WO2020165686A1 - 表示装置、表示モジュール、及び電子機器 - Google Patents

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WO2020165686A1
WO2020165686A1 PCT/IB2020/050823 IB2020050823W WO2020165686A1 WO 2020165686 A1 WO2020165686 A1 WO 2020165686A1 IB 2020050823 W IB2020050823 W IB 2020050823W WO 2020165686 A1 WO2020165686 A1 WO 2020165686A1
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light
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light emitting
emitting element
substrate
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初見亮
鎌田太介
久保田大介
佐藤来
安達広樹
山内諒
渡邉一徳
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Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
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    • H10K59/8792Arrangements for improving contrast, e.g. preventing reflection of ambient light comprising light absorbing layers, e.g. black layers
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    • G09G2360/00Aspects of the architecture of display systems
    • G09G2360/14Detecting light within display terminals, e.g. using a single or a plurality of photosensors
    • G09G2360/141Detecting light within display terminals, e.g. using a single or a plurality of photosensors the light conveying information used for selecting or modulating the light emitting or modulating element
    • G09G2360/142Detecting light within display terminals, e.g. using a single or a plurality of photosensors the light conveying information used for selecting or modulating the light emitting or modulating element the light being detected by light detection means within each pixel

Definitions

  • One embodiment of the present invention relates to a display device, a display module, and an electronic device.
  • One embodiment of the present invention relates to a display device including a light receiving element and a light emitting element.
  • one embodiment of the present invention is not limited to the above technical field.
  • a semiconductor device, a display device, a light-emitting device, a power storage device, a storage device, an electronic device, a lighting device, an input device (such as a touch sensor), an input/output device (such as a touch panel) ), their driving method, or those manufacturing methods can be mentioned as an example.
  • display devices are expected to be applied to various uses.
  • a home-use television device also referred to as a television or a television receiver
  • a digital signage digital signage
  • PID Public Information Display
  • smartphones and tablet terminals equipped with a touch panel are being developed.
  • a light emitting device having a light emitting element As a display device, for example, a light emitting device having a light emitting element has been developed.
  • a light-emitting element also referred to as an EL element
  • EL electroluminescence
  • Patent Document 1 discloses a flexible light emitting device to which an organic EL element is applied.
  • An object of one embodiment of the present invention is to provide a display device having a light detection function.
  • An object of one embodiment of the present invention is to provide a highly convenient display device.
  • An object of one embodiment of the present invention is to provide a multifunctional display device.
  • An object of one embodiment of the present invention is to provide a display device with high display quality.
  • An object of one embodiment of the present invention is to provide a display device with high photodetection sensitivity.
  • An object of one embodiment of the present invention is to provide a novel display device.
  • One embodiment of the present invention is a display device including a first substrate, a second substrate, a light-receiving element, a first light-emitting element, a resin layer, and a first light-blocking layer.
  • the light receiving element, the first light emitting element, the resin layer, and the first light shielding layer are respectively located between the first substrate and the second substrate.
  • the light receiving element has a first pixel electrode on the first substrate, an active layer on the first pixel electrode, and a common electrode on the active layer.
  • the first light emitting element has a second pixel electrode on the first substrate, a first light emitting layer on the second pixel electrode, and a common electrode on the first light emitting layer.
  • the resin layer and the first light shielding layer are located between the common electrode and the second substrate, respectively.
  • the resin layer has an opening overlapping with the light receiving element.
  • the resin layer has a portion overlapping with the first light emitting element.
  • the first light shielding layer has a portion located between the common electrode and the resin layer.
  • the first light-shielding layer preferably covers at least a part of the opening and at least a part of the side surface of the resin layer exposed at the opening.
  • One embodiment of the present invention is a display device including a first substrate, a second substrate, a light-receiving element, a first light-emitting element, a resin layer, and a first light-blocking layer.
  • the light receiving element, the first light emitting element, the resin layer, and the first light shielding layer are respectively located between the first substrate and the second substrate.
  • the light receiving element has a first pixel electrode on the first substrate, an active layer on the first pixel electrode, and a common electrode on the active layer.
  • the first light emitting element has a second pixel electrode on the first substrate, a first light emitting layer on the second pixel electrode, and a common electrode on the first light emitting layer.
  • the resin layer and the first light shielding layer are located between the common electrode and the second substrate, respectively.
  • the resin layer is provided in an island shape and has a portion overlapping with the first light-emitting element.
  • the first light shielding layer has a portion located between the common electrode and the resin layer. At least a part of the light passing through the second substrate enters the light receiving element without passing through the resin layer.
  • the first light shielding layer preferably covers at least a part of the side surface of the resin layer.
  • the display device of one embodiment of the present invention preferably further includes an adhesive layer.
  • the adhesive layer is preferably located between the common electrode and the second substrate.
  • the resin layer and the first light shielding layer are preferably located between the adhesive layer and the second substrate, respectively.
  • the adhesive layer preferably has a first portion overlapping with the light receiving element and a second portion overlapping with the first light emitting element. The first portion is preferably thicker than the second portion.
  • the display device of one embodiment of the present invention further include a common layer.
  • the common layer preferably has a portion located between the first pixel electrode and the common electrode and a portion located between the second pixel electrode and the common electrode.
  • the display device of one embodiment of the present invention preferably further includes a partition.
  • the partition wall preferably covers an end portion of the first pixel electrode and an end portion of the second pixel electrode.
  • the partition wall preferably has a function of absorbing at least part of light emitted from the first light-emitting element.
  • the display device of one embodiment of the present invention preferably further includes a partition wall and a second light-blocking layer.
  • the partition wall preferably covers an end portion of the first pixel electrode and an end portion of the second pixel electrode.
  • the second light-shielding layer preferably has a portion located between the partition wall and the first light-shielding layer and has a function of absorbing at least part of light emitted from the first light-emitting element.
  • the partition preferably has an opening between the light receiving element and the first light emitting element.
  • the second light shielding layer preferably covers the opening of the partition.
  • the light receiving element is preferably surrounded by the second light shielding layer.
  • the display device of one embodiment of the present invention further include a second light-emitting element.
  • the second light emitting element is preferably located between the first substrate and the second substrate. It is preferable that the second light emitting element has a third pixel electrode on the first substrate, a second light emitting layer on the third pixel electrode, and a common electrode on the second light emitting layer.
  • the first light emitting element preferably emits the light emitted by the first light emitting layer.
  • the second light emitting element preferably emits the light emitted by the second light emitting layer.
  • the display device of one embodiment of the present invention preferably further includes a second light-emitting element, a first colored layer, and a second colored layer.
  • the second light emitting element is preferably located between the first substrate and the second substrate. It is preferable that the second light emitting element has a third pixel electrode on the first substrate, a first light emitting layer on the third pixel electrode, and a common electrode on the first light emitting layer.
  • the first colored layer and the second colored layer are preferably located between the common electrode and the second substrate, respectively.
  • the light emitted from the first light emitting element is preferably extracted as light of the first color via the first colored layer.
  • the light emitted by the second light emitting element is preferably extracted as light of the second color via the second colored layer.
  • the display device of one embodiment of the present invention preferably further includes a second light-emitting element, a partition wall, a second light-blocking layer, and a spacer.
  • the second light emitting element is preferably located between the first substrate and the second substrate.
  • the second light emitting element preferably has a third pixel electrode on the first substrate and a common electrode on the third pixel electrode.
  • the partition wall preferably covers an end portion of the first pixel electrode, an end portion of the second pixel electrode, and an end portion of the third pixel electrode.
  • the second light-shielding layer preferably has a portion located between the partition wall and the first light-shielding layer and has a function of absorbing at least part of light emitted from the first light-emitting element.
  • the spacer preferably has a portion located between the partition wall and the first light shielding layer.
  • the second light shielding layer may be located between the light receiving element and the first light emitting element, and the spacer may be located between the first light emitting element and the second light emitting element.
  • the upper surface of the spacer is preferably closer to the second substrate than the upper surface of the second light shielding layer.
  • the active layer preferably contains an organic compound.
  • the display device of one embodiment of the present invention preferably further includes a lens.
  • the lens preferably has a portion overlapping the light receiving element.
  • the display portion preferably includes a first substrate, a second substrate, a light-receiving element, a first light-emitting element, a resin layer, and a first light-blocking layer.
  • the display portion preferably has flexibility.
  • One embodiment of the present invention is a module having a display device having any of the above structures and having a connector such as a flexible printed circuit board (Flexible Printed Circuit, hereinafter referred to as FPC) or TCP (Tape Carrier Package) attached thereto, Alternatively, it is a module such as a module in which an integrated circuit (IC) is mounted by a COG (Chip On Glass) method or a COF (Chip On Film) method.
  • FPC Flexible Printed Circuit
  • TCP Transmission Carrier Package
  • One embodiment of the present invention is an electronic device including the above module and at least one of an antenna, a battery, a housing, a camera, a speaker, a microphone, and an operation button.
  • a display device having a light detection function can be provided.
  • a highly convenient display device can be provided.
  • a multi-functional display device can be provided.
  • a display device with high display quality can be provided.
  • a display device with high photodetection sensitivity can be provided.
  • a novel display device can be provided.
  • FIG. 1A to 1D are cross-sectional views showing an example of a display device.
  • 1E to 1I are top views showing an example of a pixel.
  • FIG. 2A is a cross-sectional view showing an example of a display device.
  • 2B and 2C are diagrams showing an example of a top surface layout of the resin layer.
  • 3A and 3B are cross-sectional views showing an example of a display device.
  • 4A to 4C are cross-sectional views showing an example of a display device.
  • 5A to 5C are cross-sectional views showing an example of a display device.
  • FIG. 6A is a top view showing an example of a display device.
  • FIG. 6B is a cross-sectional view showing an example of the display device.
  • FIG. 7A and 7B are cross-sectional views showing an example of a display device.
  • FIG. 8A is a top view showing an example of a display device.
  • FIG. 8B is a cross-sectional view showing an example of the display device.
  • FIG. 9A is a top view showing an example of a display device.
  • FIG. 9B is a cross-sectional view showing an example of the display device.
  • 10A and 10B are cross-sectional views showing an example of a display device.
  • 11A and 11B are cross-sectional views showing an example of a display device.
  • FIG. 12 is a perspective view showing an example of a display device.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view showing an example of the display device.
  • 14A and 14B are cross-sectional views showing an example of a display device.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view showing an example of a display device.
  • FIG. 16A is a cross-sectional view showing an example of a display device.
  • FIG. 16B is a cross-sectional view showing an example of a transistor.
  • 17A and 17B are circuit diagrams showing an example of a pixel circuit.
  • FIG. 18A is a block diagram showing an example of a pixel.
  • FIG. 18B is a circuit diagram showing an example of a pixel circuit.
  • 19A and 19B are diagrams illustrating examples of electronic devices.
  • 20A to 20D are diagrams illustrating examples of electronic devices.
  • 21A to 21F are diagrams illustrating examples of electronic devices.
  • FIG. 22 is a top view photograph of the evaluation device of Example 1.
  • FIG. 23A and 23B are cross-sectional observation photographs of the evaluation device of Example 1.
  • FIG. 24 is a photograph showing the display result of the display device of Example 1.
  • 25A and 25B are cross-sectional observation photographs of the evaluation device of Example 1.
  • 26: is a figure which shows the device structure which comprises the pixel of the display apparatus of Example 2.
  • FIG. 27A and 27B are photographs showing the display results of the display device of Example 2.
  • 28: is a graph which shows the detection result of the stray light of the display apparatus of Example 2.
  • FIG. FIG. 29 is a graph showing the detection results of stray light from the display device of Example 2.
  • FIG. 30 is a diagram illustrating the image pickup optical system of the display device according to the second embodiment.
  • FIG. 31 is a graph showing the calculation result of the imaging range of the display device according to the second embodiment.
  • 32A and 32B are photographs showing the imaging results of the display device of Example 2.
  • FIG. 33 is a graph showing the imaging result of the display device of the second embodiment.
  • 34A is a photograph showing a state of imaging using the display device of Example 2.
  • FIG. 34B is a photograph showing an imaging result of the display device of Example 2.
  • FIG. 35A is a photograph showing a state of imaging using the display device of Example 2.
  • FIG. 35B is a photograph showing an imaging result of the display device of Example 2.
  • FIG. 36 is a graph showing the current density-voltage characteristics of the device of Example 3.
  • 37A and 37B are graphs showing current density-voltage characteristics of the device of Example 4.
  • FIG. 38A and 38B are graphs showing the wavelength dependence of the external quantum efficiency of the device of Example 4.
  • FIG. 39 is a graph showing the wavelength dependence of the external quantum efficiency of the device of Example 5.
  • FIG. 40 is a graph showing the temperature dependence of the external quantum efficiency of the device of Example 5.
  • FIG. 41 is a graph showing the wavelength dependence of the external quantum efficiency of the device of Example 6.
  • FIG. 42 is a graph showing the current density-voltage characteristics of the device of Example 6.
  • 43A to 43C are graphs showing the results of the reliability test of the device of Example 7.
  • FIG. 44 is a graph showing the result of the reliability test of the device of Example 7.
  • FIG. 45 is a graph showing the result of the reliability test of the device of Example 7.
  • film and the term “layer” can be interchanged with each other depending on the case or circumstances.
  • conductive layer can be changed to the term “conductive film”.
  • insulating film can be changed to the term “insulating layer”.
  • the term “light emitting element” can be changed to the term “light emitting device”.
  • the term “light receiving element” can be changed to the term “light receiving device”.
  • the display device of this embodiment includes a light-receiving element and a light-emitting element in the display portion.
  • light-emitting elements are arranged in matrix in the display portion, and an image can be displayed on the display portion.
  • light receiving elements are arranged in a matrix in the display portion, and the display portion also has a function as a light receiving portion.
  • the light receiving unit can be used for an image sensor or a touch sensor. That is, by detecting light with the light receiving unit, it is possible to capture an image and detect the proximity or contact of an object (finger, pen, etc.).
  • the display device of this embodiment can use the light emitting element as a light source of the sensor. Therefore, it is not necessary to provide a light receiving section and a light source separately from the display device, and the number of parts of the electronic device can be reduced.
  • the light-receiving element when the object reflects the light emitted from the light-emitting element included in the display portion, the light-receiving element can detect the reflected light, so that imaging or touch (and proximity) detection can be performed even in a dark place. It is possible.
  • the display device of this embodiment has a function of displaying an image using a light-emitting element. That is, the light emitting element functions as a display element.
  • an EL element such as an OLED (Organic Light Emitting Diode) or a QLED (Quantum-dot Light Emitting Diode).
  • a light-emitting substance included in an EL element a substance that emits fluorescence (a fluorescent material), a substance that emits phosphorescence (a phosphorescent material), an inorganic compound (a quantum dot material, or the like), or a substance that exhibits heat-activated delayed fluorescence (heat-activated delayed fluorescence) (Thermally Activated Delayed Fluorescence (TADF) material) and the like.
  • an LED such as a micro LED (Light Emitting Diode) can be used.
  • the display device of this embodiment has a function of detecting light using a light-receiving element.
  • the display device of the present embodiment can capture an image using the light receiving element.
  • an image sensor can be used to acquire data such as a fingerprint, a palm print, or an iris. That is, the biometric sensor can be incorporated in the display device of this embodiment. By incorporating the biometric sensor in the display device, the number of parts of the electronic device can be reduced, and the electronic device can be made smaller and lighter than in the case where the biometric sensor is provided separately from the display device. ..
  • the image sensor can be used to acquire data such as a user's facial expression, eye movement, or change in pupil diameter.
  • data such as a user's facial expression, eye movement, or change in pupil diameter.
  • the physical and mental information of the user can be obtained.
  • the output content of one or both of the display and the sound By changing the output content of one or both of the display and the sound based on the information, for example, in a VR (Virtual Reality) device, an AR (Augmented Reality) device, or an MR (Mixed Reality) device, The user can use the device safely.
  • VR Virtual Reality
  • AR Augmented Reality
  • MR Mated Reality
  • the display device of the present embodiment can detect the proximity or contact of the object using the light receiving element.
  • the light receiving element for example, a pn type or pin type photodiode can be used.
  • the light receiving element functions as a photoelectric conversion element that detects light incident on the light receiving element and generates electric charges. The amount of charges generated is determined based on the amount of incident light.
  • an organic photodiode having a layer containing an organic compound as the light receiving element.
  • the organic photodiode is easy to be thin, lightweight, and has a large area, and since it has a high degree of freedom in shape and design, it can be applied to various display devices.
  • an organic EL element is used as a light emitting element and an organic photodiode is used as a light receiving element.
  • the organic EL element and the organic photodiode can be formed on the same substrate. Therefore, the organic photodiode can be built in the display device using the organic EL element.
  • the display device preferably has a light shielding layer on the display surface side with respect to the surface on which the light emitting element and the light receiving element are provided.
  • Light emitted from the light-emitting element is preferably taken out of the display device through an opening in the light-blocking layer (or a region where the light-blocking layer is not provided). It is preferable that the light is irradiated through a region (wherein is not provided).
  • the light receiving element detects the light emitted from the light emitting element and reflected by the object.
  • the light emitted from the light emitting element may be reflected in the display device and may enter the light receiving element without passing through the object.
  • Such stray light becomes noise at the time of light detection, and becomes a factor that reduces the S/N ratio (Signal-to-noise ratio).
  • a structure for example, a resin layer
  • a distance between the light-blocking layer and the light-receiving element differs from a distance between the light-blocking layer and the light-emitting element.
  • one embodiment of the present invention is a display device including a first substrate, a second substrate, a light receiving element, a light emitting element, a resin layer, and a light shielding layer.
  • the light receiving element, the light emitting element, the resin layer, and the light shielding layer are located between the first substrate and the second substrate, respectively.
  • the light receiving element has a first pixel electrode on the first substrate, an active layer on the first pixel electrode, and a common electrode on the active layer.
  • the light emitting element has a second pixel electrode on the first substrate, a light emitting layer on the second pixel electrode, and a common electrode on the light emitting layer.
  • the resin layer and the light shielding layer are located between the common electrode and the second substrate, respectively.
  • the resin layer has a portion overlapping with the light emitting element.
  • the light shielding layer has a portion located between the common electrode and the resin layer.
  • At least a part of the light emitted from the light emitting element is extracted to the outside of the second substrate via the resin layer. At least a part of the light passing through the second substrate enters the light receiving element without passing through the resin layer.
  • the resin layer has an opening that overlaps with the light receiving element.
  • the resin layer is provided in an island shape at a position overlapping with the light emitting element.
  • the resin layer is provided at a position overlapping with the light emitting element, and is not provided at a position overlapping with the light receiving element. Therefore, the distance from the light shielding layer to the light emitting element is shorter than the distance from the light shielding layer to the light receiving element. As a result, both the display quality and the imaging quality of the display device can be improved.
  • the number of film forming steps becomes very large. Since the organic photodiode has many layers that can be configured in common with the organic EL element, it is possible to suppress an increase in the number of film deposition processes by collectively depositing layers that can be configured in common. In addition, even if the number of times of film formation is the same, the effect of misalignment of the film formation pattern can be reduced by reducing the number of layers that are formed only on some elements, and the film can be attached to a film formation mask (metal mask, etc.). It is possible to reduce the effect of dust (including small foreign matters called particles). Accordingly, the yield of manufacturing the display device can be increased.
  • the hole injecting layer, the hole transporting layer, the electron transporting layer, and the electron injecting layer is preferably a layer common to the light receiving element and the light emitting element. Accordingly, the number of film formations and the number of masks can be reduced, and the manufacturing process and manufacturing cost of the display device can be reduced.
  • the layer which the light-receiving element and the light-emitting element have in common may have different functions in the light-receiving element and the light-emitting element.
  • constituent elements are referred to based on the function of the light emitting element.
  • the hole injection layer functions as a hole injection layer in the light emitting element and functions as a hole transport layer in the light receiving element.
  • the electron injection layer functions as an electron injection layer in the light emitting element and as an electron transport layer in the light receiving element.
  • FIGS. 1A to 1D are cross-sectional views of a display device of one embodiment of the present invention.
  • a display device 50A illustrated in FIG. 1A includes a layer 53 having a light receiving element and a layer 57 having a light emitting element between a substrate 51 and a substrate 59.
  • a display device 50B illustrated in FIG. 1B includes a layer 53 including a light-receiving element, a layer 55 including a transistor, and a layer 57 including a light-emitting element between a substrate 51 and a substrate 59.
  • the display device 50A and the display device 50B each have a structure in which red (R), green (G), and blue (B) light is emitted from the layer 57 including a light emitting element.
  • a display device of one embodiment of the present invention includes a plurality of pixels arranged in matrix.
  • One pixel has one or more sub-pixels.
  • One subpixel has one light emitting element.
  • a pixel has three subpixels (R, G, and B colors, or yellow (Y), cyan (C), and magenta (M) colors) or subpixels.
  • R, G, B, four colors of white (W), or four colors of R, G, B, Y, etc.) can be applied.
  • the pixel has a light receiving element.
  • the light receiving element may be provided in all the pixels or may be provided in some pixels.
  • one pixel may have a plurality of light receiving elements.
  • the layer 55 including a transistor preferably includes a first transistor and a second transistor.
  • the first transistor is electrically connected to the light receiving element.
  • the second transistor is electrically connected to the light emitting element.
  • the display device of one embodiment of the present invention may have a function of detecting an object such as a finger which is in contact with the display device. For example, as shown in FIG. 1C, the light emitted from the light emitting element in the layer 57 including the light emitting element is reflected by the finger 52 in contact with the display device 50B, and the light receiving element in the layer 53 including the light receiving element reflects the light. Detect light. This makes it possible to detect that the finger 52 has come into contact with the display device 50B.
  • the display device of one embodiment of the present invention may have a function of detecting or capturing an image of an object which is close to (not in contact with) the display device 50B.
  • the pixels shown in FIGS. 1E to 1G have three subpixels (three light emitting elements) of R, G, and B, and a light receiving element PD.
  • FIG. 1E is an example in which three subpixels and light receiving elements PD are arranged in a 2 ⁇ 2 matrix, and in FIG. 1F, three subpixels and light receiving elements PD are arranged in one horizontal row. This is an example.
  • FIG. 1G is an example in which three sub-pixels are arranged in one horizontal row and the light-receiving element PD is arranged below the sub-pixels. It can be said that each of the pixels shown in FIGS. 1E to 1G is composed of four subpixels of three subpixels used for display and one subpixel used for light detection.
  • the pixel shown in FIG. 1H has four sub-pixels (four light emitting elements) of R, G, B, and W, and a light receiving element PD.
  • the pixel shown in FIG. 1I has three subpixels of R, G, and B, a light emitting element IR that emits infrared light, and a light receiving element PD.
  • the light receiving element PD preferably has a function of detecting infrared light.
  • the light receiving element PD may have a function of detecting both visible light and infrared light.
  • the wavelength of the light detected by the light receiving element PD can be determined according to the application of the sensor.
  • a display device of one embodiment of the present invention includes a top emission type which emits light in a direction opposite to a substrate where a light emitting element is formed, a bottom emission type which emits light toward a substrate side where a light emitting element is formed, and a double-sided type. It may be any of the dual emission type that emits light to.
  • a top emission type display device will be described as an example.
  • a display device including a light-emitting element that emits visible light and a light-receiving element that detects visible light is mainly described; however, the display device further includes a light-emitting element that emits infrared light. May have. Further, the light receiving element may be configured to detect infrared light, or may be configured to detect both visible light and infrared light.
  • FIG. 2A shows a sectional view of the display device 10A.
  • the display device 10A includes a light receiving element 110 and a light emitting element 190.
  • the light emitting element 190 has a pixel electrode 191, a buffer layer 192, a light emitting layer 193, a buffer layer 194, and a common electrode 115.
  • the light emitting layer 193 has an organic compound.
  • the light emitting element 190 has a function of emitting visible light.
  • the display device 10A may further include a light emitting element having a function of emitting infrared light. In this embodiment mode, a case where the pixel electrode 191 functions as an anode and the common electrode 115 functions as a cathode will be described as an example.
  • the light receiving element 110 has a pixel electrode 181, a buffer layer 182, an active layer 183, a buffer layer 184, and a common electrode 115.
  • the active layer 183 has an organic compound.
  • the light receiving element 110 has a function of detecting visible light.
  • the light receiving element 110 may further have a function of detecting infrared light.
  • the pixel electrode 181 functions as an anode and the common electrode 115 functions as a cathode in the same manner as the light-emitting element 190. That is, by driving the light receiving element 110 by applying a reverse bias between the pixel electrode 181 and the common electrode 115, the display device 10A detects the light incident on the light receiving element 110, generates an electric charge, and generates a current. Can be taken out as.
  • Each of the pixel electrode 181, the pixel electrode 191, the buffer layer 182, the buffer layer 192, the active layer 183, the light emitting layer 193, the buffer layer 184, the buffer layer 194, and the common electrode 115 may have a single-layer structure or a stacked structure. It may be a structure.
  • the pixel electrode 181 and the pixel electrode 191 are located on the insulating layer 214.
  • the pixel electrode 181 and the pixel electrode 191 can be formed using the same material and the same process.
  • An end portion of the pixel electrode 181 and an end portion of the pixel electrode 191 are covered with partition walls 216, respectively.
  • the pixel electrode 181 and the pixel electrode 191 are electrically insulated from each other by a partition wall 216 (also referred to as electrically separated).
  • An organic insulating film is suitable for the partition wall 216.
  • Materials that can be used for the organic insulating film include acrylic resin, polyimide resin, epoxy resin, polyamide resin, polyimide amide resin, siloxane resin, benzocyclobutene resin, phenol resin, and precursors of these resins. ..
  • the partition wall 216 is a layer that transmits visible light. Although details will be described later, a partition wall 217 that blocks visible light may be provided instead of the partition wall 216.
  • the buffer layer 182 is located on the pixel electrode 181.
  • the active layer 183 overlaps with the pixel electrode 181 via the buffer layer 182.
  • the buffer layer 184 is located on the active layer 183.
  • the active layer 183 overlaps the common electrode 115 via the buffer layer 184.
  • the buffer layer 182 can have a hole-transporting layer.
  • the buffer layer 184 can have an electron transport layer.
  • the buffer layer 192 is located on the pixel electrode 191.
  • the light emitting layer 193 overlaps with the pixel electrode 191 via the buffer layer 192.
  • the buffer layer 194 is located on the light emitting layer 193.
  • the light emitting layer 193 overlaps with the common electrode 115 via the buffer layer 194.
  • the buffer layer 192 can include one or both of a hole injection layer and a hole transport layer.
  • the buffer layer 194 can include one or both of an electron injection layer and an electron transport layer.
  • the common electrode 115 is a layer commonly used by the light receiving element 110 and the light emitting element 190.
  • the pair of electrodes of the light receiving element 110 and the light emitting element 190 can have the same material, the same film thickness, and the like. Accordingly, the manufacturing cost of the display device can be reduced and the manufacturing process can be simplified.
  • the display device 10A includes a light receiving element 110, a light emitting element 190, a transistor 41, a transistor 42, and the like between a pair of substrates (the substrate 151 and the substrate 152).
  • the buffer layer 182, the active layer 183, and the buffer layer 184 located between the pixel electrode 181 and the common electrode 115, respectively, can also be referred to as an organic layer (layer containing an organic compound).
  • the pixel electrode 181 preferably has a function of reflecting visible light.
  • the common electrode 115 has a function of transmitting visible light.
  • the light receiving element 110 is configured to detect infrared light
  • the common electrode 115 has a function of transmitting infrared light.
  • the pixel electrode 181 preferably has a function of reflecting infrared light.
  • the light receiving element 110 has a function of detecting light.
  • the light receiving element 110 is a photoelectric conversion element that receives the light 22 incident from the outside of the display device 10A and converts the light 22 into an electric signal.
  • the light 22 can also be referred to as light obtained by reflecting the light emitted from the light emitting element 190 by the object. Further, the light 22 may enter the light receiving element 110 via a lens described later.
  • the buffer layer 192, the light emitting layer 193, and the buffer layer 194, which are located between the pixel electrode 191 and the common electrode 115, respectively, can also be referred to as EL layers.
  • the pixel electrode 191 preferably has a function of reflecting visible light.
  • the common electrode 115 has a function of transmitting visible light.
  • the display device 10A has a configuration including a light emitting element that emits infrared light
  • the common electrode 115 has a function of transmitting infrared light.
  • the pixel electrode 191 preferably has a function of reflecting infrared light.
  • a micro-optical resonator (microcavity) structure be applied to the light-emitting element included in the display device of this embodiment. Therefore, it is preferable that one of the pair of electrodes of the light-emitting element has an electrode having a property of transmitting and reflecting visible light (semi-transmissive/semi-reflective electrode), and the other of the pair of electrodes having a property of reflecting visible light ( It is preferable to have a reflective electrode). Since the light emitting element has the microcavity structure, the light emitted from the light emitting layer can resonate between both electrodes, and the light emitted from the light emitting element can be strengthened.
  • the semi-transmissive/semi-reflective electrode can have a laminated structure of a reflective electrode and an electrode (also referred to as a transparent electrode) having a property of transmitting visible light.
  • the reflective electrode which functions as a part of the semi-transmissive/semi-reflective electrode, may be referred to as a pixel electrode or a common electrode
  • the transparent electrode may be referred to as an optical adjustment layer. It can be said that the layer) also has a function as a pixel electrode or a common electrode.
  • the light transmittance of the transparent electrode is 40% or more.
  • an electrode having a transmittance of visible light (light having a wavelength of 400 nm to less than 750 nm) of 40% or more is preferably used for the light-emitting element.
  • the visible light reflectance of the semi-transmissive/semi-reflective electrode is 10% or more and 95% or less, preferably 30% or more and 80% or less.
  • the visible light reflectance of the reflective electrode is 40% or more and 100% or less, preferably 70% or more and 100% or less. Further, the resistivity of these electrodes is preferably 1 ⁇ 10 ⁇ 2 ⁇ cm or less.
  • the transmittance and the reflectance of near-infrared light (light having a wavelength of 750 nm or more and 1300 nm or less) of these electrodes also fall within the above numerical ranges. ..
  • the buffer layer 192 or the buffer layer 194 may have a function as an optical adjustment layer. By making the thickness of the buffer layer 192 or the buffer layer 194 different, light of a specific color can be intensified and extracted in each light-emitting element.
  • the semi-transmissive/semi-reflective electrode has a laminated structure of a reflective electrode and a transparent electrode, the optical distance between the pair of electrodes indicates the optical distance between the pair of reflective electrodes.
  • the light emitting element 190 has a function of emitting visible light.
  • the light emitting element 190 is an electroluminescent element that emits light to the substrate 152 side by applying a voltage between the pixel electrode 191 and the common electrode 115 (see light emission 21).
  • the light emitting layer 193 is preferably formed so as not to overlap the light receiving element 110. Thereby, the light emitting layer 193 can be suppressed from absorbing the light 22, and the amount of light irradiated to the light receiving element 110 can be increased.
  • the pixel electrode 181 is electrically connected to a source or a drain included in the transistor 41 through an opening provided in the insulating layer 214.
  • the pixel electrode 191 is electrically connected to a source or a drain included in the transistor 42 through an opening provided in the insulating layer 214.
  • the transistor 42 has a function of controlling driving of the light emitting element 190.
  • the transistor 41 and the transistor 42 are in contact with each other on the same layer (the substrate 151 in FIG. 2A).
  • At least part of the circuit electrically connected to the light receiving element 110 is preferably formed using the same material and the same step as the circuit electrically connected to the light emitting element 190. Accordingly, the thickness of the display device can be reduced and the manufacturing process can be simplified as compared with the case where two circuits are separately formed.
  • the light receiving element 110 and the light emitting element 190 are preferably covered with the protective layer 116.
  • the protective layer 116 is provided on and in contact with the common electrode 115.
  • impurities such as water can be prevented from entering the light receiving element 110 and the light emitting element 190, and the reliability of the light receiving element 110 and the light emitting element 190 can be improved.
  • the protective layer 116 and the substrate 152 are attached to each other by the adhesive layer 142.
  • a resin layer 159 is provided on the surface of the substrate 152 on the substrate 151 side.
  • the resin layer 159 is provided at a position overlapping with the light emitting element 190, and is not provided at a position overlapping with the light receiving element 110.
  • a position overlapping with the light-emitting element 190 specifically refers to a position overlapping with a light-emitting region of the light-emitting element 190.
  • the position overlapping the light receiving element 110 specifically refers to a position overlapping the light receiving region of the light receiving element 110.
  • the resin layer 159 may be provided at a position overlapping the light emitting element 190 and having an opening 159p at a position overlapping the light receiving element 110.
  • the resin layer 159 may be provided in an island shape at a position overlapping with the light emitting element 190 and not provided at a position overlapping with the light receiving element 110.
  • a light shielding layer 158 is provided on the surface of the substrate 152 on the substrate 151 side and the surface of the resin layer 159 on the substrate 151 side.
  • the light-blocking layer 158 has an opening at a position overlapping with the light-emitting element 190 and a position overlapping with the light-receiving element 110.
  • the light receiving element 110 detects the light emitted from the light emitting element 190 and reflected by the object.
  • the light emitted from the light emitting element 190 may be reflected in the display device 10A and enter the light receiving element 110 without passing through the object.
  • the light shielding layer 158 can absorb such stray light and reduce stray light entering the light receiving element 110.
  • the light shielding layer 158 can absorb the stray light 23a that has passed through the resin layer 159 and reflected by the surface of the substrate 152 on the substrate 151 side. Further, the light shielding layer 158 can absorb the stray light 23b before reaching the resin layer 159. Thereby, the stray light entering the light receiving element 110 can be reduced.
  • the light shielding layer 158 be near the light emitting element 190 because stray light can be further reduced. Further, when the light shielding layer 158 is located near the light emitting element 190, the viewing angle dependence of the display can be suppressed, which is also preferable from the viewpoint of improving the display quality.
  • the range in which the light receiving element 110 detects light can be controlled.
  • the image capturing range is narrowed and the image capturing resolution can be increased.
  • the light-blocking layer 158 preferably covers at least part of the opening and at least part of the side surface of the resin layer 159 exposed in the opening.
  • the light-blocking layer 158 preferably covers at least part of the side surface of the resin layer 159.
  • the distance from the light-blocking layer 158 to the light-emitting element 190 is the light-receiving layer 158 receiving light.
  • the distance is shorter than the distance to the element 110 (specifically, the light receiving area of the light receiving element 110).
  • the resin layer 159 is a layer that transmits light emitted from the light emitting element 190.
  • the material of the resin layer 159 include acrylic resin, polyimide resin, epoxy resin, polyamide resin, polyimide amide resin, siloxane resin, benzocyclobutene resin, phenol resin, and precursors of these resins.
  • the structure provided between the substrate 152 and the light-blocking layer 158 is not limited to the resin layer, and an inorganic insulating film or the like may be used. The thicker the structure, the greater the difference between the distance from the light shielding layer to the light receiving element and the distance from the light shielding layer to the light emitting element. Since an organic insulating film such as a resin can be easily formed thick, it is suitable as the structure.
  • the light-blocking layer 158 a material which blocks light emission from the light-emitting element can be used.
  • the light shielding layer 158 preferably absorbs visible light.
  • a black matrix can be formed using, for example, a metal material, a resin material containing a pigment (such as carbon black) or a dye, or the like.
  • the light shielding layer 158 may have a laminated structure of a red color filter, a green color filter, and a blue color filter.
  • the shortest distance from the end of the light shielding layer 158 on the light receiving element 110 side to the common electrode 115 can be used. Since the shortest distance L2 is shorter than the shortest distance L1, stray light from the light emitting element 190 can be suppressed and the sensitivity of the sensor using the light receiving element 110 can be increased. In addition, the viewing angle dependence of display can be suppressed. Since the shortest distance L1 is longer than the shortest distance L2, the imaging range of the light receiving element 110 can be narrowed and the imaging resolution can be increased.
  • the distance from the light shielding layer 158 to the light receiving element 110 and the light shielding layer 158 to the light emitting element 190 are also set. The distance to and can be made different.
  • FIG. 3A shows a sectional view of the display device 10B. Note that in the following description of the display device, the description of the same configuration as the display device described above may be omitted.
  • the display device 10B is different from the display device 10A in that the display device 10B does not have the buffer layer 182 and the buffer layer 192 but has the common layer 112.
  • the common layer 112 is located on the partition wall 216, the pixel electrode 181, and the pixel electrode 191.
  • the common layer 112 is a layer commonly used by the light receiving element 110 and the light emitting element 190.
  • the common layer 112 may have a single layer structure or a laminated structure.
  • the common layer 112 for example, one or both of a hole injection layer and a hole transport layer can be formed.
  • the common layer 112 may have different functions in the light emitting element 190 and the light receiving element 110.
  • the common layer 112 has a hole injection layer
  • the hole injection layer functions as the hole injection layer in the light emitting element 190 and functions as the hole transport layer in the light receiving element 110.
  • the common layer 112 may have a single layer structure or a laminated structure.
  • the layers other than the active layer and the light emitting layer have a common structure for the light receiving element and the light emitting element because the number of manufacturing steps of the display device can be reduced.
  • FIG. 3B shows a sectional view of the display device 10C.
  • the display device 10C is different from the display device 10A in that the display device 10C does not have the buffer layer 184 and the buffer layer 194 but has the common layer 114.
  • the common layer 114 is located on the partition wall 216, the active layer 183, and the light emitting layer 193.
  • the common layer 114 is a layer commonly used by the light receiving element 110 and the light emitting element 190.
  • the common layer 114 may have a single layer structure or a laminated structure.
  • the common layer 114 for example, one or both of an electron injection layer and an electron transport layer can be formed.
  • the common layer 114 may have different functions in the light emitting element 190 and the light receiving element 110.
  • the electron injection layer functions as an electron injection layer in the light emitting element 190 and functions as an electron transport layer in the light receiving element 110.
  • the common layer 114 may have a single layer structure or a laminated structure.
  • the layers other than the active layer and the light emitting layer have a common structure for the light receiving element and the light emitting element because the number of manufacturing steps of the display device can be reduced.
  • FIG. 4A shows a sectional view of the display device 10D.
  • the display device 10D is different from the display device 10A in that it does not have the buffer layer 182, the buffer layer 192, the buffer layer 184, and the buffer layer 194, but has the common layer 112 and the common layer 114.
  • an organic compound is used for active layer 183 of light receiving element 110.
  • layers other than the active layer 183 can have the same configuration as the light emitting element 190 (EL element). Therefore, the light receiving element 110 can be formed in parallel with the formation of the light emitting element 190 only by adding a step of forming the active layer 183 to the manufacturing step of the light emitting element 190. Further, the light emitting element 190 and the light receiving element 110 can be formed on the same substrate. Therefore, the light receiving element 110 can be incorporated in the display device without significantly increasing the number of manufacturing steps.
  • the light receiving element 110 and the light emitting element 190 have a common configuration except that the active layer 183 of the light receiving element 110 and the light emitting layer 193 of the light emitting element 190 are formed separately.
  • the configurations of the light receiving element 110 and the light emitting element 190 are not limited to this.
  • the light-receiving element 110 and the light-emitting element 190 may have layers separately formed in addition to the active layer 183 and the light-emitting layer 193 (see the display devices 10A, 10B, and 10C described above). It is preferable that the light receiving element 110 and the light emitting element 190 have one or more layers used in common (common layer). Accordingly, the light receiving element 110 can be incorporated in the display device without significantly increasing the number of manufacturing steps.
  • FIG. 4B shows a sectional view of the display device 10E.
  • the display device 10E is different from the display device 10D in that the display device 10E does not include the substrate 151 and the substrate 152, but includes the substrate 153, the substrate 154, the adhesive layer 155, and the insulating layer 212.
  • the substrate 153 and the insulating layer 212 are attached to each other with an adhesive layer 155.
  • the substrate 154 and the protective layer 116 are attached to each other with an adhesive layer 142.
  • the display device 10E has a structure manufactured by transferring the insulating layer 212, the transistor 41, the transistor 42, the light-receiving element 110, the light-emitting element 190, and the like formed over the manufacturing substrate to the substrate 153. It is preferable that each of the substrate 153 and the substrate 154 have flexibility. Thereby, the flexibility of the display device 10E can be enhanced. For example, resin is preferably used for each of the substrate 153 and the substrate 154.
  • polyester resins such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polyacrylonitrile resin, acrylic resin, polyimide resin, polymethylmethacrylate resin, polycarbonate (PC) resin, polyether are used.
  • Sulfone (PES) resin, polyamide resin (nylon, aramid, etc.), polysiloxane resin, cycloolefin resin, polystyrene resin, polyamideimide resin, polyurethane resin, polyvinyl chloride resin, polyvinylidene chloride resin, polypropylene resin, polytetrafluoroethylene (PTFE) resin, ABS resin, cellulose nanofiber, etc. can be used.
  • One or both of the substrate 153 and the substrate 154 may be formed of glass having a thickness such that the glass has flexibility.
  • a film having high optical isotropy may be used for the substrate included in the display device of this embodiment.
  • the film having high optical isotropy include a triacetyl cellulose (TAC, also referred to as cellulose triacetate) film, a cycloolefin polymer (COP) film, a cycloolefin copolymer (COC) film, and an acrylic film.
  • TAC triacetyl cellulose
  • COP cycloolefin polymer
  • COC cycloolefin copolymer
  • FIG. 4C shows a cross-sectional view of the display device 10F.
  • FIG. 5A shows a cross-sectional view of the display device 10G.
  • FIG. 5B shows a sectional view of the display device 10H.
  • the display device 10F has a lens 149 in addition to the configuration of the display device 10D.
  • the display device of this embodiment may include the lens 149.
  • the lens 149 is provided at a position overlapping the light receiving element 110.
  • the lens 149 is provided in contact with the substrate 152.
  • the lens 149 included in the display device 10F has a convex surface on the substrate 151 side.
  • FIG. 4C shows an example in which the lens 149 is formed first, the light shielding layer 158 may be formed first. In FIG. 4C, the end portion of the lens 149 is covered with the light shielding layer 158.
  • the display device 10F has a configuration in which the light 22 is incident on the light receiving element 110 via the lens 149.
  • the lens 149 With the lens 149, it is possible to narrow the image pickup range of the light receiving element 110 as compared with the case where the lens 149 is not provided, and it is possible to suppress overlapping of the image pickup range with the adjacent light receiving element 110. This makes it possible to capture a clear image with little blur.
  • the image pickup range of the light receiving element 110 is the same, when the lens 149 is provided, the size of the pinhole is larger than that in the case where the lens 149 is not provided (in FIG. (Corresponding to Sa)) can be increased. Therefore, by including the lens 149, the amount of light incident on the light receiving element 110 can be increased.
  • the display device 10G illustrated in FIG. 5A also has one configuration in which the light 22 is incident on the light receiving element 110 via the lens 149.
  • the lens 149 is provided in contact with the upper surface of the protective layer 116.
  • the lens 149 included in the display device 10G has a convex surface on the substrate 152 side.
  • the lens array 146 is provided on the display surface side of the substrate 152.
  • the lens included in the lens array 146 is provided at a position overlapping the light receiving element 110.
  • a light shielding layer 158 is preferably provided on the surface of the substrate 152 on the substrate 151 side.
  • a lens such as a microlens may be directly formed over a substrate or a light-receiving element, or a lens array such as a separately manufactured microlens array may be formed over the substrate. It may be attached to.
  • the lens preferably has a refractive index of 1.3 or more and 2.5 or less.
  • the lens can be formed using at least one of an inorganic material and an organic material.
  • a resin-containing material can be used for the lens.
  • a material containing at least one of oxide and sulfide can be used for the lens.
  • a resin containing chlorine, bromine, or iodine, a resin containing a heavy metal atom, a resin containing an aromatic ring, a resin containing sulfur, or the like can be used for the lens.
  • a material including a resin and nanoparticles of a material having a higher refractive index than the resin can be used for the lens. Titanium oxide or zirconium oxide can be used for the nanoparticles.
  • cerium oxide, hafnium oxide, lanthanum oxide, magnesium oxide, niobium oxide, tantalum oxide, titanium oxide, yttrium oxide, zinc oxide, oxides containing indium and tin, or oxides containing indium, gallium and zinc, etc. It can be used for lenses.
  • zinc sulfide or the like can be used for the lens.
  • FIG. 5C shows a cross-sectional view of the display device 10J.
  • the display device 10J is different from the display device 10D in that the display device 10J does not have the partition wall 216 that transmits visible light but has the partition wall 217 that blocks visible light.
  • the partition wall 217 preferably absorbs light emitted from the light emitting element 190.
  • a black matrix can be formed using a resin material containing a pigment or a dye. Further, by using a brown resist material, the partition wall 217 can be formed with a colored insulating layer.
  • the light emitted by the light emitting element 190 may be reflected by the substrate 152 and the partition wall 216, and the reflected light may enter the light receiving element 110. Further, the light emitted from the light emitting element 190 may pass through the partition wall 216 and be reflected by a transistor, a wiring, or the like, so that reflected light may enter the light receiving element 110. In the display device 10J, light is absorbed by the partition wall 217, so that such reflected light can be suppressed from entering the light receiving element 110. Thereby, noise can be reduced and the sensitivity of the sensor using the light receiving element 110 can be increased.
  • the partition wall 217 preferably absorbs at least the wavelength of the light detected by the light receiving element 110.
  • the partition wall 217 preferably absorbs at least the green light.
  • the partition wall 217 has a red color filter, green light can be absorbed, and reflected light can be suppressed from entering the light-receiving element 110.
  • the light-blocking layer 158 can absorb most of the stray light 23b before reaching the resin layer 159, but part of the stray light 23b is reflected and may enter the partition wall 217. With the structure in which the partition wall 217 absorbs the stray light 23b, the stray light 23b can be prevented from entering the transistor, the wiring, or the like. Therefore, it is possible to prevent the stray light 23c from reaching the light receiving element 110. As the number of times the stray light 23b hits the light blocking layer 158 and the partition wall 217 increases, the amount of absorbed light can be increased, and the amount of the stray light 23c reaching the light receiving element 110 can be extremely reduced. A thick resin layer 159 is preferable because the number of times the stray light 23b hits the light blocking layer 158 and the partition 217 can be increased.
  • the partition wall 217 absorbs light, the stray light 23d incident on the partition wall 217 directly from the light emitting element 190 can be absorbed by the partition wall 217. Also from this, by providing the partition wall 217, stray light entering the light receiving element 110 can be reduced.
  • FIG. 6A shows a top view of the display device 10K.
  • FIG. 6B shows a cross-sectional view taken along alternate long and short dash line A1-A2 in FIG. 6A.
  • FIG. 7A shows a cross-sectional view taken along alternate long and short dash line A3-A4 in FIG. 6A.
  • a portion surrounded by a dotted frame in FIG. 6A corresponds to one pixel.
  • One pixel includes the light receiving element 110, a red light emitting element 190R, a green light emitting element 190G, and a blue light emitting element 190B.
  • the top surface shapes of the light receiving element 110 and the light emitting elements 190R, 190G, 190B are not particularly limited.
  • a hexagonal close-packed type is applied to the pixel layout shown in FIG. 6A.
  • the hexagonal closest packing type layout is preferable because the aperture ratios of the light receiving element 110 and the light emitting elements 190R, 190G, and 190 can be increased.
  • the light receiving area of the light receiving element 110 is a quadrangle, and the light emitting areas of the light emitting elements 190R, 190G, and 190B are hexagons.
  • the light receiving element 110 is provided inside the frame-shaped light shielding layer 219a in a top view (also referred to as a plan view). By completely surrounding the four sides of the light receiving element 110 with the light shielding layer 219a, it is possible to suppress stray light from entering the light receiving element 110.
  • the frame-shaped light-blocking layer 219a may have a gap (also referred to as a cut, a discontinuous portion, or a lacking portion).
  • a spacer 219b is provided between the green light emitting element 190G and the blue light emitting element 190B.
  • the display device 10K includes a light receiving element 110, a red light emitting element 190R, a green light emitting element 190G, and a blue light emitting element 190B.
  • the light emitting element 190R includes a pixel electrode 191R, a common layer 112, a light emitting layer 193R, a common layer 114, and a common electrode 115.
  • the light emitting layer 193R includes an organic compound that emits red light 21R.
  • the light emitting element 190R has a function of emitting red light.
  • the light emitting element 190G has a pixel electrode 191G, a common layer 112, a light emitting layer 193G, a common layer 114, and a common electrode 115.
  • the light emitting layer 193G includes an organic compound that emits green light 21G.
  • the light emitting element 190G has a function of emitting green light.
  • the light emitting element 190B has a pixel electrode 191B, a common layer 112, a light emitting layer 193B, a common layer 114, and a common electrode 115.
  • the light emitting layer 193B has an organic compound that emits blue light 21B.
  • the light emitting element 190B has a function of emitting blue light.
  • the light receiving element 110 has a pixel electrode 181, a common layer 112, an active layer 183, a common layer 114, and a common electrode 115.
  • the active layer 183 has an organic compound.
  • the light receiving element 110 has a function of detecting visible light.
  • the display device 10K includes a light receiving element 110, a light emitting element 190R, a light emitting element 190G, a light emitting element 190B, a transistor 41, a transistor 42R, a transistor 42G, a transistor 42B, and the like between a pair of substrates (the substrate 151 and the substrate 152).
  • the ends of the pixel electrodes 181, 191R, 191G, and 191B are covered with partition walls 216, respectively.
  • the pixel electrode 181 is electrically connected to a source or a drain included in the transistor 41 through an opening provided in the insulating layer 214.
  • the pixel electrode 191R is electrically connected to a source or a drain of the transistor 42R through an opening provided in the insulating layer 214.
  • the pixel electrode 191G is electrically connected to a source or a drain included in the transistor 42G through an opening provided in the insulating layer 214.
  • the pixel electrode 191B is electrically connected to a source or a drain included in the transistor 42B through an opening provided in the insulating layer 214.
  • the light receiving element 110 and the light emitting elements 190R, 190G, and 190B are covered with the protective layer 116, respectively.
  • a resin layer 159 is provided on the surface of the substrate 152 on the substrate 151 side.
  • the resin layer 159 is provided at a position overlapping with the light emitting elements 190R, 190G, 190B, and not provided at a position overlapping with the light receiving element 110.
  • a light shielding layer 158 is provided on the surface of the substrate 152 on the substrate 151 side and the surface of the resin layer 159 on the substrate 151 side.
  • the light-blocking layer 158 has openings at positions overlapping with the light emitting elements 190R, 190G, and 190B and at positions overlapping with the light receiving element 110.
  • the partition wall 216 is provided with a frame-shaped opening.
  • the partition wall 216 has an opening between the light receiving element 110 and the light emitting element 190R.
  • a light shielding layer 219a is provided so as to cover the opening.
  • the light-blocking layer 219a preferably covers the opening of the partition wall 216 and the side surface of the partition wall 216 exposed at the opening. It is preferable that the light shielding layer 219a further covers at least a part of the upper surface of the partition wall 216.
  • the partition 216 may have a structure in which an opening is not provided in the partition 216 and the light-blocking layer 219a is provided over the partition 216, stray light may pass through the partition 216 and enter the light-receiving element 110.
  • the partition 216 is provided with an opening and the light-blocking layer 219a is provided so as to fill the opening, stray light transmitted through the partition 216 is absorbed by the light-blocking layer 219a at the opening of the partition 216. This can prevent stray light from entering the light receiving element 110.
  • the light shielding layer 219a preferably has a forward tapered shape. Accordingly, the coverage with the film (the common layer 112, the common layer 114, the common electrode 115, the protective layer 116, and the like) provided over the light-blocking layer 219a can be improved.
  • the light shielding layer 219a preferably absorbs at least the wavelength of light detected by the light receiving element 110.
  • the light shielding layer 219a preferably absorbs at least the green light.
  • the light shielding layer 219a may be a black matrix formed using a resin material containing a pigment or a dye.
  • the light shielding layer 219a may have a laminated structure of a red color filter, a green color filter, and a blue color filter. Alternatively, a colored insulating layer may be formed using a brown resist material as the light shielding layer 219a.
  • the light receiving element 110 detects green light emitted by the light emitting element 190G
  • the light emitted by the light emitting element 190G may be reflected by the substrate 152 and the partition wall 216, and the reflected light may enter the light receiving element 110.
  • the light emitted from the light emitting element 190G may pass through the partition wall 216 and be reflected by a transistor, a wiring, or the like, so that reflected light may enter the light receiving element 110.
  • the display device 10K since the light is absorbed by the light blocking layer 158 and the light blocking layer 219a, such reflected light can be suppressed from entering the light receiving element 110. Thereby, noise can be reduced and the sensitivity of the sensor using the light receiving element 110 can be increased.
  • the light blocking layer 158 can absorb much of the stray light 23b before reaching the resin layer 159. Further, even if a part of the stray light 23b is reflected by the light shielding layer 158, the light shielding layer 219a absorbs the stray light 23b, so that the stray light 23b can be prevented from entering the transistor, the wiring, or the like. Therefore, stray light can be prevented from reaching the light receiving element 110. As the number of times the stray light 23b hits the light blocking layer 158 and the light blocking layer 219a increases, the amount of absorbed light can be increased, and the amount of stray light reaching the light receiving element 110 can be extremely reduced.
  • a thick resin layer 159 is preferable because the number of times the stray light 23b hits the light blocking layer 158 and the partition 217 can be increased.
  • the thickness of the resin layer 159 is large, the distance from the light shielding layer 158 to the light emitting element of each color is short, and the viewing angle dependence of display can be suppressed, which is also preferable from the viewpoint of improving display quality.
  • the light shielding layer 219a absorbs light, the stray light 23d incident on the light shielding layer 219a directly from the light emitting element can be absorbed by the light shielding layer 219a. Also from this, by providing the light shielding layer 219a, stray light incident on the light receiving element 110 can be reduced.
  • the range in which the light receiving element 110 detects light can be controlled.
  • the imaging range is narrowed and the imaging resolution can be increased.
  • the spacer 219b is located on the partition wall 216 and is located between the light emitting element 190G and the light emitting element 190B in a top view.
  • the upper surface of the spacer 219b is preferably closer to the light shielding layer 158 than the upper surface of the light shielding layer 219a.
  • the sum L4 of the thickness of the partition wall 216 and the thickness of the spacer 219b is preferably larger than the thickness L3 of the light shielding layer 219a. This makes it easy to fill the adhesive layer 142.
  • the light shielding layer 158 may be in contact with the protective layer 116 (or the common electrode 115) at the portion where the spacer 219b and the light shielding layer 158 overlap.
  • FIG. 7B shows a cross-sectional view of the display device 10L.
  • FIG. 7B corresponds to a cross-sectional view taken along alternate long and short dash line A3-A4 in FIG. 6A.
  • a light emitting element 190G illustrated in FIG. 7B includes a pixel electrode 191G, an optical adjustment layer 197G, a common layer 112, a light emitting layer 113, a common layer 114, and a common electrode 115.
  • a light emitting element 190B shown in FIG. 7B includes a pixel electrode 191B, an optical adjustment layer 197B, a common layer 112, a light emitting layer 113, a common layer 114, and a common electrode 115.
  • the common layer 112, the light emitting layer 113, and the common layer 114 have the same configuration in the light emitting elements 190R, 190G, and 190B.
  • the light emitting layer 113 includes a light emitting layer 193R that emits red light, a light emitting layer 193G that emits green light, and a light emitting layer 193B that emits blue light.
  • the light emitting element may have a single structure having one light emitting unit between the pixel electrode 191 and the common electrode 115, or may have a tandem structure having a plurality of light emitting units.
  • the light emitting layer 113 is provided commonly to the light emitting elements that emit light of each color.
  • the light emitted by the light emitting element 190G is extracted as green light 21G through the colored layer CFG.
  • the light emitted from the light emitting element 190B is extracted as blue light 21B through the colored layer CFB.
  • the light emitting element 190G and the light emitting element 190B have the same configuration except that they have optical adjustment layers having different thicknesses. Reflective electrodes are used as the pixel electrodes 191G and 191B. A transparent electrode on the reflective electrode can be used as the optical adjustment layer. It is preferable that the light emitting elements of the respective colors have the optical adjustment layers 197 having different thicknesses.
  • the light-emitting element 190G illustrated in FIG. 7B is optically adjusted using the optical adjustment layer 197G so that the optical distance between the pixel electrode 191G and the common electrode 115 is an optical distance that enhances green light.
  • the light emitting element 190B is optically adjusted using the optical adjustment layer 197B so that the optical distance between the pixel electrode 191B and the common electrode 115 becomes an optical distance that enhances blue light.
  • FIG. 8A shows a top view of the display device 10M.
  • FIG. 8B shows a cross-sectional view taken along alternate long and short dash line A5-A6 in FIG. 8A.
  • a light shielding layer 219a is provided between the green light emitting element 190G and the blue light emitting element 190B, and the space 143 is filled with an inert gas.
  • the difference from the display device 10K shown in FIGS. 6A and 7A is that a hollow sealing structure is applied.
  • the light blocking layer 219a may be provided both between the light emitting element 190R and the light receiving element 110 and between the light emitting element 190G and the light emitting element 190B.
  • FIG. 9A shows a top view of the display device 10N.
  • FIG. 9B shows a cross-sectional view taken along alternate long and short dash line A7-A8 in FIG. 9A.
  • FIG. 10A shows a cross-sectional view taken along alternate long and short dash line A9-A10 in FIG. 9A.
  • the cross-sectional structure of the display device 10N (FIG. 9A) taken along alternate long and short dash line A3-A4 can have the same structure as that of the display device 10K (FIG. 7A).
  • a configuration similar to that of the display device 10M (FIG. 8B) may be applied.
  • the display device 10N is different from the display device 10K (FIGS. 6A and 6B) in the top surface shape and the cross-sectional shape of the light shielding layer 219a.
  • the light shielding layer 219a surrounds the four sides of the light receiving element 110 and has one end and the other end separated from each other.
  • the gap 220 (also referred to as a break, a discontinuous portion, or a missing portion) of the light shielding layer 219a is located on the red light emitting element 190R side.
  • the gap 220 of the light shielding layer 219a be located on the side of the light emitting element different from the light emitting element used for the sensing.
  • the green light emitting element 190G or the blue light emitting element 190B be used for sensing. Thereby, the influence of noise at the time of sensing can be suppressed. Further, when sensing is performed using the green light emitting element 190G, one end of the light shielding layer 219a protrudes toward the red light emitting element 190R side as compared with the green light emitting element 190G, as shown in the region 230. preferable. This can prevent stray light from the green light emitting element 190G from entering the light receiving element 110 via the gap 220.
  • the partition 216 has an opening between the light receiving element 110 and the light emitting element 190R. Then, a light shielding layer 219a is provided so as to cover the opening.
  • the light-blocking layer 219a preferably covers the opening of the partition wall 216 and the side surface of the partition wall 216 exposed at the opening. It is preferable that the light shielding layer 219a further covers at least a part of the upper surface of the partition wall 216.
  • the light blocking layer 219a may have an inverse tapered shape.
  • the thickness of the organic film and the common electrode 115 provided on the reverse-tapered light shielding layer 219a may be thin near the side surface of the light shielding layer 219a.
  • a void 160 may occur near the side surface of the light shielding layer 219a.
  • the common electrode 115 is broken by the light shielding layer 219a, and the common electrode 115 is formed inside and outside the light shielding layer 219a.
  • the upper surface shape of the light shielding layer 219a is configured so as to surround the four sides of the light receiving element 110 and have one end and the other end separated, and by providing the gap 220, it is possible to suppress the separation of the common electrode 115. As a result, display defects in the display device 10N can be suppressed.
  • FIG. 10A is a cross-sectional view including the gap 220 of the light shielding layer 219a.
  • the partition wall 216 is provided with an opening that surrounds four sides of the light receiving element 110 and has one end and the other end separated from each other, similarly to the shape of the top surface of the light shielding layer 219a.
  • the common layer 112, the common layer 114, the common electrode 115, and the protective layer 116 are sequentially provided on the partition wall 216.
  • FIG. 10B shows a sectional view of the display device 10P.
  • the display device 10P is different from the display device 10N in that it has a side wall 219c in contact with the side surface of the light shielding layer 219a.
  • the upper surface shape of the light shielding layer 219a may be a frame shape as shown in FIG. 6A or may have a gap 220 as shown in FIG. 9A.
  • the coverage with the organic film, the common electrode 115, and the like can be improved, and the display quality of the display device can be improved.
  • breakage of the common electrode 115 and further thinning can be suppressed, and thus unevenness in display brightness due to the voltage drop of the common electrode 115 can be suppressed.
  • the sidewall 219c can be formed using a material that can be used for the partition 216.
  • Display device 10Q] 11A and 11B are cross-sectional views of the display device 10Q.
  • the display device 10Q can apply the same top structure as that of the display device 10K (FIG. 6A).
  • FIG. 11A shows a cross-sectional view taken along alternate long and short dash line A1-A2 in FIG. 6A.
  • FIG. 11B shows a cross-sectional view taken along alternate long and short dash line A3-A4 in FIG. 6A.
  • the display device 10Q mainly differs from the display device 10K in that the display device 10Q does not have the partition wall 216 but has the partition wall 217.
  • the light blocking layer 219a is located on the partition 217. Unlike the partition wall 216, the partition wall 217 can absorb light emitted from the light-emitting element; therefore, the partition wall 217 does not need to have an opening.
  • the stray light 23d incident on the partition 217 from the light emitting element is absorbed by the partition 217.
  • the stray light 23d incident on the light shielding layer 219a from the light emitting element is absorbed by the light shielding layer 219a.
  • the spacer 219b is located between the light emitting element 190G and the light emitting element 190B.
  • the upper surface of the spacer 219b is preferably closer to the light shielding layer 158 than the upper surface of the light shielding layer 219a.
  • the spacer 219b is preferably thicker than the light shielding layer 219a. This makes it easy to fill the adhesive layer 142.
  • the light shielding layer 158 may be in contact with the protective layer 116 (or the common electrode 115) at the portion where the spacer 219b and the light shielding layer 158 overlap.
  • FIG. 12 shows a perspective view of the display device 100A
  • FIG. 13 shows a cross-sectional view of the display device 100A.
  • the display device 100A has a configuration in which a substrate 152 and a substrate 151 are attached to each other.
  • the substrate 152 is clearly indicated by a broken line.
  • the display device 100A includes a display portion 162, a circuit 164, a wiring 165, and the like.
  • FIG. 12 shows an example in which an IC (integrated circuit) 173 and an FPC 172 are mounted on the display device 100A. Therefore, the structure illustrated in FIG. 12 can be referred to as a display module including the display device 100A, an IC, and an FPC.
  • a scan line driver circuit can be used.
  • the wiring 165 has a function of supplying a signal and power to the display portion 162 and the circuit 164.
  • the signal and power are input to the wiring 165 from the outside via the FPC 172 or from the IC 173.
  • FIG. 12 shows an example in which the IC 173 is provided on the substrate 151 by a COG (Chip On Glass) method, a COF (Chip on Film) method, or the like.
  • the IC 173 for example, an IC including a scan line driver circuit, a signal line driver circuit, or the like can be applied.
  • the display device 100A and the display module may not have an IC. Further, the IC may be mounted on the FPC by the COF method or the like.
  • FIG. 13 illustrates an example of a cross section of the display device 100A, which is obtained by cutting part of a region including the FPC 172, part of the circuit 164, part of the display portion 162, and part of a region including an end portion. Show.
  • a display device 100A illustrated in FIG. 13 includes a transistor 201, a transistor 205, a transistor 206, a light emitting element 190, a light receiving element 110, and the like between a substrate 151 and a substrate 152.
  • the resin layer 159 and the insulating layer 214 are adhered to each other via the adhesive layer 142.
  • a solid sealing structure, a hollow sealing structure, or the like can be applied to seal the light emitting element 190 and the light receiving element 110.
  • the space 143 surrounded by the substrate 152, the adhesive layer 142, and the substrate 151 is filled with an inert gas (nitrogen, argon, or the like), and a hollow sealing structure is applied.
  • the adhesive layer 142 may be provided so as to overlap the light emitting element 190 and the light receiving element 110.
  • the space 143 surrounded by the substrate 152, the adhesive layer 142, and the substrate 151 may be filled with a resin different from that of the adhesive layer 142.
  • the light emitting element 190 has a stacked structure in which the pixel electrode 191, the common layer 112, the light emitting layer 193, the common layer 114, and the common electrode 115 are stacked in this order from the insulating layer 214 side.
  • the pixel electrode 191 is connected to the conductive layer 222b included in the transistor 206 through an opening provided in the insulating layer 214.
  • the end of the pixel electrode 191 is covered with a partition 217.
  • the pixel electrode 191 includes a material that reflects visible light
  • the common electrode 115 includes a material that transmits visible light.
  • the light receiving element 110 has a laminated structure in which the pixel electrode 181, the common layer 112, the active layer 183, the common layer 114, and the common electrode 115 are laminated in this order from the insulating layer 214 side.
  • the pixel electrode 181 is electrically connected to the conductive layer 222b included in the transistor 205 through an opening provided in the insulating layer 214.
  • the end portion of the pixel electrode 181 is covered with the partition wall 217.
  • the pixel electrode 181 includes a material that reflects visible light
  • the common electrode 115 includes a material that transmits visible light.
  • the light emitted by the light emitting element 190 is emitted to the substrate 152 side. Further, light enters the light receiving element 110 via the substrate 152 and the space 143.
  • the substrate 152 it is preferable to use a material having high transparency to visible light.
  • the pixel electrode 181 and the pixel electrode 191 can be manufactured using the same material and the same process.
  • the common layer 112, the common layer 114, and the common electrode 115 are used for both the light receiving element 110 and the light emitting element 190.
  • the light receiving element 110 and the light emitting element 190 may have a common configuration except that the active layer 183 and the light emitting layer 193 have different configurations. Accordingly, the light receiving element 110 can be incorporated in the display device 100A without significantly increasing the number of manufacturing steps.
  • a resin layer 159 and a light shielding layer 158 are provided on the surface of the substrate 152 on the substrate 151 side.
  • the resin layer 159 is provided at a position overlapping with the light emitting element 190, and is not provided at a position overlapping with the light receiving element 110.
  • the light-blocking layer 158 is provided so as to cover the surface of the substrate 152 on the substrate 151 side, the side surface of the resin layer 159, and the surface of the resin layer 159 on the substrate 151 side.
  • the light-blocking layer 158 has an opening at a position overlapping with the light-receiving element 110 and a position overlapping with the light-emitting element 190.
  • the range in which the light receiving element 110 detects light can be controlled. Further, by including the light shielding layer 158, it is possible to prevent light from entering the light receiving element 110 from the light emitting element 190 without passing through the object. Therefore, a sensor with less noise and high sensitivity can be realized.
  • the resin layer 159 By providing the resin layer 159, the distance from the light shielding layer 158 to the light emitting element 190 can be made shorter than the distance from the light shielding layer 158 to the light receiving element 110. As a result, it is possible to suppress the viewing angle dependence of the display while reducing the noise of the sensor. Therefore, both display quality and imaging quality can be improved.
  • the configurations of the partition wall 217 and the light shielding layer 219a in the display device 100A are similar to those of the display device 10Q (FIG. 11A).
  • the partition wall 217 covers an end portion of the pixel electrode 181 and an end portion of the pixel electrode 191.
  • a light-blocking layer 219a is provided over the partition wall 217.
  • the light shielding layer 219a is located between the light receiving element 110 and the light emitting element 190. It is preferable that the partition wall 217 and the light shielding layer 219a absorb the wavelength of light detected by the light receiving element 110. Thereby, stray light that enters the light receiving element 110 can be suppressed.
  • the transistor 201, the transistor 205, and the transistor 206 are all formed over the substrate 151. These transistors can be manufactured using the same material and the same process.
  • the insulating layer 211, the insulating layer 213, the insulating layer 215, and the insulating layer 214 are provided in this order over the substrate 151.
  • Part of the insulating layer 211 functions as a gate insulating layer of each transistor.
  • Part of the insulating layer 213 functions as a gate insulating layer of each transistor.
  • the insulating layer 215 is provided so as to cover the transistor.
  • the insulating layer 214 is provided so as to cover the transistor and has a function as a planarization layer. Note that the number of gate insulating layers and the number of insulating layers covering the transistor are not limited, and each may be a single layer or two or more layers.
  • a material in which impurities such as water and hydrogen do not easily diffuse for at least one insulating layer which covers the transistor. This allows the insulating layer to function as a barrier layer. With such a structure, external diffusion of impurities into the transistor can be effectively suppressed, and reliability of the display device can be improved.
  • An inorganic insulating film is preferably used for each of the insulating layer 211, the insulating layer 213, and the insulating layer 215.
  • an inorganic insulating film such as a silicon nitride film, a silicon oxynitride film, a silicon oxide film, a silicon nitride oxide film, an aluminum oxide film, or an aluminum nitride film can be used.
  • a hafnium oxide film, a yttrium oxide film, a zirconium oxide film, a gallium oxide film, a tantalum oxide film, a magnesium oxide film, a lanthanum oxide film, a cerium oxide film, a neodymium oxide film, or the like may be used.
  • two or more of the above-mentioned insulating films may be laminated and used.
  • the organic insulating film often has a lower barrier property than the inorganic insulating film. Therefore, the organic insulating film preferably has an opening near the end of the display device 100A. This can prevent impurities from entering from the end portion of the display device 100A through the organic insulating film.
  • the organic insulating film may be formed so that the end portion of the organic insulating film is inside the end portion of the display device 100A so that the organic insulating film is not exposed at the end portion of the display device 100A.
  • An organic insulating film is suitable for the insulating layer 214 which functions as a planarization layer.
  • Materials that can be used for the organic insulating film include acrylic resin, polyimide resin, epoxy resin, polyamide resin, polyimide amide resin, siloxane resin, benzocyclobutene resin, phenol resin, and precursors of these resins. ..
  • an opening is formed in the insulating layer 214. Accordingly, even when an organic insulating film is used for the insulating layer 214, impurities can be suppressed from entering the display portion 162 from the outside through the insulating layer 214. Therefore, the reliability of the display device 100A can be improved.
  • the transistor 201, the transistor 205, and the transistor 206 include a conductive layer 221 functioning as a gate, an insulating layer 211 functioning as a gate insulating layer, conductive layers 222a and 222b functioning as a source and a drain, a semiconductor layer 231, and a gate insulating layer.
  • the insulating layer 213 that functions as a gate and the conductive layer 223 that functions as a gate are included.
  • the same hatching pattern is given to a plurality of layers obtained by processing the same conductive film.
  • the insulating layer 211 is located between the conductive layer 221 and the semiconductor layer 231.
  • the insulating layer 213 is located between the conductive layer 223 and the semiconductor layer 231.
  • the structure of the transistor included in the display device of this embodiment is not particularly limited.
  • a planar transistor, a staggered transistor, an inverted staggered transistor, or the like can be used.
  • either a top gate type or a bottom gate type transistor structure may be used.
  • gates may be provided above and below a semiconductor layer in which a channel is formed.
  • a structure in which a semiconductor layer in which a channel is formed is sandwiched between two gates is applied to the transistor 201, the transistor 205, and the transistor 206.
  • the transistor may be driven by connecting the two gates and supplying the same signal to them.
  • the threshold voltage of the transistor may be controlled by supplying one of the two gates with a potential for controlling the threshold voltage and the other with a potential for driving.
  • crystallinity of a semiconductor material used for a transistor either an amorphous semiconductor or a crystalline semiconductor (a microcrystalline semiconductor, a polycrystalline semiconductor, a single crystal semiconductor, or a semiconductor partially having a crystalline region). May be used. It is preferable to use a semiconductor having crystallinity because deterioration of transistor characteristics can be suppressed.
  • the semiconductor layer of the transistor preferably contains a metal oxide (also referred to as an oxide semiconductor).
  • the semiconductor layer of the transistor may include silicon. Examples of silicon include amorphous silicon and crystalline silicon (low temperature polysilicon, single crystal silicon, etc.).
  • the semiconductor layer is, for example, indium and M (M is gallium, aluminum, silicon, boron, yttrium, tin, copper, vanadium, beryllium, titanium, iron, nickel, germanium, zirconium, molybdenum, lanthanum, cerium, neodymium, It is preferable to have zinc and one or more kinds selected from hafnium, tantalum, tungsten, and magnesium).
  • M is preferably one or more selected from aluminum, gallium, yttrium, and tin.
  • an oxide containing indium (In), gallium (Ga), and zinc (Zn) (also referred to as IGZO) is preferably used for the semiconductor layer.
  • the atomic ratio of In in the In-M-Zn oxide is preferably equal to or higher than the atomic ratio of M.
  • the atomic ratio of Ga is larger than 0.1 when the atomic ratio of In is 1. It is 2 or less and includes the case where the atomic ratio of Zn is more than 0.1 and 2 or less.
  • the transistor included in the circuit 164 and the transistor included in the display portion 162 may have the same structure or different structures.
  • the structures of the plurality of transistors included in the circuit 164 may be all the same or may be two or more.
  • the structures of the plurality of transistors included in the display portion 162 may all be the same or may be two or more.
  • connection portion 204 is provided in a region of the substrate 151 where the substrate 152 does not overlap.
  • the wiring 165 is electrically connected to the FPC 172 via the conductive layer 166 and the connection layer 242.
  • a conductive layer 166 obtained by processing the same conductive film as the pixel electrode 181 is exposed. Accordingly, the connection portion 204 and the FPC 172 can be electrically connected via the connection layer 242.
  • optical members can be arranged outside the substrate 152.
  • the optical member include a polarizing plate, a retardation plate, a light diffusion layer (diffusion film or the like), an antireflection layer, a light condensing film, and the like.
  • an antistatic film that suppresses adhesion of dust, a water-repellent film that prevents adhesion of dirt, a hard coat film that suppresses the generation of scratches during use, a shock absorbing layer, and the like are arranged. May be.
  • the substrate 151 and the substrate 152 glass, quartz, ceramics, sapphire, resin, or the like can be used, respectively.
  • a flexible material is used for the substrates 151 and 152, the flexibility of the display device can be increased.
  • various curable adhesives such as photo-curable adhesives such as ultraviolet curable adhesives, reaction curable adhesives, thermosetting adhesives and anaerobic adhesives can be used.
  • these adhesives include epoxy resin, acrylic resin, silicone resin, phenol resin, polyimide resin, imide resin, PVC (polyvinyl chloride) resin, PVB (polyvinyl butyral) resin, EVA (ethylene vinyl acetate) resin and the like.
  • a material having low moisture permeability such as epoxy resin is preferable.
  • a two-liquid mixed type resin may be used.
  • an adhesive sheet or the like may be used.
  • connection layer 242 an anisotropic conductive film (ACF: Anisotropic Conductive Film), an anisotropic conductive paste (ACP: Anisotropic Conductive Paste), or the like can be used.
  • ACF Anisotropic Conductive Film
  • ACP Anisotropic Conductive Paste
  • the light emitting element 190 includes a top emission type, a bottom emission type, a dual emission type and the like.
  • a conductive film that transmits visible light is used for the electrode on the light extraction side. Further, it is preferable to use a conductive film that reflects visible light for the electrode on the side from which light is not extracted.
  • the light emitting element 190 has at least a light emitting layer 193.
  • a substance having a high hole-injecting property a substance having a high hole-transporting property, a hole-blocking material, a substance having a high electron-transporting property, a substance having a high electron-injecting property, or bipolar.
  • a layer containing a conductive substance (a substance having a high electron-transporting property and a high hole-transporting property) or the like may be further included.
  • the common layer 112 preferably has one or both of a hole injection layer and a hole transport layer.
  • the common layer 114 preferably has one or both of an electron transport layer and an electron injection layer.
  • the hole injection layer is a layer for injecting holes from the anode into the light emitting element, and is a layer containing a material having a high hole injection property.
  • a material having a high hole injecting property an aromatic amine compound or a composite material containing a hole transporting material and an acceptor material (electron accepting material) can be used.
  • the hole transport layer is a layer that transports holes injected from the anode to the light emitting layer by the hole injection layer.
  • the hole transport layer is a layer that transports holes generated based on the light incident on the active layer to the anode.
  • the hole transport layer is a layer containing a hole transport material.
  • As the hole transporting material a substance having a hole mobility of greater than or equal to 10- 6 cm 2 / Vs is preferable. Note that substances other than these substances can be used as long as they have a property of transporting more holes than electrons.
  • a material having a high hole-transporting property such as a ⁇ -electron excess type heteroaromatic compound (for example, a carbazole derivative, a thiophene derivative, a furan derivative) or an aromatic amine (a compound having an aromatic amine skeleton) Is preferred.
  • a ⁇ -electron excess type heteroaromatic compound for example, a carbazole derivative, a thiophene derivative, a furan derivative
  • an aromatic amine a compound having an aromatic amine skeleton
  • the electron transport layer is a layer that transports electrons injected from the cathode to the light emitting layer by the electron injection layer.
  • the electron transport layer is a layer that transports electrons generated based on the light incident on the active layer to the cathode.
  • the electron transport layer is a layer containing an electron transport material.
  • As the electron transporting material a substance having a 1 ⁇ 10- 6 cm 2 / Vs or more electron mobility is preferable. Note that any substance other than these substances can be used as long as it has a property of transporting more electrons than holes.
  • a material having a high electron-transporting property such as a type heteroaromatic compound can be used.
  • the electron injection layer is a layer for injecting electrons from the cathode into the light emitting element, and is a layer containing a material having a high electron injection property.
  • a material having a high electron injecting property an alkali metal, an alkaline earth metal, or a compound thereof can be used.
  • a material having a high electron-injection property a composite material containing an electron-transporting material and a donor material (electron-donating material) can also be used.
  • the common layer 112, the light emitting layer 193, and the common layer 114 either a low molecular compound or a high molecular compound can be used, and an inorganic compound may be included.
  • the layers forming the common layer 112, the light emitting layer 193, and the common layer 114 can be formed by a method such as an evaporation method (including a vacuum evaporation method), a transfer method, a printing method, an inkjet method, a coating method, or the like. ..
  • the light emitting layer 193 is a layer containing a light emitting substance.
  • the light emitting layer 193 can include one or more light emitting materials.
  • a substance exhibiting a light-emitting color such as blue, purple, blue-violet, green, yellow-green, yellow, orange, or red is appropriately used.
  • a substance that emits near-infrared light can be used as the light-emitting substance.
  • the active layer 183 of the light receiving element 110 includes a semiconductor.
  • the semiconductor include an inorganic semiconductor such as silicon and an organic semiconductor containing an organic compound.
  • an organic semiconductor is used as a semiconductor included in the active layer.
  • the light-emitting layer 193 of the light-emitting element 190 and the active layer 183 of the light-receiving element 110 can be formed by the same method (for example, a vacuum evaporation method), and a manufacturing apparatus can be shared, which is preferable. ..
  • n-type semiconductor material included in the active layer 183 examples include electron-accepting organic semiconductor materials such as fullerenes (eg, C 60 , C 70, etc.) and their derivatives.
  • electron-accepting organic semiconductor materials such as fullerenes (eg, C 60 , C 70, etc.) and their derivatives.
  • a p-type semiconductor material included in the active layer 183 copper (II) phthalocyanine (Copper (II) phthalocyanine; CuPc), tetraphenyldibenzoperifuranthene (DBP), zinc phthalocyanine (Zinc Phanthalcene).
  • Electron-donating organic semiconductor materials such as Further, tin phthalocyanine (SnPc) may be used as the material of the p-type semiconductor.
  • the active layer 183 is preferably formed by co-evaporating an n-type semiconductor and a p-type semiconductor.
  • Materials that can be used for conductive layers such as various gates, sources, and drains of transistors as well as various wirings and electrodes that configure a display device include aluminum, titanium, chromium, nickel, copper, yttrium, zirconium, molybdenum, silver, and Examples thereof include metals such as tantalum and tungsten, alloys containing the metals as main components, and the like. A film containing these materials can be used as a single layer or as a laminated structure.
  • a conductive oxide such as indium oxide, indium tin oxide, indium zinc oxide, zinc oxide, or zinc oxide containing gallium, or graphene
  • a metal material such as gold, silver, platinum, magnesium, nickel, tungsten, chromium, molybdenum, iron, cobalt, copper, palladium, or titanium, or an alloy material containing the metal material
  • a nitride of the metal material for example, titanium nitride
  • the thickness be thin enough to have a light-transmitting property.
  • a stacked film of any of the above materials can be used as the conductive layer.
  • a stacked film of an alloy of silver and magnesium and indium tin oxide because conductivity can be increased.
  • Examples of the insulating material that can be used for each insulating layer include resins such as acrylic resin and epoxy resin, and inorganic insulating materials such as silicon oxide, silicon oxynitride, silicon nitride oxide, silicon nitride, and aluminum oxide.
  • FIG. 14A shows a cross-sectional view of the display device 100B.
  • the display device 100B mainly differs from the display device 100A in that the display device 100B has a protective layer 116 and a solid sealing structure is applied.
  • the protective layer 116 which covers the light receiving element 110 and the light emitting element 190, impurities such as water can be prevented from entering the light receiving element 110 and the light emitting element 190, and the reliability of the light receiving element 110 and the light emitting element 190 can be improved. it can.
  • the insulating layer 215 and the protective layer 116 are preferably in contact with each other through the opening in the insulating layer 214.
  • the inorganic insulating film of the insulating layer 215 and the inorganic insulating film of the protective layer 116 be in contact with each other. This can prevent impurities from entering the display portion 162 from the outside through the organic insulating film. Therefore, the reliability of the display device 100B can be improved.
  • FIG. 14B shows an example in which the protective layer 116 has a three-layer structure.
  • the protective layer 116 has an inorganic insulating layer 116a on the common electrode 115, an organic insulating layer 116b on the inorganic insulating layer 116a, and an inorganic insulating layer 116c on the organic insulating layer 116b.
  • the end of the inorganic insulating layer 116a and the end of the inorganic insulating layer 116c extend outside the end of the organic insulating layer 116b and are in contact with each other. Then, the inorganic insulating layer 116a is in contact with the insulating layer 215 (inorganic insulating layer) through the opening of the insulating layer 214 (organic insulating layer). Accordingly, since the light receiving element 110 and the light emitting element 190 can be surrounded by the insulating layer 215 and the protective layer 116, the reliability of the light receiving element 110 and the light emitting element 190 can be improved.
  • the protective layer 116 may have a laminated structure of an organic insulating film and an inorganic insulating film. At this time, it is preferable to extend the end portion of the inorganic insulating film outside the end portion of the organic insulating film.
  • the protective layer 116 and the substrate 152 are attached to each other with the adhesive layer 142.
  • the adhesive layer 142 is provided so as to overlap the light receiving element 110 and the light emitting element 190, respectively, and a solid sealing structure is applied to the display device 100B.
  • Display device 100C] 15 and 16A are cross-sectional views of the display device 100C.
  • a perspective view of the display device 100C is similar to that of the display device 100A (FIG. 12).
  • 15 illustrates an example of a cross section of the display device 100C, which is obtained by cutting part of a region including the FPC 172, part of the circuit 164, and part of the display portion 162.
  • FIG. 16A shows an example of a cross section when a part of the display unit 162 of the display device 100C is cut.
  • FIG. 15 shows an example of a cross section of the display unit 162 when a region including the light receiving element 110 and the light emitting element 190R that emits red light is cut.
  • 16A illustrates an example of a cross section of the display portion 162, particularly when a region including a light emitting element 190G that emits green light and a light emitting element 190B that emits blue light is cut.
  • a display device 100C illustrated in FIGS. 15 and 16A includes a transistor 203, a transistor 207, a transistor 208, a transistor 209, a transistor 210, a light emitting element 190R, a light emitting element 190G, a light emitting element 190B, and a light receiving element between a substrate 153 and a substrate 154. It has an element 110 and the like.
  • the resin layer 159 and the common electrode 115 are adhered to each other via the adhesive layer 142, and a solid sealing structure is applied to the display device 100C.
  • the substrate 153 and the insulating layer 212 are attached to each other with an adhesive layer 155.
  • the substrate 154 and the insulating layer 157 are attached to each other with an adhesive layer 156.
  • a method for manufacturing the display device 100C first, a first manufacturing substrate provided with the insulating layer 212, each transistor, the light receiving element 110, each light emitting element, the insulating layer 157, the resin layer 159, the light shielding layer 158, and the like.
  • the second manufacturing substrate provided with is bonded to the second manufacturing substrate with the adhesive layer 142.
  • the substrate 153 is attached to the exposed surface of the first production substrate by peeling, and the substrate 154 is attached to the exposed surface of the second production substrate, whereby the first production substrate and the second production substrate are attached.
  • the components formed above are transferred to the substrate 153 and the substrate 154. It is preferable that each of the substrate 153 and the substrate 154 have flexibility. Thereby, the flexibility of the display device 100C can be enhanced.
  • an inorganic insulating film which can be used for the insulating layer 211, the insulating layer 213, and the insulating layer 215 can be used, respectively.
  • the light emitting element 190R has a laminated structure in which the pixel electrode 191R, the common layer 112, the light emitting layer 193R, the common layer 114, and the common electrode 115 are laminated in this order from the insulating layer 214b side.
  • the pixel electrode 191R is connected to the conductive layer 169R through an opening provided in the insulating layer 214b.
  • the conductive layer 169R is connected to the conductive layer 222b included in the transistor 208 through an opening provided in the insulating layer 214a.
  • the conductive layer 222b is connected to the low resistance region 231n through the opening provided in the insulating layer 215. That is, the pixel electrode 191R is electrically connected to the transistor 208.
  • the transistor 208 has a function of controlling driving of the light emitting element 190R.
  • the light emitting element 190G has a laminated structure in which the pixel electrode 191G, the common layer 112, the light emitting layer 193G, the common layer 114, and the common electrode 115 are laminated in this order from the insulating layer 214b side.
  • the pixel electrode 191G is electrically connected to the low resistance region 231n of the transistor 209 through the conductive layer 169G and the conductive layer 222b of the transistor 209. That is, the pixel electrode 191G is electrically connected to the transistor 209.
  • the transistor 209 has a function of controlling driving of the light emitting element 190G.
  • the light-emitting element 190B has a stacked structure in which the pixel electrode 191B, the common layer 112, the light-emitting layer 193B, the common layer 114, and the common electrode 115 are stacked in this order from the insulating layer 214b side.
  • the pixel electrode 191B is electrically connected to the low resistance region 231n of the transistor 210 through the conductive layer 169B and the conductive layer 222b of the transistor 210. That is, the pixel electrode 191B is electrically connected to the transistor 210.
  • the transistor 210 has a function of controlling driving of the light emitting element 190B.
  • the light receiving element 110 has a laminated structure in which the pixel electrode 181, the common layer 112, the active layer 183, the common layer 114, and the common electrode 115 are laminated in this order from the insulating layer 214b side.
  • the pixel electrode 181 is electrically connected to the low resistance region 231n of the transistor 207 through the conductive layer 168 and the conductive layer 222b of the transistor 207. That is, the pixel electrode 181 is electrically connected to the transistor 207.
  • the ends of the pixel electrodes 181, 191R, 191G, and 191B are covered with partition walls 216.
  • the pixel electrodes 181, 191R, 191G, and 191B include a material that reflects visible light, and the common electrode 115 includes a material that transmits visible light.
  • the light emitted from the light emitting elements 190R, 190G, 190B is emitted to the substrate 154 side. Further, light enters the light receiving element 110 through the substrate 154 and the adhesive layer 142.
  • the substrate 154 it is preferable to use a material having high transparency to visible light.
  • the pixel electrode 181 and the pixel electrode 191 can be manufactured using the same material and the same process.
  • the common layer 112, the common layer 114, and the common electrode 115 are commonly used for the light receiving element 110 and the light emitting elements 190R, 190G, and 190B.
  • the light receiving element 110 and the light emitting element of each color may have the same configuration except that the configurations of the active layer 183 and the light emitting layer are different. Accordingly, the light receiving element 110 can be incorporated in the display device 100C without significantly increasing the number of manufacturing steps.
  • a resin layer 159 and a light shielding layer 158 are provided on the surface of the insulating layer 157 on the substrate 153 side.
  • the resin layer 159 is provided at a position overlapping with the light emitting elements 190R, 190G, 190B, and not provided at a position overlapping with the light receiving element 110.
  • the light-blocking layer 158 is provided so as to cover the surface of the insulating layer 157 on the substrate 153 side, the side surface of the resin layer 159, and the surface of the resin layer 159 on the substrate 153 side.
  • the light-blocking layer 158 has openings at positions overlapping with the light-receiving element 110 and at positions overlapping with the light-emitting elements 190R, 190G, and 190B, respectively.
  • the range in which the light receiving element 110 detects light can be controlled. Further, by including the light shielding layer 158, it is possible to suppress light from entering the light receiving element 110 from the light emitting elements 190R, 190G, and 190B without going through the object. Therefore, a sensor with less noise and high sensitivity can be realized. Since the resin layer 159 is provided, the distance from the light shielding layer 158 to the light emitting element of each color is shorter than the distance from the light shielding layer 158 to the light receiving element 110. As a result, it is possible to suppress the viewing angle dependence of the display while reducing the noise of the sensor. Therefore, both display quality and imaging quality can be improved.
  • the configurations of the partition wall 216, the light shielding layer 219a, and the spacer 219b in the display device 100C are similar to those of the display device 10K (FIGS. 6B and 7A).
  • the partition wall 216 has an opening between the light receiving element 110 and the light emitting element 190R.
  • a light-blocking layer 219a is provided so as to fill the opening.
  • the light shielding layer 219a is located between the light receiving element 110 and the light emitting element 190R.
  • the light shielding layer 219a absorbs the light emitted by the light emitting element 190R. Thereby, stray light that enters the light receiving element 110 can be suppressed.
  • the spacer 219b is located between the light emitting element 190G and the light emitting element 190B.
  • the upper surface of the spacer 219b is preferably closer to the light shielding layer 158 than the upper surface of the light shielding layer 219a.
  • the sum of the height (thickness) of the partition wall 216 and the height (thickness) of the spacer 219b is preferably larger than the height (thickness) of the light shielding layer 219a. This makes it easy to fill the adhesive layer 142.
  • the light shielding layer 158 may be in contact with the common electrode 115 (or the protective layer) at the portion where the spacer 219b and the light shielding layer 158 overlap.
  • connection portion 204 is provided in a region of the substrate 153 where the substrate 154 does not overlap.
  • the wiring 165 is electrically connected to the FPC 172 through the conductive layer 167, the conductive layer 166, and the connection layer 242.
  • the conductive layer 167 can be obtained by processing the same conductive film as the conductive layer 168.
  • a conductive layer 166 obtained by processing the same conductive film as the pixel electrode 181 is exposed. Accordingly, the connection portion 204 and the FPC 172 can be electrically connected via the connection layer 242.
  • the transistor 207, the transistor 208, the transistor 209, and the transistor 210 each include a conductive layer 221 functioning as a gate, an insulating layer 211 functioning as a gate insulating layer, a semiconductor layer having a channel formation region 231i and a pair of low resistance regions 231n, and a pair of semiconductor layers.
  • An insulating layer 215 which covers 223 is included.
  • the insulating layer 211 is located between the conductive layer 221 and the channel formation region 231i.
  • the insulating layer 225 is located between the conductive layer 223 and the channel formation region 231i.
  • the conductive layers 222a and 222b are connected to the low resistance region 231n through openings provided in the insulating layer 215, respectively.
  • One of the conductive layers 222a and 222b functions as a source and the other functions as a drain.
  • the insulating layer 225 overlaps with the channel formation region 231i of the semiconductor layer 231 and does not overlap with the low resistance region 231n.
  • the structure shown in FIG. 15 can be manufactured by processing the insulating layer 225 using the conductive layer 223 as a mask.
  • the insulating layer 215 is provided so as to cover the insulating layer 225 and the conductive layer 223, and the conductive layer 222a and the conductive layer 222b are connected to the low resistance region 231n through the opening of the insulating layer 215, respectively.
  • a protective layer 116 which covers the transistor may be provided.
  • the transistor 202 illustrated in FIG. 16B an example in which the insulating layer 225 covers the top surface and the side surface of the semiconductor layer is shown.
  • the conductive layers 222a and 222b are connected to the low resistance region 231n through the openings provided in the insulating layer 225 and the insulating layer 215, respectively.
  • Metal oxide The metal oxide applicable to the semiconductor layer will be described below.
  • metal oxides containing nitrogen may be collectively referred to as metal oxides. Further, the metal oxide containing nitrogen may be referred to as a metal oxynitride. For example, a metal oxide containing nitrogen such as zinc oxynitride (ZnON) may be used for the semiconductor layer.
  • ZnON zinc oxynitride
  • CAAC c-axis aligned crystal
  • CAC Cloud-Aligned Composite
  • CAC Cloud-Aligned Composite
  • OS Organic Semiconductor
  • the CAC-OS or the CAC-metal oxide has a conductive function in a part of the material and an insulating function in a part of the material, and the whole material has a function as a semiconductor.
  • a conductive function is a function of flowing electrons (or holes) serving as carriers
  • an insulating function is an electron serving as carriers. It is a function that does not flow.
  • the CAC-OS or the CAC-metal oxide has a conductive region and an insulating region.
  • the conductive region has the above-mentioned conductive function
  • the insulating region has the above-mentioned insulating function.
  • the conductive region and the insulating region may be separated at the nanoparticle level.
  • the conductive region and the insulating region may be unevenly distributed in the material.
  • the conductive region may be observed as the periphery is blurred and connected in a cloud shape.
  • the conductive region and the insulating region are dispersed in the material in a size of 0.5 nm to 10 nm, preferably 0.5 nm to 3 nm. There is.
  • the CAC-OS or CAC-metal oxide is composed of components having different band gaps.
  • the CAC-OS or the CAC-metal oxide is composed of a component having a wide gap due to the insulating region and a component having a narrow gap due to the conductive region.
  • the carrier when the carrier flows, the carrier mainly flows in the component having the narrow gap.
  • the component having the narrow gap acts complementarily to the component having the wide gap, and the carrier also flows to the component having the wide gap in conjunction with the component having the narrow gap. Therefore, when the CAC-OS or CAC-metal oxide is used in the channel formation region of a transistor, a high current driving force, that is, a high on-current and a high field-effect mobility can be obtained in the on state of the transistor.
  • the CAC-OS or the CAC-metal oxide can also be referred to as a matrix composite material or a metal matrix composite material.
  • the oxide semiconductor (metal oxide) is classified into a single crystal oxide semiconductor and a non-single crystal oxide semiconductor other than the single crystal oxide semiconductor.
  • the non-single-crystal oxide semiconductor include a CAAC-OS (c-axis aligned crystal line oxide semiconductor), a polycrystalline oxide semiconductor, an nc-OS (nanocrystal oxide semiconductor), and a pseudo-amorphous oxide semiconductor (a-like oxide).
  • OS amorphous-like oxide semiconductor), and amorphous oxide semiconductor.
  • the CAAC-OS has a crystal structure having c-axis orientation and a plurality of nanocrystals connected in the ab plane direction and having strain.
  • the strain refers to a portion where the orientation of the lattice arrangement is changed between a region where the lattice arrangement is uniform and another region where the lattice arrangement is uniform in the region where a plurality of nanocrystals are connected.
  • the nanocrystal is basically a hexagon, but is not limited to a regular hexagon, and may be a non-regular hexagon.
  • the strain may have a lattice arrangement such as a pentagon and a heptagon.
  • a lattice arrangement such as a pentagon and a heptagon.
  • the CAAC-OS is a layered crystal in which a layer containing indium and oxygen (hereinafter, an In layer) and a layer containing elements M, zinc, and oxygen (hereinafter, a (M,Zn) layer) are stacked. It tends to have a structure (also called a layered structure).
  • indium and the element M can be replaced with each other, and when the element M of the (M,Zn) layer is replaced with indium, it can be expressed as an (In,M,Zn) layer. Further, when the indium of the In layer is replaced with the element M, it can be expressed as an (In,M) layer.
  • CAAC-OS is a metal oxide with high crystallinity.
  • CAAC-OS since it is difficult to confirm a clear crystal grain boundary, it can be said that a decrease in electron mobility due to the crystal grain boundary does not easily occur.
  • CAAC-OS impurities and defects oxygen deficiency (V O:. Oxygen vacancy also referred) etc.) with less metal It can be said to be an oxide. Therefore, the metal oxide having CAAC-OS has stable physical properties. Therefore, the metal oxide containing CAAC-OS is highly heat resistant and highly reliable.
  • the nc-OS has a periodic atomic arrangement in a minute region (for example, a region of 1 nm or more and 10 nm or less, particularly a region of 1 nm or more and 3 nm or less). Moreover, in the nc-OS, no regularity is found in the crystal orientation between different nanocrystals. Therefore, no orientation is seen in the entire film. Therefore, the nc-OS may be indistinguishable from the a-like OS or the amorphous oxide semiconductor depending on the analysis method.
  • IGZO indium-gallium-zinc oxide
  • IGZO indium-gallium-zinc oxide
  • IGZO may have a stable structure by using the above-described nanocrystal.
  • IGZO tends to have difficulty in crystal growth in the atmosphere, so that a smaller crystal (for example, the above-mentioned nanocrystal) is used than a large crystal (here, a crystal of several mm or a crystal of several cm).
  • a large crystal here, a crystal of several mm or a crystal of several cm.
  • it may be structurally stable.
  • the a-like OS is a metal oxide having a structure between the nc-OS and the amorphous oxide semiconductor.
  • the a-like OS has a void or a low density region. That is, the crystallinity of the a-like OS is lower than that of the nc-OS and the CAAC-OS.
  • Oxide semiconductors have various structures and have different characteristics.
  • the oxide semiconductor of one embodiment of the present invention may include two or more of an amorphous oxide semiconductor, a polycrystalline oxide semiconductor, an a-like OS, an nc-OS, and a CAAC-OS.
  • the metal oxide film functioning as a semiconductor layer can be formed using one or both of an inert gas and an oxygen gas.
  • an inert gas oxygen gas
  • oxygen flow rate ratio oxygen partial pressure
  • the flow rate ratio of oxygen (oxygen partial pressure) at the time of forming the metal oxide film is preferably 0% to 30%, preferably 5% to 30%. Is more preferable and 7% or more and 15% or less is still more preferable.
  • the energy gap of the metal oxide is preferably 2 eV or more, more preferably 2.5 eV or more, still more preferably 3 eV or more.
  • the substrate temperature at the time of forming the metal oxide film is preferably 350° C. or lower, more preferably room temperature or higher and 200° C. or lower, and further preferably room temperature or higher and 130° C. or lower.
  • productivity can be improved, which is preferable.
  • the metal oxide film can be formed by a sputtering method. Besides, for example, a PLD method, a PECVD method, a thermal CVD method, an ALD method, a vacuum evaporation method, or the like may be used.
  • the display device of this embodiment has the light receiving element and the light emitting element in the display portion, and the display portion has both a function of displaying an image and a function of detecting light. This makes it possible to reduce the size and weight of the electronic device as compared with the case where the sensor is provided outside the display unit or outside the display device. Further, a multifunctional electronic device can be realized by combining with a sensor provided outside the display portion or outside the display device.
  • the layers provided between the pair of electrodes can have the same configuration as the light emitting element (EL element).
  • all layers other than the active layer may have the same configuration as the light emitting element (EL element). That is, the light emitting element and the light receiving element can be formed on the same substrate only by adding a step of forming an active layer to the manufacturing step of the light emitting element.
  • the pixel electrode and the common electrode can be formed using the same material and the same process, respectively.
  • the manufacturing process of the display device can be simplified by manufacturing a circuit electrically connected to the light-receiving element and a circuit electrically connected to the light-emitting element with the same material and the same step. ..
  • a light-receiving element can be built in and a highly convenient display device can be manufactured without complicated steps.
  • a structure is provided on the surface where the light-blocking layer is formed so that the distance from the light-blocking layer to the light-receiving element is long and the distance from the light-blocking layer to the light-emitting element is short.
  • a display device of one embodiment of the present invention includes a first pixel circuit having a light receiving element and a second pixel circuit having a light emitting element.
  • the first pixel circuit and the second pixel circuit are arranged in a matrix.
  • FIG. 17A shows an example of a first pixel circuit having a light receiving element
  • FIG. 17B shows an example of a second pixel circuit having a light emitting element.
  • the pixel circuit PIX1 illustrated in FIG. 17A includes a light receiving element PD, a transistor M1, a transistor M2, a transistor M3, a transistor M4, and a capacitor C1.
  • a photodiode is used as the light receiving element PD.
  • the cathode is electrically connected to the wiring V1 and the anode is electrically connected to one of the source and the drain of the transistor M1.
  • the gate of the transistor M1 is electrically connected to the wiring TX, and the other of the source and the drain is electrically connected to one electrode of the capacitor C1, one of the source and the drain of the transistor M2, and the gate of the transistor M3.
  • the gate is electrically connected to the wiring RES, and the other of the source and the drain is electrically connected to the wiring V2.
  • One of a source and a drain of the transistor M3 is electrically connected to the wiring V3, and the other of the source and the drain is electrically connected to one of a source and a drain of the transistor M4.
  • the gate is electrically connected to the wiring SE and the other of the source and the drain is electrically connected to the wiring OUT1.
  • a constant potential is supplied to each of the wiring V1, the wiring V2, and the wiring V3.
  • the transistor M2 is controlled by a signal supplied to the wiring RES and has a function of resetting the potential of the node connected to the gate of the transistor M3 to the potential supplied to the wiring V2.
  • the transistor M1 is controlled by a signal supplied to the wiring TX and has a function of controlling the timing when the potential of the node changes in accordance with the current flowing in the light-receiving element PD.
  • the transistor M3 functions as an amplification transistor that outputs according to the potential of the node.
  • the transistor M4 is controlled by a signal supplied to the wiring SE and functions as a selection transistor for reading an output corresponding to the potential of the above node by an external circuit connected to the wiring OUT1.
  • the pixel circuit PIX2 illustrated in FIG. 17B includes a light emitting element EL, a transistor M5, a transistor M6, a transistor M7, and a capacitor C2.
  • a light emitting diode is used as the light emitting element EL.
  • the gate is electrically connected to the wiring VG, one of the source and the drain is electrically connected to the wiring VS, and the other of the source and the drain is one electrode of the capacitor C2 and the gate of the transistor M6.
  • One of a source and a drain of the transistor M6 is electrically connected to the wiring V4, and the other is electrically connected to an anode of the light emitting element EL and one of a source and a drain of the transistor M7.
  • the gate of the transistor M7 is electrically connected to the wiring MS, and the other of the source and the drain is electrically connected to the wiring OUT2.
  • the cathode of the light emitting element EL is electrically connected to the wiring V5.
  • a constant potential is supplied to each of the wiring V4 and the wiring V5.
  • the anode side of the light emitting element EL can be set to a high potential and the cathode side can be set to a lower potential than the anode side.
  • the transistor M5 is controlled by a signal supplied to the wiring VG and functions as a selection transistor for controlling the selection state of the pixel circuit PIX2.
  • the transistor M6 also functions as a drive transistor that controls the current flowing through the light emitting element EL according to the potential supplied to the gate.
  • the transistor M5 is conductive, the potential supplied to the wiring VS is supplied to the gate of the transistor M6, and the emission luminance of the light emitting element EL can be controlled in accordance with the potential.
  • the transistor M7 is controlled by a signal supplied to the wiring MS and has a function of outputting the potential between the transistor M6 and the light-emitting element EL to the outside through the wiring OUT2.
  • the transistor M1, the transistor M2, the transistor M3, and the transistor M4 included in the pixel circuit PIX1, and the transistor M5, the transistor M6, and the transistor M7 included in the pixel circuit PIX2 are formed on a semiconductor layer in which a channel is formed. It is preferable to apply a transistor including an oxide (oxide semiconductor).
  • a transistor including a metal oxide having a wider bandgap and a smaller carrier density than silicon can realize an extremely small off-state current. Therefore, due to the small off-state current, the charge accumulated in the capacitor connected in series with the transistor can be held for a long time. Therefore, it is particularly preferable to use a transistor to which an oxide semiconductor is applied as the transistor M1, the transistor M2, and the transistor M5 which are connected in series to the capacitor C1 or the capacitor C2. In addition, by using a transistor to which an oxide semiconductor is applied for the other transistors as well, manufacturing cost can be reduced.
  • transistors M1 to M7 transistors in which silicon is used as a semiconductor in which a channel is formed can be used.
  • high crystallinity silicon such as single crystal silicon or polycrystalline silicon because high field-effect mobility can be realized and higher speed operation can be performed.
  • one of the transistors M1 to M7 may be a transistor to which an oxide semiconductor is applied, and another transistor to which silicon is applied may be used.
  • transistors are described as n-channel transistors in FIGS. 17A and 17B, p-channel transistors can also be used.
  • the transistor included in the pixel circuit PIX1 and the transistor included in the pixel circuit PIX2 are formed side by side on the same substrate.
  • a transistor included in the pixel circuit PIX1 and a transistor included in the pixel circuit PIX2 are mixed in one region and periodically arranged.
  • one or a plurality of layers each including one or both of a transistor and a capacitor be provided in a position overlapping with the light-receiving element PD or the light-emitting element EL.
  • the effective occupied area of each pixel circuit can be reduced, and a high-definition light receiving portion or display portion can be realized.
  • FIG. 18A shows a block diagram of a pixel.
  • the pixel illustrated in FIG. 18A includes a memory (Memory) in addition to a switching transistor (Switching Tr), a driving transistor (Driving Tr), and a light emitting element (OLED).
  • Memory Memory
  • switching Tr switching transistor
  • driving Tr driving transistor
  • OLED light emitting element
  • the data Data_W is supplied to the memory.
  • the data Data_W is supplied to the pixel in addition to the display data Data.
  • the current flowing through the light emitting element is increased, and the display device can express high luminance.
  • Imaging with the display device of one embodiment of the present invention is performed by using light emitted from a light-emitting element as a light source and detecting light reflected from an imaged object with a light-receiving element.
  • the light emitting element By driving the light emitting element used for the light source based on the display data Data and the data Data_W, the light emitting element can emit light with high luminance. The higher the brightness of the light emitting element, the more the S/N ratio can be improved. Thereby, the sensitivity of light detection by the light receiving element can be increased.
  • FIG. 18B shows a specific circuit diagram of the pixel circuit.
  • the pixel illustrated in FIG. 18B includes a transistor M1, a transistor M2, a transistor M3, a transistor M4, a capacitor Cs, a capacitor Cw, and a light emitting element EL.
  • One of a source and a drain of the transistor M1 is electrically connected to one electrode of the capacitor Cw.
  • the other electrode of the capacitor Cw is electrically connected to one of the source and the drain of the transistor M4.
  • One of a source and a drain of the transistor M4 is electrically connected to a gate of the transistor M2.
  • the gate of the transistor M2 is electrically connected to one electrode of the capacitor Cs.
  • the other electrode of the capacitor Cs is electrically connected to one of the source and the drain of the transistor M2.
  • One of a source and a drain of the transistor M2 is electrically connected to one of a source and a drain of the transistor M3.
  • One of a source and a drain of the transistor M3 is electrically connected to one electrode of the light emitting element EL.
  • a node to which the other electrode of the capacitor Cw, one of the source and the drain of the transistor M4, the gate of the transistor M2, and one electrode of the capacitor Cs are connected is a node NM.
  • a node NA is connected to the other electrode of the capacitor Cs, one of the source and the drain of the transistor M2, one of the source and the drain of the transistor M3, and one electrode of the light-emitting element EL.
  • the gate of the transistor M1 is electrically connected to the wiring G1.
  • the gate of the transistor M3 is electrically connected to the wiring G1.
  • the gate of the transistor M4 is electrically connected to the wiring G2.
  • the other of the source and the drain of the transistor M1 is electrically connected to the wiring DATA.
  • the other of the source and the drain of the transistor M3 is electrically connected to the wiring V0.
  • the other of the source and the drain of the transistor M4 is electrically connected to the wiring DATA_W.
  • the other of the source and the drain of the transistor M2 is electrically connected to the wiring ANODE (high potential side).
  • the other electrode of the light emitting element EL is electrically connected to the wiring CATHODE (low potential side).
  • the wiring G1 and the wiring G2 can have a function as a signal line for controlling the operation of the transistor.
  • the wiring DATA can have a function as a signal line which supplies an image signal to a pixel.
  • the wiring DATA_W can have a function as a signal line for writing data to the memory circuit MEM.
  • the wiring DATA_W can have a function as a signal line which supplies a correction signal to a pixel.
  • the wiring V0 has a function as a monitor line for acquiring the electrical characteristics of the transistor M4. Further, by supplying a specific potential to the other electrode of the capacitor Cs from the wiring V0 through the transistor M3, writing of an image signal can be stabilized.
  • the transistor M2, the transistor M4, and the capacitor Cw form a memory circuit MEM.
  • the node NM is a storage node, and the signal supplied to the wiring DATA_W can be written to the node NM by turning on the transistor M4.
  • the potential of the node NM can be held for a long time.
  • the transistor M4 for example, a transistor including a metal oxide in a channel formation region (hereinafter referred to as an OS transistor) can be used. Accordingly, the off-state current of the transistor M4 can be extremely low, and the potential of the node NM can be held for a long time. At this time, it is preferable to use an OS transistor as the other transistor included in the pixel.
  • Embodiment 1 can be referred to for a specific example of the metal oxide.
  • the OS transistor Since the OS transistor has a large energy gap, it exhibits extremely low off-state current characteristics. Further, the OS transistor has characteristics different from those of a transistor having Si in a channel formation region (hereinafter referred to as Si transistor) such that impact ionization, avalanche breakdown, short channel effect, and the like do not occur, and a highly reliable circuit is formed. can do.
  • Si transistor a transistor having Si in a channel formation region
  • Si transistor M4 it is preferable to use Si transistors also for the other transistors forming the pixel.
  • a transistor including amorphous silicon a transistor including crystalline silicon (typically, low temperature polysilicon), a transistor including single crystal silicon, and the like can be given.
  • one pixel may have both an OS transistor and a Si transistor.
  • the signal written to the node NM can be capacitively coupled to the image signal supplied from the wiring DATA and output to the node NA.
  • the transistor M1 can have a function of selecting a pixel.
  • the correction signal can be added to the supplied image signal. Since the correction signal may be attenuated by an element on the transmission path, it is preferable to generate the correction signal in consideration of the attenuation.
  • the light emitting element By causing the light emitting element to emit light using the image signal and the correction signal, the current flowing through the light emitting element can be increased and high luminance can be expressed. Since a voltage higher than the output voltage of the source driver can be applied as the gate voltage of the driving transistor, the power consumption of the source driver can be reduced. Since light with high brightness can be used for the light source, the sensitivity of the sensor can be increased.
  • the electronic device in this embodiment includes the display device of one embodiment of the present invention.
  • the display device of one embodiment of the present invention can be applied to a display portion of an electronic device. Since the display device of one embodiment of the present invention has a function of detecting light, biometric authentication can be performed on the display portion or a touch operation (contact or proximity) can be detected. As a result, the functionality and convenience of the electronic device can be improved.
  • Examples of the electronic device include a television device, a desktop or notebook personal computer, a monitor for a computer, a digital signage, an electronic device with a relatively large screen such as a large game machine such as a pachinko machine, and a digital device.
  • Examples thereof include a camera, a digital video camera, a digital photo frame, a mobile phone, a portable game machine, a personal digital assistant, and a sound reproducing device.
  • the electronic device of this embodiment includes sensors (force, displacement, position, velocity, acceleration, angular velocity, rotation speed, distance, light, liquid, magnetism, temperature, chemical substance, voice, time, hardness, electric field, current, voltage). , A function of measuring electric power, radiation, flow rate, humidity, gradient, vibration, odor or infrared light).
  • the electronic device of this embodiment can have various functions. For example, a function of displaying various information (still images, moving images, text images, etc.) on the display unit, a touch panel function, a function of displaying a calendar, date or time, a function of executing various software (programs), wireless communication It can have a function, a function of reading a program or data recorded in a recording medium, and the like.
  • the electronic device 6500 illustrated in FIG. 19A is a personal digital assistant that can be used as a smartphone.
  • the electronic device 6500 includes a housing 6501, a display portion 6502, a power button 6503, a button 6504, a speaker 6505, a microphone 6506, a camera 6507, a light source 6508, and the like.
  • the display portion 6502 has a touch panel function.
  • the display device of one embodiment of the present invention can be applied to the display portion 6502.
  • FIG. 19B is a schematic sectional view including an end portion of the housing 6501 on the microphone 6506 side.
  • a protective member 6510 having a light-transmitting property is provided on a display surface side of the housing 6501, and a display panel 6511, an optical member 6512, a touch sensor panel 6513, a print are provided in a space surrounded by the housing 6501 and the protective member 6510.
  • a substrate 6517, a battery 6518, and the like are arranged.
  • a display panel 6511, an optical member 6512, and a touch sensor panel 6513 are fixed to the protective member 6510 with an adhesive layer (not shown).
  • part of the display panel 6511 is folded back, and the FPC 6515 is connected to the folded portion.
  • An IC 6516 is mounted on the FPC 6515.
  • the FPC 6515 is connected to a terminal provided on the printed board 6517.
  • the flexible display of one embodiment of the present invention can be applied to the display panel 6511. Therefore, an extremely lightweight electronic device can be realized. Further, since the display panel 6511 is extremely thin, a large-capacity battery 6518 can be mounted while suppressing the thickness of the electronic device. Further, by folding a part of the display panel 6511 and disposing the connection portion with the FPC 6515 on the back side of the pixel portion, an electronic device with a narrow frame can be realized.
  • FIG. 20A shows an example of a television device.
  • a display portion 7000 is incorporated in a housing 7101 of the television device 7100.
  • a structure is shown in which the housing 7101 is supported by a stand 7103.
  • the display device of one embodiment of the present invention can be applied to the display portion 7000.
  • the television device 7100 illustrated in FIG. 20A can be operated with an operation switch included in the housing 7101 or a separate remote controller 7111.
  • the display portion 7000 may be provided with a touch sensor, and the television device 7100 may be operated by touching the display portion 7000 with a finger or the like.
  • the remote controller 7111 may have a display portion for displaying information output from the remote controller 7111.
  • a channel and a volume can be operated by an operation key or a touch panel included in the remote controller 7111, and an image displayed on the display portion 7000 can be operated.
  • the television device 7100 is provided with a receiver, a modem, and the like.
  • a general television broadcast can be received by the receiver.
  • by connecting to a wired or wireless communication network via a modem one-way (sender to receiver) or bidirectional (between sender and receiver, or between receivers) information communication is performed. It is also possible.
  • FIG. 20B shows an example of a laptop personal computer.
  • the laptop personal computer 7200 includes a housing 7211, a keyboard 7212, a pointing device 7213, an external connection port 7214, and the like.
  • a display portion 7000 is incorporated in the housing 7211.
  • the display device of one embodiment of the present invention can be applied to the display portion 7000.
  • 20C and 20D show an example of digital signage.
  • the digital signage 7300 illustrated in FIG. 20C includes a housing 7301, a display portion 7000, a speaker 7303, and the like. Further, an LED lamp, an operation key (including a power switch or an operation switch), a connection terminal, various sensors, a microphone, and the like can be provided.
  • FIG. 20D is a digital signage 7400 attached to a column 7401 having a cylindrical shape.
  • the digital signage 7400 includes a display portion 7000 provided along the curved surface of the pillar 7401.
  • the display device of one embodiment of the present invention can be applied to the display portion 7000.
  • the display unit 7000 As the display unit 7000 is wider, the amount of information that can be provided at one time can be increased. Further, the wider the display unit 7000 is, the more noticeable it is to a person, and, for example, the advertising effect of an advertisement can be enhanced.
  • a touch panel By applying a touch panel to the display portion 7000, not only an image or a moving image is displayed on the display portion 7000, but also a user can operate intuitively, which is preferable. In addition, when used for the purpose of providing information such as route information or traffic information, usability can be improved by an intuitive operation.
  • the digital signage 7300 or the digital signage 7400 can cooperate with the information terminal device 7311 or the information terminal device 7411 such as a smartphone owned by the user by wireless communication.
  • the advertisement information displayed on the display unit 7000 can be displayed on the screen of the information terminal 7311 or the information terminal 7411. Further, by operating the information terminal device 7311 or the information terminal device 7411, the display of the display portion 7000 can be switched.
  • the digital signage 7300 or the digital signage 7400 can be caused to execute a game using the screen of the information terminal 7311 or the information terminal 7411 as an operation unit (controller). This allows an unspecified number of users to simultaneously participate in the game and enjoy it.
  • the electronic devices illustrated in FIGS. 21A to 21F include a housing 9000, a display portion 9001, a speaker 9003, operation keys 9005 (including a power switch or an operation switch), a connection terminal 9006, a sensor 9007 (force, displacement, position, speed). , Acceleration, angular velocity, rotation speed, distance, light, liquid, magnetism, temperature, chemical substance, voice, time, hardness, electric field, current, voltage, power, radiation, flow rate, humidity, gradient, vibration, odor or infrared (Including a function to perform), a microphone 9008, and the like.
  • the electronic devices illustrated in FIGS. 21A to 21F have various functions. For example, a function of displaying various information (still image, moving image, text image, etc.) on the display unit, a touch panel function, a function of displaying a calendar, date or time, a function of controlling processing by various software (programs), It can have a wireless communication function, a function of reading and processing a program or data recorded in a recording medium, and the like. Note that the functions of the electronic device are not limited to these and can have various functions.
  • the electronic device may have a plurality of display units.
  • the electronic device is provided with a camera or the like and has a function of shooting a still image or a moving image and storing it in a recording medium (external or built in the camera), a function of displaying the shot image on the display unit, or the like. Good.
  • FIGS. 21A to 21F Details of the electronic devices illustrated in FIGS. 21A to 21F will be described below.
  • FIG. 21A is a perspective view showing portable information terminal 9101.
  • the mobile information terminal 9101 can be used as, for example, a smartphone.
  • the portable information terminal 9101 may be provided with a speaker 9003, a connection terminal 9006, a sensor 9007, and the like.
  • the mobile information terminal 9101 can display characters and image information on its plurality of surfaces.
  • FIG. 21A shows an example in which three icons 9050 are displayed. Further, the information 9051 indicated by a dashed rectangle can be displayed on another surface of the display portion 9001.
  • Examples of the information 9051 include notification of incoming call such as e-mail, SNS, and telephone, title of e-mail, SNS, etc., sender's name, date and time, time, battery level, radio wave intensity, and the like.
  • the icon 9050 or the like may be displayed at the position where the information 9051 is displayed.
  • FIG. 21B is a perspective view showing portable information terminal 9102.
  • the mobile information terminal 9102 has a function of displaying information on three or more surfaces of the display portion 9001.
  • the information 9052, the information 9053, and the information 9054 are displayed on different surfaces is shown.
  • the user can check the information 9053 displayed at a position where it can be observed from above the mobile information terminal 9102 while the mobile information terminal 9102 is stored in the chest pocket of the clothes. The user can confirm the display without taking out the portable information terminal 9102 from the pocket, and can judge whether or not to receive the call, for example.
  • FIG. 21C is a perspective view showing a wristwatch type portable information terminal 9200.
  • the mobile information terminal 9200 can be used as, for example, a smart watch.
  • the display portion 9001 is provided with a curved display surface, and display can be performed along the curved display surface.
  • the portable information terminal 9200 can also make a hands-free call by mutual communication with a headset capable of wireless communication, for example.
  • the portable information terminal 9200 can also perform data transmission with another information terminal or charge by using the connection terminal 9006. Note that the charging operation may be performed by wireless power feeding.
  • 21D to 21F are perspective views showing a foldable portable information terminal 9201.
  • 21D is a perspective view showing a state in which the portable information terminal 9201 is unfolded
  • FIG. 21F is a state in which the portable information terminal 9201 is folded
  • the portable information terminal 9201 is excellent in portability in a folded state and excellent in displayability in a wide display area without a joint in an expanded state.
  • a display portion 9001 included in the portable information terminal 9201 is supported by three housings 9000 connected by a hinge 9055.
  • the display portion 9001 can be bent with a radius of curvature of 0.1 mm or more and 150 mm or less.
  • the display device 10K (FIG. 6B), the display device 10N (FIGS. 9A and 9B), the display device 10P (FIG. 10B), and the display device 10Q (FIG. 11A) described in the first embodiment have.
  • Each evaluation device including the light shielding layer 219a was manufactured. Further, a display device to which the configuration of the display device 10P was applied was manufactured and the display was confirmed.
  • the evaluation device 30N was produced by forming the transistor, the light-shielding layer 219a, and the spacer 219b on the substrate 151 (FIGS. 7A and 9B).
  • FIG. 22 A top view photograph of the pixel portion of the evaluation device 30N is shown in FIG. As shown in FIG. 22, the configuration of FIG. 9A was applied to the pixel portion of the evaluation device 30N.
  • the pixel 31 includes a light receiving element 110, a red light emitting element 190R, a green light emitting element 190G, and a blue light emitting element 190B.
  • the light-shielding layer 219a has an upper surface shape that surrounds the four sides of the light-receiving element 110 and is separated from one end from the other end.
  • the gap 220 of the light shielding layer 219a is located on the red light emitting element 190R side. Further, as shown in the region 230, one end of the light shielding layer 219a protrudes toward the red light emitting element 190R side as compared with the green light emitting element 190G.
  • the evaluation device 30N was manufactured on the assumption that the green light emitting element 190G is used as a light source for sensing. Therefore, the green light emitting element 190G and the gap 220 are designed to be located apart from each other. It is considered that this makes it possible to suppress stray light from the green light emitting element 190G from entering the light receiving element 110 and suppress the influence of noise during sensing.
  • a spacer 219b is provided between the green light emitting element 190G and the blue light emitting element 190B.
  • FIG. 23A shows a cross-sectional photograph of the evaluation device 30N including the light shielding layer 219a.
  • the light-blocking layer 219a was manufactured using a red color filter material.
  • the thickness La of the light shielding layer 219a was about 2.2 ⁇ m.
  • the cross-sectional shape of the light shielding layer 219a is an inverse taper shape.
  • the inverse taper shape when the light shielding layer 219a surrounds all four sides of the light receiving element 110, the common electrode 115 is broken by the light shielding layer 219a, and the common electrode 115 is separated inside and outside the light shielding layer 219a. There is a risk that As shown in FIG. 22, it is considered that the light-shielding layer 219a having the gap 220 can suppress the separation of the common electrode 115.
  • FIG. 23B shows a photograph of a cross section of the evaluation device 30P including the light shielding layer 219a.
  • FIG. 24 shows a display result of the display device to which the configuration of the display device 10P is applied.
  • the light-blocking layer 219a was manufactured using a red color filter material.
  • the thickness Lb of the light shielding layer 219a was about 2.1 ⁇ m.
  • the light shielding layer 219a has an inverse tapered shape, the coverage of the organic film formed on the light shielding layer 219a, the common electrode 115, and the like may be reduced, and the light emitting element may not emit light.
  • the side wall 219c in contact with the side surface of the light shielding layer 219a having an inverse tapered shape, the coverage with the organic film, the common electrode 115, and the like can be improved, and the display quality of the display device can be improved.
  • FIG. 25A shows a cross-sectional photograph of the evaluation device 30K including the light shielding layer 219a.
  • the forward tapered light shielding layer 219a was formed so as to fill the opening provided in the partition 216.
  • a resin layer which transmits visible light is formed using a polyimide resin.
  • a resin layer that blocks visible light was formed using a brown resist material.
  • FIG. 25B A cross-sectional photograph of the evaluation device 30Q including the light shielding layer 219a is shown in FIG. 25B.
  • the light blocking layer 219a having a forward tapered shape is provided on the partition wall 217.
  • a resin layer that blocks visible light was formed using a brown resist material.
  • the evaluation device including the light shielding layer 219a could be manufactured.
  • FIG. 26 shows a device structure which constitutes a pixel of a display device.
  • One pixel of the display device manufactured in this example has a total of four elements, that is, an organic EL element OLED of three colors of Red (R), Green (G), and Blue (B) and one organic photodiode OPD, And circuits (driving circuits 43 and 44) for independently driving these four elements.
  • the four elements are provided on the substrate 151, respectively.
  • a display device using a glass substrate for the substrate 151 and a flexible display device using a resin substrate for the substrate 151 were manufactured.
  • a drive circuit 43 electrically connected to the pixel electrode 181 of the organic photodiode OPD and a drive circuit 44 electrically connected to the pixel electrode 191 of the organic EL element OLED are provided on the substrate 151.
  • the organic photodiode OPD is configured to detect light incident from the counter substrate side (the common electrode 115 side in FIG. 22).
  • the organic EL element OLED has a top emission structure that emits light to the counter substrate side.
  • the pixel electrode 181 and the pixel electrode 191 have a function of reflecting visible light.
  • a hole transport layer is separately formed for each of the four elements, and further, a light emitting layer of the organic EL element OLED of each color and an active layer of the organic photodiode OPD are separately formed.
  • the organic photodiode OPD has a hole transport layer 186 and an active layer 183
  • the red organic EL element OLED has a hole transport layer 196R and a light emitting layer 193R
  • the green organic EL element OLED is The hole-transporting layer 196G and the light-emitting layer 193G are included
  • the blue organic EL element OLED includes the hole-transporting layer 196B and the light-emitting layer 193B.
  • the common layers 112, 114a and 114b, and the common electrode 115 have a common configuration for the four elements and are formed using a common mask.
  • the common layer 112 functions as a hole injection layer of the organic EL element OLED and a hole transport layer of the organic photodiode OPD.
  • the common layer 114a functions as an electron transport layer of the organic EL element OLED and the organic photodiode OPD.
  • the common layer 114b functions as an electron injection layer of the organic EL element OLED and functions as an electron transport layer of the organic photodiode OPD.
  • the common electrode 115 has a function of transmitting visible light and a function of reflecting visible light.
  • the entire surface of the display portion of the organic EL display can be displayed.
  • a photo sensor can be formed.
  • the configuration of the display device according to the present embodiment is superior in terms of process, cost, and design, as compared with the case where the photosensor is incorporated as a separate module, and it is easy to make the device compact and flexible.
  • Imaging by the display device of the present embodiment is performed by using light emitted from the organic EL element OLED as a light source and detecting reflected light from an imaged object by the organic photodiode OPD.
  • the fingerprint of the finger 52 in contact with the substrate 59 (counter substrate)
  • the light emitted from the organic EL element OLED is reflected by the finger 52 on the substrate 59 and the organic photodiode OPD. Detects the reflected light.
  • the fingerprint can be imaged by utilizing the difference in the reflectance of the unevenness of the fingerprint.
  • the image pickup of the fingerprint can be detected only by the light of a single color, and the image pickup of the fingerprint need not be the color image pickup.
  • the organic EL elements of R, G, B are sequentially emitted, and the reflected light of each of them is reflected.
  • color imaging is also possible.
  • a color image can be arranged on the counter substrate and the color image can be scanned in color.
  • the organic photodiode OPD having sensitivity to the entire visible light region may be arranged, and it is not necessary to arrange the individual organic photodiodes OPD for R, G, and B. It is advantageous for high definition.
  • an active matrix display device having a screen size of 3.07 inches, a pixel number of 360 (H) ⁇ 540 (V), a pixel pitch of 120 ⁇ m ⁇ 120 ⁇ m, and a definition of 212 ppi is manufactured. did.
  • the gate driver is built-in, and the source driver is an external IC mounted by the COG method.
  • the read circuit was made to output analog voltages sequentially.
  • a transistor including a crystalline oxide semiconductor as a semiconductor layer was used as a switching element.
  • a transistor including a crystalline oxide semiconductor for a semiconductor layer has a feature of extremely low off-state current. Due to this feature, in terms of sensing, there is a merit that an image can be taken by the global shutter method. Further, in a still image, the number of times of image rewriting can be reduced, and driving (IDS driving) that leads to low power consumption can be performed.
  • the IDS drive is an idling stop drive that operates at a frame frequency lower than usual.
  • the rewriting of the image data is stopped after the image data writing process is executed.
  • the frame frequency of the IDS drive can be set to, for example, 1/100 or more and 1/10 or less of normal operation (typically 60 Hz or more and 240 Hz or less).
  • a still image has the same video signal between consecutive frames. Therefore, the IDS drive mode is particularly effective when displaying a still image.
  • the image rewriting operation causes noise to the sensor, so that the S/N ratio is lowered.
  • the image rewriting operation can be stopped while the image is held while sensing. Therefore, the sensing can be performed without being affected by the noise due to the rewriting of the image, and the reduction of the S/N ratio can be suppressed.
  • one frame is divided into a display period and a sensing period.
  • IDS drive during the sensing period, rewriting of the image was not performed and noise during sensing was reduced.
  • light emitted from the organic EL element OLED is used as a light source for fingerprint authentication and image scanning, it is necessary to keep the luminance of light emitted from the organic EL element OLED constant. Also in this case, by adopting the IDS drive, noise can be reduced and good sensing can be performed.
  • the pixel circuit having a memory shown in FIG. 18B is applied. Therefore, the display device of this embodiment can cause the organic EL element OLED to emit light with high brightness.
  • the sensitivity of the sensor can be increased by selectively improving the brightness of the pixel during sensing.
  • the display device of the present embodiment can emit light with a maximum luminance of 2000 cd/cm 2 when displaying a single color of green.
  • the structure of the display device 10K (FIGS. 6B and 7A) was applied to the cross-sectional structure of the display device manufactured in this example.
  • FIG. 27A and 27B show display results of the display device of this example.
  • FIG. 27A is a display result of a display device using a glass substrate for the substrate 151.
  • FIG. 27B is a display result of a flexible display device using a resin substrate for the substrate 151.
  • FIGS. 27A and 27B it was confirmed that an image could be favorably displayed in a display device having a light receiving element and a light emitting element in the display section.
  • FIG. 27B it was confirmed that the flexibility of the display unit including the light receiving element and the light emitting element can be increased, and an image can be favorably displayed even when the display unit is bent.
  • the organic photodiode OPD detects the light emitted from the organic EL element OLED and reflected by the object.
  • the light emitted from the organic EL element OLED may be reflected in the display device and may enter the organic photodiode OPD without passing through the object.
  • Such stray light becomes noise at the time of image capturing and becomes a factor that reduces the S/N ratio.
  • the light shielding layers are arranged on both the counter substrate side and the supporting substrate side to suppress the influence of stray light.
  • a structure having no light-shielding layer a structure in which the light-shielding layer 158 is removed from the structure of the display device 10D shown in FIG. 4A (hereinafter, referred to as a display device 10D for simplification) is used, and the light-shielding layer is used.
  • a structure having the light-shielding layer 158 and the light-shielding layer 219a the structure of the display device 10P illustrated in FIG. 10B was used.
  • the light shielding layer 219a was formed to have a thickness of 2.0 ⁇ m.
  • the subject was not placed on the display device 10D or the display device 10P, only one green pixel was made to emit light as a light source, and the detection intensity of the organic photodiode OPD around the emitted pixel was measured. Since the subject is not placed, the light detected by the organic photodiode OPD is only noise components such as stray light. In addition, the detection intensity of the organic photodiode OPD was measured in advance in a non-light emitting state over the entire surface. Then, in order to pay attention to the influence of stray light from the organic EL element OLED serving as a light source, the difference between the detection intensity when the entire surface is not emitting light and the light detection intensity when only one pixel is emitting light was obtained. The measurement result of the display device 10P is standardized by the peak intensity of the measurement result of the display device 10D.
  • the measurement result of the display device 10D is shown in FIG. 28, and the measurement result of the display device 10P is shown in FIG.
  • the z-axis indicates the light detection intensity
  • the x-axis and the y-axis indicate the pixel address. From FIGS. 28 and 29, it is found that the maximum value of the detection intensity is reduced to about half by providing the light shielding layer 219a. Further, in FIG. 28, the detection intensity is high in a range of about 4 ⁇ 4 pixels, but in FIG. 29, the range of high detection intensity is about 2 ⁇ 2 pixels. It has been found that by providing the light shielding layer 219a, the range of pixels in which the detection intensity is high can be narrowed.
  • the imaging range S of one organic photodiode OPD the thickness L of the counter substrate (substrate 152), the opening diameter p of the light shielding layer 158, the bottom of the opening of the light shielding layer 158 (the organic photodiode OPD side of the substrate 152). From the surface) to the organic photodiode OPD, and the width s of the organic photodiode OPD. From FIG. 30, it can be seen that the opening diameter p, the length L, and the like affect the imaging range S of the organic photodiode OPD.
  • the imaging range S can be calculated by the following equation (1).
  • n 1 is the refractive index of the adhesive layer 142 and n 2 is the refractive index of the substrate 152.
  • FIG. 31 shows the result of obtaining the imaging range S using the above equation (2).
  • 1 10 ⁇ m
  • s 20 ⁇ m
  • n 1 n 2
  • p 1 ⁇ m, 2 ⁇ m, 5 ⁇ m, 10 ⁇ m, and 20 ⁇ m
  • the relationship with the imaging range S is shown.
  • the imaging range S of the organic photodiode OPD becomes narrower as the opening diameter p becomes smaller. Further, it can be seen that the thinner the thickness L of the substrate 152, the narrower the imaging range S of the organic photodiode OPD. That is, it was found that the imaging range S of the organic photodiode OPD can be controlled by adjusting the opening diameter p and the thickness L of the substrate 152. Further, from the equation (2), it can be seen that the imaging range S of the organic photodiode OPD is narrowed by increasing the distance 1 or decreasing the width s.
  • FIG. 32 and 33 show the results of comparing the imaging resolutions of the display device in which the thickness L of the substrate 152 and the presence or absence of the light shielding layer 158 are changed.
  • a black line having a width of 0.12 mm and a total light reflectance of 10% was printed on a reflector plate having a total light reflectance of 80% at a pitch of 0.72 mm, and the subject was placed on a display device and imaged.
  • 32A and 32B are enlarged views of the captured image. From FIG. 32A, it can be seen that the thinner the thickness L of the substrate 152, the clearer the image can be captured, and the darker the black line becomes, the thicker it becomes. Further, from FIG. 32B, the black line can be imaged regardless of the presence or absence of the light shielding layer 158, but the presence of the light shielding layer 158 resulted in higher contrast between the black line and the background region. From this, it was found that by providing the light shielding layer 158, the imaging range of the organic photodiode OPD can be narrowed and the detection of the surrounding background region can be suppressed.
  • FIG. 33 shows the result of extracting the horizontal profile from the imaging result. Note that FIG. 33 shows a result obtained by previously capturing an image of a black plate having a low reflectance with a white background and standardizing the values of the black plate and the white background. From FIG. 33, it was found that the thicker the thickness L of the substrate 152, the higher the detection intensity of the black line portion, and the lower the detection intensity of the background region between the black lines. This is because as the thickness L of the substrate 152 becomes thicker, the image pickup range of the organic photodiode OPD becomes wider, so that any organic photodiode OPD detects both the black line and the background region, and the difference hardly occurs. This is because.
  • both the display device using the glass substrate as the substrate 151 and the display device using the resin substrate as the substrate 151 employ the light shielding layer 158, and the above p, l, s
  • the display device of the present example can be used to capture an image with a resolution as high as that of a fingerprint.
  • FIG. 34A the display portion of a flexible display device using a resin substrate on the substrate 151 is bent, and a finger is placed on the bent portion to cause the green organic EL element OLED to emit light.
  • the fingerprint was imaged.
  • the radius of curvature of the display portion was 10 mm.
  • the sensing can be favorably performed in the curved portion of the display unit, for example, in the mobile information terminal shown in FIGS. 21A and 21B, it is expected that fingerprint authentication is performed at the side end portion or side surface of the mobile information terminal.
  • FIG. 34B is a result of printing an image on paper, arranging the paper on the display device with the print surface of the paper facing the display device side, and capturing the image.
  • the acquired captured image was subjected to image correction with the detection values of white display and black display measured in advance as reference values. Further, at the time of image correction, a portion where the detected value of the picked-up image greatly deviates from the reference value is corrected to a black display value.
  • the organic photodiode OPD having absorption in a wide visible region is used. Therefore, the R, G, and B colors of the organic EL element OLED are time-divided and sequentially turned on, and single color image data of R, G, and B is captured using the organic photodiode OPD, and three image data are obtained. A color image was obtained by combining them. In this example, a global shutter method was used, high-luminance light emission was performed using the memory function shown in FIG. 18B, and a color image was acquired at 1/2 Hz.
  • the brightness of red display is 750 cd/m 2
  • the brightness of green display is 1650 cd/m 2
  • the brightness of blue display is 370 cd/m 2
  • the exposure time is 1.6 msec and the read time for each color.
  • the exposure time is 1.6 msec and the read time for each color.
  • FIG. 35A is a photograph showing a state of imaging.
  • FIG. 35B is a result of picking up images by placing coins on the display device.
  • the details of the imaging method are the same as those for capturing a color image.
  • the brightness of red display was 340 cd/m 2
  • the brightness of green display was 1700 cd/m 2
  • the brightness of blue display was 150 cd/m 2
  • the exposure time was 1.85 msec for each color.
  • FIG. 34B it was confirmed that the coin pattern could be satisfactorily imaged using the display device of this example.
  • the device 1 and the comparative device 2 were manufactured as the light receiving elements.
  • the device 1 has a structure in which the structure is shared with that of the light emitting element, and has a laminated structure which can be manufactured by replacing the light emitting layer of the light emitting element with the active layer of the light receiving element.
  • the configuration of the device 1 was also applied to the organic photodiode OPD included in the display device of Example 2.
  • the comparative device 2 has a structure that does not share a structure with the light emitting element, and has a laminated structure suitable for an image sensor.
  • Table 1 shows the element structure of the light-receiving element of this example.
  • the device 1 and the comparative device 2 will be described with reference to Table 1.
  • a silver (Ag)-palladium (Pd)-copper (Cu) alloy (Ag-Pd-Cu(APC)) film having a thickness of about 100 nm was used as the first electrode.
  • a two-layer structure of an indium tin oxide (ITSO) film containing silicon oxide and having a thickness of about 100 nm was used.
  • the first buffer layer of the device 1 is a layer corresponding to the hole injection layer and the hole transport layer of the light emitting element.
  • a layer corresponding to the hole-injection layer is formed of 3-[4-(9-phenanthryl)-phenyl]-9-phenyl-9H-carbazole (abbreviation: PCPPn) and molybdenum oxide in a weight ratio of PCPPn: It was formed by co-evaporation so that molybdenum oxide was 2:1.
  • the layer corresponding to the hole injection layer was formed to have a thickness of about 15 nm.
  • a layer corresponding to the hole transport layer was vapor-deposited using PCPPn so as to have a thickness of about 40 nm.
  • the thickness of the active layer was formed to be about 60 nm.
  • the second buffer layer of the device 1 is a layer corresponding to the electron transport layer and the electron injection layer of the light emitting element.
  • a layer corresponding to the electron-transporting layer is formed to have a thickness of 2-[3′-(dibenzothiophen-4-yl)biphenyl-3-yl]dibenzo[f,h]quinoxaline (abbreviation: 2mDBTBPDBq-II) of about 2 nm. 10 nm, 2,9-bis(naphthalen-2-yl)-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline (abbreviation: NBPhen) was sequentially deposited to a thickness of about 10 nm.
  • 2mDBTBPDBq-II 2-[3′-(dibenzothiophen-4-yl)biphenyl-3-yl]dibenzo[f,h]quinoxaline
  • NBPhen 2,9-bis(naphthalen-2-yl)-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline
  • a layer corresponding to the electron injection layer was formed by using lithium fluoride (LiF) by vapor deposition so that the thickness was about 1 nm.
  • LiF lithium fluoride
  • the second electrode of the device 1 was formed by co-evaporation so that the volume ratio of silver (Ag) and magnesium (Mg) was 10:1 and the thickness was about 9 nm, and then the indium tin oxide ( ITO) was formed by a sputtering method so as to have a thickness of about 40 nm.
  • the device 1 was manufactured as described above.
  • the comparative device 2 used a three-layer structure of a titanium film having a thickness of about 50 nm, an aluminum film having a thickness of about 200 nm, and a titanium film having a thickness of about 5 nm as the first electrode.
  • the first buffer layer of Comparative Device 2 was vapor-deposited using fullerene (C 70 ) to a thickness of about 10 nm.
  • the thickness of the active layer was formed to be about 60 nm.
  • the second buffer layer of Comparative Device 2 was deposited using molybdenum oxide to a thickness of about 60 nm.
  • the second electrode of the comparative device 2 was formed by sputtering ITO to have a thickness of about 40 nm.
  • the comparative device 2 was produced.
  • FIG. 36 shows the result of evaluating the current density-voltage characteristics of the device 1 and the comparative device 2.
  • the vertical axis represents voltage (V) and the horizontal axis represents current density (A/cm 2 ).
  • the light receiving area of the light receiving element of this example was 2 mm ⁇ 2 mm.
  • the light receiving element of this example was irradiated with light having a wavelength ⁇ of 550 nm at 12.5 ⁇ W/cm 2 , and the current density-voltage characteristics were measured.
  • the voltage applied here is a value when the bias applied to the EL element is normally positive. That is, the case where the first electrode side has a high potential and the second electrode side has a low potential is positive.
  • the device 1 and the comparative device 2 had the same photocurrent value and a good value was obtained. It was also found that the device 1 has a lower dark current (Dark) than the comparative device 2.
  • good current density-voltage characteristics could be obtained by using the light receiving element having a configuration in which the structure is shared with the light emitting element.
  • Example 2 it can be confirmed that favorable imaging can be performed in the display device of one embodiment of the present invention which is manufactured by applying the structure of the device 1 of this example to the organic photodiode OPD. It was
  • the device 3, the device 4, the device 5, and the device 6 were manufactured as the light receiving elements.
  • the device 1 has a structure in which the structure is shared with the light emitting element, and has a laminated structure that can be manufactured by replacing the light emitting layer of the light emitting element with the active layer of the light receiving element.
  • Table 2 shows a specific configuration of the device used in this example. Note that the structure of the device of this example is the same as that of the device 1 of Example 3, and Example 3 can be referred to for the manufacturing method. The chemical formulas of the materials used in this example are shown below.
  • the four devices of this example differ from each other in the materials used for the first buffer layer.
  • the first buffer layer has two layers.
  • the thickness of the first layer was formed to be about 15 nm.
  • the second buffer layer of the device 3 was made of PCPPn and was vapor-deposited to a thickness of about 40 nm.
  • the second buffer layer of the device 4 is made of 4-phenyl-4′-(9-phenylfluoren-9-yl)triphenylamine (abbreviation: BPAFLP) and has a thickness of about 40 nm. It was vapor-deposited on.
  • BPAFLP 4-phenyl-4′-(9-phenylfluoren-9-yl)triphenylamine
  • the second buffer layer of the device 5 was deposited using 1,3,5-tri(dibenzothiophen-4-yl)benzene (abbreviation: DBT3P-II) to a thickness of about 40 nm. did.
  • DBT3P-II 1,3,5-tri(dibenzothiophen-4-yl)benzene
  • the first layer of the first buffer layer of the device 6 is N,N-bis(4-biphenyl)-6-phenylbenzo[b]naphtho[1,2-d]furan-8-amine (abbreviation: BBABnf).
  • BBABnf N,N-bis(4-biphenyl)-6-phenylbenzo[b]naphtho[1,2-d]furan-8-amine
  • ALD-MP001Q Analysis Kobo Co., Ltd., material serial number: 1S20180314
  • the thickness of the first layer was formed to be about 15 nm.
  • ALD-MP001Q has an electron accepting property with respect to BBABnf.
  • the second buffer layer of the device 6 was formed by using BBABnf so as to have a thickness of about 40 nm.
  • the light receiving area of the light receiving element of this example was 2 mm ⁇ 2 mm.
  • the light receiving element of this example was irradiated with light having a wavelength of 550 nm at 12.5 ⁇ W/cm 2 , and the current density-voltage characteristics were measured.
  • the measurement result is shown in FIG. 37A.
  • the voltage applied here is a value when the bias applied to the EL element is normally positive. That is, the case where the first electrode side has a high potential and the second electrode side has a low potential is positive.
  • the current density-voltage characteristics were also measured under the condition that the light receiving element of this example was not irradiated with light (0 ⁇ W/cm 2 ). The measurement result is shown in FIG. 37B.
  • the light receiving element of this example was irradiated with light having a wavelength of 375 nm to 750 nm at intervals of 25 nm at 12.5 ⁇ W/cm 2 , and the wavelength dependence of the external quantum efficiency was obtained.
  • FIG. 38A shows the result when the voltage is ⁇ 1V
  • FIG. 38B shows the result when the voltage is ⁇ 4V.
  • the light-receiving element used for the display device of one embodiment of the present invention can have a common structure with various light-emitting elements and can have favorable characteristics.
  • the light-receiving element manufactured in this example has a structure in which the light-emitting element and the light-emitting element have a common structure, and has a stacked structure in which the light-emitting layer of the light-emitting element can be replaced with an active layer of the light-receiving element.
  • the light-receiving element manufactured in this example has the same configuration as the device 1 (see Table 1) manufactured in Example 3.
  • the light receiving element of this example was irradiated with light having a wavelength of 375 nm to 750 nm at intervals of 25 nm at 12.5 ⁇ W/cm 2 , and the wavelength dependence of the external quantum efficiency was obtained.
  • the voltage was -4V.
  • the temperature dependence of the external quantum efficiency was obtained by setting the measurement temperature to 7 conditions of 20° C. to 80° C. at 10° C. intervals.
  • FIG. 39 shows the wavelength dependence of the light receiving sensitivity of the light receiving element.
  • FIG. 40 shows the temperature dependence of the light receiving sensitivity of the light receiving element.
  • the vertical axis in FIGS. 39 and 40 represents external quantum efficiency (EQE).
  • the external quantum efficiency tended to gradually increase with increasing temperature. It was confirmed that the light receiving element of the present example operates normally between 20° C. and 80° C. without any sudden change in efficiency.
  • the light-receiving element manufactured in this example has a structure in which the light-emitting element and the light-emitting element have a common structure, and has a stacked structure in which the light-emitting layer of the light-emitting element can be replaced with an active layer of the light-receiving element.
  • Table 3 shows a specific configuration of the light receiving element used in this example.
  • the light-receiving elements manufactured in Examples 3 to 5 were all configured to receive light from the second electrode side. However, the light-receiving elements manufactured in this example are , Receives light from the first electrode side.
  • the first electrode is an indium tin oxide (ITO) film having a thickness of about 70 nm
  • the second electrode is an aluminum (Al) film having a thickness of about 150 nm.
  • ITO indium tin oxide
  • Al aluminum
  • the difference is mainly from the device 1 manufactured in Example 3 (see Table 1). Further, the same material as that of the device 1 is used for the first buffer layer, the active layer, and the second buffer layer, but the film thickness is different from that of the device 1.
  • the light receiving element of this example was irradiated with light having a wavelength of 375 nm to 900 nm at 12.5 ⁇ W/cm 2 , and the wavelength dependence of the external quantum efficiency was obtained.
  • Light was irradiated every 25 nm from 375 nm to 750 nm and every 10 nm from 750 nm to 900 nm.
  • the voltage was -6V to 1V at 0.25V intervals.
  • FIG. 41 shows the wavelength dependence of the light receiving sensitivity of the light receiving element.
  • the vertical axis of FIG. 41 represents external quantum efficiency (EQE).
  • FIG. 42 shows current density-voltage characteristics of the light receiving element.
  • a material for a visible light sensor was used for the active layer. From the results of this example, it was confirmed that the photosensitivity was in the visible light region (450 nm or more and 650 nm or less). It was confirmed that the light receiving element of the present example operates normally as a visible light sensor.
  • a light receiving element having a structure in which the light receiving element (organic EL element) has a common structure and receives light from the first electrode side is manufactured, and favorable characteristics are obtained. I was able to.
  • the light-receiving element manufactured in this example has a structure in which the light-emitting element and the light-emitting element have a common structure, and has a stacked structure in which the light-emitting layer of the light-emitting element can be replaced with an active layer of the light-receiving element.
  • Table 4 shows a specific configuration of the light receiving element used in this example.
  • the light receiving element manufactured in this example receives light from the first electrode side.
  • the light-receiving element manufactured in this example has the same configuration as the light-receiving element manufactured in Example 6 (see Table 3) except that the thicknesses of some layers are different.
  • a continuous drive test was performed while irradiating the manufactured light receiving element with light, and the illuminance dependency of reliability was evaluated.
  • 43A to 43C show the normalized current value-time characteristics of the light receiving element.
  • 43A shows the result when the stress illuminance is 20 klx
  • FIG. 43B shows the result when the stress illuminance is 40 klx
  • FIG. 43C shows the result when the stress illuminance is 100 klx.
  • FIG. 44 shows the relationship between the time until the current value deteriorates by 5% and the stress illuminance.
  • FIG. 45 shows the normalized current value-measured illuminance characteristics after the continuous drive test.
  • the change in the current value before and after the continuous drive test is large in the region where the measured illuminance is high, but in the region where the measured illuminance is low (particularly 1 klx or less), the change in the current value before and after the test. was confirmed to be small. That is, it was found that the characteristics of the light-receiving element of the present example in the region where the measured illuminance was low were less likely to change than those in the region where the measured illuminance was high, even if deterioration due to the illuminance stress occurred.
  • the light-receiving element of this embodiment has good reliability in a region where the measured illuminance is low, and thus can be suitably used in applications where the illuminance at the time of measurement is relatively low, such as when capturing a fingerprint. Was suggested.
  • C1 capacitance element
  • C2 capacitance element
  • G1 wiring
  • G2 wiring
  • L2 shortest distance
  • L3 thickness
  • L4 sum
  • M2 transistor
  • M3 transistor, M4.

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Abstract

光検出機能を有する表示装置を提供する。 第1の基板、第2の基板、受光素子、発光素子、樹脂層、及び遮光層を有する、表示装置である。 受光素子、発光素子、樹脂層、及び遮光層は、それぞれ、第1の基板と第2の基板との間に位置す る。受光素子は、第1の基板上の第1の画素電極、第1の画素電極上の活性層、及び、活性層上の 共通電極を有する。発光素子は、第1の基板上の第2の画素電極、第2の画素電極上の第1の発光 層、及び、第1の発光層上の共通電極を有する。樹脂層及び遮光層は、それぞれ、共通電極と第2 の基板との間に位置する。樹脂層は、発光素子と重なる部分を有する。遮光層は、共通電極と樹脂 層との間に位置する部分を有する。樹脂層は、受光素子と重なる開口を有する、または、島状に設 けられる。第2の基板を通過した光の少なくとも一部は、樹脂層を介さずに、受光素子に入射する。

Description

表示装置、表示モジュール、及び電子機器
本発明の一態様は、表示装置、表示モジュール、及び電子機器に関する。本発明の一態様は、受光素子と発光素子とを有する表示装置に関する。
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、電子機器、照明装置、入力装置(例えば、タッチセンサなど)、入出力装置(例えば、タッチパネルなど)、それらの駆動方法、又はそれらの製造方法を一例として挙げることができる。
近年、表示装置は様々な用途への応用が期待されている。例えば、大型の表示装置の用途としては、家庭用のテレビジョン装置(テレビまたはテレビジョン受信機ともいう)、デジタルサイネージ(Digital Signage:電子看板)、PID(Public Information Display)等が挙げられる。また、携帯情報端末として、タッチパネルを備えるスマートフォンやタブレット端末の開発が進められている。
表示装置としては、例えば、発光素子を有する発光装置が開発されている。エレクトロルミネッセンス(Electroluminescence、以下ELと記す)現象を利用した発光素子(EL素子とも記す)は、薄型軽量化が容易である、入力信号に対し高速に応答可能である、直流低電圧電源を用いて駆動可能である等の特徴を有し、表示装置に応用されている。例えば、特許文献1に、有機EL素子が適用された、可撓性を有する発光装置が開示されている。
特開2014−197522号公報
本発明の一態様は、光検出機能を有する表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、利便性の高い表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、多機能の表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、表示品位の高い表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、光検出の感度の高い表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、新規な表示装置を提供することを課題の一とする。
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は、必ずしも、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。明細書、図面、請求項の記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
本発明の一態様は、第1の基板、第2の基板、受光素子、第1の発光素子、樹脂層、及び第1の遮光層を有する表示装置である。受光素子、第1の発光素子、樹脂層、及び第1の遮光層は、それぞれ、第1の基板と第2の基板との間に位置する。受光素子は、第1の基板上の第1の画素電極、第1の画素電極上の活性層、及び、活性層上の共通電極を有する。第1の発光素子は、第1の基板上の第2の画素電極、第2の画素電極上の第1の発光層、及び、第1の発光層上の共通電極を有する。樹脂層及び第1の遮光層は、それぞれ、共通電極と第2の基板との間に位置する。樹脂層は、受光素子と重なる開口を有する。樹脂層は、第1の発光素子と重なる部分を有する。第1の遮光層は、共通電極と樹脂層との間に位置する部分を有する。第1の遮光層は、開口の少なくとも一部、及び、開口にて露出している樹脂層の側面の少なくとも一部を覆うことが好ましい。
本発明の一態様は、第1の基板、第2の基板、受光素子、第1の発光素子、樹脂層、及び第1の遮光層を有する表示装置である。受光素子、第1の発光素子、樹脂層、及び第1の遮光層は、それぞれ、第1の基板と第2の基板との間に位置する。受光素子は、第1の基板上の第1の画素電極、第1の画素電極上の活性層、及び、活性層上の共通電極を有する。第1の発光素子は、第1の基板上の第2の画素電極、第2の画素電極上の第1の発光層、及び、第1の発光層上の共通電極を有する。樹脂層及び第1の遮光層は、それぞれ、共通電極と第2の基板との間に位置する。樹脂層は、島状に設けられ、かつ、第1の発光素子と重なる部分を有する。第1の遮光層は、共通電極と樹脂層との間に位置する部分を有する。第2の基板を通過した光の少なくとも一部は、樹脂層を介さずに、受光素子に入射する。第1の遮光層は、樹脂層の側面の少なくとも一部を覆うことが好ましい。
本発明の一態様の表示装置は、さらに、接着層を有することが好ましい。接着層は、共通電極と第2の基板との間に位置することが好ましい。樹脂層及び第1の遮光層は、それぞれ、接着層と第2の基板との間に位置することが好ましい。接着層は、受光素子と重なる第1の部分と、第1の発光素子と重なる第2の部分と、を有することが好ましい。第1の部分は、第2の部分に比べて厚いことが好ましい。
本発明の一態様の表示装置は、さらに、共通層を有することが好ましい。共通層は、第1の画素電極と共通電極との間に位置する部分と、第2の画素電極と共通電極との間に位置する部分と、を有することが好ましい。
本発明の一態様の表示装置は、さらに、隔壁を有することが好ましい。隔壁は、第1の画素電極の端部及び第2の画素電極の端部を覆うことが好ましい。隔壁は、第1の発光素子が発した光の少なくとも一部を吸収する機能を有することが好ましい。または、本発明の一態様の表示装置は、さらに、隔壁及び第2の遮光層を有することが好ましい。隔壁は、第1の画素電極の端部及び第2の画素電極の端部を覆うことが好ましい。第2の遮光層は、隔壁と第1の遮光層との間に位置する部分を有し、かつ、第1の発光素子が発した光の少なくとも一部を吸収する機能を有することが好ましい。上面視において、隔壁は、受光素子と第1の発光素子との間に開口を有することが好ましい。第2の遮光層は、隔壁の開口を覆うことが好ましい。上面視において、受光素子は、第2の遮光層によって囲まれていることが好ましい。
本発明の一態様の表示装置は、さらに、第2の発光素子を有することが好ましい。第2の発光素子は、第1の基板と第2の基板との間に位置することが好ましい。第2の発光素子は、第1の基板上の第3の画素電極、第3の画素電極上の第2の発光層、及び、第2の発光層上の共通電極を有することが好ましい。第1の発光素子は、第1の発光層が発する光を射出することが好ましい。第2の発光素子は、第2の発光層が発する光を射出することが好ましい。
または、本発明の一態様の表示装置は、さらに、第2の発光素子、第1の着色層、及び第2の着色層を有することが好ましい。第2の発光素子は、第1の基板と第2の基板との間に位置することが好ましい。第2の発光素子は、第1の基板上の第3の画素電極、第3の画素電極上の第1の発光層、及び、第1の発光層上の共通電極を有することが好ましい。第1の着色層及び第2の着色層は、それぞれ、共通電極と第2の基板との間に位置することが好ましい。第1の発光素子が射出する光は、第1の着色層を介して、第1の色の光として取り出されることが好ましい。第2の発光素子が射出する光は、第2の着色層を介して、第2の色の光として取り出されることが好ましい。
または、本発明の一態様の表示装置は、さらに、第2の発光素子、隔壁、第2の遮光層、及びスペーサを有することが好ましい。第2の発光素子は、第1の基板と第2の基板との間に位置することが好ましい。第2の発光素子は、第1の基板上の第3の画素電極、及び、第3の画素電極上の共通電極を有することが好ましい。隔壁は、第1の画素電極の端部、第2の画素電極の端部、及び第3の画素電極の端部を覆うことが好ましい。第2の遮光層は、隔壁と第1の遮光層との間に位置する部分を有し、かつ、第1の発光素子が発した光の少なくとも一部を吸収する機能を有することが好ましい。スペーサは、隔壁と第1の遮光層との間に位置する部分を有することが好ましい。上面視において、第2の遮光層は、受光素子と第1の発光素子との間に位置し、かつ、スペーサは、第1の発光素子と第2の発光素子との間に位置することが好ましい。スペーサの上面は、第2の遮光層の上面よりも、第2の基板に近いことが好ましい。
活性層は、有機化合物を有することが好ましい。
本発明の一態様の表示装置は、さらに、レンズを有することが好ましい。レンズは、受光素子と重なる部分を有することが好ましい。
本発明の一態様の表示装置は、表示部に、第1の基板、第2の基板、受光素子、第1の発光素子、樹脂層、及び第1の遮光層を有することが好ましい。表示部は、可撓性を有することが好ましい。
本発明の一態様は、上記いずれかの構成の表示装置を有し、フレキシブルプリント回路基板(Flexible Printed Circuit、以下、FPCと記す)もしくはTCP(Tape Carrier Package)等のコネクタが取り付けられたモジュール、またはCOG(Chip On Glass)方式もしくはCOF(Chip On Film)方式等により集積回路(IC)が実装されたモジュール等のモジュールである。
本発明の一態様は、上記のモジュールと、アンテナ、バッテリ、筐体、カメラ、スピーカ、マイク、及び操作ボタンのうち少なくとも一つと、を有する電子機器である。
本発明の一態様により、光検出機能を有する表示装置を提供できる。本発明の一態様により、利便性の高い表示装置を提供できる。本発明の一態様により、多機能の表示装置を提供できる。本発明の一態様により、表示品位の高い表示装置を提供できる。本発明の一態様により、光検出の感度の高い表示装置を提供できる。本発明の一態様により、新規な表示装置を提供できる。
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。明細書、図面、請求項の記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
図1A~図1Dは、表示装置の一例を示す断面図である。図1E~図1Iは、画素の一例を示す上面図である。
図2Aは、表示装置の一例を示す断面図である。図2B、図2Cは、樹脂層の上面レイアウトの一例を示す図である。
図3A、図3Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図4A~図4Cは、表示装置の一例を示す断面図である。
図5A~図5Cは、表示装置の一例を示す断面図である。
図6Aは、表示装置の一例を示す上面図である。図6Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図7A、図7Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図8Aは、表示装置の一例を示す上面図である。図8Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図9Aは、表示装置の一例を示す上面図である。図9Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図10A、図10Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図11A、図11Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図12は、表示装置の一例を示す斜視図である。
図13は、表示装置の一例を示す断面図である。
図14A、図14Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図15は、表示装置の一例を示す断面図である。
図16Aは、表示装置の一例を示す断面図である。図16Bは、トランジスタの一例を示す断面図である。
図17A、図17Bは、画素回路の一例を示す回路図である。
図18Aは、画素の一例を示すブロック図である。図18Bは、画素回路の一例を示す回路図である。
図19A、図19Bは、電子機器の一例を示す図である。
図20A~図20Dは、電子機器の一例を示す図である。
図21A~図21Fは、電子機器の一例を示す図である。
図22は、実施例1の評価用デバイスの上面写真である。
図23A、図23Bは、実施例1の評価用デバイスの断面観察写真である。
図24は、実施例1の表示装置の表示結果を示す写真である。
図25A、図25Bは、実施例1の評価用デバイスの断面観察写真である。
図26は、実施例2の表示装置の画素を構成するデバイス構造を示す図である。
図27A、図27Bは、実施例2の表示装置の表示結果を示す写真である。
図28は、実施例2の表示装置の迷光の検出結果を示すグラフである。
図29は、実施例2の表示装置の迷光の検出結果を示すグラフである。
図30は、実施例2の表示装置の撮像光学系を示す図である。
図31は、実施例2の表示装置の撮像範囲の計算結果を示すグラフである。
図32A、図32Bは、実施例2の表示装置の撮像結果を示す写真である。
図33は、実施例2の表示装置の撮像結果を示すグラフである。
図34Aは、実施例2の表示装置を用いた撮像の様子を示す写真である。図34Bは、実施例2の表示装置の撮像結果を示す写真である。
図35Aは、実施例2の表示装置を用いた撮像の様子を示す写真である。図35Bは、実施例2の表示装置の撮像結果を示す写真である。
図36は、実施例3のデバイスの電流密度−電圧特性を示すグラフである。
図37A、図37Bは、実施例4のデバイスの電流密度−電圧特性を示すグラフである。
図38A、図38Bは、実施例4のデバイスの外部量子効率の波長依存性を示すグラフである。
図39は、実施例5のデバイスの外部量子効率の波長依存性を示すグラフである。
図40は、実施例5のデバイスの外部量子効率の温度依存性を示すグラフである。
図41は、実施例6のデバイスの外部量子効率の波長依存性を示すグラフである。
図42は、実施例6のデバイスの電流密度−電圧特性を示すグラフである。
図43A~図43Cは、実施例7のデバイスの信頼性試験の結果を示すグラフである。
図44は、実施例7のデバイスの信頼性試験の結果を示すグラフである。
図45は、実施例7のデバイスの信頼性試験の結果を示すグラフである。
実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
なお、以下に説明する発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の機能を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
また、図面において示す各構成の、位置、大きさ、範囲などは、理解の簡単のため、実際の位置、大きさ、範囲などを表していない場合がある。このため、開示する発明は、必ずしも、図面に開示された位置、大きさ、範囲などに限定されない。
なお、「膜」という言葉と、「層」という言葉とは、場合によっては、又は、状況に応じて、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を、「導電膜」という用語に変更することが可能である。または、例えば、「絶縁膜」という用語を、「絶縁層」という用語に変更することが可能である。
なお、本明細書等において、「発光素子」という用語は、「発光デバイス」という用語に変更することが可能である。同様に、「受光素子」という用語は、「受光デバイス」という用語に変更することが可能である。
(実施の形態1)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置について図1~図16を用いて説明する。
本実施の形態の表示装置は、表示部に、受光素子と発光素子とを有する。本実施の形態の表示装置は、表示部に、発光素子がマトリクス状に配置されており、当該表示部で画像を表示することができる。また、当該表示部には、受光素子がマトリクス状に配置されており、表示部は、受光部としての機能も有する。受光部は、イメージセンサやタッチセンサに用いることができる。つまり、受光部で光を検出することで、画像を撮像することや、対象物(指やペンなど)の近接もしくは接触を検出することができる。さらに、本実施の形態の表示装置は、発光素子をセンサの光源として利用することができる。したがって、表示装置と別に受光部及び光源を設けなくてよく、電子機器の部品点数を削減することができる。
本実施の形態の表示装置では、表示部が有する発光素子の発光を対象物が反射した際、受光素子がその反射光を検出できるため、暗い場所でも、撮像やタッチ(さらには近接)検出が可能である。
本実施の形態の表示装置は、発光素子を用いて、画像を表示する機能を有する。つまり、発光素子は、表示素子として機能する。
発光素子としては、OLED(Organic Light Emitting Diode)やQLED(Quantum−dot Light Emitting Diode)などのEL素子を用いることが好ましい。EL素子が有する発光物質としては、蛍光を発する物質(蛍光材料)、燐光を発する物質(燐光材料)、無機化合物(量子ドット材料など)、熱活性化遅延蛍光を示す物質(熱活性化遅延蛍光(Thermally Activated Delayed Fluorescence:TADF)材料)などが挙げられる。また、発光素子として、マイクロLED(Light Emitting Diode)などのLEDを用いることもできる。
本実施の形態の表示装置は、受光素子を用いて、光を検出する機能を有する。
受光素子をイメージセンサに用いる場合、本実施の形態の表示装置は、受光素子を用いて、画像を撮像することができる。
例えば、イメージセンサを用いて、指紋、掌紋、または虹彩などのデータを取得することができる。つまり、本実施の形態の表示装置に、生体認証用センサを内蔵させることができる。表示装置が生体認証用センサを内蔵することで、表示装置とは別に生体認証用センサを設ける場合に比べて、電子機器の部品点数を少なくでき、電子機器の小型化及び軽量化が可能である。
また、イメージセンサを用いて、ユーザーの表情、目の動き、または瞳孔径の変化などのデータを取得することができる。当該データを解析することで、ユーザーの心身の情報を取得することができる。当該情報をもとに表示及び音声の一方又は双方の出力内容を変化させることで、例えば、VR(Virtual Reality)向け機器、AR(Augmented Reality)向け機器、またはMR(Mixed Reality)向け機器において、ユーザーが機器を安全に使用できるよう図ることができる。
また、受光素子をタッチセンサに用いる場合、本実施の形態の表示装置は、受光素子を用いて、対象物の近接または接触を検出することができる。
受光素子としては、例えば、pn型またはpin型のフォトダイオードを用いることができる。受光素子は、受光素子に入射する光を検出し電荷を発生させる光電変換素子として機能する。入射する光量に基づき、発生する電荷量が決まる。
特に、受光素子として、有機化合物を含む層を有する有機フォトダイオードを用いることが好ましい。有機フォトダイオードは、薄型化、軽量化、及び大面積化が容易であり、また、形状及びデザインの自由度が高いため、様々な表示装置に適用できる。
本発明の一態様では、発光素子として有機EL素子を用い、受光素子として有機フォトダイオードを用いる。有機EL素子及び有機フォトダイオードは、同一基板上に形成することができる。したがって、有機EL素子を用いた表示装置に有機フォトダイオードを内蔵することができる。
本発明の一態様の表示装置の表示面では、発光素子からの発光が取り出され、かつ、受光素子に照射される光が通過する。表示装置は、発光素子及び受光素子が設けられている面よりも表示面側に、遮光層を有することが好ましい。発光素子からの発光は、遮光層の開口(または遮光層が設けられていない領域)を介して、表示装置の外部に取り出されることが好ましく、受光素子には、遮光層の開口(または遮光層が設けられていない領域)を介して、光が照射されることが好ましい。
受光素子は、発光素子の発光が対象物によって反射された光を検出する。しかし、発光素子の発光が、表示装置内で反射され、対象物を介さずに、受光素子に入射されてしまう場合がある。このような迷光は光検出時にノイズとなり、S/N比(Signal−to−noise ratio)を低下させる要因となる。発光素子及び受光素子が設けられている面よりも表示面側に遮光層を設けることで、迷光の影響を抑制することができる。これにより、ノイズを低減し、受光素子を用いたセンサの感度を高めることができる。
遮光層が発光素子から近い位置にあるほど、表示装置内の発光素子の迷光を抑制し、センサの感度を高めることができる。また、遮光層が発光素子から近い位置にあるほど、斜め方向から表示装置を観察した際のコントラストの低下及び色度の変化を抑制でき、表示の視野角特性を良好にすることができる。一方で、遮光層が受光素子から遠い位置にあるほど、受光素子の撮像範囲の面積を狭くすることができ、撮像の解像度を高めることができる。
そこで、本発明の一態様では、遮光層から受光素子までの距離と、遮光層から発光素子までの距離と、に差が生じるよう、遮光層を形成する面に構造物(例えば樹脂層)を設ける。構造物のレイアウト及び厚さを調整することで、遮光層から受光素子までの距離を長くし、かつ、遮光層から発光素子までの距離を短くすることができる。これにより、センサのノイズを低減しつつ、撮像の解像度を高め、かつ、表示の視野角依存性を抑制することができる。したがって、表示装置における表示品位と撮像品位との双方を高めることができる。
具体的には、本発明の一態様は、第1の基板、第2の基板、受光素子、発光素子、樹脂層、及び遮光層を有する表示装置である。受光素子、発光素子、樹脂層、及び遮光層は、それぞれ、第1の基板と第2の基板との間に位置する。受光素子は、第1の基板上の第1の画素電極、第1の画素電極上の活性層、及び、活性層上の共通電極を有する。発光素子は、第1の基板上の第2の画素電極、第2の画素電極上の発光層、及び、発光層上の共通電極を有する。樹脂層及び遮光層は、それぞれ、共通電極と第2の基板との間に位置する。樹脂層は、発光素子と重なる部分を有する。遮光層は、共通電極と樹脂層との間に位置する部分を有する。
発光素子が発する光の少なくとも一部は、樹脂層を介して、第2の基板の外部に取り出される。第2の基板を通過した光の少なくとも一部は、樹脂層を介さずに、受光素子に入射する。例えば、樹脂層は、受光素子と重なる開口を有する。または、樹脂層は、発光素子と重なる位置に島状に設けられる。
樹脂層は、発光素子と重なる位置に設けられ、受光素子と重なる位置には設けられない。したがって、遮光層から発光素子までの距離は、遮光層から受光素子までの距離に比べて短くなる。これにより、表示装置における表示品位と撮像品位との双方を高めることができる。
また、有機EL素子及び有機フォトダイオードを構成する全ての層を作り分けようとすると、成膜工程が非常に多くなる。有機フォトダイオードは、有機EL素子と共通の構成にできる層が多いため、共通の構成にできる層は一括で成膜することで、成膜工程の増加を抑制することができる。また、成膜回数が同じであっても、一部の素子にのみ成膜される層を減らすことで、成膜パターンのズレの影響を低減すること、成膜マスク(メタルマスクなど)に付着したゴミ(パーティクルと呼ばれる小さな異物を含む)の影響を低減すること、などが可能となる。これにより、表示装置の作製の歩留まりを高めることができる。
例えば、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層の少なくとも一つを、受光素子及び発光素子で共通の層とすることが好ましい。これにより、成膜回数及びマスクの数を減らすことができ、表示装置の作製工程及び作製コストを削減することができる。なお、受光素子及び発光素子が共通で有する層は、受光素子における機能と発光素子における機能とが異なる場合がある。本明細書中では、発光素子における機能に基づいて構成要素を呼称する。例えば、正孔注入層は、発光素子において正孔注入層として機能し、受光素子において正孔輸送層として機能する。同様に、電子注入層は、発光素子において電子注入層として機能し、受光素子において電子輸送層として機能する。
図1A~図1Dに、本発明の一態様の表示装置の断面図を示す。
図1Aに示す表示装置50Aは、基板51と基板59との間に、受光素子を有する層53と、発光素子を有する層57と、を有する。
図1Bに示す表示装置50Bは、基板51と基板59との間に、受光素子を有する層53、トランジスタを有する層55、及び、発光素子を有する層57を有する。
表示装置50A及び表示装置50Bは、発光素子を有する層57から、赤色(R)、緑色(G)、及び青色(B)の光が射出される構成である。
本発明の一態様の表示装置は、マトリクス状に配置された複数の画素を有する。1つの画素は、1つ以上の副画素を有する。1つの副画素は、1つの発光素子を有する。例えば、画素には、副画素を3つ有する構成(R、G、Bの3色、または、黄色(Y)、シアン(C)、及びマゼンタ(M)の3色など)、または、副画素を4つ有する構成(R、G、B、白色(W)の4色、または、R、G、B、Yの4色など)を適用できる。さらに、画素は、受光素子を有する。受光素子は、全ての画素に設けられていてもよく、一部の画素に設けられていてもよい。また、1つの画素が複数の受光素子を有していてもよい。
トランジスタを有する層55は、第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを有することが好ましい。第1のトランジスタは、受光素子と電気的に接続される。第2のトランジスタは、発光素子と電気的に接続される。
本発明の一態様の表示装置は、表示装置に接触している指などの対象物を検出する機能を有していてもよい。例えば、図1Cに示すように、発光素子を有する層57において発光素子が発した光を、表示装置50Bに接触した指52が反射することで、受光素子を有する層53における受光素子がその反射光を検出する。これにより、表示装置50Bに指52が接触したことを検出することができる。
本発明の一態様の表示装置は、図1Dに示すように、表示装置50Bに近接している(接触していない)対象物を検出または撮像する機能を有していてもよい。
[画素]
図1E~図1Iに、画素の一例を示す。
図1E~図1Gに示す画素は、R、G、Bの3つの副画素(3つの発光素子)と、受光素子PDと、を有する。図1Eは、2×2のマトリクス状に、3つの副画素と受光素子PDとが配置されている例であり、図1Fは、横1列に、3つの副画素と受光素子PDとが配置されている例である。図1Gは、横1列に3つの副画素が配置され、その下に受光素子PDが配置されている例である。なお、図1E~図1Gに示す画素は、それぞれ、表示に用いる3つの副画素と、光検出に用いる1つの副画素と、の4つの副画素で構成されているということもできる。
図1Hに示す画素は、R、G、B、Wの4つの副画素(4つの発光素子)と、受光素子PDと、を有する。
図1Iに示す画素は、R、G、Bの3つの副画素と、赤外光を発する発光素子IRと、受光素子PDとを有する。このとき、受光素子PDは、赤外光を検出する機能を有することが好ましい。受光素子PDは、可視光及び赤外光の双方を検出する機能を有していてもよい。センサの用途に応じて、受光素子PDが検出する光の波長を決定することができる。
以下では、図2~図11を用いて、本発明の一態様の表示装置が有する発光素子及び受光素子の、詳細な構成について説明する。
本発明の一態様の表示装置は、発光素子が形成されている基板とは反対方向に光を射出するトップエミッション型、発光素子が形成されている基板側に光を射出するボトムエミッション型、両面に光を射出するデュアルエミッション型のいずれであってもよい。
図2~図11では、トップエミッション型の表示装置を例に挙げて説明する。
なお、本実施の形態では、主に、可視光を発する発光素子と、可視光を検出する受光素子と、を有する表示装置について説明するが、表示装置は、さらに、赤外光を発する発光素子を有していてもよい。また、受光素子は、赤外光を検出する構成、または、可視光及び赤外光の双方を検出する構成であってもよい。
[表示装置10A]
図2Aに表示装置10Aの断面図を示す。
表示装置10Aは、受光素子110及び発光素子190を有する。
発光素子190は、画素電極191、バッファ層192、発光層193、バッファ層194、及び共通電極115を有する。発光層193は、有機化合物を有する。発光素子190は、可視光を発する機能を有する。なお、表示装置10Aは、さらに、赤外光を発する機能を有する発光素子を有していてもよい。本実施の形態では、画素電極191が陽極として機能し、共通電極115が陰極として機能する場合を例に挙げて説明する。
受光素子110は、画素電極181、バッファ層182、活性層183、バッファ層184、及び共通電極115を有する。活性層183は、有機化合物を有する。受光素子110は、可視光を検出する機能を有する。なお、受光素子110は、さらに、赤外光を検出する機能を有していてもよい。本実施の形態では、発光素子190と揃えて、画素電極181が陽極として機能し、共通電極115が陰極として機能するものとして説明する。つまり、受光素子110を、画素電極181と共通電極115との間に逆バイアスをかけて駆動することで、表示装置10Aは、受光素子110に入射する光を検出し、電荷を発生させ、電流として取り出すことができる。
画素電極181、画素電極191、バッファ層182、バッファ層192、活性層183、発光層193、バッファ層184、バッファ層194、及び共通電極115は、それぞれ、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。
画素電極181及び画素電極191は、絶縁層214上に位置する。画素電極181と画素電極191は、同一の材料及び同一の工程で形成することができる。画素電極181の端部及び画素電極191の端部は、それぞれ、隔壁216によって覆われている。画素電極181と画素電極191とは隔壁216によって互いに電気的に絶縁されている(電気的に分離されている、ともいう)。
隔壁216としては、有機絶縁膜が好適である。有機絶縁膜に用いることができる材料としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、及びこれら樹脂の前駆体等が挙げられる。隔壁216は、可視光を透過する層である。詳細は後述するが、隔壁216のかわりに、可視光を遮る隔壁217を設けてもよい。
バッファ層182は、画素電極181上に位置する。活性層183は、バッファ層182を介して、画素電極181と重なる。バッファ層184は、活性層183上に位置する。活性層183は、バッファ層184を介して、共通電極115と重なる。バッファ層182は、正孔輸送層を有することができる。バッファ層184は、電子輸送層を有することができる。
バッファ層192は、画素電極191上に位置する。発光層193は、バッファ層192を介して、画素電極191と重なる。バッファ層194は、発光層193上に位置する。発光層193は、バッファ層194を介して、共通電極115と重なる。バッファ層192は、正孔注入層及び正孔輸送層の一方または双方を有することができる。バッファ層194は、電子注入層及び電子輸送層の一方または双方を有することができる。
共通電極115は、受光素子110と発光素子190に共通で用いられる層である。
受光素子110及び発光素子190が有する一対の電極の材料及び膜厚等は等しくすることができる。これにより、表示装置の作製コストの削減及び作製工程の簡略化ができる。
表示装置10Aは、一対の基板(基板151及び基板152)間に、受光素子110、発光素子190、トランジスタ41、及びトランジスタ42等を有する。
受光素子110において、それぞれ画素電極181及び共通電極115の間に位置するバッファ層182、活性層183、及びバッファ層184は、有機層(有機化合物を含む層)ということもできる。画素電極181は可視光を反射する機能を有することが好ましい。共通電極115は可視光を透過する機能を有する。なお、受光素子110が赤外光を検出する構成である場合、共通電極115は赤外光を透過する機能を有する。さらに、画素電極181は赤外光を反射する機能を有することが好ましい。
受光素子110は、光を検出する機能を有する。具体的には、受光素子110は、表示装置10Aの外部から入射される光22を受光し、電気信号に変換する、光電変換素子である。光22は、発光素子190の発光を対象物が反射した光ということもできる。また、光22は、後述するレンズを介して受光素子110に入射してもよい。
発光素子190において、それぞれ画素電極191及び共通電極115の間に位置するバッファ層192、発光層193、及びバッファ層194は、EL層ということもできる。画素電極191は可視光を反射する機能を有することが好ましい。共通電極115は可視光を透過する機能を有する。なお、表示装置10Aが、赤外光を発する発光素子を有する構成である場合、共通電極115は赤外光を透過する機能を有する。さらに、画素電極191は赤外光を反射する機能を有することが好ましい。
本実施の形態の表示装置が有する発光素子には、微小光共振器(マイクロキャビティ)構造が適用されていることが好ましい。したがって、発光素子が有する一対の電極の一方は、可視光に対する透過性及び反射性を有する電極(半透過・半反射電極)を有することが好ましく、他方は、可視光に対する反射性を有する電極(反射電極)を有することが好ましい。発光素子がマイクロキャビティ構造を有することで、発光層から得られる発光を両電極間で共振させ、発光素子から射出される光を強めることができる。
なお、半透過・半反射電極は、反射電極と可視光に対する透過性を有する電極(透明電極ともいう)との積層構造とすることができる。本明細書等では、それぞれ、半透過・半反射電極の一部として機能する、反射電極を画素電極または共通電極と記し、透明電極を光学調整層と記すことがあるが、透明電極(光学調整層)も、画素電極または共通電極としての機能を有するといえることがある。
透明電極の光の透過率は、40%以上とする。例えば、発光素子には、可視光(波長400nm以上750nm未満の光)の透過率が40%以上である電極を用いることが好ましい。また、半透過・半反射電極の可視光の反射率は、10%以上95%以下、好ましくは30%以上80%以下とする。反射電極の可視光の反射率は、40%以上100%以下、好ましくは70%以上100%以下とする。また、これらの電極の抵抗率は、1×10−2Ωcm以下が好ましい。なお、表示装置に、近赤外光を発する発光素子を用いる場合、これらの電極の近赤外光(波長750nm以上1300nm以下の光)の透過率、反射率も上記数値範囲であることが好ましい。
バッファ層192またはバッファ層194は、光学調整層としての機能を有していてもよい。バッファ層192またはバッファ層194の膜厚を異ならせることで、各発光素子において、特定の色の光を強めて取り出すことができる。なお、半透過・半反射電極が、反射電極と透明電極との積層構造の場合、一対の電極間の光学距離とは、一対の反射電極間の光学距離を示す。
発光素子190は、可視光を発する機能を有する。具体的には、発光素子190は、画素電極191と共通電極115との間に電圧を印加することで、基板152側に光を射出する電界発光素子である(発光21参照)。
発光層193は、受光素子110と重ならないように形成されることが好ましい。これにより、発光層193が光22を吸収することを抑制でき、受光素子110に照射される光量を多くすることができる。
画素電極181は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ41が有するソースまたはドレインと電気的に接続される。
画素電極191は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ42が有するソースまたはドレインと電気的に接続される。トランジスタ42は、発光素子190の駆動を制御する機能を有する。
トランジスタ41とトランジスタ42とは、同一の層(図2Aでは基板151)上に接している。
受光素子110と電気的に接続される回路の少なくとも一部は、発光素子190と電気的に接続される回路と同一の材料及び同一の工程で形成されることが好ましい。これにより、2つの回路を別々に形成する場合に比べて、表示装置の厚さを薄くすることができ、また、作製工程を簡略化できる。
受光素子110及び発光素子190は、それぞれ、保護層116に覆われていることが好ましい。図2Aでは、保護層116が、共通電極115上に接して設けられている。保護層116を設けることで、受光素子110及び発光素子190に水などの不純物が入り込むことを抑制し、受光素子110及び発光素子190の信頼性を高めることができる。また、接着層142によって、保護層116と基板152とが貼り合わされている。
基板152の基板151側の面には、樹脂層159が設けられている。樹脂層159は、発光素子190と重なる位置に設けられ、受光素子110と重なる位置には設けられない。なお、本明細書等において、発光素子190と重なる位置とは、具体的には、発光素子190の発光領域と重なる位置を指す。同様に、受光素子110と重なる位置とは、具体的には、受光素子110の受光領域と重なる位置を指す。
樹脂層159は、例えば、図2Bに示すように、発光素子190と重なる位置に設けられ、かつ、受光素子110と重なる位置に開口159pを有する構成とすることができる。または、樹脂層159は、例えば、図2Cに示すように、発光素子190と重なる位置に島状に設けられ、かつ、受光素子110と重なる位置には設けられない構成とすることができる。
基板152の基板151側の面及び樹脂層159の基板151側の面には、遮光層158が設けられている。遮光層158は、発光素子190と重なる位置、及び、受光素子110と重なる位置に開口を有する。
ここで、発光素子190の発光が対象物によって反射された光を受光素子110は検出する。しかし、発光素子190の発光が、表示装置10A内で反射され、対象物を介さずに、受光素子110に入射されてしまう場合がある。遮光層158は、このような迷光を吸収し、受光素子110に入射する迷光を低減することができる。例えば、遮光層158は、樹脂層159を通過し基板152の基板151側の面で反射した迷光23aを吸収することができる。また、遮光層158は、樹脂層159に届く前に迷光23bを吸収することができる。これにより、受光素子110に入射する迷光を低減することができる。したがって、ノイズを低減し、受光素子110を用いたセンサの感度を高めることができる。特に、遮光層158が発光素子190から近い位置にあると、迷光をより低減できるため好ましい。また、遮光層158が発光素子190から近い位置にあると、表示の視野角依存性を抑制できるため、表示品位の向上の観点からも好ましい。
また、遮光層158を設けることで、受光素子110が光を検出する範囲を制御することができる。遮光層158が受光素子110から離れた位置にあると、撮像範囲が狭くなり、撮像の解像度を高めることができる。
樹脂層159が開口を有する場合、遮光層158は、当該開口の少なくとも一部、及び当該開口にて露出している樹脂層159の側面の少なくとも一部を覆うことが好ましい。
樹脂層159が島状に設けられている場合、遮光層158は、樹脂層159の側面の少なくとも一部を覆うことが好ましい。
このように、樹脂層159の形状に沿って遮光層158が設けられるため、遮光層158から発光素子190(具体的には、発光素子190の発光領域)までの距離は、遮光層158から受光素子110(具体的には、受光素子110の受光領域)までの距離に比べて短くなる。これにより、センサのノイズを低減しつつ、撮像の解像度を高め、かつ、表示の視野角依存性を抑制することができる。したがって、表示装置における表示品位と撮像品位との双方を高めることができる。
樹脂層159は、発光素子190の発光を透過する層である。樹脂層159の材料としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、及びこれら樹脂の前駆体等が挙げられる。なお、基板152と遮光層158との間に設ける構造物は、樹脂層に限定されず、無機絶縁膜などを用いてもよい。当該構造物の厚さが厚いほど、遮光層から受光素子までの距離と、遮光層から発光素子までの距離と、に差が生じる。樹脂などの有機絶縁膜は厚く形成することが容易であるため、当該構造物として好適である。
遮光層158としては、発光素子からの発光を遮る材料を用いることができる。遮光層158は、可視光を吸収することが好ましい。遮光層158として、例えば、金属材料、又は、顔料(カーボンブラックなど)もしくは染料を含む樹脂材料等を用いてブラックマトリクスを形成することができる。遮光層158は、赤色のカラーフィルタ、緑色のカラーフィルタ、及び青色のカラーフィルタの積層構造であってもよい。
遮光層158から受光素子110までの距離と、遮光層158から発光素子190までの距離と、を比較するために、例えば、遮光層158の受光素子110側の端部から共通電極115までの最短距離L1と、遮光層158の発光素子190側の端部から共通電極115までの最短距離L2と、を用いることができる。最短距離L1に比べて、最短距離L2が短いことで、発光素子190からの迷光を抑制し、受光素子110を用いたセンサの感度を高めることができる。また、表示の視野角依存性を抑制することができる。最短距離L2に比べて、最短距離L1が長いことで、受光素子110の撮像範囲を狭くすることができ、撮像の解像度を高めることができる。
また、接着層142における、発光素子190と重なる部分に比べて、受光素子110と重なる部分が厚い構成とすることでも、遮光層158から受光素子110までの距離と、遮光層158から発光素子190までの距離と、に差を生じさせることができる。
[表示装置10B]
図3Aに表示装置10Bの断面図を示す。なお、以降の表示装置の説明において、先に説明した表示装置と同様の構成については、説明を省略することがある。
表示装置10Bは、バッファ層182及びバッファ層192を有さず、共通層112を有する点で、表示装置10Aと異なる。
共通層112は、隔壁216上、画素電極181上、及び画素電極191上に位置する。共通層112は、受光素子110及び発光素子190に共通で用いられる層である。共通層112は、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。
共通層112としては、例えば、正孔注入層及び正孔輸送層の一方または双方を形成することができる。共通層112は、発光素子190における機能と受光素子110における機能とが異なる場合がある。例えば、共通層112が正孔注入層を有するとき、当該正孔注入層は、発光素子190において正孔注入層として機能し、受光素子110において正孔輸送層として機能する。共通層112は、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。
活性層及び発光層以外の層のうち少なくとも一部を、受光素子と発光素子とで互いに共通の構成とすることで、表示装置の作製工程を削減でき、好ましい。
[表示装置10C]
図3Bに表示装置10Cの断面図を示す。
表示装置10Cは、バッファ層184及びバッファ層194を有さず、共通層114を有する点で、表示装置10Aと異なる。
共通層114は、隔壁216上、活性層183上、及び発光層193上に位置する。共通層114は、受光素子110及び発光素子190に共通で用いられる層である。共通層114は、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。
共通層114としては、例えば、電子注入層及び電子輸送層の一方または双方を形成することができる。共通層114は、発光素子190における機能と受光素子110における機能とが異なる場合がある。例えば、共通層114が電子注入層を有するとき、当該電子注入層は、発光素子190において電子注入層として機能し、受光素子110において電子輸送層として機能する。共通層114は、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。
活性層及び発光層以外の層のうち少なくとも一部を、受光素子と発光素子とで互いに共通の構成とすることで、表示装置の作製工程を削減でき、好ましい。
[表示装置10D]
図4Aに表示装置10Dの断面図を示す。
表示装置10Dは、バッファ層182、バッファ層192、バッファ層184、及びバッファ層194を有さず、共通層112及び共通層114を有する点で、表示装置10Aと異なる。
本実施の形態の表示装置では、受光素子110の活性層183に有機化合物を用いる。受光素子110は、活性層183以外の層を、発光素子190(EL素子)と共通の構成にすることができる。そのため、発光素子190の作製工程に、活性層183を成膜する工程を追加するのみで、発光素子190の形成と並行して受光素子110を形成することができる。また、発光素子190と受光素子110とを同一基板上に形成することができる。したがって、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置に受光素子110を内蔵することができる。
表示装置10Dでは、受光素子110の活性層183と、発光素子190の発光層193と、を作り分ける以外は、受光素子110と発光素子190が共通の構成である例を示す。ただし、受光素子110と発光素子190の構成はこれに限定されない。受光素子110と発光素子190は、活性層183と発光層193のほかにも、互いに作り分ける層を有していてもよい(前述の表示装置10A、10B、10C参照)。受光素子110と発光素子190は、共通で用いられる層(共通層)を1層以上有することが好ましい。これにより、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置に受光素子110を内蔵することができる。
[表示装置10E]
図4Bに表示装置10Eの断面図を示す。
表示装置10Eは、基板151及び基板152を有さず、基板153、基板154、接着層155、及び絶縁層212を有する点で、表示装置10Dと異なる。
基板153と絶縁層212とは接着層155によって貼り合わされている。基板154と保護層116とは接着層142によって貼り合わされている。
表示装置10Eは、作製基板上に形成された絶縁層212、トランジスタ41、トランジスタ42、受光素子110、及び発光素子190等を、基板153上に転置することで作製される構成である。基板153及び基板154は、それぞれ、可撓性を有することが好ましい。これにより、表示装置10Eの可撓性を高めることができる。例えば、基板153及び基板154には、それぞれ、樹脂を用いることが好ましい。
基板153及び基板154としては、それぞれ、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート(PC)樹脂、ポリエーテルスルホン(PES)樹脂、ポリアミド樹脂(ナイロン、アラミド等)、ポリシロキサン樹脂、シクロオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)樹脂、ABS樹脂、セルロースナノファイバー等を用いることができる。基板153及び基板154の一方または双方に、可撓性を有する程度の厚さのガラスを用いてもよい。
本実施の形態の表示装置が有する基板には、光学等方性が高いフィルムを用いてもよい。光学等方性が高いフィルムとしては、トリアセチルセルロース(TAC、セルローストリアセテートともいう)フィルム、シクロオレフィンポリマー(COP)フィルム、シクロオレフィンコポリマー(COC)フィルム、及びアクリルフィルム等が挙げられる。
[表示装置10F、10G、10H]
図4Cに表示装置10Fの断面図を示す。図5Aに表示装置10Gの断面図を示す。図5Bに表示装置10Hの断面図を示す。
表示装置10Fは、表示装置10Dの構成に加え、レンズ149を有する。
本実施の形態の表示装置は、レンズ149を有していてもよい。レンズ149は、受光素子110と重なる位置に設けられている。表示装置10Fでは、レンズ149が基板152に接して設けられている。表示装置10Fが有するレンズ149は、基板151側に凸面を有している。
基板152の同一面上に遮光層158とレンズ149との双方を形成する場合、形成順は問わない。図4Cでは、レンズ149を先に形成する例を示すが、遮光層158を先に形成してもよい。図4Cでは、レンズ149の端部が遮光層158によって覆われている。
表示装置10Fは、光22がレンズ149を介して受光素子110に入射する構成である。レンズ149を有すると、レンズ149を有さない場合に比べて、受光素子110の撮像範囲を狭くすることができ、隣接する受光素子110と撮像範囲が重なることを抑制できる。これにより、ぼやけの少ない、鮮明な画像を撮像できる。また、受光素子110の撮像範囲が同じ場合、レンズ149を有すると、レンズ149を有さない場合に比べて、ピンホールの大きさ(図4Cでは受光素子110と重なる遮光層158の開口の大きさに相当する)を大きくすることができる。したがって、レンズ149を有することで、受光素子110に入射する光量を増やすことができる。
図5Aに示す表示装置10Gも、表示装置10Fと同様に、光22がレンズ149を介して受光素子110に入射する構成の一つである。
表示装置10Gでは、レンズ149が保護層116の上面に接して設けられている。表示装置10Gが有するレンズ149は、基板152側に凸面を有している。
図5Bに示す表示装置10Hは、基板152の表示面側に、レンズアレイ146が設けられている。レンズアレイ146が有するレンズは、受光素子110と重なる位置に設けられている。基板152の基板151側の面には、遮光層158が設けられていることが好ましい。
本実施の形態の表示装置に用いるレンズの形成方法としては、基板上または受光素子上にマイクロレンズなどのレンズを直接形成してもよいし、別途作製されたマイクロレンズアレイなどのレンズアレイを基板に貼り合わせてもよい。
レンズは、1.3以上2.5以下の屈折率を有することが好ましい。レンズは、無機材料及び有機材料の少なくとも一方を用いて形成することができる。例えば、樹脂を含む材料をレンズに用いることができる。また、酸化物及び硫化物の少なくとも一方を含む材料をレンズに用いることができる。
具体的には、塩素、臭素、またはヨウ素を含む樹脂、重金属原子を含む樹脂、芳香環を含む樹脂、硫黄を含む樹脂などをレンズに用いることができる。または、樹脂と当該樹脂より屈折率の高い材料のナノ粒子を含む材料をレンズに用いることができる。酸化チタンまたは酸化ジルコニウムなどをナノ粒子に用いることができる。
また、酸化セリウム、酸化ハフニウム、酸化ランタン、酸化マグネシウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化チタン、酸化イットリウム、酸化亜鉛、インジウムとスズを含む酸化物、またはインジウムとガリウムと亜鉛を含む酸化物などを、レンズに用いることができる。または、硫化亜鉛などを、レンズに用いることができる。
[表示装置10J]
図5Cに表示装置10Jの断面図を示す。
表示装置10Jは、可視光を透過する隔壁216を有さず、可視光を遮る隔壁217を有する点で、表示装置10Dと異なる。
隔壁217は、発光素子190が発した光を吸収することが好ましい。隔壁217として、例えば、顔料もしくは染料を含む樹脂材料等を用いてブラックマトリクスを形成することができる。また、茶色レジスト材料を用いることで、着色された絶縁層で隔壁217を構成することができる。
表示装置10D(図4A)において、発光素子190が発した光は、基板152及び隔壁216で反射され、反射光が受光素子110に入射することがある。また、発光素子190が発した光が隔壁216を透過し、トランジスタまたは配線等で反射されることで、反射光が受光素子110に入射することがある。表示装置10Jでは、隔壁217によって光が吸収されることで、このような反射光が受光素子110に入射することを抑制できる。これにより、ノイズを低減し、受光素子110を用いたセンサの感度を高めることができる。
隔壁217は、少なくとも、受光素子110が検出する光の波長を吸収することが好ましい。例えば、発光素子190が発する緑色の光を受光素子110が検出する場合、隔壁217は、少なくとも緑色の光を吸収することが好ましい。例えば、隔壁217が、赤色のカラーフィルタを有すると、緑色の光を吸収することができ、反射光が受光素子110に入射することを抑制できる。
遮光層158は、樹脂層159に届く前に迷光23bの多くを吸収することができるが、迷光23bの一部は反射し、隔壁217に入射することがある。隔壁217が迷光23bを吸収する構成であると、迷光23bがトランジスタ又は配線等に入射することを抑制できる。したがって、受光素子110に迷光23cが到達することを抑制することができる。迷光23bが遮光層158と隔壁217に当たる回数が多いほど、吸収される光量を増やすことができ、受光素子110に到達する迷光23cの量を極めて少なくすることができる。樹脂層159の厚さが厚いと、迷光23bが遮光層158と隔壁217に当たる回数を増やすことができるため、好ましい。
また、隔壁217が光を吸収することで、発光素子190から直接、隔壁217に入射された迷光23dを、隔壁217によって吸収することができる。このことからも、隔壁217を設けることで、受光素子110に入射する迷光を低減することができる。
[表示装置10K]
図6Aに、表示装置10Kの上面図を示す。図6Bに、図6Aにおける一点鎖線A1−A2間の断面図を示す。図7Aに、図6Aにおける一点鎖線A3−A4間の断面図を示す。
図6Aにおいて点線の枠で囲った部分が1つの画素に相当する。1つの画素は、受光素子110、赤色の発光素子190R、緑色の発光素子190G、及び、青色の発光素子190Bを有する。
受光素子110及び発光素子190R、190G、190Bの上面形状は特に限定されない。図6Aに示す画素のレイアウトには、六方最密充填型が適用されている。六方最密充填型のレイアウトとすることで、受光素子110及び発光素子190R、190G、190の開口率を高めることができ、好ましい。上面視において、受光素子110の受光領域は四角形であり、発光素子190R、190G、190Bの発光領域は、それぞれ六角形である。
上面視(平面視ともいえる)において、受光素子110は、枠状の遮光層219aの内側に設けられている。受光素子110の四辺を遮光層219aで完全に囲うことで、迷光が受光素子110に入射することを抑制できる。なお、枠状の遮光層219aは、間隙(切れ目、途切れている部分、欠けている部分ともいえる)を有していてもよい。
上面視において、緑色の発光素子190Gと青色の発光素子190Bとの間には、スペーサ219bが設けられている。
図6B及び図7Aに示すように、表示装置10Kは、受光素子110、赤色の発光素子190R、緑色の発光素子190G、及び、青色の発光素子190Bを有する。
発光素子190Rは、画素電極191R、共通層112、発光層193R、共通層114、及び共通電極115を有する。発光層193Rは、赤色の光21Rを発する有機化合物を有する。発光素子190Rは、赤色の光を発する機能を有する。
発光素子190Gは、画素電極191G、共通層112、発光層193G、共通層114、及び共通電極115を有する。発光層193Gは、緑色の光21Gを発する有機化合物を有する。発光素子190Gは、緑色の光を発する機能を有する。
発光素子190Bは、画素電極191B、共通層112、発光層193B、共通層114、及び共通電極115を有する。発光層193Bは、青色の光21Bを発する有機化合物を有する。発光素子190Bは、青色の光を発する機能を有する。
受光素子110は、画素電極181、共通層112、活性層183、共通層114、及び共通電極115を有する。活性層183は、有機化合物を有する。受光素子110は、可視光を検出する機能を有する。
表示装置10Kは、一対の基板(基板151及び基板152)間に、受光素子110、発光素子190R、発光素子190G、発光素子190B、トランジスタ41、トランジスタ42R、トランジスタ42G、及びトランジスタ42B等を有する。
画素電極181、191R、191G、191Bの端部は、それぞれ、隔壁216によって覆われている。
画素電極181は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ41が有するソースまたはドレインと電気的に接続される。画素電極191Rは、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ42Rが有するソースまたはドレインと電気的に接続される。同様に、画素電極191Gは、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ42Gが有するソースまたはドレインと電気的に接続される。そして、画素電極191Bは、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ42Bが有するソースまたはドレインと電気的に接続される。
受光素子110及び発光素子190R、190G、190Bは、それぞれ、保護層116に覆われている。
基板152の基板151側の面には、樹脂層159が設けられている。樹脂層159は、発光素子190R、190G、190Bと重なる位置に設けられ、受光素子110と重なる位置には設けられない。
基板152の基板151側の面及び樹脂層159の基板151側の面には、遮光層158が設けられている。遮光層158は、発光素子190R、190G、190Bのそれぞれと重なる位置、及び、受光素子110と重なる位置に開口を有する。
上面視において、隔壁216には、枠状に開口が設けられている。図6Bでは、隔壁216は、受光素子110と発光素子190Rとの間に、開口を有する。そして、開口を覆うように、遮光層219aが設けられている。遮光層219aは、隔壁216の開口、及び、開口にて露出した隔壁216の側面を覆うことが好ましい。遮光層219aは、さらに、隔壁216の上面の少なくとも一部を覆うことが好ましい。
隔壁216に開口を設けず、隔壁216上に遮光層219aを設ける構成とすることもできるが、迷光が隔壁216を透過して受光素子110に入射する可能性がある。隔壁216に開口を設け、当該開口を埋めるように遮光層219aを設ける構成とすることで、隔壁216を透過した迷光が、隔壁216の開口にて遮光層219aで吸収される。これにより、迷光が受光素子110に入射することを抑制できる。
遮光層219aは、順テーパ形状であることが好ましい。これにより、遮光層219a上に設けられる膜(共通層112、共通層114、共通電極115、及び保護層116など)の被覆性を高めることができる。
遮光層219aは、少なくとも、受光素子110が検出する光の波長を吸収することが好ましい。例えば、発光素子190Gが発する緑色の光を受光素子110が検出する場合、遮光層219aは、少なくとも緑色の光を吸収することが好ましい。例えば、遮光層219aが、赤色のカラーフィルタを有すると、緑色の光を吸収することができ、反射光が受光素子110に入射することを抑制できる。遮光層219aは、顔料もしくは染料を含む樹脂材料等を用いて形成されたブラックマトリクスであってもよい。遮光層219aは、赤色のカラーフィルタ、緑色のカラーフィルタ、及び青色のカラーフィルタの積層構造であってもよい。または、遮光層219aとして、茶色レジスト材料を用いて、着色された絶縁層を形成してもよい。
例えば、発光素子190Gが発する緑色の光を受光素子110が検出する場合、発光素子190Gが発した光は、基板152及び隔壁216で反射され、反射光が受光素子110に入射することがある。また、発光素子190Gが発した光が隔壁216を透過し、トランジスタまたは配線等で反射されることで、反射光が受光素子110に入射することがある。表示装置10Kでは、遮光層158及び遮光層219aによって光が吸収されることで、このような反射光が受光素子110に入射することを抑制できる。これにより、ノイズを低減し、受光素子110を用いたセンサの感度を高めることができる。
例えば、遮光層158は、樹脂層159に届く前に迷光23bの多くを吸収することができる。さらに、迷光23bの一部が遮光層158で反射しても、遮光層219aが迷光23bを吸収することで、迷光23bがトランジスタ又は配線等に入射することを抑制できる。したがって、受光素子110に迷光が到達することを抑制できる。迷光23bが遮光層158と遮光層219aに当たる回数が多いほど、吸収される光量を増やすことができ、受光素子110に到達する迷光の量を極めて少なくすることができる。樹脂層159の厚さが厚いと、迷光23bが遮光層158と隔壁217に当たる回数を増やすことができるため、好ましい。樹脂層159の厚さが厚いと、遮光層158から各色の発光素子までの距離が短くなり、表示の視野角依存性を抑制できるため、表示品位の向上の観点からも好ましい。
また、遮光層219aが光を吸収することで、発光素子から直接、遮光層219aに入射された迷光23dを、遮光層219aによって吸収することができる。このことからも、遮光層219aを設けることで、受光素子110に入射する迷光を低減することができる。
また、遮光層158を設けることで、受光素子110が光を検出する範囲を制御することができる。遮光層158から受光素子110までの距離が長いと、撮像範囲が狭くなり、撮像の解像度を高めることができる。
スペーサ219bは、隔壁216上に位置し、かつ、上面視において、発光素子190Gと発光素子190Bとの間に位置する。スペーサ219bの上面は、遮光層219aの上面よりも遮光層158に近いことが好ましい。遮光層219aの厚さL3が、隔壁216の厚さとスペーサ219bの厚さの和L4以上の値であると、枠状の遮光層219aの内側に接着層142が十分に充填されず、受光素子110、さらには、表示装置10Kの信頼性が低下する恐れがある。したがって、隔壁216の厚さとスペーサ219bの厚さの和L4は、遮光層219aの厚さL3よりも大きいことが好ましい。これにより、接着層142を充填することが容易となる。図7Aに示すように、スペーサ219bと遮光層158とが重なる部分において、遮光層158は保護層116(または共通電極115)と接していてもよい。
[表示装置10L]
図7Bに、表示装置10Lの断面図を示す。
表示装置10Lは、発光素子190R、190G、190Bが、同一の発光層を有する構成である。図7Bは、図6Aにおける一点鎖線A3−A4間の断面図に相当する。
図7Bに示す発光素子190Gは、画素電極191G、光学調整層197G、共通層112、発光層113、共通層114、及び共通電極115を有する。図7Bに示す発光素子190Bは、画素電極191B、光学調整層197B、共通層112、発光層113、共通層114、及び共通電極115を有する。共通層112、発光層113、及び共通層114は、発光素子190R、190G、190Bにおいて共通の構成である。例えば、発光層113は、赤色の光を発する発光層193R、緑色の光を発する発光層193G、及び青色の光を発する発光層193Bを有する。
なお、図7Bでは、EL層を共通層112、発光層113、及び共通層114で示すが、これに限定されない。発光素子は、画素電極191と共通電極115との間に1つの発光ユニットを有するシングル構造であってもよく、複数の発光ユニットを有するタンデム構造であってもよい。
発光層113は、各色の光を発する発光素子に共通して設けられる。発光素子190Gが発する光は、着色層CFGを介して、緑色の光21Gとして取り出される。発光素子190Bが発する光は、着色層CFBを介して、青色の光21Bとして取り出される。
発光素子190G及び発光素子190Bは、厚さが互いに異なる光学調整層を有する点以外は同一の構成である。画素電極191G及び画素電極191Bとして反射電極を用いる。光学調整層として、反射電極上の透明電極を用いることができる。各色の発光素子は、それぞれ異なる厚さの光学調整層197を有することが好ましい。図7Bに示す発光素子190Gは、画素電極191Gと共通電極115の間の光学距離が緑色の光を強める光学距離となるように、光学調整層197Gを用いて光学調整されている。同様に、発光素子190Bは、画素電極191Bと共通電極115の間の光学距離が青色の光を強める光学距離となるように、光学調整層197Bを用いて光学調整されている。
[表示装置10M]
図8Aに、表示装置10Mの上面図を示す。図8Bに、図8Aにおける一点鎖線A5−A6間の断面図を示す。
図8A及び図8Bに示す表示装置10Mは、緑色の発光素子190Gと青色の発光素子190Bとの間に、遮光層219aが設けられている点、及び、空間143が不活性ガスで充填された、中空封止構造が適用されている点で、図6A及び図7Aに示す表示装置10Kと異なる。
表示装置10Mのように、遮光層219aは、発光素子190Rと受光素子110との間、及び、発光素子190Gと発光素子190Bとの間の双方に設けてもよい。
[表示装置10N]
図9Aに、表示装置10Nの上面図を示す。図9Bに、図9Aにおける一点鎖線A7−A8間の断面図を示す。図10Aに、図9Aにおける一点鎖線A9−A10間の断面図を示す。
表示装置10N(図9A)における一点鎖線A3−A4間の断面構造は、表示装置10K(図7A)と同様の構成を適用できる。または、表示装置10M(図8B)と同様の構成を適用してもよい。
表示装置10Nは、遮光層219aの上面形状及び断面形状が、表示装置10K(図6A及び図6B)と異なる。
上面視(平面視ともいえる)において、遮光層219aは、受光素子110の四辺を囲み、かつ、一端と他端が互いに離れている構成である。遮光層219aの間隙220(切れ目、途切れている部分、欠けている部分ともいえる)は、赤色の発光素子190R側に位置する。ここで、センシングに用いる光源が、特定の色の発光素子のみである場合、当該センシングに用いる発光素子とは異なる発光素子側に、遮光層219aの間隙220が位置することが好ましい。例えば、表示装置10Nであれば、緑色の発光素子190Gまたは青色の発光素子190Bを用いて、センシングを行う構成が好ましい。これにより、センシング時のノイズの影響を抑制することができる。また、緑色の発光素子190Gを用いてセンシングを行う場合、領域230に示すように、遮光層219aの一端は、緑色の発光素子190Gに比べて、赤色の発光素子190R側に突出していることが好ましい。これにより、緑色の発光素子190Gからの迷光が、間隙220を介して、受光素子110に入射することを抑制できる。
隔壁216は、受光素子110と発光素子190Rとの間に、開口を有する。そして、開口を覆うように、遮光層219aが設けられている。遮光層219aは、隔壁216の開口、及び、開口にて露出した隔壁216の側面を覆うことが好ましい。遮光層219aは、さらに、隔壁216の上面の少なくとも一部を覆うことが好ましい。
遮光層219aは、逆テーパ形状であってもよい。逆テーパ形状の遮光層219a上に設けられる有機膜及び共通電極115の厚さは、遮光層219aの側面付近で薄くなることがある。また、遮光層219aの側面付近に、空隙160が生じることがある。
ここで、上面視において、遮光層219aが、受光素子110の四辺を全て囲ってしまうと、共通電極115が遮光層219aによって段切れし、遮光層219aの内側と外側とで、共通電極115が分離してしまう恐れがある。そこで、遮光層219aの上面形状を、受光素子110の四辺を囲み、かつ、一端と他端が離れている構成とし、間隙220を設けることで、共通電極115が分離することを抑制できる。これにより、表示装置10Nにおける表示不良を抑制できる。
図10Aは、遮光層219aの間隙220を含む断面図である。上面視において、隔壁216には、遮光層219aの上面形状と同様に、受光素子110の四辺を囲み、かつ、一端と他端が互いに離れている構成の開口が設けられている。遮光層219aの間隙220では、隔壁216上に、共通層112、共通層114、共通電極115、及び保護層116が順に設けられている。
[表示装置10P]
図10Bに、表示装置10Pの断面図を示す。
表示装置10Pは、遮光層219aの側面に接する側壁219cを有する点で、表示装置10Nと異なる。
表示装置10Pにおいて、遮光層219aの上面形状は、図6Aのように、枠状であってもよく、図9Aのように、間隙220を有していてもよい。
逆テーパ形状の遮光層219aの側面に接する側壁219cを設けることで、有機膜及び共通電極115等の被覆性を向上させることができ、表示装置の表示品位を高めることができる。共通電極115の被覆性を高めることで、共通電極115の段切れ、さらには薄膜化を抑制できるため、共通電極115の電圧降下に起因する表示の輝度ムラを抑制することができる。
側壁219cは、隔壁216に用いることができる材料を用いて形成することができる。
[表示装置10Q]
図11A及び図11Bに、表示装置10Qの断面図を示す。表示装置10Qは、表示装置10K(図6A)と同様の上面構造を適用することができる。図11Aに、図6Aにおける一点鎖線A1−A2間の断面図を示す。図11Bに、図6Aにおける一点鎖線A3−A4間の断面図を示す。
表示装置10Qは、隔壁216を有さず、隔壁217を有する点で、表示装置10Kと主に異なる。
遮光層219aは、隔壁217上に位置する。隔壁217は、隔壁216とは異なり、発光素子が発した光を吸収することができるため、隔壁217に開口を設けなくてよい。発光素子から隔壁217に入射された迷光23dは、隔壁217で吸収される。発光素子から遮光層219aに入射された迷光23dは、遮光層219aで吸収される。
スペーサ219bは、発光素子190Gと発光素子190Bとの間に位置する。スペーサ219bの上面は、遮光層219aの上面よりも遮光層158に近いことが好ましい。スペーサ219bの厚さが遮光層219aの厚さよりも薄いと、枠状の遮光層219aの内側に接着層142が十分に充填されず、受光素子110、さらには、表示装置10Qの信頼性が低下する恐れがある。したがって、スペーサ219bは、遮光層219aよりも厚いことが好ましい。これにより、接着層142を充填することが容易となる。図11Bに示すように、スペーサ219bと遮光層158とが重なる部分において、遮光層158は保護層116(または共通電極115)と接していてもよい。
以下では、図12~図16を用いて、本発明の一態様の表示装置の、より詳細な構成について説明する。
[表示装置100A]
図12に、表示装置100Aの斜視図を示し、図13に、表示装置100Aの断面図を示す。
表示装置100Aは、基板152と基板151とが貼り合わされた構成を有する。図12では、基板152を破線で明示している。
表示装置100Aは、表示部162、回路164、配線165等を有する。図12では表示装置100AにIC(集積回路)173及びFPC172が実装されている例を示している。そのため、図12に示す構成は、表示装置100A、IC、及びFPCを有する表示モジュールということもできる。
回路164としては、例えば走査線駆動回路を用いることができる。
配線165は、表示部162及び回路164に信号及び電力を供給する機能を有する。当該信号及び電力は、FPC172を介して外部から、またはIC173から配線165に入力される。
図12では、COG(Chip On Glass)方式またはCOF(Chip on Film)方式等により、基板151にIC173が設けられている例を示す。IC173は、例えば走査線駆動回路または信号線駆動回路などを有するICを適用できる。なお、表示装置100A及び表示モジュールは、ICを設けない構成としてもよい。また、ICを、COF方式等により、FPCに実装してもよい。
図13に、表示装置100Aの、FPC172を含む領域の一部、回路164の一部、表示部162の一部、及び、端部を含む領域の一部をそれぞれ切断したときの断面の一例を示す。
図13に示す表示装置100Aは、基板151と基板152の間に、トランジスタ201、トランジスタ205、トランジスタ206、発光素子190、受光素子110等を有する。
樹脂層159と絶縁層214は接着層142を介して接着されている。発光素子190及び受光素子110の封止には、固体封止構造または中空封止構造などが適用できる。図13では、基板152、接着層142、及び基板151に囲まれた空間143が、不活性ガス(窒素やアルゴンなど)で充填されており、中空封止構造が適用されている。接着層142は、発光素子190及び受光素子110と重ねて設けられていてもよい。また、基板152、接着層142、及び基板151に囲まれた空間143を、接着層142とは異なる樹脂で充填してもよい。
発光素子190は、絶縁層214側から画素電極191、共通層112、発光層193、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ206が有する導電層222bと接続されている。
画素電極191の端部は、隔壁217によって覆われている。画素電極191は可視光を反射する材料を含み、共通電極115は可視光を透過する材料を含む。
受光素子110は、絶縁層214側から画素電極181、共通層112、活性層183、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極181は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ205が有する導電層222bと電気的に接続されている。画素電極181の端部は、隔壁217によって覆われている。画素電極181は可視光を反射する材料を含み、共通電極115は可視光を透過する材料を含む。
発光素子190が発する光は、基板152側に射出される。また、受光素子110には、基板152及び空間143を介して、光が入射する。基板152には、可視光に対する透過性が高い材料を用いることが好ましい。
画素電極181及び画素電極191は同一の材料及び同一の工程で作製することができる。共通層112、共通層114、及び共通電極115は、受光素子110と発光素子190との双方に用いられる。受光素子110と発光素子190とは、活性層183と発光層193の構成が異なる以外は全て共通の構成とすることができる。これにより、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置100Aに受光素子110を内蔵することができる。
基板152の基板151側の面には、樹脂層159及び遮光層158が設けられている。樹脂層159は、発光素子190と重なる位置に設けられ、受光素子110と重なる位置には設けられない。遮光層158は、基板152の基板151側の面、樹脂層159の側面、及び樹脂層159の基板151側の面を覆って設けられる。遮光層158は、受光素子110と重なる位置及び発光素子190と重なる位置に開口を有する。遮光層158を設けることで、受光素子110が光を検出する範囲を制御することができる。また、遮光層158を有することで、対象物を介さずに、発光素子190から受光素子110に光が入射することを抑制できる。したがって、ノイズが少なく感度の高いセンサを実現できる。樹脂層159が設けられていることで、遮光層158から発光素子190までの距離を、遮光層158から受光素子110までの距離に比べて短くすることができる。これにより、センサのノイズを低減しつつ、表示の視野角依存性を抑制することができる。したがって、表示品位と撮像品位との双方を高めることができる。
表示装置100Aにおける隔壁217及び遮光層219aの構成は、表示装置10Q(図11A)と同様である。
隔壁217は、画素電極181の端部及び画素電極191の端部を覆っている。隔壁217上には、遮光層219aが設けられている。遮光層219aは、受光素子110と発光素子190との間に位置する。隔壁217及び遮光層219aは、受光素子110が検出する光の波長を吸収することが好ましい。これにより、受光素子110に入射する迷光を抑制することができる。
トランジスタ201、トランジスタ205、及びトランジスタ206は、いずれも基板151上に形成されている。これらのトランジスタは、同一の材料及び同一の工程により作製することができる。
基板151上には、絶縁層211、絶縁層213、絶縁層215、及び絶縁層214がこの順で設けられている。絶縁層211は、その一部が各トランジスタのゲート絶縁層として機能する。絶縁層213は、その一部が各トランジスタのゲート絶縁層として機能する。絶縁層215は、トランジスタを覆って設けられる。絶縁層214は、トランジスタを覆って設けられ、平坦化層としての機能を有する。なお、ゲート絶縁層の数及びトランジスタを覆う絶縁層の数は限定されず、それぞれ単層であっても2層以上であってもよい。
トランジスタを覆う絶縁層の少なくとも一層に、水や水素などの不純物が拡散しにくい材料を用いることが好ましい。これにより、絶縁層をバリア層として機能させることができる。このような構成とすることで、トランジスタに外部から不純物が拡散することを効果的に抑制でき、表示装置の信頼性を高めることができる。
絶縁層211、絶縁層213、及び絶縁層215としては、それぞれ、無機絶縁膜を用いることが好ましい。無機絶縁膜としては、例えば、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜などの無機絶縁膜を用いることができる。また、酸化ハフニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化タンタル膜、酸化マグネシウム膜、酸化ランタン膜、酸化セリウム膜、及び酸化ネオジム膜等を用いてもよい。また、上述の絶縁膜を2以上積層して用いてもよい。
ここで、有機絶縁膜は、無機絶縁膜に比べてバリア性が低いことが多い。そのため、有機絶縁膜は、表示装置100Aの端部近傍に開口を有することが好ましい。これにより、表示装置100Aの端部から有機絶縁膜を介して不純物が入り込むことを抑制することができる。または、有機絶縁膜の端部が表示装置100Aの端部よりも内側にくるように有機絶縁膜を形成し、表示装置100Aの端部に有機絶縁膜が露出しないようにしてもよい。
平坦化層として機能する絶縁層214には、有機絶縁膜が好適である。有機絶縁膜に用いることができる材料としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、及びこれら樹脂の前駆体等が挙げられる。
図13に示す領域228では、絶縁層214に開口が形成されている。これにより、絶縁層214に有機絶縁膜を用いる場合であっても、絶縁層214を介して外部から表示部162に不純物が入り込むことを抑制できる。したがって、表示装置100Aの信頼性を高めることができる。
トランジスタ201、トランジスタ205、及びトランジスタ206は、ゲートとして機能する導電層221、ゲート絶縁層として機能する絶縁層211、ソース及びドレインとして機能する導電層222a及び導電層222b、半導体層231、ゲート絶縁層として機能する絶縁層213、並びに、ゲートとして機能する導電層223を有する。ここでは、同一の導電膜を加工して得られる複数の層に、同じハッチングパターンを付している。絶縁層211は、導電層221と半導体層231との間に位置する。絶縁層213は、導電層223と半導体層231との間に位置する。
本実施の形態の表示装置が有するトランジスタの構造は特に限定されない。例えば、プレーナ型のトランジスタ、スタガ型のトランジスタ、逆スタガ型のトランジスタ等を用いることができる。また、トップゲート型またはボトムゲート型のいずれのトランジスタ構造としてもよい。または、チャネルが形成される半導体層の上下にゲートが設けられていてもよい。
トランジスタ201、トランジスタ205、及びトランジスタ206には、チャネルが形成される半導体層を2つのゲートで挟持する構成が適用されている。2つのゲートを接続し、これらに同一の信号を供給することによりトランジスタを駆動してもよい。または、2つのゲートのうち、一方に閾値電圧を制御するための電位を与え、他方に駆動のための電位を与えることで、トランジスタの閾値電圧を制御してもよい。
トランジスタに用いる半導体材料の結晶性についても特に限定されず、非晶質半導体、結晶性を有する半導体(微結晶半導体、多結晶半導体、単結晶半導体、または一部に結晶領域を有する半導体)のいずれを用いてもよい。結晶性を有する半導体を用いると、トランジスタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。
トランジスタの半導体層は、金属酸化物(酸化物半導体ともいう)を有することが好ましい。または、トランジスタの半導体層は、シリコンを有していてもよい。シリコンとしては、アモルファスシリコン、結晶性のシリコン(低温ポリシリコン、単結晶シリコンなど)などが挙げられる。
半導体層は、例えば、インジウムと、M(Mは、ガリウム、アルミニウム、シリコン、ホウ素、イットリウム、スズ、銅、バナジウム、ベリリウム、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、及びマグネシウムから選ばれた一種または複数種)と、亜鉛と、を有することが好ましい。特に、Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、及びスズから選ばれた一種または複数種であることが好ましい。
特に、半導体層として、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、及び亜鉛(Zn)を含む酸化物(IGZOとも記す)を用いることが好ましい。
半導体層がIn−M−Zn酸化物の場合、当該In−M−Zn酸化物におけるInの原子数比はMの原子数比以上であることが好ましい。このようなIn−M−Zn酸化物の金属元素の原子数比として、In:M:Zn=1:1:1またはその近傍の組成、In:M:Zn=1:1:1.2またはその近傍の組成、In:M:Zn=2:1:3またはその近傍の組成、In:M:Zn=3:1:2またはその近傍の組成、In:M:Zn=4:2:3またはその近傍の組成、In:M:Zn=4:2:4.1またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:3またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:6またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:7またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:8またはその近傍の組成、In:M:Zn=6:1:6またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:2:5またはその近傍の組成、等が挙げられる。なお、近傍の組成とは、所望の原子数比の±30%の範囲を含む。
例えば、原子数比がIn:Ga:Zn=4:2:3またはその近傍の組成と記載する場合、Inの原子数比を4としたとき、Gaの原子数比が1以上3以下であり、Znの原子数比が2以上4以下である場合を含む。また、原子数比がIn:Ga:Zn=5:1:6またはその近傍の組成と記載する場合、Inの原子数比を5としたときに、Gaの原子数比が0.1より大きく2以下であり、Znの原子数比が5以上7以下である場合を含む。また、原子数比がIn:Ga:Zn=1:1:1またはその近傍の組成と記載する場合、Inの原子数比を1としたときに、Gaの原子数比が0.1より大きく2以下であり、Znの原子数比が0.1より大きく2以下である場合を含む。
回路164が有するトランジスタと、表示部162が有するトランジスタは、同じ構造であってもよく、異なる構造であってもよい。回路164が有する複数のトランジスタの構造は、全て同じであってもよく、2種類以上あってもよい。同様に、表示部162が有する複数のトランジスタの構造は、全て同じであってもよく、2種類以上あってもよい。
基板151の、基板152が重ならない領域には、接続部204が設けられている。接続部204では、配線165が導電層166及び接続層242を介してFPC172と電気的に接続されている。接続部204の上面は、画素電極181と同一の導電膜を加工して得られた導電層166が露出している。これにより、接続部204とFPC172とを接続層242を介して電気的に接続することができる。
基板152の外側には各種光学部材を配置することができる。光学部材としては、偏光板、位相差板、光拡散層(拡散フィルムなど)、反射防止層、及び集光フィルム等が挙げられる。また、基板152の外側には、ゴミの付着を抑制する帯電防止膜、汚れを付着しにくくする撥水性の膜、使用に伴う傷の発生を抑制するハードコート膜、衝撃吸収層等を配置してもよい。
基板151及び基板152には、それぞれ、ガラス、石英、セラミック、サファイア、樹脂などを用いることができる。基板151及び基板152に可撓性を有する材料を用いると、表示装置の可撓性を高めることができる。
接着層としては、紫外線硬化型等の光硬化型接着剤、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。これら接着剤としてはエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、イミド樹脂、PVC(ポリビニルクロライド)樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)樹脂、EVA(エチレンビニルアセテート)樹脂等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂等の透湿性が低い材料が好ましい。また、二液混合型の樹脂を用いてもよい。また、接着シート等を用いてもよい。
接続層242としては、異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)、異方性導電ペースト(ACP:Anisotropic Conductive Paste)などを用いることができる。
発光素子190は、トップエミッション型、ボトムエミッション型、デュアルエミッション型などがある。光を取り出す側の電極には、可視光を透過する導電膜を用いる。また、光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好ましい。
発光素子190は少なくとも発光層193を有する。発光素子190は、発光層193以外の層として、正孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔ブロック材料、電子輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、またはバイポーラ性の物質(電子輸送性及び正孔輸送性が高い物質)等を含む層をさらに有していてもよい。例えば、共通層112は、正孔注入層及び正孔輸送層の一方又は双方を有することが好ましい。例えば、共通層114は、電子輸送層及び電子注入層の一方または双方を有することが好ましい。
正孔注入層は、陽極から発光素子に正孔を注入する層であり、正孔注入性の高い材料を含む層である。正孔注入性の高い材料としては、芳香族アミン化合物や、正孔輸送性材料とアクセプター性材料(電子受容性材料)とを含む複合材料を用いることができる。
発光素子において、正孔輸送層は、正孔注入層によって、陽極から注入された正孔を発光層に輸送する層である。受光素子において、正孔輸送層は、活性層において入射した光に基づき発生した正孔を陽極に輸送する層である。正孔輸送層は、正孔輸送性材料を含む層である。正孔輸送性材料としては、10−cm/Vs以上の正孔移動度を有する物質が好ましい。なお、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。正孔輸送性材料としては、π電子過剰型複素芳香族化合物(例えばカルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、フラン誘導体など)や芳香族アミン(芳香族アミン骨格を有する化合物)等の正孔輸送性の高い材料が好ましい。
発光素子において、電子輸送層は、電子注入層によって、陰極から注入された電子を発光層に輸送する層である。受光素子において、電子輸送層は、活性層において入射した光に基づき発生した電子を陰極に輸送する層である。電子輸送層は、電子輸送性材料を含む層である。電子輸送性材料としては、1×10−cm/Vs以上の電子移動度を有する物質が好ましい。なお、正孔よりも電子の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。電子輸送性材料としては、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体等の他、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン配位子を有するキノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、その他含窒素複素芳香族化合物を含むπ電子不足型複素芳香族化合物等の電子輸送性の高い材料を用いることができる。
電子注入層は、陰極から発光素子に電子を注入する層であり、電子注入性の高い材料を含む層である。電子注入性の高い材料としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、またはそれらの化合物を用いることができる。電子注入性の高い材料としては、電子輸送性材料とドナー性材料(電子供与性材料)とを含む複合材料を用いることもできる。
共通層112、発光層193、及び共通層114には低分子系化合物及び高分子系化合物のいずれを用いることもでき、無機化合物を含んでいてもよい。共通層112、発光層193、及び共通層114を構成する層は、それぞれ、蒸着法(真空蒸着法を含む)、転写法、印刷法、インクジェット法、塗布法等の方法で形成することができる。
発光層193は、発光物質を含む層である。発光層193は、1種または複数種の発光物質を有することができる。発光物質としては、青色、紫色、青紫色、緑色、黄緑色、黄色、橙色、赤色などの発光色を呈する物質を適宜用いる。また、発光物質として、近赤外光を発する物質を用いることもできる。
受光素子110の活性層183は、半導体を含む。当該半導体としては、シリコンなどの無機半導体、及び、有機化合物を含む有機半導体が挙げられる。本実施の形態では、活性層が有する半導体として、有機半導体を用いる例を示す。有機半導体を用いることで、発光素子190の発光層193と、受光素子110の活性層183と、を同じ方法(例えば、真空蒸着法)で形成することができ、製造装置を共通化できるため好ましい。
活性層183が有するn型半導体の材料としては、フラーレン(例えばC60、C70等)またはその誘導体等の電子受容性の有機半導体材料が挙げられる。また、活性層183が有するp型半導体の材料としては、銅(II)フタロシアニン(Copper(II) phthalocyanine;CuPc)やテトラフェニルジベンゾペリフランテン(Tetraphenyldibenzoperiflanthene;DBP)、亜鉛フタロシアニン(Zinc Phthalocyanine;ZnPc)等の電子供与性の有機半導体材料が挙げられる。また、p型半導体の材料として、スズフタロシアニン(SnPc)を用いてもよい。
例えば、活性層183は、n型半導体とp型半導体と共蒸着して形成することが好ましい。
トランジスタのゲート、ソース及びドレインのほか、表示装置を構成する各種配線及び電極などの導電層に用いることのできる材料としては、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、及びタングステンなどの金属、並びに、当該金属を主成分とする合金などが挙げられる。これらの材料を含む膜を単層で、または積層構造として用いることができる。
また、透光性を有する導電材料としては、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを含む酸化亜鉛などの導電性酸化物またはグラフェンを用いることができる。または、金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、及びチタンなどの金属材料や、該金属材料を含む合金材料を用いることができる。または、該金属材料の窒化物(例えば、窒化チタン)などを用いてもよい。なお、金属材料、合金材料(またはそれらの窒化物)を用いる場合には、透光性を有する程度に薄くすることが好ましい。また、上記材料の積層膜を導電層として用いることができる。例えば、銀とマグネシウムの合金とインジウムスズ酸化物の積層膜などを用いると、導電性を高めることができるため好ましい。これらは、表示装置を構成する各種配線及び電極などの導電層や、表示素子が有する導電層(画素電極や共通電極として機能する導電層)にも用いることができる。
各絶縁層に用いることのできる絶縁材料としては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などの樹脂、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウムなどの無機絶縁材料が挙げられる。
[表示装置100B]
図14Aに、表示装置100Bの断面図を示す。
表示装置100Bは、保護層116を有する点及び固体封止構造が適用されている点で、主に表示装置100Aと異なる。
受光素子110及び発光素子190を覆う保護層116を設けることで、受光素子110及び発光素子190に水などの不純物が入り込むことを抑制し、受光素子110及び発光素子190の信頼性を高めることができる。
表示装置100Bの端部近傍の領域228において、絶縁層214の開口を介して、絶縁層215と保護層116とが互いに接することが好ましい。特に、絶縁層215が有する無機絶縁膜と保護層116が有する無機絶縁膜とが互いに接することが好ましい。これにより、有機絶縁膜を介して外部から表示部162に不純物が入り込むことを抑制することができる。したがって、表示装置100Bの信頼性を高めることができる。
図14Bに、保護層116が3層構造である例を示す。図18Bにおいて、保護層116は、共通電極115上の無機絶縁層116aと、無機絶縁層116a上の有機絶縁層116bと、有機絶縁層116b上の無機絶縁層116cと、を有する。
無機絶縁層116aの端部と無機絶縁層116cの端部は、有機絶縁層116bの端部よりも外側に延在し、互いに接している。そして、無機絶縁層116aは、絶縁層214(有機絶縁層)の開口を介して、絶縁層215(無機絶縁層)と接する。これにより、絶縁層215と保護層116とで、受光素子110及び発光素子190を囲うことができるため、受光素子110及び発光素子190の信頼性を高めることができる。
このように、保護層116は、有機絶縁膜と無機絶縁膜との積層構造であってもよい。このとき、有機絶縁膜の端部よりも無機絶縁膜の端部を外側に延在させることが好ましい。
また、表示装置100Bでは、保護層116と基板152とが接着層142によって貼り合わされている。接着層142は、受光素子110及び発光素子190とそれぞれ重ねて設けられており、表示装置100Bには、固体封止構造が適用されている。
[表示装置100C]
図15及び図16Aに、表示装置100Cの断面図を示す。表示装置100Cの斜視図は表示装置100A(図12)と同様である。図15には、表示装置100Cの、FPC172を含む領域の一部、回路164の一部、及び、表示部162の一部をそれぞれ切断したときの断面の一例を示す。図16Aには、表示装置100Cの、表示部162の一部を切断したときの断面の一例を示す。図15では、表示部162のうち、特に、受光素子110と赤色の光を発する発光素子190Rを含む領域を切断したときの断面の一例を示す。図16Aでは、表示部162のうち、特に、緑色の光を発する発光素子190Gと青色の光を発する発光素子190Bを含む領域を切断したときの断面の一例を示す。
図15及び図16Aに示す表示装置100Cは、基板153と基板154の間に、トランジスタ203、トランジスタ207、トランジスタ208、トランジスタ209、トランジスタ210、発光素子190R、発光素子190G、発光素子190B、及び受光素子110等を有する。
樹脂層159と共通電極115とは接着層142を介して接着されており、表示装置100Cには、固体封止構造が適用されている。
基板153と絶縁層212とは接着層155によって貼り合わされている。基板154と絶縁層157とは接着層156によって貼り合わされている。
表示装置100Cの作製方法としては、まず、絶縁層212、各トランジスタ、受光素子110、各発光素子等が設けられた第1の作製基板と、絶縁層157、樹脂層159、及び遮光層158等が設けられた第2の作製基板と、を接着層142によって貼り合わせる。そして、第1の作製基板を剥離し露出した面に基板153を貼り、第2の作製基板を剥離し露出した面に基板154を貼ることで、第1の作製基板上及び第2の作製基板上に形成した各構成要素を、基板153及び基板154に転置する。基板153及び基板154は、それぞれ、可撓性を有することが好ましい。これにより、表示装置100Cの可撓性を高めることができる。
絶縁層212及び絶縁層157には、それぞれ、絶縁層211、絶縁層213、及び絶縁層215に用いることができる無機絶縁膜を用いることができる。
発光素子190Rは、絶縁層214b側から画素電極191R、共通層112、発光層193R、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191Rは、絶縁層214bに設けられた開口を介して、導電層169Rと接続されている。導電層169Rは、絶縁層214aに設けられた開口を介して、トランジスタ208が有する導電層222bと接続されている。導電層222bは、絶縁層215に設けられた開口を介して、低抵抗領域231nと接続される。つまり、画素電極191Rは、トランジスタ208と電気的に接続されている。トランジスタ208は、発光素子190Rの駆動を制御する機能を有する。
同様に、発光素子190Gは、絶縁層214b側から画素電極191G、共通層112、発光層193G、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191Gは、導電層169G及びトランジスタ209の導電層222bを介して、トランジスタ209の低抵抗領域231nと電気的に接続される。つまり、画素電極191Gは、トランジスタ209と電気的に接続されている。トランジスタ209は、発光素子190Gの駆動を制御する機能を有する。
そして、発光素子190Bは、絶縁層214b側から画素電極191B、共通層112、発光層193B、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191Bは、導電層169B及びトランジスタ210の導電層222bを介して、トランジスタ210の低抵抗領域231nと電気的に接続される。つまり、画素電極191Bは、トランジスタ210と電気的に接続されている。トランジスタ210は、発光素子190Bの駆動を制御する機能を有する。
受光素子110は、絶縁層214b側から画素電極181、共通層112、活性層183、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極181は、導電層168及びトランジスタ207の導電層222bを介して、トランジスタ207の低抵抗領域231nと電気的に接続される。つまり、画素電極181は、トランジスタ207と電気的に接続されている。
画素電極181、191R、191G、191Bの端部は、隔壁216によって覆われている。画素電極181、191R、191G、191Bは可視光を反射する材料を含み、共通電極115は可視光を透過する材料を含む。
発光素子190R、190G、190Bが発する光は、基板154側に射出される。また、受光素子110には、基板154及び接着層142を介して、光が入射する。基板154には、可視光に対する透過性が高い材料を用いることが好ましい。
画素電極181及び画素電極191は同一の材料及び同一の工程で作製することができる。共通層112、共通層114、及び共通電極115は、受光素子110及び発光素子190R、190G、190Bに共通して用いられる。受光素子110と各色の発光素子とは、活性層183と発光層の構成が異なる以外は全て共通の構成とすることができる。これにより、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置100Cに受光素子110を内蔵することができる。
絶縁層157の基板153側の面には、樹脂層159及び遮光層158が設けられている。樹脂層159は、発光素子190R、190G、190Bと重なる位置に設けられ、受光素子110と重なる位置には設けられない。遮光層158は、絶縁層157の基板153側の面、樹脂層159の側面、及び樹脂層159の基板153側の面を覆って設けられる。遮光層158は、受光素子110と重なる位置及び発光素子190R、190G、190Bのそれぞれと重なる位置に開口を有する。遮光層158を設けることで、受光素子110が光を検出する範囲を制御することができる。また、遮光層158を有することで、対象物を介さずに、発光素子190R、190G、190Bから受光素子110に光が入射することを抑制できる。したがって、ノイズが少なく感度の高いセンサを実現できる。樹脂層159が設けられていることで、遮光層158から各色の発光素子までの距離は、遮光層158から受光素子110までの距離に比べて短い。これにより、センサのノイズを低減しつつ、表示の視野角依存性を抑制することができる。したがって、表示品位と撮像品位との双方を高めることができる。
表示装置100Cにおける隔壁216、遮光層219a、及びスペーサ219bの構成は、表示装置10K(図6B及び図7A)と同様である。
図15では、隔壁216は、受光素子110と発光素子190Rとの間に開口を有する。当該開口を埋めるように、遮光層219aが設けられている。遮光層219aは、受光素子110と発光素子190Rとの間に位置する。遮光層219aは、発光素子190Rが発した光を吸収する。これにより、受光素子110に入射する迷光を抑制することができる。
スペーサ219bは、発光素子190Gと発光素子190Bとの間に位置する。スペーサ219bの上面は、遮光層219aの上面よりも遮光層158に近いことが好ましい。例えば、隔壁216の高さ(厚さ)とスペーサ219bの高さ(厚さ)の和は、遮光層219aの高さ(厚さ)よりも大きいことが好ましい。これにより、接着層142を充填することが容易となる。図16Aに示すように、スペーサ219bと遮光層158とが重なる部分において、遮光層158は共通電極115(または保護層)と接していてもよい。
基板153の、基板154が重ならない領域には、接続部204が設けられている。接続部204では、配線165が導電層167、導電層166、及び接続層242を介してFPC172と電気的に接続されている。導電層167は、導電層168と同一の導電膜を加工して得ることができる。接続部204の上面は、画素電極181と同一の導電膜を加工して得られた導電層166が露出している。これにより、接続部204とFPC172とを接続層242を介して電気的に接続することができる。
トランジスタ207、トランジスタ208、トランジスタ209、及びトランジスタ210は、ゲートとして機能する導電層221、ゲート絶縁層として機能する絶縁層211、チャネル形成領域231i及び一対の低抵抗領域231nを有する半導体層、一対の低抵抗領域231nの一方と接続する導電層222a、一対の低抵抗領域231nの他方と接続する導電層222b、ゲート絶縁層として機能する絶縁層225、ゲートとして機能する導電層223、並びに、導電層223を覆う絶縁層215を有する。絶縁層211は、導電層221とチャネル形成領域231iとの間に位置する。絶縁層225は、導電層223とチャネル形成領域231iとの間に位置する。
導電層222a及び導電層222bは、それぞれ、絶縁層215に設けられた開口を介して低抵抗領域231nと接続される。導電層222a及び導電層222bのうち、一方はソースとして機能し、他方はドレインとして機能する。
図15では、絶縁層225は、半導体層231のチャネル形成領域231iと重なり、低抵抗領域231nとは重ならない。例えば、導電層223をマスクに絶縁層225を加工することで、図15に示す構造を作製できる。図15では、絶縁層225及び導電層223を覆って絶縁層215が設けられ、絶縁層215の開口を介して、導電層222a及び導電層222bがそれぞれ低抵抗領域231nと接続されている。さらに、トランジスタを覆う保護層116を設けてもよい。
一方、図16Bに示すトランジスタ202では、絶縁層225が半導体層の上面及び側面を覆う例を示す。導電層222a及び導電層222bは、それぞれ、絶縁層225及び絶縁層215に設けられた開口を介して低抵抗領域231nと接続される。
[金属酸化物]
以下では、半導体層に適用可能な金属酸化物について説明する。
なお、本明細書等において、窒素を有する金属酸化物も金属酸化物(metal oxide)と総称する場合がある。また、窒素を有する金属酸化物を、金属酸窒化物(metal oxynitride)と呼称してもよい。例えば、亜鉛酸窒化物(ZnON)などの窒素を有する金属酸化物を、半導体層に用いてもよい。
なお、本明細書等において、CAAC(c−axis aligned crystal)、及びCAC(Cloud−Aligned Composite)と記載する場合がある。CAACは結晶構造の一例を表し、CACは機能または材料の構成の一例を表す。
例えば、半導体層にはCAC(Cloud−Aligned Composite)−OS(Oxide Semiconductor)を用いることができる。
CAC−OSまたはCAC−metal oxideとは、材料の一部では導電性の機能と、材料の一部では絶縁性の機能とを有し、材料の全体では半導体としての機能を有する。なお、CAC−OSまたはCAC−metal oxideを、トランジスタの半導体層に用いる場合、導電性の機能は、キャリアとなる電子(またはホール)を流す機能であり、絶縁性の機能は、キャリアとなる電子を流さない機能である。導電性の機能と、絶縁性の機能とを、それぞれ相補的に作用させることで、スイッチングさせる機能(On/Offさせる機能)をCAC−OSまたはCAC−metal oxideに付与することができる。CAC−OSまたはCAC−metal oxideにおいて、それぞれの機能を分離させることで、双方の機能を最大限に高めることができる。
また、CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、導電性領域、及び絶縁性領域を有する。導電性領域は、上述の導電性の機能を有し、絶縁性領域は、上述の絶縁性の機能を有する。また、材料中において、導電性領域と、絶縁性領域とは、ナノ粒子レベルで分離している場合がある。また、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ材料中に偏在する場合がある。また、導電性領域は、周辺がぼけてクラウド状に連結して観察される場合がある。
また、CAC−OSまたはCAC−metal oxideにおいて、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ0.5nm以上10nm以下、好ましくは0.5nm以上3nm以下のサイズで材料中に分散している場合がある。
また、CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、異なるバンドギャップを有する成分により構成される。例えば、CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、絶縁性領域に起因するワイドギャップを有する成分と、導電性領域に起因するナローギャップを有する成分と、により構成される。当該構成の場合、キャリアを流す際に、ナローギャップを有する成分において、主にキャリアが流れる。また、ナローギャップを有する成分が、ワイドギャップを有する成分に相補的に作用し、ナローギャップを有する成分に連動してワイドギャップを有する成分にもキャリアが流れる。このため、上記CAC−OSまたはCAC−metal oxideをトランジスタのチャネル形成領域に用いる場合、トランジスタのオン状態において高い電流駆動力、つまり大きなオン電流、及び高い電界効果移動度を得ることができる。
すなわち、CAC−OSまたはCAC−metal oxideは、マトリックス複合材(matrix composite)、または金属マトリックス複合材(metal matrix composite)と呼称することもできる。
酸化物半導体(金属酸化物)は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、CAAC−OS(c−axis aligned crystalline oxide semiconductor)、多結晶酸化物半導体、nc−OS(nanocrystalline oxide semiconductor)、擬似非晶質酸化物半導体(a−like OS:amorphous−like oxide semiconductor)、及び非晶質酸化物半導体などがある。
CAAC−OSは、c軸配向性を有し、かつa−b面方向において複数のナノ結晶が連結し、歪みを有した結晶構造となっている。なお、歪みとは、複数のナノ結晶が連結する領域において、格子配列の揃った領域と、別の格子配列の揃った領域と、の間で格子配列の向きが変化している箇所を指す。
ナノ結晶は、六角形を基本とするが、正六角形状とは限らず、非正六角形状である場合がある。また、歪みにおいて、五角形及び七角形などの格子配列を有する場合がある。なお、CAAC−OSにおいて、歪み近傍においても、明確な結晶粒界(グレインバウンダリーともいう。)を確認することは難しい。すなわち、格子配列の歪みによって、結晶粒界の形成が抑制されていることがわかる。これは、CAAC−OSが、a−b面方向において酸素原子の配列が稠密でないことや、金属元素が置換することで原子間の結合距離が変化することなどによって、歪みを許容することができるためである。
また、CAAC−OSは、インジウム、及び酸素を有する層(以下、In層)と、元素M、亜鉛、及び酸素を有する層(以下、(M,Zn)層)とが積層した、層状の結晶構造(層状構造ともいう)を有する傾向がある。なお、インジウムと元素Mは、互いに置換可能であり、(M,Zn)層の元素Mがインジウムと置換した場合、(In,M,Zn)層と表すこともできる。また、In層のインジウムが元素Mと置換した場合、(In,M)層と表すこともできる。
CAAC−OSは結晶性の高い金属酸化物である。一方、CAAC−OSは、明確な結晶粒界を確認することが難しいため、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、金属酸化物の結晶性は不純物の混入や欠陥の生成などによって低下する場合があるため、CAAC−OSは不純物や欠陥(酸素欠損(V:oxygen vacancyともいう。)など)の少ない金属酸化物ともいえる。したがって、CAAC−OSを有する金属酸化物は、物理的性質が安定する。そのため、CAAC−OSを有する金属酸化物は熱に強く、信頼性が高い。
nc−OSは、微小な領域(例えば、1nm以上10nm以下の領域、特に1nm以上3nm以下の領域)において原子配列に周期性を有する。また、nc−OSは、異なるナノ結晶間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。したがって、nc−OSは、分析方法によっては、a−like OSや非晶質酸化物半導体と区別が付かない場合がある。
なお、インジウムと、ガリウムと、亜鉛と、を有する金属酸化物の一種である、インジウム−ガリウム−亜鉛酸化物(以下、IGZO)は、上述のナノ結晶とすることで安定な構造をとる場合がある。特に、IGZOは、大気中では結晶成長がし難い傾向があるため、大きな結晶(ここでは、数mmの結晶、または数cmの結晶)よりも小さな結晶(例えば、上述のナノ結晶)とする方が、構造的に安定となる場合がある。
a−like OSは、nc−OSと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する金属酸化物である。a−like OSは、鬆または低密度領域を有する。すなわち、a−like OSは、nc−OS及びCAAC−OSと比べて、結晶性が低い。
酸化物半導体(金属酸化物)は、多様な構造をとり、それぞれが異なる特性を有する。本発明の一態様の酸化物半導体は、非晶質酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、a−like OS、nc−OS、CAAC−OSのうち、二種以上を有していてもよい。
半導体層として機能する金属酸化物膜は、不活性ガス及び酸素ガスのいずれか一方または双方を用いて成膜することができる。なお、金属酸化物膜の成膜時における酸素の流量比(酸素分圧)に、特に限定はない。ただし、電界効果移動度が高いトランジスタを得る場合においては、金属酸化物膜の成膜時における酸素の流量比(酸素分圧)は、0%以上30%以下が好ましく、5%以上30%以下がより好ましく、7%以上15%以下がさらに好ましい。
金属酸化物は、エネルギーギャップが2eV以上であることが好ましく、2.5eV以上であることがより好ましく、3eV以上であることがさらに好ましい。このように、エネルギーギャップの広い金属酸化物を用いることで、トランジスタのオフ電流を低減することができる。
金属酸化物膜の成膜時の基板温度は、350℃以下が好ましく、室温以上200℃以下がより好ましく、室温以上130℃以下がさらに好ましい。金属酸化物膜の成膜時の基板温度が室温であると、生産性を高めることができ、好ましい。
金属酸化物膜は、スパッタリング法により形成することができる。そのほか、例えばPLD法、PECVD法、熱CVD法、ALD法、真空蒸着法などを用いてもよい。
以上のように、本実施の形態の表示装置は、表示部に受光素子と発光素子とを有し、表示部は画像を表示する機能と光を検出する機能との双方を有する。これにより、表示部の外部または表示装置の外部にセンサを設ける場合に比べて、電子機器の小型化及び軽量化を図ることができる。また、表示部の外部または表示装置の外部に設けるセンサと組み合わせて、より多機能の電子機器を実現することもできる。
受光素子は、一対の電極間に設けられる層のうち少なくとも一層を、発光素子(EL素子)と共通の構成にすることができる。例えば、受光素子は、活性層以外の全ての層を、発光素子(EL素子)と共通の構成にすることもできる。つまり、発光素子の作製工程に、活性層を成膜する工程を追加するのみで、発光素子と受光素子とを同一基板上に形成することができる。また、受光素子と発光素子は、画素電極と共通電極とを、それぞれ、同一の材料及び同一の工程で形成することができる。また、受光素子と電気的に接続される回路と、発光素子と電気的に接続される回路と、を、同一の材料及び同一の工程で作製することで、表示装置の作製工程を簡略化できる。このように、複雑な工程を有さなくとも、受光素子を内蔵し、利便性の高い表示装置を作製することができる。
本実施の形態の表示装置は、遮光層から受光素子までの距離が長く、かつ、遮光層から発光素子までの距離が短くなるように、遮光層を形成する面に構造物を設ける。これにより、センサのノイズを低減しつつ、撮像の解像度を高め、かつ、表示の視野角依存性を抑制することができる。したがって、表示装置における表示品位と撮像品位との双方を高めることができる。
本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。また、本明細書において、1つの実施の形態の中に、複数の構成例が示される場合は、構成例を適宜組み合わせることが可能である。
(実施の形態2)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置について、図17及び図18を用いて説明する。
[画素回路の例1]
本発明の一態様の表示装置は、受光素子を有する第1の画素回路と、発光素子を有する第2の画素回路と、を有する。第1の画素回路と第2の画素回路は、それぞれ、マトリクス状に配置される。
図17Aに、受光素子を有する第1の画素回路の一例を示し、図17Bに、発光素子を有する第2の画素回路の一例を示す。
図17Aに示す画素回路PIX1は、受光素子PD、トランジスタM1、トランジスタM2、トランジスタM3、トランジスタM4、及び容量素子C1を有する。ここでは、受光素子PDとして、フォトダイオードを用いた例を示している。
受光素子PDは、カソードが配線V1と電気的に接続し、アノードがトランジスタM1のソースまたはドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM1は、ゲートが配線TXと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が容量素子C1の一方の電極、トランジスタM2のソースまたはドレインの一方、及びトランジスタM3のゲートと電気的に接続する。トランジスタM2は、ゲートが配線RESと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が配線V2と電気的に接続する。トランジスタM3は、ソースまたはドレインの一方が配線V3と電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方がトランジスタM4のソースまたはドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM4は、ゲートが配線SEと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が配線OUT1と電気的に接続する。
配線V1、配線V2、及び配線V3には、それぞれ定電位が供給される。受光素子PDを逆バイアスで駆動させる場合には、配線V2に、配線V1の電位よりも低い電位を供給する。トランジスタM2は、配線RESに供給される信号により制御され、トランジスタM3のゲートに接続するノードの電位を、配線V2に供給される電位にリセットする機能を有する。トランジスタM1は、配線TXに供給される信号により制御され、受光素子PDに流れる電流に応じて上記ノードの電位が変化するタイミングを制御する機能を有する。トランジスタM3は、上記ノードの電位に応じた出力を行う増幅トランジスタとして機能する。トランジスタM4は、配線SEに供給される信号により制御され、上記ノードの電位に応じた出力を配線OUT1に接続する外部回路で読み出すための選択トランジスタとして機能する。
図17Bに示す画素回路PIX2は、発光素子EL、トランジスタM5、トランジスタM6、トランジスタM7、及び容量素子C2を有する。ここでは、発光素子ELとして、発光ダイオードを用いた例を示している。特に、発光素子ELとして、有機EL素子を用いることが好ましい。
トランジスタM5は、ゲートが配線VGと電気的に接続し、ソースまたはドレインの一方が配線VSと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が、容量素子C2の一方の電極、及びトランジスタM6のゲートと電気的に接続する。トランジスタM6のソースまたはドレインの一方は配線V4と電気的に接続し、他方は、発光素子ELのアノード、及びトランジスタM7のソースまたはドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM7は、ゲートが配線MSと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が配線OUT2と電気的に接続する。発光素子ELのカソードは、配線V5と電気的に接続する。
配線V4及び配線V5には、それぞれ定電位が供給される。発光素子ELのアノード側を高電位に、カソード側をアノード側よりも低電位にすることができる。トランジスタM5は、配線VGに供給される信号により制御され、画素回路PIX2の選択状態を制御するための選択トランジスタとして機能する。また、トランジスタM6は、ゲートに供給される電位に応じて発光素子ELに流れる電流を制御する駆動トランジスタとして機能する。トランジスタM5が導通状態のとき、配線VSに供給される電位がトランジスタM6のゲートに供給され、その電位に応じて発光素子ELの発光輝度を制御することができる。トランジスタM7は配線MSに供給される信号により制御され、トランジスタM6と発光素子ELとの間の電位を、配線OUT2を介して外部に出力する機能を有する。
ここで、画素回路PIX1が有するトランジスタM1、トランジスタM2、トランジスタM3、及びトランジスタM4、並びに、画素回路PIX2が有するトランジスタM5、トランジスタM6、及びトランジスタM7には、それぞれチャネルが形成される半導体層に金属酸化物(酸化物半導体)を用いたトランジスタを適用することが好ましい。
シリコンよりもバンドギャップが広く、かつキャリア密度の小さい金属酸化物を用いたトランジスタは、極めて小さいオフ電流を実現することができる。そのため、その小さいオフ電流により、トランジスタと直列に接続された容量素子に蓄積した電荷を長期間に亘って保持することが可能である。そのため、特に容量素子C1または容量素子C2に直列に接続されるトランジスタM1、トランジスタM2、及びトランジスタM5には、酸化物半導体が適用されたトランジスタを用いることが好ましい。また、これ以外のトランジスタも同様に酸化物半導体を適用したトランジスタを用いることで、作製コストを低減することができる。
また、トランジスタM1乃至トランジスタM7に、チャネルが形成される半導体にシリコンを適用したトランジスタを用いることもできる。特に単結晶シリコンや多結晶シリコンなどの結晶性の高いシリコンを用いることで、高い電界効果移動度を実現することができ、より高速な動作が可能となるため好ましい。
また、トランジスタM1乃至トランジスタM7のうち、一以上に酸化物半導体を適用したトランジスタを用い、それ以外にシリコンを適用したトランジスタを用いる構成としてもよい。
なお、図17A、図17Bにおいて、トランジスタをnチャネル型のトランジスタとして表記しているが、pチャネル型のトランジスタを用いることもできる。
画素回路PIX1が有するトランジスタと画素回路PIX2が有するトランジスタは、同一基板上に並べて形成されることが好ましい。特に、画素回路PIX1が有するトランジスタと画素回路PIX2が有するトランジスタとを1つの領域内に混在させて周期的に配列する構成とすることが好ましい。
また、受光素子PDまたは発光素子ELと重なる位置に、トランジスタ及び容量素子の一方又は双方を有する層を1つまたは複数設けることが好ましい。これにより、各画素回路の実効的な占有面積を小さくでき、高精細な受光部または表示部を実現できる。
[画素回路の例2]
図18Aに画素のブロック図を示す。図18Aに示す画素は、スイッチングトランジスタ(Switching Tr)、駆動トランジスタ(Driving Tr)、発光素子(OLED)に加えて、メモリ(Memory)を有する。
メモリには、データData_Wが供給される。表示データDataに加えて、データData_Wが画素に供給されることで、発光素子に流れる電流が大きくなり、表示装置は高い輝度を表現することができる。
本発明の一態様の表示装置による撮像は、発光素子が発した光を光源に用いて、撮像物からの反射光を受光素子で検出することにより行う。当該光源に用いる発光素子を、表示データData及びデータData_Wに基づいて駆動させることで、高い輝度で発光素子を発光させることができる。発光素子の輝度が高いほど、S/N比の向上を図ることができる。これにより、受光素子による光検出の感度を高めることができる。
図18Bに、画素回路の具体的な回路図を示す。
図18Bに示す画素は、トランジスタM1、トランジスタM2、トランジスタM3、トランジスタM4、容量素子Cs、容量素子Cw、及び発光素子ELを有する。
トランジスタM1のソースまたはドレインの一方は、容量素子Cwの一方の電極と電気的に接続される。容量素子Cwの他方の電極は、トランジスタM4のソースまたはドレインの一方と電気的に接続される。トランジスタM4のソースまたはドレインの一方は、トランジスタM2のゲートと電気的に接続される。トランジスタM2のゲートは、容量素子Csの一方の電極と電気的に接続される。容量素子Csの他方の電極は、トランジスタM2のソースまたはドレインの一方と電気的に接続される。トランジスタM2のソースまたはドレインの一方は、トランジスタM3のソースまたはドレインの一方と電気的に接続される。トランジスタM3のソースまたはドレインの一方は、発光素子ELの一方の電極と電気的に接続される。図18Bに示す各トランジスタは、ゲートと電気的に接続されたバックゲートを有するが、バックゲートの接続はこれに限定されない。また、トランジスタにバックゲートを設けなくてもよい。
ここで、容量素子Cwの他方の電極、トランジスタM4のソースまたはドレインの一方、トランジスタM2のゲート、及び容量素子Csの一方の電極が接続されるノードをノードNMとする。また、容量素子Csの他方の電極、トランジスタM2のソースまたはドレインの一方、トランジスタM3のソースまたはドレインの一方、及び発光素子ELの一方の電極が接続されるノードをノードNAとする。
トランジスタM1のゲートは、配線G1と電気的に接続される。トランジスタM3のゲートは、配線G1と電気的に接続される。トランジスタM4のゲートは、配線G2に電気的に接続される。トランジスタM1のソースまたはドレインの他方は、配線DATAと電気的に接続される。トランジスタM3のソースまたはドレインの他方は、配線V0と電気的に接続される。トランジスタM4のソースまたはドレインの他方は、配線DATA_Wと電気的に接続される。
トランジスタM2のソースまたはドレインの他方は、配線ANODE(高電位側)と電気的に接続される。発光素子ELの他方の電極は、配線CATHODE(低電位側)と電気的に接続される。
配線G1及び配線G2は、トランジスタの動作を制御するための信号線としての機能を有することができる。配線DATAは、画素に画像信号を供給する信号線としての機能を有することができる。配線DATA_Wは、記憶回路MEMにデータを書き込むための信号線としての機能を有することができる。配線DATA_Wは、画素に補正信号を供給する信号線としての機能を有することができる。配線V0は、トランジスタM4の電気特性を取得するためのモニタ線としての機能を有する。また、配線V0からトランジスタM3を介して容量素子Csの他方の電極に特定の電位を供給することにより、画像信号の書き込みを安定化させることもできる。
トランジスタM2、トランジスタM4、及び容量素子Cwは、記憶回路MEMを構成する。ノードNMは記憶ノードであり、トランジスタM4を導通させることで、配線DATA_Wに供給された信号をノードNMに書き込むことができる。トランジスタM4に極めてオフ電流が低いトランジスタを用いることで、ノードNMの電位を長時間保持することができる。
トランジスタM4には、例えば、金属酸化物をチャネル形成領域に用いたトランジスタ(以下、OSトランジスタ)を用いることができる。これにより、トランジスタM4のオフ電流を極めて低くすることができ、ノードNMの電位を長時間保持することができる。このとき、画素を構成するその他のトランジスタにも、OSトランジスタを用いることが好ましい。金属酸化物の具体例は、実施の形態1を参照できる。
OSトランジスタはエネルギーギャップが大きいため、極めて低いオフ電流特性を示す。また、OSトランジスタは、インパクトイオン化、アバランシェ降伏、及び短チャネル効果などが生じないなどSiをチャネル形成領域に有するトランジスタ(以下、Siトランジスタ)とは異なる特徴を有し、信頼性の高い回路を形成することができる。
また、トランジスタM4に、Siトランジスタを適用してもよい。このとき、画素を構成するその他のトランジスタにも、Siトランジスタを用いることが好ましい。
Siトランジスタとしては、アモルファスシリコンを有するトランジスタ、結晶性のシリコン(代表的には、低温ポリシリコン)を有するトランジスタ、単結晶シリコンを有するトランジスタなどが挙げられる。
また、1つの画素は、OSトランジスタとSiトランジスタとの両方を有していてもよい。
画素において、ノードNMに書き込まれた信号は、配線DATAから供給される画像信号と容量結合され、ノードNAに出力することができる。なお、トランジスタM1は、画素を選択する機能を有することができる。
すなわち、ノードNMに所望の補正信号を格納しておけば、供給した画像信号に当該補正信号を付加することができる。なお、補正信号は伝送経路上の要素によって減衰することがあるため、当該減衰を考慮して生成することが好ましい。
画像信号と補正信号を用いて発光素子を発光させることで、発光素子に流れる電流を大きくすることができ、高い輝度を表現できる。ソースドライバの出力電圧以上の電圧を駆動トランジスタのゲート電圧として印加できるため、ソースドライバの消費電力を削減することができる。高い輝度の光を光源に用いることができるため、センサの感度を高めることができる。
本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態3)
本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器について、図19~図21を用いて説明する。
本実施の形態の電子機器は、本発明の一態様の表示装置を有する。例えば、電子機器の表示部に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。本発明の一態様の表示装置は、光を検出する機能を有するため、表示部で生体認証を行うこと、または、タッチ動作(接触または近接)を検出することができる。これにより、電子機器の機能性や利便性などを高めることができる。
電子機器としては、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型もしくはノート型のパーソナルコンピュータ、コンピュータ用などのモニタ、デジタルサイネージ、パチンコ機などの大型ゲーム機などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、などが挙げられる。
本実施の形態の電子機器は、センサ(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)を有していてもよい。
本実施の形態の電子機器は、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア(プログラム)を実行する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出す機能等を有することができる。
図19Aに示す電子機器6500は、スマートフォンとして用いることのできる携帯情報端末機である。
電子機器6500は、筐体6501、表示部6502、電源ボタン6503、ボタン6504、スピーカ6505、マイク6506、カメラ6507、及び光源6508等を有する。表示部6502はタッチパネル機能を備える。
表示部6502に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
図19Bは、筐体6501のマイク6506側の端部を含む断面概略図である。
筐体6501の表示面側には透光性を有する保護部材6510が設けられ、筐体6501と保護部材6510に囲まれた空間内に、表示パネル6511、光学部材6512、タッチセンサパネル6513、プリント基板6517、バッテリ6518等が配置されている。
保護部材6510には、表示パネル6511、光学部材6512、及びタッチセンサパネル6513が接着層(図示しない)により固定されている。
表示部6502よりも外側の領域において、表示パネル6511の一部が折り返されており、当該折り返された部分にFPC6515が接続されている。FPC6515には、IC6516が実装されている。FPC6515は、プリント基板6517に設けられた端子に接続されている。
表示パネル6511には本発明の一態様のフレキシブルディスプレイを適用することができる。そのため、極めて軽量な電子機器を実現できる。また、表示パネル6511が極めて薄いため、電子機器の厚さを抑えつつ、大容量のバッテリ6518を搭載することもできる。また、表示パネル6511の一部を折り返して、画素部の裏側にFPC6515との接続部を配置することにより、狭額縁の電子機器を実現できる。
図20Aにテレビジョン装置の一例を示す。テレビジョン装置7100は、筐体7101に表示部7000が組み込まれている。ここでは、スタンド7103により筐体7101を支持した構成を示している。
表示部7000に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
図20Aに示すテレビジョン装置7100の操作は、筐体7101が備える操作スイッチや、別体のリモコン操作機7111により行うことができる。または、表示部7000にタッチセンサを備えていてもよく、指等で表示部7000に触れることでテレビジョン装置7100を操作してもよい。リモコン操作機7111は、当該リモコン操作機7111から出力する情報を表示する表示部を有していてもよい。リモコン操作機7111が備える操作キーまたはタッチパネルにより、チャンネル及び音量の操作を行うことができ、表示部7000に表示される映像を操作することができる。
なお、テレビジョン装置7100は、受信機及びモデムなどを備えた構成とする。受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができる。また、モデムを介して有線または無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向(送信者から受信者)または双方向(送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など)の情報通信を行うことも可能である。
図20Bに、ノート型パーソナルコンピュータの一例を示す。ノート型パーソナルコンピュータ7200は、筐体7211、キーボード7212、ポインティングデバイス7213、外部接続ポート7214等を有する。筐体7211に、表示部7000が組み込まれている。
表示部7000に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
図20C、図20Dに、デジタルサイネージの一例を示す。
図20Cに示すデジタルサイネージ7300は、筐体7301、表示部7000、及びスピーカ7303等を有する。さらに、LEDランプ、操作キー(電源スイッチ、または操作スイッチを含む)、接続端子、各種センサ、マイクロフォン等を有することができる。
図20Dは円柱状の柱7401に取り付けられたデジタルサイネージ7400である。デジタルサイネージ7400は、柱7401の曲面に沿って設けられた表示部7000を有する。
図20C、図20Dにおいて、表示部7000に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
表示部7000が広いほど、一度に提供できる情報量を増やすことができる。また、表示部7000が広いほど、人の目につきやすく、例えば、広告の宣伝効果を高めることができる。
表示部7000にタッチパネルを適用することで、表示部7000に画像または動画を表示するだけでなく、ユーザーが直感的に操作することができ、好ましい。また、路線情報もしくは交通情報などの情報を提供するための用途に用いる場合には、直感的な操作によりユーザビリティを高めることができる。
また、図20C、図20Dに示すように、デジタルサイネージ7300またはデジタルサイネージ7400は、ユーザーが所持するスマートフォン等の情報端末機7311または情報端末機7411と無線通信により連携可能であることが好ましい。例えば、表示部7000に表示される広告の情報を、情報端末機7311または情報端末機7411の画面に表示させることができる。また、情報端末機7311または情報端末機7411を操作することで、表示部7000の表示を切り替えることができる。
また、デジタルサイネージ7300またはデジタルサイネージ7400に、情報端末機7311または情報端末機7411の画面を操作手段(コントローラ)としたゲームを実行させることもできる。これにより、不特定多数のユーザーが同時にゲームに参加し、楽しむことができる。
図21A乃至図21Fに示す電子機器は、筐体9000、表示部9001、スピーカ9003、操作キー9005(電源スイッチ、または操作スイッチを含む)、接続端子9006、センサ9007(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン9008、等を有する。
図21A乃至図21Fに示す電子機器は、様々な機能を有する。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア(プログラム)によって処理を制御する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出して処理する機能、等を有することができる。なお、電子機器の機能はこれらに限られず、様々な機能を有することができる。電子機器は、複数の表示部を有していてもよい。また、電子機器にカメラ等を設け、静止画や動画を撮影し、記録媒体(外部またはカメラに内蔵)に保存する機能、撮影した画像を表示部に表示する機能、等を有していてもよい。
図21A乃至図21Fに示す電子機器の詳細について、以下説明を行う。
図21Aは、携帯情報端末9101を示す斜視図である。携帯情報端末9101は、例えばスマートフォンとして用いることができる。なお、携帯情報端末9101は、スピーカ9003、接続端子9006、センサ9007等を設けてもよい。また、携帯情報端末9101は、文字や画像情報をその複数の面に表示することができる。図21Aでは3つのアイコン9050を表示した例を示している。また、破線の矩形で示す情報9051を表示部9001の他の面に表示することもできる。情報9051の一例としては、電子メール、SNS、電話などの着信の通知、電子メールやSNSなどの題名、送信者名、日時、時刻、バッテリの残量、電波強度などがある。または、情報9051が表示されている位置にはアイコン9050などを表示してもよい。
図21Bは、携帯情報端末9102を示す斜視図である。携帯情報端末9102は、表示部9001の3面以上に情報を表示する機能を有する。ここでは、情報9052、情報9053、情報9054がそれぞれ異なる面に表示されている例を示す。例えばユーザーは、洋服の胸ポケットに携帯情報端末9102を収納した状態で、携帯情報端末9102の上方から観察できる位置に表示された情報9053を確認することもできる。ユーザーは、携帯情報端末9102をポケットから取り出すことなく表示を確認し、例えば電話を受けるか否かを判断できる。
図21Cは、腕時計型の携帯情報端末9200を示す斜視図である。携帯情報端末9200は、例えばスマートウォッチとして用いることができる。また、表示部9001はその表示面が湾曲して設けられ、湾曲した表示面に沿って表示を行うことができる。また、携帯情報端末9200は、例えば無線通信可能なヘッドセットと相互通信することによって、ハンズフリーで通話することもできる。また、携帯情報端末9200は、接続端子9006により、他の情報端末と相互にデータ伝送を行うことや、充電を行うこともできる。なお、充電動作は無線給電により行ってもよい。
図21D乃至図21Fは、折り畳み可能な携帯情報端末9201を示す斜視図である。また、図21Dは携帯情報端末9201を展開した状態、図21Fは折り畳んだ状態、図21Eは図21Dと図21Fの一方から他方に変化する途中の状態の斜視図である。携帯情報端末9201は、折り畳んだ状態では可搬性に優れ、展開した状態では継ぎ目のない広い表示領域により表示の一覧性に優れる。携帯情報端末9201が有する表示部9001は、ヒンジ9055によって連結された3つの筐体9000に支持されている。例えば、表示部9001は、曲率半径0.1mm以上150mm以下で曲げることができる。
本実施の形態は、他の実施の形態及び実施例と適宜組み合わせることができる。
本実施例では、遮光層219aを含む評価用デバイスを作製し、観察を行った結果について説明する。本実施例では、実施の形態1で説明した、表示装置10K(図6B)、表示装置10N(図9A、図9B)、表示装置10P(図10B)、及び表示装置10Q(図11A)が有する遮光層219aを含む評価用デバイスをそれぞれ作製した。さらに、表示装置10Pの構成が適用された表示装置を作製し、表示を確認した。
まず、表示装置10Nが有する遮光層219aを含む評価用デバイス30Nを作製した結果について説明する。評価用デバイス30Nは、基板151上に、トランジスタから遮光層219a、スペーサ219bまでを形成することで、作製した(図7A、図9B)。
評価用デバイス30Nの画素部の上面写真を図22に示す。図22に示すように、評価用デバイス30Nの画素部には、図9Aの構成を適用した。
画素31は、受光素子110、赤色の発光素子190R、緑色の発光素子190G、及び、青色の発光素子190Bを有する。
図22に示すように、遮光層219aの上面形状は、受光素子110の四辺を囲み、かつ、一端と他端が離れている構成である。遮光層219aの間隙220は、赤色の発光素子190R側に位置する。また、領域230に示すように、遮光層219aの一端は、緑色の発光素子190Gに比べて、赤色の発光素子190R側に突出している。本実施例では、緑色の発光素子190Gをセンシングの光源として用いることを想定して、評価用デバイス30Nを作製した。そのため、緑色の発光素子190Gと間隙220とが互いに離れた位置にくるよう設計した。これにより、緑色の発光素子190Gからの迷光が受光素子110に入射することを抑制し、センシング時のノイズの影響を抑制できると考えられる。
また、緑色の発光素子190Gと青色の発光素子190Bとの間には、スペーサ219bを設けた。
評価用デバイス30Nにおける、遮光層219aを含む断面写真を、図23Aに示す。
遮光層219aは、赤色のカラーフィルタ材料を用いて作製した。遮光層219aの厚さLaは、約2.2μmであった。
図23Aに示すように、遮光層219aの断面形状は、逆テーパ形状である。逆テーパ形状の場合、遮光層219aが受光素子110の四辺を全て囲ってしまうと、共通電極115が遮光層219aによって段切れし、遮光層219aの内側と外側とで、共通電極115が分離してしまう恐れがある。図22に示すように、遮光層219aが間隙220を有することで、共通電極115が分離することを抑制できると考えられる。
次に、表示装置10Pが有する遮光層219aを含む評価用デバイス30Pを作製した結果について説明する。
評価用デバイス30Pにおける、遮光層219aを含む断面写真を、図23Bに示す。また、表示装置10Pの構成が適用された表示装置の表示結果を図24に示す。
遮光層219aは、赤色のカラーフィルタ材料を用いて作製した。遮光層219aの厚さLbは、約2.1μmであった。
遮光層219aが逆テーパ形状であると、遮光層219a上に形成する有機膜及び共通電極115等の被覆性が低下し、発光素子が非発光となる場合がある。
図23Bに示すように、逆テーパ形状の遮光層219aの側面に接する側壁219cを設けることで、有機膜及び共通電極115等の被覆性を向上させることができ、表示装置の表示品位を高めることができる。
図24に示すように、表示装置10Pの構成を適用することで、点欠陥が少なく、良好な表示結果が得られた。
次に、表示装置10Kが有する遮光層219aを含む評価用デバイス30Kを作製した結果について説明する。
評価用デバイス30Kにおける、遮光層219aを含む断面写真を、図25Aに示す。
評価用デバイス30Kでは、隔壁216に設けられた開口を埋めるように、順テーパ形状の遮光層219aを形成した。隔壁216としては、ポリイミド樹脂を用いて、可視光を透過する樹脂層を形成した。遮光層219aとしては、茶色レジスト材料を用いて、可視光を遮る樹脂層を形成した。
次に、表示装置10Qが有する遮光層219aを含む評価用デバイス30Qを作製した結果について説明する。
評価用デバイス30Qにおける、遮光層219aを含む断面写真を、図25Bに示す。
評価用デバイス30Qでは、隔壁217上に順テーパ形状の遮光層219aを設けた。隔壁217及び遮光層219aとしては、どちらも、茶色レジスト材料を用いて、可視光を遮る樹脂層を形成した。
以上のように、本実施例では、遮光層219aを含む評価用デバイスを作製することができた。
本実施例では、表示部に、受光素子及び発光素子を有する表示装置を作製した結果について説明する。
[デバイス構造]
図26に、表示装置の画素を構成するデバイス構造を示す。
本実施例で作製した表示装置の1つの画素は、Red(R)、Green(G)、Blue(B)の3色の有機EL素子OLED及び1つの有機フォトダイオードOPDの計4つの素子と、これら4つの素子をそれぞれ独立に駆動するための回路(駆動回路43、44)と、を有する。
4つの素子は、それぞれ、基板151上に設けられている。本実施例では、基板151にガラス基板を用いた表示装置と、基板151に樹脂基板を用いた可撓性を有する表示装置と、を作製した。さらに、基板151上には、有機フォトダイオードOPDの画素電極181と電気的に接続される駆動回路43と、有機EL素子OLEDの画素電極191と電気的に接続される駆動回路44が設けられている。有機フォトダイオードOPDは、対向基板側(図22では共通電極115側)から入射した光を検出する構成である。有機EL素子OLEDは、対向基板側に光を発するトップエミッション構造である。画素電極181及び画素電極191は、可視光を反射する機能を有する。
4つの素子は、それぞれ、正孔輸送層が作り分けられており、さらに、各色の有機EL素子OLEDの発光層と有機フォトダイオードOPDの活性層とが、作り分けられている。具体的には、有機フォトダイオードOPDは正孔輸送層186及び活性層183を有し、赤色の有機EL素子OLEDは正孔輸送層196R及び発光層193Rを有し、緑色の有機EL素子OLEDは正孔輸送層196G及び発光層193Gを有し、青色の有機EL素子OLEDは正孔輸送層196B及び発光層193Bを有する。
共通層112、114a、114b、及び共通電極115は、4つの素子で共通の構成であり、共通のマスクを用いて形成される。共通層112は、有機EL素子OLEDの正孔注入層として機能し、有機フォトダイオードOPDの正孔輸送層として機能する。共通層114aは、有機EL素子OLED及び有機フォトダイオードOPDの電子輸送層として機能する。共通層114bは、有機EL素子OLEDの電子注入層として機能し、有機フォトダイオードOPDの電子輸送層として機能する。共通電極115は、可視光を透過する機能及び可視光を反射する機能を有する。
このように、R、G、Bの3色の発光素子を作り分ける構成から、有機フォトダイオードOPDを含めた4種を作り分ける構成に変更するのみで、有機ELディスプレイの表示部の一面全体にフォトセンサを形成することができる。本実施例の表示装置の構成は、フォトセンサを別のモジュールとして組み込む場合に比べて、プロセス面、コスト面、及びデザイン性の面で優れ、小型化及びフレキシブル化が容易である。
本実施例の表示装置における撮像方法について、図1Cを用いて説明する。本実施例の表示装置による撮像は、有機EL素子OLEDが発した光を光源に用いて、撮像物からの反射光を有機フォトダイオードOPDで検出することにより行う。
図1Cに示すように、基板59(対向基板)に接した指52の指紋を撮像する場合には、有機EL素子OLEDが発する光を、基板59上の指52が反射し、有機フォトダイオードOPDがその反射光を検出する。このとき、指紋の凹凸の反射率の差を利用することで、指紋を撮像することができる。
指紋の撮像は、単色の光のみで検出することができ、カラー撮像でなくてよいが、本実施例の表示装置は、R、G、Bの有機EL素子を順次発光させ、それぞれの反射光を時分割で検出することで、カラー撮像も可能である。例えば、対向基板上にカラー画像を配置し、当該カラー画像をカラーでスキャンすることができる。この方式を用いる場合、可視光領域全体に対し感度を有する有機フォトダイオードOPDが配置されていればよく、R用、G用、B用の個々の有機フォトダイオードOPDを配置する必要がないため、高精細化に有利である。
[表示装置の構成]
本実施例では、画面サイズが対角3.07インチ、画素数が360(H)×540(V)、画素ピッチが120μm×120μm、精細度が212ppiである、アクティブマトリクス型の表示装置を作製した。ゲートドライバは内蔵し、ソースドライバは外付けのICをCOG方式により実装した。読み出し回路は、アナログ電圧順次出力とした。
本実施例の表示装置は、結晶性を有する酸化物半導体を半導体層に用いたトランジスタをスイッチング素子として用いた。結晶性を有する酸化物半導体を半導体層に用いたトランジスタは、オフ電流が非常に低いという特徴を有している。この特徴により、センシングの面では、グローバルシャッター方式での撮像が可能になるというメリットがある。また、静止画において、画像の書き換え回数を削減でき、低消費電力に繋がる駆動(IDS駆動)が可能になる。
なお、IDS駆動とは、通常よりも低速のフレーム周波数で動作するアイドリング・ストップ駆動である。IDS駆動では、画像データの書き込み処理を実行した後、画像データの書き換えを停止する。一旦画像データの書き込みをして、その後、次の画像データの書き込みまでの間隔を延ばすことで、その間の画像データの書き込みに要する分の消費電力を削減することができる。IDS駆動のフレーム周波数は、例えば、通常動作(代表的には60Hz以上240Hz以下)の1/100以上1/10以下とすることができる。静止画は、連続するフレーム間でビデオ信号が同じである。よって、IDS駆動モードは、静止画を表示する場合に特に有効である。
通常、画像の書き換え動作は、センサに対してノイズとなるため、S/N比を低下させる。しかし、IDS駆動の場合、センシングしている間、画像を保持したまま、画像の書き換え動作を停止できる。よって、画像の書き換えによるノイズの影響を受けずにセンシングすることができ、S/N比の低下を抑制できる。
本実施例の表示装置では、1フレームを表示の期間とセンシングの期間に分けた。センシングの期間はIDS駆動を用いることで、画像の書き換えを行わず、センシング時のノイズを低減させた。また、指紋認証や画像のスキャニングには、有機EL素子OLEDが発する光を光源として用いるため、有機EL素子OLEDの発光の輝度を一定に保持することが必要である。この場合も、IDS駆動を採用することで、ノイズが低減でき、良好なセンシングを行うことができる。
ここで、有機EL素子OLEDの輝度が高いほどS/N比の向上を図ることができる。本実施例の表示装置では、図18Bに示す、メモリを有する画素回路を適用した。したがって、本実施例の表示装置は高い輝度で有機EL素子OLEDを発光させることができる。センシング時に、選択的に画素の輝度を向上させることで、センサの感度を高めることができる。具体的には、本実施例の表示装置は、緑色の単色表示の際に、最大2000cd/cmの輝度で発光させることができる。
本実施例で作製した表示装置の断面構造には、表示装置10K(図6B、図7A)の構成を適用した。
[表示結果]
図27A及び図27Bに、本実施例の表示装置の表示結果を示す。図27Aは、基板151にガラス基板を用いた表示装置の表示結果である。図27Bは、基板151に樹脂基板を用いた可撓性を有する表示装置の表示結果である。図27A及び図27Bに示すように、表示部に、受光素子及び発光素子を有する表示装置において、画像を良好に表示できることが確認された。さらに、図27Bに示すように、受光素子及び発光素子を有する表示部の可撓性を高めることができ、表示部を曲げた状態においても、画像を良好に表示できることが確認された。
[撮像光学系]
本実施例の表示装置では、有機EL素子OLEDの発光が対象物によって反射された光を有機フォトダイオードOPDは検出する。しかし、有機EL素子OLEDの発光が、表示装置内で反射され、対象物を介さずに、有機フォトダイオードOPDに入射されてしまう場合がある。このような迷光は撮像時にノイズとなり、S/N比を低下させる要因となる。本実施例の表示装置では、対向基板側と支持基板側との双方に、遮光層を配置し、迷光の影響の抑制を図った。
まず、対向基板側と支持基板側との双方に遮光層を有することで、迷光の影響が抑制されるかを確認した。ここでは、遮光層を有さない構成として、図4Aに示す表示装置10Dの構成から遮光層158を除いた構成(以下では簡略化のため、表示装置10Dと記す。)を用い、遮光層を有する構成として、遮光層158及び遮光層219aを有する、図10Bに示す表示装置10Pの構成を用いた。遮光層219aは、厚さ2.0μmとなるように形成した。
表示装置10Dまたは表示装置10P上に被写体を置かず、光源として緑色の画素を1画素のみを発光させ、当該発光させた画素の周囲の有機フォトダイオードOPDの検出強度を測定した。被写体を置いていないため、有機フォトダイオードOPDが検出した光は、迷光などのノイズ成分のみである。なお、事前に全面非発光の状態で有機フォトダイオードOPDの検出強度を測定した。そして、光源となる有機EL素子OLEDからの迷光の影響に注目するため、全面非発光の際の検出強度と、1画素のみを発光させた状態の光検出強度と、の差分を求めた。また、表示装置10Pの測定結果は、表示装置10Dの測定結果のピーク強度で規格化した。
表示装置10Dにおける測定結果を図28に示し、表示装置10Pにおける測定結果を図29に示す。図28及び図29において、z軸は光検出強度、x軸及びy軸は画素のアドレスを示す。図28及び図29から、遮光層219aを設けることで、検出強度の最大値が半分程度に減少していることがわかった。また、図28では、4×4画素程度の範囲で、検出強度が高くなっているが、図29では、検出強度が高い範囲は、2×2画素程度であった。遮光層219aを設けることで、検出強度が高くなる画素の範囲を狭くできることがわかった。以上のことから、支持基板側に遮光層を設けることで、迷光によるノイズの強度を抑制し、かつ、迷光によるノイズが検出される範囲を狭くできることがわかった。以上のことから、対向基板側と支持基板側との双方に遮光層を設けることで、迷光の影響を抑制し、S/N比を向上させることができるとわかった。
また、被写体を鮮明に撮像するためには、画素アドレスが隣接する2つの有機フォトダイオードOPDの撮像範囲が重なる領域を狭くする必要がある。図30を用いて、有機フォトダイオードOPDの撮像範囲と各種パラメータの関係について説明する。
図30に、1つの有機フォトダイオードOPDの撮像範囲S、対向基板(基板152)の厚さL、遮光層158の開口径p、遮光層158の開口の底部(基板152の有機フォトダイオードOPD側の面)から有機フォトダイオードOPDまでの距離l、有機フォトダイオードOPDの幅sを示す。図30より、開口径p、長さLなどが、有機フォトダイオードOPDの撮像範囲Sに影響していることがわかる。
撮像範囲Sは、下記式(1)で求めることができる。式(1)において、nは接着層142の屈折率であり、nは基板152の屈折率である。可撓性を有する表示装置においては、基板152に樹脂基板を用いるため、接着層142に用いる封止樹脂の屈折率と基板152に用いる樹脂基板の屈折率はほぼ同等とみなすことができる。これより、n=nとすると、下記式(2)が求められる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
上記式(2)を用いて撮像範囲Sを求めた結果を図31に示す。図31には、l=10μm、s=20μm、n=nであり、p=1μm、2μm、5μm、10μm、20μmのそれぞれの場合について、基板152の厚さLと有機フォトダイオードOPDの撮像範囲Sとの関係を示す。
図31より、開口径pが小さくなるほど、有機フォトダイオードOPDの撮像範囲Sが狭くなることがわかる。また、基板152の厚さLが薄くなるほど、有機フォトダイオードOPDの撮像範囲Sが狭くなることがわかる。つまり、開口径pや基板152の厚さLを調整することで、有機フォトダイオードOPDの撮像範囲Sを制御できることがわかった。また、式(2)から、距離lを大きくするまたは幅sを小さくすることでも、有機フォトダイオードOPDの撮像範囲Sが狭くなることがわかる。
図32及び図33に、基板152の厚さL及び遮光層(light shielding layer)158の有無を変えた表示装置で、撮像の解像度を比較した結果を示す。幅0.12mmの全光反射率10%の黒線を0.72mmのピッチで全光反射率80%の反射板に印刷した被写体を表示装置上に配置し、撮像を行った。表示装置は、p=19μm、l=8μm、s=21μmとなるように設計した。
図32A及び図32Bは、撮像画像の拡大図である。図32Aから、基板152の厚さLが薄いほど、鮮明に撮像できており、厚くなるにつれて黒線がぼやけていることがわかる。また、図32Bから、遮光層158の有無にかかわらず、黒線を撮像することができるが、遮光層158がある方が、黒線と背景領域とのコントラストが高かった。このことから、遮光層158を設けることで、有機フォトダイオードOPDの撮像範囲を狭くし、周辺の背景領域の検出を抑制できるとわかった。
図33は、撮像結果から水平方向のプロファイルを抽出した結果である。なお、図33は、事前に、白色の背景で低反射率の黒色板を撮像することで得た、黒色板の値と白色の背景の値で規格化した結果である。図33から、基板152の厚さLが厚いほど、黒線部の検出強度が上昇し、黒線と黒線の間の背景領域の検出強度が低下していることがわかった。これは、基板152の厚さLが厚くなると有機フォトダイオードOPDの撮像範囲が広くなるため、どの有機フォトダイオードOPDも、黒線と背景領域との双方を検出してしまい、差が生じにくくなるためである。
以上の結果から、本実施例では、基板151にガラス基板を用いた表示装置、及び、基板151に樹脂基板を用いた表示装置ともに、遮光層158を採用し、また、上記p、l、sの値に加えて、L=0.2mmとなるように設計し、作製した。
[撮像結果]
本実施例の表示装置において、有機EL素子OLEDが発する光を光源に、有機フォトダイオードOPDを用いて撮像した結果を示す。本実施例では、指紋の撮像とカラー画像のスキャニングを行った。
まず、基板151にガラス基板を用いた表示装置上に指を載せ、緑色の有機EL素子OLEDを発光させて、指紋の撮像を行ったところ、指紋の凹凸に起因した紋様を良好に撮像することができた。このことから、本実施例の表示装置を用いて、指紋と同程度の高解像度の撮像ができることが確認できた。さらに、図34Aに示すように、基板151に樹脂基板を用いた可撓性を有する表示装置の表示部を曲げ、当該曲がった部分に指を載せ、緑色の有機EL素子OLEDを発光させて、指紋の撮像を行った。表示部の曲率半径は10mmとした。表示部の曲がった部分においても、指紋の凹凸に起因した紋様を良好に撮像することができた。表示部の曲がった部分でセンシングを良好に行えることから、例えば、図21A及び図21Bに示す携帯情報端末において、携帯情報端末の側端部や側面で指紋認証を行うといった応用が期待できる。
次に、カラー画像の撮像を行った。図34Bは、画像を紙に印刷し、当該紙の印刷面を表示装置側に向けて、表示装置上に当該紙を配置し、撮像した結果である。なお、取得した撮像画像に対して、事前に測定した白表示と黒表示の検出値を基準値として画像補正を実施した。また、画像補正の際、撮像画像の検出値が当該基準値から大きく外れる値を示す箇所については黒表示の値に補正した。
本実施例では、可視領域の広い範囲に吸収を有する有機フォトダイオードOPDを用いた。そのため、有機EL素子OLEDのR、G、B各色を時分割して順次点灯させて、有機フォトダイオードOPDを用いてR、G、Bそれぞれの単色の画像データを撮像し、3つの画像データを合成することで、カラー画像を取得した。本実施例では、グローバルシャッター方式を用い、図18Bに示すメモリ機能を用いて高輝度発光を行い、1/2Hzでカラー画像を取得した。撮像条件としては、赤色の表示の輝度は750cd/m、緑色の表示の輝度は1650cd/m、青色の表示の輝度は370cd/m、各色とも、露光時間は1.6msec、読み出し時間は250msecとした。図34Bに示すように、本実施例の表示装置を用いて、カラー画像を良好に撮像できることが確認できた。
次に、コインの撮像を行った。図35Aは、撮像の様子を示す写真である。図35Bは、表示装置上にコインを配置し、撮像した結果である。
撮像方法の詳細は、カラー画像の撮像と同様である。撮像条件としては、赤色の表示の輝度は340cd/m、緑色の表示の輝度は1700cd/m、青色の表示の輝度は150cd/m、各色とも、露光時間は1.85msecとした。図34Bに示すように、本実施例の表示装置を用いて、コインの模様を良好に撮像できることが確認できた。
本実施例では、受光素子を作製し、特性を評価した結果について説明する。
本実施例では、受光素子として、デバイス1と比較デバイス2とを作製した。デバイス1は、発光素子と構造の共通化を図った構成であり、発光素子の発光層を受光素子の活性層に置き換えて作製可能な積層構造を有する。なお、デバイス1の構成は、実施例2の表示装置が有する有機フォトダイオードOPDにも適用した。比較デバイス2は、発光素子と構造の共通化を図っていない構成であり、イメージセンサに適した積層構造を有する。
本実施例で用いる材料の化学式を以下に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
本実施例の受光素子の素子構造を表1に示す。また、表1を用いて、デバイス1及び比較デバイス2について説明する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
[デバイス1]
表1に示すように、デバイス1では、第1の電極として、厚さ約100nmの、銀(Ag)とパラジウム(Pd)と銅(Cu)の合金(Ag−Pd−Cu(APC))膜、及び、厚さ約100nmの、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物(ITSO)膜の2層構造を用いた。
デバイス1の第1のバッファ層は、発光素子の正孔注入層及び正孔輸送層に対応する層である。
まず、正孔注入層に対応する層を、3−[4−(9−フェナントリル)−フェニル]−9−フェニル−9H−カルバゾール(略称:PCPPn)と、酸化モリブデンとを、重量比がPCPPn:酸化モリブデン=2:1となるように共蒸着することで、形成した。正孔注入層に対応する層の厚さは、約15nmとなるように形成した。
次に、正孔輸送層に対応する層を、PCPPnを用い、厚さが約40nmとなるように蒸着した。
デバイス1の活性層は、フラーレン(C70)とテトラフェニルジベンゾペリフランテン(略称:DBP)とを、重量比がC70:DBP=9:1となるように共蒸着することで、形成した。活性層の厚さは、約60nmとなるように形成した。
デバイス1の第2のバッファ層は、発光素子の電子輸送層及び電子注入層に対応する層である。
まず、電子輸送層に対応する層を、2−[3’−(ジベンゾチオフェン−4−イル)ビフェニル−3−イル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mDBTBPDBq−II)の厚さが約10nm、2,9−ビス(ナフタレン−2−イル)−4,7−ジフェニル−1,10−フェナントロリン(略称:NBPhen)の厚さが約10nmとなるように順次蒸着して形成した。
次に、電子注入層に対応する層を、フッ化リチウム(LiF)を用い、厚さが約1nmとなるように蒸着して形成した。
デバイス1の第2の電極は、銀(Ag)とマグネシウム(Mg)との体積比を10:1とし、厚さが約9nmとなるように共蒸着して形成した後、インジウム錫酸化物(ITO)をスパッタリング法により、厚さが約40nmとなるように形成した。
以上により、デバイス1を作製した。
[比較デバイス2]
表1に示すように、比較デバイス2は、第1の電極として、厚さ約50nmのチタン膜、厚さ約200nmのアルミニウム膜、及び厚さ約5nmのチタン膜の3層構造を用いた。
比較デバイス2の第1のバッファ層は、フラーレン(C70)を用いて、厚さが約10nmとなるように蒸着した。
比較デバイス2の活性層は、デバイス1と同様であり、フラーレン(C70)とDBPとを、重量比がC70:DBP=9:1となるように共蒸着することで、形成した。活性層の厚さは、約60nmとなるように形成した。
比較デバイス2の第2のバッファ層は、酸化モリブデンを用いて、厚さが約60nmとなるように蒸着した。
比較デバイス2の第2の電極は、ITOをスパッタリング法により、厚さが約40nmとなるように形成した。
以上により、比較デバイス2を作製した。
[電流密度−電圧特性]
図36に、デバイス1及び比較デバイス2の電流密度−電圧特性を評価した結果を示す。図36において、縦軸は電圧(V)を表し、横軸は電流密度(A/cm)を表す。
本実施例の受光素子の受光領域は、2mm×2mmであった。
本実施例の受光素子に波長λ=550nmの光を12.5μW/cmで照射し、電流密度−電圧特性を測定した。なお、ここで印加した電圧は、通常、EL素子に印加するバイアスを正とした場合の値である。つまり、第1の電極側が高電位で第2の電極側が低電位である場合が、正である。
図36に示すように、電圧−2V以下の場合、デバイス1と比較デバイス2とで、光電流の値は同等であり、良好な値が得られていることがわかった。また、デバイス1は、比較デバイス2に比べて、暗電流(Dark)が低いことがわかった。
以上のように、本実施例では、発光素子と構造の共通化を図った構成の受光素子を用いて、良好な電流密度−電圧特性を得ることができた。
なお、先の実施例2に示すように、有機フォトダイオードOPDに本実施例のデバイス1の構成を適用して作製した本発明の一態様の表示装置において、撮像を良好に行えることが確認できた。
本実施例では、受光素子を作製し、特性を評価した結果について説明する。
本実施例では、受光素子として、デバイス3、デバイス4、デバイス5、及びデバイス6を作製した。デバイス1は、発光素子と構造の共通化を図った構成であり、発光素子の発光層を受光素子の活性層に置き換えて作製可能な積層構造を有する。
本実施例で用いるデバイスの具体的な構成について表2に示す。なお、本実施例のデバイスの構造は実施例3のデバイス1と同様であり、作製方法については実施例3を参照できる。また、本実施例で用いる材料の化学式を以下に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
表2に示すように、本実施例の4つのデバイスは、第1のバッファ層に用いる材料が互いに異なる。各デバイスにおいて、第1のバッファ層は、2つの層を有する。
デバイス3、デバイス4、及びデバイス5において、第1のバッファ層の1層目は、PCPPnと、酸化モリブデンとを、重量比がPCPPn:酸化モリブデン=2:1となるように共蒸着することで、形成した。1層目の厚さは、約15nmとなるように形成した。
デバイス3の第1のバッファ層の2層目は、PCPPnを用い、厚さが約40nmとなるように蒸着した。
デバイス4の第1のバッファ層の2層目は、4−フェニル−4’−(9−フェニルフルオレン−9−イル)トリフェニルアミン(略称:BPAFLP)を用い、厚さが約40nmとなるように蒸着した。
デバイス5の第1のバッファ層の2層目は、1,3,5−トリ(ジベンゾチオフェン−4−イル)ベンゼン(略称:DBT3P−II)を用い、厚さが約40nmとなるように蒸着した。
デバイス6の第1のバッファ層の1層目は、N,N−ビス(4−ビフェニル)−6−フェニルベンゾ[b]ナフト[1,2−d]フラン−8−アミン(略称:BBABnf)とALD−MP001Q(分析工房株式会社、材料シリアル番号:1S20180314)とを、重量比がBBABnf:ALD−MP001Q=10:1となるように共蒸着することで、形成した。1層目の厚さは約15nmとなるように形成した。ALD−MP001Qは、BBABnfに対して電子受容性を有する。
デバイス6の第1のバッファ層の2層目は、BBABnfを用い、厚さが約40nmとなるように蒸着した。
[電流密度−電圧特性]
図37A、図37Bに、デバイス3~デバイス6の電流密度−電圧特性を評価した結果を示す。図37A、図37Bにおいて、縦軸は電圧(V)を表し、横軸は電流密度(μA/cm)を表す。
本実施例の受光素子の受光領域は、2mm×2mmであった。
本実施例の受光素子に波長550nmの光を12.5μW/cmで照射し、電流密度−電圧特性を測定した。測定結果を図37Aに示す。なお、ここで印加した電圧は、通常、EL素子に印加するバイアスを正とした場合の値である。つまり、第1の電極側が高電位で第2の電極側が低電位である場合が、正である。
また、本実施例の受光素子に光を照射しない条件(0μW/cm)でも、電流密度−電圧特性を測定した。測定結果を図37Bに示す。
図37A、図37Bに示すように、第1のバッファ層の材料を変えることで、受光素子の駆動電圧に差が生じるものの、飽和電流には大きな変化がなかった。このことから、本実施例で作製した受光素子の発光効率は、第1のバッファ層の材料にほとんど影響されないことがわかった。
[外部量子効率の波長依存性]
図38A、図38Bに、デバイス3~デバイス6の外部量子効率の波長依存性を評価した結果を示す。図38A、図38Bにおいて、縦軸は外部量子効率(%)を表し、横軸は波長(nm)を表す。
本実施例の受光素子に、波長375nmから750nmまでの光を25nmおきに、12.5μW/cmで照射し、外部量子効率の波長依存性を求めた。図38Aは、電圧が−1Vのときの結果であり、図38Bは、電圧が−4Vのときの結果である。
図38A、図38Bに示すように、第1のバッファ層の材料を変えても、外部量子効率に大きな差はないことがわかった。
以上のように、本実施例の結果から、第1のバッファ層の材料によらず、良好な特性の受光素子を得ることができた。このことから、本発明の一態様の表示装置に用いる受光素子は、様々な発光素子と構造の共通化を図ることができ、かつ、良好な特性が得られることがわかった。
本実施例では、受光素子を作製し、特性を評価した結果について説明する。
本実施例で作製した受光素子は、発光素子と構造の共通化を図った構成であり、発光素子の発光層を受光素子の活性層に置き換えて作製可能な積層構造を有する。
本実施例で作製した受光素子は、実施例3で作製したデバイス1(表1参照)と同様の構成である。
本実施例の評価では、本実施例の受光素子に、波長375nmから750nmまでの光を25nmおきに、12.5μW/cmで照射し、外部量子効率の波長依存性を求めた。電圧は、−4Vとした。また、測定温度を、20℃から80℃までの10℃おきの7条件とし、外部量子効率の温度依存性を求めた。
図39に、受光素子の受光感度の波長依存性を示す。図40に、受光素子の受光感度の温度依存性を示す。なお、図39及び図40の縦軸は外部量子効率(EQE)を示す。
本実施例の結果から、本実施例の受光素子では、高温になるにつれて、緩やかに外部量子効率が上昇する傾向が確認された。本実施例の受光素子は、20℃から80℃までの間で、急激な効率の変化は確認されず、正常に動作することが確認された。
以上のように、本実施例では、発光素子(有機EL素子)と構造の共通化を図った構成の受光素子を作製し、広い温度で使用可能であることを確認することができた。
本実施例では、受光素子を作製し、特性を評価した結果について説明する。
本実施例で作製した受光素子は、発光素子と構造の共通化を図った構成であり、発光素子の発光層を受光素子の活性層に置き換えて作製可能な積層構造を有する。
本実施例で用いる受光素子の具体的な構成について表3に示す。実施例3~実施例5で作製した受光素子(表1、表2参照)は、いずれも、第2の電極側から光を受光する構成であったが、本実施例で作製した受光素子は、第1の電極側から光を受光する。
本実施例で作製した受光素子は、第1の電極が厚さ約70nmのインジウム錫酸化物(ITO)膜である点と、第2の電極が厚さ約150nmのアルミニウム(Al)膜である点で、主に、実施例3で作製したデバイス1(表1参照)と異なる。また、第1のバッファ層、活性層、第2のバッファ層には、デバイス1と同じ材料を用いたが、膜厚はデバイス1の条件とは異なる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
本実施例の評価では、本実施例の受光素子に、波長375nmから900nmまでの光を、12.5μW/cmで照射し、外部量子効率の波長依存性を求めた。なお、375nmから750nmまでは25nmおき、750nmから900nmまでは10nmおきに光を照射した。電圧は、−6Vから1Vまでの0.25Vおきとした。
図41に、受光素子の受光感度の波長依存性を示す。なお、図41の縦軸は外部量子効率(EQE)を示す。図42に、受光素子の電流密度−電圧特性を示す。
本実施例では、可視光センサ向けの材料を活性層に用いた。本実施例の結果から、可視光(450nm以上650nm以下)領域に受光感度を有することが確認された。本実施例の受光素子は、可視光センサとして、正常に動作することが確認された。
以上のように、本実施例では、発光素子(有機EL素子)と構造の共通化を図った、第1の電極側から光を受光する構成の受光素子を作製し、良好な特性を得ることができた。
本実施例では、受光素子を作製し、特性を評価した結果について説明する。
本実施例で作製した受光素子は、発光素子と構造の共通化を図った構成であり、発光素子の発光層を受光素子の活性層に置き換えて作製可能な積層構造を有する。
本実施例で用いる受光素子の具体的な構成について表4に示す。本実施例で作製した受光素子は、第1の電極側から光を受光する。本実施例で作製した受光素子は、一部の層の厚さが異なる点以外は、実施例6で作製した受光素子(表3参照)と同様の構成である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
本実施例では、作製した受光素子に光を照射しながら連続駆動試験を実施し、信頼性の照度依存性を評価した。連続駆動試験における光照射の条件(以下、ストレス照度ともいう)は20klx、40klx、100klxの3通りであり、電圧は−4V、温度は25℃、駆動時間は210hr、光源は白色LEDとした。なお、同一の条件で複数の素子について評価を行った。20klxは、11個(n=11)、40klxは、5個(n=5)、100klxは6個(n=6)の素子で評価を行った。
図43A~図43Cに、受光素子の規格化電流値−時間特性を示す。図43Aは、ストレス照度が20klxの場合の結果であり、図43Bは、ストレス照度が40klxの場合の結果であり、図43Cは、ストレス照度が100klxの場合の結果である。
また、図44に、電流値が5%劣化するまでの時間とストレス照度との関係を示す。
図43及び図44より、ストレス照度が増加することで、連続駆動時の電流減少が促進される傾向が確認された。
次に、連続駆動試験前後における受光素子の電流変化を確認した。図45に、連続駆動試験後の規格化電流値−測定照度特性を示す。連続駆動試験前の電流値を1として、ストレス照度が40klxの条件で連続駆動試験を実施した後の、規格化電流値を求めた。なお、同一の条件で5個(n=5)の素子について評価を行った。
図45に示すように、測定照度が高い領域においては、連続駆動試験前後の電流値の変化が大きいが、測定照度が低い領域(特に、1klx以下)においては、当該試験前後の電流値の変化が小さいことが確認された。つまり、本実施例の受光素子は、照度ストレスによる劣化が生じても、測定照度が低い領域における特性が、測定照度が高い領域における特性に比べて、変化しにくいことがわかった。本実施例の受光素子は、測定照度が低い領域において、良好な信頼性が得られているため、指紋を撮像する際など、測定時の照度が比較的低い用途において、好適に用いることができると示唆された。
C1:容量素子、C2:容量素子、G1:配線、G2:配線、L1:最短距離、L2:最短距離、L3:厚さ、L4:和、M1:トランジスタ、M2:トランジスタ、M3:トランジスタ、M4:トランジスタ、M5:トランジスタ、M6:トランジスタ、M7:トランジスタ、OUT1:配線、OUT2:配線、PD:受光素子、PIX1:画素回路、PIX2:画素回路、V0:配線、V1:配線、V2:配線、V3:配線、V4:配線、V5:配線、10A:表示装置、10B:表示装置、10C:表示装置、10D:表示装置、10E:表示装置、10F:表示装置、10G:表示装置、10H:表示装置、10J:表示装置、10K:表示装置、10L:表示装置、10M:表示装置、10N:表示装置、10P:表示装置、10Q:表示装置、21:発光、21B:光、21G:光、21R:光、22:光、23a:迷光、23b:迷光、23c:迷光、23d:迷光、30K:評価用デバイス、30N:評価用デバイス、30P:評価用デバイス、30Q:評価用デバイス、31:画素、41:トランジスタ、42:トランジスタ、42B:トランジスタ、42G:トランジスタ、42R:トランジスタ、43:駆動回路、44:駆動回路、50A:表示装置、50B:表示装置、51:基板、52:指、53:受光素子を有する層、55:トランジスタを有する層、57:発光素子を有する層、59:基板、100A:表示装置、100B:表示装置、100C:表示装置、110:受光素子、112:共通層、113:発光層、114:共通層、114a:共通層、114b:共通層、115:共通電極、116:保護層、116a:無機絶縁層、116b:有機絶縁層、116c:無機絶縁層、142:接着層、143:空間、146:レンズアレイ、149:レンズ、151:基板、152:基板、153:基板、154:基板、155:接着層、156:接着層、157:絶縁層、158:遮光層、159:樹脂層、159p:開口、160:空隙、162:表示部、164:回路、165:配線、166:導電層、167:導電層、168:導電層、169B:導電層、169G:導電層、169R:導電層、172:FPC、173:IC、181:画素電極、182:バッファ層、183:活性層、184:バッファ層、186:正孔輸送層、190:発光素子、190B:発光素子、190G:発光素子、190R:発光素子、191:画素電極、191B:画素電極、191G:画素電極、191R:画素電極、192:バッファ層、193:発光層、193B:発光層、193G:発光層、193R:発光層、194:バッファ層、196B:正孔輸送層、196G:正孔輸送層、196R:正孔輸送層、197:光学調整層、197B:光学調整層、197G:光学調整層、201:トランジスタ、202:トランジスタ、203:トランジスタ、204:接続部、205:トランジスタ、206:トランジスタ、207:トランジスタ、208:トランジスタ、209:トランジスタ、210:トランジスタ、211:絶縁層、212:絶縁層、213:絶縁層、214:絶縁層、214a:絶縁層、214b:絶縁層、215:絶縁層、216:隔壁、217:隔壁、219a:遮光層、219b:スペーサ、219c:側壁、220:間隙、221:導電層、222a:導電層、222b:導電層、223:導電層、225:絶縁層、228:領域、231:半導体層、230:領域、231i:チャネル形成領域、231n:低抵抗領域、242:接続層、6500:電子機器、6501:筐体、6502:表示部、6503:電源ボタン、6504:ボタン、6505:スピーカ、6506:マイク、6507:カメラ、6508:光源、6510:保護部材、6511:表示パネル、6512:光学部材、6513:タッチセンサパネル、6515:FPC、6516:IC、6517:プリント基板、6518:バッテリ、7000:表示部、7100:テレビジョン装置、7101:筐体、7103:スタンド、7111:リモコン操作機、7200:ノート型パーソナルコンピュータ、7211:筐体、7212:キーボード、7213:ポインティングデバイス、7214:外部接続ポート、7300:デジタルサイネージ、7301:筐体、7303:スピーカ、7311:情報端末機、7400:デジタルサイネージ、7401:柱、7411:情報端末機、9000:筐体、9001:表示部、9003:スピーカ、9005:操作キー、9006:接続端子、9007:センサ、9008:マイクロフォン、9050:アイコン、9051:情報、9052:情報、9053:情報、9054:情報、9055:ヒンジ、9101:携帯情報端末、9102:携帯情報端末、9200:携帯情報端末、9201:携帯情報端末

Claims (18)

  1.  第1の基板、第2の基板、受光素子、第1の発光素子、樹脂層、及び第1の遮光層を有し、
     前記受光素子、前記第1の発光素子、前記樹脂層、及び前記第1の遮光層は、それぞれ、前記第1の基板と前記第2の基板との間に位置し、
     前記受光素子は、前記第1の基板上の第1の画素電極、前記第1の画素電極上の活性層、及び、前記活性層上の共通電極を有し、
     前記第1の発光素子は、前記第1の基板上の第2の画素電極、前記第2の画素電極上の第1の発光層、及び、前記第1の発光層上の前記共通電極を有し、
     前記樹脂層及び前記第1の遮光層は、それぞれ、前記共通電極と前記第2の基板との間に位置し、
     前記樹脂層は、前記受光素子と重なる開口を有し、
     前記樹脂層は、前記第1の発光素子と重なる部分を有し、
     前記第1の遮光層は、前記共通電極と前記樹脂層との間に位置する部分を有する、表示装置。
  2.  請求項1において、
     前記第1の遮光層は、前記開口の少なくとも一部、及び、前記開口にて露出している前記樹脂層の側面の少なくとも一部を覆う、表示装置。
  3.  第1の基板、第2の基板、受光素子、第1の発光素子、樹脂層、及び第1の遮光層を有し、
     前記受光素子、前記第1の発光素子、前記樹脂層、及び前記第1の遮光層は、それぞれ、前記第1の基板と前記第2の基板との間に位置し、
     前記受光素子は、前記第1の基板上の第1の画素電極、前記第1の画素電極上の活性層、及び、前記活性層上の共通電極を有し、
     前記第1の発光素子は、前記第1の基板上の第2の画素電極、前記第2の画素電極上の第1の発光層、及び、前記第1の発光層上の前記共通電極を有し、
     前記樹脂層及び前記第1の遮光層は、それぞれ、前記共通電極と前記第2の基板との間に位置し、
     前記樹脂層は、島状に設けられ、かつ、前記第1の発光素子と重なる部分を有し、
     前記第1の遮光層は、前記共通電極と前記樹脂層との間に位置する部分を有し、
     前記第2の基板を通過した光の少なくとも一部は、前記樹脂層を介さずに、前記受光素子に入射する、表示装置。
  4.  請求項3において、
     前記第1の遮光層は、前記樹脂層の側面の少なくとも一部を覆う、表示装置。
  5.  請求項1乃至4のいずれか一において、
     さらに、接着層を有し、
     前記接着層は、前記共通電極と前記第2の基板との間に位置し、
     前記樹脂層及び前記第1の遮光層は、それぞれ、前記接着層と前記第2の基板との間に位置し、
     前記接着層は、前記受光素子と重なる第1の部分と、前記第1の発光素子と重なる第2の部分と、を有し、
     前記第1の部分は、前記第2の部分に比べて厚い、表示装置。
  6.  請求項1乃至5のいずれか一において、
     さらに、共通層を有し、
     前記共通層は、前記第1の画素電極と前記共通電極との間に位置する部分と、前記第2の画素電極と前記共通電極との間に位置する部分と、を有する、表示装置。
  7.  請求項1乃至6のいずれか一において、
     さらに、隔壁を有し、
     前記隔壁は、前記第1の画素電極の端部及び前記第2の画素電極の端部を覆い、
     前記隔壁は、前記第1の発光素子が発した光の少なくとも一部を吸収する機能を有する、表示装置。
  8.  請求項1乃至6のいずれか一において、
     さらに、隔壁及び第2の遮光層を有し、
     前記隔壁は、前記第1の画素電極の端部及び前記第2の画素電極の端部を覆い、
     前記第2の遮光層は、前記隔壁と前記第1の遮光層との間に位置する部分を有し、かつ、前記第1の発光素子が発した光の少なくとも一部を吸収する機能を有する、表示装置。
  9.  請求項8において、
     上面視において、前記隔壁は、前記受光素子と前記第1の発光素子との間に開口を有し、
     前記第2の遮光層は、前記隔壁の開口を覆う、表示装置。
  10.  請求項8または9において、
     上面視において、前記受光素子は、前記第2の遮光層によって囲まれている、表示装置。
  11.  請求項1乃至10のいずれか一において、
     さらに、第2の発光素子を有し、
     前記第2の発光素子は、前記第1の基板と前記第2の基板との間に位置し、
     前記第2の発光素子は、前記第1の基板上の第3の画素電極、前記第3の画素電極上の第2の発光層、及び、前記第2の発光層上の前記共通電極を有し、
     前記第1の発光素子は、前記第1の発光層が発する光を射出し、
     前記第2の発光素子は、前記第2の発光層が発する光を射出する、表示装置。
  12.  請求項1乃至10のいずれか一において、
     さらに、第2の発光素子、第1の着色層、及び第2の着色層を有し、
     前記第2の発光素子は、前記第1の基板と前記第2の基板との間に位置し、
     前記第2の発光素子は、前記第1の基板上の第3の画素電極、前記第3の画素電極上の前記第1の発光層、及び、前記第1の発光層上の前記共通電極を有し、
     前記第1の着色層及び前記第2の着色層は、それぞれ、前記共通電極と前記第2の基板との間に位置し、
     前記第1の発光素子が射出する光は、前記第1の着色層を介して、第1の色の光として取り出され、
     前記第2の発光素子が射出する光は、前記第2の着色層を介して、第2の色の光として取り出される、表示装置。
  13.  請求項1乃至6のいずれか一において、
     さらに、第2の発光素子、隔壁、第2の遮光層、及びスペーサを有し、
     前記第2の発光素子は、前記第1の基板と前記第2の基板との間に位置し、
     前記第2の発光素子は、前記第1の基板上の第3の画素電極、及び、前記第3の画素電極上の前記共通電極を有し、
     前記隔壁は、前記第1の画素電極の端部、前記第2の画素電極の端部、及び前記第3の画素電極の端部を覆い、
     前記第2の遮光層は、前記隔壁と前記第1の遮光層との間に位置する部分を有し、かつ、前記第1の発光素子が発した光の少なくとも一部を吸収する機能を有し、
     前記スペーサは、前記隔壁と前記第1の遮光層との間に位置する部分を有し、
     上面視において、前記第2の遮光層は、前記受光素子と前記第1の発光素子との間に位置し、かつ、前記スペーサは、前記第1の発光素子と前記第2の発光素子との間に位置し、
     前記スペーサの上面は、前記第2の遮光層の上面よりも、前記第2の基板に近い、表示装置。
  14.  請求項1乃至13のいずれか一において、
     前記活性層は、有機化合物を有する、表示装置。
  15.  請求項1乃至14のいずれか一において、
     さらに、レンズを有し、
     前記レンズは、前記受光素子と重なる部分を有する、表示装置。
  16.  請求項1乃至15のいずれか一において、
     表示部を有し、
     前記表示部は、前記第1の基板、前記第2の基板、前記受光素子、前記第1の発光素子、前記樹脂層、及び前記第1の遮光層を有し、
     前記表示部は、可撓性を有する、表示装置。
  17.  請求項1乃至16のいずれか一に記載の表示装置と、コネクタまたは集積回路と、を有する、表示モジュール。
  18.  請求項17に記載の表示モジュールと、
     アンテナ、バッテリ、筐体、カメラ、スピーカ、マイク、及び操作ボタンのうち、少なくとも一つと、を有する、電子機器。
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Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022053904A1 (ja) * 2020-09-11 2022-03-17 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
US20230028839A1 (en) * 2021-07-13 2023-01-26 Japan Display Inc. Detection device
EP4185090A1 (en) * 2021-11-19 2023-05-24 Samsung Display Co., Ltd. Display device
EP4227914A1 (en) * 2022-02-11 2023-08-16 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US11929032B2 (en) 2021-11-17 2024-03-12 Samsung Display Co., Ltd. Display device
WO2024154195A1 (ja) * 2023-01-16 2024-07-25 シャープディスプレイテクノロジー株式会社 発光装置および表示装置
US12106601B2 (en) 2022-05-09 2024-10-01 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US12213357B2 (en) 2021-09-29 2025-01-28 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US12213367B2 (en) 2022-04-28 2025-01-28 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US12217707B2 (en) 2022-05-17 2025-02-04 Samsung Display Co., Ltd. Display device
WO2025109913A1 (ja) * 2023-11-20 2025-05-30 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 半導体装置および電子機器
US12361747B2 (en) 2022-04-06 2025-07-15 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US12382776B2 (en) 2022-04-01 2025-08-05 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US12433093B2 (en) 2021-10-18 2025-09-30 Samsung Display Co., Ltd. Display device including a photo sensor
US12531028B2 (en) 2022-09-16 2026-01-20 Samsung Display Co., Ltd. Display panel having improved light emission efficiency
US12559498B2 (en) 2022-08-19 2026-02-24 Samsung Display Co., Ltd. Organic compound, light absorption sensor, sensor-embedded display panel, and electronic device
US12581853B2 (en) 2021-09-30 2026-03-17 Samsung Display Co., Ltd. Organic compound and sensor and sensor embedded display panel and electronic device
US12588390B2 (en) 2022-04-05 2026-03-24 Samsung Display Co., Ltd. Display device including alternating pixels and optical sensors
US12598891B2 (en) 2022-04-04 2026-04-07 Samsung Display Co., Ltd. Display device and method of manufacturing display device

Families Citing this family (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110471572B (zh) * 2019-06-10 2021-09-10 惠科股份有限公司 一种显示装置和触控器
KR20240134240A (ko) 2019-06-26 2024-09-06 오티아이 루미오닉스 인크. 광 회절 특성을 갖는 광 투과 영역을 포함하는 광전자 디바이스
US11832473B2 (en) 2019-06-26 2023-11-28 Oti Lumionics Inc. Optoelectronic device including light transmissive regions, with light diffraction characteristics
JP7441838B2 (ja) * 2019-06-28 2024-03-01 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置
US11659758B2 (en) 2019-07-05 2023-05-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display unit, display module, and electronic device
JP7524184B2 (ja) 2019-07-05 2024-07-29 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置
KR102876639B1 (ko) 2019-08-02 2025-10-28 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 기능 패널, 표시 장치, 입출력 장치, 정보 처리 장치
KR102818817B1 (ko) 2019-08-09 2025-06-11 오티아이 루미오닉스 인크. 보조 전극 및 파티션을 포함하는 광전자 디바이스
US11380129B2 (en) 2019-09-04 2022-07-05 Beijing Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. Texture recognition device and display device
KR20220063195A (ko) * 2019-09-13 2022-05-17 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 촬상 장치, 촬상 모듈, 전자 기기, 및 촬상 방법
CN114430833A (zh) * 2019-09-27 2022-05-03 株式会社半导体能源研究所 电子设备及程序
CN114981806A (zh) 2020-01-10 2022-08-30 株式会社半导体能源研究所 电子设备及程序
CN111312788B (zh) * 2020-02-28 2023-04-18 京东方科技集团股份有限公司 显示面板和显示装置
CN113901857B (zh) * 2020-06-22 2025-03-18 京东方科技集团股份有限公司 纹路识别装置以及电子装置
US12113279B2 (en) 2020-09-22 2024-10-08 Oti Lumionics Inc. Device incorporating an IR signal transmissive region
CN114625264B (zh) * 2020-11-27 2024-08-09 京东方科技集团股份有限公司 显示装置
US11985841B2 (en) 2020-12-07 2024-05-14 Oti Lumionics Inc. Patterning a conductive deposited layer using a nucleation inhibiting coating and an underlying metallic coating
JPWO2022175789A1 (ja) 2021-02-19 2022-08-25
TWI765580B (zh) * 2021-02-23 2022-05-21 佳世達科技股份有限公司 影像顯示裝置
CN113065445B (zh) * 2021-03-26 2023-04-18 深圳市汇顶科技股份有限公司 指纹识别装置和电子设备
JP2022150746A (ja) * 2021-03-26 2022-10-07 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 半導体チップおよびその製造方法、半導体装置およびその製造方法、並びに電子機器
TWI768808B (zh) 2021-04-01 2022-06-21 友達光電股份有限公司 遮光元件基板以及顯示裝置
US11815689B2 (en) 2021-04-30 2023-11-14 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Electronic device
WO2022234383A1 (ja) 2021-05-07 2022-11-10 株式会社半導体エネルギー研究所 電子機器
US11699391B2 (en) 2021-05-13 2023-07-11 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device, display apparatus, and electronic device
US20240215372A1 (en) * 2021-06-22 2024-06-27 Beijing Boe Display Technology Co., Ltd. Display panels and display apparatuses
KR20230037742A (ko) * 2021-09-09 2023-03-17 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
CN118043875A (zh) * 2021-10-14 2024-05-14 株式会社日本显示器 显示装置
CN116349164A (zh) * 2021-10-26 2023-06-27 京东方科技集团股份有限公司 显示基板、显示装置与可见光通信系统
CN116259079A (zh) * 2021-12-09 2023-06-13 群创光电股份有限公司 电子装置
US12598869B2 (en) 2022-03-25 2026-04-07 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Imaging device, display apparatus, and method for manufacturing display apparatus
TWI815568B (zh) * 2022-04-28 2023-09-11 友達光電股份有限公司 感測裝置
CN114914285A (zh) * 2022-05-23 2022-08-16 Oppo广东移动通信有限公司 显示模组和电子装置
CN115000109B (zh) * 2022-06-08 2025-03-14 京东方科技集团股份有限公司 射线探测器及射线探测设备
US20240147824A1 (en) * 2022-10-11 2024-05-02 Samsung Display Co., Ltd. Electronic apparatus including organic photodiode and organic light-emitting device
CN115831999A (zh) * 2022-11-28 2023-03-21 上海天马微电子有限公司 一种显示面板及显示装置
US20240188330A1 (en) * 2022-12-01 2024-06-06 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device, display apparatus, and driving method of semiconductor device
CN116156947B (zh) * 2022-12-28 2025-11-21 武汉天马微电子有限公司 显示面板及其制作方法和显示装置
JP2024101303A (ja) * 2023-01-17 2024-07-29 キヤノン株式会社 発光素子
CN116528611A (zh) * 2023-02-17 2023-08-01 冠捷电子科技(福建)有限公司 基于3d光反射腔的透明oled显示微单元及制备方法
CN116322211B (zh) * 2023-03-30 2026-03-06 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板及其制作方法、显示装置
TWI850141B (zh) * 2023-11-02 2024-07-21 友達光電股份有限公司 透明顯示裝置
TWI860209B (zh) * 2023-12-14 2024-10-21 友達光電股份有限公司 顯示裝置
TWI863768B (zh) * 2023-12-21 2024-11-21 友達光電股份有限公司 顯示裝置
TWI874124B (zh) * 2024-02-01 2025-02-21 友達光電股份有限公司 顯示裝置及其製造方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010153834A (ja) * 2008-11-28 2010-07-08 Semiconductor Energy Lab Co Ltd フォトセンサ及び表示装置
JP2017208173A (ja) * 2016-05-16 2017-11-24 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
CN108962951A (zh) * 2018-05-09 2018-12-07 友达光电股份有限公司 显示装置与包含其的电子装置
US20190013368A1 (en) * 2017-07-04 2019-01-10 Samsung Electronics Co., Ltd. Near-infrared light organic sensors, embedded organic light emitting diode panels, and display devices including the same

Family Cites Families (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003330383A (ja) 2002-05-17 2003-11-19 Sony Corp 有機el表示装置
JP4227770B2 (ja) 2002-07-10 2009-02-18 シャープ株式会社 表示装置およびそれを備えた画像読み取り/表示システム
JP4373063B2 (ja) 2002-09-02 2009-11-25 株式会社半導体エネルギー研究所 電子回路装置
TWI341948B (en) * 2005-05-20 2011-05-11 Epson Imaging Devices Corp Display device
US7429753B2 (en) * 2005-05-20 2008-09-30 Sanyo Electric Co., Ltd. Display device
JP2008262176A (ja) 2007-03-16 2008-10-30 Hitachi Displays Ltd 有機el表示装置
GB2453172B (en) 2007-09-28 2010-05-05 Cambridge Display Tech Ltd Optoelectronic devices
US20090141004A1 (en) 2007-12-03 2009-06-04 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and method for manufacturing the same
EP2151811A3 (en) 2008-08-08 2010-07-21 Semiconductor Energy Laboratory Co, Ltd. Display device and electronic device
KR20100038046A (ko) 2008-10-02 2010-04-12 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 터치 패널 및 터치 패널의 구동방법
US8941617B2 (en) 2008-11-07 2015-01-27 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Image input-output device with color layer between photodetector and display elements to improve the accuracy of reading images in color
WO2010074011A1 (en) 2008-12-24 2010-07-01 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Touch panel, display device, and electronic device
JP5100670B2 (ja) 2009-01-21 2012-12-19 株式会社半導体エネルギー研究所 タッチパネル、電子機器
JP5202395B2 (ja) 2009-03-09 2013-06-05 株式会社半導体エネルギー研究所 タッチパネル、電子機器
TWI496042B (zh) 2009-07-02 2015-08-11 Semiconductor Energy Lab 觸控面板及其驅動方法
KR101074799B1 (ko) 2009-08-18 2011-10-19 삼성모바일디스플레이주식회사 터치 스크린 디스플레이 장치, 및 이의 제조 방법
TWI498786B (zh) 2009-08-24 2015-09-01 Semiconductor Energy Lab 觸控感應器及其驅動方法與顯示裝置
KR101751902B1 (ko) 2009-10-26 2017-06-28 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 표시 장치 및 반도체 장치
WO2011074394A1 (en) 2009-12-18 2011-06-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device including optical sensor and driving method thereof
JP6081694B2 (ja) 2010-10-07 2017-02-15 株式会社半導体エネルギー研究所 光検出装置
JP5848586B2 (ja) 2010-11-12 2016-01-27 株式会社半導体エネルギー研究所 入出力装置
JP5558446B2 (ja) 2011-09-26 2014-07-23 株式会社東芝 光電変換装置及びその製造方法
KR102079188B1 (ko) 2012-05-09 2020-02-19 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 발광 장치 및 전자 기기
US9626889B2 (en) 2012-09-24 2017-04-18 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method and program for driving information processing device
US9817520B2 (en) 2013-05-20 2017-11-14 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Imaging panel and imaging device
JP2015191978A (ja) 2014-03-27 2015-11-02 セイコーエプソン株式会社 発光装置および電子機器
JP6553406B2 (ja) 2014-05-29 2019-07-31 株式会社半導体エネルギー研究所 プログラム、及び情報処理装置
CN105390502B (zh) * 2014-08-29 2019-07-12 乐金显示有限公司 显示装置
JP2016072250A (ja) 2014-09-30 2016-05-09 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置、電子機器、及び照明装置
JP2016112279A (ja) 2014-12-17 2016-06-23 セイコーエプソン株式会社 画像取得装置、生体情報取得装置、電子機器
US10978489B2 (en) 2015-07-24 2021-04-13 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device, display panel, method for manufacturing semiconductor device, method for manufacturing display panel, and information processing device
US10585506B2 (en) 2015-07-30 2020-03-10 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device with high visibility regardless of illuminance of external light
WO2017055971A1 (en) 2015-10-01 2017-04-06 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and manufacturing method thereof
KR102448611B1 (ko) * 2015-10-30 2022-09-27 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
JP2017142797A (ja) 2016-02-11 2017-08-17 株式会社半導体エネルギー研究所 情報処理装置
JP6901829B2 (ja) * 2016-04-04 2021-07-14 株式会社ジャパンディスプレイ フォトセンサ及びフォトセンサを有する表示装置
US10431164B2 (en) 2016-06-16 2019-10-01 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device, display module, and electronic device
TWI704671B (zh) 2016-06-24 2020-09-11 日商半導體能源研究所股份有限公司 顯示裝置以及其驅動方法
JP6907051B2 (ja) 2016-07-08 2021-07-21 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置
JP2018037356A (ja) 2016-09-01 2018-03-08 セイコーエプソン株式会社 発光装置、検出装置および発光装置の製造方法
US10529780B2 (en) 2017-02-28 2020-01-07 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device, display module, and electronic device
TWI840337B (zh) 2017-11-30 2024-05-01 日商半導體能源研究所股份有限公司 顯示面板、顯示裝置、顯示模組、電子裝置及顯示面板的製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010153834A (ja) * 2008-11-28 2010-07-08 Semiconductor Energy Lab Co Ltd フォトセンサ及び表示装置
JP2017208173A (ja) * 2016-05-16 2017-11-24 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
US20190013368A1 (en) * 2017-07-04 2019-01-10 Samsung Electronics Co., Ltd. Near-infrared light organic sensors, embedded organic light emitting diode panels, and display devices including the same
CN108962951A (zh) * 2018-05-09 2018-12-07 友达光电股份有限公司 显示装置与包含其的电子装置

Cited By (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7705871B2 (ja) 2020-09-11 2025-07-10 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
JPWO2022053904A1 (ja) * 2020-09-11 2022-03-17
WO2022053904A1 (ja) * 2020-09-11 2022-03-17 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
US20230028839A1 (en) * 2021-07-13 2023-01-26 Japan Display Inc. Detection device
US12446391B2 (en) * 2021-07-13 2025-10-14 Magnolia White Corporation Detection device
US12213357B2 (en) 2021-09-29 2025-01-28 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US12581853B2 (en) 2021-09-30 2026-03-17 Samsung Display Co., Ltd. Organic compound and sensor and sensor embedded display panel and electronic device
US12433093B2 (en) 2021-10-18 2025-09-30 Samsung Display Co., Ltd. Display device including a photo sensor
US11929032B2 (en) 2021-11-17 2024-03-12 Samsung Display Co., Ltd. Display device
EP4185090A1 (en) * 2021-11-19 2023-05-24 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US12022711B2 (en) 2021-11-19 2024-06-25 Samsung Display Co., Ltd. Display device
EP4227914A1 (en) * 2022-02-11 2023-08-16 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US12382776B2 (en) 2022-04-01 2025-08-05 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US12598891B2 (en) 2022-04-04 2026-04-07 Samsung Display Co., Ltd. Display device and method of manufacturing display device
US12588390B2 (en) 2022-04-05 2026-03-24 Samsung Display Co., Ltd. Display device including alternating pixels and optical sensors
US12361747B2 (en) 2022-04-06 2025-07-15 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US12213367B2 (en) 2022-04-28 2025-01-28 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US12106601B2 (en) 2022-05-09 2024-10-01 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US12620356B2 (en) 2022-05-09 2026-05-05 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US12217707B2 (en) 2022-05-17 2025-02-04 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US12559498B2 (en) 2022-08-19 2026-02-24 Samsung Display Co., Ltd. Organic compound, light absorption sensor, sensor-embedded display panel, and electronic device
US12531028B2 (en) 2022-09-16 2026-01-20 Samsung Display Co., Ltd. Display panel having improved light emission efficiency
WO2024154195A1 (ja) * 2023-01-16 2024-07-25 シャープディスプレイテクノロジー株式会社 発光装置および表示装置
WO2025109913A1 (ja) * 2023-11-20 2025-05-30 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 半導体装置および電子機器

Also Published As

Publication number Publication date
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