JP5897755B2 - 表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器、半導体パッケージ、プリント配線板の製造方法、電子機器の製造方法、半導体パッケージの製造方法、樹脂基材の製造方法、銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法 - Google Patents
表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器、半導体パッケージ、プリント配線板の製造方法、電子機器の製造方法、半導体パッケージの製造方法、樹脂基材の製造方法、銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法 Download PDFInfo
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- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 320
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 title claims description 278
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims description 264
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims description 264
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 71
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 66
- 239000010949 copper Substances 0.000 title claims description 56
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 49
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 title claims description 42
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 30
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 157
- -1 aluminate compound Chemical class 0.000 claims description 64
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims description 42
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 39
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims description 36
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 35
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 32
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 claims description 30
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 claims description 30
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 27
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 26
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 25
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 claims description 25
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 claims description 24
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 24
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 19
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 19
- 238000007788 roughening Methods 0.000 claims description 18
- ZCDOYSPFYFSLEW-UHFFFAOYSA-N chromate(2-) Chemical compound [O-][Cr]([O-])(=O)=O ZCDOYSPFYFSLEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 17
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 17
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 8
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 claims description 5
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 claims description 5
- 125000001183 hydrocarbyl group Chemical group 0.000 claims 18
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 51
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 42
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 31
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 29
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 21
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 20
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 20
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 20
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 20
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 19
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 18
- 239000000047 product Substances 0.000 description 18
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 16
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 13
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 11
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 11
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 11
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 11
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 11
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 11
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 10
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 10
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 9
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 9
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 9
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical class [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910001297 Zn alloy Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 8
- 125000002029 aromatic hydrocarbon group Chemical group 0.000 description 8
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 8
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 8
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 7
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 7
- QELJHCBNGDEXLD-UHFFFAOYSA-N nickel zinc Chemical compound [Ni].[Zn] QELJHCBNGDEXLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 7
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 7
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 7
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 7
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 6
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 6
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 6
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 6
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 6
- SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N aluminium isopropoxide Chemical compound [Al+3].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 5
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 5
- 125000001972 isopentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 5
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 5
- 125000001971 neopentyl group Chemical group [H]C([*])([H])C(C([H])([H])[H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 5
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 5
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 5
- SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CEBHMVOOKFCKQS-UHFFFAOYSA-N C(CCCCCCCCC)[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C Chemical group C(CCCCCCCCC)[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C CEBHMVOOKFCKQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 4
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 4
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 4
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 4
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 4
- WREDNSAXDZCLCP-UHFFFAOYSA-N methanedithioic acid Chemical compound SC=S WREDNSAXDZCLCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 4
- 125000000740 n-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 4
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- KMUONIBRACKNSN-UHFFFAOYSA-N potassium dichromate Chemical compound [K+].[K+].[O-][Cr](=O)(=O)O[Cr]([O-])(=O)=O KMUONIBRACKNSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 4
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910002058 ternary alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N (3-aminopropyl)triethoxysilane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXIWHUQXZSMYRE-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzothiazole-2-thiol Chemical compound C1=CC=C2SC(S)=NC2=C1 YXIWHUQXZSMYRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZYVYEJXMYBUCMN-UHFFFAOYSA-N 1-methoxy-2-methylpropane Chemical compound COCC(C)C ZYVYEJXMYBUCMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000001637 1-naphthyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C2C(*)=C([H])C([H])=C([H])C2=C1[H] 0.000 description 3
- 125000001622 2-naphthyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C2C([H])=C(*)C([H])=C([H])C2=C1[H] 0.000 description 3
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WKCJNWWBNPXUHZ-UHFFFAOYSA-N C(CC)[Zr](OCCCC)(OCCCC)OCCCC Chemical compound C(CC)[Zr](OCCCC)(OCCCC)OCCCC WKCJNWWBNPXUHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 3
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 3
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 3
- 125000005428 anthryl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C2C([H])=C3C(*)=C([H])C([H])=C([H])C3=C([H])C2=C1[H] 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 239000007859 condensation product Substances 0.000 description 3
- 125000001995 cyclobutyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 3
- 125000000582 cycloheptyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 3
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 3
- 125000000640 cyclooctyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 3
- 125000001511 cyclopentyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 3
- 125000001559 cyclopropyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C1([H])* 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000004453 electron probe microanalysis Methods 0.000 description 3
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 3
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 3
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 3
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 3
- 238000010979 pH adjustment Methods 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical group [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 150000003566 thiocarboxylic acids Chemical class 0.000 description 3
- RMVRSNDYEFQCLF-UHFFFAOYSA-N thiophenol Chemical compound SC1=CC=CC=C1 RMVRSNDYEFQCLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000003944 tolyl group Chemical group 0.000 description 3
- JCVQKRGIASEUKR-UHFFFAOYSA-N triethoxy(phenyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C1=CC=CC=C1 JCVQKRGIASEUKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HQYALQRYBUJWDH-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(propyl)silane Chemical compound CCC[Si](OC)(OC)OC HQYALQRYBUJWDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 3
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000005023 xylyl group Chemical group 0.000 description 3
- XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[[4-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenyl]methyl]phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C(C=C1)=CC=C1CC1=CC=C(N2C(C=CC2=O)=O)C=C1 XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000022 2-aminoethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])N([H])[H] 0.000 description 2
- LMPMFQXUJXPWSL-UHFFFAOYSA-N 3-(3-sulfopropyldisulfanyl)propane-1-sulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CCCSSCCCS(O)(=O)=O LMPMFQXUJXPWSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PMJIKKNFJBDSHO-UHFFFAOYSA-N 3-[3-aminopropyl(diethoxy)silyl]oxy-3-methylpentane-1,5-diol Chemical compound NCCC[Si](OCC)(OCC)OC(C)(CCO)CCO PMJIKKNFJBDSHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFSRINVVFGTVOA-UHFFFAOYSA-N 3-[butoxy(dimethoxy)silyl]propan-1-amine Chemical compound CCCCO[Si](OC)(OC)CCCN KFSRINVVFGTVOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFNLUYRPANEYJZ-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)[Ti](OCC)(OCC)OCC Chemical compound C(C)(C)[Ti](OCC)(OCC)OCC LFNLUYRPANEYJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- REPJEOHVYFVHAQ-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)[Zr](OCC)(OCC)OCC Chemical compound C(C)(C)[Zr](OCC)(OCC)OCC REPJEOHVYFVHAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LTJTVYQUGMECJC-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)[Zr](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C Chemical compound C1(=CC=CC=C1)[Zr](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C LTJTVYQUGMECJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NWMOELHTLYQZAK-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)[Zr](OC)(OC)OC Chemical compound C1(=CC=CC=C1)[Zr](OC)(OC)OC NWMOELHTLYQZAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IDSNHSOYZUDTCG-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)[Zr](OCC)(OCC)OCC Chemical compound C1(=CC=CC=C1)[Zr](OCC)(OCC)OCC IDSNHSOYZUDTCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NRLROCCHAWUFAK-UHFFFAOYSA-N CC(C)O[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)C1=CC=CC=C1 Chemical group CC(C)O[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)C1=CC=CC=C1 NRLROCCHAWUFAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PQZRIHABPZTYJN-UHFFFAOYSA-N CCO[Ti](OCC)(OCC)C1=CC=CC=C1 Chemical compound CCO[Ti](OCC)(OCC)C1=CC=CC=C1 PQZRIHABPZTYJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BBQNJCCMGOPPQJ-UHFFFAOYSA-N CO[Ti](OC)(OC)C1=CC=CC=C1 Chemical compound CO[Ti](OC)(OC)C1=CC=CC=C1 BBQNJCCMGOPPQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910020630 Co Ni Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002440 Co–Ni Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M Sodium laurylsulphate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N ac1mqpva Chemical compound CC12C(=O)OC(=O)C1(C)C1(C)C2(C)C(=O)OC1=O GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- JPUHCPXFQIXLMW-UHFFFAOYSA-N aluminium triethoxide Chemical compound CCO[Al](OCC)OCC JPUHCPXFQIXLMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N benzothiazole Chemical compound C1=CC=C2SC=NC2=C1 IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical group 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000007809 chemical reaction catalyst Substances 0.000 description 2
- IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N chlorotrimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(C)Cl IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 2
- KQAHMVLQCSALSX-UHFFFAOYSA-N decyl(trimethoxy)silane Chemical compound CCCCCCCCCC[Si](OC)(OC)OC KQAHMVLQCSALSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JWTZUGLUHPPGQT-UHFFFAOYSA-N diethoxy(phenyl)alumane Chemical compound CC[O-].CC[O-].[Al+2]C1=CC=CC=C1 JWTZUGLUHPPGQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GFYNCJKZQCYWHC-UHFFFAOYSA-N dimethoxy(phenyl)alumane Chemical compound CO[Al](OC)C1=CC=CC=C1 GFYNCJKZQCYWHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JGHYBJVUQGTEEB-UHFFFAOYSA-M dimethylalumanylium;chloride Chemical compound C[Al](C)Cl JGHYBJVUQGTEEB-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 150000004662 dithiols Chemical class 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- XGZNHFPFJRZBBT-UHFFFAOYSA-N ethanol;titanium Chemical compound [Ti].CCO.CCO.CCO.CCO XGZNHFPFJRZBBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UARGAUQGVANXCB-UHFFFAOYSA-N ethanol;zirconium Chemical compound [Zr].CCO.CCO.CCO.CCO UARGAUQGVANXCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001033 ether group Chemical group 0.000 description 2
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GAEKPEKOJKCEMS-UHFFFAOYSA-N gamma-valerolactone Chemical compound CC1CCC(=O)O1 GAEKPEKOJKCEMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- CZWLNMOIEMTDJY-UHFFFAOYSA-N hexyl(trimethoxy)silane Chemical compound CCCCCC[Si](OC)(OC)OC CZWLNMOIEMTDJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- ZEIWWVGGEOHESL-UHFFFAOYSA-N methanol;titanium Chemical compound [Ti].OC.OC.OC.OC ZEIWWVGGEOHESL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PJUIMOJAAPLTRJ-UHFFFAOYSA-N monothioglycerol Chemical compound OCC(O)CS PJUIMOJAAPLTRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N n'-(3-trimethoxysilylpropyl)ethane-1,2-diamine Chemical group CO[Si](OC)(OC)CCCNCCN PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GDGOJEMDZGZECC-UHFFFAOYSA-N n'-[(3-ethenylphenyl)methyl]-n-(3-trimethoxysilylpropyl)ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNCCNCC1=CC=CC(C=C)=C1 GDGOJEMDZGZECC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N n-(3-trimethoxysilylpropyl)aniline Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNC1=CC=CC=C1 KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DVYVMJLSUSGYMH-UHFFFAOYSA-N n-methyl-3-trimethoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CNCCC[Si](OC)(OC)OC DVYVMJLSUSGYMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- FPBPLJLZKUYQIA-UHFFFAOYSA-N phenyl-di(propan-2-yloxy)alumane Chemical compound C1(=CC=CC=C1)[Al](OC(C)C)OC(C)C FPBPLJLZKUYQIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- RLJWTAURUFQFJP-UHFFFAOYSA-N propan-2-ol;titanium Chemical compound [Ti].CC(C)O.CC(C)O.CC(C)O.CC(C)O RLJWTAURUFQFJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BCWYYHBWCZYDNB-UHFFFAOYSA-N propan-2-ol;zirconium Chemical compound [Zr].CC(C)O.CC(C)O.CC(C)O.CC(C)O BCWYYHBWCZYDNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N silanamine Chemical compound [SiH3]N FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 2
- 125000000547 substituted alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- 150000003573 thiols Chemical class 0.000 description 2
- CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N triethoxy(methyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)OCC CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(phenyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1 ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UAEJRRZPRZCUBE-UHFFFAOYSA-N trimethoxyalumane Chemical compound [Al+3].[O-]C.[O-]C.[O-]C UAEJRRZPRZCUBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N trimethoxysilane Chemical compound CO[SiH](OC)OC YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229930195735 unsaturated hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- NDKWCCLKSWNDBG-UHFFFAOYSA-N zinc;dioxido(dioxo)chromium Chemical compound [Zn+2].[O-][Cr]([O-])(=O)=O NDKWCCLKSWNDBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DGVVWUTYPXICAM-UHFFFAOYSA-N β‐Mercaptoethanol Chemical compound OCCS DGVVWUTYPXICAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SKUXHKDKPIDWFM-UHFFFAOYSA-N (4-methylphenyl)-di(propan-2-yloxy)alumane Chemical compound CC1=CC=C(C=C1)[Al](OC(C)C)OC(C)C SKUXHKDKPIDWFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYMPLPIFKRHAAC-UHFFFAOYSA-N 1,2-ethanedithiol Chemical compound SCCS VYMPLPIFKRHAAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DOVWXDUOIJZAGN-UHFFFAOYSA-N 10-aminododecane-1-thiol Chemical compound CCC(N)CCCCCCCCCS DOVWXDUOIJZAGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IDXOZZNUOVLNGO-UHFFFAOYSA-N 12-sulfanyldodecan-3-ol Chemical compound OC(CCCCCCCCCS)CC IDXOZZNUOVLNGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 1H-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC=NC2=C1 HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFBBKYQYNPNMAT-UHFFFAOYSA-N 1h-1,2,4-triazol-1-ium-3-thiolate Chemical compound SC=1N=CNN=1 AFBBKYQYNPNMAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMNLXDDJGGTIPL-UHFFFAOYSA-N 2,4-dimethylbenzenethiol Chemical compound CC1=CC=C(S)C(C)=C1 AMNLXDDJGGTIPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GFCRSKBAFJBQQS-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-11-sulfanylundecanoic acid Chemical compound C(=O)(O)C(CCCCCCCCCS)CC GFCRSKBAFJBQQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940054266 2-mercaptobenzothiazole Drugs 0.000 description 1
- NLSFWPFWEPGCJJ-UHFFFAOYSA-N 2-methylprop-2-enoyloxysilicon Chemical compound CC(=C)C(=O)O[Si] NLSFWPFWEPGCJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BMVIHLQXGBMZNN-JXMROGBWSA-N 3-[(e)-2-methyl-4-trimethoxysilylbut-3-en-2-yl]oxypropan-1-amine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)\C=C\C(C)(C)OCCCN BMVIHLQXGBMZNN-JXMROGBWSA-N 0.000 description 1
- DKKYOQYISDAQER-UHFFFAOYSA-N 3-[3-(3-aminophenoxy)phenoxy]aniline Chemical compound NC1=CC=CC(OC=2C=C(OC=3C=C(N)C=CC=3)C=CC=2)=C1 DKKYOQYISDAQER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PJURIXUDYDHOMA-UHFFFAOYSA-N 3-[tris[2-(2-methoxyethoxy)ethoxy]silyl]propan-1-amine Chemical compound COCCOCCO[Si](CCCN)(OCCOCCOC)OCCOCCOC PJURIXUDYDHOMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMKWGXGSGPYISJ-UHFFFAOYSA-N 4-[4-[2-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propan-2-yl]phenoxy]aniline Chemical compound C=1C=C(OC=2C=CC(N)=CC=2)C=CC=1C(C)(C)C(C=C1)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 KMKWGXGSGPYISJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WCDSVWRUXWCYFN-UHFFFAOYSA-N 4-aminobenzenethiol Chemical compound NC1=CC=C(S)C=C1 WCDSVWRUXWCYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WLHCBQAPPJAULW-UHFFFAOYSA-N 4-methylbenzenethiol Chemical compound CC1=CC=C(S)C=C1 WLHCBQAPPJAULW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SWDDLRSGGCWDPH-UHFFFAOYSA-N 4-triethoxysilylbutan-1-amine Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCCN SWDDLRSGGCWDPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CNODSORTHKVDEM-UHFFFAOYSA-N 4-trimethoxysilylaniline Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=C(N)C=C1 CNODSORTHKVDEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZGCMCIDMMMHREV-UHFFFAOYSA-N 5-[tris(2-ethylhexoxy)silyl]pentane-1,3-diamine Chemical compound CCCCC(CC)CO[Si](CCC(N)CCN)(OCC(CC)CCCC)OCC(CC)CCCC ZGCMCIDMMMHREV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JVERADGGGBYHNP-UHFFFAOYSA-N 5-phenylbenzene-1,2,3,4-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1C(O)=O JVERADGGGBYHNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UGZAJZLUKVKCBM-UHFFFAOYSA-N 6-sulfanylhexan-1-ol Chemical compound OCCCCCCS UGZAJZLUKVKCBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical group [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001342 Bakelite® Polymers 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- MEGXDQPBFCOWNX-UHFFFAOYSA-L Br[Ti](Br)(c1ccccc1)c1ccccc1 Chemical compound Br[Ti](Br)(c1ccccc1)c1ccccc1 MEGXDQPBFCOWNX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- AARWDHZWSBEDCJ-UHFFFAOYSA-L Br[Zr](Br)(c1ccccc1)c1ccccc1 Chemical compound Br[Zr](Br)(c1ccccc1)c1ccccc1 AARWDHZWSBEDCJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- XFTHUZWWGKHRQI-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)(C)[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C Chemical compound C(C)(C)(C)[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C XFTHUZWWGKHRQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZINFLNQEEHZCTB-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)(C)[Ti](OC)(OC)OC Chemical compound C(C)(C)(C)[Ti](OC)(OC)OC ZINFLNQEEHZCTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMXYZKNCFHIWMJ-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)(C)[Ti](OCC)(OCC)OCC Chemical compound C(C)(C)(C)[Ti](OCC)(OCC)OCC UMXYZKNCFHIWMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CRGRAEKAAYUVLU-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)(C)[Zr](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C Chemical compound C(C)(C)(C)[Zr](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C CRGRAEKAAYUVLU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UESUBFMKIXUECB-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)(C)[Zr](OC)(OC)OC Chemical compound C(C)(C)(C)[Zr](OC)(OC)OC UESUBFMKIXUECB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PVZLFDBGOHYOBU-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)(C)[Zr](OCC)(OCC)OCC Chemical compound C(C)(C)(C)[Zr](OCC)(OCC)OCC PVZLFDBGOHYOBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KNHZFCNKXYRWIK-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)[Ti](OC)(OC)OC Chemical compound C(C)(C)[Ti](OC)(OC)OC KNHZFCNKXYRWIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QHTDCHMSSLFPLZ-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)[Zr](OC)(OC)OC Chemical compound C(C)(C)[Zr](OC)(OC)OC QHTDCHMSSLFPLZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VTUMRIWHELOPKY-UHFFFAOYSA-N C(C)[Zr](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C Chemical compound C(C)[Zr](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C VTUMRIWHELOPKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQLKIHZAISMEAT-UHFFFAOYSA-N C(C)[Zr](OC)(OC)OC Chemical compound C(C)[Zr](OC)(OC)OC DQLKIHZAISMEAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JNFHPNQJIIRBKD-UHFFFAOYSA-N C(CCCC)[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C Chemical compound C(CCCC)[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C JNFHPNQJIIRBKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GMAZIELCMRTUGE-UHFFFAOYSA-N C(CCCC)[Zr](OCC)(OCC)OCC Chemical compound C(CCCC)[Zr](OCC)(OCC)OCC GMAZIELCMRTUGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMTQYWCGRROMNB-UHFFFAOYSA-N C(CCCCC)[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C Chemical compound C(CCCCC)[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C AMTQYWCGRROMNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PEMNUNHFISSEER-UHFFFAOYSA-N C(CCCCC)[Zr](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C Chemical compound C(CCCCC)[Zr](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C PEMNUNHFISSEER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MMRRCDCXJAMKIP-UHFFFAOYSA-N C(CCCCC)[Zr](OC)(OC)OC Chemical compound C(CCCCC)[Zr](OC)(OC)OC MMRRCDCXJAMKIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MCVMZEAMGQRWGD-UHFFFAOYSA-N C(CCCCC)[Zr](OCC)(OCC)OCC Chemical compound C(CCCCC)[Zr](OCC)(OCC)OCC MCVMZEAMGQRWGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RFVDJPBNRSKTJM-UHFFFAOYSA-N C(CCCCCCCCC)[Ti](OC)(OC)OC Chemical compound C(CCCCCCCCC)[Ti](OC)(OC)OC RFVDJPBNRSKTJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BWFDCWHUUXTBAF-UHFFFAOYSA-N C(CCCCCCCCC)[Ti](OCC)(OCC)OCC Chemical compound C(CCCCCCCCC)[Ti](OCC)(OCC)OCC BWFDCWHUUXTBAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TTWFAZWBUAVCCY-UHFFFAOYSA-N C(CCCCCCCCC)[Zr](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C Chemical compound C(CCCCCCCCC)[Zr](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C TTWFAZWBUAVCCY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFFLZJWRKHJXCI-UHFFFAOYSA-N C(CCCCCCCCC)[Zr](OC)(OC)OC Chemical compound C(CCCCCCCCC)[Zr](OC)(OC)OC BFFLZJWRKHJXCI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DCJKJDVJEDOBLD-UHFFFAOYSA-N C(CCCCCCCCC)[Zr](OCC)(OCC)OCC Chemical compound C(CCCCCCCCC)[Zr](OCC)(OCC)OCC DCJKJDVJEDOBLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XVUQPESXTGAQTC-UHFFFAOYSA-N CC(C)O[Ti](C)(C)OC(C)C Chemical compound CC(C)O[Ti](C)(C)OC(C)C XVUQPESXTGAQTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TYJFMLFZOHGQOA-UHFFFAOYSA-N CC(C)O[Ti](C)(OC(C)C)OC(C)C Chemical compound CC(C)O[Ti](C)(OC(C)C)OC(C)C TYJFMLFZOHGQOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UQIOHQXBQGFYQL-UHFFFAOYSA-N CC(C)O[Zr](C)(C)OC(C)C Chemical compound CC(C)O[Zr](C)(C)OC(C)C UQIOHQXBQGFYQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UGZFSPIDJJXYOS-UHFFFAOYSA-N CC1=CC=C(C=C1)[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C Chemical compound CC1=CC=C(C=C1)[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C UGZFSPIDJJXYOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUFGMJFPOONHDD-UHFFFAOYSA-N CC1=CC=C(C=C1)[Ti](OC)(OC)OC Chemical compound CC1=CC=C(C=C1)[Ti](OC)(OC)OC FUFGMJFPOONHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JXFHFIUPFZESRF-UHFFFAOYSA-N CC1=CC=C(C=C1)[Ti](OCC)(OCC)OCC Chemical compound CC1=CC=C(C=C1)[Ti](OCC)(OCC)OCC JXFHFIUPFZESRF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUTOYRKOTJJZBH-UHFFFAOYSA-N CC1=CC=C(C=C1)[Zr](OC)(OC)OC Chemical compound CC1=CC=C(C=C1)[Zr](OC)(OC)OC XUTOYRKOTJJZBH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IXQYDYUVFUXTTH-UHFFFAOYSA-N CC1=CC=C(C=C1)[Zr](OCC)(OCC)OCC Chemical compound CC1=CC=C(C=C1)[Zr](OCC)(OCC)OCC IXQYDYUVFUXTTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FNSHNSSIEYQVJW-UHFFFAOYSA-N CCCCCC[Ti](OC)(OC)OC Chemical compound CCCCCC[Ti](OC)(OC)OC FNSHNSSIEYQVJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCKJLCIZGYHWCU-UHFFFAOYSA-N CCCCCC[Ti](OCC)(OCC)OCC Chemical compound CCCCCC[Ti](OCC)(OCC)OCC JCKJLCIZGYHWCU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AYAWAUCIDXKRJS-UHFFFAOYSA-N CCO[Ti](C)(C)OCC Chemical compound CCO[Ti](C)(C)OCC AYAWAUCIDXKRJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ITJHDXSUEINCDE-UHFFFAOYSA-N CCO[Ti](C)(OCC)OCC Chemical compound CCO[Ti](C)(OCC)OCC ITJHDXSUEINCDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJDCQWLPDJCAA-UHFFFAOYSA-N CCO[Ti](CC)(OCC)OCC Chemical compound CCO[Ti](CC)(OCC)OCC ATJDCQWLPDJCAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POFPFCXEHIUVHR-UHFFFAOYSA-N CCO[Zr](C)(C)OCC Chemical compound CCO[Zr](C)(C)OCC POFPFCXEHIUVHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IWESBPXAEDNEJI-UHFFFAOYSA-N CCO[Zr](C)(OCC)OCC Chemical compound CCO[Zr](C)(OCC)OCC IWESBPXAEDNEJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLEMSPCLROKULC-UHFFFAOYSA-N CCO[Zr](CC)(OCC)OCC Chemical compound CCO[Zr](CC)(OCC)OCC XLEMSPCLROKULC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXTPCABYRDQKAJ-UHFFFAOYSA-N CC[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C Chemical compound CC[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C XXTPCABYRDQKAJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XEYPUVOBWLBTKR-UHFFFAOYSA-N CC[Ti](OC)(OC)OC Chemical compound CC[Ti](OC)(OC)OC XEYPUVOBWLBTKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GUWTUQVATYZAIT-UHFFFAOYSA-N CO[Ti](C)(C)OC Chemical compound CO[Ti](C)(C)OC GUWTUQVATYZAIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZSUKUOGKYJEUPO-UHFFFAOYSA-N CO[Ti](C)(OC)OC Chemical compound CO[Ti](C)(OC)OC ZSUKUOGKYJEUPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RNVHPBRQCJGAEL-UHFFFAOYSA-N CO[Zr](C)(C)OC Chemical compound CO[Zr](C)(C)OC RNVHPBRQCJGAEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKZKLABUTFRSJN-UHFFFAOYSA-N CO[Zr](C)(OC)OC Chemical compound CO[Zr](C)(OC)OC WKZKLABUTFRSJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LBLJRMOSEXHZJU-UHFFFAOYSA-L C[Ti](C)(Br)Br Chemical compound C[Ti](C)(Br)Br LBLJRMOSEXHZJU-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ZSURQIOGCDFZDR-UHFFFAOYSA-M C[Ti](C)(C)Cl Chemical compound C[Ti](C)(C)Cl ZSURQIOGCDFZDR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- OMYCCIOHKJQZRU-UHFFFAOYSA-N C[Zr+3].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] Chemical compound C[Zr+3].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] OMYCCIOHKJQZRU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YZGWUFQVIHZQRK-UHFFFAOYSA-L C[Zr](C)(Br)Br Chemical compound C[Zr](C)(Br)Br YZGWUFQVIHZQRK-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- GYOKZAWZKPAQEX-UHFFFAOYSA-M C[Zr](C)(C)Cl Chemical compound C[Zr](C)(C)Cl GYOKZAWZKPAQEX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- BTBWBLQKMKYGIX-UHFFFAOYSA-L C[Zr](F)(F)C Chemical compound C[Zr](F)(F)C BTBWBLQKMKYGIX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBDFYFHSUDRILU-UHFFFAOYSA-K Cl[Ti](Cl)(Cl)c1ccccc1 Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)c1ccccc1 WBDFYFHSUDRILU-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- HANBKTXNGOJAII-UHFFFAOYSA-K Cl[Zr](Cl)(Cl)c1ccccc1 Chemical compound Cl[Zr](Cl)(Cl)c1ccccc1 HANBKTXNGOJAII-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229940126062 Compound A Drugs 0.000 description 1
- WIVJURURIOGHJD-UHFFFAOYSA-N FC(CC[Ti](OC)(OC)OC)(F)F Chemical compound FC(CC[Ti](OC)(OC)OC)(F)F WIVJURURIOGHJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WCCMAVWPCRWHTB-UHFFFAOYSA-N FC(CC[Zr](OC)(OC)OC)(F)F Chemical compound FC(CC[Zr](OC)(OC)OC)(F)F WCCMAVWPCRWHTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N Heterophylliin A Natural products O1C2COC(=O)C3=CC(O)=C(O)C(O)=C3C3=C(O)C(O)=C(O)C=C3C(=O)OC2C(OC(=O)C=2C=C(O)C(O)=C(O)C=2)C(O)C1OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N Thiazole Chemical compound C1=CSC=N1 FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PVLBXNICXUCXTA-UHFFFAOYSA-N [2-hydroxy-3-(3-triethoxysilylpropylamino)propyl] prop-2-enoate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCNCC(O)COC(=O)C=C PVLBXNICXUCXTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PVRIRQFFAWJTPS-UHFFFAOYSA-L [Cl-].[Cl-].C[Zr+2]C Chemical compound [Cl-].[Cl-].C[Zr+2]C PVRIRQFFAWJTPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- DGXOWMLKUUUVMZ-UHFFFAOYSA-K [Cl-].[Cl-].[Cl-].[Ti+3]C Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Cl-].[Ti+3]C DGXOWMLKUUUVMZ-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- HCVWSVWRFCCSNL-UHFFFAOYSA-K [Cl-].[Cl-].[Cl-].[Zr+3]C Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Cl-].[Zr+3]C HCVWSVWRFCCSNL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- QZYDAIMOJUSSFT-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ni].[Mo] Chemical compound [Co].[Ni].[Mo] QZYDAIMOJUSSFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LMZWAJYABPXUHR-UHFFFAOYSA-L [F-].[F-].C[Ti+2]C Chemical compound [F-].[F-].C[Ti+2]C LMZWAJYABPXUHR-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- DFQYFGLFYJAROV-UHFFFAOYSA-N [O-]CC.[O-]CC.C(C)O[Al](CC)OCC.C[Al+2] Chemical compound [O-]CC.[O-]CC.C(C)O[Al](CC)OCC.C[Al+2] DFQYFGLFYJAROV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIJGNTRUPZPVNG-UHFFFAOYSA-N benzenecarbothioic s-acid Chemical compound SC(=O)C1=CC=CC=C1 UIJGNTRUPZPVNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- XGZGKDQVCBHSGI-UHFFFAOYSA-N butyl(triethoxy)silane Chemical compound CCCC[Si](OCC)(OCC)OCC XGZGKDQVCBHSGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SXPLZNMUBFBFIA-UHFFFAOYSA-N butyl(trimethoxy)silane Chemical compound CCCC[Si](OC)(OC)OC SXPLZNMUBFBFIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- NVIVJPRCKQTWLY-UHFFFAOYSA-N cobalt nickel Chemical compound [Co][Ni][Co] NVIVJPRCKQTWLY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- JZCCFEFSEZPSOG-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate pentahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.[Cu+2].[O-]S([O-])(=O)=O JZCCFEFSEZPSOG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002933 cyclohexyloxy group Chemical group C1(CCCCC1)O* 0.000 description 1
- WNJVNPGSANNOKM-UHFFFAOYSA-N decyl(diethoxy)alumane Chemical compound C(CCCCCCCCC)[Al](OCC)OCC WNJVNPGSANNOKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGXBZJHPDDGPQB-UHFFFAOYSA-N decyl(dimethoxy)alumane Chemical compound C(CCCCCCCCC)[Al](OC)OC DGXBZJHPDDGPQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BAAAEEDPKUHLID-UHFFFAOYSA-N decyl(triethoxy)silane Chemical compound CCCCCCCCCC[Si](OCC)(OCC)OCC BAAAEEDPKUHLID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPTFWXJGBJVABF-UHFFFAOYSA-N decyl-di(propan-2-yloxy)alumane Chemical compound C(CCCCCCCCC)[Al](OC(C)C)OC(C)C RPTFWXJGBJVABF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- LIQOCGKQCFXKLF-UHFFFAOYSA-N dibromo(dimethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(Br)Br LIQOCGKQCFXKLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBUGVTOEUNNUHR-UHFFFAOYSA-N dibromo(diphenyl)silane Chemical compound C=1C=CC=CC=1[Si](Br)(Br)C1=CC=CC=C1 DBUGVTOEUNNUHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SOCTUWSJJQCPFX-UHFFFAOYSA-N dichromate(2-) Chemical compound [O-][Cr](=O)(=O)O[Cr]([O-])(=O)=O SOCTUWSJJQCPFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CMMUKUYEPRGBFB-UHFFFAOYSA-L dichromic acid Chemical compound O[Cr](=O)(=O)O[Cr](O)(=O)=O CMMUKUYEPRGBFB-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- WJPUZKVKWVCCET-UHFFFAOYSA-N diethoxy(pentyl)alumane Chemical compound C(CCCC)[Al](OCC)OCC WJPUZKVKWVCCET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZVIOPULJMXGOB-UHFFFAOYSA-N dimethoxy(3,3,3-trifluoropropyl)alumane Chemical compound FC(CC[Al](OC)OC)(F)F BZVIOPULJMXGOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWDCKAZFSZFHOI-UHFFFAOYSA-N dimethoxy(octyl)alumane Chemical compound C[O-].C(CCCCCCC)[Al+2].C[O-] RWDCKAZFSZFHOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FQCQVANPVQMMKW-UHFFFAOYSA-N dimethoxy-(4-methylphenyl)alumane Chemical compound CC1=CC=C(C=C1)[Al](OC)OC FQCQVANPVQMMKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HJYACKPVJCHPFH-UHFFFAOYSA-N dimethyl(propan-2-yloxy)alumane Chemical compound C[Al+]C.CC(C)[O-] HJYACKPVJCHPFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZGMHEOLLTWPGQX-UHFFFAOYSA-M dimethylalumanylium;bromide Chemical compound C[Al](C)Br ZGMHEOLLTWPGQX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- MWNKMBHGMZHEMM-UHFFFAOYSA-N dimethylalumanylium;ethanolate Chemical compound CCO[Al](C)C MWNKMBHGMZHEMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N dimethyldichlorosilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)Cl LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AWZNNSIUJBVSTJ-UHFFFAOYSA-M diphenylalumanylium;bromide Chemical compound C=1C=CC=CC=1[Al](Br)C1=CC=CC=C1 AWZNNSIUJBVSTJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- WNAHIZMDSQCWRP-UHFFFAOYSA-N dodecane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCCCCCS WNAHIZMDSQCWRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- VHTVKYGGDBORAK-UHFFFAOYSA-N ethanolate propan-2-ylaluminum(2+) Chemical compound CC[O-].CC[O-].CC(C)[Al++] VHTVKYGGDBORAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLFCDSUFXJPVAS-UHFFFAOYSA-N ethanolate;(4-methylphenyl)aluminum(2+) Chemical compound CC[O-].CC[O-].CC1=CC=C([Al+2])C=C1 BLFCDSUFXJPVAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KKDMRHPZWJTSLH-UHFFFAOYSA-N ethanolate;hexylaluminum(2+) Chemical compound CC[O-].CC[O-].CCCCCC[Al+2] KKDMRHPZWJTSLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- UABOHUHCGKGGOJ-UHFFFAOYSA-N ethyl(dimethoxy)alumane Chemical compound [O-]C.[O-]C.CC[Al+2] UABOHUHCGKGGOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBRXLTRZCJVAPH-UHFFFAOYSA-N ethyl(trimethoxy)silane Chemical compound CC[Si](OC)(OC)OC SBRXLTRZCJVAPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XPURMEXEEOGCNE-UHFFFAOYSA-N ethyl-di(propan-2-yloxy)alumane Chemical compound CC[Al+2].CC(C)[O-].CC(C)[O-] XPURMEXEEOGCNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- GNTRBBGWVVMYJH-UHFFFAOYSA-M fluoro(dimethyl)alumane Chemical compound [F-].C[Al+]C GNTRBBGWVVMYJH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- CTIKAHQFRQTTAY-UHFFFAOYSA-N fluoro(trimethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)F CTIKAHQFRQTTAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- YCSJJCRCOUGEPI-UHFFFAOYSA-N hexyl(dimethoxy)alumane Chemical compound CCCCCC[Al](OC)OC YCSJJCRCOUGEPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQHLDMJXVHJRLB-UHFFFAOYSA-N hexylaluminum(2+);propan-2-olate Chemical compound CC(C)[O-].CC(C)[O-].CCCCCC[Al+2] MQHLDMJXVHJRLB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002510 isobutoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000005921 isopentoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003253 isopropoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(O*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- DKUIXLPCCDROFD-UHFFFAOYSA-N methanolate;methylaluminum(2+) Chemical compound [O-]C.[O-]C.[Al+2]C DKUIXLPCCDROFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFSZFUWOFXCOQU-UHFFFAOYSA-N methanolate;propan-2-ylaluminum(2+) Chemical compound [O-]C.[O-]C.CC(C)[Al+2] OFSZFUWOFXCOQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 1
- BQBCXNQILNPAPX-UHFFFAOYSA-N methoxy(dimethyl)alumane Chemical compound [O-]C.C[Al+]C BQBCXNQILNPAPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005055 methyl trichlorosilane Substances 0.000 description 1
- YSTQWZZQKCCBAY-UHFFFAOYSA-L methylaluminum(2+);dichloride Chemical compound C[Al](Cl)Cl YSTQWZZQKCCBAY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- SEEXDZBMBZLIOH-UHFFFAOYSA-N methylaluminum(2+);propan-2-olate Chemical compound [Al+2]C.CC(C)[O-].CC(C)[O-] SEEXDZBMBZLIOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N methyltrichlorosilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)Cl JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N methyltrimethoxysilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)OC BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- DDTIGTPWGISMKL-UHFFFAOYSA-N molybdenum nickel Chemical compound [Ni].[Mo] DDTIGTPWGISMKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HBELKEREKFGFNM-UHFFFAOYSA-N n'-[[4-(2-trimethoxysilylethyl)phenyl]methyl]ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCC1=CC=C(CNCCN)C=C1 HBELKEREKFGFNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLDHYRXZZNDOKU-UHFFFAOYSA-N n,n-diethyl-3-trimethoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CCN(CC)CCC[Si](OC)(OC)OC ZLDHYRXZZNDOKU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006606 n-butoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001298 n-hexoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000001280 n-hexyl group Chemical group C(CCCCC)* 0.000 description 1
- 125000003935 n-pentoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000003506 n-propoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000005484 neopentoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZCOBXFFBQJQHH-UHFFFAOYSA-N octane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCS KZCOBXFFBQJQHH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- QRCZEWPMOPYPKB-UHFFFAOYSA-N pentyl-di(propan-2-yloxy)alumane Chemical compound C(CCCC)[Al](OC(C)C)OC(C)C QRCZEWPMOPYPKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- BPQPJXCUBLCZIB-UHFFFAOYSA-L phenylaluminum(2+);dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Al+2]C1=CC=CC=C1 BPQPJXCUBLCZIB-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000005054 phenyltrichlorosilane Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005554 pickling Methods 0.000 description 1
- 239000005077 polysulfide Substances 0.000 description 1
- 229920001021 polysulfide Polymers 0.000 description 1
- 150000008117 polysulfides Polymers 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MNWBNISUBARLIT-UHFFFAOYSA-N sodium cyanide Chemical compound [Na+].N#[C-] MNWBNISUBARLIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- TXDNPSYEJHXKMK-UHFFFAOYSA-N sulfanylsilane Chemical compound S[SiH3] TXDNPSYEJHXKMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 description 1
- 239000012209 synthetic fiber Substances 0.000 description 1
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 description 1
- 125000004213 tert-butoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(O*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- UZLGSAUVSUOWGY-UHFFFAOYSA-N tert-butyl(diethoxy)alumane Chemical compound C(C)(C)(C)[Al](OCC)OCC UZLGSAUVSUOWGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPTQVQYEVLOCAO-UHFFFAOYSA-N tert-butyl(dimethoxy)alumane Chemical compound C(C)(C)(C)[Al](OC)OC BPTQVQYEVLOCAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ASEHKQZNVUOPRW-UHFFFAOYSA-N tert-butyl(triethoxy)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C(C)(C)C ASEHKQZNVUOPRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HXLWJGIPGJFBEZ-UHFFFAOYSA-N tert-butyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C(C)(C)C HXLWJGIPGJFBEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QUQKJALIMSEMGG-UHFFFAOYSA-N tert-butyl-di(propan-2-yloxy)alumane Chemical compound C(C)(C)(C)[Al](OC(C)C)OC(C)C QUQKJALIMSEMGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 150000003536 tetrazoles Chemical class 0.000 description 1
- AWIJRPNMLHPLNC-UHFFFAOYSA-N thiocarboxylic acid group Chemical group C(=S)O AWIJRPNMLHPLNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003852 triazoles Chemical class 0.000 description 1
- ORVMIVQULIKXCP-UHFFFAOYSA-N trichloro(phenyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)C1=CC=CC=C1 ORVMIVQULIKXCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPCXHCSZMTWUBW-UHFFFAOYSA-N triethoxy(1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,8,8,8-tridecafluorooctyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)CCC(F)(F)F BPCXHCSZMTWUBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ALVYUZIFSCKIFP-UHFFFAOYSA-N triethoxy(2-methylpropyl)silane Chemical compound CCO[Si](CC(C)C)(OCC)OCC ALVYUZIFSCKIFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DENFJSAFJTVPJR-UHFFFAOYSA-N triethoxy(ethyl)silane Chemical compound CCO[Si](CC)(OCC)OCC DENFJSAFJTVPJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WUMSTCDLAYQDNO-UHFFFAOYSA-N triethoxy(hexyl)silane Chemical compound CCCCCC[Si](OCC)(OCC)OCC WUMSTCDLAYQDNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FHVAUDREWWXPRW-UHFFFAOYSA-N triethoxy(pentyl)silane Chemical compound CCCCC[Si](OCC)(OCC)OCC FHVAUDREWWXPRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BJDLPDPRMYAOCM-UHFFFAOYSA-N triethoxy(propan-2-yl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C(C)C BJDLPDPRMYAOCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NBXZNTLFQLUFES-UHFFFAOYSA-N triethoxy(propyl)silane Chemical compound CCC[Si](OCC)(OCC)OCC NBXZNTLFQLUFES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PADYPAQRESYCQZ-UHFFFAOYSA-N triethoxy-(4-methylphenyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C1=CC=C(C)C=C1 PADYPAQRESYCQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QQQSFSZALRVCSZ-UHFFFAOYSA-N triethoxysilane Chemical compound CCO[SiH](OCC)OCC QQQSFSZALRVCSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XYJRNCYWTVGEEG-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(2-methylpropyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CC(C)C XYJRNCYWTVGEEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLGNHOJUQFHYEZ-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(3,3,3-trifluoropropyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCC(F)(F)F JLGNHOJUQFHYEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NMEPHPOFYLLFTK-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(octyl)silane Chemical compound CCCCCCCC[Si](OC)(OC)OC NMEPHPOFYLLFTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LGROXJWYRXANBB-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(propan-2-yl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C(C)C LGROXJWYRXANBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XQEGZYAXBCFSBS-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-(4-methylphenyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=C(C)C=C1 XQEGZYAXBCFSBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VMYXFDVIMUEKNP-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[5-(oxiran-2-yl)pentyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCCCC1CO1 VMYXFDVIMUEKNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005051 trimethylchlorosilane Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 238000004065 wastewater treatment Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
に示すアルミネート化合物、その加水分解生成物、該加水分解生成物の縮合体を単独で又は複数組み合わせて用いてなる表面処理銅箔である。
に示すアルミネート化合物、その加水分解生成物、該加水分解生成物の縮合体を単独で又は複数組み合わせて用いてなる表面処理銅箔である。
本発明に係る表面処理銅箔は、別の一側面において粗化面を有する銅箔と、銅箔の粗化面側に設けられ、且つ、離型層側から銅箔へ樹脂基材を貼り合わせたときの樹脂基材を剥離可能にする離型層とを備える。なお、離型層は銅箔の両面に設けてもよい。
銅箔(生箔ともいう)は、電解銅箔或いは圧延銅箔のいずれで形成されていてもよい。銅箔の厚みは特に限定されず、例えば、5〜105μmとすることができる。また、樹脂基材からの引き剥がしが容易となることから、表面処理銅箔の厚みは9〜70μmであるのが好ましく、12〜35μmであるのがより好ましく、18〜35μmであるのが更により好ましい。
一般電解生箔の電解条件:
Cu:80〜120g/L
H2SO4:80〜120g/L
塩化物イオン(Cl-):30〜100ppm
レベリング剤(ニカワ):0.1〜10ppm
電解液温度:50〜65℃
電解時間:10〜300秒(析出させる銅厚、電流密度により調整)
電流密度:50〜150A/dm2
電解液線速:1.5〜5m/sec
また、両面フラット電解生箔を作製する場合は、電解条件を、下記とすることができる。
両面フラット電解生箔の電解条件
銅:80〜120g/L
硫酸:80〜120g/L
塩素:30〜100ppm
レベリング剤1(ビス(3スルホプロピル)ジスルフィド):10〜30ppm
レベリング剤2(アミン化合物):10〜30ppm
電解液温度:50〜65℃
電解時間:0.5〜10分間(析出させる銅厚、電流密度により調整)
電流密度:70〜100A/dm2
電解液線速:1.5〜5m/sec
上記のアミン化合物には以下の化学式のアミン化合物を用いることができる。
(液組成1)
CuSO4・5H2O 39.3〜118g/L
Cu 10〜30g/L
H2SO4 10〜150g/L
Na2WO4・2H2O 0〜90mg/L
W 0〜50mg/L
ドデシル硫酸ナトリウム添加量 0〜50pp
H3AsO3(60%水溶液) 0〜6315mg/L
As 0〜2000mg/L
(電気メッキ条件1)
温度 30〜70℃
(電流条件1)
電流密度 25〜110A/dm2
めっき時間 0.5〜20秒
CuSO4・5H2O 78〜314g/L
Cu 20〜80g/L
H2SO4 50〜200g/L
温度 30〜70℃
(電流条件2)
電流密度 5〜50A/dm2
めっき時間 1〜60秒
(液組成)
Cu 10〜20g/L
Co 1〜10g/L
Ni 1〜10g/L
pH 1〜4
(電気メッキ条件)
温度 40〜50℃
電流密度 20〜30A/dm2
処理時間 1〜5秒
・コバルトメッキ
(液組成)
コバルトメッキCo 1〜30g/L
pH 1.0〜3.5
(電気メッキ条件)
温度 30〜80℃
電流密度 1〜10A/dm2
処理時間 0.5〜4秒
(液組成)
Co 1〜30g/L、Ni 1〜30g/L
pH 1.0〜3.5
(電気メッキ条件)
温度 30〜80℃
電流密度 1〜10A/dm2
処理時間 0.5〜4秒
(液組成)
Cu 20〜30g/L(硫酸銅5水和物で添加、以下同様)
H2SO4 80〜120g/L
砒素 1.0〜2.0g/L
(電気メッキ条件)
温度 35〜40℃
電流密度 70A/dm2 (浴の限界電流密度以上)
処理時間 0.5〜20秒
Cu 40〜50g/L
H2SO4 80〜120g/L
(電気メッキ条件)
温度 43〜47℃
電流密度 29A/dm2 〔浴の限界電流密度未満〕
処理時間 0.5〜20秒
次式に示す構造を有するシラン化合物、またはその加水分解生成物、または該加水分解生成物の縮合体(以下、単にシラン化合物と記述する)を単独でまたは複数混合して使用して離型層を形成することで、表面処理銅箔と樹脂基材とを貼り合わせた際に、適度に密着性が低下し、剥離強度を上述の範囲に調節できる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子およびヨウ素原子が挙げられる。
離型層は、分子内に2つ以上のメルカプト基を有する化合物を用いて構成し、当該離型層を介して樹脂基材と銅箔とを貼り合わせることによっても、適度に密着性が低下し、剥離強度を調節できる。
但し、分子内に3つ以上のメルカプト基を有する化合物またはその塩を樹脂基材と銅箔との間に介在させて貼り合わせた場合、剥離強度低減の目的には適さない。これは、分子内にメルカプト基が過剰に存在するとメルカプト基同士、またはメルカプト基と板状キャリア、またはメルカプト基と金属箔との化学反応によってスルフィド結合、ジスルフィド結合またはポリスルフィド結合が過剰に生成し、樹脂基材と銅箔の間に強固な3次元架橋構造が形成されることで剥離強度が上昇することがあると考えられるからである。このような事例は特開2000−196207号公報に開示されている。
離型層を、次式に示す構造を有するアルミネート化合物、チタネート化合物、ジルコネート化合物、またはその加水分解生成物、または該加水分解生成物の縮合体(以下、単に金属アルコキシドと記述する)を単独でまたは複数混合して構成してもよい。当該離型層を介して樹脂基材と銅箔を貼り合わせることで、適度に密着性が低下し、剥離強度を調節できる。
また、セミアディティブ法の別の一実施形態は以下の通りである。
前記表面処理銅箔に、離型層側から樹脂基材を積層する工程、
前記表面処理銅箔と樹脂基材とを積層した後に、前記表面処理銅箔を引き剥がす工程、
前記表面処理銅箔を引き剥がして生じた樹脂基材の剥離面にスルーホールまたは/およびブラインドビアを設ける工程、
前記スルーホールまたは/およびブラインドビアを含む領域についてデスミア処理を行う工程、
前記樹脂基材および前記スルーホールまたは/およびブラインドビアを含む領域について希硫酸等で樹脂基材表面を洗浄し、無電解メッキ層(例えば無電解銅メッキ層)を設ける工程、
前記無電解メッキ層の上にメッキレジストを設ける工程、
前記メッキレジストに対して露光し、その後、回路が形成される領域のメッキレジストを除去する工程、
前記メッキレジストが除去された前記回路が形成される領域に、電解メッキ層(例えば電解銅メッキ層)を設ける工程、
前記メッキレジストを除去する工程、
前記回路が形成される領域以外の領域にある無電解メッキ層をフラッシュエッチングなどにより除去する工程、
を含む。
前記表面処理銅箔に、離型層側から樹脂基材を積層する工程、
前記表面処理銅箔と樹脂基材とを積層した後に、前記表面処理銅箔を引き剥がす工程、
前記表面処理銅箔を引き剥がして生じた樹脂基材の剥離面について、希硫酸等で樹脂基材表面を洗浄し、無電解メッキ層(例えば無電解銅メッキ層)を設ける工程、
前記無電解メッキ層の上にメッキレジストを設ける工程、
前記メッキレジストに対して露光し、その後、回路が形成される領域のメッキレジストを除去する工程、
前記メッキレジストが除去された前記回路が形成される領域に、電解メッキ層(例えば電解銅メッキ層)を設ける工程、
前記メッキレジストを除去する工程、
前記回路が形成される領域以外の領域にある無電解メッキ層をフラッシュエッチングなどにより除去する工程、
を含む。
前記表面処理銅箔に、離型層側から樹脂基材を積層する工程、
前記表面処理銅箔と樹脂基材とを積層した後に、前記表面処理銅箔を引き剥がす工程、
前記表面処理銅箔を引き剥がして生じた樹脂基材の剥離面について、希硫酸等で樹脂基材表面を洗浄する工程、
前記洗浄した樹脂基材表面にメッキレジストを設ける工程、
前記メッキレジストに対して露光し、その後、回路が形成される領域のメッキレジストを除去する工程、
前記メッキレジストが除去された前記回路が形成される領域に、無電解メッキ層(例えば無電解銅メッキ層、厚付けの無電解メッキ層でもよい)を設ける工程、
前記メッキレジストを除去する工程、
を含む。
なお、セミアディティブ法およびフルアディティブ法において、前記樹脂基材表面を洗浄することにより、無電解メッキ層を設けやすくなるという効果がある場合がある。特に、離型層が樹脂基材表面に残存している場合には、当該洗浄により離型層が樹脂基材表面から一部または全部が除去されるため、前記樹脂基材表面の洗浄により、より無電解メッキ層を設けやすくなるという効果がある場合がある。当該洗浄には公知の洗浄方法(使用する液の種類、温度、液の塗布方法等)による洗浄を用いることができる。また、本発明の離型層の一部または全部を除去することができる洗浄方法を用いることが好ましい。
以下の各電解条件にて、表1に記載の厚みの一般電解生箔及び両面フラット電解生箔を作製した。
(1)一般電解生箔
Cu 120g/L
H2SO4 100g/L
塩化物イオン(Cl-) 70ppm
レベリング剤(ニカワ) 3ppm
電解液温度 60℃
電流密度 70A/dm2
電解液線速 2m/sec
(2)両面フラット電解生箔
両面フラット電解生箔の電解条件
Cu 120g/L
H2SO4 100g/L
塩化物イオン(Cl-) 70ppm
レベリング剤1(ビス(3スルホプロピル)ジスルフィド) 20ppm
レベリング剤2(アミン化合物) 20ppm
電解液温度 60℃
電流密度 70A/dm2
電解液線速 2m/sec
上記のアミン化合物には以下の化学式のアミン化合物を用いることができる。
次に、表面処理として、生箔のM面(マット面)に、以下に示す各条件にて、粗化処理、バリヤー処理(耐熱処理)、防錆処理、シランカップリング処理、樹脂層形成処理のいずれかを、或いは、各処理を組み合わせて行った。続いて、以下に示す条件にて銅箔の当該処理側表面に離型層を形成した。なお、特に言及が無い場合は、各処理はこの記載順にて行った。
〔球状粗化(通常)〕
Cu、H2SO4、Asから成る、以下に記す銅粗化めっき浴を用いて球状粗化粒子を形成した。
(液組成1)
CuSO4・5H2O 98g/L
Cu 25g/L
H2SO4 100g/L
砒素 1.5g/L
(電気メッキ温度1) 38℃
(電流条件1) 電流密度 70A/dm2 (浴の限界電流密度以上)
続いて、粗化粒子の脱落防止とピール強度向上のため、硫酸・硫酸銅からなる銅電解浴で被せメッキを行った。被せメッキ条件を以下に記す。
(液組成2)
CuSO4・5H2O 176g/L
Cu 45g/L
H2SO4 100g/L
(電気メッキ温度2) 45℃
(電流条件2) 電流密度:29A/dm2 (浴の限界電流密度未満)
まず、以下の条件にて粗化処理を行った。粗化粒子形成時の対限界電流密度比は2.50とした。
(液組成1)
CuSO4・5H2O 58.9g/L
Cu 15g/L
H2SO4 100g/L
Na2WO4・2H2O 5.4mg/L
ドデシル硫酸ナトリウム添加量 10ppm
(電気メッキ温度1) 40℃
(電流条件1) 電流密度 54A/dm2
続いて、下記に示す条件で正常めっきを行った。
(液組成2)
CuSO4・5H2O 176g/L
Cu 45g/L
H2SO4 100g/L
(電気メッキ温度2) 45℃
(電流条件2) 電流密度 41A/dm2
まず、Cu−Co−Ni三元系合金層を以下の液組成1及び電気めっき条件1で形成した後、当該三元系合金層上にコバルトめっきを以下の液組成2及び電気めっき条件2で形成した。
(液組成1)
Cu 10〜20g/L
Co 1〜10g/L
Ni 1〜10g/L
pH 1〜4
(電気メッキ温度1) 40〜50℃
(電流条件1) 電流密度 25A/dm2
(液組成2)
Co 1〜30g/L
Ni 1〜30g/L
pH 1.0〜3.5
(電気メッキ温度2)30〜80℃
(電流条件2) 電流密度 5A/dm2
実施例9、11、12について、バリヤー(耐熱)処理を下記の条件で行い、真鍮メッキ層を形成した。
(液組成)
Cu 70g/L
Zn 5g/L
NaOH 70g/L
NaCN 20g/L
(電気メッキ条件)
温度 70℃
電流密度 8A/dm2(多段処理)
実施例10、11、12について、防錆処理(亜鉛クロメート処理)を下記の条件で行い、防錆処理層を形成した。
(液組成)
CrO3 2.5g/L
Zn 0.7g/L
Na2SO4 10g/L
pH 4.8
(亜鉛クロメート条件)
温度 54℃
電流密度 0.7As/dm2
実施例11、12について、シランカップリング材塗布処理を下記の条件で行い、シランカップリング層を形成した。
(液組成)
アルコキシシラン含有量 0.4%
pH 7.5
塗布方法 溶液の噴霧
〔離型層A〕
銅箔の処理表面に、シラン化合物(n−プロピルトリメトキシシラン:4wt%)の水溶液を、スプレーコーターを用いて塗布してから、100℃の空気中で5分間銅箔表面を乾燥させて離型層Aを形成した。シラン化合物を水中に溶解させてから塗布する前までの撹拌時間は30時間、水溶液中のアルコール濃度は0vol%、水溶液のpHは3.8〜4.2とした。
分子内に2つ以下のメルカプト基を有する化合物として1−ドデカンチオールスルホン酸ナトリウムを用い、1−ドデカンチオールスルホン酸ナトリウムの水溶液(1−ドデカンチオールスルホン酸ナトリウム濃度:3wt%)を、スプレーコーターを用いて銅箔の処理面に塗布してから、100℃の空気中で5分間乾燥させて離型層Bを作製した。水溶液のpHは5〜9とした。
金属アルコキシドとしてアルミネート化合物であるトリイソプロポキシアルミニウムを用い、トリイソプロポキシアルミニウムの水溶液(トリイソプロポキシアルミニウム濃度:0.04mol/L)を、スプレーコーターを用いて銅箔の処理面に塗布してから、100℃の空気中で5分間乾燥させて離型層Cを作製した。アルミネート化合物を水中に溶解させてから塗布する前までの撹拌時間は2時間、水溶液中のアルコール濃度は0vol%、水溶液のpHは5〜9とした。
金属アルコキシドとしてチタネート化合物であるn−デシル-トリイソプロポキシチタンを用い、n−デシル-トリイソプロポキシチタンの水溶液(n−デシル−トリイソプロポキシチタン濃度:0.01mol/L)を、スプレーコーターを用いて銅箔の処理面に塗布してから、100℃の空気中で5分間乾燥させて離型層Dを作製した。チタネート化合物を水中に溶解させてから塗布する前までの撹拌時間は24時間、水溶液中のアルコール濃度はメタノールを20vol%とし、水溶液のpHは5〜9とした。
金属アルコキシドとしてジルコネート化合物であるn−プロピル−トリn−ブトキシジルコニウムを用い、n−プロピル−トリn−ブトキシジルコニウムの水溶液(n−プロピル−トリn−ブトキシジルコニウム濃度:0.04mol/L)を、スプレーコーターを用いて銅箔の処理面に塗布してから、100℃の空気中で5分間乾燥させて離型層Eを作製した。チタネート化合物を水中に溶解させてから塗布する前までの撹拌時間は12時間、水溶液中のアルコール濃度は0vol%とし、水溶液のpHは5〜9とした。
実施例12については、バリヤー処理、防錆処理、シランカップリング材塗布、離型層形成の後、更に下記の条件で樹脂層の形成を行った。
(樹脂合成例)
ステンレス製の碇型攪拌棒、窒素導入管とストップコックのついたトラップ上に、玉付冷却管を取り付けた還流冷却器を取り付けた2リットルの三つ口フラスコに、3,4、3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物117.68g(400mmol)、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン87.7g(300mmol)、γ−バレロラクトン4.0g(40mmol)、ピリジン4.8g(60mmol)、N−メチル−2−ピロリドン(以下NMPと記す)300g、トルエン20gを加え、180℃で1時間加熱した後室温付近まで冷却した後、3,4、3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物29.42g(100mmol)、2,2−ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}プロパン82.12g(200mmol)、NMP200g、トルエン40gを加え、室温で1時間混合後、180℃で3時間加熱して、固形分38%のブロック共重合ポリイミドを得た。このブロック共重合ポリイミドは、下記に示す一般式(1):一般式(2)=3:2であり、数平均分子量:70000、重量平均分子量:150000であった。
株式会社小阪研究所製接触粗さ計SP−11を使用し、JIS B0601(1994年)に準拠して表面処理銅箔の処理表面の十点平均粗さRzを測定した。測定位置を変えて10回行い、10回の測定での値を求めた。また、同様にして、表面処理前の銅箔(生箔)の表面粗度Rzも測定しておいた。
各表面処理銅箔の処理側表面に以下の樹脂基材1〜3のいずれかを貼り合わせた。
基材1:三菱ガス化学(株)製 GHPL-830 MBT
基材2:日立化成工業(株)製 679-FG
基材3:住友ベークライト(株)製 EI-6785TS-F
積層プレスの温度、圧力、時間は、各基材メーカーの推奨条件を用いた。
銅張積層板に対し、IPC−TM−650に準拠し、引張り試験機オートグラフ100で銅箔から樹脂基材を剥離する際の常態ピール強度を測定した。
上記剥離後の樹脂基材の剥離面を電子顕微鏡で観察し、樹脂の破壊モード(凝集、界面、凝集と界面との混在)について観察した。樹脂の破壊モードについて、「界面」は、樹銅箔と樹脂との界面で剥離したことを示し、「凝集」は、剥離強度が強すぎて樹脂が破壊していることを示し、「混在」は、上記「界面」と「凝集」とが混在していることを示す。
図1に準拠したセミアディティブ工法にて、樹脂基材に無電解銅メッキ、電解銅メッキを施し、銅層厚を12μmとしたメッキ銅付き積層板について、メッキ銅をエッチングにより加工し、L(ライン)/S(スペース)=30μm/30μm回路を形成した。このとき、樹脂基板上に形成された配線を100〜500倍の光学顕微鏡で観察し、回路の欠落がないものをOK(○)、あるものをNG(×)とした。
各試験条件及び評価結果を表1〜4に示す。
一方、比較例1〜7は離型層を設けておらず、或いは、離型層を形成しようとして用いた化合物が不適切であったため離型層が形成できず、ピール強度が大きく、樹脂の破壊モードが凝集と、凝集と界面との混在のいずれかであった。このため、樹脂基材と貼り合わせた後に、物理的に引き剥がすことが不可能といえる。
Claims (47)
- 粗化粒子を有さず、且つ、JIS B0601(1994年)に準拠して測定したRzが0.1〜5.0μmの表面凹凸を有する銅箔と、
前記銅箔の表面凹凸を有する面に設けられた離型層であって、且つ、前記離型層側から前記銅箔へ樹脂基材を貼り合わせたときの前記樹脂基材を剥離可能にする離型層と、
を備えた表面処理銅箔であって、
前記離型層が、次式:
に示すアルミネート化合物、その加水分解生成物、該加水分解生成物の縮合体を単独で又は複数組み合わせて用いてなる表面処理銅箔。 - 粗化粒子を有する銅箔と、
前記銅箔の粗化粒子面に設けられた離型層であって、且つ、前記離型層側から前記銅箔へ樹脂基材を貼り合わせたときの前記樹脂基材を剥離可能にする離型層と、
を備えた表面処理銅箔であって、
前記離型層が、次式:
に示すアルミネート化合物、その加水分解生成物、該加水分解生成物の縮合体を単独で又は複数組み合わせて用いてなる表面処理銅箔。 - 前記離型層が、更に次式:
に示すチタネート化合物、ジルコネート化合物、これらの加水分解生成物及び該加水分解生成物の縮合体からなる群から選択される一種以上を有する請求項1又は2に記載の表面処理銅箔。 - 前記離型層側から前記銅箔へ樹脂基材を貼り合わせたとき、前記樹脂基材を剥離する際の剥離強度が200gf/cm以下である請求項1〜3のいずれか一項に記載の表面処理銅箔。
- 前記銅箔と前記離型層との間に、耐熱層、防錆層、クロメート処理層及びシランカップリング処理層からなる群から選択された一種以上の層を設けた請求項1〜4のいずれか一項に記載の表面処理銅箔。
- 前記表面処理銅箔の表面に樹脂層を設けた請求項1〜5のいずれか一項に記載の表面処理銅箔。
- 前記耐熱層、防錆層、クロメート処理層及びシランカップリング処理層からなる群から選択された一種以上の層の表面に樹脂層を設けた請求項5に記載の表面処理銅箔。
- 前記樹脂層が、接着用樹脂、プライマー又は半硬化状態の樹脂である請求項6又は7に記載の表面処理銅箔。
- 前記表面処理銅箔の厚みが9〜70μmである請求項1〜8のいずれか一項に記載の表面処理銅箔。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載の表面処理銅箔と、前記表面処理銅箔の離型層側に設けられた樹脂基材とを備えた銅張積層板。
- 前記樹脂基材が、プリプレグである、又は、熱硬化性樹脂を含む請求項10に記載の銅張積層板。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載の表面処理銅箔を備えたプリント配線板。
- 請求項12に記載のプリント配線板を備えた半導体パッケージ。
- 請求項12に記載のプリント配線板又は請求項13に記載の半導体パッケージを有する電子機器。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載の表面処理銅箔に、前記離型層側から樹脂基材を貼り合わせる工程と、
前記樹脂基材から、前記表面処理銅箔をエッチングすることなく引き剥がすことで、剥離面に前記銅箔の表面プロファイルが転写された樹脂基材を得る工程と、
前記表面プロファイルが転写された樹脂基材の前記剥離面側に回路を形成する工程と、
を備えたプリント配線板の製造方法。 - 請求項1〜9のいずれか一項に記載の表面処理銅箔に、前記離型層側から樹脂基材を貼り合わせる工程と、
前記樹脂基材から、前記表面処理銅箔をエッチングすることなく引き剥がすことで、剥離面に前記銅箔の表面プロファイルが転写された樹脂基材を得る工程と、
を備えた樹脂基材の製造方法。 - 粗化粒子を有さず、且つ、JIS B0601(1994年)に準拠して測定したRzが0.1〜5.0μmの表面凹凸を有する銅箔と、
前記銅箔の表面凹凸を有する面に設けられた離型層であって、且つ、前記離型層側から前記銅箔へ樹脂基材を貼り合わせたときの前記樹脂基材を剥離可能にする離型層と、
を備えた表面処理銅箔と樹脂基材とを準備する工程と、
前記表面処理銅箔に、前記離型層側から前記樹脂基材を貼り合わせる工程と、
前記樹脂基材から、前記表面処理銅箔をエッチングすることなく引き剥がすことで、剥離面に前記銅箔の表面プロファイルが転写された樹脂基材を得る工程と、
を含む樹脂基材の製造方法。 - 粗化粒子を有する銅箔と、
前記銅箔の粗化粒子面に設けられた離型層であって、且つ、前記離型層側から前記銅箔へ樹脂基材を貼り合わせたときの前記樹脂基材を剥離可能にする離型層と、
を備えた表面処理銅箔と樹脂基材とを準備する工程と、
前記表面処理銅箔に、前記離型層側から樹脂基材を貼り合わせる工程と、
前記樹脂基材から、前記表面処理銅箔をエッチングすることなく引き剥がすことで、剥離面に前記銅箔の表面プロファイルが転写された樹脂基材を得る工程と、
を含む樹脂基材の製造方法。 - 前記離型層側から前記銅箔へ樹脂基材を貼り合わせたとき、前記樹脂基材を剥離する際の剥離強度が200gf/cm以下である請求項17又は18に記載の樹脂基材の製造方法。
- 前記離型層が、次式:
に示すシラン化合物、その加水分解生成物、該加水分解生成物の縮合体を単独で又は複数組み合わせて用いてなる請求項17〜19のいずれか一項に記載の樹脂基材の製造方法。 - 前記離型層が、分子内に2つ以下のメルカプト基を有する化合物を用いてなる請求項17〜19のいずれか一項に記載の樹脂基材の製造方法。
- 前記離型層が、次式:
に示すアルミネート化合物、チタネート化合物、ジルコネート化合物、これらの加水分解生成物、該加水分解生成物の縮合体を単独で又は複数組み合わせて用いてなる請求項17〜19のいずれか一項に記載の樹脂基材の製造方法。 - 前記銅箔と前記離型層との間に、耐熱層、防錆層、クロメート処理層及びシランカップリング処理層からなる群から選択された一種以上の層を設けた請求項17〜22のいずれか一項に記載の樹脂基材の製造方法。
- 前記表面処理銅箔の表面に樹脂層を設けた請求項17〜23のいずれか一項に記載の樹脂基材の製造方法。
- 前記耐熱層、防錆層、クロメート処理層及びシランカップリング処理層からなる群から選択された一種以上の層の表面に樹脂層を設けた請求項23に記載の樹脂基材の製造方法。
- 前記樹脂層が、接着用樹脂、プライマー又は半硬化状態の樹脂である請求項24又は25に記載の樹脂基材の製造方法。
- 前記表面処理銅箔の厚みが9〜70μmである請求項17〜26のいずれか一項に記載の樹脂基材の製造方法。
- 前記樹脂基材が、プリプレグである、又は、熱硬化性樹脂を含む請求項17〜27のいずれか一項に記載の樹脂基材の製造方法。
- 粗化粒子を有さず、且つ、JIS B0601(1994年)に準拠して測定したRzが0.1〜5.0μmの表面凹凸を有する銅箔と、
前記銅箔の表面凹凸を有する面に設けられた離型層であって、且つ、前記離型層側から前記銅箔へ樹脂基材を貼り合わせたときの前記樹脂基材を剥離可能にする離型層と、
を備えた表面処理銅箔と樹脂基材とを準備する工程と、
前記表面処理銅箔に、前記離型層側から前記樹脂基材を貼り合わせる工程と、
前記樹脂基材から、前記表面処理銅箔をエッチングすることなく引き剥がすことで、剥離面に前記銅箔の表面プロファイルが転写された樹脂基材を得る工程と、
を含む銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法。 - 粗化粒子を有する銅箔と、
前記銅箔の粗化粒子面に設けられた離型層であって、且つ、前記離型層側から前記銅箔へ樹脂基材を貼り合わせたときの前記樹脂基材を剥離可能にする離型層と、
を備えた表面処理銅箔と樹脂基材とを準備する工程と、
前記表面処理銅箔に、前記離型層側から樹脂基材を貼り合わせる工程と、
前記樹脂基材から、前記表面処理銅箔をエッチングすることなく引き剥がすことで、剥離面に前記銅箔の表面プロファイルが転写された樹脂基材を得る工程と、
を含む銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法。 - 前記離型層側から前記銅箔へ樹脂基材を貼り合わせたとき、前記樹脂基材を剥離する際の剥離強度が200gf/cm以下である請求項29又は30に記載の銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法。
- 前記離型層が、次式:
に示すシラン化合物、その加水分解生成物、該加水分解生成物の縮合体を単独で又は複数組み合わせて用いてなる請求項29〜31のいずれか一項に記載の銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法。 - 前記離型層が、分子内に2つ以下のメルカプト基を有する化合物を用いてなる請求項29〜31のいずれか一項に記載の銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法。
- 前記離型層が、次式:
に示すアルミネート化合物、チタネート化合物、ジルコネート化合物、これらの加水分解生成物、該加水分解生成物の縮合体を単独で又は複数組み合わせて用いてなる請求項29〜31のいずれか一項に記載の銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法。 - 前記銅箔と前記離型層との間に、耐熱層、防錆層、クロメート処理層及びシランカップリング処理層からなる群から選択された一種以上の層を設けた請求項29〜34のいずれか一項に記載の銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法。
- 前記表面処理銅箔の表面に樹脂層を設けた請求項29〜35のいずれか一項に記載の銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法。
- 前記耐熱層、防錆層、クロメート処理層及びシランカップリング処理層からなる群から選択された一種以上の層の表面に樹脂層を設けた請求項35に記載の銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法。
- 前記樹脂層が、接着用樹脂、プライマー又は半硬化状態の樹脂である請求項36又は37に記載の銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法。
- 前記表面処理銅箔の厚みが9〜70μmである請求項29〜38のいずれか一項に記載の銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法。
- 前記樹脂基材が、プリプレグである、又は、熱硬化性樹脂を含む請求項29〜39のいずれか一項に記載の銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法。
- 請求項29〜40のいずれか一項に記載の方法で銅箔の表面プロファイルを転写された樹脂基材を用いてプリント配線板を製造するプリント配線板の製造方法。
- 請求項41に記載のプリント配線板の製造方法で製造されたプリント配線板を備えた半導体パッケージを製造する半導体パッケージの製造方法。
- 請求項41に記載のプリント配線板の製造方法で製造されたプリント配線板又は請求項42に記載の半導体パッケージの製造方法で製造された半導体パッケージを用いて電子機器を製造する電子機器の製造方法。
- 請求項29〜40のいずれか一項に記載の銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法で銅箔の表面プロファイルが転写された樹脂基材を製造する樹脂基材の製造方法。
- 請求項16〜28及び44のいずれか一項に記載の方法で製造された樹脂基材を用いてプリント配線板を製造するプリント配線板の製造方法。
- 請求項45に記載のプリント配線板の製造方法で製造したプリント配線板を備えた半導体パッケージを製造する半導体パッケージの製造方法。
- 請求項45に記載のプリント配線板の製造方法で製造したプリント配線板又は請求項46に記載の半導体パッケージの製造方法で製造した半導体パッケージの製造方法を用いて電子機器を製造する電子機器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015159242A JP5897755B2 (ja) | 2015-08-11 | 2015-08-11 | 表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器、半導体パッケージ、プリント配線板の製造方法、電子機器の製造方法、半導体パッケージの製造方法、樹脂基材の製造方法、銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015159242A JP5897755B2 (ja) | 2015-08-11 | 2015-08-11 | 表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器、半導体パッケージ、プリント配線板の製造方法、電子機器の製造方法、半導体パッケージの製造方法、樹脂基材の製造方法、銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014061259A Division JP5826322B2 (ja) | 2014-03-25 | 2014-03-25 | 表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器、半導体パッケージ用回路形成基板、半導体パッケージ及びプリント配線板の製造方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016038108A Division JP6031624B2 (ja) | 2016-02-29 | 2016-02-29 | 表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板の製造方法、半導体パッケージの製造方法及び電子機器の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015212426A JP2015212426A (ja) | 2015-11-26 |
JP5897755B2 true JP5897755B2 (ja) | 2016-03-30 |
Family
ID=54696829
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015159242A Active JP5897755B2 (ja) | 2015-08-11 | 2015-08-11 | 表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器、半導体パッケージ、プリント配線板の製造方法、電子機器の製造方法、半導体パッケージの製造方法、樹脂基材の製造方法、銅箔の表面プロファイルを樹脂基材に転写する方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5897755B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0647755A (ja) * | 1992-07-28 | 1994-02-22 | Matsushita Electric Works Ltd | 銅張り積層板の製造方法 |
WO2013183607A1 (ja) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | Jx日鉱日石金属株式会社 | キャリア付金属箔 |
TWI627876B (zh) * | 2012-08-06 | 2018-06-21 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | Metal foil with carrier |
JP5457594B2 (ja) * | 2013-07-29 | 2014-04-02 | Jx日鉱日石金属株式会社 | プリント配線板用樹脂、プリント配線板、半導体パッケージ基板及びプリント配線板の製造方法 |
-
2015
- 2015-08-11 JP JP2015159242A patent/JP5897755B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015212426A (ja) | 2015-11-26 |
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