WO2020129335A1 - 熱伝導性シリコーンゴム組成物とそのシート及びその製造方法 - Google Patents

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WO2020129335A1
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小川敏樹
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富士高分子工業株式会社
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    • D06N2209/06—Properties of the materials having thermal properties
    • D06N2209/062—Conductive

Definitions

  • the present invention relates to a heat conductive silicone rubber composition, a sheet thereof and a method for producing the sheet.
  • a radiator is attached to the electronic components that generate heat. Since the radiator is often made of metal, in order to improve the close contact between the CPU and the heat radiating section, a method of inserting a sheet-like or gel-like thermally conductive composition to increase the degree of adhesion is adopted.
  • a heat conductive composition must contain a large amount of the heat conductive inorganic powder in order to improve the heat conductivity of the heat dissipation material which is the final purpose.
  • the hardness becomes too high in the case of an elastomeric heat dissipation material, and the gap between the electronic component and the radiator cannot be set to the specified thinness.
  • the gap between the electronic component and the radiator is as expected. There was a problem that it could not be filled. Further, in the case of an elastomer or a gel-like heat dissipation material, the compression set tends to increase and the long-term reliability tends to decrease. Further, there is a problem that hardness increases due to high temperature heat history.
  • Patent Document 1 proposes, in Patent Document 1, that the small particle alumina is surface-treated with an alkylsilane compound. Further, there is a proposal (Patent Document 2) using amorphous alumina of 0.1 to 5 ⁇ m and spherical alumina of 5 to 50 ⁇ m. Further, Patent Document 3 proposes a heat conductive sheet using glass cloth.
  • the heat conductive silicone rubber of the prior art has a problem that the heat resistance value is high.
  • the present invention provides a thermally conductive silicone rubber composition having a low thermal resistance value, a sheet thereof, and a method for producing the same.
  • the heat conductive silicone composition of the present invention is a heat conductive silicone composition containing silicone as a matrix component and a heat conductive filler, wherein the matrix component comprises a silicone base polymer having a vinyl group and a vinyl group. It is characterized in that it contains a silicone oil that does not have, the heat conductive filler contains aluminum nitride particles, and contains a peroxide as a hardening component.
  • the heat conductive silicone sheet of the present invention is a heat conductive silicone sheet obtained by coating the above heat conductive silicone composition on at least one surface of a sizing sheet of glass cloth, and the thickness of the heat conductive silicone sheet is 0. It is characterized by being 1 to 1 mm.
  • the method for producing the heat conductive silicone sheet of the present invention comprises adding a diluting solution to the heat conductive silicone composition to form a coating solution, impregnating the glass cloth with the coating solution, drying and then heating and curing.
  • a sizing sheet is characterized in that at least one surface of the sizing sheet of the glass cloth is coated with the coating liquid, dried and then cured by heating.
  • the matrix component comprises a silicone-based polymer having a vinyl group and a silicone oil not having a vinyl group
  • the heat conductive filler comprises aluminum nitride particles, and a peroxide as a curing component.
  • a heat conductive silicone rubber composition having a low heat resistance value, a sheet thereof and a method for producing the same can be provided.
  • FIG. 1 is a schematic sectional view of a heat conductive silicone sheet according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2A is a schematic plan view showing the thermal resistance measuring method, and
  • FIG. 2B is a schematic sectional view taken along the line II.
  • a platinum catalyst it is preferable not to use a platinum catalyst for the following reasons.
  • the product of the present invention is coated in a state of being dissolved in a solvent, but the surplus material is used for the next production in terms of cost.
  • the platinum-based catalyst (addition reaction system) has a shorter life than the peroxide curing system, and the curing progresses, so that it is difficult to devote it to the next production.
  • Platinum-based catalysts (addition reaction systems) react only at the sites having vinyl groups. It does not cure sufficiently. Since the peroxide cure reacts with a vinyl group and a methyl group, the cure proceeds sufficiently.
  • the present inventor examined whether the problem of thermal resistance value could be improved by adding a silicone base polymer having a vinyl group and a silicone oil not having a vinyl group.
  • the silicone gum has an intermediate property between silicone oil (fluid) and silicone rubber (solid).
  • the silicone-based polymer having a vinyl group of the present invention refers to a silicone gum having a vinyl group and an oil.
  • the silicone-based polymer having a vinyl group has high reactivity and the strength is higher than that of a polymer having no vinyl group.
  • Silicone oil having no vinyl group has low reactivity, but exhibits flexibility. Therefore, strength and flexibility can be balanced with a silicone gum having a vinyl group and oil, and a silicone oil having no vinyl group.
  • alumina has conventionally been highly filled, but if alumina is highly filled, strength tends to decrease and flexibility tends to decrease. Therefore, by filling the aluminum nitride particles, it is possible to maintain good strength and flexibility while achieving high thermal conductivity.
  • the curing proceeds by the radical reaction curing action of the peroxide curing agent.
  • the peroxide curing agent is preferably 0.01 to 10 parts by mass, and more preferably 0.1 to 8 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the matrix component.
  • Peroxide curing agents include acyl peroxides such as benzoyl peroxide and bis(p-methylbenzoyl) peroxide; di-tert-butyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-di(tert-butyl) Alkyl peroxides such as (peroxy)hexane, tert-butyl cumyl peroxide, dicumyl peroxide; and ester organic peroxides such as tert-butyl perbenzoate are preferred.
  • acyl peroxides such as benzoyl peroxide and bis(p-methylbenzoyl) peroxide
  • di-tert-butyl peroxide 2,5-dimethyl-2,5-di(tert-butyl)
  • Alkyl peroxides such as (peroxy)hexane, tert-butyl cumyl peroxide, dicumyl peroxide
  • ester organic peroxides such as tert
  • the vinyl group-containing silicone base polymer (silicone gum) is preferably 50 to 90 parts by mass, more preferably 55 to 85 parts by mass, further preferably 60 to 80 parts by mass. is there.
  • the silicone oil having no vinyl group is preferably 5 to 20 parts by mass, more preferably 7 to 17 parts by mass, further preferably 10 to 15 parts by mass, when the matrix component is 100 parts by mass.
  • the composition of the present invention may contain vinyl silicone oil having both ends.
  • the vinyl silicone oil at both ends is preferably 5 to 25 parts by mass, more preferably 10 to 23 parts by mass, further preferably 12 to 22 parts by mass, when the matrix component is 100 parts by mass.
  • the oil having no vinyl group basically any oil can be used as long as it is called dimethyl silicone oil, and phenylmethyl silicone oil, fluorosilicone oil and the like are also available.
  • the matrix component is preferably polysiloxane having at least two silicon atom-bonded alkenyl groups in one molecule.
  • alkenyl group include a vinyl group, an allyl group, and a propenyl group
  • organic group other than the alkenyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, an octyl group, and a decyl group.
  • the molecular structure of the polysiloxane may be linear, linear including branched, cyclic, or network, and two or more kinds of diorganopolysiloxane may be used in combination.
  • the molecular weight of polysiloxane is not particularly limited, and it can be used from a low viscosity liquid state to a high viscosity raw rubber type, but in order to cure to a rubber-like elastic body, the viscosity at 25°C is 100 mPa ⁇ s.
  • the number average molecular weight in terms of polystyrene by gel permeation chromatography (GPC) is preferably in the range of 200,000 to 700,000, and more preferably raw rubber.
  • the heat conductive filler is preferably added in an amount of 600 to 2000 parts by mass, more preferably 700 to 1900 parts by mass, and further preferably 800 to 1800 parts by mass, relative to 100 parts by mass of the matrix component.
  • the amount of aluminum nitride particles is preferably 10 to 100 parts by mass, more preferably 15 to 90 parts by mass, and further preferably 20 to 80 parts by mass.
  • the heat conductive filler further contains alumina particles.
  • Alumina particles are preferably 20 to 100 parts by mass, more preferably 25 to 90 parts by mass, and further preferably 30 to 80 parts by mass, when the heat conductive filler is 100 parts by mass.
  • Alumina particles are preferably used by mixing particles (A) having an average particle size of 10 ⁇ m or more and 20 ⁇ m or less and particles (B) having an average particle size of 0.01 ⁇ m or more and less than 10 ⁇ m.
  • the mixing ratio of A:B is preferably 90:10 to 10:90 in terms of mass ratio.
  • the average particle diameter of the heat conductive filler is preferably 0.01 to 20 ⁇ m, more preferably 0.1 to 15 ⁇ m. As a result, the mixability with the matrix resin and the processability can be improved.
  • the average particle diameter is D50 (median diameter) of the volume-based cumulative particle size distribution in the particle size distribution measurement by the laser diffraction light scattering method.
  • An example of this measuring instrument is a laser diffraction/scattering type particle distribution measuring device LA-950S2 manufactured by Horiba Ltd.
  • the thermally conductive silicone composition does not contain reinforcing silica.
  • the reinforcing silica is contained, there is a drawback that hardness increases and contact heat resistance increases.
  • composition of the present invention can be blended with components other than the above, if necessary.
  • an inorganic pigment such as red iron oxide, an alkyltrialkoxysilane, a fluidity adjusting agent, an adhesion imparting agent, a flame retardant and the like may be added for the purpose of surface treatment of the filler.
  • An alkoxy group-containing silicone may be added as a material to be added for the purpose of surface treatment of the filler.
  • the heat conductive silicone sheet of the present invention is formed by coating the above heat conductive silicone composition on at least one surface of a sizing sheet of glass cloth. It is preferably coated on both sides.
  • the thickness of the heat conductive silicone sheet is 0.1 to 1 mm. If the thickness is less than 0.1 mm, manufacturing is difficult, and if it exceeds 1 mm, coating becomes difficult.
  • the glass cloth preferably has a mass of 25 to 54 g/m 2 , a density of warp yarns and weft yarns of 56 to 60 yarns/25 mm, and a plain weave fabric.
  • the thermal conductivity of the bulk of the example of the thermally conductive silicone sheet of the present invention is preferably 1 W/m ⁇ k or more, and more preferably 3.3 W/m ⁇ k or more.
  • the term “bulk” means a state in which a silicone base polymer, a filler, and other additives are contained before being dissolved in a solvent.
  • a diluent is added to the heat conductive silicone composition to prepare a coating liquid.
  • This coating liquid was prepared by adding a matrix resin component, a heat conductive filler, and optionally a flame retardant and a pigment, and mixing them uniformly to form a composition. create.
  • the diluent solvent may be in an appropriate amount as long as it can be applied.
  • the viscosity is preferably 3,000 to 10,000 cps.
  • a glass cloth is impregnated with the coating liquid, dried and cured by heating to obtain a sizing sheet. This sizing sheet becomes a sealing glass cloth sheet.
  • the coating is preferably knife coat. This is because knife coating can be applied thinly.
  • the curing conditions are preferably a temperature of 150 to 180° C. and a curing time of 3 to 10 minutes.
  • FIG. 1 is a schematic sectional view of a heat conductive silicone sheet according to an embodiment of the present invention.
  • a glass cloth is impregnated with a coating liquid, dried and heat-cured, and both surfaces of the sizing sheet layer 2 are coated with a coating liquid containing a heat conductive silicone composition, dried and then heat cured. It was done.
  • Reference numerals 3 and 4 are heat conductive silicone coating layers.
  • FIG. 2A is a schematic plan view showing the thermal resistance measuring method
  • FIG. 2B is a schematic cross-sectional view taken along the line II.
  • This thermal resistance measuring method conforms to ASTM D5470, and the thermal resistance value of the thermally conductive silicone sheet 1 is measured by the thermal resistance measuring device 10.
  • a diamond-shaped (TO-3 type) punched thermally conductive silicone sheet 1 is sandwiched between the transistor 11 and the heat sink 12 and screwed with a predetermined torque, and a constant power is applied to the transistor 11 to generate heat.
  • the thermal resistance value is measured from the temperature difference with the heat sink 12.
  • 13 is a pressing plate
  • 14 is a transistor temperature sensor
  • 15 is a heat sink temperature sensor
  • 16 is an M3 screw.
  • the torque is, for example, 3 kg ⁇ cm (0.29 Nm), 5 kg ⁇ cm (0.49 Nm), and 7 kg ⁇ cm (0.69 Nm).
  • Example 1 (1) Raw material (A) matrix component (A-1) Silicone gum having a vinyl group: manufactured by Elchem Japan, gum having vinyl groups at both ends and side chains, 80 g (A-2) Both-end vinyl silicone oil: manufactured by Elchem Japan, viscosity 350 mm 2 /s (temperature 25° C.) (A-3) Silicone oil without vinyl group: Toray Dow Corning, viscosity 300cs (Temperature 25°C) (B) Thermally conductive filler (B-1) Aluminum nitride (average particle size 10 ⁇ m): Toyo Aluminum Co., Ltd. (B-2) Alumina (average particle diameter 12 ⁇ m): manufactured by Nippon Light Metal Co., Ltd.
  • Coating liquid 1 To 100 g of the raw material composition, 3 g of 50% paste liquid of bis-4-methylbenzoyl peroxide as a peroxide curing component and an appropriate amount of solvent xylene as a diluent were added to prepare coating liquid 1.
  • Coating liquid 2 Coating solution 2 was prepared by adding 0.8 g of a 50% paste solution of bis-4-methylbenzoyl peroxide as a peroxide curing component and an appropriate amount of solvent xylene as a diluent to 100 g of the raw material composition.
  • a glass cloth having a thickness of about 35 ⁇ m mass 25 g/m 2 , density warp yarn, weft yarn 56/25 mm, plain weave fabric
  • the coating liquid 1 dried and heat-cured
  • a sizing sheet one side of the sizing sheet was coated with the coating liquid 2 using a knife coater, dried, put in a heater, and heat-cured at 180° C. for 3 minutes.
  • the other surface of the sizing sheet was coated with the coating liquid 2 using a knife coater and dried. Then, it put into a heater and was heat-cured at 180° C. for 3 minutes.
  • heat conductive silicone sheets having a total thickness of 0.2 mm and 0.33 mm were manufactured.
  • Example 3 (Comparative Examples 1 to 3) The same procedure as in Example 1 was carried out except that the vinyl group-free silicone oil (A-3) was not added. The amount of each component added is shown in Table 1, and the thermal resistance value is shown in Table 2.
  • the heat conductive silicone composition and sheet of the present invention can be applied to a heat radiating member or the like to be interposed between a heat generating part of an electronic component and a heat sink.

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Abstract

シリコーンをマトリックス成分とし、熱伝導充填剤を含む熱伝導性シリコーン組成物であって、マトリックス成分は、ビニル基を持つシリコーンベースポリマーと、ビニル基を持たないシリコーンオイルを含み、熱伝導充填剤は、窒化アルミニウム粒子を含み、硬化成分として過酸化物を含む。本発明の熱伝導性シリコーンシート1は、熱伝導性シリコーン組成物(3,4)をガラスクロス2のサイジングシートの少なくとも一面にコーティングし、厚みを０．１～１ｍｍとする。これにより、軟らかく、強度もあり、熱伝導性も高い熱伝導性シリコーンゴム組成物とそのシート及びその製造方法を提供する。

Description

熱伝導性シリコーンゴム組成物とそのシート及びその製造方法
　本発明は、熱伝導性シリコーンゴム組成物とそのシート及びその製造方法に関する。
　コンピュータ（ＣＰＵ）、トランジスタ、発光ダイオード（ＬＥＤ）などの半導体は使用中に発熱し、その熱のため電子部品の性能が低下することがある。そのため発熱するような電子部品には放熱体が取り付けられる。放熱器は金属であることが多いためＣＰＵと放熱部との密着をよくするため、シート状やゲル状にした熱伝導性組成物を挿入して密着度を高める方法がとられている。このような熱伝導性組成物は、最終目的である放熱材料の熱伝導率を向上させるためには熱伝導性無機粉体を大量に含有させなければならないが、熱伝導性無機粉体の配合を単純に増加すると、エラストマー状の放熱材の場合には硬度が高くなり過ぎて、電子部品と放熱器の間隔を規定の薄さにセットできない問題、電子部品と放熱器の間隙を期待どおりに埋めることができないなどの問題があった。また、エラストマーやゲル状放熱材の場合には、圧縮永久歪みが大きくなって長期信頼性も低下する傾向があった。さらに高温熱履歴によって硬さが上昇する問題もあった。
　これらの問題を解決するために、従来からさまざまな手法が提案されてきた。本出願人は特許文献１において、小粒子のアルミナをアルキルシラン化合物で表面処理することを提案している。また、０．１～５μｍの無定型アルミナと５～５０μｍの球状アルミナを使用する提案（特許文献２）などがある。さらに特許文献３には、ガラスクロスを使用した熱伝導性シートが提案されている。
再表２００９－１３６５４２号公報 特開平２－４１３６２号公報 特開２０１５－２３３１０４号公報
　しかし、従来技術の熱伝導性シリコーンゴムは、熱抵抗値が高いという問題があった。
　本発明は前記従来の問題を解決するため、熱抵抗値が低い熱伝導性シリコーンゴム組成物とそのシート及びその製造方法を提供する。
　本発明の熱伝導性シリコーン組成物は、シリコーンをマトリックス成分とし、熱伝導充填剤を含む熱伝導性シリコーン組成物であって、前記マトリックス成分は、ビニル基を持つシリコーンベースポリマーと、ビニル基を持たないシリコーンオイルを含み、前記熱伝導充填剤は、窒化アルミニウム粒子を含み、硬化成分として過酸化物を含むことを特徴とする。
　本発明の熱伝導性シリコーンシートは、前記の熱伝導性シリコーン組成物をガラスクロスのサイジングシートの少なくとも一面にコーティングした熱伝導性シリコーンシートであって、前記熱伝導性シリコーンシートの厚みは０．１～１ｍｍであることを特徴とする。
　本発明の熱伝導性シリコーンシートの製造方法は、前記の熱伝導性シリコーン組成物に希釈液を加えてコーティング液とし、ガラスクロスに、前記コーティング液を含浸させ、乾燥後、加熱硬化することでサイジングシートとし、前記ガラスクロスのサイジングシートの少なくとも一面に前記コーティング液をコーティングし、乾燥後、加熱硬化することを特徴とする。
　本発明は、マトリックス成分は、ビニル基を持つシリコーンベースポリマーと、ビニル基を持たないシリコーンオイルを含み、前記熱伝導充填剤は、窒化アルミニウム粒子を含み、硬化成分として過酸化物を含むことにより、熱抵抗値が低い熱伝導性シリコーンゴム組成物とそのシート及びその製造方法を提供できる。
図１は本発明の一実施形態の熱伝導性シリコーンシートの模式的断面図である。 図２Ａは熱抵抗測定方法を示す模式的平面図、図２Ｂは同Ｉ－Ｉ線の模式的断面図である。
　本発明においては、下記の理由から白金系触媒を使用しないのが好ましい。
(1)本発明品は溶剤に溶かした状態でコーティングするが、余った材料はコスト面から次回の生産に充てる。しかし、白金系触媒(付加反応系)では過酸化物硬化系よりもライフが短く硬化が進む為、次回の生産に充てることが困難である。
(2)白金系触媒(付加反応系)ではビニル基を持った箇所でしか反応しない。それでは硬化が不十分である。過酸化物硬化はビニル基とメチル基で反応することから、硬化が充分に進行する。
　本発明者は、ビニル基を持つシリコーンベースポリマーと、ビニル基を持たないシリコーンオイルを加えることにより、熱抵抗値の問題を改善できないか検討した。ここでシリコーンガムとは、シリコーンオイル（流体）とシリコーンゴム（固体）との中間の性状を示すものである。本発明のビニル基を持つシリコーンベースポリマーは、ビニル基を持つシリコーンガムとオイルのことをいう。
　本発明のマトリックス成分において、ビニル基を持つシリコーンベースポリマーは、反応性が高く、ビニル基を持たないものに比べて強度が高くなる。ビニル基を持たないシリコーンオイルは、反応性は低いが、柔軟性を発現する。したがって、ビニル基を持つシリコーンガムとオイル、及びビニル基を持たないシリコーンオイルで強度と柔軟性のバランスをとることができる。
　また、高熱伝導化するには従来からアルミナを高充填化していたが、アルミナを高充填化すると強度が低下し、柔軟性も低下する傾向となる。そこで窒化アルミニウム粒子を充填することとし、高熱伝導化を図りつつ、強度と柔軟性を良好に保つことができる。
　本発明においては、過酸化物硬化剤によりラジカル反応硬化作用により硬化が進行する。過酸化物硬化剤は、マトリックス成分１００質量部に対して０．０１～１０質量部が好ましく、より好ましくは、０．１～８質量部である。過酸化物硬化剤としては、ベンゾイルペルオキシド、ビス（ｐ－メチルベンゾイル）ペルオキシドのようなアシル系過酸化物；ジ－tert－ブチルペルオキシド、２，５－ジメチル－２，５－ジ（tert－ブチルペルオキシ）ヘキサン、tert－ブチルクミルペルオキシド、ジクミルペルオキシドのようなアルキル系ペルオキシド；ならびにtert－ブチルペルベンゾアートのようなエステル系有機過酸化物が好ましい。
　マトリックス成分を１００質量部としたとき、ビニル基を持つシリコーンベースポリマー（シリコーンガム）は５０～９０質量部が好ましく、より好ましくは５５～８５質量部であり、さらに好ましくは６０～８０質量部である。
　ビニル基を持たないシリコーンオイルは、マトリックス成分を１００質量部としたとき、５～２０質量部が好ましく、より好ましくは７～１７質量部であり、さらに好ましくは１０～１５質量部である。また、本発明の組成物には、両末端ビニルシリコーンオイルを含ませてもよい。両末端ビニルシリコーンオイルは、マトリックス成分を１００質量部としたとき、５～２５質量部が好ましく、より好ましくは１０～２３質量部であり、さらに好ましくは１２～２２質量部である。
　ビニル基を持たないオイルはジメチルシリコーンオイルと言われているものであれば基本的には何でも良く、その他にフェニルメチルシリコーンオイル、フロロシリコーンオイルなどがある。
  マトリックス成分は、１分子中に少なくとも２個のケイ素原子結合アルケニル基を有するポリシロキサンが好ましい。アルケニル基としては、ビニル基、アリル基、プロペニル基等が例示され、アルケニル基以外の有機基としてはメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基等で例示されるアルキル基；フェニル基、トリル基等で例示されるアリール基；β－フェニルエチル基等のアラルキル基；３，３，３－トリフロロプロピル基、３－クロロプロピル基等で例示されるハロゲン置換アルキル基等が挙げられる。また、分子鎖末端などに少量の水酸基を有していてもよい。ポリシロキサンの分子構造は直鎖状、分岐を含む直鎖状、環状、網目状のいずれであっても良く、二種以上のジオルガノポリシロキサンを併用してもよい。ポリシロキサンの分子量は特に限定はなく、粘度の低い液状のものから粘度の高い生ゴム状のものまで使用できるが、硬化してゴム状弾性体になるためには２５℃での粘度が１００ｍＰａ・ｓ以上であることが好ましく、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）によるポリスチレン換算の数平均分子量が２００，０００～７００，０００の範囲の生ゴム状であることがより好ましい。
　マトリックス成分１００質量部に対して、熱伝導充填剤は６００～２０００質量加えるのが好ましく、より好ましくは７００～１９００質量部であり、さらに好ましくは８００～１８００質量部である。また、熱伝導充填剤を１００質量部としたとき、窒化アルミニウム粒子は１０～１００質量部が好ましく、より好ましくは１５～９０質量部であり、さらに好ましくは２０～８０質量部である。
　熱伝導充填剤として、さらにアルミナ粒子を含むのが好ましい。アルミナ粒子は熱伝導充填剤を１００質量部としたとき、２０～１００質量部が好ましく、より好ましくは２５～９０質量部であり、さらに好ましくは３０～８０質量部である。アルミナ粒子は、平均粒子径が１０μｍ以上２０μｍ以下の粒子（Ａ）と、平均粒子径が０．０１μｍ以上１０μｍ未満の粒子（Ｂ）を混合して用いるのが好ましい。Ａ：Ｂの混合割合は、質量比で９０：１０～１０：９０が好ましい。
　熱伝導充填剤の平均粒子径は０．０１～２０μｍが好ましく、さらに好ましくは０．１～１５μｍである。これによりマトリックス樹脂との混合性及び加工性を良好にできる。なお、平均粒子径は、レーザー回折光散乱法による粒度分布測定において、体積基準による累積粒度分布のＤ５０(メジアン径）である。この測定器としては、例えば堀場製作所製社製のレーザー回折／散乱式粒子分布測定装置ＬＡ－９５０Ｓ２がある。
　熱伝導性シリコーン組成物には、補強性シリカは含まないことが好ましい。補強性シリカを含むと硬さが上昇し、接触熱抵抗が高くなる欠点がある。
　本発明の組成物には、必要に応じて前記以外の成分を配合することができる。例えばベンガラなどの無機顔料、フィラーの表面処理等の目的でアルキルトリアルコキシシラン、流動性調整剤、接着付与剤、難燃剤などを添加してもよい。フィラー表面処理などの目的で添加する材料として、アルコキシ基含有シリコーンを添加しても良い。
　本発明の熱伝導性シリコーンシートは、前記の熱伝導性シリコーン組成物をガラスクロスのサイジングシートの少なくとも一面にコーティングして形成する。好ましくは両面にコーティングする。熱伝導性シリコーンシートの厚みは０．１～１ｍｍである。厚みが０．１ｍｍ未満は製造が困難であり、１ｍｍを超えるとコーティングが困難になる。ガラスクロスは質量２５～５４ｇ／ｍ2，密度たて糸、よこ糸共に５６～６０本／２５ｍｍ、平織組織の織物を使用するのが好ましい。
　本発明の熱伝導性シリコーンシートの一例のバルクの熱伝導率は１Ｗ／ｍ・ｋ以上が好ましく、さらに好ましくは３．３Ｗ／ｍ・ｋ以上である。ここでバルクとは、溶剤に溶かす前のシリコーンベースポリマー、フィラー、その他の添加剤が入った状態をいう。
　本発明の熱伝導性シリコーンシートの製造方法は、まず、前記の熱伝導性シリコーン組成物に希釈液を加えてコーティング液とする。このコーティング液は、マトリックス樹脂成分と、熱伝導充填剤と、必要により難燃剤、顔料を加えて均一に混合し、組成物としたものに対して、過酸化物硬化成分と希釈溶剤を加えて作成する。希釈溶剤は塗工できる程度であれば適量でよい。塗工するには、粘度が３，０００～１０，０００ｃｐｓが好ましい。
　次に、ガラスクロスに前記コーティング液を含浸させ、乾燥、加熱硬化してサイジングシートとする。このサイジングシートは、目止めガラスクロスシートとなる。
　次に前記ガラスクロスのサイジングシートの少なくとも一面に前記コーティング液をコーティングし、乾燥後、加熱硬化して熱伝導性シリコーンシートを得る。コーティングはナイフコートが好ましい。ナイフコートは薄くコーティングできるからである。硬化条件としては、温度１５０～１８０℃、硬化時間は３～１０分が好ましい。
　以下図面を用いて本発明を説明する。図１は本発明の一実施形態の熱伝導性シリコーンシートの模式的断面図である。この熱伝導性シリコーンシート１は、ガラスクロスにコーティング液を含浸させ、乾燥、加熱硬化したサイジングシート層２の両面に、熱伝導性シリコーン組成物を含むコーティング液をコーティングし、乾燥後、加熱硬化したものである。３，４は熱伝導性シリコーンコーティング層である。
　図２Ａは熱抵抗測定方法を示す模式的平面図、図２Ｂは同Ｉ－Ｉ線の模式的断面図である。この熱抵抗測定方法はＡＳＴＭ　Ｄ５４７０に準ずるもので、熱抵抗測定装置１０により熱伝導性シリコーンシート１の熱抵抗値を測定する。トランジスタ１１とヒートシンク１２の間に、ひし形（ＴＯ－３型）に打ち抜いた熱伝導性シリコーンシート１を挟み込み、所定のトルクでネジ止めし、トランジスタ１１に定電力をかけて発熱させ、トランジスタ１１とヒートシンク１２との温度差から熱抵抗値を測定する。１３は押さえプレート、１４はトランジスタの温度センサ、１５はヒートシンクの温度センサ、１６はＭ３ねじである。トルクは一例として３ｋｇ・ｃｍ（０．２９Ｎｍ）、５ｋｇ・ｃｍ（０．４９Ｎｍ）、７ｋｇ・ｃｍ（０．６９Ｎｍ）である。
　以下実施例を用いて説明する。本発明は実施例に限定されるものではない。
＜熱抵抗測定方法＞
　図２Ａ－Ｂに示す装置を用いて測定した。
　熱抵抗値は以下の式で算出した。
Ｒｔ＝（Ｔｃ－Ｔｆ）／Ｐ0
但し、Ｒｔ：熱抵抗値（Ｋ・ｃｍ2／Ｗ）
Ｔｃ：トランジスタ温度（℃）
Ｔｆ：ヒートシンクの温度（℃）
Ｐ0：定電力（Ｗ）
　測定装置は以下のとおりである。
トランジスタ：２ＳＣ２２４５（ＴＯ－３型）
ヒートシンク：４０ＣＨ１０４Ｌ－９０－Ｋ
　（実施例１）
（１）原料
（Ａ）マトリックス成分
(A-1)ビニル基を持つシリコーンガム:エルケム・ジャパン社製、両末端且つ側鎖にビニル基を持つガム,80g
(A-2)両末端ビニルシリコーンオイル:エルケム・ジャパン社製、粘度350mm2/s (温度25℃)
(A-3)ビニル基を持たないシリコーンオイル:東レ・ダウコーニング社製、粘度300cs (温度25℃)
（Ｂ）熱伝導充填剤
(B-1)窒化アルミニウム(平均粒子径10μm):東洋アルミニウム社製
(B-2)アルミナ(平均粒子径12μm):日本軽金属社製
(B-3)アルミナ(平均粒子径2μm):昭和電工社製
(B-4)アルミナ(平均粒子径0.3μm):住友化学社製
（Ｃ）顔料
旭化成ワッカー社製、"ブラウン105A"
（Ｄ）過酸化物硬化成分
ビス－４－メチルベンゾイルパーオキサイド
　以上の各原料を混錬機で均一に混錬し、熱伝導性シリコーン組成物とした。
（２）コーティング液１
　前記原料組成物１００gに、過酸化物硬化成分としてビス－４－メチルベンゾイルパーオキサイドの５０％ペースト液を３gと希釈材として溶剤キシレンを適量加え、コーティング液１とした。
（３）コーティング液２
　前記原料組成物１００gに、過酸化物硬化成分としてビス－４－メチルベンゾイルパーオキサイドの５０％ペースト液を０．８gと希釈材として溶剤キシレンを適量加え、コーティング液２とした。
（４）コーティング加工
　まず、厚さ約３５μｍのガラスクロス（質量２５ｇ／ｍ2，密度たて糸、よこ糸共に５６本／２５ｍｍ、平織組織の織物）にコーティング液１を含浸させ、乾燥、加熱硬化し、サイジングシートを作成した。
　次に、サイジングシートの片面にコーティング液２をナイフコーターによりコーティングし、乾燥し、加熱器に入れ、１８０℃、３分間加熱硬化した。次いで、サイジングシートの他方の面にコーティング液２をナイフコーターによりコーティングし、乾燥した。その後、加熱器に入れ、１８０℃、３分間加熱硬化した。このようにして総厚０．２ｍｍと０．３３ｍｍの熱伝導性シリコーンシートを製造した。
　（比較例１～３）
　前記(A-3)のビニル基を持たないシリコーンオイルを加えない以外は実施例１と同様に実施した。各成分の添加量を表１に、熱抵抗値を表２にまとめて示す。


Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　表１～２から明らかなとおり、本発明の実施例品は、熱抵抗値は比較例１～３よりも低い値を得ることができた。
　本発明の熱伝導性シリコーン組成物及びシートは、電子部品の発熱部とヒートシンクとの間に介在させる放熱部材等に適用できる。
１　熱伝導性シリコーンシート
２　ガラスクロスのサイジングシート層
３，４　熱伝導性シリコーンコーティング層
１０　熱抵抗測定装置
１１　トランジスタ
１２　ヒートシンク
１３　押さえプレート
１４　トランジスタの温度センサ
１５　ヒートシンクの温度センサ
１６　Ｍ３ねじ

Claims (12)

  1. 　シリコーンをマトリックス成分とし、熱伝導充填剤を含む熱伝導性シリコーン硬化物であって、
    　前記マトリックス成分は、ビニル基を持つシリコーンベースポリマーと、ビニル基を持たないシリコーンオイルを含み、
    　前記熱伝導充填剤は、窒化アルミニウム粒子を含み、
    　硬化成分として過酸化物を含むことを特徴とする熱伝導性シリコーン組成物。
  2. 　前記マトリックス成分を１００質量部としたとき、ビニル基を持つシリコーンベースポリマーは５０～９０質量部である請求項１に記載の熱伝導性シリコーン組成物。
  3. 　前記熱伝導性シリコーン組成物は、さらに両末端ビニルシリコーンオイルを含む請求項１又は２に記載の熱伝導性シリコーン組成物。
  4. 　前記マトリックス成分１００質量部に対して、熱伝導充填剤は６００～２０００質量部である請求項１～３のいずれかに記載の熱伝導性シリコーン組成物。
  5. 　前記熱伝導充填剤を１００質量部としたとき、窒化アルミニウム粒子は１０～１００質量部である請求項１～４のいずれかに記載の熱伝導性シリコーン組成物。
  6. 　前記熱伝導充填剤は、さらにアルミナ粒子を含む請求項１～５のいずれかに記載の熱伝導性シリコーン組成物。
  7. 　前記熱伝導充填剤の平均粒子径は０．１～２０μｍである請求項１～６のいずれかに記載の熱伝導性シリコーン組成物。
  8. 　前記熱伝導性シリコーン組成物には、補強性シリカは含まない請求項１～７のいずれかに記載の熱伝導性シリコーン組成物。
  9. 　請求項１～８のいずれかに記載の熱伝導性シリコーン組成物をガラスクロスのサイジングシートの少なくとも一面にコーティングした熱伝導性シリコーンシートであって、
    　前記熱伝導性シリコーンシートの厚みは０．１～１ｍｍであることを特徴とする熱伝導性シリコーンシート。
  10. 　前記ガラスクロスのサイジングシートの両面に熱伝導性シリコーン組成物がコーティングされている請求項９に記載の熱伝導性シリコーンシート。
  11. 　請求項１０に記載の熱伝導性シリコーンシートの製造方法であって、
    　請求項１～８のいずれかに記載の熱伝導性シリコーン組成物に希釈液を加えてコーティング液とし、
    　ガラスクロスに、前記コーティング液を含浸させ、乾燥後、加熱硬化してサイジングシートとし、
    　前記ガラスクロスのサイジングシートの少なくとも一面に前記コーティング液をコーティングし、乾燥後、加熱硬化することを特徴とする熱伝導性シリコーンシートの製造方法。
  12. 　前記コーティングはナイフコートである請求項１１に記載の熱伝導性シリコーンシートの製造方法。
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