JP7381508B2 - 表示装置 - Google Patents

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Description

本発明の一態様は、表示装置、表示モジュール、及び電子機器に関する。本発明の一態様は、受光素子と発光素子とを有する表示装置に関する。
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、電子機器、照明装置、入力装置(例えば、タッチセンサなど)、入出力装置(例えば、タッチパネルなど)、それらの駆動方法、又はそれらの製造方法を一例として挙げることができる。
近年、表示装置は様々な用途への応用が期待されている。例えば、大型の表示装置の用途としては、家庭用のテレビジョン装置(テレビまたはテレビジョン受信機ともいう)、デジタルサイネージ(Digital Signage:電子看板)、PID(Public Information Display)等が挙げられる。また、携帯情報端末として、タッチパネルを備えるスマートフォンやタブレット端末の開発が進められている。
表示装置としては、例えば、発光素子を有する発光装置が開発されている。エレクトロルミネッセンス(Electroluminescence、以下ELと記す)現象を利用した発光素子(EL素子とも記す)は、薄型軽量化が容易である、入力信号に対し高速に応答可能である、直流低電圧電源を用いて駆動可能である等の特徴を有し、表示装置に応用されている。例えば、特許文献1に、有機EL素子が適用された、可撓性を有する発光装置が開示されている。
特開2014-197522号公報
本発明の一態様は、光検出機能を有する表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、利便性の高い表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、多機能の表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、表示品位の高い表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、光検出の感度の高い表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、新規な表示装置を提供することを課題の一とする。
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は、必ずしも、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。明細書、図面、請求項の記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
本発明の一態様は、第1の基板、第2の基板、受光素子、第1の発光素子、樹脂層、及び第1の遮光層を有する表示装置である。受光素子、第1の発光素子、樹脂層、及び第1の遮光層は、それぞれ、第1の基板と第2の基板との間に位置する。受光素子は、第1の基板上の第1の画素電極、第1の画素電極上の活性層、及び、活性層上の共通電極を有する。第1の発光素子は、第1の基板上の第2の画素電極、第2の画素電極上の第1の発光層、及び、第1の発光層上の共通電極を有する。樹脂層及び第1の遮光層は、それぞれ、共通電極と第2の基板との間に位置する。樹脂層は、受光素子と重なる開口を有する。樹脂層は、第1の発光素子と重なる部分を有する。第1の遮光層は、共通電極と樹脂層との間に位置する部分を有する。第1の遮光層は、開口の少なくとも一部、及び、開口にて露出している樹脂層の側面の少なくとも一部を覆うことが好ましい。
本発明の一態様は、第1の基板、第2の基板、受光素子、第1の発光素子、樹脂層、及び第1の遮光層を有する表示装置である。受光素子、第1の発光素子、樹脂層、及び第1の遮光層は、それぞれ、第1の基板と第2の基板との間に位置する。受光素子は、第1の基板上の第1の画素電極、第1の画素電極上の活性層、及び、活性層上の共通電極を有する。第1の発光素子は、第1の基板上の第2の画素電極、第2の画素電極上の第1の発光層、及び、第1の発光層上の共通電極を有する。樹脂層及び第1の遮光層は、それぞれ、共通電極と第2の基板との間に位置する。樹脂層は、島状に設けられ、かつ、第1の発光素子と重なる部分を有する。第1の遮光層は、共通電極と樹脂層との間に位置する部分を有する。第2の基板を通過した光の少なくとも一部は、樹脂層を介さずに、受光素子に入射する。第1の遮光層は、樹脂層の側面の少なくとも一部を覆うことが好ましい。
本発明の一態様の表示装置は、さらに、接着層を有することが好ましい。接着層は、共通電極と第2の基板との間に位置することが好ましい。樹脂層及び第1の遮光層は、それぞれ、接着層と第2の基板との間に位置することが好ましい。接着層は、受光素子と重なる第1の部分と、第1の発光素子と重なる第2の部分と、を有することが好ましい。第1の部分は、第2の部分に比べて厚いことが好ましい。
本発明の一態様の表示装置は、さらに、共通層を有することが好ましい。共通層は、第1の画素電極と共通電極との間に位置する部分と、第2の画素電極と共通電極との間に位置する部分と、を有することが好ましい。
本発明の一態様の表示装置は、さらに、隔壁を有することが好ましい。隔壁は、第1の画素電極の端部及び第2の画素電極の端部を覆うことが好ましい。隔壁は、第1の発光素子が発した光の少なくとも一部を吸収する機能を有することが好ましい。または、本発明の一態様の表示装置は、さらに、隔壁及び第2の遮光層を有することが好ましい。隔壁は、第1の画素電極の端部及び第2の画素電極の端部を覆うことが好ましい。第2の遮光層は、隔壁と第1の遮光層との間に位置する部分を有し、かつ、第1の発光素子が発した光の少なくとも一部を吸収する機能を有することが好ましい。上面視において、隔壁は、受光素子と第1の発光素子との間に開口を有することが好ましい。第2の遮光層は、隔壁の開口を覆うことが好ましい。上面視において、受光素子は、第2の遮光層によって囲まれていることが好ましい。
本発明の一態様の表示装置は、さらに、第2の発光素子を有することが好ましい。第2の発光素子は、第1の基板と第2の基板との間に位置することが好ましい。第2の発光素子は、第1の基板上の第3の画素電極、第3の画素電極上の第2の発光層、及び、第2の発光層上の共通電極を有することが好ましい。第1の発光素子は、第1の発光層が発する光を射出することが好ましい。第2の発光素子は、第2の発光層が発する光を射出することが好ましい。
または、本発明の一態様の表示装置は、さらに、第2の発光素子、第1の着色層、及び第2の着色層を有することが好ましい。第2の発光素子は、第1の基板と第2の基板との間に位置することが好ましい。第2の発光素子は、第1の基板上の第3の画素電極、第3の画素電極上の第1の発光層、及び、第1の発光層上の共通電極を有することが好ましい。第1の着色層及び第2の着色層は、それぞれ、共通電極と第2の基板との間に位置することが好ましい。第1の発光素子が射出する光は、第1の着色層を介して、第1の色の光として取り出されることが好ましい。第2の発光素子が射出する光は、第2の着色層を介して、第2の色の光として取り出されることが好ましい。
または、本発明の一態様の表示装置は、さらに、第2の発光素子、隔壁、第2の遮光層、及びスペーサを有することが好ましい。第2の発光素子は、第1の基板と第2の基板との間に位置することが好ましい。第2の発光素子は、第1の基板上の第3の画素電極、及び、第3の画素電極上の共通電極を有することが好ましい。隔壁は、第1の画素電極の端部、第2の画素電極の端部、及び第3の画素電極の端部を覆うことが好ましい。第2の遮光層は、隔壁と第1の遮光層との間に位置する部分を有し、かつ、第1の発光素子が発した光の少なくとも一部を吸収する機能を有することが好ましい。スペーサは、隔壁と第1の遮光層との間に位置する部分を有することが好ましい。上面視において、第2の遮光層は、受光素子と第1の発光素子との間に位置し、かつ、スペーサは、第1の発光素子と第2の発光素子との間に位置することが好ましい。スペーサの上面は、第2の遮光層の上面よりも、第2の基板に近いことが好ましい。
活性層は、有機化合物を有することが好ましい。
本発明の一態様の表示装置は、さらに、レンズを有することが好ましい。レンズは、受光素子と重なる部分を有することが好ましい。
本発明の一態様の表示装置は、表示部に、第1の基板、第2の基板、受光素子、第1の発光素子、樹脂層、及び第1の遮光層を有することが好ましい。表示部は、可撓性を有することが好ましい。
本発明の一態様は、上記いずれかの構成の表示装置を有し、フレキシブルプリント回路基板(Flexible Printed Circuit、以下、FPCと記す)もしくはTCP(Tape Carrier Package)等のコネクタが取り付けられたモジュール、またはCOG(Chip On Glass)方式もしくはCOF(Chip On Film)方式等により集積回路(IC)が実装されたモジュール等のモジュールである。
本発明の一態様は、上記のモジュールと、アンテナ、バッテリ、筐体、カメラ、スピーカ、マイク、及び操作ボタンのうち少なくとも一つと、を有する電子機器である。
本発明の一態様により、光検出機能を有する表示装置を提供できる。本発明の一態様により、利便性の高い表示装置を提供できる。本発明の一態様により、多機能の表示装置を提供できる。本発明の一態様により、表示品位の高い表示装置を提供できる。本発明の一態様により、光検出の感度の高い表示装置を提供できる。本発明の一態様により、新規な表示装置を提供できる。
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。明細書、図面、請求項の記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
図1A~図1Dは、表示装置の一例を示す断面図である。図1E~図1Iは、画素の一例を示す上面図である。
図2Aは、表示装置の一例を示す断面図である。図2B、図2Cは、樹脂層の上面レイアウトの一例を示す図である。
図3A、図3Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図4A~図4Cは、表示装置の一例を示す断面図である。
図5A~図5Cは、表示装置の一例を示す断面図である。
図6Aは、表示装置の一例を示す上面図である。図6Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図7A、図7Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図8Aは、表示装置の一例を示す上面図である。図8Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図9Aは、表示装置の一例を示す上面図である。図9Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図10A、図10Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図11A、図11Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図12は、表示装置の一例を示す斜視図である。
図13は、表示装置の一例を示す断面図である。
図14A、図14Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図15は、表示装置の一例を示す断面図である。
図16Aは、表示装置の一例を示す断面図である。図16Bは、トランジスタの一例を示す断面図である。
図17A、図17Bは、画素回路の一例を示す回路図である。
図18Aは、画素の一例を示すブロック図である。図18Bは、画素回路の一例を示す回路図である。
図19A、図19Bは、電子機器の一例を示す図である。
図20A~図20Dは、電子機器の一例を示す図である。
図21A~図21Fは、電子機器の一例を示す図である。
図22は、実施例1の評価用デバイスの上面写真である。
図23A、図23Bは、実施例1の評価用デバイスの断面観察写真である。
図24は、実施例1の表示装置の表示結果を示す写真である。
図25A、図25Bは、実施例1の評価用デバイスの断面観察写真である。
図26は、実施例2の表示装置の画素を構成するデバイス構造を示す図である。
図27A、図27Bは、実施例2の表示装置の表示結果を示す写真である。
図28は、実施例2の表示装置の迷光の検出結果を示すグラフである。
図29は、実施例2の表示装置の迷光の検出結果を示すグラフである。
図30は、実施例2の表示装置の撮像光学系を示す図である。
図31は、実施例2の表示装置の撮像範囲の計算結果を示すグラフである。
図32A、図32Bは、実施例2の表示装置の撮像結果を示す写真である。
図33は、実施例2の表示装置の撮像結果を示すグラフである。
図34Aは、実施例2の表示装置を用いた撮像の様子を示す写真である。図34Bは、実施例2の表示装置の撮像結果を示す写真である。
図35Aは、実施例2の表示装置を用いた撮像の様子を示す写真である。図35Bは、実施例2の表示装置の撮像結果を示す写真である。
図36は、実施例3のデバイスの電流密度-電圧特性を示すグラフである。
図37A、図37Bは、実施例4のデバイスの電流密度-電圧特性を示すグラフである。
図38A、図38Bは、実施例4のデバイスの外部量子効率の波長依存性を示すグラフである。
図39は、実施例5のデバイスの外部量子効率の波長依存性を示すグラフである。
図40は、実施例5のデバイスの外部量子効率の温度依存性を示すグラフである。
図41は、実施例6のデバイスの外部量子効率の波長依存性を示すグラフである。
図42は、実施例6のデバイスの電流密度-電圧特性を示すグラフである。
図43A~図43Cは、実施例7のデバイスの信頼性試験の結果を示すグラフである。
図44は、実施例7のデバイスの信頼性試験の結果を示すグラフである。
図45は、実施例7のデバイスの信頼性試験の結果を示すグラフである。
実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
なお、以下に説明する発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の機能を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
また、図面において示す各構成の、位置、大きさ、範囲などは、理解の簡単のため、実際の位置、大きさ、範囲などを表していない場合がある。このため、開示する発明は、必ずしも、図面に開示された位置、大きさ、範囲などに限定されない。
なお、「膜」という言葉と、「層」という言葉とは、場合によっては、又は、状況に応じて、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を、「導電膜」という用語に変更することが可能である。または、例えば、「絶縁膜」という用語を、「絶縁層」という用語に変更することが可能である。
なお、本明細書等において、「発光素子」という用語は、「発光デバイス」という用語に変更することが可能である。同様に、「受光素子」という用語は、「受光デバイス」という用語に変更することが可能である。
(実施の形態1)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置について図1~図16を用いて説明する。
本実施の形態の表示装置は、表示部に、受光素子と発光素子とを有する。本実施の形態の表示装置は、表示部に、発光素子がマトリクス状に配置されており、当該表示部で画像を表示することができる。また、当該表示部には、受光素子がマトリクス状に配置されており、表示部は、受光部としての機能も有する。受光部は、イメージセンサやタッチセンサに用いることができる。つまり、受光部で光を検出することで、画像を撮像することや、対象物(指やペンなど)の近接もしくは接触を検出することができる。さらに、本実施の形態の表示装置は、発光素子をセンサの光源として利用することができる。したがって、表示装置と別に受光部及び光源を設けなくてよく、電子機器の部品点数を削減することができる。
本実施の形態の表示装置では、表示部が有する発光素子の発光を対象物が反射した際、受光素子がその反射光を検出できるため、暗い場所でも、撮像やタッチ(さらには近接)検出が可能である。
本実施の形態の表示装置は、発光素子を用いて、画像を表示する機能を有する。つまり、発光素子は、表示素子として機能する。
発光素子としては、OLED(Organic Light Emitting Diode)やQLED(Quantum-dot Light Emitting Diode)などのEL素子を用いることが好ましい。EL素子が有する発光物質としては、蛍光を発する物質(蛍光材料)、燐光を発する物質(燐光材料)、無機化合物(量子ドット材料など)、熱活性化遅延蛍光を示す物質(熱活性化遅延蛍光(Thermally Activated Delayed Fluorescence:TADF)材料)などが挙げられる。また、発光素子として、マイクロLED(Light Emitting Diode)などのLEDを用いることもできる。
本実施の形態の表示装置は、受光素子を用いて、光を検出する機能を有する。
受光素子をイメージセンサに用いる場合、本実施の形態の表示装置は、受光素子を用いて、画像を撮像することができる。
例えば、イメージセンサを用いて、指紋、掌紋、または虹彩などのデータを取得することができる。つまり、本実施の形態の表示装置に、生体認証用センサを内蔵させることができる。表示装置が生体認証用センサを内蔵することで、表示装置とは別に生体認証用センサを設ける場合に比べて、電子機器の部品点数を少なくでき、電子機器の小型化及び軽量化が可能である。
また、イメージセンサを用いて、ユーザーの表情、目の動き、または瞳孔径の変化などのデータを取得することができる。当該データを解析することで、ユーザーの心身の情報を取得することができる。当該情報をもとに表示及び音声の一方又は双方の出力内容を変化させることで、例えば、VR(Virtual Reality)向け機器、AR(Augmented Reality)向け機器、またはMR(Mixed Reality)向け機器において、ユーザーが機器を安全に使用できるよう図ることができる。
また、受光素子をタッチセンサに用いる場合、本実施の形態の表示装置は、受光素子を用いて、対象物の近接または接触を検出することができる。
受光素子としては、例えば、pn型またはpin型のフォトダイオードを用いることができる。受光素子は、受光素子に入射する光を検出し電荷を発生させる光電変換素子として機能する。入射する光量に基づき、発生する電荷量が決まる。
特に、受光素子として、有機化合物を含む層を有する有機フォトダイオードを用いることが好ましい。有機フォトダイオードは、薄型化、軽量化、及び大面積化が容易であり、また、形状及びデザインの自由度が高いため、様々な表示装置に適用できる。
本発明の一態様では、発光素子として有機EL素子を用い、受光素子として有機フォトダイオードを用いる。有機EL素子及び有機フォトダイオードは、同一基板上に形成することができる。したがって、有機EL素子を用いた表示装置に有機フォトダイオードを内蔵することができる。
本発明の一態様の表示装置の表示面では、発光素子からの発光が取り出され、かつ、受光素子に照射される光が通過する。表示装置は、発光素子及び受光素子が設けられている面よりも表示面側に、遮光層を有することが好ましい。発光素子からの発光は、遮光層の開口(または遮光層が設けられていない領域)を介して、表示装置の外部に取り出されることが好ましく、受光素子には、遮光層の開口(または遮光層が設けられていない領域)を介して、光が照射されることが好ましい。
受光素子は、発光素子の発光が対象物によって反射された光を検出する。しかし、発光素子の発光が、表示装置内で反射され、対象物を介さずに、受光素子に入射されてしまう場合がある。このような迷光は光検出時にノイズとなり、S/N比(Signal-to-noise ratio)を低下させる要因となる。発光素子及び受光素子が設けられている面よりも表示面側に遮光層を設けることで、迷光の影響を抑制することができる。これにより、ノイズを低減し、受光素子を用いたセンサの感度を高めることができる。
遮光層が発光素子から近い位置にあるほど、表示装置内の発光素子の迷光を抑制し、センサの感度を高めることができる。また、遮光層が発光素子から近い位置にあるほど、斜め方向から表示装置を観察した際のコントラストの低下及び色度の変化を抑制でき、表示の視野角特性を良好にすることができる。一方で、遮光層が受光素子から遠い位置にあるほど、受光素子の撮像範囲の面積を狭くすることができ、撮像の解像度を高めることができる。
そこで、本発明の一態様では、遮光層から受光素子までの距離と、遮光層から発光素子までの距離と、に差が生じるよう、遮光層を形成する面に構造物(例えば樹脂層)を設ける。構造物のレイアウト及び厚さを調整することで、遮光層から受光素子までの距離を長くし、かつ、遮光層から発光素子までの距離を短くすることができる。これにより、センサのノイズを低減しつつ、撮像の解像度を高め、かつ、表示の視野角依存性を抑制することができる。したがって、表示装置における表示品位と撮像品位との双方を高めることができる。
具体的には、本発明の一態様は、第1の基板、第2の基板、受光素子、発光素子、樹脂層、及び遮光層を有する表示装置である。受光素子、発光素子、樹脂層、及び遮光層は、それぞれ、第1の基板と第2の基板との間に位置する。受光素子は、第1の基板上の第1の画素電極、第1の画素電極上の活性層、及び、活性層上の共通電極を有する。発光素子は、第1の基板上の第2の画素電極、第2の画素電極上の発光層、及び、発光層上の共通電極を有する。樹脂層及び遮光層は、それぞれ、共通電極と第2の基板との間に位置する。樹脂層は、発光素子と重なる部分を有する。遮光層は、共通電極と樹脂層との間に位置する部分を有する。
発光素子が発する光の少なくとも一部は、樹脂層を介して、第2の基板の外部に取り出される。第2の基板を通過した光の少なくとも一部は、樹脂層を介さずに、受光素子に入射する。例えば、樹脂層は、受光素子と重なる開口を有する。または、樹脂層は、発光素子と重なる位置に島状に設けられる。
樹脂層は、発光素子と重なる位置に設けられ、受光素子と重なる位置には設けられない。したがって、遮光層から発光素子までの距離は、遮光層から受光素子までの距離に比べて短くなる。これにより、表示装置における表示品位と撮像品位との双方を高めることができる。
また、有機EL素子及び有機フォトダイオードを構成する全ての層を作り分けようとすると、成膜工程が非常に多くなる。有機フォトダイオードは、有機EL素子と共通の構成にできる層が多いため、共通の構成にできる層は一括で成膜することで、成膜工程の増加を抑制することができる。また、成膜回数が同じであっても、一部の素子にのみ成膜される層を減らすことで、成膜パターンのズレの影響を低減すること、成膜マスク(メタルマスクなど)に付着したゴミ(パーティクルと呼ばれる小さな異物を含む)の影響を低減すること、などが可能となる。これにより、表示装置の作製の歩留まりを高めることができる。
例えば、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層の少なくとも一つを、受光素子及び発光素子で共通の層とすることが好ましい。これにより、成膜回数及びマスクの数を減らすことができ、表示装置の作製工程及び作製コストを削減することができる。なお、受光素子及び発光素子が共通で有する層は、受光素子における機能と発光素子における機能とが異なる場合がある。本明細書中では、発光素子における機能に基づいて構成要素を呼称する。例えば、正孔注入層は、発光素子において正孔注入層として機能し、受光素子において正孔輸送層として機能する。同様に、電子注入層は、発光素子において電子注入層として機能し、受光素子において電子輸送層として機能する。
図1A~図1Dに、本発明の一態様の表示装置の断面図を示す。
図1Aに示す表示装置50Aは、基板51と基板59との間に、受光素子を有する層53と、発光素子を有する層57と、を有する。
図1Bに示す表示装置50Bは、基板51と基板59との間に、受光素子を有する層53、トランジスタを有する層55、及び、発光素子を有する層57を有する。
表示装置50A及び表示装置50Bは、発光素子を有する層57から、赤色(R)、緑色(G)、及び青色(B)の光が射出される構成である。
本発明の一態様の表示装置は、マトリクス状に配置された複数の画素を有する。1つの画素は、1つ以上の副画素を有する。1つの副画素は、1つの発光素子を有する。例えば、画素には、副画素を3つ有する構成(R、G、Bの3色、または、黄色(Y)、シアン(C)、及びマゼンタ(M)の3色など)、または、副画素を4つ有する構成(R、G、B、白色(W)の4色、または、R、G、B、Yの4色など)を適用できる。さらに、画素は、受光素子を有する。受光素子は、全ての画素に設けられていてもよく、一部の画素に設けられていてもよい。また、1つの画素が複数の受光素子を有していてもよい。
トランジスタを有する層55は、第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを有することが好ましい。第1のトランジスタは、受光素子と電気的に接続される。第2のトランジスタは、発光素子と電気的に接続される。
本発明の一態様の表示装置は、表示装置に接触している指などの対象物を検出する機能を有していてもよい。例えば、図1Cに示すように、発光素子を有する層57において発光素子が発した光を、表示装置50Bに接触した指52が反射することで、受光素子を有する層53における受光素子がその反射光を検出する。これにより、表示装置50Bに指52が接触したことを検出することができる。
本発明の一態様の表示装置は、図1Dに示すように、表示装置50Bに近接している(接触していない)対象物を検出または撮像する機能を有していてもよい。
[画素]
図1E~図1Iに、画素の一例を示す。
図1E~図1Gに示す画素は、R、G、Bの3つの副画素(3つの発光素子)と、受光素子PDと、を有する。図1Eは、2×2のマトリクス状に、3つの副画素と受光素子PDとが配置されている例であり、図1Fは、横1列に、3つの副画素と受光素子PDとが配置されている例である。図1Gは、横1列に3つの副画素が配置され、その下に受光素子PDが配置されている例である。なお、図1E~図1Gに示す画素は、それぞれ、表示に用いる3つの副画素と、光検出に用いる1つの副画素と、の4つの副画素で構成されているということもできる。
図1Hに示す画素は、R、G、B、Wの4つの副画素(4つの発光素子)と、受光素子PDと、を有する。
図1Iに示す画素は、R、G、Bの3つの副画素と、赤外光を発する発光素子IRと、受光素子PDとを有する。このとき、受光素子PDは、赤外光を検出する機能を有することが好ましい。受光素子PDは、可視光及び赤外光の双方を検出する機能を有していてもよい。センサの用途に応じて、受光素子PDが検出する光の波長を決定することができる。
以下では、図2~図11を用いて、本発明の一態様の表示装置が有する発光素子及び受光素子の、詳細な構成について説明する。
本発明の一態様の表示装置は、発光素子が形成されている基板とは反対方向に光を射出するトップエミッション型、発光素子が形成されている基板側に光を射出するボトムエミッション型、両面に光を射出するデュアルエミッション型のいずれであってもよい。
図2~図11では、トップエミッション型の表示装置を例に挙げて説明する。
なお、本実施の形態では、主に、可視光を発する発光素子と、可視光を検出する受光素子と、を有する表示装置について説明するが、表示装置は、さらに、赤外光を発する発光素子を有していてもよい。また、受光素子は、赤外光を検出する構成、または、可視光及び赤外光の双方を検出する構成であってもよい。
[表示装置10A]
図2Aに表示装置10Aの断面図を示す。
表示装置10Aは、受光素子110及び発光素子190を有する。
発光素子190は、画素電極191、バッファ層192、発光層193、バッファ層194、及び共通電極115を有する。発光層193は、有機化合物を有する。発光素子190は、可視光を発する機能を有する。なお、表示装置10Aは、さらに、赤外光を発する機能を有する発光素子を有していてもよい。本実施の形態では、画素電極191が陽極として機能し、共通電極115が陰極として機能する場合を例に挙げて説明する。
受光素子110は、画素電極181、バッファ層182、活性層183、バッファ層184、及び共通電極115を有する。活性層183は、有機化合物を有する。受光素子110は、可視光を検出する機能を有する。なお、受光素子110は、さらに、赤外光を検出する機能を有していてもよい。本実施の形態では、発光素子190と揃えて、画素電極181が陽極として機能し、共通電極115が陰極として機能するものとして説明する。つまり、受光素子110を、画素電極181と共通電極115との間に逆バイアスをかけて駆動することで、表示装置10Aは、受光素子110に入射する光を検出し、電荷を発生させ、電流として取り出すことができる。
画素電極181、画素電極191、バッファ層182、バッファ層192、活性層183、発光層193、バッファ層184、バッファ層194、及び共通電極115は、それぞれ、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。
画素電極181及び画素電極191は、絶縁層214上に位置する。画素電極181と画素電極191は、同一の材料及び同一の工程で形成することができる。画素電極181の端部及び画素電極191の端部は、それぞれ、隔壁216によって覆われている。画素電極181と画素電極191とは隔壁216によって互いに電気的に絶縁されている(電気的に分離されている、ともいう)。
隔壁216としては、有機絶縁膜が好適である。有機絶縁膜に用いることができる材料としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、及びこれら樹脂の前駆体等が挙げられる。隔壁216は、可視光を透過する層である。詳細は後述するが、隔壁216のかわりに、可視光を遮る隔壁217を設けてもよい。
バッファ層182は、画素電極181上に位置する。活性層183は、バッファ層182を介して、画素電極181と重なる。バッファ層184は、活性層183上に位置する。活性層183は、バッファ層184を介して、共通電極115と重なる。バッファ層182は、正孔輸送層を有することができる。バッファ層184は、電子輸送層を有することができる。
バッファ層192は、画素電極191上に位置する。発光層193は、バッファ層192を介して、画素電極191と重なる。バッファ層194は、発光層193上に位置する。発光層193は、バッファ層194を介して、共通電極115と重なる。バッファ層192は、正孔注入層及び正孔輸送層の一方または双方を有することができる。バッファ層194は、電子注入層及び電子輸送層の一方または双方を有することができる。
共通電極115は、受光素子110と発光素子190に共通で用いられる層である。
受光素子110及び発光素子190が有する一対の電極の材料及び膜厚等は等しくすることができる。これにより、表示装置の作製コストの削減及び作製工程の簡略化ができる。
表示装置10Aは、一対の基板(基板151及び基板152)間に、受光素子110、発光素子190、トランジスタ41、及びトランジスタ42等を有する。
受光素子110において、それぞれ画素電極181及び共通電極115の間に位置するバッファ層182、活性層183、及びバッファ層184は、有機層(有機化合物を含む層)ということもできる。画素電極181は可視光を反射する機能を有することが好ましい。共通電極115は可視光を透過する機能を有する。なお、受光素子110が赤外光を検出する構成である場合、共通電極115は赤外光を透過する機能を有する。さらに、画素電極181は赤外光を反射する機能を有することが好ましい。
受光素子110は、光を検出する機能を有する。具体的には、受光素子110は、表示装置10Aの外部から入射される光22を受光し、電気信号に変換する、光電変換素子である。光22は、発光素子190の発光を対象物が反射した光ということもできる。また、光22は、後述するレンズを介して受光素子110に入射してもよい。
発光素子190において、それぞれ画素電極191及び共通電極115の間に位置するバッファ層192、発光層193、及びバッファ層194は、EL層ということもできる。画素電極191は可視光を反射する機能を有することが好ましい。共通電極115は可視光を透過する機能を有する。なお、表示装置10Aが、赤外光を発する発光素子を有する構成である場合、共通電極115は赤外光を透過する機能を有する。さらに、画素電極191は赤外光を反射する機能を有することが好ましい。
本実施の形態の表示装置が有する発光素子には、微小光共振器(マイクロキャビティ)構造が適用されていることが好ましい。したがって、発光素子が有する一対の電極の一方は、可視光に対する透過性及び反射性を有する電極(半透過・半反射電極)を有することが好ましく、他方は、可視光に対する反射性を有する電極(反射電極)を有することが好ましい。発光素子がマイクロキャビティ構造を有することで、発光層から得られる発光を両電極間で共振させ、発光素子から射出される光を強めることができる。
なお、半透過・半反射電極は、反射電極と可視光に対する透過性を有する電極(透明電極ともいう)との積層構造とすることができる。本明細書等では、それぞれ、半透過・半反射電極の一部として機能する、反射電極を画素電極または共通電極と記し、透明電極を光学調整層と記すことがあるが、透明電極(光学調整層)も、画素電極または共通電極としての機能を有するといえることがある。
透明電極の光の透過率は、40%以上とする。例えば、発光素子には、可視光(波長400nm以上750nm未満の光)の透過率が40%以上である電極を用いることが好ましい。また、半透過・半反射電極の可視光の反射率は、10%以上95%以下、好ましくは30%以上80%以下とする。反射電極の可視光の反射率は、40%以上100%以下、好ましくは70%以上100%以下とする。また、これらの電極の抵抗率は、1×10-2Ωcm以下が好ましい。なお、表示装置に、近赤外光を発する発光素子を用いる場合、これらの電極の近赤外光(波長750nm以上1300nm以下の光)の透過率、反射率も上記数値範囲であることが好ましい。
バッファ層192またはバッファ層194は、光学調整層としての機能を有していてもよい。バッファ層192またはバッファ層194の膜厚を異ならせることで、各発光素子において、特定の色の光を強めて取り出すことができる。なお、半透過・半反射電極が、反射電極と透明電極との積層構造の場合、一対の電極間の光学距離とは、一対の反射電極間の光学距離を示す。
発光素子190は、可視光を発する機能を有する。具体的には、発光素子190は、画素電極191と共通電極115との間に電圧を印加することで、基板152側に光を射出する電界発光素子である(発光21参照)。
発光層193は、受光素子110と重ならないように形成されることが好ましい。これにより、発光層193が光22を吸収することを抑制でき、受光素子110に照射される光量を多くすることができる。
画素電極181は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ41が有するソースまたはドレインと電気的に接続される。
画素電極191は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ42が有するソースまたはドレインと電気的に接続される。トランジスタ42は、発光素子190の駆動を制御する機能を有する。
トランジスタ41とトランジスタ42とは、同一の層(図2Aでは基板151)上に接している。
受光素子110と電気的に接続される回路の少なくとも一部は、発光素子190と電気的に接続される回路と同一の材料及び同一の工程で形成されることが好ましい。これにより、2つの回路を別々に形成する場合に比べて、表示装置の厚さを薄くすることができ、また、作製工程を簡略化できる。
受光素子110及び発光素子190は、それぞれ、保護層116に覆われていることが好ましい。図2Aでは、保護層116が、共通電極115上に接して設けられている。保護層116を設けることで、受光素子110及び発光素子190に水などの不純物が入り込むことを抑制し、受光素子110及び発光素子190の信頼性を高めることができる。また、接着層142によって、保護層116と基板152とが貼り合わされている。
基板152の基板151側の面には、樹脂層159が設けられている。樹脂層159は、発光素子190と重なる位置に設けられ、受光素子110と重なる位置には設けられない。なお、本明細書等において、発光素子190と重なる位置とは、具体的には、発光素子190の発光領域と重なる位置を指す。同様に、受光素子110と重なる位置とは、具体的には、受光素子110の受光領域と重なる位置を指す。
樹脂層159は、例えば、図2Bに示すように、発光素子190と重なる位置に設けられ、かつ、受光素子110と重なる位置に開口159pを有する構成とすることができる。または、樹脂層159は、例えば、図2Cに示すように、発光素子190と重なる位置に島状に設けられ、かつ、受光素子110と重なる位置には設けられない構成とすることができる。
基板152の基板151側の面及び樹脂層159の基板151側の面には、遮光層158が設けられている。遮光層158は、発光素子190と重なる位置、及び、受光素子110と重なる位置に開口を有する。
ここで、発光素子190の発光が対象物によって反射された光を受光素子110は検出する。しかし、発光素子190の発光が、表示装置10A内で反射され、対象物を介さずに、受光素子110に入射されてしまう場合がある。遮光層158は、このような迷光を吸収し、受光素子110に入射する迷光を低減することができる。例えば、遮光層158は、樹脂層159を通過し基板152の基板151側の面で反射した迷光23aを吸収することができる。また、遮光層158は、樹脂層159に届く前に迷光23bを吸収することができる。これにより、受光素子110に入射する迷光を低減することができる。したがって、ノイズを低減し、受光素子110を用いたセンサの感度を高めることができる。特に、遮光層158が発光素子190から近い位置にあると、迷光をより低減できるため好ましい。また、遮光層158が発光素子190から近い位置にあると、表示の視野角依存性を抑制できるため、表示品位の向上の観点からも好ましい。
また、遮光層158を設けることで、受光素子110が光を検出する範囲を制御することができる。遮光層158が受光素子110から離れた位置にあると、撮像範囲が狭くなり、撮像の解像度を高めることができる。
樹脂層159が開口を有する場合、遮光層158は、当該開口の少なくとも一部、及び当該開口にて露出している樹脂層159の側面の少なくとも一部を覆うことが好ましい。
樹脂層159が島状に設けられている場合、遮光層158は、樹脂層159の側面の少なくとも一部を覆うことが好ましい。
このように、樹脂層159の形状に沿って遮光層158が設けられるため、遮光層158から発光素子190(具体的には、発光素子190の発光領域)までの距離は、遮光層158から受光素子110(具体的には、受光素子110の受光領域)までの距離に比べて短くなる。これにより、センサのノイズを低減しつつ、撮像の解像度を高め、かつ、表示の視野角依存性を抑制することができる。したがって、表示装置における表示品位と撮像品位との双方を高めることができる。
樹脂層159は、発光素子190の発光を透過する層である。樹脂層159の材料としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、及びこれら樹脂の前駆体等が挙げられる。なお、基板152と遮光層158との間に設ける構造物は、樹脂層に限定されず、無機絶縁膜などを用いてもよい。当該構造物の厚さが厚いほど、遮光層から受光素子までの距離と、遮光層から発光素子までの距離と、に差が生じる。樹脂などの有機絶縁膜は厚く形成することが容易であるため、当該構造物として好適である。
遮光層158としては、発光素子からの発光を遮る材料を用いることができる。遮光層158は、可視光を吸収することが好ましい。遮光層158として、例えば、金属材料、又は、顔料(カーボンブラックなど)もしくは染料を含む樹脂材料等を用いてブラックマトリクスを形成することができる。遮光層158は、赤色のカラーフィルタ、緑色のカラーフィルタ、及び青色のカラーフィルタの積層構造であってもよい。
遮光層158から受光素子110までの距離と、遮光層158から発光素子190までの距離と、を比較するために、例えば、遮光層158の受光素子110側の端部から共通電極115までの最短距離L1と、遮光層158の発光素子190側の端部から共通電極115までの最短距離L2と、を用いることができる。最短距離L1に比べて、最短距離L2が短いことで、発光素子190からの迷光を抑制し、受光素子110を用いたセンサの感度を高めることができる。また、表示の視野角依存性を抑制することができる。最短距離L2に比べて、最短距離L1が長いことで、受光素子110の撮像範囲を狭くすることができ、撮像の解像度を高めることができる。
また、接着層142における、発光素子190と重なる部分に比べて、受光素子110と重なる部分が厚い構成とすることでも、遮光層158から受光素子110までの距離と、遮光層158から発光素子190までの距離と、に差を生じさせることができる。
[表示装置10B]
図3Aに表示装置10Bの断面図を示す。なお、以降の表示装置の説明において、先に説明した表示装置と同様の構成については、説明を省略することがある。
表示装置10Bは、バッファ層182及びバッファ層192を有さず、共通層112を有する点で、表示装置10Aと異なる。
共通層112は、隔壁216上、画素電極181上、及び画素電極191上に位置する。共通層112は、受光素子110及び発光素子190に共通で用いられる層である。共通層112は、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。
共通層112としては、例えば、正孔注入層及び正孔輸送層の一方または双方を形成することができる。共通層112は、発光素子190における機能と受光素子110における機能とが異なる場合がある。例えば、共通層112が正孔注入層を有するとき、当該正孔注入層は、発光素子190において正孔注入層として機能し、受光素子110において正孔輸送層として機能する。共通層112は、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。
活性層及び発光層以外の層のうち少なくとも一部を、受光素子と発光素子とで互いに共通の構成とすることで、表示装置の作製工程を削減でき、好ましい。
[表示装置10C]
図3Bに表示装置10Cの断面図を示す。
表示装置10Cは、バッファ層184及びバッファ層194を有さず、共通層114を有する点で、表示装置10Aと異なる。
共通層114は、隔壁216上、活性層183上、及び発光層193上に位置する。共通層114は、受光素子110及び発光素子190に共通で用いられる層である。共通層114は、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。
共通層114としては、例えば、電子注入層及び電子輸送層の一方または双方を形成することができる。共通層114は、発光素子190における機能と受光素子110における機能とが異なる場合がある。例えば、共通層114が電子注入層を有するとき、当該電子注入層は、発光素子190において電子注入層として機能し、受光素子110において電子輸送層として機能する。共通層114は、単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。
活性層及び発光層以外の層のうち少なくとも一部を、受光素子と発光素子とで互いに共通の構成とすることで、表示装置の作製工程を削減でき、好ましい。
[表示装置10D]
図4Aに表示装置10Dの断面図を示す。
表示装置10Dは、バッファ層182、バッファ層192、バッファ層184、及びバッファ層194を有さず、共通層112及び共通層114を有する点で、表示装置10Aと異なる。
本実施の形態の表示装置では、受光素子110の活性層183に有機化合物を用いる。受光素子110は、活性層183以外の層を、発光素子190(EL素子)と共通の構成にすることができる。そのため、発光素子190の作製工程に、活性層183を成膜する工程を追加するのみで、発光素子190の形成と並行して受光素子110を形成することができる。また、発光素子190と受光素子110とを同一基板上に形成することができる。したがって、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置に受光素子110を内蔵することができる。
表示装置10Dでは、受光素子110の活性層183と、発光素子190の発光層193と、を作り分ける以外は、受光素子110と発光素子190が共通の構成である例を示す。ただし、受光素子110と発光素子190の構成はこれに限定されない。受光素子110と発光素子190は、活性層183と発光層193のほかにも、互いに作り分ける層を有していてもよい(前述の表示装置10A、10B、10C参照)。受光素子110と発光素子190は、共通で用いられる層(共通層)を1層以上有することが好ましい。これにより、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置に受光素子110を内蔵することができる。
[表示装置10E]
図4Bに表示装置10Eの断面図を示す。
表示装置10Eは、基板151及び基板152を有さず、基板153、基板154、接着層155、及び絶縁層212を有する点で、表示装置10Dと異なる。
基板153と絶縁層212とは接着層155によって貼り合わされている。基板154と保護層116とは接着層142によって貼り合わされている。
表示装置10Eは、作製基板上に形成された絶縁層212、トランジスタ41、トランジスタ42、受光素子110、及び発光素子190等を、基板153上に転置することで作製される構成である。基板153及び基板154は、それぞれ、可撓性を有することが好ましい。これにより、表示装置10Eの可撓性を高めることができる。例えば、基板153及び基板154には、それぞれ、樹脂を用いることが好ましい。
基板153及び基板154としては、それぞれ、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート(PC)樹脂、ポリエーテルスルホン(PES)樹脂、ポリアミド樹脂(ナイロン、アラミド等)、ポリシロキサン樹脂、シクロオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)樹脂、ABS樹脂、セルロースナノファイバー等を用いることができる。基板153及び基板154の一方または双方に、可撓性を有する程度の厚さのガラスを用いてもよい。
本実施の形態の表示装置が有する基板には、光学等方性が高いフィルムを用いてもよい。光学等方性が高いフィルムとしては、トリアセチルセルロース(TAC、セルローストリアセテートともいう)フィルム、シクロオレフィンポリマー(COP)フィルム、シクロオレフィンコポリマー(COC)フィルム、及びアクリルフィルム等が挙げられる。
[表示装置10F、10G、10H]
図4Cに表示装置10Fの断面図を示す。図5Aに表示装置10Gの断面図を示す。図5Bに表示装置10Hの断面図を示す。
表示装置10Fは、表示装置10Dの構成に加え、レンズ149を有する。
本実施の形態の表示装置は、レンズ149を有していてもよい。レンズ149は、受光素子110と重なる位置に設けられている。表示装置10Fでは、レンズ149が基板152に接して設けられている。表示装置10Fが有するレンズ149は、基板151側に凸面を有している。
基板152の同一面上に遮光層158とレンズ149との双方を形成する場合、形成順は問わない。図4Cでは、レンズ149を先に形成する例を示すが、遮光層158を先に形成してもよい。図4Cでは、レンズ149の端部が遮光層158によって覆われている。
表示装置10Fは、光22がレンズ149を介して受光素子110に入射する構成である。レンズ149を有すると、レンズ149を有さない場合に比べて、受光素子110の撮像範囲を狭くすることができ、隣接する受光素子110と撮像範囲が重なることを抑制できる。これにより、ぼやけの少ない、鮮明な画像を撮像できる。また、受光素子110の撮像範囲が同じ場合、レンズ149を有すると、レンズ149を有さない場合に比べて、ピンホールの大きさ(図4Cでは受光素子110と重なる遮光層158の開口の大きさに相当する)を大きくすることができる。したがって、レンズ149を有することで、受光素子110に入射する光量を増やすことができる。
図5Aに示す表示装置10Gも、表示装置10Fと同様に、光22がレンズ149を介して受光素子110に入射する構成の一つである。
表示装置10Gでは、レンズ149が保護層116の上面に接して設けられている。表示装置10Gが有するレンズ149は、基板152側に凸面を有している。
図5Bに示す表示装置10Hは、基板152の表示面側に、レンズアレイ146が設けられている。レンズアレイ146が有するレンズは、受光素子110と重なる位置に設けられている。基板152の基板151側の面には、遮光層158が設けられていることが好ましい。
本実施の形態の表示装置に用いるレンズの形成方法としては、基板上または受光素子上にマイクロレンズなどのレンズを直接形成してもよいし、別途作製されたマイクロレンズアレイなどのレンズアレイを基板に貼り合わせてもよい。
レンズは、1.3以上2.5以下の屈折率を有することが好ましい。レンズは、無機材料及び有機材料の少なくとも一方を用いて形成することができる。例えば、樹脂を含む材料をレンズに用いることができる。また、酸化物及び硫化物の少なくとも一方を含む材料をレンズに用いることができる。
具体的には、塩素、臭素、またはヨウ素を含む樹脂、重金属原子を含む樹脂、芳香環を含む樹脂、硫黄を含む樹脂などをレンズに用いることができる。または、樹脂と当該樹脂より屈折率の高い材料のナノ粒子を含む材料をレンズに用いることができる。酸化チタンまたは酸化ジルコニウムなどをナノ粒子に用いることができる。
また、酸化セリウム、酸化ハフニウム、酸化ランタン、酸化マグネシウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化チタン、酸化イットリウム、酸化亜鉛、インジウムとスズを含む酸化物、またはインジウムとガリウムと亜鉛を含む酸化物などを、レンズに用いることができる。または、硫化亜鉛などを、レンズに用いることができる。
[表示装置10J]
図5Cに表示装置10Jの断面図を示す。
表示装置10Jは、可視光を透過する隔壁216を有さず、可視光を遮る隔壁217を有する点で、表示装置10Dと異なる。
隔壁217は、発光素子190が発した光を吸収することが好ましい。隔壁217として、例えば、顔料もしくは染料を含む樹脂材料等を用いてブラックマトリクスを形成することができる。また、茶色レジスト材料を用いることで、着色された絶縁層で隔壁217を構成することができる。
表示装置10D(図4A)において、発光素子190が発した光は、基板152及び隔壁216で反射され、反射光が受光素子110に入射することがある。また、発光素子190が発した光が隔壁216を透過し、トランジスタまたは配線等で反射されることで、反射光が受光素子110に入射することがある。表示装置10Jでは、隔壁217によって光が吸収されることで、このような反射光が受光素子110に入射することを抑制できる。これにより、ノイズを低減し、受光素子110を用いたセンサの感度を高めることができる。
隔壁217は、少なくとも、受光素子110が検出する光の波長を吸収することが好ましい。例えば、発光素子190が発する緑色の光を受光素子110が検出する場合、隔壁217は、少なくとも緑色の光を吸収することが好ましい。例えば、隔壁217が、赤色のカラーフィルタを有すると、緑色の光を吸収することができ、反射光が受光素子110に入射することを抑制できる。
遮光層158は、樹脂層159に届く前に迷光23bの多くを吸収することができるが、迷光23bの一部は反射し、隔壁217に入射することがある。隔壁217が迷光23bを吸収する構成であると、迷光23bがトランジスタ又は配線等に入射することを抑制できる。したがって、受光素子110に迷光23cが到達することを抑制することができる。迷光23bが遮光層158と隔壁217に当たる回数が多いほど、吸収される光量を増やすことができ、受光素子110に到達する迷光23cの量を極めて少なくすることができる。樹脂層159の厚さが厚いと、迷光23bが遮光層158と隔壁217に当たる回数を増やすことができるため、好ましい。
また、隔壁217が光を吸収することで、発光素子190から直接、隔壁217に入射された迷光23dを、隔壁217によって吸収することができる。このことからも、隔壁217を設けることで、受光素子110に入射する迷光を低減することができる。
[表示装置10K]
図6Aに、表示装置10Kの上面図を示す。図6Bに、図6Aにおける一点鎖線A1-A2間の断面図を示す。図7Aに、図6Aにおける一点鎖線A3-A4間の断面図を示す。
図6Aにおいて点線の枠で囲った部分が1つの画素に相当する。1つの画素は、受光素子110、赤色の発光素子190R、緑色の発光素子190G、及び、青色の発光素子190Bを有する。
受光素子110及び発光素子190R、190G、190Bの上面形状は特に限定されない。図6Aに示す画素のレイアウトには、六方最密充填型が適用されている。六方最密充填型のレイアウトとすることで、受光素子110及び発光素子190R、190G、190の開口率を高めることができ、好ましい。上面視において、受光素子110の受光領域は四角形であり、発光素子190R、190G、190Bの発光領域は、それぞれ六角形である。
上面視(平面視ともいえる)において、受光素子110は、枠状の遮光層219aの内側に設けられている。受光素子110の四辺を遮光層219aで完全に囲うことで、迷光が受光素子110に入射することを抑制できる。なお、枠状の遮光層219aは、間隙(切れ目、途切れている部分、欠けている部分ともいえる)を有していてもよい。
上面視において、緑色の発光素子190Gと青色の発光素子190Bとの間には、スペーサ219bが設けられている。
図6B及び図7Aに示すように、表示装置10Kは、受光素子110、赤色の発光素子190R、緑色の発光素子190G、及び、青色の発光素子190Bを有する。
発光素子190Rは、画素電極191R、共通層112、発光層193R、共通層114、及び共通電極115を有する。発光層193Rは、赤色の光21Rを発する有機化合物を有する。発光素子190Rは、赤色の光を発する機能を有する。
発光素子190Gは、画素電極191G、共通層112、発光層193G、共通層114、及び共通電極115を有する。発光層193Gは、緑色の光21Gを発する有機化合物を有する。発光素子190Gは、緑色の光を発する機能を有する。
発光素子190Bは、画素電極191B、共通層112、発光層193B、共通層114、及び共通電極115を有する。発光層193Bは、青色の光21Bを発する有機化合物を有する。発光素子190Bは、青色の光を発する機能を有する。
受光素子110は、画素電極181、共通層112、活性層183、共通層114、及び共通電極115を有する。活性層183は、有機化合物を有する。受光素子110は、可視光を検出する機能を有する。
表示装置10Kは、一対の基板(基板151及び基板152)間に、受光素子110、発光素子190R、発光素子190G、発光素子190B、トランジスタ41、トランジスタ42R、トランジスタ42G、及びトランジスタ42B等を有する。
画素電極181、191R、191G、191Bの端部は、それぞれ、隔壁216によって覆われている。
画素電極181は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ41が有するソースまたはドレインと電気的に接続される。画素電極191Rは、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ42Rが有するソースまたはドレインと電気的に接続される。同様に、画素電極191Gは、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ42Gが有するソースまたはドレインと電気的に接続される。そして、画素電極191Bは、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ42Bが有するソースまたはドレインと電気的に接続される。
受光素子110及び発光素子190R、190G、190Bは、それぞれ、保護層116に覆われている。
基板152の基板151側の面には、樹脂層159が設けられている。樹脂層159は、発光素子190R、190G、190Bと重なる位置に設けられ、受光素子110と重なる位置には設けられない。
基板152の基板151側の面及び樹脂層159の基板151側の面には、遮光層158が設けられている。遮光層158は、発光素子190R、190G、190Bのそれぞれと重なる位置、及び、受光素子110と重なる位置に開口を有する。
上面視において、隔壁216には、枠状に開口が設けられている。図6Bでは、隔壁216は、受光素子110と発光素子190Rとの間に、開口を有する。そして、開口を覆うように、遮光層219aが設けられている。遮光層219aは、隔壁216の開口、及び、開口にて露出した隔壁216の側面を覆うことが好ましい。遮光層219aは、さらに、隔壁216の上面の少なくとも一部を覆うことが好ましい。
隔壁216に開口を設けず、隔壁216上に遮光層219aを設ける構成とすることもできるが、迷光が隔壁216を透過して受光素子110に入射する可能性がある。隔壁216に開口を設け、当該開口を埋めるように遮光層219aを設ける構成とすることで、隔壁216を透過した迷光が、隔壁216の開口にて遮光層219aで吸収される。これにより、迷光が受光素子110に入射することを抑制できる。
遮光層219aは、順テーパ形状であることが好ましい。これにより、遮光層219a上に設けられる膜(共通層112、共通層114、共通電極115、及び保護層116など)の被覆性を高めることができる。
遮光層219aは、少なくとも、受光素子110が検出する光の波長を吸収することが好ましい。例えば、発光素子190Gが発する緑色の光を受光素子110が検出する場合、遮光層219aは、少なくとも緑色の光を吸収することが好ましい。例えば、遮光層219aが、赤色のカラーフィルタを有すると、緑色の光を吸収することができ、反射光が受光素子110に入射することを抑制できる。遮光層219aは、顔料もしくは染料を含む樹脂材料等を用いて形成されたブラックマトリクスであってもよい。遮光層219aは、赤色のカラーフィルタ、緑色のカラーフィルタ、及び青色のカラーフィルタの積層構造であってもよい。または、遮光層219aとして、茶色レジスト材料を用いて、着色された絶縁層を形成してもよい。
例えば、発光素子190Gが発する緑色の光を受光素子110が検出する場合、発光素子190Gが発した光は、基板152及び隔壁216で反射され、反射光が受光素子110に入射することがある。また、発光素子190Gが発した光が隔壁216を透過し、トランジスタまたは配線等で反射されることで、反射光が受光素子110に入射することがある。表示装置10Kでは、遮光層158及び遮光層219aによって光が吸収されることで、このような反射光が受光素子110に入射することを抑制できる。これにより、ノイズを低減し、受光素子110を用いたセンサの感度を高めることができる。
例えば、遮光層158は、樹脂層159に届く前に迷光23bの多くを吸収することができる。さらに、迷光23bの一部が遮光層158で反射しても、遮光層219aが迷光23bを吸収することで、迷光23bがトランジスタ又は配線等に入射することを抑制できる。したがって、受光素子110に迷光が到達することを抑制できる。迷光23bが遮光層158と遮光層219aに当たる回数が多いほど、吸収される光量を増やすことができ、受光素子110に到達する迷光の量を極めて少なくすることができる。樹脂層159の厚さが厚いと、迷光23bが遮光層158と隔壁217に当たる回数を増やすことができるため、好ましい。樹脂層159の厚さが厚いと、遮光層158から各色の発光素子までの距離が短くなり、表示の視野角依存性を抑制できるため、表示品位の向上の観点からも好ましい。
また、遮光層219aが光を吸収することで、発光素子から直接、遮光層219aに入射された迷光23dを、遮光層219aによって吸収することができる。このことからも、遮光層219aを設けることで、受光素子110に入射する迷光を低減することができる。
また、遮光層158を設けることで、受光素子110が光を検出する範囲を制御することができる。遮光層158から受光素子110までの距離が長いと、撮像範囲が狭くなり、撮像の解像度を高めることができる。
スペーサ219bは、隔壁216上に位置し、かつ、上面視において、発光素子190Gと発光素子190Bとの間に位置する。スペーサ219bの上面は、遮光層219aの上面よりも遮光層158に近いことが好ましい。遮光層219aの厚さL3が、隔壁216の厚さとスペーサ219bの厚さの和L4以上の値であると、枠状の遮光層219aの内側に接着層142が十分に充填されず、受光素子110、さらには、表示装置10Kの信頼性が低下する恐れがある。したがって、隔壁216の厚さとスペーサ219bの厚さの和L4は、遮光層219aの厚さL3よりも大きいことが好ましい。これにより、接着層142を充填することが容易となる。図7Aに示すように、スペーサ219bと遮光層158とが重なる部分において、遮光層158は保護層116(または共通電極115)と接していてもよい。
[表示装置10L]
図7Bに、表示装置10Lの断面図を示す。
表示装置10Lは、発光素子190R、190G、190Bが、同一の発光層を有する構成である。図7Bは、図6Aにおける一点鎖線A3-A4間の断面図に相当する。
図7Bに示す発光素子190Gは、画素電極191G、光学調整層197G、共通層112、発光層113、共通層114、及び共通電極115を有する。図7Bに示す発光素子190Bは、画素電極191B、光学調整層197B、共通層112、発光層113、共通層114、及び共通電極115を有する。共通層112、発光層113、及び共通層114は、発光素子190R、190G、190Bにおいて共通の構成である。例えば、発光層113は、赤色の光を発する発光層193R、緑色の光を発する発光層193G、及び青色の光を発する発光層193Bを有する。
なお、図7Bでは、EL層を共通層112、発光層113、及び共通層114で示すが、これに限定されない。発光素子は、画素電極191と共通電極115との間に1つの発光ユニットを有するシングル構造であってもよく、複数の発光ユニットを有するタンデム構造であってもよい。
発光層113は、各色の光を発する発光素子に共通して設けられる。発光素子190Gが発する光は、着色層CFGを介して、緑色の光21Gとして取り出される。発光素子190Bが発する光は、着色層CFBを介して、青色の光21Bとして取り出される。
発光素子190G及び発光素子190Bは、厚さが互いに異なる光学調整層を有する点以外は同一の構成である。画素電極191G及び画素電極191Bとして反射電極を用いる。光学調整層として、反射電極上の透明電極を用いることができる。各色の発光素子は、それぞれ異なる厚さの光学調整層197を有することが好ましい。図7Bに示す発光素子190Gは、画素電極191Gと共通電極115の間の光学距離が緑色の光を強める光学距離となるように、光学調整層197Gを用いて光学調整されている。同様に、発光素子190Bは、画素電極191Bと共通電極115の間の光学距離が青色の光を強める光学距離となるように、光学調整層197Bを用いて光学調整されている。
[表示装置10M]
図8Aに、表示装置10Mの上面図を示す。図8Bに、図8Aにおける一点鎖線A5-A6間の断面図を示す。
図8A及び図8Bに示す表示装置10Mは、緑色の発光素子190Gと青色の発光素子190Bとの間に、遮光層219aが設けられている点、及び、空間143が不活性ガスで充填された、中空封止構造が適用されている点で、図6A及び図7Aに示す表示装置10Kと異なる。
表示装置10Mのように、遮光層219aは、発光素子190Rと受光素子110との間、及び、発光素子190Gと発光素子190Bとの間の双方に設けてもよい。
[表示装置10N]
図9Aに、表示装置10Nの上面図を示す。図9Bに、図9Aにおける一点鎖線A7-A8間の断面図を示す。図10Aに、図9Aにおける一点鎖線A9-A10間の断面図を示す。
表示装置10N(図9A)における一点鎖線A3-A4間の断面構造は、表示装置10K(図7A)と同様の構成を適用できる。または、表示装置10M(図8B)と同様の構成を適用してもよい。
表示装置10Nは、遮光層219aの上面形状及び断面形状が、表示装置10K(図6A及び図6B)と異なる。
上面視(平面視ともいえる)において、遮光層219aは、受光素子110の四辺を囲み、かつ、一端と他端が互いに離れている構成である。遮光層219aの間隙220(切れ目、途切れている部分、欠けている部分ともいえる)は、赤色の発光素子190R側に位置する。ここで、センシングに用いる光源が、特定の色の発光素子のみである場合、当該センシングに用いる発光素子とは異なる発光素子側に、遮光層219aの間隙220が位置することが好ましい。例えば、表示装置10Nであれば、緑色の発光素子190Gまたは青色の発光素子190Bを用いて、センシングを行う構成が好ましい。これにより、センシング時のノイズの影響を抑制することができる。また、緑色の発光素子190Gを用いてセンシングを行う場合、領域230に示すように、遮光層219aの一端は、緑色の発光素子190Gに比べて、赤色の発光素子190R側に突出していることが好ましい。これにより、緑色の発光素子190Gからの迷光が、間隙220を介して、受光素子110に入射することを抑制できる。
隔壁216は、受光素子110と発光素子190Rとの間に、開口を有する。そして、開口を覆うように、遮光層219aが設けられている。遮光層219aは、隔壁216の開口、及び、開口にて露出した隔壁216の側面を覆うことが好ましい。遮光層219aは、さらに、隔壁216の上面の少なくとも一部を覆うことが好ましい。
遮光層219aは、逆テーパ形状であってもよい。逆テーパ形状の遮光層219a上に設けられる有機膜及び共通電極115の厚さは、遮光層219aの側面付近で薄くなることがある。また、遮光層219aの側面付近に、空隙160が生じることがある。
ここで、上面視において、遮光層219aが、受光素子110の四辺を全て囲ってしまうと、共通電極115が遮光層219aによって段切れし、遮光層219aの内側と外側とで、共通電極115が分離してしまう恐れがある。そこで、遮光層219aの上面形状を、受光素子110の四辺を囲み、かつ、一端と他端が離れている構成とし、間隙220を設けることで、共通電極115が分離することを抑制できる。これにより、表示装置10Nにおける表示不良を抑制できる。
図10Aは、遮光層219aの間隙220を含む断面図である。上面視において、隔壁216には、遮光層219aの上面形状と同様に、受光素子110の四辺を囲み、かつ、一端と他端が互いに離れている構成の開口が設けられている。遮光層219aの間隙220では、隔壁216上に、共通層112、共通層114、共通電極115、及び保護層116が順に設けられている。
[表示装置10P]
図10Bに、表示装置10Pの断面図を示す。
表示装置10Pは、遮光層219aの側面に接する側壁219cを有する点で、表示装置10Nと異なる。
表示装置10Pにおいて、遮光層219aの上面形状は、図6Aのように、枠状であってもよく、図9Aのように、間隙220を有していてもよい。
逆テーパ形状の遮光層219aの側面に接する側壁219cを設けることで、有機膜及び共通電極115等の被覆性を向上させることができ、表示装置の表示品位を高めることができる。共通電極115の被覆性を高めることで、共通電極115の段切れ、さらには薄膜化を抑制できるため、共通電極115の電圧降下に起因する表示の輝度ムラを抑制することができる。
側壁219cは、隔壁216に用いることができる材料を用いて形成することができる。
[表示装置10Q]
図11A及び図11Bに、表示装置10Qの断面図を示す。表示装置10Qは、表示装置10K(図6A)と同様の上面構造を適用することができる。図11Aに、図6Aにおける一点鎖線A1-A2間の断面図を示す。図11Bに、図6Aにおける一点鎖線A3-A4間の断面図を示す。
表示装置10Qは、隔壁216を有さず、隔壁217を有する点で、表示装置10Kと主に異なる。
遮光層219aは、隔壁217上に位置する。隔壁217は、隔壁216とは異なり、発光素子が発した光を吸収することができるため、隔壁217に開口を設けなくてよい。発光素子から隔壁217に入射された迷光23dは、隔壁217で吸収される。発光素子から遮光層219aに入射された迷光23dは、遮光層219aで吸収される。
スペーサ219bは、発光素子190Gと発光素子190Bとの間に位置する。スペーサ219bの上面は、遮光層219aの上面よりも遮光層158に近いことが好ましい。スペーサ219bの厚さが遮光層219aの厚さよりも薄いと、枠状の遮光層219aの内側に接着層142が十分に充填されず、受光素子110、さらには、表示装置10Qの信頼性が低下する恐れがある。したがって、スペーサ219bは、遮光層219aよりも厚いことが好ましい。これにより、接着層142を充填することが容易となる。図11Bに示すように、スペーサ219bと遮光層158とが重なる部分において、遮光層158は保護層116(または共通電極115)と接していてもよい。
以下では、図12~図16を用いて、本発明の一態様の表示装置の、より詳細な構成について説明する。
[表示装置100A]
図12に、表示装置100Aの斜視図を示し、図13に、表示装置100Aの断面図を示す。
表示装置100Aは、基板152と基板151とが貼り合わされた構成を有する。図12では、基板152を破線で明示している。
表示装置100Aは、表示部162、回路164、配線165等を有する。図12では表示装置100AにIC(集積回路)173及びFPC172が実装されている例を示している。そのため、図12に示す構成は、表示装置100A、IC、及びFPCを有する表示モジュールということもできる。
回路164としては、例えば走査線駆動回路を用いることができる。
配線165は、表示部162及び回路164に信号及び電力を供給する機能を有する。当該信号及び電力は、FPC172を介して外部から、またはIC173から配線165に入力される。
図12では、COG(Chip On Glass)方式またはCOF(Chip on Film)方式等により、基板151にIC173が設けられている例を示す。IC173は、例えば走査線駆動回路または信号線駆動回路などを有するICを適用できる。なお、表示装置100A及び表示モジュールは、ICを設けない構成としてもよい。また、ICを、COF方式等により、FPCに実装してもよい。
図13に、表示装置100Aの、FPC172を含む領域の一部、回路164の一部、表示部162の一部、及び、端部を含む領域の一部をそれぞれ切断したときの断面の一例を示す。
図13に示す表示装置100Aは、基板151と基板152の間に、トランジスタ201、トランジスタ205、トランジスタ206、発光素子190、受光素子110等を有する。
樹脂層159と絶縁層214は接着層142を介して接着されている。発光素子190及び受光素子110の封止には、固体封止構造または中空封止構造などが適用できる。図13では、基板152、接着層142、及び基板151に囲まれた空間143が、不活性ガス(窒素やアルゴンなど)で充填されており、中空封止構造が適用されている。接着層142は、発光素子190及び受光素子110と重ねて設けられていてもよい。また、基板152、接着層142、及び基板151に囲まれた空間143を、接着層142とは異なる樹脂で充填してもよい。
発光素子190は、絶縁層214側から画素電極191、共通層112、発光層193、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ206が有する導電層222bと接続されている。
画素電極191の端部は、隔壁217によって覆われている。画素電極191は可視光を反射する材料を含み、共通電極115は可視光を透過する材料を含む。
受光素子110は、絶縁層214側から画素電極181、共通層112、活性層183、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極181は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ205が有する導電層222bと電気的に接続されている。画素電極181の端部は、隔壁217によって覆われている。画素電極181は可視光を反射する材料を含み、共通電極115は可視光を透過する材料を含む。
発光素子190が発する光は、基板152側に射出される。また、受光素子110には、基板152及び空間143を介して、光が入射する。基板152には、可視光に対する透過性が高い材料を用いることが好ましい。
画素電極181及び画素電極191は同一の材料及び同一の工程で作製することができる。共通層112、共通層114、及び共通電極115は、受光素子110と発光素子190との双方に用いられる。受光素子110と発光素子190とは、活性層183と発光層193の構成が異なる以外は全て共通の構成とすることができる。これにより、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置100Aに受光素子110を内蔵することができる。
基板152の基板151側の面には、樹脂層159及び遮光層158が設けられている。樹脂層159は、発光素子190と重なる位置に設けられ、受光素子110と重なる位置には設けられない。遮光層158は、基板152の基板151側の面、樹脂層159の側面、及び樹脂層159の基板151側の面を覆って設けられる。遮光層158は、受光素子110と重なる位置及び発光素子190と重なる位置に開口を有する。遮光層158を設けることで、受光素子110が光を検出する範囲を制御することができる。また、遮光層158を有することで、対象物を介さずに、発光素子190から受光素子110に光が入射することを抑制できる。したがって、ノイズが少なく感度の高いセンサを実現できる。樹脂層159が設けられていることで、遮光層158から発光素子190までの距離を、遮光層158から受光素子110までの距離に比べて短くすることができる。これにより、センサのノイズを低減しつつ、表示の視野角依存性を抑制することができる。したがって、表示品位と撮像品位との双方を高めることができる。
表示装置100Aにおける隔壁217及び遮光層219aの構成は、表示装置10Q(図11A)と同様である。
隔壁217は、画素電極181の端部及び画素電極191の端部を覆っている。隔壁217上には、遮光層219aが設けられている。遮光層219aは、受光素子110と発光素子190との間に位置する。隔壁217及び遮光層219aは、受光素子110が検出する光の波長を吸収することが好ましい。これにより、受光素子110に入射する迷光を抑制することができる。
トランジスタ201、トランジスタ205、及びトランジスタ206は、いずれも基板151上に形成されている。これらのトランジスタは、同一の材料及び同一の工程により作製することができる。
基板151上には、絶縁層211、絶縁層213、絶縁層215、及び絶縁層214がこの順で設けられている。絶縁層211は、その一部が各トランジスタのゲート絶縁層として機能する。絶縁層213は、その一部が各トランジスタのゲート絶縁層として機能する。絶縁層215は、トランジスタを覆って設けられる。絶縁層214は、トランジスタを覆って設けられ、平坦化層としての機能を有する。なお、ゲート絶縁層の数及びトランジスタを覆う絶縁層の数は限定されず、それぞれ単層であっても2層以上であってもよい。
トランジスタを覆う絶縁層の少なくとも一層に、水や水素などの不純物が拡散しにくい材料を用いることが好ましい。これにより、絶縁層をバリア層として機能させることができる。このような構成とすることで、トランジスタに外部から不純物が拡散することを効果的に抑制でき、表示装置の信頼性を高めることができる。
絶縁層211、絶縁層213、及び絶縁層215としては、それぞれ、無機絶縁膜を用いることが好ましい。無機絶縁膜としては、例えば、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜などの無機絶縁膜を用いることができる。また、酸化ハフニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化タンタル膜、酸化マグネシウム膜、酸化ランタン膜、酸化セリウム膜、及び酸化ネオジム膜等を用いてもよい。また、上述の絶縁膜を2以上積層して用いてもよい。
ここで、有機絶縁膜は、無機絶縁膜に比べてバリア性が低いことが多い。そのため、有機絶縁膜は、表示装置100Aの端部近傍に開口を有することが好ましい。これにより、表示装置100Aの端部から有機絶縁膜を介して不純物が入り込むことを抑制することができる。または、有機絶縁膜の端部が表示装置100Aの端部よりも内側にくるように有機絶縁膜を形成し、表示装置100Aの端部に有機絶縁膜が露出しないようにしてもよい。
平坦化層として機能する絶縁層214には、有機絶縁膜が好適である。有機絶縁膜に用いることができる材料としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、及びこれら樹脂の前駆体等が挙げられる。
図13に示す領域228では、絶縁層214に開口が形成されている。これにより、絶縁層214に有機絶縁膜を用いる場合であっても、絶縁層214を介して外部から表示部162に不純物が入り込むことを抑制できる。したがって、表示装置100Aの信頼性を高めることができる。
トランジスタ201、トランジスタ205、及びトランジスタ206は、ゲートとして機能する導電層221、ゲート絶縁層として機能する絶縁層211、ソース及びドレインとして機能する導電層222a及び導電層222b、半導体層231、ゲート絶縁層として機能する絶縁層213、並びに、ゲートとして機能する導電層223を有する。ここでは、同一の導電膜を加工して得られる複数の層に、同じハッチングパターンを付している。絶縁層211は、導電層221と半導体層231との間に位置する。絶縁層213は、導電層223と半導体層231との間に位置する。
本実施の形態の表示装置が有するトランジスタの構造は特に限定されない。例えば、プレーナ型のトランジスタ、スタガ型のトランジスタ、逆スタガ型のトランジスタ等を用いることができる。また、トップゲート型またはボトムゲート型のいずれのトランジスタ構造としてもよい。または、チャネルが形成される半導体層の上下にゲートが設けられていてもよい。
トランジスタ201、トランジスタ205、及びトランジスタ206には、チャネルが形成される半導体層を2つのゲートで挟持する構成が適用されている。2つのゲートを接続し、これらに同一の信号を供給することによりトランジスタを駆動してもよい。または、2つのゲートのうち、一方に閾値電圧を制御するための電位を与え、他方に駆動のための電位を与えることで、トランジスタの閾値電圧を制御してもよい。
トランジスタに用いる半導体材料の結晶性についても特に限定されず、非晶質半導体、結晶性を有する半導体(微結晶半導体、多結晶半導体、単結晶半導体、または一部に結晶領域を有する半導体)のいずれを用いてもよい。結晶性を有する半導体を用いると、トランジスタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。
トランジスタの半導体層は、金属酸化物(酸化物半導体ともいう)を有することが好ましい。または、トランジスタの半導体層は、シリコンを有していてもよい。シリコンとしては、アモルファスシリコン、結晶性のシリコン(低温ポリシリコン、単結晶シリコンなど)などが挙げられる。
半導体層は、例えば、インジウムと、M(Mは、ガリウム、アルミニウム、シリコン、ホウ素、イットリウム、スズ、銅、バナジウム、ベリリウム、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、及びマグネシウムから選ばれた一種または複数種)と、亜鉛と、を有することが好ましい。特に、Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、及びスズから選ばれた一種または複数種であることが好ましい。
特に、半導体層として、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、及び亜鉛(Zn)を含む酸化物(IGZOとも記す)を用いることが好ましい。
半導体層がIn-M-Zn酸化物の場合、当該In-M-Zn酸化物におけるInの原子数比はMの原子数比以上であることが好ましい。このようなIn-M-Zn酸化物の金属元素の原子数比として、In:M:Zn=1:1:1またはその近傍の組成、In:M:Zn=1:1:1.2またはその近傍の組成、In:M:Zn=2:1:3またはその近傍の組成、In:M:Zn=3:1:2またはその近傍の組成、In:M:Zn=4:2:3またはその近傍の組成、In:M:Zn=4:2:4.1またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:3またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:6またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:7またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:1:8またはその近傍の組成、In:M:Zn=6:1:6またはその近傍の組成、In:M:Zn=5:2:5またはその近傍の組成、等が挙げられる。なお、近傍の組成とは、所望の原子数比の±30%の範囲を含む。
例えば、原子数比がIn:Ga:Zn=4:2:3またはその近傍の組成と記載する場合、Inの原子数比を4としたとき、Gaの原子数比が1以上3以下であり、Znの原子数比が2以上4以下である場合を含む。また、原子数比がIn:Ga:Zn=5:1:6またはその近傍の組成と記載する場合、Inの原子数比を5としたときに、Gaの原子数比が0.1より大きく2以下であり、Znの原子数比が5以上7以下である場合を含む。また、原子数比がIn:Ga:Zn=1:1:1またはその近傍の組成と記載する場合、Inの原子数比を1としたときに、Gaの原子数比が0.1より大きく2以下であり、Znの原子数比が0.1より大きく2以下である場合を含む。
回路164が有するトランジスタと、表示部162が有するトランジスタは、同じ構造であってもよく、異なる構造であってもよい。回路164が有する複数のトランジスタの構造は、全て同じであってもよく、2種類以上あってもよい。同様に、表示部162が有する複数のトランジスタの構造は、全て同じであってもよく、2種類以上あってもよい。
基板151の、基板152が重ならない領域には、接続部204が設けられている。接続部204では、配線165が導電層166及び接続層242を介してFPC172と電気的に接続されている。接続部204の上面は、画素電極181と同一の導電膜を加工して得られた導電層166が露出している。これにより、接続部204とFPC172とを接続層242を介して電気的に接続することができる。
基板152の外側には各種光学部材を配置することができる。光学部材としては、偏光板、位相差板、光拡散層(拡散フィルムなど)、反射防止層、及び集光フィルム等が挙げられる。また、基板152の外側には、ゴミの付着を抑制する帯電防止膜、汚れを付着しにくくする撥水性の膜、使用に伴う傷の発生を抑制するハードコート膜、衝撃吸収層等を配置してもよい。
基板151及び基板152には、それぞれ、ガラス、石英、セラミック、サファイア、樹脂などを用いることができる。基板151及び基板152に可撓性を有する材料を用いると、表示装置の可撓性を高めることができる。
接着層としては、紫外線硬化型等の光硬化型接着剤、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。これら接着剤としてはエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、イミド樹脂、PVC(ポリビニルクロライド)樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)樹脂、EVA(エチレンビニルアセテート)樹脂等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂等の透湿性が低い材料が好ましい。また、二液混合型の樹脂を用いてもよい。また、接着シート等を用いてもよい。
接続層242としては、異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)、異方性導電ペースト(ACP:Anisotropic Conductive Paste)などを用いることができる。
発光素子190は、トップエミッション型、ボトムエミッション型、デュアルエミッション型などがある。光を取り出す側の電極には、可視光を透過する導電膜を用いる。また、光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好ましい。
発光素子190は少なくとも発光層193を有する。発光素子190は、発光層193以外の層として、正孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔ブロック材料、電子輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、またはバイポーラ性の物質(電子輸送性及び正孔輸送性が高い物質)等を含む層をさらに有していてもよい。例えば、共通層112は、正孔注入層及び正孔輸送層の一方又は双方を有することが好ましい。例えば、共通層114は、電子輸送層及び電子注入層の一方または双方を有することが好ましい。
正孔注入層は、陽極から発光素子に正孔を注入する層であり、正孔注入性の高い材料を含む層である。正孔注入性の高い材料としては、芳香族アミン化合物や、正孔輸送性材料とアクセプター性材料(電子受容性材料)とを含む複合材料を用いることができる。
発光素子において、正孔輸送層は、正孔注入層によって、陽極から注入された正孔を発光層に輸送する層である。受光素子において、正孔輸送層は、活性層において入射した光に基づき発生した正孔を陽極に輸送する層である。正孔輸送層は、正孔輸送性材料を含む層である。正孔輸送性材料としては、10-6cm/Vs以上の正孔移動度を有する物質が好ましい。なお、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。正孔輸送性材料としては、π電子過剰型複素芳香族化合物(例えばカルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、フラン誘導体など)や芳香族アミン(芳香族アミン骨格を有する化合物)等の正孔輸送性の高い材料が好ましい。
発光素子において、電子輸送層は、電子注入層によって、陰極から注入された電子を発光層に輸送する層である。受光素子において、電子輸送層は、活性層において入射した光に基づき発生した電子を陰極に輸送する層である。電子輸送層は、電子輸送性材料を含む層である。電子輸送性材料としては、1×10-6cm/Vs以上の電子移動度を有する物質が好ましい。なお、正孔よりも電子の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。電子輸送性材料としては、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体等の他、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン配位子を有するキノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、その他含窒素複素芳香族化合物を含むπ電子不足型複素芳香族化合物等の電子輸送性の高い材料を用いることができる。
電子注入層は、陰極から発光素子に電子を注入する層であり、電子注入性の高い材料を含む層である。電子注入性の高い材料としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、またはそれらの化合物を用いることができる。電子注入性の高い材料としては、電子輸送性材料とドナー性材料(電子供与性材料)とを含む複合材料を用いることもできる。
共通層112、発光層193、及び共通層114には低分子系化合物及び高分子系化合物のいずれを用いることもでき、無機化合物を含んでいてもよい。共通層112、発光層193、及び共通層114を構成する層は、それぞれ、蒸着法(真空蒸着法を含む)、転写法、印刷法、インクジェット法、塗布法等の方法で形成することができる。
発光層193は、発光物質を含む層である。発光層193は、1種または複数種の発光物質を有することができる。発光物質としては、青色、紫色、青紫色、緑色、黄緑色、黄色、橙色、赤色などの発光色を呈する物質を適宜用いる。また、発光物質として、近赤外光を発する物質を用いることもできる。
受光素子110の活性層183は、半導体を含む。当該半導体としては、シリコンなどの無機半導体、及び、有機化合物を含む有機半導体が挙げられる。本実施の形態では、活性層が有する半導体として、有機半導体を用いる例を示す。有機半導体を用いることで、発光素子190の発光層193と、受光素子110の活性層183と、を同じ方法(例えば、真空蒸着法)で形成することができ、製造装置を共通化できるため好ましい。
活性層183が有するn型半導体の材料としては、フラーレン(例えばC60、C70等)またはその誘導体等の電子受容性の有機半導体材料が挙げられる。また、活性層183が有するp型半導体の材料としては、銅(II)フタロシアニン(Copper(II) phthalocyanine;CuPc)やテトラフェニルジベンゾペリフランテン(Tetraphenyldibenzoperiflanthene;DBP)、亜鉛フタロシアニン(Zinc Phthalocyanine;ZnPc)等の電子供与性の有機半導体材料が挙げられる。また、p型半導体の材料として、スズフタロシアニン(SnPc)を用いてもよい。
例えば、活性層183は、n型半導体とp型半導体と共蒸着して形成することが好ましい。
トランジスタのゲート、ソース及びドレインのほか、表示装置を構成する各種配線及び電極などの導電層に用いることのできる材料としては、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、及びタングステンなどの金属、並びに、当該金属を主成分とする合金などが挙げられる。これらの材料を含む膜を単層で、または積層構造として用いることができる。
また、透光性を有する導電材料としては、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを含む酸化亜鉛などの導電性酸化物またはグラフェンを用いることができる。または、金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、及びチタンなどの金属材料や、該金属材料を含む合金材料を用いることができる。または、該金属材料の窒化物(例えば、窒化チタン)などを用いてもよい。なお、金属材料、合金材料(またはそれらの窒化物)を用いる場合には、透光性を有する程度に薄くすることが好ましい。また、上記材料の積層膜を導電層として用いることができる。例えば、銀とマグネシウムの合金とインジウムスズ酸化物の積層膜などを用いると、導電性を高めることができるため好ましい。これらは、表示装置を構成する各種配線及び電極などの導電層や、表示素子が有する導電層(画素電極や共通電極として機能する導電層)にも用いることができる。
各絶縁層に用いることのできる絶縁材料としては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などの樹脂、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウムなどの無機絶縁材料が挙げられる。
[表示装置100B]
図14Aに、表示装置100Bの断面図を示す。
表示装置100Bは、保護層116を有する点及び固体封止構造が適用されている点で、主に表示装置100Aと異なる。
受光素子110及び発光素子190を覆う保護層116を設けることで、受光素子110及び発光素子190に水などの不純物が入り込むことを抑制し、受光素子110及び発光素子190の信頼性を高めることができる。
表示装置100Bの端部近傍の領域228において、絶縁層214の開口を介して、絶縁層215と保護層116とが互いに接することが好ましい。特に、絶縁層215が有する無機絶縁膜と保護層116が有する無機絶縁膜とが互いに接することが好ましい。これにより、有機絶縁膜を介して外部から表示部162に不純物が入り込むことを抑制することができる。したがって、表示装置100Bの信頼性を高めることができる。
図14Bに、保護層116が3層構造である例を示す。図18Bにおいて、保護層116は、共通電極115上の無機絶縁層116aと、無機絶縁層116a上の有機絶縁層116bと、有機絶縁層116b上の無機絶縁層116cと、を有する。
無機絶縁層116aの端部と無機絶縁層116cの端部は、有機絶縁層116bの端部よりも外側に延在し、互いに接している。そして、無機絶縁層116aは、絶縁層214(有機絶縁層)の開口を介して、絶縁層215(無機絶縁層)と接する。これにより、絶縁層215と保護層116とで、受光素子110及び発光素子190を囲うことができるため、受光素子110及び発光素子190の信頼性を高めることができる。
このように、保護層116は、有機絶縁膜と無機絶縁膜との積層構造であってもよい。このとき、有機絶縁膜の端部よりも無機絶縁膜の端部を外側に延在させることが好ましい。
また、表示装置100Bでは、保護層116と基板152とが接着層142によって貼り合わされている。接着層142は、受光素子110及び発光素子190とそれぞれ重ねて設けられており、表示装置100Bには、固体封止構造が適用されている。
[表示装置100C]
図15及び図16Aに、表示装置100Cの断面図を示す。表示装置100Cの斜視図は表示装置100A(図12)と同様である。図15には、表示装置100Cの、FPC172を含む領域の一部、回路164の一部、及び、表示部162の一部をそれぞれ切断したときの断面の一例を示す。図16Aには、表示装置100Cの、表示部162の一部を切断したときの断面の一例を示す。図15では、表示部162のうち、特に、受光素子110と赤色の光を発する発光素子190Rを含む領域を切断したときの断面の一例を示す。図16Aでは、表示部162のうち、特に、緑色の光を発する発光素子190Gと青色の光を発する発光素子190Bを含む領域を切断したときの断面の一例を示す。
図15及び図16Aに示す表示装置100Cは、基板153と基板154の間に、トランジスタ203、トランジスタ207、トランジスタ208、トランジスタ209、トランジスタ210、発光素子190R、発光素子190G、発光素子190B、及び受光素子110等を有する。
樹脂層159と共通電極115とは接着層142を介して接着されており、表示装置100Cには、固体封止構造が適用されている。
基板153と絶縁層212とは接着層155によって貼り合わされている。基板154と絶縁層157とは接着層156によって貼り合わされている。
表示装置100Cの作製方法としては、まず、絶縁層212、各トランジスタ、受光素子110、各発光素子等が設けられた第1の作製基板と、絶縁層157、樹脂層159、及び遮光層158等が設けられた第2の作製基板と、を接着層142によって貼り合わせる。そして、第1の作製基板を剥離し露出した面に基板153を貼り、第2の作製基板を剥離し露出した面に基板154を貼ることで、第1の作製基板上及び第2の作製基板上に形成した各構成要素を、基板153及び基板154に転置する。基板153及び基板154は、それぞれ、可撓性を有することが好ましい。これにより、表示装置100Cの可撓性を高めることができる。
絶縁層212及び絶縁層157には、それぞれ、絶縁層211、絶縁層213、及び絶縁層215に用いることができる無機絶縁膜を用いることができる。
発光素子190Rは、絶縁層214b側から画素電極191R、共通層112、発光層193R、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191Rは、絶縁層214bに設けられた開口を介して、導電層169Rと接続されている。導電層169Rは、絶縁層214aに設けられた開口を介して、トランジスタ208が有する導電層222bと接続されている。導電層222bは、絶縁層215に設けられた開口を介して、低抵抗領域231nと接続される。つまり、画素電極191Rは、トランジスタ208と電気的に接続されている。トランジスタ208は、発光素子190Rの駆動を制御する機能を有する。
同様に、発光素子190Gは、絶縁層214b側から画素電極191G、共通層112、発光層193G、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191Gは、導電層169G及びトランジスタ209の導電層222bを介して、トランジスタ209の低抵抗領域231nと電気的に接続される。つまり、画素電極191Gは、トランジスタ209と電気的に接続されている。トランジスタ209は、発光素子190Gの駆動を制御する機能を有する。
そして、発光素子190Bは、絶縁層214b側から画素電極191B、共通層112、発光層193B、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極191Bは、導電層169B及びトランジスタ210の導電層222bを介して、トランジスタ210の低抵抗領域231nと電気的に接続される。つまり、画素電極191Bは、トランジスタ210と電気的に接続されている。トランジスタ210は、発光素子190Bの駆動を制御する機能を有する。
受光素子110は、絶縁層214b側から画素電極181、共通層112、活性層183、共通層114、及び共通電極115の順に積層された積層構造を有する。画素電極181は、導電層168及びトランジスタ207の導電層222bを介して、トランジスタ207の低抵抗領域231nと電気的に接続される。つまり、画素電極181は、トランジスタ207と電気的に接続されている。
画素電極181、191R、191G、191Bの端部は、隔壁216によって覆われている。画素電極181、191R、191G、191Bは可視光を反射する材料を含み、共通電極115は可視光を透過する材料を含む。
発光素子190R、190G、190Bが発する光は、基板154側に射出される。また、受光素子110には、基板154及び接着層142を介して、光が入射する。基板154には、可視光に対する透過性が高い材料を用いることが好ましい。
画素電極181及び画素電極191は同一の材料及び同一の工程で作製することができる。共通層112、共通層114、及び共通電極115は、受光素子110及び発光素子190R、190G、190Bに共通して用いられる。受光素子110と各色の発光素子とは、活性層183と発光層の構成が異なる以外は全て共通の構成とすることができる。これにより、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置100Cに受光素子110を内蔵することができる。
絶縁層157の基板153側の面には、樹脂層159及び遮光層158が設けられている。樹脂層159は、発光素子190R、190G、190Bと重なる位置に設けられ、受光素子110と重なる位置には設けられない。遮光層158は、絶縁層157の基板153側の面、樹脂層159の側面、及び樹脂層159の基板153側の面を覆って設けられる。遮光層158は、受光素子110と重なる位置及び発光素子190R、190G、190Bのそれぞれと重なる位置に開口を有する。遮光層158を設けることで、受光素子110が光を検出する範囲を制御することができる。また、遮光層158を有することで、対象物を介さずに、発光素子190R、190G、190Bから受光素子110に光が入射することを抑制できる。したがって、ノイズが少なく感度の高いセンサを実現できる。樹脂層159が設けられていることで、遮光層158から各色の発光素子までの距離は、遮光層158から受光素子110までの距離に比べて短い。これにより、センサのノイズを低減しつつ、表示の視野角依存性を抑制することができる。したがって、表示品位と撮像品位との双方を高めることができる。
表示装置100Cにおける隔壁216、遮光層219a、及びスペーサ219bの構成は、表示装置10K(図6B及び図7A)と同様である。
図15では、隔壁216は、受光素子110と発光素子190Rとの間に開口を有する。当該開口を埋めるように、遮光層219aが設けられている。遮光層219aは、受光素子110と発光素子190Rとの間に位置する。遮光層219aは、発光素子190Rが発した光を吸収する。これにより、受光素子110に入射する迷光を抑制することができる。
スペーサ219bは、発光素子190Gと発光素子190Bとの間に位置する。スペーサ219bの上面は、遮光層219aの上面よりも遮光層158に近いことが好ましい。例えば、隔壁216の高さ(厚さ)とスペーサ219bの高さ(厚さ)の和は、遮光層219aの高さ(厚さ)よりも大きいことが好ましい。これにより、接着層142を充填することが容易となる。図16Aに示すように、スペーサ219bと遮光層158とが重なる部分において、遮光層158は共通電極115(または保護層)と接していてもよい。
基板153の、基板154が重ならない領域には、接続部204が設けられている。接続部204では、配線165が導電層167、導電層166、及び接続層242を介してFPC172と電気的に接続されている。導電層167は、導電層168と同一の導電膜を加工して得ることができる。接続部204の上面は、画素電極181と同一の導電膜を加工して得られた導電層166が露出している。これにより、接続部204とFPC172とを接続層242を介して電気的に接続することができる。
トランジスタ207、トランジスタ208、トランジスタ209、及びトランジスタ210は、ゲートとして機能する導電層221、ゲート絶縁層として機能する絶縁層211、チャネル形成領域231i及び一対の低抵抗領域231nを有する半導体層、一対の低抵抗領域231nの一方と接続する導電層222a、一対の低抵抗領域231nの他方と接続する導電層222b、ゲート絶縁層として機能する絶縁層225、ゲートとして機能する導電層223、並びに、導電層223を覆う絶縁層215を有する。絶縁層211は、導電層221とチャネル形成領域231iとの間に位置する。絶縁層225は、導電層223とチャネル形成領域231iとの間に位置する。
導電層222a及び導電層222bは、それぞれ、絶縁層215に設けられた開口を介して低抵抗領域231nと接続される。導電層222a及び導電層222bのうち、一方はソースとして機能し、他方はドレインとして機能する。
図15では、絶縁層225は、半導体層231のチャネル形成領域231iと重なり、低抵抗領域231nとは重ならない。例えば、導電層223をマスクに絶縁層225を加工することで、図15に示す構造を作製できる。図15では、絶縁層225及び導電層223を覆って絶縁層215が設けられ、絶縁層215の開口を介して、導電層222a及び導電層222bがそれぞれ低抵抗領域231nと接続されている。さらに、トランジスタを覆う保護層116を設けてもよい。
一方、図16Bに示すトランジスタ202では、絶縁層225が半導体層の上面及び側面を覆う例を示す。導電層222a及び導電層222bは、それぞれ、絶縁層225及び絶縁層215に設けられた開口を介して低抵抗領域231nと接続される。
[金属酸化物]
以下では、半導体層に適用可能な金属酸化物について説明する。
なお、本明細書等において、窒素を有する金属酸化物も金属酸化物(metal oxide)と総称する場合がある。また、窒素を有する金属酸化物を、金属酸窒化物(metal oxynitride)と呼称してもよい。例えば、亜鉛酸窒化物(ZnON)などの窒素を有する金属酸化物を、半導体層に用いてもよい。
なお、本明細書等において、CAAC(c-axis aligned crystal)、及びCAC(Cloud-Aligned Composite)と記載する場合がある。CAACは結晶構造の一例を表し、CACは機能または材料の構成の一例を表す。
例えば、半導体層にはCAC(Cloud-Aligned Composite)-OS(Oxide Semiconductor)を用いることができる。
CAC-OSまたはCAC-metal oxideとは、材料の一部では導電性の機能と、材料の一部では絶縁性の機能とを有し、材料の全体では半導体としての機能を有する。なお、CAC-OSまたはCAC-metal oxideを、トランジスタの半導体層に用いる場合、導電性の機能は、キャリアとなる電子(またはホール)を流す機能であり、絶縁性の機能は、キャリアとなる電子を流さない機能である。導電性の機能と、絶縁性の機能とを、それぞれ相補的に作用させることで、スイッチングさせる機能(On/Offさせる機能)をCAC-OSまたはCAC-metal oxideに付与することができる。CAC-OSまたはCAC-metal oxideにおいて、それぞれの機能を分離させることで、双方の機能を最大限に高めることができる。
また、CAC-OSまたはCAC-metal oxideは、導電性領域、及び絶縁性領域を有する。導電性領域は、上述の導電性の機能を有し、絶縁性領域は、上述の絶縁性の機能を有する。また、材料中において、導電性領域と、絶縁性領域とは、ナノ粒子レベルで分離している場合がある。また、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ材料中に偏在する場合がある。また、導電性領域は、周辺がぼけてクラウド状に連結して観察される場合がある。
また、CAC-OSまたはCAC-metal oxideにおいて、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ0.5nm以上10nm以下、好ましくは0.5nm以上3nm以下のサイズで材料中に分散している場合がある。
また、CAC-OSまたはCAC-metal oxideは、異なるバンドギャップを有する成分により構成される。例えば、CAC-OSまたはCAC-metal oxideは、絶縁性領域に起因するワイドギャップを有する成分と、導電性領域に起因するナローギャップを有する成分と、により構成される。当該構成の場合、キャリアを流す際に、ナローギャップを有する成分において、主にキャリアが流れる。また、ナローギャップを有する成分が、ワイドギャップを有する成分に相補的に作用し、ナローギャップを有する成分に連動してワイドギャップを有する成分にもキャリアが流れる。このため、上記CAC-OSまたはCAC-metal oxideをトランジスタのチャネル形成領域に用いる場合、トランジスタのオン状態において高い電流駆動力、つまり大きなオン電流、及び高い電界効果移動度を得ることができる。
すなわち、CAC-OSまたはCAC-metal oxideは、マトリックス複合材(matrix composite)、または金属マトリックス複合材(metal matrix composite)と呼称することもできる。
酸化物半導体(金属酸化物)は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、CAAC-OS(c-axis aligned crystalline oxide semiconductor)、多結晶酸化物半導体、nc-OS(nanocrystalline oxide semiconductor)、擬似非晶質酸化物半導体(a-like OS:amorphous-like oxide semiconductor)、及び非晶質酸化物半導体などがある。
CAAC-OSは、c軸配向性を有し、かつa-b面方向において複数のナノ結晶が連結し、歪みを有した結晶構造となっている。なお、歪みとは、複数のナノ結晶が連結する領域において、格子配列の揃った領域と、別の格子配列の揃った領域と、の間で格子配列の向きが変化している箇所を指す。
ナノ結晶は、六角形を基本とするが、正六角形状とは限らず、非正六角形状である場合がある。また、歪みにおいて、五角形及び七角形などの格子配列を有する場合がある。なお、CAAC-OSにおいて、歪み近傍においても、明確な結晶粒界(グレインバウンダリーともいう。)を確認することは難しい。すなわち、格子配列の歪みによって、結晶粒界の形成が抑制されていることがわかる。これは、CAAC-OSが、a-b面方向において酸素原子の配列が稠密でないことや、金属元素が置換することで原子間の結合距離が変化することなどによって、歪みを許容することができるためである。
また、CAAC-OSは、インジウム、及び酸素を有する層(以下、In層)と、元素M、亜鉛、及び酸素を有する層(以下、(M,Zn)層)とが積層した、層状の結晶構造(層状構造ともいう)を有する傾向がある。なお、インジウムと元素Mは、互いに置換可能であり、(M,Zn)層の元素Mがインジウムと置換した場合、(In,M,Zn)層と表すこともできる。また、In層のインジウムが元素Mと置換した場合、(In,M)層と表すこともできる。
CAAC-OSは結晶性の高い金属酸化物である。一方、CAAC-OSは、明確な結晶粒界を確認することが難しいため、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、金属酸化物の結晶性は不純物の混入や欠陥の生成などによって低下する場合があるため、CAAC-OSは不純物や欠陥(酸素欠損(V:oxygen vacancyともいう。)など)の少ない金属酸化物ともいえる。したがって、CAAC-OSを有する金属酸化物は、物理的性質が安定する。そのため、CAAC-OSを有する金属酸化物は熱に強く、信頼性が高い。
nc-OSは、微小な領域(例えば、1nm以上10nm以下の領域、特に1nm以上3nm以下の領域)において原子配列に周期性を有する。また、nc-OSは、異なるナノ結晶間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。したがって、nc-OSは、分析方法によっては、a-like OSや非晶質酸化物半導体と区別が付かない場合がある。
なお、インジウムと、ガリウムと、亜鉛と、を有する金属酸化物の一種である、インジウム-ガリウム-亜鉛酸化物(以下、IGZO)は、上述のナノ結晶とすることで安定な構造をとる場合がある。特に、IGZOは、大気中では結晶成長がし難い傾向があるため、大きな結晶(ここでは、数mmの結晶、または数cmの結晶)よりも小さな結晶(例えば、上述のナノ結晶)とする方が、構造的に安定となる場合がある。
a-like OSは、nc-OSと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する金属酸化物である。a-like OSは、鬆または低密度領域を有する。すなわち、a-like OSは、nc-OS及びCAAC-OSと比べて、結晶性が低い。
酸化物半導体(金属酸化物)は、多様な構造をとり、それぞれが異なる特性を有する。本発明の一態様の酸化物半導体は、非晶質酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、a-like OS、nc-OS、CAAC-OSのうち、二種以上を有していてもよい。
半導体層として機能する金属酸化物膜は、不活性ガス及び酸素ガスのいずれか一方または双方を用いて成膜することができる。なお、金属酸化物膜の成膜時における酸素の流量比(酸素分圧)に、特に限定はない。ただし、電界効果移動度が高いトランジスタを得る場合においては、金属酸化物膜の成膜時における酸素の流量比(酸素分圧)は、0%以上30%以下が好ましく、5%以上30%以下がより好ましく、7%以上15%以下がさらに好ましい。
金属酸化物は、エネルギーギャップが2eV以上であることが好ましく、2.5eV以上であることがより好ましく、3eV以上であることがさらに好ましい。このように、エネルギーギャップの広い金属酸化物を用いることで、トランジスタのオフ電流を低減することができる。
金属酸化物膜の成膜時の基板温度は、350℃以下が好ましく、室温以上200℃以下がより好ましく、室温以上130℃以下がさらに好ましい。金属酸化物膜の成膜時の基板温度が室温であると、生産性を高めることができ、好ましい。
金属酸化物膜は、スパッタリング法により形成することができる。そのほか、例えばPLD法、PECVD法、熱CVD法、ALD法、真空蒸着法などを用いてもよい。
以上のように、本実施の形態の表示装置は、表示部に受光素子と発光素子とを有し、表示部は画像を表示する機能と光を検出する機能との双方を有する。これにより、表示部の外部または表示装置の外部にセンサを設ける場合に比べて、電子機器の小型化及び軽量化を図ることができる。また、表示部の外部または表示装置の外部に設けるセンサと組み合わせて、より多機能の電子機器を実現することもできる。
受光素子は、一対の電極間に設けられる層のうち少なくとも一層を、発光素子(EL素子)と共通の構成にすることができる。例えば、受光素子は、活性層以外の全ての層を、発光素子(EL素子)と共通の構成にすることもできる。つまり、発光素子の作製工程に、活性層を成膜する工程を追加するのみで、発光素子と受光素子とを同一基板上に形成することができる。また、受光素子と発光素子は、画素電極と共通電極とを、それぞれ、同一の材料及び同一の工程で形成することができる。また、受光素子と電気的に接続される回路と、発光素子と電気的に接続される回路と、を、同一の材料及び同一の工程で作製することで、表示装置の作製工程を簡略化できる。このように、複雑な工程を有さなくとも、受光素子を内蔵し、利便性の高い表示装置を作製することができる。
本実施の形態の表示装置は、遮光層から受光素子までの距離が長く、かつ、遮光層から発光素子までの距離が短くなるように、遮光層を形成する面に構造物を設ける。これにより、センサのノイズを低減しつつ、撮像の解像度を高め、かつ、表示の視野角依存性を抑制することができる。したがって、表示装置における表示品位と撮像品位との双方を高めることができる。
本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。また、本明細書において、1つの実施の形態の中に、複数の構成例が示される場合は、構成例を適宜組み合わせることが可能である。
(実施の形態2)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置について、図17及び図18を用いて説明する。
[画素回路の例1]
本発明の一態様の表示装置は、受光素子を有する第1の画素回路と、発光素子を有する第2の画素回路と、を有する。第1の画素回路と第2の画素回路は、それぞれ、マトリクス状に配置される。
図17Aに、受光素子を有する第1の画素回路の一例を示し、図17Bに、発光素子を有する第2の画素回路の一例を示す。
図17Aに示す画素回路PIX1は、受光素子PD、トランジスタM1、トランジスタM2、トランジスタM3、トランジスタM4、及び容量素子C1を有する。ここでは、受光素子PDとして、フォトダイオードを用いた例を示している。
受光素子PDは、カソードが配線V1と電気的に接続し、アノードがトランジスタM1のソースまたはドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM1は、ゲートが配線TXと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が容量素子C1の一方の電極、トランジスタM2のソースまたはドレインの一方、及びトランジスタM3のゲートと電気的に接続する。トランジスタM2は、ゲートが配線RESと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が配線V2と電気的に接続する。トランジスタM3は、ソースまたはドレインの一方が配線V3と電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方がトランジスタM4のソースまたはドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM4は、ゲートが配線SEと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が配線OUT1と電気的に接続する。
配線V1、配線V2、及び配線V3には、それぞれ定電位が供給される。受光素子PDを逆バイアスで駆動させる場合には、配線V2に、配線V1の電位よりも低い電位を供給する。トランジスタM2は、配線RESに供給される信号により制御され、トランジスタM3のゲートに接続するノードの電位を、配線V2に供給される電位にリセットする機能を有する。トランジスタM1は、配線TXに供給される信号により制御され、受光素子PDに流れる電流に応じて上記ノードの電位が変化するタイミングを制御する機能を有する。トランジスタM3は、上記ノードの電位に応じた出力を行う増幅トランジスタとして機能する。トランジスタM4は、配線SEに供給される信号により制御され、上記ノードの電位に応じた出力を配線OUT1に接続する外部回路で読み出すための選択トランジスタとして機能する。
図17Bに示す画素回路PIX2は、発光素子EL、トランジスタM5、トランジスタM6、トランジスタM7、及び容量素子C2を有する。ここでは、発光素子ELとして、発光ダイオードを用いた例を示している。特に、発光素子ELとして、有機EL素子を用いることが好ましい。
トランジスタM5は、ゲートが配線VGと電気的に接続し、ソースまたはドレインの一方が配線VSと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が、容量素子C2の一方の電極、及びトランジスタM6のゲートと電気的に接続する。トランジスタM6のソースまたはドレインの一方は配線V4と電気的に接続し、他方は、発光素子ELのアノード、及びトランジスタM7のソースまたはドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM7は、ゲートが配線MSと電気的に接続し、ソースまたはドレインの他方が配線OUT2と電気的に接続する。発光素子ELのカソードは、配線V5と電気的に接続する。
配線V4及び配線V5には、それぞれ定電位が供給される。発光素子ELのアノード側を高電位に、カソード側をアノード側よりも低電位にすることができる。トランジスタM5は、配線VGに供給される信号により制御され、画素回路PIX2の選択状態を制御するための選択トランジスタとして機能する。また、トランジスタM6は、ゲートに供給される電位に応じて発光素子ELに流れる電流を制御する駆動トランジスタとして機能する。トランジスタM5が導通状態のとき、配線VSに供給される電位がトランジスタM6のゲートに供給され、その電位に応じて発光素子ELの発光輝度を制御することができる。トランジスタM7は配線MSに供給される信号により制御され、トランジスタM6と発光素子ELとの間の電位を、配線OUT2を介して外部に出力する機能を有する。
ここで、画素回路PIX1が有するトランジスタM1、トランジスタM2、トランジスタM3、及びトランジスタM4、並びに、画素回路PIX2が有するトランジスタM5、トランジスタM6、及びトランジスタM7には、それぞれチャネルが形成される半導体層に金属酸化物(酸化物半導体)を用いたトランジスタを適用することが好ましい。
シリコンよりもバンドギャップが広く、かつキャリア密度の小さい金属酸化物を用いたトランジスタは、極めて小さいオフ電流を実現することができる。そのため、その小さいオフ電流により、トランジスタと直列に接続された容量素子に蓄積した電荷を長期間に亘って保持することが可能である。そのため、特に容量素子C1または容量素子C2に直列に接続されるトランジスタM1、トランジスタM2、及びトランジスタM5には、酸化物半導体が適用されたトランジスタを用いることが好ましい。また、これ以外のトランジスタも同様に酸化物半導体を適用したトランジスタを用いることで、作製コストを低減することができる。
また、トランジスタM1乃至トランジスタM7に、チャネルが形成される半導体にシリコンを適用したトランジスタを用いることもできる。特に単結晶シリコンや多結晶シリコンなどの結晶性の高いシリコンを用いることで、高い電界効果移動度を実現することができ、より高速な動作が可能となるため好ましい。
また、トランジスタM1乃至トランジスタM7のうち、一以上に酸化物半導体を適用したトランジスタを用い、それ以外にシリコンを適用したトランジスタを用いる構成としてもよい。
なお、図17A、図17Bにおいて、トランジスタをnチャネル型のトランジスタとして表記しているが、pチャネル型のトランジスタを用いることもできる。
画素回路PIX1が有するトランジスタと画素回路PIX2が有するトランジスタは、同一基板上に並べて形成されることが好ましい。特に、画素回路PIX1が有するトランジスタと画素回路PIX2が有するトランジスタとを1つの領域内に混在させて周期的に配列する構成とすることが好ましい。
また、受光素子PDまたは発光素子ELと重なる位置に、トランジスタ及び容量素子の一方又は双方を有する層を1つまたは複数設けることが好ましい。これにより、各画素回路の実効的な占有面積を小さくでき、高精細な受光部または表示部を実現できる。
[画素回路の例2]
図18Aに画素のブロック図を示す。図18Aに示す画素は、スイッチングトランジスタ(Switching Tr)、駆動トランジスタ(Driving Tr)、発光素子(OLED)に加えて、メモリ(Memory)を有する。
メモリには、データData_Wが供給される。表示データDataに加えて、データData_Wが画素に供給されることで、発光素子に流れる電流が大きくなり、表示装置は高い輝度を表現することができる。
本発明の一態様の表示装置による撮像は、発光素子が発した光を光源に用いて、撮像物からの反射光を受光素子で検出することにより行う。当該光源に用いる発光素子を、表示データData及びデータData_Wに基づいて駆動させることで、高い輝度で発光素子を発光させることができる。発光素子の輝度が高いほど、S/N比の向上を図ることができる。これにより、受光素子による光検出の感度を高めることができる。
図18Bに、画素回路の具体的な回路図を示す。
図18Bに示す画素は、トランジスタM1、トランジスタM2、トランジスタM3、トランジスタM4、容量素子Cs、容量素子Cw、及び発光素子ELを有する。
トランジスタM1のソースまたはドレインの一方は、容量素子Cwの一方の電極と電気的に接続される。容量素子Cwの他方の電極は、トランジスタM4のソースまたはドレインの一方と電気的に接続される。トランジスタM4のソースまたはドレインの一方は、トランジスタM2のゲートと電気的に接続される。トランジスタM2のゲートは、容量素子Csの一方の電極と電気的に接続される。容量素子Csの他方の電極は、トランジスタM2のソースまたはドレインの一方と電気的に接続される。トランジスタM2のソースまたはドレインの一方は、トランジスタM3のソースまたはドレインの一方と電気的に接続される。トランジスタM3のソースまたはドレインの一方は、発光素子ELの一方の電極と電気的に接続される。図18Bに示す各トランジスタは、ゲートと電気的に接続されたバックゲートを有するが、バックゲートの接続はこれに限定されない。また、トランジスタにバックゲートを設けなくてもよい。
ここで、容量素子Cwの他方の電極、トランジスタM4のソースまたはドレインの一方、トランジスタM2のゲート、及び容量素子Csの一方の電極が接続されるノードをノードNMとする。また、容量素子Csの他方の電極、トランジスタM2のソースまたはドレインの一方、トランジスタM3のソースまたはドレインの一方、及び発光素子ELの一方の電極が接続されるノードをノードNAとする。
トランジスタM1のゲートは、配線G1と電気的に接続される。トランジスタM3のゲートは、配線G1と電気的に接続される。トランジスタM4のゲートは、配線G2に電気的に接続される。トランジスタM1のソースまたはドレインの他方は、配線DATAと電気的に接続される。トランジスタM3のソースまたはドレインの他方は、配線V0と電気的に接続される。トランジスタM4のソースまたはドレインの他方は、配線DATA_Wと電気的に接続される。
トランジスタM2のソースまたはドレインの他方は、配線ANODE(高電位側)と電気的に接続される。発光素子ELの他方の電極は、配線CATHODE(低電位側)と電気的に接続される。
配線G1及び配線G2は、トランジスタの動作を制御するための信号線としての機能を有することができる。配線DATAは、画素に画像信号を供給する信号線としての機能を有することができる。配線DATA_Wは、記憶回路MEMにデータを書き込むための信号線としての機能を有することができる。配線DATA_Wは、画素に補正信号を供給する信号線としての機能を有することができる。配線V0は、トランジスタM4の電気特性を取得するためのモニタ線としての機能を有する。また、配線V0からトランジスタM3を介して容量素子Csの他方の電極に特定の電位を供給することにより、画像信号の書き込みを安定化させることもできる。
トランジスタM2、トランジスタM4、及び容量素子Cwは、記憶回路MEMを構成する。ノードNMは記憶ノードであり、トランジスタM4を導通させることで、配線DATA_Wに供給された信号をノードNMに書き込むことができる。トランジスタM4に極めてオフ電流が低いトランジスタを用いることで、ノードNMの電位を長時間保持することができる。
トランジスタM4には、例えば、金属酸化物をチャネル形成領域に用いたトランジスタ(以下、OSトランジスタ)を用いることができる。これにより、トランジスタM4のオフ電流を極めて低くすることができ、ノードNMの電位を長時間保持することができる。このとき、画素を構成するその他のトランジスタにも、OSトランジスタを用いることが好ましい。金属酸化物の具体例は、実施の形態1を参照できる。
OSトランジスタはエネルギーギャップが大きいため、極めて低いオフ電流特性を示す。また、OSトランジスタは、インパクトイオン化、アバランシェ降伏、及び短チャネル効果などが生じないなどSiをチャネル形成領域に有するトランジスタ(以下、Siトランジスタ)とは異なる特徴を有し、信頼性の高い回路を形成することができる。
また、トランジスタM4に、Siトランジスタを適用してもよい。このとき、画素を構成するその他のトランジスタにも、Siトランジスタを用いることが好ましい。
Siトランジスタとしては、アモルファスシリコンを有するトランジスタ、結晶性のシリコン(代表的には、低温ポリシリコン)を有するトランジスタ、単結晶シリコンを有するトランジスタなどが挙げられる。
また、1つの画素は、OSトランジスタとSiトランジスタとの両方を有していてもよい。
画素において、ノードNMに書き込まれた信号は、配線DATAから供給される画像信号と容量結合され、ノードNAに出力することができる。なお、トランジスタM1は、画素を選択する機能を有することができる。
すなわち、ノードNMに所望の補正信号を格納しておけば、供給した画像信号に当該補正信号を付加することができる。なお、補正信号は伝送経路上の要素によって減衰することがあるため、当該減衰を考慮して生成することが好ましい。
画像信号と補正信号を用いて発光素子を発光させることで、発光素子に流れる電流を大きくすることができ、高い輝度を表現できる。ソースドライバの出力電圧以上の電圧を駆動トランジスタのゲート電圧として印加できるため、ソースドライバの消費電力を削減することができる。高い輝度の光を光源に用いることができるため、センサの感度を高めることができる。
本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態3)
本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器について、図19~図21を用いて説明する。
本実施の形態の電子機器は、本発明の一態様の表示装置を有する。例えば、電子機器の表示部に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。本発明の一態様の表示装置は、光を検出する機能を有するため、表示部で生体認証を行うこと、または、タッチ動作(接触または近接)を検出することができる。これにより、電子機器の機能性や利便性などを高めることができる。
電子機器としては、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型もしくはノート型のパーソナルコンピュータ、コンピュータ用などのモニタ、デジタルサイネージ、パチンコ機などの大型ゲーム機などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、などが挙げられる。
本実施の形態の電子機器は、センサ(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)を有していてもよい。
本実施の形態の電子機器は、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア(プログラム)を実行する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出す機能等を有することができる。
図19Aに示す電子機器6500は、スマートフォンとして用いることのできる携帯情報端末機である。
電子機器6500は、筐体6501、表示部6502、電源ボタン6503、ボタン6504、スピーカ6505、マイク6506、カメラ6507、及び光源6508等を有する。表示部6502はタッチパネル機能を備える。
表示部6502に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
図19Bは、筐体6501のマイク6506側の端部を含む断面概略図である。
筐体6501の表示面側には透光性を有する保護部材6510が設けられ、筐体6501と保護部材6510に囲まれた空間内に、表示パネル6511、光学部材6512、タッチセンサパネル6513、プリント基板6517、バッテリ6518等が配置されている。
保護部材6510には、表示パネル6511、光学部材6512、及びタッチセンサパネル6513が接着層(図示しない)により固定されている。
表示部6502よりも外側の領域において、表示パネル6511の一部が折り返されており、当該折り返された部分にFPC6515が接続されている。FPC6515には、IC6516が実装されている。FPC6515は、プリント基板6517に設けられた端子に接続されている。
表示パネル6511には本発明の一態様のフレキシブルディスプレイを適用することができる。そのため、極めて軽量な電子機器を実現できる。また、表示パネル6511が極めて薄いため、電子機器の厚さを抑えつつ、大容量のバッテリ6518を搭載することもできる。また、表示パネル6511の一部を折り返して、画素部の裏側にFPC6515との接続部を配置することにより、狭額縁の電子機器を実現できる。
図20Aにテレビジョン装置の一例を示す。テレビジョン装置7100は、筐体7101に表示部7000が組み込まれている。ここでは、スタンド7103により筐体7101を支持した構成を示している。
表示部7000に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
図20Aに示すテレビジョン装置7100の操作は、筐体7101が備える操作スイッチや、別体のリモコン操作機7111により行うことができる。または、表示部7000にタッチセンサを備えていてもよく、指等で表示部7000に触れることでテレビジョン装置7100を操作してもよい。リモコン操作機7111は、当該リモコン操作機7111から出力する情報を表示する表示部を有していてもよい。リモコン操作機7111が備える操作キーまたはタッチパネルにより、チャンネル及び音量の操作を行うことができ、表示部7000に表示される映像を操作することができる。
なお、テレビジョン装置7100は、受信機及びモデムなどを備えた構成とする。受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができる。また、モデムを介して有線または無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向(送信者から受信者)または双方向(送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など)の情報通信を行うことも可能である。
図20Bに、ノート型パーソナルコンピュータの一例を示す。ノート型パーソナルコンピュータ7200は、筐体7211、キーボード7212、ポインティングデバイス7213、外部接続ポート7214等を有する。筐体7211に、表示部7000が組み込まれている。
表示部7000に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
図20C、図20Dに、デジタルサイネージの一例を示す。
図20Cに示すデジタルサイネージ7300は、筐体7301、表示部7000、及びスピーカ7303等を有する。さらに、LEDランプ、操作キー(電源スイッチ、または操作スイッチを含む)、接続端子、各種センサ、マイクロフォン等を有することができる。
図20Dは円柱状の柱7401に取り付けられたデジタルサイネージ7400である。デジタルサイネージ7400は、柱7401の曲面に沿って設けられた表示部7000を有する。
図20C、図20Dにおいて、表示部7000に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
表示部7000が広いほど、一度に提供できる情報量を増やすことができる。また、表示部7000が広いほど、人の目につきやすく、例えば、広告の宣伝効果を高めることができる。
表示部7000にタッチパネルを適用することで、表示部7000に画像または動画を表示するだけでなく、ユーザーが直感的に操作することができ、好ましい。また、路線情報もしくは交通情報などの情報を提供するための用途に用いる場合には、直感的な操作によりユーザビリティを高めることができる。
また、図20C、図20Dに示すように、デジタルサイネージ7300またはデジタルサイネージ7400は、ユーザーが所持するスマートフォン等の情報端末機7311または情報端末機7411と無線通信により連携可能であることが好ましい。例えば、表示部7000に表示される広告の情報を、情報端末機7311または情報端末機7411の画面に表示させることができる。また、情報端末機7311または情報端末機7411を操作することで、表示部7000の表示を切り替えることができる。
また、デジタルサイネージ7300またはデジタルサイネージ7400に、情報端末機7311または情報端末機7411の画面を操作手段(コントローラ)としたゲームを実行させることもできる。これにより、不特定多数のユーザーが同時にゲームに参加し、楽しむことができる。
図21A乃至図21Fに示す電子機器は、筐体9000、表示部9001、スピーカ9003、操作キー9005(電源スイッチ、または操作スイッチを含む)、接続端子9006、センサ9007(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン9008、等を有する。
図21A乃至図21Fに示す電子機器は、様々な機能を有する。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア(プログラム)によって処理を制御する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出して処理する機能、等を有することができる。なお、電子機器の機能はこれらに限られず、様々な機能を有することができる。電子機器は、複数の表示部を有していてもよい。また、電子機器にカメラ等を設け、静止画や動画を撮影し、記録媒体(外部またはカメラに内蔵)に保存する機能、撮影した画像を表示部に表示する機能、等を有していてもよい。
図21A乃至図21Fに示す電子機器の詳細について、以下説明を行う。
図21Aは、携帯情報端末9101を示す斜視図である。携帯情報端末9101は、例えばスマートフォンとして用いることができる。なお、携帯情報端末9101は、スピーカ9003、接続端子9006、センサ9007等を設けてもよい。また、携帯情報端末9101は、文字や画像情報をその複数の面に表示することができる。図21Aでは3つのアイコン9050を表示した例を示している。また、破線の矩形で示す情報9051を表示部9001の他の面に表示することもできる。情報9051の一例としては、電子メール、SNS、電話などの着信の通知、電子メールやSNSなどの題名、送信者名、日時、時刻、バッテリの残量、電波強度などがある。または、情報9051が表示されている位置にはアイコン9050などを表示してもよい。
図21Bは、携帯情報端末9102を示す斜視図である。携帯情報端末9102は、表示部9001の3面以上に情報を表示する機能を有する。ここでは、情報9052、情報9053、情報9054がそれぞれ異なる面に表示されている例を示す。例えばユーザーは、洋服の胸ポケットに携帯情報端末9102を収納した状態で、携帯情報端末9102の上方から観察できる位置に表示された情報9053を確認することもできる。ユーザーは、携帯情報端末9102をポケットから取り出すことなく表示を確認し、例えば電話を受けるか否かを判断できる。
図21Cは、腕時計型の携帯情報端末9200を示す斜視図である。携帯情報端末9200は、例えばスマートウォッチとして用いることができる。また、表示部9001はその表示面が湾曲して設けられ、湾曲した表示面に沿って表示を行うことができる。また、携帯情報端末9200は、例えば無線通信可能なヘッドセットと相互通信することによって、ハンズフリーで通話することもできる。また、携帯情報端末9200は、接続端子9006により、他の情報端末と相互にデータ伝送を行うことや、充電を行うこともできる。なお、充電動作は無線給電により行ってもよい。
図21D乃至図21Fは、折り畳み可能な携帯情報端末9201を示す斜視図である。また、図21Dは携帯情報端末9201を展開した状態、図21Fは折り畳んだ状態、図21Eは図21Dと図21Fの一方から他方に変化する途中の状態の斜視図である。携帯情報端末9201は、折り畳んだ状態では可搬性に優れ、展開した状態では継ぎ目のない広い表示領域により表示の一覧性に優れる。携帯情報端末9201が有する表示部9001は、ヒンジ9055によって連結された3つの筐体9000に支持されている。例えば、表示部9001は、曲率半径0.1mm以上150mm以下で曲げることができる。
本実施の形態は、他の実施の形態及び実施例と適宜組み合わせることができる。
本実施例では、遮光層219aを含む評価用デバイスを作製し、観察を行った結果について説明する。本実施例では、実施の形態1で説明した、表示装置10K(図6B)、表示装置10N(図9A、図9B)、表示装置10P(図10B)、及び表示装置10Q(図11A)が有する遮光層219aを含む評価用デバイスをそれぞれ作製した。さらに、表示装置10Pの構成が適用された表示装置を作製し、表示を確認した。
まず、表示装置10Nが有する遮光層219aを含む評価用デバイス30Nを作製した結果について説明する。評価用デバイス30Nは、基板151上に、トランジスタから遮光層219a、スペーサ219bまでを形成することで、作製した(図7A、図9B)。
評価用デバイス30Nの画素部の上面写真を図22に示す。図22に示すように、評価用デバイス30Nの画素部には、図9Aの構成を適用した。
画素31は、受光素子110、赤色の発光素子190R、緑色の発光素子190G、及び、青色の発光素子190Bを有する。
図22に示すように、遮光層219aの上面形状は、受光素子110の四辺を囲み、かつ、一端と他端が離れている構成である。遮光層219aの間隙220は、赤色の発光素子190R側に位置する。また、領域230に示すように、遮光層219aの一端は、緑色の発光素子190Gに比べて、赤色の発光素子190R側に突出している。本実施例では、緑色の発光素子190Gをセンシングの光源として用いることを想定して、評価用デバイス30Nを作製した。そのため、緑色の発光素子190Gと間隙220とが互いに離れた位置にくるよう設計した。これにより、緑色の発光素子190Gからの迷光が受光素子110に入射することを抑制し、センシング時のノイズの影響を抑制できると考えられる。
また、緑色の発光素子190Gと青色の発光素子190Bとの間には、スペーサ219bを設けた。
評価用デバイス30Nにおける、遮光層219aを含む断面写真を、図23Aに示す。
遮光層219aは、赤色のカラーフィルタ材料を用いて作製した。遮光層219aの厚さLaは、約2.2μmであった。
図23Aに示すように、遮光層219aの断面形状は、逆テーパ形状である。逆テーパ形状の場合、遮光層219aが受光素子110の四辺を全て囲ってしまうと、共通電極115が遮光層219aによって段切れし、遮光層219aの内側と外側とで、共通電極115が分離してしまう恐れがある。図22に示すように、遮光層219aが間隙220を有することで、共通電極115が分離することを抑制できると考えられる。
次に、表示装置10Pが有する遮光層219aを含む評価用デバイス30Pを作製した結果について説明する。
評価用デバイス30Pにおける、遮光層219aを含む断面写真を、図23Bに示す。また、表示装置10Pの構成が適用された表示装置の表示結果を図24に示す。
遮光層219aは、赤色のカラーフィルタ材料を用いて作製した。遮光層219aの厚さLbは、約2.1μmであった。
遮光層219aが逆テーパ形状であると、遮光層219a上に形成する有機膜及び共通電極115等の被覆性が低下し、発光素子が非発光となる場合がある。
図23Bに示すように、逆テーパ形状の遮光層219aの側面に接する側壁219cを設けることで、有機膜及び共通電極115等の被覆性を向上させることができ、表示装置の表示品位を高めることができる。
図24に示すように、表示装置10Pの構成を適用することで、点欠陥が少なく、良好な表示結果が得られた。
次に、表示装置10Kが有する遮光層219aを含む評価用デバイス30Kを作製した結果について説明する。
評価用デバイス30Kにおける、遮光層219aを含む断面写真を、図25Aに示す。
評価用デバイス30Kでは、隔壁216に設けられた開口を埋めるように、順テーパ形状の遮光層219aを形成した。隔壁216としては、ポリイミド樹脂を用いて、可視光を透過する樹脂層を形成した。遮光層219aとしては、茶色レジスト材料を用いて、可視光を遮る樹脂層を形成した。
次に、表示装置10Qが有する遮光層219aを含む評価用デバイス30Qを作製した結果について説明する。
評価用デバイス30Qにおける、遮光層219aを含む断面写真を、図25Bに示す。
評価用デバイス30Qでは、隔壁217上に順テーパ形状の遮光層219aを設けた。隔壁217及び遮光層219aとしては、どちらも、茶色レジスト材料を用いて、可視光を遮る樹脂層を形成した。
以上のように、本実施例では、遮光層219aを含む評価用デバイスを作製することができた。
本実施例では、表示部に、受光素子及び発光素子を有する表示装置を作製した結果について説明する。
[デバイス構造]
図26に、表示装置の画素を構成するデバイス構造を示す。
本実施例で作製した表示装置の1つの画素は、Red(R)、Green(G)、Blue(B)の3色の有機EL素子OLED及び1つの有機フォトダイオードOPDの計4つの素子と、これら4つの素子をそれぞれ独立に駆動するための回路(駆動回路43、44)と、を有する。
4つの素子は、それぞれ、基板151上に設けられている。本実施例では、基板151にガラス基板を用いた表示装置と、基板151に樹脂基板を用いた可撓性を有する表示装置と、を作製した。さらに、基板151上には、有機フォトダイオードOPDの画素電極181と電気的に接続される駆動回路43と、有機EL素子OLEDの画素電極191と電気的に接続される駆動回路44が設けられている。有機フォトダイオードOPDは、対向基板側(図22では共通電極115側)から入射した光を検出する構成である。有機EL素子OLEDは、対向基板側に光を発するトップエミッション構造である。画素電極181及び画素電極191は、可視光を反射する機能を有する。
4つの素子は、それぞれ、正孔輸送層が作り分けられており、さらに、各色の有機EL素子OLEDの発光層と有機フォトダイオードOPDの活性層とが、作り分けられている。具体的には、有機フォトダイオードOPDは正孔輸送層186及び活性層183を有し、赤色の有機EL素子OLEDは正孔輸送層196R及び発光層193Rを有し、緑色の有機EL素子OLEDは正孔輸送層196G及び発光層193Gを有し、青色の有機EL素子OLEDは正孔輸送層196B及び発光層193Bを有する。
共通層112、114a、114b、及び共通電極115は、4つの素子で共通の構成であり、共通のマスクを用いて形成される。共通層112は、有機EL素子OLEDの正孔注入層として機能し、有機フォトダイオードOPDの正孔輸送層として機能する。共通層114aは、有機EL素子OLED及び有機フォトダイオードOPDの電子輸送層として機能する。共通層114bは、有機EL素子OLEDの電子注入層として機能し、有機フォトダイオードOPDの電子輸送層として機能する。共通電極115は、可視光を透過する機能及び可視光を反射する機能を有する。
このように、R、G、Bの3色の発光素子を作り分ける構成から、有機フォトダイオードOPDを含めた4種を作り分ける構成に変更するのみで、有機ELディスプレイの表示部の一面全体にフォトセンサを形成することができる。本実施例の表示装置の構成は、フォトセンサを別のモジュールとして組み込む場合に比べて、プロセス面、コスト面、及びデザイン性の面で優れ、小型化及びフレキシブル化が容易である。
本実施例の表示装置における撮像方法について、図1Cを用いて説明する。本実施例の表示装置による撮像は、有機EL素子OLEDが発した光を光源に用いて、撮像物からの反射光を有機フォトダイオードOPDで検出することにより行う。
図1Cに示すように、基板59(対向基板)に接した指52の指紋を撮像する場合には、有機EL素子OLEDが発する光を、基板59上の指52が反射し、有機フォトダイオードOPDがその反射光を検出する。このとき、指紋の凹凸の反射率の差を利用することで、指紋を撮像することができる。
指紋の撮像は、単色の光のみで検出することができ、カラー撮像でなくてよいが、本実施例の表示装置は、R、G、Bの有機EL素子を順次発光させ、それぞれの反射光を時分割で検出することで、カラー撮像も可能である。例えば、対向基板上にカラー画像を配置し、当該カラー画像をカラーでスキャンすることができる。この方式を用いる場合、可視光領域全体に対し感度を有する有機フォトダイオードOPDが配置されていればよく、R用、G用、B用の個々の有機フォトダイオードOPDを配置する必要がないため、高精細化に有利である。
[表示装置の構成]
本実施例では、画面サイズが対角3.07インチ、画素数が360(H)×540(V)、画素ピッチが120μm×120μm、精細度が212ppiである、アクティブマトリクス型の表示装置を作製した。ゲートドライバは内蔵し、ソースドライバは外付けのICをCOG方式により実装した。読み出し回路は、アナログ電圧順次出力とした。
本実施例の表示装置は、結晶性を有する酸化物半導体を半導体層に用いたトランジスタをスイッチング素子として用いた。結晶性を有する酸化物半導体を半導体層に用いたトランジスタは、オフ電流が非常に低いという特徴を有している。この特徴により、センシングの面では、グローバルシャッター方式での撮像が可能になるというメリットがある。また、静止画において、画像の書き換え回数を削減でき、低消費電力に繋がる駆動(IDS駆動)が可能になる。
なお、IDS駆動とは、通常よりも低速のフレーム周波数で動作するアイドリング・ストップ駆動である。IDS駆動では、画像データの書き込み処理を実行した後、画像データの書き換えを停止する。一旦画像データの書き込みをして、その後、次の画像データの書き込みまでの間隔を延ばすことで、その間の画像データの書き込みに要する分の消費電力を削減することができる。IDS駆動のフレーム周波数は、例えば、通常動作(代表的には60Hz以上240Hz以下)の1/100以上1/10以下とすることができる。静止画は、連続するフレーム間でビデオ信号が同じである。よって、IDS駆動モードは、静止画を表示する場合に特に有効である。
通常、画像の書き換え動作は、センサに対してノイズとなるため、S/N比を低下させる。しかし、IDS駆動の場合、センシングしている間、画像を保持したまま、画像の書き換え動作を停止できる。よって、画像の書き換えによるノイズの影響を受けずにセンシングすることができ、S/N比の低下を抑制できる。
本実施例の表示装置では、1フレームを表示の期間とセンシングの期間に分けた。センシングの期間はIDS駆動を用いることで、画像の書き換えを行わず、センシング時のノイズを低減させた。また、指紋認証や画像のスキャニングには、有機EL素子OLEDが発する光を光源として用いるため、有機EL素子OLEDの発光の輝度を一定に保持することが必要である。この場合も、IDS駆動を採用することで、ノイズが低減でき、良好なセンシングを行うことができる。
ここで、有機EL素子OLEDの輝度が高いほどS/N比の向上を図ることができる。本実施例の表示装置では、図18Bに示す、メモリを有する画素回路を適用した。したがって、本実施例の表示装置は高い輝度で有機EL素子OLEDを発光させることができる。センシング時に、選択的に画素の輝度を向上させることで、センサの感度を高めることができる。具体的には、本実施例の表示装置は、緑色の単色表示の際に、最大2000cd/cmの輝度で発光させることができる。
本実施例で作製した表示装置の断面構造には、表示装置10K(図6B、図7A)の構成を適用した。
[表示結果]
図27A及び図27Bに、本実施例の表示装置の表示結果を示す。図27Aは、基板151にガラス基板を用いた表示装置の表示結果である。図27Bは、基板151に樹脂基板を用いた可撓性を有する表示装置の表示結果である。図27A及び図27Bに示すように、表示部に、受光素子及び発光素子を有する表示装置において、画像を良好に表示できることが確認された。さらに、図27Bに示すように、受光素子及び発光素子を有する表示部の可撓性を高めることができ、表示部を曲げた状態においても、画像を良好に表示できることが確認された。
[撮像光学系]
本実施例の表示装置では、有機EL素子OLEDの発光が対象物によって反射された光を有機フォトダイオードOPDは検出する。しかし、有機EL素子OLEDの発光が、表示装置内で反射され、対象物を介さずに、有機フォトダイオードOPDに入射されてしまう場合がある。このような迷光は撮像時にノイズとなり、S/N比を低下させる要因となる。本実施例の表示装置では、対向基板側と支持基板側との双方に、遮光層を配置し、迷光の影響の抑制を図った。
まず、対向基板側と支持基板側との双方に遮光層を有することで、迷光の影響が抑制されるかを確認した。ここでは、遮光層を有さない構成として、図4Aに示す表示装置10Dの構成から遮光層158を除いた構成(以下では簡略化のため、表示装置10Dと記す。)を用い、遮光層を有する構成として、遮光層158及び遮光層219aを有する、図10Bに示す表示装置10Pの構成を用いた。遮光層219aは、厚さ2.0μmとなるように形成した。
表示装置10Dまたは表示装置10P上に被写体を置かず、光源として緑色の画素を1画素のみを発光させ、当該発光させた画素の周囲の有機フォトダイオードOPDの検出強度を測定した。被写体を置いていないため、有機フォトダイオードOPDが検出した光は、迷光などのノイズ成分のみである。なお、事前に全面非発光の状態で有機フォトダイオードOPDの検出強度を測定した。そして、光源となる有機EL素子OLEDからの迷光の影響に注目するため、全面非発光の際の検出強度と、1画素のみを発光させた状態の光検出強度と、の差分を求めた。また、表示装置10Pの測定結果は、表示装置10Dの測定結果のピーク強度で規格化した。
表示装置10Dにおける測定結果を図28に示し、表示装置10Pにおける測定結果を図29に示す。図28及び図29において、z軸は光検出強度、x軸及びy軸は画素のアドレスを示す。図28及び図29から、遮光層219aを設けることで、検出強度の最大値が半分程度に減少していることがわかった。また、図28では、4×4画素程度の範囲で、検出強度が高くなっているが、図29では、検出強度が高い範囲は、2×2画素程度であった。遮光層219aを設けることで、検出強度が高くなる画素の範囲を狭くできることがわかった。以上のことから、支持基板側に遮光層を設けることで、迷光によるノイズの強度を抑制し、かつ、迷光によるノイズが検出される範囲を狭くできることがわかった。以上のことから、対向基板側と支持基板側との双方に遮光層を設けることで、迷光の影響を抑制し、S/N比を向上させることができるとわかった。
また、被写体を鮮明に撮像するためには、画素アドレスが隣接する2つの有機フォトダイオードOPDの撮像範囲が重なる領域を狭くする必要がある。図30を用いて、有機フォトダイオードOPDの撮像範囲と各種パラメータの関係について説明する。
図30に、1つの有機フォトダイオードOPDの撮像範囲S、対向基板(基板152)の厚さL、遮光層158の開口径p、遮光層158の開口の底部(基板152の有機フォトダイオードOPD側の面)から有機フォトダイオードOPDまでの距離l、有機フォトダイオードOPDの幅sを示す。図30より、開口径p、長さLなどが、有機フォトダイオードOPDの撮像範囲Sに影響していることがわかる。
撮像範囲Sは、下記式(1)で求めることができる。式(1)において、nは接着層142の屈折率であり、nは基板152の屈折率である。可撓性を有する表示装置においては、基板152に樹脂基板を用いるため、接着層142に用いる封止樹脂の屈折率と基板152に用いる樹脂基板の屈折率はほぼ同等とみなすことができる。これより、n=nとすると、下記式(2)が求められる。
Figure 0007381508000001
上記式(2)を用いて撮像範囲Sを求めた結果を図31に示す。図31には、l=10μm、s=20μm、n=nであり、p=1μm、2μm、5μm、10μm、20μmのそれぞれの場合について、基板152の厚さLと有機フォトダイオードOPDの撮像範囲Sとの関係を示す。
図31より、開口径pが小さくなるほど、有機フォトダイオードOPDの撮像範囲Sが狭くなることがわかる。また、基板152の厚さLが薄くなるほど、有機フォトダイオードOPDの撮像範囲Sが狭くなることがわかる。つまり、開口径pや基板152の厚さLを調整することで、有機フォトダイオードOPDの撮像範囲Sを制御できることがわかった。また、式(2)から、距離lを大きくするまたは幅sを小さくすることでも、有機フォトダイオードOPDの撮像範囲Sが狭くなることがわかる。
図32及び図33に、基板152の厚さL及び遮光層(light shielding layer)158の有無を変えた表示装置で、撮像の解像度を比較した結果を示す。幅0.12mmの全光反射率10%の黒線を0.72mmのピッチで全光反射率80%の反射板に印刷した被写体を表示装置上に配置し、撮像を行った。表示装置は、p=19μm、l=8μm、s=21μmとなるように設計した。
図32A及び図32Bは、撮像画像の拡大図である。図32Aから、基板152の厚さLが薄いほど、鮮明に撮像できており、厚くなるにつれて黒線がぼやけていることがわかる。また、図32Bから、遮光層158の有無にかかわらず、黒線を撮像することができるが、遮光層158がある方が、黒線と背景領域とのコントラストが高かった。このことから、遮光層158を設けることで、有機フォトダイオードOPDの撮像範囲を狭くし、周辺の背景領域の検出を抑制できるとわかった。
図33は、撮像結果から水平方向のプロファイルを抽出した結果である。なお、図33は、事前に、白色の背景で低反射率の黒色板を撮像することで得た、黒色板の値と白色の背景の値で規格化した結果である。図33から、基板152の厚さLが厚いほど、黒線部の検出強度が上昇し、黒線と黒線の間の背景領域の検出強度が低下していることがわかった。これは、基板152の厚さLが厚くなると有機フォトダイオードOPDの撮像範囲が広くなるため、どの有機フォトダイオードOPDも、黒線と背景領域との双方を検出してしまい、差が生じにくくなるためである。
以上の結果から、本実施例では、基板151にガラス基板を用いた表示装置、及び、基板151に樹脂基板を用いた表示装置ともに、遮光層158を採用し、また、上記p、l、sの値に加えて、L=0.2mmとなるように設計し、作製した。
[撮像結果]
本実施例の表示装置において、有機EL素子OLEDが発する光を光源に、有機フォトダイオードOPDを用いて撮像した結果を示す。本実施例では、指紋の撮像とカラー画像のスキャニングを行った。
まず、基板151にガラス基板を用いた表示装置上に指を載せ、緑色の有機EL素子OLEDを発光させて、指紋の撮像を行ったところ、指紋の凹凸に起因した紋様を良好に撮像することができた。このことから、本実施例の表示装置を用いて、指紋と同程度の高解像度の撮像ができることが確認できた。さらに、図34Aに示すように、基板151に樹脂基板を用いた可撓性を有する表示装置の表示部を曲げ、当該曲がった部分に指を載せ、緑色の有機EL素子OLEDを発光させて、指紋の撮像を行った。表示部の曲率半径は10mmとした。表示部の曲がった部分においても、指紋の凹凸に起因した紋様を良好に撮像することができた。表示部の曲がった部分でセンシングを良好に行えることから、例えば、図21A及び図21Bに示す携帯情報端末において、携帯情報端末の側端部や側面で指紋認証を行うといった応用が期待できる。
次に、カラー画像の撮像を行った。図34Bは、画像を紙に印刷し、当該紙の印刷面を表示装置側に向けて、表示装置上に当該紙を配置し、撮像した結果である。なお、取得した撮像画像に対して、事前に測定した白表示と黒表示の検出値を基準値として画像補正を実施した。また、画像補正の際、撮像画像の検出値が当該基準値から大きく外れる値を示す箇所については黒表示の値に補正した。
本実施例では、可視領域の広い範囲に吸収を有する有機フォトダイオードOPDを用いた。そのため、有機EL素子OLEDのR、G、B各色を時分割して順次点灯させて、有機フォトダイオードOPDを用いてR、G、Bそれぞれの単色の画像データを撮像し、3つの画像データを合成することで、カラー画像を取得した。本実施例では、グローバルシャッター方式を用い、図18Bに示すメモリ機能を用いて高輝度発光を行い、1/2Hzでカラー画像を取得した。撮像条件としては、赤色の表示の輝度は750cd/m、緑色の表示の輝度は1650cd/m、青色の表示の輝度は370cd/m、各色とも、露光時間は1.6msec、読み出し時間は250msecとした。図34Bに示すように、本実施例の表示装置を用いて、カラー画像を良好に撮像できることが確認できた。
次に、コインの撮像を行った。図35Aは、撮像の様子を示す写真である。図35Bは、表示装置上にコインを配置し、撮像した結果である。
撮像方法の詳細は、カラー画像の撮像と同様である。撮像条件としては、赤色の表示の輝度は340cd/m、緑色の表示の輝度は1700cd/m、青色の表示の輝度は150cd/m、各色とも、露光時間は1.85msecとした。図34Bに示すように、本実施例の表示装置を用いて、コインの模様を良好に撮像できることが確認できた。
本実施例では、受光素子を作製し、特性を評価した結果について説明する。
本実施例では、受光素子として、デバイス1と比較デバイス2とを作製した。デバイス1は、発光素子と構造の共通化を図った構成であり、発光素子の発光層を受光素子の活性層に置き換えて作製可能な積層構造を有する。なお、デバイス1の構成は、実施例2の表示装置が有する有機フォトダイオードOPDにも適用した。比較デバイス2は、発光素子と構造の共通化を図っていない構成であり、イメージセンサに適した積層構造を有する。
本実施例で用いる材料の化学式を以下に示す。
Figure 0007381508000002
本実施例の受光素子の素子構造を表1に示す。また、表1を用いて、デバイス1及び比較デバイス2について説明する。
Figure 0007381508000003
[デバイス1]
表1に示すように、デバイス1では、第1の電極として、厚さ約100nmの、銀(Ag)とパラジウム(Pd)と銅(Cu)の合金(Ag-Pd-Cu(APC))膜、及び、厚さ約100nmの、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物(ITSO)膜の2層構造を用いた。
デバイス1の第1のバッファ層は、発光素子の正孔注入層及び正孔輸送層に対応する層である。
まず、正孔注入層に対応する層を、3-[4-(9-フェナントリル)-フェニル]-9-フェニル-9H-カルバゾール(略称:PCPPn)と、酸化モリブデンとを、重量比がPCPPn:酸化モリブデン=2:1となるように共蒸着することで、形成した。正孔注入層に対応する層の厚さは、約15nmとなるように形成した。
次に、正孔輸送層に対応する層を、PCPPnを用い、厚さが約40nmとなるように蒸着した。
デバイス1の活性層は、フラーレン(C70)とテトラフェニルジベンゾペリフランテン(略称:DBP)とを、重量比がC70:DBP=9:1となるように共蒸着することで、形成した。活性層の厚さは、約60nmとなるように形成した。
デバイス1の第2のバッファ層は、発光素子の電子輸送層及び電子注入層に対応する層である。
まず、電子輸送層に対応する層を、2-[3’-(ジベンゾチオフェン-4-イル)ビフェニル-3-イル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mDBTBPDBq-II)の厚さが約10nm、2,9-ビス(ナフタレン-2-イル)-4,7-ジフェニル-1,10-フェナントロリン(略称:NBPhen)の厚さが約10nmとなるように順次蒸着して形成した。
次に、電子注入層に対応する層を、フッ化リチウム(LiF)を用い、厚さが約1nmとなるように蒸着して形成した。
デバイス1の第2の電極は、銀(Ag)とマグネシウム(Mg)との体積比を10:1とし、厚さが約9nmとなるように共蒸着して形成した後、インジウム錫酸化物(ITO)をスパッタリング法により、厚さが約40nmとなるように形成した。
以上により、デバイス1を作製した。
[比較デバイス2]
表1に示すように、比較デバイス2は、第1の電極として、厚さ約50nmのチタン膜、厚さ約200nmのアルミニウム膜、及び厚さ約5nmのチタン膜の3層構造を用いた。
比較デバイス2の第1のバッファ層は、フラーレン(C70)を用いて、厚さが約10nmとなるように蒸着した。
比較デバイス2の活性層は、デバイス1と同様であり、フラーレン(C70)とDBPとを、重量比がC70:DBP=9:1となるように共蒸着することで、形成した。活性層の厚さは、約60nmとなるように形成した。
比較デバイス2の第2のバッファ層は、酸化モリブデンを用いて、厚さが約60nmとなるように蒸着した。
比較デバイス2の第2の電極は、ITOをスパッタリング法により、厚さが約40nmとなるように形成した。
以上により、比較デバイス2を作製した。
[電流密度-電圧特性]
図36に、デバイス1及び比較デバイス2の電流密度-電圧特性を評価した結果を示す。図36において、縦軸は電圧(V)を表し、横軸は電流密度(A/cm)を表す。
本実施例の受光素子の受光領域は、2mm×2mmであった。
本実施例の受光素子に波長λ=550nmの光を12.5μW/cmで照射し、電流密度-電圧特性を測定した。なお、ここで印加した電圧は、通常、EL素子に印加するバイアスを正とした場合の値である。つまり、第1の電極側が高電位で第2の電極側が低電位である場合が、正である。
図36に示すように、電圧-2V以下の場合、デバイス1と比較デバイス2とで、光電流の値は同等であり、良好な値が得られていることがわかった。また、デバイス1は、比較デバイス2に比べて、暗電流(Dark)が低いことがわかった。
以上のように、本実施例では、発光素子と構造の共通化を図った構成の受光素子を用いて、良好な電流密度-電圧特性を得ることができた。
なお、先の実施例2に示すように、有機フォトダイオードOPDに本実施例のデバイス1の構成を適用して作製した本発明の一態様の表示装置において、撮像を良好に行えることが確認できた。
本実施例では、受光素子を作製し、特性を評価した結果について説明する。
本実施例では、受光素子として、デバイス3、デバイス4、デバイス5、及びデバイス6を作製した。デバイス1は、発光素子と構造の共通化を図った構成であり、発光素子の発光層を受光素子の活性層に置き換えて作製可能な積層構造を有する。
本実施例で用いるデバイスの具体的な構成について表2に示す。なお、本実施例のデバイスの構造は実施例3のデバイス1と同様であり、作製方法については実施例3を参照できる。また、本実施例で用いる材料の化学式を以下に示す。
Figure 0007381508000004
Figure 0007381508000005
表2に示すように、本実施例の4つのデバイスは、第1のバッファ層に用いる材料が互いに異なる。各デバイスにおいて、第1のバッファ層は、2つの層を有する。
デバイス3、デバイス4、及びデバイス5において、第1のバッファ層の1層目は、PCPPnと、酸化モリブデンとを、重量比がPCPPn:酸化モリブデン=2:1となるように共蒸着することで、形成した。1層目の厚さは、約15nmとなるように形成した。
デバイス3の第1のバッファ層の2層目は、PCPPnを用い、厚さが約40nmとなるように蒸着した。
デバイス4の第1のバッファ層の2層目は、4-フェニル-4’-(9-フェニルフルオレン-9-イル)トリフェニルアミン(略称:BPAFLP)を用い、厚さが約40nmとなるように蒸着した。
デバイス5の第1のバッファ層の2層目は、1,3,5-トリ(ジベンゾチオフェン-4-イル)ベンゼン(略称:DBT3P-II)を用い、厚さが約40nmとなるように蒸着した。
デバイス6の第1のバッファ層の1層目は、N,N-ビス(4-ビフェニル)-6-フェニルベンゾ[b]ナフト[1,2-d]フラン-8-アミン(略称:BBABnf)とALD-MP001Q(分析工房株式会社、材料シリアル番号:1S20180314)とを、重量比がBBABnf:ALD-MP001Q=10:1となるように共蒸着することで、形成した。1層目の厚さは約15nmとなるように形成した。ALD-MP001Qは、BBABnfに対して電子受容性を有する。
デバイス6の第1のバッファ層の2層目は、BBABnfを用い、厚さが約40nmとなるように蒸着した。
[電流密度-電圧特性]
図37A、図37Bに、デバイス3~デバイス6の電流密度-電圧特性を評価した結果を示す。図37A、図37Bにおいて、縦軸は電圧(V)を表し、横軸は電流密度(μA/cm)を表す。
本実施例の受光素子の受光領域は、2mm×2mmであった。
本実施例の受光素子に波長550nmの光を12.5μW/cmで照射し、電流密度-電圧特性を測定した。測定結果を図37Aに示す。なお、ここで印加した電圧は、通常、EL素子に印加するバイアスを正とした場合の値である。つまり、第1の電極側が高電位で第2の電極側が低電位である場合が、正である。
また、本実施例の受光素子に光を照射しない条件(0μW/cm)でも、電流密度-電圧特性を測定した。測定結果を図37Bに示す。
図37A、図37Bに示すように、第1のバッファ層の材料を変えることで、受光素子の駆動電圧に差が生じるものの、飽和電流には大きな変化がなかった。このことから、本実施例で作製した受光素子の発光効率は、第1のバッファ層の材料にほとんど影響されないことがわかった。
[外部量子効率の波長依存性]
図38A、図38Bに、デバイス3~デバイス6の外部量子効率の波長依存性を評価した結果を示す。図38A、図38Bにおいて、縦軸は外部量子効率(%)を表し、横軸は波長(nm)を表す。
本実施例の受光素子に、波長375nmから750nmまでの光を25nmおきに、12.5μW/cmで照射し、外部量子効率の波長依存性を求めた。図38Aは、電圧が-1Vのときの結果であり、図38Bは、電圧が-4Vのときの結果である。
図38A、図38Bに示すように、第1のバッファ層の材料を変えても、外部量子効率に大きな差はないことがわかった。
以上のように、本実施例の結果から、第1のバッファ層の材料によらず、良好な特性の受光素子を得ることができた。このことから、本発明の一態様の表示装置に用いる受光素子は、様々な発光素子と構造の共通化を図ることができ、かつ、良好な特性が得られることがわかった。
本実施例では、受光素子を作製し、特性を評価した結果について説明する。
本実施例で作製した受光素子は、発光素子と構造の共通化を図った構成であり、発光素子の発光層を受光素子の活性層に置き換えて作製可能な積層構造を有する。
本実施例で作製した受光素子は、実施例3で作製したデバイス1(表1参照)と同様の構成である。
本実施例の評価では、本実施例の受光素子に、波長375nmから750nmまでの光を25nmおきに、12.5μW/cmで照射し、外部量子効率の波長依存性を求めた。電圧は、-4Vとした。また、測定温度を、20℃から80℃までの10℃おきの7条件とし、外部量子効率の温度依存性を求めた。
図39に、受光素子の受光感度の波長依存性を示す。図40に、受光素子の受光感度の温度依存性を示す。なお、図39及び図40の縦軸は外部量子効率(EQE)を示す。
本実施例の結果から、本実施例の受光素子では、高温になるにつれて、緩やかに外部量子効率が上昇する傾向が確認された。本実施例の受光素子は、20℃から80℃までの間で、急激な効率の変化は確認されず、正常に動作することが確認された。
以上のように、本実施例では、発光素子(有機EL素子)と構造の共通化を図った構成の受光素子を作製し、広い温度で使用可能であることを確認することができた。
本実施例では、受光素子を作製し、特性を評価した結果について説明する。
本実施例で作製した受光素子は、発光素子と構造の共通化を図った構成であり、発光素子の発光層を受光素子の活性層に置き換えて作製可能な積層構造を有する。
本実施例で用いる受光素子の具体的な構成について表3に示す。実施例3~実施例5で作製した受光素子(表1、表2参照)は、いずれも、第2の電極側から光を受光する構成であったが、本実施例で作製した受光素子は、第1の電極側から光を受光する。
本実施例で作製した受光素子は、第1の電極が厚さ約70nmのインジウム錫酸化物(ITO)膜である点と、第2の電極が厚さ約150nmのアルミニウム(Al)膜である点で、主に、実施例3で作製したデバイス1(表1参照)と異なる。また、第1のバッファ層、活性層、第2のバッファ層には、デバイス1と同じ材料を用いたが、膜厚はデバイス1の条件とは異なる。
Figure 0007381508000006
本実施例の評価では、本実施例の受光素子に、波長375nmから900nmまでの光を、12.5μW/cmで照射し、外部量子効率の波長依存性を求めた。なお、375nmから750nmまでは25nmおき、750nmから900nmまでは10nmおきに光を照射した。電圧は、-6Vから1Vまでの0.25Vおきとした。
図41に、受光素子の受光感度の波長依存性を示す。なお、図41の縦軸は外部量子効率(EQE)を示す。図42に、受光素子の電流密度-電圧特性を示す。
本実施例では、可視光センサ向けの材料を活性層に用いた。本実施例の結果から、可視光(450nm以上650nm以下)領域に受光感度を有することが確認された。本実施例の受光素子は、可視光センサとして、正常に動作することが確認された。
以上のように、本実施例では、発光素子(有機EL素子)と構造の共通化を図った、第1の電極側から光を受光する構成の受光素子を作製し、良好な特性を得ることができた。
本実施例では、受光素子を作製し、特性を評価した結果について説明する。
本実施例で作製した受光素子は、発光素子と構造の共通化を図った構成であり、発光素子の発光層を受光素子の活性層に置き換えて作製可能な積層構造を有する。
本実施例で用いる受光素子の具体的な構成について表4に示す。本実施例で作製した受光素子は、第1の電極側から光を受光する。本実施例で作製した受光素子は、一部の層の厚さが異なる点以外は、実施例6で作製した受光素子(表3参照)と同様の構成である。
Figure 0007381508000007
本実施例では、作製した受光素子に光を照射しながら連続駆動試験を実施し、信頼性の照度依存性を評価した。連続駆動試験における光照射の条件(以下、ストレス照度ともいう)は20klx、40klx、100klxの3通りであり、電圧は-4V、温度は25℃、駆動時間は210hr、光源は白色LEDとした。なお、同一の条件で複数の素子について評価を行った。20klxは、11個(n=11)、40klxは、5個(n=5)、100klxは6個(n=6)の素子で評価を行った。
図43A~図43Cに、受光素子の規格化電流値-時間特性を示す。図43Aは、ストレス照度が20klxの場合の結果であり、図43Bは、ストレス照度が40klxの場合の結果であり、図43Cは、ストレス照度が100klxの場合の結果である。
また、図44に、電流値が5%劣化するまでの時間とストレス照度との関係を示す。
図43及び図44より、ストレス照度が増加することで、連続駆動時の電流減少が促進される傾向が確認された。
次に、連続駆動試験前後における受光素子の電流変化を確認した。図45に、連続駆動試験後の規格化電流値-測定照度特性を示す。連続駆動試験前の電流値を1として、ストレス照度が40klxの条件で連続駆動試験を実施した後の、規格化電流値を求めた。なお、同一の条件で5個(n=5)の素子について評価を行った。
図45に示すように、測定照度が高い領域においては、連続駆動試験前後の電流値の変化が大きいが、測定照度が低い領域(特に、1klx以下)においては、当該試験前後の電流値の変化が小さいことが確認された。つまり、本実施例の受光素子は、照度ストレスによる劣化が生じても、測定照度が低い領域における特性が、測定照度が高い領域における特性に比べて、変化しにくいことがわかった。本実施例の受光素子は、測定照度が低い領域において、良好な信頼性が得られているため、指紋を撮像する際など、測定時の照度が比較的低い用途において、好適に用いることができると示唆された。
C1:容量素子、C2:容量素子、G1:配線、G2:配線、L1:最短距離、L2:最短距離、L3:厚さ、L4:和、M1:トランジスタ、M2:トランジスタ、M3:トランジスタ、M4:トランジスタ、M5:トランジスタ、M6:トランジスタ、M7:トランジスタ、OUT1:配線、OUT2:配線、PD:受光素子、PIX1:画素回路、PIX2:画素回路、V0:配線、V1:配線、V2:配線、V3:配線、V4:配線、V5:配線、10A:表示装置、10B:表示装置、10C:表示装置、10D:表示装置、10E:表示装置、10F:表示装置、10G:表示装置、10H:表示装置、10J:表示装置、10K:表示装置、10L:表示装置、10M:表示装置、10N:表示装置、10P:表示装置、10Q:表示装置、21:発光、21B:光、21G:光、21R:光、22:光、23a:迷光、23b:迷光、23c:迷光、23d:迷光、30K:評価用デバイス、30N:評価用デバイス、30P:評価用デバイス、30Q:評価用デバイス、31:画素、41:トランジスタ、42:トランジスタ、42B:トランジスタ、42G:トランジスタ、42R:トランジスタ、43:駆動回路、44:駆動回路、50A:表示装置、50B:表示装置、51:基板、52:指、53:受光素子を有する層、55:トランジスタを有する層、57:発光素子を有する層、59:基板、100A:表示装置、100B:表示装置、100C:表示装置、110:受光素子、112:共通層、113:発光層、114:共通層、114a:共通層、114b:共通層、115:共通電極、116:保護層、116a:無機絶縁層、116b:有機絶縁層、116c:無機絶縁層、142:接着層、143:空間、146:レンズアレイ、149:レンズ、151:基板、152:基板、153:基板、154:基板、155:接着層、156:接着層、157:絶縁層、158:遮光層、159:樹脂層、159p:開口、160:空隙、162:表示部、164:回路、165:配線、166:導電層、167:導電層、168:導電層、169B:導電層、169G:導電層、169R:導電層、172:FPC、173:IC、181:画素電極、182:バッファ層、183:活性層、184:バッファ層、186:正孔輸送層、190:発光素子、190B:発光素子、190G:発光素子、190R:発光素子、191:画素電極、191B:画素電極、191G:画素電極、191R:画素電極、192:バッファ層、193:発光層、193B:発光層、193G:発光層、193R:発光層、194:バッファ層、196B:正孔輸送層、196G:正孔輸送層、196R:正孔輸送層、197:光学調整層、197B:光学調整層、197G:光学調整層、201:トランジスタ、202:トランジスタ、203:トランジスタ、204:接続部、205:トランジスタ、206:トランジスタ、207:トランジスタ、208:トランジスタ、209:トランジスタ、210:トランジスタ、211:絶縁層、212:絶縁層、213:絶縁層、214:絶縁層、214a:絶縁層、214b:絶縁層、215:絶縁層、216:隔壁、217:隔壁、219a:遮光層、219b:スペーサ、219c:側壁、220:間隙、221:導電層、222a:導電層、222b:導電層、223:導電層、225:絶縁層、228:領域、231:半導体層、230:領域、231i:チャネル形成領域、231n:低抵抗領域、242:接続層、6500:電子機器、6501:筐体、6502:表示部、6503:電源ボタン、6504:ボタン、6505:スピーカ、6506:マイク、6507:カメラ、6508:光源、6510:保護部材、6511:表示パネル、6512:光学部材、6513:タッチセンサパネル、6515:FPC、6516:IC、6517:プリント基板、6518:バッテリ、7000:表示部、7100:テレビジョン装置、7101:筐体、7103:スタンド、7111:リモコン操作機、7200:ノート型パーソナルコンピュータ、7211:筐体、7212:キーボード、7213:ポインティングデバイス、7214:外部接続ポート、7300:デジタルサイネージ、7301:筐体、7303:スピーカ、7311:情報端末機、7400:デジタルサイネージ、7401:柱、7411:情報端末機、9000:筐体、9001:表示部、9003:スピーカ、9005:操作キー、9006:接続端子、9007:センサ、9008:マイクロフォン、9050:アイコン、9051:情報、9052:情報、9053:情報、9054:情報、9055:ヒンジ、9101:携帯情報端末、9102:携帯情報端末、9200:携帯情報端末、9201:携帯情報端末

Claims (8)

  1. 第1の基板、第2の基板との間に、受光素子、第1の発光素子、樹脂層と、第1の遮光層と、接着層と、を有し
    記受光素子は、前記第1の基板上の第1の画素電極、前記第1の画素電極上の活性層、及び前記活性層上の共通電極を有し、
    前記第1の発光素子は、前記第1の基板上の第2の画素電極、前記第2の画素電極上の第1の発光層、及び前記第1の発光層上の前記共通電極を有し、
    前記樹脂層及び前記第1の遮光層は、それぞれ、前記共通電極と前記第2の基板との間に位置し、
    前記樹脂層は、前記受光素子と重なる開口を有し、
    前記樹脂層は、前記第1の発光素子と重なる部分を有し、
    前記第1の遮光層は、前記共通電極と前記樹脂層との間に位置する部分を有し、
    前記接着層は、前記共通電極と前記第2の基板との間に位置し、
    前記接着層は、前記受光素子と重なる第1の部分と、前記第1の発光素子と重なる第2の部分と、を有し、
    前記第1の部分は、前記第2の部分に比べて厚い、表示装置。
  2. 請求項1において、
    前記第1の遮光層は、前記開口の少なくとも一部を覆う領域と、前記開口にて露出している前記樹脂層の側面の少なくとも一部を覆う領域とを有する、表示装置。
  3. 第1の基板、第2の基板との間に、受光素子、第1の発光素子、樹脂層と、第1の遮光層と、接着層と、を有し
    前記受光素子は、前記第1の基板上の第1の画素電極、前記第1の画素電極上の活性層、及び、
    前記活性層上の共通電極を有し、
    前記第1の発光素子は、前記第1の基板上の第2の画素電極、前記第2の画素電極上の第1の発光層、及び、前記第1の発光層上の前記共通電極を有し、
    前記樹脂層及び前記第1の遮光層は、それぞれ、前記共通電極と前記第2の基板との間に位置し、
    前記樹脂層は、島状に設けられ、かつ、前記第1の発光素子と重なる部分を有し、
    前記第1の遮光層は、前記共通電極と前記樹脂層との間に位置する部分を有し、
    前記第2の基板を通過した光の少なくとも一部は、前記樹脂層を介さずに、前記受光素子に入射し、
    前記接着層は、前記共通電極と前記第2の基板との間に位置し、
    前記接着層は、前記受光素子と重なる第1の部分と、前記第1の発光素子と重なる第2の部分と、を有し、
    前記第1の部分は、前記第2の部分に比べて厚い、表示装置。
  4. 請求項3において、
    前記第1の遮光層は、前記樹脂層の側面の少なくとも一部を覆う領域とを有する、表示装置。
  5. 請求項1乃至のいずれか一において、
    さらに、共通層を有し、
    前記共通層は、前記第1の画素電極と前記共通電極との間に位置する部分と、前記第2の画素電極と前記共通電極との間に位置する部分と、を有する、表示装置。
  6. 請求項1乃至のいずれか一において、
    さらに、隔壁を有し、
    前記隔壁は、前記第1の画素電極の端部及び前記第2の画素電極の端部を覆い、
    前記隔壁は、前記第1の発光素子が発した光の少なくとも一部を吸収する機能を有する、表示装置。
  7. 請求項1乃至のいずれか一において、
    さらに、隔壁及び第2の遮光層を有し、
    前記隔壁は、前記第1の画素電極の端部及び前記第2の画素電極の端部を覆い、
    前記第2の遮光層は、前記隔壁と前記第1の遮光層との間に位置する部分を有し、かつ、前記第1の発光素子が発した光の少なくとも一部を吸収する機能を有する、表示装置。
  8. 請求項において、
    上面視において、前記隔壁は、前記受光素子と前記第1の発光素子との間に開口を有し、
    前記第2の遮光層は、前記隔壁の開口を覆う、表示装置。
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Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11832473B2 (en) 2019-06-26 2023-11-28 Oti Lumionics Inc. Optoelectronic device including light transmissive regions, with light diffraction characteristics
JP7386556B2 (ja) 2019-06-26 2023-11-27 オーティーアイ ルミオニクス インコーポレーテッド 光回折特性に関連する用途を備えた光透過領域を含む光電子デバイス
US11659758B2 (en) 2019-07-05 2023-05-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display unit, display module, and electronic device
JP7493514B2 (ja) 2019-08-02 2024-05-31 株式会社半導体エネルギー研究所 機能パネル、表示装置、入出力装置、情報処理装置
EP4027190A4 (en) 2019-09-04 2022-08-10 BOE Technology Group Co., Ltd. LINE RECOGNITION DEVICE AND DISPLAY DEVICE
WO2021048683A1 (ja) * 2019-09-13 2021-03-18 株式会社半導体エネルギー研究所 撮像装置、撮像モジュール、電子機器及び撮像方法
CN114430833A (zh) 2019-09-27 2022-05-03 株式会社半导体能源研究所 电子设备及程序
WO2021140405A1 (ja) 2020-01-10 2021-07-15 株式会社半導体エネルギー研究所 電子機器、およびプログラム
CN111312788B (zh) * 2020-02-28 2023-04-18 京东方科技集团股份有限公司 显示面板和显示装置
CN113901857A (zh) * 2020-06-22 2022-01-07 京东方科技集团股份有限公司 纹路识别装置以及电子装置
WO2022053904A1 (ja) * 2020-09-11 2022-03-17 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置、表示モジュール、及び電子機器
CN114625264A (zh) * 2020-11-27 2022-06-14 京东方科技集团股份有限公司 显示装置
WO2022123431A1 (en) 2020-12-07 2022-06-16 Oti Lumionics Inc. Patterning a conductive deposited layer using a nucleation inhibiting coating and an underlying metallic coating
TWI765580B (zh) * 2021-02-23 2022-05-21 佳世達科技股份有限公司 影像顯示裝置
CN113065445B (zh) * 2021-03-26 2023-04-18 深圳市汇顶科技股份有限公司 指纹识别装置和电子设备
TWI768808B (zh) * 2021-04-01 2022-06-21 友達光電股份有限公司 遮光元件基板以及顯示裝置
US11815689B2 (en) 2021-04-30 2023-11-14 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Electronic device
US11699391B2 (en) 2021-05-13 2023-07-11 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device, display apparatus, and electronic device
KR20230072549A (ko) 2021-11-17 2023-05-25 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR20230074365A (ko) * 2021-11-19 2023-05-30 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
CN116259079A (zh) * 2021-12-09 2023-06-13 群创光电股份有限公司 电子装置
KR20230121663A (ko) * 2022-02-11 2023-08-21 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
TWI815568B (zh) * 2022-04-28 2023-09-11 友達光電股份有限公司 感測裝置
US20240147824A1 (en) * 2022-10-11 2024-05-02 Samsung Display Co., Ltd. Electronic apparatus including organic photodiode and organic light-emitting device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010153834A (ja) 2008-11-28 2010-07-08 Semiconductor Energy Lab Co Ltd フォトセンサ及び表示装置
JP2017208173A (ja) 2016-05-16 2017-11-24 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
CN108962951A (zh) 2018-05-09 2018-12-07 友达光电股份有限公司 显示装置与包含其的电子装置
US20190013368A1 (en) 2017-07-04 2019-01-10 Samsung Electronics Co., Ltd. Near-infrared light organic sensors, embedded organic light emitting diode panels, and display devices including the same

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI341948B (en) * 2005-05-20 2011-05-11 Epson Imaging Devices Corp Display device
US7429753B2 (en) * 2005-05-20 2008-09-30 Sanyo Electric Co., Ltd. Display device
KR102079188B1 (ko) 2012-05-09 2020-02-19 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 발광 장치 및 전자 기기
CN105390502B (zh) * 2014-08-29 2019-07-12 乐金显示有限公司 显示装置
KR102448611B1 (ko) * 2015-10-30 2022-09-27 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
JP6901829B2 (ja) * 2016-04-04 2021-07-14 株式会社ジャパンディスプレイ フォトセンサ及びフォトセンサを有する表示装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010153834A (ja) 2008-11-28 2010-07-08 Semiconductor Energy Lab Co Ltd フォトセンサ及び表示装置
JP2017208173A (ja) 2016-05-16 2017-11-24 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
US20190013368A1 (en) 2017-07-04 2019-01-10 Samsung Electronics Co., Ltd. Near-infrared light organic sensors, embedded organic light emitting diode panels, and display devices including the same
CN108962951A (zh) 2018-05-09 2018-12-07 友达光电股份有限公司 显示装置与包含其的电子装置

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