WO2020158570A1 - ワーク保持治具及び表面処理装置 - Google Patents

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WO2020158570A1
WO2020158570A1 PCT/JP2020/002316 JP2020002316W WO2020158570A1 WO 2020158570 A1 WO2020158570 A1 WO 2020158570A1 JP 2020002316 W JP2020002316 W JP 2020002316W WO 2020158570 A1 WO2020158570 A1 WO 2020158570A1
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dummy
side dummy
holding jig
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PCT/JP2020/002316
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勝己 石井
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アルメックスPe株式会社
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/06Suspending or supporting devices for articles to be coated
    • C25D17/08Supporting racks, i.e. not for suspending
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/007Current directing devices
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D21/00Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating

Definitions

  • the present invention relates to a work holding jig and a surface treatment device used for surface treatment such as electrolytic plating.
  • a continuous plating device in which a work is held down by a work holding jig, immersed in a processing solution in a processing tank, and electrolytically plated while the work is continuously conveyed (Patent Documents 1 and 2).
  • the work holding jig holds the work and sets the work as a cathode.
  • the electric field between the anode and cathode tends to concentrate on the edge of the work.
  • the surface treatment at the edge is concentrated, and for example, in the case of electrolytic plating, the plating film thickness at the edge becomes thick.
  • Some aspects of the present invention aim to adjust the current flowing through the side edge of the work held by the work holding jig to enhance the in-plane uniformity of the work to be surface treated.
  • One aspect of the present invention is a work holding jig, which hangs and holds a work to be surface-treated and which can be electrically connected to a rectifier.
  • a conductive upper clamper that clamps the upper edge of the work, Conductive first and second side dummy members arranged close to both edges of the workpiece, A common conductive member that is electrically conductive with the rectifier, A first branch conduction member electrically connected to the common conductive member, branched from the common conductive member, and electrically connected to the work through the upper clamper;
  • a second branch conductive member electrically connected to the common conductive member, branched from the common conductive member, and electrically connected to the first and second side dummy members;
  • the present invention relates to a work holding jig.
  • the work holder that can be electrically connected to the rectifier is electrically connected to the work through the common conductive member and the first branch conducting member, and the common conductive member and the second branch conducting member. Is conducted to the first and second side dummy members via.
  • the total current flowing through the work and the first and second side dummy members can be set by the rectifier. Without the first and second side dummy members, the electric field concentrates on both side edges of the work, or the vertical frame of the jig affects the current flowing through the both side edges to be unintended. ..
  • the current flowing through the first and second side dummy members is independent of the current flowing through the workpiece.
  • the first and second side dummy members disposed in the vicinity of the side edge of the work are also surface-treated to adjust the current flowing in the side edge of the work, thereby adjusting the in-plane surface of the work to be surface-treated. Uniformity can be improved.
  • the jig according to one embodiment of the present invention may be continuously or intermittently conveyed in the treatment tank, or may be supported so as to be able to move in and out of the treatment tank without being conveyed.
  • the second branch conductive member is branched from the common conductive member and is conductive with the first side dummy member;
  • a second dummy conductive member which is branched from the common conductive member and is conductive with the second side dummy member, may be included.
  • the first dummy conducting member includes a first variable resistor having a variable resistance value
  • the second dummy conducting member has a variable resistance value.
  • a second variable resistor that is In this case, the resistance values of the first dummy conducting member and the second side dummy member are arbitrarily adjusted within a predetermined range by adjusting the resistance values of the first and second variable resistors. Can be adjusted.
  • the first dummy conducting member is electrically connected to an upper portion of the first side dummy member
  • the second dummy conducting member is the first dummy conducting member.
  • a connection member may be further provided that is electrically connected to the upper portion of the second side dummy member and electrically connects the lower portion of the first side dummy member and the lower portion of the second side dummy member.
  • the first dummy conducting member is electrically connected to an upper portion of the first side dummy member
  • the second dummy conducting member is the first dummy conducting member.
  • the first side dummy member and the second side dummy member are electrically connected to the upper portion of the second side dummy member, and each of the first side dummy member and the second side dummy member has a width parallel to the thickness direction of the work, and the upper portion is narrower than the lower portion. be able to.
  • the upper portions of the first and second side dummy members tend to be surface-treated more than the lower portions thereof, and as a result, the upper portions of both side edge portions of the work tend to be hard to be surface-treated.
  • connection member for electrically connecting the lower portion of the first side dummy member and the lower portion of the second side dummy member can be further provided.
  • a lower clamper that clamps the lower edge of the work is electrically connected to the common conductive member, and branched from the common conductive member. And a third branch conducting member that conducts with the work through the lower clamper. In this case, since a current flows through the work through the upper clamper and the lower clamper, the in-plane uniformity of the surface-treated work is improved.
  • Another aspect of the present invention is In a work holding jig that holds a surface-treated work by hanging it and that can be electrically connected to a rectifier, A rectangular frame surrounding the work, An electrically conductive upper clamper which is held by the frame and clamps the upper edge of the work to electrically connect the work to the rectifier, Conductive first and second side dummy members which are arranged close to both edges of the work and electrically connected to the rectifier, A first dummy support part that supports the first side dummy member so as to be movable in the thickness direction of the work; A second dummy support portion that supports the second side dummy member so as to be movable in the thickness direction.
  • the surface treatment amount on the front surface and the back surface of the work can be adjusted at each of both side edge portions of the work.
  • the first dummy support portion of the other aspect (8) of the present invention is configured such that the first side dummy member is not in the thickness direction of the work but in the width direction thereof.
  • the second dummy support part can support the second side dummy member so as to be movable not in the thickness direction but in the width direction. In this case, by moving the first and second side dummy members in the width direction of the work, the surface treatment amount of the work can be adjusted at each of both side edge portions of the work.
  • the first dummy support portion of the other aspect (8) of the present invention moves the first side dummy member in the thickness direction and the width direction of the work.
  • the second dummy support portion can support the second side dummy member so as to be movable in the thickness direction and the width direction.
  • Yet another aspect of the present invention is In a work holding jig that holds a surface-treated work by hanging it and that can be electrically connected to a rectifier, A rectangular frame surrounding the work, An electrically conductive upper clamper which is held by the frame and clamps the upper edge of the work to electrically connect the work to the rectifier, Conductive first and second side dummy members that are arranged close to the first edge portion of the work and are electrically connected to the rectifier; Conductive third and fourth side dummy members arranged close to the second edge portion of the work and electrically connected to the rectifier, A first dummy support portion which is held by the frame body and supports the first and second side dummy members so as to be movable in a thickness direction and a width direction of the work; A second dummy support portion which is held by the frame body and supports the third and fourth side dummy members so as to be movable in the thickness direction and the width direction; Have In a cross-sectional view, the first and second side dummy members are are
  • the third and fourth side dummy members are located at positions on both sides of the extension line of the work between the second edge-measuring portion of the work and the frame body.
  • the present invention relates to a work holding jig to be arranged. With this configuration, at the first side edge portion of the work, the surface treatment amount of the work can be adjusted by the first side dummy member on the front surface of the work and the second side dummy member on the back surface of the work. Similarly, at the second side edge of the work, the front surface of the work can be adjusted by the third side dummy member, and the back surface of the work can be adjusted by the fourth side dummy member, respectively.
  • the first dummy support portion detachably supports the first and second side dummy members
  • the second dummy support portion includes:
  • the third and fourth side dummy members can be detachably supported.
  • the first to fourth side dummy members are selected from a plurality of types of side dummy members having different lengths parallel to the thickness direction of the work and mounted, whereby the first and second side dummy members of the work are mounted.
  • the surface treatment amount can be adjusted on the front and back surfaces of the side edge portion.
  • the first dummy support portion supports the first and second side dummy members so as to be movable in a thickness direction of the work.
  • the second dummy support portion can support the third and fourth side dummy members so as to be movable in the thickness direction.
  • the first dummy support portion supports the first and second side dummy members so as to be movable in the width direction of the work.
  • the second dummy support portion may support the third and fourth side dummy members so as to be movable in the width direction.
  • the first dummy support portion moves the first and second side dummy members in a thickness direction and a width direction of the work.
  • the second dummy support part can support the third and fourth side dummy members so as to be movable in the thickness direction and the width direction.
  • the surface treatment amount can be adjusted on the front and back surfaces of the first and second side edge portions of the work.
  • Yet another aspect of the present invention is A work holding jig according to any one of (1) to (15) described above, A power supply unit connected to the rectifier and in contact with the work holding jig; A surface treatment tank having an anode connected to the rectifier, Have The work holding jig relates to a surface treatment apparatus including a contact portion that is in contact with the power feeding portion and is electrically connected to the common conductive member.
  • the in-plane uniformity of the surface-treated workpiece can be enhanced by the effects of each of the above-described aspects (1) to (15).
  • the power supply unit provided in the surface treatment apparatus and contacting the jig is a power supply rail.
  • the power supply can be a fixed contact that contacts the conductive member of the jig.
  • FIG. 7 is a characteristic diagram of a comparative example showing the current flowing through the jig in FIG. 6. It is a figure which shows the jig
  • FIG. 6 is a view on arrow DD of FIG. 5. It is a front view of a 1st side dummy member. It is a figure which shows the upper support structure of the 1st and 2nd side dummy member.
  • FIG. 21 is a partial front view of the frame body shown in FIG. 20. It is a top view which shows the positional relationship of two side dummy members, a vertical frame, and a workpiece
  • FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of a surface treatment apparatus, for example, a continuous plating treatment apparatus.
  • a surface treatment apparatus for example, a continuous plating treatment apparatus.
  • a plurality of work holding jigs 30 each holding a work 20 such as a circuit board are circulated and conveyed in a direction perpendicular to the paper surface of FIG.
  • two parallel straight conveyance paths 110 and 120 of the circulation conveyance path 100 are shown.
  • the two linear conveyance paths 110 and 120 are connected at both ends to form a loop-shaped circulation conveyance path 100.
  • a carry-in section (not shown) for carrying in the holding jig 30 and a carry-out section (not shown) for carrying out the processed work 20 from the plurality of work holding jigs 30 are provided.
  • the plating tank 200 is provided along the second linear transport path 120, and the carry-in section and the carry-out section are provided in the first straight transport path 110.
  • the circulation transport path 100 further includes a pretreatment tank group 230 arranged on the upstream side of the plating tank 200 and a posttreatment tank group (not shown) arranged on the downstream side of the plating tank 200.
  • the continuous plating apparatus 10 has a plating bath (in a broad sense, a surface treatment bath) 200 that contains a plating liquid (a treatment liquid in a broad sense) and has an upper end opening 201.
  • the continuous plating apparatus 10 is parallel to the longitudinal direction of the plating tank 200 at a position deviating from above the upper end opening 201 of the plating tank 200. It has at least one, for example, two first guide rails 130 and second guide rails 140 extending along the first direction (direction perpendicular to the paper surface).
  • the plurality of work holding jigs 30 are arranged in the processing liquid of the plating bath 200 to hold the works 20, and are supported by the first and second guide rails 130 and 140.
  • each of the plurality of work holding jigs 30 is roughly divided into a transport unit 300 and a work holding unit 500.
  • the transport section 300 includes a horizontal arm section 301, a first guided section 310, and a second guided section 320.
  • the first guided portion 310 is supported on one end side of the horizontal arm portion 301 and guided by the first guide rail 130.
  • the second guided portion 320 is supported by the other end of the horizontal arm portion 301 and guided by the second guide rail 140.
  • the first guided portion 310 includes rollers 311, 312, 313 that are in rolling contact with the upper surface and both side surfaces of the first guide rail 130.
  • the second guided portion 320 includes a roller 321 that contacts the upper surface of the second guide rail 140.
  • the work 20 is used as a cathode, and the plating tank 200 is provided with anode boxes 202 and 203 for accommodating the anodes 410L and 410R on both sides of the transfer path of the work 20.
  • An electric field is formed between the cathode and the anode by a rectifier (not shown) to electrolyze the plating solution, and the work 20 is electroplated. Therefore, it is necessary to energize the work 20 being conveyed.
  • a power supply unit for example, a power supply rail 210 is provided to supply power to the work 20.
  • the power supply rail 210 of the present embodiment as shown in FIG. 210D.
  • Each of the plurality of work holding jigs 30 has a power-supplied portion 340 (FIGS. 2 and 3) that is in contact with any one of the four divided power supply rails 210A to 210D to supply power.
  • FIG. 4 shows details of the power-supplied part 340.
  • the power-supplied part 340 has a conductive contact part (current collector) 341 in contact with the power supply rail 210 on a support plate 330 fixed to the horizontal arm part 301.
  • the contact portion 341 is connected to the support plate 330 by a parallel link mechanism 342 having two parallel links 342A and 342B.
  • the two links 342A and 342B are always urged to move clockwise in the clockwise direction by torsion coil springs 343 and 343 which are urging members.
  • the contact portion 341 can be brought into contact with the power supply rail 210 with an appropriate contact pressure.
  • the two parallel links 342A and 342B are inclined such that the upper fulcrum precedes and the lower fulcrum follows in the transport direction A of the jig 30.
  • the contact portion 341 travels in a form in which it is pulled by the work holding jig 30, so the travel is stable.
  • the work holding unit 500 includes a plurality of conductive upper clampers 510 that clamp the upper edge 20a of the rectangular work 20, and a conductive upper clamp 510 that clamps the lower edge 20b of the rectangular work 20.
  • a plurality of lower clampers 520 and a rectangular frame body 530 which is arranged so as to surround the rectangular work 20 and supports the plurality of upper clampers 510 and the plurality of lower clampers 520.
  • the frame body 530 includes a conductive upper frame 531 that supports the plurality of upper clampers 510, a conductive lower frame 532 that supports the plurality of lower clampers 520, both ends of the upper frame 531 and both ends of the lower frame 532. And a pair of conductive vertical frames 533 and 534 connecting the parts to each other.
  • the pair of vertical frames 533 and 534 are electrically insulated from both ends of the upper frame 531 while being electrically connected to both ends of the lower frame 532.
  • the upper frame 531 and/or the lower frame 532 is also referred to as a support portion that supports the clamper (the upper clamper 510 and/or the lower clamper 520).
  • a conductive member that is provided in the work holding jig 30 and is a conductive member that can be electrically connected to the rectifier and the work 20 is the first and second branched conductive members. And a common conductive member electrically connected to the first and second branched conductive members.
  • two pair of contact portions 341 are arranged at intervals in the conveyance direction A of the work holding jig 30.
  • the upstream contact portion 341 in the transport direction A is referred to as a first contact portion 341A
  • the downstream contact portion 341 in the transport direction A is referred to as a second contact portion 341B.
  • One end of each of the pair of first cables 350A and 350B is electrically connected to the first and second contact portions 341A and 341B.
  • the other ends of the pair of first cables 350A and 350B are commonly connected to a common connection portion (also referred to as a common conductive member) 360.
  • the common connection part 360 includes a first conductive member 361 to which the other ends of the pair of first cables 350A and 350B are electrically connected in common, and a pair of second conductive members fixed to both ends of the first conductive member 361.
  • the members 362 and 363 can be included.
  • the pair of second conductive members 362 and 363 are located at the same distance L from the position where the other ends of the pair of first cables 350A and 350B are electrically commonly connected to the first conductive member 361, and the first conductive member is located. It is fixed to both ends of 361.
  • one of the pair of first cables 350A and 350 is provided on the surface of the first conductive member 361.
  • the other side may be connected to the back surface of the first conductive member 361.
  • a pair of first connecting portions 370A and 370B that electrically connect both end portions of the upper frame 531 and the common connecting portion 360, and both end portions of the lower frame 532 are electrically connected.
  • a pair of second connecting portions 380A and 380B electrically connecting the pair of vertical frames 533 and 534 connected to each other and the common connecting portion 360.
  • the pair of vertical frames 533 and 534 are electrically insulated from the upper frame 531.
  • the first branch conductive member is formed of a member that electrically connects the common connecting portion 360 to one of the plurality of upper clampers 510 via one of the pair of first connecting portions 370A and 370B and the upper frame 531. It In this case, the second branch conductive member electrically connects the common connection portion 360 to the other of the plurality of upper clampers 510 via the other of the pair of first connection portions 370A and 370B and the upper frame 531. It is formed by a member that allows
  • the first branch conductive member is configured such that the common connecting portion 360 is connected to the plurality of lower clampers via one of the pair of second connecting portions 380A and 380B, one of the pair of vertical frames 533 and 534, and the lower frame 532. It is formed of a member that is electrically connected to one of 520.
  • the common connection portion 360 is connected to the plurality of lower sides via the other of the pair of second connection portions 380A and 380B, the other of the pair of vertical frames 533 and 534, and the lower frame 532.
  • the clamper 520 is formed of a member that is electrically connected to another one of the clampers 520.
  • the common connection part 360 which is a common conductive member, has a resistance value of 10 3 times or more of the maximum resistance difference ⁇ R ⁇ between the first and second branch conductive members, and is larger than copper and aluminum. Includes high resistance material of value r.
  • the pair of second conductive members 362 and 363 are formed of a high resistance material
  • the first conductive member 361 is formed of a low resistance member.
  • the high resistance material examples include stainless steel (SUS).
  • SUS stainless steel
  • the volume resistivity ( ⁇ m) of SUS304 is 73.7, which is more than an order of magnitude higher than 1.7 ⁇ m for copper and 2.8 ⁇ m for aluminum. Since the measured maximum resistance difference ⁇ R ⁇ is 10 to 20 m ⁇ , the resistance value r of this high resistance material satisfies r ⁇ R ⁇ 10 3 .
  • titanium of 53.3 ⁇ m is also suitable as a high resistance material.
  • the voltage E is adjusted so as to be ⁇ I.
  • the resistance R of the closed loop system includes the high resistance value r of the pair of second conductive members which are common conductive members and have a larger resistance value than copper or aluminum which is generally low in resistance.
  • the rectifier regulates to a relatively large voltage V and supplies a constant current I.
  • the currents (or electrons) flowing through the first and second branch conductive members are combined at the common connection portion 360, and the variation voltage corresponding to the variation ⁇ R ⁇ in resistance between the first and second branch conductive members. If the current I is applied at a voltage E that greatly exceeds ⁇ V, the resistance variation ⁇ R ⁇ can be ignored.
  • FIG. 6 schematically shows a jig of a comparative example in which the common connection portion 360 does not include a material having a high resistance value r as in the present embodiment.
  • the currents A1 and A2 measured while the work holding jig was conveyed in the conveyance direction A of FIG. 6 fluctuated up and down with respect to the branch set current value as shown in FIG. Before and after the times T1 and T2, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-132999, the jig is transferred from one power feeding rail to the other power feeding rail via the joint between the power feeding rails, so that it contacts one power feeding rail.
  • the rectifier performs control such that the current value of the contact portion that is in contact with the power supply rail is gradually reduced and the current value of the contact portion that is in contact with the other power supply rail is gradually increased.
  • the rectifier controls the output according to the set current.
  • the currents A1 and A2 of the comparative example shown in FIG. 7 fluctuate little by little in the constant current control section and largely fluctuate in the current gradual decrease/gradual increase control.
  • FIG. 8 schematically shows the jig 30 of the present embodiment in which the common connection portion 360 contains a material having a high resistance value r.
  • the current gradual decrease/increase control was performed as at times T1 and T2 shown in FIG. 7, and the output control was performed in accordance with the set current in the other sections.
  • the pair of first connecting portions may include the pair of metal plates 370A and 370B, while the pair of second connecting portions may include the pair of second cables 380A and 380B.
  • the resistance value from the common connection portion 360 to the upper clamper 510 can be made larger than the resistance value from the common connection portion 360 to the lower clamper 520.
  • a current larger than the upper clamper 510, which is entirely immersed in the treatment liquid, by the amount of the current consumed for the surface treatment is applied to the lower clamper.
  • the work can be energized via 520.
  • FIG. 9 by making the currents A5, A6 flowing through the lower clamper 520 larger than the currents A3, A4 flowing through the upper clamper 510, as a result, the current flowing up and down in the work 20 can be made substantially constant. ..
  • Upper Dummy Plate/Lower Dummy Plate As shown in FIG. 5, when the upper frame 531 and/or the lower frame 532 is a conductive supporting portion, the upper and/or lower clampers 510 and 520 are added to the supporting portion. , A conductive upper dummy plate 610 and/or a conductive lower dummy plate 620.
  • the upper dummy plate 610 is arranged close to the upper edge portion 20a of the work 20 in a region of the upper edge portion 20a of the work 20 that is not held by the upper clamper 510.
  • the lower dummy plate 620 is arranged close to the lower edge portion 20b of the work 20 in a region of the lower edge portion 20b of the work 20 that is not held by the lower clamper 520.
  • Each of the upper dummy plate 610 and the conductive lower dummy plate 620 is movably supported on at least one surface, for example, the front and back surfaces so as to cover the front surface and the back surface, respectively, and the exposed conductive areas of the dummy plates 610 and 620 respectively.
  • An adjusting insulating plate 630 may be included.
  • FIG. 10 An enlarged upper dummy plate 610 is shown in FIG.
  • the structure shown in FIG. 10 is also used for the lower dummy plate 620.
  • the upper dummy plate 610 is fixed to the upper frame 531 by, for example, a screw 612 via a hinge 611 formed integrally with or separately from the upper dummy plate 610.
  • the insulating plate 630 that covers both surfaces of the upper dummy plate 610 may include one or both of an insulating plate 630A that covers the surface of the upper dummy plate 610 and an insulating plate 630B that covers the back surface of the upper dummy plate 610.
  • the insulating plates 620A and 620B are inserted into the longitudinal long holes 631A and 631B (only the long hole 631A is shown in FIG. 10) provided in the insulating plates 630A and 630B and the hole 612 provided in the upper dummy plate 610.
  • the upper dummy plate 610 is fastened together with the bolt 641 and the nut 642 screwed to the bolt 641.
  • Each of the insulating plates 620A and 620B can adjust the vertical position with respect to the upper dummy plate 610 (lower dummy plate 620) within the range of the long holes 631A and 631B.
  • the exposed area S1 of the conductive surface where the tip portion 610A of the upper dummy plate 610 is exposed can be adjusted independently for the front surface and the back surface.
  • the current consumed for the surface treatment on the upper dummy plate 610 is adjusted.
  • the current flowing through the upper clamper 510 to the upper edge portion 20a of the work 20 is adjusted.
  • the current flowing through the upper edge portion 20a of the work 20 can be adjusted to enhance the in-plane uniformity of the surface-treated work.
  • the current flowing through the lower edge portion 20b of the work 20 can be adjusted to increase the in-plane uniformity of the surface-treated work.
  • the upper dummy plate 610 can be bent via a hinge 611 between a first position P1 shown by a solid line in FIG. 12 and a second position P2 shown by a chain line. At the first position P1, the upper dummy plate 610 is arranged in parallel with the work 20 by approaching a region of the upper edge portion 20a of the work 20 that is not held by the upper clamper 510. Second Position At the first position P2, the upper dummy plate 610 is not parallel to the main surface of the work 20, and intersects the main surface of the work 20 at a right angle, for example.
  • the upper dummy plate 610 When the surface treatment is performed on the work 20, the upper dummy plate 610 is set to the first position P1. On the other hand, when the work 20 is attached/detached to/from the work holding jig 30, the upper dummy plate 610 is set to the second position P2. By setting the upper dummy plate 610 to the second position P2, a gap is secured between the upper edge portion 20a of the work 20 and the upper frame 531. Thereby, the upper edge of the work 20 can be clamped by the automatic machine at a position different from the upper clamper 510 of the work holding jig 30.
  • the upper dummy plate 610 may be pushed by an automatic machine to move the upper dummy plate 610 from the first position P1 toward the second position P2 in the arrow F1 direction.
  • the upper dummy plate 610 may be pushed by the roller 2 of the arm 1 provided in the automatic machine and moving.
  • the lower dummy plate 620 can be bent between the first position P1 and the second position P2.
  • the upper dummy plate 610 may be urged to move to the first position P1 by a spring property of the hinge 611 itself or an urging member such as a leaf spring or a coil spring provided on the hinge 611. This makes it possible to return the upper dummy plate 610 from the second position P2 to the first position P1 in the direction of arrow F2 without applying a return external force. Similarly, the lower dummy plate 620 can be returned in the arrow F2 direction from the second position P2 to the first position P1 without applying a return external force.
  • the work holding jig has upper, lower, left, and right clampers that clamp the four sides of the rectangular work 20, a dummy plate and an insulating plate may be provided on each of the four side clampers.
  • the dummy plate and adjusting member provided on one or both of the upper clamper 510 and the lower clamper 520 will be described by taking the lower clamper 520 as an example.
  • the dummy plate and the adjustment member provided on the upper clamper 510 are understood by replacing the “lower clamper 520” with the “upper clamper 510” and the “lower frame 532” with the “upper frame 531” in the following description. It
  • FIG. 13 shows the dummy plate 700 and the adjusting member 720 provided on the lower clamper 520.
  • the lower clamper 520 includes a fixed portion 521 fixed to the lower frame 532, and a movable portion 523 supported so as to be swingable with respect to the fixed portion 521.
  • the fixed portion 521 has a first surface 521A and a second surface 521B opposite to the first surface 521A.
  • the second surface 521B of the fixing portion 521 comes into surface contact with the lower frame 532, and is fixed to the lower frame 532 with bolts 522.
  • the fixed portion 521 has two side walls 521C which stand upright from the first surface 521A.
  • the lower edge portion 20b of the work 20 is locally clamped between the swinging movable portion 523 and the first surface 521A of the fixed portion 521.
  • the movable portion 523 can swing around a pin 524 supported by the two side walls 521C of the fixed portion 521.
  • a coil spring 525 is inserted through the pin 524.
  • the movable portion 523 is urged to move toward the fixed portion 521 by the coil spring 525.
  • the movable portion 523 is electrically connected to the lower frame 532 via the fixed portion 521, the pin 524 or the coil spring 525.
  • the coil spring 525 may be changed to a leaf spring or the like.
  • the conductive dummy plate 700 includes a third surface 700A that faces the second surface 521B of the fixing portion 521, and a fourth surface 700B that is opposite to the third surface 700A. Further, one end of the dummy plate 700 is referred to as a base end 701, and the other end thereof is referred to as a tip end 704. In the dummy plate 700, the base surface 701 is supported by the fixing portion 521 such that the fourth surface 700B is parallel to the second surface 521B of the fixing portion 521.
  • two elongated holes 702 and 703 can be formed in the base end portion 701 of the dummy plate 4700.
  • a bolt 710 is inserted into each of the elongated holes 702 and 703 to fasten the bolt 710 to the lower frame 532.
  • the long holes 702 and 703 allow the dummy plate 700 to adjust the fixed position in the direction of arrow C in FIG.
  • the insulating adjusting member 720 covers a part of the fourth surface 700B of the dummy plate 700 and is superimposed on the dummy plate 700.
  • the only conductive surface not always covered by the adjusting member 720 may be the tip 704.
  • the other surface not covered by the adjusting member 720 is insulation-coated.
  • the adjustment member 720 is provided with, for example, two elongated holes 721 and 722.
  • a bolt 730 is inserted into each of the long holes 721 and 722 to fasten the bolt 730 to the dummy plate 700.
  • the elongated holes 702 and 703 allow the adjustment member 720 to adjust the fixed position in the direction of arrow C in FIG. Thereby, the adjustment member 720 can adjust the exposed conductive area S2 on the fourth surface 700B side of the tip portion 704 of the dummy plate 700.
  • the exposed conductive surface on the fourth surface 700B side of the tip portion 704 of the dummy plate 700 is surface-treated.
  • the current consumed for the surface treatment on the dummy plate 700 is adjusted.
  • the current flowing through the lower edge portion 20b of the work 20 via the fixing portion 521 of the lower clamper 520 is adjusted.
  • the adjusting member 720 the current flowing to the lower edge portion 20b of the work 20 via the fixing portion 521 of the lower clamper 520 increases. This is because the resistance value between the movable portion 523 and the lower frame 532 is relatively large as described above.
  • the electric current does not concentrate on the lower edge portion 20b of the work 20 near the area in contact with the movable portion 523 and the surface 20b1 (FIG. 13) on the side in contact with the movable portion 523.
  • the surface treatment of the work 20 locally progresses in the region near the fixed portion 521.
  • the current flowing in the local region 20b2 of the lower edge portion 20b of the work 20 can be adjusted to enhance the in-plane uniformity of the surface-treated work.
  • the fixing positions of the base end portion 701 of the dummy plate 700 with respect to the fixing portion 521 can be changed in the direction parallel to the arrow C direction in which the adjusting member 720 can be moved by the elongated holes 702 and 703.
  • the overlapping area of the dummy plate 700 and the second surface 521B of the fixing portion 521 of the lower clamper 520 or the main surface of the work and the dummy plate 700 can be adjusted in a side view viewed from the direction orthogonal to the main surface of the work 20.
  • You can The position adjustment also adjusts the current consumed for the surface treatment of the dummy plate 700.
  • the treatment liquid Q in the treatment tank 200 shown in FIG. 1 is set to the liquid level L shown in FIG. Therefore, the entire lower clamper 520 is submerged in the treatment liquid Q. Therefore, in the dummy plate 700, except for the fourth surface 700B at the tip portion 704, as shown by the hatching in FIGS. 13 and 14, other surfaces not covered by the adjusting member 720 are insulation-coated. As a result, the surface of the dummy plate 700 other than the fourth surface 700B of the tip portion 704 is not wastefully surface-treated.
  • the structure of the dummy plate 700 and the adjusting member 720 provided on the lower clamper 520 described above can be applied to the dummy plate and the adjusting member provided on the upper clamper 510.
  • the upper clamper 510 differs from the lower clamper 520 in that the entire upper clamper 510 does not sink into the processing liquid Q from the position of the liquid level L of the processing liquid Q shown in FIG. For this reason, in the dummy plate provided on the upper clamper 510, the insulating coating region may be narrowed only to the region immersed in the treatment liquid Q. This is because the area that is not immersed in the treatment liquid Q is not subjected to the surface treatment, so that it is not necessary to perform the insulating coating.
  • the work holding jig 30 includes conductive first and second side dummy members 800A arranged close to both edge portions of the work 20. , 800B.
  • FIG. 15 which is a view taken along the line DD in FIG. 5
  • the first side dummy member 800A is arranged between the side edge portion 20d of the work 20 and the vertical frame 534.
  • the second side dummy member 800B is arranged between the side edge portion 20c of the work 20 and the vertical frame 534.
  • first branch conductive members electrically connected to the second conductive member 362 of the common conductive member 360, branched from the common conductive member 360, and electrically connected to the work 20 through the upper clamper 510 are provided. It is defined by the first connecting portions 370A and 370B and the upper frame 531 connected to both ends thereof.
  • the work holding jig 30 is further electrically connected to the common conductive member 360, is branched from the common conductive member 360, and is electrically connected to the first and second side dummy members 800A and 800B. It further has 900 (900A, 900B).
  • the first dummy conduction member 900A of the second branch conduction member 900 is branched from the common conductive member 360 and is electrically connected to the first side dummy member 800A.
  • the second dummy conduction member 900B of the second branch conduction member 900 is branched from the common conductive member 360 and is electrically connected to the second side dummy member 800B.
  • the common conductive member 360 that can be electrically connected to the rectifier is electrically connected to the work 20 by the upper clamper 510 via the first branch conductive members 370A, 370B, 531.
  • the common conductive member 360 is electrically connected to the first and second side dummy members 800A and 800B via the second branch conductive member 900 (900A and 900B).
  • the total current flowing through the work 20 and the first and second side dummy members 800A and 800B can be set by a rectifier.
  • the vertical frames 533 and 534 are insulation-coated.
  • the first and second side dummy members 800A and 800B Without the first and second side dummy members 800A and 800B, the electric field is concentrated on both side edge portions 20c and 20d of the work 20, and a large amount of current flows to both side edge portions 20c and 20d of the work 20. If the vertical frames 533 and 534 are not coated with insulation, current is consumed to plate the conductive vertical frames 533 and 534, and the current flowing through the side edges 20c and 20d of the work 20 is reduced. Therefore, the first dummy conduction member 900A and the second dummy conduction member 900B are provided so that the currents flowing through both side edge portions 20c and 20d of the work 20 can be adjusted.
  • the resistance value of the second branch conducting member 900 (900A, 900B) with respect to the first branch conducting members 370A, 370B, 531, it is independent of the current flowing through the work 20.
  • the current flowing through the first and second side dummy members 800A and 800B can be set.
  • the first and second side dummy members which are arranged close to the side edge portions 20c and 20d of the work 20, are also surface-treated to adjust the current flowing through the side edge portions 20c and 20d of the work 20, The in-plane uniformity of the surface-treated work can be improved.
  • the currents flowing through the first and second side dummy members 800A and 800B can be set independently. As a result, the current flowing through the one side edge portion 20c and the other side edge portion 20d of the work 20 can be adjusted.
  • the first dummy conductive member 900A includes, for example, a cable 910A having one end connected to the second conductive member 362 of the common conductive member 360, a conductive plate 920A connected to the other end of the cable 910A, and one end being a conductive plate. And a cable 930A connected to the other side and connected to the first side dummy member 800A.
  • the second dummy conduction member 900B has a cable 910B, a conductive plate 920B and a cable 930B.
  • the first and second dummy conduction members 900A and 900B can have first and second variable resistors.
  • the first variable resistor provided in the first dummy conduction member 900A is composed of a long hole 921A provided in the conductive plate 920A and a movable contact portion 922A that moves along the long hole 921A.
  • the long hole 921A has a longitudinal direction in a direction (horizontal direction in FIG. 5) in which the distance from the connection portion of the cable 910A increases.
  • the resistance value can be changed by changing the position of the movable contact portion 922A connected to the cable 930A.
  • the first variable resistor provided in the second dummy conduction member 900B is also composed of the elongated hole 921B and the movable contact portion 922B.
  • the resistance value of the first dummy conducting member 900A and the resistance value of the second side dummy member 800B can be adjusted within a predetermined range by adjusting the resistance values with the first and second variable resistors. It can be adjusted arbitrarily.
  • the positions of the movable contact portion 922A and the movable contact portion 922B are manually or automatically adjusted.
  • the first dummy conductive member 900A is conductive with the upper portion of the first side dummy member 800A
  • the second dummy conductive member 900B is the second dummy dummy member 800B.
  • the widths W1, W2 and W3 parallel to the thickness direction of the work 20 are higher than the lower part. Is preferably narrow (W1 ⁇ W2 ⁇ W3). The width may be changed stepwise or continuously.
  • the upper portions of the first and second side dummy members 800A and 800B are closer to the rectifier, the upper portions tend to be surface-treated more than the lower portions. Due to this, the upper portions of both side edge portions 20c and 20d of the work 20 tend to be difficult to be surface-treated (the plating thickness becomes thin).
  • the plating thickness becomes thin.
  • the first and second side dummy support portions provided on the work holding jig 30 will be described with reference to FIGS. 17 to 19.
  • the first and second side dummy support portions are provided with, for example, as shown in FIG. 15, first and second side dummy members 800A and 800B, which are indicated by arrows E in the width direction of the work 20.
  • first and second side dummy members 800A and 800B which are indicated by arrows E in the width direction of the work 20.
  • Direction and the direction of arrow F which is the thickness direction of the work 20, can be changed.
  • 17 and 18 are a front view and a plan view of a supporting portion that supports the upper portion of the first side dummy member 800A.
  • Two attachment pieces 820A extending toward the inside of the work holding jig 30 are provided on the upper portion of the vertical frame 534.
  • An upper support piece 830A that supports the upper portion of the first side dummy member 800A is arranged between the two attachment pieces 820A.
  • the two mounting pieces 820A have a long hole 821 whose longitudinal direction is in the arrow E direction.
  • a bolt 835 inserted through the elongated hole 821 is screwed into the upper support piece 830A. By loosening the bolt 835, the upper support piece 830A can move in the direction of arrow E together with the first side dummy member 800A.
  • the bolt 835 is tightened, the upper support piece 830A is fixed to the two mounting pieces 820A.
  • the upper support piece 830A has a long hole 831 penetrating vertically and having a longitudinal direction in the arrow F direction.
  • the bolt 810 inserted through the elongated hole 831 is screwed onto the upper portion of the first side dummy member 800A. If the bolt 810 is loosened, the first side dummy member 800A can move in the arrow F direction. If the bolt 810A is tightened, the first side dummy member 800A is fixed to the upper support piece 830A. Although illustration is omitted, the upper portion of the second side dummy member 800B is also supported in the same manner as the upper portion of the first side dummy member 800A.
  • FIG. 19 shows a support portion that supports a lower portion of the first side dummy member 800A.
  • Two attachment pieces 820A extending toward the inside of the work holding jig 30 are provided on the upper portion of the vertical frame 534.
  • a lower support piece 830B that supports the lower portion of the first side dummy member 800A is arranged between the two attachment pieces 820A.
  • the lower support piece 830B has the same structure as the upper support piece 830A, except for the structure that supports the connecting portion 850 described later. Further, the lower portion of the second side dummy member 800B is also supported in the same manner as the lower portion of the first side dummy member 800A.
  • the first and second side dummy members 800A and 800B can be connected to the rectifier by connecting the cables 930A and 930B to the bolt 810 shown in FIG. 18, for example.
  • the mounting piece 820A and/or the upper/lower supporting pieces 830A and 830B are formed of an insulator. ..
  • the structure may be such that the first and second side dummy members 800A and 800B are moved only in the width direction E of the work 20.
  • the surface treatment amount (plating film thickness) at 20d2 can be adjusted. For example, if the first side dummy member 800A is moved upward in FIG. 15, the plating film thickness on the surface 20d1 of the work 20 can be reduced. On the contrary, if the first side dummy member 800A is moved downward in FIG. 15, the plating film thickness of the back surface 20d2 of the work 20 can be reduced. Therefore, the structure may be such that the first and second side dummy members 800A and 800B are moved only in the thickness direction F of the work 20.
  • a connecting member 850 that electrically connects the lower portion of the first side dummy member 800A and the lower portion of the second side dummy member 800B can be further provided.
  • the connection member 850 By providing the connection member 850, the current easily flows under the first and second side dummy members 800A, 800B, and the current flowing from the upper part to the lower part of the side edges 20c, 20d of the work 20 is reduced. Adjustments can be made effectively.
  • Both ends of the connecting member 850 are slidably supported by the two lower support pieces 830B shown in FIG. This allows the two lower support pieces 830B to move in the direction of arrow E shown in FIG. Further, both ends of the connection member 850 are electrically connected to the lower portions of the first and second side dummy members 800A and 800B by flexible conductive members. This allows the first and second side dummy members 800A and 800B to move in the directions of arrows E and F shown in FIG.
  • FIGS. 20 to 22 show a work holding jig in which two side dummy members are arranged so as to face both side edge portions 20c and 20d of the work 20, respectively.
  • a first side dummy member 1011 and a second side dummy member 1012 are arranged so as to face one side edge portion 20d of the work 20.
  • the first dummy support portions 1000A and 1000B are held by, for example, the vertical frame 534 of the frame body 530, and support both ends of the first side dummy member 1000 and the second side dummy member 1012.
  • a cable 930A is connected to the first dummy support portion 1000A.
  • the first side dummy member 1011 and the second side dummy member 1012 are electrically connected to the rectifier.
  • the first and second side dummy members 1011 and 1012 are located between the side edge portion 20d of the work 20 and the vertical frame 534 of the frame body 530. , Are arranged at positions on both sides of the extension line of the work 20. By doing so, in the side edge portion 20d of the work 20, the processing amount of the work can be adjusted by the first side dummy member 1011 on the front surface of the work 20 and the second side dummy member 1012 on the back surface of the work 20. it can.
  • the third side dummy member 1013 and the fourth side dummy member 1014 are arranged so as to face the other side edge portion 20c of the work 20.
  • the second dummy support portions 1000C and 1000D are held by, for example, the vertical frame 533 of the frame body 530, and support both ends of the third side dummy member 1013 and the fourth side dummy member 1014.
  • the cable 930B is connected to the second dummy support portion 1000C.
  • the third side dummy member 1013 and the fourth side dummy member 1014 are electrically connected to the rectifier.
  • the processing amount of the work 20 is adjusted by the third side dummy member 1013 on the front surface of the work 20 and the fourth side dummy member 1014 on the back surface of the work 20. be able to.
  • the first dummy supporting portions 1000A and 1000B can detachably support the first and second side dummy members 1011 and 1012
  • the second dummy supporting portions 1000C and 1000D include the third and the third dummy supporting portions 1000C and 1000D.
  • the fourth side dummy members 1013, 1014 can be detachably supported.
  • the processing amount can be adjusted on the front and back surfaces of the first and second side edge portions 20c and 20d.
  • the first to fourth side dummy members 1011 to 1014 are selected, for example, from round bars having different diameters when they are round bars. If a side dummy member having a large diameter is selected, the plating thickness formed on the side edge portion of the work can be reduced. On the contrary, if the side dummy member having a small diameter is selected, the plating thickness formed on the side edge portion of the work can be increased.
  • the first to fourth side dummy members 1011 to 1014 are not limited to round bars and may be rectangular or the like. Further, in the first to fourth side dummy members 1011 to 1014, as shown in FIG. 16, the length parallel to the thickness direction F of the work 20 is increased stepwise or continuously in the lower portion than in the upper portion. It may be one.
  • the first dummy support parts 1000A and 1000B and the second dummy support parts 1000C and 1000D can have the structures shown in FIGS. 17 to 19.
  • the first and second side dummy members 1011 and 1012 can be moved in the thickness direction E of the work 20 and/or the direction F parallel to the work 20.
  • the processing amount of the front surface and the back surface of the work 20 can be adjusted at the side edge portions 20c and 20d of the work 20.
  • FIG. 21 by electrically connecting the lower side dummy support portions 1000B and 1000D by the connecting member 850, current also flows through the lower portions of the first to fourth side dummy members 1011 to 1014. Can be made easier.
  • Insulating plate (upper insulating plate, lower insulating plate, front insulating plate, back insulating plate), 700... Dummy plate, 700A... Third Surface, 700B... Fourth surface, 701... Base end portion, 704... Tip portion, 720... Adjusting member, 800A... First side dummy member, 800B... Second side dummy member, 850... Connecting member, 900 (900A) , 900B)... second branch conducting member, 910A, 920A, 922A, 930A... first dummy conducting member, 910B, 920B, 922B, 930B... second dummy conducting member, 920A, 921A, 922A...

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Abstract

表面処理されるワーク(20)を垂下して保持し、かつ、整流器と電気的に接続可能なワーク保持治具(30)は、ワークの上縁部(20a)をクランプする導電性の上側クランパー(510)と、ワークの両測縁部(20c,20d)に接近して配置される導電性の第1及び第2のサイドダミー部材と、整流器と電気的に導通可能な共通導電部材(360)と、共通導電部材と電気的に接続され、共通導電部材から分岐されて、前記上側クランパーを介して前記ワークと導電する第1の分岐導通部材(370A,370B,531)と、共通導電部材と電気的に接続され、共通導電部材から分岐されて、第1の及び第2のサイドダミー部材と導通する第2の分岐導通部材(900A,900B)と、を有する。

Description

ワーク保持治具及び表面処理装置
 本発明は、電解メッキ等の表面処理に用いられるワーク保持治具及び表面処理装置等に関する。
 ワーク保持治具によりワークを垂下して処理槽内の処理液に浸漬し、ワークを連続搬送しながら電解メッキする連続メッキ装置が知られている(特許文献1,2)。ワーク保持治具は、ワークを保持すると共に、ワークを陰極に設定している。
特許第5898540号公報 WO2018/062259号公報
 ワーク保持治具に保持されるワークは、陽極―陰極間の電界がワークの縁部に集中し易い。それにより、縁部での表面処理が集中し、例えば電解メッキであれば縁部でのメッキ膜厚が厚くなる。
 本発明の幾つかの態様は、ワーク保持治具に保持されるワークの側縁部に流れる電流を調整して、表面処理されるワークの面内均一性を高めることを目的とする。
 (1)本発明の一態様は、表面処理されるワークを垂下して保持し、かつ、整流器と電気的に接続可能なワーク保持治具において、
 前記ワークの上縁部をクランプする導電性の上側クランパーと、
 前記ワークの両測縁部に接近して配置される導電性の第1及び第2のサイドダミー部材と、
 前記整流器と電気的に導通可能な共通導電部材と、
 前記共通導電部材と電気的に接続され、前記共通導電部材から分岐されて、前記上側クランパーを介して前記ワークと導通する第1の分岐導通部材と、
 前記共通導電部材と電気的に接続され、前記共通導電部材から分岐されて、前記第1及び第2のサイドダミー部材と導通する第2の分岐導通部材と、
を有するワーク保持治具に関する。
 本発明の一態様によれば、整流器と電気的に接続可能なワーク保持具は、共通導電部材及び第1の分岐導通部材を介してワークと導通され、共通導電部材及び第2の分岐導通部材を介して第1及び第2のサイドダミー部材と導通される。ワーク、第1及び第2のサイドダミー部材に流れるトータル電流は整流器により設定可能である。第1及び第2のサイドダミー部材がないと、ワークの両側縁部に電界が集中したり、あるいは治具の縦枠の影響を受けて、両側縁部に流れる電流が意図通りとはならなくなる。第1の分岐導通部材に対して、第2の分岐導通部材の抵抗値を独自に設定することで、ワークに流れる電流とは独立して、第1及び第2のサイドダミー部材に流れる電流を設定できる。それにより、ワークの側縁部に近接配置される第1及び第2のサイドダミー部材も表面処理することで、ワークの側縁部に流れる電流を調整して、表面処理されるワークの面内均一性を高めることができる。なお、本発明の一態様に係る治具は、処理槽内を連続搬送または間欠搬送されても良いし、あるいは搬送されずに処理槽内に出入り自在に支持されても良い。
 (2)本発明の一態様(1)では、前記第2の分岐導通部材は、前記共通導電部材から分岐されて、前記第1のサイドダミー部材と導通する第1のダミー導通部材と、前記共通導電部材から分岐されて、前記第2のサイドダミー部材と導通する第2のダミー導通部材と、を含むことができる。
 第1のダミー導通部材と第2のダミー導通部材との抵抗値を独自に設定することで、第1及び第2のサイドダミー部材に流れる電流を独自に設定できる。これにより、ワークの一方の側縁部と他方の側縁部に流れる電流を調整できる。
 (3)本発明の一態様(2)では、前記第1のダミー導通部材は、抵抗値が可変である第1の可変抵抗器を含み、前記第2のダミー導通部材は、抵抗値が可変である第2の可変抵抗器を含むことができる。
 こうすると、第1,第2の可変抵抗器で抵抗値を調整することで、第1のダミー導通部材の抵抗値と第2のサイドダミー部材の抵抗値とを、所定の範囲内で任意に調整できる。
 (4)本発明の一態様(2)または(3)では、前記第1のダミー導通部材は、前記第1のサイドダミー部材の上部と導通し、前記第2のダミー導通部材は、前記第2のサイドダミー部材の上部と導通し、前記第1のサイドダミー部材の下部と前記第2のサイドダミー部材の下部とを電気的に接続する接続部材をさらに設けることができる。
 接続部材を設けることで、第1及び第2のサイドダミー部材の下部にも電流が流れ易くなり、ワークの両側縁部において、上部から下部に亘って流れる電流の調整が効果的に行える。
 (5)本発明の一態様(2)または(3)では、前記第1のダミー導通部材は、前記第1のサイドダミー部材の上部と導通し、前記第2のダミー導通部材は、前記第2のサイドダミー部材の上部と導通し、前記第1のサイドダミー部材及び前記第2のサイドダミー部材の各々は、前記ワークの厚さ方向と平行な幅を、下部よりも上部が狭く形成することができる。
 第1及び第2のサイドダミー部材は上部が下部よりも多く表面処理される傾向があり、それに起因してワークの両側縁部の上部が表面処理され難い傾向がある。第1及び第2のサイドダミー部材の幅を上部で狭くすることにより、ワークの両側縁部の上部が表面処理され易くなる。それにより、ワークの両側縁部において、上部から下部に亘って流れる電流の調整が効果的に行える。
 (6)本発明の一態様(5)では、前記第1のサイドダミー部材の下部と前記第2のサイドダミー部材の下部とを電気的に接続する接続部材をさらに設けることができる。
 こうすると、上述した態様(4)および(5)の双方の作用効果を奏することができる。
 (7)本発明の一態様(1)~(6)では、前記ワークの下縁部をクランプする下側クランパーと、前記共通導電部材と電気的に接続され、前記共通導電部材から分岐されて、前記下側クランパーを介して前記ワークと導通する第3の分岐導通部材と、さらに有することができる。
 こうすると、ワークには上側クランパー及び下側クランパーを介して電流が流れるので、表面処理されるワークの面内均一性が高まる。
 (8)本発明の他の態様は、
 表面処理されるワークを垂下して保持し、かつ、整流器と電気的に接続可能なワーク保持治具において、
 前記ワークを囲む四角形の枠体と、
 前記枠体に保持され、前記ワークの上縁部をクランプして、前記ワークを前記整流器と電気的に接続する導電性の上側クランパーと、
 前記ワークの両測縁部に接近して配置され、前記整流器と電気的に接続される導電性の第1及び第2のサイドダミー部材と、
 前記第1のサイドダミー部材を前記ワークの厚さ方向で移動可能に支持する第1のダミー支持部と、
 前記第2のサイドダミー部材を前記厚さ方向で移動可能に支持する第2のダミー支持部と、を有することができる。
 こうすると、第1,第2のサイドダミー部材をワークの厚さ方向で移動させることで、ワークの両側縁部の各々において、ワークの表面及び裏面での表面処理量を調整することができる。
 (9)本発明のさらに他の態様では、本発明の他の態様(8)の前記第1のダミー支持部が、前記第1のサイドダミー部材を前記ワークの厚さ方向ではなく幅方向で移動可能に支持し、前記第2のダミー支持部が前記第2のサイドダミー部材を前記厚さ方向ではなく前記幅方向で移動可能に支持することができる。
 こうすると、第1,第2のサイドダミー部材をワークの幅方向で移動させることで、ワークの両側縁部の各々においてワークの表面処理量を調整することができる。
 (10)本発明のさらに他の態様では、本発明の他の態様(8)の前記第1のダミー支持部が、前記第1のサイドダミー部材を前記ワークの厚さ方向及び幅方向で移動可能に支持し、前記第2のダミー支持部が前記第2のサイドダミー部材を前記厚さ方向及び前記幅方向で移動可能に支持することができる。
 こうすると、上述した態様(8)および(9)の双方の作用効果を奏することができる。
 (11)本発明のさらに他の態様は、
 表面処理されるワークを垂下して保持し、かつ、整流器と電気的に接続可能なワーク保持治具において、
 前記ワークを囲む四角形の枠体と、
 前記枠体に保持され、前記ワークの上縁部をクランプして、前記ワークを前記整流器と電気的に接続する導電性の上側クランパーと、
 前記ワークの第1測縁部に接近して配置され、前記整流器と電気的に接続される導電性の第1及び第2のサイドダミー部材と、
 前記ワークの第2測縁部に接近して配置され、前記整流器と電気的に接続される導電性の第3及び第4のサイドダミー部材と、
 前記枠体に保持され、前記第1及び第2のサイドダミー部材を前記ワークの厚さ方向及び幅方向で移動可能に支持する第1のダミー支持部と、
 前記枠体に保持され、前記第3及び第4のサイドダミー部材を前記厚さ方向及び前記幅方向で移動可能に支持する第2のダミー支持部と、
を有し、
 横断面視で、前記第1及び第2のサイドダミー部材は、前記ワークの前記第1測縁部と前記枠体との間であって、前記ワークの延長線を挟んだ両側の位置に配置され、
 前記横断面視で、前記第3及び第4のサイドダミー部材は、前記ワークの前記第2測縁部と前記枠体との間であって、前記ワークの延長線を挟んだ両側の位置に配置されるワーク保持治具に関する。
 こうすると、ワークの第1側縁部では、ワークの表面が第1のサイドダミー部材により、ワークの裏面が第2のサイドダミー部材により、それぞれワークの表面処理量を調整することができる。同様に、ワークの第2側縁部では、ワークの表面が第3のサイドダミー部材により、ワークの裏面が第4のサイドダミー部材により、それぞれワークの表面処理量を調整することができる。
 (12)本発明のさらに他の態様(11)では、前記第1のダミー支持部は、前記第1及び第2のサイドダミー部材を着脱自在に支持し、前記第2のダミー支持部は、前記第3及び第4のサイドダミー部材を着脱自在に支持することができる。
 こうすると、第1~第4のサイドダミー部材を、ワークの厚さ方向と平行な長さが異なる複数種のサイドダミー部材の中から選択して装着することで、ワークの第1、第2側縁部の表裏面で表面処理量をそれぞれ調整することができる。
 (13)本発明のさらに他の態様(11)または(12)では、前記第1のダミー支持部は、前記第1及び第2のサイドダミー部材を前記ワークの厚さ方向で移動可能に支持し、前記第2のダミー支持部は、前記第3及び第4のサイドダミー部材を前記厚さ方向で移動可能に支持することができる。それにより、本発明の他の態様(8)と同様にして、ワークの第1、第2側縁部の表裏面で表面処理量をそれぞれ調整することができる。
 (14)本発明のさらに他の態様(11)または(12)では、前記第1のダミー支持部は、前記第1及び第2のサイドダミー部材を前記ワークの幅方向で移動可能に支持し、
 前記第2のダミー支持部は、前記第3及び第4のサイドダミー部材を前記幅方向で移動可能に支持することができる。それにより、本発明の他の態様(9)と同様にして、ワークの第1、第2側縁部の表裏面で表面処理量をそれぞれ調整することができる。
 (15)本発明のさらに他の態様(11)または(12)では、前記第1のダミー支持部は、前記第1及び第2のサイドダミー部材を前記ワークの厚さ方向及び幅方向で移動可能に支持し、前記第2のダミー支持部は、前記第3及び第4のサイドダミー部材を前記厚さ方向及び前記幅方向で移動可能に支持することができる。それにより、本発明の他の態様(10)と同様にして、ワークの第1、第2側縁部の表裏面で表面処理量をそれぞれ調整することができる。
 (16)本発明のさらに他の態様は、
 上述された(1)~(15)のいずれかのワーク保持治具と、
 整流器に接続され、前記ワーク保持治具と接触する給電部と、
 前記整流器に接続される陽極を備えた表面処理槽と、
を有し、
 前記ワーク保持治具は、前記給電部と接触し、かつ、前記共通導電部材と導通する接触部を含む表面処理装置に関する。
 本発明のさらに他の態様(16)によれば、上述された(1)~(15)の各態様の作用効果により、表面処理されるワークの面内均一性を高めることができる。なお、治具が表面処理槽内で搬送される場合、表面処理装置に設けられて治具に接触する給電部は、給電レールとされる。治具が搬送されない場合、給電部は、治具の導電部材と接触する固定接点とすることができる。
本発明の実施形態に係る表面処理装置の縦断面図である。 図1の部分拡大図である。 ワーク保持治具を搬送方向から見た側面図である。 ワーク保持具に設けられる接触部の支持構造を示す図である。 ワーク保持治具の正面図である。 比較例の治具を模式的に示す図である。 図6中の治具に流れる電流を示す比較例の特性図である。 本発明の実施形態に係る治具を模式的に示す図である。 図8中の治具に流れる電流を示す本実施形態の特性図である。 上側ダミー板及び絶縁板を拡大して示す図である。 上側ダミー板の側面図である。 上側ダミー板が第1の位置と第2の位置との間で移動可能であることを示す図である。 下側クランパーに設けられるダミー板及び調整部材を示す図である。 ダミー板に調整部材を重ねた状態を示す平面図である。 図5のD-D矢視図である。 第1のサイドダミー部材の正面図である。 第1及び第2のサイドダミー部材の上部支持構造を示す図である。 第1及び第2のサイドダミー部材の上部支持構造の平面図である。 第1及び第2のサイドダミー部材の下部支持構造を示す図である。 ワークの側縁部に対向して設けられる2本のサイドダミー部材を有する枠体の側面図である。 図20に示す枠体の部分正面図である。 2本のサイドダミー部材、縦枠及びワークの位置関係を示す平面図である。
 以下の開示において、提示された主題の異なる特徴を実施するための多くの異なる実施形態や実施例を提供する。もちろんこれらは単なる例であり、限定的であることを意図するものではない。さらに、本開示では、様々な例において参照番号および/または文字を反復している場合がある。このように反復するのは、簡潔明瞭にするためであり、それ自体が様々な実施形態および/または説明されている構成との間に関係があることを必要とするものではない。さらに、第1の要素が第2の要素に「接続されている」または「連結されている」と記述するとき、そのような記述は、第1の要素と第2の要素とが互いに直接的に接続または連結されている実施形態を含むとともに、第1の要素と第2の要素とが、その間に介在する1以上の他の要素を有して互いに間接的に接続または連結されている実施形態も含む。また、第1の要素が第2の要素に対して「移動する」と記述するとき、そのような記述は、第1の要素及び第2の要素の少なくとも一方が他方に対して移動する相対的な移動の実施形態を含む。
 1.表面処理装置の概要
 図1は、表面処理装置例えば連続メッキ処理装置の縦断面図である。連続メッキ処理装置10は、回路基板等のワーク20をそれぞれ保持する複数のワーク保持治具30が、図1の紙面と垂直な方向に循環搬送される。図1では、循環搬送路100のうちのは平行な2つの直線搬送路110,120を示している。この2つの直線搬送路110,120は両端にて連結されてループ状の循環搬送路100を形成している。
 循環搬送路100には、複数のワーク保持治具30の各々に保持されたワーク20を表面処理例えばメッキ処理するメッキ槽(広義には表面処理槽)200と、未処理のワーク20複数のワーク保持治具30に搬入する搬入部(図示せず)と、処理済みのワーク20を複数のワーク保持治具30から搬出する搬出部(図示せず)とが設けられている。
 本実施形態では、メッキ槽200は第2直線搬送路120に沿って設けられ、搬入部及び搬出部は第1直線搬送路110に設けられている。循環搬送路100には、メッキ槽200の上流側に配置される前処理槽群230と、メッキ槽200の下流側に配置される後処理槽群(図示せず)とをさらに有する。
 図1に示すように、連続メッキ処理装置10は、メッキ液(広義には処理液)が収容され、上端開口201を有するメッキ槽(広義には表面処理槽)200を有する。連続メッキ処理装置10はさらに、図1の一部を拡大して示す図2に示すように、メッキ槽200の上端開口201の上方から外れた位置にて、メッキ槽200の長手方向と平行な第1方向(紙面と垂直な方向)に沿って延設される少なくとも1本例えば2本の第1案内レール130及び第2案内レール140を有する。複数のワーク保持治具30は、メッキ槽200の処理液中に配置させてワーク20をそれぞれ保持し、第1,第2案内レール130,140に支持される。
 複数のワーク保持治具30の各々は、図3に示すように、大別して、搬送部300と、ワーク保持部500と、を有する。搬送部300として、水平アーム部301と、第1被案内部310と、第2被案内部320とを有する。第1被案内部310は、水平アーム部301の一端側に支持されて、第1案内レール130に案内される。第2被案内部320は、水平アーム部301の他端側に支持されて、第2案内レール140に案内される。第1被案内部310は、第1案内レール130の上面及び両側面と転接されるローラー311,312,313を含む。第2被案内部320は、第2案内レール140の上面に転接するローラー321を含む。
 メッキ処理装置10では、ワーク20をカソード(陰極)とし、メッキ槽200がワーク20の搬送経路を挟んだ両側にアノード(陽極)410L,410Rを収容するアノードボックス202,203設けている。図示しない整流器によりカソード-アノード間に電界を形成してメッキ液を電気分解して、ワーク20を電界メッキする。そのために、搬送中のワーク20に通電する必要がある。ワーク20に給電するために、給電部例えば給電レール210を設けている。特に、本実施形態の給電レール210は、特開2009-132999に開示された電流制御方法を実施するために、図2に示すように、互いに絶縁された複数例えば4本の分割給電レール210A~210Dを有する。複数のワーク保持治具30の各々は、4本の分割給電レール210A~210Dのいずれか一つと接触して給電される被給電部340(図2及び図3)を有している。
 図4は、被給電部340の詳細を示している。被給電部340は、水平アーム部301に固定される支持板330に、給電レール210と接触する導電性の接触部(集電子)341を有する。接触部341は、2本の平行リンク342A,342Bを有する平行リンク機構342により支持板330に連結される。2本のリンク342A,342Bは、付勢部材であるねじりコイルスプリング343,343により、常時時計廻り方向に移動付勢されている。この結果、接触部341を給電レール210に適度な接触圧にて接触させることができる。
 また、2本の平行リンク342A,342Bは、治具30の搬送方向Aに対して、上側支点が先行し、下側支点が後行するように傾斜している。この結果、接触部341はワーク保持治具30に引っ張られる形態で走行するので、走行が安定する。
 2.ワーク保持部
 ワーク保持部500は、図5に示すように、矩形ワーク20の上縁部20aをクランプする導電性の複数の上側クランパー510と、矩形ワーク20の下縁部20bをクランプする導電性の複数の下側クランパー520と、矩形ワーク20を囲んで配置され、複数の上側クランパー510及び複数の下側クランパー520を支持する四角形の枠体530と、を有する。
 枠体530は、複数の上側クランパー510を支持する導電性の上枠531と、複数の下側クランパー520を支持する導電性の下枠532と、上枠531の両端部と下枠532の両端部とそれぞれを連結する導電性の一対の縦枠533,534と、を有する。ここで、一対の縦枠533,534は、上枠531の両端部と電気的に絶縁されている一方で、下枠532の両端部とは電気的に接続されている。なお、上枠531及び/又は下枠532は、クランパー(上側クランパー510及び/又は下側クランパー520)を支持する支持部とも称される。
 3.ワークを陰極に設定する導電部材
 本実施形態では、ワーク保持治具30に設けられる導電部材であって、整流器及びワーク20と電気的に接続可能な導電部材が、第1及び第2の分岐導電部材と、第1及び第2の分岐導電部材と電気的に接続された共通導電部材とを含んでいる。
 具体的には、図5に示すように、一対の接触部341がワーク保持治具30の搬送方向Aで間隔をあけて2つ配置される。搬送方向Aの上流側の接触部341を第1接触部341Aと称し、搬送方向Aの下流側の接触部341を第2接触部341Bと称する。第1,第2接触部341A,341Bには一対の第1ケーブル350A,350Bの各一端が電気的に接続される。
 一対の第1ケーブル350A,350Bの各他端は、共通接続部(共通導電部材とも言う)360に共通接続される。共通接続部360は、一対の第1ケーブル350A,350Bの各他端が電気的に共通接続される第1導電部材361と、第1導電部材361の両端部に固定された一対の第2導電部材362,363とを含むことができる。一対の第2導電部材362,363は、第1導電部材361に一対の第1ケーブル350A,350Bの各他端が電気的に共通接続される位置から等距離Lの位置で、第1導電部材361の両端部に固定される。第1導電部材361の両端部から等距離Lの位置で一対の第1ケーブル350A,350を共通接続するためには、一対の第1ケーブル350A,350の一方を第1導電部材361の表面に接続し、他方を第1導電部材361の裏面に接続しても良い。
 ワーク保持治具30に設けられる導電部材として、上枠531の両端部と共通接続部360とを電気的に接続する一対の第1接続部370A,370Bと、下枠532の両端部と電気的に接続された一対の縦枠533,534と共通接続部360とを電気的に接続する一対の第2接続部380A,380Bと、をさらに有する。なお、一対の縦枠533,534は、上枠531とは電気的に絶縁されている。一対の第2接続部380A,380Bの形状、厚さ、材質等の調整により抵抗値を調整することで、上側クランパー510に流れる電流を調整することができる。
 第1の分岐導電部材は、共通接続部360を、一対の第1接続部370A,370Bの一方及び上枠531を経由して複数の上側クランパー510の一つと電気的に導通させる部材で形成される。この場合、第2の分岐導電部材は、共通接続部360を、一対の第1接続部370A,370Bの他方及び上枠531を経由して複数の上側クランパー510の他の一つと電気的に導通させる部材で形成される。
 あるいは、第1の分岐導電部材は、共通接続部360を、一対の第2接続部380A,380Bの一方、一対の縦枠533,534の一方及び下枠532を経由して複数の下側クランパー520の一つと電気的に導通させる部材で形成される。この場合、第2の分岐導電部材は、共通接続部360を、一対の第2接続部380A,380Bの他方、一対の縦枠533,534の他方及び下枠532を経由して複数の下側クランパー520の他の一つと電気的に導通させる部材で形成される。
 ここで、共通導電部材である共通接続部360は、第1及び第2の分岐導電部材間の最大抵抗差ΔRΩの10倍以上の抵抗値であって、かつ、銅及びアルミニウムよりも大きい抵抗値rの高抵抗材料を含む。本実施形態では、共通接続部360は、一対の第2導電部材362,363が高抵抗材料で形成され、第1導電部材361は低抵抗部材で形成されている。
 高抵抗材料として、例えばステンレス(SUS)を挙げることができる。例えばSUS304の体積抵抗率(Ω・m)は73.7であり、銅の1.7Ω・mやアルミニウムの2.8Ω・mに対して一桁以上も大きい。測定された最大抵抗差ΔRΩが10~20mΩであることから、この高抵抗材料の抵抗値rは、r≧ΔR×10を満たしている。同様に、例えば53.3Ω・mのチタンも高抵抗材料として適している。
 ここで、給電レール210を介してワーク保持治具30と電気的に接続される整流器は、設定された一定電流Iを流すために、電流経路の閉ループ系のインピーダンスZに応じて、E=R×Iとなるように電圧Eを調整する。本実施形態では、閉ループ系の抵抗Rは、一般に低抵抗とされる銅やアルミニウムよりも抵抗値が大きい、共通導電部材である一対の第2導電部材の高抵抗値rを含む。第1の分岐導電部材と、第2分岐導電部材との間(つまり、複数の上側クランパー510間、または複数の下側クランパー520間)で生ずる最大抵抗差ΔRΩに対して、r≧10×ΔRΩであると、抵抗値rを含む系の抵抗Rも大きくなる。従って、整流器は比較的大きな電圧Vに調整して一定電流Iを供給する。このように、第1,第2の分岐導電部材に流れる電流(または電子)は共通接続部360で合流され、しかも第1,第2の分岐導電部材間の抵抗のばらつきΔRΩに相当するばらつき電圧ΔVを大きく上回る電圧Eで電流Iを流せば、抵抗のばらつきΔRΩは無視できる。
 3.1.比較例の電流モニター
 図6は、本実施形態のように共通接続部360に高抵抗値rの材料を含まない比較例の治具を模式的に示す。図6中の比較例の治具の搬送方向Aの上流側の接触部に流れる電流A1と、搬送方向Aの下流側の接触部に流れる電流A2とする。
 図7に示す測定では、整流器の設定電流を204A(=A1+A2)とし、2つに分岐して流れる分岐設定電流(A1,A2)は102Aとした。ワーク保持治具を図6の搬送方向Aに搬送しながら測定された電流A1,A2は、図7のように分岐設定電流値に対して上下に変動した。時刻T1,T2の前後では、特開2009-132999に開示されるように、給電レール間の継ぎ目を介して一方の給電レールから他方の給電レールに治具が乗り移るため、一方の給電レールと接触する接触部の電流値が漸減され、他方の給電レールと接触する接触部の電流値が漸増される制御が整流器で実施される。この電流漸減・漸増制御以外の区間では、整流器は設定電流通りに出力制御する。しかし、図7に示す比較例の電流A1,A2は、定電流制御区間では小刻みに変動し、電流漸減・漸増制御では大きく変動する。
 3.2.本実施形態の電流モニター
 図8は、共通接続部360に高抵抗値rの材料を含む本実施形態の治具30を模式的に示す。図8中の治具30の搬送方向Aの上流側の接触部341Aに流れる電流A1と、搬送方向Aの下流側の接触部341Bに流れる電流A2と、一対の第1接続部370A,370Bに流れる電流A3,A4と、一対の第2接続部380A,380Bに流れる電流A5,A6とする。
 図9に示す測定では、整流器の設定電流を131A(=A1+A2)とし、2つに分岐して流れる分岐電流(A1,A2)は65.5Aとした。時刻Tの前後では、図7に示す時刻T1,T2と同様に電流漸減・漸増制御を行い、それ以外の区間では設定電流通りに出力制御を行った。ワーク保持治具30を図8の搬送方向Aに搬送しながら測定された電流A3~A6は、図9に示すように、治具30の左右から上側クランパー510に流れる分岐電流A3,A4は一定となり、治具30の左右から下側クランパー520に流れる分岐電流A5,A6も一定となった。
 本実施形態では、整流器と共通接続部360との間の導通経路には、給電レール210の局所的な汚れなどで生ずる第1,第2接触部341A,341Bの接触抵抗のばらつきによる抵抗差や、給電レール210の乗り継ぎ時の抵抗差が存在するが、上述した抵抗値を有する共通接続部360を設けることで、これらの悪影響も低減することができる。
 本実施形態では、一対の第1接続部は一対の金属板370A,370Bを含む一方で、一対の第2接続部は一対の第2ケーブル380A,380Bを含むことができる。こうして、共通接続部360から上側クランパー510までに至る抵抗値を、共通接続部360から下側クランパー520までに至る抵抗値よりも大きくすることができる。
 こうすると、処理液中には先端部しか浸漬されない上側クランパー510と比較して、全体が処理液中に浸漬される下側クランパー520の表面処理に費やされる電流分だけ多い電流を、下側クランパー520を介してワークに通電することができる。図9中で、上側クランパー510に流れる電流A3,A4よりも、下側クランパー520に流れる電流A5,A6を大きくすることで、結果としてワーク20に上下から流れる電流をほぼ一定にすることができる。
 4.上側ダミー板/下側ダミー板
 図5に示すように、上枠531及び/又は下枠532を導電性の支持部としたとき、支持部には上側及び/又は下側クランパー510,520加えて、導電性の上側ダミー板610及び/又は導電性の下側ダミー板620を有することができる。上側ダミー板610は、ワーク20の上縁部20aのうち上側クランパー510で保持されない領域にて、ワーク20の上縁部20aと接近して配置される。下側ダミー板620は、ワーク20の下縁部20bのうち下側クランパー520で保持されない領域にて、ワーク20の下縁部20bと接近して配置される。
 上側ダミー板610及び導電性の下側ダミー板620の各々は、少なくとも一面例えば表裏面に、表面及び裏面をそれぞれ覆うように移動可能に支持されて、ダミー板610,620の露出導電面積をそれぞれ調整する絶縁板630を有することができる。
 上側ダミー板610を拡大して図10に示す。図10に示す構造は、下側ダミー板620にも採用されている。図10に示すように、上側ダミー板610は、上側ダミー板610と一体又は別体で形成されるヒンジ611を介して上枠531に例えばねじ612により固定される。上側ダミー板610の両面を覆う絶縁板630は、上側ダミー板610の表面を覆う絶縁板630Aと、上側ダミー板610の裏面を覆う絶縁板630Bのいずれか一方または双方を有することができる。絶縁板620A,620Bは、絶縁板630A,630Bにそれぞれ設けられた縦方向の長孔631A,631B(図10では長孔631Aのみ図示)及び上側ダミー板610に設けられた孔612に挿通されるボルト641と、ボルト641に螺合するナット642により、上側ダミー板610に例えば共締される。
 絶縁板620A,620Bの各々は、長孔631A,631Bの範囲内で上側ダミー板610(下側ダミー板620)に対して上下方向の位置を調整できる。それにより、図10に示すように、上側ダミー板610の先端部610Aが露出する導電面の露出面積S1を、表面と裏面とで独立して調整することができる。上側ダミー板610の露出導電面積S1を変更することにより、上側ダミー板610に対する表面処理に費やされる電流が調整される。それにより、上側クランパー510を介してワーク20の上縁部20aに流れる電流が調整される。こうして、ワーク20の上縁部20aに流れる電流を調整して表面処理されるワークの面内均一性を高めることができる。下側ダミー板620についても同様に調整することで、ワーク20の下縁部20bに流れる電流を調整して表面処理されるワークの面内均一性を高めることができる。
 上側ダミー板610は、ヒンジ611を介して、図12の実線で示す第1の位置P1と、鎖線で示す第2の位置P2との間で屈曲可能である。第1の位置P1では、上側ダミー板610が、ワーク20の上縁部20aのうち上側クランパー510で保持されない領域に接近して、ワーク20と平行に配置される。第2の位置第1の位置P2では、上側ダミー板610は、ワーク20の主面と非平行となり、例えばワーク20の主面に対して直角に交差する。
 ワーク20を表面処理するときには上側ダミー板610は第1の位置P1に設定される。一方、ワーク保持治具30に対してワーク20を自動機により着脱するときには上側ダミー板610は第2の位置P2に設定される。上側ダミー板610を第2の位置P2に設定することで、ワーク20の上縁部20aと上枠531との間に隙間が確保される。それにより、ワーク保持治具30の上側クランパー510とは異なる位置にて、ワーク20の上縁部を自動機によってクランプすることができる。この場合、上側ダミー板610を自動機により押動して、上側ダミー板610を第1の位置P1から第2の位置P2に向けて矢印F1方向に移動させても良い。例えば、図12に示すように、自動機に設けられて移動するアーム1のローラー2により、上側ダミー板610を押動しても良い。下側ダミー板620についても同様にして、第1の位置P1と第2の位置P2との間で屈曲させることができる。
 上側ダミー板610は、ヒンジ611自体のばね性またはヒンジ611に設けられた板バネ又はコイルスプリングなどの付勢部材により、第1の位置P1に移動付勢されても良い。こうすると、復帰外力を付与せずに、上側ダミー板610を第2の位置P2から第1の位置P1に向けて矢印F2方向に復帰させることができる。下側ダミー板620についても同様にして、復帰外力を付与せずに、第2の位置P2から第1の位置P1に向けて矢印F2方向に復帰させることができる。
 なお、ワーク保持治具が、矩形ワーク20の四辺をクランプする上下左右のクランパーを有する場合には、四辺の各クランパーにダミー板及び絶縁板を設けても良い。
 5.クランパーのダミー板及び調整部材
 以下、上側クランパー510及び下側クランパー520の一方又は双方に設けられるダミー板及び調整部材を、下側クランパー520を例に挙げて説明する。上側クランパー510に設けられるダミー板及び調整部材については、以下の説明中の「下側クランパー520」を「上側クランパー510」と、「下枠532」を「上枠531」と読み替えることで理解される。
 図13は、下側クランパー520に設けられダミー板700及び調整部材720を示す。先ず、下側クランパー520は、下枠532に固定される固定部521と、固定部521に対して揺動可動に支持される可動部523とを含む。固定部521は、第1面521Aと、その反対側の第2面521Bとを有する。固定部521は、第2面521Bが下枠532と面接触して、ボルト522により下枠532に固定される。固定部521は、第1面521Aより垂直に起立する2つの側壁521Cを有する。
 揺動する可動部523と、固定部521の第1面521Aとの間で、ワーク20の下縁部20bが局所的にクランプされる。可動部523は、固定部521の2つの側壁521Cに支持されたピン524の廻りで揺動可能である。ピン524にはコイルスプリング525が挿通される。可動部523は、コイルスプリング525により固定部521に向かうように移動付勢される。可動部523は、固定部521、ピン524またはコイルスプリング525を経由して、下枠532と電気的に接続される。この導通経路の抵抗値を低くするために、コイルスプリング525を板バネ等に変更しても良い。
 導電性のダミー板700は、固定部521の第2面521Bと対向する第3面700Aと、第3面700Aとは反対側の第4面700Bと、を含む。また、ダミー板700の一端部を基端部701と称し、他端部を先端部704と称する。ダミー板700は、第4面700Bが固定部521の第2面521Bと平行になるようにして、基端部701が固定部521に支持される。
 ここで、図14に示すように、ダミー板4700の基端部701には、例えば2つの長孔702,703を形成することができる。この長孔702,703の各々にボルト710を挿通して、ボルト710を下枠532に締結している。長孔702,703により、ダミー板700は図13の矢印C方向で固定位置を調整できる。
 図13及び図14に示すように、絶縁性の調整部材720は、ダミー板700の第4面700Bの一部を覆って、ダミー板700に重ねられる。調整部材720により常に覆われていない導電面は、先端部704だけとすることができる。図13及び図14にハッチングで示すように、調整部材720により覆われない他の面は絶縁コーティングされる。
 図14に示すように、調整部材720には、例えば2つの長孔721,722が形成される。この長孔721,722の各々にボルト730を挿通して、ボルト730をダミー板700に締結している。長孔702,703により、調整部材720は図13の矢印C方向で固定位置を調整できる。それにより、調整部材720は、ダミー板700の先端部704における第4面700B側の露出導電面積S2を調整することができる。
 ダミー板700の先端部704における第4面700B側の露出導電面が表面処理される。ダミー板700の露出導電面積S2を変更することにより、ダミー板700に対する表面処理に費やされる電流が調整される。それにより、下側クランパー520の固定部521を介してワーク20の下縁部20bに流れる電流が調整される。ダミー板700及び調整部材720がないと、下側クランパー520の固定部521を介してワーク20の下縁部20bに流れる電流が増大する。なぜなら、上述した通り可動部523と下枠532との間の抵抗値は比較的大きいからである。よって、可動部523と接する領域付近のワーク20の下縁部20bであって、かつ、可動部523と接する側の面20b1(図13)に電流が集中することはない。その一方で、固定部521と接する領域付近のワーク20の下縁部20bであって、かつ、固定部521と接する側の面20b2(図13)に電流が集中する傾向が強い。結果として、固定部521の付近の領域でワーク20の表面処理が局所的に進行してしまう。本実施形態によれば、ワーク20の下縁部20bの局所領域20b2に流れる電流を調整して、表面処理されるワークの面内均一性を高めることができる。
 また、長孔702,703によって、固定部521に対するダミー板700の基端部701の固定位置を、調整部材720が移動可能な矢印C方向と平行な方向に変更可能とすることができる。こうすると、ワーク20の主面と直交する方向から見た側面視で、下側クランパー520の固定部521の第2面521Bまたはワークの主面と、ダミー板700との重なり面積を調整することができる。その位置調整によっても、ダミー板700に対する表面処理に費やされる電流が調整される。
 ここで、図1に示す処理槽200内の処理液Qは、治具30に対して図5に示す液面Lが設定される。よって、下側クランパー520はその全体が処理液Qに没する。そのため、ダミー板700は、先端部704における第4面700Bを除いて、図13及び図14にハッチングで示すように、調整部材720により覆われない他の面は絶縁コーティングされる。それにより、ダミー板700の先端部704における第4面700B以外が無駄に表面処理されることがない。
 上述された下側クランパー520に設けられるダミー板700及び調整部材720の構造は、上側クランパー510に設けられるダミー板及び調整部材にも適用できる。なお、図5に示す処理液Qの液面Lの位置から、上側クランパー510はその全体が処理液Qに没することがない点で、下側クランパー520と異なる。このため、上側クランパー510に設けられるダミー板は、絶縁コーティング領域を処理液Q中に没する領域のみに狭めてもよい。処理液Qに浸漬されない領域は表面処理されないので、絶縁コーティングする必要はないからである。
 6.第1,第2のサイドダミー部材
 図5に示すように、ワーク保持治具30は、ワーク20の両測縁部に接近して配置される導電性の第1及び第2のサイドダミー部材800A,800Bをさらに有することができる。図5のD-D矢視図である図15に示すように、第1のサイドダミー部材800Aは、ワーク20の側縁部20dと縦枠534との間に配置される。第2のサイドダミー部材800Bは、ワーク20の側縁部20cと縦枠534との間に配置される。
 ここで、共通導電部材360の第2導電部材362と電気的に接続され、共通導電部材360から分岐されて、上側クランパー510を介してワーク20と導通する第1の分岐導通部材が、一対の第1接続部370A,370Bと、それらが両端部に接続される上枠531とで定義される。ワーク保持治具30は、さらに、共通導電部材360と電気的に接続され、共通導電部材360から分岐されて、第1及び第2のサイドダミー部材800A,800Bと導通する第2の分岐導通部材900(900A,900B)をさらに有する。第2の分岐導通部材900の第1のダミー導通部材900Aは、共通導電部材360から分岐されて第1のサイドダミー部材800Aと導通する。第2の分岐導通部材900の第2のダミー導通部材900Bは、共通導電部材360から分岐されて第2のサイドダミー部材800Bと導通する。
 整流器と電気的に接続可能な共通導電部材360は、第1の分岐導通部材370A,370B,531を経由して上側クランパー510によりワーク20と導通される。この共通導電部材360は、第2の分岐導通部材900(900A,900B)を介して第1及び第2のサイドダミー部材800A,800Bと導通される。ワーク20、第1及び第2のサイドダミー部材800A,800Bに流れるトータル電流は整流器により設定可能である。ここで、縦枠533,534は絶縁コーティングされているとする。第1及び第2のサイドダミー部材800A,800Bがないと、ワーク20の両側縁部20c,20dに電界が集中し、ワーク20の両側縁部20c,20dに流れる電流が多くなる。縦枠533、534は絶縁コーティングされていない場合には、導電性の縦枠533,534をメッキするために電流が消費されて、ワーク20の両側縁部20c,20dに流れる電流が減少する。そのために、第1のダミー導通部材900Aと第2のダミー導通部材900Bとを設け、ワーク20の両側縁部20c,20dに流れる電流を調整可能としている。しかも、第1の分岐導通部材370A,370B,531に対して、第2の分岐導通部材900(900A,900B)の抵抗値を独自に設定することで、ワーク20に流れる電流とは独立して、第1及び第2のサイドダミー部材800A,800Bに流れる電流を設定できる。それにより、ワーク20の側縁部20c,20dに近接配置される第1及び第2のサイドダミー部材も表面処理することで、ワーク20の側縁部20c,20dに流れる電流を調整して、表面処理されるワークの面内均一性を高めることができる。また、第1のダミー導通部材900Aと第2のダミー導通部材900Bとの抵抗値を独自に設定することで、第1及び第2のサイドダミー部材800A,800Bに流れる電流を独自に設定できる。これにより、ワーク20の一方の側縁部20cと他方の側縁部20dとに流れる電流を調整できる。
 第1のダミー導通部材900Aは、例えば、共通導電部材360の第2導電部材362に一端が接続されたケーブル910Aと、ケーブル910Aの他端が接続された導電板920Aと、一端が導電板に接続され他端が第1のサイドダミー部材800Aに接続されたケーブル930Aとを有する。第2のダミー導通部材900Bも同様に、ケーブル910B、導電板920B及びケーブル930Bを有する。
 第1,第2のダミー導通部材900A,900Bは、第1,第2の可変抵抗器を有することができる。第1のダミー導通部材900Aに設けられる第1の可変抵抗器は、導電板920Aに設けられた長孔921Aと、長孔921Aに沿って移動する可動接点部922Aとで構成される。長孔921Aは、ケーブル910Aの接続部からの距離が長くなる方向(図5では水平方向)を長手方向とする。ケーブル930Aと接続された可動接点部922Aの位置を変更することで抵抗値が可変される。第2のダミー導通部材900Bに設けられる第1の可変抵抗器も、同様にして、長孔921Bと可動接点部922Bとで構成される。こうすると、第1,第2の可変抵抗器で抵抗値を調整することで、第1のダミー導通部材900Aの抵抗値と第2のサイドダミー部材800Bの抵抗値とを、所定の範囲内で任意に調整できる。なお、可動接点部922A及び可動接点部922Bは、手動又は自動で位置調整される。
 本実施形態では、図5に示すように、第1のダミー導通部材900Aは、第1のサイドダミー部材800Aの上部と導通し、第2のダミー導通部材900Bは、第2のサイドダミー部材800Bの上部と導通する。この場合、図16に示すように、第1のサイドダミー部材800A及び第2のサイドダミー部材800Bの各々は、ワーク20の厚さ方向と平行な幅W1,W2,W3が、下部よりも上部が狭く形成されることが好ましい(W1<W2<W3)。幅は、段階的に変えても良いし、連続的に変えても良い。第1及び第2のサイドダミー部材800A,800Bは上部の方が整流器に近いので、上部が下部よりも多く表面処理される傾向がある。それに起因してワーク20の両側縁部20c,20dの上部が表面処理され難い傾向がある(メッキ厚が薄くなる)。第1及び第2のサイドダミー部材800A,800Bの幅を上部で狭くすることにより、ワーク20の両側縁部20c,20dの上部が表面処理され易くなり、上部でもメッキ膜厚が確保される。それにより、ワーク20の両側縁部において、上部から下部に亘って流れる電流の調整が効果的に行える。
 ワーク保持治具30に設けられる第1,第2のサイドダミー支持部について、図17~図19を参照して説明する。図17~図19に第1,第2のサイドダミー支持部は、例えば、図15に示すように、第1,第2のサイドダミー部材800A,800Bを、ワーク20の幅方向である矢印E方向と、ワーク20の厚さ方向である矢印F方向とに可変することができる。
 図17及び図18は、第1のサイドダミー部材800Aの上部を支持する支持部の正面図及び平面図である。縦枠534の上部には、ワーク保持治具30の内側に向けて延びる2つの取付片820Aが設けられる。この2つの取付片820A間に、第1のサイドダミー部材800Aの上部を支持する上部支持片830Aが配置される。2つの取付片820Aは、矢印E方向を長手方向とする長孔821を有する。この長孔821に挿通されるボルト835が上部支持片830Aに螺合する。ボルト835を緩めれば、上部支持片830Aは第1のサイドダミー部材800Aと共に矢印E方向に移動可能となる。ボルト835を締めれば上部支持片830Aは2つの取付片820Aに固定される。
 図18に示すように、上部支持片830Aは、上下に貫通し、矢印F方向を長手方向とする長孔831を有する。この長孔831に挿通されるボルト810が第1のサイドダミー部材800Aの上部に螺合する。ボルト810を緩めれば、第1のサイドダミー部材800Aは矢印F方向に移動可能となる。ボルト810Aを締めれば第1のサイドダミー部材800Aは上部支持片830Aに固定される。図示は省略するが、第2のサイドダミー部材800Bの上部も、第1のサイドダミー部材800Aの上部と同様にして支持される。
 図19は、第1のサイドダミー部材800Aの下部を支持する支持部を示している。縦枠534の上部には、ワーク保持治具30の内側に向けて延びる2つの取付片820Aが設けられる。この2つの取付片820A間に、第1のサイドダミー部材800Aの下部を支持する下部支持片830Bが配置される。下部支持片830Bは、後述する接続部850を支持する構造を除いて、上部支持片830Aと同様の構造を有する。また、第2のサイドダミー部材800Bの下部も、第1のサイドダミー部材800Aの下部と同様にして支持される。
 第1,第2のサイドダミー部材800A,800Bは、例えば図18に示すボルト810にケーブル930A,930Bを接続することで、整流器と接続可能となる。なお、第1,第2のサイドダミー部材800A,800Bを縦枠933,934から電気的に絶縁するために、取付片820Aおよび/または上部・下部支持片830A,830Bは絶縁体で形成される。
 第1,第2のサイドダミー部材800A,800Bをワーク20の幅方向Eで移動させることで、ワークの両側縁部20c,20dの各々においてワークの表面処理量(メッキ膜厚)を調整することができる。例えば、図15の左向きに第1のサイドダミー部材800Aを移動させれば、ワーク20の側縁部20dのメッキ膜厚を薄くできる。逆に、図15の右向きに第1のサイドダミー部材800Aを移動させれば、ワーク20の側縁部20dのメッキ膜厚を薄くできる。よって、第1,第2のサイドダミー部材800A,800Bをワーク20の幅方向Eのみで移動させる構造であってもよい。
 第1,第2のサイドダミー部材800A,800Bをワーク20の厚さ方向Fで移動させることで、ワーク20の両側縁部20c,20dの各々において、図15に示すワーク20の表面20d1及び裏面20d2での表面処理量(メッキ膜厚)を調整することができる。例えば、図15の上向きに第1のサイドダミー部材800Aを移動させれば、ワーク20の表面20d1のメッキ膜厚を薄くできる。逆に、図15の下向きに第1のサイドダミー部材800Aを移動させれば、ワーク20の裏面20d2のメッキ膜厚を薄くできる。よって、第1,第2のサイドダミー部材800A,800Bをワーク20の厚さ方向Fのみで移動させる構造であってもよい。
 図19に示すように、第1のサイドダミー部材800Aの下部と第2のサイドダミー部材800Bの下部とを電気的に接続する接続部材850をさらに設けることができる。接続部材850を設けることで、第1及び第2のサイドダミー部材800A,800Bの下部にも電流が流れ易くなり、ワーク20の両側縁部20c,20dにおいて、上部から下部に亘って流れる電流の調整を効果的に行うことができる。
 接続部材850の両端部は、図19に示す2つの下部支持片830Bに例えばスライド可能に支持される。それにより、2つの下部支持片830Bの図15に示す矢印E方向への移動が許容される。また、接続部材850の両端部は、第1,第2のサイドダミー部材800A,800Bの下部に、フレキシブルな導電部材で電気的に接続される。それにより、第1,第2のサイドダミー部材800A,800Bの図15に示す矢印E,F方向への移動が許容される。
 7.第1~第4のサイドダミー部材
 図20~図22は、ワーク20の両側縁部20c,20dの各々に対向して2本のサイドダミー部材を配置したワーク保持冶具を示している。ワーク20の一方の側縁部20dと対向して、第1のサイドダミー部材1011及び第2のサイドダミー部材1012が配置される。第1のダミー支持部1000A,1000Bは、枠体530の例えば縦枠534に保持され、第1のサイドダミー部材1000及び第2のサイドダミー部材1012の両端を支持している。第1のダミー支持部1000Aにはケーブル930Aが接続される。それにより、第1のサイドダミー部材1011及び第2のサイドダミー部材1012は整流器と電気的に接続される。
 ここで、図22に示すように、横断面視で、第1及び第2のサイドダミー部材1011,1012は、ワーク20の側縁部20dと枠体530の縦枠534との間であって、ワーク20の延長線を挟んだ両側の位置に配置される。こうすると、ワーク20の側縁部20dでは、ワーク20の表面が第1のサイドダミー部材1011により、ワーク20の裏面が第2のサイドダミー部材1012により、それぞれワークの処理量を調整することができる。
 同様にして、ワーク20の他方の側縁部20cと対向して、第3のサイドダミー部材1013及び第4のサイドダミー部材1014が配置される。第2のダミー支持部1000C,1000Dは、枠体530の例えば縦枠533に保持され、第3のサイドダミー部材1013及び第4のサイドダミー部材1014の両端を支持している。第2のダミー支持部1000Cにはケーブル930Bが接続される。それにより、第3のサイドダミー部材1013及び第4のサイドダミー部材1014は整流器と電気的に接続される。こうして、ワーク20の他方の側縁部20cでは、ワーク20の表面が第3のサイドダミー部材1013により、ワーク20の裏面が第4のサイドダミー部材1014により、それぞれワーク20の処理量を調整することができる。
 ここで、第1のダミー支持部1000A,1000Bは、第1及び第2のサイドダミー部材1011,1012を着脱自在に支持することができ、第2のダミー支持部1000C,1000Dは、第3及び第4のサイドダミー部材1013,1014を着脱自在に支持することができる。この場合、第1~第4のサイドダミー部材1011~1014を、ワーク20の厚さ方向Fと平行な長さが異なる複数種のサイドダミー部材の中から選択して装着することで、ワークの20第1、第2側縁部20c,20dの表裏面で処理量をそれぞれ調整することができる。
 第1~第4のサイドダミー部材1011~1014は、例えば丸棒したとき、直径の異なる丸棒の中から選択される。直径の大きいサイドダミー部材を選択すると、ワークの側縁部に形成されるメッキ厚を薄くすることができる。逆に、直径の小さいサイドダミー部材を選択すると、ワークの側縁部に形成されるメッキ厚を厚くすることができる。第1~第4のサイドダミー部材1011~1014は、丸棒に限らず矩形等であっても良い。また、第1~第4のサイドダミー部材1011~1014は、図16に示すように、上部よりも下部で、ワーク20の厚さ方向Fと平行な長さが段階的または連続的に大きくなるものであっても良い。
 第1のダミー支持部1000A,1000B及び第2のダミー支持部1000C,1000Dは、図17~図19の構造を有することができる。こうすると、図22に示すように、例えば第1及び第2のサイドダミー部材1011,1012は、ワーク20の厚さ方向E及び/又はワーク20と平行な方向Fに移動させることができる。それにより、ワーク20の側縁部20c,20dでは、ワーク20の表面及び裏面の処理量を調整することができる。さらに、図21に示すように、下部側のダミー支持部1000B,1000Dを接続部材850により電気的に接続することにより、第1~第4のサイドダミー部材1011~1014の下部にも電流を流れ易くすることができる。
 10…ワーク保持治具、20…ワーク、20a…上縁部、20b…下縁部、20c,20d…側縁部、210…給電部(給電レール)、341A,341B…第1,第2接触部、341A,350A…第1の分岐導通部材、341B,350B…第2の分岐導通部材、350A,350B…一対の第1ケーブル、360…共通接続部(共通導電部材)、361…第1導電部材、362、363…一対の第2導電部材、370A,370B…一対の第1接続部(一対の金属板)、370A,370B,531…第1の分岐導通部材、380A,380B…一対の第2接続部(一対の第2ケーブル)、380A,380B,533,534…第2の分岐導通部材、410R,410L…陽極、510…上側クランパー、520…下側クランパー、521…固定部、521A…第1面、521B…第2面、523…可動部、530…枠体、531…上枠(支持部)、532…下枠(支持部)、533,534…一対の縦枠、610…上側ダミー板、620…下側ダミー板、611…ヒンジ、630,630A,630B…絶縁板(上側絶縁板、下側絶縁板、表側絶縁板、裏側絶縁板)、700…ダミー板、700A…第3面、700B…第4面、701…基端部、704…先端部、720…調整部材、800A…第1のサイドダミー部材、800B…第2のサイドダミー部材、850…接続部材、900(900A,900B)…第2の分岐導通部材、910A,920A,922A,930A…第1のダミー導通部材、910B,920B,922B,930B…第2のダミー導通部材、920A,921A,922A…第1の可変抵抗器、920B,921B,922B…第2の可変抵抗器、1000A~1000D…第1、第2のダミー支持部材、1011…第1のサイドダミー部材、1012…第2のサイドダミー部材、1013…第3のサイドダミー部材、1014…第2のサイドダミー部材、P1…第1の位置、P2…第2の位置、S1,S2…露出導電面積

Claims (16)

  1.  表面処理されるワークを垂下して保持し、かつ、整流器と電気的に接続可能なワーク保持治具において、
     前記ワークの上縁部をクランプする導電性の上側クランパーと、
     前記ワークの両測縁部に接近して配置される導電性の第1及び第2のサイドダミー部材と、
     前記整流器と電気的に導通可能な共通導電部材と、
     前記共通導電部材と電気的に接続され、前記共通導電部材から分岐されて、前記上側クランパーを介して前記ワークと導通する第1の分岐導通部材と、
     前記共通導電部材と電気的に接続され、前記共通導電部材から分岐されて、前記第1及び第2のサイドダミー部材と導通する第2の分岐導通部材と、
    を有することを特徴とするワーク保持治具。
  2.  請求項1において、
     前記第2の分岐導通部材は、
     前記共通導電部材から分岐されて、前記第1のサイドダミー部材と導通する第1のダミー導通部材と、
     前記共通導電部材から分岐されて、前記第2のサイドダミー部材と導通する第2のダミー導通部材と、
    を含むことを特徴とするワーク保持治具。
  3.  請求項2において、
     前記第1のダミー導通部材は、抵抗値が可変である第1の可変抵抗器を含み、
     前記第2のダミー導通部材は、抵抗値が可変である第2の可変抵抗器を含むことを特徴とするワーク保持治具。
  4.  請求項2または3において、
     前記第1のダミー導通部材は、前記第1のサイドダミー部材の上部と導通し、
     前記第2のダミー導通部材は、前記第2のサイドダミー部材の上部と導通し、
     前記第1のサイドダミー部材の下部と前記第2のサイドダミー部材の下部とを電気的に接続する接続部材をさらに設けることを特徴とするワーク保持治具。
  5.  請求項2または3において、
     前記第1のダミー導通部材は、前記第1のサイドダミー部材の上部と導通し、
     前記第2のダミー導通部材は、前記第2のサイドダミー部材の上部と導通し、
     前記第1のサイドダミー部材及び前記第2のサイドダミー部材の各々は、前記ワークの厚さ方向と平行な幅が、下部よりも上部が狭く形成されていることを特徴とするワーク保持治具。
  6.  請求項5において、
    前記第1のサイドダミー部材の下部と前記第2のサイドダミー部材の下部とを電気的に接続する接続部材をさらに設けることを特徴とするワーク保持治具。
  7.  請求項1乃至6のいずれか一項において、
     前記ワークの下縁部をクランプする下側クランパーと、
     前記共通導電部材と電気的に接続され、前記共通導電部材から分岐されて、前記下側クランパーを介して前記ワークと導通する第3の分岐導通部材と、
    さらに有することを特徴とするワーク保持治具。
  8.  表面処理されるワークを垂下して保持し、かつ、整流器と電気的に接続可能なワーク保持治具において、
     前記ワークを囲む四角形の枠体と、
     前記枠体に保持され、前記ワークの上縁部をクランプして、前記ワークを前記整流器と電気的に接続する導電性の上側クランパーと、
     前記ワークの両測縁部に接近して配置され、前記整流器と電気的に接続される導電性の第1及び第2のサイドダミー部材と、
     前記枠体に保持され、前記第1のサイドダミー部材を前記ワークの厚さ方向で移動可能に支持する第1のダミー支持部と、
     前記枠体に保持され、前記第2のサイドダミー部材を前記厚さ方向で移動可能に支持する第2のダミー支持部と、
    を有することを特徴とするワーク保持治具。
  9.  表面処理されるワークを垂下して保持し、かつ、整流器と電気的に接続可能なワーク保持治具において、
     前記ワークを囲む四角形の枠体と、
     前記枠体に保持され、前記ワークの上縁部をクランプして、前記ワークを前記整流器と電気的に接続する導電性の上側クランパーと、
     前記ワークの両測縁部に接近して配置され、前記整流器と電気的に接続される導電性の第1及び第2のサイドダミー部材と、
     前記枠体に保持され、前記第1のサイドダミー部材を前記ワークの幅方向で移動可能に支持する第1のダミー支持部と、
     前記枠体に保持され、前記第2のサイドダミー部材を前記幅方向で移動可能に支持する第2のダミー支持部と、
    を有することを特徴とするワーク保持治具。
  10.  表面処理されるワークを垂下して保持し、かつ、整流器と電気的に接続可能なワーク保持治具において、
     前記ワークを囲む四角形の枠体と、
     前記枠体に保持され、前記ワークの上縁部をクランプして、前記ワークを前記整流器と電気的に接続する導電性の上側クランパーと、
     前記ワークの両測縁部に接近して配置され、前記整流器と電気的に接続される導電性の第1及び第2のサイドダミー部材と、
     前記枠体に保持され、前記第1のサイドダミー部材を前記ワークの厚さ方向及び幅方向で移動可能に支持する第1のダミー支持部と、
     前記枠体に保持され、前記第2のサイドダミー部材を前記厚さ方向及び前記幅方向で移動可能に支持する第2のダミー支持部と、
    を有することを特徴とするワーク保持治具。
  11.  表面処理されるワークを垂下して保持し、かつ、整流器と電気的に接続可能なワーク保持治具において、
     前記ワークを囲む四角形の枠体と、
     前記枠体に保持され、前記ワークの上縁部をクランプして、前記ワークを前記整流器と電気的に接続する導電性の上側クランパーと、
     前記ワークの第1測縁部に接近して配置され、前記整流器と電気的に接続される導電性の第1及び第2のサイドダミー部材と、
     前記ワークの第2測縁部に接近して配置され、前記整流器と電気的に接続される導電性の第3及び第4のサイドダミー部材と、
     前記枠体に保持され、前記第1及び第2のサイドダミー部材を支持する第1のダミー支持部と、
     前記枠体に保持され、前記第3及び第4のサイドダミー部材を支持する第2のダミー支持部と、
    を有し、
     横断面視で、前記第1及び第2のサイドダミー部材は、前記ワークの前記第1測縁部と前記枠体との間であって、前記ワークの延長線を挟んだ両側の位置に配置され、
     前記横断面視で、前記第3及び第4のサイドダミー部材は、前記ワークの前記第2測縁部と前記枠体との間であって、前記ワークの延長線を挟んだ両側の位置に配置されることを特徴とするワーク保持治具。
  12.  請求項11において、
     前記第1のダミー支持部は、前記第1及び第2のサイドダミー部材を着脱自在に支持し、前記第2のダミー支持部は、前記第3及び第4のサイドダミー部材を着脱自在に支持することを特徴とするワーク保持治具。
  13.  請求項11または12において、
     前記第1のダミー支持部は、前記第1及び第2のサイドダミー部材を前記ワークの厚さ方向で移動可能に支持し、
     前記第2のダミー支持部は、前記第3及び第4のサイドダミー部材を前記厚さ方向で移動可能に支持することを特徴とするワーク保持治具。
  14.  請求項11または12において、
     前記第1のダミー支持部は、前記第1及び第2のサイドダミー部材を前記ワークの幅方向で移動可能に支持し、
     前記第2のダミー支持部は、前記第3及び第4のサイドダミー部材を前記幅方向で移動可能に支持することを特徴とするワーク保持治具。
  15.  請求項11または12において、
     前記第1のダミー支持部は、前記第1及び第2のサイドダミー部材を前記ワークの厚さ方向及び幅方向で移動可能に支持し、
     前記第2のダミー支持部は、前記第3及び第4のサイドダミー部材を前記厚さ方向及び前記幅方向で移動可能に支持することを特徴とするワーク保持治具。
  16.  請求項1乃至15のいずれか一項に記載のワーク保持治具と、
     整流器に接続され、前記ワーク保持治具と接触する給電部と、
     前記整流器に接続される陽極を備えた表面処理槽と、
    を有し、
     前記ワーク保持治具は、前記給電部と接触し、かつ、前記共通導電部材と導通する接触部を含むことを特徴とする表面処理装置。
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