WO2020111396A1 - Ceramic waveguide filter and method for producing same - Google Patents

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Abstract

The present invention provides a ceramic waveguide filter and a method for producing same, the ceramic waveguide filter comprising: multiple resonant cavities defined by multiple penetrating partitions formed to divide a single ceramic block into sections according to a predetermined pattern in the ceramic block; a metal layer formed on the inner surface of each of the multiple penetrating partitions; and input/output interfaces for inputting and outputting signals, the input/output interfaces being formed at two resonant cavities among the multiple resonant cavities. Accordingly, the ceramic waveguide filter can be integrally produced with a single ceramic block so as to enable production thereof through a simplified production process and with a low cost, minimize processing errors, and be easily tunable even when a property change occurs during production. In addition, the present invention can easily generate a transmission zero.

Description

세라믹 웨이브가이드 필터 및 이의 제조 방법Ceramic waveguide filter and manufacturing method thereof
본 발명은 세라믹 웨이브가이드 필터에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 이동통신 시스템에 사용되는 세라믹 웨이브가이드 필터에 관한 것이다.The present invention relates to a ceramic waveguide filter, and more particularly, to a ceramic waveguide filter used in a mobile communication system.
통신서비스가 진화함에 따라 데이터 전송속도가 늘어나게 되고 이를 위해서는 시스템 대역폭 또한 늘어나야 하고 수신감도향상 및 타 통신시스템 Carrier 에 의한 장애(Interference)를 최소화할 필요가 있다. As the communication service evolves, the data transmission rate increases, and for this, the system bandwidth must also increase, and it is necessary to improve reception sensitivity and minimize interference caused by carriers of other communication systems.
이를 위해서 저손실 (Low insertion loss), 고억압 (High rejection), 필터에 대한 요구가 나날이 늘어가고 있는 상황에 직면해 있다. 금속 재질을 이용하여 제작하는 동축 공진 캐비티는 유전체 공진 캐비티와 같은 타 공진 캐비티 대비 손실, 사이즈, 가격 측면에서 장점이 있으므로 이동통신 시스템의 필터 구현을 위해 주로 사용된다. To this end, demands for low insertion loss, high rejection, and filters are increasing day by day. Coaxial resonant cavities manufactured using metal materials have advantages in terms of loss, size, and cost compared to other resonant cavities such as dielectric resonant cavities, and are mainly used to implement filters in mobile communication systems.
그러나 매시브(Massive) MIMO 안테나와 같은 기지국 시스템의 저출력, 소형화로 인해 기존 동축 공진 캐비티를 사용하여도 사이즈 측면에서 제약이 있으며, 초소형 필터 구현에 대한 필요성이 대두되고 있다.However, due to the low power and miniaturization of a base station system such as a massive MIMO antenna, there is a limitation in terms of size even when using an existing coaxial resonant cavity, and there is a need for implementation of an ultra-small filter.
기존의 동축 공진 캐비티를 이용한 필터를 대체하기 위한 필터로 세라믹 웨이브가이드 필터에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 세라믹 웨이브가이드 필터는 저손실 및 고유전율을 가지는 세라믹 재질로 캐비티를 채우는 필터로서 기존의 동축 공진 캐비티 필터에 비해 사이즈를 현저하게 줄일 수 있으며 우수한 손실 특성 역시 제공할 수 있다. As a filter to replace a filter using a conventional coaxial resonant cavity, research on ceramic waveguide filters has been actively conducted. The ceramic waveguide filter is a filter that fills a cavity with a ceramic material having low loss and high dielectric constant, which can significantly reduce the size compared to a conventional coaxial resonant cavity filter and also provide excellent loss characteristics.
도 1은 기존의 세라믹 웨이브가이드 필터의 구조를 도시한 도면이다. 1 is a view showing the structure of a conventional ceramic waveguide filter.
도 1을 참조하면, 기존의 세라믹 웨이브가이드 필터는 다수의 세라믹 캐비티(111, 112, 113, 114), 각 캐비티 사이에 위치하는 다수의 격벽(121, 122, 123), 입력 인터페이스 포트(140) 및 출력 인터페이스 포트(150)를 포함한다. Referring to Figure 1, the existing ceramic waveguide filter is a plurality of ceramic cavities (111, 112, 113, 114), a plurality of partition walls (121, 122, 123) located between each cavity, the input interface port 140 And an output interface port 150.
도 1과 같은 기존의 세라믹 웨이브가이드 필터는 각각의 캐비티(111, 112, 113, 114)가 개별 세라믹 블록으로 독립적으로 제작되며, 각각의 캐비티 일면에 격벽(121, 122, 123)이 형성한다. 격벽(121, 122, 123)은 캐비티의 일면에 대한 금속화를 통해 형성될 수 있다. In the conventional ceramic waveguide filter as shown in FIG. 1, each cavity 111, 112, 113, and 114 is independently made of individual ceramic blocks, and partition walls 121, 122, and 123 are formed on one surface of each cavity. The partition walls 121, 122, and 123 may be formed through metallization of one surface of the cavity.
각각의 격벽에는 캐비티간 커플링을 위해 슬롯(131, 132, 133)이 형성된다. 제1 격벽(121)에 형성되는 제1 슬롯(131)을 통해 제1 캐비티(111)의 신호가 제2 캐비티(112)로 커플링 가능하게 된다. Slots 131, 132, and 133 are formed in each partition for inter-cavity coupling. The signal of the first cavity 111 can be coupled to the second cavity 112 through the first slot 131 formed in the first partition 121.
도 1과 같은 종래의 일반적인 세라믹 웨이브가이드 필터는 각각의 세라믹 캐비티(111, 112, 113, 114)를 독립적으로 제작하고 격벽을 형성한 후, 각각의 캐비티를 결합하는 공정을 필요로 한다. 캐비티의 결합은 솔더링 등을 통해 이루어진다.The conventional general ceramic waveguide filter as shown in FIG. 1 requires a process of manufacturing each ceramic cavity 111, 112, 113, 114 independently, forming a partition wall, and then combining each cavity. The cavities are joined by soldering or the like.
그러나, 이러한 캐비티 결합 공정은 결합 과정에서 비정렬 공차를 빈번히 발생시켰으며, 이러한 비정렬 공차로 인해 특성 변화가 발생하는 문제점이 있었다. 약간의 비정렬된 결합에 의해서도 큰 오차가 발생하여 제품의 수율이 현저히 낮아지는 문제점이 있었다. However, such a cavity bonding process frequently caused misalignment tolerances in the bonding process, and there was a problem in that a characteristic change occurred due to the misalignment tolerances. There was a problem in that the yield of the product was remarkably lowered due to a large error even by a slight misalignment.
또한 가공 오차로 인해 특성이 변화될 경우 이를 튜닝하는 과정을 필요로 한다. 그런데, 기존의 세라믹 웨이브가이드 필터는 캐비티를 구성하는 세라믹의 일면을 그라인딩하여 제거하는 방법에 의해 튜닝을 수행한다. 세라믹은 매우 단단한 재질이기에 이러한 튜닝 방법은 고도의 기술을 요구하고 미세한 튜닝이 어려운 문제점이 있었다.In addition, if the characteristics change due to processing errors, a process of tuning them is required. However, the conventional ceramic waveguide filter performs tuning by grinding and removing one surface of the ceramic constituting the cavity. Since ceramic is a very hard material, this tuning method requires a high level of technology and has a problem in that fine tuning is difficult.
뿐만 아니라 기존의 세라믹 웨이브가이드 필터는 감쇄(attenuation) 특성을 향상시키기 위한 전송 영점(Transmission-Zero)을 제공하고자 하는 경우 주로 크로스 커플링(cross coupling)을 이용한다. 도1 의 세라믹 웨이브가이드 필터에서 서로 인접하지 않은 캐비티(111, 112, 113, 114)로의 크로스 커플링을 구현하기 위해서는 별도의 부가적 작업이 요구되는 문제가 있다.In addition, the conventional ceramic waveguide filter mainly uses cross coupling when it is desired to provide transmission-zero to improve attenuation characteristics. In order to implement cross coupling from the ceramic waveguide filter of FIG. 1 to cavities 111, 112, 113, and 114 that are not adjacent to each other, a separate additional operation is required.
본 발명은 단순화된 제조 공정으로 제작될 수 있고 가공 오차를 최소화할 수 있는 일체형 세라믹 웨이브가이드 필터를 제안한다. The present invention proposes an integrated ceramic waveguide filter that can be manufactured in a simplified manufacturing process and minimizes processing errors.
또한, 본 발명은 특성 변화가 발생할 경우 용이한 튜닝이 가능한 세라믹 웨이브가이드 필터를 제안한다.In addition, the present invention proposes a ceramic waveguide filter that can be easily tuned when characteristic changes occur.
뿐만 아니라 본 발명은 크로스 커플링에 의한 전송영점을 용이하게 구현할 수 있는 세라믹 웨이브가이드 필터를 제안한다.In addition, the present invention proposes a ceramic waveguide filter that can easily implement the transmission zero point by cross coupling.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터는 단일 세라믹 블록에서 미리 지정된 패턴에 따라 상기 세라믹 블록의 구획을 구분하도록 형성된 다수의 관통 격벽에 의해 정의되는 다수의 공진 캐비티; 상기 다수의 관통 격벽 각각의 내측면에 형성되는 금속층; 및 상기 다수의 공진 캐비티 중 신호를 입력 및 출력하는 2개의 공진 캐비티에 형성되는 입출력 인터페이스; 를 포함한다.In order to achieve the above object, the ceramic waveguide filter according to an embodiment of the present invention is defined by a plurality of through partition walls formed to separate the sections of the ceramic block according to a predetermined pattern in a single ceramic block Resonant cavity; A metal layer formed on an inner surface of each of the plurality of through partition walls; And an input/output interface formed on two resonant cavities for inputting and outputting signals among the plurality of resonant cavities. It includes.
상기 다수의 관통 격벽은 기지정된 주파수 대역에 대응하여 상기 다수의 공진 캐비티가 정의되도록 상기 세라믹 블록의 구획을 구분하는 패턴으로 상기 세라믹 블록을 관통하여 형성되고, 서로 이격되도록 형성될 수 있다.The plurality of through partition walls may be formed to penetrate through the ceramic blocks in a pattern that divides the sections of the ceramic blocks so that the plurality of resonant cavities are defined in correspondence to a predetermined frequency band, and to be spaced apart from each other.
상기 다수의 관통 격벽은 상기 다수의 공진 캐비티가 상기 입출력 인터페이스를 통해 입력된 신호에 응답하여 상기 다수의 관통 격벽 사이의 이격된 영역인 커플링 윈도우를 통해 인접한 공진 캐비티와 순차적으로 커플링이 이루어지면서 상기 주파수 대역을 필터링하도록 패턴이 형성될 수 있다.The plurality of through barrier ribs are sequentially coupled to adjacent resonant cavities through a coupling window, which is a spaced apart region between the plurality of through barrier ribs, in response to the signals through which the plurality of resonant cavities are input through the input/output interface. A pattern may be formed to filter the frequency band.
상기 다수의 관통 격벽은 상기 다수의 공진 캐비티 중 적어도 하나의 공진 캐비티가 다수의 공진 캐비티와 인접하여 배치되는 패턴으로 형성되어, 크로스 커플링이 발생되도록 할 수 있다.The plurality of through partition walls may be formed in a pattern in which at least one resonant cavity among the plurality of resonant cavities is disposed adjacent to the plurality of resonant cavities, so that cross coupling can occur.
상기 세라믹 웨이브가이드 필터는 상기 세라믹 블록의 일면에 상기 크로스 커플링이 발생되는 공진 캐비티 사이의 상기 세라믹 블록의 일면에서 관통 격벽과 이격된 커플링 홈; 이 더 형성되고, 상기 금속층은 상기 커플링 홈의 내부면에도 더 형성될 수 있다.The ceramic waveguide filter includes a coupling groove spaced from a through partition wall on one surface of the ceramic block between resonant cavities where the cross coupling is generated on one surface of the ceramic block; This is further formed, the metal layer may be further formed on the inner surface of the coupling groove.
상기 세라믹 웨이브가이드 필터는 상기 크로스 커플링이 발생되는 공진 캐비티 사이에서 관통 격벽과 이격되어 상기 세라믹 블록을 관통하는 커플링 홀; 이 더 형성되고, 상기 금속층은 상기 커플링 홀의 내부면에도 더 형성될 수 있다.The ceramic waveguide filter may include a coupling hole spaced apart from a through partition wall between the resonant cavities where the cross coupling occurs, and penetrates the ceramic block; This is further formed, the metal layer may be further formed on the inner surface of the coupling hole.
상기 금속층은 상기 커플링 홀의 내부면에서 기지정된 슬롯 영역을 제외한 영역에 형성될 수 있다.The metal layer may be formed in an area other than the slot area defined on the inner surface of the coupling hole.
상기 커플링 홀은 내측이 계단형 구조로 형성되고, 상기 금속층은 계단형 구조의 상기 커플링 홀의 내부면에서 상기 세라믹 블록의 일면에 대향하는 기지정된 슬롯 영역을 제외한 영역에 형성될 수 있다.The coupling hole may be formed in a stepped structure on the inside, and the metal layer may be formed in an area of the stepped structure except for a predetermined slot area facing the one surface of the ceramic block.
상기 세라믹 웨이브가이드 필터는 상기 세라믹 블록의 일면에서 상기 커플링 홀이 형성된 영역에 부착되는 전도성 스티커; 를 더 포함할 수 있다.The ceramic waveguide filter may include a conductive sticker attached to an area where the coupling hole is formed on one surface of the ceramic block; It may further include.
상기 금속층은 기지정된 주파수 대역에 따라 두께가 조절될 수 있다.The thickness of the metal layer may be adjusted according to a predetermined frequency band.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 다른 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법은 단일 세라믹 블록에서 다수의 공진 캐비티를 정의하기 위해 미리 지정된 패턴에 따라 상기 세라믹 블록의 구획을 구분하는 다수의 관통 격벽을 형성하는 단계; 상기 다수의 관통 격벽 각각의 내측면에 금속층을 형성하는 단계; 및 상기 다수의 공진 캐비티 중 2개의 공진 캐비티에 신호를 입력 및 출력하기 위한 입출력 인터페이스를 형성하는 단계; 를 포함한다.In order to achieve the above object, a method of manufacturing a ceramic waveguide filter according to another embodiment of the present invention divides a section of the ceramic block according to a predetermined pattern in order to define a plurality of resonant cavities in a single ceramic block Forming a plurality of through partition walls; Forming a metal layer on each inner surface of each of the plurality of through partition walls; And forming an input/output interface for inputting and outputting signals to two of the plurality of resonant cavities; It includes.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 단순화된 제조 공정으로 저비용으로 제조가 가능하다. 또한, 가공 오차를 최소화할 수 있으며, 제조 시에 특성 변화가 발생하여도 용이하게 튜닝이 가능하다.According to an embodiment of the present invention, it is possible to manufacture at a low cost with a simplified manufacturing process. In addition, processing errors can be minimized, and tuning can be easily performed even when characteristics change during manufacturing.
도 1은 기존의 세라믹 웨이브가이드 필터의 구조를 도시한 도면이다.1 is a view showing the structure of a conventional ceramic waveguide filter.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 구조를 도시한 도면이다.2 is a view showing the structure of a ceramic waveguide filter according to an embodiment of the present invention.
도 3은 도 2의 세라믹 웨이브가이드 필터의 필터 특성을 시뮬레이션한 결과를 나타낸다.3 shows a result of simulating filter characteristics of the ceramic waveguide filter of FIG. 2.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 구조를 도시한 도면이다.4 is a view showing the structure of a ceramic waveguide filter according to another embodiment of the present invention.
도 5 내지 도 8은 도 4의 캐피시티브 커플링 구조의 다양한 예를 나타낸다.5 to 8 show various examples of the capacitive coupling structure of FIG. 4.
도 9는 도 4 의 세라믹 웨이브가이드 필터의 필터 특성을 시뮬레이션한 결과를 나타낸다.9 shows a result of simulating filter characteristics of the ceramic waveguide filter of FIG. 4.
도 10 및 도 11은 각각 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 상면도 및 투영 사시도를 나타낸다.10 and 11 respectively show a top view and a perspective projection view of a ceramic waveguide filter according to another embodiment of the present invention.
도 12는 도 10 및 도 11의 세라믹 웨이브가이드 필터의 필터 특성을 시뮬레이션한 결과를 나타낸다.12 shows a result of simulating filter characteristics of the ceramic waveguide filters of FIGS. 10 and 11.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터 제조 방법을 나타낸다.13 shows a method of manufacturing a ceramic waveguide filter according to an embodiment of the present invention.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the present invention may be implemented in various different forms, and thus is not limited to the embodiments described herein.
그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.In addition, in order to clearly describe the present invention in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted, and like reference numerals are assigned to similar parts throughout the specification.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.Throughout the specification, when a part is "connected" to another part, this includes not only "directly connected" but also "indirectly connected" with another member in between. .
또한 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.Also, when a part “includes” a certain component, this means that other components may be further provided, not excluding other components, unless otherwise specified.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 구조를 도시한 도면으로 (a)는 상면도를 나타내고, (b)는 투영 사시도를 나타낸다.2 is a view showing the structure of a ceramic waveguide filter according to an embodiment of the present invention (a) is a top view, (b) is a perspective projection view.
도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터는 단일 세라믹 블록(200)의 일면과 타면 사이를 관통하는 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)에 의해 정의되는 다수의 공진 캐비티(211, 212, 213)를 포함하는 일체형으로 구현된다.Referring to FIG. 2, the ceramic waveguide filter according to the present embodiment includes a plurality of resonant cavities defined by a plurality of through partition walls 221, 222, and 223 penetrating between one surface and the other surface of a single ceramic block 200 ( 211, 212, 213).
다수의 관통 격벽(221, 222, 223)은 미리 지정된 패턴에 따라 세라믹 블록(200)을 관통하도록 형성되어 세라믹 블록(200)의 구획을 구분함으로써 다수개의 공진 캐비티(211, 212, 213)를 정의한다. 도2에서는 일예로 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)이 세라믹 블록(200)에서 측면 방향으로 직선으로 연장되는 패턴으로 형성되는 것으로 도시하였으나, 본 실시예는 이에 한정되지 않는다. 본 실시예에서 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)은 세라믹 블록(200)의 구획을 용이하게 구분할 수 있는 다양한 형태로 형성될 수 있으며, 경우에 따라서는 T자 형태나 Y자 형태와 같은 분기 패턴 형태로도 형성될 수도 있다.The plurality of through partition walls 221, 222, and 223 are formed to penetrate the ceramic block 200 according to a predetermined pattern to define a plurality of resonant cavities 211, 212, and 213 by dividing the sections of the ceramic block 200. do. In FIG. 2, as an example, a plurality of through partition walls 221, 222, and 223 are illustrated as being formed in a pattern extending in a straight line in the lateral direction from the ceramic block 200, but this embodiment is not limited thereto. In this embodiment, the plurality of through partition walls 221, 222, and 223 may be formed in various forms capable of easily distinguishing the sections of the ceramic block 200, and in some cases, such as T-shape or Y-shape. It may also be formed in the form of a branch pattern.
다만 본 실시예에서 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)은 서로 이격되어 형성된다. 이때 다수의 관통 격벽(221, 222, 223) 중 적어도 하나는 세라믹 블록(200)의 측면 경계까지 연장되도록 형성될 수도 있다. 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)이 서로 이격되어 형성되므로, 만일 모든 관통 격벽(221, 222, 223)이 세라믹 블록(200)의 측면 경계까지 연장되어 형성될지라도 세라믹 블록(200)은 절단되지 않고 단일 구조물의 형태를 유지할 수 있다.However, in this embodiment, the plurality of through partition walls 221, 222, and 223 are formed spaced apart from each other. At this time, at least one of the plurality of through partition walls 221, 222, and 223 may be formed to extend to a side boundary of the ceramic block 200. Since a plurality of through partition walls 221, 222, and 223 are formed to be spaced apart from each other, even if all through partition walls 221, 222, and 223 are formed to extend to a side boundary of the ceramic block 200, the ceramic block 200 is It can maintain the shape of a single structure without being cut.
그리고 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)의 내측면은 금속층(231, 232, 233)이 형성된다. 금속층(231, 232, 233)은 도금, 증착, 스퍼터링 등의 금속화 공정을 적용하여 형성될 수 있다. 통상적으로 필터, 웨이브가이드 같은 RF 장비에는 손실을 최소화하기 위해, 도전 소재 중에서 전기 전도도가 뛰어난 은(Ag)을 사용되지만, 내식성과 같은 특성 향상을 위해 은 이외의 도전 소재를 이용할 수도 있다.In addition, the inner surfaces of the plurality of through partition walls 221, 222, and 223 are formed with metal layers 231, 232, and 233. The metal layers 231, 232, and 233 may be formed by applying a metallization process such as plating, vapor deposition, and sputtering. Typically, in RF equipment such as filters and waveguides, silver (Ag) having excellent electrical conductivity is used among conductive materials to minimize loss, but conductive materials other than silver may be used to improve properties such as corrosion resistance.
본 실시예에서 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)에 의해 구분된 다수의 공진 캐비티(211, 212, 213)는 도1 에 도시된 기존의 세라믹 웨이브 가이드 필터에서 다수의 세라믹 캐비티(111, 112, 113, 114)에 대응할 수 있다.In this embodiment, the plurality of resonant cavities 211, 212, and 213 divided by the plurality of through partition walls 221, 222, and 223 may include a plurality of ceramic cavities 111, in the conventional ceramic wave guide filter shown in FIG. 112, 113, 114).
다수의 공진 캐비티(211, 212, 213)가 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)에 의해 구분되어 정의되므로, 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)은 캐비티 월(Cavity wall)로 기능하며, 다수의 관통 격벽(221, 222, 223) 사이의 공간은 다수의 공진 캐비티(211, 212, 213) 간의 결합면을 형성하는 커플링 윈도우(coupling window)로 볼 수 있다.Since the plurality of resonant cavities 211, 212, and 213 are defined separately by the plurality of through partition walls 221, 222, and 223, the plurality of through partition walls 221, 222, and 223 function as a cavity wall In addition, the space between the plurality of through partition walls 221, 222, and 223 may be viewed as a coupling window forming a coupling surface between the plurality of resonant cavities 211, 212, and 213.
다수의 관통 격벽(221, 222, 223)이 서로 이격되어 형성됨에 따라, 다수의 공진 캐비티(211, 212, 213) 중 서로 인접한 공진 캐비티는 세라믹 블록(200)에서 관통 격벽(221, 222, 223)이 형성되지 않은 영역인 커플링 윈도우를 통해 공진되어 커플링이 이루어질 수 있다. 이를 위해 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)의 패턴은 다수의 공진 캐비티(211, 212, 213)가 용이하게 커플링이 이루어질 수 있는 형태로 형성될 수 있다. 또한 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)의 패턴은 다수의 공진 캐비티(211, 212, 213)가 지정된 주파수 대역에서 공진되도록, 즉 공진 캐비티의 크기가 결정되도록 패턴이 조절될 수 있다. 도2 에서는 일예로 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)의 패턴이 다수의 공진 캐비티(211, 212, 213)가 TE101 모드로 공진하도록 형성된 경우를 도시하였다.As the plurality of through partition walls 221, 222, and 223 are formed to be spaced apart from each other, the resonant cavities adjacent to each other among the plurality of resonant cavities 211, 212, and 213 are formed in the ceramic block 200 through the through partition walls 221, 222, 223 ) May be resonated through a coupling window, which is an area where no formation is made, and coupling may be performed. To this end, the patterns of the plurality of through partition walls 221, 222, and 223 may be formed in such a manner that the plurality of resonant cavities 211, 212, and 213 can be easily coupled. In addition, the pattern of the plurality of through partition walls 221, 222, 223 may be adjusted such that the plurality of resonant cavities 211, 212, 213 resonate in a designated frequency band, that is, the size of the resonant cavity is determined. In FIG. 2, for example, the pattern of the plurality of through partition walls 221, 222, and 223 is formed when the plurality of resonant cavities 211, 212, and 213 are resonated in the TE101 mode.
그리고 본 실시예에서 세라믹 웨이브가이드 필터의 다수의 공진 캐비티(211, 212, 213) 중 지정된 커플링 순서에 따라 초기단 및 최후단의 2개의 공진 캐비티(211, 213)에는 입출력 인터페이스(240, 250)가 형성된다. 그리고 형성된 입출력 인터페이스(240, 250)에 세라믹 웨이브가이드 필터로 신호를 입력 및 출력하기 위한 입출력 인터페이스 포트가 삽입될 수 있다. 여기서 입출력 인터페이스(240, 250)는 일예로 세라믹 블록(200)의 일면과 타면 사이를 관통하는 관통 홀로 형성될 수 있다.In this embodiment, the input/ output interfaces 240 and 250 are provided to the two resonant cavities 211 and 213 of the initial stage and the last stage according to a specified coupling order among the plurality of resonant cavities 211, 212, and 213 of the ceramic waveguide filter. ) Is formed. In addition, input/output interface ports for inputting and outputting signals through a ceramic waveguide filter may be inserted into the formed input/ output interfaces 240 and 250. Here, the input/ output interfaces 240 and 250 may be formed, for example, as through holes penetrating between one surface and the other surface of the ceramic block 200.
도2 에서는 일예로 입출력 인터페이스(240, 250)가 제1 공진 캐비티(211) 및 제3 공진 캐비티(213)에 형성된 것으로 도시하였다. 그리고 여기서는 제1 공진 캐비티(211)에 형성된 입출력 인터페이스(240)에 입력 인터페이스 포트가 삽입되는 것으로 가정한다. 이 경우, 제1 공진 캐비티(211)는 입출력 인터페이스(240)에 삽입된 입력 인터페이스로부터 신호를 인가받고, 제1 관통 격벽(221) 사이의 공간인 커플링 윈도우를 통해 인접한 제1 공진 캐비티(211)와 제2 공진 캐비티(212) 사이에 커플링이 이루어진다. 그리고 제2 관통 격벽(222) 사이의 공간인 커플링 윈도우를 통해 인접한 제2 공진 캐비티(212)와 제3 공진 캐비티(213) 사이에 커플링이 이루어지며, 제3 공진 캐비티(213)는 입출력 인터페이스(250)를 관통하는 출력 인터페이스 포트로 신호를 출력한다.In FIG. 2, for example, the input/ output interfaces 240 and 250 are illustrated as being formed in the first resonant cavity 211 and the third resonant cavity 213. In addition, it is assumed here that the input interface port is inserted into the input/output interface 240 formed in the first resonant cavity 211. In this case, the first resonant cavity 211 receives a signal from an input interface inserted in the input/output interface 240 and is adjacent to the first resonant cavity 211 through a coupling window that is a space between the first through partition walls 221. ) And the second resonant cavity 212. In addition, coupling is made between the adjacent second resonant cavity 212 and the third resonant cavity 213 through a coupling window that is a space between the second through partition walls 222, and the third resonant cavity 213 is input/output. The signal is output to the output interface port passing through the interface 250.
이때 다수의 공진 캐비티(211, 212, 213) 각각은 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)에 의해 정의된 크기 및 형태에 따라 지정된 주파수 대역에서 공진될 수 있다. 따라서 본 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터는 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)에 의해 정의된 다수의 공진 캐비티(211, 212, 213)가 입력 인터페이스 포트를 통해 전송된 신호를 다단 필터링하여 출력 인터페이스 포트로 출력할 수 있다. 즉 본 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터는 도 1의 기존의 세라믹 웨이브가이드 필터와 유사하게, 입력 인터페이스로부터 입력된 신호를 제1 내지 제3 공진 캐비티(211, 212, 213)가 순차적으로 필터링하여 출력 인터페이스로 출력할 수 있다.At this time, each of the plurality of resonant cavities 211, 212, and 213 may be resonated in a designated frequency band according to the size and shape defined by the plurality of through partition walls 221, 222, and 223. Therefore, in the ceramic waveguide filter according to the present embodiment, a plurality of resonant cavities 211, 212, and 213 defined by a plurality of through partition walls 221, 222, and 223 filter the signal transmitted through the input interface port in multiple stages. You can output through the output interface port. That is, in the ceramic waveguide filter according to the present embodiment, the first to third resonant cavities 211, 212, and 213 sequentially filter signals input from the input interface, similar to the conventional ceramic waveguide filter of FIG. It can be output through the output interface.
한편 다수의 공진 캐비티(211, 212, 213)에서 도 1의 세라믹 웨이브가이드 필터와 마찬가지로 순차적으로 커플링이 이루어지는 경우, 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)은 세라믹 블록(200)에서 측면으로 서로 평행하게 연장되는 패턴으로 형성될 수도 있다. 그러나 이 경우, 다수의 공진 캐비티(211, 212, 213) 사이에서 크로스 커플링이 구현되기 어렵다.On the other hand, when a plurality of resonant cavities 211, 212, and 213 are sequentially coupled in the same way as the ceramic waveguide filter of FIG. 1, the plurality of through partitions 221, 222, and 223 are lateral to the ceramic block 200. It may be formed in a pattern extending parallel to each other. However, in this case, cross coupling between the plurality of resonant cavities 211, 212, and 213 is difficult to implement.
반면, 도 2에 도시된 본 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터에서는 제1 공진 캐비티(211)가 제2 공진 캐비티(212) 및 제3 공진 캐비티(213)와도 인접하도록 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)이 세라믹 블록(200)의 중심에서 측면으로 서로 다른 방향으로 연장되는 패턴으로 형성되었다. 이는 본 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터에서 크로스 커플링이 용이하게 이루어 질 수 있도록 하기 위함이다.On the other hand, in the ceramic waveguide filter according to the present embodiment shown in FIG. 2, the plurality of through partition walls 221 so that the first resonant cavity 211 is also adjacent to the second resonant cavity 212 and the third resonant cavity 213, 222 and 223 are formed in a pattern extending in different directions from the center of the ceramic block 200 to the side. This is to facilitate cross-coupling in the ceramic waveguide filter according to this embodiment.
상기한 바와 같이, 제1 공진 캐비티(211), 제2 공진 캐비티(212) 및 제3 공진 캐비티(213)의 순서가 커플링 경로인 경우, 지정된 순서에 따라 제1 공진 캐비티(211)와 제2 공진 캐비티(212) 사이에 커플링이 이루어진다. 뿐만 아니라 제1 공진 캐비티(211)와 제3 공진 캐비티(213) 사이에는 크로스 커플링이 이루어질 수 있다. 즉 제1 공진 캐비티(211)가 제2 공진 캐비티(212)뿐만 아니라 제3 공진 캐비티(213)와도 인접하여 배치되도록 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)이 형성됨에 따라, 제1 공진 캐비티(211)와 제3 공진 캐비티(213)와의 사이에는 크로스 커플링이 용이하게 이루어질 수 있다.As described above, when the order of the first resonant cavity 211, the second resonant cavity 212, and the third resonant cavity 213 is a coupling path, the first resonant cavity 211 and the second resonant cavity 211 are arranged according to a specified order. A coupling is made between the two resonant cavities 212. In addition, cross coupling may be performed between the first resonant cavity 211 and the third resonant cavity 213. That is, as the plurality of through partition walls 221, 222, and 223 are formed so that the first resonant cavity 211 is disposed adjacent to the third resonant cavity 213 as well as the second resonant cavity 212, the first resonant cavity is formed. Cross coupling between the 211 and the third resonant cavity 213 may be easily performed.
제1 공진 캐비티(211)와 제3 공진 캐비티(213) 사이의 크로스 커플링은 전송 영점(Transmission-Zero)을 발생시켜, 세라믹 웨이브가이드 필터의 감쇄 특성을 향상시킬 수 있다. 즉 본 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터는 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)의 형성 패턴에 따라 별도의 부가적인 작업없이 크로스 커플링을 구현하여 용이하게 전송 영점(Transmission-Zero)을 발생시킬 수 있다.The cross-coupling between the first resonant cavity 211 and the third resonant cavity 213 generates a transmission-zero, thereby improving the attenuation characteristics of the ceramic waveguide filter. That is, the ceramic waveguide filter according to the present embodiment easily implements cross-coupling without additional work according to the formation pattern of the plurality of through partition walls 221, 222, and 223, thereby easily generating transmission-zero. I can do it.
경우에 따라서는 제1 공진 캐비티(211)와 제3 공진 캐비티(213) 사이의 크로스 커플링을 억제하기 위해, 제3 관통 격벽(223)이 세라믹 블록(200)의 측면까지 연장되도록 형성할 수도 있다.In some cases, in order to suppress cross coupling between the first resonant cavity 211 and the third resonant cavity 213, the third through partition wall 223 may be formed to extend to the side surface of the ceramic block 200. have.
상기한 바와 같이, 기존의 세라믹 웨이브가이드 필터의 경우, 각각 세라믹 블록으로 제작된 다수의 캐비티(111, 112, 113, 114)가 접합되어 제작되는 반면, 본 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터는 단일 세라믹 블록(200)에 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)에 의해 다수의 공진 캐비티(211, 212, 213)가 형성되어 일체형으로 제작된다. 따라서 다수의 캐비티(111, 112, 113, 114)를 접합하는 캐비티 결합 과정이 생략된다. 이에 제조 공정을 단순화하여 용이하게 제조할 수 있으며, 비정렬 공차에 의한 특성 변이가 발생하는 것을 방지할 수 있다.As described above, in the case of the conventional ceramic waveguide filter, a plurality of cavities 111, 112, 113, and 114 made of ceramic blocks are joined and manufactured, whereas the ceramic waveguide filter according to the present embodiment is single. A plurality of resonant cavities 211, 212, and 213 are formed in the ceramic block 200 by a plurality of through partition walls 221, 222, and 223 to be integrally manufactured. Therefore, the process of joining the cavities for joining the plurality of cavities 111, 112, 113, and 114 is omitted. Accordingly, the manufacturing process can be simplified to facilitate manufacturing, and it is possible to prevent the occurrence of characteristic variations due to misalignment tolerances.
한편 세라믹 재질로 제조되는 세라믹 웨이브가이드 필터는 기구적 공차에 민감하게 반응한다. 그러므로 세라믹 웨이브가이드 필터가 정확한 필터링을 수행하도록 하기 위해서는 튜닝(tuning) 작업이 필수적이다.Meanwhile, a ceramic waveguide filter made of a ceramic material is sensitive to mechanical tolerances. Therefore, tuning is essential to ensure that the ceramic waveguide filter performs accurate filtering.
도 1과 같이, 다수의 캐비티(111, 112, 113, 114)가 접합되는 기존의 세라믹 웨이브가이드 필터를 정확한 튜닝을 위해서는 다수의 캐비티(111, 112, 113, 114)가 결합된 상태에서의 특성을 확인해야 한다. 그리고 확인된 특성이 요구되는 특성으로 조절되도록 튜닝 작업을 수행한다. 이때, 기존의 세라믹 웨이브가이드 필터는 다수의 캐비티(111, 112, 113, 114)가 이미 접합된 상태이므로, 세라믹 재질의 다수의 캐비티(111, 112, 113, 114) 표면을 그라인딩(grinding)함으로써 특성을 조절하는 방식으로 수행된다. 그러나 세라믹 재질은 매우 단단하여 가공이 용이하지 않다는 문제가 있다.As shown in FIG. 1, in order to accurately tune an existing ceramic waveguide filter to which a plurality of cavities 111, 112, 113, and 114 are bonded, characteristics in a state where a plurality of cavities 111, 112, 113, and 114 are combined Should be checked. Then, the tuning is performed so that the identified characteristics are adjusted to the required characteristics. At this time, the existing ceramic waveguide filter has a plurality of cavities (111, 112, 113, 114) already joined, so that the surfaces of the cavities (111, 112, 113, 114) made of ceramic material are grinded. It is done in a way that modulates the properties. However, there is a problem that the ceramic material is very hard and is not easy to process.
그에 비해 본 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터는 세라믹 재질보다 무른 재질의 금속층이 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)의 내측면에 형성되어 있으므로, 금속층을 그라인딩하여 용이하게 두께를 조절할 수 있다. 즉 세라믹 웨이브가이드 필터의 특성을 조절하기 위한 튜닝 작업을 용이하게 수행할 수 있다.In contrast, in the ceramic waveguide filter according to the present embodiment, since a metal layer of a material softer than the ceramic material is formed on the inner surfaces of the plurality of through partition walls 221, 222, and 223, the metal layer can be grinded to easily adjust the thickness. . That is, the tuning operation for adjusting the characteristics of the ceramic waveguide filter can be easily performed.
상기에서는 일예로 금속층을 그라인딩하여 튜닝 작업을 수행하는 것으로 설명하였으나, 튜닝 작업은 금속층의 두께를 조절할 수 있는 여러 방법이 이용될 수 있다.In the above, as an example, it has been described that the tuning operation is performed by grinding the metal layer, but the tuning operation may use various methods for adjusting the thickness of the metal layer.
또한 도2에서는 일예로 세라믹 블록(200)이 직육면체로 구현되는 것으로 도시되었으나, 이에 한정되지 않으며 세라믹 웨이브가이드 필터의 성능을 향상시키기 위해 다양한 형태로 구현될 수 있다. 그리고 세라믹 블록(200)의 크기 또한 필터링하고자 하는 신호의 주파수 대역에 따라 다양하게 가변될 수 있다.In addition, although the ceramic block 200 is shown as an example of a rectangular parallelepiped in FIG. 2, it is not limited thereto and may be implemented in various forms to improve the performance of the ceramic waveguide filter. In addition, the size of the ceramic block 200 may also be variously changed according to the frequency band of the signal to be filtered.
뿐만 아니라, 도 2에서는 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)의 내측면에만 금속층(231, 232, 233)이 형성되는 것으로 도시되어 있으나, 금속층은 세라믹 블록(200)의 외부면까지 감싸도록 형성될 수 있다.In addition, in FIG. 2, the metal layers 231, 232, and 233 are formed only on the inner surfaces of the plurality of through partition walls 221, 222, and 223, but the metal layers are wrapped to cover the outer surfaces of the ceramic block 200. Can be formed.
도 3은 도 2의 세라믹 웨이브가이드 필터의 필터 특성을 시뮬레이션한 결과를 나타낸다.3 shows a result of simulating filter characteristics of the ceramic waveguide filter of FIG. 2.
도 3을 참조하면, 도 2에 도시된 3개의 공진 캐비티(211, 212, 213)를 포함하는 세라믹 웨이브가이드 필터는 밴드 패스 필터(Band Pass Filter: BPF)로 동작을 수행한다. 특히 제1 공진 캐비티(211)와 제3 공진 캐비티(213)가 인덕티브 크로스 커플링됨으로써, 세라믹 웨이브가이드 필터가 전송 대역보다 높은 주파수인 3.6GHz 주파수에서 전송 영점을 발생시킬 수 있음을 확인할 수 있다.Referring to FIG. 3, the ceramic waveguide filter including the three resonant cavities 211, 212, and 213 shown in FIG. 2 performs an operation with a band pass filter (BPF). In particular, the first resonant cavity 211 and the third resonant cavity 213 are inductively cross-coupled, so it can be confirmed that the ceramic waveguide filter can generate a transmission zero point at a frequency of 3.6 GHz, which is higher than the transmission band. .
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 구조를 도시한 도면이다.4 is a view showing the structure of a ceramic waveguide filter according to another embodiment of the present invention.
도 4에 도시된 세라믹 웨이브가이드 필터는 기본적으로 도 2의 세라믹 웨이브가이드 필터와 동일한 구성을 갖는다. 따라서 도 4의 세라믹 웨이브가이드 필터에서 도 2의 세라믹 웨이브가이드 필터와 동일한 구성에 대해서는 동일한 식별 번호를 부여하였다.The ceramic waveguide filter shown in FIG. 4 basically has the same configuration as the ceramic waveguide filter of FIG. 2. Therefore, in the ceramic waveguide filter of FIG. 4, the same identification number is assigned to the same configuration as the ceramic waveguide filter of FIG.
도 2의 세라믹 웨이브가이드 필터에서는 다수의 공진 캐비티(211, 212, 213)는 자계(H-field)가 우세하게 작용하는 인덕티브 크로스 커플링(inductive cross coupling)이 이루어질 수 있다. 반면, 도4 의 세라믹 웨이브가이드 필터에서는 제1 공진 캐비티(211)와 제3 공진 캐비티(213) 사이에 전계(E-field)가 우세하게 작용하는 캐패시티브 크로스 커플링(capacitive cross coupling)이 이루어지도록 제1 공진 캐비티(211)와 제3 공진 캐비티(213) 사이에 캐패시티브 커플링 구조(360)가 더 형성된다.In the ceramic waveguide filter of FIG. 2, inductive cross coupling in which a plurality of resonant cavities 211, 212, and 213 predominately act on a magnetic field (H-field) may be achieved. On the other hand, in the ceramic waveguide filter of FIG. 4, capacitive cross coupling in which an electric field (E-field) predominates between the first resonant cavity 211 and the third resonant cavity 213 is provided. A capacitive coupling structure 360 is further formed between the first resonant cavity 211 and the third resonant cavity 213 to be made.
즉 도 4의 세라믹 웨이브가이드 필터에는 세라믹 블록(200)에서 제1 공진 캐비티(211)와 제3 공진 캐비티(213) 사이에 제3 관통 격벽(223)뿐만 아니라, 캐패시티브 커플링 구조(360)가 더 형성된다.That is, the ceramic waveguide filter of FIG. 4 includes the third through partition wall 223 between the first resonant cavity 211 and the third resonant cavity 213 in the ceramic block 200, as well as a capacitive coupling structure 360 ) Is further formed.
여기서 캐패시티브 커플링 구조(360)는 제3 관통 격벽(223)과 중첩되어 형성될 수 없다. 그러므로 캐패시티브 커플링 구조(360)가 형성되는 경우, 대응하는 제3 관통 격벽(223)이 캐패시티브 커플링 구조(360)의 위치와 중첩되지 않도록 제3 관통 격벽(223)의 길이가 조절될 수 있다. 일예로 도4 의 제3 관통 격벽(223)의 길이는 도 2에 비해 제3 관통 격벽(223)의 길이보다 짧게 형성되었다.Here, the capacitive coupling structure 360 may not be formed to overlap the third through partition wall 223. Therefore, when the capacitive coupling structure 360 is formed, the length of the third through partition wall 223 is such that the corresponding third through partition wall 223 does not overlap with the position of the capacitive coupling structure 360. Can be adjusted. For example, the length of the third through partition wall 223 of FIG. 4 is shorter than that of the third through partition wall 223 of FIG. 2.
그리고 캐패시티브 커플링 구조(360)의 내부면에도 금속층이 형성될 수 있으며, 금속층은 세라믹 블록(200)의 외부면에도 형성될 수 있다.In addition, a metal layer may be formed on the inner surface of the capacitive coupling structure 360, and the metal layer may also be formed on the outer surface of the ceramic block 200.
도 4에 도시된 바와 같이, 제1 공진 캐비티(211)와 제3 공진 캐비티(213) 사이에 캐패시티브 커플링 구조(360)가 더 형성되어 제1 공진 캐비티(211)와 제3 공진 캐비티(213) 사이에 캐패시티브 크로스 커플링이 주로 이루어지는 경우, 전송 영점이 발생하는 주파수가 가변되며, 이로 인해 세라믹 웨이브가이드 필터의 필터 특성이 가변될 수 있다.As illustrated in FIG. 4, a capacitive coupling structure 360 is further formed between the first resonant cavity 211 and the third resonant cavity 213 to form the first resonant cavity 211 and the third resonant cavity. When the capacitive cross-coupling is mainly performed between 213, the frequency at which the transmission zero point occurs is variable, and thus the filter characteristics of the ceramic waveguide filter may be varied.
도 5 내지 도 8은 도 4의 캐피시티브 커플링 구조의 다양한 예를 나타낸다.5 to 8 show various examples of the capacitive coupling structure of FIG. 4.
도 5에서는 세라믹 웨이브가이드 필터에서 다수의 공진 캐비티(211, 212, 213) 사이에서 전계가 우세하게 작용하는 캐패시티브 크로스 커플링이 이루어지도록 세라믹 블록(400)의 일면으로부터 타면 방향으로 캐패시티브 커플링 구조(460)로 커플링 홈(461)이 형성된 경우를 도시하였다.In FIG. 5, a capacitive cross coupling in which the electric field predominates between the plurality of resonant cavities 211, 212, and 213 in the ceramic waveguide filter is capacitive in one direction from the other side of the ceramic block 400. The case where the coupling groove 461 is formed by the coupling structure 460 is illustrated.
커플링 홈(461)은 세라믹 블록(400)의 일면에 제1 공진 캐비티(211)와 제3 공진 캐비티(213) 사이에 제3 관통 격벽(223)과 중첩되지 않도록 형성될 수 있다. 그리고 커플링 홈(461)의 내부면에는 다수의 관통 격벽(221, 222, 223)과 마찬가지로 금속층(462)이 형성된다.The coupling groove 461 may be formed to not overlap the third through partition wall 223 between the first resonant cavity 211 and the third resonant cavity 213 on one surface of the ceramic block 400. In addition, a metal layer 462 is formed on the inner surface of the coupling groove 461 like the plurality of through partition walls 221, 222, and 223.
여기서 커플링 홈(461)의 깊이는 캐피시티브 크로스 커플링이 이루어지는 주파수에 따라 조절될 수 있다. 그러므로 캐패시티브 크로스 커플링이 이루어져야 하는 주파수에 따라서는 커플링 홈(461)의 깊이가 깊어져, 커플링 홈(461)이 형성된 위치에서 세라믹 블록(400)의 두께가 매우 얇아질 수 있다. 이 경우, 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 및 취급 시에 커플링 홈(461)이 형성된 영역에서 파손이 발생될 수도 있다.Here, the depth of the coupling groove 461 may be adjusted according to the frequency at which the capacitive cross coupling is performed. Therefore, depending on the frequency at which the capacitive cross coupling is to be performed, the depth of the coupling groove 461 may be deep, and the thickness of the ceramic block 400 may be very thin at the position where the coupling groove 461 is formed. In this case, damage may occur in a region where the coupling groove 461 is formed during manufacture and handling of the ceramic waveguide filter.
도 6은 캐피시티브 커플링 구조(560)가 세라믹 블록(500)의 일면과 타면을 관통하는 커플링 홀(561)로 구현되는 경우를 도시하였다. 그리고 커플링 홀(561)의 내측면에도 금속층(562)이 형성된다. 도 6에서는 캐피시티브 커플링 구조(560)가 세라믹 블록(500)을 관통하는 홀 형태로 형성됨에 따라, 세라믹 블록(500)에 캐피시티브 커플링 구조에 의한 파손이 발생하는 것을 방지할 수 있다.6 illustrates a case where the capacitive coupling structure 560 is implemented as a coupling hole 561 penetrating one surface and the other surface of the ceramic block 500. In addition, a metal layer 562 is formed on the inner surface of the coupling hole 561. In FIG. 6, as the capacitive coupling structure 560 is formed in a hole shape penetrating the ceramic block 500, it is possible to prevent damage caused by the capacitive coupling structure to the ceramic block 500. have.
여기서 금속층(562)는 커플링 홀(561)의 내부면 일부 영역에서 제거되어 슬롯(미도시)이 더 형성될 수도 있다Here, the metal layer 562 may be removed from a portion of the inner surface of the coupling hole 561 to further form a slot (not shown).
한편 도 7에서는 캐피시티브 커플링 구조(660)가 도 6에서와 마찬가지로 세라믹 블록(600)의 일면과 타면을 관통하는 커플링 홀(661)로 구현되지만, 커플링 홀(661)이 도 6의 커플링 홀(561)과 달리 계단형 구조로 형성된다. 그리고 금속층(662)은 커플링 홀(661)의 내부면에 형성된다. 이때 도 7에서 금속층(662)은 계단형 구조의 커플링 홀(661)의 내부면 일부 영역에서 제거되어 슬롯(663)이 더 형성될 수도 있다. 슬롯(663)은 커플링 홀(661)의 내부면에서 세라믹 블록(600)과 일면과 평행한 면의 일부 영역에 형성될 수 있다.Meanwhile, in FIG. 7, the capacitive coupling structure 660 is implemented as a coupling hole 661 penetrating one surface and the other surface of the ceramic block 600 as in FIG. 6, but the coupling hole 661 is shown in FIG. 6. Unlike the coupling hole 561 of the, it is formed in a stepped structure. And the metal layer 662 is formed on the inner surface of the coupling hole 661. At this time, in FIG. 7, the metal layer 662 may be removed from a portion of the inner surface of the stepped structure coupling hole 661 to further form a slot 663. The slot 663 may be formed in a portion of a surface parallel to one surface of the ceramic block 600 on the inner surface of the coupling hole 661.
슬롯(663)이 형성된 경우에는 슬롯(663)의 크기를 그라인더 등으로 조절하여 캐패시티브 크로스 커플링이 이루어지는 주파수에 대한 튜닝을 수행할 수 있도록 함으로써, 커플링 홈(461) 또는 커플링 홀(561)의 내측면에 형성된 금속층(462, 562) 또는 슬롯(미도시)을 그라인딩 등의 방식으로 두께를 조절하여 것보다 용이하게 튜닝을 수행할 수 있도록 한다.When the slot 663 is formed, the size of the slot 663 is adjusted with a grinder or the like to perform tuning for the frequency at which the capacitive cross coupling is performed, so that the coupling groove 461 or the coupling hole ( The thickness of the metal layers 462 and 562 or slots (not shown) formed on the inner surface of the 561) may be adjusted by a method such as grinding to facilitate tuning.
도 8에서 캐피시티브 커플링 구조(760)는 도 7에서와 유사하게 계단형 구조의 커플링 홀(761)과 금속층(762) 및 슬롯(763)이 형성될 수 있다. 뿐만 아니라 도 8에서는 세라믹 블록(700)의 일면에 슬롯(763)에 의한 신호 누설 방지를 위한 전도성 스티커(765)가 더 부착된다. 전도성 스티커(765)는 세라믹 블록(700)의 일면 전체에 부착될 수도 있으나, 커플링 홀(761)에 대응하는 영역에만 부착될 수도 있다.In FIG. 8, the capacitive coupling structure 760 may have a stepped structure coupling hole 761, a metal layer 762, and a slot 763 similar to that of FIG. 7. In addition, in FIG. 8, a conductive sticker 765 for preventing signal leakage by the slot 763 is further attached to one surface of the ceramic block 700. The conductive sticker 765 may be attached to the entire surface of the ceramic block 700, but may be attached only to an area corresponding to the coupling hole 761.
도 6 내지 도 8의 캐피시티브 커플링 구조(560, 660, 760)는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 및 취급 시에 도 5에 도시된 커플링 홈(461)에 의한 파손이 발생되는 것을 방지하기 위한 구조이다.The capacitive coupling structures 560, 660, and 760 of FIGS. 6 to 8 prevent damage caused by the coupling groove 461 shown in FIG. 5 during manufacture and handling of the ceramic waveguide filter. It is a structure for.
도 9는 도 4 의 세라믹 웨이브가이드 필터의 필터 특성을 시뮬레이션한 결과를 나타낸다.9 shows a result of simulating filter characteristics of the ceramic waveguide filter of FIG. 4.
도 9의 시뮬레이션 결과를 도3과 비교하면, 도 9에 도시된 시뮬레이션 결과에서는 제1 공진 캐비티(211)와 제3 공진 캐비티(213) 사이에 제3 관통 격벽(223)과 함께 캐패시티브 커플링 구조(360)가 형성되어 제1 공진 캐비티(211)와 제3 공진 캐비티(213) 사이에 캐패시티브 크로스 커플링이 이루어짐으로써, 세라믹 웨이브가이드 필터가 통과 대역보다 낮은 주파수인 3.3GHz 주파수에서 전송 영점을 발생시킬 수 있음을 확인할 수 있다.When the simulation result of FIG. 9 is compared with FIG. 3, in the simulation result illustrated in FIG. 9, a capacitive couple together with a third through partition wall 223 between the first resonant cavity 211 and the third resonant cavity 213 The ring structure 360 is formed to perform a capacitive cross coupling between the first resonant cavity 211 and the third resonant cavity 213, so that the ceramic waveguide filter is at a frequency of 3.3 GHz, which is lower than the pass band. It can be confirmed that the transmission zero point can be generated.
즉 본 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터는 크로스 커플링이 발생되는 2개의 공진 캐비티 사이에 커플링 홈이 추가 형성되는지 여부에 따라 전송 영점이 발생하는 주파수를 가변할 수 있다.That is, in the ceramic waveguide filter according to the present embodiment, the frequency at which the transmission zero point occurs can be varied depending on whether a coupling groove is additionally formed between two resonant cavities where cross coupling occurs.
도 2 및 도 4에서는 설명의 편의를 위해 간단한 일예로 세라믹 블록(200) 상에 3개의 관통 격벽(221, 222, 223)에 의해 3개의 공진 캐비티(211, 212, 213)가 형성된 세라믹 웨이브가이드 필터를 도시하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않는다.2 and 4, for convenience of explanation, a ceramic wave guide in which three resonant cavities 211, 212, and 213 are formed by three through partition walls 221, 222, and 223 on a ceramic block 200 as a simple example Although a filter is shown, the present invention is not limited to this.
도 10 및 도 11은 각각 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 상면도 및 투영 사시도를 나타낸다.10 and 11 respectively show a top view and a perspective projection view of a ceramic waveguide filter according to another embodiment of the present invention.
본 발명에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터는 미리 지정된 패턴에 따라 세라믹 블록을 관통하여 형성되는 다수개의 관통 격벽에 의해 다수개의 공진 캐비티가 정의될 수 있다. 이에 도 10 및 도 11에서는 미리 지정된 패턴에 따라 세라믹 블록(800)의 일면과 타면 사이를 관통하는 6개의 관통 격벽(821 ~ 826)이 형성되어 세라믹 블록(800)을 6개의 구획으로 구분함으로써, 6개의 공진 캐비티(811 ~ 816)가 정의된다.In the ceramic waveguide filter according to the present invention, a plurality of resonant cavities may be defined by a plurality of through partition walls formed through the ceramic block according to a predetermined pattern. Accordingly, in FIGS. 10 and 11, six through partition walls 821 to 826 penetrating between one surface and the other surface of the ceramic block 800 are formed according to a predetermined pattern, thereby dividing the ceramic block 800 into six sections, Six resonant cavities 811 to 816 are defined.
6개의 관통 격벽(821 ~ 826)은 세라믹 블록(800)을 6개의 구획으로 구분하기 위한 패턴으로 형성되며, 6개의 관통 격벽(821 ~ 826)의 형태는 상이하게 형성 될 수 있다. 또한 도 10 및 도 11에 나타난 바와 같이, 6개의 관통 격벽(821 ~ 826)는 서로 상이한 패턴으로 형성될 수 있을 뿐만 아니라, 일부는 T자 형태나 Y자 형태와 같은 분기 패턴 형태로 형성될 수도 있다.The six through partition walls 821 to 826 are formed in a pattern for dividing the ceramic block 800 into six sections, and the shapes of the six through partition walls 821 to 826 may be formed differently. In addition, as shown in FIGS. 10 and 11, the six through partition walls 821 to 826 may be formed in different patterns from each other, and some may be formed in the form of branch patterns such as T-shape or Y-shape. have.
6개의 관통 격벽(821 ~ 826) 각각의 내측면에는 금속층(831 ~ 836)이 형성된다.Metal layers 831 to 836 are formed on the inner surfaces of each of the six through partition walls 821 to 826.
그리고 6개의 공진 캐비티(811 ~ 816) 중 제1 공진 캐비티(811) 및 제6 공진 캐비티(816) 에는 입출력 인터페이스 포트가 삽입되는 입출력 인터페이스(840, 850)가 형성된다. 제1 공진 캐비티(811)는 입출력 인터페이스(840)에 삽입된 입력 인터페이스 포트로부터 신호를 인가받고, 제2 내지 제6 공진 캐비티(812 ~ 816)에서 순차적으로 커플링이 이루어지며, 제6 공진 캐비티(816)가 입출력 인터페이스(850)에 삽입된 출력 인터페이스 포트로 신호를 출력한다.In addition, input/ output interfaces 840 and 850 in which input/output interface ports are inserted are formed in the first resonance cavity 811 and the sixth resonance cavity 816 among the six resonance cavities 811 to 816. The first resonant cavity 811 receives a signal from an input interface port inserted in the input/output interface 840, is sequentially coupled in the second to sixth resonant cavities 812 to 816, and the sixth resonant cavity 816 outputs a signal to the output interface port inserted in the input/output interface 850.
제1 내지 제6 공진 캐비티(811 ~ 816)는 이격되어 형성된 6개의 관통 격벽(821 ~ 826) 사이의 커플링 윈도우를 통해 순차적으로 커플링이 이루어 질 수 있다. 즉 제1 및 제2 관통 격벽(821, 822)에 대응하는 커플링 윈도우를 통해 제1 공진 캐비티(811)와 제2 공진 캐비티(812) 사이에 커플링이 이루어지고, 제2 및 제3 관통 격벽(822, 823)에 대응하는 커플링 윈도우를 통해 제2 공진 캐비티(812)와 제3 공진 캐비티(813) 사이에 커플링이 이루어 지며, 제3 및 제4 관통 격벽(823, 824)에 대응하는 커플링 윈도우를 통해 제3 공진 캐비티(813)와 제4 공진 캐비티(814) 사이에 커플링이 이루어 질 수 있다. 그리고 제4 및 제5 관통 격벽(824, 825)에 대응하는 커플링 윈도우를 통해 제4 공진 캐비티(814)와 제5 공진 캐비티(815) 사이에 커플링이 이루어지고, 제5 및 제6 관통 격벽(825, 826)에 대응하는 커플링 윈도우를 통해 제5 공진 캐비티(815)와 제6 공진 캐비티(816) 사이에 커플링이 이루어 질 수 있다.The first to sixth resonant cavities 811 to 816 may be sequentially coupled through a coupling window between six through partitions 821 to 826 formed spaced apart. That is, coupling is made between the first resonant cavity 811 and the second resonant cavity 812 through a coupling window corresponding to the first and second through partition walls 821 and 822, and the second and third through holes are formed. Coupling is performed between the second resonant cavity 812 and the third resonant cavity 813 through a coupling window corresponding to the partition walls 822 and 823, and the third and fourth through partition walls 823 and 824 Coupling may be performed between the third resonant cavity 813 and the fourth resonant cavity 814 through a corresponding coupling window. Then, coupling is made between the fourth and fifth resonant cavities 814 through the coupling windows corresponding to the fourth and fifth through partitions 824 and 825, and the fifth and sixth penetrating Coupling may be performed between the fifth resonant cavity 815 and the sixth resonant cavity 816 through a coupling window corresponding to the partition walls 825 and 826.
이때 제1 내지 제6 공진 캐비티(811 ~ 816)는 지정된 주파수 대역에서 공진되어 지정된 주파수 대역의 신호를 필터링한다. 따라서 도 10 및 도 11에 도시된 세라믹 웨이브가이드 필터는 6단 필터링을 수행하는 다단 필터로서 기능한다.At this time, the first to sixth resonant cavities 811 to 816 are resonated in the designated frequency band to filter signals in the designated frequency band. Therefore, the ceramic waveguide filter shown in FIGS. 10 and 11 functions as a multi-stage filter performing 6-stage filtering.
한편, 도 10 및 도 11에 도시된 세라믹 웨이브가이드 필터에서 제2 관통 격벽(822)에 대응하는 커플링 윈도우를 통해 제1 공진 캐비티(811)와 제3 공진 캐비티(813) 사이에서 크로스 커플링이 용이하게 이루어 질 수 있다. 뿐만 아니라, 제2 공진 캐비티(812)와 인접한 제4 공진 캐비티(814) 사이에 크로스 커플링이 이루어질 수 있고, 제3 공진 캐비티(813)와 제5 공진 캐비티(815) 사이에도 크로스 커플링이 이루어질 수 있으며, 제4 공진 캐비티(814)와 제6 공진 캐비티(816)와 사이에도 크로스 커플링이 이루어 질 수 있다. 즉 도 10 및 도 11에 도시된 세라믹 웨이브가이드 필터에서는 다수의 공진 캐비티 사이에 크로스 커플링이 발생될 수 있다.Meanwhile, in the ceramic waveguide filter illustrated in FIGS. 10 and 11, cross coupling between the first resonant cavity 811 and the third resonant cavity 813 through a coupling window corresponding to the second through partition wall 822. This can be easily done. In addition, cross-coupling may be performed between the second resonant cavity 812 and the adjacent fourth resonant cavity 814, and cross-coupling may also occur between the third resonant cavity 813 and the fifth resonant cavity 815. Cross coupling may be performed between the fourth resonant cavity 814 and the sixth resonant cavity 816. That is, in the ceramic waveguide filter illustrated in FIGS. 10 and 11, cross coupling may occur between a plurality of resonant cavities.
그러나 6개의 관통 격벽(821 ~ 826) 중 적어도 하나의 관통 격벽은 공진 캐비티 사이의 크로스 커플링이 억제되도록 세라믹 블록(800)의 측면 경계까지 연장되도록 형성될 수도 있다. 일예로, 도 10 및 도 11의 세라믹 웨이브가이드 필터에서 제2 공진 캐비티 (812)와 제4 공진 캐비티(814), 제4 공진 캐비티(814)와 제6 공진 캐비티(816) 사이의 크로스 커플링이 억제되도록 제3 관통 격벽(823)과 제5 관통 격벽(825) 각각이 세라믹 블록(800)의 측면 경계까지 연장되어 형성될 수 있다.However, at least one through partition wall of the six through partition walls 821 to 826 may be formed to extend to a side boundary of the ceramic block 800 so that cross coupling between resonant cavities is suppressed. For example, in the ceramic waveguide filter of FIGS. 10 and 11, cross coupling between the second resonant cavity 812 and the fourth resonant cavity 814, the fourth resonant cavity 814 and the sixth resonant cavity 816. Each of the third through partition wall 823 and the fifth through partition wall 825 may be formed to extend to a side boundary of the ceramic block 800 so as to be suppressed.
그리고 도 10 및 도 11에서는 제1 및 제3 공진 캐비티(811, 813) 사이에 제2 관통 격벽(822)과 함께 캐피시티브 커플링 구조(860)를 더 형성하여 제1 및 제3 공진 캐비티(811, 813) 사이에 캐패시티브 크로스 커플링이 이루어지도록 할 수 있다. 이때, 캐피시티브 커플링 구조(860)는 도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 커플링 홈(461)의 형태로 형성되거나 커플링 홀(561, 661, 761)의 형태로 형성될 있다. 그리고 커플링 홀은 계단형으로 형성될 수 있으며, 커플링 홈(461) 또는 커플링 홀(561, 661, 761)의 내부면에는 금속층(462, 562, 662, 762)이 형성될 수 있다. 또한 금속층(562, 662, 762)은 일부 영역에서 제거되거나 형성되지 않음으로써, 슬롯(663, 763)을 형성할 수 있으며, 세라믹 블록의 일면에서 커플링 홀(561, 661, 761)에 대응하는 위치 전도성 스티커(765)가 더 부착될 수 있다.10 and 11, the first and third resonant cavities are further formed by forming a capacitive coupling structure 860 together with the second through partitions 822 between the first and third resonant cavities 811 and 813. A capacitive cross coupling can be made between (811, 813). At this time, the capacitive coupling structure 860 may be formed in the form of a coupling groove 461 or in the form of coupling holes 561, 661, 761, as shown in FIGS. . Further, the coupling hole may be formed in a step shape, and metal layers 462, 562, 662, and 762 may be formed on the inner surface of the coupling groove 461 or the coupling holes 561, 661, and 761. In addition, the metal layers 562, 662, and 762 are not removed or formed in some regions to form slots 663 and 763, and correspond to coupling holes 561, 661, and 761 on one surface of the ceramic block. The position conductive sticker 765 may be further attached.
이때 제2 관통 격벽(822)의 패턴은 캐피시티브 커플링 구조(860)가 형성되는 영역과 중첩되지 않도록 조절될 수 있다.At this time, the pattern of the second through partition wall 822 may be adjusted so as not to overlap with the region where the capacitive coupling structure 860 is formed.
결과적으로 도 10 및 도 11을 참조하면 본 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터는 단일 세라믹 블록에 다수의 관통 격벽(821 ~ 826)이 형성되어 용이하게 다수의 공진 캐비티를 구현할 수 있다.As a result, referring to FIGS. 10 and 11, in the ceramic waveguide filter according to the present embodiment, a plurality of through partitions 821 to 826 are formed in a single ceramic block to easily implement multiple resonance cavities.
도 12는 도 10 및 도 11의 세라믹 웨이브가이드 필터의 필터 특성을 시뮬레이션한 결과를 나타낸다. 12 shows a result of simulating filter characteristics of the ceramic waveguide filters of FIGS. 10 and 11.
도 12 에서는 도 10 및 도 11의 세라믹 웨이브가이드 필터에서 제1 및 제3 공진 캐비티(811, 813) 사이에 캐피시티브 커플링 구조(860)가 형성되고, 제3 및 제5 관통 격벽(823, 825)이 세라믹 블록(800)의 측면 경계까지 연장되어 제2 공진 캐비티(812)와 제4 공진 캐비티(814) 및 제4 공진 캐비티(814)와 제6 공진 캐비티(816) 사이의 크로스 커플링이 억제된 경우를 가정한다.In FIG. 12, capacitive coupling structures 860 are formed between the first and third resonant cavities 811 and 813 in the ceramic waveguide filters of FIGS. 10 and 11, and the third and fifth through partition walls 823 , 825 extends to the lateral boundary of the ceramic block 800 to cross couple between the second resonant cavity 812 and the fourth resonant cavity 814 and the fourth resonant cavity 814 and the sixth resonant cavity 816. It is assumed that the ring is suppressed.
제1 및 제3 공진 캐비티(811, 813) 사이에 캐피시티브 커플링 구조(860)가 형성됨에 따라 제1 공진 캐비티(811)와 제3 공진 캐비티(813) 사이에는 캐패시티브 크로스 커플링이 이루어 지는 반면, 제3 공진 캐비티(813)와 제5 공진 캐비티(815) 사이에는 인덕티브 크로스 커플링이 이루어진다.As the capacitive coupling structure 860 is formed between the first and third resonant cavities 811 and 813, the capacitive cross coupling is provided between the first and third resonant cavities 811 and 813. On the other hand, an inductive cross coupling is performed between the third resonant cavity 813 and the fifth resonant cavity 815.
도 3 및 도 5에서 설명한 바와 같이, 인덕티브 크로스 커플링은 전송 대역보다 높은 주파수에서 전송 영점을 발생시키는 반면, 캐패시티브 크로스 커플링은 전송 대역보다 낮은 주파수에서 전송 영점을 발생시킨다.3 and 5, inductive cross coupling generates a transmission zero at frequencies higher than the transmission band, whereas capacitive cross coupling generates a transmission zero at frequencies lower than the transmission band.
이에 인덕티브 크로스 커플링과 캐패시티브 크로스 커플링이 모두 발생되는 도 10및 도 11의 세라믹 웨이브가이드 필터는 도 12에 도시된 바와 같이, 전송 대역 주파수의 양단에 전송 영점이 발생됨을 확인할 수 있다. 그리고 이러한 결과는 본 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터가 매우 우수한 성능의 밴드 패스 필터로 기능할 수 있음을 나타낸다.Accordingly, the ceramic waveguide filters of FIGS. 10 and 11 in which both inductive cross coupling and capacitive cross coupling are generated, as illustrated in FIG. 12, can be confirmed that transmission zeros are generated at both ends of the transmission band frequency. . And these results indicate that the ceramic waveguide filter according to this embodiment can function as a band pass filter with very good performance.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터 제조 방법을 나타낸다.13 shows a method of manufacturing a ceramic waveguide filter according to an embodiment of the present invention.
도 2 내지 도 12를 참조하여, 도 13의 세라믹 웨이브가이드 필터 제조 방법을 설명한다.A method of manufacturing the ceramic waveguide filter of FIG. 13 will be described with reference to FIGS. 2 to 12.
세라믹 웨이브가이드 필터를 제조하기에 앞서 세라믹 웨이브가이드 필터가 필터링해야 하는 주파수 대역과 필터링 특성이 미리 결정된다. 그리고 결정된 주파수 대역에 따라 세라믹 블록을 제조한다(S10). 여기서 세라믹 블록은 결정된 주파수 대역에 따라 크기 및 형태가 결정되어 제조될 수 있다.Prior to manufacturing the ceramic waveguide filter, the frequency band and filtering characteristics that the ceramic waveguide filter should filter are predetermined. Then, a ceramic block is manufactured according to the determined frequency band (S10). Here, the ceramic block may be manufactured by determining the size and shape according to the determined frequency band.
그리고 필터링해야 하는 주파수 대역에 따라 미리 지정된 패턴으로 세라믹 블록의 일면과 타면을 관통하는 다수의 관통 격벽을 형성하여 세라믹 블록의 구획을 다수개로 구분함으로써 다수의 공진 캐비티를 구현한다(S20). 이때 다수의 관통 격벽은 서로 이격되어 형성된다. 다수의 관통 격벽이 서로 이격되어 형성되므로, 다수의 공진 캐비티는 다수의 관통 격벽 사이의 이격된 커플링 윈도우를 통해 커플링이 이루어 질 수 있다.In addition, a plurality of resonant cavities are implemented by forming a plurality of through partition walls penetrating one surface and the other surface of the ceramic block in a predetermined pattern according to a frequency band to be filtered, and dividing the ceramic block sections into a plurality (S20). At this time, a plurality of through partition walls are formed spaced apart from each other. Since a plurality of through partition walls are formed spaced apart from each other, a plurality of resonant cavities can be coupled through a spaced apart coupling window between the plurality of through partition walls.
다수의 관통 격벽이 형성되면, 미리 결정된 필터링 특성에 따라 캐패시티브 크로스 커플링이 요구되는 경우, 즉 통과 대역보다 낮은 주파수에서 전송 영점을 발생시켜야 한다면, 캐패시티브 크로스 커플링을 발생시키기 위한 캐피시티브 커플링 구조를 더 형성한다(S30). 캐피시티브 커플링 구조는 다수의 공진 캐비티 중 2개의 공진 캐비티 사이에 대응하는 관통 격벽과 중첩되지 않도록 형성될 수 있다. 그리고 캐피시티브 커플링 구조는 도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같이 커플링 홈(461) 또는 커플링 홀(561, 661, 761)의 형태로 형성될 있다. 그리고 커플링 홀은 계단형으로 형성될 수 있다.When a plurality of through partition walls are formed, if a capacitive cross coupling is required according to a predetermined filtering characteristic, that is, if a transmission zero point needs to be generated at a frequency lower than the pass band, a cap for generating a capacitive cross coupling The sieve coupling structure is further formed (S30). The capacitive coupling structure may be formed so as not to overlap with a through partition wall corresponding between two resonant cavities of the plurality of resonant cavities. In addition, the capacitive coupling structure may be formed in the form of coupling grooves 461 or coupling holes 561, 661, and 761, as shown in FIGS. In addition, the coupling hole may be formed in a step shape.
여기서 캐피시티브 커플링 구조를 형성하는 단계는 캐패시티브 크로스 커플링이 요구되지 않는 경우에는 생략될 수 있다.Here, the step of forming the capacitive coupling structure may be omitted when capacitive cross coupling is not required.
이후 다수의 관통 격벽 각각의 내측면에 은과 같은 도전 소재로 도금, 증착, 스퍼터링 등의 금속화 공정을 적용하여 금속층을 형성한다(S30). 이때 금속층은 다수의 관통 격벽 각각의 내측면뿐만 아니라 캐피시티브 커플링 구조의 내부면에도 형성된다. 그리고 세라믹 블록의 외부면에도 형성될 수 있다. 캐피시티브 커플링 구조가 계단형의 커플링 홀(661, 761)로 형성되는 경우, 커플링 홀의 일부면에는 슬롯(663, 763)이 형성될 수 있도록 금속층이 형성되지 않을 수 있다. 또는 금속층은 슬롯(663, 763)에 무관하게 형성되고, 후술하는 튜닝 단계(S60)에서 관통 격벽의 내측면에 형성된 금속층과 함께 그라인딩 등의 방식으로 조절될 수도 있다.Thereafter, a metal layer is formed by applying a metallization process such as plating, deposition, sputtering, etc. to a conductive material such as silver on each inner surface of the plurality of through partition walls (S30). At this time, the metal layer is formed not only on the inner surface of each of the plurality of through partition walls, but also on the inner surface of the capacitive coupling structure. And it can also be formed on the outer surface of the ceramic block. When the capacitive coupling structure is formed of stepped coupling holes 661 and 761, a metal layer may not be formed to form slots 663 and 763 on some surfaces of the coupling hole. Alternatively, the metal layer is formed irrespective of the slots 663 and 763, and may be adjusted in a tuning step (S60) described later with a metal layer formed on the inner surface of the through partition wall, such as grinding.
그리고 다수의 공진 캐비티 중 2개의 공진 캐비티에 입출력 인터페이스를 형성한다(S50). 여기서 입출력 인터페이스는 세라믹 웨이브가이드 필터의 다수의 공진 캐비티가 입력 인터페이스 포트로부터 신호를 입력받고 순차적 커플링되어, 필터링된 신호를 출력 인터페이스 포트로 출력할 수 있도록 다수의 공진 캐비티가 커플링되는 순차에서 양단의 공진 캐비티에 형성될 수 있다.In addition, an input/output interface is formed in two resonant cavities among the plurality of resonant cavities (S50). Here, the input/output interface is both ends in a sequence in which a plurality of resonant cavities of a ceramic waveguide filter are sequentially coupled to receive a signal from an input interface port and output a filtered signal to an output interface port. It can be formed in the resonance cavity.
한편 다수의 관통 격벽 각각의 내측면에 형성된 금속층을 그라인딩 등의 두께를 조절하는 방식으로 다수의 공진 캐비티 사이의 커플링 값을 미세 조절함으로써, 세라믹 웨이브가이드 필터의 특성을 튜닝한다(S60). 이때, 캐피시티브 커플링 구조가 형성된 경우, 캐피시티브 커플링 구조의 내부면의 두께를 함께 조절할 수 있다. 그리고 커플링 홀(661, 761)의 내부면에 형성된 금속층을 그라인딩하여 슬롯(663, 763)을 형성하거나 형성된 슬롯(663, 763)의 크기를 조절하여 캐패시티브 크로스 커플링이 이루어지는 주파수를 함께 튜닝할 수 있다.Meanwhile, the characteristics of the ceramic waveguide filter are tuned by fine-adjusting the coupling values between the plurality of resonant cavities in such a way that the thickness of the metal layer formed on each inner surface of each of the plurality of through partitions is adjusted (S60). At this time, when the capacitive coupling structure is formed, the thickness of the inner surface of the capacitive coupling structure can be adjusted together. Then, the metal layers formed on the inner surfaces of the coupling holes 661 and 761 are formed to form the slots 663 and 763, or the size of the formed slots 663 and 763 is adjusted to control the frequency at which the capacitive cross coupling is performed. I can tune it.
도 13의 세라믹 웨이브가이드 필터 제조 방법에서 캐패시티브 커플링 구조를 형성하는 단계(S30), 금속층을 형성하는 단계(S40) 및 입출력 인터페이스를 형성하는 단계(S50)는 공정상의 효율성을 향상시키기 위해 순서가 조절될 수 있다.In the manufacturing method of the ceramic waveguide filter of FIG. 13, the step of forming a capacitive coupling structure (S30), the step of forming a metal layer (S40), and the step of forming an input/output interface (S50) are to improve process efficiency. The order can be adjusted.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.The present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but these are merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and other equivalent embodiments are possible therefrom.
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be defined by the technical spirit of the appended claims.

Claims (19)

  1. 단일 세라믹 블록에서 미리 지정된 패턴에 따라 상기 세라믹 블록의 구획을 구분하도록 형성된 다수의 관통 격벽에 의해 정의되는 다수의 공진 캐비티; A plurality of resonant cavities defined by a plurality of through partition walls formed to separate the sections of the ceramic block according to a predetermined pattern in a single ceramic block;
    상기 다수의 관통 격벽 각각의 내측면에 형성되는 금속층; 및 A metal layer formed on an inner surface of each of the plurality of through partition walls; And
    상기 다수의 공진 캐비티 중 신호를 입력 및 출력하는 2개의 공진 캐비티에 형성되는 입출력 인터페이스; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 웨이브가이드 필터.An input/output interface formed in two resonance cavities for inputting and outputting signals among the plurality of resonance cavities; Ceramic waveguide filter, characterized in that it comprises a.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 다수의 관통 격벽은 The method of claim 1, wherein the plurality of through partition walls
    기지정된 주파수 대역에 대응하여 상기 다수의 공진 캐비티가 정의되도록 상기 세라믹 블록의 구획을 구분하는 패턴으로 상기 세라믹 블록을 관통하여 형성되고, 서로 이격되도록 형성되는 세라믹 웨이브가이드 필터.A ceramic waveguide filter formed through the ceramic block and spaced apart from each other in a pattern that divides the compartments of the ceramic block so that the plurality of resonant cavities are defined in correspondence to a predetermined frequency band.
  3. 제2 항에 있어서, 상기 다수의 관통 격벽은 The method of claim 2, wherein the plurality of through partition walls
    상기 다수의 공진 캐비티가 상기 입출력 인터페이스를 통해 입력된 신호에 응답하여 상기 다수의 관통 격벽 사이의 이격된 영역인 커플링 윈도우를 통해 인접한 공진 캐비티와 순차적으로 커플링이 이루어지면서, 상기 주파수 대역을 필터링하도록 패턴이 형성된 세라믹 웨이브가이드 필터.Filtering the frequency band while the plurality of resonant cavities are sequentially coupled with adjacent resonant cavities through a coupling window that is a spaced apart area between the plurality of through partitions in response to a signal input through the input/output interface. A ceramic waveguide filter with a pattern.
  4. 제3 항에 있어서, 상기 다수의 관통 격벽은 The method of claim 3, wherein the plurality of through partition walls
    상기 다수의 공진 캐비티 중 적어도 하나의 공진 캐비티가 다수의 공진 캐비티와 인접하여 배치되는 패턴으로 형성되어, 크로스 커플링이 발생되도록 하는 세라믹 웨이브가이드 필터.A ceramic waveguide filter that is formed in a pattern in which at least one resonant cavity among the plurality of resonant cavities is disposed adjacent to the plurality of resonant cavities, so that cross coupling occurs.
  5. 제4 항에 있어서, 상기 세라믹 웨이브가이드 필터는 The method of claim 4, wherein the ceramic waveguide filter
    상기 세라믹 블록의 일면에 상기 크로스 커플링이 발생되는 공진 캐비티 사이의 상기 세라믹 블록의 일면에서 관통 격벽과 이격된 커플링 홈; 이 더 형성되고, A coupling groove spaced from the through partition wall on one surface of the ceramic block between the resonance cavities where the cross coupling is generated on one surface of the ceramic block; Is formed more,
    상기 금속층은 The metal layer
    상기 커플링 홈의 내부면에도 더 형성되는 세라믹 웨이브가이드 필터.A ceramic waveguide filter further formed on the inner surface of the coupling groove.
  6. 제4 항에 있어서, 상기 세라믹 웨이브가이드 필터는 The method of claim 4, wherein the ceramic waveguide filter
    상기 크로스 커플링이 발생되는 공진 캐비티 사이에서 관통 격벽과 이격되어 상기 세라믹 블록을 관통하는 커플링 홀; 이 더 형성되고, A coupling hole spaced apart from the through partition wall between the resonant cavities where the cross coupling occurs, and penetrates the ceramic block; Is formed more,
    상기 금속층은 The metal layer
    상기 커플링 홀의 내부면에도 더 형성되는 세라믹 웨이브가이드 필터.Ceramic waveguide filter is further formed on the inner surface of the coupling hole.
  7. 제6 항에 있어서, 상기 커플링 홀은 The method of claim 6, wherein the coupling hole
    내측이 계단형 구조로 형성되고, The inside is formed in a stepped structure,
    상기 금속층은 The metal layer
    계단형 구조의 상기 커플링 홀의 내부면에서 상기 세라믹 블록의 일면에 대향하는 기지정된 슬롯 영역을 제외한 영역에 형성되는 세라믹 웨이브가이드 필터.A ceramic waveguide filter formed in an area except for a predetermined slot area facing the one surface of the ceramic block on the inner surface of the coupling hole having a stepped structure.
  8. 제6 항에 있어서, 상기 세라믹 웨이브가이드 필터는 The method of claim 6, wherein the ceramic waveguide filter
    상기 세라믹 블록의 일면에서 상기 커플링 홀이 형성된 영역에 부착되는 전도성 스티커; 를 더 포함하는 세라믹 웨이브가이드 필터.A conductive sticker attached to an area where the coupling hole is formed on one surface of the ceramic block; Ceramic waveguide filter further comprising a.
  9. 제1 항에 있어서, 상기 금속층은 The method of claim 1, wherein the metal layer
    기지정된 주파수 대역에 따라 두께가 조절되는 세라믹 웨이브가이드 필터.Ceramic waveguide filter whose thickness is adjusted according to a predetermined frequency band.
  10. 단일 세라믹 블록에서 다수의 공진 캐비티를 정의하기 위해 미리 지정된 패턴에 따라 상기 세라믹 블록의 구획을 구분하는 다수의 관통 격벽을 형성하는 단계; Forming a plurality of through partition walls separating the sections of the ceramic block according to a predetermined pattern to define a plurality of resonant cavities in a single ceramic block;
    상기 다수의 관통 격벽 각각의 내측면에 금속층을 형성하는 단계; 및 Forming a metal layer on each inner surface of each of the plurality of through partition walls; And
    상기 다수의 공진 캐비티 중 2개의 공진 캐비티에 신호를 입력 및 출력하기 위한 입출력 인터페이스를 형성하는 단계; 를 포함하는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.Forming an input/output interface for inputting and outputting signals to two of the plurality of resonant cavities; Method of manufacturing a ceramic waveguide filter comprising a.
  11. 제10 항에 있어서, 상기 다수의 관통 격벽을 형성하는 단계는 11. The method of claim 10, The step of forming the plurality of through partition walls
    기지정된 주파수 대역에 대응하여 상기 다수의 공진 캐비티가 정의되도록 상기 세라믹 블록의 구획을 구분하고 서로 이격되는 패턴으로 상기 세라믹 블록을 관통하여 상기 다수의 관통 격벽을 형성하는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.A method of manufacturing a ceramic waveguide filter that divides the sections of the ceramic block so as to define the plurality of resonant cavities corresponding to a predetermined frequency band and penetrates the ceramic block in a pattern spaced apart from each other to form the plurality of through partition walls.
  12. 제11 항에 있어서, 상기 다수의 관통 격벽을 형성하는 단계는 The method of claim 11, wherein the step of forming the plurality of through partition walls
    상기 다수의 공진 캐비티가 상기 입출력 인터페이스를 통해 입력된 신호에 응답하여 상기 다수의 관통 격벽 사이의 이격된 영역인 커플링 윈도우를 통해 인접한 공진 캐비티와 순차적으로 커플링이 이루어지며, 상기 주파수 대역을 필터링하도록 패턴이 형성되는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.The plurality of resonant cavities are sequentially coupled with adjacent resonant cavities through a coupling window that is a spaced apart area between the plurality of through partitions in response to a signal input through the input/output interface, and the frequency band is filtered. A method of manufacturing a ceramic waveguide filter in which a pattern is formed.
  13. 제12 항에 있어서, 상기 다수의 관통 격벽을 형성하는 단계는 The method of claim 12, wherein the step of forming the plurality of through partition walls
    상기 다수의 공진 캐비티 중 적어도 하나의 공진 캐비티가 다수의 공진 캐비티와 인접하여 배치되는 패턴으로 형성되어, 크로스 커플링이 발생되도록 하는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.A method of manufacturing a ceramic waveguide filter, wherein at least one resonant cavity among the plurality of resonant cavities is formed in a pattern disposed adjacent to the plurality of resonant cavities, so that cross coupling occurs.
  14. 제13 항에 있어서, 상기 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법은 The method of claim 13, wherein the method of manufacturing the ceramic waveguide filter
    상기 세라믹 블록의 일면에 상기 크로스 커플링이 발생되는 공진 캐비티 사이에서 관통 격벽과 이격된 커플링 홈을 형성하는 단계; 및 Forming a coupling groove spaced from the through partition wall between the resonant cavities where the cross coupling occurs on one surface of the ceramic block; And
    상기 금속층을 상기 커플링 홈의 내부면에 형성하는 단계; 를 더 포함하는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.Forming the metal layer on an inner surface of the coupling groove; Method of manufacturing a ceramic waveguide filter further comprising.
  15. 제13 항에 있어서, 상기 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법은 The method of claim 13, wherein the method of manufacturing the ceramic waveguide filter
    상기 크로스 커플링이 발생되는 공진 캐비티 사이에서 관통 격벽과 이격되어 상기 세라믹 블록을 관통하는 커플링 홀을 형성하는 단계; 및 Forming a coupling hole spaced apart from the through partition wall between the resonant cavities where the cross coupling occurs, and penetrates the ceramic block; And
    상기 금속층을 상기 커플링 홀의 내부면에 형성하는 단계; 를 더 포함하는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.Forming the metal layer on the inner surface of the coupling hole; Method of manufacturing a ceramic waveguide filter further comprising.
  16. 제15 항에 있어서, 상기 커플링 홀을 형성하는 단계는 The method of claim 15, wherein the step of forming the coupling hole
    상기 커플링 홀의 내측을 계단형 구조로 형성하고, The inside of the coupling hole is formed in a stepped structure,
    상기 커플링 홀의 내부면에 형성하는 단계는 The step of forming on the inner surface of the coupling hole
    상기 금속층을 계단형 구조의 상기 커플링 홀의 내부면에서 상기 세라믹 블록의 일면에 대향하는 기지정된 슬롯 영역을 제외한 영역에 형성하는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.A method of manufacturing a ceramic waveguide filter, wherein the metal layer is formed in an area except for a predetermined slot area facing the one surface of the ceramic block on the inner surface of the coupling hole having a stepped structure.
  17. 제16 항에 있어서, 상기 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법은 The method of claim 16, wherein the manufacturing method of the ceramic waveguide filter
    상기 세라믹 블록의 일면에서 상기 커플링 홀이 형성된 영역에 전도성 스티커를 부착하는 단계; 를 더 포함하는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.Attaching a conductive sticker to an area where the coupling hole is formed on one surface of the ceramic block; Method of manufacturing a ceramic waveguide filter further comprising.
  18. 제10 항에 있어서, 상기 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법은 The method of claim 10, wherein the method of manufacturing the ceramic waveguide filter
    기지정된 주파수 대역에 따라 상기 금속층의 두께를 조절하는 단계; 를 더 포함하는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.Adjusting the thickness of the metal layer according to a predetermined frequency band; Method of manufacturing a ceramic waveguide filter further comprising.
  19. 제6 항에 있어서, 상기 세라믹 웨이브가이드 필터는 The method of claim 6, wherein the ceramic waveguide filter
    상기 세라믹 블록의 일면에서 상기 커플링 홀이 형성된 영역에 부착되는 전도성 스티커; 를 더 포함하는 세라믹 웨이브가이드 필터.A conductive sticker attached to an area where the coupling hole is formed on one surface of the ceramic block; Ceramic waveguide filter further comprising a.
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