンカー９４）を本体部９１Ｂに近づく方向に回動させることで、一方のフランジ部８１Ｂ及びフランジ部８２Ｂ（側面部８０Ｃに相当）を他方のフランジ部８１Ｂ及びフランジ部８２Ｂ（補強部８０Ｄに相当）に近づく方向に引っ張るように作用する。アングル部材８４の第一面８４Ａは、一方のフランジ部８１Ｂと面一となるように位置と姿勢とが変化し、アングル部材８５の第一面８５Ａは、一方のフランジ部８２Ｂと面一となるように位置と姿勢とが変化する。これにより、一対の側面部８０Ｃ，８０Ｃは、図４（Ａ）に示される状態から図４（Ｃ）に示されるような状態に変化する。すなわち、一対の側面部８０Ｃ，８０Ｃは、マスト８０の昇降面８０Ｂ側が閉まる（互いに近づく）ように変形する。このようなマスト８０の変形により、カバーユニット８３の位置と姿勢とが変化する。すなわち、第一ネジボルト９２Ａ及び第二ネジボルト９２Ｂを調整すれば、一方のフランジ部８１Ｂ及びフランジ部８２Ｂ、アングル部材８４の第一面８４Ａ及び第二面８４Ｂ、並びにアングル部材８５の第一面８５Ａ及び第二面８５Ｂの位置と姿勢とが変化し、その結果、カバー８６の先端同士の隙間Ｇが、元の状態と比べて広くなる。

　なお、本実施形態では、第一ネジボルト９２Ａの先端（アンカー９３）を本体部９１Ａから離れる方向に回動させると共に、第二ネジボルト９２Ｂの先端（アンカー９４）を本体部９１Ｂから離れる方向に回動させることで、カバー８６の先端同士の隙間Ｇが、元の状態と比べて狭くなり、第一ネジボルト９２Ａの先端（アンカー９３）を本体部９１Ａに近づく方向に回動させると共に、第二ネジボルト９２Ｂの先端（アンカー９４）を本体部９１Ｂに近づく方向に回動させることで、カバー８６の先端同士の隙間Ｇが、元の状態と比べて広くなる例を挙げて説明したが、アングル部材８４の第二面８４Ｂ及びアングル部材８５の第二面８５Ｂに取り付けられるカバー８６の形状によって、カバー８６の先端同士の隙間Ｇが元の状態から狭くなるか広くなるかの関係が変わる場合がある。

　また、図４（Ｂ）及び図４（Ｃ）では、第一ネジボルト９２Ａの先端及び第二ネジボルト９２Ｂの先端の両方が、本体部９１Ａ，９１Ｂのそれぞれから遠ざける方向又は本体部９１Ａ，９１Ｂのそれぞれに近づける方向に移動させる例を挙げて説明したが、第一ネジボルト９２Ａの先端及び第二ネジボルト９２Ｂの先端の一方のみを、本体部９１Ａ又は本体部９１Ｂから遠ざけたり、本体部９１Ａ又は本体部９１Ｂに近づける方向に移動させたりしてもよい。また、第一ネジボルト９２Ａの先端及び第二ネジボルト９２Ｂの先端の一方を、本体部９１Ａ又は本体部９１Ｂから遠ざけたり、第一ネジボルト９２Ａの先端及び第二ネジボルト９２Ｂの先端の他方を、本体部９１Ａ又は本体部９１Ｂに近づける方向に移動させたりしてもよい。このような、調整部材９０の調整により、昇降部７４に対するカバー８６の相対位置を調整することができる。

　このように、調整部材９０，９０は、昇降面形成部８０Ａに対する一対の側面部８０Ｃ，８０Ｃの交差角度αを調整する調整機能を有している。調整部材９０，９０は、更に、マスト８０全体の剛性を高める補強機能も有している。調整部材９０，９０は、マスト８０の延在方向に所定間隔で配置されている。調整部材９０，９０の配置数は、マスト８０を構成する部材の一対の側面部８０Ｃ，８０Ｃの変形のし易さに応じて適宜設定される。

　図２に示されるように、ＦＦＵ９６は、凹部空間８０Ｆに配置されている。より詳細には、ＦＦＵ９６は、Ｚ方向から見た平面視において、昇降面形成部８０Ａと側面部８０Ｃと補強部８０Ｄとから形成される凹部空間８０Ｆに配置されている。ＦＦＵ９６は、ファンとフィルターとを備えた空気清浄機能装置であり、周囲の空気を吸い込んで清浄な空気を排出する。

　上記実施形態のスタッカクレーン７における作用効果について説明する。上記実施形態のスタッカクレーン７では、側面部８０Ｃと側面部８０Ｃよりも剛性の高い補強部８０Ｄとの間に、伸縮部材である調整部材９０が設けられるので、調整部材９０を伸ばすことによりマスト８０の側面部８０Ｃが補強部８０Ｄから離れる方向に押し出され、また、調整部材９０を縮めることによりマスト８０の側面部８０Ｃが補強部８０Ｄに近づく方向に引っ張られる。このようなマスト８０では、側面部８０Ｃの押し出し又は引っ張りにより、昇降面形成部８０Ａに対する側面部８０Ｃの交差角度αが調整される。このため、側面部に一体的に取り付けられるカバーユニット８３の状態（位置及び姿勢）も、上記の交差角度αに応じて変動（移動）する。この結果、一対の側面部８０Ｃ，８０Ｃを有するマスト８０を備えるスタッカクレーン７において、側面部８０Ｃに一体的に取り付けられるカバーユニット８３の昇降部７４に対する相対位置を容易に調整できる。

　また、上記実施形態のスタッカクレーン７では、昇降部７４に対するカバーユニット８３の相対位置を容易に調整できるので、昇降運動をする昇降部７４に干渉しないようなぎりぎりの位置にカバー８６を配置することができる。これにより、昇降部７４とカバー８６との接触により生ずる粉塵の発生を抑制できる共に、昇降領域８０Ｅで発生した粉塵がストッカ１の内部空間Ａに流出することを抑制できる。

　また、上記実施形態のスタッカクレーン７では、調整部材９０を設けることにより、マスト全体８０の剛性が高められている。また、調整部材９０を設けることにより剛性を高めることができるので、同じ性能のマスト８０を形成する場合には、マスト８０全体のサイズを小さくすることが可能となる。

　上記実施形態のスタッカクレーン７では、マスト８０は、ウェブ部８１Ａ（８２Ａ）とウェブ部８１Ａ（８２Ａ）の両端から立設する一対のフランジ部８１Ｂ，８１Ｂ（８２Ｂ，８２Ｂ）とを有する二つのチャンネル部材８１，８２のフランジ部８１Ｂ，８２Ｂ同士を接合することにより形成されている。これにより、昇降面形成部８０Ａと一対の側面部８０Ｃ，８０Ｃと補強部８０Ｄからなるマスト８０を容易に形成することができる。

　上記実施形態のスタッカクレーン７では、昇降部７４の昇降領域８０Ｅを覆うカバーユニット８３が設けられているので、昇降部７４が昇降する際に発生する粉塵がストッカ１の内部空間Ａに撒き散ることを抑制できる。

　上記実施形態のスタッカクレーン７では、Ｚ方向から見た平面視において、昇降面形成部８０Ａと側面部８０Ｃと補強部８０Ｄとから形成される凹部空間８０Ｆに、ＦＦＵ９６が配置されている。これにより、マスト８０を構成する部材の合間にＦＦＵ９６を配置することができるので、マスト８０全体のサイズをコンパクトにすることができる。

　以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られない。発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

　上記実施形態のスタッカクレーン７では、二つのチャンネル部材８１及びチャンネル部材８２を接続することにより、Ｚ方向から見た平面視においてＥ型状に形成されているマスト８０を形成する例を挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、一の部材により形成された断面Ｅ型形状の部材を用いてもよいし、断面Ｃ型状に形成された部材に、補強部８０Ｄとなる部材を溶接等により一体化してＥ型形状としてもよい。

　上記実施形態では、表面が平板状に形成されたチャンネル部材８１，８２、アングル部材８４，８５を例に挙げて説明したが、それぞれ部材の表面には溝等が形成されていてもよい。

　１…ストッカ、７…スタッカクレーン、７４…昇降部、８０…マスト、８０Ａ…昇降面形成部、８０Ｂ…昇降面、８０Ｃ…側面部、８０Ｄ…補強部、８０Ｅ…昇降領域、８０Ｆ…凹部空間、８１…チャンネル部材、８１Ａ…ウェブ部、８１Ｂ…フランジ部、８２…チャンネル部材、８２Ａ…ウェブ部、８２Ｂ…フランジ部、８３…カバーユニット（カバー部材）、８４…アングル部材、８５…アングル部材、９０…調整部材、９６…ＦＦＵ（ファンフィルターユニット）。

Claims

　昇降部が昇降する第一方向と前記第一方向に直交する第二方向とに延在する昇降面を有する昇降面形成部と、前記昇降面形成部の前記第二方向における両端部から前記昇降部が配置される側とは反対側に向かって前記第一方向及び前記第二方向に直交する第三方向に沿って延在する一対の側面部と、を有するマストを備え、
　前記昇降部の昇降領域を覆うカバー部材が前記側面部に一体的に取り付け可能なスタッカクレーンであって、
　前記マストは、
　前記第二方向における前記一対の側面部の間に配置され、前記昇降面形成部から前記昇降部が配置される側とは反対側に向かって前記第三方向に延在すると共に前記側面部よりも剛性が高い補強部と、
　前記第三方向に前記昇降面形成部と間隔をあけて配置され、両端が前記補強部と前記側面部とに接触するように設けられる前記第二方向に伸縮可能な調整部材と、を有している、スタッカクレーン。
　前記マストにおいて前記昇降面形成部と前記一対の側面部と前記補強部とによって構成される部分は、前記第一方向から見た平面視においてＥ型状に形成されている、請求項１記載のスタッカクレーン。
　前記マストは、ウェブ部と前記ウェブ部の両端から立設する一対のフランジ部とを有する二つのチャンネル部材の前記フランジ部同士を接合することにより形成されている、請求項１又は２記載のスタッカクレーン。
　前記昇降部の昇降領域を覆うように設けられると共に、前記側面部に一体的に取り付けられるカバー部材を更に備えている、請求項１～３の何れか一項記載のスタッカクレーン。
　前記第一方向から見た平面視において、前記昇降面形成部と前記側面部と前記補強部とから形成される凹部空間に、ファンフィルターユニットが配置されている、請求項１～４の何れか一項記載のスタッカクレーン。