WO2019194321A1 - 樹脂組成物用フィラー、フィラー含有スラリー組成物、及びフィラー含有樹脂組成物、並びに樹脂組成物用フィラーの製造方法 - Google Patents

樹脂組成物用フィラー、フィラー含有スラリー組成物、及びフィラー含有樹脂組成物、並びに樹脂組成物用フィラーの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2019194321A1
WO2019194321A1 PCT/JP2019/015326 JP2019015326W WO2019194321A1 WO 2019194321 A1 WO2019194321 A1 WO 2019194321A1 JP 2019015326 W JP2019015326 W JP 2019015326W WO 2019194321 A1 WO2019194321 A1 WO 2019194321A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
filler
type
resin composition
thermal expansion
resin
Prior art date
Application number
PCT/JP2019/015326
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
伸太 萩本
冨田　亘孝
優 倉木
Original Assignee
株式会社アドマテックス
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社アドマテックス filed Critical 株式会社アドマテックス
Priority to CN201980002158.3A priority Critical patent/CN110573562B/zh
Priority to JP2019519439A priority patent/JP6557443B1/ja
Priority to KR1020197027333A priority patent/KR102086981B1/ko
Publication of WO2019194321A1 publication Critical patent/WO2019194321A1/ja
Priority to US17/060,138 priority patent/US11091647B2/en

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K9/00—Use of pretreated ingredients
    • C08K9/04—Ingredients treated with organic substances
    • C08K9/06—Ingredients treated with organic substances with silicon-containing compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B39/00—Compounds having molecular sieve and base-exchange properties, e.g. crystalline zeolites; Their preparation; After-treatment, e.g. ion-exchange or dealumination
    • C01B39/02—Crystalline aluminosilicate zeolites; Isomorphous compounds thereof; Direct preparation thereof; Preparation thereof starting from a reaction mixture containing a crystalline zeolite of another type, or from preformed reactants; After-treatment thereof
    • C01B39/20—Faujasite type, e.g. type X or Y
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B39/00—Compounds having molecular sieve and base-exchange properties, e.g. crystalline zeolites; Their preparation; After-treatment, e.g. ion-exchange or dealumination
    • C01B39/02—Crystalline aluminosilicate zeolites; Isomorphous compounds thereof; Direct preparation thereof; Preparation thereof starting from a reaction mixture containing a crystalline zeolite of another type, or from preformed reactants; After-treatment thereof
    • C01B39/36—Pentasil type, e.g. types ZSM-5, ZSM-8 or ZSM-11
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/34—Silicon-containing compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/34—Silicon-containing compounds
    • C08K3/36—Silica
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K5/00—Use of organic ingredients
    • C08K5/54—Silicon-containing compounds
    • C08K5/544—Silicon-containing compounds containing nitrogen
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K5/00—Use of organic ingredients
    • C08K5/54—Silicon-containing compounds
    • C08K5/544—Silicon-containing compounds containing nitrogen
    • C08K5/5445—Silicon-containing compounds containing nitrogen containing at least one Si-N bond
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K9/00—Use of pretreated ingredients
    • C08K9/02—Ingredients treated with inorganic substances
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L101/00—Compositions of unspecified macromolecular compounds
    • C08L101/12—Compositions of unspecified macromolecular compounds characterised by physical features, e.g. anisotropy, viscosity or electrical conductivity
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09C—TREATMENT OF INORGANIC MATERIALS, OTHER THAN FIBROUS FILLERS, TO ENHANCE THEIR PIGMENTING OR FILLING PROPERTIES ; PREPARATION OF CARBON BLACK  ; PREPARATION OF INORGANIC MATERIALS WHICH ARE NO SINGLE CHEMICAL COMPOUNDS AND WHICH ARE MAINLY USED AS PIGMENTS OR FILLERS
    • C09C1/00—Treatment of specific inorganic materials other than fibrous fillers; Preparation of carbon black
    • C09C1/28—Compounds of silicon
    • C09C1/30—Silicic acid
    • C09C1/3045—Treatment with inorganic compounds
    • C09C1/3054—Coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09C—TREATMENT OF INORGANIC MATERIALS, OTHER THAN FIBROUS FILLERS, TO ENHANCE THEIR PIGMENTING OR FILLING PROPERTIES ; PREPARATION OF CARBON BLACK  ; PREPARATION OF INORGANIC MATERIALS WHICH ARE NO SINGLE CHEMICAL COMPOUNDS AND WHICH ARE MAINLY USED AS PIGMENTS OR FILLERS
    • C09C1/00—Treatment of specific inorganic materials other than fibrous fillers; Preparation of carbon black
    • C09C1/28—Compounds of silicon
    • C09C1/30—Silicic acid
    • C09C1/3081—Treatment with organo-silicon compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09C—TREATMENT OF INORGANIC MATERIALS, OTHER THAN FIBROUS FILLERS, TO ENHANCE THEIR PIGMENTING OR FILLING PROPERTIES ; PREPARATION OF CARBON BLACK  ; PREPARATION OF INORGANIC MATERIALS WHICH ARE NO SINGLE CHEMICAL COMPOUNDS AND WHICH ARE MAINLY USED AS PIGMENTS OR FILLERS
    • C09C1/00—Treatment of specific inorganic materials other than fibrous fillers; Preparation of carbon black
    • C09C1/28—Compounds of silicon
    • C09C1/30—Silicic acid
    • C09C1/309—Combinations of treatments provided for in groups C09C1/3009 - C09C1/3081
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09C—TREATMENT OF INORGANIC MATERIALS, OTHER THAN FIBROUS FILLERS, TO ENHANCE THEIR PIGMENTING OR FILLING PROPERTIES ; PREPARATION OF CARBON BLACK  ; PREPARATION OF INORGANIC MATERIALS WHICH ARE NO SINGLE CHEMICAL COMPOUNDS AND WHICH ARE MAINLY USED AS PIGMENTS OR FILLERS
    • C09C1/00—Treatment of specific inorganic materials other than fibrous fillers; Preparation of carbon black
    • C09C1/40—Compounds of aluminium
    • C09C1/405—Compounds of aluminium containing combined silica, e.g. mica
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09C—TREATMENT OF INORGANIC MATERIALS, OTHER THAN FIBROUS FILLERS, TO ENHANCE THEIR PIGMENTING OR FILLING PROPERTIES ; PREPARATION OF CARBON BLACK  ; PREPARATION OF INORGANIC MATERIALS WHICH ARE NO SINGLE CHEMICAL COMPOUNDS AND WHICH ARE MAINLY USED AS PIGMENTS OR FILLERS
    • C09C3/00—Treatment in general of inorganic materials, other than fibrous fillers, to enhance their pigmenting or filling properties
    • C09C3/12—Treatment with organosilicon compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D11/00—Inks
    • C09D11/02—Printing inks
    • C09D11/03—Printing inks characterised by features other than the chemical nature of the binder
    • C09D11/037—Printing inks characterised by features other than the chemical nature of the binder characterised by the pigment
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00—Particle morphology
    • C01P2004/80—Particles consisting of a mixture of two or more inorganic phases
    • C01P2004/82—Particles consisting of a mixture of two or more inorganic phases two phases having the same anion, e.g. both oxidic phases
    • C01P2004/84—Particles consisting of a mixture of two or more inorganic phases two phases having the same anion, e.g. both oxidic phases one phase coated with the other
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/32—Thermal properties

Definitions

  • the present invention relates to a filler for a resin composition used by being contained in a resin composition, a filler-containing slurry containing the filler for the resin composition, a filler-containing resin composition containing the filler for the resin composition, and a resin
  • the present invention relates to a method for producing a filler for a composition.
  • inorganic particles are blended as fillers in resin compositions used for mounting materials such as printed wiring boards and sealing materials for the purpose of adjusting the coefficient of thermal expansion. Since the thermal expansion coefficient is low and the insulating properties are excellent, mainly amorphous silica particles are widely used as the filler.
  • Patent Document 1 In recent years, along with the demand for higher functionality of electronic devices, semiconductor packages are becoming thinner and higher in density, and the effects of thermal expansion and warpage of semiconductor packages on reliability are increasing. Therefore, studies have been made to reduce the thermal expansion and warpage by lowering the thermal expansion coefficient of the cured product of the resin composition used for the printed wiring board and the sealing material. (Patent Document 1 etc.)
  • an object of the present invention is to provide a filler for a resin composition that can be reduced in the coefficient of thermal expansion by being contained in the resin composition.
  • the present inventors conducted research to apply a material having a lower thermal expansion coefficient than that of amorphous silica and having a negative thermal expansion coefficient that contracts when heated to a filler material.
  • the material having a negative thermal expansion coefficient include particles made of ⁇ -eucryptite (LiAlSiO 4 ) and zirconium tungstate (ZrW 2 O 8 ) (Patent Documents 2 and 3).
  • ⁇ -eucryptite contains Li as a main constituent element, and since Li ions diffuse to reduce insulation, there is a problem that electrical characteristics are not sufficient.
  • Patent Document 4 discloses an inorganic filler in which a shell made of silica formed from tetraethylorthosilicate (TEOS) by a sol-gel method is formed on the surface.
  • TEOS tetraethylorthosilicate
  • Patent Document 4 is a technique characterized in that the surface of the filler is covered with a shell in order to suppress the elution of ions from the filler, and is not a technique applied to a filler having no elution of ions.
  • Zirconate tungstate has been studied in various ways, but it takes a lot of time and cost to synthesize, and there are many reports of production at the laboratory level, but no industrially produced method has been established.
  • crystalline siliceous materials having a crystal structure composed of FAU type, FER type, LTA type, MFI type, CHA type, and / or MWW type have a negative thermal expansion coefficient.
  • faujasite those containing Na are well known, and as it is, elution of Na becomes a problem.
  • Patent Document 5 when Patent Document 5 is disclosed, the requirement level for ion elution is still low, which is a problem. It was not.
  • the crystalline siliceous material has an alkali metal content of 0.1% by mass or less, and is extracted in water under conditions of immersion in water at 120 ° C., 2 atm, 24 hours. Each K is 5 ppm or less. This is to suppress the influence of the eluted ions.
  • the “NH3-TPD method” defined in this specification is considered to be active when desorbed gas is produced when ammonia (NH3) is adsorbed on a measurement object as a probe molecule and then continuously heated. To do.
  • Specific measurement conditions are as follows. About 50 mg of a measurement sample is weighed and degassed in a He atmosphere at 500 ° C. for 1 hour, and then 1 atm of 0.5% ammonia gas is adsorbed on the measurement object at 100 ° C. for 1 hour. Thereafter, when the temperature is raised to 600 ° C. at a rate of 10 ° C./min, the peak temperature can be confirmed in a chart of the amount of ammonia desorbed with respect to the temperature, and the desorption gas of ammonia generated by 500 ° C. is 2 ⁇ mol / g or more. If it is, it is determined that there is activity in the NH3-TPD method.
  • the first filler for a resin composition that solves the above problems has a crystalline siliceous material having a crystal structure composed of FAU type, FER type, LTA type, MFI type, CHA type, and / or MWW type.
  • a filler material No activity in NH3-TPD method, The amount of the crystalline siliceous material is used by being included in a resin material constituting a mounting material for electronic equipment, in which the filler material has a negative thermal expansion coefficient.
  • a second filler for a resin composition that solves the above problems is a filler material having a crystalline siliceous material having a crystal structure consisting of FAU type, FER type, LTA type, MFI type, CHA type, and / or MWW type
  • Silver, copper, zinc, mercury, tin, lead, bismuth, cadmium, chromium, cobalt, and nickel are not exposed on the surface, are not active in the NH3-TPD method, and the amount of the crystalline siliceous material Is used in a resin composition in which the filler material has a negative coefficient of thermal expansion.
  • These fillers for a resin composition are preferably used by being contained in a resin composition used as a mounting material for electronic components.
  • a resin composition used as a mounting material for electronic components When the thermal expansion coefficient of the resin composition is large, cracks occur in the solder connection due to thermal expansion in the surface direction, and poor conduction occurs between the layers of the printed wiring board due to thermal expansion in the thickness direction.
  • the difference in coefficient of thermal expansion of each member is large, warpage of the semiconductor package is likely to occur. The occurrence of these problems can be suppressed by lowering the thermal expansion coefficient.
  • the filler for resin composition of the present invention a desired thermal expansion coefficient can be achieved with a smaller filler blending ratio than when only a conventional filler having a positive thermal expansion coefficient is used. It can also be expected to obtain a resin composition that is high and has good adhesiveness and good machinability after curing or semi-curing.
  • the filler for a resin composition of the present invention is used as a filler-containing slurry composition in combination with a solvent for dispersing the resin composition filler, or in combination with a resin material for dispersing the resin composition filler. It can be used as a filler-containing resin composition.
  • a method for producing a filler for a resin composition that solves the above-mentioned problem is a raw material particle having a crystalline siliceous material having a crystal structure consisting of FAU type, FER type, LTA type, MFI type, CHA type, and / or MWW type
  • a coating step of coating the surface with a silicone material to produce a silicone-coated particulate material A conversion step of producing a filler material by heating the silicone-coated particle material to convert the silicone material to silica; Have The amount of the crystalline siliceous material is in a range where the filler material exhibits a negative coefficient of thermal expansion.
  • the filler for resin composition of the present invention has the above-mentioned configuration, it has a negative coefficient of thermal expansion and has an effect that there is little adverse effect on the resin.
  • the filler for a resin composition of the present invention is intended to make the thermal expansion coefficient as small as possible, and it becomes possible to reduce the thermal expansion coefficient of the resin composition obtained by adding it to the resin composition.
  • the filler for a resin composition of the present invention will be described in detail based on embodiments.
  • the filler for resin compositions of this embodiment is used for dispersing in a resin material to form a resin composition.
  • the particle size distribution is not particularly limited, but examples of the upper limit include 50 ⁇ m, 30 ⁇ m, 20 ⁇ m, 10 ⁇ m, 5 ⁇ m, 3 ⁇ m, and 1 ⁇ m. In particular, it is preferable not to have particles (coarse particles) having a particle size larger than these upper limit values.
  • the resin material to be combined is not particularly limited, and examples thereof include thermosetting resins such as epoxy resins and phenol resins (including those before curing), and thermoplastic resins such as polyesters, acrylic resins, and polyolefins. Furthermore, you may contain fillers (regardless of forms, such as a granular material and a fibrous form) other than the filler for resin compositions of this embodiment.
  • inorganic materials such as amorphous silica, alumina, aluminum hydroxide, boehmite, aluminum nitride, boron nitride, and carbon materials, and resin materials other than resin materials as a matrix in which filler is dispersed (fibrous or particulate Organic material (which does not need to be strictly distinguished from the resin material as the matrix and is difficult to distinguish).
  • resin materials such as amorphous silica, alumina, aluminum hydroxide, boehmite, aluminum nitride, boron nitride, and carbon materials
  • resin materials other than resin materials as a matrix in which filler is dispersed (fibrous or particulate Organic material (which does not need to be strictly distinguished from the resin material as the matrix and is difficult to distinguish).
  • the resin composition filler of this embodiment has a negative coefficient of thermal expansion. The coefficient of thermal expansion can be reduced, zero, or negative.
  • the proportion of the filler for the resin composition of the present embodiment is not particularly limited, but the coefficient of thermal expansion of the resin composition finally obtained can be reduced by increasing the proportion.
  • the content may be about 5% to 85% based on the total mass of the resin composition.
  • the method for dispersing the resin composition filler of the present embodiment in the resin material is not particularly limited, and the resin composition filler is mixed in a dry state, or some solvent is dispersed in the slurry as a dispersion medium. After that, it may be mixed with a resin material.
  • the filler for a resin composition of the present embodiment is (1) used by being contained in a resin material constituting a packaging material for electronic equipment, or (2) silver, copper, zinc, mercury, tin, lead. , Bismuth, cadmium, chromium, cobalt, and nickel are not exposed on the surface.
  • the filler for a resin composition of the present embodiment has a FAU type, a FER type, an LTA type, an MFI type, a CHA type, and / or in addition to at least one of the above-described (1) and (2) configurations. It is a filler material having a crystalline siliceous material having a crystal structure of MWW type, inactive in the NH3-TPD method, and the amount of crystalline siliceous material is in a range where the filler material exhibits a negative thermal expansion coefficient . Crystalline siliceous materials having these crystal structures have a negative coefficient of thermal expansion.
  • the FAU type is particularly preferable.
  • FIG. 1 shows a crystal skeleton structure of a type represented by three alphabets. Further, the crystalline siliceous material has an alkali metal content of 0.1% by mass or less, and is extracted in water under conditions of 120 ° C., 2 atm, 24 hours soaking in water. Is 5 ppm or less.
  • the particle size distribution and particle shape of the filler material should be such that required properties can be expressed when contained in the resin composition.
  • the obtained resin composition is used for a semiconductor encapsulant, it is preferable not to contain a resin having a particle size larger than a gap through which the semiconductor encapsulant enters. Specifically, it is preferably about 0.5 to 50 ⁇ m, and it is preferable that coarse particles of 100 ⁇ m or more are not substantially contained.
  • a resin composition is used for a printed wiring board, it is preferable not to contain what has a particle size larger than the thickness of the insulating layer.
  • a particle shape has a low aspect ratio, and it is more preferable that it is spherical.
  • the filler material can be produced by using a crystalline siliceous material having a corresponding crystal structure as a raw material and performing operations such as pulverization, classification, granulation, and mixing alone or in combination. By adopting appropriate conditions in each operation and performing the appropriate number of times, the necessary particle size distribution and particle shape can be obtained.
  • the crystalline siliceous material itself as a raw material can be synthesized by a usual method (for example, hydrothermal synthesis method).
  • the crystalline siliceous material preferably has an aluminum element content of 12% or less, more preferably 8% or less and 4% or less, based on the total mass.
  • the aluminum contained in a crystalline siliceous material is preferably close to 0%, it is often unavoidably contained at present.
  • the filler material can have a core portion made of a crystalline siliceous material and a shell portion made of an amorphous silica material and covering the core portion.
  • the core part is preferably covered with the shell part.
  • the crystalline siliceous material constituting the core part and the amorphous silica material constituting the shell part are preferably combined. A method for forming the core portion and the shell portion will be described later.
  • the abundance ratio between the crystalline siliceous material and the amorphous silica material is not particularly limited as long as the overall thermal expansion coefficient is negative.
  • the thermal expansion coefficient is negative and the crystallinity as a whole is preferably in the range of 0.3 to 0.9, more preferably 0.4 to 0.8.
  • the crystallinity of 1.0 is based on the crystallinity (X-ray intensity) of only the crystalline siliceous material contained in the core.
  • the filler for resin composition of this embodiment and the filler material constituting the filler for resin composition can be surface-treated with a surface treatment agent.
  • the surface treatment agent is not particularly limited, but is preferably composed of an organosilicon compound. It is possible to further prevent the active site that promotes yellowing from coming into contact with the resin by reacting or adhering to the surface with the surface treating agent comprising an organosilicon compound.
  • the silane compound in addition to being able to shield the active site of yellowing of the crystalline siliceous material, in order to improve the affinity with the resin material to be mixed, it has a high affinity to the resin material. What has group can be employ
  • silane compound a compound having a phenyl group, a vinyl group, an epoxy group, a methacryl group, an amino group, a ureido group, a mercapto group, an isocyanate group, an acrylic group, or an alkyl group is preferable.
  • examples of the silazanes include 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazane.
  • the conditions for treating the object to be treated with the surface treatment agent there are no particular limitations on the conditions for treating the object to be treated with the surface treatment agent.
  • the area covered with the surface treatment agent a value calculated from the molecular size and the treatment amount of the surface treatment agent. (It is assumed that the agent adheres to or reacts with the surface to be treated in a single layer) can be 50% or more (more preferably 60% or more, 80% or more).
  • the amount of the surface treatment agent is too large, the resin composition filler of the present embodiment may not exhibit a negative coefficient of thermal expansion, so the upper limit of the amount of the surface treatment agent is the resin composition of the present embodiment. The range is such that the physical filler exhibits a negative coefficient of thermal expansion.
  • the surface treatment performed on the treatment target may be performed in any manner.
  • the surface treatment agent can be adhered to the surface by contacting the surface treatment agent as it is, or by contacting a solution obtained by dissolving the surface treatment agent in some solvent.
  • the attached surface treatment agent can be accelerated by heating or the like.
  • the manufacturing method of the filler for resin compositions of this embodiment is a method suitable for manufacturing the thing which has a core part and a shell part among the fillers for resin compositions mentioned above.
  • the manufacturing method of the filler for resin compositions of this embodiment has a coating process and a conversion process.
  • the coating step is a step of manufacturing a silicone-coated particle material by coating a raw material particle material with a silicone material.
  • the raw material particle material has a crystalline siliceous material having a crystal structure composed of FAU type, FER type, LTA type, MFI type, CHA type, and / or MWW type.
  • the FAU type is particularly preferable.
  • the silicone material is a material that can be converted to silica in the conversion step described later, and any material can be selected as long as it can be converted to silica.
  • silicone materials include silicone and silane compounds.
  • Silicone is a siloxane polymer in which siloxane bonds are continuous, and those having an alkyl group or the like in the side chain are widely used. Further, the silicone can have a highly reactive functional group such as a SiH group or an alkoxy group. Examples of silane compounds include silane coupling agents and silazanes.
  • the silicone material can be selected so as to facilitate the coating of the raw material particle material. For example, it becomes easy to coat uniformly by selecting a material having high fluidity.
  • the silicone material having high fluidity include low molecular compounds and siloxane polymers having a kinematic viscosity at 25 ° C. of 200 mm 2 / s or less (preferably 150 mm 2 / s or less).
  • Examples include those that adhere to the surface of the raw material particle material by physical action (adsorption, entanglement, etc.) during coating, and those that form new chemical bonds. Examples of new chemical bonds include reacting with the surface of the raw material particle material by SiH groups or alkoxy groups.
  • the amount of the silicone material to be coated in the coating step can be arbitrarily determined as long as the finally produced filler for a resin composition exhibits a negative thermal expansion coefficient. Moreover, it is preferable that the surface of the raw material particle material can be coated without any gap.
  • the method for coating the surface of the raw material particle material with a silicone material in the coating step is not particularly limited.
  • a method of coating by mixing a silicone material and a raw material particle material and applying a shearing force by a pulverizing operation, etc., a surface of the raw material particle material in a state where the silicone material is dissolved or dispersed in an appropriate solvent or dispersion medium A method of removing the solvent or dispersion medium after contacting the surface of the material and dispersing the raw material particle material in a liquid in which the silicone material is dissolved or dispersed in an appropriate solvent or dispersion medium, and then the silicone material is dispersed. Examples thereof include a method of depositing on the surface of the raw material particle material.
  • the conversion step is a step of converting the coated silicone material into silica by heating.
  • the heating condition is not particularly limited as long as it can be converted to silica.
  • 600 ° C. or more, 700 ° C. or more, and 800 ° C. or more can be exemplified as the lower limit, and 1100 ° C. or less, 1200 ° C. or less, and 1300 ° C. or less can be exemplified as the upper limit.
  • the heating atmosphere include an oxidizing atmosphere (air, oxygen).
  • the heating time is sufficient as long as the silicone material can be converted to silica, and the conversion to silica may be part of the silicone material. For example, it is sufficient if 80% or more and 90% or more of the silicone material can be converted.
  • the filler material obtained after the conversion step may aggregate, it may have a crushing step, a classification step, a coarse particle removal step, and the like.
  • siliceous particles A to D (crystalline siliceous material) and siliceous particles E (amorphous silica material) shown in Table 1 were measured at 800 ° C in a discharge plasma sintering machine. What was sintered by heating for 1 hour was used as a test piece. The thermal expansion coefficient of each test piece was measured with a measuring device (TMA: Q-400EM manufactured by TA Instruments). The measurement temperature was -50 ° C to 250 ° C. Average values of the measured values are shown in Table 1, and changes with temperature are shown in FIGS. 2 to 6 (corresponding to siliceous particles A to E).
  • siliceous particles A to E a mixture with oil was prepared so that the siliceous particles would be 40% by mass and stored at 40 ° C. for 24 hours. Thereafter, the degree of discoloration of the mixture was confirmed. “ ⁇ ” indicates that there is a light discoloration, “ ⁇ ” indicates that there is a dark discoloration, and “ ⁇ ” indicates that there is almost no discoloration. The higher the degree of discoloration, the more oil is oxidized, indicating the higher activity of the mixed particulate material.
  • the content of alkali metal is measured for each of the siliceous particles A to D, it is 0.1% by mass or less and is extracted into water under the condition of being immersed in water at 120 ° C., 2 atm for 24 hours.
  • Each of Li, Na and K was 5 ppm or less.
  • siliceous particle discoloration of the siliceous particles E which is an amorphous silica material
  • the siliceous particles A to D composed of the crystalline siliceous material are all darkly discolored. Admitted.
  • the siliceous particles A to D made of a crystalline siliceous material exhibit a negative coefficient of thermal expansion (CTE), whereas they are amorphous silica materials.
  • CTE negative coefficient of thermal expansion
  • the siliceous particles E showed a positive thermal expansion coefficient.
  • the FAU type siliceous particles A to C had a larger absolute value of the negative thermal expansion coefficient than the MFI type siliceous particles D.
  • the absolute value of the negative thermal expansion coefficient is larger when the Al content is smaller.
  • the silicone material was coated on the surface of the siliceous material A to obtain a silicone-coated particle material ( Coating process).
  • the silicone-coated particle material is heated at 1050 ° C. for 1 hour to be converted into an amorphous silica material, whereby composite particles (filler material) having siliceous particles A as a core portion and amorphous silica material as a shell portion are obtained.
  • kinematic viscosity at 25 ° C.
  • the silicone material A ⁇ D using a silicone material A 25 mm 2 / s the silicone material B is 110 mm 2 / s, the silicone material C is 100 mm 2 / s, the silicone material D is 7mm 2 / s.
  • the siliceous particles E were also evaluated by heating at 1050 ° C. for 1 hour.
  • the resin material (cured product) obtained by mixing with 65 parts by mass of the resin material was cured, and the thermal expansion coefficient (average value at a temperature of 0 ° C. to 50 ° C.) was evaluated using a test piece.
  • the results are shown in Table 2.
  • the thermal expansion coefficient of the solidified resin material alone was 70.0 ppm / K.
  • siliceous particles A ammonia desorbed at 200 ° C. to 300 ° C. was detected (desorption peak temperature 271 ° C., desorption amount: ammonia gas 5.5 ⁇ mol / g). No desorption of ammonia gas was observed (desorption amount: less than 0.6 ⁇ mol / g of ammonia gas).
  • siliceous particles A made of FAU type crystalline siliceous material the high activity derived from the material was observed by the NH3-TPD method, whereas the surface of the siliceous particles A was changed to an amorphous silica material. It was found that the activity of the FAU-type crystalline siliceous material present in the core part could be completely suppressed in the composite particles of Test Example 3 coated in this manner. Further, no activity was observed for siliceous particles E (Test Example 7) made of an amorphous silica material alone.
  • the dielectric constant of the test pieces of Test Examples 3 and 7 used for measurement of the thermal expansion coefficient was measured.
  • the measurement conditions were a perturbation method using a network analyzer and a dielectric constant at a frequency of 1 GHz (average value measured three times).
  • the relative dielectric constant of each test piece was 3.0 in Test Example 3, 3.3 in Test Example 7, and 3.2 in the resin alone, and the siliceous particles A, which are crystalline siliceous materials, were obtained.
  • the dielectric constant was made lower than the case where the siliceous particle
  • the filler for resin composition of the present invention has a negative coefficient of thermal expansion. Therefore, by mixing with a resin material exhibiting a positive thermal expansion coefficient, it becomes possible to cancel or reduce the positive thermal expansion coefficient of the resin material. As a result, a resin composition having a low thermal expansion coefficient and excellent thermal characteristics can be obtained.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geology (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

含有させることで熱膨張率を低下させることが可能になる樹脂組成物用フィラーを提供することを解決すべき課題とする。　シリカ質材料のうちFAU型、FER型、LTA型、MFI型、CHA型、及び／又はMWW型からなる結晶構造をもつ結晶性シリカ質材料は、負の熱膨張係数を有しているが、樹脂材料中に分散させるとその樹脂材料の黄変を促進させることが明らかになった。そこで、結晶性シリカ質材料に対してＮＨ３－ＴＰＤ法での活性を示さないようにさせることで、樹脂材料黄変の一因であるアルミニウム元素由来の活性点を失活させることが可能になり黄変を抑制できることを見出した。結晶性シリカ質材料は、アルカリ金属の含有量が０．１質量％以下であり、１２０℃、２ａｔｍ、２４時間の条件で水中に浸漬する条件で水中に抽出されるＬｉ、Ｎａ及びＫがそれぞれ５ｐｐｍ以下である。

Description

樹脂組成物用フィラー、フィラー含有スラリー組成物、及びフィラー含有樹脂組成物、並びに樹脂組成物用フィラーの製造方法
　本発明は、樹脂組成物に含有させて用いる樹脂組成物用フィラー、その樹脂組成物用フィラーを含有するフィラー含有スラリー、及び、その樹脂組成物用フィラーを含有するフィラー含有樹脂組成物、並びに樹脂組成物用フィラーの製造方法に関する。
　従来、熱膨張係数を調整する等の目的で、プリント配線板や封止材などの実装材料に用いる樹脂組成物にはフィラーとして無機粒子が配合されている。熱膨張係数が低く絶縁性に優れるため、フィラーとしては主に非晶質シリカ粒子が広く用いられている。
　近年、電子機器の高機能化の要求に伴い、半導体パッケージのさらなる薄型化、高密度化が進んでおり、半導体パッケージの熱膨張や反りが信頼性に及ぼす影響がより大きくなっている。よって、プリント配線板や封止材に用いる樹脂組成物の硬化物の熱膨張係数を低くして熱膨張や反りを低減する検討が行われている。（特許文献１など）
特許第５１９２２５９号公報 特開２０１５－２１４４４０号公報 特許第４７６６８５２号公報 特開２０１５－２４９４５号公報 特開２００３－２９２８０６号公報 特開昭５９－１３３２６５号公報 特開２０１６－１１８６７９号公報 特開２０００－２６１０８号公報
Journal of Computer Chemistry, Japan, 2015, Vol.14, No.14, p.105-110
　本発明は上記実情に鑑み樹脂組成物に含有させることで熱膨張率を低下させることが可能になる樹脂組成物用フィラーを提供することを解決すべき課題とする。
　本発明者らは上記課題を解決するために、非晶質シリカより熱膨張係数の低い、熱をかけると収縮する負の熱膨張係数を持つ材料をフィラー材料に応用する研究を行った。負の熱膨張係数を有する材料としては、β-ユークリプタイト（LiAlSiO4）やタングステン酸ジルコニウム（ZrW2O8）からなる粒子が挙げられる（特許文献２、３）。しかし、β-ユークリプタイトは主要構成元素としてLiを含有しており、Liイオンが拡散して絶縁性を低下させるため、電気的特性が充分で無い問題がある。
　このＬｉイオンが拡散する問題を解決する従来技術として、特許文献４には、テトラエチルオルトシリケート（ＴＥＯＳ）からゾルゲル法にて形成したシリカからなるシェルが表面に形成されている無機フィラーが開示されている。つまり、特許文献４は、フィラーからのイオンの溶出を抑制するためにフィラーの表面をシェルにて被覆することを特徴とする技術であり、イオンの溶出がないフィラーについて適用する技術ではない。
　タングステン酸ジルコニウムは様々な研究がなされているが、合成にかかる時間やコストが大きく、実験室レベルで製造した報告は多いが、工業的に製造する方法は確立されていない。
　次にシリカ質材料のうちFAU型、FER型、LTA型、MFI型、CHA型、及び／又はMWW型からなる結晶構造をもつ結晶性シリカ質材料は、負の熱膨張係数を有している。そのような結晶性シリカ質材料のうち、フォージャサイトについて、樹脂材料中に含有させて複合材料を提供することが提案されている（特許文献５の請求項６）。なお、フォージャサイトには、Ｎａを含むものが良く知られており、そのままではＮａの溶出が問題になるが、特許文献５が開示されたときには、未だイオンの溶出に関する要求水準が低く、問題になっていなかった。
　近年、フォージャサイトを含む結晶性シリカ質材料について、イオンの溶出量を抑制するためにアルカリ金属の含有量を減らすことを検討し、充分な実用性（機械的特性、電気的特性など）を保ったままでアルカリ金属の含有量を低減することができている。
　従って、結晶性シリカ質材料は、そのまま樹脂材料中に混合して用いることができるとの認識が技術常識となっている。
　本願発明者らは、このような実情の元、結晶性シリカ質材料について鋭意検討を行った。その結果、結晶性シリカ質材料を樹脂材料中に分散させるとその樹脂材料の黄変や硬化を促進させてしまうことが明らかになった。この黄変や硬化の発生は、結晶性シリカ質材料を樹脂材料中に分散した後、すぐには問題とならず、しばらくした後に問題になる程度であるため、従来は気が付いていなかったか、又は、問題とはしていなかったが、高い性能をもつ樹脂組成物の提供を目指す本願発明者らの検討時には問題となった。
　本願発明者らは、黄変促進などについて検討した結果、これらの結晶性シリカ質材料に含まれるアルミニウム元素に由来するヒドロキシ基が活性点となって樹脂に作用していることが分かった。この活性点についてＮＨ３－ＴＰＤ法での評価で活性が有ると黄変が発生することが明らかとなった。そしてＮＨ３－ＴＰＤ法で観測されないまで活性を無くして黄変を抑制しても熱膨張係数を負の範囲に保つことも可能であった。
　ここで、結晶性シリカ質材料は、アルカリ金属の含有量が０．１質量％以下であり、１２０℃、２ａｔｍ、２４時間の条件で水中に浸漬する条件で水中に抽出されるＬｉ、Ｎａ及びＫがそれぞれ５ｐｐｍ以下である。溶出するイオンによる影響を抑制するためである。
　本明細書で定義する「ＮＨ３－ＴＰＤ法」は、アンモニア（ＮＨ３）をプローブ分子として測定対象に吸着させた後、連続的に昇温した際に脱離ガスが生じる場合に活性があると判断する。具体的な測定条件は以下の通りである。測定試料を約５０ｍｇ秤量し、Ｈｅ雰囲気中で５００℃１時間の脱ガス処理を行った後、１ａｔｍの０．５％アンモニアガスを１００℃１時間で測定対象に吸着させる。その後、１０℃／分の速度で６００℃まで昇温したときに、温度に対するアンモニアの脱離量のチャートにピーク温度が確認でき、５００℃までに発生するアンモニアの脱離ガスが２μｍｏｌ／ｇ以上である場合に、ＮＨ３－ＴＰＤ法での活性があると判定する。
　本知見に基づき以下の発明を完成した。すなわち、上記課題を解決する第１の樹脂組成物用フィラーは、FAU型、FER型、LTA型、MFI型、CHA型、及び／又はMWW型からなる結晶構造をもつ結晶性シリカ質材料を有するフィラー材料であり、
　ＮＨ３－ＴＰＤ法で活性がなく、
　前記結晶性シリカ質材料の量は前記フィラー材料が負の熱膨張係数を示す範囲である、電子機器用実装材料を構成する樹脂材料に含有させて用いるものである。
　上記課題を解決する第２の樹脂組成物用フィラーは、FAU型、FER型、LTA型、MFI型、CHA型、及び／又はMWW型からなる結晶構造をもつ結晶性シリカ質材料を有するフィラー材料であり、
　銀、銅、亜鉛、水銀、錫、鉛、ビスマス、カドミウム、クロム、コバルト、及びニッケルが表面に露出せず、且つ、ＮＨ３－ＴＰＤ法で活性がなく、且つ、前記結晶性シリカ質材料の量は前記フィラー材料が負の熱膨張係数を示す範囲である、樹脂組成物に含有させて用いるものである。
　これらの樹脂組成物用フィラーは、電子部品の実装材料に用いられる樹脂組成物に含有させて用いられることが好ましい。樹脂組成物の熱膨張係数が大きいと、面方向の熱膨張によりはんだ接続にクラックが生じたり、厚み方向の熱膨張によりプリント配線板の層間に導通不良が生じたりする。また、各部材の熱膨張係数の差が大きいことで、半導体パッケージの反りが発生しやすくなる。熱膨張係数を下げることでこれらの不具合の発生を抑制することができる。また、本発明の樹脂組成物用フィラーを用いれば、正の熱膨張係数を持つ従来のフィラーのみを用いる場合と比べて少ないフィラー配合割合で所望の熱膨張係数を達成できるため、樹脂含有割合が高く、接着性や硬化後又は半硬化後の機械加工性が良好な樹脂組成物を得ることも期待できる。
　そして、本発明の樹脂組成物用フィラーは、その樹脂組成物用フィラーを分散する溶媒と組み合わされてフィラー含有スラリー組成物として用いたり、その樹脂組成物用フィラーを分散する樹脂材料と組み合わされてフィラー含有樹脂組成物として用いたりすることができる。
　上記課題を解決する樹脂組成物用フィラーの製造方法は、FAU型、FER型、LTA型、MFI型、CHA型、及び／又はMWW型からなる結晶構造をもつ結晶性シリカ質材料を有する原料粒子材料に対してシリコーン材料で表面を被覆してシリコーン被覆粒子材料を製造する被覆工程と、
　前記シリコーン被覆粒子材料を加熱して前記シリコーン材料をシリカに転化させることでフィラー材料を製造する転化工程と、
　を有し、
　前記結晶性シリカ質材料の量は前記フィラー材料が負の熱膨張係数を示す範囲である。
　本発明の樹脂組成物用フィラーは、上記構成を有することから負の熱膨張係数を有し且つ樹脂への悪影響が少ないといった効果をもつ。
本発明の結晶性シリカ質材料の結晶骨格構造を示す図である。 実施例においてシリカ質粒子Ａについて測定した熱膨張を示す図である。 実施例においてシリカ質粒子Ｂについて測定した熱膨張を示す図である。 実施例においてシリカ質粒子Ｃについて測定した熱膨張を示す図である。 実施例においてシリカ質粒子Ｄについて測定した熱膨張を示す図である。 実施例においてシリカ質粒子Ｅについて測定した熱膨張を示す図である。 実施例において試験例１、３、５、及び７の樹脂組成物用フィラーを混合した樹脂組成物の熱膨張を測定した図である。 実施例において試験例３及び７並びにシリカ質粒子ＡのＮＨ３－ＴＰＤ法での活性を測定した図である。
　本発明の樹脂組成物用フィラーは、熱膨張係数をできるだけ小さくすることを目的としており、樹脂組成物に含有させることで得られた樹脂組成物の熱膨張係数を小さくすることが可能になる。以下、本発明の樹脂組成物用フィラーについて実施形態に基づき詳細に説明を行う。
　（樹脂組成物用フィラー）
　本実施形態の樹脂組成物用フィラーは、樹脂材料中に分散して樹脂組成物を形成するために用いる。粒度分布としては特に限定されないが、上限値としては５０μｍ、３０μｍ、２０μｍ、１０μｍ、５μｍ、３μｍ、１μｍが例示できる。特にこれらの上限値よりも大きな粒径をもつ粒子（粗粒）を有さないことが好ましい。
　組み合わせられる樹脂材料としては特に限定しないが、エポキシ樹脂・フェノール樹脂などの熱硬化性樹脂（硬化前のものも含む）、ポリエステル・アクリル樹脂・ポリオレフィンなどの熱可塑性樹脂が例示できる。更に本実施形態の樹脂組成物用フィラー以外のフィラー（粉粒体、繊維状などの形態を問わない）を含有していても良い。例えば、非晶質シリカ、アルミナ、水酸化アルミニウム、ベーマイト、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、炭素材料などの無機物や、フィラーを分散させるマトリクスとしての樹脂材料以外の樹脂材料（繊維状のものや粒子状のもの）からなる有機材料（マトリクスとしての樹脂材料と厳密に区別する必要は無いし、区別することも困難である）を含有させることもできる。樹脂材料や他のフィラーが、正の熱膨張係数を有していたとしても本実施形態の樹脂組成物用フィラーが負の熱膨張係数を有していることにより製造された樹脂組成物についての熱膨張係数を小さくしたり、ゼロにしたり、負にしたりすることができる。
　本実施形態の樹脂組成物用フィラーを含有させる割合としては特に限定しないが、多くすることで最終的に得られる樹脂組成物の熱膨張係数を小さくすることができる。例えば、樹脂組成物全体の質量を基準として５％～８５％程度の含有量とすることができる。
　本実施形態の樹脂組成物用フィラーを樹脂材料中に分散させる方法としては特に限定されず、樹脂組成物用フィラーを乾燥状態で混合したり、何らかの溶媒を分散媒としてその中に分散させてスラリーとした後に樹脂材料に混合したりしても良い。
　本実施形態の樹脂組成物用フィラーは、（１）電子機器用実装材料を構成する樹脂材料に含有させて用いるものであるか、又は、（２）銀、銅、亜鉛、水銀、錫、鉛、ビスマス、カドミウム、クロム、コバルト、及びニッケルが表面に露出しないかのうちの少なくとも一方の構成をもつ。
　（１）の構成をもち、電子機器用実装材料に採用することで、精密化した電子機器の信頼性を向上することができ、（２）の構成をもち、これらの元素が露出しないことでフィラーの外部へのこれらの元素の拡散・溶出が抑制できる。
　更に、本実施形態の樹脂組成物用フィラーは、上述の（１）又は（２）のうちの少なくとも一方の構成に加え、FAU型、FER型、LTA型、MFI型、CHA型、及び／又はMWW型からなる結晶構造をもつ結晶性シリカ質材料を有するフィラー材料であり、ＮＨ３－ＴＰＤ法で活性がなく、結晶性シリカ質材料の量はフィラー材料が負の熱膨張係数を示す範囲である。これらの結晶構造をもつ結晶性シリカ質材料は負の熱膨張係数をもつ。特にFAU型であることが好ましい。なお、結晶性シリカ質材料は、全てこれらの結晶構造をもつことは必須ではなく全体の質量を基準として５０％以上（好ましくは８０％以上）がこれらの結晶構造を有するものであれば良い。ここでアルファベット３つで表される型の結晶骨格構造を図１に示す。更に、結晶性シリカ質材料は、アルカリ金属の含有量が０．１質量％以下であり、１２０℃、２ａｔｍ、２４時間の条件で水中に浸漬する条件で水中に抽出されるＬｉ、Ｎａ及びＫがそれぞれ５ｐｐｍ以下である。
　フィラー材料の粒度分布や粒子形状は、樹脂組成物中に含有させたときに必要な性質を発現できる程度にする。例えば、得られる樹脂組成物が半導体封止材に用いられる場合には、その半導体封止材を侵入させる隙間よりも大きい粒径をもつものは含有しないことが好ましい。具体的には０．５μｍ～５０μｍ程度とすることが好ましく、１００μｍ以上の粗大粒子が実質的に含有しないことが好ましい。また、樹脂組成物が例えばプリント配線板に用いられる場合には、その絶縁層の厚みよりも大きい粒径をもつものは含有しないことが好ましい。具体的には、０．２μｍ～５μｍ程度とすることが好ましく、１０μｍ以上の粗大粒子が実質的に含有しないことが好ましい。また、粒子形状は、アスペクト比が低いものであることが好ましく、球状であることがより好ましい。
　フィラー材料は、対応する結晶構造をもつ結晶性シリカ質材料を原料として粉砕・分級・造粒・混合などの操作を単独乃至組み合わせて行うことで製造することができる。各操作において適正な条件を採用し、適正な回数を行うことで必要な粒度分布や粒子形状のものを得ることができる。原料とする結晶性シリカ質材料自身については通常の方法（例えば水熱合成法）にて合成可能である。
　結晶性シリカ質材料は、アルミニウム元素の含有量が全体の質量を基準として１２％以下であることが好ましく、８％以下、４％以下であることが更に好ましい。なお、結晶性シリカ質材料中に含まれるアルミニウムは０％に近い方が好ましいものと推測されるが、現状では不可避的に含有されることが多い。
　フィラー材料は、結晶性シリカ質材料からなるコア部と、非晶質シリカ材料からなりコア部を被覆するシェル部とをもつことができる。シェル部によりコア部を被覆することが好ましい。コア部を構成する結晶性シリカ質材料とシェル部を構成する非晶質シリカ材料とは複合化していることが好ましい。コア部とシェル部とを形成する方法は後述する。
　結晶性シリカ質材料と非晶質シリカ材料との存在比としては、全体としての熱膨張係数が負となる範囲であれば特に限定しない。例えば、熱膨張係数が負となり、且つ、全体として結晶化度が０．３～０．９の範囲となることが好ましく、０．４～０．８であることがより好ましい。コア部とシェル部を有する形態においては結晶化度が高い方が負の熱膨張係数が大きくなる。ここで、結晶化度が１．０とは、コア部が含有する結晶性シリカ質材料のみにおける結晶化度（Ｘ線強度）を基準とする。
　本実施形態の樹脂組成物用フィラーや、樹脂組成物用フィラーを構成するフィラー材料は、表面処理剤にて表面処理を行うことができる。表面処理剤は特に限定しないが、有機ケイ素化合物からなることが好ましい。有機ケイ素化合物からなる表面処理剤が表面に反応乃至付着することにより黄変を促進する活性点が樹脂に接触することを更に防止できる。特に、シラン化合物とすることが好ましく、更には、シラン化合物の中でもシランカップリング剤、シラザン類とすることで、樹脂組成物用フィラーやフィラー材料からなる処理対象の表面と強固に結合させることが可能になる。シラン化合物としては、結晶性シリカ質材料の黄変の活性点を遮蔽することができることに加え、混合する樹脂材料との間の親和性を向上するために、樹脂材料への親和性が高い官能基を有するものを採用することができる。
　シラン化合物としては、フェニル基、ビニル基、エポキシ基、メタクリル基、アミノ基、ウレイド基、メルカプト基、イソシアネート基、アクリル基、アルキル基を有する化合物が好ましい。シラン化合物の中でもシラザン類としては、１，１，１，３，３，３－ヘキサメチルジシラザンが例示できる。
　処理対象に対して表面処理剤にて処理を行う条件としては特に限定しない。例えば、処理対象を理想球体と仮定して平均粒子径から算出した表面積を基準として、表面処理剤にて被覆される面積（表面処理剤の分子の大きさと処理量とから算出した値。表面処理剤は処理対象の表面に一層で付着乃至反応すると仮定する）が５０％以上（更には６０％以上、８０％以上）とすることができる。更に、表面処理剤の量があまりに多いと本実施形態の樹脂組成物用フィラーとして負の熱膨張係数を示さなくなるおそれがあることから、表面処理剤の量の上限としては本実施形態の樹脂組成物用フィラーが負の熱膨張係数を示す範囲とする。
　処理対象に対して行う表面処理はどのように行っても良い。表面処理剤をそのまま接触させたり、表面処理剤を何らかの溶媒に溶解させた溶液を接触させたりして表面に表面処理剤を付着させることができる。付着した表面処理剤は、加熱するなどして反応を促進させることもできる。
　（樹脂組成物用フィラーの製造方法）
　本実施形態の樹脂組成物用フィラーの製造方法は、上述の樹脂組成物用フィラーのうち、コア部とシェル部とを有する形態のものを製造するのに適した方法である。本実施形態の樹脂組成物用フィラーの製造方法は、被覆工程と転化工程とをもつ。
　被覆工程は、原料粒子材料に対してシリコーン材料で被覆してシリコーン被覆粒子材料を製造する工程である。原料粒子材料は、FAU型、FER型、LTA型、MFI型、CHA型、及び／又はMWW型からなる結晶構造をもつ結晶性シリカ質材料を有する。特にFAU型が好ましい。上述の樹脂組成物用フィラーにて説明した事項がそのまま適用できる。
　シリコーン材料は、後述する転化工程において転化してシリカとすることができる材料であり、どのようなものを選択してもシリカに転化できる限り特に限定しない。
　好ましいシリコーン材料としては、シリコーン、シラン化合物が挙げられる。シリコーンは、シロキサン結合が連続するシロキサンポリマーであり、アルキル基などを側鎖にもつものが汎用されている。更にシリコーンとしてはＳｉＨ基などの反応性が高い官能基や、アルコキシ基をもつことができる。シラン化合物としては、シランカップリング剤、シラザン類などが例示できる。
　シリコーン材料としては、原料粒子材料の被覆が容易となるように選択できる。例えば、流動性が高い材料を選択することで均一に被覆することが容易になる。流動性が高いシリコーン材料としては、低分子化合物、シロキサンポリマーのうち２５℃での動粘度が２００ｍｍ２／ｓ以下（好ましくは１５０ｍｍ２／ｓ以下）のものが例示できる。被覆に際して物理的な作用（吸着、絡み合いなど）により原料粒子材料の表面に付着するものや、新たな化学結合を形成するものが挙げられる。新たな化学結合としてはＳｉＨ基やアルコキシ基により原料粒子材料の表面と反応させることが例示できる。
　被覆工程において被覆するシリコーン材料の量としては最終的に製造される樹脂組成物用フィラーが負の熱膨張係数を示すことを限度として任意に決定できる。また、原料粒子材料の表面を隙間無く被覆できることが好ましい。
　被覆工程において原料粒子材料の表面をシリコーン材料にて被覆する方法としては特に限定されない。例えば、シリコーン材料と原料粒子材料とを混合して粉砕操作などにより剪断力を加えることで被覆する方法、シリコーン材料を適正な溶媒乃至は分散媒に溶解ないしは分散させた状態で原料粒子材料の表面に接触させて表面に付着させた後に溶媒乃至は分散媒を除去する方法、シリコーン材料を適正な溶媒乃至は分散媒に溶解ないしは分散させた液体中に原料粒子材料を分散させた後にシリコーン材料を原料粒子材料の表面に析出させる方法などが挙げられる。
　転化工程は、被覆したシリコーン材料を加熱することでシリカに転化する工程である。加熱する条件としてはシリカに転化できれば特に限定されない。例えば、６００℃以上、７００℃以上、８００℃以上が下限として例示でき、１１００℃以下、１２００℃以下、１３００℃以下が上限として例示できる。これらの上限と下限とを任意に組み合わせることができる。加熱の雰囲気としては酸化雰囲気（空気、酸素）が例示できる。加熱時間としてはシリコーン材料がシリカに転化できれば充分であり、シリカへの転化もシリコーン材料の一部であってもよい。例えばシリコーン材料の８０％以上、９０％以上が転化できれば充分である。
　転化工程後に得られるフィラー材料は一部乃至全部が凝集することがあるため、解砕工程、分級工程、粗大粒子除去工程などを有することができる。
　・結晶性シリカ質材料の評価
　表1に記載のシリカ質粒子Ａ～Ｄ（結晶性シリカ質材料）とシリカ質粒子Ｅ（非晶質シリカ材料）について、放電プラズマ焼結機にて８００℃で１時間加熱して焼結させたものを試験片とした。各試験片について測定装置（ＴＭＡ：ＴＡ　Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ製　Ｑ－４００ＥＭ）にて熱膨張係数を測定した。測定温度は－５０℃から２５０℃までで測定した。測定値の平均値を表１に示し、温度による変化の様子を図２～６（シリカ質粒子Ａ～Ｅに対応）に示す。
　また、シリカ質粒子Ａ～Ｅについて、シリカ質粒子が４０質量％となるようにあまに油との混合物を調製して４０℃で２４時間保存した。その後に混合物の変色の度合いを確認した。薄い変色があるものを「△」、濃い変色があるものを「×」、変色が殆ど無いものを「〇」とした。変色の度合いが強いほどあまに油が酸化されており、混合した粒子材料の活性が高いことを示している。
　更に、シリカ質粒子Ａ～Ｄのそれぞれについて、アルカリ金属の含有量を測定すると、０．１質量％以下であり、１２０℃、２ａｔｍ、２４時間の条件で水中に浸漬する条件で水中に抽出されるＬｉ、Ｎａ及びＫがそれぞれ５ｐｐｍ以下であった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１から明らかなように、非晶質シリカ材料であるシリカ質粒子Ｅではあまに油の変色は認められなかったものの、結晶性シリカ質材料からなるシリカ質粒子Ａ～Ｄは全て濃い変色が認められた。また、図２～６から明らかなように、結晶性シリカ質材料からなるシリカ質粒子Ａ～Ｄでは負の熱膨張係数（ＣＴＥ）を示しているのに対して、非晶質シリカ材料であるシリカ質粒子Ｅでは正の熱膨張係数を示していることが分かった。また、特にFAU型のシリカ質粒子Ａ～Ｃは、MFI型のシリカ質粒子Ｄよりも負の熱膨張係数の絶対値が大きいことが分かった。また、同じFAU型ではＡｌの含有量が小さい方が負の熱膨張係数の絶対値が大きいことが分かった。
　表２に示す質量比でシリカ質粒子Ａとシリコーン材料とを粉体用の混合機にて混合することで、シリカ質材料Ａの表面にシリコーン材料を被覆させてシリコーン被覆粒子材料を得た（被覆工程）。そのシリコーン被覆粒子材料を１０５０℃で１時間加熱して非晶質シリカ材料に転化することで、シリカ質粒子Ａをコア部、非晶質シリカ材料をシェル部とする複合粒子（フィラー材料）を製造した（転化工程）。ここで、用いたシリコーン材料Ａ～Ｄの２５℃における動粘度は、シリコーン材料Ａが２５ｍｍ２／ｓ、シリコーン材料Ｂが１１０ｍｍ２／ｓ、シリコーン材料Ｃが１００ｍｍ２／ｓ、シリコーン材料Ｄが７ｍｍ２／ｓであった。シリカ質粒子Ｅについてもそのまま１０５０℃で１時間加熱して評価した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　得られた各試験例の複合粒子について以下の評価を行った。
　・結晶化度の測定
　それぞれの試験例１～６の複合粒子について、ＸＲＤ回折評価を行うと、シリカ質粒子Ａの結晶のピークと、表面に存在する非晶質シリカ材料のハローとが重なって観測された。試験例７については、非晶質シリカ材料由来のハローのみが観測された。シリカ質粒子Ａ単独での結晶化度を１とした場合の相対値として試験例１～７の結晶化度を算出して表２に示す。
　・あまに油変色の評価
　前述した方法にて、試験例１～７の複合粒子についてあまに油変色を評価した。結果を表２に示す。
　表２より明らかなように、試験例２～７では変色が殆ど認められず、表面への非晶質シリカ材料の被覆により変色が抑制できていることが分かった。試験例１ではわずかに変色が認められたが、原料であるシリカ質粒子Ａに対しては大きな改善が認められた。試験例１では結晶化度が高く、非晶質シリカ材料の割合が他の試験例よりも低いためにシリカ質粒子Ａの触媒活性を完全に抑制しきれなかったためと考えることができる。
　・樹脂組成物の熱膨張係数の評価
　試験例１～３、５、及び７の複合粒子が３５質量部、液状エポキシ樹脂（ビスフェノールＡ：ビスフェノールＦ＝50：50）及びアミン系硬化剤とからなる樹脂材料６５質量部とを混合後、硬化させて樹脂組成物（硬化物）を得たものを試験片として熱膨張係数（温度０℃から５０℃における平均値）を評価した。結果を表２に示す。樹脂材料の固化物単独での熱膨張係数は、７０．０ｐｐｍ／Ｋであった。
　表２より明らかなように、結晶性シリカ質材料を含む試験例１～３、５のいずれも非晶質シリカ材料単独である試験例７よりも低いCTEを示し、かつ樹脂材料単体の熱膨張係数より算出される試験例１～３及び５の複合粒子の熱膨張係数はいずれも負の値となった。試験例１、３、５、及び７について熱膨張の温度変化による変動を図７に示す。
　・ＮＨ３－ＴＰＤ法での活性の評価
　試験例３、試験例７の複合粒子、及びシリカ質粒子Aを、粉末の触媒の活性を評価するために広く用いられている方法であるアンモニア昇温脱離法（NH3-TPD法）にて評価した。前処理として100℃1時間でアンモニアを粒子に吸着させ、試料を連続的に600℃まで昇温させて脱離するアンモニアガスを測定した。結果を図８に示す。
　シリカ質粒子Ａは２００℃～３００℃で脱離したアンモニアが検出されたのに対して（脱離ピーク温度２７１℃、脱離量：アンモニアガス５．５μｍｏｌ／ｇ）、試験例３及び７では、アンモニアガスの脱離は観測されなかった（脱離量：アンモニアガス０．６μｍｏｌ／ｇ未満）。
　つまり、FAU型の結晶性シリカ質材料からなるシリカ質粒子Ａは、材料由来の高い活性がＮＨ３－ＴＰＤ法で観測されたのに対して、シリカ質粒子Ａの表面を非晶質シリカ材料にて被覆した試験例３の複合粒子ではコア部に存在するFAU型の結晶性シリカ質材料の活性を完全に抑制できていることが分かった。また、非晶質シリカ材料単独からなるシリカ質粒子Ｅ（試験例７）についても活性は認められなかった。
　・誘電率の評価
　熱膨張係数の測定に用いた試験例３及び７の試験片について、誘電率を測定した。測定条件は、ネットワークアナライザを用いて摂動法、周波数１ＧＨｚにおける誘電率を測定した（３回測定した平均値）。その結果、それぞれの試験片の比誘電率は、試験例３では３．０、試験例７では３．３、樹脂単独では３．２であり、結晶性シリカ質材料であるシリカ質粒子Ａをコア部とすることで、非晶質シリカ材料であるシリカ質粒子Ｅを用いた場合よりも誘電率が低くできた。
　本発明の樹脂組成物用フィラーは負の熱膨張係数を有する。そのために正の熱膨張係数を示す樹脂材料と混合することで、樹脂材料の正の熱膨張係数を相殺乃至は低減させることが可能になる。その結果、熱膨張係数が小さく、熱的特性に優れた樹脂組成物を得ることができる。

Claims (10)

  1. 　FAU型、FER型、LTA型、MFI型、CHA型、及び／又はMWW型からなる結晶構造をもつ結晶性シリカ質材料を有するフィラー材料であり、
    　ＮＨ３－ＴＰＤ法で活性がなく、
    　前記結晶性シリカ質材料の量は前記フィラー材料が負の熱膨張係数を示す範囲であり、
    　前記結晶性シリカ質材料は、
    　アルカリ金属の含有量が０．１質量％以下であり、
    　１２０℃、２ａｔｍ、２４時間の条件で水中に浸漬する条件で水中に抽出されるＬｉ、Ｎａ及びＫがそれぞれ５ｐｐｍ以下である、
    　電子機器用実装材料を構成する樹脂材料に含有させて用いる樹脂組成物用フィラー。
  2. 　FAU型、FER型、LTA型、MFI型、CHA型、及び／又はMWW型からなる結晶構造をもつ結晶性シリカ質材料を有するフィラー材料であり、
    　銀、銅、亜鉛、水銀、錫、鉛、ビスマス、カドミウム、クロム、コバルト、及びニッケルが表面に露出せず、且つ、ＮＨ３－ＴＰＤ法で活性がなく、且つ、前記結晶性シリカ質材料の量は前記フィラー材料が負の熱膨張係数を示す範囲であり、
    　前記結晶性シリカ質材料は、
    　アルカリ金属の含有量が０．１質量％以下であり、
    　１２０℃、２ａｔｍ、２４時間の条件で水中に浸漬する条件で水中に抽出されるＬｉ、Ｎａ及びＫがそれぞれ５ｐｐｍ以下である、
    　樹脂組成物に含有させて用いる樹脂組成物用フィラー。
  3. 　前記フィラー材料は、前記結晶性シリカ質材料からなるコア部と、非晶質シリカ材料からなり前記コア部を被覆するシェル部とをもち、前記結晶性シリカ質材料と前記非晶質シリカ材料とは複合化している請求項１又は２に記載の樹脂組成物用フィラー。
  4. 　前記フィラー材料の表面と反応乃至付着した有機ケイ素化合物からなる表面処理剤を有する請求項１～３の何れか１項に記載の樹脂組成物用フィラー。
  5. 　前記有機ケイ素化合物は、シラザン類及び／又はシランカップリング剤から選ばれる何れか1種以上である、請求項４に記載の樹脂組成物用フィラー。
  6. 　全体の質量を基準としてアルミニウム元素の含有量が１２％以下である請求項１～５の何れか１項に記載の樹脂組成物用フィラー。
  7. 　前記結晶構造がFAU型である、請求項１～６の何れか１項に記載の樹脂組成物用フィラー。
  8. 　請求項１～７の何れか１項に記載の樹脂組成物用フィラーと、前記樹脂組成物用フィラーを分散する溶媒と、を有するフィラー含有スラリー組成物。
  9. 　請求項１～７の何れか１項に記載の樹脂組成物用フィラーと、前記樹脂組成物用フィラーを分散する樹脂材料と、を有するフィラー含有樹脂組成物。
  10. 　FAU型、FER型、LTA型、MFI型、CHA型、及び／又はMWW型からなる結晶構造をもつ結晶性シリカ質材料を有する原料粒子材料に対してシリコーン材料で表面を被覆してシリコーン被覆粒子材料を製造する被覆工程と、
    　前記シリコーン被覆粒子材料を加熱して前記シリコーン材料をシリカに転化させることでフィラー材料を製造する転化工程と、
    　を有し、
    　前記結晶性シリカ質材料の量は前記フィラー材料が負の熱膨張係数を示す範囲である、
    　樹脂組成物用フィラーの製造方法。
PCT/JP2019/015326 2018-04-06 2019-04-08 樹脂組成物用フィラー、フィラー含有スラリー組成物、及びフィラー含有樹脂組成物、並びに樹脂組成物用フィラーの製造方法 WO2019194321A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201980002158.3A CN110573562B (zh) 2018-04-06 2019-04-08 树脂组合物用填料、含填料的浆料组合物及含填料的树脂组合物及树脂组合物用填料的制造方法
JP2019519439A JP6557443B1 (ja) 2018-04-06 2019-04-08 樹脂組成物用フィラー、フィラー含有スラリー組成物、及びフィラー含有樹脂組成物、並びに樹脂組成物用フィラーの製造方法
KR1020197027333A KR102086981B1 (ko) 2018-04-06 2019-04-08 수지 조성물용 필러, 필러 함유 슬러리 조성물, 및 필러 함유 수지 조성물, 그리고 수지 조성물용 필러의 제조 방법
US17/060,138 US11091647B2 (en) 2018-04-06 2020-10-01 Filler for resinous composition, filler-containing slurry composition and filler-containing resinous composition as well as production process for filler for resinous composition

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPPCT/JP2018/014818 2018-04-06
PCT/JP2018/014818 WO2019193766A1 (ja) 2018-04-06 2018-04-06 樹脂組成物用フィラー、フィラー含有スラリー組成物、及びフィラー含有樹脂組成物、並びに樹脂組成物用フィラーの製造方法

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US17/060,138 Continuation US11091647B2 (en) 2018-04-06 2020-10-01 Filler for resinous composition, filler-containing slurry composition and filler-containing resinous composition as well as production process for filler for resinous composition

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019194321A1 true WO2019194321A1 (ja) 2019-10-10

Family

ID=68100403

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2018/014818 WO2019193766A1 (ja) 2018-04-06 2018-04-06 樹脂組成物用フィラー、フィラー含有スラリー組成物、及びフィラー含有樹脂組成物、並びに樹脂組成物用フィラーの製造方法
PCT/JP2019/015326 WO2019194321A1 (ja) 2018-04-06 2019-04-08 樹脂組成物用フィラー、フィラー含有スラリー組成物、及びフィラー含有樹脂組成物、並びに樹脂組成物用フィラーの製造方法

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2018/014818 WO2019193766A1 (ja) 2018-04-06 2018-04-06 樹脂組成物用フィラー、フィラー含有スラリー組成物、及びフィラー含有樹脂組成物、並びに樹脂組成物用フィラーの製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11091647B2 (ja)
KR (1) KR102086981B1 (ja)
CN (1) CN110573562B (ja)
WO (2) WO2019193766A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20200332082A1 (en) * 2017-04-10 2020-10-22 Admatechs Co., Ltd. Filler for resinous composition, filler-containing slurry composition and filler-containing resinous composition
WO2022097746A1 (ja) * 2020-11-09 2022-05-12 国立大学法人東京工業大学 負熱膨張材料、及び複合材料

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021175700A (ja) * 2020-04-22 2021-11-04 住友化学株式会社 粒子群、粉体組成物、固体組成物、液体組成物、及び、成形体
KR20230101813A (ko) * 2020-11-02 2023-07-06 미쯔비시 케미컬 주식회사 제올라이트, 제올라이트의 제조 방법, 조성물, 액상 조성물, 액상 봉지제, 수지 복합재, 봉지재, 봉지재의 제조 방법, 및 디바이스

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59133265A (ja) * 1983-01-20 1984-07-31 Nippon Chem Ind Co Ltd:The 体質顔料
JP2000026108A (ja) * 1998-07-09 2000-01-25 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 耐熱性無機酸化物の製造方法
JP2003292806A (ja) * 2002-03-29 2003-10-15 Trw Inc 精密電子、光学、フォトニックおよびスペースクラフト構成部品および構造物の寸法安定性を改善するための材料および方法
JP2011002478A (ja) * 2009-06-16 2011-01-06 Murata Mfg Co Ltd 感光性ペースト、及び電子部品
WO2013147261A1 (ja) * 2012-03-30 2013-10-03 Ｊｘ日鉱日石エネルギー株式会社 シリケート被覆ＭＦＩ型ゼオライトとその製造方法およびそれを用いたｐ－キシレンの製造方法
JP2015024945A (ja) * 2013-07-29 2015-02-05 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． 無機フィラー、およびこれを含む絶縁樹脂組成物、絶縁フィルム、プリプレグ、並びに印刷回路基板
JP2016044091A (ja) * 2014-08-21 2016-04-04 学校法人早稲田大学 無孔質シリカで被覆されたメソポーラスシリカ粒子及びその製造方法
JP2016118679A (ja) * 2014-12-22 2016-06-30 三菱マテリアル株式会社 赤外線遮蔽積層体及びこれを用いた赤外線遮蔽材

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2885366A (en) * 1956-06-28 1959-05-05 Du Pont Product comprising a skin of dense, hydrated amorphous silica bound upon a core of another solid material and process of making same
JPH0350113A (ja) * 1989-07-18 1991-03-04 Nkk Corp 封止剤用樹脂の充填材及びその製造方法
JP4766852B2 (ja) 2004-07-30 2011-09-07 学校法人東京理科大学 タングステン酸ジルコニウムの製造方法
US20100096173A1 (en) 2007-02-23 2010-04-22 Kentaro Fujino Epoxy resin composition, prepreg, and laminate and printed wiring board
JP5914477B2 (ja) * 2010-08-04 2016-05-11 ナショナル サイエンス アンド テクノロジー ディベロップメント エイジェンシー 高エチレン選択透過性を有するプラスチックフィルム製造用マスターバッチ及びそのマスターバッチから製造されたプラスチックフィルム
EP2859939B1 (en) * 2012-06-08 2020-04-15 LG Chem, Ltd. Reverse osmosis membrane with high permeation flux comprising surface-treated zeolite, and method for preparing same
JP6388112B2 (ja) 2014-05-09 2018-09-12 日本電気硝子株式会社 フィラー粉末の製造方法
JP6901853B2 (ja) * 2015-12-25 2021-07-14 株式会社トクヤマ 親水性乾式シリカ粉末
WO2018189919A1 (ja) * 2017-04-10 2018-10-18 株式会社アドマテックス 樹脂組成物用フィラー、フィラー含有スラリー組成物、及びフィラー含有樹脂組成物

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59133265A (ja) * 1983-01-20 1984-07-31 Nippon Chem Ind Co Ltd:The 体質顔料
JP2000026108A (ja) * 1998-07-09 2000-01-25 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 耐熱性無機酸化物の製造方法
JP2003292806A (ja) * 2002-03-29 2003-10-15 Trw Inc 精密電子、光学、フォトニックおよびスペースクラフト構成部品および構造物の寸法安定性を改善するための材料および方法
JP2011002478A (ja) * 2009-06-16 2011-01-06 Murata Mfg Co Ltd 感光性ペースト、及び電子部品
WO2013147261A1 (ja) * 2012-03-30 2013-10-03 Ｊｘ日鉱日石エネルギー株式会社 シリケート被覆ＭＦＩ型ゼオライトとその製造方法およびそれを用いたｐ－キシレンの製造方法
JP2015024945A (ja) * 2013-07-29 2015-02-05 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． 無機フィラー、およびこれを含む絶縁樹脂組成物、絶縁フィルム、プリプレグ、並びに印刷回路基板
JP2016044091A (ja) * 2014-08-21 2016-04-04 学校法人早稲田大学 無孔質シリカで被覆されたメソポーラスシリカ粒子及びその製造方法
JP2016118679A (ja) * 2014-12-22 2016-06-30 三菱マテリアル株式会社 赤外線遮蔽積層体及びこれを用いた赤外線遮蔽材

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
OOKAWA, MASASHI: "Molecular Dynamics Simulation Studies on Thermal Expansion Behavior of Siliceous Faujasite", JOURNAL OF COMPUTER CHEMISTRY JAPAN, vol. 14, no. 4, 2015, pages 105 - 110, XP055643935, DOI: 10.2477/jccj.2015-0020 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20200332082A1 (en) * 2017-04-10 2020-10-22 Admatechs Co., Ltd. Filler for resinous composition, filler-containing slurry composition and filler-containing resinous composition
US11613625B2 (en) * 2017-04-10 2023-03-28 Admatechs Co., Ltd. Filler for resinous composition, filler-containing slurry composition and filler-containing resinous composition
WO2022097746A1 (ja) * 2020-11-09 2022-05-12 国立大学法人東京工業大学 負熱膨張材料、及び複合材料

Also Published As

Publication number Publication date
CN110573562A (zh) 2019-12-13
WO2019193766A1 (ja) 2019-10-10
US11091647B2 (en) 2021-08-17
CN110573562B (zh) 2021-03-30
US20210017392A1 (en) 2021-01-21
KR102086981B1 (ko) 2020-03-09
KR20190117683A (ko) 2019-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2019194321A1 (ja) 樹脂組成物用フィラー、フィラー含有スラリー組成物、及びフィラー含有樹脂組成物、並びに樹脂組成物用フィラーの製造方法
JP6441525B2 (ja) 樹脂組成物用フィラー、フィラー含有スラリー組成物、及びフィラー含有樹脂組成物
US8053495B2 (en) Ceramic powder and applications thereof
TW202231574A (zh) 疏水性氮化鋁粉末及其製造方法
JP6557443B1 (ja) 樹脂組成物用フィラー、フィラー含有スラリー組成物、及びフィラー含有樹脂組成物、並びに樹脂組成物用フィラーの製造方法
JP6347644B2 (ja) 表面改質シリカ粉末及びスラリー組成物
KR102011153B1 (ko) 태양 전지 전극용 페이스트 조성물
KR20090104000A (ko) 비정질 실리카질 분말, 그 제조 방법 및 반도체 봉지재
TW202407016A (zh) 液狀組成物、預浸體、附樹脂之金屬基材、配線板及氧化矽粒子
US11613625B2 (en) Filler for resinous composition, filler-containing slurry composition and filler-containing resinous composition
CN101925534B (zh) 二氧化硅质粉末、其制造方法以及用途
KR20190081982A (ko) 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 바니시 조성물 및 이를 이용하여 제조된 반도체 소자 밀봉용 필름
WO2024157694A1 (ja) 樹脂組成物、アンダーフィル材、オーバーモールド封止材、半導体装置、シート状絶縁材料、金属張積層板、回路基板、多層基板、及び多層回路基板
JP6388680B2 (ja) 半導体装置実装用ダイアタッチペーストの製造方法
WO2024122058A1 (ja) アルミナ粒子材料及びその製造方法、有機物組成物
CN115989283A (zh) 非晶二氧化硅粉末及含有其的树脂组合物
CN118530510A (zh) 一种低含水量壳层及其包覆方法与应用
TW202432469A (zh) 氧化鋁粒子材料及其製造方法、有機物組成物
JP2012142439A (ja) 半導体装置実装用ペ−スト
TW202243990A (zh) 六方晶氮化硼粉末及其製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2019519439

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20197027333

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 19781876

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 19781876

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1