WO2019225067A1 - 高圧放電ランプ - Google Patents

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WO2019225067A1
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core wire
carbonized layer
pressure discharge
discharge lamp
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雅史 團
有本　智良
巧 山根
太郎 有本
真司 二川
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ウシオ電機株式会社
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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/04—Electrodes; Screens; Shields
    • H01J61/06—Main electrodes
    • H01J61/073—Main electrodes for high-pressure discharge lamps
    • H01J61/0735—Main electrodes for high-pressure discharge lamps characterised by the material of the electrode

Definitions

  • the present invention relates to a high-pressure discharge lamp having a cathode made of tungsten or a tungsten alloy, and is particularly applied to a projection light source for a projector, an exposure light source for analysis of semiconductors and liquid crystals, or an analysis light source.
  • the present invention relates to a high pressure discharge lamp.
  • a high-pressure discharge lamp has a short tip distance between a pair of electrodes opposed to each other in the arc tube, and is close to a point light source. Used for light sources.
  • FIG. 3 shows the conventional high-pressure discharge lamp.
  • An arc tube 10 made of quartz glass of the high-pressure discharge lamp has a light-emitting portion 11 formed in a substantially spherical shape at the center and sealing tubes 12 at both ends thereof. , 12.
  • a cathode 21 and an anode 31 made of a high melting point material such as tungsten are disposed so as to face each other, and the discharge space S is filled with xenon as a luminescent material.
  • a cathode core wire 22 and an anode core wire 32 are inserted into the cathode 21 and the anode 31, respectively.
  • the cathode core wire 22 and the anode core wire 32 are sealed by the sealing portions 13 and 13 of the sealing tubes 12 and 12, respectively. .
  • the cathode 21 is provided with a tungsten carbide (W 2 C) layer 40 at a tapered portion 21a.
  • W 2 C tungsten carbide
  • Carbon (C) is supplied to the contacting part.
  • the tip portion 21b of the tapered portion 21a is shown in which the tungsten carbide (W 2 C) layer 40 is not formed.
  • FIG. 5 schematically shows a series of reactions in the light emitting part of the high-pressure discharge lamp.
  • the OH group contained in the inner surface layer of the light emitting unit 11 made of quartz glass is released into the discharge space S as, for example, water (H 2 O) during lamp operation.
  • the released H 2 O reacts with carbon or a carbon compound of the tungsten carbide layer 40 provided on the surface of the cathode 21 of the light emitting unit 11 mainly on the cathode surface to generate carbon monoxide gas (CO).
  • CO carbon monoxide gas
  • This CO diffuses in the gas phase in the discharge space S of the light emitting unit 11, and a part thereof enters the arc A.
  • This CO is decomposed due to the high temperature in the arc A to generate C + ions.
  • the generated C + ions are carried to the cathode tip by the electric field in the arc A, where they react with the tungsten W of the cathode 21 to produce tungsten carbides such as W 2 C and WC.
  • tungsten carbide When tungsten carbide is generated on the cathode tip surface, the carbide melts at the cathode tip surface due to the high temperature at the time of starting the lamp. Formation is prevented and discharge is stabilized.
  • the cathode may be used in a very severe environment such as high operating pressure and high current density at the cathode tip. If lighting is continued in such an environment, the tip of the cathode is deformed to form irregularities, the discharge starting point moves (arc jump), and flicker begins to occur. This is because the carbon C of the tungsten carbide (W 2 C) layer 40 decreases with the progress of lighting, and the series of reactions shown in FIG.
  • the carbon C of the tungsten carbide (W 2 C) layer 40 is reduced, the carbon monoxide CO in the discharge space S of the light emitting portion 11 is also reduced, and the amount of C + ions in the arc is reduced.
  • tungsten carbide such as W 2 C and WC is not generated. Therefore, irregularities are formed on the cathode front end surface, and flicker is generated.
  • the problem to be solved by the present invention is, in view of the above-mentioned problems of the prior art, a high-pressure discharge provided with a cathode body comprising a cathode made of tungsten or a tungsten alloy and a core wire inserted into the core wire insertion hole of the cathode.
  • An object of the present invention is to provide a high-pressure discharge lamp having a long service life that prevents the tip end surface of the cathode from being uneven after the lamp is lit and prevents the occurrence of flickering for a long time.
  • the high-pressure discharge lamp according to the present invention has a carbonized layer formed on the surface exposed to the discharge space of the cathode (excluding the tip) and on the inner surface of the core wire insertion hole. It is characterized by that.
  • the carbonized layer is made of tungsten carbide (W 2 C). Further, the thickness of the carbonized layer is 20 to 40 ⁇ m.
  • carbon is diffused not only from the front end surface of the cathode but also from the rear end surface by forming a carbonized layer on the surface exposed to the discharge space of the cathode,
  • the production of CO in can be maintained.
  • by forming a carbonized layer on the inner surface of the core wire insertion hole it is possible to diffuse carbon from the inside of the cathode toward the surface during the lighting operation, thereby maintaining the generation of CO on the cathode surface. Can be made.
  • carbon monoxide CO in the light emitting part is also maintained, and the amount of C + ions in the arc is also maintained.
  • tungsten carbide such as W 2 C and WC is generated at the tip of the cathode 2, and as a result, the occurrence of unevenness at the tip of the cathode can be prevented, and the flicker life can be prolonged.
  • Sectional drawing of 1st Example of the electrode body used for the high pressure discharge lamp of this invention Explanatory drawing of the behavior of carbon in the cathode of this invention.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of an embodiment of an electrode body used in the high-pressure discharge lamp of the present invention.
  • a cathode body 1 includes a cathode 2 made of tungsten or a tungsten alloy and a core wire insertion hole 3 drilled at the rear end thereof. The core wire 4 is inserted.
  • a carbonized layer 5 is formed on the surface of the cathode 2 exposed in the discharge space except for the tip 2a.
  • Tungsten may contain impurities that are included in the refining process of tungsten.
  • the tungsten alloy is an alloy of tungsten W and a rare earth oxide such as thorium oxide ThO 2, cerium Ce, or lanthanum La. These may contain an intermetallic compound of tungsten.
  • the cathode body 1 may be formed by bonding tungsten and a tungsten alloy.
  • the carbonized layer 5 is formed on the surface exposed to the discharge space of the cathode 2. However, as long as the effect of the present invention is produced, a part of the carbonized layer 5 is not provided or a part of the carbonized layer is thin. Also good.
  • the amount of carbon C contained in the carbonized layer is preferably 0.44 to 0.53 g / cc.
  • the amount of carbon C is large, the production of CO on the cathode surface becomes excessive, so that carbon C is transported not only to the cathode tip surface but also to the anode tip surface, and tungsten carbide such as W 2 C and WC is produced. End up.
  • the anode tip surface is hotter than the cathode tip surface, causing a problem that the carbide on the anode tip surface evaporates and the blackening of the inner surface of the discharge vessel is promoted.
  • the amount of C is small, the production of CO on the cathode surface is insufficient, so that the cathode tip becomes rough at an early stage, the arc starting point easily moves, and flicker occurs.
  • the thickness of the carbonized layer 5 is preferably 20 to 40 ⁇ m. If the carbonized layer is too thick, CO is excessively generated on the cathode surface, so that carbon C is transported not only to the cathode tip surface but also to the anode tip surface, and tungsten carbide such as W 2 C and WC is generated. These carbides evaporate and the blackening of the inner surface of the discharge vessel is promoted. If the carbonized layer is too thin, the generation of CO on the cathode surface is insufficient, and the cathode tip becomes rough at an early stage and flicker occurs.
  • the carbonized layer 5 is not formed on the tip 2a of the cathode 2.
  • the melting point of tritan which is the base material of the cathode 2
  • the material forming the carbide layer 5 has a lower melting point (for example, the melting point of tungsten carbide is about 2800 ° C.).
  • the carbonized layer 5 is not formed at the position where the melting temperature of the carbonized layer 5 is reached, that is, at the tip 2a.
  • the carbonized layer 2 is not formed in the range of 3 to 5 mm from the tip.
  • the carbonized layer 5 is also formed on the inner surface of the core wire insertion hole 3 of the cathode 2. As shown in FIG. 2, the carbon C in the carbonized layer 5 formed on the surface of the cathode 2 is consumed and decreased as the lighting time elapses, but the carbon C from the carbonized layer 5 on the inner surface of the core wire insertion hole 3 is reduced. However, it gradually diffuses into the cathode 2. The carbon C diffused from the core wire insertion hole 3 into the electrode gradually reaches the cathode surface and contributes to the generation of CO on the cathode surface.
  • a part of the inner surface of the core wire insertion hole 3 may have a part where the carbonized layer is not provided or a part where the carbonized layer is thin.
  • a vapor phase carbonization method is a method in which a mixed gas of benzene and hydrogen is reacted with a cathode heated by a high-frequency heating device.
  • a processing gas in which benzene and hydrogen are mixed is allowed to flow into the reaction chamber at a flow rate of about 2 L / min.
  • the cathode is heated to about 1900 ° C. by high frequency heating and held for 5 minutes.
  • the mixed gas is replaced with hydrogen gas, the temperature is lowered to about 1700 ° C., and this temperature is maintained for 5 minutes.
  • This process is repeated a plurality of times to obtain a cathode body having a carbonized layer of about 30 ⁇ m.
  • the carbonized layer 5 is formed on the entire outer surface of the cathode 2 and the inner surface of the core wire insertion hole 3.
  • the tip 2a of the cathode 2 is cut to remove the carbonized layer.
  • the formation of CO on the cathode surface can be maintained by forming the carbonized layer on the surface exposed to the discharge space of the cathode (excluding the tip). Furthermore, by forming a carbonized layer on the inner surface of the core wire insertion hole, carbon can be diffused from the inside of the cathode toward the surface during the lighting operation, thereby lengthening the generation of CO on the cathode surface. Can last for a period of time.

Landscapes

  • Discharge Lamp (AREA)

Abstract

【課題】タングステンまたはタングステン合金からなる陰極と、当該陰極の芯線挿入孔に挿入された芯線とからなる陰極体を備えた高圧放電ランプにおいて、ランプ点灯後、陰極の先端面に凹凸ができることを長時間にわたって防止し、フリッカー現象の発生を長時間抑制した使用寿命の長い高圧放電ランプを提供することにある。 【解決手段】前記陰極の放電空間に対して露出した表面(先端部を除く)、および、前記芯線挿入孔の内面に、炭化層を形成したことを特徴とする。

Description

高圧放電ランプ
　本発明は、タングステンまたはタングステン合金からなる陰極を有する高圧放電ランプに関するものであり、特に、映写機の投影用光源や、半導体や液晶の製造分野などの露光用光源あるいは分析用の光源に適用される高圧放電ランプに係る。
　高圧放電ランプは、発光管内に対向配置された一対の電極の先端距離が短く点光源に近いことから、光学系と組み合わせることにより集光効率の高い光源として、デジタルシネマプロジェクターや露光装置、分析用の光源などに使用されている。
　このような高圧放電ランプの一例として、デジタルプロジェクターに使用されるキセノンランプが特開２０１２－１５０９５１号公報（特許文献１）に開示されている。
　図３に該従来の高圧放電ランプが示されており、高圧放電ランプの石英ガラス製の発光管１０は、中央に位置する略球状に形成された発光部１１と、その両端の封止管１２、１２を備える。発光部１１内の放電空間Ｓには、タングステン等の高融点材料からなる陰極２１と陽極３１とが互いに向き合うように対向配置されるとともに、その放電空間Ｓには発光物質としてキセノンが封入されている。
　陰極２１および陽極３１には、それぞれ陰極芯線２２および陽極芯線３２が挿入されており、この陰極芯線２２および陽極芯線３２が封止管１２、１２の封止部１３、１３で封止されている。
　図４に示すように、前記陰極２１には、そのテーパー部２１ａに炭化タングステン（Ｗ２Ｃ）層４０が設けられていて、以下に詳述するように、点灯時に陰極２１の先端のアークと接する部分に炭素（Ｃ）を供給している。
　なお、この図４の例では、テーパー部２１ａの先端部２１ｂは、炭化タングステン（Ｗ２Ｃ）層４０が形成されていないものが示されている。
　図５には、高圧放電ランプの発光部内における一連の反応が模式的に示されている。
　石英ガラスからなる発光部１１の内表面層に含まれるＯＨ基は、ランプ点灯中に例えば水（Ｈ２Ｏ）として放電空間Ｓ内に放出される。この放出されたＨ２Ｏが、発光部１１の陰極２１の表面に具備された炭化タングステン層４０の炭素または炭素化合物と主に陰極表面において反応し、一酸化炭素ガス（ＣＯ）を生成する。
　このＣＯが、発光部１１の放電空間Ｓ内に気相状態で拡散することにより、その一部がアークＡの中に入る。このＣＯは、アークＡの中では高温のために分解されて、Ｃ＋イオンを生成する。生成されたＣ＋イオンはアークＡ中の電界によって陰極先端へ運ばれ、そこで陰極２１のタングステンＷと反応して、Ｗ２ＣやＷＣなどのタングステンの炭化物を生成する。
　陰極先端表面にタングステンの炭化物が生成されると、特にランプ始動時の高温によって、その炭化物が陰極先端面で溶融するため、当該陰極先端面が滑らかに維持されるとともに、陰極先端面における凹凸の形成が防止されて、放電が安定することになる。
　ところで、このような高圧放電ランプ、特にデジタルプロジェクター用のキセノンショートアークランプにおいては、その陰極は高い動作圧力、陰極先端における高電流密度という、非常に厳しい環境下で使用されることがある。
　このような環境下で点灯を続けると、やがて陰極先端が変形して凹凸が形成され、放電起点が移動（アークジャンプ）して、フリッカーが発生し始める。これは、点灯の経過に伴い、炭化タングステン（Ｗ２Ｃ）層４０の炭素Ｃが減少してしまい、図５に示される一連の反応が起こりにくくなるためである。
　すなわち、炭化タングステン（Ｗ２Ｃ）層４０の炭素Ｃが減少することにより、発光部１１の放電空間Ｓにおける一酸化炭素ＣＯも減少し、アーク中のＣ＋イオンの量が減少する結果、陰極２１の先端で、Ｗ２ＣやＷＣなどのタングステンの炭化物が生成されなくなる。そのため、陰極先端面に凹凸ができて、フリッカーの発生に至るものである。
特開２０１２－１５０９５１号公報
　この発明が解決しようとする課題は、上記従来技術の問題点に鑑みて、タングステンまたはタングステン合金からなる陰極と、当該陰極の芯線挿入孔に挿入された芯線とからなる陰極体を備えた高圧放電ランプにおいて、ランプ点灯後、陰極の先端面に凹凸ができるのを長時間にわたって防止し、フリッカー現象の発生を長時間抑制した使用寿命の長い高圧放電ランプを提供することにある。
　上記課題を解決するために、この発明に係る高圧放電ランプは、前記陰極の放電空間に対して露出した表面(先端部を除く)、および、前記芯線挿入孔の内面に、炭化層を形成したことを特徴とする。
　また、前記炭化層は、炭化タングステン（Ｗ２Ｃ）からなることを特徴とする。
　また、前記炭化層の厚さが、２０～４０μｍであることを特徴とする。
　この発明の高圧放電ランプによれば、陰極の放電空間に対して露出した表面に炭化層を形成することで、陰極先端部表面のみならず後端部表面からも炭素を拡散して、陰極表面におけるＣＯの生成を維持できる。
　更には、前記芯線挿入孔の内面にも炭化層を形成したことで、点灯経過中に陰極の内部から表面に向かって炭素を拡散させることができ、これにより、陰極表面におけるＣＯの生成を持続させることができる。ＣＯの生成が持続することにより、発光部における一酸化炭素ＣＯも維持され、アーク中のＣ＋イオンの量も維持される。そして、陰極２の先端でＷ２ＣやＷＣなどのタングステンの炭化物が生成されるため、結果として、陰極先端の凹凸の発生を防止することができ、フリッカー寿命が長期化することができる。
本発明の高圧放電ランプに用いる電極体の第１実施例の断面図。 本発明の陰極における炭素の挙動の説明図。 従来の高圧放電ランプの断面図。 従来の陰極の断面図。 従来の陰極の先端部分の炭素の挙動の説明図。
　図１は、本発明の高圧放電ランプに用いる電極体の実施例の断面図であり、陰極体１は、タングステンまたはタングステン合金からなる陰極２と、その後端に穿設された芯線挿入孔３に挿入された芯線４とからなる。そして、陰極２の放電空間に露出した表面には、その先端部２ａを除いて炭化層５が形成されている。
　タングステンは、タングステンの精錬過程で包含される程度の不純物を含んでいてもよい。また、タングステン合金は、タングステンＷと、酸化トリウムＴｈＯ２またはセリウムＣｅ若しくはランタンＬａなどの希土類の酸化物との合金である。これらとタングステンの金属間化合物を含んでいてもよい。
　陰極体１は、タングステンとタングステン合金とを接合して形成してもよい。
　なお、炭化層５は陰極２の放電空間に露出した表面に形成するとしたが、本発明の効果を生じる限りにおいて、その一部に、炭化層を設けない部分や炭化層が薄い部分があってもよい。
　この炭化層５として、炭化タングステンを利用する場合、炭化層に含まれる炭素Ｃ量は０．４４～０．５３ｇ／ｃｃが好ましい。
　炭素Ｃ量が多いと、陰極表面におけるＣＯの生成が過剰となることで、陰極先端面ばかりか陽極先端面にも炭素Ｃが輸送されて、Ｗ２ＣやＷＣなどのタングステンの炭化物が生成されてしまう。ランプ点灯中は、陰極先端面に比べて陽極先端面は高温になるため、陽極先端面の炭化物が蒸発して、放電容器内面の黒化が促進されてしまうという不具合が生じる
　また逆に、炭素Ｃ量が少ないと、陰極表面におけるＣＯの生成が不足するため、早期に陰極先端が荒れて、アーク起点が移動し易くなり、フリッカーが発生する。
　また、炭化層５の厚さは、２０～４０μｍが好ましい。
　炭化層が厚すぎると、陰極表面におけるＣＯの生成が過剰となることで、陰極先端面ばかりか陽極先端面にも炭素Ｃが輸送されて、Ｗ２ＣやＷＣなどのタングステンの炭化物が生成され、それらの炭化物が蒸発して、放電容器内面の黒化が促進されてしまう。
　炭化層が薄すぎると、陰極表面におけるＣＯの生成が不足するため、早期に陰極先端が荒れて、フリッカーが発生する。
　なお、この炭化層５は、陰極２の先端部２ａには形成しない。陰極２の母材であるトリタンの融点は３４２０℃であり、炭化層５を形成する物質はこれよりも融点が低い(例えば、炭化タングステンでは融点が約２８００℃)。このため、陰極２の先端部２ａまで炭化層５を形成すると、点灯時の先端部分２ａの炭化層５の溶融が過大になり、早期にフリッカー現象が発生するからである。
　したがって、炭化層５は、これが溶融する温度となる位置、即ち先端部２ａには形成しない。具体的には、２～６ｋＷ程度のキセノンランプでは、先端から３～５ｍｍの範囲には、炭化層２を形成しない。
　また、本発明では、陰極２の芯線挿入孔３の内面にも炭化層５が形成されている。
　図２に示すように、点灯時間の経過に伴い陰極２の表面に形成された炭化層５中の炭素Ｃは消費されて減少していくが、芯線挿入孔３内面の炭化層５から炭素Ｃが、徐々に陰極２内部に拡散していく。
　この芯線挿入孔３から電極内部に拡散した炭素Ｃは徐々に陰極表面に到達して、陰極表面におけるＣＯの生成に寄与するものである。
　なお、この芯線挿入孔３の内面温度は、陰極表面の温度よりも低いので、当該芯線挿入孔３の炭化層５からの炭素の拡散は、陰極表面の炭化層５からの拡散に対して時間差をもって作用することから、陰極表面の炭化層５から炭素が消費され減少してしまう頃のタイミングで炭素が供給されるので、陰極表面の炭化層５における炭素の枯渇を抑制することができる。
　また、本発明の効果を生じる限りにおいて、芯線挿入孔３の内面の一部に、前記炭化層を設けない部分や前記炭化層が薄い部分があってもよい。
　このような炭化層５の形成方法としては、例えば、気相炭化法を利用することができる。気相炭化法とは、ベンゼンと水素の混合ガスを高周波加熱装置で加熱した陰極と反応させる方法である。
　ベンゼンと水素の混合した処理ガスを、流速２Ｌ／ｍｉｎ程度の流量で、反応チャンバーに流す。この反応チャンバー内で陰極を高周波加熱により、約１９００℃に昇温させ、５分間保持する。混合ガスを水素ガスに置換し、約１７００℃まで温度を下げ、この温度を５分維持する。この処理を複数回繰り返し、３０μｍ程度の炭化層を形成した陰極本体を得る。
　これにより、陰極２の外表面および芯線挿入孔３の内面の全面に炭化層５が形成される。その後、陰極２の先端部２ａを切削加工して炭化層を除去する。
　この発明の高圧放電ランプによれば、陰極の放電空間に対して露出した表面（先端部を除く）に炭化層を形成することで、陰極表面におけるＣＯの生成を維持できる。更には、前記芯線挿入孔の内面に、炭化層を形成したことで、点灯経過中に陰極の内部から表面へ向かって炭素を拡散させることができ、これにより、陰極表面におけるＣＯの生成を長期間、持続させることができる。
　１　：陰極体
　２　：陰極
　２ａ：（陰極）先端部
　３　：芯線挿入孔
　４　：芯線
　５　：炭化層
 
 
 
 

Claims (3)

  1. 　タングステンまたはタングステン合金からなる陰極と、当該陰極の芯線挿入孔に挿入された芯線とからなる陰極体を備えた高圧放電ランプにおいて、
    　前記陰極の放電空間に対して露出した表面(先端部を除く)、および、前記芯線挿入孔の内面に、炭化層を形成したことを特徴とする高圧放電ランプ。
  2. 　前記炭化層は、炭化タングステン（Ｗ２Ｃ）からなることを特徴とする請求項１に記載の高圧放電ランプ。
  3. 　前記炭化層の厚さが、２０～４０μｍであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の高圧放電ランプ。
     
     
     
     
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11154487A (ja) * 1997-09-20 1999-06-08 New Japan Radio Co Ltd 放電管用陰極
JPH11339713A (ja) * 1998-05-28 1999-12-10 Hamamatsu Photonics Kk 放電管用の電極
WO2017002542A1 (ja) * 2015-06-29 2017-01-05 ウシオ電機株式会社 ショートアーク型放電ランプ

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4725389B2 (ja) * 2006-03-29 2011-07-13 ウシオ電機株式会社 高圧放電ランプ
JP5293172B2 (ja) * 2008-12-26 2013-09-18 ウシオ電機株式会社 放電ランプ
JP5299132B2 (ja) * 2009-07-07 2013-09-25 ウシオ電機株式会社 デジタルプロジェクター用キセノンショートアークランプ
JP5527224B2 (ja) * 2011-01-14 2014-06-18 ウシオ電機株式会社 ショートアーク型放電ランプ
JP5573691B2 (ja) 2011-01-18 2014-08-20 ウシオ電機株式会社 デジタルプロジェクター用のキセノンショートアークランプ
JP2012203998A (ja) * 2011-03-23 2012-10-22 Nippon Tungsten Co Ltd タングステン陰極材料
JP5811998B2 (ja) * 2012-12-21 2015-11-11 ウシオ電機株式会社 放電ランプ点灯装置
JP2017512365A (ja) * 2014-02-27 2017-05-18 フィリップス ライティング ホールディング ビー ヴィ ショートアーク高圧ランプのための電極
JP2017111995A (ja) * 2015-12-17 2017-06-22 ウシオ電機株式会社 ショートアーク型放電ランプ
JP6548043B2 (ja) * 2016-12-22 2019-07-24 ウシオ電機株式会社 電極体および高圧放電ランプ

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11154487A (ja) * 1997-09-20 1999-06-08 New Japan Radio Co Ltd 放電管用陰極
JPH11339713A (ja) * 1998-05-28 1999-12-10 Hamamatsu Photonics Kk 放電管用の電極
WO2017002542A1 (ja) * 2015-06-29 2017-01-05 ウシオ電機株式会社 ショートアーク型放電ランプ

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