WO2021025003A1 - 接合性導体ペースト - Google Patents

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WO2021025003A1
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silver
conductor paste
weight
silver particles
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PCT/JP2020/029758
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小畑貴慎
江川智哉
赤井泰之
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株式会社ダイセル
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Definitions

  • the present disclosure relates to a bondable conductor paste used for forming conductor wiring and a joint structure for connecting electronic elements such as power semiconductor elements and LED elements.
  • the present application claims the priority of Japanese Patent Application No. 2019-145510 filed in Japan on August 7, 2019, the contents of which are incorporated herein by reference.
  • a method for forming the conductor wiring for example, a method of manufacturing a copper wiring by etching a copper foil bonded to an insulating substrate is known.
  • the above method has a problem that a large amount of waste is generated by etching.
  • a method in which a conductor paste containing conductive particles and an adhesive is applied onto an insulating substrate by a printing method or the like, and then sintered to manufacture a conductor wiring (non-patent documents). 1). Since the conductor paste containing the adhesive has an appropriate viscosity, it can be printed with high accuracy, and wiring is manufactured by sintering it. However, since the adhesive and the adhesive-derived component, which are non-conductive components, remain after sintering, good conductivity can be obtained by inhibiting the interaction between the conductive particles and between the conductive particles and the substrate. The problem was that it was difficult to get rid of.
  • Patent Document 1 includes an adhesive and a thickener obtained by mixing silver particles having an average particle size (median diameter) of 0.1 ⁇ m to 15 ⁇ m and an alcohol solvent (methanol, ethanol, or ethylene glycol). It is described that the use of no conductor paste suppresses the residual non-conductive components after sintering and lowers the electric resistance value.
  • copper and nickel substrates and wirings that are not plated-protected in semiconductor modules are susceptible to oxidation by oxygen and must be sintered in an atmosphere of an inert gas such as nitrogen, but average grains of 0.1 ⁇ m or more In the conductor paste containing silver particles having a diameter, sintering did not proceed in a nitrogen atmosphere, and it was difficult to join.
  • the conductor paste using the alcohol solvent is liable to cause "bleeding", and since methanol and ethanol have a high volatilization rate at the printing temperature, the viscosity of the conductor paste using this is liable to fluctuate during printing, and the viscosity is fine with high accuracy. It was difficult to form a pattern. Further, in the conductor paste using ethylene glycol, there is a problem that it is difficult to obtain a conductor wiring having excellent bonding strength with the substrate.
  • an object of the present disclosure is a bondable conductor paste for forming a conductor wiring for connecting an electronic element or a bonding structure on a substrate by a printing method or the like, and suppressing fluctuations in viscosity at a printing temperature. It can print evenly and is quickly sintered even in an atmosphere of an inert gas such as nitrogen to form a high-precision conductor wiring or bonding structure that can connect the substrate and electronic elements with high bonding strength.
  • the purpose is to provide a bondable conductor paste that can be made.
  • the inventors of the present disclosure in addition to silver particles having an average particle size (median diameter) of 0.1 ⁇ m or more, an average particle size (median diameter) of less than 0.1 ⁇ m (100 nm).
  • an inert gas atmosphere such as nitrogen
  • the paste containing the compound represented by the following formula (I) as the solvent and the silver particles having the above two kinds of different particle sizes as the conductive particles can be obtained without adding a thickener.
  • a paste containing the compound represented by the formula (I) as a solvent Have found that fluctuations in viscosity can be suppressed during printing, printing can be performed evenly, and a sintered body having excellent conductivity can be formed even at low temperatures.
  • the invention of the present disclosure has been completed based on these findings.
  • the present disclosure is a conductive conductor paste for forming a conductor wiring and / or a bonding structure for connecting an electronic element, which contains conductive particles and a solvent, and has an average particle diameter as the conductive particles.
  • the silver particles (A) are silver nanoparticles having a structure in which the surface is coated with a protective agent containing an amine.
  • Ra represents a monovalent group selected from hydrocarbon groups having 1 to 6 carbon atoms and an acyl group.
  • X represents a divalent group selected from hydrocarbon groups having 2 to 6 carbon atoms.
  • R b represents a hydrogen atom or a monovalent group selected from a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms and an acyl group.
  • R a and R b may be the same group.
  • N is 1 Indicates an integer of ⁇ 3)
  • a bonding conductor paste containing the compound (C) represented by.
  • the present disclosure also provides the adhesive conductor paste in which the ratio of silver particles (A) to the total silver particles contained in the adhesive conductor paste is 50% by weight or less.
  • the protective agent in the silver particles (A) is an aliphatic hydrocarbon group consisting of an aliphatic hydrocarbon group and one amino group as an amine, and the total number of carbon atoms of the aliphatic hydrocarbon group is 6 or more.
  • an aliphatic hydrocarbon monoamine (2) consisting of an aliphatic hydrocarbon group and one amino group and having a total carbon number of 5 or less of the aliphatic hydrocarbon group, and an aliphatic hydrocarbon group and two amino groups.
  • the above-mentioned adhesive conductor paste comprising at least one of an aliphatic hydrocarbon diamine (3) having a total number of carbons of 8 or less in the aliphatic hydrocarbon group.
  • the present disclosure also provides the above-mentioned adhesive conductor paste having a boiling point of the compound (C) represented by the formula (I) under normal pressure of 160 ° C. or higher.
  • the present disclosure also provides the above-mentioned adhesive conductor paste in which the SP value [(cal / cm 3 ) 1/2 ] of the compound (C) represented by the formula (I) at 25 ° C. is 8.6 or less. To do.
  • the present disclosure also provides the above-mentioned adhesive conductor paste in which X in the formula (I) is an ethylene group, a propylene group or a trimethylene group.
  • the present disclosure also provides the above-mentioned bonding conductor paste in which the total content of silver particles (A) and silver particles (B) in the total amount of the bonding conductor paste is 50 to 99.8% by weight.
  • the present disclosure also provides the above-mentioned bondable conductor paste in which the content of the organic component is 15% by weight or less with respect to the bondable conductor paste (100% by weight).
  • the present disclosure also provides a method for manufacturing an electronic component having a step of applying the above-mentioned bondable conductor paste on a substrate and then sintering it to form a conductor wiring and / or a bonded structure.
  • the adhesive conductor paste of the present disclosure has two different types of conductive particles, silver particles (A) having an average particle diameter of 1 nm or more and less than 100 nm, and silver particles (B) having an average particle diameter of 0.1 ⁇ m or more and 10 ⁇ m or less. Since it contains silver particles having a diameter, it is rapidly sintered even in an atmosphere of an inert gas such as nitrogen to form a high-precision conductor wiring or a bonding structure capable of connecting a substrate and an electronic element with high bonding strength. be able to.
  • the compound (C) represented by the formula (I) as a solvent in addition to the silver particles (A) and (B), it has viscosity suitable for the printing method and is less likely to cause bleeding, and the printing method. It is possible to form a high-precision wiring pattern or a joint structure pattern. Further, it is not necessary to add an adhesive to thicken the viscosity, and conventionally, there is a problem that the electrical characteristics are deteriorated by the non-conductive component derived from the adhesive remaining after sintering, but this is due to the residual non-conductive component. It is possible to prevent deterioration of electrical characteristics, and it is possible to form a conductor wiring or a joint structure having excellent electrical characteristics.
  • the adhesive conductor paste of the present disclosure uses the compound (C) represented by the formula (I), which is hard to volatilize at the printing temperature, as a solvent, the viscosity can be kept constant during printing, and unevenness can be maintained. No, high-precision printing is possible. Furthermore, the adhesive conductor paste of the present disclosure can form a conductor wiring or a bonded structure having excellent bonding strength to a substrate even when sintered at a lower temperature, and the substrate or the like is deteriorated due to sintering. Damage can be reduced.
  • a conductor wiring or a bonding structure having excellent bonding strength can be formed with high accuracy by a printing method, and the substrate and the electronic element can be joined to the conductor wiring or bonding. Since it can be strongly bonded via the structure, it is possible to manufacture an electronic component having excellent electrical characteristics.
  • the adhesive conductor paste of the present disclosure contains one or more compounds (C) represented by the following formula (I) as a solvent.
  • Ra represents a monovalent group selected from hydrocarbon groups and acyl groups having 1 to 6 carbon atoms.
  • the hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms in Ra include a monovalent group selected from an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms and an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 6 carbon atoms. Be done.
  • the monovalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, an s-butyl group, a t-butyl group and a pentyl group.
  • Examples of the monovalent alicyclic hydrocarbon group having 3 to 6 carbon atoms include cycloalkyl groups such as cyclopropyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group and cyclohexyl group.
  • RCO- group examples of the acyl group (RCO- group) in R a, wherein R is linear or branched alkyl group a is an acyl group (e.g., acetyl group having 1 to 10 carbon atoms (preferably 1 to 5), propionyl Group, butyryl group, isobutyryl group, pivaloyl group, etc.).
  • R is linear or branched alkyl group a is an acyl group (e.g., acetyl group having 1 to 10 carbon atoms (preferably 1 to 5), propionyl Group, butyryl group, isobutyryl group, pivaloyl group, etc.).
  • X represents a divalent group selected from hydrocarbon groups having 2 to 6 carbon atoms.
  • hydrocarbon group having 2 to 6 carbon atoms in X include a divalent group selected from an aliphatic hydrocarbon group having 2 to 6 carbon atoms and an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 6 carbon atoms. ..
  • divalent aliphatic hydrocarbon group having 2 to 6 carbon atoms include an ethylene group (-CH 2- CH 2- ), a propylene group (-CH (CH 3 ) CH 2- ), and a trimethylene group (-CH).
  • CH 2 -CH 2 -CH 2 -) may be mentioned linear or branched alkylene group such as.
  • Examples of the divalent alicyclic hydrocarbon group having 3 to 6 carbon atoms include a 1,2-cyclopentylene group, a 1,3-cyclopentylene group, a 1,2-cyclohexylene group and 1,3. -Cycloalkylene groups such as cyclohexylene group and 1,4-cyclohexylene group can be mentioned.
  • X is preferably an aliphatic hydrocarbon group having 2 to 6 carbon atoms, more preferably a linear or branched alkylene group having 2 to 6 carbon atoms, and further preferably an ethylene group or propylene. Group or trimethylene group.
  • R b represents a hydrogen atom or a monovalent group selected from hydrocarbon groups and acyl groups having 1 to 6 carbon atoms.
  • Examples of the monovalent group selected from the aliphatic hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms and the acyl group include the same examples as those in Ra .
  • R b may be the same group as R a or may be different.
  • N indicates an integer of 1 to 3.
  • n is preferably 2 or 3.
  • the number of carbon atoms constituting the compound (C) represented by the formula (I) is preferably 8 to 13 in that it is difficult to volatilize at the printing temperature and volatilizes more quickly at the sintering temperature. Is 10 to 12 pieces.
  • the compound (C) represented by the formula (I) preferably does not easily volatilize at the printing temperature, and has a boiling point (under normal pressure) of, for example, 160 ° C. or higher, preferably 190 ° C. or higher, more preferably 190 to 290. ° C., more preferably 200 to 260 ° C. If the boiling point is lower than the above range, it tends to volatilize when preparing or printing the bondable conductor paste and the viscosity tends to fluctuate, making it difficult to form the conductor wiring and the bonded structure evenly and with high accuracy. is there.
  • the compound (C) represented by the formula (I) preferably volatilizes rapidly at the time of sintering, and the square root (SP value; (cal / cm 3 ) 1/2 ) of the aggregation energy density is, for example, 11. It is 0.0 or less, preferably 10.0 or less, and more preferably 9.0 or less.
  • the SP value (at 25 ° C.) can be calculated by the Fedors formula.
  • R a in the formula (I) is a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms
  • R b is a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.
  • X is a propylene group and n is 2 are dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monopropyl ether, dipropylene glycol monoisopropyl ether, and dipropylene.
  • Dipropylene glycol mono-C 1-6 alkyl ethers such as glycol monobutyl ether, dipropylene glycol monoisobutyl ether, dipropylene glycol monopentyl ether, dipropylene glycol monoisopentyl ether; dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol methyl ethyl ether, Dipropylene glycol methylpropyl ether, dipropylene glycol methylbutyl ether, dipropylene glycol methyl isobutyl ether, dipropylene glycol methylpentyl ether, dipropylene glycol methylisopentyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol ethylpropyl ether, dipropylene Glycolethylbutyl ether, dipropylene glycol ethylisobutyl ether, dipropylene glycol ethylpenty
  • R a in the formula (I) is a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms
  • R b is a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.
  • Specific examples of the case where X is a propylene group and n is 3 are tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monoethyl ether, tripropylene glycol monopropyl ether, tripropylene glycol monoisopropyl ether, and tripropylene.
  • Tripropylene glycol mono-C 1-6 alkyl ethers such as glycol monobutyl ether, tripropylene glycol monoisobutyl ether, tripropylene glycol monopentyl ether, tripropylene glycol monoisopentyl ether; tripropylene glycol dimethyl ether, tripropylene glycol methyl ethyl ether, Tripropylene glycol methylpropyl ether, tripropylene glycol methylbutyl ether, tripropylene glycol methylisobutyl ether, tripropylene glycol methylpentyl ether, tripropylene glycol methylisopentyl ether, tripropylene glycol diethyl ether, tripropylene glycol ethylpropyl ether, tripropylene Glycolethylbutyl ether, tripropylene glycol ethylisobutyl ether, tripropylene glycol ethylpenty
  • R a in (I) is a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms
  • R b is a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms
  • X is an ethylene group and n is an integer of 1 to 3
  • ethylene glycol monomethyl ether ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monoisopropyl ether
  • Ethylene glycol mono-C 1-6 alkyl ethers such as ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monoisobutyl ether, ethylene glycol monohexyl ether; ethylene glycol methyl-n-propyl ether, ethylene glycol methyl-n-butyl ether, ethylene glycol methyl isoamyl ether
  • ethylene glycol di C 1-6 alkyl ether diethylene glycol monomethyl ether
  • R a is an acyl group in the formula (I)
  • R b is selected from hydrogen atom, or a hydrocarbon group and an acyl group having 1 to 6 carbon atoms
  • X is an ethylene group or a propylene group
  • n is an integer of 1 to 3
  • ethylene glycol monomethyl ether acetate ethylene glycol monobutyl ether acetate, and propylene glycol monomethyl.
  • C 2-3 alkylene glycol C 1-6 alkyl ether C 1-10 alkyl ester such as ether acetate; di C 2 such as diethylene glycol-n-butyl ether acetate, diethylene glycol ethyl ether acetate, diethylene glycol butyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate -3 alkylene glycol C 1-6 alkyl ether C 1-10 alkyl ester; triethylene glycol-n-butyl ether acetate, triethylene glycol ethyl ether acetate, triethylene glycol butyl ether acetate, tripropylene glycol methyl ether acetate, etc.
  • Tri C 2 -3 alkylene glycol C 1-6 alkyl ether C 1-10 alkyl ester; C 2-3 alkylene glycol di C 1-10 alkyl ester such as propylene glycol diacetate and the like (including isomers).
  • the compound (C) represented by the formula (I) as a specific example when Ra , R b , X, n in the formula (I) are other than the above, the compound corresponding to the above example can be mentioned. it can.
  • the solvent may be used alone or in combination of two or more. From these, it is preferable to appropriately select the type and content so as to meet the above conditions.
  • the bonding conductor paste of the present disclosure may contain one or more other solvents (for example, ethyl lactate acetate, tetrahydrofurfuryl acetate, tetrahydrofurfuryl alcohol, ethylene glycol, etc.) in addition to the above.
  • the content of these solvents is preferably, for example, 30% by weight or less, more preferably 20% by weight or less, still more preferably 15% by weight or less, of the total amount of the solvent contained in the adhesive conductor paste of the present disclosure. It is even more preferably 10% by weight or less, even more preferably 5% by weight or less, and even more preferably 1% by weight or less.
  • the ratio of the content of the compound (C) represented by the formula (I) to the total amount of the solvent is, for example, 70 to 100% by weight, and the lower limit is preferably 80% by weight, more preferably 85% by weight. %, More preferably 90% by weight, even more preferably 95% by weight, even more preferably 99% by weight.
  • the content of the compound (C) represented by the formula (I) is, for example, 1 to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the conductive particles (total of silver particles (A) and silver particles (B)). It is preferably 2 to 30 parts by weight, more preferably 3 to 30 parts by weight.
  • the adhesive conductor paste of the present disclosure includes silver particles (A) having an average particle diameter of 1 nm or more and less than 100 nm and silver particles (B) having an average particle diameter of 0.1 ⁇ m or more and 10 ⁇ m or less as conductive particles.
  • the silver particles (A) contained in the adhesive conductor paste of the present disclosure have an average particle diameter of 1 nm or more and less than 100 nm, and the surface is coated with a protective agent containing an amine.
  • the average particle diameter (median diameter) of the silver particles (A) is 0.1 nm or more and less than 100 nm as described above, preferably 0.5 to 90 nm, more preferably 1 to 80 nm, and further preferably 1 to 75 nm. ..
  • the particle size is obtained as an average particle size (median size) converted into a volume distribution on the assumption that the particles have an aspect ratio of 1 based on the particle size obtained by observation with a transmission electron microscope (TEM).
  • TEM transmission electron microscope
  • the proportion of silver particles (A) in the total silver particles contained in the adhesive conductor paste of the present disclosure is, for example, 50% by weight or less, preferably 45% by weight or less, and more preferably 40% by weight or less.
  • the proportion of the silver particles (A) is, for example, 1% by weight or more, preferably 3% by weight or more, and more preferably 4% by weight or more.
  • the content of the silver particles (A) is such that a sintered body having good conductivity can be obtained and the dispersion stability is excellent (that is, high dispersibility can be stably maintained for a long period of time. (The increase in viscosity can be suppressed), printability is improved, and high bonding strength can be formed between the substrate and the electronic element by quickly sintering even in an inert gas atmosphere such as nitrogen.
  • the total amount of the adhesive conductor paste is, for example, 1 to 45% by weight, preferably 2 to 43% by weight, and more preferably 3 to 40% by weight.
  • the silver particles (A) mix an amine and a silver compound to generate the silver compound and a complex compound containing the amine. It can be produced by heating and thermally decomposing the complex compound.
  • the method for producing silver particles (A) mainly includes a step of producing a complex compound and a step of thermally decomposing the complex compound.
  • the silver compound a silver compound that is easily decomposed by heating to produce metallic silver.
  • silver compounds include silver carboxylate such as silver formate, silver acetate, silver oxalate, silver malonate, silver benzoate, and silver phthalate; silver fluoride, silver chloride, silver bromide, silver iodide, etc.
  • Silver halide; silver sulfate, silver nitrate, silver carbonate and the like can be used, but silver oxalate is preferably used from the viewpoint of easily producing metallic silver by decomposition and less likely to generate impurities other than silver.
  • Silver oxalate is advantageous in that it has a high silver content, metallic silver can be obtained as it is by thermal decomposition without the need for a reducing agent, and impurities derived from the reducing agent are unlikely to remain.
  • the above silver compound may be used in combination with a metal compound other than silver.
  • a metal compound that is easily decomposed by heating to produce a target metal is used.
  • a metal salt corresponding to the above silver compound for example, a metal carboxylate; a metal halide; a metal salt compound such as a metal sulfate, a metal nitrate, a metal carbonate, etc. is used. Can be done.
  • metal oxalates are preferably used from the viewpoint that metals are easily generated by decomposition and impurities other than metals are unlikely to be generated.
  • the silver composite is composed of silver and one or more other metals, and examples thereof include Au-Ag, Ag-Cu, Au-Ag-Cu, and Au-Ag-Pd. Silver accounts for at least 20% by weight, usually at least 50% by weight, for example at least 80% by weight, based on the total metal.
  • the amine and the silver compound in the step of producing the complex compound, may be mixed without a solvent, but the complex containing the silver compound and the amine is mixed in the presence of an alcohol solvent having 3 or more carbon atoms. It is preferable to generate a compound.
  • an alcohol having 3 to 10 carbon atoms preferably an alcohol having 4 to 6 carbon atoms can be used.
  • n-propanol (boiling point bp: 97 ° C.), isopropanol (bp: 82 ° C.), n-butanol (bp: 117 ° C.), isobutanol (bp: 107.89 ° C.), sec-butanol (bp: 99 ° C.).
  • n-butanol, isobutanol, sec- are considered in consideration of the fact that the temperature of the subsequent thermal decomposition step of the complex compound can be raised and the convenience in the post-treatment after the formation of the silver particles (A).
  • Butanols and hexanols selected from butanol and tert-butanol are preferable. In particular, n-butanol and n-hexanol are preferable.
  • the alcohol solvent is, for example, 120 parts by weight or more, preferably 130 parts by weight or more, more preferably 150 parts by weight, based on 100 parts by weight of the silver compound for sufficient stirring operation of the silver compound-alcohol slurry. It is good to use the above.
  • the upper limit of the amount of the alcohol solvent is not particularly limited, and may be, for example, 1000 parts by weight or less, preferably 800 parts by weight or less, and more preferably 500 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the silver compound. ..
  • the amine and the silver compound can be mixed in the presence of an alcohol solvent having 3 or more carbon atoms in several forms.
  • a solid silver compound and an alcohol solvent are mixed to obtain a silver compound-alcohol slurry [slurry forming step], and then amine is added to the obtained silver compound-alcohol slurry.
  • the slurry represents a mixture in which a solid silver compound is dispersed in an alcohol solvent. It is advisable to charge a solid silver compound in the reaction vessel and add an alcohol solvent to the solid silver compound to obtain a slurry.
  • the amine and the alcohol solvent may be charged into the reaction vessel, and the silver compound-alcohol slurry may be added thereto.
  • an aliphatic hydrocarbon monoamine (1) having a total number of carbons of 6 or more of hydrocarbon groups is contained, and further, with an aliphatic hydrocarbon group.
  • At least one of the aliphatic hydrocarbon diamines (3) having a total number of carbon atoms of 8 or less may be used.
  • Each of these components is usually used as an amine mixed solution, but the mixing of the amine with the silver compound (or its alcohol slurry) does not necessarily have to be carried out using the mixed amines.
  • the amines may be sequentially added to the silver compound (or its alcohol slurry).
  • aliphatic hydrocarbon monoamine is a compound consisting of 1 to 3 monovalent aliphatic hydrocarbon groups and one amino group.
  • a “hydrocarbon group” is a group consisting only of carbon and hydrogen.
  • the aliphatic hydrocarbon monoamine (1) and the aliphatic hydrocarbon monoamine (2) have heteroatoms (atoms other than carbon and hydrogen) such as oxygen atom or nitrogen atom in the hydrocarbon group, if necessary. ) May have a substituent. This nitrogen atom does not form an amino group.
  • the "aliphatic hydrocarbon diamine” refers to a divalent aliphatic hydrocarbon group (alkylene group), two amino groups intervening the aliphatic hydrocarbon group, and in some cases, hydrogen of the amino group. It is a compound composed of an aliphatic hydrocarbon group (alkyl group) in which an atom is substituted. However, the aliphatic hydrocarbon diamine (3) may have a substituent containing a hetero atom (an atom other than carbon and hydrogen) such as an oxygen atom or a nitrogen atom in the hydrocarbon group, if necessary. Good. This nitrogen atom does not form an amino group.
  • the aliphatic hydrocarbon monoamine (1) having a total of 6 or more carbon atoms has a high function as a protective agent (stabilizer) for the surface of silver particles produced by the hydrocarbon chain.
  • the aliphatic hydrocarbon monoamine (1) includes a primary amine, a secondary amine, and a tertiary amine.
  • the primary amine include hexylamine, heptylamine, octylamine, nonylamine, decylamine, undecylamine, dodecylamine, tridecylamine, tetradecylamine, pentadecylamine, hexadecylamine, heptadecylamine and octadecyl.
  • saturated aliphatic hydrocarbon monoamines having a linear aliphatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms such as amines (that is, alkyl monoamines).
  • saturated aliphatic hydrocarbon monoamine in addition to the above-mentioned linear aliphatic monoamine, branches having 6 to 16 carbon atoms, preferably 6 to 8 carbon atoms such as isohexylamine, 2-ethylhexylamine, and tert-octylamine. Examples thereof include branched aliphatic hydrocarbon monoamines having an aliphatic hydrocarbon group. Also, cyclohexylamine can be mentioned. Further, unsaturated aliphatic hydrocarbon monoamines such as oleylamine (that is, alkenyl monoamines) can be mentioned.
  • oleylamine that is, alkenyl monoamines
  • the secondary amine as a linear amine, N, N-dipropylamine, N, N-dibutylamine, N, N-dipentylamine, N, N-dihexylamine, N, N-dipeptylamine, N , N-dioctylamine, N, N-dinonylamine, N, N-didecylamine, N, N-diundecylamine, N, N-didodecylamine, N-propyl-N-butylamine and other dialkyl monoamines.
  • the tertiary amine include tributylamine and trihexylamine.
  • examples of branched amines include secondary amines such as N, N-diisohexylamine and N, N-di (2-ethylhexyl) amine.
  • examples thereof include tertiary amines such as triisohexylamine and tri (2-ethylhexyl) amine.
  • N, N-di (2-ethylhexyl) amine the 2-ethylhexyl group has 8 carbon atoms, but the total number of carbon atoms contained in the amine compound is 16.
  • tri (2-ethylhexyl) amine the total number of carbons contained in the amine compound is 24.
  • a saturated aliphatic hydrocarbon monoamine having 6 or more carbon atoms is preferable.
  • the number of carbon atoms is set to 6 or more, when the amino group is adsorbed on the surface of the silver particles, the distance from the other silver particles can be secured, so that the action of preventing the agglomeration of the silver particles is improved.
  • the upper limit of the number of carbon atoms is not particularly defined, a saturated aliphatic monoamine having up to 18 carbon atoms is usually preferable in consideration of availability, ease of removal during calcination, and the like.
  • alkyl monoamines having 6 to 12 carbon atoms such as hexylamine, heptylamine, octylamine, nonylamine, decylamine, undecylamine and dodecylamine are preferably used.
  • alkyl monoamines having 6 to 12 carbon atoms such as hexylamine, heptylamine, octylamine, nonylamine, decylamine, undecylamine and dodecylamine are preferably used.
  • linear aliphatic hydrocarbon monoamines only one type may be used, or two or more types may be used in combination.
  • the steric factor of the branched aliphatic hydrocarbon group causes the silver particles to move onto the surface of the silver particles.
  • a larger area of the silver particle surface can be covered with a smaller amount of adhesion. Therefore, it is possible to obtain appropriate stabilization of the silver particles (A) with a smaller amount of adhesion on the surface of the silver particles. Since the amount of protective agent (organic stabilizer) to be removed at the time of firing is small, the organic stabilizer can be efficiently removed even when firing at a low temperature of 200 ° C. or lower, and the sintering of silver particles proceeds sufficiently. To do.
  • branched alkyl monoamine compound having 5 to 6 carbon atoms in the main chain such as isohexylamine and 2-ethylhexylamine is preferable.
  • the number of carbon atoms in the main chain is 5 to 6, it is easy to obtain appropriate stabilization of the silver particles (A).
  • the branched aliphatic monoamine only one type may be used, or two or more types may be used in combination.
  • the linear aliphatic hydrocarbon monoamine and the branched aliphatic hydrocarbon monoamine may be used in combination in order to obtain the respective advantages.
  • the aliphatic hydrocarbon monoamine (2) having 5 or less carbon atoms has a shorter carbon chain length than the aliphatic monoamine (1) having 6 or more carbon atoms, and therefore has a low function as a protective agent (stabilizer) by itself.
  • the polarity is higher than that of the aliphatic monoamine (1) and the coordinating ability of the silver compound to silver is high, so that it is effective in promoting complex formation.
  • the carbon chain length is short, it can be removed from the surface of silver particles in a short time of 30 minutes or less or 20 minutes or less even in low-temperature firing at 120 ° C. or lower or 100 ° C. or lower, for example. It is effective for low-temperature firing of silver particles (A).
  • Examples of the aliphatic hydrocarbon monoamine (2) include ethylamine, n-propylamine, isopropylamine, n-butylamine, isobutylamine, sec-butylamine, tert-butylamine, pentylamine, isopentylamine, tert-pentylamine and the like.
  • Saturated aliphatic hydrocarbon monoamines having 2 to 5 carbon atoms that is, alkyl monoamines
  • dialkyl monoamines such as N, N-dimethylamine, N, N-diethylamine, N-methyl-N-propylamine and N-ethyl-N-propylamine can be mentioned.
  • n-butylamine, isobutylamine, sec-butylamine, tert-butylamine, pentylamine, isopentylamine, tert-pentylamine and the like are preferable, and the above-mentioned butylamines are more preferable.
  • the aliphatic hydrocarbon monoamines (2) only one type may be used, or two or more types may be used in combination.
  • Aliphatic hydrocarbon diamine (3) having a total carbon number of 8 or less has a high coordinating ability of a silver compound to silver and is effective in promoting complex formation.
  • Aliphatic hydrocarbon diamines are generally more polar than aliphatic hydrocarbon monoamines and have a higher ability to coordinate silver compounds to silver. Further, the aliphatic hydrocarbon diamine (3) has an effect of accelerating the thermal decomposition at a lower temperature and in a short time in the thermal decomposition step of the complex compound, and can more efficiently produce silver nanoparticles. .. Further, since the protective film of silver particles containing the aliphatic diamine (3) has high polarity, the dispersion stability of silver particles in a dispersion medium containing a highly polar solvent is improved.
  • the surface of silver particles can be calcined at a low temperature of 120 ° C. or lower or 100 ° C. or lower in a short time of 30 minutes or less or 20 minutes or less. Since it can be removed from the silver particles (A), it is effective for firing the obtained silver particles (A) at a low temperature and for a short time.
  • the aliphatic hydrocarbon diamine (3) is not particularly limited, but is ethylenediamine, N, N-dimethylethylenediamine, N, N'-dimethylethylenediamine, N, N-diethylethylenediamine, N, N'-diethylethylenediamine, 1 , 3-Propane diamine, 2,2-dimethyl-1,3-propanediamine, N, N-dimethyl-1,3-propanediamine, N, N'-dimethyl-1,3-propanediamine, N, N- Diethyl-1,3-propanediamine, N, N'-diethyl-1,3-propanediamine, 1,4-butanediamine, N, N-dimethyl-1,4-butanediamine, N, N'-dimethyl- 1,4-Butandiamine, N, N-diethyl-1,4-butanediamine, N, N'-diethyl-1,4-butanediamine, 1,5-pentanediamine, 1,5-d
  • alkylenediamines having a total of 8 or less carbon atoms in which at least one of the two amino groups is a primary amino group or a secondary amino group, and the silver compound has a high coordinating ability to silver. Effective in promoting complex formation.
  • One of two amino groups such as -1,4-butanediamine, N, N-diethyl-1,4-butanediamine, N, N-dimethyl-1,6-hexanediamine is a primary amino group
  • An alkylenediamine having a total number of carbon atoms of 8 or less, which is -NH 2 ) and the other one is a tertiary amino group (-NR 1 R 2 ) is preferable.
  • Preferred alkylenediamines are represented by the following structural formulas.
  • R represents a divalent alkylene group
  • R 1 and R 2 may be the same or different, and represent an alkyl group, where the total number of carbon atoms of R, R 1 and R 2 is 8. It is as follows.
  • the alkylene group usually does not contain a hetero atom (atom other than carbon and hydrogen) such as an oxygen atom or a nitrogen atom, but may have a substituent containing the hetero atom, if necessary.
  • the alkyl group usually does not contain a hetero atom such as an oxygen atom or a nitrogen atom, but may have a substituent containing the hetero atom, if necessary.
  • the coordinating ability of the silver compound to silver is high, which is advantageous for complex formation, and the other one is a tertiary amino group. Since the tertiary amino group has a poor coordinating ability to the silver atom, it is possible to prevent the formed complex from forming a complicated network structure.
  • a high temperature may be required for the thermal decomposition process of the complex.
  • diamines having a total number of carbons of 6 or less are preferable, and diamines having a total number of carbons of 5 or less are more preferable, from the viewpoint that they can be removed from the surface of silver particles in a short time even in low-temperature firing.
  • the aliphatic hydrocarbon diamines (3) only one type may be used, or two or more types may be used in combination.
  • the ratio of use with either one or both is not particularly limited, but is, for example, based on all the amines [(1) + (2) + (3)].
  • the branched aliphatic monoamine 10 mol so as to satisfy the aliphatic monoamine (1): 5 mol% to 65 mol%. It may be% to 50 mol%.
  • the ratio of their use is not particularly limited, but the total amines are used. Based on [(1) + (2) + (3)], for example, Aliphatic monoamine (1): 5 mol% to 65 mol% Aliphatic monoamine (2): 5 mol% to 70 mol% Aliphatic diamine (3): 5 mol% to 50 mol% It is good to say.
  • the branched aliphatic monoamine is used as the component (1), the branched aliphatic monoamine: 10 mol so as to satisfy the aliphatic monoamine (1): 5 mol% to 65 mol%. It may be% to 50 mol%.
  • the lower limit of the content of the component (1) is preferably 10 mol% or more, more preferably 20 mol% or more.
  • the upper limit of the content of the component (1) is preferably 65 mol% or less, more preferably 60 mol% or less.
  • the content of the aliphatic monoamine (2) By setting the content of the aliphatic monoamine (2) to 5 mol% to 70 mol%, it is easy to obtain a complex formation promoting effect, and it can contribute to low-temperature and short-time firing by itself, and further, during firing.
  • the action of assisting the removal of the aliphatic diamine (3) from the surface of silver particles is likely to be obtained. If the content of the component (2) is less than 5 mol%, the effect of promoting complex formation may be weak, or the component (3) may be difficult to be removed from the surface of the silver particles during firing. On the other hand, when the content of the component (2) exceeds 70 mol%, the complex formation promoting effect can be obtained, but the content of the aliphatic monoamine (1) is relatively small, and the silver particles produced.
  • the upper limit of the content of the component (2) is preferably 65 mol% or less, more preferably 60 mol% or less.
  • the complex formation promoting effect and the thermal decomposition promoting effect of the complex can be easily obtained, and the aliphatic diamine (3) is contained. Since the protective film of silver particles has high polarity, the dispersion stability of silver particles in a dispersion medium containing a highly polar solvent is improved. If the content of the component (3) is less than 5 mol%, the complex formation promoting effect and the thermal decomposition promoting effect of the complex may be weak. On the other hand, when the content of the component (3) exceeds 50 mol%, the complex formation promoting effect and the thermal decomposition promoting effect of the complex can be obtained, but the content of the aliphatic monoamine (1) is relatively small.
  • the upper limit of the content of the component (3) is preferably 45 mol% or less, more preferably 40 mol% or less.
  • the proportion of each of the above components is not particularly limited. In consideration of the action, for example, based on all the amines [(1) + (2)].
  • Aliphatic monoamine (1) 5 mol% to 65 mol%
  • Aliphatic monoamine (2) 35 mol% to 95 mol% It is good to say.
  • the branched aliphatic monoamine 10 mol so as to satisfy the aliphatic monoamine (1): 5 mol% to 65 mol%. It may be% to 50 mol%.
  • the ratio of their use is not particularly limited, but of each of the above components. In consideration of the action, for example, based on all the amines [(1) + (3)].
  • Aliphatic monoamine (1) 5 mol% to 65 mol%
  • Aliphatic diamine (3) 35 mol% to 95 mol% It is good to say.
  • the branched aliphatic monoamine 10 mol so as to satisfy the aliphatic monoamine (1): 5 mol% to 65 mol%. It may be% to 50 mol%.
  • the usage ratios of the above-mentioned aliphatic monoamine (1), the above-mentioned aliphatic monoamine (2) and / or the above-mentioned aliphatic diamine (3) are all examples, and various changes can be made.
  • the total number of carbons is 6 according to the ratio of their use.
  • the amount of the above aliphatic monoamine (1) adhering to the surface of the silver particles can be small. Therefore, even in the case of firing at a low temperature for a short time, these aliphatic amine compounds are easily removed from the surface of the silver particles, and the sintering of the silver particles (A) proceeds sufficiently.
  • the total amount of the aliphatic hydrocarbon amine is not particularly limited, but is based on 1 mol of the silver atom of the silver compound as a raw material. It is preferably about 1 to 50 mol.
  • the total amount of the amine components [(1), (2) and / or (3)] is less than 1 mol with respect to 1 mol of the silver atom, it is converted into a complex compound in the step of forming the complex compound.
  • a silver compound that is not thermally decomposed may remain, and in the subsequent thermal decomposition step, the uniformity of the silver particles may be impaired and the particles may become enlarged, or the silver compound may remain without thermal decomposition.
  • the total amount of the amine components may be, for example, about 2 mol or more.
  • the total amount of the amine components shall be about 2 to 50 mol.
  • the lower limit of the total amount of the amine components is preferably 2 mol or more with respect to 1 mol of the silver atom of the silver compound, and 6 More preferably, it is in moles or more.
  • the silver oxalate molecule contains two silver atoms.
  • an aliphatic carboxylic acid (4) may be further used as a stabilizer in order to further improve the dispersibility of the silver particles (A) in the dispersion medium.
  • the aliphatic carboxylic acid (4) is preferably used together with the amines, and can be used by being contained in the amine mixed solution.
  • aliphatic carboxylic acid (4) a saturated or unsaturated aliphatic carboxylic acid is used.
  • Saturated aliphatic monocarboxylic acids having 4 or more carbon atoms such as icosanoic acid and eicosenoic acid
  • unsaturated aliphatic monocarboxylic acids having 8 or more carbon atoms such as oleic acid, elaidic acid, linoleic acid and palmitoleic acid can be mentioned.
  • saturated or unsaturated aliphatic monocarboxylic acids having 8 to 18 carbon atoms are preferable.
  • the number of carbon atoms By setting the number of carbon atoms to 8 or more, when the carboxylic acid group is adsorbed on the surface of the silver particles, the distance from the other silver particles can be secured, so that the action of preventing the agglomeration of the silver particles is improved.
  • Saturated or unsaturated aliphatic monocarboxylic acid compounds having up to 18 carbon atoms are usually preferable in consideration of availability, ease of removal during firing, and the like.
  • octanoic acid, oleic acid and the like are preferably used.
  • the aliphatic carboxylic acids (4) only one type may be used, or two or more types may be used in combination.
  • the aliphatic carboxylic acid (4) is preferably used in an amount of, for example, about 0.05 to 10 mol, preferably 0.1 to 5 mol, based on 1 mol of the silver atom of the silver compound as a raw material. More preferably, 0.5 to 2 mol is used.
  • the amount of the component (4) is less than 0.05 mol with respect to 1 mol of the silver atom, the effect of improving the stability in the dispersed state by adding the component (4) is weak.
  • the amount of the component (4) reaches 10 mol, the effect of improving the stability in the dispersed state is saturated, and it becomes difficult to remove the component (4) by low-temperature firing.
  • the aliphatic carboxylic acid (4) may not be used.
  • a mixed solution containing each aliphatic hydrocarbon amine component usually used; for example, any of the aliphatic monoamine (1) and further, the aliphatic monoamine (2) and the aliphatic diamine (3).
  • An amine mixed solution containing one or both is prepared [Amine mixed solution preparation step].
  • the amine mixed solution can be prepared by stirring each amine (1), (2) and / or (3) component, and the carboxylic acid (4) component when used, at a predetermined ratio at room temperature. ..
  • An aliphatic hydrocarbon amine mixed solution containing each amine component is added to the silver compound (or its alcohol slurry) to produce the silver compound and the complex compound containing the amine [step of producing the complex compound].
  • Each amine component may be sequentially added to the silver compound (or its alcohol slurry), not as a mixed solution.
  • Mixing may be performed at room temperature. “Room temperature” is intended to be 5 to 40 ° C. depending on the ambient temperature. For example, 5 to 35 ° C (JIS Z 8703), 10 to 35 ° C, and 20 to 30 ° C are intended. It may be at normal room temperature (eg, in the range of 15-30 ° C).
  • Mixing at this time is carried out with stirring, or since the coordination reaction of amines to the silver compound is accompanied by heat generation, it is appropriately cooled and stirred so as to be within the above temperature range, for example, to about 5 to 15 ° C. You may go while doing it.
  • stirring and cooling can be performed satisfactorily. The excess of alcohol and amines acts as a reaction medium.
  • a liquid aliphatic amine component is first charged in a reaction vessel, and a powdered silver compound (silver oxalate) is charged therein.
  • the liquid aliphatic amine component is a flammable substance, and it is dangerous to put the powdered silver compound into it. That is, there is a risk of ignition due to static electricity due to the addition of powdered silver compound. In addition, there is a risk that the exothermic reaction will explode due to the local complex formation reaction due to the addition of the powdered silver compound. Such a danger can be avoided by mixing the silver compound and the amine mixture in the presence of the alcohol. Therefore, it is safe even in scaled-up industrial manufacturing.
  • the end point of the complex compound formation reaction can be detected by detecting the end of the color change of the reaction mixture by an appropriate spectroscopic method or the like. ..
  • the complex compound formed by silver oxalate is generally colorless (observed as white visually), but even in such a case, the complex compound is based on a morphological change such as a change in the viscosity of the reaction mixture.
  • the generation state can be detected.
  • the reaction time for producing a complex compound is about 30 minutes to 3 hours. In this way, a silver-amine complex is obtained in a medium mainly composed of alcohol and amines.
  • silver particles (A) are formed without using a reducing agent.
  • an appropriate reducing agent may be used as long as the effects of the present disclosure are not impaired.
  • amines control the mode in which atomic metals generated by decomposition of a metal compound aggregate to form fine particles, and on the surface of the formed metal fine particles.
  • a film By forming a film, it plays a role of preventing reaggregation between fine particles. That is, by heating a complex compound of a metal compound and an amine, the metal compound is thermally decomposed to form an atomic metal while maintaining the coordination bond of the amine to the metal atom, and then the amine is coordinated. It is considered that the metal atoms formed are aggregated to form metal nanoparticles coated with an amine protective film.
  • the thermal decomposition at this time is preferably carried out while stirring the complex compound in a reaction medium mainly composed of alcohol (when used) and amines.
  • the thermal decomposition is preferably carried out within the temperature range in which the coated silver nanoparticles are generated, but is preferably carried out at a temperature as low as possible within the above temperature range from the viewpoint of preventing the desorption of amine from the surface of the silver particles.
  • a silver oxalate complex compound it can be, for example, about 80 ° C. to 120 ° C., preferably about 95 ° C. to 115 ° C., and more specifically about 100 ° C. to 110 ° C.
  • the thermal decomposition of the complex compound is preferably carried out in an atmosphere of an inert gas such as argon, but the thermal decomposition can also be carried out in the atmosphere.
  • the complex compound By thermal decomposition of the complex compound, it becomes a suspension that exhibits a blue luster.
  • the desired stable silver particles (A) By removing excess amine and the like from this suspension, for example, precipitating silver nanoparticles and decanting / washing with an appropriate solvent (water or organic solvent), the desired stable silver particles (A) is obtained [post-treatment step of silver nanoparticles]. After the washing operation, it is dried to obtain the desired stable powder of silver particles (A).
  • wet silver nanoparticles (N) may be used to prepare the zygosity conductor paste.
  • organic solvent for decantation / cleaning operation.
  • organic solvent include aliphatic hydrocarbon solvents such as pentane, hexane, heptane, octane, nonane, decane, undecane, dodecane, tridecane and tetradecane; alicyclic hydrocarbon solvents such as cyclohexane; toluene, xylene, mesityrene and the like.
  • Aromatic hydrocarbon solvents such as; alcohol solvents such as methanol, ethanol, propanol, butanol, etc .; acetonitrile; and mixed solvents thereof may be used.
  • the compound represented by the formula (I) is used as an organic solvent for decantation / cleaning operation. (C) may be used. Further, after performing a decantation / cleaning operation using an organic solvent other than the compound (C) represented by the formula (I), the decantation is performed using the compound (C) represented by the formula (I). -A cleaning operation may be performed. In that case, in order to avoid mixing of an organic solvent other than the compound (C) represented by the formula (I), the compound (C) represented by the formula (I) is used a plurality of times (preferably 2 to 4 times). ) It is preferable to perform decantation / cleaning operations.
  • the silver particles (A) can be easily separated from the reaction system, and the silver particles (A) have high purity. Silver particles (A) are obtained.
  • an appropriate reducing agent may be used as long as the effects of the present disclosure are not impaired.
  • silver particles (A) whose surface is coated with the protective agent used are formed.
  • the protective agent contains, for example, the aliphatic monoamine (1) and further contains one or both of the aliphatic monoamine (2) and the aliphatic diamine (3), and is further used. Contains the carboxylic acid (4). Their content in the protective agent is equivalent to their use in the amine mixture. The same applies to the silver particles (A).
  • silver particles (A) As the silver particles (A), a commercially available product may be used, for example, Low Viscosity-Type (silver concentration 30 to 50% by mass) of silver nanoink “Picosil (registered trademark)” manufactured by Daicel Corporation. It can also be used.
  • Low Viscosity-Type silver concentration 30 to 50% by mass
  • Picosil registered trademark
  • the average particle diameter (median diameter) of the silver particles (B) is 0.1 to 10 ⁇ m, preferably 0.1 to 9 ⁇ m, and more preferably 0.3 to 8 ⁇ m.
  • the average particle diameter (median diameter) of the silver particles (B) can be measured by a laser diffraction / scattering method.
  • the specific surface area of the silver particles (B) is, for example, 0.5 to 4.0 m 2 / g, preferably 0.6 to 3.0 m 2 / g, and more preferably 0.7 to 2.5 m 2 / g. , More preferably 0.8 to 2.5 m 2 / g.
  • the specific surface area of the silver particles (B) can be measured by the BET method.
  • the proportion of silver particles (B) among the total silver particles contained in the adhesive conductor paste of the present disclosure is, for example, 40% by weight or more, preferably 50% by weight or more, and more preferably 60% by weight or more. It is preferable that the silver particles (B) are contained in the above range because they can be rapidly sintered even in an inert gas atmosphere such as nitrogen to form a high bonding strength between the substrate and the electronic element. On the other hand, the proportion of the silver particles (B) is, for example, 99% by weight or less, preferably 97% by weight or less, and more preferably 95% by weight or less.
  • the combination of silver particles (groups) having different average particle diameters forms a conductor wiring or a bonded structure having an even lower electric resistance value and excellent electrical characteristics. It is preferable that the silver particles (group) having an average particle diameter of 0.1 to 1.5 ⁇ m (more preferably 0.1 to 0.6 ⁇ m) and an average particle diameter of more than 1.5 ⁇ m and 8 ⁇ m or less. Silver particles (group) of (more preferably 5 to 8 ⁇ m) are, for example, 70/30 to 30/70, preferably 40/60 to 60/40, more preferably 45/55 to 55/45 (former / latter:: It is preferable to use them in combination at a ratio of (weight ratio).
  • the content of the silver particles (B) is such that a sintered body having good conductivity can be obtained and the dispersion stability is excellent (that is, high dispersibility can be stably maintained for a long period of time.
  • the total amount of the bonding conductor paste For example, it is 20 to 95% by weight, preferably 30 to 90% by weight, and more preferably 40 to 90% by weight.
  • Examples of the shape of the silver particles (B) include a spherical shape, a flat shape, a polyhedron, and the like. Conductive particles having different shapes may be used in combination, and only conductive particles having the same shape are used. Is also good.
  • silver particles (B) a commercially available product may be used, for example, trade name "AgC-239” (average particle diameter (median diameter) 6.0 ⁇ m, manufactured by Fukuda Metal Foil Powder Industry Co., Ltd.), product.
  • the name "S211A-10” average particle diameter (median diameter) 0.54 ⁇ m, manufactured by Daiken Kagaku Kogyo Co., Ltd. can be used.
  • the adhesive conductor paste of the present disclosure may contain conductive particles other than silver particles (A) and silver particles (B) (hereinafter, may be referred to as "other conductive particles").
  • the content of silver particles is, for example, 75% by weight or more, preferably 80% by weight or more, more preferably 85% by weight or more, still more preferably 90% by weight or more, based on the total amount of conductive particles contained in the adhesive conductor paste of the present disclosure. Is.
  • the upper limit of the content of silver particles is 100% by weight.
  • the content of the other conductive particles is, for example, 25% by weight or less, preferably 20% by weight or less, more preferably 15% by weight or less, still more preferably 15% by weight or less, of the total amount of the conductive particles contained in the adhesive conductor paste of the present disclosure. It is 10% by weight or less, and even more preferably 5% by weight or less.
  • a conductor wiring or a joint structure having particularly excellent electrical characteristics can be formed.
  • the weight ratio of silver particles to the other conductive particles (the former: the latter) contained in the adhesive conductor paste of the present disclosure is, for example, 4: 1 to 30: 1, preferably 6. 1 to 25: 1, more preferably 8: 1 to 20: 1.
  • Examples of the other conductive particles include palladium, platinum, gold, copper, nickel and the like. These can be used alone or in combination of two or more.
  • the adhesive conductor paste of the present disclosure contains silver particles (A) as conductive particles, silver particles (B) and a compound represented by the formula (I) as a solvent.
  • the content of the solvent (total content when two or more kinds are contained) in the total amount (100% by weight) of the adhesive conductor paste of the present disclosure is, for example, 1 to 50% by weight, preferably 2 to 40% by weight, more preferably. It is 3 to 30% by weight.
  • the content of the compound (C) represented by the formula (I) in the total amount (100% by weight) of the adhesive conductor paste of the present disclosure is, for example, 1 to 50% by weight. %, preferably 2 to 40% by weight, more preferably 3 to 30% by weight.
  • the content of the conductive particles (total content when two or more kinds are contained) in the total amount (100% by weight) of the adhesive conductor paste of the present disclosure is, for example, 50 to 99% by weight, preferably 60 to 97% by weight. , More preferably 70 to 95% by weight.
  • the content of silver particles (total content of silver particles (A) and (B)) in the total amount (100% by weight) of the adhesive conductor paste of the present disclosure is, for example, 50 to 99.8% by weight, preferably 50 to 99.8% by weight. It is 60 to 97% by weight, more preferably 70 to 95% by weight.
  • the ratio of the total content of the compound (C) represented by the formula (I) and the silver particles to the total amount (100% by weight) of the adhesive conductor paste of the present disclosure is, for example, 70% by weight or more, preferably 80% by weight. As mentioned above, it is more preferably 90% by weight or more. Therefore, the content of the compound (C) represented by the formula (I) and the components other than the silver particles contained in the adhesive conductor paste of the present disclosure (total content when two or more kinds are contained) is, for example, 30 weight by weight. % Or less, preferably 20% by weight or less, more preferably 10% by weight or less.
  • the content of the organic component in the total amount (100% by weight) of the adhesive conductor paste of the present disclosure is, for example, 15% by weight or less, preferably 13% by weight or less.
  • the organic component includes the compound (C) represented by the formula (I), and may further contain other solvents and organic additives (adhesives, thickeners, binders, etc.).
  • the adhesive conductor paste of the present disclosure contains silver particles (A) and silver particles (B), it can be rapidly sintered even in an inert gas atmosphere such as nitrogen to bond the substrate and the electronic element with high bonding strength. It is possible to form connectable high-precision conductor wiring and joint structures.
  • the compound represented by the formula (I) contained in the adhesive conductor paste of the present disclosure has a slow volatilization rate at the printing temperature and a high volatilization rate at the sintering temperature. Therefore, if the adhesive conductor paste of the present disclosure is used, fluctuations in viscosity can be suppressed during printing, and printing can be performed evenly.
  • a sintered body having excellent bonding strength even at a low temperature (for example, 150 ° C. or higher and lower than 300 ° C., preferably 170 to 280 ° C.) in an atmosphere of an inert gas such as nitrogen.
  • the sintering time is, for example, 0.1 to 2 hours, preferably 0.5 to 1.5 hours), and deterioration or damage to the substrate in the sintering step can be prevented.
  • the adhesive conductor paste of the present disclosure is applied to a substrate by a printing method (specifically, dispenser printing method, mask printing, screen printing method, inkjet printing method, etc.), and then sintered to perform conductor wiring or bonding.
  • a structure can be formed.
  • the sintering temperature is, for example, 150 ° C. or higher and lower than 300 ° C., preferably 160 to 280 ° C.
  • the sintering time is, for example, 0.1 to 2 hours, preferably 0.5 to 1.5 hours.
  • the above-mentioned sintering can be performed in an inert gas atmosphere such as a nitrogen atmosphere or an argon atmosphere to prevent oxidation of copper, nickel substrates and wiring in the semiconductor module due to oxygen in the atmosphere. Is preferable.
  • the thickness of the conductor wiring or the bonding structure formed by the above method is, for example, 15 to 400 ⁇ m, preferably 20 to 250 ⁇ m, more preferably 40 to 40.
  • the range is 180 ⁇ m.
  • Examples of the substrate that forms the conductor wiring and the bonded structure include a ceramic substrate, a SiC substrate, a gallium nitride substrate, a metal substrate, a glass epoxy substrate, a BT resin substrate, a glass substrate, a resin substrate, and the like. Since the adhesive conductor paste of the present disclosure can be sintered at a low temperature as described above, a heat-sensitive substrate can also be used.
  • the shape of the conductor wiring and the joint structure is not particularly limited as long as it is a shape capable of connecting electronic elements.
  • the adhesive conductor paste of the present disclosure may contain an adhesive (for example, a polymer compound having a molecular weight of 10,000 or more such as an epoxy resin, a silicone resin, and an acrylic resin), but the content thereof is the adhesive conductor.
  • the total amount of the paste (100% by weight) is, for example, 10% by weight or less, preferably 5% by weight or less, more preferably 1% by weight or less, and further preferably 0.5% by weight or less. Therefore, according to the adhesive conductor paste of the present disclosure, the adhesive or the non-conductive component derived from the adhesive does not hinder the interaction between the conductive particles or between the conductive particles and the substrate, and is excellent in conductivity.
  • Conductor wiring and joint structure [Electrical resistance value is, for example, 10 ⁇ 10 -6 ⁇ ⁇ cm or less, preferably 9.0 ⁇ 10 -6 ⁇ ⁇ cm or less, more preferably 8.5 ⁇ 10 -6 ⁇ ⁇ cm. Cm or less, more preferably 7.0 ⁇ 10 -6 ⁇ ⁇ cm or less] can be formed.
  • the conductive particles are densely aggregated by sintering, and the conductive particles are melted together on the substrate.
  • excellent bonding strength can be exhibited.
  • the bonding strength to a silver-plated copper substrate JIS Z 3198 compliant is 10 MPa or more, preferably 20 MPa or more.
  • the adhesive conductor paste of the present disclosure has the above characteristics, it can be suitably used for the purpose of manufacturing electronic components (for example, power semiconductor module, LED module, etc.) by using, for example, a printing method.
  • electronic components for example, power semiconductor module, LED module, etc.
  • the average particle diameter (median diameter) of the silver particles (A) was measured by the following method.
  • the dispersion of silver particles (A) was observed with a transmission electron microscope (TEM).
  • the observation was 100,000 times and 4 fields of view x 50.
  • the observation location was a location where large and small particles coexist.
  • the number particle size distribution was obtained by analyzing the image. Using a known conversion formula for this number particle size distribution, the particles were converted to a volume particle size distribution on the assumption that the aspect ratio was 1.
  • the average particle size (median diameter) was determined from this particle size distribution.
  • the average particle diameter (median diameter) of the silver particles (B) is a value measured by a laser diffraction / scattering method.
  • the silver particles and solvent used are as follows.
  • Monoethyl ether Boiling 196 ° C, Diethylene glycol monoethyl ether acetate manufactured by Daicel Co., Ltd .: Boiling 218 ° C, Diethylene glycol monobutyl ether acetate manufactured by Daicel Co., Ltd .: Boiling 247 ° C, Diethylene glycol monobutyl ether acetate manufactured by Daicel Co., Ltd. : Boiling 192 ° C, Diethylene Glycol Monohexyl Ether Co., Ltd .: Boiling 205 ° C, Dipropylene Glycol Methyl Ether Acetate: Boiling 213 ° C, Daicel Co., Ltd.
  • Example 1 50 g of diethylene glycol monobutyl ether was added as a solvent (C1) to 10 g of nAg methanol slurry, and the mixture was separated into a solvent component and nAg wet powder by centrifugation. The solvent component was discarded, 50 g of diethylene glycol monobutyl ether was added to the wet powder and dispersed, and then the solvent component and nAg were separated into the wet powder by centrifugation. This operation was repeated 3 times to obtain nAg of diethylene glycol monobutyl ether wet powder. The wet powder was heated to 400 ° C. with TG-DTA, and the weight of diethylene glycol monobutyl ether contained was calculated from the weight loss.
  • the content of diethylene glycol monobutyl ether in the wet powder was 14.5 wt%.
  • Eight parts of propyl ether were mixed with a rotating and revolving mixer to obtain a bonding conductor paste containing nAg and AgC-239.
  • Examples 1-40 The adhesive conductor paste was prepared in the same manner as in Example 1 except that the blending amounts of the silver particles (A), the silver particles (B), the solvent (C1), and the solvent (C2) were as shown in Tables 1 to 6. Obtained.
  • Comparative Example 1 100 parts of AgC-239 and 10 parts of dipropylene glycol n-propyl ether as a solvent (C2) were mixed with a rotating revolution mixer to obtain a bonding conductor paste containing AgC-239.
  • Comparative Examples 2 to 7 A bonding conductor paste was obtained in the same manner as in Comparative Example 1 except that the blending amounts of the silver particles (B) and the solvent (C2) were as shown in Tables 1 to 6.
  • a coating film was formed by applying the adhesive conductor paste obtained in the above Examples and Comparative Examples to the substrate (1) by a metal mask printing method (coating film thickness: about 100 ⁇ m).
  • the printability of the metal mask was evaluated according to the following criteria. The results are shown in Tables 1 to 4. -The coating film does not exude from the substrate on any of the silver-plated base material, gold-plated base material, and silicon chip ... Good-Coated coating on any of the silver-plated base material, gold-plated base material, and silicon chip Exudes from the board ... defective
  • Example 1 to 31, Comparative Examples 1 to 4 under nitrogen atmosphere (Examples 1 to 31, Comparative Examples 1 to 4): 25 ° C ⁇ 250 ° C (heating rate: 15 ° C / min) Hold for 60 minutes at 250 ° C. in a nitrogen atmosphere (Example 40, Comparative Example 7) 25 ° C ⁇ 180 ° C (heating rate: 15 ° C / min) Hold for 60 minutes at 180 ° C
  • the bonding strength between the substrate (1) and the substrate (2) was measured under room temperature conditions and the following conditions using a die share tester SERIES4000 (manufactured by DAGE). The bondability was evaluated.
  • Tables 1 to 5 show the average values of the bonding strengths (MPa) when a silver-plated base material, a gold-plated base material (Examples 32 to 35, and Comparative Example 5 only) and a silicon chip are used as the substrate.
  • Test speed 50 ⁇ m / s
  • Test height 50 ⁇ m
  • the adhesive conductor paste of the example containing the silver particles (A) had good mask printability, whereas the mask printability of the adhesive conductor paste of the comparative example not containing the silver particles (A) was good. It was bad. Further, the bonding strength of the bonding conductor paste of the comparative example not containing the silver particles (A) is greatly reduced in a nitrogen atmosphere, whereas the bonding conductor of the example containing the silver particles (A) is greatly reduced. The paste showed good bonding strength even in a nitrogen atmosphere.
  • the bonding strength of the bonding conductor pastes of Example 40 and Comparative Example 7 was evaluated in the same manner as above, except that the sintering times (hold times) were set to 10 minutes, 20 minutes, 30 minutes, and 60 minutes. .. The results are shown in Table 6.
  • the bondable conductor paste of the example containing silver particles (A) showed good bonding strength even if the sintering time was shortened. On the other hand, when the sintering time of the adhesive conductor paste of the comparative example not containing the silver particles (A) was shortened, the bonding strength was significantly reduced even in the atmosphere.
  • the silver particles (A) are silver nanoparticles having a structure in which the surface is coated with a protective agent containing an amine.
  • Ra represents a monovalent group selected from hydrocarbon groups having 1 to 6 carbon atoms and an acyl group.
  • X represents a divalent group selected from hydrocarbon groups having 2 to 6 carbon atoms.
  • R b represents a hydrogen atom or a monovalent group selected from a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms and an acyl group.
  • R a and R b may be the same group.
  • N is 1 Indicates an integer of ⁇ 3)
  • the ratio of the silver particles (A) to the total silver particles contained in the adhesive conductor paste is 50% by weight or less (preferably 45% by weight or less, more preferably 40% by weight or less).
  • the ratio of the silver particles (A) to the total silver particles contained in the adhesive conductor paste is 1% by weight or more (preferably 3% by weight or more, more preferably 4% by weight or more).
  • the adhesive conductor paste according to any one of [1] to [3].
  • the content of the silver particles (A) is 1 to 45% by weight (preferably 2 to 43% by weight, more preferably 3 to 40% by weight) with respect to the total amount (100% by weight) of the adhesive conductor paste.
  • the protective agent in the silver particles (A) is an aliphatic hydrocarbon monoamine composed of an aliphatic hydrocarbon group and one amino group as an amine and having a total carbon number of 6 or more in the aliphatic hydrocarbon group.
  • an aliphatic hydrocarbon monoamine (2) consisting of an aliphatic hydrocarbon group and one amino group and having a total carbon number of 5 or less of the aliphatic hydrocarbon group, and an aliphatic hydrocarbon group and two amino groups.
  • the usage ratio of the aliphatic hydrocarbon monoamine (1) and either one or both of the aliphatic hydrocarbon monoamine (2) and the aliphatic hydrocarbon diamine (3) is the total amines [7].
  • the ratio of silver particles (B) to the total silver particles contained in the adhesive conductor paste is 40% by weight or more (preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more).
  • the proportion of silver particles (B) among the total silver particles contained in the adhesive conductor paste is 99% by weight or less (preferably 97% by weight or less, more preferably 95% by weight or less).
  • the silver particles (B) have an average particle diameter of more than 1.5 ⁇ m with a silver particle (group) having an average particle diameter of 0.1 to 1.5 ⁇ m (preferably 0.1 to 0.6 ⁇ m).
  • the ratio (former / latter: weight ratio) of silver particles (group) having an average particle diameter of 0.1 to 1.5 ⁇ m and silver particles (group) having an average particle diameter of more than 1.5 ⁇ m and 8 ⁇ m or less is , 70/30 to 30/70 (preferably 40/60 to 60/40, more preferably 45/55 to 55/45), the adhesive conductor paste according to the above [17].
  • the content of the silver particles (B) is 20 to 95% by weight (preferably 30 to 90% by weight, more preferably 40 to 90% by weight) with respect to the total amount (100% by weight) of the adhesive conductor paste. ), The adhesive conductor paste according to any one of the above [1] to [18].
  • the boiling point of the compound (C) represented by the formula (I) under normal pressure is 160 ° C. or higher (preferably 190 ° C. or higher, more preferably 190 to 290 ° C., still more preferably 200 to 260 ° C.).
  • the SP value [(cal / cm 3 ) 1/2 ] of the compound (C) represented by the formula (I) at 25 ° C. is 11.0 or less (preferably 10.0 or less, more preferably 9).
  • the adhesive conductor paste according to any one of the above [1] to [20] which is (0.0 or less).
  • X in the formula (I) is an ethylene group, a propylene group or a trimethylene group.
  • the proportion of the content of the compound (C) represented by the formula (I) in the total amount of the solvent (100% by weight) is 70 to 100% by weight (preferably 80% by weight to 100% by weight). More preferably 85% by weight to 100% by weight, even more preferably 90% by weight to 100% by weight, even more preferably 95% by weight to 100% by weight, still more preferably 99% by weight to 100% by weight).
  • the content of the compound (C) represented by the formula (I) is 1 to 50% by weight with respect to 100 parts by weight of the conductive particles (total of silver particles (A) and silver particles (B)).
  • the content of the solvent (total content when two or more kinds are contained) in the total amount (100% by weight) of the adhesive conductor paste is 1 to 50% by weight (preferably 2 to 40% by weight, more preferably).
  • the content of the compound (C) represented by the formula (I) in the total amount (100% by weight) of the adhesive conductor paste (total content when two or more kinds are contained) is 1 to 50% by weight ( The adhesive conductor paste according to any one of the above [1] to [25], preferably 2 to 40% by weight, more preferably 3 to 30% by weight).
  • the content of the conductive particles (the total content when two or more kinds are contained) in the total amount (100% by weight) of the adhesive conductor paste is 50 to 99% by weight (preferably 60 to 97% by weight, more).
  • the total content of the silver particles (A) and the silver particles (B) in the total amount (100% by weight) of the adhesive conductor paste is 50 to 99.8% by weight (preferably 60 to 97% by weight, more preferably.
  • the ratio of the total content of the compound (C) represented by the formula (I) and the silver particles to the total amount (100% by weight) of the adhesive conductor paste is 70% by weight or more (preferably 80% by weight).
  • the content of the adhesive (for example, a polymer compound having a molecular weight of 10,000 or more such as an epoxy resin, a silicone resin, and an acrylic resin) is 10% by weight or less (preferably 5% by weight) of the total amount (100 weight) of the adhesive conductor paste. % Or less, more preferably 1% by weight or less, still more preferably 0.5% by weight or less).
  • the present invention includes a step of applying the bondable conductor paste according to any one of the above [1] to [31] onto a substrate and then sintering it to form a conductor wiring and / or a bonded structure. Manufacturing method of electronic parts.
  • the adhesive conductor paste of the present disclosure can be suitably used for the purpose of manufacturing electronic components (for example, power semiconductor module, LED module, etc.) by using, for example, a printing method.
  • electronic components for example, power semiconductor module, LED module, etc.

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Abstract

本開示の目的は、印刷温度では粘度の変動を抑制してムラ無く印字することができ、窒素等の不活性ガス雰囲気下でも速やかに焼結して、接合強度に優れた高精度の導体配線や接合構造体を形成するペーストを提供することである。 本開示は、導電性粒子と溶剤を含む、電子素子を接続するための導体配線及び/又は接合構造体を形成するための接合性導体ペーストを提供する。前記接合性導体ペーストは、導電性粒子として平均粒子径が1nm以上100nm未満の銀粒子(A)及び平均粒子径が0.1μm以上10μm以下の銀粒子(B)を含み、 前記銀粒子(A)は、アミンを含む保護剤で表面が被覆された構成を有する銀ナノ粒子であり、 溶剤として下記式(I) Ra-O-(X-O)n-Rb (I) (式中、Raは炭素数1~6の炭化水素基及びアシル基から選択される1価の基を示す。Xは炭素数2~6の炭化水素基から選択される2価の基を示す。Rbは水素原子、又は炭素数1~6の炭化水素基及びアシル基から選択される1価の基を示す。RaとRbは同一の基であってもよい。nは1~3の整数を示す) で表される化合物(C)を含む。

Description

接合性導体ペースト
 本開示は、パワー半導体素子、LED素子などの電子素子を接続するための導体配線や接合構造体を形成する用途に使用する接合性導体ペーストに関する。本願は、2019年8月7日に日本に出願した特願2019-145510の優先権を主張し、その内容をここに援用する。
 パワー半導体素子、LED素子などの電子素子を実装する際には複数の材料間を高強度に接合する必要があり、そのために導体配線や接合構造体や、これらを備えた配線基板が用いられる。
 前記導体配線の形成方法としては、例えば、絶縁基板に張り合わせた銅箔にエッチングを施すことにより銅配線を製造する方法が知られている。しかし、前記方法ではエッチングにより廃棄物が大量に生じることが問題であった。
 その他の方法として、導電性粒子と接着剤を含む導体ペーストを印刷法等によって絶縁基板の上に塗布し、その後、焼結することにより導体配線を製造する方法が知られている(非特許文献1)。前記接着剤を含有する導体ペーストは適度な粘性を有するので、精度良く印字することができ、それを焼結することにより配線が製造される。しかし、焼結後に非導電成分である前記接着剤や接着剤由来の成分が残留するため、導電性粒子間や導電性粒子と基板とのインタラクションが阻害されることにより、良好な導電性が得られ難いことが問題であった。
 特許文献1には、0.1μm~15μmの平均粒径(メジアン径)を有する銀粒子とアルコール溶剤(メタノール、エタノール、又はエチレングリコール)を混合して得られる、接着剤、増粘剤を含まない導体ペーストを使用することで焼結後の非導電成分の残留を抑制し、電気抵抗値を引き下げることが記載されている。しかし、半導体モジュール中のめっき保護されていない銅、ニッケル基板や配線は酸素により酸化を受けやすく、窒素などの不活性ガスの雰囲気下で焼結する必要があるが、0.1μm以上の平均粒径を有する銀粒子を含む導体ペーストでは、窒素雰囲気下では焼結が進行せず、接合することが困難であった。また、前記アルコール溶剤を使用した導体ペーストは「にじみ」が生じ易く、更にメタノールやエタノールは印刷温度における揮発速度が速いため、これを使用した導体ペーストは印刷時に粘度が変動し易く、精度良く微細パターンを形成することは困難であった。また、エチレングリコールを使用した導体ペーストでは、基板との接合強度に優れた導体配線が得られ難いことが問題であった。
特開2009-170277号公報
 従って、本開示の目的は、基板上に、電子素子を接続するための導体配線や接合構造体を印刷法等によって形成するための接合性導体ペーストであって、印刷温度では粘度の変動を抑制してムラ無く印字することができ、窒素等の不活性ガス雰囲気下でも速やかに焼結して、基板と電子素子とを高い接合強度で接続可能な高精度の導体配線や接合構造体を形成することができる接合性導体ペーストを提供することにある。
 本開示の発明者等は上記課題を解決するため鋭意検討した結果、平均粒径(メジアン径)0.1μm以上の銀粒子に加えて、平均粒径(メジアン径)0.1μm(100nm)未満の銀粒子を配合すると、窒素等の不活性ガス雰囲気下でも速やかに焼結して、基板と電子素子とを高い接合強度で接続可能な高精度の導体配線や接合構造体を形成することができることを見出した。さらには、溶剤として下記式(I)で表される化合物を含有し、且つ導電性粒子として上記2種の異粒径を有する銀粒子を含有するペーストは、増粘剤を添加せずとも、印刷に適した粘度を有し、にじみを生じること無く印字できること、前記式(I)で表される化合物は印刷温度では揮発しにくく、溶剤として前記式(I)で表される化合物を含むペーストは、印刷時には粘度の変動を抑制することができ、ムラ無く印字することができること、低温でも導電性に優れた焼結体を形成することができることを見いだした。本開示の発明はこれらの知見に基づいて完成させたものである。
 すなわち、本開示は、導電性粒子と溶剤を含む、電子素子を接続するための導体配線及び/又は接合構造体を形成するための接合性導体ペーストであって、導電性粒子として平均粒子径が1nm以上100nm未満の銀粒子(A)及び平均粒子径が0.1μm以上10μm以下の銀粒子(B)を含み、
 前記銀粒子(A)は、アミンを含む保護剤で表面が被覆された構成を有する銀ナノ粒子であり、
 溶剤として下記式(I)
   Ra-O-(X-O)n-Rb   (I)
(式中、Raは炭素数1~6の炭化水素基及びアシル基から選択される1価の基を示す。Xは炭素数2~6の炭化水素基から選択される2価の基を示す。Rbは水素原子、又は炭素数1~6の炭化水素基及びアシル基から選択される1価の基を示す。RaとRbは同一の基であってもよい。nは1~3の整数を示す)
で表される化合物(C)を含む接合性導体ペーストを提供する。
 本開示は、また、前記接合性導体ペーストに含まれる全銀粒子のうち、銀粒子(A)の割合が、50重量%以下である前記の接合性導体ペーストを提供する。
 本開示は、また、前記銀粒子(A)における保護剤が、アミンとして、脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなり且つ該脂肪族炭化水素基の炭素総数が6以上である脂肪族炭化水素モノアミン(1)を含み、
 さらに、脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなり且つ該脂肪族炭化水素基の炭素総数が5以下である脂肪族炭化水素モノアミン(2)、及び脂肪族炭化水素基と2つのアミノ基とからなり且つ該脂肪族炭化水素基の炭素総数が8以下である脂肪族炭化水素ジアミン(3)のうちの少なくとも一方を含む前記の接合性導体ペーストを提供する。
 本開示は、また、式(I)で表される化合物(C)の常圧下における沸点が160℃以上である前記の接合性導体ペーストを提供する。
 本開示は、また、式(I)で表される化合物(C)の25℃におけるSP値[(cal/cm31/2]が8.6以下である前記の接合性導体ペーストを提供する。
 本開示は、また、式(I)中のXがエチレン基、プロピレン基又はトリメチレン基である前記の接合性導体ペーストを提供する。
 本開示は、また、接合性導体ペースト全量における銀粒子(A)及び銀粒子(B)の合計の含有量が50~99.8重量%である前記の接合性導体ペーストを提供する。
 本開示は、また、有機成分の含有量が、接合性導体ペースト(100重量%)に対して15重量%以下である前記の接合性導体ペーストを提供する。
 本開示は、また、前記の接合性導体ペーストを基板上に塗布し、その後焼結することにより導体配線及び/又は接合構造体を形成する工程を有する電子部品の製造方法を提供する。
 本開示の接合性導体ペーストは、導電性粒子として平均粒子径が1nm以上100nm未満の銀粒子(A)及び平均粒子径が0.1μm以上10μm以下の銀粒子(B)の2種の異粒径を有する銀粒子を含むため、窒素等の不活性ガス雰囲気下でも速やかに焼結して、基板と電子素子とを高い接合強度で接続可能な高精度の導体配線や接合構造体を形成することができる。さらに、銀粒子(A)及び(B)に加えて溶剤として式(I)で表される化合物(C)を含有するため、印刷法に適した粘性を有し、にじみを生じ難く、印刷法によって高精度の配線パターンや接合構造体パターンを形成することができる。また、接着剤を添加して増粘する必要がなく、従来は焼結後に残留する接着剤由来の非導電成分によって電気特性が低下するという問題があったが、非導電成分が残留することによる電気特性の低下を防止することができ、電気特性に優れた導体配線や接合構造体を形成することができる。
 更に、本開示の接合性導体ペーストは、印刷温度では揮発しにくい式(I)で表される化合物(C)を溶剤として使用するため、印刷時に粘度を一定に保持することができ、ムラの無い、高精度の印字が可能となる。
 更にまた、本開示の接合性導体ペーストは、より低い温度で焼結しても、基板に対する接合強度に優れた導体配線や接合構造体を形成することができ、焼結による基板等の劣化又は損傷を低減することができる。
 従って、本開示の接合性導体ペーストを使用すれば、接合強度に優れた導体配線や接合構造体を、印刷法により精度良く形成することができ、基板と電子素子とを、前記導体配線や接合構造体を介して強度に接合することができるため、電気特性に優れた電子部品を製造することができる。
 (溶剤)
 本開示の接合性導体ペーストは、溶剤として、下記式(I)で表される化合物(C)を1種又は2種以上含む。
   Ra-O-(X-O)n-Rb   (I)
 式(I)中、Raは炭素数1~6の炭化水素基及びアシル基から選択される1価の基を示す。
 前記Raにおける炭素数1~6の炭化水素基としては、炭素数1~6の脂肪族炭化水素基及び炭素数3~6の脂環式炭化水素基から選択される1価の基が挙げられる。前記炭素数1~6の1価の脂肪族炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、s-ブチル基、t-ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ヘキシル基、イソヘキシル基等の炭素数1~6の直鎖状又は分岐鎖状アルキル基;ビニル基、アリル基、1-ブテニル基等の炭素数2~6のアルケニル基;エチニル基、プロピニル基等の炭素数2~6のアルキニル基等を挙げることができる。前記炭素数3~6の1価の脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基等を挙げることができる。
 前記Raにおけるアシル基(RCO-基)としては、前記Rが炭素数1~10(好ましくは1~5)の直鎖状又は分岐鎖状アルキル基であるアシル基(例えば、アセチル基、プロピオニル基、ブチリル基、イソブチリル基、ピバロイル基等)が挙げられる。
 式(I)中、Xは炭素数2~6の炭化水素基から選択される2価の基を示す。前記Xにおける炭素数2~6の炭化水素基としては、炭素数2~6の脂肪族炭化水素基及び炭素数3~6の脂環式炭化水素基から選択される2価の基が挙げられる。前記炭素数2~6の2価の脂肪族炭化水素基としては、例えば、エチレン基(-CH2-CH2-)、プロピレン基(-CH(CH3)CH2-)、トリメチレン基(-CH2-CH2-CH2-)等の直鎖状又は分岐鎖状アルキレン基等を挙げることができる。前記炭素数3~6の2価の脂環式炭化水素基としては、例えば、1,2-シクロペンチレン基、1,3-シクロペンチレン基、1,2-シクロヘキシレン基、1,3-シクロヘキシレン基、1,4-シクロヘキシレン基等のシクロアルキレン基等を挙げることができる。本開示においては、なかでも、Xは炭素数2~6の脂肪族炭化水素基が好ましく、より好ましくは炭素数2~6の直鎖状又は分岐鎖状アルキレン基、さらに好ましくはエチレン基、プロピレン基又はトリメチレン基である。
 式(I)中、Rbは水素原子、又は炭素数1~6の炭化水素基及びアシル基から選択される1価の基を示す。前記炭素数1~6の脂肪族炭化水素基及びアシル基から選択される1価の基としては、上記Raにおける例と同様の例を挙げることができる。RbはRaと同一の基であってもよく、異なっていてもよい。
 nは1~3の整数を示す。nは好ましくは2又は3である。
 式(I)で表される化合物(C)を構成する炭素原子の数としては、印刷温度では揮発し難く、焼結温度ではより速やかに揮発する点で、8~13個が好ましく、より好ましくは10~12個である。
 式(I)で表される化合物(C)は、印刷温度においては揮発しにくいことが好ましく、沸点(常圧下における)は、例えば160℃以上、好ましくは190℃以上、より好ましくは190~290℃、さらに好ましくは200~260℃である。沸点が上記範囲を下回ると、接合性導体ペーストを調製若しくは印刷する際に揮発して粘度が変動し易く、導体配線や接合構造体をムラ無く、高精度で形成することが困難となる傾向がある。
 また、式(I)で表される化合物(C)は、焼結時には速やかに揮発することが好ましく、凝集エネルギー密度の平方根(SP値;(cal/cm31/2)は、例えば11.0以下、好ましくは10.0以下、より好ましくは9.0以下である。尚、SP値(25℃における)はFedorsの計算式により算出することができる。
 式(I)で表される化合物(C)において、式(I)中のRaが炭素数1~6の炭化水素基であり、Rbが水素原子又は炭素数1~6の炭化水素基であり、Xがプロピレン基であり、nが2の場合の具体例としては、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノイソプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノイソブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノペンチルエーテル、ジプロピレングリコールモノイソペンチルエーテル等のジプロピレングリコールモノC1-6アルキルエーテル;ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルプロピルエーテル、ジプロピレングリコールメチルブチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルイソブチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルペンチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルイソペンチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールエチルプロピルエーテル、ジプロピレングリコールエチルブチルエーテル、ジプロピレングリコールエチルイソブチルエーテル、ジプロピレングリコールエチルペンチルエーテル、ジプロピレングリコールエチルイソペンチルエーテル、ジプロピレングリコールジプロピルエーテル、ジプロピレングリコールプロピルブチルエーテル、ジプロピレングリコールプロピルイソブチルエーテル、ジプロピレングリコールプロピルペンチルエーテル、ジプロピレングリコールプロピルイソペンチルエーテル、ジプロピレングリコールジブチルエーテル、ジプロピレングリコールジイソブチルエーテル、ジプロピレングリコールブチルイソブチルエーテル、ジプロピレングリコールブチルペンチルエーテル、ジプロピレングリコールブチルイソペンチルエーテル、ジプロピレングリコールイソブチルペンチルエーテル、ジプロピレングリコールイソブチルイソペンチルエーテル、ジプロピレングリコールジペンチルエーテル、ジプロピレングリコールペンチルイソペンチルエーテル等のジプロピレングリコールジC1-6アルキルエーテルを挙げることができる(異性体を含む)。
 式(I)で表される化合物(C)において、式(I)中のRaが炭素数1~6の炭化水素基であり、Rbが水素原子又は炭素数1~6の炭化水素基であり、Xがプロピレン基であり、nが3の場合の具体例としては、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールモノプロピルエーテル、トリプロピレングリコールモノイソプロピルエーテル、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノイソブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノペンチルエーテル、トリプロピレングリコールモノイソペンチルエーテル等のトリプロピレングリコールモノC1-6アルキルエーテル;トリプロピレングリコールジメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルプロピルエーテル、トリプロピレングリコールメチルブチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルイソブチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルペンチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルイソペンチルエーテル、トリプロピレングリコールジエチルエーテル、トリプロピレングリコールエチルプロピルエーテル、トリプロピレングリコールエチルブチルエーテル、トリプロピレングリコールエチルイソブチルエーテル、トリプロピレングリコールエチルペンチルエーテル、トリプロピレングリコールエチルイソペンチルエーテル、トリプロピレングリコールジプロピルエーテル、トリプロピレングリコールプロピルブチルエーテル、トリプロピレングリコールプロピルイソブチルエーテル、トリプロピレングリコールプロピルペンチルエーテル、トリプロピレングリコールプロピルイソペンチルエーテル、トリプロピレングリコールジブチルエーテル、トリプロピレングリコールジイソブチルエーテル、トリプロピレングリコールブチルイソブチルエーテル、トリプロピレングリコールブチルペンチルエーテル、トリプロピレングリコールブチルイソペンチルエーテル、トリプロピレングリコールイソブチルペンチルエーテル、トリプロピレングリコールイソブチルイソペンチルエーテル、トリプロピレングリコールジペンチルエーテル、トリプロピレングリコールペンチルイソペンチルエーテル等のトリプロピレングリコールジC1-6アルキルエーテルを挙げることができる(異性体を含む)。
 式(I)で表される化合物(C)において、式(I)中のRaが炭素数1~6の炭化水素基であり、Rbが水素原子又は炭素数1~6の炭化水素基であり、Xがエチレン基であり、nが1~3の整数の場合の具体例としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノイソブチルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル等のエチレングリコールモノC1-6アルキルエーテル;エチレングリコールメチル-n-プロピルエーテル、エチレングリコールメチル-n-ブチルエーテル、エチレングリコールメチルイソアミルエーテル等のエチレングリコールジC1-6アルキルエーテル;ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のジエチレングリコールモノC1-6アルキルエーテル;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテル、ジエチレングリコールメチル-n-ブチルエーテル等のジエチレングリコールジC1-6アルキルエーテル;トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル等のトリエチレングリコールモノC1-6アルキルエーテル;トリエチレングリコールメチル-n-ブチルエーテル等のトリエチレングリコールジC1-10アルキルエーテル等が挙げられる(異性体を含む)。
 式(I)で表される化合物(C)において、式(I)中のRaがアシル基であり、Rbが水素原子、又は炭素数1~6の炭化水素基及びアシル基から選択される1価の基であり、Xがエチレン基又はプロピレン基であり、nが1~3の整数の場合の具体例としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のC2-3アルキレングリコールC1-6アルキルエーテルC1-10アルキルエステル;ジエチレングリコール-n-ブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート等のジC2-3アルキレングリコールC1-6アルキルエーテルC1-10アルキルエステル;トリエチレングリコール-n-ブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールメチルエーテルアセテート等のトリC2-3アルキレングリコールC1-6アルキルエーテルC1-10アルキルエステル;プロピレングリコールジアセテート等のC2-3アルキレングリコールジC1-10アルキルエステル等が挙げられる(異性体を含む)。
 式(I)で表される化合物(C)において、式(I)中のRa、Rb、X、nが上記以外の場合の具体例としては、上記例示に対応する化合物を挙げることができる。
 上記溶剤は1種を単独で、又は2種以上を組み合わせて使用することができる。これらの中から、上記条件に合致するように、その種類及び含有量を適宜選択することが好ましい。
 本開示の接合性導体ペーストは、上記以外にも他の溶剤(例えば、乳酸エチルアセテート、テトラヒドロフルフリルアセテート、テトラヒドロフルフリルアルコール、エチレングリコール等)を1種又は2種以上含有していても良いが、これらの溶剤の含有量は、本開示の接合性導体ペーストに含まれる溶剤全量の、例えば30重量%以下であることが好ましく、より好ましくは20重量%以下、さらに好ましくは15重量%以下、さらにより好ましくは10重量%以下、さらにより好ましく5重量%以下、さらにより好ましくは1重量%以下である。他の溶剤の含有量が上記範囲を上回ると、揮発性が高すぎる溶剤を多く含有する場合は塗布装置の目詰まりが生じ易くなる傾向があり、揮発性が低すぎる溶剤を多く含有する場合は、速乾性が損なわれ、塗布後に乾燥させるために加熱等の処理を施すことが必要となり、作業性が低下する傾向がある。
 従って、溶剤全量における、前記式(I)で表される化合物(C)の含有量の占める割合は、例えば70~100重量%であり、下限は、好ましくは80重量%、より好ましくは85重量%、さらにより好ましくは90重量%、さらにより好ましく95重量%、さらにより好ましくは99重量%である。
 前記式(I)で表される化合物(C)の含有量は、導電性粒子(銀粒子(A)及び銀粒子(B)の合計)100重量部に対して、例えば1~50重量部、好ましくは2~30重量部、より好ましくは3~30重量部である。
 (導電性粒子)
 本開示の接合性導体ペーストは、導電性粒子として平均粒子径が1nm以上100nm未満の銀粒子(A)及び平均粒子径が0.1μm以上10μm以下の銀粒子(B)を含む。
 [銀粒子(A)]
 本開示の接合性導体ペーストに含まれる銀粒子(A)は、平均粒子径が1nm以上100nm未満であって、アミンを含む保護剤で表面が被覆された構成、より詳細には、銀粒子(A)表面にアミンの非共有電子対が電気的に配位した構成を有する銀ナノ粒子である。本開示における銀粒子(A)は、前記構成を有することにより銀粒子(A)相互間の再凝集が防止され、接合性導体ペースト中において、高分散した状態を安定的に維持することができる。
 銀粒子(A)の平均粒子径(メジアン径)は、上記の通り0.1nm以上100nm未満であり、好ましくは0.5~90nm、より好ましくは1~80nm、さらに好ましくは1~75nmである。尚、粒子径は、透過型電子顕微鏡(TEM)観察により求められる粒子径をもとに、粒子をアスペクト比1と仮定した上で体積分布に換算した平均粒子径(メジアン径)として求められる。
 本開示の接合性導体ペーストに含まれる全銀粒子のうち、銀粒子(A)の割合は、例えば50重量%以下、好ましくは45重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。銀粒子(A)を上記範囲で含有すると、印刷性が向上する点、窒素等の不活性ガス雰囲気下でも速やかに焼結して、基板と電子素子とを高い接合強度を形成できる点などで好ましい。一方、当該銀粒子(A)の割合は、例えば1重量%以上、好ましくは3重量%以上、より好ましくは4重量%以上である。
 銀粒子(A)の含有量は、良好な導電性を有する焼結体が得られる点、及び分散安定性に優れる(すなわち、高分散性を長期に亘って安定的に維持することができ、粘度の上昇を抑制することができる)点、印刷性が向上する点、窒素等の不活性ガス雰囲気下でも速やかに焼結して、基板と電子素子とを高い接合強度を形成できる点において、接合性導体ペースト全量の、例えば1~45重量%であり、好ましくは2~43重量%、より好ましくは3~40重量%である。
 [銀粒子(A)の製造方法]
 銀粒子(A)は、アミンと、銀化合物とを混合して、前記銀化合物及び前記アミンを含む錯化合物を生成させ、
 前記錯化合物を加熱して熱分解させることにより、製造され得る。このように、銀粒子(A)の製造方法は、錯化合物の生成工程と、錯化合物の熱分解工程とを主として含む。
 本開示において、前記銀化合物としては、加熱により容易に分解して、金属銀を生成する銀化合物を用いる。このような銀化合物としては、ギ酸銀、酢酸銀、シュウ酸銀、マロン酸銀、安息香酸銀、フタル酸銀などのカルボン酸銀;フッ化銀、塩化銀、臭化銀、ヨウ化銀などのハロゲン化銀;硫酸銀、硝酸銀、炭酸銀等を用いることができるが、分解により容易に金属銀を生成し且つ銀以外の不純物を生じにくいという観点から、シュウ酸銀が好ましく用いられる。シュウ酸銀は、銀含有率が高く、且つ、還元剤を必要とせず熱分解により金属銀がそのまま得られ、還元剤に由来する不純物が残留しにくい点で有利である。
 また、銀との複合物を得るために、上記の銀化合物と、銀以外の他の金属化合物を併用してもよい。他の金属化合物は、加熱により容易に分解して、目的とする金属を生成する金属化合物を用いる。他の金属化合物としては、上記の銀化合物に対応するような金属の塩、例えば、金属のカルボン酸塩;金属ハロゲン化物;金属硫酸塩、金属硝酸塩、金属炭酸塩等の金属塩化合物を用いることができる。これらのうち、分解により容易に金属を生成し且つ金属以外の不純物を生じにくいという観点から、金属のシュウ酸塩が好ましく用いられる。他の金属としては、Al、Au、Pt、Pd、Cu、Co、Cr、In、及びNi等が挙げられる。銀複合物は、銀と1又は2以上の他の金属からなるものであり、Au-Ag、Ag-Cu、Au-Ag-Cu、Au-Ag-Pd等が例示される。金属全体を基準として、銀が少なくとも20重量%、通常は少なくとも50重量%、例えば少なくとも80重量%を占める。
 本開示において、錯化合物の生成工程において、アミンと銀化合物とを無溶剤で混合してもよいが、炭素数3以上のアルコール溶剤存在下で混合して、前記銀化合物及び前記アミンを含む錯化合物を生成させることが好ましい。
 前記アルコール溶剤としては、炭素数3~10のアルコール、好ましくは炭素数4~6のアルコールを用いることができる。例えば、n-プロパノール(沸点bp:97℃)、イソプロパノール(bp:82℃)、n-ブタノール(bp:117℃)、イソブタノール(bp:107.89℃)、sec-ブタノール(bp:99.5℃)、tert-ブタノール(bp:82.45℃)、n-ペンタノノール(bp:136℃)、n-ヘキサノール(bp:156℃)、n-オクタノール(bp:194℃)、2-オクタノール(bp:174℃)等が挙げられる。これらの内でも、後に行われる錯化合物の熱分解工程の温度を高くできること、銀粒子(A)の形成後の後処理での利便性等を考慮して、n-ブタノール、イソブタノール、 sec-ブタノール、tert-ブタノールから選ばれるブタノール類、ヘキサノール類が好ましい。特に、n-ブタノール、n-ヘキサノールが好ましい。
 また、前記アルコール溶剤は、銀化合物-アルコールスラリーの十分な攪拌操作のために、前記銀化合物100重量部に対して、例えば120重量部以上、好ましくは130重量部以上、より好ましくは150重量部以上用いることがよい。前記アルコール系溶剤量の上限については、特に制限されることなく、前記銀化合物100重量部に対して、例えば1000重量部以下、好ましくは800重量部以下、より好ましくは500重量部以下とするとよい。
 本開示において、アミンと銀化合物とを炭素数3以上のアルコール溶剤存在下で混合するには、いくつかの形態をとり得る。
 例えば、まず、固体の銀化合物とアルコール溶剤とを混合して、銀化合物-アルコールスラリーを得て[スラリー形成工程]、次に、得られた銀化合物-アルコールスラリーに、アミンを添加してもよい。スラリーとは、固体の銀化合物が、アルコール溶剤中に分散されている混合物を表している。反応容器に、固体の銀化合物を仕込み、それにアルコール溶剤を添加しスラリーを得るとよい。
 あるいは、アミンとアルコール溶剤とを反応容器に仕込み、それに銀化合物-アルコールスラリーを添加してもよい。
 本開示において、錯形成剤及び/又は保護剤として機能するアミンとして、例えば、炭化水素基の炭素総数が6以上である脂肪族炭化水素モノアミン(1)を含み、さらに、脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなり且つ該脂肪族炭化水素基の炭素総数が5以下である脂肪族炭化水素モノアミン(2)、及び脂肪族炭化水素基と2つのアミノ基とからなり且つ該脂肪族炭化水素基の炭素総数が8以下である脂肪族炭化水素ジアミン(3)のうちの少なくとも一方を用いてもよい。これら各成分は、通常、アミン混合液として用いられるが、ただし、前記銀化合物(又はそのアルコールスラリー)に対する前記アミンの混合は、必ずしも混合された状態のアミン類を用いて行う必要はない。前記銀化合物(又はそのアルコールスラリー)に対して、前記アミン類を順次添加してもよい。
 本明細書において、確立された用語であるが、「脂肪族炭化水素モノアミン」とは、1~3個の1価の脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなる化合物である。「炭化水素基」とは、炭素と水素とのみからなる基である。ただし、前記脂肪族炭化水素モノアミン(1)、及び前記脂肪族炭化水素モノアミン(2)は、その炭化水素基に、必要に応じて酸素原子あるいは窒素原子の如きヘテロ原子(炭素及び水素以外の原子)を含む置換基を有していてもよい。この窒素原子がアミノ基を構成することはない。
 また、「脂肪族炭化水素ジアミン」とは、2価の脂肪族炭化水素基(アルキレン基)と、該脂肪族炭化水素基を介在した2つのアミノ基と、場合によっては、該アミノ基の水素原子を置換した脂肪族炭化水素基(アルキル基)とからなる化合物である。ただし、前記脂肪族炭化水素ジアミン(3)は、その炭化水素基に、必要に応じて酸素原子あるいは窒素原子の如きヘテロ原子(炭素及び水素以外の原子)を含む置換基を有していてもよい。この窒素原子がアミノ基を構成することはない。
 炭素総数6以上の脂肪族炭化水素モノアミン(1)は、その炭化水素鎖によって、生成する銀粒子表面への保護剤(安定化剤)としての高い機能を有する。
 前記脂肪族炭化水素モノアミン(1)としては、第一級アミン、第二級アミン、及び第三級アミンが含まれる。第一級アミンとしては、例えば、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ウンデシルアミン、ドデシルアミン、トリデシルアミン、テトラデシルアミン、ペンタデシルアミン、ヘキサデシルアミン、ヘプタデシルアミン、オクタデシルアミン等の炭素数6~18の直鎖状脂肪族炭化水素基を有する飽和脂肪族炭化水素モノアミン(すなわち、アルキルモノアミン)が挙げられる。飽和脂肪族炭化水素モノアミンとして、上記の直鎖脂肪族モノアミンの他に、イソヘキシルアミン、2-エチルヘキシルアミン、tert-オクチルアミン等の炭素数6~16、好ましくは炭素数6~8の分枝状脂肪族炭化水素基を有する分枝脂肪族炭化水素モノアミンが挙げられる。また、シクロヘキシルアミンも挙げられる。さらに、オレイルアミン等の不飽和脂肪族炭化水素モノアミン(すなわち、アルケニルモノアミン)が挙げられる。
 第二級アミンとしては、直鎖状のものとして、N,N-ジプロピルアミン、N,N-ジブチルアミン、N,N-ジペンチルアミン、N,N-ジヘキシルアミン、N,N-ジペプチルアミン、N,N-ジオクチルアミン、N,N-ジノニルアミン、N,N-ジデシルアミン、N,N-ジウンデシルアミン、N,N-ジドデシルアミン、N-プロピル-N-ブチルアミン等のジアルキルモノアミンが挙げられる。第三級アミンとしては、トリブチルアミン、トリヘキシルアミン等が挙げられる。
 また、分枝状のものとして、N,N-ジイソヘキシルアミン、N,N-ジ(2-エチルヘキシル)アミン等の第二級アミンが挙げられる。また、トリイソヘキシルアミン、トリ(2-エチルヘキシル)アミン等の第三級アミンが挙げられる。N,N-ジ(2-エチルヘキシル)アミンの場合、2-エチルヘキシル基の炭素数は8であるが、前記アミン化合物に含まれる炭素の総数は16となる。トリ(2-エチルヘキシル)アミンの場合、前記アミン化合物に含まれる炭素の総数は24となる。
 上記モノアミン(1)の内でも、直鎖状の場合には、炭素数6以上の飽和脂肪族炭化水素モノアミンが好ましい。炭素数6以上とすることにより、アミノ基が銀粒子表面に吸着した際に他の銀粒子との間隔を確保できるため、銀粒子同士の凝集を防ぐ作用が向上する。炭素数の上限は特に定められないが、入手のし易さ、焼成時の除去のし易さ等を考慮して、通常、炭素数18までの飽和脂肪族モノアミンが好ましい。特に、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ウンデシルアミン、ドデシルアミン等の炭素数6~12のアルキルモノアミンが好ましく用いられる。前記直鎖脂肪族炭化水素モノアミンのうち、1種のみを用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
 また、分枝脂肪族炭化水素モノアミン化合物を用いると、同じ炭素数の直鎖脂肪族炭化水素モノアミン化合物を用いた場合と比べ、分枝脂肪族炭化水素基の立体的因子により銀粒子表面上へのより少ない付着量で銀粒子表面のより大きな面積を被覆することができる。そのため、銀粒子表面上へのより少ない付着量で、銀粒子(A)の適度な安定化が得られる。焼成時において除去すべき保護剤(有機安定剤)の量が少ないので、200℃以下の低温での焼成の場合にも、有機安定剤を効率よく除去でき、銀粒子の焼結が十分に進行する。
 上記分枝脂肪族炭化水素モノアミンの内でも、イソヘキシルアミン、2-エチルヘキシルアミン等の主鎖の炭素数5~6の分枝アルキルモノアミン化合物が好ましい。主鎖の炭素数5~6であると、銀粒子(A)の適度な安定化が得られやすい。また、分枝脂肪族基の立体的因子の観点からは、2-エチルヘキシルアミンのように、N原子側から2番目の炭素原子において枝分かれしていることが有効である。前記分枝脂肪族モノアミンとして、1種のみを用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
 本開示において、前記脂肪族炭化水素モノアミン(1)として、前記直鎖状脂肪族炭化水素モノアミンと、前記分枝状脂肪族炭化水素モノアミンとをそれぞれの利点を得るために併用してもよい。
 炭素総数5以下の脂肪族炭化水素モノアミン(2)は、炭素総数6以上の脂肪族モノアミン(1)に比べると炭素鎖長が短いのでそれ自体は保護剤(安定化剤)としての機能は低いと考えられるが、前記脂肪族モノアミン(1)に比べると極性が高く銀化合物の銀への配位能が高く、そのため錯体形成促進に効果があると考えられる。また、炭素鎖長が短いため、例えば120℃以下の、あるいは100℃程度以下の低温焼成においても、30分間以下、あるいは20分間以下の短時間で銀粒子表面から除去され得るので、得られた銀粒子(A)の低温焼成に効果がある。
 前記脂肪族炭化水素モノアミン(2)としては、エチルアミン、n-プロピルアミン、イソプロピルアミン、n-ブチルアミン、イソブチルアミン、 sec-ブチルアミン、tert-ブチルアミン、ペンチルアミン、イソペンチルアミン、tert-ペンチルアミン等の炭素数2~5の飽和脂肪族炭化水素モノアミン(すなわち、アルキルモノアミン)が挙げられる。また、N,N-ジメチルアミン、N,N-ジエチルアミン、N-メチル-N-プロピルアミン、N-エチル-N-プロピルアミン等のジアルキルモノアミンが挙げられる。
 これらの内でも、n-ブチルアミン、イソブチルアミン、sec-ブチルアミン、tert-ブチルアミン、ペンチルアミン、イソペンチルアミン、tert-ペンチルアミン等が好ましく、上記ブチルアミン類がより好ましい。前記脂肪族炭化水素モノアミン(2)のうち、1種のみを用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
 炭素総数8以下の脂肪族炭化水素ジアミン(3)は、銀化合物の銀への配位能が高く、錯体形成促進に効果がある。脂肪族炭化水素ジアミンは、一般に、脂肪族炭化水素モノアミンと比べて極性が高く、銀化合物の銀への配位能が高くなる。また、前記脂肪族炭化水素ジアミン(3)は、錯化合物の熱分解工程において、より低温且つ短時間での熱分解を促進する効果があり、銀ナノ粒子製造をより効率的に行うことができる。さらに、前記脂肪族ジアミン(3)を含む銀粒子の保護被膜は極性が高いので、極性の高い溶剤を含む分散媒体中での銀粒子の分散安定性が向上する。さらに、前記脂肪族ジアミン(3)は、炭素鎖長が短いため、例えば120℃以下の、あるいは100℃程度以下の低温焼成においても、30分間以下、あるいは20分間以下の短い時間で銀粒子表面から除去され得るので、得られた銀粒子(A)の低温且つ短時間焼成に効果がある。
 前記脂肪族炭化水素ジアミン(3)としては、特に限定されないが、エチレンジアミン、N,N-ジメチルエチレンジアミン、N,N'-ジメチルエチレンジアミン、N,N-ジエチルエチレンジアミン、N,N'-ジエチルエチレンジアミン、1,3-プロパンジアミン、2,2-ジメチル-1,3-プロパンジアミン、N,N-ジメチル-1,3-プロパンジアミン、N,N'-ジメチル-1,3-プロパンジアミン、N,N-ジエチル-1,3-プロパンジアミン、N,N'-ジエチル-1,3-プロパンジアミン、1,4-ブタンジアミン、N,N-ジメチル-1,4-ブタンジアミン、N,N'-ジメチル-1,4-ブタンジアミン、N,N-ジエチル-1,4-ブタンジアミン、N,N'-ジエチル-1,4-ブタンジアミン、1,5-ペンタンジアミン、1,5-ジアミノ-2-メチルペンタン、1,6-ヘキサンジアミン、N,N-ジメチル-1,6-ヘキサンジアミン、N,N'-ジメチル-1,6-ヘキサンジアミン、1,7-ヘプタンジアミン、1,8-オクタンジアミン等が挙げられる。これらはいずれも、2つのアミノ基のうちの少なくとも1つが第一級アミノ基又は第二級アミノ基である炭素総数8以下のアルキレンジアミンであり、銀化合物の銀への配位能が高く、錯体形成促進に効果がある。
 これらの内でも、N,N-ジメチルエチレンジアミン、N,N-ジエチルエチレンジアミン、N,N-ジメチル-1,3-プロパンジアミン、N,N-ジエチル-1,3-プロパンジアミン、N,N-ジメチル-1,4-ブタンジアミン、N,N-ジエチル-1,4-ブタンジアミン、N,N-ジメチル-1,6-ヘキサンジアミン等の2つのアミノ基のうちの1つが第一級アミノ基(-NH2)であり、他の1つが第三級アミノ基(-NR12)である炭素総数8以下のアルキレンジアミンが好ましい。好ましいアルキレンジアミンは、下記構造式で表される。
 R12N-R-NH2
 ここで、Rは、2価のアルキレン基を表し、R1及びR2は、同一又は異なっていてもよく、アルキル基を表し、ただし、R、R1及びR2の炭素数の総和は8以下である。該アルキレン基は、通常は酸素原子又は窒素原子等のヘテロ原子(炭素及び水素以外の原子)を含まないが、必要に応じて前記ヘテロ原子を含む置換基を有していてもよい。また、該アルキル基は、通常は酸素原子又は窒素原子等のヘテロ原子を含まないが、必要に応じて前記ヘテロ原子を含む置換基を有していてもよい。
 2つのアミノ基のうちの1つが第一級アミノ基であると、銀化合物の銀への配位能が高くなり、錯体形成に有利であり、他の1つが第三級アミノ基であると、第三級アミノ基は銀原子への配位能に乏しいため、形成される錯体が複雑なネットワーク構造となることが防止される。錯体が複雑なネットワーク構造となると、錯体の熱分解工程に高い温度が必要となることがある。さらに、これらの内でも、低温焼成においても短時間で銀粒子表面から除去され得るという観点から、炭素総数6以下のジアミンが好ましく、炭素総数5以下のジアミンがより好ましい。前記脂肪族炭化水素ジアミン(3)のうち、1種のみを用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
 本開示において、前記炭素総数6以上の脂肪族炭化水素モノアミン(1)と、前記炭素総数5以下の脂肪族炭化水素モノアミン(2)及び前記炭素総数8以下の脂肪族炭化水素ジアミン(3)のいずれか一方又は両方との使用割合は、特に限定されないが、前記全アミン類[(1)+(2)+(3)]を基準として、例えば、
前記脂肪族モノアミン(1):5モル%~65モル%
前記脂肪族モノアミン(2)及び前記脂肪族ジアミン(3)の合計量:35モル%~95モル%
とするとよい。前記脂肪族モノアミン(1)の含有量を5モル%~65モル%とすることによって、該(1)成分の炭素鎖によって、生成する銀粒子表面の保護安定化機能が得られやすい。前記(1)成分の含有量が5モル%未満では、保護安定化機能の発現が弱いことがある。一方、前記(1)成分の含有量が65モル%を超えると、保護安定化機能は十分であるが、低温焼成によって該(1)成分が除去されにくくなる。該(1)成分として、前記分枝状脂肪族モノアミンを用いる場合には、前記脂肪族モノアミン(1):5モル%~65モル%を満たすように、前記分枝状脂肪族モノアミン:10モル%~50モル%とするとよい。
 前記脂肪族モノアミン(1)と、さらに、前記脂肪族モノアミン(2)及び前記脂肪族ジアミン(3)の両方とを用いる場合には、それらの使用割合は、特に限定されないが、前記全アミン類[(1)+(2)+(3)]を基準として、例えば、
前記脂肪族モノアミン(1): 5モル%~65モル%
前記脂肪族モノアミン(2): 5モル%~70モル%
前記脂肪族ジアミン(3):  5モル%~50モル%
とするとよい。該(1)成分として、前記分枝状脂肪族モノアミンを用いる場合には、前記脂肪族モノアミン(1):5モル%~65モル%を満たすように、前記分枝状脂肪族モノアミン:10モル%~50モル%とするとよい。
 この場合には、前記(1)成分の含有量の下限については、10モル%以上が好ましく、20モル%以上がより好ましい。前記(1)成分の含有量の上限については、65モル%以下が好ましく、60モル%以下がより好ましい。
 前記脂肪族モノアミン(2)の含有量を5モル%~70モル%とすることによって、錯体形成促進効果が得られやすく、また、それ自体で低温且つ短時間焼成に寄与でき、さらに、焼成時において前記脂肪族ジアミン(3)の銀粒子表面からの除去を助ける作用が得られやすい。前記(2)成分の含有量が5モル%未満では、錯体形成促進効果が弱かったり、あるいは、焼成時において前記(3)成分が銀粒子表面から除去されにくいことがある。一方、前記(2)成分の含有量が70モル%を超えると、錯体形成促進効果は得られるが、相対的に前記脂肪族モノアミン(1)の含有量が少なくなってしまい、生成する銀粒子表面の保護安定化が得られにくい。前記(2)成分の含有量の下限については、10モル%以上が好ましく、15モル%以上がより好ましい。前記(2)成分の含有量の上限については、65モル%以下が好ましく、60モル%以下がより好ましい。
 前記脂肪族ジアミン(3)の含有量を5モル%~50モル%とすることによって、錯体形成促進効果及び錯体の熱分解促進効果が得られやすく、また、前記脂肪族ジアミン(3)を含む銀粒子の保護被膜は極性が高いので、極性の高い溶剤を含む分散媒体中での銀粒子の分散安定性が向上する。前記(3)成分の含有量が5モル%未満では、錯体形成促進効果及び錯体の熱分解促進効果が弱いことがある。一方、前記(3)成分の含有量が50モル%を超えると、錯体形成促進効果及び錯体の熱分解促進効果は得られるが、相対的に前記脂肪族モノアミン(1)の含有量が少なくなってしまい、生成する銀粒子表面の保護安定化が得られにくい。前記(3)成分の含有量の下限については、5モル%以上が好ましく、10モル%以上がより好ましい。前記(3)成分の含有量の上限については、45モル%以下が好ましく、40モル%以下がより好ましい。
 前記脂肪族モノアミン(1)と前記脂肪族モノアミン(2)とを用いる(前記脂肪族ジアミン(3)を用いずに)場合には、それらの使用割合は、特に限定されないが、上記各成分の作用を考慮して、前記全アミン類[(1)+(2)]を基準として、例えば、
前記脂肪族モノアミン(1):  5モル%~65モル%
前記脂肪族モノアミン(2): 35モル%~95モル%
とするとよい。該(1)成分として、前記分枝状脂肪族モノアミンを用いる場合には、前記脂肪族モノアミン(1):5モル%~65モル%を満たすように、前記分枝状脂肪族モノアミン:10モル%~50モル%とするとよい。
 前記脂肪族モノアミン(1)と前記脂肪族ジアミン(3)とを用いる(前記脂肪族モノアミン(2)を用いずに)場合には、それらの使用割合は、特に限定されないが、上記各成分の作用を考慮して、前記全アミン類[(1)+(3)]を基準として、例えば、
前記脂肪族モノアミン(1): 5モル%~65モル%
前記脂肪族ジアミン(3): 35モル%~95モル%
とするとよい。該(1)成分として、前記分枝状脂肪族モノアミンを用いる場合には、前記脂肪族モノアミン(1):5モル%~65モル%を満たすように、前記分枝状脂肪族モノアミン:10モル%~50モル%とするとよい。
 以上の前記脂肪族モノアミン(1)、前記脂肪族モノアミン(2)及び/又は前記脂肪族ジアミン(3)の使用割合は、いずれも例示であり、種々の変更が可能である。
 本開示においては、銀化合物の銀への配位能が高い前記脂肪族モノアミン(2)、及び/又は前記脂肪族ジアミン(3)を用いると、それらの使用割合に応じて、前記炭素総数6以上の脂肪族モノアミン(1)の銀粒子表面上への付着量は少なくて済む。従って、前記低温短時間での焼成の場合にも、これら脂肪族アミン化合物類は銀粒子表面から除去されやすく、銀粒子(A)の焼結が十分に進行する。
 本開示において、前記脂肪族炭化水素アミン[例えば、(1)、(2)及び/又は(3)]の合計量は、特に限定されないが、原料の前記銀化合物の銀原子1モルに対して、1~50モル程度とするとよい。前記アミン成分の合計量[(1)、(2)及び/又は(3)]が、前記銀原子1モルに対して、1モル未満であると、錯化合物の生成工程において、錯化合物に変換されない銀化合物が残存する可能性があり、その後の熱分解工程において、銀粒子の均一性が損なわれ粒子の肥大化が起こったり、熱分解せずに銀化合物が残存する可能性がある。一方、前記アミン成分の合計量[((1)、(2)及び/又は(3)]が、前記銀原子1モルに対して、50モル程度を超えてもあまりメリットはないと考えられる。実質的に無溶剤中において銀ナノ粒子の分散液を作製するためには、前記アミン成分の合計量を例えば2モル程度以上とするとよい。前記アミン成分の合計量を2~50モル程度とすることにより、錯化合物の生成工程及び熱分解工程を良好に行うことができる。前記アミン成分の合計量の下限については、前記銀化合物の銀原子1モルに対して、2モル以上が好ましく、6モル以上がより好ましい。なお、シュウ酸銀分子は、銀原子2個を含んでいる。
 本開示において、銀粒子(A)の分散媒への分散性をさらに向上させるため、安定剤として、さらに脂肪族カルボン酸(4)を用いてもよい。前記脂肪族カルボン酸(4)は、前記アミン類と共に用いるとよく、前記アミン混合液中に含ませて用いることができる。前記脂肪族カルボン酸(4)を用いることにより、銀ナノ粒子の安定性、特に有機溶剤中に分散された塗料状態での安定性が向上することがある。
 前記脂肪族カルボン酸(4)としては、飽和又は不飽和の脂肪族カルボン酸が用いられる。例えば、ブタン酸、ペンタン酸、ヘキサン酸、ヘプタン酸、オクタン酸、ノナン酸、デカン酸、ウンデカン酸、ドデカン酸、トリデカン酸、テトラデカン酸、ペンタデカン酸、ヘキサデカン酸、ヘプタデカン酸、オクタデカン酸、ノナデカン酸、イコサン酸、エイコセン酸等の炭素数4以上の飽和脂肪族モノカルボン酸; オレイン酸、エライジン酸、リノール酸、パルミトレイン酸等の炭素数8以上の不飽和脂肪族モノカルボン酸が挙げられる。
 これらの内でも、炭素数8~18の飽和又は不飽和の脂肪族モノカルボン酸が好ましい。炭素数8以上とすることにより、カルボン酸基が銀粒子表面に吸着した際に他の銀粒子との間隔を確保できるため、銀粒子同士の凝集を防ぐ作用が向上する。入手のし易さ、焼成時の除去のし易さ等を考慮して、通常、炭素数18までの飽和又は不飽和の脂肪族モノカルボン酸化合物が好ましい。特に、オクタン酸、オレイン酸等が好ましく用いられる。前記脂肪族カルボン酸(4)のうち、1種のみを用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
 前記脂肪族カルボン酸(4)は、用いる場合には、原料の前記銀化合物の銀原子1モルに対して、例えば0.05~10モル程度用いるとよく、好ましくは0.1~5モル、より好ましくは0.5~2モル用いるとよい。前記(4)成分の量が、前記銀原子1モルに対して、0.05モルよりも少ないと、前記(4)成分の添加による分散状態での安定性向上効果は弱い。一方、前記(4)成分の量が10モルに達すると、分散状態での安定性向上効果が飽和するし、また、低温焼成での該(4)成分の除去がされにくくなる。ただし、低温焼成での該(4)成分の除去を考慮すると、脂肪族カルボン酸(4)を用いなくてもよい。
 本開示において、通常は、用いる各脂肪族炭化水素アミン成分を含む混合液;例えば、前記脂肪族モノアミン(1)と、さらに、前記脂肪族モノアミン(2)及び前記脂肪族ジアミン(3)のいずれか一方又は両方とを含むアミン混合液を調製する[アミン混合液の調製工程]。
 アミン混合液は、各アミン(1)、(2)及び/又は(3)成分、及び用いる場合には前記カルボン酸(4)成分を、所定割合で室温にて攪拌して調製することができる。
 上記銀化合物(又はそのアルコールスラリー)に、各アミン成分を含む脂肪族炭化水素アミン混合液を添加して、前記銀化合物及び前記アミンを含む錯化合物を生成させる[錯化合物の生成工程]。各アミン成分は、混合液としてないで、逐次に銀化合物(又はそのアルコールスラリー)に添加してもよい。
 銀化合物(又はそのアルコールスラリー)と、所定量のアミン混合液とを混合する。混合は、常温にて行うとよい。「常温」とは周囲温度に応じて5~40℃を意図する。例えば、5~35℃(JIS Z 8703)、10~35℃、20~30℃を意図する。通常の室温(例えば、15~30℃の範囲)であってもよい。この際の混合は、攪拌しながら、あるいは銀化合物へのアミン類の配位反応は発熱を伴うため、上記温度範囲となるように、例えば5~15℃程度になるように適宜冷却して攪拌しながら行ってもよい。銀化合物とアミン混合液との混合を、炭素数3以上のアルコール存在下にて行うと、攪拌及び冷却は良好に行うことができる。アルコールとアミン類の過剰分が反応媒体の役割を果たす。
 銀アミン錯体の熱分解法においては、従来、反応容器中に液体の脂肪族アミン成分をまず仕込み、その中に粉体の銀化合物(シュウ酸銀)が投入されていた。液体の脂肪族アミン成分は引火性物質であり、その中への粉体の銀化合物の投入には危険がある。すなわち、粉体の銀化合物の投入による静電気による着火の危険性がある。また、粉体の銀化合物の投入により、局所的に錯形成反応が進行し、発熱反応が暴発してしまう危険もある。銀化合物とアミン混合液との混合を、前記アルコール存在下にて行うと、このような危険を回避できる。従って、スケールアップされた工業的な製造においても安全である。
 生成する錯化合物が一般にその構成成分に応じた色を呈するので、反応混合物の色の変化の終了を適宜の分光法等により検出することにより、錯化合物の生成反応の終点を検知することができる。また、シュウ酸銀が形成する錯化合物は一般に無色(目視では白色として観察される)であるが、このような場合においても、反応混合物の粘性の変化などの形態変化に基づいて、錯化合物の生成状態を検知することができる。例えば、錯化合物の生成反応の時間は、30分~3時間程度である。このようにして、アルコール及びアミン類を主体とする媒体中に銀-アミン錯体が得られる。
 次に、得られた錯化合物を加熱して熱分解させて、銀粒子(A)を形成する[錯化合物の熱分解工程]。還元剤を用いることなく、銀粒子(A)が形成される。ただし、必要に応じて本開示の効果を阻害しない範囲で適宜の還元剤を用いてもよい。
 このような金属アミン錯体分解法において、一般に、アミン類は、金属化合物の分解により生じる原子状の金属が凝集して微粒子を形成する際の様式をコントロールすると共に、形成された金属微粒子の表面に被膜を形成することで微粒子相互間の再凝集を防止する役割を果たしている。すなわち、金属化合物とアミンの錯化合物を加熱することにより、金属原子に対するアミンの配位結合を維持したままで金属化合物が熱分解して原子状の金属を生成し、次に、アミンが配位した金属原子が凝集してアミン保護膜で被覆された金属ナノ粒子が形成されると考えられる。
 この際の熱分解は、錯化合物をアルコール(用いる場合)及びアミン類を主体とする反応媒体中で攪拌しながら行うことが好ましい。熱分解は、被覆銀ナノ粒子が生成する温度範囲内において行うとよいが、銀粒子表面からのアミンの脱離を防止する観点から前記温度範囲内のなるべく低温で行うことが好ましい。シュウ酸銀の錯化合物の場合には、例えば80℃~120℃程度、好ましくは95℃~115℃程度、より具体的には100℃~110℃程度とすることができる。シュウ酸銀の錯化合物の場合には、概ね100℃程度の加熱により分解が起こると共に銀イオンが還元され、被覆銀ナノ粒子を得ることができる。なお、一般に、シュウ酸銀自体の熱分解は200℃程度で生じるのに対して、シュウ酸銀-アミン錯化合物を形成することで熱分解温度が100℃程度も低下する理由は明らかではないが、シュウ酸銀とアミンとの錯化合物を生成する際に、純粋なシュウ酸銀が形成している配位高分子構造が切断されているためと推察される。
 また、錯化合物の熱分解は、アルゴンなどの不活性ガス雰囲気内において行うことが好ましいが、大気中においても熱分解を行うことができる。
 錯化合物の熱分解により、青色光沢を呈する懸濁液となる。この懸濁液から、過剰のアミン等の除去操作、例えば、銀ナノ粒子の沈降、適切な溶剤(水、又は有機溶剤)によるデカンテーション・洗浄操作を行うことによって、目的とする安定な銀粒子(A)が得られる[銀ナノ粒子の後処理工程]。洗浄操作の後、乾燥すれば、目的とする安定な銀粒子(A)の粉体が得られる。しかしながら、湿潤状態の銀ナノ粒子(N)を接合性導体ペーストの調製に供してもよい。
 デカンテーション・洗浄操作には、水、又は有機溶剤を用いる。有機溶剤としては、例えば、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン等の脂肪族炭化水素溶剤;シクロヘキサン等の脂環式炭化水素溶剤;トルエン、キシレン、メシチレン等のような芳香族炭化水素溶剤;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のようなアルコール溶剤;アセトニトリル;及びそれらの混合溶剤を用いるとよい。
 本開示の接合性導体ペーストに前記式(I)で表される化合物(C)以外の溶剤の混入を避けるため、デカンテーション・洗浄操作の有機溶剤として、前記式(I)で表される化合物(C)を用いてもよい。また、前記式(I)で表される化合物(C)以外の有機溶剤を用いてデカンテーション・洗浄操作を行った後に、前記式(I)で表される化合物(C)を用いてデカンテーション・洗浄操作を行ってもよい。その場合は、式(I)で表される化合物(C)以外の有機溶剤の混入を回避するため、式(I)で表される化合物(C)で複数回(好ましくは、2~4回)デカンテーション・洗浄操作を行うことが好ましい。
 本開示の銀ナノ粒子の形成工程においては還元剤を用いなくてもよいので、還元剤に由来する副生成物がなく、反応系から銀粒子(A)の分離も簡単であり、高純度の銀粒子(A)が得られる。しかしながら、必要に応じて本開示の効果を阻害しない範囲で適宜の還元剤を用いてもよい。
 このようにして、用いた保護剤によって表面が被覆された銀粒子(A)が形成される。前記保護剤は、例えば、前記脂肪族モノアミン(1)を含み、さらに、前記脂肪族モノアミン(2)及び前記脂肪族ジアミン(3)のうちのいずれか一方又は両方を含み、さらに用いた場合には前記カルボン酸(4)を含んでいる。保護剤中におけるそれらの含有割合は、前記アミン混合液中のそれらの使用割合と同等である。銀粒子(A)についても同様である。
 銀粒子(A)としては、市販品を使用してもよく、例えば、(株)ダイセル製の銀ナノインク「Picosil(登録商標)」のLow Viscosity-Type(銀濃度30~50質量%)などを使用することもできる。
 [銀粒子(B)]
 銀粒子(B)の平均粒子径(メジアン径)は、上述の通り、0.1~10μmであり、好ましくは0.1~9μm、より好ましくは0.3~8μmである。尚、銀粒子(B)の平均粒子径(メジアン径)は、レーザー回折・散乱法により測定することができる。
 また、銀粒子(B)の比表面積は、例えば0.5~4.0m2/g、好ましくは0.6~3.0m2/g、より好ましくは0.7~2.5m2/g、さらに好ましくは0.8~2.5m2/gである。尚、銀粒子(B)の比表面積は、BET法により測定することができる。
 本開示の接合性導体ペーストに含まれる全銀粒子のうち、銀粒子(B)の割合は、例えば40重量%以上、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上である。銀粒子(B)を上記範囲で含有すると、窒素等の不活性ガス雰囲気下でも速やかに焼結して、基板と電子素子とを高い接合強度を形成できる点で好ましい。一方、当該銀粒子(B)の割合は、例えば99重量%以下、好ましくは97重量%以下、より好ましくは95重量%以下である。
 銀粒子(B)においては、なかでも、平均粒子径が異なる銀粒子(群)を組み合わせて使用することが、より一層電気抵抗値が低く、電気特性に優れた導体配線や接合構造体を形成することができる点で好ましく、平均粒子径が0.1~1.5μm(より好ましくは0.1~0.6μm)の銀粒子(群)と平均粒子径が1.5μmを超え、8μm以下(より好ましくは5~8μm)の銀粒子(群)を、例えば70/30~30/70、好ましくは40/60~60/40、より好ましくは45/55~55/45(前者/後者:重量比)の割合で組み合わせて使用することが好ましい。
 銀粒子(B)の含有量は、良好な導電性を有する焼結体が得られる点、及び分散安定性に優れる(すなわち、高分散性を長期に亘って安定的に維持することができ、粘度の上昇を抑制することができる)点、窒素等の不活性ガス雰囲気下でも速やかに焼結して、基板と電子素子とを高い接合強度を形成できる点において、接合性導体ペースト全量の、例えば20~95重量%であり、好ましくは30~90重量%、より好ましくは40~90重量%である。
 銀粒子(B)の形状としては、例えば、球状、扁平な形状、多面体等が挙げられ、形状の異なる導電性粒子を組み合わせて使用しても良く、同じ形状の導電性粒子のみを使用しても良い。
 銀粒子(B)としては、市販品を使用してもよく、例えば、商品名「AgC-239」(平均粒子径(メジアン径)6.0μm、福田金属箔粉工業(株)製)、商品名「S211A-10」(平均粒子径(メジアン径)0.54μm、大研化学工業(株)製)などを使用することができる。
 本開示の接合性導体ペーストには、銀粒子(A)、銀粒子(B)以外の導電性粒子(以後、「他の導電性粒子」と称する場合がある)を含有していてもよいが、銀粒子の含有量は本開示の接合性導体ペーストに含まれる導電性粒子全量の例えば75重量%以上、好ましくは80重量%以上、より好ましくは85重量%以上、さらに好ましくは90重量%以上である。尚、銀粒子の含有量の上限は100重量%である。従って、他の導電性粒子の含有量は本開示の接合性導体ペーストに含まれる導電性粒子全量の例えば25重量%以下、好ましくは20重量%以下、より好ましくは15重量%以下、さらに好ましくは10重量%以下、さらにより好ましくは5重量%以下である。銀粒子を上記範囲で含有すると、電気特性に特に優れた、導体配線や接合構造体を形成することができる点で好ましい。
 他の導電性粒子を含有する場合、本開示の接合性導体ペーストに含まれる銀粒子と他の導電性粒子の重量比(前者:後者)は、例えば4:1~30:1、好ましくは6:1~25:1、より好ましくは8:1~20:1である。
 前記他の導電性粒子としては、例えば、パラジウム、白金、金、銅、ニッケル等が挙げられる。これらは1種を単独で、又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
 (接合性導体ペースト)
 本開示の接合性導体ペーストは、導電性粒子としての銀粒子(A)、銀粒子(B)と溶剤としての式(I)で表される化合物を含む。
 本開示の接合性導体ペースト全量(100重量%)における溶剤の含有量(2種以上含有する場合は合計含有量)は、例えば1~50重量%、好ましくは2~40重量%、より好ましくは3~30重量%である。
 また、本開示の接合性導体ペースト全量(100重量%)における式(I)で表される化合物(C)の含有量(2種以上含有する場合は合計含有量)は、例えば1~50重量%、好ましくは2~40重量%、より好ましくは3~30重量%である。
 更に、本開示の接合性導体ペースト全量(100重量%)における導電性粒子の含有量(2種以上含有する場合は合計含有量)は、例えば50~99重量%、好ましくは60~97重量%、より好ましくは70~95重量%である。
 更にまた、本開示の接合性導体ペースト全量(100重量%)における銀粒子の含有量(銀粒子(A)と(B)の合計含有量)は、例えば50~99.8重量%、好ましくは60~97重量%、より好ましくは70~95重量%である。
 本開示の接合性導体ペースト全量(100重量%)において、式(I)で表される化合物(C)と銀粒子の合計含有量が占める割合は、例えば70重量%以上、好ましくは80重量%以上、より好ましくは90重量%以上である。従って、本開示の接合性導体ペーストに含まれる式(I)で表される化合物(C)と銀粒子以外の成分の含有量(2種以上含有する場合は合計含有量)は、例えば30重量%以下、好ましくは20重量%以下、より好ましくは10重量%以下である。
 更にまた、本開示の接合性導体ペースト全量(100重量%)における有機成分の含有量は、例えば、15重量%以下、好ましくは13重量%以下である。該有機成分とは、式(I)で表される化合物(C)が含まれ、さらに、その他の溶剤や有機質の添加剤(接着剤、増粘剤、バインダーなど)も含まれ得る。
 本開示の接合性導体ペーストは、銀粒子(A)と銀粒子(B)を含むため、窒素等の不活性ガス雰囲気下でも速やかに焼結して、基板と電子素子とを高い接合強度で接続可能な高精度の導体配線や接合構造体を形成することができる。
 そして、本開示の接合性導体ペーストに含まれる式(I)で表される化合物は、印刷温度においては揮発速度が遅く、焼結温度においては揮発速度が速い。そのため、本開示の接合性導体ペーストを使用すれば、印刷時は粘度の変動を抑制して、ムラなく印刷することができる。そして、焼結時は、窒素等の不活性ガス雰囲気下において低温(例えば150℃以上、300℃未満、好ましくは170~280℃)でも、接合強度に優れた焼結体を形成することができ(焼結時間は、例えば0.1~2時間、好ましくは0.5~1.5時間)、焼結工程における基板の劣化又は損傷を防止することができる。
 本開示の接合性導体ペーストを印刷法(具体的には、ディスペンサ印刷法、マスク印刷、スクリーン印刷法、インクジェット印刷法等)などにより基板に塗布し、その後、焼結することにより導体配線や接合構造体を形成することができる。
 前記焼結温度は、例えば150℃以上、300℃未満、好ましくは160~280℃である。また、焼結時間は、例えば0.1~2時間、好ましくは0.5~1.5時間である。
 前記焼結は、窒素雰囲気下、アルゴン雰囲気下等の不活性ガス雰囲気下で行うことが、半導体モジュール中のめっき保護されていない銅、ニッケル基板や配線の大気中の酸素による酸化を防止できる点で好ましい。
 本開示の接合性導体ペーストを基板上に塗布する厚さとしては、上記方法で形成される導体配線や接合構造体の厚みが、例えば15~400μm、好ましくは20~250μm、より好ましくは40~180μmとなる範囲である。
 導体配線や接合構造体を形成する基板としては、例えば、セラミック基板、SiC基板、窒化ガリウム基板、金属基板、ガラスエポキシ基板、BTレジン基板、ガラス基板、樹脂基板等が挙げられる。本開示の接合性導体ペーストは上述の通り低温で焼結可能であるため、熱に弱い基板も用いることができる。
 導体配線や接合構造体の形状としては、電子素子を接続することが可能な形状であれば特に制限されることがない。
 また、本開示の接合性導体ペーストは、接着剤(例えば、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂等の分子量10000以上の高分子化合物)を含有してもよいが、その含有量は、接合性導体ペースト全量(100重量)の例えば10重量%以下であり、好ましくは5重量%以下、より好ましくは1重量%以下、さらに好ましくは0.5重量%以下である。そのため、本開示の接合性導体ペーストによれば、接着剤や接着剤由来の非導電成分によって、導電性粒子間や導電性粒子と基板とのインタラクションが阻害されることが無く、導電性に優れた導体配線や接合構造体[電気抵抗値は、例えば10×10-6Ω・cm以下、好ましくは9.0×10-6Ω・cm以下、より好ましくは8.5×10-6Ω・cm以下、さらに好ましくは7.0×10-6Ω・cm以下である]を形成することができる。
 更に、本開示の接合性導体ペーストを使用して基板上に形成された導体配線や接合構造体は、焼結によって導電性粒子が密に集合し、導電性粒子同士が溶け合うことにより、基板に対して優れた接合強度を発揮することができ、例えば銀メッキを施した銅基板に対する接合強度(JIS Z 3198準拠)は、10MPa以上、好ましくは20MPa以上である。
 本開示の接合性導体ペーストは上記特性を有するため、例えば、印刷法を用いて電子部品(例えば、パワー半導体モジュール、LEDモジュール等)を製造する目的に好適に使用することができる。
 以下に、実施例に基づいて本開示をより詳細に説明するが、本開示はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。
 以下において、銀粒子(A)の平均粒子径(メジアン径)は以下の方法により測定した。
 銀粒子(A)の分散液を透過型電子顕微鏡(TEM)により観察を行った。観察は10万倍で4視野×50個とした。また、観察箇所は大小の粒子が共存している箇所とした。画像を解析することで個数粒径分布を求めた。この個数粒径分布に対して公知の換算式を用い粒子をアスペクト比1と仮定した上で体積粒径分布へ変換を行った。この粒径分布より平均粒子径(メジアン径)を求めた。
 また、銀粒子(B)の平均粒子径(メジアン径)はレーザー回折・散乱法により測定した値である。
 使用した銀粒子及び溶剤は、以下のとおりである。
[銀粒子(A)]
・「nAg」:平均粒子径(メジアン径)40nm、(株)ダイセル製
[銀粒子(B)]
・「AgC-239」:平均粒子径(メジアン径)6.0μm、福田金属箔粉工業(株)製
・「S211A-10」:平均粒子径(メジアン径)0.54μm、大研化学工業(株)製
[溶剤(化合物(C))]
・トリプロピレングリコールメチルエーテル:沸点242℃、(株)ダイセル製
・ジプロピレングリコールn-ブチルエーテル:沸点229℃、(株)ダイセル製
・ジプロピレングリコールn-プロピルエーテル:沸点212℃、(株)ダイセル製
・トリプロピレングリコールメチルn-プロピルエーテル:沸点258℃、(株)ダイセル製
・ジエチレングリコールモノブチルエーテル:沸点230℃、(株)ダイセル製
・ジエチレングリコールモノメチルエーテル:沸点193℃、(株)ダイセル製
・ジエチレングリコールモノエチルエーテル:沸点196℃、(株)ダイセル製
・ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート:沸点218℃、(株)ダイセル製
・ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート:沸点247℃、(株)ダイセル製
・エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート:沸点192℃、(株)ダイセル製
・エチレングリコールモノヘキシルエーテル:沸点205℃、(株)ダイセル製
・ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート:沸点213℃、(株)ダイセル製
 実施例1
 nAgのメタノールスラリー10gに溶剤(C1)としてジエチレングリコールモノブチルエーテルを50g添加し遠心分離により溶剤分とnAgの湿粉に分離した。
 溶剤分を廃棄し、湿粉にジエチレングリコールモノブチルエーテルを50g添加し分散後、遠心分離により溶剤分とnAgに湿粉に分離した。この操作を3回繰り返し、nAgのジエチレングリコールモノブチルエーテル湿粉を得た。湿粉をTG-DTAで400℃まで加熱し、重量減少分から含有のジエチレングリコールモノブチルエーテル重量を算出した。湿粉中のジエチレングリコールモノブチルエーテル含有量は14.5wt%であった。
 その後、AgC-239を80部、nAg湿粉を23.4部(nAg20部、ジエチレングリコールモノブチルエーテル3.4部:上記TG-DTAからの算出値より)、溶剤(C2)としてトリプロピレングリコールメチルn-プロピルエーテル8部を自転公転ミキサーで混合し、nAgとAgC-239を含有する接合性導体ペーストを得た。
 実施例1~40
 銀粒子(A)、銀粒子(B)、溶剤(C1)、溶剤(C2)の配合量を表1~6の通りとしたこと以外は、実施例1と同様にして、接合性導体ペーストを得た。
 比較例1
 AgC-239を100部、及び溶剤(C2)としてジプロピレングリコールn-プロピルエーテル10部を自転公転ミキサーで混合し、AgC-239を含有する接合性導体ペーストを得た。
 比較例2~7
 銀粒子(B)、溶剤(C2)の配合量を表1~6の通りとしたこと以外は、比較例1と同様にして、接合性導体ペーストを得た。
(メタルマスク印刷性、接合強度の評価)
 使用した基板、マスク、機器は、以下のとおりである。
[基板]
・銀メッキ基材(日本テストパネル(株)製)
 基板:銅(1.0mm×9mm×60mm)
 下地:無電解ニッケルめっき(5μm)
 最表面:半光沢銀めっき(1.0μm)
・金メッキ基材(日本テストパネル(株)製)(実施例32~35、比較例5のみ)
 基板:銅(1.0mm×9mm×60mm)
 下地:無電解ニッケルめっき(5μm)
 最表面:半光沢銀めっき(1.0μm)
・シリコンチップ(ヤマナカヒューテック(株)製)
 シリコン(0.525mm×3mm×3mm)
 下地:チタン500nmスパッタ
 最表面:銀2μmスパッタ
[マスク]
・メタルマスク((株)東和テック社製)
 3mm×3mm、メッシュ厚み100μm
[機器]
・チップマウンター
 SMT-64H(奥原電機(株)製)
・焼結炉(リフロー炉)
 RSS-450-210-FA(UNITEMP製)
 基板(1)に、メタルマスク印刷方法により、上記実施例、比較例で得られた接合性導体ペーストを塗布して塗膜を形成した(塗膜厚み:約100μm)。メタルマスク印刷性を以下基準で評価した。結果を表1~4に示す。
・銀メッキ基材、金メッキ基材、シリコンチップの何れの基板においても塗膜が基板から滲み出さない・・・良好
・銀メッキ基材、金メッキ基材、シリコンチップの何れかの基板において塗膜が基板から滲み出す・・・不良
 次に、形成された塗膜の上に、基板(1)と同じ基板(2)を載せたものを、リフロー炉を使用して、以下の条件で加熱して焼結を行って試料(基板(1)/焼結された接合性導体ペースト/基板(2))を作成した。
・大気下(実施例1~35、40、比較例1~5、7):
 25℃→180℃(昇温速度:15℃/min)
 180℃で60minホールド
・大気下(実施例36~39、比較例6)
 25℃→160℃(昇温速度:15℃/min)
 160℃で60minホールド
・窒素雰囲気下(実施例1~31、比較例1~4):
 25℃→250℃(昇温速度:15℃/min)
 250℃で60minホールド
・窒素雰囲気下(実施例40、比較例7)
 25℃→180℃(昇温速度:15℃/min)
 180℃で60minホールド
 得られた試料(n=4)について、ダイシェアテスターSERIES4000(DAGE製)を使用して、室温条件下、以下の条件で、基板(1)と基板(2)間の接合強度を測定して接合性を評価した。基板として銀メッキ基材、金メッキ基材(実施例32~35、比較例5のみ)、シリコンチップを用いた場合の接合強度(MPa)の平均値を表1~5に示す。
 テスト速度:50μm/s
 テスト高さ:50μm
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
 銀粒子(A)を配合した実施例の接合性導体ペーストはマスク印刷性が良好であったに対して、銀粒子(A)を配合していない比較例の接合性導体ペーストのマスク印刷性は不良であった。また、銀粒子(A)を配合していない比較例の接合性導体ペーストの接合強度は、窒素雰囲気下で大きく低下するのに対して、銀粒子(A)を配合した実施例の接合性導体ペーストは窒素雰囲気下でも良好な接合強度を示した。
 実施例40、比較例7の接合性導体ペーストについて、焼結時間(ホールド時間)を10分、20分、30分、60分にしたこと以外は、上記と同様にして、接合強度を評価した。結果を表6に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
 銀粒子(A)を配合した実施例の接合性導体ペーストは、焼結時間を短縮してもが良好な接合強度を示した。一方、銀粒子(A)を配合していない比較例の接合性導体ペーストは、焼結時間を短縮すると、大気下でも接合強度が大きく低下した。
 本明細書に開示された各々の態様は、本明細書に開示された他のいかなる特徴とも組み合わせることができる。
 各実施形態における各構成及びそれらの組み合わせ等は、一例であって、本開示の主旨から逸脱しない範囲内で、適宜、構成の付加、省略、置換、及びその他の変更が可能である。本開示は、実施形態によって限定されることはなく、クレームの範囲によってのみ限定される。
 上記で説明した本開示のバリエーションを以下に付記する。
[1]導電性粒子と溶剤を含む、電子素子を接続するための導体配線及び/又は接合構造体を形成するための接合性導体ペーストであって、導電性粒子として平均粒子径が1nm以上100nm未満の銀粒子(A)及び平均粒子径が0.1μm以上10μm以下の銀粒子(B)を含み、
 前記銀粒子(A)は、アミンを含む保護剤で表面が被覆された構成を有する銀ナノ粒子であり、
 溶剤として下記式(I)
   Ra-O-(X-O)n-Rb   (I)
(式中、Raは炭素数1~6の炭化水素基及びアシル基から選択される1価の基を示す。Xは炭素数2~6の炭化水素基から選択される2価の基を示す。Rbは水素原子、又は炭素数1~6の炭化水素基及びアシル基から選択される1価の基を示す。RaとRbは同一の基であってもよい。nは1~3の整数を示す)
で表される化合物(C)を含む接合性導体ペースト。
[2]前記銀粒子(A)の平均粒子径(メジアン径)が、0.5~90nm(好ましくは1~80nm、さらに好ましくは1~75nm)である、上記[1]に記載の接合性導体ペースト。
[3]前記接合性導体ペーストに含まれる全銀粒子のうち、銀粒子(A)の割合が、50重量%以下(好ましくは45重量%以下、より好ましくは40重量%以下)である、上記[1]又は[2]に記載の接合性導体ペースト。
[4]前記接合性導体ペーストに含まれる全銀粒子のうち、銀粒子(A)の割合が、1重量%以上(好ましくは3重量%以上、より好ましくは4重量%以上)である、上記[1]~[3]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[5]前記銀粒子(A)の含有量が、接合性導体ペースト全量(100重量%)に対して1~45重量%(好ましくは2~43重量%、より好ましくは3~40重量%)である、上記[1]~[4]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[6]前記銀粒子(A)における保護剤が、アミンとして、脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなり且つ該脂肪族炭化水素基の炭素総数が6以上である脂肪族炭化水素モノアミン(1)を含み、
 さらに、脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなり且つ該脂肪族炭化水素基の炭素総数が5以下である脂肪族炭化水素モノアミン(2)、及び脂肪族炭化水素基と2つのアミノ基とからなり且つ該脂肪族炭化水素基の炭素総数が8以下である脂肪族炭化水素ジアミン(3)のうちの少なくとも一方を含む、上記[1]~[5]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[7]前記脂肪族炭化水素モノアミン(1)と、前記脂肪族炭化水素モノアミン(2)及び前記脂肪族炭化水素ジアミン(3)のいずれか一方又は両方との使用割合が、前記全アミン類[(1)+(2)+(3)]を基準として、
前記脂肪族モノアミン(1):5モル%~65モル%
前記脂肪族モノアミン(2)及び前記脂肪族ジアミン(3)の合計量:35モル%~95モル%
である、上記[6]に記載の接合性導体ペースト。
[8]前記脂肪族モノアミン(1)と、さらに、前記脂肪族モノアミン(2)及び前記脂肪族ジアミン(3)の両方とを用いる場合、それらの使用割合が、前記全アミン類[(1)+(2)+(3)]を基準として、
前記脂肪族モノアミン(1): 5モル%~65モル%
前記脂肪族モノアミン(2): 5モル%~70モル%
前記脂肪族ジアミン(3):  5モル%~50モル%
である、上記[6]に記載の接合性導体ペースト。
[9]前記脂肪族モノアミン(1)と前記脂肪族モノアミン(2)とを用いる(前記脂肪族ジアミン(3)を用いずに)場合、それらの使用割合が、前記全アミン類[(1)+(2)]を基準として、
前記脂肪族モノアミン(1):  5モル%~65モル%
前記脂肪族モノアミン(2): 35モル%~95モル%
である、上記[6]に記載の接合性導体ペースト。
[10]前記脂肪族モノアミン(1)と前記脂肪族ジアミン(3)とを用いる(前記脂肪族モノアミン(2)を用いずに)場合、それらの使用割合が、前記全アミン類[(1)+(3)]を基準として、
前記脂肪族モノアミン(1): 5モル%~65モル%
前記脂肪族ジアミン(3): 35モル%~95モル%
である、上記[6]に記載の接合性導体ペースト。
[11]前記保護剤が、さらに、脂肪族カルボン酸(4)を含む、上記[1]~[10]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[12]前記脂肪族カルボン酸(4)が、炭素数8~18の飽和又は不飽和の脂肪族モノカルボン酸を含む、上記[11]に記載の接合性導体ペースト。
[13]前記銀粒子(B)の平均粒子径(メジアン径)が、0.1~9μm(好ましくは0.3~8μm)である、上記[1]~[12]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[14]前記銀粒子(B)の比表面積が、0.5~4.0m2/g(好ましくは0.6~3.0m2/g、より好ましくは0.7~2.5m2/g、さらに好ましくは0.8~2.5m2/g)である、上記[1]~[13]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[15]前記接合性導体ペーストに含まれる全銀粒子のうち、銀粒子(B)の割合が、40重量%以上(好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上)である、上記[1]~[14]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[16]前記接合性導体ペーストに含まれる全銀粒子のうち、銀粒子(B)の割合が、99重量%以下(好ましくは97重量%以下、より好ましくは95重量%以下)である、上記[1]~[15]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[17]前記銀粒子(B)が、平均粒子径が0.1~1.5μm(好ましくは0.1~0.6μm)の銀粒子(群)と平均粒子径が1.5μmを超え、8μm以下(好ましくは5~8μm)の銀粒子(群)を含む、上記[1]~[16]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[18]平均粒子径が0.1~1.5μmの銀粒子(群)と平均粒子径が1.5μmを超え、8μm以下の銀粒子(群)の割合(前者/後者:重量比)が、70/30~30/70(好ましくは40/60~60/40、より好ましくは45/55~55/45)である、上記[17]に記載の接合性導体ペースト。
[19]前記銀粒子(B)の含有量が、接合性導体ペースト全量(100重量%)に対して、20~95重量%(好ましくは30~90重量%、より好ましくは40~90重量%)である、上記[1]~[18]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[20]前記式(I)で表される化合物(C)の常圧下における沸点が160℃以上(好ましくは190℃以上、より好ましくは190~290℃、さらに好ましくは200~260℃)である、上記[1]~[19]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[21]前記式(I)で表される化合物(C)の25℃におけるSP値[(cal/cm31/2]が11.0以下(好ましくは10.0以下、より好ましくは9.0以下)である、上記[1]~[20]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[22]前記式(I)中のXがエチレン基、プロピレン基又はトリメチレン基である、上記[1]~[21]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[23]前記溶剤全量(100重量%)における、前記式(I)で表される化合物(C)の含有量の占める割合は、70~100重量%(好ましくは80重量%~100重量%、より好ましくは85重量%~100重量%、さらにより好ましくは90重量%~100重量%、さらにより好ましく95重量%~100重量%、さらにより好ましくは99重量%~100重量%)である、上記[1]~[22]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[24]前記式(I)で表される化合物(C)の含有量が、導電性粒子(銀粒子(A)及び銀粒子(B)の合計)100重量部に対して、1~50重量部(好ましくは2~30重量部、より好ましくは3~30重量部)である、上記[1]~[23]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[25]前記接合性導体ペースト全量(100重量%)における溶剤の含有量(2種以上含有する場合は合計含有量)が、1~50重量%(好ましくは2~40重量%、より好ましくは3~30重量%)である、上記[1]~[24]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[26]前記接合性導体ペースト全量(100重量%)における式(I)で表される化合物(C)の含有量(2種以上含有する場合は合計含有量)が、1~50重量%(好ましくは2~40重量%、より好ましくは3~30重量%)である、上記[1]~[25]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[27]前記接合性導体ペースト全量(100重量%)における導電性粒子の含有量(2種以上含有する場合は合計含有量)が、50~99重量%(好ましくは60~97重量%、より好ましくは70~95重量%)である、上記[1]~[26]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[28]前記接合性導体ペースト全量(100重量%)における銀粒子(A)及び銀粒子(B)の合計の含有量が50~99.8重量%(好ましくは60~97重量%、より好ましくは70~95重量%)である、上記[1]~[27]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[29]前記接合性導体ペースト全量(100重量%)において、式(I)で表される化合物(C)と銀粒子の合計含有量が占める割合が、70重量%以上(好ましくは80重量%以上、より好ましくは90重量%以上)である、上記[1]~[28]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[30]有機成分の含有量が、接合性導体ペースト(100重量%)に対して15重量%以下(好ましくは13重量%以下)である、上記[1]~[29]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[31]接着剤(例えば、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂等の分子量10000以上の高分子化合物)の含有量が、接合性導体ペースト全量(100重量)の10重量%以下(好ましくは5重量%以下、より好ましくは1重量%以下、さらに好ましくは0.5重量%以下)である、上記[1]~[30]のいずれか1つに記載の接合性導体ペースト。
[32]上記[1]~[31]のいずれか1つに記載の接合性導体ペーストを基板上に塗布し、その後焼結することにより導体配線及び/又は接合構造体を形成する工程を有する電子部品の製造方法。
 本開示の接合性導体ペーストは、例えば、印刷法を用いて電子部品(例えば、パワー半導体モジュール、LEDモジュール等)を製造する目的に好適に使用することができる。

Claims (9)

  1.  導電性粒子と溶剤を含む、電子素子を接続するための導体配線及び/又は接合構造体を形成するための接合性導体ペーストであって、導電性粒子として平均粒子径が1nm以上100nm未満の銀粒子(A)及び平均粒子径が0.1μm以上10μm以下の銀粒子(B)を含み、
     前記銀粒子(A)は、アミンを含む保護剤で表面が被覆された構成を有する銀ナノ粒子であり、
     溶剤として下記式(I)
       Ra-O-(X-O)n-Rb   (I)
    (式中、Raは炭素数1~6の炭化水素基及びアシル基から選択される1価の基を示す。Xは炭素数2~6の炭化水素基から選択される2価の基を示す。Rbは水素原子、又は炭素数1~6の炭化水素基及びアシル基から選択される1価の基を示す。RaとRbは同一の基であってもよい。nは1~3の整数を示す)
    で表される化合物(C)を含む接合性導体ペースト。
  2.  前記接合性導体ペーストに含まれる全銀粒子のうち、銀粒子(A)の割合が、50重量%以下である請求項1に記載の接合性導体ペースト。
  3.  前記銀粒子(A)における保護剤が、アミンとして、脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなり且つ該脂肪族炭化水素基の炭素総数が6以上である脂肪族炭化水素モノアミン(1)を含み、
     さらに、脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなり且つ該脂肪族炭化水素基の炭素総数が5以下である脂肪族炭化水素モノアミン(2)、及び脂肪族炭化水素基と2つのアミノ基とからなり且つ該脂肪族炭化水素基の炭素総数が8以下である脂肪族炭化水素ジアミン(3)のうちの少なくとも一方を含む請求項1又は2に記載の接合性導体ペースト。
  4.  前記式(I)で表される化合物(C)の常圧下における沸点が160℃以上である請求項1~3の何れか1項に記載の接合性導体ペースト。
  5.  前記式(I)で表される化合物(C)の25℃におけるSP値[(cal/cm31/2]が11.0以下である請求項1~4の何れか1項に記載の接合性導体ペースト。
  6.  式(I)中のXがエチレン基、プロピレン基又はトリメチレン基である請求項1~5の何れか1項に記載の接合性導体ペースト。
  7.  接合性導体ペースト全量における銀粒子(A)及び銀粒子(B)の合計の含有量が50~99.8重量%である請求項1~6の何れか1項に記載の接合性導体ペースト。
  8.  有機成分の含有量が、接合性導体ペースト(100重量%)に対して15重量%以下である請求項1~7の何れか1項に記載の接合性導体ペースト。
  9.  請求項1~8の何れか1項に記載の接合性導体ペーストを基板上に塗布し、その後焼結することにより導体配線及び/又は接合構造体を形成する工程を有する電子部品の製造方法。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009170277A (ja) 2008-01-17 2009-07-30 Osaka Univ 導電性ペースト
WO2015163076A1 (ja) * 2014-04-25 2015-10-29 株式会社ダイセル 銀粒子塗料組成物
WO2017038572A1 (ja) * 2015-08-31 2017-03-09 ハリマ化成株式会社 導電性ペースト
JP2019145510A (ja) 2012-12-20 2019-08-29 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 静電気低減ローラー、及びウェブ上の静電気を低減させるための方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012059974A1 (ja) * 2010-11-01 2012-05-10 Dowaエレクトロニクス株式会社 低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法
JP5811430B2 (ja) * 2013-04-24 2015-11-11 Dic株式会社 金属ナノ粒子保護ポリマー、金属コロイド溶液及びそれらの製造方法
US10696852B2 (en) * 2014-12-11 2020-06-30 Dic Corporation Silver paste, and conductive molded article obtained using same
JP6574746B2 (ja) * 2016-09-21 2019-09-11 矢崎総業株式会社 導電性ペースト及びそれを用いた配線板

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009170277A (ja) 2008-01-17 2009-07-30 Osaka Univ 導電性ペースト
JP2019145510A (ja) 2012-12-20 2019-08-29 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 静電気低減ローラー、及びウェブ上の静電気を低減させるための方法
WO2015163076A1 (ja) * 2014-04-25 2015-10-29 株式会社ダイセル 銀粒子塗料組成物
WO2017038572A1 (ja) * 2015-08-31 2017-03-09 ハリマ化成株式会社 導電性ペースト

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP4012726A4
YI LIC.P. WONG: "Recent advances of conductive adhesives as a lead-free alternative in electronic packaging: Materials, processing, reliability and applications", MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING, vol. R51, 2006, pages l-35

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