WO2020066597A1 - 積層体 - Google Patents

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順二 川口
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富士フイルム株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a laminate of a metal foil and a protective layer.
  • Patent Literature 1 has an aluminum base having a plurality of through holes in a thickness direction and a resin layer provided on at least one surface of the aluminum base, and the average opening diameter of the through holes is 0.1.
  • a composite for molding a metal-like decorative body having a thickness of about 100 ⁇ m and an average aperture ratio of 1 to 50% through holes is disclosed.
  • the aluminum base material is protected by providing a resin layer on the surface of the aluminum base material. There is a risk of being damaged. If the thickness of the resin layer is reduced, metallic luster can be obtained, but there is a possibility that scratch resistance, weather resistance, solvent resistance, etc. may be reduced.
  • an object of the present invention is to provide a laminate having high scratch resistance, weather resistance, and solvent resistance, and having both light transmittance and metallic luster.
  • the present invention solves the problem by the following configuration.
  • a metal foil having a plurality of through holes penetrating in a thickness direction; And a protective layer provided on at least one surface of the metal foil,
  • the protective layer contains a metal oxide,
  • the metal foil has an average opening diameter of the through holes of 0.1 ⁇ m to 100 ⁇ m, an average opening ratio of the through holes of 0.1% to 90%,
  • the protective layer is provided on one surface of the metal foil,
  • Metal foil is aluminum foil, copper foil, silver foil, gold foil, platinum foil, stainless steel foil, titanium foil, tantalum foil, molybdenum foil, niobium foil, zirconium foil, tungsten foil, beryllium copper foil, phosphor bronze foil, brass Foil, nickel silver foil, tin foil, lead foil, zinc foil, solder foil, iron foil, nickel foil, permalloy foil, nichrome foil, 42 alloy foil, kovar foil, monel foil, inconel foil, and hastelloy foil
  • the foil according to any one of [1] to [6], which is a selected foil or a foil obtained by laminating a foil selected from this group and a metal of a different type from the selected foil. Laminate.
  • FIG. 2 is a sectional view taken along line BB of FIG. 1. It is a typical sectional view showing other examples of a layered product of the present invention. It is a typical sectional view showing other examples of a layered product of the present invention. It is a typical sectional view for explaining a suitable example of a manufacturing method of a metal foil which has a penetration hole used for a layered product of the present invention. It is a typical sectional view for explaining a suitable example of a manufacturing method of a metal foil. It is a typical sectional view for explaining a suitable example of a manufacturing method of a metal foil. It is a typical sectional view for explaining a suitable example of a manufacturing method of a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining another example of a method for manufacturing a metal foil.
  • a numerical range represented by using “to” means a range including numerical values described before and after “to” as a lower limit and an upper limit.
  • the laminate of the present invention A metal foil having a plurality of through holes penetrating in the thickness direction, And a protective layer provided on at least one surface of the metal foil,
  • the protective layer contains a metal oxide
  • the metal foil has an average opening diameter of the through holes of 0.1 ⁇ m to 100 ⁇ m, an average opening ratio of the through holes of 0.1 to 90%,
  • FIG. 1 is a front view schematically showing an example of the laminate of the present invention.
  • FIG. 2 is a sectional view taken along line BB of FIG. 1 and 2 includes a metal foil 3 having a plurality of through holes 5 penetrating in the thickness direction, and two protective layers 7 provided on both surfaces of the metal foil 3.
  • the average opening diameter of the plurality of through holes 5 of the metal foil 3 is 0.1 ⁇ m to 100 ⁇ m, and the average opening ratio of the through holes 5 is 0.1% to 90%.
  • the protective layer 7 contains a metal oxide and has a light transmittance of 10% or more.
  • the laminate of the present invention has a metal foil having an average opening diameter and an average opening ratio of the through-holes within the above-described ranges, and a protective layer provided on at least one surface of the metal foil, so that the appearance (metallic luster) is improved. ) And light transmittance, and can increase scratch resistance, weather resistance, and solvent resistance.
  • the present inventors speculate as follows. That is, when the average opening diameter and the average opening ratio of the through holes present in the metal foil are within the above-described ranges, it becomes difficult to visually confirm the presence of the through holes, while visible light passes through the through holes. Therefore, it is considered that light could be transmitted without deteriorating appearance such as metallic luster.
  • the protective layer contains a metal oxide, scratch resistance, weather resistance, and solvent resistance can be obtained even when the thickness of the protective layer is reduced, so that the texture changes even when the protective layer is provided on the surface of the metal foil. Can be reduced, and sufficient metallic luster can be obtained.
  • the protective layer can also transmit light, and light transmittance can be secured as a laminate.
  • the hole wall surface of the through hole 5 has a surface perpendicular to the surface of the metal foil 3, but in the present invention, the hole wall surface of the through hole 5 is uneven. It may have a shape.
  • the laminate 10a shown in FIG. 2 has the protective layers 7 on both surfaces of the metal foil 3, but is not limited to this.
  • One of the metal foils 3 like the laminate 10b shown in FIG. May have a protective layer 7 on the surface of the metal foil 3, or may have a protective layer 7 on one surface of the metal foil 3 and a resin layer 6 on the other surface, as in a laminate 10c shown in FIG. May be provided.
  • the laminates 10a to 10c are collectively referred to as a laminate 10.
  • the metal foil 3 is a foil having a plurality of through holes 5 and made of a metal and / or a metal compound.
  • the average opening diameter of the through holes 5 of the metal foil 3 is 0.1 ⁇ m to 100 ⁇ m.
  • the average aperture ratio of the through holes 5 is 0.1% to 90%.
  • the average opening diameter of the through-holes is preferably 1 ⁇ m to 45 ⁇ m, more preferably 1 ⁇ m to 40 ⁇ m, and still more preferably 1 to 30 ⁇ m, from the viewpoint of tensile strength, light transmittance and the like.
  • the average aperture ratio of the through holes is preferably from 2 to 45%, more preferably from 2 to 30%, and more preferably from 2 to 20%, from the viewpoint of tensile strength, light transmittance and the like. More preferred.
  • the average opening diameter of the through-holes is obtained by using a high-resolution scanning electron microscope (SEM) and photographing the surface of the metal foil from directly above at a magnification of 100 to 10,000 times and obtaining an SEM photograph.
  • SEM scanning electron microscope
  • the diameters thereof are read out, and the opening diameters are calculated, and the average value thereof is calculated as the average opening diameter.
  • the magnification can be appropriately selected from the above-mentioned range so that an SEM photograph from which 20 or more through holes can be extracted is obtained.
  • As the opening diameter the maximum value of the distance between the ends of the through-hole portion is measured.
  • the shape of the opening of the through-hole is not limited to the substantially circular shape, when the shape of the opening is non-circular, the maximum value of the distance between the ends of the through-hole portion is defined as the opening diameter. Therefore, for example, even in the case of a through-hole in which two or more through-holes are integrated, this is regarded as one through-hole, and the maximum value of the distance between the ends of the through-hole portion is defined as the opening diameter. .
  • the average aperture ratio due to the through-holes is determined by installing a parallel light optical unit on one side of the metal foil, transmitting parallel light, and using the optical microscope from the other side of the metal foil to the surface of the metal foil. Is photographed at a magnification of 100 times to obtain a photograph. For a visual field (5 places) of 100 mm ⁇ 75 mm in a range of 10 cm ⁇ 10 cm of the obtained photograph, from the total opening area of the through holes projected by the transmitted parallel light and the area of the visual field (geometric area), The ratio (opening area / geometric area) is calculated, and the average value in each visual field (5 places) is calculated as the average opening ratio.
  • the material of the metal foil is not particularly limited. It is preferable that the foil is made of a metal and / or a metal compound that can easily form a through hole, and a foil made of a metal is more preferable. It is also preferable that the metal foil contains a metal atom that dissolves in an etchant used in a through-hole forming step B described later.
  • the metal foil specifically, aluminum foil, copper foil, silver foil, gold foil, platinum foil, stainless steel foil, titanium foil, tantalum foil, molybdenum foil, niobium foil, zirconium foil, tungsten foil, beryllium copper foil, phosphor bronze Foil, brass foil, white foil, tin foil, lead foil, zinc foil, solder foil, iron foil, nickel foil, permalloy foil, nichrome foil, 42 alloy foil, kovar foil, monel foil, inconel foil, hastelloy foil, etc. Is mentioned. Further, the metal foil may be a laminate in which two or more different metals including the above-mentioned metals are laminated.
  • the method of laminating the metal foil is not particularly limited, but is preferably a plating or cladding material.
  • the metal used for plating is preferably a metal containing a metal atom soluble in an etchant, and more preferably a metal.
  • the plating species include nickel, chromium, cobalt, iron, zinc, tin, copper, silver, gold, platinum, palladium, and aluminum.
  • the method of plating is not particularly limited, and any of electroless plating, electrolytic plating, hot-dip plating, and chemical conversion treatment is used.
  • the metal used to form the clad material on the metal foil is preferably a metal containing a metal atom soluble in an etchant, and more preferably a metal.
  • the metal species include metals used for the metal foil.
  • the material of the metal foil preferably contains at least one selected from the group consisting of aluminum, copper, stainless steel, and nickel, from the viewpoints of availability, easy formation of through holes, and the like, and aluminum. Is more preferable.
  • the average thickness of the metal foil is preferably 5 ⁇ m to 1000 ⁇ m. From the viewpoint of handling properties, the average thickness of the metal foil is more preferably from 5 ⁇ m to 50 ⁇ m, and further preferably from 8 ⁇ m to 30 ⁇ m.
  • the average thickness of the metal foil refers to the average value of the thickness measured at any five points using a contact-type film thickness meter (digital electronic micrometer).
  • the aluminum foil is not particularly limited.
  • known aluminums such as 1000 series, 3000 series (for example, 3003 materials), 5000 series, 7000 series, and 8000 series (for example, 8021 materials) are used.
  • Aluminum alloy can be used.
  • an aluminum alloy for example, an aluminum alloy having an alloy number shown in Table 1 below can be used.
  • 1000-based materials such as 1N30, 1100, 1050, and 1085 materials, or materials obtained by adding a small amount of Mg, Mn, Zn, or the like to these materials are preferable because they can be obtained at low cost.
  • the protective layer 7 is provided on at least one of the metal foils 3 and is a layer for protecting the metal foil 3.
  • the protective layer 7 contains a metal oxide.
  • the light transmittance of the protective layer 7 is 10% or more.
  • the light transmittance of the protective layer is preferably 50% or more, and more preferably 90% or more, from the viewpoint of maintaining metallic luster and light transmittance.
  • the light transmittance of the protective layer is a light transmittance in a wavelength range of 200 nm to 900 nm including a visible light region, and a sample of the protective layer is formed on a transparent support, and is provided by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.
  • the measurement may be performed according to JIS K7361 using a commercially available measuring device such as NDH4000 or SH-7000 manufactured by a company.
  • the transmittance of the metal foil before the protective layer is formed, and the transmittance of the protective layer and the metal foil in a laminated state are measured, and the transmittance of the protective layer alone can be obtained from the ratio. .
  • the average thickness of the protective layer is preferably 0.1 ⁇ m to 100 ⁇ m, more preferably 0.5 ⁇ m to 30 ⁇ m, and more preferably 1 ⁇ m, from the viewpoints of maintaining metallic luster, light transmittance, scratch resistance, weather resistance, solvent resistance and the like. ⁇ 10 ⁇ m is more preferred.
  • the average thickness of the protective layer refers to the average value of the thickness measured at any five points using a contact-type film thickness meter (digital electronic micrometer).
  • the content of the metal oxide in the protective layer is not limited, but is preferably 60% by mass or more, and more preferably 80% by mass with respect to the total mass of the protective layer, from the viewpoints of scratch resistance, weather resistance, and solvent resistance. More preferably, it is 90% by mass or more.
  • the metal oxide used for the protective layer examples include silica (silicon oxide), titanium oxide, boron oxide, aluminum oxide, zirconium oxide, and a composite thereof.
  • the protective layer containing the metal oxide used in the present invention is an organic metal compound or an inorganic metal compound in water and an organic solvent, acid, or a catalyst such as an alkali, and a so-called polycondensation reaction is caused. It is obtained by applying a sol-gel reaction solution to the surface of a metal foil and drying.
  • organometallic compound or inorganic metal compound used herein examples include metal alkoxide, metal acetylacetonate, metal acetate, metal oxalate, metal nitrate, metal sulfate, metal carbonate, metal oxychloride, and metal chloride. And condensates obtained by partially hydrolyzing and oligomerizing them.
  • silica is preferable as the metal oxide contained in the protective layer from the viewpoints of light transmittance, scratch resistance, weather resistance, solvent resistance, and the like.
  • the metal alkoxide is represented by a general formula of M (OR) n (M is a metal element, R is an alkyl group, and n indicates the oxidation number of the metal element).
  • M is a metal element, R is an alkyl group, and n indicates the oxidation number of the metal element).
  • Examples thereof include Si (OCH 3 ) 4 , Si (OC 2 H 5 ) 4 , Si (OC 3 H 7 ) 4 , Si (OC 4 H 9 ) 4 , Al (OCH 3 ) 3 , and Al (OC 2) H 5) 3, Al (OC 3 H 7) 3, Al (OC 4 H 9) 3, B (OCH 3) 3, B (OC 2 H 5) 3, B (OC 3 H 7) 3, B ( OC 4 H 9 ) 3 , Ti (OCH 3 ) 4 , Ti (OC 2 H 5 ) 4 , Ti (OC 3 H 7 ) 4 , Ti (OC 4 H 9 ) 4 , Zr (OCH 3 ) 4 , Z
  • alkoxides such as Ge, Li, Na, Fe, Ga, Mg, P, Sb, Sn, Ta, and V can be used.
  • monosubstituted silicon such as CH 3 Si (OCH 3 ) 3 , C 2 H 5 Si (OCH 3 ) 3 , CH 3 Si (OC 2 H 5 ) 3 , C 2 H 5 Si (OC 2 H 5 ) 3.
  • Alkoxides are also used.
  • metal acetylacetonate include Al (COCH 2 COCH 3 ) 3 , Ti (COCH 2 COCH 3 ) 4 , and the like.
  • metal oxalates include K 2 TiO (C 2 O 4 ) 2
  • metal nitrates include Al (NO 3 ) 3 and ZrO (NO 3 ) 2 .2H 2 O.
  • metal sulfates are Al 2 (SO 4 ) 3 , (NH 4 ) Al (SO 4 ) 2 , KAl (SO 4 ) 2 , NaAl (SO 4 ) 2
  • examples of metal oxychloride are Si 2 Examples of OCl 6 , ZrOCl 2 , and chlorides include AlCl 3 , SiCl 4 , ZrCl 2 , and TiCl 4 .
  • organic metal compounds or inorganic metal compounds can be used alone or in combination of two or more.
  • metal alkoxides are preferable because they have high reactivity and easily produce a polymer formed from a metal-oxygen bond.
  • silicon alkoxy compounds such as Si (OCH 3 ) 4 , Si (OC 2 H 5 ) 4 , Si (OC 3 H 7 ) 4 , and Si (OC 4 H 9 ) 4 are inexpensive and easily available.
  • a protective layer containing a metal oxide obtained therefrom is particularly preferable because of its excellent solvent resistance. Oligomers obtained by partially hydrolyzing and condensing these silicon alkoxy compounds are also preferable.
  • an average pentameric ethyl silicate oligomer containing about 40% by weight of SiO 2 is also preferable to use a so-called silane coupling agent in which one or two alkoxy groups of the above silicon tetraalkoxy compound are substituted with an alkyl group or a group having reactivity.
  • silane coupling agents used for this include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, ⁇ (methacryloxypropyl) trimethoxysilane, ⁇ - (3,4 epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, ⁇ -glycidoxy Propyltrimethoxysilane, ⁇ -glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, N- ⁇ (aminoethyl) ⁇ -aminopropyltrimethoxysilane, N- ⁇ (aminoethyl) ⁇ -aminopropylmethyldimethoxysilane, ⁇ -aminopropyl Triethoxysilane, N-phenyl- ⁇ -aminopropyltrimethoxysilane, ⁇ -mercaptopropyltrimethoxysilane, ⁇ -chloropropyltrimethoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltri
  • organic and inorganic acids and alkalis are used as catalysts.
  • examples include inorganic acids such as hydrochloric acid, sulfuric acid, sulfurous acid, nitric acid, nitrous acid, hydrofluoric acid, phosphoric acid, and phosphorous acid, formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, glycolic acid, chloroacetic acid, dichloroacetic acid, and trichloroacetic acid.
  • fluoroacetic acid bromoacetic acid, methoxyacetic acid, oxaloacetic acid, citric acid, oxalic acid, succinic acid, malic acid, tartaric acid, fumaric acid, maleic acid, malonic acid, ascorbic acid, benzoic acid and 3,4-dimethoxybenzoic acid
  • benzoic acid 3,4-dimethoxybenzoic acid
  • phenoxyacetic acid phthalic acid, picric acid, nicotinic acid, picolinic acid, pyrazine, pyrazole, dipicolinic acid, adipic acid, p-toluic acid, terephthalic acid, 1,4-cyclohexene-2,2-dicarboxylic acid
  • Organic acids such as acids, erucic acid, lauric acid, n-undecanoic acid, ascorbic acid, alkali metals and alkaline earths Genus hydroxide, ammonia, ethanolamine, diethanolamine,
  • sulfonic acids include sulfonic acids, sulfinic acids, alkyl sulfates, phosphonic acids, and phosphoric esters, and specifically, p-toluenesulfonic acid, dodecylbenzenesulfonic acid, p-toluenesulfinic acid, ethyl acid, phenylphosphonic acid And organic acids such as phenylphosphinic acid, phenyl phosphate and diphenyl phosphate.
  • These catalysts can be used alone or in combination of two or more.
  • the amount of the catalyst is preferably 0.001 to 10% by weight, more preferably 0.05 to 5% by weight, based on the metal compound as the raw material.
  • the amount of the catalyst is less than this range, the onset of the sol-gel reaction will be delayed, and if it is more than this range, the reaction will proceed rapidly, and the resulting protective layer will have poor solvent resistance, possibly due to the formation of non-uniform sol-gel particles.
  • an appropriate amount of water is further required, and a preferable addition amount thereof is 0.05 to 50 times the molar amount of water necessary for completely hydrolyzing the metal compound as a raw material. Preferably, it is 0.5 to 30 moles. If the amount of water is less than this range, the hydrolysis does not easily proceed, and if it is more than this range, the reaction becomes difficult to proceed, probably because the raw materials are diluted.
  • a solvent is further added to the sol-gel reaction solution.
  • the solvent may be any as long as it dissolves the metal compound of the raw material and dissolves or disperses the sol-gel particles generated by the reaction, such as lower alcohols such as methanol, ethanol, propanol, and butanol; Is used.
  • mono- or dialkyl ethers and acetates of glycols such as ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, propylene glycol and dipropylene glycol can be used for the purpose of improving the coating surface quality of the protective layer.
  • these solvents lower alcohols that can be mixed with water are preferred.
  • the sol-gel reaction solution is prepared with a solvent at a concentration suitable for application. However, if the entire amount of the solvent is added to the reaction solution from the beginning, the hydrolysis reaction is unlikely to proceed because the raw materials are diluted. Therefore, it is preferable to add a part of the solvent to the sol-gel reaction solution and add the remaining solvent when the reaction has progressed.
  • the sol-gel reaction proceeds by mixing the metal oxide raw material, water, solvent and catalyst.
  • the progress of the reaction depends on their type, composition ratio, reaction temperature and time, and also affects the film quality after film formation. Since the influence of the reaction temperature is particularly large, it is preferable to control the temperature during the reaction.
  • a compound containing a hydroxyl group, an amino group or active hydrogen in the molecule may be added to the sol-gel reaction solution in order to appropriately adjust the sol-gel reaction.
  • These compounds include polyethylene glycol, polypropylene glycol, their block copolymers, their monoalkyl ethers or monoalkyl aryl ethers, various phenols such as phenol and cresol, copolymers with polyvinyl alcohol and other vinyl monomers.
  • examples thereof include acids having a hydroxyl group such as coalesce, malic acid and tartaric acid, aliphatic and aromatic amines, formamide and dimethylformamide.
  • organic and inorganic high molecular compounds are added to improve the film properties of the protective layer, and plasticizers, surfactants, and other additives are added as necessary for the purpose of imparting flexibility to the protective layer and adjusting the slip property. it can.
  • Preferred polymer compounds include, for example, polyvinyl alcohol, polyvinyl acetate, silicone resin, polyamide, polyurethane, polyurea, polyimide, polysiloxane, polycarbonate, epoxy resin, phenol novolak resin, condensation resin of phenol and aldehyde or ketone, acetal Resins, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polystyrene, acrylic resins, and copolymer resins thereof.
  • novolak resins such as phenol, cresol, ter-butylphenol, octylphenol, condensation resins of pyrogallol and acetone, homopolymers and copolymers of p-hydroxystyrene and hydroxyethyl methacrylate, and the like. It is preferably used.
  • Preferred plasticizers added to the protective layer include, for example, dimethyl phthalate, diethyl phthalate, dibutyl phthalate, diisobutyl phthalate, dioctyl phthalate, octyl capryl phthalate, dicyclohexyl phthalate, ditridecyl phthalate, butyl benzyl phthalate, diisodecyl phthalate, diallyl phthalate and the like Phthalates, dimethyl glycol phthalate, ethyl phthalyl ethyl glycolate, methyl phthalyl ethyl glycolate, butyl phthalyl butyl glycolate, glycol esters such as triethylene glycol dicaprylate, tricresyl phosphate, triphenyl Phosphates such as phosphate, diisobutyl adipate, dioctyl adipate, Rusebaketo, dibutyl sebacate, dio
  • Preferred examples of the surfactant added to the protective layer include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, polyoxyethylene polystyryl phenyl ethers, polyoxyethylene polyoxypropylene alkyl ethers, and glycerin.
  • Polyoxyethylene alkyl sulfophenyl ether salts N-methyl-N-oleyl taurine sodium salt, N-alkyl sulfosuccinic acid monoamide disodium salt, petroleum sulfonates, sulfated tallow oil, sulfate esters of fatty acid alkyl esters, alkyl Sulfates, polyoxyethylene alkyl ether sulfates, fatty acid monoglyceride sulfates, polyoxyethylene alkylphenyl ether sulfates, polyoxyethylene styrylphenyl ether sulfates, alkyl phosphates, polyoxyethylene alkyl ethers Phosphate ester salts, polyoxyethylene alkyl phenyl ether phosphate ester salts, partially saponified styrene / maleic anhydride copolymers, olefins Anionic surfactants such as partially saponified maleic anhydride cop
  • fluorine-based surfactants containing a perfluoroalkyl group in the molecule.
  • fluorine-based surfactant examples include an anionic type such as perfluoroalkyl carboxylate, perfluoroalkyl sulfonate and perfluoroalkyl phosphate, an amphoteric type such as perfluoroalkyl betaine, and a perfluoroalkyltrimethylammonium salt.
  • Non-ionic types such as group-containing oligomers, urethanes containing perfluoroalkyl groups and lipophilic groups are included.
  • the above surfactants can be used alone or in combination of two or more, and are added to the protective layer in an amount of 0.001 to 10% by weight, more preferably 0.01 to 5% by weight.
  • the resin layer that the laminate of the present invention may have is not particularly limited as long as it is a layer formed of a transparent resin material, and examples of the resin material include polyester and polyolefin.
  • the polyester include polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate, and the like.
  • Specific examples of other resin materials include polyamide, polyether, polystyrene, polyester amide, polycarbonate, polyphenylene sulfide, polyether ester, polyvinyl chloride, polyacrylate, polymethacrylate, and the like.
  • the resin layer has transparency means that the visible light transmittance is 60% or more, preferably 80% or more, particularly preferably 90% or more.
  • the average thickness of the resin layer is preferably from 12 to 200 ⁇ m, more preferably from 12 to 100 ⁇ m, still more preferably from 25 to 100 ⁇ m, further preferably from 50 to 100 ⁇ m, from the viewpoint of handling properties, workability and the like. Is particularly preferred.
  • the average thickness of the resin layer refers to the average value of the thickness measured at any five points using a contact-type film thickness meter (digital electronic micrometer).
  • the laminate of the present invention can be produced by producing a metal foil having a plurality of through holes and providing a protective layer on the surface of the metal foil.
  • the method for forming the protective layer is a so-called sol-gel reaction solution in which an organic metal compound or an inorganic metal compound is hydrolyzed with a catalyst such as an acid or an alkali in water and an organic solvent, and a condensation polymerization reaction is caused.
  • a method of applying and drying on the surface of a metal foil having a through hole may be used.
  • a method for producing a metal foil having through hole will be described.
  • a through-hole forming process is performed after a film forming step of forming an aluminum hydroxide film on at least one surface of the aluminum foil and the film forming step to form a through-hole.
  • a through-hole forming step A, and a film removing step of removing the aluminum hydroxide film after the through-hole forming step A (hereinafter, also referred to as “manufacturing method A-1”); one of aluminum foils A resin layer forming step of forming a resin layer on the surface of the substrate, a film forming step of forming an aluminum hydroxide film on the surface of the aluminum foil on which the resin layer is not provided after the resin layer forming step, and a film forming step , A through-hole forming step of performing a through-hole forming process to form a through-hole, and a film removing step of removing the aluminum hydroxide film after the through-hole forming step A Method having the bets (hereinafter, also referred to as "manufacturing method A-2”.); And the like.
  • the production method A-1 is preferable.
  • Examples of a manufacturing method when a metal other than aluminum is used as a material of the metal foil include, for example, a first masking layer forming step of forming a first masking layer containing particles on at least one surface of the metal foil, A manufacturing method (hereinafter, also referred to as “manufacturing method B”) including a through-hole forming step B for forming a hole, and a masking layer removing step for removing the first masking layer after the through-hole forming step B is exemplified. . Note that the manufacturing method B can be applied to a case where aluminum is used as the material of the metal foil.
  • each step of the methods A-1 and A-2 for producing a metal foil having a through hole will be described with reference to FIGS. 5 to 8, FIGS. 9 to 12, and FIGS. After each step, each step will be described in detail.
  • FIGS. 5 to 8 and FIGS. 9 to 12 are schematic cross-sectional views each showing an example of a preferred embodiment of a method A-1 for producing a metal foil (aluminum foil) having a through hole.
  • manufacturing method A-1 performs a film forming treatment on one surface (both surfaces in the embodiment shown in FIG. 9) of metal foil (aluminum foil) 1.
  • an electrolytic dissolution treatment is performed to form a through-hole 5, and the through-hole is formed.
  • Hole forming step A FIGGS. 6 and 7, FIGS.
  • a film removing step (FIGS. 7 and 8, FIGS. 11 and 12) of removing the aluminum hydroxide film 4 having the through holes and producing the aluminum foil 3 having the through holes is provided.
  • the manufacturing method .
  • FIGS. 13 to 17 are schematic sectional views showing an example of a preferred embodiment of the method B for producing a metal foil having a through hole.
  • the manufacturing method A-2 includes a resin layer forming step of forming a resin layer 6 on one surface of the aluminum foil 1 (FIGS. 13 and 14), as shown in FIGS.
  • a film forming process is performed on the surface on which the resin layer 6 is not formed to form the aluminum hydroxide film 2 (FIGS. 14 and 15), and an electrolytic dissolution process is performed after the film forming process.
  • Complex Seisuru film removal step is a manufacturing method and a (FIGS. 16 and 17).
  • the film forming step is a step of performing a film forming treatment on the surface of the aluminum foil to form an aluminum hydroxide film.
  • the film forming treatment is not particularly limited, and for example, the same treatment as a conventionally known film forming treatment can be performed.
  • the film forming treatment for example, the conditions and apparatuses described in paragraphs [0013] to [0026] of JP-A-2011-201123 can be appropriately adopted.
  • the conditions of the film forming treatment vary depending on the electrolytic solution to be used, and thus cannot be unconditionally determined.
  • the concentration of the electrolytic solution is 1 to 80% by mass
  • the liquid temperature is 5 to 70 ° C.
  • the current density is 0.5 to 60 A / dm 2
  • the voltage is 1 to 100 V
  • the electrolysis time is 1 second to 20 minutes, and it is adjusted so as to obtain a desired coating amount.
  • the electrochemical treatment it is preferable to perform the electrochemical treatment using nitric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, phosphoric acid or oxalic acid, or a mixed acid of two or more of these acids as the electrolytic solution.
  • a direct current may be applied between the aluminum foil and the counter electrode, or an alternating current may be applied.
  • the current density is preferably 1 to 60 A / dm 2 , more preferably 5 to 50 A / dm 2 .
  • the amount of the aluminum hydroxide film formed by the film forming treatment is preferably 0.05 to 50 g / m 2 , and more preferably 0.1 to 10 g / m 2 .
  • the through-hole forming step A is a step of forming a through-hole by performing an electrolytic dissolution treatment after the film forming step.
  • the electrolytic dissolution treatment is not particularly limited, and a direct current or an alternating current can be used, and an acidic solution can be used as the electrolytic solution. Among them, it is preferable to perform the electrochemical treatment using at least one acid of nitric acid and hydrochloric acid, and to perform the electrochemical treatment using a mixed acid obtained by adding at least one of sulfuric acid, phosphoric acid and oxalic acid to these acids. Is more preferably performed.
  • the acidic solution serving as the electrolytic solution includes U.S. Patent Nos. 4,671,859, 4,661,219, 4,618,405 and 4,618,405. Nos. 4,600,482, 4,566,960, 4,566,958, 4,566,959, 4,416,972, and 4,374,710. No. 4,336,113 and 4,184,932 can also be used.
  • the concentration of the acidic solution is preferably from 0.1 to 2.5% by mass, particularly preferably from 0.2 to 2.0% by mass. Further, the temperature of the acidic solution is preferably from 20 to 80 ° C, more preferably from 30 to 60 ° C.
  • the aqueous solution mainly composed of the above-mentioned acid is prepared by adding a nitric acid compound having a nitrate ion such as aluminum nitrate, sodium nitrate or ammonium nitrate or a hydrochloric acid such as aluminum chloride, sodium chloride or ammonium chloride to an aqueous solution of an acid having a concentration of 1 to 100 g / L.
  • a sulfuric acid compound having a sulfate ion such as a hydrochloric acid compound having an ion, aluminum sulfate, sodium sulfate, and ammonium sulfate, can be added and used in a range of 1 g / L to saturation.
  • mainly means that the main component in the aqueous solution is contained in an amount of 30% by mass or more, preferably 50% by mass or more, based on the whole components added to the aqueous solution.
  • the metal contained in the aluminum alloy such as iron, copper, manganese, nickel, titanium, magnesium, and silica may be dissolved in the aqueous solution mainly containing the acid.
  • a solution obtained by adding aluminum chloride, aluminum nitrate, aluminum sulfate or the like to an aqueous solution having an acid concentration of 0.1 to 2% by mass so that aluminum ions are 1 to 100 g / L is preferably used.
  • a DC current is mainly used, but when an AC current is used, the AC power supply wave is not particularly limited, and a sine wave, a rectangular wave, a trapezoidal wave, a triangular wave, or the like is used. Among them, a rectangular wave or a trapezoidal wave is preferable, and a trapezoidal wave is particularly preferable.
  • an electrochemical dissolution treatment using an electrolytic solution mainly composed of nitric acid facilitates the penetration into which the average opening diameter becomes 0.1 ⁇ m or more and less than 100 ⁇ m. Holes can be formed.
  • nitric acid dissolution treatment a DC current is used, the average current density is 5 A / dm 2 or more, and the amount of electricity is 50 C / dm 2 or more, because the melting point of the formation of the through hole is easily controlled. It is preferable that the electrolytic treatment is performed in the following manner.
  • the average current density is preferably 100 A / dm 2 or less, and the quantity of electricity is preferably 10,000 C / dm 2 or less.
  • the concentration and temperature of the electrolytic solution in the nitric acid electrolysis are not particularly limited, and electrolysis is performed at 30 to 60 ° C. using a high concentration, for example, a nitric acid electrolytic solution having a nitric acid concentration of 15 to 35% by mass, or a nitric acid concentration of 0. Electrolysis can be performed at a high temperature, for example, 80 ° C. or higher, using a 7 to 2% by mass nitric acid electrolytic solution. In addition, electrolysis can be performed using an electrolytic solution obtained by mixing at least one of sulfuric acid, oxalic acid, and phosphoric acid having a concentration of 0.1 to 50% by mass with the above nitric acid electrolytic solution.
  • the through-hole having an average opening diameter of 1 ⁇ m or more and less than 100 ⁇ m can be easily obtained by an electrochemical dissolution treatment using an electrolyte mainly composed of hydrochloric acid (hereinafter, also referred to as “hydrochloric acid dissolution treatment”).
  • hydrochloric acid dissolution treatment a direct current is used, the average current density is 5 A / dm 2 or more, and the amount of electricity is 50 C / dm 2 or more, because the melting point of the formation of the through hole is easily controlled.
  • the electrolytic treatment is performed in the following manner.
  • the average current density is preferably 100 A / dm 2 or less, and the quantity of electricity is preferably 10,000 C / dm 2 or less.
  • the concentration and temperature of the electrolytic solution in hydrochloric acid electrolysis are not particularly limited, and electrolysis is performed at 30 to 60 ° C. using a high concentration, for example, a hydrochloric acid electrolytic solution having a hydrochloric acid concentration of 10 to 35% by mass, or a hydrochloric acid concentration of 0.1 to 30% by mass. Electrolysis can be performed at a high temperature, for example, 80 ° C. or higher, using a hydrochloric acid electrolyte of 7 to 2% by mass. In addition, electrolysis can be performed using an electrolytic solution obtained by mixing at least one of sulfuric acid, oxalic acid, and phosphoric acid having a concentration of 0.1 to 50% by mass with the hydrochloric acid electrolytic solution.
  • the film removing step is a step of performing a chemical dissolution treatment to remove the aluminum hydroxide film.
  • the film can be removed by performing an acid etching treatment or an alkali etching treatment described later.
  • an acidic solution it is desirable to wash with an acidic solution in order to remove corrosive organisms remaining on the surface after the alkali etching.
  • By selecting the washing conditions with an acidic solution it is possible to additionally have a function of removing the film.
  • the acid etching treatment is a treatment for dissolving the aluminum hydroxide film using a solution that dissolves aluminum hydroxide preferentially over aluminum (hereinafter, referred to as “aluminum hydroxide solution”).
  • the aluminum hydroxide solution for example, nitric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, oxalic acid, chromium compound, zirconium compound, titanium compound, lithium salt, cerium salt, magnesium salt, sodium silicofluoride, fluoride
  • An aqueous solution containing at least one selected from the group consisting of zinc, manganese compounds, molybdenum compounds, magnesium compounds, barium compounds and simple halogens is preferred.
  • examples of the chromium compound include chromium (III) oxide and chromic (VI) anhydride.
  • zirconium-based compound include ammonium zirconium fluoride, zirconium fluoride, and zirconium chloride.
  • examples of the titanium compound include titanium oxide and titanium sulfide.
  • examples of the lithium salt include lithium fluoride and lithium chloride.
  • examples of the cerium salt include cerium fluoride and cerium chloride.
  • examples of the magnesium salt include magnesium sulfide.
  • Examples of the manganese compound include sodium permanganate and calcium permanganate.
  • Examples of the molybdenum compound include sodium molybdate.
  • examples of the magnesium compound include magnesium fluoride pentahydrate.
  • Barium compounds include, for example, barium oxide, barium acetate, barium carbonate, barium chlorate, barium chloride, barium fluoride, barium iodide, barium lactate, barium oxalate, barium perchlorate, barium selenate, selenite
  • Examples include barium, barium stearate, barium sulfite, barium titanate, barium hydroxide, barium nitrate, and hydrates thereof.
  • barium oxide, barium acetate and barium carbonate are preferred, and barium oxide is particularly preferred.
  • Examples of the halogen alone include chlorine, fluorine, and bromine.
  • the aluminum hydroxide solution is preferably an aqueous solution containing an acid.
  • the acid include nitric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, and oxalic acid, and a mixture of two or more acids. Good. Among them, it is preferable to use nitric acid as the acid.
  • the acid concentration is preferably at least 0.01 mol / L, more preferably at least 0.05 mol / L, even more preferably at least 0.1 mol / L. Although there is no particular upper limit, it is generally preferably 10 mol / L or less, more preferably 5 mol / L or less.
  • the dissolution treatment is performed by bringing the aluminum foil on which the aluminum hydroxide film is formed into contact with the above-described dissolution solution.
  • the method of contact is not particularly limited, and examples thereof include a dipping method and a spray method. Above all, the immersion method is preferable.
  • the immersion method is a process of immersing the aluminum foil on which the aluminum hydroxide film is formed in the above-described solution. It is preferable to perform agitation during the immersion treatment, since the treatment without unevenness is performed.
  • the immersion treatment time is preferably 10 minutes or more, more preferably 1 hour or more, even more preferably 3 hours or more and 5 hours or more.
  • the alkali etching treatment is a treatment for dissolving the surface layer by bringing the aluminum hydroxide film into contact with an alkaline solution.
  • alkali used for the alkali solution examples include caustic alkali and alkali metal salts.
  • examples of the caustic alkali include sodium hydroxide (caustic soda) and caustic potash.
  • alkali metal salt examples include alkali metal silicates such as sodium metasilicate, sodium silicate, potassium metasilicate, and potassium silicate; alkali metal carbonates such as sodium carbonate and potassium carbonate; sodium aluminate, alumina Alkali metal aluminates such as potassium acid; alkali metal aldonates such as sodium gluconate and potassium gluconate; sodium diphosphate, potassium diphosphate, sodium tertiary phosphate, potassium tertiary phosphate, etc. Alkali metal hydrogen phosphate is mentioned.
  • a solution of caustic alkali and a solution containing both caustic alkali and an alkali metal aluminate are preferable from the viewpoint of high etching rate and low cost.
  • an aqueous solution of sodium hydroxide is preferable.
  • the concentration of the alkaline solution is preferably from 0.1 to 50% by mass, more preferably from 0.2 to 10% by mass.
  • the concentration of aluminum ions is preferably from 0.01 to 10% by mass, and more preferably from 0.1 to 3% by mass.
  • the temperature of the alkaline solution is preferably from 10 to 90 ° C.
  • the processing time is preferably from 1 to 120 seconds.
  • Examples of the method of contacting the aluminum hydroxide film with an alkali solution include, for example, a method of passing an aluminum foil having an aluminum hydroxide film formed therein through a bath containing an alkali solution, and a method of forming an aluminum foil having an aluminum hydroxide film formed thereon. And a method of spraying the alkali solution onto the surface of the aluminum foil on which the aluminum hydroxide film is formed (aluminum hydroxide film).
  • the resin layer forming step is a step of forming a resin layer on the surface of a metal foil (aluminum foil) having no through-hole in Production Method A-2.
  • the resin layer forming step is a step of forming a resin layer on the surface of the metal foil as a preferred embodiment after forming a metal foil (aluminum foil) having a through hole by the manufacturing method A-1 or the manufacturing method B described later. It is.
  • the method for forming the resin layer is not particularly limited, and examples thereof include dry lamination, wet lamination, extrusion lamination, and inflation lamination.
  • the preferred embodiment is an embodiment in which the average thickness of the resin layer is 12 to 200 ⁇ m (particularly, 25 to 100 ⁇ m) and an embodiment in which the average thickness of the metal foil is 5 to 1000 ⁇ m.
  • a method of forming a resin layer by lamination is preferable.
  • the dry lamination for example, the conditions and apparatuses described in paragraphs [0067] to [0078] of JP-A-2013-121873 can be appropriately adopted.
  • FIG. 18 to 21 are schematic cross-sectional views showing an example of a preferred embodiment of a method B for producing a metal foil having a through hole (hereinafter, also referred to as a production method B-1).
  • a plurality of metal particles and a polymer component are formed on one surface of the metal foil 1 by a first masking layer forming step using a composition containing the polymer component.
  • the first masking layer 8 in which a part of each of the metal particles 9 is embedded is formed.
  • the first masking layer 8 of the metal foil 1 is formed by an optional second masking layer forming step using a composition containing a polymer component.
  • a through-hole forming step B in which the metal foil 1 having the first masking layer 8 is brought into contact with an etchant to dissolve the metal particles 9 and a part of the metal foil 1 is shown in FIG.
  • through-hole 5 is formed in first masking layer 8 and metal foil 1.
  • a metal foil 3 having a plurality of through holes 5 is formed by a masking layer removing step of removing the first masking layer 8, as shown in FIG.
  • a second masking layer forming step is provided, as shown in FIG. 21, the first masking layer 8 and the second masking layer 11 are removed by the masking layer removing step, so that a plurality of through holes are formed. 5 is formed.
  • First masking layer forming step In the first masking layer forming step of the manufacturing method B-1, a part of each of the metal particles is embedded on one surface of the metal foil using a composition containing a plurality of metal particles and a polymer component. Forming a first masking layer.
  • composition used in the first masking layer forming step is a composition containing at least a plurality of metal particles and a polymer component.
  • the metal particles contained in the composition are not particularly limited as long as the particles contain a metal atom that dissolves in an etchant used in a through-hole forming step B to be described later, and are particles composed of a metal and / or a metal compound. Preferably, particles composed of metal are more preferred.
  • metal constituting the metal particles specifically, for example, aluminum, nickel, iron, copper, stainless steel, titanium, tantalum, molybdenum, niobium, zirconium, tungsten, beryllium, and alloys thereof, and the like, These may be used alone or in combination of two or more. Of these, aluminum, nickel, and copper are preferred, and aluminum and copper are more preferred.
  • Examples of the metal compound constituting the metal particles include oxides, composite oxides, hydroxides, carbonates, sulfates, silicates, phosphates, nitrides, carbides, sulfides, and at least these. Examples include two or more composites. Specific examples include copper oxide, aluminum oxide, aluminum nitride, and aluminum borate.
  • the metal particles and the above-described metal foil contain the same metal atom from the viewpoint of collecting the etchant used in the through-hole forming step described later and recycling the dissolved metal. Is preferred.
  • the shape of the metal particles is not particularly limited, but is preferably spherical, and the closer to a true sphere, the more preferable. Further, the average particle size of the metal particles is preferably 1 ⁇ m to 10 ⁇ m, more preferably more than 2 ⁇ m and 6 ⁇ m or less from the viewpoint of dispersibility in the composition.
  • the average particle size of the metal particles refers to a cumulative 50% size of the particle size distribution measured by a laser diffraction / scattering type particle size measuring device (Microtrack MT3000 manufactured by Nikkiso Co., Ltd.).
  • the content of the metal particles is preferably 0.05 to 95% by mass, more preferably 1 to 50% by mass, and more preferably 3 to 25% by mass based on the total solid content contained in the composition. % Is more preferable.
  • the polymer component contained in the composition is not particularly limited, and a conventionally known polymer component can be used.
  • Specific examples of the polymer component include an epoxy resin, a silicone resin, an acrylic resin, a urethane resin, an ester resin, a urethane acrylate resin, a silicone acrylate resin, an epoxy acrylate resin, and an ester acrylate.
  • Base resin polyamide-based resin, polyimide-based resin, polycarbonate-based resin, and phenol-based resin. These may be used alone or in combination of two or more.
  • the polymer component is a phenolic resin
  • the resin material is preferably selected from the group consisting of an acrylic resin and a polyimide resin.
  • the polymer component contained in the composition is a water-insoluble and alkali-water-soluble polymer (hereinafter, referred to as “alkali-water-soluble polymer”) from the viewpoint of facilitating removal in the masking layer removing step described below. ), That is, a homopolymer containing an acidic group in a main chain or a side chain in a polymer, a copolymer thereof, or a mixture thereof.
  • the alkali water-soluble polymer those having an acidic group in the main chain and / or side chain of the polymer are preferred from the viewpoint that removal in the masking layer removing step described later is further facilitated.
  • the acidic group include a phenol group (—Ar—OH), a sulfonamide group (—SO 2 NH—R), and a substituted sulfonamide-based acid group (hereinafter referred to as “active imide group”) [—SO 2 NHCOR, —SO 2 NHSO 2 R, —CONHSO 2 R], a carboxyl group (—CO 2 H), a sulfo group (—SO 3 H), and a phosphon group (—OPO 3 H 2 ).
  • Ar represents a divalent aryl linking group which may have a substituent
  • R represents a hydrocarbon group which may have a substituent.
  • an alkaline water-soluble polymer having an acidic group an alkaline water-soluble polymer having a phenol group, a carboxyl group, a sulfonamide group and an active imide group is preferable, and particularly, an alkali water-soluble polymer having a phenol group or a carboxyl group. Is most preferable from the viewpoint of the balance between the strength of the first masking layer to be formed and the removability in the masking layer removing step described later.
  • alkaline water-soluble polymer having an acidic group examples include the following.
  • alkaline water-soluble polymer having a phenol group examples include one or more phenols such as phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, and xylenol, and formaldehyde and paraformaldehyde. And novolak resins produced from aldehydes, and polycondensates of pyrogallol and acetone. Further, a copolymer obtained by copolymerizing a compound having a phenol group can also be used. Examples of the compound having a phenol group include acrylamide, methacrylamide, acrylate, methacrylate, and hydroxystyrene having a phenol group.
  • a novolak resin or a copolymer of hydroxystyrene is preferable.
  • Commercially available hydroxystyrene copolymers include Marukalinker M H-2, Marukalinker M S-4, Marukalinker M S-2, Marcalinker M S-1, manufactured by Maruzen Chemical Industries, Ltd., Nippon Soda Co., Ltd. VP-8000, VP-15000, and the like.
  • alkali water-soluble polymer having a sulfonamide group for example, a polymer having a minimum structural unit derived from a compound having a sulfonamide group as a main component can be mentioned.
  • the compound as described above include a compound having at least one sulfonamide group in which at least one hydrogen atom is bonded to a nitrogen atom and at least one polymerizable unsaturated group in the molecule.
  • a low molecular weight compound having an acryloyl group, an allyl group, or a vinyloxy group, and a substituted or monosubstituted aminosulfonyl group or a substituted sulfonylimino group in a molecule is preferable.
  • m-aminosulfonylphenyl methacrylate, N- (p-aminosulfonylphenyl) methacrylamide, and / or N- (p-aminosulfonylphenyl) acrylamide can be suitably used.
  • alkali water-soluble polymer having an active imide group examples include a polymer having, as a main component, a minimum structural unit derived from a compound having an active imide group.
  • examples of such compounds include compounds having at least one active imide group represented by the following structural formula and one or more polymerizable unsaturated groups in the molecule.
  • N- (p-toluenesulfonyl) methacrylamide, N- (p-toluenesulfonyl) acrylamide and the like can be suitably used.
  • alkali water-soluble polymer having a carboxyl group examples include, for example, a polymer having, as a main component, a minimum structural unit derived from a compound having one or more carboxyl groups and a polymerizable unsaturated group in the molecule. Can be mentioned. Specific examples include polymers using unsaturated carboxylic compounds such as acrylic acid, methacrylic acid, maleic anhydride, and itaconic acid.
  • alkaline water-soluble polymer having a sulfo group include, for example, a polymer having, as a main structural unit, a minimum structural unit derived from a compound having one or more sulfo groups and a polymerizable unsaturated group in a molecule. Can be mentioned.
  • alkaline water-soluble polymer having a phosphon group examples include, for example, a polymer having, as a main component, a minimum structural unit derived from a compound having at least one phosphon group and a polymerizable unsaturated group in a molecule. Can be mentioned.
  • the minimum constituent unit having an acidic group, which constitutes the alkaline water-soluble polymer need not be only one kind in particular, and the minimum constituent unit having two or more kinds of the minimum constituent units having the same acidic group or the minimum constituent having different acidic groups Those obtained by copolymerizing two or more types of units can also be used.
  • a conventionally known graft copolymerization method, block copolymerization method, and / or random copolymerization method can be used.
  • the copolymer preferably contains a compound having an acidic group to be copolymerized in an amount of 10 mol% or more, more preferably 20 mol% or more.
  • (M1) Acrylic esters having an aliphatic hydroxyl group, such as 2-hydroxyethyl acrylate or 2-hydroxyethyl methacrylate, and methacrylic esters.
  • (M2) Methyl acrylate, ethyl acrylate, propyl acrylate, butyl acrylate, amyl acrylate, hexyl acrylate, octyl acrylate, benzyl acrylate, 2-chloroethyl acrylate, glycidyl acrylate, and N-dimethyl Alkyl acrylates such as aminoethyl acrylate;
  • (M3) Methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, butyl methacrylate, amyl methacrylate, hexyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, benzyl methacrylate, 2-chloroethyl methacrylate
  • (M5) Vinyl ethers such as ethyl vinyl ether, 2-chloroethyl vinyl ether, hydroxyethyl vinyl ether, propyl vinyl ether, butyl vinyl ether, octyl vinyl ether, and phenyl vinyl ether.
  • (M6) Vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl chloroacetate, vinyl butyrate, and vinyl benzoate.
  • (M7) Styrenes such as styrene, ⁇ -methylstyrene, methylstyrene, and chloromethylstyrene.
  • (M8) Vinyl ketones such as methyl vinyl ketone, ethyl vinyl ketone, propyl vinyl ketone, and phenyl vinyl ketone.
  • (M9) Olefins such as ethylene, propylene, isobutylene, butadiene, and isoprene.
  • (M10) N-vinylpyrrolidone, N-vinylcarbazole, 4-vinylpyridine, acrylonitrile, methacrylonitrile and the like.
  • (M11) Unsaturated imides such as maleimide, N-acryloylacrylamide, N-acetylmethacrylamide, N-propionylmethacrylamide, and N- (p-chlorobenzoyl) methacrylamide.
  • the polymer component has a weight average molecular weight of 1.0 ⁇ 10 3 to 2.0 ⁇ 10 5 and a number average molecular weight of 5.0 ⁇ 10 2 to 1.0 irrespective of a homopolymer or a copolymer. Those in the range of ⁇ 10 5 are preferred. Further, those having a polydispersity (weight average molecular weight / number average molecular weight) of 1.1 to 10 are preferred.
  • the main constituent and / or the side chain the minimum constituent unit derived from the compound having an acidic group, and part of the main chain and / or the side chain
  • the compounding weight ratio of the other minimum structural unit not containing an acidic group is preferably in the range of 50:50 to 5:95, and more preferably in the range of 40:60 to 10:90.
  • the polymer component may be used alone or in combination of two or more.
  • the polymer component may be used in an amount of 30 to 99% by mass based on the total solids contained in the composition. It is preferably used, more preferably in the range of 40 to 95% by mass, and particularly preferably in the range of 50 to 90% by mass.
  • the specific gravity of the metal particles is larger than the specific gravity of the polymer component with respect to the above-described metal particles and the polymer component because the formation of the through hole is facilitated in the through-hole forming step B described later.
  • the specific gravity of the metal particles is more preferably 1.5 or more
  • the specific gravity of the polymer component is more preferably 0.9 or more and less than 1.5.
  • the above composition may be a nonionic surfactant such as described in JP-A-62-251740 and / or JP-A-3-208514; And / or an amphoteric surfactant as described in JP-A-4-13149 can be added.
  • nonionic surfactant examples include sorbitan tristearate, sorbitan monopalmitate, sorbitan triolate, monoglyceride stearate, and / or polyoxyethylene nonyl phenyl ether.
  • amphoteric surfactant examples include alkyldi (aminoethyl) glycine, alkylpolyaminoethylglycine hydrochloride, 2-alkyl-N-carboxyethyl-N-hydroxyethylimidazolinium betaine, and / or N-tetradecyl- N, N-betaine type (for example, trade name Amogen K, manufactured by Daiichi Kogyo Co., Ltd.) and the like.
  • the content is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.05 to 5% by mass, based on the total solid content contained in the composition. preferable.
  • solvent A solvent can be added to the composition from the viewpoint of workability when forming the first masking layer and the second masking layer.
  • the solvent specifically, for example, ethylene dichloride, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, methanol, ethanol, propanol, ethylene glycol monomethyl ether, 1-methoxy-2-propanol, 2-methoxyethyl acetate, 1-methoxy-2-propyl Acetate, dimethoxyethane, methyl lactate, ethyl lactate, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, tetramethylurea, N-methylpyrrolidone, dimethylsulfoxide, sulfolane, ⁇ -butyrolactone, toluene, water, etc. These may be used alone or in combination of two or more.
  • the method of forming the first masking layer using the above-described composition is not particularly limited, but a method of forming the first masking layer by applying the composition on a metal foil is preferable.
  • the coating method on the metal foil is not particularly limited, for example, a bar coating method, a slit coating method, an inkjet method, a spray method, a roll coating method, a spin coating method, a casting coating method, a slit and spin method, and a transfer A method such as a method can be used.
  • n the thickness of the first masking layer to be formed
  • r the average particle diameter of the metal particles contained in the composition
  • both units of n and r are ⁇ m
  • the first masking layer formed in the first masking layer forming step is used from the viewpoint of the resistance to the etchant used in the through hole forming step B described later and the workability in the masking layer removing step described later.
  • the thickness of the masking layer is preferably from 0.5 to 4 ⁇ m, and more preferably from 1 ⁇ m to 2 ⁇ m.
  • the average thickness of the first masking layer refers to an average value of the thickness at any five points measured when the section is observed with an electron microscope after cutting using a microtome.
  • the manufacturing method B-1 from the viewpoint of workability in a through-hole forming step B described later, before the through-hole forming step B, the side of the metal foil opposite to the surface on which the first masking layer is formed. It is preferable to have a second masking layer forming step of forming a second masking layer using a composition containing a polymer component on the surface.
  • the polymer component may be the same as the polymer component contained in the composition used in the above-described first masking layer forming step.
  • the second masking layer formed in the optional second masking layer forming step is the same as the above-described first masking layer except that the above-described metal particles are not embedded, and Regarding the forming method, it can be formed by the same method as that of the above-mentioned first masking layer except that the above-mentioned metal particles are not used.
  • the order is not particularly limited as long as it is a step before the through hole forming step B, and may be a step performed before, after, or simultaneously with the above-described first masking layer forming step. Good.
  • the metal foil having the first masking layer is brought into contact with an etchant to dissolve the metal particles and a part of the metal foil.
  • This is a step of forming a through hole in the metal foil, that is, a step of forming a through hole in the metal foil by a so-called chemical etching process.
  • an acid or alkali chemical solution or the like can be appropriately used as long as it is an etchant suitable for the metal species of the metal particles and the metal foil.
  • the acid include hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, hydrofluoric acid, hydrogen peroxide, and acetic acid.
  • the alkali include caustic soda and caustic potash.
  • alkali metal salt examples include alkali metal silicates such as sodium silicate, sodium silicate, potassium metasilicate, and potassium silicate; alkali metal carbonates such as sodium carbonate and potassium carbonate; aluminum Sodium acid and alkali metal aluminates such as potassium aluminate; sodium gluconate and alkali metal aldonates such as potassium gluconate; sodium diphosphate, potassium diphosphate, sodium tertiary phosphate And alkali metal hydrogen phosphates such as potassium tertiary phosphate.
  • inorganic salts such as iron (III) chloride and copper (II) chloride can also be used. These may be used alone or in combination of two or more.
  • the process of forming the through hole is performed by bringing the metal foil having the first masking layer into contact with the above-described etchant.
  • the method of contact is not particularly limited, and examples thereof include a dipping method and a spray method. Above all, the immersion method is preferable.
  • the immersion time is preferably 15 seconds to 10 minutes, more preferably 1 minute to 6 minutes.
  • the liquid temperature of the etchant at the time of immersion is preferably from 25 to 70 ° C., and more preferably from 30 to 60 ° C.
  • the masking layer removing step of the manufacturing method B-1 is a step of removing the first masking layer (and the second masking layer, hereinafter also collectively referred to as a masking layer) after the above-described through-hole forming step B.
  • the method of removing the masking layer is not particularly limited, but when the above-mentioned alkaline water-soluble polymer is used as the polymer component, a method of dissolving and removing the masking layer using an alkaline aqueous solution is preferable.
  • alkaline aqueous solution examples include inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, and aqueous ammonia; ethylamine and n-propylamine; Secondary amines such as diethylamine and di-n-butylamine; tertiary amines such as triethylamine and methyldiethylamine; alcohol amines such as dimethylethanolamine and triethanolamine; Quaternary ammonium salts such as tetramethylammonium hydroxide and tetraethylammonium hydroxide; cyclic amines such as pyrrole and pyrhelidine; and the like, and these may be used alone, or two or more kinds may be used. May be used in combination.
  • an alcohol and a surfactant may be added to the alkaline aqueous solution in an appropriate amount and used
  • the treatment for removing the masking layer is performed, for example, by bringing the metal foil having the masking layer after the through-hole forming step B into contact with the above-described alkaline aqueous solution.
  • the method of contact is not particularly limited, and examples thereof include a dipping method and a spray method. Above all, the immersion method is preferable.
  • the time of the immersion treatment is preferably from 5 seconds to 5 minutes, more preferably from 10 seconds to 2 minutes.
  • the temperature of the alkaline aqueous solution at the time of immersion is preferably 25 to 60 ° C, more preferably 30 to 50 ° C.
  • Manufacturing method B-1 preferably includes a step of performing an anticorrosion treatment.
  • the timing of performing the anticorrosion treatment is not particularly limited.
  • the anticorrosion treatment may be performed on the metal foil used in the first masking layer forming step. May be added, or may be applied after the masking layer removing step.
  • the anticorrosion treatment includes, for example, a treatment in which a metal foil is immersed in a solution having a pH of 5 to 8.5 in which at least a triazole is dissolved in a solvent to form an organic dielectric film.
  • triazole examples include benzotriazole (BTA) and tolyltriazole (TTA).
  • BTA benzotriazole
  • TTA tolyltriazole
  • various organic rust preventives, thiazoles, imidazoles, mercaptans, and / or toluethanolamine can be used.
  • the solvent used for the anticorrosion treatment water or an organic solvent (particularly, alcohols) can be used as appropriate, but the uniformity of the formed organic dielectric film and the thickness control during mass production can be easily performed, and the method is simple. Further, in consideration of the influence on the environment, it is preferable that the water is mainly deionized water.
  • the dissolution concentration of the triazole is appropriately determined depending on the thickness of the organic dielectric film to be formed and the processable time, but is usually about 0.005 to 1% by weight. Further, the temperature of the solution may be room temperature, but it may be heated if necessary.
  • the immersion time of the metal foil in the solution is appropriately determined depending on the dissolution concentration of the triazoles and the thickness of the organic dielectric film to be formed, but is usually about 0.5 to 30 seconds.
  • a metal foil is immersed in an aqueous solution obtained by dissolving at least one selected from the group consisting of chromium trioxide, chromate and dichromate in water.
  • a method of forming an inorganic dielectric film mainly composed of a hydrated oxide may be used.
  • the chromate for example, potassium chromate or sodium chromate is preferable
  • the dichromate for example, potassium dichromate or sodium bichromate is preferable.
  • the dissolution concentration is usually set to 0.1 to 10% by mass, and the solution temperature may be from room temperature to about 60 ° C.
  • the pH value of the aqueous solution is not particularly limited from the acidic region to the alkaline region, but is usually set to 1 to 12.
  • the immersion time of the metal foil is appropriately selected depending on the thickness of the inorganic dielectric film to be formed.
  • the manufacturing method B of the metal foil is not limited to the above-described method.
  • a through-hole forming step B is performed after the first masking layer forming step, so that a part of the metal particles and the metal foil is brought into contact with the etchant and melted to form a through-hole in the metal foil.
  • the present invention is not limited to this.
  • the particles are removed after the first masking layer forming step (FIG. 22) or further after the second masking layer forming step (FIG. 23) and before the through hole forming step.
  • a through-hole forming step B FIGGS.
  • a masking layer removing step (FIGS. 25 and 26) is performed (hereinafter referred to as a manufacturing method B-). 2).
  • the particles contained in the first masking layer are not limited to metal particles, and inorganic fillers, inorganic-organic composite fillers, and the like can be used.
  • the first masking layer 8 having the concave portions 12 formed in the portions where the particles 9 are embedded is obtained, and the subsequent through-hole forming step B , The through-hole 5 is formed starting from the concave portion 12 of the first masking layer 8.
  • the through hole 5 is formed starting from the concave portion 12 of the first masking layer 8, at the deepest portion of the concave portion 12, the extremely thin first masking layer 8 remains or the metal foil 1 is exposed. It is conceivable that the etchant invades the recess 12 preferentially over other portions because of the presence of the portion, and the through-hole 5 is formed in the metal foil 1.
  • Examples of the inorganic filler contained in the first masking layer include metals and metal compounds.
  • Examples of the metal compound include oxides, composite oxides, hydroxides, carbonates, sulfates, silicates, and phosphorus. Examples include acid salts, nitrides, carbides, sulfides, and composites of at least two or more of these.
  • the organic-organic composite filler examples include a composite in which the surface of a particle such as a synthetic resin particle or a natural polymer particle is coated with the above-mentioned inorganic filler.
  • synthetic resin particles specifically, for example, acrylic resin, polyethylene, polypropylene, polyethylene oxide, polypropylene oxide, polyethylene imine, polystyrene, polyurethane, polyurea, polyester, polyamide, polyimide, carboxymethyl cellulose, gelatin, starch, Resin particles such as chitin and chitosan; Among these, resin particles of acrylic resin, polyethylene, polypropylene, and polystyrene are preferable.
  • the method for removing the particles is not particularly limited.
  • the first masking layer in which a part of each of the particles is embedded is the first masking of the particles.
  • Particles can be removed by applying an external force to a portion that is not embedded in the layer using a sponge, a brush, or the like.
  • the method of removing particles is performed by changing the shape of the first masking layer without changing the shape of the first masking layer.
  • the method of removing particles by rubbing the surface of the substrate while immersed in a solvent is preferable.
  • the surface of the first masking layer in which at least a part of each of the particles is embedded means that when a part of each particle is embedded in the first masking layer as shown in FIG. It refers to the surface of each particle and the first masking layer. When all of the particles are embedded in the first masking layer, it refers to the surface of the first masking layer.
  • the solvent is not particularly limited as long as the solvent dissolves the first masking layer.
  • a solvent similar to the solvent described as an optional component of the composition used in the first masking layer forming step may be used. it can.
  • the method of rubbing the surface of the first masking layer is not particularly limited, and examples thereof include a method of rubbing with a sponge or a brush (for example, a wire brush or a nylon brush roll).
  • a method for forming a through-hole in the metal foil includes contacting the metal foil with an etchant to remove an intermetallic compound (precipitate or crystallized substance) in the metal foil.
  • an etchant to remove an intermetallic compound (precipitate or crystallized substance) in the metal foil.
  • conditions may be determined in advance for each material, and conditions such as an etchant condition and an etching time may be adjusted. In this case, the masking layer can be made unnecessary.
  • the processing in each step may be performed in a so-called single-wafer method using a cut sheet-shaped metal foil, or a long metal foil may be transported in a longitudinal direction along a predetermined transport path.
  • a process using a so-called Roll to Roll (hereinafter, also referred to as “RtoR”) that performs the process of each step while performing the process may be performed.
  • RtoR in the present invention means that the metal foil is sent out from a roll formed by winding a long metal foil, and is conveyed in the longitudinal direction, and the above-described steps are continuously performed by each processing device arranged on the conveyance path. This is a manufacturing method in which the processed metal foil is sequentially and sequentially wound into a roll.
  • Example 1 ⁇ Preparation of metal foil with through hole>
  • an aluminum foil JIS H-4160, alloy number: 1N30-H, aluminum purity: 99.30%) having an average thickness of 20 ⁇ m and a size of 200 mm ⁇ 300 mm was used. The following processing was performed on the aluminum foil to form a through-hole.
  • A1 Aluminum hydroxide film formation treatment (film formation step) An aluminum hydroxide film was formed on the surface of the aluminum foil using an electrolyte kept at 50 ° C. (nitric acid concentration 1%, sulfuric acid concentration 0.2%, aluminum concentration 0.5%) using the aluminum foil as a cathode.
  • the electrolytic treatment was performed with a DC power supply.
  • the direct current density was 15 A / dm 2 and applied for 30 seconds. After the aluminum hydroxide film was formed, washing with water was performed by spraying.
  • Electrolytic dissolution treatment (through hole forming step A) Next, using an electrolytic solution (nitrate concentration: 1%, sulfuric acid concentration: 0.2%, aluminum concentration: 0.5%) kept at 50 ° C., the current density was set to 22 A / dm 2 using the aluminum foil as the anode and the electric current. The electrolytic treatment was performed under the condition that the total amount was 1000 C / dm 2 , and through holes were formed in the aluminum foil and the aluminum hydroxide film. The electrolytic treatment was performed with a DC power supply. After the formation of the through holes, the substrates were washed with water by spraying and dried.
  • ⁇ Formation of protective layer> After preparing the protective layer reaction product, the mixture was stirred for 60 minutes, and methanol was added to obtain a protective layer composition 1.
  • the protective layer composition 1 was applied to one surface of the aluminum foil prepared above and dried at 120 ° C. for 10 minutes to form a protective layer having a thickness of about 1 ⁇ m.
  • Protective layer composition 1 ⁇ ⁇ 50.0 parts by mass of tetraethyl silicate ⁇ 10.8 parts by mass of methanol ⁇ 86.4 parts by mass of water ⁇ 0.08 parts by mass of phosphoric acid (85%) ⁇ ⁇
  • a protective layer was formed on a transparent support using this protective layer composition 1, and the light transmittance was measured to be 90%.
  • Example 2 ⁇ Preparation of metal foil with through hole>
  • a copper foil JIS C 1100-H, electrolytic copper foil having an average thickness of 10 ⁇ m and a size of 200 mm ⁇ 300 mm was used. The following processing was performed on the copper foil to form through holes.
  • a masking layer forming composition 1 prepared in the following composition was applied on one surface of the copper foil and dried to form a first masking layer A1 having a thickness of about 1 ⁇ m.
  • a composition prepared in the same ratio as the below-described composition 1 for forming a masking layer except for removing copper particles was applied and dried, and a second layer having a thickness of about 1 ⁇ m was formed.
  • the masking layer B1 was formed.
  • a protective layer was formed on one surface of the produced metal foil (copper foil) in the same manner as in Example 1 above.
  • Example 3 (C1) The thickness of the metal foil is set to 10 ⁇ m, and (b1) in the electrolytic dissolution treatment (through hole forming step A), the current density during the electrolytic treatment is set to 35 A / dm 2 , the total amount of electricity is set to 380 C / dm 2, and (c1) In the removal treatment of the aluminum hydroxide film (film removal step), the concentration of sodium hydroxide in the aqueous solution was set to 35% by mass, and a resin layer was formed on the surface of the metal foil opposite to the surface on which the protective layer was formed by the following method. A laminate was produced in the same manner as in Example 1 except that was formed.
  • PET having a thickness of 100 ⁇ m was laminated as a resin layer on the surface of the aluminum foil having the through-holes, on which the protective layer was not formed, by the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2013-121673.
  • the thickness of the resin layer was 100 ⁇ m.
  • the thickness of the resin layer after lamination was 100 ⁇ m.
  • Example 4 A laminate was produced in the same manner as in Example 3, except that a protective layer was formed using the following protective layer composition 2.
  • Protective layer composition 2 ⁇ ⁇ 30.0 parts by mass of tetraethyl silicate ⁇ 20.0 parts by mass of titanium oxide PT501-A (manufactured by Ishihara Sangyo) ⁇ 10.8 parts by mass of methanol ⁇ 86.4 parts by mass of water ⁇ 0.08 parts by mass of phosphoric acid (85%) ⁇
  • a protective layer was formed on a transparent support using this protective layer composition 2, and the light transmittance was measured. As a result, it was 50%.
  • Example 5 A laminate was produced in the same manner as in Example 3 except that the thickness of the protective layer was changed to 10 ⁇ m. The light transmittance of the protective layer was measured and found to be 80%.
  • Example 6 A laminate was prepared in the same manner as in Example 3, except that a protective layer was formed using the following protective layer composition 3.
  • Protective layer composition 3 ⁇ ⁇ 20.0 parts by mass of tetraethyl silicate ⁇ 30.0 parts by mass of titanium oxide PT501-A (manufactured by Ishihara Sangyo) ⁇ 10.8 parts by mass of methanol ⁇ 86.4 parts by mass of water ⁇ 0.08 parts by mass of phosphoric acid (85%) ⁇
  • a protective layer was formed on a transparent support using this protective layer composition 3, and the light transmittance was measured to be 30%.
  • Example 7 A laminate was produced in the same manner as in Example 3, except that a protective layer composed of the following protective layer composition 4 was formed.
  • Protective layer composition 4 ⁇ ⁇ 50.0 parts by mass of tetranormal butyl titanate (TA-21 manufactured by Matsumoto Fine Chemical Co., Ltd.) ⁇ 86.4 parts by mass of 2-propanol ⁇ 10.8 parts by mass of water ⁇ 0.08 parts by mass of phosphoric acid (85%) ⁇
  • a protective layer was formed on a transparent support using this protective layer composition 4, and the light transmittance was measured to be 90%.
  • Example 1 A metal foil (aluminum foil) was produced in the same manner as in Example 3 except that the protective layer was not formed.
  • Example 2 A laminate was produced in the same manner as in Example 3, except that a protective layer comprising the following protective layer composition 5 containing no metal oxide was formed as the protective layer.
  • Comparative Example 3 A laminate was produced in the same manner as in Comparative Example 2 except that the thickness of the protective layer was changed to 10 ⁇ m.
  • the light transmittance of the laminate in a wavelength range of 200 nm to 900 nm was measured.
  • the light transmittance was measured using NDH4000 manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd. in accordance with JIS K7361.
  • ⁇ Metal luster> The appearance of the surface of the laminate on the side where the protective layer was formed (the surface of the metal foil in Comparative Example 1) was visually evaluated. A was evaluated as A when it was not different from the original metal, B when slight turbidity was observed, C as a case where the color was slightly discolored and the metal gloss was slightly reduced, and D as a case where shininess occurred and the metal gloss was not observed. .
  • ⁇ Scratch resistance> A pencil hardness test was performed on the surface of the laminate on the side where the protective layer was formed in accordance with JIS K 5600-5-4, and the hardness immediately before the scratch was visually observed was examined.
  • ⁇ Weather resistance> An accelerated weathering test (2000 hours) was performed on the laminates of the respective examples and comparative examples in accordance with JIS K 7350-4, and thereafter, the light transmittance was measured, and the ratio to the light transmittance before the test was determined.
  • A was evaluated when the ratio to the light transmittance before the test was 90% or more, B when less than 90% to 80% or more, and C when less than 80%.
  • the surface appearance (metallic luster) of the laminated body after the test on the side where the protective layer was formed was visually evaluated according to the same criteria as described above.
  • the embodiment of the present invention in which a protective layer containing a metal oxide is provided on the surface of a metal foil can achieve both light transmittance and metallic luster, as well as scratch resistance and weather resistance, as compared with the comparative example. It is understood that the property and the solvent resistance are high.
  • the light transmittance of the protective layer is preferably 50% or more, more preferably 90% or more. Also, from the comparison between Example 3 and Example 5, it is understood that the thickness of the protective layer is preferably 10 ⁇ m or less.
  • metal foil (aluminum foil) 2 Aluminum hydroxide coating 3 Metal foil with through holes (aluminum foil with through holes) 4 Aluminum hydroxide film having through-holes 5 Through-hole 6 Resin layer 7 Protective layer 8 First masking layer 9 Particles (metal particles) 10a to 10c laminated body 11 second masking layer 12 recess

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Abstract

耐傷性、耐候性、耐溶剤性が高く、かつ、光透過性と金属光沢を両立できる積層体を提供することを課題とする。厚み方向に貫通する複数の貫通孔を有する金属箔と、金属箔の少なくとも一方の表面に設けられる保護層と、を有し、保護層は、金属酸化物を含有し、金属箔は、貫通孔の平均開口径が0.1μm~100μmであり、貫通孔による平均開口率が0.1~90%であり、保護層の光透過率が10%以上である。

Description

積層体
 本発明は、金属箔と保護層との積層体に関する。
 従来から、樹脂成形品の表面に金属を蒸着して金属光沢を付与し、メタリック調にしたり、ハーフミラー調にしたりすることで樹脂成形品の装飾性を高めることが知られている。しかしながら、金属は光を透過しないため、金属を蒸着して金属光沢を付与した場合には、光透過性が得られない。
 これに対して、金属箔に複数の微細な貫通孔を付与することによって、メタリック調で光透過性を有するという新たな意匠を付与することが可能な複合体が提案されている。
 例えば、特許文献1には、厚み方向に複数の貫通孔を有するアルミニウム基材と、アルミニウム基材の少なくとも一方の表面に設けられる樹脂層とを有し、貫通孔の平均開口径が0.1~100μmであり、貫通孔による平均開口率が1~50%である金属調装飾体成型用複合体が開示されている。
国際公開第2017/150099号
 しかしながら、屋外等で使用する場合には、金属が剥き出しになっていると、耐傷性、耐候性、耐溶剤性等が問題になる。特許文献1に記載の複合体では、アルミニウム基材の表面に樹脂層を設けることでアルミニウム基材を保護しているが、金属箔の表面に樹脂層を設けると質感が変化して金属光沢が損なわれてしまうおそれがある。樹脂層の厚みを薄くすれば金属光沢を得られるが、耐傷性、耐候性、耐溶剤性等が低下するおそれがあった。
 そこで、本発明は、耐傷性、耐候性、耐溶剤性が高く、かつ、光透過性と金属光沢を両立できる積層体を提供することを課題とする。
 本発明は、以下の構成によって課題を解決する。
 [1] 厚み方向に貫通する複数の貫通孔を有する金属箔と、
 金属箔の少なくとも一方の表面に設けられる保護層と、を有し、
 保護層は、金属酸化物を含有し、
 金属箔は、貫通孔の平均開口径が0.1μm~100μmであり、貫通孔による平均開口率が0.1%~90%であり、
 保護層の光透過率が10%以上である積層体。
 [2] 保護層は金属箔の一方の表面に設けられており、
 金属箔の、保護層が設けられた表面とは反対側の表面に設けられる樹脂層を有する[1]に記載の積層体。
 [3] 保護層中における金属酸化物の含有量が、保護層の全質量に対して60質量%以上である[1]または[2]に記載の積層体。
 [4] 保護層は、ゾルゲル法により形成されたものである[1]~[3]のいずれかに記載の積層体。
 [5] 保護層の平均厚みが0.01μm~10μmである[1]~[4]のいずれかに記載の積層体。
 [6] 金属箔の平均厚みが5μm~1000μmである[1]~[5]のいずれかに記載の積層体。
 [7] 金属箔は、アルミニウム箔、銅箔、銀箔、金箔、白金箔、ステンレス箔、チタン箔、タンタル箔、モリブデン箔、ニオブ箔、ジルコニウム箔、タングステン箔、ベリリウム銅箔、燐青銅箔、黄銅箔、洋白箔、錫箔、鉛箔、亜鉛箔、半田箔、鉄箔、ニッケル箔、パーマロイ箔、ニクロム箔、42アロイ箔、コバール箔、モネル箔、インコネル箔、および、ハステロイ箔からなる群から選択される箔であり、または、この群から選択される箔と、選択された箔とは異なる種類の金属とが積層されてなる箔である[1]~[6]のいずれかに記載の積層体。
 以下に説明するように、本発明によれば、耐傷性、耐候性、耐溶剤性が高く、かつ、光透過性と金属光沢を両立できる積層体を提供することができる。
本発明の積層体の一例を示す模式的な上面図である。 図1のB-B線断面図である。 本発明の積層体の他の一例を示す模式的な断面図である。 本発明の積層体の他の一例を示す模式的な断面図である。 本発明の積層体に用いられる貫通孔を有する金属箔の作製方法の好適な一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の好適な一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の好適な一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の好適な一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。 金属箔の作製方法の他の一例を説明するための模式的な断面図である。
 以下、本発明について詳細に説明する。
 以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。
 なお、本明細書において、「~」を用いて表される数値範囲は、「~」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
[積層体]
 本発明の積層体は、
 厚み方向に貫通する複数の貫通孔を有する金属箔と、
 金属箔の少なくとも一方の表面に設けられる保護層と、を有し、
 保護層は、金属酸化物を含有し、
 金属箔は、貫通孔の平均開口径が0.1μm~100μmであり、貫通孔による平均開口率が0.1~90%であり、
 保護層の光透過率が10%以上である積層体である。
 本発明の積層体の構成について、図1および図2を用いて説明する。
 図1は、本発明の積層体の一例を模式的に示す正面図である。図2は、図1のB-B線断面図である。
 図1および図2に示す積層体10aは、厚み方向に貫通する貫通孔5を複数有する金属箔3と、金属箔3の両面に設けられる2つの保護層7とを有する。
 本発明において、金属箔3が有する複数の貫通孔5の平均開口径は0.1μm~100μmであり、貫通孔5による平均開口率は、0.1%~90%である。
 また、本発明において、保護層7は、金属酸化物を含有しており、光透過率が10%以上である。
 本発明の積層体は、貫通孔の平均開口径および平均開口率が上述した範囲内にある金属箔と、金属箔の少なくとも一方の表面に設けられる保護層とを有することにより、外観(金属光沢)および光透過性のいずれにも優れ、かつ、耐傷性、耐候性、耐溶剤性を高くすることができる。
 これは、詳細には明らかではないが、本発明者らは以下のように推測している。
 すなわち、金属箔に存在する貫通孔の平均開口径および平均開口率が上述した範囲内であることにより、貫通孔の存在を目視で確認することが難しくなる一方で、可視光は貫通孔を透過できるため、金属光沢などの外観は損なわずに光を透過させることができたと考えられる。
 また、金属酸化物を含有する保護層を有することにより、金属箔が剥き出しになるのを防止して金属箔に傷がついたり、溶剤等が付着することを防止することができるので、耐傷性、耐候性、耐溶剤性を高くすることができる。また、保護層が金属酸化物を含有するので、保護層の厚みを薄くしても耐傷性、耐候性、耐溶剤性を得られるため、金属箔の表面に保護層を設けても質感の変化が小さくすることができ、十分な金属光沢が得られる。
 また、保護層の光透過率を10%以上とすることで保護層も光を透過させることができ、積層体として光透過性を確保することができる。
 ここで、図2に示す積層体10aは、貫通孔5の孔壁面が金属箔3の表面に対して垂直な表面を有しているが、本発明においては、貫通孔5の孔壁面が凹凸形状を有していてもよい。
 また、図2に示す積層体10aは、金属箔3の両面に保護層7を有しているが、これに限定はされず、図3に示す積層体10bのように、金属箔3の一方の表面に保護層7を有する構成であってもよく、あるいは、図4に示す積層体10cのように、金属箔3の一方の表面に保護層7を有し、他方の表面に樹脂層6を有する構成であってもよい。
 なお、以下の説明において積層体10a~10cを区別する必要がない場合はまとめて積層体10とする。
 〔金属箔〕
 金属箔3は複数の貫通孔5を有し、金属および/または金属化合物から構成される箔である。
 金属箔3が有する貫通孔5の平均開口径は、0.1μm~100μmである。
 また、貫通孔5による平均開口率は、0.1%~90%である。
 ここで、貫通孔の平均開口径は、引張強度、光透過性などの観点から、1μm~45μmであることが好ましく、1μm~40μmであることがより好ましく、1~30μmであることが更に好ましい。
 また、貫通孔による平均開口率は、引張強度、光透過性などの観点から、2~45%であることが好ましく、2~30%であることがより好ましく、2~20%であることが更に好ましい。
 ここで、貫通孔の平均開口径は、高分解能走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope(SEM))を用いて金属箔の表面を真上から倍率100~10000倍で撮影し、得られたSEM写真において、周囲が環状に連なっている貫通孔を少なくとも20個抽出し、その直径を読み取って開口径とし、これらの平均値を平均開口径として算出する。
 なお、倍率は、貫通孔を20個以上抽出できるSEM写真が得られるように上述した範囲の倍率を適宜選択することができる。また、開口径は、貫通孔部分の端部間の距離の最大値を測定する。すなわち、貫通孔の開口部の形状は略円形状に限定はされないので、開口部の形状が非円形状の場合には、貫通孔部分の端部間の距離の最大値を開口径とする。従って、例えば、2以上の貫通孔が一体化したような形状の貫通孔の場合にも、これを1つの貫通孔とみなし、貫通孔部分の端部間の距離の最大値を開口径とする。
 また、貫通孔による平均開口率は、金属箔の一方の面側に平行光光学ユニットを設置し、平行光を透過させて、金属箔の他方の面から、光学顕微鏡を用いて金属箔の表面を倍率100倍で撮影し、写真を取得する。得られた写真の10cm×10cmの範囲における100mm×75mmの視野(5箇所)について、透過した平行光によって投影される貫通孔の開口面積の合計と視野の面積(幾何学的面積)とから、比率(開口面積/幾何学的面積)を算出し、各視野(5箇所)における平均値を平均開口率として算出する。
 金属箔の材料は特に限定はない。貫通孔を容易に形成可能な金属および/または金属化合物から構成される箔であることが好ましく、金属から構成される箔がより好ましい。また、後述する貫通孔形成工程Bで用いるエッチャントに対して溶解する金属原子を含む金属箔であることも好ましい。
 金属箔としては、具体的には、アルミニウム箔、銅箔、銀箔、金箔、白金箔、ステンレス箔、チタン箔、タンタル箔、モリブデン箔、ニオブ箔、ジルコニウム箔、タングステン箔、ベリリウム銅箔、燐青銅箔、黄銅箔、洋白箔、錫箔、鉛箔、亜鉛箔、半田箔、鉄箔、ニッケル箔、パーマロイ箔、ニクロム箔、42アロイ箔、コバール箔、モネル箔、インコネル箔、および、ハステロイ箔などが挙げられる。
 また、金属箔は上記種類の金属を含む異なる2種以上の金属が積層されたものであってもよい。
 金属箔の積層手法は特に限定されないが、メッキまたはクラッド材であることが好ましい。メッキに用いる金属はエッチャントに対して溶解する金属原子を含む金属であるのが好ましく、金属であることが好ましい。メッキ種としては、例えば、ニッケル、クロム、コバルト、鉄、亜鉛、錫、銅、銀、金、白金、パラジウム、および、アルミニウム、などが挙げられる。
 メッキの手法は特に問わず、無電解メッキ、電解メッキ、溶融メッキ、および、化成処理、などがいずれも用いられる。
 また、上記金属箔に対してクラッド材を形成するのに用いる金属はエッチャントに対して溶解する金属原子を含む金属であるのが好ましく、金属であることが好ましい。金属種としては、例えば、上記金属箔に用いられる金属が挙げられる。
 入手性、貫通孔の形成が容易である等の点から、金属箔の材料は、アルミニウム、銅、ステンレス、および、ニッケルからなる群から選択される少なくとも1つを含むことが好ましく、アルミニウムであることがより好ましい。
 金属箔の平均厚みは、5μm~1000μmであることが好ましい。ハンドリング性の観点から金属箔の平均厚みは、5μm~50μmであることがより好ましく、8μm~30μmであることが更に好ましい。
 ここで、金属箔の平均厚みは、接触式膜厚測定計(デジタル電子マイクロメータ)を用いて、任意の5点を測定した厚みの平均値をいう。
 <アルミニウム箔>
 金属箔としてアルミニウム箔を用いる場合のアルミニウムとしては特に限定されず、例えば、1000系、3000系(例えば、3003材など)、5000系、7000系、8000系(例えば、8021材など)等の公知のアルミニウム合金を用いることができる。
 このようなアルミニウム合金としては、例えば、下記第1表に示す合金番号のアルミニウム合金を用いることができる。
 中でも、1N30、1100、1050、1085材などの1000系の材料、あるいは、これらの材料にMg、Mn、Zn等を微量添加した材料等は安価に入手できるために好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 〔保護層〕
 保護層7は、金属箔3の少なくとも一方に設けられ、金属箔3を保護するための層である。
 保護層7は、金属酸化物を含有している。
 また、保護層7の光透過率は10%以上である。
 保護層の光透過率は、金属光沢の維持、光透過性等の観点から、50%以上であることが好ましく、90%以上であることがより好ましい。
 ここで、保護層の光透過率は、可視光領域を含む、200nm~900nmの波長域における光透過率であり、保護層のサンプルを透明な支持体上に形成して、日本電色工業株式会社製のNDH4000またはSH-7000等の市販の測定装置を用いて、JIS K 7361に準拠して測定すればよい。また、保護層が形成される前の金属箔の透過率と、保護層と金属箔との積層状態での透過率とを測定して、その比率から保護層単体の透過率を求めることもできる。
 保護層の平均厚みは、金属光沢の維持、光透過性、耐傷性、耐候性、および、耐溶剤性等の観点から、0.1μm~100μmが好ましく、0.5μm~30μmがより好ましく、1μm~10μmがさらに好ましい。
 ここで、保護層の平均厚みは、接触式膜厚測定計(デジタル電子マイクロメータ)を用いて、任意の5点を測定した厚みの平均値をいう。
 保護層における金属酸化物の含有量は限定はないが、耐傷性、耐候性、および、耐溶剤性等の観点から、保護層の全質量に対して、60質量%以上が好ましく、80質量%以上がより好ましく、90質量%以上がさらに好ましい。
 保護層に用いられる金属酸化物としてはシリカ(酸化珪素)、酸化チタン、酸化ホウ素、酸化アルミニウムや酸化ジルコニウム及びそれらの複合体などが挙げられる。本発明で用いられる金属酸化物を含有する保護層は、有機金属化合物あるいは無機金属化合物を水および有機溶媒中で、酸、またはアルカリなどの触媒で加水分解、及び縮重合反応を起こさせたいわゆるゾルゲル反応液を金属箔の表面に塗布、乾燥することにより得られる。ここで用いる有機金属化合物あるいは無機金属化合物としては、例えば、金属アルコキシド、金属アセチルアセトネート、金属酢酸塩、金属シュウ酸塩、金属硝酸塩、金属硫酸塩、金属炭酸塩、金属オキシ塩化物、金属塩化物およびこれらを部分加水分解してオリゴマー化した縮合物が挙げられる。
 なかでも、光透過性、耐傷性、耐候性、耐溶剤性等の観点から、保護層が含有する金属酸化物としては、シリカが好ましい。
 金属アルコキシドはM(OR)の一般式で表される(Mは金属元素、Rはアルキル基、nは金属元素の酸化数を示す)。その例としては、Si(OCH、Si(OC、Si(OC、Si(OC、Al(OCH、Al(OC、Al(OC、Al(OC、B(OCH、B(OC、B(OC、B(OC、Ti(OCH、Ti(OC、Ti(OC、Ti(OC、Zr(OCH、Zr(OC、Zr(OC、Zr(OCなどが用いられる。他にGe、Li、Na、Fe、Ga、Mg、P、Sb、Sn、Ta、Vなどのアルコキシドが挙げられる。さらに、CHSi(OCH、CSi(OCH、CHSi(OC、CSi(OCなどのモノ置換珪素アルコキシドも用いられる。金属アセチルアセトネートの例としては、Al(COCHCOCH、Ti(COCHCOCH、などが挙げられる。金属シュウ酸塩の例としてはKTiO(Cなど、金属硝酸塩の例としてはAl(NO、ZrO(NO・2HOなどがある。金属硫酸塩の例としてはAl(SO、(NH)Al(SO、KAl(SO、NaAl(SO、金属オキシ塩化物の例としてはSiOCl、ZrOCl、塩化物の例としてはAlCl、SiCl、ZrCl、TiClなどがある。
 これらの有機金属化合物あるいは無機金属化合物は単独、または二つ以上のものを組み合わせて用いることができる。これらの有機金属化合物あるいは無機金属化合物のなかでは金属アルコキシドが反応性に富み、金属-酸素の結合からできた重合体を生成しやすく好ましい。それらの内、Si(OCH、Si(OC、Si(OC、Si(OC、などの珪素のアルコキシ化合物が安価で入手し易く、それから得られる金属酸化物を含有する保護層が耐溶剤性に優れており特に好ましい。また、これらの珪素のアルコキシ化合物を部分加水分解して縮合したオリゴマーも好ましい。この例としては、約40重量%のSiOを含有する平均5量体のエチルシリケートオリゴマーが挙げられる。更に、上記の珪素のテトラアルコキシ化合物の一個または二個のアルコキシ基をアルキル基や反応性を持った基で置換したいわゆるシランカップリング剤を併用するのも好ましい例として挙げられる。これに用いられるシランカップリング剤としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、γ(メタクリロキシプロピル)トリメトキシシラン、β-(3,4エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、N-β(アミノエチル)γ-アミノプロピルトリメトキシシラン、N-β(アミノエチル)γ-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ-アミノプロピルトリエトキシシラン、N-フェニル-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン、γ-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ-クロロプロピルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシランおよびメチルトリエトキシシランなどである。
 他方、触媒としては有機、無機の酸およびアルカリが用いられる。その例としては、塩酸、硫酸、亜硫酸、硝酸、亜硝酸、フッ酸、リン酸、亜リン酸などの無機酸、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、グリコール酸、クロロ酢酸、ジクロロ酢酸、トリクロロ酢酸、フロロ酢酸、ブロモ酢酸、メトキシ酢酸、オキサロ酢酸、クエン酸、シュウ酸、コハク酸、リンゴ酸、酒石酸、フマル酸、マレイン酸、マロン酸、アスコルビン酸、安息香酸、3,4-ジメトキシ安息香酸のような置換安息香酸、フェノキシ酢酸、フタル酸、ピクリン酸、ニコチン酸、ピコリン酸、ピラジン、ピラゾール、ジピコリン酸、アジピン酸、p-トルイル酸、テレフタル酸、1,4-シクロヘキセン-2,2-ジカルボン酸、エルカ酸、ラウリン酸、n-ウンデカン酸、アスコルビン酸などの有機酸、アルカリ金属およびアルカリ土類金属の水酸化物、アンモニア、エタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミンなどのアルカリが挙げられる。他にスルホン酸類、スルフィン酸類、アルキル硫酸類、ホスホン酸類、およびリン酸エステル類など、具体的には、p-トルエンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、p-トルエンスルフィン酸、エチル酸、フェニルホスホン酸、フェニルホスフィン酸、リン酸フェニル、リン酸ジフェニルなどの有機酸も使用できる。これらの触媒は単独または二種以上を組み合わせて用いることができる。触媒は原料の金属化合物に対して0.001~10重量%が好ましく、より好ましくは0.05~5重量%の範囲である。触媒量がこの範囲より少ないとゾルゲル反応の開始が遅くなり、この範囲より多いと反応が急速に進み、不均一なゾルゲル粒子ができるためか、得られる保護層は耐溶剤性に劣る。
 ゾルゲル反応を開始させるには更に適量の水が必要であり、その好ましい添加量は原料の金属化合物を完全に加水分解するのに必要な水の量の0.05~50倍モルが好ましく、より好ましくは0.5~30倍モルである。水の量がこの範囲より少ないと加水分解が進みにくく、この範囲より多いと原料が薄められるためか、やはり反応が進みにくくなる。ゾルゲル反応液には更に溶媒が添加される。溶媒は原料の金属化合物を溶解し、反応で生じたゾルゲル粒子を溶解または分散するものであればよく、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなどの低級アルコール類、アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルケトンなどのケトン類が用いられる。また保護層の塗布面質の向上等の目的でエチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコールおよびジプロピレングリコールなどのグリコール類のモノまたはジアルキルエーテルおよび酢酸エステルを用いることができる。これらの溶媒の中で水と混合可能な低級アルコール類が好ましい。ゾルゲル反応液は塗布するのに適した濃度に溶媒で調製されるが、溶媒の全量を最初から反応液に加えると原料が希釈されるためか加水分解反応が進みにくくなる。そこで溶媒の一部をゾルゲル反応液に加え、反応が進んだ時点で残りの溶媒を加える方法が好ましい。
 ゾルゲル反応は金属酸化物原料、水、溶媒および触媒を混合することにより進む。反応の進行はそれらの種類、組成比および反応の温度、時間に依存し、成膜後の膜質にも影響を与える。特に反応温度の影響が大きいので、反応中温度制御することが好ましい。ゾルゲル反応液には上述の必須成分に加えて、ゾルゲル反応を適度に調整するために水酸基、アミノ基や活性水素を分子内に含む化合物を添加してもよい。それらの化合物としてはポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、それらのブロック共重合体、およびそれらのモノアルキルエーテルまたはモノアルキルアリールエーテル、フェノールやクレゾールなどの各種フェノール類、ポリビニルアルコールおよび他のビニルモノマーとの共重合体、リンゴ酸、酒石酸などの水酸基を持つ酸、脂肪族および芳香族アミン、ホルムアミドおよびジメチルホルムアミドなどが挙げられる。更に保護層の皮膜性向上のため有機、無機の高分子化合物、保護層に可とう性を持たせたり、すべり性を調整する目的で可塑剤、界面活性剤、その他の添加物を必要により添加できる。好ましい高分子化合物としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリビニルアセテート、シリコーン樹脂、ポリアミド、ポリウレタン、ポリウレア、ポリイミド、ポリシロキサン、ポリカーボネート、エポキシ樹脂、フェノールノボラック樹脂、フェノール類とアルデヒドまたはケトンとの縮合樹脂、アセタール樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン、アクリル系樹脂およびこれらの共重合樹脂などが挙げられる。これらの高分子化合物の中では具体的には、フェノール、クレゾール、ter-ブチルフェノール、オクチルフェノールなどのノボラック樹脂、ピロガロールとアセトンとの縮合樹脂、p-ヒドロキシスチレンやヒドロキシエチルメタクリレートのホモポリマーやコポリマーなどが好ましく用いられる。
 保護層に添加される好ましい可塑剤としては、例えば、ジメチルフタレート、ジエチルフタレート、ジブチルフタレート、ジイソブチルフタレート、ジオクチルフタレート、オクチルカプリルフタレート、ジシクロヘキシルフタレート、ジトリデシルフタレート、ブチルベンジルフタレート、ジイソデシルフタレート、ジアリルフタレートなどのフタル酸エステル類、ジメチルグリコールフタレート、エチルフタリールエチルグリコレート、メチルフタリールエチルグリコレート、ブチルフタリールブチルグリコレート、トリエチレングリコールジカプリル酸エステルなどのグリコールエステル類、トリクレジールホスフェート、トリフェニルホスフェートなどのリン酸エステル類、ジイソブチルアジペート、ジオクチルアジペート、ジメチルセバケート、ジブチルセバケート、ジオクチルアゼレート、ジブチルマレエートなどの脂肪族二塩基酸エステル類、ポリグリシジルメタクリレート、クエン酸トリエチル、グリセリントリアセチルエステル、ラウリン酸ブチルなどが有効である。可塑剤は保護層がべとつかない範囲で加えられる。
 保護層に添加される界面活性剤の好ましい例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリオキシエチレンポリスチリルフェニルエーテル類、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンアルキルエーテル類、グリセリン脂肪酸部分エステル類、ソルビタン脂肪酸部分エステル類、ペンタエリスリトール脂肪酸部分エステル類、プロピレングリコールモノ脂肪酸エステル類、しょ糖脂肪酸部分エステル類、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸部分エステル類、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸部分エステル類、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル類、ポリグリセリン脂肪酸部分エステル類、ポリオキシエチレン化ひまし油類、ポリオキシエチレングリセリン脂肪酸部分エステル類、脂肪酸ジエタノールアミド類、N,N-ビス-2-ヒドロキシアルキルアミン類、ポリオキシエチレンアルキルアミン、トリエタノールアミン脂肪酸エステル、トリアルキルアミンオキシドなどの非イオン性界面活性剤、脂肪酸塩類、アビエチン酸塩類、ヒドロキシアルカンスルホン酸塩類、アルカンスルホン酸塩類、ジアルキルスルホ琥珀酸エステル塩類、直鎖アルキルベンゼンスルホン酸塩類、分岐鎖アルキルベンゼンスルホン酸塩類、アルキルナフタレンスルホン酸塩類、アルキルフェノキシポリオキシエチレンプロピルスルホン酸塩類、
 ポリオキシエチレンアルキルスルホフェニルエーテル塩類、N-メチル-N-オレイルタウリンナトリウム塩、N-アルキルスルホ琥珀酸モノアミド二ナトリウム塩、石油スルホン酸塩類、硫酸化牛脂油、脂肪酸アルキルエステルの硫酸エステル塩類、アルキル硫酸エステル塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸エステル塩類、脂肪酸モノグリセリド硫酸エステル塩類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル硫酸エステル塩類、ポリオキシエチレンスチリルフェニルエーテル硫酸エステル塩類、アルキルリン酸エステル塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル塩類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルリン酸エステル塩類、スチレン/無水マレイン酸共重合物の部分鹸化物類、オレフィン/無水マレイン酸共重合物の部分鹸化物類、ナフタレンスルホン酸塩ホルマリン縮合物類などのアニオン界面活性剤、アルキルアミン塩類、第四級アンモニウム塩類、ポリオキシエチレンアルキルアミン塩類、ポリエチレンポリアミン誘導体などのカチオン性界面活性剤、カルボキシベタイン類、アミノカルボン酸類、スルホベタイン類、アミノ硫酸エステル類、イミタゾリン類などの両性界面活性剤が挙げられる。以上挙げた界面活性剤の中でポリオキシエチレンとあるものは、ポリオキシメチレン、ポリオキシプロピレン、ポリオキシブチレンなどのポリオキシアルキレンに読み替えることもでき、それらの界面活性剤もまた包含される。
 更に好ましい界面活性剤は分子内にパーフルオロアルキル基を含有するフッ素系の界面活性剤である。かかるフッ素系界面活性剤としては、パーフルオロアルキルカルボン酸塩、パーフルオロアルキルスルホン酸塩、パーフルオロアルキルリン酸エステルなどのアニオン型、パーフルオロアルキルベタインなどの両性型、パーフルオロアルキルトリメチルアンモニウム塩などのカチオン型およびパーフルオロアルキルアミンオキサイド、パーフルオロアルキルエチレンオキシド付加物、パーフルオロアルキル基および親水性基含有オリゴマー、パーフルオロアルキル基および親油性基含有オリゴマー、パーフルオロアルキル基、親水性基および親油性基含有オリゴマー、パーフルオロアルキル基および親油性基含有ウレタンなどの非イオン型が挙げられる。上記の界面活性剤は、単独もしくは2種以上を組み合わせて使用することができ、保護層中に0.001~10重量%、より好ましくは0.01~5重量%の範囲で添加される。
 〔樹脂層〕
 本発明の積層体が有していてもよい樹脂層は、透明性を有する樹脂材料で形成された層であれば特に限定されず、樹脂材料としては、例えば、ポリエステル、ポリオレフィンなどが挙げられる。
 ポリエステルとしては、具体的には、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレートなどが挙げられる。
 その他の樹脂材料としては、具体的には、例えば、ポリアミド、ポリエーテル、ポリスチレン、ポリエステルアミド、ポリカーボネート、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエステル、ポリ塩化ビニル、ポリアクリル酸エステル、ポリメタクリル酸エステルなどが挙げられる。
 ここで、「樹脂層が透明性を有する」とは、可視光の透過率が60%以上であることを示し、好ましくは80%以上であり、特に好ましくは90%以上である。
 上記樹脂層の平均厚みは、ハンドリング性、加工性等の観点から、12~200μmであることが好ましく、12~100μmであることがより好ましく、25~100μmであることが更に好ましく、50~100μmであるのが特に好ましい。
 ここで、樹脂層の平均厚みは、接触式膜厚測定計(デジタル電子マイクロメータ)を用いて、任意の5点を測定した厚みの平均値をいう。
[積層体の製造方法]
 本発明の積層体は、複数の貫通孔を有する金属箔を作製し、金属箔の表面に保護層を設けることで作製することができる。
<<保護層の形成方法>>
 保護層を形成する方法は前述のとおり、有機金属化合物あるいは無機金属化合物を水および有機溶媒中で、酸、またはアルカリなどの触媒で加水分解、及び縮重合反応を起こさせたいわゆるゾルゲル反応液を貫通孔を有する金属箔の表面に塗布、乾燥する方法が挙げられる。
<<貫通孔を有する金属箔の作製方法>>
 次に、貫通孔を有する金属箔を作製する方法について説明する。
 金属箔としてアルミニウム箔を用いる場合には、例えば、アルミニウム箔の少なくとも一方の表面に水酸化アルミニウム皮膜を形成する皮膜形成工程と、皮膜形成工程の後に、貫通孔形成処理を行って貫通孔を形成する貫通孔形成工程Aと、貫通孔形成工程Aの後に、水酸化アルミニウム皮膜を除去する皮膜除去工程と、を有する方法(以下、「作製方法A-1」ともいう。);アルミニウム箔の一方の表面に樹脂層を形成する樹脂層形成工程と、樹脂層形成工程の後に、樹脂層が設けられていない側のアルミニウム箔の表面に水酸化アルミニウム皮膜を形成する皮膜形成工程と、皮膜形成工程の後に、貫通孔形成処理を行って貫通孔を形成する貫通孔形成工程Aと、貫通孔形成工程Aの後に、水酸化アルミニウム皮膜を除去する皮膜除去工程とを有する方法(以下、「作製方法A-2」ともいう。);などが挙げられる。これらの方法のうち、作製方法A-1であることが好ましい。
 金属箔の材料としてアルミニウム以外の金属を用いる場合の製造方法としては、例えば、金属箔の少なくとも一方の表面に、粒子を含む第1マスキング層を形成する第1マスキング層形成工程、金属箔に貫通孔を形成する貫通孔形成工程B、および、貫通孔形成工程Bの後に、第1マスキング層を除去するマスキング層除去工程、を有する製造方法(以下、「作製方法B」ともいう)が挙げられる。なお、金属箔の材料としてアルミニウムを用いる場合にも作製方法Bを適用できる。
 以下、金属箔としてアルミニウム箔を用いる場合の、貫通孔を有する金属箔の作製方法A-1およびA-2の各工程を図5~図8、図9~図12、および、図13~17を用いて説明した後に、各工程について詳述する。
 図5~図8、および、図9~図12はそれぞれ、貫通孔を有する金属箔(アルミニウム箔)の作製方法A-1の好適な実施態様の一例を示す模式的な断面図である。
 作製方法A-1は、図5~図8および図9~図12に示すように、金属箔(アルミニウム箔)1の一方の表面(図9に示す態様においては両面)に対して皮膜形成処理を施し、水酸化アルミニウム皮膜2を形成する皮膜形成工程(図5および図6,図9および図10)と、皮膜形成工程の後に電解溶解処理を施して貫通孔5を形成し、貫通孔を有する金属箔(貫通孔を有するアルミニウム箔)3および貫通孔を有する水酸化アルミニウム皮膜4を有する複合体を作製する貫通孔形成工程A(図6および図7,図10および図11)と、貫通孔形成工程Aの後に、貫通孔を有する水酸化アルミニウム皮膜4を除去し、貫通孔を有するアルミニウム箔3を作製する皮膜除去工程(図7および図8、図11および図12)と、を有する作製方法である。
 図13~図17は、貫通孔を有する金属箔の作製方法Bの好適な実施態様の一例を示す模式的な断面図である。
 作製方法A-2は、図13~図17に示すように、アルミニウム箔1の一方の表面に対して樹脂層6を形成する樹脂層形成工程(図13および図14)と、アルミニウム箔1の樹脂層6が形成されていない側の表面に対して皮膜形成処理を施し、水酸化アルミニウム皮膜2を形成する皮膜形成工程(図14および図15)と、皮膜形成工程の後に電解溶解処理を施して貫通孔5を形成し、貫通孔を有するアルミニウム箔3と貫通孔を有する水酸化アルミニウム皮膜4と貫通孔を有していない樹脂層6とを有する複合体を作製する貫通孔形成工程A(図15および図16)と、貫通孔形成工程Aの後に、貫通孔を有する水酸化アルミニウム皮膜4を除去し、貫通孔を有するアルミニウム箔3と貫通孔を有していない樹脂層6とを有する複合体を作製する皮膜除去工程(図16および図17)とを有する作製方法である。
 〔皮膜形成工程〕
 皮膜形成工程は、アルミニウム箔の表面に皮膜形成処理を施し、水酸化アルミニウム皮膜を形成する工程である。
 <皮膜形成処理>
 上記皮膜形成処理は特に限定されず、例えば、従来公知の皮膜の形成処理と同様の処理を施すことができる。
 皮膜形成処理としては、例えば、特開2011-201123号公報の[0013]~[0026]段落に記載された条件や装置を適宜採用することができる。
 本発明においては、皮膜形成処理の条件は、使用される電解液によって種々変化するので一概に決定され得ないが、一般的には電解液濃度1~80質量%、液温5~70℃、電流密度0.5~60A/dm2、電圧1~100V、電解時間1秒~20分であるのが適当であり、所望の皮膜量となるように調整される。
 本発明においては、電解液として、硝酸、塩酸、硫酸、燐酸もしくはシュウ酸、または、これらの酸の2以上の混酸を用いて電気化学的処理を行うのが好ましい。
 硝酸または塩酸を含む電解液中で電気化学的処理を行う場合には、アルミニウム箔と対極との間に直流を印加してもよく、交流を印加してもよい。アルミニウム箔に直流を印加する場合においては、電流密度は、1~60A/dm2であるのが好ましく、5~50A/dm2であるのがより好ましい。連続的に電気化学的処理を行う場合には、アルミニウム箔に、電解液を介して給電する液給電方式により行うのが好ましい。
 本発明においては、皮膜形成処理により形成される水酸化アルミニウム皮膜の量は0.05~50g/m2であるのが好ましく、0.1~10g/m2であるのがより好ましい。
 〔貫通孔形成工程A〕
 貫通孔形成工程Aは、皮膜形成工程の後に電解溶解処理を施し、貫通孔を形成する工程である。
 <電解溶解処理>
 上記電解溶解処理は特に限定されず、直流または交流を用い、酸性溶液を電解液に用いることができる。中でも、硝酸および塩酸の少なくとも一方の酸を用いて電気化学処理を行うのが好ましく、これらの酸に、硫酸、燐酸およびシュウ酸の少なくとも1以上の酸を加えた混酸を用いて電気化学的処理を行うのがより好ましい。
 本発明においては、電解液である酸性溶液としては、上記酸のほかに、米国特許第4,671,859号、同第4,661,219号、同第4,618,405号、同第4,600,482号、同第4,566,960号、同第4,566,958号、同第4,566,959号、同第4,416,972号、同第4,374,710号、同第4,336,113号、同第4,184,932号の各明細書等に記載されている電解液を用いることもできる。
 酸性溶液の濃度は0.1~2.5質量%であるのが好ましく、0.2~2.0質量%であるのが特に好ましい。また、酸性溶液の液温は20~80℃であるのが好ましく、30~60℃であるのがより好ましい。
 また、上記酸を主体とする水溶液は、濃度1~100g/Lの酸の水溶液に、硝酸アルミニウム、硝酸ナトリウム、硝酸アンモニウム等の硝酸イオンを有する硝酸化合物または塩化アルミニウム、塩化ナトリウム、塩化アンモニウム等の塩酸イオンを有する塩酸化合物、硫酸アルミニウム、硫酸ナトリウム、硫酸アンモニウム等の硫酸イオンを有する硫酸化合物少なくとも一つを1g/Lから飽和するまでの範囲で添加して使用することができる。
 ここで、「主体とする」とは、水溶液中に主体となる成分が、水溶液に添加した成分全体に対して、30質量%以上、好ましくは50質量%以上含まれていることをいう。以下、他の成分においても同様である。
 また、上記酸を主体とする水溶液には、鉄、銅、マンガン、ニッケル、チタン、マグネシウム、シリカ等のアルミニウム合金中に含まれる金属が溶解していてもよい。好ましくは、酸の濃度0.1~2質量%の水溶液にアルミニウムイオンが1~100g/Lとなるように、塩化アルミニウム、硝酸アルミニウム、硫酸アルミニウム等を添加した液を用いることが好ましい。
 電気化学的溶解処理には、主に直流電流が用いられるが、交流電流を使用する場合にはその交流電源波は特に限定されず、サイン波、矩形波、台形波、三角波等が用いられ、中でも、矩形波または台形波が好ましく、台形波が特に好ましい。
 (硝酸電解)
 本発明においては、硝酸を主体とする電解液を用いた電気化学的溶解処理(以下、「硝酸溶解処理」とも略す。)により、容易に、平均開口径が0.1μm以上100μm未満となる貫通孔を形成することができる。
 ここで、硝酸溶解処理は、貫通孔形成の溶解ポイントを制御しやすい理由から、直流電流を用い、平均電流密度を5A/dm2以上とし、かつ、電気量を50C/dm2以上とする条件で施す電解処理であるのが好ましい。なお、平均電流密度は100A/dm2以下であるのが好ましく、電気量は10000C/dm2以下であるのが好ましい。
 また、硝酸電解における電解液の濃度や温度は特に限定されず、高濃度、例えば、硝酸濃度15~35質量%の硝酸電解液を用いて30~60℃で電解を行ったり、硝酸濃度0.7~2質量%の硝酸電解液を用いて高温、例えば、80℃以上で電解を行ったりすることができる。
 また、上記硝酸電解液に濃度0.1~50質量%の硫酸、シュウ酸、燐酸の少なくとも1つを混ぜた電解液を用いて電解を行うことができる。
 (塩酸電解)
 本発明においては、塩酸を主体とする電解液を用いた電気化学的溶解処理(以下、「塩酸溶解処理」とも略す。)によっても、容易に、平均開口径が1μm以上100μm未満となる貫通孔を形成することができる。
 ここで、塩酸溶解処理は、貫通孔形成の溶解ポイントを制御しやすい理由から、直流電流を用い、平均電流密度を5A/dm2以上とし、かつ、電気量を50C/dm2以上とする条件で施す電解処理であるのが好ましい。なお、平均電流密度は100A/dm2以下であるのが好ましく、電気量は10000C/dm2以下であるのが好ましい。
 また、塩酸電解における電解液の濃度や温度は特に限定されず、高濃度、例えば、塩酸濃度10~35質量%の塩酸電解液を用いて30~60℃で電解を行ったり、塩酸濃度0.7~2質量%の塩酸電解液を用いて高温、例えば、80℃以上で電解を行ったりすることができる。
 また、上記塩酸電解液に濃度0.1~50質量%の硫酸、シュウ酸、燐酸の少なくとも1つを混ぜた電解液を用いて電解を行うことができる。
 〔皮膜除去工程〕
 皮膜除去工程は、化学的溶解処理を行って水酸化アルミニウム皮膜を除去する工程である。
 上記皮膜除去工程は、例えば、後述する酸エッチング処理やアルカリエッチング処理を施すことにより皮膜を除去することができる。
 アルカリエッチング処理で皮膜除去を行う場合は、アルカリエッチング処理後に表面に残る腐食性生物を除去するために、酸性液で洗浄することが望ましい。酸性液による洗浄条件を選ぶことで、追加で皮膜除去の機能を持たせることも可能である。
 <酸エッチング処理>
 酸エッチング処理は、アルミニウムよりも水酸化アルミニウムを優先的に溶解させる溶液(以下、「水酸化アルミニウム溶解液」という。)を用いて水酸化アルミニウム皮膜を溶解させる処理である。
 ここで、水酸化アルミニウム溶解液としては、例えば、硝酸、塩酸、硫酸、燐酸、シュウ酸、クロム化合物、ジルコニウム系化合物、チタン系化合物、リチウム塩、セリウム塩、マグネシウム塩、ケイフッ化ナトリウム、フッ化亜鉛、マンガン化合物、モリブデン化合物、マグネシウム化合物、バリウム化合物およびハロゲン単体からなる群から選択される少なくとも1種を含有した水溶液が好ましい。
 具体的には、クロム化合物としては、例えば、酸化クロム(III)、無水クロム(VI)酸等が挙げられる。
 ジルコニウム系化合物としては、例えば、フッ化ジルコンアンモニウム、フッ化ジルコニウム、塩化ジルコニウムが挙げられる。
 チタン化合物としては、例えば、酸化チタン、硫化チタンが挙げられる。
 リチウム塩としては、例えば、フッ化リチウム、塩化リチウムが挙げられる。
 セリウム塩としては、例えば、フッ化セリウム、塩化セリウムが挙げられる。
 マグネシウム塩としては、例えば、硫化マグネシウムが挙げられる。
 マンガン化合物としては、例えば、過マンガン酸ナトリウム、過マンガン酸カルシウムが挙げられる。
 モリブデン化合物としては、例えば、モリブデン酸ナトリウムが挙げられる。
 マグネシウム化合物としては、例えば、フッ化マグネシウム・五水和物が挙げられる。
 バリウム化合物としては、例えば、酸化バリウム、酢酸バリウム、炭酸バリウム、塩素酸バリウム、塩化バリウム、フッ化バリウム、ヨウ化バリウム、乳酸バリウム、シュウ酸バリウム、過塩素酸バリウム、セレン酸バリウム、亜セレン酸バリウム、ステアリン酸バリウム、亜硫酸バリウム、チタン酸バリウム、水酸化バリウム、硝酸バリウム、あるいはこれらの水和物等が挙げられる。
 上記バリウム化合物の中でも、酸化バリウム、酢酸バリウム、炭酸バリウムが好ましく、酸化バリウムが特に好ましい。
 ハロゲン単体としては、例えば、塩素、フッ素、臭素が挙げられる。
 中でも、上記水酸化アルミニウム溶解液が、酸を含有する水溶液であるのが好ましく、酸として、硝酸、塩酸、硫酸、燐酸、シュウ酸等が挙げられ、2種以上の酸の混合物であってもよい。中でも、酸として硝酸を用いるのが好ましい。
 酸濃度としては、0.01mol/L以上であるのが好ましく、0.05mol/L以上であるのがより好ましく、0.1mol/L以上であるのが更に好ましい。上限は特にないが、一般的には10mol/L以下であるのが好ましく、5mol/L以下であるのがより好ましい。
 溶解処理は、水酸化アルミニウム皮膜が形成されたアルミニウム箔を上述した溶解液に接触させることにより行う。接触させる方法は、特に限定されず、例えば、浸せき法、スプレー法が挙げられる。中でも、浸せき法が好ましい。
 浸せき法は、水酸化アルミニウム皮膜が形成されたアルミニウム箔を上述した溶解液に浸せきさせる処理である。浸せき処理の際にかくはんを行うと、ムラのない処理が行われるため、好ましい。
 浸せき処理の時間は、10分以上であるのが好ましく、1時間以上であるのがより好ましく、3時間以上、5時間以上であるのが更に好ましい。
 <アルカリエッチング処理>
 アルカリエッチング処理は、上記水酸化アルミニウム皮膜をアルカリ溶液に接触させることにより、表層を溶解させる処理である。
 アルカリ溶液に用いられるアルカリとしては、例えば、カセイアルカリ、アルカリ金属塩が挙げられる。具体的には、カセイアルカリとしては、例えば、水酸化ナトリウム(カセイソーダ)、カセイカリが挙げられる。また、アルカリ金属塩としては、例えば、メタケイ酸ソーダ、ケイ酸ソーダ、メタケイ酸カリ、ケイ酸カリ等のアルカリ金属ケイ酸塩;炭酸ソーダ、炭酸カリ等のアルカリ金属炭酸塩;アルミン酸ソーダ、アルミン酸カリ等のアルカリ金属アルミン酸塩;グルコン酸ソーダ、グルコン酸カリ等のアルカリ金属アルドン酸塩;第二リン酸ソーダ、第二リン酸カリ、第三リン酸ソーダ、第三リン酸カリ等のアルカリ金属リン酸水素塩が挙げられる。中でも、エッチング速度が速い点および安価である点から、カセイアルカリの溶液、および、カセイアルカリとアルカリ金属アルミン酸塩との両者を含有する溶液が好ましい。特に、水酸化ナトリウムの水溶液が好ましい。
 アルカリ溶液の濃度は、0.1~50質量%であるのが好ましく、0.2~10質量%であるのがより好ましい。アルカリ溶液中にアルミニウムイオンが溶解している場合には、アルミニウムイオンの濃度は、0.01~10質量%であるのが好ましく、0.1~3質量%であるのがより好ましい。アルカリ溶液の温度は10~90℃であるのが好ましい。処理時間は1~120秒であるのが好ましい。
 水酸化アルミニウム皮膜をアルカリ溶液に接触させる方法としては、例えば、水酸化アルミニウム皮膜が形成されたアルミニウム箔をアルカリ溶液を入れた槽の中を通過させる方法、水酸化アルミニウム皮膜が形成されたアルミニウム箔をアルカリ溶液を入れた槽の中に浸せきさせる方法、アルカリ溶液を水酸化アルミニウム皮膜が形成されたアルミニウム箔の表面(水酸化アルミニウム皮膜)に噴きかける方法が挙げられる。
 〔樹脂層形成工程〕
 樹脂層形成工程は、作製方法A-2においては貫通孔を有していない金属箔(アルミニウム箔)の表面に樹脂層を形成する工程である。また、樹脂層形成工程は、作製方法A-1あるいは後述する作製方法Bで貫通孔を有する金属箔(アルミニウム箔)を形成した後に、好適な態様として金属箔の表面に樹脂層を形成する工程である。
 樹脂層を形成する方法は特に限定されないが、例えば、ドライラミネーション、ウェットラミネーション、押し出しラミネーション、インフレーションラミネート法等が挙げられる。
 これらのうち、上述した通り、樹脂層の平均厚みが12~200μm(特に、25~100μm)である態様、および、金属箔の平均厚みが5~1000μmである態様が好適態様であるため、ドライラミネーションにより樹脂層を形成する方法が好ましい。
 ドライラミネーションとしては、例えば、特開2013-121673号公報の[0067]~[0078]段落に記載された条件や装置を適宜採用することができる。
 次に、金属箔としてアルミニウム箔以外を用いる場合の金属箔の作製方法Bの各工程を図18~図21を用いて説明した後に、各工程について詳述する。
 図18~図21は、貫通孔を有する金属箔の作製方法Bの好適な実施態様の一例(以下、作製方法B-1ともいう)を示す模式的な断面図である。
 作製方法B-1においては、複数の金属粒子および重合体成分を含有する組成物を用いた第1マスキング層形成工程により、図18に示すように、金属箔1の一方の表面に、複数の金属粒子9の各々の一部が埋設された第1マスキング層8が形成される。
 また、作製方法B-1においては、重合体成分を含有する組成物を用いた任意の第2マスキング層形成工程により、図19に示すように、金属箔1の、第1マスキング層8が形成される面とは反対側の表面に、第2マスキング層11を形成することが好ましい。
 また、作製方法B-1においては、第1マスキング層8を有する金属箔1をエッチャントに接触させて金属粒子9および金属箔1の一部を溶解する貫通孔形成工程Bにより、図20に示すように、第1マスキング層8および金属箔1に貫通孔5が形成される。
 また、作製方法B-1においては、第1マスキング層8を除去するマスキング層除去工程により、図21に示すように、複数の貫通孔5を有する金属箔3が形成される。なお、第2マスキング層形成工程を有している場合、図21に示すように、マスキング層除去工程により、第1マスキング層8および第2マスキング層11が除去されることにより、複数の貫通孔5を有する金属箔3が形成される。
 〔第1マスキング層形成工程〕
 作製方法B-1が有する第1マスキング層形成工程は、金属箔の一方の表面に、複数の金属粒子および重合体成分を含有する組成物を用いて、金属粒子の各々の一部が埋設された第1マスキング層を形成する工程である。
 <組成物>
 第1マスキング層形成工程で用いる組成物は、少なくとも複数の金属粒子および重合体成分を含有する組成物である。
 (金属粒子)
 上記組成物に含まれる金属粒子は、後述する貫通孔形成工程Bで用いるエッチャントに対して溶解する金属原子を含む粒子であれば特に限定されないが、金属および/または金属化合物から構成される粒子であることが好ましく、金属から構成される粒子がより好ましい。
 金属粒子を構成する金属としては、具体的には、例えば、アルミニウム、ニッケル、鉄、銅、ステンレス、チタン、タンタル、モリブデン、ニオブ、ジルコニウム、タングステン、ベリリウム、および、これらの合金などが挙げられ、これらを1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
 これらのうち、アルミニウム、ニッケル、および、銅であることが好ましく、アルミニウム、および、銅であることがより好ましい。
 金属粒子を構成する金属化合物としては、例えば、酸化物、複合酸化物、水酸化物、炭酸塩、硫酸塩、ケイ酸塩、リン酸塩、窒化物、炭化物、硫化物、および、これらの少なくとも2種以上の複合化物などが挙げられる。具体的には、酸化銅、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、および、硼酸アルミニウム等が挙げられる。
 作製方法B-1においては、後述する貫通孔形成工程で用いるエッチャントを回収し、溶解した金属のリサイクルなどを図る観点から、金属粒子と上述した金属箔とが同一の金属原子を含有していることが好ましい。
 金属粒子の形状は特に限定されないが、球状であることが好ましく、真球状に近いほどより好ましい。
 また、金属粒子の平均粒子径は、組成物における分散性などの観点から、1μm~10μmであることが好ましく、2μm超6μm以下であることがより好ましい。
 ここで、金属粒子の平均粒子径は、レーザー回折・散乱式粒子径測定装置(日機装(株)製マイクロトラックMT3000)で測定される粒度分布の累積50%径をいう。
 また、金属粒子の含有量は、組成物に含まれる全固形分に対して、0.05~95質量%であることが好ましく、1~50質量%であることがより好ましく、3~25質量%であることが更に好ましい。
 (重合体成分)
 上記組成物に含まれる重合体成分は特に限定されず、従来公知の重合体成分を用いることができる。
 重合体成分としては、具体的には、例えば、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、エステル系樹脂、ウレタンアクリレート系樹脂、シリコーンアクリレート系樹脂、エポキシアクリレート系樹脂、エステルアクリレート系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、および、フェノール系樹脂などが挙げられ、これらを1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
 これらのうち、耐酸性に優れ、後述する貫通孔形成工程Bで用いるエッチャントとして酸性溶液を用いた場合にも、所望の貫通孔が得られやすくなる理由から、重合体成分が、フェノール系樹脂、アクリル系樹脂およびポリイミド系樹脂からなる群から選択される樹脂材料であることが好ましい。
 本発明においては、後述するマスキング層除去工程における除去が容易となる観点から、組成物に含まれる重合体成分が、水不溶性、且つ、アルカリ水可溶性の高分子(以下、「アルカリ水可溶性高分子」とも略す。)、即ち、高分子中の主鎖もしくは側鎖に酸性基を含有する単独重合体、これらの共重合体またはこれらの混合物であることが好ましい。
 アルカリ水可溶性高分子としては、酸性基を高分子の主鎖および/または側鎖中に有するものが、後述するマスキング層除去工程における除去が更に容易となる観点で好ましい。
 酸性基の具体例としては、フェノール基(-Ar-OH)、スルホンアミド基(-SO2NH-R)、置換スルホンアミド系酸基(以下、「活性イミド基」という。)〔-SO2NHCOR、-SO2NHSO2R、-CONHSO2R〕、カルボキシル基(-CO2H)、スルホ基(-SO3H)、および、ホスホン基(-OPO32)が挙げられる。
 なお、Arは置換基を有していてもよい2価のアリール連結基を表し、Rは、置換基を有していてもよい炭化水素基を表す。
 上記酸性基を有するアルカリ水可溶性高分子の中でも、フェノール基、カルボキシル基、スルホンアミド基および活性イミド基を有するアルカリ水可溶性高分子が好ましく、特に、フェノール基またはカルボキシル基を有するアルカリ水可溶性高分子が、形成される第1マスキング層の強度と、後述するマスキング層除去工程における除去性とのバランスの観点から最も好ましい。
 上記酸性基を有するアルカリ水可溶性高分子としては、例えば、以下のものを挙げることができる。
 フェノール基を有するアルカリ水可溶性高分子としては、例えば、フェノール、o-クレゾール、m-クレゾール、p-クレゾール、および、キシレノール等のフェノール類の1種又は2種以上と、ホルムアルデヒド、および、パラホルムアルデヒド等のアルデヒド類から製造されるノボラック樹脂、およびピロガロールとアセトンとの縮重合体を挙げることができる。さらに、フェノール基を有する化合物を共重合させた共重合体を挙げることもできる。フェノール基を有する化合物としては、フェノール基を有するアクリルアミド、メタクリルアミド、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、またはヒドロキシスチレン等が挙げられる。
 具体的には、N-(2-ヒドロキシフェニル)アクリルアミド、N-(3-ヒドロキシフェニル)アクリルアミド、N-(4-ヒドロキシフェニル)アクリルアミド、N-(2-ヒドロキシフェニル)メタクリルアミド、N-(3-ヒドロキシフェニル)メタクリルアミド、N-(4-ヒドロキシフェニル)メタクリルアミド、o-ヒドロキシフェニルアクリレート、m-ヒドロキシフェニルアクリレート、p-ヒドロキシフェニルアクリレート、o-ヒドロキシフェニルメタクリレート、m-ヒドロキシフェニルメタクリレート、p-ヒドロキシフェニルメタクリレート、o-ヒドロキシスチレン、m-ヒドロキシスチレン、p-ヒドロキシスチレン、2-(2-ヒドロキシフェニル)エチルアクリレート、2-(3-ヒドロキシフェニル)エチルアクリレート、2-(4-ヒドロキシフェニル)エチルアクリレート、2-(2-ヒドロキシフェニル)エチルメタクリレート、2-(3-ヒドロキシフェニル)エチルメタクリレート、および、2-(4-ヒドロキシフェニル)エチルメタクリレート等が挙げられる。
 これらの中でも、ノボラック樹脂またはヒドロキシスチレンの共重合体が好ましい。ヒドロキシスチレンの共重合体の市販品としては、丸善化学工業株式会社製、マルカリンカーM H-2、マルカリンカーM S-4、マルカリンカーM S-2、マルカリンカーM S-1、日本曹達株式会社製、VP-8000、および、VP-15000などを挙げることができる。
 スルホンアミド基を有するアルカリ水可溶性高分子としては、例えば、スルホンアミド基を有する化合物に由来する最小構成単位を主要構成成分として構成される重合体を挙げることができる。上記のような化合物としては、窒素原子に少なくとも一つの水素原子が結合したスルホンアミド基と、重合可能な不飽和基と、を分子内にそれぞれ1以上有する化合物が挙げられる。中でも、アクリロイル基、アリル基、またはビニロキシ基と、置換あるいはモノ置換アミノスルホニル基または置換スルホニルイミノ基と、を分子内に有する低分子化合物が好ましい。
 特に、m-アミノスルホニルフェニルメタクリレート、N-(p-アミノスルホニルフェニル)メタクリルアミド、及び/又は、N-(p-アミノスルホニルフェニル)アクリルアミド等を好適に使用することができる。
 活性イミド基を有するアルカリ水可溶性高分子としては、例えば、活性イミド基を有する化合物に由来する最小構成単位を主要構成成分として構成される重合体を挙げることができる。上記のような化合物としては、下記構造式で表される活性イミド基と、重合可能な不飽和基と、を分子内にそれぞれ1以上有する化合物を挙げることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
 具体的には、N-(p-トルエンスルホニル)メタクリルアミド、および、N-(p-トルエンスルホニル)アクリルアミド等を好適に使用することができる。
 カルボキシル基を有するアルカリ水可溶性高分子としては、例えば、カルボキシル基と、重合可能な不飽和基と、を分子内にそれぞれ1以上有する化合物に由来する最小構成単位を主要構成成分とする重合体を挙げることができる。具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸、および、イタコン酸等の不飽和カルボン酸化合物を用いた重合体が挙げられる。
 スルホ基を有するアルカリ水可溶性高分子としては、例えば、スルホ基と、重合可能な不飽和基と、を分子内にそれぞれ1以上有する化合物に由来する最小構成単位を主要構成単位とする重合体を挙げることができる。
 ホスホン基を有するアルカリ水可溶性高分子としては、例えば、ホスホン基と、重合可能な不飽和基と、を分子内にそれぞれ1以上有する化合物に由来する最小構成単位を主要構成成分とする重合体を挙げることができる。
 アルカリ水可溶性高分子を構成する、酸性基を有する最小構成単位は、特に1種類のみである必要はなく、同一の酸性基を有する最小構成単位を2種以上、または異なる酸性基を有する最小構成単位を2種以上共重合させたものを用いることもできる。
 共重合の方法としては、従来知られている、グラフト共重合法、ブロック共重合法、及び/又は、ランダム共重合法等を用いることができる。
 上記共重合体は、共重合させる酸性基を有する化合物が共重合体中に10モル%以上含まれているものが好ましく、20モル%以上含まれているものがより好ましい。
 本発明では、化合物を共重合して共重合体を形成する場合、その化合物として、酸性基を含まない他の化合物を用いることもできる。酸性基を含まない他の化合物の例としては、下記(m1)~(m11)に挙げる化合物を挙げることができる。
 (m1)2-ヒドロキシエチルアクリレートまたは2-ヒドロキシエチルメタクリレート等の脂肪族水酸基を有するアクリル酸エステル類、およびメタクリル酸エステル類。
 (m2)アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸ベンジル、アクリル酸-2-クロロエチル、グリシジルアクリレート、および、N-ジメチルアミノエチルアクリレート等のアルキルアクリレート。
 (m3)メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸アミル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸-2-クロロエチル、グリシジルメタクリレート、および、N-ジメチルアミノエチルメタクリレート等のアルキルメタクリレート。
 (m4)アクリルアミド、メタクリルアミド、N-メチロールアクリルアミド、N-エチルアクリルアミド、N-ヘキシルメタクリルアミド、N-シクロヘキシルアクリルアミド、N-ヒドロキシエチルアクリルアミド、N-フェニルアクリルアミド、N-ニトロフェニルアクリルアミド、および、N-エチル-N-フェニルアクリルアミド等のアクリルアミドもしくはメタクリルアミド。
 (m5)エチルビニルエーテル、2-クロロエチルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、および、フェニルビニルエーテル等のビニルエーテル類。
 (m6)ビニルアセテート、ビニルクロロアセテート、ビニルブチレート、および、安息香酸ビニル等のビニルエステル類。
 (m7)スチレン、α-メチルスチレン、メチルスチレン、および、クロロメチルスチレン等のスチレン類。
 (m8)メチルビニルケトン、エチルビニルケトン、プロピルビニルケトン、および、フェニルビニルケトン等のビニルケトン類。
 (m9)エチレン、プロピレン、イソブチレン、ブタジエン、および、イソプレン等のオレフィン類。
 (m10)N-ビニルピロリドン、N-ビニルカルバゾール、4-ビニルピリジン、アクリロニトリル、および、メタクリロニトリル等。
 (m11)マレイミド、N-アクリロイルアクリルアミド、N-アセチルメタクリルアミド、N-プロピオニルメタクリルアミド、および、N-(p-クロロベンゾイル)メタクリルアミド等の不飽和イミド。
 重合体成分としては、単独重合体、共重合体に係わらず、重量平均分子量が1.0×103~2.0×105で、数平均分子量が5.0×102~1.0×105の範囲にあるものが好ましく。また、多分散度(重量平均分子量/数平均分子量)が1.1~10のものが好ましい。
 重合体成分として共重合体を用いる場合、その主鎖および/または側鎖を構成する、酸性基を有する化合物に由来する最小構成単位と、主鎖の一部および/または側鎖を構成する、酸性基を含まない他の最小構成単位と、の配合重量比は、50:50~5:95の範囲にあるものが好ましく、40:60~10:90の範囲にあるものがより好ましい。
 上記重合体成分は、それぞれ1種類のみを使用してもよいし、2種類以上を組み合わせて使用してもよく、組成物に含まれる全固形分に対して、30~99質量%の範囲で用いるのが好ましく、40~95質量%の範囲で用いるのがより好ましいが、更には50~90質量%の範囲で用いることが特に好ましい。
 作製方法B-1においては、後述する貫通孔形成工程Bにおいて貫通孔の形成が容易となる理由から、上述した金属粒子および重合体成分に関して、金属粒子の比重が重合体成分の比重よりも大きいことが好ましい。具体的には、金属粒子の比重が1.5以上であり、重合体成分の比重が0.9以上1.5未満であることがより好ましい。
 (界面活性剤)
 上記組成物は、塗布性の観点から、特開昭62-251740号、及び/又は、特開平3-208514号に記載されているような非イオン界面活性剤、特開昭59-121044号、及び/又は、特開平4-13149号に記載されているような両性界面活性剤を添加することができる。
 非イオン界面活性剤の具体例としては、ソルビタントリステアレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタントリオレート、ステアリン酸モノグリセリド、及び/又は、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等が挙げられる。
 両性界面活性剤の具体例としては、アルキルジ(アミノエチル)グリシン、アルキルポリアミノエチルグリシン塩酸塩、2-アルキル-N-カルボキシエチル-N-ヒドロキシエチルイミダゾリニウムベタイン、及び/又は、N-テトラデシル-N,N-ベタイン型(例えば、商品名アモーゲンK、第一工業(株)製)等が挙げられる。
 上記界面活性剤を含有する場合の含有量は、組成物に含まれる全固形分に対して、0.01~10質量%であることが好ましく、0.05~5質量%であることがより好ましい。
 (溶媒)
 上記組成物は、第1マスキング層および第2マスキング層を形成する際の作業性の観点から、溶媒を添加することができる。
 溶媒としては、具体的には、例えば、エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、メタノール、エタノール、プロパノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、1-メトキシ-2-プロパノール、2-メトキシエチルアセテート、1-メトキシ-2-プロピルアセテート、ジメトキシエタン、乳酸メチル、乳酸エチル、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、テトラメチルウレア、N-メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、スルホラン、γ-ブチロラクトン、トルエン、および、水等が挙げられ、これらを1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
 <形成方法>
 上述した組成物を用いた第1マスキング層の形成方法は特に限定されないが、金属箔上に組成物を塗布して第1マスキング層を形成する方法が好ましい。
 金属箔上への塗布方法は特に限定されず、例えば、バーコート法、スリットコート法、インクジェット法、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法、流延塗布法、スリットアンドスピン法、および、転写法等の方法を用いることができる。
 本発明においては、後述する貫通孔形成工程Bにおいて貫通孔の形成が容易となる理由から、下記式(1)を満たすように第1マスキング層を形成することが好ましい。
 n<r ・・・(1)
 ここで、式(1)中、nは、形成される第1マスキング層の厚みを表し、rは、組成物に含まれる金属粒子の平均粒子径を表し、nおよびrの単位はいずれもμmを表す。
 また、作製方法B-1においては、後述する貫通孔形成工程Bで用いるエッチャントに対する耐性や、後述するマスキング層除去工程における作業性の観点などから、第1マスキング層形成工程により形成される第1マスキング層の厚みが0.5~4μmであることが好ましく、1μm以上2μm以下であることが好ましい。
 ここで、第1マスキング層の平均厚みは、ミクロトームを用いて切削し、断面を電子顕微鏡で観察した際に測定された任意の5点の厚みの平均値をいう。
 〔第2マスキング層形成工程〕
 更に、作製方法B-1においては、後述する貫通孔形成工程Bにおける作業性の観点から、貫通孔形成工程Bの前に、金属箔の、第1マスキング層が形成される面とは反対側の面に、重合体成分を含有する組成物を用いて第2マスキング層を形成する第2マスキング層形成工程を有していることが好ましい。
 ここで、重合体成分としては、上述した第1マスキング層形成工程で用いる組成物に含まれる重合体成分と同一のものが挙げられる。すなわち、任意の第2マスキング層形成工程で形成される第2マスキング層は、上述した金属粒子が埋設されていない以外は、上述した第1マスキング層と同様の層であり、第2マスキング層の形成方法についても、上述した金属粒子を用いない以外は、上述した第1マスキング層と同様の方法で形成することができる。
 なお、第2マスキング層形成工程を有する場合、貫通孔形成工程Bの前の工程であれば、特に順序は限定されず、上述した第1マスキング層形成工程の前後または同時に行う工程であってもよい。
 〔貫通孔形成工程B〕
 作製方法B-1が有する貫通孔形成工程Bは、上述した第1マスキング層形成工程の後に、第1マスキング層を有する金属箔をエッチャントに接触させて金属粒子および金属箔の一部を溶解し、金属箔に貫通孔を形成する工程であり、いわゆる化学エッチング処理により金属箔に貫通孔を形成する工程である。
 <エッチャント>
 エッチャントとしては、金属粒子および金属箔の金属種に適したエッチャントであれば、酸またはアルカリの化学溶液などを適宜用いることが可能である。
 酸の例としては、塩酸、硫酸、硝酸、フッ酸、過酸化水素、および、酢酸などが挙げられる。
 また、アルカリの例としては、カセイソーダ、および、カセイカリなどが挙げられる。
 また、アルカリ金属塩としては、例えば、タケイ酸ソーダ、ケイ酸ソーダ、メタケイ酸カリ、および、ケイ酸カリ等のアルカリ金属ケイ酸塩;炭酸ソーダ、および、炭酸カリ等のアルカリ金属炭酸塩;アルミン酸ソーダ、および、アルミン酸カリ等のアルカリ金属アルミン酸塩;グルコン酸ソーダ、および、グルコン酸カリ等のアルカリ金属アルドン酸塩;第二リン酸ソーダ、第二リン酸カリ、第三リン酸ソーダ、および、第三リン酸カリ等のアルカリ金属リン酸水素塩が挙げられる。
 また、塩化鉄(III)、および、塩化銅(II)などの無機塩も用いることができる。
 また、これらは1種類でも、2種類以上混合して使用してもよい。
 <処理方法>
 貫通孔を形成する処理は、第1マスキング層を有する金属箔を上述したエッチャントに接触させることにより行う。
 接触させる方法は特に限定されず、例えば、浸せき法、スプレー法が挙げられる。中でも、浸せき法が好ましい。
 浸せき処理の時間は、15秒~10分であることが好ましく、1分~6分であることがより好ましい。
 また、浸漬させる際のエッチャントの液温は、25~70℃であることが好ましく、30~60℃であることがより好ましい。
 〔マスキング層除去工程〕
 作製方法B-1が有するマスキング層除去工程は、上述した貫通孔形成工程Bの後に、第1マスキング層(および第2マスキング層、以下、まとめてマスキング層ともいう)を除去する工程である。
 マスキング層を除去する方法は特に限定されないが、重合体成分として上述したアルカリ水可溶性高分子を用いる場合には、アルカリ性水溶液を用いてマスキング層を溶解して除去する方法が好ましい。
 <アルカリ性水溶液>
 アルカリ性水溶液としては、具体的には、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、および、アンモニア水等の無機アルカリ類;エチルアミン、および、n-プロピルアミン等の第一アミン類;ジエチルアミン、および、ジ-n-ブチルアミン等の第二アミン類;トリエチルアミン、および、メチルジエチルアミン等の第三アミン類;ジメチルエタノールアミン、および、トリエタノールアミン等のアルコールアミン類;テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、および、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等の第四級アンモニウム塩;ピロール、および、ピヘリジン等の環状アミン類;などが挙げられ、これらを1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
 なお、上記アルカリ性水溶液に、アルコール類、界面活性剤を適当量添加して使用することもできる。
 <処理方法>
 マスキング層を除去する処理は、例えば、貫通孔形成工程B後のマスキング層を有する金属箔を上述したアルカリ性水溶液に接触させることにより行う。
 接触させる方法は特に限定されず、例えば、浸せき法、および、スプレー法等が挙げられる。中でも、浸せき法が好ましい。
 浸せき処理の時間は、5秒~5分であることが好ましく、10秒~2分であることがより好ましい。
 また、浸漬させる際のアルカリ性水溶液は、25~60℃であることが好ましく、30~50℃であることがより好ましい。
 〔防食処理〕
 作製方法B-1は、防食処理を施す工程を有していることが好ましい。
 また、防食処理を施すタイミングは特に限定されず、例えば、第1マスキング層形成工程で用いる金属箔に対して施す処理であってもよく、マスキング層除去工程においてアルカリ性水溶液に対して後述するトリアゾール類などを添加する処理であってもよく、マスキング層除去工程後に施す処理であってもよい。
 防食処理としては、例えば、少なくともトリアゾール類を溶媒に溶解したpH5~8.5の溶液に金属箔を浸漬させ、有機誘電体皮膜を形成する処理が挙げられる。
 トリアゾール類としては、例えば、ベンゾトリアゾール(BTA)、および、トリルトリアゾール(TTA)などが好適に挙げられる。
 また、トリアゾール類とともに、各種の有機防錆材、チアゾール類、イミダゾール類、メルカプタン類、及び/又は、トルエタノールアミンなども使用することができる。
 防食処理に用いる溶媒としては、水または有機溶媒(特にアルコール類)を適宜用いることができるが、形成される有機誘電体皮膜の均一性と量産時における厚み制御が行いやすく、また簡便であり、更には環境への影響などのことを考えると、脱イオン水を主体とする水であることが好ましい。
 トリアゾール類の溶解濃度は、形成する有機誘電体皮膜の厚みや処理可能時間との関係で適宜に決められるが、通常、0.005~1重量%程度であればよい。
 また、溶液の温度は室温であればよいが、必要に応じては加温して使用してもよい。
 溶液への金属箔の浸漬時間は、トリアゾール類の溶解濃度や形成する有機誘電体皮膜の厚みとの関係で適宜に決められるが、通常、0.5~30秒程度であればよい。
 防食処理の他の具体例としては、三酸化クロム,クロム酸塩,重クロム酸塩の群から選ばれる少なくとも1種を水に溶解して成る水溶液に金属箔を浸漬することにより、クロムの水和酸化物を主体とする無機誘電体皮膜を形成する方法が挙げられる。
 ここで、クロム酸塩としては例えばクロム酸カリウムやクロム酸ナトリウムを好適とし、また重クロム酸塩としては例えば重クロム酸カリウムや重クロム酸ナトリウムを好適とする。そして、その溶解濃度は、通常、0.1~10質量%に設定され、また液温は室温~60℃程度でよい。水溶液のpH値は、酸性領域からアルカリ性領域まで格別限定されるものではないが、通常、1~12に設定される。
 また、金属箔の浸漬時間は、形成する無機誘電体皮膜の厚みなどにより適宜に選定される。
 本発明においては、上述した各処理の工程終了後には水洗を行うのが好ましい。水洗には、純水、井水、及び/又は、水道水等を用いることができる。処理液の次工程への持ち込みを防ぐためにニップ装置を用いてもよい。
 ここで、金属箔の作製方法Bは、上述の方法に限定はされない。
 作製方法B-1では、第1マスキング層形成工程の後、貫通孔形成工程Bを行なうことで、金属粒子および金属箔の一部をエッチャントに接触させて溶解し、金属箔に貫通孔を形成する構成としたが、これに限定はされない。図22~図26に示すように、第1マスキング層形成工程(図22)の後、あるいはさらに、第2マスキング層形成工程(図23)の後、貫通孔形成工程の前に粒子を除去する粒子除去工程(図24)を経て、その後、貫通孔形成工程B(図24および図25)を行ない、その後、マスキング層除去工程(図25および図26)を行う構成(以下、作製方法B-2ともいう)としてもよい。この場合には、第1マスキング層に含有される粒子としては、金属粒子に限定はされず、無機フィラー、無機-有機複合フィラー等を用いることができる。
 このように、第1マスキング層形成工程および粒子除去工程を経ることにより、粒子9が埋設していた部分に凹部12が形成された第1マスキング層8が得られ、その後の貫通孔形成工程Bにおいて、第1マスキング層8の凹部12を起点に貫通孔5が形成される。第1マスキング層8の凹部12を起点に貫通孔5が形成される理由に関して、凹部12の最深部においては、極めて薄い第1マスキング層8が残存しているか、または、金属箔1が露出している部分があるため、他の部位よりも優先的に凹部12からエッチャントが浸入し、金属箔1に貫通孔5が形成されると考えられる。
 第1マスキング層に含有される無機フィラーとしては、金属および金属化合物が挙げられ、金属化合物としては、例えば、酸化物、複合酸化物、水酸化物、炭酸塩、硫酸塩、ケイ酸塩、リン酸塩、窒化物、炭化物、硫化物、および、これらの少なくとも2種以上の複合化物などが挙げられる。
 具体的には、ガラス、酸化亜鉛、シリカ、アルミナ、酸化ジルコン、酸化錫、チタン酸カリウム、チタン酸ストロンチウム、硼酸アルミニウム、酸化マグネシウム、硼酸マグネシウム、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化カルシウム、水酸化チタン、塩基性硫酸マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、リン酸カルシウム、窒化珪素、窒化チタン、窒化アルミ、炭化珪素、炭化チタン、硫化亜鉛、および、これらの少なくとも2種以上の複合化物等が挙げられる。
 これらのうち、ガラス、シリカ、アルミナ、チタン酸カリウム、チタン酸ストロンチウム、硼酸アルミニウム、酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、リン酸カルシウム、および、硫酸カルシウムであることが好ましい。
 有機-有機複合フィラーとしては、例えば、合成樹脂粒子、天然高分子粒子などの粒子表面を上述した無機フィラーで被覆した複合化物が挙げられる。
 合成樹脂粒子としては、具体的には、例えば、アクリル樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンオキシド、ポリプロピレンオキシド、ポリエチレンイミン、ポリスチレン、ポリウレタン、ポリウレア、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、カルボキシメチルセルロールス、ゼラチン、デンプン、キチン、および、キトサンなどの樹脂粒子が挙げられる。
 これらのうち、アクリル樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレンの樹脂粒子であることが好ましい。
 粒子除去工程において、粒子を除去する方法は特に限定されず、例えば、図22に示すように、粒子の各々の一部が埋設された状態の第1マスキング層であれば、粒子の第1マスキング層に埋設されていない部分に、スポンジやブラシ等を用いて外力を加えることにより、粒子を除去することができる。
 本発明においては、第1マスキング層の形状を変えることなく、かつ、速やかに除去可能であるという理由から、粒子を除去する方法は、粒子の各々の少なくとも一部が埋設された第1マスキング層の表面を溶媒に浸漬させた状態で擦ることにより粒子を除去する方法が好ましい。
 ここで、「粒子の各々の少なくとも一部が埋設された第1マスキング層の表面」とは、図22に示ように各粒子の一部が第1マスキング層に埋設されている場合には、各粒子および第1マスキング層の表面をいい、各粒子の全部が第1マスキング層に埋設されている場合には、第1マスキング層の表面をいう。
 上記溶媒としては、第1マスキング層を溶解させる溶媒であれば特に限定されず、例えば、上述した第1マスキング層形成工程で用いる組成物の任意成分として記載した溶媒と同様の溶媒を用いることができる。
 また、第1マスキング層の表面を擦る方法は特に限定されず、例えば、スポンジやブラシ(例えば、ワイヤーブラシ、ナイロンブラシロール)などを用いて擦る方法が挙げられる。
 また、貫通孔を有する金属箔の作製方法において、金属箔に貫通孔を形成する方法としては、金属箔をエッチャントに接触させて、金属箔中の金属間化合物(析出物あるいは晶出物)を起点に局所的に溶解を生じさせて貫通孔を形成する方法がある。この方法の場合、金属箔の材質ごとに金属間化合物の存在状況は異なるため、材質ごとに事前に条件出しを行い、エッチャントの条件、エッチングの時間等の条件を調整すればよい。この場合、マスキング層を不要とすることも出来る。
[ロール・ツー・ロールによる処理]
 本発明においては、カットシート状の金属箔を用いて、いわゆる枚葉式で各工程の処理を施すものであってもよいし、長尺な金属箔を、所定の搬送経路で長手方向に搬送しつつ各工程の処理を施す、いわゆるロール・ツー・ロール(Roll to Roll)(以下、「RtoR」ともいう。)による処理を行うものであってもよい。
 本発明におけるRtoRとは、長尺な金属箔を巻回してなるロールから金属箔を送り出して、長手方向に搬送しつつ、搬送経路上に配置された各処理装置によって、上述した各工程を連続的に順次、行い、処理済の金属箔を、再度、ロール状に巻回する製造方法である。
 以下に実施例に基づいて本発明をさらに詳細に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す実施例により限定的に解釈されるべきものではない。
 〔実施例1〕
 <貫通孔を有する金属箔の作製>
 金属箔として、平均厚み20μm、大きさ200mm×300mmのアルミニウム箔(JIS H-4160、合金番号:1N30-H、アルミニウム純度:99.30%)を用いた。
 アルミニウム箔に、以下に示す処理を施し、貫通孔を形成した。
 (a1)水酸化アルミニウム皮膜形成処理(皮膜形成工程)
 50℃に保温した電解液(硝酸濃度1%、硫酸濃度0.2%、アルミニウム濃度0.5%)を用いて、アルミニウム箔を陰極として、アルミニウム箔の表面に水酸化アルミニウム皮膜を形成した。なお、電解処理は、直流電源で行った。直流電流密度は、15A/dm2とし、30秒間印加した。
 水酸化アルミニウム皮膜形成後、スプレーによる水洗を行った。
 (b1)電解溶解処理(貫通孔形成工程A)
 次いで、50℃に保温した電解液(硝酸濃度1%、硫酸濃度0.2%、アルミニウム濃度0.5%)を用いて、アルミニウム箔を陽極として、電流密度を、22A/dm2とし、電気量総和が1000C/dm2の条件下で電解処理を施し、アルミニウム箔および水酸化アルミニウム皮膜に貫通孔を形成した。なお、電解処理は、直流電源で行った。
 貫通孔の形成後、スプレーによる水洗を行い、乾燥させた。
 (c1)水酸化アルミニウム皮膜の除去処理(皮膜除去工程)
 次いで、電解溶解処理後のアルミニウム箔を、水酸化ナトリウム濃度5質量%、アルミニウムイオン濃度0.5質量%の水溶液(液温35℃)中に30秒間浸漬させた後、硫酸濃度30%、アルミニウムイオン濃度0.5質量%の水溶液(液温50℃)中に20秒間浸漬させることにより、水酸化アルミニウム皮膜を溶解し、除去した。
 その後、スプレーによる水洗を行い、乾燥させることにより、貫通孔を有するアルミニウム箔を作製した。
 作製した金属箔について、上述した方法により、貫通孔による平均開口率および平均開口径を測定した。
 また、作製した金属箔の光透過率を上述した方法により測定した。
 これらの結果を下記表2に示す。
 <保護層の形成>
 保護層反応物を調製した後、60分間撹攪拌し、メタノールを添加し、保護層組成物1とした。
 上記で作製したアルミニウム箔の一方の表面に保護層組成物1を塗布し、120℃で10分間乾燥させ、厚みが約1μmの保護層を形成した。
―――――――――――――――――――――――――――――――――
保護層組成物1
―――――――――――――――――――――――――――――――――
・テトラエチルシリケート              50.0質量部
・メタノール                    10.8質量部
・水                        86.4質量部
・リン酸(85%)                 0.08質量部
―――――――――――――――――――――――――――――――――
 また、この保護層組成物1を用いて透明支持体上に保護層を形成し光透過率を測定したところ90%であった。
 〔実施例2〕
 <貫通孔を有する金属箔の作製>
 金属箔として、平均厚み10μm、大きさ200mm×300mmの銅箔(JIS C 1100-H、電解銅箔)を用いた。
 銅箔に、以下に示す処理を施し、貫通孔を形成した。
 (d1)第1マスキング層形成工程
 銅箔上の片面に、下記組成に調製したマスキング層形成用組成物1を塗布し、乾燥させ、厚みが約1μmの第1マスキング層A1を形成した。
 また、銅箔の逆側の面には、銅粒子を除いた以外は下記マスキング層形成用組成物1と同様の比率で調製した組成物を塗布し、乾燥させ、厚みが約1μmの第2マスキング層B1を形成した。
―――――――――――――――――――――――――――――――――
マスキング層形成用組成物1
―――――――――――――――――――――――――――――――――
・m,p-クレゾールノボラック
 (m/p比=6/4、重量平均分子量4100)    1.2質量部
・HXR-Cu(銅粒子、平均粒子径:5.0μm、
 日本アトマイズ加工(株)社製)           0.4質量部
・メガファックF-780-F(界面活性剤、DIC(株)製)
                           0.1質量部
・メチルエチルケトン                 1.0質量部
・1-メトキシ-2-プロパノール           5.0質量部
―――――――――――――――――――――――――――――――――
 (e1)貫通孔形成工程B
 次いで、第1マスキング層A1および第2マスキング層B1を有する銅箔に40℃に保温したエッチャント(塩化鉄(III)濃度:30質量%、塩酸濃度:3.65質量%)をスプレーにより120秒間噴霧し、その後、スプレーによる水洗を行い、乾燥させることにより、貫通孔を形成した。
 (f1)マスキング層除去工程
 次いで、貫通孔形成後の銅箔を、液温50℃のアルカリ性水溶液(水酸化ナトリウム濃度:0.4質量%)中に120秒間浸漬させることにより、第1マスキング層A1および第2マスキング層B1を溶解し、除去した。
 その後、スプレーによる水洗を行い、乾燥させることにより、貫通孔を有する金属箔(銅箔)を作製した。
 <保護層の形成>
 作製した金属箔(銅箔)の一方の表面に、上記実施例1と同様にして保護層を形成した。
 〔実施例3〕
 金属箔の厚みを10μmとし、(b1)電解溶解処理(貫通孔形成工程A)において、電解処理の際の電流密度を35A/dm2とし、電気量総和を380C/dm2とし、(c1)水酸化アルミニウム皮膜の除去処理(皮膜除去工程)において、水溶液中の水酸化ナトリウム濃度を35質量%とし、金属箔の保護層が形成された表面とは反対側の表面に下記の方法で樹脂層を形成した以外は、実施例1と同様にして積層体を作製した。
 <樹脂層の形成>
 貫通孔を形成したアルミニウム箔の、保護層が形成されていない表面に、特開2013-121673号公報に記載された方法で、厚さ100μmのPETを樹脂層としてラミネートした。樹脂層の厚みは100μmであった。ラミネート後の樹脂層の厚みは100μmであった。
 〔実施例4〕
 下記保護層組成物2を用いて保護層を形成した以外は、実施例3と同様にして積層体を作製した。
―――――――――――――――――――――――――――――――――
保護層組成物2
―――――――――――――――――――――――――――――――――
・テトラエチルシリケート              30.0質量部
・酸化チタンPT501-A(石原産業製)       20.0質量部
・メタノール                    10.8質量部
・水                        86.4質量部
・リン酸(85%)                 0.08質量部
―――――――――――――――――――――――――――――――――
 また、この保護層組成物2を用いて透明支持体上に保護層を形成し光透過率を測定したところ50%であった。
 〔実施例5〕
 保護層の厚みを10μmとした以外は、実施例3と同様にして積層体を作製した。
保護層の光透過率を測定したところ80%であった。
 〔実施例6〕
 下記保護層組成物3を用いて保護層を形成した以外は、実施例3と同様にして積層体を作製した。
―――――――――――――――――――――――――――――――――
保護層組成物3
―――――――――――――――――――――――――――――――――
・テトラエチルシリケート              20.0質量部
・酸化チタンPT501-A(石原産業製)       30.0質量部
・メタノール                    10.8質量部
・水                        86.4質量部
・リン酸(85%)                 0.08質量部
―――――――――――――――――――――――――――――――――
 また、この保護層組成物3を用いて透明支持体上に保護層を形成し光透過率を測定したところ30%であった。
 〔実施例7〕
 下記保護層組成物4からなる保護層を形成した以外は実施例3と同様にして積層体を作製した。
―――――――――――――――――――――――――――――――――
保護層組成物4
―――――――――――――――――――――――――――――――――
・テトラノルマルブチルチタネート
(マツモトファインケミカル株式会社製 TA-21) 50.0質量部
・2-プロパノール                 86.4質量部
・水                        10.8質量部
・リン酸(85%)                 0.08質量部
―――――――――――――――――――――――――――――――――
 また、この保護層組成物4を用いて透明支持体上に保護層を形成し光透過率を測定したところ90%であった。
 〔比較例1〕
 保護層を形成しない以外は実施例3と同様にして金属箔(アルミニウム箔)を作製した。
 〔比較例2〕
 保護層として金属酸化物を含有しない、下記保護層組成物5からなる保護層を形成した以外は実施例3と同様にして積層体を作製した。
――――――――――――――――――――――――――――――――――
保護層組成物5
――――――――――――――――――――――――――――――――――
・PMMA(ポリメタクリル酸メチル) SIGMA-ALDRICH社製
 (重量平均分子量~15000)           5.0質量部
・エタノール                    20.0質量部
・1-メトキシ-2-プロパノール          75.0質量部
――――――――――――――――――――――――――――――――――
 〔比較例3〕
 保護層の厚みを10μmとした以外は比較例2と同様にして積層体を作製した。
 〔評価〕
 作製した実施例および比較例の積層体について、光透過性、金属光沢、耐傷性、耐候性、および、耐溶剤性を評価した。
 <光透過性>
 積層体の、200nm~900nmの波長域における光透過率を測定した。
 光透過率は、日本電色工業株式会社製のNDH4000を用いて、JIS K 7361に準拠して測定した。
 <金属光沢>
 積層体の保護層が形成された側の表面(比較例1においては金属箔の表面)外観を目視により評価した。元の金属と変わらない場合をA、若干の濁りが見られる場合をB、鈍く変色し、金属光沢が若干落ちた場合をC、テカリが発生し金属光沢が見られない場合をDと評価した。
 <耐傷性>
 積層体の保護層が形成された側の表面に対して、JIS K 5600-5-4に従い鉛筆硬度試験を行い、傷が目視される直前の硬さを調べた。
 <耐候性>
 各実施例および比較例の積層体に対して、JIS K 7350-4に従い、促進耐候性試験(2000時間)を実施し、その後、光透過率を測定し試験前の光透過率に対する比率を求めた。試験前の光透過率に対する比率が90%以上であればA、90%未満~80%以上であればB、80%未満であればCと評価した。
 また、試験後の積層体の保護層が形成された側の表面外観(金属光沢)を目視により上記と同様の基準で評価した。
 <耐溶剤性>
 各実施例および比較例の積層体を、アセトンおよび水で50%に希釈したエタノールに室温で60分浸漬し、その後、光透過率を測定し、試験前の光透過率に対する比率を求めた。試験前の光透過率に対する比率が90%以上であればA、90%未満~80%以上であればB、80%未満であればCと評価した。
 結果を表3に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
 表2および表3から、比較例1のように金属箔が剥き出しの場合には、耐傷性が低く、また、自然環境下で経時により金属光沢が失われてしまうことがわかる。また、薄い樹脂層(金属酸化物を含有しない樹脂層)を設けた比較例2の場合には、樹脂層が薄いために十分な耐候性、耐溶剤性が得られないことがわかる。また、厚い樹脂層を設けた比較例3の場合には、樹脂層が厚いため金属光沢が失われてしまうことがわかる。
 これに対して、金属箔の表面に金属酸化物を含有する保護層を設けた本発明の実施例は比較例に比べて、光透過性と金属光沢とを両立でき、かつ、耐傷性、耐候性および耐溶剤性が高いことがわかる。
 また、実施例3、実施例4および実施例6の対比から、保護層の光透過率は50%以上が好ましく、90%以上がより好ましいことがわかる。
 また、実施例3と実施例5との対比から、保護層の厚みは10μm以下が好ましいことがわかる。
 以上の結果から本発明の効果は明らかである。
 1 金属箔(アルミニウム箔)
 2 水酸化アルミニウム皮膜
 3 貫通孔を有する金属箔(貫通孔を有するアルミニウム箔)
 4 貫通孔を有する水酸化アルミニウム皮膜
 5 貫通孔
 6 樹脂層
 7 保護層
 8 第1マスキング層
 9 粒子(金属粒子)
 10a~10c 積層体
 11 第2マスキング層
 12 凹部

Claims (7)

  1.  厚み方向に貫通する複数の貫通孔を有する金属箔と、
     前記金属箔の少なくとも一方の表面に設けられる保護層と、を有し、
     前記保護層は、金属酸化物を含有し、
     前記金属箔は、前記貫通孔の平均開口径が0.1μm~100μmであり、前記貫通孔による平均開口率が0.1%~90%であり、
     前記保護層の光透過率が10%以上である積層体。
  2.  前記保護層は前記金属箔の一方の表面に設けられており、
     前記金属箔の、前記保護層が設けられた表面とは反対側の表面に設けられる樹脂層を有する請求項1に記載の積層体。
  3.  前記保護層中における前記金属酸化物の含有量が、前記保護層の全質量に対して60質量%以上である請求項1または2に記載の積層体。
  4.  前記保護層は、ゾルゲル法により形成されたものである請求項1~3のいずれか一項に記載の積層体。
  5.  前記保護層の平均厚みが0.01μm~10μmである請求項1~4のいずれか一項に記載の積層体。
  6.  前記金属箔の平均厚みが5μm~1000μmである請求項1~5のいずれか一項に記載の積層体。
  7.  前記金属箔は、アルミニウム箔、銅箔、銀箔、金箔、白金箔、ステンレス箔、チタン箔、タンタル箔、モリブデン箔、ニオブ箔、ジルコニウム箔、タングステン箔、ベリリウム銅箔、燐青銅箔、黄銅箔、洋白箔、錫箔、鉛箔、亜鉛箔、半田箔、鉄箔、ニッケル箔、パーマロイ箔、ニクロム箔、42アロイ箔、コバール箔、モネル箔、インコネル箔、および、ハステロイ箔からなる群から選択される箔であり、または、前記群から選択される箔と、選択された箔とは異なる種類の金属とが積層されてなる箔である請求項1~6のいずれか一項に記載の積層体。
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08121684A (ja) * 1994-10-18 1996-05-17 Kubota Corp 真空断熱体の充填材
JP2001172573A (ja) * 1999-12-17 2001-06-26 Nippon Sheet Glass Co Ltd 酸化物膜被覆物品およびその製造方法
JP2002285357A (ja) * 2001-03-23 2002-10-03 Seiichi Rengakuji 防汚アルミニウム材およびその製造方法
WO2008020482A1 (fr) * 2006-08-18 2008-02-21 Reiko Co., Ltd. Matière isolante qui excelle par son brillant métallique et article moulé qui utilise celle-ci
JP2010533088A (ja) * 2007-07-11 2010-10-21 ピーピージー インダストリーズ オハイオ, インコーポレイテッド 耐傷性および耐引っ掻き性が改良された装飾用金属のためのコーティングおよびその塗布方法
WO2017150099A1 (ja) * 2016-02-29 2017-09-08 富士フイルム株式会社 複合体
JP2017208407A (ja) * 2016-05-17 2017-11-24 大日本印刷株式会社 電波吸収体

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010011185A1 (de) * 2010-03-12 2011-09-15 Epg (Engineered Nanoproducts Germany) Ag Metallische Oberflächen mit dünner, glas- oder keramikartiger Schutzschicht mit hoher chemischer Beständigkeit und verbesserten Antihaft-Eigenschaften

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08121684A (ja) * 1994-10-18 1996-05-17 Kubota Corp 真空断熱体の充填材
JP2001172573A (ja) * 1999-12-17 2001-06-26 Nippon Sheet Glass Co Ltd 酸化物膜被覆物品およびその製造方法
JP2002285357A (ja) * 2001-03-23 2002-10-03 Seiichi Rengakuji 防汚アルミニウム材およびその製造方法
WO2008020482A1 (fr) * 2006-08-18 2008-02-21 Reiko Co., Ltd. Matière isolante qui excelle par son brillant métallique et article moulé qui utilise celle-ci
JP2010533088A (ja) * 2007-07-11 2010-10-21 ピーピージー インダストリーズ オハイオ, インコーポレイテッド 耐傷性および耐引っ掻き性が改良された装飾用金属のためのコーティングおよびその塗布方法
WO2017150099A1 (ja) * 2016-02-29 2017-09-08 富士フイルム株式会社 複合体
JP2017208407A (ja) * 2016-05-17 2017-11-24 大日本印刷株式会社 電波吸収体

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