WO2019190123A1 - 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더 - Google Patents

저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더 Download PDF

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전상훈
마경민
권대용
이상열
문지원
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Definitions

  • the present invention relates to a cylinder (fluid storage and transport container) configured to store and transport a fluid and to discharge the stored fluid under a set discharge pressure under a set condition.
  • the fluid pressure adjustment is installed in the cylinder (fluid storage and transport container) to allow the stored fluid to be discharged at the set discharge pressure under the set conditions, but to improve the fluid storage capacity of the cylinder (fluid storage and transport container).
  • a cylinder is provided with a valve.
  • the cylinder for transporting and storing the fluid is provided with a fluid pressure regulating valve body (fluid pressure regulating valve system) configured to discharge at a predetermined set pressure and to allow gas to be discharged only under the pressure condition of the discharge side.
  • a fluid pressure regulating valve body fluid pressure regulating valve system
  • Patent Document 10-2015-0059776 'Spike pressure prevention management of the pressure-controlled fluid storage and transport container' Control valve body (fluid pressure control valve system) technology is provided.
  • the cylinder 2 for fluid transport and storage discharges the stored fluid (gas) at the set pressure, but the fluid pressure control valve body 1 is installed so that the discharge is performed only under the pressure condition of the discharge side.
  • a second regulator 1a for discharging at a set pressure, but for discharging only in a state of a pressure condition on the discharge side, in the fluid pressure regulating valve body 1 for discharging only under a pressure condition on the discharge side.
  • a first regulator 1b for discharging the fluid (gas) stored in the cylinder 2 at a set pressure.
  • the first regulator 1b and the second regulator 1a which are provided in the conventional fluid pressure regulating valve body 1, are accommodated in the inner space of the cylinder 2, which is located below and stores the fluid,
  • the connecting pipe 1d connecting the first regulator 1b and the second regulator 1a and the particulate filter 1c for filtering foreign matter are also accommodated in the inner space of the cylinder 2 storing the fluid.
  • the first regulator 1b, the second regulator 1a, the connection pipe 1d, and the particulate filter 1c are installed in the inner space of the cylinder 2 storing the fluid, thereby reducing the volume of the fluid. This is causing a lot of economic losses.
  • the space occupied by the first regulator 1b, the second regulator 1a, the connection pipe 1d, and the particulate filter 1c is larger than the internal space. The amount of fluid conveyed can thus be drastically reduced.
  • the present invention includes a fluid pressure regulating valve body configured to solve a decrease in the storage capacity of a fluid generated by accommodating a plurality of regulators (regulators) in a cylinder to allow a fluid stored under a set condition to discharge at a set discharge pressure. To provide a cylinder.
  • regulators regulators
  • regulators regulators
  • fluid pressure control valve body made easy to maintain, and to reduce the cost of maintenance and replacement.
  • the discharge pressure of the fluid in the cylinder can be adjusted and discharged at a regulated set pressure.
  • the first regulator may adjust the magnitude of the discharged fluid pressure
  • the second regulator may adjust the magnitude of the opening / closing pressure so that the flow path may be opened only under the set pressure condition at the outlet side.
  • a first regulator installation chamber in which a first regulator is installed and a second regulator installation chamber in which a second regulator is installed are formed, and the first regulator installation chamber and the second regulator installation chamber are formed in the cylinder body. It is characterized by being located outside.
  • the fluid pressure regulating valve is connected to a cylinder fastening portion having a fluid discharge inlet, a first regulator installation chamber communicating with the fluid discharge inlet and a first flow passage, and a first regulator installation chamber and a second flow passage.
  • a valve body including a safety valve installation chamber communicating with the control chamber, and a charging port chamber communicating with the safety valve installation chamber and the sixth flow path;
  • a first regulator unit installed in the first regulator installation chamber and including a first regulator configured to discharge the discharge pressure of the fluid in the cylinder to a set pressure;
  • the first regulator and the second regulator can be replaced only by removing the first and second regulator caps installed in the respective first and second regulator installation chambers.
  • One side of the valve body is formed with a first regulator installation chamber formed with a first regulator screw portion and a first regulator cap screw portion on the inner wall for the first regulator installation, the other side is provided with a second regulator screw portion on the inner wall for the second regulator installation;
  • a second regulator mounting chamber having a second regulator cap threaded portion is formed, and the first regulator mounting chamber communicates with the cylinder through a first flow path, and the first regulator mounting chamber and the second regulator mounting chamber communicate with a second flow path.
  • the second regulator installation chamber is in communication with the opening and closing valve installation chamber in which the opening and closing valve that can block the flow of the fluid in the flow flow in a third flow path,
  • the first regulator is screwed to the first regulator threaded portion, the first regulator cap threaded portion is screwed to the first regulator cap for protecting the first regulator,
  • the second regulator is screwed into the second regulator screw portion, and the second regulator cap is screwed into the second regulator cap screw portion to protect the second regulator.
  • the cylinder equipped with a fluid pressure regulating valve to improve the storage capacity of the present invention a plurality of regulators (regulators) provided to be able to discharge the stored fluid at the set discharge pressure only in the set pressure conditions on the outlet side and to communicate with
  • the passage is provided on the outside of the cylinder, not provided in the inner space of the cylinder for storing the fluid, provided on one side in the valve body has an advantage of improving the storage capacity of the cylinder, it is easy to maintain Has an advantage.
  • the first regulator (regulator) is provided so that the discharged fluid pressure is discharged to a constant pressure of the fluid can adjust the size of the discharged fluid pressure can discharge the fluid in the state of pressure of various sizes
  • the outlet The second regulator (regulator) provided to allow the fluid to be discharged only under the condition of the pressure on the side can adjust the magnitude of the opening and closing pressure so that the flow path can be opened only under the set pressure condition on the outlet side. It can be easily adjusted by being located in has the advantage that a quick action can be made according to the change of the use environment.
  • the first and second regulators (regulators) are located on the valve body outside the cylinder, the internal space (volume) of the cylinder that can store the fluid (gas) can be efficiently used, and the fluid (gas) according to transportation and storage The price can be prevented from rising, and the first and second regulators (regulators) have the advantage of facilitating replacement and pressure control.
  • FIG. 1 is a schematic view of a cylinder having a fluid pressure regulating valve to improve the storage capacity according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 2 is a schematic cross-sectional view of the fluid pressure control valve body in the cylinder with a fluid pressure control valve improved storage capacity showing an embodiment of the present invention.
  • FIG 3 is another cross-sectional schematic view of a fluid pressure regulating valve body in a cylinder with a fluid pressure regulating valve having improved storage capacity according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 4 is an exploded cross-sectional schematic view of the fluid pressure control valve body in the cylinder with a fluid pressure control valve improved storage capacity showing an embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is an exploded cross-sectional schematic view of a first regulator portion of a fluid pressure regulating valve body in a cylinder having a fluid pressure regulating valve having an improved storage capacity according to an embodiment of the present invention
  • Figure 6 is an exploded cross-sectional schematic view of the second regulator portion of the fluid pressure regulating valve body in the cylinder with a fluid pressure regulating valve to improve the storage capacity showing an embodiment of the present invention.
  • Figure 7 is a schematic cross-sectional view showing a flow state of the fluid (gas) of the fluid pressure control valve body in the cylinder with a fluid pressure control valve improved storage capacity according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of a cylinder with a fluid pressure regulating valve body used in the related art.
  • the present invention relates to a cylinder configured to store and transport a fluid (gas), but to allow the stored fluid to be discharged at a set discharge pressure only at a set pressure condition on the outlet side.
  • the present invention is to adjust the discharge pressure of the fluid so that the first regulator can discharge to the adjusted set pressure and the fluid of the set pressure adjusted in the first regulator can be discharged only at the pressure of the set condition Including a second regulator, the first regulator and the second regulator is accommodated in one side of the valve body that is not inserted into the cylinder to maximize the internal space (volume) in which the fluid is stored and transported and stored the fluid
  • the present invention relates to a cylinder having a fluid pressure regulating valve for preventing a price increase according to the present invention so as to improve a storage capacity made to facilitate pressure adjustment, repair, and replacement of the first regulator and the second regulator.
  • the pressure of the first regulator 21 and the set pressure adjusted by the first regulator 21 to adjust the discharge pressure of the fluid in the cylinder (S) can be discharged to the adjusted set pressure at the pressure of the set condition It includes a second regulator 31 to be discharged only to, but the first regulator 21 and the second regulator 31 is not inserted into the cylinder (S) storage space 100 to improve the storage capacity Fluid pressure control valve (B) is provided,
  • the fluid pressure regulating valve (B) includes a cylinder fastening portion (11) having a fluid discharge inlet (15) formed therein, and a first regulator installation chamber communicating with the fluid discharge inlet (15) and the first flow path (61). (12), the 2nd regulator installation chamber 13 which always communicates with the 1st regulator installation chamber 12 and the 2nd flow path 62, and the said 2nd regulator installation chamber 13 and the 3rd flow path 63.
  • Valve opening / closing chamber 14 for communicating with each other, the fluid discharge passage 81 for communicating with the opening / closing valve installation chamber 14 and the fourth flow path 64, and the fluid discharge inlet 15 and
  • a valve body (10) including a safety valve installation chamber (17) communicating with the five flow passages (65), and a filling port chamber (18) communicating with the fluid discharge inlet (15) and the sixth flow passage (66);
  • a first regulator unit 20 installed in the first regulator installation chamber 12 and including a first regulator 21 for adjusting a discharge pressure of the fluid in the cylinder to a set pressure;
  • the second regulator part 30 is installed in the second regulator installation chamber 13 and includes a second regulator 31 for adjusting the set pressure adjusted by the first regulator 20 to be drawn out when the pressure is set.
  • An opening / closing valve (40) installed in the opening / closing valve installation chamber (14) to block the flow of the flowing fluid; It includes a safety valve 50 installed in the safety valve installation chamber 17.
  • the cylinder with a fluid pressure regulating valve to improve the storage capacity of the inventors is adjusted by adjusting the discharge pressure of the fluid in the neck portion of the cylinder (S) provided with the inner space 100 to store and transport the fluid
  • the first regulator unit 20 capable of discharging at the set pressure, and the second regulator unit 30 so that the fluid of the set pressure adjusted by the first regulator unit 20 can be discharged only at the pressure of the set condition.
  • But the first pressure regulator 20 and the second regulator 20 is installed so that the fluid pressure control valve (B) is not inserted into the inner space 100 of the cylinder (S).
  • the fluid pressure regulating valve B will be described with reference to FIGS. 2 and 3.
  • the cylinder fluid pressure regulating valve body (B) is provided with a valve body (10) having a cylinder fastening portion (11) at the lower side so as to be installed at the inlet (neck portion) of the cylinder (S), and the valve body (10) on one side
  • the first regulator unit 20 including the first regulator 21 accommodated
  • the second regulator unit 30 including the second regulator 31 housed on the other side of the valve body 10, and the valve body 10.
  • An opening / closing valve 40 installed at an upper side to block a flow path through which the fluid moves, a safety valve 50 installed at one side of the valve body 10 to discharge when pressure rises in the cylinder space, and for safety,
  • the valve body 10 includes a cylinder fastening portion 11 having a fluid discharge inlet 15 formed at a lower side thereof so as to be coupled to an inlet of the cylinder S, and an agent for guiding fluid with the fluid discharge inlet 15.
  • the 1st regulator installation chamber 12 which communicates with the 1st flow path 61
  • the 2nd regulator installation chamber 13 which communicates with the 1st regulator installation chamber 12 and the 2nd flow path 62 which guides a fluid always
  • a valve opening and closing valve installation chamber 14 communicating with the second regulator installation chamber 13 and a third flow path 63 for guiding fluid, and a fourth valve for guiding fluid with the opening and closing valve installation chamber 14.
  • the fluid discharge passage 81 communicating with the flow path 64, the safety valve installation chamber 17 communicating with the fluid discharge inlet 15 and the fifth flow passage 65 for guiding the fluid, and the fluid discharge inlet. And a filling port chamber 18 in communication with the sixth flow path 66 for guiding the fluid.
  • the first regulator installation chamber 12 has a configuration in which the first regulator 21 is accommodated.
  • the first regulator 21 is installed, and the first regulator cap 22 for protecting the first regulator 21 is provided.
  • the first regulator threaded portion 12-1 and the first regulator cap threaded portion 12-2 are formed on the inner wall to be installed.
  • the second regulator installation chamber 13 has a configuration in which the second regulator 31 is accommodated, and the second regulator 31 is installed, and the second regulator cap 32 for protecting the second regulator 31 is provided.
  • the second regulator screw portion 13-1 and the second regulator cap screw portion 13-2 are formed on the inner wall to be installed.
  • the opening and closing valve installation chamber 14 is a configuration in which the opening and closing valve 40 to block the movement of the fluid guided to the third flow path (63) to the fourth flow path (64) is installed, the opening and closing
  • the opening and closing valve 40 installed in the valve installation chamber 14 is configured to physically block the flow of the fluid in the flow, and is a manual opening and closing valve, a pneumatic opening and closing valve, an electromechanical opening and closing valve (solenoid valve, etc.). Various types can be used.
  • the first flow passage 61 to the sixth flow passage 66 are formed inside the valve body 10 as a passage for guiding the fluid.
  • the safety valve mounting chamber 17 is provided with a safety valve 50 to adjust the pressure when the pressure rises in the cylinder, the filling port chamber 18 is formed with a fluid filling port 70 for filling the fluid, A fluid discharge port 80 is formed in the fluid discharge passage 81.
  • a high efficiency particle inlet filter 91 is installed, and the fluid discharge path 81 is provided with a high efficiency particle discharge filter 92. do.
  • the filling passage for filling the fluid includes a sixth flow passage 66 for communicating the filling port chamber 18 in which the fluid filling port 70 is formed, and the safety valve installation chamber 17 in which the safety valve 50 is installed, and the safety valve installation. And a fifth flow path 65 for communicating the seal 17 and the fluid discharge inlet 15. That is, the filling passage for filling the fluid passes through the safety valve installation chamber 17 in which the safety valve 50 is installed.
  • the first regulator 20 includes a first regulator 21 installed in the first regulator installation chamber 12 to discharge the fluid stored in the internal space 100 in the cylinder (S) at a set pressure. It is a structure which transmits the pressure of the fluid guided to the 1st flow path 61 to the 2nd flow path 62 by a predetermined pressure (refer FIG. 4 and FIG. 5).
  • the first regulator part 20 is screwed with the first regulator 21 and the first regulator cap screw part 12-2, which are installed by screwing the first regulator screw part 12-1.
  • the first regulator 21 includes a first regulator body 23 having a cap shape such that a first regulator screw portion 21-1 is formed on an outer wall and has an inner space, and the first regulator body 23 of the first regulator body 23.
  • a pressure regulator 24 including a poppet, a poppet holding wafer, and a diaphragm coupled to the poppet holding wafer accommodated in an inner space, and accommodated in the inner space of the first regulator body 23.
  • the pressure of the guided fluid may be adjusted by adjusting the elastic supporting force applied to the pressure regulating member 24.
  • a pressure is applied to the pressure regulating body 24 by applying a load to the pressure regulating elastic body 25 using the support pressure adjusting rod 26.
  • first regulator 21 may be detached from the first regulator installation chamber 12 after removing the first regulator cap 22, which may allow replacement of the first regulator 21 and pressure control freely. do.
  • the second regulator part 30 is provided with a second regulator so that when the pressure on the discharge side is the pressure in the set state, the flow path is opened so that the fluid guided to the second flow path 62 can be moved to the third flow path 63. It is the structure comprised including the 2nd regulator 31 provided in the chamber 13 (refer FIG. 4 and FIG. 6).
  • the second regulator part 30 is screwed with the second regulator 31 and the second regulator cap screw portion 13-2, which are installed by screwing the second regulator screw part 13-1, and the second regulator ( 31 is provided with a first regulator cap 32 to protect it.
  • the second regulator 31 has a second regulator body 33 having a cap shape such that a second regulator screw portion 31-1 is formed on an outer wall and has an inner space, and the second regulator body 33 And a pressure regulator 34 for opening the fluid flow path at a set pressure, including a poppet received in the inner space, a poppet holding wafer, and a diaphragm coupled with the poppet holding wafer.
  • the second regulator 31 is set to pass the fluid when the pressure on the fluid discharge port 80 side is a vacuum (250 Torr or less).
  • the second regulator 31 may be separated from the second regulator installation chamber 32 after removing the second regulator cap 32, which allows the second regulator 31 to be freely replaced and pressure-controlled. do.
  • FIG. 7 illustrates a state in which the fluid stored in the inner space 100 of the cylinder S moves through a flow path for guiding the fluid.
  • the second regulator 31 guides the fluid guided to the second flow path 62 to the third flow path 63.
  • the fluid guided to the third flow path 63 is guided to the fourth flow path 64 through the opening / closing valve installation chamber 14, and at this time, the opening / closing valve 40 installed in the opening / closing valve installation chamber 14.
  • the flow path can be blocked by.
  • the fluid guided to the fourth flow path 64 is discharged through the fluid discharge passage 81.
  • the cylinder equipped with a fluid pressure regulating valve to improve the storage capacity of the present invention, a plurality of regulators (regulators) provided to be able to discharge the stored fluid at the set discharge pressure only in the set pressure conditions on the outlet side and to communicate with
  • the passage is provided outside the cylinder rather than in the inner space of the cylinder for storing the fluid, and is provided on one side in the valve body to form an integrated form, which improves the storage capacity of the cylinder and facilitates maintenance. It will be widely used.

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Abstract

본 발명은 유체를 저장하여 운반하고, 설정된 조건하에서 저장된 유체가 설정된 배출압력으로 배출할 수 있도록 이루어진 실린더(유체 보관 및 운반용기)에 관한 것으로, 상세하게는 실린더(유체 보관 및 운반용기)에 설치되어 설정된 조건하에서 저장된 유체가 설정된 배출압력으로 배출할 수 있도록 하되 실린더(유체 보관 및 운반용기)의 유체 저장능력을 향상시킬 수 있도록 이루어진 유체압력조정밸브가 구비된 실린더에 관한 것이다. 이러한 본 발명인 유체 저장능력을 향상시킬 수 있도록 이루어진 유체압력조정밸브가 구비된 실린더는, 출구측의 설정된 압력조건에서만 저장된 유체가 설정된 배출압력으로 배출할 수 있도록 유체를 보관하고 운반하는 실린더에 있어서, 실린더 내 유체의 배출압력을 조정하여 조정된 설정압력으로 배출할 수 있는 제1 레귤레이터와, 상기 제1 레귤레이터에서 조정된 설정압력의 유체를 설정된 조건상태의 압력시에만 배출될 수 있도록 하는 제2 레귤레이터를 포함하되, 상기 제1 레귤레이터와 제2 레귤레이터가 실린더 저장공간에 삽입되지 않도록 이루어져 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 것이다.

Description

저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더
본 발명은 유체를 저장하여 운반하고, 설정된 조건하에서 저장된 유체가 설정된 배출압력으로 배출할 수 있도록 이루어진 실린더(유체 보관 및 운반용기)에 관한 것이다.
상세하게는 실린더(유체 보관 및 운반용기)에 설치되어 설정된 조건하에서 저장된 유체가 설정된 배출압력으로 배출할 수 있도록 하되 실린더(유체 보관 및 운반용기)의 유체 저장능력을 향상시킬 수 있도록 이루어진 유체압력조정밸브가 구비된 실린더에 관한 것이다.
일반적으로 다양한 공업적인 공정과 용례에서 신뢰성 있는 공정 가스의 공급원이 필요하며, 특히 반도체 제조공정에서는 식각 공정 등과 같은 다양한 공정에서 공정을 수행하기 위한 가스가 필요하며, 이 가스 공급을 위하여 유체를 운반할 수 있도록 이루어진 유체를 저장하여 운반하는 실린더가 널리 사용되고 있다.
이러한 유체운반 및 저장을 위한 실린더에는 일정한 설정된 압력으로 배출할 수 있도록 하며, 배출 측의 압력조건에서만 가스가 배출될 수 있도록 이루어진 유체압력조정밸브체(유체압력조정밸브시스템)이 설치된다.
특히, 공개특허 10-2008-0099342호인 '유체 저장 및 분배용 시스템 및 방법', 공개특허 10-2015-0059776호인 '압력 조절식 유체 보관 및 운반 용기의 스파이크 압력 방지 관리'의 특허문헌에 유체압력조정밸브체(유체압력조정밸브시스템) 기술이 제공되어 있다.
상기 종래기술로 제공된 유체압력조정밸브체에 관련한 기술에 대하여 도 8을 참조하여 설명하면,
유체운반 및 저장을 위한 실린더(2)에는 저장된 유체(가스)를 설정된 압력으로 배출하되, 배출 측의 압력조건의 상태에서만 배출이 이루어지도록 유체압력조정밸브체(1)가 설치되며,
설정된 압력으로 배출하되, 배출 측의 압력조건의 상태에서만 배출이 이루어지도록 하기 위한 상기 유체압력조정밸브체(1)에는 배출 측의 압력조건의 상태에서만 배출이 이루어지도록 하기 위한 제2 레귤레이터(1a)와, 실린더(2)에 저장된 유체(가스)를 설정된 압력으로 배출하도록 하는 제1 레귤레이터(1b)를 포함한다.
그러나, 종래에 제공되어 있는 유체압력조정밸브체(1)에 구비된 제1 레귤레이터(1b)와 제2 레귤레이터(1a)는 하부에 위치하여 유체를 저장하는 실린더(2) 내부공간에 수용됨으로써, 제1 레귤레이터(1b)와 제2 레귤레이터(1a)를 연결하는 연결관(1d) 및 이물질을 걸러내기 위한 미립자 필터(1c) 또한 유체를 저장하는 실린더(2) 내부공간에 수용된다.
이와 같이 유체를 저장하는 실린더(2) 내부공간에 1 레귤레이터(1b)와 제2 레귤레이터(1a)와 연결관(1d) 및 미립자 필터(1c)가 설치됨으로써 유체를 저장할 수 있는 체적이 줄어드는 문제점이 있으며, 이는 많은 경제적 손실을 발생시키고 있다. 특히, 유체를 저장하는 실린더(2) 내부공간이 크지 않을 경우에는 내부공간 대비 1 레귤레이터(1b)와 제2 레귤레이터(1a)와 연결관(1d) 및 미립자 필터(1c)가 차지하는 공간이 커 저장되어 운반되는 유체의 양이 급격하게 감소할 수 있다.
본 발명이 이러한 종래의 문제점을 해결하고자 하는데 그 목적이 있다.
즉, 본 발명은 설정된 조건하에서 저장된 유체가 설정된 배출압력으로 배출할 수 있도록 하는 다수개의 레귤레이터(조정기)가 실린더 내에 수용됨으로써 발생하는 유체의 저장능력 저하를 해결할 수 있도록 이루어진 유체압력조정밸브체를 구비하는 실린더를 제공하고자 한다.
또한, 다수개의 레귤레이터(조정기)의 교체가 용이하도록 함으로써 유지 보수가 용이하고, 보수 및 교체에 따른 비용을 절감할 수 있도록 이루어진 유체압력조정밸브체를 구비하는 실린더를 제공하고자 한다.
본 발명은, 출구측의 설정된 압력조건에서만 저장된 유체가 설정된 배출압력으로 배출할 수 있도록 유체를 보관하고 운반하는 실린더에 있어서, 실린더 내 유체의 배출압력을 조정하여 조정된 설정압력으로 배출할 수 있는 제1 레귤레이터와, 상기 제1 레귤레이터에서 조정된 설정압력의 유체를 설정된 조건상태의 압력시에만 배출될 수 있도록 하는 제2 레귤레이터를 포함하되, 상기 제1 레귤레이터와 제2 레귤레이터가 실린더 저장공간에 삽입되지 않도록 이루어져 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비됨을 특징으로 하는 실린더로 해결될 수 있다.
상기 제1 레귤레이터는 배출되는 유체압력의 크기를 조절할 수 있는 것이며, 제2 레귤레이터는 출구측의 설정된 압력조건에서만에 유로가 개방될 수 있도록 개폐압력의 크기를 조절할 수 있도록 한다.
상기 유체압력조정밸브의 밸브 몸체에는 제1 레귤레이터가 설치되는 제1 레귤레이터 설치실과, 제2 레귤레이터가 설치되는 제2 레귤레이터 설치실이 형성되되, 상기 제1 레귤레이터 설치실과 제2 레귤레이터 설치실이 실린더의 외측에 위치함을 특징으로 한다.
즉, 상기 유체압력조정밸브는, 유체배출용 입구가 형성된 실린더 체결부와, 상기 유체배출용 입구와 제1 유로로 연통하는 제1 레귤레이터 설치실과, 상시 제1 레귤레이터 설치실과 제2 유로로 연통하는 제2 레귤레이터 설치실과, 상기 제2 레귤레이터 설치실과 제3 유로로 연통하는 개폐용 밸브 설치실과, 상기 개폐용 밸브 설치실과 제4 유로로 연통하는 유체배출통로와, 상기 유체배출용 입구와 제5 유로로 연통하는 안전변 설치실과, 상기 안전변 설치실과 제6 유로로 연통하는 충전포트실을 포함하는 밸브 몸체와; 상기 제1 레귤레이터 설치실에 설치되어 실린더 내의 유체의 배출압력을 설정압력으로 배출하도록 조정하는 제1 레귤레이터를 포함하는 제1 레귤레이터부와; 상기 제2 레귤레이터 설치실에 설치되어 제1 레귤레이터에서 조정된 설정압력을 설정된 조건상태의 압력시 인출되게 조정하는 제2 레귤레이터를 포함하는 제2 레귤레이터부와; 상기 개폐용 밸브 설치실에 설치되어 유동중인 유체의 유동을 차단시킬 수 있는 개폐용 밸브와; 상기 안전변 설치실에 설치된 안전변을 포함함을 특징으로 한다.
상기 제1 레귤레이터와 제2 레귤레이터는 각각의 제1, 2 레귤레이터 설치실에 설치된 제1, 2 레귤레이터 캡 분리만으로 교체가능하다.
상기 밸브 몸체의 일측에는 제1 레귤레이터 설치를 위한 내벽에 제1 레귤레이터 나사부와 제1 레귤레이터 캡 나사부가 형성된 제1 레귤레이터 설치실이 형성되며, 타측에는 제2 레귤레이터 설치를 위한 내벽에 제2 레귤레이터 나사부와 제2 레귤레이터 캡 나사부가 형성된 제2 레귤레이터 설치실이 형성되며, 상기 제1 레귤레이터 설치실은 제1 유로를 통하여 실린더와 연통하며, 상기 제1 레귤레이터 설치실과 제2 레귤레이터 설치실은 제2 유로로 연통하며, 상기 제2 레귤레이터 설치실은 유동중인 유체의 유동을 차단시킬 수 있는 개폐용 밸브가 설치되는 개폐용 밸브 설치실과 제3 유로로 연통하며,
상기 제1 레귤레이터는 제1 레귤레이터 나사부에 나사결합되어 설치되고, 제1 레귤레이터 캡 나사부에는 제1 레귤레이터를 보호하는 제1 레귤레이터 캡이 나사결합되며,
상기 제2 레귤레이터는 제2 레귤레이터 나사부에 나사결합되어 설치되고, 제2 레귤레이터 캡 나사부에는 제2 레귤레이터를 보호하는 제2 레귤레이터 캡이 나사결합된다.
본 발명인 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더는, 출구측의 설정된 압력조건에서만 저장된 유체가 설정된 배출압력으로 배출할 수 있도록 하기 위하여 구비되는 복수의 레귤레이터(조정기) 및 이를 연통하도록 하는 통로가 유체를 저장하는 실린더의 내부공간에 구비되지 않고 실린더 외측에 구비되되, 밸브몸체 내의 일측에 구비되어 일체형태로 이루어짐으로써 실린더의 저장능력을 향상시킬 수 있는 장점이 있으며, 유지보수가 용이한 장점을 가진다.
또한, 배출되는 유체압력이 일정한 유체의 압력으로 배출하도록 하기 위하여 구비되는 제1 레귤레이터(조정기)는 배출되는 유체압력의 크기를 조절할 수 있어 다양한 크기의 압력의 상태로 유체를 배출할 수 있으며, 출구측의 압력의 조건상태에서만 유체가 배출될 수 있도록 하기 위하여 구비되는 제2 레귤레이터(조정기)는 출구측의 설정된 압력조건에서만에 유로가 개방될 수 있도록 하는 개폐압력의 크기를 조절할 수 있으며, 실린더 외측에 위치하여 조절이 용이할 수 있음으로써 사용환경의 변화에 따른 빠른 조치가 이루어질 수 있는 장점을 가진다.
즉, 제1, 2 레귤레이터(조정기)가 실린더 외측의 밸브 몸체에 위치함으로써 유체(가스)를 저장할 수 있는 실린더의 내부공간(체적)을 효율적으로 사용할 수 있어, 운반 및 저장에 따른 유체(가스)의 가격 상승을 방지할 수 있으며, 제1, 2 레귤레이터(조정기)의 교체 및 압력조절을 용이하게 할 수 있는 장점을 가진다.
도 1은 본 발명의 실시 예를 나타낸 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더에 대한 개략도.
도 2는 본 발명의 실시 예를 나타낸 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더에서 유체압력조정밸브체의 단면개략도.
도 3은 본 발명의 실시 예를 나타낸 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더에서 유체압력조정밸브체의 다른 단면개략도.
도 4는 본 발명의 실시 예를 나타낸 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더에서 유체압력조정밸브체의 분리 단면개략도.
도 5는 본 발명의 실시 예를 나타낸 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더에서 유체압력조정밸브체의 제1 레귤레이터부에 대한 분리 단면개략도.
도 6은 본 발명의 실시 예를 나타낸 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더에서 유체압력조정밸브체의 제2 레귤레이터부에 대한 분리 단면개략도.
도 7은 본 발명의 실시 예를 나타낸 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더에서 유체압력조정밸브체의 유체(가스)의 유동상태를 나타낸 단면개략도.
도 8은 종래에 사용되고 있는 유체압력조정밸브체가 구비된 실린더에 대한 단면개략도.
본 발명은 유체(가스)를 저장하고 운반하되, 출구측의 설정된 압력조건에서만 저장된 유체가 설정된 배출압력으로 배출할 수 있도록 이루어진 실린더에 관한 것이다.
즉, 본 발명은 유체의 배출압력을 조정하여 조정된 설정압력으로 배출할 수 있는 제1 레귤레이터와, 상기 제1 레귤레이터에서 조정된 설정압력의 유체를 설정된 조건상태의 압력시에만 배출될 수 있도록 하는 제2 레귤레이터를 포함하되, 상기 제1 레귤레이터와 제2 레귤레이터가 실린더 내측으로 삽입되지 않은 밸브 몸체의 일측 내에 수용되도록 이루어져 유체가 저장되어 운반되는 실린더 내부공간(체적)을 극대화시켜 유체의 운반 및 저장에 따른 가격상승을 방지하여, 제1 레귤레이터와 제2 레귤레이터의 압력조정, 수리 및 교체가 용이할 수 있도록 이루어진 저장능력을 향상시킬 수 있도록 한 유체압력조정밸브가 구비된 실린더에 관한 것이다.
이러한 본 발명인 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더는, 출구측의 설정된 압력조건에서만 저장된 유체가 설정된 배출압력으로 배출할 수 있도록 유체를 보관하고 운반하는 실린더에 있어서,
실린더(S) 내 유체의 배출압력을 조정하여 조정된 설정압력으로 배출할 수 있는 제1 레귤레이터(21)와, 상기 제1 레귤레이터(21)에서 조정된 설정압력의 유체를 설정된 조건상태의 압력시에만 배출될 수 있도록 하는 제2 레귤레이터(31)를 포함하되, 상기 제1 레귤레이터(21)와 제2 레귤레이터(31)가 실린더(S) 저장공간(100)에 삽입되지 않도록 이루어져 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브(B)가 구비되며,
상기 유체압력조정밸브(B)는, 유체배출용 입구(15)가 형성된 실린더 체결부(11)와, 상기 유체배출용 입구(15)와 제1 유로(61)로 연통하는 제1 레귤레이터 설치실(12)과, 상시 제1 레귤레이터 설치실(12)과 제2 유로(62)로 연통하는 제2 레귤레이터 설치실(13)과, 상기 제2 레귤레이터 설치실(13)과 제3 유로(63)로 연통하는 개폐용 밸브 설치실(14)과, 상기 개폐용 밸브 설치실(14)과 제4 유로(64)로 연통하는 유체배출통로(81)와, 상기 유체배출용 입구(15)와 제5 유로(65)로 연통하는 안전변 설치실(17)과, 상기 유체배출용 입구(15)와 제6 유로(66)로 연통하는 충전포트실(18)을 포함하는 밸브 몸체(10)와; 상기 제1 레귤레이터 설치실(12)에 설치되어 실린더 내의 유체의 배출압력을 설정압력으로 배출하도록 조정하는 제1 레귤레이터(21)를 포함하는 제1 레귤레이터부(20)와; 상기 제2 레귤레이터 설치실(13)에 설치되어 제1 레귤레이터(20)에서 조정된 설정압력을 설정된 조건상태의 압력시 인출되게 조정하는 제2 레귤레이터(31)를 포함하는 제2 레귤레이터부(30)와; 상기 개폐용 밸브 설치실(14)에 설치되어 유동중인 유체의 유동을 차단시킬 수 있는 개폐용 밸브(40)와; 상기 안전변 설치실(17)에 설치된 안전변(50)을 포함하도록 한다.
본 발명인 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더에 관하여 실시 예를 나타낸 도면을 참조하여 설명한다.
도 1를 참조하면,
본 발명인 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더는, 유체를 저장하고 운반할 수 있도록 내부공간(100)이 구비된 실린더(S)의 목 부분에 유체의 배출압력을 조정하여 조정된 설정압력으로 배출할 수 있는 제1 레귤레이터부(20)와, 상기 제1 레귤레이터부(20)에서 조정된 설정압력의 유체를 설정된 조건상태의 압력시에만 배출될 수 있도록 하는 제2 레귤레이터부(30)를 포함하되, 상기 제1 레귤레이터부(20)와 제2 레귤레이터부(20)가 실린더(S)의 내부공간(100)에 삽입되지 않도록 이루어진 유체압력조정밸브(B)가 설치된 것이다.
상기 유체압력조정밸브(B)에 대하여 실시 예를 나타낸 도 2와 도 3을 참조하여 설명한다.
상기 실린더용 유체압력조정밸브체(B)는 실린더(S)의 입구(목부분)에 설치되도록 하측에 실린더 체결부(11)가 구비된 밸브 몸체(10)와, 밸브 몸체(10) 일측에 수용된 제1 레귤레이터(21)를 포함하는 제1 레귤레이터부(20)와, 밸브 몸체(10) 타측에 수용된 제2 레귤레이터(31)를 포함하는 제2 레귤레이터부(30)와, 밸브 몸체(10) 상측부에 설치되어 유체가 이동하는 유로를 차단할 수 있는 개폐용 밸브(40)와, 밸브 몸체(10) 일측에 설치되어 실린더 내부공간의 압력상승시 배출하여 안전을 도모하는 안전변(50)과, 밸브 몸체(10) 일측에 형성되어 실린더 내부공간에 유체를 충전할 때 사용하는 유체충전포트(70)와, 밸브 몸체(10) 일측에 형성되어 유체를 배출할 때 사용하는 유체배출포트(80)를 포함한다.
상기 밸브 몸체(10)는, 실린더(S)의 입구에 결합되도록 하측에 유체배출용 입구(15)가 형성된 실린더 체결부(11)와, 상기 유체배출용 입구(15)와 유체를 안내하는 제1 유로(61)로 연통하는 제1 레귤레이터 설치실(12)과, 상시 제1 레귤레이터 설치실(12)과 유체를 안내하는 제2 유로(62)로 연통하는 제2 레귤레이터 설치실(13)과, 상기 제2 레귤레이터 설치실(13)과 유체를 안내하는 제3 유로(63)로 연통하는 개폐용 밸브 설치실(14)과, 상기 개폐용 밸브 설치실(14)과 유체를 안내하는 제4 유로(64)로 연통하는 유체배출통로(81)와, 상기 유체배출용 입구(15)와 유체를 안내하는 제5 유로(65)로 연통하는 안전변 설치실(17)과, 상기 유체배출용 입구(15)와 유체를 안내하는 제6 유로(66)로 연통하는 충전포트실(18)을 포함한다.
상기 제1 레귤레이터 설치실(12)은 제1 레귤레이터(21)가 수용되는 구성으로, 제1 레귤레이터(21)가 설치되고, 제1 레귤레이터(21)를 보호하도록 하는 제1 레귤레이터 캡(22)이 설치될 수 있도록 내벽에는 제1 레귤레이터 나사부(12-1)와 제1 레귤레이터 캡 나사부(12-2)가 형성된다.
상기 제2 레귤레이터 설치실(13)은 제2 레귤레이터(31)가 수용되는 구성으로, 제2 레귤레이터(31)가 설치되고, 제2 레귤레이터(31)를 보호하도록 하는 제2 레귤레이터 캡(32)이 설치될 수 있도록 내벽에는 제2 레귤레이터 나사부(13-1)와 제2 레귤레이터 캡 나사부(13-2)가 형성된다.
상기 개폐용 밸브 설치실(14)은 제3 유로(63)로 안내되는 유체가 제4 유로(64)로 이동하는 것을 차단할 수 있도록 하는 개폐용 밸브(40)가 설치되는 구성이며, 상기 개폐용 밸브 설치실(14)에 설치되는 개폐용 밸브(40)는 유동중인 유체의 유동을 물리적으로 차단할 수 있도록 이루어진 구성으로, 수동 개폐용 밸브, 공압 개폐용 밸브, 전자기계적 개폐용 밸브(솔레노이드 밸브 등) 다양한 타입이 사용될 수 있다.
상기 제1 유로(61) 내지 제6 유로(66)는 유체를 안내하는 통로로 밸브 몸체(10) 내측에 형성된다.
상기 안전변 설치실(17)에는 실린더 내의 압력상승시 압력을 조절할 수 있도록 하기 위한 안전변(50)이 설치되고, 상기 충전포트실(18)에는 유체 충전을 위한 유체충전포트(70)가 형성되고, 상기 유체배출통로(81)에는 유체배출포트(80)가 형성된다.
상기 유체배출용 입구(15) 또는 제1 유로(61) 상에는 고효율의 미립자용 입구쪽 필터(91)가 설치되고, 상기 유체배출통로(81)에는 고효율의 미립자용 배출쪽 필터(92)가 설치된다.
유체 충전을 위한 충전 유로는 유체충전포트(70)가 형성된 충전포트실(18)과 안전변(50)이 설치되는 안전변 설치실(17)을 연통하도록 하는 제6 유로(66)와, 상기 안전변 설치실(17)과 유체배출용 입구(15)을 연통하도록 하는 제5 유로(65)로 이루어진다. 즉, 유체 충전을 위한 충전 유로는 안전변(50)이 설치되는 안전변 설치실(17)을 통과하도록 한다.
상기 제1 레귤레이터부(20)는 실린더(S)에 내부공간(100)에 저장된 유체를 설정된 압력으로 배출할 수 있도록 제1 레귤레이터 설치실(12)에 설치된 제1 레귤레이터(21)를 포함하여 이루어져 제1 유로(61)로 안내되는 유체의 압력을 설정된 압력으로 제2 유로(62)로 전달하는 구성이다(도 4와 도 5를 참조).
이러한 제1 레귤레이터부(20)는 제1 레귤레이터 나사부(12-1)와 나사결합으로 설치되는 제1 레귤레이터(21)와, 제1 레귤레이터 캡 나사부(12-2)와 나사결합되어 제1 레귤레이터(21)를 보호하도록 하는 제1 레귤레이터 캡(22)으로 이루어진다.
상기 제1 레귤레이터(21)는, 외벽에 제1 레귤레이터 나사부(21-1)가 형성되고 내부공간을 가지도록 캡형태로 이루어진 제1 레귤레이터 몸체(23)와, 상기 제1 레귤레이터 몸체(23)의 내부공간에 수용되는 포핏, 포핏 유지 웨이퍼 및 포핏 유지 웨이퍼와 커플링되는 다이어프램을 포함하는 압력조절체(24)와, 상기 제1 레귤레이터 몸체(23) 내부공간에 수용되어 압력조절체(24)를 탄성지지하는 압력조절용 탄성체(25)와, 상기 압력조절용 탄성체(25)의 지지압력을 조절하는 지지압력조절봉(26)과, 상기 지지압력조절봉(26)의 위치를 고정하는 고정나사(27)를 포함한다.
상기 지지압력조절봉(26)을 이용하여 압력조절용 탄성체(25)의 탄성력을 조절함으로써 압력조절체(24)에 가해지는 탄성지지력을 조절함으로써 안내되는 유체의 압력을 조절할 수 있다.
보통 지지압력조절봉(26)을 사용하여 압력조절용 탄성체(25)에 하중을 가하여 압력조절체(24)에 5~20psi 압력이 작용할 수 있도록 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제1 레귤레이터(21)는 제1 레귤레이터 캡(22)을 분리한 후 제1 레귤레이터 설치실(12)에서 분리할 수 있으며, 이는 제1 레귤레이터(21)의 교체 및 압력조절이 자유롭도록 한다.
상기 제2 레귤레이터부(30)는 배출 측의 압력이 설정상태의 압력일 때에 유로가 개방되어 제2 유로(62)로 안내되는 유체가 제3 유로(63)로 이동될 수 있도록 제2 레귤레이터 설치실(13)에 설치된 제2 레귤레이터(31)를 포함하여 이루어진 구성이다(도 4와 도 6을 참조).
이러한 제2 레귤레이터부(30)는 제2 레귤레이터 나사부(13-1)와 나사결합으로 설치되는 제2 레귤레이터(31)와, 제2 레귤레이터 캡 나사부(13-2)와 나사결합되어 제2 레귤레이터(31)를 보호하도록 하는 제1 레귤레이터 캡(32)으로 이루어진다.
상기 제2 레귤레이터(31)는, 외벽에 제2 레귤레이터 나사부(31-1)가 형성되고 내부공간을 가지도록 캡형태로 이루어진 제2 레귤레이터 몸체(33)와, 상기 제2 레귤레이터 몸체(33)의 내부공간에 수용되는 포핏, 포핏 유지 웨이퍼 및 포핏 유지 웨이퍼와 커플링되는 다이어프램을 포함하여 설정압력에서 유체 유로를 개방하도록 하는 압력조절체(34)를 포함한다.
보통 상기 제2 레귤레이터(31)는 유체배출포트(80) 측의 압력이 진공(250 Torr 이하)일때, 유체를 통과시키도록 설정된다.
또한, 상기 제2 레귤레이터(31)는 제2 레귤레이터 캡(32)을 분리한 후 제2 레귤레이터 설치실(32)에서 분리할 수 있으며, 이는 제2 레귤레이터(31)의 교체 및 압력조절이 자유롭도록 한다.
도 7은 실린더(S)의 내부공간(100)에 저장된 유체가 유체를 안내하는 유로를 통해 이동하는 상태를 나타낸 것이다.
실린더(S)에 저장된 유체가 입구쪽 필터(91)를 통과한 후 제1 유로(61)로 안내되어 제1 레귤레이터 설치실(12)에 유입되면, 제1 레귤레이터(21)에 의하여 설정된 압력으로 변경된 후 제2 유로(62)로 안내된다.
유체배출포트(80) 측의 압력이 진공(250 Torr 이하)일때 제2 레귤레이터 (31)는 제2 유로(62)로 안내되는 유체를 제3 유로(63)로 안내한다.
상기 제3 유로(63)로 안내되는 유체는 개폐용 밸브 설치실(14)를 통해 제4 유로(64)로 안내되며, 이때 개폐용 밸브 설치실(14)에 설치되는 개폐용 밸브(40)에 의하여 유로가 차단될 수 있다.
상기 제4 유로(64)로 안내되는 유체는 유체배출통로(81)를 통해 배출이 이루어진다.
본 발명인 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더는, 출구측의 설정된 압력조건에서만 저장된 유체가 설정된 배출압력으로 배출할 수 있도록 하기 위하여 구비되는 복수의 레귤레이터(조정기) 및 이를 연통하도록 하는 통로가 유체를 저장하는 실린더의 내부공간에 구비되지 않고 실린더 외측에 구비되는 한편, 밸브몸체 내의 일측에 구비되어 일체형태로 이루어짐으로써 실린더의 저장능력을 향상시킬 수 있는 장점과 유지보수가 용이한 장점으로 널리 사용될 것이다.

Claims (7)

  1. 출구측의 설정된 압력조건에서만 저장된 유체가 설정된 배출압력으로 배출할 수 있도록 유체를 보관하고 운반하는 실린더에 있어서,
    실린더(S) 내 유체의 배출압력을 조정하여 조정된 설정압력으로 배출할 수 있는 제1 레귤레이터(21)와, 상기 제1 레귤레이터(21)에서 조정된 설정압력의 유체를 설정된 조건상태의 압력시에만 배출될 수 있도록 하는 제2 레귤레이터(31)를 포함하되, 상기 제1 레귤레이터(21)와 제2 레귤레이터(31)가 실린더(S) 저장공간(100)에 삽입되지 않도록 이루어져 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브(B)가 구비되며,
    상기 유체압력조정밸브(B)는, 유체배출용 입구(15)가 형성된 실린더 체결부(11)와, 상기 유체배출용 입구(15)와 제1 유로(61)로 연통하는 제1 레귤레이터 설치실(12)과, 상시 제1 레귤레이터 설치실(12)과 제2 유로(62)로 연통하는 제2 레귤레이터 설치실(13)과, 상기 제2 레귤레이터 설치실(13)과 제3 유로(63)로 연통하는 개폐용 밸브 설치실(14)과, 상기 개폐용 밸브 설치실(14)과 제4 유로(64)로 연통하는 유체배출통로(81)와, 상기 유체배출용 입구(15)와 제5 유로(65)로 연통하는 안전변 설치실(17)과, 상기 유체배출용 입구(15)와 제6 유로(66)로 연통하는 충전포트실(18)을 포함하는 밸브 몸체(10)와; 상기 제1 레귤레이터 설치실(12)에 설치되어 실린더 내의 유체의 배출압력을 설정압력으로 배출하도록 조정하는 제1 레귤레이터(21)를 포함하는 제1 레귤레이터부(20)와; 상기 제2 레귤레이터 설치실(13)에 설치되어 제1 레귤레이터(20)에서 조정된 설정압력을 설정된 조건상태의 압력시 인출되게 조정하는 제2 레귤레이터(31)를 포함하는 제2 레귤레이터부(30)와; 상기 개폐용 밸브 설치실(14)에 설치되어 유동중인 유체의 유동을 차단시킬 수 있는 개폐용 밸브(40)와; 상기 안전변 설치실(17)에 설치된 안전변(50)을 포함함을 특징으로 하는 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 레귤레이터(21)는 배출되는 유체압력의 크기를 조절할 수 있는 것이며, 제2 레귤레이터(31)는 출구측의 설정된 압력조건에서만에 유로가 개방될 수 있도록 개폐압력의 크기를 조절할 수 있는 것임을 특징으로 하는 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 유체압력조정밸브(B)의 제1 레귤레이터 설치실(12)과 제2 레귤레이터 설치실(13)이 실린더(S)의 외측에 위치함을 특징으로 하는 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 레귤레이터(21)와 제2 레귤레이터(31)는 각각의 제1, 2 레귤레이터 설치실(12, 13)에 설치된 제1, 2 레귤레이터 캡(22, 32) 분리만으로 교체가 가능함을 특징으로 하는 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더.
  5. 출구측의 설정된 압력조건에서만 저장된 유체가 설정된 배출압력으로 배출할 수 있도록 유체를 보관하고 운반하는 실린더에 있어서,
    실린더(S) 내 유체의 배출압력을 조정하여 조정된 설정압력으로 배출할 수 있는 제1 레귤레이터(21)와, 상기 제1 레귤레이터(21)에서 조정된 설정압력의 유체를 설정된 조건상태의 압력시에만 배출될 수 있도록 하는 제2 레귤레이터(31)를 포함하되, 상기 제1 레귤레이터(21)와 제2 레귤레이터(31)가 실린더(S) 저장공간(100)에 삽입되지 않도록 이루어져 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브(B)가 구비되며,
    유체압력조정밸브(B)의 밸브 몸체(10)에는 제1 레귤레이터(21)가 설치되는 제1 레귤레이터 설치실(12)과, 제2 레귤레이터(31)가 설치되는 제2 레귤레이터 설치실(13)이 형성되되, 상기 제1 레귤레이터 설치실(12)과 제2 레귤레이터 설치실(13)이 실린더(S)의 외측에 위치하는 한편,
    상기 밸브 몸체(10)의 일측에는 제1 레귤레이터(21) 설치를 위한 내벽에 제1 레귤레이터 나사부(12-1)와 제1 레귤레이터 캡 나사부(12-2)가 형성된 제1 레귤레이터 설치실(12)이 형성되며, 타측에는 제2 레귤레이터(31) 설치를 위한 내벽에 제2 레귤레이터 나사부(13-1)와 제2 레귤레이터 캡 나사부(13-2)가 형성된 제2 레귤레이터 설치실(13)이 형성되며, 상기 제1 레귤레이터 설치실(12)은 제1 유로(61)를 통하여 실린더와 연통하며, 상기 제1 레귤레이터 설치실(12)과 제2 레귤레이터 설치실(13)은 제2 유로(62)로 연통하며, 상기 제2 레귤레이터 설치실(13)은 유동중인 유체의 유동을 차단시킬 수 있는 개폐용 밸브(40)가 설치되는 개폐용 밸브 설치실(14)과 제3 유로(63)로 연통하며,
    상기 제1 레귤레이터(21)는 제1 레귤레이터 나사부(12-1)에 나사결합되어 설치되고, 제1 레귤레이터 캡 나사부(12-2)에는 제1 레귤레이터(21)를 보호하는 제1 레귤레이터 캡(22)이 나사결합되며,
    상기 제2 레귤레이터(31)는 제2 레귤레이터 나사부(13-1)에 나사결합되어 설치되고, 제2 레귤레이터 캡 나사부(13-2)에는 제2 레귤레이터(31)를 보호하는 제2 레귤레이터 캡(32)이 나사결합됨을 특징으로 하는 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 레귤레이터(21)는,
    외벽에 제1 레귤레이터 나사부(21-1)가 형성되고, 내부공간을 가지도록 캡형태로 이루어진 제1 레귤레이터 몸체(23)와;
    상기 제1 레귤레이터 몸체(23)의 내부공간에 수용되는 포핏, 포핏 유지 웨이퍼 및 포핏 유지 웨이퍼와 커플링되는 다이어프램을 포함하는 압력조절체(24)와;
    상기 제1 레귤레이터 몸체(23) 내부공간에 수용되어 압력조절체(24)를 탄성지지하는 압력조절용 탄성체(25)와;
    상기 압력조절용 탄성체(25)의 지지압력을 조절하는 지지압력조절봉(26)과;
    상기 지지압력조절봉(26)의 위치를 고정하는 고정나사(27)를 포함을 특징으로 하는 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제2 레귤레이터(31)는,
    외벽에 제2 레귤레이터 나사부(31-1)가 형성되고, 내부공간을 가지도록 캡형태로 이루어진 제2 레귤레이터 몸체(33)와;
    상기 제2 레귤레이터 몸체(33)의 내부공간에 수용되는 포핏, 포핏 유지 웨이퍼 및 포핏 유지 웨이퍼와 커플링되는 다이어프램을 포함하여 설정압력에서 유체 유로를 개방하도록 하는 압력조절체(34)를 포함을 특징으로 하는 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102037372B1 (ko) * 2018-03-28 2019-10-28 태광후지킨 주식회사 실린더용 유체압력조정밸브체
KR102496494B1 (ko) 2021-02-03 2023-02-07 티이엠씨 주식회사 유체배출포트와 연결되는 커넥터 및 커넥터가 연결된 유체압력조정밸브
KR20230154465A (ko) * 2021-03-09 2023-11-08 엔테그리스, 아이엔씨. 가스 저장 및 분배 용기와, 가스 저장 및 분배 용기로부터의 분배 방법
KR102531981B1 (ko) 2021-07-22 2023-05-12 (주)진솔루션 고압 가스용기용 밸브 장치
US20230068586A1 (en) * 2021-09-01 2023-03-02 American CNG, LLC Supplemental fuel system for compression-ignition engine

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100792541B1 (ko) * 2006-12-13 2008-01-09 (주)모토닉 고압 가스용 레귤레이터
KR20080099342A (ko) * 2000-04-19 2008-11-12 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 유체 저장 및 분배용 시스템 및 방법
KR20090128597A (ko) * 2008-06-11 2009-12-16 (주)모토닉 레귤레이터
KR20120100787A (ko) * 2011-03-03 2012-09-12 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 가스 감압 공급 장치, 이것을 구비하는 실린더 캐비닛, 밸브 박스 및 기판 처리 장치
KR20150059776A (ko) * 2012-09-21 2015-06-02 엔테그리스, 아이엔씨. 압력 조절식 유체 보관 및 운반 용기의 스파이크 압력 방지 관리

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5822665B2 (ja) * 1976-09-18 1983-05-10 株式会社ネリキ 残圧弁付ボンベバルブ
GB2231137B (en) * 1989-04-28 1992-10-28 Air Prod & Chem Pressure reducing valve
FR2664962B1 (fr) * 1990-07-17 1992-09-18 Air Liquide Dispositif adaptateur-detendeur de distribution de gaz pour conteneurs de gaz a haute pression.
FR2706051B1 (fr) * 1993-06-03 1995-07-28 Taema Ensemble de commande de distribution de gaz et bouteille de gaz équipée d'un tel ensemble.
GB9724168D0 (en) * 1997-11-14 1998-01-14 Air Prod & Chem Gas control device and method of supplying gas
US7013916B1 (en) * 1997-11-14 2006-03-21 Air Products And Chemicals, Inc. Sub-atmospheric gas delivery method and apparatus
US5937895A (en) * 1998-04-17 1999-08-17 Uop Llc Fail-safe delivery valve for pressurized tanks
JP4608041B2 (ja) * 1999-08-03 2011-01-05 プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド 加圧タンク用フェイル−セーフ送出し弁
US6257000B1 (en) * 2000-03-22 2001-07-10 Luping Wang Fluid storage and dispensing system featuring interiorly disposed and exteriorly adjustable regulator for high flow dispensing of gas
CA2312122A1 (en) * 2000-06-23 2001-12-23 Erick Girouard Gas flow regulation system
US6360546B1 (en) * 2000-08-10 2002-03-26 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing system featuring externally adjustable regulator assembly for high flow dispensing
JP2002364770A (ja) * 2001-06-06 2002-12-18 Smc Corp 流体制御弁
FR2834771B1 (fr) * 2002-01-11 2004-02-13 Gce Sas Dispositif de robinet pour bouteille de gaz sous pression
US7089956B1 (en) * 2003-11-14 2006-08-15 Gilbert Davidson Portable gas delivery device with impact protection
EP1585003B1 (en) * 2004-04-05 2008-01-30 Flow Meter S.p.A. Reduction pressure device for a gas cylinder
KR100671271B1 (ko) 2004-07-23 2007-01-24 강의창 가스레귤레이터
KR200380316Y1 (ko) 2004-12-20 2005-03-29 이대성 소형 가스공급장치
DE202007019064U1 (de) * 2007-10-03 2010-05-27 Turanair System, Inc., Deerfield Beach Regler und Energieversorgungssysteme
ES2573632T3 (es) * 2013-08-06 2016-06-09 Air Products And Chemicals, Inc. Aparato para la regulación de la presión de un gas
CN203656289U (zh) * 2014-01-10 2014-06-18 无锡市华通气动制造有限公司 一种膜片式二级稳压电磁阀
JP2015140814A (ja) * 2014-01-27 2015-08-03 川崎重工業株式会社 減圧弁
JP2016184259A (ja) * 2015-03-26 2016-10-20 愛三工業株式会社 減圧装置
CN206513895U (zh) * 2017-02-10 2017-09-22 中国航发沈阳发动机研究所 一种两级压力调节装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080099342A (ko) * 2000-04-19 2008-11-12 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 유체 저장 및 분배용 시스템 및 방법
KR100792541B1 (ko) * 2006-12-13 2008-01-09 (주)모토닉 고압 가스용 레귤레이터
KR20090128597A (ko) * 2008-06-11 2009-12-16 (주)모토닉 레귤레이터
KR20120100787A (ko) * 2011-03-03 2012-09-12 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 가스 감압 공급 장치, 이것을 구비하는 실린더 캐비닛, 밸브 박스 및 기판 처리 장치
KR20150059776A (ko) * 2012-09-21 2015-06-02 엔테그리스, 아이엔씨. 압력 조절식 유체 보관 및 운반 용기의 스파이크 압력 방지 관리

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