WO2020031379A1 - 感光性フィルム、着色パターンの形成方法及び着色パターン付基材の製造方法 - Google Patents
感光性フィルム、着色パターンの形成方法及び着色パターン付基材の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- WO2020031379A1 WO2020031379A1 PCT/JP2018/030115 JP2018030115W WO2020031379A1 WO 2020031379 A1 WO2020031379 A1 WO 2020031379A1 JP 2018030115 W JP2018030115 W JP 2018030115W WO 2020031379 A1 WO2020031379 A1 WO 2020031379A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- resin layer
- photosensitive resin
- colored pattern
- photosensitive
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
Definitions
- FIG. 1 is a schematic sectional view showing one embodiment of the photosensitive film according to the present invention.
- FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing one embodiment of a method for forming a colored pattern according to the present invention.
- FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing one embodiment of a method for forming a colored pattern according to the present invention.
- FIG. 1 is a schematic sectional view showing one embodiment of the photosensitive film according to the present invention.
- the photosensitive film 10 of the present embodiment includes a support film 1, a photosensitive resin layer 2 provided on the support film 1, and a protective film 3 provided on the photosensitive resin layer 2 on the side opposite to the support film.
- the protective film 3 can be provided as needed or can be omitted.
- Examples of the 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane include, for example, 2,2-bis (4-((meth) acryloxydiethoxy) phenyl) propane, 2,2 -Bis (4-((meth) acryloxytriethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytetraethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meta ) Acryloxypentaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyheptaethoxy) phenyl) Propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyoctaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxynona (Toxi) phenyl) propane, 2,2-bis
- PO indicates propylene oxide
- the PO-modified compound has a block structure of a propylene oxide group.
- Examples of the EO-modified urethane di (meth) acrylate include “UA-11” (product name, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.).
- Examples of the EO, PO-modified urethane di (meth) acrylate include “UA-13” (product name, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.).
- the above-mentioned compounds can be used alone or in combination of two or more.
- the content ratio of the photopolymerizable compound in the photosensitive resin layer is preferably 30 to 80 parts by mass, and more preferably 40 to 70 parts by mass based on 100 parts by mass of the total amount of the binder polymer and the photopolymerizable compound. More preferred.
- the content of the photopolymerizable compound is 30 parts by mass or more, the photocurability of the photosensitive resin layer and the formability by coating tend to be good, and when the content is 80 parts by mass or less, the film is wound up as a film. In such a case, the storage stability tends to be excellent.
- the content ratio of the photopolymerization initiator in the photosensitive resin layer is 0.1 to 20 with respect to 100 parts by mass of the total amount of the binder polymer and the photopolymerizable compound from the viewpoint of achieving both photosensitivity and internal photocurability. It is preferably 1 part by mass, more preferably 1 to 10 parts by mass, and particularly preferably 1 to 5 parts by mass.
- Leuco dye is a compound that develops color upon contact with an acid and is a component that imparts coloring properties to the photosensitive resin layer.
- This leuco dye can be colored depending on the type, such as black, blue, green, and red.However, when the formed colored pattern is a bezel or a black matrix of a display body in which black is preferred, black Leuco dyes that produce color are preferred.
- photoacid generator examples include onium salts such as diazonium salts, iodonium salts, bromonium salts, chloronium salts, sulfonium salts, selenonium salts, pyrylium salts, thiapyrylium salts, and pyridinium salts; tris (trihalomethyl) -s-triazine ( For example, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine), 2- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s Halogenated compounds such as -triazine, 2-methyl-4,6-bis
- the thickness of the protective film is preferably from 1 to 100 ⁇ m, more preferably from 5 to 50 ⁇ m, still more preferably from 5 to 30 ⁇ m, from the viewpoint of achieving a balance between mechanical strength and cost to make the film difficult to break. Particularly preferably, the thickness is 15 to 30 ⁇ m.
- the second method of forming a colored pattern includes a step S1 of laminating the above-described photosensitive resin layer of the photosensitive film of the present embodiment on a substrate, and a step of laminating the photosensitive resin layer provided on the substrate.
- the method for producing a substrate with a colored pattern of the present embodiment is a method for producing a substrate with a colored pattern comprising a substrate and a colored pattern provided on the substrate, Forming a colored pattern according to the embodiment.
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Abstract
本発明の感光性フィルムは、支持フィルムと、支持フィルム上に設けられたアルカリ現像可能な感光性樹脂層とを備え、感光性樹脂層が、バインダーポリマーと、光重合性化合物と、ロイコ染料と、光又は熱で酸を発生する化合物とを含有する。
Description
本発明は、感光性フィルム、着色パターンの形成方法及び着色パターン付基材の製造方法に関する。
パソコン及びテレビ等の大型電子機器、カーナビゲーション、携帯電話、電子辞書等の小型電子機器、OA・FA機器等の表示機器では、液晶表示素子、有機エレクトロルミネッセンス表示素子、又はタッチスクリーンが使用されているものが普及している。これら表示素子及びタッチスクリーンでは、素子部分のパターン又は周辺加飾部分に、黒色等の着色パターンが形成されている。また、ノート型パソコン、タブレット、スマートフォン等の表示部外周にも、黒色を主とした加飾部材が配置されている。
これら着色パターンを形成する方法として、カーボンブラック等の黒色顔料を含有する感光性樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィーの技術が知られている。しかし、感光性を阻害する黒色顔料が含まれている感光性樹脂組成物は、光架橋の効率が低下し、いわゆる「アンダーカット」という現像液による過浸食が生じる問題をはじめ、現像安定性が不充分になる、光感度が低下するなどの問題がある。特に、ブラックマトリクス(又は遮光膜)等を形成する場合、感光性樹脂組成物が遮光成分を高濃度で含むことになり、パターンの形状又は密着性が損なわれやすくなる。すなわち、薄膜において高遮光を確保するためには、樹脂組成物中の黒色顔料の含有量を多くしなければならないが、この場合、硬化性に寄与するバインダー樹脂やアクリレート成分等の配合割合が相対的に小さくなるため、塗膜が硬化しにくくなり、塗膜とガラスなどの基板との密着性が低下して、剥がれ等が生じやすくなるという問題が生じる。
上記のような問題に対応するために、下記特許文献1には、特定の不飽和基含有樹脂と、特定の多分岐ポリエステル(メタ)アクリレート化合物と、黒色顔料とを含む遮光性アルカリ現像型感光性組成物が提案されている。
しかし、特許文献1に記載の組成物は黒色顔料の配合によって失われる特性(特には密着性)を補填するものであり、所望の形状で充分に硬化された着色パターンを形成できるパターニング性を有しているとはいえない。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、所望の光学濃度を有し且つ所望の形状で充分に硬化された着色パターンの形成を可能とする感光性フィルム、着色パターンの形成方法及び着色パターン付基材を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために本発明は、支持フィルムと、支持フィルム上に設けられたアルカリ現像可能な感光性樹脂層とを備え、感光性樹脂層が、バインダーポリマーと、光重合性化合物と、ロイコ染料と、光又は熱で酸を発生する化合物と、を含有する感光性フィルムを提供する。
本発明の感光性フィルムによれば、着色成分として、光又は熱で酸を発生する化合物とロイコ染料とが配合されていることにより、発色前の感光樹脂層を露光することで所望の形状で充分に硬化させることができ、その後に光を照射する及び/又は熱を与えることにより所望の光学濃度を有する着色パターンを形成することができる。
例えば、発色前の感光樹脂層を露光及びアルカリ現像する工程では、感光樹脂層を紫外線に対してほぼ透明にすることができ、露光部分を充分に硬化させることができる。その後、強い紫外線を照射することで、ほぼ透明であった樹脂硬化膜パターンを黒色等に有色化することができる。
本発明の感光性フィルムは、パターニングのための露光時に着色成分の影響を充分小さくすることができることから、着色パターンの微細化及び密着性の向上を図ることも可能である。
光感度の確保をより容易にする観点から、上記感光性樹脂層が、厚み1μmあたりの光学濃度(OD値)が0.0020以下であることが好ましい。
充分な遮蔽性を有する着色パターンを形成する観点から、上記感光性樹脂層が、光又は熱を受けると、厚み1μmあたりの光学濃度(OD値)が0.013以上となるものであることが好ましい。
アルカリ現像性の観点から、上記バインダーポリマーの酸価が75~330mgKOH/gであることが好ましい。
着色パターンの機械強度と、アルカリ現像性とのバランスを図る観点から、上記バインダーポリマーの重量平均分子量が5000~300000であることが好ましい。
感光性樹脂層の厚みは、1~200μmとすることができる。
本発明はまた、基材上に、上記本発明に係る感光性フィルムの感光性樹脂層をラミネートする工程と、基材上に設けられた感光性樹脂層を露光及びアルカリ現像することにより樹脂硬化膜パターンを形成する工程と、樹脂硬化膜パターンに光を照射する及び/又は熱を与えることにより着色パターンを形成する工程とを備える着色パターンの第1の形成方法を提供する。
本発明はまた、基材上に、上記本発明に係る感光性フィルムの感光性樹脂層をラミネートする工程と、基材上に設けられた感光性樹脂層の所定部分を露光する工程と、露光後の感光性樹脂層に光を照射する及び/又は熱を与えることにより感光性樹脂層を着色する工程と、着色された感光性樹脂層をアルカリ現像することにより上記所定部分以外を除去して着色パターンを形成する工程とを備える、着色パターンの第2の形成方法を提供する。
本発明の着色パターンの第1及び第2の形成方法によれば、本発明に係る感光性フィルムを用いて上記工程を経ることにより、所望の光学濃度を有し且つ所望の形状で充分に硬化された着色パターンを形成することができる。
本発明はまた、基材と、該基材上に設けられた着色パターンと、を備える着色パターン付基材を製造する方法であって、着色パターンを上記本発明に係る着色パターンの第1又は第2の形成方法によって形成する、着色パターン付基材の製造方法を提供する。
本発明の着色パターン付基材の製造方法によれば、所望の光学濃度を有し且つ所望の形状で充分に硬化された着色パターンを備える着色パターン付基材を得ることができる。
着色パターンは、画像表示装置のブラックマトリクスであってもよく、画像表示装置の周辺加飾部であってもよい。
本発明によれば、所望の光学濃度を有し且つ所望の形状で充分に硬化された着色パターンの形成を可能とする感光性フィルム、着色パターンの形成方法及び着色パターン基板を提供することができる。
本発明の感光性フィルムは、液晶ディスプレイ及び有機発光ダイオード(OLED)等の画像表示装置に使われる周辺加飾部、表示体のブラックマトリックス、又は、必要な可視光を選択的に透過する光学部材を形成するのに有用である。
以下、場合により図面を参照しつつ、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。なお、本明細書において、「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸又はメタクリル酸を意味し、「(メタ)アクリレート」とは、アクリレート又はそれに対応するメタクリレートを意味する。「A又はB」とは、AとBのどちらか一方を含んでいればよく、両方とも含んでいてもよい。
また、本明細書において「層」との語は、平面図として観察したときに、全面に形成されている形状の構造に加え、一部に形成されている形状の構造も包含される。また、本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。また、「~」を用いて示された数値範囲は、「~」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。
さらに、本明細書において組成物中の各成分の含有量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。また、例示材料は特に断らない限り単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
また、本明細書中に段階的に記載されている数値範囲において、ある段階の数値範囲の上限値又は下限値は、他の段階の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本明細書中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
図1は、本発明に係る感光性フィルムの一実施形態を示す模式断面図である。本実施形態の感光性フィルム10は、支持フィルム1と、支持フィルム1上に設けられた感光性樹脂層2と、感光性樹脂層2の支持フィルムとは反対側上に設けられた保護フィルム3とを備える。保護フィルム3は、必要に応じて設けることができ、省略することもできる。
<支持フィルム>
支持フィルム1としては、活性光線に対して透明な(透過性を有する)フィルムを用いることができ、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムが挙げられる。これらのうち、透明性及び耐熱性の観点からは、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。なお、これらの重合体フィルムは、後に感光性樹脂層から除去可能でなくてはならないため、剥離が容易となるよう、離型処理されたものであってもよい。
支持フィルム1としては、活性光線に対して透明な(透過性を有する)フィルムを用いることができ、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムが挙げられる。これらのうち、透明性及び耐熱性の観点からは、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。なお、これらの重合体フィルムは、後に感光性樹脂層から除去可能でなくてはならないため、剥離が容易となるよう、離型処理されたものであってもよい。
支持フィルム1の厚みは、5~300μmであることが好ましく、10~200μmであることがより好ましく、15~100μmであることが特に好ましい。支持フィルムの厚みが5μm以上であると、機械的強度を確保しやすくなり、感光性樹脂層2を形成するために感光性樹脂層形成用塗布液を塗工する工程、又は露光した感光性樹脂層2を現像する前に支持フィルムを剥離する工程において、支持フィルムが破れにくくなる。一方、支持フィルムの厚みが300μm以下であると、支持フィルムを介して活性光線を感光性樹脂層に照射する場合にパターンの解像度が低下しにくくなり、また価格が上がることを抑制しやすくなる。
支持フィルム1のヘーズ値は、感度及び解像度を良好にできる観点から、0.01~5.0%であることが好ましく、0.01~3.0%であることがより好ましく、0.01~2.0%であることが特に好ましく、0.01~1.0%であることが極めて好ましい。なお、ヘーズ値はJIS K 7105に準拠して測定することができ、例えば、NDH-1001DP(日本電色工業株式会社製、製品名)等の市販の濁度計などで測定が可能である。
<感光性樹脂層>
感光性樹脂層2は、アルカリ現像可能であればよく、アルカリ水溶液で現像が可能であることが好ましい。感光性樹脂層としては、例えば、(A)バインダーポリマー(以下、(A)成分ということもある)、(B)光重合性化合物(以下、(B)成分ということもある)及び(C)光重合開始剤(以下、(C)成分ということもある)を含有する感光性樹脂組成物から形成されるものが挙げられる。更に、本実施形態の感光性樹脂層は、着色パターンを形成するために、着色成分として、(D)ロイコ染料(以下、(D)成分ということもある)と、(E)光又は熱で酸を発生する化合物(以下、(E)成分ということもある)とを含有することができる。
感光性樹脂層2は、アルカリ現像可能であればよく、アルカリ水溶液で現像が可能であることが好ましい。感光性樹脂層としては、例えば、(A)バインダーポリマー(以下、(A)成分ということもある)、(B)光重合性化合物(以下、(B)成分ということもある)及び(C)光重合開始剤(以下、(C)成分ということもある)を含有する感光性樹脂組成物から形成されるものが挙げられる。更に、本実施形態の感光性樹脂層は、着色パターンを形成するために、着色成分として、(D)ロイコ染料(以下、(D)成分ということもある)と、(E)光又は熱で酸を発生する化合物(以下、(E)成分ということもある)とを含有することができる。
(A)バインダーポリマーとしては、例えば、アクリル樹脂、スチレン樹脂、エポキシ樹脂、アミド樹脂、アミドエポキシ樹脂、アルキド樹脂、フェノール樹脂、エステル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応で得られるエポキシアクリレート樹脂、エポキシアクリレート樹脂と酸無水物の反応で得られる酸変性エポキシアクリレート樹脂等が挙げられる。
上記の中でも、アルカリ現像性及びフィルム形成性に優れる観点から、アクリル樹脂を用いることが好ましい。また、アクリル樹脂が、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来する構造単位を有するとより好ましい。ここで、「アクリル樹脂」とは、(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体に由来する構造単位を主に有する重合体のことを意味する。
上記アクリル樹脂は、(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体をラジカル重合して製造されるものが使用できる。
上記(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体としては、例えば、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミド、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、2,2,2-トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3-テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、α-ブロモ(メタ)アクリル酸、α-クロル(メタ)アクリル酸、β-フリル(メタ)アクリル酸、β-スチリル(メタ)アクリル酸等が挙げられる。
また、上記アクリル樹脂は、上記のような(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体の他に、スチレン、ビニルトルエン、α-メチルスチレン等のα-位若しくは芳香族環において置換されている重合可能なスチレン誘導体、アクリロニトリル、ビニル-n-ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル、フマール酸、ケイ皮酸、α-シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸等の1種又は2種以上の重合性単量体が共重合されていてもよい。
上記(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、下記一般式(1)で表される化合物、これらの化合物のアルキル基に水酸基、エポキシ基、ハロゲン基等が置換した化合物が挙げられる。
CH2=C(R1)-COOR2 …(1)
CH2=C(R1)-COOR2 …(1)
ここで、R1は水素原子又はメチル基を示し、R2は炭素数1~12のアルキル基を示す。上記炭素数1~12のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基及びこれらの構造異性体が挙げられる。
上記一般式(1)で表される化合物としては、例えば、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸プロピルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸ペンチルエステル、(メタ)アクリル酸ヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸ヘプチルエステル、(メタ)アクリル酸オクチルエステル、(メタ)アクリル酸2-エチルヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸ノニルエステル、(メタ)アクリル酸デシルエステル、(メタ)アクリル酸ウンデシルエステル、(メタ)アクリル酸ドデシルエステル等が挙げられる。
また、バインダーポリマーは、アルカリ現像性をより良好にする観点から、カルボキシル基を有することが好ましい。このようなバインダーポリマーを得るためのカルボキシル基を有する重合性単量体としては、上述したような(メタ)アクリル酸が挙げられる。
バインダーポリマーが有するカルボキシル基の比率は、アルカリ現像性とアルカリ耐性のバランスを図る観点から、バインダーポリマーを得るために使用する全重合性単量体に対するカルボキシル基を有する重合性単量体の割合として、12~50質量%であることが好ましく、12~40質量%であることがより好ましく、15~30質量%であることが特に好ましく、15~25質量%であることが極めて好ましい。
バインダーポリマーの酸価は、現像工程において、公知の各種現像液に対する現像性を向上させる観点から、75~330mgKOH/gの範囲にあることが好ましく、100~300mgKOH/gの範囲にあることがより好ましく、100~200mgKOH/gの範囲にあることが更に好ましい。バインダーポリマーの酸価の測定条件は、本願明細書と同一の測定条件とする。
バインダーポリマーの重量平均分子量は、機械強度及びアルカリ現像性のバランスを図る観点から、5000~300000であることが好ましく、20000~150000であることがより好ましく、30000~100000であることが更に好ましい。非現像部の耐現像液性に優れる点では、重量平均分子量が、5000以上であることが好ましい。また、現像時間の観点からは、300000以下であることが好ましい。なお、本発明における重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)により測定され、標準ポリスチレンを用いて作成した検量線により換算された値である。重量平均分子量の測定条件は本願明細書の実施例と同一の測定条件とする。
バインダーポリマーは、上述した樹脂を単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。2種類以上の樹脂を組み合わせて使用する場合、例えば、異なる共重合成分からなる2種類以上の樹脂が含まれる混合物からなるバインダーポリマー、異なる重量平均分子量の2種類以上の樹脂が含まれる混合物からなるバインダーポリマー、異なる分散度の2種類以上の樹脂が含まれる混合物からなるバインダーポリマー等が挙げられる。
(B)光重合性化合物としては、エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物が挙げられる。
エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物としては、例えば、多価アルコールにα,β-不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン等のビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物、グリシジル基含有化合物にα,β-不飽和カルボン酸を反応させで得られる化合物、ウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物等のウレタンモノマー、γ-クロロ-β-ヒドロキシプロピル-β’-(メタ)アクリロイルオキシエチル-o-フタレート、β-ヒドロキシエチル-β’-(メタ)アクリロイルオキシエチル-o-フタレート、β-ヒドロキシプロピル-β’-(メタ)アクリロイルオキシエチル-o-フタレート、(メタ)アクリル酸アルキルエステルなどが挙げられる。
上記2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパンとしては、例えば、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシジエトキシ)フェニル)プロパン、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシトリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシテトラエトキシ)フェニル)プロパン、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシペンタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシヘキサエトキシ)フェニル)プロパン、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシヘプタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシオクタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシノナエトキシ)フェニル)プロパン、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシウンデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシドデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシトリデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシテトラデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシペンタデカエトキシ)フェニル)プロパン、及び2,2-ビス(4-((メタ)アクリロキシヘキサデカエトキシ)フェニル)プロパンが挙げられる。
上記の中で、2,2-ビス(4-(メタクリロキシペンタエトキシフェニル)プロパンは、「BPE-500」(新中村化学工業株式会社製、製品名)として商業的に入手可能であり、2,2-ビス(4-(メタクリロキシペンタデカエトキシ)フェニル)プロパンは、「BPE-1300」(新中村化学工業株式会社製、製品名)として商業的に入手可能である。
多価アルコールにα,β-不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が2~14であるポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレン基の数が2~14であるポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレン基の数が2~14であり、プロピレン基の数が2~14であるポリエチレンポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジエトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリエトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンテトラエトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンペンタエトキシトリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、プロピレン基の数が2~14であるポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、及びジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートが挙げられる。
上記ウレタンモノマーとしては、例えば、β位にヒドロキシル基を有する(メタ)アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、2,6-トルエンジイソシアネート、2,4-トルエンジイソシアネート、1,6-ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス[(メタ)アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート]ヘキサメチレンイソシアヌレート、EO変性ウレタンジ(メタ)アクリレート、EO,PO変性ウレタンジ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。なお、「EO」はエチレンオキサイドを示し、EO変性された化合物はエチレンオキサイド基のブロック構造を有する。また、「PO」はプロピレンオキサイドを示し、PO変性された化合物はプロピレンオキサイド基のブロック構造を有する。EO変性ウレタンジ(メタ)アクリレートとしては、例えば、「UA-11」(新中村化学工業株式会社製、製品名)が挙げられる。また、EO,PO変性ウレタンジ(メタ)アクリレートとしては、例えば、「UA-13」(新中村化学工業株式会社製、製品名)が挙げられる。
光重合性化合物は、上述した化合物を単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。
感光性樹脂層における光重合性化合物の含有割合は、バインダーポリマー及び光重合性化合物の総量100質量部に対して、30~80質量部であることが好ましく、40~70質量部であることがより好ましい。光重合性化合物の含有割合が30質量部以上であると、感光性樹脂層の光硬化性及び塗工による形成性が良好になる傾向にあり、80質量部以下であると、フィルムとして巻き取った場合、保管性に優れる傾向にある。
(C)光重合開始剤としては、活性光線の照射によって感光性樹脂層を硬化させることができるものであれば、特に制限されない。光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、N,N’-テトラメチル-4,4’-ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、N,N’-テトラエチル-4,4’-ジアミノベンゾフェノン、4-メトキシ-4’-ジメチルアミノベンゾフェノン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-ブタノン-1、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノ-プロパノン-1等の芳香族ケトン;2-エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、2-tert-ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ベンズアントラキノン、2-フェニルアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン、1-クロロアントラキノン、2-メチルアントラキノン、1,4-ナフトキノン、9,10-フェナンタラキノン、2-メチル1,4-ナフトキノン、2,3-ジメチルアントラキノン等のキノン類;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物;ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物;1,2-オクタンジオン-1-[4-(フェニルチオ)フェニル]-2-(O-ベンゾイルオキシム)、1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]エタノン1-(O-アセチルオキシム)等のオキシムエステル化合物;ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体;2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジ(メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2-(o-フルオロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(o-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(p-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5-トリアリールイミダゾール二量体;9-フェニルアクリジン、1,7-ビス(9,9’-アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体;N-フェニルグリシン、N-フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物、オキサゾール系化合物などが挙げられる。
2,4,5-トリアリールイミダゾール二量体については、2つの2,4,5-トリアリールイミダゾールのアリール基の置換基は同一で対象な化合物を与えてもよいし、相違して非対称な化合物を与えてもよい。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸の組み合わせのように、チオキサントン系化合物と3級アミン化合物とを組み合わせてもよい。
上記の光重合開始剤の中でも、透明性の見地からは、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-ブタノン-1等の芳香族ケトン化合物、及び1,2-オクタンジオン-1-[4-(フェニルチオ)フェニル]-2-(O-ベンゾイルオキシム)等のオキシムエステル化合物が好ましい。
光重合開始剤は、1種を単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。
感光性樹脂層における光重合開始剤の含有割合は、光感度と内部の光硬化性とを両立させる観点から、バインダーポリマー及び光重合性化合物の総量100質量部に対して、0.1~20質量部であることが好ましく、1~10質量部であることがより好ましく、1~5質量部であることが特に好ましい。
(D)ロイコ染料は、酸との接触により発色する化合物であり、感光性樹脂層に着色性を与える成分である。このロイコ染料は、種類によって黒色、青色、緑色、赤色等の発色させることができるが、形成される着色パターンが、黒色が好まれる表示体のベゼル又はブラックマトリクス等である場合には、黒色の発色が得られるロイコ染料が好ましい。
ロイコ染料としては、特に限定されないが、トリフェニルメタン系染料、キサンテン系染料、フェノチアジン系染料、オキサジン系染料等が挙げられる。また、トリアリールメタン系、フルオラン系のラクトン体、スピロピラン系等のロイコ色素を使用することができる。
フルオラン系のロイコ色素としては、例えば、3-ジブチルアミノ-6-メチル-7-アニリノフルオラン、3-ジプロピルアミノ-6-メチル-7-アニリノフルオラン、3-ジエチルアミノ-6-メチル-7-アニリノフルオラン、3-ジメチルアミノ-6-メチル-7-アニリノフルオラン、3-ジエチルアミノ-6-メチル-7-キシリジノフルオラン、3-(4-ジエチルアミノ-2-エトキシフェニル)-3-(1-エチル-2-メチルインドール-3-イル)-4-アザフタリド等を挙げることができる。
ロイコ染料は、「RED520」、「CVL」、「S-205」、「BLACK305」、「ETAC」、「BLACK100」、及び「NIR BLACK78」(以上、山田化学工業株式会社製、製品名)、並びに、「TH-107」、「グリーン-DCF」、「オレンジ-DCF」、「TH-108」、「TH-109」、及び「レッド-DCF」(以上、保土谷化学工業株式会社製、製品名)等の市販品を用いることができる。
上記の中でも、「ETAC」、「BLACK100」、「NIR BLACK78」(以上、山田化学工業株式会社製、製品名)等の黒色系材料が特に好ましい。
ロイコ染料は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
感光性樹脂層におけるロイコ染料の含有量は、感光性樹脂層の着色性と、感光性及び密着性とを両立する観点から、感光性樹脂層の全質量100質量部に対して、0.01~20質量部であることが好ましく、0.1~10質量部であることがより好ましく、0.5~5質量部であることが更に好ましい。
(E)光又は熱で酸を発生する化合物は、ロイコ染料を発色させる目的で用いられる。このような化合物としては、光照射により分解して酸を発生する光酸発生剤を用いることができる。
光酸発生剤としては、例えば、ジアゾニウム塩、ヨードニウム塩、ブロモニウム塩、クロロニウム塩、スルホニウム塩、セレノニウム塩、ピリリウム塩、チアピリリウム塩、ピリジニウム塩等のオニウム塩;トリス(トリハロメチル)-s-トリアジン(例えば2,4,6-トリス(トリクロロメチル)-s-トリアジン)、2-[2-(5-メチルフラン-2-イル)エテニル]-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-[2-(フラン-2-イル)エテニル]-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-メトキシフエニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-メチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン等のハロゲン化化合物;スルホン酸の2-ニトロベンジルエステル;イミノスルホナート;1-オキソ-2-ジアゾナフトキノン-4-スルホナート誘導体;N-ヒドロキシイミド=スルホナート;トリ(メタンスルホニルオキシ)ベンゼン誘導体;ビススルホニルジアゾメタン類;スルホニルカルボニルアルカン類;スルホニルカルボニルジアゾメタン類;ジスルホン化合物;鉄アレン錯体などを挙げることができる。
光硬化性と着色性とを両立できるという観点で、365nm以上の波長領域に吸収を持つ光酸発生剤を用いることが好ましい。
また、発生する酸強度の観点から、オニウム塩系光酸発生剤を用いることが好ましい。
オニウム塩系光酸発生剤としては、例えば、「IRGACURE 250」、「IRGACURE 270」(以上、BASF社製、製品名)、「WPI-113」、「WPI-116」、「WPI-169」、「WPI-170」、「WPI-124」、「WPAG-638」、「WPAG-469」、「WPAG-370」、「WPAG-367」、「WPAG-336」(以上、和光純薬工業株式会社製、製品名)、「B2380」、「B2381」、「C1390」、「D2238」、「D2248」、「D2253」、「I0591」、「T1608」、「T1609」、「T2041」、「T2042」(以上、東京化成工業株式会社製、製品名)、「AT-6992」、「AT-6976」(以上、ACETO社製、製品名)、「CPI-100」、「CPI-100P」、「CPI101A」、「CPI-200K」、「CPI-210S」(以上、サンアプロ株式会社製、製品名)、「SP-056」、「SP-066」、「SP-130」、「SP-140」、「SP-150」、「SP-170」、「SP-171」、「SP-172」(以上、ADEKA株式会社製、製品名)、「CD-1010」、「CD-1011」、「CD-1012」(以上、サートマー社製、製品名)、「サンエイド SI-60」、「サンエイド SI-80」、「サンエイド SI-100」、「サンエイド SI-60L」、「サンエイド SI-80L」、「サンエイド SI-100L」、「サンエイド SI-L145」、「サンエイド SI-L150」、「サンエイド SI-L160」、「サンエイド SI-L110」、「サンエイド SI-L147」(以上、三新化学工業株式会社製、製品名)、「PI2074」(ローディアジャパン株式会社製、製品名)等の市販品を用いることができる。
光又は熱で酸を発生する化合物は、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
感光性樹脂層における光又は熱で酸を発生する化合物の含有量は、感光性樹脂層の全質量100質量部に対して、0.1~20質量部であることが好ましく、0.3~10質量部であることがより好ましく、0.5~6質量部であることが更に好ましく、1~5質量部であることが特に好ましい。
感光性樹脂層には、必要に応じて、p-トルエンスルホンアミド等の可塑剤、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、熱架橋剤等の添加剤を、単独で又は2種類以上を組み合わせて含有させることができる。これらの添加剤の添加量は、バインダーポリマー及び光重合性化合物の合計100質量部に対して各々0.01~20質量部であることが好ましい。
感光性樹脂層の厚みは、用途により異なるが、塗工性及び光硬化性を両立する観点から、乾燥後の厚みで1~200μmであることが好ましく、10~100μmであることがより好ましい。
感光性樹脂層は、450~650nmの波長域における最小光透過率が70%以上であることが好ましく、85%以上であることがより好ましい。感光性樹脂層がこのような条件を満たす場合、密着性に優れた着色パターンを形成することが容易となる。
感光性樹脂層は、光感度の確保をより容易にする観点から、厚み1μmあたりの光学濃度(OD値)が0.0020以下であることが好ましく、0.0015以下であることがより好ましく、0.0010以下であることが更に好ましい。
なお、感光性樹脂層の光学濃度(OD値)は、透過濃度計Ihac-T5(伊原電子工業株式会社製)を用いて測定することができる。
感光性樹脂層は、充分な遮蔽性を有する着色パターンを形成する観点から、光又は熱を受けると、厚み1μmあたりの光学濃度(OD値)が0.013以上となるものであることが好ましく、0.020以上となるものであることがより好ましく、0.040以上となるものであることが更に好ましい。
上記のOD値は、例えば、0.1J/cm2、1J/cm2、10J/cm2、50J/cm2、又は100J/cm2の露光量で得られてもよい。
感光性樹脂層は、支持フィルム上に、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、N,N-ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶解した、固形分10~60質量%程度の上述した成分を含む感光性樹脂組成物の溶液(感光性樹脂層形成用塗布液)を塗布し、乾燥することにより形成できる。但し、この場合、乾燥後の感光性樹脂層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止するため、2質量%以下であることが好ましい。
塗工は、例えば、ロールコート法、コンマコート法、グラビアコート法、エアーナイフコート法、ダイコート法、バーコート法、スプレーコート法等の公知の方法で行うことができる。塗工後、有機溶剤等を除去するための乾燥は、70~150℃で5~30分間程度、熱風対流式乾燥機等で行うことができる。
保護フィルム3としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムを用いることができる。また、保護フィルムとして上述の支持体フィルムと同様の重合体フィルムを用いてもよい。
保護フィルムと感光性樹脂層との間の接着力は、保護フィルムを感光性樹脂層から剥離しやすくするために、感光性樹脂層と支持フィルムとの間の接着力よりも小さいことが好ましい。
また、保護フィルムは、保護フィルム中に含まれる直径80μm以上のフィッシュアイ数が5個/m2以下であることが好ましい。なお、「フィッシュアイ」とは、材料を熱溶融し、混練、押し出し、2軸延伸、キャスティング法等によりフィルムを製造する際に、材料の異物、未溶解物、酸化劣化物等がフィルム中に取り込まれたものである。
保護フィルムの厚みは、破れにくくする機械的強度と価格との両立の観点から、1~100μmであることが好ましく、5~50μmであることがより好ましく、5~30μmであることが更に好ましく、15~30μmであることが特に好ましい。
本実施形態の感光性フィルムは、支持フィルム上に、接着層、ガスバリア層等の層を更に有していてもよい。
感光性フィルムは、例えば、そのままの平板状の形態で、又は、円筒状などの巻芯に巻きとりロール状の形態で貯蔵することができる。なお、この際、支持フィルムが最も外側になるように巻き取られることが好ましい。
また、感光性フィルムが保護フィルムを有してない場合、かかる感光性フィルムは、そのままの平板状の形態で貯蔵することができる。
巻芯としては、従来用いられているものであれば特に限定されず、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ABS樹脂(アクリロニトリルーブタジエンースチレン共重合体)等のプラスチックが挙げられる。またロール状に巻き取られた感光性着色フィルムの端面には、端面保護の観点から端面セパレータを設置することが好ましく、加えて耐エッジフュージョンの観点から防湿端面セパレータを設置することが好ましい。また、感光性フィルムを梱包する際には、透湿性の小さいブラックシートに包んで包装することが好ましい。
<着色パターンの形成方法>
図2及び図3は、着色パターンの形成方法の一実施形態を示す模式断面図である。本実施形態の着色パターンの第1の形成方法は、基材20上に、上述した本実施形態の感光性フィルムの感光性樹脂層2をラミネートする工程S1(図2の(a))と、基材20上に設けられた感光性樹脂層2を露光(感光性樹脂層2に光L1を照射)する工程S2(図2の(b))と、露光後の感光性樹脂層2をアルカリ現像することにより樹脂硬化膜パターン2aを形成する工程S3(図3の(a))と、樹脂硬化膜パターン2aに光を照射する及び/又は熱を与えることにより着色パターン2bを形成する工程S4(図3の(b)及び(c))とを備える。
図2及び図3は、着色パターンの形成方法の一実施形態を示す模式断面図である。本実施形態の着色パターンの第1の形成方法は、基材20上に、上述した本実施形態の感光性フィルムの感光性樹脂層2をラミネートする工程S1(図2の(a))と、基材20上に設けられた感光性樹脂層2を露光(感光性樹脂層2に光L1を照射)する工程S2(図2の(b))と、露光後の感光性樹脂層2をアルカリ現像することにより樹脂硬化膜パターン2aを形成する工程S3(図3の(a))と、樹脂硬化膜パターン2aに光を照射する及び/又は熱を与えることにより着色パターン2bを形成する工程S4(図3の(b)及び(c))とを備える。
これらの工程を経ることにより、基材20と、基材20上に設けられたパターニングされた着色パターン2bとを備える着色パターン付基材11が得られる。なお、図3の(b)は、樹脂硬化膜パターン2aに光L2を照射することにより着色パターンを形成する場合を示す。
また、着色パターンの第2の形成方法は、基材上に、上述した本実施形態の感光性フィルムの感光性樹脂層をラミネートする工程S1と、基材上に設けられた感光性樹脂層の所定部分を露光(感光性樹脂層に光を照射)する工程S2と、露光後の感光性樹脂層に光を照射する及び/又は熱を与えることにより感光性樹脂層を着色する工程S5と、着色された感光性樹脂層をアルカリ現像することにより上記所定部分を除去して着色パターンを形成する工程S6とを備える。
第2の形成方法においても、上記の工程を経ることにより、基材上に着色パターンが設けられた着色パターン付基材が得られる。第2の形成方法は、工程S6の後に、着色パターンに光を照射する及び/又は熱を与えることにより光学濃度を調整する工程S7を更に有していてもよい。
基材としては、例えば、ガラス基板、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマ等のプラスチック基板などが挙げられる。基材は、450~650nmの波長域での最小光透過率が80%以上であるものが好ましい。
工程S1は、例えば、感光性フィルムを、保護フィルムがある場合はそれを除去した後、加熱しながら感光性樹脂層側を基材に圧着することにより積層する方法により行うことができる。なお、この作業は、密着性及び追従性の見地から減圧下で積層することが好ましい。感光性フィルムの積層は、感光性樹脂層及び/又は基材を70~130℃に加熱することが好ましく、圧着圧力は、0.1~1.0MPa程度(1~10kgf/cm2程度)とすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。また、感光性樹脂層を上記のように70~130℃に加熱すれば、予め基材を予熱処理することは必要ではないが、積層性をさらに向上させるために基材の予熱処理を行うこともできる。
工程S2における露光方法としては、感光性樹脂層の所定部分に光(活性光線)を照射するために、ネガ又はポジマスクパターン(アートワーク)30を通して光(活性光線)を画像状に照射する方法(マスク露光法)が挙げられる。活性光線の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線、可視光などを有効に放射するものが用いられる。また、Arイオンレーザ、半導体レーザ等の紫外線、可視光などを有効に放射するものも用いることができる。更に、写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものも用いることができる。また、レーザ露光法等を用いた直接描画法により活性光線を画像状に照射する方法を採用してもよい。
工程S2における露光量は、使用する装置及び感光性樹脂層の組成によって異なるが、好ましくは10mJ/cm2~500mJ/cm2であり、より好ましくは100mJ/cm2~400mJ/cm2である。光硬化性に優れる点では、300mJ/cm2以上であることが好ましく、解像性の点では300mJ/cm2以下であることが好ましい。露光に紫外線を用いる場合、上記露光量はi線(波長365nm)における測定値であってもよい。
露光は、空気中、真空中等で行うことができ、露光の雰囲気は特に制限されない。
工程S4又は工程S5において照射する光の光源としては、公知光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線、可視光などを有効に放射するものが用いることができる。また、Arイオンレーザ、半導体レーザ等の紫外線、可視光などを有効に放射するものも用いることができる。更に、写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものも用いることができる。
工程S4又は工程S5における露光量は、使用する装置及び感光性樹脂層の組成によって異なるが、好ましくは1000mJ/cm2~50000mJ/cm2であり、より好ましくは5000mJ/cm2~10000mJ/cm2である。着色性に優れる点では、10000mJ/cm2以上であることが好ましく、作業性の点では10000mJ/cm2以下であることが好ましい。
なお、工程S5においては、支持フィルムの剥離性の観点から、支持フィルムをはく離してから感光性樹脂層に活性光線を照射することが好ましい。
また、工程S4又は工程S5において、樹脂硬化膜パターン又は感光性樹脂層に熱を与える場合、加熱手段としては、箱型乾燥機、リフロー炉、クリーンオーブンなどを用いることができる。
加熱条件としては、温度が60~100℃、100~150℃、150~200℃、又は200~250℃であってもよく、加熱時間が10~60秒、1~60分、又は60~120分であってもよい。
本実施形態においては、着色パターンが上述したOD値を有するように、工程S4又は工程S5における光照射及び/又は加熱の条件を適宜設定することができる。
工程S3又は工程6におけるアルカリ現像は、例えば、アルカリ性水溶液等の現像液を用いて、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッビング等の公知の方法により行われる。
現像液としては、アルカリ性水溶液等の安全かつ安定であり、操作性が良好なものが用いられる。上記アルカリ性水溶液の塩基としては、例えば、リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等の水酸化アルカリ、リチウム、ナトリウム、カリウム若しくはアンモニウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩などが用いられる。
また、現像に用いるアルカリ性水溶液としては、0.1~5質量%炭酸ナトリウム水溶液、0.1~5質量%炭酸カリウム水溶液、0.1~5質量%水酸化ナトリウム水溶液、0.1~5質量%四ホウ酸ナトリウム水溶液等が好ましい。また、現像に用いるアルカリ性水溶液のpHは9~11の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光性樹脂層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させてもよい。
また、アルカリ水溶液と一種以上の有機溶剤とからなる水系現像液を用いることができる。ここで、アルカリ水溶液に含まれる塩基としては、上述の塩基以外に、例えば、ホウ砂、メタケイ酸ナトリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、エタノールアミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、2-アミノ-2-ヒドロキシメチル-1、3-プロパンジオール、1、3-ジアミノプロパノール-2、及びモルホリンが挙げられる。有機溶剤としては、例えば、3アセトンアルコール、アセトン、酢酸エチル、炭素数1~4のアルコキシ基をもつアルコキシエタノール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、及びジエチレングリコールモノブチルエーテルが挙げられる。これらは、1種を単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。
上述した現像液は、必要に応じて、2種以上を併用してもよい。
現像の方式としては、例えば、ディップ方式、パドル方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッビング等が挙げられる。これらのうち、高圧スプレー方式を用いることが、解像度向上の観点から好ましい。
本実施形態の着色パターンの形成方法においては、現像後に必要に応じて、60~250℃程度の加熱又は0.2~50J/cm2程度の露光を行うことにより着色パターンを更に硬化してもよい。
本実施形態の着色パターンの形成方法によれば、ガラス又はプラスチック等の基材上に容易に着色パターンを形成することが可能である。着色パターンは、画像表示装置のブラックマトリクスであってもよく、画像表示装置の周辺加飾部であってもよい。
<着色パターン付基材の製造方法>
本実施形態の着色パターン付基材の製造方法は、基材と、該基材上に設けられた着色パターンとを備える着色パターン付基材を製造する方法であって、着色パターンを上記本実施形態に係る着色パターンの形成方法によって形成する工程を備える。
本実施形態の着色パターン付基材の製造方法は、基材と、該基材上に設けられた着色パターンとを備える着色パターン付基材を製造する方法であって、着色パターンを上記本実施形態に係る着色パターンの形成方法によって形成する工程を備える。
本実施形態の着色パターン付基材の製造方法によれば、所望の光学濃度を有し且つ所望の形状で充分に硬化された着色パターンを備える着色パターン付基材を得ることができる。着色パターンは、画像表示装置のブラックマトリクスであってもよく、画像表示装置の周辺加飾部であってもよい。
以下、実施例及び比較例によって、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
[バインダーポリマー溶液の作製]
(ポリマー溶液A1)
撹拌機、還流冷却器、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、表1に示す(1)を仕込み、窒素ガス雰囲気下で80℃に昇温し、反応温度を80℃±2℃に保ちながら、表1に示す(2)を4時間かけて均一に滴下した。(2)の滴下後、80℃±2℃で6時間撹拌を続け、バインダーポリマー溶液A1(固形分50質量%)を得た。
(ポリマー溶液A1)
撹拌機、還流冷却器、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、表1に示す(1)を仕込み、窒素ガス雰囲気下で80℃に昇温し、反応温度を80℃±2℃に保ちながら、表1に示す(2)を4時間かけて均一に滴下した。(2)の滴下後、80℃±2℃で6時間撹拌を続け、バインダーポリマー溶液A1(固形分50質量%)を得た。
(ポリマー溶液A2)
配合量を表1の通りに変えた以外はバインダーポリマー溶液A1と同様にして、バインダーポリマー溶液A2(固形分50質量%)を得た。
配合量を表1の通りに変えた以外はバインダーポリマー溶液A1と同様にして、バインダーポリマー溶液A2(固形分50質量%)を得た。
バインダーポリマーの重量平均分子量及び酸価は、以下の測定方法で求めた。
[重量平均分子量の測定]
重量平均分子量(Mw)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することにより導出した。GPCの測定条件を以下に示す。
<GPC測定条件>
ポンプ:日立 L-6000型(株式会社日立製作所製、製品名)
カラム:Gelpack GL-R420、Gelpack GL-R430、Gelpack GL-R440(以上、日立化成株式会社製、製品名)
溶離液:テトラヒドロフラン
測定温度:40℃
流量:2.05mL/分
検出器:L-3300(RI検出器、株式会社日立製作所製、製品名)
重量平均分子量(Mw)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することにより導出した。GPCの測定条件を以下に示す。
<GPC測定条件>
ポンプ:日立 L-6000型(株式会社日立製作所製、製品名)
カラム:Gelpack GL-R420、Gelpack GL-R430、Gelpack GL-R440(以上、日立化成株式会社製、製品名)
溶離液:テトラヒドロフラン
測定温度:40℃
流量:2.05mL/分
検出器:L-3300(RI検出器、株式会社日立製作所製、製品名)
[酸価の測定]
酸価は、下記に示すように、JIS K0070に基づいた中和滴定法により測定した。
まず、バインダーポリマーの溶液を、130℃で1時間加熱し、揮発分を除去して、固形分を得た。そして、この固形分のバインダーポリマー1.0gを精秤した後、このバインダーポリマーにアセトンを30g添加し、これを均一に溶解し、樹脂溶液を得た。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその樹脂溶液に適量添加して、0.1mol/Lの水酸化カリウム水溶液を用いて滴定を行った。そして、次式により酸価を算出した。
酸価=0.1×V×f1×56.1/(Wp×I/100)
式中、Vは測定に用いた0.1mol/Lの水酸化カリウム水溶液の滴定量(mL)を示し、f1は0.1mol/Lの水酸化カリウム水溶液のファクター(濃度換算係数)を示し、Wpは測定した樹脂溶液の質量(g)を示し、Iは測定した樹脂溶液中の不揮発分の割合(質量%)を示す。
酸価は、下記に示すように、JIS K0070に基づいた中和滴定法により測定した。
まず、バインダーポリマーの溶液を、130℃で1時間加熱し、揮発分を除去して、固形分を得た。そして、この固形分のバインダーポリマー1.0gを精秤した後、このバインダーポリマーにアセトンを30g添加し、これを均一に溶解し、樹脂溶液を得た。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその樹脂溶液に適量添加して、0.1mol/Lの水酸化カリウム水溶液を用いて滴定を行った。そして、次式により酸価を算出した。
酸価=0.1×V×f1×56.1/(Wp×I/100)
式中、Vは測定に用いた0.1mol/Lの水酸化カリウム水溶液の滴定量(mL)を示し、f1は0.1mol/Lの水酸化カリウム水溶液のファクター(濃度換算係数)を示し、Wpは測定した樹脂溶液の質量(g)を示し、Iは測定した樹脂溶液中の不揮発分の割合(質量%)を示す。
(実施例1~4及び比較例1~3)
[感光性樹脂層形成用塗布液の作製]
表2に示す成分を、同表に示す配合量(単位:質量部)で配合し、攪拌機を用いて15分間混合して感光性樹脂層形成用塗布液を作製した。表2中、(A)成分の配合量は溶液の配合量を示す。
[感光性樹脂層形成用塗布液の作製]
表2に示す成分を、同表に示す配合量(単位:質量部)で配合し、攪拌機を用いて15分間混合して感光性樹脂層形成用塗布液を作製した。表2中、(A)成分の配合量は溶液の配合量を示す。
表2中の成分の記号は以下の意味を示す。
(A)成分
A1:上述した方法で作製したバインダーポリマー溶液A1
A2:上述した方法で作製したバインダーポリマー溶液A2
(A)成分
A1:上述した方法で作製したバインダーポリマー溶液A1
A2:上述した方法で作製したバインダーポリマー溶液A2
(B)成分
A-TMPT:トリメチロールプロパントリアクリレート(新中村化学工業株式会社製、製品名「A-TMPT」)
A-TMPT:トリメチロールプロパントリアクリレート(新中村化学工業株式会社製、製品名「A-TMPT」)
(C)成分
OXE-01:1,2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)フェニル-,2-(O-ベンゾイルオキシム)](BASFジャパン株式会社製、製品名「IRGACURE OXE 01」)
OXE-01:1,2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)フェニル-,2-(O-ベンゾイルオキシム)](BASFジャパン株式会社製、製品名「IRGACURE OXE 01」)
(D)成分
ETAC:ロイコ染料(色素)(山田化学工業株式会社製、製品名「ETAC」)
ETAC:ロイコ染料(色素)(山田化学工業株式会社製、製品名「ETAC」)
(E)成分
CPI-100P:光酸発生剤(サンアプロ株式会社製、製品名「CPI-100P」)
CPI-100P:光酸発生剤(サンアプロ株式会社製、製品名「CPI-100P」)
(その他)
MEK:メチルエチルケトン
MEK:メチルエチルケトン
[感光性フィルムの作製]
支持フィルムとして厚み50μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人株式会社製、製品名:G2)を使用し、上記で作製した感光性樹脂層形成用塗布液を支持フィルム上にコンマコーターを用いて均一に塗布し、110℃の熱風対流式乾燥機で3分間乾燥して溶剤を除去し、厚み30μmの感光性樹脂層を形成した。
支持フィルムとして厚み50μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人株式会社製、製品名:G2)を使用し、上記で作製した感光性樹脂層形成用塗布液を支持フィルム上にコンマコーターを用いて均一に塗布し、110℃の熱風対流式乾燥機で3分間乾燥して溶剤を除去し、厚み30μmの感光性樹脂層を形成した。
次いで、上記で得られた感光性樹脂層を有する支持フィルムと、保護フィルムとして厚み30μmのポリエチレンフィルム(タマポリ株式会社製、製品名:NF-13)とを、ラミネータ(日立化成株式会社製、製品名:HLM-3000型)を用いて23℃で貼り合わせて、保護フィルム、感光性樹脂層及び支持フィルムがこの順で積層された感光性フィルムを作製した。
[着色パターンの形成]
(i)0.7mm厚のソーダガラス板を80℃に加温し、その表面上に感光性フィルムを、保護フィルムを剥離しながら感光性樹脂層を基板に対向させて、120℃、0.4MPaの条件でラミネートした。ラミネート後、基板を冷却し基板の温度が23℃になった時点で、支持フィルムであるPETフィルム面にライン幅/スペース幅(L/S)が100/100μmで長さが100mmの配線パターンを有するアートワークを密着させた。
(i)0.7mm厚のソーダガラス板を80℃に加温し、その表面上に感光性フィルムを、保護フィルムを剥離しながら感光性樹脂層を基板に対向させて、120℃、0.4MPaの条件でラミネートした。ラミネート後、基板を冷却し基板の温度が23℃になった時点で、支持フィルムであるPETフィルム面にライン幅/スペース幅(L/S)が100/100μmで長さが100mmの配線パターンを有するアートワークを密着させた。
(ii)そして、高圧水銀灯ランプを有する露光機(オーク株式会社製、製品名「EXM-1200」)を用いて、50mJ/cm2の露光量で感光性樹脂層に光照射(露光)した。
(iii)露光後、室温(25℃)で15分間放置した後、アートワークを除き、さらに支持フィルムであるPETフィルムをはく離した。続いて、30℃で1質量%炭酸ナトリウム水溶液を30秒間スプレーすることにより現像した。
(iv)現像によってソーダガラス板上に形成された樹脂硬化層(パターン)に、コンベア式のUV炉でUV露光を行った。この露光は、1パスあたりの露光量が1J/cm2(i線(波長365nm)における測定値)となるようにコンベアの速度を調整した。
(v)上記の露光を10パスまで行った。
<パターニング性の評価>
現像後の感光性樹脂層を光学顕微鏡で観察し、下記の判定基準にしたがって、L/S=100/100μmにおけるパターニング性を評価した。
(判定基準)
A:パターン欠損及びショートがない。
B:ショートはないが、パターンの幅に対し5%未満で欠損のある箇所がある。
C:パターンの幅に対し5%以上の欠損、又は部分的なショートがある。
D:解像されていない。
現像後の感光性樹脂層を光学顕微鏡で観察し、下記の判定基準にしたがって、L/S=100/100μmにおけるパターニング性を評価した。
(判定基準)
A:パターン欠損及びショートがない。
B:ショートはないが、パターンの幅に対し5%未満で欠損のある箇所がある。
C:パターンの幅に対し5%以上の欠損、又は部分的なショートがある。
D:解像されていない。
<OD値の測定>
上記の着色パターンの形成(i)~(v)と同様にして、(i)におけるラミネート後のサンプル、(ii)における50mJ/cm2の露光後のサンプル、(iv)における1J/cm2の露光後のサンプル、(v)における10パス後(露光量10J/cm2)のサンプルをそれぞれ作製し、透過濃度計Ihac-T5(伊原電子工業株式会社製)を使用し、樹脂組成物層又は樹脂硬化層(パターン)の厚さ30μmあたりのOD値を測定した。
上記の着色パターンの形成(i)~(v)と同様にして、(i)におけるラミネート後のサンプル、(ii)における50mJ/cm2の露光後のサンプル、(iv)における1J/cm2の露光後のサンプル、(v)における10パス後(露光量10J/cm2)のサンプルをそれぞれ作製し、透過濃度計Ihac-T5(伊原電子工業株式会社製)を使用し、樹脂組成物層又は樹脂硬化層(パターン)の厚さ30μmあたりのOD値を測定した。
表3に示すように、実施例1~4の感光性フィルムによれば、充分なパターニング性を有しつつ、充分なOD値を有する着色パターンを形成することができる。また、露光量又は(E)成分の配合量を変更することにより、着色パターンのOD値を調整することが可能であることが確認された。
1…支持フィルム、2…感光性樹脂層、2a…樹脂硬化膜パターン、2b…着色パターン、3…保護フィルム、10,10a…感光性フィルム、11…着色パターン付基材、20…基材、30…アートワーク。
Claims (11)
- 支持フィルムと、支持フィルム上に設けられたアルカリ現像可能な感光性樹脂層と、を備え、
前記感光性樹脂層が、バインダーポリマーと、光重合性化合物と、ロイコ染料と、光又は熱で酸を発生する化合物と、を含有する、感光性フィルム。 - 前記感光性樹脂層が、厚み1μmあたりの光学濃度(OD値)が0.0020以下である、請求項1に記載の感光性フィルム。
- 前記感光性樹脂層が、光又は熱を受けると、厚み1μmあたりの光学濃度(OD値)が0.013以上となる、請求項1又は2に記載の感光性フィルム。
- 前記バインダーポリマーの酸価が75~330mgKOH/gである、請求項1~3のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
- 前記バインダーポリマーの重量平均分子量が5000~300000である、請求項1~4のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
- 前記感光性樹脂層の厚みが1~200μmである、請求項1~5のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
- 基材上に、請求項1~6のいずれか一項に記載の感光性フィルムの前記感光性樹脂層をラミネートする工程と、
前記基材上に設けられた前記感光性樹脂層を露光及びアルカリ現像することにより樹脂硬化膜パターンを形成する工程と、
前記樹脂硬化膜パターンに光を照射する及び/又は熱を与えることにより着色パターンを形成する工程と、
を備える、着色パターンの形成方法。 - 基材上に、請求項1~6のいずれか一項に記載の感光性フィルムの前記感光性樹脂層をラミネートする工程と、前記基材上に設けられた前記感光性樹脂層の所定部分を露光する工程と、露光後の感光性樹脂層に光を照射する及び/又は熱を与えることにより感光性樹脂層を着色する工程と、着色された感光性樹脂層をアルカリ現像することにより前記所定部分以外を除去して着色パターンを形成する工程と、を備える、着色パターンの形成方法。
- 基材と、該基材上に設けられた着色パターンと、を備える着色パターン付基材を製造する方法であって、
前記着色パターンを請求項7又は8に記載の方法によって形成する、着色パターン付基材の製造方法。 - 前記着色パターンが画像表示装置のブラックマトリクスである、請求項9に記載の着色パターン付基材の製造方法。
- 前記着色パターンが画像表示装置の周辺加飾部である、請求項9に記載の着色パターン付基材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2018/030115 WO2020031379A1 (ja) | 2018-08-10 | 2018-08-10 | 感光性フィルム、着色パターンの形成方法及び着色パターン付基材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2018/030115 WO2020031379A1 (ja) | 2018-08-10 | 2018-08-10 | 感光性フィルム、着色パターンの形成方法及び着色パターン付基材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2020031379A1 true WO2020031379A1 (ja) | 2020-02-13 |
Family
ID=69415436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2018/030115 Ceased WO2020031379A1 (ja) | 2018-08-10 | 2018-08-10 | 感光性フィルム、着色パターンの形成方法及び着色パターン付基材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| WO (1) | WO2020031379A1 (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000258911A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性着色性樹脂組成物、着色画像形成用感光液、感光性エレメント、着色画像の製造法、カラーフィルター用パネルの製造法及びカラーフィルターの製造法 |
| JP2000305263A (ja) * | 1999-04-26 | 2000-11-02 | Hitachi Chem Co Ltd | 着色画像形成用感光性樹脂組成物、着色画像形成用感光性エレメント及びブラックマトリックスの製造法 |
| WO2005022260A1 (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-10 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法並びに光硬化物の除去方法 |
| JP2014197324A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | 凸版印刷株式会社 | カバーガラス一体型タッチパネルセンサー基板、及び表示装置 |
| JP2016004120A (ja) * | 2014-06-16 | 2016-01-12 | 帝人株式会社 | 離型フィルム |
-
2018
- 2018-08-10 WO PCT/JP2018/030115 patent/WO2020031379A1/ja not_active Ceased
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000258911A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性着色性樹脂組成物、着色画像形成用感光液、感光性エレメント、着色画像の製造法、カラーフィルター用パネルの製造法及びカラーフィルターの製造法 |
| JP2000305263A (ja) * | 1999-04-26 | 2000-11-02 | Hitachi Chem Co Ltd | 着色画像形成用感光性樹脂組成物、着色画像形成用感光性エレメント及びブラックマトリックスの製造法 |
| WO2005022260A1 (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-10 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法並びに光硬化物の除去方法 |
| JP2014197324A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | 凸版印刷株式会社 | カバーガラス一体型タッチパネルセンサー基板、及び表示装置 |
| JP2016004120A (ja) * | 2014-06-16 | 2016-01-12 | 帝人株式会社 | 離型フィルム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5626428B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
| JP5529370B2 (ja) | 多官能チオール化合物を含んだブラックレジスト用感光性樹脂組成物、それを用いたカラーフィルター用ブラックマトリクス、及びカラーフィルター | |
| JP7793291B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
| JP5442049B2 (ja) | 高感度オキシムエステル光重合開始剤及びこの化合物を含む光重合組成物 | |
| WO2010098183A1 (ja) | 感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
| JPWO2012067107A1 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
| CN105388705B (zh) | 着色感光性树脂组合物 | |
| KR20120022586A (ko) | 감광성 수지 조성물, 감광성 엘리먼트, 레지스트 패턴의 제조방법, 리드 프레임의 제조방법, 프린트 배선판의 제조방법 및 프린트 배선판 | |
| JP2008304710A (ja) | 感光性樹脂組成物及び感光性フィルム | |
| TWI425313B (zh) | A photosensitive resin composition, a photosensitive member, a method for forming a resist pattern, and a method for manufacturing a printed wiring board | |
| WO2016171066A1 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、硬化物、レジストパターンの形成方法、及び、プリント配線板の製造方法 | |
| JP2016224161A (ja) | レジストパターンの形成方法、プリント配線板の製造方法及び感光性エレメント | |
| JP5239787B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
| JP2006208637A (ja) | 光重合性樹脂積層体、並びにそれを用いたブラックマトリックス付きガラス基板、及びカラーフィルタの製造方法 | |
| JP2010224158A (ja) | (メタ)アクリレート化合物を含む組成物及びこれを用いてなる感光性樹脂積層体 | |
| WO2020031379A1 (ja) | 感光性フィルム、着色パターンの形成方法及び着色パターン付基材の製造方法 | |
| JP4780988B2 (ja) | 光重合性樹脂積層体およびブラックマトリックス付きガラス基板 | |
| JP5853588B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
| JP5251523B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
| JP2017198878A (ja) | 感光性導電フィルム及びそれを用いた導電パターン、導電パターン基板、タッチパネルセンサの製造方法 | |
| JP7715912B1 (ja) | 感光性樹脂組成物及びレジストパターンの形成方法 | |
| US20250390018A1 (en) | Photosensitive resin composition, photosensitive element, method for forming resist pattern, and method for producing circuit board | |
| JPWO2007113901A1 (ja) | 感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
| JP2026061802A (ja) | 感光性樹脂組成物、転写フィルム、樹脂パターンの製造方法、導電パターンの製造方法、及びポリマー | |
| JP2018004739A (ja) | 感光性樹脂組成物及びブラックマトリックス |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 18929487 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
| NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
| 122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 18929487 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
| NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: JP |


