WO2021070643A1 - 近接露光装置用照明装置、ｌｅｄユニット、近接露光装置及び近接露光装置の露光方法 - Google Patents

近接露光装置用照明装置、ｌｅｄユニット、近接露光装置及び近接露光装置の露光方法 Download PDF

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智恒 松下
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Definitions

  • the present invention relates to an exposure method for an illumination device, an LED unit, a proximity exposure device, and a proximity exposure device that irradiate a work with exposure light through a mask.
  • a discharge lamp such as an ultra-high pressure mercury lamp is used as a light source, and a mask pattern is exposed on a work fixed to a stage by the light emitted from the light source.
  • Those that transfer are known.
  • the illumination apparatus includes, for example, a main light source composed of a mercury lamp and an auxiliary light source composed of, for example, an LED having different output response characteristics from the main light source. It includes a photoelectric sensor that detects the emission light of the main light source and the auxiliary light source, and an exposure amount control unit that changes the intensity of the exposure light applied to the exposed substrate.
  • the main light source emits light with an illuminance determined from the target minimum illuminance
  • the auxiliary light source emits the illuminance of the difference between the target illuminance and the illuminance by the main light source
  • the light emitted from the main light source and the auxiliary light source by the photosynthesis unit is emitted.
  • An exposure apparatus is disclosed that is synthesized to improve the output response characteristics of a light source without reducing the productivity of the apparatus.
  • Patent Document 2 includes first and second light source units in which the illumination optical system includes a mercury lamp, an LED, a halogen lamp, and the like, and a filter capable of blocking light from the first light source unit. .. Then, with the substrate and the mask close to a predetermined gap, the substrate is irradiated with light from the first and second light source portions at different timings by controlling the opening timing of the filter to achieve high resolution.
  • a proximity exposure apparatus that forms a pattern and improves throughput is disclosed.
  • the LED has an advantage that the power consumption is small as compared with the mercury lamp. Therefore, it is desired that the LED can be used as the light source even in the existing exposure device that has already incorporated the lighting device in which the light source is a mercury lamp. In particular, when switching the light source unit from the mercury lamp to the LED, it is necessary to perform a test for matching the conditions through which the sample is actually passed. However, if both light sources can be used together, the mercury lamp can be smoothly switched to the LED.
  • the exposure device of Patent Document 1 uses an LED as an auxiliary light source
  • the exposure device of Patent Document 2 also uses an LED as an example and selectively uses the first light source unit as the second light source unit. It is used in combination and does not take the above issues into consideration.
  • the present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is a lighting device for a proximity exposure device, an LED unit, and a proximity exposure device that can independently use both a mercury lamp and an LED as a light source unit. And an exposure method of a proximity exposure apparatus.
  • An illuminating device that irradiates a work arranged through a mask and a predetermined gap with exposure light through the mask.
  • the first light source unit that uses a mercury lamp as the light source, A fly-eye lens that uniformly emits light from the first light source unit, and A plurality of reflectors that reflect light from the first light source unit, and
  • the second light source unit using a plurality of LED elements as light sources and the second light source unit are separated from the operating position located on the optical path of the first light source unit and the optical path of the first light source unit.
  • An LED unit having a moving mechanism for moving between the retracted position and the retracted position, A lighting device for a proximity exposure device.
  • An LED unit used in the lighting device for the proximity exposure device according to (1) is an LED unit installed at a position separated from the optical path of the first light source unit.
  • a proximity exposure apparatus comprising the illumination apparatus for the proximity exposure apparatus according to (1), which exposes and transfers a mask pattern to a work by exposure light from the illumination apparatus.
  • both the mercury lamp and the LED can be used independently by one lighting device.
  • FIG. 1A is a side view showing a schematic configuration of a lighting device for a proximity exposure device according to the present invention
  • FIG. 1B is a top view thereof.
  • FIG. 2 is a top view of the LED unit shown in FIG. 1 (b).
  • FIG. 3 is a top view showing the vicinity of the LED unit whose moving mechanism is a cylinder device according to the first modification.
  • FIG. 4A is a perspective view showing the vicinity of the LED unit in which the moving mechanism is configured by the rotating mechanism according to the second modification.
  • FIG. 4B is a perspective view showing the vicinity of the LED unit in which the moving mechanism is configured by the rotating mechanism according to the third modification.
  • FIG. 1A is a side view showing a schematic configuration of a lighting device for a proximity exposure device according to the present invention
  • FIG. 1B is a top view thereof.
  • FIG. 2 is a top view of the LED unit shown in FIG. 1 (b).
  • FIG. 3 is a top view showing the vicinity of the LED unit whose
  • FIG. 4C is a perspective view showing the vicinity of the LED unit in which the moving mechanism is composed of the rotating mechanism according to the fourth modification.
  • FIG. 5A is a perspective view showing the vicinity of the LED unit in which the moving mechanism is composed of a plurality of ball screw mechanisms according to the fifth modification.
  • FIG. 5B is a perspective view showing the vicinity of the LED unit in which the moving mechanism is composed of the ball screw mechanism and the rotating mechanism according to the sixth modification.
  • FIG. 6A is a perspective view showing the vicinity of the LED unit in which the second light source unit is divided and the divided light source unit can move independently of each other by the ball screw mechanism according to the seventh modification.
  • FIG. 5A is a perspective view showing the vicinity of the LED unit in which the moving mechanism is composed of a plurality of ball screw mechanisms according to the fifth modification.
  • FIG. 5B is a perspective view showing the vicinity of the LED unit in which the moving mechanism is composed of the ball screw mechanism and the rotating mechanism according to the sixth modification.
  • FIG. 6A is a perspective view
  • FIG. 6B is a perspective view showing the vicinity of the LED unit in which the second light source unit is divided and the divided light source unit can move independently of each other by the rotation mechanism according to the eighth modification.
  • FIG. 6C is a perspective view showing the vicinity of the LED unit in which the second light source unit is divided and the moving mechanism of each divided light source unit is composed of the ball screw mechanism and the rotation mechanism according to the ninth modification.
  • the mask M held on the mask stage MS and the work W placed on the work stage WS are arranged via a predetermined gap and are close to each other.
  • the light emitted from the lighting device for an exposure device (hereinafter, also simply referred to as a lighting device) 20 is applied to the work W via the mask M, and the pattern of the mask M is exposed and transferred to the work W.
  • the lighting device 20 is a pair of cold mirrors 40, 41 that transmit the infrared rays of the light emitted from the first light source unit 30 and the first light source unit 30 that use the mercury lamp 31 as a light source and change the direction of the optical path EL.
  • the exposure control shirter 45 which is arranged on the downstream side of the cold mirror 41 and controls the opening and closing of the light emitted from the first light source unit 30, and the light, which is arranged on the downstream side of the exposure control shirter 45, are used.
  • At least one fly-eye lens 46 (three fly-eye lenses 46a, 46b, 46c in this embodiment) constituting an integrator for equalizing the intensity of light, and a field lens 49 for changing the traveling direction of light in the peripheral portion.
  • a collimation mirror 50 that irradiates the light from the field lens 49 as parallel light, and a flat mirror 51 that irradiates the parallel light toward the mask M.
  • the first light source unit 30 has, for example, a mercury lamp 31 and a plurality of reflectors (not shown) that collect the light emitted from the mercury lamp 31, and are arranged in a two-dimensional matrix.
  • the light source may be composed of a single mercury lamp 31 and a reflector. Since the mercury lamp 31 also emits infrared rays, it is preferable to provide cold mirrors 40 and 41 that transmit infrared rays, and therefore a certain long optical path length is required.
  • the fly-eye lens 46 is usually designed so that the illuminance on the exposed surface of the work W is the maximum illuminance in consideration of the tact time, and the illuminance on the incident surface of the fly-eye lens 46 is maximized. ..
  • the three large, medium, and small fly-eye lenses 46a, 46b, and 46c can be slid and replaced, respectively, and the optimum size fly-eye lens 46 is selected according to the required exposure accuracy and the like. And used.
  • the number of fly-eye lenses 46 is not limited to three.
  • the field lens 49 is for efficiently using the light in the peripheral portion of the lens and is not always necessary, but it is desirable to provide the field lens 49 for improving the tact time.
  • the lighting device 20 includes an LED unit 60 having a second light source unit 61 having a plurality of LED elements 62 as light sources, and a moving mechanism 70 for moving the second light source unit 61 in a direction intersecting the optical path EL. To be equipped with.
  • the second light source unit 61 a plurality of (for example, about several hundred) LED elements (Light Emitting Diodes) 62 are arranged in a two-dimensional matrix and mounted on the base 63.
  • the second light source unit 61 can be moved by the moving mechanism 70 between the operating position AP located on the optical path EL of the first light source unit 30 and the retracted position WP separated from the optical path EL.
  • the operating position AP of the second light source unit 61 is set on the optical path EL of the first light source unit 30 and between the fly-eye lens 46 and the cold mirror 41 in the vicinity of the fly-eye lens 46.
  • the operating position AP of the second light source unit 61 is arranged on the upstream side of the exposure control shirter 45, but since the LED element 62 has excellent output responsiveness, the exposure control shirter 45 controls the opening and closing of light. Does not need. Therefore, the operating position AP of the second light source unit 61 may be located on the downstream side of the exposure control shirter 45, on the upstream side of the fly-eye lens 46, and closer to the fly-eye lens 46. Further, unlike the mercury lamp 31, the LED element 62 does not emit infrared rays, and therefore can be arranged in the vicinity of the fly-eye lens 46. Therefore, at least the optical path EL on the downstream side of the exposure control shirter 45 is the same for the first light source unit 30 and the second light source unit 61.
  • the size of the array of the mercury lamp 31 is larger than the size of the fly-eye lens 46, so that the light is condensed. Therefore, when the array of the LED element 62 is installed near the mercury lamp 31, the array of the LED element 62 needs to have the same size as the array of the mercury lamp 31, but when installed near the fly-eye lens 46, it becomes more. It becomes possible to make the size compact, and it is possible to prevent the size of the entire device from increasing.
  • a screw shaft 73 rotationally driven by a motor 72 connected via a coupling 71 and a base 63 on which a second light source unit 61 is mounted are fixed and screwed. It is composed of a ball screw mechanism 80 including a nut 74 screwed into the shaft 73.
  • the moving mechanism 70 is located at a position separated from the optical path EL so as not to block the light from the first light source unit 30 and the second light source unit 61 (the second in the embodiment shown in FIG. 1A). It is arranged below the light source unit 61).
  • the second light source unit 61 is reciprocated between the operating position AP located on the optical path EL and the retracted position WP separated from the optical path EL, and the lighting device 20
  • the light source is switched between the first light source unit 30 and the second light source unit 61, and the pattern of the mask M is exposed and transferred to the work W by the exposure light from one of the light source units 30 and 61.
  • the exposure by the first light source unit 30 is first held by the mask stage Ms after the second light source unit 61 is positioned at the retracted position WP separated from the optical path EL by the moving mechanism 70.
  • the mask M and the work W placed on the work stage Ws are adjusted to a gap of several tens to several hundreds of ⁇ m and arranged in close proximity to each other.
  • the LED element 62 of the second light source unit 61 is turned off.
  • the exposure light emitted from the first light source unit 30 using the mercury lamp 31 as a light source is reflected by the pair of cold mirrors 40 and 41, and the fly-eye lens is transmitted from the exposure control shirter 45 which is open-controlled. Condensing at 46.
  • the exposure light emitted from the fly-eye lens 46 passes through the field lens 49, is reflected by the collimation mirror 50 to be parallel light having a predetermined collimation angle, and is incident on the mask M by the plane mirror 51.
  • the exposure light transmitted through the mask M exposes the photoresist applied to the surface of the work W, and the mask pattern of the mask M is exposed and transferred to the work W.
  • the motor 72 is rotated to bring the second light source unit 61 on the optical path EL. Positioned at the operating position AP. Then, the LED element 62 is turned on and the light is incident on the fly-eye lens 46. The exposure light emitted from the fly-eye lens 46 is similarly incident on the mask M via the field lens 49, the collimation mirror 50, and the plane mirror 51. Then, the exposure light transmitted through the mask M exposes the photoresist applied to the surface of the work W, and the mask pattern of the mask M is exposed and transferred to the work W.
  • the second light source unit 61 is advanced or retracted onto the optical path EL of the first light source unit 30, and the light source is switched between the first light source unit 30 and the second light source unit 61 for use.
  • both the mercury lamp and the LED can be used independently as the light source unit by one lighting device 20 for the proximity exposure device.
  • the moving mechanism 70 is a cylinder device 75 instead of the ball screw mechanism of the above embodiment.
  • the piston rod 76 of the cylinder device 75 is expanded and contracted, and the second light source unit 61 fixed to the tip of the piston rod 76 is separated from the operating position AP on the optical path EL and the retracted position from the optical path EL.
  • (2nd to 4th modified examples) 4A to 4C show LED units 60B to 60D of the second to fourth modified examples in which the moving mechanism 70 is configured by the rotation mechanism. That is, the base 63 on which the second light source unit 61 is mounted is attached to the rotation shaft of the motor 81, which is a rotation mechanism. In each of the second to fourth modifications, the second light source unit 61 is rotated between the operating position AP of the first light source unit 30 on the optical path EL and the retracted position WP separated from the optical path EL. ..
  • the second light source unit 61 in the case of exposure by the first light source unit 30, the second light source unit 61 is arranged at the retracted position WP separated from the optical path EL, and the first light source unit 61 is arranged. It does not block the light from 30. Further, in the case of exposure by the second light source unit 61, the second light source unit 61 lights a plurality of LED elements 62 at the operating position AP. As a result, by rotating the second light source unit 61 by the motor 81, the exposure in the first light source unit 30 and the second light source unit 61 can be arbitrarily switched. The position, rotation direction, and retract position WP of the rotation shaft of the motor 81 can be arbitrarily set.
  • the moving mechanism 70 includes a first ball screw mechanism (first moving mechanism) 80A in which the second light source unit 61 is arranged on the nut 74.
  • the first ball screw mechanism 80A is composed of a second ball screw mechanism (second moving mechanism) 80B arranged on another nut 74.
  • the first ball screw mechanism 80A moves the second light source unit 61 in a direction (first direction) orthogonal to the optical path EL of the first light source unit 30, and the second ball screw mechanism 80B is a second ball screw mechanism 80B.
  • the first ball screw mechanism 80A including the light source unit 61 of the above is moved in a direction parallel to the optical path EL (second direction).
  • the moving mechanism 70 can move the second light source unit 61 between the operating position AP and the retracted position WP in an L-shaped locus in a top view.
  • the moving mechanism 70 has a rotating mechanism (first moving mechanism) in which the second light source unit 61 is a motor 81 attached to the rotating shaft, and the motor 81. It is composed of a ball screw mechanism (second moving mechanism) 80 arranged on the nut 74.
  • the motor 81 rotates and moves the second light source unit 61 from the posture orthogonal to the optical path EL of the first light source unit 30 to the rotation direction (first direction) in which the posture is along the optical path EL, and the ball screw mechanism 80. Moves the motor 81 including the second light source unit 61 in a direction (second direction) orthogonal to the optical path EL. As a result, the moving mechanism 70 can move the second light source unit 61 between the operating position AP and the retracted position WP.
  • the moving mechanism 70 has a first moving mechanism that moves the second light source unit in the first direction, and a second light source unit that moves the second light source unit together with the first moving mechanism. It may be configured by a second moving mechanism that moves in a second direction different from the first direction.
  • the first and second moving mechanisms may be a cylinder device as well as a ball screw mechanism and a rotating mechanism. Further, the first and second moving mechanisms may be driven at the same time, or may be individually driven sequentially. Further, the retracted position WP may be appropriately changed within a range that can be moved by the first moving mechanism and the second moving mechanism. Further, the moving mechanism 70 may be configured by combining three or more moving mechanisms. Such LED units 60E and 60F can increase the degree of freedom of the retracted position WP and can improve the maintenance workability.
  • the second light source unit 61 is composed of a plurality of divided light source units 61a and 61b having a plurality of LED elements 62, respectively, and the LED units 60B of the seventh to ninth modified examples. It shows ⁇ 60D.
  • the second light source unit 61 is composed of a pair of divided light source units 61a and 61b in which a plurality of LED elements 62 are arranged on the pair of substrates 63a and 63b, respectively.
  • the moving mechanism 70 is provided for each of the divided light source units 61a and 61b, respectively.
  • the substrates 63a and 63b are attached to the nuts 74 of the ball screw mechanism 80, respectively.
  • the divided light source units 61a and 61b of the second light source unit 61 are located at the retracted position WP separated from the optical path EL, and are exposed by the second light source unit 61.
  • the divided light source units 61a and 61b are located at the operating position AP on the optical path EL of the first light source unit 30.
  • the pair of substrates 63a and 63b are in contact with each other or arranged in close proximity to each other.
  • each moving mechanism 70 corresponding to the divided light source units 61a and 61b is configured by the motor 81, respectively.
  • the pair of divided light source units 61a and 61b are rotationally driven on the optical path EL of the first light source unit 30 with the operating position AP in which the pair of substrates 63a and 63b are flush with each other, and are separated from the optical path EL.
  • the pair of substrates 63a and 63b move to and from the retracted position WP in parallel.
  • each moving mechanism 70 corresponding to the divided light source portions 61a and 61b is composed of a motor 81 and a ball screw mechanism 80, respectively.
  • the divided light source units 61a and 61b of the second light source unit 61 are located at the retracted position WP separated from the optical path EL, and the second light source unit 61 At the time of exposure by, the divided light source units 61a and 61b are located at the operating position AP on the optical path EL.
  • the weight of the divided light source units 61a and 61b can be reduced, and the movement of the divided light source units 61a and 61b can be speeded up. Further, a motor 72 having a small output can be used for the motor 72 of the ball screw mechanism 80.
  • the number of divisions of the second light source unit 61 is not limited to the above, and may be three or more divisions, and a movement mechanism may be provided corresponding to each division light source unit. Further, the division of the second light source unit 61 is not limited to the left-right division of the seventh to ninth modifications, and may be a vertical division or an oblique division. In any of the modified examples, other configurations and effects are the same as those of the lighting device of the above embodiment.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately modified, improved, and the like.
  • the moving mechanism 70 moves the second light source unit 61 in the horizontal direction to switch between the operating position AP and the retracted position WP, but the second light source unit 61 is moved in the vertical direction. It may be moved to and switched between the operating position AP and the retracted position WP.
  • the moving mechanism of the present invention is not limited to the ball screw mechanism, the cylinder device, and the rotating mechanism described above, and any mechanism for moving the LED unit between the operating position and the retracting position can be applied.
  • An illuminating device that irradiates a work arranged through a mask and a predetermined gap with exposure light through the mask.
  • the first light source unit that uses a mercury lamp as the light source, A fly-eye lens that uniformly emits light from the first light source unit, and A plurality of reflectors that reflect light from the first light source unit, and
  • the second light source unit using a plurality of LED elements as light sources and the second light source unit are separated from the operating position located on the optical path of the first light source unit and the optical path of the first light source unit.
  • An LED unit having a moving mechanism for moving between the retracted position and the retracted position, A lighting device for a proximity exposure device.
  • one lighting device switches between the first light source unit and the second light source unit.
  • the existing lighting device for a proximity exposure device using a mercury lamp as a light source can be easily modified by using an LED as a light source unit.
  • the operating position of the second light source unit is set between the fly-eye lens and the reflector on the upstream side of the fly-eye lens and in the vicinity of the fly-eye lens.
  • the lighting device for a proximity exposure device according to 1). According to this configuration, by setting the operating position of the second light source unit in the vicinity of the fly-eye lens, the light emitted from the plurality of LED elements can be effectively focused on the fly-eye lens.
  • a second light source unit having a plurality of LED elements and an LED unit having a second light source unit can be compactly designed, and switching between the first light source unit and the second light source unit can be easily performed. it can.
  • the moving mechanism is composed of at least one of a ball screw mechanism, a cylinder device, and a rotating mechanism.
  • the second light source unit can be retracted to an appropriate retracted position according to the illumination device for the proximity exposure apparatus.
  • the moving mechanism is different from the first direction together with the first moving mechanism for moving the second light source unit in the first direction and the second light source unit with the first moving mechanism.
  • the lighting device for a proximity exposure device according to any one of (1) to (3), which is composed of a second moving mechanism that moves in two directions. According to this configuration, the second light source unit can be retracted to a more appropriate retracted position according to the illumination device for the proximity exposure apparatus.
  • the second light source unit is composed of a plurality of divided light source units each having a plurality of LED elements.
  • the lighting device for a proximity exposure device according to any one of (1) to (4), wherein the moving mechanism is provided for each of the plurality of divided light source units. According to this configuration, it is not necessary to provide a large retracted position at one place, and each moving mechanism can be designed compactly.
  • the moving mechanism is an LED unit installed at a position separated from the optical path of the first light source unit. According to this configuration, the LED unit can be appropriately installed in the existing lighting device for a proximity exposure device using a mercury lamp as a light source.
  • a proximity exposure apparatus comprising the illumination apparatus for a proximity exposure apparatus according to any one of (1) to (5), and exposing and transferring a mask pattern to a work by exposure light from the illumination apparatus. According to this configuration, the work can be efficiently exposed by switching between the first light source unit and the second light source unit.
  • Proximity exposure device 20 Lighting device (Illumination device for proximity exposure device) 30 First light source unit 31 Mercury lamp 40, 41 Cold mirror (reflector) 46 Fly Eye Lens 50 Collimation Mirror (Reflector) 51 Planar mirror (reflector) 60 LED unit 61 Second light source unit 62 LED element 70 Moving mechanism 72 Motor (driving device) 73 Screw shaft 74 Nut AP Operating position EL Optical path M Mask W Work WP Retracting position

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Abstract

光源部として、水銀ランプとＬＥＤの両方を独立して使用可能な照明装置を提供する。水銀ランプ（３１）を光源とする第１の光源部（３０）と、該第１の光源部（３０）からの光を均一にして出射するフライアイレンズ（４６）と、第１の光源部（３０）からの光をそれぞれ反射する複数の反射鏡（４０，４１，５０，５１）と、複数のＬＥＤ素子（６２）を光源とする第２の光源部（６１）、及び該第２の光源部（６１）を、第１の光源部（３０）の光路ＥＬ上に位置する作動位置ＡＰと、第１の光源部（３０）の光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰとの間で移動させる移動機構（７０）を有するＬＥＤユニット（６０）と、を備える。

Description

近接露光装置用照明装置、ＬＥＤユニット、近接露光装置及び近接露光装置の露光方法
　本発明は、マスクを介してワークに露光光を照射する照明装置、ＬＥＤユニット、近接露光装置及び近接露光装置の露光方法に関する。
　従来、紫外線（特に、ｉ線）を活用する露光装置としては、超高圧水銀ランプ等の放電型ランプを光源とし、該光源から照射された光によってステージに固定されたワークにマスクのパターンを露光転写するものが知られている。
　また、特許文献１に記載の露光装置では、照明装置は、例えば、水銀ランプから構成された主光源と、該主光源とは出力応答特性が異なる、例えば、ＬＥＤから構成された補助光源と、主光源と補助光源の射出光を検出する光電センサと、被露光基板に照射される露光光の強度を変更する露光量制御部と、を備える。主光源は、目標最小照度から決定された照度で発光し、補助光源は、目標照度と主光源による照度との差分の照度を発光し、光合成部により主光源および補助光源から照射された光を合成して、装置の生産性を低下させることなく、光源の出力応答特性を向上させるようにした露光装置が開示されている。
　また、特許文献２は、照明光学系が、水銀ランプ、ＬＥＤ、ハロゲンランプなどからなる、第１及び第２の光源部と、第１の光源部からの光を遮光可能なフィルタと、を有する。そして、基板とマスクとを所定のギャップに近接させた状態で、フィルタの開タイミングを制御することで第１及び第２の光源部からの光を異なるタイミングで基板に照射して、高解像度のパターンを形成するとともに、スループットを向上させた近接露光装置が開示されている。
日本国特開２０１５－８７５１７号公報 日本国特開２０１３－２０５６１３号公報
　ところで、水銀ランプ等の放電型ランプは、電源投入後に、出力が安定するまでに時間がかかり、出力変更時に短時間での出力可変が事実上難しい。また、フライアイレンズから離れた位置に光源を配置する場合、フライアイレンズの入射角を補う必要があるため、光源のサイズが大きくなる。さらに、放電型ランプは、消費電力が大きく、ランプ寿命が短いという問題があった。
　一方、近年、近接露光装置用の照明装置としても、出力可変に対する応答性が略０．１ｍｓｅｃ以下である紫外線ＬＥＤなどを２次元でマトリクス状に配置した光源が使用され始めている。また、ＬＥＤは、水銀ランプと比較して消費電力が小さい利点も有する。このため、光源部を水銀ランプとした照明装置をすでに組み込んでいる既存の露光装置においても、ＬＥＤを光源部として使用できることが望まれている。特に、光源部を水銀ランプからＬＥＤに切り替える際、実際にサンプルを通す条件合わせの試験が必要となるが、両光源を併用可能とすると、円滑に水銀ランプからＬＥＤへの切り替えが可能となる。
　特許文献１の露光装置は、ＬＥＤを補助光源として使用するものであり、また、特許文献２の露光装置も、ＬＥＤを一例として、第１の光源部を選択的に、第２の光源部に組み合わせて使用するものであり、上記課題を考慮したものでない。
　本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、光源部として、水銀ランプとＬＥＤの両方を独立して使用可能な近接露光装置用照明装置、ＬＥＤユニット、近接露光装置及び近接露光装置の露光方法を提供することにある。
　本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１）　マスクと所定のギャップを介して配置されたワークに対し、該マスクを介して露光光を照射する照明装置であって、
　水銀ランプを光源とする第１の光源部と、
　該第１の光源部からの光を均一にして出射するフライアイレンズと、
　前記第１の光源部からの光をそれぞれ反射する複数の反射鏡と、
　複数のＬＥＤ素子を光源とする第２の光源部、及び、該第２の光源部を、前記第１の光源部の光路上に位置する作動位置と、前記第１の光源部の光路から離間した退避位置との間で移動させる移動機構を有するＬＥＤユニットと、
を備える、近接露光装置用照明装置。
（２）　（１）に記載の近接露光装置用照明装置に使用されるＬＥＤユニットであって、
　前記移動機構は、前記第１の光源部の光路から離間した位置に設置される、ＬＥＤユニット。
（３）　（１）に記載の近接露光装置用照明装置を備え、該照明装置からの露光光によりマスクのパターンをワークに露光転写する、近接露光装置。
（４）　（３）に記載の近接露光装置を使用し、
　前記照明装置からの露光光によりマスクのパターンをワークに露光転写する、近接露光装置の露光方法。
　本発明の近接露光装置用照明装置、ＬＥＤユニット、近接露光装置及び近接露光装置の露光方法によれば、１台の照明装置により、水銀ランプとＬＥＤの両方を独立して使用することができる。
図１（ａ）は、本発明に係る近接露光装置用照明装置の概略構成を示す側面図、図１（ｂ）は、その上面図である。 図２は、図１（ｂ）に示すＬＥＤユニットの上面図である。 図３は、第１変形例に係る、移動機構がシリンダ装置からなるＬＥＤユニット近傍を示す上面図である。 図４Ａは、第２変形例に係る、移動機構が回転機構によって構成されるＬＥＤユニット近傍を示す斜視図である。 図４Ｂは、第３変形例に係る、移動機構が回転機構によって構成されるＬＥＤユニット近傍を示す斜視図である。 図４Ｃは、第４変形例に係る、移動機構が回転機構によって構成されるＬＥＤユニット近傍を示す斜視図である。 図５Ａは、第５変形例に係る、移動機構が複数のボールねじ機構によって構成されるＬＥＤユニット近傍を示す斜視図である。 図５Ｂは、第６変形例に係る、移動機構がボールねじ機構と回転機構によって構成されるＬＥＤユニット近傍を示す斜視図である。 図６Ａは、第７変形例に係る、第２の光源部が分割され、分割光源部がボールねじ機構によって互いに独立して移動可能なＬＥＤユニット近傍を示す斜視図である。 図６Ｂは、第８変形例に係る、第２の光源部が分割され、分割光源部が回転機構によって互いに独立して移動可能なＬＥＤユニット近傍を示す斜視図である。 図６Ｃは、第９変形例に係る、第２の光源部が分割され、各分割光源部の移動機構がボールねじ機構と回転機構によって構成されるＬＥＤユニット近傍を示す斜視図である。
　以下、本発明に係る近接露光装置用照明装置の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
　図１に示すように、本実施形態の近接露光装置１０は、マスクステージＭＳに保持されたマスクＭと、ワークステージＷＳに載置されたワークＷとを所定のギャップを介して配置し、近接露光装置用照明装置（以下では、単に照明装置とも言う）２０から出射された光を、マスクＭを介してワークＷに照射して、マスクＭのパターンをワークＷに露光転写する。
　照明装置２０は、水銀ランプ３１を光源とする第１の光源部３０と、第１の光源部３０から出射された光の赤外線を透過させ、光路ＥＬの向きを変える一対のコールドミラー４０，４１と、コールドミラー４１の下流側に配設されて第１の光源部３０から出射された光を開閉制御する露光制御用シャツター４５と、該露光制御用シャツター４５の下流側に配置されて、光の強度を均一化するインテグレータを構成する少なくとも１枚のフライアイレンズ４６（本実施形態では、３枚のフライアイレンズ４６ａ，４６ｂ，４６ｃ）と、周辺部の光の進行方向を変えるフィールドレンズ４９と、フィールドレンズ４９からの光を平行光として照射するコリメーションミラー５０と、該平行光をマスクＭに向けて照射する平面ミラー５１と、を備える。
　第１の光源部３０は、例えば水銀ランプ３１と、この水銀ランプ３１から出射された光を集光する不図示のリフレクタをそれぞれ複数有して、二次元でマトリックス配置される。なお、光源としては、単一の水銀ランプ３１とリフレクタの構成であってもよい。水銀ランプ３１は、赤外線も出射するので、赤外線を透過させるコールドミラー４０，４１を設けることが好ましく、そのためある程度の長い光路長が要求される。
　フライアイレンズ４６は、通常、ワークＷの露光面における照度が、タクトタイムとの兼ね合いで最大の照度となるように、フライアイレンズ４６の入射面での照度が最大となるように設計される。大、中、小の３枚のフライアイレンズ４６ａ，４６ｂ，４６ｃは、それぞれスライドさせて交換することを可能であり、要求される露光精度などに応じて最適なサイズのフライアイレンズ４６が選択されて使用される。なお、フライアイレンズ４６の枚数は３枚に限定されない。
　フィールドレンズ４９は、レンズ周辺部の光を効率的に使用するためのものであり、必ずしも必要としないが、タクトタイム向上のために設けることが望ましい。
　また、照明装置２０は、複数のＬＥＤ素子６２を光源とする第２の光源部６１と、第２の光源部６１を光路ＥＬと交差する方向に移動させる移動機構７０と、を有するＬＥＤユニット６０を備える。
　図２も参照して、第２の光源部６１は、複数（例えば、数百個程度）のＬＥＤ素子（Ｌｉｇｈｔ　Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ）６２が、二次元でマトリックス配置されて基体６３に実装されている。第２の光源部６１は、移動機構７０により、第１の光源部３０の光路ＥＬ上に位置する作動位置ＡＰと、該光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰとの間で移動可能である。
　第２の光源部６１の作動位置ＡＰは、第１の光源部３０の光路ＥＬ上、かつフライアイレンズ４６とコールドミラー４１との間で、フライアイレンズ４６の近傍に設定されている。
　なお、第２の光源部６１の作動位置ＡＰは、露光制御用シャツター４５の上流側に配置されているが、ＬＥＤ素子６２は出力応答性に優れるため、露光制御用シャツター４５による光の開閉制御を必要としない。従って、第２の光源部６１の作動位置ＡＰは、露光制御用シャツター４５の下流側とし、フライアイレンズ４６よりも上流側で、フライアイレンズ４６のより近傍に配置してもよい。
　また、ＬＥＤ素子６２は、水銀ランプ３１と異なり、赤外線を出射しないので、フライアイレンズ４６の近傍に配置することができる。従って、少なくとも露光制御用シャツター４５より下流側の光路ＥＬは、第１の光源部３０と第２の光源部６１とで同じものとなる。
　また、水銀ランプ３１の光学系は、水銀ランプ３１のアレイのサイズがフライアイレンズ４６のサイズに比べて大きいため、集光させている。そのため、ＬＥＤ素子６２のアレイを水銀ランプ３１の近傍に設置すると、ＬＥＤ素子６２のアレイも水銀ランプ３１のアレイと同様のサイズにする必要があるが、フライアイレンズ４６の近傍に設置すると、よりコンパクトなサイズにすることが可能になり、装置全体のサイズを大きくなるのを防ぐことができる。
　図２に示すように、移動機構７０は、カップリング７１を介して連結されたモータ７２により回転駆動されるねじ軸７３と、第２の光源部６１を実装する基体６３が固定されて、ねじ軸７３に螺合するナット７４と、を備えるボールねじ機構８０によって構成される。移動機構７０は、第１の光源部３０及び第２の光源部６１からの光を阻害することがないように、光路ＥＬから離間した位置（図１（ａ）に示す実施例では第２の光源部６１の下方）に配設されている。
　そして、モータ７２を回転させることで、第２の光源部６１を光路ＥＬ上に位置する作動位置ＡＰと、該光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰとの間で往復移動させて、照明装置２０の光源を、第１の光源部３０と第２の光源部６１に切り換え、いずれか一方の光源部３０，６１からの露光光によりマスクＭのパターンをワークＷに露光転写する。
　第１の光源部３０による露光は、図１に示すように、先ず、移動機構７０により第２の光源部６１を光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰに位置させた後、マスクステージＭｓに保持されたマスクＭと、ワークステージＷｓに載置されたワークＷとを、数１０～数１００μｍのギャップに調整して近接対向配置する。その際、第２の光源部６１のＬＥＤ素子６２は、消灯している。
　そして、水銀ランプ３１を光源とする第１の光源部３０から出射された露光用の光を、一対のコールドミラー４０，４１で反射し、開制御されている露光制御用シャツター４５からフライアイレンズ４６で集光させる。フライアイレンズ４６から出射される露光用の光は、フィールドレンズ４９を通って、コリメーションミラー５０で反射されて所定のコリメーション角を持った平行光とされ、平面ミラー５１によってマスクＭに入射する。そして、マスクＭを透過した露光用の光は、ワークＷの表面に塗布されたフォトレジストを感光させてマスクＭのマスクパターンがワークＷに露光転写される。
　一方、出力応答性に優れるＬＥＤ素子６２で構成された第２の光源部６１による露光は、図２の実線で示すように、モータ７２を回転させて第２の光源部６１を光路ＥＬ上の作動位置ＡＰに位置させる。そして、ＬＥＤ素子６２を点灯してその光をフライアイレンズ４６に入射させる。フライアイレンズ４６から出射される露光用の光は、同様に、フィールドレンズ４９、コリメーションミラー５０、及び平面ミラー５１を介して、マスクＭに入射する。そして、マスクＭを透過した露光用の光は、ワークＷの表面に塗布されたフォトレジストを感光させてマスクＭのマスクパターンがワークＷに露光転写される。
　このように、第２の光源部６１を、第１の光源部３０の光路ＥＬ上に進出または退避させて、光源を第１の光源部３０と第２の光源部６１とに切り替えて使用することで、１台の近接露光装置用照明装置２０により、水銀ランプとＬＥＤの両方を光源部として独立して使用することが可能となる。
（第１変形例）
　図３に示す第１変形例のＬＥＤユニット６０Ａは、移動機構７０を、上記実施形態のボールねじ機構の代わりに、シリンダ装置７５としている。この場合、シリンダ装置７５のピストンロッド７６を伸縮して、該ピストンロッド７６の先端に固定された第２の光源部６１を、光路ＥＬ上の作動位置ＡＰと、該光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰとの間で移動させる。
　したがって、移動機構７０がシリンダ装置７５の場合も、光路ＥＬから離間した位置に配設され、第１の光源部３０及び第２の光源部６１からの光を阻害することがない。
（第２～第４変形例）
　図４Ａ～図４Ｃは、移動機構７０が回転機構によって構成される、第２～第４変形例のＬＥＤユニット６０Ｂ～６０Ｄを示す。即ち、回転機構であるモータ８１の回転軸に、第２の光源部６１を実装する基体６３が取り付けられる。第２～第４変形例のいずれも、第２の光源部６１を、第１の光源部３０の光路ＥＬ上の作動位置ＡＰと、該光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰとの間で回転させる。
　したがって、第２～第４変形例では、第１の光源部３０による露光の場合には、第２の光源部６１は、光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰに配設され、第１の光源部３０からの光を阻害することがない。また、第２の光源部６１による露光の場合には、第２の光源部６１は、作動位置ＡＰにて複数のＬＥＤ素子６２を点灯する。
　この結果、モータ８１によって第２の光源部６１を回転させることで、第１の光源部３０と第２の光源部６１での露光を任意に切り替え可能となる。
　なお、モータ８１の回転軸の位置や回転方向、退避位置ＷＰは任意に設定可能である。
（第５～第６変形例）
　また、図５Ａに示す第５変形例のＬＥＤユニット６０Ｅでは、移動機構７０は、第２の光源部６１がナット７４に配置された第１のボールねじ機構（第１の移動機構）８０Ａと、該第１のボールねじ機構８０Ａが他のナット７４に配置された第２のボールねじ機構（第２の移動機構）８０Ｂと、によって構成される。
　第１のボールねじ機構８０Ａは、第２の光源部６１を第１の光源部３０の光路ＥＬに直交する方向（第１の方向）に移動させ、第２のボールねじ機構８０Ｂは、第２の光源部６１を含む、第１のボールねじ機構８０Ａを光路ＥＬと平行な方向（第２の方向）に移動させる。これにより、移動機構７０は、第２の光源部６１を、作動位置ＡＰと退避位置ＷＰとの間で、上面視で、Ｌ字型の軌跡で移動させることができる。
　図５Ｂに示す第６変形例のＬＥＤユニット６０Ｆは、移動機構７０を、第２の光源部６１が回転軸に取付けられたモータ８１である回転機構（第１の移動機構）と、モータ８１がナット７４に配置されたボールねじ機構（第２の移動機構）８０とによって構成する。
　モータ８１は、第２の光源部６１を第１の光源部３０の光路ＥＬに直交する姿勢から光路ＥＬに沿った姿勢となる回転方向（第１の方向）に回転移動させ、ボールねじ機構８０は、第２の光源部６１を含むモータ８１を光路ＥＬと直交する方向（第２の方向）に移動させる。これにより、移動機構７０は、第２の光源部６１を、作動位置ＡＰと退避位置ＷＰとの間で移動させることができる。
　これら第５及び第６変形例のように、移動機構７０は、第２の光源部を第１の方向に移動させる第１の移動機構と、第２の光源部を第１の移動機構と共に第１の方向と異なる第２の方向に移動させる第２の移動機構とによって構成してもよい。第１及び第２の移動機構は、ボールねじ機構、回転機構の他、シリンダ装置であってもよい。また、第１及び第２の移動機構は、同時に駆動させてもよいし、個々に順次駆動させてもよい。さらに、退避位置ＷＰは、第１の移動機構と第２の移動機構とによって移動可能な範囲において、適宜変更してもよい。また、移動機構７０は、３つ以上の移動機構を組み合わせて構成されてもよい。
　このようなＬＥＤユニット６０Ｅ，６０Ｆは、退避位置ＷＰの自由度を上げることができ、また、メンテナンス作業性を向上することができる。
（第７～第９変形例）
　次に、図６Ａ～図６Ｃは、第２の光源部６１が、複数のＬＥＤ素子６２をそれぞれ有する複数の分割光源部６１ａ，６１ｂによって構成される、第７～第９変形例のＬＥＤユニット６０Ｂ～６０Ｄを示す。
　例えば、図６Ａでは、第２の光源部６１は、一対の基体６３ａ，６３ｂに複数のＬＥＤ素子６２がそれぞれ配置された一対の分割光源部６１ａ，６１ｂによって構成される。移動機構７０は、分割光源部６１ａ，６１ｂごとにそれぞれ設けられる。この場合、各基体６３ａ、６３ｂが、各ボールねじ機構８０のナット７４にそれぞれ取り付けられる。
　そして、第１の光源部３０による露光の場合には、第２の光源部６１の分割光源部６１ａ、６１ｂは、光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰに位置し、第２の光源部６１による露光の際には、分割光源部６１ａ、６１ｂは、第１の光源部３０の光路ＥＬ上の作動位置ＡＰに位置する。このとき、一対の基体６３ａ，６３ｂは、互いに当接されるか、または近接して配置される。
　また、図６Ｂでは、分割光源部６１ａ、６１ｂに対応する各移動機構７０は、モータ８１によってそれぞれ構成される。一対の分割光源部６１ａ、６１ｂは、第１の光源部３０の光路ＥＬ上で、一対の基体６３ａ、６３ｂが互いに面一となる作動位置ＡＰと、回転駆動されて、該光路ＥＬから離間し、一対の基体６３ａ、６３ｂが平行となる退避位置ＷＰとの間で移動する。
　さらに、図６Ｃでは、分割光源部６１ａ、６１ｂに対応する各移動機構７０は、モータ８１とボールねじ機構８０とによってそれぞれ構成される。この場合も、第１の光源部３０による露光の場合には、第２の光源部６１の分割光源部６１ａ、６１ｂは、光路ＥＬから離間した退避位置ＷＰに位置し、第２の光源部６１による露光の際には、分割光源部６１ａ、６１ｂは、光路ＥＬ上の作動位置ＡＰに位置する。
　第７～第９変形例のように、第２の光源部６１を分割することによって、各分割光源部６１ａ、６１ｂの重量を小さくでき、各分割光源部６１ａ、６１ｂの移動を高速化でき、また、ボールねじ機構８０のモータ７２に出力が小さなものを利用できる。
　なお、第２の光源部６１の分割数は、上記に限らず、３分割以上であってもよく、各分割光源部に対応して移動機構をそれぞれ設ければよい。また、第２の光源部６１の分割は、第７～第９変形例の左右分割に限らず、上下分割であってもよいし、斜めに分割してもよい。
　いずれの変形例においても、その他の構成及び効果は、上記実施形態の照明装置と同様である。
　尚、本発明は、前述した一実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。
　例えば、本実施形態では、移動機構７０によって、第２の光源部６１を水平方向に移動させて作動位置ＡＰと退避位置ＷＰとの間で切り替えているが、第２の光源部６１を上下方向に移動させて作動位置ＡＰと退避位置ＷＰとの間で切り替えてもよい。
　また、本発明の移動機構は、上述したボールねじ機構やシリンダ装置、回転機構に限定されず、ＬＥＤユニットを作動位置と退避位置との間で移動させる任意の機構が適用できる。
　以上の通り、本明細書には次の事項が開示されている。
（１）　マスクと所定のギャップを介して配置されたワークに対し、該マスクを介して露光光を照射する照明装置であって、
　水銀ランプを光源とする第１の光源部と、
　該第１の光源部からの光を均一にして出射するフライアイレンズと、
　前記第１の光源部からの光をそれぞれ反射する複数の反射鏡と、
　複数のＬＥＤ素子を光源とする第２の光源部、及び、該第２の光源部を、前記第１の光源部の光路上に位置する作動位置と、前記第１の光源部の光路から離間した退避位置との間で移動させる移動機構を有するＬＥＤユニットと、
を備える、近接露光装置用照明装置。
　この構成によれば、第２の光源部を第１の光源部の光路上に進出または退避させることで、１台の照明装置により、第１の光源部と第２の光源部とを切り替えて使用することができる。また、水銀ランプを光源とする既存の近接露光装置用照明装置に、ＬＥＤを光源部として容易に改修することができる。
（２）　前記第２の光源部の作動位置は、前記フライアイレンズと、該フライアイレンズよりも上流側の前記反射鏡との間で、かつ前記フライアイレンズの近傍に設定される、（１）に記載の近接露光装置用照明装置。
　この構成によれば、第２の光源部の作動位置をフライアイレンズの近傍とすることで、複数のＬＥＤ素子から出射される光を効果的にフライアイレンズに集光することができるので、複数のＬＥＤ素子を有する第２の光源部、及び第２の光源部を有するＬＥＤユニットをコンパクトに設計でき、また、第１の光源部と第２の光源部との切り替えも容易に行うことができる。
（３）　前記移動機構は、ボールねじ機構、シリンダ装置、回転機構の少なくとも一つによって構成される、（１）又は（２）に記載の近接露光装置用照明装置。
　この構成によれば、第２の光源部を、近接露光装置用照明装置に応じて、適切な退避位置に退避させることができる。
（４）　前記移動機構は、前記第２の光源部を第１の方向に移動させる第１の移動機構と、前記第２の光源部を前記第１の移動機構と共に第１の方向と異なる第２の方向に移動させる第２の移動機構とによって構成される、（１）～（３）のいずれかに記載の近接露光装置用照明装置。
　この構成によれば、第２の光源部を、近接露光装置用照明装置に応じて、より適切な退避位置に退避させることができる。
（５）　前記第２の光源部は、複数のＬＥＤ素子をそれぞれ有する複数の分割光源部によって構成され、
　前記移動機構は、前記複数の分割光源部ごとに設けられる、（１）～（４）のいずれかに記載の近接露光装置用照明装置。
　この構成によれば、１か所に大きな退避位置を設ける必要がなくなり、また、各移動機構をコンパクトに設計できる。
（６）　（１）～（５）のいずれかに記載の近接露光装置用照明装置に使用されるＬＥＤユニットであって、
　前記移動機構は、前記第１の光源部の光路から離間した位置に設置される、ＬＥＤユニット。
　この構成によれば、水銀ランプを光源とする既存の近接露光装置用照明装置に、ＬＥＤユニットを適切に設置することができる。
（７）　（１）～（５）のいずれかに記載の近接露光装置用照明装置を備え、該照明装置からの露光光によりマスクのパターンをワークに露光転写する、近接露光装置。
　この構成によれば、第１の光源部と第２の光源部とを切り替えて、ワークを効率的に露光することができる。
（８）　（７）に記載の近接露光装置を使用し、
　前記照明装置からの露光光によりマスクのパターンをワークに露光転写する、近接露光装置の露光方法。
　この構成によれば、第１の光源部と第２の光源部とを切り替えて、ワークを効率的に露光することができる。
　なお、本出願は、２０１９年１０月１１日出願の日本特許出願（特願２０１９－１８７７１５）に基づくものであり、その内容は本出願の中に参照として援用される。
１０　　近接露光装置
２０　　照明装置（近接露光装置用照明装置）
３０　　第１の光源部
３１　　水銀ランプ
４０，４１　　コールドミラー（反射鏡）
４６　　フライアイレンズ
５０　　コリメーションミラー（反射鏡）
５１　　平面ミラー（反射鏡）
６０　　ＬＥＤユニット
６１　　第２の光源部
６２　　ＬＥＤ素子
７０　　移動機構
７２　　モータ（駆動装置）
７３　　ねじ軸
７４　　ナット
ＡＰ　　作動位置
ＥＬ　　光路
Ｍ　　　マスク
Ｗ　　　ワーク
ＷＰ　　退避位置

Claims (8)

  1. 　マスクと所定のギャップを介して配置されたワークに対し、該マスクを介して露光光を照射する照明装置であって、
    　水銀ランプを光源とする第１の光源部と、
    　該第１の光源部からの光を均一にして出射するフライアイレンズと、
    　前記第１の光源部からの光をそれぞれ反射する複数の反射鏡と、
    　複数のＬＥＤ素子を光源とする第２の光源部、及び、該第２の光源部を、前記第１の光源部の光路上に位置する作動位置と、前記第１の光源部の光路から離間した退避位置との間で移動させる移動機構を有するＬＥＤユニットと、
    を備える、近接露光装置用照明装置。
  2. 　前記第２の光源部の作動位置は、前記フライアイレンズと、該フライアイレンズよりも上流側の前記反射鏡との間で、かつ前記フライアイレンズの近傍に設定される、請求項１に記載の近接露光装置用照明装置。
  3. 　前記移動機構は、ボールねじ機構、シリンダ装置、回転機構の少なくとも一つによって構成される、請求項１又は２に記載の近接露光装置用照明装置。
  4. 　前記移動機構は、前記第２の光源部を第１の方向に移動させる第１の移動機構と、前記第２の光源部を前記第１の移動機構と共に第１の方向と異なる第２の方向に移動させる第２の移動機構とによって構成される、請求項１～３のいずれか１項に記載の近接露光装置用照明装置。
  5. 　前記第２の光源部は、複数のＬＥＤ素子をそれぞれ有する複数の分割光源部によって構成され、
    　前記移動機構は、前記複数の分割光源部ごとに設けられる、請求項１～４のいずれか１項に記載の近接露光装置用照明装置。
  6. 　請求項１～５のいずれか１項に記載の近接露光装置用照明装置に使用されるＬＥＤユニットであって、
    　前記移動機構は、前記第１の光源部の光路から離間した位置に設置される、ＬＥＤユニット。
  7. 　請求項１～５のいずれか１項に記載の近接露光装置用照明装置を備え、該照明装置からの露光光によりマスクのパターンをワークに露光転写する、近接露光装置。
  8. 　請求項７に記載の近接露光装置を使用し、
    　前記照明装置からの露光光によりマスクのパターンをワークに露光転写する、近接露光装置の露光方法。
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