WO2019216334A1 - 塗布ノズルの清掃方法及び装置 - Google Patents

Abstract

塗布ノズルに付着した塗布剤をキレイに拭き取ることができる塗布ノズルの清掃方法及び装置を提供すること。塗布ノズルＮの清掃装置１は、並進移動可能な塗布ノズルＮの先端部を清掃する。塗布ノズルＮの清掃装置１は、塗布ノズルＮを挟み込み可能とする溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂが設けられる清掃パッド２０を備え、溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂは、第１の方向Ｄ１に延びる第１溝部２１ａ，２１ｂと、第１の方向Ｄ１に対して略直角の方向に向く第２の方向Ｄ２に延びる第２溝部２２ａ，２２ｂと、を有する。

Description

塗布ノズルの清掃方法及び装置

　本発明は、塗布ノズルの清掃方法及び装置に関する。

　図７に示すように、塗布ノズルＮが先端に取り付けられたロボットアーム１００によってアウターパネル等のワークＷに接着剤１０１を塗布する場合がある。塗布ノズルＮには接着剤１０１が付着するため、作業の間等に接着剤１０１を拭き取る必要がある。特許文献１には、リールに巻き取られる帯状体に対して、塗布ノズルの先端部を押圧することで、塗布ノズルの先端部に付着している接着剤を拭き取る塗布ノズル用接着剤拭き取り装置が開示されている。

実開平０５－０８５４６６号公報

　上記の装置では、塗布ノズルの先端部における全周が帯状体に押圧されるものではなく、帯状体に押圧される部分に付着している接着剤に関しては拭き取ることができるものの、帯状体に押圧されない部分に付着している接着剤に関しては拭き取ることができない。

　塗布ノズルを軸回りに回転させることで、帯状体に押圧されない部分を無くし、全ての接着剤を拭き取ることが考えられる。しかしながら、塗布ノズルが軸回りに回転しない構造の場合には対応できない。また、接着剤を拭き取るために塗布ノズルが軸回りに回転する構造を採用するとなると、装置の重量増やコスト増に繋がるので、その対策が望まれる。

　本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、塗布ノズルに付着した塗布剤をキレイに拭き取ることができる塗布ノズルの清掃方法及び装置を提供することを目的とする。

　（１）本発明に係る塗布ノズルの清掃装置（例えば、後述する塗布ノズルの清掃装置１）は、並進移動可能な塗布ノズル（例えば、後述する塗布ノズルＮ）の先端部を清掃する清掃装置であって、前記塗布ノズルを挟み込み可能とする溝部（例えば、後述する溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ）が設けられる清掃パッド（例えば、後述する清掃パッド２０）を備え、前記溝部は、第１の方向（例えば、後述する第１の方向Ｄ１）に延びる第１溝部（例えば、後述する第１溝部２１ａ，２１ｂ）と、前記第１の方向に対して略直角の方向に向く第２の方向（例えば、後述する第２の方向Ｄ２）に延びる第２溝部（例えば、後述する第２溝部２２ａ，２２ｂ）と、を有する。

　本発明によれば、塗布ノズルを第１溝部に挟み込んで、第１溝部に沿うように塗布ノズルを動かすことで、塗布ノズルの左右の部分を清掃することができる。また、第１溝部によって清掃した際に前後に位置する部分についても、塗布ノズルを第２溝部に挟み込んで、第２溝部に沿うように塗布ノズルを動かすことで清掃することができる。このため、塗布ノズルの並進移動のみによって清掃することが可能となる。結果、装置の重量増やコスト増を抑制しつつ、塗布ノズルに付着した塗布剤をキレイに拭き取ることができる。

　（２）本発明において、前記清掃パッドは、複数の小清掃パッド（例えば、後述する小清掃パッド２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ）を有し、前記溝部は、前記小清掃パッド同士の境界部分に形成されることが好ましい。

　本発明によれば、簡単な構造でありながら、溝部を有する清掃パッドを構成することができる。

　（３）本発明において、前記清掃パッドは、４つの前記小清掃パッドを組み合わせることで、前記第１溝部及び前記第２溝部からなるセットを２つ形成するものであり、２つの前記セットは、１つ目が初期清掃用であり、２つ目が仕上げ清掃用であることが好ましい。

　本発明によれば、初期清掃用と仕上げ清掃用とで溝部を分けたため、清掃パッド全体の交換スパンを長くすることができると共に、塗布ノズルをキレイに清掃することができる。

　（４）本発明は、前記清掃パッドを下方より支持するベース部（例えば、後述するベース部１１）と、前記ベース部に取り付けられ、前記清掃パッドを上方から覆うと共に、前記溝部を露出させる開口（例えば、後述するスリット１２ａ）を有する蓋部（例えば、後述する蓋部１２）と、を備えることが好ましい。

　（５）本発明に係る塗布ノズルの清掃方法は、並進移動可能な塗布ノズル（例えば、後述する塗布ノズルＮ）の先端部を清掃する清掃方法であって、前記塗布ノズルを挟み込み可能とする溝部（例えば、後述する溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ）として、第１の方向（例えば、後述する第１の方向Ｄ１）に延びる第１溝部（例えば、後述する第１溝部２１ａ，２１ｂ）と、前記第１の方向に対して略直角の方向に向く第２の方向（例えば、後述する第２の方向Ｄ２）に延びる第２溝部（例えば、後述する第２溝部２２ａ，２２ｂ）と、を有する清掃パッド（例えば、後述する清掃パッド２０）を準備する清掃パッド準備工程（例えば、後述する清掃パッド準備工程Ｓ１００）と、前記清掃パッド準備工程の後に、前記塗布ノズルを前記第１溝部内で前記第１の方向に移動させる第１清掃工程（例えば、後述する第１清掃工程Ｓ１１０，Ｓ１３０）と、前記第１清掃工程の後に、前記塗布ノズルを前記第２溝部内で前記第２の方向に移動させる第２清掃工程（例えば、後述する第２清掃工程Ｓ１２０，Ｓ１４０）と、を備える。

　本発明によれば、塗布ノズルを第１溝部に挟み込んで、第１溝部に沿うように塗布ノズルを動かすことで、塗布ノズルの左右の部分を清掃することができる。また、第１溝部によって清掃した際に前後に位置する部分についても、塗布ノズルを第２溝部に挟み込んで、第２溝部に沿うように塗布ノズルを動かすことで清掃することができる。このため、塗布ノズルの並進移動のみによって清掃することが可能となる。結果、装置の重量増やコスト増を抑制しつつ、塗布ノズルに付着した塗布剤をキレイに拭き取ることができる。

　（６）本発明は、前記第１清掃工程及び前記第２清掃工程の少なくとも１つにおいて、前記塗布ノズルの下端部分を前記清掃パッドに接触させ、前記溝部に潜り込ませるように前記塗布ノズルを移動させることが好ましい。

　本発明によれば、塗布ノズルの下端部分の汚れが良くとれる。

　（７）本発明において、前記清掃パッドは、前記第１溝部及び前記第２溝部からなるセットを２つ形成するものであり、２つの前記セットのうちの１つ目にて、１回目の前記第１清掃工程及び前記第２清掃工程を行い、前記１回目の前記第１清掃工程及び前記第２清掃工程の後に、２つの前記セットのうちの２つ目にて、２回目の前記第１清掃工程及び前記第２清掃工程を行うことが好ましい。

　本発明によれば、仕上げ清掃ができる。

　本発明によれば、塗布ノズルに付着した塗布剤をキレイに拭き取ることができる。

本発明の一実施形態に係る塗布ノズルの清掃装置を示す外観斜視図である。 図１の矢印II－II方向に視た塗布ノズルの清掃装置を示す断面図である。 塗布ノズルの清掃方法の手順を説明するフローチャートである。 １回目の第１清掃工程及び第２清掃工程を説明する塗布ノズルの清掃装置の概略図である。 ２回目の第１清掃工程及び第２清掃工程を説明する塗布ノズルの清掃装置の概略図である。 第１清掃工程及び第２清掃工程における塗布ノズルの動きを説明する塗布ノズルの清掃装置の概略図である。 塗布ノズルが先端に取り付けられたロボットによってワークに接着剤が塗布される様子を示す模式図である。

　以下、本発明の一実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。

　まず、図１及び図２を用いて、塗布ノズルＮの清掃装置１の構成について説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る塗布ノズルＮの清掃装置１を示す外観斜視図である。図２は、図１の矢印II－II方向に視た塗布ノズルＮの清掃装置１を示す断面図である。

　図１及び図２に示すように、本発明に係る塗布ノズルＮの清掃装置１は、並進移動可能な塗布ノズルＮの先端部を清掃するものである。この塗布ノズルＮの清掃装置１は、移動装置であるロボットアーム１００（図７参照）により移動可能とされる塗布ノズルＮの移動範囲に配置される。具体的に、塗布ノズルＮの清掃装置１は、筐体１０と、清掃パッド２０と、を備える。

　筐体１０は、清掃パッド２０を収容することで、清掃パッド２０の位置決めをする。具体的に、筐体１０は、ベース部１１と、蓋部１２と、一対の蝶番１３と、パッチン錠（図示省略）と、滑り止めテープ１４，１５と、を備える。

　ベース部１１は、清掃パッド２０を下方より支持する矩形平板である。ベース部１１の上面には、滑り止めテープ１４が貼り付けられ、当該滑り止めテープ１４によって清掃パッド２０が固定される。本実施形態の滑り止めテープ１４は、清掃パッド２０に接触する表面部分にざらつきが生じる加工が行われている。

　ベース部１１の一方の側部には、一対の蝶番１３が取り付けられ、当該一対の蝶番１３によってベース部１１に対して蓋部１２が開閉可能に連結される。ベース部１１の他方の側部には、パッチン錠（図示省略）が取り付けられ、当該パッチン錠（図示省略）を閉じることでベース部１１に対して蓋部１２が固定されると共に、当該パッチン錠（図示省略）を開くことでベース部１１に対して蓋部１２が開放可能となる。

　蓋部１２は、外形が矩形となる上板１６と、上板１６の端辺から下方に延びる側板１７と、を有する。上板１６の下面には、滑り止めテープ１５が貼り付けられ、、当該滑り止めテープ１５によって清掃パッド２０が固定される。本実施形態の滑り止めテープ１５は、清掃パッド２０に接触する表面部分にざらつきが生じる加工が行われている。

　この蓋部１２には、上板１６から側板１７にわたって、平面視で十字形状となるスリット１２ａが形成されている。スリット１２ａからは、筐体１０に収容された清掃パッド２０における溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂが露出する。蓋部１２の一方の側板１７の下方には、一対の蝶番１３が取り付けられ、当該一対の蝶番１３によって蓋部１２がベース部１１に対して開閉可能に連結される。蓋部１２の他方の側板１７の下方には、パッチン錠（図示省略）が取り付けられ、当該パッチン錠（図示省略）を閉じることで蓋部１２がベース部１１に対して固定されると共に、当該パッチン錠（図示省略）を開くことで蓋部１２がベース部１１に対して開放可能となる。このように、蓋部１２は、ベース部１１に取り付けられ、ベース部１１に固定された清掃パッド２０を上方から覆うと共に、溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂを露出させるスリット（開口）１２ａを有する。

　一対の蝶番１３は、それぞれ、筐体１０における一方の側部において、ベース部１１に取り付けられると共に蓋部１２に取り付けられ、当該一対の蝶番１３によってベース部１１に対して蓋部１２が開閉可能に連結される。パッチン錠（図示省略）は、筐体１０における他方の側部において、ベース部１１に取り付けられると共に蓋部１２に取り付けられ、当該パッチン錠（図示省略）を閉じることでベース部１１に対して蓋部１２が固定されると共に、当該パッチン錠（図示省略）を開くことでベース部１１に対して蓋部１２が開放可能となる。

　滑り止めテープ１４は、ベース部１１の上面に取り付けられ、ベース部１１の上面に清掃パッド２０を固定する。滑り止めテープ１５は、蓋部１２における上板１６の下面に取り付けられ、上板１６の下面に清掃パッド２０を固定する。即ち、清掃パッド２０は、滑り止めテープ１４，１５によって上下に挟み込まれた状態で筐体１０の内側に収容される。

　清掃パッド２０には、塗布ノズルＮを挟み込み可能とする溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂが設けられる。具体的に、清掃パッド２０は、複数の小清掃パッド２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄを有する。より具体的に、清掃パッド２０は、４つの小清掃パッド２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄを組み合わせることで、小清掃パッド２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ同士の境界部分に溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂを形成する。

　溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂは、第１の方向Ｄ１に延びる第１溝部２１ａ，２１ｂと、第１の方向Ｄ１に対して略直角の方向に向く第２の方向Ｄ２に延びる第２溝部２２ａ，２２ｂと、を有する。第１溝部２１ａ及び第２溝部２２ａは、初期清掃用となる１つ目のセットを構成する。第１溝部２１ｂ及び第２溝部２２ｂは、仕上げ清掃用となる２つ目のセットを構成する。

　次に、図３、図４及び図５を用いて、塗布ノズルＮの清掃装置１を利用した塗布ノズルＮの清掃方法について説明する。図３は、塗布ノズルＮの清掃方法の手順を説明するフローチャートである。図４は、１回目の第１清掃工程Ｓ１１０及び第２清掃工程Ｓ１２０を説明する塗布ノズルＮの清掃装置１の概略図である。図５は、２回目の第１清掃工程Ｓ１３０及び第２清掃工程Ｓ１４０を説明する塗布ノズルＮの清掃装置１の概略図である。図６は、第１清掃工程Ｓ１１０，Ｓ１３０及び第２清掃工程Ｓ１２０，Ｓ１４０における塗布ノズルＮの動きを説明する塗布ノズルＮの清掃装置１の概略図である。なお、図４～図６においては、蓋部１２の図示を省略している。

　図３に示すように、本発明に係る塗布ノズルＮの清掃装置１を利用した塗布ノズルＮの清掃方法は、並進移動可能な塗布ノズルＮの先端部を清掃する方法である。具体的に、塗布ノズルＮの清掃方法は、その手順に、清掃パッド準備工程Ｓ１００と、１回目の第１清掃工程Ｓ１１０と、１回目の第２清掃工程Ｓ１２０と、２回目の第１清掃工程Ｓ１３０と、２回目の第２清掃工程Ｓ１４０と、を備える。

　清掃パッド準備工程Ｓ１００は、塗布ノズルＮを挟み込み可能とする溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂとして、第１の方向Ｄ１に延びる第１溝部２１ａ，２１ｂと、第１の方向Ｄ１に対して略直角の方向を向く第２の方向Ｄ２に延びる第２溝部２２ａ，２２ｂと、を有する清掃パッド２０を準備する工程である。

　図４に示すように、１回目の第１清掃工程Ｓ１１０は、清掃パッド準備工程Ｓ１００の後に、塗布ノズルＮを第１溝部２１ａ内で第１の方向Ｄ１に移動させる工程である。

　１回目の第２清掃工程Ｓ１２０は、１回目の第１清掃工程Ｓ１１０の後に、塗布ノズルＮを第２溝部２２ａ内で第２の方向Ｄ２に移動させる工程である。なお、方向Ｄ２の移動の際に塗布ノズルＮの向き自体は変わらない。

　図５に示すように、２回目の第１清掃工程Ｓ１３０は、１回目の第２清掃工程Ｓ１２０の後に、塗布ノズルＮを第１溝部２１ｂ内で第１の方向Ｄ１に移動させる工程である。

　２回目の第２清掃工程Ｓ１４０は、２回目の第１清掃工程Ｓ１３０の後に、塗布ノズルＮを第２溝部２２ｂ内で第２の方向Ｄ２に移動させる工程である。なお、方向Ｄ２の移動の際に塗布ノズルＮの向き自体は変わらない。

　Ｄ１方向だけ動かした場合やＤ２方向だけ動かした場合は、塗布ノズルＮは溝部を押し分けて進行するため、進行方向の両側は清掃パッド２０に良好に接触するものの、進行方向の前後の部位は接触し難くなる。塗布ノズルＮの進行によって清掃パッド２０が両側に押し分けられるため、塗布ノズルＮの前後と清掃パッド２０の間に隙間が生じるのである。

　この点、本実施形態では、１回目及び２回目の清掃の何れにおいても、方向Ｄ１と方向Ｄ２を変える過程が含まれ、２方向で塗布ノズルＮが動かされることになる。これによって、方向Ｄ１のときは、進行方向の前後に位置した部位が方向Ｄ２のときは進行方向の両側に位置することになる。従って、２方向を経ることで、清掃パッド２０によって塗布ノズルＮの全周を漏れなく拭き取ることが可能となる。

　ここで、塗布ノズルＮの高さを変えずに移動させた場合を考える。塗布ノズルＮは、溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂの内側では、当該溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂを進行方向の両側に押しのけた状態となり、塗布ノズルＮの下面と清掃パッド２０の間に隙間が形成されることになる。仮に、塗布ノズルＮの高さを変えずに移動させた場合はこの隙間が維持されてしまう。

　この点、本実施形態では、図６に示すように、第１清掃工程Ｓ１１０，Ｓ１３０及び第２清掃工程Ｓ１２０，Ｓ１４０の各工程では、塗布ノズルＮの下端部分を清掃パッド２０に接触させ（図６（Ａ）→図６（Ｂ）参照）、溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂに潜り込ませるように塗布ノズルＮを移動させ（図６（Ｂ）→図６（Ｃ）参照）、その後、清掃パッド２０から塗布ノズルＮを上方に退避させる（図６（Ｃ）→図６（Ｄ）参照）工程を経る。この工程を経ることにより、塗布ノズルＮの下端部分を上から下に溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂに潜り込ませることによって、下に移動する過程で塗布ノズルＮの下面を清掃パッド２０により一層良好に接触させることができる。

　本実施形態に係る塗布ノズルＮの清掃装置１によれば、以下の効果を奏する。
　まず、本実施形態によれば、塗布ノズルＮを第１溝部２１ａ，２１ｂに挟み込んで、第１溝部２１ａ，２１ｂに沿うように塗布ノズルＮを動かすことで、塗布ノズルＮの左右の部分を清掃することができる。また、第１溝部２１ａ，２１ｂによって清掃した際に前後に位置する部分についても、塗布ノズルＮを第２溝部２２ａ，２２ｂに挟み込んで、第２溝部２２ａ，２２ｂに沿うように塗布ノズルＮを動かすことで清掃することができる。このため、塗布ノズルＮの並進移動のみによって清掃することが可能となる。結果、装置の重量増やコスト増を抑制しつつ、塗布ノズルＮに付着した塗布剤をキレイに拭き取ることができる。

　また、本実施形態によれば、簡単な構造でありながら、溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂを有する清掃パッド２０を構成することができる。

　また、本実施形態によれば、初期清掃用と仕上げ清掃用とで溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂを分けたため、清掃パッド２０全体の交換スパンを長くすることができると共に、塗布ノズルＮをキレイに清掃することができる。

　また、本実施形態によれば、第１清掃工程Ｓ１１０，Ｓ１３０及び第２清掃工程Ｓ１２０，Ｓ１４０の少なくとも１つにおいて、塗布ノズルＮの下端部分を清掃パッド２０に接触させ、溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂに潜り込ませるように塗布ノズルＮを移動させることで、塗布ノズルＮの下端部分の汚れが良くとれる。

　また、本実施形態によれば、第１溝部２１ａ及び第２溝部２２ａからなるセットにて、１回目の第１清掃工程Ｓ１１０及び第２清掃工程Ｓ１２０を行い、第１溝部２１ｂ及び第２溝部２２ｂからなるセットにて、２回目の第１清掃工程Ｓ１３０及び第２清掃工程Ｓ１４０を行うことで、仕上げ清掃ができる。

　なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。

　本実施形態では、第２溝部２２ａ，２２ｂが延びる第２の方向Ｄ２は、第１溝部２１ａ，２１ｂが延びる第１の方向に対して略直角の方向としたが、本発明における「略直角」とは、厳密な直角のみならず、塗布ノズルＮに付着した塗布剤をキレイに拭き取ることができる交差角度を含む概念であり、例えば、６０度や７０度を含む。

　本実施形態では、第１清掃工程Ｓ１１０，Ｓ１３０及び第２清掃工程Ｓ１２０，Ｓ１４０の各工程において、塗布ノズルＮの下端部分を清掃パッド２０に接触させ、溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂに潜り込ませるように塗布ノズルＮを移動させ、その後、清掃パッド２０から塗布ノズルＮを上方に退避させたが、本発明は、第１清掃工程Ｓ１１０，Ｓ１３０及び第２清掃工程Ｓ１２０，Ｓ１４０の少なくとも１つの工程において、塗布ノズルＮの下端部分を清掃パッド２０に接触させ、溝部２１ａ，２１ｂ，２２ａ又は２２ｂに潜り込ませるように塗布ノズルＮを移動させ、その後、清掃パッド２０から塗布ノズルＮを上方に退避させるようにしてもよい。

　本実施形成では、滑り止めテープ１４，１５を清掃パッド２０の上下に配置する構成であるが、蓋部１２の内側面（清掃パッド２０の側面に対向する面）にも滑り止めテープ１４，１５を配置する構成としてもよい。また、滑り止めテープ１４，１５を省略する構成としてもよい。塗布ノズルＮを移動させる移動装置は、ロボットアーム１００に限定されるわけではない。例えば、塗布ノズルＮをＸＹ平面で移動させると共に当該塗布ノズルＮを上下方向に移動可能な昇降装置を備えるテーブル機構であってもよい。

　１　清掃装置
　１０　筐体
　１１　ベース部
　１２　蓋部
　１２ａ　スリット（開口）
　１３　蝶番
　１４，１５　滑り止めテープ
　１６　上板
　１７　側板
　２０　清掃パッド
　２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ　小清掃パッド
　２１ａ，２１ｂ　第１溝部（溝部）
　２２ａ，２２ｂ　第２溝部（溝部）
　Ｎ　塗布ノズル
　Ｄ１　第１の方向
　Ｄ２　第２の方向
　Ｓ１００　清掃パッド準備工程
　Ｓ１１０　１回目の第１清掃工程
　Ｓ１２０　１回目の第２清掃工程
　Ｓ１３０　２回目の第１清掃工程
　Ｓ１４０　２回目の第２清掃工程

Claims (7)

1. 　並進移動可能な塗布ノズルの先端部を清掃する清掃装置であって、
   　前記塗布ノズルを挟み込み可能とする溝部が設けられる清掃パッドを備え、
   　前記溝部は、第１の方向に延びる第１溝部と、前記第１の方向に対して略直角の方向に向く第２の方向に延びる第２溝部と、を有する塗布ノズルの清掃装置。
2. 　前記清掃パッドは、複数の小清掃パッドを有し、
   　前記溝部は、前記小清掃パッド同士の境界部分に形成される請求項１に記載の塗布ノズルの清掃装置。
3. 　前記清掃パッドは、４つの前記小清掃パッドを組み合わせることで、前記第１溝部及び前記第２溝部からなるセットを２つ形成するものであり、
   　２つの前記セットは、１つ目が初期清掃用であり、２つ目が仕上げ清掃用である請求項２に記載の塗布ノズルの清掃装置。
4. 　前記清掃パッドを下方より支持するベース部と、
   　前記ベース部に取り付けられ、前記清掃パッドを上方から覆うと共に、前記溝部を露出させる開口を有する蓋部と、を備える請求項１～３のいずれかに記載の塗布ノズルの清掃装置。
5. 　並進移動可能な塗布ノズルの先端部を清掃する清掃方法であって、
   　前記塗布ノズルを挟み込み可能とする溝部として、第１の方向に延びる第１溝部と、前記第１の方向に対して略直角の方向に向く第２の方向に延びる第２溝部と、を有する清掃パッドを準備する清掃パッド準備工程と、
   　前記清掃パッド準備工程の後に、前記塗布ノズルを前記第１溝部内で前記第１の方向に移動させる第１清掃工程と、
   　前記第１清掃工程の後に、前記塗布ノズルを前記第２溝部内で前記第２の方向に移動させる第２清掃工程と、を備える塗布ノズルの清掃方法。
6. 　前記第１清掃工程及び前記第２清掃工程の少なくとも１つにおいて、前記塗布ノズルの下端部分を前記清掃パッドに接触させ、前記溝部に潜り込ませるように前記塗布ノズルを移動させる請求項５に記載の塗布ノズルの清掃方法。
7. 　前記清掃パッドは、前記第１溝部及び前記第２溝部からなるセットを２つ形成するものであり、
   　２つの前記セットのうちの１つ目にて、１回目の前記第１清掃工程及び前記第２清掃工程を行い、
   　前記１回目の前記第１清掃工程及び前記第２清掃工程の後に、２つの前記セットのうちの２つ目にて、２回目の前記第１清掃工程及び前記第２清掃工程を行う請求項５又は６に記載の塗布ノズルの清掃方法。

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